マイクロ光造形モールディングによる3 次元セラミックス構造の作製と応用
横浜国立大学大学院 工学研究院
准教授 丸尾昭二（平成22年度一般研究開発助成 AF-2010206）
キーワード：マイクロ光造形，鋳型，セラミックススラリー,スキャフォールド，振動発電素子

1．研究背景と目的セラミックス微粒子からなる懸濁液（スラリー）を注入し近年、3 次元 CAD データから自在に立体を造形する３て、セラミックス構造体を作製する技術の開発とその応用

D プリンター技術が注目を集めている。従来、ラピッドプ研究に取り組んだ。以下では、マイクロ光造形を基礎とすロトタイピングと呼ばれていた試作技術が発展し、産業用るセラミックスモールディングプロセスの原理を説明し、途のみならず、自分がデザインした立体を誰でも簡単に作セラミックス材料として、バイオセラミックスおよび圧電製できる時代となった。３D プリンターの造形法には、粉セラミックスを用いた応用研究について報告する。

体を積層させながら接着剤で固める方法や、光硬化性樹脂を用いたインクジェット方式、熱溶融樹脂を押し出して積2．マイクロ光造形モールディング層する方式などさまざまな方法が開発されている。また、マイクロ光造形モールディングでは、マイクロ光造形で使用材料も、ABS ライクからゴム状まで多種多様な機械作製した立体的な樹脂鋳型と、その鋳型に充填するセラミ的特性を持った樹脂材料が開発されている。さらに最近でックス微粒子スラリーを用いて、任意の３次元セラミックは、金属や砂型、セラミックス構造などを直接造形するこス構造体を作製する。図１に、本手法の作製プロセスを示とも可能となってきている。

す3）。まず、樹脂鋳型にセラミックス・スラリーを注入し、このような３Dプリンター技術のなかでも、最も古くかスラリーを乾燥させて、樹脂鋳型の内部にセラミックスの1）ら活発に研究・開発されてきた技術が光造形法である 。

乾燥体を作る。その後、樹脂鋳型を熱分解（脱脂）するこ

光造形法は、レーザー光を用いて光硬化性樹脂を硬化させとによって除去し、セラミックス成形体を得る。最終的に、て積層することにより、所望の立体を作製する技術である。

この成形体を焼結し、樹脂鋳型の３次元形状が転写された

光造形法の最大の特長は、他の技術に比べて、加工分解能セラミックス構造体を形成する。

が極めて高いという点である。特に、我々が開発している

このプロセスで重要な点は、複雑形状の樹脂モデルを熱超短パルスレーザー光を用いた「２光子マイクロ光造形法」分解する際に、乾燥体が崩壊するのを防ぐことである。そ２）を用いれば、100ナノメートルの加工線幅で自在にマイこで我々は、マスターディコンポジションカーブ理論を利クロ立体構造を作製することも可能である。

用して、熱分解時に生じる樹脂鋳型の重量減少率を一定にマイクロ光造形法を用いた多品種少量生産に向けた課保つように昇温過程を精密制御することを試みた3,4)。

題の１つが、適用材料の拡張である。従来のマイクロ光造

図３に、昇温過程を最適化して、一定の重量減少率を実形法では、光硬化性樹脂が材料として用いられてきた。こ現した例を示す。この実験では、目標とする重量減少率をのため、微小機械部品や、マイクロ流体回路、医用ツール0.05wt％として、この目標値に実際の重量減少を追従させなどを試作した場合には、機械的強度、耐試薬性、生体適ている。この最適化した昇温過程に従って、樹脂鋳型を合性が不十分であり、試作品の実用化への課題となってい徐々に熱分解させることで、高濃度なスラリーを用いて、た。また、光硬化性樹脂そのものに導電性や圧電性などの３次元マイクロ・セラミックス構造体を高精度に作製する

電気的特性を付加することも困難であり、アクチュエータことができる。

やセンサーなどを作製することもできなかった。
そこで本研究では、マイクロ光造形法の３次元加工自由

3．バイオセラミックスを用いたスキャフォールドの作製度の高さと、加工分解能の高さを活かして、光硬化性樹脂マイクロ光造形モールディングの大きな特長の１つと製の３次元鋳型を作製し、この鋳型に対して、さまざまなして、多彩なセラミックス材料を活用できる点が挙げられ

ー 166 ー

図１

図 2

マイクロ光造形セラミックスモールディングによるセラミックス構造体の作製

マスターディコンポジションカーブ理論を用いた樹脂の熱分解制御 3)る。そこで、新たな応用例として、歯科や骨の再生医療に役立つ3次元スキャフォールドの作製を検討した。これまで、スキャフォールドの作製技術としては、熱や溶剤で消失可能なポリマー微粒子を用いて、ランダムな微細空孔を持つスキャフォールドを作製する方法や、セラミックス微粒子を混合したハイブリッド光造形樹脂を用いた光造形法などが開発されている5,6）。しかしながら、いずれの方法にも課題があり、より高精度で微細な空孔を有するスキ図３

βリン酸三カルシウムを用いた耳小骨モデルのャフォールドの作製技術の開発が求められている。

作製(a)樹脂鋳型 (b)焼結体

そこで、我々のマイクロ光造形モールディングを用いて、バイオセラミックスの1つであるβリン酸三カルシウム微粒子を用いてスキャフォールドを試作した。図３に、耳小骨モデルのデータから作製した樹脂鋳型と、焼結後のスキ形状のセラミックス構造体を作製できる。したがって、医療画像データから、患者に応じたスキャフォールドをオーダーメイドできるという特長がある。

ャフォールドを示す7）。樹脂鋳型は、紫外レーザー光を用いた積層型マイクロ光造形法を用いて作製された。この鋳型は内部に格子状の空孔を持つシェル構造をしており、外壁に設けた多数の注入口からスラリーを充填する。充填法としては、高濃度なスラリーの充填が可能な遠心法を採用した。また、より微細な空孔をもつ立方体型スキャフォー
ルドの作製も行い、細孔サイズ60µmで空孔率30%を達成した（図４）。このように、マイクロ光造形モールディン
グでは、シェル構造を用いることで、後加工無しで所望の4．圧電セラミックスを用いた振動発電素子の作製
近年、ユビキタス・センサーネットワークによって、環境モニタリングや防災・防犯センシング、工場や機械などの自動監視・効率向上を図る研究開発が盛んに行われている。このようなユビキタス・センサーネットワークでは、多数のセンサーを分散配置する必要があるため、各センサーへの配線や電源供給が不要であることが望ましい。そこ
で、自立的に発電するマイクロ環境発電デバイスの研究がー 167 ー

図５

チタン酸バリウムを用いたスパイラル発電素子の試作(a)CAD モデル (b)樹脂鋳型 (c)脱脂後の成形体(d)焼結体の注入口がスパイラルの上下や側面に設置されている。図５(c)、(d)は、非鉛系圧電セラミックスの一種であるチタン酸バリウム（平均粒径：400nm、150nm）のスラリーを用いて作製したスパイラル素子の成形体および焼結体で図４ある。

立方体型スキャフォールドの作製

このスパイラル素子に分極処理(1.5 kV/mm)を施し、ス(a)樹脂鋳型 (b)焼結体の拡大写真

パイラル素子の上下に電極を取り付けた後に、自動ステー注目されている。なかでも、機械や工場などで発生する振動をエネルギー源とした振動発電は、天候などの環境変動の影響を受けないという特徴があり、世界中で盛んに研究されている。
振動発電には、静電誘導方式、電磁誘導方式、および圧電方式などがある。このうち、圧電方式は最もエネルギー密度が高く、小型化に適しているという特徴がある。これ
までに圧電方式としては、マイクロカンチレバー型やナノワイヤーなど１次元や２次元振動を利用したタイプが主流であった8,9）。
そこで我々は、マイクロ光造形モールディングによって、３次元的な振動エネルギーを高効率に電気エネルギーに変換可能な３次元圧電素子の開発を行った。まず、３次元形状を活かしたマイクロ振動発電素子の例として、スパイラル形状の圧電素子を設計した10）。スパイラル素子の特徴としては、３軸方向の荷重に対して電力を取り出せることや、直線的なカンチレバーに比べて大きな変位が得られ、かつ固有振動数を低くすることができるなどが挙げられる。これらの特長から、従来よりも高効率な発電素子を作製できると考えられる。
図５(a)、(b)に、スパイラル素子を作製するための樹脂鋳型のCADモデルおよび試作例を示す。この樹脂鋳型には、セラミックス微粒子スラリーを充填するために、複数ジに取り付けたロードセルを用いて、周期的な荷重（2.8 N,2 Hz）をかけて、発電特性を評価した。実験では、まず、最適な負荷抵抗を調査するために、最大電圧と電力の負荷抵抗依存性を調べた（図６）。その結果、89Ωの時に、最大で123pWの電力が得られた。
次に、得られた最適な負荷抵抗を用いて、xyz各方向から周期的な荷重をかけたときに生じる電圧を評価した。図７は、ｙ方向から荷重をかけたときに生じた電圧の計測例である。同様に、いずれの方向の荷重においても電圧が生じることを確認した。これらの実験結果から、マイクロ光造形モールディングによって作製したスパイラル圧電素子が３次元振動発電デバイスとして利用可能であることがわかった。しかしながら、現時点では、発電性能が小さいという課題がある。この原因としては、我々の試作した圧電素子の圧電定数の値が小さいこと、電極配置が最適化されていないなどが挙げられる。実際に、同一のスラリーおよび焼結条件で基準素子を作製し、共振・反共振法を用いて圧電定数を評価した結果、d33 およびd31 がそれぞれ65.4 pC/N、‐43.8 pC/Nであった。今後、焼結条件などを最適化して圧電定数を向上させたい。また、圧電素子の性能は、分極方向や電極配置に大きく依存するため、今後、電極配置を最適化することで、発電性能の大幅な向上が期待できる。

ー 168 ー

本研究では、応用例として、バイオセラミックスを用いた医療用スキャフォールドを作製し、後加工なしで複雑形状のセラミックス製足場を形成できることを実証した。本手法を用いれば、患者のCTデータなどからオーダーメイドで足場を形成できるため、次世代の高度医療に貢献できると考えている。さらに、もう１つの応用例として、圧電セラミックスを用いて、振動エネルギーから電力を生み出すスパイラル型振動発電素子を開発した。この素子は、従来のカンチレバータイプと異なり、あらゆる方向の振動から効率的に発電できるという特長があり、今後、電極配置や構造最適化によって、より高効率な発電素子の開発が期
図６待できる。このような３次元振動発電素子は、センサーネスパイラル発電素子の負荷抵抗の最適化

ットワークを駆使した工場や建物などのヘルスモニタリング、大型機械やロボットなどの常時センシングなどに応用できると考えている。

謝辞
本研究は公益財団法人天田財団平成22年度一般研究開発助成（ AF-2010206）の助成を受けて行われたものである。ここに、深く謝意を表す。また、実験を担当してくれた横浜国立大学大学院工学府システム統合工学専攻の稲田誠氏、鳥居嵩氏、門利謙作氏に深く感謝する。

参考文献
1) 丸尾昭二：“３次元造形”、レーザーマイクロ・ナノプ
ロセッシング（杉岡幸次、矢部明監修（シーエムシー出版），174-190 (2004) .
2) S. Maruo, J.T. Fourkas：“Recent progress in multiphotonmicrofabrication”, Lasers & Photonics Reviews

2,100-111 (2008).
3) M. Inada, D. Hiratsuka, J. Tatami and S. Maruo ：“Fabrication of Three-Dimensional Transparent SiO2
図７

周期的な荷重によるスパイラル素子の発電実

Microstructures by Microstereolithographic Molding,” Jpn.
J. Appl. Phys. 48, 06FK01 (2009).

証実験4) C. B. DiAntonio, K. G. Ewsuk, D. Bencoe： “Extension ofMaster Sintering Curve Theory to Organic Decomposition”,
J. Am. Ceram. Soc. 88, 2722-2728 (2005).

5．まとめと今後の展望
マイクロ光造形を用いて作製した樹脂鋳型から、任意の３次元セラミックス構造体を作製するセラミックスモールディング技術を開発した。本手法は、マイクロ光造形法の高い加工分解能と加工自由度を活かすことによって、複雑な３次元形状の樹脂鋳型を作製できるため、自由曲面の加工が困難なセラミックス材料でも３次元形状を自在に作製できるという利点がある。また、多種多彩なセラミックス材料を活用できるので、幅広い応用が期待できる。

5) H. Seitz, W. Rieder, S. Irsen, B. Leukers, C. Tille ：“Three-dimensional printing of porous ceramic scaffolds
for bone tissue engineering”, J. Biomed. Mater. Res. B 74,782-788 (2005).
6) Wai-Yee Yeong, Chee-Kai Chua, Kah-Fai Leong andMargam Chandrasekaran： “Rapid prototyping in tissue
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Biotechnology 22, p.643-652 (2004).
7) T. Torii, M. Inada, and S. Maruo：“Three-Dimensionalー 169 ーMolding

based

on

Microstereolithography

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8)

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9) Z.L. Wang ：“ Energy harvesting for self-powerednanosystems”, Nano Res. 1, 1-8 (2008).
10) K. Monri and S. Maruo ： “Three-dimensional ceramicmolding

based

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microstereolithographyfor

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ー 170 ー