研究開発

製品競争力

未来を見据えた研究開発
IoT 時代の到来により、ライフスタイルやビジネスモデルが大きく変化する中で、半導体の用途はあらゆる分野で拡大し、より一層高度な技術が要求されていくと予測されています。東京エレクトロン（ TEL ）では、人々の生活においてエレクトロニクスがより身近になり、半導体がさらに欠かせないものとなる時代の到来を見据えて、「 TEL

Technology Vision 2030」を策定し、公開しています。未来を実現するテクノロジーと TEL の貢献についての議論を継続的に進め、その成果を社内外へ積極的に発信していきます。

TEL Technology Vision 2030

Technology for Growth

成長に向けた技術

Ability to Execute

社会では次世代通信規格 5G による通信革命とともに、さまざまなモノが インターネットにつながる IoT 時代の到来により、AI によるビッグデータ処理、またそれによるサービスの多様化が進み、半導体や FPD はその中心的な役割を果たしています。東京エレクトロンにおいては、最先端の研究開発を推進しさまざまな技術革新の要請に応えるとともに、用途の拡がりに対応した装置やサービスを提供する

遂行能力

半導体産業へのソリューションプロバイダーへ

半導体とつながるあらゆる産業へのソリューションプロバイダーへ

Employee Vitality

従業員の活力現在2030年めます。付加価値が高く競争力のあるネクストジェネレーションプロダクトをタイムリーに創出し、産業や社会のさらなる発展に貢献し開発体制
TEL では、次世代へ向けた技術開発や技術融合を推進し、開発生産部門が事業部門と連携しながら、付加価値の高ます。

い製品をタイムリーに市場投入する体制を構築しています。2018 年は、新たにコーポレートイノベーション本部をことが重要です。また、バリューチェーン全体の環境負荷を認識し、その低減に配慮した製品を提供することにより、地球環境の保全に努設立し、TEL の強みである成膜技術やエッチング技術をはじめとする、幅広い半導体製造装置ラインアップをもとにしたプロセスインテグレーション機能のさらなる強化に取り組み、クロスファンクショナルな開発力を発揮しな中期目標

がら技術革新を加速する体制を整えました。

強いネクストジェネレーションプロダクトの創出

フロントローディング
TEL は、製品開発プロセスの初期工程にリソース（ 技術・人材・費用など ）を投じるフロントローディングを重要視しています。次世代・次々世代以降の研究、開発を目指すお客さまと技術ロードマップを共有し、その実現に必要SDGs への取り組み

重要テーマ・主な活動■革新的な技術とさらなるイノベーションの促進によりサステナブルな社会の構築に寄与となる各種技術の開発に取り組んでいます。TEL ならではの技術提案により、お客さまの工場や開発・研究所に早い段階で評価機を導入するオンサイトコラボレーションを推進し、技術開発と量産装置化に至るまでのスピードアップと最大効率を目指します。

■ 環境に配慮した製品やサービスの提供により技術革新への挑戦

製品の環境貢献

グローバルなレベルで環境負荷低減に貢献

Front-loading

Advanced field solutions■ お客さまとの複数世代にわたる技術ロードマップ共有■ 業界最大の納入済装置 69,000 台を生かしたビジネス展開■ Early engagement の推進■ 遠隔保守 TELeMetrics™

■ 量産初期より顧客製品デバイスの歩留まりと装置稼動率の最大化を実現、また環境負荷も低減■ Machine learning による予知保全■研究開発
未来を見据えた研究開発、フロントローディング、
知的財産マネジメント、コンソーシアムとの協業■技術革新への挑戦
アナログとデジタルの融合、AI 技術の活用、進化するディスプレイへの対応■製品の環境貢献
環境についてのリスクと機会、中長期目標、持続可能な社会に貢献する製品、製品環境法規制における取り組み

15

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2019

産業と技術革新の基盤をつくろう

気候変動に具体的な対策を■ 仕事の効率化と 1 人当たりの生産性向上を推進し、人材・開発への投資をさらに増加

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 201916

Product competitiveness
製品競争力

知的財産マネジメント
TEL の知的財産活動は、知的財産の適切な保護を通じて事業活動をサポートし、企業収益の向上に貢献することを基本方針としています。開発・製造拠点および本社に配置された知的財産担当者が、研究開発からマーケティングま＊グローバル出願率 : 複
数国に出願される発明の割合

技術革新への挑戦
アナログとデジタルの融合

でさまざまな角度から各案件を検討し、技術・製品戦略に沿った知財ポートフォリオを構築することで、競争力の向さまざまなモノがインターネットにつながる IoT 時代を迎え、膨大なデータを高速かつ効率的に処理する半導上に努めています。知的財産領域における優位性をワールドワイドで維持すべく、グローバル出願率＊は 8 年連続で体が求められています。そうした中で開発が進められているのが、人間の神経回路をヒントにした「ニューロモー

約 70%、特許許可率も日本で 83%、米国で 85%（ 2018 年 ）と、高い割合を維持しています。また、市場環境の変化

フィック・デバイス」です。従来型のアーキテクチャーのコンピュータは、情報処理の際にエネルギー消費の面で大に伴い、中国への特許出願も強化しています。

きなムダがあり、データセンターで使われるコンピュータの消費電力が数十 kW に対し、人間の脳ではわずか 20W＊1
動作周波数：複数の電子回路が処理の歩調を合わせるために用いる信号が、１秒当たり何回発生するかを示す値。
コンピュータの処理性能を示し、高ければ高開発戦略の要である技術者に対しては、知的財産権への意識を高める教育を継続的に実施しており、累計約程度、また動作周波数＊ 1 においても、現在の半導体デバイスが 5GHz に対して、人間の脳は数十 Hz 程度と言われて4,200 名が発明者となっています。また、お客さまや協業先の技術情報など機密性の高い情報を扱う機会も多いこいます。ニューロモーフィック・デバイスでは、従来のデジタルロジックとメモリのみで役割分担していた処理機

くなるとから、機密情報管理に関する教育にも注力しています。

能・記憶機能の代わりにアナログ素子を用いたシナプス結合＊ 2 を活用することで、少ない消費電力で高度な情報処＊2
シナプス結合：学習や技術発明者累計

4,200 名コンソーシアムとの協業
TEL では、自社の研究開発力を強化するとともに、国内外のコンソーシアムと協業しながら、最先端技術の開発に理の実現を目指しています。ニューロモーフィック・デバイスの開発では、デジタルにアナログを融合するアプロー
チが求められ、これまでのように回路の微細化を追求するだけでなく、アナログ抵抗変化素子＊ 3、不揮発性抵抗変化
メモリ＊ 4 など、人間の神経を模した動きをする半導体の開発がおこなわれています。東京エレクトロン（

記憶に重要な役割をもつとされているニューロン（動物の神経系を構成する細胞）同士のTEL ）では、 間に形成される接合部

自社の強みである成膜技術やパターニング技術などを生かしながら、ニューロモーフィック・デバイスやその先にある量子コンピュータなど、次世代コンピューティングの中枢となる半導体に使われる新材料、またそれを活用するための製造プロセスの研究を進めています。

＊3
アナログ抵抗変化素
子：抵抗が連続的に変わる機能を備えた電子デバイス素子

取り組んでいます。米国、ベルギー、シンガポールなどを拠点として、世界のデバイスメーカーや国際的な研究機関と協力し、次世代の半導体製造技術に関する研究を進め、2018 年からは、次世代 AI のハードウエアの開発をおこないほど消費電力も大きAI 技術の活用う世界的な研究ハブに参画しています。これらのコンソーシアムにおいて、TEL は主に、AI コンピューティングに特TEL は、AI の活用を推進し、高いレベルでの安定した装置稼動と開発活動の効率化の実現に取り組んでいます。半化したチップの製造技術に加え、先進の制御ソフトなど、ソフトウエアの付加価値を上げる開発を担っています。

導体製造装置の稼動状態をリアルタイムに把握し、そのデータを AI で解析することで、装置のパフォーマンスの維＊4
不揮発性抵抗変化メモ
リ：不揮発な抵抗変化を利用したランダムア
クセスメモリ持やウェーハ加工精度の均一化、予期せぬダウンタイムの回避など装置稼動効率の向上を目指しています。現在は、コンソーシアム韓国

東京エレクトロン開発拠点

Tokyo Electron Korea（2019 年 4 月 1 日現在）

2017 年に立ち上げた AI の専門部署が中心となり、装置から出力される膨大なデータを AI で解析するためのアルゴ

米国
TEL Technology Center, America

TEL Technology Center, Korea

リズムの開発などに取り組んでいます。また 2018 年からは最新技術動向の共有や社内連携の強化を目的とした AI
ワークショップを開催し、より効率的な開発活動を目指しています。

進化するディスプレイへの対応
パソコン、テレビ、モバイル機器などに使用されるディスプレイは、大型化、高解像度化など常に進化し続けてきました。また近年では、自発光型で、よりコント日本

シンガポールIME

東京エレクトロン宮城

ラスト表現に優れた有機 EL の採用も進んでいます。そのような最先端のディスプ

東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ

レイ製造を支えるのが、ガラス基板上に微細な電子回路を形成するフォトリソグラ

東京エレクトロン九州

フィ技術です。TEL では、FPD コータ/ デベロッパ装置、FPD ドライエッチング装置

ベルギー
imecの開発・製造・販売をおこなっており、2017 年には世界最大の第 10.5 世代ガラス FPD コータ/ デベロッパ
基板（ 2,940mm x 3,370mm ）での生産に対応した製品をリリースしました。

台湾
TEL Technology Center, Taiwan

フランス
CEA-Leti

FPDコータ/ デベロッパ装置では、フォトレジストと呼ばれる感光材料の塗布・現CNSE像処理を極めて均一におこなっています。TEL が独自開発し、世界で初めて量産採用されたエア浮上式スリットコータユニットでは、安定したガラス基板搬送と生産性、均一性の向上を同時に実現しています。

FPD ドライエッチング装置においては、フォトレジストで描かれたパターンをマスクとして、各種薄膜材料をエッチングしています。ここでは、大型化するガラス© CEA / Pierre Jayet

FPDプラズマエッチング/ アッシング装置

基板面内の加工均一性が重要となり、TEL では大型基板対応プラズマ源を独自開発し、さまざまな膜種や加工パターンに見合ったプロセスを評価・提案することで、高品位なディスプレイの量産に貢献しています。
スマートフォンをはじめとして大型テレビへも採用が広がる有機 EL ディスプレイ分野においては、パートナー企業とインクジェット描画装置を共同で開発するなど、有機 EL ディスプレイのさらなる高解像度化や生産性向上に向けた新技術の提供に努めています。

TEL では、今後もディスプレイの進化・発展に貢献する新たな技術を開発・展開していきます。

17

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2019TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 201918

Product competitiveness
製品競争力

製品の環境貢献
環境についてのリスクと機会環境に関わるさまざまな課題は、私たちの生活や企業の活動に影響をおよぼします。気候変動や異常気象による地持続可能な社会に貢献する製品
TEL では、バリューチェーンにおける CO2 排出量のうち、販売した製品の使用での CO2 排出量が全体の約 88％

球の平均気温の上昇、暴風や災害、水不足などによる物理的リスクは、資産に対する損害、オペレーションコストの増を占めています。そのため、環境に配慮した製品設計を推進することが企業活動において重要と考え、製品の省エネ加やサプライチェーンへの影響など事業へのリスクを高めます。また、法的リスクとして環境関連法規制の強化は、ルギー化に取り組んでいます。TEL は、2014 年度に設定した「エネルギーおよび純水の使用量を、2018 年度までに製品や事業所における対応が必要となります。一方で、環境に対する取り組みを進めることは、優れた環境対応製品2013 年度比で 10% 削減する」という目標に向けて、エネルギー使用量の削減や、スループットの向上に努めてきまの提供による販売の機会の増加や、オペレーションコストの削減、さらには会社の企業価値向上にもつながります。

した。その結果、2018 年度以前に目標を達成した 4 機種に加えて、目標年度の 2018 年度でさらに 4 機種で目標を達

東京エレクトロン（ TEL ）では、ISO14001 の要求事項に基づき、環境に関する「内部・外部における課題」について

成＊ 1 しました。具体的には、高い信頼性と高生産性を提供する 300mm ウェーハプロセス対応プラズマエッチング

気候、大気の質、水質と組織の関連を分析・特定し、お客さま、お取引先さま、行政機関、従業員からの環境に関連するニ装置の「Tactras™ Vigus™」において効率化を図り、ウェーハ 1 枚当たりの消費電力を 12% 削減しました。加えて、「取り組むべきリスクおよび機会」を①環ーズ・期待と、TEL グループの遵守義務を特定しました。これらの情報から、

バッチ式洗浄装置の「EXPEDIUS™」シリーズ、スクラバー洗浄装置の「NS300Z 」、枚葉洗浄装置の「CELLESTA™」

境マネジメント：事業活動での環境負荷低減②法令等の遵守③製品競争力の強化：製品の環境貢献と設定しています。

シリーズでも、スループットの向上、ウェーハ処理プロセスの最適化などで目標値以上の省エネルギーを達成しま＊1

TEL 特定の使用条件においてした。2019 年度からは、新たに「各ビジネスユニットの代表機種で 2013 年度比 2030 年度 30% 削減（2013 年度出バリューチェーン全体の CO 2 排出量「 TechnologyTEL は、バリューチェーン全体の環境負荷を認識し、その削減に配慮した事業活動を展開します。TEL は、for Eco Life 」のスローガンのもと、最先端の技術と確かなサービスで、環境問題の解決を目指します。

453 t

174 t

6,014 t

自社以外の排出

自社の排出

自社以外の排出千スコープ 1、2

千スコープ 3 上流

燃料とエネルギー関連活動

12 t

従業員の通勤

12 t
千

千資本財

千10 t

150 t

千

千購入した製品・サービス

259 t
千

事業から発生する廃棄物

1 t

電力使用と熱購入による間接排出
スコープ 2150 t
千千

ネルギーや水だけでなく、プロセスガスや化学物質の使用、製品の設置面積・体積・重量、パーツのメンテナンス頻度軽減や長寿命化、さらには装置立ち上げ期間の短縮なども含めた CO2 削減貢献量を組み込んでいく方針です。

室効果ガスの直接排出
スコープ 2：
自社が購入した電気、蒸気、熱の使用に伴うスコープ 3 下流

24 t

出張する燃料・ガス使用の排出源から発生する温千燃料・ガス使用による直接排出
スコープ 1」という中期目標を設定しています。この目標では、従来のエ荷装置と比較した場合の CO2 排出削減量を 30% 以上）
スコープ 1：
自社が所有または管理温室効果ガスの間接排出販売した製品の廃棄後の処理

2 t
千販売した製品の使用

5,873 t
千輸送・流通（下流）139 t
千スコープ 3：スコープ 1、2 を除く製品輸送、従業員の業務上の移動、アウトソーシングした主な生産工程など企業のバリューチェーンからの排出※スコープ 3 は、上流活動（購入または取得した製品・サービスに関連する排出）と下流活動（販売した製品とサービスに関連する排出）に分けられる

輸送・流通
（上流）

9 t
千

製品環境法規制における取り組み
TEL は、製品に関わる各国の環境法規制を遵守するために、早期に情報を収集し、適切な対応に取り組んでいます。例
えば、EU REACH 規則＊ 2 への取り組みとして、成形品中の高懸念化学物質の含有を調査し、適切な情報提供をおこなっています。また、GHS ＊ 3 規制への取り組みとして、化学品を販売する際は、安全データシート（ SDS ＊ 4 ）を提供しています。2018 年度は、2017 年度に導入した環境 IT システムを一部改修し、サプライチェーンとのより効率的な情報共有

質の登録、評価、認可、制限に関する規則適合講座」を引き続き実施しています。お取引先さまに対しても、各環境法規制情報の提供をしています。

＊3

今後も、各国環境法規制の情報を迅速に把握するとともに適切な対応に努めていきます。

生物多様性

URL www.tel.co.jp/csr/environment/office/

TEL グループの事業活動は、生物多様性がもたらす恩恵がなければ維持することはできず、また事業活動をおこなうことは生物多様性に少なからず影響を与えています。この認識に基づき、取り組みの推進体制を整備し生物多様下流

TEL グループのスコープ 1 およびスコープ 2 の合計は 174 千 t である一方、スコープ 3 は、合計 6,467 千 t と全体

EU REACH 規 則 : EU
Registration, Evaluation, Authorization and Restrictionof Chemicals。化学物を継続しています。また、頻繁に改正される環境法規制の説明と対応について、全従業員を対象とした「製品環境法規制性の保全に努めていきます。

上流＊2

GHS: Globally Harmonized System ofClassification andLabelling of Chemicals。化学品の分類および表示に関する世界
調和システム＊4
SDS： Safety DataSheet（ 化学物質等安全データシート）

URL www.tel.co.jp/csr/environment/green-procurement/
グリーン調達TEL では環境に配慮した部品・製品、および材料を優先して購入するための「グリーン調達」を推進しています。の約 97% を占めています。特にその中でも、販売した製品の使用での CO2 排出量が 5,873 千 t と全体の約 88％を占めていることから、TEL は、稼動時の CO2 排出量の少ない製品の開発が重要であると考えています。

物流における取り組み

URL www.tel.co.jp/csr/environment/product/

近年物流に対する規制が強化され、環境負荷低減の要求が高まる中、TEL はモーダルシフト＊ 5 など環境負荷低減に中長期環境目標向けた活動を推進しています。

中期目標（ 2030 年）
製品

30％

ウェーハ１枚当たりCO2 排出量（2013 年比）

事務所

20％

CO2 総排出量（2018 年比）

1％

各事業所におけるエネルギー使用量（ 原単位）

（年次目標、前年度比）

長期目標（ 2050 年 ）環境コミュニケーション
URL www.tel.co.jp/csr/environment/office/
では、幅広いステークホルダーとの共通理解のもと、連携・協力を推進し、その期待に適切に対応していくこ
TEL＊5
モーダルシフト : 輸送手段の転換を図ること。
自動車や航空機から、より環境負荷の低い鉄道や船舶による輸送に転換することとを環境方針に掲げています。ステークホルダーの皆さまとのコミュニケーションを通して、環境への取り組みを推進していきます。

東京エレクトロンは 環境マネジメントのリーディングカンパニーとして、地球環境の保全に取り組みます。製品や事業所の環境負荷低減を積極的に推進するとともに、エレクトロニクス製品の低消費電力化に寄与する革新的な製造技術を提供することで、夢のある社会の発展に貢献します。

19

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2019TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 201920