放射光第 5 巻掠 3 号

285(1992年}

読者投稿欄

放射光と伝熱河村
l'ek近，政 ~H光接d・1 の太嵐模化にともない，除熱の問題が重要になってきたため.

本学会の発表等にも「熱J に関するテーマを見受けることが多く

洋(東京閣寺大学)を「熱伝導」といわれることがあるが.本学会で!:t，物思のご専門の )jが多いだけあって，この極の誤聞は少ないように見受けられる。

な勺た。浪者は，ぬ Fノ7工学や機械工学の分野て熱に関する H lJJをしてきたもので，放射光に関しては全くの系人であるが.この故年とくに蝕射光2. r熱流東 J と 「 熱伝導率 Jtp.{\i血'翻，単位時間当りに通過する熱置を熱疏

光学素子の冷却に関して.6卜のお手伝いをさせて束と呼んでいる.時折.

聞いている。そのような立場の人I~J tJ(. J.&近の本るのを見ることがあるが，これは良川である。も学会での講話iを伺ったりぬ文を拝見したりしていっとも結近は.

ると，いろいろ気付くこともあり.また熱の問題についてご質問を受けることも多いので.今岡本r熱誠迫」と件かれていワープロミスによることも多い。

熱疏京 (Q) と温度勾配 (dT /dX) との問には.

よく知られたフーリエの法則による比例関係側をお借りして，放射光と伝熱に閃し 1指の気
Q = ‑ ). (dT/dX)付いたことなとを ~Tかせて国くこととなった。

1. r 熱伝導 」 と 「熱伝達Jがあり，このときの比例定数 λ を f 熱伝導率」というまでもなく鍋は一般には温度のρi い部分から低い部分へと移動するが，これを寂々は f 伝

斜J と呼び.通常.その形態を次の 3 聞に分間し呼んでいる。単位は W/mKである 。したがって，熱伝導唱は物性値であり.物性のハンドブック等から求められる。ている。

r熱紹射 J
前r熱伝導 Jr
(対流}熱iぷ述」

3. r熱伝達率 」

者は改めて説明するまでもないと思われる固体を加熱ま たは冷却する場 合に，固体ぷ而のが.第 3 番口の熱伝ii とは，流体の流れにともな

温度をじ(添字 w は waJl の;む) .抗体内の代表的って熱が移動する現象で.

な制度(たとえば平均温度)を T， (添字 r (inuid

とくにi面体ぷ耐と抗体1mの無移動を云う。たとえば.モノクロメータのの忍)とするとき.温度差 (Tw-T，)と熱誠束 q

内側を本で冷却する場内に，モノクロメータの A<との聞に比例関係を仮定しに接する面から水流への熱移動がこれにあたる。

他ノ]，熱伝導は媒体は移動せず温度差のみによ

q '" α(T"'‑T,)る熱の移助をぷう。上の例では，モノクロメータ
点而で発生した熱か，シりコン結品内を冷却チャとしたときの比例定数 α を，ンネル側へ移動するのが熱伝導である。このようでいる e 単位は W / m 2 K である。上式はニュートに.

ンによって健唱されたということになっており.

r顛伝導 J と「熱低位」は異なる説象である 。 世間一般では.

r熱(云(tJ というべきところ

r熱伝達率J と呼ん

ニュートンの法則と呼ばれているが.国体表面の‑69‑(C) 1992 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Research

286

放射光第 5 巻第 3 号(1992 年)

熱伝達は複雑で，このような簡単な比例関係で表果」や「熱伝達の向上」位であろうし，もう少しされるものではないので，近年では，上式は単に定量的に云うのなら「高い熱伝達率」と云うこと熱伝達率の定義を与える式と見なされている。になろう。

したがって，熱伝達率は，熱伝導率とは異な5.

り，物性値ではなく，流体側の流れの状態や，固放射光光学素子の冷却方式の分類

体の形状，寸法などに大きく依存する。それでもここで話題を変えて，放射光光学素子を，冷却流れが相変化のない単相流にとどまる限りは，という観点から分類してみたい。筆者の考えで(α が流速や流路寸法等に依存するとはいえ)熱流は，放射光光学素子は，図 1 の 3 種に分類できるの束 q と温度差 (T w ‑ T f ) との聞の比例関係そのもではないかと考えている。のはほぼよく成立することが多いが，相変化があ

第 l は，入射光面の直下を冷却し得る場合で，って沸騰が生じたりすると，この比例関係自体がミラー，モノクロメータのような「反射型素子J ，全く成立しなくなる。

およびアブソーパ一等の「吸収型素子」がこれにでは具体的にどのようにして熱伝達率を推定すあたる。

るかというと，従来からの研究の蓄積があって，第 2 は，入射光面の直下に冷却材を流せない場

いろいろな因子を考慮した整理式がハンドブック

合で，ウインドー，フィルタ一等の「透過型素等に収められているので，それを利用して頂くこ子」に用いられる。とになる。代表的な例としては，日本機械学会か

第 3 は，上記 2方法のバリエーションとも見られら発行している「伝熱工学資料J 1) があるが，複雑るが，入射ビームの寸法が微少な場合にあたり，な無次元数が多く含まれる式ばかりで，一般には冷却部はビーム径に比して相対的に遠方にならざ使いにくいとの評判なので，パソコンで式の計算るを得ないので，伝熱的には別の取扱になる。

もできるようにした簡易版のハンドブックを現在作成しており，

6.

日本機械学会から近く発表する予定である 2) 。

除、熱の限界とその向上
放射光装置内の熱負荷が各所で大きくなるにつれ，どの程度の熱負荷まで除熱できるかという質4. í 高い冷却効率 J とは?

問を受けることがよくある。これは，上記の冷却最近，放射光の熱に関するご発表に，たとえば方式にも依存し，一概には答えられない問題であ「フィンをとりつけることにより，非常に高い冷る。

却効率が得られた」と云うような表現をよく見かける。云われようとする意味は，除熱限界の向上方法は，発熱部から除熱部に至るまでの熱流ノミスの内，í小さな温度差で大きな熱負荷が除熱できた」ということであろ

どの部分の熱抵抗が支配的になっているかに依存する。

うことは十分推測できるが，我々の伝熱の分野では「冷却効率J という用語は使わない。

6. 1 熱伝導支配の場合

í効率」とは，やはり何%と云う割合を表す言葉だからで固体内の熱伝導が支配的な場合，その部分にである。上の例でも，たとえば í 100%の入熱のきる限り熱伝導率の大きな材料を用い，さらにそ内，どこかへ矢われてしまったのは 20% で，残りのパスをできる限り短くすることになる。たとえの 80% は冷却できた J というようなことを意図さば上記の直下冷却型では，受光面部分の肉厚をでれているのではないと思う。ではどう云えば良いきる限り薄くする。

かというと，ばくぜんと云うなら「高い冷却効-70 一

周辺冷却型では，冷却部までの距離をできるだ(1992 年)

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放射光2
87

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固体

冷却チャンネル

1.直下冷却型

一一今

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2. 周辺冷却型

3. 遠隔冷却型
図 1

放射光光学素子の冷却方式

け短くすることが必要である。一般に，単位面積6.2 熱伝達支配の場合当りの入射光強度を小さくするために入射光面を支配的な熱抵抗が固体表面から冷却材への熱伝傾けることがよく行われるが，アブソーバーの場達部分である場合にも，あまり特別な名案はな

合，く，取り得る方法は，大略以下の通りである。

1 枚当りの吸収量を一定とする条件下では，入射光に対して傾けて設置すると，かえって不利(1)伝熱面積を増加させる。になるという一見パラドキシカルな結論が導かれ(2) 冷却材の流速を増加させる。

る。これは，冷却部までの距離が長くなることに(3) 伝熱面を粗くする。

よる。

(4) 熱伝導率の大きな流体を利用する。

上記の冷却方式の分類の内，第 3 の微小径ビー(5) 沸騰など相変化を利用する。

ムの場合は，完全に熱伝導支配となるため，入熱よく行われる入射光に対して面を傾ける方法と表面温度との関係は，かなり簡単な熱伝導計算

は，入射面の面積を増加させる方法で (1) の一種で概算できる。それによれば，材料を決めると，である。次に，入射光面積を一定にすると，伝熱表面最高温度は，入熱 Q [W] とビーム径 d [mm]面にフィンを用いるのが，代表的な方法である。の比，この方法は，放射光のモノクロメータの冷却に採Q/d のみによって決まる。したがって，ビーム径が小さくなるほど，熱の 3 次元的な拡散用されているが 3) ，最近は半導体の分野でも集積効果が大きくなるため，単位面積当りの熱流束 q度が向上しやはり冷却が大きな問題となっている(w/mm ) では，かなり大きな値まで許容できるため，こととなる。

ロフィンの研究が行われている 4 )。フィンはある

2フィン間隔を O.5mm 以下に狭くしたマイク程度以上長くしても先端が冷えてしまって効果はないので，いきおい間隔をつめようとすることに‑71‑

放射光第 5 巻第 3 号

288(1992 年)なる。むろん工作上からの限界はあるが，将来工を用いることにより，水に比しておそらく数倍程作方法の改良によってさらに小さなフィン間隔を度大きな熱伝達率が得られるが，実際の利用には実現させることは有効であると考えられる。

今後の技術開発が必要である。

冷却材の流速を大きくすると，熱伝達率は増加

第 5 番目の沸騰を利用する方法では，比較的簡する。舌L流域では熱伝達率は流速の 0.8 乗に比例し単に高い熱伝達率が得られる。光学素子の冷却にて増加することが知られている。しかし流速を増沸騰を許容したときの問題点は，気泡発生による加させると圧力損失も流速の1. 75 乗に比例して増振動の懸念であろう。実際にどの程度振動が生じ加するため，おのずと限界がある。一般のエネルそれが許容できる範囲がどうか，実験によって確ギープラントの場合には，熱効率の面からも流速認することが望まれる。一般に沸騰熱伝達では高をあまり大きくすることはできないが，放射光設

い熱流束の除熱が可能であるが，明確な限界点が備の場合にはそのような制限はないから，素子の存在する。これがいわゆるパーンアウト点で，熱変形が許容できる限度まで流速を大きくすること流束が限界値をこえると，熱伝達は急激に劣化ができる。なお，流れが層流の場合には，逆説的し，伝熱面が急上昇して破損に至る。したがってではあるが，熱伝達率は流速には依存しない。も沸騰を許容する場合にはバーンアウト点の限界熱

っとも流速が低いと流れ方向への温度上昇が大き流束を，確実に把握する必要がある。

くなるから，やはり流速をある程度大きくするこ

限界熱流束に関する研究や整理式も数多くあとは必要である。

り，大略の値は予測できる。かなりサブクールを大きくとった水の強制対流沸騰の場合，設計上許第 3 番目の伝熱面表面を粗くする方法は，一見容される限界熱流束は，伝熱面上でおそらく数~第 1 番目の伝熱面積を大きくする方法と同じと思5 W/mm 程度であると思われる。拡大伝熱面を用われるかも知れないが，この場合は，伝熱面に細いれば，受光面上での熱流束はもっと大きくなる。

かい粗さを与えるのみで面積自体の増加はほとん

さらに高い熱流束の除熱が必要となれば，流路内どなく，冷却材の流れを撹乱して熱伝達率を向上

部にツイストテープを挿入する等の方法もある。

させる効果が利用される。熱伝達率の増加はおお従来のバーンアウト研究は，原子炉内を想定しよそ1. 5 から 2 倍程度で，放射光装置にも，条件のたものが主であり，形状も条件も大きく異なるの

厳しいところにはもっと検討されてもよい方法でで，放射光用には相当の実験を行って確認せざるあると考えられる。

を得ない。この限界熱流束が高いという点から2も，水は最適の冷却材である。最近，シリコンの第 4 番目については，熱伝導と熱伝達は別であ線膨張率が小さくなる性質を利用するため，液体ると云ったことと矛盾するようであるが，熱伝導窒素による冷却も検討されているが，沸騰の発生率の大きな流体を用いれば，熱伝達率もやはり大は避けられないと思われるので，限界熱流束が大きくなる。通常流体の中では水は熱伝導率が大ききな制系句となろう。

く最適な流体で，これより熱伝導率の大きなものを探そうとすると，液体金属にならざるを得な

7.

あとがき

い。原子炉の冷却材としてはナトリウムが用いら

以上，筆者が本学会のご発表などを伺って気付れるが，融点が高すぎ反応性も大きいので，放射いた点や，よくご質問を受ける伝熱関連の諸点に光装置ではガリウムが検討されている。ガリウム

ついて，ランダムではあるが述べてみた。放射光‑72‑放射光第 5 銘第 3 号( 1992年〉

289と伝熱は従来おそらく接点を持たなかった分野で文献あると忠われる。それだけに.伝熱分野での既#1) r 伝熱工学資料{改定都 4 1l> J. 日本機誠学会.
(19&6).の知識がお役に立ちそうであるし，また逆に設々がこれまで考えもしなかった問題が.政射光の側から鑓示 されることもある。このようにして両占'2) r伝熱工学ハンドブッタ J ，臼本機械学会. (1992予定).

3)T Ma随時hìla et 自1 . : Wor
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gofX.
rayが刺激しあい.叔万の兜11是につながれば卒' いと考

Monochromalo内えている。

onHighPower B帥mh目白. KEK5.(
1989)
Report88‑14) 円本伝納シンポジウム白骨制論文拠(凱 29 [iil). A
331‑AJJ4.(1992).

パックナンバー紹介
日本放射光学会特別シンポジウ ム 予稿集 ( 1 99] 年 1 月)

Pa凡 l

小型光顕加速器の現状と展望ーリソグラフィへの出番は?

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ソ連の放射光新技術
主随日本故射光学会

後揖協質

応用物理学会体裁

A4 判(全英文.

定価Par
t1, 2 ， とも各 1 ，000 円~G r-技術総台研究所

2 分 1m) P
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内容Par
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