大流量タイプ、軽量アルミボディ

TF-4150/4160/4170
サーマルマスフローメータ
概要
本器は、弊社のサーマル質量流量計測の技術と豊富な経験を生かし開発した大流量・高コストパフォーマンスタイプのサーマルマスフローメータです。低価格でありながら視認性に優れたデジタ
ル表示器（固定／回転）を内蔵し、アナログ／デジタル出力も装備しています。主管部の材質はアルミ合金とステンレスから選択可
能。電源は DC12 〜 24V を採用し、表示器回転タイプは CE マーキングに適合しており、各種の装置組み込み用に最適です。

特長❑ デジタル表示付きの一体形構造。また、表示は LED タイプの自発光表示の為、視認性に優れます。
❑ 表示部を流れ方向に合わせて回転できます。
（TF-4152- □□、TF-4162- □□）❑ 主管部は軽量なアルミ製と耐食性の良いステンレス製が選択可能。
❑ 要望に応え使用周囲環境条件を向上、保護構造 IP64 相当。
❑ 主管部と一体形の構成でシンプル & コンパクト化に努めました。
❑ 計測理論上、ガスの温度・圧力変化は流量精度にほとんど影響されません。
❑ デジタル & アナログインターフェース付き。
❑ オープンコレクタ出力は、積算パルス・警報出力が選択可能。
❑ 積算率・警報値の設定ができ、さまざまなアプリケーションへの対応が可能。
❑ 電源はシーケンサに適合した DC12 〜 24 V。

応用❑ 半導体分野❑ 自動車分野❑ バイオケミカル❑ 精密機械分野
❑ 空調設備仕様
測定対象

空気、窒素
0-4,000 L/min（nor）

流量レンジ

TF-415□-□□/口径25A

0-8,000 L/min（nor）

TF-416□-□□/口径40A

0-16,000 L/min（nor）

TF-417□-□□/口径50A

周囲及びガス温度

0〜60 ℃（結露無きこと）

ガス圧力

0.1〜1.0 MPa

精 度±2 %F.S.（表示精度±1digitが加算されます）

応答性

1秒以内（90 %応答）

温度、圧力影響

0.1 %F.S./℃ 、0.1 %F.S./0.1 MPa

レンジアビリティ

1：20（ただしローカット：2.5 %F.S.）

本 体

A6061-T6 または SCS13（形式選択）

センサー

SUS316、ガラス、白金イリジウム

接ガス部
材 質

シール

フッ素ゴム および NBR

ケース

ABS樹脂

プロセス接続

Rc1、Rc1-1/2、Rc2（形式による）

動作原理

電気接続

専用コネクタ付ケーブル（長さ5m、AWG24）

TF-4150/4160/4170 サーマルマスフローメータはガス流路に感温抵抗体 Rw を置き、電流で加熱してその温度 Tw とガス温度 Taとの差 Tw-Ta が一定となるように電流 I を制御します。感温抵抗体からガスに熱伝達される熱量 Rw・I2 は通過するガスの質量流量の関数となり、電流 I から質量流量が測定できます。流量検出のための電気回路は、ガスの温度変化に対する物性値変化によるわずかな特性の変化も補正するユニークな構成となっており、広い温度範囲にわたり、質量流量を高精度に計測することができます。電流 I はリニアライズされ所定の流量に比例した電気信号に変換されて出力されます。

取付姿勢

水平または垂直5桁 赤色LED 文字高さ7 mm
瞬時流量、積算流量、設定値、エラーコード※瞬時流量は0.00〜99999. にて小数点表示器

位置自動切替にて表示します。
※積算値は無電源時、保持されません。
赤色LED×2個 警報動作時点灯DC0-5 V（出力インピーダンス50 Ω以下）または
アナログ

DC4-20 mA（12 V電源時: 負荷抵抗300 Ω以下）
（24 V電源時: 負荷抵抗600 Ω以下）
（形式選択）

I
Ra

Rw

出 力＊

Ta

RS-485 2線式、半二重、調歩同期式通信
デジタル

通信速度：2400、4800、9600bps（設定）プロトコル：8N1、IDアドレス：00〜99Tw

Flow

積算パルス
警 報

オープンコレクタ（DC30 V、100 mA以下）※0.2〜10.0 %F.S.・min/パルス（設定）
オープンコレクタ（DC30 V、100 mA以下）

電 源

DC12〜24 V、max.200 mA

CEマーキング適合（表示器回転タイプのみ）＊：積算パルス出力と警報出力（上限･下限）は同時出力できません。
TG-ES913-7
改訂 2016 06 K
初版 2005 04

TF-4150/4160/4170

サーマルマスフローメータ

形式コードと圧力損失
TF-41 □ □ − □ □口径、接続流量レンジ

内

最大圧力損失※3

容525A、Rc 1、 0〜 4,000 L/min（nor）

39 kPa

640A、Rc 1 1/2、0〜 8,000 L/min（nor）

33 kPa50A、Rc 2、 0〜16,000 L/min（nor）

39 kPa7コネクタ取付向き
表示向き

0

コネクタ上流側向き、表示器固定※1

1コネクタ下流側向き、表示器固定※22コネクタ上流側向き、表示器回転（50A除く）

本体材質

0A6061-T6

1SCS13（50A除く）※1：
TF-41□0-□□表示向き※2：
TF-41□1-□□表示向き

FLOWFLOW

1 DC 0〜5 V

アナログ出力2 DC 4〜20 mA※3： 0.1 MPaでの最大流量時の圧力損失

コネクタPin No.

表示部
データ表示LED
上限警報LED

12

下限警報LED3
ボタンスイッチ

48576

結線図
表示器固定 DC 0-5 Vタイプ（TF-41□0-□1、TF-41□1-□1） 表示器回転 DC 4-20 mA出力タイプ（TF-41□2-□2）
表示器固定 DC 4-20 mAタイプ（TF-41□0-□2、TF-41□1-□2）注：電源（−）とアナログ出力（−）を短絡しないで下さい。
表示器回転 DC 0-5 Vタイプ（TF-41□2-□1）
Pin 1[白]

電源(+)

Pin 1

[白]

電源(+)

Pin 2[茶]電源(-)

Pin 2[茶]電源(-)

Pin 3[緑] アナログ出力(+)

Pin 3[緑] アナログ出力(+)

Pin 4[黄] アナログ出力(-)

Pin 4[黄] アナログ出力(-)

Pin 5[灰]RS485(+)

Pin 5[灰]RS485(+)

Pin 6[桃]RS485(-)

Pin 6[桃]RS485(-)

Pin 7[青]積算パルス(+) or 警報(+)

Pin 7[青]積算パルス(+) or 警報(+)

Pin 8[赤]積算パルス(-) or 警報(-)

Pin 8[赤]積算パルス(-) or 警報(-)

表示器回転タイプ
表示器回転タイプ（TF-4152, TF-4162）
は、簡単に表示器を回転させることができますので、手軽に現場で流れ方向に合わせて変更していただくことができます。

2TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-ES913-7

TF-4150/4160/4170

サーマルマスフローメータ

外形図125A, 本体:A6061-T6
TF-4150-0□

TF-4151-0□

TF-4152-0□5556404-M5深サ10(検出器固定用)

(118)
□55

176

2-Rc1

25A, 本体:SCS13
TF-4150-1□

719.5

71

□55

36

364-M5深サ10(検出器固定用)

2-Rc1

404-M5深サ10(検出器固定用)

3640

176

85(86)

(105)

(105)

(55)

85(83)
71

9.5

176

2-Rc1

9.5

□55(55)85(83)(55)

TF-4151-1□

TF-4152-1□

55

56

404-M5深サ10(検出器固定用)

□55

(86)

(118)
□55

40A, 本体:A6061-T6
TF-4160-0□

176

2-Rc1

71

9.5

2-Rc1

85404-M5深サ10(検出器固定用)

3671

176

364-M5深サ10(検出器固定用)

(105)

(105)

(55)85(83)
4036

71

9.5

176

2-Rc1

9.5

□55(55)85(83)(55)

TF-4161-0□

TF-4162-0□

74

404-M5深サ10(検出器固定用)□70(101)

(133)
□70

188

2-Rc1 1/2

124-M5深サ10(検出器固定用)

2-Rc1 1/2

85

74

40

4-M5深サ10(検出器固定用)

4640(120)

(98)
74

46

46TG-ES913-7(63)

85

188

12188

2-Rc1 1/2

12□70(63)85(98)

(120)

(63)

55555556

TOKYO KEISO CO., LTD.

3

TF-4150/4160/4170

サーマルマスフローメータ

外形図240A, 本体:SCS13
TF-4160-1□

TF-4161-1□

TF-4162-1□

40(133)(101)2-Rc1 1/2

18840

4-M5深サ10(検出器固定用)

4674(108)4-M5深サ10(検出器固定用)

174094402-Rc2□80

4-M5深サ10(検出器固定用)

4694

213(130)55

55

85(108)17(120)4-M5深サ10(検出器固定用)

(88)

85

213

2-Rc2

46

□70

85

TF-4171-0□

(88)

(130)

74

□70

46

4-M5深サ10(検出器固定用)

1240

46

74

2-Rc1 1/2

188

12

188

50A, 本体:A6061-T6
TF-4170-0□□80(63)85(98)

2-Rc1 1/2

12□70(63)85(98)

(120)

(63)

55555556※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

http://www.tokyokeiso.co.jp〒105‒8558 東京都港区芝公園1‒7‒24芝東宝ビル
TEL: 03‒3434‒0441（代） FAX: 03‒3434‒0455
4

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anything@tokyokeiso.co.jp

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ご遠慮なくどうぞ。

TG-ES913-7