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JFCC所長に就任して・・・・・・・・・・・・・・・・

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事

業報

告「理事会」「評議員会」の開催

他・・・・・・・・・・

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研

究成果

次世代パワーデバイス用 SiCの欠陥検出法の開発・・・・

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研 究 所 ニ ュ ー ス

電波吸収装置（ネットワークアナライザ）

他・・・・・

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特介

2011年度特許登録実績・・・・・・・・・・・・・・・

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J F C C の 動 き

人の動き・表彰・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

7事

ファインセラミックスシンポジウム２０１２開催のご案内

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許業

紹案

内JFCC所長に就任して材料技術研究所長 ・ ナノ構造研究所長
専務理事 高田 雅介

今年の4月にJFCC所長に就任いたしました。微力ながら全力を尽くしたいと思いますので、宜しくお願いいたします。
さて、私がJFCCを初めて訪れたのは20年以上前のことで、そのときは、まだ基礎工事の段階でした。深く穴が掘られ、それが透過型電子顕微鏡を設置する部屋になるのだということを聞いたときは本当に驚きました。すぐ近くに電車が通っていて、その振動は電子顕微鏡には大きな敵であると思ったからです。しかし、だからこそ基礎工事をしっかり行うのだというお話をお伺いして感心した覚えがあります。今ではJFCCは世界最高レベルの電子顕微鏡センターのひとつに成長しました。現在、透過型電子顕微鏡が10台設置され、それぞれの特徴を活かした世界的な研究業績を生み出しています。
JFCCは平成23年度から中長期5カ年計画をスタートしました。主な柱として、①先端技術育成研究によるシーズの拡張、②競争力の高い研究分野や応用研究領域の強化など、研究開発力のさらなる向上、③材料技術研究所とナノ構造研究所によるシナジー効果の実現、④民間ニーズマッチングの強化、⑤時代や社会の要請の応じた研究開発体制・成果の向上、の5点を掲げています。
具体的には、両研究所の連携強化、融合研究の推進をはかり、世界最高水準の電子顕微鏡観察技術、計算科学の高度化およびプロセス技術との連携による材料開発を行い、『未来開拓研究による、環境、省エネ、安全への挑戦』をすることです。

105NO.

2012 年 8 月発行

JFCCは平成24年2月1日に新法人の移行登記を完了し、一般財団法人（非営利型）となりました。財団を取り巻く社会・経営環境は、欧州の金融不安や円高再燃の懸念、政府予算における社会保障や震災復興に起因する財政逼迫等により、依然として厳しい状況です。本年度は、新法人としての実質的な初年度となります。財団の安定的な運営と産業振興を目指して、研究・試験評価機関としての地位向上と、時代ニーズに柔軟に対応できる研究所体制を整え、公益事業である政府プロジェクトの着実な獲得と、収益事業である企業受託の獲得拡大に向けた活動を強化し、中長期経営計画の達成に引き続き努力していきたいと思います。
今後とも、当財団は、日本の産業発展に貢献していくため、全力を挙げて取り組んでいく所存でありますので、みなさまには、従来にも増して一層のご指導、ご鞭撻を賜ります
よう、よろしくお願い申し上げます。

ISSN 0912-6376

1

事業報告

Japan Fine Ceramics Center「理事会」「評議員会」の開催

第2回理事会、第2回評議員会を以下のとおり開催しました。
新法人の事業報告・決算、公益目的支出計画実施報告、役員の交代等の議案について承認されました。

○第２回理事会
日場
議時 平成２４年５月２３日（水）１５：３０〜１６：３０
所 ＪＦＣＣ会議室
事［議決事項］
１．新法人の平成２３年度事業報告及び決算の承認について
２．公益目的支出計画実施報告書の承認について
３．業務執行理事の選任及び職務について
４．第２回評議員会の開催について［研究紹介］「［知の拠点］重点研究プロジェクトにおける 高温過熱水蒸気「ＪＦＣＣにおける環境顕微鏡の取り組み」

利用技術」○第２回評議員会
日場
議

時 平成２４年６月１２日（火）１６：００〜１７：００
所 ＪＦＣＣ会議室
事［議決事項］
１．新法人の平成２３年度決算の承認について
２．評議員の選任について
３．顧問の委嘱について
４．理事候補者選考委員会の設置について［報告事項］
１．新法人の平成２３年度事業報告について
２．公益目的支出計画実施報告について［研究紹介］「［知の拠点］重点研究プロジェクトにおける 高温過熱水蒸気「ＪＦＣＣにおける環境顕微鏡の取り組み」

2利用技術」

事業報告

Japan Fine Ceramics Center2012年度研究成果発表会の開催
7月6日（金）愛知県産業労働センター（ウインクあいち）、7月12日（木）東京大学 武田ホール（武田先端知ビル）にて2012年度ＪＦＣＣ研究成果発表会を開催しました。
特別講演1件、研究成果ショートプレゼンテーション20件、ポスターセッション37件を行いました。
来場者は名古屋会場では379名、東京会場でも205名と、両会場とも過去最高を記録し、多数のご来場をいただきました。これはJFCCの研究活動に対する関心の高さが現れているものと考えております。
当日いただいたアンケートも概ね良好な結果であり、熱気あふれる活発な意見交換が行われ、成功裏に発表会を終了できました。来年も皆様方のご意見を反映した発表会を企画致します。

『The 3rd International Symposium on Advanced Microscopy
and Theoretical Calculations（AMTC3）』開催結果の報告
世界からトップレベルの科学者、技術者を招き、ナノ構造解析、最先端の材料設計に用いられる、電子顕微鏡・理論計算についてその最新技術と成果を深く議論する『第3回最先端の顕微鏡と理論計算に関する国際シンポジウム（ＡＭＴＣ3）』を5月9日〜11日、長良川国際会議場（岐阜）にて開催いたしました。
このシンポジウムでは23件の招待講演（海外13件、国内10件）と98件のポスター発表を行なわれ、招待講演者は、世界５カ国から招聘し、基調講演をはじめ、粒界・界面、電子線ホログラフィー、環境ＴＥＭと動的計測、モデリング・シミュレーション、材料科学の5セッションで講演を行い、企業、研究機関、大学、官公庁から10ヶ国、218名の参加者がありました。
◇主な招待講演者
・ S.J.Pennycook 博士
・ Manfred Rühle 博士
・ Claude Delmas 博士
・ 飯島 澄男 博士（オークリッジ国立研究所／アメリカ）（マックスプランク研究所／ドイツ）（ボルドー大学固体化学研究所／フランス）（名城大学）

なお、この国際シンポジウムは愛知万博理念継承事業として、2年に1度の開催を予定しており、第4回シンポジウム（ＡＭＴＣ4）は、平成26年に開催を予定しております。

講演会場

招待講演者

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研究成果

Japan Fine Ceramics Center

次世代パワーデバイス用SiCの欠陥検出法の開発
技術のポイント

SiC単結晶基板・エピタキシャル膜の容易で正確な欠陥検出法、および欠陥挙動の評価・解析技術を開発

背景

SiCは高耐圧･高速･低損失･高温動作の特長を有するため、Siに代わる次世代パワーデバイス材料として期待されている。しかし大面積に対応可能で、正確･簡易な結晶欠陥検出手法がない。

目的

SiCにおける結晶欠陥の種類･分布および欠陥挙動の評価･解析技術を開発し、高品質SiC基板･エピタキシャル膜作製の技術開発に寄与する。

成果（1） 溶融KOHへのNa2O2添加により、全てのp型−n＋型（n>1019cm-3）SiC基板･エピタキシャル膜に適用可能な欠陥検出･分類エッチング技術の開発に成功（図１）。

基礎研究（2） 新たな試料構造を設計し電子線誘起電流法（EBIC）による基板-界面-エピタキシャル膜の欠陥伝播挙動を評価する技術開発に成功（図2）。
（3） SiC中の転位のバーガースベクトルの向きと大きさを正確にきめる大傾角
収束電子線回折（LACBED）法を開発。

図1. (a) n+型(n>1019cm-3)SiC基板のKOH+Na2O2
エッチング像；(b)代表的なエッチピットと分類

今後の展開

・開発した欠陥検出法の高度化
・転位･積層欠陥等の正確な評価

図2. EBIC法による基板･エピタキシャル膜欠陥の同時観察

高品質SiC基板及びエピタキシャル膜作製技術開発

謝辞 ： 本研究はトヨタ自動車（株）からの委託研究として実施したものである。
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研究所ニュース

Japan Fine Ceramics Center

電波吸収装置（ネットワークアナライザ）
1998年に導入依頼、マイクロ波〜ミリ波帯における電波吸収特性や誘電特性評価に活躍してきたネットワークアナライザをこの度更新致しました。新しいPNAネットワークアナライザ（N5227A：アジレント・テクノロジー製）は、ダイナミックレンジが従来装置より大きくなっており、低損失材料や高精度を必要とする評価に強くなりました。また、ミリ波コントローラ（N5261A：アジレント・テクノロジー製）を組み合わせることで、最大110GHzまで測定可能としました。これらの性能を持ったPNAネットワークアナライザは電子回路基板の誘電特性や電波吸収体の評価等多種多様な測定が可能です。皆様の電子デバイス基板・電波吸収体・誘電材料の開発に是非お役立てください。

熱伝導評価装置（断熱材などの低熱伝導率を評価）
熱伝導率の評価方法には様々なものがありますが、今回ご紹介するのは、断熱材のように非常に小さい熱伝導率を測定する保護熱板法（GHP法）と熱流計法（HFM法）です。どちらの方法も、板状の試料を加熱板と冷却板で挟み、試料の厚さ方向に温度差を生じるように温度調節し定常状態とします。そのときの加熱板のエネルギー、または、熱流密度を計測し、熱伝導率を求めます。GHP法は、面方向への熱の流れを生じないような構造になっていることや、標準試料による校正を必要としないことなどから、高精度な測定法といえます。
GHP法の評価装置は、測定容器が真空チャンバーとなっており、雰囲気の圧力を約0.1Pa〜大気圧において変動させることができます。高性能断熱材として注目されている真空断熱材では、内部の圧力により熱伝導率が変化しますので、このような評価装置で、芯材の熱伝導率の雰囲気圧力依存性を評価しておくことが重要です。
一方、HFM法の評価装置は大気圧雰囲気でしか測定できませんが、GHP法に比べ短時間で熱伝導率が測定可能です。
どちらの評価装置も依頼試験として受託測定に対応しておりますので、是非ご活用下さい。
5特許紹介Japan Fine Ceramics Center

2011年度特許登録実績（2011/4/1〜2012/3/31）
単願特許（国内）： 8件［累積登録数 ： 23件］
共願特許（国内）： 15件［累積登録数 ： 61件］

＊ 単独保有特許は実施希望に応じます

発明名称

共願人

出願日

出願番号

登録日

登録番号

（株）ノリタケ2001.3.30

2001-100019

2011.4.1

47122132005.12.27

2005-375477

2011.4.15

4728800（株）ノリタケ2001.1.15

2001-006888

2011.6.10

4759103

トヨタ自動車（株）（株）ジェイテクト

2003.4.9

2003-105821

2011.6.24

4768215トヨタ自動車（株） 2005.10.27

2005-312628

2011.6.24

4769541

2006.6.22

2006-172952

2011.7.224785641

2000.6.30

2000-198979

2011.8.19

48046132005.7.6

2005-197884

2011.8.26

4808444

1998.10.2

10-281558

2011.8.26

48095091

ナノチューブ膜の製造方法

2

電子線ホログラフィーを用いた化合物半導体の不純物分布測定用試料の製造方法および不純物分布測定方法

3

電界電子放出装置の製造方法

4

ゼオライト膜の製造方法

5

半導体材料の製造方法

6

光触媒材料の製造方法及び光触媒材料

7

セラミックス誘電体材料を有するミリ波周波数帯域の電波吸収体あるいは発熱体

8

電気二重層キャパシタ及びその製造方法

9

セラミックス加工用工具10

電磁誘導型通気性発熱体及び高温加熱蒸気生成システム

中部電力（株）2007.2.20

2007-039910

2011.10.7

483760011

過熱水蒸気生成装置及び過熱水蒸気利用装置

中部電力（株）（株）大同2005.10.5

2005-292788

2011.10.28

485228912

量子ドットの製造方法および量子ドット構造体

2001.1.22

2001-013671

2011.11.18

4863551

13

可視光応答性光触媒材料の製造方法及び光触媒材料 （株）豊田自動織機

2005.5.2

2005-134252

2011.12.2

487209414

炭化珪素半導体基板及びその製造方法

2004.4.1

2004-108746

2012.12.2

487452715

磁器組成物

2001.3.28

2001-093587

2011.12.22

489068316

可干渉な波動による観察技術

2006.3.27

2006-085627

2012.1.134900911

17

カーボンナノチューブ膜体の製造方法

2001.8.29

2001-260036

2012.1.20

490701718

カーボンナノチューブ膜、カーボンナノチューブ膜
含有SiC基板、カーボンナノチューブ膜体の製造方法

2001.3.30

2001-102357

2012.1.20

490700919

カーボンナノチューブ、並びにカーボンナノチューブ付ウィスカー及びカーボンナノチューブ付ウィスカーの製造方法

2001.3.2

2001-059295

2012.1.20

490700820

炭化珪素エピタキシャル用基板の製造方法

トヨタ自動車（株）

2008.5.13

2008-126357

2012.2.3

491647921

炭化珪素半導体及びその製造方法

トヨタ自動車（株）

2006.8.8

2006-215999

2012.2.3

491624722

積層型固体酸化物形燃料電池用スタック構造体、積層型固体酸化物形燃料電池及びその製造方法

FCOホールディング（株）

2009.3.26

2010-505799

2012.3.16

495033423

積層型固体酸化物形燃料電池用スタック構造体、積層型固体酸化物形燃料電池及びその製造方法

FCOホールディング（株）

2009.3.26

2011-275058

2012.3.16

4950358

古河電工（株）

トヨタ自動車（株）（株）豊田自動織機

中部電力（株）

トヨタ自動車（株）

本件に関するお問合せ先 ： 研究企画部

齊藤勤

トヨタ自動車（株）

TEL:052-871-3500（代）6

FAX:052-871-3599

E-mail:t̲saito@jfcc.or.jp

JFCC の動き

Japan Fine Ceramics Center

人の動き
平成２４年４月６日付
委嘱解除
材料技術研究所長 兼 ナノ構造研究所長

種村榮

平成２４年４月７日付
委嘱
材料技術研究所長 兼 ナノ構造研究所長

高田雅介

表彰

○公益社団法人日本セラミックス協会
第３７回 学術写真賞 「優秀賞」
受賞日
平成２４年３月８日
受賞者
高 翔、幾原 裕美、木村 禎一、桑原 彰秀、クレイグ・フィッシャー、森分
受賞題目 リチウムイオン電池用Li0.34La0.51TiO3固体電解質の原子構造観察○一般社団法人日本ファインセラミックス協会
平成23年度 日本ファインセラミックス協会賞 「技術振興賞」
受賞日
平成２４年５月３０日
受賞者
一般財団法人ファインセラミックスセンター姚 永昭、石川 由加里、菅原
トヨタ自動車株式会社
斎藤 広明、旦野 克典、鈴木 寛、河合 洋一郎
受賞題目 炭化ケイ素ウエハの簡易な欠陥検出法の開発○公益社団法人日本セラミックス協会
2011JCerSJ 「優秀論文賞」
受賞日
平成２４年６月８日
受賞者
北岡 諭、和田 匡史、松平 恒昭
受賞題目 Mutual grain-boundary transport of aluminum and oxygen in polycrystalline Al2O3
under oxygen potential gradients at high temperatures

7

博紀、幾原

義弘雄一

事業案内

Japan Fine Ceramics Center

ファインセラミックスシンポジウム２０１２開催のご案内

革新的二次電池の開発と将来展望〜 エネルギー密度の向上に貢献する先端セラミックス技術 〜

主催 （財）ファインセラミックスセンター（ＪＦＣＣ）
第一線でご活躍の専門家の方々にわかりやすくご講演していただきます。多数の皆様がご参加下さいますようご案
内申し上げます。参加申し込みの受付は9月よりＪＦＣＣホームページで行います。

プログラム
13:00〜13:05
13:05〜14:05

14:05〜14:45

14:45〜15:00

15:00〜15:40

15:40〜16:20

16:20〜17:00

17:00〜17:05

開会挨拶（財）ファインセラミックスセンター

理事長

岡本一雄

基調講演 「革新的二次電池（仮題）」
首都大学東京講演 1

大学院都市環境科学研究科教授

東京大学 先端科学技術研究センター教授

金村聖志氏

勝氏

武田保雄

氏

射場英紀氏

平山司

「多価カチオン電池（仮題）」
宮山

休憩
講演 2

「金属―空気電池（仮題）」
三重大学

講演 3

理事・副学長「全固体リチウム電池」
トヨタ自動車（株） 電池研究部

講演 4部長「リチウム電池の解析（仮題）」（財）ファインセラミックスセンター

ナノ構造研究所

所長代理

閉会

開催要項
日
場時
所

：：

定 員
参加料：：

2012年10月19日（金）13：00〜17：05
愛知県産業労働センター（ウインクあいち） 5Ｆ 小ホール
名古屋市中村区名駅4丁目4-38（TEL:052-571-6131）
200名（定員になり次第締切）
無料（要申込）Japan Fine Ceramics Center
ＪＦＣＣニュース第１０５号

発行日
発行所

２０１２年８月１日（財）ファインセラミックスセンター〒４５６−８５８７ 名古屋市熱田区六野２−４−１
TEL （０５２）８７１−３５００（代） ホームページアドレス http://www.jfcc.or.jp

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