‫رؕ؝ة٭طت‬٤‫ت‬‫⹦סة٭طت‬䣽ַӖ‫✳סة٭طت‬榫梪㗞‫יַחמ‬✳ 榫 梪 㗞 ֐˳յ֐3)ꪜ磵꨽䫟㝢✳榫梪㗞o˳յ֐3)ꪜ磵꨽‫סة٭طت‬牊걉յ錃糋兢♭٬Ⳃ⛼兢♭٬䓪耆‫לם‬յ㛡㹎‫׾ג؂מ‬兢♭‫׽׻מ‬յ‫✳ׇ‬榫ꮼׄ‫׾‬峪䈱ֿ㚺‫׌ױ׽؂‬ն
˥域‫םֹ׻ס‬㕙䢥‫✳סך‬榫‫ע‬鹴ׄ‫ַ׈דׂי‬նӳ‫׷׽׆׮‬睖㗂攐‫מ‬ꄋ㷯睖‫ס‬㛡ַ‫؀׆כ‬ӳ泡㵣仼⩞յ鮝㵣掂ֵֿ‫؀׆כ׾ג‬ӳ愁妳‫מ‬鲣ַ‫؀׆כ‬ӳ肨괏䓪‫ت؝‬յ⺎掩䓪‫ֿت؝‬氦榟‫؀׆כ׾׌‬ӳ姡‫׷‬媧ֿ‫؀׆כ׾־־‬ӳ䨕Ⳃ‫׷‬轿䱡ֿ⚥‫؀׆כ׾؂‬ӳ㖲⮆յ僗嚀巕Ⰺֿ㛡ַ‫؀׆כ‬Ӗ燯Ⳃꄈ‫יַחמ‬ռ舅Ⳃ‫ة٭طت‬սռ䣆Ⳃ‫ة٭طت‬ս

＋（CW）
方向…モータから遠ざかる方向−（CCW）
方向…モータに近づく方向
＋（CW）

10mm

10mm

−（CCW）
50mm

50mm

舅Ⳃ‫סة٭طت‬燯Ⳃꄈ‫نע‬ٜ‫عت‬ٞ‫ؠ٭‬؅辐‫׌ױַי׊‬ն❆ֻ‫ף‬燯ⳂꄈNN‫ס‬㕙⺬յ‫ع‬ٝ‫ت٭‬㍲‫ך‬炐‫⛣׌‬糋؅╈䑏‫י׊כ‬յ$8亠⺸‫מ‬NNյ
̿$$8亠⺸‫מ‬NN燯Ⳃ‫׌ױ׊‬ն䣆Ⳃ‫סة٭طت‬燯Ⳃꄈ‫ע‬o‫ך‬辐鋗‫׌ױַי׿׈‬ն❆ֻ‫ף‬oNN‫ס‬㕙⺬յ‫ع‬ٝ‫ت٭‬㍲‫ך‬炐‫⛣׌‬糋؅╈䑏‫׊כ‬‫י‬յ┉亠⺸‫מ‬NNյ⹚㵚亠⺸̿‫מ‬NN燯Ⳃ‫׌ױ׊‬ն‫ن‬ٜ‫عت‬ٞ‫עؠ٭‬NNӖ♀㷯‫יַחמ׋נ‬ӳ䌃炘‫ך‬嘅嶖‫ׄ♀⹦׾ַי׊כ‬榫‫⪟ס‬鉈狌♀‫ٍوشٔ؞‬ٜ‫ع‬┉鼧ⶇ㰄‫يػ‬㵸‫׋נ‬ֿ♀㷯‫׌ױַי׊‬նմӖ‫ס׋נ‬稤‫عׄ♀״‬ٜ‫יַחמؠ‬Ӗ‫ج‬٤‫ئ‬㓹冎‫׽⹦ס‬䣽ַ‫יַחמ‬稤‫عׄ♀״‬ٜ‫ؠ‬㓹嶖辐✳榫‫ע׋נ׾׌‬464‫ٍوشٔ؞ס‬ٜ‫ع‬؅㵚霄‫מ‬錃㲊‫׌ױַי׊‬ն䌃炘‫ج‬٤‫ئ‬㓹冎‫ע‬յ┉鼧㑔䌋؅ꢜ‫׀‬յ%$_7‫ױ׊⛼Ⳃימ‬‫ֿ׌‬յ✳榫疗㍱؅飃ֻ‫׾‬꧅㏆յ꧅孱ֿⷄⱶ‫ג׿׈‬㕙⺬‫׷‬鏰鿥稗ֵֿ‫גז‬㕙⺬‫ע‬յ啶䡗鼧⿁ֿ抏䮇‫׾׌‬䔤‫׌ױַ׉ׇֿ׿‬ն┖鋗‫מ‬嫰䙫‫✳ׇי׊‬榫ׂ‫ַ׈ד‬ն逇稤‫ׄ♀״‬免‫ס‬啶䡗
SUS、アルミ、鉄、真鍮
SUS、アルミ、鉄、真鍮

023

⽛‫צ‬

LHG٬DN

D/٬N.







մӳ‫ذ؜‬ٞ‫ء‬鋗鬼‫ס‬꧅㏆յ꧅孱؅飃ֻ‫✳י‬榫‫ַ׈דׂךַם׊‬նմӳ꧅㏆‫ס‬哕䓪ꝴ鷿ַյ⟓⺘稗‫ס׫‬꧅嶎䫘禈‫לם‬յ鏰鿥稗‫מ‬‫ׇ⮆ⶇע‬嫰䙫ׂ‫ַ׈ד‬ն‫גױ‬յ逷糋磝鱮榫鵍‫✳ׇך‬榫‫ס‬㕙⺬յ嚀㉺啶䡗‫تעיז׻מ‬ؕ‫زش‬٤‫ة٭ئ׷ثؕؿء‬꧅㏆ꪐ꧅妳䷑꧅յꝧꝥ‫םة٭ئ‬‫ל‬ֿ氦榟‫׊‬յ‫ج‬٤‫סئ‬鏰Ⳃ⛼‫׷‬抏䮇‫ס‬䔤‫׌ױ׽ֵֿ׿‬ն‫ؕؿ‬‫סث‬氦榟ֿ䘶㲊‫׾׿׈‬㕙⺬‫ע‬յ┉芗氳‫ם‬榤哅嚀㉺‫מ‬䫟㝢‫׈‬‫׾׿‬㵚瓀璡؅㲔产‫✳ׇי׊‬榫ׂ‫ַ׈ד‬ն

ステージの取付け■自動ステージの取付けについて型式によりステージ面を移動させて取付けるものがあります。モーターのつまみを回して移動させます。

X軸ステージゴニオステージ

回転ステージ

Z軸ステージ■手動ステージの取付けについて型式によりステージ面を移動させて取付けるものがあります。
X軸ステージ取付け方法
イラストのようにステージ面を前方、後方へ移動させると取付けできます。

Z軸ステージ取付け方法（水平面タイプ）
下面プレートの取付穴4ヶ所を利用して取付けます。
（取付け穴は3ヶ所の場合もあります）

XY軸ステージ取付け方法
Xステージと同様に取付けます。

Z軸ステージ取付け方法（ブラケットタイプ）
ブラケットの4ヶ所の取付け穴を利用して取付けます。
（取付け穴は2ヶ所の場合もあります）■ステージ上面・下面に取付ける対象物について平面度の悪い対象物を取付けたり、平面度の悪い物に取付けますと、ステージ面を変形させ、精度に影響を及ぼす場合がございます。
ご注意ください 。
【平面度の目安：10μm以内】■ステージの取付け面、取付け方向についてステージの型式、取付け向きにより機能を満足しない場合があります。天井取付け、側面取付けの際は下記の例をご参照ください。

リニアボールガイド、
クロスローラ等

自動X軸ステージ

ガイドに掛かる荷重条件はほぼ等しいので、使用は可能です
が、カタログスペックは満足しない場合があります。

モーメント荷重により、ガイド、モーターに掛かる負荷が変わってきます。電源をOFFにした際、落下防止が必要であれば電磁ブレーキ付モーターを推奨します。

手動水平面Z軸ステージ

手動X軸ステージ

B33-KGA 等
ステージ内のスプリングが伸びる方向になるため自重で下がってしまいます。

BSS16-60A 等
マイクロメータで荷重が受けられず、ステージ面が下がります。

024

ステージガイダンス

ステージに使用されるグリース
弊社のステージには、その性能を維持するために機能や部材によって最適なグリースが塗布されています。標準状態では、以下の表のようなグリースを使用しております。商品によってはオプションコードにて、クリーン対応や真空対応グリースに交換可能です。
グリース交換はP.027〜

使用グリース一覧
万能グリース クリーングリース 光学グリース ねじ駆動用グリース 送りねじ用グリース モリブデングリース ダンパーグリース
リチウム石鹸基 リチウム石鹸基 リチウム石鹸基 リチウム石鹸基
ウレア基
Li/Ca混合リチウム石鹸基
鉱物油
合成油
合成油
鉱物油
─鉱物油
合成油
精密機械用
低粘性抵抗値 光学用特殊グリース 精密機械用
ミツトヨ標準
二酸化モリブデン添加 長期潤滑
低発塵性
耐摩耗性
にじみ出し少ない 高潤滑性
高極圧性にじみ出し少ない
低トルク
酸化安定性
耐フレッチング性
クロスローラガイド●
リニアボールガイド
（手動）
●
直動ガイド
CAVE-X（自動）●リニアボールガイド（自動）●スライドガイド
●
●
アリ溝
●
滑り案内
その他摺動面●
深溝玉軸受け●軸受け
アンギュラ玉軸受け●
クロスローラ軸受け（封止済）※
マイクロメータヘッド
●
送りねじ
●
駆動部
精密送りねじ●ボールねじ●●●ウォームギア●
てこ支点●
センター軸受け接触部
マイクロメータヘッド先端部
送りねじ先端部●
ねじ部
クランプノブ●※クロスローラ軸受けは、シールにより封止されていますのでメンテナンス不要です。
増ちょう剤
基油
特徴

メンテナンスについて●グリースアップ頻度
グリースの種類に関係なく定期的な基準は特に定めておりません。
駆動条件やガイド種類により異なりますが、月1回程度グリースの状態を確認していただき、必要に応じて塗布してください。

●グリースアップ方法① 見える範囲で古いグリースをふき取ります。
② シリンジ等でガイド・ボールねじに塗布します。
③ フルストローク動作を数回させます。
④ はみ出したグリースを拭き取ります。

025

ステージ発塵試験
クリーンルーム内での使用を考え、弊社の自動調芯システムを構成するステッピングモータステージで発塵試験を行いました。
＊クリーンルーム対応の判断は全体の装置構成や使用頻度、使用条件により異なります。
このデータを製品選定の参考値としてご使用ください。
今回の試験では弊社の標準グリースを使用しています。

1. 試験分類

発塵量試験

2. 温湿度条件

温度：24〜80℃ 湿度：48〜54％

3. 試験場所（社）
日本空気清浄協会試験所
埼玉県草加市稲荷5-27-1

4. 試 験 体

名称 6軸自動ステージES6200
寸法（H×W×D）
450×300×250mm

5. 試験項目

粒子発塵量6. 試験方法

JIS B 9926「クリーンルーム・使用する機器の運動機構からの発じん量測定方法」
による●試験装置：縦型発塵量試験装置（右図）●光散乱粒子計数器：MetOne205

クリーンブースへ

大気塵除去部
気HEPA＋ULPA

濃度測定用
サンプリングノズル

ハッチ部
500×700

パーティクル
カウンタ

縮流・混合部

1サイクル（3分）の詳細①各6軸の原点復帰②各6軸、機械原点から初期位置へ移動③仮想接触感知実行（θxを左に0.4度、右に0.4度移動、θyを左に0.2度、右に0.2度移動、Zを5μm前進）
これを5回繰り返す。
④仮想ピークサーチ実行（Xを10μm移 動、Yを10μm移 動、Xを−10μm移動、Yを−10μm移動）
×10回

試験体設置部

8. 試験結果

送風機より測定部

7. 運動条件

流流量測定用オリフィス流量計(吸引量：1cf/min)

試験体：6軸自動ステージ
試験風量Q：1.0m3/min
測定時間：各60分（通電時及びその前後）

粒径範囲
［μm］

バックグランドの粒子濃度［個/m3（］Cb）（95％両側信頼性限界）

通電時の平均粒子濃度］C）［個/m3（（95％両側信頼性限界）

0.16以上0.3未満

8.8（6.0〜12.6）

13.0（8.1〜19.6）

0.3−0.5

2.4（1.0〜4.6）

2.9（1.0〜6.9）

0.5−1.0

0.0（0.0〜1.1）

2.9（1.0〜6.9）

1.0−5.0

0.0（0.0〜1.1）

4.1（1.7〜8.5）4.1

5.0−10.0

0.0（0.0〜1.1）

0.6（0.0〜3.3）

10.0以上0.0（0.0〜1.1）

0.0（0.0〜2.2）

通電時の95％両側信頼性区間は、バックグランド（停止時）と重なり、分解していないため、バックグランドと区別できる有意な発塵はなかったことを示す。

平均粒子発生量P＝（C−Cb）
Q［個/min］（P）

通電時の95％両側信頼性区間は、バックグランド（停止時）と重なり、分解していないため、バックグランドと区別できる有意な発塵はなかったことを示す。

026

ステージガイダンス

グリース交換について
位置決めステージに使用しているグリースはクリーンルーム・真空向けにグリース交換が可能です。

〈自動ステージ〉
自動ステージのグリース交換は、オプションコードで発注が可能です。
型式の末尾に-J、K、Lを付けて頂いた場合、グリースを変更した製品をお求めになれます。

【発注時の型式と交換費用】
末尾コード
名称
型式
メーカー
使用可能温度範囲
オプション差額-J
クリーン環境用グリース
AFF
THK−40〜120℃＋￥28,000-K
クリーン環境用グリース
LG2
NSK−20〜70℃＋￥30,000-L
真空向けグリ−ス
フォンブリンYVAC2
ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン㈱−20〜250℃＋￥38,000※上記金額は1軸分となります。
※CAVE-X（リニアボールガイド）
シリーズ、KXS（スライドガイド）シリーズは、ベアリング部を除き、標準でクリーン環境用グリース（AFF）を使用しています。

■対象外製品・自動ゴニオ・自動回転ステージ・水平面Z軸ステージはグリース交換対応不可となります。

【交換箇所】
・ガイド・ベアリング部（シール付ベアリング及びサポートユニットを除く）
・ボールねじ※ボールねじ・ガイド・ベアリング（シールなしベアリングのみ）
は洗浄後、塗布工程を行います。
※モータのグリース交換はできません。

【精度保証】
・クリーン環境用グリース
グリースの粘性抵抗が大きくなり、カタログ記載の標準グリースタイプと同等のスペックを満足することが困難となります。
特に微小ステップ送りについての追従性が悪くなる傾向となります。
グリース交換後の製品において全品精度測定を行い、精度保証については下記となります。
《直動系》カタログ記載の標準グリースタイプの1.5倍の停止性能値※CAVE-X（リニアボールガイド）シリーズ・KXS（スライドガイド）シリーズはクリーン環境用グリース（AFF）が標準となるため、各製品紹介ページに掲載されているスペックへの精度を保証いたします。
例）
グリース交換を行った自動ステージの精度（1.5倍の停止性能値）
リニアボールガイドPG615
位置決め精度
繰返位置決め精度
ロストモーション
バックラッシ平行度
運動の平行度

カタログ品
（標準品）
6μm以内
±0.5μm以内
1μm以内
0.5μm以内
15μm以内5μm以内

グリース交換品
9μm以内±0.75μm以内
1.5μm以内
0.75μm以内
22.5μm以内
7.5μm以内・真空向けグリース
グリース粘性抵抗等により出荷精度のばらつきが発生します。
カタログ表記のスペックは保証外となります。

【出荷日について】
交換するグリースまたは製品により標準グリース品と出荷日が異なります。

027

〈手動ステージ〉
手動ステージのグリース交換はSSステージのみ、オプションコードで発注が可能です。
型式の末尾に-J、K、Lを付けて頂いた場合、グリースを変更した製品をお求めになれます。

【発注時の型式と交換費用】
末尾コード
名称
型式
メーカー
使用可能温度範囲-J
クリーン環境用グリース
AFF
THK−40〜120℃-L
真空向けグリ−ス
フォンブリンYVAC2
ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン㈱−20〜250℃＋￥2,000＋￥12,000

オプション差額※上記金額は1軸分となります。

■対象外製品・SSステージ以外は対応不可となります。

【交換箇所】
・案内面（ガイド部）
・標準マイクロメータ及び送りねじ※SSステージは、マイクロメータ部以外、クリーン環境用グリース（AFF）が塗布されております。
よって「-J」への仕様変更は、マイクロメータ部のみの交換となります。
※マイクロメータヘッドは洗浄後、塗布工程を行います。
※粗微動マイクロメータヘッド、デジマチックマイクロメータは対応不可。

【精度保証】
・クリーン環境用グリース
グリース交換後の出荷精度は、カタログ記載の標準グリースタイプと同様です。
グリース粘性抵抗等により感触等が変化する場合があります。
・真空向けグリース
グリース粘性抵抗等により出荷精度のばらつきが発生します。

【出荷日について】
交換するグリースまたは製品により標準グリース品と出荷日が異なります。

028