環境・社会報告書 2008
Environmental and Social Report 2008

TELバリュー

バリュー

T
E
L

2006年 4月に、東京エレクトロングループの価値観および行動規範となるものを「 TELバリュー」として策定しました。
「 TELバリュー」
を世界中のグループ社員と共有し、未来に向けての新たな成長の原動力にしていきます。

T E L バ リュー

T E L バ リュー

私 たち が 大 切 にした い こと

私 たち が 大 切 にした い こと

誇り

チャレンジ

私たちは、自らが誇りを持てる高い価値を持った製品・サービスを提供します。

私 たちは 、世 界 N o .1をめざし、新しいこと、
人の やらな いことにチャレンジします。

● 最先端の技術製品を最高の品質・技術サービスとともに提供し、お客様の真の満足を追求します。

● 変化をチャンスととらえ、柔軟かつ積極的に行動します。

● 利益は製品・サービスの価値の大きさを示す尺度
であると考え、
それを大切にします。

● 失 敗に対して寛容であるとともに、そのプロセスと結果から学ぶことを重視します。

T E L バ リュー

T E L バ リュー

T E L バ リュー

私 たち が 大 切 にした い こと

私 たち が 大 切 にした い こと

私 たち が 大 切 にした い こと

オー ナ ー シップ

チ ームワ ー ク自覚

私たちは、オーナーシップを持って、考え抜き、やり抜き、やり遂げます。

私たちは、お互いを認め合い、チームワークを大切にします。

私 た ちは 、社 会 の 一 員としての自 覚 を持 ち、責 任 の あ る 行 動 をしま す。

● 常に問題意識を持ち、課題には情熱と責任感を持って取り組みます。

● オープンに意見を交わし、風通しの良い職場をつくります。

● 意思 決 定を早くし、良いと考えることはすばや
く実行します。

● ビジネスパートナーとお互いに信頼し、成長できる関係を築きます。

● 法令と社会のルールを遵守します。
● 安全と健 康および地 球 環境への配慮を最 優 先に考えます。
● 地域社会から高く評価される会社であるよう心
がけます。

編集方針
この報告書では、東京エレクトロングループの経営の中核に「環境 」を据えることを中心に、私たちの今後の方向を示すことを主題としました。
●トップコミットメントでは、2007 年度に引き続きグローバルな視点から当社グループの社会的役割と長期的使命を示しました。また、既存事業における環境負荷低減活動と並行して、クリーンテクノロジー事業化の第一歩としての太陽電池製造装置への参入を開始し、参入の背景と意義について示しました（P.4-5/P.8-9参照）。
● 特集ページでは、東京エレクトロンの使命を紹介しています。
当社グループの使命を明確にし、企業経営を進める中で、どのように環境に貢献していくかを示しました。また、「東京エレクトロンの使命」
に対する第三者からのご意見をいただきました（P.6-7参照）。
●ステークホルダーとの座談会では、当社グループをとりまくお客様、お取引様を招いて、「半導体工場の環境負荷半減に向け■ 対象組織：東京エレクトロングループ＜国内主要拠点＞● 東京エレクトロン（株）● 東京エレクトロンAT（株）● 東京エレクトロンTS（株）● Tokyo Electron Korea Solution Ltd.

● 東京エレクトロン九州（株）● Tokyo Electron Taiwan Ltd.

● 東京エレクトロン技術研究所（株）● Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.

● 東京エレクトロンソフトウェア・
テクノロジーズ（株）● 東京エレクトロンFE（株）● Tokyo Electron (Shanghai) Logistic● 東京エレクトロンPS（株）● 東京エレクトロンBP（株）■ 対象期間：2007年4月1日〜
2008年3月31日● 東京エレクトロンエージェンシー（株）● 東京エレクトロンPV（株）■ 対象分野：環境、社会、経済的側面

めの施策、またそれぞれの役割について議論しました（ P.10-13参照）。

＜米国主要拠点＞● Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.

作成にあたっては、環境省の「環境報告書ガイドライン（2007● Tokyo Electron America, Inc.

本報告書を通して、当社グループとかかわるすべての方々とのコミュニケーションをさらに充実させ、今後の活動に生かしていきたいと考えています。皆様からのご意見、ご感想を差し込みのアンケート用紙にて是非お寄せください。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

● Tokyo Electron Israel Ltd.
＜アジア主要拠点＞● Tokyo Electron Korea Ltd.

● 東京エレクトロンデバイス（株）

ビリティ・レポーティング・ガイドライン2006 」を参照しました。

＜欧州主要拠点＞● Tokyo Electron Europe Ltd.

● 東京エレクトロン東北（株）て 」をテーマとし、お客様の工場における課題とその解決のた

年版 ）」および GRI(Global Reporting Initiative)の「サステナ

2

対象範囲

● Tokyo Electron Massachusetts, LLC.
● Timbre Technologies, Inc.
● TEL Venture Capital, Inc.
● TEL Technology Center, America, LLC.
● TEL Epion, Inc.

Center Ltd.

会社概要

もくじ

TOKYO ELECTRON LIMITED

本 社 所 在 地： 〒 107-6325
東京都港区赤坂 5-3-1 赤坂 Biz タワー
TEL：03-5561-7000（代表）

TEL バリュー、編集方針、対象範囲

2

会社概要

3

トップコミットメント

4

立 ： 1963 年 11 月 11 日

設
資

金： 549 億 6,119 万円（2008 年 4 月 1 日現在）

本

主 要 取 扱 製 品： 半導体製造装置、FPD（フラットパネルディスプレイ）
製造装置
社

数：

員

973 名 ［単体（2008 年 4 月 1 日現在）］
10,685 名 ［連結（2008 年 4 月 1 日現在）］

売上高および経常利益の推移（連結）

（億円）

売上高

経常利益

● 東京エレクトロンの使命

6● 太陽電池製造装置事業の展開に向けて

8● ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」

10

9,060

8,519
6,736

6,357

Highlight

Management Report

5,296

656

759

’05 3月’06 3月211

0’04 3月部門別売上高（連結）（億円）
その他

4

電子部品・
情報通信機器事業
FPD製造装置

1,727

1,439

’07 3月’08 3月

地域別売上構成比（連結）
（％）
東南アジア

中国 4.3欧州 4.1

3.8

1,111
米国

680
2008年
3月期

12.0
韓国

日本

2008年
3月期

35.8

● コーポレート・ガバナンス

14● コンプライアンス

15

EHS Report● EHS マネジメント

16● EHS 活動の目標と実績／環境会計

19● 製品における環境への取り組み

20● 物流における環境への取り組み

25● 取引先における環境への取り組み

26● 事業所における環境への取り組み

28● 健康・安全32

10.0
半導体製造装置

台湾

7,264

30.0

グループ社員推移（名）

設備投資額および研究開発費
（億円）

8,945

10,685
9,877
9,129

研究開発費

設備投資額

Social Report● 社員とのかかわり

34● 地域社会とのコミュニケーション

35● ステークホルダーからのご意見

37

8,942
569 660
441 4380

0’04 ’05 ’06 ’07 ’08
4月 4月 4月 4月 4月

491

110 98 133

271 227’04 ’05 ’06 ’07 ’08
3月 3月 3月 3月 3月

会社概要

名 ： 東京エレクトロン株式会社社

トップコミットメント
トップコミットメント

地球環境問題の深刻さを認識して、その解決に貢献する事業を行うことが東京エレクトロングループの社会的使命です
従来の半導体・FPD製造装置の省エネルギー化と並行し、太陽電池製造装置の開発事業も推進します
世界全体の消費電力を削減するためには、代替エネルギー
技術を早急に開発・製品化し、普及していくことが求められています。その実現を目指し、当社グループはシャープ株式会社
様と合弁会社を設立し、太陽電池製造装置の事業をスタートさせました。
社会が技術的にも経済的にも大きな壁にぶつかっている世界状況を踏まえて、当社グループは相当な議論を行い、その結
果、半導体・FPDの分野だけにとどまるのではなく、環境のためにより直接貢献する必要があると判断し、進む方向を決めました。
東京エレクトロン株式会社

自然エネルギー技術の開発は、代表取締役会長 兼 CEO

当社グループの責務であり、成長の好機にもなります
新興の国々は今、先進国との格差をなくすために、効率

環境負荷を大幅に軽減する技術革新で、よく、安全に、充分に得られる代替エネルギーを求めてい世界に貢献することが当社グループのミッションです

ます。太陽光などの自然エネルギーはその中心的なものとならなければなりません。また、太陽電池を本格的に普及する

戦後、1947年にトランジスタが誕生してからすでに61年が経ちました。真空管の時代から半導体の時代となり、生産性がくすることが不可欠です。それを実現することが私たちの責飛躍的に向上し、私たちの生活は非常に豊かになりました。も務です。そしてこれは、私たちにとってのビジネスチャンス

し半導体が生み出されていなかったら、同様の生産性の実現でもあります。

にどれだけ多くのエネルギーが必要とされていたかわかりま

当社グループには、社員同士で活発に意見交換できる社風

せん。現在の豊かさと便利さを支える半導体の役割の大きさがあります。環境への想いを熱く語ってくれる社員もいます。

を実感します。しかし、その高い生産性や利便性のために、社

そして、互いに刺激し合い、やる気を高めています。私たちが会全体の消費エネルギーは増大し、今、地球環境はきわめて早世界に貢献できる分野は大きく拡がっています。太陽電池のいスピードで限界に向かって進んでいます。

開 発・ 製 品 化 を フ ル マ ラ ソ ン に 例 え る な ら、42km の

いまや半導体は、ありとあらゆる分野の基盤となっています。ですから、半導体の製造から使用に至るまでのあらゆる段階における省エネルギー化を含めた環境負荷低減が必要です。東京エレクトロンの使命（P.6−7参照）において、環境問題の解決を私たちの大きなミッションの一つとして掲げたのは、そうした緊迫した社会背景があるからです。

4

ためには、光エネルギーの変換効率を高め、機器の価格を安TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

うち、まだ50mほどのところにいる段階です。
今年を起点として、「革新 」と「成長 」によって地球環境問題の解決に大きく貢献していきます。

太陽電池製造装置の事業化を決断したのは、地道に積み上げてきた技術力があるからです

トップコミットメント

自然エネルギーの開発・普及により、エネルギー問題を解決し、世界平和に貢献していきます

当社グループはクリーンテクノロジー開発への本格的な参入を決断しました。私たちが長年にわたって培ってきた装置技術があるからこそできた決断でもあります。
これまで半導体によって、私たちの生活は便利で豊かになりました。しかし、世界の格差に目を向けて、あらためて「豊かさとは何か 」を考えてみれば、さらなる利便性の追求ではなく、エネルギー問題の解決のほうが急務であることがわかります。
社会的使命は、時代によって変わるので、当社グループが求められることも、違ってきて当然です。幸い、太陽電池製造装置の開発をスタートすることになりました。長年、お客様の工場や、そこでつくられる半導体や FPD用製造装置の生産性の向上のために地道に改良を重ね、お客様のご要望に応え、様々な問題解決技術を当社グループから提案してきた実績がその東京エレクトロン株式会社
代表取締役社長 兼 COO

基盤になっています。

エネルギー問題解決のために、2015年に環境負荷を半減することをクリーンテクノロジー開発は最重要課題

目標として定めました
既存装置の環境負荷低減への注力と並行して、クリーンテ
当社グループが提供する半導体製造装置の環境負荷をライ

クノロジー事業化の第一歩として太陽電池製造装置事業へのフサイクルで見ますと、全体の約 80%が、お客様の工場にお参入を本格スタートさせるのは、それだけ世界のエネルギー

ける使用時によるものです。

問題が深刻だからです。

当社グループでは、製品の省エネルギー化の提案、実施に力

私は、昨年、今年とダボス会議※に参加してきました。そこを入れており、2007 年度もある製品において、顧客ファシリで交わされる議論の中で、石油に代わる新エネルギーが現れティーとの連携技術で消費電力の約 50%削減を実現し、お客なければ紛争にもなりかねない緊張感を肌で感じました。近様から環境配慮の優良事例として賞をいただきました。

い将来、高性能で手頃な価格の太陽電池を安定的に供給でき

今回、「2015 年に新設されるお客様工場の総合環境負荷をるように私たちが取り組むことは、最終的には貧富の格差問

従来より半減することを可能にする装置の開発を目指す 」こ

題を解決し、世界の平和を支えることにもつながるものと考とを中期計画として定めました（P.18参照）。

えます。

当社グループは、環境負荷低減という課題の解決に向けて、今後も継続して積極的に行動していきます。

様々な問題が発生する現代は、グローバルな視点を持つことが大切です。ダボス会議で私が得てきた新しい物の見方は、積極的に社員にも伝えています。当社グループの本業がいか※ダボス会議：世界経済フォーラム（ World Economic Forum ）。スイスのダボスで開催される。世界の企業経営者、政治家、エコノミストが集い、グローバルな政治経済について議論する場として知られる。

に社会に貢献できるものであるかを自覚しつつ、世界に役立つ技術力を確立していきます。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

5

H IGH LIG H T

東京エレクトロンの使命
東 京エレクトロンの使 命

東京エレクトロンの使命は
「革新」
「成長」
「環境」です。

東京エレクトロンの使命についてアとして、革新技術に積極的に挑戦して産業の健全な発展と社

世界は大きく変動しつつあり、それに伴う東京エレクトロン

会の発展に貢献すること、そして、既存の事業・製品の環境負荷の役割、進路を全員で共有する必要があると考え、東京エレクを削減するだけでなく、新たな事業展開を通じて環境問題の解

トロンの使命を新たに定めました。下の文章は、東京エレクトロ決に貢献することが明言されました。当社グループは今後ともン株式会社代表取締役会長兼CEO 東 哲郎が 2008 年度の当

「革新」
「成長」
「環境」をキーワードに、新しい価値の創造を通じ社グループ春季経営会議で東京エレクトロンの使命として読みて社会に貢献していきます。

上げたものです。使命の骨子は、半導体・ディスプレイ技術をコ

HIGHLIGHT

「革新」
「成長」
「環境」
東京エレクトロンが参画しているエレクトロニクス産業、とりわけ情報・通信技

MANAGEMENT Report

術分野は、医療・教育・金融・自動車・航空・宇宙・安全・環境などの今後大きな成長が期待できる諸産業の中核技術として、世界的にその重要性がますま
す高まっています。
東京エレクトロンが取り扱う製品は、いずれもこれらの産業の基盤を形成するコア技術であり、技術革新とともに産業と技術の発展に大きく貢献してきました。また今後は、この分野自体の技術革新とともに、隣接する技術領域であるナノテクノロジー、
バイオテクノロジー、ＭＥＭＳテクノロジーなどと融合する新しい技術革新を通じてさらなる成長が期待できます。

EHS Report

東京エレクトロンは、当社の基軸としている既存の装置・技術およびこれに隣接する新技術分野・新ビジネス分野において、日々挑戦し続け、「革新」と「成長」
により世界的な規模でリーダーシップをとることを、ここに新たに決意いたします。
他方、技術の発展は、人類の生活の質的向上に貢献する反面、生活の安全と環境に対して破壊的な力を持ち、このまま放置すれば、地球規模でのエネルギー資源の枯渇、地球環境の破壊などがきわめて早いスピードで進むことが予見されています。

SOCIAL Report

東京エレクトロンは、地球規模で進む環境負荷問題および、私たちの技術分
野に内在する環境負荷にかかわる問題を解決することが、当社の重要な使命のひとつであることを自覚し、人類の健全な発展を目指してまいります。

東京エレクトロン株式会社
代表取締役会長 兼 CEO

6

おいて環境負荷低減を進めると同時に、太陽電池製造装置の環境問題に取り組むことは、企業としての責任であり、使開発をはじめとした環境・クリーンエネルギー分野を将来の命、そして大きなビジネスチャンスでもあります。当社グルー

新たなビジネスの柱として位置付け、技術を革新し、事業を展

プは、既存の製品領域である半導体製造装置、FPD製造装置に開していきます。

東 京エレクトロンの使 命

技術で環境問題に取り組みます

環境・クリーンエネルギー分野での開発も既存事業とともに強化

MEMS ※1

環境・クリーン
エネルギー

半導体
製造装置

● 太陽電池製造装置● SiCエピ膜成長装置● RLSA※2関連
ー CVD
ー エッチング● GCIB※3テクノロジー※1 MEMS：Micro Electro Mechanical Systems● 環境対応装置改造

製造装置●高密度プラズマ● Cu barrier/seed

CVD

CVD

● 有機 EL 製造装置

MANAGEMENT Report※2 RLSA：Radial Line Slot Antenna

FPD※3 GCIB：Gas Cluster Ion Beam

東京エレクトロンの使命に対し、第三者意見をいただきました。

東京大学名誉教授 国際連合大学名誉副学長

安井 至 様

私たち人類の活動量は、すでに地球の資源、エネルギーの容以下は社員の方々に申し上げることとしてご覧いただきたい

量を大きく超えています。これまでの大量生産、大量消費、大と思いますが、私は、本ミッションで使われている「革新 」と「成

量廃棄を続ければ、気候変動、飢餓などが複合して人類は破綻

長 」が、言葉として使い古されているため、東会長の主旨の重みすることでしょう。私たちは、社会の構造を地球の容量に見合っを社員の皆さんが正確に受け止めないのではないかと危惧してたものに転換しなければなりません。

います。量的拡大を目指さない社会における東京エレクトロンの役割を認識して、正しい革新、正しい成長を進めよう、というんでいますが、その一方、まだ多くの企業が、量的拡大社会が続主旨を、全社員、正確に受け止めていただきたいと思います。

社会の全体最適を念頭に置いて、自社の役割は何かを社内でくことを前提としたビジネスを変えることに躊躇しています。
TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008
よく議論して、自らを革新し、社会に役立つ企業として成長する

ンは、世界の危機を正確に認識し、危機回避のための自社の役割ことによって、地球環境と人類の保全に貢献していただきたいと方向を明示しており、先見的で優れたものと受け止めました。

と願っています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

SOCIAL Report

量的拡大ではない社会構築の議論と認識は世界で急速に進EHS Report

独立行政法人科学技術振興機構 研究開発戦略センター 上席フェロー（工学博士）

その中にあって、
今回、
東京エレクトロンが示した左記のミッショ

HIGHLIGHT● MEMS 製造
装置及び
電子部品

7

H IGH LIG H T

太陽電池製造装置事業の展開に向けて太陽電池製造装置事業への展開に向けて再生可能エネルギーへの社会からの期待が高まる中、東京エレクトロングループでは、太陽電池製造装置の事業化を進めます。

太陽光発電とは気候変動、地球温暖化問題の解決は、私たち人類にとっての最重要課題となりました。このような中、従来のように化石燃料に頼ったエネルギーへ依存するのではなく、再生可能エネルギー

ガスを排出しない、または低減することで、地球温暖化の防止

薄膜Si太陽電池製造装置

生産量（GW）

市場規模（億円）

100

18,000の利用による低炭素社会への転換が期待されています。再生可能エネルギーは、半永続的な利用が可能であることや、温暖化

薄膜Si太陽電池製造装置市場

太陽電池生産規模
結晶Si太陽電池
薄膜Si太陽電池

80

2007–2020

15,00025%

12,000平均成長率

ギーを利用した太陽光発電です。一方で、太陽光エネルギーを

HIGHLIGHT

新・コストダウンが必要とされています。

37%

9,000
40

2007–2020
平均成長率

52%

20

6,000 2007–2015
平均成長率

3,000

電力に変える変換効率の向上や製造に用いる材料の不足、効率・コストの改善が課題とされており、今後のさらなる技術革

平均成長率

60

に大きく寄与できると考えられています。
この再生可能エネルギーの代表とも言えるのが、太陽エネル

2015–2020

0

44%

0

2007

2015

2020

2007

2015

2020

出典：電力需要予測をもとに、東京エレクトロンで推定

当社グループは、技術で環境問題に取り組む、という信念のもと、太陽電池製造装置分野に参入し、環境問題の解決に貢献
していきます。

当社グループの太陽電池事業について
当社グループでは、これまで太陽電池製造装置について基礎

MANAGEMENT Report

的な研究を行っていましたが、この度事業化を進めることを決定しました。
このような中、薄膜シリコン太陽電池用プラズマCVD装置を製品化するにあたり、シャープ株式会社様（以下、シャープ ）と、技術革新により、その開発を目的とした合弁会社「東京エレクトロンPV株式会

さらに様々な場面で社 」の設立に合意しました。
（今回の合意は、薄膜シリコン太陽

数多くの太陽電池が電池プラズマCVD装置に関してのみであり、FPD製造装置他の活躍します。

事業を含めた包括的提携ではありません。）
薄膜シリコン太陽電池は、近年注目を浴びている太陽電池の種類の一つで、ガラス基板上に薄膜のシリコン層を形成するタ

EHS Report

イプの太陽電池です。当社グループが半導体および FPD製造装置で培ってきた真空プラズマを用いた量産装置技術と、太陽電池のリーディングカンパニーであるシャープがかねてより培ってきた薄膜シリコン太陽電池製造技術を融合させることで、より生産性の高い薄膜シリコン太陽電池プラズマCVD装置を開発することが期待できます。装置開発は当社グループおよびシャープが出資する合弁会社が行い、装置の製造および販売について

SOCIAL Report

は、当社グループが行います。初号機出

8

荷は、2009年を予定しています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

「低炭素社会」の実現に向け、長年培われてきた
東京エレクトロングループの装置技術に期待します。

シャープ株式会社
執行役員
ソーラーシステム事業本部長

東京エレクトロン株式会社
常務執行役員 兼 FPD 事業部長

小野里 充

村松 哲郎 様（工学博士）

シャープは 1959 年に太陽電池の研究開発をスタートして以来、約半世紀にわたり太陽光発電の普及・拡大に取り組ん

当社グループは、私たちの技術の蓄積を生かして、本業で社できました。これまでは結晶系の太陽電池を中心に事業を拡会の本質的な問題解決に取り組もうと考え、その考えを東京エ

大してきましたが、これに加え、現在、薄膜系太陽電池の開発・

レクトロンの使命で示しました（P.6−7参照）。

事業の強化を進めています。

その最初の取り組みが太陽電池製造装置事業です。

薄膜太陽電池は結晶系に比べてシリコン使用量が約 100 分の 1 と少なく、高温での発電量の低下が少ないなどの特徴を社グループが開発に着手するのは、薄膜シリコンを使った太陽持っており、欧米を中心とした電力用途をターゲット市場に電池製造用のプラズマCVD装置です。

しています。

開発にあたっては、太陽電池のリーディングカンパニーであ

もう一つ大きな特徴は、生産プロセスが短いという点で、そるシャープ株式会社様の技術と、私たちの半導体および FPDのプロセスの鍵を握るのがプラズマCVD装置です。そして、製造装置で培ったプロセス技術と装置技術を合体させること

変換効率の向上と、大幅な低価格化といった技術革新はプラによって、発電効率の良い太陽電池を開発し、世界に安価に供

ズマCVD装置のなかでつくる太陽電池セルで決まるといっ給できるようにしよう、というのが本プロジェクトの目的です。

ても過言ではありません。
当社はこれまでプラズマCVD装置を自社内でつくってきましたが、量産性とさらなる性能向上を図るため、この度、半私たちにとって、半導体事業は、ビジネスの形態や人々の思導体や液晶製造装置のリーダー企業として高度な技術を保有

考方法、社会の要請は何かなど、関連するすべてのことをよくされ、また太陽光発電の発展に深いご理解と確固たる戦略を知っており、何をどうすれば良いかを経験によってわかってい持たれている東京エレクトロン株式会社様と共に取り組んでる世界です。

いくことと致しました。

対して、エネルギー関連事業は、まったく別な世界です。太陽

現在建設中の堺新工場では、このプラズマCVD装置を導入

電池製造装置の技術的な側面だけでなく、その市場、また、太

していきます。まず第 1 次展開として 480MWの生産体制を

陽光発電をどう利用するか、という観点で、電力政策関係者や、構築、さらに海外にも工場を展開して、グローバルで 1GWの途上国の人々との協働など、私たちにとって未知の世界に足を体制にまで拡大する計画です。

踏み入れることになります。しかし、十年先を見据え、まずは第EREC（欧州再生可能エネルギー評議会 ）の予測によれば、一歩を踏み出すことにしました。半導体や FPD事業からの派生

全世界の電力需要が 2040 年に現在の約 2 倍に拡大するな

ビジネスという考え方ではなく、長期的な視点をもって、新しかで、その約 25%が太陽光発電で賄われるとされています。
術と、当社の薄膜太陽電池技術を融合させることにより、人類注ぐエネルギーです。当社グループで製造する装置でできたの目指す「低炭素社会」の実現がさらに一歩近づくものと確信

太陽電池が、途上国を含むすべての地域の人々に使われるこ

しております。

とによって、低炭素社会の実現に貢献できるよう、努力してま

SOCIAL Report

東京エレクトロン株式会社様が長年培われてこられた装置技

太陽光は、先進国にも途上国にもすべての人に平等に降り

EHS Report

本格的な共同開発はこれからスタートしますが、全力を上げて必ず良い太陽電池をつくろう、と両社で語りあっています。

MANAGEMENT Report

太陽電池の製造にはいろいろな方法がありますが、今回、当い DNAをつくっていきたいと思います。

HIGHLIGHT

気候変動が起きていること、刻々と厳しさを増していることを肌で感じます。

太陽電池製造装置事業への展開に向けて

太陽エネルギーの利用を世界に拡げて、環境問題の解決に貢献したいと考えます。

いります。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 20089

ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」

H IGH LIG H T
ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」－全体最適のための各社連携のありかたについて－

電子産業において、半導体製造プロセスは、電力、化学物質などの使用量が大きいため、その負荷削減は半導体産業全体の課題となっています。
今回、半導体メーカー、部品メーカー、装置メーカー、クリーンルームの設計・施工を担う建設企業の方々をお招きして、半導体工場の環境負荷を半減するには互いにどのような協力が必要かについて議論を行いました。
（開催日：2008年7月1日）

佐倉様：インテルでは、新しい製造プロセスの開発にあたっ

座談会にお招きした方々●インテル株式会社● Samsung Electronicsて、SEMI、RoHS、EICC※3 などのガイドラインを活用し、省エ佐倉 英俊 様ネルギー化、有害物質使用制限、労働者安全などの項目を網羅

Dr. Tae-Jin Parkした指針を策定し、環境負荷を下げた製品を実現する仕組みを構築しています。

●株式会社東芝 セミコンダクター社

見方 裕一 様●エドワーズ株式会社

浦野 智秋 様エネルギー消費に関しては、2002 年から 2010 年にかけて、●株式会社荏原製作所

野路 伸治 様プロダクション・ユニット当たり年間平均4%減を目標として●大成建設株式会社

後町 智雄 様

きましたが、過去 5 年間の実績で 20%減を達成しています。今HIGHLIGHT

後も SEMI S23 を用いて、長期的に装置消費電力などの削減を目指し、各サプライヤーさんにもロードマップを提示して半導体業界の環境活動のこれまでと今後の課題

TEL斎藤：半導体の全プロセスにおける環境負荷低減は業界全体の責務という考えに立って、東京エレクトロングループ

いただき、取り組みを進めているところです。
※3 EICC：Electronic Industry Code of Conduct/電子業界行動規範。CSR観
点でサプライチェーン・マネジメントを行うためのガイドライン。

は、ITRS※1の方針に沿って、ウェーハの単位面積当たりの使用

パク様：ソウル首都圏では、CO2 をはじめ窒素酸化物、硫黄酸

エネルギーを 2010 年までに 1999 年比の 65%まで減らすとい化物などの排出物質の規制が、濃度ではなく総量による規制

MANAGEMENT Report

う 計 画 を 立 て て い ま す。ま た、ITRSは 最 近 あ ら た に FABに変わり、2001年ベースで50%ほど減らさなければなりませEnergy全体を 2016 〜 2022 年にて、2007 年度ベースで半減ん。工場では、例えば除害装置の排出物質を解析し、その対策という Roadmapを提示し、これに対する業界全体の取り組などに取り組んでいるところです。省エネルギー化に関してみが必要と考えております。

は、半導体製造装置メーカーの努力のおかげで、かなりのレベ

さらに、環境の悪化が深刻化しつつある今、廃棄物、化学物

ルに至っています。

EHS Report

質、リサイクルなど、SEMI S23 ※ 2 では明示されていない部分

見方様：CO2 削減は、電力コストの低減に直結するので、東芝でも目標を設定し、半導体業界の上流から下流にかかわる各社

でも削減へのモチベーションは非常に高く、この 4 年ほどで単で協力して環境対策を加速する必要があると考えています。

位面積当たり 200mmウェーハの使用電力に対して、今はほぼ※1 ITRS：International Technology Roadmap for Semiconductors/半導体業界団体。技術、環境などの業界共通目標などを定める。

半減しました。ウェーハ口径が 300mmと大きくなったことが※2 SEMI S23：SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International/
半導体・FPD製造装置と材料メーカーの国際的業界団体)が作成した半導体製造装置に関する省エネルギーのガイドライン。

大きな削減要因ですが、おかげで原単位が下がり、ここ 3 、4 年は生産増加にもかかわらず、CO2の伸びは抑えられています。

半導体製造にかかわる企業各社連携の現状
見方様：東芝では、製造装置をつくる装置メーカー、設備関係者、そして私たちの三者で協力する「クリーンルーム・エコノ
ロジー※4・プロジェクト」を2004年から始めました。当社の生SOCIAL Report

産統括責任者がリーダーとなり、動力設備や製造設備などのワーキンググループで最適なスペックは何かを協議するようになって、エネルギーロスの削減が実現できたうえに、技術的なイノベーションや省エネルギー化の新しいアイディアも生まれています。
※4 エコノロジー：エコロジー＋テクノロジー＋エコノミーの造語。

10TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」

める機会が必要です。三者で「省エネルギー化はこういう方

えば、新しい半導体製造プロセスが生まれた場合、製造工程の針でいきましょう 」と議論すれば、もっと成果は出るはずで各々で、温度や圧力が変化し、使用するガスや化学物質の状態す。そのためには充分な議論のための時間も必要ではないか

も変わります。ところが、私たちの中には MSDS※5 の情報程度と思います。

しかなく、詳しいことがよくわからないこともあるため、装置

見方様：CO2 排出削減を進めるうえでは、生産性向上は非常にメーカーから情報面で助けていただいています。

重要です。単位時間あたりの処理能力を上げるとか、装置の稼働率を上げることで、同じ設備台数でより多くの半導体を製

浦野様：半導体メーカー各社は、CO2 排出削減などのロード

造でき、使用電力の削減、そして CO2削減にもつながります。

マップを出していますが、「 では具体的に何をやるのか？」が重それから、待機電力の削減も課題です。というのも、ウェー

要です。この対応として装置やコンポーネントなどの要素を一ハの加工中に四六時中動いているのはリソグラフィの装置ぐ

つひとつ検討していく努力が不可欠ですし、私たちは排気系のらいです。規模にもよりますが、全体の消費電力の 20 〜 30%

担当ですので、コンポーネント単体での省エネ対応の努力をが待機電力の場合もあり、パソコンの「スリープモード 」のよ

行っています。さらに、装置をどこに配置するのか、除害装置やうな節電の仕組みをぜひ設定していただけたらと思います。

ドライポンプとの距離はどのくらいかなど情報を開示していた

そのためには、スリープ状態の標準化をまず進めることが必要ですね。
「スリープモード 」について SEMIのス
TEL井深：そうですね。

て、新しい技術についてかなり早い段階から情報交換するよ

タンダードなどでの再定義が必要だと思います。

うにしています。

野路様：消費電力を下げるという点で、荏原製作所は省エネル
ギーポンプのパイオニアとして 1995 年から、可変速モーターを使用したポンプをユーザーさんに提供しています。このポ

浦野様：半導体メーカーと装置メーカーは密に連携してプロンプを使用すると「スリープモード」も行えるのですが、ただ、セス開発を進めていくことが必要だと思います。例えば、無駄

歩留まりやプロセスへの影響もあって、装置メーカー側ではのない配管の長さ、装置付近での処理などの工夫をすればエなかなか進めづらいところもあるようです。

ネルギー消費も抑えられます。ドライポンプも、全体の構成をその一方で、可変速モーターを使用することにより、当社の考えれば、小さくしてもっと安くできると思います。

ドライポンプはこの 10 年間で 8 割のエネルギー削減が実現で

パク様：そういう議論は大いに必要だと思います。当社の製きています。今後、ポンプ構成部品の加工技術の向上で、さら造工程については、過去 3 回程見直しを行っていますが、連携にポンプ単体の省エネルギー化が期待できます。単体の性能

プレーがなかなかうまくできませんでした。設備、装置、当社

向上と待機時間のエネルギー削減などを総合的に組み合わせの三者が、それぞれ個別に施策を行うのではなく、それをまとることが大事だと思います。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

SOCIAL Report

今後の連携のありかたについて

EHS Report

だければ、もっと具体的な対策をご提案できると思います。
佐倉様：インテルでは、各装置メーカーと定期的に会合を持っMANAGEMENT Report※5 MSDS：Material Safety Data Sheet/化学物質等安全データシート

HIGHLIGHT

パク様：たしかに、開発段階での三者の協議は必要ですね。例11

ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」

H IGH LIG H T
ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」

インテル株式会社

Samsung Electronics

株式会社東芝 セミコンダクター社

エドワーズ株式会社株式会社荏原製作所

大成建設株式会社

佐倉 英俊 様Dr. Tae-Jin Park

見方 裕一 様浦野 智秋 様野路 伸治様

後町 智雄 様HIGHLIGHT
MANAGEMENT Report
EHS Report
SOCIAL Report

12

TEL石田：生産性の向上に関して言えば、不良品をつくらない

ラックボックスで、もっと勉強しなければなりませんが、こちことも重要です。デバイスをつくる工程数や工程ごとのコスらからは提案しづらいのが現状でもあります。

トについて、半導体メーカーと、装置メーカー、材料メーカーなどが今まで以上に情報交換をして協力できれば、不良品低個別の協力と、皆で行う標準化の両方が大切

減の成果が上がるのではないでしょうか。

TEL山中：たしかに、発注するかどうか、任意契約になるかど

もちろん、機密条項もあるので、開示できない部分はあるかうかなど、1 対 1 では話を進めるのが難しい面もありますが、と思いますが、それでも、次世代デバイスをつくっていくうえ

標準化できる側面については、団体同士で協議しながら解決

で、各社が協議して進めることが不可欠だと考えます。

することはできるかもしれませんね。

TEL荒木：工場自体のレイアウトをどのようにつくり込んでTEL井深：SEMI、SEAJ（社団法人 日本半導体製造装置協会）、

いくか、例えば、ポンプの配置や配管の長さを改善しただけ

JEITA（社団法人 電子情報技術産業協会）などの団体で話し合

で、生産性が 5 〜 10%上がったという事例もあります。その辺

ううちに解決につながることもあります。業界内で議論しなりのご意見をいただけますか？

がらお互いの知識を共有し、必要に応じて機密に抵触しない

後町様：私ども建設会社としては、地震大国の日本で、丈夫で範囲で協力できると思います。

長持ちする建物を提供することを基本としています。クリー

TEL石田：連携という観点では、半導体メーカーが指揮を取ら

ンルームに関しても、総合的な地震対策に取り組んでおり、制れるのが現実的かもしれませんね。

震技術や免震技術も開発しています。ただ、現実に半導体工場

見方様：連携に関しては、個々の半導体メーカー、装置メーを建設するにあたっては、入札時点に基本構想が与えられてカー、ゼネコンが工場新設などの個別の仕事の中で、それぞれから竣工までの期間は大変短いので、基本構想通りに実施設の会社が情報や知見のやり取りをすることが工場の無駄を減計を行うのが精一杯です。

らすために有効だと思います。

できれば企画段階から参加させていただきたいというのがその一方で、皆が参加して行う標準化も非常に重要ですね。

私どもの気持ちです。私たちにとっては、装置系の部分はブSEMI S23 でも、換算係数を統一して、装置メーカーと半導体

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

東京エレクトロン株式会社
マーケティング部

東京エレクトロン株式会社
経営戦略室

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

荒木 郁

石田 大

山中 崇己

斎藤 聡

井深 成仁

星 丈治

TEL井深：環境の課題がこれほど大きな社会的要請になった削減する方向に持ってきました。要は、インターフェイスを合中、高い環境目標を設定してそれをクリアしていかなければ、

わせて、お互いに押さえるべきところを押さえて協力関係を

半導体産業全体への信頼が崩れかねないと思います。全体最築いていく必要があります。個別の協力と、皆が参画して行う

適のために、密接なコラボレーションを皆で進めてまいりた

標準化の両方が大切だと思います。

く思います。

TEL石 田：おっしゃる通りだと思います。私 たちも、例えばTEL斎藤：今回の議論の中で、例えば情報を良いタイミングでSEMI規格の研究も昔からさせていただいていて、環境対策や共有することだけでまだまだ無駄取りができるのではないか

生産性向上などに大きな役割が果たせたと思っています。もしと感じました。お客様、関連機器メーカー様、クリーンルーム

標準化せず、各メーカーがばらばらな仕様でつくってしまった

建設企業様など取り囲むステークホルダーの方々とともに知ら、単純なコストだけでなく、資源面でも無駄がたくさん出ます。

恵を絞りながら環境負荷低減を進めていきたいと考えており

見方様：例えば SEMI S23 では、換算係数で計算するとすべてます。

のうち、どこで一番エネルギーを消費していて、どこを攻めればいいのかが分かって、とても使いやすい。使うメリットがあ座談会を受けてる標準化といえます。
ただし、こういう換算係数を求めるには、やはり半導体メー

当社グループの環境・社会報告書での座談会は、昨年に引きカー、装置メーカー、設備メーカーの三者がいなければ決めら

続き、お客様、コンポーネントメーカー様、クリーンルームの設れません。やはり協力が必要なんですね。

計・施工を行う建設企業様をお招きして行いました。今後の具TEL星：S23 については、さまざまなエネルギーが換算係数

体的活動に一定の方向性が見えた有意義なものでした。

により一括で把握でき、便利になりました。しかし、例えば低2008 年 6 月 23 日 に 札 幌 に て 開 催 さ れ ま し た ISESH（ International Semiconductor ESH ）会議にて、会長の東が基調講演をさせていただいたのですが、その中で、当社グ

ティーについての知識を当社グループの開発者が認識すれループは今後「革新、成長、環境 」を機軸にビジネスを展開しば、設備側の環境負荷を減らすことができる装置が開発できていくことと、SEMI、ISMI（ International SEMATECH

ると思います。

Manufacturing Initiative ）、JEITA、SEAJなど、業界が一丸

EHS Report

温と高温の冷却水の換算係数は違うというようなファシリ

MANAGEMENT Reportのエネルギー消費が数値ではっきりと出て、ライフサイクル

HIGHLIGHT

メーカーの要求をできるだけすり合わせ、エネルギー消費をステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」

東京エレクトロン株式会社
国内営業サービス本部となって、環境問題、特に地球温暖化の防止に真摯に取り組ん
でいかなければならないと訴えました。
今日の座談会は、非常に有意義な内容でありましたが、やはり環境問題は、企業を超えて、また国を超えて、世界全体で解企業としてますます重要な響きをもったものになると確信しております。
東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター センター長

斎藤 聡

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

SOCIAL Report

決していくべき大きな課題であると思います。今後、CSR（ Corporate Social Responsibility ）という言葉は、まさに、

13

M a n ag e ment R eport

コーポレート・ガバナンス
コーポレート・ガバナンス

東京エレクトロングループは、企業価値の最大化を目指した経営を推進するため、様々な施策を通してコーポレート・ガバナンスの充実を図っています。

コーポレート・ガバナンスに関する考え方
当社グループでは、すべてのステークホルダー（利害関係者）

内部統制システムの整備

2006 年 5 月に制定した内部統制基本方針（2008 年 4 月に一にとっての企業価値の最大化を図るため、コーポレート・ガバナ

部改訂）に基づく実践的活動を行うとともに、金融商品取引法

ンスの強化が重要であると認識しています。そのために、企業に基づく「財務報告に係る内部統制 」への対応を進めています。

倫理と法令遵守を徹底するとともに、内部統制システムやリス

なお、2008 年 6 月より、内部統制担当取締役を任命し、内部統

ク管理システムの整備・強化を推進し、経営の透明性・客観性を制システム整備のさらなる強化を図っています。

確保することを基本的な方針・目的としています。
【内部統制システム】

コーポレート・ガバナンスに関する体制

1. コンプライアンス体制

コーポレート・ガバナンス強化における 3 つの基本方針、（1）

2. リスク管理体制

HIGHLIGHT

経営の透明性と健全性の確保（2 ）迅速な意思決定と事業の効

3. 財務報告の適正性確保のための体制

率的執行（3 ）タイムリーかつ適切な情報開示のもと、最適で実4. 情報の保存・管理体制

効性の高いガバナンス体制を構築し、運用を行っています。

5. 執行の効率性確保のための体制

具体的には、取締役会は社外取締役 3 名を含む取締役14 名で構成されており、報酬委員会 と指名委員会 を取締役会内に※1※2

6. 企業集団の業務適正化体制
7. 監査の実効性確保体制

設置し、ガバナンスの向上を目指しています。取締役の任期は 1

MANAGEMENT Report

年とし、経営環境の変化に迅速に対応する体制をとっています。
（うち社外監査役2名）で監査役会を構成していまた、監査役4名ます。監査役は取締役会などの重要な会議に出席するほか、業

コーポレート・ガバナンス体制、
内部統制システムおよびリスク管理体制の模式図

務監査、会計監査、リスク管理の評価を行うとともに取締役の

株 主 総 会

職務執行を監査しています。執行体制については、取締役会と執行機関の役割をより明確化するため、執行役員制を導入し、より迅速な事業戦略の立案・遂行に取り組んでいます。

報酬委員会
取締役会

※1 報酬委員会: 代表取締役会長・代表取締役社長の報酬案を作成し、取締役会に議案を提出する委員会※2 指名委員会 : 株主総会で選任される取締役候補者の選定、および取締役会で選任される取締役社長候補者を選定し、取締役会に議案を提出する委員会

指名委員会

監査役会

倫理担当取締役
内部統制担当取締役

EHS Report

改善状況確認指示

代表取締役

内部統制システムおよびリスク管理体制

監査+改善報告

当社グループの内部監査部門として、監査センターを置いています。監査センターは、当社グループの国内・海外拠点において業務監査、コンプライアンス監査、システム監査を実施し、内

報告

改善指示
報告

改善指示

執行役員

報告

部統制システムが有効に機能しているか評価を行い、必要な場

報告

監査

内部監査部門（監査センター）

改善指示

合には現場への業務改善の支援を行っています。また、経営層

SOCIAL Report

リスク管理担当部に対して監査結果の定期的報告や、監査役との情報交換会、監査役への報告会を実施しています。

モニタ

リスク管理については、ビジネスリスク、オペレーションリス
クなどの危機管理対策を遂行するため、リスク管理担当部を設け、それぞれのリスクに対する必要な社内規程類の整備および教育・啓発活動などを実施しています。

14

会計監査人

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

収益部門

監査

モニタ
内部牽制

改善指示

事務部門

監査

監査

コンプライアンス
企業倫理とコンプライアンスの遵守を徹底しています。

企業倫理・コンプライアンスについての考え方

また、倫理基準への理解を深めるため、倫理基準と各項目に「信頼 」は当社グループの生命線です。この「信頼 」を維持する

ついてのＱ＆Ａをまとめた冊子の改訂をあわせて行い、当社グ

ためには、会社で働く個人のみならず、各組織においても企業倫

ループ全役員・社員へ配布しています。

コンプライアンス

東京エレクトロングループでは、公正で信頼される企業活動を行うため、理を遵守し、コンプライアンス（法令等遵守）を実践することが基本となります。当社グループでは、高い倫理観やコンプライア
ンス意識をもって行動することを最優先に企業活動に取り組んでいます。

コンプライアンス体制強化の取り組み
当社グループは、コンプライアンスに関する基本事項を定め た「 コ ン プ ラ イ ア ン ス 規 程 」を 2004 年 に 制 定 し ま し た（2008 年一部改訂 ）。この規程は、当社グループの事業活動に倫理基準の制定
グローバル・エクセレントカンパニーを構築するためには設置しました。

ルを正確に理解し、それらに則した行動を継続的に実践することを目的としています。
また、倫理基準やコンプライアンス違反と思われる行為について、従業員などが利用できるホットライン（内部通報制度）を設置し2007 年 6 月には、2005 年に実施したコンプライアンス現状ています。倫理基準に関しては倫理担当取締役と倫理委員長が、コ

調査の結果を受けて、倫理基準をよりわかりやすいものとし、ンプライアンスに関しては総務部長が、通報した従業員などに十

現在のビジネス環境や倫理観にあわせるために項目追加、表現分配慮しながら公正かつ誠実に取り扱っています。
これらのコンプライアンスに関する取り組みについては、社
内イントラネット上で情報提供を行い、さらに、WEBを活用し【倫理基準】
序文
Ⅰ. 基本原則
1. 法令等の遵守
2. 社会的良識による行動
3. 地域社会との共生

Ⅱ-2 公正な取引
7. 公正で自由な競争の推進
8. サプライヤーとの公正な取引
9. 機密情報の取扱い
10. 輸出入管理の徹底
11. 常識をわきまえた贈答や接待

Ⅲ. 社会のよき一員として
15. インサイダー取引の禁止
16. 政治的活動および政治献金の禁止
17. 反社会的勢力への関与の禁止
18. 個人の尊重

昨今、個人情報の流出事件が社会的な問題となっており、事業者にはその保有する個人情報を適切に管理することが求められています。
「個人情報保護法」の全面施
当社グループでは、2005年4月の行を受けて、個人情報保護基本方針、規程、および個人情報の取り扱いに関するガイドライン・マニュアル類を策定しました。
運用にあたっては WEBを活用した社員教育、社内イントラネッ
ト上での情報提供を行い、その浸透に努めています。加えて国内各社では、社員に貸与しているパソコンを対象としてソフトウェアを利用した個人情報の洗い出しを行い、個人情報の把握に役立てました。
また、個人情報保護対策サーバを設置して、重要な個人情報
はこの専用サーバ内へ保存する運用を徹底するとともに、ＩＣ
カードを用いた個人使用パソコンのログイン管理、パスワードの定期変更、暗号化機能の導入、パスワード入力が必要な補助記憶装置の使用など、個人情報管理の強化を図っています。

SOCIAL Report

Ⅱ-3 会社と個人との関わり
12. 利益相反行為の禁止
13. 会社財産の不正使用の禁止
14. ハラスメント行為の禁止

個人情報保護の取り組み

EHS Report

Ⅱ. 誠実かつ公正な事業活動
Ⅱ-1 技術、安全、環境
4. 安全の確保・品質の追求
5. 環境保全活動の推進
6. モノづくりにおける倫理

た社員教育を行うなど、方針の浸透と意識の向上を図り、コン
プライアンス体制強化に努めています。

MANAGEMENT Reportの修正などの改訂を行いました。

HIGHLIGHT

共通の基準が必要であると考え、1998 年にその具体的な考え方を示した倫理基準を制定し、運用機関として倫理委員会を従事する者が、法令・規則、国際的なルールおよび社内のルー運用※※ 運用では「個別事項」や「手続き」などについて定めている

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200815

E H S R e p o rt

EHSマネジメント

マネジメントE
H
S

東京エレクトロングループでは、EHS（環境・健康・安全）活動を経営の重要課題と捉え、推進しています。

EHSの考え方が長期的には当社グループの利益にもつながる、という考えに当社グループは、EHS活動を通じて人々の健康と安全、地球

基づき、事業を行っていきます。さらに、社会の一員としての自環境に配慮することが、経営上最も重要なことの一つであると覚を持ち、豊かな社会づくりに貢献できるようＥＨＳ活動を展認識しています。私たちの事業活動に関係するすべての人々か

開していきます。

ら信頼される企業になることを目指し、同時に、これらの活動

東京エレクトロングループの環境に関する
基本理念／方針

東京エレクトロングループの安全／
健康に関する基本理念／方針〈基本理念〉〈基本理念〉

東京エレクトロングループは、地球環境を保全し、継続的に改善することが人

東京エレクトロングループの役員および従業員は、開発・製造・販売・サービス・

HIGHLIGHT類共通の最優先課題の一つであり、経営上最も配慮すべきことの一つである管理等の各種業務の遂行において安全や健康に対する配慮を常に念頭に置との認識に立ち、地球環境との調和を保った繁栄を実現することを常に念頭いて行動する責務がある。即ち人命および（顧客に販売する／社内で使用すに置き、顧客・社会・株主・従業員から総合的に信頼され愛される企業の構築

る）各種設備／機器の安全性を損なってまで、利益や納期を優先するようなこを目指して、環境保全活動を推進する。

とがあってはならない。

〈環境方針〉〈安全／健康方針〉

1. 当社グループ製品が顧客の事業運営に於いて少なからず環境負荷を与え

1. 当社グループ製品の製造・輸送・据付・使用・メンテナンス・サービスを行うていることを率直に認識し、顧客と一体となって当社グループ製品の環境上で少なからず顧客や当社グループ従業員に対する安全性及び健康への負荷を低減させる為に、積極的に継続的に努力する。当社グループ製品に阻害要因が存在することを率直に認識し、当社グループ製品の安全性向上

関する環境対応ロードマップを明確にして製品を開発し、設計・製造・使用や健康影響排除のために積極的に継続的に努力する。

MANAGEMENT Report時での妥当性を検証する。更にその適確性を確認するために、行政・業界・顧客等のニーズに十分配慮した活動を行う。

2. 当社グループの事業運営に於ける安全性向上／健康増進阻害要因を定性／定量的に把握し、それらを改善するとともに当社グループで活動する

2. 当社グループの事業運営に於ける環境影響要因と、その環境負荷を定量的に把握し、その低減に向けて積極的に継続的に努力する。

3. 環境関連法規・条約・協定等を遵守し、更に環境に関する業界標準や各種要請を考慮して自主行動計画を策定し、地球環境保全を推進する。

4. 環境に関する基本理念・環境方針・環境保全推進状況・製品の環境対応状
況を従業員に周知させ、意識向上を図ると共に、環境報告書等を通じて社外へも公表する。

人々の更なる安全性向上や健康増進に向けて積極的に継続的に努力する。

3. 安全／健康関連法規・条約・協定等を遵守し、更に環境に関する各種要請を先取りして自主基準を制定して安全性向上・健康増進を促進する。

4. 安全／健康に関する基本理念・方針や安全性向上／健康増進関係活動状
況を当社グループの全役員・全従業員に周知させ、意識向上を図ると共に、社外へも必要に応じて公表する。

5. 顧客・社会で実施・推進される安全性向上や健康増進関係活動に積極的に

5. 顧客・社会で実施・推進される環境保全活動に積極的に参画する。

参画する。

平成18 年 5月26日

EHS Report

東京エレクトロングループの環境・安全活動のあゆみ
1994. 5

標準環境安全センター（環境安全推進センター）設置

2000. 4

環境会計の導入

1996. 3

装置安全分科会（東京エレクトロングループ装置EHS
技術委員会）発足

2000. 4

統一安全教育システム「Safety2000 」導入

1996. 4

SOCIAL Report16

平成10 年11月27日

環境分科会（東京エレクトロングループ環境安全推進委員会）発足1997. 12

相模事業所ISO14001 認証取得
（以降、各工場において認証取得）

1998. 9「東 京 エレクトロングル ープの 環 境に関する基 本 理念／方針」を制定

1998. 11 「東京エレクトロングループの安全／健康に関する基
本理念／方針」を制定

1999. 6

「安全第一について」を制定

1999. 12

経営理念に「安全と健康と環境について」の項目を追記

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

2000. 12 「環境報告書」発行開始
2001. 10

ISO14001認証未取得事業所に対する環境教育の導入

2002. 12

各事業所環境・安全代表者による相互監査「 TELイン
ターナルアセスメント」開始

2005. 10

製品の省エネルギー化を推進する省エネタスクフォー
ス活動開始

2006. 5「東 京 エレクトロングル ープの 環 境に関する基 本 理念／方針」を改訂

2007. 10

環境活動に関する社内最高機関「環境ステアリング委員会」発足

EHS推進体制を徹底しています。追加された内容での監査を継続して実施

製品の EHSについては「プロダクトEHS」、製品の納品 /設置「顧客先作業EHS」、工場やオフィス作業などの EHSについては「ファクトリー&オフィスEHS」と、これら三つを中心にの EHSはし、活動のチェックをさらに強化していく方針です。

マネジメントE
H
S※元方事業者：一つの場所において行う仕事の一部を協力会社に請け負わせて、自らも仕事の一部を行う最上位の事業者

活動を展開しています。
当 社 グ ル ープ で は、1997 年 よ り 製 造 子 会 社 を 中 心 にISO14001 に基づく環境マネジメントシステムを構築・実行し、認証を取得しています。

EHSリスクマネジメントシステム
製造子会社では、ISO14001 や OHSAS18001 、労働安全衛生マネジメントシステムに基づき環境や安全のリスクを評価し、リスクの高いものから対策に取り組んでいます。また、法規制にから、環境活動の社内最高機関である環境ステアリング委員

先駆けてリスクの削減に取り組んでいる課題もあります。今後

会を2007年10月に発足し、従来の活動をより加速しています。

も京都議定書に基づく地球温暖化（P.18参照）

防止への対応を最も重要な課題と考えています。

東京エレクトロングループのEHS推進体制

東北事業所では、岩手県が実施

グローバルEHS会議

HIGHLIGHT

また、昨今の地球温暖化・気候変動問題への対応の高まりする「いわて地球環境にやさしい事業所認定制度」において、二酸化〈各地区でのEHS活動〉〈お客様の拠点でのEHS活動〉

東北事業所の地球環境にやさしい事業所の認定証

ISO14001 認証取得事業所
認証取得年月日

認証番号

相模事業所

1997年
12月10日1110-1997-AE-KOB-RvA Rev.1

東京エレクトロン東北

東北事業所

1998年
2月19日

1118-1998-AE-KOB-RvA

東京エレクトロン九州

熊本／合志／
大津／佐賀事業所

1998年
3月26日

1120-1998-AE-KOB-RvA

1998年
山梨事業所
（藤井／穂坂地区） 5月15日

1124-1998-AE-KOB-RvA

宮城事業所

2005年
3月1日

01245-2005-AE-KOB-RvA

横浜事業所

2004年
7月14日

EC04J0144の四つ星の認定を受けました。

法令の遵守状況
環境法令や排出基準などの法規制を確認し、一部では自主基準を設けるなど、法規制遵守に努めています。

2007 年度は、環境関連の事故・違反・罰金・苦情、また、これらにかかわる訴訟などはありませんでした。

EHS教育
当社グループでは、「必要な教育を必要な人に」の考えに基づき、当社グループ社員および当社グループ内で作業する協力会

EHS活動のチェック体制

社社員に対し、EHS観点での階層別の教育・訓練を実施していＥHSマネジメントシステムの実効性を高めるために、継続的にシステムや成果のチェック機能を担う監査のレベルアップを図っています。監査は事業所内やグループ内で、あるいは第三者ます。新入社員研修においても、EHSに関するプログラムは必須科目としています。
環境関連の取り組みについては、当社グループ内の先進事例
やトップメッセージ、会

推進している監査は、2002 年度より継続実施している、各事

議 資 料などを掲 載し「 TELインターナル監査 」
業所の EHS代表者による相互監査、

た社内イントラネットです。2006 年度からは、製品含有化学物質のサプライチェーン

ホームページを 2007

や、2006年改訂の労働安全衛生法による元方事業者 からの関年に開設しました。

SOCIAL Reportによる監査など様々な観点から行われています。特に積極的に※

EHS Report

事業所名

東京エレクトロン PS ／東京エレクトロン AT

東京エレクトロンデバイス

取り組み成果が認められ、最高位〈当社グループで製造する装置についてのEHS活動〉

会社名

東京エレクトロン AT

炭素の排出削減に向けた具体的なプロダクトEHS

顧客先作業EHS

MANAGEMENT Report

ファクトリー＆オフィスEHS係請負人への安全上での指示・伝達強化に伴い、新たな監査項
目を追加し、取引先、協力企業との EHS実施状況について確認
社内イントラネット

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200817

E H S R e p o rt
EHSマネジメント

マネジメントE
HS「 Technology for Eco Life™」をスローガンに環境活動をさらに推進していきます。

環境配慮活動の加速

環境ステアリング委員会発足について
環境ステアリング委員会

東京エレクトロングループは、昨今の地球温暖化・気候変動問題への対応の必要性を認識し、環境ステアリング委員会を

環境ステアリング委員会

2007 年 10 月より発足させ、環境対応活動をより加速させています。この委員会は開発部門の執行役員やマーケティング部門、経営戦略室、広報部門などで構成され、環境面における活動の

HIGHLIGHT

社内最高機関として位置付けています。
さらに、環境ステアリング委員会の下に、当社グループの製品

製品ワーキングチーム

について検討を行う製品ワーキングチームと事業所や物流につ事業所 / 物流ワーキングチーム※2007年10月に発足

いて 検 討 を 行 う事 業 所/物 流 ワ ー キング チ ームを 設 置し、コ「 Technology for Eco Life 」を環境活動のスローガンにし、ミットメントの達成に向けた基準やロードマップの設定を 2008

MANAGEMENT Report

年度に進める予定です。
※ロゴは社内公募にて決定しました。

Technology for Eco Life™
東京エレクトロンは、地球環境を大切にし、環境との調和を考えた社会を実現することを第一目標に活動しています。

EHS Report

われわれの持つ先進的な技術やサービスを提供することでお客様とともに地球環境を考えた社会づくりに貢献します。
東京エレクトロンのコミットメント

SOCIAL Report18

・ 2015 年に新設されるお客様工場の総合環境負荷を 2007 年をベースとして半減することを可能にする装置の開発を目指します。
・ 事業活動や物流に伴う環境負荷を2007年をベースとして2015年までに半減することを目指します。
・ このコミットメントを達成するためにステークホルダーの方とともに活動を進めていきます。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

EHS活動の目標と実績／環境会計

EHS活動目標と2007年度実績
EHSマネジメント

2007年度達成目標

実施結果

評価

2008 年度以降の計画、目標

関連するページ

EHS 相互監査の実施

サプライチェーンを含めた事業所間での EHS 相互監
査を実施

1事業所においてサプライチェーンの項目を追加し実施、発見した指摘事項を是正した○

継続して監査を行っていく

P.17

既存装置への反映を進めた○

Technology for Eco Life

達成

300mm製品:2007 年度目標を 6 製品中 2製品達成し、2010 年目標に向け活動中△

コミットメントの達成に向けての基準づくりと活動推進

TELロ ード マップ 指 標 のRoHS 指定 6 物質の調査と非含 有代替品

達成への変更を推進○2008 年度下期出荷開始に向けた準備と対応

P.24

売上高に対する原単位では昨年度より低減
し、前年度比1%削減という目標を達成した○

同上コミットメントの達成に向けての基準づくり、ロード
マップ作成と活動推進

P.28

国内の物流量を正確に把握し、モーダルシ
フトを推進した○

同上コミットメントの達成に向けての基準づくりと活動推
進、海外向け輸送方法の検討

P.25

TELロードマップ※指標の装置の省エネルギー化

製品における
環境への取り組み装置に含まれる規制化
学物質対策

省エネルギーの推進

事業所における
環境への取り組み

健康・安全

エネルギー使 用量の削減（省エネ法に基づき、CO2
発生量ベースで売り上げ
原単位比1%削減）

P.20-23

廃棄物の削減製 造 系 事業所でのゼロエミッション継続

製造系事業所においてゼロエミッションを達成した
グループ全体のリサイクル率は、昨年と同等の高水準で推移○

ゼロエミッションを 継 続 する、廃 棄 物 総 量 の 削 減 を検
討する

P.30

人身災害事故の削減

人 身事故の件 数を前年度より30%削減する

人身事故件数は前年度比約 40%以上削減することができ、目標を達成した○

人身事故の件数目標は 2007
年度比 25%削減

P.32※TELロードマップ：当社グループ製品に関する環境対応の方針・計画○目標達成△目標の80%を達成

×目標の80%未満の達成

ー目標設定していない項目

集計範囲：東京エレクトロングループ国内主要事業所（札幌、東北、宮城、赤坂、府中、横浜、相模、穂坂、藤井、尼崎、大阪、佐賀、熊本、合志、大津）
集計期間：2007年4月1日〜2008年3月31日（環境省）に準拠しています。
当社グループの環境会計は「環境会計ガイドライン（2002年版）」および「環境会計ガイドブックⅡ」

2007年度環境保全コスト（千円）
主な取り組みの内容

設備投資額

1. 事業エリア内コスト
1.1 公害防止コスト

大気汚染、水質汚濁、土壌汚染防止など

1.2 地球環境保全コスト

温暖化防止、オゾン層保護など

1.3 資源循環コスト

資源の効率的利用、廃棄物減量化など
グリーン購入、グリーン調達など
環境教育、環境負荷の監視・測定など

4. 研究開発コスト

476,881

657,730

385,561

346,867

91,32077,2330233,6300641,673

22,705219,168

製品の研究開発など

0

1,741,927

5. 社会活動コスト

緑化、地域の環境活動支援、情報開示など

038,107

6. 環境損傷コスト

自然破壊の修復など

00

7. その他のコスト

その他

0

0

499,586

3,298,605

合 計

2007年度環境保全対策に伴う経済効果（千円）

環境保全コストの分類

内容

金額• 電力およびその他のエネルギーについての効果

電力使用量の削減（例：設備の計画停止）• 水についての効果

水の使用量削減（例：冷却水の循環利用）-7,777• 紙についての効果

紙の使用量削減（例：両面コピーの奨励、電子化）-1,032-2,560-16,484• 各種資源についての効果

重油やガスなどの使用量削減• その他についての効果

液体窒素やコピー用トナーの使用量削減-9,730• 廃棄物に関する効果

廃棄物処理量の削減

91,636• 水域および土壌への排出に関する効果

下水道への排出削減

合 計

SOCIAL Report

費用削減

EHS Report

2. 上・下流コスト
3. 管理活動コスト

経費合計

MANAGEMENT Report

環境会計

項目

HIGHLIGHT

活動項目

活 動の目 標と実 績 ／ 環 境 会 計EHS

東京エレクトロングループでは EHS活動目標を設定し、グループ全体で EHS活動を推進しています。

-104
53,949TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200819

E H S R e p o rt

製品における環境への取り組み
製 品における環 境への取り組み

東京エレクトロングループは、半導体／ＦＰＤ製造装置の使用時における省エネルギー化や規制化学物質の削減などを推進し、環境負荷低減に取り組んでいます。

製品使用時の環境負荷の低減について
製品の環境負荷低減についての考え方

ス・薬液削減、既存装置対応」を必須項目とし、任意項目として装当社グループは、環境に配慮した製品設計を推進することが、置立ち上げ工数削減などがあります。また、部材削減、工数削減

企業活動において重要と考えており、環境理念 /方針でもこのも同様に設計開発のアイテムとしてレビューを行い、改善を進め考え方を明確にしています。特に装置の省エネルギー化や、装ています。その進捗はグループ全体の中長期計画で確認してい置に含有される規制化学物質の削減・代替は、最優先の課題とく方針です。

して位置付けています。

製品の省エネルギー化の取り組み
HIGHLIGHT

環境負荷低減の推進組織装置使用時の省エネルギー化対策として、①装置本体のエネ製品に関する環境負荷低減の推進組織として、二つの関連部

ルギー使用量削減、②周辺機器のエネルギー使用量削減、③会を設置しています。このうち、「含有化学物質対策ステアリング

装置の省エネルギー運用、④クリーンルームのエネルギー使用

チーム 」は、装置を構成する部品やコンポーネントなどに含まれ量削減、⑤クリーンルームの省エネルギー運用（計画運転、適正る規制化学物質の削減・代替を進めています。
そして、2007 年度

装置の省エネルギー化に対するアプローチ

は環境ステアリング委員会の下部組織として「製品ワーキング

MANAGEMENT Reportチーム」
を設立し、各事業部において環境負荷低減に向けたロー⑤クリーンルームの省エネルギー運用（計画運転、適正運用など）

ドマップを制定しました。ロードマップ作成にあたっては「装置省④クリーンルームのエネルギー削減

エネルギー化、含有物質対策、部品点数・工数削減、プロセスガ
各事業部での環境ロードマップの項目①装置の省エネルギー化④プロセスガス・薬液削減②含有化学物質対策⑤既存装置対応③部品点数・工数削減

冷却
装置

真空
ポンプ

②周辺機器のエネルギー削減①装置本体のエネルギー削減③装置の省エネルギー運用

EHS Report

TOPICS
故障部品の再使用
従来、製品に使われている部品が故障した場合は、製品の特殊性や品質面での課題

故障部品再使用ルート

から、他の製品への再使用ができないため、廃棄物として処分されていました。このため、資源の有効利用や廃棄物削減の観点から、改善を行う必要がありました。今回、装装置故障の修復

置の保証期間内に部品交換をした際、その部品を当社グループで回収し、状態確認を

SOCIAL Reportにしました。検査に際しては、新品と同等の検査を行うことや、部品に顕著な劣化や消耗部分がないことを確認するなど一定の品質基準を設けました。省資源・廃棄物削減の観点だけでなく、修理の結果をフィードバックすることで、より壊れにくい設計・使い方の提案や在庫・メンテナンスコストの減少にもつながります。現状は日本国内での回収、再利用を進めていますが、今後は海外顧客への展開を進め、さらなる省資源・廃棄物削減を進める方針です。

20

再生可能部品の引き取り行い、再使用可能と判断した場合は、部品の修理、再生を適切に行い、再利用することTOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

保守部品として出荷

返却部品の
状態確認

保管
故障部位の修理
品質検査

必要と判断された
再生の実施

また、
「 SEMI S23 」を用いて、装置で使用する電力、水、ドライ

ます。クリーンルームの省エネルギー運用については、お客様

エアー、冷却水や熱の排気の使用のほか、補機類（真空ポンプや設備メーカーとの協力が不可欠なため、三者で密接に連携をや冷却装置 ）のエネルギー消費量を正確に把握し、対策を進め取りながら、装置使用時の省エネルギー化を進めていきます。

ていきます。

HIGHLIGHT

より優れた装置を開発することで、地球環境にも職場環境にも貢献したいと考えています

製 品における環 境への取り組み

運用など）の 5 項目を検討し、今後、技術開発に取り組んでいき

東京エレクトロン株式会社
常務執行役員 兼 開発本部長

飽本 正巳
下げ、また長くご利用いただくための改造などを行うポストセールス事業を、本年から事業部として本格化しています。

私は 1984 年に入社して以来、当社グループの装置開発に携わってきました。
「環境配慮」や「地球温暖化防止」などの言葉を使うようになったのは最近のことですが、それよりも以前か

開発力をさらに高めるためには、技術者の連携と、心身の健康が必要

ら、開発では、環境への配慮を基本としてきました。お客様の地球環境に貢献する装置開発をさらに進めるためには、ビジ

ニーズに応え、装置の待機時間が少なく、省エネルギーで、稼働

ネスユニットごとの個別研究のみならず、技術者同士が横のつな

MANAGEMENT Report装置の性能への要請に応えることと、装置の環境負荷低減は一体のものとして開発を進めてきました

TOKYO ELECTRON
環境・社会報告書
2008
がりを持ち、
互いにノウハウを伝達し合い、基礎技術や研究方法
率と歩留まりが高い装置を実現することが、すなわち環境負荷低減につながるからです。

について論じる場も必要です。昨年から 3 ヶ月ごとに技術者間の交流会を開くようになったことで、密な話し合いが本格化し、技かどうかという環境課題は、装置のコスト性能や効率そのもの

術交流が進んでいます。新しい製品開発において公募で人を集の課題でもあります。塗布方法によって使用量を減らす、あるめてプロジェクトを進める方法も盛んになってきました。

いは、使用済みの薬液を高い回収率で無駄なく循環使用できる

こうした研究力の推進と並行して、ワークライフバランスへようにするなど、様々な改良を重ねてきました。その成果の積の配慮も進めています。心身ともに健康であってこそ、成果もみ重ねによって、製造効率を高め、省エネルギー化・省資源化を大きくなります。とりわけ残業時間の削減には力を入れてお推進してきました。

EHS Report

例えば、半導体や FPDの製造段階で使用する薬液を減らせる

り、ある部署では、以前にくらべて月の平均残業時間が約 60%削減されました。

新旧両方の装置で環境負荷低減を進めます

一方、すでに納入した装置について、半導体製造装置は、お客様の工場で 15 年から 20 年ほどの長い期間使われます。現在、世界中に数万台の当社グループの製品が稼働していて、これら既存装置への環境対策も必要です。それぞれの装置の環境負荷をワーも、会社の利益も向上します。例えば、安定度の高い装置であれば、お客様の生産を助けるだけでなく、納入後のフォローを担当する当社グループのフィールドエンジニアの負担も大きく軽減することができます。
これからも機能と環境負荷低減の両面において優れた装置をつくる努力を続けていきます。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

SOCIAL Report

環境負荷を抑える次世代型装置の開発要請はきわめて高く、それぞれの装置で、お客様との共同開発を進めています。

私たちが開発した装置が良いものであれば、人と組織のパ

21

E H S R e p o rt
製品における環境への取り組み
製 品における環 境への取り組み

地球温暖化防止などの取り組み
塗布現像装置CLEAN TRACK® LITHIUS Pro®
での取り組み塗布現像装置（コータ／デベロッパ ）は、半導体製造プロセ

CLEAN TRACK® LITHIUS ®

CLEAN TRACK® LITHIUS Pro ®

スのうち写真の現像と同じ技術を利用したフォトリソグラ

Hot Plateチャンバーの排気方式変更

フィープロセスにおいて、感光剤（フォトレジスト ）の塗布
（コート=coat ）と現像（デベロップ=develop ）を行う装置です。
塗布現像装置CLEAN TRACKシリーズの 300mmウェーハ
対応製品は、従来の CLEAN TRACK LITHIUS®から、2007 年

変更前

変更後

チャンバー

チャンバー

HIGHLIGHT

より出荷を開始した LITIUS Proへとモデルチェンジを行いエジェクタました。モデルチェンジを進めると同時に、環境負荷低減における取り組みも行い、第一段階として、Hot Plateチャンバーの排気方式を圧縮空気を用いて排気を発生させるエジェクタ
方式から、直接工場の排気を利用する方式に変更しました。これにより、駆動するための圧縮空気の使用量を、従来装置比でMANAGEMENT Report

35%以上削減できました。また、N2 パージの流量の適正化を進めることにより使用量を 70%以上削減できました。その結果、ウェーハ単位面積あたりのエネルギー使用量は約 20%改善されました。さらに 2007 年に出荷を開始した LITHIUS Pro
については、開発段階で省エネルギー化の検討を進めました。
具体的には、温湿度調整器の加湿ヒータや冷凍機にインバー

エジェクタ駆動用
圧縮空気

排気

排気

集合
トラップタンクチャンバー排気をエジェクタ方式から工場直接排気方式へ変更することにより、エジェクタおよびエジェクタ駆動用圧縮空気が不要となりました。

ウェーハ単位面積あたりのエネルギー消費推移（当初のLITHIUSを1とする）
1

タ自動制御を採用したり、ポンプ類を削減するなどして装置

0.8

全体での電力量を当初の LITHIUSモデルから 32%削減するこ

0.65とができました。これらの改善により、LITHIUS Proは従来型の LITHIUSよりウェーハ単位面積あたりのエネルギー使用は35%改善できました。今後も、新規開発品での省エネルギー化
LITHIUS

考慮を進め、これを既存機への展開にも進めていく方針です。

EHS Report●担当者のコメント●

開発段階からの省エネルギー化を考えることが求められています

LITHIUS改良版

LITHIUS Pro（改善後）

FPDコータ／デベロッパでの取り組み
FPDコータ／デベロッパは、FPD用基板の上にレジストを塗布したり、露光後に現像する装置です。装置には塗布、現像、乾燥工

東京エレクトロン九州株式会社
CTシステム設計部安全技術課

程などを扱うユニットがあり、取り扱う基板の大型化により装置

矢羽田 慶一も大型化が進んでいます。ExcelinerTMでは、開発段階のコンセプ

SOCIAL Report

近年顧客からの省エネルギー化要求は非常に強く、本格的

変更前

トから様々な環境負荷低減への取り組みが行われています。スク

な省エネルギー化設計が求められています。しかし半導体製

ラバーユニット（基板を洗浄するユニット ）では、一度洗浄に用造装置は高度な精密機械であるが故に、後から設計を変える

いた純水リンス水を前の洗浄工程で用いることで、最大で 3,000

ことは多くのリスクを伴い、それらの検証に多大な労力を要す㎥の純水リンス水を再利用できる機能を有しています。また、使るのが現実です。従って装置開発段階から省エネルギー化対用する現像液を 90%以上再利用したり、従来のフォトレジスト策を考えることが重要です。

変更後塗布の方法であるスピンコーティングからスリットコーティン
グへの変更により、レジスト使用量を90%以上削減しました。

22

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

熱処理成膜装置では、プロセス後の配管に反応副生成物などが付着しないよう、排気系の配管にヒータと呼ばれる保温製 品における環 境への取り組み

枚葉成膜システムTrias®での取り組み

熱処理成膜装置の改造による省エネルギー化

枚葉成膜システムは、熱やプラズマを利用して金属膜やバリア膜を形成する装置です。

ユニットを取り付けている装置があります。既存の製品ではCVD（化学的気相成長 ）法により、成膜すべき膜の種類に応

シリコンラバーなどの材質で製作し取り付けていましたが、じて材料ガスをチャンバーに供給し、エネルギーを与えて化これを改造し、PLENOヒータを用いることで保温性を高め、学反応を起こし、薄膜を堆積させ、成膜する装置です。
従来は、熱交換用の冷却水を装置の冷却用として外部の温PTFE※を用いることにより、クリーン性能の向上や長期間使用

度調整ユニットに個別に設置し、装置に供給していました。しかしても劣化が少ないなど、長寿命化への貢献も期待できます。

し、装置全体の環境負荷は、この温度調整ユニットの負荷が大※PTFE: ポリテトラフルオロエチレン、フッ素
原子と炭素原子から成るフッ化炭素樹脂と協議した結果、お客様の工場全体での冷却水が安定して装置

きいため、省エネルギー化の必要がありました。そこで、お客様

HIGHLIGHT

消費電力を約 40%〜 50%削減しました。また、材質に多孔質に供給されていることがわかり、装置側を改良することによって、個別の温度調整ユニットを使用せず、冷却水を直接供給することで問題がないことがわかりました。この結果、温度調整

各温度での消費電力

よび低設置面積化が大きく進みました。また、この取り組みについてお客様から省エネルギー化の表彰をいただきました。

従来型

100

チラーレス化

PLENOヒータ

温度調整
ユニット

51
37
19
200℃
改造対象装置ALPHA(α)-303i

お客様工場から
温度調整ユニットへ冷却水を供給変更前

100℃

MANAGEMENT Report

ユニットレスの装置を設置することができ、省エネルギー化おPLENOヒータ

お客様工場から直接冷却水を供給*200℃の従来型を100とする

変更後

変更前 スピンコーティング

EHS Report

スピンコーティングからスリットコーティングへ変更●担当者のコメント●

お客様と協議を重ね、環境に配慮した製品づくりを展開します

面積比
レジスト使用量1

窪田 光真
温 度調整ユニットの削減については、お客 様との協議を変更後 スリットコーティング

重ね、装置の改善・実験を繰り返し行ったことにより実現しま

0.09

した。今後も環境に配慮した製品づくりおよび新たな技術開発に精進します。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

SOCIAL Report

東京エレクトロンAT株式会社
SD設計技術部 第2Gr

23

E H S R e p o rt
製品における環境への取り組み
製 品における環 境への取り組み

化学物質管理の取り組み
装置に含有される規制化学物質削減への取り組み
部品や材料に含まれる化学物質による環境や生態系への影

学物質の使用規制を目的としており、当社グループでは対応を完了しました。中国版RoHSの規制事項として主に次の二つを響懸念から、自動車や電気製品などへの使用規制が世界各国で遵守することが必要となります。

見られ、東京エレクトロングループでもこのような動きに対応し1. 製品へのラベルの貼付

HIGHLIGHTています。2006 年 7 月発効の欧州RoHS指令※1 については、当規制物質を含有している場合、製品にラベルを添付し、環境社グループで製造している半導体製造装置や FPD製造装置は使用期間を示す必要があります。当社グループ製品は通常 25「Large-scale Stationary Industrial Tool」にあたるため、適用年と表示しております。

が免除された製品であると判断し、会社として判断した根拠を

2. 化学物質含有情報の開示含めた声明書を用意しています。また、2007 年 3 月発行の中国規制対象物質の使用状況を、定められた書式により、取扱説

版RoHS に対しては、遺漏なく適合を達成しています。

明書または同等の書類に中国語で開示する必要があります。

※2

当社グループでは迅速な対応をすべく、製造子会社および本

当社グループでは、これに対応しています。

社スタッフ部門の代表者で構成される「含有化学物質対策ステ
アリングチーム」を組織し、必要な情報を収集、共有しています。

MANAGEMENT Report

また、取引先にも積極的にご協力いただき、含有物質の調査と当社グループ内では、閾値以上の規制化学物質含有部品を

非含有代替品への変更を推進しています。前記のように当社グ「使用しない」「購入しない」「販売しない」ことを原則として、各

ル ープが 製 造する半 導体 製 造 装 置 や FPD製 造 装 置は欧 州

部品類の含有規制化学物質情報を登録、参照することが可能な（一
RoHS指令の規制対象品ではありませんが、2006 年度には化学物質管理システムを構築しています。このシステムを使用部の製品を除いて）欧州RoHS指令対応同等品への移行スケすることにより、製品に使用される部品の規制物質含有情報を

ジュールを自主的に策定し、2008 年度下期から徐々に欧州

容易に知ることができ、規制化学物質を含有する製品の製造やRoHS指令対応同等品の出荷を開始する予定です。

出荷を管理することが可能となっています。

※1 RoHS 指令：Restriction of the use of certain Hazardous
Substances in Electrical and Electronic Equipment「※2 中国版RoHS：正式名称はEHS Report

カドミウム
六価クロム
鉛
水銀

PBBs
PBDEs

」という

今後の化学物質規制
欧州では、販売されるほぼすべての化学物質について安全性対策すべき含有化学物質

評価を義務付け、その情報を登録させる REACH ※1 規制、EU指第一優先課題「生産者
令における新電池規制※2 、PFOS ※3 規制など、ますます

顔料、安定剤、樹脂
クロムメッキ
はんだ、塗料、電線被覆、快削金属
電池、蛍光灯樹脂部品
樹脂部品

第二優先課題

責任 」と「予防原則 」が徹底されていくと考えられます。当社グ
ループでは、これらの規制に対しても、開発・設計・製造・資材・
品質保証・環境安全などの各部門一丸となって取り組みを進めていきます。さらに、JAMP※4 などでの活動を通して最適な対応

SOCIAL Report

JIG ※レベル A 指定物質（既に対策された物質がかなり含まれている）

を検討していきます。

※JIG（ Joint Industry Guide ）：日米欧の民間団体の協力で作成された対策が必要な化学物質に関するリスト。レベルAとレベルBに分類されており、レベ（カドミウム、六価クロム、鉛、水銀、PBBs、PBDEsを含む）
がリス
ルAには16物質
トアップされ、レベルBには400を超える物質がリストアップされている。

※1 REACH：Registration, Evaluation, Authorization and Restriction ofChemicals（化学物質の登録、評価、認可、制限に関する規則）

中国版RoHS対応について

2007年 2 月 28 日、中国版RoHSが施行されました。この法律
は、中国市場で販売される電子情報機器・パーツに含まれる化24

規制化学物質に対する体制

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

※2 欧州 新電池指令：WEEE指令に基づいて、使用済み電子・電気機器より取り外された電池は、電池指令に基づき処理されます。電池にリサイクルシンボルのマー
キングを義務づけるなど、回収・リサイクルに対応しています。
※3 PFOS：パーフルオロオクタンスルホン酸。撥水・防水・非粘着性などの特性により、レジスト、金属メッキ、グリース・オイルなどに使用されている物質。EU指令では、
2008年6月27日から一部の対象除外を除き、規定値以上の使用は禁止となります。
※4 JAMP：Japan Article Management Promotion-consortium

物流における環境への取り組み
資源の有効活用を積極的に進めています。

物流についての考え方

製品の梱包について2006 年 4 月のエネルギーの使用の合理化に関する法律（以当社グループの製品群は、精密さ、および輸送時の清浄度を下、省エネ法 ）改正に伴い、地球温暖化防止の観点から物流に要求されるため、出荷時に特殊な梱包方法を用いています。具

対する規制が強化され、物流における環境負荷低減の要求が高体的には、透明なビニール製のロール材を用いて2重または3重まりました。当社グループでは、製品輸送用トラックの低公害車に巻きつけて梱包をしていました。しかし、作業の困難さや梱導入や、梱包用木枠の端材のリサイクル化推進など、物流におけ

包時に隙間ができてしまうことなどの問題も発生していましる環境負荷低減に向けた。塗布現像装置を取り扱う事業部では、この点の改善方法をて、積極的に取り組ん

検討し、特注の袋状の梱包材を上下から包むように梱包するこでいます。加えて、お客とにより、先の問題の改善とともに、材料使用量を従来比 30%

様 への製品輸送は安削減することができました。また、高所作業の削減などにより作業性が向上し、約3分の1の作業工数で行うことができるようになりました。今後もさらなる環境負荷低減、工数低減に向けて改善を進める方針です。
リサイクルされる木枠端材

物流における環境負荷

従来の梱包方法

変更後の梱包方法

材材
ルル
ーー
ロロ

荷主事業者は特定荷主に指定され、CO2排出量の削減が求められることになりました。2006 年度の東京エレクトロン単体にお

インナー下
インナー下

ける貨物輸送量（製品輸送量と輸送距離の積、単位：トンキロ）
は、一定の積載率からのトンキロを把握し、3,000 万トンキロを
ロール材
ロール材

めて輸送積載重量の把握の正確性を向上させ、約 95%の主要

インナー上
インナー上

MANAGEMENT Report

改正省エネ法により、年間 3,000 万トンキロ以上を輸送する超えたため、特定荷主として指定されました。2007 年度は、改HIGHLIGHT

全運行を最優先としています。

物 流における環 境への取り組み

製品輸送時における環境への取り組みも重要な課題と捉え、環境負荷低減や省エネルギー化、製品の輸送重量を量り、または設計データにより把握した結果、3,000万トンキロを下回ったため、特定荷主の解除の申請を行いました。
●担当者のコメント●

環境ステアリング委員会の下部組織として、事業所/物流ワーキ
ングチームが関係部署により組織され、今後の環境負荷低減の検討を進めています。具体的には、国内輸送時における、さらなる船舶の利用など、モーダルシフト※の推進などの検討を行っています。さらに、海外向けの輸出に際して、これまでは、顧客

東京エレクトロン BP 株式会社
物流システム 1 部

清水 清

上の CO2 が排出されています。今後は、これを船舶輸送へ切り2007 年度は、トラックから船舶へのモーダルシフトを開始替えられるよう検討を進めていき、目標の達成に向けて活動をしました。2007 年度に利用した航路は 2 つで、約 150 台のト進める方針です。
※モーダルシフト：従来のトラックによる貨物輸送を、大量輸送が可能な海運や鉄道に転換すること。

ラックを船舶輸送に切り替えることができました。これによる

CO2 の排出削減効果は約 93トン-CO2と試算しています。今後もさらにモーダルシフト化を進め、梱包材などの環境負荷低

SOCIAL Report

指定の航空機輸送が主流で、試算によれば国内物流の 20 倍以

積 極 的にモ ーダルシフトを進めていきますEHS Report

また、2007年度における東京エレクトロン単体での国内物流の輸送に伴う CO2 排出量は 4,712トンでした。2007 年度には、減も検討する方針です。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200825

E H S R e p o rt

取引先における環境への取り組み
取 引 先における環 境への取り組み

東京エレクトロングループでは、取引先との協力と連携を通して、製品における環境負荷の低減を推進しています。
このページでは、当社グループの取引先 2社における環境負荷低減の取り組み状況を紹介します。

取引先企業での取り組み〜株式会社フジキン〜

株式会社フジキン様と当社グループの取引状況

従来型である1.5 IGSと比較すると、設株式会社フジキン様とフジキングループ様（以下フジキン）

置面積、重量を約 30%削減できます。ま

ながれ
（流体）
制御機器
（バルブ機器 ）は、昭和 5 年の創業以来、

た、フジキン製の FCS-P（ Flow Controlのトップメーカーです。フジキンでつくられたバルブ機器類はSystem-P ）を採用することにより、さら宇宙機器、海洋開発、化学コンビナート、原子力発電所など、なる削減を行うことができます。

「モノづ
さまざまな分野で使用されています。また、4 年連続で②事業活動における取り組み

HIGHLIGHT

くり部品大賞 」を受賞するなど高い技術が評価されています。

電力や廃棄物の削減目標を定めて活動しています。省エネル

当社グループとは、バルブ機器類・フローコントローラおよび継（ファンフィ
ギー化においては、クリーンルームで使用する FFU

手における取 引が あります。当 社グルターユニット）のモーターを省エネタイプのものに変換する

ループ製造拠点やお客様先周辺にサーことにより、従来の 20%程度の使用量まで低減することができビス拠点を設置し、手厚いサポート体

ました。また、作業場所の集約や省スペース化による省エネル制も構築されています。
半導体用精密バルブ ※ギー化や効率向上にも取り組んでいます。さらに、納入品の化粧箱を廃止するなど、省資源への配慮も行い、環境負荷低減を

MANAGEMENT Report

進めています。

※半導体/FPD製造装置向けバルブ機器類は、微量のガス類を正確にコントロールする必要があり、また微細なゴミ（パーティクル）の発生も問題となる機器です。フジキンでは、製造するバルブ機
器類を一点ずつ漏れやパーティクル発生がないかの全数検査を行い、高い品質を確保しています。

③チョウザメ養殖
フジキンでは、バイオテクノロジー産業への参入の一環として、1989 年から絶滅が危惧されているチョウザメの養殖に
スーパークリーンルーム

環境管理体制取り組んでいます。1992 年には、民間企業で初の人口孵化に成功し、その後完全養殖事業化し、そして現在ではチョウザメ

うつく

やさ

フジキンでは環境理念『地球に美しく、人に優しく、機
（器）物
いと

きび

はげ

の卵であるキャビアを販売するに至っています。また、チョウ

たのに愛しく、仕事に厳しく、自分に激しく、人生に豊しく。』を掲げ、ザメの養殖研究施設には 800

事業活動を進めています。環境側面での活動については、本社

トンほどの水が必要ですが、養を中心に各事業所に環境保安安全委員会を設置し、全社横断

殖研究施設の水を循環させる

EHS Report

的な取り組みを展開しています。また、筑波フジキン研究工場
では、2002年9月に ISO14001認証を取得しました。環境社会

ことで再利用しています。
フジキンで養殖しているチョウザメ

検定試験（ eco検定 ）や高圧ガス製造保安責任者などの公的・公認資格の取得推奨制度などもあります。

ながれのあるところすべてに
フジキンの技術があります

環境への取り組み
フジキンではさまざまな環境活動が行われていますが、そSOCIAL Report株式会社 フジキン
筑波フジキン研究工場
実践環境保安安全委員会の一部を紹介します。
（Integrated Gas System）の開発①1.125 IGS
現在、半導体/FPD製造装置向けのガスフローユニットはIGSが主であり、従来のガスパネル

委員長

土屋 慶弘 様弊社の製品は、製造時に最もエネルギーを使っています。生
産時におけるクリーンルームの単位面積あたりの生産性向上をユニットと比較すると軽量・小型化

大きな課題として捉え、生産性の向上を通じてお客様にご満足が進んでいますが、さらなる小型化

いただけるよう、高品質、低価格、短納期、そして環境配慮に努として、1.125 IGSを開発しました。

めています。

1.5 ”
IGSと1.125 ”
IGSの比較写真

26

フジキン製FCS-P

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

取引先企業での取り組み〜株式会社ニューテック〜

株式会社ニューテック様と当社グループの取引状況

環境への取り組み

株式会社ニューテック様（以下、ニューテック）と当社グループ

オゾン層に悪影響をおよぼすフロン対策として、洗浄機を入は、ニューテックが昭和 51 年に創業したときから取引関係にあれ替えるなどの対応を行っています。社内の改善提案制度によりケーブルに付属するキャップや梱包用のビニール袋を次工程

グループの山梨事業所で製造するエッチングシステム、枚葉成

取引先と協力しながら再利用し、省資源化を進め、また、時間ご膜システム、テストシステム、FPDプラズマエッチング/アッシンとの電力の使用量を計測してエアコンの設定温度をこまめに調グ装置のハーネス、ボード、ユニットなどの Assy品 において取整するなどの配慮を行っています。さらに、会社周辺の清掃を引があります。ニューテック

行ったり、災害援助のための募金を行い、被災地へ寄付をする

では、これらのパーツ調 達、などの活動も活発に行っています。

※

製造、検査を行っています。

品質向上への取り組み※Assy：アッセンブリーの略称。部
品単体だけでなく、複数を組み合わせた構成部品を指す。

品質目標として「不適合品 社外流
出 0 件」を設定し、2007 年度は当社
ニューテックの作業現場

グループのエッチングシステム向け製品で達 成しました。これは、組 立

ケーブルの検査

RoHS指令への対応については、約3,500点のパーツ類についや検査で使用する治具 ※ 化を推進し、QC（品質管理）工程表をて 2006 年後半から Assy単位で、グリーン調達調査共通化協議

用いての部品の検査や評価を徹底的に行ったことによります。

のチェックリストを用いた確認を行いました。確認会（JGPSSＩ）

また、作業従事者への電子回路接続技能士や職業訓練指導員の過程で、取引先からのデータを入手できないものについては、といった国家技能検定取得を推進しており、作業従事者のほ当社グループの分析装置を使用し確認を行うなどの対応を進め

とんどがこれらの資格を取得しています。さらに、作業従事者

ました。RoHS指令対応を進める上での鉛フリー化は、1,000サの健康状態が品質につながるとも考え、健康診断の受診を確

イクルの信頼性試験評価を県の工業技術センターなど、外部の実に実施するなどのケアも行っています。

協力を得て行ったり、鉛フリー化技術に関しての特許の確認も温度サイクル試験（N基盤・R3-7 ）このような取り組みによる高い品質が評価され、当社グループより表彰をされています。
※治具：工具などの作業位置を指示・誘導するために用いる器具対応の調査残はほぼない状況となっています。在庫の識別に

EHS Report

行われました。これらの対応として、一部設備導入も行われ、選任の担当者を置いています。

MANAGEMENT Report

RoHS指令への対応について

2008年6月現在、RoHS指令HIGHLIGHT

ります。ニューテックは、山梨県甲斐市に本社工場を置き、当社

取 引 先における環 境への取り組み

再利用するケーブルのキャップ

小回りが利き、機動性が高いのが当社の特徴です

は、黄色いラベルを貼り、エリ
アを分けて保管しています。

平賀

義洋 様

30年以上、東京エレクトロングループ様とお付き合いさせてい
ただいており、今後も環境、品質、コスト、納期などの要求事項に応えられるよう努力します。また、山梨事業所だけではなく、宮城

SOCIAL Report

株式会社ニューテック
代表取締役社長

RoHS対応部品専用の棚

新工場においても協力できるよう、体制を整えて参ります。
温度サイクル試験

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200827

E H S R e p o rt

事業所における環境への取り組み
事 業 所における環 境への取り組み

東京エレクトロングループの事業所では、地球温暖化防止、
省資源、廃棄物削減などの取り組みを積極的に進めています。
ここでは、製造系事業所（工場）とオフィスにおける取り組みを報告します。
Input-Output

Input

環境負荷の全体像

2007年度

右図は、東京エレクトロングループの製造系事業所および事務所系事業所における物質フローです。
当社グループの環境負荷の主要部分は製品評価時におけるもOutput前年度比

2007年度 前年度比

製品総出荷量 27,329t （+0.2%）

電気

27,015万kWh （+2.4%）

ガス

1,478km3（+21.8%）

CO22,613kl （-0.3%）

東京エレクトロンNOx
グループ

113,169t-CO2 （+2.2%）

燃料
水1,180km3 （+1.8%）

排水1,170km3 （+1.8%）

廃棄物12,312t（-20.5%）

化学物質（国内および海外事業所）

12.4t （-37.4%）のです。半導体製造工程と同様に、電力および様々なガスや薬（PRTR法第一種対象物質）品などを使用して装置を稼働させているためです。

紙（コピー用紙）

12.1t （+1.6%）

再資源化量 11,945t（-20.7%）337t （-10.7%）

単純焼却・埋立処分量366t（-11.6%）

HIGHLIGHT

地球温暖化防止エネルギー使用量削減の取り組み

電力使用量推移

当社グループは、省エネ法の規定に沿ったエネルギー使用量（10万kWh）の削減を進めています。各事業所では、照明や OA機器の節電、MANAGEMENT Report

空調の温度設定管理などの具体的な目標を掲げ、積極的に取り150

重油・灯油使用量推移

電気（海外分）電気（国内）

165
126 192

（kl）

2,181

2,345

2,396

2,472

372
1,062 942

1,146

154

1,014 1,169

994

2,602

946
1,828

1,838

1,665 1,604

658

1,444

エネルギー使用に伴う CO2排出の推移

2007 年度のエネルギー使用に伴う CO2 排出量は、生産量の0003 04 05 06 07

0

03 04 05 06 07

58

738

838

56 110 113 131

03 04 05 06 07（国内および海外事業所）

増加に伴い総量は増加しました。また、売上高に対する原単位※1
では昨年度より低減し、前年度比 1%削減という目標を達成でき都市ガス（海外）
都市ガス（国内）
LPG（国内）（千m3）

99

組みを推進しています。今後は、環境活動のコミットメント達成に向け、活動をさらに加速していく方針です。

ガス使用量推移

灯油
重油

CO2以外の温室効果ガス使用量削減

EHS Reportました。今後も省エネルギー化の取り組みを強化していきます。

プロセス開発・評価時のドライエッチングや洗浄などの工程（社）
日本電機工業会
さらに、海外分については、2007 年度より、（パーフルオロカーボン）
で、温室効果ガスの一種である PFC

編「各国における発電部門CO2 排出原単位の推計調査報告書」）を使用しています。2007 年度の温類や SF（六フッ化硫黄6の係数を用いて計算しました。
（2006年6月）（ CO2 換算）で、2006 年度の室効果ガス使用量は 10,610トン

21,006 トンより大幅に減少しました。これは、山梨事業所における製品の開発・評価工程での SF 6 の使用量が減少したこ

エネルギー起源 CO2 排出量の推移（t-CO2）CO2 排出量（国内）（%）

CO2 排出量（海外分）

売り上げ原単位前年度比※1
原単位※2

温室効果ガス使用量

192.1

7,405 6,449 7,335

150.8

SOCIAL Report

104.4とが大きな要因です。

（t-CO2）

SF6
PFC類
HFC類

100.1
96.1
92.1
87.0 90.8
79.3
78.4
105,834
52,456
102,977
94,009 95,486 95,487
65,81750,488104,246
104,11084,76122.5 20.7 18.0 16.4 16.4
11.1 16.7 14.9 11.7
13.0 12.5

0

97

89.3

98

99

00

01

02

03

※1 前年度比＝当年度原単位／前年度原単位※2 原単位＝エネルギー使用量／売上高

04

05

06

13,863

18

11

3,106

56
19

6,740

07 （年度）（国内および海外事業所）

30

その他

0

4,350

4,681
6,682

1,856
1,468

1,284
1,140

02

03

6,297 784
322

04

3,236
1,620

05

3,506

3,204

3,607

3,045

06

07 （年度）（国内事業所）

28

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

省資源についての考え方

回覧書類の電子化などに努めました。その結果、2007年度のコ

当社グループでは、限りある資源の使用量を最小限に抑えてピー用紙使用量は、グループ全体で 2006 度より約 10%減少、年います。具体的には、コピー用紙や文房具などについて、購入間で約 970 万枚の使用量削減を行うことができました。環境配量、使用量を削減することを進めています。同時に、環境配慮

慮型の紙の使用を進めるだけではなく、竹を配合した紙コップ型製品を優先的に購入する「グリーン購入」を推進しています。

を導入するなど、資源の保全につながる活動も実施しています。

また、オフィスで使用するプリンター用トナーをリサイクル品

今後も継続して、コピー用紙の減量、記録用紙や帳票類のに替え、メーカーによる使用済み製品回収への協力を積極的に最小限化などを行い、紙使用量削減を目指します。

水使用量削減の取り組み
製造系事業所では、水の使用量を減らすために様々な活動を組みを構築して、社内横断的にリユースを促進しています。

展開しています。例えば、生産工程で利用する冷却水は、循環装置

紙使用量削減への取り組みを設置し、再利用しています。また、トイレや手洗い用に自動水洗

当社グループでは、紙の使 用量削減に取り組んでいます。

装置を導入して水の止め忘れや無駄な使用を減らしています。

コピー用紙使用量の推移

水使用量の推移
（千m3）

（千枚）
事務所系
製造系

海外使用量
地下水
上水
工業水

18,30089,067

77,16818,18469,45017,41776,80016,03869,814

16,13577,992

13,438

436

388

474

390

430

ʼ00

ʼ01

146
89

527

445

391

290

325

332

ʼ97

ʼ98

ʼ99

107
64

70
106

115
92

111
22
599

486

437

506

415

357

391

382

429

ʼ02

ʼ03

ʼ04

ʼ05

ʼ06

70,936

0

48

2

599

531

0

ʼ01

ʼ02

ʼ03

ʼ04

ʼ05

ʼ06

ʼ07（年度）（国内事業所）ʼ07（年度）（国内および海外事業所）

TOPICSEHS Report

67
119

88
62

MANAGEMENT Report

具体的には、コピー用紙の両面使用、縮小コピーの励行、情報や

18,617HIGHLIGHT

行っています。一部の事業所では、イントラネットを利用して、ある部署で使用しなくなった文房具類を他部署で使用できる仕事 業 所における環 境への取り組み

省資源

工業高校へのパソコンの寄贈
当社グループは、福島県会津地域の半導体を中心としたモノづく

目録の寄贈風景り産業を支える人材育成事業「会津ものづくり人財育成事業」の協力
方工業高等学校（両校は昨年のセミコン・ジャパン※に高校生として初めて出展し、開発した工具を展示しました ）に、ノートパソコンを10 台ずつ寄贈しました。このノートパソコンは当社グループのサービ
スマンが実際に業務で使用していたものです。2008 年1月25日に会津工業高校で寄贈式が行われ、生徒、先生方、関係者など合計 100
名以上にご参加いただき、当社グループより目録が手渡されました。

※セミコン・ジャパ ン（SEMICON Japan）：
半導体を中心としたエレクトロニクス製品を製造する装置、材料産業の世界的なイベントです。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

SOCIAL Report

企業です。今回、同事業の指定校である、会津工業高等学校と喜多

29

E H S R e p o rt
事業所における環境への取り組み
事 業 所における環 境への取り組み

廃棄物削減
廃棄物削減・リサイクルの考え方

は 97.3%、2007 年度は 97.0%となりました。リサイクル推進と廃棄物の排出量削減に努め、排出した廃棄物は可能な限りリ

並行して、引き続き廃棄物排出量の総量削減を進めます。同時サイクルをし、リサイクルできない廃棄物は適正に処理するといに、社内での廃液処理設備の導入などによる廃液類の削減にもう基本方針に基づき、東京エレクトロングループ全体で廃棄物取り組んでいます。

の削減とリサイクルに取り組んでいます。
近年は最終処分場が不足し、埋め立て処理費用が上昇してい

HIGHLIGHTるため、廃棄物排出量の削減はコスト削減にもつながります。具当社グループで最も多い廃棄物は廃液類で、製品の開発およ

体的には、廃棄物の分別回収、廃棄物が発生しない生産工程へび評価時に使用した薬品が廃液となっています。現在、廃液のほの変更、廃棄物処理委託業者の認定管理、最終処分状況の定

とんどはリサイクルされています。前述の通り、廃液の自社内処期的な確認などを行っています。

理を進めた結果、リサ
イクルを含む廃 棄 物

廃棄物排出量とリサイクル率

総 量 は 20%削 減 さ

廃棄物の内訳（％）
1％
4％

MANAGEMENT Report

1998 年度に、2005 年度までにグループ平均のリサイクル率

れ、2006 年度は廃棄

7％を 95%にするという目標を掲げて取り組みを進め、2006 年度

物全体の 71%が廃液

9％

（t）

2005年度リサイクル率目標値95%

3,657

3,938

3,189 3,179

77.4

EHS Report

99

97.0

（%）

59.9

00

01

02

りました。

ゼロエミッション
廃棄物量（焼却および埋め立て量）
リサイクル率03

単純焼却や埋め立て処分する廃棄物量が2%未満の事業所を「ゼロエミッション事業所」と定義し、グループ全体でゼロエミッ
ション活動を推進しています。廃棄物のリサイクル、削減を進め

431

98

97.3

3,268

847
0

96.4

13％

廃液
金属、製品屑
プラスチック
紙類
木屑、梱包材
飲料容器
その他

93.1

69.7
55.2

96.1

2007年度は58%とな

8％

58％

で あ っ た の に 対 し、リサイクル率と廃棄物排出量の推移

49.7

04

469

05

414

06

た結果、2007 年度は国内のすべての製造系事業所においてゼ

366
0

07 （年度）（国内事業所）TOPICS

ロエミッションを達成しました。
今後は非製造系事業所においてもゼロエミッションの達成を目指します。

プルトップの回収と寄贈

東京エレクトロングループ国内工場の廃棄物リサイクル率
事業所名各事業所では廃棄物の有効利用

宮城（松島）事業所

SOCIAL Reportています。例として、相模事業所で相模事業所

は、地元商工経 済同友会が行って山梨事業所（穂坂地区）

いる缶のプルトップ回収に協力し、山梨事業所（藤井地区）

2007 年 11 月に 6.5kgのプルトップ

関西テクノロジーセンター
佐賀事業所

を回収・寄贈しました。これにより、

合志事業所

車椅 子を同友会にて購入され、福祉施設に寄付されました。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

リサイクル率東北事業所を進めるために様々な活動を行っ30

廃棄物の内訳

プルトップ受領書

大津事業所※産業廃棄物（特別管理産業廃棄物含む）のリサイクル率

98.3%
99.7%
99.5%
99.9%
99.8%
100%
99.9%
100%
100%

事 業 所における環 境への取り組み

化学物質管理化学物質管理の考え方
当社グループでは、製品の開発段階や製造時を中心に化学物

PRTR法第一種対象物質取扱量の推移（kg）

質を使用しています。開発段階では、これまでには使用していな

759

かった化学物質を新たに使用したり、それまでとは異なった方

4,558
1,980

法で使用する場合があります。その際には、事前に使用設備や3,690

使用方法の評価を行い、環境や作業安全上のリスクをチェックし、必要な対策を取ってから使用を開始しています。製造時に使

0

1,439

4,000

’02

’03

’04

4,118

2,108
1,359
5,021

9,844

4,811
6,353

1,221

577

3,553
9,144

4,578

3,962

2,800

’05

’06

’07（年度）（国内事業所）※2002年度はトン単位で把握への切り替えを進めています。

PRTR 対象物質マテリアルバランス

PRTR 法への対応※

大気排出量 0kg/年

PRTR法の規定に沿って化学物質の管理を確実に行うととも

HIGHLIGHT

用する化学物質についても、危険性や有害性がより少ない物質

その他
キシレン
ふっ化水素及びその水溶性塩
エチレングリコール

水域への排出 0kg/年に、取扱量や排出量などを継続して把握しています。PRTR対
化水素は使用量も多くなっています。使用後は廃棄物として専

TEL

取扱量

12,450kg/年

門業者に処理を委託するか、社内で適正に処理しています。その他に使用量の多いエチレングリコールは、冷却水の冷媒とし製品

73kg/年

リサイクル 3,911kg/年
廃棄物 5,986kg/年て使用しており、使用後はほぼ全量をリサイクルしています。今自社埋立 0kg/年

除去処理量 2,471kg/年

下水道への移動 9kg/年

後も、化学物質の適切なリスク管理を継続していきます。
※PRTR（ Pollutant Release and Transfer Register ）：人体や生態系に害を与える恐れのある化学物質について、その使用量と環境への排出量、廃棄物に含まれて事業所外に移動した量を把握・集計し、公表する仕組み

MANAGEMENT Report

象物質のなかでも、評価用ウェーハの洗浄に利用しているふっポリ塩化ビフェニルの保管「ポリ塩化ビフェニル（PCB）廃棄物の適正な処理の推進に関する特別措置法」に基づき、PCBの保管や処分の状況を所轄のいる PCBを含む廃棄物は、トランス 2 台とコンデンサー 4 台で、厳重な管理を行っています。

TOPICSEHS Report

都道府県知事に毎年届け出ています。当社グループが保管して化学物質による汚染防止兵庫県尼崎市にある関西テクノロジーセンターでは、製品の評価

SOCIAL Reportと開発の際に、様々な化学物質を使用しています。これらの化学物
質を社内で管理することはもちろん、大気や水への汚染予防も適切に行っています。関西テクノロジーセンターでは、過去5年間に渡り、定期的に排水データを尼崎市に報告しており（市の条例では年 9 回
以上 ）、基準値内での排水を続けた結果、同市より 2007 年 2 月に排表彰風景と排水管理
優良事業所プレート

水管理優良事業所の表彰を受けました。今後も継続して排水の監視を含む化学物質管理を進めていきます。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200831

E H S R e p o rt

健康・安全
健 康・安 全「健康と安全」に配慮することは東京エレクトロングループの社会的責任の一つであり、企業活動を行うための重要な課題です。企業活動にかかわるすべての人々の「健康と安全」に関する取り組みを推進しています。
健康・安全についての考え方

人身災害事故の管理

当社グループは、企業の社会的責任の一つとして、社員やお客2007 年度の当社グループ全体での応急処置を除く人身事故

様をはじめ、企業活動にかかわるすべての人が安全に働き、安全

災害の件数は、売上や製品出荷が増加している中で、前期と比に製品を使用し、そして健康であることが重要であると考えます。

較して40%以上大幅に削減し、目標である2000 年比 33%を達当社グループでは2006 年10月から2008 年 3月までの間に、成しました。これは、従来国内のお客様先にて行っていた安全日本国内12 事業所で管理者向けに安全研修を計 55 回開催し、管理体制をグローバルに展開し、アジア地区において新規お客818人が参加しました。

様の工場設置時に重点的に推進したことで、装置立ち上げ作業･研修は、経営者による安全に対するメッセージビデオの視

メンテナンス作業時の人身事故が大幅に減少したことによるも聴、人間の特性の観点から事故を捉えるヒューマンファクターのです。また、当社グループオリジナルの安全ツールの開発や、の講義、実際に発生した事故事例の分析実習や安全配慮義務教育の充実、製品設計上での高所作業や重量物作業の軽減を

HIGHLIGHTに関するビデオ研修、そして最後に各自が行動計画を発表す進めたことも理由としてあげられます。今後もさらなる事故削るという内容でした。研修後のアンケートでは、「今まで受けた

減に向けて活動を進めていく方針です。2007 年度より労働災研修の中で一番良かった 」「学んだことを実践し、今後の対策

害度数率の計算を、国内グループ会社における休業１日以上のに活かしていきたい」「身近な事例が使用されていたので、非災害発生件数に変更しました。

常に理解しやすかった 」「グループメンバーの安全を自分が守労働災害度数率と人身災害事故件数の推移グラフ

るという認 識を強く持

MANAGEMENT Report

つことができました 」と（事故件数）

いう意 見があり受講者

（度数率）

1.95

1.90

1.77

1.78

1.85

41

37

43

39

0.97

0.98

0.98

1.02

28

0.34

0.35

0.99
0.39

1.01

0.36

0.40

0.37

0.39

0.18

0.15

0.24

0.39

0.32

0.18

0.19

01

02

03

04

05

06

07（年度）

1.79

1.83

から好評を得ています。
48
33
管理者安全研修0

東京エレクトロングループ、人身事故件数
国内全産業平均
国内製造業平均47

1.09

国内電気機械製造業
東京エレクトロングループ
人身事故件数目標ライン

EHS Report※事故件数は2000年度を100とする※労働災害度数率：100万延労働時間あたりの労働災害件数

TOPICS
重量物取り扱い作業時の事故削減に向けた重量計の開発
重量物を取り扱う際、対象となる荷の重量を事前に正確に把握することが重要です。視覚や触れた際の感触のみでは、実SOCIAL Report

際の重量の把握は困難であり、荷が想像以上に重かったということが多々あります。当社グループでは、過去に荷の重量を事前に把握せずに作業を続行した結果、腰痛や挟み込みなどの怪我を引き起こしてしまったという事例が少なくありません。
そこで当社グループは、小さな部品や製品を取り扱う際に用いるツールに取り付ける特殊重量計により重量を正確に把握し、重量物の取り扱いにおける事故低減に取り組んでいます。

32

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

重量計0

健 康・安 全装置に関する安全について

体感教育の推進装置の設計・開発段階における安全への配慮は社内だけでな

安全に関する感度は、座学による教育など見聞きするだけでくお客様からの要望もあり、ますます重要視されています。こはなかなか理解しにくいものです。そこで、当社グループの佐賀の取り組みの一環として 2007 年度に装置安全教育を WEB上事業所では、危険度の高い現場作業を実際に体感し、危険へので行いました。この教育では、装置安全設計のためのリスクア

意識を高め、事故防止や労働災害の被害の最小化に役立てる

セスメントについての内容や、事故事例を通して装置設計に必取り組みを行っています。

要な安 全に関する知 識を高所作業体験では、胴ベルト型

修得します。

やハーネス型の安全帯を使用しまた、装置の生産性向上

実際にぶら下がり、安全帯の使いと設置面積の縮小を追求

方を体感しています。

の高さが増す傾向にあります。その結果、装置各部の調整や組み立て時に高所

HIGHLIGHT

被液体感

することに伴い、装置自体での作業が増加し、高所からの落下の危険性も増加
WEBを用いた設置安全教育

ぶら下がり体感

当社グループでは、「本質安全設計 事故削減に向けての装置
安全活動 」の一環として、高所作業時の事故削減に取り組んで加圧された薬液の危険を感じるコーナーでは、保護衣とゴーいます。この取り組みに基づき、最新の塗布現像装置は、高所作グルを着用して、配管中に加圧された水を擬似暴露することで、業、特に重量物を扱う高所作業の機会を削減するというコンセ

保護衣やゴーグルの効果を体験してもらいます。

プトを盛り込んで開発されました。重量がある部品を装置上部

感電体感では、電圧が印加された電極を利用します。電極から装置内部に取り付けることにより、高所での重量物取り扱

同士をあてると火花が散りますが、受講者は素手で触り、感電い作業の機会を削減しました。さらに、装置各部の調整回数のを体感します。12Vバッテリーを 3 つ直列につないだ電源です

低減および定期メンテナンス期間の見直しを進めることによので、触っても人体には影響しない程度です。

MANAGEMENT Report

しています。

り、高所作業の機会を削減しました。
重量物体感

作業は、従来の装置では90回/1台に対して、最新の装置では50回/1台と作業数を削減しました。

EHS Report

また、実際に装置組み立て時の脚立および作業台を使用する装置上部ユニットの削減
変更前

変更後

感電体感での電極

SOCIAL Report

重量物体感コーナーでは、実際にクリーンルームで使用されているフロアータイルを空き缶の上に落下させ、空き缶がつぶれる
ことを見ることにより、受講者にその威力を感じてもらいます。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200833

S o c i a l R e port

社員とのかかわり社 員とのかかわり

社員の挑戦意欲、自主性を尊重する企業として、その環境の充実を図っています。

人事制度についての考え方

集会を実施しており、コミュニケーションのさらなる向上、社

東京エレクトロングループでは、社員一人ひとりの挑戦意
欲、自主性を尊重する企業として、「社員がチャレンジできる会社」を目指し、そのために①加点主義②公平な人事③公平な内活性化を図っています。
また、年に一度TELバリューの浸透度やモチベーションの状態を調査し、社内へフィードバックしています。

報酬の分配、の三つの視点での環境づくりを展開しています。
当社グループの人事制度は、組織の活性化と社員一人ひと働きやすい職場づくりの実現を目指した取り組み

HIGHLIGHT

りの成長を目的とし、単純に成果を重視するものではなく、当社グループは働きやすい職場環境の整備に取り組んでい成果を生み出したプロセスも重視する観点で設計されています。このうち育児支援策として、2007 年 4 月より育児休暇ます。実際の評価時には、「プロセスを評価するための力量制度の拡充を行い、2007 年 10 月より子育て支援金制度を開（コンピテンシー ）」「個別の役割（ミッション）」「役割に基づ始しました。具体的には、時間的側面の支援として、育児休業

いた成果（パフォーマンス ）」という三つを柱として、「貢献度

期間の延長※1、育児対応勤務（1 日 1 時間までの時短勤務）期間に応じた公平な評価 」を目指しています。コンピテンシーは、の延長※2 などを行い、仕事と子育てとの両立支援を推進して評価や査定の目的だけではなく、個人の能力向上やそれぞれいます。2007 年度は 54 名が育児休業を取得しました。さらの職群に応じて求められる力を育成するものさしとしてもに、一般社員を対象に、子の出生時、3 歳時、小学校入学時、中学校入学時にそれぞれ 50 万円、30 万円、20 万円、10 万円の支活用しています。

援金を支給し経済的側面の支援を行っています※3。

人事制度のコンセプト

MANAGEMENT Report会

このほか、仕事を離れ心身ともにリフレッシュすることを社

Mission

Performance

Competency

会社の目標／
方向性を明示目標達成に貢献した
パフォーマンスには報酬で報いる

目標達成のために必要なキャリア／スキルUPの機会を提供目的として、年次有給休暇とは別に「リフレッシュ休暇制度 」
を設けています。勤続 10 年、15 年、25 年という節目に、2 週間〜1ヶ月の休暇を取得できる仕組みです。
また、職場での心の病が社会問題化する近年においては、幹Mission: 個別の役割
Competency: プロセスを評価するコンピテンシー
Performance: 役割に基づいた成果

社

部社員に対するメンタルヘルス教育を実施し、職場における心の病についても、その予防に向け、積極的に取り組んでいます。

員

Competency

Performance

Competency

専門性を身につけ、プロフェッショナリティ
を提供

目標達成できるようなパフォーマンスを出す

高い報酬を得るためにプロフェッショナリティ
を磨く※1：満1歳（事情により1歳6ヶ月）であったのを1歳6ヶ月到達後の4月末（事情により満3歳）まで延長。
※2：満3歳までであったのを小学校卒業の年度末まで延長。
※3：対象となる子が健保の扶養対象でない場合は金額が異なる。

EHS Report

TEL ユニバーシティ
TELバリュー

社員一人ひとりの成長と組織の活性化を達成し、「夢と活力2006 年 4 月に、当社グループの価値観および行動指針となに満ちた会社」を実現させていくため、当社グループでは、「Ｔるものを「 TELバリュー 」として制定しました。現在、TELバ

ＥＬの宝は社員 」という理念のもと、中長期的に人材育成を強リューの活動の一環として、会長による拠点訪問や社員ミニ化しています。2007年8月に TEL ユニバーシティを設立し、こTELバリュー
T E L社員一人ひとりが世界
バリュー
こでは、
No.1 を目指すための必要な知

私たちが大切にしたいこと

SOCIAL Report

チャ
誇り
バンジ
次世代リーダー育成の場、
経営層と社員との交流の場、
TELレ
リューの理解を深める場としての役割を担っています。

私たちは、自らが誇りを持てる高い価値を持った製品・サービスを提供します。

私たちは、世界No.1をめざし、新と、● 最先端の技術製品を最高の品質・技術サービス● 変化をチャンスととらえ、柔軟かつ積極とともに提供し、お客様の真の満足を追求します。
利益は製品・サービスの価値の大きさを示す尺TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

TELバリュー

動します。

● 失敗に対して寛容であるとともに、その●34

私たちが大切にしたいこと

識・技能を習得する場にとどまらず、マネジメント力の強化や

TELバリュー

スと結果から学ぶことを重視します。

TELバリュー

地域社会とのコミュニケーション（企業市民活動）
地域社会とともに発展していきます。

Take child to work

企業市民活動についての考え方
当社グループでは、「 社会に対し、常に規律を守り、協力的でありたい」「 社会の健全な発展のために協調することが我々の義務である」という考え方のもと、国内はもちろん、海外においても様々な企業市民活動を展開しています。

地 域 社 会とのコミュニケーション

東京エレクトロングループでは、国内外における地域社会との共存を目指し、今後も地域社会との信頼関係を築きながら、ともに発展してきます。
し、勝ったチームが表彰されます。

「工場見学会」開催（日本）

また、安全に関するレクチャーもあります。子供たちの理解

東京エレクトロンAT株式会社、東京エレクトロン東北株式会

ゲーム形式で質問に答えていきます。

ニケーションを積極的に推進し、事業所の活動を理解していた

そのほか、日本の玩具に触れてもらったり、算数や理科につだ く た め、近 隣 の 皆 様 向 け に 工 場 見 学 会 を 開 催 して いいて学んだりします。このイベントでは他文化への理解以外にます。工場見学会では、工場だけでなく社員食堂なども見学いも、グローバル企業で働くことに対する理解、親の仕事への関

ただいており、毎回多くの皆様にご参加いただいています。見

心、社員にとっては自身の士気向上などにもつながっています。

HIGHLIGHT社、東京エレクトロン九州株式会社では、地域の皆様とのコミュをさらに深めるため、レクチャー後は、チームごとに分かれて学会に参加された方々からは好評をいただいており、今後もこ

工場見学会の模様

大学生向け会社見学会（台湾）域とのコミュニケーショ

Tokyo Electron Taiwan Limitedでは、2008 年 6 月 24 日にンを深めて欲しいなど

高雄大学の学生を対象に会社見学会を開催しました。半導体の声がありました。

の基礎知識やトレーニング用の装置を使ってレクチャーを行

今後もこのような活い、少しでも半導体製造装置業界の理解を深めてもらおうとい動を通じて、地域との共う主旨の活動です。今後も積極的にこのような活動に力を注い

存を図っていきます。

でいきます。

Take Our Daughters And Sons To Work（米国）Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.では、2003 年から

MANAGEMENT Report

ういう機会を増やし、地クリスマス慈善活動（ヨーロッパ）
Tokyo Electron Europe Limited（ TEE ）では、恒例のクリ
スマスパーティーで、チャリティくじ引き大会を行っていまどもたち（8 歳〜12 歳）を職場へ招待するイベントを年に一度開す。今年はロッキングホース・チャリティが寄付先に選ばれ催しています。子どもたちは、このイベントの体験学習などを通ました。ロッキングホースは、TEEオフィスのあるサセック

じて、働き方や世界の文化について互いに話し合います。それ

ス州の医療施設にいる子どもたちに多くの生命維持装置をにより、多様な文化背景を持つ人たちが共に働いているという

寄贈している団体で、その数は NHS（イギリスの国営保健医

ことを体感し、お互いの文化を理解し尊重しあうことの大切さ

療制度 ）からの寄贈数を超えています。取引先にこのチャリを学んでいます。

ティへのサポートを呼びかけたところ、テ

資源の大切さについて学ぶものがあります。子どもたちへ、省

レビ、携帯電話、19 イ

資源や再利用などについての説明を行い、その後チームに分か

ンチの PCスクリーン

れて20 分間でリサイクル品を使ってロボットをつくります。リサなど、合計 36 点の豪イクル品には使用済みのペットボトル、食べ終わったお菓子の華賞品が寄せられま

袋、ガムの包み紙、使用済みのマウスや携帯電話などがありした。くじ引き用のチます。その後子どもたちは、それぞれが作成したロボットを発表

ケットはパーティー

SOCIAL Report

体験学習には様々なプログラムがありますが、その一つに、EHS Report「 Take Our Daughters And Sons To Work」という社員の子

クリスマス慈善活動

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200835

S o c i a l R e port
地域社会とのコミュニケーション（企業市民活動）
地 域 社 会とのコミュニケーション

当日まで社員に販売され、617 ポンドが集まり、これに TEEが同額を拠出して、合計 1,234 ポンドが、12 月 11 日にロッキン【Adopt-a-Street（米国）】Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc. は、道路の清掃活動を

グホースの方へ手渡されました。今後もこのような活動に力通して、その道路の所有者として公認された米国オースチン市初を注いでいきます。

の企業です。2003 年には｢Keep Austin Beautiful Award※｣を受 賞しました。また当プログラムへの貢献が評価され、同年

森林環境フェスタ2008に協賛（日本）
東京エレクトロン九州株式会社（ TKL）は、2008 年 3月9日に（エコ）フェスタ
鳥栖市河内町で開催された第 1 回森林環境｢Keep Texas Beautiful Award｣も受賞することができました。
※Keep Austin Beautifulとは、オースチンの非営利団体で、毎年環境に配慮した活動を行っている個人や組織を表彰しています。この表彰は、地域の美化、清掃活
動、ごみの減量などに大きな貢献をした組織に与えられるものです。

2008に協賛しました。
これは鳥栖市森林組合主催のイベントで、鳥栖市民約 220 名

韓国西海岸原油流出地域のボランティア活動（韓国）

HIGHLIGHT（サクラ、ツバキ、クヌギ、ヤと TKL社員 46 名が参加し、広葉樹Tokyo Electron

マボウシ、モミジなど）を中心に 1,400 本もの植樹を行いまKorea Limited で はした。植樹の後には、樹齢約50年で高さ30mのケヤキをチェー

2008 年 1 月 3 〜 4 日、社

ンソーで伐採するパフォーマンスがあり、短く切った木をお土

員総勢 51 名で、韓国西産に持ち帰る人もいました。

海岸原油流出地域の油

今後も、環境保全活動を積極的に推進していきます。

を除去するボランティ

MANAGEMENT Report

ア活動を行いました。

東京エレクトロン九州株式会社 植樹活動
（日本）

ボランティア活動の様子

この事故は、2007年12月7日に韓国西側の「テアン」地域海

東京エレクトロン九州株式会社（ TKL ）は、2008 年 3 月15 日

上で、曳き船と引かれていた船舶をつないだ線が切られ、引かに阿蘇の俵山にて植樹活動を行いました。この植樹活動は今れていた船舶が油送船に接触し、原油1万5千リットル（推定）回で 3 回目となり、228 名の社員とその家族が参加し、1,000 本が流出した事故で、当初は、砂利と岩は原油付着のため黒くなの植樹を行いました。今後も継続していくため、植樹した土地

り、異臭を放っている状況でしたが、社員一同力を合わせて 2（5 年分）の場所を確保する保全協定を締の北側に新しく1.5ha

日間除去作業を行いました。今後も地球環境の保全に貢献し結する予定です。TKLは、今後も引き続き水資源涵養植林活動てまいります。

を継続していきます。

30人31脚全国第3位の胆沢第一小学校へマットを寄贈
EHS Report

（日本）
植樹活動

東京エレクトロン東北株式会社は、2008 年 2 月 29 日、30 人

31脚で全国第 3 位の奥州市立胆沢第一小学校（岩手県）を訪問し、30 人 31 脚や体育で使用するマットを寄贈しました。贈呈式の後には、社員が 30 人 31 脚で小学生に挑戦する機会もありました。贈呈されたエアーマットで大喜びの子どもたちがとても印 象 的 でした。今SOCIAL Report

後も社員一丸となり、永 続 的 な 事 業の 発 展 と と も に、事業所近隣の美化活動
東京エレクトロングループは、近隣の美化活動として、各事業

地域への貢献に取り組んでいきます。

所周辺の清掃活動や植花活動を行っています。今後も地域の美化活動を推進していきます。

36

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

30人31脚メンバー

ステークホルダーからのご意見

山梨県商工労働部
産業立地室 産業立地推進課 課長

中込 雅 様（1）環境・社会報告書の感想「環境・社会報告書 2007」を拝読しました。東会長様が「地球しみを持っている企業であります。山梨県内から多くの従業員

環境は限界点に達したのではないか」という人類の危機を直視し在し、山梨県の機械電子産業の頂点にある企業の一つとして、まつつ、「環境負荷が少なく、経済性も生産性も高い装置や技術をさに山梨県内に広く、深く根を張っている大樹であります。

を直接雇用していただいているほか、協力企業も多数県内に存提供することが当社グループの使命」であるという明確な目標を

このような、リーディングカンパニーが山梨に立地し、環境と掲げられている点が印象に残り、日本を代表する企業である東安全に配慮した新たな装置を次々と生み出して日本各地や世界

京エレクトロン様の現代社会の課題を解決しようとする強い姿

各地に大きく翼を広げていくことは、本県のイメージアップや経勢と、社会貢献への凛とした決意を感じ取ることができました。

済発展にも大きく貢献するものと感謝申し上げる次第です。

また、
「誇り 」
「自覚 」
「チャレンジ 」といった TELバリューを世界中のグループ社員と共有されることは、社員の方々のモチ（4 ）東京エレクトロンへの要望・期待など

ベーションの高さにつながり、ステークホルダーの皆様の満足

今、世界はそのエネルギー源を化石燃料から脱炭素化・新エ度を高めるばかりでなく、企業価値の向上につながるに違い

ネルギーへとシフトする過渡期にあります。環境への配慮は、次ありません。

世代に持続可能な社会を引き継ぐという観点から、製造業はもちろん人類のすべての活動において必要であります。

（2 ）EHS活動に関する感想
EHS活動については、データに基づいた現状分析を踏まえ、エネルギーの開発と活用、さらには景観対策も含めた美しい県

その活動を自社グループ内だけでなく取引先や事業所が立地す

土づくりなどを大きな課題と捉えております。

山梨県では、地球温暖化対策や循環型社会の形成、クリーンる地域にまで広げようと取り組まれており、企業が社会の中で

東京エレクトロン株式会社様が、EHS活動を一層推進される責任ある役割を果たそうとする方針の表れであると感じました。

ことで、地球温暖化の解決に大きな役割を果たされることは、本

企業ミッションの第一は、利益の追求であると考えておりま

県がこれから進もうとする方向と軌を一にするものであり、本県したが、「ステークホルダーとの座談会」において「利益を追求しとしてもできる限り協力をさせていただきたいと考えております。

ていけば環境負荷も減る」と論じられている部分を拝読し、企業による利益の追求と社会貢献は相反しないことがよく理解ご意見を受けてできました。
また、社会とのコミュニケーションを大切にされ、産業人材の育成を目的とした地元の学校の体験学習を実施し工場見学を受け入れることは、子どもたちのモノづくりに対する興味を深め、未来の山梨の担い手を育成する意義深い試みであり、人材の確保が課題とされる本県としても大変ありがたいと考えております。

（3 ）山梨県から見た東京エレクトロンの印象
東京エレクトロン株式会社様は、その半導体製造装置や FPD
製造装置が世界のトップシェアを獲得している優良企業ながら、山梨の地に主要な工場と研究施設があり、県民の誰もが親激励のお言葉をありがとうございました。東京エレク
トロンＡＴは、今後も環境と安全に配慮した活動を続けてまいります。山梨県が進めている地球温暖化防止対策や循環 型社 会の形成、また景 観 対 策を含めた対 策は、今後の企業のあるべき方向性と重なるところが大いにあります。
弊社も山梨県の企業として地域社会に貢献していきた
いと考えております。
東京エレクトロンAT株式会社
代表取締役社長

原 功三

ステークホルダーからのご意 見

環境・社会報告書2007および東京エレクトロングループの事業内容について、山梨県庁 中込 雅 様よりご意見をいただきました。

2008年9月
http://www.tel.co.jp

間伐に寄与した紙の使用
古紙のリサイクルに取り組む NPO オフィス町内会と、森林の再生に取り組む岩手県岩泉町との連携により実現した「森 の 町 内 会ー間伐に寄与した紙ー」を本文用紙に使用しています。

A ̶ (2) ̶ 060002

PR46-181

FAX:042-333-8477「環境・社会報告書2008」アンケートのお願い
最後までお読みいただき、ありがとうございました。本年度も、東京エレクトロングループの環境・安全・社会面の取り組みについてご理解いただくことに努めました。
今後の取り組みや経営に反映していくために、皆様の忌憚のないご意見、ご感想、お気づきの点などをお書き添えの上、ご返送いただければ幸いです。
なお、アンケートをご返送いただいた方に抽選で粗品を差し上げます。
2008年9月
東京エレクトロン（株）
環境安全推進センター

Q1. 環境・社会報告書2008はいかがでしたか？
〈わかりやすさ〉〈情報量〉□ 大変わかりやすい□ 大変充実している□わかりやすい□ 充実している□普通□普通□ややわかりにくい□やや物足りない□わかりにくい□ 物足りない□あまり評価できない□ 評価できないQ2. 当社グループの環境・安全・社会活動をどう評価されましたか？
□かなり評価できる□ 評価できる□普通Q3. 印象に残った記事はどれですか？（いくつでも可）□ TELバリュー、編集方針、対象範囲□トップコミットメント□ 会社概要Highlight □ 東京エレクトロンの使命□ 太陽電池製造装置事業の展開に向けて□ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」
Management Report □コーポレート・ガバナンス
EHS Report □ EHSマネジメント□ 製品における環境への取り組み□ 取引先における環境への取り組み
Social Report □ 社員とのかかわり□コンプライアンス□ EHS活動の目標と実績／環境会計□ 物流における環境への取り組み□ 事業所における環境への取り組み□ 健康・安全□地域社会とのコミュニケーション□ステークホルダーからのご意見

Q4. ご意見、ご感想、ご要望、ご提案などをお書きください。

Q5. この報告書はどのような立場でお読みになられましたか？
□お客様□ 環境NGO ／NPO
□ 行政機関□お取引先□ 株主・投資家□ 研究・教育機関□学生□ 東京エレクトロンの事業所近隣にお住まいの方□ 企業・団体の環境ご担当□ 報道機関□その他（）

おさしつかえのない範囲でご記入ください。
お名前
ご住所

性別

□ 男性

〒

ご職業
（勤務先・学校名など）

□ 女性

年齢

電話

E-mailアドレス

お寄せいただいたご意見・ご感想を次回の報告書に掲載させていただく場合がございます。個人情報保護に関しましては、漏えいや滅失などがないよう適切な管理を行い、年齢・性別・職業による分析などに利用させていただきます。なお、ご送付いただきました個人情報の修正や変更・削除を希望される場合は東京エレクトロン（株）
環境安全推進センターまでご連絡くださいますようお願いいたします。

「環境・社会報告書2007」アンケート集計結果「環境・社会報告書2007」について、たくさんのご意見をいただきました。
アンケート結果をご紹介させていただきます。

1

わかりやすさ はいかがでしたか？

2

3 当社グループの環境保全活動を、

情報量 はいかがでしたか？

どう評価されましたか？

やや物足りない

7%

ややわかりにくい

大変
わかりやすい

13%

24%

普通

普通

普通

10%

大変
充実している

11%

かなり
評価できる

30%

13%

35%

評価できる

充実している

わかりやすい

55%

52%

50%

4 印象に残った記事 ベスト5

5 この報告書はどのような立場でお読みになられましたか？

1

ステークホルダーとの座談会「 Green Fab 良い半導体工場とは」

2

社会とのコミュニケーション

3

TELバリュー、編集方針、対象範囲、
環境・安全活動のあゆみ

報道機関

4

環境負荷の全体像／環境会計

行政機関

4

製品における環境への取り組み

お取引先

お客様
その他

3%

12%

25%

株主・投資家

15%

3%

学生

3%

12%

企業・団体の環境ご担当

18%
研究・教育機関3%

環境NGO／NPO

6%

6 主なご意見・ご感想● 会社全体で取り組んでいる姿がよく理解できた。環境の取り組みなくして今後の企業経営が困難になることはわかっていたが、御社の報告書でより認識を新たにした。経営と環境を両立し、御社が成長する姿を楽しみにしている。
● 地球温暖化防止を中心とした環境問題への取り組みなくして企業は今や成立しえない状況になりつつある。貴社も一生懸命取り組んでおられるようで安心した。今後とも一層努力されんことを願っている。
● 普段の生活でなかなか目にしないことがわかり、とても参考になった。
● トップコミットメントを読んで、半導体関連事業が省エネや地球温暖化問題解決に貢献しようと取り組んでいるのが分かった。
また、

環境負荷削減には生産工程で関わる全員の協力体制が必要なんだ、それが利益を産み出すんだ、という結論に共感した。
●「 Green Fab

良い半導体工場とは」は一言一句非常に参考になった。特に装置の環境性能の「見えない化 」、ガス流量増加についての対応、コンポーネントメーカーに必要なプロセスの「見える化」、など。また業務の「バカの壁」も面白い。

●「利益は製品・サービスの価値の大きさを示す尺度である」という考え方に感銘を受けた。ステークホルダーとの座談会はたいへん

よい企画であると思う。上流・下流との関係を考えることは重要なことで、今後も続けていただきたい。
● 環境・健康・安全に十分配慮しているのがよくわかった。座談会部分が、大人数すぎるためか、ややくどい。TEL バリューは5項目をもっと強調したほうがよい。チームワークの項の色が悪く読みにくい。
●「製品における環境への取り組み」
で、 省エネルギー化への課題を改善する商品の販売を知り、環境への配慮を重視していることを実感できた。TEL バリューを見て、社風に魅力を感じた。今後も社会的責任を持ち、環境問題へ取り組む姿勢に期待している。

● 水源涵養植樹活動、もっともっと活動の範囲をひろげてほしい。

今後も、いただいたご意見をもとに、環境保全活動に努めてまいります。
ご回答いただいた皆様、ありがとうございました。