256放射光第 13巻第 3 号(2000年)

一分解能 (6 keV で 500) をもっ X 線検出器として X 線機的な連携をして研究を進めることが重要であることを再ボ口メーターが開発され， ASTRO-E 禽星 (2000 年 2 月認識した。この学際的なシンポジウムを隔年で開催しては打ち上げ)に搭載されることになった。多くの迫力ある最どうかと考えている。これを機に，共同研究や新たなプロ新の研究成果が発表され，熱心な議論があったが，なるべジェグト研究が推進されることを期待している。

く多くの方々に講演をお願いしようと意図したために，質追記 :X 線天文衛星「あすか J (1993年打ち上げ)の後疑の時間が少し短すぎたように感じている。 X 線光源に継機と期待されていた ASTRO-E 衛星は本年 2 月に宇宙ついては，それぞれの講演の中で触れるにとどめ，時間の科学研究所の M-V ロケットによって打ち上げられました

都合上，独立したセッションを設けなかった。

が，残念ながら 1 段自ロケットの異常により軌道に投入

これまでのシンポジウムでは軟 X 線領域での研究が中することができませんでした。 21 世紀の X 線天文学はア心であったが，光源の開発や基盤技術の進歩によって，硬メリカの Chandra 衛星(1999 年 7 月) ,ヨーロッノくのX 線領域の研究が大きく進展してきたことが注目される。

XMM-Newton 構星 (1999年 12 月)との相補的競合の中特に，多層膜スーパーミラーによる集光@結像光学系や位で大きな研究成果が期待されていました。現在，関係者に相コントラストの利用は結像光学に新たな展開をもたらすよる復活の努力が進められています。この場を借りて，皆と思われる。科学目的は異なっても，それを達成するため様のご理解とご支援をお願いする次第です。の X 線光学@計測技術は共通したものがあり，互いに有<コ研究会報告仁>

第 4 囲 SR 産業利用関連技術国際会議千)11

純一(会議企画委員会，兵庫県立先端科学技術支援センター)ヨーロッパの科学技術の風土が急変している。基礎科学に専念してきた欧州連合の大型放射光施設 ESRF を昨年にし fこ。

そこで，前記の ESRF の産業利用部門長のドゥーセ博

10月に訪問，産業利用部門の新設には驚いた。

士と ANKA の所長ザイレ博士をお招きし，放射光施設の「だれが産業利用部門を設けたのですか」戦略，最近の成果，現状と将来展望について語ってもら
い，国内の研究者に産業利用研究の実例を示していただくという質問に，ベト口ブ所長は答えられ「私が設寵を決めた。基礎研究だけでは社会へのインパ化，新分野の発掘を居的として，クトカ)~~い」

ドゥーセ産業利用部門長は企業を訪問し，国際会議を企画し，産業界での放射光技術の普及と高度I放射光で何が出来るかj を説明し，また，企業の要望を聞く運動を展

I 第 4 回放射光産業利用 J 国際会議が播磨科学公器都市，先端科学技術支援セン
ターで 2 月 18 日に開催された。

この会議は，第 1 田を兵庫県立先端科学技術支援セン開，現在33社が放射光を利用している。
硬 X 線の利用のため ESRF に出資した 13 ヶ国(現在日ヶ国)は，自国の放射光施設を真空紫外@軟 X 線専用にターが完成した平成 5 年に「こけらおとし J として開催，その後隅年に，このところ毎年の行事となっている。

して高輝度化し，新設もすべて真空紫外@軟 X 線専用でした。日本では SPring-8 の完成で PF の硬 X 線の利用を止めるなど全く考えられない，さすがヨーロッパで厳格に意業手IJ 用が急増する ESRF

ESRF はフランス，グルノーブルの民間研究所です。

なぜ産業利用研究が必要か。その理由は， (1)参加国の政府棲み分けると感心したものでした。
ところが，今回行ってみると，様子が一変している。

から要求， (2)SR スタップの研究を新分野に発展させる，ESRF に専用ゼームラインをもっスイスは自国に 1GeV(3)追加収入をはかる。このため新設された調整役 ICO (In圃級の真空紫外@軟 X 線用の放射光施設を建設する計国を

dustrialCoordinator0血ce) は明確なビジョンをもって，1990 年頃から進めてきたが，それを2 .4 GeV に変更し大産業界と内部スタップとの仲介をし，無駄な競争をさけ型化した。て，効果的に研究を推進している。

ドイツの ANKA も 1 GeV から 2.5 GeV に変更して完成した。つまり，硬 X 線まで利用できるよう波長工業的利用の実例としては，製薬のための蛋白結晶構造範囲を広げて産業界の利用と医学応用を自閣でできる態勢

解析，シリコンウエーハ表面汚染の X 線蛍光分析，材料‑46‑(C) 2000 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Research

放射光第 13巻第 3 号

257(2000年)の三次元トモグラフィ，繊維の構造解析，材料の応力一歪指し，期待される製品は超小型分光器，マイクロデバイ解析などがある。

ス，超小型ポンプ，バルブ，センサーなど。

シリコンウエーハの表面汚染不純物は集積回路の集積度

LIGA は，半導体のリソグラフィ Lithographie ，メッキが高まるにしたがって深刻な問題となり，金属元素に対す技術 Galvanoformung ，鋳型成形技術 Abformung の頭文る必要な分析感度は，集積田路が 0.15μm ルールとなる

字から名付けられたもので，放射光の平行な X 線を用い2001 年には 2'""'-'30 X 108atoms/cm2 で，これは放射光 Xてミクロン幌の切りしろで加工できる。これまでカールス

線蛍光分析で達成されている。さらに ， 2003 年には 2'""'-'

jレーエには放射光源がなく，ボンやベルリンの放射光施設

15X 108atoms/cm2 , 2010 年には 0.07μm ルールで 10 8を利用して試作を続けてきた。

しかも大直径化，ファイバ一通信，ファイバー光学の分野では半導体レー直径 30cm のウエーハの表面蛍光 X 線分析に取り組み，ザー，ファイバー，レンズ，ミラーなどの光部品が数ミクatoms/cm2 の感度が必要と予測され，このため，CNET‑FranceTelecom とほか 2 社が専用ビロンの大きさ，しかも，これらを極めて精密に配置する必要があり，その作業は容易でない。 LIGA はリソグラブイームラインを共有している。
材料トモグラブィには，シリコン結品の非対称反射で平技術でこれらの部品を一体として製作してしまうもので，行にした X 線ビームが用いられる。被写体の縁がプリズ20世紀最大の発明である半導体集積回路が膨大な数の部ムの役割をし，わずかに進行方向を変える屈折 X 線によ品の配線作業を解消するために開発されたのに似ており，り輪郭が強調された透過像が得られる。分解能は 10μm

21 世紀を創造する生産技術に発展する可能性がある。試(1μm も達成可能)で， X 線をよく透過するウレタンフ

作品の例として，大きさ 1cm ぐらいの可視光，赤外分光

ォームに圧縮応力をかけながらその中の気泡の大きさの変器，レーザー光源，レンズ，ファイバ一等を搭載した光学化をリアルタイムで観察して，コントラストは X 線の吸ベンチ，光通信用ヘテロダイン受信器，距離計などが写真収によらないことを示した。

で示された。 LIGA は細い溝が深く切れる特長を利用してこの手法は， SPring-8 の兵庫県ビームラインでも既に複雑な構造を一体物として作ることができるので，大きさ実施されており，午後のセッションで神戸製鋼の中山博士

1cm 以下の加速度計， 2 つのモーターを持つジャイ口スが鉄鋼のひび割れの観察結果を報告した。 ESRF では女コープなど，複雑な構造をもっ試作品が紹介された。

性の背骨(骨粗繋症) ，炭化珪素粒を混入した強化アルミ

このような新産業分野を発展させるために，放射光源が(省エネルギーのため自動車の軽量化材料) ，磐塊(なだれ不可欠であり，試運較を開始した ANKA 光源は，周長1cm の厚さに切り出したコンクリートなどの内110m の蓄積リングで，電子エネルギー2.5 GeV ，エミッの予知)，部を観察している。新幹線トンネルのコンクリートの寿命タンスは41 nmerad です。合計 9 本のビームラインが予測ができる可能性がある。

2000年夏までに完成，その内訳は， 3 本がクリーンルーム

セメントは 19世紀初めに発明されたが，凝囲の過程は環境で終端する深溝 X 線リソグラブィ用， 4 本が硬 X 線

複雑で多くの中間相を経て起こるので，まだ解明されてい利用 (X 線分光学，蛍光 X 線分析， X 線田折，構造生物, 1 本が赤外線用， 1 本はマックスプランク協会が金ない。 ESRF では，特殊用途のコンクリートを開発するために，凝固の過程のその場解析も X 線回折法で Schlum­

属薄膜の研究に使用する。

berger Cambridge Research と Birkbeck College 社が行

完成後は民関の営利企業， ANKA 株式会社がこの放射光施設の所有者となり，産業界の顧客に対しビームタイムっている。の販売と依託分析サービス，マイクロマシンの生産，独自繊維の X 線構造解析の例も紹介された。蜘妹の糸は，の開発研究を実施し，その経営にあたる。

本来，非常に強く，もし太くすることができれば明石大橋を吊ることができるという。太さ 2μm の放射光ビームを使って蜘妹の糸の構造を解明し，これをモデルにして，強楽しむイベントは楽しくないと人が集まらない。何を楽しむ

力な繊維の開発に DuPont 社などが敢り組んでいる。

か， r楽しさ J の中身は急変していて，最近では高水準のこのように ESRF に参加した企業33 社の代表的な放射光利用が紹介され，産業界の利用が急速に広がっているこものがうける。楽しむうちに，自然に「放射光による地域とが示された。その推進には産業界と研究者をつなぐ仲介振興」の自的が達成できるのが理想で，それには会議を盛り上げる最先端の研究の発表が必要，国内から 4 人の専役が不可欠で，今後， ICO を一層充実する。

門家に 40分講演を戴いた(表 1 参照)。

その場観察:高輝度 SR 光源の出現により X 隷散乱@回

高集積疫光シスチムの産業化を岳指す ANKA
ANKA は，カールスルーエ市に京子スケールの世界を折法， X 線定在波法， X 線吸収分光法，光電子分光法を開こうという意気込みで，“Angstrom Karsruhe" から命用いて高温，高圧，高磁場，光励起などの環境下でその場名された。その基本技術は放射光による LIGA であり，観察が可能となり，マクロな物性のミクロの起源が解明で新分野「マイクロ光学 J r マイク口流体工学j の構築を目きる。その事例として，非品質セレンの光励起融解 (Pho綱‑47

258
表 1

放射光第 13巻第 3 号(2000年)

す車両，船舶，航空機の軽量化のため，材料強度を上げる

第 4 回 SR 産業利用関連技術国際会議プログラム1) AppliedandindustrialresearchattheESRF‑‑Policyandrecen
tdevelopments-一一JeanDoucetCESRF , Grenoble)2) M
icrofabricationandother
SynchrotronRadiationApplicationsatANKAr1sruhe)
VolkerSaileCANKA , Ka3) Frontier
sinMaterialsScience:RecentAdvancesinIn‑
SituSynchrotronRadiationResearchHiroyukiOyanagiCETL)
4) S
ynchrotronR
adiationAnalysisofN
anoelectr
onicsMater
ials
MasaharuOshimaC
UniversityofTokyo)
5) ObservationofCracksinStructuralI\在aterials byRefractionContrastX‑rayImagingu
singSPring‑
8td.
)
TakenoriNakayamaCKobeSteel , L6) A
pplicationsofthe LIGAp
rocessatSumitomo E
lectricIndustriesYoshihiroHirataCSumitomoElectricIndustries)と，必ず割れが起こりやすくなる。強い材料の開発には割れやボイド(空洞)の起点と進行のその場観察が決め手になる。前述の平行 X 線による屈折 X 線撮像によって非金属介在物，応力腐食割れ，合金鋳物中のボイドなどが明瞭に観察された。今後の研究が期待される。

LIGA プ口セスJit用開発 :ANKA は光部品の集積化に挑戦するのに対して，医療，生産現場のニーズに対応して，医療超音波診断の高分解能トランスデューサの生産，細管内の検査，修理等を分担するマイク口マシンを機械的@

気的 Iこ連結するマイク口コネクタ，高分解能@高感度のマ
イクロ光電子増倍アレイ，ハードディスクの記録密度を向上するヘッド徴動アクチュエータなど，試作や実用化に成功。マイク口口ポットが散乱した米粒を避けて移動するビデオも結介された。その背景には小型放射光源用の高感度レジストやマスクの開発がある。

問時通訳:国際会議の「楽しさ J を阻むのは言葉の問題です。今回は，同時通訳で進行し，海外からの講演も日本語tonmelting) や高温超伝導の起源の XAS による研究を紹で聴くことができ，また，国内からの講演者には日本語で介。その場観察は生産現場でも重要と思われた。

思う存分に語って戴き，海外からの出席者には通訳の英語

ナノエレクト口ニクス材料評価:電子素子の微小化に向かで聴いてもらった。「通訳は明解で，日本語の講演もエンう 21 世紀に放射光はどのように貢献できるか，講演者自ジョイした j と外国人の評価も高い。実際，通訳は前日に身の研究をベースに解説。エネルギ一分解能 E/Ll E 口

講演の 2~3 倍もの時聞を掛けて講演者と打合せをするの16000の光電子分光を PF で実現し，これに X 線定在波法，で，中身を理解した上で通訳され，講演者が話し忘れたこEXAFS 構造解析も加えて， Si02 /Si , S/GaAs の界面構造とも補足されて，ごく自然に鵠くことができる。専門外のと各原子層の電子状態を解明，さらに O 次元量子効果に研究を知るのに効果的で，楽しめます。また，広い視野でよる光@電子@スピンを包括した量子ドット素子への展

自分の研究の位霞づけをしたい若手研究者の方も，次回は放射光なしでは不可能な研究の紹介でした。

Informative , Interesting, Impressive な内容の企画を

講造材料の割れの観察:構造材料の腐食や割れによる損失
は GNP の 2'"'-'3%しますので，御出席下さい。

る。また，省エネルギーを屈指

くコ研究会報告じ>

第 6 圏 UVSOR ワークショッブ
繁政英治 p 下僚竜夫(分子研 UVSOR)

2000年 3 月 13 日， 14 日の両日，分子研において第 6 田を意識しながら議論しています。本年は，主に PF，UVSOR ワークショップが開催されました。以前， UVｭSPring-8 , HiSOR ，電総研そして UVSOR を利尽して原子SOR では利用者の成果発表会を主目的として UVSOR 研

分子を測定対象とした実験を行っている研究者を招いて，究会を毎年開催していたのですが，放射光学会年会が各施「放射光を用いた原子分子研究の現状と UVSOR での将来設の合間シンポジウムの機能を果たすようになったため，の展望J というテーマで行われました。ちなみにこれまで

ワークショップと名前を改め，放射光利用に関する技続的の UVSOR ワークショップは， I放射光とレーザーを併用な課題や学問的な展望を， UVSOR の年次計闘@将来計闘

した分子科学の展望J I放射光赤外線利用ワークショッブJ‑48‑