PSG5xx-Messgerät für den Bereich vonAtmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

Die Pirani-Standardmessgeräte PSG500, PSG502-S, PSG510-S undPSG512-S von INFICON sind mit der fortschrittlichsten PiraniDigitaltechnologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist. Dierobuste Sensorzelle aus Edelstahl und das kompakte Design sind ideal
für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungenwie z. B. Vorvakuumleitungen.

VORTEILEnEinfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten

nPlatzsparendes, robustes DesignnAluminiumgehäusenMontage in beliebiger Position

nMesszelle aus Edelstahl mit metallversiegelter DurchführungnLogarithmischer Signalausgang für einfache Integrationn

10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen

nBei 250 °C ausheizbare Versionn

Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungenn

Keramische Durchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)

n

Optionale SollwertenRoHS-Konformität

BESTELLINFORMATIONEN

1

PSG5xx-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes VakuumTypPSG500
tungsten

PSG500 1/2" Tube

350-063

PSG500 1/8" NPT

350-061

PSG500 4-VCR (1/4")

350-065

PSG500 7/16-20 UNF

350-066

PSG500 8-VCR (1/2")

350-064

PSG500 DN 16 CF-R

350-062

PSG500 DN 16 CF-R, ext. body

350-068

PSG500 DN 16 ISO-KF

350-060

PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body

350-067

PSG500-S
tungsten,setpoints

PSG500-S 1/2" Tube

350-083

PSG500-S 1/8" NPT

350-081

PSG500-S 4-VCR (1/4")

350-085

PSG500-S 7/16-20 UNF

350-086

PSG500-S 8-VCR (1/2")

350-084

PSG500-S DN 16 CF-R

350-082

PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body

350-088

PSG500-S DN 16 ISO-KF

350-080

PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body

350-087

PSG502-S
nickel,setpoints

PSG502-S 1/2" Tube

350-143

PSG502-S 1/8" NPT

350-141

PSG502-S 4-VCR (1/4")

350-145

PSG502-S 7/16-20 UNF

350-146

PSG502-S 8-VCR (1/2")

350-144

PSG502-S DN 16 CF-R

350-142

PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body350-148

PSG502-S DN 16 ISO-KF

350-140

PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body350-147

PSG510-S DN 16 ISO-KF
PSG512-S DN 16 ISO-KF

2

PSG5xx-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

PSG510-S
tungsten,
setpoints,
ceramic
feedthroughs

PSG512-S
nickel,setpoints,
ceramic
feedthroughs

350-200
350-300

TECHNISCHE DATEN
Typ

Messprinzip

PSG500tungsten

PSG500-S
tungsten,
setpoints

PSG502-S
nickel,setpoints

PSG510-S
tungsten,
setpoints,
ceramic
feedthroughs

PSG512-S
nickel,setpoints,
ceramic
feedthroughs

thermalconductanceaccording to
Piranithermalconductanceaccording to
Piranithermal
conductanceaccording to
Piranithermalconductanceaccording to
Piranithermalconductanceaccording to
Pirani

Genauigkeit (N₂)
1 x 10⁻³ … 100 mbar

% of reading±15%±15%±15%±15%±15%

5 x 10⁻⁴ … 1 x 10⁻³ mbar

% of reading±50%±50%±50%±50%±50%

100 … 1000 mbar

% of reading±50%±50%

±50%

±50%

±50%

% of reading

2%2%

2%

2%

2%

Wiederholbarkeit (Luft)1 x 10⁻³ … 100 mbar
Ausgangssignal(Messsignal)
SpannungsbereichV

0 … +10.3

0 … +10.3

0 … +10.3

0 … +10.30 … +10.3

Messbereich

V+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0

Messbereich (Luft, 0₂, CO,N₂)

mbar

5 x 10⁻⁴ to1000

5 x 10⁻⁴ to1000

5 x 10⁻⁴ to1000

5 x 10⁻⁴ to1000

5 x 10⁻⁴ to
1000

none

2

22

2

Schaltpunkt
Anzahl Schaltpunkte
Schaltpunkt
Einstellungsbereich

mbar

‒

2 x 10⁻³ … 500 2 x 10⁻³ … 500 2 x 10⁻³ … 500 2 x 10⁻³ … 500% of reading‒

10% abovelower
threshold

10% above
lowerthreshold

10% above
lowerthreshold10% above
lowerthreshold

V (dc)‒30303030

A (dc)‒

0.5 floating

0.5 floating

0.5 floating

0.5 floatingms‒<20<20<20<20V (dc)

+14 …+30+14 …+30+14 …+30

+14 …+30+14 …+30

Schaltpunkt
Hysterese

Schaltpunkt
Relaiskontakt
Schaltpunkt
Relaiskontakt
Schaltpunkt
Relaiskontakt: Schaltzeit
Versorgungsspannung
An der Messröhre
Versorgungsspannung

3

PSG5xx-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

TECHNISCHE DATEN
TypRipple

V (p-p)

LeistungsaufnahmemASpannung vs. Druck

PSG500tungsten

PSG500-S
tungsten,
setpoints

PSG502-S
nickel,setpoints

PSG510-S
tungsten,
setpoints,
ceramic
feedthroughs

PSG512-S
nickel,setpoints,
ceramic
feedthroughs

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

logarithmic
1.286 Volts
per decadelogarithmic
1.286 Volts
per decadelogarithmic
1.286 Volts
per decade

1.5 (0.092)

1.5 (0.092)

10 (0.61)

10 (0.61)<500 (max.
startingcurrent)
logarithmic
1.286 Volts
per decadelogarithmic
1.286 Volts
per decade

Inneres Volumen
DN 16 ISO-KF & DN 16CF-R langes Rohr

cm³ (in.³)

10 (0.61)

DN 16 ISO-KF, DN 16
CF-R, 7/16-20 UNF

cm³ (in.³)

1.5 (0.092)

1.5 (0.092)

DN 16 ISO-KF& DN 16
CF-R langes Rohr

cm³ (in.³)

10 (0.61)

10 (0.61)

1/8'' NPT , 4 VCR, 8 VCR, cm³ (in.³)
1/2''-Rohr

2 (0.122)

2 (0.122)

2 (0.122)

2 (0.122)

2 (0.122)

1.5 (0.092)

Zulässige Temperatur
Betrieb°C+5 … +60+5 … +60+5 … +60+5 … +60+5 … +60

Vakuumanschluss (1)°C

80 / 250 ⁽²⁾

80 / 250 ⁽²⁾

80 / 250 ⁽²⁾

80 / 250 ⁽²⁾

80 / 250 ⁽²⁾

Lagerung°C-20 … +65

-20 … +65

-20 … +65

-20 … +65

-20 … +65

DN 16 ISO-KF, 7/16-20UNF

g

80

80

80

80

80

DN 16 CF-R, 4 VCRg

100

100

100

100

100

1/8'' NPT, 1/2''-Rohr

g

70

70

70

70

70

8 VCR, DN 16 ISO-KF
langes Rohrg

130

130

130

130

130

DN 16 CF-R langes Rohr g

140

140

140

140

140

Gewicht

Fehlersignal

V

0 … +0.5(filamentrupture)

0 … +0.5(filamentrupture)

0 … +0.5(filamentrupture)

0 … +0.5(filamentrupture)

0 … +0.5(filamentrupture)

AusgangsimpedanzΩ

2 x 4.7

2 x 4.7

2 x 4.7

2 x 4.7

2 x 4.7

Minimale LastimpedanzkΩ10, shortcircuit proof

10, shortcircuit proof

10, shortcircuit proof

10, shortcircuit proof

10, shortcircuit proof

Ansprechzeit

ms80

80

80

80

80

4PSG5xx-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

TECHNISCHE DATEN
Typ

Identifikation MessröhrekΩ

Einstellung

PSG500tungsten

PSG500-S
tungsten,
setpoints

PSG502-S
nickel,setpoints

PSG510-S
tungsten,
setpoints,
ceramic
feedthroughs

PSG512-S
nickel,setpoints,
ceramic
feedthroughs

27.0,
referenced tosupplycommon27.0,
referenced tosupply
common27.0,
referenced tosupplycommon27.0,
referenced tosupplycommon27.0,
referenced tosupplycommonone tactile
one tactile
one tactile
one tactile
one tactile
switch for ATM switch for ATM switch for ATM switch for ATM switch for ATM
and HVand HVand HVand HVand HVadjustment
adjustment
adjustment
adjustment
adjustment

StromaufnahmemA<500 (max.
startingcurrent)

Leistungsaufnahme

W

≤1

≤1

<500 (max.
startingcurrent)<500 (max.
startingcurrent)<500 (max.
startingcurrent)

≤1

≤1

≤1

Elektrischer Anschluss

FCC 68 / RJ45 FCC 68 / RJ45 FCC 68 / RJ45 FCC 68 / RJ45 FCC 68 / RJ45
appliance
appliance
appliance
appliance
appliance
connector, 8connector, 8connector, 8connector, 8connector, 8poles, malepoles, malepoles, malepoles, malepoles, maleSensorkabel

8 poles plus
shieldingKabellänge
Werkstoffe gegen Vakuum

Heizfaden
Zulässiger Druckm8 poles plus
shielding

8 poles plus
shielding

8 poles plus
shielding

8 poles plus
shielding≤100 (8 x 0.14 ≤100 (8 x 0.14 ≤100 (8 x 0.14 ≤100 (8 x 0.14 ≤100 (8 x 0.14mm²)
mm²)
mm²)
mm²)
mm²)
glass, Ni,
NiFe, DIN
1.4301 /1.4305 /1.4435glass, Ni,
NiFe, DIN
1.4301 /1.4305 /1.4435glass, Ni,
NiFe, DIN
1.4301 /1.4305 /1.4435

AI₂O₃, Ni, DIN
1.3981 /1.4305 /1.4435

AI₂O₃, Ni, DIN
1.3981 /1.4305 /1.4435WW

NiWNi10, limited toinert gases

10, limited toinert gases

10, limited toinert gases

10, limited toinert gases

bar (absolute) 10, limited toinert gases

Einbaulage

any

any

any

any

any

Schutzart

IP40

IP40

IP40

IP40

IP40

(1) Bei horizontaler Befestigung(2) Langes Rohr5

PSG5xx-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

ERSATZTEILE
PSG500tungsten

PSG500-S
tungsten,
setpoints

PSG502-S
nickel,setpoints

PSG510-S
tungsten,
setpoints,
ceramic
feedthroughs

PSG512-S
nickel,setpoints,
ceramic
feedthroughs

PSG500 Ersatz-Sensor 4-VCR (1/4")

350-926

350-926---

PSG500 Ersatz-Sensor 1/2" Tube

350-923350-923---

PSG500 Ersatz-Sensor 1/8" NPT

350-921350-921---

PSG500 Ersatz-Sensor 7/16-20 UNF

350-925350-925---

PSG500 Ersatz-Sensor 8-VCR (1/2")

350-924350-924---

PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R

350-922350-922---

PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 CFR,ext.body

350-928350-928---

PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 KF

350-920350-920---

PSG500 Ersatz-Sensor DN 16KF,ext.body

350-927350-927---

PSG502 Ersatz-Sensor 1/2" Tube--350-903--

PSG502 Ersatz-Sensor 1/8" NPT--350-901--

PSG502 Ersatz-Sensor 4-VCR (1/4")--350-906--

PSG502 Ersatz-Sensor 7/16-20 UNF--350-905--

PSG502 Ersatz-Sensor 8-VCR (1/2")--350-904--

PSG502 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R--350-902--

PSG502 Ersatz-Sensor DN 16 CFR,ext.body--350-908--

PSG502 Ersatz-Sensor DN 16 KF--350-900--

PSG502 Ersatz-Sensor DN 16
KF,ext.body--

350-907--

PSG510 Ersatz-Sensor DN 16 KF---350-930-

PSG512 Ersatz-Sensor DN 16 KF----350-940

PSG500tungsten

PSG500-S
tungsten,
setpoints

PSG502-S
nickel,setpoints

PSG510-S
tungsten,
setpoints,
ceramic
feedthroughs

PSG512-S
nickel,setpoints,
ceramic
feedthroughs

211-001

211-001

211-001

211-001

211-001

ZUBEHÖR

Spannring DN 10-16 ISO-KF

6

PSG5xx-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

ABMESSUNGEN

www.inficon.com

reachus@inficon.com

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