技 術 情 報 お お い た大分県産業科学技術センターニュース
センター長新年度のあいさつ
平成 年度事業・業務の概要
事業報告
・切削抵抗を一定化できる工具パスの開発
・デザイン経営資源化事業
・第 回半導体ビジネスチャンス研究会の開催
代表が来県視察・イタリアから

平成 年度業務実績
平成 年度職員配置
ニュース《平成 年度導入機器の紹介》
・高分解能走査電子顕微鏡
・スパッタリング装置
・表面粗さ測定装置

成果紹介
・によるネットワークコンピューティング

新年度のごあいさつ
昨年末より景気の上向き感が我が国全体に広がってき対応の東芝ております。当県におきましても、ノードに向けた多額の設備投大分新工場の建設と資、ダイハツの工場立地、キャノンのデジタルカメラ新工場の建設など話題に事欠かない状況であり、県の景況感指標も改善され始めています。しかしながら一方では、地場企業の調達比率等の向上など、この好機を持続的な地場産業の活性化につなげていくには、高度な技術力の修得あるいは設計、製作、納入にいたる即応体制などが非常に重要になってきております。センターとしましても、技術支援機関として、ますます県内企業の皆様方へのサービスの向上に精進しなければならないと感じております。加えて、三位一体の改革に伴う県の行財政改革プランが実行段階に入りました。予算、人事等において厳しい状況が予想される中で、これまで以上の県民への質の高いサービスを提供していくためには、改革プランに指摘されているように選択と集中あるいは民間活力や経営感覚の導入などの視点が極めて重要となります。
翻って、当センターでは、平成 年の組織改編、平成年の中期業務計画策定と実施を進めてきましたが、その理念は、効果的、効率的な業務遂行と技術立県へ向けての技術支援業務の充実であり、改革プランが目指すところと同質であると感じております。
いうまでもなくセンターは、県内企業の活性化に貢献すべく活動しておりますが、その業務評価の指標は、お客様である県内企業の方々の満足度であります。お客様が何を求め何を志向しているかを把握することは、センター業務の適正な方向性と運営を行ううえで極めて重要であると認識しております。また同時に、センターの技術力に対する信頼感の醸成および業務概要や技術支援施策等についての情宣活動もまだまだ不十分であると感じ社訪問ております。このため、平成 年度には企業産業科学技術センター長

古室昌徳を掲げ、目標を達成することができました。現在、得られた企業情報の分析とセンター業務への反映を検討して社訪問を実施いるところです。本年度も引き続き、しますが、加えて職員一人ひとりがお得意様とも言える企業を受け持ち、緊密に連携を図る特定企業重点方式も取り入れて、技術指導や共同研究開発への展開などにより、課題解決と事業化に向けた、質量両面におけるサービスの向上を図る予定です。技術相談・指導あるいは機器貸付におきましても、機器使用におけるライセンス制の導入などにより、通常勤務時間外や休日のサービスもできるように改善いたしました。また、県外からの技術支援要請に対しても積極的に相互対応ができるように九州・沖縄地域の工業系の公設試験研究機関の間の協力関係強化を図っているところであります。
このような従来支援策の充実とともに、本年度には、テクノインキュベート施設をセンター内に整備する予定です。これは文字通り、アイデア段階に近い新技術や新製品の研究開発を、センターや大分大学などとの協力のもとに、形あるものに孵化させるためのプログラムであり、ベンチャー企業や新技術、新製品開発企業のための事業立ち上げに貢献する予定です。
組織再編を行って 年目になります。県内企業へのサービス機関としての自覚をさらに高めていくとともに、センター内での情報の共有化、業務の分担や連携などの効率的、効果的な業務遂行により、県内企業、そして県民の期待に答えるような成果を挙げていくことで、真に、あなたの会社の研究室 と呼ばれる組織となるべく前進していきますので、関係機関の方々には今後ともご指導、ご鞭撻をお願いする次第です。

（センター長古室昌徳＠）平成
技 術 支 援技術相談
電話・来所・現地訪問による相談に対応します。
・必要に応じ技術相談を午後 時まで延長します。
但し、当日の午後 時までに受付を終えている必要があります。
・特許情報活用支援アドバイザー、特許流通アドバイザーとの連携により、特許相談にも対応します。
設備・機器の貸付
産業科学技術センターの設備・機器の貸付を行います。
・平日は午後 時まで
但し、午後 時以降の使用については事前の調整が必要です。
（土曜日 午前 時 午後 時，日曜日 午前 時 午
後 時）・機器操作の講習を受けていただき、機器の運転管理が十分な方にはライセンスを交付し、担当職員不在時や、原則として土曜、日曜日の機器利用が可能になります。
依頼試験・加工試作
企業等からの依頼による試験、分析、加工試作を行います。
受託研究
企業からの依頼による緊急課題を解決するための短期即応型受託研究を実施します。
企業訪問
企業ニーズや企業実態の把握のため、平成年度にかけ、毎年年度から社程度の企業訪問を実施します。

技術研修
法令や工業規格の改正に伴う講習会，社会的情勢の変化に対応する研修，実用化が確実な技術や企業ニーズに対応した研修を 課題程度実施します。
技術支援の強化
ものづくり融合化支援事業
競争力のあるものづくりに対応するため、独立行政法
人産業技術総合研究所が行っている、ものづくりにおける個人の技能の客観化、即ち再現性のあるデジタル化による加工データベースに基づく利用新生産シ
ステムの研究開発（デジタルマイスタープロジェクト）と連携した研究の実施や情報交換、提案型研究プロジェクトへの応募を目指した共同研究を行います。
ベンチャー企業試作支援事業
ベンチャー企業等が新製品を開発する際、加工技術や人材、施設等の資源を補うため、産業科学技術センターと企業技術者が連携して試作支援や技術助言を行います。
インキュベーション・ラボ入居企業への技術支援
ベンチャー企業や、センターと連携して研究開発を行う県内企業の研究開発の拠点として、 時間使用可能なインキュベーション・ラボ（貸し研究室）が、産業
大分県産業科学技術センターニュース

年度事業・業務の概要

科学技術センター庁舎内に整備されますので、入居企業に技術支援を行います。
（予定）募集 月、入居 月、部屋数 室

研 究 開 発県内企業との共同研究、国・独立行政法人・公益財団等から受託したプロジェクト研究、通常業務に対応した経常研究を実施します。
先導型共同研究事業
企業では解決が困難な緊急的技術課題について公募し、産業科学技術センターと企業とで協力して概ね ヶ月程度で集中して新技術の検証や課題の解決を行います。
（一次公募 月中、 課題程度）
新技術実用化促進研究開発事業
産業科学技術センターで基礎研究を行い検証された技術を技術移転可能なレベルに高め、実用化への道筋を明らかにします。
マイクロアクチュエータを用いたマイクロシステムの開発
放電加工による微細・特殊形状加工に関する研究
竹材の緑色保持技術の実用化研究
提案型技術開発受託研究事業（プロジェクト研究）
磨きレス加工が可能な金型用
発研究

加工システムの開金型加工における切削抵抗の最適化制御により、人手を要する磨き仕上げ工程を最小化する金型加工システム（加工システム）を開発します。
地域新生コンソーシアム研究開発事業（経済産業省）
杉樹皮製油吸着材微生物分解に関する研究
海上に流出した油を回収した杉樹皮製油吸着材に対し、環境にやさしい微生物による分解技術を開発します。
（日本財団・独立行政法人海上災害防止センター）
廃漁船高度利用技術開発
廃漁船を漁礁として再利用するための炭化処理の技術開発を行います。
（独立行政法人水産総合研究センター）
醤油麹分解液を利用した機能性飲料の開発プロセスの構築
醗酵・醸造産業と大学，産業科学技術センターが連携し、癒しや医療効果等を有す機能性食品の開発を行います。
都市エリア産学官連携促進事業（文部科学省）
異分野技術融合化事業
県下 の試験研究機関が連携し、地域資源の有効利用等、地域産業の競争力強化につながる技術課題に取り組みます。

地域産業集積中小企業活性化事業
日田玖珠地域の家具製造業，木材加工業を対象にして、産業科学技術センター日田産業工芸試験所を中心に生活者の健康や安全、環境に配慮した家具・木製品の分野 への進出を促進する研究開発や販路開拓の支援を行います。
─（経済産業省補助事業）
ナノテクノロジー調査研究事業
大分県におけるナノテクノロジーによる新事業創出を支援するため、専門研究者による講演会や意見交換会を開催し、事業化の調査研究を実施します。
（ ）ナノ・カーボン関連技術（ ）微粒子・微粉末関連技術
その他
企業ニーズ・地域資源活用・新規産業創出に基づくセンター単独での調業支援プロジェクトの検討や県内半導体関連企業が今後の技術開発の方向性を検討するため、半導体先端技術や動向についてのセミナーを開催します。
デザイン活用新商品開発支援事業
デザインを活用し、短期間に市場競争力のある新商品を開発するため、デザイナーや中小企業の経営者・工場長を対象とし、中央の第一線のアドバイザーらを招き、商品企画や市場調査等の研究会を開催し、併せて新商品の開発支援を行います。対象企業は公募により決定します。 （公募社程度 時期 月 月中旬）
産学官交流
産学官交流会の研究グループのコーディネータとして、産学官交流会を支援します。
広報・啓発活動
情報誌 大分県産業科学技術センターニュース
発行（ 月， 月， 月， 月）
科学技術フェアの開催 （ 月頃）

技 術 振 興半導体関連企業支援プロジェクト創出事業
半導体関連産業の現状と動向の調査・把握、産学官連携の検討、問題点の分析等を行い、大分県のコア技術としての特徴を捉えた次の世代に向けた半導体関連産の展示ホール活用による県内企業の技術や製品の紹介
産業科学技術センターホームページによる情報発信（企画管理部

小田原幸生

＠）事 業 報 告切削抵抗を一定化できる工具パスの開発
一般に凹部ポケット加工（粗加工）では、エンドミルという切削工具を用いて図形輪郭に沿って内側から外側へ凹部を広げてゆく工具パスが用いられます。たとえば正方形のポケット加工では図右のような工具パスによって加工されるのが普通です。しかし、この工具パスでは、図中に示すコーナ部で切削抵抗が非常に大きくなります。
これは、超硬エンドミルのように切削抵抗の増大により刃先の損傷が起きやすい工具では、ステンレスなど難削材を加工する際に一層問題となります。また、安全のため工具送り速度を低く設定すると加工時間が長くなり能率が悪くなります。従って、切削抵抗を一定にし、高速加工が可能な工具パスの生成が望まれていました。そこで今回、当センターの保有する切削抵抗の予測・制御技以上により作成された新しい工具パス（図左）を、ス、深さテンレス鋼の正方形ポケット加工（一辺、エンドミル直径）について、加工時間を等しくして、従来の工具パスとの比較工具寿命実験を行いました。その結果、加工できたポケットの個数は従来の約 倍となり、今回開発された工具パスの有効性が実証され、コストや加工能率の大幅な改善が実現しました。
現在、共同研究を行った企業で本アルゴリズムをもとに新しいがソフト化され、加工現場で活用されています。
切削加工など生産加工技術はオーソドックスな技術分
野ですが、今回の成果事例のようにアプローチによってはまだ開発や研究を行う余地のある分野です。皆様のご相談やご質問をお待ちしております。

術を用いて、県内企業と（独）技術総合研究所ものづくり先端技術研究センターと共同で 高機能ポケット加工用の開発 を行いました。
これまでの研究によれば、エンドミルと被加工物との干渉部の幾何的パラメータに着目することで切削抵抗の予測と制御が可能となっています。今回の切削抵抗の一定化は、これらパラメータを制御して新しい工具経路を設計することと、切削抵抗の目標値に応じて工具経路の場所ごとの送り速度を決めることにより行いました。さらに、エンドミルの切削干渉部が示す関与角が工具寿命に大きく影響するとの最近の研究成果から、工具パス上の切削関与角を制御する機能を付加してのアルゴリズムを作成しました。

図

正方形ポケット加工における工具パス（左 新（生産技術部大塚裕俊右 旧）＠大分県産業科学技術センターニュース）平成 年度デザイン経営資源化事業

第 回半導体ビジネスチャンス研究会の開催

本事業は、県内中小製造業の方を対象に商品開発の初期段階から デザイン を活用し、自社にオリジナルの開発工程を構築して頂くためにデザインや販路開拓の専門家が商品開発のお手伝いを行うものです。
デザイン は、単に商品の外見に関わる色、形づくりだけではなく、商品機能の高付加価値化、商品開発の工程や消費者ニーズの調査・分析をおこない効率的に商品開発を進めていく手法といえます。
昨年度は、人工大理石を製造している マロックスとソフト開発やパソコン販売を行っているが企業選定され、それぞれ商品開発研究会を組織し、約 カ月間にわたり商品開発を行ってきました。
マロックスは、ポリエステルの注型方式を基本技術としているため、テーマを 樹脂成形技術を活用したオリジナルプレートの開発 とし、平面状の印刷物等を樹脂で圧着してオリジナルプレート提供するシステムを開発しました。開発工程では、特に情報収集とアイディアの絞り込みに重点を置きました。

大分県半導体関連企業ビジネスチャンス研究会では、
月 日センターにおいて、第 回研究会を 名の参加者を得て開催しました。
アドバンステクノロジ ファイバイ
はじめに、ンテグレーション事業部長 大崎孝明氏による 先端実装技術の動向と将来展望 産官学連携プロジェクトを例にと題した講演があり、 世紀のネットワーク社会を支える先端実装技術の産学官研究開発プロジェクト
電子 技術研究開発プロジェクト についての紹介がありました。
その後、第 回共同研究創出分科会を行い、エスティ
ケイテクノロジー 、末九制御システム 、九州工業大
学マイクロ化総合技術センターより、話題提供をしていただきました。

は、大手家電メーカーやパソコン専門店が供給する従来型のパソコンとは違った新しい価値感を提供するパソコンの開発に取り組み、テーマを インテリア（生産技術部性を重視したパーソナルコンピュータの開発 としました。家庭に普及しているパソコンの状況把握としてアンイタリアからケートや聞き取り調査を詳細に行い、アイディア展開、ユーザーの想定を検討しました。
今後は、両企業がこれまで検証してきました開発工程を自社内に取り入れて商品化を目指すことになります。

秋本恭喜＠）

代表が来県視察

日田市の（協）
日田家具工業会（小埜澄夫理事長）は、
月 日
日に日本貿易振興会のミニ事業を活用し、イタリア北部のポルデノーネ県フリウリ州ウディネ市に最高経営責任者 スペある家具産業の支援企業ランツァ氏を招いて、家具産業交流を実施しました。
スペランツァ氏は、日田の家具関係者に対してイタリアにおける家具産業の概況、社の業務内容と企業との関係について講演を行い、品質保証機関としての重要性について述べられました。
は、化学 材料テスト 完成品テストの 部門で構成、実験依頼件数は約件、クライアントは社あり、そのうちの社とは年間契約を締結していることを紹介されました。
また、諸外国（例えば諸国）でも認められており、消費者にも認知されているとのことでした。企業との密接な交流体制が築かれており、家具の品質には絶対的信頼を確立されていました。
今後、技術や材料など、幅広い分野で産業交流することを確認しました。

上試作批評

下 アドバイザー研修会

当センターでは、本年度もデザイン活用新商品開発支援事業 として商品開発や販路開拓に関する取り組みの支援を行いますので、お問い合わせ下さい。
スペランツァ氏の講演（情報産業部吉岡誠司

大分県産業科学技術センターニュース＠）（日田産業工芸試験所

家具生産現場視察

石井信義＠）

成 果 紹 介

によるネットワークコンピューティング．はじめに（ク ノー ピ ク ス）はから起動できるのひとつで、をインストール済みのパソコンで簡単に環境を利用したり、ハードディスクへのインストールも可能です。オリジナルはドイツの氏が開発していますが、現在は日本語をはじめ様々な言語への対応や、医療や教育など特定分野向けにカスタマイズされたものなど多くの派生版があります。これまでそのような派生版を利用するには、近いをインターネットからダウンロードしてこむ必要がありましたが、も．

環境におけるの利用
ファイルがインターネット上で公開されると、
誰 で も、 い つ で も、 ど こ か ら で も、 希 望 す る 派 生 版を利用できるようになります。しかし、インターネットのような環境でデータを転送するには セ キュ リ ティ に よ る 保 護 が 不 可 欠 で あ り、を安全に利用するにはセキュリティに対応したネットワークファイルシステムが必要です。このため、図 のようにサーバ・クライアント間の通信にイメージに書き（以下、プロトコルを利用する（）を採用しました。ユーザは以下の例に示すよ
うにと略記）を使うことで、へ書きこまなくてを仮想計算機のように利用できます。

サーバの公開鍵の暗号化ハッシュを含んだパスを指定することで、ローカルマシン上のファイルをアクセスする場合と同様に、 コマンドやコマンドでとはサーバ上のファイルに容易にアクセスできます。

ユーザプロセスとして実行可能なカーネル で、商用の算機環境を提供しますが、などでも同様の仮想計は同様にオープンソースとして開発されています。ローカルマシンやネットワークマシン上に＠…（略）…
サーバ名）
…（略）

ホスト

ファイルから取り出したファイルを保存し、起動時にそのファを含めたを利用イルを指定することでできます。図 に起動の概要を示します。
から起動するをホスト、また、ホストからで起動したをゲストと呼びます。図はファイルがローカルマシン上にある場合の例で、ゲストからはファイルをループをバックマウントしています。以下ではこのゲストと呼びます。図 はの起動画面の一例です。

図

図 はいるときのによるセキュリティ対策サーバ上にファイルが用意されて起動の概要を表しています。
図 と比較した場合にユーザにおける違いは、ファイルを指定する際のパスがローカルか、サーバ上かという点だけであり、のようにルート権限でのマウント処理は必要ありません。
ではユーザ
権 限 で サー バ 上 の ファ イ ル に ア ク セ ス で き る た め、環境で不特定のユーザが安全に利用するのに適しています。

図

ファイルを利用した図の起動の起動画面例

図

サーバ上のを利用したの起動

大分県産業科学技術センターニュース．

サーバの利用における性能評価をベースとしており、そのオーバヘッドがの起動に影響を与える可能性がありますので、環境での利用に要求される回線能力はを あ ら か じ め 調べておく必要があります。そ こ で、サーバ、クライアント（ともに、メモリ）をギガビットハブへ接続し、サーバ
ファ イ ル を 指 定 し て
種 類 の上 のを起動する際に転送されるパケットをもとに起動時間等を計測しました。図 は計測結果の一例で、起動時のデータ転送量を表しています。
デスクトッ
プ環境の起動完了をの起動完了から利用することで短縮できると考えられます。一方、
秒の区間はス ルー プッ ト が 高 かっ た 起 動 後ウィンドウが、 秒以降にはが起動することがわかりました。そこでデスクトップ環境の違いを検証するため、 種類のデスクトップについて比較しました。図
はデータ転送量、図 はスループットをそれぞれ表しています。結果から
ではデータ転送量が約、など幾つかのデ起動時間が 秒であるのに対し、スクトップ環境ではデータ転送量は半分程度で起動時間
も 短 い こ と が わ か り ま し た。 ま た、 ス ルー プッ ト はが最も高く、約でした。としたとき、データ転送量は約、起動時間は秒でした。一方、 秒間に転送したデータ量をスループッ
トと定義し、起動にかかる区間について計算しました。
これはインターネットからを起動する際に要求される回線帯域の参考となります。スループッ
トの計算結果は図 のように変動があり、最大で約でした。表 にそれぞれの計測結果についての平均値をまとめています。

図デスクトップの違いによるデータ転送量の比較

KDE
xfce
twm
icewm
fluxboxwmaker
図

起動時のデータ転送量

図

デスクトップの違いによるスループットの比較．まとめ
環境でを利用する際の指標とす る た め に 性 能 評 価 を 行 な い ま し た。 そ し て、 高 速
図起動時のスループット

表

起動時における計測結果

地域の新たな活用法としてのの利用や、やサービス等によるアプリケーショ

データ転送量
起動時間

ンの検索や配布等について検討したいと考えています。

スループット

図におけるスループットの低い区間（起動開始後秒秒）と高い区間（同 秒秒）に注目し、さらに詳しく解析したところ、スループットの低い区間はハードウェア自動検出機能を実行していました。これはホストなどのブロードバンド環境が望ましいものの、低速な回線環境でもデスクトップの選択次第では実用になる可能性があることを確認しました。今後は、高速ネットワーク網 豊の国ハイパーネットワークを利用し、のハードウェア情報をゲスト

大分県産業科学技術センターニュース

本研究にあたり、独立行政法人産業技術総合研究所の須崎氏はじめ関係者に感謝します。また、本内容は情報処理学会第 回全国大会（）で発表しました。

（情報産業部後藤和弘＠）

平 成
項

目

単位 情報産業部

口頭発表 学 会
研
口頭発表 その他
究発論文発表 学 会
表
その他投稿
特許等出願
特許等登録
特許等実施許諾
特別研究
一般研究
その他の研究（受託研究等）
試作開発・製品開発

研
究業
務

依頼試験
設備利用技術支援業務技術相談
技術指導
技術者・研究者の養成
講習会・研修会の開催
学生実習
技術情報誌発行
報告書等発行試験研究機関連絡会議委員会 幹事会 専門部会
研究会活動
産学官交流会等
工業技術連絡会議
連合部会活動

技術
振興
業
務

講師派遣
委員・審査員等派遣
事業支援
研究開発成果普及事業
報道取材等
視察・見学

展示会
企業訪問

備考

生産技術部

材料科学部

日田産工試

竹センター
研究指導課

年 度 業 務 実 績

技術支援部

企画管理部

件
件
件
件
件
件
件
件
件
件
点
件数
項目
件
時間
件
件
日
人
件
人
件
人
回
回
回
人
回
人
回
人
件
人
件
人
件
回
回
件
人
回
社

（（合計）
）

依頼試験 材料や製品の分析、試験、計測等
技術相談 企業の日常的な技術課題への相談対応
技術指導 技術相談に伴う技術指導や現地指導
共通 産業科学技術センターニュース（年 回）
共通 研究報告書・業務概要

平 成部 ・ グループ名

企画管理部

技術支援部

産業デザイング ルー プ
情報産業部
情報システムグ ルー プ

計 測 制 御グ ルー プ

生産技術部

生 産 加 工グ ルー プ

機能デバイスグ ルー プ

センター長
次長
職
名
氏
副部長
中 原
主幹
佐々木主幹
淵主幹研究員
小田原
主任研究員
大 内主査
佐々木
技師
是 枝部長
北 坂
副部長
樋 田
主任研究員
水 江）
坂 下部長（主任研究員
吉 岡
佐 藤
主任研究員（兼 援））
佐 藤副部長（主幹研究員
佐 藤研究員
後 藤研究員幸）鶴 岡
副部長（主任研究員（兼 援）
船 田
主任研究員
重 光
主幹研究員（）
清 高
主幹研究員
大 塚
研究員
城 門研究員
園 田）
秋 本
主幹研究員（主任研究員
小 幡
主任研究員
池 田
研究員
江 田

古室昌徳
（兼 生産技術部長）
田中康則 （兼 企画管理部長）
名
部 ・ グループ名
恵
孝 一
地域資源
グループ
信 子
幸成
則光生
司彰
臣
学
宣 英
宏
仁 志誠 司
幸志郎
哲 哉
辰 雄
和 弘
嘉平太
一 廣
昌
和 夫
稔 勝
裕 俊由 人
正 樹
恭 喜
睦 憲
哲
善 昭

材料科学部

工業化学
グループ

食品科学
グループ

日田産業工芸試験所

大分県
竹工芸・訓練支援センター（研究指導課）兼援デ
資年 度 職 員 配 置

職名）
部長（主幹研究員
主幹研究員
主任研究員
副部長（）
主任研究員
研究員
研究員
主任研究員（）
主任研究員
研究員
研究員
所長（兼 援）主幹研究員（兼 デ）主幹研究員（兼 資）主任研究員（兼 資）主任研究員（兼 資）
研究員（兼 デ）課長（兼 援）主幹研究員（兼 デ）主幹研究員（兼 資）主任研究員（兼 デ）
研究員（兼 デ）

氏
玉 造
佐 藤
大 野
齊 藤
後 藤
池 邉
柳谷 口江 藤山 本
水 江
佐 野
石 井坂 本二 宮
古 曳山 本
兵 頭
宮 崎
豊 田
阿 部
小 谷
濱 名

名公 男
壱
善 隆
雅 樹
文 治
豊
明 洋
秀 樹
勧
展 久
智 子
一 成
信 義
晃
信 治
博 也
幸 雄
敬一郎
徹
修 身
優
公 人
直 美グループリーダー
兼務
技術支援部
産業デザイングループ
地域資源グループ大分県産業科学技術センターニュース

ニュース《 平成年度導入機器の紹介 》

高分解能走査電子顕微鏡
依頼試験、研究開発、県内企業への貸付に使用してきた走査電子顕微鏡）を更新しました。新しく設置されたものは高分解能形で（と呼んでいます。これまで同様に、製品中の異物分析や表面観察、微小部分の元素分析や県内企業の研究開発等に幅広く利用していきます。
本装置は、ユーザーによる複雑な調整がほぼ不要で、ジョイスティックとマウス等で操作することができ、撮影した画像はデジタルデータとして保存できます。倍率は 万倍程度可能です。また、旧機と同様に元素分析）を備えています。
機能（【主な仕様】
・型 式・電子銃・分解能
・元素分析・使用料
・分析手数料（日本電子製）
電界放出形
（）、
（）
ポイント、ライン、マッピング
観察
円 時間 分析
円 時間
観察
円（基本）
円
（追加） 分析円（基本）（材料科学部円（追加）

谷口秀樹＠）

秋本恭喜＠）

重光和夫＠）

スパッタリング装置
日本自転車振興会の補助事業により、（株）アルバック製スパッタ装置
型式を導入しました。本装置は、薄膜（多層）を作製するための研究開発用スパッタ装置です。などの半導体分野、などのデイスプレイ分野、・薄膜は、 ・などの磁気・光の記録分野で根幹となるデバイスです。
【特長】
タッチパネルからの操作により、排気、搬送、加熱、スパッタリング
プロセスが全自動化され、レシピ管理で一括制御が可能です。
【主な仕様】
・スパッタ方式
・基板サイズ・ターゲットサイズ
・基板加熱
・スパッタ電源

デポジションアップ
静止対向型マグネトロンスパッタインチ
枚インチ
枚
最大台

（生産技術部

表面粗さ測定装置
方向分解能オングストローム（， ナノメートル）オーダーの表面粗さ測定装置（ 次元ナノ形状測定装置）を導入しました。
本装置は、最新規格に準じた表面粗さや 次元粗さの測定はもとより、（カーボ微小な測定圧と高分解能によって、ウエハ上に成長させたンナノチューブ）やフィルム表面の形状など、数ナノメートルオーダーの次元形状を測定することができます。
【主な仕様】
・最大サンプルサイズ
・最大積載質量・ 方向測定範囲
・ 方向分解能・測定力
・ 軸真直度・メーカー
・使用料（レンジ））（（（株）小坂研究所
円 時間）（生産技術部

機器のご利用に関しては、各担当にお問い合わせください。
技術情報おおいた〔大分県産業科学技術センターニュース〕
大分県大分市高江西 丁目
大分県産業科学技術センター 技術支援部

発行

平成年月日

＠

大分県産業科学技術センターニュース
古紙配合率70％再生紙を使用しています