ダイヤモンドの歴史
歴史的にダイヤモンドの合成は数多く試みられてきたが、実⽤レベルでの合成の成功は1955年Natureに発表されたGEグループの⾼温⾼圧法であろう。その後⾼温⾼圧法によって合成されたダイヤモンドは⼯具として使われるダイヤモンドの95％以上を占めるようになった。また⾼温⾼圧法では不純物としてホウ素をドープすることによって、p形半導体が合成され、さらには天然には存在しない新物質である⽴⽅晶窒化ホウ素が合成された。これらの結果はダイヤモンド系物質の材料としての機能化を期待させるものであったが、合成に⾼度な技術が要求されること、したがってコストが⾼いことが技術の広がりを阻むものとなっていた。
⼀⽅、化学気相成⻑法(CVD: Chemical Vapor Deposition)による合成の試みは、⾼圧環境を利⽤した合成法が19世紀後半に始まったのに⽐べ、⽐較的新しいもので1940年代といわれている。⽶国で⾼温⾼圧法と気相法の両⽅で合成するプロジェクトが始まり、結果的に⾼温⾼圧法が残り、GEの成功につながったようである。気相法が注⽬を集めたのは1980年にモスクワで開かれた結晶成⻑国際会議で発表されたロシアのグループの結果で、翌1981年に論⽂としてJ. Cryst. Growthに掲載された。その中の原⼦状⽔素の記述に注⽬してダイヤモンドの気相合成に成功したのが無機材質研究所のグループである。またヨーロッパや⽶国でも合成に取り組んでいたようでその成果はダイヤモンド状炭素膜、硬質炭素膜、アイカーボンなどと呼ばれていた。
ニューダイヤモンドという⾔葉が使われるようになったのは、ダイヤモンドの応⽤分野が主に⼯具であったことに対し、ニューという接頭語は、新たに機能材料として期待されてつけられたものであり、またダイヤモンドだけでなく窒化ホウ素やダイヤモンド状炭素膜、あるいはそれらに類似する性質を有するものも同様に含む意味合いがある。そのきっかけはダイヤモンドの気相合成法の開発で、それによってコーティング、⼤⾯積化、不純物の制御などが可能となり、低コスト化とともに⾼機能化を⼤いに期待させるものであった。その後20年を経て、材料「ニューダイヤモンド」は、その⼀部にコストや寿命など競争材料に太⼑打ちできず淘汰されたものも存在するが、いまだに可能性が期待されて発展途上にあるもの、ほかの材料を凌駕して商品化され市場に出回っているもの、新規登場のものなどさまざまである。
年

業績1955 ダイヤモンド⾼圧合成成功
1956

CCl4, CBr4 を原料とする熱CVD（特許）

1957 ⽴⽅晶窒化ホウ素の⾼圧合成成功

研究者名
F. P. Bundy
B. Spitsyn
R. H.
Wentorf, Jr.

⾼圧合成ダイヤモンド商品化
1958

炭化⽔素の熱分解によるダイヤモンドの合成（特許）1959 ダイヤモンド内の窒素の分析

所

属

GE
物理化学研究所（ソ）GEGE

Eversole
W. Kaiser

カーボランダム社（⽶）
Bell Tel.

Reference および本会誌掲載号
Nature, 176, p. 51-55（1955）, NEW DIAMOND 7, 38（1987）
USSR Inv. Certif., No. 339134（1956）
J. Chem. Phys., 26, p. 956（1957）, NEW DIAMOND
7, 38（1987）
NEW DIAMOND 7, 38（1987）
US Patent 3030187 and 3030188
Phys. Rev., 115, p. 857-863（1959）

International
ダイヤモンド内の窒素（ESR）

W. V. Smith

Business Machine

Phys. Rev., 115, p. 1546-1552（1959）

Corporation
1960 ベルト型⾼圧発⽣装置の開発
1961
1962

衝撃圧縮によるダイヤモンド合成
成功

P. S. DeCarli

ホウ素ドープダイヤモンドの⾼圧 R. H.
合成成功
半導体cBN の合成成功

1963

H. T. Hall

Wentorf, Jr.
R. H.
Wentorf, Jr.

Stanford Research

Science, 133, p. 1821（1961） , NEW DIAMOND 2,Institute16（1986）

GE
GE

J. Chem. Phys., 36, p. 1987-1990（1962） , NEW
DIAMOND 7, 38（1987）
J. Chem. Phys., 36, 1950（1962） , NEW DIAMOND
10, 21（1988）

爆発法ナノダイヤモンドの合成成

Nature, 333, p. 440-442（1988）, NEW DIAMOND

功74, 7（2004）

炭化⽔素の熱分解によるダイヤモ
1967 ンド合成と⽔素による⿊鉛成分の J. Angus
除去
1971

Rev. Sci. Instrum., 31, p. 125-131（1960）

カラットサイズダイヤモンド単結 R. H.
晶の合成成功Wentorf, Jr.

Case Western
Researve Univ.（⽶）
GE

J. Appl. Phys., 39, p. 2915（1968） 13, 40（1989）
J. Phys. Chem., 75, p. 1833-1837（1971）, NEW
DIAMOND 7, 38（1987）

ダイヤモンド内のホウ素の同定
Diamond-like carbon の発表（イオンビーム法）

A. T. Collins

加⼯1974
1976

L. E. Hibbs
Jr.

ンド状炭素膜の作製
⾼周波グロー放電法によるダイヤモンド状炭素膜の作製

1977
1979

Univ. Sussex（英）Lightowlers

R.M.Chrenko GE

オーストラリアダイヤモンド鉱⼭

ダイヤモンドの異質基板上での薄膜，単結晶の合成
認
熱フィラメント法によるダイヤモンド合成
マイクロ波プラズマ法によるダイヤモンド合成

E. J. Himpsel IBM（⽶）
B. Spitsyn

マグネトロンスパッタ法によるダイヤモンド状炭素膜の作製
焼結ダイヤモンドアンビルを使った⾼圧発⽣
1983

ダイヤモンドの電気化学電極への応⽤
RF プラズマ法によるダイヤモンド合成
熱フィラメントCVD 法における正バイアス効果

Phys. Rev. B, 20, p. 624（1979）
J. Cryst. Growth, 52, p. 219（1981）, NEW DIAMOND（ソ）

14, 44（1989）

Univ. Witwatersrand Appl. Phys. Lett., 41, p. 950（1982）

松本精⼀郎

無機材質研究所

加茂睦和

無機材質研究所

S. Craig

Jpn. J. Appl. Phys., 21, p. L183（1982）, NEW
DIAMOND 14, 44（1989）
J. Cryst. Growth, 62, p. 642（1983） , NEW DIAMOND
14, 44（1989）
Thin Solid Films, 96, p. 31（1982）

Weissmantel
Univ. Sydney（豪）Thin Solid Films, 97, p. 345（1982）
J. Jpn. Association of Mineralogists, Petrologists &遠藤将⼀

⼤阪⼤学

Economic Geologists（Special Issue 3）, p. 341（1982）, NEW DIAMOND 6, 16（1987）

岩⽊正哉

理化学研究所
無機材質研究所

松本精⼀郎

無機材質研究所

澤邊厚仁

⻘⼭学院⼤学

カラットサイズダイヤモンド単結晶商品化
超⾼圧単結晶のヒートシンク発売
ダイヤモンドのドライエッチング

Nature, 270, p. 141-144（1977）

J. F. Prins

1984 3 万トンプレスの製作
1985

Diamond Research Suppl.14（1976）

物理化学研究所

イオンプレーティング法によるダ C.
イヤモンド状炭素膜の作製

Thin Solid Films, 38, p. L17（1976）

ダイヤモンド展図録（2000）

パイプ発⾒

ダイヤモンドのバイポーラ動作確

1982

L. HollandLondon

察High Temperature-High Pressures, 6, p. 409（1974）

D.S. Whitmell AERE Harwell（英） Thin Solid Films, 35, p. 255（1976）の同定

発⾒1981

GE

Kingʼs College,

ダイヤモンドの負の電⼦親和⼒の1980

12, 18（1989）

ダイヤモンド中のp 形ドーパント E. C.
ダイヤモンド内の窒素の凝集の観NEW DIAMOND 7, 38（1987）
J. Appl. Phys., 43, p. 2956（1972） , NEW DIAMOND

E. G. Spencer

開発

J. Phys. C, 4, p. 1789（1971）
J. Appl. Phys., 42, p. 2953（1971）

GE

焼結ダイヤモンド・cBN ⼯具の直流グロー放電法によるダイヤモ

LondonS. Aisenberg

1972 ダイヤモンド焼結体⼯具の商品化
イオンビームによるダイヤモンドKingʼs College,N. N.
Efremow

Necl. Instrum. Methods phys. res., 209, p.
1129819839
NEW DIAMOND 1, 8（1985）
J. Mater. Sci. Lett., 4, p. 600（1985） , NEW
DIAMOND 14, 44（1989）
Appl. Phys. Lett., 46, p. 146（1985）, NEW DIAMOND
14, 44（1989）

住友電気⼯業NEW DIAMOND 16, 16（1990）

住友電気⼯業

住友電気，129, p. 99（1986）

MITJ. Vac. Sci. Technol. B, 3, p. 416（1985） , NEW
DIAMOND 62, 15（2001）

1986

⾼圧合成ダイヤモンドアンビルを使った⾼圧発⽣ダイヤモンド被覆タングステンチップ⼯具の開発
ダイヤモンド被覆焼結ダイヤモン
ド⼯具の開発
ダイヤモンド被覆超硬合⾦⼯具の商品化
ダイヤモンドコーティング超硬合⾦⼯具の開発

1987

直流プラズマ法によるダイヤモンド合成
ECR マイクロ波プラズマ法によるダイヤモンド合成
cBN のpn 接合作製に成功
⾦属添加ダイヤモンド状炭素膜（Me:DLC）の作製

⼩野寺昭史

⼤阪⼤学

奥住⽂徳

旭ダイヤモンド⼯業

吉川昌範

東京⼯業⼤学

菊池則⽂

三菱⾦属

池ヶ⾕明彦

住友電気⼯業

鈴⽊⼀博

⻘⼭学院⼤学

川原⽥洋

⼤阪⼤学

三島

無機材質研究所

修

H. Dimigen

Science, 232, p. 1419（1986）, NEW DIAMOND 9,10（1988）
NEW DIAMOND 5, 32（1987）
精密⼯学会誌, 55, p. 1645（1989） , NEW DIAMOND
6, 32（1987）
Mater. Sci. Eng., A105/106, p. 525（1988）, NEWDIAMOND 7, 26（1987）
粉体および粉末冶⾦，34，p. 411（1987）
Appl. Phys. Lett., 50, p. 728（1987） , NEW
DIAMOND 14, 44（1989）
Jpn. J. Appl. Phys., 26, p. L1032（1987） , NEW
DIAMOND 29, 32（1993）
Science, 238, p. 181（1987）, NEW DIAMOND 10,21（1988）

Philips

Appl. Phys. Lett., 50, p. 1056（1987）

住友電気⼯業NEW DIAMOND 5, 20（1987）

ダイヤモンドおよびダイヤモンド状炭素膜コーティング振動板の開 藤森直治
発ダイヤモンド状炭素膜のビデオ⽤

IEEE Trans. Magnetics, MAG-23, 5, p. 2410（1987）,

⿊川英雄

松下電器産業

M. W. Geis

MITIEEE Elect. Dev. Lett., EDL 8-341（1987）

藤森直治

住友電気⼯業NEW DIAMOND 5, 20（1987）

⿊川英雄

松下電器産業1988 燃焼炎法によるダイヤモンド合成 広瀬洋⼀

⽇本⼯業⼤学

蒸着テープ保護膜への適⽤
ダイヤモンドポイントコンタクト
トランジスタの試作
ダイヤモンド状炭素膜コーティン
グ振動板の開発
ダイヤモンド状炭素膜のビデオ⽤蒸着テープ保護膜への適⽤

NEW DIAMOND 11, 14（1988）

IEEE Trans. Magnetics, MAG-23, 5, p. 2410（1987） ,NEW DIAMOND 11, 14（1988）
Proc. 1st Int.Symp. Diamond and Diamond-like Films,Electrochem. Soc.,p. 80（1989）, NEW DIAMOND
10, 34（1988）

CVD ダイヤモンド⾃⽴膜ろう付け⼯具の開発

1989

奥住⽂徳

旭ダイヤモンド⼯業
Kingʼs College,

Proc. Superabrasiveʼ91, 15, p. 1-14（1991） , NEW
DIAMOND 9, 34（1988）

13C ダイヤモンドの⽋陥評価

A. T. Collins

X 線⽤ダイヤモンド窓の開発

K. V. Ravi

Crystallume

ダイヤモンドサーミスタの開発

中幡英章

住友電気⼯業

1st Intʼl Conf.New Diamond and Technol.（1988）

Kingʼs College,

J. Phys. Condens. Matter, 1, p. 4029（1989） , NEW

London（英）DIAMOND 18, 2（1990）

UC Berkeley

Science, 245, p. 84-842 47, 4（1997）

Crystallume

Appl. Phys. Lett., 55, p. 1391（1989）

塩⾒ 弘

住友電気⼯業Jpn. J. Appl. Phys., 28, p. L2153（1989）

村川正夫

⽇本⼯業⼤学吉川昌範

東京⼯業⼤学CVD ダイヤモンドで励起⼦発光の観察

A. Collins

超硬質C3N4 の予⾔

A. Y. Liu

H パッシベーションでダイヤモ

M. I.

ンドの電気抵抗変化観測

Landstrass

ダイヤモンドFET（電界効果トランジスタ）の研究開発
ダイヤモンド膜の塑性加⼯⽤型への応⽤
熱化学反応を利⽤したダイヤモン
ド膜の研磨

LondonJ. Phys. C Solid State Phys., 21, p. 1363（1988）
Proc. 1st Conference on Science and Technology of
New Diamond, p. 29（1988）

Surf. Coat. Technol., 36, p. 303（1988）, NEW
DIAMOND 15, 42（1989）
精密⼯学会誌, 55, p. 77（1989） 11, 18（1988）

1990

マイクロ波熱プラズマ法によるダイヤモンド合成
ベルジャー型マイクロ波プラズマ法によるダイヤモンド合成
cBN 上でのヘテロエピタキシャ
ル成⻑
同位体⾼純度ダイヤモンドの⾼熱伝導の観測
ダイヤモンド単体振動板の開発
パルスYAG レーザによるダイヤモンド薄膜の切断・平坦化

光⽥好孝
P. Bachmann
⼩泉聡の商品化
ダイヤモンド単体振動板の開発
ハードディスクへのダイヤモンド状炭素保護膜の適⽤
1991

バイアス法によるダイヤモンド核形成
STM による（1 0 0）表⾯上の2×1 構造の観察
気相合成ダイヤモンド粉・砥粒の試作
CVD ダイヤモンドTAB ツールの開発
ダイヤモンド表⾯伝導層の発⾒
眼内レンズへのDLC コーティン
グの応⽤
キャプスタンへのDLC コーティ
ング実⽤化
ダイヤモンドpn ダイオードの順
⽅向バイアス時電⼦放出観測
多結晶ダイヤモンド膜を使った
SAW フィルタ開発

1992

Si 上でのダイヤモンドのへテロ
エピタキシャル成⻑
表⾯弾性波フィルタへの気相合成
ダイヤモンド膜の適⽤多結晶ダイヤモンドを使った
MISFET の試作
ダイヤモンド被覆切削ドリルの開発1993 電⼦デバイス⽤CVD ダイヤ
モンドの製品化
ダイヤモンド⾼圧合成⽤リン触媒の発⾒Univ.（⽶）⻘⼭学院⼤学

Appl. Phys. Lett., 57, p. 563（1990） , NEW
DIAMOND 34, 8（1994）

⽥辺敬⼀郎

住友電気⼯業NEW DIAMOND 19, 26（1990）

吉川昌範

東京⼯業⼤学

精密⼯学会誌, 56, p. 2017（1990）

DeBeers

NEW DIAMOND 52, 2（1999）

⾚⽯

實変成岩からのダイヤモンドの発⾒ N. Sobolev
CVD ダイヤモンドヒートシンク

New Diamond, p. 65（1988）

Pennsilvania State

Phys. Rev. B, 42, p. 1104（1990）ct）合成
媒発⾒Proc. 1st Conference on Science and Technology ofT, R. Anthony GE

最⼤サイズダイヤモンド（34
ダイヤモンド⾼圧合成⽤⾮⾦属触

東京⼤学

無機材質研究所

J. Cryst. Growth, 104, p. 578-581（1990） , NEW
DIAMOND 19, 24（1990）

RussiaNauture, 343, p. 742-746（1990）

⽥辺敬⼀郎

住友電気⼯業

Private communication

⽥辺敬⼀郎

住友電気⼯業NEW DIAMOND 19, 26（1990）

正畑伸明

⽇本電気

NEW DIAMOND 16, 18（1990）

湯郷成美

電気通信⼤学

築野学

住友電気⼯業吉川昌範

東京⼯業⼤学

奥住⽂徳

旭ダイヤモンド⼯業

中幡英章

住友電気⼯業2nd Symp. Diamond Mat., p. 481（1991）

細⾕⽐左志

⼤阪⼤学

NEW DIAMOND 22, 21（1991）

中上祐⼀

松下電器産業

M. W. Geis

MITIEEE EDL, 12, p. 456（1991）

⿅⽥真⼀

住友電気⼯業

Diam. Relat. Mater., 2, p. 1197（1993）

B.R.Stoner

North Carolina State
Univ.

中幡英章

住友電気⼯業

宮⽥浩⼀

神⼾製鋼所

神⽥⼀隆

不⼆越G. LuNorton

⾚⽯ 實

無機材質研究所

Appl. Phys. Lett., 58, p. 1036（1991） , NEW
DIAMOND 36, 9（1995）

精密⼯学会誌，58，p. 277（1992） , NEW DIAMOND
20, 38（1991）
Proc. Superabrasiveʼ91, 15, p. 1-14（1991） , NEW
DIAMOND 23, 39（1991）

Thin Solid Films, 212, p. 240（1992） , NEW
DIAMOND 23, 34（1991）

Appl. Phys. Lett., 60, p. 698（1992）
IEEE Ultrasonics Conf. Proc., 377（1992） , NEW
DIAMOND 26, 38（1992）
Appl. Phys. Lett., 60, p. 480（1992） , NEW
DIAMOND 24, 41（1992）
NEW DIAMOND 27, 34（1992）
2nd Int. Conf. Appl. Diam. Films and Relat. Mater., p.
269（1993）Science, 259, p. 1592（ 1993）

固定砥粒ワイヤソーの試作
1994

SiC 上でのダイヤモンドのヘテロエピタキシャル成⻑
気相合成ダイヤモンド⾃⽴膜超精密切削バイトの試作
ダイヤモンド表⾯伝導層を使ったFET の開発

⾦沢⼯業⼤学

川原⽥洋

早稲⽥⼤学

Appl. Phys. Lett., 66, p. 583（1995）

吉川昌範

東京⼯業⼤学

精密⼯学会誌，60，p. 1654（1994）

川原⽥洋

早稲⽥⼤学

耐熱性ダイヤモンド焼結体の開発 ⾚⽯ 實

無機材質研究所

Ⅱ型⼤型ダイヤモンドの商品化

住友電気⼯業⾓⾕均

ダイヤモンド状炭素膜のPET ボ
ダイヤモンド状炭素膜のカメラの桑⼭健太

ダイヤモンド状炭素膜を⽤いたおさ⽻の開発
ダイヤモンド状炭素膜の時計の保護膜への応⽤
1995

ダイヤモンドのPt 上でのヘテロエピタキシャル成⻑
CVD ダイヤモンドスクラッチ試
験圧⼦の試作
ダイヤモンドを⽤いた圧⼒センサの試作
ダイヤモンドを⽤いたガスセンサの試作

ムへのDLC 膜の適⽤
ダイヤモンドp＋ -i-p＋構造FETの試作
1996

ダイヤモンドのIr 基板上でのヘテ
ロエピタキシャル成⻑
クラスタイオンビームによるダイ
ヤモンド膜の平坦化
3 インチ多結晶ダイヤモンドウェ
ハの開発
窒素添加多結晶ダイヤモンドからの電⼦放出観測

DIAMOND 58, 16（2000）

シチズン

NEW DIAMOND 48, 19（1998）

シチズン

NEW DIAMOND 8, 19（1988）
Diam. Relat. Mater., 6, p. 266（1997） , NEW

徳島⼤学

⽵内貞雄

⽇本⼯業⼤学

M. Werner

TU Berlin

Diam. Relat. Mater., 4, p. 873（1995）

W. P. Kang

Vanderbilt Univ.

Sensors and Actuators, B24, p. 421（1995）

Univ. Reading

Phys. Rev. B, 51, p. 1668（1995）

⿊川英雄

松下電器産業

電気学会研資，MC-95-1（1995）

横⽥嘉弘

神⼾製鋼所IEEE Trans. Electron Devices, 42, p. 2010（1995）

⼤塚⼀樹

⻘⼭学院⼤学

⼭⽥公

京都⼤学

藤井知

住友電気⼯業岡野健

⾼知⼯科⼤学

精密⼯学会誌，61，p. 142（1995）, NEW DIAMOND
37, 27（1995）

Jpn. J. Appl. Phys., 35, p. L1072（1996）, NEW
DIAMOND 44, 20（1997）
Nucl. Inst. Meth. Phys. Res., Section B 112, p. 248（1996）, NEW DIAMOND 40, 16（1996）
IEEE Ultrasonics Symp. Proc., 183（1997） , NEW
DIAMOND 53, 28（1999）
Nature, 381，p. 140（1996）, NEW DIAMOND 43, 22（1996）（2002）

M. D. Whitfi

Univ. College,eldLondon

R. D. Mokeag

DIAMOND 41, 22（1996）

機械設計，40, p. 4（1996） , NEW DIAMOND 66, 43

⾼負荷部品への適⽤の応⽤Diam. Relat. Mater., 5, p. 1359-1365（1996）, NEW

NEW DIAMOND 42, 20（1996）

ファス炭素膜積層コーティングの 浜⽥正樹

ダイヤモンドの深紫外線センサへ

第35 回⾼圧討論会要旨集31, 20（1993）

TOTO

タングステンカーバイド･アモル

ダイヤモンド紫外線検出器の試作

DIAMOND 45, 24（1997）

新⾕義廣

ダイヤモンド内のシリコンの同定 C. D. Clark
VTR シリンダ，有機感光体ドラ

Appl. Phys. Lett., 65, p. 1563（1994）, NEW

オリンパス

O-リングへの応⽤
⽔混合栓の開発

54, 34（1999）

キリンビール

トルへの応⽤（特許）ダイヤモンド状炭素膜を⽤いた温精密⼯学会誌, 59, p. 939（1993）, NEW DIAMOND

諏訪部仁

Univ. College,London

Appl. Phys. Lett., 68, p. 290（1996）
Appl. Phys. Lett., 67, p. 2117（1995）

リンをドープしたn 形ダイヤモン
ド半導体の合成1997

アンテナ型マイクロ波プラズマ法
によるダイヤモンド合成
ダイヤモンドの⾼品質ホモエピタ
キシャル成⻑
ダイヤモンド被覆切削チップの開発

⼩泉

聡

⾕⼭記⼀

⽤出⼒窓への応⽤

電⼦

DIAMOND 47, 26（1997）
Jpn. J. Appl. Phys., 40, p. L698（2001）
Diam. Films Technol., 7, p. 277（1997）, NEW

電⼦技術総合研究所

福井治世

住友電気⼯業NEW DIAMOND 65, 30（2002）

GE

Private communication

売ダイヤモンド膜のジャイロトロン

早稲⽥⼤学，ミクロAppl. Phys. Lett., 71, p. 1065（1997） , NEW

⽵内⼤輔

CVD ダイヤモンド光学部品の発1998

無機材質研究所今井剛

⽇本原⼦⼒研究所

カナダダイヤモンド鉱⼭の発⾒

DIAMOND 52, 7（1999）

Rev. Sci. Instrum., 69, p. 2160（1998） , NEW
DIAMOND 52, 26（1999）
ダイヤモンド展図録（2000）

ガイドブッシュ，繊維機械おさ⽻，ゴルフヘッドへのダイヤモン 杉⼭ 修

シチズン

NEW DIAMOND 48, 19（1998）

ド状炭素膜の応⽤
ホウ素ドープダイヤモンドの電気分解電極としての実⽤化
光通信⽤ダイヤモンドSAW フィ
ルタ製品化
ダイヤモンド深紫外⾮線形励起⼦発光効果の観測
⾼圧合成単結晶ダイヤモンドバイ
トの試作
ケミカルメカニカルポリシング⽤
ダイヤモンド⼯具の開発
B ドープダイヤモンドでの⾼移動度観測
1999

多結晶ダイヤモンド膜を使った
DNA チップの作成

栄⻑泰明

東京⼤学

中幡英章

住友電気⼯業渡邊幸志

電⼦技術総合研究所

⼩畠⼀志
原状炭素膜コーティング
2000

ダイヤモンドのエキシトン発光の⾮線形効果
sp3-sp2-H の三元状態図の発表

DIAMOND 62, 22（2001）

砥粒加⼯学会誌, 42, p. 168（1998）, NEW DIAMOND
50, 18（1998）
Jpn. J. Appl. Phys., 37, p. L109（1998）
第58 回⽇本癌学会総会記事 P.314（1999），BIO

⾼橋浩⼀郎

広島国際⼤学

INDUSTRY, 17, 6, p.44（2000）, NEW DIAMOND 71,7（2003）

住友電気⼯業Proc. ADC/FCT'99 p. 71（1999） , NEW DIAMOND
56, 16（2000）
Proc. SPIE, 3680, Symp. Design, Test, and柴⽥隆⾏

北海道⼤学

Microfabrication on MEMS and MOEMS, 1125
（1999）, NEW DIAMOND 57, 24（2000）

GE
⾓⾕ 均

住友電気⼯業

宇野 賢

HOYA

渡邊幸志

電⼦技術総合研究所

A.C. Ferrari

ペースメーカリード，ステントへのダイヤモンド状炭素膜コーティ ⽊村加奈⼦
ングAppl. Phys. Lett., 73, p. 981（1998） , NEW（1998） , NEW DIAMOND 51, 28（1998）

電⼦技術総合研究所

処理の開発

ガラスモールドへのダイヤモンド

DIAMOND 49, 22（1998）

1998 年度精密⼯学会秋季⼤会講演論⽂集, p. 261

⼭中貞則

茶⾊天然ダイヤモンドの⾼品質化バインダレスcBN 焼結体の開発

Jpn. J. Appl. Phys., 5B, p. 2918（1998） , NEW業
旭ダイヤモンド⼯業

シャル成⻑基板の合成

ング

DIAMOND 57, 18（2002）

⼤阪ダイヤモンド⼯知義

ダイヤモンド⼤⾯積ホモエピタキ

ダイヤモンド膜のマイクロマシニ

J. Electrochem. Soc., 145,1870（1998） , NEW

Univ. Cambridge（英）Diam. Relat. Mater., 9, p. 113-122（2000）
ASME 1999, Manufacturing Sci. Eng., MED, 10, p. 759（1999） , NEW DIAMOND 66, 24（2002）
オプティクス52, 14（1999）
Jpn. J. Appl. Phys., 39, p. L835（2000） , NEW
DIAMOND 62, 22（2001）
Phys. Rev. B, 61, p. 14095（2000）

聖マリアンナ医科⼤

⼈⼯臓器，29, p. 127（2000）, NEW DIAMOND 63,学

30（2001）

集束イオンビームを⽤いたアモルファス炭素⽴体ナノ構造の形成
ダイヤモンドのAFM プローブへの応⽤
ダイヤモンドMEMS マイクログ
リッパ試作
ダイヤモンドと⾦属の常温接合
2001

CVD ダイヤモンドドレッサの開発

姫路⼯業⼤学

柴⽥隆⾏

北海道⼤学

柴⽥隆⾏

北海道⼤学

須賀唯知

東京⼤学

NEW DIAMOND 56, 18（2000）

相川博勝

旭ダイヤモンド⼯業

NEW DIAMOND 61, 26（2001）

Univ. Ulm

Diam. Relat. Mater., 10, p. 722（2001）

E. KohnUniv. Ulm

Diam. Relar. Mater., 10, p. 1684（2001）

⿅⽥真⼀

住友電気⼯業NDFCT, 15, p. 349（2005）

川原⽥洋

早稲⽥⼤学

Phys. Status Solidi A, 185, p. 79（2001）

Uppsala Univ.

Sensors and Actuators, B79, p. 71（2001）

⾕内寛直

早稲⽥⼤学

IEEE Elec.Dev. Lett., 22, p. 391-393（2001）

⼩泉

物質・材料研究機構

Diam. Relat. Mater., 11, p. 307（2002）

福井治世

住友電気⼯業NEW DIAMOND 65, 30（2002）

A. Aleksov

Univ. Ulm

Dev. Lett., 23, 488（2002）

⽴⽊ 実

早稲⽥⼤学

Appl. Phys. Lett., 81, p. 2854-2856（2002）

⼊舩徹男

愛媛⼤学

ダイヤモンドを使ったDNA を合 M.
成するマイクロシステムの試作
ダイヤモンドを使ったDNA を合成するマイクロシステムの試作
SAW デバイス新製品展開多数（無線通信，共振器など）
電解質溶液ゲートFET の試作
ダイヤモンドマイクロシステムによるヘモグロビンなどの⽣体分⼦の分離検出
ダイヤモンド⾼周波動作確認
2002 ダイヤモンドpn 接合の作製
ダイヤモンド状炭素膜コーティン
グ切削チップの開発
ダイヤモンドを使って最⼤発振周
波数 fmax＝30 GHz 観測
ダイヤモンドを使った単電⼦トランジスタ動作確認
2003

バインダレスダイヤモンド多結晶体の⾼圧合成

AdamschikH.
Bjoerkman

聡

ダイヤモンド電極を使った電気分解による汚⽔処理装置
2004

気相法によるダイヤモンド超伝導体の合成
ダイヤモンドFET による酵素（バイオ）センサの試作
超伝導ダイヤモンドの⾼圧合成に成功
⾼品質hBN 単結晶の合成に成功
ダイヤモンド（1 0 0）⾯でn 形半導体の合成
ダイヤモンドpn 接合で紫外線発光を確認
ダイヤモンドFET による酵素（バイオ）センサの試作
メタルダイヤコンポジットヒート
シンク材料

2005

ダイヤモンド（1 0 0）⾯でのn形半導体の合成

J. Vac. Sci. Tech.. B, 18, p. 3168（2000）, NEW

松井真⼆

⾼野義彦
K-S. Song尚

Symp. Design, Test Maicrofab. MEMS and MOEMS,SPIE 3680, p. 1125-1999
IEEE J. MEMS, 9, 47（2000）, NEW DIAMOND 57,24（2000）

Nature, 421, p. 599（2003） , NEW DIAMOND 69, 28（2003）

CONDIAS

The Elctrochem. Soc., Spring 40（2003）

早稲⽥⼤学，物質・Appl. Phys. Lett., 85, p. 2851（2004） , NEW

材料研究機構DIAMOND 76, 26（2005）

早稲⽥⼤学

Jpn. J. Appl. Phys., 43, p. L814-L817（2004）

E. A. Ekimov Russia
⾕⼝

DIAMOND 65, 24（2002）

物質材料研究機構

Nature, 428, p. 542-545（2004）
Nature, Mater., 3, p. 404（2004） , NEW DIAMOND
75, 34（2004）加藤宙光

産業技術総合研究所

Appl. Phys. Lett., 86, p. 222111（2005）

堀内賢治

東京ガス

K. S. Song

早稲⽥⼤学

Jpn. J. Appl. Phys., 43, p. L814-L817（2004）

吉⽥克也

住友電気⼯業

Microelectron. Reliab., 44, p. 303（2004）加藤宙光

産業技術総合研究所

Appl. Phys. Lett., 86, p. 222111（2005）

第63 回応⽤物理学会，p. 501（2002） , NEW
DIAMOND 72, 6（2004）

ダイヤモンドの1 インチへテロエ
ピタキシャル成⻑
⾼配向ダイヤモンド膜を使った紫外線センサの開発
ロータリーエンジンコーナシール
へのダイヤモンド状炭素膜応⽤
ダイヤモンド⾼周波FET の⾼パ
ワー動作
パワーデバイス検討
⾼圧合成Ⅱa ダイヤモンド圧⼦の開発

前⽥真太郎

⻘⼭学院⼤学林神⼾製鋼所和志

第19 回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集，p. 50（2005） , NEW DIAMOND 82, 20（2006）
Jpn. J. Appl. Phys., 44, p. 7301（2005）, NEW
DIAMOND 81, 32（2006）

中⾕達⾏

トーヨーエイテック

NEW DIAMOND 79, 36（2005）

嘉数 誠

NTTElect. Lett., 41, p. 1249-1250（2005）

S. J. Rashid

Univ. Cambridge

⾓⾕

住友電気⼯業均IEEE Intʼ1 Symp. Power Semiconductor Devices,Proc., 315（2005）
Rev. Sci., Instrum., 76 , p. 026112（2005）, NEW
DIAMOND 77, 24（2005）