ベリフロ事業部
計測機器/分析器ダイジェスト版
レギュレーター、バルブおよび流量調節計

カタログ 4500
2000 年 8 月改訂

ベリフロ事業部 . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
注目の新製品 . . . . . . . . . . . . . . . . 2、3減圧調整器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4〜6
一段式調整器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4

切替装置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5

二段式調整器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

背圧調整器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6目
次バルブ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7〜9
ダイアフラム弁. . . . . . . . . . . . . . . . 7〜8

逆止め弁、リリーフ・バルブ . . . . . . . . . . . 9

過流防止弁 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

流量調節器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
製品インデックス . . . . . . . . . . . . . . 11
ベリフロ・オンライン . . . . . . . . . 12
パーカー・ハネフィン社 . . . . . . . 13

Instrumentation

パーカー・ハネフィン社ベリフロ事業部

ベリフロ事業部
ベリフロ事業部は、化学工業や石油化学工業だけではなく、半導体集積回路の製作現場などでも使用する液体や気体を制御するための精密バル
ブ、レギュレーター、およびトラン
スデューサーを製造しています。

精密バルブおよびレギュレーターの大手メーカー
パーカー・ハネフィン社の計装機器
グループは、世界中のプロセス計測、
超高純度、医療、分析および生物薬
剤学用途に使用される高品質の重要
フロー部品を専門に生産しています。
計装機器グループは世界中に 10 箇所の製造拠点と 300 を超える正規代理店を持ち、現地で製品を在庫販売し、ユーザーに技術サポートを行っています。主要マーケットは、化学プロセス装置、発電設備、石油およびガス探索装置、半導体製造設備、
生体医療機器、分析機器などで構成されています。
ベリフロ事業部は 85 年を超える長い期間のあいだ、技術革新と画期的な製造方法を通じて産業の変化に対応してきました。ベリフロ事業部では 1995 年 5 月にカリフォルニア
州リッチモンド工場が ISO 9001を取得し、1996 年 7 月にネバダ州 カ ー ソ ン シ テ ィ 工 場 が ISO
9002 を取得し、国際社会から認められる素晴らしい品質を実現するという公約を果たしています。
ますます巨大化する地球規模的な産業の需要を満たすために、ベリフロ
事業部は最近生産能力の拡大を実施

して、継続してフロー部品を製造するという事業理念を実行しました。
ベリフロ事業部が物理的に拡大された一部には、カリフォルニア州リッチモンドにある半導体部品製造工場にクラス 10 の最新鋭クリーン・ルームが新たに 2 室追加されたことが含まれています。
折り紙付きのベリフロのリーダー
シップは、顧客サービスと、さまざ
まなグローバル・マーケットに必要な高品質の製品を開発する能力に深く根付いています。
ベリフロの技術上の優位性は、最先端技術を駆使した画期的な製品をユーザーに納入できる特許に支えられています。

顧客サービスに深く根付いた折り紙付きのベリフロのリーダーシップ
ベリフロではカリフォルニア州リッ
チモンド、ネバダ州カーソンシティ、
ニュージャージー州ベルヴィルに製造拠点があり、下記用途の製品を生産しています。
• 計測機器/分析器• 製薬• 半導体/高純度
注意：ベリフロ事業部に関する詳細については、同事業部のウェブ・サイト（www.veriflo.com）をご覧く
ださい。パーカー・ハネフィン社および計装機器グループに関する詳細については、パーカーのウェブ・サイト（www.parker.com）をご覧く
ださい。

V E R I F L O D I V I S I O N , PA R K E R H A N N I F I N C O R P O R AT I O N• I N S T R U M E N T / A N A LY Z E R P R O D U C T S • 1

注目の新製品
IR6000 シリーズ 二段式調整器
めねじ非設定構造
新型 IR6000 シリーズは、めねじが設定されていない圧力調整器で、シリンダーや校正ガスなどを含む計測機器/分析器の適用
範囲で減圧調整できるように設計されています。
IR6000 シリーズは高圧調整器です。システム設計要求事項の範囲を満足させるために各種オプションと一緒に注文することができます。
運転条件
入口使用限度圧力：4000 psig（27.6 MPa）
出口使用限度圧力：1〜10 psig（0.07 MPa）、1〜30 psig
（0.2 MPa）、1〜60 psig（0.4 MPa）、2〜100 psig（0.7MPa）、2〜250 psig（1.7 MPa）
流量
標準：Cv = .06
オプション：Cv .02、.15（セミ流量係数試験 # F-32-0998）• 独自の特許圧縮メンバーがシートをボディに入れます。ねじ式ノズル
は不要• 媒体の適合性と使用温度に合ったシート材質を選択• NACE 規格 MR0175 に準拠• 低内容積に適した圧縮メンバー• 完全掃引構造

内容積• めねじ非設定シート構造でシートの長寿命を促進

8.1 cc• 螺旋型ハステロイ C-22® 製ダイアフラムが高腐食耐性と長寿命を実現

温度
PCTFE：−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）
PEEKTM： −40°
F 〜 275°
F（−40°
C 〜 135°
C）
Vespel®： −40°
F 〜 500°
F（−40°
C 〜 260°
C）

IR4000 シリーズ 高圧調整器
めねじ非設定構造
新型 IR4000 シリーズは、計測機器/分析器および半導体用途に設計されためねじが設定されていない圧力調整器です。
産業用途には精油所やプロセス分析器システムのガス管理などが含まれます。半導体用途の場合は、一般的な目的のガス管理に使用されます（空気、圧縮乾燥空気および工場窒素）。
IR4000 シリーズは高圧調整器です。システム設計要求事項の範囲を満足させるために各種オプションと一緒に注文することができます。

運転条件
入口使用限度圧力：4000 psig（27.6 MPa）
出口使用限度圧力：1〜10 psig（0.07 MPa）、1〜30 psig
（0.2 MPa）、1〜60 psig（0.4 MPa）、2〜100 psig（0.7MPa）、2〜250 psig（1.7 MPa）、5〜500 psig（3.5 MPa）
流量
標準：Cv = .06
オプション：Cv .02、.15（セミ流量係数試験 # F-32-0998）
内容積4.0 cc• 独自の特許圧縮メンバーがシートをボディに入れます。ねじ式ノズル
は不要• 媒体の適合性と使用温度に合ったシート材質を選択• NACE 規格 MR0175 に準拠• 低内容積に適した圧縮メンバー• 完全掃引構造• めねじ非設定シート構造でシートの長寿命を促進• 螺旋型ハステロイ C-22 ® 製ダイアフラムが高腐食耐性と長寿命を実現

温度
PCTFE：−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）*PEEKTM：−40°
F 〜 275°
F（−40°
C 〜 135°
C）*Vespel®：−40°
F 〜 500°
F（−40°
C 〜 260°
C）* 真ちゅうボディの場合にはこの温度範囲は利用できません。
2 • V E R I F L O D I V I S I O N , PA R K E R H A N N I F I N C O R P O R AT I O N • I N S T R U M E N T / A N A L Y Z E R P R O D U C T S

注目の新製品
NPR4000 シリーズ 負圧調整器
パーカー・ハネフィン社ベリフロ事業部は、低圧ガス源によるマ
イナス出口圧力を含む用途向けに NPR4000 レギュレーターを発売しています。
この新型レギュレーターは、最大−0.013 MPa 真空（1.9 psig）
まで負圧を調整できるように特別に設計されています。一般的な用途としては、WF6、BCL3 などの液体源から低圧ガスを供給するシステムがあります。
• めねじ非設定構造• 連続して出口設定値を維持• 流体媒体：腐食性ガスおよび非腐食性ガス• 金属間、ダイアフラム〜ボディ間シール、バイトン®製 O リング付き

運転条件

内容積

入口使用限度圧力：250 psig（1.7 MPa）
出口：1.9 psig〜10 psig（−0.013 MPa〜0.07 MPa）

4.0 cc

流量
標準：Cv = .06
オプション：Cv .02、.15（セミ流量係数試験 # F-32-0998）

蒸気調整器

温度
PCTFE：−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°
C）

AVR3 および AVR4 シリーズ 減圧調整器
電気加熱および蒸気加熱構造▼

新型 AVR3 および AVR4 シ
リーズの蒸気加熱式および電気加熱式蒸気減圧調整器は、分析器装置に入る前に気体や液体の試料を加熱または蒸発させることができるように設計されています。発熱体を簡
単に清掃できる構造になっています。

蒸気出口圧力蒸気供給▼

蒸気調整器は液体を気体に蒸発させます。そのときに一段階ガスの圧力を低下させます。
圧力調整器による圧力低下が原因で、気体が冷却されて液体に変化する場合があります。
蒸気調整器は流体媒体を加熱して、確実に媒体を気体の状態で維持します。

▼

入口圧力供給• 超低内容積
運転条件• 標準ハステロイ C22® 製ダイアフラムが卓越した強度と耐食性を発揮

入口使用限度圧力：3500 psig（24.1 MPa）
出口使用限度圧力：1〜10 psig（0.007〜0.07 MPa）、1〜
30 psig（0.007〜0.2 MPa）、1〜60 psig（0.007〜0.4MPa）、2〜100 psig（0.014〜0.7 MPa）、3〜250 psig
（0.02〜1.7 MPa）、5〜500 psig（0.03〜3.45 MPa）

• 螺旋型ダイアフラムが流量を変化させることで出口圧力を安定化

流量
Cv = 0.06 公称値
内容積• 一体型ダイアフラム・ストッパーが新たな安全対策を提供• NACE 規格 MR0175 に準拠• CSA 認証済み、CENELEC 認証済み（保留）• 現場で使用できる熱伝達素子

高圧入口 0.57 cc
温度40°
F 〜 500°
F（−40°
C 〜 260°C）V E R I F L O D I V I S I O N , PA R K E R H A N N I F I N C O R P O R AT I O N• I N S T R U M E N T / A N A LY Z E R P R O D U C T S • 3

減圧調整器
一段式▼

高流動圧力調整器▼

HFR900 シリーズ

運転条件

出口
入口

このユニットは高圧力、供給圧力、または出口圧力を一段階低い圧力レベルに低下させたいときに使用します。低圧力側
は、低圧力、減圧力、制御圧力、吐出し
圧力、下流側、または出口圧力とも呼ばれます。通常、一段式調整器が好んで使用されるのは、入口圧力がほとんど変化
しない場合や、多少の出口圧力変化が受け入れられる場合です（製品カタログの供給圧力の影響に関する技術資料を参照
してください）。

入口：500、200 psig（3.5、1.4 MPa）
出口：1〜30、2〜75、5〜150 psig
（0.006〜0.2、0.01〜0.6、0.03〜1.0
MPa）
流量
Cv = 0.85
内容積
38 cc
温度
−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）• 316L ステンレス鋼構造• 高流量

MIR700 シリーズ

APR3 シリーズ

コンパクトな一段式
レギュレーター

減圧調整器
運転条件

運転条件

入口：3500 psig（24.1 MPa）
出口：0〜5、30、60、100（0.03、0.2、0.4、0.7 MPa）

入口：3000 psig（20.7 MPa）
出口：0〜15、30、100、200 psig
（0.1、0.2、0.7、1.4 MPa）

流量

流量

Cv = 0.02（オプション：0.2）
内容積Cv = .02
内容積13.8 cc

3.9 cc

温度

温度−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）• 真ちゅう、または 316L ステンレス鋼構造• コンパクト・サイズ−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）• 316L ステンレス鋼、またはハステロイ®
• 標準ハステロイ C22® 製ダイアフラム• オーバーサイズのダイアフラムは、圧力をより詳細に調整することができます。

959TDR シリーズ

APR66 シリーズ

高圧連結ダイアフラム・
レギュレーター

減圧調整器
運転条件

運転条件

入口：6000 psig（41.4 MPa）
出口：0〜1000、2000、3000、6000 psig（6.9、13.8、20.7、41.4
MPa）

入口：3500 psig（24.1 MPa）
出口：0〜30、100 psig（0.2、0.7MPa）、または大気中より低い圧力 〜 30
psig（NPR のみ）

流量

流量

Cv = 0.05
温度

Cv = .04
内容積−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）

4.0 cc（6.19 cc）
温度−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）• 316L ステンレス鋼構造• 連結ダイアフラム・レギュレーター
• 金属間ダイアフラムが優れた漏れ耐性を発揮• 真ちゅう、または 316L ステンレス鋼構造• 使用限度圧力：6000 psig

4 • V E R I F L O D I V I S I O N , PA R K E R H A N N I F I N C O R P O R AT I O N • I N S T R U M E N T / A N A L Y Z E R P R O D U C T S

減圧調整器アラーム・パッケージ付き切替装置
アラーム・パッケージ付き連続ガス・流体管理装置

PSI
R

0

OUTLET VALVE
100

30

OUTLETVALVE

OUTLET PRESSUREVENTCYLINDER
PRESSURE 1

0

VENT
CYL
1

INCR.

CYL
2

CYLINDER

2 PRESSURE

DECR.

PSI

4000

ROT
A

TE

T O CHANGECYLINDER 1
INLET

INLET
CYLINDER "1"(1/4 NPT)

4000

CY
L

RS

VENT
VALVE

PSI

0

OB
KN

DE
IN

ベリフロ製切替装置
は、連続ガスおよび流体を管理することができるように設計された、すぐに使用可能なコンパクト・ユニットです。
切替装置は IR シリー
ズの減圧調整器とNOVA シリーズのダイアフラム弁を組み合わせたコンパクト
なガス供給システム
で、連続ガスまたは
流体用途に使用しま
す。

VENT
VALVE

2 CYLINDER
INLET

INLET
CYLINDER "2"(1/4 NPT)

シリンダー

シリンダー

1

2

切替装置のアラー• 316L ステンレス鋼および真ちゅ

運転条件

入口使用限度圧力：3,000 psig
う構造(20.4 MPa）
• 螺旋型ダイアフラムが流量を変化
出口使用限度圧力：100、150、200、させることで出口圧力を安定化
250 psig（0.7、1.0、0.3、1.4、1.7
MPa）• クイック切替え制御で安全性が向上流量

ム・パッケージは、シリンダー交換時期が来ると、音と光の両方でユーザーに知らせることができるように設計されています。アラー
ム・パッケージには 4 チャンネルが装備されているため、複数の切替装置を接続することができます。
警報シグナルは、片方のシリンダーが規定圧力以下に低下

Cv = .02
温度

したときに作動します。この警報シグナルは、各入口バルブに装着されている 2 個の圧力スイッチによって作動し−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°
C）ます。

HPR800 シリーズ

HIR100 シリーズ

圧力調整器

圧力調整器

運転条件

運転条件

入口：5000 psig（34.4 MPa）/ 70°
F
（21°
C）時
出口：10〜800、20〜1500、50〜2500 psig（0.06〜5.5、0.13〜
10.3、0.33〜17.2 MPa）

入口：3000 psig（20.7 MPa）
出口：1〜15、30、2〜75、5〜150
psig（0.007〜0.1、0.007〜0.2、0.014〜0.5、0.034〜1.0 MPa）

流量

Cv = 0.131
内容積

流量

Cv = .02
内容積9.30 cc

6.5 cc

温度

温度

−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°
C）−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）• 真ちゅう、または 316L ステンレス鋼構造• 真ちゅう、または 316L ステンレス鋼構造• ガス・シリンダー用途に最適• 卓越した低圧設定能力• 大きなダイアフラム領域にもかかわらず、最小限の圧力損失

V E R I F L O D I V I S I O N , PA R K E R H A N N I F I N C O R P O R AT I O N• I N S T R U M E N T / A N A LY Z E R P R O D U C T S • 5

▼

二段式

735TDR シリーズ

▼

減圧調整器

中圧

二段式連結ダイアフラム・
レギュレーター

出口圧力

運転条件

▼

供給圧力

入口：3500 psig（24.1 MPa）
出口：0 〜 30, 100(0.2、0.7MPa）調整可能範囲

このユニットは入口圧力を二段階で出口圧力まで低下させます。
構造は、一つのボディに
2 個の一段式調整器が直列で内蔵されています。
このユニットが好んで使用されるのは、入口圧力が大きく変化する場合です。
ガス・シリンダーは、このユニットの最も一般的な用途例です。

流量
Cv = .04
内容積• 316L ステンレス鋼構造• 二段式連結ダイアフラム・

7.3 cc
温度−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°
C）

レギュレーター• 調整範囲のスプリングは、ボディ側のダイアフラム・シールを破らずに、接液面を汚染物質にさらすことなく交換することが可能。

• 金属間ダイアフラムが優れた漏れ耐性を発揮• ガス・シリンダー用途に最適

背圧調整器
背圧調整器

ABP1 シリーズ
背圧調整器
運転条件

▼

制御圧力：0 〜 25、50、100、250、500 psig（0〜0.17、
0.35、0.7、1.72、3.5 MPa）

制御圧力

流量

▼

減圧調整器が下流側圧力を制御するのとは対照的に、
背圧調整器は上流側圧力または背圧を制御するために使用します。このユニット
は、外部から詳細に調整できるリリーフ・バルブのように作動します。

出口圧力

Cv = 0.3（オプション：0.1、0.06）
内容積5.9 cc（オプションのアルミニウム製ノブ）

温度
流体媒体：−40°
F 〜 400°F• 316L ステンレス鋼、モネル ® （−40°C 〜 204°C）®
またはハステロイ C-22 構造• 低内容積• NACE 規格 MR0175 に準拠• 大気による耐食性

BPR50 シリーズ

ABP3 シリーズ

背圧調整器

背圧調整器

運転条件

運転条件

制御圧力：
100〜1200、200〜2000 psig
（0.68〜0.83 MPa、1.38〜3.8
MPa）

制御圧力：
0〜5、30、60 psig（0〜0.03、0.2、0.4 MPa）

流量

Cv = 0.3（オプション： 0.1、
0.06）

流量

Cv = 0.45
内容積• 316L ステンレス鋼構造• 使用限度圧力：2000 psig

内容積

5 cc

13.8 cc

温度

温度

−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°
C）

流体媒体：−40°
F 〜 150°
F（−40°
C 〜 66°C）• 316L ステンレス鋼構造• 大型ダイアフラムにもかかわらず最高の感度

6 • V E R I F L O D I V I S I O N , PA R K E R H A N N I F I N C O R P O R AT I O N • I N S T R U M E N T / A N A L Y Z E R P R O D U C T S

バルブ
Nova 3 方 AOP

3 方ダイアフラム弁

空気式ダイアフラム弁
使用限度圧力真空 〜 500 psig（3.45 MPa）
流量
Cv = .15（標準）内容積2.11 cc
温度▼−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）
PCTFE（前の材質 Kel-F 81®）入口▼

これらの弁はフロー・ストリー
ム中にパッキン、O リング、またはベローズを全く使用しない
オン・オフ制御装置です。
空気駆動式または手動式を選択することが可能。
Elgiloy® ダイアフラムからステン
レス鋼製ボディ間の 3 方金属間シールは、大気に対して傑出した気密性を実現。このため、ステムからの漏れがなくなり、試料の流れが汚染されるのを防止
します。

出口

• コンパクト・サイズ−40°
F 〜 250°F（−40°
C 〜 121°C）• 長寿命

Vespel®

• ダイアフラムは接液面で唯一NOの可動部品です。

NC
C

Nova 3 方手動式

Nova 3 方ブロックおよびブリード

三方向手動式ダイアフラム弁

ブロックおよびブリード・ダイアフラム弁

使用限度圧力
使用限度圧力真空 〜 3500 psig（24.1 MPa）

真空 〜 80 psig（0.55 MPa）

流量

流量

Cv = 0.15（標準）内容積Cv = 0.15（標準）内容積2.11 cc

2.11 cc

温度

温度

−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）
PCTFE（前の材質 Kel-F 81®）

• コンパクト・サイズ−40°
F 〜 250°F（−40°
C 〜 121°C） • コンパクト・サイズ• 長寿命Vespel®

• 長寿命• ダイアフラムは接液面で• ダイアフラムは接液面唯一の可動部品です。

−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）
PCTFE（前の材質 Kel-F 81®）−40°
F 〜 250°F（−40°
C 〜 121°C）
Vespel®

NOC

で唯一の可動部品です。
NC

Nova シリーズ

NovaAOP

標準機能 - 全モデル

空気式ダイアフラム弁

使用限度圧力

使用限度圧力真空 〜 3500 psig（24.1 MPa）
NOVA AOP を除く

真空 〜 250 psig（AOP1 NC、
AOP3 NC）または 500 psig
（AOP2 NC、AOP NO）

流量

最小駆動圧力Cv = .14
内容積40 psig（AOP3 NC）、65 psig
（AOP1 NC）時/250 psig ライン圧
75 psig（AOP2 NC）、50 psig
（AOP NO）時/500 psig ライン圧

1.0 cc 未満
温度• 酸素運転用に洗浄−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°
C）• 低内容積• 空気式圧力ピストン・スタイルのア• 316L ステンレス鋼または真ちゅう構造

クチュエーター• 金属間ダイアフラムが優れた漏れ耐性を発揮• 接液面にパッキン、O リング、スプリング、ベローズが全くない• ダイアフラムは接液面で唯一の可動部品です。

• 長寿命• NC：通常閉状態（3 種類の選択肢）• NO：通常開状態

V E R I F L O D I V I S I O N , PA R K E R H A N N I F I N C O R P O R AT I O N• I N S T R U M E N T / A N A LY Z E R P R O D U C T S • 7

バルブ
Nova ハンドホイール

ダイアフラム弁

手動式ダイアフラム弁
使用限度圧力真空 〜 3500 psig（24.1 MPa）
流量
Cv = .14
内容積1.0 cc 未満
温度▼• 低内容積• 接液面に O リングが全くない▼

これらの弁はフロー・スト
リーム中にパッキン、Oリング、またはベローズを全く使用しないオン・オフ制御装置です。複数回転式
ハンドホイール、1/4 回
転式指示ハンドホイール、または空気式アクチュエー
ターと同時に選択することが可能。計測システムの逸散排出を取り除くのに最適。

• 酸素運転用に洗浄

入口• 低内容積出口• コンパクト・サイズ• 長寿命

Nova I

Nova L

指示ハンドホイール

レバー式バルブ

使用限度圧力

使用限度圧力真空 〜 3500 psig（24.1 MPa）

真空 〜 3500 psig（24.1 MPa）

流量

流量

Cv = .14
内容積Cv = .14
内容積1.0 cc 未満

1.0 cc 未満

温度

温度

−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°
C）• 低内容積• 接液面に O リングが全くない• 接液面に O リングが全くない• 酸素運転用に洗浄• 酸素運転用に洗浄• コンパクト・サイズ• コンパクト・サイズ

• 長寿命

• 長寿命

NV55 シリーズ

ダイアフラム弁

高流量ダイアフラム弁

運転条件

使用限度圧力最大：（AOP）125 psig（9.86
MPa）、（手動）250 psig（1.7
MPa）
最小：真空
流量
Cv = .55
内容積• 独自の特許圧縮メンバーがシー 944L：C = .18v
944 AOP LP：Cv = .25
944 AOP HP：Cv = .25• 十分に現場で使用できるシート 内容積を特殊工具がなくても交換可能• NO（通常開状態）、NC（通常閉状態）、または計量アクチュ
エーターを選択することが可能• 真空状態でも十分に機能−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°
C）

944 シリーズ

944L、944S、944I 真空 〜
3500 psig（24.1 MPa）
944 AOP LP：真空 〜 125 psig
（0.86 MPa）
• "VeriClean"、ベリフロ製高純 944 AOP HP：真空 〜 3500
度タイプ 316L VAR ステンレ psig（24.1 MPa）
ス鋼
流量
トに負荷を均一にかけます。ね
じ部品や圧着操作は不要。

−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）

2.18 cc
温度−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）

3.15 cc温度• めねじ設定なし−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）• 高流量用途に最適• AOP バルブの場合は真空 〜 124 psig まで、手動バルブの場合は250 psig まで十分に機能• ダイアフラムは接液面で唯一の可動部品です。
• 長寿命（腐食剤運転を含む）

8 • V E R I F L O D I V I S I O N , PA R K E R H A N N I F I N C O R P O R AT I O N • I N S T R U M E N T / A N A L Y Z E R P R O D U C T S

バルブ
逆止め弁

VC10 シリーズ

リリーフ・バルブ

VR7 シリーズ

逆止め弁

リリーフ・バルブ

ボディ

ボディ

真ちゅう、または 316L ステンレス鋼

真ちゅうまたは 316L ステンレス鋼

最大作動圧力

調整範囲

3000 psig（20.7 MPa）ステンレス鋼

10〜20、20〜100、100〜250、
250〜550 psig（0.06〜0.14、
0.14〜0.69、0.7〜1.7、1.7〜3.4
MPa）2000 psig（13.8 MPa）真ちゅう
流量
Cv = 0.42
作動温度

流量
Cv = 0.37
作動温度

−30°
F 〜 550°F（−35°
C 〜 287°
C）

30°
F 〜 400°
F（−35°
C 〜 204°
C）• 非常に低い差圧で確実に密閉• シール材質の選択• バイトン® およびカルレッツ製シールから選択• 六角ボディがレンチ・フラットを規定• オプションの各種コネクションを選択可能

FS190 シリーズ

過流防止弁

過流防止弁
規定設定値を超える大きな流量が検出された
場合に、このバルブが流量に感応して回路を遮断します。回路締切
り後、手動でバルブをリセットすると、継続して運転することができます。

入口使用限度圧力：
3500 psig（24.1 MPa）
6 種類の使用可能な流量範囲：
500 cc 〜 100 LPM
内容積1.86 cc
温度▼−10°
F 〜 150°F（−23°
C 〜 66°
C）

▼

入口
出口

• 316L ステンレス鋼• 非姿勢感応型過流防止弁

928AOP シリーズ

928AOPHP シリーズ

減圧調整器空気式弁

高圧空気式弁

運転条件

運転条件

入口：3500 psig（24.1 MPa）
出口：350 psig（2.4 MPa）
（2000 psig（13.8 MPa）入口圧
力 および 80 psig（0.55 MPa）ア
クチュエーター圧力の場合）- 出口圧
力は入口圧力とアクチュエーター圧力によって変化します。

入口：3500 psig（24.1 MPa）
（酸素の場合： 2200 psig（17.0MPa）
出口：真空 〜 3500 psig（24.1
MPa）

流量

Cv = .04
内容積Cv = .04
内容積1.54 cc温度• 入口圧力をより安全な作動圧 1.54 cc
力範囲に低下させることによって、システムの安全性を
向上

流量

−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）

温度−40°
F 〜 150°F（−40°
C 〜 66°C）V E R I F L O D I V I S I O N , PA R K E R H A N N I F I N C O R P O R AT I O N• I N S T R U M E N T / A N A LY Z E R P R O D U C T S • 9

流量調節器
流量調節器

SC421およびSC423シリーズ
精密低流量調節器
入口使用限度圧力
150 psig（1.0 MPa）
流量範囲
1 cc 〜 1000 cc/min
5 cc 〜 500 cc/min
温度

▼

−40°
F 〜 200°
F（−40°
C 〜 93°C）▼

規制流側• 316L ステンレス鋼構造▼

オリフィス全体の差圧を一定に維持することによって流量を制御す
る機械式装置です。上流側または下流側のいずれかを基準にすることができます。

• 上流側または下流側を基準

下流側

上流側

• 空気見本抽出（EPA 方式 TO-12 および TO-14 準拠）• 分析器システム

LC221 およびLC223 シリーズ

SC423 XL シリーズ
精密低流量調節器

気体および液体流量調節器
入口使用限度圧力
入口使用限度圧力

2 psig

LC221: 3800 psig（26.2 MPa）
LC223： 5000 psig（34.4 MPa）

流量範囲
3、6、10、27 sccm

流量範囲

温度

LC221：0.1 scc/min 未満 〜 1 LPM
LC223：25 scc 〜 40 LPM−40°
F 〜 200°
F（−40°
C 〜 94°C）

温度−20°
F 〜 200°
F（−29°
C 〜 94°C）• 316L ステンレス鋼構造• 最低流量範囲 3 sccm の信頼性の高い精密流量制御• 316L ステンレス鋼構造• 空気見本抽出（EPA 方式 TO-12 および TO-14 準拠）• 上流側または下流側を基準• ワイドな温度範囲に渡って安定した流量を実現• 真空圧力が下流側を 28 in/Hg 〜 5 in/Hg に変化させるため、安定した流量を実現

ベリフロ製計測機器/分析器および半導体/高純度製品ラインに関する詳細な説明や技術情報については、下記のウェブ・サイトから "PDF"
形式で入手してください。

www.veriflo.com

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製品インデックス

注目の新製品バルブ• IR6000 シリーズ

ダイアフラム弁• NOVA 3 方 AOP• NOVA 3 方手動式

• IR4000 シリーズ

• Nova 3 方ブロックおよび• NPR4000 シリーズ

ブリード

• AVR3 および AVR4 シリーズ

• Nova シリーズ
• Nova AOP• Nova ハンドホイール

減圧調整器
一段式

• Nova I• Nova L• HFR 900 シリーズ

• 944 シリーズ

• MIR 700 シリーズ

• NV55 シリーズ

• APR3 シリーズ
• 959 TDR シリーズ
• APR66 シリーズ
• アラーム・パッケージ付き切替

逆止め弁• VC10 シリーズ

リリーフ・バルブ• VR7 シリーズ

過流防止弁

• FS 190

装置• HPR 800 シリーズ
• HIR 100 シリーズ

二段式

• 735 TDR シリーズ

• 928AOP シリーズ
• 928AOPHP シリーズ

背圧調整器
背圧調整器

流量調節器
• ABP1 シリーズ

蒸気調整器

• BPR50 シリーズ
• ABP3 シリーズ

• SC 421 およびSC 423 シリーズ
• LC 221 およびLC 223 シリーズ
• SC 423 XL

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ベリフロ事業部オンライン
ベリフロ事業部（パーカー・ハネフィン社）では、総合ウェブ・サイトから圧力調整器、ダイ
アフラム弁、および連続ガス管理装置に関する詳細な情報をマウスでクリックするだけで閲覧することができるように公開しています。
このウェブ・サイトからは製品カタログ、プレス・リリース、見本市情報、および通常の事業部情報を PDF ファイル形式でダウンロードすることができます。製品カタログボタンは、表示可能な断面図、流動曲線、および注文情報で構成されています。

ウ ェ ブ ・ サ イ ト www.veriflo.com の 訪 問 者 は 、［Applications］ボタンをクリックしてください。
ベリフロ事業部の製品ラインに関して詳細な技術上の質問がある場合は、［Support］ボタンを押してください。
ベリフロのアプリケーション・サポート・チームがすべての訪問者の質問に対して 24 時間以内に対応します。

製 品 カ タ ロ グ ・ バ イ ン ダ ー は 、［ L i t e r a t u r e
Request］ボタン（各ウェブ・ページの画面下）
を選択することによってオンラインで注文することができます。

パーカー計装機器事業グループ（www.parker.com/instrumentation）および IG 事業部のウェブ・サイトへのリンクは、www.veriflo.com
からアクセスすることができます。
また、パーカーのホーム・ページ（www.parker.com）には、www.veriflo.com から直接アクセスすることも可能です。

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Parker Hannifin Corporation
Parker Hannifin Corporation
6035 Parkland Blvd.
Cleveland, Ohio 44124-4141
Telephone: (216) 896-3000
Fax: (216) 896-4000
www.parker.com

パーカー・ハネフィン社について

パーカー憲章パーカー・ハネフィン社は、モーション・コントロールに関して卓越したカスタマー・サービスを提供するグローバル企業です。また、フォーチュン誌ベスト企業 500 にランクさ
れ 、 ニューヨーク株式市場 （ PH ） に上場されております 。
パーカー・ハネフィン社の部品およびシステムは、1,400以上の製品群から成り、航空宇宙市場など 1,000 を超える産業市場の動体制御に採用されています 。 パーカー・ハネ
フィン社は 、 顧客が油圧 、 空圧 、 および電磁式の動体制御
ソリューションを選択することができる唯一のメーカーです 。 この分野では世界最大規模の流通ネットワークを通じて、全世界で 7,500 社以上ある販売代理店が約 40 万社のお客様にパーカー・ハネフィン社の製品を供給しています。

耐久消費財を取り扱う建設業者およびユーザーが使用する部
品およびシステムを製造するグローバル企業になること。つまり 、 動体 、 流量および圧力を制御する製品の設計 、 販売 、および製造を行うこと。我々は卓越したカスタマー・サービ
スを通じて収益率の高い成長を達成します。

製品情報
製品情報、最寄りの販売代理店または修理サービス場所をお探しのユーザーは、パーカー製品情報センターにご連絡ください。

航空機器事業部：
安全で正確な航行を支えるた
めに最高水準の信頼性・耐久性が求められる、航空機のフ
ライトコントロール、燃料供給、空圧コントロールなどに使用されるシステムおよびコ
ンポーネントを提供しています。

CIC 事業部：
食品保存のための冷凍冷蔵庫 、
ビルの空調設備、クリーンルー
ム、自動車および一般産業機械などに使用される温度・湿度・
流体コントロールシステムや 、これらに使用されるコンポーネントを提供しています。

流体継手事業部：
輸送機器や産業機械など流体を使用する機器・システムのコアコンポーネントとして 、
継手およびホース関連製品を提供しています。

シール事業部：
携帯電話・医療機器・産業機
械・石油化学プラントなどに使用されるシール材および関連製品を提供しています。

油圧機器事業部：
油圧を利用した各種建設機
械、試験機、工作機械などに使用する製品およびシステムを提供しています。

フィルトレーション事業部：
環境・製薬・製紙・化学など 、ろ過装置が必要な産業のシステ
ムや機器、コンポーネントを提供しています。

オートメーション事業部：
自動化が求められる機械・食品・電子部品などの製造ラインに使用されるオートメーションシステムや、これらに使用される空気圧機器、電動ア
クチュエーター、コントロー
ラーなどのコンポーネントを提供しています。

計装機器事業部：
半導体・医療・化学・エネルギーなどの産業で使用される各種機器用計装システムやコンポー
ネントを提供しています。

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警告
本書に記載されている製品およびシステム、または関連項目を間違って選択したり、不適切な操作を行ったりすると、死亡事故や身体障害、物的損害が発生する場合があります。
本書およびパーカー・ハネフィン社、その関係会社、および正規販売店から得たその他の情報には、技術的な専門知識を有するユーザーがより詳しく検討できるように製品およびシステムのオプション装備についても記載されています。
重要なことは、ユーザーが適用範囲のあらゆる面を分析して、最新の製品カタログに記載されている製品またはシステ
ムに関する情報を再検討することです。
これらの製品やシステムに関しては、多くの運転条件および適用範囲が定められているため、ユーザーは自らの分析および検討を通じて最終的に製品およびシステムを選択し、性能、安全、および適用範囲の警告条件がすべて満たされていることを確認する責任があります。
本書などに記載されている製品、製品の特徴、技術データ、構造、注文可能な部品、および価格については、パーカ
ー・ハネフィン社および関係会社が事前の通知なくいつでも変更することができます。

販売
本書に記載されている項目は、パーカー・ハネフィン社、関係会社、または正規販売会社によって販売されます。販売
および承認については、「販売」に記載されている条項によって規定されています。
© Copyright 1998, Veriflo Division, Parker Hannifin Corporation. All Rights Reserved

LITP/N: 25000075 • Revision 7 • 8/00

パーカー・ハネフィン日本株式会社〒 108-0071 東京都港区白金台 3-2-10 白金台ビル 2F
電話：03-6408-3901 FAX：03-5449-7202

大阪営業所〒 532-0004 大阪市淀川区西宮原 1-4-25 第 2 谷ビル
電話：06-4807-3288 FAX：06-4807-3299
URL.http//www.parker.com/
Parker Hannifin Corporation
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250 Canal Boulevard, P.O. Box 4034
Richmond, CA 94804-0034
Telephone 510 235-9590 • Fax 510 232-7396
e-mail: info@veriflo.com

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