Capacitance Diaphragm Gauge
CDG025D-X3 4-20 mA Current Loop

Gebrauchsanleitung
inkl. EU-Konformitätserklärung

tinb16d1-a(20017-02)

1

Produktidentifikation
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes
erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.

2

tinb16d1-a(2017-02)

Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe
CDG025D-X3 4-20 mA Current Loop.
Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte angeführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und unterscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter.

Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.

tinb16d1-a(2017-02)

3

Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die Capacitance Diaphragm Gauges der CDG025D-X3 4-20 mA
Current Loop-Serie sind Vakuum-Messröhren und erlauben die
Absolutdruck-Messung von Gasen in unterschiedlichen Messbereichen (→ 3). Sie sind reinraumtauglich und besitzen einen
doppelten Schutz gegen Verschmutzung.
®
Die Messröhren gehören zu der Familie SKY Smart Sensors
und können mit einem kundeneigenen 4 … 20 mA Auswertegerät betrieben werden.

Funktion
Die CDG-Messröhre besteht aus einem keramischen kapazitiven
Aufnehmerelement und einer Elektronik, die die Kapazität in ein
Gleichstrom-Ausgangssignal umwandelt.
Das Ausgangssignal ist linear mit dem zu messenden Druck undunabhängig von der zu messenden Gasart.

MarkenSKY®
®
VCR

INFICON GmbH
Swagelok Marketing Co.

PatenteEP 1070239 B1, 1040333 B1
US Patente 6528008, 6591687, 7107855, 7140085

Lieferumfang
1× Messröhre in Reinraumverpackung
1× Taststift
1× Kalibrierzertifikat
1× Gebrauchsanleitung (deutsch und / oder englisch)4

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Inhalt
Produktidentifikation
Gültigkeit
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Funktion
Marke
PatenteLieferumfang

2
3
4
4
4
4
4

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewährleistung

6
6
7
7
8

2

Technische Daten

9

3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
3.2 Elektrischer Anschluss

13
13
16

4 Betrieb
4.1 Status Anzeige
4.2 Messröhre abgleichen
4.3 Werkseinstellung laden (Factory Reset)

18
18
19
23

5

Ausbau24

6

Instandhaltung, Instandsetzung

26

7

Produkt zurücksenden

26

8

Produkt entsorgen

27

ETL-Zertifizierung

28

EU-Konformitätserklärung

29

Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→ XY) verwendet, für Verweise auf weitere, im Literaturverzeichnis aufgelistete, Dokumente das Symbol (→[Z]).

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1

Sicherheit

1.1

Verwendete Symbole
GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art.

WARNUNG
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.

Vorsicht
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten
kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen.

Aufforderung zur Konsultation der Gebrauchsanleitung(Aufdruck auf Typenschild)
Hinweis<……> Beschriftung

6

tinb16d1-a(2017-02)

1.2

Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur
durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind.

1.3

Grundlegende Sicherheitsvermerke• Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die
Schutzmaßnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien.
• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen zulässig. Beachten Sie zudem die in diesem Dokument angegebenen
Sicherheitsvermerke.
• Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften undhalten Sie die Schutzmaßnahmen ein.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
weiter.

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7

1.4

Verantwortung und Gewährleistung
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen• dieses Dokument missachten• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungenusw.) vornehmen• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung.

8

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2

Technische Daten→ "Gültigkeit"

Messbereich
1)

Genauigkeit≥1 Torr/mbar (F.S.)
0.25 Torr/mbar (F.S.)
0.1 Torr/mbar (F.S.)
Temperatureinfluss auf Nullpunkt≥10 Torr/mbar (F.S.)
1 / 2 Torr/mbar (F.S.)
0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.)
Temperatureinfluss auf Bereich≥1 Torr/mbar (F.S.)
0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.)
AuflösungGasartabhängigkeit
Ausgangssignal analog(Messsignal)
Signalbereich
Messbereich (Zero … F.S.)
Beziehung Strom-Druck
Lastimpedanz RL (Bürde)absolut

Sprungantwortzeit

0.20% vom Messwert
0.25% vom Messwert
0.50% vom Messwert
0.0050% F.S./ °C
0.015% F.S./ °C
0.020% F.S./ °C
0.01% vom Messwert / °C
0.03% vom Messwert / °C
0.003% F.S.
keine
2-Draht, current loop
3.8 … 20.2 mA
4.0 … 20.0 mA
lineartypisch 500 Ω ±1% bei
24 ±3 V (dc) 2)
309 … 654 Ω bei 24 V 2)
160 … 505 Ω bei 21 V 2)
457 … 802 Ω bei 27 V 2)≤100 ms

1)

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholgenauigkeit bei 23 °C ohne
Temperatureinfluss nach 2 h Betrieb.

2)

Versorgungsspannung an der Messröhre.

tinb16d1-a(2017-02)9

Remote-Zero-Input
High-Level
Low-Level (Kontakt offen)
Remote-Zero-Funktion
High-Level (Impuls >1 s … <5 s)
Low-Level

Digital-Input, potentialfrei+19 … +27 V (dc) / ≤8 mA<2 V
Auto-Zero-Adjust
Messbetrieb

Speisung

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungender geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) und
einer Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS)
der Klasse 2 entsprechen.
Versorgungsspannung
an der Messröhre+24 ± 3 V (dc)

Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung geschützt.
Anschluss elektrisch
Messkabelohne Remote Zero
mit Remote Zero109-polig D-Sub, Stifte
2-polig plus Abschirmung,verdrillt
4-polig plus Abschirmung,verdrillt

Leitungslänge / -querschnitt<25 m
25 …50 m>50 … 300 m

0.14 mm² / Leiter0.25 mm² / Leiter0.50 mm² / Leiter

Erdkonzept
Vakuumflansch–Looperde

potentialgetrennt

tinb16d1-a(2017-02)

Werkstoffe gegen Vakuum
Flansch, RohrSensor und Membran
Inneres Volumen

Edelstahl AISI 316L
Keramik (Al2O3 ≥99.5%)≤3.6 cm3

Maximaldruck (absolut)≥200 Torr/mbar (F.S.)
1 … 100 Torr/mbar (F.S.)
0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.)
Berstdruck (absolut)

4 bar | 400 kPa
2.6 bar | 260 kPa
1.3 bar | 130 kPa
5 bar | 500 kPa

Zulässige Temperatur
Lagerung
Betrieb
Ausheizen (außer Betrieb)
Relative Feuchte

Verwendung
Schutzart–20 °C … +65 °C+5 °C … +60 °C≤110 °C am Flansch≤80% bei Temperaturen≤+31 °C abnehmend auf
50% bei +40 °C
nur in Innenräumen,
Höhe bis zu 2000 m NN
IP 30

Abmessungen [mm (inch)]

Gewicht
tinb16d1-a(2017-02)≤370 g11

Beziehung Messsignal analog – Druckp = [(Iout – 4 mA) / 16 mA] × p (F.S.)
Umrechnung Torr ↔ PascalcBeispiel:Torrmbar 3)

Pa 3)

1.00

1013.25 / 760 =
1.3332…

101325 / 760 =
133.3224…

Messröhre mit 10 Torr F.S.
Messsignal Iout = 12 mA
p = [(12 mA – 4 mA) / 16 mA] × 10 Torr
= 0.5 × 10 Torr = 5 Torr

3)

12Quelle: NPL (National Physical Laboratory)
Guide to the Measurement of Pressure and Vacuum, ISBN 0904457x /1998
tinb16d1-a(2017-02)

3

EinbauWARNUNGWARNUNG: Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zerstören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge vermeiden.

3.1

Vakuumanschluss
GEFAHRGEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 barÖffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.

GEFAHRGEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.

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13

GEFAHRGEFAHR: Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten
Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindungmuss den Anforderungen einer Schutzverbindungnach EN 61010 entsprechen:• Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender
Spannring zu verwenden.

Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen undsauberes Werkzeug benutzen.

14

tinb16d1-a(2017-02)

Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Einbaulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel
nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechtebis stehende Einbaulage zu bevorzugen und eventuelleine Dichtung mit Zentrierring und Filter zu verwenden.
Falls ein Abgleich der Messröhre im eingebauten Zustand möglich sein soll, ist die Zugänglichkeit zu den
Tastern mit einem Stift zu gewährleisten (→ 19).
Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem anschließen.

Schutzkappe aufbewahren.

tinb16d1-a(2017-02)

15

3.2

Elektrischer Anschluss
Die Messröhre muss ordnungsgemäß an der Vakuumapparatur angeschlossen sein (→ 13).

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV)
und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung(LPS) der Klasse 2 entsprechen.

Erdschleifen, Potentialunterschiede oder EMV können
das Messsignal beeinflussen. Für beste Signalqualität
beachten Sie die folgenden Einbauhinweise:• Typischerweise den Kabelschirm nur einseitig auf der
Messröhrenseite über das Steckergehäuse mit derErde verbinden. Das andere Schirmende offen
lassen.
• Situationsbedingt kann- eine einseitige Erdung des Kabelschirms auf derSpeiseseite, oder
- eine beidseitige Erdung des Kabelschirms
zu besserer Signalqualität führen.

16

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Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Kabel anschließen.

Elektrischer Anschluss
Pin 4 Positive Exitation
Pin 6 Remote Zero Supply
Pin 7 Remote Zero Common
Pin 9 Negative Exitation
Pin 1, 2, 3, 5, 8: n.c.
D-Sub
9-polig
Buchsen,lötseitig

tinb16d1-a(2017-02)17

4

Betrieb
Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb.
Aufwärmzeit• bei allgemeinen Druckmessungen (innerhalb
der Spezifikationen)• bei Präzisionsmessungen und Nullpunktabgleich

4.1>2 Stunden

Status Anzeige<STATUS>

Bedeutungausleuchtet grün
blinkt grün

Keine Versorgungsspannung
Messmodus
Zero-Adjust Modus oder Warnung,außerhalb Messbereich
Zero-Adjust Fehler
Fehlerblinkt rot
leuchtet rot

18>¼ Stundetinb16d1-a(2017-02)

4.2

Messröhre abgleichen
Die Messröhre ist ab Werk in vertikal stehender Lage abgeglichen (→ "Calibration Test Report").
Wir empfehlen den Nullpunkt bei der Erstinbetriebnahme einzustellen.
Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen und periodisch ebenfalls eine Nullpunkteinstellung erfordern.
Nullpunkteinstellung bei den gleichen und konstanten Umgebungsbedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei
denen die Messröhre normalerweise verwendet wird.
Das Ausgangssignal ist von der Einbaulage abhängig. DieÄnderung von vertikal stehender zu waagrechter Einbaulage
beträgt:

tinb16d1-a(2017-02)

F.S.

∆p / 90°

1000 Torr
100 Torr
10 Torr
1 Torr
0.1 Torr≈0.02% F.S.
≈0.1% F.S.
≈0.5% F.S.
≈3% F.S.
≈18% F.S.

19

4.2.1<ZERO> Adjust
Der Nullpunktabgleich kann erfolgen über• den Taster <ZERO> an der Messröhre,• den digitalen Eingang "Remote Zero" (am Pin 6 kurz
die Versorgungsspannung anlegen: Impulse → 10).
Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entsprechend der nachfolgenden Tabelle:
F.S.
1100
1000
500
200
100
50
20
10
5
2
1
0.5
0.25
0.1

mbar
Torr
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar

Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung−-2<5×10 Torr
<2.5×10-2 Torr
<10-2 Torr
<5×10-3 Torr-3
<2.5×10 Torr
<10-3 Torr
<5×10-4 Torr-4
<2.5×10 Torr
<10-4 Torr
<5×10-5 Torr
<2.5×10-5 Torr
<10-5 Torr
-6
<5×10 Torr

<6.7×100 Pa<6.7×100 Pa<3.3×100 Pa<1.3×10-0 Pa<6.7×10-1 Pa-1<3.3×10 Pa<1.3×10-1 Pa<6.7×10-2 Pa-2<3.3×10 Pa<1.3×10-2 Pa<6.7×10-3 Pa<3.3×10-3 Pa<1.3×10-3 Pa-4<6.7×10 Pa<6.7×10-2 mbar−
-2
<3.3×10 mbar
<1.3×10-2 mbar
<6.7×10-3 mbar
-3
<3.3×10 mbar
<1.3×10-3 mbar
<6.7×10-4 mbar
-4
<3.3×10 mbar
<1.3×10-4 mbar
<6.7×10-5 mbar
<3.3×10-5 mbar
<1.3×10-5 mbar
-6
<6.7×10 mbar

Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck(>25% von F.S.) durchgeführt, kann Zero nicht erreicht
werden und die <STATUS> Anzeige blinkt.
Die Messröhre mind. 2 Stunden betreiben (bis Messwert
stabil ist).

20

tinb16d1-a(2017-02)

Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz (>1 s)drücken, oder …

… am Pin 6 (Remote Zero) kurz die Versorgungsspannung
anlegen (→ Schema 17, Impulse → 10).
Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch. Die<STATUS> Anzeige blinkt, bis der Abgleich (Dauer ≈8 s)
abgeschlossen ist.
Nach dem Nullpunkt-Abgleich kehrt die Messröhre automatisch in den Messmodus zurück.
Die <STATUS> Anzeige blinkt,• wenn die Messröhre bei Enddruck ein negatives Ausgangssignal (<4 mA) zeigt, oder
• wenn der Nullpunkt-Abgleich fehlgeschlagen ist.

<ZERO> Adjust mit Rampenfunktion

4.2.2

Mit der Rampe kann der Nullpunkt bei einem bekannten Referenzdruck eingestellt werden, welcher im Messbereich der Messröhre liegt.

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21

Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie eingestellt werden, um einen Offset vom Messsystem auszugleichen.
Der Offset sollte nicht größer als ca. 1.5% vom F.S. sein
(4 … 4.2 mA). Bei größerem positivem Offset wird die obere
Messbereichsgrenze überschritten.

Die Messröhre mind. ¼ Stunde betreiben (bis Messwert
stabil ist).
Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) drücken
und halten. Die <STATUS> Anzeige beginnt zu blinken.
Nach 5 s wird der Zero-Adjust Wert ab dem aktuellen
Ausgabewert kontinuierlich (Rampe) geändert, bis Tasterlosgelassen wird oder die Einstellgrenze (max. 25% F.S.)
erreicht ist. Die Signalausgabe am Signalausgang ist dabei
um ca. 1 s verzögert.

• Richtungswechsel (Inversrampe): Den Taster loslassen
und innerhalb von 3 … 5 s erneut drücken und halten(die Blinkfrequenz der <STATUS> Anzeige ändert kurz).
• Feineinstellung des Zero-Adjust Wertes: Den Tasterloslassen und innerhalb von 3 s erneut kurz drücken.
Der Wert ändert in Einzelschritten (Taster ca. 1 mal pro
Sekunde drücken).

22

tinb16d1-a(2017-02)

Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr gedrückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück.
Die <STATUS> Anzeige blinkt, wenn die Messröhre ein negatives Ausgangssignal (<4 mA) zeigt.

4.3

Werkseinstellung laden (Factory Reset)
Sämtliche vom Anwender gesetzten/veränderten Parameter(z. B. Nullpunkt) werden auf die Standardwerte (Werkseinstellungen) zurückgesetzt.
Das Laden der Standardwerte kann nicht rückgängig
gemacht werden.
Werkseinstellungen laden:
Messröhre außer Betrieb setzen.
Während der Inbetriebnahme der Messröhre den Taster<ZERO> ≥5 s gedrückt halten.

tinb16d1-a(2017-02)

23

5

AusbauWARNUNGWARNUNG: Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zerstören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge vermeiden.

GEFAHRGEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

24

tinb16d1-a(2017-02)

Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder Teilen davon mit
bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen.

Vakuumsystem belüften.
Messröhre außer Betrieb setzen.
Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen.
Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutzkappe aufsetzen.

tinb16d1-a(2017-02)25

6Instandhaltung, Instandsetzung
Bei sauberen Betriebsbedingungen ist das Produkt wartungsfrei.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung
zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung.
Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen(→ 20).
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten
selber ausführen.

7

Produkt zurücksenden
WARNUNGWARNUNG: Versand kontaminierter Produkte
Kontaminierte Produkte (z. B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art) können
Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei
von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beilegen(Formular unter www.inficon.com).
Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte
werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

26

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8

Produkt entsorgen
GEFAHRGEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

WARNUNGWARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichen
Vorschriften entsorgen.

Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in folgende Kategorien zu unterteilen:• Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch, usw.) müssen entsprechend den länderspezifischen
Vorschriften dekontaminiert, entsprechend ihrer Materialartgetrennt und entsorgt werden.
• Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen
und der Wiederverwertung zuzuführen.

tinb16d1-a(2017-02)

27

ETL-Zertifizierung
ETL LISTED
The product CDG025D-X3 4-20 mA• conforms to the UL Standard
UL 61010-1

310345728• is certified to the CSA Standard
CSA C22.2 # 61010-1

tinb16d1-a(2017-02)

EU-Konformitätserklärung
Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt
die Konformität zur EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHSRichtlinie 2011/65/EU.

Capacitance Diaphragm Gauge
CDG025D-X3 4-20 mA Current Loop

NormenHarmonisierte und internationale/nationale Normen sowie
Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2010 (Sicherheitsbestimmungen für elektrische Messund Steuereinrichtungen)• EN 61326-1:2013 (EMV-Anforderungen für elektrische Mess- und
Steuereinrichtungen)

Hersteller / Unterschriften
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers
22. April 2015

22. April 2015

Dr. Urs Wälchli
Managing Director

Michael Wildi
Product Manager

tinb16d1-a(2017-02)

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Notizen30

tinb16d1-a(2017-02)

Notizentinb16d1-a(2017-02)

31

Original: Deutsch tinb16d1-a (2017-02)
t i nb16d1- a

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
Fax +423 / 388 3700
reachus@inficon.com
www.inficon.com