ハイライト

学応用電離頒いて,これらを自由に選択しながら,推論し国分工場送変電システム設計部
狩野主任技師

日立研究所第十部
川上主任研究員

計算できるようにしたのが本システムである｡データ入力や出力結果の評価などもシス

テム側で行うようにしているので,時間的にもかなりの節約が図れるものと思っている｡+

一電力系統解析支援システムとは｡｢発電所から一般家庭,工場といった最終需要家に至るまでの送変電系統の中で,事知識工学の手法で,ベテラン運転員の知識故の発生や設備の更新などによって,系統研究所でのエキスパートシステム開発支援や経験をシステムに取り入れ,若い人でものふるまいがどのように変化するかを解析

ツールの開発,臥￣在製作所日立研究所でのベテランに近い対応ができるようにしたもする作業を支援するためのシステムであ

応用システムの開発など,早くから知識工のである｡変電所運用の効率化だけでなく,る｡これまで日立製作所国分工場の保護シ学の研究開発に取り組んできた｡既に実用ベテランの知識の継承や若い運転員の教育化されているシステムも少なくないが,最訓練にも役立つと喜ばれている｡いちばん

ステム,日立工場の発電機や大みか.t場の制御システムの最終評価を担当してきたの近では電力や鉄鋼といった大規模システム

難しかったのは,いかにこれらの知識を獲で,この場合は私たち自身が専門家であるについても実用レベルの知識工学応用シス得するかということであったが,ベテランという立場で開発した｡入出力インタフェ

テムを開発して,ユーザーの期待にこたえて運転員各位の熱心な協力によって実用的ないる｡日立製作所日立研究所第10部の主任研究員川上潤三工学博士,日立製作所国分工場

システムとすることができた｡+

ースに工夫を凝らし,解析者の負担を大きく軽減した点に特長がある｡+

送変電システム設計部の狩野泰信主任技師,

一電力需給計画支援システムというのは｡｢電力会社が行っている電力需給計画,向一今後の課題は｡｢産業応用という点では,日本の知識工学

口立製作所大みか.t場計算制御ソフト第一

こう1年間の需要予測を基に,それに対応

は世界の最先端にあり,本年5月には,日する発電所発電機の運用計画を立てる作業

立製作所日立研究所を会場に,米国電気電最近の成果について次のように述べている｡

を支援するためのシステムである｡この計子通信学会及び日本の計測自動制御学会主‑最近の具体的な開発事例は｡｢関西電力抹式台社殿と共同研究を行い,画は1時間刻みの計画なので,1年間で催の『AIの産業応用ワークショツフ㌔ も開8,760時点分の計画を組まなければならな催される｡更に体制を強化し,各システムのバージョンアップを進めて行きたい｡+

た変電所運転支援システム,東京電力株式い｡膨大な労力を要する作業で,数百基の発電機を擁する東京電力株式会社殿では,

会社殿と共同で開発中の電力需給計画支援

多くの専門家がかかりきりでこの作業に当システム,日立製作所日立研究所が独自にたっている｡もちろん超大形計算機を使っ開発した電力系統解析支援システムなどがての作業であるが,これまでのプログラムある｡実用化への第一歩を踏み出したものは固定したアルゴリズムで作られているの設計部の丸山彰主任技師は,電力分野での昭和62年9月,同社の新生駒変電所に納めといっていいであろう｡+

で,制約条件や決定戦暗が変わると,すぐ

一変電所運転支援システムというのは｡｢変電所設備に異常現象が発生した場合には使えないという難点があった｡そこで,計画作成のための戦略･戦術,制約条件,の事故状況把握や応急処置を運転員に迅速

各種数理吉個プログラムなどを知識ベースに指示し,更に,事故箇所や確認項目をガの中に収納しておき,計画者の意思に基づ

約や

ふ

ザ

ノ■∴.

大みかエ場計算制御ソフト第一設計部
丸山主任技師日立製作所は,日立製作所システム開発

イドするためのシステムである｡電力シス
ノー■耶芯
訟八一号

産業応用ではテムの自動化率はたいへん高く,定常状態
聯′花

ではほとんど人手を必要とすることはない

王㌘

賢=甥

‑∧rこ派攣繋モ巧.,サー主:∴嶺婆套≦･三得きぎ
妄盗
■ン;でご

が,異常現象が発生した場合は,やはり運樗妄､ふ∨･ジ､搬′一柳￣ろが運転員の若年化,設備自動化による事魯故の減少,すなわち経験不足,設備規模の拡大などから,こうした異常現象に迅速,正確に対処できるだけのベテラン運転員の数が年々少なくなってきている｡そこで,
4､i

日本の知識工学は世界の最先端にあると嘗

転員の判断に頼らなければならない｡とこハイライト

21世紀のエネルギーを目指している｡+
バブコック日立呉工場火力設計部
幸田副部長

日立研究所第十二郡コーテックセンタ1

小豆畑主任研究員

一流動層ボイラについては｡｢石炭を長期安定して利用するためには,
低品位炭の有効利用も必要である｡流動僻
ボイラは,このための対応技術の一つで,電源開発抹式会社と共同研究などにより開発を進めてきている｡既に20t/hパイロッ
トプラントでの研究を終え,現在は50MW規模の本格的実証プラントによる事
業糊ボイラとしての各種試運転を進めており,今後5年間にわたり広範な炭穐試験なエネルギー源に対する需要はコストによって決定される｡石炭の現在の地位は必ずしも高いものではないが,21世紀を迎える
ころには,原子力に次ぐエネルギー源とな

機械学会技術賞を受賞した｡+

どを実施することになっている｡+‑62年5月,パブコツクロ立株式会社呉工場内に大形燃焼試験設備を建設したが｡‑21世紀への対応は｡｢オ了炭については,NEDO(新エネルギー｢イi炭火力は中間負荷運用火力と位置づ機構)を中心に石炭利用水素製造技術研究るものと￣予測されており,今のうちから石けられており,その運用性を改善するため

組合,石炭ガス化複合発電技術研究組合が炭の有効利用技術を開発しておくことが重に新しい微粉炭システム及び燃焼技術の開組織され,前者では50t/dパイロットプラ要である｡日立製作所及びパブコツク日.￣i土 発が望まれている｡この人形燃焼試験設備

ント,後者では200t/d噴流層イ了炭ガス化パ株式会社では,こうした観点のもとに,新は,実川レベルのボイラに近い状態で燃焼

イロットプラントによる研究が進められてエネルギー関連の同家プロジェクト機関や電力会社などの各ユーザーと協力しなが試験を行うことのできる設備で,中間負荷いる｡H̲立グループもこれに参加しており,運用に対応した特性把握を可能にするよう水素製造設備及びガスタービン設備の開発

ら,そのための技術開発に取り組んでいる｡

な最新鋭の機能を備えており,実用機の設などを担当している｡これらのプロジェク

H̲束製作所日立研究所第11部コーチック

計や周辺技術の開発に大きく役立つものとトを成功に導くよう努力していきたい｡+

センターの主任研究員小豆畑

期待されている｡+

茂.t学博

ヒ,パブコツクF】立呉工場火力設計部の幸田文夫副部長の話を問いてみよう｡
一現在どのような研究を行っているのか｡

一石炭のノ､ンドリング特性改善というのは｡｢石炭は固体であるため,石油･天然ガス｢現在及び近い将来を考えたものとしてに比べて輸送･貯蔵･自然発火･飛散など

は,石炭火力の運用特性改善技術,排煙処

ハンドリングの面での制約を持っている｡

理システムの合理化･高性能化

そこで,石炭をスラリ化することによって

ホ炭のハンドリング特性改善のためのCWM(Coal

この制約を克服しようというもので,現在

WaterMixture),流動層ボイラなどの研特に力を入れているのがCWM(高濃度石究を行っている｡また,21件紀を考えたも炭水スラリ)の実用化研究である｡CWMのとしては,水素製造,石炭ガス化発電プ

は,石炭と水を7対3の割合で混合し,こラントなどの研究がある｡+

れに若￣Fの界面活性剤を加えた燃料で,石一現状の改善に役立つ研究成果は｡｢石炭はN(窒素)分,S(硫黄)分,灰分が炭濃度を高め,しかも,流軌性と安定性を保つように微粉粒径分布に特殊な工夫を加多い燃料なので,燃焼排ガス梓性を改善しえたものである｡パブコツク日立株式会社て環境保全を図る必要がある｡特に燃焼時では,このCWMの製造技術の確立を図るに発生する窒素財ヒ物(NOx)は,燃粕去のとともに,昭和60年8月から61年10月まで≠ク/ ;戸r

改善によって排出量を低減することが可能 電力会社との共同研究として常磐共同火力
であり,高い燃焼率を維持しながら低NOx

株式会社勿来発電所でCWM実缶実証試験化を達成できる日立一NRバーナを開発しを行い,大形火力プラント用燃料としてのた｡これは既に事業用ボイラに適用され,実用性に対する見通しを得た｡現在は脱灰NOxの低減と同時に石炭専焼最低負荷のシステムを組み込んだクリーンCWMの研切下げに成功しており,昭和61年度の日本究開発を推進しており,近い将来の実用化

火力発電所の中間負荷運用化に対応した実王扱ができる大型燃焼試験設備

ハイライト新しい鉄道のモデルとして注目される仙台市高速鉄道南北線
甘頂∵

仙台市交通局高速電車部施設車両課
田代技師

腰一打円伊Fr

獲一〔㌧ノ

仙台市交通局高速電車部
柴田電気課長仙台市交通局佐藤技監

鮮
卑

仙川けr

昭和62年7月15日に開業した仙台市i七j

車庄を受ける宿命にある地下鉄の経営を,近づいたのが私どもの他￣F鉄であると考え

速鉄道(市営地下鉄)南北線には,他界で初そこそこの健全経営に持って行くために,ている｡+

めて｢ファジィ制御+を実用化したATO

装置産業化された鉄道とすることによって一要員の最小化ということは,どの程度実(自動列車運転装置)をはじめ,光ファイバ

要員の最小化を凶るということである｡建

現されているのか｡

ケーブルによって有機的に結合された自律

設費,運営費の低減と安全性,信頼惟の両｢鉄道の要員は,それぞれの鉄道での乗客

分散形の運行管理システム,設備管理シス

立を実現するためには,これ以外に方法は密度によって変わってくるので,一概に決テム,事務管理システム,列車運転システないと考えたわけである｡また鉄道が,大定することはできないが,地下鉄の場合,

ム,保守管理システムなど,数々の新技術

量の人や貨物を安く,速く,安全に輸送す

キロメートル‡11たり50人以上は必要だとや高度のシステム技術が駆使されており,るという他の交通機関にはない優れた特質

いうのが従来の常識となっていた｡仙台の都市牛活のインフラストラクチャーであるを持ちながら斜陽化してきたのは,多様化

場合は,現在キロメートル当たり23人弱で地下鉄運営管理の新しいモデルとして注目

個性化といった人々の価値観や,社会の生

運営しており,ほぼ当初計画したとおりのされている｡本地下鉄の計画,建設を推進
イサオ

活形態の変化に十分対J心できなかったから要員の最小化を実現している｡この場合,である｡鉄道は巨大な施設であるために,サービスの質を落としたのではなにもなら

島速電車部電気課の柴田賢慮課良 同高速

いったん決定した輸送モードをなかなか変ないが,安全性,利便性の面でも従来の水電車部施設車両課の田代良二技師,及び仙更できないという宿命を持つ｡そこで,次準を上州るものとなっている｡+

台市交通局と協ノJしてシステムや装置の開に考えたのが利便性,快適性を備えた駅構発に当たった水戸工場システム設計部の造や列車の乗り心地など良質潤沢なサービ‑ファジィ制御を世界で最初に実用化した交通機関ということで評判になっている

明主任拭軌同嚇憎β第4設計

スを提供することによって,もう一度鉄道

が｡

グループの関野眞一の話を開いてみよう｡の魅ノJを再認識してもらおうということ｢これは,単に新しい技術を最初に実用化

で,R二立二さんにもファジィ制御など数々のしたということだけでなく,快適な乗り心

新しい技術の開発をお願いした｡これから地や正確な停止精度など,それによってサの鉄道は,施設やシステムを作る製造業者,

してきた仙台巾交通局の佐藤

感技監,同

オオハザマ

人峡

一この地下鉄はいつごろ計画されたのか｡｢建設の実質的な着工は昭和56年であるが,調査の開始は昭和38年,基本設計は昭和44年｡したがって24年越しの宿願というそれを使って輸送のためのサービスを提供

ービスの質を人きく高めたことが評価されたものである｡要員の最小化を図るため,ことになる｡計何の実現がこのように長引する鉄道事業者,及び来客を一体とするシ

当初からワンマン運転ということで計画をいたのは,地￣F鉄に対する巾民や隣接r帥丁

ステムでなければならず,その坤想に一歩進めていたが,従来のATOで使われてい′ノ

村の期待が人きいために開業区間の調整が‥困卜㌣u掛鼠固万人を超えるといっても,しょせんは地方
見通しも良い都市である｡中央の地卜鉄保有都市のような高い輸送密度はとても期待できない｡そこで最初に考えたのが,将来の需要に柔軟に対応できる施設形態を採用することによ

車両連

＼＼､

6

＼＼､林

って,建設費の低減を図ることも重要であるが,それでもかヾ‑し切れない資本費の鴨

運転台のある車両はその分だけ長く設計されており一連設に当たって特に留意した点は｡｢仙台市の都市圏市街地人口は優に100

どの車両も全く同じ座席配置となっている

申請が遅れたためである｡+

結部はオープン式でつかないことなど様々な障害から,路線の蛸ハイライト
御装置,駅電気室,券売機,日動改集札機
同工場交通設計部第四設計グループ
関野部員

水戸工場システム設計部
大峡主任技師などを管理制御する駅管理制御装置,案内

表ホや案内放送,列車とのデータ伝送などを制御する駅運行制御装置といったように,制御対象となるものの二近くにマイクロコンピュータを組み込んだ制御装置を分散配置し,それらの装置と中央の大形制御用
吉傾磯HIDIC

V90/30とを結んで,情報集

中･処理分散形のシステム構築としたこと
るPID(比列･積分･微分)制御では,電流で,利1H客の乗り降りを確認できないとドである｡運行管理システムの分散処理は,値の変化のギゴチなさなど,まだまだ不満

アを閉めることができない｡運転席にいな

過去にも幾つかの交通機関で実施した経験な点があるので,これを.卜回るものをといがらホームの状況を確認できるこの装置にがあるが,設備管理システムまで分散処理うことで,新しいシステムの開発をお願い

よって,そうした悩みを一挙に解消していとしたのは仙台市の地下鉄が初めてであした｡+

るわけで,安全で信頼性の高いワンマン運る｡その意味で全く新しいタイプの鉄道ト転を実現する上で欠くことのできない装置

ータルシステムといっていいであろう｡+｢[1̲布製作所でも,システム開発研究所でで,タイミングもよかった｡PID制御は,目である｡なお,仙台市地■卜▲鉄の1000系車両 一今後の課題は｡｢車両制御の面でも知識処理の導入を図の運転席は右側となっている｡安全性と建標速度パターンに対する速度偏差に比例し設費の低減を考え,16駅すべてのホームをることができた｡利用客に好まれるシステ

た力行･ブレーキ指令を出力するものであ

直線･島式に統一しているからで,これもムの開発によって,鉄道の持つ魅力をよりるが,今度仙台で実片J化した制御方式は,人きな特長の一つである｡+

高めていきたいと考えている｡+

ファジィ制御の研究を進めていたところ予測される制御結果が最も望ましいと評価｢この対列車画像伝送装置は,CCD個体｢仙台市交通局の篠挿旨導によって,新しいされた制笹吋旨令を選択する方式で,この評 撮像素子)の映像信号を光(近赤外線)に載鉄道のモデルとなるシステムを構築するこ

価内容の表現にファジィ理論を使っているせて送る装置である｡55年から57年にかけとができた｡分散処理は時代の必然で,今ので,日立製作所ではこれを予見ファジィて研究を行い,原理的に実現できる見通し

後ますます広がっていくものと思う｡情報制御方式と呼んでいる｡制御規則に人間のを得たが,そこからがまたたいへんで,具処理の仕方に.【l二大を凝らし,システムのレ経験を取り入れ,100ms間隔で演算処理を体的な装置としてまとめるまでにはいろい

ベルを高めるよう努力していきたい｡+

行いながら,時々刻々の制笹畔旨令を決定しろと苦労が多かった｡本装置のいちばん人ていくので,よりベテラン運転士の運転にきな特長は,画像モニタが運転席にあるの近い自動運転ができるわけである｡+

で,列車が移動しているときでもドアやホ‑現地での調整は｡
昭和60年3月の試作車両搬入以来,車両ームの状況を監視できるということであ製作と地上設備工事の進行状況に合わせ出発と同時に分からなくなってしまう｡そて,試験を行った｡新しいシステムなので,の意味で,従来とは発想の異なる痢期的な

当初は若干不安もあったが,本線試運転開装置といっていいだろう｡

始後1箇月の調整で,乗り心地,停IL精度,
消費電力と,すべての点でスペックどおり

一鉄道トータルシステムとしての特長は｡｢予見ファジィ制御と光空間伝送についの性能が行られ,開業へのÌ1信を深めた｡ては先に述べたとおりだが,もう一つの特開業後利用者からは,大変すばらしい来り

長は,変電所機器を制御する変電所遠隔制る｡従来はホームに画像モニタがあるので,ごこちと喜んでいただいている｡+‑運転士さんたちの評価は｡｢ほとんどの人がその性能に満足してい
′

アニ̲ル′

蛋ニ､か￣一￣

亡ぎ首昏彪‑■磁間は手動運車云を行っているが,利用客が多い時間帯にはATO運転を行っており,非常に高い信頼をよせている｡+｢丸山風置を採用しているが｡

議

＼も､も､

の状況は運転一上が最も神経を使うところ

脊

ニヽ､

一撃疇岩

設備管理と運一光空間伝送によって,運転席の画像モニタにホームの映像を送る対列車画像伝送装｢これも世界で初めて実用化した｡ホーム

宮沢車庫の総合指令センター/

行管理を効率よく一室に収容した
監視パネ
ル上部に配置されたモニタテレビジョン柑台̲

各駅の運行状況を刻々と伝えるる｡運転技術を維持するため,10〜15時のがハイライト

機械研究所における静昔化技術の開発とその適用例
後者は音源像を￣叶視化することができる｡
機械研究所第一部
藤田主任研究員

中研
主究
任所

当所が開発したHISORP‑Mは,この両者

研第を組み合わせたシステムで,より高精度な

島部

斤源探査が可能になった｡このほか,現場

究四

轡

+田岡

での使用に適したポータブル形の2次允音
場可視化装置も開発している｡+‑いつでも気がねなく使える洗濯機として｢静御前+が評判になっているが｡｢成功の第一は,商品化の目標を低静音に絞ったことである｡第二は,以上の音響解
快適な居住空間や作業空間への関心が高

これには音の伝搬をエネルギーとして扱う

析技術だけでなく,有限要素法解析,モー

まるにつれて,そこに設置される機器類の方法と波動として扱う方法の二つがある｡

ダル解析といった振動解析の技術を駆使し静音化がますます重要な課題となってき

前者は,音場や音源の大きさが取り扱う昔て,振動の原因となる要素を一つ一つつぶた｡低騒音を商占占化のコンセプトとした全の波長よりも人きい場合の予測に適した方していったことである｡当所には,振動制

自動洗濯機｢静御前+の成功が明らかにそ法で,HICONT2というプログラムを開御については,高速回転する磁気ディスクのことを裏書きしている｡以下に,L】束製

発して,発電所のような大形プラントの敷上にヘッドを1トIm以￣Fの微小間げき(隙)作所での静音化研究の一端を紹介する｡日地や建屋内の騒音予測に適川している｡後

浮上させ川mオーダで位置決めする技術が立製作所機械研究所第1部の主任研究員

者は,家電品やOA機器など￣新垢と音の波ある｡その基本となるのが自然界の法則,

長が同程度の場合の瑚Ilに通した方法で,力の流れにさからってはいけないというこ

任研究員は,次のように語っている｡

HISORP‑A,HISORP‑B,HISORP‑Fとで,その考え方に基づいて外枠の高剛性

一口立製作所機械研究所での静音化研究の歩みは｡という三つのサブプログラムを開発して,化 接合部分の避共振,電動機部分の電磁H的に応じた使い分けをしている｡Aは解

加振力の低減などを行い,低騒音化のH標｢騒音規制法が制定された昭和40年代の

析解法,Bは境界要素法,Fは有限要素法にを達成をすることができた｡+

藤田肇工学博士,第4部の田中基八郎主初めから音響,振動,流体などの研究を行よるプログラムである｡+

つている｡最初は,発電プラントなどの防音対策が主体であったが,家電品の普及と一騒音の計測方法は｡｢従来は,騒音計を使って機器周辺の古庄ともに掃除機,洗濯機,エアコンなどの低レベルの分布を測定する〟法が主であった業所で組織している材強振動部会騒音分科

騒音化に取り組むようになった｡更にOAが,橡掛二近接した領域では,音波が複雑

会を通じて,各工場設言†部門への転移を図化の進展によって,コンピュータの冷却フに十渉するため,肯の伝搬琴丘象を十分とらっているが,なおいっそうこうした活動をアンやプリンタ,ファクシミリなどの静音えることができなかった｡これに代わって強めていきたい｡また,i曽i速化,可変速化化も重要な研究課題となっている｡+

使われるようになったのが,音響インテンに対応する技術や,音質を考慮した静音化

一各工場との関係は｡｢製品化には,小形･軽量化,低佃格化,

シティ法,音響ホログラフィ法という二つ

技術,より迅速な実験手法の開発なども積の方法で,前者は音のエネルギーの流れを,極的に進めていきたい｡+

一今後の課題は｡｢当所で開発した静音化技術は,日立製作

所日立工場,H布製作所多賀工場など20事高性能化などといった要求が出されるが,反する要素が多い｡そこで,開発段階から騒音の予測を行って,騒音対策の効果,技術的難易度,コスト,開発期間などを検討し,その最適化を図らなければならない｡
また,試作品に関する騒音の計測解析も必●鴨･安である｡工場からの依頼によって以上のようなことを行うとともに,そのために必b奪勝

要なツールや技法を開発するのが,当研究所の役割である｡+‑騒音の予測とは｡｢音場のシミュレーションを行う技術で,
8i我機械研究所で開発された現場で手軽に使えるポータブル形

二軍翌日場可視装置

これらの要求には,一般に低騒音化とは相ハイライトシンカげロセッサで世界最高速の性能を持つスーパーコンビューダ
ディスクと同じ働きをする装置で,磁気デソフトウエア工場言語プログラム部

高貫主任技師

神奈川工場開発部
河辺主任技師ィスクのような物羊朝勺に速度の制約がない
ので,データの入出力に要する時間が大幅に短縮され,より高連な科学技術計算が可能になった｡+‑ソフトウェアの■血での開発は｡｢スーパーコンピュータの核となるOS(オペレーティングシステム)は,はん(汎)瓦糊大形プロセッサと共通のVOS3で,その日立製作所は,昭和58年からスーパーコ

ベクトル演算を実現したことが大きい｡そ上にスーパーコンピュータの部分を動かすのために,1チップの中に約7kビット,ア

VOS3/HAPというOSが来っている｡今たが,同62年7月から新たにS‑820の発売

クセス時間2.5nsの高速メモリ素子とl叫主に手を加えたのは,このVOS3/HAPを開始した｡最人で3GFLOPS(1秒間で2,500ゲートの論理素子を持つ特別なLSIの部分で,アドレス雫間の拡人,ユーザー30億回の浮動小数点演算を実行できる｡)とを新たに開発した｡デバイス開発センタのがFORTRANで書いたプログラムを機械

従来のS‑810の3倍の高速性能を持つスー=1mバイポーラテクノロジーによるもの

語に翻訳するための自動ベクトル化機能のパーコンピュータである｡私たちは早速神で,私どもは,これを超高速ベクトルレジ

充実,あるいはユーザーのプログラム開発

奈川工場を訪ねて,S‑820の話を聞いた｡同

スタ用LSIと呼んでいる｡このほか論理回を支援するソフトウェアの充実などによっ

峻主任技師,ソフトウ

路には,チップ当たり2,000/5,000ゲーて,ユーザーにとってより使いやすいスート,遅延時間200/250ps(1psは1兆分のパーコンピュータとなっている｡+

ンピュータHITAC

S‑810を発売してき̲丁場開発部の河辺ェア工場言語プログラム部の高貰隆司主任
技師は,次のように語っている｡

1秒)の超高速論理用ECL

LSIが全面的に使われている｡また,ベクトル演算の高

一今後の課題は｡｢計算物理,数値シミュレーションといっ‑S‑820の最大の特長は｡｢シングルプロセッサとしては世界最高

速処理を支える主記憶装置では,日̲￣lt独白 た言葉が聞かれるように,科学技術の進展

速のスーパーコンピュータであるというこのBiCMOSの技術による高速,高集積のス

とともにスーパーコンピュータの利用はまとである｡米国のCDC社が10GFLOPSのタティックメモリ素子をセラミック碁板のすます大きな広がりを見せてきた｡ハード,

スーパーコンピュータを開発したと発表し両面に12個実装したハイブリッドモジュ

ソフトの両面からより高いレベルヘの挑戦ているが,これは8≠iのプロセッサをつなを進めていきたい｡+

いだマルチプロセッサタイフである｡プロールを開発し,最大512Mバイトの主記憶容量を実現している｡BiCMOSは高速性とセッサ当たりの速度は当社のほうが造かに

低消費電力を同時に満たす技術で,主記憶速い｡+

装置のメモリ素子にBiCMOSを使ったの‑マルチプロセッサとシンクやルプロセッサ

も,恐らく世界で初めてのことである｡+の違いは｡｢S‑820のプロセッサは,命令プロセツ
サ,主記憶装置,拡張

たいへん重要であるが,現時点ではまだ柿記憶装置,入出力プロれた技術にはなっていない｡あるジョブを

セッサ,サービスプロ

実行させる場合は,プログラムを分割してセッサという五つの走らせなければならず,扱いが繁雑である装置で構成されていばかりでなく,なかなか計算どおりの結果る｡このうちの拡張記が出ない｡シングルプロセッサの場合はそ

憶装置は,当社がS‑

うした心配がなく,速度が同じだとしたら,

810で開発した技術

ジョブのパフォーマンスは,間違いなくシ

で,今度のS‑820では,ングルプロセッサのほうが上である｡+

1Mビットのダイナ

一世界最高速の性能をどうやって実現した

ミックメモリ素子をのか｡

使って最大12Gバイ｢ハードウェアの面では,過去の技術の蓄トと■更に大容量化を積の上に立って,並列パイプライン制御に実現している｡ソフト

よる4ns(1nsは10億分の1秒)の超高速

ウェアの面では磁責も世界長高速を実現した超高速ベクトルレジスタ用LS‑｢マルチプロセッサの技術は,将来的には

ハイライト

翻訳の質と使いやすさを追求した翻訳環境を提供する日立機械翻訳
英文を中間表現に変換する際の構文的多義

夢

ソフトウエア工場A‑プログラム部

讃粥叫

吉村主任技師

同研究所第五部梶研究員

システム開発研究所第五部

河嶋主任研究員鰍

筋の解消及び文章構造の変換や訳語決定の際の多義の解消に役立てているわけである｡
共起関係を利用した実験システムの例はあるが,5万語の基本辞書を持つ実用システ
ムでの利用は当社が初めてである｡+‑HICATS/WSの特長は｡｢ホストコンピュータと有機的に結び付いたクリエイティブワークステーション

2050の機能を生かして翻訳作業を強力に国際化の進展とともに,日本語と他同語間の言葉の壁をどのように克服するかが重
要な課題となっている｡コンピュータの知ヨン2050による分散形翻訳支援システム

支援するもので,(1)翻訳のあらゆるフェー

HICATS/WSを用意している｡+

ズでの編集作業を行う二筒国語エディタ,｢日本語と英語のように,構造が大きく異(2)例文,用法,連語など,豊富な内容を持

識処理技術を生かした機械翻訳も,そうしなるHICATSJE/EJによる翻訳の什組みた問題解決への大きなアプローチの一つ

は,言語間の翻訳には憤文を一度巾問表現

つ口英,英口電子辞書,(3)2050シリーズの文書作成ソフトであるOFIS/REPORT‑

で,実用システムの早期開発が強く甲まれに直した上で変換しなければならない｡口

EVによる原文の人力や翻訳結果の出九(4)ている｡日立製作所が昭和61年5月に販売

英の場合は,まず文節係り受け構造と格関を開始し,62年9月に製品シリーズを充実

係の解析によって,概念依存構造を表現す

マウス巧】心のワンタッチ操作など多彩な機能を備えている｡+

させた日立機才戒翻訳システムHICATS

る日本文中間表現を作り,それを更に英語(HitachiComputerAidedTranslation

的発想に基づいた構造へと変換した上で,‑その他の特長は｡｢機械翻訳システムは,システムを提供す

System)は,こうした社会の要望にこたえ

辞書,文法規則を参照しながら英文を生成れば,それで完成というものではない｡分

るものである｡これは人間による支援を前する｡英口の方は,まず句構造を重視した

野別の調整やユーザー辞書の作成など,た提とした機械翻訳機能と,翻訳者を支援す

英文中間表現を作り,それを更に格構造をえず機能の充実を図っていかなければならる機能の統合を実現したものとして注臼さ重視した口本文中間表現に変換した上で口ない｡文法記述言語の開発はそのためのもれている｡システム開発研究所第五部の理本文を生成する｡特にHICATS/EJは,単ので,日英,英日とも翻訳用文法規則を記

学博士河崎善司郎主任研究員,梶語間の共起関係に関する知識を利鞘して,述しやすい言語を備え,システムの保守

究員,ソフトウェア工場AIプログラム部の訳文の精度を高めている点に特色がある｡+

性,拡張性を高めている｡箱根の機械翻訳

吉村紀久雄主任技師に,そのねらい,特長

一単語間の共起関係とは｡

サミット,ジュネーブのテレコム,87と,博行研などを開いてみよう｡｢単語には,構文的にも意味的にも様々な

HICATSに対するl勺外の評価はたいへん

一人間が支援する機械翻訳と翻訳者の支援とはどう違うか｡

朋法があり,同じ単語でも,文lいの他の単高い｡更に実用件を高めて,これらの期待語との関係によってその意味がいろいろとにこたえていきたい｡+｢翻訳というのは,たいへん知的な作業変化する｡そこで,単語や単語が持つ属性

で,現在の技術レベルではそのすべてを機の同時出現件を知識として蓄積しておき,

1戒任せにすることはできない｡Mシリーズのホストコンピュータを使って行う日英翻【0】用システムHICATS/EJは,機械による翻訳を主体とする｡しかし,翻訳の質を高めるためには,どうしても前編集,後編集といった人間の援助が必要になる｡このように人間の支援によって機械翻訳の質と効率を高めるのが人間が支援する機械翻訳である｡一方,翻訳者の支援とは,人が翻訳するときに,コンピュータが電子辞書や文書作成･編集機能を提供することである｡このために,クリエイティブワークステーシ
10

雌TO醐

電気通信関係の世界長大規模の展示会であるテレコム
87に出品
注目を浴びた機械翻訳システム

訳用システムHICATS/JE,及び英日翻訳ハイライト

新しい0､A機器としての広がりを見せる光ディスクファイルシステ
録･検索の仕組みを用意している｡最後の同事業本部コンピュータ事業部技術本部
第二技術部木村主任

情報事業本部コンピュータ事業部技術本部

第二技術部増木主任技師

小田原工場入出力機設計部
内山部長｢ブごくさんファイル+というのは,大量の文書を速く登録し,便利に検索するための什掛けを指すもので,督録には搬送形両面ス

キャナ,検索には高速検索機構などが絹志されている｡また,ホストコンピュータと接続して,ホスト側の検索機能を利用する事も可能となっている｡特に高速ページめ
くり,搬送形両面スキャナは,全く他に例を見ない機能で,高速ページめくりは1枚

早くからオフィスでの文書ファイルの本｢5インチ光ディスクを採用してA4判

0.5秒と従来の÷から÷の高速性を実現

命として期待されながら,なかなか普及の構成での卓.卜形を実現した｡このモデルはている｡また,搬送形両面スキャナもA4判

進まなかった光ディスクファイルの市場

価格も398万円という低価格で,需要の喚

1枚の走査時間が約2秒で,大量の文書をが,昭和62年を境として急速な立ち上がり

起に大きく役立っている｡このほか5イン

スピーディに脊録できるようになっている｡』

を見せるようになってきた｡小形･低価格

チA3モデルが580万円,12インチモデルがで使い勝手の良いHITFILE650シリー

980万円と,これまでの光ディスクファイル

ズなどの脊場によって,光ディスクファイの概念を破るような佃格を設定している｡+

ルに対するユーザーの見方や考え方が大きく変わってきたからである｡HITFILE

一便い勝手の血では｡『我々は,｢なんでもファイル+,｢きちんと650シリーズ開発のねらいや特長などを関

ファイル+,｢たくさんファイル+といった呼頼しており,そこで得たハード,ソフト内

係者から話を聞いてみよう｡小田凰+二場入び方をしているが,お使いになる人の状況

面にわたる技術を駆使して,以上のような出力機設計部の内【̲lJ元部長,情報事業本に応じて,どのような使い方でもできるし機能,低価格を実現したものである｡+

部コンビューダ事業部技術本部第二技術部ようにした｡｢なんでもファイル+というの‑こうした機能,技術はどうやって開発したのか｡｢開発段階から中央研究所,システム開発
研究所,マイクロエレクトロニクス機器開発研究所の3研究所に要素技術の開発を依は,文書名なし晋録,キーワード羅列,登一市場での反響は｡｢おかげでたいへんいい｡企業での使われのように語っている｡

録H付l'I動付与などの機能を生かして手軽方も,従来の図面,技術資料のファイルか‑HITFILE650シリーズ開発のねらいは｡｢H本事務機械⊥業会の調査によると,価に登録し,高速ページめくり,フリーキー

ら一般文書のファイルヘと広がってきた｡

ワード検索,登録時期による検索などの機

また,1車院,裁判所,‑￣チ備校,新聞社,雑格が高い,ファイリングシステムが未確立能で容易に検索することを指している｡こ誌社,映画会社などユーザーのすそ野も広というのが,光ディスクファイルを導入しの場合は,ファイリングシステムのことでがってきた｡情報所用のほか地価の高騰でない理由の1,2位となっていた｡当初は頭を悩ます必要は全くない｡次の｢きちんスペースセービングといったことへの関心

約1,500万円と価格が高かったほか,登とファイル+というのは,階層構造の設定も高くなってるので,ユーザーへのコンサ

録･検索の仕方が難しく,よほどファイリなど,ファイリングシステムの体系の整っ

ルティング機能なども強めながら,更に利ングの体系がしっかりしたところでないたところで使うやり方で,それに応じた常用の輪を広げていきたいと考えている｡+の増木幾好主任技師,木村勇主任は,次と,光ディスクファイルの良さを十分生かし切れないという問題点があった｡これでHITFILE650シリーズの開発に当たっては,OA機器と同じような感覚で使えるよ亀

うに小形･低価格とすること,ファイリン
グの規模に応じて選択できるようにシステ

ムをシリーズ化すること,登録･検索などの使い勝手を改善すること,ホストコンピ=;…;￣悌転嘩覇＼

ュータとの接続やLANの構築などを可能とする拡張性のあるシステムとすること,などに重点を置いた｡
一具体的には｡㌣ゝ̲

返品瓦

順れ㌶山鳩=㍑川絹㍑…空イスクファイはとても人きな普及は望めないので,

11ハイライトデス外ッカヴリッシング時代に対応する̀̀WordPalStTPERlOOげ'の新技術が使われているのか｡
多賀工場ソフトウエア設計部
川瀬主任技師､磁マイクロエレクトロニクス機器開発研究所
中根主任研究員
第一部＼＼｢ソフトウェアの面では,入出力ドライ

ぺ基本OS,サブOS,システムタスク,ア
プリケーションプログラムの5層から成る

階層構造を採用することで実現した｡サブ
OSは,各アプリケーションプログラムに共通なマルチウインドウ,表示,印刷,仮名漢字変換人力などの機能をOSの一部として実現したものである｡システムタスクというのは,主メモリと固定ディスクの間でデスクトッフシヾブリッシングという言葉 ‑SUPERlOOOの特長は｡
が聞かれるように,OA化の進展とともに｢いま述べたような統合文書処理を可能のプログラムやデータの授受などを制御す

より高度の機能,振作性及び高い印字品質にしたことと,そうした処理をだれにでもムは,本文,幽み,図形,グラフ,表,イを備えたH本語ワードプロセッサヘの要求できるようにするために,最大8両面まで

メージなどを編集するための統合文書作成が高まっている｡単なる文章の作成だけでのマルチウインドウ,アイコン,メニュー

プログラムである｡こうした階層構造の採なく,文章,陳1形,グラフ,表,イメージの表示とマウスによる指示を可能にした振用によって,ソフトウェアの生産性も大きなどを自由に組み合わせた統合文書を作成

作体系を開発し,全体の操作性を大きく高く向上することとなった｡また,ノ､‑ドゥ

したいという要求,更には各種企両君,技めたことである｡+‑どういうことから,そうした操作体系がェアの面では,CPUを編集用プロセッサと表示制御プロセッサの二つに分けて,処理ィに,しかも美しく編集し,プリントアウ
トしたいという要求である｡[]立製作所が生まれてきたのか｡

性能の向上を図った｡+

開発した"WordPalSUPERlOOO''は,構造になっているかを考えたことから牛まこうした要求にこたえたもので,コストパれた｡つまり,文吉は幾つかの章によってフォーマンスの高い統合形日本語ワードプ構成されている｡そして,その章はまたいにするレーザプリンタとの組み合わせな

ロセッサとして市場の注目を集めている｡

くつかのページによって構成され,そのペ

ど,用途に合わせて臼由にシステムアップ

本製品の開発を担当したマイクロエレクトージは更に本文,餅1形,グラフなどの各要素を入れるための鋲城によって構成されてできる構成となっている｡本格的な印刷機
術資料や社内報の社内作成といったニーズの川瀬iE紀主任技師の話を紹介しよう｡

いると考え,どうすれば,そうした構成を無理なく実現できるかを考えたわけであ‑SUPERlOOO開発のねらいは｡

る｡特に目新しいことではなく,ごく当たなど更に改善を餅Iって,こうした方面の期｢最近は,どのオフィスでもワードプロセ

り前のことであるが,従来のワードプロセ

待にこたえていきたい｡また,文書作成のッサによる文書の作成が定着しており,ワ

ッサには,そうした当たり前のことを実現
するだ､けの技術がなかった｡+

知的支援機能についても,なおいっそうの術資料,社内報などを自らの手でスピーデ

ロニクス機器開発研究所第1部の中根啓一
主任研究員,多賀工場ソフトウェア設計部

ードプロセッサによる図形やグラフの作成
も■叶能になった｡しかし,統合文書を作成｢文書がどのように構成され,どのようなるものである｡アプリケーションプログラ

一デスクトップパブリッシングへの対応は｡｢イメージスキャナ,高品質の印字を可能の版■卜とするまでには至っていないが,技には十分対応できる｡文字フォントの拡充強化を図っていく考えである｡+

一そのことを実現するために,どのようなする場合は,本文,図形,グラフなど個別に編集,印刷したものをはさみとのりで切台のワードプロセッサの中で,個別の要素となるものの編集から全体のレイアウトまで,一貫して処理できるものをということで開発した｡オフィスでの文書作成の状況
やワードプロセッサ機能に対するユーザーの要望を徹底的に追求した結果生まれたものである｡+

12㌍叫‑‑̲

デスクトップパブリッシングに対応するある｡そこで,こうした手作業を省き,1

壬0｢1P監SUP[刀一〇〇〇

りばりしなければならず,たいへん厄介でハイライト

記号開発センタと文字フォントの開[櫨製作所デザイン研究所の文字
スプレイに一括表示して,全体のバランス
同研究所文字図記号開発センタ
開発グループ坂本チーフスぺ シャリスト

ふT田センタ長

デザイン研究所文字図記号開発センタ

やf農度をチェックしたり,これらの文字を実際に使われる大きさに印字して,横組み,
縦組みの際のバランスや読みやすさなどを検討したりしながら,文字の完成度を高めている｡こうした地道な努力が,結果となって表れたものと思う｡+

一筆記体フォントの｢つれづれぐさ+も評判になっているが｡

文字は,人間にとって欠くことのできな

図記号開発委員会に改称された｡また当初

い情報伝達の手段である｡活字,̀ウオ直文字

11事業所であった関連事業所も現在は24の歴史が,より読みやすく美しい文字への事業所へと増加している｡+

あるほか,それぞれの文字の視覚的中心を追及であったように,パーソナルコンピュ

一これまでどれぐらいの文字を開発したのそろえる,字配りの空間を適切にするといータ,ワードプロセッサ,はん(汎)用コン

ピュータなどの周辺機器の普及が進むにつか｡

ドット文字は,活字と同じように,24×｢これは48×48ドットの高ドット文字でったことで,手書きの楽しさ,美しさをそのまま伝えているからである｡ここには文れて,これらのけ.力文字についてもより高24ドット,32×32ドットといったドットに字を構成する各ドットに質量を与えて,視占占質な文字が求められるようになってきよる梓類のほか,明朝体,ゴシック体のよ覚的中心となる文字の垂心を割り出すとた｡日立製作所デザイン研究所文字陛ほじ号

うに,書体別の種類をそろえる必要がある｡

か,字配りの空間に静電容量の概念を導入

開発センタが開発した日立製作所の文字フ

昭和62年3月現在で,明朝体ドット文字12

して,それぞれの文字に固有のゴーストサ

ォントは,こうした時代のニーズにこたえたもので,日立製作所及び系列会社のプリ

種類9方6,000字,ゴシック体ドット文字13

イズを設定するなどの手法が駆使されてい種類10万5,000字など,見直し修正を加える｡いかにも口立製作所らしい文字づくり

ンタや,データ端末などに搭載されている｡

たものを含めて約26万5,000字を開発してといっていいであろう｡+

そのほか武蔵工場で製作しているマスク

いる｡これにはもちろん,漢字,平仮名,ROMとして製品化され,日立製作所はも

片仮名の日本文字のほか,欧文書体の大文

一今後の課題は｡｢デスクトップシヾブリッシングや,電子会

ちろん,他の多くのメーカーの製品にも使字･小文字･数字･記号も含まれている｡

議システムの高精細画面用などから,よりわれ,情事馴ヒ社会の発展を支えている｡文また,各種類ごとの文字数は約7,500字と高品位な文字が求められており,高ドット字を｢先行性のある知的財産+としてとらしている｡+

フォントのほか,ベクトルフォントの開発

え,早くからその開発を進めてきたからで

一24×24ドットの文字フォントの開発でに力を入れていきたい｡+

ある｡日立製作所デザイン研究所の文字図
記号開発センタの中田光センタ長,同セン

一躍その評価を高めたが,そのポイントは｡｢ドット文字は,原字をドット分解し,ド日立製作所中央研究所と共同でベクトルにタ開発グループの坂本達チーフスペシャットの位置などを修正しながら,自分のイよるマルチサイズ変形書体の文字生成シス

リストは,これらの文字フォントの開発にメージする字形へと仕上げていく｡デザイ

テムの研究を行っている｡

ついて次のように語っている｡

ナーのセンスが要求されているところで,

このほかデザイン研究所は,アイコン(絵一本格的な開発に着手したのは｡
昭和55年,ワードプロセッサ用の文字がこうした一字一字のデザインももちろん重要であるが,より人切なのが文章として文文字),画面デザインなども行っており,文最初である｡又字の開発には膨大な手数が字組みしたときの読みやすさである｡そこ

なおいっそう努力して関連各事業所の期待かかる｡各事業所が個別に開発したのでは,で,第一次デザインを終えた文字を,ディにこたえていきたい｡+｢また,開発効率を高めることも重要で,

字デザインも,これらとの総合化の方向で,人の面でも費用の面でもむだが多い｡日立′

昭和56年12月,情報機器関連11事業所によ

熟W､る,漢字フォント全社標準化委員会が設立され,その共同依頼を受ける形で各サイズの文字開発が進められた｡文字図記号開発

センタは,こうした活動を受けて昭和59年/8月に設置されたものである｡当初の漢字
フォント全社標準化委員会も,同時に文字

ぬドット文字の開発作業
原字をドット分解しドットを加えたり削ったりして美しく読みやすも,標準化を図る必要があるということで,い字形に仕上げるとして文字の一貫性と品位を保つために●
13ハイライト

高温超電導淋こ問する日立の研卦開発体制とその成果
昭和61年1月,IBM社チューリッヒ研究

究成果の一端を紹介しておこう｡H￣市二製作として委託研究を行うわけで,これには日所のミューラー,ベドノルツ両博上は,絶所中央研究所第2部主管研究員の川辺

立製作所の日立上場と日立研究所が参加し対温度35度で超電導現象を示す酸化物系

理学博̲L,川口克研究所企画室主作研究ている｡また,内外の民間企業による,財の新しい物質を発見した｡両博七は高温超員･SCプロジェクトリーダーの松田臣平理

凶法人国際超電導産業技術センタ及びそれ電導体への道を開いた発見で,この功績に学博上は,次のように語っている｡に付属する超電導工学研究所の設置が進めより1987年のノーベル物理学賞を受賞しられており,これにも口克製作所中央研究ている｡そして62年1月,米田ヒュースト

一高温超電導体のJ応用分野としてはどのよ
うなものが考えられるか｡

ン人学のチュ一博士らによって絶対温度｢エレクトロニクスの分野では,コンビー

90度で超電導となるY･Ba･Cuの酸化物

潮所,目立研究所及びH.立電線株式会社の参加が決定している｡更に,科学技術J▲i‥関係

ユタ掴の高速豪ナ,超電導配線,通信･宇宙機器用の極微弱電波検出素了･,計測用のの超電導材料研究･コアプロジェクト(産･ーバー+と呼ばれるような高温超電導体に関する研究･開発競争が世界的に展開され超高感度磁束計̀̀SQUID'',医療用のMRI‑研究｢高温超電導体の研究+,重点領域研究

CT,心磁計･脳磁計"SQUID｢超電導発現機構解明+にも日立製作所中央

ることになった｡絶対温度90度は冷媒とし応用が考えられる｡また,エネルギーの分研究所が主体となって参加していく｡いまて液体窒素を利用できる温度である｡液体野では,発電機,回転機,核融合,電力貯

海外から強く求められているのが,人の交(YBa2Cu307̲♂)が発見され,｢超電導フィなどへの官･学の共同研究),文部省関係の特別推進

胤 送電線といった電ノJ関連機器のほか,
案素は液体ヘリウムの約立と射面である

流と技術の公開ということで,超電導に関ばかりでなく,資源的にも安定している｡

磁気浮卜列車,船舶推進,加速機などへのする以上の動きもこうした海外からの要請

こうしたことから高温超電導体の発見によ応用が考えられる｡+にこたえたものである｡積極的な研究へのって超電導応用への期待が大きく膨らむことになったのである｡ここでは,こうした一日且製作所の研究･開発体制は｡｢高温超電導体については,昭和61年3

参加や論文の発表などを通して,史に国際状況に対する日立製作所の姿勢と最近の研月から中央研究所,日立研究所など6研究

一高温超電導体に関する最近の研究成果

所によるプロジェクトがスタートしてい中央研究所第二部

る｡そして,62年8月には,‖立化成工業

交流の輪を広げていきたい｡+

は｡｢超電導素子関係では,昭和62年5月の川辺主管研究員

抹式会社,H立電線株式会社,日立金属株｢什界ケムローン(ChemicalResearch

式会社所属の3研究所もこれに参加し,単AppliedtoWorldNeeds)会議+で発表に日立製作所だけでなく,日東グループ全した光スイッチング素･ナの原理実験の成体としての研究開発体制が組織されること功,62年8月の"ISEC(Internationalになった｡+

Superconducting

一主な研究開発テーマは｡

ence)''で発表した超電導セラミックス磁束計の試作の成功がある｡+｢新しい高温超電導材料の探索,物性評価
及び理論解析,薄膜単結晶化とセラミック
スシートの作製,電流高密度化と線材形成

Electronics

Confer‑

一光スイッチング素子の原理実験はどのように行ったのか｡の新技術,薄膜素了･の開発と超電導機器への適Hほl架】るための要素技術の確屯並び
光ファイバに高温超電導体に関する特許の探索などをテーマとしており,毎月1阿全体会議及び日立研究所企画室SCプロジェクトリーダー

松甲王任研究員

各分科会を開催して,プロジェクトの成果を高めている｡また,メタル系の超電導に電極に参加して以来,二十数年の研究蓄積があり,これも高温超電導体研究の̲￣技ち上げをスムーズなものとする大きな要因の一つと基なっている｡+

超電導発電関連機器･材料技術研究組合がスタートした｡｢ムーンライト計画+の一環

14

光

ついては,MHD発電の国家プロジェクト

一国家プロジェクトとの関係は｡｢通商産業省関係では,昭和62年度から
ゝ

光導電性半導体

断面構造図

高温超伝導スイッチング素子板

ハイライト
作所中央研究所で試作した超電導セラミッ
クス磁束計は,超電導光スイッチング素子の成果をもとに,Y‑Ba‑Cu系酸化物超電導薄膜の特件を向上させるとともに,半導体分野で蓄積してきたリソグラフィ技術に棋
押鮎よる薄膜パターンの加工によって,以上の問題点の解決を図ったものである｡液体窒

素巾での微弱磁束の検出動作に成功し,磁束計"SQUID''としての其本特性を確認す
電圧ることができた｡超電導磁束計の広範囲な臨界電流密度3.300A/cm2のテープ状線材『

高温超電導スイッチング素子の動作例の臨界電流密度を示すものである｡+｢高周波スパッタ法で,基板の上にY‑Ba‑
接合部

Cu系酸化物の超電導薄膜を作った｡この薄膜は膜厚が2卜mで,絶対温度85度で電気‑どういう技術で,こうした記録を達成できたのか｡｢この線材は,シースと呼ぶ銀のさやにY‑
ホール

抵抗が完全にゼロとなり,液体窒素中での最大電流密度は3,000A/cm2というもの

Ba‑Cu系酸化物の粉末を詰め,これをいっ
たん線引きした後,■更にロールにかけて厚である｡原理実験を行った光応答スイッチ

さ0.1〜0.06mm,幅0.6mmのテープ状

ングは,前頁下の図のように,この薄膜の線材としたものである｡ロールによる柾延トー+

一部にごく浅い溝を設けて,超電導電流を制御するための弱結合部と呼ぶ領域を作っ

0.5mm

し,コア部分の圧密化を実現したこと,銀たもの｡薄膜の両端に設けた電極を通じて電流を流すと,この弱結合部にもジョセフ

加一仁の技術で,枇子間の空げき(隙)をなくのさやを薄くして酸素の供給を最適化した
超電導セラミックス▲ls()]lD''ことなどによるものと考えている｡いくつ

ソン効果によって超電導電流が流れるが,かの学会では,もっと臨界電流密度の高い

この弱結合の部分に光を照射すると,超電応用及び実用化への第一歩を踏みJ書1したも 線材の研究も発表されているが,これはシ

導電寸の一部が光のエネルギーをq別又してのといってよいであろう｡磁束計は,人体常電導電子となり,超電導電流が減少するの脳や心臓から発生する10r13T,10￣10Tとースのない高温超電導材を熱処理したもので,本当の意味での線材とはいえない｡実ことを利用して,光応答スイッチング動作

いった徴弓弓な磁場を検出し,人体の活動状際に使用される線材と同じように被覆したを行うようにしたものである｡この素子に況の時間的推移を測定したりするもので,線材で高い臨界電流密度を達成していると波長0.7〜0.9ドmの光を照射して実験し発表後医療関係者からの問い合わせや激励

ころに,我々の研究の大きな意義がある｡+

たところ,予測したとおりのスイッチングも大変多かった｡+

動作を行うことが確認できた｡また,この‑エネルギーの分野では,高温超電導体の弱統合部分を光導電性半導体で覆った場合

線材化と高電流密度化が人きなテーマとな

は,一桁低い光量で動作することも確認でっているようであるが｡

きた｡これまで,液体窒素巾で光にん転答す｢高温超電導体に線材化と高密度化は,要‑これで実用化の段階へ一歩近づいたとそ
えていいのか｡｢今はまだ高温超電導体の線材としての可能性を調べている段階で,実R￣j化のためには,電流密度を更に二桁卜げる必要がある高温超電導スイッチング素子の実験を行

素技術となる超電導マグネットを開発するる｡また,磁場の存在で電流密度が大きくつた例はなく,世界で初めての原理実験のための不可欠の条什で,全世界のメーカー減少するという問題もある｡たいへん解決

成功である｡超電導技術と光通信技術を結が競争でこの問題に取り刹lんでいる｡日立の難しい問題ばかりであるが,だからこそんだ最初のものとして注｢jされた｡+

製作所も日￣在電線株式会社と共同で高温超 件界を一変させるような革新的な技術とも

一超電導セラミックス磁束計の試作は｡｢超電導磁束計については,幾つかの発表

電導線材の開発を進めており,昭和62年10なるわけである｡これまでの研究で,問題月の口本化学合の｢超電導物質化学シンポの所在もかなりはっきりしてきたので,そ例があるが,Y‑Ba‑Cu系酸化物の焼結体

ジウム+では.液体窒素温度で1,890A/

うした問題を一つ一つ解決しながら実用化

どうしを押し付けて構成したものは集積化

Cm2の臨界電流密度を持つチーフ1大高温超電導線材,62年11月の超電導体に関する日への道を進んでいきたい｡高温超電導体のつた｡また,超電導セラミックス薄膜にイオン打ち込みで作ることも試みられている

米ワークショップでは,液体窒素温度でるが,優勝をねらうためには,常にトップ

3,300A/cm2の臨界密度を持つテープ状

グループに代置する必要がある,というのが,この場合には出力波形のひずみなど液

高温超電導線材を発表した｡いずれも発表

が,我々H■､1ニグループの考えである｡+

体窒素中での動作に問題があった｡日立製の時点における液体窒素温度での什界最高が困難で,再現性に乏しいなどの問題があマラソンレースはまだ始まったばかりであ15

ハイライト

0.1岬線 のLSI製作を可能とする超微柵電子線描画装置̀̀Hし700F'の偏向速度,つまりある位置から次の位置
那珂工場半導体装置設計部

中央研究所第四部

への移動時間を従来値の100nsから10ns
へと高速化したこと｡偏向領域をフィール
ド,サブフィールド,塗りつぶしフィール
ドの三つに分割して描画するわけで,熱電とができるようになった｡このため,電イー

中村主任技師

斉藤主任研究員

界放出電子銃の大電流特件を十分1三かすこ

巧‰
̲一一′勺

光学系には主偏向器,副偏向器,塗りつぶし偏向器という三つの偏向器,偏向制御系には主偏向制御回路,副偏向制御回路,高HL‑700Fは,1時間当たり1ウェーハていいだろう｡そうした微細加.■l二のプロセ 速偏向制御回路という三つの制御回路を設(￠4′′)という高スループットで最小線幅スを研究したり,微細加工の限界を探るた

けている｡第三には,ビーム径可変光学系

1I⊥mのLSIパターニングを可能にした世

めにも,こうしたツールが必要となるわけと輪郭分解処理という技術によって,描画界で初めての超微細電子線描内装置であである｡+

効率の向上を図ったこと｡‑1扱にビームがる｡昭和50年代の初めから日本電信電話株

一700Fが世界の注目を集めたいちばん大細くなるほど描画速度が遅くなるので,輪式会社(当初は日本電信電話公社)と日立

きな理由は｡

郭は細いビーム,内部の塗りつぶしは太い

製作所が共同で開発を進めてきた電￣r･線描｢微細加工の精度とスループットというビームといったように,対象領域に応じて画装置の成果で,次世代,次々仲代の研究

相反する要求を同時に満たしていることでど‑ム径の切替えを行い,効率よく描画でを進めている世界の半導体研究者や半導体ある｡細く描くだけの装置は,これまでにきるようにしているわけである｡また,一製造メーカーの熱い視線を集めている｡本も作られているが,スループットが悪く,層,二層とパターンを重ねる場合の重ね合装置の開発を担当した中央研究所第4部のとても実用にはならなかった｡+

わせ精度も0.041⊥mという高精度を実現し主任研究員斉藤徳郎工学博七 那珂工場半‑どういう技術でその間題を解決したのている｡+

導体装置設計部の主任技師中村一光工学博

か｡

上の話を聞いてみよう｡
一電子線描画装置はいつごろから使われるようになったのか｡

一既に使われているのか｡｢日本電信電話株式会社厚木電気通信研｢いろいろあるが,最も人きいのは次の三つの技術の開発である｡第一は,タングス究所殿で1台,当社の中央研究所で1台,

テンの衣面にチタン原了一を拡散させた熱電先端デバイスや極限素子の研究に使われて｢半導体の高集積化微細化にイく可欠な技 界放出電子銃(Ti/W

TFE)を開発して,おり,興味ある研究成果を生みだしている｡

術であるリソグラフィーの一環として10ビームの電流密度を100A/cm2以上と従小央研究所で組み立たもので,これには那年ぐらい前からマスク/レテイクル製作用

来値の10倍以上に高めたこと｡これには中珂丁場の人間ももちろん参加している｡̲上に使われるようになった｡リソグラフィー

央研究所が以前電子顕微鏡のために開発し場での第1号機も間もなく完成の予定で,技術がサブミクロンの領域に進むに従った技術をん㌫用している｡700D/700Mの電,88年早々顧客に納入される｡研究所,工場て,電子線によるウェーハヘの直接描画も子銃とは全くタイプの違う電子銃である｡

行われるようになっており,ますます電子

第二は,ビームの偏向方式を従来の二段偏一体となって,なおいっそうの高速化,高精度化を目指していきたい｡+

線描画装置の重要性が高まっている｡当社

向方式から三段偏IもJ方式に変えて,ビームは既に量産用の電子線描画装置として最小
線幅0.5llmの描画を■叶能とするHL‑700
追徴細電子線描画装置

D,700Mの2機種を製品化しているが,700
1〉∨怒デ÷ニ

Fの登場によって,厳に強力な布陣となっ1+1なた｡海外からの引き合いも多く,当面は研究用の需要を期待している｡+

熱≡㌔

一最小線幅0.1トLmというとどの程度の高集積化が可能になるのか｡

顔瞥1やろききく､ぶ顎￣￣｢メモリでいえば,1Mビットが1.3l⊥m,
4Mビットが0.8ドm,16Mビットが0.5∧ノ良ぎー二
棄､争

頂磁ま

之

裂彰

̲

く1ゝごミラ言さ肺…さ≠三ま〜てさ,三≡妄､‑とと･て三∧‑ン

成一̲Ⅶ‑▲

m三三
対̲芳くi｡,求岩ミ
く̲タ誘く

声甲

￣慧く㌘鍔憮､ごアヤ〆も 鷺
環

ドmとされている｡0.1トLmは256Mビット

から1Gビットに対応するレベルだと考え
16

き鉱賢…W慧盗∴ジ写ン嚢≡.三や済ヨ打撃̲‑㌧‰+′ご′∫i

藤∧′∵し.】.h̲㍉ジ々く､≡