環境報告書
目次
2
3
4
5
6
8
9
10
13
14
15
16
18
23
26
30

ごあいさつ
会社概要
東京エレクトロングループの環境に関する基本理念／環境方針
東京エレクトロングループ環境保全活動推進組織
環境マネジメントシステム
環境監査
環境マネジメントシステムの目的・目標
廃棄物の削減、リサイクル
省エネルギー
省資源
化学物質管理製品における環境負荷低減
環境会計
安全・衛生
社会貢献、環境教育・啓発
その他の活動
この報告書は、2000年度（2000年4月1日〜2001年3月31日）の日本を中心とした東京エレクトロングループの環境保全活動実績をもとに作成しました。今後も継続的に毎年発行していく予定です。

お問い合わせ先

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター〒183‑8705東京都府中市住吉町2‑30‑7TEL：042‑333‑8052 FAX：042‑333‑8477
東京エレクトロンホームページ http://www.tel.co.jp

Tokyo Electron

1

Environmental Report 2001

ごあいさつ東京エレクトロンは、「グローバルエクセレントカンパ
ニー」を目指す企業として、事業活動のあらゆる面で「環境」や「安全」に配慮し、これらを守るために積極的に取り組んでいます。
また、昨年制定したコーポレートメッセージ「People.
Technology. Commitment.」の中でも、私たちは、人間尊重の理念の一環として「人々の健康と安全を最優先し、地球環境の保全に配慮すること」を明示しています。
この環境報告書は、当グループの地球環境保全への誓いと方針、そして具体的な行動計画とその結果を表したものであり、さらなるレベルアップを図るために毎年アップデートしていく所存です。
ご一読戴き、東京エレクトロンの取り組みに対してご理解戴くと共に、皆様からの忌憚のないご助言を戴ければ幸いです。

東京エレクトロン株式会社
代表取締役社長

Tokyo Electron

2

Environmental Report 2001

会社概要

社

名

東京エレクトロン株式会社
TOKYO ELECTRON LIMITED
本社所在地〒107‑8481 東京都港区赤坂5‑3‑6TBS放送センター
TEL：03‑5561‑7000
（代表）
代 表 者
代表取締役社長 東 哲郎
設立
1963年 11
月11
日
資 本 金
472億1,275万円（2001年 3月31日現在）
主要取扱製品 半導体製造装置（自社開発製品）、LCD製造装置（自社開発製品）、半導体製造装置（輸入製品）、コンピュータ・ネットワーク、電子部品
社 員 数
1,330人（2001年 4月１日現在）
グループ社員数 10,693人（2001年 4月１日現在）
売上高（連結） 7,238億8,000
万円 （2001年 3月期）（単体） 6,268億 700万円 （2001年 3
月期）
売 上 高

（百万円）

半導体/LCD製造装置の地域別売上高構成比（連結）

（単体）
（連結）

8
0
0
,
0
0
0

723,880

7
0
0
,
0
0
0

626,807

その他
5
.9
％

6
0
0
,
0
0
0
5
0
0
,
0
0
0

米国
423,570

440,728

423,752

4
0
0
,
0
0
0

432,784

台湾

364,212455,584

3
0
0
,
0
0
0

韓国
欧州

266,397
313,820

2
0
0
,
0
0
0

その他

1
0
0
,
0
0
0
0

日本

'
9
7
年3
月期 '
9
8
年3
月期 '
9
9
年3
月期 '
0
0
年3
月期 '
01
年3
月期
（34
期）

（3
5期）

（3
6期）

（37期）

（3
8
期）

Tokyo Electron

3

Environmental Report 2001

環境監査

東京エレクトロングループでは、基本理念に掲げられている環境保全活動の推進をするうえで、環境監査は重要な活動の一つです。環境マネジメントシステムを構築した事業所ごとに、自主的に内部環
境監査を実施し、その結果は各事業所の経営トップに報告され、
環境マネジメントシステムの見直し、改善へとつながっていきます。
内部環境監査を的確に実施するため、各事業所において監査員認定制度を設け、認定された内部環境監査員にて内部環境監査を実施しています。

■内部環境監査実施状況（2000年度）
事業所名

東北

相模

山梨

佐賀

熊本・合志

大津

実施月
（1回目）

'00/8

'00/7

'00/11'00/9'00/10

'00/5

（2回目）

―

―

―

'00/12

―

'00/8

（3回目）

―

―

―

―

―

'00/12■東京エレクトロングループ認定内部環境監査員数（2001年8
月1
日現在）

事業所名

東北

相模

山梨

佐賀

熊本・合志

大津

計

主任監査員

12

9

41

25

32

22

141名

監

14

15

85

6

58

18

196名

26

24

126

31

90

40

337名

査

員

計

■トピックス（大津事業所実施例）
大津事業所では、
環境マネジメントシステムの継続的なレベルアップのために、内部環境監査を実施しています。2000年度は全部署を対象に５月と８月に臨時監査を実施し、１２月に定期監査を実施致しました。監査の結果は総合評価で、それぞれ97.8%、
96.4%、96.5%となり、下のグラフからも明らかな様に、1999年８月に認証（％）

を取得して以来、総合評価は継続

100

して高水準を維持しており、着実

80にシステムが 定着していることが60

わかります。

96.0

97.8

96.4

96.5

99年度
99年度
2回臨時
定期
虫謫ｾ前 取得後

00年度
1回臨時

00年度
2回臨時

00年度
定期

83.2

42.3
40
20
0

99年度
1回臨時

総合評価推移グラフ（大津事業所）Tokyo Electron

8

Environmental Report 2001

環境マネジメントシステムの目的・目標

各事業所ではまずその事業所が行っている事業活動、製品の製造やサービス等の色々な側面（環境側面）が、
環境にどの様な影響（環境影響）を与えているか、
また与える可能性があるかを抽出し、その評価（環境影響評価）を行いました。
その結果としてどの環境側面が環境により大きな影響を及ぼしているか、または及ぼす可能性があるかを特定し（著しい環境側面の特定）、それらの環境影響が起こるリスクを小さくする為に、目的・目標を明確に定めています。
ISO14001
認証取得事業所が定めた主な目的・目標は次の項目に代表されます。
①廃棄物の削減およびリサイクル率向上②省エネルギー・省資源の推進③化学物質の適正管理④環境に配慮した製品の開発
これらの目的・目標を達成する為に、責任の明示、
手段および日程を含む環境管理プログラム（EMP：
Environmental Management Program）
を作成し、運用のキーポイントを定期的に監視、測定、記録するシステムを構築し実施しています。

■主な環境目的・目標
環境目的

環境目標

廃棄物の削減及びリサイクル率の向上

b棄物の分別徹底
廃b一般
廃棄物のリサイクル推進
廃プラスチックのリサイクル化b
リサイクル率の向上b
一人あたりの廃棄物量の削減
b
濃厚廃液の全量リサイクル化
b

省エネルギー・省資源の推進

bの使用量の削減
紙
水使用量の削減b
電力量の削減bエbネルギー管理システム構築

化学物質の適正管理

b学物質管理システムの構築
化
PRTR制度への対応b
化学物質監視設備・運用の強化b
化学物質安全運用のための緊急時対応訓練の実施
b

環境に配慮した製品の開発

b品の消費電力の削減
製
製品のリサイクル部材の抽出b
製品廃棄時の手順の確立
b
製品に使用する薬液量の低減
b
製品に使用するガス・水の削減技術を確立
b
製品が放出するPFCb
・HAPs
・VOCsの削減技術を確立

Tokyo Electron

9

Environmental Report 2001

廃棄物の削減、リサイクル

地球環境保全の観点からも、
また、廃棄物処理場や焼却場の負担を軽減する上でも、廃棄物の削減は重要なテーマとなります。
「廃棄物は出さない。出てしまった廃棄物はリサイクルする。
リサイクルできない廃棄物は適正に処理する。」という考え方を基本に、
東京エレクトロングループ各事業所では自社から排出される廃棄物を削減するとともに、
リサイクルを推進するために分別回収を実施しています。

■廃棄物総量右の図の棒グラフは、
東京エレクトロングループ全体における、
年度ごとの総廃棄物量の推移を表しています。また折れ線グラフは、
総廃棄物量を当該年度の売上高で割った値で、年度ごとの比較を容易にするために、
1997年度を100
ポイント（100％）とし、売上高と総廃棄物量との関係を原単位として表しています。尚、1999年度から、製造系事業所に加えて非製造系事業所の廃棄物量も、集計を開始しました。
2000年度は、製造系事業所や研

東京エレクトロングループ 廃棄物量推移

究機関地区において、生産量や（ton）設備の稼働状況が大幅に増加し9,000たのに伴い廃棄物量も増加し、

8,000

250

8,072.4200

7,109.3

7,000

1999年度と比較して東京エレクト

（％）

廃棄物量
原単位
9,267.6

10,0006,347.1

6,000

ロングループ全体の総廃棄物量

150

5,000
4,000

は増加しました。しかしながら原

100

3,000

単位につきましては、前年度の

2,000

50

1,000

121.4ポイントから72.2ポイントへ

0と、前年度比で59.5％と4割以上

0

'97年

'98年

'99年

'00年

（H9年度）（H10年度）（H11年度）（H12年度）も削減されており、大幅に改善さ
廃棄物量％）
原単位＝ ――――（1997年度＝100
売上高

れました。

■廃棄物量内訳
総廃棄物量の約47.8％が廃液（特別管理産業廃棄物に該当する廃液も含む）
で、次いで紙類、金属／製品屑、
廃プラスチックとなっています。
自社で処理できない廃液は、すべて業者により引取り回収され適正に処理されています。
2000年度 東京エレクトロングループ.廃棄物量内訳

2000年度

総廃棄物量 9,267.6t
ガラス/飲料容器/ その他
梱包材/
焼却灰
8.3
％
3.0
％

紙

横

類

府

14.5
％

宮 城合 志 大 津
浜 2.9％ 3.0% 3.2%

中 4.0%

相

穂

坂

25.3%

5.0%

プラスチック5.0％

事業所別廃棄物量内訳

模

5.7%

金属/
製品屑
12.2
％

廃

木

液
特管廃液

厨房厨芥

17.7
％

1.3
％

北

熊

8.5%

Tokyo Electron

本

16.3%

屑

3.8
％

30.1
％

東

藤

井

11.9%

佐

賀

14.3%

10 Environmental Report 2001

■紙類廃棄物削減のための取り組み事例
大阪支社では、
今までトイレに手拭き用のペーパータオルを設置していましたが、それをエアータオルに代替設置することにより、紙の消費を大幅に減らし紙類廃棄物の総量を削減することができました。
また全ての事業所において、紙類廃棄物減量化のためにＰＰＣ用紙の使用を削減することを、 強く推進しました。

■分別回収
廃棄物をリサイクルにまわすには分別作業が必要となります。各事業所ではその特性に合わせて廃棄物を26〜46種類に分類し、分別回収をしています。

■廃棄物処理場・委託業者の管理
廃棄物の中間処理および最終処分業者については、事業所ごとに認定を行い管理しています。
各事業所は、新規業者に廃棄物処理を委託する場合は、許可証の確認や現地確認などの認定調査を実施し、当該業者が廃棄物を適正・適法に処理・処分できることを確認しています。認定後も定期的に現地確認を行い、委託業者の廃棄物処理状況を把握しています。

廃棄物保管庫（合志事業所）

廃棄物最終処分地視察風景■リサイクル
リサイクルについては、
紙類、
飲料容器、
木屑、
ガラス、
廃プラスチック､金属を中心に実施しています。 過去5年間の東京エレクトロングループ全体のリサイクル率も15.3%、40.9%、49.7%、55.2%、
59.9%と増加しており、年々効果を上げています。
（％）

東京エレクトロングループ リサイクル率

100
90
80
70

55.2

60

59.9

49.7

50

40.9

40
30
20

15.3

10
0

'96年度

'97年度

Tokyo Electron

'98年度

'99年度

'00年度

11 Environmental Report 2001

■オフィスでの取り組み事例b
大阪支社では、「再生紙の積極的使用」を支社の環境目標の一つとして活動し、ほとんど全ての場合で再生紙を使用しました。今後は「必要時のみ上質紙の使用」を更に徹底していきます。
b
赤坂本社および府中テクノロジーセンターでは、
シュレッダーで裁断処理するか焼却処理していた機密書類等についても、
リサイクル業者との間で完全な機密保持を維持する「通い箱」のシステムを導入する事でリサイクル処理しています。書類の紙質を問わず100%
リサイクル出来ることが特徴で、環境保全に貢献することが可能です。
このシステムにより、2000年度に赤坂本社で廃棄された書類は、二酸化炭素排出抑制量で7,811Kg/年、
森林伐採抑制量（直径14cm、高さ8mの樹木として換算）で781本/年を、代替したものと試算することが出来ます。
赤坂本社および府中テクノロジーセンターでは、b
木材繊維に代わる新しい非木材資源であるケナフ材を使用した紙コップを導入しています。ケナフは収穫まで半年と生育が早く、生育段階で二酸化炭素を多量に吸収するため、地球温暖化防止にもつながると考えられています。

ケナフ材で作られた紙コップ■工場での取り組み事例
大津事業所および合志事業所では、厨芥の減量化として生ごみ消b
滅機を導入しました。これにより大津事業所では、
いままで一般廃棄物として月８００ｋｇ程出していたものがゼロとなりました。
また、紙屑の減量化はＰＰＣ用紙の使用を削減することを推進しました。

生ごみ消滅機b
宮城事業所では、梱包用木材も木材リサイクル工場と交渉してリサイクル実績を向上させました。
総リサイクル量は100t
で、前年度比7.5倍と増加しました。
b
熊本事業所および合志事業所では、
紙コップのリサイクルシステムを確立しました。これにより今まで一般廃棄物として消却していた紙コップ89.8Kg（ 2001年3月実績）が、
トイレットペーパの原材料としてリサイクル可能となり、有効に再利用することが出来るようになりました。
b
熊本事業所および合志事業所では、粉塵対策用の表面加工が施されているため、今までリサイク
ル処理できずに消却処分していた、
クリーンペーパーのリサイクルシステムを確立しました。
関係部署の協力の下で、リサイクル不可能なクリーンペーパーからリサイクル可能なクリーンペー
パーに変更し、雑誌・カタログと同様の扱いでリサイクル処理することが出来るようになりました。

紙コップからリサイクルされたトイレットペーパー

Tokyo Electron

リサイクル可能なクリーンペーパー

12 Environmental Report 2001

省エネルギー

東京エレクトロングループでは、
地球温暖化防止対策として省エネルギーを推進しています。
各事業所共通として、昼休みの消灯、空調機の温度設定管理等を実施し電力の削減を図っています。
また認証取得事業所においては省エネルギーを目的・目標に掲げ計画的に実施しております。

■主な実施内容
照明、b
OA機器の節電（全事業所）

ク
bリーンルームの部分的使用停止（佐賀）

空調機の温度設定管理（全事業所）
b

装置の計画停止（大津・山梨）b

デbモ機稼働率低減システムの設計および運用（山梨）コbンプレッサーの夜間停止（山梨）自b動販売機の夜間停止（大阪）開発装置等に「節電シール」貼付b（札幌）■電力使用総量
下の図の棒グラフは、
東京エレクトロングループ全体における、
年度ごとの総電力使用量の推移を表しています。また折れ線グラフは、総電力使用量を当該年度の売上高で割った値で、年度ごとの比較を容易にするために、
1997年度を100
ポイント（100％）とし、売上高と総電力使用量との関係を原単位として表しています。尚、1999年度から、製造系事業所に加えて非製造系事業所の電力使用量も、集計を開始しました。
2000年度は、製造系事業所や研究機関地区において、製造設備や評価設備のフル稼働状況にあり、それに伴い電力使用量も増加し、1999年度と比較して東京エレクトロングループ全体の総電力使用量は増加しました。
しかしながら原単位につきましては、
前年度の170.7
ポイントから96.8
ポイ ントへと、前年度比で56.7％と4割以上も削減されており、大幅に改善されました。
また基準年度の1997年度の値をも下回っています。今後も各事業所において、
省エネルギーの推進を継続して実施し、総電力使用量の削減も目指していきます。
2000年度 事業所別電力使用量

東京エレクトロングループ電力使用量推移（100万kwh）

（％）

電力量
原単位

200
180

186
150

160
140
120

250

府中
200

121

121

東北 4.3%4.8%

相模 横浜 赤坂 札幌

大阪

3.7% 1.7% 0.7% 0.3% 0.2%

穂 坂
22.3%

宮城

150

6.5
％

100

熊本

100
80

藤井

8.5%

60
40

18.2%

50

20

佐賀
0

0

'97年

'98年

'99年

'00年

（H9年度）（H10年度）（H11年度）

（H
12年度）

8.8%

大津
9.4%

合志
10.7%

電力使用量
売上高

％）
原単位＝ ―――――（1997年度＝100■取り組み事例b
大津事業所では、事業所全体で昼休みの消灯と照度アップによる照明の間引きの実施、空調の定刻停止による節電に取り組みました。結果として、年間120,000kwh、1.1%の節電効果がありました。
b
大阪支社では、飲料の自動販売機に稼動時間タイマーを取付けて、夜間に電源を落とす様にしてTokyo Electron

13 Environmental Report 2001

省資源

認証取得事業所を中心に、省資源対策として紙の削減を推進しています。全ての事業所において再生紙の使用を実施し、一部特殊な用途を除いてほとんどの紙は再生紙を使用しています。
また、水の使用量削減については、
冷却水循環装置やドライタイプ真空ポンプの導入、および日常的な節水活動等を通じて実施しています。

■紙の使用量削減についての取り組み事例b
大 津事業所では、1999年４月より完全古紙（古紙率100%）の再生紙へ切り替えています。また2000年度は、各部での回覧書類について電子化の促進と裏紙利用の促進を更に推進して行きました。尚、裏紙の総使用枚数は24万6千枚でした。
b
全事業所においてコピー用紙の両面を使用し、また縮小コピーとすることで紙の使用量を削減しました。更にできるだけ紙を使わない様に、
電子情報へ置き換える取り組みも進めています。

■水の使用量削減についての取り組み事例
大津事業所では、真空ポンプの排水回収化工事をb実施しました。具体的には、今までポンプの冷却として使用していた水は捨てていましたが、それを循環式工事によりタンクに回収し、再び冷却水として利用することに変更しました。
導入後の削減効果として ８３０ ／月の削減効果が確認できましたが、工業用水全体の使用量は増産
排水回収設備等の影響で増加してしまいました。

b
熊本事業所では、真空ポンプ２台をドライタイプへ更新する工事を実施しました。具体的には、
今までの水を使用するタイプから水を使用しないタイプへ変更することで水及び電力の使用量を削減するというものです。
導入後の削減効果は、同時期に熊本事業所から合志事業所に多数の人が移動するということがあったため、
正確な削減量は確認できませんでしたが、今まで使用していた水の量（518Kl）
は確実に減少しています。

■その他の取り組み事例b
大阪支社をはじめ数カ所の事業所では、リース期限が切れた社有車から順次ハイブリッド車やグリーン税制適合車に置き換えています。大阪支社の調査によれば、
ハイブリッド車の燃費は通常のガ
ソリン車の２倍となりました。この事実から、省資源および省エネルギ
ーに効果があり、
大気汚染および地球温暖化の防止に、僅かとはいえ寄与していると言えます。
相模事業所や山梨事業所などでは、b
地球温暖化問題への対応のために、車両の駐停車時の無駄なアイドリング抑制を推進しています。
「アイドリングストップ」の看板Tokyo Electron

14 Environmental Report 2001

化学物質管理■総合的な化学物質管理
東京エレクトロングループでは、
健康や環境への重大な影響を未然に防止するため、化学物質の有害性のリスク評価を実態把握に基づき行い、生産に使用される化学物質および製品に含まれる
化学物質の適正管理に取り組んでおり、各事業所では化学物質の導入時に行う審査、登録シス
テムを構築して運用しています。

■ＰＲＴＲ法（特定化学物質の環境への排出量の把握等及び管理の改善の促進に関する法律）への対応
ＰＲＴＲ法は１９９９年に「特定化学物質の環境への排出量の把握等及び管理の促進に関する法律」
として公布され、２００１年４月から施行されＰＲＴＲ対象物質の物質収支の管理が必要となりました。東京エレクトロングループでは、各事業所において２０００年度ＰＲＴＲ対象物質の調査を行い、グループ全体の取り扱い物質は３５種となりました。現在は各事業所において、
ＰＲＴＲ対象物質の取扱量や排出量等の把握および管理を行っています。
＊ＰＲＴＲ (PollutantReleaseandTransferRegister)■化学物質の使用量削減についての取り組み事例
佐賀事業所では、洗浄装置の生産工程内の蒸気乾燥装置検査において、イソプロピルアルコールの使用全廃を達成しました。
また、塗布現像装置の生産工程においてイソプロピルアルコールの使用量削減を行い、純水への置き換えを実行して装置原単位当たり６６％の削減を達成しました。

■MSDS
データベースの構築各事業所で化学物質の導入時に審査、登録システム東京エレクトロングループ
M
SD
S
データベースサーバを構築して、
ＭＳＤＳの管理および運用を行っていますが、グループ全体でもMSDSの管理および運用を行えるように、
イントラネットによるデータベースの構築を進めてきました。
現在は東北、相模、佐賀、熊本、合志の5事業所で使用する、およそ500物質のデータベース化が終わり、その他の事業所についてもデータベースの構築を進

MSDS
データ

めています。
※MSDS（M
aterialSafetyDataSheet）：製品安全データシート

閲覧

登録

ネットワーク
登録Tokyo Electron

閲覧

登録

閲覧

M
SD
S管理部門

M
SD
S管理部門

事業所

事業所

15 Environmental Report 2001

製品における環境負荷低減

東京エレクトロングループは、半導体製造装置、ＬＣＤ製造装置、電子部品などの製品やサービスの提供を通じて、お客様にご満足をお届けすることを目指してきました。
さらに環境方針に掲げてありま
すように、
お客様と一体になって当グループ製品の環境負荷を低減させるために継続的に努めていきます。具体的には各事業所ごとに、製品に関する省エネルギー・省資源、化学物質削減などの目標を設け、環境負荷低減型の製品づくりに取り組んでいきます。

■主な取り組み例
BU（ビジネスユニット）/事業所

取り組み内容エッチングシステム/山梨事業所

消費電力の低減b枚葉成膜/山梨事業所

b費電力の低減
消N2b、排気の低減LC
Dシステム/山梨事業所

消費電力の低減b

LC
Dシステム/大津事業所

化学物質の低減b

洗浄システム/佐賀事業所

薬液使用量の低減
b
Ｉ
b
ＰＡ使用量の低減
純水使用量の低減
b
消費電力の低減b

クリーントラック/熊本事業所・合志事業所

b液使用量の低減
薬
消費電力の低減b

拡散システム/相模事業所・東北事業所

b付け面積の低減
据
塩ビ樹脂製電線の使用低減
b
装置廃棄時手順のガイドライン制定
b
消費電力の低減b■物流における環境負荷低減対策「空気充填材の使用」
従来、ポリウレタン製発泡体や生分解性バラ緩衝材などを用いて国内および海外へ当社製品のパーツ類を梱包・出荷していましたが、2000年末から空気充填緩衝材を、
東京エレクトロンジスティクス の各地区
物流営業所で採用を進めています。この梱包材は、透明なフィルム状の袋に空気を詰めて緩衝材とするもので、従来の梱包に比較して「使い捨てではなく空気の出し入れにより何度も使える」「ゴミの発生が少ない」などの環境への利点があります。
また、「クリーン度の向上」「開梱時に見つけやすい」「使用前の保管場所が少なくてすむ」などの利点もあります。

Tokyo Electron

空気充填緩衝梱包材

16 Environmental Report 2001

■製品の環境問題改善対策組織
東京エレクトロングループで製造、販売する半導体やＬＣＤの製造装置の環境問題改善に関して共通する問題は、担当役員を委員長とする「ワールドワイド装置ＥＨＳ委員会」で審議、決定を行ないます。
各装置に関する環境問題は、「ＢＵ装置ＥＨＳ委員会」で関係する設計・製造部門、営業部門、
サー
ビス部門により改善活動を推進しています。

担

当

役

主要製品毎の組織

員

BU装置EHS委員会
WW装置EHS委員会
技術・営業
・サービス
事務局
環境安全推進センター

環境問題テーマの取り組み項目

WW：WorldWide
BU ：BusinessUnit■製品に関する放出および消費の削減目標
製品が地球環境に与える環境影響負荷を削減するため、各種ガスの放出削減、及び電力使用量の削減などを以下の表の様に1997年の200mm半導体製造装置を基準として2002年の200mm 装
置及び30
0mm装置の目標設定を行ない製品開発に取り組んでおります。
ProductEHSRoadmap
ウエハサイズ

1997年基準

2002年目標

2002年目標

200mm

200mm

300mm

HAPs 放出

1

0.4

0.5

VOCs 放出

1

0.4

0.5

PFCs 放出

1

0.4

0.5

電力消費

1

0.8

1

水消費

1

0.8

1

ガス消費

1

0.8

1

※300 の
ﾙ拡散、LP‑CVD装置の目標値に関しては、基準データの1.5倍の設定とする。

bAPs ：HazardousAirPollutants（危険大気汚染物質）H
VOCs ：VolatileOrganicCompounds（揮発性有機化合物）
b
PFCs ：Per‑FluoroCompounds（過弗化化合物）
b

Tokyo Electron

17 Environmental Report 2001

■2001年度の製品環境負荷低減に関する行動計画
以下の表は、
東京エレクトロングループが、「Prod
uct EHS Roadmap」に基づく環境配慮型の製品づくりを実践する為の2001年度行動計画です。
項目

2001年度
電力消費削減

Pr
o
duc
tEH
SR
oa
d
ma
p
の20
02
年目標を達成する。
20
0
1年度に十分な電力消費削減を達成する。

PFCs排出削減

Pr
o
duc
tEH
SR
oa
d
ma
p
の20
02
年目標を達成する。
20
0
1年度に十分なP
F
Cs
削減を達成する。

VOCs排出削減

Pr
o
duc
tEH
SR
oa
d
ma
p
の20
02
年目標を達成する。
20
0
1年度に十分なVO
Cs
削減を達成する。

HAPs排出削減

Pr
o
duc
tEH
SR
oa
d
ma
p
の20
02
年目標を達成する。
20
0
1年度に十分なH
A
Ps
削減を達成する。

オゾン層破壊物質
使用規制

HCF
C系物質使用の廃止促進

地球温暖化防止

大気汚染防止、
酸性雨対策

オゾン層破壊防止

Recycle/Reuse促進

枯渇資源の
消費削減

行動計画

（分別解体、材質表示、廃棄）各プロダクトにて目標設定し、実施開始。
解体、廃棄手順に関する作業手順、マニュアルへの反映について検討。

装置・部品の長寿命化

各プロダクトにて、装置・部品の長寿命化の目標を設定し、実施開始。

グリーン調達グリーン調達の製品への適用の基盤を確立する。

鉛使用の規制鉛はんだ代替化に関する情報共有化、購入品の鉛使用状況把握

LCA導入

各プロダクト主要製品について、地球温暖化防止のL
CA
を実施。

購入品対応

ＬＣＡの実施LCA：LifeCycleAssessment■グリーン調達実施への準備
グリーン調達とは、
従来の資材調達評価基準の「品質・コスト・納期」に加えて「環境配慮」がされた部品を調達していく事です。
これまでの調達基準品

質 ＋ コスト ＋ 納期「グリーン調達ガイドライン」
パンフレットグリーン調達の基準

品

質 ＋ コスト＋ 納

期 ＋ 環境配慮

東京エレクトロングループは「グリーン調達ガイドライン」を2001年1月に制定し、
全
国内お取引先様に配布し、約200社のお取引先様に対して、
東北、
相模、
山梨、
九州の各地でグリーン調達の説明会を開催して協力をお願いしました。
第1段階としてお取引先様の環境活動への取り組み状況を調査・評価するベンダー調査、第2段
階として調達部品の環境配慮について調査・評価する部品調査を行います。
Tokyo Electron

18 Environmental Report 2001

■ＬＣＡ実施への取り組み
ＬＣＡ（Life Cycle Assessment）とは、製品の原材料から製造、
製品運搬、
製品使用、
廃棄まで
の それぞれの工程における、環境影響を定量的に評価する手法です。
環境影響を分析・評価し、環境に影響を大きく与える工程を重点的に改善することにより製品の環境影響を低減することができます。

■2000年度のＬＣＡについての取り組み事例
2000年度は各ＢＵで地球温暖化についてＬＣＡを実施しました。評価結果では各製品とも使用時の環境影響が大きいことは共通していますが、使用時の環境影響を各製品で比較してみると、
超
純水の環境影響が一番大きい製品、電力の環境影響が一番大きい製品と製品により異なることが分かります。評価結果を今後の製品開発に反映します。
＊1）
ＬＣＡ評価結果例1：洗浄装置
UW300Z全体（％）

UW300Z使用時
100%

98.5%

100

（％）

100

60

60

40

40

C
O
2
排出量
C
O
2
排出量

80

C
O
2
排出量
C
O
2
排出量

80

20

55.6%

26.2%

20

1.0%

0.3%

0.2%

0.1%

0

4.8%

9.8%
0.6%

1.0% 1.9%

0.2%

0

素材製造 製造組立 装置輸送 装置使用 廃棄時 総排出量

薬液 超純水 冷却水 電力 圧縮空気 N2ガス 排気 消耗品＊2）
ＬＣＡ評価結果例2：メタルＣＶＤ装置
UNITY‑EP/Ti,TiN全体
（％）

100

UNITY‑EP/Ti,TiN使用時
100%

96.7%

100

80

60

60

40

40

C
O
2
排出量
C
O
2
排出量

80

C
O
2
排出量
C
O
2
排出量

100%

（％）

20

58%

20

2.2%

0.9%

0.2%

0.1%

0

素材製造 製造組立 装置輸送 装置使用 廃棄時

合 計Tokyo Electron

11%

15%

15%

冷却水

N2
ガス

0

電 力

排 気

19 Environmental Report 2001

合 計

■製品への省エネルギー対策例
東京エレクトロングループでは製品の環境影響低減のために既存製品、新規製品開発時に環境影響低減の検討を実施しています。既存製品、新規製品への実施例をご紹介致します。
１）新規製品の例
洗浄装置では、
新規製品ＵＷ３００Ｚ（３００㎜φ）開発において従来機ＵＷ８０００（２００㎜φ）と比較し、ウエハ単位面積当たり、
超純水：約６０％低減、
排気：約５０％低減、
電力：約４０％低減の省エネルギーを達成しました。

UW300Z２）従来製品の例
エッチング装置では、従来機ＵＮＩＴＹ Ver.Ⅱ（２００㎜φ）
にて、ドライポンプについて省エネル
ギー型の採用、シーケンスの変更およびチラーの冷凍機回路の変更により、
電力：約３０％低減の省エネルギーを達成しました。

UNITY Ver.II

To k y o Electr o n

20 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

環境会計

企業の環境活動に要した費用やその効果を把握し、経営に生かすためのツールが「環境会計」です。東京エレクトロングループは、
企業活動のうち環境保全活動に関わるコストを定量的に把握し企業活動の指針として活用するために、「環境会計」制度を導入しています。
2000年度は「環境会計」制度導入の２年目に当たり、トライアルと位置付けた1999年度に比較して、環境活動に要した費用の集計把握についての範囲を、より一層広くすることに努めました。そしてこれからも、環境保全活動に継続性を持たせていく方針です。

■2000年度の集計結果
2000年度における、環境保全コスト（投資と経費）の集計結果を下表に示します。集計の対象は、
東京エレクトロングループの国内事業所としました。設備投資の減価償却費については、
1999年
度に設備投資したものから経費として集計しています。
1999年度は、
環境保全コストのうち「事業エリア内コスト」、「管理活動コスト」および「社会活動コスト」について集計しましたが、2000年度は全ての環境保全コストについての集計を試みました。
但し「上・下流コスト」の集計結果は、オフィス系事業所を中心にした金額であり、「研究開発コスト」 については、
一部の装置のみにおける集計結果であることを付記しておきます。

■今後の課題
今後は環境保全コストの集計にあたり、精度の向上を今以上に目指していきます。
「上・下流コスト」 と「研究開発コスト」については、
さらに検討して集計把握する必要があると考えます。
また、
経
営

資源の効率的活用という観点から、
環境パフォーマンスの改善とそのために要した環境コストの

把

握に加え、
その効果についても把握する必要があります。今後、効果の把握について考え方の整

理と、それに基づく効果額の算定に取り組む予定です。

■東京エレクトロングループ環境保全コスト
環境保全コストの分類（2000年度実績 /単位：千円）

主な 取 組みの 内 容

1.事業エリア内コスト
内1.1公害防止コスト

大気汚染、水質汚濁、土壌汚染など

訳

1.2地球環境保全コスト 温暖化防止、オゾン層保護など
1.3資源循環コスト

資源の効率的利用、廃棄物減量化など

投資額

経費額

408,264545,705

142,430

154,066

165,991

70,88899,843

320,751

021,441

432

112,966

0

2,447

6,500

44,1482.上・下流コスト

グリーン購入、グリーン調達など

3.管理活動コスト

環境教育、環境負荷の監視・測定など

4.研究開発コスト製品の研究開発など

5.社会活動コスト

グリーン購入、グリーン調達など

6.環境損傷コスト

自然破壊等の修復など

007.その他のコスト

その他

0

0

415,196

726,707合計＊環境保全コストの集計は把握した金額の全額を集計した

To k y o Electr o n

21 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

■主な取り組みの内容
東京エレクトロングループの主な取り組みの内容について、いくつか具体的に例示します。
「事業エリb
ア内コスト」：①公害防止コスト：「除害装置の設置」、「排水中和装置の維持管理」など。
②地球環境保全コスト：「フロン系ガス除害装置の設置」など。
③資源循環コスト：「生ゴミ処理装置の設置」、「廃棄物減量化及び処理のための費用」など。
「上b ・下流コスト」：「ハイブリッド車のリース・維持管理」、「環境対応製品の購入」など。
「管理活動コスb
ト」：「水質･大気･土壌などの環境測定費用」、「環境教育関連費用」など。
「研究開発コスbト」：「洗浄装置における環境負荷低減のための研究開発」など。
「社会活動コスbト」：「緑地整備費用」など。

■投資額の内訳
投資額の内訳
地球環境保全コスト

管理活動コスト
0.1％

社会活動コスト
1.6％
資源循環コスト
24.0％
公害防止コスト34.3％

温暖化防止、
オゾン層保護など

公害防止コスト
大気汚染、水質汚濁、土壌汚染など

地球環境保全コスト
40.0％

資源循環コスト
資源の効率的利用、廃棄物減量化など

社会活動コスト
緑化、地域の環境活動支援、情報開示など管理活動コスト
環境教育、環境負荷の監視・測定など■経費額の内訳
経費額の内訳

資源循環コスト
資源の効率的利用、廃棄物減量化など

社会活動コスト6.1％
地球環境保全
コスト 9.8％

上・下流コスト 3.0％

公害防止コスト

研究開発コスト
0.3％

大気汚染、水質汚濁、土壌汚染など管理活動コスト
環境教育、環境負荷の監視・測定など

資源循環コスト
管理活動コスト
44.1
％
15.5
％
公害防止コスト
21.2％

地球環境保全コスト
温暖化防止、
オゾン層保護など

社会活動コスト
緑化、地域の環境活動支援、情報開示など

上・下流コスト
グリーン購入・グリーン調達など

研究開発コスト製品の研究開発など

To k y o Electr o n

22 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

安 全・ 衛 生

東京エレクトロングループは、「グローバルエクセレントカンパニー」を目指す企業として「安全」や「環境」など、あらゆる面に対して積極的に取り組んでいます。
「安全」に関する取り組みについては、
社員およびお客様をはじめ、
東京エレクトロンのビジネスに関わる全ての人々が安全かつ健康であることを願い、
平成１０年１１月２７日に「東京エレクトロングループの安全/
健康に関する基本理念/
方針」、
翌平成１１年６月２５日に「安全第一について」を制定しました。
そこでは、全ての人々から総合的に信頼される企業の構築を目指すことを宣言しています。

■安全 /健康に関する基本理念 /方針「東京エレクトロングループの安全/健康に関する基本理念/方針」では、各種業務の遂行において安全や健康に対する配慮を常に念頭に置いて行動する責務が、
東京エレクトロングループの役
員および従業員に課せられていることが明示されています。具体的には、人命および（顧客に販売
または社内で使用する）各種設備や機器の安全性を損なってまで、利益や納期を優先するようなことがあってはならない、ということです。

■安全第一について
この基本理念 / 方針を踏まえた上で、それを周知徹底するために東京エレクトロングループでは、「安全第一について」を制定しポスターを作成して、社内各所の容易に目に付く箇所に掲示することで、社員の安全意識を高めるための啓蒙活動に努めています。
また「安全第一のご案内」と題したパンフレットも作成して、お客様をはじめ希望される方々に配付することにより、
東京エレクトロングループの「安全」に対する考え方について、ご理解ご協力いただ
くことを広くお願いしています。
東京エレクトロングループでは、環境と共に安全や健康についても経営理念に明記しています。このように、安全と健康と環境を第一に考えることが、
私たちの事業への社会的な信頼を確立し、長期的には東京エレクトロングループの利益増大につながるものと確信しています。

「安全第一について」ポスター

To k y o Electr o n「安全第一のご案内」パンフレット

23 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

■安全教育 (Safety2000)
東京エレクトロングループでは、「Safety2000」と呼ばれる、グループで統一された安全教育が実施されています。下の表のように対象者毎に受講する教育が定められており、2000年７月より基礎安
全教育および上級安全教育を開始して、同年１２月までに対象者の98％が受講しました。また、2001年４月からは海外の代理店においても安全教育ができるシステムを構築し、適宜教育を実施
していく予定です。
Safety2000の教育名と概要
教

育

名

概

要

基礎安全教育東京エレクトロングループの全社員、およびグループ社内で働く協力会
社社員が受講する安全教育です。通常は入社の際に受講し、東京エレクトロンの安全文化、安全衛生法等その国の安全についての各法律に関する基礎知識、安全に仕事をするための作業方法に関する基礎知識、および健康管理に関する基礎知識を学びます。尚、基礎安全教育の有
効期限は3年間です。従って受講後３年以内に、新しい安全ルールを付加した教育内容で、更新教育を受講する必要があります。

上級安全教育工場の作業現場や顧客先で作業をする社員、および協力会社社員が受講する安全教育です。リスクの評価方法、各種の作業を安全に実施する方法等を学びます。具体的には講義の中で、実際に労働衛生保護具を着用し、またその他の安全器具等を手にして実習します。尚、上級安全教育の有効期限は1年間です。従って受講後1年以内に、新しい安全ルールを付加した教育内容で、更新教育を受講する必要があります。

海外出張者安全教育

日本より海外の顧客先に出張してエンジニアが作業する場合は、必要とされる各国の安全に関する法律や作業ルール等を学びます。

顧客入場者安全教育

顧客の工場に入場して作業をする前に、特別な教育が必要となる場合には実施しています。

装置固有の安全教育

作業エンジニアは、各装置（販売製品）に固有の安全教育を受講します。

Safety2000体系図

装置固有教育

装置作業者

顧客入場者
海外出張
エンジニア

A社

B社
日本

C社
米国

D社
韓国

工場作業者
顧客先作業者

上級安全教育全社員

基礎安全教育To k y o Electr o n

E社

I社

台湾 ヨーロッパ各国
共 通

24 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

■事故報告東京エレクトロングループは、
日常業務を遂行する上で常に、社員およびお客様をはじめ、
東京エレクトロンのビジネスに関わる全ての人々の、安全と健康を最優先事項として活動しています。
しかし十分に安全に注意を払って行動していたとしても、思わぬ事故に遭遇してしまう可能性もあり、場合によっては業務に関連した怪我や疲労障害が発生することも事実です。不幸にして、そのような事態に遭遇してしまった場合には、速やかに上司や関係各部署に報告をする必要があります。そして、事故撲滅のために最初にしなければならないことが、事故情報の報告です。

■報告の意義と運用
特に注意を払うべき事故については、速やかに経営トップと各地区およびBU（ビジネス・ユニット）の関係者に報告することにより、素早く対策を講じることが可能となります。その結果、最終的には類似の事故の再発を防止することも可能となります。
報告は事故に遭遇した当事者あるいは事故の発生を知り得た者等によって、事故発生後２４時間
以内に第一報として、
e‑mail或いはFAXによって迅速に報告されます。

■予防対策
事故が発生した場合には、原因および要素を明確にして、それを一つ一つ解決していかなければなりません。東京エレクトロングループでは、
そのための有効な手段として、事故の原因と事故が発生する確率の高い作業に着目して、危険作業の一つずつに焦点を絞った安全巡視活動を推進
し、 これに付随して保護具の着用（保護帽、安全メガネ、
安全靴、安全帯等）の徹底も指導し、
社内
外への安全意識の浸透を図っています。

これらの活動の成果として、2001年度の事故災害削減目標を2000年度比で50%に削減することを目指しています。

クリーンルーム内での安全巡視活動

To k y o Electr o n

25 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

社会貢献と環境教育・啓発■社会貢献
地球環境を保全し維持改善するためには、
企業・行政・地域社会が互いに協力し合い、コミュニケーションを密にして活動することが必要です。東京エレクトロングループでは環境方針に基づき、
顧
客・社会・地域で実施される環境保全活動に積極的に参画することを推進しています。
ここでは、各事業所で行われている社会貢献活動を紹介しています。

■主な活動例山梨事業所
日b本赤十字社の献血活動に協力、および実施（昭和62年度：山梨県知事より表彰、平成3年度：厚生大臣より感謝状を授与）「武田の里b
花火大会」に協賛
事業所構内に「募金箱」を設置し、毎年末に地元新聞社の厚生文化事業団へ募金を寄託
b「赤い羽根協同募金」
bへの寄付
韮崎市が開催する「福祉の日」等のイベントに、会社の敷地を駐車場として提供b
地域の中学生を対象に「夏休み社内体験学習」を実施
b
地域の学生を対象に工場見学を実施
b
使用済切手および年賀タオルを収集し寄付b「甲府商工会議所会館」
bの建設負担金を援助事業所から県道の交差点までの区間に、点滅式事故防止用b「交差点鋲」を設置
消防団等の地域諸団体へ寄付等の援助b
韮崎市警察署からの委嘱により「マナーアップレディ」を選出し、交通安全活動を実施
b
県道沿い水銀灯設置工事の費用負担金を援助
b
山梨事業所周辺各自治体へ区費等を援助
b
近隣美化活動を実施b
山梨県主催「技能チャレンジ教室」へ指導員を派遣
b
県内の小中学生に物作りの楽しさ大切さを、実習を通じて教えました。

「信玄公祭り」b
への参加・協賛
約40人が参加しました。

「信玄公祭り」参加風景

To k y o Electr o n

26 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

東北事業所「江刺夏祭り」bに協賛「水沢花火大会」
bに協賛
日
b本赤十字社の献血活動に協力、および実施
25歳未満の社員で構成される、b「青少年ドライバーズクラブ」を結成
25歳未満の青少年ドライバーの交通事故防止を図るために、江刺警察署からの指導で「青少年ドライバーズクラブ」を結成しました。今回は江刺市主催の交通安全コンクール「チャレンジ100」に代表5名が参加し、無事故達成で表彰されました。

bと秋の「全国交通安全週間」に呼応し、事業所の入口2春ヶ所で出勤時の社員に注意を喚起
社員に「歳末助け合い募金」b「赤い羽根共同募金」協力を呼びかけ、集まった募金を寄付
使用済み切手を集めて寄付b
高専生及び工業高校生の工場実習を実施
b
江刺中核工業団地企業協議会として工業団地内道路のクリーンキャンペーンを実施b
５月と１０月の年２回、江刺中核工業団地企業協議会の主催するクリーンキャンペーンに参加し、工業団地内を走る道路沿いのゴミ収集を行い、環境美化に努めています。

「江刺甚句祭り」bに参加、および協賛
130名が参加しました。

「江刺甚句祭り」参加風景

クリーンキャンペーン

相模事業所「神奈川共同募金会」
bへの寄付
日b本赤十字社の献血活動に協力、および実施「津久井湖桜祭り」
bに協賛および寄付
川尻八幡神社へ玉串料として寄付bかbながわトラストみどり財団の「緑の募金」への寄付
地域の中学生を対象に
b「職業体験学習」の実施
リサイクル推進活動において、b
神奈川県の努力賞受賞

中学生職業体験学習

リサイクル活動に対する表彰状

To k y o Electr o n

27 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

大津事業所
地元高校のインターシップ受け入れb
地元の商業高校生を研修生として受け入れ、1週間各部署で職業体験を実施しました。

b津町企業対抗スポーツ大会参加
大積雪時の付近道路の除雪作業
b「つつじ祭り」b「地蔵祭り」に協賛「1b 80
日間セーフティー･
ドライブ･
コンクール」参加
大津地区の企業を対象とした大津警察署主催のイベントで、5人で1チームとなり180
日間の無事故無違反を達成するコンクールです。

大津町環境美化運動への参加（年１回）b
毎年6月の「環境月間」の期間中に、日時を定めて事業所周辺と事業所構内のゴミ収集を実施しています。
環境美化運動日本赤十字社からの感謝状

日b本赤十字社の献血活動に協力
多年にわたる協力に対し感謝状が授与されました。

佐賀事業所
b業所近隣の公共公園において清掃および草刈り作業の実施
事
地球環境温暖化防止策の1bつとして、車両の「アイドリング・ストップ運動」を推進
日
b本赤十字社の献血活動に協力、および実施
鳥栖図書館へパソコンの寄付b
使用済み切手、テレフォンカードを集めて寄付b「鳥栖市ごみ減量･b
リサイクル協力店及びエコ･オフィス推奨制度」への参加
1998年2月に鳥栖市より、これまでの環境問題への取り組みに対して、この制度の市指定認証を受けました。2年毎に定期監査を受け、維持継続しています。
エコ・オフィス推奨章

To k y o Electr o n

エコ・オフィス推奨認定証

28 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

熊本・合志事業所
事業所周辺および事業所構内の美化活動を実施b
６月の「環境月間」、10月の「衛生月間」の期間中に、安全衛生委員および安全推進委員を中心とし、事業所周辺と事業所構内について清掃を実施しました。

美化活動実施風景■環境教育
東京エレクトロングループでは新入社員教育をはじめとする

階層別環境教育

階層別環境教育を実施しています。専門教育として役員、

専門教育

管理職および内部監査員を対象の教育を行い、専門的知

特別教育

識の育成を行っています。さらに著しい環境側面に携わる

一 般 教 育社員に、日常的な運用管理を行うための特別教育を行い、

新入社員教育

知識レベルの向上や緊急時の対応等に努めています。

■啓発
イントラネット上の環境に関するホームページに、環境に関する最新動向や、取組み状況を掲載し、東京エレクトロングループ内で情報を共有すると共に、従業員に対する啓発に努めています。

イントラネット上の環境ホームページTo k y o Electr o n

29 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

その他の活動■その他の活動
東京エレクトロングループでは、
ＥＨＳ（環境・健康・安全）活動の改善および発展に貢献したことを、評価して表彰する制度があります。東京エレクトロングループに所属する個人、グループまたはチームによるＥＨＳ活動が、受賞の対象となります。厳正な審査を経た上で、年度末に開催された経営戦略会議の場で、ＥＨＳ貢献賞の受賞者が表彰されました。

■ＥＨＳ貢献賞
東京エレクトロングループ： 安全教育マスタートレーナーチーム
安全教育に関する各種教育コースの開発と、安全教育の実施が評価されて受賞しました。

東京エレクトロン九州（株）のマスタートレーナーチーム

東京エレクトロン九州（株）のマスタートレーナーチーム

拡散システム：化学物質安全性確立チーム
化学物質の取扱いに関するトレーニングシステムの開発およびトレーニングの実施と、化学物質被爆の早期発見テストシステムの確立が評価されて受賞しました。
エッチングシステム：省エネルギー推進チーム
エッチング装置で使用する、ドライポンプ、
チラーユニットおよびガス循環システムでの省エネルギー
運転の方法、および省エネルギー対応設計が評価されて受賞しました。

To k y o Electr o n

30 En v ir o n m en ta l Rep o r t 2 0 0 1

環境安全推進センター〒183‑8705 東京都府中市住吉町2‑30‑7TEL：042‑333‑8052 FAX：042‑333‑8477

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