2D-a01

LTS デバイス (1)㻺㼎㼀㼕㻺 ㉸ⷧ⭷䛾⭷ཌ౫Ꮡᛶ䛾ホ౯㻌㻱㼢㼍㼘㼡㼍㼠㼕㼛㼚㻌㼛㼒㻌㼠㼔㼑㻌㼠㼔㼕㼏㼗㼚㼑㼟㼟㻌㼐㼑㼜㼑㼚㼐㼑㼚㼏㼕㼑㼟㻌㼒㼛㼞㻌㻺㼎㼀㼕㻺㻌㼡㼘㼠㼞㼍㻙㼠㼔㼕㼚㻌㼒㼕㼘㼙㼟㻌㻱㼘㼑㼏㼠㼞㼕㼏㻌㻾㼑㼟㼕㼟㼠㼕㼢㼕㼠㼥㻌㼇䃛䃈䞉㼏㼙㼉㻱㼘㼑㼏㼠㼞㼕㼏㻌㻾㼑㼟㼕㼟㼠㼍㼚㼏㼑㻌㼇䃈㼉㻯㼞㼕㼠㼕㼏㼍㼘㻌㼀㼑㼙㼜㼑㼞㼍㼠㼡㼞㼑㻌㼇㻷㼉㻌୸ᒣ㻌 ᫭ᖹ㻘㻌 㕥ᮌ㻌 㞞ᩯ㻘㻌 బ㔝㻌 ிభ㻘㻌 ⏣୰㻌 㞞ග㻘㻌 ⸨ᕳ㻌 ᫂㻔ྡ኱㻕㻧㻌 ஭ୖ㻌 ┿⃈㻔ྡᇛ኱㻕㻌㻹㻭㻾㼁㼅㻭㻹㻭㻌㻷㼛㼔㼑㼕㻘㻌㻿㼁㼆㼁㻷㻵㻌㻹㼍㼟㼍㼠㼛㻘㻌㻿㻭㻺㻻㻌㻷㼥㼛㼟㼡㼗㼑㻘㻌㼀㻭㻺㻭㻷㻭㻌㻹㼍㼟㼍㼙㼕㼠㼡㻘㻌㻲㼁㻶㻵㻹㻭㻷㻵㻌㻭㼗㼕㼞㼍㻔㻺㼍㼓㼛㼥㼍㻌㼁㼚㼕㼢㻚㻕㻧㻌 㻌㻵㻺㻻㼁㻱㻌㻹㼍㼟㼡㼙㼕㻔㻹㼑㼕㼖㼛㻌㼁㼚㼕㼢㻚㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼙㼍㼞㼡㼥㼍㼙㼍㻬㼟㼡㼜㼑㼞㻚㼚㼡㼑㼑㻚㼚㼍㼓㼛㼥㼍㻙㼡㻚㼍㼏㻚㼖㼜㻌㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌㻝㻠㉸ఏᑟ࢚ࣞࢡࢺࣟࢽࢡࢫ࡟࠾࠸࡚ࠊቑᖜᶵ⬟ࢆᣢࡘ ➃Ꮚࢹࣂ࢖ࢫࠊࡍ࡞ࢃࡕࢺࣛࣥࢪࢫࢱࡢ୙ᅾࡀࠊࡑࡢⓎ㻝㻞ᒎࡢ㞀ᐖ࡜࡞ࡗ࡚࠸ࡓࠋ୍᪉ࠊ㉸ఏᑟ㌿⛣➃ࢭࣥࢧࡸ㉸ఏᑟࢼࣀ࣡࢖࢔༢୍ගᏊ᳨ฟჾ࡟࠾࠸࡚ࠊᑠࡉ࡞࢚ࢿࣝ㻝㻜ࢠ࣮ࡢ⢏Ꮚ᳨ฟࡀᐇドࡉࢀࠊ᳨ฟჾศ㔝࡛ࡣ㉸ఏᑟᖖఏᑟ㌿⛣ࡢ฼⏝ࡀὀ┠ࡉࢀ࡚࠸ࡓࠋࡑࡢࡼ࠺࡞⫼ᬒࡢࡶ࡜ࠊ㻤⡿ᅜ࣐ࢧࢳ࣮ࣗࢭࢵࢶᕤ⛉኱Ꮫࡢࢢ࣮ࣝࣉࡣࠊ㉸ఏᑟᖖ㻢ఏᑟ㌿⛣ࢆ฼⏝ࡋࡓࢺࣛࣥࢪࢫࢱࠊࢼࣀࢡࣛ࢖࢜ࢺࣟࣥQ7URQ ࢆᥦ᱌࣭ᐇドࡋࡓ>@ࠋᐇ⏝࡟⪏࠼ᚓࡿ┦஫᢬ᢠ㻠㸦ධຊ㟁ὶ࡜ฟຊ㟁ᅽࡢẚ㸧ࢆᣢࡘྍ⬟ᛶࡀ࠶ࡿࡇ࡜࠿㻜㻝㻜㻞㻜㻟㻜㻠㻜㻡㻜㻢㻜ࡽࠊ༙ᑟయᅇ㊰࡜ࡢ࢖ࣥࢱ࣮ࣇ࢙࢖ࢫ࡞࡝ࠊᵝࠎ࡞ᛂ⏝㻲㼕㼘㼙㻌㼀㼔㼕㼏㼗㼚㼑㼟㼟㻌㼇㼚㼙㼉ࡢྍ⬟ᛶࡀ᳨ウࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋ㻲㼕㼓㻚㻌㻝㻌㻲㼕㼘㼙㻌㼠㼔㼕㼏㼗㼚㼑㼟㼟㻌㼐㼑㼜㼑㼚㼐㼑㼚㼏㼑㻌㼛㼒㻌㼏㼞㼕㼠㼕㼏㼍㼘㻌㼠㼑㼙㼜㼑㼞㼍㼠㼡㼞㼑㻌᳨ฟჾࢆྵࡵࠊඹ㏻ࡋ࡚࠸ࡿࡢࡣ㉸ఏᑟ㉸ⷧ⭷ࢆ฼⏝㻌ࡋ࡚࠸ࡿࡇ࡜࡛࠶ࡿࠋࡑࡇ࡛ᡃࠎࡣࠊ≉ᛶࡀୗᆅᇶᯈࡢᙳ㡪ࢆཷࡅ࡟ࡃ࠸ 1E7L1 ࢆྲྀࡾୖࡆࠊ㉸ⷧ⭷ࢹࣂ࢖ࢫࡢ㻞㻜㻜ᇶ♏࡜࡞ࡿⷧ⭷⮬㌟ࡢ≉ᛶࢆホ౯ࡋࡓࠋ㻝㻡㻜㻞䠊ᐇ㦂㻌⇕㓟໬ 㻿㼕 ᇶᯈୖ䛻 㻺㼎㼀㼕㼤 䝍䞊䝀䝑䝖䜢⏝䛔䚸❅⣲䜺䝇䜢ྵ䜑䛯཯ᛂᛶ䝬䜾䝛䝖䝻䞁䝇䝟䝑䝍䝸䞁䜾ἲ䛻䜘䜚 㻺㼎㼀㼕㻺 ⷧ⭷䜢㻝㻜㻜ሁ✚䛧䛯䚹⭷ཌ䛿䚸ᡂ⭷᫬㛫䛻䜘䛳䛶ไᚚ䛧䛶䛔䜛䚹䛭䛾ᚋ䚸┤⥺ୖ䛾䝟䝍䞊䞁䛻䜲䜸䞁䝡䞊䝮䜶䝑䝏䞁䜾⿦⨨䜢⏝䛔䛶ຍ㻡㻜ᕤ䛧䛯䚹 ᐃ䛿䚸䝦䝸䜴䝮ᾮ୰䛒䜛䛔䛿䜺䝇୰䛻䛚䛔䛶䚸 ᗘ䜢ኚ໬䛥䛫䛺䛜䜙ᅄ➃Ꮚἲ䛻䜘䜚᢬ᢠ್䛾 ᐃ䜢⾜䛳䛯䚹᢬ᢠ⋡䛿 㻞㻜㻷 ᫬䛷䛾್䛸䛧䛯䚹㻌㻜㻌㻠㻡㻢㻣㻤㻥㻝㻜㻟䠊ᐇ㦂⤖ᯝ㻌㼀㼑㼙㼜㼑㼞㼍㼠㼡㼞㼑㻌㼇㻷㼉㻌㻲㼕㼓㻚㻌 㻝 䛻䚸⮫⏺ ᗘ䛾⭷ཌ౫Ꮡᛶ䜢♧䛩䚹⭷ཌ䛜 㻞㻜㻌 㼚㼙 䜢㻲㼕㼓㻚㻌㻞㻌㼀㼑㼙㼜㼑㼞㼍㼠㼡㼞㼑㻙㼑㼘㼑㼏㼠㼞㼕㼏㻌㼞㼑㼟㼕㼟㼠㼍㼚㼏㼑㻌㼏㼔㼍㼞㼍㼏㼠㼑㼞㼕㼟㼠㼕㼏䠄㻝㻜㼚㼙䠅㻌ୗᅇ䜛䛸䚸ᚎ䚻䛻⮫⏺ ᗘ䛜పୗ䛧䛶䛔䜛䚹⭷ཌ䛜䝁䝠䞊䝺䞁㻌䝇㛗䜘䜚䜒኱䛝䛔㡿ᇦ䛷䛒䜛䛣䛸䚸䜸䞁䝉䝑䝖䛷ᐃ⩏䛥䜜䜛⮫⏺
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第95回

2017年度秋季低温工学・超電導学会

2D-a02

LTS デバイス (1)⇕᥼⏝䝕䝞䜲䝇䛾స〇䛻ྥ䛡䛯㉸ఏᑟ㉸ⷧ⭷⣽⥺䛾≉ᛶホ౯㻌㻿㼠㼡㼐㼥㻌㼛㼚㻌㻿㼡㼜㼑㼞㼏㼛㼚㼐㼡㼏㼠㼕㼚㼓㻌㼚㼍㼚㼛㻙㼣㼕㼞㼑㼟㻌㼣㼕㼠㼔㻌㼡㼘㼠㼞㼍㻙㼠㼔㼕㼚㻌㼒㼕㼘㼙㼟㻌㼒㼛㼞㻌㼠㼔㼑㼞㼙㼍㼘㼘㼥㻌㼍㼟㼟㼕㼟㼠㼑㼐㻌㼚㼍㼚㼛㻙㼟㼠㼞㼡㼏㼠㼡㼞㼑㼐㻌㼐㼑㼢㼕㼏㼑㼟㻌 㻌㻌బ㔝㻌 ிభ䠈㕥ᮌ㻌 㞞ᩯ䠈୸ᒣ㻌 ᫭ᖹ䠈⏣୰㻌 㞞ග䠈⸨ᕳ㻌 ᮁ䠄ྡྂᒇ኱Ꮫ䠅䠗஭ୖ㻌 ┿⃈䠄ྡᇛ኱Ꮫ䠅㻌㻿㻭㻺㻻㻌㻷㼥㼛㼟㼡㼗㼑䠈㻌 㻿㼁㼆㼁㻷㻵㻌㻹㼍㼟㼍㼠㼛㻘㻌㻹㻭㻾㼁㼅㻭㻹㻭㻌㻷㼛㼔㼑㼕㻘㻌㼀㻭㻺㻭㻷㻭㻌㻹㼍㼟㼍㼙㼕㼠㼟㼡㻘㻌㻲㼁㻶㻵㻹㻭㻷㻵㻌㻭㼗㼕㼞㼍㻌㻔㻺㼍㼓㼛㼥㼍㻌㼁㼚㼕㼢㻚㻕㻧㻌 㻌㻵㻺㻻㼁㻱㻌㻹㼍㼟㼡㼙㼕㻌㻔㻹㼑㼕㼖㼛㻌㼁㼚㼕㼢㻚㻕㻌 㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼗㼋㼟㼍㼚㼛㻬㼟㼡㼜㼑㼞㻚㼚㼡㼑㼑㻚㼚㼍㼓㼛㼥㼍㻙㼡㻚㼍㼏㻚㼖㼜㻌 㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌༢୍ගᏊ᳨ฟჾ㼇㻝㼉䜔䝘䝜䜽䝷䜲䜸䝖䝻䞁㼇㻞㼉䛺䛹⌧ᅾ㉸ఏᑟ㉸ⷧ⭷䛾㉸ఏᑟ㻙ᖖఏᑟ㌿⛣䜢฼⏝䛧䛯䝕䝞䜲䝇䛜┒䜣䛻◊✲䛥䜜䛶䛔䜛䠊䛧䛛䛧䛺䛜䜙䠈ᖖఏᑟ㌿⛣䛩䜛≀⌮ⓗ䝯䜹䝙䝈䝮䛿ᚲ䛪䛧䜒ゎ᫂䛥䜜䛶䛚䜙䛪㼇㻟㼉䠈䛭䛾⌮ゎ䛿䝕䝞䜲䝇䛾タィୖ䛾ㄢ㢟䛸䛺䛳䛶䛔䜛䚹䛣䜜䜙䛾䝕䝞䜲䝇䛻⏝䛔䜙䜜䜛㉸ఏᑟⷧ⭷䛾⭷ཌ䛿ᩘ QP ⛬ᗘ䛸ᴟ䜑䛶ⷧ䛟䠈␲ఝ஧ḟඖ䛸ゝ䛘䜛䠊䛣䛾㡿ᇦ䛷䛿䠈㉸ఏᑟᕧどⓗἼື㛵ᩘ䛾఩┦ᦂ䜙䛞䛾ຠᯝ䛻䜘䜚 YRUWH[DQWLYRUWH[ SDLU 9$3  䛾ᙧᡂ䞉ศ㞳䛜㉳䛝䜔䛩䛟㼇㻠㼉䠈䛣䛾ຠᯝ䛻䜘䜚㉸ఏᑟⷧ⭷䛾㉸ఏᑟ㻙ᖖఏᑟ㌿⛣䛜ಁ㐍䛥䜜䛶䛔䜛ྍ⬟ᛶ䛜䛒䜛䠊㻌௒ᅇ䠈㉸ⷧ⭷䛻䛚䛡䜛఩┦ᦂ䜙䛞䛾ຠᯝ䜢᫂䜙䛛䛻䛩䜛䛯䜑䠈㻺㼎㼀㼕㻺 ㉸ⷧ⭷䜢⏝䛔䛶㉸ఏᑟ⣽⥺䜢స〇䛧䠈䛭䛾⥺ᖜ౫Ꮡᛶཬ䜃 ᗘ౫Ꮡᛶ➼䜢ㄪᰝ䛧䛯䠊䛭䛾⤖ᯝ䛻䛴䛔䛶ሗ࿌䛩䜛䚹㻌㻞䠊㉸ఏᑟ㉸ⷧ⭷⣽⥺䛾స〇㻌ᮏ◊✲䛷䛿䠈ୗᆅᇶᯈ䛾⤖ᬗᛶ䛾኱䛝䛟ᕥྑ䛥䜜䛺䛔1E7L1 ⷧ⭷>@䛻╔┠䛧⣽⥺䛾స〇䜢⾜䛳䛯䠊6L ᇶᯈୖ䛻'& 䝬䜾䝛䝖䝻䞁䝇䝟䝑䝍ἲ䛻䜘䜚 1E7L1 ⷧ⭷䜢ሁ✚䛥䛫䠈ග䝸䝋䜾䝷䝣䜱ཬ䜃㟁Ꮚ⥺䝸䝋䜾䝷䝣䜱䜢⏝䛔䛶䝟䝍䞊䞁䜢ᙧᡂ䛧䠈཯ᛂᛶ䜲䜸䞁䜶䝑䝏䞁䜾䛻䛶ຍᕤ䜢⾜䛳䛯䠊㟁Ꮚ⥺㟢ග䛾᮲௳䛿䠈ຍ㏿㟁ᅽ N9䠈䝗䞊䝈᫬㛫 PVFP䚸䝡䞊䝮㟁ὶî$ 䛸䛧䛯䠊ᮏ᮲௳䛻䛶䠈⭷ཌ QP 䛾ⷧ⭷䜢⏝䛔䛶䠈)LJ 䛻♧䛧䛯ᶍᘧᅗ䛾䜘䛖䛺⣽⥺ᖜ䛜☢ሙ౵ධ㛗௨ୗ䛾⣽⥺䠄タィ್ Z QP䠅䜢స〇䛧䛯䠊㻟䠊≉ᛶホ౯㻌స〇䛧䛯㉸ఏᑟⷧ⭷⣽⥺䛾ホ౯䛿䠈ᾮయ䝦䝸䜴䝮୰ཬ䜃⵨Ⓨ䜺䝇㞺ᅖẼ୰䛷 ᗘ䜢ㄪᩚ䛧⾜䛳䛯䠊)LJ䛻⣽⥺ᖜ QP 䛾 ㉸ ఏ ᑟ ⣽ ⥺ 䛾 ᢬ ᢠ  ᗘ ≉ ᛶ 䜢 ♧ 䛩 䠊.䛻䛶᢬ᢠ್䛜ᛴ⃭䛻ୖ᪼䛧⣽⥺඲య䛜ᖖఏᑟ㡿ᇦ䜈䛸㌿⛣䛩䜛䛣䛸䛜☜ㄆ䛷䛝䜛䠊୍᪉䛷䠈.௨ୗ䛾 ᗘ䛻䛚䛔䛶䜒ᚎ䚻䛻᢬ᢠ್䛜ቑ኱䛧䛶䛔䛟䛣䛸䛜ศ䛛䜛䠊䛣䛾㡿ᇦ䛷䛿䠈9$3䛾ᙧᡂ䞉ศ㞳䛻䜘䜚⣽⥺䛜㟁ᅽ≧ែ䛸䛺䛳䛶䛔䜛䛸⪃䛘䜙䜜䜛䠊䛣䛾䝔䞊䝹䜢ᘬ䛔䛯㡿ᇦ䛿䠈QP䛾᫬䛾᪉䛜ᗈ䛟䠈ྠ⭷ཌ䛾ྠ୍䝃䞁䝥䝹䛻䛶ᮏ⤖ᯝ䛜ᚓ䜙䜜䛯䛣䛸䛛䜙䠈⥺ᖜ䜢⊃䛟䛧䛯䛣䛸䛻䜘䜚9$3䛾ᙧᡂ䞉ศ㞳䛾ᙳ㡪䛜኱䛝䛟⌧䜜䛯䛸⪃䛘䜙䜜䜛䠊䜎䛯䠈)LJ䛻ᾮయ䝦䝸䜴䝮୰ .  䛻䛶ᚓ䜙䜜䛯ᖜQP䛾⣽⥺䛾㟁ὶ㟁ᅽ≉ᛶ䜢♧䛩䠊㟁ᅽ≧ែ䛻䛶䠈ẚ㍑ⓗᛴᓧ䛺㟁ᅽ䛾㣕䜃䛜➼㛫㝸䛷ほ 䛷䛝䜛䠊䛣䜜䛿⣽⥺ᖜ䛜⣽䛟఩┦⁥䜚䛾ຠᯝ䛜ぢ䛘䛶䛔䜛ྍ⬟ᛶ䜢♧䛧䛶䛚䜚䠈YRUWH[䛾౵ධ䛧䜔䛩䛔≧ែ䛸䛺䛳䛶䛔䜛䛸⪃䛘䜙䜜䜛䠊௒ᚋ䛿䠈䜘䜚ⷧ䛟䜘䜚⣽䛔㉸ఏᑟⷧ⭷⣽⥺䜢స〇䛧䛭䛾≉ᛶ䜢ㄪᰝ䛧䠈㉸ఏᑟⷧ⭷䜢⏝䛔䛯䝕䝞䜲䝇䛻㐺䛧䛯᮲௳䜢᫂䜙䛛䛻䛩䜛䠊㻌㻲㼕㼓㻚㻝㻌㻿㼏㼔㼑㼙㼍㼠㼕㼏㻌㼐㼕㼍㼓㼞㼍㼙㻌㼛㼒㻌㼚㼍㼚㼛㼣㼕㼞㼑㼟㻌㻌㻲㼕㼓㻚㻞㻌㼀㼑㼙㼜㼑㼞㼍㼠㼡㼞㼑㻌㼐㼑㼜㼑㼚㼐㼑㼚㼏㼑㻌㼛㼒㻌㼞㼑㼟㼕㼟㼠㼍㼚㼏㼑㼟㻌㼒㼛㼞㻌㼠㼔㼑㻌㼚㼍㼚㼛㼣㼕㼞㼑㼟㻌㼣㼕㼠㼔㻌㼐㼕㼒㼒㼑㼞㼑㼚㼠㻌㼣㼕㼐㼠㼔㼟㻌㻲㼕㼓㻚㻟㻌㻯㼡㼞㼞㼑㼚㼠㻙㼢㼛㼘㼠㼍㼓㼑㻌㼏㼔㼍㼞㼍㼏㼠㼑㼞㼕㼟㼠㼕㼏㻌㼛㼒㻌㼒㼍㼎㼞㼕㼏㼍㼠㼑㼐㻌㻝㻡㻜㻙㼚㼙㻙㼣㼕㼐㼑㻌㼚㼍㼚㼛㼣㼕㼞㼑㻌㼛㼎㼠㼍㼕㼚㼑㼐㻌㼍㼠㻌㻠㻚㻞㻌㻷㻌ཧ⪃ᩥ⊩㻌㻝㻚㻌 㻳㻚㻌㻺㻚㻌㻳㼛㼘䇻㼠㼟㼙㼍㼚㻘㻌㼑㼠㻌㼍㼘㻚㻦㻌㻭㼜㼜㼘㻚㻌㻼㼔㼥㼟㻚㻌㻸㼑㼠㼠㻚㻘㻌㼂㼛㼘㻚㻌㻣㻥㻌㻔㻞㻜㻜㻝㻕㻌㼜㻚㻌㻣㻜㻡㻌㻞㻚㻌 㻭㻚㻌㻺㻚㻌㻹㼏㻯㼍㼡㼓㼔㼍㼚㻌㼍㼚㼐㻌㻷㻚㻌㻷㻚㻌㻮㼑㼞㼓㼓㼞㼑㼚㻦㻌㻺㼍㼚㼛㻌㻸㼑㼠㼠㻚㻘㻌㼂㼛㼘㻚㻌㻝㻠㻌㻔㻞㻜㻝㻠㻕㻌㼜㻚㻌㻡㻣㻠㻤㻌㻟㻚㻌 㻭㻚㻌㻱㼚㼓㼑㼘㻘㻌㼑㼠㻌㼍㼘㻚㻦㻌㻿㼡㼜㼑㼞㼏㼛㼚㼐㻚㻌㻿㼏㼕㻚㻌㼀㼑㼏㼔㼚㼛㼘㻚㻘㻌㼂㼛㼘㻚㻌㻞㻤㻌㻔㻞㻜㻝㻡㻕㻌㼜㻚㻌㻝㻝㻠㻜㻜㻟㻌㻠㻚㻌 㼀㻚㻌 㼅㼍㼙㼍㼟㼔㼕㼠㼍㻘㻌 㼑㼠㻌 㼍㼘㻦㻌 㻭㼜㼜㼘㻚㻌 㻼㼔㼥㼟㻚㻌 㻸㼑㼠㼠㻚㻘㻌 㼂㼛㼘㻚㻌㻥㻥㻌 㻔㻞㻜㻝㻝㻕㻘㻌㼜㻚㻌㻝㻢㻝㻝㻜㻡㻌 㻌㻡㻚㻌 㻷㻚㻌 㻹㼍㼗㼕㼟㼑㻘㻌 㼑㼠㻌 㼍㼘㻦㻌 㻵㻱㻱㻱㻌㼀㼞㼍㼚㼟㻚㻌㻭㼜㼜㼘㻚㻌 㻿㼡㼜㼑㼞㼏㼛㼚㼐㻚㻘㻌㼂㼛㼘㻚㻌㻞㻝㻌㻔㻞㻜㻝㻝㻕㻌㼜㻚㻌㻝㻟㻥㻌㻌㻌ㅰ㎡㻌ᮏ ◊ ✲ 䛾 ୍ 㒊 䛿 ⛉ ◊ ㈝ 㻌 㻔㻞㻢㻞㻞㻜㻥㻜㻠㻘㻌 㻝㻢㻴㻜㻞㻟㻠㻜㻘㻌㻝㻢㻴㻜㻞㻣㻥㻢㻕㻌 䛾ຓᡂ䜢ཷ䛡䛶ᐇ᪋䛧䛯䜒䛾䛷䛒䜛䠊― 117 ―

第95回

2017年度秋季低温工学・超電導学会

2D-a03

LTS デバイス (1)㻭㻽㻲㻼 䛾ప䜶䝛䝹䜼䞊ᩓ㐓䛾 ᐃ䛻ྥ䛡䛯㉸ఏᑟඹ᣺ჾ䛾᳨ウ㻿㼠㼡㼐㼥㻌㼛㼚㻌㻿㼡㼜㼑㼞㼏㼛㼚㼐㼡㼏㼠㼕㼚㼓㻌㻾㼑㼟㼛㼚㼍㼠㼛㼞㼟㻌㼒㼛㼞㻌㻹㼑㼍㼟㼡㼞㼕㼚㼓㻌㻸㼛㼣㻌㻱㼚㼑㼞㼓㼥㻙㻰㼕㼟㼟㼕㼜㼍㼠㼕㼛㼚㻌㼕㼚㻌㻭㻽㻲㻼䜿䜲 ⫱㛶䠈➉ෆ ᑦ㍤䠈ᒣ᲍ ⿱ᕼ䠈ྜྷᕝ ಙ⾜ 㻔ᶓ὾ᅜ኱㻕㼄㻵㻺㻳㻌㼅㼡㼓㼑䠈㼀㻭㻷㻱㼁㻯㻴㻵㻌㻺㼍㼛㼗㼕䠈㼅㻭㻹㻭㻺㻭㻿㻴㻵㻌㼅㼡㼗㼕䠈㼅㻻㻿㻴㻵㻷㻭㼃㻭㻌㻺㼛㼎㼡㼥㼡㼗㼕 㻔㼅㻺㼁㻕㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼤㼕㼚㼓㻙㼥㼡㼓㼑㻙㼚㼢㻬㼥㼚㼡㻚㼖㼜㻝䠊䛿䛨䜑䛻⌧ᅾ䛾ィ⟬ᶵ䜢ᵓᡂ䛩䜛༙ᑟయ㞟✚ᅇ㊰䛿䚸ᚤ⣽໬䛾㝈⏺䛜㏆䛵䛔䛶䛔䛶䚸ᛶ⬟䛾ྥୖ䛜㞴䛧䛟䛺䛳䛶䛝䛶䛔䜛䚹䜎䛯䚸䜶䝛䝹䜼䞊ຠ⋡䛾ྥୖ䜒㞴䛧䛟䚸䜶䜽䝃䝇䜿䞊䝹䛾䝇䝟䝁䞁䜢ᐇ⌧䛩䜛䛻䛒䛯䜚䚸⌧ᅾ䛾 CMOS ࣉ䝻䝉䝑䝃䛷䛿⭾኱䛺㟁ຊ䛜ᚲせ䛷䛒䜛䛣䛸䛜ண᝿䛥䜜䜛䚹䛣䜜䜙䛾ၥ㢟䜢ゎỴ䛩䜛䛯䜑䚸ᡃ䚻䛿䚸CMOS 䜘䜚㧗㏿䛷䚸㉸పᾘ㈝㟁ຊ䛷䛒䜛᩿⇕ᆺ㔞Ꮚ☢᮰䝟䝷䝯䝖䝻䞁 (AdiabaticQuantum Flux Parametron; AQFP) [1] 䜢 ◊ ✲ 䛧 䛶 䛔 䜛 䚹
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Figure 3 䛻䠈ヨస䛧䛯ඹ᣺ჾ䛾㏻㐣≉ᛶ䜢♧䛩 S21 䛾 ᐃ⤖ᯝ䜢♧䛩䚹Table 1 䛻䚸㟁☢⏺䝅䝭䝳䝺䞊䝍䞊Sonnet 䜢⏝䛔䛯䝅䝭䝳䝺䞊䝅䝵䞁⤖ᯝ䛸 ᐃ⤖ᯝ䛾ẚ㍑䜢♧䛩䚹䝅䝭䝳䝺䞊䝅䝵䞁䛻ᑐ䛧䛶䚸 ᐃ䛷ᚓ䜙䜜䛯 Q ್䛿ప䛔䛣䛸䛜ศ䛛䛳䛯䚹≉䛻Q ್䛜㧗䛟䛺䜛䛻㐃䜜䛶䚸S21 䛾ᤄධᦆኻ䛜ᚎ䚻䛻ୗ䛜䜛䛣䛸䛜ศ䛛䜛䚹䛣䜜䛿䚸ඹ᣺ჾ⮬㌟䛾ᦆኻ䛜኱䛝䛔䛣䛸䜢♧䛧䛶䛔䜛䚹௒ᚋࡣࠊᦆኻࡀᑠࡉࡃ࡞ࡿࡼ࠺࡞ඹ᣺ჾࡢᵓ㐀ࢆ᳨ウ
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第95回

2017年度秋季低温工学・超電導学会

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LTS デバイス (1)㧗㥑ື⬟ຊ䜢ᣢ䛴༢୍☢᮰㔞Ꮚᅇ㊰ྥ䛡஺ὶ㻛┤ὶ㟁ຊኚ᥮⣲Ꮚ㻌㻭㻯㻙㻰㻯㻌㼏㼛㼚㼢㼑㼞㼠㼑㼞㼟㻌㼔㼍㼢㼕㼚㼓㻌㼔㼕㼓㼔㻌㼐㼞㼕㼢㼕㼚㼓㻌㼏㼍㼜㼍㼏㼕㼠㼥㻌㼒㼛㼞㻌㼟㼕㼚㼓㼘㼑㻌㼒㼘㼡㼤㻌㼝㼡㼍㼚㼠㼡㼙㻌㼏㼕㼞㼏㼡㼕㼠㼟㻌㻌㇂ཱྀ㻌 ኊ⪨䠈⚄㇂㻌 ᬛ኱䠈ᒾୗ㻌 㣁ᩯ䠈బ㔝㻌 ிభ䠈⏣୰㻌 㞞ග䠈⸨ᕳ㻌 ᮁ䠄ྡ኱䠅㻌㼀㻭㻺㻵㻳㼁㻯㻴㻵㻌㻿㼛㼥㼍䠈㻌 㻷㻭㻹㻵㼅㻭㻌㼀㼛㼙㼛㼔㼕㼞㼛㻘㻌㻵㼃㻭㻿㻴㻵㼀㻭㻌㻴㼍㼥㼍㼠㼛㻘㻌 㻌㻿㻭㻺㻻㻌㻷㼥㼛㼟㼡㼗㼑㻘㻌㼀㻭㻺㻭㻷㻭㻌㻹㼍㼟㼍㼙㼕㼠㼟㼡㻘㻌㻲㼁㻶㻵㻹㻭㻷㻵㻌㻭㼗㼕㼞㼍㻌㻔㻺㼍㼓㼛㼥㼍㻌㼁㼚㼕㼢㻚㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼠㼍㼚㼕㼓㼡㼏㼔㼕㻬㼟㼡㼜㼑㼞㻚㼚㼡㼝㼑㻚㼚㼍㼓㼛㼥㼍㻙㼡㻚㼍㼏㻚㼖㼜㻌㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌ㅰ㎡㻌༢୍☢᮰㔞Ꮚ䠄㻿㻲㻽䠅ᅇ㊰䛿㧗㏿ືస䚸పᾘ㈝㟁ຊ䛸䛔䛖ᮏ ◊ ✲ 䛿 ⛉ ◊ ㈝ 㻔㻞㻢㻞㻞㻜㻥㻜㻠㻘㻌 㻝㻢㻴㻜㻞㻟㻠㻜㻘㻌 㻞㻢㻠㻞㻜㻟㻜㻢㻘㻌≉ᚩ䜢ᣢ䛴䚹㻿㻲㻽 ᅇ㊰䛿ᐃ㟁ὶ㥑ື䛾ᅇ㊰䛷䛒䜚䚸ྛᅇ㊰㻝㻢㻶㻝㻝㻠㻠㻜㻕䛾ຓᡂ䜢ཷ䛡䛯䜒䛾䛷䛒䜛䚹䜎䛯ᮏ◊✲䛷౑⏝䛧䛯䝤䝻䝑䜽䛻ᑐ䛧㐺ษ䛺䝞䜲䜰䝇㟁ὶ䜢ಶู䛻౪⤥䛩䜛ᚲせ䛜ᅇ㊰䛾୍㒊䛿䚸⏘ᴗᢏ⾡⥲ྜ◊✲ᡤ㻔㻭㻵㻿㼀㻕䛾㉸ఏᑟ䜽䝸䞊䛒䜛䚹⌧ᅾ䛷䛿」ᩘ䛾┤ὶ㟁※䜢⏝䛔䛶౪⤥䛧䛶䛔䜛䛜䚸ᅇ䞁䝹䞊䝮㻔㻯㻾㻭㼂㻵㼀㼅㻕䛻䛚䛔䛶స〇䛥䜜䛯䚹㻌㊰つᶍ䛻ᚑ䛳䛶㟁※䛾ᩘ䛜ቑ䛘䚸ᐊ 䛛䜙ᴟప 䜈䛾⇕ὶධ䛾ၥ㢟䜔䚸㟁※䛾ᾘ㈝㟁ຊ䛾ቑຍ䛾ၥ㢟䛜⏕䛨䛶䛔䛯䚹㻌ᡃ䚻䛿䜲䞁䝷䜲䞁ᆺ䝆䝵䝉䝣䝋䞁᥋ྜ䛸䛭䛾㏆ഐ䛻㓄⨨䛧䛯☢ᛶయ䛾ṧ␃☢໬䜢฼⏝䛩䜛䛣䛸䛷㉸ఏᑟ䝎䜲䜸䞊䝗䜢స〇䛧䚸㧗䛔㠀ᑐ⛠ᛶ䛸㧗䛔㈇Ⲵ㥑ື⬟ຊ䜢ᣢ䛴஺ὶ㻛┤ὶኚ᥮⣲Ꮚ䜢ᐇ⌧䛷䛝䜛䛣䛸䜢䛩䛷䛻♧䛧䛯㼇㻝㼉䚹䛣䛾㉸ఏᑟ䝎䜲䜸䞊䝗䜢⏝䛔䛶஺ὶ㻛┤ὶኚ᥮ᅇ㊰䜢స〇䛧䚸㻿㻲㻽 ᅇ㊰䜢஺ὶ㟁※䛛䜙㥑ື䛩䜛䛣䛸䛷䚸㟁※䛻䜘䜛ၥ㢟䜢ゎỴ䛩䜛䛣䛸䛜䛷䛝䜛䚹ຍ䛘䛶䚸ᡃ䚻䛾㉸ఏᑟ䝎䜲䜸䞊䝗䛿☢ᛶయ䛾ṧ␃☢໬ᙉᗘ䜢ไᚚ䛧䛶㜈್䜢ኚ໬䛥䛫䜛䛣䛸䛜䛷䛝䚸䛭䛾⤖ᯝ㈇Ⲵ䛻౪⤥䛩䜛㟁ຊ㔞䜢ไᚚ䛩䜛䛣䛸䛜䛷䛝䜛䚹௒ᅇ㉸ఏᑟ䝎䜲䜸䞊䝗䛾㜈್䜢ไᚚ䛩䜛䛣䛸䛻䜘䛳䛶㟁ຊ䛾ไᚚ䜢⾜䛳䛯䛾䛷ሗ࿌䛩䜛䚹㻌㻌㻞䠊ᐇ㦂㻌㻲㼕㼓㻚㻝 䛻స〇䛧䛯䝆䝵䝉䝣䝋䞁᥋ྜ䛾እ㒊☢ሙ≉ᛶ䜢♧䛩䚹㻲㼕㼓㻚㻝㻌㼀㼔㼞㼑㼟㼔㼛㼘㼐㻌㼏㼔㼍㼞㼍㼏㼠㼑㼞㼕㼟㼠㼕㼏㼟㻌㼛㼒㻌㼒㼍㼎㼞㼕㼏㼍㼠㼑㼐㻌㻶㻶㻌⏘ᴗᢏ⾡⥲ྜ◊✲ᡤ䛾 㻺㼎㻠 ᒙ 㻝㻜㻌㼗㻭㻛㼏㼙㻞 䝥䝻䝉䝇䜢฼⏝䛧䚸᥋ྜ㠃✚䛿 㻞㻜㼤㻝㻌P㼙㻞䚸᭱኱䛾 㻵㼏 䛿 㻝㻚㻤㻌㼙㻭 䛸䛺䛳䛶䛔䜛䚹㉸ఏᑟ䝎䜲䜸䞊䝗䛸䛧䛶฼⏝䛩䜛䛯䜑䛻䛿☢ᛶయ䛾☢໬䜢ㄪᩚ䛧䚸㻮㼑㼤㻌㻩㻌㻟㻜㻜㻌P㼀 ⛬ᗘ䛾☢ሙ䛜䝆䝵䝉䝣䝋䞁᥋ྜ䛻ຍ䜟䜛䜘䛖䛻䛧䚸㻵㼏㻙䛸 㻵㼏㻗䛾ẚ䛜኱䛝䛟䛺䜛Ⅼ䛷ືస䛥䛫䜛䚹㟁ὶ䜢ධຊ䛧䚸୧➃䛻⌧䜜䜛㟁ᅽ䜢 ᐃ䛩䜛䛸༙Ἴᩚὶ䛸䛺䜛䚹䝆䝵䝉䝣䝋䞁᥋ྜ䛻 㻮㼑㼤㻌㻩㻌㻟㻜㻜㻌P㼀 䜢ຍ䛘䛯䛖䛘䛷ṇᘻἼ䜢ධຊ䛧䛶༙Ἴᩚὶ䜢⾜䛳䛯䜒䛾䛸䚸㻞㻞㻜㻜㻌P㻲 䛾䝁䞁䝕䞁䝃䛻䜘䛳䛶ᖹ⁥໬䛥䛫䛯䜒䛾䜢 㻲㼕㼓㻚㻞 䛻♧䛩䚹ฟຊ㟁ᅽ 㼂㼛㼡㼠 䛿㛤ᨺ㟁ᅽ䜢ぢ䛶䛔䜛䛜䚸䝁䞁䝕䞁䝃᥋⥆ᚋ䛿⵳䛘䜙䜜䛯㟁Ⲵ䛜᥋ྜ䛻㏫ὶ䛩䜛䛯䜑䚸ᖹᆒ㟁ᅽ䛸䛧䛶 㻝㻌㼙㼂 ⛬ᗘ䛾㟁ᅽ䛜ᚓ䜙䜜䛯䚹䛺䛚䚸ᖹ⁥ᚋ䛾Ἴᙧ䛻䛿䝸䝑䝥䝹ᡂศ䛜ྵ䜎䜜䛶䛔䜛䛜䚸䛣䜜䛿ධຊ䛾࿘Ἴᩘ䛾ప䛥䛻䜘䜛䜒䛾䛷䚸ධຊ࿘Ἴᩘ䜢㧗䛟タᐃ䛩䜜䜀ᐜ᫆䛻ᨵၿ䛜ྍ⬟䛷䛒䜛䚹㻌㻲㼕㼓㻚㻞㻌㻻㼡㼠㼜㼡㼠㻌㼢㼛㼘㼠㼍㼓㼑㼟㻌㼛㼒㻌㼞㼑㼏㼠㼕㼒㼕㼑㼞㻌㼍㼠㻌㻮㼑㼤㻌㻩㻌㻟㻜㻜 P㼀㻌୍᪉䚸䝆䝵䝉䝣䝋䞁᥋ྜ䛻ຍ䜟䜛☢ሙ䜢ไᚚ䛧䚸㻮㼑㼤㻌㻩㻌㻝㻡㻜㻌P㼀 䛸䛺䜛ሙྜ䛾ฟຊἼᙧ䜢 㻲㼕㼓㻚㻟 䛻♧䛩䚹᥋ྜ䛾㻵㼏 䛜ኚ໬䛩䜛䛣䛸䛻䜘䛳䛶䝆䝵䝉䝣䝋䞁᥋ྜ䛿ධຊ䛾㈇䛾࿘ᮇ䛷䜒䝇䜲䝑䝏䛩䜛䜘䛖䛻ືస䛜ኚ໬䛧䛶䛔䜛䚹䛭䛾⤖ᯝ䝁䞁䝕䞁䝃䛻䜘䜛ᖹ⁥໬䜢⾜䛳䛯ᚋ䛷䛿 㻲㼕㼓㻚㻞 䛸ẚ㍑䛧䛶㟁ᅽ್䛜ᑠ䛥䛟䛺䜚䚸㻜㻚㻢㻌㼙㼂 ⛬ᗘ䛾㟁ᅽ್䛜ᚓ䜙䜜䛯䚹௒ᅇ䛿䝆䝵䝉䝣䝋䞁᥋ྜ䛻ຍ䜟䜛☢ሙ䛾኱䛝䛥䜢እ㒊䝁䜲䝹䛷ไᚚ䛧䛯䛜䚸☢ᛶయ䛾☢໬䜢ไᚚ䛩䜛䛣䛸䛷䝆䝵䝉䝣䝋䞁᥋ྜ䛻ຍ䜟䜛☢
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第95回

2017年度秋季低温工学・超電導学会

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LTS デバイス (2)༢୍☢᮰㔞Ꮚ 㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛾Ᏻᐃືస䛻ྥ䛡䛯ᨵၿ㻌㻵㼙㼜㼞㼛㼢㼑㼙㼑㼚㼠㻌㼛㼒㻌㼐㼑㼟㼕㼓㼚㻌㼛㼒㻌㼟㼕㼚㼓㼘㼑㻙㼒㼘㼡㼤㻙㼝㼡㼍㼚㼠㼡㼙㻌㻲㻲㼀㻌㼜㼞㼛㼏㼑㼟㼟㼛㼞㼟㻌㼒㼛㼞㻌㼠㼔㼑㼕㼞㻌㼟㼠㼍㼎㼘㼑㻌㼛㼜㼑㼞㼍㼠㼕㼛㼚㻌㻌బ⸨㻌 ൉ு䠈ᑠ㔝㻌 ᬛ⿱䠈ᒣ᲍㻌 ⿱ᕼ䠈ྜྷᕝ㻌 ಙ⾜㻌 䠄ᶓ὾ᅜ኱䠅㻌㻿㻭㼀㻻㻌㻾㼥㼛㼟㼡㼗㼑䠈㻻㻺㻻㻌㼀㼛㼙㼛㼔㼕㼞㼛䠈㼅㻭㻹㻭㻺㻭㻿㻴㻵㻌㼅㼡㼗㼕䠈㼅㻻㻿㻴㻵㻷㻭㼃㻭㻌㻺㼛㼎㼡㼥㼡㼗㼕㻌 㻔㼅㼛㼗㼛㼔㼍㼙㼍㻌㻺㼍㼠㻚㻌㼁㼚㼕㼢㻚㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼟㼍㼠㼛㻙㼞㼥㼛㼟㼡㼗㼑㻙㼏㼗㻬㼥㼚㼡㻚㼖㼜㻌㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌⌧ᅾ䚸୺䛻䝕䝆䝍䝹ಙྕฎ⌮䛾ศ㔝䛷᫬㛫Ἴᙧ䜢࿘Ἴᩘᡂศ䛻ศゎ䛩䜛䝣䞊䝸䜶ኚ᥮䛜ᗈ䛟⏝䛔䜙䜜䛶䛔䜛䚹䛣䛾䝣䞊䝸䜶ኚ᥮䜢䝁䞁䝢䝳䞊䝍ୖ䛷㧗㏿䛻₇⟬䜢⾜䛖䜰䝹䝂䝸䝈䝮䛸䛧䛶㧗㏿䝣䞊䝸䜶ኚ᥮㻔㻲㻲㼀㻌 㻦㻌 㻲㼍㼟㼠㻌 㻲㼛㼡㼞㼕㼑㼞㻌 㼀㼞㼍㼚㼟㼒㼛㼞㼙㻕䛜⏝䛔䜙䜜䛶䛔䜛䚹㧗㏿䛻 㻲㻲㼀 䜢⾜䛖䛯䜑䛾ᑓ⏝䝝䞊䝗䜴䜵䜰䛸䛧䛶㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛾㛤Ⓨ䛜䛺䛥䜜䛶䛔䜛䚹䛧䛛䛧䚸⌧ᅾᬑཬ䛧䛶䛔䜛 㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛿䚸༙ᑟయ㞟✚ᅇ㊰䜢⏝䛔䛶䛔䜛䛯䜑䚸㻲㻲㼀 䛾⭾኱䛺ィ⟬䛻䜘䜚䚸Ⓨ⏕䛩䜛ᾘ㈝㟁ຊ䛸Ⓨ⇕㔞䛜ၥ㢟䛸䛺䛳䛶䛔䜛䚹䛭䛣䛷䚸ᡃ䚻䛿㧗㏿ືస䛸పᾘ㈝㟁ຊᛶ䛜≉ᚩ䛾 㻿㻲㻽㻔㻿㼕㼚㼓㼘㼑㻌㻲㼘㼡㼤㻌㻽㼡㼍㼚㼠㼡㼙㻕ᅇ㊰䜢⏝䛔䛯 㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛾ືసᐇド䜢┠ᣦ䛧䛶䛔䜛䚹㻌ᡃ䚻䛿䚸䛩䛷䛻 㻠㻌㼎㼕㼠㻌㻙㻌㻤㻌㼜㼛㼕㼚㼠㻌㻿㻲㻽㻌㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䜢 㻭㻵㻿㼀㻌㻝㻜㼗㻭㻛㼏㼙㼽㻌 㻺㼎㻌 䜰䝗䝞䞁䝇䝗䝥䝻䝉䝇㻔㻭㻰㻼㻌 㻞㻚㻞㻕㻌 㼇㻝㼉䜢⏝䛔䛶ᐇ⿦䛧୍࿘ศ䛾ṇᖖືస䜢☜ㄆ䛧䛶䛔䜛㼇㻞㼉䚹䛧䛛䛧䚸㻲㻲㼀 ₇⟬䛻ᚲせ䛺෌ᖐⓗ䛺₇⟬䛾ືసᐇド䛻䛿⮳䛳䛶䛔䛺䛔䚹㻌௒ᅇ䚸ᡃ䚻䛿ືస䝬䞊䝆䞁䜢ไ㝈䛧䛶䛔䜛せᅉ䜢✺䛝Ṇ䜑䚸෌ᖐⓗ䛺₇⟬䛾Ᏻᐃືస䛻ྥ䛡 㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛾䜰䞊䜻䝔䜽䝏䝱䛾ኚ᭦䜢⾜䛳䛯䚹㻌㻌㻞䠊䜸䞁䝏䝑䝥 㻿㻲㻽㻌㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃㻌㻤㻙㼜㼛㼕㼚㼠 䛾 㻲㻲㼀 ₇⟬䛾䝕䞊䝍䛾ὶ䜜䜢ᅗ 㻝 䛻♧䛩䚹㻤㻙㼜㼛㼕㼚㼠 䛾 㻲㻲㼀 ₇⟬䛿䚸ᅗ 㻝 䛾䜘䛖䛻 㻟 䛴䛾䝇䝔䞊䝆䛻ศ䛡䜙䜜䜛䚹ྛ䝇䝔䞊䝆䛻䛚䛔䛶䝞䝍䝣䝷䜲₇⟬䜢⾜䛔䛭䛾ᚋ䚸ḟ䝇䝔䞊䝆䛾₇⟬䛻ྥ䛡䚸䝕䞊䝍䛾୪䜃᭰䛘䛜⾜䜟䜜䜛䚹䛣䜜䜢⧞䜚㏉䛩䛣䛸䛻䜘䜚䚸㻲㻲㼀 ₇⟬䜢⾜䛳䛶䛔䜛䚹ᅗ 㻞 䛻䜸䞁䝏䝑䝥㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛾ᵓᡂᅗ䜢♧䛩䚹ධຊ䝕䞊䝍䛿䚸㻰㼍㼠㼍㻌 㻮㼡㼒㼒㼑㼞䛻ప㏿䛷᭩䛝㎸䜎䜜䚸ಖᣢ䛥䜜䜛䚹䛭䛾ᚋ䚸䝞䝍䝣䝷䜲₇⟬ᅇ㊰䛻䛚䛔䛶䝞䝍䝣䝷䜲₇⟬䛜⾜䜟䜜䚸㻾㼛㼡㼚㼐㼕㼚㼓 ᅇ㊰䛻䛚䛔䛶䝞䝍䝣䝷䜲₇⟬䛾㐣⛬䛷ቑ䛘䛯䝡䝑䝖ᩘ䛾๐ῶ䜢⾜䛖䚹᭱ᚋ䛻㻿㼔㼡㼒㼒㼘㼕㼚㼓 ᅇ㊰䛻䛚䛔䛶ḟ䝇䝔䞊䝆䛾₇⟬䛻ྥ䛡䚸୪䜃᭰䛘䜢⾜䛖䚹䛣䛾ືస䜢」ᩘᅇ⧞䜚㏉䛩䛣䛸䛻䜘䜚䚸㻲㻲㼀 ₇⟬䜢ᐇ⌧䛧䛶䛔䜛䚹䛣䛾ᵓᡂ䛾 㻠㻌㼎㼕㼠㻌㻙㻌㻤㻌㼜㼛㼕㼚㼠㻌㻿㻲㻽㻌㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛿䚸୍࿘ศ䛾ືసᐇド䛜䛺䛥䜜䛶䛔䜛䚹㻌㻌㻟䠊䜸䞁䝏䝑䝥 㻿㻲㻽㻌㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛾ᨵၿ㻌ᅗ 㻞 䛾ᵓᡂ䛾 㻿㻲㻽㻌㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛷䛿䚸㻾㼛㼡㼚㼐㼕㼚㼓 ᅇ㊰䛜ືస䝬䞊䝆䞁䜢ไ㝈䛧䛶䛔䛯䚹䛭䛾ཎᅉ䛸䛧䛶 㻾㼛㼡㼚㼐㼕㼚㼓 ᅇ㊰ෆ䛻䛚䛔䛶䚸䜽䝻䝑䜽䛚䜘䜃䝕䞊䝍䜢ศ࿘䛧䛶䛔䜛 㼀㼛㼓㼓㼘㼑㻌 㻲㼘㼕㼜㻌㻲㼘㼛㼜㻌 䠄㼀㻲㻲䠅㻌 䝉䝹䛾ືస୙Ⰻ䛜⪃䛘䜙䜜䜛䚹௒ᅇ䛿䚸䛣䛾㼀㻲㻲 䝉䝹䜢⏝䛔䛺䛔ᵓᡂ䛾 㻿㻲㻽㻌 㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛻䛴䛔䛶⪃᱌䜢⾜䛳䛯䚹㻌௒ᅇタィ䛧䛯 㻿㻲㻽㻌 㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛷䛿䚸ᚑ᮶䛾ᵓᡂ䛻䛚䛔䛶䚸㻾㼛㼡㼚㼐㼕㼚㼓 ᅇ㊰ෆ䛷⾜䛳䛶䛔䛯䝕䞊䝍ཬ䜃䜽䝻䝑䜽䛻ᑐ䛩䜛వศ䛺䝡䝑䝖䛾๐ῶ䜢⾜䛖ືస䜢 㻰㼍㼠㼍㻌 㻮㼡㼒㼒㼑㼞 䛷⾜䛖䜘䛖䛻ኚ᭦䛧䛯䚹䜎䛯䚸㻿㼕㼓㼚 䝡䝑䝖䛾᳨ฟ䜢⾜䛖ᅇ㊰䛻䛚䛔䛶⏝䛔䛶䛔䛯 㼀㻲㻲 䝉䝹䜢ู䛾䝉䝹䛷⨨䛝᥮䛘䜛䛣䛸䛻䜘䜚䚸㻿㻲㻽㻌 㻲㻲㼀䝥䝻䝉䝑䝃඲య䛷 㼀㻲㻲 䝉䝹䜢⏝䛔䛺䛔ᵓᡂ䛸䛧䛯䚹㻌㻌㻠䠊᪂ᵓᡂ䛾 㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛾ᐇ⿦㻌ᅗ 㻟 䛻 㻭㻰㻼㻞㻚㻞 䜢⏝䛔䛶ヨస䛧䛯䜸䞁䝏䝑䝥 㻿㻲㻽㻌 㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛾䝏䝑䝥෗┿䜢♧䛩䚹௒ᅇ䚸ヨస䛧䛯 㻿㻲㻽㻌 㻲㻲㼀 䝥䝻䝉䝑䝃䛿䚸㟁ὶ㔞 㻞㻚㻟㻣㻌 㻭䚸᥋ྜᩘ 㻝㻥㻠㻟㻡 䛸䛺䛳䛯䚹䝅䝭䝳䝺䞊䝅䝵䞁䛻䛚䛔䛶䚸᭱㧗ືస࿘Ἴᩘ㻌 㻤㻜㻳㻴㼦䚸㻡㻜㻌 㻳㻴㼦 䛷䛾䝞䜲㻲㼕㼓㻚㻝㻌㻰㼍㼠㼍㻌㼒㼘㼛㼣㻌㼛㼒㻌㻤㻙㼜㼛㼕㼚㼠㻌㻲㻲㼀㻌㻲㼕㼓㻚㻞㻌㻿㼠㼞㼡㼏㼠㼡㼞㼑㻌㼛㼒㻌㼛㼚㻙㼏㼔㼕㼜㻌㻿㻲㻽㻌㻲㻲㼀㻌㼜㼞㼛㼏㼑㼟㼟㼛㼞㻌㻲㼕㼓㻚㻟㻌㻼㼕㼏㼠㼡㼞㼑㻌㼛㼒㻌㼛㼚㻙㼏㼔㼕㼜㻌㻿㻲㻽㻌㻲㻲㼀㻌㼜㼞㼛㼏㼑㼟㼟㼛㼞㻌䜰䝇䝬䞊䝆䞁 㻤㻜㻑㻌 㻙㻌 㻝㻞㻡㻑䛜ᚓ䜙䜜䛶䛔䜛䚹 ᐃ⤖ᯝ䛻䛴䛔䛶䛿ᙜ᪥Ⓨ⾲䜢⾜䛖䚹㻌㻌ㅰ㎡㻌ᮏ◊✲䛻౑⏝䛥䜜䛯ᅇ㊰䛿䚸⏘ᴗᢏ⾡⥲ྜ◊✲ᡤ㻔㻭㻵㻿㼀㻕䛾㉸ఏᑟ䜽䝸䞊䞁䝹䞊䝮㻔㻯㻾㻭㼂㻵㼀㼅㻕䛻䛚䛔䛶䚸㻭㻵㻿㼀㻙㻭㻰㻼㻞 䝥䝻䝉䝇䜢⏝䛔䛶స〇䛥䜜䛯䚹㻌㻌ཧ⪃ᩥ⊩㻌㻝㻚㻌 㻿㻚㻌 㻺㼍㼓㼍㼟㼍㼣㼍㻌 㼑㼠㻌 㼍㼘㻚㻘㻌 䇾㻺㼎㻌 㻥㻙㻸㼍㼥㼑㼞㻌 㻲㼍㼎㼞㼕㼏㼍㼠㼕㼛㼚㻌 㻼㼞㼛㼏㼑㼟㼟㻌 㼒㼛㼞㻌㻿㼡㼜㼑㼞㼏㼛㼚㼐㼡㼏㼠㼕㼚㼓㻌㻸㼍㼞㼓㼑㻙㻿㼏㼍㼘㼑㻌㻿㻲㻽㻌㻯㼕㼞㼏㼡㼕㼠㼟㻌㼍㼚㼐㻌㻵㼠㼟㻌㻼㼞㼛㼏㼑㼟㼟㻌㻱㼢㼍㼘㼡㼍㼠㼕㼛㼚㻘䇿㻌㻵㻱㻵㻯㻱㻌㼀㼞㼍㼚㼟㼍㼏㼠㼕㼛㼚㼟㻌㼛㼚㻌㻱㼘㼑㼏㼠㼞㼛㼚㼕㼏㼟㻘㻌㼢㼛㼘㻚㻌㻱㻥㻣㻚㻯㻘㻌㼚㼛㻚㻌㻟㻘㻌㼜㼜㻚㻌㻝㻟㻞䇵㻝㻠㻜㻘㻌㻞㻜㻝㻠㻚㻌㻞㻚㻌 㼀㻚㻌 㻻㼚㼛㻘㻌 㻴㻚㻌 㻿㼡㼦㼡㼗㼕㻘㻌 㼅㻚㻌 㼅㼍㼙㼍㼚㼍㼟㼔㼕㻘㻌 㼍㼚㼐㻌 㻺㻚㻌 㼅㼛㼟㼔㼕㼗㼍㼣㼍㻘㻌䇾㻰㼑㼟㼕㼓㼚㻌㼍㼚㼐㻌㻵㼙㼜㼘㼑㼙㼑㼚㼠㼍㼠㼕㼛㼚㻌㼛㼒㻌㼍㼚㻌㻿㻲㻽㻙㻮㼍㼟㼑㼐㻌㻿㼕㼚㼓㼘㼑㻙㻯㼔㼕㼜㻌㻲㻲㼀㻌㻼㼞㼛㼏㼑㼟㼟㼛㼞㻘䇿㻌㻵㻱㻱㻱㻌㼀㼞㼍㼚㼟㻚㻌㻭㼜㼜㼘㻚㻌㻿㼡㼜㼑㼞㼏㼛㼚㼐㻚㻘㻌㼢㼛㼘㻚㻌㻞㻣㻘㻌㼚㼛㻚㻌㻠㻘㻌㼜㼜㻚㻌㻝䇵㻡㻘㻌㻶㼡㼚㻚㻌㻞㻜㻝㻣㻚㻌― 120 ―

第95回

2017年度秋季低温工学・超電導学会

2D-p02

LTS デバイス (2)㻭㻽㻲㻼 ᅇ㊰䛾ᚤ⣽໬䛻ྥ䛡䛯 㼞㼒㻙㻿㻽㼁㻵㻰 ⤖ྜ⣲Ꮚ䛾᳨ウ㻌㻵㼚㼢㼑㼟㼠㼕㼓㼍㼠㼕㼛㼚㻌㼛㼒㻌㼞㼒㻙㻿㻽㼁㻵㻰㻌㼒㼛㼞㻌㼙㼕㼚㼕㼍㼠㼡㼞㼕㼦㼍㼠㼕㼛㼚㻌㼛㼒㻌㻭㻽㻲㻼㻌㼏㼕㼞㼏㼡㼕㼠㻌㻌Ⲩ஭㻌 Ꮥኴ䠈➉ෆ㻌 ᑦ㍤䠈ᒣ᲍㻌 ⿱ᕼ䠈ྜྷᕝ㻌 ಙ⾜䠄ᶓ὾ᅜ኱䠅㻌
ARAI Kota䠈 TAKEUCHI Naoki䠈YAMANASHI Yuki䠈YOSHIKAWA Nobuyuki (Yokohama Nat. Univ.)
E-mail: arai-kota-jz@ynu.jp㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌 ᑗ᮶ࡢࢫ࣮ࣃ࣮ࢥࣥࣆ࣮ࣗࢱᐇ⌧࡟ࡣపᾘ㈝㟁ຊ໬ࡀồࡵࡽࢀ࡚࠾ࡾࠊࡑࡇ࡛ᡃࠎࡣ㉸ప㟁ຊ࡛࠶ࡿ᩿⇕ᆺ㔞Ꮚ☢᮰ࣃ࣓ࣛࢺࣟࣥ Adiabatic quantum flux parametron:
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Yoshikawa, IEEE Trans. Appl. Supercond., vol. 23, no. 3,1700304, Jun. 2013.
[2] N. Takeuchi “Extremely Energy-Efficient IntegratedCircuits Using Adiabatic Superconductor Logic” doctoraldissertation, 2014. pp.83-88.
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第95回



2017年度秋季低温工学・超電導学会

2D-p03

LTS デバイス (2)㉸ఏᑟ⣽⥺䛾఩┦䛩䜉䜚䛸䝕䝞䜲䝇ᛂ⏝㻌㻼㼔㼍㼟㼑㻌㼟㼘㼕㼜㼟㻌㼍㼚㼐㻌㼐㼑㼢㼕㼏㼑㻌㼍㼜㼜㼘㼕㼏㼍㼠㼕㼛㼚㼟㻌㼛㼒㻌㼟㼡㼜㼑㼞㼏㼛㼚㼐㼡㼏㼠㼕㼚㼓㻌㼚㼍㼚㼛㼣㼕㼞㼑㻌㻌∾℩㻌 ᆂṇ䠈ᾋ㎶㻌 㞞ᏹ䠗⠛ᓮ㻌 ᩥ㔜㻧ὸ㔝㻌 ㈗⾜㻌㻹㻭㻷㻵㻿㻱㻌㼗㼍㼦㼡㼙㼍㼟㼍䠈㻌 㼁㻷㻵㻮㻱㻌㼙㼍㼟㼍㼔㼕㼞㼛㻌㻔㻭㻵㻿㼀㻕㻧㻌㻿㻴㻵㻺㻻㼆㻭㻷㻵㻌㼎㼡㼚㼖㼡㻌㻔㻷㼥㼡㼟㼔㼡㻌㼡㼚㼕㼢㻚㻕㻌㻭㻿㻭㻺㻻㻌㼠㼍㼗㼍㼥㼡㼗㼕㻌㻔㻲㼡㼗㼡㼕㻌㼡㼚㼕㼢㻚㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼗㼒㻙㼙㼍㼗㼕㼟㼑㻬㼍㼕㼟㼠㻚㼓㼛㻚㼖㼜㻌㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌㻌㉸ఏᑟయ䜢పḟඖ໬䛩䜛䛸ᵝ䚻䛺ᦂ䜙䛞⌧㇟䛜㢧ⴭ䛻䛺䜛䚹౛䛘䜀 㻞 ḟඖఏᑟ䛸䜏䛺䛫䜛䜋䛹䛾㉸ఏᑟ㉸ⷧ⭷䛷䛿㌿⛣ ᗘ㏆ഐ䛷㉸ఏᑟᦂ䜙䛞䛻䜘䜛᢬ᢠ䛾ῶᑡ䛜㢧ⴭ䛻ほ䛥䜜䜛䚹䛥䜙䛻䛭䛾㉸ఏᑟ㌿⛣䛿㉸ఏᑟ䜸䞊䝎䞊䝟䝷䝯䞊䝍䛾఩┦䛻ᑐ䛧䛶⮬Ⓨⓗᑐ⛠ᛶ䛾◚䜜䛻䜘䜛┦㌿⛣䛜᭷㝈ᗘ䛷䛿チ䛥䜜䛺䛔䛯䜑䚸㻮㼑㼞㼑㼦㼕㼚㼟㼗㼕㼕䞊㻷㼛㼟㼠㼑㼞㼘㼕㼠㼦䠉㼀㼔㼛㼡㼘㼑㼟㼟 ㌿⛣䠄㻮㻷㼀 ㌿⛣䠅䛻䜘䜚᢬ᢠ 㻜 ≧ែ䛜⏕䛨䜛䚹䛥䜙䛻 㻮㻷㼀 ㌿⛣䛷䛿⭷䛾஘䜜䛜኱䛝䛟䛺䜛䛸䚸㔞Ꮚᦂ䜙䛞䛻䜘䛳䛶䜽䞊䝟䞊ᑐ䛸⣒䛾཮ᑐᛶ䛛䜙㉸ఏᑟ㻙⤯⦕య㌿⛣䛜㉳䛣䜛䚹୍ḟඖ䛾ሙྜ䛷䛿㉸ఏᑟ⣽⥺䛻ᑐᛂ䛧䚸ྠᵝ䛾ᦂ䜙䛞䛻䜘䛳䛶⣽⥺୰䛻ᖖఏᑟ≧ែ䛜⏕䛨䚸㉸ఏᑟ㟁ὶ䛜ᢚไ䛥䜜䜛䛜䚸㟁ὶಖᏑ๎䜢䜏䛯䛩䛯䜑䛻䜸䞊䝎䞊䝟䝷䝯䞊䝍䛾఩┦䛜 㻞䃟䛩䜉䜛䛣䛸䛻䜘䛳䛶䛭䜜䜢‶䛯䛩䚹䛣䜜䛿㉸ఏᑟ఩┦䛩䜉䜚䛸࿧䜀䜜䚸≉䛻㔞Ꮚᦂ䜙䛞䛻䜘䛳䛶㉳䛣䜛఩┦䛩䜉䜚䛿㔞Ꮚ఩┦䛩䜉䜚䠄㻽㼡㼍㼚㼠㼡㼙㻌㼜㼔㼍㼟㼑㻌㼟㼘㼕㼜㻦㻽㻼㻿䠅䛸࿧䜀䜜䜛䚹䛥䜙䛻䚸䛣䛾 㻽㻼㻿 䛿䝆䝵䝉䝣䝋䞁᥋ྜ䛾䝖䞁䝛䝸䞁䜾䛸཮ᑐ䛺㛵ಀ䛻䛒䜛䛣䛸䛜▱䜙䜜㻲㼕㼓㻚㻝㻌㻭㻌㼟㼏㼍㼚㼚㼕㼚㼓㻌㼑㼘㼑㼏㼠㼞㼛㼚㻌㼙㼕㼏㼞㼛㼟㼏㼛㼜㼑㻌㼕㼙㼍㼓㼑㻌㼛㼒㻌㼍㻌㻺㼎㼀㼕㻺㻌䛶䛔䜛㼇㻝㼉䚹䛩䛺䜟䛱䝆䝵䝉䝣䝋䞁᥋ྜ䛾ሙྜ䛿䜽䞊䝟䞊ᑐ䛾䝖㼚㼍㼚㼛㼣㼕㼞㼑㻌㼣㼕㼠㼔㻌㻝㻜㻌㼚㼙㻙㼣㼕㼐㼠㼔㻌㼍㼚㼐㻌㻡㻜㻜㻌㼚㼙㻙㼘㼑㼚㼓㼠㼔㻚㻌 㻌䞁䝛䝸䞁䜾䛜䚸㉸ఏᑟ⣽⥺䛾ሙྜ䛿 ⣒䛾䝖䞁䝛䝸䞁䜾䛻ᑐᛂ㻌䛧䚸ᐇ㦂ⓗ䛻䜒᳨ド䛥䜜䛶䛔䜛㼇㻞㼉䚹ᮏㅮ₇䛷䛿 㻽㻼㻿 䛾㍺㏦≉ᛶ䛾⤖ᯝ䛻䛴䛔䛶ゐ䜜䚸㻽㻼㻿 䝕䝞䜲䝇䛻ᚲせ䛸䛥䜜䜛⣽⥺䛾᭱㐺໬䛻㛵䛩䜛ᐇ㦂⤖ᯝ䛾ヲ⣽䛻䛴䛔䛶䜅䜜䜛䚹㻌 5/ :QP．ᐇ㦂᪉ἲ㻌ヨ ᩱ 䛿 㻺㼎㻺 䠄 ❅ ໬ 䝙 䜸 䝤 䠅 䚸 㻺㼎㼀㼕㻺 䠄 ❅ ໬ 䝙 䜸 䝤 䝏 䝍䞁䠅㻘㼀㼕㻺䠄❅໬䝏䝍䞁䠅䜢཯ᛂᛶ 㻰㻯 䝬䜾䝛䝖䝻䞁䝇䝟䝑䝍ἲ䛷䚸㻹㼓㻻䠄㻝㻜㻜䠅༢⤖ᬗᇶᯈୖ䛻ཌ䛥 㻞䠉㻡㼚㼙㻌 䛾ⷧ⭷䜢ᡂ⭷䛧䛯䚹ⷧ⭷䛿 㼄㻾㻰 䛻䜘䜛ᵓ㐀ゎᯒ䛻䜘䜚䚸䜶䝢䝍䜻䝅䝱䝹ᡂ㛗䛧䛶䛔䜛䛣䛸䚸䛚䜘䜃 㻭㻲㻹 䛻䜘䜚⭷⾲㠃䛜ᖹᆠ䛷䛒䜛䛣䛸䜢☜ㄆ䛧䛶䛔䜛䚹ḟ䛻ᡂ⭷䛧䛯⭷䛾㍺㏦≉ᛶ䜢ㄪ䜉㉸ఏᑟᦂ䜙䛞䛸㻮㻷㼀 ㌿⛣䛾ホ౯䜢⾜䛳䛯䚹ḟ䛻ྠᵝ䛾᮲௳䛷ᡂ⭷䛧䛯ⷧ⭷䜢㟁Ꮚ⥺䝸䝋䜾䝷䝣䜱䞊䛻䜘䛳䛶䝟䝍䞊䝙䞁䜾䛧䚸㻾㻵㻱 䛷䜶䝑䝏䞁䜾䛩䜛䛣䛸䛷స〇䛧䛯䚹㉸ఏᑟ⣽⥺䛿ᖜ 㻝㻜㼚㼙㻙㻟㻜㻜㼚㼙䚸㛗䛥㻞㻡㻜㻙㻝㻜㻜㻜㼚㼙 䛾⠊ᅖ䛷ᵝ䚻䛺ᙧ≧䜢ᣢ䛴ᵓ㐀䜢స〇䛧䛯䚹㻌䛭䛾䝟䝍䞊䝙䞁䜾䜢⾜䛳䛯⣽⥺䛾᢬ᢠ䛾 ᗘ≉ᛶ䛚䜘䜃㟁ὶ䇷㟁ᅽ≉ᛶ䜢 ᐃ䛧䛯䚹☢ሙ୰䛾㍺㏦≉ᛶ䜒ホ౯䛧䚸ୖ㒊⮫⏺☢ሙ䛾 ᗘ౫Ꮡᛶ➼䜒 ᐃ䛧䛯䚹㻌㻌㻟䠊ᐇ㦂⤖ᯝ䛸⪃ᐹ 㻌ึ䜑䛻ᡂ⭷䛧䛯⭷䛾ḟඖᛶ䜢ホ౯䛩䜛䛯䜑䛻᢬ᢠ䇷 ᗘ≉ᛶ䜢 㻞 ḟඖ㉸ఏᑟᦂ䜙䛞䛾⌮ㄽ䝣䜱䝑䝔䜲䞁䜾䛷䛝䜛䛛䛸䛔䛖䛣䛸䛸㟁ὶ䇷㟁ᅽ≉ᛶ䛜 㻮㻷㼀 䛾᣺䜛⯙䛔♧䛩䛛䛷ホ౯䜢⾜䛳䛯䚹䛭䛾⤖ᯝ䚸㻡㼚㼙 䛾⭷ཌ䛷 㻞 ḟඖⓗ䛺᣺䜛⯙䛔䜢♧䛧䛶䛔䜛䛣䛸䛜ศ䛛䛳䛯䚹ḟ䛻䚸䛣䛾 㻞 ḟඖఏᑟᛶ䜢♧䛩⭷䜢⣽⥺䛻ຍᕤ䛧䛯䚹ᅗ 㻝 䛿సᡂ䛧䛯 㻺㼎㼀㼕㻺 ㉸ఏᑟ⣽⥺䛾 㻿㻱㻹 ീ䛷䛒䜛䚹⣽⥺䛾ᐃ㔞ホ౯䛾䛯䜑䛻 㻠 ➃Ꮚ ᐃ䛜䛷䛝䜛䜘䛖䛻䝟䝍䞊䝙䞁䜾䜢⾜䛳䛶䛔䜛䚹㉸ఏᑟ䝁䝠䞊䝺䞁䝇㛗䛿 㻞 ḟඖⷧ⭷䛾☢ሙ౫Ꮡᛶ䛛䜙䛚䜘䛭 㻝㻜㼚㼙 ⛬ᗘ䛷䛒䜛䛣䛸䛜ぢ✚䜒䜙䜜䛶䛚䜚䚸୍ḟඖⓗ䛺ఏᑟ䜢♧䛩ᙧ≧䛻ຍᕤ䛥䜜䛶䛔䜛䚹ᖜ㻝㻜㼚㼙㻙㻟㻜㼚㼙䚸㛗䛥 㻞㻡㻜㻙㻝㻜㻜㻜㼚㼙 䛾䝘䝜䝽䜲䝲䜢స〇䛧䚸᢬ᢠ䛾ᗘ≉ᛶ䛚䜘䜃㟁ὶ䇷㟁ᅽ≉ᛶ䜢 ᐃ䛧䛯䚹ᅗ 㻞㻌 䛻 㻺㼎㼀㼕㻺⣽⥺䛾༢఩㛗䛥㻔㻸㻕ᙜ䛯䜚䛾᢬ᢠ䠄 㻾㻛㻸䠅䛾 ᗘ౫Ꮡᛶ䜢♧䛩䚹㻾㻛㻸 䛜ቑຍ䛩䜛䛻䛴䜜䛶䚸㉸ఏᑟ㌿⛣ ᗘ䛜ῶᑡ䛧䚸㉸ఏᑟ㌿⛣ᖜ䛜䝤䝻䞊䝗䛻䛺䜛䚹䛥䜙䛻㉸ఏᑟⓗ䛺㌿⛣䛜༙ᑟయ       7.

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第95回

2017年度秋季低温工学・超電導学会

2D-p04

LTS デバイス (2)㉸ఏᑟ䝖䞁䝛䝹᥋ྜ㌾ 㼄 ⥺᳨ฟჾ䛻䜘䜛ᮦᩱศᯒ㻌㻹㼍㼠㼑㼞㼕㼍㼘㻌㼍㼚㼍㼘㼥㼟㼕㼟㻌㼛㼒㻌㼟㼡㼜㼑㼞㼏㼛㼚㼐㼡㼏㼠㼕㼚㼓㻌㼠㼡㼚㼚㼑㼘㻌㼖㼡㼚㼏㼠㼕㼛㼚㻌㼟㼛㼒㼠㻌㼄㻙㼞㼍㼥㻌㼐㼑㼠㼑㼏㼠㼛㼞㼟㻌

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第95回

2017年度秋季低温工学・超電導学会