株式会社オプトラン

新型装置発表会
2021年8月31日

1.会社概要
Our Vision『薄膜技術の限界にチャレンジすることを通じ、高度情報化社会への貢献を実現する。』
当社は、「オプトナノテクノロジーによる光学薄膜成膜のプロセスソリューション提供」を事業コンセプトとしており、光学薄膜・真空技術などの分野で、グローバルな業界をリードし、先端的技術を反映した製品やきめ細かいサービスを提供することで、新たなIoT社会への貢献を目指します。

主な事業内容光学薄膜装置等の製造販売事業

設立年月日

1999年8月25日

創業者

名誉会長

孫 大雄

代表者

代表取締役社長執行役員

林 為平

従業員数（連結） 529名（2020年12月31日現在）
資本金
所在地
上場市場

400百万円本店 埼玉県川越市竹野10-1

主なグループ会社【子会社】●光馳科技（上海）有限公司●光馳科技股份有限公司（台湾）●Optorun USA, INC.
●Afly solution Oy(川越技術センター）

本社 東京都豊島区西池袋1-11-1
東証一部（証券コード：6235）
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2.オプトラングループ

FinlandShanghaiTaiwanAflys Finland(R&D, ALD, Material)

Optorun Shanghai (MP,Evaporation, Sputtering)

Kawagoe

Optorun Taiwan(R&D, Semi, Etching, CVD)

Sunnyvale

Optorun Japan(HQ, R&D, Component, Process)Optorun USA(Marketing)33.装置開発の沿革
 常に最先端の技術難度に挑戦し、最高水準の光学薄膜装置を開発する研究開発型企業
 新型装置を開発・提供し高収益確保
AR/MR・５G
車載・生体認証・バイオセンサー

スマートフォン・タブレット・LED
デジカメ・携帯電話カメラ

東証一部上場

2021
2020

Optorun USA, INC.設立

2019
2018

光馳科技股份有限公司（台湾）設立

エッチング装置実用化

2017
2014

2013
2011

光通信

2010

RPDシリーズ販売NSC-15販売

SPOC販売ALDER販売2006
光馳科技（上海）有限公司設立

設立
1999

2001
2000

Gener-1300販売

Gener-2350販売

OWLS-1800販売

OTFCシリーズ販売

44.弊社装置の種類(1)OTFC

成膜方式
成膜面(2)Gener(3)SPOC

イオンビームアシスト蒸着
平面

平面

3D曲面

3D曲面

膜種例

AR AS
波長選択フィルタLPF SPF IR Cut
BPF
LED DBR
装飾膜

AR AS
波長選択フィルタ
装飾膜

用途例

光学デバイススマートフォン
監視カメラ
車載
スマートグラス（AR/VR)
医療
スマートスピーカ
3Ｄ形状

平面(4)RPD(5)NSC

リアクティブプラズマ
平面(6)OWLS

スパッタリング(7)ALDER(8)Etching

ALD
原子層堆積

プラズマドライエッチング
IBE / NBE エッチング

平面

平面

平面

エッチング面3D曲面

両面 3D曲面

3D形状全面平面

超多層膜
波長選択フィルタ
DWDM NBPFCWDM NBPF

LED ITO
LED Buffer

硬質 AR AS
波長選択フィルタLPF SPF
BPF
装飾膜

硬質 AR AS
波長選択フィルタLPF SPF
BPF
装飾膜

AR
保護膜

エッチング膜・各種絶縁膜Etching(ガラス、石英、サファイヤ、SiO2,TiO2,Nb2O5等）
・金属膜Etching
・圧電膜Etching
・化合物半導体Etching

光通信デバイス

LED
Mini / MicroLED

光学デバイススマートフォン
3Ｄ形状
車載
バイオセンサ

光学デバイス
半導体
３Ｄ形状両面
スマートフォン
スマートウオッチ
バイオセンサ

光学デバイス
半導体
Mini/MicroLED
スマートフォン
3Ｄ形状
バイオセンサ

LED
Mini / Micro LED
AGガラス
AR/MRグラス用(今後開発予定）
・RFフィルタ・フォトニクスデバイス

55.オプトランの事業戦略~半導体光学融合（成長）+３D（差別化）~
マーケット
約15億万台（2025年）
・機能高度化（広角レンズ、ディスプレー、加飾）・自動運転・センシング

基地局市場：約11兆円（2025年）
・５G普及

光学デバイス

 3Dレンズ ３Dパネル AR/AG/AS
 Wave Guide

成膜技術

オプトロニクススパッタ

 Mini/Micro LED レーザーｖ
 RFフィルター
 パワーデバイス
 CMOS Sensor

ALD

バイオセンサー・バイオセンサー普及※市場予想は当社調べ

当社技術

 電気化学センサー用ｖ電極
 X線検知器用センサー

蒸着

３Ｄ対応

約16兆円（2030年）
・スマートグラス普及

対象デバイス

蝕刻技術

エッチング
6

6.ドライエッチングとウェットエッチングの比較
Wet エッチング

Dry エッチング

エッチング速度速い

遅い

エッチング均一性

悪い

良い

プロセス再現性

悪い

良い

エッチングの終点検出出来ない。

可能(プラズマ発光、イオン質量分析、レーザー膜厚計等）

エッチングの終点を検出して所定のエッチング深さにエッチング可能（再現性が良い）

CDロス(マスクパターン線幅-エッチング後のパターン線幅）

大きい

小さい

Wetエッチングはレジストの下側もエッチングが進行しCDロスが大きい

フォトレジストに対する選択比

高い

低い

Dryエッチングはプラズマによるフォトレジストの後退が発生する。

エッチング形状の制御性

悪い

良い

Dryエッチングは処理圧力やガス種、プラズマ中のイオンの制御によりエッチング形状の制御性が高い

多層膜エッチング

困難

可能

エッチング条件を膜に応じて切り替え可能（多層膜一括エッチング）

エッチングの進行状況

等方性①非等方性(物理エッチング）や②等方性（化学エッチング）等の制御可能環境への負荷Wetエッチング装置は酸廃液やアルカリ廃液が発生 環境負荷が大きい廃液の発生が無く環境負荷が少ない。
排ガスはプラズマによる分解や除害装置で除去

エッチング形状

サイドエッチング,アンダーカット①垂直形状②テーパー形状

備考
Wetエッチングは基板面内のエッチング均一性の制御が難しい

SDGsへの対応としてDryエッチング装置はメリットが有ります。
Dryエッチングの場合、垂直形状から、テーパー形状まで、エッチング形状を制御する事が可能。エッチング対象膜の要求に応じて、ガス種、処理圧力、RFパワー、処理温度等の調整を行い、形状を調整します。

7

7.オプトランのドライエッチング装置のラインアップ

Mini / Micro LED向け
エッチング装置(DES シリーズ)

オプトロニクスデバイス向け

RF フィルター向け
エッチング装置(DEB シリーズ)

New

OPTORUN Co., Ltd.
2018
光学デバイス向け
第5世代(ガラスサイズ:1100×1300mm)

2020

2019

OPTORUN Co., Ltd.

2021

2022
AR/MR グラス向け
エッチング装置(IBE/ NBE)

アンチグレア(AG)ドライエッチング装置(DEG シリーズ)
第5.5世代 (ガラスサイズ:1300×1500mmm

New
New

OPTORUN Co., Ltd.

OPTORUN Co., Ltd.
<AG ガラスエッチング装置のターゲット>・スマートフォン向け
・モバイルディスプレイ向け
・車載デバイス向け

OPTORUN Co., Ltd.

8

8.オプトラン AGガラスエッチング装置のご紹介①
オプトラン AG(防眩) ガラス
ドライエッチング装置 (～第5.5世代)

図. AG (アンチグレア) ガラスエッチングプロセス< ドライエッチング >Etching rates in G5.5 Glass (nm/min)

装置型式: DEG シリーズ

NewOPTORUN Co., Ltd.

最大5処理室対応

AG マスクのパターニング

Glass
プラズマドライエッチング(AGマスクパターンのガラス基板への転写)

AG(防眩) ガラスの完成<ドライエッチングのメリット>
 ナノサイズのAGパターンデザインが可能
 廃液処理が不要（環境負荷の低減と廃液処理費用の削減）

ガラスエッチング面内均一性<±5%◆装置の特徴<プラズマソース>
誘導結合型プラズマ⇒ Plasma分布制御可能なマルチICP Coil採用<基板温度制御>
静電チャック (ESC) + He 冷却ガスによる制御<ガラスエッチング均一性制御>
プラズマ分布の制御 & ガス流量分布の制御⇒ガラスのエッチング均一性 <±5%
<生産性> クラスター型装置構成
最大処理室数 : 処理室5室に対応可能<生産性> 複数枚の基板を同時処置（バッジ処理）可能⇒ 分割式静電チャック(ESC)の採用により複数枚基板同時処理<AG エッチングプロセス制御>
Haze値, Gross値, スパークル（ぎらつき）の制御
99.オプトラン AGガラスエッチング装置のご紹介②
写真1. 高Haze値のAGガラスの表面状態

写真2. 低Haze値のAGガラスの表面状態

Haze 30%Haze 5%

写真3. 高Haze値のAGガラスサンプル

写真4. 低Haze/低スパークルの AGガラスサンプル

Haze 30%■オプトラン AG ガラスエッチングプロセス の特徴
 ガラス基板のエッチング高選択比 (対AGマスク）⇒ AGマスクのパターンをガラスに転写可能。
 エッチング均一性に優れる (面内均一性 <5%)。
 基板静電チャック (ESC) & He ガス冷却システムによる基板温度の面内均一性が良い。
 ガラスのエッチングに最適な低圧力でのエッチングを実現
 オートクリーニング（プラズマドライクリーニング）によるパーティクル低減と、メンテナンスサイクルの延長。
⇒お客様の製品の歩留まり向上と生産性Upに貢献
オプトランの AGガラス ドライエッチング装置は様々なAGパターンの形成が可能です。

Haze 5%10

10.オプトラン AGガラスエッチング装置のご紹介③
お客様のAGガラス基板のサイズに応じて、各世代のAGガラスエッチング装置をラインアップ。
 全ての装置に高密度プラズマ (ICP: 誘導結合プラズマ）を搭載し、高速エッチング処理を実現。
 ICPアンテナの配置の最適化とプロセスガスの均一供給により、AGガラスの光学特性【Haze(霧度), Gloss(光沢), 表面粗さ等】 の面内均一性を改善。
 エッチング中のAGパターンマスクの温度上昇によるダメージを抑制する為、基板冷却として静電チャックとHe冷却を標準装備

世代

G1 (第1世代）

G4.5（第4.5世代）

G5 (第5世代）

G5.5 （第5.5世代）

ガラスサイズ300×400mm

730×920mm

1100×1300mm

1300×1500mm

型式

DEG-3040

DEG-7392

DEG-110130

DEG-130150

ICP Power

13.56MHz ～3kW

13.56MHz ～10kW

13.56MHz ～15kW

13.56MHz ～20kW

Bias Power

4MHz ～3kW

4MHz ～10kW

4MHz ～15kW

4MHz ～20kW

基板冷却

静電チャック + He冷却

静電チャック + He冷却

静電チャック + He冷却

静電チャック+He冷却

排気ポンプ

TMP (1台)+ Dryポンプ

TMP (2台)+ Dryポンプ

TMP (4台)+ Dryポンプ

TMP (4台)+ Dryポンプ

装置構成

処理室(PC)最大3室処理室(PC)最大4室処理室(PC)最大5室処理室(PC)最大5室

L/L

L/L

PC3

TC

PC1

TC

PC2

11

11. Mini / Micro LED向けドライエッチング装置のご紹介
当社のPSS（パターン化サファイヤ基板）ドライエッチング装置は、4インチ基板を最大15枚搭載可能な大きなウェハートレイを使用し、1度にエッチング処理が可能。
また、マルチゾーンICPアンテナコイルを採用し、プラズマ分布の制御を行う事で、最適なエッチング均一性を達成可能です。

オプトラン LED向けドライエッチング装置OPTORUN Co., Ltd.

（例）LEDの製造工程
マスク
パターニングPSSエッチング

PSSエッチング(サファイヤ表面凹凸化)

サファイヤ
基板

装置型式: DES 500P
PSS基板(パターン化サファイヤ基板)

P層/GaN(発光層)/N層成膜

PSS基板

PSS基板

P層
GaN(発光層)
N層

フォトレジス
ト塗布

露光

レジスト

レジスト

PSS基板

PSS基板

マスク
パターニングメサエッチング

マスク剥離

PSS基板

PSS基板

PSS基板

DBR成膜

PSS基板

1212.Wave Guide向けエッチング装置
AR/MRグラス
今後の市場拡大が期待される AR/MRグラス向けに、Dryエッチング装置を開発。

RGB LEDdisplay engine

斜め回析格子Wave guideガラスよりも屈折率の高い膜を、斜め格子状にエッチングする事で回析格子とし、Wave guideとする事で、AR / MRグラスに画像を表示する事が可能となります。

オプトランでは、斜め回析格子エッチング向けに、
IBE/NBEエッチング装置の開発を行っています。

また、オプトランでは、垂直回析格子エッチング向けに、ICP-RIE エッチング装置の開発も行っています。

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Thank you very much for your attention!
OPTORUN Co.,Ltd.
Website: www.optorun.co.jp

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