ソースメータ／ソース・メジャー・ユニット（SMU）
最適なケースレー製品をお選びください
製品カタログ１台の計測器で複数の測定を正確に実行

（SMU）
ニット
ソース
ジャー・ユ
メー
ス・メ
タ
ソー
精密DMM

ソース・メジャー・ユニットは、デジタル・マルチメータ、電源、精密電源

電子負荷、パルス・ジェネレータ、電流源の5種類の機能を1台に統合した計測器です。

L

真の電流ソース

電子負荷

この1台で以下が実行可能：• 電圧、電流の印加、測定が同時に実行• 電流／電圧印加による抵抗測定可能• 非常に広い範囲の電流（100aA ～ 50A)、電圧（100nV ～ 3kV）のソースと測定でき、測定分解能 6.5 桁• 製造試験を60%も迅速に実行、最大10倍ものスループットを実現• 時間を節約し、スピードを上げて、迅速に作業を終わらせる
パルス・ジェネレータ

ケースレーのSMUが選ばれる理由
ケースレーSMUの製造メーカであるテクトロニクスはエレクトロニクス関連メーカのハイパフォーマンスな製造テスト、プロセス・モニタ、製品の研究開発における特殊なニーズに対応した、最新の電気テスト機器／システムの設計、製造そしてマーケティングにおいて70年以上の実績があります。

• 保証された再現性• 高精度・高感度• 高速・高確度• 豊富な種類

2 |JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITSKEITHLEY ソース・メジャー・ユニット（SMU）のラインアップ
グラフィカル・タッチスクリーンSMU ― Touch, Test, Invent ™
2450型 ソースメータ.............................................................................................................................................................................................. 42460型 高電流ソースメータ................................................................................................................................................................................ 42461型 高電流パルス・ソースメータ.............................................................................................................................................................. 4NEW 2470型 高電圧ソースメータ..................................................................................................................................................................... 4

ベーシック・ソースメータ
2400型 ソースメータ.............................................................................................................................................................................................. 52401型 低コスト・ソースメータ.......................................................................................................................................................................... 52410型 高電圧ソースメータ.................................................................................................................................................................................. 52420型 3Aソースメータ......................................................................................................................................................................................... 52440型 5Aソースメータ......................................................................................................................................................................................... 5

高速システム向けSMU
2601B/2602B/2604B 型 1ch/２ch システム・ソースメータ..................................................................................................................... 62611B/2612B/2614B 型 1ch/２ch システム・ソースメータ..................................................................................................................... 62634B/2635B/2636B 型 低電流 1ch/2ch システム・ソースメータ........................................................................................................ 6NEW 2601B-PULSE 型 パルサー／システム・ソースメータ..................................................................................................................... 7ハイパワー・システムSMU
2651A 型 50A ハイパワー・システム・ソースメータ................................................................................................................................. 82657A 型 3KV ハイパワー・システム・ソースメータ................................................................................................................................. 8

高密度、多チャンネル・システム向けSMU
2606B 型 4チャンネル、システム・ソースメータ....................................................................................................................................... 9超低電流・光電子試験用特殊 SMU
6430型 サブフェムトアンペア・リモート・ソースメータ......................................................................................................................102510型 TEC ソースメータ...................................................................................................................................................................................102510-AT 型 オートチューニング TEC ソースメータ...................................................................................................................................102520型 パルス・レーザ・ダイオード・テスト・システム.....................................................................................................................10性能比較表......................................................................................................................................................................................................... 11JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITS| 3

TOUCH、TEST、INVENT
グラフィカル・タッチスクリーンSMU
2450/2460/2461/NEW 2470型ソースメータ• 5インチ、高解像度静電容量式タッチスクリーン・ディスプレイ
• 0.012% 基本測定確度（分解能6.5桁）• 幅広い測定レンジ、最大1100V、7A DC、10A パルス、1000W• 印加とシンク（4象限）動作• 高速サンプリング測定用のデュアル1MS/sデジタイザ（2461のみ）• 20mV、10nA の印加 / 測定レンジによる感度の拡張（2450のみ）• 状況対応の前面パネルのヘルプ機能• SCPI 及びテスト・スクリプト・プロセッサ（TSP®）プログラミングモード• 前面パネルにUSBメモリ・ポートを装備、データ／プログラム／I/O 設定が容易に
型名

2450

2460

2461

NEW 2470

最大電流印可／測定レンジ

1A

7A

10A

1A

最大電圧印加／測定レンジ

200V

100V

100V

1000V

測定分解能（電流／電圧）

10fA / 10nV

1pA / 100nV

1pA / 100nV

10fA / 100nV

20W

100W

1000W

20W

2450 詳細を見る

2460 詳細を見る

2461 詳細を見る

2470 詳細を見る

最大出力電力

時間を節約し、スピードを上げて、迅速に作業を終わらせる
アイコンベースのメニュー構造を採用したグラフィカルインタフェースを持つ SMUは、操作方法の習得、機器の設定が容易なため、迅速な測定が可能です。すべてのユーザにとって、より速く、よりスマートに、より簡単に学習することができます。

4 |JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITS基本的なニーズに対応する
標準シリーズ
2400シリーズ・ソースメータ• ５機種、DC20～100W、1100V～1μV、１チャンネル• 印加とシンク（4象限）動作• 0.012% 基本測定確度（分解能6.5桁）• 2 / 4 / 6線式の V 印加測定のリモートセンス機能• 4.5桁の時 GPIB 経由で1700読取／秒• 高速ソーティング／ビニング用のPass/Failコンパレータ• 自 動化／ハンドラ／プローバ制御用プログラマブル DIO
ポート（2401を除く）• 標準 SCPI GPIB、RS-232、及び Keithleyトリガ・リンク・インタフェース
2400 詳細を見る

型名

2400

2401

2410

2420

2440最大電流印可／測定レンジ

1A

1A

1A

3A

5A

最大電圧印加／測定レンジ

200V

20V

1100V

60V

40V

測定分解能（電流／電圧）

1pA / 100nV

1pA / 100nV

1pA / 100nV

10pA / 100nV

10pA / 100nV

20W

20W

20W

60W

50W

最大出力電力電源とマルチメータの組合わせよりも優れた性能
SMU VS. 電源• S MUは、印加する電圧または電流を、負および正から0をまたいで配線変更をせずに自動掃引することができる• S MUの出力は、わずか50msで指定された0.01% の確度以内に安定する• SMUは、より高精度及び、より広い動作範囲を持つ

VS.

SMU VS. DMM + 電源

• S MUは、印加／測定機能を1台に厳密に統合した計測器であり、別個のDMMおよび電源を使う必要がない• テ スト時間の短縮、テスト・システム全体の設計の簡素化、使い勝手の向上• S MUは、様々な用途向けの電流対電圧（I-V）測定に関して、DMMと電源の組合わせよりも優れた性能を持っている

VS.

JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITS| 5

高速システム向けSMU

2600B シリーズ・システム・ソースメータ• 緊密に統合された4象限電圧／電流源と測定機器はクラス最高6.5桁の分解能パフォーマンスを提供• ファミリ製品で業界の最も広い測定範囲をカバー：10A パルス～0.1fA、200V～100nV• TSP®テクノロジーは、完結した試験プログラムを測定器内で実行し、システムレベルで最高のスループットを実現• TSP-Link により、メインフレームを持たないマルチチャンネル・パラレルテストを拡張• 省スペースで製造試験に対応可能
2600B• USB 2.0、LXI-C（LAN）、GPIB、RS-232、およびデジタルI/O インタフェース
型名

詳細を見る

2601B

2602B

2604B

2611B

2612B

2614B

2634B

2635B

2636Bチャンネル数

122122212最大電流印可／測定レンジ

3A DC /
10A パルス

3A DC /
10A パルス

3A DC /
10A パルス

1.5A DC /10A パルス

1.5A DC /10A パルス

1.5A DC /10A パルス

1.5A DC /10A パルス

1.5A DC /10A パルス

1.5A DC /10A パルス

最大電圧印加／
測定レンジ

40V

40V

40V

200V

200V

200V

200V

200V

200V

測定分解能
（電流／電圧）100fA /
100nV

100fA /
100nV

100fA /
100nV

100fA /
100nV

100fA /
100nV

100fA /
100nV

1fA / 100nV

最大出力電力0.1fA / 100nV 0.1fA / 100nV

40W DC /40W DC /40W DC /30W DC /30W DC /30WDC /
30W DC /30W DC /30W DC /200W パルス 200W パルス 200W パルス 200W パルス 200W パルス 200W パルス 200W パルス 200W パルス 200W パルス

製造試験を60% も迅速に実行、最大10倍ものスループットを実現
接続を変更せずに、測定を行いながら電圧または電流を印可可能。
SMUは、生産環境での信頼性の高い動作のために設計されている。
製造アプリケーションにおけるスループット要求に対応する場合、組込みテスト・スクリ
条件付分岐

拡張演算とフロー制御

●

変数

●

パス／フェイル・テスト●

プローバ／ハンドラ制御●

テスト・スクリプト

プトを SMUにアップロードすることで、コンピュータによる制御なしに、または通信による速度低下なしに、計測器のみで複雑なテスト・シーケンスが実行可能です。

データロギング／
フォーマッティング

DUT

6 |

パートごとの平均時間（ms）●●

3ポイント・ダイオード試験
80
60
40
200

スクリプトなし

スクリプトあり10A@10V＆10μs、業界トップクラスの高速電流
パルサー／システム・ソースメータ
信頼性の優れたパルス性能、手動調整なしでもオーバーシュートとリンギングが発生しない

NEW 2601B-PULSE 型

パルサー／システム・ソースメータ• 業 界トップクラス、10A@10V、10μs のパルス出力• 負 荷による調整をせずに安定した波形を出力（最大3μHの誘導負荷）• 2つの1MS/sデジタイザによる高速 I/V パルス測定（パルサー使用時）• 最大±40V@±1.0A、40W のDC 性能（SMU 使用時）
• TSP 技術により、テスト・プログラムを機器内部に組込み、2601B-PULSE 詳細を見る

基本仕様
最小パルス幅10μs

最大パルス電流10A

最大DC 電流3A

最大DC 電圧（SMU 使用時）

40V

クラストップのシステムレベル・スループットを実現

最大DC パワー（SMU 使用時）

40W

最小 DC 電流レンジ

100nA

並列テストが可能

パルスの手動調整不要• TSP-Link 拡張技術により、メインフレーム不要でマルチチャンネルの• U SB 2.0、LXI Core、GPIB、RS-232、デジタル I/O インタフェースを装備• プログラム不要のKickStartソフトウェアに対応
最大3μHまで出力の調整は不要、テスト時間とコストを大幅削減

電流パルスを出力する場合、配線とインダクタンスが問題になることがあります。インダクタンスは制限効果を持つ可能性があり、デバイスに損傷を与える可能性もあります。多くの場合、ウェハ上のレーザ・ダイオードの試験では、インダクタンスはデバイスごとに異なる可能性があります。電流源に対するインダクタンスの影響は、インダクタンスが電流の変化に抵抗することです。これにより、電流源が出力電圧を上昇させる可能性があり、その結果、パルスが安定するまで、オーバーシュートとリンギングが発生します。 これは、テストでは受け入れられない場合があります。一部のソリューションでは、このような現象を補正するために調整が必要であり、しかし時間がかかる場合があります。
2601B-PULSE 型の制御ループ・システムにより、最大3μHの負荷変動までは手動調整する必要がなく、オーバーシュートやリンギングが発生せずに、最大10A の電流で10μs～500μs のパルスを正確に出力可能です。これにより、パルスの立上りが速くなり、デバイスに電流パルスが印加され、デバイスまたは回路を適切に特性評価を行うことができます。
右の画像は、PulseMeter テクノロジを備えた2601B-PULSE 型と他社製品のモジューラ式製品の性能比較を示しています。インピーダンスが3μHのデバイスで5A、50μs のパルスを出力する結果です。

他社製品 SMUによるパルス出力。オーバーシュートが発生し、立上り時間は6.47μs。

2601B-PULSE 型による出力。オーバーシュートはなく、立上り時間は1.4μs。

JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITS| 7

ハイパワー、高精度、高速、システム向けSMU

2651A 型 50A ハイパワー・システム・ソースメータ• 印加／シンク:

2,000W のパルスパワー(±40V、±50A)
200W のDC パワー（±10V @ ±20A、±20V @ ±10A、±40V @ ±5A)

• ２台を簡単に直列・並列に接続し、±100A、±80V までを発生• 微小リーク電流を正確に測定する1pA の分解能
• 1μs/ ポイント（1MHz）、連続18ビットサンプリングで過渡特性を正確に評価• パルス幅変調（PWM）やデバイス固有の励起のための1%～100% パルスデューティ比2651A 詳細を見る

2657A 型 3kV ハイパワー・システム・ソースメータ• 180 W（DCまたパルス）まで印加／シンク（±3000V @ 20mA、±1500V @ 120mA）• 1fA の低電流分解能• デュアル22ビット精密 ADC、1μs ポイント、デュアル18ビットデジタイザにより、高確度で高速トランジェントを捕捉• TSP®に完全準拠し、簡単に他の2600Bシリーズ及び24xx シリーズのモデルとシステムを構築可能
2657A 詳細を見る

パルスの上端での測定

25

最新ハイパワー・デバイスの高速パルス測定のために

3.0

2.5

20

2.0電流（A）

1.5電流デジタル化電圧（V）
スポット平均電圧のデジタル化電流（A）
スポット平均1050050100150200250電圧（V）

15

世界中のグリーン・イニシアティブおよびエネルギー効率基準は、より効率的な半導体デバ1.0

イスと集積回路の設計方法が求められ、自己加熱の影響を受けずにこれらのデバイスの真の0.5状態を測定することは重要である。パルス特性評価は、この問題の解決策である。パルスの0.0300

時間（μs）

使用は、より速い測定を必要とする。
これらの機能を必要とする高速デジタル化、または波形キャプチャなどのアプリケーションのためにケースレーのハイパワー・ソースメータには、電流および電圧を同時に測定するための測定間隔2つの高速 ADC を搭載している。各 ADCは、オシロスコープのようなサンプリング技術を使用し、時間の経過とともに信号のスナップショットを取得する。各高速 ADCは18ビット分解能により、最大1MHz のレートでサンプリングでき、これはオシロスコープの標準的な8ビッ

測定遅延測定トリガ

8 |ト分解能よりもはるかに高いため、同等の帯域幅でより正確なトランジェント特性評価が可能
エンド・パルス・
ソース・
アクション・
アクション・
トリガ
トリガである。ソースから非同期的に測定する機能との結合により2651A/2657A 型は、多くの波形時間キャプチャ及び過渡特性評価アプリケーションに最適である。

JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITS

高密度、多チャンネル、コンパクト

リーン生産方式は、製造業者にとっての成功の鍵
今日、製 造 業 者は、製品の Time-toMarket を短縮し、コストを下げ、顧客を満足させることが重要である。つまり、メーカは、人、材料、情報のシームレスな流れを作り出すリーン生産方式を実現し、在庫や余剰設備の蓄積を防がなければならない。

2606B 型 高密度システム・ソースメータ• 業 界トップレベルの性能を持つ2台のKeithley 2602Bソースメータの機能を1台に組込みチャレンジ
しかし、需要の拡大に伴い、メーカは製品の試験能力を高める必要があり、• 1Uフル・ラック・シャーシ内で4チャンネル SMUを実現• 積み重ね可能、ユニット間で1Uのスペースは不要• 高 密度で統合された電圧／電流源とマルチメータ、6.5桁の分解能でクラス最高の性能を提供• 20V @ 1A、6V @ 3A パワー・エンベロープ、20W• 0.015% DCV 基本確度
2606B 詳細を見る

テストラックの密度を3倍にモデル2606B のフォーム・ファクタ（高さ1Uのみ）は、ユニット間に追加の1Uサーマル・スペーサ（空気流用）を必要としないので、完全にフィットし密度を3倍向上

プラントのフロアを効率よく利用しなければなりません。

市場にあるほとんどのベンチ用
SMUは２Uの高さ

JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITS| 9

超低電流／オプト・エレクトロニクス試験用
特殊 SMU
6430型 サブフェムトアンペア・リモート・ソースメータ• 0.4 fA p-p（4x 10 A）のノイズ（代表値）• 電圧測定時の入力抵抗：10 Ω以上• 高速 － 最高2000回／秒の読取り• 最大6.5桁の分解能• 0.012% 基本電圧確度、0.025% 基本電流確度
ｰ16166430 詳細を見る

2510/2510-AT 型 TEC ソースメータ• 50 W TEC コントローラとDC 測定機能の組み合わせ• フ ル・デジタル P-I-D 制御、熱制御ループのオートチューニング機能（2510-AT）• レーザ・ダイオード・モジュールの試験中に温度を制御可能• 広 い温度設定レンジ（-50˚C～+225˚C）、高設定分解能（±0.001˚C）、安定性（±0.005˚C）• サーミスタ、RTD、IC センサなど、各種温度センサ入力に対応
2510 詳細を見る

2520型 パルス・レーザ・ダイオード・テスト・システム• チ ップまたはバーレベルでのレーザ・ダイオードのインプロセスLIV 製造試験用の統合ソリューション

• 高 精度の印可と測定機能、またはパルス試験とDC 試験の組合せ• 同 期DSP ベースの測定チャンネルにより、高精度の光強度および電圧測定• 5 00ns～5ms、最大4%デューティ・サイクルでプログラム可能な
パルス・オン・タイム• 最 大出力5A（パルス）、1A（DC）• 3 チャンネルで14ビット測定確度（VF、フロント・フォトダイオード、バック・フォトダイオード）• バ ッファ・メモリに保存された最大1000ポイントのスイープにより、テスト中の GPIBトラフィックをなくし、スループットを向上
2520 詳細を見る

10 | JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITS

遠隔電気試験
ヘッド付属

ケースレーのSMUラインアップから最適な一台を選択
下記選択ガイドからお客様のニーズに合った適切なSMUをお選びいただけます。

Keithley 2400シリーズ・ソースメータ
Keithley 2400シリーズ・ソースメータ

型名

2400

2401

2410

2420

2440

2450

2460

2461

NEW 2470

ディスプレイ

VFD、2ライン

VFD、2ライン

VFD、2ライン

VFD、2ライン

VFD、2ライン

タッチ
スクリーン
5インチ
（12.7 cm）

タッチ
スクリーン
5インチ
（12.7 cm）

タッチ
スクリーン
5インチ
（12.7 cm）

タッチ
スクリーン
5インチ
（12.7 cm）

チャンネル数

11

1111111

表示桁数

6½6½6½6½6½6½6½6½6½動作象限444444444

最大出力

20W

20W

20W

60W

50W

20W

100W

1000W パルス、
直流100W20W

最小±1pA

±1pA

±1pA

±10pA

±10pA

±10fA

±10pA

±1pA

±10fA

最大±1A

±1A

±1A

±3A

±5A

±1A

±7A

±10A パルス、±7ADC±1A

最小±100nV±100nV±100nV±100nV±100nV±10nV±100nV±100nV±100nV

最大±200V±20V±1100V

±60V

±40V

±200V

±100V

±100V

±1100VI

0.025%

0.025%

0.025%

0.025%0.025%

0.020%

0.020%

0.020%

0.020%

V

0.012%

0.012%

0.012%

0.012%

0.012%

0.012%

0.012%

0.012%

0.012%

なし

なし

なし

なし

なし

なし

なし

デュアル
18ビット
1MS/s
デジタイザ

なし

3,000 rdgs/s

3,000 rdgs/s◯
プラス2400
エミュレーション

◯◯

◯

◯

◯

◯

◯

印加／測定
I
V
基本確度
基本性能
デジタイザ

2,000 rdgs/s 2,000 rdgs/s 2,000 rdgs/s 2,000 rdgs/s 2,000 rdgs/s

読取速度

プログラミング

SCPI

◯

◯

◯

◯

◯

TSP

3,000 rdgs/s、1 Digitizer 付
3,000 rdgs/s
MS/s

TSP-Link

なし

なし

なし

なし

なし

あり

あり

あり

あり

デジタルI/Oありありありありありありありありあり

コンタクト・チェックなしなしなしなしなしなしなしありなし

PC インタフェース

IEEE-488
RS-232IEEE-488
RS-232IEEE-488
RS-232IEEE-488
RS-232IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI 1.4
IEEE-488

USB 2.0
LAN/LXI 1.4
IEEE-488

USB 2.0
LAN/LXI 1.4
IEEE-488

USB 2.0
LAN/LXI 1.4
IEEE-488

規格対応

CE、UL

CE、UL

CE

CE

CE

CE、NRTL
記載

CE、NRTL
記載

CE、NRTL
記載

CE、NRTL
記載

JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITS | 11

SMU 選択ガイド
Keithley 2600Bシリーズ・システム・ソースメータ
Keithley 2600B シリーズ高速システム SMU

型名ディスプレイ

2601B

2602B

2604B

2611B

2612B

2614B

2634B2635B

2636B

VFD、
2ラインVFD、
2ラインVFD、
2ラインVFD、
2ラインVFD、
2ラインVFD、
2ラインVFD、
2ラインVFD、
2ライン

VFD、
2ライン

チャンネル数

122

1

2221

2

表示桁数

6½

6½

6½

6½

6½

6½

6½

6½

6½

動作象限

4

4

4

4

4

4

4

4

4

最大出力

200W
パルス、
40W DC

200W
パルス、
40W DC /
チャンネル

200W
パルス、
40W DC /
チャンネル

200W
パルス、
30W DC

200W
パルス、
30W DC /
チャンネル

200W
パルス、
30W DC /
チャンネル

200W
パルス、
30W DC /
チャンネル

200W
パルス、
30W DC

200W
パルス、
30W DC /チャンネル

最小±100fA±100fA±100fA±100fA±100fA±100fA±0.1fA±0.1fA±0.1fA

最大±10A
パルス、±3A DC±10A
パルス、±3A DC±10A
パルス、±3A DC±10A
パルス、±1.5A DC±10A
パルス、±1.5A DC

±10A
パルス、
±1.5A DC

±10A
パルス、
±1.5A DC

±10A
パルス、
±1.5A DC±10A
パルス、±1.5A DC

最小±100nV±100nV±100nV±100nV±100nV±100nV±100nV±100nV±100nV

最大±40V

±40V

±40V

±200V

±200V

±200V

±200V

±200V

±200V

I

0.020%

0.020%

0.020%

0.020%

0.020%

0.020%

0.020%

0.020%

0.020%

V

0.015%

0.015%

0.015%

0.015%

0.015%

0.015%

0.015%

0.015%

0.015%

なし

なし

なし

なし

なし

なし

なし

なし

なし

印加／測定
IV
基本確度
一般的な特徴
デジタイザ
読取速度
プログラミング

20,000 rdgs/s 20,000 rdgs/s 20,000 rdgs/s 20,000 rdgs/s 20,000 rdgs/s 20,000 rdgs/s 20,000 rdgs/s 20,000 rdgs/s 20,000 rdgs/s
SCPI
TSP

◯

◯

◯

◯

◯

◯

◯

◯

◯

TSP-Link

ありありなしありありなしなし

ありあり

デジタルI/Oありありなし

ありありなしなし

ありありコンタクト・チェックありありなし

ありあり

なし

なし

ありあり

PC インタフェース

USB 2.0
LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

規格対応

CE、UL

CE、UL

CE、UL

CE、UL

CE、UL

CE、UL

CE、UL

CE、UL

CE、UL

12 | JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITSSMU 選択ガイド
Keithley 特殊用途向けソースメータ
超低電流

パルサー／システム SMU

高密度 SMU

6430

NEW
2601B-PULSE

2606B

2651A

2657A

2510

2510-AT2520

ディスプレイ

VFD、2ライン

VFD、2ライン表示なし

VFD、2ラインVFD、2ラインVFD、
2ラインVFD、
2ラインVFD、
2ライン

チャンネル数

11411111

表示桁数

6½6½6½6½6½5½5½4½動作象限

44244221

最大出力

2W

SMU：
200W パルス/40W DCパルサー：3W

20W /チャンネル

2000W パルス、
200W DC

180W DC50W DC50W DC

50W パルス、
10W DC最小±1aA

SMU：±100fA
パルサー：10μA±100fA

±1pA

±1fA

±200μ
A

±200μA10μA

最大±100mA

SMU：±10A パルス/±3A DCパルサー：±10A±120mA±5A±5A

5A パルス、
1ADC

最小±100nV

SMU：±100nV
パルサー：10μV±100nV±1μV±100μA±500μV±500μV

330μV

最大±200V

SMU：±40V
パルサー：±10V

±20V

±40V

±3000V

±10V

±10V

10V

I

0.025%

SMU：0.02%
パルサー：0.12%

0.020%

0.020%

0.020%

0.400%

0.400%

0.200%

V

0.012%

SMU：0.015%
パルサー：0.05%

0.015%

0.020%

0.025%

0.100%

0.100%

0.300%なし

デュアル18ビット
1MS/s
デジタイザ
（パルサー時のみ）

なし

デュアル
18ビット
1MS/s
デジタイザ

デュアル
18ビット
1MS/s
デジタイザ

なし

なし

デュアル
14ビット
10MS/s
デジタイザ

60rdgs/s

60rdgs/s

188rdgs/s（メモリへ）◯◯◯

型名

高出力SMU

レーザ・ダイオード用光 SMU

印加／測定IV基本確度±3A パルス、 ±50A パルス、±3ADC±20ADC

基本性能
デジタイザ

読取速度

プログラミング

2,000rdgs/s
SCPI

SMU：
20,000rdgs/s、20,000rdgs/s、20,000 rdgs/s
20,000rdgs/s 1MS/sデジタイザ 1MS/sデジタイザ
パルサー：
付き付き1μs（デジタイザ）

◯TSP

◯◯

◯

◯

TSP-Link

なし

ありありありありなし

なし

なし

デジタルI/O

ありありありありありありありあり

コンタクト・チェックなし

ありありありありなし

なし

なし

IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

USB 2.0
LAN/LXI-C
のみ

LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232

LAN/LXI-C
IEEE-488
RS-232IEEE-488
RS-230IEEE-488
RS-231IEEE-488
RS-232

CECE、NRTLリスト

CE、NRTLリスト

CE、NRTLリスト

CE、NRTLリスト

CECECE

PC インタフェース
規格対応

JP.TEK.COM/KEITHLEY-SOURCE-MEASURE-UNITS | 13お問い合わせ先：
オーストラリア 1 800 709 465
オーストリア 00800 2255 4835
バルカン諸国、イスラエル、南アフリカ、その他ISE諸国 +41 52 675 3777
ベルギー 00800 2255 4835
ブラジル +55 (11) 3759 7627
カナダ 1 800 833 9200
中央／東ヨーロッパ、バルト海諸国 +41 52 675 3777
中央ヨーロッパ／ギリシャ +41 52 675 3777
デンマーク +45 80 88 1401
フィンランド +41 52 675 3777
フランス 00800 2255 4835
ドイツ 00800 2255 4835
香港 400 820 5835
インド 000 800 650 1835
インドネシア 007 803 601 5249
イタリア 00800 2255 4835
日本 81 (3) 6714 3086ルクセンブルク +41 52 675 3777
マレーシア 1 800 22 55835
メキシコ、中央／南アメリカ、カリブ海諸国 52 (55) 56 04 50 90
中東、アジア、北アフリカ +41 52 675 3777
オランダ 00800 2255 4835
ニュージーランド 0800 800 238  
ノルウェー 800 16098
中国 400 820 5835
フィリピン 1 800 1601 0077
ポーランド +41 52 675 3777
ポルトガル 80 08 12370
韓国 +82 2 6917 5000
ロシア +7 (495) 6647564
シンガポール 800 6011 473
南アフリカ +41 52 675 3777  
スペイン 00800 2255 4835
スウェーデン 00800 2255 4835
スイス 00800 2255 4835
台湾 886 (2) 2656 6688
タイ 1 800 011 931  
イギリス、アイルランド 00800 2255 4835
アメリカ 1 800 833 9200
ベトナム 12060128
2016年4月現在

jp.tek.com

テクトロニクス／ケースレーインスツルメンツ
お客様コールセンター ： 技術的な質問、製品の購入、価格・納期、営業への連絡
ヨッ！良 いオ シ ロ

TEL: 0120-441-046

営業時間／9：00～12：00・13：00～18：00（土日祝日および当社休日を除く）

サービス・コールセンター ： 修理・校正の依頼
なんと良 いオ シ ロ

TEL: 0120-741-046

営業時間／9：00～12：00・13：00～17：00（土日祝日および当社休日を除く）〒108-6106 東京都港区港南2-15-2 品川インターシティB棟6階
記載内容は予告なく変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
Copyright © 2020, Tektronix. All rights reserved. TEKTRONIX およびTEK はTektronix, Inc. の登録商標です。
記載された製品名はすべて各社の商標あるいは登録商標です。

2020年5月

1KZ-61458-2