사용 설명서 번역 원본

ELT3000 PLUS배터리 누출 테스터카탈로그 번호
600-201, 600-202

최소 소프트웨어 버전
V1.41 (장치 작동)

minc95ko1-01-(2306)

INFICON GmbH
Bonner Straße 498
50968 Köln, Deutschland

INFICON목차목차
1 설명서 안내............................................................................................................................................................... 7
1.1 대상 집단......................................................................................................................................................................................... 7
1.2 경고 표시......................................................................................................................................................................................... 7
1.3 용어 정의......................................................................................................................................................................................... 7
2 안전 ........................................................................................................................................................................... 9
2.1 규정에 맞는 사용 ......................................................................................................................................................................... 9
2.2 작업자의 의무................................................................................................................................................................................ 9
2.3 작업자에 대한 요구사항............................................................................................................................................................ 9
2.4 위험.................................................................................................................................................................................................. 10
3 공급 사양, 운반, 보관 ............................................................................................................................................ 11
4 설명 ......................................................................................................................................................................... 14
4.1 기능.................................................................................................................................................................................................. 14
4.2 표시.................................................................................................................................................................................................. 16
4.2.1

터치 스크린 구조 ......................................................................................................................................................... 16

4.2.2

결과 표시......................................................................................................................................................................... 18

4.3 기술 데이터 .................................................................................................................................................................................. 20
4.3.1

기계 데이터.................................................................................................................................................................... 20

4.3.2

주변 요건......................................................................................................................................................................... 20

4.3.3

전기 데이터.................................................................................................................................................................... 21

4.3.4

물리 데이터.................................................................................................................................................................... 21

4.4 기본 설정....................................................................................................................................................................................... 22
5 설치 ......................................................................................................................................................................... 23
5.1 운반 안전장치.............................................................................................................................................................................. 23
5.2 셋업.................................................................................................................................................................................................. 24
5.3 장치 구조....................................................................................................................................................................................... 26
5.3.1

장치 연결......................................................................................................................................................................... 27

5.3.1.1

테스트 챔버 요건.............................................................................................................................................. 30

5.4 전원에 연결 .................................................................................................................................................................................. 32
5.5 인터페이스.................................................................................................................................................................................... 33

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

iii

목차

INFICON

5.5.1

바코드 스캐너 환경 구성.......................................................................................................................................... 33

6 작동 ......................................................................................................................................................................... 34
6.1 켜기 및 로그인 ............................................................................................................................................................................ 35
6.2 기본 설정....................................................................................................................................................................................... 35
6.2.1

언어 설정......................................................................................................................................................................... 35

6.2.2

날짜, 시간 및 시간대 설정 ....................................................................................................................................... 35

6.2.3

사용자 프로필 설정..................................................................................................................................................... 36

6.2.3.1

권한 그룹 개요 .................................................................................................................................................. 36

6.2.3.2

사용자 프로필 선택, 편집, 생성 ................................................................................................................. 36

6.2.3.3

개인 설정 변경 .................................................................................................................................................. 38

6.2.4

자동 로그인 끄기 ......................................................................................................................................................... 38

6.2.5

자동 로그인 켜기 ......................................................................................................................................................... 38

6.2.6

음량 변경......................................................................................................................................................................... 40

6.2.7

자동 측정 시작 기능을 켜기 또는 끄기 .............................................................................................................. 40

6.2.8

테스트 챔버 선택(옵션으로 구매 가능)............................................................................................................... 41

6.2.8.1
6.2.9

테스트 챔버 선택.............................................................................................................................................. 41테스트 챔버 환경 구성 .............................................................................................................................................. 42

6.3 작동 모드....................................................................................................................................................................................... 43
6.4 측정에 대한 설정 ....................................................................................................................................................................... 44
6.4.1

제품 선택, 편집 또는 생성(측정 설정)................................................................................................................. 44

6.4.2

제품 선택......................................................................................................................................................................... 45

6.4.3

ZERO 측정 실시............................................................................................................................................................ 46

6.4.4

총체적 누설 감지 기능 설정(옵션)........................................................................................................................ 47

6.4.5

측정 화면창에 있는 입력란의 사용 ...................................................................................................................... 47

6.5 측정.................................................................................................................................................................................................. 48
6.6 장치 퍼징....................................................................................................................................................................................... 50
6.7 측정 데이터 및 장치 정보....................................................................................................................................................... 50
6.7.1

측정 데이터 불러오기 ................................................................................................................................................ 50

6.7.2

측정 데이터 전송 ......................................................................................................................................................... 50

6.7.2.1iv

분석 데이터 전송.............................................................................................................................................. 51

6.7.3

측정 데이터 삭제 ......................................................................................................................................................... 51

6.7.4

장비 정보 불러오기..................................................................................................................................................... 51

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

INFICON

목차

6.7.5

프로토콜 불러오기 ...................................................................................................................................................... 52

6.8 소프트웨어 업데이트................................................................................................................................................................ 52
6.8.1

장치 조작기의 소프트웨어 업데이트 ................................................................................................................... 52

6.8.2

기본 장치의 소프트웨어 업데이트........................................................................................................................ 53

6.8.3

가스 검출 장치의 소프트웨어 업데이트............................................................................................................. 54

6.9 장치 교정....................................................................................................................................................................................... 55
6.9.1

캘리브레이션 ................................................................................................................................................................. 55

6.9.2

교정 수단......................................................................................................................................................................... 56

6.10 초기 설정 상태로 리셋............................................................................................................................................................. 56
6.11 심화된 설정 .................................................................................................................................................................................. 56
6.12 활성화된 오류 및 경고 불러오기......................................................................................................................................... 56
6.13 장치 로그아웃.............................................................................................................................................................................. 57
6.14 장치 끄기....................................................................................................................................................................................... 57
7 경고 및 오류 메시지 .............................................................................................................................................. 58
7.1 경고 및 오류 메시지 목록....................................................................................................................................................... 58
8 청소 및 유지보수.................................................................................................................................................... 71
8.1 진공 컨트롤 유닛(GCU) 정비 작업...................................................................................................................................... 72
8.1.1

진공 컨트롤 유닛(GCU): 하우징 청소 .................................................................................................................. 72

8.1.2

진공 컨트롤 유닛(GCU): 호스 교체....................................................................................................................... 72

8.1.3

진공 컨트롤 유닛(GCU): 인라인 필터 검사 ....................................................................................................... 72

8.1.4

진공 컨트롤 유닛(GCU): 장치 밑면에서 필터 매트 교체 ............................................................................. 74

8.2 가스 검출 장치(GDU) 정비 작업 .......................................................................................................................................... 75
8.2.1

가스 검출 장치(GDU) 에어 필터 교환 ................................................................................................................. 75

8.2.2

작동유 저장소 교체..................................................................................................................................................... 76

8.2.3

전원 퓨즈 교체.............................................................................................................................................................. 79

8.3 정비 계획....................................................................................................................................................................................... 81
8.4 스크린샷 생성.............................................................................................................................................................................. 81
8.5 장치를 유지보수하거나 수리를 맡기십시오.................................................................................................................... 82
9 작동 중단 ................................................................................................................................................................ 83
9.1 배터리 누설 탐지기 폐기 처리 ............................................................................................................................................. 83
9.2 유지보수, 수리 또는 폐기를 위한 배터리 누설 탐지기의 반송 ............................................................................... 83

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)v

목차

INFICON10 부록 ......................................................................................................................................................................... 85
10.1 액세서리 ........................................................................................................................................................................................ 85
10.2 웹브라우저를 통해 누설 탐지기 작동(LAN) .................................................................................................................... 86
10.2.1 누설 탐지기의 LAN 연결 구성................................................................................................................................ 86
10.2.2 PC 또는 태블릿에서 LAN 연결 설정.................................................................................................................... 87
10.2.3 클라이언트 접근 허용 ................................................................................................................................................ 87
10.3 네트워크를 통한 제어 또는 데이터 요청 ......................................................................................................................... 88
10.3.1 측정 데이터 내보내기 ................................................................................................................................................ 89
10.4 CE 적합성 선언 ........................................................................................................................................................................... 90
10.5 RoHS ............................................................................................................................................................................................... 92
색인 ......................................................................................................................................................................... 93vi

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

INFICON설명서 안내 | 1

1 설명서 안내이 문서는 첫 페이지에 기재된 소프트웨어 버전에 적용됩니다.
이 문서 내에는 경우에 따라 제품명이 표기되어 있으며, 이는 해당 상표권 보유자의자산으로써 오직 식별 목적으로만 기재하였습니다.

1.1 대상 집단이 사용 설명서는 기밀성 검사 기술, 기밀성 검사 시스템의 기밀성 검사기 통합 분야에서 경험이 있는 검증된 전문가와 작업자를 위해 작성되었습니다. 또한 장치의 설치및 사용을 위해서는 전자 인터페이스 관련 지식이 있어야 합니다.

1.2 경고 표시위험사망 또는 중상을 초래하는 긴박한 위험경고사망 또는 중상이 발생할 수 있는 위험 상황주의경상이 발생할 수 있는 위험 상황참조재물 또는 환경 손상이 발생할 수 있는 위험 상황

1.3 용어 정의최소 탐지 누설률최적의 조건이 갖추어져 있을 때 누설 감지기가 측정할 수 있는 최소 탐지 누설률(< 1x 10-6 mbar l/s*).
* 0 mbar 대비 차압이 1000 mbar일 때 100% DMC(디메틸카보네이트)에 대한 헬륨등가 누설률.

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1 | 설명서 안내

INFICON

GCU
Gas Control Unit ≙ 진공 컨트롤 유닛(기본 장치, 장치 조작기)GDU
Gas Detection Unit ≙ 가스 검출 장치(가스 검출 유닛)

DMC디메틸카보네이트, 배터리 전해액에 사용되는 전형적인 용매 CAS 번호 616-38-6

MSDS
Material Safety Data Sheet ≙ 물질 안전 보건 자료

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INFICON안전 | 22 안전
2.1 규정에 맞는 사용본 장치는 "스탠드 얼론 모드" 및 "인라인 모드"에서 작동할 수 있습니다.
본 장치는 진공 상태에서의 리튬 이온 배터리 누설 검사를 위한 것이며, 검체로부터나오는 배터리 전해액을 검사하고, 누설 상태를 표시하는 용도로 사용됩니다.
검체의 경우 전해액에 용매가 포함되어 있어야 하며, 이러한 용매는 사극자 질량 분석기를 통해서 검출될 수 있어야 합니다.
이를 위해 검체는 테스트 챔버로 넣어지며, 이후 챔버는 닫힙니다.
테스트 챔버*가 닫힌 후 근접 스위치를 통해 측정 과정이 자동으로 유도되고, 테스트챔버는 진공 상태가 됩니다. 고객별 테스트 챔버의 경우 및/또는 동시에 여러 테스트챔버를 연결할 때 고객은 인터페이스를 통한 측정 과정을 활성화합니다. .
검체에서 누설이 있을 경우 유출된 배터리 전해액은 진공 배기 과정을 통해서 기화됩니다.
누출된 전해액의 기화된 용매 요소는 가스 검출 장치로 유도되고, DMC 혹은 용매와관련하여 분석이 진행됩니다.
* 액세서리 옵션

2.2 작업자의 의무• 소유주가 작성한 작업 지침과 이 사용 설명서의 내용을 읽고 주의 깊게 따르십시오. 이것은 특히 안전 및 경고 지침에 관한 것입니다.
• 작업 시에는 항상 사용 설명서의 모든 내용에 유의하십시오.
• 본 설명서에 기재되지 않은 작동 또는 유지보수 관련 문의가 있을 경우, INFICON고객 서비스 부서에 연락하십시오.

2.3 작업자에 대한 요구사항아래 지침은 사용자, 직원 또는 제삼자에 의한 제품의 효율적 사용 및 안전에 대한 책임자, 또는 회사에 대해 규정되었습니다.

안전에 유의한 작업• 기술적 결함 및 손상이 없는 상태에서만 장치를 작동하십시오.

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2 | 안전

INFICON• 반드시 이 사용 설명서에 따라 안전과 위험에 유의하여 장치를 용도에 맞게 작동하십시오.
• 다음 규정을 준수하고, 준수 여부를 모니터링하십시오.:– 규정에 맞는 사용– 일반적으로 유효한 안전 규정 및 사고 방지 규정– 국제, 국가 및 지역 통용 표준 및 규정
– 추가 장치 관련 규정 및 지침
• 반드시 순정 부품 또는 제조사 승인 부품을 사용하십시오.
• 이 사용 설명서를 현장에서 사용할 수 있도록 보관하십시오.

개인 자격 요건• 담당 직원만 장치를 사용하거나 장치에서 작업하도록 하십시오. 담당 직원은 반드시 장치에 대한 교육을 받아야 합니다.
• 작업을 시작하기 전에 담당 직원이 이 사용 설명서와 기타 모든 관련 문서를 읽고이해했는지 확인하십시오.

2.4 위험이 장치는 기술 표준 및 공인 안전 기술 규정에 따라 제작되었습니다. 하지만, 부적절한 사용 시 사용자나 제삼자의 신체와 생명에 대한 위험 또는 장치 손상이나 기타 제품 손상이 발생할 수 있습니다.
화학적 물질로 인한 위

• 반드시 장치를 폭발 위험 범위 밖에 두십시오.

험전기 에너지로 인한 위장치 내부의 전도성 부품에 접촉할 경우 생명의 위험이 있습니다.

험• 설치 및 정비 작업 전에는 항상 장치를 전원 공급장치에서 분리하십시오. 권한 없는 인원은 전원 공급을 복구할 수 없음에 유의하십시오.
고전압으로 인해 손상될 수 있는 전자 부품이 장치에 포함되어 있습니다.
• 전원 공급장치에 연결하기 전에, 장치에 기재된 전원 전압이 현장의 전원 전압과일치하는지 확인하십시오.

미끄러짐 또는 떨어짐• 제품은 반드시 경사가 없는 편평한 면 위에 놓으십시오.

으로 인한 부상 위험• 장치를 혼자서 들어 올리거나 운반하지 마십시오.
흘러나온 전해액이 테스트 챔버 내부에서 축적될 수 있습니다.
측정 과정 중 흘러 나온 전해액으로 인한 위험

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INFICON공급 사양, 운반, 보관 | 3

3 공급 사양, 운반, 보관패키지 1 공급사양진공 컨트롤 유닛(GCU)수량진공 컨트롤 유닛(GCU)1사용 설명서

1언패킹 설명서

1

Protocol descriptions

1

GCU 전원 케이블1연결 호스 직경 6 mm, 길이 1.5 m(GDU A)

1연결 호스 직경 6 mm, 길이 1.5 m(GDU B)

1퍼지 호스 직경 6 mm, 길이 3 m(Purge)1배기 호스 직경 8 mm, 길이 3 m(GDU, 배기 시스템의 Exhaust1출력부)배기 호스 직경 10 mm, 길이 3 m(GCU, 배기 시스템의 Exhaust

1출력부)
RS232 연결 케이블1밴드 클립(DA 6 mm)

20

밴드 클립(DA 8 mm)

10배기관 연결 너트(Exhaust GCU)

1교체용 에어 필터

1

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3 | 공급 사양, 운반, 보관

INFICON제품을 받은 후 전체 구성품이 빠짐 없이 배송되었는지 확인하십시오.

►

1

2

3

7

6

패키지 2 공급사양41

호스(5개)

5

RS232 연결 케이블

2

밴드 클립

6

배기관 연결 너트(Exhaust GCU)

3사용 설명서 및 언패킹 설명서7

교체용 에어 필터4전원 케이블가스 검출 장치(GDU)수량가스 검출 장치(GDU)

1

GDU 전원 케이블1언패킹 설명서

1►

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제품을 받은 후 전체 구성품이 빠짐 없이 배송되었는지 확인하십시오.

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

INFICON공급 사양, 운반, 보관 | 3운반참조운반으로 인한 손상본 장치를 적합하지 않게 포장하는 경우 운반 도중 손상이 발생할 수 있습니다.
► 기존의 포장재를 보존하십시오.
► 장치를 기존 포장재로만 포장하여 운반하십시오.
► 초기 작동 전 운반 안전장치를 제거하십시오.
보관장치 보관 시에는 기술 데이터에 유의하십시오("기술 데이터 [} 20]" 참조).
또한 참고하십시오
2 운반 안전장치 [} 23]

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

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4 | 설명

INFICON4 설명
4.1 기능
ELT3000 Plus는 시스템의 "스탠드 얼론 모드" 또는 "인라인 모드"에서 작동할 수 있습니다.
본 제품은 배터리 누설 탐지기로서 단단한 배터리 셀은 물론 파우치 셀에도 사용 가능하며, 손상 없이 누설을 탐지할 수 있습니다.
본 장치는 가스 검출 장치, 진공 컨트롤 유닛 및 옵션으로 제공되는 진공 테스트 챔버로 구성됩니다.

가스 검출 장치가스 검출 장치는 고진공이 가해지는 상태에서 작동되므로, 사극자 질량 분석기 내의압력은 상시 5 × 10-4 mbar 이하 수준을 유지해야 합니다. 이러한 고진공은 주로 터보분자 펌프에 의해 생성되며, 일부는 다이어프램 펌프가 담당합니다.
장치의 구성품:• 고진공 펌프 시스템• 가스 유입 시스템• 전원 공급 및 신호 처리를 위한 전기전자적 하위 구성장치14 / 96

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INFICON설명 | 4진공 컨트롤 유닛진공 컨트롤 유닛(GCU)에는 터치 디스플레이가 통합되어 있으며, 이를 통해 배터리누설 탐지기를 조작할 수 있습니다. 내장형 펌프가 있으므로, 테스트 챔버를 원하는압력 수준으로 배기시킬 수 있습니다. 밸브 제어장치를 측정 과정에 알맞게 조절함으로써 분석 가스를 가스 검출 장치에 공급할 수 있습니다.

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4 | 설명

INFICON4.2 표시
4.2.1 터치 스크린 구조
1

2

3

4

5

6

7

8

9
최대 누설률

10

17

16 / 96

16

15

14

13

12

11

1

"설정" 내비게이션 버튼

10옵션형 입력 필드

2

제품명

11

"진단" 내비게이션 버튼

3

시간

12

교정

4

권한

13

측정

5

사용자 이름

14

ZERO

6

이전 페이지

15임계값

7

다음 페이지

16현재 화면창의 이름

8"작동" 내비게이션 버튼17"정보" 내비게이션 버튼

9스타트 버튼

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INFICON내비게이션 버튼설명 | 4버튼은 다음과 같이 세 가지의 다양한 색상으로 점등됩니다:• 회색: 기능 차단됨• 하늘색: 기능 선택 가능• 백색: 기능 활성화
설정
작동
정보
진단

기능 버튼

버튼은 다음과 같이 세 가지의 다양한 색상으로 점등됩니다:• 회색: 기능 차단됨• 하늘색: 기능 선택 가능• 백색: 기능 활성화일반 기능 기호작동 중인 기능 중단현재 기능 도움말 불러오기입력 또는 선택 확인
로드
분석
저장
편집
복사
삭제
페이지 앞으로페이지 뒤로왼쪽 페이지의 측정창에서는 측정 결과가 표시됩니다. 기타 자세한 정보는 "결과 표시[} 18]"을 참고합니다.

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4 | 설명

INFICON

4.2.2 결과 표시측정된 누설률은 왼쪽 페이지의 "스탠바이" 화면창에서 숫자가 부여되고, 유색으로 강조 표시되어 나타납니다.
측정 결과: 누설 없음누설률이 설정된 임계값을 하회하는 경우 측정 결과는 녹색 바탕에 표시됩니다.

(알았어)임계값 누출측정 결과: 누설 있음누설률이 설정된 누설 임계값을 상회하는 경우 측정 결과는 적색 바탕으로 표시됩니다.

누출임계값 누출

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INFICON측정 결과: 경고설명 | 4누설률이 설정된 경고 임계값은 초과했지만, 누설 임계값은 아직 하회하고 있는 수준이라면, 측정 결과는 주황색 바탕으로 표시됩니다. 경고 임계값의 표시 여부는 선택가능합니다.

누출경고임계값 누출

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

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4 | 설명

INFICON4.3 기술 데이터
4.3.1 기계 데이터진공 컨트롤 유닛가스 검출 장치기계 데이터
치수(W x H x D)

700mm × 540mm × 250mm

무게

32 kg

기계 데이터
치수(W x H x D)

610mm × 300mm × 380mm

무게

33 kg

4.3.2 주변 요건주변 요건허용 외부 온도(작동 중)

10 °C ~ 40 °C

허용 보관 온도-20 °C ~ 60 °C

최소 습도(작동 중)> 30% 특별한 요건 없음최소 습도(작동 중)< 30% 특별한 요건 있음*최대 상대 습도, 31 °C 이하80%최대 상대 습도, 31 °C ~ 40 °C

선형 강하, 80% ~ 50%최대 상대 습도, 40°C 이상50%보관 및 운반 중 상대 습도

최소 10%, 최대 90%오염도

2

해수면 이상 최대 높이

2000 m* ELT3000 PLUS는 INFICON GmbH와 문의한 후에만 사용하십시오.

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INFICON설명 | 44.3.3 전기 데이터전기 데이터전원 전압 및 전원 주파수

600-201230 V ±10%,50 / 60 Hz

600-202

100...120 V ±10%,50 / 60 Hz소비 전력(총)440 VA가스 검출 장치200 VA진공 컨트롤 유닛

240 VA보호 등급

EN 60529 IP20
UL 50E 타입 1과전압 카테고리II전원 퓨즈가스 검출 장치2 × 4 A 타임 래그,
250 V

진공 컨트롤 유닛

2 × 3.15 A 타임 래그, 250 V전원 코드

각 2.5 m4.3.4 물리 데이터물리 데이터검출 한계최소 탐지 누설률5 x 10-7 mbar l/s (헬륨 등가 누설률, 100% DMC(디메틸카보네이트)에 대하여 0 mbar 대비 차압이 1000
mbar일 때)측정 영역

3 디케이드탐지 가능 질량2 ~ 200 amu

질량 분석기사극자 질량 분석기

이온 소스

2 캐소드

작동 스탠바이 상태까지 걸리 < 3 분는 시간ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

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4 | 설명

INFICON4.4 기본 설정

22 / 96

매개변수

기본 설정

자동 로그인

켬사전 설정된 사용자Supervisor

Supervisor PIN(사전 설정)

1111

사전 설정된 제품

Universal

측정시간

4초

측정 질량

59

교정 질량

59

누설 임계값

1.00E-5 mbar*l/s

경고 임계값

8.00E-6 mbar*l/s

자동 측정 시작켬음량2옵션형 입력 필드끔Pre-LD2초

LD4초

테스트 챔버 퍼지 시간5초테스트 챔버 환기 시간4초테스트 챔버 압력 한계

4.5 mbar소거 제한시간 초과120초

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INFICON설치 | 55 설치
5.1 운반 안전장치참조운반 안전장치를 제거하지 않음으로 인해 발생하는 제품 손상가스 검출 장치의 손상► 초기 작동 전 이러한 운반 안전장치를 제거하십시오.
운반 안전장치는 가스 검출 장치의 아래쪽에 있으며, 별모양의 황색 스크류로 되어 있
습니다.

1
1

운반 안전장치

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5 | 설치

INFICON5.2 셋업위험감전 위험접지 또는 보호조치를 전문가가 실행하지 않은 경우, 장치 고장 시생명의 위험이 있을 수 있습니다. 도체를 연결하지 않고 장치를 사용하는 것은허용되지 않습니다.
► 반드시 동봉된 3선 전원 케이블을 사용하십시오.
► 결함이 발생한 전원 케이블을 교체합니다.
► 케이블이 손상된 경우 정품인 스페어 부품으로 교체해야 합니다.
► 장치 소켓(전원 스위치 소켓)에 항상 쉽게 접근 할 수 있는지 확인하십시오.
► 결함이 발견되면 장치의 전원을 즉시 분리하십시오. 연기가 나는 경우에도 마찬가
지입니다.

경고
과열로 인한 위험과열로 인해 사람이 다치거나 물건이 손상될 수 있습니다.
► 장치의 환경 조건에 유의하십시오.
► 환기구까지 충분한 거리를 유지하십시오(최소 10 cm 거리).
► 장치를 열원 가까이에 두지 마십시오.
► 전원 플러그/전원 스위치는 항상 손이 잘 닿는 곳에 있어야 하며, 연기가 발생하면즉시 전원에서 분리시키십시오.

주의무거운 장치가 떨어지는 상황에서의 위험배터리 누설 탐지기는 무거우며, 이를 기울이거나 떨어뜨리면 사람에게 부상을 입히고, 제품 손상을 야기할 수 있습니다.
► 배터리 누설 탐지기는 반드시 편평하고 충분히 안정적인 바닥면 위에만 놓으십시오.

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INFICON설치 | 5주의낙상으로 인한 부상 위험낙상으로 인한 신체적 상해장치는 항상 테이블 장치로 사용하고, 장치가 바닥에 자유롭게 세워진 상태로 작동되지 않도록 하십시오.
항상 라인과 케이블은 걸려 넘어지지 않도록 배치하십시오.

참조충격으로 인한 제품 손상측정 시스템이 손상됩니다. 측정 관련 장치의 일부는 회전되며, 절대로 충격이 가해져서는 안 됩니다. 가스 검출 장치를 끈 이후라도 일부 장치는 몇 분 정도 더 회전될 수있습니다.
► 가스 검출 장치는 반드시 미끄럼 방지 처리되고, 안정적이며, 충격 및 진동 염려가없는 바닥 위에 올려 놓으십시오.
► 가스 검출 장치는 작동 중에는 물론 장치를 끈 이후라도 최소 5분 동안은 어떠한 충격도 가해서는 안 됩니다.
본 장치는 가스 검출 장치의 일부 요소, 진공 컨트롤 유닛 및 옵션형 진공 챔버 등으로구성됩니다. 본 장치의 설치, 연결 및 작동 개시는 반드시 INFICON 직원 또는 본사 직원을 통해 해당 전문 교육을 이수한 직원에 의해서만 담당되어야 합니다.
• 측정 결과의 오측을 방지하려면, 가능한 한 실내 온도가 일정한 장소를 선택하십시오.
• 장치 밑면의 배기구를 막지 않기 위해, 발로 기기를 단단하고 평평한 표면에 놓으십시오.
• 가스 검출 장치 뒷면의 전원 스위치에 쉽게 접근하려면 장치 뒤에 충분한 여유 공간을 두십시오.
• 운반 안전장치가 제거되었는지 확인해 보십시오("운반 안전장치 [} 23]" 참조).
• 장치를 직사광선에 노출시키지 마십시오.

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5 | 설치

INFICON5.3 장치 구조위험가스 및 증기로 인한 건강 상의 위험배터리 누설 탐지기의 작동 시에는 유해한 증기가 발생할 수 있습니다.
► 가스 검출 장치 및 진공 컨트롤 유닛을 배기관과 연결합니다.
► 건강에 유해한 가스 또는 증기를 흡입하지 마십시오.
► 설치 장소는 반드시 환기가 충분하게 되어야 합니다.

주의비전문적인 설치로 인한 부상 위험배터리 누설 탐지기가 편평하고 미끄럼 방지된 표면에 거치되지 않으면, 배터리 누설탐지기의 일부 요소가 아래로 떨어져서 신체 부상 또는 물적 손상을 야기할 수 있습니다.
► 배터리 누설 탐지기의 모든 구성 요소는 편평하고 미끄럼 방지된 작업장에만 놓으십시오.

주의무거운 장치를 들어 올릴 때 부상 위험가스 검출 장치의 일부 요소 및 본 장치의 진공 컨트롤 유닛은 무거우며, 손에서 미끄러질 수 있습니다.
► 가스 검출 장치 및 진공 컨트롤 유닛을 들어 올리거나 운반할 때는 반드시 두 사람이 함께 하십시오.

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INFICON설치 | 5

개요

2

1

1

가스 검출 장치(GDU)

2진공 컨트롤 유닛(GCU)

5.3.1 장치 연결1진공 컨트롤 유닛(GCU) 및 가스 검출 장치를(GDU) 미끄럼이 없고, 안정적이며,충격 및 진동 염려가 없는 지면 위에 세우십시오.

2

진공 컨트롤 유닛(GCU) GDU A 연결부를 가스 검출 장치(GDU) GDU A 연결부에 연결하십시오. 이때 직경 6 mm의 연결 호스를 사용하십시오.

3

진공 컨트롤 유닛(GCU) GDU B 연결부를 가스 검출 장치(GDU) GDU B 연결부에 연결하십시오. 이때 직경 6 mm의 연결 호스를 사용하십시오.

4외기 공급장치가 적용된 직경 6 mm의 연결 호스를 사용해서 진공 컨트롤 유닛(GCU) Purge 연결부를 연결시킵니다.

5

직경 10 mm의 연결 호스를 통해 배기 시스템을 GCU Exhaust 연결부에 연결시킵니다.
ð 이때 함께 배송된 배기관 연결 너트를 사용하십시오.

6

직경 8 mm의 연결 호스를 통해 배기 시스템을 GDU Exhaust 연결부에 연결시킵니다.

7

RS232 인터페이스 케이블을 사용해서 가스 검출 장치를(GDU) 진공 컨트롤 유
닛과(GCU) 연결시킵니다.

8호스를 구부러지지 않게 배선하려면, 함께 배송된 밴드 클립을 사용하십시오.

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5 | 설치

INFICON진공 컨트롤 유닛

15 14

1

2

13

12

3

4

10 9 8

11

7

1 GDU A, 직경 6 mm

92 INLET(테스트 챔버 연결부 직경 8

10 I/O 포트 연결부

6 5

테스트 챔버 연결부mm)
3 Exhaust, 배기 호스, 직경 10 mm

11 외기

4 배기

12 네트워크 연결 RJ45

5 전원 스위치

13 PURGE, 외부공기 연결부, 직경 6mm

6 전원 케이블 연결부

14 VENT(환기 테스트 챔버 연결부 직
경 8 mm)7 커버 뒤쪽 퓨즈

15 GDU B, 직경 6 mm

8 RS232 가스 검출 장치와의 신호 연결

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INFICON설치 | 5가스 검출 장치1 2
1

GDU A, 직경 6 mm

2

Exhaust, 직경 8 mm

3

GDU B, 직경 6 mm

3

후면도

1

2

3

4 56

1

헤드셋 연결부(앱 없음)4전원 스위치

2

I/O 포트, 입출력(앱 없음)

5커버 뒤쪽 전기 퓨즈

3

RS232 인터페이스(가스 검출 장6전원 연결부치를 진공 컨트롤 유닛에 연결)

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5 | 설치

INFICON

5.3.1.1 테스트 챔버 요건위험과도한 힘으로 인한 파열 위험진공 배기를 마친 테스트 챔버는 외부 대기 압력의 영향으로 인한 강압을 견딜 수 있어야 합니다.
► 고밀도로 충진된 테스트 챔버라도 반드시 소형 채널들을 확보하고 있어야만 누설이 발생하는 경우 진공 배기 연결부로 가스를 이동시킬 수 있게 됩니다.

요건누설을 빠르고 정확하게 감지하려면, 챔버 실용량을 되도록이면 최소 수준으로 유지
하십시오. 이를 위해서는 챔버 용량의 대부분을 차지하는 검체를 조절하거나, 챔버 내에 충진 원료를 추가하면 됩니다.
개별 제작된 테스트 챔버를 설치할 때는 다음의 도표를 참조하십시오.
개별 제작된 테스트 챔버의 구조 및 적용에 관한 질문이 있는 경우 INFICON 서비스직원에게 연락하십시오.

요건에 관한 도표
명칭

권장사항

비고

필수

하우징

알루미늄 또는 스테인리스 AlMg4,5Mn0,7 (AA 5083)

선택

X

강
압력

1-5 mbar, 절대적측정을 위해서는 먼저 목표X압력이 도달되어야 합니다.
실런트

FKM 또는 FFKM 원료사용 빈도가 높은 각종 화학X물질에 대한 저항성이 뛰어납니다.
EPDM 및 실리콘은 측정 정밀도에 부정적인 영향을 미칩니다.
테스트 챔버의 기~10-5 mbar l/s

X

6 mm 내경 및 8 mm 외경 테스트 챔버의 위쪽 3분의 1

X

밀성
연결부

의 연결 호스 2개(급기 및지점에 위치하므로 과누설이배기)발생하는 경우라도 전해액이외부 펌프 연결부(옵션)호스 내부로 들어오지 않게

X

됩니다.

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INFICON설치 | 5

명칭

권장사항

비고

필수

에어 필터

40 µm 개구부가 있는 에

예: Festo VAF PK, 공극률 40

X어 필터를 사용합니다.

µm선택선택 사양: 조립자 필터액체 분리기

예: Festo VAF-DB 1/4 인누설 발생 시 진공 컨트롤 유치.

닛이 심하게 오염되는 경우X를 방지합니다.
근접챔버가 닫히게 되면 근접진공 컨트롤 유닛의 뒷면에스위치스위치를 통해서 측정이는 M12 커넥터가 위치합니곧바로 시작될 수 있습니

다.

X

다.
충진 원료

비전도성 물질; 세라믹, 유 충진 원료를 가득 채우면, 측리 및 폴리프로필렌 소재정시간을 줄일 수 있고, 감도의 블록는 더욱 높아집니다.

X이상적 조건: 테스트 챔버를검체로 최대 한도까지 채웁니다.
절연부틸, 세라믹, 유리 또는배터리 셀의 단락을 방지하디프 드로잉 가공된 폴리려면, 챔버 벽면을 절연시킵프로필렌 등으로 벽면을

니다. 접착제는 절대로 사용처리합니다.

하지 마십시오.

개도 각도커버 개도 각도 100-110 °개폐 보조장치커버가 무거운 경우XX
예: 가스 스프링이 적용된 경X우커버의 잠금부커버가 무거운 경우압착이나 베임 사고가 발생X하지 않게 하십시오.
장치의 발 부분고무 받침미끄럼 방지 기능이 있는 고무 받침을 사용하십시오.

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5 | 설치

INFICON5.4 전원에 연결경고전기 충격으로 인한 위험접지 또는 보호조치를 전문가가 실행하지 않은 경우, 장치 고장 시 생명의 위험이 있을 수 있습니다. 도체를 연결하지 않고 장치를 사용하는 것은 허용되지 않습니다.
► 함께 배송된 3-심선 전원 케이블을 반드시 사용하십시오.
► 전원 플러그는 항상 손이 잘 닿는 곳에 있어야 합니다.

참조잘못된 전원 전압으로 인한 위험잘못된 전원 전압으로 인해 장치가 손상될 수 있습니다.
► 형식판의 전원 전압에 유의하십시오.

참조서로 다른 공급망각 개별 장치를 서로 다른 전력망에 연결시키는 경우 RS232 데이터 라인 내에서 전류가 흐를 수 있습니다.
이로 인해 장치가 예기치 않은 작동 상태로 되거나 기능 이상이 발생할 수 있습니다.
► 이로 인해 장치가 예기치 않은 작동 상태로 되거나 기능 이상이 발생할 수 있습니다.

위험예를 들어 심박 조절기같은 의료용 삽입장치 이식자에 대한 위험 가능성장치에 자석이 있습니다. 강한 전기장 또는 자기장은 의료용 삽입장치의 기능을 방해할 수 있습니다. 의료용 삽입장치의 금속 부분이 경보를 유발할 수 있습니다.
► 이러한 장치를 착용한 사람이라면, 스피커 자석과 의료용 삽입장치 사이에 최소 10cm의 간격을 유지해야 합니다.
► 의료용 삽입장치 제조사에서 명시한 거리를 항상 충분한 간격으로 유지하도록 주의하십시오.

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INFICON설치 | 55.5 인터페이스운영 체제는 USB 또는 이더넷을 통해 공격을 받을 수 있습니다누설 탐지기에 사용되는 Linux 운영 체제는 자동으로 업데이트되지 않으므로 보안상취약점이 있을 수 있습니다. 이러한 취약점을 악용하여 누설 탐지기의 이더넷 및 USB인터페이스를 통해 시스템에 무단으로 접근할 가능성이 있습니다.
► USB 포트/이더넷 포트 잠금 장치 등을 통해 이러한 인터페이스에 승인되지 않은 사람이 접근할 수 없도록 하십시오.
► 회사 네트워크 보안 강화를 위해 누설 탐지기를 공용 인터넷에 직접 연결하지 마십
시오. 이러한 권장 사항은 WiFi 및 이더넷을 통한 연결에 모두 적용됩니다.
► 만약 원격으로 누설 감지기의 웹 인터페이스에 접근하려면 암호화된 가상 사설망(VPN) 연결을 권장합니다. 그러나 타사에서 제공하는 VPN 연결의 보안성은 보장되지 않습니다.
USB 인터페이스 사용양쪽 USB 2.0 인터페이스에는 바코드 스캐너 또는 USB 스틱을 연결할 수 있습니다.

RS232 인터페이스가스 검출 장치 및 진공 컨트롤 유닛 사이의 통신

RJ45 네트워크 인터페사내 네트워크에 접속할 수 있는 인터페이스

이스

5.5.1 바코드 스캐너 환경 구성바코드 스캐너의 환경 구성은 다음과 같이 진행합니다:1인터페이스 선택: "키패드"ð USB 바코드 스캐너는 PC에 연결된 키패드처럼 작동 조작됩니다.

2

종결 분리 문자의 선택: “” 또는 “”.
ð 이는 바코드 발행 이후 전송된 문자에 대한 환경 구성을 규정합니다.

3

언어 선택: “English US“ð 누설 탐지기에는 영어(US) 키패드 레이아웃이 필요합니다.

스캐너 환경 구성의 정상 여부를 검사하려면, 이를 PC에 연결한 후, 텍스트 편집기를사용해서 스캐너의 출력 상태를 점검하십시오.

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6 | 작동

INFICON6 작동주의가스 및 증기로 인한 건강 상의 위험배터리 누설 탐지기의 작동 시에는 유해한 증기가 발생할 수 있습니다.
► 배터리 누설 탐지기를 배기관에 연결합니다.
► 건강에 유해한 가스 또는 증기를 흡입하지 않도록 하십시오.
► 해당 검체의 물질 안전 보건 자료에 명시된 안전 지침에 유의하십시오.
► 배기관 블로킹의 염려가 아예 없거나, 블로킹이 발생하더라도 이를 쉽게 감지할 수있는 설치 장소를 마련하십시오.
► 환기가 잘 되는 설치 장소를 마련하거나, 공기 중에 건강에 유해한 물질이 있는지검사하고, 모니터링할 수 있는 설치 장소를 확보하십시오.

참조장치 과열로 인한 제품 손상배터리 누설 탐지기는 작동 중 온도가 상승하며, 충분히 환기하지 않으면 과열될 수있습니다.
► 진공 컨트롤 유닛에서는 장치 아래쪽을 비워 놓으십시오.
► 필터의 환기공을 막지 않도록 하십시오.
► 가스 검출 장치에서 충분한 환기가 이루어지게 하십시오. 측면에서는 여유 공간을
최소 20 cm, 앞쪽 및 뒤쪽으로는 최소 10 cm 확보하십시오.
► 배터리 누설 탐지기 근처에 열원을 두지 마십시오.
► 배터리 누설 탐지기를 절대로 직사광선에 노출시키지 마십시오.
► 기술 데이터에 유의하십시오.
ELT3000 PLUS는 다음과 같이 작동할 수 있습니다.
• ELT3000 PLUS의 컨트롤 유닛• 버스 모듈 BM1000의 다양한 버전• I/O 모듈 IO1000
작동에 대한 추가 정보는 다음 문서에 포함되어 있습니다.
• I/O 모듈 IO1000 사용 설명서• 버스 모듈 BM1000 사용 설명서

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INFICON작동 | 6• Protocol Pescriptions ELT3000 PLUS다음 단락에 나열된 경로는 ELT3000 PLUS의 작동과 관련이 있습니다. 버스 모듈 또는
I/O 모듈이 사용되는 경우 사용된 프로토콜 범위 내에서 조치들이 실행되어야 합니다.
컨트롤 유닛을 위한 경로문은 메인 메뉴에서 시작합니다.

참조인라인 모드에서 작동하려면 INFICON 서비스 부서에 문의하십시오.

참조장시간 가동 중지로 인한 손상 가능성► 내장 펌프를 포함하여 누설 탐지기가 제대로 작동하는지 확인하려면 장치를 6개월동안 사용하지 않은 상태에서 전원을 약 15분 동안 한 번 이상 켜야 합니다.

6.1 켜기 및 로그인진공 컨트롤 유닛을(GCU) 통해서만 장치 설정 가능설정의 경우 진공 컨트롤 유닛(GCU)을 통해서만 진행이 가능합니다.
장치를 켜려면, 가스 검출 장치 및 진공 컨트롤 유닛을 위한 전원 스위치를 각각►작동하십시오.
ð 초기 설정 상태에서는 가동 단계가 지나고 나면, 장치가 측정 화면을 표시합니다.

6.2 기본 설정
6.2.1 언어 설정사용자 설정에서 언어를 설정하십시오(“사용자 프로필 선택, 편집, 생성 [} 36]” 참조).

6.2.2 날짜, 시간 및 시간대 설정Supervisor 권한ü1> 날짜 및 시간

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35 / 96

6 | 작동

INFICON2설정하십시오.

3저장하십시오.

.

6.2.3 사용자 프로필 설정
6.2.3.1 권한 그룹 개요사용자의 권한은 할당된 그룹에 따라 달라집니다.
User

User 그룹 구성원은 다음과 같은 기능을 실행할 수 있습니다.
• 등록된 제품들 가운데서 선택합니다.
• 측정 실행,• 측정 결과 기록 보기,• 장치 정보 보기,• 오류 프로토콜 보기.

Operator

Operator 그룹 구성원은 User 그룹의 모든 권한을 가집니다. 또한 다음과 같은 기능을 실행할 수 있습니다.
• 제품 생성/변경/삭제,• User 생성/변경/삭제,• 이미지 생성/변경/삭제,• 측정 데이터 내보내기/삭제,• 측정 설정 변경.

Supervisor

Supervisor 그룹 구성원은 User 및 Operator 그룹의 모든 권한을 가집니다. 또한다음과 같은 기능을 실행할 수 있습니다.
• Operator 생성/변경/삭제,• Supervisor 생성/변경/삭제,• 소프트웨어 업데이트 실행,• 날짜/시간 변경.

6.2.3.2 사용자 프로필 선택, 편집, 생성
Operator 또는 Supervisor 권한ü1> 사용자 계정 > 사용자 계정 관리ð 이미 생성된 사용자 및 할당된 그룹이 목록 형태로 표시됩니다.

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INFICON작동 | 62

다음과 같은 옵션을 선택할 수 있습니다.
신규 사용자 프로필을 생성하려면 창 하단에서를 선택하십시오.

"사용자 설정" 화면창이 열립니다.

또는 이미 생성된 사용자 이름을 누르고 화면에 표시된 툴바에서 다음과 같이선택하십시오.

, 사용자 프로필을 로딩할 수 있습니다.
로그인 창이 열립니다.

, 사용자 프로필을 편집할 수 있습니다.
"사용자 설정" 화면창이 열립니다.

, 사용자 프로필을 삭제할 수 있습니다.
확인 질문 메시지가 나타납니다.

3

설정 선택이 완료되면, “사용자 설정" 화면창이 열립니다. 이러한 경우에는 각필요에 따라 사용자 이름을 입력하거나, 이를 변경 또는 그대로 유지할 수 있습니다.

Mueller이름

Mueller

PIN
그룹

사용자

언어

한국어

사용자 설정

4

만약 “PIN” 입력란이 채워져 있지 않거나 내용을 변경하려면 4 자리로 이루어
진 PIN을 입력하십시오.

5사용자에게 필요한 권한을 할당하려면 해당 그룹을 선택하십시오.

및 을통

해 "User", "Operator" 및 "Supervisor" 그룹 중 선택하십시오. 참고: "권한 그룹
개요 [} 36]”.

6“언어” 입력란에서

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

및 을 통해 사용자에 해당하는 언어를 배정하십시오.

37 / 96

6 | 작동

INFICON

7저장하십시오.

.

6.2.3.3 개인 설정 변경권한이 제한된 사용자(User) 또한 언어 또는 PIN을 변경할 수 있습니다. 이 경우 관련사용자 프로필이 함께 조정됩니다. 전체 사용자 프로필에 접근하지 않아도 됩니다.

1디스플레이 우측 상단에 나타나는 귀하의 사용자 아이디를 누르십시오.
ð "사용자 옵션" 화면창이 열립니다.

2

각 필요에 따라 기능버튼 “PIN 변경“ 또는 “언어 변경“을 선택하십시오.

6.2.4 자동 로그인 끄기기본 설정기본 설정에 따라서는 장치를 켠 후 “Supervisor” 사용자로 자동 로그인이 되고, 측정화면이 호출될 수 있습니다. 또한 이와 같이 사전 설정된 사용자는 “Supervisor” 그룹의 권한을 가집니다. 각 사용자는 설정을 변경하지 않고도 모든 장치 기능을 제한 없이 작동시킬 수 있습니다.
장치를 켰을 때 자동으로 로그인하는 대신 로그인 창을 표시하도록 선택할 수 있습니다.
로그인 창에서는 이미 장치에 등록된 모든 사용자가 로그인할 수 있습니다(“” 참조).
Supervisor 권한ü1> 사용자 계정 > 자동 로그인 관리2"자동 로그인" 화면창에서 "활성화" 옵션을 비활성화시키십시오.

3저장하십시오.

ð.

장치를 다시 시작하면 현재 설정이 적용됩니다.

6.2.5 자동 로그인 켜기장치를 켰을 때 로그인 창을 사용하지 않고 원하는 사용자를 자동으로 로그인하도록선택할 수 있습니다.
Supervisor 권한üü 해당 사용자가 이미 생성되어 있습니다. "사용자 프로필 선택, 편집, 생성 [} 36]” 내용을 참조하십시오.

1
2

38 / 96> 사용자 계정 > 자동 로그인 관리“이름” 입력란에 사용자 이름을 입력하십시오. 대문자/소문자에 유의하십시오.

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

INFICON작동 | 6

3“PIN” 입력란에 사용자 프로필의 현재 PIN을 입력하십시오.

4"자동 로그인" 화면창에서 "활성화" 옵션을 활성화시키십시오.

5저장하십시오.

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306).

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6 | 작동

INFICON

6.2.6 음량 변경측정 결과를 시각적으로 표시함은 물론 신호음도 함께 울리게 됩니다. 이러한 신호음의 음량은 변경할 수 있습니다.

주의큰 소리로 인한 청각 손상장치의 경보 레벨은 100dB(A)를 초과할 수 있습니다.
► 음량을 최대 "10"까지 설정하십시오.
► 음량을 "5" 이상으로 설정하는 경우 적합한 귀마개를 착용하십시오.
Operator 또는 Supervisor 권한

ü

1

> 오디오

2

설정하십시오.

3저장하십시오.

.

6.2.7 자동 측정 시작 기능을 켜기 또는 끄기기본 설정에서는 "자동 시작" 옵션이 선택되어져 있습니다. "측정" 기능을 선택한 후측정 챔버를 닫게 되면, 선택되어 있는 작업 과정이 자동으로 시작됩니다. 이때는 근접 스위치 신호가 사용됩니다. "자동 시작" 옵션은 켜거나 끌 수 있습니다.
Operator 또는 Supervisor 권한

ü

1

> 장치

2

설정하십시오.

3저장하십시오.

ð.

"자동 측정 시작" 기능이 꺼져 있는 경우라면, 측정을 시작하기 위해 터치 스크린 또는 하우징에서 "START" 버튼을 누르십시오.

40 / 96

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INFICON작동 | 6

6.2.8 테스트 챔버 선택(옵션으로 구매 가능)
INFICON에서는 다양한 테스트 챔버 챔버를 제공하고 있습니다:- TC3000S(소형 일체식 테스트 챔버)- TC3000L(대형 일체식 테스트 챔버)- FTC3000(플렉시블 테스트 챔버)

6.2.8.1 테스트 챔버 선택

Universal

Supervisor설정 • 액세서리 • 챔버

ü
►
►
►

Supervisor 권한> 챔버선택을 진행합니다.
로딩을 시작합니다.

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6 | 작동

INFICON

6.2.9 테스트 챔버 환경 구성고객 본인의 테스트 챔버에만본 설정은 고객 본인의 테스트 챔버에 대해서만 적용 가능합니다.
가능한 설정에 대한 문의 사항이 있을 경우 INFICON 서비스 부서에 연락하십시오.

Universal

Supervisor챔버 압력 한계소거 제한시간 초과
Pre-LD / LD캐리어 가스설정 • 액세서리 • 챔버 • 환경 구성약어 1: 테스트 챔버 환경 구성

1

42 / 96> 환경 구성

2설정하십시오.

3저장하십시오.

.

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INFICON작동 | 6

6.3 작동 모드작동 모드 선택설정 > 작동 모드 > 선택 > 저장"스탠드 얼론 모드" 작동 모드"스탠드 얼론 모드" 작동 모드에서 ELT3000 PLUS는 검체 퍼징, 테스트 챔버 배기, 측정 단계 및 최종 환기 절차를 포함한 전체 측정 사이클을 제어합니다.
여기에서 외부 펌프를 측정 절차에 추가로 통합할 수 있습니다.

"인라인 모드" 작동 모드위험누설된 전해액으로 인한 화상 또는 폭발로 인한 심각한 부상테스트 챔버에 등전위 본딩 시스템이 없는 경우 누설된 전해액으로 인해 화상이나 폭발이 발생할 수 있습니다.
► 모든 테스트 챔버를 적합한 등전위 본딩 시스템과 연결하십시오.

참조:총괄 책임자는 비상 시 비상 정지 기능을 통해 시스템이 정지되도록 해야 합니다.
"인라인 모드" 작동 모드는 특히 테스트 시간을 줄이기 위해 ELT3000 PLUS를 (반)자동 테스트 시스템에 통합하는 것을 목표로 합니다.
이 작동 모드에서 테스트 챔버는 시스템에 의해 목표 압력으로 배기되고 측정이 완료된 후 환기됩니다.
목표 압력에 도달한 후 테스트 챔버와 ELT3000 PLUS를 연결하여 분석 가스를 측정합니다.

통신원하는 작동 모드는 HMI 또는 ELT3000 PLUS 인터페이스를 통해 선택됩니다.
직렬 프로토콜 또는 필드 버스를 통해 ELT3000 PLUS와 통신하도록 선택할 수 있습니
다. 이와 관련된 내용은 "ELT3000-Protocol-Descriptions-iira95en1" 문서를 참조하십시오.

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6 | 작동

INFICON6.4 측정에 대한 설정
6.4.1 제품 선택, 편집 또는 생성(측정 설정)측정 제원을 설정하기 위해서는 생성된 제품이 필요합니다.
Operator 또는 Supervisor 권한

ü

1

> 제품
ð 이미 생성된 제품들이 목록 형태로 표시됩니다.

2제품명을 누른 후 화면에 나타난 툴바 또는 표시 내용으로부터 선택합니다:, 제품을 로딩할 수 있습니다.

, 제품 설정을 편집할 수 있습니다.
"제품 설정" 화면창이 열립니다.

, 제품 설정을 복사할 수 있습니다.
"제품 설정" 화면창이 열리고, 복사 소스에 관한 입력 사항이 나타납니다.

, 제품을 삭제할 수 있습니다.
확인 질문 메시지가 나타납니다.

, 새 제품을 생성할 수 있습니다.
"제품 설정" 화면창이 열립니다.

3"설정" / "제품" 항목을 통해 "제품 설정" 화면창이 열립니다. 이러한 경우에는각 필요에 따라 "제품명" 항목 하에 해당 제품명을 입력하거나, 이를 변경 또는그대로 유지할 수 있습니다.

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INFICON작동 | 61"누설 임계값" 항목에 값을 입력하면, 해당 값이 초과되는 경우 제품이 "누설 있음"으로 판명되어 통보됩니다. 표준 설정은 1 x 10-5 mbar l/s입니다.

2임계값 경고 기능은 옵션으로 선택 가능합니다.

3바코드를 입력하려면, 터치스크린을 사용해서 입력하거나, 입력칸이 활성화되어 있는 상태라면, 바코드를 직접 스캔할 수도 있습니다.

4"이미지 선택" 메뉴를 통해 제품 이미지를 다운로드 받으면, 측정이 진행되는동안 측정 화면에서 해당 이미지가 표시됩니다.
원하는 이미지가 장치에 저장되어 있지 않다면, 이미지 데이터베이스를 확장해서 보충하십시오. 이를 위해아이콘을 누르면, 이미지를(JPG, PNG; 최대 400

x 400 px) USB 스틱으로부터(FAT32 형식) 이미지 라이브러리로 전송할 수 있습니다.

5저장하십시오.

.

6.4.2 제품 선택1> 제품ð 저장되어 있는 제품들이 표시됩니다. 원하는 제품을 찾을 수 없는 경우라면,먼저 이를 생성하십시오. - 참고: ““. 원하는 제품명을 누릅니다.

2

로딩을 시작합니다.

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6 | 작동

INFICON

6.4.3 ZERO 측정 실시오염 정도가 미약할 때는 이 기능을 사용하십시오. 현재의 백그라운드 값이 영(0)으로
설정됩니다. 백그라운드 값이 큰 경우라면, "퍼징" 기능을 사용하십시오.
결과는 녹색으로 표시되며, 해당 값이 적용됩니다. 문제가 발생한 경우에는 경고 또는오류 메시지가 나타납니다.

1>차례로 선택하십시오.

2

테스트 챔버를 비우십시오.

3

ZERO 측정을 시작합니다.

ð결과는 녹색으로 표시되며, 해당 값이 적용됩니다. 오류가 발생한 경우에는 결과가 적색으로 표시됩니다.

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INFICON작동 | 66.4.4 총체적 누설 감지 기능 설정(옵션)설정 > 작동 모드 > 선택 > 저장총체적 누설 감지 기능은 특히 테스트 가스 오염으로부터 ELT3000 PLUS를 보호하는역할을 합니다.

1총체적 누설 감지를 위한 임계값을 설정하십시오. 이를 위해 제공된 요인에서표준 임계값에 대한 요인을 선택하십시오.

2

옵션을 활성화하여 총체적 누설 감지 기능을 시작하십시오.

요인은 설정된 누설률과 관련이 있습니다. 요인 10은 정상 임계값의 10배 상태에서의총체적 누설 감지를 의미합니다. 총체적 누설 감지에 대한 임계값을 초과하면 현재 측정 절차가 즉시 중지됩니다. 측정이 중단된 시점까지 감지된 누출값과 총체적 누설 감지 경고가 출력됩니다.

6.4.5 측정 화면창에 있는 입력란의 사용측정 화면창에서는 필요한 경우 입력란을 생성할 수 있으며, 여기에 추가적인 정보 내용을 기재해 놓을 수 있습니다. 예를 들어 일련 번호 또는 뱃치 번호의 경우가 그러합니다.
텍스트의 경우 측정 화면창에서만 표시되는 것이 아니라 데이터 로깅 시 함께 저장됩
니다. 해당 텍스트는 실행된 측정 작업에 배정됩니다.

1). 측정 화면창에서 입력란 생성
1

> 장치

2

“옵션형 입력란“을 활성화합니다.

3저장하십시오.

.

2). 측정 화면창에서의 입력란 기록 또는 변경ü 옵션형 입력란이 활성화되었습니다.

1측정 화면창에 있는 입력란을 터치합니다.

2키패드가 화면에 나타나면, 원하는 내용을 입력하십시오.

ð장치를 재시작하는 경우 입력란은 다시 공란 상태로 됩니다.

ð다음 순서의 측정이 완료된 후에는 입력란이 자동으로 다시 빈 칸이 됩니다.

►혹은 바코드 스캐너를 이용하는 방법도 있습니다. 시중에서 있는 일반적인 바코드스캐너를 사용해서 검사편의 바코드를 스캔합니다. 이는 입력란으로 자동 적용됩
니다. 여러 개의 바코드를 스캔할 때는 "|" 기호로 각 바코드가 구분됩니다.

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INFICON이 화면창에서는 바코드 스캐너를 사용해서 바코드를 스캔할 수 있습니다.

6.5 측정
"스탠드 얼론 모드" 작동에만 해당됩니다.
"인라인 모드"에서 작동하려면 INFICON 서비스 부서에 문의하십시오.

주의손 부상에 관한 경고► 손이 테스트 챔버의 방향 전환 범위 밖에 있고, 아울러 테스트 챔버 밖으로 절반 이상 나와 있는 경우에만 테스트 챔버를 열거나 닫도록 합니다.

참조테스트 챔버를 부적절하게 충진할 때의 제품 손상 위험액체가 흘러 나와 호스 안으로 유입되면, 제품의 기능을 저하시킬 수 있습니다. 뾰족한 사물이나, 그리스 또는 오일은 멤브레인, 챔버 링 및 씰링 립 등을 손상시킬 수 있습니다.
► 오일, 그리스 또는 탄화수소 등으로 테스트 챔버가 오염되지 않도록 하십시오.
► 뾰족하거나 날카로운 물건을 보호 조치 없이 그대로 테스트 챔버 안에 넣지 마십시오.

측정 시의 부정확성을 방지하십시오.:► 테스트 챔버 일부의 개스킷이 많이 가려지거나, 접촉되지 않도록 배터리 위치를 설정하십시오.
► 외기 온도와 온도 차이가 크게 나는 검체는 측정하지 마십시오.
► 테스트 챔버의 개스킷은 청결하게 유지하십시오. 오염을 깨끗이 제거하지 않게 되면, 측정 결과에 오류가 있을 수 있습니다.
► 개스킷 면이 손상되지 않게 하십시오. 예컨대 긁힌 자국과 같은 기계적인 손상은 챔버에서의 누설을 야기할 수 있습니다.
► 테스트 챔버 청소에 솔벤트 클리너나 알코올계 클리너를 사용하지 마십시오. 이 또한 측정 결과에 오류를 가져올 수 있습니다.
ü 일반 기본 설정이 적용되어 있습니다("기본 설정 [} 35]" 참조).

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INFICON작동 | 6

ü 원하는 제품에 대한 설정이 장치에 저장되어 있습니다.
ü 원하는 제품이 선택되어 있습니다("제품 선택 [} 45]" 참조).

1측정 화면을 불러오십시오.
ð 사용자가 로그인하면 측정 화면이 자동으로 열립니다. 또는아이콘을 누릅니다.

2검체를 테스트 챔버 안에 넣으십시오.

3

테스트 챔버를 닫고, 측정을 시작합니다. 시작 방법에 관한 자세한 내용은 "자동 측정 시작 기능을 켜기 또는 끄기 [} 40]" 설명을 참고하십시오.

4측정을 취소하기 원하는 경우에는 장치 전면부에 있는 "STOP" 버튼을 누르십
시오("장치 구조" 참조).

ð측정된 누설률은 왼쪽 페이지의 "측정" 화면창에서 숫자가 부여되고, 유색으로강조 표시되어 나타납니다. 그 밖에도 "OK", "Leak Warning" 또는 "Leak" 등의단어가 표시됩니다("결과 표시 [} 18]" 참조). 측정이 완료되면, 테스트된 검체를꺼내고, 다른 검체들을 넣어 계속 측정할 수 있습니다.

동일한 검체를 사용해서 측정을 반복하더라도, 측정 결과가 달라질 수 있습니다. 이러한 결과가 나타나는 것은 대부분의 경우 이전의 측정으로 인해 용매의 양이 줄어들었기 때문입니다.

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INFICON6.6 장치 퍼징오염 발생 시 이 기능을 사용하면, 장치를 퍼징할 수 있고, 하층신호 값을 내릴 수 있습니다. 목표값 미달 시에는 결과가 녹색으로 표시됩니다.

1

이때 "Diagnosis2퍼징 과정에 적용할 다양한 목표값을 선택:→ 퍼징 화면 페이지로 이동• ∞ 표시가 나타날 때는 사용자가 퍼징 과정을 중단시킬 때까지 퍼징이 계속 지속됩니다.
• 임계값에 도달할 때까지 퍼징하십시오.
• 임계값의 3배에 도달할 때까지 퍼징하십시오.
이 기능이 시작되면, 배터리 누설 탐지기는 자동 퍼징 과정을 진행하게 됩니다. 이때는 테스트 챔버 및 진공 시스템이 주기적으로 펌핑 및 환기됨으로써 장치에서의 하층신호가 감소됩니다.

6.7 측정 데이터 및 장치 정보
6.7.1 측정 데이터 불러오기1> 측정ð 실행된 측정 작업이 한 줄씩 간략하게 표시됩니다.

2

측정에 관한 세부 화면을 보고자 하는 경우에는 원하는 항목을 누른 후 화면에나타나는 아이콘을

누르십시오.

ð 해당 측정과 관련해서 저장되어 있는 모든 정보가 표시됩니다.

6.7.2 측정 데이터 전송측정 결과는 장치에 자동으로 저장됩니다. 최근 500.000개의 측정이 저장됩니다. 내장메모리에 저장된 이러한 측정 데이터는 외장으로 연결된 USB 스틱으로 전송할 수 있습니다.
Operator 또는 Supervisor 권한ü

1내장 메모리에 수록된 데이터를 전송하려면, FAT32 형식의 USB 스틱을 장치에있는 USB 포트에 연결하십시오.

2

50 / 96> 측정

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INFICON작동 | 63ð저장하십시오.

.

모든 측정 데이터가 전송됩니다. 데이터 내보내기가 완료되면 메시지가 나타납
니다. 장치에 있던 측정 데이터는 그대로 유지됩니다.

6.7.2.1 분석 데이터 전송모든 측정 내용 및 오류 발생 상황은 장치의 내장 메모리에 그대로 수록됩니다.
고객은 이메일을 통해 이러한 데이터를 INFICON으로 발송하거나, 서포트팀에 업로드링크를 생성해주도록 요청할 수 있습니다.

INFICON으로의 데이터 전달 방식
1

FAT32 형식의 USB 스틱을 컨트롤 유닛에 연결하십시오.

2

장치 조작기에서 "Diagnosis

3기능버튼 "Export Service Data"를 누릅니다.

→ Service Export" 화면 페이지로 이동합니다.

ð 내보내기 진행 상황이 장치 조작기에서 표시됩니다. 장치 사용이 오래된 경우수 분이 소요될 수 있습니다(< 25분).
ð 이제 USB 스틱 상에서 데이터 내보내기가 진행됩니다. 파일명은"ServiceExport" - "시리얼 번호" - "날짜 및 시간" 등의 요소로 구성됩니다.
장치 사용이 오래된 경우 데이터 내보내기 용량은 대단위 Megabyte(MB) 용량에 달할수 있습니다.
이는 곧 패스워드로 보호되는 아카이브가 됩니다.

6.7.3 측정 데이터 삭제장치의 내장 메모리로부터 측정 데이터를 삭제할 수 있습니다.
Operator 또는 Supervisor 권한

ü

1

> 측정

2

을 누르십시오.

ð기록되어 있는 모든 측정 데이터가 삭제됩니다.

6.7.4 장비 정보 불러오기►> 장치 정보ð 반전 표시된 정보들이 표시됩니다.

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INFICON

6.7.5 프로토콜 불러오기목록 형식으로 구성된 장치 메시지를 표시하기 위한 기능버튼입니다. 이러한 정보는제조사 서비스팀에 연락하는 경우 매우 유용합니다.
> 프로토콜

►6.8 소프트웨어 업데이트본 장치에는 진공 컨트롤 유닛을 위한 두 가지 상이한 소프트웨어 버전이 포함되어 있습니다: 하나는 장치 조작기용이며, 다른 하나는 기본 장치용입니다. 소프트웨어는 각각 하나의 개별 버전 번호를 가지고 있습니다.
세 번째 버전이 존재한다면, 이는 가스 검출 장치(GDU) 소프트웨어입니다.

6.8.1 장치 조작기의 소프트웨어 업데이트USB 메모리 스틱을 사용하여 소프트웨어 업데이트를 불러오십시오.

연결 중단으로 인한 데이터 손실소프트웨어가 업데이트되지 않습니다.
► 소프트웨어가 업데이트되는 동안 장치를 끄거나 USB 메모리 스틱을 분리하지 마십시오.

1파일을 FAT32 형식의 USB 메모리 스틱 메인 디렉토리에 복사하십시오.

2

USB 메모리 스틱을 장치의 USB 연결부에 연결하십시오.

3> 업데이트 > 장치 조작기 업데이트ð 화면창의 상단에는 장치 조작기에서 활성화된 소프트웨어 버전이 표시됩니다.
USB 메모리 스틱에 하나 이상의 소프트웨어 버전이 있는 경우, 발견된 최신버전이 하단의 줄에 나타납니다. 이 버전이 이미 설치된 버전보다 최신 버전인 경우 배경 색은 녹색이 되고 그렇지 않은 경우 적색으로 표시됩니다.

4ð

52 / 96새 소프트웨어 버전을 로딩하려면 "업데이트" 버튼을 누릅니다.
로딩 완료 후에는 장치 조작기가 자동으로 다시 시작됩니다.

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INFICON작동 | 66.8.2 기본 장치의 소프트웨어 업데이트USB 메모리 스틱을 사용하여 소프트웨어 업데이트를 불러오십시오.

연결 중단으로 인한 데이터 손실소프트웨어가 업데이트되지 않습니다.
► 소프트웨어가 업데이트되는 동안 장치를 끄거나 USB 메모리 스틱을 분리하지 마십시오.

1파일을 FAT32 형식의 USB 메모리 스틱 메인 디렉토리에 복사하십시오.

2

USB 메모리 스틱을 장치의 USB 연결부에 연결하십시오.

3> 업데이트 > 기본 장치 업데이트ð 창의 상단에 활성화된 기본 장치의 소프트웨어 버전이 있습니다.
USB 메모리 스틱에 하나 이상의 소프트웨어 버전이 있는 경우, 발견된 최신버전이 하단의 줄에 나타납니다. 이 버전이 이미 설치된 버전보다 최신 버전인 경우 배경 색은 녹색이 되고 그렇지 않은 경우 적색으로 표시됩니다.

4ð새 소프트웨어 버전을 로딩하려면 "업데이트" 버튼을 누릅니다.
완료되면 시스템이 자동으로 다시 시작됩니다.

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6 | 작동

INFICON

6.8.3 가스 검출 장치의 소프트웨어 업데이트USB 메모리 스틱을 사용하여 소프트웨어 업데이트를 불러오십시오.

연결 중단으로 인한 데이터 손실소프트웨어가 업데이트되지 않습니다.
► 소프트웨어가 업데이트되는 동안 장치를 끄거나 USB 메모리 스틱을 분리하지 마십시오.

1파일을 FAT32 형식의 USB 메모리 스틱 메인 디렉토리에 복사하십시오.

2

USB 메모리 스틱을 장치의 USB 연결부에 연결하십시오.

3> 업데이트 > 가스 검출 장치ð 창의 상단에 활성화된 기본 장치의 소프트웨어 버전이 있습니다.
USB 메모리 스틱에 하나 이상의 소프트웨어 버전이 있는 경우, 발견된 최신버전이 하단의 줄에 나타납니다. 이 버전이 이미 설치된 버전보다 최신 버전인 경우 배경 색은 녹색이 되고 그렇지 않은 경우 적색으로 표시됩니다.

4
ð

54 / 96새 소프트웨어 버전을 로딩하려면 "업데이트" 버튼을 누릅니다.
완료되면 시스템이 자동으로 다시 시작됩니다.

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INFICON작동 | 6

6.9 장치 교정"스탠드 얼론 모드" 작동에만 해당됩니다.
"인라인 모드"에서 작동하려면 INFICON 서비스 부서에 문의하십시오.

6.9.1 캘리브레이션교정 일반다음과 같은 경우에는 교정이 필요합니다:• 작동 상의 필요로 인해 날마다 교정이 요구되는 경우입니다.
• 테스트 챔버 또는 측정 매개변수가 변경되었습니다.
• 주변 여건으로 인해 교정이 요구되는 경우입니다.

교정 시작ü 귀하에게는 요구되는 해당 권리가 있습니다.
ü E-체크 기능을 사용할 수 있습니다.
►ð스탠바이 모드에서

아이콘을 누릅니다.

교정 인터페이스가 열립니다.

ü 누설률이 E-체크(DMC) 누설률과 일치합니다.
ü 테스트 챔버가 충진되어 있지 않습니다.
ü 테스트 챔버가 닫힌 상태입니다.
►ð공측정을 시작합니다.
공측정이 종료되었습니다.

ü E-체크는 테스트 챔버 내에 위치합니다.

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6 | 작동

INFICONü 테스트 챔버가 닫힌 상태입니다.
측정을 시작합니다.

►E-체크(DMC)가 적용된 두 번째 측정이 종료되었습니다.

ð

E-체크(DMC) 측정이 종료될 때는 새로운 교정 계수가 장치에 의해 산출되어 표시됩니다.

6.9.2 교정 수단본 장치에는 다음과 같은 교정 수단을 사용할 수 있습니다:• E-체크(카탈로그 번호 600-105).
교정 수단을 사용해서 장치를 누설률에 맞게 교정할 수 있습니다.

6.10 초기 설정 상태로 리셋장치를 기본 설정 상태로 리셋할 수 있습니다.

설정 및 측정 데이터 손실초기 설정 상태로 리셋하게 되면, 장치의 메모리는 제조사에서 입력한 기본 설정 상태가 됩니다.
► 그 전에 미리 측정 데이터를 USB 스틱에 백업해 놓으십시오. 참고: "”.

üSupervisor 권한►> 장치 리셋

6.11 심화된 설정> 측정►부적절한 변경을 시도한 경우 측정 오류가 발생할 수 있습니다.
►본 페이지에서 설정을 변경할 때는 반드시 먼저 INFICON과 상의하십시오.

6.12 활성화된 오류 및 경고 불러오기활성화된 오류오류 또는 경고는 진행 중인 작업 인터페이스 상에서 표시됩니다. 그 밖에도 진단 아이콘이 유색으로 표시됩니다

1

56 / 96.

> 오류 및 경고

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INFICON작동 | 6

ð "오류 및 경고" 기능버튼의 경우 오류 또는 경고가 활성화되어 있을 때만 사용할 수 있습니다. 오류 및 경고는 목록 형태로 제시됩니다.

2

측정을 진행하기 위해서는 먼저 활성화된 오류 또는 경고를 "Clear" 버튼을 눌러서 처리해야 합니다.
ð 표시되었던 정보가 닫힙니다.

다음을 또한 참고합니다 - "경고 및 오류 메시지 [} 58]”.

6.13 장치 로그아웃1디스플레이 우측 상단에 나타나는 귀하의 사용자 아이디를 누르십시오.
ð "사용자 옵션" 화면창이 열립니다.

2“로그아웃” 버튼을 눌러 장치에서 로그아웃하십시오.
ð 로그인 창이 열립니다.

6.14 장치 끄기가스 검출 장치 및 진공 컨트롤 유닛은 언제든지 전원 스위치를 눌러서 끌 수 있습니
다. 장치 내에 설정된 매개변수는 저장됩니다.

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7 | 경고 및 오류 메시지

INFICON7 경고 및 오류 메시지작동 중에는 장치를 조작하는 데 도움이 되는 정보가 디스플레이에 표시됩니다. 측정값 외에도 현재 장치 상태, 작동 지침, 경고 및 오류 메시지가 표시됩니다. 장치에는 다양한 자가 진단 기능이 탑재되어 있습니다. 전자장치가 결함 상태를 감지하면, 장치는이를 최대한 표시 화면에 나타내고, 필요할 경우 작동을 중단합니다.
경고 메시지경고 메시지는 장치 상태가 측정 정확도를 떨어뜨릴 수 있는 상태인 경우 이를 경고합
니다. 측정을 진행하기 위해서는 먼저 활성화된 경고를 "Clear" 버튼을 눌러서 처리해야 합니다.

오류 메시지오류는 작동을 중단하게 만드는 이벤트입니다. 오류 메시지는 번호 및 내용 설명으로구성됩니다. 오류의 원인을 해결한 경우 “지우기” 버튼을 눌러 작업을 재개하십시오.

7.1 경고 및 오류 메시지 목록유형메시지가능한 오류 원인

장애 해결

W102

내장 IO 모듈에서 EEPROM

내장 IO 모듈에서• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

과의 통신 중 시간 초과

EEPROM 결함 또는 존재하지 않음

W104

하나의 EEPROM 매개 변수소프트웨어 업데이트를 • 경고 메시지를 확인하십시오.

가 초기화됨통해 새로운 매개 변수가 도입되었습니다.

• 전원을 다시 켤 때 메시지가 더 이상 나타나지 않는지 점검하십시오.
• 새로운 매개 변수의 기본 설정이 귀하의응용 프로그램에 적합한지 점검하십시오.

내장 IO 모듈에서• 경고 메시지를 확인하십시오.

EEPROM 결함• 전원을 켤 때마다 메시지가 나타나는지
점검하십시오.
• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

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INFICON경고 및 오류 메시지 | 7

유형

메시지

가능한 오류 원인

W106

다수의 EEPROM 매개 변수소프트웨어 업데이트를 • 경고 메시지를 확인하십시오.

가 초기화됨통해 새로운 매개 변수들이 도입되었습니다.

장애 해결• 전원을 다시 켤 때 메시지가 더 이상 나타나지 않는지 점검하십시오.
• 새로운 매개 변수들의 기본 설정이 귀하의 응용 프로그램에 적합한지 점검하십시오.

IO 모듈에서 EEPROM• 경고 메시지를 확인하십시오.

이 비어 있는 상태입니• 전원을 다시 켤 때 메시지가 더 이상 나타다나지 않는지 점검하십시오.
• 새로운 매개 변수들의 기본 설정이 귀하의 응용 프로그램에 적합한지 점검하십시
오.

내장 IO 모듈에서• 경고 메시지를 확인하십시오.

EEPROM 결함• 전원을 켤 때마다 메시지가 나타나는지
점검하십시오.
• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

E107

내부 IIC 통신 오류

내부 IIC 통신 오류

W110

실시간 시계가 리셋되었습니 실시간 시계가 설정되• 올바른 날짜 및 시간을 입력하십시오.

다! 날짜 및 시간을 입력하십 지 않았습니다.

• 전원을 다시 켤 때 메시지가 더 이상 나타시오.

• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

나지 않는지 점검하십시오.
내장 IO 모듈에서 배터• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

리가 방전되었거나 결
함 발생

W122

버스 모듈에서 응답 없음실시간 시계 결함• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

버스 모듈과의 연결이• 버스 모듈과의 연결을 점검하십시오.

끊김• 버스 모듈에 연결된 연결 케이블을 교체하십시오.

버스 모듈 결함• 버스 모듈을 교체하십시오.

장치의 버스 모듈용 연• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

결부 결함

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7 | 경고 및 오류 메시지

INFICON유형메시지가능한 오류 원인

장애 해결

W125

I/O 모듈이 더 이상 연결되

I/O 모듈과의 연결이 끊 • IO 모듈과의 연결을 점검하십시오.

어 있지 않음

김• I/O 모듈에 연결된 연결 케이블을 교체하십시오.

I/O 모듈 결함• IO 모듈을 교체하십시오.

장치의 I/O 모듈용 연결 • 고객 서비스 센터에 문의하십시오.
부 결함
W127

잘못된 부트 로더 버전부트 로더가 애플리케• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

이션과 호환되지 않습
니다.
E129

EEPROM에 잘못된 장치 등기본 장치의 소프트웨급의 데이터가 포함되어 있어가 EEPROM에 맞지

음

않습니다.
EEPROM이 이 장치 등

• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

급에 맞지 않습니다.
W151

장치 조작기와의 통신 없음소프트웨어 업데이트• 경고 메시지를 확인하십시오.

또는 매개 변수 리셋이• 전원을 다시 켤 때 메시지가 더 이상 나타실행되었습니다.
기본 장치와 장치 조작나지 않는지 점검하십시오.
• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

기 사이의 내부 연결 문
제W153

장치 조작기 소프트웨어가최신 장치 조작기 소프구버전임트웨어가 존재하지 않• 최신 장치 조작기 소프트웨어는 서비스센터에 문의하십시오.

습니다. 오류 없는 작동을 위해 장치 조작기 소프트웨어를 최신으로유지하도록 권장합니
다.
W171

CU1000이 지원되지 않음

CU1000을 이 장치와• 이 장치에서 CU1000을 분리하십시오.

함께 사용할 수 없습니다.
E173

60 / 96

GDU에서 올바르지 않은 ID

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

INFICON경고 및 오류 메시지 | 7

유형

메시지

가능한 오류 원인

장애 해결

E174

GDU 소프트웨어가 구버전

GDU 소프트웨어 최신• 최신 GDU 소프트웨어를 구입하려면, 고임버전이 존재합니다. 오객 서비스로 연락하십시오류 없는 작동을 위해
GDU 소프트웨어를 최신으로 유지하도록 권
장합니다.
E175

GDU와의 통신 없음

GDU 및 GCU 사이의신호 케이블이 끼워져• GDU 및 GCU 사이의 전기적 연결을 검사
하십시오.

있지 않음
GDU 및 GCU 사이의신호 케이블이 결함 있

• GDU 및 GCU 사이의 신호 케이블을 교체
하십시오.

음

E176

GDU가 측정 모드가 아님

GDU 및 GCU 사이의• GDU가 켜져 있게 하십시오.

통신 불가• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

시스템이 액체로 오염• 호스 또는 액체 분리기에 액체가 남아 있됨는지 확인하고 이를 제거• 오류 내용을 확인하십시오

GCU 및 GDU 사이에서누설 발생

• GDU 및 GCU 간의 호스 연결 상태를 점검합니다• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W190

검출기 오염됨하층 신호가 너무 높음• 하층 신호를 줄이려면, 퍼징 기능을 사용하십시오.

GCU 및 GDU 사이에서누설 발생

• GDU 및 GCU 간의 호스 연결 상태를 점검합니다• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU 질량 분석기 오류• 원하는 측정 질량으로 설정되어 있는지점검하고, 필요한 경우 이를 수정하십시오
• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W201

24V 전원 너무 낮음

24V 전원 장치 장애• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

24V 전원의 과부하 또• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

는 단락
W202

24V 전원 너무 높음

24V 전원 장치 장애

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

61 / 96

7 | 경고 및 오류 메시지

INFICON유형메시지가능한 오류 원인

장애 해결

W206

장치 조작기의 24V 공급 전장치 조작기 기능 장애• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

압이 범위를 벗어나 있음장치 조작기 24V 전원• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

의 과부하 또는 단락
W211

W222

5V 내부 공급 전압이 범위를 내부 5V 전원의 과부하벗어나 있음또는 단락

24V_A 내부 전압이 범위를'I/O' 연결부 또는 '챔벗어남버'에 연결된 모듈에서• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

• 다른 모듈을 사용하십시오

결함 있음'I/O' 연결부 또는 '챔• 다른 케이블을 사용하십시오

버'에 연결된 케이블에서 결함 있음
24V_A 전원의 과부하• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

또는 단락
W240

+15V 전압이 범위를 벗어나

내장 IO 모듈 결함 있음 • 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

있음
W250

REF5V 전압이 범위를 벗어

내장 IO 모듈 결함 있음 • 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

나 있음
E301

GDU - MC50에서의 24V 입

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU - 주파수 변환기에서의 GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

력 전압이 너무 낮음E302

GDU - Transpector에서의
24V 입력 전압이 너무 낮음

E303

24V 입력 전압이 너무 낮음W304

GDU - 아웃풋 OPTION에서GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU - U5_II_리크 전압이 너 GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

의 24V 전압이 너무 낮음W305

GDU - U5_I_스니퍼 전압이
너무 낮음

W306

무 낮음
E307

GDU - MC50에서의 -15V 입 GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

력 전압이 너무 낮음
E308

GDU - MC50에서의 15V 입

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

력 전압이 너무 낮음

62 / 96

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

INFICON경고 및 오류 메시지 | 7

유형

메시지

가능한 오류 원인

장애 해결

W310

GDU - 1차 압력이 너무 높

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU - 시스템 시동 시 터보

GCU 및 GDU 사이에서• GDU 및 GCU 간의 호스 연결 상태를 점검펌프 주파수에 도달하지 않

누설 발생

음
W312

았거나 TMP 전류가 너무 높음합니다• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

다이어프램 펌프 결함• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

터보 펌프 또는 전동 액 • 고객 서비스 센터에 문의하십시오.
추에이터 결함
W314

GDU - 정비: 필터

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W316

GDU - 정비: TMP

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W317

GDU - 정비: 다이어프램 펌

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

프
W318

GDU - 정비: 메인 에어 필터

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

E319

GDU - MC50 CPU 카드에서GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

주변 온도가 너무 높음• 외기 온도를 낮추거나, 하우징 둘레에서의 온도가 너무 낮음(< -21
°C)
E320

GDU - MC50 CPU 카드에서의 온도가 너무 높음! (> 60다른 대상물들과 충분한 거리가 확보되게

°C)

하십시오
에어 필터 블로킹됨• 에어 필터를 교체 또는 청소합니다

GDU 냉각팬 결함• 외부로부터의 냉각팬 흐름이 감지되는지확인합니다• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

E322

GDU - 터보 펌프 주파수가GCU 및 GDU 사이에서• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

너무 낮음

누설 발생

• GDU 및 GCU 간의 호스 연결 상태를 점검
합니다

E323

GDU - 터보 펌프 주파수가다이어프램 펌프 결함• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

터보 펌프 결함• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

너무 높음
W324

GDU - GB_EXT U24 전압이너무 낮음

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

63 / 96

7 | 경고 및 오류 메시지

INFICON유형메시지가능한 오류 원인

장애 해결

E325

GDU - 내장 광전 센서

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W328

GDU - 실시간 시계가 리셋

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

되었습니다. 날짜 및 시간을입력하십시오.
W329

GDU - 오디오 아웃풋에서
24 V 전압이 너무 낮음E330

GDU - 감도가 너무 낮음

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W331

GDU - K1 계수가 범위를 벗

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

어나 있음
W334

GDU - 유량 변화

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W335

GDU - 유량이 너무 적음

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

E336

GDU - 유량이 너무 큼

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

E339

GDU - 방출 이상 발생

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

E340

GDU - 방출 이상 발생

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

E341

GDU - Transpector와의 통

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU - Transpector 온도 >에어 필터 블로킹됨• 에어 필터를 교체 또는 청소합니다

70 °C 또는 < 0 °C

GDU 냉각팬 결함• 외부로부터의 냉각팬 흐름이 감지되는지

신 없음
E342

확인합니다
• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.
W343

GDU - Transpector 한계값

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

초과
W344

GDU - Transpector와의 통
신 없음

W345

GDU - Transpector 하드웨
어 오류

W346

GDU - Transpector 하드웨어 경고

64 / 96

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

INFICON경고 및 오류 메시지 | 7

유형

메시지

가능한 오류 원인

장애 해결

E347

GDU - Transpector 과압시스템이 액체로 오염• 호스 또는 액체 분리기에 액체가 남아 있됨는지 확인하고 이를 제거• 오류 내용을 확인하십시오장시간 이후 시스템이• 장치를 몇 시간 동안 예열 작동합니다다시 켜짐
GCU 및 GDU 사이에서누설 발생

• GDU 및 GCU 간의 호스 연결 상태를 점검합니다• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

E348

GDU - Transpector 방출 이

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU - TSP 매개변수 일관성 GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

상 발생
W349

GDU - 캐소드 1과의 방출
없음

E350

GDU - 터보 펌프 또는 전자장치 기능 이상E351

GDU - 터보 컨트롤러와의
통신 없음

W358

GDU - 측정 매개변수의 일관성이 결여되었습니다. 점검하십시오.

W359

GDU - EEPROM 매개변수대기열의 오버플로W360

GDU - 모든 EEPROM 매개변수가 소실됨

W361

GDU - EEPROM 매개변수가
초기화됨

W362

GDU - EEPROM 매개변수가
소실됨

W363

결여
W364

GDU - 경고가 있습니다.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W365

GDU - TSP 시리얼 번호 일

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

관성 결여
W366

GDU - 신규 교정 누설기

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

65 / 96

7 | 경고 및 오류 메시지

INFICON유형메시지가능한 오류 원인

장애 해결

W367

GDU - 교정 누설기 시한 만

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

료 임박
W368

GDU - 교정 누설기 시한 만
료W370

GDU - 교정 누설기의 모든
EEPROM 매개변수가 소실됨

W371

GDU - 교정 누설기와의 통
신 없음

W372

GDU - SN와의 통신 없음

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

E373

GDU - 적합하지 않은 SN

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W377

GDU - 변경된 교정 계수

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W378

GDU - 테스트 누설 및 에어

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

사이의 신호 편차가 너무 작음W379

GDU - 계수가 범위를 벗어
나 있음

W380

GDU - 캐소드 절환됨

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W381

GDU - 교정 계수가 너무 작

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

음
W382

GDU - 교정 계수가 너무 큼

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W383

GDU - 베이스라인 오프셋이 GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

범위를 벗어나 있음
W384

GDU - 테스트 누설 신호가

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

너무 작음
W385

GDU - 극댓값 찾기 시의 문
제 발생

W386

GDU - 내부 교정 불가

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

W387

GDU - 내부 테스트 누설의

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

누설률을 알 수 없음E390

GDU - TMP 오류 001 과회
전속도

E391

GDU - TMP 오류 002 과전
압

66 / 96

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

INFICON경고 및 오류 메시지 | 7

유형

메시지

가능한 오류 원인

장애 해결

E392

GDU - TMP 오류 006 시동

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

GDU에서 문제 발생• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

시간 오류
E393

GDU - TMP 오류 008 전자
장치 - 펌프 연결E394

GDU - TMP 오류 015 TC 컨트롤러에서의 오류

E395

GDU - TMP 오류 021 올바르지 않은 펌프 영상 임피던스

E396

GDU - TMP 오류 025 TC 온도 모니터링에서의 오류E397

GDU - TMP 오류 026 TC에서의 온도 센서 오류

E398

GDU - TMP 오류 037 전원
이상 발생

E399

GDU - TMP 오류 007 모터단계 또는 활성화 과정 시의
오류

E500

압력 센서 p1 연결되지 않음 압력 센서가 연결되지않음 또는 케이블 결함• 장치를 재시작한 후 기능을 검사합니다
• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

내장 IO 모듈 결함 있음 • 고객 서비스 센터에 문의하십시오.
압력 센서 p1 결함
E502

압력 센서 p2 연결되지 않음 압력 센서가 연결되지않음 또는 케이블 결함• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.
• 장치를 재시작한 후 기능을 검사합니다
• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

내장 IO 모듈 결함 있음 • 고객 서비스 센터에 문의하십시오.
압력 센서 p2 결함• 장치를 재시작한 후 기능을 검사합니다
• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

E504

압력 센서 p3 연결되지 않음 압력 센서가 연결되지않음 또는 케이블 결함• 장치를 재시작한 후 기능을 검사합니다
• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

내장 IO 모듈 결함 있음 • 고객 서비스 센터에 문의하십시오.
압력 센서 p3 결함• 장치를 재시작한 후 기능을 검사합니다
• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

67 / 96

7 | 경고 및 오류 메시지

INFICON유형메시지가능한 오류 원인

장애 해결

W580

최대 진공 배기 시간이 초과검사 제품에서 또는 테

• 누설 탐지기 및 테스트 챔버 간의 연결부됨스트 챔버 연결부에서대량 누설에서 누설 여부를 검사합니다
• 테스트 챔버 내에 검사 제품이 없는 상태에서 측정을 진행하십시오최대 배기 시간에 대한설정값이 너무 낮음• 최대 진공 배기 시간을 검사하고, 필요한경우 이를 더 높이십시오테스트 챔버가 올바르• 챔버가 올바르게 닫혀 있는지 확인하고,게 닫히지 않은 상태씰링면에 다른 물체나 손상이 없는지 점
검하십시오

W581

측정 모드까지의 최대 진공검사 제품에서 또는 테배기 시간이 초과됨스트 챔버 연결부에서대량 누설• 누설 탐지기 및 테스트 챔버 간의 연결부에서 누설 여부를 검사합니다
• 테스트 챔버 내에 검사 제품이 없는 상태에서 측정을 진행하십시오장시간 동안 제품을 켜• 장치를 몇 시간 동안 예열 작동합니다지 않았음측정까지의 진공 배기시간에 대한 설정값이• 최대 진공 배기 시간을 검사하고, 필요한경우 이를 더 높이십시오

너무 낮음
W600

교정 계수가 너무 낮음교정 시 올바르지 않은• 교정을 반복하십시오.

값이 입력됨
올바르지 않은 교정 누

• 교정을 반복하십시오.

설이 들어가 있음

W601

교정 계수가 너무 높음ZERO 측정 부정확• 교정을 반복하십시오.

교정 시 올바르지 않은• 교정을 반복하십시오.

값이 입력됨
올바르지 않은 교정 누

• 교정을 반복하십시오.

설이 들어가 있음ZERO 측정 부정확• 교정을 반복하십시오.

하층 신호가 너무 높음• 하층 신호를 줄이려면, 퍼징 기능을 사용하십시오.
• 교정을 반복하십시오.

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ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

INFICON경고 및 오류 메시지 | 7

유형

메시지

가능한 오류 원인

장애 해결

W605

테스트 누설 신호가 너무 낮교정 시 올바르지 않은• 교정을 반복하십시오.

음값이 입력됨
올바르지 않은 교정 누

• 교정을 반복하십시오.

설이 들어가 있음ZERO 측정 부정확• 교정을 반복하십시오.

교정 누설 신호가 너무• 다른 교정 누설을 사용하십시오고객 서비

약함
W630

교정 요청

작동 매개변수 또는 측스 센터에 문의하십시오.
• 교정을 실시하십시오.

정 질량이 변경됨W660

교정 - 오프셋 너무 높음테스트 챔버 내에서• 교정을 반복하십시오.

ZERO 측정이 진행되는동안 교정 누설하층 신호가 너무 높음• 다른 교정 누설을 사용하십시오
• 하층 신호를 줄이려면, 퍼징 기능을 사용
하십시오.

W661

교정 - 신호 너무 낮음 또는테스트 챔버 내에서오프셋 너무 높음ZERO 측정이 진행되는• 교정을 반복하십시오.

동안 교정 누설교정 누설기 신호가 너• 다른 교정 누설기를 사용하십시오.

무 작음하층 신호가 너무 높음• 하층 신호를 줄이려면, 퍼징 기능을 사용하십시오.
• 교정을 반복하십시오.

E709

기본 장치 온도가 너무 낮음주위 온도가 너무 낮음• 장치가 있는 곳 주위의 온도를 높이십시
오.

W710

기본 장치 온도가 너무 높음주위 온도가 너무 높음• 장치가 있는 곳 주위의 온도를 낮추십시
오.

W711

기본 장치의 최대 온도가 초주위 온도가 너무 높음

과됨
W903

• 장치가 있는 곳 주위의 온도를 낮추십시오.

정비: 교정 누설기 시한 만료 교정 누설기의 정비 주

• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

기를 초과함
W910

정비: 1차 진공 펌프1차 진공 펌프의 정비• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

주기를 초과함

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

69 / 96

7 | 경고 및 오류 메시지

INFICON유형메시지가능한 오류 원인

장애 해결

W920

정비: 배출 필터배출 필터의 정비 주기• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

를 초과함
W925

정비: 에어 필터에어 필터의 정비 주기• 고객 서비스 센터에 문의하십시오.

를 초과함

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INFICON청소 및 유지보수 | 8

8 청소 및 유지보수본문에 설명된 모든 청소 작업 및 정비 작업은 장치 커버를 닫은 상태에서만 실시할수 있습니다.

위험전기 충격으로 인한 생명의 위험장치 내부에는 높은 전압이 흐릅니다. 전압이 흐르는 부품에 접촉할 경우 생명의 위험이 있습니다.
► 청소 및 유지보수 작업 전에는 항상 장치를 전원 공급장치에서 분리하십시오. 권한이 없는 인원은 전원 공급을 복구할 수 없음에 유의하십시오.
► 장치 커버를 열지 마십시오.

위험전해액으로 인한 부상 위험전해액으로 인한 부상► 피부, 눈 또는 의복에 닿지 않게 하십시오.
► 적합한 보호복, 특히 장갑, 앞치마 및 안면 보호구를 착용하십시오.
► 각각의 해당 물질 안전 보건 자료에 유의하고, 유효한 작업 지침을 따르십시오.
► 전해액이나 배터리 산이 튀게 되면 이를 깨끗한 물로 즉시 씻어내십시오.
► 경우에 따라서는 의사의 진단을 받으십시오.

주의무거운 장치가 떨어지는 상황에서의 위험본 장치는 무거우며, 이를 기울이거나 떨어뜨리면 사람에게 부상을 입히고, 제품 손상을 야기할 수 있습니다.
► 배터리 누설 탐지기는 반드시 편평하고 충분히 안정적인 바닥면 위에만 놓으십시
오.

ELT3000 PLUS-사용 설명서-minc95ko1-01-(2306)

71 / 96

8 | 청소 및 유지보수INFICON

8.1 진공 컨트롤 유닛(GCU) 정비 작업
8.1.1 진공 컨트롤 유닛(GCU): 하우징 청소진공 컨트롤 유닛(GCU)의 하우징은 도장 처리된 금속 케이스 및 옵션으로 제공되는알루미늄 소재의 테스트 챔버로 구성됩니다.

1천은 물로만 적셔야 합니다.

2알코올, 그리스 또는 오일이 포함된 세정제를 사용하지 마십시오.

3

전원 플러그를 뽑아서 전원 공급장치로부터 진공 컨트롤 유닛을 확실히 분리하십시오.

4부드러운 젖은 천으로 하우징을 닦아내십시오.

5테스트 챔버를 청소할 때는 알루미늄 표면 청소에 적합한 세제를 사용하십시오
(예: 일반적인 가정용 세제). 도장된 금속 표면을 부식시킬 수 있는 솔벤트 계열세제는 사용하지 마십시오.

8.1.2 진공 컨트롤 유닛(GCU): 호스 교체누설 검사 시에는 측정 챔버로부터 공기가 두 개의 호스를 통해 흡인되며, 호스의 끝에는 각각 필터 카트리지가 장착되어 있습니다. 흡인되는 액체량이 적거나, 응축수 형성이 미미할 때는 전문 교육을 받은 기술자에게 호스 탈거를 의뢰할 수 있습니다.

1호스를 탈거하려면, 유니언 너트를 푼 다음 필터 카트리지와 함께 각각의 호스를 빼내십시오.
ð 만약 상당량의 액체가 호스의 하부로 흘러 들어갔다면 서비스팀에 연락하십시오.

2필터 카트리지가 오염되었다면 이를 교체하십시오.

3

새 호스를 끼우십시오.

8.1.3 진공 컨트롤 유닛(GCU): 인라인 필터 검사필터가 오염되면 누설 탐지기의 기능 및 측정 정확도를 저해할 수 있습니다. 투명한필터 요소에(인라인 필터) 흡인된 먼지 및 오염물 상태를 정기적으로 검사하십시오.

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INFICON청소 및 유지보수 | 8

1
2
1

1 유니언 너트(금속)►2 필터 요소(투명)오염이 심한 경우 필터 요소를 교체하십시오.

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8 | 청소 및 유지보수INFICON

8.1.4 진공 컨트롤 유닛(GCU): 장치 밑면에서 필터 매트 교체필터 세트 CS4

주문번호 200006373

필요한 공구

없음생산 공간 내에 먼지가 많을 때는 장치 아랫면의 필터 매트가 오염될 수 있습니다. 오염이 심한 경우 필터 매트를 교체하십시오.
ü 새 필터 매트를 사용할 수 있습니다.

1전원 플러그를 뽑아서 전원 공급장치에서 장치를 확실히 분리하십시오.

2

장치 아랫면에 위치한 에어 필터에 닿으려면, 장치를 앞쪽에서 바라보면서 왼쪽으로 조심스럽게 90도 기울이십시오.

74 / 963플라스틱 그리드를 탈거하십시오. 잠금 러그를 이용해야만 고정됩니다.

4사용한 공기 필터를 플라스틱 그리드에서 꺼내고 새 필터를 넣으십시오.

5새 공기 필터를 넣은 플라스틱 그리드를 장착하십시오.

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INFICON청소 및 유지보수 | 8

8.2 가스 검출 장치(GDU) 정비 작업정비 계획에 따라 정비 작업이 제때에 진행되지 못하면, 보증의 효력이 소실됩니다.

위험전기 충격으로 인한 생명의 위험장치 내부에는 높은 전압이 흐릅니다. 전압이 흐르는 부품에 접촉할 경우 생명의 위험이 있습니다.
► 설치 및 정비 작업 전에는 항상 장치를 전원 공급장치에서 분리하십시오.
► 권한이 없는 인원은 전원 공급을 복구할 수 없음에 유의하십시오.

주의무거운 장치가 떨어지는 상황에서의 위험본 장치는 무거우며, 이를 기울이거나 떨어뜨리면 사람에게 부상을 입히고, 제품 손상을 야기할 수 있습니다.
► 배터리 누설 탐지기는 반드시 편평하고 충분히 안정적인 바닥면 위에만 놓으십시
오.
필요 공구

• 스크류 드라이버 2개, 사이즈 2• 박스 엔드 렌치, SW 19 mm• 육각 소켓 렌치, 8 mm
• 육각 소켓 렌치, 3 mm
• 핀셋

8.2.1 가스 검출 장치(GDU) 에어 필터 교환에어 필터는 슬럿 내에 있으며, 장치의 아랫면에서부터 해당 슬롯에 닿을 수 있습니
다. 슬럿에는 커버판이 덮여 있습니다. 커버판은 3 mm 규격의 육각 볼트로 채워져 있습니다.

참조회전하는 장치부로 인한 제품 손상 위험터보 분자 펌프의 손상► 정비 작업을 실시하거나, 장치를 움직여야 할 때는 반드시 먼저 터보 분자 펌프가완전히 멈출 때까지 기다려야 합니다.

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8 | 청소 및 유지보수INFICON• 가스 검출 장치(GDU)는 전면판과 함께 부드러운 밑깔개 위에 놓으십시오.

• 커버판의 볼트를 풀어 주면서 커버판을 옆쪽으로 돌릴 수 있는 상태로 만드십시오.
• 에어 필터를 당겨 빼내서 새 것으로 교체합니다.
• 커버판을 다시 슬롯 앞에 조이십시오.
• 가스 검출 장치(GDU)를 다시 받침대 위에 놓으십시오.
• 터치스크린을 통해 작업을 승인하십시오.

8.2.2 작동유 저장소 교체주의독성 물질로 인한 중독 위험작동유 저장소에는 토출된 매개물에서 나온 유독 물질이 포함되어 있을 수 있습니다.
► 작동유 저장소에는 토출된 매개물에서 나온 유독 물질이 포함되어 있을 수 있습니다.
► 필요한 경우 적합한 보호복을 입으십시오.
► 작동유 저장소는 해당 지역 규정에 명시된 바대로 폐기 처리하십시오.
작동유 저장소는 터보 분자 펌프에 윤활유를 공급하는 역할을 합니다. 이는 플라스틱용기와 습식 플리스 및 습식봉 8개로(Porex 로드) 구성되어 있습니다. 플라스틱 용기및 Porex 로드는 터보 분자 펌프 아래쪽에 위치하며, GDU 밑면으로부터 접근 가능합니다.
작동유 저장소 구멍은 알루미늄 소재로 된 플러그 및 플라스틱 나사로 막혀져 있습니다.
작동유 저장소는 제품 수명 및 보관기간에 제한이 있습니다(정비 계획 참고).

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INFICON작업 절차청소 및 유지보수 | 8• 가스 검출 장치를 전면판과 더불어 부드러운 밑깔개 위에 놓으십시오. 이때 전면판의 연결부에 유의하십시오.

• 플라스틱 나사를 19 mm 규격의 박스 엔드 렌치를 사용해서 푸십시오.
• 알루미늄 플러그는 한 개 또는 두 개의 가느다란 스크류 드라이버를 사용해서 분
리합니다.

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8 | 청소 및 유지보수INFICON• 플라스틱 용기의 가운데 구멍에 적당한 후크를 걸어서 플라스틱 용기를 당겨 빼내십시오.

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INFICON청소 및 유지보수 | 8• 여덟 개의 Porex 로드는 핀셋을 사용해서 구멍의 전면부로부터 당겨 빼냅니다.
• 새 Porex 로드를 끼울 때에도 핀셋을 사용합니다.
• 우선 습식 플리스와 더불어 플라스틱 용기를 구멍에 넣은 후 이를 알루미늄 플러그로 막으십시오.
• 플라스틱 나사를 다시 조여 주십시오. 이때 O-링이 플라스틱 나사의 슬롯에 정확하게 위치하고, 구멍이 잘 막혀지도록 유의하십시오.
• 터치스크린을 통해 작업을 승인하십시오.

8.2.3 전원 퓨즈 교체위험전기 충격으로 인한 생명의 위험장치 내부에는 높은 전압이 흐릅니다. 전압이 흐르는 부품에 접촉할 경우 생명의 위험이 있습니다.
► 설치 및 정비 작업 전에는 항상 장치를 전원 공급장치에서 분리하십시오.
► 권한이 없는 인원은 전원 공급을 복구할 수 없음에 유의하십시오.
퓨즈는 전원 스위치의 덮개 뒤에서 찾아 볼 수 있습니다. 이는 두 개의 끼움판에 위치하고 있습니다. 전원 퓨즈는 주문번호 200 000 914로 구입할 수 있습니다. 반드시 동일한 종류의 퓨즈 두 개를 사용해야 합니다.

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8 | 청소 및 유지보수INFICON• 스크류 드라이버를 사용해서 전원 스위치의 덮개를 오른쪽으로 여십시오.

• 두 개의 끼움판을 빼내고, 퓨즈를 새 것으로 교체합니다.
• 끼움판을 다시 밀어 넣습니다. 화살표가 위쪽을 가리키고 있는지 확인하십시오.
• 덮개를 닫으십시오.

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INFICON청소 및 유지보수 | 8

8.3 정비 계획
유지보수

설명

부품 번호

작동 시간
500

하우징 바닥에서 메인에어 필터 GDU에어 필터를 청소하거(104 x 154 mm; 5나 새로 교체

개)내부 필터를 검사하고,

내부 필터

2000

시간

정비 단계

10000

200 001 552

XI

200 03 679

XII필요 시 교체합니다(세개).
터보 분자 펌프에서 작 작동액 저장 탱크동액 저장 탱크 교체

200 003 801

3년II포장지에 표기된 날짜는 설치가 가능한최종 일자입니다.

다이어프램 펌프의 다다이어프램 펌프의이어프램 교체마모 부품 세트200 03 504

XIII정비 단계에 관한 설명:정비 단계 I: 기술 교육 경험이 없는 고객정비 단계 II: 기술 교육 및 INFICON 교육을 수료한 고객정비 단계 III: INFICON 서비스

8.4 스크린샷 생성현재 장치의 화면 내용을 이미지 파일로 저장할 수 있습니다. 그러한 파일은 예를 들면 서비스 작업 시 커뮤니케이션을 위해 사용할 수 있습니다.

1

USB 스틱(FAT 32 포맷)에 "" 이름의 디렉터리를 만드십시오.

2스크린샷을 생성하려면 USB 스틱을 누설 탐지기의 USB 포트 중 하나와 연결하십시오.
ð 스크린샷이 자동으로 생성되어 USB 스틱의 디렉토리에 저장됩니다. 이때 날짜와 시간도 저장됩니다.

3스크린샷을 추가로 생성하려면 USB 스틱을 USB 포트에서 분리한 다음 누설 탐지기에 다시 연결하십시오.
ð 스크린샷을 추가로 생성할 때 이전에 저장된 스크린샷에 덮어쓰지 않습니다.

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8 | 청소 및 유지보수INFICON8.5 장치를 유지보수하거나 수리를 맡기십시오.
경고건강 유해 물질로 인한 위험오염된 장치가 건강을 위협할 수 있습니다. 오염신고서는 장치를 만지게 되는 모든 인원을 보호하는 데 도움이 됩니다.
► 오염신고서를 빠짐 없이 작성하십시오.
장치 내부의 정비 작업은 반드시 제조사에서 실행해야 합니다.
INFICON으로 장치를 발송하여 서비스를 받거나 수리할 수 있습니다. 더 자세한 개별
사항은 "유지보수, 수리 또는 폐기를 위한 배터리 누설 탐지기의 반송 [} 83]"을 참조하십시오.

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INFICON작동 중단 | 99 작동 중단
9.1 배터리 누설 탐지기 폐기 처리배터리 누설 탐지기는 작업장 총괄 책임자가 폐기 처리하거나, INFICON으로 반납해주시면 됩니다.
배터리 누설 탐지기에는 재활용이 가능한 소재들이 포함되어 있습니다. 폐기물 발생을 줄이고, 환경을 보호하기 위해 상기의 방법을 사용해주십시오.
►폐기 처리 시에는 해당 국가의 환경보호 및 안전 규정을 준수하십시오.

9.2 유지보수, 수리 또는 폐기를 위한 배터리 누설탐지기의 반송
경고건강 유해 물질로 인한 위험오염된 장치가 건강을 위협할 수 있습니다. 오염신고서는 장치를 만지게 되는 모든 인원을 보호하는 데 도움이 됩니다. 장치를 보낼 때 반송 번호 및 오염신고서 기재 내용이 빠져 있다면, 제조사는 발송인에게 이를 반송시키게 됩니다.
► 오염신고서를 빠짐 없이 작성하십시오.

1반송 전에 제조사와 연락한 후 작성한 오염신고서를 보내십시오.
ð 이후 반송 번호 및 발송 주소가 부여됩니다.

2

반송 시 원래의 포장을 사용하십시오.

3

장치를 발송하기 전에 미리 작성해 놓은 오염신고서 사본을 포장지 외부에 부착하십시오.

오염신고서에 관한 사항은 아래 내용을 참고하십시오.

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9 | 작동 중단

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INFICON

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INFICON부록 | 1010 부록
10.1 액세서리
용어카탈로그 번호누설 탐지기
ELT3000PLUS (가스 검출 장치+컨트롤 유닛) 230V, 50Hz

600-201

ELT3000PLUS (가스 검출 장치+컨트롤 유닛) 110V, 60Hz

600-202테스트 챔버
TC3000S (일체식 챔버 180 mm × 180 mm × 27 mm)

600-100

TC3000L (일체식 챔버 400 mm × 210 mm × 120 mm)

600-101

FTC3000 (플렉시블 테스트 챔버 400 mm × 350 mm)

600-102교정 누설기
E-체크

600-105

E-체크 연결 키트

600-106

버스 모듈
BM1000 PROFIBUS

560-315

BM1000 PROFINET IO

560-316

BM1000 DeviceNet

560-317

BM1000 EtherNet/IP

560-318

I/O1000 모듈

560-310데이터 케이블 I/O1000 2m

560-332데이터 케이블 I/O1000 5m

560-335데이터 케이블 I/O1000 10m

560-340

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10 | 부록INFICON

10.2 웹브라우저를 통해 누설 탐지기 작동(LAN)운영 체제는 USB 또는 이더넷을 통해 공격을 받을 수 있습니다누설 감지기에 사용되는 Linux 운영 체제는 자동으로 업데이트되지 않으므로 보안상취약점이 있을 수 있습니다. 이러한 취약점을 악용하여 누설 감지기의 이더넷 및 USB인터페이스를 통해 시스템에 무단으로 접근할 가능성이 있습니다.
► USB 포트/이더넷 포트 잠금 장치 등을 통해 이러한 인터페이스에 승인되지 않은 사람이 접근할 수 없도록 하십시오.
► 회사 네트워크 보안 강화를 위해 누설 감지기를 공용 인터넷에 직접 연결하지 마십
시오. 이러한 권장 사항은 WiFi 및 이더넷을 통한 연결에 모두 적용됩니다.
► 만약 원격으로 누설 감지기의 웹 인터페이스에 접근하려면 암호화된 가상 사설망(VPN) 연결을 권장합니다. 그러나 타사에서 제공하는 VPN 연결의 보안성은 보장되지 않습니다.

10.2.1 누설 탐지기의 LAN 연결 구성Supervisor 권한üü 네트워크 케이블에는 RJ45 네트워크 인터페이스가 적용되어 있으며, 누설 탐지기뒷면에 연결되어 있습니다.

1
2> 네트워크 > LAN 설정“방식” 입력란에서 LAN 설정을 선택하십시오:ð 끔: 네트워크 케이블 (RJ45 소켓) 이 연결되어 있어도 네트워크 연결이 구축되지 않습니다.
ð DHCP: 누설 탐지기는 통합된 네트워크에 의해 IP 주소를 자동으로 적용합니다.
ð 정적: IP 주소, 네트워크 마스크 및 게이트웨이는 네트워크의 누설 탐지기에도달하도록 수동으로 구성해야 합니다. 필요하면 네트워크 관리자에게 문의
하십시오.

3

저장하십시오.

.

또한 참고하십시오
2 PC 또는 태블릿에서 LAN 연결 설정 [} 87]

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INFICON부록 | 1010.2.2 PC 또는 태블릿에서 LAN 연결 설정
WiFi 연결 - 빠른 시작여기에 설명된 단계를 한 번 수행하고 난 뒤로는 많은 장치에서 같은 과정을 반복할
때 IP 주소만 입력하면 됩니다.
ü PC는 누설 탐지기와 동일한 네트워크에 연결되어 있습니다.
ü 누설 탐지기 환경 구성에서 LAN 설정이 이루어졌습니다("누설 탐지기의 LAN 연결
구성 [} 86]” 내용을 함께 참조).
ü 누설 탐지기의 IP 주소를 적어 둡니다. 이는 누설 탐지기의 “정보> 장치> 네트워크”경로에서 찾을 수 있습니다.
ü 웹 브라우저에서 JavaScript가 활성화됩니다. Chrome ™, Firefox® 또는 Safari® 등최신 버전의 웹 브라우저를 사용하는 것이 좋습니다.
►PC 또는 태블릿의 웹브라우저를 통해 누설 탐지기로 접근할 수 있으려면 누설 탐
지기의 IP 주소를 다음과 같이 입력하십시오:http://<IP-Adresse>ð 누설 탐지기에서 현재 활성화된 사용자 인터페이스가 호출됩니다.
ð 누설 탐지기의 터치스크린과 같은 기능을 PC나 태블릿에서도 사용할 수 있습니다.

10.2.3 클라이언트 접근 허용Supervisor 권한ü12> 네트워크 > 클라이언트 액세스
PC 또는 태블릿을 통해 누설 탐지기를 작동하려면, “클라이언트 접근” 옵션을활성화하십시오.
ð “클라이언트 접근” 옵션이 활성화되어 있지 않으면 PC 또는 태블릿을 통해누설 탐지기를 작동시킬 수 없습니다. 따라서 설정을 변경할 수 없습니다.

3저장하십시오.

.

연결된 모든 클라이언트 표시ü 누설 탐지기와 하나 또는 다수의 PC 혹은 태블릿 사이에서 네트워크 연결이 구성되었습니다 - 참고: "PC 또는 태블릿에서 LAN 연결 설정 [} 87]”.
►> 네트워크 > 연결된 클라이언트

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10 | 부록INFICON

10.3 네트워크를 통한 제어 또는 데이터 요청그래픽 사용자 인터페이스로 접근하는 것 외에도 누설 탐지기에서 특정 측정 데이터를 호출하거나, 설정을 진행하고, 제어 명령을 전달할 수도 있습니다.
이를 위해 데이터 인터페이스가 구현되었습니다(REST-Interface). 이 인터페이스는 요청된 형식의 데이터와 함께 유효한 매개변수를 전송할 때 포트 3000에 대한 쿼리에응답합니다.

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INFICON부록 | 1010.3.1 측정 데이터 내보내기ü 한쪽에는 누설 탐지기와 다른 쪽에는 PC 또는 태블릿 간 네트워크 연결이 구축되었습니다. 또한 "인터페이스 [} 33]"를 참고합니다.
►원하는 측정 데이터를 내보내기 하려면, 귀하의 요청에 해당 매개변수를 적용하여URL 형태로 브라우저에 입력할 수 있습니다. 이러한 방식을 적용할 때는 원하는시간만 설정할 것이 아니라 파일 형식 및 데이터 환경까지 설정해 놓아야 합니다.

예 1:

http://192.168.11.124:3000/measurement?f=&=4
해당 제품에 대한 전체 측정을 모두 ID 4로 전송합니다. 해당 형식은 ""입니다.

예 2:

http://192.168.11.124:3000/measurement?=2018-05-03T07:00:00&=
2018-05-04T09:00:00&f=
2018-05-03 07:00:00 및 2018-05-04 09:00:00 사이에 진행된 전체 측정을 전송하며,해당 형식은 ""입니다.

매개변수

이름

설명

옵션

시작

데이터가 내보내기 되 날짜는 ISO 형식예시=2018-05-03T07:15:00

는 시간 범위에서의
시작 시간
종료

데이터가 내보내기 되 날짜는 ISO 형식=2018-05-04T11:34:12

는 시간 범위에서의
종료 시간
limit

f

limit

형식

제품

내보내기 되는 측정1부터 400000 사이 limit =100

개수를 제한합니다.

의 숫자limit = 16내보내기의 데이터 형 , ,

f=

식

표준:

f=

하나 또는 다수의 제

제품의 ID. 다수일=2품에 대한 측정 조회때 콤마로 구분=4,6,7mid

측정 IDID로 측정 절차 조회측정 절차 ID

mid=2, mid=4,6,7

datetime시간대현지 또는 UTC 시간

local, utc

datetime=local, mid=utc

선택Standard: local

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10 | 부록INFICON

10.4 CE 적합성 선언

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INFICON

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부록 | 1091 / 96

10 | 부록INFICON

10.5 RoHS

92 / 96

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INFICON

색인

색인
인터페이스

기호

임계값
가스 검출 장치54

개인 설정 변경

38

공급 사양

11, 12

교정

55

교정 수단

56

권한

36

근접 스위치

40기계 데이터

20

기본 장치

53

끄기

57

날짜 및 시간

36누설 임계값

45데이터 백업측정 데이터

45
38, 39

끄기

38

켜기

38

자동 시작

40

자동 측정 시작40장치 조작기

52

장치 퍼징

50

전기 데이터

21

제품
로드

44

삭제

44

생성

44

제품 설정
50

물리 데이터

21

바코드 스캐너

33

바코드 입력

45

반송

82, 83보관

13

사용자 프로필
로드

37

삭제

37

생성

37

편집

37

셋업

25

소프트웨어 업데이트

52

손상

13

스크린샷 생성

81

언어 설정

37

오류 및 경고(활성화)

56

오염신고서

83

운반

13

운반 안전장치

23

유지보수

71

음량 변경

40

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자동 로그인

33, 86

복사

44

편집

44

제품 이미지 다운로드45제품 이미지를 누설 탐지기로 전송

45

주변 요건

20

진공 컨트롤 유닛

15

청소 작업

71

초기 설정 상태로 리셋56

추가 입력란

47

측정
전제조건

48

측정 반복

49

측정 데이터
네트워크를 통해 내보내기

88

불러오기

50

삭제

51

전송

50

켜기

35

테스트 챔버

41프로토콜 불러오기(장치 메시지)52

93 / 96

색인

INFICON

L
LAN

86

PC 또는 태블릿 설정87

누설 탐지기 구성

86클라이언트 접근 허용

87

O
Operator

36

S
Supervisor

36, 38

U
User

36

Z
ZERO

46

ZERO 측정

46

94 / 96

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