Stripe™ CDG100Dhs - 100°C (F.S.R. 0.1 ... 1000
Torr / mbar)
Stripe™ CDG100Dhs - 100°C - Smart Inside, Fast Outside

Stripe™-Hochgeschwindigkeits-Kapazitätsmembran-Messgeräte von
INFICON sind die schnellsten hochgenauen Vakuummessgeräte auf
dem Markt. Mit Ansprechzeiten von weniger als 2 ms eröffnen sich in
Verbindung mit der EtherCAT-Feldbus-Schnittstelle vollständig neue
Anwendungsmöglichkeiten. Der bewährte, temperaturgesteuerte,korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet
hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste
Nullpunktstabilität. Das Stripe-Messgerät wird mit INFICONs
patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor
unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Das INFICON Stripe
nutzt ein innovatives Heizkonzept, dass eine berührbare Außenflächegarantiert. Die hohe Geschwindigkeit ermöglicht eine beispiellose
Produktivitätssteigerung, die es zum fortschrittlichsten Vakuumgerät
seiner Art macht.

VORTEILEnHohe Produktivität – Ansprechzeit unter 2 msn

Flexible Integration – EtherCAT-FeldbusnLange Lebensdauer – Bewährter KeramiksensornNachkalibrierung praktisch eliminiert – Vollskalenstabilität von 90ppm/Jahr

1Stripe™ CDG100Dhs - 100°C (F.S.R. 0.1 ... 1000 Torr / mbar) - Stripe™ CDG100Dhs 100°C - Smart Inside, Fast Outside

BESTELLINFORMATIONEN

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Stripe™ CDG100Dhs - 100°C (F.S.R. 0.1 ... 1000 Torr / mbar) - Stripe™ CDG100Dhs 100°C - Smart Inside, Fast Outside

TECHNISCHE DATENTyp1000 ... 500 Torr /mbar

200 ... 1 Torr / mbar0.5 ... 0.1 Torr / mbar

% of reading

0.2

0.2

0.4

percent FS/°C

0.00250.00250.005

auf Bereich% of reading / °C

0.02

0.02

0.02

Druck, max.

kPa (absolute)

400

260

130

Auflösungpercent FS

0.003

0.003

0.003

Niedrigster messbarer Druck percent FS

0.01

0.01

0.01

Niedrigster empfohlener
Messdruck

percent FS

0.05

0.05

0.05

Niedrigster empfohlener
Steuerdruck

percent FS

0.5

0.5

0.5

Genauigkeit (1)Temperatureinfluss
auf Nullpunkt
Temperatureinfluss

Temperatur
Betrieb (Umgebung)°C+10 … +50+10 … +50+10 … +50

Ausheizen am Flansch°C

≤110

≤110

≤110

Lagerung°C–20 … +85

–20 … +85

–20 … +85+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)

Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Während Aufheizphase

W

≤16

≤16

≤16Bei Betriebstemperatur

W

≤11

≤11

≤11

Ausgangssignal (analog)

V (dc)

0 … +100 … +100 … +10

Measurement rate

kHz111Ansprechzeit (2)ms

2 ... 20

2 ... 20

2 ... 20Signal processing time

ms222

IP 30

IP 30

IP 30

Schutzart
NormenCE-Konformität

EN 61000‑6‑2/-6-3, EN EN 61000‑6‑2/-6-3, EN EN 61000‑6‑2/-6-3, EN
61010 & RoHS
61010 & RoHS
61010 & RoHSETL-Zertifizierung

UL 61010‑1, CSA 22.2 UL 61010‑1, CSA 22.2 UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1
No.61010‑1
No.61010‑1

SEMI-Einhaltung

SEMI S2

SEMI S2

SEMI S2

Elektrischer Anschluss

D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

SchaltpunktAnzahl Schaltpunkte

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TECHNISCHE DATEN
Typ1000 ... 500 Torr /mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

V (dc)≤30≤30≤30A (dc)

≤0.5

≤0.5

≤0.5

111Protokoll

USB

USB

USB

Lesen

pressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID

Einstellen

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

Werkstoffe gegen Vakuum

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Inneres Volumen 1/2'' Rohr cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Inneres Volumen DN 16
ISO KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Inneres Volumen DN 16
CF-R

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Inneres Volumen 8 VCR®

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Schaltpunkt
Relaiskontakt
Schaltpunkt
Relaiskontakt
Schaltpunkt
Hysterese

percent FS

Diagnostik-Port

Inneres Volumen

Gewicht
Gewicht 1/2'' Rohr

g

837

837

837

Gewicht DN 16 ISO KF

g

852

852

852

Gewicht DN 16 CF-R

g

875

875

875

Gewicht 8 VCR®

g

897

897

897

EtherCAT
Protokoll EtherCAT

protocol specialized for protocol specialized for protocol specialized for
EtherCAT
EtherCATEtherCAT

Kommunikationsstandards

ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
DeviceDeviceDeviceProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
Device Profile:
Device Profile:
Device Profile:
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge

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TECHNISCHE DATEN
Typ1000 ... 500 Torr /mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

Knotenpunktadresse

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

Physikalische Schicht

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

Digitale Funktionen gelesenpressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID

Digitaler Funktionssatz

set points, filter, zeroset points, filter, zeroset points, filter, zeroadjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset

Mailbox (CoE)SDO requests,responses andinformation

SDO requests,responses andinformation

SDO requests,
responses andinformation

Prozessdaten

Fixed PDO mapping
Fixed PDO mapping
Fixed PDO mappingand configurable PDO and configurable PDO and configurable PDO
mapping
mapping
mapping

EtherCAT-Stecker

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

Kabel

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higherm (ft.)≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)

ms2

22

EtherCAT
Kabellänge
EtherCATSignal processing time(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C
Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffektenach 2-stündigem Betrieb.(2) Anstieg 10 ... 90 % desSkalenendwerts

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ABMESSUNGEN

www.inficon.com

reachus@inficon.com

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