Á W ÛtbgfBXvCt»fBXvCpKXîÂ
ú{dCÉq®ïÐZpæ 1 O[vO aW gGlass Substrate for Liquid Crystal Display (LCD)
Shinkichi Miwa
Nippon Electric Glass Co., Ltd. Technical Division No. 1 Group

Abstractt»fBXvCpKXîÂCÁÉ AM­LCD pKXîÂÆ»ÌKvÁ«ÉÂ¢ÄTàµ½BÜ½CAM­LCD pKXîÂÌÛèÆ¡ãÌ®üÉGêéÆ¤ÉCú{dCÉqÌ AM­LCDpKXîÂÉÂ¢ÄÐî·éBÍ¶ßÉt»fBXvCiLCDjÍCm[g PCC
fXNgbv PC pj^Ct» TVCgÑdbCt»vWFN^ÈÇÉL­p³êCä
äÌ¶É©©¹È¢àÌÆÈÁ½BÁÉCæfÌÐÆÂÐÆÂðgWX^iTFT:Thin Film TransisterjÈÇÌXCb`fqÅì®·éANeBu}gNX^CvÌ LCDiÈº AM­LCDjÍC»Ì\¦«\Ì³©ç»ÝÌJ[ LCD Ìå¬ÆÈÁÄ¢éBLCDÍ}PÉ¦·æ¤È\¢ðÂBKXîÂ}A LCD Ì\¢ÆKXîÂÍCt»wÌúÝð¸§ÉÛÂððÊ½µÄ¨èCLCD ÌÅàdvÈ\¬iÌÐÆÂÅéBÜ½CKXîÂÌ\ÊÉÍt»Ìì®

LCD pKXîÂÉÂ¢ÄTà·éBfqâ§¾dÉCzüªÅì»³êé½ßCKXîÂÉÍlXÈÁ«ªv³êéB{ ñ  Å Í LCD p K  X î Â C Á É AM­§520_8639 åÃs° 2 Ú 7 Ô 1 
ú{dCÉq®ïÐZp æ 1 O[vTEL 077_537_1371
FAX 077_537_1700
E­mail: smiwaneg.co.jp

AM­LCD pKXîÂÉßçêéÁ«AM­LCD p î Â p K  X Æ µ Ä Í C SiO2,Al2O3, B2O3 ¨æÑ ROiAJyÞà®_»¨jðå¬ªÆ·éA~mzEPC_KXªp¢çêéBeÐÌã\IÈ AM­LCD pK
7

NEW GLASS Vol. 18 No. 2 2003

\A eÐÌ AM­LCD pKXîÂð ø «N ±· °ê ªé BÁ É BHFi obt@[htb_CHF{NH4FjÌtb_nntÍKXð­­ZH·é½ßCòtÌíÞâðÉÓªKvÅé5),6)BÜ½Åß

ÅÍòtðp¢È¢hCGb`OvZXª¦Ä¨èChCvZXÉ¨¯éKXÌÏv«àdvÉÈéBSò

§ß¦LCD Í ñ ­ õ ^ Ì f B X v  C È Ì Å CXîÂÉÂ¢Ä\PÉ¦·BAM­LCD pKobNCgÌõð½­§ß·é±ÆªdvÅXîÂÉÍÈºÌæ¤ÈÁ«ªv³êéBéB]ÁÄKXîÂÉÍCÂõÌSæPò

i400_700 nmjÅõ§ß¦ª¢±Æªv³³AJKXKXÌAJà®_»¨¬ªÍCKêéB

XîÂ\ÊÌ TFT wÉgUµCgWX^Á«ð¹È¤°êªéBAM­LCD pKXîÂÉÍAJ¬ªðÜLµÈ¢³AJ

LCD Ì«\»ÉºÁÄCKXîÂÉKXªp¢çêéBQ
ò

AM­LCD pKXîÂÌÛèÏM«CáMûkßçêévÍæèµµ­ÈÁÄ¢éBÅßÌ

AM­LCD Ì»¢HöÅKXîÂÍCÅAM­LCD pKXîÂÌÛèÉÂ¢ÄÜÆß300 C ` 350C Ì·xÉ³ç³êéBÜ½ß

½BNC«\Ì LCD ÆµÄÚðWßÄ¢é p­

Pò

SiETFT­LCD ÅÍCKXîÂÍ 400`600
C}QÉÍKXîÂTCYÌoÜð¦·BÅM³êéB·ÌMÉKXîÂ

1990 Niæ 1 ¢ãjÌîÂ TCYÍC300_åÊÏ»ª\¢Éa·éÆCMûkÆÄÎêé÷¬È¡

350 mm OãÅ@Ï»ðN±·±ÆªéBMûkªå«¢Í 1 m pð´¦Ä¢éB»ÝCÝÌæ 6

Á½ªC»Ýiæ 5 ¢ãjÅÆC¡Ì}XNðp¢étHg\O¢ ã » ¢  C  Ì î Â T C Y Í 1500 _1800

tBHöÅCTFT fqÌp^[ÉYª¶mmCXÉ»ÌÌæ 7 ¢ãÍ 2 m pÆ¢íê¶é B] ÁÄ AM­LCD p KX îÂÅ ÍCÄ¨èCKXîÂÊÏÍæ 1 ¢ãÌñ 40 {LCD »¢HöÉ¨¯éMûkª 10`20 ppm

ÉB·éBîÂÌåÊÏ»ÌÚIÍC1 ÌKÈºÆÉßÄ¬³¢±Æªßçêé4)Bc_XîÂ©ç½Ìplðæé½ÊæèÉæ

ª¢KXÙÇMûkÍ¬³¢ÌÅCAM­è¶Yø¦ðã°CáRXg»ð}é±ÆÅ

LCD pKXîÂÉÍ 650
C ÈãÌc_ðéBÜ½ÅßÅÍCt»j^[ât» TV

ÂKXªp¢çêÄ¢éBÈÇåæÊÌ LCD ð½Êæè·é½ßÉCXRòÏòi«ÉåÊÏÌîÂªKvÆ³êÄ¢éBKXîAM­LCD Ì»¢HöÅKXîÂÍC_CÂÌåÊÏ»ÉÆàÈ¤ÛèÉÂ¢ÄÈºÉAJCtb_nÈÇÌlXÈòtÅ³°½B

êé½ßC±êçÌòtÉÎµÄ¢Ïv«ðPüÂ±ÆªKvÅéBKXîÂªòtÉZKXÌACÙ¨á¦Î 2 m pC

Âú 0.7 mm ÌKXîÂÅÍC1 ½èÌH³êâ·¢ÆCîÂª§õ«ð¸Á½èCòKXdÊÍ 7 kg ÉB·éB±Ìæ¤ÈKtÉKX¬ªªnoµÄòtÌõCò»XîÂÉ·³ 100 mm ÈãÌACÙ¨ÈÇÌ

8NEW GLASS Vol. 18 No. 2 2003}B AM­LCD pKXîÂTCYÌÏJ

à×ª 1 ÂÅà}C ½s·é 2 ÓÅxµ½îÂÌÅå½íÝÊ(vZl)éÆÇiÆÈçÈ¢B±Ìæ¤ÈiÊÌKXîÂðà¯Üèæ­»¢µæ¤Æ·éÆCKX¶nÌACÙ¨ªÙÚ[ÌxðB¬·éC¢oZZpªKvÉÈéBKXîÂÌ½íÝQü½s·é 2 ÓÅx³ê½KXîÂÌ©dÉæé½íÝÌÅåÊÍCÈºÌ®ÅßIÉ^¦çêé7)B®

}D KXîÂÌTCYC§xÆdÊÌ WFÅå½íÝÊCLFxÓÔÌ·³CtFÂúCrFKXÌ§xCEFKXÌO¦CkFèð¦·BQòWk(r/E)(L4/t 2 )yÊ»m[gp\RCoCprÅÍÁÉ
LCD plÌyÊ»ªv³êÄ¢éBLCDplÉèßéKXîÂÌdÊÍ¢½ßCKXîÂÉyÊ»ÌvªéBKXîÂðyÊ»·éèiÆµÄÍ÷»Cá§xKXîÂÌ½íÝÊ W Í L Ì 4 æÉäá·»Ì 2 ÂÌû@ªéÌÅCKXîÂªåÊÏ»·éÆîÂÌ©

ÑKXÌ§xðÏ¦½êÌã\IÈTCYdÉæé½íÝÊÍµ­å·éBKXîÌKXîÂdÊÌÏ»ð¦·BÂÌTCYÉæé½íÝÌÅåÊÌÏ»ð}RÉ¦·BKXîÂÌ½íÝªå«¢ÆCÀP ÷»üéB}SÉÍÂúC¨æÂKXÌ÷»ÉæéKXîÂdÊá¸ÌøÊÍå«¢BÜ½CLCD ÌHöâJZbgÉîÂðoµüê·éHöÅC^»ÉºÁÄCKXîÂÉÍyÊ»¾¯ÅÈj¹ÈÇÌsïªN±é°êªå«­ÈéB­÷»àv³êÄ¢éB»ÝÌ AM­LCD]ÁÄåÊÏÌKXîÂðµ¤êCîÂÌpKXîÂÌåÈÂúÍ 0.7 mm ÅÀû@ÈÇÉHvªKvÅéBÜ½åÊÏ

0.63, 0.6, 0.5 mm úÌîÂªùÉsêÉÌKXîÂÅÍC«ïCAàå«ÈâèÅ³êÄ¢éB¯êTCYÅÂúð 0.7 mm¨0.6

éBéªCmm Éµ½êC14÷ÌîÂdÊðá¸Å«
9NEW GLASS Vol. 18 No. 2 2003

éB½¾µCKXîÂÌÂúð­·éÆCîÂÌ½íÝªå«­ÈÁ½èCîÂÌ­xª
áºµÄj¹µâ·­ÈéÆ¢¤âèªéB

LCD plð»wIÉGb`O·é©CÜ
½Í@BIÉ¤·é±ÆÅúÝð­·éû@àéªCRXgAbvÌvöÆÈéBQ á§x»üKXÌá§x»ÉæèÂúðÏ¦¸ÉyÊ»ð}é±ÆªÅ«éBKXÌ}E AFM ÅÏ@µ½³¤¨æÑ¤KXîÂÌ\Ê§xð 2.5 g/cm3¨2.4 g/cm3 Éáº³¹éÆC
4÷ÌîÂdÊðá¸Å«éBá§x»ÉæéîÂdÊÌá¸Í÷»æèøÊª¬³¢æ¤¦·B¤KXÌ\ÊÉÍ½Ì÷×ÈLYÉv¦éªC½íÝÌÏ»ÈÇÌe¿ðó¯éª¶Ý·éªC³¤KXÉÍLYª©çê±ÆÈ­¯¶vZXÅplÌyÊ»ª}ê

È¢B¡ãCLCD Ì¸×»ÉÆàÈÁÄC

é½ßCLCD [J[©çÌá§x»Ìv]æè½È\ÊðÂKXîÂªßçêéÍå«¢BàÌÆvíêéBÜ½CKXîÂ\ÊÌp[Rò\Ê¸xC\ÊiÊeBNÉÂ¢ÄàC»Ìá¸ªßçêÄ¢t»j^[ât» TV Ép¢çêéLéBp[eBNÍ÷×ÈKX²â»Ì¼ÌìpC¸× LCD pÌKXîÂÉÍCÈ

³@CL@ÌÙ¨ÅºÉq×éæ¤ÈCÁÉ¢\Ê¸xC\ÊiÂ[ÊÉc¯µ½¤ÜªîÂ\ÊÉÄtÊªßçêéB

é±ÆªâèÆÈéB

P ÷úÎ·C\Ê¤ËèüéªC¤KXÅÍî·KXîÂÌÂú

Î·ÍtHg\OtBHöÉ¨¯éIõ@ÌÅ_¸êÉe¿·éBLCD Ì¸×»Éº¢ÂúÎ·ÉÎ·évÍµµ­ÈÁÄ¨èCá¦Î 150 mm ÌÍÍÅC20 mm ÈºÅ

ú{dCÉqÌ LCD pKXîÂ
ú{dCÉqÅÍCAM­LCD pKXîÂéÆµÄC]æèuOA­10vðsêÉµÄ±ÆªßçêéBÜ½KXîÂ\ÊÌ mm«½BOA­10 ÍCSÄÌvÁ«ð½µC

I[_[ÌÊÅ³¤ÅDê½\Ê¸xðÂKXîÂÆµé¤ËèÍCLCD îÂÌt»wÌú³iZMbvjÉe¿µÄC\ÄC½­Ì LCD [J[Égp¢½¾¢Ä¢¦Ì´öÆÈéB¤ËèÍ 20 mm ÌîéBêûCð¡ÌKXîÂÌyÊ»ÌvÉ·³ÅÌÅåÌá·ðªè·éªC±Ìlªº¢CðNCV½ÉuOA­21vð»i»µ½B0.05 mm ÈºÆñíÉ¬³¢KXîÂªßOA­10 ¨ æ Ñ OA­21 Ì ã \ Á « É Â ¢ Ä CçêéB±Ìæ¤È¸xÅ©ÂåÊÏÌK\Q¨æÑ}UC}VÉ¦·BOA­21 ÍÈºXîÂð·é½ßÉÍCÂKX¬`ZpÌÁ¥ð¿CKXîÂÌyÊ»ðßép

ÌüãªKvÅrÉÅKÅéBP §xª 2.4 g/cm3 Æ OA­10éBòQ \ÊÌLYC÷¬Ù¨ip[eBN)üi2.5 g/cm3 jæèá­CîÂdÊðá¸Å«KX\ÊÉ¶Ý·éLYC¨æÑÙ¨ÍCéB¯êTCYÌîÂÅ OA­21 ÌîÂdÊÍTFT Ìì ® Ì½ ßÌ à®  z üÌ f üâQ c_ª 665
OA­10 æèà 4÷y¢i} 4jBòV[gC\¦×Ì´öÆÈé±ÆªC Æ OA­10 æè 15
C ­ÏM«ÉDêéBéB}TÉÍC¤ð{µ½KXîÂÆ³¤R O¦ª OA­10 Æ¯Å§xªá¢ÌÅCòÌKXîÂ\ÊÌ AFM ÉæéÏ@ÊðS ácîÂÌ½íÝÊðá¸Å«éi} 3jBò10

NEW GLASS Vol. 18 No. 2 2003

\B OA_10, OA_21 ÌÁ«21 ÌÏòi« (ZHÊ)}G OA_10, OA_63BHFF6÷HF, 30÷NH4F 130BHFF
Þ1.6÷HF, 38.7÷NH4F

îÂÉÎµÄàlXÈvªéBKX[J[ÍCiÊ»ÆáRXg»Æ¢¤¼§Ìïµ¢Ûèð·×­CúXwÍðdËÄ¢éBQl¶£
1) âä_çCNEW GLASS, Vol. 16, No. 3 p. 51_53 (2001).
2) 2001 FPD eNmW[åS p. 469_471Cdq}F OA_10, OA_21 Ì§ß¦ÈüW[i (2001).
3) J. Makino, K. Ueno, K. Sagara, S. Sakamoto,SID'91 Digest p. 671_674 (1991).
4) M. Anma, Journal of the SID 9/2, p. 95_99£ÅT OA­10 Æ¯èÏMÕ«ÉDêéBò(2001).

U ÂõÌS
ÈãÌDê½Ïòi«ðÂBò5) S. Miwa, S. Yamamoto, T. Onoda, M. Miyamoto,V OA­10 Æ¯ÌDê½\æÅ§ß¦ª¢ò

S. Ishida, N. Kita, SID'94 Digest p. 859_862

Ê¸xCi¿ðÂB

(1994).
6) Y. Kato, S. Miwa, S. Yamamoto, DMTC'96
Digest p. 33_34 (1996).

³¢²É7) C. Hirata, SEMI Technology Edudation Program
Digest p. 15_28 (1998).

t»fBXvCÌ«\»Éº¢CKX11