EH S R E P OR T

製品における環境への取り組み
製品における
環境への取り組
み東京エレクトロングループでは、製品のライフサイクルにおいて環境負荷が最も大きい製品使用時の省エネルギー化や規制化学物質の削減など、環境負荷の低減に取り組んでいます。

製品使用時の取り組み
製品の環境負荷低減についての考え方の省エネルギー運用（計画運転、適正運用など）の5

当社グループは、環境に配慮した製品設計を推進項目を検討し、今後、技術開発に取り組んでいきます。

することが、企業活動において重要と考えており、環クリーンルームの省エネルギー運用については、お境理念 / 方針でもこの考え方を明確にしています。特

客様や設備メーカーとの協力が不可欠なため、三者に装置の省エネルギー化や、装置に含有される規制で密接に連携を取りながら、装置使用時の省エネル化学物質の削減・代替は、最優先の課題として位置ギー化を進めていきます。また、「 SEMI S23※」を用付けています。

いて、装置で使用する電力、水、ドライエアー、冷却水や熱の排気の使用のほか、補機類（真空ポンプや環境負荷低減の推進組織
製品に関する環境負荷低減の推進組織として、二つの関連部会を設置しています。このうち、「含有化学HIGHLIGHT

物質対策ステアリングチーム」は、装置を構成する部品やコンポーネントなどに含まれる規制化学物質の削減・代替を進めています。環境ステアリング委員会冷却装置）のエネルギー消費量を正確に把握し、対策を進めていきます。
※ SEMI S23：SEMI(Semiconductor Equipment and Materials
International/半導体・FPD 製造装置と材料メーカーの国際的業界団体 )が作成した半導体製造装置に関する省エネルギーのガイドライン。

■ 各事業部での環境ロードマップの項目

MANAGEMENT REPORTの下部組織「製品ワーキングチーム」では、各事業部① 装置の省エネルギー化においての環境負荷低減に向けたロードマップを策② 含有化学物質対策定しました。策定にあたり「装置省エネルギー化、含③ 部品点数・工数削減

有化学物質対策、部品点数・工数削減、プロセスガス・④ プロセスガス・薬液削減

薬液削減、既存装置対応」を必須項目とし、「装置立⑤ 既存装置対応ち上げ工数の削減」などを任意項目としました。その進捗はグループ全体の中長期計画にて確認していま

EHS REPORT化ホールにて東京エレクトロングループ第11回技術ＩＳＭＩより省エネ優秀賞受賞
2008 年10月20日、米 国 オースチン で 行われ た交流会が行われ、そのなかで環境技術対策の発表がISMI（International SEMATECH Manufacturing7件ありました。今回より、ポスターセッションによInitiative）主催の省エネワークショップにて東京エレる開催となり、各事業部間での活発な意見交換が行

クトロンは2008 年 ISMI 装置省エネ優秀賞を受賞しわれ、様々な情報の共有を進めています。

ました。ISMIとは、日米欧アジアの世界主要半導体す。また、2009 年1月には、東京エレクトロン韮崎文メーカー14 社が参画し、半導体の生産性向上のために取り組みを行っている団体です。今回、東京エレクトロンが優秀賞を受賞したことは各
東京エレクトロングループ技術交流会

製品での省エネルギー化への取り組みが認められたこととな

SOCIAL REPORT

製品の省エネルギー化の取り組み
装置使用時の省エネルギー化対策として、①装置本体のエネルギー使用量削減②周辺機器のエネル
ギー使用量削減③装置の省エネルギー運用④クリー
ンルームのエネルギー使用量削減⑤クリーンルーム

16

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2009

り、大きな励みとなっています。
IＳＭＩ装置省エネ優秀賞を受賞

製品における
環
境への取り組
み枚葉成膜システムでの取り組み
枚葉成膜システムは、熱やプラズマを利用して金属膜やバリア膜を形法により、薄膜を成する装置です。この装置は、CVD（化学的気相成長）堆積させ成膜する装置で、装置のチャンバー内を真空に保つ必要がある■ 枚葉成膜システムTrias®での取り組み
小型ポンプ採用により使用電力を約 50% 削減

ため真空ポンプを使用します。装置からポンプへの排気システム全体を見直し、最適化することで小型のポンプを使用することが可能となりました。これにより、ポンプ自体で使用する電力を大幅に削減することができただけでなく、ポンプの小型化による省スペース化、省資源・省コスト化、排気時間の短縮による生産効率向上の効果もありました。
小型ポンプ

HIGHLIGHT

従来洗浄装置での取り組み
洗浄装置では、国内の大気汚染防止法にて規制が強化され、また半■ 排気中の IPA 濃度削減（イソプロピル減に向けた取り組みを行っています。装置で使用するIPA100%アルコール）
はこの揮発性有機溶剤の一つで、使用量が多く、かつ揮発81.6% 削減

性も高いので装置排気口から排出される濃度が高くなり、対策が必要とされていました。今回、純水または設備用水を噴霧するIPA 用のスクラバーを採用することで、排気中のIPA 濃度を低減することが可能とな

MANAGEMENT REPORT

導体業界においても削減の必要性が高いとされているVOC ※の排出削

18.4%りました。
※ VOC（ Volatile Organic Compounds 揮発性有機化合物 ）： 光化学オキシダントや浮遊粒子状物質の主な原因で公害や健康被害を引き起こすとされている。

改善前

改善後
EHS REPORT

塗布現像装置での取り組み
塗布現像装置では、お客様へ納入済みの既存装置での環境負荷低減を進めています。2004年にリリースしたCLEAN TRACK®

LITHIUS■ LITHIUS環境プログラム®

シリーズを対象に、LITHIUS 環境プログラムとして6アイテム（チャンバーチャンバーの直接排気化プロセス用排気低減低減など）をパッケージとして提供しています。また現在、レジスト・現像液消費量削減、プロセス用排気低減なども検討しています。すべてのアイテムを採用した場合、エネルギー消費量を約 15% 削減可能と試待機電力削減
薬液消費量削減算しています。他装置への展開や VO C の削減プログラムも検討を進めています。

SOCIAL REPORTの直接排気化、待機電力削減、冷却水使い分け、N2低減、モーター電流冷却水使い分け
モーター電流低減

N2低減TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200917

EH S R E P OR T
製品における環境への取り組み
製品における環
境への取り組み含有化学物質における取り組み
装置に含有される規制化学物質削減への規制化学物質に対する体制
当社グループ内では、部品ごとに含有している各種取り組み
部品や材料に含まれる化学物質による環境や生化学物質情報の登録・参照などが可能な化学物質管態系への影響懸念から、世界各国で自動車や電気理システムを構築しています。このシステムを使用す製品などへの使用規制が見られますが、当社グルーることにより、製品に使用される部品の規制物質含プでも製品に含まれる規制化学物質の削減を推進し有情報を容易に知ることができ、欧州 RoHS、中国ています。規制化学物質対策として幅広く知られて版 RoHSなどに則した規制化学物質を含有する製品※1

いるものに、2006 年 7月発効の欧州 RoHS 指令 がの製造や出荷を管理することが可能となっています。

あります。現在、半導体やFPD 製造装置はその対象となっていませんが、先駆けて対応を進めています。
また、当社製品も対象となっている2007年 3月発行
HIGHLIGHTの中国版 RoHS ※2に対しては、すでに適合を達成しています。

社および本社スタッフ部門の代表者で構成される「含その他の化学物質規制への取り組みMANAGEMENT REPORT有化学物質対策ステアリングチーム」を組織し、必化学物質については、世界各国において国連の勧要な情報を共有し、取引先にもご協力いただき、含告に基づくGHS ※1の導入が始まっています。この対有化学物質の調査と非含有代替品への変更を推進し応のために当社グループではGHSにより分類作成さています。さらに、製品に使用されるユニットやパーの入手提供と化れた化学物質安全情報（MSDSなど）

ツに含まれる化学物質を、専用のデー タベースを用学物質容器へのラベル提供を開始しています。

EHS REPORT（一部の製品をいて管理しています。2006 年度には

欧州では、販売されるほぼすべての化学物質につ除き）
欧州 RoHS 指令対応同等品への移行スケジュー

いて 安 全 情 報 を 登 録、評 価し、認 可、制 限 する、ルを自主的に策定し、構成する部品の98.5% 以上がREACH※2規制、EUにおける新電池指令※3、PFOS※4

欧州 RoHS 指令で規定された基準を満たした製品を規制など、ますます「生産者責任」と「予防原則」が徹「含有化学物質削減装置」と位置付け、2008 年度下底されつつあると考えられ、これらの規制に対して期から順次出荷を開始し、徐々に増やす予定です。

も、開発・設計・製造・資材・品質保証・環境安全な※1 RoHS 指令：Restriction of the use of certain Hazardous

どの各部門が一丸となって取り組みを進めています。

Substances in Electrical and Electronic Equipment※2 中国版 RoHS：正式名称は「」という。

■ 対策すべき含有化学物質
第一優先課題SOCIAL REPORT

顔料、安定剤、樹脂

六価クロム

クロムメッキ鉛

はんだ、塗料、電線被覆、快削金属

水銀

電池、蛍光灯

PBBs
PBDEs

樹脂部品
樹脂部品

第二優先課題JIG※レベルA 指定物質
（既に対策された物質がかなり含まれている）

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2009

さらに、JAMP※5への参画などを通して最適な対応をしていきます。
※1 GHS（Globally Harmonized System of Classification andLabeling of Chemicals):

カドミウム※JIG（Joint Industry Guide）：日米欧の民間団体の協力で作成された対策が必要な化学物質に関するリスト。レベルAとレベルBに分類されており、レベル A には16 物質（カドミウム、六価クロム、鉛、水銀、PBBs、PBDEsを含む）がリストアップされ、レベル B には400 を超える物質がリストアップされている。

18

専用データベース画面

当社グループでは迅速な対応をすべく、製造子会

化学品の分類および表示に関する世界調和システム、化学品の危険有害性ごとの各国の分類基準およびラベルやMSDS の内容を調和させ、世界的に統一したルールとして提供すること。
※2 REACH：Registration, Evaluation, Authorization andRestriction of Chemicals
化学物質の登録、評価、認可、制限に関する規則。特にSVHC（高懸念化学物質）については、製品中への含有情報提供と含有製品を安全に使用するための情報提供が求められる。
※3 EUにおける新電池指令：WEEE 指令に基づいて、使用済み電子・電気機器より取り外された電池は、電池指令に基づき処理されます。電池にリサイクルシンボルのマー キングを義務付けるなど、回収・リサイクルに対応しています。
※4 PFOS：パーフルオロオクタンスルホン酸。撥水・防水・非粘着性などの特性により、レジスト、金属メッキ、グリース・オイルなどに使用されている物質。EU 指令では、2008 年 6月 27日から一部の対象除外を除き、規定値以上の使用は禁止されています。日本国内においても化学物質審査規制法の改訂により全面的に使用が禁止となります（ただし、制限付きでのレジストなどの除外あり）。
※5 JAMP：Joint Article Management Promotion-consortium

物流における取り組み
2008年度は売上高の減少と海運利用の高いFPD 製物流についての考え方
物流に対する環境の取り組みでは、環境ステアリ造装置の運送比率が増えたため、C O2 の排出量もング委員会のもとに物流ワー キングチームを設置激減しました。海運の利用率を60%まで高めることし、関連する部門にて計画や対策を立案・実施してができれば目標を達成できると試算しており、船舶います。

輸送への切り替えを進められるようお客様への提案

2006 年 4月の「エネルギーの使用の合理化に関する法律」（以下、省エネ法）
改正に伴い、地球温暖化防止の観点から物流に対する規制が強化され、物流における環境負荷低減の要求が高まっています。当社

や梱包方法の最適化を進めていきます。

製品における
環
境物へ
流のに取おりけ組
る
み環
境への取り組み■ 海外向け輸出の海運比率（%）
17%

グループでは、国内・海外向け輸送のモー ダルシフ
ト※、環境負荷の少ない梱包方法の採用など、物流に40%

2007年度実績

HIGHLIGHTおける環境負荷低減に積極的に取り組んでいます。

2015年度目標
60%

83%

物流にかかるCO2排出は、当社グループの2007年度各ライフサイクル中の6% 程度と試算しています

空輸

海運

が、少ない量ではありません。当社グループの環境コミットメントの達成に向けて、今後も活動を推進していきます。

製品の梱包について
当社グルー プの製品群は、精密さ、および輸送時の清浄度を要求されるため、出荷時に特殊な梱包方法を用いています。梱包材として木枠やスチー

製品輸送における環境負荷2008 年度の東京エレクトロン単体での国内物流

ルダンボー ルなどを使用します。梱包材におけるの輸送量は1,691万トンキロで、それに伴うCO2排出

パー ツの出荷の際には再利用可能なダンボー ルを量は2,956トンでした。このうち、2008 年度の海運

用い、お客様へ引き渡した後に、戻していただくこの利用は15.7%で、昨年度より大幅に増加しました。とにより、再利用を行っています。また、製品の移新しい路線の使用開始を進めるなど、特に重量の大動時に使用する搬送用キャ スター類は、回収してきい FPD 製造装置の運搬への採用が進んだことが当社グルー プ工場に持ち帰り、再利用をすることあげられます。このモー ダルシフトにより430トンのにより省資源化を進めています。

省資源の改善対策として、一部の国内輸送の大型MANAGEMENT REPORT※ モー ダルシフト： 輸送手段の転換を図ること。自動車や航空機による輸送を鉄道や船舶による輸送に転換すること。

EHS REPORT

CO2が排出削減できたと試算しています。
海 外 向けの輸 出では、2007年度は約 14万トン、2008年度は約 3万トンのCO2排出と試算しています。
■ 国内物流に伴うCO2 排出量と海運輸送率推移
（%）

（トン）

4,712
SOCIAL REPORT

15.7
再利用可能なダンボール梱包

2,9562.700’07

CO2排出量

’08

（年度）

海運輸送率
TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200919