VPO-100-300

RTP-200/EP/HV

RTP-150/EP/HV

RTP-100/EP/HV/HV-EP

12インチウェハーまたは300mm x 300mm

最大直径200mm（8インチ）までのシングルウェーハ用またはM10 182 x 182 mmソーラーウェハー

基板サイズ150mm（6インチ）または156mm x 156mm
までのシングルウェーハ用

直径100mm（4インチ）

チャンバー高さ

50 mm

40 mm

40 mm

18 mm

最大到達温度1000 °C (最大10秒間) (ご要望によりそれ以上の温度も可能)

1000 °C

1000°C

最大昇温速度1200 °C
150 K/sec

40 K/sec

50K/sec.

75K/sec

最大降温速度

200 K/min T= 1200 °C > 400 °C:
30 K/min T= 400 °C > 100 °C

200 K/min T= 1200 °C > 400 °C:
30 K/min T= 400 °C > 100 °C

200 K/min T= 1200 °C > 400 °C:
30 K/min T= 400 °C > 100 °C

200 K/min T= 1200 °C > 400 °C:
30 K/min T= 400 °C > 100 °C

到達真空度

10-3hPa

10-3hPa

10-3 hPa

最大10-3 hPa

ガス供給ライン1系統MFC(マスフローコントローラー）※最大３系統可能

1系統MFC(マスフローコントローラー）※最大３系統可能

1系統MFC(マスフローコントローラー）※最大３系統可能

1系統MFC(マスフローコントローラー）※最大３系統可能

温度プロファイルプログラム

最大50ステップ

最大50ステップ

最大50ステップ

最大50ステップ

プログラム登録可能数

最大50プログラム

最大50プログラム

最大50プログラム

最大50プログラム

加熱プレート冷却方式

空冷（N2）

空冷（N2）

空冷（N2）

空冷（N2）

チャンバー冷却ウォータージャケット方式（水冷）ウォータージャケット方式（水冷）ウォータージャケット方式（水冷）ウォータージャケット方式（水冷）電源仕様

2 x 400/230 V, 18 kW

3 x 400/230V, 21kW

400/230 V, 21 kW

400/230 V, 20 kW

装置サイズ (W x D x H)

540 mm x 690 mm x 890 mm

505 mm x 525 mm x 570 mm

505 mm x 525 mm x 570 mm

504 mm x 505 (700) mm x 570 mm

装置重量

140 kg

70 kg

55 kg

55 kg

チャンバー材質

アルミニウム製

アルミニウム製

アルミニウム製

アルミニウム製

プロセスチャンバーサイズ (W x D xH)

350 x 350 x 50 mm

230 x 400 x 40 mm

325 mm x 214 mm x 40 mm

134 x 169 x 18 mm

加熱方式

下部加熱： 赤外線ランプクロス配列（18 kW）
上部加熱 ：赤外線ランプクロス配列（18kW）

赤外線ランプによる上下加熱

24個の赤外線ランプ（21 kW）による上下加熱

18個のIRランプ（20 kW）による上下加熱

プレート上面内温度差≤ 設定温度の1%以下（200mmウェハーの場合）≤ 設定温度の±1.0≤ 設定温度の±1.5≤ 設定温度の±1.5

コントローラ方式

SIMATIC® コントローラ

SIMATIC® コントローラ

SIMATIC® コントローラ

SIMATIC® コントローラ

有効加熱エリアオプション
高真空対応チャンバー10-4 Pa

高真空対応チャンバー10-4 Pa

高真空対応チャンバー10-4 Pa

高真空対応チャンバー10-4 Pa

HV（10-6 hPa）及びターボ分子ポンプ（10-6 hPa）及びターボ分子ポンプ
アクセサリ（10-6 hPa）及びターボ分子ポンプ（10-6 hPa）及びターボ分子ポンプ

EH

チャンバー内部高さ拡張オプション（100mm）

--

--

--

EP

--

最大昇温速度 100 K/sec.オプション

最大昇温速度 150 K/sec.オプション

最大昇温速度 200 K/sec.オプション

HT

最大到達温度 1,200℃オプション

最大到達温度 1,200℃オプション

最大到達温度 1,200℃オプション

最大到達温度 1,200℃ オプション

チャンバー内湿度測定・

チャンバー内湿度測定・

チャンバー内湿度測定・

チャンバー内湿度測定・記録機能及び湿度測定センサ

記録機能及び湿度測定センサ

記録機能及び湿度測定センサ

記録機能及び湿度測定センサ

FA III----RTP用 ギ酸還元モジュール

--

FA-T1

--

--

ギ酸吸着用ケミカルフィルタ--

フォーミングガスと酸素同時構成時安全ユニット

フォーミングガスと酸素同時構成時安全ユニット

フォーミングガスと酸素同時構成時安全ユニット

--

--

--

--

--

--

--

--

--

--

--

--

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・記録機能及び残留酸素濃度測定センサ

記録機能及び残留酸素濃度測定センサ

記録機能及び残留酸素濃度測定センサ

記録機能及び残留酸素濃度測定センサ

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・記録機能及びポータブル残留酸素濃度測定センサ

記録機能及びポータブル残留酸素濃度測定センサ

記録機能及びポータブル残留酸素濃度測定センサ

記録機能及びポータブル残留酸素濃度測定センサ

--

--

--

--

--

--

--

--

--

--

--

--

MM

FG-O2
Lift pin
ExOH
OPLOPOx I
Ox IIISLSSSCRC

フォーミングガスと酸素同時構成時安全ユニットΦ150_200_300 mm ウエハ用
リフトピンオプション
チャンバー開口幅拡張オプション（200mm → 300mm）
チャンバー内加圧オプション（チャンバー内最大加圧 0.02 MPa）
チャンバー内加圧オプション（チャンバー内最大加圧 0.2 MPa）

外部機器通信用 シリアル通信（RS-232）オプション
ステンレス製チャンバーオプション（チャンバー内高さ 50mm）
安全対策ライトカーテン用
インターフェース
外部機器通信用 リモートコントロールオプション

PT

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

SW-VP

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

追加熱電対オプション

追加熱電対オプション（別途、外部ロガーが必要）（別途、外部ロガーが必要）

追加熱電対オプション（別途、外部ロガーが必要）

追加熱電対オプション（別途、外部ロガーが必要）

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション（最大1本）（最大1本）（最大1本）（最大1本）

高温時温度維持時間延長オプション

高温時温度維持時間延長オプション

高温時温度維持時間延長オプション

最大到達温度 1,200℃ 及び最大到達温度 1,200℃ 及び最大到達温度 1,200℃ 及び高温時温度維持時間延長オプ

高温時温度維持時間延長オプション

高温時温度維持時間延長オプション

ション

チャンバー内真空度測定・記録機能及びピラニ

チャンバー内真空度測定・記録機能及びピラニ

チャンバー内真空度測定・記録機能及びピラニ

チャンバー内真空度測定・記録機能及びピラニ

型真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）

型真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）
型真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）
追加マスフローコントローラ（MFC）

型真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）

MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlmMFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC ヘリウム（He） 5 nlm

MFC ヘリウム（He） 5 nlm

MFC ヘリウム（He） 5 nlm

MFC ヘリウム（He） 5 nlm

MFC ヘリウム（He） 5 slm

MFC ヘリウム（He） 5 slm

MFC ヘリウム（He） 5 slm

MFC ヘリウム（He） 5 slm

MFC メタン（CH4） 1 nlm

MFC メタン（CH4） 1 nlm
高濃度水素用安全カバー

MFC メタン（CH4） 1 nlm

MFC メタン（CH4） 1 nlm

VSS/RTP-HoodL/S

VSS/VPO用 高濃度水素対策安全カバー（L）

RSS/RSO/RTP用 高濃度水素対策安全カバー（S）

RSS/RSO/RTP用 高濃度水素対策安全カバー（S）

RSS/RSO/RTP用 高濃度水素対策安全カバー（S）

HoodL/S-SF

HoodL用 地震対策固定具

HoodS用 地震対策固定具

HoodS用 地震対策固定具

HoodS用 地震対策固定具

HoodL/S-PT

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

HoodL/S-H2SD

リークなし確認用水素ガスセンサ

リークなし確認用水素ガスセンサ

リークなし確認用水素ガスセンサ

リークなし確認用水素ガスセンサ

HoodL/S-H2GB

高濃度水素用安全ガスボックス

高濃度水素用安全ガスボックス

高濃度水素用安全ガスボックス

高濃度水素用安全ガスボックス

HoodL/S-H2O2-GB

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

HoodL/S-FOU

排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット）

排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット）

排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット）

排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット）

HoodL/S-UHE-C

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット
チラー・真空ポンプ

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット

70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

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接水部銅不使用空冷式小型チラー（冷却機能 4.7 kW

接水部銅不使用空冷式小型チラー（冷却機能 4.7 kW

接水部銅不使用空冷式小型チラー（冷却機能 4.7 kWクーラー付き） ※配管部材一式を含むクーラー付き） ※配管部材一式を含むクーラー付き） ※配管部材一式を含む

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耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ（真空到達度 0.5

耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ（真空到達度 0.5

耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ（真空到達度 0.5Pa） ※配管部材一式を含む

Pa） ※配管部材一式を含む

Pa） ※配管部材一式を含む

TC I
TC II
TX
TX-HT
VAC II

VPO/RTP-UHE II
VPO/RTP-UHE-II
VPO/RTP-UHE-III--

接水部銅不使用空冷式小型チラー
VPO-OC2200-SP（冷却機能 8.7 kW クーラー付き）※配管部材一式を含む

RTP-OC753J-SP
VPO-PK250G
RTP-PK110G-耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ（真空到達度 0.5 Pa） ※配管部材一式を含む--