製品情報

LIF 471 V
LIF 481 V
LIF 481 U
高真空および超高真空用オープンタイプリニアエンコーダ

03/2024

LIF 471V/LIF 481V/LIF 481 U
高真空および超高真空用インクリメンタルリニアエンコーダ• 真空対応バージョン• 最小分解能 2 nm
• ホーミングおよびリミットスイッチ機能対応
リミットプレートと熱膨張基準点設定用
部品は図示していません 

 60














  60













LIF 401 R

目盛本体*
熱膨張係数

SUPRADUR位相格子付きZerodurガラスセラミックもしくはガラス、目盛間隔: 8 µm
Þtherm = (0±0.1) · 10–6 K–1 (Zerodurガラスセラミック)、Þtherm ≈ 8 · 10–6 K–1 (ガラス)

精度等級

±3 µm

狭ピッチ精度≦ ±0.225 µm/5 mm

測定長 ML*( mm )  70	 120	 170	 220	 270	 320	 370	 420	 470	 520	 570	 620	 670720	 770	 820	 870	 920	 970 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640

原点

測定長中央に1箇所

質量0.8 g + 0.08 g/mm (測定長)

走査ヘッド

LIF 48 V/LIF 48 U

LIF 47 V

インターフェース

» 1 VPP

≦ TTL

分割倍率*
信号周期–
4 µm

5倍
0.8 µm≦ 1 MHz–

走査周波数*–

エッジ間隔 a     





スケール







    
– 





取付けクランプ、リミットプレート、熱膨張基準点設定用部品は図示していません  – 

   




50倍
0.08 µm

100倍0.04 µm≦ 500 kHz≦ 250 kHz≦ 125 kHz≦ 250 kHz≦ 125 kHz≦ 62.5 kHz≦ 250 kHz≦ 125 kHz≦ 62.5 kHz≦ 100 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 12.5 kHz–≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs≧ 0.040 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.040 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.040 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs

走査速度1)≦ 240 m/min≦ 120 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 24 m/min≦ 12 m/min≦ 6 m/min≦ 12 m/min≦ 6 m/min≦ 3 m/min

内挿精度
ポジションノイズRMS±12 nm
0.6 nm (1 MHz2))–電気的接続*• インターフェースユニットを大気側に設置:
真空側: 真空フィードスルー接続用ケーブル (0.5 m、1 m、2 m、もしくは2.5 m)
大気側: インターフェースユニット内蔵15ピンD-subコネクタ付ケーブル (0.5 m)• インターフェースユニットを真空内に設置:
インターフェースユニット内蔵15ピンD-subコネクタ付ケーブル(0.5 m、1 m、2 m、もしくは3 m)

ケーブル長

インターフェース仕様を参照してください。
ただし、インクリメンタル: ≦ 30 m、ホーミング、リミット: ≦ 10 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.25 V

消費電流< 150 mA

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 400 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度

0 °C ～ 50 °C

ベーキング温度

100 °C (LIF 4x V)、120 °C (LIF 48 U)

プリント基板材質

FR4

質量								9g38 g/m
75 g–3 dB

 





20倍
0.2 µm

カットオフ周波数

10倍0.4 µm  
固定ピンの位置       

ML/2 ±0.5

ML/2 ±0.5   L = スケール長F = マシンガイド* = 走査中の最大傾き
ML = 測定長
LI = リミットマーク、調整可能
H = ホーミング機能用スイッチ点
Ho = ホーミング機能用トリガ点
R = 原点位置
S = 測定長(ML)開始点
1 = 信号検出中心
2 = 走査ヘッド / スケール間のギャップ距離
3 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向
4 = スペーサによる取付けクリアランス
5 = 測定長(ML)に応じて、取付けクランプを追加してください
6 = 真空内で接着、室温にて24時間養生
7 = 走査ヘッド用取付け面
8 = 熱膨張基準点設定用部品(12.5)

Ho(13.5)

1.2±0.3

22


Limit
LI1 ±0.25

LI2 ±0.25

Homing

走査ヘッドケーブル
コネクタ< 165 mA (負荷なし)* 注文時にご指定ください
1)
TTLインターフェースにおける原点通過時の最大速度: 9.6 m/min(40 kHz)
2)
後続電子機器のカットオフ周波数–3 dBにおいて
製品情報 LIF 471 V/LIF 481 V/LIF 481 U   03/2024

製品情報 LIF 471 V/LIF 481 V/LIF 481 U   03/2024

真空アプリケーション用エンコーダ

電気的接続

真空対応のエンコーダには、以下のような特徴があります。
• 通気孔• 特殊な洗浄と梱包• PTFEを使用したケーブル被覆と網銅線への錫メッキ

高真空 インターフェースユニットを真空内に設置:
走査ヘッドのケーブルには、インターフェースユニットを内蔵した15ピンD-subコネクタが付いています。真空フィードスルー(15ピンD-subコネクタ、DN63CFフランジ)と延長ケーブルを別売りアクセサリとして用意しています。

10–9

ケーブル長: 0.5 m ...3 m




10–10
分圧 [hPa]

ハイデンハイン製真空対応エンコーダの残留ガス分析
残留ガス分析を行うことにより、真空対応エンコーダが真空の品質に与える影響を評価できます。残留ガス分析では、サンプルの入った真空チャンバを少なくとも10–6 hPa(排気速度15 l/s～200 l/sのターボ分子ポンプ使用)になるまで排気します。
質量分析計(Pfeiffer社製QMA 200)および絶対圧センサ(VACOM社製ATMION)を用いて残留ガスを測定します。チャンバ内の残留ガス標準値を引き算することにより、サンプルのアウトガス量を推測することができます。残留ガスの量は、サンプルや分析に用いた各材料の清浄度だけでなく、使用したポンプの種類とその排気速度にも左右されます。分析時の排気速度がより高速で、排気時間が長いほど、残留ガスの量は少なくなります。

LIF 471 V/LIF 481 Vには、ケーブル構成の異なる2種類のバージョンがあります。

10–810–11

インターフェースユニットを大気側に設置:

10–1201020304050
質量 [u]

6070180190200

走査ヘッドのケーブルには、高真空対応の丸型コネクタが付いています。
エンコーダには、高真空対応フィードスルーとインターフェースユニット内蔵15ピンD-subコネクタ付アダプタケーブルが含まれます。

真空 大気

ステータスLED

絶対圧1.5–7 hPa、排気速度92 l/sにおいて、3個の走査ヘッドを用いて測定したスペクトル分布図

アウトガス量を最小限に抑えるため、高真空下において、100 °C、48時間のベーキング処理を行うことをハイデンハインは推奨しています。
残留ガス分析
次に、ケーブル長1 mでAPEインターフェースユニットを内蔵した走査ヘッドLIF 48 V、LIF 47V、もしくはLIF 48Uの代表的なスペクトル分布図を示します。走査ヘッドは、事前に高真空下において、100 °C、24時間のベーキング処理を行っています。

超高真空LIF 481Uが対応しているケーブルフィードスルーは以下のとおりです。
超高真空の場合、エンコーダは信号変換器のような電子部品をチャンバ内で使用することができません。真空側に設置するLIF 481Uの走査ヘッドは、ケーブルと超高真空対応のD-subコネクタで構成されています。同梱されているアダ
プタケーブルのDsubコネクタには信号変換器が内蔵されているため、大気側に設置します。真空フィードスルー(15ピンD-subコネクタ、DN63CFフランジ)と延長ケーブルを別売りアクセサリとして用意しています。

LIF 481 Uの構成例

製品情報 LIF 471 V/LIF 481 V/LIF 481 U   03/2024

製品情報 LIF 471 V/LIF 481 V/LIF 481 U   03/2024

真空 大気ステータスLEDステータスLEDによりインクリメンタル信号と原点信号の良否判定を行うことが可能です。インクリメンタル信号の品質は色の濃淡により確認ができるため、信号品質レベルを視覚的に確認することが可能です。原点信号については、許容値範囲内かどうかの良否判定を行います。
原点信号のLED表示 (機能確認)
原点通過時にLEDが赤もしくは青色に表示
 許容値外 許容値内インクリメンタル信号のLED表示
LED表示色走査信号の品質



最適

良

使用可能

許容値外

インターフェースユニットに搭載されたステータスLED(インターフェースユニットを大気側に設置する場合)

ピン配列
15ピンD-subコネクタ

供給電圧

« TTL

インクリメンタル信号

その他信号

4122

10193111471386155UP

センサ
5V0V

センサ
0V

Ua1¢

Ua2

£

Ua0

¥HLPWT1)空き

A+A–B+B–R+R–––

空き

茶緑

灰ピンク

赤黒紫黄/

» 1 VPP
茶/緑

青白/緑

白

緑/黒黄/黒ケーブルシールド はハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンもしくは線は使用しないこと。
1)

PWT用にTTL/11 µAPP 切換え

この製品情報の発行により、前版製品情報との差し替えをお願いいたします。
ハイデンハインへの注文は契約時の製品情報をご覧ください。

詳細情報:
正しく動作させるために以下資料の記載内容にしたがってください。
• カタログ: オープンタイプリニアエンコーダ• 技術情報: 真空技術のためのリニアエンコーダ

ID 208960-xx
ID 627568-xx

www.heidenhain.co.jp
名古屋営業所〒460-0002
名古屋市中区丸の内3-23-20
HF桜通ビルディング10F (052) 959-4677
 (052) 962-1381

本社〒102-0083
東京都千代田区麹町3-2
ヒューリック麹町ビル9F
 (03) 3234-7781
 (03) 3262-2539
662692-J4 · PDF · 04/2024

版権保持大阪営業所〒532-0011
大阪市淀川区西中島6-1-1
新大阪プライムタワー16F
 (06) 6885-3501
 (06) 6885-3502※仕様は改善のため、事前にお断りなく変更することがあります。

九州営業所〒802-0005
北九州市小倉北区堺町1-2-16
十八銀行第一生命共同ビルディング6F

 (093) 511-6696
 (093) 551-1617