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1沖電気工業㈱Oki Electric Industry Co., Ltd.

【本社】〒105-8460 東京都港区虎ノ門1-7-12 Tel.03-3501-3111【URL】https://www.oki.com/jp/

LED 製造技術を独自に高度化

この量産を担うLED統括工場（群馬県高崎市）
は、09 年に当時のルネサス テクノロジから取得し、かつて OKI が東京都八王子市に保有して2ドの量産技術を応用し、マイクロ LED ディスプいた工場から生産設備を移転して10年4月に稼レーの事業化に取り組んでいる。

働させた。敷地面積 6400m2、建屋面積 2900m2、章

第沖電気工業（OKI）は、プリンター用 LED ヘッ

OKIグループが自社のプリンター向けにLEDプリントヘッドの開発に着手したのは、50 年

延べ床面積 9000m2 で、1 階と 2 階に計 2760m2のクリーンルームを有している。

以上前の 1966 年にさかのぼる。77 年に日本電信電話公社横須賀電気通信研究所との共同

GaN 系 LEDでもEFB 技術を実証研究で LED アレイヘッドの開発に着手。81 年
OKI は 10 ～ 13 年にかけて、EFB プロセスを3イヘッドを用いた世界初のページプリンター活用してマイクロ LED ディスプレーの事業化「OPP6100」を発表した。85 年に後継機としてに取り組んだことがある。車載関連やウエアラ卓上型で高速な「OPP6220」をリリースし、これブル関連など数社と 1 インチ未満の高輝度小型が実質的に世界初の量産LEDプリンターとなっディスプレーを開発し、このうち 1 社には双眼た。

鏡のファインダー用に量産供給したこともあっ章

第に量産化に成功し、同年に第 1 世代の LED アレ第 章

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この間に培ってきた独自の LED 製造技術が、た。だが、当時は液晶の置き換えを求められ、
コ

2006 年に量産化したエピフィルムボンディン

ストが非常に厳しかったため長期のビジネスにグ（Epi Film Bonding ＝ EFB）だ。EFB は、化合はつながらず、いったん事業化を中断した。

物半導体ウエハー上に形成したLED発光層の薄しかし近年、マイクロ LED が世界的に注目を膜部分だけを剥離し、シリコンウエハーに形成集め付加価値が見直されてきたため、事業化にした LED のドライバー IC 上にこの LED 薄膜を向けた開発を再開した。他社から EFB 技術への分子間力で強固に貼り付ける異種材料接合技術引き合いもあるが、10 年が経過して市場がようである。

やく見えてきたため、直射日光下で生かせる小例えば、A4 サイズのプリントヘッドの場合、第章

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プリント基板上に長さ 8mm のドライバー IC が型・高精細・高輝度のディスプレーとして実用化を目指している。

26 チップ実装されている。A3 だと 39 チップ必

実用化に向けて、青色および緑色の GaN 系要だ。解像度が 1200dpi の場合、LED 素子サイLEDに対するEFB技術の有効性を検証したとこズはおよそ10μm角、LEDのピッチ幅は21μmろ、サンプルレベルで LED 発光層の薄膜を剥離であり、1 本の A3 プリントヘッド上に 1 万 5000し、分子間力接合で異種基板上へ貼り合わせでのLEDチップが並ぶことになる。これまで累計きる技術をほぼ確立した。この技術確立により、5 億個（A4 サイズ換算で 2000 万本）を出荷してRGB の LED を高密度に異種基板上に集積でききたが、EFB が剥がれる品質不良は一度も発生る道筋をつけた。

第しておらず、きわめて高い信頼性を誇る。

章

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電子ディスプレーメーカー計画総覧 2023 年度版

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フォトマスク／フォトマスク製造装置

12020 年度は新型コロナウイルスの感染拡大会社を設立すると発表した。中国で見込まれるを受け世界経済が大きく混乱したものの、TV今後の需要増に備え、合弁事業化によって生産向け大型パネル投資が継続的に行われるととも能力の増強を進め、25 年初頭をめどに現地生産に、モバイル向け OLED 投資が回復したことかをスタートさせる計画。

10％以上の成長を果たした。一方、21 年度は主Beijing BOE Vision Electronic Technologyに中国市場において生産するパネルの種類が増（BOEVT）と合弁契約を結び、各種付随契約の締2加したことなどに伴い、FPD 用フォトマスク需結や中国を含む各国における法規制上のクリア要も拡大して堅調に推移した。なお、22 年度のランスなどの完了後に新会社を設立する。設立

FPD フォトマスク需要は、フレキシブルならび時期は未定だが、資本金は 10 億元（約 173 億円）にフォルダブル OLED 向けをはじめとした開発で、HOYA が 60％、BOE が 40％を出資する。

章

液晶や有機 EL などの製造販売を手がける

第ら、TFT アレイ工程向け設備投資は前年度からが活発に行われたことを受け、前年度に引き続
第き堅調に推移したものとみられる。

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HOYA ㈱章㈱エスケーエレクトロニクス㈱エスケーエレクトロニクス（京都市上京区）
は、大型液晶用フォトマスクでトップシェアをスクのリーディングサプライヤーだ。22年度上（京都府久御山町）、台湾では連結子会社の頂正期（22 年 4 ～ 9 月）におけるエレクトロニクス関科技股份有限公司でマスクを製造しており、滋連製品（マスク＆ブランクス：半導体用マスク

賀工場では G10 以上対応のフォトマスク、京都ブランクス・フォトマスク、FPD 用フォトマス

工場ではグレートーンおよびハーフトーンマス

ク、HDD 用ガラス基板）の売上高は、前年同期

ク、台湾ではハーフトーンマスクの製造が可能

比 4.4％減の 494 億円となった。マスクブランだ。
億円、営業利益は同 2.3 倍の 38 億円と大幅な増推移するとともに、FPD 向けはフレキシブル／収増益だった。下期にディスプレーパネル市場フォルダブル OLED 向けをはじめとした開発活が減速した影響により、有機 EL 向けを中心に新動が活発で、売上高は同 17％増の 2 桁成長を果規パネル開発需要が増加した。難易度の高い高たしている。一方、HDD 基板は、2.5 インチは付加価値のマスク比率が増大したことや、円安特需の消失により大きく減少。3.5 インチは在も利益の増加に寄与した。

庫消化期間にあり減収。これらの結果、HDD 基

23年9月期はディスプレー市場が徐々に回復

板の売上高は、同 28％減の大きなマイナス成長に向かうとみており、有機 EL 向けの開発需要もを余儀なくされている。

旺盛である。一方で、世界的な景気減速リスクが高まっていることから最終製品需要の減退を懸念している。また、ブランクスやペリクル、研第 章

なお、同社は、中国 FPD 最大手の BOE の傘下企業と、中国重慶市に FPD フォトマスクの合弁

5章

22年9月期の売上高は前年度比22％増の249

研究開発活動により EUV ブランクスが好調に

第クス関連は、半導体用が顧客における積極的な4章持つ。
国内は滋賀工場（滋賀県甲賀市）、京都工場

第HOYA ㈱（東京都新宿区）は、LCD 用フォトマ

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第6章

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部材材料・製造装置メーカー各社の現状と今後の計画

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書 名 ................電子ディスプレーメーカー計画総覧 2023 年度版
体裁・頁数 .........B5 判 オフセット刷り 444 頁
定 価 ................27,500 円（税込）
発 行 ................2023 年 3 月 27 日

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