低価格・高機能

TF-4000 シリーズ
サーマルマスフローメータ

概要
本器は、弊社のサーマル質量流量計測の技術と豊富な経験を生かし開発したコンパクト・高コストパフォーマンスタイプのサーマルマスフローメータです。コンパクトでありながら視認性に優れたデジタル表示器を内蔵し、アナログ／デジタル出力も装備しています。現場で指示値を確認することも遠隔地で指示値を管理することも可能です。電源は DC12 〜
24V を採用し、CE マーキングも取得しており、各種の装置組み込み用に最適です。

特長❑ デジタル表示付き。
❏ CE マーキング対応❏ デジタルおよびアナログインターフェース付き❏ 高信頼性小形 Pt 温度センサによる速い応答性❏ 流路はステンレス精密鋳造により低価格化❏ 警報、積算パルス発生など各種機能の内蔵❏ 最小 0 〜 2L/min(nor)、最大 0 〜 1000L/min(nor) をカバーする広い流量範囲

応用❑ 半導体分野❏ バイオケミカル❏ 各種精密機械分野❏ 医療分野

動作原理
TF-4000 シリーズサーマルマスフローメータはガス流路に感温抵抗体 Rw を置き、電流で加熱してその温度 Tw とガ
ス温度 Ta との差 Tw-Ta が一定となるように電流 I を制御します。感温抵抗体からガスに熱伝達される熱量 Rw・I2
は通過するガスの質量流量の関数となり、電流 I から質量流量が測定できます。流量検出のための電気回路は、ガスの温度変化に対する物性値変化によるわずかな特性の変化も補正するユニークな構成となっており、広い温度範囲にわたり、質量流量を高精度に計測することができます。電流 I はリニアライズされ所定の流量に比例した電気信号に変換されて出力されます。
I
Ra

Rw

Flow

TwTa

仕様
測定対象

空気、窒素、酸素
最小 0‐2L/min（nor）
流量レンジ
最大 0‐1000L/min（nor）
周囲及びガス温度 0 〜 60℃（結露無きこと）
ガス圧力
0.1 〜 1.0MPa
精度±2%F.S.（表示精度 ±1digit が加算されます）
応答性
0.5 秒以内（90% 応答）
温度、圧力影響0.1%F.S./℃、0.1%F.S./0.1MPa
レンジアビリティ
1：20（ローカット：5%F.S.）
本体
SCS14
接ガス部
センサー SUS316、ガラス、白金イリジウム、CTFE
材質
シール
フッ素ゴム
ケース
ABS 樹脂（非防水構造）
プロセス接続
Rc1/4、Rc3/8、Rc1/2、Rc3/4（形式による）
電気接続
専用コネクタ付ケーブル（長さ 1m）
取付姿勢
水平または垂直5 桁 赤色 LED 文字高さ 7mm
瞬時流量、積算流量、設定値、エラーコード※ 瞬時流量は 0.00 〜 99999. にて小数点表示器位置自動切替にて表示します。
※ 積算値は無電源時、保持されません。
赤色 LED×2 個 警報動作時点灯DC0-5 V（出力インピーダンス 50 Ω 以下）または
DC4-20 mA（12 V 電源時 : 負荷抵抗 300 Ω 以下）
アナログ（24 V 電源時 : 負荷抵抗 600 Ω 以下）（形式選択）
RS-485 2 線式、半二重、調歩同期式通信
出力
デジタル 通信速度：2400、4800、9600bps（設定）プロトコル：8N1、ID アドレス：00 〜 99
オープンコレクタ（DC24V、10mA 以下）
積算パルス※0.2 〜 10.0%F.S.・min/ パルス（設定可能）
警報
オープンコレクタ（DC24V、100mA 以下）
電源
DC12 〜 24V、max.210mA
CE マーキング
適合

TG-ES896-8
改訂 2016 06 K
初版 2000 11

サーマルマスフローメータ

外形寸法

TF-41 □０ー□ □
内
容
1 0ー1
Rc1/4、0‐2L/min（nor）、約 0.015kPa
1 0ー2
Rc1/4、0‐5L/min（nor）、約 0.080kPa
1 0ー3
Rc1/4、0‐10L/min（nor）、約 0.25kPa
1 0ー4
Rc1/4、0‐30L/min（nor）、約 0.47kPa
1 0ー5
Rc1/4、0‐50L/min（nor）、約 1.22kPa
1 0ー6
Rc1/4、0‐80L/min（nor）、約 1.82kPa
1 0ー7
Rc1/4、0‐100L/min（nor）、約 2.75kPa
接続口径、
2 0ー1
Rc3/8、0‐150L/min（nor）、約 1.23kPa
流量レンジ、2 0 ー 2
Rc3/8、0‐200L/min（nor）、約 1.72kPa
圧力損失＊ 2 0 ー 3
Rc3/8、0‐250L/min（nor）、約 2.27kPa

アナログ出力

31321
9

信号・電源
コネクタ

THERMAL MASS FLOWMETER

6

TF-4000

RS485

RS-485コネクタ

5Rc3/4、0‐600L/min（nor）、約 3.13kPa
Rc3/4、0‐800L/min（nor）、約 4.11kPa
Rc3/4、0‐1000L/min（nor）、約 6.01kPa
1 DC0 〜 5V
2 DC4 〜 20mA

（3）71（83）

4 0ー1
4 0ー2
4 0ー3

M

H

Rc1/2、0‐300L/min（nor）、約 2.87kPa
Rc1/2、0‐400L/min（nor）、約 4.28kPa
Rc1/2、0‐500L/min（nor）、約 6.20kPa

min
(nor)

L

H1

3 0ー1
3 0ー2
3 0ー3

L

H

CN1

流量レンジと形式コード1

TF-4000

2-RcL□W＊：ガス圧力 0.1MPa、最大流量時における圧力損失。

Pin No.
123456789̶

配線色
茶赤
橙
黄緑
青
紫
黒
灰黒（太）

機 能
アナログ出力（＋）
アナログ出力（−）
オープンコレクタ上限警報（＋）
オープンコレクタ下限警報（＋）
オープンコレクタ積算出力（＋）
オープンコレクタ COM
オープンコレクタ COM
電源（＋）
電源（−）
シールド

A

4-M4 深さ4（検出器取付け用）

接 続
Rc1/4
Rc3/8
Rc1/2
Rc3/4

L □ W H H1 A B
76 25 108 12.5 64 10
76 32 115 16 64 10
112 38 121 19 50 30
136 45 128 22.5 70 30

B

信号、電源ケーブル

検出器底面：
取付穴寸法

形 式
TF-4110
TF-4120
TF-4130
TF-4140

概略質量0.35kg0.5kg
0.85kg1.15kg

RS-485 ケーブル
Pin No.
123

配線色
赤黒
黒（太）

機 能
RS-485（＋）
RS-485（−）
シールド※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

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TEL: 03‒3434‒0441（代） FAX: 03‒3434‒04552

TOKYO KEISO CO., LTD.

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anything@tokyokeiso.co.jp

使用可否、形式選定などなんでも（Anything）
ご遠慮なくどうぞ。

TG-ES896-8