SKY® CDG160D - 160°C (F.S.R. 1 ... 1000 Torr /mbar)SKY® CDG160D - 160°C - Excellent Performance for High
Temperature Applications

INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有卓越的性能，适用于
苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

好处n拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗n

易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点n轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移n诊断端口便于快速服务与维护n

两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命n

卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准n

合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

1SKY® CDG160D - 160°C (F.S.R. 1 ... 1000 Torr / mbar) - SKY® CDG160D - 160°C Excellent Performance for High Temperature Applications

订购信息2SKY® CDG160D - 160°C (F.S.R. 1 ... 1000 Torr / mbar) - SKY® CDG160D - 160°C Excellent Performance for High Temperature Applications

规格类型

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

% of reading

0.4

0.4percent FS/°C

0.005

0.005

满量程

% of reading / °C

0.02

0.02

压力，最大kPa (absolute)400

260分辨率percent FS

0.003

0.003

最低读数

percent FS

0.01

0.01

建议的最低读数

percent FS

0.05

0.05

建议的最低控制压力

percent FS

0.5

0.5

精度 (1)
温度效应
零点
温度效应

温度
运行（环境）°C

运行（室内环境）(4)°C+10 … +50

在法兰处烘烤°C

≤200

≤200

贮存

°C

–40 … +65

–40 … +65

+21 … +30 V DC or ±15 V(±5%)+21 … +30 V DC or ±15 V
(±5%)

电源电压

+10 … +50

功耗加热时W

≤18

≤18

运行温度W

≤12

≤12

输出信号（模拟）V (dc)

0 … +100 … +10反应时间 (2)

ms

30

30

IP 40

IP 40

保护等级标准CE 合规EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010& RoHS& RoHSETL 认证

UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1

UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1

SEMI 合规SEMI S2

SEMI S2

D-Sub, 15-pin, male

D-Sub, 15-pin, male

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

≤30

≤30

电气连接设定点设定点数量设定点
继电器触点V (dc)设定点3SKY® CDG160D - 160°C (F.S.R. 1 ... 1000 Torr / mbar) - SKY® CDG160D - 160°C Excellent Performance for High Temperature Applications

规格类型

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

≤0.5

≤0.5

11

协议

RS232-C

RS232-C读数pressure, status, ID

pressure, status, ID设置

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

暴露于真空的材料

Aluminum oxide ceramic(AI₂O₃), stainless steel (AISI
316L ⁽³⁾)

Aluminum oxide ceramic(AI₂O₃), stainless steel (AISI
316L ⁽³⁾)

继电器触点A (dc)设定点滞后

percent FS

诊断端口内部容积
内部容积 1/2'' 管cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容积 DN 16 ISO KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容积 DN 16 CF-R

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容积 8 VCR®

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

重量
重量 1/2'' 管g837

837

重量 DN 16 ISO KF

g852

852

重量 DN 16 CF-R

g875

875

重量 8 VCR®

g

897

897

protocol specialized for
EtherCAT

protocol specialized for
EtherCAT通讯标准

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0
Common Device
ProfileETG.5003.2080 S (R)V1.3.0 Specific Device
Profile: Vacuum Gauge

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0
Common Device
ProfileETG.5003.2080 S (R)V1.3.0 Specific Device
Profile: Vacuum Gauge

节点地址Explicit Device Identification

Explicit Device Identification

物理层

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

数字功能读取pressure, status, ID

pressure, status, ID

数字功能设置set points, filter, zero adjust,reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,reset, DC offset

邮箱 (CoE)

SDO requests, responses
and information

SDO requests, responses
and information

EtherCAT协议 EtherCAT4SKY® CDG160D - 160°C (F.S.R. 1 ... 1000 Torr / mbar) - SKY® CDG160D - 160°C Excellent Performance for High Temperature Applications

规格类型

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

过程数据

Fixed PDO mapping andconfigurable PDO mapping

Fixed PDO mapping andconfigurable PDO mapping

EtherCAT 连接器

2 x RJ45, 8-pin (socket), INand OUT

2 x RJ45, 8-pin (socket), INand OUT电缆shielded Ethernet CAT5e or
highershielded Ethernet CAT5e or
higherm (ft.)≤100 (330)≤100 (330)

ms22

协议

DeviceNet™, group 2 slave
only

DeviceNet™, group 2 slave
only

MAC ID

address 00 - 63 by switch ornetwork programmableaddress 00 - 63 by switch ornetwork programmable

数字功能读取pressure, status, ID

pressure, status, ID

数字功能设置set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

技术规格DeviceNet™ "Vacuum Gauge DeviceNet™ "Vacuum Gauge
Device Profile" (ODVA)
Device Profile" (ODVA)

EtherCAT电缆长度
EtherCAT
Signal processing time
DeviceNet™

设备类型''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge

polling only

polling only

真空计 D 型连接器的电源电压

+14 … +30 VDC or ±15 V /≤12 W+14 … +30 VDC or ±15 V /≤12 W为微型连接器上的 DeviceNet收发器提供电压24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)

I / O 从属传讯

DeviceNet™ 连接器

microstyle, 5 pin, malemicrostyle, 5 pin, male

CDG（模拟输出、CDG 电源电压、设定点）连接器

D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, malekBaud

125, 250, 500 by switch ornetwork programmable

125, 250, 500 by switch ornetwork programmable

电缆长度 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

500 (1650)

电缆长度 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

250 (825)

电缆长度 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

100 (330)

DeviceNet™
数据率
DeviceNet™

Profibus DP
波特率

5kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

SKY® CDG160D - 160°C (F.S.R. 1 ... 1000 Torr / mbar) - SKY® CDG160D - 160°C Excellent Performance for High Temperature Applications规格类型

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

1.5 / 12

1.5 / 12

Profibus DP
波特率Mbaud

Profibus DP地址address 00 - 125 by switch or address 00 - 125 by switch or
network programmablenetwork programmable

数字功能读取pressure, status, ID

pressure, status, ID数字功能设置

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

Profibus DP 连接器

D-sub, 9 pin, female

D-sub, 9 pin, female

CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器

D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, male

4-20mA current loop (analog)
Signal range

mA

3.8 ... 20.2

3.8 ... 20.2

Measuring range (zero ...FS)mA

4.0 ... 20.0

4.0 ... 20.0

4-20mA current loop (analog)
Loaded impedance RLΩtypical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc)(5)(5)

Loaded impedance absoluteΩ

309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (5)(1) 非线性，迟滞，在 25 °C 环境工作温度中的可重复性，2
小时工作后无温度影响。
(2) 提高 10 … 90 % FS(3) 18% 铬，10% 镍，3% 钼，69% 铁(4) 环境温度 > 40°C 可能会使表面温度升高到 SEMI S2 合规水平以上。

www.inficon.com

reachus@inficon.com

由于我们的持续产品改进计划，因此产品规格可能会有变更，恕不另行通知。
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309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (5)