E H S R e p o rt

事業所における環境への取り組み
事 業 所における環 境への取り組み

東京エレクトロングループの事業所では、地球温暖化防止、省資源、廃棄物削減などの取り組みを積極的に進めています。
ここでは、製造系事業所（工場）とオフィスにおける取り組みを報告します。
Input-Output

Input

環境負荷の全体像

2007年度

右図は、東京エレクトロングループの製造系事業所および事務所系事業所における物質フローです。
当社グループの環境負荷の主要部分は製品評価時におけるもOutput前年度比

2007年度 前年度比

製品総出荷量 27,329t （+0.2%）

電気

27,015万kWh （+2.4%）

ガス

1,478km3（+21.8%）

CO22,613kl （-0.3%）

東京エレクトロンNOx
グループ

113,169t-CO2 （+2.2%）

燃料水

1,180km3 （+1.8%）

排水1,170km3 （+1.8%）

廃棄物12,312t（-20.5%）

化学物質（国内および海外事業所）

12.4t （-37.4%）のです。半導体製造工程と同様に、電力および様々なガスや薬（PRTR法第一種対象物質）品などを使用して装置を稼働させているためです。

紙（コピー用紙）

12.1t （+1.6%）

再資源化量 11,945t（-20.7%）337t （-10.7%）

単純焼却・埋立処分量366t（-11.6%）

HIGHLIGHT

地球温暖化防止エネルギー使用量削減の取り組み

電力使用量推移

当社グループは、省エネ法の規定に沿ったエネルギー使用量（10万kWh）の削減を進めています。各事業所では、照明や OA機器の節電、MANAGEMENT Report

空調の温度設定管理などの具体的な目標を掲げ、積極的に取り150

重油・灯油使用量推移

電気（海外分）電気（国内）

165
126 192（kl）

2,181

2,345

2,396

2,472

372
1,062 942

1,146154

1,014 1,169

994

2,602946
1,828

1,838

1,665 1,6046581,444

エネルギー使用に伴う CO2排出の推移

2007 年度のエネルギー使用に伴う CO2 排出量は、生産量の0003 04 05 06 07

003 04 05 06 07

58738

83856 110 113 131

03 04 05 06 07（国内および海外事業所）

増加に伴い総量は増加しました。また、売上高に対する原単位※1
では昨年度より低減し、前年度比 1%削減という目標を達成でき都市ガス（海外）
都市ガス（国内）
LPG（国内）（千m3）

99組みを推進しています。今後は、環境活動のコミットメント達成に向け、活動をさらに加速していく方針です。

ガス使用量推移

灯油
重油

CO2以外の温室効果ガス使用量削減

EHS Reportました。今後も省エネルギー化の取り組みを強化していきます。

プロセス開発・評価時のドライエッチングや洗浄などの工程（社）
日本電機工業会
さらに、海外分については、2007 年度より、（パーフルオロカーボン）
で、温室効果ガスの一種である PFC編
「各国における発電部門CO2 排出原単位の推計調査報告書」）を使用しています。2007 年度の温類や SF（六フッ化硫黄6の係数を用いて計算しました。
（2006年6月）（ CO2 換算）で、2006 年度の室効果ガス使用量は 10,610トン

21,006 トンより大幅に減少しました。これは、山梨事業所における製品の開発・評価工程での SF 6 の使用量が減少したこ

エネルギー起源 CO2 排出量の推移（t-CO2）CO2 排出量（国内）（%）

CO2 排出量（海外分）

売り上げ原単位前年度比※1
原単位※2

温室効果ガス使用量

192.1

7,405 6,449 7,335

150.8

SOCIAL Report

104.4とが大きな要因です。

（t-CO2）

SF6PFC類
HFC類

100.1
96.1
92.1
87.0 90.8
79.3
78.4
105,834
52,456
102,977
94,009 95,486 95,487
65,81750,488104,246
104,11084,76122.5 20.7 18.0 16.4 16.4
11.1 16.7 14.9 11.7
13.0 12.5

09789.3

98

9900

010203※1 前年度比＝当年度原単位／前年度原単位※2 原単位＝エネルギー使用量／売上高

04

05

06

13,863

18113,10656
196,74007 （年度）（国内および海外事業所）

30

その他

04,350

4,681
6,682

1,856
1,468

1,284
1,140

02

03

6,297 784
322

04

3,236
1,620

05

3,506

3,204

3,607

3,045

06

07 （年度）（国内事業所）

28

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

省資源についての考え方

回覧書類の電子化などに努めました。その結果、2007年度のコ

当社グループでは、限りある資源の使用量を最小限に抑えてピー用紙使用量は、グループ全体で 2006 度より約 10%減少、年います。具体的には、コピー用紙や文房具などについて、購入間で約 970 万枚の使用量削減を行うことができました。環境配量、使用量を削減することを進めています。同時に、環境配慮

慮型の紙の使用を進めるだけではなく、竹を配合した紙コップ型製品を優先的に購入する「グリーン購入」を推進しています。

を導入するなど、資源の保全につながる活動も実施しています。

また、オフィスで使用するプリンター用トナーをリサイクル品

今後も継続して、コピー用紙の減量、記録用紙や帳票類のに替え、メーカーによる使用済み製品回収への協力を積極的に最小限化などを行い、紙使用量削減を目指します。

水使用量削減の取り組み
製造系事業所では、水の使用量を減らすために様々な活動を組みを構築して、社内横断的にリユースを促進しています。

展開しています。例えば、生産工程で利用する冷却水は、循環装置

紙使用量削減への取り組みを設置し、再利用しています。また、トイレや手洗い用に自動水洗

当社グループでは、紙の使 用量削減に取り組んでいます。

装置を導入して水の止め忘れや無駄な使用を減らしています。

コピー用紙使用量の推移

水使用量の推移
（千m3）

（千枚）
事務所系
製造系

海外使用量
地下水
上水
工業水

18,30089,067

77,16818,18469,45017,41776,80016,03869,814

16,13577,992

13,438

436

388

474

390

430

ʼ00

ʼ01

146
89

527

445

391

290

325

332

ʼ97

ʼ98

ʼ99

107
64

70
106

115
92

111
22
599

486

437

506

415

357

391

382

429

ʼ02

ʼ03

ʼ04

ʼ05

ʼ06

70,936

0

48

2

599

531

0

ʼ01

ʼ02

ʼ03

ʼ04

ʼ05

ʼ06

ʼ07（年度）（国内事業所）ʼ07（年度）（国内および海外事業所）

TOPICSEHS Report

67
11988
62

MANAGEMENT Report

具体的には、コピー用紙の両面使用、縮小コピーの励行、情報や

18,617HIGHLIGHT

行っています。一部の事業所では、イントラネットを利用して、ある部署で使用しなくなった文房具類を他部署で使用できる仕事 業 所における環 境への取り組み

省資源

工業高校へのパソコンの寄贈
当社グループは、福島県会津地域の半導体を中心としたモノづく

目録の寄贈風景り産業を支える人材育成事業「会津ものづくり人財育成事業」の協力
方工業高等学校（両校は昨年のセミコン・ジャパン※に高校生として初めて出展し、開発した工具を展示しました ）に、ノートパソコンを10 台ずつ寄贈しました。このノートパソコンは当社グループのサービスマンが実際に業務で使用していたものです。2008 年1月25日に会津工業高校で寄贈式が行われ、生徒、先生方、関係者など合計 100名以上にご参加いただき、当社グループより目録が手渡されました。

※セミコン・ジャパ ン（SEMICON Japan）：
半導体を中心としたエレクトロニクス製品を製造する装置、材料産業の世界的なイベントです。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

SOCIAL Report

企業です。今回、同事業の指定校である、会津工業高等学校と喜多29

E H S R e p o rt
事業所における環境への取り組み
事 業 所における環 境への取り組み

廃棄物削減
廃棄物削減・リサイクルの考え方

は 97.3%、2007 年度は 97.0%となりました。リサイクル推進と廃棄物の排出量削減に努め、排出した廃棄物は可能な限りリ並行して、引き続き廃棄物排出量の総量削減を進めます。同時サイクルをし、リサイクルできない廃棄物は適正に処理するといに、社内での廃液処理設備の導入などによる廃液類の削減にもう基本方針に基づき、東京エレクトロングループ全体で廃棄物取り組んでいます。の削減とリサイクルに取り組んでいます。
近年は最終処分場が不足し、埋め立て処理費用が上昇していHIGHLIGHTるため、廃棄物排出量の削減はコスト削減にもつながります。具当社グループで最も多い廃棄物は廃液類で、製品の開発およ

体的には、廃棄物の分別回収、廃棄物が発生しない生産工程へび評価時に使用した薬品が廃液となっています。現在、廃液のほの変更、廃棄物処理委託業者の認定管理、最終処分状況の定

とんどはリサイクルされています。前述の通り、廃液の自社内処期的な確認などを行っています。

理を進めた結果、リサイクルを含む廃 棄 物

廃棄物排出量とリサイクル率

総 量 は 20%削 減 さ廃棄物の内訳（％）
1％
4％

MANAGEMENT Report

1998 年度に、2005 年度までにグループ平均のリサイクル率れ、2006 年度は廃棄7％を 95%にするという目標を掲げて取り組みを進め、2006 年度

物全体の 71%が廃液9％（t）

2005年度リサイクル率目標値95%

3,657

3,938

3,189 3,179

77.4

EHS Report

9997.0（%）

59.900

0102

りました。

ゼロエミッション
廃棄物量（焼却および埋め立て量）
リサイクル率03

単純焼却や埋め立て処分する廃棄物量が2%未満の事業所を「ゼロエミッション事業所」と定義し、グループ全体でゼロエミッション活動を推進しています。廃棄物のリサイクル、削減を進め

431

98

97.3

3,268847096.4

13％

廃液
金属、製品屑
プラスチック
紙類
木屑、梱包材
飲料容器
その他

93.1

69.7
55.2

96.1

2007年度は58%とな

8％

58％

で あ っ た の に 対 し、リサイクル率と廃棄物排出量の推移

49.70446905

41406

た結果、2007 年度は国内のすべての製造系事業所においてゼ366
007 （年度）（国内事業所）TOPICSロエミッションを達成しました。
今後は非製造系事業所においてもゼロエミッションの達成を目指します。

プルトップの回収と寄贈

東京エレクトロングループ国内工場の廃棄物リサイクル率
事業所名各事業所では廃棄物の有効利用

宮城（松島）事業所

SOCIAL Reportています。例として、相模事業所で相模事業所

は、地元商工経 済同友会が行って山梨事業所（穂坂地区）いる缶のプルトップ回収に協力し、山梨事業所（藤井地区）

2007 年 11 月に 6.5kgのプルトップ

関西テクノロジーセンター
佐賀事業所を回収・寄贈しました。これにより、合志事業所

車椅 子を同友会にて購入され、福祉施設に寄付されました。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

リサイクル率東北事業所を進めるために様々な活動を行っ30

廃棄物の内訳

プルトップ受領書

大津事業所※産業廃棄物（特別管理産業廃棄物含む）のリサイクル率

98.3%
99.7%
99.5%
99.9%
99.8%
100%
99.9%
100%
100%

事 業 所における環 境への取り組み

化学物質管理化学物質管理の考え方
当社グループでは、製品の開発段階や製造時を中心に化学物PRTR法第一種対象物質取扱量の推移（kg）

質を使用しています。開発段階では、これまでには使用していな759かった化学物質を新たに使用したり、それまでとは異なった方4,5581,980

法で使用する場合があります。その際には、事前に使用設備や3,690使用方法の評価を行い、環境や作業安全上のリスクをチェックし、必要な対策を取ってから使用を開始しています。製造時に使01,4394,000’02’03

’04

4,118

2,108
1,359
5,021

9,844

4,811
6,353

1,221577

3,553
9,144

4,578

3,962

2,800

’05

’06

’07（年度）（国内事業所）※2002年度はトン単位で把握への切り替えを進めています。

PRTR 対象物質マテリアルバランス

PRTR 法への対応※

大気排出量 0kg/年

PRTR法の規定に沿って化学物質の管理を確実に行うとともHIGHLIGHT

用する化学物質についても、危険性や有害性がより少ない物質

その他
キシレン
ふっ化水素及びその水溶性塩
エチレングリコール

水域への排出 0kg/年に、取扱量や排出量などを継続して把握しています。PRTR対化水素は使用量も多くなっています。使用後は廃棄物として専TEL

取扱量12,450kg/年

門業者に処理を委託するか、社内で適正に処理しています。その他に使用量の多いエチレングリコールは、冷却水の冷媒とし製品

73kg/年

リサイクル 3,911kg/年
廃棄物 5,986kg/年て使用しており、使用後はほぼ全量をリサイクルしています。今自社埋立 0kg/年

除去処理量 2,471kg/年

下水道への移動 9kg/年

後も、化学物質の適切なリスク管理を継続していきます。
※PRTR（ Pollutant Release and Transfer Register ）：人体や生態系に害を与える恐れのある化学物質について、その使用量と環境への排出量、廃棄物に含まれて事業所外に移動した量を把握・集計し、公表する仕組み

MANAGEMENT Report

象物質のなかでも、評価用ウェーハの洗浄に利用しているふっポリ塩化ビフェニルの保管「ポリ塩化ビフェニル（PCB）廃棄物の適正な処理の推進に関する特別措置法」に基づき、PCBの保管や処分の状況を所轄のいる PCBを含む廃棄物は、トランス 2 台とコンデンサー 4 台で、厳重な管理を行っています。

TOPICSEHS Report

都道府県知事に毎年届け出ています。当社グループが保管して化学物質による汚染防止兵庫県尼崎市にある関西テクノロジーセンターでは、製品の評価

SOCIAL Reportと開発の際に、様々な化学物質を使用しています。これらの化学物質を社内で管理することはもちろん、大気や水への汚染予防も適切に行っています。関西テクノロジーセンターでは、過去5年間に渡り、定期的に排水データを尼崎市に報告しており（市の条例では年 9 回以上 ）、基準値内での排水を続けた結果、同市より 2007 年 2 月に排表彰風景と排水管理優良事業所プレート

水管理優良事業所の表彰を受けました。今後も継続して排水の監視を含む化学物質管理を進めていきます。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200831