米・ LUXTRON® の蛍光ファイバー温度計

m924 OEM-100 ～ 330℃

Fluoroptic Thermometer
Customized Fiber Optic Temperature Measurement for OEM Applications

電気的なノイズに影響され易い熱電対やRTD、サーミスタなどの置き換えに
電気絶縁性のため、防爆環境やスパークの発生する環境でも測定可能
真空容器中への導入が容易
真空内部へ導入するフィードスルーを用意
4チャンネル同時測定 (m924)
測定周期は、50Hz
温度信号は、4～20ｍA又は0～10V
m924
最大64チャンネルまで拡張可能
電源は、5～24VDCで使用可能
通信機能：RS232C及びRS485
プローブは、化学的に安定なPFA被覆、電気的に絶縁表面温度用、液体定用など使用する目的に応じたプローブを用意
測定箇所へ蛍光塗料を塗布することで非接触で表面の温度測定も可能
プローブ先端部
温度校正：ユーザサイトで実施可能
アプリケーション・EMIや高電圧の環境下でのプロセス制御用・半導体や薄膜処理用に・静電チャックの温度制御用・高周波誘導加熱の温度制御や監視・ＲＦやプラズマアプリケーションでの半導体ウェハー温度のモニタリング・マイクロ波加熱制御

仕様
項目:
温度範囲:
測定チャンネル数:
測定周期:
精度:

m924 OEM

m922 OEM

ノイズ:
分解能:
通信プロトコル
通信機能:
出力信号:

-100～330℃←4CH
2CH50Ｈｚ←
1点校正時±0.5℃ ：校正点での±50℃以内
3点校正時±0.1℃ ：100℃を超える温度範囲において＜0.1℃（1σ＠1Hz)
RS232/RS485出力： 0.01℃
ASCII/RS232 Modbus/RS485
RS232及びRS485
DC4 ～ 20mA
又は DC0～10V

動作温度：
保管温度：
供給電源：
外形寸法：

-30 ～ 75℃ 80％RH, 但し、結露しないこと-40 ～ 85℃
5 ～ 24VDC±5％47Hｘ114Wx144L (mm)

外形図

(mm)

ご注文について
標準構成：
・取扱説明書(和文）Model

Part Number

Probe

CH数

m924 OEM, Enclosurem924 OEM, 0-10V, Enclosurem924 OEM, Enclosurem924 OEM, 0-10V, Enclosure
m922 OEM, Enclosure
m922 OEM, 0-10V, Enclosure
m922 OEM, Enclosure
m922 OEM, 0-10V, Enclosure

SQ11900L
SQ11853L
SQ11917L
SQ11892L
SQ11899L
SQ11907L
SQ11910L
SQ11898L

STB
STB
STF
STF
STB
STB
STF
STF

44442222

蛍光プローブ：

Fluoroptic® probes

蛍光プローブ（Fluoroptic® probes ）は、シース熱電対やシースRTDと同等の扱いやすさで、真空内部での温度測定や表面温度測定、リモート測定（非接触測定）を容易に実現できます。
金属材料を排除しているため、高電圧や高周波などとの干渉がありません。
化学的に安定なPFA被覆のため、液体温度測定も可能
電気絶縁性のため、防爆環境やスパークの発生する環境でも測定可能
使用する用途に応じたプローブを用意

STFプローブ
用途：
温度範囲：
応答時間：
ファイバー長さ：

高速応答、液体
0～295℃
0.25sec/撹拌された水 1.25sec/空気
1/2/5/10ｍ

STBプローブ
用途：
温度範囲：
応答時間：
ファイバー長さ：

汎用
0～120℃
0.25sec1ｍ

温度測定例
ここでは、蛍光ファイバー温度計の特徴を生かした温度測定例をご紹介します。
Siウェハーの温度測定

m924

フィードスルーを使用して、間単に真空内部の温度測定ができます。
長さはフィードスルーで調節できます。シールはバイトンOリングで行います。
プラズマ下でも高周波ノイズの影響を受けることなく測定できます。

静電チャック、ヒータなどの温度制御
高周波を利用したプラズマ環境下での温度制御も高周波ノイズに影響されること無く、安定した制御を行うことができます。

m924
m924

高周波や高電圧下での電極温度測定
高周波や高電圧の掛かる電極の温度測定において、安全に測定することができます。

液体中の温度測定

化学的安定なPFA被膜ですので液体温度も安全に測定できます。

多点温度測定最大４CHの測定入力を備えていますので、プローブを用意すれば簡単に拡張できます。

熱電対やRTDの置き換えに扱い方は従来の熱電対やRTDと大きな違いはありませんので、置き換えが容易です。
アナログ出力は、0-10Vまたは4-20ｍAです。

測定原理
1978年、Luxtron社は、蛍光技術（Fluoroptic® technology ）を用いて、ファイバー式温度計の分野を開拓しました。

◆蛍光センサによる温度測定は、熱に敏感な蛍光物質の蛍光減衰時間が温度によって異なることに基づいています。
このセンサは、図１にあるようなファイバケーブルの先端にあります。

図1

蛍光ファイバー温度計◆LEDの赤い光で蛍光物質が刺激されると蛍光センサは近赤外の波長の光（蛍光）を発します。（目には見えません。）（図２）

図２

LED光と蛍光の波長関係◆赤色LED光によって発生した光をファイバーで導き、プローブ先端にある蛍光センサに吸収させます。

測定対象
蛍光センサ
LED光

蛍光

図３

◆LEDをoffすると蛍光センサから出た蛍光が、同じファイバーの中を通り、検出器に集められます。（図３）◆この光信号を増幅し、デジタル信号処理します。

LED光と蛍光◆蛍光は、時間と共に光量が減少します。
蛍光センサに接触している測定対象物の温度が高い方が、より速く減衰する特性を持ちます。（図4）
温度が低い方温度が高い方

図4

蛍光の光量の減少と温度の関係◆この蛍光の減衰時間を計算し、予め用意した温度校正表に従って、内部のソフトウェアで温度に変換します。（図5）◆測定可能な温度範囲は、-200～330℃の範囲です。

図5

蛍光減衰時間と温度の関係

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