Load Port

ウエハロードポート

RoHS

HIWIN Support

About HIWIN

特長
ハイウィン ウエハロードポート(HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。HLPシリーズ本体は改造後、12インチフレームカセットの使用に適応可能です。
製品のクリーン度はクラス 1であり、フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。
関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。

主要コンポーネントは自社製品
ボールねじ、リニアガイドウェイ等のウエハロード
ポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。

ボールねじ
Ballscrewリニアガイドウェイ
Linear Guideway

サポートユニット
Support Unit

システム構造
電源線

緊急停止信号ケーブル
STOP

電源(DC24V/5A)

チューブ

STOP

緊急停止(E-stop)

RS232ケーブル

STOP
気圧供給
(Vacuum: -0.05~-0.07 MPa)
(Air supply: 0.5~0.7 MPa)

STOP

上位コントローラー(IPC/PC, DB9-M)

型番

HLP 812 - G M 8OCA - R1B1 E84 - E
ウエハ
ロードポートオーダーメイド
E：オーダーメイド (オプション)
無記号：なし規格
812：8 インチ、12 インチ共用型
飛出し検出
G：ガラス ( ウエハ含む ) 飛出し検出 ( オプション )無記号：ウエハ飛出し検出 ( 標準規格 )マッピング機能
M：マッピング機能 ( オプション )無記号：なしウエハカセットアダプター ( 複数選択可 )8OCA：8 インチ open cassette adapter ( オプション )12MCA：12 インチ metal carrier adapter ( オプション )無記号：なし (FOUP、FOSB に対応 )E84 モジュールE84：E84モジュール(オプション)
無記号：なしキャリア ID リーダー(複数選択可)
R1：RFID (1セットアンテナ含む)(オプション)
R2：RFID (2セットアンテナ含む)(オプション)
B1：Bar codeモジュール(オプション)
無記号：なし規格表及び寸法図
HLP8128インチ、12インチ共用型

標準機能• インフォパッド A/B/C/D センサー•F OUP有無検出機能(透明FOUP対応可能)• FOUP載置状態検出機能

項目

規格

タイプ

8インチ、12インチ共用型

呼び型番

HLP812対応製品

8インチ、12インチFOUP/FOSB、8インチOpen Cassette(H bar)、12インチMetal Carrier•F OUPとアダプターのクランプ機能•F OUP/FOSBドアドック検出機能(ドアフレームの寸法(mm)有無、脱落検出)•ウ
 エハ飛出し検出機能

キャリアアダプター•挟 み込み防止機能

469

奥行き492

HDP

水平基準面高さ 900
70 mm

ドッキング位置

173 mm (FDPからBOLTS面)

非ドッキング位置

243 mm (FDPからBOLTS面)

電圧

DC 24 V ± 3%

空圧源

オプション

1384

幅

ドッキングストローク電源• LEDステータスインジケーター

高さ電流Max. 5A

気圧

0.5~0.7MPa

真空-0.05 ~ -0.07MPa

通信方式

RS232

クリーン度

Class 1• ウエハマッピング機能• 12インチ メタルキャリアアダプター (12MCA)• ガラスウエハ飛出し検出機能• RFID/BARCODE• 8インチ オープンカセットアダプター (8OCA)• E84(Parallel I/O)

BOLTS plane
8"Placement sensor
Mapping sensor(12")(Option)Operator access switch(OP.ACCESS)

Vacuum:Ø6(-0.05~-0.07Mpa)

Air exhaust(Ø6)

CA

U DETAILBND(554)

Mapping sensor(8")(Option)Clamp

DC 24V±3%
Max.5A

Carrier ID reader(Option)

N DETAIL

Door close(49.2)

243

Glass protrusion sensor(Option)

Mode switch(Auto/Manual)

(98)

U

ID reader
RFID (Option)
A VIEWT
ID reader
Bar code (Option)

Door open (85.2)

25250

3036
(Door open /Close stroke)

900
Horizontal Datum Plane(HDP)

100
Power cable and air tube lead-in port

HDP

Parallel I/O
E84 (Option)

60

126

FLOOR

Latch key

70 (Carrier dock stroke)

1381.5(to wheel)1203(reset max 1210mm)

605.751287.5134.5

Docking sensor

Chucking pad

350(Door up / Down stroke)

Protrusion sensor

469
LED panel

196785430
215

30Power switch(ON/OFF)A VIEW

6-M8 Blots hole

681.75

T DETAIL

370

407.6

Infopad sensor(A、B、C、D)

Air supply:
Ø6(0.5~0.7Mpa)

1384(when HDP=900mm)

12" Placement sensor

Presence

317492(from BOLTS)

234.5

AGV/RGV sensor(Option)FLOOR

標準出荷内訳
ウエハロードポート本体：1台
電源線：長さ3m，1本
RS232ケーブル：DB9-F, 長さ3m，1本
緊急停止短絡コネクター：DB9-F, 1個
背面用シールストリップ：1本
六角穴付きボルトセット：M8x1.25Px30L，6セットグローバルセールス＆サービスの拠点
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名古屋支店

兵庫県神戸市中央区御幸通4-2-20
三宮中央ビル 3階
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長野営業所

〒651-0087〒183-0022

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熊本営業所

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HIWINの登録特許一覧表サイト: http://www.hiwin.tw/Products/Products_patents.aspx
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