静電気学会誌，43, 1（2019）37-42

J. Inst. Electrostat. Jpn.

論

文

窒素及び酸素ガス組成比がナノ秒パルス放電の挙動に与える影響
龍 輝優 ，山口 仁志 ，王 斗艶 ，浪平 隆男
＊

＊

＊＊

＊＊, 1

（2018年9月13日受付；2018年12月13日受理）

Effects of Gas Composition Ratio of Nitrogen and Oxygen
on Nanosecond Pulsed Discharge Behavior
＊

＊

＊＊

Terumasa RYU , Hitoshi YAMAGUCHI , Douyan WANG＊＊, 1

and Takao NAMIHIRA（Received September 13, 2018; Accepted December 13, 2018）
Non-thermal plasmas have been actively studied for various applications. The observation of a discharge plasma is an essential
aspect for understanding the plasma physics of this growing field. Generally, a pulsed discharge having 100s ns pulse durationconsists of streamer, glow, and arc discharge phases. It is well known that a streamer head always has the highest electric field in
the entire discharge process. Furthermore, the streamer head produces a variety of radical species according to feeding gas
composition. In the recent study, a nanosecond pulsed power generator having 5 ns pulse duration was developed and showed
great advantages regarding energy efficiency for ozone generation and NO removal over conventional discharge methods.
However, the underlying mechanisms of these high energy efficiencies are not well understood. Therefore, the present study
focused on the effects of gas composition ratio of nitrogen and oxygen in a coaxial reactor on the phenomena of nanosecond
pulsed discharge. In the experiment, the discharge propagation process was observed using a high-speed gated emICCD camera.
As the result, the gas composition ratio significantly affected the discharge propagation process. This can be explained due toeach characteristic of nitrogen and oxygen such as UV radiation, electron attachment, and photoionization.

1．はじめにグロー放電中は空間中のイオンや中性粒子が加熱され，非熱平衡プラズマは，選択的に電子を加速させ，周り

結果としてエネルギーの熱損失を生じていた ．
10）のガス組成に応じた反応性に富んだ化学的活性種（ラジしかしながら，近年，浪平・王らは，放電形態をほぼカル）を生成可能である．なかでもパルス放電プラズマ

ストリーマ放電のみで留めることを可能にした「ナノ秒が，オゾン生成や排ガス処理において高効率な処理を実パルス電源」という電圧印加時間 が 5 ns の極短パルス

現しており，新たな環境浄化技術として継続した研究が発生装置を開発した

なされている．特に，パルスストリーマ放電中におて，図 1 にナノ秒パルス放電及び他の電気的放電プラズ

けるストリーマヘッドと呼ばれる空間電荷部分が，放電

マによる酸素原料と空気原料オゾン生成に対する特性比過程の中でも最も高い電界を持ち，それ故，多種のラジ較を示す

カル生成に大きく寄与している ．一般的に，電圧印加

ギーに対するオゾンの生成効率（オゾン収率），横軸に時間が数十から数百ナノ秒オーダーのパルス放電は，ス

オゾン生成濃度を取っており，マップの右上に位置する

トリーマヘッドの金属電極間進展（ストリーマ放電）かほど優れたオゾナイザと言える．図 1 より，ナノ秒パル

らストリーマヘッドの対向電極到達に伴う電極間での全ス放電法は，用いる原料ガスに関わらず，現存するオゾ

1-8）

9）

．その応用研究成果の一例とし

11-14）．本特性比較は縦軸に電極への注入エネル

13, 14）体放電（グロー放電）へのフェーズ転移が起きる．そのキーワード：ナノ秒パルス，ストリーマ，進展様相，混合ガス＊
熊本大学大学院自然科学研究科（〒860-8555 熊本県熊本市中央区黒髪 2-39-1）
Graduate School of Science and Technology, Kumamoto
University, Kurokami 2-39-1, Chuo-ku, Kumamoto, Japan＊＊
熊本大学パルスパワー科学研究所（〒860-8555 熊本県熊本市中央区黒髪 2-39-1）
Institute of Pulsed Power Science, Kumamoto University,
Kurokami 2-39-1, Chuo-ku, Kumamoto, Japan1namihira@cs.kumamoto-u.ac.jp（ a ）酸素原料（ b ）空気原料

図 1 放電法による（ a ）酸素及び（ b ）空気原料オゾナイザ
マップ
Fig.1 Characteristics map of ozone generation based on discharge
plasmas.（ a ）Oxygen-fed.（ b ）Dry air-fed.

静電気学会誌 第43巻 第 1 号（2019）38

ン収率データの最高値を示している．しかし，ナノ秒パルス放電を用いたオゾン生成においては，現状，最大生成オゾン濃度が酸素原料で 40 g/m 程度，空気原料で 10
3g/m 程度に留まっており，実用化の際に求められる生成3オゾン濃度（120 g/m 以上） には達していないため，そ315）の濃度向上が期待されている．ここで図 1 から，原料ガスによって，オゾン収率及びオゾン濃度が劇的に変化しており，オゾン生成におけるガス組成は極めて重要なパラメータであることが推測される．しかし，これまで原図 2 ナノ秒パルス発生装置の概略図
Fig.2 Schematic diagram of the nanosecond pulse generator.

料ガスの窒素及び酸素ガス組成比を変化させた場合のナ
ノ秒パルス放電の基礎・応用研究報告例は皆無である．
よって本稿では，放電電極内雰囲気ガスのガス組成比に焦点を当て，各ガス組成におけるナノ秒パルス放電中，特に，ストリーマヘッドの電極間進展特性についてその詳細を明らかにすることを目的とする．また，N2 ガスと O2 ガスが放電に与える電気的特性の差異を基に，考察を図った．

2．実験方法2.1 ナノ秒パルス発生装置

図 3 パルス放電観測システムの概略図
Fig.3 Schematic diagram for imaging system for the nanosecond
pulsed discharge.

図 2 に，本実験で用いたナノ秒パルス発生装置の概略
図を示す．本装置は自爆型高圧スパークギャップスイッ

USA ）を介して時間同期を行った．本実験では，emICCD

チ（ SGS ），三重同軸ブルームライン線路，ブルームラ

カメラの露光時間を 0.42 ns に固定した．放電電極は，内イン線路から負荷へエネルギーを転送する低インダクタ

部高電圧電極に外径 1.0 mm のステンレス線，外部接地電

ンス伝送線路より構成されている．SGS 内は絶縁ガスと極に内径 60 mm の真鍮菅を用いた同軸円筒型とした．また，して SF6 を充填し，SF6 ガス圧力により，ナノ秒パルス

内部電極長は 15 mm とし，ストリーマヘッドの鮮明な撮影発生装置の出力電圧を調整する．なお，SGS のギャップを行うために，先端 1.5 mm 以外は，カプトンシートにて被間隔は 1 mm に固定されている．ブルームライン線路本覆した．なお，放電電極は窓材などで密閉構造としている．

体部は外部導体，中間導体，内部導体の三重同軸構造と今回，放電電極内への雰囲気ガスとしては，N2 ガス（ N2）

なっており，充電電極を通して中間導体を充電できる．

及びガス比を 20％ずつ変化させた N2 と O2 の混合ガス（20，

また，外部導体は接地されており，内部導体はインダク

40，60，80％-O2/N2），O2 ガス（ O2）の 6 種類を用いた．なタ L を介して外部導体と接続されている．ブルームラ

お，本実験で用いた N2 及び O2 ガスの純度は，それぞれ

イン線路と伝送線路内は，絶縁及び誘電媒体としてシリ

99.99％及び 99.5％である．雰囲気ガスの流量は，マスフロ

コ ー ン オ イ ル（ KF-96，Shin-Etsu Chemical，Japan ） にーコントローラー（8500MC，KOFLOC，Japan ）を用いて充填されており，その単位長さ当たりのインダクタンてすべて 4.0 L/min（0.1 MPa ）に制御した．その他の計

スとキャパシタンス計算値は，それぞれ 140 nH/m，216

測機器に関しては，電極間の印加電圧及び放電電流を，容pF/m である．なお，これらの値より算出される本ナノ量分圧器とカレントトランスフォーマー（ MODEL CT-

秒パルス発生装置全体の特性インピーダンスは 50 Ω と

F1.0，Bergoz Instrumentation，USA ）を介して 4 GHz のなる．また，ブルームライン線路長は 500 mm であり，最大周波数帯域と 20 Gsamples/sec の最大サンプリングレ

これより算出されるパルス幅は 5 ns となる．

ートを 有 するデ ィジタル オシロスコープ（ RTO2044，

2.2 パルス放電観測システム

ROHDE&SCHWARZ，Germany ）にて記録した．

図 3 にナノ秒パルス放電観測システムの概略図を示
す．ナノ秒パルス電源により放電電極内でナノ秒パルス

3．実験結果放電を形成した．ナノ秒パルス電源と emICCD カメラ

3.1 波形解析（ PI-MAX4:1024EMB，Princeton Instruments，USA ） は，

図（4 a）に計測電流波形（ Imeasurement ）を示す．この計測

ディレイジェネレータ（ DG645，Stanford Research Systems，

電流は式（1）で示されるように，同軸円筒電極への変位窒素及び酸素ガス組成比がナノ秒パルス放電の挙動に与える影響（龍 輝優ら）

（ a ）計測電流（ b ）変位電流（ a ）印加電圧

図 4 計測電流と変位電流波形
Fig.4 Waveforms of measurement current and displacement
current into coaxial electrode.

39（ b ）放電電流

図 5 ナノ秒パルス放電時の印加電圧及び放電電流波形
Fig.5 Waveforms of applied voltage to and discharge current into
coaxial electrode.

電流（ Idisplacement ）と放電電流（ Idischarge ）の和であり，放電
電流導出のためには，式（2）によって算出される変位電流を，計測電流から減算する必要がある．なお，式（2）
中の Vmeasurement と Celectrode はそれぞれ同軸円筒電極への印加
電圧と式（3）によって得られたキャパシタンス値である．
ここで，式（3）における V と i は放電を発生させない状
態での電圧電流波形を示している．結果として，電極内のキャパシタンス値は，全ガス組成において 3.8 pF 前後
であり，それに伴い変位電流も図 （4 b）のように，同様の波形となった．
Imeasurement = Idisplacement + Idischarge（1）dVmeasurementdt（2）

Idisplacement = Celectrode
Celectrode =

1
∫ idt
V

（3）

図 5 にナノ秒パルス放電時の典型的な電極への印加電
圧及び放電電流波形を示す．図 5 より，全ガス組成にて

図 6 全ガス組成でのナノ秒パルス放電画像
Fig.6 Framing images of the nanosecond pulsed discharge in
different gas composition ratios.

60 kV の正極性パルス電圧が内部電極へ印加されている

また，図 6 より，N2 及び O2 の場合，ストリーマヘッ

ことが確認される．また O2（40％）/N2 及び O2（60％）/

ドは進展途中にて枝分かれし，その径が小さいことがわ

N2 の場合において，放電電流の最大値が特に大きくなかる．また，ストリーマヘッドと内部電極間は常に発光っているが，これはストリーマヘッドの電極間橋絡後のしていることより，ストリーマヘッドとその進展後方に

グロー放電時に，電極間がより導電性の高いプラズマチ形成されるストリーマチャネルはほぼ同様のプラズマ状

ャネルにて導通したためと考えられる．

態であることが推測される．一方，
N2/O2 混合ガスの場合，3.2 ストリーマヘッドの進展様相

ストリーマヘッドは枝分かれせず，特に 20％-O2/N2 と図 6 に全ガス組成におけるストリーマヘッドの進展様相

80％-O2/N2 において，その径が太くなっていることが確を，電極軸方向から emICCD カメラにて撮影したフレーミ

認される．また，ストリーマヘッドの内部電極から外部

ング像を示す．なお，各画像のコントラストは，著しく発電極へ向けた進展とともに，ストリーマチャネル部の発光輝度が小さい O2 以外は一定である．ここで T ns とは，光が弱くなっていることより，N2/O2 混合ガスにおいて各ガス組成においてパルス電圧印加後，内部電極近傍へ

は，N2 及び O2 とは異なり，ストリーマヘッドがストリ

初めてストリーマヘッドの形成を確認できた時刻であり，ーマチャネルに比較して，より高いエネルギー状態であ

図 5 における電圧電流波形の時間軸と一致している．なお，ることが予想される．なお，全ガス組成において，スト

図 6 より，全ガス組成において，ストリーマヘッドは，内リーマヘッドとストリーマチャネル部の発光輝度は，N2部電極近傍への形成後，外部電極へ向けて進展し，外部の場合に最も大きく，O2 比が増加するにつれ，その発光電極へ到達している（ T + 4 ns 程度）ことが確認される．

輝度は小さくなっている．

静電気学会誌 第43巻 第 1 号（2019）40

3.3 ストリーマヘッドの進展速度
ここでは，図 6 の各フレーミング像より，ストリーマ
ヘッドの進展速度の解析を行った．図 7 にはその解析事例を示す．解析では放電画像の輝度分布からストリーマ
ヘッドの進展距離を算出しており，具体的には，図 （7 a）のように放電電極内の内部電極（ P1）を中心とし，外部電極（ P400）までを円環状に 400 等分し，各円環領域での積算輝度値を内部電極からの距離毎に配列すること
で，図 （
7 b）
のような発光強度分布を得た．なお，図 （7 b）（ a ）円環状分割（ b ）発光強度分布

図 7 ストリーマヘッド進展距離の解析法
Fig.7 Analysis method for propagation distance of streamer head．

において，その輝度値の最も高い位置をストリーマヘッ
ドの到達位置とし，中心電極表面からその到達位置までの距離をストリーマヘッド進展距離とした．この解析をストリーマヘッドの進展開始から進展終了まで，0.1 ns
毎に行った．なお，それぞれの時間において 3 回の計測
平均値を進展距離とした．
図 8 に各ガス組成でのフレーミング像の撮影開始時間とストリーマヘッド進展距離との関係を示す．また，表1 にはストリーマヘッド進展開始時の諸パラメータ及びストリーマヘッド平均進展速度をまとめている．なお，
表 1 における進展開始電界 E は式
（4）を用いて算出した．
E=

Vapplied
r×ln R2
R1（4）

ここで，Vapplied はストリーマヘッドの形成が確認された
R1 は内部電極の半径
時間における電極への印加電圧，（＝
0.5 mm ），R2 は外部電極の半径（＝ 30 mm ），r は一次ス
トリーマが形成される位置，即ち，内部電極表面（＝R1）である．
図 8 より，各ガス組成において，ストリーマヘッドが内部電極近傍にて形成され（大きなシンボル），それが外部電極へ向けて進展していることが確認される．また，
全ガス組成にて，ストリーマヘッドの進展とともにその傾き（＝距離 / 時間，速度）の度合いが変化しており，進展初期（～10 mm 程度）では線形的な増加が確認され

図 8 ストリーマヘッド進展距離の時間依存
Fig.8 Time dependence of propagation distance of streamer headin coaxial electrode.
表 1 進展開始時の諸パラメータと平均速度
Table 1 Streamer onset characteristics in different gas compositions.
O2 ratio，％

0

20

40

60

80

100

Formation time，ns

1.1

1.0

0.6

1.1

0.9

4.2

Applied voltage，kV

4.2

3.3

1.9

4.2

2.8

37.2

Electric field，kV/mm

2.1

1.6

0.9

2.1

1.4

18.2

Average propagation
velocity，mm/ns

5.2

5.9

6.5

7.1

5.8

8.1

るが，進展中期（10～20 mm 程度）以降にて，その傾きは指数的に増加していることがわかる．この急激な速度た．また，ストリーマヘッドの電極間における平均進展増加は，ファイナルジャンプと呼ばれる現象であり，ス

速 度 は N2 で は 5.2 mm/ns，N2/O2 混 合 ガ ス で は 5.8-7.1

トリーマヘッドの先端と外部電極間に形成される高い電mm/ns，O2 では 8.1 mm/ns であり，N2 から N2/O2 混合ガス，界に起因するものである ．次に，表 1 より N2 及び N2/O2 と大きくなっている．

16）

O2 混合ガスにおいて，その進展開始時間は 0.85 ± 0.25
ns であった．また，O2 においては，その時間が N2 及び

4．考察

N2/O2 混合ガスと比較して，3 ns 程度遅くなっている．

本節では，ストリーマヘッドの進展に与える N2 と O2

この差異は，N2 と O2 の放電開始電界（＝ストリーマ形の影響を考察する．まず，N2 の特性として，電子衝突成電界）の違いを反映していると考えられ ，それぞれ励起された際に，紫外線を放射することで，基底状態へ

における電界は 1.5 ± 0.6 kV/mm と 18.2 kV/mm であっと戻ることが良く知られている

17）．また，O2 の特性と18）

窒素及び酸素ガス組成比がナノ秒パルス放電の挙動に与える影響（龍 輝優ら）
しては，紫外線により光電離を起こすこと

41

，並びに，

19）

電子親和力が大きいことが挙げられる．
よって，N2/O2 混合ガス中の放電においては，電子衝
突により励起された N2 から放射される紫外線により，
O2 が光電離を起こし，その結果として，空間へ新たな電子が供給されることとなる．更に，その電子が電界にて加速され，新たに N2 を励起するという循環により，ストリーマヘッドが進展していると考えられる．以上のN2 と O2 の特性を基に，3 節に記述した実験結果の考察に入る．

4.1 ストリーマヘッドの枝分かれ
図 9 には N2 及び O2 の場合と N2/O2 混合ガスの場合におけるストリーマヘッドが外部電極へ到達する直前の放図 10 ストリーマヘッドの枝分かれについて
Fig.10 Branching mechanism of streamer head.

電フレーミング像の一例を示す．なお，N2/O2 混合ガスの放電像は，紙面の都合上，20％-O2/N2 及び 80％-O2/N2

O2 の光電離にともなう自由電子が多量に存在するため，のみを示す．図 9 より，ストリーマヘッドは（ a ）N2 及ストリーマヘッドは，その有する電界の向きと同方向へ

び O2 においてのみ，枝分かれしていることが確認され枝分かれせずに進展する（図 10（右図））．

る．これについて考察を行うと，まず，N2 の場合には，4.2 ストリーマヘッドの進展速度

ストリーマヘッド近傍に存在しうる自由電子は，電界に

表 1 より，
ストリーマヘッドの進展速度は N2 に対して，

よる N2 からの電離電子，宇宙線や放射線による自然電

N2/O2 混合ガスの方が大きいことが確認される．これは離に起因する偶発電子，並びに，不純物などによる少量

4.1 節への記述のように，N2/O2 混合ガスにおいては，O2の光電離電子である．また O2 の場合には，ストリーの光電離プロセスにより，ストリーマヘッド近傍へ自由マヘッド近傍に存在しうる自由電子は，N2 と同様に，電子が多量に供給されることに起因すると考えられる．

O2 からの電離電子，偶発電子，並びに，少量の光電離電ストリーマヘッドの進展速度は，その有する電界強度と子である．即ち，N2 若しくは O2 雰囲気下においては，ス

相関性があることは知られており

トリーマヘッドの進展に大きな影響を及ぼす自由電子が，ストリーマヘッドが有する高電界領域への自由電子取り

確率論的に発生する偶発電子および少量の光電離電子に込み量がストリーマヘッドの有する電界強度の増加，ひ依存しており，その分布がストリーマヘッドの進展方向

いては，その進展速度の増加に直結しているためである．

を決定する要因となるため，枝分かれするものと考えら

なお，N2/O2 混合ガスにおいて，その組成比が等分となれる．これを図示すると図 10（左図）のようになる．

るにつれて（40％-O2/N2 及び 60％-O2/N2），ストリーマヘ

19）

一方，N2/O2 混合ガスでは，ストリーマヘッド近傍へ，ここにおいては，20, 21）

ッド進展速度が増加したのは N2 からの紫外線放射と O2からの光電離電子の供給の調和が取れたためだと考えられる．
一方，O2 においては，特に，その平均進展速度が大きくなっているが，これは，ストリーマヘッド形成時の電極表面電界が大きくなっており，その初期速度が大きくなったためと考えられる．

5．まとめ
本稿では，ナノ秒パルス放電によるオゾン生成の高性能化を目的として，最適な原料ガスを模索するために，（ a ）N2 及び O2（ b ）N2/O2 混合ガス

図 9 外部電極へ到達する直前の放電像
Fig.9 Framing images taken just before fully bridge of streamer
head.

ストリーマヘッドの進展様相に雰囲気ガス N2/O2 組成が与える影響ついて調査した．本研究で得られた知見を以下に示す．

静電気学会誌 第43巻 第 1 号（2019）42

・N2 及び O2 の単一ガス雰囲気下において，ストリーマ

8） F.J.C.M. Beckers, W.F.L.M. Hoeben, A.J.M. Pemen, andヘッドの進展方向は偶発電子および少量の光電離電子

E.J.M. Van Heesch,“ Low-level NOx removal in ambient airの存在位置へ大きく依存するため，枝分かれすることとなり，また，その径は N2/O2 混合ガス雰囲気下に比べて小さくなる．
・N2/O2 混合ガス雰囲気下においては，O2 の光電離による自由電子供給量の増加のため，ストリーマヘッドは
直進し，その径は太くなる．また，N2/O2 ガス組成比が同等となるにつれ，その進展速度は大きくなり，これは，より高い電界を有するストリーマヘッドの形成を意味している．

by pulsed corona technology, ”J. Phys. D, Appl. Phys., 46［29］（2013）295201
9） Z. Bonaventura, A. Bourdon, S. Celestin, and V.P. Pasko:
Electric field determination in streamer discharge in air at
atmospheric pressure, Plasma Source Sci. Technol., 20（2011）
03501210）S. Okada, D. Wang, T. Namihira, S. Katsuki, and H. Akiyama:
Spatiotemporal distribution of nitrogen rotational temperatureduring pulsed discharge in air, Jpn. J. Appl. Phys., 50［8］（2011）08JB06-1-511） D. Wang, S. Okada, T. Matsumoto, T. Namihira, and H.
Akiyama: Pulsed Discharge Induced by Nanosecond Pulsed

よって，今後，50％-O2/N2 下におけるオゾン生成を試みることで，ナノ秒パルス放電方式オゾン発生器の更なる性能向上が期待される．
参考文献
1） S. Samukawa, M. Hori, S. Rauf, K. Tachibana, P. Bruggeman,
G. Kroesen, J.C. Whitehead, A.B. Murphy, A.F. Gutsol, S.
Starikovskaia, U. Kortshagen, J. Boeuf, T.J. Sommerer, M.J.
Kushner, U. Czarnetzki, and N. Mason: The 2012 plasma
roadmap, J. Phys. D, Appl. Phys., 45［25］（2012）253001
2） T. Namihira, S. Tsukamoto, D. Wang, S. Katsuki, R. Hackam,
H. Akiyama, Y. Uchida, and M. Koike: Improvement of NOxremoval efﬁciency using short-width pulsed power, IEEE
Trans. Plasma Sci., 28（2000）434-442
3） D. Wang, T. Namihira, S. Katsuki, and H. Akiyama:
Dependence of NOx removal by pulsed streamer discharge on
the input energy density to nitric oxide ratio, J. Advanced
Oxidation Technologies, 8［2］（2005）248-254
4） A. Komuro, R. Ono, and T. Oda: Behaviour of OH radicals in
an atmospheric-pressure streamer discharge studied by twodimensional numerical simulation, J. Phys. D, Appl. Phys., 46（2013）175206
5） F.J.C.M. Beckers, W.F.L.M. Hoeben, T. Huiskamp, A.J.M.
Pemen, and E.J.M. van Heesch: Pulsed corona demonstrator
for semi-industrial scale air puriﬁcation, IEEE Trans. Plasma
Sci., 41［10］（2013）2920-2925
6） W.F.L.M. Hoeben, F.J.C.M. Beckers, A.J.M. Pemen, E.J.M.
van Heesch, and W.L. Kling: Oxidative degradation of toluene
and limonene in air by pulsed corona technology, J. Phys. D,
Appl. Phys., 45［5］（2012）055202
7） J.S. Clements, A. Mizuno, W.C. Finney, and R.H. Davis:
Combined removal of SO2, NOx, and ﬂy ash from simulated
ﬂue gas using pulsed streamer corona, IEEE Trans. Plasma
Sci., 25［1］（1989）62-69

Power in Atmospheric Air, IEEE Trans. Plasma Sci, 38［10］（2010）2746-2751
12）T. Matsumoto, D. Wang, T. Namihira, and H. Akiyama:
Performances of nano-seconds pulsed discharge, Acta Phys.
Pol. A, 115［6］（2009）1101-1103
13）浪平隆男，王斗艶，松本宇生，岡田翔，秋山秀典 : ナノ秒パルス放電プラズマの特性とその応用展開，電気学会
論文誌 A, 129［1］（2009）7-14
14）D. Wang, T. Namihira, and H. Akiyama: Recent Progress of
Nano-Seconds Pulsed Discharge and its Applications, J.
Advanced Oxidation Technologies, 14［1］（2011）131-137
15）宗宮功 : オゾンハンドブック，サンユー書房（2004）
16）H. Pepin, D Comtois, F. Vidal, C. Y. Chien, and A. Desparois:
Triggering and guiding high-voltage large-scale leader
discharges with sub-joule iltra laser puses, Physics of Plasma,8（2001）2532
17）G. Wormeester, S. Pancheshnyi, A. Luque, S. Nijdam, U.
Ebert,“ Probing photo-ionization: Simulations of positive
streamers in varying N2:O2-mixtures: J. Phys. D, Appl. Phys.,
43（2010）505201
18）A. Luque,U. Ebert, C.Montijn, and W. Hundsdorfer:
Photoionization in negative streamers : fasr computations andtwo propagation modes, Appl, Phys. Lett., 90（2007）081501
19）S. Mijdam, F.M.J.H.van de Wetering, R. Blanc, E.M. van
Veldhuzen, and U. Ebert: Probing photo-ionization:
experiments on positive streamers in pure gases and mixtures,
J. Phys. D, Appl. Phys., 43（2010）145204
20）F. Tochikubo and H. Arai: Numerical simulation of streamer
propagation and radical reactions in positive corona discharge
in N2/NO and N2/O2/NO, Jpn. J. Appl. Phys., 41（2002）844852
21）A. Komuro, K. Takahashi, and A. Ando: Numerical simulation
for the production of chemically active species in primary andsecondary streamers in atmospheric-pressure dry air, J. Phys.
D, Appl. Phys., 48（2015）215203