PT5-0522

高感度毒性ガスモニター
ＦＰ－３００ＡＧＺＳ
取扱説明書〒174-8744 東京都板橋区小豆沢 2-7-6
ホームページ http://www.rikenkeiki.co.jp/

目

次

１．製品のアウトライン
ページ
１－１ 概 要 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
4１－２ 注意していただきたいこと ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
5２．製品の機能
２－１ 付属品一覧 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
２－２ ブロックダイヤグラム ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
２－３ 外形図 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
２－４ 各部の名称 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
２－４－１ 表面パネル部 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
２－４－２ 背面パネル部 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
２－４－３ 操作パネル部 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

77899910３．使用方法
３－１ 設置上の取扱い ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
３－２ 配 管 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
３－３ 結 線 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
３－３－１ 気を付ける事項‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
３－３－２ 端子図 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
３－４ ガス検知テープカセット ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
３－４－１ ガス検知テープカセットの取扱い ‥‥‥‥‥‥‥‥‥
３－４－２ ガス検知テープカセットの管理 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
３－４－３ ガス検知テープカセットの返却 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

111213131314141616４．操作方法
４－１ 準 備 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
４－１－１ 確認事項 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
４－１－２ 電源入力 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
４－１－３ 電源投入 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
４－１－４ ガス検知テープカセットの装着 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
４－１－５ 流量 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥･･････
４－２ 操 作 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
４－３ 警報設定値の簡易確認 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

1717171818181919５．各種機能
５－１ ＬＣＤ表示 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
５－１－１ 表示フォーマット ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
５－１－２ ガス濃度表示 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
５－２ 警報機能 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
５－２－１ ガス警報 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
５－２－２ 警報動作タイミングチャート ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
５－３ 外部出力 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
５－３－１ 外部出力接点 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
５－３－２ 外部信号出力（４－２０ｍＡ）‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
５－３－３ 外部出力動作 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

202020212122232325252

６．保守点検
６－１ 日常点検 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
６－２ 定期点検 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
６－３ ガス検知テープカセット交換方法 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
６－４ メンテナンスモード ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
６－４－１ 警報テスト ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
６－４－２ ＬＣＤコントラスト調整 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
６－５ 推奨定期交換部品リスト ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

26262627293031７．異常な場合の処置
７－１ 自己診断機能 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥
７－２ 異常発生の原因と対処方法 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

32
33

８．運転停止方法‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

35‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

35

９．製品の廃棄10．製品仕様一覧
11．検知原理‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

36‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

373

１．製品のアウトライン
１－１ 概 要半導体製造工程で、多量に使用されるガスは、何れも極めて毒性の強いガスです。これらのガスは、一旦漏洩すると人体に危険を及ぼすことから、一般高圧ガス保安規則により、これらのガスを使用する施設に於いてはガス検知警報器の設置が義務付けられています。
ガスボンベ置場や製造ラインからの微少なガス漏洩の有無を連続監視するガス検知器は信頼性が高く、長期安定性に優れたものであることが要求されます。
本器は、低濃度のガス検知に対して信頼性が高く、ガス検知を行った後、新たに設定（ゼロレベル）を取り直しているので長期安定性にも優れています。
本器の主な機能及び特長は以下の通りです。

・ 本器の警報は注意報と本警報の２段階警報方式を採用しています。
・ ガス検知テープはカセット方式を採用していますので、テープ交換が簡単です。
・ カセット式のガス検知テープを２ヶ月毎に交換するだけで所定の性能を維持します。
・ ポンプで吸引された検知対象ガスが、ガス検知テープに接触するとガス濃度に応じた発色反応をします。ガス接触前後の発色の変化率（光の反射率の変化）を検出し、ガス濃度に変換します。
・ 本器の検出原理上、アルコール，水素ガス等の干渉ガスの影響が殆どありません。

4２．製品の機能
２－１ 付属品一覧
本器には、以下の付属品が添付されています。納品時に確認をして下さい。
・ ガス検知テープカセット
・ ダストフィルタ・ 取扱説明書

：１個
：１個
：１部

２－２ ブロックダイヤグラム
配管図

電気ブロック図

センサヘッド部
発光部
受光部
プリアンプ部

各種状態信号入力
流量センサ
デッキ部センサ
ファンその他

アンプ部

Ａ／Ｄ変換

Ｉ／Ｏ部

ＣＰＵ部

ＬＣＤ表示

Ｄ／Ａ変換

4-20mA 出力

各種制御信号出力
警報接点出力7モーター、ヒータその他

WARNING 警報、ALARM 警報、トラブル

２－３ 外形図8３－３ 結 線
３－３－１ 気を付ける事項①②

電流出力などの信号線はシールド線（CVVSケーブル等）を用いてノイズ影響を受けにくい状
態でご使用下さい。
結線工事は電源スイッチをOFF（○側）にして行って下さい。通電状態で行いますと、結線時の短絡等により機器を破損する恐れがあります。

３－３－２ 端子図
外部接続端子台の配列①②③＋④－⑤⑥⑦NONCCOM

電流出力（4-20mA）
［４］

（未使用）

⑧⑨⑩⑪⑫⑬NONCCOMNONCCOM

本警報（ALARM）［２］

注意報（WARNING）
［１］
Ｌ

故障警報
（TROUBLE）
［３］

Ｎ

Ｅ

電源入力
(AC100～240V)
［５］

［１］
［２］
［３］
［４］

注意報（WARNING）出力・・・・・無電圧接点（c 接点）
本警報（ALARM）出力・・・・・・無電圧接点（c 接点）
故障警報（TROUBLE）・・・・・・ 無電圧接点（c 接点）
電流出力（4-20mA）・・・・・・・極性に注意して下さい。
0～F.S.の濃度をリニアに出力します。
0： 4mAF.S.
： 20mA
トラブル： 0.5mA
イニシャルクリア ： 2.5mA
メンテナンス： 2.5mA
F.S.を超えるガス濃度のときは 22mA まで出力します。
［５］電源入力・・・・・・・・・・・・・・AC100V～240V

各警報接点の定格は、AC125V 0.5Aです。接続する負荷によっては性能を維持する上で、スパークキラー等の保護部品が必要となる場合があります。

13４－２ 操 作
表面パネルの電源スイッチをON（｜側）にすると、機能チェックと必要な情報を表示した後、検知状態に入ります。
電源スイッチ：ON↓
POWER/TROUBLE ラ ン プ ： 連 続 点 灯

MODEL FP-300

・・・ FP-300 の場合

VER． 00000

・・・プログラムのバージョンを表示↓C5F8 :5.0ppm

・・・測定対象ガス名とフルスケール値を表示

L:2.0

H:4.0・・・警報点↓暖機状態（20 分間）

WARMING UP20MIN↓↓↓↓↓↓↓

検知のため紙送り中・検知テープが装着されていない
場合、テープ設定不良：〔TAPE SETMISS〕が表示されます。
【６－３ ガス検知テープカセット交換方法】に従ってテープを装着して下さい。

STAND BY

・・・測定準備状態

TAPE CHECK・・・検知テープチェック中↓(1)ガス名(2)ガス濃度表示(3)テープの残量表示

(1)

(2)

C5F8 :0.0ppm

・・・測定状態

TAPE VALID 60 D
(3)

４－３ 警報設定値の簡易確認
通常の測定状態で、警報設定値は表面パネルの［LAMP RESET］スイッチを押すと、約２秒間、警報設定値を以下の様に表示します。
但し、通常の測定状態とは、ガス警報、故障警報が発生していない状態のことです。
C5F8 : 0.0ppm
L:2.0

H:4.019・Ｌ：注意報（WARNING）
・Ｈ：本警報（ALARM）

５－２－２ 警報動作タイミングチャート
正常

警報点

ALARM

警報点

WARNING

ガス濃度
自己保持動作(標準)

警報ﾌﾞｻﾞｰｽﾄｯﾌﾟ
B.S.

復帰ﾗﾝﾌﾟﾘｾｯﾄ
L.R.

B.S

警報ランプ(1st)
警報接点

(1st)

警報ランプ(2nd)
警報接点

(2nd)

ブザー
警報ランプ(1st)
警報接点

(1st)

警報ランプ(2nd)
警報接点

(2nd)

ブザー
B.S
警報ランプ(1st)
警報接点

(1st)

警報ランプ(2nd)
警報接点

(2nd)

ブザー
B.S.
警報ランプ(1st)
警報接点

(1st)

警報ランプ(2nd)
警報接点

(2nd)

ブザー
自動復帰動作(オプション)

B.S

B.S

警報ランプ(1st)
警報接点

(1st)

警報ランプ(2nd)
警報接点

(2nd)

ブザー

22

L.R.

参考：CR回路は負荷の条件によっては接点側に付けた方が良い場合がありますが、負荷の動作を確認して入れる必要があります。

SK：サージ吸収用フィルタ

VSK

荷SK

負コイル

警報接点

V
電源

電源
中継リレー
(低圧リレー)FP-300AGZS―誘導負荷に対する警報接点の考え方―
警報接点に誘導負荷を使用する場合は、かなり高い逆起電圧が発生するため、以下の障害が発生しやすくなります。
・・・・

リレーの接点部が溶着し、接点が動作しなくなる。
指示計の内部に高電圧が入るために、不特定の電気部品が破壊される。
大きなノイズとなるため、CPUが暴走し異常な動作をする。
誘導負荷に関わらず、接点には予測不能なノイズが侵入してくる可能性があり、上記の故障が発生する場合がある。

これらの障害を未然に防止するために、以下の予防措置を講じることが必要です。
・ 誘導性の負荷は原則として使用しない。（蛍光灯，モーターなどには絶対使用しないこと）
・ 誘導負荷を使用する場合は外部で接点増幅する。但し、外部のリレーのコイルも誘導負荷に該当するため、低電圧（AC100V以内）で駆動するリレーを使用し、適切なサージキラーで保護をする。
・ 軽い誘導負荷を直接制御する場合は、必ず適切なサージキラーで接点を保護する。
このときの接点の定格仕様は、抵抗負荷の50%以下とする。
AC100V 0.25A以下
誘導負荷としては、以下の例があります。
・パトライト，外部リレー，ブザー，サイレン，ファン，蛍光灯，モーターetc.

24

５－３－２ 外部信号出力（４－２０ｍＡ）
本器には、LCDのガス濃度表示に対応した4-20mA出力があります。
FP-300AGZS の 4-20mA 出力は、以下の特徴があります。
・検知サイクル終了毎に数値が更新されます。
・検知サイクル時間内でのガス濃度の平均値になります。
・前回の検知サイクルでの検知結果（平均値）が出力されます。
下図は、ガス濃度が時間毎に変化した場合の4-20mA出力のタイミングチャートです。

測定ｻｲｸﾙ

ガス濃度変化

F.S.
2/3 F.S.
1/3 F.S.
020mA

4mA

4-20mA 出力

経過時間

５－３－３ 外部出力動作
出 力
負荷抵抗：：

4-20mA出力300Ω以下4mA ……………… ガス濃度の指示 020mA ……………… F.S.
22mA ……………… F.S.を超えるガス濃度
0.5mA ……………… トラブル時
2.5mA ……………… イニシャル時電源投入後(検知状態になるまでの間)
メンテナンス時25

《メンテナンスモード》
検知モード
MODE キーを３秒押します。

C5F8 : 0.0ppm
TAPE VALID 60 D
MODE

警報テスト
警報テストを行います。

熱分解器温度表示
現在の熱分解器の温度を表示します。

△

流量調整
流量センサの設定を行います。通常ご使用頂く上では、特に変更はしないで下さい。
ポンプレシオチェック設定
ポンプ出力の ON/OFF を設定します。通常ご使用頂く上では、特に変更はしないで下さい。
光量確認表示現在の光量レベルを表示します。

警報テスト⇒ P.29BZ STOP⇔LCDコントラスト⇒ P.30BZ STOP⇔

C5F8 : 0.0ppm
PL TEMP：500 c

BZ STOP⇔

C5F8 : 0.0ppm
0.50L/min 25P

BZ STOP⇔

C5F8 : 0.0ppm
POT ： 95▽

▽

↓↑

▽

C5F8 : 0.0ppm
NOW PL TEMP ?
↓↑▽C5F8 : 0.0ppm
NOW FLOW ?
△流量自動調整設定
流量自動調整の ON/OFF を設定します。通常ご使用頂く上では、特に変更はしないで下さい。

↓↑

BZ STOP⇔

C5F8 : 0.0ppm
PL TEMP SET ?

△流量／ポンプレシオ表示
現在の流量及びポンプ出力を表示します。

↓↑

C5F8 : 0.0ppm
LCD CONTRAST ?
△熱分解器温度設定
熱分解器の温度を設定します。通常ご使用頂く上では、特に変更はしないで下さい。

MODE

C5F8 : 0.0ppm
ALARM TEST？
△LCD コントラスト調整
コントラスト調整を行います。

↓↑↓↑

▽

C5F8 : 0.0ppm
AUTO FLOW ?
△

↓↑

▽

C5F8 : 0.0ppm
ADJ FLOW ?
△

↓↑

▽

C5F8 : 0.0ppm
PUMP CHECK ?
△

↓↑

▽

C5F8 : 0.0ppm
NOW POT ?
△↓↑▽C5F8 : 0.0ppm
ALARM TEST?

28

６－４－２ ＬＣＤコントラスト調整
LCDコントラスト調整モード
BZ STOPキーを押します。

調整△キーを押す毎に表示が濃くなり、▽キーを押す毎に薄くなります。
BZ STOP キーを押すとコントラストが確定し、メニュー画面に戻ります。

C5F8 :0ppm
LCD CONTRAST?

C5F8 :0ppm
CONTRAST SET

C5F8 :0ppm
LCD CONTRAST?

30

６－５ 推奨定期交換部品リスト
No.

名称点検周期交換周期（年）

数量（個／台）

1ポンプ（ダイヤフラムを除く）

6ヶ月

1～3

12

ポンプダイヤフラム

6ヶ月

1～2

13

ポンプホルダー

1年

3～6

14

センサヘッド部

－－－

2～4

一式

5内部配管（ゴム系）

6ヶ月

1～3

一式

6内部配管（テフロン）

6ヶ月

3～8

一式

1年

3～6

1－－－

7～9

1－－－

7～91－－－

4～6

1－－－

2～4

1

78
910
11

フィルタホルダー（Ｏリング付き）ギヤドモーター（デッキ部駆動用）
ギヤドモーター（テープ巻き取り用）
スイッチングレギュレータ（本体用）
スイッチングレギュレータ（熱分解器用）

12

メイン基板

－－－

7～8

113

端子台基板

－－－

7～8

114

スイッチ基板（LCD）

1年

7～8

115

ヒューズ（3A）

－－－

8216

流量センサ

1年

5

117

ファン

1年

2～4118

ＳＳＲ

－－－

7～8

119触媒管6ヶ月

1120

触媒管用Ｏリング

－－－3～6221

内部フィルタ（ボルストン）

－－－

2～4

122

外部ダストフィルタ

6ヶ月

6ヶ月～11＊注記・ 上記の交換周期は目安であり、使用条件によって異なる場合があります。
また、保証期間を表すものではありません。交換時期は、定期点検の結果により変動することがあります。
・ 基板部はコンデンサ等の劣化によるものです。

31７．異常な場合の処置
７－１ 自己診断機能
本器には、各種の自己診断機能が盛り込まれています。
異常が発見されたとき、次の様なメッセージと動作を行いますので、復旧作業を行って下さい。

自己診断

LCDメッセージ

POWER/TROUBLEランプ

警報接点

センサ不良

FAIL = SENSOR

フリッカー

警報状態

流量低下

FAIL = FLOW

フリッカー

警報状態

流量センサ故障

FAIL = FLOW SENS

フリッカー

警報状態

テープ破損

FAIL = TAPE

フリッカー

警報状態

テープカセット交換予告

CHANGE TAPE

フリッカー

正常状態

テープ終了

TAPE END

フリッカー

警報状態

テープ不良

FAIL = TAPE LEVEL

フリッカー

警報状態

テープ設定不良

TAPE SET MISS

フリッカー

警報状態

システム異常FAIL = SYSTEM

フリッカー

警報状態

モーター異常FAIL = MOTOR

フリッカー

警報状態

ヒータ異常（低温）FAIL = HEATER(L)

フリッカー

警報状態

ヒータ異常（高温）

FAIL = HEATER(H)

フリッカー

警報状態

ファン異常

FAIL = FAN

フリッカー

警報状態

＊注記
本器が複数のトラブル状態の時は、LCDの右に〔→〕を表示します。
表面パネルの〔 LAMP RESET 〕スイッチを押すと、別のトラブル内容が表示されます。

32

７－２ 異常発生の原因と対処方法
異常内容
センサ不良
FAIL=SENSOR

主要な原因

対処方法

センサ(検出部)の断線及びコネクメーカーに修理を依頼する。
タの外れ・出力劣化等。
測定光路(LED・センサ)部分が極端同上。に汚れている。

流量低下
FAIL=FLOW

ポンプの経時的劣化又はガスの流 フィルタ交換それでも直らない場合
通路のゴミ詰まり。
はメーカーに修理を依頼する。

流量センサ故障
FAIL=FLOW SENS

流量センサの異常

テープ破損
FAIL=TAPE同上。

検知テープカセットの装着が不確 新しい検知テープカセットを確実に実なとき。
セットし直す。
検知テープカセットを装着すると同上。
きに検知テープを傷つけた。

テープカセット交換予告
CHANGE TAPE

検知テープが終了に近い。

新しい検知テープカセットに交換する。

テープ終了
TAPE END

検知テープが終了している。

新しい検知テープカセットに交換する。

テープ不良
FAIL=TAPE LEVEL

規定レベル以上に変色したテープを使用して検知しようとした場合。
新しい検知テープカセットに交換す
使用期限を過ぎたテープや、冷蔵庫る。
外に放置されたテープを使用した場合。
光源(LED)の光量が低下した場合

テープ設定不良
TAPE SET MISS
システム異常FAIL=SYSTEM
モーター異常FAIL=MOTOR

ヒータ異常（低温）
FAIL=HEATER(L)

ヒータ異常（高温）
FAIL=HEATER(H)ファン異常
FAIL=FAN

メーカーに修理を依頼する。

検知テープカセットを装着する。テ
検知テープカセットが装着されて ープカセットを出し、テープの状態いない。何らかの装着ミスがある。 を確認し、問題が無ければ再度装着する。
電源を入れ直してみる。復帰しない
機器のシステム異常
場合はメーカーに修理を依頼する。
ギアモーターの故障等メーカーに修理を依頼する。

ヒータが温まらない。
内部電源の故障

メーカーに修理を依頼する。

ヒータ周囲の異常低温環境温度が高い場所に移動する。

暖機時間不足1 時間以上通電しても復帰しない場
合は、メーカーに修理を依頼する。

ヒータ周囲の異常過熱。
機器を据え付けた場所の環境温度 環境温度の低い場所や、幅射熱を直が異常に高い場合や、電気炉などの 接受けない場所に移動する。
幅射熱の影響を受けた場合ファンの故障メーカーに修理を依頼する。
内部電源の故障

33

異常内容

主要な原因
電源の端子が抜けている。

電源が入らない端子台に確実に接続する。

ヒューズが断線している。又は入っ定格通りのヒューズを入れる。ていない。
供給電源の電圧が出ていない。

FLOW ランプが点滅する

対処方法

供給電源の電圧を確認する。

サンプリングの条件（IN 側と OUT 側に差圧が発生）によっては、ポンプの駆動レベルが低い状態でも、流量を確保できる場合があります。
サンプリング条件に差圧が発生
この状態においてもご使用頂くこと（ポンプ駆動レベルが低いのに流はできますが、本器のポンプ駆動レ量が確保できている。）
ベル診断機能により FLOW ランプが点滅します。
使用状況を確認した上で、措置願います。
フローセンサの性能が低下していることが考えられます。
この場合、流量表示が規程値でも流量が 0.5L/min±10%の幅に入らなくフローセンサの定期診断において なる可能性があります。
異常が確認された併せて、流量喪失等（故障警報）が発生していなければガス検知はできますが、症状を復旧させるにはフローセンサの交換が必要です。弊社営業部迄ご連絡願います。

34

１０．製品仕様一覧
標準仕様
検知原理
検知対象ガス
濃度表示
検知範囲
測定サイクル測定方法
検知方式
吸引流量
警報設定値
電源表示
各種表示
外部出力警報精度(同一条件下)
警報遅れ時間(同一条件下)
ガス警報タイプ
ガス警報表示
ガス警報動作ガス警報接点
故障警報・自己診断
故障警報表示
故障警報動作故障警報接点
接点容量
伝送方式
伝送仕様
電源消費電力連続使用時間
配管接続口
暖機時間
使用温度範囲使用湿度範囲
構造
外形寸法
質量
外観色

検知テープ光電光度法
C5F8/C4F6LCD デジタル表示
C5F8：0～5ppm
C4F6：0～5ppm
C5F8：20 秒
C4F6：20 秒
時間内積算値測定
ポンプ吸引式・熱分解式
約 0.5L/min
C5F8：2ppm(1st)/4ppm(2nd)C4F6：2ppm(1st)/4ppm(2nd)PW/TR ランプ点灯(緑)
ガス名表示/テープ残量表示
ガス濃度信号/ガス警報接点/故障警報接点
警報設定値に対して±30%以内
警報設定値の 1.6 倍のガスを与えて 60 秒以内(1 測定サイクルにおいて。配管遅れは含まず)2 段警報(H-HH)
1st：WARNING ランプ点滅又は点灯(橙)・ブザー
2nd：ALARM ランプ点滅又は点灯(赤)・ブザー
自己保持又は自動復帰
無電圧接点各 1C
システム異常/センサ不良/流量低下/モーター異常/テープ破損/テープカセッ
ト交換予告/テープ終了/テープ不良/テープ設定不良/ヒータ異常/ファン異常
PW/TR ランプ点滅(緑)/内容表示(LCD メッセージ)
自動復帰
無電圧接点 1C
AC125V・0.5A(抵抗負荷)
アナログ伝送DC4～20mA(負荷抵抗 300Ω以下)
AC100V～240V±10%・50/60Hz
最大 150VA
検知テープ使用時間：最長 2 ヶ月(無ガス時)
Rc1/4(O.Dφ6-1t・テフロン管用ハーフユニオン<PP>付)
約 20 分
5～35℃(急変なきこと)
30～90%RH(結露なきこと)
卓上型
約 250(W)×198(H)×300(D)mm(突起部は除く)
約 9.5kg
マンセル 5Y8.4/0.5

標準付属品
・ガス検知テープカセット………１個・ダストフィルタ…………………１個・取扱説明書………………………１部

別売品
・ガス検知テープカセット
・ダストフィルタ
・ヒューズ

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