静電気学会誌，41, 6（2017）280-281

賛助会員紹介トレック・ジャパン株式会社
1．はじめにして広範囲で使用されている．Trek は，日本で表面電位米国の Trek 製品が日本に初めて輸入されたのは 1976 年

計の販売開始直後より，多くの電子写真の研究者から高頃と思われる．当時は現在の顧客のうちの一社が，同社の空間分解能表面電位測定を常に要求されている．このニ国際購買部経由で Trek から製品を直接輸入していた．

ーズにこたえるべく，日本大学理工学部電子工学科中緑屋電気株式会社は Trek の日本総代理店権を 1977 年

川・芦澤研究室とトレック・ジャパン株式会社は高空間に獲得した．それ以降 Trek 製品は，日本の顧客から絶大分解能表面電位測定装置の開発を進め，2013 年に最初な支援により順調に販売を拡大した．の装置を完成させ，以来多くの方々にデモンストレーシ

緑屋電気と Trek の合弁会社であるトレック・ジャパン株式会社は 1987 年に誕生した．

ョンを通じ，装置の紹介をした．2014 年には静電気学会より進歩賞を受賞した．空間分解能は 10 μm を実現し，

Trek は 1968 年 に New York 州 Buffalo 郊 外 の Lockport

また数 cm 角程度の広い測定範囲を持ち，+/-1 kV とい市で，創業者の Bruce Williams 氏の自宅ガレージに創立った高電圧の測定も可能である．カンチレバーの下部にされた．1960 年代は，Lockport 市から東にほぼ直線距離静電シールドを配置し，高分解能で，高精度，しかも高で約 100km の位置にある Rochester 市には電子写真の世電圧を測定できる理想的な静電気力顕微鏡（ Electrostatic

界的規模の会社である Xerox Corporation や，写真用フイ

Force Microscope: EFM ）が完成した．

ルムのこれまた世界規模企業である Eastman Kodak の主図 1 に EFM の全体図を示す．

たる研究機関や製造拠点があり，Trek はこれらの顧客のニーズに合致した表面電位計を製造販売していた．
日本は電子写真装置メーカーがひしめく市場で，Trekにとって日本は重要な市場であり，Trek は日本でも順調に販売を拡張した．
Trek は表面電位計だけでなく，非常に特殊な交流直流両方の機能を備えた高電圧アンプを電子写真用に開発し，販売していたが，1990 年代になって，Trek の高電圧アンプが半導体製造装置に非常に有効な装置であることが日本で実証され，現在では世界中で Trek の高圧アンプは半導体製造装置に組み込まれる最重要装置の一つとして広く使用されている．近年では，静電気でウエハを吸着する静電チャック用の高圧アンプにも Trek の技術が採用され高い評価を得ている．
ここでは，Trek の新製品をいくつか紹介していきたい．

2．静電気測定器
すでに記載した通り，Trek の表面電位計は世界中の電子写真装置メーカーで，研究開発用，さらには製造用と

図 1 静電気力顕微鏡全体図

既に述べた通り，本 EFM ではカンチレバーの下部に静電シールドを配置した．

〒101-0044 東京都千代田区鍛冶町 1-8-5 新神田ビル 4階
Tel：03-3526-2985 Fax：03-3526-2986
Email：uehara@trekj.com
URL http://www.trekj.com/

測定表面から発生する電気力線はディテクターの先端だけでなく，カンチレバー部にも終端することは十分予測できる．数値解析を行い，カンチレバー部に終端する電気力線により測定誤差が生じることを確認した．カン

賛助会員紹介281（39）

図 3 Model 645 静電チャック用高圧アンプ

電チャックで吸着されているという情報を得ることができる．
図 2 EFM に用いるカンチレバーとディテクターの構造

Model 645 の代表的な仕様は，出力電圧 0 to +/-1 kV，
出力電流 0 to +/-6.5 mA DC +/-10 mA peak AC，ウエハ静チレバー下部に静電シールを取り付けることにより，測電容量モニタを標準装備している．

定面から発生する電気力線を検出端子であるディテクタ

静電チャックは，半導体製造工程において非常に重要ーのみに終端させることにより，測定の精度を上げていな技術である．Trek は，先に述べた理想的な静電チャッる．図 2 に本 EFM のカンチレバー及びディテクターの構クの実現のために今後もより良い製品を開発する努力を造を示す．

進めている．

3．静電チャック用高圧アンプ

4．おわりに静電チャックは，半導体ウエハを保持する技術である．

Trek は静電気計測用表面電位計の開発，製造会社としウエハの保持には，機械的な保持，あるいは真空方式でて産声を上げた．会社創立時の立地は当時の社会情勢との保持があるが，真空装置の中では，ウエハを真空方式合致したものだった．創立後 40 年以上にわたる長い社で保持できない．一方機械的な方式でウエハを保持する歴の中で，社会情勢は大きく変化した．Trek は社会情勢と，ウエハ上面の保持部位により，ウエハの一部が使用に合わせ柔軟に製品開発を進めてきた．

できない状況となるため，真空中でのウエハの保持には静電チャックが有効であり，広く使用されている．

Trek は静電気計測用装置の専門メーカーであり，静電気計測に寄せる思いは非常に強い．ここで紹介した

理想的な静電チャックは，（1）高速なウエハチャッキ

EFM は高空間分解能静電気測定装置であるが，他社のング，（2）高速なウエハリリーシング，さらには（3）製品で原子間力顕微鏡（ AFM ）等の応用で，本 EFM よ

ウエハ上の電荷残留を最小限にすること，以上三要素がりもさらに高い空間分解能で静電気を測定する装置も存求められるが，これを実現するためのハードルは極めて在するが，10 μm の空間分解能で，+/-1 kV の高電圧を，高い．

高精度で正確に測定する静電気計測装置は他には存在し理想的な静電チャックの実現には，静電チャックに最ない．

適なセラミックの開発と，また理想的な静電チャックを静電チャックは半導体製造工程における比較的新しい実現させる静電チャック専用高圧アンプが不可欠である．

技術であり，また多くの問題も指摘されている．半導体

Trek は，静電チャックに用いられるセラミックの特性製造のプロセスルールはますます微小化され，静電気のに合わせて，理想的な静電チャックを構築するための静問題は非常に大きな問題である．

電チャックオプティマイザ Model 640 と，Model 640 で現在 ESD（ ElectroStatic Discharge ）対策は，半導体製得られた静電チャック用に最適な電圧波形を取り込み，造後工程や製品となった半導体に対するものが主流であ実際の半導体製造装置に組み込んで使用する Model 645

るが，今後は半導体製造前工程でも大きな問題になるこを製造販売している．図 3 に Model 645 を示す．とは十分に考えられる．

Model 645 は様々なチャッキング波形や，デチャッキ

静電チャックは静電気を応用したとても興味深い技術

ング波形を発生するだけでなく，静電チャックやウエハであるが，場合によっては，ウエハに残留電荷を残す等の静電容量を測定する機能がある．この機能により，静の悪影響を及ぼしかねない．このような最先端技術の進電チャック用セラミック上にウエハが存在している，ま歩に Trek の技術が貢献することを期待する．

たは存在していないという情報と，さらにはウエハが静（代表取締役 上原 利夫）