BCG450-Dreifachmessgerät Triple-Gauge™ fürden Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

Das INFICON BCG450 Kombinationsmessgerät (Triple-Gauge™)
vereinigt die Vorteile dreier verschiedenen Technologien in einem
einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung vonProzess- und Basisdruck im Bereich von 5×10-10 bis 1500 mbar
(3,75×10-10 bis 1125 Torr). Das BCG450 wurde entwickelt um drei
Sensoren ersetzen zu können (Hot Ion, Pirani und Vakuumschalter).
Dies reduziert die Kosten und verringert den Platzbedarf an der Anlage.

VORTEILEn

Das BCG450 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung zurVakuummessungnGasart-unabhängige Druckmessung über 10 Torr bietet zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen
Gasmischungen.

nPirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem AusbrennennAutomatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreibern

Die Differenzdruckmessung bei Atmosphärendruck beseitigt Ungewissheit hinsichtlich der Änderung desatmosphärischen DrucksnLeicht auswechselbares Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten garantiert ReproduzierbarkeitnOptionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlichnRoHS-Konformität

BESTELLINFORMATIONEN

1

BCG450-Dreifachmessgerät Triple-Gauge™ für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

Typ

BCG450BCG450 DN 25 ISO-KF

353-550

BCG450 DN 40 CF-R

353-551

BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF

353-552

BCG450 LCD, DN 40 CF-R

353-553

BCG450 TripleGauge; W, DN 40 CF-R

353-606

BCG450 Ersatz-Messsystem DN25 KF

354-492

BCG450 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R

354-493

BCG450-PN Profinet, DN 25 ISO-KF

353-517

BCG450-PN Profinet, DN 40 CF-R

353-518

BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF

353-557

BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R

353-558

BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-592

BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R

353-593

BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-598

BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R

353-599

BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R

353-556

BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF

353-554TECHNISCHE DATENTypBCG450Messbereichmbar

5×10⁻¹⁰ … 1500

Messbereich

Torr

3.75×10⁻¹⁰ … 1125

Genauigkeit
10⁻⁸ … 50 mbar

% of reading±1550 … 950 mbar

% of reading±5950 … 1050 mbar

% of reading±2.5

10⁻⁸ … 10⁻² mbar

% of reading

5Heißionenemission anmbar

2×10⁻² (high)(wählbar hoch/niedrig, via
RS232/Feldbus)

mbar

8×10⁻³ (low)p < 7.2 × 10⁻⁶mbar

electron bombardment, max. 3 min

Druck, max.

bar (absolute)

Wiederholbarkeit

Entgasen (1)2

BCG450-Dreifachmessgerät Triple-Gauge™ für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

5

TECHNISCHE DATENTypBCG450

Temperatur
Betrieb (Umgebung)°C

0 … +50Lagerung°C-20 … +70

Ausheizen am Flansch°C

80

Ausheizen (Elektronik entfernt) °C

150

Versorgungsspannung

A (dc)

0.8

Versorgungsspannung

V (dc)

20 … 28

Ausgangssignal

V

0 … 10.3

Messbereichsausgabe

V0.774 … 10.3

Fehlersignal

V

0.3 / 0.5

Ausgangssignal analog

Ausgangssignal analog
Beziehung Spannung / Druck

volts per decade

0.75kΩ

10Ausgangssignal analog
Mindestlast
Schnittstelle (digital) (2)RS232C

Anschluss
Kabellänge, max. (3)D-Sub, 15-pin, malem (ft.)

Werkstoffe gegen Vakuum

100 (330)
Yt₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI₂O₃, SnAg,
stainless steel, glass

Inneres Volumen KF/CF

cm³ (in.³)

Gewicht KF/CFg

24 (1.46) / 34 (2.1)
285 / 550

Schutzart

IP30

DeviceNet™
Protokoll

DeviceNet™, group 2 slave only

MAC ID

2 switches (address 00 - 63) or network
programmable

Netzwerkgröße

up to 64 nodes per segment

Digitale Funktionen

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas
function, monitor gauge status, safe state allows
definition of behavior in case of error, detailed alarm
and warning information

Analoge Funktionen

0 … 10 V analog output pressure indication, two
setpoint relays A + B

Visuelle
Kommunikationsanzeigen

3

LED network status (green / red) ; LED module status(green / red)

BCG450-Dreifachmessgerät Triple-Gauge™ für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

TECHNISCHE DATENTypBCG450

Spezifikation

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

Gerätetyp''CG'' for combination gauge

I/O Slave-Messaging

polling only

Schaltpunkt Relais: Anzahl
Schaltpunkte

2

Schaltpunkt Relais:
Relaiskontaktn.o., potential free

Schaltpunkt Relais: Anschluss

D-Sub, 15-pin, maleAnschluss DeviceNet™

Microstyle, 5-pin

Anschluss BCG (analogeAusgabe,Versorgungsspannung,Schaltpunkte)

D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™
UmschaltbareÜbertragungsratekBaud

125, 250, 500 or network programmable

Kabellänge 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

Kabellänge 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

Kabellänge 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

mbar

1×10⁻⁹ … 1400

DeviceNet™

DeviceNet™
Schaltpunkt Relais:
Einstellbereich
DeviceNet™
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading

10

DeviceNet™
Schaltpunkt Relais:
KontaktbelastungA (dc)

0.5

Versorgungsspannung
DeviceNet™

A (dc)

0.5

Versorgungsspannung
MessröhreA (dc)

0.8

Schaltpunkt Relais:
Kontaktbelastung

V (dc)

60

Versorgungsspannung
DeviceNet™

V (dc)

11 … 25

DeviceNet™

4

BCG450-Dreifachmessgerät Triple-Gauge™ für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

TECHNISCHE DATENTypBCG450Versorgungsspannung
Messröhre

V (dc)

20 … 28Mbaud

1.5 / 12kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

Profibus DPÜbertragungsraten
Profibus DPÜbertragungsraten
Profibus DPAdresse

2 switches (address 00 - 127) or network
programmable

Digitale Funktionen

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa ; degas
function , monitor gauge status , safe state allows
definition of behavior in case of error , detailed alarm
and warning information

Analoge Funktionen

0 … 10 V analog output pressure indication , two
setpoint relays A + B

Schaltpunkt Relais: AnzahlSchaltpunkte

2

Schaltpunkt Relais:
Relaiskontaktn.o., potential freeAnschluss Profibus DP

D-Sub, 9-pin, female

Anschluss BCG (analogeAusgabe,Versorgungsspannung,Schaltpunkte)

D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP
Schaltpunkt Relais:
Einstellbereichmbar

1×10⁻⁹ … 1400

Profibus DP
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading

10

Profibus DP
Schaltpunkt Relais:
Kontaktbelastung

V (dc)60

A (dc)

0.5

Profibus DP
Schaltpunkt Relais:
Kontaktbelastung
EtherCAT
Protokoll EtherCAT

5

protocol specialized for EtherCATBCG450-Dreifachmessgerät Triple-Gauge™ für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

TECHNISCHE DATENTypBCG450

Kommunikationsstandards

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device
Profile (CDP)ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part
2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum
Pressure Gauge

Knotenpunktadresse

Explicit Device Identification

Physikalische Schicht

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

Digitale EtherCAT-Funktionen

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission
control, degas function monitor gauge status, filament
status safe state allows definition of behavior in caseof error detailed alarm and warning

Prozessdaten

Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

Mailbox (CoE)SDO requests, responses and information

EtherCAT-Stecker

RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

Kabel

shielded Ethernet CAT5e or higher

EtherCAT
Kabellänge

m (ft.)≤100 (330)ProfinetCommunication protocol

protocol specalized for Profinet

Data rate
Physical layer

100 Mbps
100BASE-Tx (IEEE 802.3)

Digital functions Profinet
read pressure, select Units (Torr, mbar, Pa), emisson
control, degas function, monitor gauge status,
filament status
Analog function

10 … 10 V anlog output pressure indication

Profinet connector

2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output

Profinet Cable

Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable,shielded (CA5e quality or higher)

Cable lenght<100 m (330 ft)
Cyclic data
Mailbox (CoE) Profinet

6IO-data
configuration, responses and information

BCG450-Dreifachmessgerät Triple-Gauge™ für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

(1) Reduzierte Genauigkeit bei der Entgasung(2) Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder
Controllern der Baureihe VGC40x und Feldbus ist nichtzulässig
(3) Für RS232C-Betrieb <30 m

ERSATZTEILEBCG450BCG450 Ersatz-Messsystem DN25 KF

354-492

BCG450 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R

354-493

ZUBEHÖR
BCG450Baffle zu BPG400353-512

Netzteil BPG400 24VDC 1,66A

353-511

Zentrierring mit Baffle DN 25 KF

211-1137

BCG450-Dreifachmessgerät Triple-Gauge™ für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

ABMESSUNGEN

www.inficon.com

reachus@inficon.com

Aufgrund laufender Produktverbesserungen können sich Spezifikationen ohne vorherige Bekanntmachung ändern.
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(2020-06)© 2020 INFICON