品質マネジメント

生産性向上

品質方針
東京エレクトロン（ TEL ）では、全社統一の品質方針を定め、展開しています。
1. 「品質優先 」
品質の安定は顧客満足のみならず、期待とおりの生産計画を達成し、メンテナンス負荷を低減する基盤であり、一時的なコスト増よりも優先します。

2. フロントローディングと自工程保証
最先端の技術に基づき開発設計段階から品質をつくり込み、すべての業務プロセスにおいて、自らの工程品質を完結することで、高品質の製品を提供し続けます。

3. 品質と信頼品質に問題が生じた場合には、製造・販売・サービス部門が一丸となって、事実に基づき本質的な原因究明に全力で取り組み、速やかな解決に努めます。

4. 継続的改善活動
お客さまの満足・信頼につながる活動に対して、品質目標や指標を設定し、PDCA サイクルを回しながら、継続的改善を実施していきます。

5. ステークホルダーとのコミュニケーション
製品品質に関わる必要な情報をタイムリーに発信するとともに、ステークホルダーの期待に適切に対応していきます。

あらゆる事業活動において生産性の向上に努め、継続的に経営効率を高めていくことは、企業価値向上の取り組みにおいて重要です。
東京エレクトロンでは、開発や製造部門のみならず、営業部門や管理部門を含むグループ全体でビジネスプロセスの見直しや最適化をマネジメント体制
TELでは、代表取締役社長を責任者とした品質保証体制を構築しています。高品質で安定した製品を提供するため、進め、バリューチェーン全体を通した品質マネジメントを推進しています。またさまざまな教育プログラムを展開することにより従業1994 年より品質マネジメントシステム規格である ISO9001 認証の取得を進め、現在、すべての製造会社において員一人ひとりの生産性に関する意識と能力の向上に努めるとともに、お取引先さまとも協働でサプライチェーンにおける継続的な品質取得が完了しています。

改善活動を実施しています。品質優先のオペレーションを実践することでさらなる生産性の向上を実現し、ステークホルダーの皆さま

ISO9001 認証取得状況との強固な信頼関係の構築に努めていきます。

会社名

事業所名

東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ

中期目標

経営効率向上の継続的な追求

SDGs への取り組み

重要テーマ・主な活動

取得年月

山梨事業所（藤井 / 穂坂地区）

1 994 年 9 月

東北事業所

1 994 年 12月

東京エレクトロン九州合志事業所

1997 年 3 月

TEL Magnetic Solutions−

2009 年 11 月

Tokyo Electron Korea

Balan Factory

20 1 1 年 9月

東京エレクトロン宮城

大和事業所

201 2 年 9月

TEL FSI−

20 13 年 3 月

TEL Epion−2014 年 5 月

Tokyo Electron（Kunshan）−

2018 年 5 月■生産性の向上を推進し、継続的に経営効率を高め、産業や社会の発展に貢献し、持続的な経済成長に寄与■バリューチェーン全体における品質マネジメントを推進し、持続可能な生産消費形態を確保
品質マネジメント

バリューチェーンを通した品質マネジメント
東京エレクトロン（ TEL ）は、製品やサービスのみならず、すべての業務プロセスにおいて継続的な改善をおこ

バリューチェーンにおける品質の向上なっていくことが、品質と生産性の向上に寄与すると考えています。バリューチェーン全体において、お客さまのニ■品質マネジメント
品質方針、マネジメント体制、品質に関する意識と能力向上■バリューチェーンにおける品質の向上
開発・設計段階の取り組み、ソフトウエア開発の取り組み、
お取引先さまとの取り組み、問題発生時の対応

バリューチェーンにおける品質の向上

ーズを反映し、社内外の連携を強化しながら、業務改善に取り組んでいきます。

働きがいも経済成長も品質と生産性の向上

つくる責任
つかう責任
マーケティング＆セールス

27

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2019

開発

設計

調達

製造販売

据付

保守・サービスTOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 201928

Higher productivity
生産性向上

意識と能力向上TEL は、従業員一人ひとりの品質への高い意識が重要と考え、さまざまな教育プログラムを実施しています。すべての新入社員を対象にした基礎的な品質教育をはじめ、海外を含めた全従業員を対象とした「PDCA 教育」にも力を入れ、Do（実行）、Check（評価）、Action（改善）の4 段階を繰り返すことによる継続的な改善の必ています。Plan（計画）要性を習得するため、ウェブ教育を実施しており、93.7%（ 2019 年 5 月現在）が受講しています。
また、品質管理と密接に関わる開発者、設計者、品質管理担当者、サービス担当者には、重要問題の解決手法を修得する、独自の教育プログラム「TEL 6-Step」を実施しています。これは、品質管理における一般的なトラブル分析手法であ■取り組み事例＊1

8D 問 題 解 決 手 法 : 品
質改善のための問題解決を 8 つのプロセスでおこなう手法＊2

QC 検定 : 一般財団法
人 日 本 規 格 協 会・ 一般財団法人日本科学技術連盟が主催する品質る「8D 問題解決手法＊ 1」を TEL の問題解決プロセスに置き換え、一部変更したものです。問題の本質を徹底的に掘り下管理検定。資格保有者げて技術的要因、根本原因を究明し、早期解決と問題の再発防止につなげる能力を養成します。現在、ウェブ教育によ名を超えている（2018年 9 月現在）

るトレーニングを進めており、約 5,500名（ 2019年 5月現在）が受講を完了しています。また、拠点の品質管理リーダー

数は全国で累計 52 万を中心に、品質問題の解決を演習形式で実践的に学ぶ集合研修も実施し、製造・開発現場の業務改善能力の強化を図っ

東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ 山梨事業所では、品質会議を通じ開発進捗状況の管理、品質問題の共有化など、開発・設計段階から量産にいたるまで、一貫した品質管理をおこなっています。
新しい開発案件については、構想設計、出図移行、お客さまへの評価機出荷、量産移行の各段階にゲートを設置し、品質と信頼性を十分に満たしているかを徹底的に確認しています。
この取り組みを確実なものとするために、設計開発、品質保証、生産、購買、営業など、関連部門の担当者と、技術（品質管理検定）を推進し、基本的なスキルの習得
さらに、従業員が自発的に品質改善に取り組めるよう、「QC 検定＊ 2」＊2

BOM：Bill Of Materials。部品表、最終製品に対して各部品をいくつ使うかを表したもの＊3

的な知見をもつ有識者によるセッション別 DR ＊1 をおこなっています。
装置の量産移行時には、量産業務を漏れなく実施するため「量産パッケージ」とよばれる BOM＊2 や QC 工程表＊3、製造品質指示書＊4、スタートアップマニュアル＊5 などを作成し、自工程保証の確立をおこなっています。また、作業者への教育およびスキル管理をおこなうことで、高品質の装置リリースを目指した活動につなげています。
今後、さらなる開発品質向上に向け、独自の評価モデルをもとに、企画（コンセプトレベル）から部品・材料レベています。

＊1
DR：Design Review

QC 工 程 表： 一 つ の 製品について原材料・部品の調達から完成品として出荷されるまでの管理特性や管理方法を、工程の流れに沿って記載した表

ルまで、ものづくりの各段階において品質を最大限に高めるために必須となる評価項目がもれなく適用されるよう、＊4
製造品質指示書：設計

継続的な改善活動を推進していきます。

側から製造側へ伝達する技術情報を奨励しています。201 1年度から年々資格保有者数が増加し、2019 年 3 月現在、約 2,200 名が資格を保有しています。

＊5
スタートアップマニュ

開発

QC 検定資格保有者数

2,200名（2019 年 3 月現在）

めたもの

評価機
出荷管理

業務プロセスの改善2019 年 4 月におこなわれた新人研修の様子

アル：装置を起動する際の手順や注意をまとDR 品質の向上

Project 制

品質会議

PDCA
開発・設計段階の取り組み

信頼性
評価

変更管理の遵守フロントローディングと自工程保証の推進
製品の品質向上のためには、上流工程で不具合を混入させないようにするとともに、各工程において品質を完結し、不具合品を後工程に流さないようにすることが重要です。この観点から、TELでは、フロントローディングと自＊3

FMEA: Failure Modeand Effects Analysis

工程保証を推進しています。早い段階で製品品質の完成度を上げるために、製品設計の初期段階から、リスク抽出と。故 障 モ ード 影 響 解
析。リスクを予め把握対策（FMEA＊3 ）を徹底することで、不具合の発生・流出の抑制に努めています。また自工程保証についても各工程にし、予防・軽減していく手法

サプライヤー
品質の向上

製造品質の向上

おける徹底した審査や、シミュレーションを使用した検証などをおこなっています。これらのフロントローディン
グ、自工程保証の推進活動とともに、「Product Life-cycle Management（PLM）」の展開にも力を入れています。この PLM の考えを展開・推進することで、製品企画・開発・設計・製造・サービスまで全工程を包括的に管理、分析することにより、市場への製品の早期リリース、業務効率化、品質向上、コスト削減の実現に努めています。
利益

市場調査・企画

開発・設計

生産・販売

サービス・保守

安全法規制対応

TEL は、装置の安全性に関する法規制やガイドラインを常にチェックし、それらに対応する体制を整えています。
国際的な安全規格や SEMI S2 ＊ 6 などの安全要求に対し、出荷装置の第三者検査機関による確認を実施しています。
また、機械指令ならびに EMC 指令＊ 7 に対しては、欧州認証機関の適合証明書を取得しています。

＊6

SEMI S2: 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン＊7

EMC 指令 : EU 域内の加盟国の中で適用されるニューアプローチ指令の一つ

利益率の向上製品市場投入の加速

製品生涯価値の延長

時間コスト
開発コストの低減

29TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2019TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 201930

Higher productivity
生産性向上

ソフトウエア開発の取り組み

問題発生時の対応
TEL は ISOやEN＊ 1といった安全規格への適合に加え、TEL の製品に適した設計ルールを定めることで、よりレベル製品開発の効率化の高い安全性を追求しています。安全な製品づくりの体制を構築するとともに、装置メーカーの使命として、装置の東京エレクトロン（TEL）は 1995 年から、半導体製造装置に自社で開発した基盤ソフトウエアを利用し、業務の効率化、品質向上につなげています。共通化された基盤ソフトウエアを導入することで、各種の装置ごとに重複した機能の開発工数を削減できる他、制御のリアルタイム性＊ 1 の保証や、新しい要求や技術への対応力の強化にもつながるよう取り組んでいます。
また TEL では、オブジェクト指向＊ 2 など、より効率的なソフト開発のためのコンセプトを取り込みながら、次世代の装置開発に向けた新しい基盤ソフトウエアの開発、導入も進めています。

＊1
リ ア ル タイム 性： 作 業を完了するまでの時間に制約がある性質のこと＊2
オブジェクト指向 : ソ
フトウエア工学理論の一つ

設計や製造上の不具合や作業上の問題で発生した事故への対応体制を整えています。
事故発生時は、事故報告システム「TIRS ＊ 2」によって、各事業部の安全の責任者、品質部門の責任者とともに、トップマネジメントを含めた経営層全員に報告書が配信・共有されます。その後、直ちに事故調査をおこない、原因の特定と再発防止策の立案に取り組みます。
また事故の情報は、独自システム「QA-BOX＊ 3」によってグループ内で共有され、事故調査の結果は、問題が発生した装置などはもちろん、他のお客さまの装置、あるいは運用中の設計基準などに速やかに反映されます。
「QA-BOX」
は問題や対策の共有に加えて、事故の再発防止にも活用されます。
「QA-BOX」に蓄積された事故に関するデータをスマート装置の実現＊1

EN: European Norm。
EC 指令（ニューアプローチ指令）には明記されていない技術基準の部分を補完すべく制定された EU の統一規格＊2
TIRS : TEL Incident
Report System＊3

QA-BOX: TEL グル ープ内の情報共有・横展開ツール

用いてその傾向を累積的に分析し、どのような装置にどのような問題が多いのかを可視化することで、即効性の高IoT や AI を用いたものづくりの革新が急速に進む中、TEL

では、お客さまが実現を目指すスマート工場＊ 3 に必要な未来の半導体製造装置の姿を描き、そこで必要となるさまざまなソフトウエアやシステム開発に取り組んでいます。先進的なデータ活用やシステム開発を担う専門の開発部隊、各ビジネスユニット、製造現場が連携しながら「簡単操作」「トラブル要因・解決策の提示」「結果を予知し自律的に動く」といったスマートな装置を追求しています。

＊3
スマート工場：工場内のあらゆる機器や設備、人の作業データを分析・活用することで、生産い対策を実施し、装置に起因する事故数の低減につなげています。
重大事故発生時の対応フロー

革新を実現する工場＊4

東京エレクトロングループ

FCN: Field Change
Notice 。一 般 的 な リコールを指す

経営層

3. Control

1. Monitoring

重大データ解析結果を実際に再現する状態の見える化、すなわちデジタル化

事故

4. Autonomy

消防署
警察署

自律化とは自身での学習＆判断
1、2、3 のうえに成り立つ

お客さま対応窓口

お客さま

2. Analyzeを実施しています。新規取引を開始する際には、こントシステムである「Supplier Total Quality Assessment（STQA ）」の STQA により、製品品質やコスト、情報セキュリティ体制、人権・倫理・安全・環境など、企業の社会的責任分野の取り組みについて、セルフアセスメント形式でチェックをおこないます。リスクがあると判断した場合は、お取引先さ原因調査と特定

FCN＊4 の発行
各事業部
安全部門
品証部門

お取引先さまとの取り組み維持・向上に向けて、お取引先さまに期待する品質をしっかりと理解していただくため、2000 年より独自のアセスメ

関連部門 原因調査と再発防止報告・現場復旧

デジタル上での解析からの予知、予測

製品品質を向上させるためには、お取引先さまとの強いパートナーシップの構築が欠かせません。TEL では、品質の事故報告
システム( TIRS )(Q-VICS)

波及性の確認グループ間共有（QA-BOX）

対策の決定

設計基準への反映
基準書改訂
改訂の周知

＊4
SPC：Statistical pro-

cess control 。統計的プロセス制御／管理する対象の特性の平均値が異常値をしめしていないかを監視する

恒久対策

サービス
部門

事故情報：

実施計画の立案

情報共有：

業務と情報の流れ：

まを訪問し、現場で不適合箇所や TEL が期待する品質水準をご理解いただいた上で、改善策の立案・実行をお願いするとともに、すべての改善が完了するまで継続的にサポートします。重要部品を扱うお取引先さまや品質問題が発生したお取引先さまでは 3 年ごとに現場での監査を実施しています。
近年、特に力をいれているのが、「統計的手法を使った工程改善活動（SPC＊ 4）」です。TEL がお客さまへ提供している装置においては、常に装置間のばらつきの抑制、正確なプロセス再現性、さらには高い生産性が求められています。これらを実現していくため、特定の重要部品を扱うお取引先さまにも本活動の重要性をご理解、ご賛同いただき、統計的手法を用いた工程改善活動をともに実践し、パーツ品質のばらつきの抑制、そして良品製作工程の維持・改善に取り組んでいます。
■ 取り組み事例

TEL では、すべての製造拠点において、お取引先さまと連携しながら、不良品の発生を抑える仕組みづくりをおこなっています。TEL の従業員がお取引先さまの製造現場に出向き、製造環境を理解することで、実効的な改善策を検討、実施している他、東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ 山梨事業所では、お取引先さまと部品やユニットの製造に関するデータを密に共有して、SPC による品質管理を推進し、不良率の低減に対して成果を上げています。

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TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2019TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 201932