M A N U A L E

T E C N I C O

iina70i1-k (1108) traduzione

N. catalogo
UL1000:550 - 000A
550 - 001A
550 - 002A
UL1000 Fab:
550 - 100A
550 - 101Ada versione software V4.4

UL1000 / UL1000 Fab
Rivelatore di fughe d'elio

6

1.1
1.1.1
1.1.2
1.1.3
1.1.4
1.2
1.2.1
1.3
1.3.1
1.3.2
1.3.2.1
1.3.2.2
1.3.2.3
1.3.2.4
1.4
1.4.1
1.4.2
1.4.2.1
1.4.2.2
1.4.2.3
1.4.2.4
1.4.2.5
1.4.2.6

Note sull'uso di questo manuale
Simboli di sicurezza e significato
Note
Simboli relativi al vuoto
Definizioni dei termini
Supporto dell'assistenza INFICON
Centri di assistenza
Introduzione
Destinazione d'uso
Dati tecnici
Dati fisici
Dati elettrici
Altri dati tecnici
Condizioni ambientali
Disimballaggio
Oggetto della fornitura
Accessori e opzioni
Linea sniffer SL200
Scatola attrezzi
Supporto bottiglie elio
Stuoia antistatica
Comando remoto RC1000
Camera di prova TC1000

6
6
6
7
7
9
10
12
12
14
14
14
15
15
15
16
17
17
17
17
17
18
18

2

Installazione

19

2.1
2.2
2.3
2.3.1
2.3.2
2.3.2.1
2.3.2.2
2.3.2.3
2.3.2.4
2.3.2.5
2.3.2.6
2.4
2.4.1
2.4.2
2.4.3
2.4.4

Trasporto
Luogo di installazione
Collegamenti elettrici
Collegamento di rete
Collegamenti per accessori e segnali di comando
Accessori (Accessories)
Uscita digitale (Digital Out)
Ingresso digitale (Digital In)
Dispositivo di scrittura (Recorder)
RS232
Comando remoto (Hand Set)
Collegamenti vuoto
Ingresso
Scappamento
Connessione aerazione
Collegamento gas di risciacquo (UL1000 Fab) /collegamento ballast gas (UL 1000)
Condizione alla fornitura

19
21
22
22
24
25
25
26
27
28
28
29
29
29
29

2.5

2

Indice2930(1108)

Generalità

UL1000 Fab iina70iIVZ.fm

1

Manuale tecnico

IndiceControlli prima della messa in esercizio

31

3.1
3.2
3.2.1
3.2.2
3.2.3

Parti necessarie
Prima messa in esercizio
Avvio e misurazione
Calibrazione interna
Controllo

31
31
31
34
34

4

Descrizione e funzionamento

35

4.1
4.2
4.2.1
4.2.2
4.2.2.1
4.2.2.2
4.2.2.3
4.2.2.4
4.2.2.5
4.2.2.6
4.2.2.7
4.3
4.3.1
4.3.2
4.3.3

Introduzione
Struttura del UL1000 e UL1000 Fab
Sistema del vuoto
Unità di comando
Indicatore LCD
Tasto START
Tasto STOP
Tasto ZERO
Tasto MENU
Tasti
Immissioni numeriche
Modi di funzionamento
Modalità vuoto
Modalità sniffer
Modalità Autotest perdite

35
35
35
37
38
38
38
38
40
40
40
42
42
43
44

5

Funzionamento di UL1000 e UL1000 Fab

45

5.1
5.2
5.3
5.3.1
5.4
5.4.1
5.4.2
5.4.3
5.4.4
5.4.5

Display
Indicatori avvio
Indicazioni in modalità standby
Risciacquo
Il display in modalità misurazione
Richiamare la funzione Calibrazione
Volume del segnale acustico
Riga di stato del display
Modalità di visualizzazione numerica
Modalità trend

45
45
46
46
46
46
47
47
47
48

(1108)

6

Descrizione dei menu

49

UL1000 Fab iina70iIVZ.fm

6.1
6.2
6.2.1
6.2.2
6.2.3
6.2.4
6.2.5
6.2.6
6.2.7
6.3
6.3.1

Menu principale
Indicazione
Scala lineare/logaritmica
Ambito visualizzazione automatico/manuale
Asse temporale
Contrasto
Base in standby
Posizioni dopo la virgola
Limite visualizzazione inferiore.
Modo di funzionamento
Autotest perdite

49
51
52
53
53
54
54
55
55
56
57

Manuale tecnico

3

Indice3

4

IndiceManuale tecnico

59
59
60
60
61
61
62
62
63
63
63
63
64
65
65
66
66
67
67
68
71
71
72
72
73
73
74
75
76
77
78
78
78
79
79
79
80
80
80
81
85
85
86
86
87
87

(1108)

Trigger e allarmi
Trigger level 1
Trigger level 2
Volume
Unità
Ritardi allarme
Tipo allarme audio
Localizzazione
Quota perdita proporzionale
Valore nominale
Allarme trigger
CAL (Calibrazione)
Setting (Impostazioni)
Impostazioni del vuoto
Risciacquo automatico (solo UL1000 Fab)Rallentamento dell'aerazione
Ambiti vuoto
Quota di perdita perdita di prova internoa
Fattore macchina
Impostazioni autotest perdite
Zero & baseSoppressione base
Zero
Massa
Interfacce
Luogo di comando
Protocollo RS232
Uscita dispositivo di scrittura
Scalatura uscita dispositivo di scrittura
Varie
Data/ora
LinguaFiltro quota perdite
Frequenza di rete
Intervallo manutenzione filtro scappamento.
Messaggio manutenzione filtro scappamento
Caricare / memorizzare parametri
Caricare un set di parametri
Memorizzazione di un set parametri
Controllo
Info
Servizio
Diritti utente
Accesso alla funzione CAL
Modifica del PIN menu
Modifica del PIN dispositivo

UL1000 Fab iina70iIVZ.fm

6.4
6.4.1
6.4.2
6.4.3
6.4.4
6.4.5
6.4.6
6.4.6.1
6.4.6.2
6.4.6.3
6.4.6.4
6.5
6.6
6.6.1
6.6.1.1
6.6.1.2
6.6.1.3
6.6.1.4
6.6.1.5
6.6.1.6
6.6.2
6.6.2.1
6.6.2.2
6.6.3
6.6.4
6.6.4.1
6.6.4.2
6.6.4.3
6.6.4.4
6.6.5
6.6.5.1
6.6.5.2
6.6.5.3
6.6.5.4
6.6.5.5
6.6.5.6
6.6.6
6.6.6.1
6.6.6.2
6.6.7
6.7
6.7.1
6.8
6.8.1
6.8.2
6.8.3

Manuale tecnico(1108)

Calibrazione

88

7.1
7.2
7.2.1
7.2.1.1
7.2.1.2
7.2.2
7.3

Introduzione
Calibrazione di routine
Calibrazione interna
Calibrazione automatica interna
Calibrazione manuale interna
Calibrazione esterna
Ambito valori fattore Calibrazione

88
88
89
89
89
89
93

8

Messaggi d'errore e avvertenze

94

8.1
8.2

Note
Elenco dei messaggi d'errore e delle avvertenze

94
95

9

Lavori di manutenzione

100

9.1
9.2
9.3
9.4
9.5
9.5.1
9.5.2
9.5.3
9.5.4
9.5.5
9.6
9.6.1
9.7
9.8
9.9
9.9.1
9.10
9.11
9.12
9.13

Avvertenze generali
Manutenzione o riparazioni da parte di INFICON
Legenda dello schema di manutenzione
Programma di manutenzione
Gruppi di manutenzione
Manutenzione 1500 ore
Manutenzione 4000 ore
Manutenzione 8000 ore
Manutenzione 16000 ore
Indicazioni sulla manutenzione di TMH 071
Descrizione della manutenzione
Apertura del dispositivo per manutenzione
Controllo e sostituzione dell'inserto del filtro dell'aria
Sostituzione del silenziatore scappamento
Controllare/svuotare filtro scappamento
Sostituire inserto filtro
Controllare livello dell'olio D16 B, rabboccare
Cambio olio D16 B
Pompa turbomolecolare TMH 071
Pompe scroll (solo UL1000 Fab)

100
101
101
102
103
103
104
105
106
106
107
107
108
110
111
111
113
115
116
116

Appendice

117

A
B

Diagramma TPR256
Dichiarazione di conformità

117
118

UL1000 Fab iina70iIVZ.fm

7

Indice5Generalità
Nota:

Consigliamo di leggere questo manuale con la massima attenzione pergarantire condizioni di lavoro ottimali fin dall'inizio.
Questo manuale tecnico contiene informazioni importanti su funzionamento, installazione, messa in esercizio e uso dell'UL1000 e UL1000 Fab.

Generalità

Manuale tecnico

1

Ci riserviamo modifiche della costruzione e dei dati indicati. Le figure sono esclusivamente a titolo illustrativo.

1.1

Note sull'uso di questo manuale

1.1.1

Simboli di sicurezza e significato
Avvertenze importanti sulla sicurezza del funzionamento e per la protezione elle
persone sono evidenziate come segue:

STOP

Pericolo
DangerIndica procedure di lavoro e di uso che devono essere osservate attentamente per
evitare qualsiasi danno a persone.

Attenzione
Indica procedure di lavoro e di uso che devono essere osservate attentamente per
evitare danneggiamenti ingenti dei dispositivi e danni ambientali.

Si riferisce a procedure di lavoro e di uso che devono essere strettamente
osservate per evitare malfunzionamenti e piccoli danneggiamenti dei dispositivi.

Note
Suggerimento:

Informazioni su modi di lavoro utili.

Nota:

Informazioni relative a particolari esigenze tecniche che devono essere
osservate dall'operatore del dispositivo.
Le note relative alle figure sono composte da numero capitolo, numero figura e posizione, in questo ordine. Per esempio: Fig. 2-4/7 nel capitolo 2 si riferisce alla Figura
4 e al punto 7.

6

Generalitàiina70i 01.fm

1.1.2(1108)

Precauzione

1.1.3

Simboli relativi al vuoto
Qui di seguito alcuni dei simboli relativi al vuoto usati più di frequente in questo
manuale.

Manuale tecnico

Pompa del vuoto, in generale
Pompa turbomolecolare
Misuratore di pressione
Valvola1.1.4

Definizioni dei termini
Regolazione / impostazione masse automatica
Questa funzione imposto lo spettrometro a massa in modalità da raggiungere
un'indicazione della quota di perdita massima. Il calcolatore di comando, all'internodell'ambito di massa selezionato, modifica la tensione che accelera gli ioni, inmodalità che il rilevatore di ioni rilevi un flusso di ioni massimo. Durante ogni Calibrazione la massa viene impostata automaticamente.

Scelta automatica dell'ambito di misurazione
L'ambito di amplificazione del preamplificatore e gli ambiti del vuoto vengono selezionati automaticamente.

(1108)La selezione automatica dell'ambito di misurazione dell'UL1000 o UL 1000 Fabcomprende tutto l'ambito o l'ambito delle quote di perdita completo in base al
modalità di funzionamento selezionato: modalità vuoto o sniffer. Non solo il segnale
di quota perdite ma anche la pressione del provino (pressione in ingresso PE) e lapressione prevuoto (PV) vengono considerate per motivi di comando. La commutazione fra gli ambiti all'interno degli ambiti principali avviene mediante valvole. La
commutazione di precisione all'interno degli ambiti principali avviene mediantecommutazione del fattore di amplificazione nel preamplificatore.

Impostazione automatica del punto zero
Misurazione e adattamento automatico alla base di elio.

iina70i 01.fm

Questa funzione determina il punto zero interno del dispositivo che viene detratto dal
segnale di perdita effettivamente misurato. Questa funzione viene attivata mediante
il taso Start se l'UL1000 o l'UL1000 Fab ha funzionato per almeno 20 secondi inmodalità "standby" o "arieggiamento". Se successivamente la base di elio che è
stata soppressa si abbassa ancora, in modalità che venga visualizzato solo il limite
di indicazione, il punto zero viene adattato automaticamente.

Generalità

7

GROSS

FINE
FINE è la modalità di funzionamento per pressioni in ingresso fra 2 e 0,4 mbar.
Il limite di rilevazione qui è 1x10-10 mbar l/s.

Manuale tecnico

GROSS è una modalità di misurazione che consente pressioni alte di ingresso (da1 a 15 mbar). Il limite di indicazione inferiore qui è 1x10-6 mbar l/s.

Pressione prevuoto
Pressione nel prevuoto fra la pompa turbomolecolare e la pompa di prevuoto.

Base elio interna
La pressione parziale dell'elio presente nel sistema di misurazione. La dimensionedella base di elio interna viene misurata nella modalità "standby" e detratta dal
segnale misurato. (vedere sopra: Impostazione automatica del punto zero

Quota di perdita minima rilevabile
La quota di perdita minima rilevabile che può essere rilevata da UL1000 o UL1000
Fab (≤ 5x10-12 mbar l/s).

Menu
Il menu consente all'operatore di programmare l'UL1000 e l'UL1000 Fab in base alleesigenze. Il menu ha una struttura che si dirama a forma di albero.

Misurazione / modalità di funzionamento
L' UL1000 o UL1000 Fab misura la quota di perdita del provino.

ULTRA(1108)ULTRA è l'ambito di misurazione con la massima sensibilità con pressioni in entrata
inferiori a 0,4 mbar. La quota di perdita minima rilevabile qui è 5x10-12 mbar l/s.

iina70i 01.fm

Stato alla fornitura
Stato dell' UL1000 o UL1000 Fab, fornito da fabbrica.

8

Generalità

Manuale tecnico

1.2

Supporto dell'assistenza INFICON
Se si spedisce un dispositivo a INFICON o ad un suo rappresentante autorizzato,
indicare se il dispositivo è esente da sostanze dannose per la salute o se è contaminato. In caso di contaminazione, indicare anche il tipo di pericolo. Dispositivi senza
l'indicazione relativa a contaminazioni saranno restituiti al mittente da parte di
INFICON. Per una copia del modulo di dichiarazione sulla contaminazione vedere
Fig. 1-1.
Consigliamo di stipulare un contratto di manutenzione e riparazione.

Declaration of Contamination
The service, repair, and/or disposal of vacuum equipment and components will only be carried out if a correctly completed declaration has
been submitted. Non-completion will result in delay.
This declaration may only be completed (in block letters) and signed by authorized and qualified staff.

Description of productReason for return

Type
Article Number
Serial Number

Operating fluid(s) used (Must be drained before shipping.)

Process related contamination of product:
toxic

no  1)

caustic

no  1)yes biological hazard
explosive

no 
no 

yes  2)yes  2)

radioactiveno other harmful substances no  1)
The product is free of any substances which are damaging tohealthyes 1) or not containing any amountof hazardous residues thatexceed the permissible exposure limitsyes 

yes  2)yes 2) Products thus contaminated will not be accepted without written
evidence of decontamination!

Harmful substances, gases and/or by-products
Please list all substances, gases, and by-products which the product may have come into contact with:
Trade/p roduct name

Precautions associatedwith substanceChemical name(or symbol)

Action if human contact

Legally binding declaration:(1108)

I/we hereby declare that the information on this form is complete and accurate and that I/we will assume any further costs that may
arise. The contaminated product will be dispatched in accordance with the applicable regulations.
O rganization/company
Address

Post code, place

Phone

Fax

Email
Name
Date and legally binding signatureThis form can be downloaded
from our website.

Company stamp

Copies:Original for addressee - 1 copy for accompanying documents - 1 copy for file of sender

INFICON GmbHiina70i 01.fm

Bonner Str. 498,50968 Cologne, Germany
Tel: +49 221 3474 2222 Fax: +49 221 3474 2221
www.inficon.com leakdetection.service@inficon.com

zisa01e1-aFig. 1-1: Modulo per la dichiarazione di contaminazioni

Generalità9

1.2.1

Centri di assistenza

India

asdash@hotmail.com

Tel.: +45 741 236 36

Dashpute

Tel.: +91 22 888 0324

Sonderborg

Fax: +45 744 336 46

400 064

Fax: +91 22 888 0324

Algeria

jhj@agramkow.dk

Irlandareach.unitedkingdom@inficon.com

AgramkowTel.: +45 741 236 36

INFICON Ltd.

Tel.: +44 1254 678 250

Sonderborg

Fax: +45 744 336 46

Blackburn

Fax: +44 1254 698 577

Belgioleakdetection.service@inficon.com

Israeleurimark@mark-tec.co.il

INFICON GmbH

Tel.: +49 221 56788 112

Mark Technologies Ltd.

Tel.: +972 35 34 68 22

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

Kiriat Ono

Fax: +972 35 34 25 89

Brasilefernandoz@prestvacuo.com.br

Italiareach.italy@inficon.com

PV Pest Vácuo Ltda.

Tel.: +55 114 154 4888

INFICON GmbH

Tel.: +39 045 6 40 25 56

Santa de Parnaíba

Fax: +55 114 154 4888

Castelnuovo

Fax: +39 045 6 40 24 21

Bulgaria

leakdetection.service@inficon.com

Giapponereach.japan@inficon.com

INFICON GmbH

Tel.: +49 221 56788 112

INFICON Co. Ltd.

Tel.: +81.45.471.3396

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

Yokohama

Fax: +81.45.471.3387

Cinareach.china@inficon.com

Canadareachus@vpcinc.ca

INFICON LTD

Tel.: +852.2862.8863

Vacuum Products Canada Ltd.

Fax: +1 905 672 7704

Hongkong

Fax: +852.2865.6883

Ontario

Fax: +1 905 672 2249

INFICON LTD

Tel.: +86.10.6590.0164

Coreareach.korea@inficon.com

PechinoFax: +86.10.6590.0521

INFICON LTD

Tel.: +86.20.8723.6889

INFICON Ltd.

Tel.: +82 312 062 890

Guangzhou

Fax: +86.20.8723.6003

SungnamFax: +82 312 063 058

INFICON LTD

Tel.: +86.21.6209.3094

INFICON Ltd.

Tel.: +82 312 062 890

Shangai

Fax: +86.21.6295.2852

Suwon City

Fax: +82 312 063 058

Danimarca

jhj@agramkow.dk

INFICON Ltd.

Tel.: +82 312 062 890

AgramkowTel.: +45 741 236 36

Cheonan City

Fax: +82 312 063 058

Sonderborg

Fax: +45 744 336 46

Germania

leakdetection.service@inficon.com

Lettonia

leakdetection.service@inficon.com

INFICON GmbH

Tel.: +49 221 56788 112

INFICON GmbH

Tel.: +49 221 56788 112

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

Estonia

leakdetection.service@inficon.com

Lituaniaa

leakdetection.service@inficon.com

INFICON GmbH

Tel.: +49 221 56788 112

INFICON GmbH

Tel.: +49 221 56788 112

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

Finlandia

jhj@agramkow.dk

Messicoinfoqro@meisa.com

AgramkowTel.: +45 741 236 36

MEISA S.a. de C.V.

Tel.: +52 442 225 42 80

Sonderborg

Fax: +45 744 336 46

Querètaro

Fax: +52 442 225 41 57

Francia

Christophe.Zaffanella@oerlikon.com Centroamerica

infoqro@meisa.com

OLV France

Tel.: +33 476 351 584

MEISA S.a. de C.V.

Tel.: +52 442 225 42 80

Orsay

Fax: +33 476 351 584

Querètaro

Fax: +52 442 225 41 57

Granbretagna e Irlanda delnordreach.unitedkingdom@inficon.com

Paesi Bassi

leakdetection.service@inficon.com

INFICON Ltd.

Tel.: +44 1254 678 250

INFICON GmbH

Tel.: +49 221 347 42222

Blackburn

Fax: +44 1254 698 577

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

10

Generalità(1108)

jhj@agramkow.dk

Agramkow

iina70i 01.fm

EgittoManuale tecnico

In caso di urgenza di supporto, rivolgersi all'assistenza di INFICON del proprio paeseo alla hotline dell'assistenza a Colonia, Germania.

Manuale tecnico

Norvegia

jhj@agramkow.dk

Siria

leakdetection.service@inficon.com

AgramkowTel.: +45 741 236 36

INFICON GmbH

Tel.: +49 221 56788 112

Sonderborg

Fax: +45 744 336 46

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

Poloniakamola@vakpol.com

Taiwanreach.taiwan@inficon.com

VAK-POL & GAZ Sp. z

Tel.: +48 602 315 212

INFICON Company Limited

Tel.: +886.3.5525.828

PulawyFax: +48 602 315 212

Chupei City, HsinChu Hsien

Fax: +886.3.5525.829

Portogallo

ana.correia@zickermann.pt

Tschechienfilip.lisec@inficon.com

Sociedade Zickermann
S.A.R.L, Lissabon

Tel.: +351 21 322 41 60

INFICON GmbH

Tel.: +420 734 331 758

Fax: +351 21 346 91 29

PilsenFax: +420 604 203 037

Repubblica Sudafricana

vacuquip@hotmail.com

Turchia

jhj@agramkow.dk

Vacuquip

Tel.: +27 731 578 355

AgramkowTel.: +45 741 236 36

Sonderborg

Fax: +45 744 336 46

Randburg
leakdetection.service@inficon.com

Tunisia

leakdetection.service@inficon.com

Gertner Service

Tel.: +49 221 56788-112

INFICON GmbH

Tel.: +49 221 56788 112

Mosca

Fax: +49 221 56788-9112

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

Sveziajhj@agramkow.dk

USAservice.usa@inficon.com

AgramkowTel.: +45 741 236 36

Inficon Inc.

Tel.: +1.315.434.1167

Sonderborg

Fax: +45 744 336 46

East Syracuse, NY

Fax: +1.315.434.2551

Singaporereach.singapore@inficon.com

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Tel.: +1.408.361.1200

San Jose, CA

Fax: +1.408.362.1556

INFICON PTE LTD.

Tel.: +65.890.6250

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Tel.: +1.512.448.0488

Singapore

Fax: +65.890.6266

Austin, TX

Fax: +1.512.448.0398

Slovacchia

filip.lisec@inficon.com

Ucraina

leakdetection.service@inficon.com

INFICON GmbH

Tel.: +420 734 331 758

INFICON GmbH

Tel.: +49 221 56788 112

PilsenFax: +420 604 203 037

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

Slovenia

medivak@siol.net

Ungheria

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MedivacTel.: +386 15 63 91 50

Kon-trade + KFT

Tel.: +36 23 50 38 80

Ljubljana

Fax: +386 17 22 04 51

Budaörs

Fax: +36 23 50 38 96

Spagnajordi.poza@leyboldoptics.com

Emirati arabi uniti

leakdetection.service@inficon.com

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Tel.: +34 93 66 60 778

INFICON GmbH

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Barcellona

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Sudamerica escluso Brasile

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Bielorussia

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INFICON GmbH

Tel.: +49 221 56788 112

MessicoFax: +52 44 22 25 41 57

Colonia

Fax: +49 221 56788 9112

iina70i 01.fm(1108)

RussiaGeneralità

11

Introduzione

1.3.1

Destinazione d'uso
UL1000 e UL1000 Fab sono rilevatori di perdite di elio. Servono per localizzare
perdite e per misurare la dimensione di queste in oggetti, usando due metodi diversi:•

Nel metodo di ricerca della perdita sotto vuoto, il provino viene evacuato e
spruzzato all'esterno con elio. A tal fine è necessario creare un collegamento delvuoto fra UL1000 e UL1000 Fab e il provino

Manuale tecnico

1.3

o
•

nel metodo di ricerca con sniffer, nel provino viene generata una sovrapressione
di elio e il provino all'esterno viene controllato con una sonda sniffer collegata
all'ingresso del rilevatore di perdite.

Precauzione
UL1000/UL1000 Fab devono essere usati solo per la ricerca di perdite. Non
devono essere usati come sistema di pompaggio (in particolare non per spompare
gas aggressivi o umidi).

Solo UL1000:
Nota:

Spompaggio di gas e vapori condensanti: quando si spompano i provini ilvapore acque contenuto può penetrare nella prepompa. Mediante il vapore
acqueo contenuto nell'aria, soprattutto in regioni umide o in caso di provini
bagnati o umidi è possibile che la tolleranza al vapore acqueo ammessa, ossia
la capacità del vapore acqueo della prepompa possono essere superate.
Se la pressione del vapore sale oltre il valore ammesso, il vapore nell'olio dellapompa condensa. Ciò modifica le caratteristiche dell'olio creando pericolo di corrosione della pompa.
Durante il funzionamento del rilevatore di perdite con gas e vapori condensanti ènecessario controllare regolarmente l'olio della prepompa per riconoscere un' ev.
condensa di vapore acqueo nella pompa. Nel caso normale l'olio è trasparente e
chiaro, quando contiene vapore acqueo a caldo diventa opaco e lattiginoso.

(1108)

Dopo aver spento la pompa il vapore acqueo condensa e la quota di acqua nell'olio
aumenta.

Attenzione
Il rilevatore di perdite al termine del processo in cui vengono spompati gas o vapori
condensabili non deve essere spento subito. Deve funzionare con valvola ballast
del gas aperta (vedere cap. 5.3.1) (almeno 20 minuti) fino a che l'olio della pompa
è privo dei vapori sciolti.
.

È necessario controllare regolarmente il livello dell'olio della pompa.
I normali intervalli di cambio dell'olio indicati dal produttore devono essere
osservati. Vedere anche le istruzioni per l'uso della pompa dello spintore rotante.

12

Generalitàiina70i 01.fm

L'inosservanza di queste istruzioni può causare la corrosione della pompa e danneggiarla, con esclusione della garanzia.

Manuale tecnico

Precauzione
Gas, le cui molecole contengono alogeni (8.es. fluoro, cloro), p.es. mezzi diraffreddamento e SF6 non devono essere spompati a concentrazioni elevate e perperiodi prolungati con il rilevatore di perdite.
Il rivestimento dei catodi della sorgente di ioni può essere aggredita, con conseguente bruciatura del catodo.

Solo per l'uso dell'UL1000 Fab:

Precauzione
I gas e i vapori condensabili possono penetrare all'interno del dispositivo e
distruggere la prepompa.
In particolare in zone con umidità dell'aria alta è necessario fare attenzione quando
si spompa il provino. L'umidità dell'aria impegna la pompa. Lo stesso vale per i
provini bagnati.

STOP

Pericolo
DangerGas pericolosi inquinano il dispositivo.
Perciò, non usare il dispositivo per applicare sostanze tossiche, caustiche,
microbiologiche, esplosive, radioattive o altrimenti dannose.
In questa eventualità contattare il produttore.

iina70i 01.fm(1108)Se è previsto un impiego in cui devono essere sniffate sostanze velenose, contattare
il produttore, che provvederà a elaborare le rispettive regole di decontaminazione.
Se il dispositivo è entrato a contatto con gas pericolosi è necessario compilare ladichiarazione di decontaminazione e rispedirla insieme al dispositivo a INFICON. Se
è necessario pulire parti del dispositivo, contattare il produttore. Inviare una copia
compilata della dichiarazione di contaminazione.

Generalità

13

Dati tecnici

1.3.2.1

Dati fisici
Pressione ingresso max.

15 mbarQuota di perdita elio minima rilevabile<5×10-12 mbar l/s

in modalità vuoto (ULTRA)
Livello di rilevamento in modalità sniff<5×10-8 mbar l/s

Quota di perdita elio max. indicabile in ULTRA

0,1 mbar l/s

Ambito misurazione

12 decadi

Costante temporale del segnale delle quote di perdita(flangiatura cieca, 63% del valore finale)<1s

Capacità di assorbimento prevuoto (aria)

25 m3/h (50 Hz)

Max. capacità assorbimento (elio) all'ingresso

30 m3/h (60 Hz)•

in modalità vuoto– Modalità GROSS

8 l/s– Modalità FINE

7 l/s

– Modalità ULTRA

2,5 l/s

Masse rilevabili

2, 3 e 4

Spettrometro di massa

Campo magnetico
settore 180°

Sorgente di ioni

2 catodi;
Iridio/ossido di ittrio

Flangia ingresso

DN 25 KF

Avviamento (dopo accensione)≤ 3 min

Nota:

Manuale tecnico

1.3.2

Per raggiungere l'ambito con la quota di perdita minima rilevabile è necessarioche sussistano alcuni requisiti:
L'UL1000 e l' UL1000 Fab deve essere acceso da un po'.

•Le condizioni ambientali devono essere stabili (temperatura, nessuna vibrazione/urto).

•Il provino deve essere stato evacuato a sufficienza (in modo che la base non si
riduca ulteriormente).

•

La soppressione della base di elio (ZERO) deve essere attiva.
(1108)•

14

Dati elettrici

GeneralitàCat. n. 550 - 000A, 550 - 100A

230 V 50 Hz

Cat. n. 550 - 001A, 550 - 101A

115 V 60 Hz

Cat. n. 550 - 002A

100 V 50/60 Hz

Assorbimento tensione

1100 VA

Tipo di protezione

IP20

Reti (UE, USA, RU)

3m

iina70i 01.fm

1.3.2.2

1.3.2.3

Altri dati tecnici
Valvoleelettromagnetiche

Dimensioni (lun x lar x alt) compresa impugnatura mm

1068 × 525 × 850

Manuale tecnico

Dimensioni (lun x lar x alt) compresa impugnatura in pollici 42 × 21 × 33

1.3.2.4

Peso in kg

110

Livello sonoro in dB (A)<70

Livello sonoro (50 cm distanza) in dB (A)<56

Allarme acustico dB (A)90

Grado di contaminazione (in base a IEC 60664-1)

2

Categoria di sovratensione in base a IEC 60664-1)

II

Condizioni ambientali
Solo adatto al funzionamento in edifici

1.4

Temperatura ambiente ammessa (in funzionamento)+10 °C … +40 °C

Temperatura di stoccaggio ammessa

0 °C … +60 °C

Umidità relativa dell'aria max.

80% a 31°C,
con riduzione linearefino a 50% a 40°C

Altezza max. consentita sul livello del mare(in funzionamento)

2.000 mDisimballaggio
Disimballare l'UL1000 e l'UL1000 Fab subito dopo la ricezione, anche se il dispositivo verrà installato in un momento successivo.
Controllare l'imballaggio in relazione a ev. danni esterni. Rimuovere tutto il materiale
di imballaggio.
Controllare se la spedizione dell'UL1000 e UL1000 Fab è completa e sottoporre l'
UL1000 e l' UL1000 Fab ad un accurato controllo visivo.

Nota:

Rimuovere le protezioni per il trasporto prima di mettere in funzione il
dispositivo. (Vedere capitolo 2.1)

Suggerimento:

Conservare l'imballaggio per ev. reclami.

Suggerimento:

Per il disimballaggio usare il cuneo compreso nella confezione.

iina70i 01.fm(1108)Se si dovesse rilevare un danneggiamento, comunicarlo immediatamente allo spedizioniere e all'assicurazione. Se è necessario sostituire un componente danneggiato,
contattare il nostro reparto vendita.

Generalità

15

Oggetto della fornitura•

Rilevatore di perdite di elio UL1000 o UL1000 Fab.

•Adattatore tubo scappamento (se non si usa il filtro dello scappamento
premontato) con connettore. (vedere n. 1)•

Alimentazione di rete•

Set fusibili (vedere n. 3)•

Set attrezzi (vedere n. 4)•

Portatubo (2 + 2) (vedere n. 5)•

Mappa documenti

Manuale tecnico

1.4.1– Manuale tecnico ed elenco parti di ricambio UL1000 e UL1000 Fab– Elenco parti di ricambio UL1000 e UL1000 Fab
Gancio per l'avvolgimento del cavo di rete (con viti) (vedere n. 6)•

Fusibile rete•

Dispositivo di apertura per facilitare l'apertura dello sportello (vedere n. 7)•

O-ring con filtro (per applicazioni in caso di polvere e sporcizia)

Fig. 1-1 UL1000 e UL1000 Fab accessori

16

Generalitàiina70i 01.fm(1108)•

1.4.2

Accessori e opzioni

Manuale tecnico

Le seguenti parti possono essere ordinata separatamente:

1.4.2.1•

Linea sniffer SL200

14005

•

Leak Ware

14090

•

QUICK-TEST QT100 sniffer elio

15594

•

Scatola attrezzi (amovibile)551-000•

Supporto bottiglie elio551-001•

Stuoia antistatica

551-002•

Set comando remoto composto da:– Comando remoto

20099022– Cavo (necessario), 4 m

20099027– Cavo di prolunga, 10 m

14022

•

Camera test TC1000

551-005•

Pistola spruzzo con tubo

16555

•

Set morsetti

20099024•

LeakWare (Software)

14090

Linea sniffer SL200
Usando la linea sniffer, l' UL1000 e UL1000 Fab può essere trasformato facilmente
in rilevatore di perdite sniffer. La lunghezza della linea sniffer è di 4 m.

1.4.2.2

Scatola attrezzi
La scatola di attrezzi è composta da uno scomparto amovibile con coperchio chiudibile. Qui è possibile conservare fitting e piccole parti insieme al comando remoto(veder cap. 1.4.2.5). Il volume utile è di ca. 5 l.
La scatola degli attrezzi viene posizionata sulla superficie di lavoro e fissata con
l'impugnatura.

1.4.2.3

Supporto bottiglie elio

(1108)

Il supporto per le bottiglie di elio consente di trasportare una riserva di elio con pistolaa spruzzo insieme all'UL1000 e UL1000 Fab. Adatto solo a bombole piccole e medie(max. 10 l, 200 bar) senza compromettere la stabilità dell'UL1000 e UL1000 Fab.

1.4.2.4

Stuoia antistatica

iina70i 01.fm

Questa stuoia viene posizionata sulla superficie di lavoro del UL1000 e UL1000 Fabe fissata e messa a terra attraverso l'anello della flangia di ingresso. La stuoia impedisce la creazione di cariche elettrostatiche fra la superficie di lavoro e i provini
sensibili.

Generalità17

1.4.2.5

Comando remoto RC1000

Il comando remoto è munito di magneti, che consentono il fissaggio su superfici
metalliche. Il comando remoto può essere appeso p.es. alle pareti laterali dell'
UL1000 e UL1000 Fab.

Manuale tecnico

Il comando remoto consente il funzionamento dell'UL1000 e UL1000 Fab ad una
distanza max. di 100 metri Il comando remoto consente di comandare le funzioni
START, STOP/VENT (STOP/aerare), ZERO (punto zero) oltre al volume e all'indicazione della quota di perdita dell'indicatore a barre.

Fig. 1-2 Comando remoto RC1000

1.4.2.6

Camera di prova TC1000

iina70i 01.fm

Si possono eseguire prove semplici e precise in base allo standard MIL-STD 843. I
controllo si avviano in modalità automatico quando il coperchio della camera èchiuso. I parametri di prova, come durata della misurazione e quota di rifiuto possono
essere impostati nel menu AUTOTEST PERDITA. La prova si svolge in modalità automatico, il risultato viene rappresentato mediante LED rossi o verdi, applicati alla
camera di test.

(1108)

Questa camera di prova fa dell' UL1000 o dell'UL1000 Fab un luogo di lavoro per laprova di componenti chiusi ermeticamente.

18

Generalità

Manuale tecnico

2

Installazione

2.1

Trasporto
Attenzione
UL1000 e UL1000 Fab deve essere spinto o tirato solo usando l'impugnaturaprevista. Non sollevare il dispositivo per l'impugnatura.

Precauzione
UL1000 e UL1000 Fab non dispone di occhielli di sollevamento e non può essere
trasportato con dispositivi di sollevamento.

Precauzione
Fare attenzione a non schiacciare i piedi.
Tenere lontani i piedi dalle ruote.

Precauzione
Fare attenzione a non schiacciare i piedi con le ruote.
Non tirare, spingere.

Precauzione(1108)Se si trasporta il dispositivo per distanze lunghe, usare l'imballaggio originale. Non
bloccare le ruote quando UL1000 e UL1000 Fab viene spedito nell'imballaggio
originale.

UL1000 Fab con Triscroll TS 620
Quando si trasporta il dispositivo, lo chassis sul quale è montata la pompa deveessere fissato con l'aiuto di un fissaggio di sicurezza.
Questo fissaggio di sicurezza è composto da due viti. Rimuovere le coperturedell'UL1000 Fab per raggiungere le viti.

iina70i 02.fm

Etichette color arancione sul fondo dell'involucro indicano le viti.

Installazione

19

Manuale tecnico

Fig. 2-1
Le viti serrate sul fondo dello chassis fissano il dispositivo durante il trasporto.
Prima di lavorare con l'UL1000 Fab, allentare le viti.

Fig. 2-2
Successivamente svitare le viti di ca. 10 mm e riserrare il controdado.

20

Installazione

iina70i 02.fm(1108)

A tal fine allentare il controdado 2-2 2-2 (Fig. 2-2).

Manuale tecnico

Fig. 2-3
Per il trasporto serrare nuovamente le viti e fissarle con il controdado.

2.2

Luogo di installazione
Portare l' UL1000 e UL1000 Fab nel luogo desiderato e bloccare le ruote.

Precauzione(1108)

Installare il dispositivo in modo che la spina di alimentazione sia sempre facilmente
raggiungibile.

Attenzione
Non usare l'UL1000 e UL1000 Fab in acqua stagnante. Non esporlo ad acqua
gocciolante. Ciò vale anche per gli altri liquidi.

Attenzione

iina70i 02.fm

Evitare il contatto con sostanze alcaline, acidi e solventi. Non esporre il dispositivo
a condizioni climatiche estreme.

Installazione

21

Attenzione

Precauzione

Manuale tecnico

L' UL1000 e UL1000 Fab è previsto esclusivamente per l'uso all'interno di edifici.

Garantire un sufficiente raffreddamento dell'aria. Le aperture di ingresso e uscita
dell'aria devono essere libere.

Precauzione
L' UL1000 e UL1000 Fab può venire bloccato in posizione, bloccando le ruote.
In questo modo si impedisce che il rilevatore di perdite si sposti su pendenze lievi.

Si consiglia di verificare in un raggio di 10 m intorno all'UL1000 e UL1000 Fab tutte
le sorgenti di elio per determinare la presenza di perdite ingenti. A tal fine è utile lapunta sniffer.

2.3

Collegamenti elettrici

2.3.1

Collegamento di rete
Nota:

In generale si devono osservare le disposizioni locali.

Prima di collegare l' UL1000 e UL1000 Fab alla rete è necessario controllare se l'
indicazione della tensione di rete sull' UL1000 e UL1000 Fab corrisponde con latensione di rete locale. Il dispositivo è previsto esclusivamente per il collegamento
a reti monofase con fusibili dell'installazione (interruttore automatico max. 16 A inbase a IEC/EN 60898 con caratteristica B)(1108)

Attenzione

Le indicazioni sulla tensione di rete dell'UL1000 e UL1000 Fab sono disponibili sullatarghetta di tipo al di sotto della presa di rete Fig. 2-6/7 sul retro. Questa tensione è
fissa e non può essere modificata.
Per ogni filo della linea di rete è stato integrato un fusibile separato nell'interruttore
di rete.

iina70i 02.fm

Il dispositivo viene collegato alla rete attraverso una linea a spina, fornita con il dispositivo. A tal fine sul retro è disponibile una presa di rete Fig. 2-6/7.

22

Installazione

STOP

Pericolo
DangerManuale tecnico

Devono essere usate esclusivamente linee di rete a 3 fili con conduttore diprotezione collegato. Il funzionamento dell'UL1000 e UL1000 Fab senza conduttore
di protezione non è ammesso.
Per evitare che la linea di rete venga scollegata inavvertitamente è possibile fissarla
con la sicurezza fornita.
Nota:

Affinché il cavo non possa essere rimosso dal dispositivo è possibile fissarlocome illustrato nell'immagine seguente:

Fig. 2-4
Quando il dispositivo non è in funzione, è possibile avvolgere il cavo sugli
avvolgicavo.

iina70i 02.fm(1108)

Nota:

Fig. 2-5

Installazione

232.3.2

Collegamenti per accessori e segnali di comando
1. 2.3.2.1 Accessori (Accessories)
3. 2.3.2.3 Ingresso digitale (Digital In)
4. 2.3.2.4 Dispositivo di scrittura(Recorder)

Manuale tecnico

2. 2.3.2.2 Uscita digitale (Digital Out)5. 2.3.2.5 RS232
6. 2.3.2.6 Comando remoto (HandSet)
7. Presa di rete
8. Interruttore di rete
9. Collegamento per il fissaggio delcavo
10. Altoparlanti
11. 2.4.3 Connessione aerazione
12. 2.4.4 Collegamento gas dirisciacquo (UL1000 Fab) / collegamento ballast gas (UL 1000)

Suggerimento:

Nelle connessioni accessori (Accessories), Digital Out (uscita digitale), Digital
In (ingresso digitale) e Recorder (dispositivo di scrittura) il Pin 1 si trova in alto.
I numeri pin vengono contati anche verso il basso. Le barrette di connessione
2 e 3 sono codificate meccanicamente per evitare uno scambio delle spine dicollegamento. Per collegare la spina di collegamento (p.es. set spina
20099024) eliminare le guide in modo che la spina si inserisca nelle
scanalature della presa.

Suggerimento:

Le connessioni per i dispositivi interni hanno una separazione sicura dalla retee sono comprese nell'ambito di bassa tensione di sicurezza.

Precauzione(1108)

Fig. 2-6

L'elettronica del dispositivo può essere distrutta.
Pertanto collegare solo dispositivi al rilevatore di perdite, scollegati dalla rete.

Possono essere collegati solo dispositivi che non superano 25V AC/Amp.

24

Installazione

iina70i 02.fm

Precauzione

2.3.2.1

Accessori (Accessories)
A questa connessione Fig. 2-6/1 è possibile collegare la linea sniffer SL200 o lacamera di test TC1000:

Manuale tecnico

i contatti 1 e 3 sono protetti da un fusibile lento da 0,8 A. La potenza disponibile èlimitata a 10 W. I contatti sono numerati dall'alto al basso.
Contatto
1
2
3, 6
4, 5, 7, 8

2.3.2.2

Segnale+24 V, tensione continua, alimentazione per la linea sniffer INFICON SL200.
GND24 (potenziale di riferimento per tensione 24 V)
Ingresso
UscitaUscita digitale (Digital Out)Le seguenti uscite rele sono a disposizione per un'ulteriore elaborazione dei segnali.
Il carico massimo ammesso dei contatti rele è di 25V AC/1A.
Contatto
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16

Segnale+24V, collegato con contatto 1 della presa "IN" (ingresso digitale)
GND_24 (potenziale di riferimento per tensione 24 V)
Trigger 1
Trigger 2
A disposizione
ZERO active
Ready
CAL active
CAL Request
ERROR
Avvertenza
Purge
MeasureRecorder Strobe
Potenziale di riferimento per i segnali di uscita digitali
A disposizione

Descrizione del funzionamento delle uscite digitali:(1108)

Trigger 1
Aperto se trigger level 1 è stato superato o se il dispositivo non è in condizione dimisurazione.
Trigger 2
Aperto se trigger level 2 è stato superato o se il dispositivo non è in condizione dimisurazione.
Zero active
Chiuso se è attivata la funzione Zero.
Ready
Chiuso se il dispositivo è pronto per la misurazione (emissione attivata, nessun
errore).

iina70i 02.fm

CAL active
Chiuso se il dispositivo attualmente si trova in routine di Calibrazione.

Installazione

25

ErrorÈ aperto se viene visualizzato un errore.
WarningÈ aperto se viene visualizzato un' avvertenza.

Manuale tecnico

CAL Request
Aperto, se è stata fatta una richiesta di Calibrazione.
Caso particolare: Durante una Calibrazione esterna, un'uscita CAL Request aperta
indica che la perdita di prova esterna deve essere chiusa.
Durante la Calibrazione esterna un'uscita aperta indica che la perdita di prova
esterna tarata deve essere chiusa.

PurgeÈ chiuso se è attivo il risciacquo.
MeasureÈ chiuso quando il dispositivo di misurazione è in condizione misurazione.
Recorder Strobe
È chiuso se l'uscita Recorder non è valida. Viene utilizzato solo se l'uscita Recordersi trova su "Quota perdita".

2.3.2.3

Ingresso digitale (Digital In)

Contatto
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16

Segnale+24V, collegato con Pin 1 della presa "OUT“ (uscita digitale)
GND_24 (potenziale di riferimento per tensione 24 V)
Start
Stop
ZERO
CAL
Clear
Purge
A disposizione
A disposizione
CommonA disposizione
A disposizione
A disposizione
A disposizione
A disposizione(1108)

Questi ingressi possono essere usati per usare l'UL1000 e UL1000 Fab con un
comando programmato (SPS).

Descrizione del funzionamento degli ingressi digitali:
Zero
Cambio Low dopo High: attivare Zero.
Cambio High dopo Low: disattivare Zero.

Stop
Cambio Low dopo High: eseguire STOP.
Se questo ingresso è più lungo del tempo HIGH indicato al cap. 6.6.1.2, aerare
ancora.

26

Installazione

iina70i 02.fm

Start
Cambio Low dopo High: eseguire START.

PurgeCambio Low dopo High: attivare risciacquo.
Cambio High dopo Low: disattivare risciacquo.

Manuale tecnico

Clear
Cambio Low dopo High: confermare messaggio di errore.
CAL
Cambio Low dopo High:Se il dispositivo si trova in standby: avviare Calibrazione automatica interna. Se il
dispositivo è in stato misurazione: avviare Calibrazione esterna (presupposto: laperdita di prova esterna deve essere aperta e il segnale di quota perdita stabile).
Cambio High dopo Low:
Con Calibrazione esterna: conferma che la perdita di prova esterna è chiusa e che il
segnale di quota perdita è stabile.
Nota:

2.3.2.4

I segnali su questi ingressi vengono accettati solo se il luogo di comando è"SPS" o "Local e SPS". Vedere capitolo 6.6.4.1.

Dispositivo di scrittura (Recorder)
Le uscite del dispositivo di scrittura Fig. 2-6/4 possono essere usate per la registrazione della quota di perdita, della pressione in ingresso e della pressione prevuoto.
entrambe le uscite possono essere impostate individualmente per l'emissione diquote di perdita e pressioni.

Suggerimento:

Un diagramma dal quale si evince il collegamento fra pressione e quota diperdita contro tensione in uscita è disponibile nell'Allegato 1.

Nota:

Le uscite del dispositivo di scrittura sono isolate elettricamente rispetto alle
altre uscite. Se, tuttavia, compaiono lo stesso disturbi tipo ronzii, si consiglia
di alimentare l'UL1000 e UL1000 Fab e il dispositivo di scrittura dalla stessa
fase di rete. Se ciò non fosse possibile, accertare che le masse dei due
dispositivi abbiano lo stesso potenziale.
Pin
1
2
3
4

SegnaleAnalogico 1
GND (potenziale di riferimento)
GND (potenziale di riferimento)
Analogico 2

iina70i 02.fm(1108)

I valori di misurazione vengono emessi attraverso un segnale analogico nell'ambito
di 0 V … 10 V. La risoluzione è limitata a 10 mV. Il dispositivo collegato alle uscitedel dispositivo di scrittura (p.es. un dispositivo di scrittura X(t)), deve avere una resistenza in ingresso di almeno 2.5 kΩ . La tensione di misurazione è applicata suicontatti 1 e 4, il potenziale di riferimento (GND) sui contatti 2 e 3. I contatti sono
numerati dall'alto al basso.

Installazione

27

RS232
Questa interfaccia RS232 Fig. 2-6/5 è strutturato come DCE (Data Communications
Equipment) in tedesco DÜE (Datenübertragungseinrichtung - dispositivo trasferimento dati) e consente il collegamento di un PC per il controllo e la registrazione dei
dati. Il collegamento avviene attraverso una presa Sub-D a 9 poli e un cavo interfaccia normale (cavo 1:1). Vedere descrizione interfaccia (iins70d1-a) per altre informazioni.
Pin
2
3
5
7
8

2.3.2.6

Segnale
RXD
TXD
GND
RTS
CTS

Manuale tecnico

2.3.2.5

Comando remoto (Hand Set)
Questa interfaccia di comando remoto Fig. 2-6/6 è un'interfaccia seriale per ilcomando dell'UL1000 e UL1000 Fab attraverso un comando remoto.
Il comando
remoto può essere collegato attraverso un cavo di connessione con spina RJ45.
Vedere descrizione interfaccia (iins70d1-a) per altre informazioni. Il comando remotonon è compreso nella fornitura dell' UL1000 e UL1000 Fab.
Segnale+24V (fusibile 0,8 A lento)0V
RXD (intern. RS232)
TXD (intern. RS232)

iina70i 02.fm(1108)

Pin
2
3
4
5

28

Installazione

2.4

Collegamenti vuoto

2.4.1

Ingresso

Manuale tecnico

L'ingresso è situato in alto sull'UL1000 e UL1000 Fab. Si tratta di una flangia
DN 25 KF.
Se si sceglie la modalità di test perdita sotto vuoto, il provino o la camera del vuoto
devono essere collegati a questa flangia (vedere cap. 6.3).
Un ingresso viene usato anche per la connessione della linea sniffer SL200.

2.4.2

Scappamento
La flangia dello scappamento Fig. 2-6/12 si trova in basso sul retro dell'UL1000 e
UL1000 Fab. Si tratta di una flangia DN 16 KF.
Alla fornitura il filtro dello scappamento è solo premontato. La cartuccia del filtro
viene fornita insieme al rilevatore di perdite e viene montata sullo scappamento.
In alternativa è possibile collegare una linea di scappamento alla connessione delloscappamento.

Attenzione
In base al contenitore di connessione dell'UL1000 e UL1000 Fab e al gas che si
trova nel contenitore, è possibile che gas dannosi per la salute fuoriescano dallo
scappamento del rilevatore di perdite e si diffondano nell'aria circostante.

2.4.3

Connessione aerazione(1108)

Normalmente i provini al termine del test vengono aerati con aria ambiente. Se
necessario, i provini possono essere aerati con un gas diverso (p.es. aria fresca, aria
asciutta, azoto ecc.). In questi casi è necessario collegare un tubo di aerazione alla
connessione del tuboFig. 2-6/10.

2.4.4

Collegamento gas di risciacquo (UL1000 Fab) /collegamento ballast gas (UL 1000)
Per le modalità d'uso gas di risciacquo si consiglia l'uso di un gas privo di elio a pressione atmosferica. L'aria ambientale a causa di spruzzi o riempimento di contenitori
può essere inquinata con quantitativi ingenti di elio. In questi casi collegare una linea
di alimentazione del gas (ossia azoto, aria fresca o altro) attraverso il tubo di connessione Fig. 2-6/11. La pressione in questa linea del gas non deve superare
1050 mbar.

iina70i 02.fm

Le connessioni 10 e 11 in Fig. 2-6 sono connessioni rapide per tubi con diametro di
8/6 mm.

Installazione

29

2.5

Condizione alla fornitura

Autoscalatura:On

Scalatura:logaritmica

Ambito indicazione:

4 decadi

Asse temporale:

32 secondi

LCD invers:

OFF

Visualizzazione sfondo in standby:

Off

Richiesta automatica di Calibrazione:

Off

Massa:

4 (elio)

Uscita registratore:

Quota perdita

Volume:2

Unità quota perdite:mbar l/s

Tipo di funzionamento:

Vuoto

Trigger level 1:

1E-9 mbar l/s

Trigger level 2:

1E-8 mbar l/s

Quota perdita di prova esterna (vuoto):

1E-7 mbar l/s

Quota perdita di prova esterna (sniffer):

1E-5 mbar l/s

Ritardo arieggiamento:

2 secondi

Risciacquo automatico:

ON

Unità pressione:mbar

Volume min.:

0

Beep:

ON

Tempo di evacuazione max.:

30 minuti

Tipo autoallarme:

Allarme trigger

Pressione ingresso max. sniffer:

1 mbarPressione ingresso min. sniffer:

0,1 mbar

Manuale tecnico

I seguenti parametri vengono impostati come indicato, se nel menu di UL1000 e
UL1000 Fab in Impostazioni → caricare/memorizzare parametri si seleziona il punto"caricare valori di default":

Scroll display:On

Protezione antiparticolato:

Off

Accesso diretto ala routine di Calibrazione:ON

Protezione da inquinamento:

Off

Valore spegnimento protezione antinquinamento:

1E-3 mbar l/s

Luogo di comando:

Locale30 secondi

Filtro quote perdita:

I•Cal

Zero:

Abilitato
iina70i 02.fm

Ritardo allarme:(1108)

Numero di spazi dopo la virgola in caso di indicazione quota 1
perdite:30

Installazione

3

Controlli prima della messa in esercizio

Manuale tecnico

In questo capitolo si descrivono i passaggi per la prima messa in esercizio. Si spiega
come accendere UL1000 e UL1000 Fab, come eseguire le misurazioni e come si
svolge la Calibrazione interna.
Nota:

3.1

Se durante la prima messa in esercizio UL1000 e UL1000 Fab non sicomporta come previsto o in modo strano, è possibile disattivare il rilevatoredi perdite in qualsiasi momento attraverso l'interruttore di rete.

Parti necessarie
Sono necessarie le parti indicate di seguito:

3.2•

DN 25 KF flangia vuota (se non già montato sulla flangia di ingresso).

•

Una perdita di prova dell'elio con adattatore DN 25 KF Adapter (opzionale).

Prima messa in esercizio
Seguire la descrizione seguente della prima messa in esercizio passo, passo.
Vedere capitolo 5 per una descrizione dettagliata.

3.2.1

Avvio e misurazione
1 Disimballare l'UL1000 e UL1000 Fab e controllare in relazione a danni visibili esterni(vedere capitolo 1.4).

2 Collegare il dispositivo alla rete (vedere capitolo 2.3.1).
3 Attivare il rilevatore di perdite attraverso l'interruttore di rete Fig. 2-6/8.

Precauzione(1108)

Non accendere l'UL1000 e UL1000 Fab con temperature esterne inferiori a 10°C.

Dopo l'accensione sul display dell'unità di comando viene visualizzata sul display
dell'unità di comando Fig. 3-1/1, seguita da informazioni di stato sulla velocità dellaturbo pompa, della pressione prevuoto, delle emissioni e del catodo attivo.

iina70i 03.fm

La procedura di avvio dura ca. 3 minuti e il termine viene indicato da un brevesegnale acustico. Ora l'UL1000 e UL1000 Fab è in modalità standby (pronto).

Controlli prima della messa in esercizio

31Manuale tecnico

Fig. 3-1 Vista di UL1000 e UL1000 Fab
Pos. Descrizione
1

4.2.2 Unità di comando2

2.4.1 Ingresso

4 Verificare che l'ingresso Fig. 3-1/2 sia flangiato a cieco. In caso contrario flangiare
una flangia cieca con guarnizione O-ring sull'ingresso.

5 Attivare START Taste Fig. 3-2/6. Poco dopo viene evacuato l'ingresso e viene
visualizzata la quota di perdita indicata.

iina70i 03.fm(1108)

Si tratta della modalità di misurazione. Se si collega un provino è possibile iniziare a
spruzzarlo dall'esterno con elio.

32

Controlli prima della messa in esercizio

Manuale tecnico

Fig. 3-2: Unità di comando
Pos. Descrizione

Pos. Descrizione

1

LCD Anzeige

8

Tasto n. 5

2

Tasto n. 1

9

Tasto n. 6

3

Tasto n. 2

10

Tasto n. 7

4

Tasto n. 3

11

Tasto n. 8

5

Tasto n. 4

12

MENU Taste

6

START Taste

13

STOP Taste

7

Bedieneinheit

14

ZERO Taste

6 Per correggere possibili segnali di fondo (base elio nel provino) è possibile attivare(1108)

ZERO Taste Fig. 3-2/14. Per resettare la soppressione della base, attivare ZERO
Taste per 2 … 3 secondi.

7 Attivare STOP Taste Fig. 3-2/13, l' UL1000 e UL1000 Fab passerà in modalità
standby. Se si attiva il tasto STOP per alcuni secondi per aerare l'ingresso di UL1000e UL1000 Fab.

8 Per terminare l'avvio procedere con il passaggio N. 16. Per la Calibrazione

iina70i 03.fm

procedere con il passaggio N. 9.

Controlli prima della messa in esercizio

33

3.2.2

Calibrazione interna
9 Procedere con la Calibrazione interna (vedere capitolo 7.2.1). Per ottenere risultati•

Attivare il tasto CAL (tasto n. 5 Fig. 3-2/8) per richiamare il menu Calibrazione.

•selezionare interno (tasto n. 4 Fig. 3-2/5), per selezionare la Calibrazione interna.

•

automatico (tasto n. 8 Fig. 3-2/11). La Calibrazione automatica si avvia e ci
vogliono ca. 30 secondi.

Manuale tecnico

di misurazione quantitativi migliori attendere (15 … 20 minuti), fino a che ildispositivo si è riscaldato.

10 Attivare l' STOP Tasto Fig. 3-2/13 fino a che sul display compare il messaggio
STANDBY / AERATO.

3.2.3

Controllo
Per controllare la precisione della misurazione con una perdita di prova esterna
procedere come segue.

11 Rimuovere la flangia cieca e collegare la prova di perdita elio all'ingresso.
12 Attivare ancora START Tasto Fig. 3-2/6. L'ingresso viene evacuato e viene misurata
la perdita di prova e visualizzata.

13 Attivare l' STOP Tasto Fig. 3-2/13 per interrompere la misurazione. Il rilevatore diperdite passa in modalità standby.

14 Attivare l' STOP Tasto Fig. 3-2/13 fino a che sul display compare il messaggio
STANDBY/AERATO. Ora l'ingresso si trova in condizione aerato.

15 Staccare la perdita di prova elio dall'ingresso e flangiare con flangia cieca.
16 Spegnere il rilevatore di perdita attraverso l'interruttore di rete Fig. 2-6/8.

iina70i 03.fm(1108)Con ciò la prima procedura è terminata.

34

Controlli prima della messa in esercizio

4Descrizione e funzionamento

4.1

Introduzione

Manuale tecnico

Il modello UL1000 e UL1000 Fab sono rilevatori di perdite di elio per applicazioni
sotto vuoto, ciò significa che il provino viene evacuato durante la prova. Il vuoto viene
creato mediante un sistema di pompe.
Un'ulteriore modalità di esercizio del UL1000 e UL1000 Fab è la modalità sniff, utilizzabile solo se si dispone di una linea sniffer (si veda capitolo 1.4.2).

4.2

Struttura del UL1000 e UL1000 Fab
Il UL1000 e UL1000 Fab è un'unità indipendente in una custodia metallica su ruote.
Questa custodia contiene l'intero sistema per il vuoto e le relative alimentazioni elettriche. In alto sul rilevatore di perdite si trovano la flangia di entrata e il display.

4.2.1

Sistema del vuoto
Lo spettrometro di massa consiste essenzialmente in una sorgente di ioni, un'unità
di separazione magnetica e un catturatore di ioni.
Le molecole di gas che entrano nello spettrometro di massa vengono ionizzate dallasorgente di ioni . Queste particelle caricate positivamente vengono accelerate su un
circuito circolare nel campo magnetico. Il raggio di questo circuito circolare è legato
al rapporto fra massa e carica elettrica.
Solo gli ioni di elio sono in grado di passare da questo filtro per raggiungere il catturatore di ioni dove il flusso degli ioni viene rilevato come corrente elettrica.

Accanto alla funzione di pompaggio per creare e mantenere la pressione dello
spettrometro di massa, il sistema di pompaggio serve per l'evacuazione dei provini.
In qualsiasi momento viene garantito che la pressione nello spettrometro di massa è
sufficientemente bassa. Le valvole V1a, V1b, V2, V4a, V4b comandano il flusso di
gas durante la misurazione. Le valvole V5 (solo per il modello UL1000), V6 e V8
vengono utilizzate per la ventilazione del sistema e della turbopompa. La valvola V7
apre e chiude rapidamente la perdita di prova interna durante la procedura di
Calibrazione.

iina70i 04.fm(1108)Per il funzionamento dello spettrometro di massa è necessaria una depressione di< 1×10-4 mbar o inferiore. Questa pressione viene generata dalla pompa turbomolecolare supportata da una pompa scroll.

Descrizione e funzionamento

35

Manuale tecnico

Il seguente diagramma del vuoto mostra i componenti più importanti all'interno delUL1000 e UL1000 Fab:Fig. 4-1: Diagramma vuoto UL1000 e UL1000 Fab

1

MS: spettrometro di massa, sensore elio (spettrometro di massa per campo
settore magnetico 180°)2

Pompa turbomolecolare (TMP, serve per generare il vuoto necessario al MS)

3

V1a … V8: elettrovalvole per il comando del flusso del gas

4

Pompa scroll (serve per creare la pressione del pre-vuoto per la TMP e
spompa i provini).

5

Flangia di ingresso(1108)

Pos. Descrizione

Quando la pressione nel provino è inferiore alla pressione ambiente, in caso diperdita, nel provino potrebbe penetrare l'elio con il quale viene spruzzato. Se lecondizioni di pressione lo consentono, una delle valvole si apre in direzione del TMP.
L'elio può penetrare nello spettrometro di massa in direzione contraria al TMP (quindi
con flusso contrario).

iina70i 04.fm

vedere cap. 4.3 per ulteriori dettagli.

36

Descrizione e funzionamento4.2.2

Unità di comando

Manuale tecnico

La Unità di comando Fig. 4-2/7 contiene un display a cristalli liquidi (display LCD) che
contiene i tasti START, STOP, ZERO (soppressione base) e MENU (Menu) , nonché
altri otto tasti per i vari menu e immissioni.
L'unità di comando può essere ruotata.

Pos. Descrizione

Pos. Descrizione

1

4.2.2.1 Indicatore LCD

8

Tasto n. 5

2

Tasto n. 1

9

Tasto n. 6

3

Tasto n. 2

10

Tasto n. 7

4

Tasto n. 3

11

Tasto n. 8

5

Tasto n. 4

12

4.2.2.5 Tasto MENU

6

4.2.2.2 Tasto START

13

4.2.2.3 Tasto STOP

7

4.2.2 Unità di comando

14

4.2.2.4 Tasto ZEROiina70i 04.fm(1108)

Fig. 4-2: Unità di comando

Descrizione e funzionamento

374.2.2.1

Indicatore LCD

4.2.2.2

Tasto START
Premendo il 4.2.2.2 Tasto START Fig. 4-2/6 viene attivato il UL1000 e UL1000 Fabche inizia con la misurazione. Se in modalità di misurazione viene premuto di nuovo
il tasto START, appare la visualizzazione della quota di perdita massima (funzione
di mantenimento). Viene visualizzata la quota di perdita massima, verificatasi dopo
"START". Premendo di nuovo il tasto START, viene reinizializzata la funzione dimantenimento.

4.2.2.3

Manuale tecnico

La 4.2.2 Unità di comando Fig. 4-2/1 rappresenta l'interfaccia di comunicazione con
l'utente del dispositivo. L'unità di comando emette le quote di perdita, i messaggi distato del rilevatore di perdite, i messaggi, le avvertenze e i messaggi d'errore.

Tasto STOP
La pressione di 4.2.2.3 Tasto STOP Fig. 4-2/13 interrompe le misurazioni. Se questo
tasto viene premuto per diverso tempo, l'ingresso viene ventilato secondo le condizioni definite nel menu 6.6.1.2 Rallentamento dell'aerazione. Si veda il capitolo
6.6.1.2 per l'impostazione dei parametri di tempo della ventilazione.

4.2.2.4

Tasto ZERO
La pressione di 4.2.2.4 Tasto ZERO Fig. 4-2/14 attiva la soppressione della base.
Premendo il tasto ZERO viene valutata la quota di perdita attuale misurata comesegnale di base e detratta da tutte le misurazioni successive. Ne derivano i campi
di visualizzazione elencati di seguito•

1×10-6

•

1×10

-10

•

1×10-12 in ULTRAin GROSSin FINE

Dopo aver premuto il tasto ZERO, la soppressione della base viene adeguata automaticamente all'andamento del segnale della quota di perdita in caduta. Quindi,anche con segnale in caduta rapida, è possibile riconoscere perdite.

iina70i 04.fm

Si vedano anche le illustrazioni seguenti.

(1108)Per eliminare la soppressione della base è sufficiente tenere premuto il tasto ZEROper 3 secondi.

38

Descrizione e funzionamento

Manuale tecnico

Fig. 4-3 Base in caduta(1108)

Se il segnale misurato scende sotto il valore di base memorizzato, questo viene equiparato automaticamente al segnale della base. Quando il segnale sale di nuovo, ilvalore di base memorizzato rimane costante. Gli aumenti di segnale vengono chiaramente riconosciuti come perdite. Ciò facilita notevolmente la misurazione anche diquote di perdita minime.

Fig. 4-4 Reset della posizione zero.

iina70i 04.fm

Per vedere il segnale misurato, tenere premuto il tasto ZERO per circa 3 secondi. Il
valore memorizzato viene portato a zero, mentre il segnale di base non viene più
soppresso.
Nota:

La funzione ZERO dovrebbe essere attivata solo quando il segnale dellaquota di perdita diventa stabile. Nell'impostazione I•ZERO, la funzione ZEROpuò essere utilizzata solo quando il segnale di base in caduta è stabile.
Vedere capitolo 6.6.2.2.

Descrizione e funzionamento

394.2.2.5

Tasto MENU

Se il menu viene aperto durante la seduta in corso, l'operatore viene portato
sull'ultima visualizzazione prima dell'uscita dal menu.
Premendo nuovamente il tasto MENU si ritorna alla visualizzazione della modalità diesercizio precedente e viene visualizzata la schermata precedente.

4.2.2.6

Manuale tecnico

Premendo il tasto MENU (Fig. 4-2/2) sul display viene visualizzato il menu di selezione. Questo funziona indipendentemente dalla modalità di esercizio, eccetto
durante la procedura di Calibrazione.

Tasti
La funzione degli otto tasti a sinistra / destra del display Fig. 4-2/2 … /5 e /8 … /11 è
legata al menu selezionato.

Funzioni speciali
Se in un sottomenu è possibile selezionare impostazioni, due dei tasti presentano
quasi sempre la stessa funzione:•

Il tasto n. 1 Fig. 4-2/2 corrisponde alla funzione indietro/interrompi.
In questo modo si può uscire da un sottomenu senza modificare le impostazioni
correnti e visualizzare la pagina precedente del menu.

•

Il tasto n. 8 Fig. 4-2/11 è il tasto di conferma (OK).
Le impostazioni selezionate o modificate vengono salvate e viene visualizzata dinuovo la pagina precedente del menu.

4.2.2.7

Immissioni numeriche

Se non devono essere effettuate modifiche, premere il tasto n. 1 Interrompi.

•

Viene visualizzato in modo invertito il numero del quale è possibile modificare ilvalore. Con(tasto n. 8) e(tasto n. 4) è possibile selezionare il punto
da modificare.

•

Per modificare il numero del punto selezionato, premere il tasto con la
corrispondente coppia di numeri. Si apre un sottomenu nel quale è possibile
selezionare il valore numerico desiderato. Il sottomenu si chiude
automaticamente e il punto di misurazione successivo del valore numerico intero
viene visualizzato in modo invertito.

•

Dopo il raggiungimento dell'ultimo numero, occorre confermare tutte le correzioni
con OK (tasto n. 8).

iina70i 04.fm•(1108)Se è stata aperta una pagina del menu in cui è possibile immettere valori numerici,
procedere come segue:40

Descrizione e funzionamento

Manuale tecnico

EsempioFig. 4-5: immissione numerica di Trigger level 1

iina70i 04.fm(1108)Per modificare la soglia trigger da 1.0x10-9 mbar l/s a 3x10-9 mbar l/s premere iltasto 2/3 (tasto n. 3) Fig. 4-5. Si apre un sottomenu (Fig. 4-5), nel quale è possibile
selezionare il valore desiderato 3 con il tasto 4.

Descrizione e funzionamento

41Modi di funzionamento

4.3.1

Modalità vuoto
Come già citato (si veda capitolo 4.2.1), occorre evacuare il provino affinché l'elio
spruzzato dall'esterno sul provino possa penetrare, grazie alla differenza di pressione, se sono presenti perdite.
Premendo 4.2.2.2 Tasto START si aprono le valvole V1a e V1b, e il provino viene
spompato dalla pompa per vuoto (UL1000) o dalla pompa scroll (UL1000 Fab).
Contemporaneamente, viene chiusa la valvola V2 per evitare un aumento di pressione non ammesso nella turbopompa e nello spettrometro di massa.

Manuale tecnico

4.3

Con valvola V2 chiusa, la turbopompa lavora senza supporto della pompa scroll.
Poiché lo spettrometro di massa è già evacuato, da quel punto non viene più
pompato ulteriore gas. La pressione p2 rimane costante o sale lentamente.
Se, ad esempio, per una procedura di pompaggio molto lunga, la pressione P2
dovesse ancora salire, con P2 > 10 mbar viene interrotta l'evacuazione (V1a e V1bchiuse) e V2 viene aperta brevemente per ripristinare un pre-vuoto idoneo(P2 < 1 mbar).
Nei diagrammi seguenti, viene rappresentato il flusso del gas durante l'evacuazione
e durante le modalità di esercizio GROSS, FINE e ULTRA.

V1a

V1a
V5

V5

MS

TL
V4b

V8

p2

V4a
V2

p1 V7
V6
V1b

V5

TL
V4b

V8

p2

V4a
V2

p1 V7
V6
V1b

V5

Fig. 4-6: sinistra: evacuazione (nessuna misurazione), destra: modalità GROSS(1108)MS

Le condizioni per la procedura di evacuazione descritta vengono mantenute fino aquando la pressione di ingresso p1 è scesa sotto 15 mbar. Si apre la valvola V2.
L'elio possibilmente presente può fluire solo in direzione contraria nello spettrometro
di massa, dal quale viene rilevato.

Poiché la pompa scroll continua a evacuare il provino, la pressione di ingresso p1
continua a scendere. Sotto i 2 mbar si passa in modalità UL1000 e UL1000 Fab
FINE, ciò significa che la valvola V4a si apre e la valvola V1b si chiude. Il flusso delgas arriva nella turbopompa in un livello intermedio.

42

Descrizione e funzionamento

iina70i 04.fm

Questa è la modalità di esercizio GROSS; la soglia di visualizzazione inferiore è
1×10-6 mbar l/s.

Manuale tecnico

La sensibilità del sistema è maggiore; la soglia di visualizzazione inferiore è
1×10-10 mbar l/s.

V1a

V1a

MS

MS

TL
V4b

V8

p2

V4a
V2

p1 V7
V6
V1b

TL
V4b

V8

p2

V4a
V2

V5

p1 V7
V6
V1b

V5

Fig. 4-7: sinistra: modalità FINE, destra: modalità ULTRA
Ora, la parte inferiore della turbopompa continua a evacuare il provino e dopo che lapressione p1 è scesa sotto 0.4 mbar , il UL1000 e UL1000 Fab passa in modalità
ULTRA, vale a dire V1a e V4a si chiudono e V4b si apre.
L'ingresso di gas nella turbopompa avviene più in alto. La capacità di assorbimento
sull'ingresso è ora di 2,5 l/s e il limite di rilevamento è 5×10-12 mbar l/s.
Suggerimento:

4.3.2

Una particolare impostazione del UL1000 e UL1000 Fab evita lacommutazione del campo di misurazione automatica descritta sopra.
Selezionando FINE only (si veda capitolo 6.3) il rilevatore di perdite rimane inmodalità FINE Fig. 4-7 (sinistra) indipendentemente dalla pressione diingresso. La valvola V1a è chiusa.

Modalità sniffer(1108)Per la modalità sniffer viene collegata una linea sniffer (preferibilmente la linea sniffer
standard 14005 di INFICON) sulla flangia di ingresso. Premendo 4.2.2.2 Tasto
START, il sistema inizia a pompare aria nella linea sniffer.
Attraverso il flusso di gas costante attraverso la linea sniffer, il software del dispositivo passa direttamente in modalità FINE che viene mantenuta. La pressione diingresso non continua a scendere.
Attraverso la misurazione della pressione di ingresso, il software del dispositivo
garantisce che la portata del gas sia corretta. In caso contrario, appaiono messaggi
di avvertenza. In modalità sniffer, il limite di rilevamento è <1×10-7 mbar l/s.
Il sistema sniffer QT100 di INFICON può essere utilizzato anche nelle applicazioni
sniffer. Poiché il QT100 crea una pressione di ingresso inferiore, si raccomanda difar funzionare il rilevatore di perdite in modalità vuoto perché, in caso contrario,
verrebbero emessi messaggi d'errore riferiti alla pressione insufficiente.
iina70i 04.fm

Il fattore macchina (si veda capitolo 6.6.1.5) deve essere impostato sul valore 400.

Descrizione e funzionamento

434.3.3Modalità Autotest perdite

Se viene utilizzata la camera test opzionale TC1000, il controllo si avvia automaticamente alla chiusura del coperchio. I risultati vengono ottenuti entro brevissimo
tempo.
La perdita di prova interna del rilevatore di perdite viene utilizzata per la Calibrazione
dinamica per compensare il ciclo di test desiderato.

Manuale tecnico

In questa modalità è possibile effettuare automaticamente prove su pezzi chiusi
ermeticamente.

iina70i 04.fm(1108)Le quote di perdita nel campo di 10-9 mbar possono essere rilevate entro 5 secondi.

44

Descrizione e funzionamento

5

Funzionamento di UL1000 e UL1000 Fab
L' UL1000 e UL1000 Fab viene attivato mediante attivazione dell'interruttore di rete(vedere capitolo 3.2.1). Dopo meno di 3 minuti l'avvio è completo; il rilevatore diperdite si trova in modalità standby ed è pronto per la misurazione.

Manuale tecnico

Collegare il provino sulla flangia di ingresso e attivare il tasto START. UL1000 e
UL1000 Fab evacua il provino. La durata dell'evacuazione dipende dal volume delprovino. Durante l'evacuazione la pressione di ingresso viene visualizzata costantemente sul display.
Quando viene raggiunta una pressione di 15 mbar (11 Torr o 1500 Pa) il rilevatoredi perdite passa in modalità misurazione. Viene visualizzata la quota di perdita
misurata. Per ulteriori spiegazioni sulle informazioni visualizzate vedere Fig. 5-1.
La quota di perdita visualizzata corrisponde alla concentrazione di base di elio delprovino. UL1000 e UL1000 Fab continua a spompare il provino, pertanto la quota diperdita continua ad abbassarsi. Non appena è sufficientemente piccola per corrispondere alle rispettive esigenze, pertanto è possibile iniziare a spruzzare il provino
con elio dall'esterno per trovare perdite.
Al termine del test attivare il tasto STOP e tenere premuto questo tasto per alcuni
secondi per aerare il provino.

5.1

Display
Il display serve per l'indicazione dei segnali delle quote di perdita o delle impostazioni
specifiche del programma e serve per ottenere le informazioni attraverso i menu
software (vedere cap. 6). Inoltre, il display visualizza messaggi e istruzioni sulla
manutenzione (vedere cap. 8).

5.2

Indicatori avvio(1108)

Durante l'avvio (ca. ≤ 3 Min.) sul display viene visualizzato quanto segue:

Nota:

•

Numero di giri turbopompa•

Pressione prevuoto•

Condizione dell'emissione•

Catodo attivo•

Indicatore a barre che visualizza il processo dell'avvio
Se il display è troppo chiaro o troppo scuro, è possibile modificare
l'impostazione del contrasto (6.2.4.)

iina70i 05.fm

Durante l'avvio è possibile premere il tasto menu (vedere cap. 4.2.2.5), per aprire ilmenu di selezione.

Funzionamento di UL1000 e UL1000 Fab

45

5.3

Indicazioni in modalità standby

5.3.1

Risciacquo
Ogni volta che UL1000 e UL1000 Fab commuta dopo uno "standby" viene attivato
automaticamente un risciacquo di 20 sec. Durante questo la pompa scroll viene
risciacquata attraverso il collegamento purge (/11).

Manuale tecnico

In standby gli stati vengono indicati sul bordo inferiore del display (Vedere capitolo
5.4.3). Inoltre, anche in modalità standby è possibile richiamare la Calibrazione (cap.
7) e avviare il processo di risciacquo (Vedere capitolo 5.3.1).

In modalità standby il risciacquo può essere attivato manualmente (tasto 7).
Premendo ancora il tasto il processo viene interrotto. Anche l'attivazione del tasto
Start interrompe il processo.

5.4

Il display in modalità misurazione
In modalità misurazione le quote di perdita possono essere visualizzate in due modi:•

Numericamente, con indicatore a barra Fig. 5-1•

Come trend (quota perdita contro tempo) Fig. 5-2

Nell'angolo in basso a destra del display (vicino al tasto n. 8) è presente un simbolo
che consente la commutazione fra le due modalità di visualizzazione citate attivando
il tasto n. 8. vedere cap.5.4.5 e vedere cap.5.4.5 per la spiegazione delle diverse
modalità di visualizzazione.

(1108)

L'accesso alla funzione Calibrazione (tasto n. 5) e il volume del segnale acustico(tasti n. 2 e 3) sono uguali in tutte le modalità di funzionamento. Anche i simboli distato nella riga inferiore sono uguali in tutte le modalità di visualizzazione.

Fig. 5-1: Display, modalità misurazione

5.4.1

Richiamare la funzione Calibrazione

iina70i 05.fm

In tutte le modalità di funzionamento si utilizza il tasto n. 5 per richiamare la routine
di Calibrazione. vedere cap. 7 per ulteriori informazioni sul processo di Calibrazione.

46

Funzionamento di UL1000 e UL1000 Fab5.4.2

Volume del segnale acustico

Manuale tecnico

Sul lato sinistro sono rappresentati due simboli altoparlante, combinati con i segni +e -. Attivando i rispettivi tasti (tasto n. 2 e n. 3) è possibile impostare il volume in modo
adatto. Nell'ultima riga del display si trova un ulteriore simbolo altoparlante,
combinato con un numero. Questo numero indica il volume effettivo(ambito da 0 a 15).
vedere capitolo 6.4.3 per informazioni su volume, allarmi e segnali.

5.4.3

Riga di stato del display
La riga di stato nel display in basso informa l'operatore su quanto segue (letto dasinistra a destra):Simboli
DisplaySignificato

Spiegazione

VolumeVedere capitolo 5.4.2.

S1

Trigger 1

S2

Trigger 2••

Misure acquisite
Triangolo avvertenza(1108)

5.4.4

VAC

Tipo di funzionamento

ULTRA

Ambiti vuoto

ZERO

ZERO

COR

Quota perdita corretta

Autotest
perditeAutotest perdite

Quando si superano le soglie trigger questi simboli
sono intervallati.
vedere: Trigger 1
Il numero di punti indica il numero di misurazione(4 punti = elio, 2 punti = idrogeno).
Vedere capitolo 8.1
VAC o SNIFF indicano la modalità selezionata(vedere capitolo 6.3).
In base alla pressione di ingresso UL1000 e UL1000
Fab si trova in modalità GROSS, FINE o ULTRA
illustrato qui (vedere cap. 4.3).
Indica se è attiva la funzione soppressione della
base.
Indica se la quota di perdita è occupata con un
fattore di correzione (vedere cap.6.6.1.5).
Indica se è stato scelta questa modalità

Modalità di visualizzazione numerica
Sul display la quota di perdita viene visualizzata con numeri grandi, vedere Fig. 5-1.
Inoltre viene visualizzata l'unità di misura della quota di perdita. Sotto alla quota diperdita viene visualizzata la pressione in ingresso con numeri piccoli(vedere cap. 6.4.4).

iina70i 05.fm

Al di sotto la stessa quota di perdita viene indicata con barre. La scala di questa
barra, ossia il numero di decadi rappresentate può essere definita attraverso unmenu (vedere cap. 6.2.2). Le soglie di trigger programmate (Refer to chapter 6.4.1
e 6.4.2) vengono visualizzate sulla barra con brevi linee verticali: Una line continua
per trigger 1 e una tratteggiata per trigger 2.
Inoltre attraverso la visualizzazione della barra viene visualizzata la pressione inentrata in cifre piccole.

Funzionamento di UL1000 e UL1000 Fab

47

Modalità trend
In modalità trend la quota di perdita misurata viene visualizzata sopra all'ora.Fig. 52. Oltre alla quota di perdita effettiva misurata anche la pressione in ingresso viene
visualizzata in modo digitale. L' asse temporale può essere definito attraverso unmenu (vedere cap. 6.2.3). L'asse dell'intensità (asse Y) viene definito allo stesso
modo che per la visualizzazione a barre (vedere cap. 6.2.1).

Manuale tecnico

5.4.5

iina70i 05.fm(1108)

Fig. 5-2: Display, modalità trend

48

Funzionamento di UL1000 e UL1000 Fab6Descrizione dei menu

Manuale tecnico

Attivando il tasto MENU (menu) Fig. 6-1 il menu principale viene rappresentato dalmenu principale indipendentemente dalla modalità di funzionamento.

Fig. 6-1: Il 6.1 Menu principale
Il menu principale Fig. 6-1 porta l'operatore a diversi sottomenu, descritti nei capitoli
seguenti.

6.1

Menu principale
Nel menu principale vengono visualizzati 7 sottomenu In questi sono riassunte
funzioni tecniche del rilevatore di perdite in modo logico. Da qui è possibile raggiungere gli altri livelli dell'albero menu.
Suggerimento:

Tasto n.
1

Definizione
Indietro2

6.2 Indicazione(1108)

3

4
5
6

7

iina70i 06.fm

In tutti i capitoli seguenti viene visualizzato il percorso alle singole righe menu
descritte sotto il titolo del capitolo. Questo percorso viene indicato come un
punto (•).

8

Descrizione
Indietro all'indicazione precedente.
Impostazioni visualizzazione scalatura,contrasto, base sistema.

Vedere capitolo .
Scelta delle diverse modalità operative come6.3 Modo di funzionamento vuoto, sniff
Vedere capitolo 6.3.
Impostazioni unità misura, soglie trigger e allarmi.
6.4 Trigger e allarmi
Vedere capitolo 6.4.
Calibrazione UL1000 e UL1000 Fab.
6.5 CAL (Calibrazione)
Vedere capitolo 6.5.
Impostazione parametri interni dispositivo
6.6 Setting (Impostazioni)
Vedere capitolo 6.6.
Informazioni su UL1000 e UL1000 Fab (dati
elettrici e vuoto) e menu servizio.
6.7 Info

6.8 Diritti utente

Vedere capitolo 6.7.
Limitazioni accesso.
Vedere capitolo 6.8.

Alla pagina successiva viene presentata la panoramica di tutti i menu .

Descrizione dei menu

49

Fig. 6-2: panoramica struttura menu

6.2 Indicazione

6.3 Modo difunzionamento

2. Livello6.2.1 Scala lineare/logaritmica
6.2.2 Ambito visualizzazione
automatico/manuale
6.2.3 Asse temporale
6.2.4 Contrasto
6.2.5 Base in standby
6.2.6 Posizioni dopo la virgola
6.2.7 Limite visualizzazione inferiore.

3. LivelloManuale tecnico

1. Livello

Sniff / vuoto / autotest perdite

6.4.1 Trigger level 1
6.4.2 Trigger level 2
6.4.3 Volume
6.4 Trigger e allarmi
6.4.4 Unità
6.4.5 Ritardi allarme
6.4.6 Tipo allarme audio

6.1 Menu principale

6.5 CAL(Calibrazione)

InternoEsterno6.6.1 Impostazioni del vuoto

6.6.2 Zero & base

ManualeAutomatico
Elabora quota di perditaStart
6.6.1.1 Risciacquo automatico (solo UL1000 Fab)6.6.1.2 Rallentamento dell'aerazione
6.6.1.3 Ambiti vuoto
6.6.1.4 Quota di perdita perdita di prova internoa
6.6.1.5 Fattore macchina
6.6.2.1 Soppressione base
6.6.2.2 Zero

6.6.4 Interfacce
6.6 Setting(Impostazioni)
6.6.5 Varie

6.6.6 Caricare / memorizzare
parametriiina70i 06.fm

6.6.7 Controllo

6.6.4.1 Luogo di comando
6.6.4.2 Protocollo RS232
6.6.4.3 Uscita dispositivo di scrittura
6.6.4.4 Scalatura uscita dispositivo di scrittura
6.6.5.1 Data/ora
6.6.5.2 Lingua
6.6.5.3 Filtro quota perdite
6.6.5.4 Frequenza di rete
6.6.5.5 Intervallo manutenzione filtro scappamento.
6.6.5.6 Messaggio manutenzione filtro scappamento
6.6.6.2 Memorizzazione di un set parametri
6.6.6.1 Caricare un set di parametri
Richiesta Calibrazione
Protezione antiparticolato
Protezione da inquinamento
Limiti pressione modalità sniff
Tempo di evacuazione max.
Limite pressione per ambiti vuoto(1108)

6.6.3 Massa

50

Descrizione dei menu

1. Livello

2. LivelloVisualizza impostazioni

3. Livello6.1 Menu principale

Manuale tecnico

Visualizza dati interni
Schema vuoto
6.7 Info

Storico Calibrazione
Fattori Calibrazione

Servizio
6.8 Diritti utente

6.2

Visualizza elenco errori

6.8.1 Accesso alla funzione CAL
6.8.2 Modifica del PIN menu
6.8.3 Modifica del PIN dispositivo

Indicazione•

6.1 Menu principale >iina70i 06.fm(1108)In questo sono riassunte Fig. 6-1 tutte le funzioni che influenzano comerappresentare i dati.

Fig. 6-1: Il

menu

Tasto n.
1

Definizione
Indietro2

6.2.1 Scala lineare/logaritmica

3

6.2.2 Ambito visualizzazione
automatico/manuale

4

6.2.3 Asse temporale

5

6.2.4 Contrasto

6

6.2.5 Base in standby

7

6.2.6 Posizioni dopo la virgola

8

6.2.7 Limite visualizzazione
inferiore.

Descrizione
Torna al menu principale.
Impostazioni per la visualizzazione di barre e
modalità trend.
Vedere capitolo 6.2.1
Selezione dell'ambito di misurazione manuale
o automatica. Vedere capitolo 6.2.2
Asse temporale in modalità trend. Vedere
capitolo 6.2.3
Impostazioni del contrasto sul display. Vedere
capitolo 6.2.4
Visualizzazione base in standby ON od OFF.
Vedere capitolo 6.2.5Selezione del numero di cifre decimali. Vedere
capitolo 6.2.6
Impostazione del limite rilevamento inferiore
sul display. Vedere capitolo 6.2.7

Descrizione dei menu

51

6.2.1

Scala lineare/logaritmica•

6.1 Menu principale > > 6.2.1 Scala lineare/logaritmica

La scala della visualizzazione delle barre può essere lineare o logaritmica. Con
l'aiuto delle frecce (su e giù) è possibile stabilire quante decine della visualizzazione
a barre devono essere segnate.
Normalmente, si consiglia l'uso di una scala logaritmica in quanto le quote di perdita
possono modificarsi su diverse decadi.
Tasto n. 2:

Manuale tecnico

Queste impostazioni si applicano alla visualizzazione delle barre (barre al di sotto dei
numeri in modalità misurazione) e all'asse Y in modalità Trend.

LineareL'attivazione di questo tasto attiva la scalatura lineare, iniziando da zero.
Tasto n. 3

Freccia giù (numero di decadi)

Attivando questo tasto il numero di decadi rappresentate diminuisce. Il numero
minimo è 2 decadi. Ciò può essere selezionato solo se prima è stato selezionato log(tasto n. 6).
Tasto n. 6

Logaritmico

Si usa una scalatura logaritmica.
Tasto n. 7

Freccia su (numero di decadi)

iina70i 06.fm(1108)

Attivando questo tasto il numero di decadi rappresentate aumenta. Il numero
massimo è 9 decadi. Ciò può essere selezionato solo se prima è stato selezionato
log (tasto n. 6).

52

Descrizione dei menu

6.2.2

Ambito visualizzazione automatico/manuale•

6.1 Menu principale > > 6.2.2 Ambito visualizzazione automatico/manuale

Manuale tecnico

Il limite superiore della quota di perdita visualizzata può essere impostato
manualmente o automaticamente. Queste impostazioni si applicano alla
visualizzazione delle barre (barre al di sotto dei numeri in modalità misurazione e
all'asse Y in modalità Trend).
Attraverso il limite superiore qui definito, viene definito automaticamente il limite
inferiore, sulla base del numero delle decadi definite (vedere cap.6.2.1).
Tasto n. 2:

ManualeIl limite superiore dell'ambito di visualizzazione può essere impostato manualmente.
Tasto n. 3

Freccia giù

Se è stato selezionato manuale è possibile ridurre il limite di visualizzazione superiore. Il valore minimo è 10-11 mbar l/s.
Tasto n. 6

Automatico

Il limite superiore dell'ambito di visualizzazione viene stabilito automaticamente.
Tasto n. 7

Freccia su

Se è stato selezionato manuale è possibile aumentare il limite di visualizzazione
superiore. Il valore massimo è 10+3 mbar l/s.
Tasto n. 8
Salvare le impostazioni e tornare al menu precedente.
Se è stata scelta una scala lineare, il valore inferiore è sempre 0. Il limite superiore
è solo un valore standard. Se è stata selezionata la selezione manuale è possibile
modificarlo nella visualizzazione misurazione usando i tasti n. 6 e n. 7.

6.2.3

Asse temporale•

6.1 Menu principale > > 6.2.3 Asse temporale

La lunghezza dell' asse temporale un modalità trend può essere modificata in più
passaggi da 16 a 960 .
(1108)

Tasto n. 3

Freccia giù

Abbreviazione asse temporale. Il valore minimo è 16 secondi.
Nell'impostazione AUTO l'intervallo temporale viene modificato automaticamentedurante la misurazione. (fino max. 960 secondi)
Tasto n. 5?

Testo di supporto
Tasto n. 7

Freccia su

iina70i 06.fm

Allungamento asse temporale. Il valore massimo è 960 secondi.

Descrizione dei menu

53

6.2.4Contrasto•

6.1 Menu principale > > 6.2.4 Contrasto

Suggerimento:

Se per errore il display è stato impostato troppo chiaro o troppo scuro,
rendendolo illeggibile, può essere modificato come segue
Spegnere e riaccendere l' UL1000 e UL1000 Fab. Durante la fase di avvio,
attivare il tasto n. 3 o n. 4 fino a che il display è di nuovo visibile. Questa
impostazione viene memorizzata in modo durevole in EPROM solo se
l'impostazione viene confermata nel menu contrasto. Se manca laconferma, al riavvio si applicano le vecchie impostazioni.

Tasto n. 3

Manuale tecnico

Il contrasto del display è modificabile. Le modifiche sono immediatamente visibili.
In condizioni normali si consiglia un'impostazione contrasto di ca. 50.

Freccia giù

Ridurre contrasto (più scuro). Il valore minimo è 0.
Tasto n. 4

Invertire visualizzazione

Invertire il contrasto del display.
Tasto n. 5?

Testo disupporto
Tasto n. 7

Freccia su

Aumentare contrasto (più chiaro). Il valore max. è 99.

6.2.5

Base in standby•

6.1 Menu principale > > 6.2.5 Base in standby

In modalità standby è possibile visualizzare o non visualizzare di base interna (ON).
L'impostazione di fabbrica è OFF.
Tasto n. 3

OFFLa quota di perdita di base non viene visualizzata.
Tasto n. 5?

Tasto n. 7

ON(1108)

Testo di supporto

La quota di perdita di base viene visualizzata.

Se si attiva il tasto START, la base interna effettivamente misurata viene detratta
automaticamente dalle altre misurazioni. Ciò garantisce che si misuri solo la quotadi perdita netta del provino.

54

Descrizione dei menu

iina70i 06.fm

La base interna viene generata dal gas residuo (p.es. elio) non ancora spompata.
Le sorgenti del gas residuo sono luce o gas assorbiti dalle superfici interne del rilevatore di perdite. Questa base non scomparirà mai completamente. Sistemi molto
puliti, spompati molto, hanno uno sfondo nell'ambito di 10-11 mbar l/s. In condizioni
normali si può prevedere una base nell'ambito di 10-10 mbar l/s o più basso di
10-9 mbar l/s.

Manuale tecnico

Quando il rilevatore di perdite viene riportato in modalità standby, la nuova baseviene acquisita dopo non prima di 25 secondi. Il valore attualizzato viene
rappresentato con sottolineatura. Ciò significa che quando si attiva il tasto STARTcon valore di base sottolineato, che il segnale di base effettivo viene detratto.
Attivando il tasto START senza valore di base sottolineato, viene detratto il vecchio
segnale di base, che era valido per ultimo in modalità standby.

6.2.6

Posizioni dopo la virgola•

6.1 Menu principale > > 6.2.6 Posizioni dopo la virgola

Il numero di posizioni decimali visualizzate per la quota di perdita è selezionabile.
L'impostazione di fabbrica è 1.
Tasto n. 3

1

La quota di perdita viene indicata con una posizione decimale.
Tasto n. 7

2

La quota di perdita viene indicata con due posizioni decimali.
Due posizioni decimali hanno un senso se si seleziona il filtro quota di perdita I•CAL(vedere cap. 6.6.5.3).

6.2.7

Limite visualizzazione inferiore.
•

6.1 Menu principale > > 6.2.7 Limite visualizzazione inferiore.

Questa impostazione durante la misurazione limita la visualizzazione della quota diperdita verso il basso. Ciò si applica solo al funzionamento sotto vuoto.
Tasto n. 3,7
Modifica del limite di visualizzazione inferiore fra 1x10-5 e 1x10-12 mbar l/s
Tasto n. 5?

iina70i 06.fm(1108)

Testo di supporto

Descrizione dei menu

55

6.3

Modo di funzionamento•

6.1 Menu principale > 6.3 Modo di funzionamento

Manuale tecnico

Il menu modo di funzionamento Fig. 6-2 mediante un sottomenu consente laselezione delle diverse modalità di funzionamento.

Fig. 6-2: Il 6.3 Modo di funzionamento menu
Tasto n.
1
3
4
6Autotest
perditeVuoto
OK

Descrizione
Torna al menu principale senza modifica.
Viene utilizzata la modalità sniffer. Vedere capitolo 4.3.2.
In questo menu senza funzione.
In questo menu senza funzione.
Viene utilizzata la modalità vuoto normale.
Salvare le impostazioni e tornare al menu precedente.

iina70i 06.fm(1108)

7
8

Defin.
Interrompi
Sniff

56

Descrizione dei menu

6.3.1

Autotest perdite•

Menu > modo di funzionamento> Auto Leak Test

Manuale tecnico

Se è stata selezionata la modalità AUTO LEAK TEST viene visualizzata la seguente
immagine sul display:

Fig. 6-3
Se si preme il tasto OK, si richiama il menu IMPOSTAZIONI (vedere 6.6.1.6 )Nota:

UL1000 è in grado di richiedere una Calibrazione se si cambia modalità difunzionamento. In tal caso compare un'informazione

Al termine del test, l'immagine sul display in standby mostra le seguenti impostazioni:

iina70i 06.fm(1108)

Fig. 6-4

Descrizione dei menu

57

Manuale tecnico

Fig. 6-5
1

Risultato test

4

Base

2

Quota di perdita misurata

5

Modo

3

Numero del componente verificato

6

Pausa

Verifica di componenti
La verifica può essere avviata con il tasto START. Se si usa la camera di test
TC1000, il controllo si avvia automaticamente non appena si chiude il coperchio.
Dopo la durata impostata, il test si arresta e la camera viene aerata automaticamente.
Il test può essere interrotto in qualsiasi momento premendo il tasto STOP.

(1108)

Dopo l'avvio il test si svolge come indicato dalle preimpostazioni:

Fig. 6-6
1

Durata di misurazione residua

Se la camera di test anche dopo lo spegnimento del dispositivo deve rimanere sotto
vuoto, è necessario premere il tasto pausa (tazzina di caffè). Seguire le indicazioni del display e spegnere il rilevatore di perdite. Questa funzione può essere usata
anche se si vuole interrompere un controllo. La misurazione può essere ripresa
premendo il tasto RIAVVIO.

58

Descrizione dei menu

iina70i 06.fm

Spegnimento

6.4

Trigger e allarmi•

6.1 Menu principale > 6.4 Trigger e allarmi

Manuale tecnico

Le soglie di trigger, il volume del segnale acustico e l'unità delle quote di perdita edelle pressioni possono essere impostate in questo menu. Fig. 6-7.

Fig. 6-7: Il 6.4 Trigger e allarmi menu
Tasto n.
1
2
3
4

Definizione
Indietro
6.4.1 Trigger level 1
6.4.2 Trigger level 2
6.4.3 Volume5

6.4.4 Unità

67

6.4.5 Ritardi allarme
6.4.6 Tipo allarme
audio

8

6.4.1

Descrizione
Indietro al menu principale
Stabilire la soglia trigger 1. vedere cap. 6.4.1
Stabilire la soglia trigger 2. vedere cap. 6.4.2
Vedere capitolo 6.4.3
Selezione delle unità di misurazione per quote diperdita e pressioni. Vedere capitolo 6.4.4
In questo menu senza funzione.
Vedere capitolo 6.4.5Selezione dei diversi tipi di allarme. Vedere capitolo
6.4.6

Trigger level 1•

6.1 Menu principale > 6.4 Trigger e allarmi > 6.4.1 Trigger level 1

Qui è possibile immettere il valore della soglia trigger 1. Vedere cap. 4.2.2.7 per ladescrizione dell'immissione.

(1108)

Trigger 1 e Trigger 2 sono limiti di commutazione programmabili. Se questi vengono
superati, UL1000 e UL1000 Fab reagisce come segue:
Display
Nella riga di stato del display i simboli di trigger 1 e 2 sono rappresentati in modo
invariato non appena vengono superate le quote di perdita impostate (ossia quando
la quota di perdita misurata non raggiunge il valore programmato).
Uscita rele
Il rele trigger dell'uscita digitale scatta. vedere cap. 2.3.2.2 per ulteriori dettagli.

iina70i 06.fm

Allarme/altoparlante
La soglia trigger 1 definisce le soglie di spegnimento dei diversi allarmi(vedere cap. 6.4.6).

Descrizione dei menu

59

6.4.2

Trigger level 2•

6.1 Menu principale > 6.4 Trigger e allarmi > 6.4.2 Trigger level 2

Se la soglia trigger viene superata, il rele rispettivo scatta. Ciò viene visualizzato
anche sul display (vedere sopra).

6.4.3

Manuale tecnico

Qui è possibile immettere il valore della soglia trigger 2. Vedere cap. 4.2.2.7 per ladescrizione dell'immissione.

Volume•6.1 Menu principale > 6.4 Trigger e allarmi > 6.4.3 Volume

Il volume minimo e il volume effettivo del segnale acustico possono essere impostatiqui.
Il volume minimo è il volume del segnale di allarme acustico che deve essere
raggiunto. Ciò impedisce che il volume venga impostato erroneamente su un valore
inferiore al rumore ambientale.
Il volume effettivo può essere impostato fra 15 (max) e il valore del volume minimo
definito.

Tasto n. 2:

Freccia giù

Ridurre il volume minimo. Il valore minimo è 0.
Tasto n. 3

Freccia giù

Ridurre il volume effettivo. Il valore minimo impostabile è limitato dal volume minimo.
Tasto n. 4

Beep on/off

Tasto n. 5?

Testo di supporto
Tasto n. 6

Freccia su

Aumentare il volume minimo. Il valore massimo è 15.
Tasto n. 7

Freccia su

iina70i 06.fm(1108)

Ridurre il volume effettivo. Il valore massimo è 15.

60

Descrizione dei menu

6.4.4Unità•

6.1 Menu principale > 6.4 Trigger e allarmi > 6.4.4 Unità

Manuale tecnicoÈ possibile selezionare le unità di misura utilizzate. È possibile scegliere fra 4 unità
di pressione (mbar, Pa, atm, Torr) e 5 unità di misura quote di perdita (mbar l/s, Pa
m3/s, Torr l/s, atm cc/s).
Nota:

In modalità sniff possono essere inoltre selezionate le seguenti unità dimisura: ppm, g/a eq (quota perdita elio equivalente a R134a), oz/gr eq (quota
perdita elio equivalente a R134a).
Tasto n. 2:

Freccia su

Scorrere verso l'alto le righe di selezione per selezionare un'unità di pressione.
Tasto n. 3

Freccia giù

Scorrere verso il basso le righe di selezione per selezionare un'unità di pressione.
Tasto n. 6

Freccia su

Scorrere verso l'alto le righe di selezione per selezionare un'unità di pressione.
Tasto n. 7

Freccia giù

Scorrere verso il basso le righe di selezione per selezionare un'unità di pressione.

6.4.5

Ritardi allarme•

6.1 Menu principale > 6.4 Trigger e allarmi > 6.4.5 Ritardi allarme

In alcune applicazioni (p.es. durante lo spompaggio di un "sistema di camera diprova" può essere necessario sopprimere un allarme per un periodo determinato
dopo aver attivato il tasto START.
Qui è possibile modificare il ritardo dell'allarme.
Tasto n. 3

Freccia giù

Ridurre tempo ritardo allarme. Il valore minimo è 0 secondi.
Tasto n. 5?

Testo di supporto
Tasto n. 7

Freccia su

Dopo aver attivato il tasto START si attiva il segnale acustico, non appena la quotadi perdita scende al di sotto della soglia di trigger o dopo che è scaduto il ritardodell'allarme. Questa impostazione si applica solo ai tipi di allarme acustico "Setpoint"e "Trigger" (vedere cap. 6.4.6).

iina70i 06.fm(1108)

Aumentare ritardo allarme. Il valore massimo è da 10 minuti a infinito.

Descrizione dei menu

61

6.4.6

Tipo allarme audio•

6.1 Menu principale > 6.4 Trigger e allarmi > 6.4.6 Tipo allarme audio

In base al compito dovrebbe essere selezionato il tipo di allarme ottimale.
Pinpoint

Questa funzione serve per la localizzazione di una perdita di dimensione nota. Per
dettagli vedere cap. 6.4.6.1
Tasto n. 3

Prop. quota perdita

Manuale tecnico

Tasto n. 2:

L'acutezza del tono è proporzionale al segnale di quota perdita. Questo è il tipo diallarme usato più frequentemente. Vedere capitolo 6.4.6.2
Tasto n. 5?

Testo di supporto
Tasto n. 6

Setpoint

L'acutezza del tono è proporzionale alla quota di perdita, il segnale si sente solo
quando la quota di perdita ha superato trigger 1. Per dettagli vedere cap. 6.4.6.3
Tasto n. 7

6.4.6.4 Allarme trigger

Si sente un segnale di allarme costante non appena viene superata la soglia trigger
1. Per dettagli vedere cap. 6.4.6.4

6.4.6.1

Localizzazione
La frequenza del tono del segnale acustico si modifica solo all'interno di una finestra
di quota perdite Fig. 6-8, che comprende un ambito che va da una decade inferiore
al valore della soglia trigger 1 a una decade superiore al valore della soglia trigger.
Al di sotto di questa finestra il tono è costantemente basso e al di sopra è costantemente alto.
Esempio: la soglia trigger 1 è di 4×10-7 mbar l/s. Pertanto la finestra va da
4×10-8 mbar l/s a 4×10-6 mbar l/s.
f(1108)

2570 Hz -491 Hz -0.1 • Tr. 1

Tr. 1

10 • TR. 1

LR

iina70i 06.fm

Fig. 6-8Localizzazione

62

Descrizione dei menu

6.4.6.2

Quota perdita proporzionale

Manuale tecnico

La frequenza del segnale acustico è proporzionale all'indicatore a barre. L'ambito difrequenza è di 300 Hz -3300 Hz. vedere capitolo 6.2.1 per la determinazione delnumero di decadi.

6.4.6.3

Valore nominale
Il segnale acustico è spento fino a che la quota di perdita è inferiore al valore dellasoglia trigger 1. Al di sopra della soglia trigger 1 l'acutezza del tono si modifica
proporzionalmente alla quota di perdita Fig. 6-9.
f
3000 Hz -375 Hz - Nessun tono
no toneTr. 1

1000 • TR.1 LR

Fig. 6-9: Valore nominale

6.4.6.4

Allarme trigger
Non appena la quota di perdita supera il valore della soglia trigger 1, viene generato
un segnale multifrequenza. Questo cambia con altre quote di perdita.

6.5

CAL (Calibrazione)•

6.1 Menu principale > 6.5 CAL (Calibrazione)

iina70i 06.fm(1108)

vedere capitolo 7 per una descrizione dettagliata del processo di Calibrazione Fig.
6-10.

Fig. 6-10: Il 6.5 CAL (Calibrazione) menu s

Descrizione dei menu

63

6.6

Setting (Impostazioni)•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni)

Manuale tecnico

Questo menu Fig. 6-11 consente la visualizzazione e la modifica di impostazioni deldispositivo.

Fig. 6-11: Il 6.6 Setting (Impostazioni) menu
Tasto n.
1

Definizione
Indietro2

6.6.1 Impostazioni del vuoto3

6.6.2 Zero & base

4

6.6.3 Massa

5

6.6.4 Interfacce

6

6.6.5 Varie

7

6.6.6 Caricare / memorizzare
Vedere capitolo 6.6.6
parametriÈ possibile selezionare funzioni di protezione di6.6.7 Controllo
UL1000 e UL1000 Fab. vedere 6.6.7

iina70i 06.fm(1108)

8

Descrizione
Indietro al menu principale
Impostazioni inerenti il sistema di vuoto. Vedere
capitolo 6.6.1
Impostazioni inerenti la base zero. Vedere
capitolo 6.6.2
Commutazione fra elio e idrogeno. Vedere
capitolo 6.6.3
Qui è possibile definire l'attribuzione delle uscite
di scrittura (uscite analogiche) oltre al luogo delcomando (loc. RS232, PLC). Vedere capitolo
6.6.4
Qui è possibile immettere impostazioni pocousate (data, ora) Vedere capitolo 6.6.5

64

Descrizione dei menu6.6.1

Impostazioni del vuoto•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.1 Impostazioni del vuoto

Manuale tecnico

Questo menu consente la visualizzazione e la modifica delle impostazioni delsistema di vuoto.
Tasto n. 2:

6.6.1.1 Risciacquo automatico (solo UL1000 Fab)

Vedere capitolo 6.6.1.1
Tasto n. 3

6.6.1.2 Rallentamento dell'aerazione

Vedere capitolo 6.6.1.2
Tasto n. 4

6.6.1.3 Ambiti vuoto

Vedere capitolo 6.6.1.3
Tasto n. 5

6.6.1.3 Ambiti vuoto

Vedere capitolo 6.6.1.3
Tasto n. 6

6.6.1.4 Quota di perdita perdita di prova internoa

Vedere capitolo 6.6.1.4
Tasto n. 7

6.6.1.5 Fattore macchina

Vedere capitolo 6.6.1.5

6.6.1.1

Risciacquo automatico (solo UL1000 Fab)•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.1 Impostazioni delvuoto >6.6.1.1 Risciacquo automatico (solo UL1000 Fab)Questo menu consente di impostare un risciacquo automatico della durata di 20
secondi (vedere capitolo 5.3.1).
Tasto n. 2:

OffIl risciacquo automatico è disattivato.
Tasto n. 3

Oniina70i 06.fm(1108)

Il risciacquo automatico è attivato. Nel passaggio da misurazione dopo uno standby,
la prepompa viene risciacquata automaticamente per 20 secondi.

Descrizione dei menu

65

Rallentamento dell'aerazione•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.1 Impostazioni del vuoto >6.6.1.2 Rallentamento dell'aerazione

Attraverso questo menu è possibile impostare la durata del ritardo che trascorre finoa che l'ingresso viene aerato dopo l'attivazione del tasto STOP. Se il tasto STOP
viene attivato per una durata più breve del tempo di ritardo immesso, UL1000 e
UL1000 Fab va solo in modalità standby.
Se il tasto STOP viene attivato per un periodo più lungo del tempo di ritardo
immesso, l'ingresso viene aerato.
Tasto n. 2:

Manuale tecnico

6.6.1.2

SubitoL'ingresso viene aerato subito attivando il tasto STOP.
Tasto n. 3

Dopo 1 secondo

L'ingresso viene aerato dopo un ritardo di 1 secondo.
Tasto n. 4

Dopo 1,5 secondo

L'ingresso viene aerato dopo un titanio di 1,5 secondi.
Tasto n. 5?

Testo disupporto
Tasto n. 6

Dopo 2 secondi

L'ingresso viene aerato dopo un ritardo di 2 secondo.
Tasto n. 7

Nessuna aerazione

L'ingresso può essere aerato mediante il tasto STOP

6.6.1.3

Ambiti vuoto•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.1 Impostazioni delvuoto > 6.6.1.3 Ambiti vuoto

Questo menu consente di impostare diverse modalità di funzionamento per lo svolgimento della ricerca di perdite. L'impostazione è efficace solo in modalità VUOTO(cap. 6.3).

UL1000 e UL1000 Fab resta in questa modalità se non raggiunge 0,4 mbar sulla
flangia di ingresso nella zona ULTRA (4.3.1). Alla visualizzazione della pressione
sulla flangia di ingresso di > 0,4 mbar UL1000 e UL1000 Fab commuta direttamente
in modalità evacuazione.
Tasto n. 3

SOLO FINE

UL1000 e UL1000 Fab resta in questa modalità se non raggiunge 2 mbar sulla
flangia di ingresso nella zona FINE. Collegamento valvola V1a. All'aumento dellapressione sulla flangia di ingresso di > 1 mbar UL1000 e UL1000 Fab commuta
direttamente in modalità evacuazione. Il livello di indicazione inferiore di FINE ONLYè di 1 x 10-10 mbar l/s.
Il vantaggio di FINE ONLY è che in questa impostazione durante la misurazione noncommutano valvole.

66

Descrizione dei menu

(1108)SOLO ULTRA

iina70i 06.fm

Tasto n. 2:

Tasto n. 4

SOFTPUMPIn questa modalità l'1000 e l'00 Fab mantengono chiusa la valvola mentre spompa
in modalità GROSS o FINE. In questo modo la velocità di pompaggio viene ridotta
ca. del fattore 2.
Manuale tecnico

Tasto n. 5?

Testo di supporto
Tasto n. 6

HIGHPUMP (solo UL1000)

In questa modalità l'UL1000 lascia aperta la valvola V1a per aumentare la velocità
di pompaggio all'ingresso. Ciò consente di ridurre la durata dello spompaggio se si
controllano componenti di dimensioni più grandi.
Tasto n. 7

Tutti gli ambiti (impostazione di default)

Si tratta dell'impostazione standard, lo svolgimento è quello del cap. 4.3.1.

6.6.1.4

Quota di perdita perdita di prova internoa•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.1 Impostazioni delvuoto > 6.6.1.4 Quota di perdita perdita di prova internoa

Il valore della perdita di prova interna può essere immesso qui. Vedere cap. 4.2.2.7
per la descrizione dell'immissione.

Attenzione
In genere non è necessario modificare le indicazioni della quota di perdita dellaperdita di prova interna, se questa non è stato sostituita.
Un'indicazione sbagliata relativa alla quota di perdita della perdita di prova internacausa misurazioni di quote di perdita errate!

6.6.1.5

Fattore macchina(1108)•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.1 Impostazioni delvuoto > 6.6.1.5 Fattore macchina

nel fattore macchina tiene conto del fatto che si usa un sistema di pompa esterno inparallelo.
Sula base della Calibrazione interna in questo caso tutte le quote diperdita sarebbero troppo basse. Le quote di perdita misurate vengono moltiplicate
con un fattore macchina e i risultati vengono visualizzati. Questo fattore viene
utilizzato solo in modalità vuoto (non in modalità sniff).
Vedere cap. 4.2.2.7 per la descrizione dell'immissione.
È possibile valutare il fattore macchina tenendo conto della capacità di aspirazione
He di UL1000 e UL1000 Fab e della pompa esterna
La misurazione della quota di perdita di una prova di perdita esterna del provino èpiù precisa - una volta con e una volta senza pompa collegata. La differenza dei risultati determina il fattore macchina.

iina70i 06.fm

Se si usa il QUICK TEST sniffer elio, il fattore macchina deve essere impostato su
un valore di 400.
Il fattore macchina può essere usato anche per correggere la visualizzazione dellaquota perdita in relazione ad un equivalente in aria. Il fattore macchina per la correzione è 3,7 x 10-1. Se si usano queste impostazioni, lo stato viene indicato sul
display mediante COR.

Descrizione dei menu

67

6.6.1.6

Impostazioni autotest perdite•

Menu >Impostazioni > Impostazioni vuoto > Impostazioni autotest perdite

Durata misurazione
La durata del test può essere impostata da 1 secondo a 30 minuti.
Impostazioni :Intervallo:

Manuale tecnico

Possono essere impostati t i parametri di componenti ermeticamente chiusi.

Durata1 - 20 secondi

Passaggi da 1 sec.

20 - 30 secondi

Passaggi da 2 sec.

30 - 60 secondi

Passaggi da 5 sec.

1 - 30 minuti

Passaggi da 10 sec.

3 - 10 minuti

Passaggi da 30 sec.

10 - 30 minuti

Passaggi da 1 sec.

La durata del test dipende dal volume della camera di test, dal volume del oggetto
da testare e dalla quota di rifiuto della perdita.

Fig. 6-12

Portata della quota di perdita dirifiutoDurata misurazione

10E-5

2 sec.

10E-6

2 sec

10E-7

2 sec

10E-8

>5 sec10E-9>10 sec*(1108)

Esempi per l'impostazione della durata (la camera di test INFICON viene usata con
un volume di cm³):

Nota:

68

Descrizione dei menu

Se il tempo di misurazione è stato modificato, è necessaria una Calibrazione.

iina70i 06.fm* si raccomanda Calibrazione esterna con perdita di prova 10E-9 (p.es. TL 9).

Trigger level 1

Manuale tecnico

La quota di rifiuto di un componente che deve essere testato può avere un ambito
da 10E-1 a 10E-9 mbar l/s.

Fig. 6-13

Messaggi di errore di serie
Il numero di parti cadute in serie durante una misurazione può essere impostato da
1 a 9. In modalità DISATTIVAZIONE questa funzione è disattivata.

Se si preme il tasto OK, è possibile eseguire una MISURAZIONE DI RIFERIMENTO per
pulire la camera di test e misurare il livello della base di elio. Nelle misurazioni
successive sarà detratta dal risultato.

iina70i 06.fm(1108)

Fig. 6-14

Descrizione dei menu

69

Parti nel test

Manuale tecnico

Il numero della prima parte da testare può essere immesso. Il numero viene raggiunto automaticamente fino al ciclo di test successivo. In modalità DISATTIVAZIONE
questa funzione è disattivata.

Fig. 6-15

Misurazione di riferimento

I

Fig. 6-16

iina70i 06.fm

La misurazione di riferimento comprende un processo di Calibrazione con perdita di
prova interna TL dell'UL1000. Dopo la pulizia si misura la base effettiva di elio che
viene detratta dai risultati delle misurazioni seguenti.

(1108)

Questa modalità può essere usata per pulire la camera di test da basi di elio dopo
una serie di test errati. La camera viene spompata 3 volte e aerata.

70

Descrizione dei menu

Manuale tecnico

I nuovi valori della base misurata vengono memorizzati automaticamente:

Fig. 6-17

6.6.2

Zero & base•6 Descrizione dei menu > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.2 Zero & base

Possono essere selezonate la soppressione della base all'interno di UL1000 e
UL1000 Fab e la caratteristica delle funzioni ZERO.
Softkey 3: Soppressione base
Vedere capitolo 6.6.2.1
Softkey 7: ZERO
Vedere capitolo 6.6.2.2

6.6.2.1

Soppressione base•6 Descrizione dei menu > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.2 Zero &base > 6.6.2.1 Soppressione baseIn questa modalità ad ogni misurazione la base interna dell'elio di UL1000 e UL1000
Fab viene sottratta attivando il tasto START.
UL1000 e UL1000 pertanto dopo una contaminazione da elio restano puliti.

(1108)

Softkey 3:

Off

La disattivazione della base interna è disattivata.
Softkey 7

ON (impostazione standard)iina70i 06.fm

La base interna viene misurata attivando il tasto START e sottratta dal segnale dimisurazione.

Descrizione dei menu

71

6.6.2.2

Zero•

6.1 Menu principale > 6.8 Diritti utente > 6.6.2 Zero & base > 6.6.2.2 Zero

Tasto n. 2:

ZERO in ULTRAQuesta impostazione attiva automaticamente la funzione ZERO non appena laquota di misurazione ULTRA viene raggiunta per la prima volta dopo aver attivato
il tasto START. In questa modalità è possibile disattivare anche manualmente labase attivando il tasto ZERO.
Tasto n. 3

Manuale tecnico

Questa impostazione attiva (o disattiva) la funzione del tasto ZERO sull'unità dicomando.

bloccato

Il tasto ZERO dell'unità di comando è bloccato.
Tasto n. 5

Aiuto

Tasto n. 6

I•ZEROIn questa impostazione si misura la pendenza del segnale di base in caduta. Il
segnale della quota di perdita deve essere sufficientemente stabile per trovare una
perdita della misura del Trigger 1 impostato. La funzione I-Zero è bloccata fino a che
il segnale della quota di perdita non è sufficientemente stabile.
(La pendenza del segnale di base in caduta è > 0,5 x valore trigger 1 impostato).
Tasto n. 7

consenso

La funzione ZERO può essere attivata con il tasto ZERO sull'unità di comando.

6.6.3

Massa
•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.3 Massa

Qui è possibile immettere la massa del rispettivo gas di prova utilizzato. UL1000 e
UL1000 Fab deve essere in modalità standby.
Tasto n. 2:

H2 (2 amu)

Si misura l'idrogeno con una massa di 2 amu.
3

He (3 amu)

Si misura l'isotopo dell'elio con massa 3 amu.
Tasto n. 74(1108)

Tasto n. 3

He (4 amu)

iina70i 06.fm

Si misura l'isotopo dell'elio con massa 4 amu.

72

Descrizione dei menu6.6.4

Interfacce•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.4 Interfacce

Qui si possono immettere i parametri dell' interfaccia .
Manuale tecnico

L'uscita del dispositivo di scrittura Fig. 2-6/4 è a 2 canali.
Tasto n. 3

6.6.4.1 Luogo di comando

Vedere capitolo 6.6.4.1
Tasto n. 4

6.6.4.2 Protocollo RS232

Vedere capitolo 6.6.4.2
Tasto n. 7

6.6.4.3 Uscita dispositivo di scrittura

Vedere capitolo 6.6.4.3
Tasto n. 8

6.6.4.4 Scalatura uscita dispositivo di scrittura

Vedere capitolo 6.6.4.4

6.6.4.1

Luogo di comando•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.4 Interfacce > 6.6.4.1
Luogo di comando

Tasto n. 2:

SPS

UL1000 e UL1000 Fab viene comandato attraverso un ingresso digitale ( cap.
2.3.2.3). I tasti START, STOP e ZERO del dispositivo sono disattivati.
Tasto n. 3

RS232

UL1000 e UL1000 Fab viene comandato attraverso l'interfaccia RS232 da un PC
esterno.
In questa modalità di funzionamento l'UL1000 e UL1000 Fab non può
essere comandato attraverso la tastiera.
Tasto n. 4

Tutto(1108)UL1000 e UL1000 Fab possono essere comandati attraverso l'ingresso digitale,l'interfaccia RS232 e la tastiera.
Tasto n. 5

Locale & SPS

UL1000 e UL1000 Fab viene comandato mediante i tasti START, STOP e ZEROsul dispositivo e attraverso gli ingressi digitali.
Tasto n. 6

Locale & RS232

UL1000 e UL1000 Fab viene comandato mediante i tasti START, STOP e ZEROsul dispositivo e attraverso l'interfaccia RS232.

iina70i 06.fm

Tasto n. 7

LocaleUL1000 e UL1000 Fab viene comandato attraverso i tasti START, STOP e ZERO.

Descrizione dei menu

73

Protocollo RS232•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.4 Interfacce > 6.6.4.2
Protocollo RS232

Tasto n. 3

Diagnostica

Consente la lettura dei parametri del dispositivo p.es. durante la manutenzione.
Tasto n. 4

Printer manual

In questa impostazione è possibile inviare le quote di perdita attraverso l'interfaccia
RS232 al stampanti con ingresso RS232 o a PC. I valori di misurazione possono
essere letti attraverso i normali programmi hiperterminal.
La quota di trasferimento della funzione stampante è impostata fissa su 9600 Baud,
8N1. I dispositivi collegati devono essere impostati su questi parametri. L'indicazione della quota di perdita avviene in questo formato:

Manuale tecnico

6.6.4.2

LR = 1.00E-10 09.Apr.07 08:25 MEAS
LR:

quota perdita
Il valore di misurazione è uguale al seguente valore numerico.
In caso di superamento o non raggiungimento, viene emesso il
simbolo<” (quota di perdita superiore al valore immesso).

1.00E-10:

Indicazione della quota di perdita nell'unità di misura impostata
seguita da data e ora.

MEAS:

UL1000 / UL1000Fab si trovano in modalità misurazione

Le informazioni vengono indicate in modalità misurazione attivando il tasto STARTo l'ingresso START sulla connessione DIGITALE IN.
Tasto n. 5?

Testo di supporto
Tasto n. 6

UL2xxLeak Ware

Nota:

Tasto n. 7

La funzione di Calibrazione del Leak Ware non è
adatta al funzionamento del UL1000 e UL1000
Fab.
Nella modalità di funzionamento "Single Part
Measurement“ eseguire la funzione "STOREDATE“ per far avviare la registrazione dei valori dimisurazione.

(1108)

Quando è collegato un PC consente il comando e la lettura di valori di misurazione
attraverso il pacchetto software Leak Ware (per il funzionamento Leak Ware istruzioni).

ASCII

iina70i 06.fm

Consente l'uso del UL1000 e UL1000 Fab attraverso il terminale RS232. Per i
dettagli vedere descrizione interfaccia iins72d1-a.

74

Descrizione dei menu6.6.4.3

Uscita dispositivo di scrittura•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.4 Interfacce > 6.6.4.3
Uscita dispositivo di scrittura

Manuale tecnico

In questo sottomenu è possibile impostare i segnali registrati dal dispositivo discrittura su entrambe le uscite.
Tasto n. 1

Interrompi

Tornare al menu precedente senza modificare i valori attuali.
Tasto n. 2:

su

Selezionare la procedura dispositivo di scrittura 1 o 2Tasto n. 3

giùSelezionare la procedura dispositivo di scrittura 1 o 2Tasto n. 5

Aiuto

Tasto n. 6

su

Selezionare il segnale di uscita dell'uscita del dispositivo di scrittura.
Tasto n. 7giùSelezionare il segnale di uscita dell'uscita del dispositivo di scrittura.
Tasto n. 8

o.k.

(1108)

Memorizzazione dei parametri impostati

Fig. 6-18

OFF
Uscita dispositivo di scrittura disattivato (0 V).

iina70i 06.fm

p1 / p 2
La pressione di ingresso p1 o la pressione di prevuoto p2 vengono registrate. Le
tensioni in uscita sono scalate logaritmicamente.
I segnali p1 e p2 si comportano come la linea di riconoscimento del TPR265 (vedereindice Appendice dell'allegato).

Descrizione dei menu75

LR linLe tensioni in uscita sono scalate lin modo lineare. La tensione in uscita è di 0 - 10V
in passaggi impostabili da 0,5 a 10 Volt per decade.

LR logLe tensioni in uscita sono scalate logaritmicamente. La tensione in uscita è di
1 … 10 V in passaggi impostabili da 0,5 V a10 V per decade.

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10 -12 10 -10 10 -8 10 -6 10 -4 10 -2 10 0 10 +2

10Manuale tecnico

Per l'impostazione della scalatura cap.6.6.4.4)

V
LR in Kanal 1

Fig. 6-19
Per l'impostazione della scalatura cap.6.6.4.4.

LR mantissa
La mantissa delle quote di perdita viene indicata in modo lineare da 1 … 10 V.

LR esponente
L'esponente viene indicato come funzione di comando: U = 1 … 10 V in passaggi da
0,5 V per decade iniziando da 1 V = 1×10-12.

6.6.4.4

Scalatura uscita dispositivo di scrittura•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.4 Interfacce > 6.6.4.4
Scalatura uscita dispositivo di scrittura

In questo sottomenu è possibile impostare la scalatura delle uscite del dispositivo discrittura. Questa impostazione è possibile solo se s scelgono i segnali LR lin o LR
log.
freccia giù

Impostare decade del valore superiore
Tasto n. 3(1108)

Tasto n. 2::

freccia giù

Scalatura dell'ambito impostato in precedenza in passaggi da 0,5, 1, 2, 2,5, 5, 10
Volt/decade con ambito complessivo di 10 V. (Solo per "LRlog“)
Tasto n. 6

Freccia su

Tasto 7:

freccia giù

Scalatura dell'ambito impostato in precedenza in passaggi da 0,5, 1, 2, 2,5, 5, 10
Volt/decade con ambito complessivo di 10 V. (Solo per "LRlog“)76Descrizione dei menu

iina70i 06.fm

Impostare decade del valore superiore

Manuale tecnico

Esempio:
Valore superiore impostato su 10-5 (= 10 V)
Scalatura impostata su 5 V/decade
Il valore limite è di 10-3 (= 0 V)

6.6.5

Varie
•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.5 Varie

In questo sottomenu è possibile impostare la data e l'ora attuali, la lingua preferita ela frequenza di rete.
Tasto n. 2:

6.6.5.1 Data/ora

Vedere capitolo 6.6.5.1
Tasto n. 3

6.6.5.2 Lingua

Vedere capitolo 6.6.5.2
Tasto n. 4

6.6.5.3 Filtro quota perdite

Vedere capitolo 6.6.5.3
Tasto n. 6

6.6.5.4 Frequenza di rete

Vedere capitolo 6.6.5.4
Tasto n. 7

Intervallo manutenzione filtro scappamento.
Tasto n. 8:

iina70i 06.fm(1108)

Messaggio manutenzione filtro scappamento.

Descrizione dei menu

77

6.6.5.1

Data/ora•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.5 Varie > 6.6.5.1 Data/ora

6.6.5.2

Lingua
•6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.5 Varie > 6.6.5.2 Lingua

Manuale tecnico

Nelle due pagine successive è possibile modificare le impostazioni di data e ora.
Vedere cap. 4.2.2.7 per la descrizione dell'immissione.

La lingua desiderata può essere selezionata con i tasti 3 e 7. L'impostazione difabbrica è inglese.
Lingue selezionabili: tedesco, inglese, italiano, spagnolo, polacco, cinese(mandarino) e giapponese (katakana)Nota:

6.6.5.3

Premendo contemporaneamente i tasti 2 e 6 durante l'avvio è possibile
resettare l'impostazione lingua all' impostazione di default (inglese).

Filtro quota perdite•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.5 Varie > 6.6.5.3 Filtro
quota perdite

Qui è possibile selezionare il tipo del filtro quota di perdita.
fabbrica è I•CAL.
Tasto n. 3:

L'impostazione diFixed

Si utilizza un filtro per una costante di tempo fissa.
Tasto n. 5:?

Testo di supporto
Tasto n. 7:

I•CAL

L'abbreviazione I•CAL significa Intelligent Calculation Algorithm for Leakrates.
Questo garantisce che i segnali vengano mediati in intervalli di tempo ottimizzati,
sulla base del rispettivo ambito di quote di perdita. I•CAL elimina inoltre picchi didisturbo che non hanno un nesso con i segnali di quota perdita e forniscono tempi direazione brevi, non comuni, anche in caso di segnali di quota perdite esigui.

(1108)I•CAL garantisce che la durata di comunicazione venga adeguata in modo ottimale
al rispettivo ambito di quota di perdita.

iina70i 06.fm

L'algoritmo usato offre eccellente sensibilità e tempo di reazione; l'uso di questa
impostazione viene vivamente raccomandato.

78

Descrizione dei menu6.6.5.4

Frequenza di rete•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.5 Varie > 6.6.5.4
Frequenza di rete

Manuale tecnico

Questa impostazione della frequenza di rete tiene conto del potere di assorbimento
dipendente dalla frequenza di rete della pompa scroll. Qui è possibile immetterel'alimentazione di rete usata. L'impostazione di fabbrica è 50 Hz per 230 V e 60 Hz
per 115 V.
Tasto n. 3:

50 Hz

UL1000 e UL1000 Fab viene usato con una rete di 50 Hz.
Tasto n. 6:

60 Hz

UL1000 e UL1000 Fab viene usato con una rete di 60 Hz.

6.6.5.5

Intervallo manutenzione filtro scappamento.
Qui è possibile immettere l'intervallo di manutenzione del filtro dello scappamento.
Tasto n. 3:

GiùRiduzione dell'intervallo di manutenzione in passaggi di 500 h (ore).
Tasto n. 5:?

Testo di supporto
Tasto n. 7:

Su

Aumento dell'intervallo di manutenzione in passaggi di 500 h (ore). Limite
superiore 4000 h.

6.6.5.6

Messaggio manutenzione filtro scappamento(1108)

Il filtro dello scappamento deve essere sottoposto regolarmente a manutenzione pergarantire un funzionamento corretto di UL1000 e UL1000 Fab. Con questo
messaggio attivo, UL1000 e UL1000 Fab ricorda all'operatore la manutenzione incipiente.
Tasto n. 3:

Off

Tasto n. 5:

Testo di supporto

Tasto n. 7:

On

Attenzione

iina70i 06.fm

Se il messaggio di servizio viene ignorato e il filtro dello scappamento non viene
sostituito, esiste il pericolo che il motore della pompa si surriscaldi.

Descrizione dei menu

79

Caricare / memorizzare parametri•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.6 Caricare / memorizzare
parametri > Caricare

Consente di memorizzare e caricare le impostazioni individuali o il reset alle
impostazioni di fabbrica.
Tasto n. 2 - n. 4:

Le impostazioni attuali possono essere memorizzate solo con
un nome liberamente selezionabile. È possibile memorizzare
3 diversi set.

Manuale tecnico

6.6.6

Vedere capitolo 6.6.6.2
Tasto n. 5:

Caricare valori di default

Le impostazioni di fabbrica vengono ricaricate.
Tasto n. 6 - n. 8:

Uno dei 3 set parametri può essere caricato.

Vedere capitolo 6.6.1.3

6.6.6.1

Caricare un set di parametri•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.6 Caricare / memorizzare
parametri > 6.6.6.2 Memorizzazione di un set parametri

Attivando i tasti 6, 7 o 8 è possibile richiamare 3 set parametri memorizzati. Questo
set viene evidenziato e può essere accettato (tasto 8) o rifiutato (tasto 1).

6.6.6.2

Memorizzazione di un set parametri•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.6 Caricare / memorizzare
parametri > Memorizzazione

iina70i 06.fm(1108)

Attivando i tasti 2, 3 o 4 si introduce la memorizzazione dei parametri attuali. A tal
fine viene attribuito un nome al set parametri. Per modificare il nome proposto è
possibile usare il tasto 4 "modifica definizione". Altrimenti attivare il tasto 8 "memorizza".

80

Descrizione dei menu6.6.7

Controllo•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.7 Controllo

Manuale tecnico

Richiesta Calibrazione•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.5 Varie > Richiesta
Calibrazione

Qui è possibile impostare se ricordare all'utente la necessità di una Calibrazione o
no. L'impostazione di fabbrica è "Off".
Tasto n. 3:

Off

La richiesta di Calibrazione non avviene.
Tasto n. 7:On

La richiesta di Calibrazione avviene.
Se la richiesta di Calibrazione è attiva, avverrà una comunicazione entro 30 minuti
dall'attivazione o se la temperatura del UL1000 e UL1000 Fab dall'ultima Calibrazione è cambiata di oltre 5 °C.

Protezione antiparticolato•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.7 Controllo > Protezione
antiparticolato

Questa modalità può essere attivata e disattivata.
Se questa modalità è attivata, l'UL1000 e UL1000 Fab inizia a spompare quando lapressione in ingresso è scesa al di sotto di 1 mbar, ossia quando si ritiene che ilprovino venga spompato da un'altra pompa che funziona in parallelo.
Scopo: se il rilevatore di perdite non deve spompare gas in caso di pressione alta,
ev. particelle presenti nel flusso di gas non possono giungere nel rilevatore di perdite.
Off

Tasto n. 5:

Testo di supporto

Tasto n. 7:

Oniina70i 06.fm(1108)

Tasto n. 3:

Descrizione dei menu

81

Protezione da inquinamento
6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.7 Controllo > Protezione
da inquinamento

Quando è attiva questa modalità, UL1000 e UL1000 Fab chiude tutte le valvole diingresso non appena la quota di perdita misurata supera la quota di perdita programmata. In questo modo non penetra una quantità eccessiva di elio nello spettrometro
a massa. Un inquinamento del rilevatore di perdite viene evitato. L'elio, penetrato nel
provino, può essere spompato da una pompa esterna. Se non è presente una pompa
supplementare, si consiglia, di aerare il provino prima di proseguire con la misurazione.
Tasto n. 3:

Off

Tasto n. 4:

Immettere il valore limite

Manuale tecnico•

Immissione numerica del valore limite di disattivazione
Tasto n. 5:

Testo di supporto

Tasto n. 7:

On

Tasto n. 8:

OK

Limite pressione per ambiti vuoto•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.1 Impostazioni delvuoto > 6.6.7 Controllo > Limite pressione per ambiti vuoto

Con questa funzione è possibile modificare i punti di commutazione impostati didefault fra le modalità GROSS-FINE-ULTRA Ciò può essere necessario quando con
UL1000 e UL1000 Fab vengono spompati gas diversi dall'aria. Il segnale di pressione dell'indicatore di ingresso dipendente dal tipo di gas (Pirani) può essere fornito
dal comando del funzionamento di UL1000 e UL1000 Fab in base agli altri valori dicommutazione. Modificando i punti di commutazione preimpostati è possibile una
compensazione.
Tasto n. 2, 6:

Soglia di commutazione EVAC-GROSS

15-3 mbar (valore di default 15 mbar)
Valore di commutazione GROSS-FINE

2-0,5 mbar (valore di default 2 mbar).
Modificando questi valori, la soglia di commutazione di FINE-ULTRA viene regolata
automaticamente fra 0,4 - 0,1 mbar.
Tasto n. 4(1108)

Tasto n. 3, 7:

Impostazioni per ARGON

Premere ancora una volta il tasto valori di default per aria
Tasto n. 5:?

iina70i 06.fm

Testo di supporto

82

Descrizione dei menu

Limiti pressione modalità sniff

Manuale tecnico•

6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.1 Impostazioni delvuoto > 6.6.7 Controllo >Limiti pressione modalità sniff

Questa funzione viene attivata automaticamente in modalità sniff. I limiti di pressione
definiscono una pressione di ingresso max. e una minima. Se la pressione non ècompresa in questo ambito, saranno visualizzati messaggi di errore:
limite superiore > pressione ingresso: Capillari difettosi.
limite inferiore < pressione ingresso: Flusso gas attraverso i capillari troppo

basso (capillari bloccati).
Impostazione della pressione massima: Limite superiore
2 mbar.

Tasto n. 4 e 7:

Impostazione della pressione minima: Limite inferiore
0,02 mbar

Tasto n. 5

Testo di supporto

iina70i 06.fm(1108)

Tasto n. 3 e 6:

Descrizione dei menu

83Tempo di evacuazione max.
6.1 Menu principale > 6.6 Setting (Impostazioni) > 6.6.1 Impostazioni delvuoto > 6.6.7 Controllo > Tempo di evacuazione max.

Mit diesem Menüpunkt wird festgelegt, wann eine Grobleckmeldung erfolgen soll. Il
controllo di massima delle perdite lavora su due livelli e i valori limite in caso di necessità possono essere adattati (impostazione da fabbrica 30 min.). Questo punto menuè utile soprattutto in caso di verifiche di serie con condizioni di prova sempre uguali.
Dopo aver premuto il tasto Start il provino viene evacuato. Se entro i tempi da
impostare non vengono raggiunte le condizioni di pressione corrispondenti (p1< 100mbar) o se non vengono raggiunte, il processo di spompaggio viene interrotto e sul
display compare un avviso. (W76)

Manuale tecnico•

I tempi da selezionare dipendono dal tempo di reazione desiderato per l'avviso dellaperdita di massima e dal volume del provino presente oltre che dalla capacità diassorbimento effettiva.
Se si seleziona una durata illimitata, il livello dell'olio della pompa dello spintore
rotante deve essere verificato più frequentemente.
Tasto n. 2:↓

Abbassamento del tempo di evacuazione fino a 1p< 100 mbar, valore minimo 1s.
All'interno del tempo impostabile, la pressione in ingresso della flangia di prova deveessere inferiore a 100 mbar. La durata può essere impostata liberamente fra 1
secondo e 9 minuti o essere impostata su continuo.
Tasto n. 3:↓

Riduzione della durata fino al raggiungimento della disponibilità di misurazione,
valore min. 5s. Entro questo periodo, la disponibilità di misurazione deve essere
stata raggiunta, ossia la pressione in ingresso deve essere scesa a < 15 mbar (inbase ai limiti di pressione del cap. 6.6.7.1). La durata può essere impostata liberamente fra 5 secondi e 30 minuti o essere impostata su continuo.
Tasto n. 5:?

Posizione aiuto
Tasto n. 6:↑(1108)

Abbassamento del tempo di evacuazione fino a 1p< 100 mbar, valore massimo infinito.
Tasto n. 7:↑

iina70i 06.fm

Aumento della durata fino al raggiungimento della disponibilità di misurazione,
valore max. infinito.

84

Descrizione dei menu

6.7

Info
•

6.1 Menu principale > 6.7 Info

Manuale tecnico

Questo 6.7 Info menu Fig. 6-20 consente l'accesso ai sottomenu, attraverso i quali èpossibile visualizzare diverse informazioni relative a UL1000 e UL1000 Fab.

Fig. 6-20: Il 6.7 Info menu s
Tasto n. 2:

Visualizza impostazioni

Le impostazioni attuali vengono indicate a pagina 4, p.es soglie trigger, massa
perdita di prova, data e ora.
Tasto n. 3:

Visualizza dati interni

Le informazioni sui dati interni misurati vengono visualizzate a pagina 4.
Tasto n. 4:

Schema vuoto

Visualizzazione dello schema del vuoto di UL1000 e UL1000 Fab. In questo
diagramma, fra le alte informazioni, si possono vedere le valvole aperte o chiuse al
momento.
Tasto n. 5:

Visualizza elenco messaggi di errore

Visualizzazione dell'elenco dei messaggi di errore e delle avvertenze manifestatisi
Tasto n. 6:

Storico Calibrazione

Visualizzazione di un elenco delle Calibrazioni eseguite.
Tasto n. 7:

Fattori Calibrazione(1108)

Visualizzazione dei fattori di Calibrazione per le diverse masse e il fattore macchina.
Tasto n. 8:

6.7.1 Servizio

Vedere capitolo 6.7.1

6.7.1

Servizio

iina70i 06.fm•

6.1 Menu principale > 6.7 Info > 6.7.1 Servizio

Mediante il menu servizio è possibile eseguire funzioni speciali (p.es. commutazione
manuale delle valvole). L'accesso al menu di servizio è protetto da PIN. Il pin nonviene comunicato alla consegna del rilevatore di perdite, ma solo dopo un training
adeguato. Ulteriori informazioni sul menu servizio sono disponibili nelle istruzioni delmenu servizio.

Descrizione dei menu

85

6.8

Diritti utente•

6.1 Menu principale > 6.8 Diritti utente

Manuale tecnico

Attraverso questo menu è possibile limitare l'accesso a diverse funzioni di UL1000 e
UL1000 Fab. Fig. 6-21.

Fig. 6-21: Il menu per
Tasto n. 2:

6.8 Diritti utente

6.8.1 Accesso alla funzione CAL

Vedere capitolo 6.8.1
Tasto n. 7:

6.8.3 Modifica del PIN dispositivo

Vedere capitolo 6.8.3
Tasto n. 8:

6.8.2 Modifica del PIN menu

Vedere capitolo 6.8.2

6.8.1

Accesso alla funzione CAL•

6.1 Menu principale > 6.8 Diritti utente > 6.8.1 Accesso alla funzione CAL

Qui è possibile selezionare se l'accesso al menu Calibrazione deve essere limitato
o no.
Tasto n. 3:

Off

Tasto n. 5:?

Testo di supporto
Tasto n. 7:(1108)

La funzione Calibrazione può essere richiamata solo attraverso il menu principale.
Se è attivo il PIN menu ( cap.6.8.2) questo è necessario per tarare il dispositivo.

ON

La funzione di Calibrazione è disponibile nel menu principale in modalità standby e
in modalità misurazione.
Tasto n. 8:

OKiina70i 06.fm

Salvare le impostazioni e tornare al menu precedente.

86

Descrizione dei menu

6.8.2Modifica del PIN menu•

6.1 Menu principale > 6.8 Diritti utente > 6.8.2 Modifica del PIN menu

Manuale tecnico

L'accesso al menu può essere limitato mediante immissione o modifica del numero
di identificazione personale (PIN). Il PIN non viene controllato se è impostato su
0000.
Vedere cap. 4.2.2.7 per la descrizione dell'immissione.
Nota:

6.8.3

Annotare tutti i PIN. Solo l'assistenza di INFICON è in grado di resettare i PIN.

Modifica del PIN dispositivo•

6.1 Menu principale > 6.8 Diritti utente > 6.8.3 Modifica del PIN dispositivo

L'accesso a UL1000 e UL1000 Fab può essere limitato mediante immissione o modifica dei PIN dispositivo.
Se il PIN dispositivo è diverso da 0000, UL1000 e
UL1000 Fab subito dopo l'accensione chiede questo PIN. Senza l'immissione dei
PIN dispositivo UL1000 e UL1000 Fab non può più essere utilizzato.
Annotare tutti i PIN. Solo l'assistenza di INFICON è in grado di resettare i PIN.

iina70i 06.fm(1108)

Nota:

Descrizione dei menu87

Calibrazione

7.1

Introduzione
UL1000 e UL1000 Fab può essere tarato in due modi:•

Calibrazione interna mediante perdita di prova interna.

•

Calibrazione esterna con l'aiuto di una perdita di prova supplementare, che viene
collegata all'ingresso o al provino.

Manuale tecnico

7

Durante la procedura di Calibrazione, lo spettrometro a massa viene adattato ad un
segnale max. dell'elio e questo segnale viene poi riferito ad una quota di perdita notadella perdita di prova interna o esterna. Anche se l'UL1000 e UL1000 Fab è molto
stabile, si consiglia di eseguire una Calibrazione di tanto in tanto per garantire che laprecisione della misurazione non venga influenzata da temperatura ambiente, inquinamenti o altri influssi.
Se il rilevatore di perdite viene usato costantemente, si dovrebbe effettuare una Calibrazione almeno una volta al giorno. Altrimenti la frequenza della Calibrazione
dipende dal grado di utilizzo del rilevatore di perdite.
Nota:

Per ottenere una Calibrazione ottimale, il rilevatore di perdite dovrebbe
scaldarsi per almeno 20 minuti.
Se si devono tarare perdite di prova, la portata non dovrebbe essere inferiore a
1x10-9 mbar l/s per garantire un segnale di Calibrazione stabile.

7.2

Calibrazione di routine
La Calibrazione di routine può essere richiamata mediante il tasto CAL (tasto n.5) datre diverse posizioni:•

nel menu principale•

In standby o•in modalità misurazione

Una Calibrazione iniziata può essere interrotta in qualsiasi momento attivando STOP
Tasto o attivando il tasto n. 1 (interruzione).

iina70i 07.fm

Dopo aver introdotto la Calibrazione, l'utente deve scegliere fra Calibrazione interna
ed esterna. A tal fine è necessario attivare il tasto corrispondente.

(1108)

L'accesso attraverso standby o modalità misurazione potrebbero essere bloccati(vedere cap. 6.8.1). In tal caso il tasto corrispondente non è contrassegnato.

88

Calibrazione

7.2.1

Calibrazione interna

Manuale tecnico

In caso di Calibrazione interna di UL1000 e UL1000 Fab esistono due possibilità.

Nota:

7.2.1.1•

Se il rilevatore di perdite è flangiato a cieco o se è stato staccato da una camera
di vuoto collegata attraverso una valvola sull'ingresso, è possibile scegliere la
Calibrazione automatica. (Tasto n. 8).

•

Se il rilevatore di perdite è collegato ad una camera di vuoto o ad un componentepiù grande, è necessario eseguire una Calibrazione manuale, in quanto i tempi direazione all'apertura e alla chiusura del test perdita variano in base al volumedel componente.
Se possibile si dovrebbe eseguire una Calibrazione automatica.

Calibrazione automatica interna
Dopo aver scelto un metodo di Calibrazione, questa avviene in modo automatico. Al
termine del processo di Calibrazione (dopo ca. 25 s) si sente un avvertimento
acustico. Successivamente il rilevatore di perdite è pronto per essere riusato.

7.2.1.2

Calibrazione manuale interna
Scegliendo "7.2.1.2 Calibrazione manuale interna“ si presume che l'UL1000 e
UL1000 Fab sia collegato ad un provino (in caso contrario selezionare "7.2.1.1 Calibrazione automatica interna“).
Dopo l'avvio di "7.2.1.2 Calibrazione manuale interna“ UL1000 e UL1000 Fab
spompa il provino (se non ancora evacuato) e apre la perdita di prova interna. In
base al volume del provino, può volerci un po' di tempo fino alla stabilizzazione delsegnale dell'elio. L'operatore deve confermare che il segnale ha raggiunto un livellostabile (tasto n. 8).
Ora il rilevatore di perdite esegue la procedura di sintonizzazione e chiude in modo
automatico la perdita di prova. Il tempo necessario per spompare l'elio mediante il
rilevatore di perdite, fino a raggiungere un valore di base stabile, che deve essere
confermato dall'operatore, dipende dal volume del provino.

(1108)Al termine il rilevatore di perdite sarà tarato.

7.2.2

Calibrazione esterna
Per una Calibrazione esterna è necessario collegare una perdita di prova al provino
o direttamente all'ingresso del rilevatore.
Nota:

Dopo una Calibrazione interna, il valore di perdita visualizzato può deviare dalvalore stampato in base alle incertezze del coefficiente di temperatura dellaperdita di prova esterna.

iina70i 07.fm

Dopo la selezione di 7.2.2 Calibrazione esterna“ (tasto n. 8) vengono visualizzati iseguenti messaggi e le azioni descritte devono essere eseguite.

Calibrazione

89Verificare che la perdita di prova sia collegata e aperta.

•

Leggere la quota di perdita sulla perdita di prova e confrontarla con quellavisualizzata. In caso di deviazioni attivare il tasto edita quota perdita (tasto n. 4)
e correggere il valore.

•

Se le quote corrispondono, attivare START (tasto n. 8).

Manuale tecnico•

Fig. 7-1: 7.2.2 Calibrazione esterna, passaggio 1•

Non è necessaria alcuna azione.

Fig. 7-2: 7.2.2 Calibrazione esterna, passaggio 2
L'indicatore a barre mostra un segnale che deve oscillare di poco. In questo
caso attivare OK (tasto n.8).

Fig. 7-3: 7.2.2 Calibrazione esterna, passaggio 3

90

Calibrazione

iina70i 07.fm(1108)•

Non è necessaria alcuna azione.

Manuale tecnico•

Fig. 7-4: 7.2.2 Calibrazione esterna, passaggio 4•

Non è necessaria alcuna azione.

Fig. 7-5: 7.2.2 Calibrazione esterna, passaggio 5
Chiudere la perdita di prova esterna e confermare con OK (tasto n.8).

(1108)•

iina70i 07.fm

Fig. 7-6: 7.2.2 Calibrazione esterna, passaggio 6

Calibrazione

91

L'indicatore a barra indica un segnale che non deve ridursi ulteriormente.
Piccole oscillazioni sono accettabili. In questo caso attivare OK (tasto n.8).

Manuale tecnico•

Fig. 7-7: 7.2.2 Calibrazione esterna, passaggio 7•

UL1000 e UL1000 Fab indica il fattore di Calibrazione vecchio e quello nuovo
calcolato.

iina70i 07.fm(1108)

Fig. 7-8: 7.2.2 Calibrazione esterna, passaggio 8

92

Calibrazione

7.3

Ambito valori fattore Calibrazione
Per evitare Calibrazione erronee UL1000 e UL1000 Fab al termine della routine di
Calibrazione controlla la plausibilità del fattore di Calibrazione:

Manuale tecnico

Se il nuovo fattore di Calibrazione non è evidentemente più grande o più piccolo (<fattore 2) rispetto al vecchio valore, verrà acquisito automaticamente. Se invece ladeviazione da quello vecchio è ingente, l'utente può decidere se desidera acquisire
il nuovo fattore (p.es. dopo una modifica della configurazione impianto) o no (p.es. a
causa di un comando errato).
Nota:

Se la Calibrazione viene avviata attraverso SPS o RS232 avverrà un controllo
di plausibilità.

iina70i 07.fm(1108)

In caso di Calibrazione interna viene inoltre controllato se il nuovo fattore di Calibrazione è maggiore di 10 o minore di 0,1. In tal caso verrà visualizzato un corrispondente messaggio di avvertenza (vedere W81 e W82 al cap. 8.2) e la Calibrazione
viene interrotta.

Calibrazione

93

8

Messaggi d'errore e avvertenze

Un segnale acustico accompagna i messaggi d'errore e le avvertenze. La sua
frequenza varia ogni 400 ms da 500 Hz a 1200 Hz e viceversa, affinché il segnale
possa essere sentito in condizioni di rumorosità normali.
I messaggi d'errore e le avvertenze vengono salvati e possono essere visualizzati in
un secondo tempo attraverso le informazioni del menu (si veda capitolo 6.7)

8.1

Manuale tecnico

Il UL1000 e UL1000 Fab dispone di numerose possibilità di autodiagnosi. Quando
viene riconosciuta una condizione d'errore o critica, questa viene comunicata
all'operatore attraverso il display LCD.

Note
Avvertenze
Le avvertenze vengono visualizzate•

quando il UL1000 e UL1000 Fab stabilisce una condizione anomale o•se il UL1000 e UL1000 Fab deve ricordare qualcosa all'operatore (ad es. che ènecessaria una Calibrazione o che è trascorso l'intervallo fra una manutenzione
e quella successiva).

Il UL1000 e UL1000 Fab visualizza un'avvertenza sul display LCD e rimane inmodalità standby o in modalità misurazione.
Le avvertenze vengono visualizzate sul display fino a quando queste vengono
confermate premendo il tasto OK (tasto n. 8). Dopodiché è possibile utilizzare dinuovo il UL1000 e UL1000 Fab (ev. con alcune limitazioni). Fino a quando è
presente lo stato di avvertenza, nella riga di stato viene visualizzato un triangolo di
attenzione (si veda capitolo 5.4.3).
L'avvertenza può essere visualizzata in STANDBY premendo il tasto
con un'avvertenza.

. AppareMessaggi di errore

Nota:

94

In condizioni estreme (errori di software sconosciuti, livelli eccessivi diinterferenze elettromagnetiche) la funzione di controllo incorporata(watchdog) impedisce un funzionamento incontrollato del UL1000 e UL1000
Fab. Questa funzione di controllo rende necessario un riavviamento delUL1000 e UL1000 Fab. Il rilevatore di perdite va in modalità standby. Non
vengono emessi messaggi d'errori.

Messaggi d'errore e avvertenze

iina70i 08.fm

I messaggi d'errore vengono visualizzati sul display fino a quando questi vengono
confermate premendo il tasto "Riavviamento" (tasto n. 8). Dopodiché il UL1000 e
UL1000 Fab si riavvia. In alcuni casi si raccomanda di controllare alcune impostazioni o valori misurati prima di riavviare il UL1000 e UL1000 Fab. È anche possibile
premere il tasto "Menu" (tasto n. 4 o MENU) per aprire il menu del UL1000 e UL1000
Fab. Uscendo dal menu viene di nuovo visualizzato lo stesso messaggio d'errore.

(1108)

I messaggi d'errore indicano stati che costringono il UL1000 e UL1000 Fab a interrompere la misurazione. In tali casi, il UL1000 e UL1000 Fab chiude tutte le valvole(modalità standby).

8.2

Elenco dei messaggi d'errore e delle avvertenze

Manuale tecnico

Sulle pagine seguenti è riportato un elenco di tutti i messaggi d'errore e delle avvertenze. Le avvertenze iniziano con la lettera W seguita da un numero. I messaggi
d'errore (errors) iniziano con la lettera E seguita da un numero.

N.

Avvertenza visualizzata

Descrizione e possibile eliminazione della causa d'errore

E04 Controllo della temperatura Cortocircuito del sensore di temperaturadella pompa turbomolecolare
in avaria
E05 Controllo della temperatura Sensore della temperatura rottodella pompa turbomolecolare
in avaria
W15 Quota di perdita troppo
elevata Commutazione instandby per evitare una
contaminazione!

•

La funzione di controllo "protezione dalla contaminazione" è attiva ed è
stata rilevata una quota di perdita superiore al valore limite impostato.

•

Perdita generale•

Il valore limite di spegnimento è troppo piccolo.

•

Il ritardo dell'allarme è stato impostato su un tempo insufficiente.

W16 L'intervallo di manutenzione L'intervallo di manutenzione per la turbopompa è scaduto.
della turbopompa è scaduto!
W17 L'intervallo di manutenzionedella pre-pompa è scaduto!

L'intervallo di manutenzione per la pre-pompa è scaduto.

W18 L'intervallo di manutenzione L'intervallo di manutenzione del filtro di scarico è scaduto!
del filtro di scarico è scaduto!
W21 Timeout per errore di scrittura EEPROM in avariadella EEPROM
MC 68 in avaria
W22 Superamento tempo di attesa EEPROM in avaria
EEPROM
MC 68 in avaria

iina70i 08.fm(1108)

E23 24V sull'uscita OPZIONE
sono un valore eccessivo

La tensione a 24V sull'uscita OPZIONE è eccessiva.

E24 24V sull'uscita OPZIONE•
sono un valore troppo basso

Fusibile F2 su I/O-Board difettoso.

E25 Tensione valvola abbassata
insufficiente (< 7V)

Scheda I/O difettosa•

W28 L'orologio reale è stato•
resettato! Inserire data e ora. •Batteria del MC68 scarica o difettosa.
L'MC68 è stato sostituito.

E29 La tensione di alimentazione •a 24V del ventilatore è insufficiente. (< 20V)

Fusibile F1 a livello del cablaggio difettoso.

E30 La tensione di alimentazione •a 24V del telecomando è
insufficiente. (< 20V)

Fusibile F1 su scheda I/O difettoso.

W31 La tensione di offset del pre- •amplificatore è troppo alta.
(< 5mV)Il pre-amplificatore è difettoso

W32 La temperatura del pre-ampli- •ficatore è troppo alta. (< 60) •La temperatura ambiente è troppo alta.
Il filtro dell'aria è sporco.

Messaggi d'errore e avvertenze

95

Avvertenza visualizzata

Descrizione e possibile eliminazione della causa d'errore

W33 Temperatura del pre-amplifi- •catore troppo bassa. (< 2°C)•

La temperatura ambiente è troppo bassa.
Il sensore di temperatura è difettoso

E34 La tensione a 24 V sulla
Segnale MVPZN sulla scheda MSV attivo. La tensione a 24 V sulla scheda
scheda MSV è troppo bassa! MSV è troppo bassa, U < 18,3 V.
•

Fusibile F1 sulla scheda MSV bruciato.

•

Assenza di tensione di alimentazione a 24V.
Spegnere il UL1000 e UL1000 Fab !!!
L'assenza di tensione comporta la chiusura della valvola di scaricodella pompa dello spintore rotante del e ciò può comportare
imbrattamento del sistema del vuoto.

•

La tensione di riferimento UREF sulla scheda MSV XT7/1 troppo
elevata, U > 5 V.

Manuale tecnicoN.

E35 Tensione anodi-catodi troppo Tensione anodi-catodi superiore a 130 V.
alta!
• MSV difettoso.
E36 Tensione anodi-catodi troppo Tensione anodi-catodi inferiore a 30 V.
bassa!
• MSV difettoso.
E37 Misura segnale tensione
soppressore eccessiva.

Segnale MFSZH sulla scheda MSV attivo. Dimensione segnale
soppressore troppo elevata.
•Tensione soppressore in cortocircuito.

•

MSV difettoso.

E38 Potenziale soppressore
troppo alto.

Il potenziale del soppressore è superiore a 363V.

E39 Potenziale soppressore
troppo basso.

Potenziale soppressore inferiore a 297 V.

E40 Il potenziale degli anodi
supera il valore nominale dioltre il 10%.

Il valore reale della tensione dell'anodo supera il valore nominale del 10%.
Il valore può essere visualizzato nel menu di servizio (in "Informazioni").

•••

MSV difettoso.
MSV difettoso.

MSV difettoso.

•

Ingresso di aria•

MSV difettoso.

E42 Il valore nominale del poten- Segnale MFAZH sulla scheda MSV attivo.
ziale dell'anodo è troppo• La tensione dell'anodo è in cortocircuito.
grande!
• Il valore nominale della tensione dell'anodo è troppo alto. La tensionedell'anodo è limitata a 1.200 V.

E44 Il flusso catodico è troppo
basso!

96

Segnale MPKZH sulla scheda MSV attivo. Flusso catodico eccessivo,
I > 3,6 A.

•

MSV difettoso.

•

Segnale MPKZN sulla scheda MSV attivo. Flusso catodico troppo
basso, I > 0,2 A.

•

MSV difettoso.

Messaggi d'errore e avvertenze

iina70i 08.fm

E43 Il flusso catodico è eccessivo! •MSV Cat-Heater I>>(1108)

E41 Il potenziale degli anodi èIl valore reale della tensione dell'anodo è sceso sotto il valore nominale delinferiore al valore nominale di 10%. Il valore può essere visualizzato nel menu di servizio (in "Informaoltre il 10%.
zioni").

N.

Avvertenza visualizzata

Descrizione e possibile eliminazione della causa d'errore

Manuale tecnico

W45 L'emissione del catodo 1 non Segnale MSIBE sulla scheda MSV non attivo. Emissione del catodo 1 nonpuò essere attivata.
può essere attivata. Il UL1000 e UL1000 Fab passa su catodo 2. Ordinare
una nuova sorgente di ioni.
W46 L'emissione del catodo 2 non Segnale MSIBE sulla scheda MSV non attivo. Emissione del catodo 2 nonpuò essere attivata.
può essere attivata. Il UL1000 e UL1000 Fab passa su catodo 1. Ordinare
una nuova sorgente di ioni.
E47 Impossibile attivare l'emissione su entrambi i catodi!

Segnale MSIBE sulla scheda MSV non attivo. L'emissione non può essere
attivata. Sostituire il catodo sostituendo la sorgente di ioni. Dopo la sostituzione della sorgente di ioni, nel menu di servizio deve essere possibile
attivare manualmente entrambi i catodi.

E48 Riscaldamento anodi
difettoso!

Segnale MSAFD sulla scheda MSV attivo. Fusibile del riscaldamento degli
anodi bruciati.

E50 Assenza di comunicazione
con la turbopompa.

La frequenza del commutatore di frequenza è interrotta Assenza di comunicazione con il commutatore di frequenza.

E52 Frequenza turbopompe
troppo bassa!

•

Il regime della pompa turbomolecolare è troppo basso.

•

Il commutatore di frequenza è difettoso.

•

La pompa turbomolecolare è difettosa.

W53 La temperatura del gruppo
elettronico è troppo alta!
(> 55)•La temperatura ambiente è troppo alta.

•

Il ventilatore è guasto.

•

Il filtro dell'aria è sporco.

•

Temperatura ambiente troppo alta.

•

La ventilazione interna è interrotta.

•

I filtri dell'aria sono sporchi e devono essere sostituiti.

•

Il sensore della temperatura a livello del cablaggio indica che T < 2 °C.
Tempo di riscaldamento più lungo per la pompa del pre-vuoto .

•Sensore temperatura difettoso.

Sostituire il fusibile F2 sulla scheda MSV.

E54 La temperatura del gruppo
elettronico è troppo alta!
(> 60)
W55 La temperatura del gruppo
elettronico è troppo bassa(< 2°C).

E56 Pressione di ingresso troppo U < 0,27 V; catodo difettoso.
bassa!
Sostituire il sensore Thermovac che misura P1.

iina70i 08.fm(1108)E58 Pressione prevuoto p2 troppo U < 0,27 V; catodo difettoso.
bassa!
Sostituire il sensore Thermovac che misura P
E60 p2 > 10 mbar dopo 5
dall'accensione.

2.

PV>3,8 mbar dopo t > 5 minuti dall'accensione. Tempo di caricamentodella pompa del prevuoto eccessivo.
•

Prepompa difettosa.

•

La valvola V2 non si apre.

E61 Emissione difettosa.

Emissione deve essere attiva. Il gruppo MSV comunica l'errore. Flusso diemissione MENB all'esterno dei limiti ammessi.

W62 Flusso attraverso i capillari
insufficiente!

In modalità sniffer, la pressione di ingresso viene regolata nella linea
sniffer. Quando la pressione scende sotto un valore minimo, il flusso attraverso i capillari è insufficiente (imbrattamento) o i capillari sono bloccati(corpi estranei, particelle).
Il valore minimo può essere impostato attraverso il menu. L'impostazione
di fabbrica è 0,1 mbar. Vedere capitolo 6.6.1.3.

Messaggi d'errore e avvertenze

97

Avvertenza visualizzata

W63 Capillari rotti.

Descrizione e possibile eliminazione della causa d'errore
In modalità sniffer, la pressione di ingresso viene regolata nella linea
sniffer. Quando la pressione supera un limite massimo, il flusso del gas nei
capillari è eccessivo (mancanza di tenuta, rottura dei capillari). La portata
massima di gas può essere impostata attraverso il menu. L'impostazione
di fabbrica è 1,0 mbar. Vedere capitolo 6.6.1.3.

E73 Emissione da (P2 troppo alta) PV >> 0.2 e 3 mbar per ingresso aria, ciò significa che il UL1000 e UL1000
Fab cerca di tornare in modalità misurazione.
W76 "Tempo di evacuazione"
massimo superato.

•

Il provino presenta una perdita.

•

Impostazione errata del tempo di evacuazione massimo.

Manuale tecnico

N.

W77 Il massimo del segnale è al di Il massimo del segnale si è spostato verso il valore limite per l'adeguafuori del campo di compensa- mento delle masse.
zione delle masse!
• Il segnale delle quote di perdita durante l'adeguamento delle masse
era instabile. Tarare di nuovo.
•

Controllare l'impostazione di base della tensione dell'anodo attraverso
il menu di servizio•

Controllare il dispositivo test perdita.

W78 La differenza del segnale fra La differenza di tensione dell'amplificatore fra valvola aperta e chiusa èdispositivo test perdita aperta inferiore a 10 mV. Il dispositivo test perdita non è stata chiusa correttae chiusa è troppo piccola.
mente.
W79 Segnale troppo basso.

Il dispositivo test perdita è troppo piccolo o non è stato aperto. Tensione
pre-amplificatore< 10 mV.

W80 Tarare di nuovo il dispositivo! La richiesta di Calibrazione automatica è attivata (si veda capitolo 7.2.1.1)
ed è presente almeno una delle seguenti condizioni:•

sono trascorsi 30 minuti dall'accensione.

•

La temperatura del pre-amplificatore si è modificata di più di 5°C
dall'ultima Calibrazione.

•

L'impostazione delle masse è stata modificata.

W81 Fattore di Calibrazione troppo Il fattore di Calibrazione calcolato è al di fuori dei limiti ammessi (< 0,1).
piccolo.
Viene mantenuto il vecchio fattore.

W82 Fattore di Calibrazione
eccessivo!

•

Le condizioni necessarie per la Calibrazione non sono state rispettate.

•

La quota di perdita per il dispositivo test perdita interna immessa ètroppo bassa.

•

Il dispositivo test perdita interna è difettosa.

(1108)

Possibili cause:

Il fattore di Calibrazione calcolato è al di fuori dei limiti ammessi (> 10).
Viene mantenuto il vecchio fattore.
Possibili cause:
Le condizioni necessarie per la Calibrazione non sono state rispettate.

•

La quota di perdita per il dispositivo test perdita interna immessa ètroppo elevata.

•

Il dispositivo di test perdita interno è difettoso o vuoto.
iina70i 08.fm•

98

Messaggi d'errore e avvertenze

N.

Avvertenza visualizzata

Manuale tecnico

W83 Sono stati persi tutti i parametri EEPROM! Controllare
le impostazioni!
W85 Sono stati persi tutti i parametri EEPROM! Controllare
le impostazioni!

Descrizione e possibile eliminazione della causa d'errore•

La EEPROM a livello del cablaggio è vuota ed è stata inizializzata con
valori di default. Immettere nuovamente tutti i parametri.

•

Se dopo il riavviamento appare di nuovo un'avvertenza, probabilmente
i cablaggi della EEPROM sono difettosi.

•

È stato interrotto l'accesso alla scrittura. Controllare le impostazioni.

•

È stato effettuato un aggiornamento del software. In questo caso è
possibile ignorare il messaggio.

•

Se dopo il riavviamento appare di nuovo un'avvertenza, probabilmente
i cablaggi della EEPROM sono difettosi.

W86 Fattore AC/DC troppo piccolo Condizioni di Calibrazione non osservate
Quota di perdita immessa nel dispositivo di test perdita errata.
Dispositivo di test perdita difettoso
Condizioni di Calibrazione non osservate
Quota di perdita immessa nel dispositivo di test perdita errata.
Dispositivo di test perdita difettoso

iina70i 08.fm(1108)

W87 Fattore AC/DC troppo alto

Messaggi d'errore e avvertenze99

Lavori di manutenzione

9.1

Avvertenze generali
I lavori di manutenzione del livello II e III sul UL1000 e UL1000 Fab devono essere
effettuati solo da persona autorizzato allo scopo da INFICON GmbH Colonia
Tenere conto dei livelli di manutenzione:•

Livello dimanutenzione I

Cliente•Livello dimanutenzione II

Cliente con addestramento tecnico•

Livello dimanutenzione III

tecnico dell'assistenza INFICO autorizzato

Manuale tecnico

9Precauzione
Osservare le avvertenze sulla sicurezza del presente capitolo.

Precauzione
Per gli interventi al sistema del vuoto, l'ambiente circostante e gli attrezzi devono
essere puliti.

STOP

Pericolo
Danger

Nota:

Attenersi agli intervalli di manutenzione indicati per il UL1000 e UL1000 Fab.
La mancata osservanza degli intervalli di manutenzione comportanol'annullamento della garanzia sull'apparecchio.
Si consiglia la conclusione di un contratto di manutenzione per l'apparecchio.

(1108)Per tutti i lavori di manutenzione che devono essere effettuati sul UL1000 e UL1000
Fab, il rilevatore di perdite deve essere scollegato dall'alimentazione!

Il raggiungimento dei diversi intervalli di manutenzione (1500/4000/8000 ore) viene
indicato come avvertenza sullo schermo del rilevatore di perdite da UL1000 e
UL1000 Fab dopo ogni accensione. Il messaggio viene visualizzato come triangolo
di avvertenza fino alla conferma.

iina70i 09.fm

La manutenzione di 1500 ore può variare in base all'applicazione del dispositivo.

100

Lavori di manutenzione

9.2

Manutenzione o riparazioni da parte di INFICON

Manuale tecnico

Se a INFICON viene inviato un apparecchio per la riparazione o la manutenzione,
indicare se questo è contaminato o non contiene agenti tossici. Se è stato contaminato, indicare la sostanza. A tal fine utilizzare il nostro modulo "Dichiarazione dicontaminazione", che verrà inviato su richiesta. Alla fine del manuale tecnico è disponibile stampata una copia del modulo.
Fissare il modulo sull'apparecchio o allegarlo!
La "Dichiarazione di contaminazione" è necessaria ai sensi della legge e per la tutela
dei lavoratori. INFICON restituirà al mittente gli apparecchi senza "Dichiarazione dicontaminazione".

9.3

Legenda dello schema di manutenzione•

Livello dimanutenzione I

Cliente•Livello dimanutenzione II

Cliente con addestramento tecnico•

Livello dimanutenzione III

tecnico dell'assistenza INFICON autorizzato•

X

X Effettuare lavori di manutenzione secondo le ore di esercizio o il tempo trascorso•

X1

nessun limite di tempo solo ore di funzionamento•

X2

Lavori di manutenzione da eseguire in base al tempo•

1

dipendenti dall'ambiente e dall'utilizzo•

2

dipendenti dal processo

Solo UL1000

La pompa per l'impiego sul rilevatore di perdite UL1000 è stata specificata con olio
Arctic e deve essere riempita solo con questo. (Cat n. 20028181). Utilizzando unaltro tipo di olio, INFICON Gmbh Colonia annulla la garanzia sulla prepompa.

iina70i 09.fm(1108)

Quale misura preventiva, si consiglia di controllare una volta al mese il livello e ilcolore dell'olio della pompa dello spintore rotante di UL1000. Gli intervalli per ilcambio dell'olio della prepompa D16 B sono raccomandazioni e possono variare infunzione dell'utilizzo del rilevatore di perdite .

Lavori di manutenzione

101

Programma di manutenzione

Gruppo costruttivo

Lavori di manutenzione

Ore/anni di esercizio

UL1000/UL1000 Fab

1500

4000

8000

1/4

1

2

16000

Livello dimanutenzione

Parti diricambio n.

Sistema di vuoto
Prepompa D16 B

Controllare il livello dell'olio, eventualmente
sostituirlo

X

Sostituire olio

2

I e II
X

II

Rettifica prepompa
Pomp scroll IWATA

X

Sostituire testa scroll

X

Pompa scroll Varian

Sostituire tip-seal

X1

TS 620

Sostituire testa scroll

TMH 071

Sostituzione del serbatoio del mezzo diesercizio

20028181

Manuale tecnico

9.4

III
III

200000021R

ISP 500

X
X2

Sostituzione cuscinetto
Blocco valvola

X2

Pulire le valvole, sostituire le guarnizionidelle valvole
filtrolinea

flussodi

II e III

200000577

III

X

1

X1
X

III

2
gas

200001671
200001665R

2

Smontare il blocco valvola e pulirlo
Rinnovarerisciacquo

III
III

Compensare Pirani

X

III

200000594

III

200000593

I, II ,III

200000683

Silenziatore UL1000 sostituire
FabX1

I, II ,III

Filtro scappamento controllare, svuotare
UL 1000
Sostituire inserto filtro

X

I, II ,III
X1

I, II ,III20099183

200000694

Parte elettrica
1

X1

I

Sostituire cellachassis aeratore

1

X1

I

filtroricambioparete200000685(1108)

Soffiare il fondo, le pareti dello chassis
dell'aeratore

iina70i 09.fm

Gruppi aeratore

102

Lavori di manutenzione

9.5

Gruppi di manutenzione

Manuale tecnico

Il programma di manutenzione di UL1000 e UL1000 Fab per semplicità può essere
suddiviso in quattro gruppi di manutenzione.

9.5.1

•

Manutenzione 1500 ore•

Manutenzione 4000 ore, almeno annuale•

Manutenzione 8000 ore•

Manutenzione 16000 ore

Manutenzione 1500 ore
La manutenzione 1500 ore può essere eseguita da un operatore o da personale dimanutenzione del cliente.
Per la manutenzione 1500 ore è necessario controllare la cella del filtro davantiall'aeratore, sostituirla in caso di sporcizia. Per l'uso in ambienti molto polverosi gli
intervalli di manutenzione possono essere abbreviati.
Sostituire il silenziatore dello scappamento del rilevatore di perdite.
Nota:

Silenziatori bloccati possono danneggiare la pompa scroll.
Materiali necessari

N. ordine

Controllare/sostituire filtro•

Cella filtro di ricambio per aeratore

200000685

Sostituire silenziatore•

Silenziatore per scappamento (solo
UL1000 Fab)20099183

iina70i 09.fm(1108)

Lavori da eseguire

Lavori di manutenzione

1039.5.2

Manutenzione 4000 ore

Il serbatoio del mezzo di funzionamento, indipendentemente dal numero di ore
raggiunto della turbopompa deve essere sostituito dopo 2 anni.
Nota:

Manuale tecnico

La manutenzione 4000 ore deve essere eseguita da un tecnico dell'assistenza
INFICON o da personale autorizzato da INFICON almeno una volta all'anno. L'oliodella prepompa dell'UL1000 deve essere sostituita almeno una volta all'anno, indipendentemente dal raggiungimento dell'uso di 4000 ore.

Il rilevatore di perdita interno di elio standard è munito di un certificato con
validità di 1 anno dalla fornitura del rilevatore. Si consiglia di far rinnovare ogni
anno il certificato da INFICON GmbH. In questo caso viene controllato il
funzionamento del rilevatore di perdita interno di elio standard ed emesso unnuovo certificato per un'altro anno.

Lavori da eseguireMateriali necessari

N. ordine

Sostituire il serbatoio del mezzo di funzionamento della pompa turbomolecolare 071•

Serbatoio mezzo di funzionamento per
TMH 071

200000577

Sostituire la prepompa olio D16 (solo UL1000) •Olio Arctic 1l20028181

Controllare/sostituire filtro•

Cella filtro di ricambio per aeratore

200000685•

Filtro di ricambio per linea flusso e
risciacquo

200000683•

Silenziatore per scappamento(solo UL1000 Fab)•Inserto filtro olio (10 pz.) solo UL1000

Sostituzione cuscinetto di TMH 071 consigliata •dopo 3 anni senza limite di funzionamento!
Vedere capitolo 9.5.5

Sostituzione turbopompa TMH 071

20099183
200000694
200000569R

Verifica dopo compensazione

iina70i 09.fm(1108)

La durata della manutenzione è di ca. 2,5 ore e varia in base alla sostituzione delserbatoio del mezzo di funzionamento di TMH 071.

104

Lavori di manutenzione

9.5.3

Manutenzione 8000 ore
La manutenzione 8000 ore deve essere eseguita da un tecnico dell'assistenza
INFICON o da personale autorizzato da INFICON.

Manuale tecnico

La modalità scroll della pompa scroll IWATA indipendentemente dal raggiungimento
di una durata di funzionamento di 8000 ore deve essere sostituita ogni 2 anni.
Nel modulo scroll della pompa scroll Varian dopo 8000 ore di funzionamento deveessere sostituito il "tip seal" da un tecnico dell'assistenza di INFICON. Se ciò non
avviene, dopo 12000 ore di funzionamento dovrà essere sostituito il modulo scroll.
Lavori da eseguireMateriali necessari

N. ordine

Sostituzione testa scroll (IWATA ISP-500B)•

Testa scroll per IWATA ISP-500B

200000217R

Sostituire tip seal (Varian TS 620)•

Tip Seal

200001671

Sostituire la prepompa olio D16 (solo UL1000) •Olio Arctic 1l20028181

Sostituire serbatoio mezzo di funzionamento •TMH 071

Serbatoio mezzo di funzionamento per
TMH 071

200000577

Sostituire guarnizioni valvola•

Set guarnizioni per valvole

200000594

Controllare/sostituire filtro•

Cella filtro di ricambio per aeratore

200000685•

Filtro di ricambio per linea flusso e
risciacquo

200000683•

Silenziatore per scappamento(solo UL1000 Fab)•Inserto filtro olio (10 pz.) solo UL1000

Sostituzione cuscinetto di TMH 071 consigliata •dopo 3 anni senza limite di funzionamento!
Vedere capitolo 9.5.5

Sostituzione turbopompa TMH 071

20099183
200000694
200000569R

Verifica dopo compensazione

iina70i 09.fm(1108)

La manutenzione dura 5-6 ore senza sostituire il tip seal in base del serbatoio delmezzo di funzionamento. Se viene sostituito tip seal, la durata del lavoro aumenta di
2 ore.

Lavori di manutenzione

105

Manutenzione 16000 ore
La manutenzione 16000 ore deve essere eseguita da un tecnico dell'assistenza
INFICON o da personale autorizzato da INFICON.
Quando si raggiungono le 16000 ore di funzionamento, la durata dei cuscinetti dellaturbopompa e dei diversi tipi di prepompa viene raggiunta. Sostituire i moduli scroll(IWATA ISP 500 o Varian TS 620) e la turbopompa. Per D16 B dell'UL1000 si
consiglia un controllo generale.

Lavori da eseguireMateriali necessari

N. ordine

Sostituzione testa scroll (IWATA ISP-500B)•

Testa scroll per IWATA ISP-500B

200000217R

Sostituzione testa scroll (Varian TS 620)•

Sostituzione testa scroll Varian TS 620

200001665R

Revisionare prepompa D16 (solo UL1000)•

Revisione generale prepompa D16 B

Sostituire TMH 071•

Turbopompa TMH 071

200000569R

Smontare/pulire blocco valvola•

Set guarnizioni blocco valvola

200000593

Sostituire guarnizioni valvola•

Set guarnizioni per valvole

200000594

Controllare/sostituire filtro•

Cella filtro di ricambio per aeratore

200000685•

Filtro di ricambio per linea flusso e
risciacquo

200000683•

Silenziatore per scappamento (solo
UL1000 Fab)•Inserto filtro olio (10 pz.) solo UL1000

Sostituzione cuscinetto di TMH 071 consigliata •dopo 3 anni senza limite di funzionamento!
Vedere capitolo 9.5.5

Sostituzione turbopompa TMH 071

Manuale tecnico

9.5.4

20099183
200000694
200000569R

Verifica dopo compensazione
La durata della manutenzione è di ca. 10,0 ore se si sostituisce la TMH 071.

Indicazioni sulla manutenzione di TMH 071

iina70i 09.fm

La pompa turbomolecolare TMH 071 è riempita con un mezzo di esercizio per lalubrificazione del cuscinetto a sfere. Il serbatoio del mezzo di funzionamento, indipendentemente dal numero di ore raggiunto della turbopompa deve essere sostituito
dopo 2 anni. La sostituzione del serbatoio del mezzo di funzionamento deve essere
eseguita da un tecnico dell'assistenza di INFICON o da personale autorizzato da
INFICON.

(1108)

9.5.5

106

Lavori di manutenzione

9.6

Descrizione della manutenzione

Manuale tecnico

Modifiche del UL1000 e UL1000 Fab che esulano dalle normali misure di manutenzione devono essere eseguite esclusivamente da personale specializzato addestrato.

STOP

Pericolo
Danger

La vite del ripartitore della linea di protezione sul fondo dello chassis non deveessere allentata. Senza collegamento della linea di protezione, l'operatore non è
protetto da scariche elettriche.

9.6.1

Apertura del dispositivo per manutenzione
Attrezzi necessari
Separatore delle pareti laterali compreso negli accessori.

STOP

Pericolo
DangerPrima di rimuovere una delle coperture dall'UL1000 e UL1000 Fab staccare il
rilevatore di perdite dalla rete!
Scollegare i componenti del vuoto montati all'ingresso dell'UL1000 e UL1000 Fabdal sistema di ingresso.

•

Premere verso il basso il separatore delle pareti laterali illustrate in Fig. 9-1 fra
cuffia di chiusura e chassis fino a che la cuffia scatta via dal dispositivo disupporto.
Premere la cuffia su entrambi i lati per farla uscire dal
supporto. Spostare leggermente in fuori la cuffia e sollevarla dai perni guida delfondo del dispositivo.

•

La posizione corretta per l'uso del separatore è indicata da una tacca su
entrambe le cuffie di copertura. vedere Fig. 9-1/2.

•

Aprire le due cuffie allo stesso modo.

iina70i 09.fm(1108)•

Lavori di manutenzione

107

Manuale tecnico

Fig. 9-1 Apertura di UL1000 e UL1000 Fab

9.7

Pos. Descrizione

Pos. Descrizione

1

2

Separatore pareti laterali

Tacca parete laterale

Controllo e sostituzione dell'inserto del filtro
dell'aria
Il grado di inquinamento dell'inserto del filtro davanti agli aeratori deve essere controllato ogni 3 mesi (in caso di condizioni particolari, ogni mese). Inserti del filtro
sporchi devono essere sostituiti, in quanto riducono il raffreddamento della turbopompa e le prestazioni del dispositivo.
Attrezzi necessari

Materiale necessario(1108)

Separatore delle pareti laterali compreso negli accessori

Inserto filtro di ricambio P/N 200 000 685

STOP

Pericolo
Danger•108

Per l'apertura del rilevatore di perdite vedere 9.6.1

Lavori di manutenzione

iina70i 09.fm

Prima di rimuovere una delle coperture dall'UL1000 e UL1000 Fab staccare il
rilevatore di perdite dalla rete!

•Afferrare l'inserto del filtro con due dita negli incavi illustrati in Fig. 9-2/a ed
estrarlo dalla guida. Se ciò non fosse possibile, premere in avanti il filtro
attraverso il foro posteriore Fig. 9-2/3.

Manuale tecnico

1
a

2

3

(1108)

aFig. 9-2 Sostituire parete chassis filtro dell'aria
Pos. DescrizioneaIncavodell'aria

1

Inserto filtro dell'aria

iina70i 09.fm

•
Nota:

impugnatura

Pos. Descrizione
filtro2
3

Guida filtro dell'aria
Foro estrazione (posteriore)

Quando si inserisce il nuovo inserto del filtro dell'aria osservare la direzione diaerazione. Qui sopra in Fig. 9-2 è rappresentata da una freccia nera.
La superficie contrassegnata con "clean air side" o bianca dell'inserto del filtro
deve essere rivolta in direzione aeratore.

•

Inserire l'inserto filtro nella guida e reinserire le cuffie di copertura. Per chiudere
il dispositivo applicare le cuffie di chiusura e premere.

Lavori di manutenzione

109

9.8

Sostituzione del silenziatore scappamento
Materiale necessario•

Spegnere il rilevatore di perdite UL1000 Fab.

•

Svitare il silenziatore dall'adattatore di connessione, sostituire con uno nuovo eserrare. Vedere Fig. 9-3/1.

Manuale tecnico

Sostituzione silenziatore P/N 200 99 183

1

2
3
4
5

6

Pos. Definizione

1

Silenziatore

4

Riduttore

2

Adattatore silenziatore

5

Anello di centraggio DN 25

3

O-ring 20 x 3

6

Anello tenditore clip

iina70i 09.fm

Pos. Definizione(1108)

Fig. 9-3 Sostituzione silenziatore

110

Lavori di manutenzione

9.9

Controllare/svuotare filtro scappamento
Attrezzi necessari
Chiave ad anello/fissa SW 17 mm

Manuale tecnico

Il filtro dello scappamento serve per filtrare le nebbie d'olio che si creano attraverso
l'espulsione dell'aria aspirata durante uno spompaggio. Per motivi di sicurezza il filtro
dello scappamento è munito di una valvola che apre il filtro bloccato e fa uscire l'aria
aspirata direttamente all'esterno. Ciò evita danni della prepompa a causa di una
linea di scappamento bloccata.

STOP

Pericolo
Danger

Se il filtro dello scappamento è bloccato, i vapori oleosi velenosi giungono
direttamente nell'ambiente!
Pertanto controllare regolarmente lo stato del filtro dello scappamento. Quando il
livello dell'olio del serbatoio dell'olio si è ridotto a ca. 1/3 del quantitativo di riempimento, il serbatoio deve essere svuotato.
Per svuotarlo procedere come segue:•

spegnere i dispositivi e rimuovere le cuffie di copertura laterali. Vedere 9.6.1.

STOP

Pericolo
Danger(1108)

Prima di rimuovere una delle coperture dall' UL 1000 staccare il rilevatore di perdite
dalla rete!

9.9.1

•

Allentare la vite esagonale sulla parte inferiore del serbatoio e far defluire l'olio in
un contenitore adatto. Vedere Fig. 9-5/5. Smaltire l'olio in base alle disposizioni
vigenti.

•Inserire e serrare la vite esagonale.

•

Controllare il livello dell'olio della pompa dello spintore rotante D16 B ed ev.
rabboccare.

Sostituire inserto filtro
Attrezzi necessari
Separatore delle pareti laterali compreso negli accessori
Materiale necessario
Inserto filtro di ricambio: P/N 200 000 694 (10 pezzi)

iina70i 09.fm

La posizione di montaggio del filtro dello scappamento è visibile nella Fig. 9-4.

Lavori di manutenzione

111

Manuale tecnico

1
2
3

4
5
6

Pos. Descrizione

Pos. Descrizione

1Anello tenditore KF 16

4

Marcatura olio max.

2

Inserto filtro

5Finestra livello olio

3

Serbatoio olio

6

Marcatura olio max.

(1108)

Fig. 9-4Posizione montaggio filtro scappamento

Per sostituire l'inserto del filtro procedere come segue:allentare l'anello tenditore del filtro dello scappamento (Fig. 9-4/1) e far oscillare
il filtro completo verso l'esterno in direzione della freccia, fino a che è possibile
rimuovere il serbatoio dell'olio.

•

Svitare il serbatoio dell'olio in senso antiorario e svuotarlo. Smaltire l'olio in basealle disposizioni locali. Pulire il serbatoio con un panno pulito.

•

allentare la vite del filtro Fig. 9-5/3 manualmente, estrarre l'inserto del filtro e
smaltirlo conformemente.
iina70i 09.fm•

112

Lavori di manutenzione

Manuale tecnico

Fig. 9-5Inserto filtro scappamento
Pos. Descrizione

9.10

Pos. Descrizione

1

Cuffia filtro

4

Serbatoio olio

2

Inserto filtro

5Vite scarico olio

3

Supporto filtro•

Spingere il nuovo inserto del filtro sul supporto e avvitarlo alla cuffia. Serrare amano il supporto usando l'apposita rotella.

•

Avvitare il serbatoio dell'olio e serrare a mano. Reinserire il filtro delloscappamento e fissare nella posizione originale con anello tenditore KF16.

Controllare livello dell'olio D16 B, rabboccare(1108)

Come misura preventiva si consiglia di verificare il livello dell'lio e la colorazionedell'olio della pompa ogni mese.
Per aprire il dispositivo seguire le istruzioni di 9.6.1.

STOP

Pericolo
DangerPrima di rimuovere una delle coperture dall' UL1000 staccare il rilevatore di perdite
dalla rete!

iina70i 09.fm

Attrezzi necessari
Separatore pareti laterali

Lavori di manutenzione

113

Attraverso la finestra del livello dell''olio della prepompa D16 B è possibile controllare
visivamente il livello e il colore dell'olio. Il livello dell'olio della pompa del vuoto deve
trovarsi fra le marcature min. e max.
Vedere Fig. 9-6/3-5.
Controllare e rabboccare l'olio solo con pompa spenta!
Manuale tecnico

Nota:

1
2
3
4

Fig. 9-6 Cambio olio D16 B
Pos. Descrizione

Pos. Descrizione

1

Apertura riempimento olio

4

Finestra livello olio

2Vite scarico olio

5

Marcatura livello olio min.

3

Marcatura olio max.
Se il livello dell'olio è inferiore alla marcatura min., aggiungere olio. Seguire ledescrizioni di 9.11.

iina70i 09.fm•(1108)

5

114

Lavori di manutenzione

9.11

Cambio olio D16 B
Sostituire l'olio quando ha un aspetto sporco o è esaurito chimicamente o meccanicamente.

Manuale tecnico

Altri cambi dell'olio devono essere eseguiti prima o dopo uno stoccaggio prolungatodella pompa.

Precauzione
Il cambio dell'olio deve essere eseguito sempre con pompa del vuoto ancora calda
e spenta.

Attrezzi necessari
Separatore pareti laterali
Chiave ad esagono cavo SW 5 mm; 8 mm
Chiave fissa SW13 mmMateriale necessario
Olio Arctic 1 l.

P/N 200 28 181•

Spegnere il dispositivo e rimuovere le cuffie di copertura. Per aprire il dispositivo
seguire le istruzioni di 9.6.1.

•

Aprire la fascetta del tubo di scarico dell'olio e portare il tubo di scarico verso il
serbatoio di raccolta dell'olio.

•

Svitare la vite di scarico dell'olio sulla parte terminale del tubo Fig. 9-6/2 con una
chiave esagonale cava da 5 mm.
Usare la chiave fissa da
13 mm per trattenere l'avvitamento.

•

Far scorrere l'olio esausto in un contenitore adatto. Quando il flusso dell'olio
diminuisce, avvitare di nuovo la vite.

•

Accendere brevemente la pompa max. 10 s) e rispegnerla.
ancora la vite di scarico dell'olio e far defluire l'olio residuo.

Rimuovere

Precauzione

iina70i 09.fm(1108)

L'olio può danneggiare l'ambiente! Smaltirlo in modo adeguato, osservando ledisposizioni ambientali vigenti.

Nota:

•

Riavvitare la vite di scarico dell'olio. Verificare la guarnizione, ev. sostituire.
Fissare il tubo di scarico dell'olio con la fascetta.

•

Svitare la vite del riempimento dell'olio Fig. 9-6/1 dall'apertura di riempimento e
aggiungere olio nuovo fino al livello max.
Il livello max. è di 0,8 l.

•

Riavvitare la vite e serrarla.
Dopo la messa in funzione, l'olio nuovo deve essere degasato. A tal finelasciare il rilevatore di perdite in "STANDBY" e aprire la valvola di ballast gas
per ca. 20 min.

Lavori di manutenzione

115

9.12

Pompa turbomolecolare TMH 071

9.13

Pompe scroll (solo UL1000 Fab)Manuale tecnico

La pompa turbomolecolare deve essere sottoposta a manutenzione ogni anno o ogni
4000 ore. Per altri dettagli vedere istruzioni PFEIFFER PM 800 504 BN/F e PT 0017
BN/B. Consigliamo di far eseguire i lavori di manutenzione dall'assistenza di
INFICON o da un servizio assistenza autorizzato da INFICON.

Gli intervalli di manutenzione delle diverse pompe scroll (IWATA, VARIAN) possono
essere desunte dal programma di manutenzione in 9.4.

iina70i 09.fm(1108)

La manutenzione delle pompe scroll deve essere eseguita esclusivamente
dall'assistenza di INFICON o da un centro di assistenza autorizzato da INFICON.

116

Lavori di manutenzione

iina70i 09.fm

1,0E-04
1,500

1,0E-03

1,0E-02

1,0E-01

1,0E+00

1,0E+01

2,500

3,500

4,500
U [V]

5,500

6,500

TPR265-characteristic (P1, P2; recorder-exit)

7,500

8,500

Manuale tecnico

A

1,0E+02

1,0E+03(1108)

Appendice

Diagramma TPR256

Fig. 9-1

Appendice117

pressure [mbar]

Dichiarazione di conformità

118

Dichiarazione di conformitàiina70i 09.fm(1108)

Manuale tecnico

B

A

G
Accessori (Accessories)24

Gas di risciacquo / regolazione

24

Accessories

24

GROSS

42

Manuale tecnico

Aerazione

24, 29I

Allarme61

Allarme acustico

15

I CAL

78

Altoparlanti

47

Informazioni

85

Ambiti misurazione

14

Ingresso digitale

26

Asse temporale

48

Installazione

19

Assistenza INFICON

10Assorbimento tensione

14

Avviamento

14

Avvio

45

L

B
Base

54

Linea sniffer

35, 43

Lingua78

Livello sonoro

15

Masse rilevabili

14

Capacità di assorbimento

14

MENU

37

Centro assistenza

10Collegamenti elettrici

22

modalità• sniff• Vuoto14
14

Comando remoto

28

Modalità sniff

14

Comando remoto (Hand Set)

24

Modalità sniffer

43

Condizione alla fornitura

30

Modalità trend

48

Contrasto

54

Modalità vuoto

14D(1108)

17, 74

M

C

P
Data/ora

77

Perdita di prova

88

Destinazione d'uso

12

Peso

15

Diagramma vuoto

36

Pompa prevuoto

Dimensioni

15

Pompa turbomolecolare

35

Dispositivo di scrittura

27

Pressione ingresso

14

Dispositivo di scrittura (Recorder)

24

Pressione:

36

Protezione da inquinamento

82

Purge/ballast gas

29

F
UL1000 Fab iina70i_SIX.fm

Leak Ware8, 97

Fattore dispositivo

67

Fattore macchina

67

Filtro scappamento77

QT 100

43

FINE

42

Quota di perdita elio

14

Flangia ingresso

14

Quota perdita

14

Q

119

R
RS232

24, 28

Scappamento

29

Setpoint

62

Simboli di sicurezza

6

solo FINE

66

solo ULTRA

66

Sorgente di ioni

14, 35

Spettrometro di massa

14, 35

Startup

31

Taratura

31, 63Manuale tecnico

S

T

Taratura automatica interna

89

Taratura, esterna

89

Tasto START

32

Tasto STOP

33

Tasto ZERO33, 38Temperatura ambiente

15

Temperatura di stoccaggio

15

Tipo di protezione

14

Trasporto

19

Trigger47

Trigger allarme

62

Turbopompa

42

ULTRA

42

Umidità

15

Unità

61

Unità di comando

37

Uscita digitale

25

Uscita digitale (OUT)

24

Uscita rele

59

Valvole15

Volume60

120

UL1000 Fab iina70i_SIX.fm

V(1108)U

121

UL1000 Fab iina70i_SIX.fm(1108)

Manuale tecnico

INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, Germany
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Dokument: iina70i1-k (1108)