コストパフォーマンス重視

TC-3000 シリーズ

ミニサーマルマスフローコントローラ

概要
TC-3000 シリーズはご好評をいただいております TF-1000 シ
リーズミニサーマルマスフローメータをベースにコントロールバルブを装備したマスフローコントローラです。
各種気体の質量流量を温度、圧カなどのプロセス条件の変化に影響なく、高精度計測・制御を行います。
シンプルな構造で使い易いプライスレベルを達成しマスフローコントローラの用途を大きく拡大しました。
配線が容易でコンパクトなコンバータユニット TM-1400 を用意しています。

動作原理
TC-3000 シリーズでは、流路内の感温抵抗体 Rw に電流を流し加熱します。感温抵抗体 Ra は加熱せずガス温度を検出します。
Rw の温度 Tw とガス温度 Ta の差が一定になるように電流 I を制御します。感温抵抗体からガスに熱伝達される熱量 Rw・I2 は、特長
❏ 従来のプライスコンセプトを打ち破ったベストコストパフォーマンス。
❏ 熱式質量流量計測で圧力・温度の補正不要。
❏ 全量通過の流量検出方式で詰まりに強い。
❏ コンパクトな専用パネル計器完備で設置、配線が容易。
❏ 最大 800L/min (nor) までの大流量に対応。

通過するガスの質量流量の関数となるので電流 I から質量流量が測定できます。
電流 I は流量に比例した電気信号に変換され、出力されるとともに比較制御回路に送られます。
比較制御回路は設定信号と流量測定信号を比較し、2 つの信号が等しくなるようにコントロールバルブの開度を調節し正確に流量を制御します。
コントロールバルブはノーマルクローズ形に設計されたソレノイドバルブを採用しています。
また、大流量用のコントロールバルブは、ソレノイドバルブをパイロットバルブとしたダイヤフラムバルブを採用し、ノーマルクローズ形に設計されています。

❏ DC24V 電源、DC4 〜 20mA 流量設定・出力に対応する製品もラインアップ。

TG-F2276-J02
3 版 2024 02 K
初版 2022 07 K

TC-3000 シリーズ

ミニサーマルマスフローコントローラ

標準● TC-3000 ミニサーマルマスフローコントローラ● TM-1400 ミニコンバータユニット

気体全般（ただしH2またはHeを10％以上含むガスおよびH2またはHeとCnHmとの混合ガスには不適です）

形式

TC-3100S

TC-3100

TC-3300

TC-3600

TC-3800

流量範囲（フルスケール）最小0～2L/min(nor) 最大0～100L/min(nor) 0～300L/min(nor) 0～600L/min(nor) 0～800L/min(nor)0.98MPa

周囲及びガス温度

5～50℃

流量制御範囲フルスケールの2～100％

応答速度（90％応答）

4秒以内
2秒以内
制御差圧範囲 2～70L/min(nor)…0.06～0.3MPa
0.15～0.34MPa
0.18～0.44MPa
0.20～0.44MPa
71～100L/min(nor)…0.07～0.3MPa
Rc3/4, Rc1

流量出力信号 DC4～20mA（0～100%）

Rc1

DC0～5V（0～100%）

設定入力信号 DC4～20mA（0～100%）

DC0～5V（0～100%）出力・制御精度±2％F.S.（25℃基準）

温度影響スパン：±0.1％F.S./℃以内 ゼロ点：±0.01％F.S./℃以内

電源本体：SUS316,SCS14（TC-3100/3100S）
センサ：SUS316,Pt,ガラス,CTFEの組合せ
制御バルブ：SUS430（TC-3100/3100S）,SHOMAC*（TC-3300/3600/3800）
シール：フッ素ゴムまたはCR＋150mA＋150mA
DC±15V＋150mA
DC21～27V,330mA DC±15Vー200mA DC±15Vー320mAー200mA

電気接続

M3ネジ端子接ガス部材質専用コネクタ

質量（約）

0.8kg

6.0kg

5.1kg

＊特殊高純度フェライト系ステンレス鋼（高耐食、強磁性体）●専用ケーブル
各機器間を接続する専用ケーブルです。
形式末尾はケーブル長をm 単位でご選択ください。
（例：SC-CM ケーブル 2m の場合→”SC-CM-02”）
ケーブル形式

用 途
TC-3000↔TM-1400

SC-CM-□□

TC-3000↔ 客先所掌電源SC-TC-□□

標準仕様
31/2桁赤色LED（文字高さ10.2mm）
表示
スケーリング 工場設定
表示精度
検出器精度に±0.1％F.S. ±1dig.付加
標準仕様
負荷抵抗：550Ω以内
DC4～20mA
出力精度：検出器精度に±0.1％F.S.付加
負荷抵抗：5kΩ以上
DC0～5V
出力精度：検出器精度
標準仕様 外部設定／マニュアル設定切換付
DC4～20mA ：入力抵抗250Ω：入力抵抗100kΩ
外部設定信号 DC0～5V
DC1～5V：入力抵抗100kΩ
10回転アナログダイアルバーニア付、最小目盛1％
マニュアル設定 外部設定信号の比率設定機能
流量0％、100％の強制制御機能
オプション ソフトスタート機能（設定5秒）
電源
消費電力
電気接続
設置

85％RH以下（結露しないこと）

周囲温度

流量設定

プロセス接続 Rc1/4, OD1/4スウェジロック

アナログ出力

最大操作圧力

瞬時流量

計測対象

構造
周囲温度
周囲湿度
質量

AC85～240V、50/60Hz
約15VA
TC-1000, 2000, 3000シリーズコントローラ：専用コネクタ
電源、外部機器：M3ねじ端子パネルマウント方式
DIN72サイズ、専用取付金具付属
屋内仕様（IP20相当）
0～＋50℃
85％RH以下（結露しないこと）
550g

標準長さ2m（Max. 100m）
2m（Max. 100m）

形式コード● TC-3000 ミニサーマルマスフローコントローラTC̶3－－

内 容

100100S
流量区分

MAX 100 L/min(nor)MAX 300 L/min(nor)MAX 600 L/min(nor)MAX 800 L/min(nor)300
600
800020100

2 L/min(nor)
10 L/min(nor)30 L/min(nor)TC-3100/3100S
50 L/min(nor)300500700
101201

フルスケール70 L/min(nor)
100 L/min(nor)
200 L/min(nor)TC-3300
300 L/min(nor)
600 L/min(nor) TC-3600
800 L/min(nor) TC-3800TC-3100/3100S
Rcメネジ
TC-3300/3600/3800

301601
801
R

接続規格

S04
12

接続口径

16

● TM-1400 ミニコンバータユニット
TM-14
アナログ出力0内－ 2

1

DC0～5V2

流量設定方法

外部設定入力信号

容DC4～20mA－ 2

外部設定/マニュアル設定切換付
0なし

1

DC4～20mA

2

DC0～5V3

DC1～5V

スウェジロック TC-3100/3100S
1/4''
TC-3100/3100S
3/4''
TC-3300/3600
1''
TC-3300/3600/3800

使用上の注意・水平取付、コネクタ上向きとなるよう設置してください。
・一次圧力は仕様伺い時の常用圧力としてご使用ください。
・測定流体の流れ方向は製品本体上の矢印と同じ向きとしてください。
2TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-F2276-J02

TC-3000 シリーズ

ミニサーマルマスフローコントローラ

外形寸法（mm）● TC-3100S端子図

No 名 称① 流量表示器内容
赤色LEDによる流量表示、31/2桁
FULL 100％流量に設定される
流量設定
②SET
スイッチがセットされる
切換スイッチZERO 0％流量に設定されるスイッチがセットの状態で機能する
流量設定ダイアルで流量設定できる（0～100％）
流量設定 REF
外部設定入力信号が流量設定ダイヤルで③ 基準信号 EXT（1）分別設定できる（外部設定信号x0～100）
切換スイッチ
外部設定入力信号が流量設定信号となる
EXT（2）設定ダイヤルは機能しない
10回転アナログダイヤルによる流量設定（0/0）
時計回り 流量増加④ 流量設定 反時計回り 流量減少
ダイヤル
上部目盛 フルスケールの1/10目盛
下部目盛 フルスケールの1/100目盛

内

No

12
3
456E
L1
L2

TG-F2276-J02＋－

容
アナログ出力使用不可＋－

外部設定入力信号
接地
AC電源

TOKYO KEISO CO., LTD.

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TC-3000 シリーズ

ミニサーマルマスフローコントローラ

システム構成例●一般流量コントロールプロセス

TC-3100 ミニサーマルマスフローコントローラ
TC-3300/3600/3800 ミニサーマルマスフローコントローラ●一定比率混合プロセス

A、B、2 種類のガスを一定比率で混合するプロセスの使用例です。
A ガス流量を TF − 1000 ミニサーマルマスフローメータで計測し、その信号を TM − 1400 ミニコンバータユニットに入力します。
TM − 1400 では A ガスの流量変化に応じて TC − 3000 ミニサーマルマスフローコントローラのバルブ開度を制御して B ガス流量をコントロールし、常に一定比率とします。
（TF − 1000 ミニサーマルマスフローメータについては別紙テクニカルガイダンスをご用意してあります。お申し付け下さい。
）

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TG-F2276-J02