製品における環境負荷低減

東京エレクトロングループは、半導体製造装置、ＬＣＤ製造装置、電子部品などの製品やサービスの提供を通じて、お客様にご満足をお届けすることを目指してきました。
さらに環境方針に掲げてありますように、お客様と一体になって当グループ製品の環境負荷を低減させるために継続的に努めていきます。具体的には各事業所ごとに、製品に関する省エネルギー・省資源、化学物質削減などの目標を設け、環境負荷低減型の製品づくりに取り組んでいきます。

■主な取り組み例
BU（ビジネスユニット）/事業所

取り組み内容エッチングシステム/山梨事業所

消費電力の低減b枚葉成膜/山梨事業所

b費電力の低減
消N2
b、排気の低減

LC
Dシステム/山梨事業所

消費電力の低減b

LC
Dシステム/大津事業所

化学物質の低減b

洗浄システム/佐賀事業所

薬液使用量の低減
b
Ｉ
b
ＰＡ使用量の低減
純水使用量の低減
b
消費電力の低減b

クリーントラック/熊本事業所・合志事業所

b液使用量の低減
薬消費電力の低減
b

拡散システム/相模事業所・東北事業所b付け面積の低減
据
塩ビ樹脂製電線の使用低減
b
装置廃棄時手順のガイドライン制定
b
消費電力の低減b■物流における環境負荷低減対策「空気充填材の使用」
従来、ポリウレタン製発泡体や生分解性バラ緩衝材などを用いて国内および海外へ当社製品のパーツ類を梱包・出荷していましたが、2000年末から空気充填緩衝材を、東京エレクトロンジスティクス の各地区物流営業所で採用を進めています。この梱包材は、透明なフィルム状の袋に空気を詰めて緩衝材とするもので、従来の梱包に比較して「使い捨てではなく空気の出し入れにより何度も使える」「ゴミの発生が少ない」などの環境への利点があります。
また、「クリーン度の向上」「開梱時に見つけやすい」「使用前の保管場所が少なくてすむ」などの利点もあります。

Tokyo Electron

空気充填緩衝梱包材

16 Environmental Report 2001

■製品の環境問題改善対策組織
東京エレクトロングループで製造、販売する半導体やＬＣＤの製造装置の環境問題改善に関して共通する問題は、担当役員を委員長とする「ワールドワイド装置ＥＨＳ委員会」で審議、決定を行ないます。
各装置に関する環境問題は、「ＢＵ装置ＥＨＳ委員会」で関係する設計・製造部門、営業部門、サービス部門により改善活動を推進しています。

担当役

主要製品毎の組織員

BU装置EHS委員会
WW装置EHS委員会
技術・営業・サービス
事務局
環境安全推進センター

環境問題テーマの取り組み項目

WW：WorldWide
BU ：BusinessUnit■製品に関する放出および消費の削減目標
製品が地球環境に与える環境影響負荷を削減するため、各種ガスの放出削減、及び電力使用量の削減などを以下の表の様に1997年の200mm半導体製造装置を基準として2002年の200mm 装置及び300mm装置の目標設定を行ない製品開発に取り組んでおります。
ProductEHSRoadmap
ウエハサイズ

1997年基準

2002年目標

2002年目標

200mm

200mm

300mm

HAPs 放出10.40.5

VOCs 放出10.40.5

PFCs 放出10.40.5

電力消費

10.81

水消費10.81

ガス消費

10.81

※300 の
ﾙ拡散、LP‑CVD装置の目標値に関しては、基準データの1.5倍の設定とする。

bAPs ：HazardousAirPollutants（危険大気汚染物質）H
VOCs ：VolatileOrganicCompounds（揮発性有機化合物）
b
PFCs ：Per‑FluoroCompounds（過弗化化合物）
b

Tokyo Electron

17 Environmental Report 2001

■2001年度の製品環境負荷低減に関する行動計画
以下の表は、東京エレクトロングループが、「Product EHS Roadmap」に基づく環境配慮型の製品づくりを実践する為の2001年度行動計画です。
項目

2001年度
電力消費削減ProductEH
SRoadmapの2002年目標を達成する。
200
1年度に十分な電力消費削減を達成する。

PFCs排出削減

ProductEH
SRoadmapの2002年目標を達成する。
2001年度に十分なP
F
Cs削減を達成する。

VOCs排出削減

ProductEH
SRoadmapの2002年目標を達成する。
200
1年度に十分なV
O
Cs削減を達成する。

HAPs排出削減

ProductEH
SRoadmapの2002年目標を達成する。
200
1年度に十分なH
A
Ps削減を達成する。

オゾン層破壊物質使用規制

HCF
C系物質使用の廃止促進

地球温暖化防止

大気汚染防止、酸性雨対策

オゾン層破壊防止

Recycle/Reuse促進

枯渇資源の消費削減

行動計画（分別解体、材質表示、廃棄）

各プロダクトにて目標設定し、実施開始。
解体、廃棄手順に関する作業手順、マニュアルへの反映について検討。

装置・部品の長寿命化

各プロダクトにて、装置・部品の長寿命化の目標を設定し、実施開始。

グリーン調達グリーン調達の製品への適用の基盤を確立する。

鉛使用の規制鉛はんだ代替化に関する情報共有化、購入品の鉛使用状況把握LCA導入

各プロダクト主要製品について、地球温暖化防止のLCAを実施。

購入品対応

ＬＣＡの実施LCA：LifeCycleAssessment■グリーン調達実施への準備
グリーン調達とは、従来の資材調達評価基準の「品質・コスト・納期」に加えて「環境配慮」がされた部品を調達していく事です。
これまでの調達基準品

質 ＋ コスト ＋ 納期「グリーン調達ガイドライン」
パンフレットグリーン調達の基準

品

質 ＋ コスト＋ 納

期 ＋ 環境配慮

東京エレクトロングループは「グリーン調達ガイドライン」を2001年1月に制定し、全国内お取引先様に配布し、約200社のお取引先様に対して、東北、相模、山梨、九州の各地でグリーン調達の説明会を開催して協力をお願いしました。
第1段階としてお取引先様の環境活動への取り組み状況を調査・評価するベンダー調査、第2段階として調達部品の環境配慮について調査・評価する部品調査を行います。
Tokyo Electron18 Environmental Report 2001

■ＬＣＡ実施への取り組み
ＬＣＡ（Life Cycle Assessment）とは、製品の原材料から製造、製品運搬、製品使用、廃棄までの それぞれの工程における、環境影響を定量的に評価する手法です。
環境影響を分析・評価し、環境に影響を大きく与える工程を重点的に改善することにより製品の環境影響を低減することができます。

■2000年度のＬＣＡについての取り組み事例
2000年度は各ＢＵで地球温暖化についてＬＣＡを実施しました。評価結果では各製品とも使用時の環境影響が大きいことは共通していますが、使用時の環境影響を各製品で比較してみると、超純水の環境影響が一番大きい製品、電力の環境影響が一番大きい製品と製品により異なることが分かります。評価結果を今後の製品開発に反映します。
＊1）
ＬＣＡ評価結果例1：洗浄装置
UW300Z全体（％）

UW300Z使用時
100%

98.5%

100（％）

10060

604040CO
2
排出量
CO
2
排出量

80CO
2排出量
C
O
2
排出量

80

2055.6%

26.2%

20

1.0%

0.3%

0.2%0.1%

04.8%

9.8%
0.6%

1.0% 1.9%

0.2%

0

素材製造 製造組立 装置輸送 装置使用 廃棄時 総排出量

薬液 超純水 冷却水 電力 圧縮空気 N2ガス 排気 消耗品＊2）
ＬＣＡ評価結果例2：メタルＣＶＤ装置
UNITY‑EP/Ti,TiN全体
（％）

100

UNITY‑EP/Ti,TiN使用時
100%

96.7%

100

80

60

60

4040CO
2排出量
CO
2排出量

80CO
2排出量
CO
2排出量

100%

（％）

2058%

20

2.2%

0.9%

0.2%

0.1%

0

素材製造 製造組立 装置輸送 装置使用 廃棄時

合 計Tokyo Electron

11%

15%

15%

冷却水

N2
ガス0電 力排 気

19 Environmental Report 2001

合 計

■製品への省エネルギー対策例
東京エレクトロングループでは製品の環境影響低減のために既存製品、新規製品開発時に環境影響低減の検討を実施しています。既存製品、新規製品への実施例をご紹介致します。
１）新規製品の例
洗浄装置では、新規製品ＵＷ３００Ｚ（３００㎜φ）開発において従来機ＵＷ８０００（２００㎜φ）と比較し、ウエハ単位面積当たり、超純水：約６０％低減、排気：約５０％低減、電力：約４０％低減の省エネルギーを達成しました。

UW300Z２）従来製品の例
エッチング装置では、従来機ＵＮＩＴＹ Ver.Ⅱ（２００㎜φ）にて、ドライポンプについて省エネルギー型の採用、シーケンスの変更およびチラーの冷凍機回路の変更により、電力：約３０％低減の省エネルギーを達成しました。

UNITY Ver.II

To k y o Electr o n

20 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1