特集／ナノ粒子プロセスによる材料の高機能化

噴霧法を用いた粒子プロセスにおけるナノ材料の機能化
Functionalization of Nanomaterials by Particle Processing Using Spray Merhods

Wuled LENGGORO,Ph.D.a), Agus PURWANTOb), Widiyastutib), Wei-Ning WANG,Ph.D.c)
奥山喜久夫 (Kikuo OKUYAMA,Ph.D.d))a）東京農工大学 特任准教授 Associate Professor, Tokyo University of Agriculture and Technologyb）広島大学 博士課程学生 Ph.D. candidate, Hiroshima Universityc）広島大学 博士研究員 Postdoctoral Fellow, Hiroshima Universityd）広島大学 教授 Professor, Hiroshima University

蛍光体材料 Y3Al5O12:Ce3+（YAG:Ce）粒子や積層型び凝集が少ない粒子を合成しやすいとされている。

セラミックスコンデンサー用材料 BaTiO3粒子のよう固相反応法に代わる新しい微粒子・ナノ粒子の合成な多成分系酸化物材料は，工業的に固相反応法によりプロセスとして期待される方法が，噴霧熱分解法を含合成される。次世代照明素子である白色 LED に YAGむ噴霧法である。噴霧法を応用した，静電噴霧法，溶: Ce 蛍光体粒子を応用する場合，理論的には粒径が数融塩添加型噴霧法，減圧型噴霧法により数 nm から数ミクロンの YAG : Ce 粒子より100nm 以下のナノ粒子

10nm の多成分系酸化物，金属，硫化物粒子の合成がの方が高い機能および性能を実現できると指摘されて可能であることが報告されている１，２）。本講演では，いる。その理由は，可視光の波長が200から900nm オ

著者らが新しく開発した噴霧法を紹介し，粒子合成プーダーであるため，素子中に数10nm の蛍光体粒子をロセスにおけるナノ材料の機能化を述べる。

用いた方が光散乱が非常に少なくなる。つまり，省エ【火炎型熱源の利用】これまでの CVD 型火炎法ではネルギー型照明素子の開発にはナノ粒子材料が鍵とな多成分系材料であるBaTiO3粒子が合成できなかったが，る。BaTiO3粒子の場合も，現在は BaCO3と TiO2を原水溶液原料（酢酸バリウムとチタンテトライソプロポキ料とした固相反応法で製造されている。このように従シド）を用いた火炎式噴霧熱分解法（図１）により来の固相反応法ではナノ粒子の合成が難しいことか

BaTiO3ナノ粒子が合成できた３）。狭い粒子径分布の幅をら，新しいナノ粒子合成法の開発が現在でも重要な研持つ粒子を合成するには火炎の温度が重要であり，火炎究課題となっている。また，回分型よりワンステップ燃料ガスの流量を含む操作パラメーターを精密に制御すで連続型合成プロセスにすると，高効率で，球状およることによって，合成粒子の平均粒子径を，20nm から

図１ 火炎型噴霧熱分解法
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●特集／ナノ粒子プロセスによる材料の高機能化

（a）

（b）

図２ 火炎型噴霧法で合成された立方相 BaTiO3粒子の透過型電子顕微鏡（TEM）像および制限視野電子線回折（SAED）像（左図）．出発原料濃度：0.1 mol/L

図３ YAG 粒子の電子顕微鏡写真：（左）従来の噴霧法，（右）尿素添加噴霧法

70nm の範囲で制御できる（図２）。高い操作温度におい経て，ワンステップでナノ粒子を合成できるプロセスては，立方晶と六方晶が形成される。この手法では，比が開発された５）。このプロセスを用いて，低い熱分解

較的高い誘電率をもつ粒子が合成できる。

温度をもつ ZnO と高い熱分解温度をもつ Gd2O3 : Eu3+

【ミクロン液滴内部の加熱】火炎からの外部熱源の粒子を合成した。ZnO は平均粒子径が20から40nm で他に，噴霧するミクロン液滴内部からの熱が発生する合成できたが（図４），赤色発光材料である Gd2O3 :ような合成プロセスが提案されている４）。
このプロセス

Eu3+ ではサブミクロンで非球形粒子が合成された。

では，噴霧される前の出発原料（硝酸金属物等）に尿素

パルス衝撃波により形成される変動環境において液滴を添加する。尿素は気相中の液滴内で熱分解し，液滴内を比較的短時間に乾燥させることが，ナノ粒子およびの熱源として機能すると考えられる。例えば，低温では非球形粒子を形成した原因だと考えられる（図５）。

合成が難しいとされるYAG 相をもつ粒子の合成におい通常の噴霧熱分解法の操作温度より低い操作温度でもて，外部加熱のみの場合はミクロン粒子が形成される同じ結晶性をもつ粒子が合成できていることから，パが，外部加熱と内部加熱を同時に行うことでYAG 相をルス衝撃波を用いた手法が熱に弱い結晶材料の合成にもつナノ粒子（平均径50nm）が形成される（図３）。

向いているといえる。

【パルス衝撃波による液滴の乾燥】噴霧される液滴【結晶子径と粒子径を独立させる合成プロセス】一にパルス衝撃波を照射することで，比較的短い時間に般的には発光材料（蛍光材料）において，結晶子径お液滴が乾燥し，その後の気中加熱による熱分解過程をよび粒子径と蛍光強度を含めた発光特性との関係は明─ 44 ─

粉図４砕

No. 52（2009）

合成 ZnO 粒子高倍率透過型電子顕微鏡の画像，（左）パルス型，（右）噴霧熱分解法500℃

図５

パルス衝撃波・噴霧熱分解プロセスにおける ZnO および Gd2O3 : Eu3+ 粒子の合成

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●特集／ナノ粒子プロセスによる材料の高機能化

図６ 高倍率電子顕微鏡画像と SAED 解析パターン，（左）粒子径 538 nm，結晶子径 10.4 nm；（右）粒子径 532 nm，結晶子径42.8nm

図７ 結晶子径（左）および粒子径（右）と蛍光強度との関係らかになっていない。特にサブミクロンの粒子径範囲ほど PL 強度と量子効率が高くなり，結晶子径の方がにおいてはほとんど研究されておらず，精密に制御さより重要なパラメータである。

れたナノ材料サンプルが作成できていないのが原因で参考文献ある。代表的なドープ型蛍光材料である Y2O3 : Eu3+粒子を対象として，結晶子径と粒子径を独立させるよ１）K. Okuyama and I. W. Lenggoro,

うな噴霧熱分解法の実験を考案した ６）。高倍率走査, 58 [3-6] 537-547（2003）.

型・透過型電子顕微鏡や制限視野電子回折等を行うこ

２）W. Lenggoro and K. Okuyama, inとで，結晶子径および粒子径と量子効率を含む蛍光特,性との関係を調べた（図６）。特にフォトルミネッセ

American Scientiﬁc, 327-359（2003）.

ンス（PL）は，サンプルの結晶子径，粒子径，粒子

３）A. Purwanto et al.,の（化学的）表面状態，および蛍光体粒子内のドープ350-357 (2008).

（Eu イオン）の分布，に非常に依存することが明らか

４）A. Purwanto et al.,になった。サブミクロンで多結晶 Y2O3 : Eu 粒子の4489-4497 (2007).

場 合， 結 晶 子 径 お よ び 粒 子 径 が そ れ ぞ れ40nm と５）W. Widiyastuti et al.,3+

500nm がそれそれ最適な値であることが実験的に証

3779-3785 (2007).

明された（図７）。結晶子径と粒子径は，大きくなる

６）W. N. Wang et al.,

─ 46 ─, 463 [1-2]., 27,90 [12], 19, 1723-1730

粉（2007）.

砕

No. 52（2009）

type spray (Left) and conventional spraypyrolysis (Right)
Captions

Fig.5 Particle formation of ZnO and Gd 2O 3 : Eu 3+

Fig.1 Flame-assisted spray pyrolysis (FASP)

during pulse-(shockwave) assisted spraymethodpyrolysisFig.2 TEM image and a selective area electron

Fig.6 TEM images and SAED pattern of particles

diffraction (SAED) pattern of FASP-madewith size of 538 nm and crystalline size (CS) ofbarium titanate particles (Starting solution is 0.1

10.4 (Left) and particle size of 532 nm and CSmol/L)of 42.8 nm (Right), respectively.

Fig.3 FE-SEM images of YAG particles prepared by

Fig.7 Relationships between photoluminescenceconventional spray method (Left), and fuel/intensity versus crystalline size (Left) andurea-added spray method (Right)

particle size (Right)

Fig.4 TEM image of ZnO particles prepared by pulse─ 47 ─