超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM

INFICON Gemini™ 逆マグネトロン真空計は、すべての真空計測用途向けの主力製品です（特許申請中）。大気圧から 1x10 – 9 mbar を計測できるように、Gemini逆マグネトロン真空ゲージは2つのセンサーシステムを1台の小型装置に結合します。特許を受けた超低磁気漂遊フィールド設計は、アプリケーションの全く新しい範囲を開きます。その独自の交換可能なデュアルチャンバーセンサーユニットはクリーニングサイクルを避けて、メンテナンスを減らします。そして、Geminiをその種類で最も強力で経済的な真空計にします。
Gemini冷陰極と組み合わせは、完全に統合したデジタル電子機器で、究極の柔軟性をシステム統合に提供します。オプションのGemini冷陰極とピラニの組み合わせは、幅広い範囲のアプリケーションで、シームレスな移行、信頼性、実用性と柔軟性を提供します。

利点
nLong lifetime in harsh environmentsn

厳しい環境下でも長寿命を実現
n

磁気漂遊フィールドは発生しないn

メンテナンスフリー - 交換可能なインサートn

超小型設計

n

耐腐食性に優れたフィードスルーn

選択可能な測定電流n2 relay setpoints (MxG55x)1

超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM

nEtherCAT and RS232/ RS485 digital interace

注文の情報

2

超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM

仕様
タイプ
測定システムMAG5xx

MPG5xxCold cathode ionization
measurement system(according to the inverted
magnetron principle)

Pirani and cold cathodeionization measurement
system (according to theinverted magnetron principle)

測定範囲（空気、窒素）

mbar

1×10⁻⁹ … 1×10⁻²

1×10⁻⁹ … 1000

測定範囲（空気、窒素）

Torr(7.6×10⁻¹⁰ … 7.6×10⁻³)(7.6×10⁻¹⁰ … 760)精度（窒素）1×10-8 … 1×10-2 mbar

% of reading30-

1×10-2 … 100 mbar

% of reading-30

100 ～ 1000 mbar

% of reading-50

1×10-8 … 1×10-2 mbar

% of reading

5-

1×10-8 … 100 mbar

% of reading

-

5

any

any

10 (limited to inert gases<55°C)

10 (limited to inert gases<55°C)+5 ... +55+5 ... +55<150<150

再現性 (N2)

取付け方向
許容圧力

bar (absolute)

許容温度
使用温度 (周囲)°C

ベークアウト (フランジにおい °Cて) (1)
保存°C-40 ... +70-40 ... +70

フィラメント温度°C-120

1×10-7 … 1×10-2 mbar%<95 (non-condensing)<95 (non-condensing)

1×10-8 … 1×10-2 mbar%

<70 (non-condensing)<70 (non-condensing)+14.5 ... +30+14.5 ... +30<1<1W<2<2AT<1<1

年平均、30日間の相対湿度

供給電圧
ゲージ位置 (2)V (dc)

供給電圧
リップル

V (p-p)

供給電圧
電力消費量
供給電圧
接続するヒューズ

3

超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM

仕様
タイプ

MAG5xx

MPG5xx0 ... +10.5

0 ... +10.5

電圧範囲
アナログ出力V

エラー信号
出力インピーダンス

Ω2x10

エラー信号
負荷インピーダンスkΩ>10 (short circuit-proof)

ゲージ識別kΩ85

ピラニ専用モード

V0 (low)

冷陰極点火

V-

ピラニ / 冷陰極複合モード 3)

V+15 ... +30 (high)

3MAx-00x-0x0N

V-

3MBx-00x-0x0P

V+1.398 ... +8.598

3MAx-00x-0x0Q

V-

3MAx-xxx-xxxN

V+1.5 ... +8.5

3MBx-xxx-xxxP

V-

3MAx-xxx-xxxQ

V+0.667 ... +10

動作電圧

kV

<3.3

高動作電流

µA

<500

ステータス (ピン6)

測定範囲

電圧対温度
3MAx-00x-0x0N

volts per decade-

3MBx-00x-0x0P

volts per decade

0.6 (logarithmic)

3MAx-00x-0x0Q

volts per decade-

3MAx-xxx-xxxN

volts per decade

1 (logarithmic)

3MBx-xxx-xxxP

volts per decade-3MAx-xxx-xxxQ

volts per decade1.33 (logaritmic)

低動作電流

µA

<100

重量
DN 25 ISO-KF

g<280

DN 40 ISO-KF

4g

超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM

<320

仕様
タイプ

MAG5xx

DN 40 CF-F & CF-Rg

MPG5xx
<570

エラー信号
エラー信号

V
09.5 ... +10.5

3MAx-xxx-xxxN

V

<+0.5

3MA-xxx-xxxQ

V

<+0.3

3MBx-xxx-xxxP

V-Output impedanceΩ
2 x 4.7 (short circuit-proof)

標準
CE 適合
EMC (EN 61000-6-2, EN61000-6-3), EN 61010-1 &RoHS
Load impedancekΩ>10 (short circuit-proof)

保守noneステップ応答時間p > 1 x 10-6 mbarms
<100

<100

ステップ応答時間
p=1x10-6...1x10-8 mbarsp = 1x10-6...1x10-8 mbar

s~1~1

ゲージ識別 (FCC connectorgauges)
3MAx-0xx-000NkΩ-

3MAx-0xx-000Q

kΩ

100

3MBx-0xx-000P

kΩ

-mA

100

High Voltage is ON

V (dc)+14.5 ... +30 (depending onsupply voltage)

High Voltage is OFF

V (dc)

0

ステータス (ピン6)Current rating
ステータス (ピン6)5超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM

仕様
タイプ

MAG5xx

MPG5xxStatus signal, digital output (Dsub connector)
Supply voltage

V (dc)<30High voltage ONV (dc)
0Status signal, digital output (Dsub connector)
Current ratingmA

100 (sink)Status signal, digital output (Dsub connector)
High voltage OFFopen

電気的接続
3Mxx-00x-000x

FCC68, 8-pin, female

3Mxx-00x-010x

D-sub, 9-pin, male

3Mxx-0xx-000x

FCC68, 8-pin, female

3Mxx-0xx-010x

D-sub, 9-pin, male

3Mxx-0xx-04xx

D-Sub HD, 15-pin, male (forRS232/485 version)

3Mxx-xxx-x2Gx

D-Sub HD, 15-pin, male (forEtherCAT Version)

センサーケーブル
3Mxx-00x-000x

8-pin, shielded

3Mxx-0xx-000x

8-pin, shielded

3Mxx-0xx-010x

9-pin, shielded

3Mxx-0xx-04xx
15-pin, shielded (forRS232/485 version)
3Mxx-xxx-x2Gx

15-pin, shielded (forEtherCAT version)

ケーブル長
50 m ケーブルm< 50 (8x0.14 mm²)

75 m ケーブルm< 75 (8x0.25 mm²)

100 m ケーブルm

< 100 (8x0.34 mm²)

300 m ケーブルm

< 300 (8x1.00 mm²)

6超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM

仕様
タイプ

MAG5xx

FCC connector cable

MPG5xxm<50 (0.14 mm²/ conductor)

High voltage (in the measuringchamber)
Ignition voltage

kV<4.5動作電圧kV<3.3High currentµA<380Low currentµA<130

Current (in the measuringchamber)

Setpoint relays (MxG55x)
Range (N2)mbar bar

5x10₋₅ ... 1500

Setpoint relays (MxG55x)
Relay contact

normally open (NO), potential
free

Setpoint relays (MxG55x)
Hysteresis% of threshold

10

Setpoint relays (MxG55x)
Contact rating of mechanicalrelays

V/A<30/ <1ms<30

Setpoint relays (MxG55x)
Switching time
真空状態になった物質
3Mx0-00x-0x0x

W, Ni alloy, AI₂O₃, glass,stainless steels

3Mx3-00x-0x0x

Ni alloy, AI₂O₃, stainlesssteels

3Mx0-xxx-xxxxNi alloy, Mo, AI₂O₃, glass,stainless steels

3Mx3-xxx-xxxx

Mo, AI₂O₃, stainless steels

3Mx0-11x-xxxx

Ni alloy, Mo, Al₂O₃, glass, Ti,stainless steels

3Mx3-11x-xxxx

Mo, Al₂O₃, Ti, stainless steels

内部体積22.8

DN 25 ISO-KF

cm³~19.9

DN 40 ISO-KF

cm³~20.97超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM

仕様
タイプ

MAG5xx

DN 40 CF-F

cm³~25.2

DN 40 CF-R

cm³~25.6

cm³22.8

MPG5xx22.8

重量 (MxG50x)
DN 25 ISO-KF

g<280

DN 40 ISO-KF

g

<320

DN 40 CF-F & CF-Rg<570

DN 25 ISO-KF

g

<500

DN 40 ISO-KFg<320

DN 40 CF-F & CF-R

g

<780

Weight (MxG55x)

品質保護の程度

IP 40

CE conformity
EMC

2014/30/EU, EN 61000-6-2,EN 61000-6-3, EN 61326-1

RoHS

2011/65/EU

SafetyEN 61010-1

RS232C / 485C (MxG50x)
Baud rates

kBaud

9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6

RS232C / 485C (MxG50x)
Address

2 switches (address 00 - 255)

Digital functions

Read pressure, select Units:Torr, mbar, Pa, micron,counts. Monitor gauge Status,
detailed Alarm and warning
Information, safe state allows
Definition of behaviour incase of error.

Connector for RS232 & RS485

D-Sub HD, 15-pin, male

EtherCAT® (MxG55x)
ProtocolEtherCAT

8

超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM?????

IP 40

仕様
タイプ

MAG5xxCommunication standard
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 ⁴⁾
ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0⁵⁾
Node address

Explicit Device Identification

Physical layer

100Base-Tx (IEEE 802.3)

Digital functions

Read pressure, select Units:Torr, mbar, Pa, micron,Counts. Monitor gauge
Status, detailed Alarm andwarning Information, safe
state allows Definition ofbehaviour in case of error.

EtherCAT connector

2 x RJ45, 8-pin (socket),Input & output

EtherCAT cableSpecial Ethernet Patch cableor crossover cable, shielded(CAT5e Quality or higher)

EtherCAT® (MxG55x)
Cable lenghtm (ft.)1) 電子回路なし。
2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。
3) 冷陰極管点灯時。

9超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM<100 (330)

MPG5xxスペア部品MAG5xx

MPG5xxMAG500 spare sensor, 25KF, SS

351-500-

MAG500 spare sensor, 25KF, TI

351-502-

MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS351-524-

MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI

351-526-

MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS

351-536-

MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI

351-538-

MAG500 spare sensor, 40KF, SS

351-512-MAG500 spare sensor, 40KF, TI

351-514-MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI

351-503-

MAG504 spare sensor, 25KF, SS

351-501-

MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS

351-525-

MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI

351-527-MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS

351-537-MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI

351-539-MAG504 spare sensor, 40KF, SS351-513-MAG504 spare sensor, 40KF, TI

351-515-

MPG500 spare sensor, 25KF, SS-351-506

MPG500 spare sensor, 25KF, TI-351-508

MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS-351-530

MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI-351-532

MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS-

351-542

MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI-351-544

MPG500 spare sensor, 40KF, SS-351-518

MPG500 spare sensor, 40KF, TI-351-520

MPG504 spare sensor, 25KF, SS-351-507

MPG504 spare sensor, 25KF, TI-351-509

MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS-351-531

MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI-

351-533

MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS-

351-543

MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI-

351-545

MPG504 spare sensor, 40KF, SS-

351-519

MPG504 spare sensor, 40KF, TI-

351-521

MxG40x/50x IGNITER SET(10pcs)

351-995351-995

Spare ion chamber ss

351-555351-555

Spare ion chamber ti

351-556351-55610超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATMアクセサリ
MAG5xx

MPG5xxBAFFLE for BPG400

353-512353-512Centering ring with baffle DN 25 KF

211-113211-113

Centering ring with fine filter DN 25 KF

211-098

211-098

TOOL FOR IGNITER SETTING

351-550

351-550

寸法

www.inficon.com

reachus@inficon.com

製品向上のプログラムを続行するため、仕様は通知なく変更されます。
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09.08.2016=> Accuracy
MPG at 1x102 ...10mbar
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