システム
製品
SystemProducts
産業用Industrial

自動Zステージ / テーブルサイズ 100×100
Motorized Vertical Linear Stages / Table Size 100×100

実験用Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZ
Z

ZA10A-W2C02

ZA10A-W202(6)

自動精密ステージ
Motorized
Stage

10090
60
40

Depth 5mm

(106)
100
90
6040

X・XY
X・XY

(216.5)(116.5)
φ5H8 Depth 5mm

605.5

30

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

5H8

回転Rotation

ZA10A-W202

ZZ

4-M3 Depth 8mm
CCW Limit Sensor
Home Position
CW Limit Sensor

1080±7CW
CCWアライメントステージ
XYθ

4-for M4 screws
Shaft length 6.5mm(42)スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

裏面
Back Side□90(65.5)151(13.5)

8-M4 Depth 8mm

回転Rotation

真空ステージ
VacuumStage

ZA10A-W2C02(15)

ドライバ
ボックス
DriverBox(219.5)(119.5)Depth 5mm(115)
100
9060
40

アプリ
ケーション
Application

1009060
40

CCW

4-for M4 screws
Shaft length 3.5mm

アクセ
サリー
Accessories

(42)

CW

付録
Appendix

裏面
Back Side

4-M3 Depth 8mm(7)8-M4 Depth 8mm

モーター
ケーブル
Motor
Cable

φ5H8 Depth 5mm□90(1)

モーター
ドライバ
Motor
Driver60
5.530

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

5H8モーターコントローラ
MotorController

50±2.5

制御装置
ControlElectronics

検査システムInspection
SystemI-012

I.indd 12

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:07

アルミ / クロスローラガイド / クサビ / ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Wedge / Ball Screw

産業用
Industrial

型式
Model Number

ZA10A-W202

ZA10A-W2C02

勝手違い型式
Mirror Model Number

ZA10A-W202-R

ZA10A-W2C02-R

テーブル面
Table Size

100mm×100mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

手動精密ステージ
ManualStage

移動範囲
Motion Range±7mm±2.5mm

送り方式
Lead Mechanism

1/2-クサビ. ボールネジ, リード1.0mm
1/2-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm

1/4-クサビ. ボールネジ, リード1.0mm
1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm

0.5μm/0.25μm

0.25μm/0.125μm

0.025μm

0.0125μm

最高速度
Maximum Speed

2.5mm/sec

1.25mm/sec

繰返し位置決め精度
Repeatability≦±0.2μm（AVE. ±0.06μm）≦±0.2μm（AVE. ±0.02μm）

ロストモーション
Lost Motion≦1μm（AVE. 0.28μm）≦0.3μm（AVE. 0.1μm）

垂直度
Verticality≦5μm/14mm（AVE. 2.15μm/14mm）≦4μm/5mm（AVE. 1.53μm/5mm）

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

98N（10kgf）

68.6N（7kgf）

フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重Weight

3.25kg

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage

Z
Z

2.05kg

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

PK544PMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)

モーター軸径Motor Shaft DiameterΦ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type

コネクタ
Connector

丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

ス テージ結線タイプ※2Stage Wiring Type

V3回転Rotation

F-115R(HOME,LIMIT)

F-116(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

ZA10A-W202-C

ZA10A-W2C02-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ZA10A-W202-V

ZA10A-W2C02-V

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

X・XY
X・XY

X・XY
X・XY

センサ基板型式
Sensor Model※1

実験用
Experimental※2

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

I.indd 13I-013

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