2007
Environmental and Social Report 2007

TEL バリュー
2006年4月に、東京エレクトロングループの価値観および行動規範となるものを「TELバリュー」として策定しました。
「TELバリュー」を世界中のグループ社員と共有し、未来に向けての新たな成長の原動力にしていきます。

T E L バ リュ ー

T E L バ リュ ー

私たちが大切にしたいこと

私たちが大切にしたいこと

誇りチャレン ジ

私たちは、自らが誇りを持てる高い 価値を持った製品・サ ービスを提供します。

私たちは、世界N o .1をめざし、新しいこと、
人 の やらないことにチャレンジします 。

● 最先端の技術製品を最高の品質・技術サービスと● 変化をチャンスととらえ、柔軟かつ積極的に行動ともに提供し、お客様の真の満足を追求します。
● 利益は製品・サービスの価値の大きさを示す尺度
であると考え、それを大切にします。

します。
● 失敗に対して寛容であるとともに、そのプロセスと結果から学ぶことを重視します。

T E L バ リュ ー

T E L バ リュ ー

T E L バ リュ ー

私たちが 大 切にした いこと

私たちが大切にしたいこと

私たちが大切にしたいこと

オ ーナ ーシップ

チ ー ム ワ ーク

自覚

私 た ち は 、お 互 い を 認 め 合 い、
チ ー ム ワ ークを 大 切 にします。

私 た ち は 、社 会 の 一 員として の 自 覚 を
持 ち 、責 任 の ある行 動 をします 。

● オープンに意見を交わし、風通しの良い職場をつ● 法令と社会のルールを遵守します。
● 安全と健康および地球環境への配慮を最優先に

私 た ち は 、オ ーナ ーシップを 持って、考 え 抜 き 、やり抜 き 、やり遂 げます。
● 常に問題意識を持ち、課題には情熱と責任感を持って取り組みます。

● 意思決定を早くし、良いと考えることはすばやく実行します。

編集方針
本報告書は、東京エレクトロングループの環境・健康・安全（EHS）活動を中心とした取り組みをご理解いただくため、読みやすさ、わかりやすさを第一にこころがけて作成いたしました。本年度は特に以下について、重点を置いて報告しています。
● トップコミットメントでは、グローバルな視点から自然
環境や社会問題解決のために半導体業界が何をすべきか、また当社グループの業界における役割と使命とは何かについて、考えを示しました（P.4-5参照）。
● 特集ページでは、半導体製造プロセス全体における当くります。
● ビジネスパートナーとお互いに信頼し、成長できる関係を築きます。

環境・安全活動のあゆみ■ 対象組織：東京エレクトロングループ

1994. 5

標 準 環 境 安 全 セ ン タ ー（ 環 境 安 全 推 進センター）設置

1996. 3

装 置 安 全 分 科 会（ 東 京 エ レ クト ロ ン
グループ装置EHS技術委員会）発足

1996. 4環 境 分 科 会（ 東 京 エレ クト ロン グル ープ
環境安全推進委員会）発足

1997.12

相模事業所 ISO14001認証取得（以降、各工場において認証取得）

1998. 9「東京エレクトロングループの環境に関する
基本理念／方針」を制定

1998.11「東京エレクトロングループの安全／健康に関する基本理念／方針」を制定

1999. 6

「安全第一について」を制定

1999.12

経営理念に「安全と健康と環境について」の項目を追記＜国内主要拠点＞•東京エレクトロン（株）•東京エレクトロンAT（株）•東京エレクトロン東北（株）•東京エレクトロンTS（株）•東京エレクトロン九州（株）•東京エレクトロン技術研究所（株）•東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ（株）•東京エレクトロンFE（株）•東京エレクトロンPS（株）•東京エレクトロンBP（株）•東京エレクトロンエージェンシー（株）•東京エレクトロンデバイス（株）＜米国主要拠点＞

かりやすく示しました（P.6-7参照）。

•Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.
•Tokyo Electron America, Inc.
•Tokyo Electron Massachusetts, LLC.
•TEL Technology Center, America, LLC.

ある「半導体製造プロセスの環境負荷低減」をテーマとし、当社グループを取り巻くお客様、お取引先様を招いて座談会を行いました（P.8-13参照）。
作成にあたっては、環境省の「環境報告書ガイドライン

2003年度版」およびGRI（Global Reporting Initiative）の「サステナビリティ・リポーティング・ガイドライン2002年版」を参照しました。
本報告書を通して、当社グループとかかわるすべての方々とのコミュニケーションをさらに充実させ、今後の活動に生かしていきたいと考えています。皆様からのご意見、ご感想を差し込みのアンケート用紙にて是非
お寄せください。

＜欧州主要拠点＞

2000. 4

環境会計の導入

2000. 4

統一安全教育システム「Safety2000」導入＜アジア主要拠点＞

2000.12「環境報告書」発行開始•Tokyo Electron Korea Ltd.
•Tokyo Electron Korea Solution Ltd.
•Tokyo Electron Taiwan Ltd.
•Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.
•Tokyo Electron (Shanghai) Logistic Center Ltd.

2001.10•Tokyo Electron Europe Ltd.
•Tokyo Electron Israel Ltd.

（2007年8月現在の社名）■ 対象期間：2006年4月1日〜2007年3月31日■ 対象分野：環境、社会、経済的側面

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

けます。

対象範囲

社グループのビジネスと製品をイラストを用いて、わ● 半導体業界の社会的責任における中心課題の一つで考えます。
● 地域社会から高く評価される会社であるよう心がISO14001未取得事業所に対する環境教育の導入

2002.12

各事業所環境・安全代表者による相互監査「TELインターナルアセスメント」開始

2005.10

製品の省エネルギー化を推進する省エネ
タスクフォース活動開始

2006. 5

「東京エレクトロングループの環境に関する
基本理念／方針」を改訂

会社概要

もくじ

社

TEL バリュー、編集方針、対象範囲、

名 ： 東京エレクトロン株式会社

TOKYO ELECTRON LIMITED
本 社 所 在 地 ： 〒107-8481
東京都港区赤坂5-3-6 TBS放送センター
TEL：03-5561-7000（代表）
立 ： 1963年11月11日

設
資本

環境・安全活動のあゆみ

2

会社概要

3

トップコミットメント

4

金 ： 549億6,119万円（2007年 5月1日現在）（フラットパネルディスプレイ）
主 要 取 扱 製 品： 半導体製造装置、FPD
製造装置
社

HIGHLIGHT

数 ： 1,015名［単体（2007年5月1日現在）］
9,932名［連結（2007年5月1日現在）］

員● TELの製品とTELのビジネス● ステークホルダーとの座談会

売上高および経常利益の推移（連結）「Green Fab

（億円）
売上高

経常利益

6

良い半導体工場とは」

8

8,519
6,736

6,357

M A N AG E M E N T R E P O RT

5,296

3

4,605

● コーポレート・ガバナンス

14

1,439
△2

211

’03 3月’04 3月

0

656

759

’05 3月’06 3月● コンプライアンス

15’07 3月EHS REPORT
部門別売上高（連結）（億円）
コンピュータ・ネットワーク

地域別売上構成比（連結）
（％）

その他

191

中国 4.711

東南アジア

欧州 5.6

電子部品● EHSマネジメント

16● EHS活動の目標と実績

18● 環境負荷の全体像／環境会計

19● 製品における環境への取り組み

20● 物流における環境への取り組み

23● 取引先における環境への取り組み

24● 事業所における環境への取り組み

26● 健康・安全

30

4.6

882
FPD製造装置

1,007

日本

米国

2007年
3月期

12.4

2007年
3月期

36.8

韓国

14.4

半導体製造装置

グループ社員推移
（名）

台湾

21.5

6,426

設備投資額および研究開発費
（億円）
研究開発費

10,148
8,945

設備投資額

9,877
9,129

8,942
569
501 441 438 491
271

0

0
’03 ’04 ’05 ’06 ’07
4月 4月 4月 4月 4月

S O C I A L R E P O RT
● 社員とのかかわり

32● 社会とのコミュニケーション

33● ステークホルダーからのご意見35

123 110 98 133’03 ’04 ’05 ’06 ’07
3月 3月 3月 3月 3月

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

会
社
概
要

トップコミットメント

近代文明の発展のために

今後、半導体の役割が拡大していきます

地球環境は限界点を迎えています

私たちは、地球環境に優しい、最先端製造プロセス、半導体製造装置を提供します

私は最近、地球環境は限界点に達してきたのではないか

4
ト
ッ
プ
コ
ミ
ッ
ト
メ
ン
ト

という気がしています。歴史を振り返ると、人類の歴史にお環境問題を解決する上での課題の一つは、これから経済がける自然とのかかわり方には2種類あります。一つは、自然

発展し、生活を向上していこうとしている新興工業国の発展とは共存すべきであると考え、そのための工夫をしてきたのあり方です。環境をさらに悪化させないような発展のしか文化と、もう一つはその反対で自然と闘ってきた歴史です。

たが必要です。半導体生産の中心はこれまでのアメリカや日近代は後者がより極端になり、自然を克服して破壊するほ本から、現在はアジアへと展開していますが、今後はさらにどになりました。結果として、先進国を中心とする近代文明

新興国に移っていくと考えられます。ですから、こうした国がの発達が地球環境を酷使し、容量の限界を迎えつつあるの半導体産業を自国内に育成しようとする際には、EHS※を充だと思います。

分盛り込み、環境を守りながら経済発展を進めることが必須

しかし、近代文明の発達は一方で、私たちに環境の大切さです。環境負荷が少なく、経済性も生産性も高い装置や技術を気づかせてくれるきっかけも与えてくれました。例えば、を提供することが、当社グループの使命だと考えています。

人が宇宙まで行けるようになった結果、客観的な眼で、地球安全面についても同じです。安全への配慮が二の次にながちょっとしたことでも壊れやすいものであることを皆がることがないよう、装置とあわせて安全対策の方法も伝えて知ることができるようになりました。

いきたいと思います。

地球環境がいよいよ安定維持できなくなった今、人類が蓄いわゆるユビキタス社会が幕を開けようとしています。

積してきた知見や自然と共生してきた知恵を生かして、なん

今後は半導体技術を使ったさまざまなデバイスが社会のとかこの問題を解決していくことが必要です。

隅々にまで浸透し、それらは社会を効率化し、各方面での環境負荷を下げることに使われていくことと思います。
一方、上のような次世代の半導体をつくるという面では、半導体メーカーはソフト開発や設計に重点を移行しつつあり、半導体製造プロセス技術の開発は、次第に装置・材料メーカーが担うことが社会的な要請となってきました。
当社グループは、地球環境に優しい最先端製造プロセスの提供を通じて、地球環境と人間とが共存する社会づくりに貢献していきます。
※EHS：Environment, Health and Safety（環境・健康・安全）

半導体やFPDが社会の基盤になるにつれて、製造装置メーカーの使命は重くなっていきます
東京エレクトロン株式会社
代表取締役会長兼CEOTOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

高性能な半導体を高効率で製造する装置を提供する

私たちの装置の性能を飛躍的に上げ、広くは途上国のことが東京エレクトロングループの使命です

発展にも貢献したいと思います2007年1月、ダボス会議※1に参加してきました。地球温暖

世界的に見れば、途上国の発展という上でも、半導体が化をテーマとしたセッションが大きな比重をもって数多く果たす役割は大きいのではないでしょうか。ソフトを中心と開催され、この問題が国際的に大きな関心事となっているこ

した IT 事業であれば少額の投資でも起業を行うことができとを肌で感じました。改めて思うことは、地球温暖化の解決ます。また、パソコンなど半導体を用いた通信機器や技術をに最も大きな役割を果たすのは技術力だということです。

用いれば、途上国でも多くの人が距離や時間に関係なく学ぶ

今後、この問題解決のために、抜本的な技術革新が求められことができます。こういった環境ができるには、半導体がるものと思います。

さらに普及することが非常に重要だと思います。

半導体については、私たちが高性能かつ環境効率の良い

それには半導体の価格を相当下げなければなりませんが、半導体を安価でつくる製造装置を提供し、それを使って生産お客様が利益を得る仕組みは必要です。そのために、私たちされた半導体が、電子機器や自動車などに組み込まれること

は装置の性能向上で力を尽くしたい。

によって消費電力を低減し、世界の温暖化問題解決に貢献する、ということが社会から求められることでしょう。
今後、パワー半導体などの省エネルギー化に用いるデバイ
スや太陽光パネルなどによって電力使用量削減に貢献しようとする企業に積極的に協力していきたいと思います。
一方で、私たちの本業である半導体製造装置の省エネル
ギー化については、使用時の環境負荷を下げることが基本

このようなかたちで社会に貢献できる半導体産業に身を置いていることは、東京エレクトロンにとって大きな誇りではないかと思います。
※1 ダボス会議：世界経済フォーラム（World Economic Forum）。スイスのダボスで開催される。世界の企業経営者、政治家、エコノミストが集い、グ
ローバルな政治経済について議論する場として知られる。
※2 SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）:
半導体/FPD製造装置と材料メーカーの国際的業界団体

条件の一つである、という意識が開発者の中で相当浸透してきました。環境と同様に重要な要素である安全配慮設計とともに、これらを基本的業務として進めていきます。
環境と安全については、業界全体の水準を上げることも極めて重要です。ダボス会議には、海外の大手半導体製造
装置メーカーのトップも参加していました。SEMI※2を積極的に支援して、環境や安全に関する技術を業界全体で共有できるようにしていこうと話し合いました。

装置の省エネルギー化を進めることで、お客様の半導体開発を側面から支援していきます
東京エレクトロン株式会社
代表取締役社長兼COO

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

5
ト
ッ
プ
コ
ミ
ッ
ト
メ
ン
ト

HIGHLIGHT

TELの製品とTELのビジネス
私たちは、半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）を製造する装置を提供しています。

東京エレクトロングループは、1963年の設立以来、半導体製造装置のリーディングサプライヤーとして幅広い製品分野

およびFPD製造装置の多くは世界でトップシェアを獲得しています。

の開発・製造・販売を行っています。また、半導体製造装置の当社グループの環境側面における社会的な役割は、「お客様分野で蓄積した専門技術を生かして、FPD製造装置の開発・です。さらに、の工場での半導体・FPD製造時の環境負荷低減」

製造・販売も行っています。

私たちが提供する半導体･ FPD製造装置を通してつくられる

HIGHLIGHT

半導体やFPDは、200〜300もの工程を経て完成品となりま

半導体やFPDの高性能化および省エネルギー化に貢献し、そすが、それぞれの工程にはさまざまな装置が必要とされます。

れによって「世界の人々が等しく知識や情報を享受できる社

今日、当社グループで開発・製造・販売する半導体製造装置

会の実現に貢献すること」を目指しています。

前工程
ウェーハプロセス工程

6
Ｔ
Ｅ
Ｌ
の
製
品
と
Ｔ
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Ｌ
の
ビ
ジ
ネ
ス

前工程
ウェーハ製造工程

TELで製造している装置はサプライヤ ーの協力と連携のもとにつくられています。
（例）TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

エレクトロ
ク ロニク
クス
ク
ス製品
製品へ
へ

HIGHLIGHT

パ
ク
ワ

7

後工程
組立工程

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

Ｔ
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Ｌ
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製
品
と
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ジ
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HIGHLIGHT
ステークホルダーとの座談会「Green Fab※1

良い半導体工場とは」半導体メーカー、部品・装置メーカー、クリーンルームの設計・施工を担う建設企業と、半導体製造の一連のプロセスに上流・下流で携わるステークホルダーにご参加いただいて、「Green Fab 良い半導体工場とは」をテーマに議論をしていただきました。

（開催日：2007年6月27日）※1 Green Fab：総合的な観点で環境配慮を行う工場および製造工程

上流から下流までの協業が必要

長すぎて、とぐろを巻いている場合などがそうです。これでは、

HIGHLIGHT

本間氏：工場や生産システムをつくる立場から問題提起をさせマイナス温度に保つために冷凍機ががんばっている横で、配管ていただきます。200ミリから300ミリウェーハへの切り替えがからどんどん熱を放出してしまっています。こうした点を含め、進むなかで、製造設備による電力使用量は高まる傾向にあり、今日のような場で直接話をして無駄を省くことが環境負荷の削

いっそうの省エネルギー化が求められています。環境を考える

減につながっていくと思います。

と、総合的な視点で半導体工場の無駄をなくすことが重要にな

浦野氏：半導体プロセス全体の環境負荷を削減していくには、るわけですが、近年、個々の部品や装置の環境効率は飛躍的

上流から下流まで一貫した協力体制が必要だと思います。当に向上しており、今後の大きな飛躍は期待できないところまで

社は真空ポンプから除害装置までの排気系システムを扱ってきていると感じています。従来はサプライチェーンの下流であいますが、最近では生産工程で様々なプロセスガスを流すよるコンポーネントメーカーや半導体製造装置メーカーが自己完

うになっており、最終的に排気段階で無害化すればいいから、結的に省エネルギーなどの負荷低減開発を行ってきたわけで

8

すが、今後は三者が連携し、情報交換をしながら複合的に進め

ス
テ
ー
ク
ホ
ル
ダ
ー
と
の
座
談
会

ていく必要があると思います。

﹁
Ｇ
ｒ
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ｅ
ｎ
Ｆ
ａ
ｂ

ザーの状況を知ることができません。しかし、稀に半導体メー

良
い
半
導
体
工
場
と
は
﹂

岩井田氏：ご提言のように、半導体、半導体製造装置、コンポー

座談会にお招きした方々● NECエレクトロニクス株式会社

本間

三智夫 氏

● エルピーダメモリ株式会社

多田

一洋 氏

社は、半導体製造装置に使われる、空気圧関係のコンポーネン● ソニー株式会社

青山

純一 氏

トを生産しています。コンポーネントメーカーがエンドユーザー● エドワーズ株式会社

浦野

智秋 氏

である半導体メーカーと直接話をする機会は通常ほとんどな● エドワーズ株式会社

三木

正晴 氏

く、半導体製造装置メーカーを通して話を聞くしかエンドユー● SMC株式会社

岩井田

克郎 氏

後町

智雄 氏

ネントの各メーカー三者が揃う有効性を強く感じています。当カーの工場に入ると、コンポーネントメーカーである我々が見● 大成建設株式会社● 大成建設株式会社

小林勉氏

ると気がつく無駄があると感じます。例えば、冷凍機の配管が私たちは半導体工場でこのような役割を担っています。

私たちはここで半導体の開発・製造を行っています。

NECエレクトロニクス

蜻温調器

エルピーダメモリ

ソニー

クリーンルームの設計・施工

大成建設

半導体製造装置【クリーンルームとは】半導体を製造する上で、空気中の微細な塵や埃は大敵です。空気中の塵や埃が規定
値内で管理され、同時に、温度、湿度なども管理された空間がクリーンルームです。

東京エレクトロン▼ソレノイドバルブ▲除害装置

空気圧機器、
温度調節機器（温調器）

SMC【温調器とは】半導体製造装置の内部を冷却するための装置が、温調器です。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

▲ポンプ

除害装置、ポンプ

エドワーズ【除害装置とは】半導体の製造過程で利用する
さまざまなガスを安全に処理するための装置が除害装置です。

装置毎に配管をするわけですから、クリーンルームの用力室の気がしています。いろいろなガスを分別せずに混ぜると固体中が配管や信号系ケーブルなどでジャングルのように混沌とし化し易くなり、真空ポンプが停止する原因にもなります。こた状態になっています。環境負荷の削減という面でも、装置のれを防ぐために、窒素ガスの注入量が増え、除害装置に新た性能向上という面でも、情報公開が必要だと思います。

な課題が発生し、結果として環境負荷が増えます。生産工程

小林氏：全く同じように思います。クリーンルームを設計する時から改善し、ガスの種類や流量を絞れば、こうした問題は少に、冷却水にしても、空調負荷や排気にしても、実際の稼働状況なくなると思います。

がわからないため、与えられた条件で稼働率を予測して、設計

TEL小宮山：私は東京エレクトロングループのクリーンルーム

しています。実態を把握できればもっと省エネルギー化に貢献を管理していますが、確かに半導体製造装置のプロセス技術できると思います。例えば、冷却には水を使う方法と空気を使者は、プロセスを良くするためにガス流量を増やす傾向にあう方法とがありますが、空気だとエネルギー使用量が水の5〜ります。ご指摘のように、排気系にその負荷がかかっているか

6倍はかかります。しかし、本当に空気を使って冷却しなければもしれません。

いけないのか、水でできないのか、あるいは空気を使うにして多田氏：ガスを増やすことで処理時にどのような問題があるか、も、クリーンルームの空気を使用する必要があるのか、情報がデザインレビューのチェックリストに入れて確認するなど、わか入ってこないので判断ができません。こうした課題が少しずつりやすくプロセス開発者に示してはどうでしょう。

解決されていけば、トータルの環境負荷削減にかなり貢献できるのではないかと思います。

半導体メーカーは情報開示してほしい

岩井田氏：情報は確かに必要です。コンポーネントメーカーは、

浦野氏：以前から感じていたのですが、日本の半導体メーカー

プロセス全体の流れがわからず、仕様書をもらってその通りには情報開示に積極的ではない、と思います。新たに工場を建設つくることに留まっています。ところが、実態は仕様書と違うこする場合、どのメーカーのどのコンポーネントを入れるかといっともあります。マイナス30度の温調器が必要と言われてつくった情報が全く公開されません。装置が納入された後から個別たものの、エンドユーザーの工場に納入したら、その仕様は必要無かったこともありました。マイナス20度の温調器が高級車のエンジンとすれば、マイナス30度の機器は、ゼロ戦のエンジンに匹敵するぐらい大変なことなので、できるだけこうした無駄はなくしていけると良いと思います。
小林氏：今後も、化学汚染物質の低減などフィルターへの負荷が少ないクリーンルームや、空調システムの省エネルギー化技術などを提供していきたいと思っていますが、我々の世界だけで考えることには限界があります。今日のような機会に情報交換させていただければ、もっとアイデアや技術を提供できるのではないかと思います。
TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

HIGHLIGHTと排気系システムが「ごみ箱」のように見られているような

9
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HIGHLIGHT

10
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ＮＥＣエレクトロニクス株式会社

エルピーダメモリ株式会社

ソニー株式会社

エドワーズ株式会社

本間

多田

青山

浦野

三智夫 氏

一洋 氏

純一 氏

智秋 氏

環境負荷削減には組織の壁を破る必要がある

工場設備を総合的にマネジメントする人がいない

本間氏：工場の環境負荷削減にあたり、制約となるのが業務

TEL金子：工場では排気などの面でかなりの無駄があると思の「バカの壁」ともいうべきものです。それぞれの組織や部署、います。半導体製造装置のエネルギー使用量にしても、仕様書

個人が自らに制約条件を課してしまって、ほかのことを考えなの 6 割程度で間に合うこともあります。半導体製造装置メーいのが現状です。こうした制約を排除することのなかに、改善

カー側でも、半導体メーカーに言われた通りにつくるのでなく、の答えがあるかもしれません。

無駄をなくすための研究をしていく必要があると思います。

後町氏：組織の壁を破る必要がある、というご意見に全く同感

青山氏：工場をつくる時、電力容量がどのぐらい必要かなど、実です。建築業界にも建築と土木の壁があったり、空調担当と構は誰もわかっていないという現実があります。冷却水、ファシリ

造担当の壁があったりします。昔はもう少し、他部署の業務にティ、電気と担当者が別々なので、データを寄せ集め、建設を担

対しても意見を言う人が多かったかと思いますが、最近は業当する部門が経験や勘に基づき決めているのが現状です。総合

務範囲が明確になりすぎているのかもしれません。今後は当的なマネジメントを誰もできないのです。一方、電力産業や製鉄社の立場からも、半導体製造装置メーカーに対して「冷却水は産業の一部で、使用装置の効率をリアルタイムで把握し、高効率

本当に25度で良いのですか」など踏み込んで提言していきたを長期に亘って維持する取り組みが進んでいます。半導体製造

いと思います。

業においても、このようにウェーハの完成度の面だけでなく、半TEL井深：組織や人の壁というのは確かにあると思います。全

導体製造装置の効率向上の面からの取り組みが待たれます。

体最適、という考えで組織の連携モデルをつくることが必要

浦野氏：生産工程の省エネルギー化を考えた時、エネルギー使

だと思います。

用量の少ないポンプや温調器を採用して個別のコンポーネント

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

エドワーズ株式会社

SMC株式会社

三木

岩井田

正晴 氏

克郎 氏

大成建設株式会社

大成建設株式会社

後町

小林

智雄 氏

勉氏

HIGHLIGHTにより省エネルギー化しようとするだけではなく、プロセスの開発段階から排気系やバルブ、冷却系などを考慮して設計・構成をすれば、無駄なガスの使用も抑えられ、省エネルギー化が11進むのではないかと思います。
三木氏：ポンプメーカーとしても、ポンプの配置やそれらの配管

ス
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ク
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と
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談
会

方法を工夫するだけで省エネルギーになるとのアイデアがあります。工場を建設するときに最初の段階から省エネルギー化の施策を考えておけば効率的だと思い、10年前から提案しているのですが、なかなか取り入れてもらえません。

TEL金子：確かに現状では、はじめから全体最適を追求しているというより、部分最適の組み合わせで省エネルギー化や環境配慮を進めていると思います。例えば、個別のコンポーネントの性能さえ良くなっていればエネルギー使用量が減らせTEL井深：LCAは「両刃の剣」だと思っています。どんな半導体

る、という具合です。半導体メーカーのなかで総合的な工場メーカーでも LCAの手法でエネルギーを把握できることにな

マネジメントを行う必要があると同時に、半導体製造装置

りますから、提唱した我々が先行の利を活用しないと、競合他メーカーも半導体メーカーに切り込んでいけるような強さを社に塩を送ることになる、という側面もあります。情報の共有化

持っていないと、コンポーネントメーカーにきちんとしたメッと企業競争とのバランスについての判断が重要です。

セージを発信できないと思いました。その上でファシリティ全体とどう整合性をとっていくか。

※2 LCA（ライフサイクルアセスメント）：生産から回収再利用までの過程で環境に対する影響度を評価する手法

省エネルギー化に LCA（ライフサイクルアセスメ

上流・下流で話し合う場をどうつくるかント）※2を活用しよう

本間氏：最近いろいろな改善プロジェクトに参加していますが、

青山氏：そこで役に立つのがLCAだと思います。例えば、ある

その経験を通して一つわかったことがあります。
半導体のサプラ除害装置を付けたらプロセス全体でCO2排出量がどのぐらいイチェーンには多段階の階層がありますが、階層を大きく飛び減らせるかなど、改善の効果が総合的にわかります。新しい越えた協業はあまり必要ないということです。
通常、隣り合う2階ラインの方が総合的な対策は取りやすいので、モデルをつく層が集まればかなりのことが改善できます。ただし、現状に対しり、例えば建築業者が建屋を建てるだけでなく、こういう省エ

疑問を投げかけてくれるようなコンサルタントは不可欠です。
小

ネルギー型ラインのモデルがある、と総合的に提案していっさな改善でも、プロジェクトをつくれば効果があると思います。

てもいいでしょう。もちろん既存のラインでも LCAによって

TEL井深：10年ほど前に、PFCガス※3についてサプライヤー

省エネルギー化が可能です。当社でも工場をリニューアルしとの個別のフォーラムを実施しましたが、このような企業とのた際に、電力使用量をかなり削減しましたが、比較的短期間

オープンフォーラム的なものや業界団体によるフォーラムなで投資回収できる予定です。

どが有効だと思います。
TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

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東京エレクトロン株式会社
先端プロセス開発センター

東京エレクトロン株式会社
開発企画室

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

小宮山

山中

金子

井深

星

清

崇己

正記

成仁

丈治

本間氏：情報の秘匿性と技術移転は、分けて考えた方が良い

切り離せないようにするのです。半導体製造装置に求めらと思います。JEITA※4やSEMIなど、比較的オープンな場で行れる機能には、必要な順に①先端製造プロセス技術の導入、うものと、コンソーシアムのような限られた範囲で行うものと②運用における生産性、③環境保全、省エネルギー化などので分けた方が良いでしょう。

自主貢献、と考えています。優先順位が低くなりがちな環境

青山氏：個々の企業で活動しても効果は薄いでしょう。JEITA

や省エネルギー化機能を隠れた形できちんと盛り込んでいの中で行っていくのが適切だと思います。コンポーネントメー

くことが狙いです。

カーも個別に動くのでなく、JEITAとしての活動のほうが参「見えない化」には大きなヒントがあると思います。
TEL金子：

加しやすいでしょう。環境については世界のどの半導体メー

環境や省エネルギー化機能をはずすと装置自体が稼働しなカーも取り組んでいかなければならないという意識を持ってくなる、という発想がいいですね。

いますから、環境という切り口から情報発信し、装置・コン

多田氏：今後、新興国で半導体製造装置の販売量が増えるとポーネントメーカーとともに積極的に進めていきたいですね。

思いますが、その際にはコスト削減のため、優先順位の低い※3 PFCガス（Perfluorocarbonガス）：半導体の製造工程で利用する代替
フロン・ガスの一つ。温室効果ガス。

環境機能をはずしてほしいと求められる可能性が高い。世界全体の環境負荷低減を念頭に置いて、環境性能を製造プロ※4 JEITA（ Japan Electronics and Information Technology：社団法人電子情報技術産業協会
Industries Association）

セス技術や生産性向上に埋め込んで、分離できない形で提供

装置の環境性能を「見えない化」
しよう

利益を追求していけば環境負荷も減る

多田氏：私は、装置の環境性能を「見えない化」することを提青山氏：ここで原点に立ち返って、そもそも良い半導体工場

案したいと思います。環境性能を半導体製造装置の性能ととは何かを考えてみたいのですが、一番参考になるのは、日一体化させ、この機能を外すと装置が止まってしまうなど、本のFPD工場の事例だと思います。周囲との調和という面でするのが良いと思います。

も、地元への雇用創出や税金の還元という面でも優れており、製品が省エネルギー化に貢献するため、生産工場と結びついて企業イメージの向上に役立っています。
三木氏：一般的に、良い工場とは、投入するものを最小限に抑え、排出を少なく、価値を最大化して利益につなげられる工場だと思います。これは、Green Fabと矛盾しないはずです。
岩井田氏：利益に結びつけるという点に同感です。当社のユーザーには零細な町工場も多く、環境には関心を持っていないお客様もいます。そういう場合は、年間の電気代がどのぐらい削減になって得をするかという切り口で省エネルギー
製品を勧めるのが一番効果的だと感じます。結果的に、環境負荷低減にも結びつきます。
TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

を社会にもっとアピールしていかないといけないと思います。

とのように考えるのが間違いであり、環境に取り組むことは

小林氏：例えば、東京都が 2007 年 6 月に、2020 年までに利潤にもつながります。少ない材料でできるだけ多くの製品

2000年比でCO2排出量を25％削減する「カーボンマイナス東をつくれば、利益に結びつくということで、誰もが自明であ

京10年プロジェクト」を発表し、排出量取引構想も打ち出してると考えるようにする必要があります。

います。半導体業界にはどのような影響があると考えますか。

TEL星：必ずしも環境や省エネルギー化を目的にしていなくて

多田氏：半導体の省エネルギー化への貢献を社会に理解しても、ほかの改善の結果、環境負荷低減になる場合もあります。

やJI（共同実施）
もらえれば、CDM（クリーン開発メカニズム）

コストダウンのために装置の小型化を追求したら、結果的にのような形で、半導体工場は「半導体による貢献」という観点

省エネルギー化になったのもその一例です。厳しいコストダ

で排出権がもらえるはずです。家電製品など、製品の環境負

ウンを何度も乗り越えてきた経験を生かして、技術開発に取荷削減分の少なくとも半分は半導体の貢献によるものですかり組んでいきたいと思っています。

ら、排出権も半分ぐらいはほしいですね。

TEL井深：本日は半導体をつくることにかかわる省エネルギー

半導体は社会全体の省エネルギー化に貢献している化を議論してきましたが、半導体を使うことによる省エネル

青山氏：先ほど良い工場の例としてあげた日本の FPD工場のギー効果の大きさを社会に知ってもらうことも極めて重要だと事例を半導体工場に置き換えて考えてみると、半導体工場で思います。サプライチェーンの中にいる我々自身も、最終消費は具体的な商品イメージが沸かないという問題があります。半者に半導体の効用を訴えることを視野に入れたビジネス戦略

導体は市販の製品に組み込まれて省エネルギー化などに大きを考えていかなければいけないと思います。

く貢献していますが、液晶テレビのようにイメージとして把握

本日はいろいろな議論ができてたいへん有意義でした。またするのが困難です。ですから、半導体がどう役立っているのか

このような機会を設けていきたいと思います。

座談会を受けて
当社グループの環境･社会報告書での座談会は、初回（2004年）
は当社グループ内の環境安全担当者、2回目（2005年）は当社グループの営業・開発・設計担当者、3回目（2006年）はお客様をお招きして行ってきました。今回は、お客様であるソニー様、エルピーダメモリ様、NECエレクトロニクス様と、コンポーネントメーカーであるエドワーズ様およびSMC様、さらにクリーンルームの設計・製造を行う大成建設様をお招きし、座談会を開催しました。複数のお客様やお取引先様、当社グループの開発、EHS関係者でクリーンルーム全体の省エネルギー化について情報交換を行うことができ、大変貴重な機会となりました。
今回の座談会では、サプライチェーン全体での環境負荷低減の必要性が再度認識され、定期的にこのような情報交換の会議の開催についてご提言いただいたことは大変意義深いことだと考えます。また、当社グループならびにお取引先様製品の環境負荷低減をより積極的、具体的に行っていくためには、それをビジネスの一環として明確に位置付け、関連各位と一体となって進めていくことが重要であることも再認識いたしました。
今後もこのように様々な方のご意見をお伺いして、当社グループ製品の環境配慮設計を進めるために、どのようなアプローチで進めるのかを検討していきたいと考えています。
東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター センター長

金子

正記

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HIGHLIGHT

青山氏：おっしゃる通りで、そもそも環境と利益は矛盾するこ

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コーポレート・ガバナンス
企業価値の向上を重視した経営を推進するため、コーポレート・ガバナンス体制を強化しています。

コーポレート・ガバナンスに関する考え方
企業価値の最大化・株主満足度の向上を図るため、コーポを設置し、リスクに対する必要な社内規程などの整備および教育・啓蒙活動などを実施しています。

レート・ガバナンスの強化が重要であると認識し、企業倫理

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と法令遵守を徹底するとともに、内部統制システムやリスク
管理システムの整備・強化を推進し、経営の透明性・客観性を確保することを基本的な方針・目的としています。

内部統制システムの整備
新会社法施行に伴い、当社グループにおいて、2006年5月12日開催の取締役会において、業務の適正を確保するための体制の基本方針を決議しました。この基本方針に則り、事業コーポレート・ガバナンスに関する体制

リスクの再確認とより有効な体制の整備を進めております。

株主をはじめ、すべてのステークホルダー（利害関係者）
にとっての企業価値の向上を図るため、コーポレート・ガバ【内部統制システム】

ナンスの強化が重要であると認識し、（1）経営の透明性と健

1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.

全性の確保（2）迅速な意思決定と事業の効率的執行（3）タ
イムリーかつ適切な情報開示を有効に機能させる体制構築に努めています。
具体的には、取締役会は社外取締役2名を含む取締役13名で構成され、報酬委員会※1と指名委員会※2を取締役会内に設コンプライアンス体制
リスク管理体制
財務報告の適正性確保のための体制
情報の保存・管理体制
執行の効率性確保のための体制
企業集団の業務適正化体制
監査の実効性確保体制置しています。取締役の任期は1年とし、経営環境の変化に迅速に対応する体制をとっています。2006年度には合計14回

また、日本版SOX法に対応するための「財務報告に係る内の取締役会を開催しました。また、監査役会は社外監査役

部統制の整備」においても、2009年 3月期の適用に向け、規2名を含む監査役 4名で構成される監査役制度を採用し、ガ

程・マニュアルの整備、業務プロセスの確認、文書化などの必バナンスの向上を目指しています。2006年度には合計5回の要な体制の整備を進めています。

監査役会を開催しました。執行体制については、取締役会と執行機関の役割をより明確化するため、執行役員制を導入し、コーポレート・ガバナンス体制

より迅速な事業戦略の立案・遂行に取り組んでいます。
※1 報酬委員会：代表取締役会長・代表取締役社長の報酬案を作成し、取締役会に議案を提出する委員会※2 指名委員会：株主総会で選任される取締役候補者の選定、および取締役会で選任される取締役社長候補者を選定し、取締役会に議案を提出する委員会

株 主 総 会

指名委員会
取締役会

監査役会

報酬委員会

会計監査人

倫理担当取締役

内部統制システムおよびリスク管理体制
すべてのステークホルダーに対し責任ある行動をとるた

改善状況確認指示

会長

めに、実効性のある内部統制システムの強化に取り組んでい社長

監査+改善報告ます。内部監査部門として監査センターを設置し、グループ
報告の国内・海外拠点において業務・コンプライアンス・システ

報告

改善指示

ムなどの監査を実施し、内部統制システムの有効性の評価を報告

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

改善指示

リスク管理担当部
モニタ

しています。

スクなどの危機管理対策を遂行するため、リスク管理担当部

内部監査部門（監査センター）

報告

また、監査センターは経営層に対する監視結果の定期報告

リスク管理については、ビジネスリスク、オペレーションリ

監査

執行役員

行っています。

や、監査役との情報交換・報告を行い、内部監査機能を強化

改善指示

監査

モニタ

改善指示

内部牽制

収益部門

事務部門

監査
監査

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コンプライアンス
東京エレクトロングループでは、公正で信頼される企業活動を行うため、
企業倫理とコンプライアンスの遵守を徹底しています。

企業倫理・コンプライアンスについての考え方

また、2007年6月には、2005年に実施したコンプライア
ンス現状調査の結果を受けて、倫理基準をよりわかりやすいものとし、現在のビジネス環境や倫理観に合わせるために項

企業倫理を遵守し、コンプライアンス（法令等遵守）を実践す

目追加、表現の修正などの改訂を行いました。

ることが基本となります。当社グループでは、高い倫理観やコンプライアンス意識をもって行動することを最優先に企業活動に取り組んでいます。

コンプライアンス体制強化の取り組み
当社グループは、コンプライアンスに関する基本事項を定めた「コンプライアンス規程」を2004年に制定しました。こ

倫理基準の制定の規程は、当社グループの事業活動に従事する者が、法令・グローバル・エクセレントカンパニーを構築するためには

規則、国際的なルールおよび社内のルールを正確に理解し、共通の基準が必要であると考え、1998年にその具体的な考それらに則した行動を継続的に実践することを目的としてえ方を示した倫理基準を制定し、運用機関として倫理委員会

います。

を設置しました。

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2006年には、特に、輸出コンプライアンスに関するWEB
研修を、国内全社員を対象に実施しました。社会情勢の緊張【倫理基準】に伴い、日本からの輸出規制は強化される傾向にあり、直接序文

海外顧客とのかかわりのある営業・サービス部門のみなら

Ⅰ. 基本原則ず、間接的にかかわるあらゆる部門においても、基本的な輸1. 法令等の遵守
2. 社会的良識による行動
3. 地域社会との共生
Ⅱ. 誠実かつ公正な事業活動
Ⅱ-1 技術、安全、環境

4. 安全の確保・品質の追求
5. 環境保全活動の推進
6. モノづくりにおける倫理
Ⅱ-2 公正な取引

7. 公正で自由な競争の推進
8. サプライヤーとの公正な取引
9. 機密情報の取扱い
10. 輸出入管理の徹底
11. 常識をわきまえた贈答や接待
Ⅱ-3 会社と個人との関わり

12. 利益相反行為の禁止
13. 会社財産の不正使用の禁止
14. ハラスメント行為の禁止
Ⅲ．社会のよき一員として

15. インサイダー取引の禁止
16. 政治的活動および政治献金の禁止
17. 反社会的勢力への関与の禁止
18. 個人の尊重

MANAGEMENT REPORT「信頼」は当社グループの生命線です。この「信頼」を維持するためには、会社で働く個人のみならず各組織においても出のルールを理解することは非常に重要となっております。
これらのコンプライアンスに関する取り組みについては、
社内イントラネット上で情報提供を行い、さらに、WEBを活用した社員教育を行うなど、方針の浸透と意識の向上を図り、コンプライアンス体制強化に努めています。

個人情報保護の取り組み
昨今、個人情報の流出事件が社会的な問題となっており、事業者にはその保有する個人情報を適切に管理することが求められています。

2005年4月の「個人情報保護法」の全面施行を受けて、当社グループは個人情報保護基本方針および規程を策定しました。運用にあたっては社員教育を行い、方針の浸透に努めています。また国内では、社員などに貸与しているパソコン
約13,000台を対象にソフトウェアを利用して個人情報の洗い出しを行い、各社・各部単位で管理を行う個人情報台帳の作成に役立てました。また、個人情報保護対策サーバを設置
して、重要な個人情報は個人使用のパソコンへ保存せずに、この専用サーバ内へ保存する運用を徹底し、管理の強化を図っています。

運用※※ 運用では「個別事項」や「手続き」等について定めている

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EHSマネジメント
東京エレクトロングループでは、EHS（環境・健康・安全）活動をグローバルに展開しています。

EHSの考え方

う努力しています。2006年5月に改訂された「東京エレクト

EHS REPORT

当社グループは、人々の健康と安全、地球環境に配慮する

ロングループの環境に関する基本理念／方針」において、当ことが、経営上最も重要なことの一つであるとの認識に基づ社グループの製品に関する環境対応のロードマップを明確

きEHS活動を行っています。事業にかかわるすべての人々にし、このロードマップにしたがって製品開発を進め、設から信頼される企業になることを目指し、環境保全活動や、計・製造・使用の各段階で環境対応を検証していくことや人々の健康・安全を最優先にした事業を行い、そして社会の「環境・社会報告書」などを通じてステークホルダーの方々一員としての自覚を持ち、豊かな社会づくりに貢献できるよに検証結果などを公表することを示しました。

東京エレクトロングループの環境に関する
基本理念／方針

東京エレクトロングループの安全／健康に関する基本理念／方針

16〈基本理念〉〈基本理念〉

東京エレクトロングループは、地球環境を保全し、継続的に改善することが人類共通の最

東京エレクトロングループの役員および従業員は、開発・製造・販売・サービス・管理等

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優先課題の一つであり、経営上最も配慮すべきことの一つであるとの認識に立ち、地球環の各種業務の遂行において安全や健康に対する配慮を常に念頭に置いて行動する責務が境との調和を保った繁栄を実現することを常に念頭に置き、顧客・社会・株主・従業員かある。即ち人命および（顧客に販売する／社内で使用する）各種設備／機器の安全性を損ら総合的に信頼され愛される企業の構築を目指して、環境保全活動を推進する。

なってまで、利益や納期を優先するようなことがあってはならない。

〈環境方針〉〈方針〉

1. 当社グループ製品が顧客の事業運営に於いて少なからず環境負荷を与えているこ

1. 当社グループ製品の製造・輸送・据付・使用・メンテナンス・サービスを行う上でとを率直に認識し、顧客と一体となって当社グループ製品の環境負荷を低減させ少なからず顧客や当社グループ従業員に対する安全性及び健康への阻害要因が存る為に、積極的に継続的に努力する。当社グループ製品に関する環境対応ロード

在することを率直に認識し、当社グループ製品の安全性向上や健康影響排除のたマップを明確にして製品を開発し、設計・製造・使用時での妥当性を検証する。更めに積極的に継続的に努力する。

にその適確性を確認するために、行政・業界・顧客等のニーズに十分配慮した活動を行う。

2. 当社グループの事業運営に於ける安全性向上／健康増進阻害要因を定性／定量的に把握し、それらを改善するとともに当社グループで活動する人々の更なる安全

2. 当社グループの事業運営に於ける環境影響要因と、その環境負荷を定量的に把握し、その低減に向けて積極的に継続的に努力する。

性向上や健康増進に向けて積極的に継続的に努力する。

3. 安全／健康関連法規・条約・協定等を遵守し、更に環境に関する各種要請を先取り

3. 環境関連法規・条約・協定等を遵守し、更に環境に関する業界標準や各種要請を考慮して自主行動計画を策定し、地球環境保全を推進する。

して自主基準を制定して安全性向上・健康増進を促進する。

4. 安全／健康に関する基本理念・方針や安全性向上／健康増進関係活動状況を当社

4. 環境に関する基本理念・環境方針・環境保全推進状況・製品の環境対応状況を従業員に周知させ、意識向上を図ると共に、環境報告書等を通じて社外へも公表する。

5. 顧客・社会で実施・推進される環境保全活動に積極的に参画する。

グループの全役員・全従業員に周知させ、意識向上を図ると共に、社外へも必要に応じて公表する。

5. 顧客・社会で実施・推進される安全性向上や健康増進関係活動に積極的に参画する。

平成18年5月26日

平成10年11月27日

T O P I C S
グローバルEHS会議の開催
2007年6月にグローバルEHS会議が開催され、当社グループの経営陣および各EHS会議委員が出席しました。
この会議の冒頭で、東京エレクトロン株式会社代表取締役
会長および社長より安全文化構築や当社グループの環境配慮に対する今後の方向性が示され、また各地区・BU（ビジネスユニット）代表者より、EHSに関する発表および活発な議論が行われました。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

▲蜷グローバルEHS会議の開催

EHS推進体制

2006年度からは、製品含有化学物質のサプライチェーン

製品のEHSを推進する「プロダクトEHS」、製品納品時のや、2006年改訂の労働安全衛生法による元方事業者 ※から

設置作業などのEHSを推進する「顧客先作業EHS」、工場やの関係請負人への安全上での指示・伝達強化に伴い、新たなオフィスのEHSを推進する「ファクトリー&オフィスEHS」

監査項目を追加し、取引先、協力企業とのEHS実施状況につの三つを柱に活動を展開しています。

いて確認を徹底しました。継続して追加された内容での監査

当 社 グ ル ー プ で は 、 1997 年 よ り 製 造 子 会 社 を 中 心 に行し、認証を取得しています。

東京エレクトロングループのEHS推進体制※ 元方事業者：一つの場所において行う仕事の一部を協力会社に請け負わせて、自らも仕事の一部を行う最上位の事業者

EHSリスクマネジメントシステム
製造子会社では、ISO14001やOHSAS18001、労働安全

グローバルEHS会議※委員長：東京エレクトロン（株）社長

衛生マネジメントシステムに基づき環境や安全のリスクを評価し、リスクの高いものから対策に取り組んでいます。まファクトリー&
オフィスEHS

プロダクトEHS

顧客先作業EHS〈お客様の拠点でのEHS活動〉〈各地区でのEHS活動〉〈当社グループで製造する装置についてのEHS活動〉

た、法規制に先駆けてリスクの削減に取り組んでいる課題もあります。今後も京都議定書に基づく地球温暖化防止への対応を最も重要な課題と考えています。

ISO14001 認証取得事業所
会社名

事業所名

認証取得年月日

相模事業所

1997年
12月10日1110-1997-AE-KOB-RvA

東京エレクトロン東北

東北事業所

1998年
2月19日

1118-1998-AE-KOB-RvA

東京エレクトロン九州

熊本／合志／
大津／佐賀事業所

1998年
3月26日

1120-1998-AE-KOB-RvA

1998年
山梨事業所
（藤井／穂坂地区） 5月15日

1124-1998-AE-KOB-RvA

宮城事業所

2005年
3月1日

01245-2005-AE-KOB-RvA

横浜事業所

2004年
7月14日

EC04J0144

東京エレクトロンPS／
東京エレクトロンAT

認証番号

法令の遵守状況
環境法令や排出基準などの法規制を確認し、一部では自主基準を設けるなど、法規制遵守に努めています。

2006年度は、環境関連の事故・違反・罰金・苦情、また、
これらにかかわる訴訟などはありませんでした。

東京エレクトロンAT

東京エレクトロンデバイス

EHS REPORTISO14001に基づく環境マネジメントシステムを構築・実を実施し、活動のチェックをさらに強化していく方針です。

EHS教育「必要な教育を必要な人に」を原則に、当社グループ社員および当社グループ内で作業する協力会社社員に対し、EHS観
点での階層別の教育・訓練を実施しています。新入社員研修においても、EHSに関するプログラムは必須科目としています。

EHS活動のチェック体制

また、EHS活動をより円滑に行うため、チーム内のコミュニ

EHSマネジメントシステムを強化するため、システムや成果のチェック機能を担う監査のレベルアップを図っています。

ケーションに着目したチームリソースマネジメント研修や中間管理職向けの管理者安全研修なども実施しています。

監査は事業所内やグループ内で、あるいは第三者により様々な観点から行われています。特に積極推進している監査は、EHSに関する教育
環

境

健康・安全

2002 年度に開始● 専門教育（内部環境監査員教育、重要環境側面にかかわる特別教育）した各事業所のEHS 代 表 者 に よる 相 互 監 査 、● ISO14001に基づく環境教育（製造系事業所）「 TEL インターナ● 装置固有教育● 各顧客固有入場教育● 各国出張者安全教育● 上級安全教育● 環境教育（事務所系事業所）● 基礎安全教育

ル監査」です。
▲現場監査の実施風景

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E H S R E P O RT

EHS活動の目標と実績
東京エレクトロングループではEHS活動目標を設定し、グループ全体でEHS活動を推進しています。

EHS活動目標と2006年度実績

EHSマネジメント

活動項目

2006年度達成目標

実施結果

サプライチェーンを含めた事業所間でのEHS相互監査を実施

1事業所においてサプライチェーンのEHS相互監査の実施

既存装置への反映を進めた△

TELロードマップ※指標の継続して監査を行っていく

P.17

○

TELロードマップの指標の達成

P.22

2005年度と比較して売り上げ原単位
比約17%削減でき、目標を達成した
荷主に関する物流量の把握を行った○

継続してエネルギー使用量の削減を行う、物流に関するエネル
ギー把握の正確性をあげる、モーダルシフトの検討・採用を進める

P.26

製造系事業所でのゼロエミッション継続

1 事業所を除き製造系事業所でゼロ
エミッションを達成した
グループ全体のリサイクル率は、昨年と同等の高水準で推移△

ゼロエミッションを継続する、廃棄物総量の削減を検討する

P.28

化学物質の適正管理ー

PRTR 対象化学物質の使用量、排出先を把握した−

データ把握を継続する

P.29

人身災害事故の削減

休業4日以上の人身災害0
件、人身事故の件数を昨
年度より30％削減する

休業 4 日以上の事故は数件発生、度
数率は2005年度より減少、人身事故
件数は約20％の増加

×

人身事故の件数目標は2006年度
目標を継続、人間工学的事故を2006年度比25％削減

P.30

EHS REPORT

装置に含まれる
規制化学物質対策

達成

対策すべき化学物質と方針の明確化
エネルギー使用量の削減

省エネルギーの推進

18

健康・安全

○

関連するページ

P.20-21

製品における
環境への取り組み

事業所における
環境への取り組み

項目を追加し実施、発見した指摘事項を是正した2007年度以降の計画、目標

2007年度、2010年度目標の達成装置の省エネルギー化

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活
動
の
目
標
と
実
績

評価

廃棄物の削減（省エネ法に基づき、CO2
発生量ベースで売り上げ
原単位比1％削減）

300mm製品：2007年度目標を前倒しで6製品中2製品達成した○

RoHS 指定 6 物質の製品からの全廃
スケジュールが確定した※TELロードマップ：当社グループ製品に関する環境対応の方針・計画○目標達成△目標の80%を達成

×目標の80%未満の達成

ー目標設定していない項目

変革は日々の改善の延長線ではありません。
さらに高い次元の革新的な目標を掲げて省エネルギー化を推進していきます。

東京エレクトロン株式会社
取締役 副社長 兼 開発・製造本部長

化を促す最大のものであると考えます。

岩津 春生

はお客様に高く評価されるようになってきました。社内の各部

また、省エネルギー化や省資源化など環境に配慮した製品
門でも、開発段階から環境の視点を取り入れることが当たり

現在、様々な次世代機の開発を進めており、2007年度は次世代製品がかなり出揃う予定です。私は、「夢の次世代機前となり、あえて目標設定をしなくても自然と取り組める風土も確立されてきています。

でものづくり改革を」を合言葉にして、日々の改善とは異なる

一方、製造拠点の環境づくりという面で、宮城県の大和町

高い次元の目標を設定して、革新的な装置をつくろうと社内に新たに建設する工場では、本来の自然を残し、できるだけに呼びかけてきました。
これまでも装置のエネルギー使用量削減には力を入れてき

自然と共生した工場にしようというコンセプトのもとデザインを検討しています。

ましたが、次世代機では、環境性能を飛躍的に高めることが2006年度は、当社グループにとって大きな成長の年となり、こ求められます。一方エネルギー使用量削減のカギを握るのはれまでのピークを大きく超えて過去最高の業績を達成しました。

装置自身の省エネルギー化だけでなく、半導体の歩留まり性

このような状況のなか、従業員は納期などに追われて残業が能の向上が大きいと考えています。このことは環境性能の向多くなりがちです。しかし、長時間労働が慢性化した職場環境上が大きいと一見異なることのように思われますが、歩留まりでは創造的な仕事はできません。短時間で仕事を片付ける習の向上こそ、半導体製造プロセスの無駄を省き、全体の効率慣づくりを徹底して残業時間の短縮も目指しています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

E H S R E P O RT

環境負荷の全体像／環境会計
環境負荷の全体像および環境会計を正確に把握することで経営に生かしています。

Input-Output

環境負荷の全体像
Input

右図は、東京エレクトロングループの製造系事業所および事務所系事業所における物質
フローです。
当社グループの環境負荷の主要部分は製品評価時におけるものです。半導体製造工程と使用して装置を稼働させているためです。

前年度比2006年度 前年度比

電気 26,370万kWh （+1.9%）

2006年度

製品総出荷量 27,256t（+21.2%）

1,213km3 （+28.0%）

CO2 106,040t-CO2 （+4.6%）

ガス
燃料
水

2,618kl
1,161km

化学物質

3

東京エレクトロン（-7.0%）
NOx
グループ（+30%）

19.8t（+140.2%）（国内および海外事業所）（PRTR法第一種対象物質）

11.9t （0.0%）

排水1,149km3 （+6.0%）

廃棄物15,333t（+16.3%）

再資源化量 14,919t（+17.3%）

紙（コピー用紙） 377t （+9.9%）

単純焼却・埋立処分量414t（-12.8%）

EHS REPORT

同様に、電力および様々なガスや薬品などを

Output19
環境会計
集計範囲：東京エレクトロングループ国内主要事業所（札幌、東北、宮城、赤坂、府中、横浜、相模、穂坂、藤井、尼崎、大阪、佐賀、熊本、合志、大津）
集計期間：2006年4月1日〜2007年3月31日
当社グループの環境会計は「環境会計ガイドライン（2002年版）」および「環境会計ガイドブックⅡ」（環境省）に準拠しています。

2006年度環境保全コスト

（千円）

項 目

主な取り組みの内容

経費合計

493,584

758,590

1.1 公害防止コスト

大気汚染、水質汚濁、土壌汚染防止など

181,372

280,289

1.2 地球環境保全コスト

温暖化防止、オゾン層保護など

153,90252,703

1.3 資源循環コスト

資源の効率的利用、廃棄物減量化など

158,310425,598

1. 事業エリア内コスト
内訳

設備投資額

2. 上・下流コスト

グリーン購入、グリーン調達など

5,538

106,433

3. 管理活動コスト

環境教育、環境負荷の監視・測定など

28,214

212,988

4. 研究開発コスト製品の研究開発など

0

1,839,174

5. 社会活動コスト

緑化、地域の環境活動支援、情報開示など

052,012

6. 環境損傷コスト

自然破壊の修復など

00

7. その他のコスト

その他

0

0

527,3362,969,197

合 計

2006年度環境保全対策に伴う経済効果

（千円）
内 容

環境保全コストの分類

費用削減

金 額

• 電力およびその他のエネルギーについての効果

電力使用量の削減（例：冷凍機インバーター化工事による効果）

7,070• 水についての効果

水の使用量の削減（例：冷却水の循環利用）-3,801• 紙についての効果

紙の使用量の削減（例：両面コピーの奨励、電子化）-5,438• 各種資源についての効果

重油やガスなどの使用量の削減-2,736• その他についての効果

液体窒素やコピー用トナーの使用量の削減

7,095• 廃棄物に関する効果

廃棄物処理量の削減

19,230• 水域および土壌への排出に関する効果

下水道への排出削減合 計

83
21,503

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

環
境
負
荷
の
全
体
像
／
環
境
会
計

E H S R E P O RT

製品における環境への取り組み
半導体製造装置のライフサイクルにおいて環境負荷が最も大きいのは、その使用時です。使用時の省エネルギー化や規制化学物質の削減などを進めています。

製品の環境負荷全体の低減について

製品の環境負荷低減についての考え方

EHS REPORT

環境に配慮した設計を推進することは非常に重要と考え

近年、環境・健康・安全への持続的な改善について、各方面ており、新たな環境理念／方針でもこの考え方をさらに明確からの期待がさらに高まっており、製品の初期開発・設計段階にしました。特に装置の省エネルギー化や、装置に含有されでEHSのコンセプトを取り入れることがますます重要になっる規制化学物質の削減・代替は、優先的に取り組むべき課題ています。事業のグローバル化に伴い、各国の法規制に対しに位置付けています。

ていっそうの注意を払う必要もあります。これからも継続して積極的に「Design For EHS（EHSに配慮した設計）」を推進

環境負荷低減の推進組織

20
製
品
に
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け
る
環
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取
り
組
み

エネタスクフォース」を結成しました。

していきます。

装置EHS技術委員会の下部組織として、三つの関連部会を装置EHS推進組織体制

設置しています。このうち、「装置安全ワーキンググループ」で装置EHS技術委員会

は、装置の安全性を高める活動を行っています。
「化学物質対策チーム」は、装置を構成する部品やコンポーネントなどに含まれる規制化学物質の削減・代替を進めています。また、

装置安全WG

化学物質対策チーム

省エネタスクフォース

2005年10月には、装置のエネルギー効率を改善するため「省T O P I C S
既存装置の改造による省エネルギー化
東京エレクトロングループ環境・社会報告書2006のステークホルダーとの座談会においても課題とされた既存製品の省エます。これらの商品を用いることにより、従来のエネルギー使用量から約70%を削減することができる例もあります。

ネルギー化について、新規開発製品では省エネルギー化、省資源化によるコンセプトを盛り込み製造、設置していくことができますが、既に販売・設置した装置においては、当時の設計コ

省エネルギー化による効果

ンセプトでは対策が取られていなかった機能などがあります。
当社グループでは、これらを改善する商品を販売しています。

省エネポンプ

例えば、熱処理成膜装置のALPHA（α）-8SEでも様々な改真空配管ヒータ

善する商品を用意しています。ここでは、その中の二つを紹
約70%の
エネルギー
使用量削減

介します。

1. 配管ヒータ断熱性の向上
一部の配管では内容物の付着などを防ぐため、温度を100℃〜200℃といった高温に保つ必要があります。この際、ヒーターを巻き配管内の熱を調整しますが、このヒーターの回りに断熱性の高い材質を用いることでヒーターにかかる電

従来

変更後
ALPHA（α）- 8SE蜷

力量を40％から50％程度削減できます。

2. 省エネルギー型ポンプ
従来のポンプから高効率の省エネルギー型ポンプに交換することにより、電力消費量を約70％削減することができTOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

このほか、水冷機構追加によるクリーンルームへの放熱量低減や窒素使用量の削減、さらには品質や生産性の向上を目的としたものも用意されています。

CLEAN TRACK獏 LITHIUS獏蜷

地球温暖化防止の取り組み

製品の省エネルギー化の取り組み

ウェーハ単位面積あたりのエネルギー消費推移（1999年比）
1

装置使用時の省エネルギー対策として、漓装置本体のエ1

目標値

ネルギー使用量削減、滷周辺機器のエネルギー使用量削減、

0.8

0.8

結果

0.8

澆装置の省エネルギー運用、潺クリーンルームのエネル

0.61

EHS REPORT

0.7
0.56

ギー使用量削減、潸クリーンルームの省エネルギー運用（計画運転、適正運用など）の5項目を検討しており、今後、技術開発に取り組んでいきます。
クリーンルームの省エネルギー運用に関しては、お客様や設備メーカーとの協力が不可欠なため、三者で密接に連携を

0’99（基準年）

’02

’04

’06

’07

取りながら、装置使用時の省エネルギー化を進めていきます。
また、「SEMI S23※」を用いて装置で使用する電力、水、ドラ

ガスパージ量の削減、排気の適正化、冷却水の最適化などのイエアー、冷却水や熱の排気の使用のほか、補機類（真空ポ

取り組みにより、2006年度目標値0.8に対して0.56となり、ンプや冷却装置）の異なるエネルギーに係数をかけ、電力に

目標値を達成しました。2007年度もさらなる冷却水最適化

換算してエネルギー消費量把握し、対策を進めていきます。

などを進めて継続してエネルギー消費量削減を進めます。

※SEMI S23：SEMIが作成した半導体製造装置に関する省エネルギーのガイ
ドライン、正式名は「半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリ
ティー、および材料の保全のためのガイド」

また、これらの取り組みをベースとして新製品であるCLEAN

TRACK獏 LITHIUS ProTMにおいてもエネルギー消費量削減を進める方針です。

装置の省エネルギー化に対するアプローチ⑤ クリーンルームの省エネルギー運用（計画運転、適正運用など）【テストシステム Precio®での取り組み】
テストシステム（ウェーハプローバ）は、ウェーハ上の半導④ クリーンルームのエネルギー削減

体の電極に対して針をあて、電気的検査を行う装置です。半
冷却装置② 周辺機器のエネルギー削減

真空ポンプ① 装置本体のエネルギー削減

導体の使用環境に近い環境で耐久性の試験を行うために加熱・冷却する機能を備えており、ドライエアーを使用します。

③ 装置の省エネルギー運用

当社グループでの算出においても、ウェーハプローバのエネ
ルギー使用量のうちドライエアーによる割合が多いとされて製品の省エネルギー化事例いました。今回、このエネルギー使用状況に着目し、各仕様

SEMI S23に基づき、電力、窒素、排気、純水の使用量なでの要求温度に対してのドライエアー流量を、装置本体に露どを電力に換算し総合的エネルギー消費を算出し、その値を点計を設置してモニターしながら調節する機能を追加するこ

ウェーハ単位面積あたりで算出した数値において装置ごととにより、最大で60%の流量を削減することができました。

に目標値を定め、省エネルギー化を進めています。ここでは二つの装置の事例を紹介します。

ウェーハプローバでのドライエアー削減イメージ図
スピード
コントローラドライエアー

流量センサー【塗布現像装置 CLEAN TRACK LITHIUS での取り組み】
塗布現像装置では、当社グループの基準年である1999年
度に対してのウェーハ単位面積あたりのエネルギー消費目標
値を掲げ活動を進めています。2006年度の主な取り組みとして、オートスタンバイ機能による待機時電力の削減、窒素流量を調節

流量をモニター

自動流量
調節器

露点計
露点計で露点を常時測定

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

21
製
品
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環
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組
み

製品における環境への取り組み

化学物質管理の取り組み

装置に含有される規制化学物質削減への取り組み
近年、部品や材料に含まれる化学物質については、それ

ループでは対応を完了しました。中国版RoHSの規制事項として主に次の二つを遵守することが必要となります。

による環境や生態系への影響懸念により、自動車や電気製

EHS REPORT

22

品などへの使用規制の動きが世界各国で活発になってきています。東京エレクトロングループでもこのような動きに対応し、 2006 年 7 月発効の欧州 RoHS 指令

規制物質を含有している場合、ラベルに対しては、を製品に添付し、環境使用期間を示

当社グループの半導体製造装置がLarge-scale Stationary

す必要があります。当社グループ製品

Industrial Toolに該当するため、適用除外と判断し、声明書

は通常25年を表示しております。

を用意し対応しています。また、2007年3月発行の中国版
※2

製
品
に
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る
環
境
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取
り
組
み

※1

1. 製品へのラベルの貼付

RoHS

2. 化学物質含有情報の開示に対しては、遺漏なく適合を達成しています。

規制対象物質の使用状況を、定められた書式により、取扱

当社グループでは規制を先取りして対応すべく、製造部

説明書または同等書類に中国語で開示することになって門の代表者で構成される化学物質対策チームを結成し、必います。当社グループでは、これに対応しています。

要な情報を共有しています。また、取引先にも積極的にご協力をいただき、含有物質の調査と非含有代替品への変更

規制化学物質に対する体制を推進しています。 2006年度は RoHS指定 6物質の製品か

当社グループでは、製造子会社および本社スタッフ部門の代らの全廃スケジュールを策定しました。このスケジュール

表者で構成される「化学物質対策チーム」
を結成して必要な情では、RoHS指定6物質非含有製品の出荷を2008年10月よ報を共有し、取引先にも積極的に協力していただきながら、規り開始していく予定になっています。

制化学物質を含まない代替品への切り替えを推進しています。

※1 RoHS指令：Restriction of the use of certain Hazardous
Substances in Electrical and Electronic Equipment※2 中国版RoHS：正式名称は「

当社グループ内では、規制化学物質含有部品を「使用しな」という対策すべき含有化学物質

い」「購入しない」「販売しない」ことを基本方針として、各部品類の含有規制化学物質情報を登録、参照することが可能な化
学物質管理システムを構築しています。このシステムにより、第一優先課題製品に使用される部品の規制物質含有の有無がわかり、規制

カドミウム

顔料、安定剤、樹脂

六価クロム

クロムメッキ鉛

はんだ、塗料、電線被覆、快削金属となっています。この含有化学物質管理システムでは業界統

水銀

電池、蛍光灯一のJGPSSIフォーマットを利用しています。

PBBs

樹脂部品

PBDEs

樹脂部品

化学物質を含有する製品の製造や出荷を阻止することが可能

今後の化学物質規制
第二優先課題JIG※レベルA指定物質（既に対策された物質がかなり含まれている）※ JIG（Joint Industry Guide）：日米欧の民間団体の協力で作成された対策が必要な化学物質に関するリスト。
レベルAとレベルBに分類されており、レベルAには16物質（カドミウム、
六価クロム、
鉛、水銀、
PBBs、
PBDEsを含む）
がリストアップされ、レベルBには400を超える物質がリストアップされている。

欧州では、販売されるほぼすべての化学物質について安全性評価を義務付け、その情報を登録させるREACH※1 規制やと「予防原則」
PFOS※2規制が施行され、ますます「生産者責任」が徹底されていくと考えられます。当社グループでは、これらの規制に対しても開発・設計・製造・資材・品質保証・環境

中国版RoHS対応について
2007年2月28日、中国において中国版RoHSが施行されました。この法律は、中国市場で販売される電子情報機器・パーツに含まれる化学物質の使用を規制しており、当社グTOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

安全などの各部門一丸となって取り組みを進めていきます。
※1 REACH：Registration, Evaluation, Authoriｚation and Restriction ofChemicals（化学物質の登録、評価、認可、制限に関する規則）※2 PFOS：パーフルオロオクタンスルホン酸。コーティングや難燃などの目的にて、撥水・防水・グリース・オイルなどに使用されている物質

E H S R E P O RT

物流における環境への取り組み
東京エレクトロングループでは、物流における環境対策も重要な課題の一つと考え、
環境負荷の低減や省エネルギー化および資源の有効活用における取り組みを行っています。

物流についての考え方

当社グループ全体の2006年度における貨物輸送量（主要2006年4月のエネルギーの使用の合理化に関する法律（以製品輸送量と輸送距離の積、単位：トンキロ）は、5,242万ト

下、省エネ法）改正に伴い、地球温暖化防止の観点から物流

ンキロであり、また東京エレクトロン単体でも3,000万トンに対する規制が強化され、物流における環境負荷低減の要求

キロを超えたため、特定荷主として指定されることとなりまが高まりました。

した。増加の理由としては、製品出荷台数の増加と、製品 1

当社グループでは、製品輸送用のトラックに低公害車を導台あたりの重量増加の2点です。

入したり、納入用のコンテナ

また、現状は一定の積載率におけるトンキロを把握していまを再利用するなど、物流におすが、今後は輸送量や輸送距離の測定、輸送に伴うCO2排出量

ける環境負荷低減への取り

算出の正確性をあげるとともに、削減に向け鉄道や海運の利用組みを積極的に推進していなどモーダルシフト※などの検討を行っていきます。
（トピックス参照）

EHS REPORT※モーダルシフト：従来のトラックによる貨物輸送を、大量輸送が可能な海運や鉄道に転換すること。

23ます。加えて、お客様への製品輸送は安全運行を最優先としています。

▲取引先で利用しているリユース可能
なカバー

物流における環境負荷

製品の梱包方法
当社グループ製品は、精密機械であり大きさも一般の製

改正省エネ法により、年間3,000万トンキロ以上を輸送す品と大きく異なるため、梱包の方法やそれに伴う梱包技術

る荷主事業者は特定荷主に指定され、CO 2排出量の削減がも特殊性が要求されます。その上、製品の大きさも製品ご求められることになりました。

とに異なるため、大きさや重量の特性を考えながらも環境に配慮し、安全かつ低コストで輸送する取り組みを行ってい

貨物輸送量の推移（万トンキロ）

ます。例えば、開梱時間を短縮できる強化ダンボールを使
5,242

4,028

用した梱包や、大型製品において

3,837

は、梱包容積を減

2,934

らしつつも強度を保つためスチール
0
’03

’04
’05
’06（年度）（グループ全体国内主要製品、一定割合の積載量にて計算）を用いた梱包などを行っています。

▲スチールを使用した梱包

T O P I C S
モーダルシフトの推進

フェリー内での当社グループ貨物 蜷

運輸部門における二酸化炭素発生量の大半は自動車であ

品質や安全などの観点でトラックるという見方から、トラックによる貨物輸送を鉄道や船舶に転による輸送と同等であることが確認換するモーダルシフトが各業界で行われています。当社グできたため、2007年5月に試験的にループの製品は精密機器であり、輸送方法も特殊であるため、船舶による輸送を開始しました。

従来はトラックによる個別の輸送を行っていました。

今後は、対象製品の拡大などの検このようななか、海運業者および輸送事業者との検討を進め、その結果、鉄道や船舶による輸送は、時間、コスト、討をさらに進め、運輸に伴うCO2排出量削減に積極的に取り組んでいきます。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

物
流
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E H S R E P O RT

取引先における環境への取り組み
東京エレクトロングループでは、取引先との協力と連携を通して、製品における環境負荷の低減を推進しています。
このページでは、当社グループの取引先2社における環境負荷低減の取り組み状況を紹介します。

取引先企業での取り組み〜株式会社堀場製作所、株式会社堀場エステック〜

株式会社堀場製作所様、株式会社堀場エステック様生産工程として鉛フリー製造ラインを持ち、従来の鉛使用のとの取引状況

製造ラインとは使用工具・治具類の完全分離を行って対応し

EHS REPORT

株式会社堀場製作所様、堀場エステック様（以下、HORIBA）ています。また、取引先からの納入品はサンプリングとしては、創業以来分析・計測機器メーカとして事業を拡大し、現在は自社内でHORIBA製の分析器を用いて検査を行い、規制対象

自動車、分析、医療、半導体の四つの事業を持つ会社です。

物質が含有されていないか確認しています。

当社グループとの取引は、半導体 /FPD製造装置で使用するがガス・液体の流量計（マスフローコントローラ、
以下MFC※）主であり、HORIBAはMFCで世界トップシェアを誇ります。

24
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引
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み

※MFC：半導体の製造には様々なガスや液体が使用されています。MFCは、これらの物質の流量を正確に制御する製品です。MFCの性能や品質は半導体製造工
程での品質や生産性にも大きくかかわるため大変重要なパーツです。
▲受け入れ検査時の分析

MFC内部構造HORIBA製
MFC（Z500）
蜷

駆動電源
流量出力信号

流量設定信号制御ユニット

流量センサ

Inlet

ピエゾ
アクチュエータ
流量制御バルブ

Outlet蜻左 側 から入ってくるガスを 流 量センサーで計
測し、電圧をかけることによって 伸 縮 する素 子を使 用したピエゾアクチュエータを用いて流量制御バルブで決められた量に制御し、右側へ送り出します。

▲鉛フリー製造ライン

MFCの半導体製造工程での環境への寄与
HORIBAでは、製作するMFCのRoHS対応を進めるなか、
その機能の向上により半導体製造装置を通じて製造工程の環境負荷低減に寄与しています。例として「流量精度の向上
による歩留まりの向上」「全流領域にわたる高速応答による生産性の向上とガス消費量の削減」があげられます。また、
現在、当社グループ製品での検討を進めている「マルチガス・ワイドレンジ MFC 」は、統合マネジメントシステムの構築

従来のMFCでは様々なガス

ワイドレンジ化によるライン数の削減
MFC

HORIBAでは、2004年6月まで個別で運用していた品質・種ごと、ガス流量ごとに異ガスA

環 境 ISO に 、労 働 安 全 衛 生 マ ネ ジメントシ ステム で あ るなる MFC がマトリクス的に

ガスC

OHSAS18001を加えて、一つのシステムで運用する統合マ必要となっていましたが、こガスC

ネジメントシステム（ Integrated Management System 、の MFC ではガス種、流量のガスDIMS）を構築して運用しています。今後この IMS を HORIBA

大小にかかわらず対応する

グループ企業に構築していく方針です。

ことが可能なものです。これによりMFCの削減と消費

RoHS指令に対する取り組み

電力削減に寄与できます。

ガスB

ガスC

ガスD

ガスA
ガスB
ガスC
ガスC
ガスC
ガスD
ガスD

当社グループを含む取引先からの要望や欧州法規制の動向に対応し、HORIBAで製作するMFCのRoHS対応を進めています。

HORIBAでは MFCに使用するプリント基板類の鉛フリーは ん だ 化 を 2004 年 か ら 進 め 、ま た 塗 料 な ど に 含 ま れ る

RoHS指令対象物質の廃止を2006年から新製品で対応しました。現在では既存製品での対応を進めています。社内でのTOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

当社からのコメント：
今後は、半導体製造プロセス上重要である、プロセスガスの使用量最適化による省資源化、生産効率向上、省エネル
ギー化に重点が置かれるようになると思われます。これらにもHORIBA様の持つ分析、流量調整技術に期待しています。

取引先企業での取り組み〜株式会社ワイ・デー・ケー〜

株式会社ワイ・デー・ケー様との取引状況

貼り、識別を行っています。ユニット
やアッセンブリなど製品の RoHS

器や半導体製造装置などの設計・生産および精密機械部品の規制物質の全廃については、計画

切削加工を主とした事業を行っています。

を定め当社グループの要求に応じ

岩手県遠野市にあるYDK岩手地区にはYDKメカトロニク▲RoHS対応品シールながら進めていく方針です。

ス東北事業所およびYDKコミュニケーションズがあり、当社グループでは東北事業所で製造する熱処理成膜装置の部品加生産性の向上と改善提案

工において1982年から取引を開始し、現在では部品類の加「セルフチェックは作業の基工から装置設計、部品切削加工、自動機ユニットの組み立て「次
本 / 完全実施で不良低減」などの取引を行っております。また、当社グループ東北事業

工程はお客様」との方針に基所内で請負事業としてガス制御類などの設計を、製造部門にづき、また、生産性向上のた

おいては、YDK派遣社員の受入、という人員面での協力企業

め、治具化の推進、ユニット組としての取引もあります。YDK岩手地区は、2007年4月に行立やアッセンブリの生産レイ

われた生産動向説明会において、アウトの見直し、各ユニットの東北事業所よりユニット組立品の作業で必要な工具のみを設置

品質および納期達成率の大幅なし、そこで作業を行う「屋台方式」を取り入れるな

改善に取り組まれた件においてど積極的に改善活動を行っております。

25▲YDKの生産現場

取引先向け
VE改善提案用紙蜷

2007年7月からは新しい生産システムの導入によりパソ表彰されました。
▲当社グループからの表彰状

環境マネジメントシステムの構築

コン上で受注から製品・部品の生産状況を把握できるようになり、在庫の滞留や作業のムダをなくすことを進めます。

YDKでは、環境問題に対する社会的責任の重みが増した

また、当社グループのVE（Value Engineering）提案書をため、2003年11月にISO14001を認証取得しました。具体用いての当社グループ製品への改善提案を積極的にいただ

的な環境活動として、繰り返し使える梱包材やウエスのレンき、ともにコストダウンや品質・生産性向上を進めています。

タル化によるリユース、蛍光灯のインバータ化、紙使用量の削減などを行っています。

安全への取り組み

YDKでは2007年度の活動「ルールを守って安全作業」「無事故で作る明るい職場」を方針として、より事業活動

スローガンに安全活動を推進されています。安全衛生委員に沿った環境活動を行っ会を毎月開催し、災害リスクアセスメントを実施し、教育やていくこととしています。

啓蒙活動を進めながらゼロ災害を目指しています。

▲ウエスのリユースボックス

鉛フリー化とRoHS対応

当社からのコメント：

YDK岩手地区では、当社グループの2003年9月の鉛フリー

鉛フリー化は当社グループの方針に沿ってご協力いただに関する調査から、当社グループの教育により鉛フリーハン

きました。RoHS対応についても同様に進めていただけれダトレーナーを養成し、2006年2月より鉛フリー化を開始しばと考えています。当社グループもYDK様よりご提案を受ました。岩手地区のYDKコミュニケーションズでのプリント基「RoHS対応品」
シールを板などの製品のRoHS対応製品には、EHS REPORT

株式会社ワイ・デー・ケー様（以下、YDK）は、情報通信機

け改善を重ねることにより、より良い製品づくりを行っていけるものと考えています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

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E H S R E P O RT

事業所における環境への取り組み
東京エレクトロングループの事業所では省資源、地球温暖化防止などの取り組みを進めています。
「事業所における環境への取り組み」では、製造系事業所とオフィスにおける取り組みを報告します。

地球温暖化防止エネルギー使用量削減の取り組み

電力使用量推移

当社グループは、省エネ法の規定に基づきエネルギー使用（10万kWh）

電気（海外分）電気（国内）

量の削減を進めています。各事業所では、照明やOA機器の節

148 160 150

EHS REPORT

電、空調の温度設定管理などの具体的な目標を掲げ、積極的設置を行いました。従来は手動で給排気ファンの調整を行っ
0

0’96 ’97 ’98 ’99 ’00 ’01 ’02 ’03 ’04 ’05 ’06

灯油使用量推移

動機の適正な運転が可能と（kl）

なり、年間約 20 万 kWh の電996

力と約 100トンの CO 2 が削減できました。

1,881 1,828 1,838
1,665
1,631
1,604

967 958’96 ’97 ’98 ’99 ’00 ’01 ’02 ’03 ’04 ’05 ’06

バータ制御にすることで電

事
業
所
に
お
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る
環
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み

1,916
1,652

2,472
2,396
2,191 2,345
2,151 2,181
1,858
1,501
1,212
1,206
1,089

一例として、東北事業所では、空調用排風機へのインバ−タていました が、これ を イン

126

2,430

192 165101に取り組みを推進しています。

26

重油使用量推移（kl）

ガス使用量推移

1,146
1,062
1,014
990 990
942
908

（千m3）

都市ガス（海外）
都市ガス（国内）
LPG（国内）154▲インバータ機器の導入
946
364

エネルギー使用量の推移

838

403 389545

2006 年度は 2005 年度同様、生産量の増加に伴いエネル
ギー使用量の総量は増加しましたが、原単位※2では昨年度か’96 ’97 ’98 ’99 ’00 ’01 ’02 ’03 ’04 ’05 ’06

0 74 72 55 59 66 66 63 58 56 110 113’96 ’97 ’98 ’99 ’00 ’01 ’02 ’03 ’04 ’05 ’06（国内および海外事業所）

CO2以外の温室効果ガス使用量削減

前年度比1%削減」という目標を達成しました。今後も省エネプロセス開発・評価時のドライエッチングや洗浄などの工程

ルギー化の取り組みを強化していきます。
また、2006年度から CO2の排出量算定において、国内ので、温室効果ガスの一種であるPFC（パーフルオロカーボン）を使用しています。
類やSF6（六フッ化硫黄）

電力の換算は電気事業者別排出係数を用いて計算をし、海外2006年度の温室効果ガス使用量は21,006トン（CO2 換算）分のガス使用量の把握を開始しました。

で、2005年度の12,643トンより大幅に増加しました。これ

総エネルギー使用量（CO2 換算※1）の推移（%）（t-CO2 ）は、山梨事業所における製品の開発・評価工程での SF6の使

CO2 排出量（海外分）

1997年度売上高原単位を

401

208.0

基準とした数値※2
売り上げ原単位前年度比※3

1,277

用量が大幅に増加したことが一因としてあります。今後は、

193.1使用するガスの代替化の検討を進めます。

168.2
150.9

147.5

137.4 105.6 197.0

135.5

50,48845,922

92.8
78.4

65,81752,45694,00984,761

87.1

87.7

95,487
95,486

91.9

SF6
PFC類
HFC類

82.7

13,863

100,941
104,11018

104,763

0

3,106

56
19

0

’96

’97

’98

’99

’00

’01

’02

’03

’04

’05

6,740

’06 （年度）※1 CO2換算は環境省作成「事業者からの温室効果ガス排出量算定方法ガイドラ
イン」を参照※2 原単位＝エネルギー使用量／売上高（1997年度＝100%）※3 前年度比＝当年度原単位／前年度原単位（国内および海外事業所）

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

30

その他

95.8
89.3

温室効果ガス使用量（t-CO2 ）112.1

104.4 150.8
100.0

738

62 60 66 70 50 590ら削減することができ、「売上高あたりのエネルギー使用量を

CO2 排出量（国内）

658

0

4,681
6,682

3,506
6,297 784

1,856
1,468

1,284
1,140

’02

’03

322

’04

3,236
1,620

’05

3,607

’06 （年度）（国内事業所）

省資源

省資源についての考え方

量は、グループ全体で2005度より約10%増加、年間で約830万枚の使用量増加となりました。原因としては、生産量や事推進し、資源の使用量を最小限に抑えています。具体的には、

務処理増加に伴う使用量の増加があげられます。特別な用途

コピー用紙や文房具などに関して、使用量・購入量を削減すを除いて再生紙の使用を進めるだけではなく、非木材資源のることや環境に配慮した製品購入への切り替えを進めているケナフを使用した紙コップを導入するなど、森林資源の保全

ほか、オフィスで使用するプリンター用トナーをリサイクル品につながる活動も実施しています。

に替え、メーカーによる使用済み製品回収への協力を積極的

今後も継続して業務で使用するコピー用紙の見直しなどをに行っています。一部の事業所では、イントラネットを利用し行うことで、記録用紙や帳票類を必要最小限にし、紙使用量て、ある部署で使用しなくなった文房具類を他部署で使用で削減を目指します。

27

きる仕組みを構築して、リユースを実施しています。

水使用量削減の取り組み
紙使用量削減への取り組み

製造系事業所では、水の使用量を減らすために様々な活動

当社グループ全体で、紙の使用量削減に取り組んでいます。

を展開しています。生産工程に循環装置を設置し、冷却水な

コピー用紙の両面使用、縮小コピーの励行、情報や回覧書類

どを再利用しています。また、トイレや手洗い用に自動水洗装の電子化などに努めましたが、2006年度のコピー用紙使用

置を導入して水の止め忘れや無駄な使用を減らしています。
水使用量の推移

コピー用紙使用量の推移
（千m3）

（千枚）

海外使用量
地下水
上水
工業水

事務所系
製造系

19,35018,30018,61718,184

17,417

16,13516,03889,067
77,16869,45076,80069,814

0
’01

’02

’03

’04

’05

146

436

388

390

430

415

357

’00

’01

’02

’03

115
92

’06（年度）

527

445

391

290

325

332

’97

’98

’99

474

111

22

107
64

70
106

486

437

506

391

382

429

’04

’05

’06（年度）

599

521

77,992

0
’00

88
62

67
119

89

112,150

172’96（国内事業所）（国内および海外事業所）

T O P I C S
廃棄資産展示会を開催

廃棄資産展示会の模様蜷

山梨事業所では、不良性資産として廃棄される材料を廃棄なりました。現物処理前に集めて、社員で現物を確認する廃棄物展示会をを目の当たりにす

行っています。これは、開発、設計、製造、生産管理など各部ることで、材料が門のメンバーが、廃棄対象となった材料の現物を確認するこ廃棄に至った原とで、その材料が廃棄されるまでに至った原因を再認識し、因について考え

今後の改善に生かしていくことを目的としています。

る機会が生まれ、省資源と事業運営について考えることを進

初回には100名を超える社員が集まり、大きな意識付けに

EHS REPORT

環境に配慮した製品を優先的に購入する「グリーン購入」をめています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

事
業
所
に
お
け
る
環
境
へ
の
取
り
組
み

事業所における環境への取り組み

廃棄物削減

廃棄物削減・リサイクルの考え方なりました。今後はリサイクルをするものも含め、廃棄物排

廃棄物の排出量の削減に努め、排出した廃棄物はできるだ

出量の総量削減に取り組んでいきます。

けリサイクルし、リサイクルできない廃棄物は適正に処理するとEHS REPORT

28
事
業
所
に
お
け
る
環
境
へ
の
取
り
組
み

廃棄物の内訳いう基本方針に基づき、グループ全体で廃棄物の削減とリサイ

当社グループで最も多い廃棄物は廃液類で、製品の開発おクルに取り組んでいます。近年は最終処分場が不足し、埋め立て処理費用が上昇しているため、廃棄物排出量の削減はコスト

よび評価時に使用した薬削減にもつながります。具体的には、廃棄物の分別回収、廃棄品が廃液となっています。

廃棄物の内訳（％）
飲料容器 1物が発生しない生産工程への変更、廃棄物処理委託業者の認

現在、廃液のほとんどは木屑、梱包材 3

定管理、最終処分状況の定期的な確認などを行っています。

リサイクルされています。

プラスチック 6
紙類 6

また、一部の事業所では廃廃棄物排出量とリサイクル率

液処理設備を導入し、廃液

1998年度に、2005年度までにグループ平均のリサイク

その他 5

金属、製品屑 8

廃液 71の事業所内処理を行ってル率を 95% にするという目標を掲げて取り組みを進め、（下段のトピックス参照）
います。

2005年度のリサイクル率は96.4％、2006年度は97.3%とゼロエミッション

リサイクル率と廃棄物排出量の推移
（t）

96.1

2005年度リサイクル率目標値95%
4,772
3,657
3,189 3,179

49.7

55.2

3,938 77.4
69.7

96.4

単純焼却や埋め立て処分する廃棄物量が2%未満の事業所

97.3 （%）

を「ゼロエミッション事業所」と定義し、グループ全体でゼロ

93.1

エミッション活動を推進しています。

廃棄物量（焼却および埋め立て量）
リサイクル率

3,268

59.9

2006年度は、東北事業所では残念ながら床補修の際発生する廃棄物がリサイクルできないため、リサイクル率が落ち、40.9

達成できませんでしたが、他の製造系事業所ではゼロエミッ

847
431

469

414

0

ションを継続達成しました。今後は非製造系事業所でもゼロ

0

’97

’98

’99

’00

’01

’02

’03

’04

’05

エミッションの達成を目指します。

’06（年度）（国内事業所）T O P I C S
合志事業所での廃液処理棟の新設

合志事業所での廃棄物推移グラフ（t）
その他廃棄物
廃液類

44

308

別項「廃棄物の内訳」で示している通り、当社グループの廃棄物の多くは廃液となっています。これら廃液の削減を行うた
めに、各事業所では廃液処理棟の設置を進めています。
合志事業所では、製品評価に伴って発生する酸およびアルカリ

50
113

0

4
57

63

06年度 07年1月 07年2月 07年3月
上期平均

8▲廃液処理棟性の廃液については、従来事業所内に設置している廃液タンクににより、従来約300トン/月排出されていた廃液が、現在は10トン/月

一度溜め、その後外部業者のタンクローリーで運搬および処理委程度となり、廃棄物全体としても70％以上の削減を行うことがで託を行っていました。しかし、2006年11月、これら廃液を処理する

きました。また、この廃液を運搬する際に発生する環境負荷も大

廃液処理棟が完成し、試運転後正式稼働を開始しました。これ

幅に低減できるため、約70t-CO2/年 の削減ができる見込みです。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

化学物質管理

化学物質管理の考え方
当社グループでは、主に製品の開発時および製造時に化学PRTR法第一種対象物質取扱量の推移（kg）
その他
ふっ化水素及びその水溶性塩
759
エチレングリコール物質を使用しています。開発時には、従来は使用していな

1,980で使用したりする場合があります。その際には、事前に使用
設備や使用方法のアセスメントを行い、環境や作業安全上のリスクを評価し、必要な対策を取ってから使用を開始しています。製造時に使用する化学物質についても、危険性や有害

0

3,690

1,920
2,470
1,500

’02

577

3,553
9,144

4,000

’01

4,118
1,439

4,811

9,844

6,353
2,800

’03

’04

’05

※2001年度、2002年度はトン単位で把握

EHS REPORT

4,558

かった化学物質を新たに採用したり、それまでとは違う方法

5,799’06（年度）（国内事業所）性がより少ない物質への切り替えを進めています。

29

PRTR対象物質マテリアルバランス

PRTR※法への対応

大気排出量 0kg/年

水域への排出 0kg/年

PRTR法の規定に基づき化学物質の管理を徹底するとともに、取扱量や排出量などを継続して把握しています。PRTR

TEL

取扱量

製品

113kg/年

19,761kg/年

対象物質のなかでも使用量の多いふっ化水素は、主に評価用リサイクル 9,887kg/年

ウェーハの洗浄に使用しています。使用後は廃棄物として専門業者に処理を委託するか、社内で適正に処理しています。

廃棄物 7,308kg/年

2006年度に使用量が大幅に増加したエチレングリコール

自社埋立 0kg/年 除去処理量 2,450kg/年

下水道への移動 3kg/年

は、山梨事業所で冷却水の冷媒として使用しており、FPD製
造装置の増産に伴い使用量が増加しました。使用後はほぼ全ポリ塩化ビフェニルの保管量をリサイクルしています。今後も、化学物質の適切なリス「ポリ塩化ビフェニル（PCB）廃棄物の適正な処理の推進にク管理を継続していきます。

関する特別措置法」に基づき、PCBの保管や処分の状況を所※PRTR（Pollutant Release and Transfer Register）：人体や生態系に害を与える恐れのある化学物質について、その使用量と環境への排出量、廃棄物に含まれて事業所外に移動した量を把握・集計し、公表する仕組み

轄の都道府県知事に毎年届け出ています。当社グループが保管している PCB を含む廃棄物は、トランス 2 台とコンデン
サー4台で、厳重な管理を行っています。

T O P I C S
クリーンルームからの避難訓練の実施

避難訓練の模様蜷

当社グループでは、製品の開発・評価工程において、特殊な警報が発令後、作ガスや薬液を使用して実際の半導体製造工程を再現し、製品業者はクリーンスーの評価を行っています。クリーンルームという特別な作業環境にツのまま屋 外 へ 避

おいて、特殊な化学物質を用いて評価を行うため、万が一大地難し、その後部署毎

震や火災が発生した場合、早急に避難する必要があります。

に人員点呼を行い、山梨事業所穂坂地区では、実際にクリーンルームからの避本部へ連絡しました。このように実際に避難を行うことで、体難訓練を行い、非常事態に備えています。2006年11月に行っ験した危険感覚や問題点を共有し、普段から非常事態の発生た訓練では、地震が発生したことを想定して行いました。避難に備えています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

事
業
所
に
お
け
る
環
境
へ
の
取
り
組
み

E H S R E P O RT

健康・安全
「健康と安全」は企業の社会的責任の一つであり、円滑な企業活動を行うための重要な課題です。
社員やお客様をはじめ、企業活動にかかわるすべての人々の健康と安全に配慮した取り組みを推進しています。

すべての人々の安全を守るために
東京エレクトロングループは、社員やお客様をはじめ、企

当社グループ全体の労働災害度数率は、 2006 年度は業活動にかかわるすべての人が安全に働き、安全に製品を使

2005年度に比べ低下しました。しかし、生産量が増加し作用し、そして健康であることが企業の社会的責任の一つであ業が増えたことに伴い、応急処置を除く人身事故災害の件数ると考えています。

は増加しています。

EHS REPORT

2006年度は、2005年度に実施した経営層向けの安全研修

当社グループの事故傾向統計では、人間工学的な要因 ※に続き、中間管理職向けの安全研修を開催しました。受講対およびオフィスで発生した事故が全体の約 30％を占めるとの象者は各部の部長、課長、グループリーダーなど管理職従事

結果がでています。人間工学的な要因は、装置の大型化や複者で、事例実習のディスカッションの時間を含んだ内容と雑化に伴い、無理な姿勢での作業や重量物の取り扱いなど、従なっています。

来の装置にはないリスクが発生しています。この対策として、

現場作業リーダー向けのTRM（チーム・リソース・マネジ

30
健
康
・
安
全

人身災害事故の管理メント）も2005年度に引き続き開催しています。この教育では、普段何気なく行っているコミュニケーションやチーム

2006年度に人間工学に関する教育を実施しました。（次ページ参照）※人間工学的な要因：長時間にわたる身体への作用が引き起こす、筋骨格系障害の要因。重労働、反復動作、不自然な姿勢など。

ワークが、実は非常に重要なことだと気付いてもらうことを
労働災害度数率と人身災害事故件数の推移グラフ

目的の一つとしています。また、各地区ではAED（自動体外（事故件数）式除細動器）を設置しており、この取り扱いを含めた救急救

100

国内全産業平均

国内製造業平均東京エレクトロングループ

命講習会も実施しています。
1.82

1.79
48

33

0
蜻 救急救命講習会の模様（度数率）

東京エレクトロングループ、人身事故件数
国内電気機械製造業

人身事故件数目標ライン

1.95

1.77

1.78

1.85

41

37

43

39

1.90

48

1.02

0.97

0.98

0.98

0.34

0.36

0.35

0.99
0.39

1.01
0.40

1.02

0.38
0.38

0.18

0.15

0.24

0.39

0.32

0.18

’00

’01

’02

’03

’04

’05

’06（年度）

0.37

0＊事故件数は2000年度を100とする＊労働災害度数率：100万延労働時間あたりの労働災害件数、休業4日以上の災害発生件数÷延実労働時間×1,000,000

東京エレクトロングループの山梨、府中、赤坂の安全衛生委員会において、産業医としてご指導いただいている高橋先生に、健康・安全活動についてコメントをいただきました。

産業医 医学博士
労働衛生コンサルタント

高橋

英尚氏

東京エレクトロングループでは、現在注目されている「過重労働」「メンタルヘルス」「メタボリックシンドローム」のそれぞれについて、社員が安心して健康で働けるよう、健康管理体制の強化に努めています。そのためには、産業保健スタッフの役割とともに管理者の役割が重要と考えています。
東京エレクトロングループの業務では、半導体製造固有の特TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

殊なガスや薬液が使用され、作業方法にも特異性があります。
これらに対して、会社は従業員の安全の確保と作業環境の整備を行うことが重要です。従業員の仕事時間や負荷の平坦化についても、上長のマネジメント意識を高める必要があることから、上長の意識改革を促す研修を実施し、職場におけるラインケアを充実させるよう配慮しています。
産業医として期待することは、社員一人ひとりが心身の健康の保持増進に対する意識と自覚を持ち、会社全体として安全で快適な職場環境づくりを図ることであり、今後も社員の健康管理を着実にレベルアップさせていきたいと思います。

人間工学的対応の推進【人間工学的対応事例】※【エルゴノミクス 基礎トレーニング】

重量物作業の人間工学的リスク低減

近年、人間工学的な事故は増加傾向にあり、この対策とし製品の大型化に伴い、取り扱う部品類の重量も増加していて2006年度にエルゴノミクス基礎トレーニングをWEB上でます。これら重量物を取り扱う際、持ち上げる高さや取り付実施しました。

け箇所により、作業者の身体への負担も大きく変わります。

この教育では、人間工学を取り巻く環境、人間工学的要因

的事故の防止として様々な対策を行っています。

格系障害）の症状とリスク要因、人間工学的な事故削減のた一例として、エッチングシステムでは、従来約70kgのチャ

めに、などの項目で構成され、理解度確認のテストも行われンバーを4人で持ち上げて交換していました。しかし、人間ます。この教育を通じて、不自然な姿勢や力、重量物、繰り返

工学的事故の発生やチャンバーを誤って落としてしまうこし作業などの要因により事故が発生するということと、これらと、さらには持ち上げている際に他の部品などを踏みつけての障害を防止すしまうことの対策として、専用リフターを設計・製作し、こるために設計者の作業に導入しました。このリフターを用いることにより人や作業者が普段間工学的な視点からのリスク低減だけてなく、作業人員を少から 考 慮 すべ き

なくすることもできました。

ことを学びます。
リフター導入による改善▲
WEBを用いたエルゴノミクス
基礎トレーニング※エルゴノミクス：「人にとっての使いやすさ」という視点。人間工学。

T O P I C S
バーチャルリアリティや3D映像を用いた安全教育
従来から、クリーンルーム内の作業における事故事例の再現写
真や絵を用いた安全教育、危険体験学習などを行っていましたが、今回株式会社ソリッドレイ研究所の協力をいただき、バーチャルリ
アリティ
（VR）
や３D立体映像技術を用いて、クリーンルーム内における事故事例を映像化しました。この映像技術により、安全教育
内でのよりリアルなケーススタディの題材を作成したり、普段クリーンルームに入ることのない従業員への状況説明や危険意識の向上を行うことができます。
今後はさらに事例映像を増やしていくこと、また行動選択形式を利用したロールプレイング感覚での教育コンテンツ作成などを検討▲ 蜷
VRや3Dを用いた教育映像

しています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

EHS REPORTによる事故事例、MSD（Musculoskeletal Disorders,筋骨当社グループでは、これら重量物の取り扱いの際の人間工学

31
健
康
・
安
全

S O C I A L R E P O RT

社員とのかかわり「夢と活力に満ちた会社」を実現するための様々な人事制度を導入しています。

人事制度についての考え方

SOCIAL REPORT

32
社
員
と
の
か
か
わ
り

継承していきたいもの、未来に向けてこうありたいものを

東京エレクトロングループでは、社員の挑戦意欲、自主性「誇り」「チャレンジ」「オーナーシップ」「チームワーク」「自を尊重する企業として「社員がいろいろなことにチャレンジ

覚」という五つのキーワードでまとめたものです。社員は、できる会社」を目指しています。そのために①加点主義②公

このTELバリューを常に意識し、未来へ向けての新たな成長

平な人事③公平な報酬の分配を実現できる環境づくりを進の原動力にしています。

めています。当社グループの人事制度は、組織の活性化と社員一人ひとりの成長を目的とし、単純に成果を重視するもの

また、年に一度TELバリューの浸透度やモチベーションの状態を調査し、社内へフィードバックしています。

ではなく、成果を生み出したプロセスも重視する観点で設計しています。
「プロセスを評価するための力量（コンピテン

働きやすい職場を目指した取り組みシー）」「個別の役割（ミッション）」「役割に基づいた成果（パ当社グループは働きやすい職場環境の整備に取り組んで

フォーマンス）」という三本柱の考え方を通して、「貢献度にいます。その一つとして、2007 年 4 月より育児休暇制度の応じた公平な評価」を目指しています。コンピテンシーは、拡充を行いました。具体的には、育児休業期間の延長 ※、子評価や査定の目的だけではなく、個人の能力向上やそれぞれ

育て応援休暇の新設（小学校卒業までの子を養育するためにの職群に応じて求められる力を育成するものさしとして活年 5日の特別休暇付与）などを行い、仕事と子育てとの両立

用しています。また、より良い制度となるよう継続的に見直支援を推進しています。2006年度は65名が育児休業を取得

しを行っています。

しています。
また、仕事を離れ心身ともにリフレッシュすることを目的
として、年次有給休暇とは別に「リフレッシュ休暇制度」を設

人事制度のコンセプト

会社

けています。勤続10年、15年、25年という節目に、2週間〜

Mission

Performance

Competency

会社の目標／
方向性を明示目標達成に貢献した
パフォーマンスには報酬で報いる

目標達成のために必要なキャリア／スキルUPの機会を提供

Mission: 個別の役割
Competency: プロセスを評価するコンピテンシー
Performance: 役割に基づいた成果

社

1ヶ月の休暇を取得できる仕組みです。
このほか、職場での心の病が社会問題化する近年においては、幹部社員に対するメンタルヘルス教育を実施し、職場における心の病についても、その予防に向け、積極的に取り組んでいます。

員

Competency

Performance

Competency

専門性を身につけ、プロフェッショナリティを提供

目標達成できるようなパフォーマンスを出す

高い報酬を得るためにプロフェッショナリティを磨く※満1歳（事情により1歳6ヶ月）であったのを1歳6ヶ月到達後の4月末（事情によ
り満3歳）
まで延長。

TEL University
TELバリュー

当社グループでは、「TELの宝は社員」という理念のもと、

2006年4月に、当社グループの価値観および行動指針とな

中長期的に人材育成を強化するため、2007 年 8 月に TELとして制定しました（P.2参照）。TEL
るものを「TELバリュー」

Universityを設立しました。TEL Universityは、社員一人ひバリューは、当社グループがこれまで大切にし、これからもとりが世界No.1を目指すための必要な知識・技能を習得す
る場にとどまらず、マネジメント力の強化や次世代リーダー
育成の場、経営層と社員との交流の場、TELバリューの理解を深める場としての役割を担っています。
社員一人ひとりの成長と会社の成長を達成し、「夢と活力に満ちた会社」を実現させていきます。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

S O C I A L R E P O RT

社会とのコミュニケーション
東京エレクトロングループは、ステークホルダーの皆様との対話を大切にし、
コミュニケーションを通して成長していきます。

コミュニケーションについての考え方

地域社会とのコミュニケーション
当社グループでは地域社会との共生を目指しており、TEL
バリューのなかでも「地域社会から高く評価される会社で環境・健康・安全への取り組みを推進するためには、事業活動

あるよう心がけにかかわるすべての皆様とできる限り情報を共有し、そのなかます」と掲げていからフィードバックを得る相互作用が不可欠と考えています。

ます。各事業所でまた、当社グループでは、2000年から環境報告書を発行

は、地元行政からし、ホームページでも環境・健康・安全に関する情報開示にの依頼で、産業人

努めています。今後も様々な方法により、情報開示やステー材育成を目的とクホルダーの皆様とのコミュニケーションを積極的に展開した小・中・高校

していきます。

への講師派遣や、

SOCIAL REPORT

当社グループは、日頃からステークホルダーの皆様との対話を大切にし、
コミュニケーションを積極的に推進しています。

▲工場見学会の模様

地元の学校の体験学習や工場見学の受け入れ、地元地域の行事（お祭りなど）への協賛･寄付、献血活動への協力などを積極的に行っています。
また、製造系の事業所では事業所内での業務を委託している協力企業を対象にした「協力企業EHS連絡協議会」を開催し、当社グループの環境・安全活動についてコミュニケー▲インターネットHP
環境・社会報告書2006

ションを密に取ることにより、相互発展を目指しています。
山梨地区における地域社会とのコミュニケーション事例

EHSタイムズとイントラネットによる情報共有として、夏休み期間に工場見学を兼ねた職場体験学習を実施

隔月で発行している環境・健康・安全の内容に特化したしています。2006年度は、おもに当社グループ社員の子供

社内報「 EHS タイムズ」では、環境・健康・安全に関するグたち 30 名が参加しました。また、地域の中高生を中心としループ内の関連各委員会の審議内容や、グループ各社・事た工場見学も年間を通じて受け入れています。2006年度は業所の取り組みなどをわかりやすく紹介しています。各グ

8 校の工場見学があり、約 350 名の学生が見学をしました。

ループ会社や事業所でも同様の社内報を作成しており、従さらに、2007 年 3 月には、地域住民の皆様をお招きする工業員の意識の向上と情報の共有に役立てています。

場見学会を実施し、子供たちを含む 70名の方々の参加があイントラネットでは、グループ内の情報開示や情報交換をりました。

より迅速にする取り組みを行っています。こうした活動は、実施後のアンケートでは「これまで事業所内を見る機会が株主・投資家の皆様に向けた冊子、アニュアルレポートでもなく、工場での活動、取り組みを知らずにいた。よく理解が紹介しています。

できた。」「機会があれば、また見学に参加したい。」といった感想が寄せられました。このような活動を通じて、
当社グループは地域との共生を図 って い き た いと考えています。

▲インターネットHP
アニュアルレポート2007

工場見学会の模様

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社会とのコミュニケーション

社会貢献に対する考え方

科学や技術に親しみを感じていただけるイベントの開催

東京エレクトロングループは、「社会に対し、常に規律を守り、協力的でありたい」「社会の健全な発展のために協調するや、子供たちに夢を与える活動を積極的に提案し、韮崎市の文化の創造と発展に寄与したいと考えています。

ことが我々の義務である」という考えのもと、行政や地域社会との信頼関係を築きながら、国内はもちろん、海外におい

SOCIAL REPORT

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ても様々な社会貢献活動を進めています。
今後も活動をさらに拡充し、社会とともに歩んでいきます。

宮城事業所でのゴミゼロ（5月30日）活動
当社グループ各社・各地の事業所では、地域貢献として近隣の清掃や草刈りなどを行っています。宮城事業所では、

5 月 30 日のゴミゼロの日に、事業所周辺の道路清掃を社員

東京エレクトロン韮崎文化ホールの命名

25名で行いました。この清掃活動と同時に、道路に設置され東京エレクトロンATは、韮崎市文化ホールの命名権を取得ている反射ポールの清掃も行い、交通安全にも寄与しました。

し、2006年4月1日、当文化ホールの名称が「東京エレクトロ

参加者からは「思ったよりごみの量が多かった。」「車からのン韮崎文化ホール」となりました。地域に根ざした企業を目

ポ イ 捨 て が 非 常 に 多 い こと が わ指す立場から、「文化ホールを地域文化の創造と発展に生かかった。」「ゴミ拾いを通じて地域したい」という韮崎市の趣に少しでも貢献できて良かった。」

旨に賛同するとともに、公などの感想が寄共施設の維持管理に協力すせられました。

ることが地域社会への貢献につながると考えました。
清掃活動の実施模様
蜻 東京エレクトロン
韮崎文化ホール

T O P I C S
東京エレクトロン九州にて水源涵養植樹を実施
東京エレクトロン九州では、昨年に引き続き、2007年3月に阿くなってきています。今回の植蘇の俵山で水源涵養林の植樹を行いました。この植樹活動は

樹活動は水にまつわる環境の5年計画（植樹を3年、手入れを2年）を予定しており、2回目とな改善に貢献し理解する良い機

る今回の植樹にも多くの社員・家族が参加しました。

会となっています。

今回の植樹では、事前に社内公募により決められた「小さな▲植林の実施模様

また、そのほかの当社グ苗木から育てる100年の森づくり」
を標語に行われました。この

ループ事業所内外での緑化の検討も進めており、国際航業

標語が書かれた第2回涵養植樹の記念標柱も建てられました。

株式会社提供の「エコプロファイラー」を用いて緑のたな卸

熊本の水道水は地下水しを実施し、今後のによってまかなわれています。

進め方の参考にして植樹している俵山がある阿蘇います。また、宮城一 帯は熊 本 の 水がめとも

県大和町に新たに言われており、そこに降った水建設する当社グルーが浸透し伏流水となり熊本

プの工場においての生活用水となっています。

は、自然と共存する
形での工場設計を

しかし、これらの水は森の減▲植林の実施模様

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

少、田畑の減少で年々少な▲エコプロファイラーの実施写真行う方針です。

リサイクルボックス▼

Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.の社会貢献【地域Clean Sweep（清掃活動）を支援】【社員もリサイクル活動を推進】

TEL USHDでは、社員一人ひとりが、4R’s（Recycle：リサイ

域の全住民が参加して街をきれいにすることを目的に行われて

クル, Reduce：削減, Reuse：再います。Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.（ 以下 TEL

利用, Rebuy：再購入）を掲げ、環境保全を行っています。電USHD）は、4年以上にわたっ

話帳、電池や携帯電話など各家庭で出た廃棄物も、会社に持て近隣の他社や地域コミュ

参しリサイクルを行っています。2006年度には、これらのリ

ニティと協働し、きれいな街

サイクルにより、樹木 230 本分、石油 5,100 ガロン分（約づくりをサポートしています。

19,305 リットル）、廃棄物処分用の埋め立て地 1,200 立方清掃活動の参加者

メートル相当がセーブされたことになります。

SOCIAL REPORT

Clean Sweepは、年に一度オースチン美化協会が主催し、地35

ステークホルダーからのご意見
環境・社会報告書2006および東京エレクトロングループの事業内容について、熊本県庁 小野上典明様よりご意見をいただきました。

（1）環境・社会報告書の感想「環境・社会報告書2006」を拝読し、御社のCSR（企業の社会的熊本県商工観光労働部
企業立地課 課長

小野上 典明氏

また、「環境・社会報告書2006」に紹介されておりますが、熊本・合志事業所では水使用量削減に熱心に取り組まれ、財団法人肥後の責任）としての環境・安全に関する真剣な取り組みが伝わってきま

水資源愛護基金から「肥後の水資源愛護賞」を受賞されているなど、した。

御社に対しましては、日頃から環境面においても積極的に取り組ま本報告書では、EHS活動とともに、コーポーレート・ガバナンスれているという印象を持っております。

体制の強化やコンプライアンスの遵守に関する取り組みについても触れてあることに好感が持てます。

（4）東京エレクトロンへの要望・期待など

また、全体的にわかりやすい表現を使われていることや的確に注

熊本・合志事業所での水使用量削減のための活動のような、事業

釈をつけられていることなどにより、技術的に詳しくない方々に所ごとの具体的な取り組みや成果について、様々な機会を通じてア

とっても理解しやすい内容になっていると感じました。

ピールしていただくことで、御社の先進的な取り組みが、御社内のみならず様々な企業に広がっていくことを期待しています。

（2）EHS活動に関する感想御社が2006年4月に策定された、グループの価値観および行動規範となる「TELバリュー」のなかでも、「安全と健康および地球環境

熊本の豊かな自然と共生した環境づくりを目指しています。御社のへの配慮を最優先に考えます。」と明言されており、また、会長の東みであり、今後も引き続き継続していただくことを願っております。

本県では、資源の有限性を認識した循環型の社会づくり、また、
積極的な EHS活動は、このような本県の施策とも合致した取り組様、社長の佐藤様のコミットメントからも、御社のEHS活動に関する一貫した理念を読み取ることができます。
報告書の中では数値化による検証がなされており、さらに「製品」ご意見を受けて「物流」「取引先」「事業所」におけるそれぞれの取り組み内容も詳細に記述されていることから、理念に基づく具体的な活動内容およびその検証が充分なされていると感じました。
目標未達成の項目などが、今後どのように改善されていくのかを、
次回以降の報告書で拝見させていただきたいと考えております。

忌憚のないご意見をありがとうございました。東京エレクトロン九州では、「最高の環境から世界最高の製品を」をス
ローガンとしております。
熊本・合志・大津事業所のある熊本県の豊かな自然を守りながら、世界最高の製品をつくりだし、引き続き地域社会に（3）熊本県から見た東京エレクトロンの印象も貢献できるよう活動を進めていきたいと考えております。

熊本県では「熊本セミコンダクタ・フォレスト構想」を策定し、世界のIT産業の拠点化を目指していますが、東京エレクトロン九州株
式会社様には、中核企業として、その実現に向けた最も重要な牽引

東京エレクトロン九州株式会社
代表取締役社長

三浦昭

力の一つとなっていただいており、心より感謝しております。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

ス
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意
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アンケート表

FAX:042-333-8477

環境・社会報告書2007アンケートのお願い
最後までお読みいただき、ありがとうございました。本年度は、東京エレクトロングループの環境・安全・社会面の取り組みについてご理解いただくことに努めました。
今後の取り組みや経営に反映していくために、皆様の忌憚のないご意見、ご感想、お気づきの点などをお書き添えの上、ご返送いただければ幸いです。
なお、
アンケートをご返送いただいた方に抽選で粗品を差し上げます。
2007年8月
東京エレクトロン（株）環境安全推進センター

Q1.環境・社会報告書2007はいかがでしたか？
（わかりやすさ） □大変わかりやすい（情報量） □大変充実している□わかりやすい□充実している□普通□普通□ややわかりにくい□やや物足りない□わかりにくい□物足りない□あまり評価できない□評価できない

Q2.当社グループの環境・安全・社会活動をどう評価されましたか？
□かなり評価できる□評価できる□普通Q3.印象に残った記事はどれですか？（いくつでも可）□TELバリュー、編集方針、対象範囲、環境･安全活動のあゆみ□会社概要□トップコミットメント

Highlight □TELの製品とTELのビジネス□ステークホルダーとの座談会「Green FabManagement Report □コーポレート・ガバナンス
EHS Report □EHSマネジメント□製品における環境への取り組み□取引先における環境への取り組み
Social Report □社員とのかかわり

良い半導体工場とは」□コンプライアンス□EHS活動の目標と実績□環境負荷の全体像／環境会計□物流における環境への取り組み□事業所における環境への取り組み□健康・安全
□社会とのコミュニケーション□ステークホルダーからのご意見

Q4. ご意見、ご感想、ご要望、ご提案などをお書きください。

Q5. この報告書はどのような立場でお読みになられましたか？
□お客様□環境NGO／NPO
□行政機関

□お取引先
□株主・投資家□研究・教育機関□学生□東京エレクトロンの事業所近隣にお住まいの方□企業・団体の環境ご担当
□報道機関
□その他（

）

おさしつかえのない範囲でご記入ください。
お名前

性別

□男性

ご住所 〒

ご職業（勤務先・学校名など）

□女性

年齢

電話

E-mailアドレス

お寄せいただいたご意見・ご感想を次回の報告書に掲載させていただく場合がございます。個人情報保護に関しましては、
漏えいや滅失などがないよう適切な管理を行い、年齢・性別・職業による分析などに利用させていただきます。なお、ご送付いた
だきました個人情報の修正や変更・削除を希望される場合は東京エレクトロン（株）環境安全推進センターまでご連絡くださいますようお願いいたします。

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アンケート裏「環境・社会報告書2006」アンケート集計結果
弊社「環境・社会報告書2006」について、たくさんのご意見をいただきました。
アンケート結果をご紹介させていただきます。

① わかりやすさ はいかがでしたか？

やや物足りない
13%

ややわかりにくい
11%

普通
21%

② 情報量 はいかがでしたか？

③当社グループの環境・安全・社会活動を、どう評価されましたか？

大変
充実している17%

あまり評価できない 0%

大変
わかりやすい21%

普通 18%

かなり
評価できる
29%

普通
29%
わかりやすい47%④印象に残った記事

ベスト5

1

製品における環境への取り組み

2

ステークホルダーとの座談会「半導体製造装置の環境負荷低減」

3

事業所における環境への取り組み

4

編集方針、
対象範囲、
環境・安全活動のあゆみ

5

取引先における環境への取り組み

充実している
41%

評価できる
53%

⑤この報告書をどのような立場でお読みになられましたか？
お客様 7%
お取引先 4%

その他・未記入43%

学生 4%

株主・投資家 21%

企業・団体の環境ご担当
14%
環境NGO／NPO 7%⑥主なご意見・ご感想●

半導体製造装置の環境負荷低減 について。装置の省エネだけをとっても、既設装置の処理や歩留まりへの影響などデリケー
トな課題があるようで、真に効果的な開発というのは難しいものだと感じた。

● 環境・省エネは歩留まりに直接影響する可能性があるので手をつけるのが難しいと書いてあるが、取り組んでほしい。水・酸、他の製造に必要なエネルギー等を空気に変えられないか調べてほしい。
● トップコミッ
トメントの中で、半導体製品による省エネ改革を進めていることがよくわかった。半導体技術の追求で地球温暖化防止に貢献してほしいと思う。
● 環境負荷の低減・改善や顧客提案型の技術の開発、営業の推進等、
常に問題意識を持ち、その解決に全社を挙げ真摯に取り組む

経営姿勢に共感を覚えた。誠実かつ積極的な情報開示姿勢は評価できる。
● 会社内だけでなく関連企業への働きかけも行っているようだが、これからも環境意識の徹底を継続してほしい。

● 環境負荷低減というテーマに真っ向から取り組む姿勢に共感した。
社会報告のボリュームの更なる充実を期待する。半導体というものに関するわかりやすい説明がほしい。例えば、
FPDという略語も一般的には知られていない。

今後も、いただいたご意見をもとに、
環境保全活動に努めてまいります。
ご回答いただいた皆様、
ありがとうございました。