電子超顕微鏡の試作ミニれに閲すろ二三の賓験

内

容

梗

只･一

野一

自

紳

文

哉*

毅

概

電子幾何光学の所産たる電子超郎徴顔は､最近燭逸に於て数十萬倍の倍率を有するものまで製作きるゝた至り､徴税的世界の探究に偉大なる貢献をなしつゝある｡日立製作併に於ては本研究の重要性に経み､その性能向上及び襲用化を日榛として､一両年前より試作安藤を開始し今日に及んでゐるp然るに本年初頭よ■り算鹸が進行し､第十八乃妻
帯二十囲に示す如き二､三萬倍程度の像が得られる様になつた｡これを横倉に第一回試作品の構造大要､■並びに二三解像熊に関係する事項につき箕臆せる結果を報告することゝした｡
一本報骨に於ては先づ寝顔後産の性質と題し､主として鞠逸に於て発展した超顕微鏡理論の大要を紹介した｡そして超顕微鏡の牧差は槍鏡試料(以下単に試料と云ふ)に投射せらるゝ電子線の開口角(コンデンサ開口角)に至大の関係を有することを明らかにし､電子放射部の硬計方針､コンデンサレンズの使用法を指示した｡次に試作超顧徴餞わ構造に移り､各部の配置並びに作用を説明し､通常と思はるゝ電子放射部の寸法を掲げた｡電子レンズは超原敬鐙のγ

心嘩部に相嘗するものであるが､書々はこれに?いて殆ど箕験賓料を持合せてゐない｡これまで判つたことは磁極の孔樫と極間隔を略等しくとり､孔樫をl〜3mmとしてパーメソデュールを磁極の材料とすれば､焦新館離ヨ.5〜10mmのレンズが得られ襲用に供し得る.ことである0第三に超顧徴鏡仁於ては色枚差の見地から晋歴加速電歴の欒

一L二

郵を原電歴に射し･10‑4程度に安定化せねばならぬが､これについ七は脈動電塵中和装置及び電源電歴日動安定装置を考案し使用してゐる｡これらは何jtもラジオ用受信球を2‑3箇用ひたもので､大ききも家庭用ラジオ受信棟桂皮に納つてゐる｡第四に試料作製法につき書々の取扱つた趣く狭い範囲の問題を簡単に述べた｡試料作熟ま超願後席研究問題の重曹事項の一つで､今後も算段を重ね手技に頼達することが必要であるb節五は新教鏡の分解能に影響を及ぼす要象の中､主として外部的の原因仁よるものについ七箕験した結果を記述した｡そして超斯徴錬の機械的振動が何にも増して悪影響を持つものであることを指摘した｡

以上に述べた第一回試作品は本格的な超顧微鏡を作る?に必要な基礎賓料を得るために製作Lたも.ので､構造は極めて衝撃であるが算用上不便な鮎が妙なくない｡そこで算用の鮎を重税して新年設計したのが第二回試作品である｡
ご水/は日下日立製作所戸塚工場に於て工作中で近々完成の見込である･｡(*日立製作併､中央研究所)〔Ⅰ〕緒得られる0この電子線に電子レンズを作用させ､粗密の彩の像を言結ばせて蹟大儀を得る型の額徴鏡である｡透過型超顧徴鍬ま電子

電子幾何光学の急速な蟄達により､最近掲逸に於て3mm程度の分解能を有する電子超顛徴鏡が製作さる+に至つた｡彗に超顛気型と静電型とがあるがこ.‑̲＼では専ら磁気塑について説明する｡

徴鏡こそは､細菌嬰､コロイド化畢､金属組織嬰､､椒雄二翠等を

第一圏は光翠顛後鏡と磁気型超顕微鏡との翳比臥■一第二囲ほ日

新たな■る領域に異聞せしめんとするものである｡
｢■きへ＼
ヽ払ノ

レンズとして磁界を使用するか､静電界を使用するかにより､磁′題額徴鏡を聾尉化するに嘗つて問題となる熟ま､高倍率の電子立製作断に於て試作し普除中のものである｡第二園の超鞍徴鍬ま笠井博士自ら設計に嘗られ､多忙なる日常にも拘らず､急逝されレンズの設計∴製作､高虞巷技術及びその取扱を容易ならしめるる直前まで筆者等を指導されたのである｡本文に入るに先立ち､ための精巧な機械的構造､安定な陰極線を放射するための電子放博士の璧に封し深甚の謝意を表する次第である｡

射袈菅及び加速用高匿電源､襲光能率高き螢光物質等である0斯〔Ⅱ〕超額撒鏡の性質

くの如く電気､磯械､､物理及び化撃の近代的成果たる本装置を急J■一連に寛用するにほ､一研究祈叉ほ特定の問題を専門とする小人数の研究者を以てしてほ到底目的を達し得ない｡

一

書が園に於てほ昭和十四年日本畢術振興脅に於て長岡牛太郎先生が題額徴鏡の必要なることを強調されたのに應じ､日立製作所
研究部長故笠井博士等が主唱され第十常置委員昏内に第三十七小(1〕顕微鏡より超蘇織蔑へ

オランダの眼鏡畳Jannsen等が初めて二段環大の光畢顧徴鏡を作つたのほ1590年と云ほれてゐる?19世紀の中噴に至つて光撃額徴鏡の倍率を略1,500倍以上に上げても無駄で何等新ら■しいものを観測し得ないことが判つた｡.
これは周知の光の廻折原理に基くもので､見分け得る二難問の要員曾が結成され､廣く各方面の研究者を集めて研究事項を分謄 距離を∂,照明用光梯の茨長をん封物鏡の開口数をαとすればし研究の促進を圏つてゐるも日立製作駅に於ても戯上の趣旨に基

1∂=

き本委員昏に参加し性能向上と製品化を目標として試作研究を開J始した｡･
故に報告する電子題額徴鏡は透過型のものせある｡即ち槍鏡せんとする物醍(以後単に試料と云ふ)を､電子線の透過を許すやうな薄際､例へば厚さ10‑20m/上のコロヂウム膜上に載せ､一

告………･･∴……‥=…(1)

分解能￣･2αで輿へられる｡即ち顧徴鏡の分解能は翳物鏡の開口数に比例し､使射光練の波長に逆比例する｡もし拍浸式の場合の貴大のα=1.4
を用ひれば
｡

j

の=う二百

方向より高速度の電子線を以て照射すると､物性の質量と厚さのとなる｡このことは光線の汲長の約好程度の間隔にある二粘を見分布状態によつて決定される粗密の彩どりを受けた透過電子線が分け得るのが光撃顆徴鏡に於ける分解能の極限であることを示し

432

立

･昭和十七年八月

論

評

第二十五巻

第八鰊

､顕微鏡の電子線通路を示せるものである｡電子源としてほは熱陰
極が用ひられ､その周りに負電匪を輿へたウェーネルト園筒
電子源一･ニ･･一･一光源(Webnelt

コンデンサ.レン.ズ

Cァ1inder)があって電子線を集束し､陰極の直ぐ近くにdminなる最小直径のところが出来る｡電子線ほコンデンサレ

稔戌試料

ソズに封しαβなる角度で投射されるが､このま†でほ嬢散し過ぎ試料に入る電子流が少なくなるのでコンデンサレンズに電流を‑･‑封物レンズーー

通じ､集束して試料のところの電子流密度を増加する○コソデγ

サレソズに電流を通じてゐないときほ､試料上の一耗Pが電子源

中同便に対する陳口角(Kondersator墜￣

apertur〕d∬ほ最小となり約10▼4の程筐である｡しかし普通はコソ.デソサレンズ一子電流を通じqg
聖10･3程箆で使つてゐる｡̀Z∬を増せば試料上の電流密度ほ増しll

像は明るくなるが､後述の如く球面収差を著しく大きくするので
￣→一路像

l

α止3×10‑3以上では使はぬ方が宜しい｡

【

/界一国

αs

光学顧徴鏡と電子顕微鏡との比較

dmin

ヾ

r･一二■
l

+̲̲+

コンデンサ.レン久一

2α上

夢二固

顧箇
封物レンま‑

試作蹟型電子超敬顧鏡(全長1.9m)てゐる○例へばス=550m/′(緑色)の光を用ひれば∂聖200m/ノと
なる0

t面

一

然るに汲動力蓼により電子の汲動性が認められ､E〔束ルト〕に節三園加速された電子の班長ほ磁気塑超顧徽鐙の電子緑経路(Rus如原囲)ス=〆晋×叫∴‥…‥…･‥…∴‥:(2ヲの場所によつて密度γと厚さ∬或はその積γズ(Mass｡ndi∠k｡)が一超顛徴鏡像のコソトラストは､緒言でも⊥寸鶴れた様に､試料で輿へられるから相違してゐるため電子の或ものは素通りし､或ものほ吸収され､

0･1m〝

E=150V

では

E=80kV■

では0･0042m/J①

又或ものは遠蟹損失を受けて散乱することカ､ら起る｡廣角度に散となり､■光の班長に比して著しく短いものである｡故に数蔑Ⅴで 乱した電子線はレソズの球面収差のため､像面に達しても通常な加速された電子線を光線の代りに用ひ､光翠レンズの代りに電子像戟に焦粘を結ばないで､単にコントラストを悪くするだけであレンズを使用すれば､分解能り高い電子好機鏡を作り得る澤であるから､封物レンズの機械的絞りBで取去つてゐる｡機械的絞りる0の開口角α0月は0.01¶OJ程蟹であつてα0月≫α方が普通である｡

斯る考への下に瓶逸のM･Knollがベルワン工科大嬰に於て電α0〝と傷のコントラス.トの関係については､B･Ⅴ･Bbrries及びE･

子額徴鏡の研究を開始した｡光畢顧徴鏡の護達に偉大な足跡を残Rus!はが重要なる寅鹸q)を待つてゐる｡与れによればα∬=10‑3

したAbbeが旭78年の公開演説(bに於て｢兎も角賓々の今日有つ→定とし､α0月=0･01のときよくコントラストがつ†､てゐたもの
が0.032 でほ稗不鮮明となり､0.31では著しく悪くな■る｡′

知識から推すと否々の統覚の達し得る限界ほ光の本質によつて限定されてゐて､この限界ほ今日考へられる如何なる科畢的武器をコントラストは又電子疎遠敷こ至大の関係があつて､速度を上乍

以てしても打勝ち得ないのである｡只天地の間にほ否々の現在のl≠れば密度､厚みの大きい物質も一よく透過する様になる｡京大撃知性の夢想だにもし得ない多くのものがあつて､多分将来ほこの翠部木村､東南氏の研究〔4)によれば､多くの場合問題とな￣る厚み

制限を打破ることに成功するに至るであらうと考へて自ら慰める

0･2〜.2′〃の細菌でほ､加速電匪50kV以下で内部構造の見られ/⊥だけである｡又必ずこれは寛現するに至るであらうと信ずる｡然るものは殆どなしご0更に高殿を用ひる必要があることを強調されしその新器械は多分その名前以外は現在のものと共通する粘はなてゐる｡今日瑞逸では2ZOkV(ののものが作られたとの報告がある｡

いであらう+と云jl預言的意見を襲表した0この新器械が電子超新教鏡で､1931年に命名せられ一切釆一掛こ用ひられてゐる0(2)(3〕牧羞と分解能

透過型超顕微鏡の像の鮮錬度､即ち分解能を制限する収差に球面収差､廻折収差､色収差､擾乱磁界その′(2)電子線の経路と健が形成される群構

他の収差がある｡qlaserの理論的研究(6)によれば､回韓封稀電界及第三囲ほ磁気型超2

433

電子超繹微鏡の試作とこれに関する二三の賛験
ノr■び磁界レンズは色収差の外に光嬰レンズに現れる経べての収差がd丘=加速電匪の欒動又は封物申に於ける速度低下起るb即ち球面収差､非難収差､コマ､傑の鸞曲及び歪曲である｡』〟=新物レンズに於ける磁界張筐の欒化

イ=封物レン女の焦熱距離

電子レンズは光畢レンズに比し､収差は格段に大きいのであるが､今日まで収差の修正を待つたレγズほ超額徴鏡に使用されて電子線が物質を透過する際渡速され色収差を生ずるが､これほゐない｡収差の量としては物醍上で分解することの出来る二艶聞

加速電匿と共に欒化するoLenardを羊Al及び客気に就て最も確の最短距離∂を以て表してゐる｡

からしい相封的速度損失の賓測値を得てゐるが､題額徴鏡に関係(9)ある様な原子量の小さいものに於ては速度損失ほ質量に比例して光畢に於けるAbbeの理論に封應して(A)廻所収差∂月

題額徴観でほαoJ7≫α∬ならばゐる乱Ⅰノenardの値を任意の他の密度のものに換算することが出来る｡.即ちAlに於で求められた値を密度･厚み(Massendi‑

ス∂月=÷=‑前㍍cke)(γ･わ1に換算し､それから窒際に用ひられた試料の密匿･厚みを夷じ､任意の物質に封する速乾損失を求めるのである0零さ'度γ(わ厚さdr上のAl箔に裁ての相対的速度損失』耳βを測定しそれを†一｡･〃αで除し､加速電匪のみの歯数月(!J)を得る0さうす
入射電子線

れば密皮γ,厚さ∬なる他の物質内の速度損失ほ次式で輿へられ
る0

回

.′

料)

晋=的)･r諾……………･…‥,…‥…(7).Jl｢.ア折折(試
l

Il

α打

α8

B.Ⅴ.Borries及び且̀良uskaがAlに就てLenardが得た値を

打Ⅰ

⊥̲一

8β

密箆･厚み1に換算した月て〟〕なる歯数ほ第五圃(10)の如くである0
仁一▲仁一

第四囲

格子常数dなる格子による電子線の回折(Ruska膵囲)50.0

ス

第四囲の如く縞状椅子から成る試料でほ伽聖sinα月=盲￣

で

20.0

＼

10.0

＼

＼

琉5･0

あるから､廻折による収差ほ次式で輿へられる0･

∈盲2.0

､‑/

0〟=

α∬＋ス/d(B)球面収差∂∂/へ1.0
コ‥‥…‥‥‥…….…‥(3)､･JO.5亡q0.2

磁気型レソズの球面収差は非常に大きく

0.10

そのために2×品‑3桂皮の小さい閃きの電子線を使つても像が不鮮明になる｡球面収差についてほ多数の理論的研究がなされて居が著名である0150

200

電子株電歴と試料中に於ける速度損失の開頗(Ruska原囲)(7)

B.Ⅴ.BorriesとE.Ruska

よつて試料中の速度低下による色収差∂βほ次の式で興へられの研究によれば球面収差を計算する￣○るために､二つの異つた場合を区別する必要がある0〇1￠0｡加速電塵(kV)

節五国り､特にW.Glaser,0.Scherzer,我が加藤､井上の諸衰の研究

50

第一の場合はα〝>伽なるときであづて∂∂=C･￠｡3∂｡≦昔九=叫)･γ納=だ･α0……

Cほ常数∴‥……････‥‥…‥‥･(4)第二の場合はα∬項年月

例へばγ∬=10‑4(γ=1,∬=10￣4mmの有機物の試母)で/=2

で∂る=8C･α月2α∬mm,g=50kV,α0=10‑3とすれば､βは(〟〕第五固から約5で‥…‥…(5)あるからである｡Cの値はレンズの作り方で異り磁気型レンズで約1,500∂｡言5×10￣4×2×10￣3mm±10￣6mIn=1m/J程度である｡(C)＼邑収差∂cとなる0■

これは像を結ぶのに用ひる電子線の速度が以上述べた廻折収差､球面収差､色収差を対物レンズの開口角‑て様でないために生ずるのである0電子線速度の不均一ほ､互に関係のない種々の原因によつて起る･もので､電子を加速するため

吼に対して表せば第六固の如くである0筒α0は(1‑3)×10￣3のに用ひる直流高竪琴動並びに脈動､電磁レンズ用励磁電流の欒動範囲で使ほれてゐる0(4)優魂矧菱(Tiefensch昌一fe) 対物レンズの無駄距離を一

電子瀕より出る電子初速の不揃､試料中に於ける電子速度の低下

定として置いて､試料を光軸の方向に距離dαだけ移動したと等である｡最初の二つほ技術的問題で色収差を無嘗の程度まで低下する横これらめ装置を設計せねばならない｡後の二つほ避け得 き､間隔∂にある試料上の2点が象面に於て分離した俊を作ると一⊥､すると､dα/∂を像の深度と云ひられないものであるoW.Glaseての計算によると磁気塾対物レンズに勤しては次の様

r･=空聖̲】L.
0

にたる0

αl卜

…イ9)

(11)

で輿へられる0
例へばα0=10‑3,￣∂=10･6mmであれば､』α=10￣3,r=1,000で∂L･≦(昔‑2･晋)巾0……･‥∵…‥･(6)
滋にある｡これに封し光嬰爾後鏡に於てほrが1とか2とかの程度でE=電子加速電医
言i

434

日

昭和十七年八月

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〔､ぶ2上に中間像のピントを合せる0投射レンズの電流を所要の値に調整し､終傑を見ながら再び封物レソズ電流を加族して終嘩

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10￣:
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を動かして電子線の方向を欒へ､丁度Slの中心を照射する様に

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蔦匡を据影するにほ先づコソデソサレンズの位置調整用螺子D

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ルム〔ブロニー12枚撮り〕Pが装架されてゐる｡

1

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革lげ

ふこれを終像(End叫d)と云つてゐる0亨3の背後にほ鴬匡フイ

調整するのに用ひてゐる｡最下部の長い金物Jほ定盤である｡

＼

0■

夢八辣

Hは顕微鏡の未払を支へる支持室で,同時に各部の相互位置を

J

/

第二十五巻

射レソズCpにより再び横大され､第三の螢光膜̲S3上に像を結■歪･〜'廷

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論

評

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2

3

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倍率のピソト̲を合せるのである0最後に螢光膜S3を外部より把

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45

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10▲,

345

手で回してS3′の位置に倒し､フイルムを露出して寓転を撮影す

10▲l

封吻レンス･の閃き角α｡

る｡撮影時間は1〜3秒である｡
次に主要部分の構造を詳説する｡

麹折､球面及び色牧差と封物レンズ

第六固

開口角(α0)との関係(Ruska原園)(1)￣電子放射部あるから､超顛後続ほ光嬰細微鏡に封し数百倍もの傑度を有する

この貿験を初めた頃埠､電子瀕に陰極線オシログラフと同じ構造の冷陰極放射管を用ひて勾たが､放射電子ことになる｡

ヾ.流が砂ないのと不安定なため偵用を断念した｡次で熱陰極放射管

この性資を利用して容易に宣建窯眞が得られる｡即ち試料を封 について預備貿殴を試み､第七圏左璃に見られる様な構造とし物レッズの軸に封して両側に5〜150傾け､同じ場所の賞瞑を2枚た｡電子瀕は開き角の小さい､■而も視い電子流を放射する如きも浸ればそれが一組の宴饅寓虞(】りとなる▼｡､̲.̲.+

Wehnelt園筒､陽極､保護囲筒Sの配のを要するので,̲緻臥置､寸法等が問題となる｡〔ⅠⅠⅠ〕試作超顧徴鏡の構造

現在使つてゐるのはW‑Sの間隔7叩り,W‑Kの間隔12mm

第七圃ほ日立製作所で試作した横型超顧徴鏡の断面固である｡

W及びKの孔2mmである｡絨條Fは0.2mmの酸化被膜白金線

全長約1.9mで各部は上下及び左右に調整出来る支持棒によつてを用ひてゐる｡

定盤上に支へられてゐる0左端より電子放射部､コンデンサレッ
ズ部､試料窒及び対物レンズ部､投射レンズ部､カメラ室の五ベロrbl及び螺子dlほ繊條と陽極孔の中心を合せるためのものである｡この放電管ほ硝子で絶殊してあるのと､内部の眞峯が十分上らぬため､

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常用42.5kVとし

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ズC,は電子を集束H】

魔すると同時に方向喝ク

め調節も利く摸そ$の面を光軸に勤し
第七囲て少しく萱撃へられ

横型電子超常飲鏡構造圏̲(全長約1.9m)

る様になつてゐ部分に分れこれ等は互に可摸ペローを中介として接続されてゐる｡(2)℡磁レンズる○

熱陰瞳フィラメソートFから放射された電子ほWebnelt圃筒W,

電子線徴鏡の試作に嘗つてほ電磁レンズの設計が一番難かしかつた○陶磁用操輪のア.ソペア巻数から､磁極片の形状､寸法に至るまで不明のところ多く､現在に於ても倍種で集束せられ､W及び陽庵K間の静電場で加速されて陽極孔より

高速茸電子線となつて飛出ナムコソヂソサレソズCは電子線の塘々試作室験中である｡現在使つてゐる鵬の形状は第八囲の通り
がりを小さくし､試料を強く照射するためのものであ右｡電子線
で､斜線で示してあるところは軟軌砲は眞魚を用ひてゐる｡碍極
が試料を照射してゐるか否かほ､その直前にある螢光惧Slで見らの尖端は高磁束密度に於ても極端な磁気飽和を起さゞる様パーメれる｡Slの中心にほ直径約2mmの小孔があつて,これを通つた

ソヂュール(50%軟織､50%コバルト)を使つたが琴果の程は明

電子線は試料支持蔓(Objekttr邑ger〕0に支へられた試料を透過

らかでない｡相野向する磁極の間には虞銀製の絞り板(blende〕

し､封物レソズCoで購大され､第二の螢光隈S2上にその像を結があつて､その中心に約0.1mmの孔があり､球面収差を淑少さぶ0これを中間像(Zwischenbild〕と云つてゐる｡S2にはSlと同せると同時に廣角度の散乱した電子を遮つて優にコントラストを様中心に2mm霞の小孔があり､電子線の一部はこれを通つて投･つける役目をしてゐる｡
4

⊥､

435

電子超顛裸鏡の試作とこれに関する二三め葦験
甥確蕗

せ社格

生せしめて〆隊茨形た脈動電塵に封する封地インピーダンスに比し七小さくある様

臣㌍

な値でなければならぬ｡箕験の結果整流電匪50kV,負荷電流2

声触痛片

Å蘇詳細閉

威名

彩午杉ク#糊A≡勿mA,奉滑用事電器容量0･35岬に於て､中和袈琴を使用せざるヰlFd.と￣きの脈動電匪ほ83V(1/600)であつたが､これを動作せしめる
ことにより最大振幅2.8V(1/18,000〕に低下し得た｡

数喜〃γ彬#冴ク按

止孔,
一l

l

第十固は電源電匪の攣動に幣する軍(2)電源電堅安定回路/■

医安定由路である｡整流された軍歴を抵抗分匪辞Rl,Rl′で分医l孔加獲ねぢ

節八囲を中和する｡r3の値は端子3から2の方向に見し､これを直流増幅器4で嗜幅して電匪調整用虞奉管Blの制御
格子に加へ電監諷整をなさしめるのである｡侍Blと並列に接続

封物及び投射レンズ用磁極片の構造

磁魔の孔霞￠,間福dは､収差､焦粘距離尊から吟味を要する

した蓄電器C3【1欒挺器T､の高匿巻線の対地静電容量により､Bl

ところであるが､M･Ⅴ･Ardenne(13)に従ひ￠=dとし､封物￣?

Tソズを￠=3mm,投射レンズを￠=1mmとした0レンズの無駄距離ほ加速電庭50kV勝磁線輪のアンペア巻数3,000に於て､封物レソズが9mm,投射レジズが3‑4m血であつた｡

C.

々Ⅰ

G

60′､t醸巌

相対向する磁極及び絞り孔の中心が外れてゐると非数枚差を生ずる原因となる｡第入園の構造でほ絞り孔の位置を磁極の孔に封

R

々1一

Al

して動かし得る様になつてゐる0

第十画〔Ⅰサ〕電子加速電源

電源電歴安定回路

端子に現ほれる交番電匪分を抑へるたあに必要なものである｡次一磁束型超顛後続に於ては加速電匪の欒動に基く色収差を避けるに交流電源側の電匪欒動が数%である場合直流電匪の襲動を10‑4のことに裁ては既に[Ⅱ〕葦〔3〕項の(C〕に於て嘩べたと与ろで､程度に抑へるたあにほAIBlの絵合増幅率をいか樫にせねばならために､電監の欒動をなるべく小さくすることが要求される0こ

加速電魔の攣動による色収差を̀∂｡,加速電匪を毘攣動電匪の大ぬかと云ふことについて考へて見る､0先づ簡単のためC3=0と仮きさをdg,対物レソズの焦粘距離を八開口角をα0とすれば(6)定するご
第十一団(1)ほ攣動電魔のみに対する回路である｡園に於て整

式より

∂｡≦晋九
で輿へられる｡今′=5mm,α0=2×10￣3に於て∂β=1m/′を得

流電鮭Eがdgだけ欒動すればこの欒動電塵ほ増幅器Alを経てるにはdE/gは10･4となり､電匪欒動を0･01%以下に抑へるこ

電匪ほ且十Jβとなる0今Al及びBlの綜合増幅率を〟としJ又盛宴管Blによつて調整せられ､￣負荷抵抗Rl■十Rl′=Rにかゝるとが必要である｡

た電匿の攣動には､整流回路の脈動によるものと､電源電匪の欒動に基くものとがある｡雨着を一つの装置で安定化するのが望ま舟lC3しいのであるが､脈動電匪ほ極めて早い電匪欒動であるのに勤し̲1̲̲̲‑̲

電源電匿に基く欒動ほ比較的緩慢であるので賓現性に乏しい0吾

巧1

々

E＋Jゼ

望Jg
A】

舟l

∬1

々ほ次に述べる如そJ脈動電匪と電源電匪の欒動とを別々に補償
夢十一国弊動電塵に対する等慣回路

第九圏は本襲置の原理を示すもので(1)脈動電空中和装畳ある｡第九固〔1.〕の回路に於て､平滑用蓄電器Clの充放電により抵抗分匿希の分匪比Rl/Rl′をとすれば､Bdeである｡又増幅誰がAl及びBlを含む眞室管増幅特性の直線部分に於て動作するものとすれば欒動部分に封し､■次式が成立す

一二等
C,

中計直流t髄+

g一′

るo

G

充 宅 回 払叩8爪

23

dedE一昔』β
月
月十月α

払

￣

杓4

ん

β3

滋にRαは眞塞管Blの内部抵抗である0然るにR≫R作である

‖=
(2)
￣

第九囲

から上式は一脈動電匪中和回路

叫晋確⊥1)‥…+‥=‥･

絹子1.2間に現ほれる脈動電匪e′と同一汲形､反封極性甲脈動電
̲+＼

12)

(1)

するやうな回路(14)を組立てた0匪e〝を端子3.4間に加ふれば､〆ほ中和せられ､端子声･6問にほと辛ける｡(10)式に於てd耳/別ま電源電匪の欒動に′串る整流電匪

脈動なき電匪を得るととが出来る｡これを寛現するために第九園の攣動であつて大きく見ても0.1以下と考へてよい0又dg./即ま(2〕の如く､端子5.6間の脈動電匪を0･01/′Fなる蓄電器C2を

超感激鏡電源の許容電匪欒動であつて10￣4とする0乃=凡/凡′ほ通じてR3端子に導き､UY‑33球2段埼幅器A2を通じて電力増

1が程斐であるから

幅管82(UX‑2A3)の格子に加へ､陽極抵抗r3に脈動電匿eを護5〃=1ぴ(憲一中1ぴ

436

日

昭和十七年八月

立

論

評

第二十五巻

第八統

即ち増幅率を106程度に上げれば電匪の欒動を10￣4琴度に低下し‑0･1mmであることが望ましいが穿孔が面倒である｡
得る筈であることが知られる｡･而して月1にほ交香電匪の琶匪攣(1〕剥莫附昔法孔につける薄膜はコロヂウムが通常してゐ動に柏督する電匿が印加されることを考へて置かねばならぬ｡吾る○薄いコロヂウム膜を作る方法は古く●w.Treuktrogにより､々の場合直流増幅器AlとしてUY‑32球2段抵抗増幅とし眞垂管近くはE･Ⅴ･Angererによつて考案されてゐる｡試料固定用コ

BlにはUY‑511Bを用ひた｡増幅韓第1虚の格子に0･42×10‑3Y

ロヂウム膜の厚さは10‑20m/+が通常である｡､の攣化を輿へたときBlの端子電匿は600一800V欒化したから､放て

前記の綜合増幅率〟は108倍以上になつてゐることが知れる｡』∬ 膜の焦さmm

以上は第十圏の電匪安軍国路に於てBlと並列にある蓄電器

乃1コロヂウムの量g

C3を閑却したゝめ､電匪調整が瞬時に行ほれ′ることになるが､Slコロヂウムの比重(約1ぷ)

寛際ほ(0.5‑2)〃Fの容量が入るので遜應的に動作し得ない｡こ鞄

酪酸アミ丁ルの量g

れに裁ては既に詳細な考察く】4)をしてゐる邁‑り電源電匪が約7ク∠急 ちβ欒したとき､短時間10￣4程変甲電匪欒動を生ずる程度で問題にな

酷故アミールの比重(約0.鮨〕

らない｡

琵シャーレに落すコロヂュームの溶液の量c汀13

〝7

とすれば

加KQ
lqOV

dガ

C戸0.35pF

G

60〜

シャーレの直cm

‑G
G

50M￠

81
Å1

A2

C▲

G

Il

50M企

遜

脈動電歴中和回路と電源電歴安定【欝十三固

脈動電匿中和装置又は自動電匿安定装置の何れか一方のみが働

昔＋環‑

であるから
叫Sヨ

40

血=∽･融訂･盲酔‥…….‥‥･‥……(10)となる0今コロヂウム1.5gを酪酸アミール100gに溶解するものとすれば上式は回路とを鉦合せた回路(C5.γ5は乱調防止回蜂)

Sl

汀か2

i軒■T=秒々き血2

些血〒0･1‑畏mm
吾々は直琵12chの容器を使つたからd∬=15m/上の膜を作るには0･02cm3(20mm3)のコロヂウム溶液を水面に滴下ナればよいことになる0然し実際ほ膜が水面全部に蠣がらぬから幾分滴いて葬る‑ときに安定であつても､第十二囲の如き接続として両者
下量を族らすがよtて0叉同じコロヂウム溶液を長く依つてゐるを同時に働きゝせると不安定になり跳躍携動を起し易い0この揖動
ほ電源電塵の欒動とか､￣増幅器セットの機械的衝撃などによつてと段々濃縮するので時々酪酸アミールで稀繹することが必要であ突然護生するが､固元の如くる○

Blの制御格子と脈動電匪増幅器第1段の制御格子とを通常なイソピーダソスを通じて結合すること(2〕試料固定連

試料固定技循は､超顛後続に於て極めて重によつて抑へられる0第十二囲の回路を用ひることにより羊場に 要な部門である0吾々ほこ̲れまでのところ主として無機物の粉末供給されてゐる60〜電嘩を用ひて､数分間の短時間ではあるが電 のみを相手とし､有機物細菌等は手がけてない｡
撃の欒動を(1〜2〕×10￣4に押へ､電源に関する限り何の心配もな
く彗験してゐる｡

無機の粉末の試料を作るには二通りの方法がある｡第一ほ粉末を密閉容器内で吹上げ､或時間経過した後､試料支持茎の膜面を〔Ⅴ〕橡鏡試料の作製(16)l

上にして容器内に入れ短時間放置して後攻出す○夢二ほ粉末を水出入れてよく振塗し､その水滴を細い白金耳の先へつけて､白金忘

細菌や激励を検鎖するためにほ先づこれらを国定する膜を作ら
耳を支轟垂画こ観れない犠に注意しつゝ静かに膜上すこ滴下する｡
ねばならない｡膜は電子光畢的に無構造であつて且透明であるこそじで30分〜1時間乾燥させる｡乾燥した後ほ粉末は相嘗張く膜とが必要である｡吾々ほ第十三圏の如き中央部に約0.2mmの孔に附着する0を有する眞鎗築試料支持葺〔Objekttr邑ger〕を使用し､与れに薄膜をつけ､その上に瞼鏡試料を固定してゐる｡支持垂の孔琵ほ0.05

膜上に於ける散布状況ほ倍率印〜200倍の顛徴簸でのぞき､若し密集し過ぎてゐたら超音波を輿↑るとよ■く散れること̲を経由た0

料

コロヂウム倶細菌の場合(16)は先づ固形培養基上の菌を蒸溜水に浮遊せしめ､相常高濃襲り菌浮遊液を作る0その一滴を白金耳に取り第二の方

試静電持碁法と同様にして膜上に滴下する9この際試料作製の途中に於て塵挨及び雑菌の迷入を避ける様周到の注意を要する｡〔ⅤⅠ〕分解能に影響する諸因手に関する千鶴/ノー

0.0$‑0.1叫￠孔

主なるものを列挙すると次の如くセある｡

0

しJ

夢十三囲

如何なる因子が映像の分解能に影響を及ぼすであらうか､その.s

几?･
試料支､持毒(A)外部的原軌こよるもの(a〕額徴鏡装置が隣械的振動を受けると像が動き不鮮明と

437

電子超顕微鏡の試作とこれに関する二三の賛験
なるとすれば(8)式より｡〔b)外部の擾乱碍界が電子線に作用し傾が動く■〔c〕加速電塵叉ほ磁気レソズの励磁電滞の欒動による所謂 である○

色攻撃

』α=忘￣

さて∂=2m/′,α0=2×10￣3とすればJα〒■10￣3mmとなる○試(B)内部的原因による､もの料支持茎ほ検鏡試料を取かへる度毎も羊出入れせねばならぬから毎(‑d)試料に放て電子波が廻析することたよる牧差〔e〕封物レソズの琴南収差及びこれに閲聯する収差回この様な精度で試料面を合せることほ先づ不可能に掛､0即ち(■.f〕￣試料及び試料支持膜内に於ける電子適度の減退及び分ない｡

この方法は螢光瞑上でピント合せをするとき?補助となるに過ぎ

散による色収差

この様に考へて来ると螢光膜上に明るい傑を結ぶこ￣とがよい

吾々は取敢へずこれらの諸因子の中､外部的原因によるもの即像を得るための必須條件となるが､それにほ蟄光能率の高い螢光

ち磁気レアズの陶磁電臥￣電子加速電匪の攣臥磯城的摂動及び物質を使ふことゝ､電子流密箆を上げることが先決問題である占外部の摩乱磁界の影響に裁て賛験を待つた｡内部的原因によ■る収超額徴鏡では硯軌螢上膜上の像の明るさ､籍虞乾板の寸法等差に裁ては目下葺験準備中である｡(1)串気■レンズの取磁電流の関係で､先づ数千乃至教萬倍の倍率の寓虞を取り､蕎面上の所

要部分を光蓼的に3‑10陪に購大して所要の部分を使ふやうにし

或特定の磁束レンズの焦難路離

ほ‑､電子線加速電盤とレンズの職蘭電流に左右される占従て輿へてゐる｡従て螢光瞑上の傑を直接肉眼で見たのでは不十分で､数られた加速電塵に勤して､レンズより一定の距離にある像面に最倍に境大して見ることが望ましい｡それには螢光物質を吟味せね

も健鏡な像を結ぶ励磁電流なるものが存在する｡

ばならなくなり､こゝに超顧後鏡用としての螢光物質研究の重要

ノ■l螢光膜上の終傑の明るさが十分ならば､先づ封物レンズの電流性が強調されろのである0を大幅に加減して投射レンズの前にある螢光膜上に中間像を結ばせ､次に投射レンズ電流を加減して所要の嬢大儀をフイルムの前の螢光膜上に投じ､この終像を見ながら封物レンズの電流を微細に調整してピγトを合せるのである0
ところが吾々の場合は電流密度が低いことゝ､螢光物質の護光■能率が悪いため終傷が暗くこの様な方法では十分なと訂ソト合せが出来なかつた｡それで投射レソズ電流を一定とし､封物レンズ電流を少しづゝ欒化し､その都度鴬虞を撮り現象した上でピントの合ふ対物電流を求めた｡第十四囲(1)〔2)(3〕は茸扱の一例で､投射レンズ電流ム=2Aを一定とし､封物レンズ電流をIl==1.85A
lβ1A,1.77Aに欒へたときの籍虞である｡略1.81A附近に最適電流のあるのが判る｡この様に或加速電厳に封してピソトゐよく(1)電子顧微塵の衝動3‑5/ノ(2)電子顧後産の振動1/′以下

合ふ対物及び投射レンズ電流を一度求めて置けば､これを以てピ
ソト合せの補助手段とすることか出来る｡￣第十五固

機械的振動と像の鮮欽定(2)礫械的振動の影響■本年一月中￣旬頃までに撮影した寛眞ほ､何れも像が或方向に流れる療に霜つ▼Cた｡(第十五圏(1)参照〕初めその原因を擾乱磁界の影

響と考へ､種々封策を講じたが全然利日がなからた｡
そこで夜間非常に静かなときを見計らつ七寓虞を授つた結果第十五圏(2〕の如ぐ相嘗鮮鍵な像が得られ､これまでの像障害ほ大部分摂動である羊とを確めた0

顧徴鏡の振動が､分解能の上にどの程度の影響を及
ぼすかについて考へて見る｡試料支持蔓と翳物レンズとの間の光軸に直角な相対的攣位を∂1,対物レ/ズ､
投射レンズ闇の光軸に直角な相翳的欒位を∂2,対物レノ(l)Il=1.85A(2)Il=1.81A(3)Il=1.77A(試料 酸化マグネシウムの煙)鱒十四囲

ンズの倍率をAlとすれ古ま､試料上で分解し得る二粘間の最小陸離∂〃は最悪状態に於て凡そ封物レンズ電流を妻欒へたときの像の鮮欽定

但し投射レンズ電流Ⅰ2=2A一定

∂町叫＋音

J

‥……:(11)螢光膜上でピント合せをやらずに動物及び投射レンズだけから で輿へられる｡即ち試料支持壷の振動が最も荷重でありこれに次上塊の億な方法で鮮錬な傑が得られるかと云ふとこれほ困難の様

で封物レソズ､投射レゾズ間の輯動が開港となる0この粘ほ超薪である0それほ〔Ⅱ〕茸の(4〕項で述べ.た像の漢度の考へ方から､分離して見分け得る二粘間の距離を∂,封物レンズのところに於後続の設計､据付等に注意を要するところである0ける電子線の開口角を吼,試料両の許し得る践離の不定さを■J〝固の如く脈動電庭中和装置と電匪安定装置とより成つてゐるから(あ加速電璽の挙動

7

否々の使用した電匿安定装置ほ第十二

438

日

昭■和十七年八月

評

立

論

第二十五番

第八浜

商用国政磁界によるものである｡幸なことに交流磁界に封する遮磁は直流磁界に比し桁違ひに効果があるので前記1/50遮磁に､試料､投射レンズ問を多少補強する程箆で十分であらう｡
屈徴鏡の周囲にとま電源用欒匪器を初めとして､虞容
ポンプ用電動機､ヒ一夕､各種整流装置用攣匿許があり､これ等の漂遊磁界は相嘗の値(18)に達する｡繭界によつて受ける傑の擾筒Lの程度を知るため､漏洩磁束の特に争い飽和欒匪器軒利用し､これを商機鏡の軸に直0,一角に種々の距離に置いてその都度寓虞を撮影し､且光21軸附近の磁界強度を､捜索線輪と整流器と検流計を用(l)脈動電塵0･12%(2)脈動電歴0.鵬%
夢十大固
脈動電魔

し三り脈動常盤lり.)1ヲちと像の鮮■鎗慶

ひて測定した0第十七囲ほその箕験例で､飽和欒医務■の位置及び検流計の振れ(光軸に直角な方向の張さ)を

後者を十分働かせて電匪の緩かな欒動を0.01%以下に邦へ､前者を調整して脈動電匪をそれぞれ0.12%､
0･05%及び0･01%の三段にかへて寓眞を撮影した｡第十大固(1),(2),〔3)がそれである｡この例によれば0･05%の脈動で既に傑の輪廓が不鮮明となり､0･12%では著しく悪くなる｡吾々の電匿安定装置は仇01%の安定筐が得られるので､今後他の牧草が除かれた場合に於てもこ?まゝで寅用に供し得る見込である○〔4)外き帽乱心界の影響
電子顕微鏡の附近に磁束漏洩の多い電磁其置があれば､その漂遊磁界が電子

1

2

5nl

中間傷までの客間に亘つて電子線に直角な磁界の張さ飽和愛鷹券と顕微鏡光軸との距離
飽和轡歴器と顧後産光軸との距離の欒化d〝に比例する｡

飽和襲歴券と蘇飯東光軸との距離0.7m

線に作用し､物粘が楳になつて投射される■｡これを試料面に引戻したときの長さ即ち収差∂｡‖ま､試料から

擾乱磁界

像の

と

碑.ど

O

l｡肝

夢十七囲

計算の結果(17)∂8=ま次式で輿へられる｡■

2m

検流計の振れ検流計の振れ検流計の振れ【‑鮮鮫皮示してゐる｡∂斤̀聖0･186淳一㍉･A恥=∴‥…･‥‥……(12)以上の草陰から､検流計の振れが1C位(未校正のため磁界強度

こゝに』1は対物レンズの境大卒､/ほその焦熱距帝である｡

不詳)･でも傾が幾分木鮮明■になる￣ことが知られる｡磁界強度測定

斯様に漂蓮磁界による収差ほJによること大であるため､同一倍装置で種々の電磁磯城の漏洩磁界の方向､強度等を測定した｡第率に勤してほ焦熱距離の短いことが望ましい0交流磁界ではその一表は検流計の振れが殆ど零となる距離と横幕名を示してゐる｡

張さを整数値で表ほせば(12)式に於けるd如ま室数値の2.8倍と第一表なり､又波高値の2陪となる｡数値例とLて/=5mm,ガ=50kV

轢

電子願微塵と電磁横井と■の離隔距離*械￣

備名l許鴛欝巨際芦』1=100の場合∂g̀≦10￣6mmであるためのd〝ほ0.5×10‑8ガウ

オ格力回樽ポγプ用ス以下でなければならな＼､0電外部擾乱磁界としてほ地球磁界､直放電鏡の如き直流磁界と欒

動

横

約150

ラジオ用小型攣歴寺匪米､誘導電塵調整器等の交流磁界とが考へられ畠｡地球磁界に

泊

携

散

ポ

ン

プ

裁ては先づ電子線と直角をなす磁界の分力甲ガウス)によろ電子 マツダJスライダツク(10A用)

線の偏頗を防がねばならないdEを電子線加速電匪(Ⅴ),Jを電子

磁気飽和｢型電靡調整器

線の走行距離･(cm)とすれば､偏傾γ0〔cm)は60kV計券用攣歴器

‥‥‥イ13)r｡聖÷･÷…∴…=‥…‥
但し月=旦繁で輿へられる｡今月=50,000〔Ⅴ〕,〟=0.3(ガウス〕,J=150こcmJ

50

つ

･考

漏洩磁界よりも振動について考慮を要す｡
域外彼の有無及び置.き方で相異あり｡

40
100

約300
200

願微鐙わすぐ近くで使用する七と不可｡

なるべく遠くに置く必要あり｡

タンクの厚み容量辱により相異あり｡.■*本表は部分的に厚き0.4mm/Jメタ′レ1枚で遮磁した青々

ヽしの蘇後産に於ける倍である｡

本表は検流計の振れが姶ど零となる.借である｡

吾々の顛徴辞ほ部分的に〃メタル遮磁を行つて屠り､地球磁如ことすればr｡は4.5cmとなる｡この振れを0.1'cmに演ずるためには､電子線の通路全捜を約1/50程度に遮磁する必要がある｡こよる曲りほ大分減少したが交流磁界に封してほ教果が明らかでなゐ程度の遽磁は〟メタル囲筒で容易に茸施される0欒動磁界に野い｡それで離すことが最も有教な手段だと云ふ誘導障害防止の原する邁敵ほ試料､投射レソズ間に重粘を置くべきことほ申すまセ

則も羊従て直垂ポンプを除く他の機器ほ･2γ3m以上離して配置しもない0書々の場合ほ数砂以下の短時間で寓虞を撮影してゐるのてゐる○̲倍将来分解能が上れば第一表の値以上に離す必要が起るで､地球磁界の欒動や､直流電鋳の影響は比較的少なく､多くはかも知れない｡
吊

.▲

439

電子超額微鏡の試作とこれに閲する二三の賢鹸(5)撮影例

以上に述べた像障害に留意しつゝ撮影したのがよつて得られたものである｡光撃顛徴鏡でほ見られぬほつきりし

第十八圏〜二十圏の海虞である｡第十八圏はコ占ヂウム膜上に亜た孔が現ほれてゐる｡第二十囲ほ市販の安全剃刀の刀面の凹凸の鉛輩粉末を載せだも?である0重なり合はないところでほ明らか 寓虞である0以キの結果ほ本年二月末までに得られたものであに恵子が透つて一粒の形が判別出来る｡窮十九圏はコロヂウム膜

る0(6)i今後の問題上に載せた珪藻土である｡試料ほ日立研究所吉岡副所長の好意に吾々ほ愈々超顕微鏡白身の収差を検討すべ

き時期となつた｡川〕葦に述べた如く電子線の開口角が収差と密接不可分の謝係にあることから､電子線開口角がいか程の値になつでゐるかを調べる必要功;ある｡女これと関聯して出来るだけ開き角の小さい､覗い電子線を褒生する
電子放射装置を作らねばならぬ0電磁レンズに裁ては更に
多■くの問題溺ある｡然し開き収差を最小とする二磁極の形状

寸法配置が判らぬ今日､大陛の目安をつけて多数の磁極を試作し草陰を重ねるより外に方法がない｡螢光膜､特に終像観察用のものほ分解能の良いことゝ明るいことが望まれるが､これほ螢光物質の研究が進むにつれて段々所期のものが得られる様にならう｡細菌撃の方面の要求から電子線の加速電匿を60‑80kVに上げることも刻下の急務と心え､準備中である｡
帝十八固

試料

窮鉛筆

O

加速電摩

｢ⅥⅠ〕第二回読作品に裁て

42.与kヽ'

これまで述べた第一回試作品ほもともと本格的な題額徴

l+鏡を作るのに必要な基礎資料を得ることを目的として製作一‑+〃されたもので､出来るだけ構造を簡単にし､取扱噸不便は問題外であつた0然し超顛徴鏡をしで賢用的測昇たらL
めるには1性能の長いことは勿論､誰にでも簡便に､故障なく使へるものでなければならない｡斯る目的を以て更に第二回目の超額徴鏡を設計し､近く工作完了の運びになつてゐる○今回設計したものはこれまでの車扱資料を或る程度取入れると共に,構準上二三新しtl考案をも加味した0
主な特徴ほ次の通りである｡〔1)電子加速電匪を80kV程度を目標とし､中心軸合

せ､緻條取換へ等も簡単に行へる様にした｡(2)￣試料交換装置は活栓を用ひるRuska型としたれ
2箇又は3箇の試料を同時に挿入出来る新しい交換方式を考案し賞施の預定である｡
欝十九囲

試料

珪藻土

加速電歴

(【3〕寓虞乾板の取換へほ､ゴムパッキンを用ひる

42≠5lこⅤ

Ardenne型とした｡乾板の寸法ほ6×ら｡mで3枚挿入される｡(4〕眞墨可環境績に新しい方式を採用した｡(5)虞客接横はグーJTスを使ふ摺合せをやめ､全部ゴ
ムパッキンとした0〔6〕眞峯漏洩の虞れある鋳物の使用を避けた｡

この新らい二顛徴鏡ほ本文が護表される噴までに賓鹸的にかゝれる預定である｡.

〔ⅤⅠⅠⅠ〕.韓日

以上を以て第一回試作電子超顧徴鏡の構造並びにこれに関する二三の贅除結果の報告を終る｡本研究は現在も引療き宜瞼中のものであつて､本文ほ本年二月末まに得られた結果の中間的な報告である｡本所死のその後の経過並びに
第二十囲

試料

第二回試作品の成鰐に裁てほ不日報告の隷定である｡

未だ使用せざる安全剃刀の刀弗
加速電靡

欄筆に常り各方面に撫い感謝を捧げたい｡居場所死所長

42.5kV

9幽0日

昭和■十七年八月

立論

評を初め日立研究所各部課長より常に激励と援助を賜り､日立中央

第二十丑容

鱒八̲披

(5)H.0.MGlleru.E.Ruska:Kolloid

研究所溝田秀則博士は本報告を詳細に校閲下された｡又設計､製ZSり$5.21(19⊥11)

作に嘗つては日立工場計器部橋本部長､辻田､川畑雨課員より多(6)W.Glaser:ZS.f.pbYSり9丁.1771(1935)

大の援助を受けた｡日立研究所工作室に於てほ本装置の製作の一(,7)Bv.Borrie$u.E.Ruska:ZS.f.tecbn.pbYS.20.

部を引受けられ､その後の数回に亘る改造に雷つてほ中山工長よ225(1939)

り格別の助力を得た0同僚光右折党員lミ本研究の中最も困難なる(8)W･Glas甲=初期の寛鹸を治者され､その後も電磁レンズP他主として理論的(9)Lenよrd;￣Handb.d.Experimentalphys.B.d.14.

ZS･f･phys,116･56(1940).

11ト】15(1由7).

な方面カニら協力を得た｡水戸工場牧野課員ほ日立研究所在籍中筆者等と共に本研究を熱心に遼行された0日本草循環興昏第三十卑O(7)に同じ小委員倉に於てほ委員長初め委員一同から種々御教示を頂いてゐ

1(2)に同じ争｡筆者等はこれら各方申の方々に萬脛の謝意を表し､敢執こ鞭

2.

M.Ⅴ.Ardenne:ElektronenUbermikroskopie,281(1940)

ちつゝ更に精進したいと恩ふ｡(完〕
垂

考

文

献

(1)M.Ⅴ.Ardenne:Elektronen
VorwortUbermjkroskopie,

XI‑(194q)(2)･BごⅤ.Borries

u.E.Ruska:Naturwiss.,27.281(1939)

同上育17

4

笠井､只野:第十九回聯合大骨隷稿(昭16‑9)

こU

H.Ruska;･NaturヽViss,27.287(1939)

6

木札束‥

日本嘗垂及び犀靡保革記弘15(昭16･5･

24)(17)B.Ⅴ.Borriesu.E.･Ruska:Ergebnisse■(3)B.Ⅴ.Borriesu.E.Ruska:ZS.f.tecbn.pbYS.,
1乱402(1938)▲(4)木村､東:科挙朝日

?U

der

exaktenNaturwiss.19.170(1940)(18)M.Ⅴ.Ardenne:上偽書108

2.90(昭17‑1)Q

ノ㌦

10