中赤外光検出器用ナノアンテナ材料の研究
研究代表者

堀川

隼世

福井工業高等専門学校

助教

1 はじめに現在，光通信など様々な領域で近赤外光を利用した技術が実現されている．近年では，自動車の自動運転化を目指し，周囲の状況を観測するための近赤外レーザーレーダーなどが実用化を目指し研究されている．
このように，近赤外光を利用した技術は非常に進んでいるが，レーザーレーダーや自由空間通信においては，大気中の霧や塵などによる散乱の影響を大きく受けてしまうことが課題となっていた．そこで，赤外線の一つである中赤外光（MIR）を用いた，高速な自由空間通信技術が期待されている．近赤外光に比べて波長の長い MIR は，大気中の霧や塵などによるレイリー散乱の影響を受けにくいことで知られ，3-5 μm は大気の窓と呼ばれるように大気中での透過率が高いことから，自由空間通信に適しているとされている．また，光源となる量子カスケードレーザーは，高速な変調も可能であることから，大気中の状態の小さな変化に対しても微調整が可能である．これらの特色から，自由空間での長距離伝送に優れた MIR の検出器性能向上を目指す研究が行われている．

2 ナノアンテナ構造を用いた中赤外光検出器
2-1 経緯と背景
すでに高感度な MIR 検出器として，MCT 光起電力素子や InSb 光導電素子などが実用化されている．しかし現状では，高速性と高感度性の両立を達成することは容易ではない．その理由として，MIR のエネルギーが低いこと，これらの検出器の検出方法とその構造にある．光検出器は一般的に，「光の受光」と「光のエネルギーの検出」という２つの機能により光検出を行う．図 1 に示すように，従来の光検出器の多くは，「受光面」に当たった光の粒子（フォトン）のエネルギーを，受光面が持つ物性値の変化により「検出」することで光の検出を行ってきた．そのため，その 2 つの機能を単一の構造で実現している．つまり，検出器の受光面が「受光」と「検出」の両機能を兼用している構造が一般的な光検出器の構造となる．フォトンを受ける
確率を向上させるために受光面を広くすると，検出を担う検出器の面積増加が起こり，それに伴い寄生容量が増加するため，応答速度が低下する．反対に，検出器を微小化することで応答速度を向上しようと試みると，同時に受光面積が減少し，フォトンを受光する確率が低下する．これらのジレンマを解決するために，「受光」の機能をナノスケールのアンテナに，「検出」の機能をアンテナの給電部に設けた極めて微小な検出器に与えることにより，高速性と高感度性を併せ持つ MIR 検出器の方式が提案・研究されている．

図 1 アンテナを用いた光検出器の概念図

1

2-2 ナノアンテナを用いた光検出器の構成とその評価方法
ダイポールアンテナ(b)

入力インピーダンス Zin

Zin|S11|2
入射光

ZLoad

入射光
検出器の抵抗値 ZLoad

図 2（a）アンテナの概念図
0°90 °（b）アンテナの等価回路図
Infrared Microscope
AIM-8800

FTIR
IR Prestage-21

Cassegrain Mirror

Detector

Polarized Filter
0° or 90 °FixedMirror
Antenna Array
Beam Splitter
40 μm
Moving Mirror
MgO Substrate
40 μm

Light Source

図 3 FTIR と顕微分光装置を用いたナノアンテナ測定系
図 2（a）にダイポールアンテナを例とした，光検出器の概念図を示す．受光にはアンテナを用い，給電部分には検出器が取り付けられている．アンテナを用いて受光部と検出部を分離することにより，図 2（b）に示すように，受光部で受光したエネルギーが検出部で反射される割合は，反射係数 S11 で表される．
Z −Z
S =
Z +Z
アンテナの種類や検出部の種類を特定しなくても，アンテナの入力インピーダンス（Zin）と，検出部のインピーダンス（RLoad）の反射係数 S11 を 0 に近づけるように入力インピーダンス及び検出器の抵抗値を設定することで，等価回路としてはアンテナに入射した光を効率よく検出器に伝達させることが可能になる．このように，「受光」と「検出」の設計を各々行うことが可能となり，状況に適した検出器の設計が可能になる．
これは，電波領域で確立した設計方法を，新たに光領域に展開したものである．さらに，同周波数帯で分布定数線路等を実現することで，すでに確立したフェーズドアレイアンテナなどの技術を中赤外領域に展開，レンズを用いない高効率な受光を実現できると考えられる[1]．しかし，極めて高い周波数、微細構造であるという評価の困難さから，MIR でこのようなナノアンテナと微小検出器の一体化研究はほとんど行われていなかった．そこで，我々はフーリエ変換赤外分光光度計（FTIR）による測定とシミュレーションを併用した方法により（図 3），約 57 THz の金で構成された Zin を約 50 Ωと見積もることに成功した[2]．この結果をふまえ，研究協力者と高速・高感度な MIR 光検出器の開発にも取り組んできたが，その過程で MIR 領域の Zin を設計するためには，複素屈折率や導電率等から求められる表面インピーダンスの評価が重要となることが明らかとなった．MIR のアンテナは，短軸が 100 nm オーダーと非常に微細な構造となっており，小さな材料の特性の違いにより，その設計値は大きく変わってしまう．そこで，アンテナ寸法に大きな影響を与える材料のパラメータを同定し，その指針を確立することで，MIR 領域のアンテナ構造の利用が促進されると考えており，MIR 領域の検出器技術向上の重要な課題と考えている．
MIR 領域のアンテナ設計においても，アンテナの入力インピーダンスの評価は光検出器の性能を決定づけ2る重要な値である．しかし，MIR 領域のような超高周波領域では，複素表面インピーダンス（Zs）の影響が著しく変化するため，アンテナの設計には，構成材料の特性を正確に評価し，考慮することが必要不可欠である．そこで本研究では，MIR 領域おけるアンテナを構成する金属材料の変化に伴う入力インピーダンスの検討を行う．

W=0.

2

L=μm

3.0μm

son
t Re
Slo

4.0μm
ator

4 .0Auμm

図 4 スロット共振器の構造

3 表面インピーダンス（Zs）がナノアンテナに与える
7060

350k40302010n03040506070
Frequency (THz)8090

図 5 金（Au）薄膜の複素屈折率

図 6 シミュレーション条件90fpec

6030Reflectance (%)

マイクロ波やミリ波などの周波数帯では，金（Au）などの高い導電性材料であれば，完全導体（PEC）を用いた理想的なアンテナの設計値を利用することが十分可能である．しかし
中赤外光領域などの超高周波では，Au などの導電率が非常に高い現実の材料を用いた場合でも，複素表面インピーダンスがアンテナの入力インピーダンスや共振周波数を変化させる．このことは，理想的なアンテナと同一の周波数で現実のアンテナを共振させるために，完全導体（PEC）を利用した場合に比べてアンテナを微細化させる必要があることを意味する．ダイポールアンテナやスロットアンテナなどのアンテナは，大きさが波長程度であるため，極めて波長の短い中赤外光領域（長さ数μm 程度）においては，さらなる微細構造が必要となり，アンテナ作製が容易ではなくなる．そこで，MIR 領域における複素表面インピーダンスと，アンテナの入力インピーダンスの関係から，材料特性とアンテナの設計指針の検討を行った．
まず，PEC 及び Au を用いた場合に材料が与える影響を，スロット共振器の反射率特性から比較した．図 4 に示すような構成とし，スロット共振器の長さ L = 3.0 μm，幅 W = 0.2μm，スロットアンテナの周期は x 方向，y 方向共に 4.0 μm間隔として配置した．Au の特性（複素屈折率）は真空蒸着法により成膜した膜厚 200 nm の Au 薄膜を，J.A.woollam 社の赤外域多入射角分光エリプソメーター（IR-VASE）により測定したものを利用した．Au 薄膜の複素屈折率を図 5 に示す．また，基板には単結晶酸化マグネシウム（MgO）を用いている[3]．
シミュレーションでは，COMSOL Multiphysics を用い計算を行った．図 6 に示すように上面，下面に散乱境界条件，側壁を周期境界条件と設定した．MgO 基板裏面からの実測による反射率特性と比較するために MgO 側から入射した．空間及びMgO と散乱境界条件との間には Perfect Matched Layer（PML）を設定している．図 7 に PEC，Au を用いた場合の反射率特性の計算結果を示す．PEC を用いた場合の共振周波数（fpec）は
約 37 THz，Au を用いた場合の共振周波数（fAu） は約 34 THzであった．シミュレーション結果より，PEC を用いた場合に比べ，Au を用いた場合に共振周波数の低下が予想され，約 3THz 低下している．そこで，実際のスロット共振器による共振周波数（fm）を FTIR 及び顕微分光装置にて測定した．スロット共振器は，電子線描画装置にてパターニングを行い，Refractive index

影響とその特性

Simulation PEC090

fAu6030

Simulation Au090fm6030
Measurment03035404550

図 7 スロット共振器のシミュレーション
結果及び透過率測定結果

WRLaPortAu Plane

図 8 スロットアンテナ構造
N = 1.0500(a)450

Zs = N×Rs + jXs
N = 1～ 5400350300

N = 5.0250200150100500である．図 8 に入力インピーダンス

102030405060708090100（Z = R + iX ）のシミュレーションを行ったスロットアンテナの構造を示す．スロットアンテナの幅（Wa）は 0.2 μm，長さ（La）は 3.0 μm，給電部（port）の幅（WR）は 0.4 μmとし，単結晶 MgO 基板上の設定とした．シミュレーションには Sonnet EM Simulator を用い，Au の複素表面インピーダン
スZ = R + iX の実部（R ）を 1～5 倍に変化させた際の入力インピーダンスを図 9(a)，(b)に示す．Rs の増加に伴い，入力インピーダンスの Q 値は低下するが，共振周波数は変化しないことがわかる．同様に，Xs を 1～5 倍に変化させた際の入力インピーダンスを図 10(a)，(b)に示す．Rs との依存性とは異なり，共振周波数は Xs の増加に伴い低下していることがわ
かる．これらのことから，Xs の増加はアンテナの共振周波数の低下に寄与していることがわかる．

4 金（Au），銀（Ag），アルミニウム（Al）を用いた

Impedance Im ((Ω)
)
Impedance

Frequency (THz)350300250200150100500-50-100-150-200

N = 1.0(b)Zs = N×Rs + jXs
N = 1～ 5

N=5102030405060708090100

Frequency (THz)

図 9 スロットアンテナの Zin の RS 依存性(a) 入力インピーダンス実部 (Rin)(b) 入力インピーダンス虚部 (Xin)
900
800
Impedance Im
Impedance
Re ()(Ω)

数 ω として𝛿(𝜔) =Wa

Impedance
Re ((Ω)Impedance Im)

Au 複素屈折率を測定するために成膜した Au 薄膜と同様の方法にて約 50 nm 成膜,リフトオフにより作製した.複素屈折率測定時に比べて膜厚は薄いが，表皮深さδ(ω)よりも十分厚いものとした．FTIR 及び顕微分光装置による測定結果を図 7に示す．共振周波数は約 34 THz で共振が確認された．シミュレーションは実測を非常によく再現しており，アンテナを構成する材料により共振周波数が変化することが確かめられた．そこで，アンテナ設計に必要な特性を検討するために，複素表面インピーダンスをもとに，表面インピーダンス（Zs）の虚部と実部を変化させ，その入力インピーダンスの変化について調査した．
複素表面インピーダンスの導出のために，複素屈折率から複素導電率 σ(ω)の導出を行った[4]．また複素表面インピーダンスと σ(ω)には以下の関係がある．
1Z = R + iX =𝛿(𝜔)𝜎(𝜔)ただし，表皮深さ𝛿(𝜔)は複素屈折率 k，光速度 C0，角周波アンテナの入力インピーダンス（Zin）特性(a)700Zs = Rs + N×jXs
N = 1～ 5
N =5.0600
500

N = 1.0400
300
200
10004102030405060708090100708090100

Frequency (THz)500(b) N =5.0400
Impedance Im ((Ω)
)
Impedance

中赤外光領域でのアンテナ設計に対し，導電率は重要なパラメータであるが，複素表面インピーダンスも特性に大きな影響を与えることを確かめるために，比較的導電率の高い[5]金（Au），銀（Ag），アルミニウム（Al）を用いて，スロットアンテナの入力インピーダンスを計算，共振周波数の調査を行った．複素屈折率の測定結果のグラフを図 11 に示す．また，この複素屈折率をもとに計算した表面インピーダンスの虚部（Xs）をシート抵抗として図 12 に示す．Au に比べて Ag，Alは Xs が小さいことから，共振周波数が Au に比べて高くなることが予想される．そこで，Sonnet EM Simulator により各材料を用いた場合における入力インピーダンス（Zin）の結果を

Zs = Rs + N×jXs
N = 1～ 5300

N = 1.0200
1000-100-200-300-400
102030405060

Frequency (THz)

図 10 スロットアンテナの Zin の XS 依存性(a) 入力インピーダンス実部 (Rin)(b) 入力インピーダンス虚部 (Xin)30201510540506070
Frequency (THz)80409030(a) 複素屈折率実部測定結果

40506070
Frequency (THz)

8090(b) 複素屈折率実部測定結果
14112Xs (  /sq)

0.8Rs ( /sq)

5020300.60.4AuAg
Al0.2030

図 1240506070
Frequency (THz)801086AuAgAl

429030(a) 表面インピーダンスの実部（Rs）

40508075
Rin ( )656055

AuAg
Al

5045505560
Frequency (THz)

65(a) 入力インピーダンス実部（Rin）

90

fAl
Au
Ag
Al
507080fAu fAg

Xin ( )706070Frequency (THz)(b) 表面インピーダンスの虚部（Xs）
60
50403020100-10-20-30-40-5085

図 1360300

図 11AuAg
Al70
Optical Constant k25
Optical Constant n80

AuAgAl5560
Frequency (THz)

6570(b) 入力インピーダンス虚部（Xin）

図 13(a)，(b)に示す．各材料において，入力インピーダンスの虚部（Xin）が 0 になる共振周波数 f は，Au の場合（fAu）約 58 THz，Ag の場合（fAg）約 59 THz，Al の場合（fAl）約 60 THz であった．高い導電材料においても複素表面インピーダンスの虚部（Xs）により共振周波数を低下させ，スロットアンテナの長さが 3 μm，幅 0.2μm の場合において，Au は Ag に比べ約 1 THz の低下，Al に比べて約 2 THz の共振周波数の低下を引き起こすことが明らかにした．

5 まとめ
本研究では，中赤外領域（約 60 THz）における長さ 3.0 μm におけるスロットアンテナの入力インピーダンスの材料依存性についての評価を行った．金（Au），銀（Ag），アルミニウム（Al）において，最大で約 2THz の共振周波数の低下を確認，表面インピーダンスの虚部（Xs）の影響を示した．中赤外領域のアンテナを適切に設計し，高い周波数分解能を持つ光検出器を実現するための材料探索の指針として貢献できる．

5【参考文献】[1] J. Horikawa, A. Kawakami, M. Hyodo, S.Tanaka, M. Takeda, and H. Shimakage, IEEETransactions on Applied Superconductivity 25, 2301005 (2015).
[2] J. Horikawa, A. Kawakami, M. Hyodo, S.Tanaka, M. Takeda, and H. Shimakage, Infrared Physics& Technology 67, pp.21-24 (2014).
[3] R. Stephens and I Malitson, Journal of Research of the National Bureau of Standards 49, pp. 249252 (1952).
[4] D. J. Shelton, T. Sun, J. C. Ginn, K. R. Coffey, and G. D. Boreman, Journal of Applied Physics 104,103514 (2008).
[5] T. Echaniz, R. B. Perez-Saex, and M. J. Tello, Journal of Applied Physics 116, 093508 (2014).

〈発 表 資 料〉
題

名

中赤外領域におけるコプレーナ線路の特性
評価

掲載誌・学会名等
第 79 回応用物理学会秋季学術講演会

6

発表年月2018 年 9 月 19 日