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12. 新索材物質などによる主な爆発・火災災害事例（昭和 61年〜平成 3年）(1) 特殊材料ガス
発生年月

ガスの種類

事故の種類

発生概要

昭和 61年 9月

モノシラン

爆発火災

モノシランを原料とするプラズマ蒸着装置において，実験員が操作を誤って反応器に空気を導入したために爆発が起こり，排ガス処理用のアルカリ洗浄塔に設けてあった破裂板が作動した。排気筒がポリ塩化ビニル製であったために，排出ガス中のモノシランの発火によって燃え，火災となった。

三フッ化ホウ索

濡洩

モノシラン

漏洩火災

輸入した CVD (化学蒸着）装置の性能試験のためモノシランのポンベのバルプを開いたところ，除害装置に至る排気用配管の途中のバルプが「開」になっていたため，モノシランが配管中に入り込み，配管内に残っていた空気と接触して発火，さらに配管のフランジ部分からモノシランが漏洩して火災となった。

ゲルマン

ガス貯槽の破裂

四塩化ゲルマニウムとジエチルアルミニウムハイドライドからゲルマンを製造する設備において，生成したゲルマンを液体窒素により液化させて粗ガス貯槽に貯蔵したのち，これを精製するために加温・気化させていたところ，ゲルマンが分解したためか，貯槽が破裂した。

モノシラン

漏洩爆発

シリンダーキャビネット及び制御盤の付近でガス i
扁洩の警報を発したので，作業員が点検を行っていたところ，制御盤内で爆発が生じ，爆風と飛散物により作業員が死傷した。

モノシラン

漏洩発火

ポンベの交換に際し，ポンベの保護キャップと，バルプをシールしていた収縮チュープをはずしたあと，ガス取り出し口のキャップをゆるめたところ，モノシランが噴出して発火，火災となった。保護キャッ
プ内面と収縮チュープの間に隙間がなかったために，保護キャップをゆるめた際に収納チュープとバルプのハンドルが共回りしてバルプが開いた状態になっていたものとみられる。

モノシラン

漏洩発火

ガス充填室においてモノシランをポンベからプラントヘ移す作業をしていたが，バルブをゆるめたときにバルプからモノシランが噴出して発火，作業員は顔と腕に火傷を負った。ガスは数日間燃え統けた。

モノシラン

爆発

大学の実験室でプラズマ CVD装置を用いて実験中，亜酸化窒素流路の逆流防止弁が作動しなかったためか，高圧の亜酸化窒素がモノシランのボンベに逆流し，混合ガスが形成されて爆発，モノシランのポンベが破裂した。

'
昭和 62年 4月
死傷〇
平成元年 6月
死傷〇

平成元年 10月
死傷〇乎成元年 12月
死 1傷 2
平成 2年 3月
傷 1

平成 2年 6月
傷 1
平成 3年 10月
死 2傷 3

半導体実験室において，イオン注入用三フッ化ホウ素の小型ボンベ(70g入り， 50kg/cm2) のパルブから白煙がでているのが発見された。

‑92‑

産業安全研究所特別研究報~I;-

RIIS‑SRR‑N0.12(2) 金属
発生年月

昭和 61年 2月

金属の種頴
チタン

I
事故の種類
発火

発 生 概 要ウラン濃縮用のパイロソトプラントの運転準備に際して，失活した 酸 化 剤 液 を 活 性 化 す る た め ， あ ら か じ め 25kg/cm勺こ酸素で加偽 1

圧した酸化塔に失活液を送りこんだ。酸化）苔の圧））が 30kg/cm2

1
こ逹したので，酸祟収出ハルブによリ酸索を放出して，バルブ操什をしたとき，バルブから発火した。チタン製バルブのディスクと弁棒の隙間が小さかったために，酸索の流動によりディスクか弁座と弁枠の間で放しく伽動・衝突を繰り返し，チタンか発火したものと推定された。

昭和 61年 4月

コバルト・ニソ l
水燕気爆発
ケル合金

死似〇

アーク式電気炉において，コバルト・ニッケル粗合金を 1
500‑1600°Cに 裕 融 し ， 酸 索 を 吹 き 込 ん で 脱 炭 索 を 行 っ て い た と こ ろ ，炉内溶湯が泡立つととも 1
こ黒燒を発生し， し ば ら く し て 炉 の L蓋 か
炉内に落下したため，飛び散った溶嵩が炉前の冷却水槽に入って水蒸気爆発を起こした。炉内か泡立った理由は，炉体が冷えきっていたところへ，炭素分の多いスクラッフを炉床に置いて浴融させ，そこ へ 酸 素 を 吹 き 込 ん だ た め ， 急 激 に 脱 炭 反 応 が す す ん で CO及 び

CO2を発生したことによると考えられた。
昭和 61年 12月

死 1偽 1

ア ル ミ ニ ウ ム .I
粉じん爆発
マグネシウム合金

アルミニウム (67%) とマグネシウム (:13%) か ら な る 合 金 の粗粉を徴粉末にする工場において，粉砕機付近 1
こ溜まっていた扮じんを軍気掃肱機により吸引したところ，掃除機が爆発し，その火炎がホース内を逆火して粉砕機に入ったため，粉砕機ホッパーが瀑発した。掃除根内での煤発の原 [2~ としては，吸引ホース（ポリ塩化ビニル製，内径 3.
8cm) の 帯 屯 も 考 え ら れ た か ， 帯 電 し や す い 材 質とはいえ流速が速いことから杵火源とはなりにくいとみられ，フィルタに付着した粉じんの剥離僻電による放電か有力であると推定された。

昭和 62年 10月

ネオシム

I水 蒸 気 爆 発

傷 3

ネオジムー鉄合金の試作工程において，ネオジム中に含まれるカル シ ウ ム 分 を 除 去 す る た め に ， 真 空 炉 中 で 1500°C付 近 の 温 度 で 加熱・ 溶 融 処 理 し た 。 そ の 後 ， 水 冷 タ ー ン テ ー ブ ル に 溶 融 ネ オ ジ ム を鋳込み中に同テープルの一部か破損したために冷却水が噴出し，ネオジムと接触して貞空炉内の圧）］が上昇して炉の扉が破捐した。

昭和 62年 11月 1 金 属 ケ イ 索
死傷〇

平成元年 12月 1金 属 ケ イ 索死傷〇

粉 し ん 爆 )E I 盆 属 ケ イ 菜 の 倣 粉 砕 工 程 に お い て ， プ ロ ワ ー の 回 転 軸 の オ イ ル
シールが破捐したため，スプリングが回転袖に接触し，粉砕機内で粉じん爆発が発生した。この粉砕機は密閉溝造で，窒索を封入して低酸素濃度雰囲気で運転するものであったが，酸索濃度の測定が行われていなかったことが災害発生の一因となった。
粉じん爆発

I 金属ケイ索の微粉砕加工設備において，通常運転中に，ブロワー内部で爆発が生じた。原因は，プロワーの羽根車と吸い込み管の隙間 が 3mmと小さかったため，なんらかの理由で両者が接触し，金属ケイ素粉が発火・爆発したものと考えられた。

新素材物質などによる主な爆発・火災災害事例（昭和 61年〜平成 3年）(3) 有機物発生年月
昭和 61年 5月
傷 1

昭和 61年 7月

芦:
化学物質名ジアゾニウム塩

事故の種類

I爆 発死傷〇昭和 62年 7月
傷 1

昭和 62年 8月
傷 1

昭 和 63年 2月

パラオキシ安息香酸

I粉じん爆発1,2—ナフトキノン I 発火

—ジアジド -5- スルホニルクロライド(NAC)

傷 1

アントラキノン系の色素原を合成するため， 1,4‑ジ (4‑ヒドロキシフェニルアミノ）アントラキノンスルホン化物 (DHANS)を過ヨウ索酸ソーダで酸化し， DHANSの酸化物（数 g) を得た。これを乾燥したのちスパーテルで粉砕していたところ，突然爆発した。
パラニトロアニリン— 0- スルホン酸 (CaH3N02NH硲03H)

合成繊維の原料であるパラオキシ安息香酸の製造ラインの乾燥工程において，パラオキシ安息香酸を気流乾燥していたところ（乾燥機入日温度は 148°0)' 粉じん爆発を生じた。この乾燥機は，粉砕部（ハンマーミル）と分級機を備えたものであったが，原料の湿体品を供給する際に金属の異物が混入したとみられ，ハンマーミルの衝撃火花によりパラオキシ安息香酸の微粉が発火したものと推定された。

NACの製造が完了し，製品をファイバドラムに詰め終わった
のち，ふるい機のダマ（かたまり）出口を掃除しようとして指で出口を掻いていたとき，ふるい機内部で発火・燃焼した。このため，高温の分解ガスが噴出し，ファイバドラムに詰めてあった製品も分解した。発火の原因としては，ふるい機の出口を指で掻いていたときに静電気が発生し，その放電により微粉状の NACが発火したと推定された。

過酸化物
その他

I爆 発

活性炭にロジウムを付着させた触媒をトリフェニルホスフィンーエタノール溶媒で処理してロジウムを抽出する作業において，抽出を終えた後， 25 ミリリットルの抽出液に 60%過塩素酸液を少し加えて 130°cで酸化分解し，内容物をシロップ状にまで煮つめた。これに 61%硝酸を 2 ミリリットル添加したとき，コニカルビーカが爆発した。爆発原因としては，過塩索酸エステルまたは爆発性無水物の生成，過酸化物と添加した硝酸との爆発的反応などが考えられた。

n—ヘキサン

I爆発

タングステンカーバイド粉，コバルト粉及びその他の金属粉とパラフィン， n‑ヘキサンを混ぜたスラリーを熱風乾燥させ，顆粒メタルを製造する工程において，顆粒製造機の 1台を改造のために開放中，機内に残留していた n—ヘキサンの蒸気が工場内に漏洩した。正ヘキサンは，ピット，オイルヒータ室などに流れ込み，なんらかの着火源により爆発した。

過酸化物

I爆 発

ジクミルパーオキサイドを製造するため，循環式反応装置を用いてクメンハイドロパーオキサイドと aークミルアルコールを反応中，反応液の循環が不安定になったので，作業員が確認の死 1傷 5

昭和 63年 6月

発生概要を塩酸酸性下で氷冷しつつ，亜硝酸ナトリウム水溶液を滴下してジアゾ化したのち，遠心分離してジアゾニウム塩のウエットケー
キを得た。次に，このウエットケーキをサリチル酸溶液中に滴下してカップリングさせていたところ，反応容器内で発火した。

死傷〇

昭 和 61年 7月‑93‑ため近づいたところ，熱交換器が突然爆発し，反応液が噴出•発火した。原因は，反応促進剤として添加した水酸化カリウムが，反応に使用した過塩素酸と反応して過塩素酸カリウムが生成し，これが熱交換器内に付着して，ジクミルパーオキサイドと爆発的に反応したものと推定された。

‑94‑
発生年月
昭和 63年 7月

産業安全研究所特別研究報告
化学物質名

事故の種類

ジケテン

異常反応

RIIS‑SRR‑N0.12
発生概要

農薬の原料である 2—オキシ-6—クロロキノサリンを製造するため，4‑クロロ ‑2‑ニトロアニリンとジケテンを反応させる工程において，事故の前日に 48%の KOHを吸い上げ管で反応缶に仕込んだ。当日，死傷〇

同じ吸い上げ管を用いてジケテンを計量タンクに仕込んだところ，数時間して計量タンクからジケテンが噴出し始め， しばらくして同タンクが破裂した。事故原因は，吸い上げ管に残存していた KOHが計量タンクに入り，ジケテンと発熱的に反応したものと思われる。
平成元年 1月
死傷〇

平成 2年 6月
傷 2

平 成 3年 1月

異常反応

重合禁止剤として製造した 4- ニトロソ— 0- クレゾール 600 kgをコニカル回転式乾燥機で乾燥するため，乾燥機ジャケットに so0cの温水を 1
5時間通水したのち，窒素を充填して静置しておいたとこ
ろ，突然マンホールの蓋が吹き飛び，噴出した内容物に着火，爆発した。原因は，前回のパッチの乾燥に用いたアルカリが乾燥機内に残存しており，このため乾燥物（重合禁止剤）の分解温度 (SADT値 75°C) が低下して急速に分解がすすんだためと思われる。

オキ他
シ塩化リン 異常反応
その医薬品である塩酸ニカルジピンの試験製造工程において， N‑ベンゾイル‑Nーメチルアミンとオキシ塩化リン (POCla) を反応させた
後，冷却しながらテトラヒドロフラン (THF) とジメトキシエタン (DME) の混合溶剤を滴下していたところ，突然反応器が破裂して火災が発生した。残留物の分析結果から，反応後の冷却が十分でなく， THFと DMEの混合液の温度も高すぎたため， THFとPOClaとの異常反応が生じたことが原因と推定された。

4‑ニ ゾ
トロソ ‑0‑クレール

有液
機体
酸物素＋

爆ごう

ICに使用するセラミックスの基盤原料の製造工程において，窒化アルミニウム，酸化イットリウムなどとバインダー及びベンゼンを混合したスラリー状のものを液体窒索中に噴霧・凍結させたあと，乾燥器で乾燥するためにステンレス製スコップでトレー上に移していたとき，空気中の酸素が凍結した有機物質に凝縮したためか，衝撃等が着火源となって突然爆ごうを生じた。

過酸化物

爆ごう

脂肪酸メチルエステルスルホン酸の漂白に使用したメタノールを精留塔で回収中，残存していた過酸化水索とメタノールが反応して過酸化物が生成したためか，精留塔内で爆ごうが生じた。

死 2傷 1

平成 3年 6月
死 2傷 13