NANOWORLD社（ナノワールド社）についてナノテクノロジーに貢献する精密さをモットーに。
イノベーションをキーワードに、ヨーロッパで最もナノテクノロジー研究が盛んなスイスに本社を置く、走査型プローブ顕微鏡(SPM)・原子間力顕微鏡(AFM)用プローブのリーディングカンパニーです。
これまでに蓄積してきた独自の製造・品質管理のノウハウにより、他に類の無い高性能・高品質なプローブをお客様に提供しております。

POINTPROBE®

ARROW™

PYREX-NITRIDE(ポイントプローブ）(アロー)(パイレックス・ナイトライド)

主な特徴

主な特徴
• 矢印形状をしたカンチレバーの特徴を活かし、探針を目的の観察場所近傍に位置合わせするのが容易

主な特徴• 世界中のお客様から最も多くの信用を頂いているSPM・AFMプローブです。
• 高分解能測定のためのシリコン
SPM・AFMプローブ• サポートチップ背面に位置決め用の溝を配置• 探針先端曲率半径8 nm (代表値)以下• 12 nm以下を保証• 形状の異なった探針をラインアップ•３つの結晶面によって形成される探針• 探針は矢印形状のカンチレバー先端に位置• 探針先端曲率半径10 nm (代表値)以下• 15 nm以下を保証• シリコンナイトライド (窒化シリコン)で作製されたカンチレバーと探針• パイレックスガラスのサポートチップ• 一般的な試料における、コンタクトモードやダイナミックモードでの測定向け• 低温酸化によるモールドシャープニン
グ技術を用いて形成された探針• 探針先端曲率半径10 nm (代表値) 以下• 短冊形 (シングルビーム)とトライアングル形の２種類のカンチレバー

ポ イ ン ト プ ロ ー ブ （ P O I N T P R O B E ®）シリコンA F M プローブ
世界中のお客様から最も多くの信用をいただいている
S P M ・ A F M プローブです。

Pointprobe® （標準探針）シリーズの標準探針は多角錘形状をしています。
正面から巨視的に見た場合のハーフコーンアングルは20°- 25°、サイドから見た場合は25°- 30°。先端近傍を微視的に見た場合はゼロに近い値です。
Pointprobe®の標準探針は高さ10 -15 µm、先端曲率半径8 nm (代表値) 以下、12 nm以下を保証します。

特徴
Pointprobe Tip®

•高分解能測定のためのシリコンSPM・AFMプローブ•市販されているほぼ全てのSPM・AFMで使用可能•単結晶シリコン(Si)製のサポートチップの縁に探針のついたカンチレバーを配置•カンチレバー、探針、サポートチップを一体に形成

材質• 高ドープ、単結晶シリコン(抵抗値 0.01 - 0.025 Ohm•cm)• コーティングなしの場合、固有のストレスがなくカンチレバーのたわみがない• 液中・電気化学測定にも対応できる化学的に不活性なシリコン製

カンチレバー
Pointprobe® Side View

•カンチレバーの断面形状は台形•カンチレバー背面の幅が広く、レーザーの位置合せが容易•探針側のカンチレバー幅を小さくし、ダイナミックモードでのエアダンピングを低減

サポートチップ• カンチレバーがサポートチップに集積化された形に作製• サポートチップ寸法: 1.6 mm x 3.4 mm• サポートチップ背面に溝が形成されており、装置側に固定されるアライメントチップと同時に利用することで、プローブ交換後に必要なレーザーの位置調整を容易にします。

Pointprobe® 3D View

パッケージサイズ• 10, 20, 50本/パッケージ• ウエハ単位 (プローブ数は380から388本)

コーティング各種
反射コーティング

強磁性膜・軟磁性膜コーティング•カンチレバー背面にAl(30 nm)をコート• 強磁性膜コート: 探針側にコバルト合金をコーティング•レーザー光の反射率が約2.5倍に向上• 探針に永久磁性を持たせることのできるコーティング• プローブ背面で反射されるレーザー光と試料表面で反射される光の干渉を軽減• 軟磁性膜コート: 探針側に軟磁性膜(保磁力 約0.75 Oe、磁化度約225emu/cm3) をコーティングスーパーシャープシリコン探針 (SuperSharpSilicon™)
スーパーシャープシリコン(SSS)探針は先端曲率半径を2 nm以下まで先鋭に加工し、マイクロラフネス，ナノ粒子，ピッチの小さいパターンなどのナノ構造観察に最適です

探針の特徴

スーパーシャープシリコン探針(SSS)

スーパーシャープシリコン(SSS)探針は高さ10 -15 µm、先端曲率半径は2 nm (代表値) 以下、5nm以下を歩留まり80%で保証します。先端から200 nmの位置までのハーフコーンアングルは10°以下。

高アスペクト比探針 (AR5/AR5T)
探針先端部のアスペクト比を向上させた高アスペクト比プローブ(AR5/AR5T)は、傾斜角が90°に近い大きな溝・孔や様々な半導体デバイスの表面形状測定に最適です。
探針全体の高さは10 -15 µm。探針先端の数ミクロンが高アスペクト比に加工されています。この先鋭部分は対象性が良く、カンチレバー正面、側面のどちから見た場合でもプロファイルに違いはありません。先端曲率半径は10 nm (代表値)、15 nm以下を保証します。

探針の特徴高アスペクト比探針(AR5)AR5/AR5Tプローブの高アスペクト比部分は先端より2 µm以上あり、この部分のアスペクト比は7:1 (代表値)、少なくとも5:1以上を保証します。
高アスペクト比部分のハーフコーンアングルは5° (代表値) 以下です。

AR5Tプローブは、SPM・AFMにセットした時に探針先端部が垂直を向くよう、高アスペクト比部分を13°角度補正しています。

角度補正タイプ (AR5T)

ダイヤモンドコート探針(DT)、導電ダイヤモンドコート探針(CDT)
摩擦力顕微鏡や試料の弾性係数測定、耐磨耗性が要求される測定やナノストラクチャリングなどのSPM・AFMアプリケーションにはダイヤモンドコート探針(DT)が最適です。試料との強い接触力のもと電流を流すアプリケーションなどには導電ダイヤモンドコート探針(CDT)をお勧めします。スキャンによるコーディング膜の磨耗や高電流による膜破壊を低減させています。

ダイヤモンドコート探針 (DT,CDT)

ダイヤモンドコーティング• 100 nmの多結晶ダイヤモンド膜を探針側にコーティング• 最硬度の探針

探針とコーティング膜の特徴
最硬度の多結晶ダイヤモンド膜(100 nm)をカンチレバーの探針側にコーティング。探針の高さは10 -15 µm。探針を巨視的に見た場合の先端曲率半径は100 nm – 200 nm。ただし約10 nm程度のラフネスが局所的に存在します。導電ダイヤモンドコート探針(CDT)の抵抗率は0.003 - 0.005 Ohm•cm。

PtIr5 コーティング• CrとPtIr5からなる25 nmの2層膜をプローブ両面にコーティング• コーティングによるカンチレバーのたわみを補正しています。より高い耐摩耗性。
• カンチレバー背面のコーティングによりレーザー光の反射率が約2倍に向上• 電気測定 (電気力顕微鏡，電流測定等) 用途
向け

Auコーティング (特注品)• CrとAuからなる70 nmの2層膜をカンチレバー背面にコーティング• CrとAuからなる70 nmの2層膜をカンチレバー両面にコーティング

アロー（ A R R O W ™ ）シリコンA F M プローブ
観察したい場所へ探針を位置合わせするのが容易特徴• 高分解能測定のためのシリコンSPM・AFMプローブ• 市販されているほぼ全てのSPM・AFMで使用可能• カンチレバー、探針、サポートチップを単結晶シリコンより一体に形成

材質

ArrowTM Top View

• 高ドープ、単結晶シリコン(抵抗値 0.01 - 0.025 Ohm・cm)• コーティングなしの場合、固有のストレスがなくカンチレバーのたわみがない• 液中・電気化学測定にも対応できる化学的に不活性なシリコン製

カンチレバー• カンチレバーがArrow (矢)の形状をしたプローブ• 矢印形状の特徴を活かし、探針を目的の観察場所近傍に位置合わせするのが容易• カンチレバー先端から探針までの距離はどのプローブでも同じ• カンチレバーの断面形状は台形、背面の幅が広くレーザーの位置合せが容易

サポートチップ

ArrowTM Front View

• サポートチップ寸法: 1.6 mm x 3.4 mm• サポートチップが試料に接触するのを避けるためにコーナーをエッチングしています。

探針• 探針高さ10 - 15 µm、先端曲率半径10 nm (代表値) 以下 (15 nm以下を保証)• 巨視的に見た場合のハーフコーンアングルは以下の通り 30°- 35°(正面から見た場合) 20°- 25° (サイドから見た場合)パッケージサイズ• 10, 20, 50本/パッケージ• ウエハ単位 (380本以上)
ArrowTM Side View

コーティング各種
反射コーティング

PtIr5コーティング• カンチレバー背面にAl(30 nm)をコ • CrとPtIr5からなる25 nmの2層膜をカンチート• レーザー光の反射率が約2.5倍に向上

レバー両面にコーティング• 電気測定（電気力顕微鏡，電流測定等）の用途に最適

その他のコーティングについてはお問い合わせください。

超高共振周波数プローブ ( A R R O W ™ U H F )ティップレスカンチレバー、カンチレバーアレイ( A R R O W ™ T L )35 µm超高共振周波数プローブ (Arrow™ UHF)
Arrow™ UHF (ultra high frequency)は、三角錐の探針を備えた三角形状のプローブです。共振周波数が2.0 MHz近傍の値を持つように設計されています。

Arrow UHFTM

Arrow™ UHFカンチレバーの長さは35 µm、サポートチップにつながるベース幅は42µm。カンチレバー厚さは0.6 – 1.0 µm。探針高さは3 µm。
カンチレバーの厚さがお客様ご希望の範囲に収まっているプローブのみを選別し提供するサービスも有償にて行っております。

ティップレスカンチレバー (Arrow™ TL)
Arrow™ UHF 拡大図

Arrow™ TLはカンチバー先端に探針を形成しない、スペシャルアプリケーション向けプローブです。
ユーザー自身でカンチレバー先端に粒子などを修飾することが可能。サンプル表面と修飾した物質との間の相互作用を測定する場合などに最適。
Arrow™シリーズのプローブは高濃度にドープされた単結晶シリコン製。帯電を防ぎ、液中・電気化学測定にも対応します。
ティップレスカンチレバー(Arrow™TL)にはシングル、デュアル、８本アレイの３種類があります。何れも先端が三角形状をした矩形型カンチレバーです。
カンチレバー上面をTi (5 nm)とAu (30 nm)からなる2層膜でコーティングしたプローブも承ります (特注品)。
カンチレバー仕様

値

範囲

厚さ

1.0 µm

0.5 - 2.5 µm

幅（矩形部分）100 µm95 - 105 µm

長さ500 µm495 - 505 µm

バネ定数0.03 N/m

0.04 - 0.54 N/m

共振周波数

6 kHz

3 - 14 kHz

Arrow™ TL1
ティップレスカンチレバー(シングル)

Arrow™ TL2
ティップレスカンチレバー(デュアル)

Arrow™ TL8
ティップレスカンチレバー(8本アレイ)

パイレックス・ナイトライド( P Y R E X N I T R I D E ) A F M プローブ
探針の先鋭さと耐摩耗性を向上

特徴• 幅広いアプリケーション向け汎用SPM・AFMプローブ• 市販されているほぼ全てのSPMで使用可能• シリコンナイトライド（窒化シリコン）で作製されたカンチレバーと探針• パイレックスガラス製のサポートチップ• コンタクトモードとダイナミックモードのいずれにも適したデザイン• 個々のチップに切り分けられているので、取り扱いが容易
パイレックス・ナイトライ
ドAFMプローブ: 探針先端のSEMイメージ

主な特徴• 低応力の窒化シリコンを用いカンチレバーのたわみを低減• 窒化シリコンは非常に硬いため、耐摩耗性に優れています。

カンチレバー• 短冊形（シングルビーム）タイプとトライアングル形の２種類のプローブが用意されています。４本のカンチバーが１つのサポートチップに形成されています。
• カンチレバー背面にCr/Auの反射コーティング• カンチレバーのたわみを2°以下に補正済み

サポートチップ
パイレックス・ナイトライド
AFMプローブ: トライアングルタイプの3Dスケッチ• パイレックスサポートチップ寸法: 3.4 mm x 1.6 mm x 0.5 mm• サポートチップ毎に切り分けられているので取り扱いが容易

探針• 低温酸化によるモールドシャープニング技術を用いて形成された探針• 探針高さ3.5 µm、先端曲率半径は10 nm（代表値）以下。
• 巨視的に見た場合のハーフコーンアングルは35°パッケージサイズ• 20, 50本/パッケージ
パレックス・ナイトライド
AFMプローブ: 短冊形タイプの
3Dスケッチ

コーティング各種
Auコート• カンチレバー背面にCrとAuからなる65 nmの2層膜をコート• レーザ光の反射を向上させます。
• カンチレバーの両面にCrとAuからなる35 nmの2層膜をコート

れてパイレックス・ナイトライド( P Y R E X N I T R I D E ) A F M プローブ
トライアングル形カンチレバー(PNP-TR)
短冊形（シングルビーム）カンチレバー(PNP-DB)

トライアングル形カンチレバー(PNP-TR)

短冊形（シングルビーム）カンチレバー(PNP-DB)• 三角形状をしたカンチレバー• １チップに4本のカンチレバー• 長さの異なる２つのカンチレバーの組み合わせをチップ両端に形成• カンチレバー背面にCr/Auの反射膜をコーティング• プローブ両面にCr/Auをコーティングしたタイプも用意されています。
• カンチレバー先端に探針を形成しないティップレスタイ
プで、背面にCr/Auをコーティングしたプローブも御座います。
• ティップレスタイプで、カンチレバー両面にCr/Auをコーティングしたプローブも用意されています。

• 短冊形状のシングルビーム・カンチレバー• １チップに4本のカンチレバー• 長さの異なる２つのカンチレバーの組み合わせをチップ両端に形成• カンチレバー背面にCr/Auの反射膜をコーティング

カンチレバー番号1

カンチレバー番号

1形状

トライアングル形状

2形状

短冊形状

厚さ*
長さ

600 nm

600 nm

600 nm200 µm

厚さ*
長さ

600 nm

100 µm

100 µm200 µm

幅

2 x 13.5 µm 2 x 28 µm

幅40 µm

40 µm

バネ定数

0.32 N/m

0.08 N/m

バネ定数0.48 N/m

0.06 N/m

共振周波数

67 kHz

17 kHz共振周波数

67 kHz

17 kHz*コーティングの厚さも含みます。

*コーティングの厚さも含みます。

注:上記の値は全て代表値です。

注:上記の値は全て代表値です。

パイレックス・ナイトライド
プローブ: トライアングル
形、ティップレスカンチレバー

パイレックス・ナイトライド
プローブ: トライアングル
形、ティップレス・ロングカ
ンチレバー

2

パイレックス・ナイトライド
プローブ: トライアングル
形、ティップレス・ショート
カンチレバー

プロダクト一覧表
アプリケーション

型番

Arrow CONTCONT
Arrow CONTR
CONTR
Arrow CONTPt
CONTPtコンタクトモード（ショートカ CONTSCンチレバー）
CONTSCR

コーティング前面

コンタクトモード

コンタクトモード

コンタクトモードもしくはタッ PNP-TR(トライアピングモードングル)

カンチレバー 1
カンチレバー 2

PtIr5
PtIr5
--

ノンコンタクト/ タッピングモード

ノンコンタクト/タッピングモード（高共振周波数タイプ）

ノンコンタクト/ソフトタッピ
ングモード
ノンコンタクト/タッピングモード（ロングカンチレバー）

ノンコンタクト/タッピングモード（SII社製AFM用）

カンチレバー 1
カンチレバー 2

Arrow NC
NCH
Arrow NCR
NCHR
Arrow NCPt
NCHPt
SSS-NCH
AR5-NCHR
AR5T-NCHR (角度補正タイプ)
AR10-NCHR
DT-NCHR
CDT-NCHR
NCST
NCSTR
NCL
NCLR
NCLPt
SSS-NCL
AR5-NCLR
DT-NCLR
CDT-NCLRSEIHR
SSS-SEIH

スペェシャルアプリケーション

ノンコンタクト/タッピングモード（超高共振周波数タイプ） Arrow UHF
フォースモジュレーションモ
Arrow FMード

静電気力顕微鏡
磁気力顕微鏡
ティップレスカンチレバー(トライアングル)-Arrow™
Pointprobe®
反射コート (Al) Arrow™
反射コート (Al) Pointprobe®
PtIr5
Arrow™
PtIr5
Pointprobe®
Pointprobe®
反射コート (Al)
反射コート

Cr/Au

PtIr5
PtIr5
-

-

反射コート (Al)
反射コート (Al)

PtIr5
PtIr5
-

反射コート (Al)
反射コート (Al)
反射コート (Al)

ダイヤモンド

PtIr5
-

-

Ptlr5
-

-

反射コート (Al) Pointprobe®

-

反射コート (Al) Arrow™

--

Arrow™
Pointprobe®
反射コート (Al) Arrow™
反射コート (Al) Pointprobe®

ダイヤモンド反射コート (Al) ダイヤモンド

PtIr5
PtIr5

Ptlr5
Ptlr5

Cr/Au-

SuperSharpSilicon™

20100729-NW-jap

電話: +41 (0) 32 720 5325

Email: info@nanoworld.com

0.2 N/m

25 kHz0.32 N/m
0.08 N/m

67 kHz
17 kHz0.08 N/m
0.48 N/m
0.06 N/m
42 N/m42 N/m42 N/m42 N/m42 N/m

17 kHz67 kHz
17 kHz285 kHz330 kHz285 kHz330 kHz285 kHz

42 N/m

330 kHz

7.4 N/m

160 kHz

48 N/m190 kHz

15 N/m130 kHz0.32 N/m-67 kHzCr/Au

お問い合わせ:まで75 kHz

2.8 N/m

75 kHz2.8 N/m

75 kHz

ティップレスシリコンナイ
0.03 N/m
トライド

6 kHz

Arrow™
Pointprobe®

反射コート (Al)Pointprobe ®
反射コート (Al)(Cr/Au)2.0 MHz

2.8 N/mNanoWorld AG
Headquarters
0.32 N/m 1 67 kHz
Rue Jaquet-Droz
2007 Neuchatel
0.08 N/m , Switzerland
17 kHz

ティップレスシリコンナイ
トライド675325
kHz
Phone:0.32+41 N/m(0)32 720
Fax: +41(0)327205775
0.08 N/m
17 kHz
Email: info@nanoworld.com

製品の仕様は予告なく変更することがあります。

NanoWorld AG
www.nanoworld.com

14 kHz
13 kHz
14 kHz
13 kHz
14 kHz
13 kHz

反射コート (Al) ダイヤモンド

反射コート

NanoWorld ®およびPointprobe®は NanoWorld 社の登録商標です。

SuperSharpSilicon™

反射コート (Al) 高アスペクト比 (5:1)-

カンチレバー 2

0.2 N/m
0.2 N/m
0.2 N/m
0.2 N/m
0.2 N/m
0.2 N/m-ダイヤモンド

強磁性膜軟磁性膜

共振周波数

反射コート (Al) Pointprobe®

PNP-TR-TL
PNP-TR-TL-Au

Pointprobe®

反射コート (Al) Pointprobe®

-カンチレバー 1

Arrow™
Pointprobe®
Arrow™
Pointprobe®
Arrow™
Pointprobe®
SuperSharpSilicon™
高アスペクト比 (5:1)
高アスペクト比 (5:1)
高アスペクト比 (10:1)

バネ定数

反射コート (Al) ダイヤモンド

Ti/Au
Ti/Au
Ti/Au

カンチレバー 2

シリコンナイトライド

反射コート(Cr/Au)

FM
Arrow FMR
FMR
DT-FMR
CDT-FMR
Arrow EFM
EFM
MFMR
S-MFMR
Arrow TL1 ( シングル)
Arrow TL1-Au (シングル)
Arrow TL2 ( デュアル)
Arrow TL2-Au (デュアル)
Arrow TL8 (8 本アレイ)
Arrow TL8-Au (8 本アレイ)

カンチレバー 1

探針形状(Cr/Au)PNP-TR-Au (トライ カンチレバー 1
Cr/Auアングル)
カンチレバー 2
PNP-DB ( 短冊形)

コーティング背面システム機器部〒169-0051 東京都新宿区西早稲田2-14-1
TEL 03-5285-0861
FAX 03-5285-0860
URL : https://www.japanlaser.co.jp
mail to : meas@japanlaser.co.jp