配管部品を大幅に削減 省スペース化を実現

MU-1000
マニホールドミニホイールフローメータ®

概 要
MU-1000 シリーズは、ミニホイールフローメータの技術を集積し、コンパクト化が進む装置類の組み込みに対応したマニホールド式羽根車流量計のユニットです。
配管部品と取付工数を大幅に低減させ、省スペースで複数の流量計が設置可能になりました。

特 長❑ 集合配管・分配配管は自由に設計
流体の流れ方向は流量計側からマニホールド側への集合、マニホールド側から流量計側への分配、どちらでも製作可能です。
❑ 組合せは自由自在、豊富なバリエーション
流量計、スループラグの組合せ自由。
一つのマニホールドで集合、分配が集約できます。
❑ 増設・組み替え・交換が可能
組付部品、方向、分岐などの組み替え及び増設が容易であり装置に合わせたカスタマイズをお客様が自由に行うことができます。
❑ 流量レンジは 4 種類
0.6 〜 3L/min、0.75 〜 5L/min、1 〜 10L/min、2 〜 20L/min❑ パルス出力／電流出力の 2 タイプ
電気信号に合わせ、指示・積算・警報などの機能を持つパネル計器などと組合せてご使用できます。

用途例【流体の集合・排水】【流体の分配・給水】❑ 液体の流れを直接監視
羽根車の回転が目視でき、液体の流れを監視できます。汚れた場合でも分解・洗浄を容易に行うことができます。
❑ UL 規格適合品
UL61010-1 NYOK2/8❑ RoHS 対応

動作原理
MU-1000 シリーズは、流路中に羽根車を設けた接線式羽根車流量計を搭載しています。管路本体外部に取り付けた磁気センサー素子で、マグネットがモールドされた羽根車の回転数をピックアップし流量に比例した流量信号に変換して出力します。

【2系統の集合・分配の組合せ】

仕切板

主な用途
❑ 省スペース冷却ユニット❑ 半導体製造装置冷却水ライン❑ 金型の冷却水ライン

TG-ES900-12
改訂 2016 07 K
初版 2002 04

MU-1000 マニホールドミニホイールフローメータ®

流量計 基本仕様

流量計 発信仕様

測定流体使用圧力
耐圧試験圧力
流体温度
周囲温度
周囲湿度接続口径

粘度 2mPa · s 以下の水相当の液体
最大 1.0MPa（at 25℃）
1.5MPa発信仕様を参照
5 〜 60℃
35 〜 85％ RH
Rc3/8

取付姿勢

水平（羽根車の軸を水平とし、流路が羽根車の上部になる姿勢）／垂直

流量レンジ

0.6 〜 3 L/min，0.75 〜 5 L/min
1 〜 10 L/min，2 〜 20 L/min

接液部材質

羽根車
PPS（軸受部：カーボン入 PTFE）
軸
石英ガラス
ブッシュ
PTFE
監視窓
ポリカーボネイト
本体
SCS14，SUS304
パッキン（Oリング） NBR（標準），フッ素ゴム構造
IP62（防滴，屋内使用のみ）
質量
約 0.25kg（1 台）
安全規格
UL61010-1 File No. E238567

パルス出力：オープンコレクタ（アンスケールド）
DC5 〜 18V，12mA（0.22W）
最大 18V，15mA±5％ F.S. 以内0 〜 80℃（氷結，結露のないこと）
4 芯，AWG26 相当（12/0.12），UL2941

発信仕様
電源
負荷抵抗
精度
流体温度
ケーブル

電流出力：DC4 〜 20mA
DC24V ±10％，50mA（1.33W）
500Ω 以下±5％ F.S. 以内
0 〜 60℃（氷結，結露のないこと）
4 芯，AWG26 相当（12/0.12），UL2941

マニホールド仕様（流量計以外）
使用流体
使用圧力
使用温度
接続口径
材質
組付部品
ニードルバルブ
質量・標高 2,000m 以下
・過電圧カテゴリーⅡ・汚染度 2（IEC 60664）

注記

発信仕様
電源
負荷定格
精度
流体温度
ケーブル

水相当の液体最大 1.0MPa
0 〜 120℃（標準パッキン NBR では 80℃まで）
Rc3/4
SCS14，SUS304
流量計，スループラグ（Rc3/8 または R3/8）
SUS304，PTFE，NBR（標準）の組合せ
約 0.6kg（流量計付きの 1 連の質量）

主要外形寸法図1234取付固定ねじ
45

MAX 66.5 (MIN 54.5)

517636.57255

153.57850.578□3728（※2）
取付固定ねじ(連数-1)-M4深5285
取付固定ねじ50（※1）

カバー
羽根車監視窓φ21（※3）ケーブル

Rc3/8
19111428.5

194551850（※1）

9104539

マニホールド盲板

2

マニホールド本体

3スペーサ

4仕切板（板厚5mm）

5ニードルバルブ

6ニードルバルブ盲栓

7

マニホールド継手Rc3/4

8

流量計（タイプR）

9

スループラグ Rc3/8

10

スループラグ R3/8

198

Rc3/438.5※1. 仕切板がある場合は、5mmプラスされ50mmとなります。
※2. スペーサには取付固定ねじ（M4深5）があります。適当なブラケットまたは板に固定して下さい。
また、取付固定ねじの位置は、指定がない場合は流量計のカバー側もしくはマニホールド背面側に配置されます。
（ねじの位置は90°ずつ切替可能）※3. 流量計のケーブル引き出し位置は、指定がない場合は下図の位置になります。
（引き出し位置は180°切替可能）
タイプL：ニードルバルブ側

2TOKYO KEISO CO., LTD.

タイプR：プロセス接続口側

TG-ES900-12

MU-1000 マニホールドミニホイールフローメータ®

形式コード
基 本 コ ー ドMU̶

マニホールド接続コード1̶

連数毎の組付部品コード（垂直姿勢を基本とし下から指定）

̶̶
FI

AB

C

DE

FIII

FIV

FV

FVI

F

A：マニホールド組付機器
NoFII

G

E部

内 容

1

流量計（パルス出力）2

流量計（電流出力）

3

スループラグ Rc3/8

4

スループラグ R3/85

流量計・スループラグの組合せ

F部
5連目G部
4連目

B：流量計・スループラグの接続連数
No

F部

内 容

01

1連02

2連：：

1010 連**二桁の場合そのまま記入

G部
3連目
F部

・流量計、スループラグの組合せの場合、スループラグも1連と考えて全ての連数を記入して下さい。
・連数には制限はありませんが、1系統の総流量が 60L/min 以上の場合はご相談下さい。

G部

2連目
F部

C：垂直姿勢でのニードルバルブ位置
タイプ

内 容

L

マニホールドの左側

R

マニホールドの右側

G部
1連目・装置に組み込む際に流量計の監視窓が直視できる方向を正面として、バルブの位置が左側の場合はタイプ L、右側の場合はタイプ Rとなります。
また、複数連でバルブの位置が異なる場合は連番の早いバルブが基準となります。

タイプL

F部

D部

タイプR

D：マニホールド末端の接続（下側）

TG-ES900-12

E：マニホールド末端の接続（上側）

No

内 容

No

内 容1継手 Rc3/4（標準）1

継手 Rc3/4（標準）2盲板（標準）2盲板（標準）

3スペーサ（増設などの場合）

3スペーサ（増設などの場合）4なし（増設などの場合）4なし（増設などの場合）

TOKYO KEISO CO., LTD.

3

MU-1000 マニホールドミニホイールフローメータ®
〈F：組付部品コード詳細〉
FI：組付部品
No
1
234
5678

内 容
パル
ス
出力
電流
出力

FIV：ニードルバルブ

FII：流れ方向
内 容

No集合（流量計からマニホールド）
分配（マニホールドから流量計）
自由（スループラグの場合）

K付き

Lなし（盲栓付）

No

0.6 〜 3 L/min

C0.75 〜 5 L/min
D

1 〜 10 L/min
2 〜 20 L/min

E

0.6 〜 3 L/min
0.75 〜 5 L/min

FV：ケーブル長No

FIII：組付部品接続口の向き

1 〜 10 L/min

No

2 〜 20 L/min

A

スループラグ Rc3/8

B

スループラグ R3/8

内 容

内 容

内 容

N

1m（標準）

M2m

Pなし（スループラグの場合）

F

正面

G

左側（タイプ R の標準）

H

後ろNo

J

右側（タイプ L の標準）

Q

NBR（標準）R

フッ素ゴム

FVI：パッキン材質
内 容

JH

G：マニホールド本体側面（上側）
NoG

内 容

1

スペーサ

2

仕切板＋スペーサ

3なし

・マニホールド本体間には必ずスペーサ、または仕切板＋スペーサが入ります。
・仕切板を使用することで 2 系統以上の配管をまとめることが可能です。

F

ご注文方法
右図のような 2 系統（集合，分配の場合）① 基本コードを選定します。
例 4 連式、流量計とスループラグの組合せ、ニードルバルブは右側

MU-1504R

4連目3連目仕切板② マニホールド接続コードを選定します。
例 下側：盲板，上側：Rc3/4

MU-1504R−2連目

211連目③ 連数毎の組付部品コードを選定します。
例 1 連目： スループラグ Rc3/8，流れ方向自由，接続口後ろ，盲栓，ケーブルなし，NBR，スペーサ

AEHLPQ-1

2 連目： 流量計（パルス出力，3L/min），流れ方向分配，接続口左側，ニードルバルブ，ケーブル標準，NBR，仕切板＋スペーサ

1DGKNQ-2

3 連目： 流量計（パルス出力，5L/min），流れ方向集合，接続口左側，ニードルバルブ，ケーブル標準，NBR，スペーサ

2CGKNQ-1

4 連目： 流量計（パルス出力，10L/min），流れ方向集合，接続口左側，ニードルバルブ，ケーブル標準，NBR，スペーサ無し

3CGKNQ-3④ ご注文形式コード
MU − 1504R − 21 − AEHLPQ − 1
1DGKNQ − 22CGKNQ − 13CGKNQ − 34TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-ES900-12

MU-1000 マニホールドミニホイールフローメータ®

圧力損失（ 標準ニードルバルブ全開時）
3L/min5L/min

10L/min

結線図
流量計ケーブルリード線を下図のように配線します。
また、弊社では各種流量表示器も取り揃えております。

20L/min4540● パルス出力タイプ

35

シールド

ΔP(kPa)3025［赤］

2015100+［白］

電源+5051015‒ DC5〜18V

パルス出力

20‒L/min［黒］

標準ニードルバルブ特性（△ P=0.1MPa 時）

未使用

［緑］

● 電流出力タイプ
20

シールド

18［赤］

流量(L/min )1620L/min1412［白］

10+

8DC4-20mA
出力10L/min

65L/min420‒+電源‒ DC24V［黒］

3L/min012345678910バルブ開度(ハンドル回転数)［緑］（注 1）出力を短絡させないで下さい。故障の原因となります。
（注 2）電流出力タイプの電源・出力のマイナス側は共通となっております。3 線式の場合は，［赤］［黒］［白］で配線して下さい。
（注 3）電流出力タイプを 3 線式で使用する場合は，通電状態でのマイナス側の離線は行わないで下さい。故障の原因となります。

標準ニードルバルブの流路隙間
21.8
バルブ流路隙間(mm)1.61.41.220L/min

10.810L/min

0.63L/min
5L/min0.40.20012345678910

バルブ開度(ハンドル回転数)

バルブ流路隙間 0.2mm 以上でのご使用をお勧めします。

注意事項❑ 羽根車近傍に空気溜りがなく、満水状態で使用して下さい。
❑ 流量計の取付姿勢が水平の場合、羽根車の軸を水平とし、流路が羽根車の上部になるようにして下さい。
❑ 信号ケーブルは他の電力・動力線との併設はお避け下さい。
❑ 外部磁場は特性に影響を与えますので磁気影響の受けない場所に設置して下さい。
❑ ニードルバルブ開度が少ないとバルブ隙間に汚れが付着し特性に影響を与えます。上流側にフィルターの設置をお勧めします。
❑ エアーブローは羽根車・軸が破損しますのでお避け下さい。
❑ ウォーターハンマー緩和のため弁閉速度を緩やかに操作して下さい。
❑ 二次側を開放して使用する場合はキャビテーションが発生しやすくなる恐れがありますので注意して下さい。
❑ ニードルバルブは流量調整用です。完全に流れを止めるには別途遮断弁をご使用下さい。

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TOKYO KEISO CO., LTD.

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パーツリストマニホールド本体

スペーサ全ての組付部品を接続します。

複数連の場合，マニホールド本体間に必ず接続されます。

❑ 部品単体でのご注文も承ります（流量計単体の場合は下表の流量計
形式コードよりご注文願います）。
❑ ニ−ドルバルブは各種サイズを取り揃えています。差圧が 0.1MPa以上の場合、または流量設定が小さい場合はご相談下さい。
❑ 交換要領は取扱説明書を参照願います。

〈流量計形式コード〉

マニホールド継手 Rc3/4

マニホールド盲板

マニホールドの流入，流出用接続継手です。

マニホールド末端の遮断用盲板です。

仕切板

流量計

マニホ−ルド本体とスペーサの間に接続し流れを遮断します。
（2 系統以上で使用）構造が左右対称のタイプ L とタ
イプ R があります。
（写真はタイプ R）

スループラグ Rc3/8

スループラグ R3/8

流量計以外の機器を組み付ける場合のバイパス用接続継手です。
（めねじ）

流量計以外の機器を組み付ける場合のバイパス用接続継手です。
（おねじ）

ニードルバルブ

ニードルバルブ盲栓

流量レンジや差圧に合わせて各種サイズをご用意しております。

流量調整が必要ない場合に使用します。

形式コード◻ ◻ ◻ — ◻ ◻ — ◻
W-2Lタイプ
R1出 力
323
流量レンジ
45D
流れ方向
C
1
ケーブル長
2N
パッキン（Oリング）材質
Fタイプ L

内 容
タイプ：L（標準）タイプ：R
パルス出力：オープンコレクタ
電流出力：DC4 〜 20mA
0.6 〜 3 L/min
0.75 〜 5 L/min
1 〜 10 L/min
2 〜 20 L/min
分配
集合1m（標準）2m
NBR（標準）フッ素ゴムタイプ R

ご注文時指定事項❑ 流体名・温度・圧力❑ 形式コード❑ マニホールドの入口・出口の差圧※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

http://www.tokyokeiso.co.jp〒105‒8558 東京都港区芝公園1‒7‒24芝東宝ビル
TEL: 03‒3434‒0441（代） FAX: 03‒3434‒0455
6

製品についてのお問い合せを電子メールでも承ります。

anything@tokyokeiso.co.jp

使用可否、形式選定などなんでも（Anything）ご遠慮なくどうぞ。

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