Cube™ CDGsci
Cube™ CDGsci - The Reference

ハイエンドINFICONキューブキャパシタンスダイアフラム計測機器はもっとも高精度（&le; 0.025 % Rd 精度、 &le; 50 ppm FS 信頼性）で、もっとも安定した (< 5 ppm FS/ °C 温度安定性、 < 70 ppm
FS/ 年の長期安定性）真空計です。キューブは真空測定システムを標準化するための純粋な参照機器として設計されています。真空の研究用途としては、これ以外に考えられません。実績のあるINFICON温度制御、防腐性、高純度セラミックセンサーがキューブの優れたパフォーマンスにおいて主な役割を果たしています。キューブは20ビットのアナログ出力と無線または有線Ethernetインターフェースで接続されたRS232C、TCP/IPとHTMLデジタル出力によって現代のコミュニケーションとユーザーフレキシビリティにおいて新しい標準を設定します。各機器には、キューブの優秀な製品研究者が署名した品質証明書が付属しています。’較正の施設に保存または発送してその専門性を強調するために、再使用可能な硬いスーツケースでお届けします。

利点n

高精度な圧力測定 – セラミックテクノロジーn

完全に安定した出力 – PTBにより実証n

柔軟なコミュニケーション – 様々な最新型インターフェースn

すべての機能を統合 – コントローラーは不要nチャンバーに自動取り付け – 重心に合わせて最適化

n

アイソレーションバルブなしでの輸送が可能

1

Cube™ CDGsci - Cube™ CDGsci - The Reference注文の情報2

Cube™ CDGsci - Cube™ CDGsci - The Reference

仕様
タイプ
精度 (1)

1000 Torr

100 ... 1 Torr

100mTorr% of reading

0.025

0.025

0.05

percent FS/°C

0.00050.0005

0.005

温度効果
ゼロ点
温度効果
スパン

% of reading / °C

0.01

計測スパン

% of reading / °C

圧力、最大bar (absolute)

最大圧力bar (absolute)3

最小読み取り値percent FS

0.01

0.01

0.01

推奨最小読み取り値

percent FS

0.05

0.05

0.05

0.001

0.001
2.51.5温度
使用温度 (周囲)°C+10 … +40+10 … +40+10 … +40

保存°C–10 … +50

–10 … +50

–10 … +50

+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)

供給電圧
消費電力
暖気時

W

≤20

≤20

≤20運転時

W

≤17

≤17

≤17

出力信号 (アナログ)

V (dc)

0 … +100 … +100 … +10

応答時間 (2)ms100

100100

IP 40

IP 40

IP 40

保護クラス
標準CE 適合EN 61000‑6‑2/-6-3, EN EN 61000‑6‑2/-6-3, EN EN 61000‑6‑2/-6-3, EN
61010 & RoHS
61010 & RoHS
61010 & RoHSETL 認証UL 61010‑1, CSA 22.2 UL 61010‑1, CSA 22.2 UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1
No.61010‑1
No.61010‑1

SEMI 準拠
電気接続

SEMI S2

SEMI S2

SEMI S2

D-sub, 15 pole, male;
2 x LEMO Coax;
Ethernet FCC

D-sub, 15 pole, male;
2 x LEMO Coax;
Ethernet FCC

D-sub, 15 pole, male;
2 x LEMO Coax;
Ethernet FCC

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

≤30

≤30

≤30

セットポイント
セットポイント数
セットポイントリレー接点

V (dc)

セットポイント

3Cube™ CDGsci - Cube™ CDGsci - The Reference

仕様
タイプ
リレー接点

A (dc)

1000 Torr

100 ... 1 Torr

100mTorr

≤0.5

≤0.5

≤0.5

1

1

1

セットポイント
ヒステリシス

percent FS

診断ポート
プロトコル

Web pages, REST
Web pages, REST
Web pages, REST
services, RS232-ASCII services, RS232-ASCII services, RS232-ASCII

読み取り

pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID

設定

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

接ガス材料Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽³⁾)

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽³⁾)

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽³⁾)

内部容積
内部容積 1/2 in. チューブ

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

内部容積 DN 16 ISO KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容積 DN 16 CF-R

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容積 8 VCR®

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

重量重量 DN 16 ISO KF

g

1670

1670

1670

重量 DN 16 CF-Rg

1670

1670

1670

重量 8 VCR®

g

1670

1670

1670

(1) 運転２時間経過後の温度影響を含まない環境温度25°Cでの、非直線性、ヒステリシス、再現性(2) 増加10 … 90% FS(3) 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

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寸法www.inficon.com

reachus@inficon.com

製品向上のプログラムを続行するため、仕様は通知なく変更されます。
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