En vir o n m e n t a l R e p ort

事業所における環境への取り組み ― 地球温暖化防止
東京エレクトロングループは、事業所全体でエネルギー使用量を削減し、地球温暖化防止に取り組んでいます。

電力使用量推移エネルギー使用量削減への取り組み（10万kWh）

国内

製造系事業所の多くは、エネルギー使用の合理化に関する「省エネ法」の第1種エネルギー管理指定工場に該148 160 150ています。
各事業所では照明やOA機器の節電、空調の温度設定管理などの目標を掲げ、積極的に取り組みを推進しています。連休時の計画的設備停止や作業の効率化も図り、
0

合志事業所では、夜間・休日にクリーンルームで循環風量を調整したり、物流エリアで照明の間引きを実施し、エ2,430

126

1,916

2,345
101
2,181
2,191
2,151
1,858
1,501
1,212
1,206
1,089

当するため、同法の規定に基づき省エネルギー化を進めエネルギー使用量の削減に努めています。

重油使用量推移（kl）

海外

1,838
1,828
1,631

1,881

1,652

967 958

096 97 98 99 00 01 02 03 04

96 97 98 99 00 01 02 03 04

灯油使用量推移

ガス使用量推移

（kl）

（千m3）

ネルギー使用量削減に積極的に取り組

996
908

LPG

都市ガス

1,062
990 990942

みました。この取り組みが評価され、

738

2005年2月にエネルギー管理優良工

658
545

場等功績者表彰で九州経済産業局長
364賞（エネルギー管理優良工場等・電気部門）を受賞しました。

403 389

62 60 66 70 50 59

九州経済産業局長賞の表彰状

74 72 55 59 66 66 63 58 56
096 97 98 99 00 01 02 03 04

エネルギー使用量
2004年度は前年度に引き続き、生産設備の稼働率が096 97 98 99 00 01 02 03 04（国内および海外事業所）

温室効果ガスの使用量削減

上がりました。生産量の増加に伴いエネルギー使用量のプロセス開発・評価時のドライエッチング（液体の薬品総量は増加しましたが、原単位では減少しています。

を使わずに物質を腐食させること）や洗浄などの工程で、1997年を基準とした売上高あたりのエネルギー使用温室効果ガスの一種であるPFC（パーフルオロカーボン）量は、前年度比1%減という目標を達成しました。今後は、

6 六フッ化硫黄）を使用しています。また、評価類やSF（京都議定書発効も踏まえ、省エネルギー化への取り組み用装置のチャンバーなどの洗浄に代替フロンのHFC類をさらに強化していきます。

を使っています。2004年度の温室効果ガス使用量は、約7,500トン（CO2換算）でした。今後も継続して使用量

総エネルギー使用量（CO2換算＊1）の推移（t-CO2）（%）

CO2排出量1997年度売上高原単位を基準とした数値＊2
208.0%
売り上げ原単位比前年度比＊3150.8%

104.4% 150.9%
95.8%
100.0%

193.1%
134.7%
105.6%

89.3%の管理と削減に取り組んでいきます。
温室効果ガス使用量168.2%（t-CO2）
10,082147.5%

HFC類

197.0%
その他
1892.8% 87.1%

78.4%

87.7%

PFC類

SF69,162その他
567,4226,740

その他
196,682
45,922 50,488 52,456 65,817 84,761 94,009 95,486 95,487 104,110
096

97

98

99

00

01020304

6,2970＊1 ＣＯ2換算は、環境省作成の「環境活動評価プログラム」を参照＊2 原単位＝エネルギー使用量／売上高（1997年度＝100％）＊3 前年比＝当年度原単位／前年度原単位（国内および海外事業所）

22

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

1,85601,284

1,4681,140020378432204（国内事業所）En vir o n m e n ta l R e p ort

事業所における環境への取り組み ― 廃棄物削減
東京エレクトロングループは、環境負荷低減のために、廃棄物削減およびリサイクル率向上に努めます。

廃棄物削減・リサイクルの考え方

廃棄物の内訳

廃棄物はなるべく出さないように努め、出してしまった

当社グループで最も多い廃棄物は廃液類で、製品の開廃棄物はできるだけリサイクルし、リサイクルできない廃発評価時に使用した薬品が廃液となります。現在、外部棄物は適正に処理するという方針に基づき、グループ全に排 出される廃 液 の ほ体で廃棄物の削減に取り組んでいます。近年は最終処分

とんどはリサイクルされ飲料容器1%場が不足し埋め立て処理費用が上昇しているため、廃棄ています。また、一部の木屑、梱包材5%物の削減がコストの削減にもつながっています。

事業所では社内に廃液具体的には廃棄物の分別回収、リサイクル業者の拡大、処理工程を設置し、廃液廃棄物処理委託業者の認定管理、最終処分状況の定期的の自社内処理を行うことな確認、廃棄物が発生しない生産工程への変更などを行により廃棄物削減を進めっています。また、各事業所では廃棄物の分別についてています。

廃棄物量内訳
厨房厨芥1%
その他6%

プラスチック7%
紙類7%

廃液62%

金属／製品屑
11%

わかりやすい表示を作成しています。山梨地区では、ゼロエミッション

紙類やペットボトル、飲料

当社グループでは、単純焼却や埋め立て処分する廃棄缶、ビンなどのわかりやす

物量が2%未満の事業所を「ゼロエミッション事業所」とい分別方法の教育資料を定義し、グループ全体でゼロエミッション活動を推進して作成し、使用しています。

廃棄物の分別方法の資料います。2004年度は、前年度に加え、新たに東京エレク
トロンATの5事業所（穂坂、藤井、宮城、東北、尼崎）もゼロエミッションを達成しました。今後は製造系事業所以廃棄物量とリサイクル率
当社グループ全体で最終処分した廃棄物量とリサイク外の事業所でもゼロエミッションを目指します。

ル率をグラフで表しました。資源の有効利用に努めてきた結果、リサイクル率は年々向上しています。
2005年度までにグル ープ平均 のリサイクル 率を95%にするという目標を掲げて取り組みを進めたところ、2004年度のリサイクル率は96.1%で、目標を前倒しで達成できました。今後はリサイクルするものも含め、廃棄リサイクル率目標値95%（2005年度目標）
69.7%
59.9%

後に汚泥が残りますが、この汚泥をステンレス原料にリサイク（%）

リサイクル率

96.1%
93.1%

廃棄物リサイクルの例
スチール・ステンレス
アルミ・飲料容器
コピー用紙・自動販売機のカップ
段ボール
食堂からの汚泥
トナーカートリッジ

49.7%

材料類

15.3%

0

従来はリサイクルできなかったケーブルやコントローラ類もリサイクルしています。現在までに、すべての廃棄物のリサイクル方法を確立しています。

77.4%

55.2%
40.9%

東北事業所では生産工程やオフィスから出る廃棄物を31ルしています。また、プラスチックと金属が混合しているためリサイクル率と廃棄物排出量の推移
廃棄物量（焼却および埋め立て量）

東北事業所では廃棄物を31分別してリサイクル種類に分別しリサイクルしています。例えば廃液は中和処理

物排出量の総量削減に取り組んでいきます。

（t）

TOP I C S

4,238

4,772

3,189

3,179

3,657

3,938

3,2688474319697989900010200304（国内事業所）

廃液

スチール・ステンレス
アルミ・飲料容器
トイレットペーパ
段ボール
有機肥料
トナーカートリッジ
中和処理後の河川放流
中和処理後汚泥のステンレス原料
材料類

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

23

En vir o n m e n t a l R e p ort

事業所における環境への取り組み ― 省資源
東京エレクトロングループでは、省資源対策として、資源の使用量削減を進めています。

省資源に対する考え方

水使用量削減への取り組み

環境に配慮した調達を行い、資源の使用量を最小限に製造系事業所では、水の使用量を減らすために様々な抑えています。コピー用紙や文房具などの使用量・購入活動を展開しています。あらゆる生産工程で循環装置を量の削減、環境に配慮した製品の購入、メーカーによる使って冷却水などを再利用するほか、トイレ・手洗いなど使用済み製品回収への協力などを積極的に行っています。に自動水洗装置を導入し、水の止め忘れや無駄な使用を減らして節水に努めています。こうした活動が評価され、東京エレクトロン九州（株）合志事業所は「肥後の水資源

紙使用量削減への取り組みグループ全体で紙の使用量削減に取り組んでいます。
例えば、コピー用紙の両面使用、縮小コピーの励行、情報や回覧書類の電子化などを行っています。特別な用途を愛護賞」を受賞しました（P30コミュニケーションを参照）。
水使用量の推移
（千m3）

海外使用量

工業用水

除いて再生紙の使用を進めるとともに非木材資源のケ817ナフを使った紙コップを導入するなど、森林資源の保全693につながる活動も行っています。こうした努力にもかか

770

972
146

812
89

436

527

445

391

290

325

332

390

9798

9900

上水
1,004
119388

地下水1,039
62

1,014
641,004106474486437415

357391521

わらず、2004年度はコピー用紙の使用量が前年度比0約10%（658万枚）増加し

172
96

430

10788706701020304（国内事業所および海外事業所）ました。売り上げ・出荷量の増加が主な理由です。今後は、

TOP I C S

業務で使用するコピー用紙

佐賀事業所での水使用量削減の見直しを継続することに佐賀事業所は、開発機評価や製品検査段階での水使より記録や帳票類を必要最用量削減に力を入れています。使用する水の約9割が工業小限まで集約し、紙使用量用水で、製品の検査に使用する純水も工業用水から生成しを減らします。

コピー用紙使用量削減の啓発ポスターています。使用後は回収し、再生逆浸透膜を使って純水に戻し、再利用しています。再利用する水の量は1日約300ト

コピー用紙使用量の推移
製造系事業所（千枚）ンに上ります。このほか、事務所系事業所

生 産 用 冷 却 水の循 環131,500

利用、真空ポンプの水

19,350冷式から空冷式への変107,367
18,30095,78587,634
18,61718,184

94,217
17,417

更、生活系利用水の節水などにより水使用量の削減を進めています。

回収水の再生逆浸透膜装置

112,150
89,067

77,16869,45076,800佐賀事業所における水使用量の推移
（千m3）

上水
272

000

01

020304207（国内事業所）

024

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

6501

工業用水
241

218

209

207

190

189

3402

2803

2004

En vir o n m e n t a l R e p ort

事業所における環境への取り組み ― 化学物質管理
東京エレクトロングループでは、化学物質管理を強化し、環境汚染の未然防止に努めています。

PRTR法第一種対象物質排出量

化学物質管理の考え方
東京エレクトロングループでは、主に製品開発時の評
価と製造時の試験・評価という二つの段階で化学物質が（kg）
排出量

排出先排出量合計

11

移動量合計

3,274

消費量

使用されています。開発段階では、従来は使っていなかった化学物質を新たに採用したり、化学物質を従来と違う方法で使用したりすることもあります。その際には、事前に使用設備や使用方法のアセスメントを行い、環境や14除去処理量

1,960

リサイクル量6,085

合11,344

計

PRTR対象物質マテリアルバランス
大気排出量 1kg/年

水域への排出 10kg/年

作業安全上のリスクを評価し、必要な対策を取ってから使用を開始しています。製造時の試験・評価で使う化学物質についても危険性・有害性ができるだけ少ない物質

TEL

取扱量11,344kg/年への切り替えを進めています。

製品
14kg/年

リサイクル 6,085kg/年
廃棄物 3,274kg/年＊

自社埋立 0kg/年

除去処理量 1,960kg/年

PRTR 法への対応
法規定に基づき化学物質の管理を徹底するとともに、PCBの保管取扱量や排出量などを継続して把握しています。PRTR「ポリ塩化ビフェニル（PCB）廃棄物の適正な処理の対象物質の中でも使用量の多いふっ化水素は、主に評価推進に関する特別措置法」に基づき、PCBの保管や処分用ウェーハの洗浄に使用しています。使用後は廃棄物との状況を都道府県知事に毎年届け出ています。当社グルして専門業者に処理を委託するか、社内で適正処理してープでのPCBを含む廃棄物の保管状況は、トランス2台、います。同じく使用量の多いエチレングリコールは冷却コンデンサー4台であり、これらを厳重に管理しています。

水の冷媒として使用しており、使用後はほとんどをリサイクルしています。今後も、化学物質の適切なリスク管理を継続していきます。また、化学物質使用量が増加していることから、使用量削減も視野に入れて取り組みを進めます。

山梨地区での化学物質管理
山梨地区（藤井事業所、穂坂事業所）
では化学物質の使＊PRTR（Pollutant Release and Transfer Register）：人体や生態系に害を与える恐れのある化学物質について、その使用量と環境への排出量、廃棄物に含まれて事業所外に移動した量を把握・集計し、公表する仕組み

2001
年度
00520
1,500120180029019062002,47005,890

用前、使用時、廃棄時にわたる取り組みを行っています。新規の化学物質使用前には、リスクアセスメントを実施し、導入を決定します。また、独自の使用禁止化学物質16種類（有機塩素系溶剤9種類、重金属7種類）も定めています。使用＊

PRTR法第一種対象物質取扱量の推移
法令で第一種指定化学物質名定めた番号
1
亜鉛の水溶性化合物
3
アクリル酸
16
2-アミノエタノール
43
エチレングリコール
44
エチレングリコールモノメチルエーテル
63
キシレン
78
4,4 -ジフェニールメタンジイソシアネート
172
N,N-ジメチルホルムアミド
207
銅水溶性塩（錯塩を除く）
227
トルエン
260
ピロカテコール
283
ふっ化水素及びその水溶性塩
311
マンガン及びその化合物
合 計＊2001年度、2002年度は、トン単位で把握

TOP I C S

（kg）
2002
年度
5004304,0000004501200303,690
9009,6702003
2004
年度
年度
0700200475
9,144 6,3530000014309131011005034,558 3,553
450
610
14,461 11,344（国内事業所）時は、使用場所にMSDS を掲示し、特定の化学物質を使用する際には、認定された者だけが作業できる仕組みとしています。廃棄時には、適正に処理されるように、引取先へ内容物を通知します。また穂坂事業所では、排水中のフッ素濃度をモニタリングし、法規制値を超えないよう管理を徹底しています。
＊MSDS（MaterialData

SafetySheet）：化学物質等

安全データシート。化学物質の有害性や取り扱う上での注意点を的確に把握して使用するための製品情報。

排水中のフッ素濃度管理

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書2005

25