3D-a01

疲労 / 強度ᴟప䛻䛚䛡䜛䜰䝹䝭䝙䜴䝮ྜ㔠㻭㻟㻡㻢㻙㼀㻢㗪㐀ᮦ䛾㧗䝃䜲䜽䝹⑂ປ≉ᛶ㻌㻴㼕㼓㼔㻌㻯㼥㼏㼘㼑㻌㻲㼍㼠㼕㼓㼡㼑㻌㻼㼞㼛㼜㼑㼞㼠㼕㼑㼟㻌㼛㼒㻌㻯㼍㼟㼠㻌㻭㻟㻡㻢㻙㼀㻢㻌㻭㼘㼡㼙㼕㼚㼡㼙㻌㻭㼘㼘㼛㼥㻌㼍㼠㻌㻯㼞㼥㼛㼓㼑㼚㼕㼏㻌㼀㼑㼙㼜㼑㼞㼍㼠㼡㼞㼑⏤฼㻌 ဴ⨾䚸ᑠ㔝㻌 ჆๎䚸㛗ᓥఙኵ䚸⥴ᙧ㻌 ಇኵ䠄≀㉁䞉ᮦᩱ◊✲ᶵᵓ䠅䠗◁ᕝ㻌 ⱥ⏕䠄Ᏹᐂ⯟✵◊✲㛤Ⓨᶵᵓ䠅㻌㼀㼑㼠㼟㼡㼙㼕㻌㼅㼡㼞㼕㻘㻌㼅㼛㼟㼔㼕㼚㼛㼞㼕㻌㻻㼚㼛㻘㻌㻺㼛㼎㼡㼛㻌㻺㼍㼓㼍㼟㼔㼕㼙㼍㻘㻌㼀㼛㼟㼔㼕㼛㻌㻻㼓㼍㼠㼍䠄㻺㻵㻹㻿䠅䠗㻴㻵㻰㻱㻻㻌㻿㼡㼚㼍㼗㼍㼣㼍㻌㻔㻶㻭㼄㻭㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼅㼁㻾㻵㻚㻌㼀㼑㼠㼡㼙㼕㻬㼚㼕㼙㼟㻚㼓㼛㻚㼖㼜䠍䠊䛿䛨䜑䛻㻌
ᡃ䚻䛿䛣䜜䜎䛷䛻䚸ᾮయ䝻䜿䝑䝖䜶䞁䝆䞁䛾ᐇᶵ䛻౑⏝䛥䜜䛶䛔䜛㒊ᮦ䛾ᮦᩱ≉ᛶホ౯䜢⾜䛔䚸Ᏹᐂ㛵㐃ᮦᩱᙉᗘ䝕䞊䝍䝅䞊䝖䛸䛧䛶Ⓨห䛧䛶䛔䜛䚹ᚓ䜙䜜䛯ᮦᩱ≉ᛶ䝕䞊䝍䛿䚸〇㐀䞉㛤Ⓨ୰䛻Ⓨ⏕䛧䛯୙ලྜゎᯒ䜔ᨵⰋᶵჾ䛾タィ➼䛻ά⏝䛥䜜䛶䛔
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200
180

ᗘ䠄㻞㻜㻷䚸㻸㻴㻞 䠅䛷ᐇ᪋䛧䛯䚹ᘬᙇヨ㦂䛻䛿䚸ᖹ⾜㒊ᚄ䃥㻢㻚㻞㻡䚸ᖹ⾜㒊㛗䛥 㻟㻡㼙㼙 䛾୸Წヨ㦂∦䜢⏝䛔䛯䚹㧗䝃䜲䜽䝹⑂ປヨ㦂䛿䚸◁᫬ィᆺ⑂ປヨ㦂∦䜢⏝䛔䚸ヨ㦂∦⾲㠃䛿䜶䝯䝸䞊⣬ 㻢㻜㻜 ␒䛷㍈᪉ྥ䛻௙ୖ䛢䛯䜒䛾䛷ᐇ᪋䛧䛯䚹ヨ㦂᮲௳䛿䚸ṇᘻἼ䛷䛾Ⲵ㔜ไᚚ䛻䛶⾜䛔䚸ᛂຊẚ䛿 㻾㻩㻜㻚㻜㻝 䛸䛧䛯䚹ヨ㦂࿘Ἴᩘ䛿䚸㻞㻜㻷㻌㻸㻴㻞 ୰䛷䛿 㻝㻜㻡 ᅇ䜎䛷 㻡㻴㼦 䛷⾜䛔䚸◚᩿䛧䛺䛛䛳䛯ሙྜ䛻䛿 㻝㻜㻴㼦 䛻ຍ㏿䛧䚸㻣㻣㻷 䛚䜘䜃 㻞㻥㻟㻷 䛷䛿 㻝㻜㻴㼦 䛷⾜䛳䛯䚹㻢㻣㻞㻜㻷 䛷䛿 㻝㻜 ᅇ䜢䚸䜎䛯 㻣㻣㻷 䛚䜘䜃 㻞㻥㻟㻷 䛷䛿 㻝㻜 ᅇ䜢ヨ㦂䛾ᡴษ䜚ᅇᩘ䛸䛧䛯䚹䛺䛚䚸㻸㻴㻞 ୰䛾ྛヨ㦂䛿䚸᪂᪥㚩䛻ጤク䛧䛯䚹

Stress amplitude, Ȫa / MPaయỈ⣲ගᏛ㢧ᚤ㙾䠄ග㢧䠅䛻䜘䜛⤌⧊ほᐹ䚸ྛヨ㦂ᚋ䚸㻿㻱㻹 䛻䜘䜛◚㠃ほᐹ䜔 㻱㻰㻿 䛻䜘䜛⤌ᡂศᯒ䜒ే䛫䛶⾜䛳䛯䚹㻌

20 K
77 K
293 K

160
140

R=0.01
Uniaxial

120
100
90
80
70
60

Not broken

50 4
10

10

5

10

6

10

7

10

8

Number of cycles to failure, Nf / cycles䠏䠊⤖ᯝ㻌 㻌㻭㻟㻡㻢㻙㼀㻢 㗪㐀ᮦ䛾ග㢧⤌⧊෗┿䜢 㻲㼕㼓㻚㻝 䛻♧䛩䚹ඹᬗ 㻿㼕 ┦䛜ึᬗ䃐㻙㻭㼘 䝕䞁䝗䝷䜲䝖䜢⦕ྲྀ䜛䜘䛖䛺⤌⧊䜢࿊䛧䛶䛔䜛䚹ග㢧㻲㼕㼓㻚㻞 㻿㻙㻺 㼏㼡㼞㼢㼑㼟 㼛㼒 㼏㼍㼟㼠 㻭㻟㻡㻢㻙㼀㻢 㼍㼘㼡㼙㼕㼚㼡㼙㼍㼘㼘㼛㼥 㼍㼠 㻞㻜㻷㻘 㻣㻣㻷 㼍㼚㼐 㻞㻥㻟㻷㻚ほᐹ䛷䛿䚸䝅䝳䝸䞁䜿䞊䝆➼䛾㗪㐀Ḟ㝗䛿ㄆ䜑䜙䜜䛺䛛䛳䛯䚹ᘬᙇヨ㦂䛷䛿䚸㻜㻚㻞㻑⪏ຊ䠄䃢 㻜㻚㻞䠅䛚䜘䜃ᘬᙇᙉᗘ䠄䃢 㻮䠅䛿䚸ヨ㦂ᗘ䛾పୗ䛸䛸䜒䛻ୖ᪼䛧䛯䚹䜎䛯䚸ྛヨ㦂㻟䡚㻡㻑䛷ᗘ䛻䛚䛡䜛ఙ䜃䛿⣙ᗘ౫Ꮡᛶ䛿ᑠ䛥䛔䛜䚸⤠䜚䛿ヨ㦂ῶᑡ䛧䛯䚹ྛヨ㦂ᗘ䛾పୗ䛸䛸䜒䛻

ᗘ䛻䛚䛡䜛 㻭㻟㻡㻢㻙㼀㻢 㗪㐀ᮦ䛾 㻿㻙㻺 ᭤⥺䜢㻲㼕㼓㻚㻞 䛻♧䛩䚹䃢㻜㻚㻞 䛚䜘䜃䃢㻮 ྠᵝ䚸ヨ㦂ᗘ䛾పୗ䛸䛸䜒䛻⑂ປᙉᗘ䛿ୖ᪼䛧䛯䚹㻞㻜㻷 䛷⑂ປヨ㦂䛧䛯ヨ㦂∦◚㠃䛾 㻿㻱㻹 ෗┿䜢㻲㼕㼓㻚㻟 䛻♧䛩䚹⑂ປ◚ቯ㉳Ⅼ㒊䛿⾲㠃㏆ഐ䛻ほᐹ䛥䜜䜛䠄▮༳䠅䚹⑂ປ◚ቯ㉳Ⅼ㒊䛾 㻱㻰㻿 䛻䜘䜛⤌ᡂศᯒ⤖ᯝ䛷䛿䚸㻭㼘㻘㻿㼕 䛾⃰໬䛜ㄆ䜑䜙䜜䛯䛣䛸䛛䜙䚸ඹᬗ 㻿㼕 ┦䛸⪃䛘䜙䜜䜛䚹㻌㻝㻜㻜䃛㼙䛆ཧ⪃ᩥ⊩䛇㻌㻔㻝㻕 㻺㻵㻹㻿㻌㻿㻼㻭㻯㻱㻌㼁㻿㻱㻌㻹㻭㼀㻱㻾㻵㻭㻸㻿㻌㻿㼀㻾㻱㻺㻳㼀㻴㻌㻰㻭㼀㻭㻌㻿㻴㻱㻱㼀㻘㻌㻺㼛㻚㻝㻞㻦㻌㻺㼍㼠㼕㼛㼚㼍㼘㻌㻵㼚㼟㼠㼕㼠㼡㼠㼑㻌㼒㼛㼞㻌㻹㼍㼠㼑㼞㼕㼍㼘㼟㻌㻿㼏㼕㼑㼚㼏㼑㻘㻌㻶㼍㼜㼍㼚㻌㻔㻞㻜㻜㻥㻕㻌― 274 ―

㻲㼕㼓㻚㻟 㻿㻱㻹 㼙㼕㼏㼞㼛㼓㼞㼍㼜㼔 㼛㼒 㼒㼞㼍㼏㼠㼡㼞㼑 㼟㼡㼞㼒㼍㼏㼑 㼛㼒 㼠㼔㼑㼟㼜㼑㼏㼕㼙㼑㼚 㼒㼍㼠㼕㼓㼡㼑㻙㼠㼑㼟㼠㼑㼐 㼍㼠 㻞㻜㻷 㻔䃢㼍 㻩 㻝㻟㻥㻹㻼㼍㻘 㻺㼒 㻩㻝㻚㻝㻡㽢㻝㻜㻡 㼏㼥㼏㼘㼑㼟㻕㻚
第83回

2010年度秋季低温工学・超電導学会

3D-a02

疲労 / 強度

Alloy718 㘫㐀ᮦ䛾ప⑂ປ≉ᛶ䛻ཬ䜌䛩ᛂຊẚ䛾ᙳ㡪

Effect of stress ratio on low-temperature fatigue properties of Alloy718 forging
ᑠ㔝 ჆๎ ⏤฼ ဴ⨾ ➉ෆᝋ⏨ 㛗ᓥఙኵ ⥴ᙧ ಇኵ㸦≀㉁࣭ᮦᩱ◊✲ᶵᵓ㸧◁ᕝ ⱥ⏕㸦Ᏹᐂ⯟✵◊✲㛤Ⓨᶵᵓ㸧ONO Yoshinori, YURI Tetsumi, TAKEUCHI Etsuo, NAGASHIMA Nobuo,
OGATA Toshio (National Institute for Materials Science), and SUNAKAWA Hideo (Japan Aerospace Exploration Agency)
E-mail: ONO. Yoshinori@nims.go.jp࠙⥴ゝࠚ
㻌 Alloy 718 Ni ᇶ㉸ྜ㔠䛿䚸ඃ䜜䛯ᙉᗘ䠉ᘏᛶ䝞䝷䞁䝇䜢᭷䛧䚸⁐᥋ᛶ䜒Ⰻ䛔䛣䛸䛛䜙䚸⯟✵䞉Ᏹᐂᶵჾ䛻ከ⏝䛥䜜䛶䛔䜛䚹ྠྜ㔠䛿䚸ᾮయ䝻䜿䝑䝖䜶䞁䝆䞁䛾㒊ᮦ䛸䛧䛶䜒౑⏝䛥䜜䛶䛚䜚䚸✀䚻䛾〇㐀≧ែ䠄㘫㐀ᮦ䚸㗪㐀ᮦ䚸⁐᥋ᮦ䠅䜔౑⏝ ᗘ䛷䛾ᙉᗘ≉ᛶ䝕䞊䝍䛾⵳✚䛜ᅗ䜙䜜䛶䛔䜛[1]䚹ྠྜ㔠㘫㐀ᮦ䛿䚸ᾮయ㓟⣲⎔ቃୗ䛷ᅇ㌿㒊ရ䛸䛧䛶౑⏝䛥䜜䛶䛚䜚䚸㐠㌿᫬䛻䛿㐲ᚰຊ䛸኱㔞䛾ᾮయ㓟⣲䛾ὶ䜜䛻క䛖᭤䛢ᛂຊ䛻䜘䜚䚸㧗䛔ᖹᆒᛂຊୗ䛷ኚືᛂຊ䜢ཷ䛡䜛䚹䛭䛾䛯䜑䚸ప ୗ䛷䛾⑂ປ≉ᛶ䛻ཬ䜌䛩ᖹᆒᛂຊ䛾ᙳ㡪䜢ᢕᥱ䛧䛶䛚䛟䛣䛸䛜㔜せ䛷䛒䜛䚹ᮏ◊✲䛷䛿䚸Alloy718 㘫㐀ᮦ䛾ప 㧗䝃䜲䜽䝹⑂ປ≉ᛶ䛻ཬ䜌䛩ᛂຊẚ䠄ᖹᆒᛂຊ䠅䛾ᙳ㡪䛻䛴䛔䛶ㄪᰝ䛧䛯䚹࠙ᐇ㦂᪉ἲࠚ㻌 ౪ヨᮦ䛿䚸AMS5663 䛻‽ᣐ䛧䛶స〇䛥䜜䛯㘫㐀ᮦ䠄䃥165
㽢115 (mm)䠅䛷䛒䜛䚹㗪ሢ䜢⇕㛫㘫㐀ᚋ䚸1233K 䛷 3.6ks 䛾⁐య໬ฎ⌮ᚋỈ෭䛧䛯䚹䛭䛾ᚋ䚸993K 䛷 28.8ks 䛚䜘䜃 898K 䛷
28.8ks 䛾᫬ຠฎ⌮䜢᪋䛧䚸✵෭䛧䛯䚹ᘬᙇヨ㦂∦䛸㧗䝃䜲䜽䝹⑂ປヨ㦂∦䛿䚸⣲ᮦ䛾ᚄ᪉ྥ䛒䜛䛔䛿䛭䜜䛻ᖹ⾜䛻᥇ྲྀ䛧䛯䚹㧗䝃䜲䜽䝹⑂ປヨ㦂䛿䚸ᾮయ❅⣲ ᗘ䠄77 K䠅䛷䚸࿘Ἴᩘ
f=10ࠥ15 Hz 䛾ṇᘻἼ㍈Ⲵ㔜䛷⾜䛳䛯䚹ᛂຊẚ R 䛿䚸-1䚸0.01䚸
0.5 䛸䛧䛯䚹䜎䛯䚸Ⲵ㔜ไᚚ䛷ྍ⬟䛺᭱㧗ᛂຊẚഃ䛾ヨ㦂䛸䛧䛶䚸᭱኱ᛂຊVmax 䜢 0.2%⪏ຊ䠄V0.2䠅䛻ᅛᐃ䛧䚸ᛂຊẚ䜢ᅛᐃ䛧䛺䛔ヨ㦂䠄Vmax=V0.2 ヨ㦂䠅[2]䜢⾜䛳䛯䚹䛺䛚䚸౪ヨᮦ䛾 77 K
䛷䛾V0.2 䛿 1327 MPa䚸ᘬᙇᙉᗘ䠄VB䠅䛿 1640 MPa 䛷䛒䜛䚹࠙⤖ᯝࠚ
Fig. 1 䛿䚸ୗ㒊⤌⧊䛾ග㢧෗┿䛷䛒䜛䚹⤌⧊䛿䚸ᖹᆒ⢏ᚄࡀ⣙ 30Pm ࡢ➼㍈Ț⤌⧊࡛࠶ࡾࠊ⢏⏺࡟ࡣț┦㸦Ni3Nb㸧ࡀᯒฟࡋ࡚࠸ࡓࠋ⣲ᮦ඲య࡟⢒኱࡞Ⅳ໬≀㸦NbC㸧ࡀศᩓᯒฟࡋ࡚࠸ࡓ[3]ࠋFig. 2 ࡣࠊ77 K 䛾 S-N ⥺ᅗ䛷䛒䜛䚹R=0.01
䛷䛾ヨ㦂䛷 2㽢105 ᅇᮍ‶䛷◚᩿䛧䛯ヨ㦂∦䚸䛚䜘䜃 R=0.1,
0.2, 0.3 䛷䛾Vmax=V0.2 ヨ㦂䛷◚᩿䛧䛯ヨ㦂∦䛾◚㠃䛷䛿䚸⢒኱Ⅳ໬≀䜢㉳Ⅼ䛸䛧䛯⑂ປ◚ቯ䛾ᵝ┦䛜ほᐹ䛥䜜䛯䚹䛭䜜௨እ䛾ヨ㦂∦䛷䛿䚸㉳Ⅼ㒊䛻⢏ෆ◚ቯ䛻䜘䛳䛶ᙧᡂ䛥䜜䛯䝣䜯䝉䝑䝖䛜ほᐹ䛥䜜䛯䚹䛩䛺䜟䛱䚸107 ᅇ௜㏆䛷◚᩿䛧䛯ヨ㦂∦䛾㉳Ⅼ㒊䛿䚸ヨ㦂᮲௳䛻䜘䜙䛪ྠ䛨ᵝ┦䜢䛧䛶䛔䜛䚹Fig. 3 䛻⑂ປ㝈ᗘ⥺ᅗ䜢♧䛩䚹⑂ປ㝈䛿 107 ᅇᙉᗘ䛸䛧䛯䚹䜎䛯䚸⑂ປᙉᗘ䛿䚸107 ᅇᮍ‶䛷◚᩿䛧䛯䝕䞊䝍䛸䚸107 ᅇ䛷ᮍ◚᩿䛾䝕䞊䝍䛾䛭䜜䛮䜜䛾᭱పᛂຊ್䛾ᖹᆒ䛸䛧䛯䚹ᛂຊẚ R=-1 䛷䛾 107 ᅇ⑂ປᙉᗘ䛸VB 䜢⤖䜆ಟṇ䜾䝑䝗䝬䞁๎䛻䜘䜛ண 䠄ᅗ୰◚⥺䠅䛷䛿䚸R=0.625 ௜㏆䛷䛿Ᏻ඲ഃ䛻䛺䜛䜒䛾䛾䚸R=0.01
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[1] Space Use Materials Strength Datasheet, National Institutefor Materials Science, No.2, 4, 5, 8, 9, 10, 15.
[2] E. Takeuchi et al.: TRANS. OF JSME, A70, 698 (2004), pp.
1405-1411.
[3] Y. Ono et al.: TRANS. OF JSME, A70, 696 (2004), pp.
1131-1138.

― 275 ―

Fig. 1 Optical micrograph of Alloy718 forging.

Fig. 2 S-N diagrams of Alloy718 forging.

Fig. 3 Endurance limit diagram of Alloy718 forging.

第83回

2010年度秋季低温工学・超電導学会

3D-a03

疲労 / 強度㉸ఏᑟ✵Ὕ䛚䜘䜃䜽䝷䜲䜸䝇䝍䝑䝖䛻౑⏝䛩䜛ᮦᩱ䛾పᘬᙇ䜚ヨ㦂㻌

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― 276 ―

第83回

2010年度秋季低温工学・超電導学会

3D-a04

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1,107
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― 277 ―

第83回

2010年度秋季低温工学・超電導学会

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計測・センサᴟపỗ⏝ᗘィ䛾㛤Ⓨ㻔䊡㻕㻌㻰㼑㼢㼑㼘㼛㼜㼙㼑㼚㼠㻌㼛㼒㻌㻸㼛㼣㻌㼀㼑㼙㼜㼑㼞㼍㼠㼡㼞㼑㻌㼀㼔㼑㼞㼙㼛㼙㼑㼠㼑㼞㻔䊡㻕㻌ᅄ㇂㻌 ௵䠈⏣୰ᓠ㞝䠄኱㜰ᗓ኱ 㻞㻝 ᶵᵓ䠅䠗బ⸨࿴㑻䚸⟍ⰾ἞䠄ᗓ⏘ᢏ◊䠅㻧▼⏣Ṋ࿴䠄኱㜰ᗓ኱ᕤ㝔䠅㻌
Yotsuya Tsutom䠈Tanaka Mineo(OPU-RO21);Satoh Kazuo, Kakehi Yoshiharu(TRI);Ishida Takekazu(OPU)
E-mail: Yotsuya@21c.osakafu-u.ac.jp㻌㻯㼞㻺 ⷧ⭷䛾㟁Ẽ᢬ᢠ䜔㟁Ẽ᢬ᢠ䛾 ᗘ౫Ꮡᛶ䛿ᡂ⭷᫬䛾㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌
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20㻞䠊㻯㼞㻺 ⷧ⭷సᡂ㻌㻌 㻯㼞㻺 ⷧ⭷䛿 㼐㼏㻙㼙㼍㼓㼚㼑㼠㼞㼛㼚㻌 㼟㼜㼡㼠㼑㼞㼕㼚㼓 ⿦⨨䜢⏝䛔䛶ᡂ⭷
䛧䛯䚹 2 u 105 Pa ௨ୗ䜎䛷᤼Ẽ䛧䛯ᚋ䚸 1Pa 䜎䛷ᡤᐃ䛾䜺䝇䠄㻭㼞䚸㻺㻞㻌 㻝㻜㻜㼟㼏㼏㼙㻕䜢ᑟධ䛧䚸ᇶᯈ ᗘ䜢䠍䠌䠌䉝䜎䛷ୖ᪼䛥䛫䛯䚹ᡂ⭷┤๓䛻䚸䜰䝹䝂䞁䝥䝷䝈䝬䠄㻡㻜㼃㻛㻟㻜㼟㼑㼏㻕䛷ᇶᯈ䜢䛯䛯䛟䛣䛸䛷Ὑί䜢⾜䛳䛯䚹㻯㼞㻺 䛾⭷ཌ䛿 㻝㻡㻜㼚㼙 䛸䛧䚸ᡂ⭷᫬㛫䜢ㄪᩚ䛩䜛䛣䛸䛷㐩ᡂ䛧䛯䚹ᡂ⭷ᚋ䚸䝣䜷䝖䝸䝋ཬ䜃◪㓟➨䠎䝉䝸䜴䝮䜰䞁䝰䝙䜴䝮䛷䜿䝭䜹䝹䜶䝑䝏䞁䜾䜢⾜䛔䚸ヨᩱ䛻౪䛧䛯䚹
ヨᩱ䛾඾ᆺⓗ䛺኱䛝䛥䛿䝫䝔䞁䝅䝱䝹㟁ᴟ㛫㊥㞳䛿 㻞㻜㻜䃛䡉䚸ᖜ 㻢㻜㻜䃛䡉䛸䛧䚸㻠 ➃Ꮚἲ䛷㟁Ẽ᢬ᢠ䜢 ᐃ䛧䛯䚹㻌㻠䠊㻰㻯㻙㼟㼜㼡㼠㼠㼑㼞 䛷ᡂ⭷䛧䛯 㻯㼞㻺 䛾≉ᛶ㻌

RESISTIVITY(mȐcm)

20

10

0

20

40
60
N2 Ratio(%)

80

100

Fig.1 Resistivity of the CrN films as a function of N2 㻌㻌ratio of the sputtering gases. The preferable area for㻌thermometers were appeared at around 30% and 100%.
㻌

10000
10

1000

100
1

5 10
50 100TEMPERATURE(K)Nb RESISTANCE(Ȑ)

CrN RESISTANCE(Ȑ)

㻟䠊㟁ᴟᙧᡂ㻯㼞㻺 ⷧ⭷䛾㟁ᴟ䛸䛧䛶 㻺㼎 䜢⏝䛔䛯䚹㻺䠾ⷧ⭷䛿 㻯㼞㻺 䛸ྠᵝ䛻 㼐㼏㻙㼙㼍㼓㼚㼑㼠㼞㼛㼚㻙㼟㼜㼡㼠㼠㼑㼞 䛷ᡂ⭷䛧䛯䚹㻭㼦䠍䠏䠐䠌㻱 䝣䜷䝖䝺䝆䝇䝖䛷㟁ᴟ䝟䝍䞊䞁䜢ᙧᡂ䛧䚸㻺㼎 ⷧ⭷䜢 㼟㼜㼡㼠㼠㼑㼞 ᡂ⭷ᚋ䛻䚸䜰䝉䝖䞁⁐፹䛷 㼘㼕㼒㼠㻙㼛㼒㼒 䜢⾜䛔䚸㟁ᴟ䛻౪䛧䛯䚹㻌㻺㼎 ୖ䛻 㻵㼚 ༙⏣䛷 㻯㼡 ⥺䜢༙⏣௜䛡䛧䚸ᐊ ཬ䜃 㻠㻚㻞㻷 䛷 㻵㻙㼂≉ᛶ䜢 ᐃ䛧⤖ᯝ䜸䞊䝭䝑䜽䝁䞁䝍䜽䝖䛜䛸䜜䛶䛔䜛䛣䛸䛜☜ㄆ䛥䜜䛯䚹㻌 㻌1000000

Fig.2  Resistance of CrN and Nb as a function of㻌
temperature. The superconducting transition of Nb㻌electrodes㻌
was clearly observed. The transition width was
as sharp as playing a roll of fixed-point.
㻌ᅗ䠎䛻❅⣲ẚ䠏䠎䠂䛷సᡂ䛧䛯 㻯㼞㻺 ⷧ⭷䛸 㻺㼎 㟁ᴟ䛾㟁Ẽ᢬ᢠ䛾 ᗘ౫Ꮡᛶ䜢♧䛩䚹ᅗ 㻞 䛛䜙᫂䜙䛛䛺䜘䛖䛻䚸䛣䛾᮲௳䛷సᡂ䛧䛯 㻯㼞㻺 ⷧ⭷䛿ᐊ 䛛䜙 㻝㻷 ⛬ᗘ䜎䛷 ᗘィ䛸䛧䛶౑⏝䛷䛝䜛䛣䛸䛜ศ䛛䜛䚹䜎䛯㟁ᴟ䛾 㻺㼎 䛿 㻥㻚㻞㻷 䛷㉸ఏᑟ㌿⛣䜢♧䛧䛯䚹㌿⛣ ᗘᖜ䛿 㻝㻛㻝㻜㻜㻷 ௨ୗ䛷䛒䜚䚸 ᗘィෆ㒊䛻ෆ㒊ᶆ‽Ⅼ䛜௜ຍ䛥䜜䛯䛣䛸䜢♧䛩䚹㻯㼞㻺 䛿 ᗘィ䛸䛧䛶Ᏻᐃ䛷䛒䜛䛜䚸㻺䠾䛿᭦䛻Ᏻᐃ䛷䛒䜚䚸ෆ㒊ᶆ‽䜢ᣢ䛯䛩䛣䛸䛷䜘䜚ಙ㢗ᛶ䛾㧗䛔 ᗘィ䛸䛧䛶ືస䛩䜛䛣䛸䛜ᮇᚅ䛷䛝䜛䚹㻌㻌䠑䠊䜎䛸䜑㻌
❅⣲ẚ䡗 PN 2 /( PN 2  PAr ) 䡙㻟㻜䡚㻟㻡䠂䛷సᡂ䛧䛯 㻯㼞㻺 ⷧ⭷䛿ᐊ㻌䛛䜙䠍㻷 䜎䛷 ᗘィ䛸䛧䛶౑⏝䛷䛝䜛ឤᗘ䜢᭷䛧䛶䛔䜛䛣䛸䛜ศ䛛䛳䛯䚹䜎䛯㟁ᴟ䛻 㻺䠾䜢⏝䛔䜛䛣䛸䛷 ᗘᐃⅬ䜢 ᗘィෆ㒊䛻௜୚䛩䜛䛣䛸䛜䛷䛝䛯䚹㼐㼏㻙㼟㼜㼡㼠㼑㼞 䛸 㼞㼒㻙㼟㼜㼡㼠㼠㼑㼞 䛷సᡂ䛧䛯 㻯㼞㻺 ⭷䛾≉ᛶ䛾ᕪ␗䛻䛴䛔䛶ᙜ᪥ヲ⣽䛻ሗ࿌䛩䜛ணᐃ䛷䛒䜛䚹㻌

― 278 ―

第83回

2010年度秋季低温工学・超電導学会

3D-a06

計測・センサ㻌㻼㼡㼘㼟㼑㻌㼠㼡㼎㼑㻛㻶㼀 ෭෾ᶵ䜢฼⏝䛧䛯ᗘィᰯṇ⿦⨨䛻䜘䜛ᗘィ䛾≉ᛶẚ㍑㻌

㻯㼛㼙㼜㼍㼞㼕㼟㼛㼚㻌㼛㼒㻌㼠㼔㼑㼞㼙㼛㼙㼑㼠㼑㼞㼟㻌㼡㼟㼕㼚㼓㻌㼍㻌㼠㼔㼑㼞㼙㼛㼙㼑㼠㼑㼞㻌㼏㼍㼘㼕㼎㼞㼍㼠㼕㼛㼚㻌㼍㼜㼜㼍㼞㼍㼠㼡㼟㻌㼎㼍㼟㼑㼐㻌㼛㼚㻌 㻌㼍㻌㻼㼡㼘㼟㼑㻌㼠㼡㼎㼑㻛㻶㼀㻌㼞㼑㼒㼞㼕㼓㼑㼞㼍㼠㼛㼞㻌㻌ᓥᓮ㻌 Ẏ䠄⏘⥲◊㻌 ィ ᶆ‽◊✲㒊㛛䠅㻌㻿㻴㻵㻹㻭㼆㻭㻷㻵㻌㼀㼍㼗㼑㼟㼔㼕㻌㻺㼍㼠㼕㼛㼚㼍㼘㻌㻹㼑㼠㼞㼛㼘㼛㼓㼥㻌㻵㼚㼟㼠㼕㼠㼡㼠㼑㻌㼛㼒㻌㻶㼍㼜㼍㼚㻘㻌㻭㻵㻿㼀㻌㼀㼟㼡㼗㼡㼎㼍㻌㻯㼑㼚㼠㼞㼍㼘㻌㻟㻘㻌㻝㻙㻝㻙㻝㻌㼁㼙㼑㼦㼛㼚㼛㻘㻌㼀㼟㼡㼗㼡㼎㼍㻘㻌㻵㼎㼍㼞㼍㼗㼕㻌㻟㻜㻡㻙㻤㻡㻢㻟㻘㻌㻶㼍㼜㼍㼚㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼠㻚㼟㼔㼕㼙㼍㼦㼍㼗㼕㻬㼍㼕㼟㼠㻚㼓㼛㻚㼖㼜㻌㻌䛳䛯䚹୍᪉䚸⮬ᕫຍ⇕䛿䚸ᶆ‽⏝䛜䛛䛺䜚ᑠ䛥䛟ᢚ䛘䜙䜜䛶䛔
䜛䚹Ⓨ⾲䛷䛿䜘䜚ヲ⣽䛺ሗ࿌䜢⾜䛖䚹㻌

Sensitivity / (:/K)

0.8

RhFe-standard
PtCo-standard
RhFe-indusrial
PtCo-industrial

0.6
0.4
0.2
0.0

0

5

10
15
Temperature / K

2025㻲㼕㼓㻚㻌㻝㻌㻿㼑㼚㼟㼕㼠㼕㼢㼕㼠㼥㻌㼛㼒㻌㼠㼔㼑㻌㼙㼑㼍㼟㼡㼞㼑㼐㻌㻾㼔㼛㼐㼕㼡㼙㻙㻵㼞㼛㼚㻌㼞㼑㼟㼕㼟㼠㼍㼚㼏㼑㻌㼠㼔㼑㼞㼙㼛㼙㼑㼠㼑㼞㼟㻌㼍㼚㼐㻌㻼㼘㼍㼠㼕㼚㼡㼙㻙㻯㼛㼎㼍㼘㼠㻌㼞㼑㼟㼕㼟㼠㼍㼚㼏㼑㻌㼠㼔㼑㼞㼙㼛㼙㼑㼠㼑㼞㼟㻚㻌 㻌㻸㼕㼚㼑㼟㻌㼍㼞㼑㻌㼑㼥㼑㼓㼡㼕㼐㼑㼟㻚㻌 㻌 㻌

Self-heating / mK㻝㻚㻌 䛿䛨䜑䛻㻌㻌䛣䜜䜎䛷䛻䚸䝟䝹䝇⟶෭෾ᶵ䛸 㻟㻴㼑 䜢ືస䜺䝇䛻⏝䛔䛯 㻶㼀෭༷ᅇ㊰䜢⤌䜏ྜ䜟䛫䚸㻝㻥㻥㻜 ᖺᅜ㝿 ᗘ┠┒㻔㻵㼚㼠㼑㼞㼚㼍㼠㼕㼛㼚㼍㼘㻌㼀㼑㼙㼜㼑㼞㼍㼠㼡㼞㼑㻌㻿㼏㼍㼘㼑㻌㻝㻥㻥㻜㻘㻌㻵㼀㻿㻙㻥㻜㻕䛾ᐃ⩏ୗ㝈 ᗘ䛷䛒䜛 㻜㻚㻢㻡㻌㻷 䜎䛷᢬ᢠ ᗘィ䜢ᰯṇ䛩䜛䛣䛸䛾䛷䛝䜛ᴟప ⏝ ᗘィᰯṇ⿦⨨䛾ヨస䜢⾜䛳䛶䛝䛯㼇㻝㻘㻞㼉䚹䛭䛾ᰯṇ⿦⨨䛾ືసヨ㦂䛾୍⎔䛸䛧䛶䚸ᕷ㈍䛥䜜䛶䛔䜛ప ⏝ ᗘィ䛾≉ᛶẚ㍑䜢⾜
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Temperature / K

2025㻲㼕㼓㻚㻌㻞㻌㻿㼑㼘㼒㻙㼔㼑㼍㼠㼕㼚㼓㻌㼏㼔㼍㼞㼍㼏㼠㼑㼞㼕㼟㼠㼕㼏㼟㻌㼛㼒㻌㼠㼔㼑㻌㼙㼑㼍㼟㼡㼞㼑㼐㻌㼠㼔㼑㼞㼙㼛㼙㼑㼠㼑㼞㼟㻌㼑㼤㼜㼞㼑㼟㼟㼑㼐㻌㼍㼟㻌㼠㼔㼑㻌㼠㼑㼙㼜㼑㼞㼍㼠㼡㼞㼑㻌㼕㼚㼏㼞㼑㼍㼟㼑㻌㼕㼚㻌㼠㼔㼑㼞㼙㼛㼙㼑㼠㼑㼞㼟㻌㼕㼚㼐㼡㼏㼑㼐㻌㼎㼥㻌㻜㻚㻞㻌㼙㻭㻌㼛㼒㻌㼍㻌㼙㼑㼍㼟㼡㼞㼕㼚㼓㻌㼏㼡㼞㼞㼑㼚㼠㻚㻌 㻌㻸㼕㼚㼑㼟㻌㼍㼞㼑㻌㼑㼥㼑㼓㼡㼕㼐㼑㼟㻚㻌 㻌 㻌㻌ㅰ㎡㻌㻟㻌㻷 䛛䜙 㻞㻠㻌㻷 䛾ᇶ‽ ᗘィ䛿䚸⏘⥲◊ィ ᶆ‽◊✲㒊㛛䛾⏣ᮧᨲẶ䛻䜘䜚Ẽయ ᗘィ䛷ᰯṇ䛥䜜䛯 ᗘィ䜢೉⏝䛧౑⏝䛧䜎䛧䛯䚹䛣䛣䛻ㅰព䜢⾲䛧䜎䛩䚹㻌㻌ཧ⪃ᩥ⊩㻌㻝㻚㻌㼀㻚㻌㻿㼔㼕㼙㼍㼦㼍㼗㼕㻘㻌㼑㼠㻌㼍㼘㻚㻦㻌㻭㼎㼟㼠㼞㼍㼏㼠㼟㻌㼛㼒㻌㻯㻿㻶㻌㻯㼛㼚㼒㼑㼞㼑㼚㼏㼑㻘㻌㼂㼛㼘㻚㻌㻤㻝㻌㻔㻞㻜㻜㻥㻕㻌㼜㻚㻟㻞㻌㻞㻚㻌 㼀㻚㻌 㻿㼔㼕㼙㼍㼦㼍㼗㼕㻘㻌 㼑㼠㻌 㼍㼘㻚㻦㻌 㻵㼚㼠㻚㻌 㻶㻚㻌 㼀㼔㼑㼞㼙㼛㼜㼔㼥㼟㻚㻌 㼂㼛㼘㻚㻌 㻞㻥㻌 㻔㻞㻜㻜㻤㻕㻌㼜㻚㻠㻞㻌㻟㻚㻌㼀㻚㻌㻿㼔㼕㼞㼍㼠㼛㼞㼕㻘㻌㼑㼠㻌㼍㼘㻚㻦㻌㻶㻶㻭㻼㻘㻌㼂㼛㼘㻚㻌㻝㻣㻌㻔㻝㻥㻣㻤㻕㻌㼜㻚㻌㻝㻞㻤㻥㻌㻠㻚㻌 㻷㻚㻌 㼀㼍㼚㼍㼗㼍㻘㻌 㼑㼠㻌 㼍㼘㻚㻦㻌 㻭㼎㼟㼠㼞㼍㼏㼠㼟㻌 㼛㼒㻌 㻯㻿㻶㻌 㻯㼛㼚㼒㼑㼞㼑㼚㼏㼑㻘㻌 㼂㼛㼘㻚㻌 㻠㻡㻌㻔㻝㻥㻥㻝㻕㻌㼜㻚㻝㻢㻣㻌㻡㻚㻌㻴㻚㻌㻿㼍㼗㼡㼞㼍㼕㻘㻌㼑㼠㻌㼍㼘㻚㻦㻌㻾㼑㼢㻚㻌㻿㼏㼕㻚㻌㻵㼚㼟㼠㼞㼡㼙㻚㻌㼂㼛㼘㻚㻌㻡㻢㻌㻔㻝㻥㻤㻡㻕㻌㼜㻚㻌 㻌㻝㻞㻟㻞㻌― 279 ―

第83回

2010年度秋季低温工学・超電導学会

3D-a07

計測・センサᾮయỈ⣲⏝ 㻹㼓㻮㻞 ᾮ㠃䝉䞁䝃䞊䛾እ㒊䝠䞊䝍䞊䛻ᑐ䛩䜛⇕ᛂ⟅ᛶ㻌 㻔㻞㻕㻌㻙㻌 䝉䞁䝃䞊㛗౫Ꮡᛶ㻌 㻙㻌㼀㼔㼑㼞㼙㼍㼘㻌㼞㼑㼟㼜㼛㼚㼟㼑㻌㼛㼒㻌㻹㼓㻮㻞㻌㼘㼑㼢㼑㼘㻌㼟㼑㼚㼟㼛㼞㻌㼒㼛㼞㻌㼘㼕㼝㼡㼕㼐㻌㼔㼥㼐㼞㼛㼓㼑㼚㻌㼡㼟㼕㼚㼓㻌㼑㼤㼠㼑㼞㼚㼍㼘㻌㼔㼑㼍㼠㼑㼞㻌㻔㻞㻕㻌㻙㻌㻰㼑㼜㼑㼚㼐㼑㼚㼏㼑㻌㼛㼚㻌㼟㼑㼚㼟㼛㼞㻙㼘㼑㼚㼓㼠㼔㻌㻙㻌๓ᕝ୍┿䠈ዉⰋὒ⾜㻘Ṋ⏣ᐇ䠄⚄ᡞ኱Ꮫ䠅䠗ᯇ㔝ඃ㻘㻌 ⸨ᕝ㟼୍䠄ᒾ㇂⎰᪁䠅㻧⇃಴ᾈ᫂㻘㻌 㯮⏣ᜏ⏕䠄≀ᮦᶵᵓ䠅㻌㻹㻭㻱㻷㻭㼃㻭㻌㻷㼍㼦㼡㼙㼍䠈㻺㻭㻾㻭㻌㻴㼕㼞㼛㼥㼡㼗㼕㻘㼀㻭㻷㻱㻰㻭㻌㻹㼕㼚㼛㼞㼡㻌㻔㻷㼛㼎㼑㻌㼁㼚㼕㼢㼑㼞㼟㼕㼠㼥㻕㻧㻌 㻌㻹㻭㼀㻿㼁㻺㻻㻌㼅㼡㻘㻌㻲㼁㻶㻵㻷㻭㼃㻭㻌㻿㼔㼕㼦㼡㼕㼏㼔㼕㻌㻔㻵㼣㼍㼠㼍㼚㼕㻌㻵㼚㼐㻚㻳㼍㼟㻚㻕㻧㻌㻷㼁㻹㻭㻷㼁㻾㻭㻌㻴㼕㼞㼛㼍㼗㼕㻘㻌㻷㼁㻾㻻㻰㻭㻌㼀㼟㼡㼚㼑㼛㻌㻔㻺㻵㻹㻿㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㻝㻜㻝㼣㻡㻞㻞㼣㻬㼟㼠㼡㻚㼗㼛㼎㼑㻙㼡㻚㼍㼏㻚㼖㼜㻌㻌㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌
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― 280 ―

第83回

2010年度秋季低温工学・超電導学会

3D-a08

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― 281 ―

第83回

2010年度秋季低温工学・超電導学会

3D-a09

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5006 ms
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第83回

2010年度秋季低温工学・超電導学会

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第83回

2010年度秋季低温工学・超電導学会