E H S R E P O RT

事業所における環境への取り組み
東京エレクトロングループの事業所では省資源、地球温暖化防止などの取り組みを進めています。
「事業所における環境への取り組み」では、製造系事業所とオフィスにおける取り組みを報告します。

地球温暖化防止エネルギー使用量削減の取り組み

電力使用量推移

当社グループは、省エネ法の規定に基づきエネルギー使用（10万kWh）

電気（海外分）電気（国内）

量の削減を進めています。各事業所では、照明やOA機器の節

148 160 150

EHS REPORT

電、空調の温度設定管理などの具体的な目標を掲げ、積極的設置を行いました。従来は手動で給排気ファンの調整を行っ
00’96 ’97 ’98 ’99 ’00 ’01 ’02 ’03 ’04 ’05 ’06

灯油使用量推移

動機の適正な運転が可能と（kl）

なり、年間約 20 万 kWh の電996

力と約 100トンの CO 2 が削減できました。

1,881 1,828 1,838
1,665
1,631
1,604

967 958’96 ’97 ’98 ’99 ’00 ’01 ’02 ’03 ’04 ’05 ’06

バータ制御にすることで電事業所における
環
境への取り
組
み

1,916
1,652

2,472
2,396
2,191 2,345
2,151 2,181
1,858
1,501
1,212
1,206
1,089

一例として、東北事業所では、空調用排風機へのインバ−タていました が、これ を イン

126

2,430

192 165

101に取り組みを推進しています。

26

重油使用量推移（kl）

ガス使用量推移

1,146
1,062
1,014
990 990
942
908

（千m3）

都市ガス（海外）
都市ガス（国内）
LPG（国内）154▲インバータ機器の導入
946364エネルギー使用量の推移

838403 389545

2006 年度は 2005 年度同様、生産量の増加に伴いエネル
ギー使用量の総量は増加しましたが、原単位※2では昨年度か’96 ’97 ’98 ’99 ’00 ’01 ’02 ’03 ’04 ’05 ’06

0 74 72 55 59 66 66 63 58 56 110 113’96 ’97 ’98 ’99 ’00 ’01 ’02 ’03 ’04 ’05 ’06（国内および海外事業所）

CO2以外の温室効果ガス使用量削減

前年度比1%削減」という目標を達成しました。今後も省エネプロセス開発・評価時のドライエッチングや洗浄などの工程ルギー化の取り組みを強化していきます。
また、2006年度から CO2の排出量算定において、国内ので、温室効果ガスの一種であるPFC（パーフルオロカーボン）を使用しています。
類やSF6（六フッ化硫黄）

電力の換算は電気事業者別排出係数を用いて計算をし、海外2006年度の温室効果ガス使用量は21,006トン（CO2 換算）分のガス使用量の把握を開始しました。

で、2005年度の12,643トンより大幅に増加しました。これ

総エネルギー使用量（CO2 換算※1）の推移（%）（t-CO2 ）は、山梨事業所における製品の開発・評価工程での SF6の使CO2 排出量（海外分）

1997年度売上高原単位を

401208.0基準とした数値※2
売り上げ原単位前年度比※3

1,277

用量が大幅に増加したことが一因としてあります。今後は、

193.1使用するガスの代替化の検討を進めます。

168.2
150.9

147.5

137.4 105.6 197.0

135.5

50,48845,922

92.8
78.4

65,81752,45694,00984,761

87.1

87.7

95,487
95,486

91.9

SF6
PFC類
HFC類

82.7

13,863

100,941
104,11018

104,763

03,106

56
190

’96

’97

’98

’99

’00

’01

’02

’03

’04

’05

6,740

’06 （年度）※1 CO2換算は環境省作成「事業者からの温室効果ガス排出量算定方法ガイドライン」を参照※2 原単位＝エネルギー使用量／売上高（1997年度＝100%）※3 前年度比＝当年度原単位／前年度原単位（国内および海外事業所）

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 200730

その他

95.889.3

温室効果ガス使用量（t-CO2 ）112.1

104.4 150.8
100.0738

62 60 66 70 50 590

ら削減することができ、「売上高あたりのエネルギー使用量を

CO2 排出量（国内）

658

0

4,681
6,682

3,506
6,297 784

1,856
1,468

1,284
1,140

’02

’03

322

’04

3,236
1,620

’05

3,607

’06 （年度）（国内事業所）

省資源

省資源についての考え方

量は、グループ全体で2005度より約10%増加、年間で約830万枚の使用量増加となりました。原因としては、生産量や事推進し、資源の使用量を最小限に抑えています。具体的には、

務処理増加に伴う使用量の増加があげられます。特別な用途コピー用紙や文房具などに関して、使用量・購入量を削減すを除いて再生紙の使用を進めるだけではなく、非木材資源のることや環境に配慮した製品購入への切り替えを進めているケナフを使用した紙コップを導入するなど、森林資源の保全

ほか、オフィスで使用するプリンター用トナーをリサイクル品につながる活動も実施しています。に替え、メーカーによる使用済み製品回収への協力を積極的

今後も継続して業務で使用するコピー用紙の見直しなどをに行っています。一部の事業所では、イントラネットを利用し行うことで、記録用紙や帳票類を必要最小限にし、紙使用量て、ある部署で使用しなくなった文房具類を他部署で使用で削減を目指します。

27

きる仕組みを構築して、リユースを実施しています。

水使用量削減の取り組み
紙使用量削減への取り組み

製造系事業所では、水の使用量を減らすために様々な活動

当社グループ全体で、紙の使用量削減に取り組んでいます。

を展開しています。生産工程に循環装置を設置し、冷却水なコピー用紙の両面使用、縮小コピーの励行、情報や回覧書類どを再利用しています。また、トイレや手洗い用に自動水洗装の電子化などに努めましたが、2006年度のコピー用紙使用置を導入して水の止め忘れや無駄な使用を減らしています。
水使用量の推移

コピー用紙使用量の推移
（千m3）

（千枚）

海外使用量
地下水
上水
工業水

事務所系
製造系

19,35018,30018,61718,184

17,417

16,13516,03889,067
77,16869,45076,80069,814

0
’01

’02

’03

’04

’05

146

436

388

390

430

415

357

’00

’01

’02

’03

115
92

’06（年度）

527

445

391

290

325

332

’97

’98

’99

474

111

22

107
64

70
106

486

437

506

391

382

429

’04

’05

’06（年度）

599

521

77,992

0
’00

88
62

67
119

89

112,150

172’96（国内事業所）（国内および海外事業所）

T O P I C S
廃棄資産展示会を開催

廃棄資産展示会の模様蜷

山梨事業所では、不良性資産として廃棄される材料を廃棄なりました。現物処理前に集めて、社員で現物を確認する廃棄物展示会をを目の当たりにす行っています。これは、開発、設計、製造、生産管理など各部ることで、材料が門のメンバーが、廃棄対象となった材料の現物を確認するこ廃棄に至った原とで、その材料が廃棄されるまでに至った原因を再認識し、因について考え今後の改善に生かしていくことを目的としています。

る機会が生まれ、省資源と事業運営について考えることを進

初回には100名を超える社員が集まり、大きな意識付けに

EHS REPORT

環境に配慮した製品を優先的に購入する「グリーン購入」をめています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

事
業所における環境への取り組み事業所における環境への取り組み

廃棄物削減

廃棄物削減・リサイクルの考え方なりました。今後はリサイクルをするものも含め、廃棄物排廃棄物の排出量の削減に努め、排出した廃棄物はできるだ

出量の総量削減に取り組んでいきます。

けリサイクルし、リサイクルできない廃棄物は適正に処理するとEHS REPORT

28
事
業所における
環境への取り組
み廃棄物の内訳いう基本方針に基づき、グループ全体で廃棄物の削減とリサイ

当社グループで最も多い廃棄物は廃液類で、製品の開発おクルに取り組んでいます。近年は最終処分場が不足し、埋め立て処理費用が上昇しているため、廃棄物排出量の削減はコストよび評価時に使用した薬削減にもつながります。具体的には、廃棄物の分別回収、廃棄品が廃液となっています。

廃棄物の内訳（％）
飲料容器 1物が発生しない生産工程への変更、廃棄物処理委託業者の認

現在、廃液のほとんどは木屑、梱包材 3

定管理、最終処分状況の定期的な確認などを行っています。

リサイクルされています。

プラスチック 6
紙類 6

また、一部の事業所では廃廃棄物排出量とリサイクル率

液処理設備を導入し、廃液1998年度に、2005年度までにグループ平均のリサイク

その他 5金属、製品屑 8

廃液 71の事業所内処理を行ってル率を 95% にするという目標を掲げて取り組みを進め、（下段のトピックス参照）います。

2005年度のリサイクル率は96.4％、2006年度は97.3%とゼロエミッション

リサイクル率と廃棄物排出量の推移
（t）

96.1

2005年度リサイクル率目標値95%
4,772
3,657
3,189 3,179

49.7

55.2

3,938 77.4
69.7

96.4

単純焼却や埋め立て処分する廃棄物量が2%未満の事業所

97.3 （%）

を「ゼロエミッション事業所」と定義し、グループ全体でゼロ

93.1

エミッション活動を推進しています。

廃棄物量（焼却および埋め立て量）
リサイクル率

3,268

59.9

2006年度は、東北事業所では残念ながら床補修の際発生する廃棄物がリサイクルできないため、リサイクル率が落ち、40.9

達成できませんでしたが、他の製造系事業所ではゼロエミッ8474314694140

ションを継続達成しました。今後は非製造系事業所でもゼロ

0’97

’98

’99’00

’01

’02

’03

’04

’05

エミッションの達成を目指します。

’06（年度）（国内事業所）T O P I C S
合志事業所での廃液処理棟の新設

合志事業所での廃棄物推移グラフ（t）
その他廃棄物
廃液類

44308

別項「廃棄物の内訳」で示している通り、当社グループの廃棄物の多くは廃液となっています。これら廃液の削減を行うために、各事業所では廃液処理棟の設置を進めています。
合志事業所では、製品評価に伴って発生する酸およびアルカリ

50113045763

06年度 07年1月 07年2月 07年3月
上期平均8▲廃液処理棟

性の廃液については、従来事業所内に設置している廃液タンクににより、従来約300トン/月排出されていた廃液が、現在は10トン/月一度溜め、その後外部業者のタンクローリーで運搬および処理委程度となり、廃棄物全体としても70％以上の削減を行うことがで託を行っていました。しかし、2006年11月、これら廃液を処理するきました。また、この廃液を運搬する際に発生する環境負荷も大廃液処理棟が完成し、試運転後正式稼働を開始しました。これ幅に低減できるため、約70t-CO2/年 の削減ができる見込みです。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

化学物質管理

化学物質管理の考え方
当社グループでは、主に製品の開発時および製造時に化学PRTR法第一種対象物質取扱量の推移（kg）
その他
ふっ化水素及びその水溶性塩
759
エチレングリコール物質を使用しています。開発時には、従来は使用していな1,980で使用したりする場合があります。その際には、事前に使用設備や使用方法のアセスメントを行い、環境や作業安全上のリスクを評価し、必要な対策を取ってから使用を開始しています。製造時に使用する化学物質についても、危険性や有害

03,6901,9202,470
1,500’025773,5539,144

4,000’01

4,118
1,439

4,811

9,844

6,353
2,800’03’04’05※2001年度、2002年度はトン単位で把握

EHS REPORT

4,558

かった化学物質を新たに採用したり、それまでとは違う方法

5,799’06（年度）（国内事業所）性がより少ない物質への切り替えを進めています。

29

PRTR対象物質マテリアルバランス

PRTR※法への対応

大気排出量 0kg/年

水域への排出 0kg/年

PRTR法の規定に基づき化学物質の管理を徹底するとともに、取扱量や排出量などを継続して把握しています。PRTR

TEL

取扱量

製品113kg/年

19,761kg/年

対象物質のなかでも使用量の多いふっ化水素は、主に評価用リサイクル 9,887kg/年

ウェーハの洗浄に使用しています。使用後は廃棄物として専門業者に処理を委託するか、社内で適正に処理しています。

廃棄物 7,308kg/年

2006年度に使用量が大幅に増加したエチレングリコール

自社埋立 0kg/年 除去処理量 2,450kg/年

下水道への移動 3kg/年

は、山梨事業所で冷却水の冷媒として使用しており、FPD製造装置の増産に伴い使用量が増加しました。使用後はほぼ全ポリ塩化ビフェニルの保管量をリサイクルしています。今後も、化学物質の適切なリス「ポリ塩化ビフェニル（PCB）廃棄物の適正な処理の推進にク管理を継続していきます。

関する特別措置法」に基づき、PCBの保管や処分の状況を所※PRTR（Pollutant Release and Transfer Register）：人体や生態系に害を与える恐れのある化学物質について、その使用量と環境への排出量、廃棄物に含まれて事業所外に移動した量を把握・集計し、公表する仕組み

轄の都道府県知事に毎年届け出ています。当社グループが保管している PCB を含む廃棄物は、トランス 2 台とコンデンサー4台で、厳重な管理を行っています。

T O P I C S
クリーンルームからの避難訓練の実施

避難訓練の模様蜷

当社グループでは、製品の開発・評価工程において、特殊な警報が発令後、作ガスや薬液を使用して実際の半導体製造工程を再現し、製品業者はクリーンスーの評価を行っています。クリーンルームという特別な作業環境にツのまま屋 外 へ 避

おいて、特殊な化学物質を用いて評価を行うため、万が一大地難し、その後部署毎震や火災が発生した場合、早急に避難する必要があります。に人員点呼を行い、山梨事業所穂坂地区では、実際にクリーンルームからの避本部へ連絡しました。このように実際に避難を行うことで、体難訓練を行い、非常事態に備えています。2006年11月に行っ験した危険感覚や問題点を共有し、普段から非常事態の発生た訓練では、地震が発生したことを想定して行いました。避難に備えています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

事
業所における
環境への取り組み