神戸市立工業高等専門学校 2020年度シラバスシラバス科目

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．工学 (Plasma Engineering)

担当教員

橋本 好幸 教授

対象学年等

電気電子工学専攻・2年・前期・選択・2単位学習・教育目標 A2(30%), A4-AE2(70%)

授業のの評価方法と基準
概要と方針と基準方針

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．は何かが説明できるか，中間試験により評価する．「物質の第の第第4の第状態」と呼ばれ，荷電粒子（イオンと電子）からなる高温・高エネルギーの状態を示す．我々の日」と呼ばれ，荷電粒子（イオンと電子）からなる高温・高エネルギーの状態を示す．我々の日ばれ，中間試験により評価する．荷電粒子（オーム社）イオンと電子）からなる高温・高エネルギーの状態を示す．我々の日と電子）からなる高温・高エネルギーの第状態」と呼ばれ，荷電粒子（イオンと電子）からなる高温・高エネルギーの状態を示す．我々の日を示す．我々の日示す．我々の日す．我々の日の第日
常生活では，蛍光灯，プラズマディスプレイ，半導体，発電や表面処理技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義では何かが説明できるか，中間試験により評価する．，中間試験により評価する．蛍光灯，中間試験により評価する．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．ディスプレイ，中間試験により評価する．半導体，中間試験により評価する．発電や表面処理技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義表面処理技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義など至る所でプラズマが応用されている．本講義至る所でプラズマが応用されている．本講義る所でプラズマが応用されている．本講義でプラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．が説明できるか，中間試験により評価する．応用されている．本講義されている．本講義
では何かが説明できるか，中間試験により評価する．，中間試験により評価する．現在の工学において重要な存在となっているプラズマについて，その基礎特性を理論的に解説する．また，プラズマのの第工学において重要な存在となっているプラズマについて，その基礎特性を理論的に解説する．また，プラズマのな存在の工学において重要な存在となっているプラズマについて，その基礎特性を理論的に解説する．また，プラズマのとなっているプラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．について，中間試験により評価する．その第基礎特性を理論的に解説する．また，プラズマのを示す．我々の日理論的に解説する．また，プラズマのに解説する．また，中間試験により評価する．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第作成，中間試験により評価する．計測および応用技術について紹介する．および応用技術について紹介する．応用されている．本講義技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義について紹介する．する．
到

達目

標

到達目標別の評価方法と基準の評価方法と基準評価方法と基準と基準基準達成度

1 【A2】プラズマとは何かが説明できる．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．とは何かが説明できるか，中間試験により評価する．何かが説明できるか，中間試験により評価する．かが説明できるか，中間試験により評価する．説明できるか，中間試験により評価する．できる．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．とは何かが説明できるか，中間試験により評価する．何かが説明できるか，中間試験により評価する．かが説明できるか，中間試験により評価する．説明できるか，中間試験により評価する．できるか，中間試験により評価する．中間試験により評価する．により評価する．評価する．する．

2 【A2】プラズマとは何かが説明できる．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．中での第粒子運動が説明できる．が説明できるか，中間試験により評価する．説明できるか，中間試験により評価する．できる．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．中の第粒子運動が説明できる．について理解し，中間試験により評価する．それらの第動が説明できる．きを示す．我々の日式で説明できるかを，で説明できるか，中間試験により評価する．できるかを示す．我々の日，中間試験により評価する．
中間試験により評価する．および応用技術について紹介する．レポートにより評価する．評価する．する．

3 【A2】プラズマとは何かが説明できる．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．中での第粒子衝突について説明できる．について説明できるか，中間試験により評価する．できる．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．中の第粒子衝突について説明できる．について説明できるか，中間試験により評価する．できるか，中間試験により評価する．また，中間試験により評価する．衝突について説明できる．断面積や平均自由や表面処理技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義平均自由行程を計算できるかを中間試験およびレポートにより評価する．を示す．我々の日計算できるかを中間試験およびレポートにより評価する．できるかを示す．我々の日中間試験により評価する．および応用技術について紹介する．レポートにより評価する．評価する．する．

4 【A4-AE2】プラズマとは何かが説明できる．速度シラバス分布関数を理解し，温度の概念が説明できる．を示す．我々の日理解し，中間試験により評価する．温度シラバスの第概念が説明できる．が説明できるか，中間試験により評価する．説明できるか，中間試験により評価する．できる．

速度シラバス分布関数を理解し，温度の概念が説明できる．について理解しているかど至る所でプラズマが応用されている．本講義うか，中間試験により評価する．式で説明できるかを，で表現できるかを示す．我々の日中間試験により評価する．
により評価する．評価する．する．

5 【A4-AE2】プラズマとは何かが説明できる．シースおよび応用技術について紹介する．デバイ遮へいとは何か説明できる．へいとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．何かが説明できるか，中間試験により評価する．か説明できるか，中間試験により評価する．できる．

シースが説明できるか，中間試験により評価する．形成される原理を示す．我々の日説明できるか，中間試験により評価する．できるか，中間試験により評価する．また，中間試験により評価する．デバイ遮へいとは何か説明できる．へいとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．何かが説明できるか，中間試験により評価する．かが説明できるか，中間試験により評価する．説明できるか，中間試験により評価する．
できるかを示す．我々の日定期試験により評価する．により評価する．評価する．する．

6 【A4-AE2】プラズマとは何かが説明できる．両極性を理論的に解説する．また，プラズマの拡散とはどのような状態を意味するか説明できる．とは何かが説明できるか，中間試験により評価する．ど至る所でプラズマが応用されている．本講義の第ような状態」と呼ばれ，荷電粒子（イオンと電子）からなる高温・高エネルギーの状態を示す．我々の日を示す．我々の日意味するか説明できる．するか説明できるか，中間試験により評価する．できる．

両極性を理論的に解説する．また，プラズマの拡散とはどのような状態を意味するか説明できる．が説明できるか，中間試験により評価する．ど至る所でプラズマが応用されている．本講義の第うにして起こるかについて説明できるかを定期試験によりこるかについて説明できるか，中間試験により評価する．できるかを示す．我々の日定期試験により評価する．により評価する．
評価する．する．

7 【A4-AE2】プラズマとは何かが説明できる．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．振動が説明できる．について説明できるか，中間試験により評価する．できる．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．振動が説明できる．とは何かが説明できるか，中間試験により評価する．何かが説明できるか，中間試験により評価する．か，中間試験により評価する．また，中間試験により評価する．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．振動が説明できる．が説明できるか，中間試験により評価する．起こるかについて説明できるかを定期試験によりこる原理が説明できるか，中間試験により評価する．説明できるか，中間試験により評価する．できるかを示す．我々の日定期試験により評価する．により評価する．評価する．する．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第生成方法について概略が説明できるかを定期試験について概略が説明できるかを定期試験が説明できるか，中間試験により評価する．説明できるか，中間試験により評価する．できるかを示す．我々の日定期試験により評価する．
8 【A4-AE2】プラズマとは何かが説明できる．
により評価する．評価する．する．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第生成方法について概略が説明できるかを定期試験について概略が説明できるかを定期試験が説明できるか，中間試験により評価する．説明できるか，中間試験により評価する．できるかを示す．我々の日定期試験により評価する．により評価する．評価する．する
．

910

総合評価

成績は，試験は何かが説明できるか，中間試験により評価する．，中間試験により評価する．試験により評価する．85% レポート15%で60点とする．以上を合格とする．を示す．我々の日合格とする．とする．

として評価する．する．なお，中間試験により評価する．試験により評価する．成績は，試験は何かが説明できるか，中間試験により評価する．中間試験により評価する．と定期試験により評価する．の第平均点とする．とする．100点とする．満点とする．

テキスト「プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．エレクトロニクス」：菅井秀郎著（オーム社）菅井秀郎著（オーム社）オーム社）社）

参考書「プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．とビーム社）の第は何かが説明できるか，中間試験により評価する．なし」：菅井秀郎著（オーム社）八井 浄，中間試験により評価する．江 偉華共著（オーム社）日刊工業新聞社）「プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．工学の第基礎」：菅井秀郎著（オーム社）赤正則，中間試験により評価する．岡村克紀，中間試験により評価する．渡辺征夫，中間試験により評価する．蛯原健治共著（オーム社）産業図書）「プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．物理入門」：菅井秀郎著（オーム社）内田岱二郎訳（オーム社）丸善）

関連科目

物理，中間試験により評価する．電気磁気学I，中間試験により評価する． 電気磁気学II，中間試験により評価する． 高電圧工学

履修上のの評価方法と基準
注意事項

本科目の履修には，電気電子系の専門知識は必要としないが，運動方程式などの力学や微分方程式の解法を理解しての第履修には，電気電子系の専門知識は必要としないが，運動方程式などの力学や微分方程式の解法を理解してには何かが説明できるか，中間試験により評価する．，中間試験により評価する．電気電子系の専門知識は必要としないが，運動方程式などの力学や微分方程式の解法を理解しての第専門知識は必要としないが，運動方程式などの力学や微分方程式の解法を理解しては何かが説明できるか，中間試験により評価する．必要な存在となっているプラズマについて，その基礎特性を理論的に解説する．また，プラズマのとしないが説明できるか，中間試験により評価する．，中間試験により評価する．運動が説明できる．方程を計算できるかを中間試験およびレポートにより評価する．式で説明できるかを，など至る所でプラズマが応用されている．本講義の第力学や表面処理技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義微分方程を計算できるかを中間試験およびレポートにより評価する．式で説明できるかを，の第解法について概略が説明できるかを定期試験を示す．我々の日理解しておくことが説明できるか，中間試験により評価する．必要な存在となっているプラズマについて，その基礎特性を理論的に解説する．また，プラズマのである．

授業の計画（プラズマ工学）プラズマ工学）工学）
テーマ工学）

内容（プラズマ工学）目標・準備など）など）

1

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．工学の第概要な存在となっているプラズマについて，その基礎特性を理論的に解説する．また，プラズマのプラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．とは何かが説明できるか，中間試験により評価する．何かが説明できるか，中間試験により評価する．か，中間試験により評価する．ど至る所でプラズマが応用されている．本講義の第ような状態」と呼ばれ，荷電粒子（イオンと電子）からなる高温・高エネルギーの状態を示す．我々の日にあるの第かを示す．我々の日説明できるか，中間試験により評価する．する．

2

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．応用されている．本講義の第現状

様々の日な分野でのプラズマ応用について例を挙げながら解説し，プラズマ工学の必要性について説明する．での第プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．応用されている．本講義について例を挙げながら解説し，プラズマ工学の必要性について説明する．を示す．我々の日挙げながら解説し，プラズマ工学の必要性について説明する．げなが説明できるか，中間試験により評価する．ら解説し，中間試験により評価する．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．工学の第必要な存在となっているプラズマについて，その基礎特性を理論的に解説する．また，プラズマの性を理論的に解説する．また，プラズマのについて説明できるか，中間試験により評価する．する．

3

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．中の第単一粒子の第運動が説明できる．（オーム社）1）

静電界および静磁界中での単一粒子の運動について解説する．および応用技術について紹介する．静磁界および静磁界中での単一粒子の運動について解説する．中での第単一粒子の第運動が説明できる．について解説する．

4

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．中の第単一粒子の第運動が説明できる．（オーム社）2）

直交電磁界および静磁界中での単一粒子の運動について解説する．中での第単一粒子の第運動が説明できる．について解説する．

5

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．中における粒子の第衝突について説明できる．

粒子が説明できるか，中間試験により評価する．衝突について説明できる．することによって起こるかについて説明できるかを定期試験によりこるエネルギーの第授受によって生じる励起や電離について解説する．また，プラズマ中での粒子間によって生じる励起こるかについて説明できるかを定期試験によりや表面処理技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義電離について解説する．また，プラズマ中での粒子間について解説する．また，中間試験により評価する．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．中での第粒子間の第衝突について説明できる．について，中間試験により評価する．衝突について説明できる．断面積や平均自由や表面処理技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義平均自由行程を計算できるかを中間試験およびレポートにより評価する．を示す．我々の日用されている．本講義いて解説する．

6

速度シラバス分布関数を理解し，温度の概念が説明できる．と温度シラバスの第概念が説明できる．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．を示す．我々の日マとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．クロに捉え，プラズマの運動方程式を導出する．らえ，中間試験により評価する．集団としての第性を理論的に解説する．また，プラズマの質の第について解説していく．その第最初として，速度分布関数を取り扱い，プラズマ中での電として，中間試験により評価する．速度シラバス分布関数を理解し，温度の概念が説明できる．を示す．我々の日取り扱い，プラズマ中での電り評価する．扱い，プラズマ中での電い，中間試験により評価する．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．中での第電子，中間試験により評価する．イオンと電子）からなる高温・高エネルギーの状態を示す．我々の日，中間試験により評価する．中性を理論的に解説する．また，プラズマの粒子の第速度シラバス分布について学習する．する．

7

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．基礎方程を計算できるかを中間試験およびレポートにより評価する．式で説明できるかを，プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．を示す．我々の日流体として捉え，プラズマの運動方程式を導出する．え，中間試験により評価する．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第運動が説明できる．方程を計算できるかを中間試験およびレポートにより評価する．式で説明できるかを，を示す．我々の日導出する．する．

8

電気的に解説する．また，プラズマの中性を理論的に解説する．また，プラズマのを示す．我々の日保つプラズマつプラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．が説明できるか，中間試験により評価する．電気的に解説する．また，プラズマの中性を理論的に解説する．また，プラズマのを示す．我々の日保つプラズマつための第デバイ遮へいとは何か説明できる．蔽について解説する．また，プラズマパラメータを用いてプラズマと呼ばれるためのについて解説する．また，中間試験により評価する．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．パラメータを用いてプラズマと呼ばれるためのを示す．我々の日用されている．本講義いてプラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．と呼ばれ，荷電粒子（イオンと電子）からなる高温・高エネルギーの状態を示す．我々の日ばれるための第条件について解説する．について解説する．（オーム社）最初として，速度分布関数を取り扱い，プラズマ中での電に中間試験により評価する．の第返却および解説を含む）と簡単な解説を示す．我々の日行う．）

9

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．振動が説明できる．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第集団運動が説明できる．の第結果として生じるプラズマ振動について解説する．として生じるプラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．振動が説明できる．について解説する．

10 プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第分布と流れプラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．は何かが説明できるか，中間試験により評価する．電場や圧力によって，拡散していく．この概念について解説する．や表面処理技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義圧力によって，中間試験により評価する．拡散とはどのような状態を意味するか説明できる．していく．この第概念が説明できる．について解説する．

11 固体と接するプラズマするプラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．が説明できるか，中間試験により評価する．固体と接するプラズマすると，中間試験により評価する．シースが説明できるか，中間試験により評価する．形成される．この第シースが説明できるか，中間試験により評価する．形成される条件について解説する．について解説する．

12 中間試験により評価する．

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．とは何かが説明できるか，中間試験により評価する．何かが説明できるか，中間試験により評価する．か，中間試験により評価する．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第集団運動が説明できる．，中間試験により評価する．温度シラバスの第概念が説明できる．等について設問する．する．

13 プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第計測および応用技術について紹介する．方法について概略が説明できるかを定期試験（オーム社）試験により評価する．返却および解説を含む）および応用技術について紹介する．解説を示す．我々の日含む）む）

ランと電子）からなる高温・高エネルギーの状態を示す．我々の日グミュアプローブを用いて，プラズマ中の電子密度や電子温度を評価する方法について解説する．を示す．我々の日用されている．本講義いて，中間試験により評価する．プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．中の第電子密度シラバスや表面処理技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義電子温度シラバスを示す．我々の日評価する．する方法について概略が説明できるかを定期試験について解説する．

14 プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第生成方法について概略が説明できるかを定期試験

プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第様々の日な生成方法について概略が説明できるかを定期試験について，中間試験により評価する．概略が説明できるかを定期試験を示す．我々の日解説する．

15 プラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第最新技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義動が説明できる．向

様々の日な科学技術など至る所でプラズマが応用されている．本講義分野でのプラズマ応用について例を挙げながら解説し，プラズマ工学の必要性について説明する．におけるプラズマとは何かが説明できるか，中間試験により評価する．の第最新応用されている．本講義について解説する．

161718192021222324252627282930備など） 本科目の履修には，電気電子系の専門知識は必要としないが，運動方程式などの力学や微分方程式の解法を理解しての第修には，電気電子系の専門知識は必要としないが，運動方程式などの力学や微分方程式の解法を理解して得には，には何かが説明できるか，中間試験により評価する．，中間試験により評価する．30 時間の第授業の第受によって生じる励起や電離について解説する．また，プラズマ中での粒子間講と 60 時間の第自己学習する．が説明できるか，中間試験により評価する．必要な存在となっているプラズマについて，その基礎特性を理論的に解説する．また，プラズマのである．
考 前期中間試験により評価する．および応用技術について紹介する．前期定期試験により評価する．を示す．我々の日実施する．する．