放射光第 4 巷第 2 号 (1991 年)

163

寸研究会報告b

放射光特別 シ ンポジウム
Part 1:小型光源加速器の現状と展望ーリソグラフィへの出番は?
Part n:ソ連の放射光新技術(平成 3 年 1 月 29 日 -31 日，つくは布工技院共用講堂で開催)
主催 : 日本政射光学会. 後援 : 電子技術総合研究所，協賛:応用物理学会

行事幹事 水木純一郎(日本電気(附基礎研究所)

放射光学会は，毎年シンポジウムを開催していなアイデアが次々と公開されているからである。

る。第 3 回目の今回は，特別シンポジウムとしてさて，前置きはこれくらいにしてシンポジウム

part1 , partn に分け，海外から研究者を招待すの様子を御報告しよう。 part 1 では海外か ら 6 名ることとした。産業界を中心に小型放射光源の必の招待者を予定し，更にこのシンポジウムの開催要性が唱えられており自社に小型放射光施設を持を知った数人の海外からの参加申し込みがあっつことを検討している企業もあることを考えて ，た。しかし，御存知のように不幸にして，開催直part1 は 「小型光源加速器の現状と展望ーリソグ

前に湾岸戦争が勃発してしまった。この為に，はラフィへの出番は ?J と主題を定めた。これは，たして海外から参加してくれる人はいるのだろう

回路パタン形成の主要プロセスを担うリソグラフ

か開催日まで不安でならなかった。結局，

ィ技術が半導体記憶素子の高集積化に伴い，現在取りやめがあったのみで，招待者は全員参加しての主疏である可視.紫外光からやがて X 線に主役くださり関係者一同胸をなで下ろした。参加者はが移る ，と 予言されてからかなりの年月が過ぎた

約 200 名で，デバイスメーカである電気会社をは今日においてもまだ実用化には至っていないからじめ.小型放射光源を作って売ろうとしている会である。しかしながらこの間，

X 線ソリ グラフィ社，放射光用ミラ ー メ ー カ，建設会社，大学，国用の光源として小型放射光の開発が日本をはじめ立研究機関 など非常にワイドバンドの参加者であ世界各国で進み，多数の実験機が稼動を始めた。

った。

そこでこのシンポジウムでは，3 名のX 線リソグラフィ

会議では.第 l 日目の午前中，まず X線を使わと小型放射光源の問題点を明らかにし，その実用ないでリソグラフィを行うという立場から，電子化に向けての展望を探ると共に小型放射光のリソ線.光を使ったリソグラフ ィ技術，及 びその限界

グラ フィ以外への対応に付いてもレビ、ューするこについて話してもらい.これを受けて，午後は Xとを目的としてプログラムを組んだ。プログラム

線リソグラフィ技術について講演をしてもらっ

No.4 , pp.69‑74 に掲載た。特に印象に残ったのは，東芝中瀬氏が，は本学会誌 Vol. 3 ,されているので割愛させて頂く。 part n では，ソr1Gbit までは光でやれる，放射光 X 線の出番は連の研究者を招き，ソ連に置ける最新の放射光技4Gbit 以降である 。 J との意見を述べられ.放射光術を紹介してもらうことにした。ペレストロイカ

リングメーカに ショック を与えた よ うであった。

によって，従来非公開であった先端技術や革新的これについて活発な突っ込んだ議論がなされるこ‑65‑(C) 1991 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Research

164

放射光第 4 巻第 2 号 (1991 年)とを望んでいたが，どうも日本人は紳士的なのムラインが利用できる利点があり，生産工程に導か，企業秘書なのか，皆さんおとなしく，肩透か入するのに最適の光源である。多目的の利用にしを食らったような気がしたのは私だけであろう

は，ハード X 線領域までカバーできるようビームか。放射光 X 線がリソグラフィの手段としてデバエネルギーの向上や，光源と試料開の距離を小さイス製造に使われるのはまだまだ先ということかくして強度をどこまでかせげるかが，今後の検討もしれない。しかし注目されたのは Oxford 社東課題ではなかろうか。

京事務所所長である Dr. Ford からの発表で，ちょ初めにも述べたように，

PartII としてソ連からうど会議期間中に Oxford 社製の小型放射光源お名の研究者を招いて，ソ連における放射光技“ HELIOS" (High Energy Lithography Illumi術，および、その利用技術について現状と将来を発nation by Oxford Synchrotron) が IBM に納表してもらった。あの時期によくぞ 25 名もの研究入されるということで，直接の関係者は勿論のこ者が参加してくれたものと感謝している。参加者と，日本をはじめとして各国のリソグラフィ関係はソ連閣内で政治的にも非常に力を持っている研者は数カ月後の結果をドキドキしながら心待ちに究者から比較的若い研究者まで年齢層の広いものしているようであった。

で，現在の経済状態の中で，モスコーに 2GeV 級

ともかく，小型光源については広い用途を開発の光源，しかも二基建設中という意気込みが感じする必要があり，第 2 日目は小型放射光源の現られた。実のところ私自身ほとんど講演を関くこ状，更にそれらを使用したりソグラフィ以外の利とができず，内容に関しての適切な報告をするこ用の可能性について議論を行った。放射光源、は，とが出来ない。参加者に感想をうかがったところ

多目的であれば超伝導電磁石を用いるよりも常伝では，発表の中には国際水準に達するよう努力中

導電磁石を用いた直線部のとれるものの方が多目の分野もあるが，世界最短波長の FEL などの加速的に利用できるというのがルイジアナナ1'1 立大学の器技術，

Prof. Saile の主張で， X 線リソグラフィ用にオプ与えることによって高感度で検出する X 線散漫散

ティマイズされた常伝導伝電磁石の小型放射光源乱法，(1. 2-- 1. 4GeV) にインサーションヂバイスを導入

子なと\突出した研究成果があったようである Oすることにより，20keV までのエネルギーを取り幾人かの若い研究者は会議の後 PF で実験をしてい出し，各種物性実験ができるという。ご存知の方たようである。若手研究者と接触した PF のスタッも多いと思うが，日本の各大学で独自の放射光源フの話によると，議論がかみ合わないほど発想やの建設計画が持ち上がっている。製品化された小思考の仕方が異質で面白く，強烈なバイタリティ型放射光源を購入し，それにインサーションデバには感銘を受けたとのことであった。

イスを導入することにすれば，かなりのコスト減が見込まれ，シリコン中の点欠陥を結晶に弾性変形をリソグラフィー技術で開発した X 線光学素

正直な気持ちを述べれば，今回のシンポジウム

r 各大学に放射光源一つ」という夢には 300 名程度は参加してくれるだろうと目論でも，素人の私の自には不可能ではないように患いたのであるが，準備期間が十分でなかったためう。日本のリングメーカの発表はポスタで展示しか前宣伝が行き届かずにおわり，反省している。てもらったが，石川島播磨，三菱電機の小型放射行事幹事が不行き届きなために，光源が常伝導篭磁石を使用したものであった。

員長である佐々木(泰)先生，及び実行委員の一方，住友重機が新しいアイディアで開発した方々，

part1 の実行委

PartII の組織委員長である千) 11 先生，そし超伝導磁石の超小型光源は厚い放射線シールドがて学会事務局の西野三和子さん，大森ゆりさん達不要で，実験室にも設置でき，が臼夜フル回転であったように思う。また，筑波

しかも多数のビー‑66‑

放射光第 4 巻第 2 号 (1991 年)

16
5

大学のアルバイトの学生さん達も献身的な働きを

石川島播磨重工業側， エスケイケイ パキュウムエ

して下さり ，ンジ ニアリン グ(柑. NTT ，大林組，側オプトロ

この紙面をお借りして感謝申し上げ

ン，カール ・ ズ ース・ ジャパン(楠，川崎重工業

fこい。

なお，シンポジウムのアブストラクト集 ( Part(柑，神津精機側， ~楠神戸製鋼所，シグマ光機側，n ，各 1 ， 000 円)が学会事務局に残っている(槻島津製作所，清水建設(紛，新日本製鉄側，住友

ので，興味のある方は直接事務局に問い合わせて重機械工業(帆住友電気工業側， セイコー電子工頂きたい ( TEL 03-3812-0920) 。

業(瑚，1,ソニー側，東京電気特器側， ~紛東芝.東レ

リサーチセンタ ー (槻，トムソンジャパン(胤目電御礼

アネルパ(楠，日本鋼管(楠，日本電気附，浜松ホト

最後になりましたが，大林組ほか民間企業 31 社

ニクス(補，(掛目立製作所，側富士通研究所，HOYA~瑚， 三菱電機側，理学電機(胤附リコーからご寄附をいただきました。ここに ， 御社名を記して，御支援に対し心から厚く御礼を申し上げます。

d研究会報告b

第 8 回 PF シンポジウム報告
実行委員長福谷博仁 (筑波大学)
去る 1 月 22-23 日.第 8 回 PF シンポジウムが高エネルギー物理学研究所で，放射光実験施設，た現在，共同利用のあり方にも種々の問題が生じPF ており，PF 懇談会にも同|開専門委員会」が発足懇談会共催で開かれた。参加登録者は約 260 名でした。(1)の施設報告で施設長報告と共に，入あった。

射，光源，測定の 3 系の主幹報告を受け，(3) の初日のプログラムは共同利用の諸問題の討議を行った。主なテーマは(1) 施設報告

課題申請，審査，(2) ポスターセッション

システムの紹介(安藤正海 PAC 委員長) ，今後の(3) 共同利用の諸問題の討議

行き方(岩崎博，(4) ワークショップ (X 線トポグラフィ ー の現の意見 (PF ，松下正，野村昌次，柳下明) ，ユー

状と将来，放射光を利用した蛋白結晶学のザーの意見(太田俊明，藤井保彦，水木純一

新しい展開，光プロセス)郎) ，全体討議を約 2 時間 10 分にわたって行なっ

ビームタイム配分であり，現行PF 測定器主幹) , PF スタ ッ フ

fこ。

(5) 親睦会

この企画のねらいは全ての点において成功したである。とは思われないが， 共同利用の新 しい形態の l つPF の 共同利用 実験がスター ト して 10 年経過し弓'po