CONSOLIDATED STATEMENTS OF CASH FLOWSTokyo Electron Limited and Subsidiaries
Years ended March 31, 2010 and 2009

Thousands ofU.S. dollars

Millions of yen

2010

Cash flows from operating activities:
Income (loss) before income taxes and minority interests��������������������������
Depreciation and amortization�����������������������������������������������������������������
Amortization of goodwill��������������������������������������������������������������������������
Loss on impairment of property, plant and equipment and intangible assets��
Increase in accrued pension and severance costs��������������������������������������
Decrease in prepaid pension expenses������������������������������������������������������
Increase in allowance for doubtful accounts���������������������������������������������
Increase (decrease) in accrued employees' bonuses�����������������������������������
Decrease in accrued warranty expenses����������������������������������������������������
Interest and dividend income��������������������������������������������������������������������
Interest expenses��������������������������������������������������������������������������������������
Gain on sale of property, plant and equipment�����������������������������������������
Loss on disposal of property, plant and equipment�����������������������������������
Loss on devaluation of investment securities���������������������������������������������
(Increase) decrease in trade notes and accounts receivable������������������������
(Increase) decrease in inventories��������������������������������������������������������������
Decrease in prepaid consumption tax�������������������������������������������������������
Increase (decrease) in trade notes and accounts payable���������������������������
Increase (decrease) in customer advances�������������������������������������������������
Increase in specific doubtful receivables����������������������������������������������������
Other, net������������������������������������������������������������������������������������������������
Subtotal��������������������������������������������������������������������������������������������������
Receipts from interest and dividends��������������������������������������������������������
Interest paid���������������������������������������������������������������������������������������������
Income taxes (paid) refunded�������������������������������������������������������������������
 Net cash provided by operating activities�������������������������������������������Cash flows from investing activities:
Purchases of short-term investments��������������������������������������������������������
Proceeds from short-term investments������������������������������������������������������
Payment for purchase of property, plant and equipment���������������������������
Proceeds from sale of property, plant and equipment�������������������������������
Payment for acquisition of intangible assets����������������������������������������������
Payment for purchase of investment securities������������������������������������������
Other, net������������������������������������������������������������������������������������������������
 Net cash provided by (used in) investing activities����������������������������Cash flows from financing activities:
Increase (decrease) in short-term borrowings��������������������������������������������
Redemption of unsecured bonds��������������������������������������������������������������
(Increase) decrease in treasury stock, net��������������������������������������������������
Dividends paid������������������������������������������������������������������������������������������
Other, net������������������������������������������������������������������������������������������������
 Net cash used in financing activities����������������������������������������������������
Effect of exchange rate changes on cash and cash equivalents���������������������
Net increase (decrease) in cash and cash equivalents����������������������������Cash and cash equivalents at beginning of year�������������������������������������������
Effect of newly consolidated subsidiaries������������������������������������������������������Cash and cash equivalents at end of year����������������������������������������������
See accompanying Notes to Consolidated Financial Statements.

40Tokyo Electron

Annual Report 2010

2010

2009

¥   (7,768)
20,002242
7,553
2,810570
121
1,079(837)(1,055)47(283)
97872(4,890)(4,869)568
27,975(6,380)(140)
5,686
41,481
1,171
(46)
5,679
48,285¥

9,637
23,068
242
–
3,401
52
7,333
(7,762)(3,346)(1,806)
175
(67)
352
2,432
102,413
21,282
4,509(29,942)
5,322(7,355)(9,620)120,320
1,749(202)(40,837)
81,030$

(83,491)
214,983
2,601
81,18030,202
6,126
1,301
11,597(8,996)(11,339)505(3,042)
10,511
774(52,558)(52,332)
6,105
300,677(68,573)(1,505)
61,114445,840
12,586(494)
61,038518,970(449,000)
473,347(14,195)
488
(786)
(18)
(223)
9,613

(353,804)
219,429(17,228)656(1,182)(7,815)(678)(160,622)(4,825,881)
5,087,564(152,569)
5,245(8,448)(193)(2,397)103,321

1,299
–
132
(1,432)
(286)
(287)
446
58,05765,883–¥123,940(2,263)(30,000)(21)(13,420)(312)(46,016)(2,069)(127,677)
193,49367¥ 65,883

13,962–
1,419(15,392)(3,074)(3,085)
4,794
624,000
708,115–$1,332,115