令和6年4月1日改定

別表第１（中高生等に対する教育実習等）（要項第７条関係）
通し
番号
1

機

器

名

機器№

イメージングプレート単結晶自動X線構造解析装置（試料吹付低温装置付属）

1-1

利用料

測定方法

備考

室温測定

17,000円/日

低温測定

20,000円/日

2透過型電子顕微鏡（ナノ環境物質表面複合分析システム）

1-2

通常

20,000円/日

3

ICP発光分析装置

1-4

通常

20,000円/日

4光電子ナノ表面分析装置

1-5

通常

20,000円/日

5走査型電子顕微鏡1-6

通常25,000円/日※ 上記以外の中高生等に対する教育実習等の料金は，本部長が利用者と協議の上決定するものとする。

別表第２（依頼分析）（要項第７条関係）
通し

機 器

番号

名

機器№

測定方法
1時間以内の測定

12

高分解能溶液核磁気共鳴測定装置（溶液用NMR）

高分解能固体・溶液核磁気共鳴測定装置（固体・溶液兼用

NMR)

2-2

2-3

4時間以内の測定

34

MSE表面強度評価装置
Bｏｏｎｔｏｎ2-4

1Ｈ・13Ｃ
2次元など

12時間以上の測定

その他の特殊測定

1時間以内の測定

1Ｈ・13Ｃ

4時間以内の測定

1Ｈ・13Ｃ

12時間以内の特殊測定

2次元など

その他の特殊測定

一般条件での測定及び解析

依頼分析料
3,000円/試料

3,000円/時間（講習が必要な場合は別途10,000円）

6,000円/試料
12,000円/試料
18,000円/試料

3,600円/時間

3,000円/試料（講習が必要な場合

6,000円/試料は別途10,000円）

12,000円/試料（固体は要相談）なし

18,000円/試料
50,000円/試料
220,000円/試料

72Ｂ

Ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ

1Ｈ・13Ｃ

12時間以内の特殊測定

12時間以上の測定

機器利用料

ｍｅｔｅｒ

2-5

ＤＬＴＳ

またはＩＣＴＳ測定なし

電極作製費（Ni蒸着）
110,000円
44,000円/測定

5

界面顕微光応答測定装置

2-6

6

ソースユニット2657A

2-7

なし

電極作製費（Ni蒸着）

なし

16,500円/時間なし

110,000円/試料

110,000円

78iHR32 CCDカメラ付分光器
IK3151R-E ヘリウムカドミウムレーザー
テラヘルツ時間領域分光装置

3kVまでのI-V測定

2-8
2-9

透過型または反射型測定※ 上記以外の依頼分析料は，本部長が利用者と協議の上決定するものとする。
※ 各機器の使用時間は１ヶ月を単位として集計し，１時間未満の利用は切り上げて利用料を計算するものとする。

なし

5,000円/試料
試料形態などにより要相談

備考

別表第３-１（機器利用料）（要項第７条関係）【一般企業・営利団体】
機器操作指導料

通し

機

番号

器

名

機器№

機器利用料

消耗品費

（２回目までは必須
３回目以降は指導者の判断

測定環境維持費

備考

による）

1

イメージングプレート単結晶自動Ｘ線構造解析装置(試料吹付低温装置付属）

3-2

20,000円/試料

10,000円/試料

500円/時間2

高感度マイクロファイバー引張試験機

3-4

10,000円/時間

7,000円/時間

500円/時間3

透過型電子顕微鏡(TEM)(ナノ環境物質表面複合分析システム）

3-6

30,000円/時間

10,000円/時間

500円/時間4

試料水平型多目的X線解析装置（Ultima Ⅳ）(繊維界面構造評価システム）

3-19

10,000円/時間

8,000円/時間

500円/時間5高分解能薄膜構造解析用X線回析装置（ATX-E)

3-20

10,000円/時間

8,000円/時間

500円/時間6

角度分解絶対反射率測定装置

3-21

10,000円/時間

6,000円/時間

500円/時間7

ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MSD・高負荷試料)

3-23

10,000円/時間

10,000円/時間

500円/時間8

ガスクロマトグラフ（GC)

3-24

10,000円/時間

8,000円/時間

500円/時間9冷陰極電界放出型走査型電子顕微鏡（FE-SEM）

3-25

20,000円/時間

8,000円/時間

500円/時間10波長分散型蛍光X線分析装置（WDX)

3-26

10,000円/時間

7,000円/時間

500円/時間11高機能比表面積

3-27

10,000円/ 回

8,000円/時間

500円/時間12

粘弾性測定装置（レオメーター）3-28

10,000円/時間

7,000円/時間

500円/時間

細孔分布測定装置（ASAP）

500円/時間

5,000円/ 回

13

水銀ポロシメータ

3-29

10,000円/時間

10,000円/ 回500円/時間14

複合材界面特性評価装置（マイクロドロップレット）

3-30

10,000円/時間

600円/1cc(水銀)7,000円/時間

500円/時間15

電子スピン共鳴装置（ESR)

3-31

10,000円/時間

10,000円/時間

500円/時間
500円/時間

1度の測定工程を1回とカウントし、
1回60時間まで/試料乾燥時間含む

16

卓上走査電子顕微鏡（ミニSEM）

3-32

20,000円/時間

8,000円/時間

17

デジタルビッカース硬度計

3-33

5,000円/時間

7,000円/時間

500円/時間

18

密度計

3-40

4,000円/ 回

5,000円/ 回500円/時間 1試料の1測定を1回とカウント

19

熱機械（TMA）

3-41

10,000円/時間

8,000円/時間

500円/時間

500円/ 回20Pt/W蒸着装置

3-42

5,000円/ 回

7,000円/時間

500円/時間 1度の工程を1回とカウント

21

オスミウムコーター

3-43

5,000円/ 回100円/ 回

5,000円/時間

500円/時間 1度の工程を1回とカウント

22

レーザーアブレーションICP質量分析計(LA-ICP-MS)

3-44

50,000円/時間

13,000円/時間

20,000円/時間

500円/時間 プラズマ暖機運転時間を含む

23

イオンクロマトグラフ（IC)3-45

8,000円/時間

8,000円/時間

500円/時間24

ダート質量分析計(DART)/(ESI)

3-46

10,000円/時間

5,000円/時間

10,000円/時間

500円/時間25

マルディ質量分析計(MALDI)

3-47

20,000円/時間

1,000円/試料

10,000円/時間

500円/時間26

ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MSD・低負荷試料）

3-48

10,000円/時間

500円/時間

10,000円/時間

500円/時間27

ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MS・熱分解試料）

3-49

10,000円/時間

500円/時間

10,000円/時間

500円/時間28

液体クロマトグラフ質量分析計（LC-MS)

3-50

10,000円/時間

500円/時間

10,000円/時間

500円/時間

X線電子分光分析装置（ＸＰＳ）

3-51

50,000円/時間

20,000円/時間

500円/時間2930

断面試料作製装置（ＣＰ）

3-52

10,000円/時間

10,000円/ 回500円/時間31

精密切断機(アイソメット)

4-45

10,000円/時間

8,000円/ 回500円/時間32

レーザー加工機

4-46

3,000円/時間

8,000円/ 回500円/時間33

ゼータ電位測定システム

4-39

10,000円/時間

2,000円/ 回

7,000円/時間

500円/時間 平板セル測定時のみ消耗品費加算

34

元素マッピング機能付走査型電子顕微鏡(SEM-EDS)

4-40

20,000円/時間

5,000円/ 回

8,000円/時間

500円/時間 EDS使用時のみ消耗品費加算

35

Au蒸着装置

4-47

5,000円/ 回100円/ 回

5,000円/時間

500円/時間 1度の工程を1回とカウント

36

C蒸着装置

4-48

5,000円/ 回100円/ 回

5,000円/時間

500円/時間 1度の工程を1回とカウント

37

共焦点レーザー顕微鏡(工業試料)

4-55

10,000円/時間

8,000円/時間

500円/時間38

光造形式３Dプリンタ(FormLabs)

4-59

3,000円/時間

30,000円/ 回

5,000円/ 回500円/時間 1度のプリント操作毎にカウント

断面試料作製装置(CP)4-32

10,000円/時間

3,000円/ 回

10,000円/ 回500円/時間600円/時間39

6,000円/ 回

40

ICP発光分析装置

4-33

10,000円/時間

7,000円/時間

500円/時間41

ナノ結晶方位可視化装置(EBSD)

4-1

30,000円/時間

10,000円/時間

500円/時間42

光電子ナノ表面分析装置(AES)

4-34

30,000円/時間

10,000円/時間

500円/時間43

走査プローブ顕微鏡(AFM)

4-35

10,000円/時間

5,000円/ 回

8,000円/時間

500円/時間

44

クライオCP

4-41

20,000円/時間

4,000円/ 回

15,000円/ 回500円/時間45

昇温脱離ガス質量分析装置(TPD-MS)

4-2

5,000円/時間

300円/時間

7,000円/時間

500円/時間46

雰囲気制御高温XRD

4-3

5,000円/時間

150円/時間

7,000円/時間

500円/時間47

粉体性能評価装置(FT-4)

4-4

5,000円/時間

7,000円/時間

500円/時間48

超絶縁抵抗計4-42

5,000円/時間

5,000円/ 回500円/時間

5,000円/ 回500円/時間49

ケミカルインピーダンス

4-49

5,000円/時間

50

超微小硬度計4-50

10,000円/時間

8,000円/時間

500円/時間

51

粒度分布計

4-56

10,000円/時間

6,000円/時間

500円/時間52

面内方向熱拡散率測定装置(LaserPIT)

4-57

10,000円/時間

3,000円/試料

5,000円/時間

500円/時間53

比表面積測定装置（BELSORP MINI X）

4-58

30,000円/ 回

1,000円/ 回

10,000円/時間

500円/時間54

三次元ナノ組織可視化装置(X線CT)

4-5

5,000円/時間

7,000円/時間

500円/時間

1度の測定工程を1回とカウントし、
1回28時間まで/試料乾燥時間含む

55

顕微ラマン装置

4-6

3,000円/時間

7,000円/時間

500円/時間

56

顕微フーリエ変換赤外分光装置(顕微FT-IR)

4-36

10,000円/時間

7,000円/時間

500円/時間57

ナノめっき皮膜構造解析システム(多目的XRD)

4-37

20,000円/時間

8,000円/時間

500円/時間58

冷却加熱ステージ

4-43

2,000円/時間

5,000円/ 回500円/時間59

イオンビーム加工・表面分析装置(FIB)

4-7

5,000円/時間

10,000円/時間

500円/時間60

極微小特殊成分解析装置(FE-SEM)

4-38

30,000円/時間

10,000円/時間

500円/時間61

マイクロマニピュレータ

4-44

10,000円/時間

5,000円/ 回500円/時間62

膜厚計(レーザー干渉式)

4-54

10,000円/時間

5,000円/ 回500円/時間63

電気化学測定システム

4-51

10,000円/時間

5,000円/ 回500円/時間64

引張試験機S

4-52

10,000円/時間

8,000円/時間

500円/時間65

引張試験機L

4-53

10,000円/時間

66

MOCVD装置

4-8

4,000円/時間

要相談

1,000円/時間

67

クリーンドラフト

4-9

1,800円/時間

要相談

1,000円/時間

500円/時間

8,000円/時間

500円/時間68

超純水製造装置

4-10

1,100円/時間

要相談

1,000円/時間

69

投影露光装置4-12

1,800円/時間

要相談

1,000円/時間

70

現像装置

4-13

1,600円/時間

要相談

1,000円/時間

71

スプレーコーター

4-14

1,800円/時間

要相談

1,000円/時間

72

めっき装置

4-15

2,200円/時間

要相談

1,000円/時間

73

クリーンドラフト

4-16

1,800円/時間

要相談

1,000円/時間

74

超純水製造装置

4-17

1,100円/時間

要相談

1,000円/時間75

燃料電池自動評価装置

4-19

1,600円/時間

要相談

500円/時間76

燃料電池性能試験装置

4-20

1,100円/時間

要相談

500円/時間

77

CMP装置

4-21

1,600円/時間

要相談

500円/時間78

LIB試作設備

4-22

1,600円/時間

要相談

500円/時間79

LIB電極板作製機

4-23

2,100円/時間

要相談

500円/時間80

乾燥空気製造送風装置

4-24

7,500円/時間

要相談

500円/時間

81

乾燥保管庫

4-25

1,400円/時間

要相談

500円/時間

82

充放電装置

4-26

1,700円/時間

要相談

500円/時間83

電池評価用恒温槽

4-27

1,800円/時間

要相談

500円/時間84

グローブボックス

4-28

1,700円/時間

要相談

500円/時間85

隔離安全性試験設備

4-29

3,200円/時間

要相談

1,000円/時間

86

充放電装置

4-30

1,700円/時間

要相談

1,000円/時間

87

電池評価用恒温槽

4-31

1,800円/時間

要相談

1,000円/時間（施設利用料）
施設名

施設利用料

備考

Ⅱ-401

薄膜作製室（クリーンルーム）

1,000円/時間

Ⅱ-501

めっき室（クリーンルーム）

1,000円/時間

一人当たり
一人当たり

Ⅱ-604

微粉末特性評価室

500円/時間

一人当たり（機器操作代行料）
内容
使用時に同席し、利用者の希望に応じて指定の分析機器の操作を行う※※

料金
１日あたり８万円（午前のみの場合は７万円）

上記以外の機器操作指導を含む機器利用料は，本部長が利用者と協議の上決定するものとし、標準的な利用料は別に定めるものとする。
各機器使用時間は１ヶ月を単位として集計し，１時間未満の利用は切り上げて利用料を計算するものとする。
ただし、下記の機器については月を跨いだ連続利用の場合は利用終了時点の月の利用とみなす。
【 ASAP、XPS、CP、光造形式３Dプリンタ、クライオCP、BELSORP MINI X 】※

機器操作を単独で行ってよい者は、指導・最終確認を受け、かつ使用許可を受けた者のみとする。なお、最終確認は指導料付料金を請求する。

※

３回目以降の機器利用において，引き続き指導が必要と当方が判断した場合は，指導料付料金を請求する。

※

4-8～31の機器使用については、本部長が利用者と協議の上判断するものとする。

※

同種機器の操作経験がある等、機器操作において特に優れていると当方が判断した場合は、機器操作指導の回数を減らすことがある。

※

機器利用料及び機器操作指導料（料金が要相談の機器は除く）は、産学官連携本部協力会会員が利用する場合は５０％とする。

※

施設利用料及び消耗品費は利用者に係らず別表に記載どおりの一律料金とする。

※

データ解析等ソフトウェアのみ利用の場合も機器利用料を請求する。ただし15分未満の利用は課金しない。

※

試料の調整（前処理）は含まない。

別表第３-２（機器利用料）（要項第７条関係）【教育研究機関】
機器操作指導料

通し

機

番号

器 名

機器№

機器利用料

消耗品費

（２回目までは必須
３回目以降は指導者の判断

測定環境維持費

備考

による）

1

イメージングプレート単結晶自動Ｘ線構造解析装置(試料吹付低温装置付属）

3-2

4,000円/試料

4,000円/試料

200円/時間2

高感度マイクロファイバー引張試験機

3-4

2,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間3

透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）（ナノ環境物質表面複合分析システム）

3-6

6,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間4

試料水平型多目的X線解析装置（Ultima Ⅳ）（繊維界面構造評価システム）

3-19

2,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間5高分解能薄膜構造解析用X線回析装置（ATX-E)

3-20

2,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間6

角度分解絶対反射率測定装置

3-21

2,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間7

ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MSD・高負荷試料)

3-23

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間8

ガスクロマトグラフ（GC)3-24

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間9冷陰極電界放出型走査型電子顕微鏡（FE-SEM）

3-25

2,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間10波長分散型蛍光X線分析装置（WDX)

3-26

2,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間11高機能比表面積

3-27

2,000円/ 回

2,000円/時間

200円/時間12

粘弾性測定装置（レオメーター）3-28

2,000円/時間

3,000円/時間

200円/時間13

水銀ポロシメータ

3-29

2,000円/ 回

2,000円/ 回200円/時間 1回2試料まで

14

複合材界面特性評価装置（マイクロドロップレット）

3-30

2,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間15

電子スピン共鳴装置（ESR)

3-31

2,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間

16

卓上走査電子顕微鏡（ミニSEM）

3-32

2,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間17

デジタルビッカース硬度計

3-33

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間

18

密度計

3-40

800円/ 回

1,000円/ 回200円/時間 1試料の1測定を1回とカウント

19

熱機械（TMA）

3-41

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間

20

Pt/W蒸着装置

3-42

1,000円/ 回

1,000円/時間

200円/時間 1度の工程を1回とカウント

21

オスミウムコーター

3-43

1,000円/ 回100円/ 回

1,000円/時間

200円/時間 1度の工程を1回とカウント

22

レーザーアブレーションICP質量分析計(LA-ICP-MS)

3-44

3,000円/時間

13,000円/時間

3,000円/時間

200円/時間 プラズマ暖機運転時間を含む

23

イオンクロマトグラフ（IC)3-45

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間24

ダート質量分析計(DART)/(ESI)

3-46

2,000円/時間

5,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間25

マルディ質量分析計(MALDI)

3-47

3,000円/時間

500円/時間2,000円/時間

200円/時間26

ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MSD・低負荷試料）

3-48

1,000円/時間

500円/時間2,000円/時間

200円/時間27

ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MS・熱分解試料）

3-49

1,000円/時間

500円/時間2,000円/時間

200円/時間28

液体クロマトグラフ質量分析計（LC-MS)

3-50

2,000円/時間

500円/時間2,000円/時間

200円/時間

29

X線電子分光分析装置（ＸＰＳ）

3-51

12,000円/ 回

5,000円/時間

200円/時間 1回72時間まで

30

断面試料作製装置（ＣＰ）

3-52

2,000円/ 回

31

精密切断機(アイソメット)

4-45

32

レーザー加工機3334

細孔分布測定装置（ASAP）

500円/時間

5,000円/ 回600円/1cc(水銀)500円/ 回

3,000円/ 回

1度の測定工程を1回とカウントし、
1回60時間まで/試料乾燥時間含む

2,000円/ 回200円/時間 1回16時間まで500円/時間

3,000円/ 回200円/時間

4-46500円/時間

1,000円/ 回200円/時間

ゼータ電位測定システム

4-39

1,000円/時間

2,000円/ 回

3,000円/時間

200円/時間 平板セル測定時のみ消耗品費加算

元素マッピング機能付走査型電子顕微鏡(SEM-EDS)

4-40

3,000円/時間

5,000円/ 回

2,000円/時間

200円/時間 EDS使用時のみ消耗品費加算

35

Au蒸着装置

4-47

1,000円/ 回100円/ 回

1,000円/時間

200円/時間 1度の工程を1回とカウント

36

C蒸着装置

4-48

1,000円/ 回100円/ 回

1,000円/時間

200円/時間 1度の工程を1回とカウント

37

共焦点レーザー顕微鏡(工業試料)

4-55

2,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間38

光造形式３Dプリンタ(FormLabs)

4-59

200円/時間

30,000円/ 回

1,000円/ 回200円/時間 1度のプリント操作毎にカウント

39

断面試料作製装置(CP)4-32

1,000円/ 回

3,000円/ 回

2,000円/ 回200円/時間 1回16時間まで

40

ICP発光分析装置

4-33

2,000円/時間

600円/時間2,000円/時間

200円/時間41

ナノ結晶方位可視化装置(EBSD)

4-1

5,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間42

光電子ナノ表面分析装置(AES)

4-34

5,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間43

走査プローブ顕微鏡(AFM)

4-35

2,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間

44

クライオCP

4-41

3,000円/ 回

6,000円/ 回

3,000円/ 回200円/時間 1回24時間まで

45

昇温脱離ガス質量分析装置(TPD-MS)

4-2

1,000円/時間

300円/時間

1,000円/時間

200円/時間46

雰囲気制御高温XRD

4-3

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間47

粉体性能評価装置(FT-4)

4-4

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間48

超絶縁抵抗計4-42

1,000円/時間

1,000円/ 回200円/時間49

ケミカルインピーダンス

4-49

1,000円/時間

2,000円/ 回200円/時間50

超微小硬度計

4-50

2,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間

51

粒度分布計

4-56

2,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間52

面内方向熱拡散率測定装置(LaserPIT)

4-57

2,000円/時間

300円/試料2,000円/時間

200円/時間53

比表面積測定装置（BELSORP MINI X）

4-58

4,000円/ 回

1,000円/ 回

2,000円/時間

200円/時間54

三次元ナノ組織可視化装置(X線CT)

4-5

2,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間

1度の測定工程を1回とカウントし、
1回28時間まで/試料乾燥時間含む

55

顕微ラマン装置

4-6400円/時間

1,000円/時間

200円/時間

56

顕微フーリエ変換赤外分光装置(顕微FT-IR)

4-36

2,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間57

ナノめっき皮膜構造解析システム(多目的XRD)

4-37

3,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間58

冷却加熱ステージ

4-43

400円/時間

1,000円/ 回200円/時間59

イオンビーム加工・表面分析装置(FIB)

4-7

1,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間60

極微小特殊成分解析装置(FE-SEM)

4-38

5,000円/時間

2,000円/時間

200円/時間61

マイクロマニピュレータ

4-44

1,000円/時間

1,000円/ 回200円/時間62

膜厚計(レーザー干渉式)

4-54

1,000円/時間

1,000円/ 回200円/時間63

電気化学測定システム

4-51

1,000円/時間

2,000円/ 回200円/時間64

引張試験機S

4-52

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間65

引張試験機L

4-53

1,000円/時間

66

MOCVD装置

4-8800円/時間

要相談

1,000円/時間

67

クリーンドラフト

4-9400円/時間

要相談

1,000円/時間

68

超純水製造装置

4-10300円/時間

要相談

1,000円/時間

69

投影露光装置4-12400円/時間

要相談

1,000円/時間

70

現像装置

4-13

400円/時間

要相談

1,000円/時間

71

スプレーコーター

4-14

400円/時間

要相談

1,000円/時間

72

めっき装置

4-15

500円/時間

要相談

1,000円/時間

73

クリーンドラフト

4-16

400円/時間

要相談

1,000円/時間

74

超純水製造装置

4-17300円/時間

要相談

1,000円/時間75

燃料電池自動評価装置

4-19400円/時間

要相談

200円/時間76

燃料電池性能試験装置

4-20300円/時間

要相談

200円/時間

77

CMP装置

4-21

400円/時間

要相談

200円/時間78

LIB試作設備

4-22400円/時間

要相談

200円/時間79

LIB電極板作製機

4-23

500円/時間

要相談

200円/時間80

乾燥空気製造送風装置

4-24

2,000円/時間

要相談

200円/時間

81

乾燥保管庫

4-25

300円/時間

要相談

200円/時間

82

充放電装置

4-26

400円/時間

要相談

200円/時間83

電池評価用恒温槽

4-27

400円/時間

要相談

200円/時間84

グローブボックス

4-28

400円/時間

要相談

200円/時間85

隔離安全性試験設備

4-29700円/時間

要相談

1,000円/時間

86

充放電装置

4-30

400円/時間

要相談

1,000円/時間

87

電池評価用恒温槽

4-31

400円/時間

要相談

1,000円/時間

500円/時間

1,000円/時間

200円/時間（施設利用料）
施設名

施設利用料

備考

Ⅱ-401

薄膜作製室（クリーンルーム）

1,000円/時間 一研究室で15人以上利用の場合、施設利用料パック割（年間85万円）を利用できる

Ⅱ-501

めっき室（クリーンルーム）

1,000円/時間

Ⅱ-604

微粉末特性評価室

500円/時間（機器操作代行料）
内容
使用時に同席し、利用者の希望に応じて指定の分析機器の操作を行う※※

料金
１日あたり６万円（午前のみの場合は５万円）

上記以外の機器操作指導を含む機器利用料は，本部長が利用者と協議の上決定するものとし、標準的な利用料は別に定めるものとする。
各機器使用時間は１ヶ月を単位として集計し，１時間未満の利用は切り上げて利用料を計算するものとする。
ただし、下記の機器については月を跨いだ連続利用の場合は利用終了時点の月の利用とみなす。
【 ASAP、XPS、CP、光造形式３Dプリンタ、クライオCP、BELSORP MINI X 】※

機器操作を単独で行ってよい者は、指導・最終確認を受け、かつ使用許可を受けた者のみとする。なお、最終確認は指導料付料金を請求する。

※

３回目以降の機器利用において，引き続き指導が必要と当方が判断した場合は，指導料付料金を請求する。

※

4-8～31の機器使用については、本部長が利用者と協議の上判断するものとする。

※

同種機器の操作経験がある等、機器操作において特に優れていると当方が判断した場合は、機器操作指導の回数を減らすことがある。

※

データ解析等ソフトウェアのみ利用の場合も機器利用料を請求する。ただし15分未満の利用は課金しない。

※

試料の調整（前処理）は含まない。

別表第３-３（機器利用料）（要項第７条関係）【学内】
機器操作指導料

通し

機

番号

器 名

機器№

機器利用料

消耗品費

（２回目までは必須
３回目以降は指導者の判断

測定環境維持費

備考

による）

1

イメージングプレート単結晶自動Ｘ線構造解析装置(試料吹付低温装置付属）

3-2

2,000円/試料

2,000円/試料

200円/時間2

高感度マイクロファイバー引張試験機

3-4

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間3

透過型電子顕微鏡(TEM)(ナノ環境物質表面複合分析システム）

3-6

3,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間4

試料水平型多目的X線解析装置(Ultima Ⅳ)(繊維界面構造評価システム)

3-19

1,000円/時間

500円/時間200円/時間5高分解能薄膜構造解析用X線回析装置（ATX-E)

3-20

1,000円/時間

500円/時間200円/時間6

角度分解絶対反射率測定装置

3-21

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間7

ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MSD・高負荷試料)

3-23500円/時間

500円/時間200円/時間8

ガスクロマトグラフ（GC)3-24

500円/時間

500円/時間200円/時間

500円/時間9冷陰極電界放出型走査型電子顕微鏡（FE-SEM）

3-25

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間10波長分散型蛍光X線分析装置（WDX)

3-26

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間11高機能比表面積

3-27

1,000円/ 回

1,000円/時間

200円/時間12

粘弾性測定装置（レオメーター）3-28

1,000円/時間

1,500円/時間

200円/時間13

水銀ポロシメータ

3-29

1,000円/ 回

1,000円/ 回200円/時間 1回2試料まで

14

複合材界面特性評価装置（マイクロドロップレット）

3-30

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間15

電子スピン共鳴装置（ESR)

3-31

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間

16

卓上走査電子顕微鏡（ミニSEM）

3-32

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間17

デジタルビッカース硬度計

3-33

500円/時間

500円/時間200円/時間

18

密度計

3-40

400円/ 回500円/ 回200円/時間 1試料の1測定を1回とカウント

19

熱機械（TMA）

3-41

500円/時間

500円/時間200円/時間

20

Pt/W蒸着装置

3-42500円/ 回500円/時間200円/時間 1度の工程を1回とカウント

21

オスミウムコーター

3-43

500円/ 回100円/ 回500円/時間200円/時間 1度の工程を1回とカウント

22

レーザーアブレーションICP質量分析計(LA-ICP-MS)

3-44

1,500円/時間

13,000円/時間

1,500円/時間

200円/時間 プラズマ暖機運転時間を含む

23

イオンクロマトグラフ（IC)3-45500円/時間24

ダート質量分析計(DART)/(ESI)

3-46

1,000円/時間

25

マルディ質量分析計(MALDI)

3-47

26

ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MSD・低負荷試料）

3-48

27

ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MS・熱分解試料）28

細孔分布測定装置（ASAP）

5,000円/ 回600円/1cc(水銀)500円/ 回

1度の測定工程を1回とカウントし、
1回60時間まで/試料乾燥時間含む

500円/時間200円/時間

5,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間1,500円/時間

500円/時間

1,000円/時間

200円/時間

500円/時間

500円/時間

1,000円/時間

200円/時間

3-49500円/時間

500円/時間

1,000円/時間

200円/時間

液体クロマトグラフ質量分析計（LC-MS)

3-50

1,000円/時間

500円/時間

1,000円/時間

200円/時間

29

X線電子分光分析装置（ＸＰＳ）

3-51

6,000円/ 回

2,500円/時間

200円/時間 1回72時間まで

30

断面試料作製装置（ＣＰ）

3-52

1,000円/ 回

31

精密切断機(アイソメット)

4-45

250円/時間

3,000円/ 回

1,000円/ 回200円/時間 1回16時間まで

1,500円/ 回200円/時間32

レーザー加工機

4-46

250円/時間33

ゼータ電位測定システム

4-39500円/時間2,000円/ 回

1,500円/時間

200円/時間 平板セル測定時のみ消耗品費加算

34

元素マッピング機能付走査型電子顕微鏡(SEM-EDS)

4-40

1,500円/時間

5,000円/ 回

1,000円/時間

200円/時間 EDS使用時のみ消耗品費加算

35

Au蒸着装置4-47

500円/ 回100円/ 回500円/時間200円/時間 1度の工程を1回とカウント

36

C蒸着装置

4-48

500円/ 回100円/ 回500円/時間200円/時間 1度の工程を1回とカウント

37

共焦点レーザー顕微鏡(工業試料)

4-55

1,000円/時間

500円/時間200円/時間38

光造形式３Dプリンタ(FormLabs)

4-59

100円/時間

30,000円/ 回500円/ 回200円/時間 1度のプリント操作毎にカウント

39

断面試料作製装置(CP)4-32500円/ 回

3,000円/ 回

1,000円/ 回600円/時間40

ICP発光分析装置

4-33

1,000円/時間

41ナノ結晶方位可視化装置(EBSD)

4-1

2,500円/時間

42光電子ナノ表面分析装置(AES)

4-34

500円/ 回200円/時間200円/時間 1回16時間まで

1,000円/時間

200円/時間

1,000円/時間

200円/時間2,500円/時間

1,000円/時間

200円/時間

1,000円/時間

200円/時間200円/時間 1回24時間まで

43

走査プローブ顕微鏡(AFM)

4-35

1,000円/時間

44

クライオCP

4-41

1,500円/ 回

6,000円/ 回

1,500円/ 回45

昇温脱離ガス質量分析装置(TPD-MS)

4-2

500円/時間

300円/時間

500円/時間200円/時間46

雰囲気制御高温XRD

4-3500円/時間

500円/時間200円/時間200円/時間47

粉体性能評価装置(FT-4)

4-4500円/時間

500円/時間48

超絶縁抵抗計4-42

500円/時間

500円/ 回200円/時間49

ケミカルインピーダンス

4-49

500円/時間

1,000円/ 回200円/時間50

超微小硬度計4-50

1,000円/時間

1,000円/時間

200円/時間

51

粒度分布計

4-56

1,000円/時間

500円/時間200円/時間52

面内方向熱拡散率測定装置(LaserPIT)

4-57

1,000円/時間

300円/試料

1,000円/時間

200円/時間53

比表面積測定装置（BELSORP MINI X）

4-58

2,000円/ 回

1,000円/ 回

1,000円/時間

200円/時間54

三次元ナノ組織可視化装置(X線CT)

4-5

1,000円/時間

500円/時間200円/時間

1度の測定工程を1回とカウントし、
1回28時間まで/試料乾燥時間含む

55

顕微ラマン装置

4-6200円/時間

500円/時間200円/時間

56

顕微フーリエ変換赤外分光装置(顕微FT-IR)

4-36

1,000円/時間

500円/時間200円/時間57

ナノめっき皮膜構造解析システム(多目的XRD)

4-37

1,500円/時間

1,000円/時間

200円/時間58

冷却加熱ステージ

4-43

200円/時間

500円/ 回200円/時間59

イオンビーム加工・表面分析装置(FIB)

4-7500円/時間

1,000円/時間

200円/時間60

極微小特殊成分解析装置(FE-SEM)

4-38

2,500円/時間

1,000円/時間

200円/時間61

マイクロマニピュレータ

4-44

500円/時間

500円/ 回200円/時間

500円/ 回200円/時間

500円/時間62

膜厚計(レーザー干渉式)

4-54500円/時間63

電気化学測定システム

4-51

500円/時間

1,000円/ 回200円/時間64

引張試験機S

4-52

500円/時間

500円/時間200円/時間65

引張試験機L

4-53

500円/時間

500円/時間200円/時間66

MOCVD装置

4-8400円/時間

要相談

1,000円/時間

67

クリーンドラフト

4-9200円/時間

要相談

1,000円/時間

68

超純水製造装置

4-10150円/時間

要相談

1,000円/時間

69

投影露光装置4-12200円/時間

要相談

1,000円/時間

70

現像装置

4-13

200円/時間

要相談

1,000円/時間

71

スプレーコーター

4-14

200円/時間

要相談

1,000円/時間

72

めっき装置

4-15

250円/時間

要相談

1,000円/時間

73

クリーンドラフト

4-16

200円/時間

要相談

1,000円/時間

74

超純水製造装置

4-17150円/時間

要相談

1,000円/時間75

燃料電池自動評価装置

4-19200円/時間

要相談

200円/時間76

燃料電池性能試験装置

4-20150円/時間

要相談

200円/時間

77

CMP装置

4-21

200円/時間

要相談

200円/時間78

LIB試作設備

4-22200円/時間

要相談

200円/時間79

LIB電極板作製機

4-23

250円/時間

要相談

200円/時間80

乾燥空気製造送風装置

4-24

1,000円/時間

要相談

200円/時間

81

乾燥保管庫

4-25

150円/時間

要相談

200円/時間

82

充放電装置

4-26

200円/時間

要相談

200円/時間83

電池評価用恒温槽

4-27

200円/時間

要相談

200円/時間84

グローブボックス

4-28

200円/時間

要相談

200円/時間85

隔離安全性試験設備

4-29350円/時間

要相談

1,000円/時間

86

充放電装置

4-30

200円/時間

要相談

1,000円/時間

87

電池評価用恒温槽

4-31

200円/時間

要相談

1,000円/時間（施設利用料）
施設名

施設利用料

備考

Ⅱ-401

薄膜作製室（クリーンルーム）

1,000円/時間 一研究室で15人以上利用の場合、施設利用料パック割（年間85万円）を利用できる

Ⅱ-501

めっき室（クリーンルーム）

1,000円/時間

Ⅱ-604

微粉末特性評価室

500円/時間（機器操作代行料）
内容
使用時に同席し、利用者の希望に応じて指定の分析機器の操作を行う※※

料金
１日あたり６万円（午前のみの場合は５万円）

上記以外の機器操作指導を含む機器利用料は，本部長が利用者と協議の上決定するものとし、標準的な利用料は別に定めるものとする。
各機器使用時間は１ヶ月を単位として集計し，１時間未満の利用は切り上げて利用料を計算するものとする。
ただし、下記の機器については月を跨いだ連続利用の場合は利用終了時点の月の利用とみなす。
【 ASAP、XPS、CP、光造形式３Dプリンタ、クライオCP、BELSORP MINI X 】※

機器操作を単独で行ってよい者は、指導・最終確認を受け、かつ使用許可を受けた者のみとする。なお、最終確認は指導料付料金を請求する。

※

３回目以降の機器利用において，引き続き指導が必要と当方が判断した場合は，指導料付料金を請求する。

※

4-8～31の機器使用については、本部長が利用者と協議の上判断するものとする。

※

同種機器の操作経験がある等、機器操作において特に優れていると当方が判断した場合は、機器操作指導の回数を減らすことがある。

※

データ解析等ソフトウェアのみ利用の場合も機器利用料を請求する。ただし15分未満の利用は課金しない。

※

試料の調整（前処理）は含まない。

別表第４－１（遠赤外領域開発研究センター

機器利用料）（要項第７条関係）【一般企業・営利団体】
機器操作指導料

通し

機

番号

器

名

機器№

測定方法

機器利用料

必須消耗品費（２回目までは必須，
３回目以降は指導者の判断

備考

測定環境維持費による。）

1

ジャイロトロン(周波数160 GHz~460 GHz,出力10 W~1kW)5-12

極低温ミリ波電子スピン共鳴(ESR)測定装置

5-2

3

ミリ波ベクトルネットワークアナライザ(MVNA)5-34

ミリ波焼結炉(28 GHz, 10 kW)

5-4

5

テラヘルツ時間領域分光装置

5-5

6

電波暗室

5-6

7

テラヘルツ波キャリア寿命測定システム

5-7

45,000円/時間
CW法

テラヘルツ時間領域
分光法

光ポンプ・テラヘル
ツプローブ法6,000円/時間

500円/時間

45,000円/時間

6,000円/時間

500円/時間

30,000円/時間

6,000円/時間

500円/時間

40,000円/時間

6,000円/時間

500円/時間

30,000円/時間

6,000円/時間

500円/時間

25,000円/時間

6,000円/時間

500円/時間

30,000円/時間

6,000円/時間

500円/時間

周波数、出力は装置によって異なるので要相談。
約85~300 GHz。寒剤代別途必要。
要事前相談。

ミリ波からTHzにおいて，遮蔽性能100
dB，吸収体性能45 dB。

波長800nm, 1030nm, 1560nm, パルス
幅50～200fs, 出力100mW～3W, 繰り

テラヘルツ時間領域
8

フェムト秒レーザー装置

5-8

分光等の光源として5,000円/時間

使用

6,000円/時間

500円/時間

返し1kHz, 50MHz～100MHzの範囲で各種フェムト秒レーザー装置が利用可
能。利用するレーザー装置の仕様，利用法については要事前相談。

※ 各機器の使用時間は１ヶ月を単位として集計し，１時間未満の利用は切り上げて利用料を計算するものとする。
※ 機器操作を単独で行ってよい者は，指導・最終確認を受け，かつ使用許可を受けた者のみとする。
なお，最終確認は指導料付料金を請求する。
※ ３回目以降の機器利用において，引き続き指導が必要と当方が判断した場合は，指導料付料金を請求する。
※ 同種機器の操作経験がある等，機器操作において特に優れていると当方が判断した場合は，機器操作指導の回数を減らすことがある。
※ データ解析等ソフトウェアのみ利用の場合も機器利用料を請求する。ただし15分未満の利用は課金しない。
※ 試料の製作・調整（前処理）は要相談。
※ 機器利用料は，産学官連携本部協力会会員、北陸未来共創フォーラム会員が利用する場合は50％とする。

別表第４－２（遠赤外領域開発研究センター

機器利用料）（要項第７条関係）【教育研究機関】
機器操作指導料

通し

機

番号

器

名

機器№

測定方法

機器利用料

必須消耗品費（２回目までは必須，
３回目以降は指導者の判断

備考

測定環境維持費による。）

1

ジャイロトロン(周波数160 GHz~460 GHz,出力10 W~1kW)5-12

極低温ミリ波電子スピン共鳴(ESR)測定装置

5-2

3

ミリ波ベクトルネットワークアナライザ(MVNA)5-34

ミリ波焼結炉(28 GHz, 10 kW)

5-4

5

テラヘルツ時間領域分光装置

5-5

6

電波暗室

5-6

7

テラヘルツ波キャリア寿命測定システム

5-7

9,000円/時間
CW法

テラヘルツ時間領域
分光法

光ポンプ・テラヘル
ツプローブ法6,000円/時間

200円/時間

9,000円/時間

6,000円/時間

200円/時間

6,000円/時間

6,000円/時間

200円/時間

8,000円/時間

6,000円/時間

200円/時間

6,000円/時間

6,000円/時間

200円/時間

5,000円/時間

6,000円/時間

200円/時間

6,000円/時間

6,000円/時間

200円/時間

周波数、出力は装置によって異なるので要相談。
約85~300 GHz。寒剤代別途必要。
要事前相談。

ミリ波からTHzにおいて，遮蔽性能
100 dB，吸収体性能45 dB。

波長800nm, 1030nm, 1560nm, パルス
幅50～200fs, 出力100mW～3W, 繰り

テラヘルツ時間領域
8

フェムト秒レーザー装置

5-8

分光等の光源として

1,000円/時間

使用

6,000円/時間

200円/時間

返し1kHz, 50MHz～100MHzの範囲で各種フェムト秒レーザー装置が利用可
能。利用するレーザー装置の仕様，利用法については要事前相談。

※ 各機器の使用時間は１ヶ月を単位として集計し，１時間未満の利用は切り上げて利用料を計算するものとする。
※ 機器操作を単独で行ってよい者は，指導・最終確認を受け，かつ使用許可を受けた者のみとする。
なお，最終確認は指導料付料金を請求する。
※ ３回目以降の機器利用において，引き続き指導が必要と当方が判断した場合は，指導料付料金を請求する。
※ 同種機器の操作経験がある等，機器操作において特に優れていると当方が判断した場合は，機器操作指導の回数を減らすことがある。
※ データ解析等ソフトウェアのみ利用の場合も機器利用料を請求する。ただし15分未満の利用は課金しない。
※ 試料の製作・調整（前処理）は要相談。

別表第４－３（遠赤外領域開発研究センター

機器利用料）（要項第７条関係）【学内】
機器操作指導料

通し

機

番号

器

名

機器№

測定方法

機器利用料

必須消耗品費（２回目までは必須，
３回目以降は指導者の判断

備考

測定環境維持費による。）

1

ジャイロトロン(周波数160 GHz~460 GHz,出力10 W~1kW)5-12

極低温ミリ波電子スピン共鳴(ESR)測定装置

5-2

3

ミリ波ベクトルネットワークアナライザ(MVNA)5-34

ミリ波焼結炉(28 GHz, 10 kW)

5-4

5

テラヘルツ時間領域分光装置

5-5

6

電波暗室

5-6

7

テラヘルツ波キャリア寿命測定システム

5-7

4,500円/時間
CW法

テラヘルツ時間領域
分光法

光ポンプ・テラヘル
ツプローブ法6,000円/時間

200円/時間4,500円/時間

6,000円/時間

200円/時間

3,000円/時間

6,000円/時間

200円/時間

4,000円/時間

6,000円/時間

200円/時間

3,000円/時間

6,000円/時間

200円/時間2,500円/時間

6,000円/時間

200円/時間

3,000円/時間

6,000円/時間

200円/時間

周波数、出力は装置によって異なるので要相談。
約85~300 GHz。寒剤代別途必要。
要事前相談。

ミリ波からTHzにおいて，遮蔽性能
100 dB，吸収体性能45 dB。

波長800nm, 1030nm, 1560nm, パルス
幅50～200fs, 出力100mW～3W, 繰り

テラヘルツ時間領域
8

フェムト秒レーザー装置

5-8

分光等の光源として500円/時間使用

6,000円/時間

200円/時間

返し1kHz, 50MHz～100MHzの範囲で各種フェムト秒レーザー装置が利用可
能。利用するレーザー装置の仕様，利用法については要事前相談。

※ 各機器の使用時間は１ヶ月を単位として集計し，１時間未満の利用は切り上げて利用料を計算するものとする。
※ 機器操作を単独で行ってよい者は，指導・最終確認を受け，かつ使用許可を受けた者のみとする。
なお，最終確認は指導料付料金を請求する。
※ ３回目以降の機器利用において，引き続き指導が必要と当方が判断した場合は，指導料付料金を請求する。
※ 同種機器の操作経験がある等，機器操作において特に優れていると当方が判断した場合は，機器操作指導の回数を減らすことがある。
※ データ解析等ソフトウェアのみ利用の場合も機器利用料を請求する。ただし15分未満の利用は課金しない。
※ 試料の製作・調整（前処理）は要相談。