ｈ-ＴＤＩ＆ＴＤＩＳは三次元共通仕様
形式
仕様
防振方式
制振方式
固有振動数
水平維持方式
エアー供給方式
必要空気圧
ベンチ材質
ハニカムコア材質
ベンチ上面仕上

ｈ-ＨＯＡ＆ＨＯＳは一次元（垂直）防振型

ｈ-ＴＤＩ＆ＨＯＡは、軽量高剛性アルミハニカムベンチ使用 ／ ｈ-ＴＤＩＳ＆ＨＯＳは高剛性スチールハニカムベンチ使用
ｈ－ＴＤＩ-１０７ＬＡ～ｈ-ＴＤＩ-６０１５ＬＡ（個別仕様ご参照）
h-ＴＤＩＳ-１０７ＬＡ～ｈ-ＴＤＩＳ-６０１５ＬＡ（個別仕様ご参照）
ｈ-ＨＯＡ-１０７ＬＡ～ｈ-ＨＯＡ-６０１５ＬＡ（個別仕様ご参照）
ｈ-ＴＤＩ＆ＴＤＩＳ
ｈ-ＨＯＳ-１０７ＬＡ～ｈ-ＨＯＳ-６０１５ＬＡ（個別仕様ご参照）
ｈ-ＨＯＡ＆ＨＯＳ
垂直方向：ヘルツ免震防振空気ばね ／ 水平方向：ヘルツ高性能システム
ｈ-ＴＤＩ＆ＴＤＩＳ
垂直方向：ヘルツ免震防振空気ばね
ｈ-ＨＯＡ＆ＨＯＳ
垂直方向：空気ばね部オリフィスによるエアーダンピング ／ 水平方向：特殊ゴムによる高機能ダンピング
共通垂直方向：オリフィスによるエアーダンピング
ｈ-ＴＤＩ＆ＴＤＩＳ ハニカムベンチ：高機能ダンピングシステム採用 ／ 防振架台（脚部）：高機能ダンピングシステム採用
ｈ-ＨＯＡ＆ＨＯＳ
垂直方向：約1.3Hz ／ 水平方向：約0.6Hz （均等最大重量搭載時）
共通
垂直方向：約1.3Hz
共通
メカニカルオートレベルセンサ 3ケによる
別途空気源によるエアー供給方式
共通
共通
0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡）
共通 ※ハンドポンプを使用した手動エアー供給方式（形式の末尾はＬＭ）があります。水平維持は給排気弁の操作により行います。
共通
上面板材：着磁性ステンレス鋼板5t ／ 下面板材：熱間圧延軟鋼板4.5t ※非磁性ステンレス鋼板使用可①ｈ-ＴＤＩ＆ＨＯＡ・・・アルミハニカムコア使用 ②ｈ-ＴＤＩＳ＆ＨＯＳ・・・スチールハニカムコア使用
共通※③非磁性ステンレスハニカムコアの制作可
タップＭ－6・25mmマトリックスに標準加工（シールドタップ加工はオプション） 表面：無塗装（※黒色塗装仕上げは有料）

個別仕様
形式仕様
空気ばね数
ベンチ寸法外形寸法
搭載可能重量
全体重量
搭載可能重量Ｓ
全体重量Ｓ
形式
仕様
空気ばね数
ベンチ寸法
外形寸法
搭載可能重量
全体重量
搭載可能重量Ｓ
全体重量Ｓ

形式
仕様
空気ばね数
ベンチ寸法
外形寸法
搭載可能重量
全体重量
搭載可能重量Ｓ
全体重量Ｓ

はスチールハニカムベンチ使用
ｈ-ＴＤＩ-１０７ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-１０７ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-１０７ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-１０７ＬＡ

ｈ-ＴＤＩ-１２９ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-１２９ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-１２９ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-１２９ＬＡ

1000×700×100T
1000×700×750H
150kg①198kg ③197kg
150kg②211kg ④211kg

1200×900×100T
1200×900×750H
200kg①265kg ③281kg
200kg②287kg ④304kg① ｈ-ＴＤＩ-１８１２ＬＡ② ｈ-ＴＤＩＳ-１８１２ＬＡ③ ｈ-ＨＯＡ-１８１２ＬＡ④ ｈ-ＨＯＳ-１８１２ＬＡ

ｈ-ＴＤＩ-２０１０ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-２０１０ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-２０１０ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-２０１０ＬＡ

1800×1200×150Ｔ
1800×1200×800Ｈ

2000×1000×150Ｔ
2000×1000×800Ｈ
300kg①450kg ③520kg
300kg②511kg ④566kg①②③④①463kg ③515kg②530kg ④584kg① ｈ-ＴＤＩ-３０１２ＬＡ② ｈ-ＴＤＩＳ-３０１２ＬＡ③ ｈ-ＨＯＡ-３０１２ＬＡ④ ｈ-ＨＯＳ-３０１２ＬＡ
3000×1200×330Ｔ
3000×1200×800Ｈ

ｈ-ＴＤＩ-３０１５ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-３０１５ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-３０１５ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-３０１５ＬＡ
4
3000×1500×330Ｔ
3000×1500×800Ｈ①1,084kg ③920kg①1,207kg ③1,011kg

ｈ-ＴＤＩ-１５１０ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-１５１０ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-１５１０ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-１５１０ＬＡ
41500×1000×150T
1500×1000×800Hｈ-ＴＤＩ-１５１２ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-１５１２ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-１５１２ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-１５１２ＬＡ

ｈ-ＴＤＩ-１８９ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-１８９ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-１８９ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-１８９ＬＡ

1500×1200×150T
1500×1200×800H
300kg①422kg ③480kg
300kg②477kg ④537kg

1800×900×150T
1800×900×800H

ｈ-ＴＤＩ-２４１２ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-２４１２ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-２４１２ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-２４１２ＬＡ

ｈ-ＴＤＩ-２６１５ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-２６１５ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-２６１５ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-２６１５ＬＡ②568kg ④624kg

2400×1200×250Ｔ
2400×1200×800Ｈ
300kg 500kg①755kg ③711kg
300kg 500kg②916kg ④866kg

2600×1500×250Ｔ
2600×1500×800Ｈ
500kg①903kg ③956kg
500kg②1,127kg ④1,197kg

ｈ-ＴＤＩ-３５１５ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-３５１５ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-３５１５ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-３５１５ＬＡ

ｈ-ＴＤＩ-４０１５ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-４０１５ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-４０１５ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-４０１５ＬＡ

ｈ-ＴＤＩ-６０１５ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-６０１５ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-６０１５ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-６０１５ＬＡ

3500×1500×330Ｔ
3500×1500×800Ｈ

4000×1500×400Ｔ
4000×1500×800Ｈ①1,327kg ③1,354kg①1,837kg ③1,394kg②1,722kg ④1,746kg②2,360kg ④1,800kg①340kg ③333kg②385kg ④537kg
ｈ-ＴＤＩ-２０１２ＬＡ
ｈ-ＴＤＩＳ-２０１２ＬＡ
ｈ-ＨＯＡ-２０１２ＬＡ
ｈ-ＨＯＳ-２０１２ＬＡ
42000×1200×150Ｔ
2000×1200×800Ｈ①493kg ③546kg

6000×1500×400Ｔ
6000×1500×800Ｈ
1,000kg①2,287kg ③2,145kg
1,000kg③3,120kg ④3,400kg*ナノテーブルは当社の登録商標です。

営業ご案内● 空気擾乱対策

大形空気ばね式防振台
超高性能三次元空気ばね式防振台
アクティブ微小振動制御システム
アクリル製ブースable

ハイダンピング
超高性能三次元空気ばね式防振台

h-ＴＤＩ h-ＴＤＩＳ

6※非磁性ステンレスを選択した場合、形式末尾に〝NM304B〟（ベンチのみ非磁性）又は、〝NM304BL〟（ベンチと架台が非磁性）が付きます。
※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。
※本カタログ記載内容は、性能および機能の改善向上のために予告なく、記載の仕様を変更することがあります。

● 振動対策

NT

測定環境の測定環境の創造②452kg ④505kg

500kg②1,541kg ④1,411kg

ano①402kg ③453kg

500kg②1,347kg ④1,220kg

Ｈｉｇｈ Ｄａｍｐｉｎｇ
防 振防 音● 音響対策アコースティックエンクロージャー● 測定業務振動測定・音響測定

ハイダンピング空気ばね式防振台

h-ＨＯＡ
h-ＨＯＡ h-ＨＯＳ※アクティブ微小振動制御システムのデモンストレーションのお問い合わせは、下記にご連絡ください。

ヘ ル ツ 株 式 会 社
神奈川県横浜市神奈川区栄町５番地１ 横浜クリエーションスクエア（ＹＣＳ）１８階
ＴＥＬ：０４５－４５０－２２１１
ＦＡＸ：０４５－４５０－２２２１
Ｅ-ｍａｉｌ：ｓａｌｅｓ＠ herz-f.co.jp
ＵＲＬ：www.herz-f.co.jp

ヘ ル ツ 株 式 会 社

概 要

ハイダンピング超高性能三次元空気ハイダンピング超高性能三次元空気ばね
超高性能三次元空気ばね式防振台
ばね式防振台ダンピング効果測定例
ダンピング効果測定例・・
効果測定例・・空気ばね
空気ばね式防振架台
ばね式防振架台

防振架台ハイダンピング機構なし

防振架台ハイダンピング機構あり
5000

１９９１年１１月、ナノテ－ブルの原型である〝ＳＨＧ型高性能空気ばね式防振台〟は神奈川県から〝世界に誇る技術〟として、「第８回神奈川工業技術開発大賞」を受賞しました。このＳＨＧ型空気ばね式防振台に多くの改良を重ねて、今日では最も高い防振性能があると好評の「ＴＤＩ型超高性能三次元空気ばね式防振台」となりました。時代の要請を先取りしてこの優れた防振台に制振技術を組み込み進化させました。ナノテクノロジ－に関連する超微細加工機や高分解能測定
評価機器は、空気ばねの防振力だけでは満足できないレベルになってきています。測定障害として振動が直接の増加原因となる場合と空気中を伝播する音響によって増加する変位は、ベンチや防振架台に影響を与え防振性能を悪化させます。制振技術はナノメ－トルレベルの分解能を必要とする機器には欠かすことのできない技術となっています。

解析の解析の必要性

コンプライアンスデータ実測 例
ハイダンピングスチ－ルハニカムベンチと標準スチ－ルハニカムベンチの実測比較
実測モデル＝スチ－ルハニカムベンチ
２４００×１５００×２５０ｔ

コンプライアンス［ｍｍ／Ｎ］

コンプライアンス［ｍｍ／Ｎ］

１０－６

垂直方向の伝達率デ－タ

200005001000

1500

2000

時間ms

１００
周波数

１０００コンプライアンス（ｍｍ／Ｎ） 実測値ハイダンピングスチ－ルハニカムベンチ
コンプライアンス（ｍｍ／Ｎ） 解析値ハイダンピングスチ－ルハニカムベンチ
コンプライアンス（ｍｍ／Ｎ） 実測値標準スチールハニカムベンチ
コンプライアンス（ｍｍ／Ｎ） 解析値標準スチールハニカムベンチ
１０－２

１０－３

コンプライアンス（ｍｍ／Ｎ） 標準ベンチ
コンプライアンス（ｍｍ／Ｎ）ハイダンピングベンチ－４

１０

１０－５－６

１０

１０－７
１０

１００
周波数

１０００

１０－３
１０－４

１０－５
１０－６
１０－７
１００

２００
周波数

３００

４００ ５００

１0

１

１
伝達率

伝達率

１０－７
１０

水平方向の伝達率デ－タ

１01500周波数応答解析結果とコンプライアンス実測
デ－タの共振周波数領域の重ね図

１０－２

コンプライアンス（ｍｍ／Ｎ） 標準ベンチ
コンプライアンス（ｍｍ／Ｎ）ハイダンピングベンチ

１０－５です。ヘルツは会社創業以来独自に開発した「精密空気ばね」を使用しています。垂直方向の防振を主とするヘルツ免震空気ばねと特殊構造による水平方向の防振方式は、３６０度の自由度を持ち 「三次元６自由度」の防振を可能にしています。
防振性能は過去の多数の納入実績によって、お客様の信頼をいただいております。

1000時間ms

周波数応答解析 例

１０－４

防振部・・・空気ばねは防振台を構成する最も基幹となる部品

500

ハイダンピングスチ－ルハニカムベンチと標準スチ－ルハニカムベンチの解析比較
解析モデル＝スチ－ルハニカムベンチ
２４００×１５００×２５０ｔ

１０ｈ-ＴＤＩ‐
ＴＤＩ‐３０１５ＬＡ
３０１５ＬＡのＬＡの防振性能

-5000
0

ハイダンピングスチ－ルハニカムベンチと標準スチ－ルハニカムベンチの解析比較の例－３

特 徴-50000

スチ－ルハニカムベンチの周波数応答解析とコンプライアンス実測定デ－タの例
下の図は、搭載機器に求められるベンチの剛性、特に特定周波数の変位に留意しなければならないときに、モ－ダル解
析や周波数応答解析や静的解析によって情報を得る手段として解析技術を使います。
また、ナノテーブル設置後に周囲の機械設備の変更により、振動伝達性に変化がおこり、従来の防振性能が得られなくなった場合など、対策を講ずるためにも解析技術は必要な要素となります。

１０－２

ハイダンピング仕様
ハイダンピング仕様の仕様のｈ-ＴＤＩ－３０１５
ＴＤＩ－３０１５ＬＡ
３０１５ＬＡ加 速 度 [g al]

右のデ－タは、防振架台の最も弱い部分に「ハイダンピング機構」を装着し外部から衝撃を与えてダンピング効果を表しました。このダンピング性能は瞬時に衝撃によって発生した「力」を減衰しています。

0コンプライアンス［ｍｍ／Ｎ］

空気ばね式防振台の進化

加 速 度 [g a l]

5000

空気ばね式防振架台・時間軸減衰デ－タ
使用防振架台：ｈ－ＴＤＩ－２０１０ＬＡ

0.10.010.001

ナノテクノロジ－
ナノテクノロジ－時代のハニカムベンチ・時代のハニカムベンチ・石定盤のハニカムベンチ・石定盤・石定盤・鋳鉄定盤の鋳鉄定盤の選択

0.10.010.001
0.00010.0001

６００ｍＨｚ※右の伝達データは、床の振動の大小により、防振性能が変化します。

周波数

６００ｍＨｚ

３０Ｈｚ

３０Ｈｚ

周波数

ハニカムベンチ・・・ 搭載機器を設置するために要求されるベンチは、すべてを非磁性にすることや、２台・３台のベンチをジョイントして１０ｍ×３ｍなどのベンチを製作できるなど、実験目的に応じた自由度を持っています。
。
さらに、ハイダンピング機構を装着して空気ばねで防振できない振動や、空中から伝播する音響の影響など、外乱条件によって生じたベンチの変位を最小限にするなど、ナノテクノロジー時代に求められる大きな付加価値を持っています。
ベンチ上面は、無塗装でタップＭ６・２５ｍｍＸＹが標準加工され、機器の固定に役立つ仕様になっています。

防振架台・・・ 空気ばねを介してハニカムベンチと搭載機器を支持するために、しっかりした剛性の高い構造になっています。

ナノテクノロジー時代の空気ばね式防振テーブルの選択は、搭載機器の測定分解能・構造・測定方法・防振テーブルの設置環境によって、ハイダンピングハニカムベンチや石定盤や鋳鉄定盤を選択する必要があります。基本的な選択方法は①ハニカムベンチ・・・防振テーブルを設置する実験室の床に耐荷重制限があり、制限を超えてしまう場合。軽量かつ高剛性でベンチ全体を非磁性にしたい場合。標準として、アルミハニカムコアとスチールハニカムコアが使用されます。搭載機器の特性に応じて、非磁性ステンレスコアの制作も致します。
②石定盤・・・搭載機器を使用する上で面精度が求められる場合。
③鋳鉄定盤・・・定盤面の精度が必要とされ、かつ大きな作業スペースを必要とする場合、などがあります。

構造材別モ
構造材別モ－ダル解析
ダル解析の解析の一例①解析モデル（二次元） アルミハニカムベンチ 1500*1500*200ｔ 材質：上面 SUS430 下面 SPHC
１次 238.345Ｈｚ

２次 300.111Ｈｚ

３次 354.112Ｈｚ

４次 400.350Ｈｚ

５次 422.936Ｈｚ

６次 459.159Ｈｚ

４次 555.3Ｈｚ

５次 583.741Ｈｚ

６次 733.761Ｈｚ

３次 510.807Ｈｚ

４次 701.086Ｈｚ

５次 701.086Ｈｚ

６次 1187.000Ｈｚ

３次 256.784Ｈｚ

４次 296.716Ｈｚ

５次 296.719Ｈｚ

６次 494.064Ｈｚ

防振架台にも、ハイダンピング機構を装着して、ダンピング強化をはかるなどナノテクノロジ－時代に適合しています。

ハニカムベンチの水平維持
ハニカムベンチの水平維持・・・ ハニカムベンチ上の搭載機器の荷重分布によって生じた傾きは、３ケの「メカニカルオ－トレベルセンサ」の働きで、ハニカムベンチの水平を維持することができます。（別途、空気源が必要です。）②解析モデル（二次元） スチ－ルハニカムベンチ 1500*1500*200ｔ 材質：上面 SUS430 下面 SPHC

ダンピング効果測定例
ハニカムベンチ
ダンピング効果測定例・・・ハニカムベンチ

１次 282.909Ｈｚ

２次 407.039Ｈｚ

３次 480.463Ｈｚ

ハイダンピング超高性能三次元空気ばね式防振台に使用している各種ハニカムベンチに、ハイダンピング機構を装着することによって、振動変位に対する抑制効果を得ることができます。 ベンチを叩いたときの「なき」は、振動変位が生じたときに起きる現象ですが、このような「なき」に伴うベンチの動きを最小限にすることができます。
下記デ－タは、アルミハニカムベンチの「ハイダンピング機構」を装着する前と装着後のダンピング状態をコンプライアンスデ－タによって、一定の力に対する変位の周波数ごとに減衰している状態を表わしています。また、加速度の減衰状態は時間で表わしています。
ハイダンピングアルミハニカムベンチのコンプライアンス曲線

0.0000001
100
周波数 [Hz]1000

0.00001
0.000001
0.0000001

20000

10 00 010000

20.0001

0- 10 00 0- 20 00 010100

周波数 [Hz]

２次 424.926Ｈｚ「ハイダンピング機構」有り
使用ベンチ：ｈ－ＨＡ－２０１０

20 00 0加速度 [mm/s ]0.000001

0.001
2コ ン プ ラ イ ア ン ス [m m / N]

コンプライアンス [mm/N]

0.00001

10「ハイダンピング機構」無し
使用ベンチ：ＨＡ－２０１０「ハイダンピング機構」有り
使用ベンチ：ｈ－ＨＡ－２０１０0.0001

１次 285.883Ｈｚ

ハイダンピングアルミハニカムベンチのコンプライアンス曲線

加速度 [mm/s ]「ハイダンピング機構」無し
使用ベンチ：ＨＡ－２０１０0.001③解析モデル 石定盤 1500*1500*200ｔ 材質：インディアンブラック

1000④解析モデル 鋳鉄定盤 1500*1500*200ｔ 材質：FC250
１次0-10000-20000

050 0

10 00
時 間 [m s]

1 50 02 00 00500

1000
時間 [ms]

1500

2000

57.22Ｈｚ

２次 246.402Ｈｚ