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Motion6軸パラレルキネマティックポジショニングシステム
6-Axis Parallel Kinematic Positioning System

電動垂直ステージ• コンパクトな統合型6軸ポジショナ• 軽量でありながら高剛性 (特にZ軸) を実現• 可動ケーブルなし• モーション誤差の蓄積なし

電動回転ステージ• ソフトウェアで設定された2つの仮想回転中心• 5、6、20、または450 kgの中心耐荷重• 真空 (10-6 hPa) バージョンを用意• Right Path™軌道抑制

ヘキサポッドアプリケーションツール
ワーク• AEDシミュレーション

コントローラ&ドライバ

キャリッジ

• 天文学
• バイオテクノロジ、外科手術• X線回析
• マイクロマシニング、顕微操作

モデル

BASE
ベース
ワールド

仮想的な2つの回転中心
絶対移動と位置はワーク座標系で示されます。相対移動はツール座標系またはワーク座標系のいずれかで示すことができます。

電動光学マウント

発注のご案内電動アクチュエータ

ヘキサポッドは、6つの自由度 (X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー ) を備えたパラレルキネマティックモーション装置です。ヘキサポッドは独立した軸を最大6つ利用しているため、高い耐荷重と精度を必要とする複雑なモーションのアプリケーションに適した精巧で効果的なソリューションです。ヘキサポッドは複雑で高価であると一般に考えられていますが、Newport社のヘキサポッドは低価格であるだけではなく、非常に使いやすく再構成が容易な製品となっています。Newport社のヘキサポッドは、業界で実証された高性能なアクチュエータ6台を使用して、Newport社のアクチュエータ専用技術を活用した設計によって駆動されます。アクチュエータの品質がヘキサポッドの全体的なモーション性能に大きな影響を与えることは明らかですが、これとほぼ同じ位重要なのはベースと可動式の上板にアクチュエータを接続する継手です。この課題に取り組むため、Newport社のエンジニアはシンプルながら従来の自在継手よりも遙かに高い剛性を持つユニークな継手の設計を考案しました。その結果、Newport社のヘキサポッドは他社の同サイズのヘキサポッドと比べて5倍以上の剛性と2倍以上の耐荷重を備えています。

• 光学用途、および付随するアセンブリと試験

電動直進ステージ

ヘキサポッドHexapod Trajectory

内容HXP50-MECA

6軸ヘキサポッド、5kg耐荷重

2.0

HXP50-ELEC

ヘキサポッドコントローラ／ドライバ、HXP50-MECA用1.8

HXP50-MECAV66軸ヘキサポッド、5kg耐荷重、真空対応

HXP50-ELECV6ヘキサポッドコントローラ／ドライバ、HXP50-MECAV6用

HXP100-MECA

6軸ヘキサポッド、20kg耐荷重

HXP100-ELEC

ヘキサポッドコントローラ／ドライバ、HXP100-MECA用HXP100-MECAV66軸ヘキサポッド、20kg耐荷重、真空対応

HXP100-ELECV6ヘキサポッドコントローラ／ドライバ、HXP100-MECAV6用

0.2

HXP100P-MECA

6軸ヘキサポッド、6kg耐荷重

0

HXP100P-ELEC

ヘキサポッドコントローラ／ドライバ、HXP100P-MECA用HXP200-MECA

6軸ヘキサポッド、50kg中心耐荷重

HXP200-ELEC

ヘキサポッドコントローラ／ドライバ、HXP200-MECA用HXP200S-MECA

6軸ヘキサポッド、85kg中心耐荷重

HXP200S-ELEC
HXP1000-MECA
HXP1000-ELEC

ヘキサポッドコントローラ／ドライバ、HXP200S-MECA用
6軸ヘキサポッド、450kg耐荷重
ヘキサポッドコントローラ／ドライバ、HXP1000-MECA用

1.6
Z Motion (mm)

1.4
1.2
1.0
Standard Motion

0.8

RightPath™

0.6

測定機器

0.4-30-20-100102030

X Motion (mm)Right Path™
直線及び円弧軌道において、最適な軌道を実行します。

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

特殊な製品

HXPxxx-MECAは必ずHXPxxx-ELECコントローラと併せてご注文ください。

電動回転ステージ

電動垂直ステージ

電動直進ステージ

272

Motion高精密HXP仕様
HXP50-MECA

HXP100-MECA

HXP100P-MECA

Ø200 x 151 mm

Ø300 x 209 mm

Ø300 x 209 mm

Platform Diameter

125 mm

200 mm

200 mm

移動量 (X、Y、Z) 1±17, ±15, ±7 mm±27.5, ±25, ±14 mm±27.5, ±25, ±14 mm

移動量 ( șx, șy, șz)±9, ±8.5, ±18 °±11.5, ±10.5, ±19 °±11.5, ±10.5, ±19 °

最小移動量 (X, Y, Z) 2

0.10, 0.10, 0.05 ȝm

0.5, 0.5, 0.25 ȝm0.10, 0.10, 0.05 ȝm

サイズ

最小移動量 (șx, șy, șz)
一方向再現性 (代表値) (X、Y、Z)

0.05, 0.05, 0.10 mdeg

0.25, 0.25, 0.5 mdeg

0.05, 0.05, 0.10 mdeg

±0.10, ±0.10, ±0.05 ȝm±0.25, ±0.25, ±0.125 ȝm±0.10, ±0.10, ±0.05 ȝm

一方向再現性 (代表値) (șx、șy、șz)±0.05, ±0.05, ±0.10 mdeg

±0.125, ±0.125, ±0.25 mdeg

±0.05, ±0.05, ±0.10 mdeg

最大速度 (X、Y、Z)

14, 12, 5 mm/s

2.5, 2, 1 mm/s

12, 10, 5 mm/s

最大速度 (șx、șy、șz)6, 6, 15 °/s

1.8, 1.7, 3 °/s

8, 8, 16 °/s

剛性 (X, Y, Z) 3

2, 2, 25 N/ȝm5, 5, 40 N/ȝm3, 3, 24 N/ȝm

中心耐荷重 450 N

200 N

60 N

ケーブル長3m

1.5 m

3m

MotorDC Servo

自重2.2 kg

ネジタイプM6M6準拠

1. 移動量は相互依存の関係にあります。リストの値は単軸での最大移動量です。
（それ以外の軸が全て中心にある場合）
2. オープンループでの値
3. 剛性はヘキサポッドのポジションに依存します。この値は全ての値が中心にある場合
4. 値はベースが水平位置にある場合。

高精度HXP仕様
HXP50HA-MECA

HXP100HA-MECA

サイズ

Ø200 x 151 mm

Ø300 x 209 mm

HXP100PHA-MECA
Ø300 x 209 mm

移動量 (X、Y、Z) 1±17, ±15, ±7 mm±27.5, ±25, ±14mm±27.5, ±25, ±14 mm

移動量 ( șx, șy, șz)±9, ±8.5, ±18 °±11.5, ±10.5, ±19 °±11.5, ±10.5, ±9 °最小移動量 (X, Y, Z) 20.10, 0.10, 0.05 ȝm0.30, 0.30, 0.16 ȝm0.10, 0.10, 0.05 ȝm

最小移動量 (șx, șy, șz)

0.05, 0.05, 0.10 mdeg

0.25, 0.25, 0.5 mdeg

0.05, 0.05, 0.10 mdeg

一方向再現性 (代表値) (X、Y、Z)±0.10, ±0.10, ±0.05 ȝm±0.14, ±0.13, ±0.05 ȝm±0.10, ±0.10, ±0.05 ȝm

一方向再現性 (保証値) (X、Y、Z)±0.15, ±0.15, ±0.075 ȝm±0.25, ±0.25, ±0.125 ȝm±0.15, ±0.15, ±0.075 ȝm

一方向再現性 (代表値) (șx、șy、șz)±0.05, ±0.05, ±0.10 mdeg

±0.125, ±0.125 , ±0.25 mdeg

±0.05 ±0.05, ±0.10 mdeg

精度 (保証値) (XYZ)±5.0, ±5.0, ±2.5 ȝm±10, ±10, ±5 ȝm±5.0, ±5.0, ±2.5 ȝm

最大速度 (X、Y、Z)

14, 12, 5 mm/s

2.5, 2, 1 mm/s

12, 10, 5 mm/s

最大速度 (șx、șy、șz)6, 6, 15 °/s

1.8, 1.7, 3 °/s

8, 8, 16 °/s

剛性 (X, Y, Z) 3

2, 2, 25 N/ȝm5, 5, 40 N/ȝm3, 3, 24 N/ȝmピッチ (保証値) (X、Y、Z)±50, ±50, ±25 ȝrad±75, ±75, ±75 ȝrad±37.5, ±37.5, ±37.5 ȝradヨー (保証値) (X、Y、Z)±50, ±50, ±25 ȝrad±75, ±75, ±75 ȝrad±37, ±37, ±37 ȝrad中心耐荷重 450 N

200 N

60 N

ケーブル長3m

1.5 m3m

自重

2.2 kg

7.2 kg

7.2 kgCE準拠

1. 移動量は相互依存の関係にあります。リストの値は単軸での最大移動量です。
（それ以外の軸が全て中心にある場合）
2. オープンループでの値
3. 剛性はヘキサポッドのポジションに依存します。この値は全ての値が中心にある場合
4. 値はベースが水平位置にある場合。

RightPathTMのメリット
Newportヘキサポッドには剛性のほかにもメリットがあります。主なメリットとして、プログラム可能な2つの回転軸 (ツール&ワークコーディ
ネートシステム) とRightPathTMトラジェクトリコントロールの2つが挙げられます。ツール&ワークコーディネートシステムの位置はコマンドを使用して変更可能で、変換はすべて自動で再計算されるため、コントローラの電源を切る必要がありません。RightPathTMトラジェクトリコ
ントロールを使用すると、定義した軌跡、直線、弧、回転に沿ったパスを、ズレを最小限に抑えながら定義された速度でコンスタントにスキャンすることができます。

特殊な製品

測定機器

電動光学マウント

コントローラ&ドライバ

ヘキサポッド電動アクチュエータ

CE

7.2 kg
M6

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認くださいMotion

HXP200-MECA

HXP200S-MECA

サイズ

Ø335 x 309 mm

Ø410 x 300 mm

Ø550 x 395 mm

移動量 (X、Y、Z) 1±59, ±54, ±25 mm±40, ±45, ±27 mm-62/+93, ±69, ±39.5 mm

移動量 ( șx, șy, șz)±15, ±14.5, ±30 °±9, ±8, ±15 °±11, ±10, ±19.5 °最小移動量 (X, Y, Z) 2

0.2, 0.2, 0.1 ȝm

0.15, 0.15, 0.15 ȝm0.30, 0.30, 0.16 ȝm0.1, 0.1, 0.2 mdeg

0.1, 0.1 0.1 mdeg

0.06, 0.06, 0.10 mdeg

一方向再現性 (代表値) (X、Y、Z)±0.125, ±0.125, ±0.1 ȝm±0.1, ±0.1, ±0.1 ȝm±0.15, ±0.15, ±0.08 ȝm

一方向再現性 (代表値) (șx、șy、șz)±0.03, ±0.03, ±0.05 mdeg

±0.1, ±0.1, ±0.1 mdeg

81, 70, 26 mm/s

47, 54, 29 mm/s

9, 9, 4 mm/s

最大速度 (șx、șy、șz)16, 15, 41 °/s

10, 9.3, 16.5 °/s

1.4, 1.4, 2.8 °/s

剛性 (X, Y, Z) 3

3, 3, 40 N/ȝm6, 6, 30 N/ȝm

10,10,100 N/ȝm

中心耐荷重 4500 N

850 N

4500 N

自重15.5 kg

24.9 kg

60 kg

M6M6M6

ネジタイプ
CE準拠

1. 移動量は相互依存の関係にあります。リストの値は単軸での最大移動量です。
（それ以外の軸が全て中心にある場合）
2. オープンループでの値
3. 剛性はヘキサポッドのポジションに依存します。この値は全ての値が中心にある場合
4. 値はベースが水平位置にある場合。

HXP50V6-MECA

HXP100V6-MECA

Ø200 x 151 mm

Ø300 x 209 mm

移動量 (X、Y、Z) 1±17, ±15, ±7 mm±27.5, ±25, ±14 mm

移動量 ( șx, șy, șz)±9, ±8.5, ±18 °±11.5, ±10.5, ±19 °

最小移動量 (X, Y, Z) 2

0.2, 0.2, 0.1 ȝm0.5, 0.5, 0.25 mm

最小移動量 (șx, șy, șz)

0.1, 0.1, 0.2 mdeg

0.25, 0.25, 0.5 mdeg

±0.20, ±0.20, ±0.20 ȝm±0.50, ±0.50, ±0.50 ȝm

一方向再現性 (代表値) (șx、șy、șz)±0.40, ±0.40, ±0.20 mdeg

±0.25, ±0.25, ±0.50 mdeg

最大速度 (X、Y、Z)

2, 1.9, 0.8 mm/s

0.5, 0.5, 0.25 mm/s

最大速度 (șx、șy、șz)2.4, 2.4, 6 °/s

0.2, 0.2, 0.4 °/s

剛性 (X, Y, Z) 3

2, 2, 25 N/ȝm5, 5, 40 N/ȝm

中心耐荷重 450 NConnectors

200 N
DB25 Male (6) (not vacuum compatible)
1.5 m

ケーブル長
Motor

Stepper motor
2.2 kg

自重7.2 kg

真空対応

10-6 hPaCE準拠
電動光学マウント

1. 移動量は相互依存の関係にあります。リストの値は単軸での最大移動量です。
（それ以外の軸が全て中心にある場合）
2. オープンループでの値
3. 剛性はヘキサポッドのポジションに依存します。この値は全ての値が中心にある場合
4. 値はベースが水平位置にある場合。

コントローラ&ドライバ

一方向再現性 (代表値) (X、Y、Z)

ヘキサポッドサイズ

電動アクチュエータ

真空対応HXP仕様

電動回転ステージ±0.1, ±0.1, ±0.125 mdeg

最大速度 (X、Y、Z)

電動垂直ステージ

最小移動量 (șx, șy, șz)

HXP1000-MECA

電動直進ステージ

高耐荷重HXP仕様

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測定機器
特殊な製品

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください電動回転ステージ

電動垂直ステージ

電動直進ステージ

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Motion

寸法HXP50-MECA– A-A –

ø7.87(200)5.91(150)– TOP VIEW –2.95(75)

ø1.97(50)

3.94(100)YX

4 HOLES M6 THD
ON SQR 1.97 (50)
6 HOLES M6 THD
AT 60° ON ø3.94 (100)

3 HOLES ø.17 (4.4)
C’BORED ø.26 (6.6)
AT 120° ON ø7.48 (190)

1.97(50)

DIMENSIONS IN INCHES (AND MILLIMETERS)TOP PLATECARRIAGE.61(15.5)

5.94 ±.28 (151 ±7)
HEXAPOD AT
MIDDLE POSITION

ヘキサポッド電動アクチュエータ

ø4.92(125).55(14)

A

A

BASE

特殊な製品

測定機器

電動光学マウント

コントローラ&ドライバ

BASE PLATE

HXP50は非常にコンパクトなヘキサポッド
で、高精度の多軸コントロールが要求される極めて限られた空間での複雑なモーションのアプリケーションに最適です。

HXP100は小型ながら優れた剛性、耐荷重性能、および位置決め性能を有しています。

HXP1000は450 kgまでの中心荷重に耐える性能を有しています。

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください275

Motion– TOP VIEW –HXP1000-MECA– TOP VIEW –4 CLR SLOTS FOR:1/4” SCREW
ON 4.0 x 8.0 (101.6 x 203.2)
OR M6 SCREW
ON 3.9 x 7.9 (100 x 200)

6 HOLES M6 THD (1)EQUIDISTANT AT 60°
ON ø6.9 (175)

電動直進ステージ

HXP100-MECA

BOTH PLATES:
3 x 3 HOLES M8 THD,
DEPTH: .63 (16)3.94(100)

4 HOLES M6 THD (1)ON SQR 1.97 (50)
6 CLR HOLES
FOR M6 SCREWEQUIDISTANT AT 60°
ON ø7.9 (200)+.006

1.48(37.5)

電動垂直ステージ

1 HOLE ø.394 0(Ø 10 H7)
DEPTH: .31 (8)8.94(227)

2 CLR HOLES
FOR 1/4 SCREW
8.0 (203.2) SPACING
3.94(100)

6.89(175)

Y

1.97(50)

XX

ø7.87(200)Yø11.8(300)

4.4(112.5)
TYP.

6.38(162)

ø21,6(550)ø16.7(425)12 HOLES M6 THD (1)1.97(50)

6 HOLES M6 THD (1)EQUIDISTANT AT 60°
ON ø4.9 (125)

3 CLR HOLES FOR M6 SCREWEQUIDISTANT AT 120°
ON ø11.0 (280)

3.94 (100)1)

BOTH PLATES:
3 HOLES ø.35 (9)C’BORED ø.79 (20) x 1.97 (50),
AT 120° ON ø15.35 (390)

BOTH PLATES:
6 HOLES ø.35 (9)C’BORED ø.79 (20) x 1.97 (50),
AT 60° ON ø11.81 (300)

2 PINHOLES ø.197 ±.006(ø5±2 ) DEPTH: 0.39 (10)DEPTH: .39 (10)5.91(150)

電動回転ステージ

1 HOLE M6 THD
DEPTH: .20 (5)DIMENSIONS IN INCHES (AND MILLIMETERS)DIMENSIONS IN INCHES (AND MILLIMETERS)

ø7.9(200)CARRIAGE.98(25)TOP PLATE

5.91(150).59 (15)

TOP PLATE

1.57(40)

2.59(65)

CARRIAGE

8.23 ±.55 (209 ±14)
HEXAPODAT MIDDLEPOSITION

電動アクチュエータ

EACH SIDE:
3 HOLES M6 THD,
DEPTH: .47 (12)15.55 ±1.55 (395 ±39.5)
HEXAPOD AT
MIDDLE POSITIONBASE PLATE.98(25)BASE
2.56(65)

メモ：別のホールパターンの上板やアパーチャのリクエストを受け付けます。

ヘキサポッドBASE

BASE PLATE

コントローラ&ドライバ
電動光学マウント
測定機器
特殊な製品

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください