E HS Report

事業所における環境への取り組み−地球温暖化防止
東京エレクトロングループは、地球温暖化防止へ向けて、エネルギー使用量の削減に取り組んでいます。

■ エネルギー使用量削減の取り組み

電力使用量推移

当社グループは、省エネ法の規定に基づきエネルギー（10万kWh）国内使用量の削減を進めています。各事業所では、照明やOA

148 160 150

機器の節電、空調の温度設定管理などの具体的な目標を

山梨事業所（穂坂地区）は、風力と太陽光を利用したハイブリッド発電0灯に利用しており、1日で約2.5ｋWhの電力使用量を削減できました。

2,430

192
1,916

1,881 1,828 1,838

1,652

2,396
2,345
2,181
2,191
2,151
1,858
1,501
1,212
1,206
1,089

計画的設備停止や作業の効率化にも取り組んでいます。

テムで発電した電力を街灯2基の点

126101

掲げ、積極的に取り組みを推進しています。また、連休時のシステムを設置しました。このシス

重油使用量推移（kl）

海外

96 97 98 99 00 01 02 03 04 05

灯油使用量推移

ガス使用量推移

（kl）

（千m3）

1,146
1,062
996
990 990942908ハイブリッド発電システム

1,665

967 958

096 97 98 99 00 01 02 03 04 05

1,631

LPG

都市ガス

■ エネルギー使用量の推移
838

2005年度は2004年度同様、生産量の増加に伴いエネルギー使用量の総量は増加しましたが、原単位では削

364

738
658
545

403 389

減することができたので、「 売上高あたりのエネルギー使用量を前年度比1%削減」という目標を達成しました。今後も省エネルギー化の取り組みを強化していきます。

096 97 98 99 00 01 02 03 04 05

62 60 66 70 50 59
0 74 72 55 59 66 66 63 58 56 110
96 97 98 99 00 01 02 03 04 05（国内および海外事業所）

なお、山梨事業所では、プロセスガスの除害用に使用するLPGの量が増加した結果、使用量が2004年度の約2■ CO2以外の温室効果ガス使用量削減倍に増えています。

プロセス開発・評価時のドライエッチングや洗浄などのまた、2005年度からCO2の排出量算定において、国内のフィールドエンジニア駐在拠点のデータを加え、環境省工程で、温室効果ガスの一種であるPFC（パーフルオロカーボン）類やSF6（六フッ化硫黄）を使用しています。
2005年度 の温室効果ガス使用量は12,643トン

作成の「事業者からの温室効果ガス排出量算定方法ガイ（CO2換算）で、2004年度の7,422トンより大幅に増加ドライン」を参照しています。

しました。これは、製品評価などに用いられるガスの種類＊1

総エネルギー使用量（CO2換算 ）の推移
CO2排出量（国内）
CO2排出量（海外）1997年度売上高原単位を基準とした数値＊2
売り上げ原単位比前年度＊3 208.0
193.1
197.0
168.2

（t-CO2）（％）
401

温室効果ガス使用量（t-CO2）

134.7
95.8

100.0

HFC類

PFC類

その他

SF612,643

147.5

150.9

104.4と使用量が増加したためです。

150.8

135.5
10,082

105.6

9,162
87.1

89.3

その他
1887.7

91.9

7,422

92.8

その他
194,681

6,740

78.4

50,48865,81794,00995,487
100,941
45,92252,456
84,761
95,486104,110
096
9798
9900
0102030405＊1 CO2換算は環境省作成「事業者からの温室効果ガス排出量算定方法ガイドライン」を参照＊2 原単位＝エネルギー使用量／売上高（1997年度＝100％）＊3 前年比＝当年度原単位／前年度原単位（国内および海外事業所）

3,106

その他
566,682
6,297

026 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

3,236
1,85601,46802

1,284
1,1400378404322

1,62005（国内事業所）

E HS Report

事業所における環境への取り組み −廃棄物削減
東京エレクトロングループでは、環境負荷低減のため、廃棄物の削減やリサイクル率の向上に取り組んでいます。

■ 廃棄物削減・リサイクルの考え方■ 廃棄物の内訳

廃棄物はなるべく排出しないように努め、排出した廃棄当社グループで最も多い廃棄物は廃液類で、製品の開物はできるだけリサイクルし、リサイクルできない廃棄物

発および評価時に使用した薬品が廃液となっています。現は適正に処理するという方針に基づき、グループ全体で廃在廃液のほとんどはリサ廃棄物内訳（%）

棄物の削減に取り組んでいます。近年は最終処分場が不イクルされています。ま飲料容器 1

足し、埋め立て処理費用が上昇しているため、廃棄物排出た、一部の事業所では廃量の削減はコスト削減にもつながります。

液処理設備を導入し、廃プラスチック 6

具体的には、廃棄物の分別回収、廃棄物が発生しない液 の事業所内処理を行紙類 6

生産工程への変更、リサイクル業者の拡大、廃棄物処理っており、今後は廃液処委託業者の認定管理、最終処分状況の定期的な確認な理設備 の導入事業所をどを行っています。また、各事業所で拡大していく予定です。

厨房厨芥 1
その他 3

一般廃棄物（行政引取り）2
木屑、梱包材 3

金属／製品屑
11

廃液67

は廃棄物の分別方法を分かりやすく表示したり、啓発用ポスターを掲示し■ ゼロエミッションています。例えば米国にあるTokyo単純焼却や埋め立て処分する廃棄物量が2%未満の事

Electron U.S. Holdings, Inc.では、啓業所を「ゼロエミッション事業所」と定義し、グループ全体発用のポスターを作成し、廃棄物の有でゼロエミッション活動を推進しています。2005年度は、
東北事業所を除きすべての製造系事業所でゼロエミッシ効利用を促した結果、2005年度に32啓発用ポスタートンの紙類をリサイクルできました。

ョンを継続しました。今後は、非製造系事業所でもゼロエミッションの達成を目指します。

■ 廃棄物排出量とリサイクル率
1998年度に2005年度までにグループ平均のリサイク
ル率を95%にするという目標を掲げて取り組みを進めた
ところ、2004年度のリサイクル率は96.1％、2005年度には96.4%を達成しています。今後はリサイクルするものも含め、廃棄物排出量の総量削減に取り組んでいきます。

東北事業所での廃棄物削減の取り組み
東北事業所では、1996年度は900トン以上あった廃棄物総量（リサイクル分を含む）が、2005年度は約400トンとなり、約56％の廃棄物を削減できました。残念ながら床の補修に伴う建物のがれきが発生したためリサイクル率は減少し、リサイクル率と廃棄物排出量の推移
廃棄物量（焼却および埋め立て量）
リサイクル率93.1（t）

TOPICS2005年度はゼロエミッションを継続できませんでしたが、今96.1

（％）
96.4

2005年度リサイクル率目標値95％

後も高いリサイクル率の維持と廃棄物総量削減の検討を進めていく方針です。

東北事業所の廃棄物排出量・リサイクル率の推移
77.4（t）

リサイクル
産業廃棄物
リサイクル・再資源化率

69.755.249.759.8

59.9

96.5

97.0（％）

一般廃棄物

98.0

96.6

423.8

385.9

8.5
04

13.7
05

40.9
766.3
517.2
15.3
0

4,23896

521.0

6.2
4,772
97

3,189
98

3,179
99

3,65700

3,938
01

3,26802

84703

431
469
0
04
05
（国内事業所）

0136.596

19.0
02

15.903

TOKYO ELECTRON

0

環境・社会報告書 200627

E HS Report

事業所における環境への取り組み −省資源
東京エレクトロングループは、紙や水の使用量削減を進め、省資源に取り組んでいます。

■ 省資源に対する考え方■ 水使用量削減の取り組み

環境に配慮した製品を優先的に購入する「グリーン購

製造系事業所では、水の使用量を減らすために様々な入」を推進し、資源の使用量を最小限に抑えています。具

活動を展開しています。生産工程に循環装置を設置し、冷体的には、コピー用紙や文房具などに関して、使用量・購入却水などを再利用しています。また、トイレや手洗い用に量を削減することや環境に配慮した製品の購入を進めて自動水洗装置を導入して水の止め忘れや無駄な使用を減いるほか、オフィスで使用するプリンター用トナーをリサイらしています。

クル品に切り替え、メーカーによる使用済み製品回収への協力も積極的に行っています。一部の事業所では、
イント

水使用量の推移
（千m3）

工業水

上水

地下水

ラネットを利用して、ある部署で使用しなくなった文房具類を 他 部 署 で 使 用
817

で きる仕 組 み を 構

770

812
89527

445

391

290

325332979899693

築して、リユースを実施しています。

イントラネット上のリサイクルボックス

972

1,00467146119436

388474390430

415000102

1,014
10764

1,00470106486437357391

1,09511592506521■ 紙使用量削減への取り組み
当社グループ全体で、紙の使用量削減に取り組んでい海外使用量
1,0398862172096ます。コピー用紙の両面使用、縮小コピーの励行、情報や382030405（国内および海外事業所）

回覧書類の電子化などに努めた結果、2005年度のコピー用紙使用量は、グループ全体で2004度より約9%少なくなり、年間で約830万枚を削減することができました。また、特別な用途を除いて再生紙の使用を進めるだ
けではなく、非木材資源のケナフを使用した紙コップを導TOPICS
熊本・合志事業所での水使用量削減
合志事業所では、使用される水のほとんどが地下水です。
そのため、地下水の枯渇防止や汚染防止に力を入れてい入するなど、森林資源の保全につながる活動を実施してます。省資源を目的として、冷却水や真空ポンプシール水います。今後は、業務で使用するコピー用紙の見直しをの循環利用、水を使用しない真空ポンプの導入などに、生継続することで記録用紙や帳票類を必要最小限に集約産現場から率先して取り組んでいます。また、事業所内では生活用水の使用を最小限にするなどの活動も行っていまし、さらなる紙使用量削減を目指します。

す。こうした取り組みが評価され、2004年度には財団法人
肥後の水資源愛護基金から「肥後の水資源愛護賞」をいただきました。

コピー用紙使用量の推移（千枚）

製造系事業所

事務所系事業所

131,500
19,350107,367
18,30095,785
18,617

87,63418,184

94,217
17,41785,852
16,038112,150
89,067000

01

77,16869,45002

03

76,80004

69,81405（国内事業所）

28 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

水を循環利用する真空ポンプ

水を使用しない真空ポンプ

E HS Report

事業所における環境への取り組み −化学物質管理
東京エレクトロングループでは、化学物質の適切な管理および排出量削減に努めています。

■ 化学物質管理の考え方PRTR法第一種対象物質排出量

当社グループでは、主に製品の開発時および製造時に化学物質を使用しています。開発時には、従来は使用して（kg）
排出量

排出先排出量合計

1

移動量合計

2,275

いなかった化学物質を新たに採用したり、化学物質をそ消費量
除去処理量

3,070

れまでとは違う方法で使用したりする場合があります。そリサイクル量2,818

合8,188の際には、事前に使用設備や使用方法のアセスメントを行い、環境や作業安全上のリスクを評価し、必要な対策を取ってから使用を開始しています。製造時に使う化学物質

24計

PRTR対象物質マテリアルバランス
大気排出量 1kg/年

水域への排出 0kg/年

についても、危険性や有害性ができるだけ少ない物質へTEL

取扱量8,188kg/年の切り替えを進めています。

製品24kg/年

リサイクル 2,818kg/年■ PRTR＊法への対応
法の規定に基づき化学物質の管理を徹底するとともに、廃棄物 2,271kg/年

自社埋立 0kg/年除去処理量 3,070kg/年

下水道への移動 4kg/年

取扱量や排出量などを継続して把握しています。PRTR対象物質のなかでも使用量の多いふっ化水素は、主に評■ PCBの保管価用ウェーハの洗浄に使用しています。使用後は廃棄物「ポリ塩化ビフェニル（PCB）廃棄物の適正な処理の推として専門業者に処理を委託するか社内で適正に処理し進に関する特別措置法」に基づき、PCBの保管や処分のています。冷却水の冷媒として使用しているエチレングリ状況を都道府県知事に毎年届け出ています。当社グルー

コールも、同様に使用量の多い物質です。エチレングリコプが保管しているPCBを含む廃棄物は、トランス2台とコールについては、使用後ほぼ全量をリサイクルしています。

ンデンサー4台で、厳重な管理を行っています。

今後も、化学物質の適切なリスク管理を継続していきます。
＊ PRTR（Pollutant Release and Transfer Register）：人体や生態系に害を与える恐れのある化学物質について、その使用量と環境への排出量、廃棄物に含まれて事業所外に移動した量を把握・集計し、公表する仕組み

TOPICS
特殊ガスの管理製品の開発・評価工程では、特殊なガスや薬液を使用して実際の半導体製造工程を再現し、製品の評価を行っています。これらの特殊な化学物質には、環境や人体に対して有害

PRTR法第一種対象物質取扱量の推移
法令で定めた番号

第一種指定化学物質名

1
亜鉛の水溶性化合物
3アクリル酸
162-アミノエタノール
43 エチレングリコール
44 エチレングリコールモノエチルエーテル
45 エチレングリコールモノメチルエーテル
63 キシレン78
4,4 -ジフェニールメタンジイソシアネート
172 N,N-ジメチルホルムアミド
207 銅水溶性塩（錯塩を除く）
227 トルエン
260 ピロカテコール
283 ふっ化水素及びその水溶性塩
304 ほう素及びその化合物
311 マンガン及びその化合物
合計※2001年度、2002年度は、トン単位で把握（kg）

2001年度

2002年度00520
1,5001200180029019062002,470005,890

500700002004300475
04,000 9,144 6,353 2,800000000030000001424450309
13101200110000503003
93,690 4,558 3,553 4,811
0001
900
450
610
540
9,670 14,461 11,344 8,188

2003年度

2004年度

2005年度な物質も含まれているため、設備や運用において厳重な管理を行っています。兵庫県尼崎市にある関西テクノロジーセン
ターでは、特殊化学物質の使用に際して、使用設備に異常がないかどうかを、日常点検や定期点検で確認しています。万が一漏洩などがあった場合は、ガス検知システムが感知し、供給元を遮断するなどの対策を取る仕組みができています。また、作業者への通報は、サイレンや自動放送のほか、クリーンルーム内や入り口、事務所に設置されたメッセージボードで随時、状況を連絡できる体制を構築しています。

メッセージボード（国内事業所）TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 200629