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1940 ᖺ௦ᚋ༙䛻༙ᑟయ䝖䝷䞁䝆䝇䝍䛜Ⓨ᫂䛥䜜䛶䛛䜙䠈䛭䛾䛳䛶䠈ởᰁไᚚ䠄䜽䝸䞊䞁໬䠅䛾⪃䛘᪉䛜㔜せ䛸䛺䜛䠄ᶵ⬟ 3䠅䠊㧗㞟✚໬䜢ᨭ䛘䜛䜉䛟䠈◊☻䛾⢭ᗘ䛿㣕㌍ⓗ䛻ྥୖ䛧䛯䠊ᖹᆠ䛺ᐃ┙ୖ䛻ᶞ⬡〇䝟䝑䝗䜢ᩜ䛔䛶䛭䛾ୖ䛻⸆ᾮ䛸◒⢏䛛䜙㻌䛺䜛䝇䝷䝸䞊䜢ὶ䛧䠈䛭䛣䛻䜴䜵䞊䝝䜢㍕䛫䛶ୖ䛛䜙Ⲵ㔜䜢䛛㻌䛡䠈ᅇ㌿㐠ື䛥䛫䜛䛣䛸䛻䜘䜚◊☻䛩䜛䠈䛔䜟䜖䜛໬ᏛᶵᲔ◊㻌◊☻䛾  せ௳ᶵ⬟ 1䠖ᮦᩱ㝖ཤ䛔䜛䠊୍᪉䠈◊☻䛻䛿ㄢ㢟䜒ᒣ✚䛧䛶䛔䜛䠊ඛ➃༙ᑟయ䝕䝞䐟䐠㻌䐡㻌䐢㻌䐣䜲䝇䛷䛿䝘䝜䝺䝧䝹䛾Ḟ㝗䜔ởᰁ䛜ၥ㢟䛸䛺䜛䛜䠈䛣䜜䜙䛻䛿㻌◊☻ᕤ⛬䛻㉳ᅉ䛩䜛䜒䛾䜒ᑡ䛺䛟䛺䛔䠊◊☻ᑐ㇟≀䛿⤖ᬗ䠈㻌㔠ᒓ䠈㓟໬≀䛺䛹ẚ㍑ⓗຍᕤ䛧䜔䛩䛔䜒䛾䛛䜙䠈Ⅳ໬≀䞉❅㻌໬≀䛺䛹䛾◳⬤ᮦᩱ䠈䛥䜙䛻䛿↓ᶵ䝣䜱䝷䞊ྵ᭷ᶞ⬡䛾䜘䛖䛺㻌」ྜᮦᩱ䛺䛹䠈ከ✀ከᵝ䛺㞴ຍᕤᮦ䛻ཬ䜆䠊⮬ື㌴䜔་⒪䠈㻌༙ᑟయ⿦⨨⏝㏵䛷䛿୕ḟඖ⾲㠃䛾⢭ᐦ◊☻䛜ồ䜑䜙䜜䜛䠊㻌ຍ䛘䛶䠈㧗ຠ⋡䛺◊☻䛻䜘䜛⏕⏘ᛶྥୖ䛿Ọ㐲䛾ㄢ㢟䛷䛒㻌䜛䠊ㄢ㢟䛾ゎỴ䛿⿦⨨䞉◊☻๣䞉࿘㎶䝥䝻䝉䝇䛺䛹◊☻䝥䝻䝉㻌䝇඲య䛷ᢸ䛖䛜䠈䛺䛛䛷䜒໬Ꮫ䛸ᶵᲔ䛾୧㠃䛷ᑐ㇟≀䛻┤᥋䠏䠊ᮦᩱ㝖ཤ㻌స⏝䛩䜛䠈◊☻๣䛾ᙺ๭䛿㔜኱䛷䛒䜛䠊ᮏ✏䛷䛿 CMP 䜢୰䠏䠊䠍㻌 ᶵᲔస⏝㻌ᚰ䛻䠈◊☻䛾ᶵᵓ䜢⣣ゎ䛝䛺䛜䜙䠈◊☻๣䛾ᇶ♏䛸ㄢ㢟ゎỴ㻌 ◊☻䛻䛚䛡䜛ᶵᲔస⏝䛿◒⢏䛜ᢸ䛖䠊స⏝ᶵᵓ䛿䠈䝷䝑䝢䞁䛾せⅬ䜢ゎㄝ䛩䜛䠊䜾䛺䛹䛾⢒◊☻䛷䛿ᑐ㇟≀⾲ᒙ䛾◚ቯ䠈௙ୖ䛢◊☻䠄䝫䝸䝅㻌䞁䜾䠅䛷䛿⾲ᒙ䛾ᦶ⪖䛜୰ᚰ䛸䛺䜛䠊㻌☻䠄CMP䠖Chemical Mechanical Polishing䠅ᢏ⾡䛻䜘䜚䠈⌧ᅾ䛷䛿䝘䝜䞉ཎᏊ䝺䝧䝹䛾ᖹᆠ䞉ᖹ⁥䛺⾲㠃䛜ᐇ⌧ྍ⬟䛸䛺䛳䛶ᶵ⬟ 2䠖⾲㠃ಖㆤᶵ⬟ 3䠖ởᰁไᚚ䠄䜽䝸䞊䞁໬䠅ᅗ 1㻌 ⢭ᐦ◊☻䛻ᚲせ䛺 3 䛴䛾ᶵ⬟䠎䠊໬ᏛᶵᲔ◊☻䠄㻯㻹㻼䠅䛻ᚲせ䛺 㻟 䛴䛾ᶵ⬟㻌⢒◊☻䛷䛿◊๐◒▼ྠᵝ䛻ᑐ㇟㒊ᮦ䜘䜚◳ᗘ䛾㧗䛔◒⢏CMP 䜢⏝䛔䛯⢭ᐦ◊☻䛻ᚲせ䛺ᶵ⬟䛿䠈䛜⏝䛔䜙䜜䜛䠊䝎䜲䝲䝰䞁䝗䠈SiC䠄GC䠅䠈⁐⼥䜰䝹䝭䝘䠄㓟໬䜰䞉ᮦᩱ㝖ཤ䠄ᶵ⬟ 1䠅䝹䝭䝙䜴䝮䠈WA䠅䛿䛭䛾௦⾲౛䛸䛧䛶䠈䝅䝸䝁䞁ᇶᯈ䛛䜙㔠ᒓ䞉⾲㠃ಖㆤ䠄ᶵ⬟ 2䠅㒊ရ䛾⢒◊☻䜎䛷ᗈ䛟⏝䛔䜙䜜䛶䛔䜛䠊⢒◊☻䛷䛿䝎䝯䞊䝆䞉ởᰁไᚚ䠄ᶵ⬟ 3䠅䠄ษ᩿ᚋ䛾ຍᕤኚ㉁ᒙ䛺䛹䠅䜔኱䛝䛺⢒䛥䠄ษ๐⑞䛺䛹䠅䛾ṧ

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