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キヤノンオプトロン株式会社
整理番号：
A02
化学品名：
ＡｌＦ３

安 全 デ ー タ シ ー ト
rev. 7.0

作成
改訂

１．化学品及び会社情報
化学品の名称ＡｌＦ３

ＳＤＳ整理番号A02

供給者の会社名

キヤノンオプトロン株式会社

住所〒307-0015 茨城県結城市鹿窪1744-1

担当部門

販売部門

電話番号

0296-21-3700

ＦＡＸ番号0296-21-3770

緊急連絡電話番号

0296-21-3700

推奨用途

真空蒸着用材料

２．危険有害性の要約
ＧＨＳ分類 （JIS Z 7252 「GHSに基づく化学品の分類方法」 による分類）
物理化学的危険性

健康に対する有害性

環境に対する有害性

爆発物

分類できない

可燃性ガス
エアゾール

区分に該当しない（分類対象外）
区分に該当しない（分類対象外）

酸化性ガス

区分に該当しない（分類対象外）

高圧ガス

区分に該当しない（分類対象外）

引火性液体

区分に該当しない（分類対象外）

可燃性固体

分類できない自己反応性化学品分類できない

自然発火性液体区分に該当しない（分類対象外）

自然発火性固体

分類できない自己発熱性化学品

分類できない水反応可燃性化学品

分類できない酸化性液体

区分に該当しない（分類対象外）

酸化性固体

分類できない有機過酸化物

分類できない金属腐食性化学品

分類できない鈍性化爆発物

分類できない急性毒性（経口）

区分3

急性毒性（経皮）

分類できない急性毒性（吸入：気体）区分に該当しない（分類対象外）

急性毒性（吸入：蒸気）

分類できない急性毒性（吸入：粉じん、ミスト）

分類できない皮膚腐食性／刺激性

分類できない眼に対する重篤な損傷性／眼刺激性

区分2A

呼吸器感作性

分類できない皮膚感作性

分類できない生殖細胞変異原性
発がん性

分類できない分類できない生殖毒性

区分2

生殖毒性・授乳影響

分類できない特定標的臓器毒性（単回ばく露）区分3

特定標的臓器毒性（反復ばく露）区分1

誤えん有害性

分類できない水生環境有害性 短期（急性）分類できない2013/10/15
2024/3/142 / 8 ページ
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水生環境有害性 長期（慢性）分類できないオゾン層への有害性

分類できない作成
改訂

2013/10/15
2024/3/14

GHSラベル要素
絵表示（ピクトグラム）

どくろ

健康有害性

どくろ

健康有害性

注意喚起語

危険

危険有害性情報

飲み込むと有毒
強い目刺激
呼吸器への刺激のおそれ生殖能または胎児への悪影響のおそれの疑い
長期にわたる、又は反復ばく露による骨の障害

注意書き【安全対策】

使用前に取扱説明書を入手すること。
全ての安全注意を読み理解するまで取り扱わないこと。
粉じん／煙／ガス／ミスト／蒸気／スプレーを吸入しないこと。
取扱い後は手を良く洗うこと。
この製品を使用するときに、飲食又は喫煙をしないこと。
保護手袋／保護衣／保護眼鏡／保護面を着用すること。

【応急措置】

飲み込んだ場合：直ちに医師に連絡すること。
眼に入った場合：水で数分間注意深く洗うこと。次にコンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。
ばく露又はばく露の懸念がある場合：医師に連絡すること。
ばく露又はばく露の懸念がある場合：医師の診察／手当てを受けること。
気分が悪いときは、医師の診察／手当てを受けること。
特別な措置が必要である。
口をすすぐこと。
眼の刺激が続く場合：医師の診察／手当てを受けること。

【保管（貯蔵）】

施錠して保管すること。

【廃棄】内容物／容器を都道府県知事の許可を受けた専門の廃棄物処理業者に業務委託すること。

【他の危険有害性】

データなし

３．組成及び成分情報
化学物質・混合物の区別

化学物質

化学名又は一般名

三フッ化アルミニウム

化学式

AlF3

濃度又は濃度範囲

99.9%<ＣＡＳ Ｎｏ．

7784-18-1

官報公示整理番号（化審法）
（安衛法）

1-14
データなし

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化管法指定化学物質の種別

データなし

分類に寄与する不純物及び安定化添加物

データなし

放射性情報

材料として放射性物質を使用していない。このため、電離性放射線が生じる根拠が存在しない。

４．応急措置
吸入した場合空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。
気分が悪いときは，医師の診察／手当てを受けること。

皮膚に付着した場合直ちに汚染された衣類を全て脱ぐこと。皮膚を流水【又はシャワー】で洗うこと。
皮膚に付着した場合、多量の水／石鹸で洗うこと。
皮膚刺激が生じた場合、医師の診察／手当てを受けること。

眼に入った場合水で数分間注意深く洗うこと。次にコンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。
眼の刺激が続く場合、医師の診察/手当を受けること。

飲み込んだ場合口をすすぐこと。
医師の診察／手当てを受けること。

急性症状及び遅発性症状の最も重 吸入 : 咳、息切れ、咽頭痛。
要な微候症状皮膚 : 痛み、発赤。
応急措置をする者の保護に必要な 救助者は、状況に応じて適切な保護具を着用する。
注意事項
医師に対する特別な注意事項

データなし

５．火災時の措置
適切な消火剤

水噴霧、泡消火剤、粉末消火剤、炭酸ガス、乾燥砂類

使ってはならない消火剤

火災が周辺に広がる恐れがあるため、直接の棒状注水を避ける。

火災時の特有の危険有害性

不燃性であり、それ自身は燃えないが当該製品は分子中にハロゲン (F) を含有しているため火災時に刺激性もしくは有毒なヒューム(又はガス)を放出する。

特有の消化方法

危険でなければ火災区域から容器を移動する。
安全に対処できるならば着火源を除去すること。

消火活動を行う者の特別な保護具 消火作業の際は、適切な保護具や耐火服を着用する。
及び予防措置６．漏出時の措置
人体に対する注意事項、保護具及 直ちに、全ての方向に適切な距離を漏洩区域として隔離する。
び緊急時措置関係者以外の立入りを禁止する。
密閉された場所に立入る前に換気する。
全ての着火源を取り除く。
環境に対する注意事項

環境中に放出してはならない。

封じ込め及び浄化の方法及び機材 漏洩物を掃き集めて空容器に回収し、後で廃棄処理する。
封じ込め及び浄化方法・機材 水で湿らせ、空気中のダストを減らし分散を防ぐ。
二次災害の防止策

プラスチックシートで覆いをし、散乱を防ぐ。

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改訂2013/10/15
2024/3/14

７．取扱い及び保管上の注意
取扱い
技術的対策

「8. ばく露防止及び保護措置」に記載の措置を行い、必要に応じて保護具を着用する。

安全取扱注意事項

使用前に取扱説明書を入手すること。
全ての安全注意を読み理解するまで取り扱わないこと。
適切な個人用保護具を使用すること。
粉じん、ヒューム、蒸気、スプレーを吸入しないこと。

接触回避

ナトリウム、カリウム、酸衛生対策

取扱い後はよく手を洗うこと。
この製品を使用する時に、飲食又は喫煙しないこと。

保管
安全な保管条件

換気の良い場所で保管すること。容器を密閉しておくこと。
施錠して保管すること。

安全な容器包装材料

破損や漏れの無い密閉可能な容器を使用する。

８．ばく露防止及び保護措置
AlF3
管理濃度

設定されていない

許容濃度
日本産業衛生学会

第３種粉塵 吸入性粉塵2mg/㎥ 総粉塵8mg/㎥（2021年版）

ＡＣＧＩＨ

TLV-TWA: 2.5 mg/㎥
(フッ化物)（2015年版）

設備対策

粉じんが発生する作業所においては、必ず密閉された装置、機器または局所換気装置を使用する。

保護具
呼吸用保護具

防塵マスク

手の保護具

保護手袋

眼、顔面の保護具

防塵眼鏡

皮膚及び身体の保護具

保護衣服

９．物理的及び化学的性質
物理的状態
物理状態

固体

形状

ペレット、顆粒状

色

白色

臭いなし
AlF3

融点・凝固点1090℃

沸点又は初留点及び沸点範囲

1272℃

可燃性

データなし

爆発下限界及び爆発上限界／可燃 2.5 g/㎤ (HSFS (2008))
限界5 / 8 ページ
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引火点

不燃性

自然発火点

不燃性

分解温度

データなし

pH4.5～5 (GESTIS (2015))

動粘性率

データなし

作成
改訂

2013/10/15
2024/3/14

溶解度
水0.559 g/100 ml (25 ℃）

その他の溶媒アルコール、アセトン: 不溶
酸、塩基: わずかに可溶 (HSDB (2015))

n-オクタノール／水分配係数（log値）

データなし

蒸気圧

133 Pa (1238℃) (ICSC (2012))

相対密度2.882 (25/4℃) (NITE総合検索 (2015))（密度）
相対ガス密度2.9 (空気 = 1) (HSFS (2008))

粒子特性

データなし

その他データ

データなし

10．反応性及び安定性
AlF3
反応性

不燃性の固体である。
水にごくわずかに溶ける。

化学的安定性

データなし

危険有害反応可能性

ナトリウム及びカリウムとの接触で激しく反応する。
酸及び酸のヒュームとの接触により、毒性の高いヒュームを生じる。
空気、湿度、及び活性水素を含む化合物と激しく反応する。

避けるべき条件

加熱

混触危険物質ナトリウム、カリウム、酸

危険有害な分解生成物

加熱による分解により、極めて有害なフッ化水素のヒュームを生じる。

11．有害性情報
AlF3
急性毒性（経口）

マウスLD50値： 103 mg/kg

急性毒性（経皮）

データなし

急性毒性（吸入：気体）

GHSの定義における固体である。

急性毒性（吸入：蒸気）GHSの定義における固体である。

急性毒性（吸入：粉じん、ミスト）

ラットのLC50値 (4時間) として、0.53 mg/L (GESTIS (2015)) との情報があるが、出典が不明である。

皮膚腐食性/刺激性

データなし

眼に対する重篤な損傷性又は眼刺 本物質は重度の眼刺激性があるとの記載や (HSDB (2015))、組織に強い刺激性激性があるとの記述 (HSDB (2015)) がある。
呼吸器感作性又は皮膚感作性

本物質及び硫酸アルミニウムを扱う職業ばく露において刺激性の粒子による喘息症状が報告されている (EHC 194 (1997))。

生殖細胞変異原性in vivoデータはなく、in vitroでは細菌の復帰突然変異試験で陰性である (NTP DB(2015))。

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作成
改訂

2013/10/15
2024/3/14

発がん性

ACGIHは金属アルミニウム及び不溶性アルミニウム化合物に対し、また、フッ素化合物に対し、それぞれA4に分類している (ACGIH (7th, 2001) Fluorides、HSDB(2015))。

生殖毒性・授乳影響

妊娠ラットの妊娠期間を通して、本物質を吸入ばく露した催奇形性試験において、0.03～0.2 mg/㎥で受精卵の着床前胚致死率の増加、さらに高濃度では胎児毒性、催奇形性が生じたと報告されているが、母動物毒性については記述がない(HSDB (2015))。

特定標的臓器毒性（単回ばく露）

本物質は気道刺激性を有し、鼻血、嘔吐を引き起こす (HSDB (2015)) とのデータあり。

特定標的臓器毒性（反復ばく露）

本物質はアルミニウムの精錬において添加剤として用いられる。
アルミニウム精錬でフッ化物のばく露を受けた労働者の疫学調査において、比較的高濃度 (2.4～6.0 mg/㎥) のばく露を受けた従業員107人の大多数が10年間のばく露後にフッ素沈着症になり、15年後に脊柱の可動性が制限された中等度から重度の骨硬化症が認められた (ACGIH (7th, 2001) Fluorides)。また、フッ化物の職
業ばく露により労働者が平均2.65 mg/㎥の濃度では労働者に骨の病変はみられず、平均3.38 mg/㎥の濃度で骨の変化がみられたとの報告がある (ACGIH (7th,2001) Fluorides)。
なお、本物質による歯への影響は報告されていないが、フッ素の多量の摂取は主として骨格組織 (骨と歯) に影響を及ぼすことが明らかにされており、歯のフッ素症
は骨とは異なり、通常生後から6あるいは8歳までの歯の発達の段階にのみ生じること (IPCS 227 (2002))、1.5 mg/LというWHOの飲料水ガイドライン値を超える濃度は、歯のフッ素症の増加のリスクを伴い、さらにもっと高い濃度では骨フッ素症に至ること (WHO (2011) Guidelines for drinking-water quality - 4th ed.)、などから、本物質による小児での歯への影響の可能性も考えられる。

誤えん有害性

データなし

その他

データなし

12．環境影響情報
AlF3
生態毒性
水生環境有害性 (短期/急性)

データなし

水生環境有害性 (長期/慢性)

データなし

残留性・分解性

データなし

生体蓄積性

データなし

土壌中の移動性

データなし

オゾン層への有害性

データなし

その他

データなし

13．廃棄上の注意
残余廃棄物

都道府県知事の許可を受けた産業廃棄物処理業者に処理を委託する。

汚染容器及び包装容器は洗浄してリサイクルするか、関連法規制ならびに地方自治体の基準に従って適切な処分を行う。
空容器を廃棄する場合は、内容物を完全に除去すること。

14.輸送上の注意AlF3
国際規制
国連番号

1759

品名（国連輸送名）

CORROSIVESOLID,N.O.S.

国連分類8

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副次危険該当なし

容器等級

Ⅰ

海洋汚染物質

データなし

MARPOL73/78附属書Ⅱ及びIBCコードによるばら積み輸送
される液体物質
国内規制

作成
改訂

2013/10/15
2024/3/14

データなし

15.適用法制を参照

輸送又は輸送手段に関する特別の 移送時にイエローカードの保持が必要。
安全対策
輸送に際しては、直射日光を避け、容器の破損、腐食、漏れのないように積み込み、荷崩れの防止を確実に行う。
重量物を上積みしない。
緊急時応急措置指針番号15415.適用法令 （【】内は規制されている法文物質名と区分内番号）
AlF3
労働安全衛生法

名称等を表示すべき危険物及び有害物（法第５７条第１項、施行令第１８条第１号～第２号別表第９）【第１９７号の２ 三弗化アルミニウム】
名称等を通知すべき危険物及び有害物（法第５７条の２第１項、施行令第１８条の２第１号～第２号別表第９）【第１９７号の２ 三弗化アルミニウム】

ＰＲＴＲ法

該当なし

毒物及び劇物取締法

該当なし

労働基準法

疾病化学物質（法第７５条第２項、施行規則第３５条別表第１の２第４号１、平成２５年９月３０日告示第３１６号）【弗素及びその無機化合物】

化審法

該当なし

消防法

該当なし

大気汚染防止法

該当なし

水質汚濁防止法

有害物質（法第２条第２項第１号、施行令第２条）【第２５号 ふつ素及びその化合物】
指定物質（法第２条第４項、施行令第３条の３）【第４４号 アルミニウム及びその化合物】

水道法

水質基準（法第４条第２項、平成１５年５月３０日省令第１０１号）【３３ アルミニウ
ム及びその化合物】
水質基準（法第４条第２項、平成１５年５月３０日省令第１０１号）【１２ フッ素及びその化合物】

下水道法

水質基準（法第１２条の２第１項、施行令第９条の４）【第２６号 ふっ素及びその化合物】

海洋汚染防止法

該当なし

廃棄物の処理及び清掃に関する法 該当なし
律

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その他

作成
改訂

2013/10/15
2024/3/14

土壌汚染対策法
特定有害物質（法第２条第１項、施行令第１条）【第２２号 ふっ素及びその化合物】
航空法
毒物類・毒物（施行規則第１９４条危険物告示別表第１）【【国連番号】３２８８ その他の毒物（固体）（無機物）】※適用条件： 他の危険性を有しないもの。他に品名が明示されているものを除く。
船舶安全法
毒物類・毒物（危規則第３条危険物告示別表第１）【【国連番号】３２８８ その他の毒物（固体）（無機物）】※適用条件： 他の危険性を有しないもの
特定有害廃棄物輸出入規制法（バーゼル法）
特定有害廃棄物（法第２条第１項第１号イ、平成３０年６月１８日省令第１２号）【別表第６第１４号ハ イ又はロに掲げる無機ふっ素化合物以外の無機ふっ素化合物を含む物】
特定有害廃棄物（法第２条第１項第１号イ、平成３０年６月１８日省令第１２号）【別表第４の２の項第２号 液状又は泥状の無機ふっ素化合物】
外国為替及び外国貿易法
輸出許可貨物・補完品目（キャッチオール規制）（法第４８条第１項、輸出令第１条別表第１の１６の項）【無機化学品及び貴金属、希土類金属、放射性元素又は同位元素の無機又は有機の化合物】
輸出承認貨物・特定有害廃棄物等（法第４８条第３項、輸出令第２条別表第２の３５の２の項）【（１） イ又はロに掲げる無機ふっ素化合物以外の無機ふっ素化合物を含む物】
輸出承認貨物・特定有害廃棄物等（法第４８条第３項、輸出令第２条別表第２の３５の２の項）【（１） 液状又は泥状の無機ふっ素化合物】
輸入承認貨物・２の２号承認の第２（法第５２条、輸入令第４条第１項第２号、昭和４１年４月３０日告示第１７０号・２の２の表の第２）【２ イ又はロに掲げる無機ふっ素化合物以外の無機ふっ素化合物を含む物】
輸入承認貨物・２の２号承認の第２（法第５２条、輸入令第４条第１項第２号、昭和４１年４月３０日告示第１７０号・２の２の表の第２）【２ 液状又は泥状の無機ふっ素化合物】

16.その他の情報
本安全データシート（ＳＤＳ）は、現時点で入手できる最新の資料、データに基づいて作成しており、新しい知見により改訂されることがあります。また、ＳＤＳ中の注意事項は、通常の取扱いを対象にしたものです。
製品使用者が特殊な取扱いをされる場合は用途、使用法に適した安全対策を実施の上、製品を使用してください。
また、当社は、ＳＤＳ記載内容について充分注意を払っていますが、その内容を保証するものではありません。
弊社が作成するSDSは、調査結果をすべて参考情報として記載しています。記載があるものすべてにおいて該当するわけではございません。
引用文献
【文献】
許容濃度等の勧告(2021年度)：日本産業衛生学会 産業衛生学雑誌 63 巻
【WEBサイト】
独立行政法人 製品評価技術基盤機構ホームページ
安全衛生情報センターホームページ
厚生労働省ホームページ【法規制調査ツール】
ezCRIC＋ （日本ケミカルデータベース社）