京都市産業技術研究所

レーザーアブレーション /ICP 発光分析法によるガラス中の微量成分分析
金属系チーム
技術支援研究フェロー
要南
菊内秀明，山梨康正

眞生，塩見昌平，丸岡智樹，門野純一郎

旨レーザーアブレーション /ICP 発光分析法によるガラス中の微量成分（ストロンチウム（Sr），バリウム（Ba），チタン（Ti），ジルコニウム（Zr），ハフニウム（Hf））を分析する目的として，レーザー出力およびカルシウム（Ca）による内標準測定の影響について検討した。その結果，レーザーアブレーション条件（照射径 150 μm，走査速度：50 μm/s，レーザー出力：70 % [3.2 mJ]，パルス周期：20 Hz，アブレーションパターン：矩形ライン）において，分析面積：1 mm2 で Sr，Ba，Ti，Zr，Hf の測定が可能であることが分かった。また，内標準測定は，選択波長の最適化が必要であるものの，測定値のバラツキ補正に有効であることが示唆された。

1．緒

きにくい高い強度，薄型，軽量化が求められている 7, 8）。

言ガラスは，光透過性，絶縁性，耐薬品性などに優れてガ ラ ス の 機 能 性 向 上 に お い て は，SiO2 − Al2O3 −いるため，自動車，建築，ディスプレイ，ガラスファイMOx（M：金属）の配合比率が特に重要となることから，バー，ガラス食器など産業から身近な生活空間まで広く合成されたガラスの組成分析が必要不可欠となってい利用されている。板ガラス，液晶ディスプレイ用途向け

る。また，使用済みガラスの再資源化においては，原料のガラスについては，日本のガラスメーカーが高い技術となる小さいガラス破片の組成分析が要求されている。

力を武器に世界シェアを有している。しかし，中国など

通常，ガラスの組成分析は，酸分解やアルカリ融解法なの新興国の台頭により更なる高機能ガラスの開発が必須

どの前処理により試料を水溶液化し ICP 発光分析法やとなっている 1-3）。

滴定などの化学分析を行う。しかし，ガラスの配合組成

ガラスの代表例であるケイ酸塩ガラスの化学組成は，によっては①前処理に時間がかかる，②分解時に測定成

SiO2 を主成分として，Al2O3 が安定化成分として付加さ分が揮散，③コンタミネーション（汚染）などに注意がれる他，Li2O，Na2O，K2O，CaO などの添加成分 MOx（M：必要である。そのため，試料を水溶液化することなく固金属）からなっている。その組成からソーダ石灰ガラス，体のまま直接測定できる分析手法が求められている。現

ホウケイ酸ガラス，鉛ガラス（クリスタルガラス），石在，蛍光 X 線分析法 9） などが一部利用されているが，英ガラスなどに分類されている 4）。酸化鉛を含むクリスリチウムやほう素などの軽元素の検出感度不足，あるいタルガラスは，低温加工性，高い電気抵抗性，放射線遮は少量ガラス破片などでは十分な測定感度が得られない蔽効果などを有しており，CRT などに利用されていた。などが課題となっている。そのため，固体試料直接分析

しかし，昨今の環境意識が高まる中，酸化鉛の代替成分法としてレーザーアブレーション /ICP 質量分析法（LA/として，低温で軟化する効果が高いリチウム（Li）や耐ICP-MS）に関する検討がなされている 10-14）。筆者らも水性向上のためのカルシウム（Ca）やマグネシウム

レーザーアブレーション /ICP 発光分析法（LA/ICP-（Mg），電気抵抗の向上に有効なストロンチウム（Sr），AES）を用いて銅合金や鉛フリーはんだ等の金属材料中バリウム（Ba）などを配合した鉛フリーガラスが開発の微量成分分析について検討を行っている 15-17）。レー

されている 5, 6）。また，Al2O3 が添加されたアルミノケ

ザーアブレーション /ICP 法は，レーザー光を固体試料

イ酸塩ガラスは，スマートフォンやタブレットなどのモに照射し，試料の一部をエアロゾル（微粒子）として取バイルディスプレイのカバーガラスとして注目されていり出し，その微粒子を直接 ICP へ導入し測定を行う手る。モバイル機器では，画面に直接触れ操作を行う，あ法である。ICP 部に質量分析計を備えた LA/ICP-MS でるいは落下の恐れがあるため，カバーガラスには傷がつ

は，リチウムやほう素などの軽元素をはじめ高感度分析̶ 49 ̶

研究報告

№ 8（２０１８）が可能となる他，数 10μm の空間分解能で元素イメー

考 値 は，Sr：515.5 mg/kg，Ba：453 mg/kg，Ti:437

ジング測定ができることから，医薬品開発や地球科学分mg/kg。である。また，Hf，Zr に関しては論文に記載

野 へ の 応 用 展 開 が 図 ら れ て い る 18-21）。 一 方，LA/された値，Hf：435 mg/kg，Zr：448 mg/kg を採用し

ICP-MS による定量については，アブレーションによりた 22）。測定試料は，市販のガラス試料を用いた。

発生する微粒子量が逐次異なるため，定量性の向上を目的とした内標準測定による強度補正などの検討が行われ2.3

分析操作ている。しかし，本研究の測定対象としたガラス試料は，測定試料をレーザーアブレーションの試料セルにセッ

カ ル シ ウ ム と ス ト ロ ン チ ウ ム が 含 ま れ て お り，LA/トし，照射パターン，照射径，スキャンスピード，レーICP-MS では，ストロンチウム（84Sr，86Sr，87Sr，88Sr）

ザー出力，パルス周期，ヘリウムガス流量を設定し，アとカルシウム（42Ca，43Ca，44Ca）が干渉するため，カブレーションを開始する。予備アブレーションの後，生ルシウムを内標準元素として利用し定量性を向上させる成したエアロゾル（微粒子）のプラズマへの導入が一定ことは難しい。になってから，各元素の発光スペクトル強度を積算し，そこで，本研究では Ca と Sr の分光干渉の影響が少溶液分析と同様に連続 3 回測定した。必要とする測定時なく Ca を内標準測定に適用可能なレーザーアブレー

間は，検討（測定）する波長数によって測光時間が異なション /ICP 発光分析法に着目し，ガラス中の 2 族：カるため，分析メソッド作成時に確認し決定した。

ルシウム（Ca）【内標準】，ストロンチウム（Sr），バリウム（Ba），4 族：チタン（Ti），ジルコニウム（Zr），ハフニウム（Hf）の定量分析を試みた。今回は，レーザー

表 1 レーザーアブレーション /ICP 発光分析法の測定条件

出力およびカルシウムによる内標準測定の影響について㻵㻯㻼䇲㻭㻱㻿
㻾㻲䝟䝽䞊䝥䝷䝈䝬䜺䝇ὶ㔞䝛䝤䝷䜲䝄䞊䜺䝇ὶ㔞ᐃἼ㛗䠖䜶䝅䜵䝹ศගჾ㻯㼍㻙㻝㻤㻠㻚㻜㻜㻢㼧㻠㻤㻟㼩䠖ෆᶆ‽㻮㼍㻙㻞㻟㻜㻚㻠㻞㻠㼧㻠㻠㻢㼩㻿㼞㻙㻞㻝㻢㻚㻡㻥㻢㼧㻠㻡㻢㼩㻴㼒㻙㻞㻢㻟㻚㻣㻤㻝㼧㻠㻠㻤㼩

検討した結果を報告する。
2．実
2.1

験

装置構成

装置構成は，サーモフィッシャーサイエンティフィッ
ク製 iCAP6500Duo に，CETAC 製レーザーアブレーション（LSX-213，G2）をテフロンコーティングしたタイゴ

㻸㼍㼟㼑㼞㻌㼍㼎㼘㼍㼠㼕㼛㼚↷ᑕ䝟䝍䞊䞁䝺䞊䝄䞊≉ᛶ↷ᑕᚄ䝇䜻䝱䞁䝇䝢䞊䝗䝺䞊䝄䞊ฟຊ䝟䝹䝇࿘ᮇ䜺䝇ὶ㔞䠄㻴㼑㻕ンチューブで接続した。図 1 にレーザーアブレーションシステムの概略図を示す。
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今回検討したガラス試料を測定するための ICP-AES䜰䝟䞊䝏䝱䞊

図１及びレーザーアブレーションの諸条件を表 1 に示す。使䝃䞁䝥䝹䝉䝹㻴㼑䜺䝇㻭㼞䜺䝇

用した ICP 発光分析装置は，プラズマにより発光した

レーザーアブレーションシステム

光をエシェル分光器により 2 次元に分光した上で CID素子に導入し測光する機構になっている。また，低波長2.2

試料域（230 nm 以下）の波長分解能を高めるために，光学ガラス標準物質として，N a t i o n a l I n s t i t u t e o f系の切替え機構により 230 nm 以下の光だけを CID 素子

Standard and Technology（NIST）製の認証標準物質に導入する低波長モードを搭載している。表 1 に示す

SRM-611 を用いた。測定対象成分の認証値もしくは参Ca̲184.006{483} の 波 長 表 記 は， 元 素 名 ̲ 波 長｛ 次 数 ｝

̶ 50 ̶

京都市産業技術研究所を表しており，次数 483 はエシェル分光器の次数に＋300 した値が表示されており，低波長モードで測定していることが分かるようにした。
3．結果と考察3.1

ICP 発光分析における測定波長について

ガラス分析における測定波長については，表 2 に示す複数の測定波長から各元素のピークプロファイルを確認し決定した。通常の測定では，最大感度を示す波長から優先的に選択するのが一般的である。しかし，レーザーアブレーション法では，主成分から微量成分まで全ての成分を ICP へ直接導入するため，測定波長によっては

図２

レーザー出力による強度への影響
各元素のレーザー出力 30％を 1 として規格化検出上限をオーバーすることもあり，比較的感度の低い波長も合わせて検討し，最適な波長を選択した。今回の装置は，全波長を測定する全波長モードと低波長域を測測定では，カルシウムを内標準元素に指定し，各元素の定する低波長モードの 2 つの波長域モードがあり，高波強度を補正した。内標準元素として強度補正するために長域と低波長域を別々に測定している。今回の検討ではは，各元素と内標準元素の発光挙動が似通っている必要

波長域モードの違いで発光挙動が異なる結果が得られがある。そこで，レーザー出力を変化させたときの発光た。そのため，内標準測定において，Ca̲184.0｛483｝挙動について確認した。その結果を図 2 に示す。縦軸は，と Ca̲318.1{106} の 2 つの波長をそれぞれの波長域モーレーザー出力を 30，50，70 と変化させたときの発光強ドに合わせて選択することにした。

度（レーザー出力 30% を 1 として規格化）の変化を示す。
そ の 結 果， 図 中 の 黒 塗 り で 示 し た マ ー ク の Ba̲230.43.2

LA 条件について｛446｝，Sr̲216.5｛456｝，Ca̲184.0｛483｝と図中の白抜

レーザー出力を変化させた時の発光強度への影響につき で 示 し た マ ー ク の Hf̲263.8{128}，Ti̲336.1｛100｝，いて検討した結果，図 2 に示したようにレーザー出力のZr̲327.3｛103｝，Ca̲318.1{106} の二つの発光挙動パター

増加とともに得られる発光強度が大きくなる傾向にあっンを示すことが分かった。今回使用した ICP 発光分析た。しかし，レーザー出力 70 % を超えると，試料から

表2㻯㼍㻮㼍

測定波長の確認リスト㻴㼒㻿㼞㼀㼕㼆㼞㻝㻤㻟㻚㻤㻜㻝㼧㻠㻤㻟㼩↓ 㻞㻞㻡㻚㻠㻣㻟㼧㻠㻠㻥㼩↓ 㻞㻝㻟㻚㻠㻡㻟㼧㻠㻡㻤㼩㻞㻝㻡㻚㻞㻤㻠㼧㻠㻡㻣㼩㻝㻥㻜㻚㻤㻞㻜㼧㻠㻣㻣㼩㻞㻠㻡㻚㻣㻠㻠㼧㻝㻟㻣㼩䖪 㻝㻤㻠㻚㻜㻜㻢㼧㻠㻤㻟㼩䖪 㻞㻟㻜㻚㻠㻞㻠㼧㻠㻠㻢㼩㻞㻟㻞㻚㻞㻠㻣㼧㻠㻠㻡㼩䖪 㻞㻝㻢㻚㻡㻥㻢㼧㻠㻡㻢㼩㻟㻜㻤㻚㻤㻜㻞㼧㻝㻜㻥㼩㻞㻡㻢㻚㻤㻤㻣㼧㻝㻟㻝㼩㻟㻝㻡㻚㻤㻤㻣㼧㻝㻜㻣㼩㻞㻟㻟㻚㻡㻞㻣㼧㻠㻠㻡㼩㻞㻡㻝㻚㻟㻜㻟㼧㻝㻟㻠㼩↓ 㻞㻞㻤㻚㻞㻜㻜㼧㻠㻠㻤㼩㻟㻞㻟㻚㻠㻡㻞㼧㻝㻜㻠㼩㻞㻡㻣㻚㻝㻟㻥㼧㻝㻟㻝㼩㻟㻝㻣㻚㻥㻟㻟㼧㻝㻜㻢㼩↓ 㻞㻟㻠㻚㻣㻡㻤㼧㻝㻠㻠㼩䖪 㻞㻢㻟㻚㻣㻤㻝㼧㻝㻞㻤㼩㻟㻠㻢㻚㻠㻠㻢㼧㻝㻥㻣㼩㻟㻟㻠㻚㻥㻜㻠㼧㻝㻜㻠㼩↓ 㻞㻢㻜㻚㻣㻤㻜㼧㻝㻞㻢㼩㻠㻝㻟㻚㻜㻢㻢㼧㻤㻞㼩㻞㻢㻠㻚㻝㻠㻝㼧㻝㻞㻤㼩㻟㻠㻢㻚㻠㻠㻢㼧㻥㻣㼩ᖸ 㻟㻟㻠㻚㻥㻜㻠㼧㻝㻜㻝㼩㻞㻢㻣㻚㻤㻢㻟㼧㻝㻞㻢㼩㻟㻣㻜㻚㻢㻜㻟㼧㻥㻝㼩㻠㻡㻡㻚㻠㻜㻟㼧㻣㻠㼩㻞㻣㻣㻚㻟㻟㻢㼧㻝㻞㻝㼩㻠㻜㻣㻚㻣㻣㻝㼧㻤㻟㼩ᖸ 㻟㻟㻠㻚㻥㻠㻝㼧㻝㻜㻝㼩↓ 㻞㻢㻥㻚㻥㻢㻜㼧㻝㻞㻡㼩䖪 㻟㻝㻤㻚㻝㻞㻤㼧㻝㻜㻢㼩↓ᖸ㻟㻣㻟㻚㻢㻥㻜㼧㻥㻜㼩㻠㻥㻟㻚㻠㻜㻥㼧㻢㻤㼩㻞㻤㻡㻚㻜㻞㻞㼧㻝㻝㻥㼩㻠㻞㻝㻚㻡㻡㻞㼧㻤㻜㼩䖪 㻟㻟㻢㻚㻝㻞㻝㼧㻝㻜㻜㼩↓ 㻞㻣㻠㻚㻜㻟㻡㼧㻝㻞㻟㼩↓㻟㻥㻜㻚㻟㻢㻢㼧㻤㻢㼩㻙㻟㻟㻥㻚㻥㻤㻜㼧㻥㻥㼩㻙㻟㻞㻣㻚㻞㻤㻢㼧㻝㻜㻜㼩㻞㻣㻡㻚㻤㻤㻝㼧㻝㻞㻞㼩↓㻟㻥㻢㻚㻤㻠㻣㼧㻤㻡㼩㻙㻙㻙㻟㻟㻤㻚㻟㻣㻢㼧㻝㻜㻜㼩䖪 㻟㻞㻣㻚㻟㻜㻡㼧㻝㻜㻟㼩㻠㻞㻞㻚㻢㻣㻟㼧㻤㻜㼩㻙㻙㻙㻟㻡㻝㻚㻜㻤㻠㼧㻥㻢㼩㻟㻟㻥㻚㻝㻥㻤㼧㻥㻥㼩㻠㻟㻝㻚㻤㻢㻡㼧㻣㻤㼩㻙㻙㻙㻟㻢㻤㻚㻡㻞㻜㼧㻥㻝㼩㻟㻠㻟㻚㻤㻞㻟㼧㻥㻤㼩㻙㻙㻙㻙㻙㻟㻠㻥㻚㻢㻞㻝㼧㻥㻢㼩䖪䠖㑅ᢥἼ㛗䠈↓䠖䝢䞊䜽䜢᳨ฟ䛫䛪䠈ᖸ䠖ศගᖸ΅᭷䚹̶ 51 ̶

研究報告№ 8（２０１８）のアブレーション量が多くなり，検出できる測定レンジ原点と複数回測定した標準物質との検量線を算出し，を超え計測が飽和する波長が多くなった。そのため，今その決定係数 R2 を比較に用いた。内標準無しの場合は，回の測定では，出力 70 %（3.2 mJ）とした。

標準物質の強度のバラツキが大きく，決定係数が 0.95

スキャンスピード，照射径，周波数に関して，装置上と低めの値となり，測定ごとに発光強度が変動している設定できる最大感度が得られる条件（50 μm/s，照射径：ことがわかった。その変動要因としては，①レーザー照150 μm/s，20 Hz）とした。また，アブレーションパター

射によるアブレーション効率の変動に伴うアブレーショ

ンは，溶液分析と同様に 3 回連続測光（長波長 10 秒 ×ン量の変化，②試料の偏析，の 2 つが考えられるが，今3 回，低波長 10 秒× 3 回をそれぞれ順番に測光）を行

回の測定試料はガラスであり，試料内は十分に均一化しうのに必要な時間を確保するために，矩形ラインとした。ていると考えられるため，①アブレーション効率の変動に伴うアブレーション量の変化に起因すると思われる。

3.3

そこで，内標準元素として，カルシウムを選択し，ア内標準測定の有無による影響

ガラス中の成分分析において，強度‐濃度の変換に用

ブ レ ー シ ョ ン 量 の 変 動 を 規 格 化 し た。 そ の 際，いる標準試料は，認証標準物質 SRM-611，1 点（原点とCa̲184.006｛483｝，Ca̲318.128｛106｝ の 2 つ の 波 長 をの 2 点）を用いた。そのため，通常の検量線法の様に直用いて，各測定波長の補正度合を確認した。その結果，線性を確認できない。そこで，標準物質を複数回測定し，Ca̲184.006｛483｝と Ba̲230.424｛446｝の組み合わせのそのバラツキ度合から内標準測定の有無による影響を比様に波長域モードを合わせて測定した場合，決定係数較検討した。検量線の一例として，図 3 に「Ba̲230.424。一方，
R2 が 0.99 以上の値が得られた（表中＊あり）｛446｝‐内標準無し」を示す。また，表 3 に，その他のCa̲318.128｛106｝と Ba̲230.424｛446｝の組み合わせの組み合わせについて，決定係数 R2 の一覧を示す。

様に波長域モードを合わせない場合，決定係数 R2 が 0.98程度と内標準なしに比べると改善されているものの補正が不十分であることが分かった。以上の結果，アブレーⓎගᙉᗘ / 䠉

ション量の変動は内標準測定で規格化できることが分

Y=3.0654X
R2=0.9509

1600

かった。

12003.4

ガラス試料の分析

3.3 で得られた検量線を用いて，ガラス試料の測定を800行った結果を，蛍光 X 線装置測定結果とともに表 4 に400示す。LA-ICP/AES の測定結果は，内標準補正有―波0ドを合せていない場合，内標準補正無の 3 パターンの結長域モードを合わせた場合，内標準補正有―波長域モー0100200300400500化カルシウム）濃度を，仕込み量から計算した推定試料Ba⃰ᗘ / ppm
図3果を示した。さらに，補正計算に使用した内標準成分（酸濃度（3 %），もしくは，蛍光 X 線分析による測定結果（5Ba̲230.424｛446｝の検量線
試料： NIST 製の認証標準物質 SRM-611%）の 2 種類での検討結果も併せて示した。
内標準補正の波長域モードを合わせた場合と合わせな

表3検量線の決定係数

い場合では，波長域モードを合わせた方が低い標準偏差ෆᶆ‽↓䛧㻯㼍㼋㻝㻤㻠㻚㻜㻜㻢㼧㻠㻤㻟㼩㻮㼍㼋㻞㻟㻜㻚㻠㻞㻠㼧㻠㻠㻢㼩㻜㻚㻥㻡㻜㻥㻝㻚㻜㻜㻜㻜㻖㻜㻚㻥㻤㻢㻞㻿㼞㼋㻞㻝㻢㻚㻡㻥㻢㼧㻠㻡㻢㼩䚷㻜㻚㻥㻢㻥㻠㻖㻜㻚㻥㻤㻜㻟㼀㼕㼋㻟㻟㻢㻚㻝㻞㻝㼧㻝㻜㻜㼩㻜㻚㻥㻡㻣㻞㻜㻚㻥㻥㻢㻥㻜㻚㻥㻣㻤㻡㼆㼞㼋㻟㻞㻣㻚㻟㻜㻡㼧㻝㻜㻟㼩㻴㼒㼋㻞㻢㻟㻚㻣㻤㻝䡗㻝㻞㻤䡙㻜㻚㻥㻡㻞㻣㻜㻚㻥㻡㻞㻞㻯㼍㼋㻟㻝㻤㻚㻝㻞㻤㼧㻝㻜㻢㼩であり，波長域モードを合わせることにより定量性の向上が図れた。内標準測定の有無の影響では，内標準測定

㻖を使用しない場合は分析値が低い傾向を示すとともに，㻜㻚㻥㻤㻞㻞㻖

㻜㻚㻥㻥㻥㻡

標準偏差も大きくなっているのが分かった。今回測定し㻜㻚㻥㻤㻜㻡

㻖

た試料の CaO の目標組成濃度は 3 % であったが，蛍光*：測定波長域モードを合わせた組み合わせ㻜㻚㻥㻥㻤㻟

㻜㻚㻥㻥㻥㻟

X 線分析法で確認したところ，5 % であった。そこで，内標準補正計算に使用した濃度を目標組成濃度と蛍光 X

̶ 52 ̶

京都市産業技術研究所
表4㻝䠅㻿㼞㻮㼍
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ガラス試料の分析結果䠎䠅ෆᶆ‽䠖Ἴ㛗ᇦ䝰䞊䝗䜢ྜ䜟䛫䛶䛔䛺䛔㻸㻭ศᯒ್㻙㻡䠂㼋㻯㼍㻻㻸㻭ศᯒ್㻙㻟䠂㼋㻯㼍㻻ศᯒ್ ᶆ‽೫ᕪศᯒ್ ᶆ‽೫ᕪ㻣㻢㻝㻟㻠㻠㻣㻜㻢㻚㻣㻠㻡㻢㻤㻜㻞㻤㻞㻠㻚㻜㻤㻤㻝㻟㻡㻚㻣㻡㻞㻥㻞㻝㻚㻠㻤㻜㻡㻚㻠㻠㻤㻟㻚㻞㻝㻠㻠㻤㻥㻠㻚㻥㻤㻢㻥㻡㻢㻚㻥㻞㻝㻞㻚㻞㻝㻟㻝㻚㻟ෆᶆ‽䠖౑⏝䛧䛺䛔㻸㻭ศᯒ್ศᯒ್ ᶆ‽೫ᕪ㻢㻥㻝㻞㻤㻢㻥㻟㻡㻚㻞㻣㻥㻞㻥㻝㻚㻝㻤㻞㻠㻚㻡㻝㻟㻡㻡㻝㻝㻤㻚㻥㻞㻜㻟㻚㻞⺯ග㼄⥺ἲ䠈㼄㻾㻲ศᯒ್㻤㻝㻣㻞㻜㻤㻢㻥㻝㻜㻞㻞㻜㻝㻢㻢㻠䠏䠅ᶆ‽೫ᕪ㻣㻜㻚㻣㻢㻜㻚㻤㻟㻢㻚㻝㻝㻠㻚㻝㻥㻞㻚㻢１）内標準：Sr，Ba：Ca184，Ti，Zr，Hf：Ca318，２）内標準：Sr，Ba：Ca318，Ti，Zr，Hf：Ca184
３）MgO:3 %，Al2O3：18 %，SiO2:63 %，CaO:5 %，Fe2O3:0.1 %＊：単位：mg/ ㎏，5．参考文献

線分析による測定結果の 2 種類で比較したところ，CaOを 3 % とした場合，蛍光 X 線分析の結果と比べても低

１）長嶋廉仁：NEW GLASS,vol.26,No.1,5（2011）.

めの値になっていることが分かった。

２）上杉勝之，外池正清：NEW GLASS，25，33（2010）．

以上の検討結果をまとめると，波長域モードを合わせ

３）特許庁：特許出願技術動向調査報告書（ディスプレイ用ガラスの製造技術），平成 28 年 2 月．

た内標準測定では，バラツキが少なく定量性の向上が図れることが示唆される結果が得られた。しかし，その測

４）梅澤喜夫，澤田嗣郎，中村洋監修：“最新の分離・定値は内標準成分濃度に大きく影響することが判明し

精 製・ 検 出 法− 原 理 か ら 応 用 ま で − ”， エ ヌ・た。したがって，今後さらなる定量性の向上を図るため

ティー・エス，p528（1997）．には，補正計算に用いる内標準成分濃度を正確に定量す５）笠井義則：NEW GLASS,vol.21,No.1,36（2006）.

ることが重要であることがわかった。

６）岩本恵和，吉岡伸樹：Horiba Technical reports（Readout）,No.31,46（2005）.
７）長嶋廉仁：表面技術，64,434（2013）.

4．ま と めレーザーアブレーション /ICP 発光分析法によるガラ

８）作花済夫：核燃料サイクル技術の安定性に関する検討，付録，付 -12，平成 25 年 9 月

スの成分分析について，2 族：ストロンチウム（Sr），バリウム（Ba），4 族：チタン（Ti），ジルコニウム（Zr），

９）竹中敦義：旭硝子研究報告，54，27（2004）．

ハフニウム（Hf）を測定するためのレーザー出力の影響，

10）Toru Yamasaki，Kohei Yamashita：Bulletin of theカルシウムによる内標準測定の影響について検討した。

Geological Survey of Japan，67，27（2016）．

その結果，レーザーアブレーション条件（照射径 150 μ11）川野良信，清水隆一：地球環境研究，19，11（1017）.

m， 走 査 速 度：50 μm/s， レ ー ザ ー 出 力：70 %12）林英男，清水綾：東京都立産業技術研究センター，[3.2 mJ]，パルス周期：20 Hz，アブレーションパターン：矩形ライン）において，分析面積：1mm2で Sr，Ba，Ti，Zr，Hf の測定が可能であることが分かった。また，

第 8 号，58（2013）．
13）伊藤

内標準測定は，波長域モードを合わせることは必須であるが，測定値のバラツキを補正するのに有効であること

真麻，他：分析化学，56，1115（2007）．

14）笠松 正昭，鈴木 康弘：日本法科学技術学会誌，
21，35（2015）．
15）南 秀 明， 他： 京 都 市 産 業 技 術 研 究 所 研 究 報 告，が確認できた。

No.4，p15（2014）．

今後は，内標準補正に使用する成分濃度の違いで，分16）南 秀 明， 他： 京 都 市 産 業 技 術 研 究 所 研 究 報 告，

析値が大きく変動することが分かったので，化学分析などのその他の分析法で，内標準濃度を正確に確認する必No.5，p69（2015）．
17）南 秀 明， 他： 京 都 市 産 業 技 術 研 究 所 研 究 報 告，要があることが分かった。

No.7，p33（2017）．
18）平田純一，田中美穂：分析化学，63，763（2014））．
19）Junichi Hirata, Kazuya Takahashi, Yu Vin Sahoo,and Miho Tanaka：Chemical Geology，427，65（2016）．

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研究報告№ 8（２０１８）20）平田岳史，他：J. Mass Spectrom. Soc. Jpn，63，153（2015）．
21）Daniel Tabersky，Kohei Nishiguchi，KeisukeUtani，Masaki Ohata，Rolf Dietiker，Mattias B.
Fricker，Ivo M. de Maddalena，Joachim Kochand Detlef Günther：Anal. At. Spectrom.，28，831（2013）.
22）Klaus Peter Jochum，Ulrike Weis，Brigitte Stoll，
Dmitry Kuzmin，Qichao Yang，Ingrid Raczek，D o r r i t E . J a c o b，A n d r e a s S t r a c k e，K a r i n
Birbaum，Daniel A. Frick，Detlef Günther，J a c i n t a E n z w e i l e r：G e o s t a n d a r d s a n d
Geoanalytical Research，35，397（2011）．

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