2013, Aug.
No.

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CONTENTS
極端紫外光源開発の現状と新プロジェクト
島田主任研究員、コチャエフ研究員がレーザー学会進歩賞を受賞【光と蔭】戦争と平和 2
平成24年度
研究成果報告会（ILT2013）を開催
主な学会等報告予定【表紙図】ダブルパルス照射方式による高効率EUV光発生メカニズム

極端紫外光源開発の現状と新プロジェクト
理論・シミュレーションチーム

砂原淳

現在、量産が開始されている回路線幅22 n mの半導トにおいて、レーザー生成スズプラズマからのEUV発体は波長192 nm のArFレーザーを光源として用い、液光効率3 %の実証、炭酸ガスレーザーの優位性の発見、浸技術により屈折率を大きくする露光方式を用いてリEUV発光効率の理論限界6〜8%のシミュレーション実ソグラフィが行われている。この方法で今後の 16 n m

施、スズドロップレットに対してダブルパルス照射をの回路線幅の半導体リソグラフィに対応するのは難し

行いEUV変換効率4%を実証するなど、レーザー生成スく、ダブルパターニング等の多重露光技術が必要で、ズプラズマからのEUV発光の高効率化の指針を世界に半導体製造コストの増大が懸念されている。そこで、先駆けて見いだし、EUV発光の物理機構解明と高効率、16 n m 回路線幅においてダブルパターニングが不要高出力化に向けたプラズマ条件最適化において実績をな波長13.5 nmの極端紫外線（Extreme Ultra-Violet:挙げてきた。リーディングプロジェクト終了後もギガE U V）が次世代光源として期待されている。このE U V

フォトン（株）と協力して、理論シミュレーション研究

光源は16 nmより狭い回路線幅への適用も可能であり、を行ってきた。そして昨年度、ギガフォトンによりス高いポテンシャルを持つが故にEUV光は世界中で研究ズドロップレットに対するプリパルス条件次第で 5 %開発が行われて来た。E U V 光源に求められるのは高に匹敵するE U V発光効率が得られることが実証され、い発光効率、高出力、高い安定度である。これらの目標

EUV光源のさらなる高出力化に向けた機運がさらに高を達成すべく、我々はレーザー生成スズプラズマに注まっている。リーディングプロジェクトで示したE U V

目し、E U V 発光の物理探究とプラズマ条件の最適化

発光効率6〜8%の具現化を目指し、我々は新たなE U Vを行ってきた。H15〜19年度に阪大レーザー研を中心光源開発の 3年プロジェクトを立ち上げ中である。ことして実施された文部科学省リーディングプロジェクのプロジェクトでは表紙図に示すダブルパルス照射方

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極端紫外光源開発の現状と新プロジェクト式をベースにシミュレーションと実際のプラズマの計筋道をつける計画である。この数年、E U V 光源を巡測結果との比較を精力的に行うことで「どのようなプる世界の動きは大きなものがあり、放電方式でEUV光ラズマが生成されているか」、「 どのようにすればもっ源を開発していたウシオ電機（株）が研究開発から撤退と発光効率が向上するか」について検討し、プラズマ条し、EUV光源はレーザー生成プラズマ方式に一本化さ件の最適化を行うことにより、高いEUV発光効率実現れた。EUV光源は半導体リソグラフィの露光用光源とを目指す所存である。また一方で、EUV光の発生に用して量産機に導入されるかどうかのまさに待った無し

いられる炭酸ガスレーザーの出力増加もギガフォトンの時期にあり、EUV発光パワーの増大が強く求められ（株）と三菱電機（株）を中心に進んでおり、「発光効率のている。レーザー総研はギガフォトン（株）や大阪大学、増大」×「レーザー出力の増大」＝「EUV発光パワーの増九州大学等と協力し、今後3年間のプロジェクトでEUV大」の相乗効果により、目標とされる 180W出力実現に光源実現に向けて一層努力する所存である。

TOPICS

島田主任研究員、コチャエフ研究員がレーザー学会進歩賞を受賞
レーザー計測研究チームの島田義則主任研究員、オ高く評価されました。授賞式は 5月31日に吹田市ホテ

レグ コチャエフ研究員が西日本旅客鉄道（株）（J R 西ル阪急エキスポパークにて行われ、J R西日本技術部瀧日本）、（公財）鉄道総合技術研究所（鉄道総研）らと共同

浪秀元技術主幹、御﨑哲一課長代理、鉄道総研構造物技で進めている「レーザーを用いたトンネル覆工コンク術研究部江原季映研究員と両名に賞状が贈られました

リート欠陥検査の研究」が平成25年度のレーザー学会（写真）。

業績賞（進歩賞）を受賞しました。本研究では、レーザー超音波による内部欠陥検出技術をコンクリートへと適用し、コンクリート粗面からの散乱光波面を遠隔で計測する技術や、打音検査法を光散乱周波数解析へと反映させた自動欠陥検出アルゴリズムを新たに開発しました。また、これらを組み入れたレーザーリモートセンシング装置を用いて実際の新幹線トンネルでの欠陥検査にも成功し、社会的なニーズに合致した実用的な技

レーザー学会授賞式にて（左から江原研究員（鉄道総研）、瀧浪技術主幹（JR西日【写真】術であることを実証した点も 本）、御﨑課長代理（JR西日本）、コチャエフ研究員、島田主任研究員）
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REPORT

平成24年度研究成果報告会（ILT2013）を開催■東京・大阪にて未来館にて開催し、「 高品質ハイパワーレーザーの開平成24年度研究成果報告会を実施

発」や「レーザーによるコンクリート欠陥検査」、「 光学

今年の研究成果報告会は、7月10日に大阪・千里ラ素子のレーザー損傷耐力試験」など最新成果の発表をイフサイエンスセンター、7月17日に東京・日本科学行いました。また、大阪会場では、特別講演として兵庫

戦争と平和２

暑い季節が来ると不断に思い出すのが日本帝国降伏の日、昭和20年8月……19515日である。軍務に従事した 300万人、一般市民100万人が亡くなった。

日本全土が茫然自失に陥り混乱を極めた。前日まで聖戦完遂、一億玉砕の決意を唱えていたのが一夜にして崩壊、不安と安心が混在するきわめて奇妙な開放感を味わった。翌16日の夜、満月を眺め、灯火管制のない、それにもまして空襲警報のサイレンのない、飛行機の爆音が聞こえぬ夜空の不思議な静穏をしみじみと実感したものである。
当時は講義もままならぬのが大学の状態で、貴重な図書文献を疎開させたらその地で焼失したり全く散々な目にあった。しかしぶらぶらしていた。何しろすることがなかったのである。町は敗戦とともに戦時中の規律がなくなり、物資の配給も途絶えがち、いわゆる闇市が各所で開かれ、正規のルートから隠匿された物品が飛ぶように売れた。
昭和天皇が連合軍総司令官（GHQ）のマッカーサーを 9月27日ご訪問になり、恭順の意を表される始末、今話題のハリウッド映画「終戦のエンペラー」ではマッカーサーがなぜ天皇の戦争責任を求めなかったかが描かれている。きくところによると女子教育者の河井 道女史がG H Qのフェラーズ准将に日頃の見識を示し、「陛下をお救いなさいまし」と助言したという。あの戦争は何だったのか。日米関係はどうあるべきか。
改めて考えたいものである。マッカーサーは引退後「あの戦争は日本の自衛の戦であった」と述べている。
11日には理化学研究所のサイクロトロン破壊がG H Qから命令され、12日には民間航空の全面禁止と航空に関する教育と研究が禁止された。
大阪帝国大学工学部航空学科も廃止になり、後日工業力学科に改組された。在学生は身の振り方を変えることが求められ、筆者は電気工学科に転科した。機械工学科、造船工学科などに移った人も多数あり、医学部に転部したものも多数いた。この結果筆者はいろいろの職業に従事する人達と大学同窓ということになった。阪大航空学科は同窓8回生で終わりである。
大鵬会の歌（同窓会歌）
水悠々と流れゆく

夢はるかなる淀川よ桜の宮の花影に清き真理求めつつ友情の園に集して努む我等に光あり

人生有為転変色々なことがある。21世紀の若者こそ自由奔放に未来を描くことが出来る。
ぜひ困難にめげなかった先人の志を継いで飛躍してほしいものである。

【名誉所長】
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県立大学高度産業科学技術研究所の望月孝晏特任教授
から「ニュースバル放射光と事業創生」についてご発表いただいたほか、全研究員がポスター発表を実施しました。両会場とも多数のご参加があり、熱心な質問やご意見をいただきました。

■「泰山賞」贈呈式
今年5回目を迎えた「泰山賞」の贈呈式を行いました。
【写真1】
研究成果報告会の様子（大阪会場）

今年度は下記の両氏が受賞され、井澤靖和所長から賞状ならびに副賞を贈呈致しました。
【レーザー功績賞】中井貞雄氏
レーザー核融合研究と高出力レーザー開発への貢献【写真2】（左）井澤靖和所長による開会挨拶、（右）望月孝晏氏による特別講演【写真4】
レーザー功績賞
（東京会場：左から井澤所長、中井貞雄氏、中塚正大副所長）【レーザー進歩賞】石川哲也氏
X線自由電子レーザーSACLAプロジェクトの推進【写真3】（左）島田義則主任研究員の発表、（右）ポスター発表（大阪会場）【写真5】
レーザー進歩賞（大阪会場：左から井澤所長、石川哲也氏、中塚副所長）

主な学会等報告予定
9月4日（水）〜6日（金）土木学会全国大会（日本大学生産工学部津田沼キャンパス）島田 義則「レーザーリモートセンシング装置を用いたコンクリート欠陥探傷実験結果（2）」9月8日（日）〜13日（金） 慣性核融合と応用に関する国際会議（IFSA2013）（奈良県新公会堂）
砂原 淳 「Direct heating of imploded plasma in the fast-ignition scheme」
9月16日（月）〜20日（金）2013年秋季第74回応用物理学会学術講演会（同志社大学京田辺キャンパス）砂原 淳 「EUV 光源の発光効率向上」
染川 智弘「コヒーレント白色光を用いた水蒸気差分吸収ライダーの開発」
ハイク コスロービアン 「Coherent combination of 5 beams using a spatial modulator」
古河 裕之「レーザーピーニングにおける多次元効果等の評価II」
古河 裕之「高平均出力固体レーザーの熱効果解析」
李 大治 「グレーティングによる放射の理論研究」
9月17日（火）〜21日（土）雪氷学会 雪氷研究大会（北見工大）
櫻井 俊光「レーザーによる氷の融解に関する研究−氷床の底に生きる生命体の検出を目指して−」
櫻井 俊光「紫外レーザーを用いた氷コア内微生物のラベルフリー計測」
9月22日（日）〜25日（水）Laser Damage Symposium 2013（米・ボルダ—）
本越 伸二「Database on Damage Thresholds for Dichroic Mirrors at 1064nm and 532nm」
9月25日（水）〜28日（土）物理学会秋季大会（徳島大学）
砂原 淳 「高繰返し対向照射高速点火方式小型レーザー核融合の研究 -炉心プラズマシミュレーション-」
Laser Cross No.305 2013, Aug.

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