東京エレクトロングループの環境に関する
基本理念／方針

東京エレクトロングループの安全／健康に関する基本理念／方針〈基本理念〉〈基本理念〉

東京エレクトロングループは、
地球環境を保全し、継続的に改善するこ

東京エレクトロングループの役員および従業員は、開発・製造・販売・サとが人類共通の最優先課題の一つであり、経営上最も配慮すべきこービス・管理等の各種業務の遂行において安全や健康に対する配慮との一つであるとの認識に立ち、地球環境との調和を保った繁栄を実を常に念頭に置いて行動する責務がある。即ち人命および（顧客に販現することを常に念頭に置き、顧客・社会・株主・従業員から総合的に売する／社内で使用する）各種設備／機器の安全性を損なってまで、信頼され愛される企業の構築を目指して、
環境保全活動を推進する。

利益や納期を優先するようなことがあってはならない。

〈方針〉

〈方針〉

1. 当社グループ製品が顧 客の事業運営に於いて少なからず環境負1. 当社グループ製品の製造・輸送・据付・使用・メンテナンス・サービス

荷を与えていることを率直に認識し、顧客と一体となって当社グルを行う上で少なからず顧客や当社グループ従業員に対する安全性

ープ製品の環境負荷を低減させる為に、積極的に継続的に努力

及び健康への阻害要因が存在することを率直に認識し、当社グループ製品の安全性向上や健康影響排除のために積極的に継続的する。
2. 当社グループの事業運営に於ける環境影響要因と、その環境負荷を定量的に把握し、その低減に向けて積極的に継続的に努力する。
更に環境に関する各種要
3. 環境関連法規・条約・協定等を遵守し、請を先取りして自主基準を制定し、地球環境保全を推進する。

に努力する。
2. 当社グループの事業運営に於ける安全性向上／健康増進阻害要因を定性／定量的に把握し、それらを改善するとともに当社グループで活動する人々の更なる安全性向上や健康増進に向けて積極的に継続的に努力する。

4. 環境に関する基本理念・環境方針・環境保全推進状況を従業員に周知させ、意識向上を図ると共に、社外へも公表する。

3. 安全／健康関連法規・条約・協定等を遵守し、更に環境に関する各種要請を先取りして自主基準を制定して安全性向上・健康増進を

5. 顧客・社会で実施・推進される環境保全活動に積極的に参画する。

促進する。

平成10年9月25日
4. 安全／健康に関する基本理念・方針や安全性向上／健康増進関係活動状況を当社グループの全役員・全従業員に周知させ、意識向上を図ると共に、社外へも必要に応じて公表する。
5. 顧客・社会で実施・推進される安全性向上や健康増進関係活動に積極的に参画する。
平成10年11月27日

編集方針
東京エレクトロングループでは2000年度以来、毎年環境報告書を発行し、環境・健康・安全への取り組み、社会貢献活動の成果について報告してきました。本年度は従来の内容に加え、社会性に関する報告も行い、環境・社会報告書として充実させました。本報告書では、当社グループの活動内容をご理解いただくため、読みやすさ、わかり
やすさを第一にこころがけています。この報告書を通じて、当社グループとかかわるすべての方々とのコミュニケーションをさらに充実させていきたいと思っています。今後の編集方針に反映させたいと考えていますのでご意見、ご感想をぜひお寄せください。
作成にあたっては、環境省の「環境報告書ガイド
ライン2003年版」と国際的なガイドラインの策定を行う組織であるG R（Global
I
Reporting Initiative）のガイドライン「サステナビリティ・リポーティング・
ガイドライン2002年版」を参照しました。

2

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

対象範囲
対象組織：東京エレクトロングループ＜国内主要拠点＞
東京エレクトロン（株）、東京エレクトロンAT（株）、東京エレクトロン九州（株）、
東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ（株）、東京エレクトロンFE（株）、
東京エレクトロンデバイス（株）、東京エレクトロンBP（株）、東京エレクトロンエージェンシー（株）＜米国主要拠点＞
Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.、Tokyo Electron America, Inc.、Tokyo Electron Massachusetts, LLC.、TEL Technology Center, America, LLC.、
Supercritical Systems, Inc.、Timbre Technologies, Inc.
＜欧州主要拠点＞
Tokyo Electron Europe Ltd.、Tokyo Electron Israel Ltd.
＜アジア主要拠点＞
Tokyo Electron Korea Ltd.、Tokyo Electron Taiwan Ltd.、Tokyo Electron（Shanghai）Ltd.、Tokyo Electron（Shanghai）Logistic Center Ltd.
（2005年8月現在の社名）

対象期間：2004年4月1日〜2005年3月31日
対象分野：環境、社会、経済的側面
なお、環境・社会報告書は今後も継続的に毎年発行していく予定です。

目次

会社概要
社

名 東京エレクトロン株式会社
TOKYO ELECTRON LIMITED

本 社 所 在 地 〒107-8481
東京都港区赤坂5-3-6 TBS放送センター
TEL：03-5561-7000（代表）設資立 1963年11月11日
本

2

会社概要、
目次、環境・安全活動のあゆみ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

3

トップコミットメント ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

4

金 549億6,119万円（2005年4月1日現在）

Managem ent R eport

主要取扱製品 半導体製造装置、FPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置、コンピュータ・ネットワーク
社

環境および安全／健康に関する基本理念／方針、
編集方針、対象範囲 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

員数 1,026名［単体（2005年4月1日現在）］●

コーポレート・ガバナンス ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

6●

コンプライアンス ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

7

Hi ghl i ght
売上高推移および経常利益の推移（連結）
（億円）
7,238

売上高

8

経常利益

●

東京エレクトロン（TEL）の製品 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

6,357

●

東京エレクトロン（TEL）のビジネス ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 10

5,296
4,605

4,178

Envi ronm ental R eport

1,192
0

01年3月

△194

△2

211

02年3月

03年3月

04年3月

部門別売上高（連結） （億円）
コンピュータ・ネットワーク
160
電子部品
862

656

●

EHSマネジメント ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 12●

EHS活動目標と実績 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 13●

環境会計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 14

05年3月

地域別売上構成比（連結）
（%）

その他
12

●

欧州
4.9

S.E.アジア
6.4
中国
6.6

日本
36.6

米国
9.9
半導体およびFPD製造装置
5,322

韓国
13.4

台湾
22.3

半導体業界のCO2排出量削減へ向けた取り組み ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 15●

営業・開発・設計担当者による意見交換会 ・・・・・・・ 16●

製品における環境への取り組み ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 18●

事業所における環境への取り組み ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 22Soci al R eport
グループ社員数推移

設備投資額および研究開発費（名）
10,720

（億円）
529
494

10,171
10,269
8,942
8,945

設備投資額
538
501

研究開発費
442

439

309

01年 02年 03年 04年 05年
4月 4月 4月 4月
4月

01年
3月

02年
3月

123

110

99

03年
3月

04年
3月

05年
3月

●

健康・安全 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 26●

社員とのかかわり・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・28●

ステークホルダーとのコミュニケーション ・・・・・・・・・・・・・ 30●

ステークホルダーからのご意見 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 31

環境・安全活動のあゆみ
1994. 5
1996. 3
1996. 4
1997. 12
1998. 2
1998. 3
1998. 3
1998. 5
1998. 91998. 111999. 6

標準環境安全センター（環境安全推進センター）設置
装置安全分科会（東京エレクトロングループ装置EHS技術委
員会）発足
環境分科会（東京エレクトロングループ環境安全推進委員会）
発足
相模事業所ISO14001認証取得
東北事業所ISO14001認証取得
佐賀事業所ISO14001認証取得
熊本・合志事業所ISO14001認証取得
山梨事業所ISO14001認証取得「東京エレクトロングループの環境に関する基本理念／方針」
を制定「東京エレクトロングループの安全／健康に関する基本理念／方針」を制定「安全第一について」を制定

1999. 8 大津事業所ISO14001認証取得
1999. 12 経営理念に「安全と健康と環境について」の項目を追記
2000. 4 環境会計の導入
2000. 4 統一安全教育システム「Safety2000」導入
2000. 12 「環境報告書」発行開始
2001. 4 製品のLCA開始
2001. 10 グリーン調達の導入
2001. 10 ISO14001未取得事業所に対する環境教育の導入
2002. 4 ISO14001ベースの独自の環境マネジメントシステムTEL Eco2002. 12
2003. 4
2004. 72005. 3

Activity 運用開始
各事業所環境・安全代表者による相互監査「TELインターナル
アセスメント」開始
鉛フリータスクチーム活動開始
東京エレクトロンデバイス（株）横浜事業所ISO14001認証取得
宮城事業所ISO14001認証取得

TOKYO ELECTRON

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3

トップコミットメント
社会における半導体の役割と東京エレクトロンのコミットメント
日本国内の半導体市場規模は約5兆円であり、日本の国内総生産（GDP）約500兆円の約1%に過ぎません。しかしながら、将来の半導体と東京エレクトロンの役割
半導体は、その誕生からほぼ同じ基本構造を持って進化を継続してきました。その進化を牽引したのは、「微細加工技術」であったと言えるでしょう。

半導体がビジネスの根本を支えていると考えられる輸送、通信、

この基本構造自体は何十年も大きな変更を要さなかったほど

金融、医療、教育の事業分野まで視野を広げてみると、半導体は優れたものですが、それでも構造的な限界として、発熱等のエ

経済全体の半分程度に影響を与えており、日本の基幹産業であネルギー消費が避けられませんし、演算スピードの向上にも限ると言っても過言ではありません。

界が見えてきています。今後、半導体およびそれらの生み出す経済や産業だけではなく、私たちの生活に対する影響を考慮

付加価値が私たちの生活の奥底まで、また世界の隅々にまで広すれば、当社がかかわる半導体産業とその関連ビジネスは、社会がっていくことを考えると、半導体が電気機器類の省エネルギ

的な影響力が非常に大きいと言えます。

ー化や高効率化へ貢献していくことが、今まで以上に求められ半導体は現代情報化社会の基盤となっており、経済を活性化るでしょう。つまり、これまでより使用エネルギーが少なく、よりする役割だけではなく、私たちの生活に利便性や快適さをもた演算速度が速い半導体の開発が不可欠になってくるのです。

らし、社会全体に夢や希望を与えているのではないでしょうか。

次世代の半導体を開発するためには、分業化した各企業が個

今後、世界中に便利で快適な生活を提供していくためには、半導別最適化を図るのではなく、知見の集積という視点を持ち、多国体がその根幹を支えていく必要があります。

間かつ様々な企業が固有の強みを持ち寄って、連携協力していまた、経営者として事業を進めていく上で決して忘れてはならくことが求められるのではないかと考えています。また、今後のないことは、環境、健康、安全、品質の四要素だと認識しています。

半導体技術革新においては、私たち半導体製造装置メーカーの事業を進める過程では、技術革新や売上拡大といった側面と、環役割が飛躍的に大きくなることが予想されます。東京エレクトロ

境、健康、安全、品質といった要素が相反しあうことも短期的にはンは、これからも継続して技術イノベーションを加速し、常にテク予想されます。そういった場合には、環境、健康、安全、品質を選

ノロジー・リーダーシップを発揮していきます。現在よりもさらに択するよう従業員へはっきりと指示することが必要です。長期的

快適で夢のある社会の実現に向けて、東京エレクトロンの挑戦

な視野に立って見れば、環境、健康、安全、品質の四要素と、技術にご期待ください。

革新や文明の進歩は決して矛盾するものではなく、両立できるものであることを示すのも、経営者として重要な役割なのです。

4

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

東京エレクトロン株式会社
代表取締役会長兼CEO

装置設計段階での対応が根本的な環境負荷低減につながる
東京エレクトロンでは、環境と安全が社会的責任の中心課題であると認識しています。東CEOからのコミットメントを受けて、COOの立場から当社グループにおける環境・安全活動の実践策を述べます。

る人々の安全には、万全の配慮が必要です。装置設計段階での安全対策が重要であるのと同様に、半導体工場における実作業に関する知識を身に着けることが重要であると考え、当社従業員への安全教育を徹底しています。
半導体産業では、ほかの産業と比較して業績の変動幅が大き
いため、その上限と下限双方に対応できる柔軟な体制構築が求半導体製造装置のライフサイクルのなかでは、半導体工場にめられます。好況期の人員増強と不況期の人員削減を交互に実おける装置稼動時のエネルギー使用量・資源使用量が大きく、施していては、技術面、環境・安全面における知識や経験が蓄積

他の段階に較べて環境への負荷が大きくなってきています。製されません。よって、開発、製造、据え付け作業、
プロセス評価と造装置の環境負荷を減らすためには、その設計段階から環境やいった一連の業務を効率化することと、品質の向上による無駄

安全に配慮する必要があります。

な作業の極小化を行うことにより、仕事量の増減に対して一定

具体的な取り組みを二つご紹介します。一つは、使用エネル
ギーの削減についてです。装置は、一日中材料加工で稼動しての人員規模で柔軟に対応できる体制を構築していきたいと考えています。

いるわけではなく、材料待ちの待機時間もかなりあるものです。
その待機時の使用エネルギーを削減することが有望視されて環境・安全に配慮した今後の取り組み

おり、かつその効果も相当期待できることから、装置の開発段階

これまで半導体製造装置は、お客様の個別ニーズにあわせて、から待機時のエネルギー削減を意識し、開発・設計に取り組んで

個別設計を行うことが基本的なビジネスモデルであったために、います。二つ目は、装置稼動時には多種多量の温暖化ガスが使標準化への取り組みが遅れていました。しかし近年、当社では装用されていることから、温室効果ガス対策に取り組みます。これ

置のプラットフォームや搭載するモジュールの標準化を進めてまではガスの適正除去対策や環境負荷の低い代替ガスへの切りおり、これを加速することにより品質や環境・安全の性能向上を替えを行ってきましたが、今後の取り組みとして、ガスの固形化

さらに進められると考えています。

および循環利用を実現する装置開発を行っていきます。
当社はこれからも、お客様からの要求に応えることに加え、自主的な対応を積極的に行うことで、半導体製造装置使用時におこうした取り組みによって、業界全体でも環境・安全に配慮する活動が進められつつあります。当社はそれらの動きを積極的に主導し、種々の課題を解決していきます。

ける環境負荷削減を推進していきます。

安全への配慮と人員管理について

東京エレクトロン株式会社
代表取締役社長兼COO

半導体製造装置の大型化に伴い、高所作業の必要性や重量物の取り扱いが増加しています。また、半導体の製造プロセスでは人体に有害な物質も使用する必要があるため、製造装置に携わTOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

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M

a n a ge m e nt R e port

コーポレート・ガバナンス
東京エレクトロングループでは、すべてのステークホルダー（利害関係者）の信頼に応え、企業価値の向上を図るための経営を推進します。

コーポレート・ガバナンスに対する考え方

内部統制システムおよびリスク管理体制

東京エレクトロングループは、経営のグローバル化が東京エレクトロングループは、高い水準での企業倫理進行する中、株主をはじめとするすべてのステークホルを保持するとともに、法律・国際的なルールを遵守したダー（利害関係者）の信頼に応え、企業価値の向上を図

行動が第一義であると考えています。倫理担当取締役をるため、企業倫理と遵法を徹底しています。また、内部統選任するとともに倫理基準を制定し、企業倫理の徹底に制システムおよびリスク管理システムの整備・強化を推取り組んでいます。また、内部統制システムおよびリスク

進するとともに、経営の透明性・客観性を確保することを管理体制を整備するため、監査センターによる内部監査

基本方針としています。

機能を充実させていくとともに、総務部内にビジネスリス
ク、オペレーションリスクなどの危機管理対策を遂行する機能を設けています。

コーポレート・ガバナンス体制について
東京エレクトロングループは、①経営の透明性と健全性の確保、②迅速な意思決定と事業の効率的執行、③タ配当政策および役員報酬制度変更

イムリーかつ適切な情報開示を有効に機能させることを

東京エレクトロングループは、
さらなる企業価値向上と目的としたコーポレート・ガバナンス体制の構築に努め

経営の透明性向上の観点から、2006年3月期から、連結ています。

当期純利益の20％の配当性向を目途とする配当政策に監査役制度を採用し、取締役会は社外取締役2名を含変更するとともに、役員報酬制度の変更も行いました。

む取締役12名、監査役会は社外監査役2名を含む監査

固定的報酬であった、
取締役・監査役・執行役員の退職（慰役4名で構成しています。また、取締役と執行機関の機労）金制度を2005年3月期をもって廃止する一方、取締能を分離するとともに、取締役会の中に代表取締役の報役・監査役・執行役員の業績連動報酬部分を連結当期純酬を決定する報酬委員会を設置しています。加えて、株利益の3%を上限とすることにより、業績連動報酬部分と主総会で選任される取締役候補者の選定および最高経

連結当期純利益との相関性を明確化し、連結業績や株価

営責任者の候補者の選定などを行う指名委員会を設置に対する報酬の連動性引き上げを図ることとします。

しています。なお、報酬委員会・指名委員会は、代表取締役を除く取締役3名で構成されています。業務執行体制については、取締役会と執行機関の役割をより明確化す
るために、
2003年4月より執行役員制を導入しています。
コーポレート・ガバナンス体制
株 主 総 会
取締役会

指名委員会
報酬委員会
倫理担当取締役

監査役会

会長
社長

改善状況確認指示
監査+改善報告

改善指示

監査

執行役員
報告
モニタ
報告

リスク管理担当部
内部牽制

収益部門
監査

6

TOKYO ELECTRON

改善指示

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監査

モニタ
報告

事務部門
監査

内部監査部門（監査センター）

会計監査人

M

a n a ge m e nt R e port

コンプライアンス
東京エレクトロングループでは、企業倫理とコンプライアンスの実践を通じて、健全な企業活動を行います。

企業倫理・コンプライアンスについての考え方「信用」は東京エレクトロンの生命線にあたります。信コンプライアンスと危機管理に関する情報提供
コンプライアンスや危機管理に関する社内イントラネ

用を維持するための基本は、従業員と各組織が企業倫理ット上での情報提供を開始とコンプライアンスを実践することです。企業倫理は倫しました。業務分掌、コン

理的な規制であり、コンプライアンスは法的な規制であ

プライアンスプログラム、

るといえます。どちらも企業活動を正しい方向へ導くた＊1＊2
BCP 、C−TPAT 、個人

めに必要な車の両輪のような関係にあり、企業倫理とコ情報管理、安否情報確認シンプライアンスを両立した実践が必要と考えています。

ステム、倫理基準などが掲

コンプライアンス&危機管理web

載されています。
＊1 BCP（Business Continuity Plan）：事業継続計画

倫理基準の制定
グローバル・エクセレントカンパニーを構築するために共通の基準が必要であるとの考えから、1998年にそ＊2 C−TPAT（Customs Trade Partnership Against Terrorism）：
2002年4月に米国国土安全保障省の税関と国境保護局がテロ対策の一環として提供したプログラム。

の具体的な考え方を示した倫理基準を制定し、運用機関
として倫理委員会を設置しました。また、倫理基準へのホットラインの設置

理解を深めるため「倫理意識向上のために」という冊子

倫理基準に反する言動や、
コンプライアンス違反と思を作成して従業員に配布しております（2002年、2003

われる行為に気づいたときに、従業員が利用できるホット

年、2004年に改訂版を発行）。

ラインとして、専用のメールボックスを設置しています。
倫理基準に関するメールボックスにアクセスできるのは、

東京エレクトロングループ倫理基準
1

競合相手

2
3

安

相対取引

9

人権の尊重

に関するメールボックスにアクセスできるのは、総務部長

相対する利害10 ハラスメントのみです。情報については秘密を守り、通報した従業員

4

贈り物の授受11

会社財産の不正使用

5

政治献金の禁止

12

株式投資

6

反社会的勢力および団体

13

企業秘密の取扱い

7

環

14

運

境

全

倫理担当取締役と倫理委員長のみで、コンプライアンス

8のプライバシーに十分配慮しながら公正かつ誠実に取り扱っています。

用

個人情報保護昨今、個人情報の流出事件が社会的な大問題となってコンプライアンス教育

いる中、事業者にはその保有する個人情報を適切に管理

東京エレクトロングループの役員と社員の一人ひとりすることが求められています。2005年4月の個人情報が「コンプライアンスとは何か」を正しく理解し、コンプラ

保護法の全面的施行を受けて、当社グループの個人情報

イアンス意識をもって業務を遂行するため、WEBを活用

保護基本方針および規程を策定しました。今後は個人情した全社員必須のコンプライアンス教育を導入しました。

報を取り扱うに当たっての詳細なルールの策定や、個人

この教育は、企業活動とコンプライアンス、日常活動にお情報保護の安全管理体制の定着化を加速していきます。

けるコンプライアンスの課題、リスク管理方針とコンプラ
イアンス規程について学ぶためのもので、2004年度は国内グループ会社社員約6,300名が受講しました。

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環境・社会報告書2005

7

H

igh ligh t

東京エレクトロン（TEL）の製品
東京エレクトロンは、半導体製造装置の製造を通して、
デジタルネットワーク時代の基盤を支えています。

TELの半導体製造装置でつくった半導体はありとあらゆる所で使われています
半導体は、シリコンウェーハと呼ばれるシリコンの薄い基板に様々な加工をすることで、製造されます。製造された半導体
は、
デジタルネットワーク時代を迎えた社会で、パソコンや家電だけではなく、自動車、
さらには日常生活の様々な場面で活用されています。半導体は、あらゆる機器の中に組みこまれ、人々の生活のすみずみまでいきわたり、現代の生活を根底から支えているのです。東京エレクトロンでは、最先端の半導体製造装置を開発・製造することで、皆様の生活を支えています。

TELは半導体製造装置を提供しています
東京エレクトロンの主な製品

熱処理成膜装置

コータ／デベロッパ

プラズマエッチング装置

TELの装置が半導体製造に用いられています
半導体の製造工程 シリコンウェーハの表面に膜をつけたり削ったりを繰り返します。

シリコンウェーハ

8

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環境・社会報告書2005

東京エレクトロングループの物質フロー
当社グループは事業活動を行うに当たり、

Input

多くの地球資源を必要とします。右記は、当2004年度Output
前年度比社グループの製造系事業所および事務所●

電力 24,710万kWh （+6.0%）

系事業所における物質フローになります。

●

ガス

3
+11.0%）
794km（

特徴として、製品評価時における環境負荷●

燃料2,780kl （-3.8%）が大きいことがあげられます。これは、電力および様々なガス、薬品などを使用し、半導体製造工程と同様のプロセスで装置を評価しているためです。

●
●

3

水

1,004km （-1.0%）

化学物質

11.3t（-22.1%）

2004年度 前年度比●

TEL
東京エレクトロングループ（国内および海外事業所）（PRTR法第一種対象物質）●

紙（コピー用紙） 377t （+7.4%）

製品総出荷量21,841t
104,110t（+5.3%）

●

CO2

●

NOx

11.4t（+2.7%）

●

排水

3
994km（-1.0%）●

廃棄物

11,029t（-9.7%）●

再資源化量 10,597t（-6.7%）●

単純焼却・埋立処分量431t（-49.1%）

TELの装置で製造された半導体が使われています
半導体が用いられている製品

デジタルビデオカメラ

自動車

デジタルカメラオートウェットステーション

携帯電話

薄型テレビ

半導体

パソコン

回路がパターン化されたシリコンウェーハ

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環境・社会報告書2005

9H

ig h ligh t

東京エレクトロン
（TEL）
のビジネス
東京エレクトロンでは、事業活動を行うに当たり、各業務における環境・安全面の負荷を把握し、その低減に努めています。

各業務における環境・安全面の負荷低減へ向けて
このページでは、一例として当社グループの主力製品の一つであるオートウェットステーションEXPEDIUSを取り上げ、製品の仕様打ち合わせから半導体製造までの各段階における環境・安全面の負荷とその低減に対する取り組みを掲載しています。継続的に環境・安全面の負荷低減を図ることが重要だと考えています。

東京エレクトロン（ 半導体製造装置 の 開発・製造 ）2 プロセ ス 評 価
お客様の仕様にあわせて半導体製造工程と同様のプロセスを実施・確認します。EXPEDIUSではフッ酸やアルカリ性の薬液を使用してウェーハを洗浄する際に使用する純水の削減を進めています（P20参照）。

1 仕様打ち合わせ
半導体製造装置に対するお客様からの要求は、コスト・納期の面だけではなく、スループット
（処
理性能）
と歩留まり
（品質）に関するものが大きなウエイトを占めています。最近では、環境・安全に関する要求も増えてきています。

4 調 達
装置を構成する部品は一般に使用されている部品もありますが、多くの部品は特注品です。EXPEDIUSに使用される部品においても鉛フリーはんだ化や有害物質の含有排除などの取引先からのグリーン調達を推進することが重要です（P20、21参照）。

※EXPEDIUSは東京エレクトロン九州株式会社佐賀事業所で開発・製造されています。

10

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

SPS部が取り扱う洗浄装置は、ウェーハを様々な薬液と純水で洗浄し、表面に付着したゴミや汚れを落とすという、半導体製造時のクリーニングを行う装置です。最新鋭オートウェッ
トステーションEXPEDIUSでは、使用時の薬液使用量の削減や製品の標準化を進めることにより納期・立ち上げ時間の短縮を実現しました。お客様からも高い評価を得ております。

東京エレクトロン株式会社
サーフェスプレパレーションシステムBU
ジェネラルマネージャー

秦 雅章

お 客様先（ 半導体製造工場 ）3 設 計
お客様が要求される仕様、使用される国にあわせて装置の設計を行います。この段階で、いかに環境・安全面への対応を図るかによって、装置が与える負荷の低減へつながります。EXPEDIUSは従来の装置と比較して、設置面積を小さくする省スペース化が進みました。今後は、装置の鉛フリー化と仕様標準化が課題です（P20参照）。

7 立ち 上 げ・検 収
お客様の工場で装置の設置、立ち上げを行います。危険な薬品を取り扱う
ため、安全第一の作業を行うことが重要です。お客様の工場には、複数台の装置が搬入されます。必要に応じて24時間体制の交替勤務で作業を行
うこともあります。

6 出 荷・搬 入
国内の顧客向けには、
低公害トラックの導入を開始しました。
海外向けは装置を木枠で梱包し、主に飛行機で輸送しています。木枠端材のマテリアル・リサイクルを行うなど、環境負荷の低減に努めています。

5 製 造
ユニットの搭載やモジュール同士のドッキングなど、装置の組み立てと検査を行うため、環境負荷の低いことが特徴としてあげられます。この工程で発生する廃棄物はすべてリサイクルされ、佐賀事業所では純水の循環・再生を行うことにより、水の使用量削減ならびに純水を製造する部材のロングライフ化を図っています（P23、24参照）。また、安全面に十分配慮した取り組みも重要です（P26、27参照）。

8 半導体製造
半導体製造装置は24時間稼動し、半導体を製造しています。装置のメンテナンスに伺う際には、装置を止める時間を短くしたいというお客様からの要求があり、限られた時間のなかで的確な作業が求められます。またライフサイクルアセスメントの結果から、当社グループの装置
は半導体製造時における環境負荷が大きく、その低減が最重要課
題だと認識しています。

オートウェットステーションEXPEDIUSとは 半導体は非常に微細な回路を集積したもので、チリやホコリといった非常に微細な汚れが、致命的なダメージを与えます。半導体デバイスを作りこんでいくウェー
ハは、
クリーンルーム内に入ってから完成するまで、各工程の前後に塩酸、硫酸、フッ酸、純水等で洗浄され、表面に付着したゴミや汚れが落とされます。また、ウェーハの受ける前後の処理によって洗浄の方法も異なるため、
オートウェットステーションEXPEDIUSは様々な洗浄方式、薬液に対応しています。

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書200511En vir o n m e n ta l R e p ort

EHSマネジメント
東京エレクトロングループは、EHS活動をグローバルに展開しています。

安全、健康、環境改善を推進するEHS活動

EHS活動のチェック体制

安全、健康、そして地球環境を積極的、継続的に改善す

EHSマネジメントシステムを強化するため、システムることが重要との認識に基づき、グループ全体でEHSや成果のチェック機能を担う監査のレベルアップを図っ（Environment, Health & Safety）活動を展開していています。監査は事業所内やグループ内で、あるいは第ます。グループの経営理念でも「社員・顧客をはじめ我々三者により複合的に行われています。特に積極的に推進の事業に直接或いは間接に関わる全ての人々の、安全としているのは、2002年度に開始した各事業所のEHS代

健康および地球環境への配慮を第一に考えて行動する。

表者による相互監査、「TELインターナルアセスメント」

このことが、我々の事業への信頼を確立し、長期的に会です。2004年度は、労働安全衛生と作業安全という従社の利益増大につながると確信している。」と安全、健康、来の項目に、「装置EHS Compliance」「装置EHSパフ

環境の重要性をうたっています。

ォーマンス」「 環境パフォーマンス・遵法」の各項目を追加しました。これによEHSの推進体制
製品のEHSを推進する「プロダクトEHS」、製品納品

り個々の装置の環境・安全時における設置作業などのEHSを推進する「顧客先作性のチェックや事業所の環業EHS」、工場やオフィスのEHSを推進する「ファクトリ

境マネジメントを相互にチー&オフィスEHS」の3つを柱に活動を展開しています。

ェックできる体制を強化し現場でのアセスメントの模様

ました。

TELグループのEHSの推進体制
グローバルEHS会議※委員長：東京エレクトロン（株）社長

ファクトリー＆オフィスEHS

顧客先作業EHS〈お客様の拠点でのEHS活動〉〈各地区でのEHS活動〉

プロダクトEHS〈当社グループで製造する装置についてのEHS活動〉

環境リスクマネジメント
製造系の各事業所では、ISO14001のマネジメントシ
ステムに基づきPLAN→DO→CHECK→ACTIONのPDCAサイクルで改善活動を行い、環境への影響低減を図っています。また、
このシステムに基づき環境側面を抽出してリスクを評価し、環境に対する影響の大きいもの

EHSマネジメントシステム
製造系事業所ではISO14001の認証取得を推進してから対策を取っています。法規制に先駆けてリスクの削います。2004年度は事務所系および製造系事業所で1減に取り組んでいる課題もあります。今後は京都議定書

社ずつ同認証を取得しました。

に基づく地球温暖化防止への対応が最も重要な課題と考えています。

ISO14001認証取得事業所
会社名

事業所名

東京エレクトロンAT／
相模事業所
東京エレクトロンFE
東北事業所
東京エレクトロンAT

東京エレクトロン九州

東京エレクトロン
デバイス

12

認証取得
年月日

認証番号

1997年
1110-1997-AE-KOB-RvA
12月10日
1998年
2月19日

山梨事業所
1998年
（藤井／穂坂地区） 5月15日

1118-1998-AE-KOB-RvA

自主基準を設けるなどして法規制順守に努めています。
2004年度は、環境関連の事故・違反・罰金・苦情、
これら

2005年
3月1日

01245-2005-AE-KOB-RvA

佐賀事業所

1998年
3月12日

1119-1998-AE-KOB-RvA

熊本／合志／
大津事業所

1998年
3月26日

1120-1998-AE-KOB-RvA Rev.1

横浜事業所

2004年
7月14日

EC04J0144

環境・社会報告書2005

環境法令や排出基準などの法規制を確認し、一部では1124-1998-AE-KOB-RvA Rev.1

宮城事業所

TOKYO ELECTRON

法令の順守状況にかかわる訴訟などはありませんでした。

En vir o n m e n t a l R e p ort

EHS活動目標と実績
東京エレクトロングループでは、EHS活動目標を設定し、グループ全体でEHS活動を推進しています。

EHS活動目標と2004年度実績
2004年度行動計画

実施結果

健康・安全

EHSマネジメント

2005年度以降の計画、
目標

参照ページ

新規開発装置にて実施○

継続して実施する

P18

製品の鉛フリーはんだ導入の推進

取引先での課題の明確化、技術基準の検討など実施に向けての準備を進めた○

2006年1月からの生産開始に向けて課題の解決と準備

P20

グリーン調達の推進

製品含有禁止/削減物質ガイドラインおよび
JGPSSIの調査票に基づき取引先にこれら物
質の部品への含有状況調査を実施○

調査の結果を部品データベースに登録し、部品検索・発注時にその情報を利用できるようなシステム
を構築する

P21

エネルギー使用量の削減（省エネ法に基づき、CO 2発生量ベースで売り上げ
原単位比１％削減）

ＣＯ2排出量総量は増加したが、売り上げ原単位比では昨年度より12%減少○

さらに省エネルギーを推進し、1997年原単位に近づけるようにする

P22

ゼロエミッションの推進

九州地区4事業所、山梨地区、東北、宮城、
尼崎事業所で達成、グループ全体でのリサイ
クル率は96％に上昇◎

製造系事業所以外の地区でのゼロエミッションおよび廃棄物の減量化を進める

P23

ＰＲＴＲ対象化学物質の使用量継続把握

対象物質の使用量把握および排出先の把握を今年度よりグループ全体で集計○

継続的に把握するP25

休業4日以上の人身災害０件、人身事故の件数を昨年度より３０％削減する

休業4日以上の事故数件発生し、度数率および人身事故件数ともに昨年度と比較して増加×

2005年度は応急処置やオフィス内の事故、エルゴノミクス的要因の事故などの多方面での目標を設定し、削減を進める

P26,27

事務所系事業所でのTEL Eco-Activity（簡易EMS）の実施継続

東京エレクトロンデバイス横浜事業所にてISO14001認証取得○

Ｗｅｂベースの環境教育導入検討

P12,29製造系事業所にて労働安全衛生マネ
ジメントシステムの導入

未導入事業所でのリスクアセスメントを推進○

リスク削減プランの確実な実行と確認ー

EHS相互アセスメントシステムの実施

従来の作業安全の要素に環境パフォーマンス、
装置ＥＨＳの要素を加え、実施○

新しい要素を加えたアセスメント方法で、各地区でのアセスメントを実施する

P12

海外オフィスでの活動推進

アジア地区での安全教育実施状況をＷｅｂで把握開始○

環境教育の実施検討、未実施地区への展開、教育実施状況のWeb等での把握検討

P29

製品における
環境への取り組み

事業所における
環境への取り組み

評価

LCA（ライフサイクルアセスメント）の実施○目標達成△目標の８０％を達成 ×目標の８０％以下を達成

安全と環境、ともに開発段階での配慮が重要です2005年3月期の環境・安全活動を、現場責任者の立場から総製品の標準化意識の浸透が進み、環境配慮や労働負荷改善を進めるための基盤が整ってきました。
従来、当社が製造・販売している半導体／FPD製造装置は、お括します。
まず安全に関してですが、当社グループが提供しているすべて

客様ごとのニーズに対応して、新規に設計段階から見直すといっの製造装置について、その安全性の見直しを行いました。従来た形態を取っており、標準化とは程遠いものでした。最近になって、からSEMI が提唱している安全基準などに基づいて、製造装置

共通のプラットフォームが使用されるようになり、そこに様々なモジュの設計開発を行ってきましたが、今回は、据え付けやメンテナンスールを組み合わせるという形態で標準化が進んできました。製造装＊など、装置の不稼動時の安全性も含めて検証しました。また、近置の安全性向上や環境配慮を徹底するためには、装置の標準化

年製造装置の大型化・重量化が進んでおり、据え付けやメンテが不可欠ですので、そのための土壌がようやく醸成されはじめたとナンス作業時の身体的負荷を減らすことが重要な課題となって考えています。標準化の余地はまだ十分あると認識していますので、います。これを解決するため、人間工学に配慮した装置設計に今後も継続して製造装置・設計・部品の標準化を進めていきます。
一方では、従業員の時間外労働

取り組みはじめました。
環境については、お客様からも電力削減にも積極的に取り組んでいます。

に限らず装置稼動時の総合的な環境

例をあげると、従来は特定の部署・負荷削減を期待する声が大きくなって従業員に過度な負荷がかかっていた

きています。当社製品の環境負荷がケースが散見されましたが、マネージャーから従業員各位の改善意識の装置稼動時に最も大きいことを認識し、設計開発段階からの環境負荷削減によりいっそう注力していきます。

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

センター長

金子正記

変革が徐々に進むことに伴い、労働東京エレクトロンAT株式会社

負荷の平準化も前進しつつあります。 代表取締役社長 北山博文

＊ SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）：半導体／FPD製造装置と材料メーカーの国際的業界団体

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

13

En vir o n m e n t a l R e p ort

環境会計
東京エレクトロングループは、環境活動に要した費用やその効果を正確に把握することで経営に生かしています。

環境会計の考え方

環境保全コスト

企業の環境活動に要した費用やその効果を把握し、経営に生かすためのツールが「環境会計」です。当社グル2004年度における、環境保全コスト（投資と経費）は下表の通りです。

ープは、企業活動のうち環境保全活動にかかわるコスト

集計対象は、当社グループの国内事業所で、設備投資を定量的に把握し、企業活動の指針として活用するために、の減価償却費については、1999年度に設備投資したも「環境会計」制度を導入しています。

のから集計しています。

「環境会計」制度導入の6年目に当たる2004年度は、環境活動に要した設備投資額および費用額の集計精度

投資額の内訳などのさらなる向上に努めました。これからもよりいっそ

管理活動
コスト
20.8%

う、環境保全活動に継続性を持たせていく方針です。
なお、当社グループの環境会計は『環境会計ガイドライ

経費額の内訳
社会活動コスト
2.2%

公害防止コスト35.4%

上・下流コスト13.4%ン（2002年版）』や『環境会計ガイドブックⅡ』
（環境省）

研究開発
コスト
51.5%

地球環境保全コスト
30.4%に準拠しています。

地球環境保全コスト
1.9%
公害防止
コスト
12.9%
資源循環コスト17.4%

上・下流コスト
4.7%
管理活動コスト 9.8%

2004年度環境保全コスト
集計範囲：東京エレクトロングループ国内全事業所（札幌、東北、宮城、赤坂、府中、横浜、相模、穂坂、藤井、尼崎、大阪、佐賀、熊本、合志、大津）
集計期間：2004年4月1日〜2005年3月31日
環境保全コストの分類

主な取り組みの内容 （設備、備品、リース、償却、維持管理、等）

1．事業エリア内コスト
1.1 公害防止コスト
内訳
1.2 地球環境保全コスト
1.3 資源循環コスト
2．上・下流コスト
3．管理活動コスト
4．研究開発コスト
5．社会活動コスト
6．環境損傷コスト
7．その他のコスト合計

大気汚染、水質汚濁、土壌汚染防止など
温暖化防止、
オゾン層保護など資源の効率的利用、廃棄物減量化など
グリーン購入、
グリーン調達など
環境教育、環境負荷の監視・測定など製品の研究開発など
緑化、地域の環境活動支援、情報開示など
自然破壊の修復など
その他

（千円）

投資額

経費合計

56,21830,25925,9590
11,43917,801000085,458656,769
264,232
37,851
354,686
96,436200,506
1,042,573
44,332002,040,616

環境保全対策に伴う経済効果
環境保全対策に伴う経済効果の集計結果は、下表に示した通りです。
本報告書における環境会計の項目としては、「環境保全対策に伴う経済効果」のみを公表しております。
2004年度環境保全対策に伴う経済効果
集計範囲：東京エレクトロングループ国内全事業所（札幌、東北、宮城、赤坂、府中、横浜、相模、穂坂、藤井、大阪、尼崎、佐賀、熊本、合志、大津）
集計期間：2004年4月1日〜2005年3月31日
環境保全コストの分類

費用削減

収益

14

電力およびその他のエネルギーについての効果
水についての効果
紙についての効果
各種資源についての効果
その他についての効果
廃棄物に関する効果
水域および土壌への排出に関する効果
費用削減合計各種資源についての効果
廃棄物に関する効果
収益合計
合計

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

内容
電力の使用量の削減
水の使用量の削減
紙の使用量の削減
重油使用量の削減
廃棄物処理量の削減
廃棄物処理量の削減（千円）
金額△ 40,796
7,478
3,990
1,516
7,594
14,513132△ 5,57387
495
582△ 4,991

半導体業界のCO2排出量削減へ向けた取り組み
地球温暖化は将来の人類の生存にかかわる深刻な問題です。半導体業界における課題達成へ向けて、
東京エレクトロングループでは、CO2排出量削減へ向けた取り組みを強化していきます。

ウェーハが200mmから300mmへと大型化すると、製半導体業界の課題
日本の電機・電子業界によるCO 2排出量は、全産業の約

造設備（製造ライン）の消費電力は2倍に増え、全電力消費3%を占めています（グラフ「日本の産業別CO2排出量」参量に占める製造設備の割合が動力設備を上回る傾向にあ照）。当業界は、
この10年間で業態の構造が大きく変化し、るとの試算結果もあります。従来は省エネルギー活動とし重電や家電などエネルギー消費量が比較的少ない組立産て機器の効率向上に努めてきましたが、すでに効率はかな

業から、精密な加工工程を必要とする装置産業にその中心りの改善が見られ、今後の大きな効果は期待できない段階が移りました。なかでも半導体・デバイス部門でのエネルギ

まできています。そこで今後はハード面、
ソフト面、
ノウハウ

ー消費量が多く、成長も著しいため、工場も新設されました。

（技術情報）といったあらゆる観点から工場全体の省エネ

その結果、エネルギー消費量は当初の予測を超えて増加しルギー化に取り組む必要があり、デバイス、装置、ファシリテ

ました｛（社）日本経団連連合会

環境自主行動計画［温暖ィ（工場）を連携させた活動を展開する必要性が増していま化対策編］より抜粋・加筆｝。今後も半導体、液晶・プラズマす。当社グループは、開発、設計、製造、管理の各部門が一体

関連のCO2排出量が増加すると予測されるため、業界全体となって装置の環境技術開発に取り組んでいきます。

でも排出量は増加するとみられます。
国内において、京都議定書の発効を受け、（社）日本経済

世界の二酸化炭素排出量の合計を100%とした場合の上位15カ国の排出量の割合（2000年）

団体連合会は環境自主行動計画を策定しました。このなかで半導体産業を含む電機・電子4団体では、2010年までに
1990年度比で生産高CO2原単位の25%以上改善を目標
としています。今後の対策の一つとして、半導体・デバイス
製造工程の大規模クリーンルームにおける省エネルギー化があげられています。
一方、EU、日本、韓国、米国、台湾の世界的な半導体業界
団体は、世界半導体会議（WSC）において、温室効果ガスで＊あるPFC について、2010年までに基準レベルより10%以上削減することを確約しています。
こうした国内外における取り組みが加速してきているな

ウクライナ 1.5%
オーストラリア 1.5%

中国
12.1%

フランス 1.6%
サウジアラビア 1.6%
メキシコ 1.8%
韓国 1.9%ロシア 6.2%

イタリア 1.9%

日本 5.2%

カナダ 1.9%

インド 4.7%
イギリス 2.5%
ドイツ 3.4%

出所：オークリッジ国立研究所
全国地球温暖化防止活動推進センター（JCCCA）
より引用
http：//www.jccca.org/

かで、お客様による取り組みも活発化し、当社グループに対する要求も高まってきています。
＊ PFC：パーフルオロカーボン化合物のこと。半導体製造工程のシリコ
ンウェーハのエッチングと成膜装置のチャンバのクリーニングでこれに属するガスが使用される。

日本の産業別CO2排出量（2002年度）
鉱業
1%
自動車
1%

その他
16%

自動車部品
1%

東京エレクトロングループの取り組み
当社グループの製品である製造装置の環境負荷をライフサイクルで見てみると、使用時の環境負荷が大きく、特にCO2排出量が多いことがわかります（P18参照）。そこで装

アメリカ
24.4%

その他
27.9%

電機・電子
3%

鉄鋼
36%

セメント
5%
製紙
6%
電力
7%

石油
9%

化学
15%

置メーカーとして、使用時のCO2排出量の削減が中心的課題と考えています。

出所：産業構造審議会・総合資源エネルギー調査会
自主行動計画フォローアップ合同小委員会

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

15

En vir o n m e n t a l R e p ort

営業・開発・設計担当者による意見交換会
東京エレクトロン（以下TEL）の主力取り扱い製品の一つである熱処理成膜装置の関係者が集まり、エネルギー使用量の低減など環境配慮を進める上での課題とその解決方法を話し合いました。

環境への配慮に対する負荷も装置の品質としてお客様からの要求が高まってきた

認識されてきているので星：TELが取り扱っている半導体製造装置は、装置使用時す。

の環境負荷、特にエネルギー使用量が大きいことを最大

梅木：実際にそ の 傾向はの課題と考えています。本日は、エネルギー使用量の低ありますね。最近になって、減を中心に、環境への配慮を進める上での課題など、日お客様から装置の性能だ

ごろ考えていることをお話しいただければと思います。

けではなく、省エネルギー

岡部：私は要素技術の開発を担当しています。基礎部分化にも配慮してほしいという声を耳にするようになりましの開発者は製品化されるた。装置の省エネルギー化対策として、
ウェーハのインプ

過程の一番上流にいるわ

ットからアウトプットまでの時間をできるだけ短くしたい

けで、環境へ の配慮を一というお客様からの要求を受けて製品開発を進めた結果、番先に考えなくてはなら

ウェーハ処理に必要なエネルギー消費量を削減できまし

ない立場と言えます。具

た。しかし、ある半導体メーカーの調査によると、生産設

体的には、高価あるいは希備の中でTELの熱処理製膜装置が一番多くエネルギー

少な材料ガスなどを再利を消費するという結果が出ていて、製品を通して社会へ用するシステムをつくることが課題としてあげられます。

貢献していくためには、装置の省エネルギー化に力を入

和村：私は量産設計を担当していますので、お客様からのれ な ければならないと要求は納期短縮やコスト削減が主となります。しかしな肌で感じています。

がら、環境への配慮を営業の人たちやお客様へきちんと

和村：そうですね。環境メッセージとして伝え、正しく理解してもらう努力が重要への配慮によって、TELだと思っています。

製品の付加価値を高め

安原：私は営業活動を通して、品質管理や品質保証といっていく必要があると思いたプロジェクトに参加しています。そのなかで「品質」のますし、私たち設計担当

あり方は時代ごとに変わっ者にはその責任があると感じています。

てきていて、最近では環梅木：最近では新しい装置を提案する際に、装置単体だ

境負荷を減らすことも「品けでなく、周辺設備や材料ガス、ウェーハの処理方法を含質 」の一つの側面とされめた総合的な提案がお客様から求められることもあります。

ています。例えば、装置使

ここに、「環境」をキーワードとするビジネスチャンスが用時の環境への影響や装あるかもしれないと考えています。

置使用後の環境に与える

16TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

星丈治

東京エレクトロンAT株式会社
TPS技術部 設計2グループ

和村有

東京エレクトロンAT株式会社
TPS設計部 設計2グループ

千葉 昌明

東京エレクトロン株式会社
TPS部 新事業企画

安原もゆる

東京エレクトロンAT株式会社
TPS開発部 要素グループ

岡部 庸之

東京エレクトロンAT株式会社
TPS設計部 製品企画グループ（P16写真左から）梅木

誠

提案型のモノづくりで製品の環境配慮を進める

んでいくべきだと思います。

千葉：私は製品の鉛フリー化を担当しており、2006年か

岡部：そのためには、環境に配慮した製品開発を安全のらの鉛フリー化実現を目ように必要事項として取り組むための方針（スローガン）

指して取り組みを進めてを会社全体で打ち出す必要があると思います。またそのいます。ところが、鉛フリ

環境製品開発は、現状の開発の延長線で行うのではなく、ー化がコスト増につなが専用の開発体制が必要になるでしょう。

ってしまうという問題があり、安原：これまでは、お客様の要求にあわせて製品をつくっ

環境配慮とコスト削減のてきました。しかし、これからは環境への配慮も念頭に置

両立に頭を悩ませている

いた革新的な製品開発を行い、TELからお客様へ積極的のが実情です。

に提案できるようなモノづくりを実現していくべきではな

安原：その点については、切り口を変えることでコストのいでしょうか。

問題もクリアできるのではないでしょうか。エネルギー星：提案型にすることでTELの意思を反映し、環境への配使用量を減らした結果、製品価格が上がったとしても、運慮を進めていきたいと思

用時のエネルギー費用は下がるわけですから、総合的にいます。お客様に言われ見ればコストを下げることも十分に可能です。鉛フリーてから対応するのではなく、化の問題も同様で、初期投資段階でのコスト増も総合的

是非先手を打ってTELかに見れば回収可能だと思います。そのあたりは、きちんら提案していきたいです。

と説明して、いかにお客様の納得を得られるかということであり、営業の重要な役割だと感じています。
和村：環境への配慮についても、それを差別化につなげるためには、他社でやっていないことに積極的に取り組

開催日時：2005年6月30日（木）13：00〜15：30
場
所：東京エレクトロン株式会社 本社会議室

意見交換会を受けて
今回は熱処理成膜装置の関係者による座談会でしたが、活発なれまでのビジネスモデルから、製造装置メーカーが蓄積してきた知見を議論を耳にして、一つの装置だけでなく製造装置業界全体に通じる

もとに環境負荷低減を含めて技術的に先取りしていく形態に変わり事柄に目を向けていると感じました。

はじめていることを、皆が共有できていることは特筆すべきことです。

装置の省エネルギー化を中心とした環境負荷低減についての議論があり、半導体産業全体が環境に対する相当な人的・資金的傾

TELでは、2004年から環境配慮設計に対して強化すべく、開発や
マーケティングと一体となって検討を行っています。

注をしようしている現状を、参加者全員が肌で感じていると思いました。
さらに、製造装置メーカーがデバイスメーカーの要請に応えるというこ

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター センター長

TOKYO ELECTRON

金子 正記

環境・社会報告書2005

17

En vir o n m e n t a l R e p ort

製品における環境への取り組み
東京エレクトロングループでは、製品におけるライフサイクル・アセスメント（LCA）や
クリーンルーム全体の省エネルギー化など、様々な観点から環境負荷低減に努めています。

製品の環境負荷低減

LCAの取り組み

当社グループが製造・販売している製品の環境負荷を、

環境負荷低減活動の一環として客観的に装置の環境生産・使用・廃棄といった製品のライフサイクルを通して負荷を評価するため、LCAに取り組んでいます。製品の見ると、環境負荷が最も大きくなっているのは装置の使

LCAデータの蓄積、製品設計時のデータ活用により、当用時です。そこで、当社グループでは装置使用時の環境社グループのLCA活動は業界をリードするレベルまで向負荷低減を最重要課題と捉え、様々な取り組みを進めて上しています。

います。また、装置製造における原材料からの有害物質排除に取り組んでいるほか、お客様のクリーンルーム全

LCAの実施例

体における省エネルギー化に取り組むなど、あらゆる観

当社の代表的製品の一つであるプラズマエッチング装点から環境への配慮を進めています。

＊

置 Telius TMでLCAを実施した結果、装置の使用時に全CO2排出量の98%が排出されていることがわかりました。
また 全 排 出ガスの 約 5 0 %および全 電 力 使 用 量 の 約

環境負荷低減の推進組織
装置EHS技術委員会の下部組織としてエコデザイン・30%が装置使用時に消費されています。排出ガス削減

ワーキンググループ（WG）を設置し、省エネルギー化・については、現在使用しているエッチングガスから代替

省資源化に焦点を当てた製品の環境負荷低減に取り組の温暖化係数の低いエッチングガスに変更することにより、んでいます。新たに開発する製品のLCAデータをビジネ

CO2排出量を現在の数値から約7割削減できることがわ

スユニット（BU）や事業部ごとに集計することにより環境

かっています。しかしながら、代替のエッチングガスは毒負荷を把握し、製品の改良や次世代機種の開発に反映さ性を持ちかつ可燃性であるた

せています。また、鉛フリー（鉛の不使用）化に取り組む

め、ガス使用時に危険が伴う

タスクチームを発足させ、2006年生産分からの鉛フリほか、無害化処理が必要となー化を目指して活動しています。このほか、原材料の環るため、コストがかかり、管理

境負荷を低減するためにグリーン調達の取り組みを行い、に注意を要するというデメリ

取引先への要求水準を明確にしています。

ットがあります。

近年、お客様による環境・健康・安全への要求が高まっており、製品の初期開発・設計段階でEHSのコンセプトを取り入れることが重要な課題となってきています。また事業のグローバル化に伴い、各国の法律への適合も求

Telius＊ プラズマエッチング装置：プラズマを利用したドライエッチング装置
で、ウェーハ上の薄膜を回路パターンに沿って削り取ります。

LCAにおけるCO2排出量の割合（%）

98.05%

められています。今後もこれらの課題に対応し、積極的にDesign for EHS（EHSに配慮した設計）を推進してい
きます。

1.19%
0.68%
素材製造
製造組立
＊装置使用は10年と仮定
0

装置EHS推進組織体制

0.05%
装置輸送

装置使用＊

0.03%
廃棄時

装置使用時の環境負荷の詳細（CO2換算）

装置ＥＨＳ技術委員会

（%）
50.3%

装置安全ＷＧ

エコデザインＷＧ

29.5%
10.9%

鉛フリータスクチーム

18

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

0

排出ガス

電力

冷却水

5.2%
N2ガス

1.8%
1.2%
0.8%
0.3%
消耗品 ドライエアー 熱排気 プロセスガス

装置使用時における省エネルギー化への取り組み

ウェーハ搬送の高速化
従来は水平方向と垂直方向で別々に動いていたメカニズム〜クリーンルームでの取り組み〜
製造装置使用時の省エネルギー化は、当社グループにとってを改良し、ウェーハ搬送の時間を15%短縮しました。

最重要課題の一つです。2005年2月の京都議定書発効を受け、お客様や業界全体にとっても重要な課題となっています。
当社グループでは、装置使用時の省エネルギー化対策として、① 装置本体の本質的なエネルギー使用量低減、② 周辺機器のエネルギー使用量低減、③ 装置の省エネルギー運用、④ クリーンルームの省エネルギー運用、⑤ クリーンルームの省エネルギ
ーマネジメント（計画運転、適正運用など）の5項目を考えています。今後もこれらの対策を技術開発に反映させていきます。
また、
クリーンルームの省エネルギー運用に関しては、お客様や設備メーカーとの協力が不可欠であるため、三者で密接な連携

大気圧復帰時の高速化減圧した反応炉を常圧に戻す際に、従来は炉内のパーティクを図りながら装置使用時の省エネルギー化を進めていきたいとル（微細なチリやゴミ）の問題を考慮し、比較的長い時間をかけ考えています。

て窒素を注入していました。ソフトバックフィルインジェクター（多省エネルギー化に対するアプローチ概念図

孔質のノズル）を取り付けることで、パーティクルを発生させる

t クリーンルーム全体のマネジメント（計画運転、適正運用など）
r クリーンルーム運用
エネルギー低減

冷却装置

w 周辺機器のエネルギー低減

ことなく窒素の急速注入を実現しました。この結果、作業時間を65%短縮できました。

反
応
炉

真空
ポンプ
ソフトバックフィルインジェクターq 本質的なエネルギー低減
窒素加圧
e 省エネルギー装置運用

排気

製造装置の省エネルギー運用例
当社グループが製造・販売している半導体製造装置では、サイ＊1
クルタイム を減らすことが省エネルギー化につながります。熱サイクルタイム短縮による消費電力削減
上記の取り組みのほかにヒータの制御方法を改善するなど様々

処理成膜装置＊2のALPHA（α）−8SEの例をあげると、2002

な工夫を加え、1回のサイクルタイム当たりの消費電力を1997

年に1997年と比較してサイクルタイムを年比で41%削減しました。これらの技術は、現在主流となって20%削減するという目標を掲げていました。

いる300mmウェーハ対応装置にも採用されています。

1997年時点でのサイクルタイム（標準的な150nmプロセスであるジクロルシラン

1サイクルタイムあたりの消費電力の推移−SiNの場合）は279分でしたが、様々な（kWh）改善を実施した結果、2002年には165

66.2
11%

分と大幅に短縮できました。具体的な改善点は次の通りです。

24.9%

4.1%

真空引き、
ヒータ昇温

成膜プロセス

大気圧復帰、
ヒータ降温

ウェーハ払い出し△26.8%
48.4
8.8%

1.8%

21.5%

＊1 サイクルタイム：ウェーハの処理にかかる時間＊2 熱処理成膜装置：ウェーハ上に酸化膜や窒化膜などを生成する装置

ウェーハ移載、投入

15.6%
ALPHA（α）−8SE

0

10.5%
97(α-8S)

9.6%
6.7%00(α-8SE)

TOKYO ELECTRON△41.5%
38.7
8.8%

1.8%
15.4%
6.0%
6.7%
02〜現在(α-8SE)

環境・社会報告書200519

En vir o n m e n t a l R e p ort

製品における環境への取り組み

化、技術基準、製造工程の検討を進めました。2006年1

鉛フリーへの取り組み＊1＊2

EU（欧州連合）では、WEEE とRoHS という二つの月の鉛フリー化生産開始を目指して活動を継続していき

指令により、2006年6月以降、鉛、水銀、カドミウムなどます。現在社内および取引先では、鉛フリーはんだの教の有害物質を電気機器に使用することが禁止されます。

育を行っています。

半導体製造装置は両指令の対象外ですが、東京エレクト＊1 WEEE：Waste Electrical and Electronic Equipment（廃家
電・電子機器に関する欧州指令）

ロングループは自主的に鉛フリー（鉛の不使用）の取り組＊2 RoHS：Restriction of the use of certain Hazardous Substances in electrical and electronic equipment（電気電子機器に含まれる特定有害物質の使用制限に関する欧州議会および理事会指令）みを進めています。鉛フリーはんだの導入を推進するため、グループ会社・BU・事業部の代表者によるタスクチームを結成し、2004年度は取引先における課題の明確
鉛フリー実施計画
2003年度

目標
4月

7月

10月

2004年度
1月

4月

7月

10月

2005年度
1月

4月

7月

10月

2006年度
1月

4月

7月

鉛フリータスクチーム結成、活動開始
方針アナウンス（対取引先）
採用する技術と材料検討
取引先調査および協力／対応計画
OEMメーカーとの対応策検討
基板、
モジュール単体評価
基板、
モジュール組み込み評価
生産準備
2006年以後実施
年以後実施

生産開始

TOPICS
新規製品における環境負荷低減への取り組み
当社グループでは、各装置の環境特性にあわせた環境負荷低減を進めています。代表的な製品の一つであるオートウェットステーショ
ンは、
ウェーハ表面に付着したゴミや汚れを落とす過程で、多くの純水を使用します。新規開発されたEXPEDIUSでは、純水の使用量や低エネルギー型のユニットを採用するといったことにも取り組んでいます。

スタンバイ時の純水使用量の削減（%）

削減に取り組みました。装置スタンバイ時の純水供給を節水供給

約15％削減仕様とすることにより、従来機比で約15%削減しました。さらに、純水ラインをバルブ駆動として動作を間 欠 化し、従 来 機 比で70%以上の削減を可能としま

70％以上削減した。そのほか、スタンバイ時における排気量を適正に制御し、0クリーンルームエアーコンディシ
ョナーの負荷を軽減する方法、また純水での処理時間の短縮

20

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

EXPEDIUS

従来機

節水仕様

間欠運転仕様＊ドライン に従い、環境負荷低減に積極的に取り組む取引

グリーン調達
製品の環境負荷を低減するには、製品を構成する部品先から優先的に原材料や部品を調達しています。将来は、や原材料も環境に配慮したものでなければなりません。

環境配慮に関する一定の基準を満たした取引先だけか

当社グループは主力製品である半導体／FPD製造装置

ら調達を行う予定です。

の原材料や部品を外部から調達しています。そこで、製＊ グリーン調達ガイドライン：化学物質、省エネルギー、包装、梱包、省資源、リサイクル、情報提供についての基準と努力目標を定めています。

品の環境負荷を低減するため、独自のグリーン調達ガイ
グリーン調達の実施計画
題目

2003年度

2004年度

2005年度

2006年度

2007年度

調査／改善指導

調査／改善指導

調査／改善指導

調査／改善指導

機器／部品に関するグリーン調達
取引先調査および環境管理改善指導

調査／改善指導

取引先との関係見直し

取引先との関係の見直し

リスト作成

製品含有禁止物質リストの作成

データ収集／パーツマスターへの登録

製品含有禁止物質への協力依頼とデータ収集

製品含有禁止物質を使用しない設計の推進

製品含有禁止物質不使用部品への代替化

製品含有禁止／削減物質の明確化
当社グループ共通の製品含有禁止／削減物質ガイドラ
インを策定し、16種類の含有禁止化学物質の削減および＊1代替を推進しています。禁止物質は、JGPSSI のガイド
＊2

ラインでランクA 物質に定められた15種類を網羅しているほか、RoHS規制対象物質の6種類も含んでいます。
2004年度はグリーン調達の取り組みを強化しました。そTOP I C S
共同物流の導入
東京エレクトロン九州のコータ／デベロッパ事業では、共同物流の導入によって効率化を図り、輸送時の環境負荷を低減しています。従来は各取引先が個別に輸送業者を手配していたため積載効率が悪く、搬入時間が集中すると搬入待ち状態になっていました。

の一環として、JGPSSIの調査票に基づき、取引先に原材

そこで1999年以降、2社の輸送業者をチームにする物流

料や部品への禁止物質含有状況の調査を行いました。新方法へ変更しました。また、輸送業者の窓口を1社に集約し、たに採用する原材料や部品については、採用時に随時調査する方針です。今後は、調査結果をグループ共通の統合

一括して物流業務を委託するようにしました。さらに、当社グループ専用の間口の広いトラックを導入し、積載を容易にしました。現在は、取引企業約30社がこの物流システムに参

部品データベースに登録し、部品検索・発注時に対象物質加しています。これにより「必要なものを必要なときに必要の含有状況を利用できるシステムを構築する予定です。

なだけ」というジャストインタイムへ近づけることができました。

＊1 JGPSSI（Japan Green Procurement Survey Standardization
Initiative）：グリーン調達調査共通化協議会

共同物流の概要＊2 ランクA：国内外の法令において製品への使用や含有された製品の販売に関し、禁止、制限または報告が義務付けられている
化学物質群。

取引先A

取引先C

取引先E

取引先A

取引先C

取引先E

共同物流の実施
取引先B

取引先D

取引先B

取引先D

製品への含有禁止化学物質
東京エレクトロングループ
製品禁止化学物質（16種類：JGPSSIランクA物質＋PFOS＊）JGPSSIのガイドライン
RoHS
ランクA物質（15種類） （6種類）＊ PFOS：Perfluorooctane sulfonate（パーフルオロオクタニルスルホン酸）PFOSは、
中間体でこれを原料にして目的の物質が合成される。

配送業者A

配送業者B

配送業者C

東京エレクトロン

配送業者を2社のチームとする

東京エレクトロンTOKYO ELECTRON

環境・社会報告書200521

En vir o n m e n t a l R e p ort

事業所における環境への取り組み ― 地球温暖化防止
東京エレクトロングループは、事業所全体でエネルギー使用量を削減し、地球温暖化防止に取り組んでいます。

電力使用量推移エネルギー使用量削減への取り組み（10万kWh）

国内

製造系事業所の多くは、エネルギー使用の合理化に関する「省エネ法」の第1種エネルギー管理指定工場に該148 160 150ています。
各事業所では照明やOA機器の節電、空調の温度設定管理などの目標を掲げ、積極的に取り組みを推進しています。連休時の計画的設備停止や作業の効率化も図り、
0

合志事業所では、夜間・休日にクリーンルームで循環風量を調整したり、物流エリアで照明の間引きを実施し、エ

2,430

126

1,916

2,345
101
2,181
2,191
2,151
1,858
1,501
1,212
1,206
1,089

当するため、同法の規定に基づき省エネルギー化を進めエネルギー使用量の削減に努めています。

重油使用量推移
（kl）

海外

1,838
1,828
1,631

1,881

1,652

967 958

0

96 97 98 99 00 01 02 03 04

96 97 98 99 00 01 02 03 04

灯油使用量推移

ガス使用量推移

（kl）

（千m3）

ネルギー使用量削減に積極的に取り組

996
908

LPG

都市ガス

1,062
990 990942

みました。この取り組みが評価され、

738

2005年2月にエネルギー管理優良工

658
545

場等功績者表彰で九州経済産業局長
364

賞（エネルギー管理優良工場等・電気部門）を受賞しました。

403 389

62 60 66 70 50 59

九州経済産業局長賞の表彰状

74 72 55 59 66 66 63 58 56
0

96 97 98 99 00 01 02 03 04

エネルギー使用量
2004年度は前年度に引き続き、生産設備の稼働率が0

96 97 98 99 00 01 02 03 04（国内および海外事業所）

温室効果ガスの使用量削減

上がりました。生産量の増加に伴いエネルギー使用量のプロセス開発・評価時のドライエッチング（液体の薬品

総量は増加しましたが、原単位では減少しています。

を使わずに物質を腐食させること）や洗浄などの工程で、1997年を基準とした売上高あたりのエネルギー使用

温室効果ガスの一種であるPFC（パーフルオロカーボン）量は、前年度比1%減という目標を達成しました。今後は、

6 六フッ化硫黄）を使用しています。また、評価類やSF（

京都議定書発効も踏まえ、省エネルギー化への取り組み

用装置のチャンバーなどの洗浄に代替フロンのHFC類をさらに強化していきます。

を使っています。2004年度の温室効果ガス使用量は、
約7,500トン（CO2換算）でした。今後も継続して使用量

総エネルギー使用量（CO2換算＊1）の推移（t-CO2）（%）

CO2排出量1997年度売上高原単位を基準とした数値＊2
208.0%
売り上げ原単位比前年度比＊3150.8%

104.4% 150.9%
95.8%
100.0%

193.1%
134.7%
105.6%

89.3%の管理と削減に取り組んでいきます。
温室効果ガス使用量

168.2%（t-CO2）
10,082147.5%

HFC類

197.0%
その他
18
92.8% 87.1%

78.4%

87.7%

PFC類

SF6

9,162
その他
56

7,422

6,740

その他
19

6,682
45,922 50,488 52,456 65,817 84,761 94,009 95,486 95,487 104,110
0

96

97

98

99

00

01

02

03

04

6,297
0

＊1 ＣＯ2換算は、環境省作成の「環境活動評価プログラム」を参照＊2 原単位＝エネルギー使用量／売上高（1997年度＝100％）＊3 前年比＝当年度原単位／前年度原単位（国内および海外事業所）

22

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

1,856

0

1,284

1,468

1,140

02

03

784
322
04
（国内事業所）En vir o n m e n ta l R e p ort

事業所における環境への取り組み ― 廃棄物削減
東京エレクトロングループは、環境負荷低減のために、廃棄物削減およびリサイクル率向上に努めます。

廃棄物削減・リサイクルの考え方

廃棄物の内訳

廃棄物はなるべく出さないように努め、出してしまった

当社グループで最も多い廃棄物は廃液類で、製品の開廃棄物はできるだけリサイクルし、
リサイクルできない廃発評価時に使用した薬品が廃液となります。現在、外部棄物は適正に処理するという方針に基づき、グループ全に排 出される廃 液 の ほ

体で廃棄物の削減に取り組んでいます。近年は最終処分

とんどはリサイクルされ飲料容器1%

場が不足し埋め立て処理費用が上昇しているため、廃棄ています。また、一部の木屑、梱包材5%

物の削減がコストの削減にもつながっています。

事業所では社内に廃液

具体的には廃棄物の分別回収、リサイクル業者の拡大、処理工程を設置し、廃液廃棄物処理委託業者の認定管理、最終処分状況の定期的の自社内処理を行うこと

な確認、廃棄物が発生しない生産工程への変更などを行により廃棄物削減を進めっています。また、各事業所では廃棄物の分別についてています。

廃棄物量内訳
厨房厨芥1%
その他
6%

プラスチック7%
紙類7%

廃液
62%

金属／製品屑
11%

わかりやすい表示を作成
しています。山梨地区では、

ゼロエミッション

紙類やペットボトル、飲料

当社グループでは、単純焼却や埋め立て処分する廃棄缶、ビンなどのわかりやす

物量が2%未満の事業所を「ゼロエミッション事業所」とい分別方法の教育資料を定義し、グループ全体でゼロエミッション活動を推進して作成し、使用しています。

廃棄物の分別方法の資料

います。2004年度は、前年度に加え、新たに東京エレク
トロンATの5事業所（穂坂、藤井、宮城、東北、尼崎）もゼ
ロエミッションを達成しました。今後は製造系事業所以

廃棄物量とリサイクル率
当社グループ全体で最終処分した廃棄物量とリサイク

外の事業所でもゼロエミッションを目指します。

ル率をグラフで表しました。資源の有効利用に努めてきた結果、リサイクル率は年々向上しています。
2005年度までにグル ープ平均 のリサイクル 率を95%にするという目標を掲げて取り組みを進めたところ、2004年度のリサイクル率は96.1%で、目標を前倒しで達成できました。今後はリサイクルするものも含め、廃棄リサイクル率目標値95%（2005年度目標）
69.7%
59.9%

後に汚泥が残りますが、この汚泥をステンレス原料にリサイク（%）

リサイクル率

96.1%
93.1%

廃棄物リサイクルの例
スチール・ステンレス
アルミ・飲料容器
コピー用紙・自動販売機のカップ
段ボール
食堂からの汚泥
トナーカートリッジ

49.7%

材料類

15.3%

0

従来はリサイクルできなかったケーブルやコントローラ類もリサイクルしています。現在までに、すべての廃棄物のリサイク
ル方法を確立しています。

77.4%

55.2%
40.9%

東北事業所では生産工程やオフィスから出る廃棄物を31ルしています。また、
プラスチックと金属が混合しているためリサイクル率と廃棄物排出量の推移
廃棄物量（焼却および埋め立て量）

東北事業所では廃棄物を31分別してリサイクル
種類に分別しリサイクルしています。例えば廃液は中和処理

物排出量の総量削減に取り組んでいきます。

（t）

TOP I C S

4,238

4,772

3,189

3,179

3,657

3,938

3,268

847

431

96

97

98

99

00

01

02

0
03
04
（国内事業所）

廃液

スチール・ステンレス
アルミ・飲料容器
トイレットペーパ
段ボール
有機肥料
トナーカートリッジ
中和処理後の河川放流
中和処理後汚泥のステンレス原料
材料類

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書200523

En vir o n m e n t a l R e p ort

事業所における環境への取り組み ― 省資源
東京エレクトロングループでは、省資源対策として、資源の使用量削減を進めています。

省資源に対する考え方

水使用量削減への取り組み

環境に配慮した調達を行い、資源の使用量を最小限に製造系事業所では、水の使用量を減らすために様々な抑えています。コピー用紙や文房具などの使用量・購入活動を展開しています。あらゆる生産工程で循環装置を量の削減、環境に配慮した製品の購入、メーカーによる使って冷却水などを再利用するほか、
トイレ・手洗いなど

使用済み製品回収への協力などを積極的に行っています。

に自動水洗装置を導入し、水の止め忘れや無駄な使用を減らして節水に努めています。こうした活動が評価され、東京エレクトロン九州（株）合志事業所は「肥後の水資源

紙使用量削減への取り組み
グループ全体で紙の使用量削減に取り組んでいます。
例えば、コピー用紙の両面使用、縮小コピーの励行、情報や回覧書類の電子化などを行っています。特別な用途を愛護賞」を受賞しました（P30コミュニケーションを参照）。
水使用量の推移
（千m3）

海外使用量

工業用水

除いて再生紙の使用を進めるとともに非木材資源のケ817

ナフを使った紙コップを導入するなど、森林資源の保全

693につながる活動も行っています。こうした努力にもかか

770

972
146

812
89

436

527

445

391

290

325

332

390

97

98

99

00

上水
1,004
119
388

地下水

1,039
62

1,014
64

1,004
106

474

486

437

415

357

391

521

わらず、2004年度はコピー用紙の使用量が前年度比0

約10%（658万枚）増加し

172
96

430

107
88
70
67
01
02
03
04
（国内事業所および海外事業所）

ました。売り上げ・出荷量の増加が主な理由です。今後は、

TOP I C S

業務で使用するコピー用紙

佐賀事業所での水使用量削減の見直しを継続することに佐賀事業所は、開発機評価や製品検査段階での水使より記録や帳票類を必要最

用量削減に力を入れています。使用する水の約9割が工業小限まで集約し、紙使用量

用水で、製品の検査に使用する純水も工業用水から生成しを減らします。

コピー用紙使用量削減の啓発ポスターています。使用後は回収し、再生逆浸透膜を使って純水に戻し、再利用しています。再利用する水の量は1日約300ト

コピー用紙使用量の推移
製造系事業所（千枚）

ンに上ります。このほか、事務所系事業所

生 産 用 冷 却 水の循 環

131,500

利用、真空ポンプの水

19,350冷式から空冷式への変107,367
18,30095,78587,634
18,61718,184

94,217
17,417

更、生活系利用水の節
水などにより水使用量の削減を進めています。

回収水の再生逆浸透膜装置

112,150
89,067

77,16869,45076,800佐賀事業所における水使用量の推移
（千m3）

上水
272

0

00

01

02

03

04

207

（国内事業所）0

24TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

65
01

工業用水
241

218

209

207

190

189

34
02

28
03

20
04

E

n vir o n m e n t a l R e p ort

事業所における環境への取り組み ― 化学物質管理
東京エレクトロングループでは、化学物質管理を強化し、環境汚染の未然防止に努めています。

PRTR法第一種対象物質排出量

化学物質管理の考え方
東京エレクトロングループでは、主に製品開発時の評
価と製造時の試験・評価という二つの段階で化学物質が

（kg）
排出量

排出先
排出量合計

11

移動量合計

3,274

消費量

使用されています。開発段階では、従来は使っていなか
った化学物質を新たに採用したり、化学物質を従来と違う方法で使用したりすることもあります。その際には、事前に使用設備や使用方法のアセスメントを行い、環境や

14

除去処理量

1,960

リサイクル量6,085

合11,344

計

PRTR対象物質マテリアルバランス
大気排出量 1kg/年

水域への排出 10kg/年

作業安全上のリスクを評価し、必要な対策を取ってから使用を開始しています。製造時の試験・評価で使う化学物質についても危険性・有害性ができるだけ少ない物質

TEL

取扱量
11,344kg/年への切り替えを進めています。

製品
14kg/年

リサイクル 6,085kg/年
廃棄物 3,274kg/年＊

自社埋立 0kg/年

除去処理量 1,960kg/年

PRTR 法への対応
法規定に基づき化学物質の管理を徹底するとともに、PCBの保管

取扱量や排出量などを継続して把握しています。PRTR「ポリ塩化ビフェニル（PCB）廃棄物の適正な処理の対象物質の中でも使用量の多いふっ化水素は、主に評価推進に関する特別措置法」に基づき、PCBの保管や処分用ウェーハの洗浄に使用しています。使用後は廃棄物との状況を都道府県知事に毎年届け出ています。当社グルして専門業者に処理を委託するか、社内で適正処理してープでのPCBを含む廃棄物の保管状況は、
トランス2台、

います。同じく使用量の多いエチレングリコールは冷却コンデンサー4台であり、これらを厳重に管理しています。

水の冷媒として使用しており、使用後はほとんどをリサイクルしています。今後も、化学物質の適切なリスク管理を継続していきます。また、化学物質使用量が増加していることから、使用量削減も視野に入れて取り組みを進めます。

山梨地区での化学物質管理
山梨地区（藤井事業所、穂坂事業所）
では化学物質の使＊PRTR（Pollutant Release and Transfer Register）：人体や生態系に害を与える恐れのある化学物質について、その使用量と環境への排出量、廃棄物に含まれて事業所外に移動した量を把握・集計し、公表する仕組み

2001
年度
0
0
520
1,500
120
180
0
290
190
620
0
2,470
0
5,890

用前、使用時、廃棄時にわたる取り組みを行っています。新規の化学物質使用前には、
リスクアセスメントを実施し、導入を決定します。また、独自の使用禁止化学物質16種類（有機塩素系溶剤9種類、重金属7種類）も定めています。使用＊

PRTR法第一種対象物質取扱量の推移
法令で第一種指定化学物質名
定めた番号
1
亜鉛の水溶性化合物
3
アクリル酸
16
2-アミノエタノール
43
エチレングリコール
44
エチレングリコールモノメチルエーテル
63
キシレン
78
4,4 -ジフェニールメタンジイソシアネート
172
N,N-ジメチルホルムアミド
207
銅水溶性塩（錯塩を除く）
227
トルエン
260
ピロカテコール
283
ふっ化水素及びその水溶性塩
311
マンガン及びその化合物
合 計＊2001年度、2002年度は、トン単位で把握TOP I C S

（kg）
2002
年度
50
0
430
4,000
0
0
0
450
120
0
30
3,690
900
9,670

2003
2004
年度
年度
0
70
0
20
0
475
9,144 6,353
0
0
0
0
0
14
309
131
0
110
0
5
0
3
4,558 3,553
450
610
14,461 11,344（国内事業所）時は、使用場所にMSDS を掲示し、特定の化学物質を使用する際には、認定された者だけが作業できる仕組みとしています。廃棄時には、適正に処理されるように、引取先へ内容物を通知します。また穂坂事業所では、排水中のフッ素濃度をモニタリングし、法規制値を超えないよう管理を徹底しています。
＊MSDS（Material
Data

SafetySheet）：化学物質等

安全データシート。化学物質の有害性や取り扱う上での注
意点を的確に把握して使用するための製品情報。

排水中のフッ素濃度管理

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

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S

o c ia l R e po r t

健康・安全「健康と安全」は企業の社会的責任の一つであり、快適に仕事を行う基盤です。社員やお客様の健康を優先し装置の安全遵守など、企業活動のあらゆる側面で「健康と安全」に注力しています。

すべての人々の安全を守るために

人身災害事故の管理

東京エレクトロングループは「健康と安全」が重要と考当社グループにおける2004年度の労働災害度数率は、

え、経営理念・方針にもこれを掲げています。社員やお客2003年度より増加しました。生産量が増加し作業が増様をはじめ、企業活動にかかわるすべての人々が安全にえたのに伴い、労働災害や事故の原因要素が増加したと働き、安全に製品を使用し、そして健康であることが企業分析しています。最近は人間工学系の要因も増えてきての社会的責任の一つであり、良いビジネスにも結びつく

いますので、筋骨格系（ぎっくり腰など）の事故対策を推と考えています。人命や製品の安全性を損なってまで、進しています。筋骨格系の事故対策を行う理由は、装置

利益や納期を優先するようなことがあってはならないとメーカーとして、装置設計、作業方法、作業管理体制などいうことです。

における安全面での改善に反映させるためです。

こうした考え方や当社グループにおける安全への取り組みを、お客様を含む幅広いステークホルダーの皆様に

労働災害度数率の推移グラフ（事故件数）
国内全産業平均
国内電気機械製造業

理解していただくために、「安全第一のご案内」や「安全第一への取り組み」を作成・配布しています。
（トピックス

国内製造業平均東京エレクトロングループ

1.82

1.79

1.77

1.78

1.85

1.02

0.97

0.98

0.98

0.99

0.35

0.39

0.24
03

04

参照）

0

0.38

0.34

0.36

0.38

0.18

0.15

00

01

02

＊度数率：100万延労働時間あたりの労働災害件数、休業4日以上の災害発生件数÷延実労働時間×1,000,000「安全第一のご案内」「安全第一への取り組み」

TOPICS
「安全第一への取り組み」を作成
当社グループの作業現場は、主に装置を製造する製造系事業所と据え付けやメンテナンス作業を行うお客様の工場の二つです。お客様の元で作業する際、作業環境を安全に保つためには、お客様のご理解とほかの装置メーカーや設備工事業者との「安全第一への取り組み」（一部抜粋）
作業安全 4.「危険エネルギーのコントロール」
不意なエネルギーの投入による事故を防止するため、危険エネルギーを遮断する電気遮断機（ブレーカ）、危険ガス

協力が不可欠です。そこで「安全第一への取り組み」を作成しのバルブ、ロボットなどました。
「装置安全」「防災安全への対応」「作業安全」「安全の危険エネルギー源を教育」といった項目ごとに、当社グループの安全に対する姿勢

遮断状態の上、ロックとや具体的な活動を紹介しています。

タグを取り付けて作業を
します。

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TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

ロックアウトタグアウト 複数作業者での実施例

現場主義の安全巡視

装置安全の事例（SEMI S8）

お客様の工場における作業の安全性を確保し、より良〜装置作業評価設計（人間工学）〜

い技術提供ができることを目的として、安全巡視を実施し当社グループの装置はSEMI S8（半導体製造装置のています。製品品質と作業品質の両輪がそろってこそ安

人間工学に関するガイドライン）に従って設計されており、全の実現が可能となるため、安全巡視では、作業環境やポイントとなる重量物持ち上げ作業（腰痛発生リスク評価）

設備が整っていないなどの状況に対して一つひとつ解決についてはNIOSH（米国国立労働安全衛生研究所）の策を考えることや、現場からの情報をフィードバックする計算式を使って作業限界重量を算出し、これに基づく最ことにより当社グループ製品の品質向上を目指しています。

適配置・装置作業設計を行っています。作業限界重量（RWL：

ほかのFEステーションのモデルとなっている東広島

Recommended Weight Limit）は以下の要素より算FEステーションでは、現場に入る前に危険を予知し、作業出されます。算出された作業限界重量と実際の重量を比者全員の情報共有を重視する「現場主義」の実践として、較して作業内容を決定します。

安全巡視、朝礼や夜会の開作業限界重量の算出要素

催、現場からの安全提案推H：両足首の中間点から水平方向の両手位置進などを行っています。当

V：床から垂直方向の両手位置

社グループでは、海外でもD：持ち上げ開始点と到達点の垂直距離

現場主義を徹底しています。

FM：頻度の乗数
CM：組合の乗数
A：持ち上げ開始点と終了点との角度

危険予知ミーティング

東京エレクトロンコリア器

作業内容の決定基準

興サポートチームは作業安

算出結果

全活動を推進し、迅速なス
タートアップ作業を実施す

作業内容

作業限界重量＞実際の重量

一人作業可能

作業限界重量≦実際の重量＜2×（RWL×0.9）

持上治具または2人作業

実際の重量≧2×（RWL×0.9）

持上治具

るなかで、2004年度に人身事故ゼロを達成しました。

エッチング装置での事例
器興サポートチーム（社内表彰を受賞）

上記の算出結果に基づき、当社グループのエッチング装置におけるコントローラの位置は、一人で作業できるよう事務所でのリスクアセスメント
階段からの転落、歩行中の転倒、ポットや給湯器を使用する際の火傷などの危険が少なからずあることから、当社グループでは製造現場などの作業場所だけでなく、事配置されています。
コントローララックの設計

務所などオフィスでの事故対策にも力を入れています。
収納BOX

2004年度には、日本国内のオフィスを対象にリスクアセ
スメントを実施しました。従来の現場作業での手法と同
D様に被害の大きさと頻度を考慮したリスク評価を行い、リスクが高いＨと判断されたものについては対策

コントローラ

適正高さ

V

（上から）

を実施しました。具体的な対策例
としては、棚の転倒防止、階段の手

A

すり設置、
ドア開閉時の注意表示、
廊下のドーム型ミラー設置などです。

階段の手すり設置例

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環境・社会報告書2005

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S

o c ia l R e po r t

社員とのかかわり「社員がいろいろなことにチャレンジできる会社」を実現するための人事制度・教育を導入しています。

するものです。
「自己申告アンケート」と「モラールサー

人事制度についての考え方
東京エレクトロングループでは、組織の活性化と社員一ベイ」は、会社全体、BU、部署単位での環境改善、組織運人ひとりの成長を目的とし、社員の挑戦意欲、自主性を尊営、人事制度の改善などを検討する上で参考資料として重する企業として「社員がいろいろなことにチャレンジで活用しています。また、社員自身がキャリア開発の道を開きる会社」を目指し、「q加点主義」「w公平な人事」「e公

く手段として、社内公募制度を導入しています。社内の平な報酬の分配」が実現できる環境づくりを進めています。

公募可能な求人情報を公開することにより、キャリア開発

当社グループの人事制度は、社員育成を重視し、単純にを希望する社員と求人部署とのマッチングを取っています。

成果を重視するものではなく、成果を生み出したプロセス

さらに一般職から総合職への転換を希望する社員には、を重視する観点にたって設計しています。
「プロセスを評

総合職転換制度により適性を選考・判断し職掌転換の道価するためのコンピテンシー」「個別の役割（ミッション）」

を開いています。

「役割に基づいた成果（パフォーマンス）」という三本柱の考え方を通して、「貢献度に応じた公平な評価」を目指し

社員教育についての考え方ています。コンピテンシーは、評価や査定の目的だけでは「教育、OJT、ローテーションなどを連動して、社員のなく、個人の能力向上やそれぞれの職群に応じて求めら

キャリア自律とパフォーマンス発揮を支援する育成プロ

れる力を育成する物指しとして活用します。会社は、社員グラムの提供」をコンセプトに、
社員教育を行っています。

のキャリアアップ、
スキルアップの機会を支援・提供します。

会社の発展と社員の自己実現が両立するような企業経営を実践し、組織の活性化により企業の競争力を向上させ、人事制度のコンセプト
会
Mission
会社の目標・方向性を明示

社員と会社がwin−winの関係を構築することが狙いです。

社

Performance
目標達成に貢献したパフォーマンスには報酬で報いる

Competency
目標達成のために必要なキャリア／スキルUPの機会を提供

Mission: 個別の役割
Competency： プロセスを評価するコンピテンシー
Performance： 役割に基づいた成果
Competency
専門性を身につけ、プロ
フェッショナリティを提供

Performance
目標達成できるようなパ
フォーマンスを出す社 員

Competency
高い報酬を得るためにプロフェッショナリティを磨く

高いマネジメント能力を通じて企業経営を目指せる人
材、高い専門能力を通じて価値創造に貢献できる人材、
自らキャリア開発を考え、自ら目指すコンピテンシーを見極め、それを伸ばすために自ら行動できる人材、市場性のある人材の育成を目指しています。

コンピテンシー教育
当社グループでは、職種や階層ごとに設定されている社員のキャリアアップのために

コンピテンシーに応じた教育プログラムを導入しはじめ

社員のキャリア開発のために様々な制度を導入していています。コンピテンシーとは、職種・職務内容や階層にます。社員は期初の目標設定時に上長と面談を行います。

応じて優れた成果をあげるうえで必須となる行動特性を

これは、社員自身が自分のキャリアを自分で考える姿勢・

整理し基準化したものです。優れたコンピテンシーの発習慣を着けるためと、上司に中長期的視点で部下の育成

揮は所属する組織の業績に貢献し、周囲の人々に影響をに取り組んでもらうためです。

与え、組織の活性化につながります。

社員に対して年に一度「自己申告アンケート」と「モラコンピテンシー教育の導入で、社員は自分の職種や階層

ールサーベイ」を実施しています。自己申告アンケートは、に必要なコンピテンシーは何か、受けるべき教育は何かが社員自身の異動希望や会社に対する希望・意見、相談しわかるようになります。また、コンピテンシーはパフォーマ

たいことなどをアンケート形式で申告します。モラール

ンスの高い社員の行動特性を基準としているためキャリサーベイは社員の士気、組織、職場に対する意識を調査

アの目標が見えやすく、能力の向上も実感しやすくなります。

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環境・社会報告書2005

EHS教育の考え方

環境教育の実施「必要な教育を必要な人に」を原則に、EHS（環境・健康・

営業、事務職、
フィールドエンジニア、パート社員、派遣

安全）に関する教育を実施しています。当社グループ社

社員など、事務系の従業員を対象に、グループ共通の環員と当社内で作業する協力会社社員を対象に、階層別の境教育を行っています。製造系事業所では従業員を対象

教育・訓練を行っています。新入社員研修でも環境・健康・に、ISO14001の環境目

安全に関するプログラムを必須科目として取り入れてい標を中心とした教育を行っます。

ています。重要な環境側面にかかわる業務の従事者

EHSに関する教育には特別教育も実施して
専門教育（内部環境監査員教育、重要環境側面にかかわる特別教育）●

ISO14001に基づく環境教育（製造系事業所）●●

TEL Eco-Activity による環境教育（事務所系事業所）

環境●

装置固有教育●各顧客固有入場教育●

各国出張者安全教育●

現場リーダ安全研修●

上級安全教育●基礎安全教育新入社員向けの環境教育

います。
また、
一部の事業所では、
イントラネットを用いたeラーニングで環境教育を実施しています。
Webによる環境教育

健康・安全

TOP I C S
安全教育の実施

事故や「ヒヤリハット」事例に基づく
危険体験学習

安全第一をモットーに、オフィスでの事務作業、ク当社グループが提供している半導体／FPD製造装置は、リーンル ーム内での組立

日常生活では目に触れる機会がありません。ですから、はじめて接する人はどのような危険があるのか非常にわかりにくい

作業、お客様のもとでの設ものです。そこで山梨地区では、新入社員教育時に工具や置作業など、業務内容に応じた安全教育を行っていまテスターの使い方、部品の取り扱い方法、重量物運搬具の救急救命法講習会

取り扱い方法などに加え、事故や、事故には至らなかったもす。教育内容は定期的に更新し、最新の講座の受講を義ののヒヤりとしたりハッとしたりした「ヒヤリハット」事例に基務付けています。基礎安全教育と上級安全教育の更新はイントラネットを利用したeラーニングで実施しているため、づく危険体験学習を取り入れています。
この教育のなかでは、過去に発生した事故やヒヤリハットの事例をもとに、実際の社員の都合に応じて好きな時に受講できます。カリキュ装置でその危険を体験しラムはグループ共通で、アジア地区を中心に海外への展てもらいます。例えば、部品を取り外そうとして装置開を進めています。
2004年度は、現場リーダー安全研修を開始しました。

水のこぼれた床で足を滑現場リーダー の安全に関すらせる体験をします。低周る役割や職務を学ぶための

波 発 生 装 置を用いた感研修で、事例を用いたグルー
プ討 議 などを 行 います 。
2004年度はグループ全体
現場リーダー研修の間に指を挟む、あるいは電の疑似体験も行います。
このように実体験を通して危険を危険と感じる感覚を高めています。

ヒヤリハット危険体験学習の風景

で400人以上が受講しました。

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環境・社会報告書2005

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ステークホルダーとのコミュニケーション
ステークホルダーの皆様とのコミュニケーションを通して成長していきます。

コミュニケーションに対する考え方

社会貢献に対する考え方

東京エレクトロングループは、
ステークホルダーの皆様

当社グループは経営理念で「社会に対し、常に規律をとのコミュニケーションを積極的に推進しています。環境・守り、協力的でありたい」「社会の健全な発展のために協

健康・安全への取り組みを進めるためには、事業活動にか調することが我々の義務である」とうたっています。こうかわるすべての皆様とできる限り情報を共有し、コミュニした考えに基づき、行政や地域社会との信頼関係を築き

ケーションのなかからフィードバックを得るという相互作用ながら、国内はもちろん、海外においても様々な社会貢が不可欠と考えているからです。その一環として、2000

献活動を展開しています。今後も活動をさらに拡充し、お年から環境報告書を発行しています。環境報告書は製造

客様や社会とともに歩んでいきます。

系事業所での体験学習などでも使用し、コミュニケーションの推進に活用しています。また、
ホームページを通した

国内での取り組み

環境・健康・安全に関する情報開「肥後の水資源愛護賞」を受賞

示にも努めています。今後も情合志事業所は水の循環利用や節水に取り組んできまし

報開示やステークホルダーの皆た。この取り組みが評価され、2004年度に「肥後の水資様とのコミュニケーションに積源愛護賞」を受賞しました。同賞は肥後銀行と熊本日日

極的に取り組んでいきます。

環境報告書を用いた会社説明

新聞社が共催するもので、地下水の枯渇や汚染防止の活動に取り組む団体へ贈られる賞です。合志事業所では、EHSタイムズとイントラネットによる情報共有

生産用冷却水や真空ポンプシール水の循環利用、水を使

環境・健康・安全に関するグループ社内報「EHSタイム

わない真空ポンプの導入、ズ」を隔月で発行し、グループ内各委員会の審議内容や、

節 水 など の 活 動 により、グループ各社や事業所の取り組みなどをわかりやすく紹

2003年度に水使用量を介しています。各グループ会社や事業所でも同様の広報

ピーク時と比べて4万トン誌を作成しており、従業員の意識向上に役立てています。

削減しました。

イントラネットを通したグループ内の情報開示や情報交「肥後の水資源愛護賞」受賞風景

換も積極的に進めています。

TOPICS
海外における社会貢献活動

Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.の活動

当社は、環境との共生を目指し様々な社会貢献活動を展開しています。例えば、近隣の企業とともに地域の道
路の「里親」となり、社員が勤務時間中にボランティアで清掃活動を行っています。このほかにも、従業員の意識啓発を目的としたリサイクルイベントの開催や、行政との環境協定を通した大気汚染削減などに取り組んでいます。
こうした活動が評価され、地域で環境関連の賞を受賞しました。
再生可能な自然エネルギーを使うことも宣言し、行政やエネルギー会社が連携して行う「グリーンパワー・プログ
ラム」という活動に参加しています。当初は再生可能エネルギーの使用によりエネルギーコストが増加してしまいま
したが、一定価格を維持する契約を結んでいるため、現在ではコストの削減にもつながっています。当社は誰もが同じように環境保全の責任を担うべきという考えに基づき、今後も、東京エレクトロングループの環境分野での高水準な活動に努めていきます。
Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.のVPであるルー・スティーン（Louis Steen）氏が、自社の環境活動に関するインタビューに回答した内容です。

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TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.
VP of Marketing

ルー・スティーン
（Louis Steen）氏

ステークホルダーからのご意見
2004年度環境報告書の内容および東京エレクトロングループの事業活動について、ご意見をいただきました。鍵野 実様は当社グループの製品ユーザーとして、Shuh Woei Yu様は台湾のユーザーをコーディネートされる立場としてご指導いただき、大変お世話になっております。いただいたご意見を、今後の活動へ生かしていきたいと考えています。

株式会社東芝セミコンダクター社

The Industrial Technology
Research Institute

技術企画部

Vice President and General Director

技術標準担当 参事

鍵野 実 氏Shuh Woei Yu 氏

（1）東京エレクトロン環境報告書の感想（1）東京エレクトロン環境報告書の感想

2005年2月京都議定書が発効し環境問題がますます重要な課題となってきているなかで、御社の環境保全に関するポリシーは環境報
告書のなかに明確に打ち出されていてわかりやすく、
またそのポリシーは受身でなく大変積極的であることを感じます。
さらに、環境保全に関する事項の解説を載せて、環境保全活動の重要性と御社の事業活動と環境保全活動との関連を一般にアピールしていて大変良いと感じました。

御社の環境報告書の出版も第5回目を迎えられたことに、お祝いを申し上げます。この報告書は、環境・安全・衛生管理の継続的改善に対する御社の真剣な取り組みを真に物語るものです。社長兼CEO＊である佐藤氏の文面にあるように、現在採用しているCSR（企業の社会的責任）の基本理念を知ることは非常に励みとなります。

（2）東京エレクトロンのEHS活動に関する感想
半導体産業は他電気・電子産業に比べ環境負荷の大きい物質を多量に使用し、またエネルギーの消費も大きいのが特徴で、環境保全に対する姿勢は非常に重要ですが、御社は環境保全に対するポリシーを基本に具体的な活動でも目先の利益にとらわれることなく積極的に活動しています。それは、個別の顧客との装置仕様の決定、装置開発などの活動のみならずSEMI、SEAJなどの国内、国外業界団
体内でもその活動をリードしてきていただいていることでもわかります。

（3）東芝セミコンダクター社からみた
東京エレクトロンの印象
弊社はここ数年間新しいCR（クリーンルーム）の建設が続いており環境保全のアイテムの取り込みの要求が非常に重要な課題になっています。当然、導入する装置に対する要求も従来にも増して厳し
いものになってきています。御社は仕様に関するその打ち合わせのな
かで積極的に弊社の提案を受け入れていただいているだけでなく、
ア
イディアのご提案や新CRの環境対策にも大きく貢献していただいており、心強いパートナーと感じています。

（2）東京エレクトロンのEHS活動に関する感想
御社の環境・健康・安全（EHS）活動は、半導体製造装置産業におけるリーダーカンパニーとしての位置付けを強化していることは、間違いありません。環境にやさしい製品に関連した取り組みは、御社だ
けでなくその顧客にも利益をもたらすものです。よりクリーンな生産技術の強化と実践が世界的に高まるなか、御社の顧客には、その報告書に説明のある通り、環境にやさしい半導体生産装置を共同で開発する機会が与えられています。

（3）ITRIから見た東京エレクトロンの印象
2004年環境報告書では、製品、事業、環境管理および社会活動について説明されています。これには包括的情報が記載されているため、この方面に興味を持つ方々がEHSマネジメントの理念や達成
内容をよく理解できるようになっています。例えば、健康と安全への活動に関する記載内容は、非常に参考になります。

（4）環境にやさしい東京エレクトロンの製品に対するITRIの期待御社の製品が環境にやさしいという特徴を、顧客や他の装置製造会社とわかち合えることを期待しています。そうすることで、競合他社と比べて御社の先進性がさらに強化されることになります。

（4）東京エレクトロンへの要望・期待等
半導体業界は世界全体でますます成長していくなかで、その環境負荷の改善が非常に重要な課題であり、またその活動のリーダーシップをとっていくことが社会的な大きな責任となっています。半導体メーカーの環境対策には我々産業を支えている多くの業界の協力が不可欠です。特に、省エネルギーに関しては、
これまでは装置単独で改善する活動が多かったのですが、工場動力設備でも過剰仕様など
効率が悪く改善が必要になっており、今後はこれら製造装置と工場動力双方を考慮した設計が必須です。ぜひ工場動力設計と協調した設備の開発を行っていただきたいと思います。

（5）東京エレクトロンへの要望・期待等
環境にやさしい半導体製造装置への取り組みは、大変難しい
EHS問題に直面しているFPD産業にも拡張しうることが期待されます。
半導体産業で得た経験は、同一もしくは類似したEHSへの取り組みを採用するよう、FPD産業の顧客を説得するために非常に役立ちます。
さらに、そのEHSマネジメントの理念を広め、実践内容を日本国外の顧客とわかち合うためにも、御社がより多くの国際的共同プログラムに参加することを強く望みます。
＊ 2004年8月時点

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書200531

表紙の写真について
本報告書では、社会性に関する報告を充実させたことにより、本業である事業活動、従業員、環境活動、社会貢献活動から成る環境社会面を意識した表紙としました。
中央右側の写真は、Tokyo Electron U.S.
Holdings, Inc.で実施している社会貢献プログラ
ムの一つである、従業員の子ども向けに会社や社会の成り立ちを説明する「Take Your Kids toWork Day Event」の風景です。

環境安全推進センター〒183-8705 東京都府中市住吉町2-30-7
TEL：042 - 333 - 8249 FAX：042 - 333 - 8477
http：//www.tel.com
発行：2005年8月

この報告書の印刷には生分解性や脱墨性に優れ、印刷物のリサイクルが容易な大豆インキを使用しています。
企画制作協力株式会社クレアン

43AT-005

FAX：042-333-8477

環境・社会報告書2005アンケートのお願い
最後までお読みいただき、ありがとうございました。本年度は、マネジメントおよび社会性項目を新たに掲載し、東京エレクトロング
ループにおける環境・安全・社会面の取り組みに対してご理解いただくことに努めました。
今後の取り組みや経営に反映していくために、皆様に忌憚のないご意見、ご感想、お気づきの点などをお書き添えいただき、ご返送
いただければ幸いです。
なお、
アンケートにお答えいただいた方に抽選で粗品を差し上げます。
2005年8月
東京エレクトロン（株）環境安全推進センター

Q1. 環境・社会報告書2005はいかがでしたか？
（わかりやすさ） □大変わかりやすい（情報量） □大変充実している□わかりやすい□充実している□普通□普通□ややわかりにくい□やや物足りない□わかりにくい□物足りない□あまり評価できない□評価できない

Q2. 当社グループの環境・安全・社会活動をどう評価されましたか？
□かなり評価できる□評価できる□普通Q3. 印象に残った記事はどれですか？（いくつでも可）□編集方針、対象範囲、会社概要、環境・安全活動のあゆみ
Management Report □コーポレート・ガバナンス□トップコミットメント□コンプライアンス

Highlight □東京エレクトロン（TEL）の製品□東京エレクトロン（TEL）のビジネス

Environmental □EHSマネジメント
Report □半導体業界のCO2排出量削減へ向けた取り組み□製品における環境への取り組み
Social Report □健康・安全□EHS活動目標と実績□環境会計□営業・開発・設計担当者による意見交換会□事業所における環境への取り組み□社員とのかかわり□ステークホルダーからのご意見□ステークホルダーとのコミュニケーション

Q4. ご意見、ご感想、ご要望、ご提案などをお書きください。

Q5. この報告書はどのような立場でお読みになられましたか？
□お取引先□株主・投資家□研究・教育機関□学生□東京エレクトロンの事業所近隣にお住まい□企業・団体の環境ご担当
□報道機関
□その他（

□環境NGO／NPO□行政機関）

おさしつかえのない範囲でご記入ください。
お名前

性別

□男性

ご住所 〒

ご職業（勤務先・学校名など）

□女性

年齢

電話

E-mailアドレス

お寄せいただいたご意見・ご感想を次回の報告書に掲載させていただく場合がございます。個人情報保護に関しましては、漏えいや滅失などがないよう適切な管理を行い、年齢・性別・職業による分析などに利用させていただきます。なお、
ご送付いただきました個人情報の修正や変更・削除を希望される場合は東京エレクトロン（株）環境安全推進センターまでご連絡くださいますようお願いいたします。

「環境報告書2004」アンケート集計結果
当社「環境報告書2004」について、たくさんのご意見をいただきました。
アンケート結果を紹介させていただきます。

① わかりやすさ はいかがでしたか？
ややわかりにくい3%
普通13%② 情報量 はいかがでしたか？
やや物足りない
7%

物足りない7%③当社グループの環境保全活動を、どう評価されましたか？
普通 10%

大変充実している21%

大変
わかりやすい
40%

かなり
評価できる
28%

普通
24%

わかりやすい44%

充実している
41%④印象に残った記事 ベスト5

あまり評価できない 7%

（件）

評価できる
55%

⑤この報告書はどのような立場でお読みになられましたか？

研究・教育機関 11%1

製品における環境への取り組み

21

2

ＣＳＲを推進するために

16

企業・団体の環境ご担当 7%

3

環境会計

13

環境NGO／NPO 7%

4

EHＳ活動の目標と実績

12

5

健康・安全

12

その他
52%

行政機関 7%

お取引先 4%
株主・投資家 4%
学生 4%
事業所近隣にお住まい 4%⑥主なご意見・ご感想● 製品開発では2007年度目標が決められているが、自工場の目標はあいまいのようだ。京都議定書により日本全体としても1990年比マイナス6%が義務付けられている。貴社としてもそれに対してどう対応されるのか。 ［株主・投資家様］● 「廃棄物処理やリサイクルを念頭においた開発」
は非常に重要で、率先して取り組んでほしい。グループ会社両社長の環境活動

方針はすばらしいと思う。 ［60代 一般の方］● 製品の環境に対する取り組みについてよく努力している。事業所における環境への取り組みも、一層の努力の様子が理解できた。2005年2月16日、京都議定書が発効された。今後の取り組みを掲載してほしい。 ［60代 一般の方］● たいへん分かりやすい報告書で感心した。
「私のエコライフ」等、社員の素顔が紹介されていて親しみが持てた。一般消費者の手に渡る製品を作っていたら、売り上げ倍層に寄与する報告書だと思う。アンケートの集計結果の報告もよい。
［50代 一般の方］● 工場で省エネ・省資源が進んでいない点は看過できない。思い切った投資をやってみては。社会性報告では、雇用における多様性の確保、取引や競争における公正さが書かれていない。今後の展開を期待する。 ［40代 研究・教育機関］●「事業所における環境への取り組み」の「地球温暖化物質の使用」で経年変化があるとよいと思う。 ［60代 お取引先様］

今後も、いただいたご意見をもとに、環境保全活動に努めてまいります。
ご回答いただいた皆様、ありがとうございました。