■ NICF̲J̲P1-2

ニコンのフッ化カルシウム単結晶

NICF シリーズ

NICF シリーズの優れた特徴

NICF-V, A, U の特性

レーザ耐久性
超高純度原材料の選定と管理、結晶育成プロセスの最適化によりフッ化カルシウム中の不純物濃度を極限までに低減し、さらに高い結晶性を有することで、優れたレーザ耐久性を実現しました。

大口径化

nd1.43384

νd95.26

ne1.43492

νe94.72

光学的性質
波長[µm]

ニコンは、大型で高品質なフッ化カルシウム単結晶のリーディング･サプライヤーです。絶え間ない工程改善と結晶育成条件の最適化により、格子欠陥および構造欠陥を最小限に抑えた大口径フッ化カルシウム単結晶の育成を実現しました。

屈折率均質性
独自の結晶育成技術と熱処理技術により、卓越した屈折率均質性を達成しています。

グレード
グレード

内部透過率[%]
試料厚さ：10mm

レーザ耐久性NICF-V≧99.5（at 157 nm）

A

NICF-A≧99.8（at 193 nm）

BNICF-U≧99.8（at 248 nm）

C

NICF-S

ーー

歪

推奨波長域

2 - 20 nm/cm

F2ArF
193 nmKrF
248 nmi線

g線

365 nm

436 nm

内部透過率［%］内部透過率［%］NICF-VNICF-A
NICF-U20

試料厚さ:10 mm

NICF

200

250

波長［nm］NICF-VNICF-A
NICF-UNICF-S<1< 1.5<2

分子量

78.08

-

1.0603

1.42850t

1.01398

1.42879

ΔP C,t-0.1940

表面法耐酸性-0.0918

AR(S)0.852111.43002r0.70652

1.43166

ΔP F,e0.0183

粉末法耐酸性0.0553

AR(P)0.2642耐洗剤性D

0.589291.4338040

d0.58756

1.43384

e0.54608

1.43492

F

0.486131.43700

F'0.47999

1.43726

g0.43584

1.43946h0.40466

1.44148i-

6000

試料厚さ :10 mm<40.33415

1.44488
1.448480.31270

1.45170-0.29673

1.45463-0.2804

1.45823

KrF

0.2484

1.46786-

0.194161.50059

ArF

0.19341.50133-

0.184891.51052<5< 10< 40

部分分散比0.2697

8000

10000 12000

波長［nm］

指定なし

P15.81797965E-01

P23.73232342E-01

P38.36771960E-02

P42.36293749E+00

Q12.47744200E-03

Q21.03202600E-02

Q31.03234730E-02

Q47.38225998E+02

1
3[Class][Class] ＊5

PR(S)

Ps,t

[Class] ＊6

水に対する溶解度 (20 ℃)[g/l] ＊1

1
10.016PC,s0.5332

Pd,C0.3046

Pe,d0.2388

熱的性質

Pg,F0.5389

線熱膨張係数

Pi,h0.7465( - 30 ~ +70℃)[10-6 /℃]

P's,t0.2675(0 ~ +25℃)[10-6 /℃]

( +20 ~ +300℃)[10 /℃]

20.8[W/m・K] λ9.701 εr

誘電率 (27 ℃)

＊α

6.81

18.418.4P'C',s0.5769

P'd,C'0.2540

熱伝導率(20℃)P'e,d0.2368

融点-1360

0.4783

比熱容量[J/g・K] c0.893

0.7404

熱拡散率[10 m /sec ] κ35.60[GPa]

146<100>

P'g,F'P'i,h

絶対屈折率の温度係数の関係式の定数 Absolute Δn/ΔT ＊8

D0- 3.16E- 05

E04.32E- 07

D1- 2.05E- 08

E12.04E- 10

D29.02E- 13

λ /µm

1.15E- 01

絶対屈折率の温度係数

分散式の定数 ＊7

at 633 nm<30.36502-NICF-V,-A,-U,-S

4000[Class] ＊4s1.43288

赤外領域

CR(S)

ΔP C,s

測定条件：
温度：22.5 ℃
湿度：50 %
気圧：1013.25 hPa

2000

異常分散性

0.63280600300耐候性He-Ne

屈折率均質性の対応可能範囲

均質性［ppm］< 0.50.004592

KrF（248 nm）

0150

F'- C'

1.42613

2001001.42401

1.52958

ΔP i,g80401.97002-1.43267−真空紫外-可視-赤外領域 −60-0.64385

10080(111)

C'

光透過特性
−真空紫外 - 紫外領域 −劈開面ArF（193 nm）

NICF-VNICF-A
NICF-UNICF-S

1000.004554

真空紫外領域、ArF（193 nm）

透過率領域

157 nm

F-C1.43245

可視領域

立方晶、蛍石型結晶1.422110.65627紫外領域

結晶構造2.32542

C※ 面方位や各種特性の指定が可能です。
※ φ30〜φ260mm、t5〜t35mm以外の寸法に関しては、各種特性は個別相談とさせていただきます。
※ レーザ耐久性の表記は、当社グレード間で比較した際の目安であり、Vグレードが最も耐性があります。

NICF

部分分散

屈折率

-ΔP g,F

ご要望に応じますー

化学的・電気的性質℃

Absolute Δn/ΔT [10-6/℃]1060.0 nm 546.23 nm 365.12 nm- 40 ~ - 20-10.6-10.3-9.8+20 ~ +40-11.5-11.2-10.6+60 ~ +80-12.1-11.8-11.2-6[℃]-72

機械的性質
ヤング率

E101<110>
91<111>

ポアソン比

μ0.21

ヌープ硬さ

[kgf/mm ] 2 HK

1643 A301

2 ＊

摩耗度

＊

剛性率[GPa]

G34.6圧縮弾性率[GPa]

-83.8

モース硬度

＊1-4-1.77

光弾性応力定数(q11-q12) @193nm
比重[10-12/Pa]

3.18※各特性は代表値として記載しています。

■ NICF̲J̲P1-2

ニコンのフッ化カルシウム単結晶

NICF シリーズ

NICF シリーズの優れた特徴

NICF-V, A, U の特性

レーザ耐久性
超高純度原材料の選定と管理、結晶育成プロセスの最適化によりフッ化カルシウム中の不純物濃度を極限までに低減し、さらに高い結晶性を有することで、優れたレーザ耐久性を実現しました。

大口径化

nd1.43384

νd95.26

ne1.43492

νe94.72

光学的性質
波長[µm]

ニコンは、大型で高品質なフッ化カルシウム単結晶のリーディング･サプライヤーです。絶え間ない工程改善と結晶育成条件の最適化により、格子欠陥および構造欠陥を最小限に抑えた大口径フッ化カルシウム単結晶の育成を実現しました。

屈折率均質性
独自の結晶育成技術と熱処理技術により、卓越した屈折率均質性を達成しています。

グレード
グレード

内部透過率[%]
試料厚さ：10mm

レーザ耐久性NICF-V≧99.5（at 157 nm）

A

NICF-A≧99.8（at 193 nm）

B

NICF-U≧99.8（at 248 nm）

C

NICF-Sーー

歪

推奨波長域

2 - 20 nm/cm

F2157 nm

KrF
248 nm

内部透過率［%］NICF-VNICF-A
NICF-UNICF-S

-1.0603

1.42850

t1.01398

1.42879

ΔP C,t-0.1940

表面法耐酸性-0.0918

AR(S)0.852111.43002r0.70652

1.43166

ΔP F,e0.0183

粉末法耐酸性0.0553

AR(P)0.2642

耐洗剤性0.58929

1.43380

d0.58756

1.43384e0.54608

1.43492

F

0.486131.43700

F'0.47999

1.43726

g0.43584

1.43946

365 nm

436 nmh0.40466

1.44148250

波長 ［nm］<5< 10-0.365020.33415

1.44488
1.44848-0.31270

1.45170-0.29673

1.45463-0.2804

1.45823

KrF

0.2484

1.46786-

0.194161.50059

ArF

0.19341.50133-

0.184891.51052

部分分散比0.2697

< 40

指定なし

P1

5.81797965E-01

P23.73232342E-01

P38.36771960E-02

P42.36293749E+00

Q12.47744200E-03

Q21.03202600E-02

Q31.03234730E-02

Q47.38225998E+02

13[Class][Class] ＊5

PR(S)

Ps,t

[Class] ＊6

水に対する溶解度 (20 ℃)[g/l] ＊1

1
10.016PC,s0.5332

Pd,C0.3046

Pe,d0.2388

熱的性質

Pg,F0.5389

線熱膨張係数

Pi,h0.7465( - 30 ~ +70℃)[10-6 /℃]

P's,t0.2675(0 ~ +25℃)[10-6 /℃]

( +20 ~ +300℃)[10 /℃]

20.8[W/m・K] λ9.701 εr

誘電率 (27 ℃)＊α6.81

18.4
18.4

P'C',s0.5769

P'd,C'0.2540

熱伝導率(20℃)P'e,d0.2368

融点-13600.4783

比熱容量[J/g・K] c

0.8930.7404

熱拡散率[10 m /sec ] κ35.60[GPa]

146<100>

P'g,F'P'i,h

絶対屈折率の温度係数の関係式の定数 Absolute Δn/ΔT ＊8

D0- 3.16E- 05

E04.32E- 07

D1- 2.05E- 08

E12.04E- 10

D29.02E- 13

λ /µm

1.15E- 01

絶対屈折率の温度係数

分散式の定数 ＊7

at 633 nm
<4i

測定条件：
温度：22.5 ℃
湿度：50 %
気圧：1013.25 hPa

300[Class] ＊4s

D

赤外領域

CR(S)

ΔP C,sg線200

異常分散性KrF（248 nm）

NICF-VNICF-A
NICF-U<378.08

耐候性1.4328840<2分子量0.63280

60< 1.50.004592

He-Ne

屈折率均質性の対応可能範囲<1F'- C'1.42613

ΔP i,g0

均質性［ppm］< 0.51.42401

1.52958

i線

20

NICF

1.97002-1.4326780

試料厚さ :10 mm-

0.64385

100150(111)C'−真空紫外 - 紫外領域−100

劈開面ArF（193 nm）

NICF-VNICF-A
NICF-UNICF-S

光透過特性0.004554

真空紫外領域、ArF（193 nm）

透過率領域
ArF
193 nmF-C

1.43245

可視領域

立方晶、蛍石型結晶1.422110.65627紫外領域

結晶構造2.32542

C※ 面方位や各種特性の指定が可能です。
※ φ30〜φ260mm、t5〜t35mm以外の寸法に関しては、各種特性は個別相談とさせて戴きます。
※ レーザ耐久性の表記は、当社グレード間で比較した際の目安であり、Vグレードが最も耐性があります。

NICF

部分分散

屈折率

-ΔP g,F

ご要望に応じますー

化学的・電気的性質℃

Absolute Δn/ΔT [10-6/℃]1060.0 nm 546.23 nm 365.12 nm- 40 ~ - 20-10.6-10.3-9.8+20 ~ +40-11.5-11.2-10.6+60 ~ +80-12.1-11.8-11.2-6[℃]
-72

機械的性質
ヤング率

E

101<110>
91<111>ポアソン比μ0.21

ヌープ硬さ[kgf/mm ] 2 HK

164

3 A

301

2 ＊

摩耗度

＊剛性率[GPa]

G34.6

圧縮弾性率

[GPa]

-83.8

モース硬度

＊1-4-1.77

光弾性応力定数(q11-q12) @193nm
比重[10-12/Pa]

3.18※各特性は代表値として記載しています。

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