仕様オプション

水分測定範囲12 ppbv ～ 20 ppmv （露点：-100 ～ -５５ ℃） （in N2）

種別

オーダーコード

応答時間50 ppbv ⇔ 1000 ppbv 約60秒 (90%応答)

19 inch ラックマウント

CRDS-001

システム精度±4% または ±12 ppbvの大きい方

加圧ガスライン計測セット 1 ※1

CRDS-002

サンプルガス温度

5～60 ℃

加圧ガスライン計測セット 2 ※2

CRDS-003

サンプル流量<2.0 L / min

金属焼結フィルタ 15 μm

CRDS-004

サンプル圧力86～106 kPaA （オプションにて～900 kPaAまで対応）

アナログ電流出力 （4～20 mA）

CRDS-005

サンプルガス種別

Air, N2, O2, Ar （ソフトウェアより設定可能、その他ガスは要相談）

リレー接点出力

CRDS-006

測定値

体積モル分率 [ppmv], 計測部ガス温度 [℃], 計測部ガス圧力 [PaA]

キャリーケース

CRDS-007

演算値

露点 / 霜点温度 [℃]

ポンプユニット

CRDS-008

デジタル出力RS-232C

アナログ出力4～20 mA （オプション）

アラーム出力リレー接点出力 （オプション）

接続継手

サンプルガス IN-OUT：1/4 inch （フジキン製：UJR-RP）

供給電源

付属ACアダプタ （100-240 V, 50 / 60 Hz, 1.4 Amax）

重量

センサ部：約5 kg （ACアダプタを除く）, モニタ部：約1.7 kg

寸法

センサ部：W150×D300×H165 mm, モニタ部：W150×D75.4×H200 mm※1 サンプルガス圧力 50～900 kPaGに対応
圧力レギュレーター、オリフィス付属

オーダーコード
種別仕様

オーダーコード

センサ部

パージポート無し

mini CRDS–H2OBN0D00

パージポート有り

mini CRDS–H2OBN0D02

モニタ部

mini CRDS PC–D0V1※2 サンプルガス圧力 50～550 kPaGに対応
オリフィス付属寸法図
本製品は、国立研究開発法人産業技術総合研究所との共同研究の成果を活用しています。

センサ部

CRDS微量水分計

DewTracer mini CRDS-H2O
高精度
高感度モニタ部

高速応答○微量水分領域 （12 ppb ～ 20 ppm, -100 ～ -55℃）の正確な測定を実現○ドライガス置換時の急激な水分量変化にも追随可能な高速応答性○接ガス部は腐食に強く、高い長期安定性を実現○センサ部とモニタ部は分離可能（ＰＣ利用可）[単位： mm]○新たなスペクトル解析技術により装置の小型化を実現○見やすいタッチパネルで簡単操作[製造元]○筐体内の不活性ガスパージが可能○校正証明書類の発行が可能
計測・試験機器事業部 営業部〒650-0047 神戸市中央区港島南町6丁目5番2
TEL: 078-304-6795 FAX: 078-302-1225

URL：https://www.shinyei.co.jp/stc/
本カタログ記載の仕様・内容は改良のため予告なしに変更する場合があります。
Ver. 1.2： 2024/09/11

https://www.shinyei.co.jp/stc/

特 長測定原理・性能②CRDS（Cavity Ring-Down Spectroscopy）方式は現在用いられている微量⑤

水分の測定原理の中でも正確に、かつ高速で測定する方式です。
測定ガスを満たしたキャビティの両端に高反射率ミラーを設置しレーザー光を導入します。レーザー光には気体中の水分子の吸収波長を使用しているため、キャビティ内の水分率に応じて吸収量が変化します。キャビティ内に導入された光の量は高反射率ミラーの反射率と水分率に依存して減衰します。高反射率ミラーから漏れ出した光を受光し、減衰の時間を時定数（リングダウンタイム）として吸収スペクトルを得て、フィッティングを行うことで水分量を測定します。

微量水分領域での高精度・高感度・高速応答測定を実現④

mini CRDS-H2Oは12 ppbv ～ 20 ppmv（-100 ～ -55 ℃DP）の微量水分を非常に精度良く測定可能です。また、測定部（キャビティ）の小型③化を実現したため、ドライガス置換時の応答性も非常に高く、１５ ppbv⇔1000 ppbvの水分量変化に対して、60秒以内で応答します（90%応答）。

①

モニタ部画面 （測定値とグラフの画面を切り替え可能）

高精度

測定部 （キャビティ）※以下の測定結果は国立研究開発法人産業技術総合研究所の一次標準との比較データ（代表値）です。

壁面取り付けイメージ①接ガス部は腐食に強く、高い長期安定性を実現

高感度

CRDS方式は構造上、センサであるレーザーやディテクターとガスが非接触であり、接ガス部にはSUSを中心とした耐薬品素材を採用しているため、腐食性ガスにも対応可能です。また、従来の測定方法（鏡面冷却式・静電容量式など）とは異なり、『絶対測定法』であるCRDS方式は光の減衰時間から水分量が直接算出可能なため、レーザーパワーの減少などの経年劣化に依存せず正確な測定が可能で、高い長期安定性を有しています。

②センサ部とモニタ部は分離可能（ＰＣ利用可）
センサ部とモニタ部はケーブルで接続されており、分離が可能です。ケーブルを延長することによってセンサ部は測定現場へ設置し、モニタ部は制御室に設置することも可能です。また、モニタ部の代わりにＰＣを使用することも出来るため、現場に合った配置や構成を選択できます。

③新たなスペクトル解析技術により装置の小型化を実現
独自のスペクトル解析技術を用いることにより、測定部（キャビティ）の小型化に成功し、筐体自体も非常に小型となったため、今まで不可能であった装置組込や壁面取り付けなど様々な場所で利用可能です。また、持ち運びも容易なため、スポットの測定にも対応可能です。

④見やすいタッチパネルで簡単操作
モニタ部には5 inchのフルカラータッチパネルが搭載されており、測定の開始・停止や設定を行うことができます。測定画面では大きな測定値とトレン

アプリケーション●

半導体の研究・開発・製造工程●

半導体用高純度ガスの研究・開発・製造工程●

医療用高純度ガスの研究・開発・製造工程⑤筐体内の不活性ガスパージが可能●

医薬品の研究・開発・製造工程

サンプルガス用ポートとは別に、センサ部の筐体内部をパージするためのポートが設けられています。サンプルガスが可燃性や●リチウムイオン電池（LiB）の研究・開発・製造工程

有毒性を有する危険なガスの場合には、窒素などの不活性ガスを筐体内に流しておくことで、配管からサンプルガスが漏れ出●全固体電池の研究・開発・製造工程

した場合でも筐体外に漏れることを防ぎます。

●

電気二重層キャパシタ（EDLC）の研究・開発・製造工程⑥校正証明書類の発行が可能●

有機ELの研究・開発・製造工程●

フラットパネルディスプレイの研究・開発・製造工程●

精密電子部品の防錆・結露防止●

粉体製造工程の湿度管理

ドグラフが表示され、大きなグラフと切り替えることが可能です。また、誤動作を防止するための画面ロック機能や、機器の状態を確認する機能、設定した閾値の判定を行うアラーム機能を搭載しています。モニタ部の代わりにPCを使用する場合は、専用ソフトウェアにて同機能を使用可能です。

日本の国家計量標準を供給している国立研究開発法人産業技術総合研究所では、微量水分領域の標準を最小10 ppbから供給しています。当社のmini CRDS校正に使用している社内標準器は国家標準との計測トレーサビリティが確立されており、比較校正結果は校正書類として発行可能です。

高速応答