VSS-450-300/HV/
OP/OP-lite

RSS-210-S

RSS-160-S

RSS-160-SC

RSS-110-S

RSO-210/HV

RSO-300/HVチャンバー素材

アルミ合金

アルミ合金

アルミ合金

アルミ合金

アルミ合金

アルミ合金

アルミ合金

装置サイズ（WxDxH）

540mm✕690mm✕890mm

430mm✕295mm✕290mm

300mm✕420mm✕220mm

365mm✕ 520mm✕275 mm

260mm✕420mm✕220mm

578 mm✕505 mm✕570 mm

505 mm✕505 (700) mm ✕ 570 mm

装置重量約120kg

約22kg

約12㎏

25 kg

約10 kg55 kg

約55 kgチャンバー高さ

75 mm

60 mm

40 mm

65 mm

40mm

40 mm

40 mm

最大基板サイズ

300mm x 300mm

210 mm x 210 mm

160 mm x 160 mm

160 mm x 160 mm

110 mm x 110 mm

210 mm x 210 mmまたは8インチウエハ

300 mm x 300 mm

最大到達温度

450°C

400°C

400°C

400 °C

400°C

650 °C

650°C

加熱方式

クロス配列赤外（IR）光ヒーター［下部加熱］18kW

ヒーターカートリッジまたはIRランプ

ヒーターカートリッジまたはIRランプ

ヒーターカートリッジ

ヒーターカートリッジまたはIRランプ

赤外（IR）光ヒーター［下部加熱］

赤外（IR）光ヒーター［下部加熱］----±0.5%以内--±1.0%以内±1.0%以内

最大10 K/sec

プレート上面内温度差±1%以内（200 mmウェハーの場合）(例: ± 3K @ 300 °C)

最大昇温速度※対象物の熱容量に因る

150K/min

120K/min

100K/min

120 K/Min

180K/min

最大10K/sec

最大降温速度※対象物の熱容量に因る

90K/min (T=450°C>200°C)
60K/min (T=200°C>100°C)

180K/min

100K/min

120 K/min. (T = 400 °C > 200 °C)
90 K/min. (T = 200 °C > 50 °C)

120K/min

200 K/min (T= 650 °C > 400 °C) , 30 K/min (T= 400 ° 200 K/min (T= 600 °C > 400 °C) , 30 K/min (T= 400 °C
C > 100 °C)> 100 °C)

チャンバー真空耐久度

0.1 Pa (10-3 hPa)

0.1 Pa (10-3 hPa)

0.1 Pa (10-3 hPa)

プロセスガス供給ライン

マスフローコントローラ✕1

コントローラタッチパネルコントローラSIMATIC©

タッチパネルコントローラSIMATIC©

タッチパネルコントローラSIMATIC©

タッチパネルコントローラSIMATIC©

タッチパネルコントローラSIMATIC©

タッチパネルコントローラSIMATIC©

タッチパネルコントローラSIMATIC©

プロファイルプログラム登録数

最大：50プログラム

最大：50プログラム

最大：50プログラム

最大：50プログラム

最大：50プログラム

最大：50プログラム

最大：50プログラム

プログラムステップ数

最大：50ステップ

最大：50ステップ

最大：50ステップ

最大：50ステップ

最大：50ステップ

最大：50ステップ

最大：50ステップ

プロセスデータ保存先

USBメモリ/SDカード/Ethernet

USBメモリ/SDカード/Ethernet

USBメモリ/SDカード/Ethernet

USBメモリ/SDカード/Ethernet

USBメモリ/SDカード/Ethernet

USBメモリ/SDカード/Ethernet

チャンバー冷却方式

ウォータージャケット方式（水冷）ウォータージャケット方式（水冷）ウォータージャケット方式（水冷）ウォータージャケット方式（水冷）ウォータージャケット方式（水冷）ウォータージャケット方式（水冷）ウォータージャケット方式（水冷）

加熱プレート冷却方式

水冷/空冷（共用可）

水冷/空冷（共用可）

水冷/空冷（共用可）

水冷/空冷（共用可）

水冷/空冷（共用可）

空冷

空冷

電源仕様

三相、200 V、50/60 Hz、52 A

0.1 Pa (10-3 hPa)
（最大流量：5nlm)※日本仕様

マスフローコントローラ✕1

0.1 Pa (10-3 hPa)
（最大流量：5nlm)

三相、200 V、50/60 Hz、36 A※日本仕様

マスフローコントローラ✕1（最大流量：5nlm)

単相、200 V、50/60 Hz、10 A※日本仕様

マスフローコントローラ✕1（最大流量：5nlm)

単相、200 V、50/60 Hz、10 A※日本仕様

マスフローコントローラ✕1

0.1 Pa (10-3 hPa)
（最大流量：5nlm)

単相、200 V、50/60 Hz、6 A※日本仕様

マスフローコントローラ✕1

0.1 Pa (10-3 hPa)
（最大流量：5nlm)

三相、200 V、50/60 Hz、35 A

マスフローコントローラ✕1（最大流量：5nlm)

USBメモリ/SDカード/Ethernet※日本仕様

三相、200 V、50/60 Hz、70 A

※日本仕様

オプション
HV

高真空対応チャンバー10-4 Pa（10-6 hPa）
及びターボ分子ポンプ
上部IRヒーターモジュール※電源仕様：三相、

--

--

--

--

--

高真空対応チャンバー10-4 Pa（10-6 hPa）

高真空対応チャンバー10-4 Pa（10-6 hPa）

及びターボ分子ポンプ

及びターボ分子ポンプ

--

--

--

--

--

--

--

--

--

--

--

GP

--

--

--

--

--

160 x 160 mm グラファイト製プレート

--

GPC

--

--

--

--

--

--

石英ガラス製ホルダー用グラファイト製ケース

TH

200 V、50/60 Hz、52 A x 2
上部IRヒーターセパレート用 石英ガラス板

QP※VSS-THオプションとセット

160 x 160 mm SiCコーティング

GP-Pyc

--

--

--

--

--

GP-SiC

--

--

--

--

--

--

--

QH

--

--

--

--

--

--

石英ガラス製ホルダー

3star

--

--

--

--

--

3本アーム式石英ガラス製ホルダー

EH

チャンバー高さ 120 mm、
Φ65 mm正面のぞき窓付き

チャンバー高さ 80 mm--

チャンバー高さ 80 mm----

最大到達温度 800℃--

最大到達温度 600℃

最大到達温度 500℃

最大到達温度 500℃--

最大到達温度 500℃

EP

--

--

--

--

--

--

--

--

--

ExOH
FA I
FA II

FA III
FA IV※標準仕様：200 mm
--

--

--

--

内蔵ギ酸還元モジュール（標準の内蔵ギ酸還元モジュール（標準の内蔵ギ酸還元モジュール（標準の内蔵ギ酸還元モジュール

N2ガス供給とMFC別系統）

N2ガス供給とMFC別系統）

N2ガス供給とMFC別系統）（標準のN2ガス供給とMFC共有）

内蔵ギ酸還元モジュール

内蔵ギ酸還元モジュール

内蔵ギ酸還元モジュール(標準のN2ガス供給とMFC共有）（標準のN2ガス供給とMFC共有）（標準のN2ガス供給とMFC共有）--

FA-II、または FA-III用追加ギ酸自動供給装置オプション--

チャンバー高さ 80 mm

HT

上部モジュール開口寸法 300 mm

グラファイト製プレート

外付けギ酸還元モジュール(標準のN2ガス供給とMFC別系統）--

上部IRヒーターモジュール※電源仕様：三相、200 V、50/60 Hz、35 A x 2

--

--

--

--

--

内蔵ギ酸還元モジュール

内蔵ギ酸還元モジュール（標準のN2ガス供給とMFC別系統）（標準のN2ガス供給とMFC別系統）

内蔵ギ酸還元モジュール

内蔵ギ酸還元モジュール（標準のN2ガス供給とMFC共有）（標準のN2ガス供給とMFC共有）

--

--

--

--

--

--

FA-II、または FA-III用追加ギ酸自動供給装置オプション

FA-T

ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター

ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター

ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター

ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター

ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター

ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター

ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター

FH

フラックス凝固回避用加熱機構付き上部カバー

--

--

--

--

--

--

IL

--

チャンバー蓋インターロック

チャンバー蓋インターロック

チャンバー蓋インターロック

チャンバー蓋インターロック----

チャンバー内湿度測定・記録機能

チャンバー内湿度測定・及び湿度測定センサ

記録機能及び湿度測定センサ

FG-O2

フォーミングガスと酸素同時構成時安全ユニット

LVP

チャンバー内湿度測定・記録機能及び湿度測定センサ --チャンバー内湿度測定・記録機能及び湿度測定センサ チャンバー内湿度測定・記録機能及び湿度測定センサ チャンバー内湿度測定・記録機能及び湿度測定センサ

フォーミングガスと酸素同時構成時安全ユニット

フォーミングガスと酸素同時構成時安全ユニット--

フォーミングガスと酸素同時構成時安全ユニット

フォーミングガスと酸素同時構成時安全ユニット

フォーミングガスと酸素同時構成時安全ユニット--

上部Φ150 mm 大型のぞき窓

--

--

--

--

--

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・記録機能及び残留酸素濃度測定センサ

記録機能及び残留酸素濃度測定センサ

記録機能及び残留酸素濃度測定センサ

記録機能及び残留酸素濃度測定センサ

記録機能及び残留酸素濃度測定センサ

記録機能及び残留酸素濃度測定センサ

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・記録機能及びチャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・

チャンバー内残留酸素濃度測定・記録機能及びポータブル残留酸素濃度測定センサ

ポータブル残留酸素濃度測定センサ

記録機能及びポータブル残留酸素濃度測定センサ

記録機能及びポータブル残留酸素濃度測定センサ

記録機能及びポータブル残留酸素濃度測定センサ

記録機能及びポータブル残留酸素濃度測定センサ

OPL

0.02 MPa までの加圧仕様（オーバープレッシャー）

--

--

--

--

--

--

OP

0.2 MPa までの加圧仕様（オーバープレッシャー）

--

--

--

--

--

--

SL

外部機器通信用シリアル通信機能（RS-232）

--

--

--

--

--

--

RC

チャンバー蓋開閉用リモート制御機能

--

--

--

--

--

--

PT

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

PTS

ブザー音量調整付き 3色パトライト（赤・黄・緑）

ブザー音量調整付き 3色パトライト（赤・黄・緑）

ブザー音量調整付き 3色パトライト（赤・黄・緑）--

ブザー音量調整付き 3色パトライト（赤・黄・緑）

ブザー音量調整付き 3色パトライト（赤・黄・緑）

ブザー音量調整付き 3色パトライト（赤・黄・緑）

SW-VP

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

真空ポンプ電源自動 ON/OFF 制御機能

TC I

追加熱電対オプション（別途、外部ロガーが必要）

追加熱電対オプション（別途、外部ロガーが必要）

追加熱電対オプション（別途、外部ロガーが必要）--

追加熱電対オプション（別途、外部ロガーが必要）

追加熱電対オプション（別途、外部ロガーが必要）

追加熱電対オプション（別途、外部ロガーが必要）

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション（最大1本）（最大1本）（最大1本）（最大1本）（最大1本）（最大1本）（最大1本）

--

--

--

--

--

チャンバー内真空度測定・記録機能及びピラニ型

チャンバー内真空度測定・記録機能及びピラニ型

チャンバー内真空度測定・記録機能及びピラニ型

チャンバー内真空度測定・記録機能及びピラニ

チャンバー内真空度測定・記録機能及びピラニ

チャンバー内真空度測定・記録機能及びピラニ

真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）

真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）

真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）

型真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）

型真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）

型真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）

--

--

--

--

--

--

スリット型サイドビューウインドウ（左右両側）

--

--

--

--

--

MM

Ox I

Ox IIITC II
TC III-チャンバー内真空度測定・

VAC II

記録機能及びピラニ型真空度センサ（測定下限値0.1 Pa）

LiftPins
SVW

Φ150、Φ200、Φ300 mm ウエハー リフトアップ・
ダウンオプション--

対象物温度測定・記録用追加熱電対オプション（最大1本）----

追加マスフローコントローラ（MFC）
MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 2 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 5 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 10 nlm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 2000 sccm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 5 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC 窒素（N2） 40 slm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC アンモニア（NH3） 5 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 2 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 水素（H2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 2 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 5 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 10 nlm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 50 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 100 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 2000 sccm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC 酸素（O2） 5 slm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 85:15） 10 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 1 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 99:1） 5 nlm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm

MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm MFC フォーミングガス（N2:H2 = 95:5） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 2 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 5 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 10 nlm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 2000 sccm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン（AL） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 10 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 90:10） 5 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 95:5） 2 nlm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC アルゴン＋水素（AL:H2 = 97:3） 5 slm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC エアー（Air） 5 nlm

MFC ヘリウム（ He） 5 nlm

MFC ヘリウム（ He） 5 nlm

MFC ヘリウム（ He） 5 nlm

MFC ヘリウム（ He） 5 nlm

MFC ヘリウム（ He） 5 nlm

MFC ヘリウム（ He） 5 nlm

MFC ヘリウム（ He） 5 nlm

MFC ヘリウム（ He） 5 slm

MFC ヘリウム（ He） 5 slm

MFC ヘリウム（ He） 5 slm

MFC ヘリウム（ He） 5 slm

MFC ヘリウム（ He） 5 slm

MFC ヘリウム（ He） 5 slm

MFC ヘリウム（ He） 5 slm

MFC メタン（CH4） 1 nlm

MFC メタン（CH4） 1 nlm

MFC メタン（CH4） 1 nlm

MFC メタン（CH4） 1 nlm

MFC メタン（CH4） 1 nlm

MFC メタン（CH4） 1 nlm

MFC メタン（CH4） 1 nlm

高濃度水素用安全カバー
HoodL/S

VSS/VPO用 高濃度水素対策安全カバー（L）

RSS/RSO/RTP用 高濃度水素対策安全カバー（S）

RSS/RSO/RTP用 高濃度水素対策安全カバー（S）

RSS/RSO/RTP用 高濃度水素対策安全カバー（S）

RSS/RSO/RTP用 高濃度水素対策安全カバー（S）

RSS/RSO/RTP用 高濃度水素対策安全カバー（S）

RSS/RSO/RTP用 高濃度水素対策安全カバー（S）

HoodL/S-SF

HoodL用 地震対策固定具

HoodS用 地震対策固定具

HoodS用 地震対策固定具

HoodS用 地震対策固定具

HoodS用 地震対策固定具

HoodS用 地震対策固定具

HoodS用 地震対策固定具

HoodL/S-PT

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

3色パトライト（赤・黄・緑）

HoodL/S-H2SD

リークなし確認用水素ガスセンサ

リークなし確認用水素ガスセンサ

リークなし確認用水素ガスセンサ

リークなし確認用水素ガスセンサ

リークなし確認用水素ガスセンサ

リークなし確認用水素ガスセンサ

リークなし確認用水素ガスセンサ

HoodL/S-H2GB

高濃度水素用安全ガスボックス

高濃度水素用安全ガスボックス

高濃度水素用安全ガスボックス

高濃度水素用安全ガスボックス

高濃度水素用安全ガスボックス

高濃度水素用安全ガスボックス

高濃度水素用安全ガスボックス

HoodL/S-H2O2-GB

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

高濃度水素、及び酸素併用安全ガスボックス

HoodL/S-FOU

排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット） 排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット） 排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット） 排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット）

排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット） 排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット） 排気水素ガス燃焼用トーチ（フレームオフユニット）

HoodL/S-UHE-C

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット

専用カート付きUHE内蔵アップグレードキット

チラー・真空ポンプ
RSS-UHE II
RSS-UHE-II
RSS-UHE-III
VSS/RSO-OC1500-SP
VSS/RSO-PK250G

70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（50 Hz用ユニバーサル・

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

70L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

30L 熱交換器ユニット（60 Hz用ユニバーサル・

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

ヒート・エクスチェンジャー）

高揚程空冷式小型チラー（冷却機能 5.3 kW

高揚程空冷式小型チラー（冷却機能 5.3 kW

クーラー付き） ※配管部材一式を含む

クーラー付き） ※配管部材一式を含む

耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ

耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ（真空到達度 0.5 Pa） ※配管部材一式を含む（真空到達度 0.5 Pa） ※配管部材一式を含む

--

--

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高揚程空冷式小型チラー（冷却機能 5.3 kW
クーラー付き） ※配管部材一式を含む
耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ（真空到達度 0.5 Pa） ※配管部材一式を含む

RSS-OC402J-SP--

RSS-OC402J-MVW--

RSS/RSO-PK110G

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高揚程空冷式小型チラー（冷却機能 1.2 kW

高揚程空冷式小型チラー（冷却機能 1.2 kW

空冷式小型チラー（冷却機能 1.2 kW クーラー付き）

空冷式小型チラー（冷却機能 1.2 kW クーラー付き）

クーラー付き） ※配管部材一式を含む

クーラー付き） ※配管部材一式を含む※配管部材一式を含む※配管部材一式を含む

水冷式小型チラー（冷却機能 1.2 kW クーラー付き） 水冷式小型チラー（冷却機能 1.2 kW クーラー付き）

水冷式小型チラー（冷却機能 1.2 kW クーラー付き）

水冷式小型チラー（冷却機能 1.2 kW クーラー付き）※配管部材一式を含む※配管部材一式を含む※配管部材一式を含む※配管部材一式を含む

耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ

耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ

耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ

耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ

耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ

耐腐食性ルーツ式ドライ真空ポンプ（真空到達度 0.5 Pa） ※配管部材一式を含む（真空到達度 0.5 Pa） ※配管部材一式を含む（真空到達度 0.5 Pa） ※配管部材一式を含む(真空到達度 0.5 Pa）※配管部材一式を含む（真空到達度 0.5 Pa） ※配管部材一式を含む（真空到達度 0.5 Pa） ※配管部材一式を含む