NANOWORLD® SPM AND AFM PROBES
ナノテクノロジーフィールドで高精度プローブを提供し続けます

POINTPROBE®

ウルトラショートカンチレバー• 世界中のユーザーに最も選ばれているSPM・AFMプローブ• 高速AFMのためのウルトラショートカンチレバー• 高分解能測定のためのシリコンSPM・AFMプローブ• 非常に高い共振周波数(1.2 MHz - 5 MHz)と高いばね定数を持つ3種類の大気中ダイナミックモード用カンチレバー• サポートチップ背面に位置決め用の溝を配置•高 い共振周波数と低いばね定数(0.15 N/m - 0.6 N/m)を持つ3種類の液中ダイナミックモード用カンチレバー•探針先端曲率半径8 nm(代表値)以下、12 nm以下を保証•耐 摩耗性に優れた高密度カーボ
ン/ ダイヤモンドライクカーボン(HDC/DLC)探針•形状の異なった探針をラインアップ

パイレックスナイトライド• シリコンナイトライド (窒化シリコン)で作製された
カンチレバーと探針• コンタクトモード/ダイナミ
ックモードでの様々なイメージングに対応• 低温酸化により形成された鋭いピラミッド状探針• 探針先端曲率半径10 nm(代表値)以下• 短冊形 (シングルビーム)とトライアングル形の２種類のカンチレバー• ティップレスタイプも提供• 探針先端曲率半径10 nm(代表値)
以下ARROW™
•探 針の視認性を最大限に高めた設計• 3つの結晶面によって形成された探針• 特別な探針形状により対称性に優れたスキャンを実現• 探針をカンチレバーの先端に配置• 探針先端曲率半径10 nm(代表値)以下、15 nm以下を保証• 共振周波数 2 MHzの高速測定用カンチレバーも提供

POINTPROBE®
SILICON AFM PROBES

世界中のユーザーに最も選ばれている高品質
SPM・AFMプローブ

Pointprobe® Tip (標準探針）シリーズの標準探針は多角錘形状をしています。正面から巨視的に見た場合のハーフコーンアングルは20°- 25°、側面から見た場合は25°- 30°。先端近傍を微視的に見た場合はゼロに近い値です。Pointprobe®の標準探針は高さ10 -15μm、先端曲率半径 8 nm (代表値)以下、12 nm 以下を保証します。
特長• 高分解能測定のためのシリコンSPM・AFMプローブ• 市販されているほぼ全てのSPM・AFMで使用可能• 単結晶シリコン(Si)製のサポートチップの端部に、探針の付いたカンチレバーを配置• カンチレバー、探針、サポートチップを一体に形成

Pointprobe® 探針

材質• 高ドープ、単結晶シリコン(抵抗率 0.01 - 0.025 Ohm cm)• コーティングなしの場合、固有のストレスがなくカンチレバーのたわみがない• 液中・電気化学測定にも対応できる化学的に不活性なシリコン製.

Pointprobe® 側面から見たSEM像

ディテクタ側探針側カンチレバーの断面は台形で、カンチレバーディテクタ側は横幅が30％広くなっています（NCH等の場合）。このためレーザー調整をより簡単に手早く行うことができます。さらに、レーザーを反射する面が大きいことでSUM信号を高める効果もあります。

カンチレバー• カンチレバーの断面形状は台形• カンチレバー背面の幅が広く、レーザーの位置合せが容易• 探針側のカンチレバー幅を小さくし、ダイナミックモードでのエアダンピングを低減
サポートチップ• カンチレバーとサポートチップを一体に作成• 再現性の高いサポートチップ寸法: 3.4 mm x 1.6 mm x 0.3 mm• サポートチップ背面に溝が形成されています。装置側に固定されるアライメントチップと同時に利用することで、プローブ交換後に必要なレーザーの位置調整を容易にします。
パッケージサイズ• 10, 20, 50本/パッケージ• 1ウェハプローブ数は380本（AFMプローブの種類によっては最大388本)

SuperSharpSilicon™ Tip (SSS) スーパーシャープシリコン探針
スーパーシャープシリコン(SSS)探針は先端曲率半径を 2 nm 以下まで先鋭に加工したプローブで、マイクロラフネスや、ナノ構造の高分解能観察に最適です。最先端テクノロジーに必須のAFM探針です。
探針の特長
スーパーシャープシリコン(SSS)探針は高さ10 -15 μm、先端曲率半径は 2 nm (代表値)以下、5 nm 以下を歩留まり80%で保証します。先端から200 nmの位置までのハーフコーンアングルは10°以下です。

SuperSharpSiliconTM Tip (SSS)高アスペクト比探針 (AR5/AR5T)90°に近い側壁があるディープトレンチ、その他半導体アプリケーションに適した高アスペクト比プローブです。垂直に近い探針を持つ2タイプの製品があります。
探針全体の高さは10 -15 μm。深い繰り返しのある凹凸形状の測定が可能になります。
探針先端の数ミクロンが高アスペクト比に加工されています。この先鋭部分は対称性が良く、カンチレバー正面、側面のどちから見た場合でもプロファイルに違いはありません。先端曲率
半径は 10 nm (代表値)、15 nm 以下を保証します。
高アスペクト比探針 (AR5)探針の特長
AR5/AR5Tプローブの高アスペクト比部分は先端より2 μm以上あり、この部分のアスペクト比は7:1 (代表値)、少なくとも5:1以上を保証します。高アスペクト比部分のハーフコーンアング
ルは5°(代表値)以下です。ディープトレンチ等の凹凸の大きいサンプルを対称性良くイメージングするには、SPM・AFMヘッドにプローブをセットした時の傾き13°を考慮する必要があります。AR5Tでは、高アスペクト比部分を通常より13°傾けて加工し、セット時の角度オフセットを補正しています。

傾斜補正済み AR5T
高アスペクト比探針 (AR5T)

ダイヤモンドコート探針(DT)、導電性ダイヤモンドコート探針(CDT)
プローブとサンプルを強くコンタクトする必要があるSPM・AFMアプリケーションにはダイヤモンドコート探針(DT)が最適です。摩擦力顕微鏡や試料の弾性測定、摩耗を伴うナノストラクチャリングなどの測定にお使いいただけます。導電性が必要なアプリケーションには導電性ダイヤ
モンドコート探針(CDT)をお勧めします。

ダイヤモンドコート探針 (DT, CDT)

探針とコーティング膜の特長
最硬度の多結晶ダイヤモンド膜をカンチレバーの探針側にコーティング。探針の高さは10 -15μm。ダイヤモンド膜の厚さは約100nm、探針を巨視的に見た場合の先端曲率半径は100 nm– 200 nmです。ただし約10 nm程度のラフネスが局所的に存在します。導電性ダイヤモンドコート探針(CDT)の抵抗率は0.003 - 0.005 Ohm cmです。

.

コーティング各種
反射アルミコーティング• カンチレバー背面に Al 30 nm をコーティング• レーザー光の反射率が約2.5倍に向上• プローブ背面で反射されるレーザー光と試料表面で反射される光の干渉を軽減

ダイヤモンドコーティング• 100 nm の多結晶ダイヤモン
ド膜を探針側にコーティング• 最高硬度の探針• CDTの抵抗 <10 kOhm

強磁性膜・軟磁性膜コーティング• 強磁性膜コート: 探針側にコバルト合金をコーティング• 軟磁性膜コート: 探針側に軟磁性膜(保磁力 約0.75Oe 磁化度約 225 emu/cm³) をコーティング• 探針に永久磁性を持たせることのできるコーティング

PtIr5 コーティング• 25 nm のPtIr5膜をプローブ両面にコートティング• コーティングによるカンチレバーのたわみを補正、より高い耐摩耗性• カンチレバー背面のコーティングによりレーザー光の反射率が約2倍に向上• 電気測定用途向け

金コーティング (特注品)• 70 nm のAu膜をカンチレバー背面にコーティング• 70 nm のAu膜をカンチレバー両面にコーティング

ARROW™
シリコンAFMプローブ
探針の視認性を最大限高め位置合わせが容易なプローブ

特長• 高分解能測定のためのシリコンSPM・AFMプローブ• 市販されているほぼ全てのSPM・AFMで使用可能• カンチレバーと探針は単結晶シリコンのサポートチップに固定されています• カンチレバー、探針、サポートチップを単結晶シリコンより一体に形成
材質• 高ドープ、単結晶シリコン(抵抗率 0.01 - 0.025 Ohm cm)• 固有のストレスがなくカンチレバーのたわみがない• 液中・電気化学測定にも対応できる化学的に不活性なシリコン製.

Arrow™ 上方から見たSEM像

カンチレバー• 先端が三角形形状の短冊形カンチレバー• 探針を目的の観察場所に位置合わせするのが容易なArrow™（アロー）形状• カンチレバー先端から探針までの距離はどのプローブでも同じ• カンチレバーの断面形状は台形 背面の幅が広くレーザーの位置合せが容易
サポートチップ• 再現性の高いサポートチップ寸法 (3.4 mm x 1.6 mm x 0.3 mm)• サポートチップが試料に接触するのを避けるためにコーナーをエッチングしています

Arrow™ 前面から見たSEM像

Tilt 13°探針• 探針高さ10 - 15 µm、先端曲率半径 10 nm (代表値) 以下 (15 nm 以下を保証)• 巨視的に見た場合のハーフコーンアングル- 30°- 35° (前面から見た場合)- 20°- 25° (側面から見た場合)パッケージサイズ• 10, 20, 50本/パッケージ• ウェハ 380本以上

コーティング各種

XY方向について対称なイメージを取得できる特殊な探針形状。
プローブをAFMヘッドに取り付けた時の傾斜を予め補正して形成されています。

反射コーティング
• カンチレバー背面に Al 30 nm をコーティング• レーザー光の反射率が約2.5倍に向上• カンチレバーにおける光学干渉を低減

PtIr5 コーティング• 25 nm 厚PtIr5をカンチレバー両面にコーティング• コーティングによるカンチレバーのたわみを補正、より高い耐摩耗性• ディテクタ側のコーティングによりレーザーの反射率が約2倍に向上• 電気測定が可能• 他のコーティングも特注でお受けしておりますA R R O W ™ 超高共振周波数プロ ー ブ ( UHF )A R R O W ™ ティ ップ レス カンチ レバ ー 、カン チ レバ ー ア レ イ ( T L)

Arrow™ UHF
NanoWorld Arrow™ UHFプローブは 2 MHz 以上の共振周波数をもち、高い感度での高速スキャンを可能にします。他のArrow™シリーズ同様、Arrow™ UHFプローブは高ドープされた単結晶シリコンで作られており、使用中の静電気の影響を低減します。化
学的に安定で、高感度測定を可能にする高いメカニカルQ値を持ちます。
Arrow™ UHF 3Dビュー SEM像

Arrow™ UHFプローブは長さ 35 µm の三角形カンチレバーで、探針の高さは3 µm、先端曲率半径は 10 nm (代表値)以下。Arrow™特有の形状により、サンプルと探針の位置合わせが容易です。
カンチレバー背面の反射コーティング（アルミニウムもしくは金）がレーザー光の反射率を約2.5倍に向上させます。

Arrow™ UHF 3Dビュー SEM像 ク
ローズアップArrow™ TL (特殊アプリケーション向けティップレスカンチレバー)
ティップレスカンチレバーArrow™TLにはシングル、デュアル、8本アレイの3種類があります。いずれも先端が三角形状をした短冊形カンチレバーです。
Arrow™ TLシリーズには、カンチレバーのサンプル側の面を金コーティングしたバリエーションもございます。
ArrowTM UHF

カンチレバー仕様
共振周波数
ばね定数6 kHz

長さ

500 µm

幅 (短冊形部分)

100 µm厚さ

1.0 µmピッチ (TL2 と TL8の場合)

250 μmArrow™ TL1
ティップレスカンチレバー
サポートチップにカンチレバーが1本形成されている

0.03 N/m

Arrow™ TL2
ティップレスカンチレバーアレイ
サポートチップにカンチレバーが2本形成されている

Arrow™ TL8
ティップレスカンチレバーアレイ
サポートチップにカンチレバーが8本形成されている

ウ ル ト ラ シ ョ ー ト カ ン チ レ バ ー ( U S C )高速AFM向け

特長
NanoWorld ウルトラショートカンチレバー(USC)は高速AFM (HS-AFM)向けのプローブです。カンチレバーはクォーツライクマテリアルで作られており、共振周波数は最大5 MHzに達します。探針は高い耐摩耗性を備える高密度カーボン/ダイヤモンドライクカーボン(HDC/DLC)で作られています

USCカンチレバー 3Dビュー• 高速スキャン用に設計• カンチレバーが非常に小さいため使用できない市販のSPM・AFMがあります。（次頁をご覧ください。）• カンチレバーと探針は単結晶シリコンのサポートチップに固定されています• 内在ストレスがなく、真っ直ぐなカンチレバー
カンチレバー• 短冊形カンチレバー 自由末端部分はコーナーを丸く加工• クォーツライクマテリアル製カンチレバー

USCサポートチップ 3Dビュー

サポートチップ• 再現性の高いサポートチップ寸法 (3.4 mm x 1.6 mm x 0.3 mm)• サポートチップのコーナーをエッチングで除去しサンプルとの接触を回避• サポートチップ背面に溝が形成されています。装置側に固定されるアライメントチップと同時に利用することで、プローブ交換後に必要なレーザーの位置調整を容易にします。
探針• nanotools® 高密度カーボン/ダイヤモンドライクカーボン(HDC/DLC)探針• 探針高さ 2.5 µm(代表値)、先端曲率半径 10 nm (代表値)以下• 探針アスペクト比 5:1 傾斜補正8°(代表値)

前面から見たUSC探針

パッケージサイズ• 10本/パッケージ

コーティング各種
USC探針SEM像

金反射コート• プローブの両面に 20 nm もしくは 30 nm 厚の金をコーティング• レーザーの反射を高めます• 探針はコーティング無しです高速AFMを使った様々なアプリケーションに対応するため、6種類のウルトラショートカ
ンチレバー(USC)を開発しました。
非常に高い共振周波数(1.2 MHz – 5 MHz)と高いばね定数を持つ、大気中測定向け
USCを3種類、加えて、液中測定用に高い共振周波数と低いばね定数（0.15 N/m - 0.6N/m)を併せ持ったUSCも、3種用意しました。
USC-F5-k30 カンチレバー 3D
ビュー

大気中測定用USC• 共振周波数を1.2 MHzもしくはそれ以上で設計• ばね定数3.0 N/mもしくはそれ以上で設計• 大気中ノンコンタクトモード向けに設計 その他のアプリケーションでも使用可能です

USC-F5-k30 カンチレバー 探針側から見たSEM像

USC-F1.2-k0.15 カンチレバー
3Dビュー

USC-F1.2-k0.15 カンチレバー 探
針側から見たSEM像

型番USC-F5-k30

USC-F2-k3

USC-F1.2-k7.3

共振周波数

5.0 MHz

2.0 MHz

1.2 MHz

ばね定数30 N/m

3.0 N/m

7.3 N/m

カンチレバー長さ

10 µm

10 µm

20 µm

カンチレバー幅

5 µm

5 µm

10 µm

厚さ

0.68 µm

0.28 µm

0.67 µm

液中測定用USC• 共振周波数1.5 MHzもしくはそれ以下の値• ばね定数0.6 N/mもしくはそれ以下の値• 液中測定を想定した設計 大気中でも使用可能（アプリケーションに依ります）
型番

USC-F1.5-k0.6

USC-F1.2-k0.15

USC-F0.3-k0.3

共振周波数

1.5 MHz

1.2 MHz

0.3 MHz

ばね定数

0.6 N/m

0.15 N/m

0.3 N/m

カンチレバー長さ

7 μm

7 μm

20 μm

カンチレバー幅

3 μm

2 μm

10 μm

厚さ

0.10 μm

0.08 μm0.19 μm* 大気中での値

高速AFM用カンチレバーの開発状況やアプリケーションに関する詳しい情報は こちらをご覧下さい: www.highspeedscanning.com

ご利用可能SPM・AFMシステムについて
USCシリーズはカンチレバー寸法が非常に小さく共振周波数も極めて高いため、すべての市販 SPM・AFM でご使用いただけるわけではありません。小さなレーザースポットと、最高 5MHz のカンチレバー共振周波数の応答信号を処理できるシステムが必要です。お持ちのSPM・AFMでUSCプローブがご利用いただけるかどうかは、弊社もしくは SPM・AFMの製造メーカーにご確認くださいパイレックスナイトライド(PYREX-NITRIDE)-AFM プローブ
探針の先鋭さと耐摩耗性を実現
特長• 幅広いアプリケーション向け汎用SPM・AFMプローブ• コンタクトモードとダイナミックモードのいずれにも適したデザイン• 市販されているほぼ全てのSPM・AFMで使用可能• シリコンナイトライド（窒化シリコン）で作製されたカンチレバーと探針• パイレックスガラス製のサポートチップ• 個々のチップに切り分けられているので、取り扱いが容易
パイレックスナイトライドAFMプローブの拡大イメージ

パイレックスナイトライド トライ
アングル形カンチレバー 3Dス
ケッチ

材質• 低応力の窒化シリコンを用いカンチレバーのたわみを低減• 窒化シリコンは非常に硬いため、耐摩耗性に優れています
カンチレバー• マルチレバーバージョンには、短冊形カンチレバー、もしくはトライアングル形カンチレバーが形成されています• シングルレバータイプには、トライアングル形カンチレバーを形成(ScanAsystおよびPeakForce Tappingモードでご利用頂けます）*• カンチレバー背面に金の反射コーティング• カンチレバーのたわみを2°以下に補正済み
サポートチップ• パイレックスサポートチップ寸法: 3.4 mm x 1.6 mm x 0.5 mm• サポートチップ毎に切り分けられているので取り扱いが容易
探針• 低温酸化によるモールドシャープニング技術を用いて形成された探針• 探針高さ3.5 µm、先端曲率半径は 10 nm (代表値)以下• 巨視的に見た場合のハーフコーンアングルは35°

パイレックスナイトライド 短冊形（ダイビングボード）カンチレバー
3Dスケッチパッケージサイズ• 20, 50本/パッケージ

コーティング各種
金コート• カンチレバー背面に 70 nm 厚の金コートレーザー光の反射を向上させます• オプションで、カンチレバーの探針側に 35 nm 厚の金コートも可能
パイレックスナイトライド トライア
ングル形シングルカンチレバー
PeakForce Tapping、ScanAsyst
モードで使用可能です
3Dスケッチパイレックスナイトライド-AFMプローブ
トライアングル形カンチレバー (PNP-TR)
短冊形カンチレバー (PNP-DB)
シングルトライアングルカンチレバー (PNP-TRS)

トライアングル形カンチレバー(PNP-TR)

短冊形カンチレバー (PNP-DB)• トライアングル形カンチレバー• マルチレバーデザイン• カンチレバー背面に金コーティング• 両面金コートタイプもあります• 短冊形状のカンチレバー• マルチレバーデザイン• カンチレバー背面に金コーティング

シングルトライアングル形カンチレバー (PNP-TRS)• トライアングル形カンチレバーを一本形成• 1チップあたり1本のカンチレバー• カンチレバー背面に金コーティン
グ• ScanAsystおよびPeakForceTappingモード用に設計されています*

カンチレバー#

1

2

カンチレバー#

12

トライアングル形

形状

共振周波数

67 kHz

17 kHz共振周波数

67 kHz

17 kHz共振周波数

67 kHz

ばね定数0.32 N/m

0.08 N/m

ばね定数0.48 N/m

0.06 N/m

ばね定数0.32 N/m

長さ100 µm200 µm

長さ100 µm200 µm

長さ

100 µm厚さ

2 x 13.5 µm 2 x 28 µm
600 nm

600 nm

形状

1形状

幅短冊形

カンチレバー#

トライアングル形

幅40 µm40 µm

幅

2 x 13.5 µm

厚さ

600 nm

600 nm

厚さ

600 nmPNPティップレス (PNPTR-TL)• トライアングル形パイレック
スナイトライド プローブにはティップレスバージョンもあります• 背面金コート• 両面金コートもあります

パイレックスナイトライド AFMプ
ローブ
トライアングル形ティップレスカンチレバー

パイレックスナイトライド AFMプ
ローブ
ロング・トライアングル形ティップ
レスカンチレバーの拡大イメージ

パイレックスナイトライド AFMプローブ
ショート・トライアングル形ティップ
レスカンチレバーの拡大イメージ*ScanAsystおよびPeakForce Tappingモードはブルカー社製AFMのイメージングモードです。

製 品 一 覧コンタクトモード

アプリケーション 型番

コンタクトモード

コーティング探針側

コーティング背面探針形状Arrow CONT---

Arrow™

CONT-

Arrow CONTR

-

CONTR

-

ZEILR

-

Arrow CONTPt

PtIr5

コンタクトモード /タッピングモード

コンタクトモード
もしくはタッピン
グモード

Reflex (Al)PtIr5

CONTSC-CONTSCR-

Reflex (Al)カンチレバー 1
PNP-TR(トライアンカンチレバー 2グル形)-

Reflex(Cr/Au)PNP-TR-Au カンチレバー 1(トライアンカンチレバー 2グル形)

Cr/Au

PNP-DB(短冊形)-

カンチレバー 1
カンチレバー 2-Cr/Au

0.2 N/m

450 x 45 x 2 μm

13 kHz0.2 N/m

450 x 50 x 2 μm

Arrow™

14 kHz0.2 N/m

450 x 45 x 2 μm

Pointprobe®

13 kHz0.2 N/m450 x 50 x 2 μm

27 kHz1.6 N/m

450 x 55 x 4 μm

Arrow NCR--Reflex (Al)NCHR
Arrow NCPt

Arrow™

14 kHz0.2 N/m

450 x 45 x 2 μm®

13 kHz0.2 N/m

450 x 50 x 2 μm

Pointprobe®

25 kHz0.2 N/m

225 x 48 x 1 μm

67 kHz0.32 N/m 100 x 13.5 x 0.5 μm

17 kHz0.08 N/m 200 x 28 x 0.5 μm

67 kHz0.32 N/m 100 x 13.5 x 0.5 μm

17 kHz0.08 N/m 200 x 28 x 0.5 μm

67 kHz0.48 N/m 100 x 40 x 0.5 μm

17 kHz0.06 N/m 200 x 40 x 0.5 μm

Arrow™

285 kHz160 x 45 x 4.6 μm

Pointprobe®

330 kHz125 x 30 x 4 μm

Arrow™

285 kHz160 x 45 x 4.6 μm

330 kHz125 x 30 x 4 μm

285 kHz160 x 45 x 4.6 μm

ピラミッド形窒化シ
リコン

Pointprobe
PtIr5

®

Reflex(Cr/Au)NCH

ノンコンタクトモード / タッピングモード

14 kHz

Pointprobe

Arrow NC

ノンコンタクト /タッピングモード(高周波)

カンチレバー
長さx幅x厚さ

Pointprobe

CONTPtコンタクトモード(ショートカンチレバー)

共振周波数 ばね定数

PtIr5

NCHPt

®

Arrow™
Pointprobe®

SSS-NCH--

SuperSharpSilicon™

AR5-NCHR-

Reflex (Al)高アスペクト比(5:1)
330 kHz

AR5T-NCHR (傾斜補正)
AR10-NCHR

42 N/m

125 x 30 x 4 μm

高アスペクト比(10:1)
ダイヤモンドReflex (Al)

ダイヤモンド400 kHz

80 N/m

125 x 30 x 4 μm

NCST-

-

Pointprobe®

160 kHz

7.4 N/m

150 x 27 x 2.8 μm

NCSTR

-

Reflex (Al)Pointprobe

NCL

--

Pointprobe®

NCLR

-

Reflex (Al)

NCLPt

PtIr5

Ptlr5

SSS-NCL--

SuperSharpSilicon™

190 kHz

48 N/m225 x 38 x 7 μm

AR5-NCLR-

Reflex (Al)高アスペクト比(5:1)

DT-NCLR

ダイヤモンドReflex (Al)

ダイヤモンド

SEIHR-

Reflex (Al)Pointprobe®

130 kHz

15 N/m225 x 33 x 5 μm

SSS-SEIH--SuperSharpSilicon™

DT-NCHR
CDT-NCHR
ノンコンタクト /ソフトタッピング
モード

ノンコンタクト/
タッピングモード(ロングカンチバー)®

CDT-NCLR
ノンコンタクト /タッピングモード(日立ハイテク(旧・セイコーインスツルメンツ)製AFM
ノンコンタクトモード)

Pointprobe®

Arrow™

Pyrex-Nitride

Ultra-Short Cantilevers

製 品 一 覧アプリケーション型番コンタクトモード

USC-F1.5-k0.6

高速 AFM

USC-F1.2-k0.15
USC-F0.3-k0.3
ノンコンタクト /タッピングモード

USC-F5-k30

コーティング

探針側背面

Au（探針はコーティング無し）

Reflex (Au)Au
（探針はコーティング無し）

USC-F2-k3
USC-F1.2-k7.3

PeakForce Tapping /ScanAsyst モード

コーティング

Reflex (Au)

Arrow UHF

Reflex (Al)Arrow UHF-AuD

Reflex (Au)

探針形状

共振周波数

ばね定数

カンチレバー
長さx幅x厚さ

電子ビーム
堆積(EBD)スパイク

1.5 MHz

0.6 N/m

7 x 3 x 0.10 μm

1.2 MHz0.15 N/m

7 x 2 x 0.08 μm

0.3 MHz

0.3 N/m

20 x 10 x 0.19 μm

5.0 MHz

30 N/m20 x 5 x 0.68 μm

2.0 MHz

3.0 N/m

10 x 5 x 0.28 μm

1.2 MHz

7.3 N/m

20 x 10 x 0.67 μm

Arrow™

最大 2.0MHz-35 x 42 x 0.7 μm

67 kHz0.32 N/m 100 x 13.5 x 0.6 μm

電子ビーム
堆積(EBD)スパイク

PNP-TRS-Reflex (Al)ピラミッド
形窒化シリコンArrow FM--

Arrow™

FM

Pointprobe

フォースモジュレ Arrow FMRーションモード
FMR-

Reflex (Al)75 kHz2.8 N/m

225 x 28 x 3 μm

Arrow™

240 x 35 x 3 μm

Pointprobe®

225 x 28 x 3 μm

ダイヤモ
ンド

Reflex (Al)Arrow EFM

PtIr5

PtIr5

Arrow™

EFM

PtIr5

PtIr5

Pointprobe

MFMR

強磁性

Reflex (Al)S-MFMR

軟磁性

Reflex (Al)DT-FMR

240 x 35 x 3 μm®

ダイヤモンド105 kHz

6.2 N/m

225 x 28 x 3 μm

75 kHz2.8 N/m

240 x 35 x 3 μm

CDT-FMR

その他測定モード

電気力顕微鏡（EFM）
磁気力顕微鏡
(MFM)

ティップレスカンチレバー

Arrow TL1

1 カンチレバー--

Arrow TL1-Au

1 カンチレバー

Ti/Au-

Arrow TL2

2 カンチレバーアレイ--

Arrow TL2-Au

2 カンチレバーアレイ

Ti/Au

-

Arrow TL8

8 カンチレバーアレイ--

Arrow TL8-Au

8 カンチレバーアレイ

Ti/Au

-

カンチレバ
ー1

PNP-TR-TL

PNP-TR-TL-Au

トライア
ングル形
カンチレバー

カンチレバ
ー1
カンチレバ
ー2

Pointprobe®

75 kHz2.8 N/m

ティップレス
シリコン

6 kHz

0.03 N/m 500 x 100 x 1 μm

67 kHz0.32 N/m 100 x 13.5 x 0.6 μm

17 kHz0.08 N/m 200 x 28 x 0.6 μm

67 kHz0.32 N/m 100 x 13.5 x 0.6 μm

17 kHz0.08 N/m 200 x 28 x 0.6 μm-カンチレバー2Reflex (Au)Au

225 x 28 x 3 μm®

ティップレス窒化シリコン

225 x 28 x 3 μm

さらに詳しい情報は弊社ウェブサイトをご覧ください www.nanoworld.com 商品の改良、改善に伴い掲載されている仕様は予告なく変更される場合があります NanoWorld®
、Pointprobe® はNanoWorld AGの登録商標です。

POINTPROBE®

NanoWorldについて
私たちはナノテクノロジー分野で常に精度を追求しながらビジネスを続けてきました。
この分野においてはイノベーションこそが重要です。それがヨーロッパで最も力強く革新的な研究開発エリアのひとつであるスイスに拠点を置いている理由です。
私たちの経験、そして高精度なSPM・AFMプローブを使用することで、お客様は走査型プローブ顕微鏡（SPM）および原子間力顕微鏡（AFM）で最高の結果を取得できるでしょう。

ARROW™

探針形状、ばね定数、共振周波数、コーティングなど、幅広い選択肢を用意し、研究や産業用途に最適なプローブを提供しています。
Pointprobe®シリコンAFMプローブは、世界中で最も広く認知され、普及しているAFMプローブです。多くの研究室や企業において標準的なプローブになっています。Pointprobe®シリーズのAFMプローブには、さまざまなカンチレバー形状と探針形状があります。
Arrow™シリーズのAFMプローブでは、探針を測定箇所に簡単に位置合わせできる独自の探針形状を採用。高速スキャン用に設計されたArrow™ UHFは、最大2 MHzの共振周波数を持っています。

ULTRA -SHORTCANTILEVERS

NanoWorldのウルトラショートカンチレバー（USC）シリーズは、高速AFM用プローブの全範囲を提供しています。最大5 MHzの共振周波数で設計され、高密度カーボン/ダイヤモンドライクカーボン（HDC/DLC）で作られた高い耐摩耗性を持つ探針を備えています。大気中アプリケーション用の3種類と、液中アプリケーション用の3種類がご利用いただけます。
PNP窒化シリコンAFMプローブは、複数のトライアングル形カンチレバーを備えたタイプ、単一のトライアングル形カンチレバーを備えたタイプ、および複数の短冊形カンチレバーを備えたタイプを選択できます。先端曲率半径が10 nm以下のピラミッド状窒化シリコン探針が特長です。ディテクタ側またはカンチレバー両面に金コーティングが施されたティップレストライアングル
形窒化シリコンカンチレバーもご利用いただけます。

PYREX-NITRIDE

NanoWorld AG
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