Environmental Sustainability Report 2004

環境報告書 2004

Environmental Sustainability Report

目 次
目次、編集方針、対象範囲

2

会社概要

3

編集方針
環境報告書は、今年で5回目の発行となります。本報告書では、東京エレクトロングループの2003年度の環境・健康・安全への取り組み、
社会貢献活動の成果についてご理解いただくため、読みやすさ、わ
かりやすさを第一にこころがけて作成いたしました。また、社長自らのことばで当社グループのCSR（企業の社会的責任）についての考え方を示しております。この報告書を通じて、当社グループとかかわるす
べての方々とのコミュニケーションをさらに充実させていきたいと思っています。今後の編集方針に反映させたいと考えていますのでご意見、ご感想をぜひお寄せください。
作成にあたっては、環境省の「環境報告書ガイドライン2003年版」と国 際 的なガイドラインの策 定を行う組 織であるG R （I Global
Reporting Initiative）のガイドライン「サステナビリティ・リポーティン
グ・ガイドライン2002年版」を参照しました。

Highlight
CSRを推進するために

4

東京エレクトロンの製品

6

東京エレクトロンのビジネス

8

対象範囲

Environmental Report

対象組織：東京エレクトロングループ

EHSマネジメント

10

環境会計

11

EHS活動の目標と実績

12

グループ会社の環境活動

13

装置環境・安全担当者 意見交換会報告

14

製品における環境への取り組み

16

事業所における環境への取り組み

20＜国内主要拠点＞
東京エレクトロン（株）、東京エレクトロンAT（株）、東京エレクトロン九州（株）、
東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ（株）、東京エレクトロンFE（株）、
東京エレクトロンデバイス（株）、東京エレクトロンBP（株）、
東京エレクトロンエージェンシー（株）＜米国主要拠点＞
Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.、Tokyo Electron America, Inc.、Tokyo Electron Massachusetts, LLC.、TEL Technology Center, America, LLC.、
Supercritical Systems, Inc.、Timbre Technologies, Inc.
＜欧州主要拠点＞
Tokyo Electron Europe Ltd.、Tokyo Electron Italia S.p.A.、
Tokyo Electron Deutschland GmbH、
Tokyo Electron Nederland B.V.、Tokyo Electron Ireland Ltd.、Tokyo Electron Israel Ltd.、Tokyo Electron France S.A.R.L.

Social Report
健康・安全

24

EHS教育・啓発26

ステークホルダーとのコミュニケーション

27

ステークホルダーからのご意見30

サイトレポート 東北事業所

31＜アジア主要拠点＞
Tokyo Electron Korea Ltd.、Tokyo Electron Taiwan Ltd.、Tokyo Electron（Shanghai）Ltd.、Tokyo Electron（Shanghai）Logistic Center Ltd.
（2004年8月現在の社名）

対象期間：2003年4月1日〜2004年3月31日
対象分野：環境経営に関する側面および企業の社会貢献活動などの社会経済的な側面
なお、環境報告書は今後も継続的に毎年発行していく予定です。

環境・安全活動のあゆみ
1994. 5
1996. 3
1996. 4
1997. 12
1998. 2
1998. 3
1998. 3
1998. 5
1998. 91998. 111999. 6 「安全第一について」を制定
1999. 8 大津事業所ISO14001認証取得
1999. 12 経営理念に「安全と健康と環境について」の項目を追記
2000. 4 環境会計の導入
2000. 4 統一安全教育システム「Safety2000」導入
2000. 12 「環境報告書」発行開始
2001. 4 製品のLCA開始
2001. 10 グリーン調達の導入
2001. 10 ISO14001未取得事業所に対する環境教育の導入
2002. 4 ISO14001ベースの独自の環境マネジメントシステム

標準環境安全センター（環境安全推進センター）設置
装置安全分科会（東京エレクトロングループ装置EHS技術委員会）発足
環境分科会（東京エレクトロングループ環境安全推進委員会）発足
相模事業所ISO14001認証取得
東北事業所ISO14001認証取得
佐賀事業所ISO14001認証取得
熊本・合志事業所ISO14001認証取得
山梨事業所ISO14001認証取得「東京エレクトロングループの環境に関する基本理念／方針」
を制定「東京エレクトロングループの安全／健康に関する基本理
念／方針」を制定

TOKYO ELECTRON

2003. 4

2

TEL Eco-Activity 運用開始
鉛フリータスクチーム活動開始

環境報告書2004

会社概要
社

名

東京エレクトロン株式会社

本 社 所 在 地

〒107-8481

TOKYO ELECTRON LIMITED

東京都港区赤坂5-3-6

TBS放送センター

TEL：03-5561-7000（代表）
代

表

設
資

本

者

代表取締役社長

立

1963年11月11日

金

549億6,119万円（2004年3月31日現在）

佐藤潔

主要取扱製品

半導体製造装置、FPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置、コンピュータ・ネットワーク、電子部品社

945名（2004年3月31日現在）

員数

本社（TBS放送センター15〜18F）■売上高推移（連結）■経常利益推移（連結）

（億円）

（億円）
7,238

1,192
5,296

4,407

4,178

4,605

338
211
2002.3002000.3

2001.3

2002.3■部門別売上高（連結）2003.3（億円）

2004.3△194■グループ社員数推移（名）

2004年3月期

コンピュータ・ネットワーク：184
その他：12△2

2001.3

2004.3■半導体製造装置部門地域別売上高

2004年3月期（億円）

2000.3

2003.3

10,236東南アジア：199

10,171

10,053

8,946

中国：176

電子部品：
842

8,870

日本：1,419
台湾：1,005

半導体およびFPD製造装置：
4,257

韓国：614

北米：5060
ヨーロッパ：339■設備投資額（億円）

2000.3

2001.3

2002.3

2003.3

2004.3■研究開発費
（億円）

494

529

538
501
441

371

309

189

0

2000.3

2001.3

2002.3123

1102003.3

2004.3

TOKYO ELECTRON

03

2000.3

環境報告書2004

2001.3

2002.3

2003.3

2004.3

President Statement

Corporate Social Responsibility（CSR）
を推進するために企業は社会的な存在であり、社会の健全な発展のために責任を果たさなければなりません。
私は、東京エレクトロンを「社会からの預かりもの」と考え、CSR経営を推進します。

「倫理委員会」は、6年前に倫理基準の制定と同時に設東京エレクトロン株式会社

置されました。グローバル・エクセレント・カンパニーに代表取締役社長

ふさわしい高い倫理観に根ざした企業文化形成のため、企業倫理に関する教育・啓蒙活動の立案、倫理基準に基づく企業倫理の実践状況を検証することなどを目的としています。
現在、日本企業では米国型のガバナンスにならい、上記のような委員会を設置する傾向が強まっていますが、当社では何年も前からこれらを実行しています。
当社の活動はグローバルに展開していますが、進出した国や地域ごとに異なるルールを正しく理解して遵守す
ることは容易ではありません。今、私たちはこれらのルー
ルを真摯に学び、
コンプライアンスを世界中で確実に守ることのできる体制づくりに努めています。こうした仕組みを中心に、全従業員が社会人としてのモラルを損なうこと

経営の透明性がCSRを本質的に進めるために最も重要です

なく、仕事をつづけることのできる環境を維持しています。

東京エレクトロンでは、
その設立から「公平・誠実な経営」という考 え方を 企 業 の 根 幹に据 えてきました 。私 は

東京エレクトロングループにとってCSRの中心は環境と安全です2003年6月に社長に就任しましたが、これまでの意志を受け継ぎ、明確にそれを意識しながら日々の経営にあ

当社の主要事業は半導体をつくる装置（半導体製造装

たっています。

置）をつくることです。より良い製品を半導体メーカーへ「公平・誠実な経営」を実践するためには、経営者が明提供することで、より高性能・高品質な半導体づくりに貢確にこれを意識すると同時に、高い水準での倫理を保持献しています。当社のCSRの中心としては、客先での装する仕組みづくりも重要になります。CSRの基礎である置操作時における安全性を絶対に確保すること、そしてコーポレート・ガバナンスについては、
当社は「指名委員会」、当社が携わるあらゆる分野で環境負荷を低減することの「報酬委員会」と「倫理委員会」という仕組みを持ってい2点があげられます。

ます。

環境と安全への取り組みの成否は、装置開発者の工夫「指名委員会」は、現社長が次期社長を任命するのではと努力に大きく依存します。開発者は日々、顧客からの装なく、独立した機関が指名する仕組みで、経営トップを選置性能に対する厳しい要求を受けながら設計を行ってい

ぶ際の透明性を高めています。私自身この委員会に指名ます。このような切迫した状況のもと、装置設計に「環境・されて社長に就任しました。この仕組みがもたらす効果

安全」という要素を盛り込むことは容易ではありませんが、を一言で言えば、「下のものが上にへつらわず、信ずると人的・資金的資源を投入し、この両立を目指しています。

ころに従って存分に仕事ができる」ことにあると思います。
「報酬委員会」は、役員報酬を決定する独立した機関で、半導体製造装置業界におけるリーダーシップを発揮します

やはり経営の透明性向上を目的とした仕組みです。この仕組みは5年前から導入され、代表取締役の役員報酬額

半導体業界は、他産業に比べて若く規制の少ない比較

は株主総会の招集通知上で公表されています。

TOKYO ELECTRON

的自由な業界です。そのため個々の企業による主体的な4

環境報告書2004私のエコライフ「釣りが好きで、休日はよく奥多摩や秋川へ出かけますが、そのたびに川の汚れが気になります。獲れた魚を安心して食べることのできる、
きれいな川を守るためにも環境保全に全力で取り組みます。」

取り組みが、社会・環境分野における様々な問題を解決し置メーカーであり、物事の判断や進退において、リーダーていくために欠かせません。

シップを発揮することが業界内だけではなく、社会からも例えば、半導体の製造工程には多くの化学物質が使用求められています。CSRの中心的課題である「環境と安されていますが、新しい製造手法が開発されるたびに新全」に対して、顧客、サプライヤーをはじめとした多くのしい化学物質が用いられることになります。その際、法的ステークホルダーの皆様と連携を深めながら、これからには禁止されていないものの、環境や安全の観点から使も着実に取り組みを進めていきたいと考えています。

用が望ましくない化学物質もあり、使用するのか否かと本報告書では、当社グループの根幹の一つを成す、「環いう判断を迫られるケースがあります。こうしたケースに境と安全」についての考え方と実際の活動について報告

おいて、当社は安全を第一に優先し、安全に使用できる

しています。皆様の声は経営判断のために極めて重要で手法が確立するまでその物質は使うべきでないと考えてす。忌憚のないご意見をお寄せくださいますようお願いいます。

申し上げます。

私たち東京エレクトロンは世界第二位の半導体製造装

東京エレクトロングループの環境に関する
基本理念／方針

東京エレクトロングループの安全／健康に関する基本理念／方針〈基本理念〉〈基本理念〉

東京エレクトロングループは、
地球環境を保全し、継続的に改善することが東京エレクトロングループの役員および従業員は、開発・製造・販売・サービ

人類共通の最優先課題の一つであり、経営上最も配慮すべきことの一つ

ス・管理等の各種業務の遂行において安全や健康に対する配慮を常にであるとの認識に立ち、地球環境との調和を保った繁栄を実現することを念頭に置いて行動する責務がある。即ち人命および（顧客に販売する／

常に念頭に置き、顧客・社会・株主・従業員から総合的に信頼され愛され社内で使用する）各種設備／機器の安全性を損なってまで、利益や納期る企業の構築を目指して、
環境保全活動を推進する。

を優先するようなことがあってはならない。

〈方針〉

〈方針〉

1. 当社グループ製品が顧客の事業運営に於いて少なからず環境負荷を

1. 当社グループ製品の製造・輸送・据付・使用・メンテナンス・サービスを行与えていることを率直に認識し、顧客と一体となって当社グループ製品

う上で少なからず顧客や当社グループ従業員に対する安全性及び健の環境負荷を低減させる為に、積極的に継続的に努力する。

康への阻害要因が存在することを率直に認識し、当社グループ製品

2. 当社グループの事業運営に於ける環境影響要因と、その環境負荷を定の安全性向上や健康影響排除のために積極的に継続的に努力する。

量的に把握し、その低減に向けて積極的に継続的に努力する。

2. 当社グループの事業運営に於ける安全性向上／健康増進阻害要因を

3. 環境関連法規・条約・協定等を遵守し、更に環境に関する各種要請を

定性／定量的に把握し、それらを改善するとともに当社グループで活先取りして自主基準を制定し、地球環境保全を推進する。

動する人々の更なる安全性向上や健康増進に向けて積極的に継続

4. 環境に関する基本理念・環境方針・環境保全推進状況を従業員に周的に努力する。

知させ、意識向上を図ると共に、社外へも公表する。

3. 安全／健康関連法規・条約・協定等を遵守し、更に環境に関する各種

5. 顧客・社会で実施・推進される環境保全活動に積極的に参画する。

要請を先取りして自主基準を制定して安全性向上・健康増進を促進する。

平成10年9月25日

4. 安全／健康に関する基本理念・方針や安全性向上／健康増進関係
活動状況を当社グループの全役員・全従業員に周知させ、意識向上を図ると共に、社外へも必要に応じて公表する。
5. 顧客・社会で実施・推進される安全性向上や健康増進関係活動に積極的に参画する。
平成10年11月27日

TOKYO ELECTRON

5

環境報告書2004

Highlight

東京エレクトロンの製品
東京エレクトロンの製品のなかで、シリコンウェーハの表面を加工する工程を紹介します。

半導体製造のプロセスは、ウェーハの表面に膜をこのプロセスのウェーハ上に半導体

シリコンウェーハ

半導体のつくり方

ほかにはこんな仕事もしています

半導体はシリコンウェーハと呼ばれる薄い円盤の上に、当社グループでは、半導体製造装置のほかにも、
FPD（フガスや薬液を用いながら微細な回路を形成する工程をラットパネルディスプレイ）をつくるための装置を開発・経て製造されます。酸化膜をつける（熱処理成膜装置）、製造しています。また、半導体などの電子部品（東京エレ

感光剤（フォトレジスト）を塗る（コータ／デベロッパ）、
フ

クトロンデバイス（株））およびインターネットテクノロジォトマスクを介してパターンを写す（露光装置）、プラズ

ー機器（コンピュータ・ネットワーク事業部）のビジネスもマを使って酸化膜を削り取る（プラズマエッチング装置）、

当社グループの大きな事業の柱となっています。

その後、イオン注入、メタル成膜、
ウェーハ検査が行われ加工は終了します。この後、ウェーハをカットし、配線・パッケージングを行うことで半導体が完成します。

TOKYO ELECTRON

6

環境報告書2004

つけたり削ったりの繰り返しです。

繰り返しによって回路がつくられます。

これをカットして配線・パッケージングすると半導体が完成します。

東京エレクトロンはウェーハの表面に膜をつ けたり削ったりする
様々な装置を
熱処理成膜装置

コータ／デベロッパ

TOKYO ELECTRON

プラズマエッチング装置

7

環境報告書2004

つくっています。

Highlight

東京エレクトロンのビジネス
東京エレクトロンの主力製品である半導体製造装置は、お客様の要求に応じて一つ一つ仕様が異なります。技術・性能に関する要求に応えながら、環境・安全に配慮した製品づくりに努めています。

半導体製造装置ができるまで
このぺージでは、一例として当社グループの主力製品である CLEAN TRACK® LITHIUS®の仕様打ち合わせ、使用する国や装置のレイアウト

設計、製造、出荷・搬入、立ち上げ・検収、半導体製造といっにより同じ装置でも仕様が異なた各場面での業務内容と環境・安全に関する現場からのるため、一つひとつがオーダーメ

コメントを掲載しました。これらすべてで環境・健康・安全ードで設計されます。製造、
稼動、
メンテナンスなどのライフサイクへの配慮が重要であると考えています。

ルでの環境・安全に配慮して設
東京エレクトロン九州株式会社 計しています。最近では、鉛フリ
ー化が大きな課題です。
設計部門

2.
設 計

1.
仕様
打ち合わせ

お客様との打ち合わせは、納期や金額、詳細な仕様の決定などに時間をかけて行っています。地域ごと、顧客ごとに環境に対しての規制・規則が異なるので、営業担当として環境・
東京エレクトロン株式会社
営業部門

安全に関する法律や規制の知識を得る努力をしています。

ユニット同士の組立と検査を行う
ことがメインの仕事です。以前は出荷検査にアルコール類を用いていましたが、純水に変更し、省資源に寄与しています。新規装置の組立時など、安全に対して
東京エレクトロン九州株式会社 十分注意を払っています。
製造部門

TOKYO ELECTRON

8

3.
製 造

環境報告書2004

2004年1月から量産を開始したCLEAN
TRACK LITHIUSは、基本コンセプトとして、使用時のレジスト消費量削減や、作業上の安全性を考慮しています。また、
この装立ち上げ作業は、最終的な検置の技術で半導体の微細加工をさらに進収まで1〜2カ月くらいかかります。お客様の拠点での作業ですので、整理整頓に努め、薬液類の漏洩などの事故がめることが可能となり、社会の発展にも貢東京エレクトロン株式会社 執行役員
クリーントラックBU ジェネラルマネージャー

献できるものと考えています。

伊東 晃

無いように作業を行っています。
東京エレクトロン九州株式会社
技術サービス部門

5.
立ち上げ
・
検収

6.
半導体
製造
装置のメンテナンスや万が一のトラブルのため、国内はもちろん海外の顧客周辺にステーションを設置し、お客様のサポートを行っています。パーツ類の引き取り、
メンテナンス後の東京エレクトロンFE株式会社 再利用なども行っています。
フィールドサポート部門

清浄度を保つため特殊な梱包を行います。装置の大型化により、積み込み、運搬、据付の作業におけるリスクは高くなってきていますが、安全に最大限

4.
出 荷
・
搬 入

TOKYO ELECTRON

配慮しながら行っています。品質を落とさず、過剰にならない簡易梱包や納省資源・
東京エレクトロンBP株式会社 入後の梱包材を持ち帰るなど、
リサイクルの推進に努めています。
物流部門

9

環境報告書2004

Environmental Report

EHSマネジメント
東京エレクトロングループは、EHS活動をグローバルに展開しています。

東京エレクトロングループのEHS

EHSマネジメントシステム

東京エレクトロングループの事業が環境に影響を与え

製造系の各事業所では、ISO14001に基づく環境管ているとの認識に基づき、1997年よりISO14001に基理システムを構築し、認証を取得しています。2004年

づく環境管理と認証取得を各事業所で行ってきました。

度は東京エレクトロンデバイス（株）横浜事業所および東

また、事業にかかわるあらゆる人々が、健康かつ安全で、

京エレクトロンAT（株）宮城事業所も認証取得予定です。

快適な生活を継続的に送れることも、環境問題と同様、とまた、OHSAS18001および厚生労働省指針などに基ても大切なことと認識しています。この取り組み姿勢をづいた「労働安全衛生マネジメントシステム」の構築も明確にするため、1998年に、「環境に関する基本理念／

行っており、EHSのマネジメントを推進しています。

方針」および「安全／健康に関する基本理念／方針」を■ISO14001認証取得事業所および認証取得予定一覧

制定いたしました。また、経営理念でも安全と健康と環境について明記しており、EHS（Environment, Health＆Safety）をグループ全体で推進しています。

EHS推進体制

会社名

事業所名

認証取得（予定）年月日

東京エレクトロンAT／
東京エレクトロンFE

相模事業所

1997年
12月10日1110-1997-AE-KOB-RvA

東北事業所

1998年
2月19日

1118-1998-AE-KOB-RvA

東京エレクトロンAT

EHSに関する活動体制は「プロダクトEHS」、「顧客先
作業EHS」、「ファクトリー＆オフィスEHS」の3つを柱としています。
東京エレクトロン九州■TELグループのEHSの推進体制

委エ装
員グ置
会ゼ E
クH
テS
ィ
ブ

営業/
マーケティング
装置EHS委員会

東京エレクトロン
デバイス

山梨事業所
1998年
（藤井／穂坂地区） 5月15日

認証番号1124-1998-AE-KOB-RvA Rev.1

宮城事業所

2004年12月
認証取得予定

佐賀事業所

1998年
3月12日

1119-1998-AE-KOB-RvA

熊本／合志事業所

1998年
3月26日

1120-1998-AE-KOB-RvA

大津事業所

1999年
8月27日

1414-1999-AE-KOB-RvA

横浜事業所

2004年7月
認証取得予定プロダクトEHS〈当社グループで製造する装置についてのEHS活動〉

EHS活動のチェック体制

装置EHS
技術委員会

当社グループでは、EHSマネジメントシステムの強化のため、チェック機能を担う監査部分のレベルアップを図

グ
ロ
ー
バ
ル
E
H
S
会
議

っています。これらのシステムおよび成果の監査は、事業
顧客先作業
EHS委員会所、
グループ内、第三者により複合的に行われています。

顧客先作業EHS

その中でも現在最も積極的に推進しているのは、2002〈お客様の拠点でのEHS活動〉

年度より開始した各事業所のEHS代表者がEHSに関する項目評価を相互に行う「TELインターナルアセスメント」
です。2003年度は2つの事業所にて実施されました。
2004年度は、現在の労働TELグループ
安全衛生委員会

安全衛生・作業安全の内容

ファクトリー＆オフィスEHSTELグループ
環境安全推進委員会に「 環境パフォーマンス、〈各地区でのEHS活動〉

遵法」と「装置EHS」の内容を追加し、さらにレベルアップを図っていきます。

TOKYO ELECTRON

10

環境報告書2004

現場巡視の模様Environmental Report

環境会計
環境活動に要した費用やその効果を正確に把握することで経営に生かしています。

環境保全コスト

環境会計の考え方
企業の環境活動に要した費用やその効果を把握し、経2003年度における、環境保全コスト（投資と経費）は営に生かすためのツールが「環境会計」です。当社グル下表の通りです。

ープは、企業活動のうち環境保全活動にかかわるコスト

集計対象は、当社グループの国内事業所で、設備投資を定量的に把握し、企業活動の指針として活用するために、の減価償却費については、1999年度に設備投資したも「環境会計」制度を導入しています。

のから集計しています。

「環境会計」制度導入の5年目に当たる2003年度は、■投資額の内訳

環境活動に要した設備投資額および費用額の集計精度■経費額の内訳

管理活動コスト
2.0%

資源循環コスト
0.4%などを、よりいっそう向上させるように努めました。これ
からもさらに、環境保全活動に継続性を持たせていく方

公害防止コスト8.2%

地球環境保全コスト2.2%

社会活動コスト1.7%

上・下流コスト
22.8%

資源循環コスト
12.5%

針です。
公害防止コスト61.2%

地球環境保全コスト13.6%

なお、環境会計は『環境会計ガイドライン（2002年版）』

研究開発コスト60.7%

管理活動コスト
11.8%

や『環境会計ガイドブックⅡ』（環境省）に準拠しています。
上・下流コスト3.0%■2003年度環境保全コスト
集計範囲：東京エレクトロングループ国内全事業所（札幌、東北、宮城、赤坂、府中、横浜、相模、穂坂、藤井、尼崎、大阪、佐賀、熊本、合志、大津）
集計期間：2003年4月1日〜2004年3月31日
環境保全コストの分類
1．事業エリア内コスト
1.1 公害防止コスト
内訳
1.2 地球環境保全コスト
1.3 資源循環コスト
2．上・下流コスト
3．管理活動コスト
4．研究開発コスト
5．社会活動コスト
6．環境損傷コスト
7．その他のコスト合計

主な取り組みの内容 （設備、備品、リース、償却、維持管理、等）

投資額
104,01284,60918,820583
31,575
2,770
0
0
0
0
138,357

大気汚染、水質汚濁、土壌汚染防止など
温暖化防止、オゾン層保護など
資源の効率的利用、廃棄物減量化など
グリーン購入、グリーン調達など
環境教育、環境負荷の監視・測定など製品の研究開発など
緑化、地域の環境活動支援、情報開示など
自然破壊の修復など
その他

（千円）
経費合計
683,504
246,11264,945
372,447
88,606350,993
1,812,572
50,440102
02,986,217

環境保全対策に伴う経済効果
環境保全対策に伴う経済効果の集計結果は、下表に

本報告書の環境会計の項目としては、「環境保全対策

示した通りです。

に伴う経済効果」のみを公表しております。

■2003年度環境保全対策に伴う経済効果
集計範囲：東京エレクトロングループ国内全事業所（札幌、東北、宮城、赤坂、府中、横浜、相模、穂坂、藤井、大阪、尼崎、佐賀、熊本、合志、大津）
集計期間：2003年4月1日〜2004年3月31日
環境保全コストの分類

費用削減

収益

内容

電力およびその他のエネルギーについての効果
水についての効果
紙についての効果
各種資源についての効果
その他についての効果
廃棄物に関する効果
水域および土壌への排出に関する効果
費用削減合計各種資源についての効果
廃棄物に関する効果
収益合計
合計

TOKYO ELECTRON

電力の使用量の削減
水の使用量の削減
紙の使用量の削減
重油使用量の削減
廃棄物処理量の削減
廃棄物処理量の削減

11

環境報告書2004（千円）
金額
78,613
7,330
9,095−1,066
10,893
103,494
1,398
209,757
53
3,421
3,474
213,232

Environmental Report

EHS活動の目標と実績
東京エレクトロングループは、環境および安全・健康に関する基本理念／方針を基に、目標を設定し、活動を行っています。

東京エレクトロンは、環境と安全・健康に関する考え方しました。これらの理念／方針を基に、グループ全体でを明確にするために、1998年に環境に関する基本理念

EHS活動を推進しています。2003年度の計画と実績お／方針および安全・健康に関する基本理念／方針を制定

よび2004年度以降の計画・目標は下表の通りです。

■EHS活動目標と2003年度実績
2003年度活動計画

エコプロダクツエコファクトリー

労働安全衛生EHS
マネジメントシステム

実施結果

LCA（ライフサイクルアセスメント）の実施

新規開発装置にて実施

製品の鉛フリーはんだ導入の推進推進組織を立上げ活動を開始

グリーン調達の推進

取引先教育を実施

評価

2004年度以降の計画、目標

参照○

継続して実施P16○

鉛フリーはんだ部品、基板の単体評価を実施開始

P18○

TELグループ禁止化学物質の装置含有状況の把握

P19
P20

ゼロエミッションの推進

九州地区4事業所で達成、グループ全体でのリサイクル率は93％に上昇○

残る製 造 系 事 業 所で の ゼロエミッションを
2005年度までに達成、全体のリサイクル率を
2005年度までに95％以上にする

エネルギー使用量の削減（省エネ法に基づき、CO2発生量ベースで売り上げ原単位比1％削減）

各地区で、省エネルギー活動を行った結果、昨年度から売り上げ原単位で13％削減○

さらに省エネルギーを推進し、1997年原単位
に近づける

P21

PRTR対象化学物質の使用量継続把握

対象物質の使用量把握○

排出先の把握、使用量の削減

P23

休業4日以上の人身災害0件、人身事故件数を
昨年度比30％削減

休業4日以上の事故数件発生、人身事故は約25％の削減△

2004年度は同じ目標で再度設定

P24

事務所系事業所での環境活動の実施継続

活動継続中

○

東京エレクトロンデバイスでのISO14001認
証取得

P10

製造系事業所にて労働安全衛生マネジメント
システムの導入

未導入事業所でのリスクアセスメ
ントを推進

○

リスク削減プランの確実な実行と確認

P10

EHS相互アセスメントシステムの構築

評価担当者を養成し、2事業所において相互アセスメントを実施○

労働安全だけでなく、環境パフォーマンス、装置EHSに関する項目のアセスメントの実施

P10

海外オフィスでの活動推進

各地区での活動の把握、一部海外地区での営業担当者向けEHSハンドブック教育実施○

環境教育の実施検討、未実施地区への展開、教育実施状況のWeb等での把握検討

P25○目標達成 △目標の80％を達成 ×目標達成度80％以下

設計の時点から環境と安全に配慮する。その機運を高めることが課題です。
東京エレクトロングループでは、廃棄物処理やリサイクルなどを念頭に置いて開発を行うことは家

これまで営業は営業、技術は技術と、電メーカーでは以前から実施されており、当社グループもそのようなそれぞれ明確に役割分担をしてき発想を強く持たなければなりません。そういった機運を盛り上げていました。しかし、どちらの立場でも、くことも、環境安全推進センターの課題と言えます。

環境負荷や安全についての考え

東京エレクトロン株式会社
製造部門担当 執行役員

中嶋 敏

今後の課題としては、
まず鉛フリーへの対応、
そして工場内での方や知識の共有化を図り、営業と装置安全を自分の目でもう一度確実に検証し、確認することが必工場のノウハウや知識を総合した

要になると思います。

活動をするべきです。
当社グループが生産する装置

私のエコライフの「環境負荷低減」という観点からは、その内奥に分け入っていくこ「自宅が農家ですから、休みの日とが大事です。開発者の能力が、装置の環境・安全性能の決め手には農作業に励んでいます。」の一つであることは明らかです。
「環境・安全」に配慮しながら材料の選択・設計ができる人材の育成にも力を注いでいきたいと思っています。

TOKYO ELECTRON

12

環境報告書2004

Environmental Report

グループ会社の環境活動
当社グループのうち、2社の環境・安全への取り組み、活動の方針を紹介します。

東京エレクトロン 九州株式会社

東京エレクトロン AT株式会社

代表取締役社長

代表取締役社長

岩津 春生

竹渕 裕樹

性能を向上させることから、無駄を省き、環境負荷を低減していきます。

「品質主義」を掲げてEHS活動を推進しています。

東京エレクトロン九州の事業内容は、熊本を本拠地とした半導体／FPD製造装置の研究開発・設計・製造・据付です。現在の環境についての課題は、
いかに廃棄物を出さないかということです。品質向上を図ることで不良品を減らし、効率を上げること
で工場の使用エネルギーを削減しています。当社の装置性能が上がることによる歩留まりの向上が実現できれば、環境面でもコ
スト面でも効果は絶大です。いわゆる省エネルギー活動に取り組
むのはもちろんですが、性能向上にも注力した製造活動を展開していくべきだと考えます。
お客様にとって、より良いパフォーマンスを発揮するために、
こ
れまでは5拠点で半導体製造装置の評価を行っていました。今後は、これを見直し、拠点集約し、トータルで見た電気や薬液の使用量を削減していく予定です。クリーンルームのクリーン度と装置パフォーマンスとの関係を技術的な面から検証し、製品の性能を保ちつつ、最大限の環境負荷低減にも挑戦していきたいと思っています。

東京エレクトロンAT株式会社は、効率化、活性化を目的に山梨と東北地方に分散していた機能を統合して2004年4月にスタートを切りました。スタートと同時に「品質主義」をテーマに掲げて全社をあげたキャンペーンを展開しています。
「品質」という言葉のなかには、「安全」の意味合いが色濃く含まれています。安全が確保された企業でなければ社会に存在することはできないという信念のもと、安全を審査する人材を開発の時点から配置することで、安全性に配慮した企業活動を展開しています。
また、装置の排ガスや電気使用量を減らすことに開発段階か
ら取り組んだり、工場からの最終的排出量が少なくなるよう、仕入の段階から気を配っています。
近年、半導体メーカーは、自社内での試運転期間をかけず、即量産できるよう、当社ほか、半導体製造装置メーカーに出荷前に充分なチェックを行うことを求めています。そのため、当社での環境負荷は以前に比べて増えており、当社にとってはエネルギーの削減は難しい状況であると言わざるを得ませんが、これによって、お客様の側での廃棄物やエネルギー消費量の削減が進んでいます。
現在、家電メーカーにとって省電力はミッションの一つです。我々が提供する装置でつくられる半導体によって、環境配慮型の製品ができる、という信念のもとに、私たちは誇りを持って装置製造に取り組んでいます。

私のエコライフ

私のエコライフ「熊本は水と空気がおいしいと「休日には緑の中を散歩したり、ころです。私の自宅は木々に覆

健康のために気功を取り入れ

われた自然の中にあり、野菜やた呼吸法を行ったりしています。」

お茶などを無農薬で自家栽培しています。」

TOKYO ELECTRON

13

環境報告書2004

特 集装置環境・安全担当者 意見交換会報告
東京エレクトロングループの環境安全活動は、製品開発・設計時の安全・環境配慮が重要です。
今回、装置の安全と環境に携わる担当者が集まり、現状および今後の課題について語り合いました。
これをきっかけに、今後もBU・事業部の枠を超えた話し合いを継続していきます。

東京エレクトロン九州株式会社
クリーントラック事業 品質保証部

井上 智

東京エレクトロンAT株式会社
環境安全衛生センター

数野 幸次

東京エレクトロンAT株式会社
ESD品質CS部門 ESD品質保証部

小林 俊弘

東京エレクトロンAT株式会社
FPDシステムBU FPD品質保証部

前田 ゆう司

東京エレクトロン九州株式会社
洗浄システムBU 管理部

副島 賢二

東京エレクトロンAT株式会社
TPS技術管理室

上野 正光（写真左から順に掲載）「安全」は相当なレベルにきました。
「環境」は第一ステップを終え、いよいよ本格的な環境配慮に取り組む段階です。

が無いため、必須事項としての意識が高まりにく小林sお客様における装置使用時の「安全」については、

いのではないでしょうか。決め手はお客様からの生産性や品質の向上に結びつきます。一方、装置の環境配慮については、安全と違って明確な基準

開発担当者が最優先事項として取り組んできました。

要求だと思います。

現時点で相当なレベルに達していると思います。
これは各装置に共通していえるのではないでしょ副島sお客様から装置の環境負荷データ提出を求めらうか。これに対して、「環境」は、
省エネルギーなど、れる事例や、環境についての問い合わせが増えてお客様からの要求が明確なものや、鉛フリーのよきています。当社グループの装置の環境配慮に対うに規制が明確なものは目標達成の足がかりが得するお客様の関心はかなり高まっています。

やすく、これまでも一定の成果をあげてきています。
前田sFPD製造装置の安全面で最も時間を費やしてい上野s環境については、具体的な基準がないものは、定るのは、労働安全です。重量60トンの製造装置を性的な目標を定めてそれを達成するという過程扱うわけですから、働く場での安全には気を使いが必要です。そのためには、全社で設定した装置

ます。半導体製造装置と比較すると、FPD製造装＊

EHSロードマップ をさらに推進する必要がある

置に対するお客様からの環境配慮に関する要望と思います。

は少ないようですが、今後は高まるものと予想し＊ 装置EHSロードマップ：東京エレクトロングループ全体での装置EHSの目標。製品使用時の消費・放出量削減、LCA（ライフサイクルアセスメント）、
グリーン調達、鉛フリー、
リサイクルなどの項目がある。

ています。

環境への取り組み
環境でリーダーシップを取るために

数野sお客様の安全だけでなく、当社グループ内の労働

井上s装置の鉛フリー化については、
トップからの指示に安全も重要な項目です。安心して働ける環境は、従って活動を始めて、全社横断的な検討チームがTOKYO ELECTRON

14

環境報告書2004

■装置EHSロードマップ 使用時の消費・放出量削減目標
1997年度基準＊1

1999年度基準＊2

2005年度目標

2007年度目標

200mm装置

300mm装置200mm装置

300mm装置

300mm装置

エネルギー消費量

1＊1

1＊2

0.8

0.5

0.4

水消費量（冷却水等）

1＊1

1＊2

0.8

0.4

0.4

水消費量（超純水）

1＊1

1＊2

0.65

0.7

0.6

＊3 放出量

HAPs

1＊1

1＊2

0.35

0.4

0.35

VOCs＊4 放出量

1＊1

1＊2

0.35

0.4

0.35

＊1 200mm装置の1997年度における単位面積あたりの消費量・放出量を基準値とする＊2 200mm装置の1999年度における単位面積あたりの消費量・放出量を基準値とする＊3 HAPs（Hazardous Air Pollutants）：有害大気汚染物質＊4 VOCs（Volatile Organic Compounds）：揮発性有機化合物組織され、予算もつきました。一つのテーマに対小林s装置安全技術と異なり、環境技術は要素技術を知して全社で注力するという方法を取ったことにより、らないと取り組むことができません。環境担当者

東京エレクトロングループの環境への取り組みがが開発担当者と協力して要素技術を蓄積し、それ次の段階に進んだように思います。産業用の装置を設計担当者にフィードバックしていくことが大切をつくっている会社としては、鉛フリー問題では先だと思います。

陣を切っているのではないでしょうか。
井上s例えば、有害物質の削減について、鉛の次は何に
副島s環境の場合、難しいのは、環境負荷の種類が装置

取り組むか。おそらく対象を絞りこみ、段階的に進ごとに異なるという点です。鉛は全装置に関係しめていくことが現実的でしょう。そのようにして一ているので合意を取りやすかったのですが、それ

歩ずつ環境への取り組みを推進していきたいと以外のものについて、全社的な目標を設定するの思います。

は難しいと思います。

まとめ

井上s装置ごとに環境目標を設定して、それを推進していくためには、当社グループの一人ひとりが「環境以下は意見交換会のまとめです。今後、当社グループ全体で、保全に取り組む」という意識を持ち、開発担当者がこれらの課題を解決するための具体策を継続的に議論していき

最大限環境配慮に注力できる環境を全社的につくます。

ることが大事だと思います。

q 「装置の環境配慮」が、当社グループの環境・安全への取り組みにおける中心課題の一つである。

また、「環境でリーダーシップを取ろう」というw

社長からのメッセージがあります。全社的にこの本課題が重要であるという意識を、従業員一人
ひとりに広げる必要がある。

考え方を広めていくことが大切だと思います。

e 環境技術の専門部署設置の是非について、今後継続的に議論を重ねる。

上野s環境でリーダーシップを取るためには、開発担当者

rだけが装置性能と環境に配慮するのではなく、環境

鉛フリーのような、全社の共通テーマを設定す
ることについて、今後も議論を重ねる。

技術の専門部署を設け、開発担当者と連携して装置開発を行う仕組みを設けることも一つの考え方です。

TOKYO ELECTRON

15

環境報告書2004

Environmental Report

製品における環境への取り組み
東京エレクトロングループは、LCA（ライフサイクルアセスメント）に継続的に取り組んでいます。
これを製品開発に生かすことで製品使用時の環境負荷低減に努めています。

し、
省エネルギー・省資源に焦点を当てて活動しています。

製品環境負荷低減の推進
東京エレクトロングループは、お客様からの提案を製

LCAについては、現在各ビジネスユニット（BU）
・事業

品に反映し、半導体製造時の環境負荷低減や、装置材料部で新規開発装置のLCAデータを集計して環境負荷をからの有害物質排除を進めてきました。なかでも、製品把握し、装置の改良や次世代機種に反映させています。

のライフサイクルを通じた環境負荷について知りたいと

また 、鉛フリーに取り組むタスクチ ー ムを 発 足させ 、いう要望を重視し、いち早く製品の製造から使用、廃棄ま

2006年生産分からの実施を目指しています。

での各段階における環境負荷に関するデータを集計して社内活動とともに、
装置製造における資材調達についてきました。現在、製品のLCAデータの蓄積、製品設計時も、環境負荷を考慮する必要性から、
グリーン調達推進WGのデータ活用により、当社グループでは業界をリードするを発足させ、取引先への当社要求水準を明確にしました。

レベルまで向上しています。また、
クリーンルームヘの放取引先の環境対応を調査し、必要に応じて環境教育を

熱量削減による省エネルギーの取り組みなど、あらゆる実施し、環境活動を支援しています。

観点から環境配慮を推進しています。

当社グループの装置へのEHSに関する事項は、お客様から要求事項として明記されるようになり、製品の初期開発および設計段階でEHSのコンセプトを取り入れる

環境負荷低減の推進組織
当社グループでは、装置の環境負荷低減について一貫ことが重要な課題となっています。さらに、当社グループ

して取り組む事項、重点事項を明確にし、環境面での性能のグローバル化に連動して、各国の法律への適合も求め向上を図っています。装置EHS技術委員会（10ページ参照）

られています。これらに対応し、推進するため積極的にのもとに、
エコデザイン・ワーキンググループ（WG）を設置

Design For EHS を推進しています。

TOPICS
新規開発装置におけるLCAの実施
環境負荷をライフサイクルごとに把握しています。これらの評価

当社グループ共通の基準で客観的に装置の環境負荷を結果を次世代の新規開発装置へフィードバックすることで、環境評価する手法としてLCAの実施に取り組んでいます。
これは経済産業省の支ご紹介する装置はTrias® SPAで、負荷の低減に努めています。なお、Trias SPAは、2003年6月京

援のもと、東北大学と共同開発したウェーハ酸化・窒化処

都で行われた第2回産学官連携推進会議にて、内閣総理大臣

理を行う成膜装置です。半導体加工の微細化が進むにつれ、賞を受賞しました。

従来のプラズマ処理によるダメージが無視できなくなってい■ライフサイクルにおけるCO2排出率

ます。Trias SPAでは、SPA（Slot Plane Antenna）
を用い

（％）

CO2排出率96.2%

ることで、低電子温度・高プラズマ密度を両立させウェーハにダメージを与えずにプラズマ処理を行えます。当社グルー
プは、このような新しい技術を用いた装置にも、LCAを実施し、
0

2.6%
素材製造

1.0%
製造組立

0.1%
装置輸送

装置使用

0.1%
廃棄時

■装置使用時のCO2排出率（％）

CO2排出率
59.5%
32.9%

0
Trias SPA

内閣総理大臣賞の表彰状と盾TOKYO ELECTRON

16

電力

環境報告書2004

冷却水

3.9%

3.7%

排気

N2ガス

クリーンルームでの省エネルギー●熱源の冷却方法を変更●効率の良い熱交換方式に変更

当社グループの主力製品の一つである熱処理成膜装置は、熱交換器が従来型より効率良く熱を吸収できるように、冷半導体製造時に高温でウェーハに成膜を行います。この処理

却水の滞留時間を長くし、従来型よりもコンパクトにしたプレを行うクリーンルームでは、パーティクル（微細なチリやゴミ）ート式のものを採用しました。この結果、熱排気配管の熱がクの量や温度・湿度を特殊なエアーコンディショナーで管理してリーンルームに与える負担が少なくなりました。

います。クリーンルーム内の高温処理は、
このエアーコンディ■熱交換器の方式変更

ショナーに大きな負担をかけ、電力エネルギーの使用量を増加させることにつながります。エネルギー使用量を削減する

従来式

新方式

エアーIn

エアーIn

ため、当社グループの新製品 TELFORMULA® では、新たな方式が採用されています。
冷却水Out

従来型では、
ウェーハを処理する際に装置内で発生する熱コンパクトかつ熱交換率の良い
プレート式のものに変更

冷却水Outを、発熱部外郭に配した配管に流す冷却水を媒体として装置外部へ排出することによって、装置表面から直接クリーン

冷却水In

冷却水In

ルームへ放出される熱を抑エアーOut

エアーOut

制していました 。この 構 造
をTELFORMULAでは、冷■電力使用あたりの放熱率とプロセス温度

却水を層状に囲んだ形にし、（％）

さらに天板部分にも冷却水

従来型

新型

電
力 16
使
用
あ 12
た
り
の 8
放
熱
率
4

を通すことで熱の吸収効率をあげることができます。この新しい方式により、クリーンルームでの電力使用量を大幅に削減することが可能

0になりました。

TELFORMULA

300

400

500

600
700
プロセス温度

800

900

1000（℃）■熱源の冷却方法の変更
従来式●次なる取り組み

新方式

こうした新しい方式・システムの開発に続き、次世代の放熱
冷却水In

天板部分の冷却量対策として、急速冷却システムのクローズドシステム化を検冷却水In討しています。

断熱材
側面の冷却■急速冷却システムのクローズドシステム化
冷却水Out

冷却水Out現状

将来

オープンシステム
熱源

熱源

熱交換器
冷却パイプ

層状に冷却水を通す

クローズドシステム

熱排気

熱交換器

ブロワー
ブロワー

TOKYO ELECTRON

17

環境報告書2004

Environmental Report

製品における環境への取り組み

年度に取引先への現状調査を実施しました。2004年度

鉛フリーへの取り組み＊1＊2

EU（欧州連合）では、WEEE とRoHS に基づき、は、取引先での主な課題の明確化、技術基準の制定と製2006年6月までに鉛をはじめ、水銀、カドミウムなどの造工程への導入方法の検討を進め、単体評価内容の決定・有害物質を電気機器へ使用することが禁止されます。半

実施、組み込み評価内容と組み込み評価機の決定などを

導体製造装置はこれらの指令の対象外ですが、東京エレ行い、組織的な対応を進めていく予定です。

クトロングループでは汚染の未然防止に努めるため、自＊1 WEEE：Waste Electrical and Electronic Equipment（廃家
電・電子機器に関する欧州指令）

主的かつ計画的に鉛フリーの取り組みを進めています。

＊2 RoHS：Restriction of the use of certain Hazardous
Substances in electrical and electronic equipment（電気電子機器に含まれる特定有害物質の使用制限に関する欧州議会および理事会指令）

当社グループでは、鉛フリーはんだの導入を推進する
ため、各社・各BU・事業部代表者による鉛フリータスクチームを結成し、活動を行っています。具体的には、2003■鉛フリー実施計画
2003年度

目標
4月

7月

10月

2004年度
1月

4月

7月

10月

2005年度
1月

4月

7月

2006年度

10月

1月

4月

7月

鉛フリータスクチーム結成、活動開始
方針アナウンス（対取引先）
採用する技術と材料検討
取引先調査および協力／対応計画
OEMメーカーとの対応策
基板、モジュール単体評価
基板、モジュール組み込み評価
生産準備
2006年以後実施
年以後実施

生産開始

TOPICS
現像液消費量を大幅に削減
当社グループでは、環境負荷の低減/コスト削減を考慮し、装

発し、塗布現像装置の主力製品であるCLEAN TRACK LITHIUS
および CLEAN TRACK ACT®シリーズへの採用を進めています。

置稼働時の薬液使用量の削減に取り組んでいます。
リソグラフィー工程においては、
レジストと呼ばれる感光剤（有■現像液消費量

機材料）をウェーハ上に塗布し、露光機にてパターンを焼付けた

グラフはウェーハ1枚（1回の現像処理）に必要な現像液消費量を示しています。現在、最先端プロセスはArF露光で行われており、従来の現像手法ではKrF
よりも消費量は増加しています。次世代で検討されているF2露光でもこの傾向は継続すると予想されています。

後に現像処理を行います。現像処理にはTMAH（水酸化テトラ
メチルアンモニウム）水溶液を用いるのが主流です。半導体技術の微細化に伴ってレジスト表面の撥水性は高くなる傾向にあト表面の撥水性が高くなるため現レジスト表面接触角（degree）
レ
ジ
ス
ト
表
面
接
触
角

現
像
液
消
費
量

像液の使用量が増加します。
当社グループではレジスト表面の撥水性によらず、現像液消費量を従来の5分の1程度まで削減する新型ノズルと現像手法を開現像液消費量（ml）

ります。従来のパドル現像方式と呼ばれる現像手法では、
レジス

0
CLEAN TRACK LITHIUS

TOKYO ELECTRON

18

KrF

環境報告書2004

ArF
F2
従来方式

KrF

ArF
新方式

F2

0

グリーン調達の考え方
当社グループの主力製品である半導体／FPD製造装入を進めています。将来は「環境置では、装置を構成する原材料や部品を外部から調達し面で一定の基準を満たした取引先」ています。当社グループの事業活動全体の環境負荷を低に限定した資材調達を実施する予減するためには、調達する部品、原材料が環境に配慮し定です。

て製造されたものでなければなりません。そこで、当社＊グリーン調達ガイドライン：化学物質、省エネルギー、包装、梱包、省資源、リサ
イクル、情報提供についての基準と努力目標を定めています。

グループでは、環境負荷低減活動を積極的に行っている＊取引先から、
グリーン調達ガイドライン に従い、物品の購

グリーン調達ガイドライン■グリーン調達の実施計画
題目

2003年度

2004年度

2005年度

2006年度

2007年度

調査／改善指導

調査／改善指導

調査／改善指導

調査／改善指導

調査／改善指導

機器／部品に関するグリーン調達
取引先調査および環境管理改善指導
取引先との関係の見直し

取引先との関係見直し

製品含有禁止物質リストの作成

リスト作成

製品含有禁止物質への協力依頼とデータ収集

データ収集／パーツマスターへの登録

製品含有禁止物質不使用部品への代替化

製品含有禁止物質を使用しない設計の推進

2003年度の取り組み結果

製品含有禁止／削減物質の明確化
当社グループの製品を構成する部品や材料に含有さ2003年度は、環境配慮の度合いを4段階で評価したれる化学物質について、法規制された化学物質だけでな

結果、取り組みが十分ではない取引先の環境改善を引きく、環境に負荷を与える物質の削減および代替を推進す

続き進めていきました。この結果、Dランク（環境配慮がるため「製品含有禁止／削減物質ガイドライン」を制定し、十分でない取引先）の数はさらに減少しました。今後は、対象物質を明確化しました。そして取引先に対しこれら

取引先品質評価内容にもグリーン調達の評価内容を認

物質の含有状況に関する調査を開始しました。また、部品・定に反映し、取引先と協力して環境負荷の低減を進めて材料に含有されている化学物質の状況を当社グループ

いきます。

の統合部品データベースに登録し、部品検索・発注時に■取引先の環境活動調査結果推移

その情報がわかるようなシステムを構築していく予定です。

（%）

2001年度

93%■製品含有禁止物質リスト
物質群名
アスベスト類

2003年度末

68%
ふっ化水素及びその水溶性塩

カドミウム及びその化合物

ベリリウム及びその化合物

六価クロム化合物

ＰＣＢ（ポリ塩化ビフェニル）類

シアン化合物

オゾン層破壊物質

水銀及びその化合物

ハロゲン系難燃剤

有機スズ化合物

特定臭素系難燃剤（PBB,PBDE等）

セレン及びその化合物

ポリ塩化ナフタレン（塩素数が3以上）

ダイオキシン類

有機塩素系物質

砒素及びその化合物

ＰＦＯＳ 及びその同族体

32%

7%
0

＊

＊PFOS：Perfluorooctane sulfonate（パーフルオロオクタニルスルホン酸）
PFOSは、中間体でこれを原料にして目的の物質が合成される。

TOKYO ELECTRON

19

環境報告書2004

A〜CランクDランク

Environmental Report

事業所における環境への取り組み
東京エレクトロングループは、全社的なEHSマネジメント体制のもと、すべての製造系事業所、事務所系事業所において環境負荷低減の取り組みを推進しています。

廃棄物削減、リサイクルの考え方

ゼロエミッション「廃棄物は出さない。出してしまった廃棄物はリサイク

当社グループでは、廃棄物の削減とリサイクルを推進し、ルする。リサイクルできない廃棄物は適正に処理する」。

目標とする指標を達成した事業所を「ゼロエミッション事

東京エレクトロングループではこの考え方を基本に、廃業所」としています。具体的には、単純な焼却処理や埋め棄物削減に取り組んでいます。最近では最終処分場の不立て処分を行う廃棄物量を2％未満とした事業所をゼロ

足や埋め立て処理コストの上昇などで、廃棄物削減は環

エミッション事業所と定め、ゼロエミッション活動を推進

境負荷を減らすと同時に、製造コスト削減にも結びつきしてきました。その結果、2003年度には東京エレクトロます。具体的な活動として廃棄物の分別回収、リサイクル

ン九州の4事業所（佐賀、熊本、合志、大津）でゼロエミッ

業者の開拓、廃棄物処理委託業者の認定管理、最終処分

ションを達成しました。

状況の定期的な確認、廃棄物が発生しない工程への変更

当社グループでは、2005年度までにすべての国内のなどを行っています。また、海外からのお客様、グループ

製造系事業所でゼロエミッションを達成することを目標

会社社員も廃棄物を分別に掲げ、活動を推進しています。

できるように回収容器に4カ国語表示を行っています。
こうした活動を通して、環TOPICS

境負荷低減を進めています。

穂坂事業所での廃液処理設備の導入
当社グループの穂坂事業所からウェーハや石英洗浄後

4カ国語の分別表示の廃液として排出される高濃度のフッ酸廃液は、既存設備で処理ができません。従来は、発生の都度事業所内の廃液

廃棄物量とリサイクル率

タンクにため、外部の業者にタンクローリーにて運搬、処理

当社グループ全体で最終処分した廃棄物量とリサイク

委託していました。2003年6月よりこの廃液を処理すること

ル率をグラフで表しました。資源の有効利用に努めてきができるフッ酸処理設備を導入しました。その結果、穂坂事た結果、
リサイクル率は年々上がっています。

業所より排出されていた約300トン/月の廃液を自社内で処理することが可能になり、廃液としての廃棄物を大幅に削減

当初の計画では、2005年度までに全体のリサイクルできる体制が整いまし

率を90％以上にするよう進めていましたが、2003年度

た。また、委託処理金のリサイクル率は93％となり、目標を事前に達成しました。

額や廃棄物運搬による

そこで、新たに「2005年までにリサイクル率95%以上」

環 境 負荷も大 幅に削減することができました。

として再設定しました。

廃液処理設備■リサイクル率、廃棄物量（%）

リサイクル率

廃棄物量（焼却および埋め立て量）（t）■穂坂事業所の四半期ごとの廃棄物量推移
93.1%

廃液類

（t）

リサイクル率95％（2005年度目標）

その他の廃棄物

93
77.4%

69.7%
59.9%
40.9%

55.2%
49.7%

700
114

15.3%
0

0

4,238 4,772 3,189 3,179 3,657 3,938 3,268
96

97

98

99

00

01

02

847
03

第1四半期
（4〜6月）

104
第3四半期（10〜12月）

125
73
第4四半期
（1〜3月）
2003年度

0

TOKYO ELECTRON

78
第2四半期
（7〜9月）

127

20

環境社会報告書2004

■電力使用量推移

地球温暖化防止に対する考え方（10万kWh）

当社グループでは、エネルギー使用量の低減を通じて

国内■重油使用量推移（kl）

海外
148 160 150

地球温暖化防止に努めています。

2,430

101
1,916
1,652

2,181
2,191
2,151
1,858
1,501
1,212
1,206

各製造系事業所の大半は、エネルギー使用の合理化に関する「省エネ法」により、第1種エネルギー管理指定工場となっており、この法律に従い「判断基準に基づいた管

1,881
1,828
1,631

958

理標準の作成、遵守」「エネルギー管理員の設置、管理組
0織の整備」などを行っています。また、各事業所では照明やOA機器の節電、空調の温度設定管理などの目標を掲げ、

97

98

99

00

01

02

03

■灯油使用量推移

98

99

00

01

02

03

■ガス使用量推移
LPG

都市ガス
716

1,062

996

開発にかかわる施設では、連休時の計画的設備停止や各

97

（千m3）

（kl）

積極的に省エネルギー活動に取り組んでいます。製造・

0990 990608

908

作業の効率化を図り、エネルギー使用量の低減に努めて
132

います。
403 389

エネルギー使用量0

2003年度は、下期から製造拠点の稼働率が高まり、

97

98

99

00

01

02

03

0

120

129

115 124

60

65

70

49

58 545 658

72

55

59

66

66

63

58

97

98

99

00

01

02

03

（国内および海外事業所）

生産量・売上高は2002年度より増加しました。これに対して、CO2換算したエネルギー使用量はほぼ横ばいとなり、
売上高あたりの原単位は2002年度と比較して87％とTOPICSなり、目標である1％削減を超えて、大幅な改善を達成しまクリーンルームの省エネルギーした。しかしながら、1997年度を基準とした売上高原単

半導体／FPD製造装置の製造・組み立てを行うクリーン位比では、168％と大きく基準年度を上回ってしまっていルームでは、清浄度を保つために、空気中の微量のゴミを排除する空気浄化のシステムが、終日運転されています。このます。今後とも継続的に省エネルギー活動を推進して、消使用電力量が、事業所の電力量の半分以上というデータも費エネルギーの低減を通じた地球温暖化防止に努めます。

あります。合志事業所では、クリーンルームの清浄度に問題がない範囲で作業時間外の換気回数の見直しや排気・循

■総エネルギー使用量（CO2換算＊1 ）の推移
（t-CO2）環ファンの間欠運転など、
きめ細かな電力管理を行うことに（%）

CO2排出量原単位＊2
前年比＊3

よりクリーンルームの省エネルギー化を図っています。また、
208.0%

無駄な工場用力の削減、不在時の消灯などで、年間約240

193.1%

万kWh（約1,500万円分）の電力使用量を削減しました。

168.2%
150.9%

104.4%

150.8%

95.8% 100.0%

134.7%
105.6%

89.4%■クリーンルームの省エネルギー
197.0%

外気取り入れファン

92.8%
78.4%

87.1%

排気量見直し外気取り入れファンの運転を削減
HEPAフィルター

45,922 50,488 52,456 65,817 84,761 94,009 95,486 95,487
0

96

97

98

99

00

01

02

03

0

クリーンルーム＊1 ＣＯ2換算は、環境省作成の「環境活動評価プログラム」を参照＊2 原単位＝エネルギー使用量／売上高（1997年度＝100％）＊3 前年比＝当年度原単位／前年度原単位（国内および海外事業所）

TOKYO ELECTRON

21

環境社会報告書2004

使夜
用間
を・
半休
減日
の
循
環
循環ファン
フ
ァ
ン

Environmental Report

事業所における環境への取り組み

省資源に対する考え方

水使用量削減への取り組み

東京エレクトロングループでは、環境に配慮した資源

製造系事業所では、水の使用量を削減するために、
様々調達を行い、使用する資源の量を必要最低限にしていまな活動を展開しています。製造・開発・試験・出荷検査をす。コピー用紙、文房具などの使用量・購入量削減、
グリ含むあらゆる工程で使用されている冷却用などの工業ーン製品・エコ製品の購入やオフィス文具メーカーによ

用水を、循環装置を使って再利用することで使用量を削る廃品回収への協力などを積極的に推進しています。

減しています。また、各事業所ではトイレ・手洗いなどに
自動水洗を導入し、水の止め忘れや無駄使いを減らして節水に努めています。

紙使用量削減への取り組み
当社グループ全体で紙の使用量削減に取り組んでい■水使用量の推移ます。例えば、コピー用紙の両面使用、縮小コピーの励行、

3

（千m ）

海外使用量

工業水

さらに紙を使わない情報の共有化や回覧書類の電子化

上水972などを行っています。その結果、2003年度はコピー用

817

紙の使用量が2002年度比約9％、約800万枚を削減

770

693

しました。特殊な用途を除いて再生紙の使用を進めると

146

1,004

1,039
62

119

89
388

527

ともに、引き続き業務を見直して、必要最小限の記録・帳

812

地下水

474

1,014
64

486

436
445

391

290

325

332

390

97

98

99

00

521

票類に集約することで、紙使用量を削減します。さらに、
木材繊維に替わる新し

172
0

い非木材資源であるケ

96

430

415

357

67
01

88
02

107
03

（国内および海外事業所）

ナフ材を使用した紙コップを導入するなど、森
林資源の保全につながTOPICSる活動も行っています。

啓発ポスター

事務所系事業所での取り組み
東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ札幌事業所
では、省資源活動の一環として、従来の使い捨てプラスチッ■コピー用紙使用量（千枚）

ク製カップの利用を止め、従業員が個々に「マイカップ」を製造系事業所

事務所系事業所

持参して使用するようにしました。また、裏紙などの利用を勧

131,500

めてコピー用紙の削減にも努めています。

19,350

省資源活動のさらなる推進のため、顕著な活動を行った

107,367
18,300

社員やグループに対し表彰を行っています。2003年度は個

95,785
18,617

87,634

人賞として2名、チーム賞として1グループ、フロア賞として1

18,184

フロアの表彰を行いました。

112,150
89,067000

01

77,16802

69,45003（国内事業所）表彰状
マイカップの使用を推奨

TOKYO ELECTRON

22

環境報告書2004化学物質の管理

環境リスクマネジメントに対する考え方
製品の評価時に使用するガスや薬液などの化学物質

当社グループでは、法で定められた化学物質の管理をを新規に使用する場合、使用前にリスクアセスメントを行徹底し、継続して把握しています。また、PCBを含む廃い、必要な対策を実施しています。

棄物の保管状況は、
トランス2台、コンデンサー4台であ

また、昨今の他社の事故事例に基づき、防災体制の監り、これらを厳重に管理しています。

査を2003年度に実施し、防災組織、防災設備・備品、緊■PRTR＊法急連絡網の整備状況や工事業者の管理監督状況などを第一種指定化学物質使用量

法令で定めた番号

第一種指定化学物質名（単位：kg）
合計

各地区で確認しました。この監査で発見された不備は、

43

エチレングリコール

必要なものを予算化し、購入・改善しました。

172

N,N-ジメチルホルムアミド

309

283

ふっ化水素及びその水溶性塩

4,558

311

マンガン及びその化合物

法令の遵守状況について

合

環境法令や排出基準などの法規制を確認し、一部では

9,144

450

計

14,461＊PRTR（Pollutant Release and Transfer Register）：人体や生態系に害を与える恐れのある化学物質について、その使用量と環境への排出量、廃棄物に含まれて事業所外に移動した量を把握・集計し、公表する仕組み。

自主基準を設け、法規制遵守に努めています。しかし、2003年12月2日、宮城事業所の立ち入り検査（水質分析）にて、排水のBOD値が基準値を超え、改善勧告を受

地球温暖化物質の使用けました。原因は、週末の出勤者増加による、微生物処

当社グループでは、エネルギー使用でCO2を排出する

理の不具合と推定しております。曝気ブロワーを勤務状

ほか、
ドライエッチングや洗浄などのプロセスで、温室効況に合った運転に変更し、2004年1月6日に改善報告

果ガスの一種であるPFC類やSF6を使用しています。こを行いました。また、山梨地区において補修工事に伴うれらの使用量の合計は、CO 2に換算して年間約1万トン

有機溶剤局所排気、および食堂の雑排槽からの異臭に関でした。今後も継続して使用量の管理と削減に取り組んする苦情を受理しました。これらについても適時対応をでいきます。

行い、改善しました。そのほかの環境関連の事故・違反・■温室効果ガス使用量

罰金・苦情、
これらにかかわる訴訟、土壌の汚染、また政府による経済的制裁・奨励の実績はありませんでした。

（単位：t-CO2）

HFC類

PFC類

SF6

その他

合計

1,140

1,284

6,682

56

9,162

●当社グループのインプット、アウトプット
当社グループの物質フローは右図のよ■東京エレクトロンの物質フロー

うになります。各数値は各製造系事業所と事務所系事業所との総計です。当社グループの特徴は、装置評価時の環境負荷が大きいことです。これは電力および様々な
ガス、薬品などを使用し、半導体製造工程と同様のプロセスで装置を評価している

Input

Output●電力

23,310万kWh●

ガス715km3●

燃料

2,890kl●

水1,014km3

●

化学物質

14.5t

（PRTR法第一種指定化学物質）●

紙（コピー用紙）

351t

ためです。

TOKYO ELECTRON

23

環境報告書2004●

CO2

98,896t

●

NOx

11.1t

東京エレクトロン
グループ●

排水（河川、下水）1,004km3●

廃棄物総量12,210t（国内および●

再資源化量

11,363t●

焼却・埋め立て処分量

TEL
海外事業所）

847t

Social Report

健康・安全「健康と安全」は、企業の社会的責任の一つであり、快適に仕事を行うための基盤です。
社員やお客様の健康優先、装置の安全遵守など、企業活動のあらゆる側面で「健康と安全」を推進しています。

すべての人々が安全であるために事故報告の管理東京エレクトロングループでは、「健康と安全」が重要

当社グループ社員がかかわる国内外での事故は、すべであるとの考えに基づき、経営理念・方針に反映させてて本社に報告されます。事故報告は、受付と同時に一定います。当社グループでは社員・お客様をはじめ、企業活の判断基準（人身事故、火災爆発/薬液漏洩、お客様に重動にかかわるすべての人々が安全かつ健康であることが、大な損害を与えた場合など）に基づきその重大性が判

企業としての社会的責任の一つであり、良いビジネスへ断され、緊急性の高い事故は、経営トップとグループ各社と結びつくと、考えています。つまり、人命および各種設へ直ちに報告されます。
下のグラフは、当社グループ全体の度数率と応急処置

備や機器の安全性を損なってまで、利益や納期を優先すを除く人身事故災害件数です。電器機械器具製造業平

るようなことがあってはならない、ということです。

均と比較しても低い発生率となっています。

この考えをお客様を含めた幅広いステークホルダーの方たちに伝え、理解していただくために「安全第一の■度数率と人身事故災害件数ご案内」を作成しています。

（事故件数）

国内製造業平均
国内電器機械器具製造業平均
東京エレクトロングループ

100

1.02

0.97

0.98

0.98

48
41
0.38

0.34

0.36

0.18

0.15
02

37
0.35

0.38
0

「安全第一」について説明したポスター

00

01

0.24
03

＊度数率：100万延労働時間あたりの労働災害件数、休業4日以上の災害発生件数÷延実労働時間×1,000,000＊人身事故災害件数は2000年度を100とする「安全第一のご案内」

TOPICS
保護具3点セット（ヘルメットおよびインナーヘルメット、安全／保護めがね、安全靴）着用の推進
人身災害を未然に防止するためには、
リスクアセスメントなどに基作業時における保護具着用を推進しています。頭部は一般的に使づき、装置の安全設計や作業手順の改善を行い、危険の低減策を用されているヘルメットのほかにクリーンスーツ内に着用するインナ

事前に講ずることが重要です。
しかし、クリーンルームという特殊なーヘルメットを使用します。眼の保護には、安全／保護めがねを、足空間で、大型化した新規装置の製造・据付を行うことにより、思わのつま先部分の保護にはクリーンルーム用安全靴の着用を積極ぬ危険に身をさらすことがあります。これらの事故防止および被害を的に推進しています。その結果、頭部裂傷、眼、および足のつま先

最小限にするため、当社グループ内の製造現場内および客先での部分の負傷事故が減少しています。

■過去4年間の頭部を負傷した事故の件数推移＊2000年度を100とする
100
80

100
90
80

60

70%削減

40
20

30

0
00

01

02

03

TOKYO ELECTRON

安全めがね

24

環境報告書2004

クリーンルーム用安全靴

インナーヘルメット

装置安全について②コンプライアンス（SEMI S2 ＆ CE マーキング）①リスクアセスメント
当社グループの製品は、すべて販売前にSEMI規格な

当社グループでは、販売する装置の安全性を確保する

どを取り入れた独自の規格に基づきリスクアセスメント

ために、半導体業界の安全基準であるSEMI S2に準拠を実施しています。製品の完成段階で設計者、装置保守した製品づくりを進めています。また、その安全性を証

サービス担当者、そのほかの多くの関係者が集まり、装明するために第三者機関による審査を受け、SEMI S2

置の危険箇所特定とその危険の高さを分析評価します。

規格適合の認証を得ています。さらに、
ヨーロッパ地域

リスクアセスメントにはSEMI S10、EN-1050、LACSへの輸出には、欧州の安全規格であるEU指令に対応すなど様々な手法がありますが、対象装置が安全と評価さるために、CEマーキングへの適合を宣言、装置にCEマれるまで対策と評価を繰り返します。最近では設計開発

ークを貼付して出荷しています。適合宣言は社内監査機

段階からリスクアセスメントを実施し、安全な装置づくり関であるCEマーキング レビューチームが適合性を評価を目指しています。

し、適合と判定した場合のみ実施できます。

■SEMI S10危険性査定マトリクス
確度
危険性査定
マトリクス

高い頻度
Ａ

ほぼ確実
Ｂ

可能性が
ある
Ｃ

可能性が
ほとんどなし
Ｅ

まれ
Ｄ

致命的 1
重
大
度

重大

装置貼付用CEマークシール

2

中程度 3
軽度

4

危険性査定分類（ＲＡＣ）
5

重大

4

高い

ＲＡＣ
（Risk Assessment Categories）
3

中程度

2

低い

1

ごく僅か

CEマークの対象装置

TOPICS
営業担当者の装置EHSトレーニング実施
当社グループでは、営業担当者のための装置に関するEHS

ニング内容は、
コンプライアンスや業界要求事項、お客様から要

知識をまとめた「装置EHSハンドブック（Product EHS Handbook

求される装置EHSについての解説、RFQ（Request for Quotation）

for Sales People）」を作成・配布しへの対応、営業担当者としての装置EHSに関する理解、装置ています。営業担当者にとって、工EHS設計へのフィード場と今後開発すべき装置における

バックについてなどです。

EHSの仕様ニーズを検討するために、すでに販売されている装置のEHSに関する基本的知識は欠かせません。また、当社グループのすべての営業担当者を対象に、このハンドブックを活用するためのトレーニングを実施しました。具体的なトレー装置EHSハンドブック表紙

TOKYO ELECTRON

営業担当者向けトレーニング風景

25

環境報告書2004

Social Report

EHS教育・啓発
環境・健康・安全を守ることは、東京エレクトロングループの責務です。
「必要な教育を必要な人に」を原則に、多様な教育・啓発プログラムを実施しています。

環境・健康・安全教育に対する考え方

環境教育の実施

東京エレクトロングループでは、「必要な教育を必要な

当社グループでは、
営業、事務職、
フィールドエンジニア、人に」を原則に環境・健康・安全にかかわる教育を実施しパート社員、派遣社員など、事務所系事業所に勤務するています。当社グループ社員、当社内で作業する協力会

すべての社員を対象に、共通の環境教育を行っています。

社社員を対象に、
階層別の教育および訓練を行っています。

製造系事業所では、すべての社員を対象に、
ISO14001

新入社員研修にも環境・健康・安全に関するプログラムをとかかわる各事業所の目標などを中心とした教育研修を必須科目として取り入れています。

行っています。また、重要な環境側面にかかわる作■EHSに関する教育●

専門教育（内部環境監査員教育、重要環境側面にかかわる特別教育）●

ISO14001に基づく環境教育（製造系事業所）●

TEL Eco-Activity による環境教育（事務所系事業所）

環境業者を対象にした特別教●

装置固有教育●各顧客固有入場教育●

各国出張者安全教育●

上級安全教育●基礎安全教育育も実施しています。

新入社員向けの環境教育

TOPICS

健康・安全

実機キットによるLOTO体験トレーニング
半導体／FPD製造装置は、ウェーハやガラス基板の大その他の教育・訓練：救急救命講習（心肺蘇生法、応急処置法技能）、
法的教育（職長教育、特殊作業など）型化により、電気エネルギーやロボットなど駆動部の機械エ
ネルギーの取り扱いリスクが高まっています。これらの危険から身を守る方法として、当社グループでは米国で普及して安全教育の実施いるロックアウト※1・タグアウト※2（LOTO）という手法を取り入

当社グループでは安全第一をモットーに、オフィスで働れ、研修を行っています。

く者、
クリーンルーム内で作業する者、顧客先で作業にあLOTOの作業方法を身に付けてもらうため、各作業の責たる者など、業務内容に応じた安全教育を行っています。

任者を対象に、オリジナル製作した実機のキットを用いて、ブ

これらの安全教育には有効期限を設け、期間内の更新を

レーカー類に鍵と札をかけるなどの体験トレー

義務付けています。基礎安全教育と上級安全教育の更新

ニングを実施しています。

は、当社イントラネット上でのWebラーニングとなっておまた、LOTO実行の重り、いつでも受講が可能で要性を知ってもらうためす。カリキュラムは当社グに事例紹介なども行っ

ループ全体で統一され、海ています。
トレーニング用実機キット

外、特にアジア地区への展＊1 ロックアウト（Lockout）：一定の手順により、
エネルギー源から装置へ向かうエネルギーの流れを遮断するため、ロックアウト器具（鍵など）を取り付けること。これにより器具を取り除くまでエネルギーの放出や装置の稼動ができなくなる。

開を進めています。
また、救急救命講習（心Webによる安全教育

肺蘇生法・応急処置法）を各地で定期的に開催し、災＊2 タグアウト（Tagout）：装置に流れるエネルギーが復旧されることがないよう、切断スイッチやその他エネルギー遮断器具に一定の手順により警告タグ（表示）
を取り付
けること。

害時や緊急時に備えています。

救急救命法の講習会

TOKYO ELECTRON

26

環境報告書2004

Social Report

ステークホルダーとのコミュニケーション
ステークホルダーの皆様とのコミュニケーションを推進することが、東京エレクトロングループの成長につながると考えています。

コミュニケーションに対する考え方

半導体製造装置業界におけるEHS推進活動

当社グループは、ステークホルダーの皆様とのコミュ

当社グループは、半導体製造装置業界におけるEHS

ニケーションを推進しています。これは環境・健康・安全

推 進 活 動を 積 極 的に進 めて います 。2 0 0 3 年 度は、の取り組みを進めるためには、事業活動にかかわるすべ

EECA（欧州電子部品工業会）、ESIA（欧州半導体産業ての皆様と、可能な限り情報を共有化し、そのコミュニ協会）が主催したISESH（国際半導体環境安全健康）会

ケーションの中からフィードバックを得るという相互作用

議（2003年6月29日〜7月3日、オランダ Noordwijkが不可欠だと考えているからです。

にて開催）に参加し、当社製品の環境配慮に関するプレ当社グループでは2000年より環境報告書を発行し

ゼンテーションを行いました。

ています。また、
ホームページ

熱処理成膜装置TELFORMULAのガス供給系を河川を通じ、環境だけでなく、健康・の上流、排気系を河川の下安全に関する情報の開示にも流といった 形で自然環境努めています。これからもスに例え、「ガス供給排気シ

テークホルダーの皆様との双ステム開発」の取り組みを方向コミュニケーションを推詳しく紹介しました。

進するため、環境・健康・安全

ISESH会議でのプレゼンテーション

に関する情報開示を積極的に進めていきます。
URL

環境報告書2003

http://www.tel.com/jpn/about/ehs/ehs.htm

TOPICS
協力企業EHS連絡協議会の設置
当社グループの製造系事業所では、協力企業とのコミュ「EHSタイムズ」の発行とイントラネットの活用

ニケーションの場として「協力企業EHS連絡協議会」を設

当社グループでは、環境・健康・安全に関する社内報と置しています。

して「EHSタイムズ」を隔月で発行し、各種委員会の審

この協議会の目的は、事業の外製化による当社グループ

議内容や、各社・各地区の取り組み内容などをわかりや事業所内で活動する人員の増加、勤務形態の多様化・複雑化に対応するために協力企業とのコミュニケーションを密すく紹介しています。このような環境・健康・安全関連のにすることです。

広報誌は各社・各地区でも作成され、従業員への意識の

従来より当社グループに関する様々なルール、伝達事項向上に役立てられています。また、各社・各地区ではインは社内研修などを通して周知してきました。
しかし、
この協議

トラネットでの情報開示および情報交換を積極的に進め会を設置することで、定期的な情報伝達が強化され、活発ています。

な意見交換が行われるようになりました。

イントラネット

EHS連絡協議会の模様「EHSタイムズ」

TOKYO ELECTRON

27

環境報告書2004

Social Report

ステークホルダーとのコミュニケーション

台湾で環境・健康・安全セミナーを開催

TOPICS

東京エレクトロングループでは昨年に引き続き、台湾

2003年、SEMI井上晧EHS賞のお客様をお招きして新竹市で「TEL EHSセミナー」を

井上晧EHS賞は、世界の主要な半導体／FPD製造装置、開催しました。

材料メーカーの国際工業会SEMIが主催する賞です。この今回のセミナーで取り上げたメインテーマはEHSの賞は、SEMIの元役員で、力強い環境安全の提唱者であり、全般的な話題、そして各BU・事業部の担当者が発表しEHS活動に大きな業績を残した東京エレクトロンの元社長、た装置EHSについてのトピックスです。

故井上晧氏を記念して創設されました。SEMIの小委員会が選考を行い、半導体業界および社会の中でEHSの発展

EHSの全般的な話題として紹介したのは、当社グルに多大な貢献をしたグループや個人に授与されます。

ープの環境・健康・安全についての考え方、様々な事故

この賞は2000年に創設され、第4回目にあたる2003年は、の分析、などでした。さらに講師としてお招きした日本ヒ

セイコーエプソン株式会社社長の草間三郎氏が受賞しましューマンファクター研究所の専門家が、事故の事例に基た。草間氏の受賞は、EHS活動を推し進め、
エネルギー、廃づき事故発生のメカニズムとヒューマンファクターの関

棄物、地球温暖化ガス排出の削減を達成した功績が高く評価されたものです。エプソンでは、草間氏の指導のもとであ係について説明を行いました。

らゆる事業、製品を通して「自然と友に」というコンセプトを

装置EHSでは、各BU・事業部

推進されています。

担当者より鉛フリーはんだに関す

なお、2000年の第1回にはSTマイクロエレクトロニクスのる方針、LOTOを用いたエネルギ

CEOパスクァーレ・ピストリオ氏、第2回には、インテルコーポ

ーの管理方法、半導体製造装置業

レーションのCEOクレイグ・バレット氏、第3回には、米国アリゾナ大学のファーハング・シャドマン博士が受賞されています。

界では一般的な手法のSEMI
S10マトリクスを用いて行うリス

第1回（2000年）
STマイクロエレクトロニクス CEO

ク評価方法などを紹介しました。

パスクァーレ・ピストリオ

最後に、熱処理成膜装置の最新機（Pasquale Pistorio）氏

TEL EHSセミナーパンフレット

種であるTELFORMULAに適用されているEHSの概念を、従来機と比較しながら説明しました。
セミナーでは「東京エレクトロンのEHSに対する姿勢

第2回（2001年）
インテル コーポレーション CEO

がよくわかった」「新しい考え方やインスピレーションがクレイグ・バレット（Craig Barrett）氏得られた」などお客様から高い評価をいただき、当社グループのEHS活動についての理解をより深めていただ

第3回（2002年）
米国アリゾナ大学

きました。

ファーハング・シャドマン（Farhang Shadman）博士

第4回（2003年）
セイコーエプソン（株）代表取締役社長
EHSセミナー風景

草間 三郎 氏

台湾地区のEHS担当者

TOKYO ELECTRON

28

環境報告書2004

動を行い、CO 2削減、アイドリングストップへの意識向上活動

社会貢献活動の考え方を実施しています。

当社グループは、経営理念の中で「社会に対し、常に規律を守り、協力的でありたい」「社会の健全な発展のために協調することが我々の義務である」とうたってい海外における社会貢献活動
当社グループは、海外でも社会貢献活動を行っており、ます。

特にアメリカでは積極的な活動が展開されています。

グループ各社・各事業所では、こうした理念のもと、行政や地域社会との信頼関係を築きながら、国内はもちろ●環境キャンペーンで受賞

ん、海外においても様々な環境保全・社会貢献活動を展開しています。今後も企業の重要な使命として、こうしTOKYO ELECTRON AMERICA（本社：テキサス州オースた活動のさらなる拡充を図りながら、お客様や社会ととチン）は2003年、Keep Texas Beautiful の環境コンテスト
で全米優秀賞（National Citation of Merit）を受賞しました。

もに歩んでいきたいと考えています。

かねてより、教育、特に理数教育への支援、地域の困窮者への健康支援、住みやすい地域への改善支援、環境美化活動など

国内における社会貢献活動に積極的に取り組んできましたが、この受賞は、地元の学校でのリサイクル活動、市民向け自然教育プログラム、社員の道路●地域のクリーンアップ

管理キャンペーン

グループ各社・各地の事業所では、地域のクリーンアップとや廃棄物管理プ

して近隣の清掃や草刈りを行っています。

ログラムなど、オ

熊本県大津町では年2回、「大津町環境美化の日」を設定し、ースチン地域 の

環境美化運動を実施しています。大津事業所では事業所開設

プログラム へ の

当初よりこの運動に協賛し、支援が評価され熊本中核工業団地内などのたものです。

環境コンテストで受賞

清掃活動を実施しています。
2004年前半は、社員・協力

TOPICS

企業社員、計49名が参加しました。

環境美化運動TOKYO ELECTRON AMERICA
会長 Rapozo氏からのメッセージ●エコドライブ

当社が順調にビジネスを行う

各事業所では、地球温暖化防止の観点から、アイドリングス

ことが同時に、地域の人々の福祉に役立つ、
それが私たちの目

トップなどの活動を展開しています。

指すものです。そのため、様々な

東北事業所では、社有車の使用時および通勤時のアイドリボランティア活動、可能な範囲

ングストップを従業員に啓発するため、内での経済的支援を通して地

岩手県の「エコドライブのすすめ」ポ

域に貢献しています。社内で行スターを掲示し、小冊子を各部門にっていた活動を地域社会に広げ、配付して意識の向上を図っています。

地域の人々とともに取り組むこ

また、山梨事業所では、会社の方とで、活動は確実に底上げされ針としてアイドリングストップを行っています。さらに、
こうした活動でTokyo Electron America, Inc.
Chairman & CEO

バリー・ラポーゾ（Barry Rapozo）氏ています。例えば、事業所構内に出従業員の満足感が大きく高まり、生産性向上などに結びつ入りする車に対し、守衛所でアイドリいています。これからも多様な活動を行い、地域全体の暮ら

ングストップを呼びかけるなどの活

岩手県の「エコドライブのすすめ」
ポスター

TOKYO ELECTRON

しの質を高めていきたいと願っています。

29

環境報告書2004

ステークホルダーからのご意見
環境報告書の内容および東京エレクトロングループの事業活動について、ご意見をいただきました。伊藤様は当社グループの製品ユーザーとして、齋藤様は当社グループ東北事業所がある江刺市の企業立地推進室長として大変お世話になっております。いただいたご意見を、今後の活動へ活かしていきたいと考えています。

NECエレクトロニクス株式会社

岩手県 江刺市

環境管理部
シニア環境製品プロフェッショナル

江刺市参事兼企業立地推進室長

伊藤 直也 氏齊藤 隆治 氏（１）東京エレクトロン環境報告書の感想（１）東京エレクトロン環境報告書の感想

東京エレクトロン殿の環境報告書を拝見して、非常に中身の濃い内容に感心いたしました。特に、安全、健康、社会貢献活動を内包されており、CSRレポートを意識されていることがうかがえました。
しかしながら、報告書のさらなる向上にむけて、以下の点にご留意いただければ幸いです。
①東京エレクトロン殿が優先度を高くして低減に取り組もうとしている環境負荷を明確にするページを追加されることを希望します。
環境負荷の全体像から、優先課題を絞り込んだとわかるような図が必要だと思いました。
②御社は、製品の環境負荷低減に重きを置いて活動に取り組まれていますが、なぜ、製品の環境負荷低減か、
なぜ、LCAに取り組むのかを明確にされると、活動全体の方向性が明確になると思います。

「環境報告書2003」を拝読し、日ごろからお世話になっております
自治体の立場から､感想を述べさせていただきます。
まず、ガイドラインに沿った取り組みが忠実になされているということに、強く感心いたしました。その中で、あえてあげるとすれば、次の3点について要望いたします。
第1点は、2002年度計画と実績について。例えば「グリーン部材の調達比率を調達金額の○％以上」というように、計画に具体的な数値があれば、
プレッジアンドレビュー（誓約と評価）の訴求効果が高まるのではないかと感じました。
2点目は「廃棄物削減、リサイクル」の頁について。
トピックスで、私どもの地元・東北事業所の活動が大きな成果を挙げている旨、紹介されておりました。そこで、東北事業所のサイト環境レポートを発行いただければ、環境活動に関する他への啓発効果が大きいのではないかと期待します。
3点目は、CSR（企業の社会的責任）について。地域社会にとっては、特に企業のコンプライアンス（法規制の遵守）の状況に、関心が高まっております。どのような環境法規制があり、それにどう対応しているかを、事業所別でより具体的に、ご紹介いただきたいと思います。

（２）東京エレクトロンのEHS活動に関する感想
広範囲にわたってEHS活動を展開され、国内のみならず海外での活動も積極的に展開されており、さすが、ワールドワイドでビジネス展
開されている東京エレクトロン殿と敬服いたしました。私ごとですが、小職も海外の半導体工場での勤務経験があり、その際、サポートい
ただきましたが、現地の東京エレクトロン殿の方々が環境を配慮した
発言、行動をとられていたことを思い出し、会社として環境活動の意
識の高さを再認識いたしました。

（２）東京エレクトロンのEHS活動に関する感想
東北事業所が所属する江刺中核工業団地企業協議会の中核企業として、団地内のクリーンキャンペーンなどを積極的に牽引いただき、非常に感謝しております。

（３）NECエレクトロニクスから見た東京エレクトロンの印象（３）江刺市から見た東京エレクトロンの印象

先端技術のタイムリーな開発等、弊社のビジネス上かけがえのないビジネスパートナーとして今後も良好な関係を築いていきたいと考えています。
御社が製品環境負荷低減に積極的に取り組まれることは、取りも直さず弊社の生産環境負荷低減につながり、非常に頼もしく感じております。

地域の雇用や経済活動の中心として、ご活躍いただいていることに対し、心より敬意を表します。

（４）東京エレクトロンへの要望・期待等
東北事業所様は、江刺中核工業団地企業協議会の会長事業所
として、事業所の相互訪問や環境セミナーの開催等、新たな活動に取り組まれております。江刺市としても協力を惜しみませんので、今後
とも地域企業のトップランナーとして、リーダーシップを発揮いただきたいと期待します。

（４）東京エレクトロンへの要望、期待
今後とも、LCAを核にした製品設計を推進していただき、製品の省エネなどの成果をあげていってください。また、新設計製品で得られた成果を是非旧製品に展開していただくことを希望します。良い成果はどしどし我々ユーザーにアナウンスしてほしいと思います。また、あまり取りざたされていませんが、半導体製造装置に使用するパーツは廃
棄時の環境負荷が高いように感じています。今後は、パーツ廃棄時の環境負荷低減に目を向けた活動に取り組まれることを期待します。

TOKYO ELECTRON

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環境報告書2004

サイトレポート 東北事業所
東北事業所のある江刺市は、NHK大河ドラマのロケ地にもなり、豊かな自然に恵まれた田園文化都市として、
またりんごや米の名産地としても知られる、
岩手県中南部にあります。当事業所の設立は1985年で、主な生産品である
熱処理成膜装置は世界トップシェアを誇ります。

2003年度東北事業所での物質フロー
今回のサイトレポートでは、様々なデータをもとに、東北事業所および製造している熱処理成膜装置のライフサイクルの環境負荷を表しました。2003年度は、200mmウェーハから300mmウェーハ処理用装置の割合が増えるなか、出荷台数が大幅に増加したため、総出荷量は前年度と比較して大幅に増加しました。
しかしながら、事業所の操業に関するエネル
ギーの使用、廃棄物の発生は、減少または昨年同様に押さえ

α-303iTELFORMULA

α-8SE

東北事業所で生産されている熱処理成膜装置

ることができました。

2003年度の製品総出荷量 2,134t（前年度比+43.6％）

Input

Output2003年度●

資材投入量

2,134t

前年度比+43.6%●

電力

864万kWh

+0.7%

●

ガス

9.80km3

-1.2%

●

燃料

968kl

-2.9%

●

水

52.6km3-16.6%●

化学物質

0.276t-28.7%●

CO2

2003年度
5,996t

前年度比
+0.1%

●

NOx

1.43t

-3.4%

排水

52.6km3-16.6%

BOD

0.44t+25.7%●（PRTR法第1種指定化学物質）●

紙（コピー用紙）

32.4t-31.3%●

東京エレクトロンAT（株）
東北事業所

廃棄物

537t

+0.2%

単純焼却・
埋立処分量

16t

-15.8%

再資源化量

521t

+0.7%

■ライフサイクルでみる環境負荷（CO2換算、2003年度）

資材の調達
14,505t-CO2

製造組み立て5,996t-CO2

装置輸送
736t-CO2

地域との協力装置使用時
832,873t-CO2

今後の方針

当社役員が会長を務める江刺中核工業団地企業協議会

環境活動はISO14001を基準に、安全・健康活動は安全が、2004年2月に「環境への取り組みと企業責任」「産業廃衛生委員会を通して、双方とも積極的に進めていきます。廃

棄物適正処理のために」などの講演を開催しました。地元企

棄物のゼロエミッション化は、2004年度より達成できる見込業担当者・行政関係者・NPO

みとなっています。地元企業からの協力を得ながら、当社が進など多数の参加者が、今後のんでいる部分については事例などの紹介を行い、地域企業・廃棄物処理の在り方や環境

住民・社員に信頼される企業を目指していきます。

活動の取り組み指針について討議を行いました。

講演風景

TOKYO ELECTRON

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環境報告書2004環境安全推進センター〒183-8705 東京都府中市住吉町2-30-7
TEL：042 - 333 - 8052 FAX：042 - 333 - 8477
http：//www.tel.com
発行：2004年8月

30%

この紙製品の製造ラインに使用されている木材ファイバ

SA-coc-1210

従い、独立した機関により認証された森林を指します。

Minimum

ーの30％以上は、適切に管理された森林から切り出されたものです。適切に管理された森林とは、FSCの規定に

FSC TRADEMARK© 1996 Forest Stewardship Council A.C.

この報告書の印刷には生分解性や脱墨性に優れ、印刷物のリサイクルが容易な大豆インキを使用しています。
企画制作協力株式会社クレアン

42AT-006