プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部
第 23 回 支部大会プログラム
第 1 日目 (12/21)

13:00－13:05

挨拶

支部長 内野喜一郎（九州大学）

13:05－13:20

支部総会

口頭発表（会場：別府国際コンベンションセンター B-ConPlaza 小会議室 31）
13：20～14：50
13:20－13:50
依頼講演-1
座長：白谷正治
I-1 半導体デバイスの革新を支えるプラズマプロセス ······················································· 1
木下啓藏（アイオーコア（株））

13:50－14:50

A セッション（4 件）

座長：大津康徳

A-1 トモグラフィデータを用いた PANTA プラズマの速度場解析法の確立 ····························· 5
荒木健 1，藤澤彰英 2，永島芳彦 2，文贊鎬 2，山崎広太郎 2，稲垣滋 2，佐々木真 2，小菅佑輔 2，山田琢磨 2,3，糟谷直宏 2，井戸毅 2，挾間田一誠 1，河内裕一 1，丸井一生 1，星野智 1，北川文哉 1，上島稔之 1，赤司智宏 1，小林大輝 1，西村大輝 1（1 九大総理工，2 九大応力研，3 九大基教）
A-2 異なる炭素源を用いた高周波熱プラズマによる炭素被覆シリコンナノ粒子の合成·············· 7
張曉宇，林田梨里子，田中学，渡辺隆行（九大工）A-3 偏向磁場印加された金属表面磁場の水素イオン性プラズマ ··········································· 9
加治龍矢，濱元康平，藤井征志，渡井雅巳，綿野稜眞，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）
A-4 TEOS プラズマ CVD による SiO2 製膜と膜質の温度勾配依存性 ····································· 11
吉田知晃 1，阿部滉平 1，佐々木勇輔 1，山下大輔 1，板垣奈穂 1，鎌滝晋礼 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1 九大シス情，2 自然科学研究機構）=休憩 14:50－15:10（ポスター掲示時間）iポスター発表（会場：別府国際コンベンションセンター B-ConPlaza 中会議室）
説明・討論時間

12 月 21 日 15:10～16:45

ポスター掲示時間

12 月 21 日 15:10～16:45

P-01 ステンレス鋼の大気圧プラズマ窒化におけるアルゴンガス添加の影響 ··························· 13
進藤京平，市來龍大，大谷亮仁，西口宏泰，立花孝介，古木貴志，金澤誠司（大分大工）P-02 球状トカマク装置 QUEST における高速駆動磁気プローブの開発 ·································· 15
工藤倫大 1，池添竜也 2，出射浩 2，福山雅治 1，張逸凡 1，芦田竜一 1，尾形大地 1，加藤凌哉 1，木谷彰宏 1，恩地拓己 2（1 九大総理工，2 九大応力研）
P-03 高周波熱プラズマを用いた高融点金属系リチウム複合酸化物のナノ粒子合成 ·················· 17
野中侃，杜翔宇，田中学，渡辺隆行（九大工）P-04 PANTA の磁気ノズル配位におけるプラズマ乱流の観測 ·············································· 19
北川文哉 1，稲垣滋 2,3，小菅佑輔 2,3，佐々木真 2,3，永島芳彦 2,3，山田琢磨 2,4，文贊鎬 2,3，
山崎広太郎 2，挟間田一誠 1，河内裕一 1，荒木健 1，丸井一生 1，藤澤彰英 2,3（1 九大総理工，2 九大応力研，3 九大極限プセ，4 九大基教）
P-05 アルゴン・酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマによるアッシングの酸素濃度依存性と分光特性 ·································································· 21
本田進之介 1，井野雄太 1，福永悠人 2，大津康徳 1（1 佐賀大院工，2 佐賀大理工）
P-06 酸化アルミニウム膜の水素プラズマ照射による導電性の発現 ······································· 23
白石崇，前田哲志，綿野稜眞，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）
P-07 反応性プラズマの AM 変調における発光強度分布······················································ 25
阿部滉平 1，吉田知晃 1，佐々木勇輔 1，山下大輔 1，板垣奈穂 1，鎌滝晋礼 1，古閑一憲 1,2，
白谷正治 1（1 九大シス情，2 自然科学研究機構）
P-08 統合コード TASK を用いたトカマクコアプラズマにおける不純物輸送シミュレーション ··· 27
下村一哉 1，糟谷直宏 1,2，福山淳 3，持永祥汰 1，矢木雅敏 4（1 九大総理工，2 九大応力研，3京大，4 量研機構）
P-09 高速度カメラを用いたミスト供給型水プラズマにおけるアーク変動現象の解析 ··············· 29
宗像大貴，田中学，渡辺隆行（九大工）P-10 タングステン堆積層におけるプラズマ駆動水素同位体透過挙動に関する研究 ·················· 31
原優樹，片山一成，大宅諒，伊東英貴，森大輔（九大総理工）P-11 光ピンセットによる微粒子トラップを用いたアルゴンプラズマ電場の精密測定 ··············· 33
奥永冴京 1，岩本亮介 1，鎌滝晋礼 1，富田健太郎 2，山下大輔 1，板垣奈穂 1，古閑一憲 1,3，白谷正治 1（1 九大シス情，2 九大総理工，3 自然科学研究機構）
P-12 QUEST 球状トカマクプラズマの平衡解析に向けたポロイダルフラックス測定 ················· 35
木谷彰宏 1，恩地拓己 2，花田和明 2，黒田賢剛 2，Hatem O ELSERAFY2，池添竜也 2，工藤倫大 1，長谷川真 2，中村一男 2，出射浩 2（1 九大総理工，2 九大応力研）
ii

P-13 大気圧プラズマジェットによる光輝窒化処理の実証 ··················································· 37
小島健人，戸田吉保，神原優華，市來龍大，立花孝介，古木貴志，金澤誠司（大分大工）P-14 トモグラフィを用いた PANTA における低密度プラズマ解析········································ 39
西村大輝 1，藤澤彰英 2,3，永島芳彦 2,3，文贊鎬 2,3，山崎広太郎 2，稲垣滋 2,3，佐々木真 2,3，小菅佑輔 2,3，山田琢磨 3,5，糟⾕直宏 2,3，井戸毅 2,4，挾間田一誠 1，河内裕一 1，荒木健 1，
丸井一生 1，星野智 1，赤司智宏 1，小林大輝 1（1 九大総理工，2 九大応力研，3 九大極限プ
セ，4 九大高温プセ，5 九大基教）P-15 立体大気圧プラズマを用いたプラズマ殺菌の空間分布 ················································ 41
内田裕大 1，佐藤翔 1，三沢達也 2（1 佐賀大院工，2 佐賀大理工）
P-16 水素負イオンの崩壊条件と積極的な破壊 ·································································· 43
藤井柾志，弘瀬和正，平岡勇人，渡井雅巳，加治龍矢，綿野稜眞，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）
P-17 EUV 光により誘起された水素プラズマのトムソン散乱計測 ········································· 45
堀田隼矢，伊藤文崇，富田健太郎，内野喜一郎（九大総理工）P-18 高周波熱プラズマの熱流体解析に基づくシリコンナノ粒子生成プロセスの検討 ··············· 47
劉子申，田中学，渡辺隆行（九大工）P-19 PLATO トカマクにおける磁場配位を考慮した輸送解析··············································· 49
持永祥汰 1，糟谷直宏 1,2，福山淳 3，下村一哉 1，永島芳彦 1,2，藤澤彰英 1,2（1 九大総理工，2九大応力研，3 京大）
P-20 PANTA における孤立波振動現象のテンプレート法を用いた解析 ·································· 51
小林大輝 1，藤澤彰英 2,3，永島芳彦 2,3，文贊鎬 2,3，山崎広太郎 2，稲垣滋 2,3，佐々木真 2,3，
小菅佑輔 2,3，山田琢磨 3,5，糟谷直宏 2,3，井戸毅 2,4，挾間田一誠 1，河内裕一 1，荒木健 1，丸井一生 1，星野智 1，北川文哉 1，上島稔之 1，赤司智宏 1，西村大輝 1（1 九大総理工，2九大応力研，3 九大極限プセ，4 九大高温プセ，5 九大基教）
P-21 パルス変調プラズマ触媒法による二酸化炭素のメタン化 ············································· 53
出口雅志 1，山本瑛久 1，山下大輔 1，板垣奈穂 1，鎌滝晋礼 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1九大シス情，2 自然科学研究機構）
P-22 水素プラズマ照射に伴うアルミニウム仕事関数の変化 ················································ 55
田中陸太，平松幸己，綿野稜眞，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）
P-23 マグネトロンスパッタリングによる金属板表面への PVDF 薄膜合成 ······························ 57
安田洸也 1，井野雄太 2，大津康徳 2（1 佐賀大理工，2 佐賀大院工）P-24 QUEST における高磁場側 RF 入射時の電子温度・密度のプローブ計測 ··························· 59
村上貴洋 1，花田和明 2，Hatem Elserafy1，小島信一郎 1，恩地拓己 2，黒田賢剛 2，出射浩
2，福山雅治 1，彭翊 3，松崎亨平 3，大澤佑規 3，江尻晶 3（1 九大総理工，2 九大応力研，3東大新領域）
P-25 高周波熱プラズマによる Li4SiO4 アモルファス酸化物ナノ粒子の合成 ····························· 61
杜翔宇，野中侃，田中学，渡辺隆行（九大工）iii

P-26 円筒プラズマにおけるドリフト波不安定性の非線形シミュレーション ··························· 63
石田雅信 1，糟谷直宏 1,2，矢木雅敏 3（1 九大総理工，2 九大応力研，3 量研）
P-27 レタス幼苗重量分布に対する種子エイジングとプラズマ照射の効果 ······························ 65
廣松真弥 1，有田涼 1，田中颯 1，佐藤僚哉 1，松尾かよ 1，山下大輔 1，板垣奈穂 1，鎌瀧晋礼 1，Pankaj Attri1，石川健治 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1 九大シス情，2 自然科学研究機構）
P-28 VHF 水素プラズマによる高効率のスズ分解除去 ························································ 67
今田玲，永田峻，Ji Mengran，内野喜一郎（九大総理工）P-29 平板型リアクタにおける流水に対するパルス放電プラズマの特性 ································· 69
別府雅人，古木貴志，立花孝介，市來龍大，金澤誠司（大分大工）P-30 FRF 展開を用いたプラズマ構造の回転速度の推定 ······················································ 71
赤司智宏 1，藤澤彰英 2,3，永島芳彦 2,3，文賛鎬 2,3，山崎広太郎 2，稲垣滋 2,3，佐々木真 2,3，
小菅佑輔 2,3，山田琢磨 3,5，糟谷直宏 2,3，井戸毅 2,4，挟間田一誠 1，河内裕一 1，荒木健 1，星野智 1，丸井一生 1，青木大輔 1，北川文哉 1，上島稔之 1，小林大輝 1，西村大輝 1，古賀大喜 1（1 九大総理工，2 九大応力研，3 九大極限プセ，4 九大高温プセ，5 九大基教）
P-31 酸素プラズマ照射によるトウモロコシの成長促進実証試験 ·········································· 73
大賀昇 1，北崎訓 2（1 福工大院工，2 福工大工）
P-32 アンバランスマグネトロンスパッタによる次世代自動車窓材プラスチック板への撥水性薄膜合成 ·································································································· 75
井野雄太 1，安田洸也 2，大津康徳 1（1 佐賀大院工，2 佐賀大理工）
P-33 正イオンビームを重畳した水素イオン性プラズマ中の後進波 ······································· 77
弘瀬和正，藤井柾志，平岡勇人，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）
P-34 多相交流アークにおける金属蒸気挙動の可視化 ························································· 79
末永拓也 1，丸山大貴 1，釘宮悠太 1，田中学 1,2，渡辺隆行 1,2，大熊崇文 2,3，永井久雄 3，
小岩崎剛 3（1 九大工，2 九大プラズマナノ界面工学セ，3 パナソニック）
P-35 部分電離プラズマにおける時間分解速度分布関数計測システムの構築 ··························· 81
松尾拓実 1，寺坂健一郎 1，吉村信次 2，荒巻光利 3，田中雅慶 1（1 九大総理工，2 核融合研，3日大生産工）
P-36 外部共振器型半導体レーザーを用いた Ar 誘導結合プラズマ中の気体温度測定 ················· 83
嶋本凌，喜納淳，松田良信，山下敬彦（長崎大工）P-37 発光分光法による傾斜 TIG アークプラズマの電流・入熱密度分布の推定 ························ 85
相部篤志，野村和史，浅井知（阪大工）P-38 磁化プラズマにおける熱雪崩現象の渋滞効果に関するシミュレーション ························ 87
古賀大喜，小菅佑輔（九大総理工）iv

P-39 イネ種子に対するプラズマ照射効果のフィールドテスト ············································· 89
田中颯 1，有田涼 1，廣松真弥 1，佐藤僚哉 1，松尾かよ 1，山下大輔 1，板垣奈穂 1，鎌瀧
晋礼 1，Pankaj Attri1，石川健治 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1 九大シス情，2 自然科学研究機構）

懇親会
場所：豊後食堂
別府市北浜１丁目つるみプレザンビル 2F
0977-27-3077
時間：18:00～20:00

別府駅・海岸口（東口）を出て徒歩５分！

ここの 2Fv

第 2 日目 (12/22)
口頭発表（会場：別府国際コンベンションセンター B-ConPlaza 小会議室 31）
9：15～15：00
9:15－9:45
依頼講演-2
座長：花田和明I-2 大学・核融合科学研究所における核融合研究とその将来展望 ······································· 91
坂本隆一（核融合研）
9:45－11:15

B セッション（6 件）

座長：大原渡B-1 高温下バリア放電の拡張現象時における窒素ドーピングの調査 ···································· 93
清水智仁，市來龍大，神田直人，川述圭樹，小松智紀，立花孝介，古木貴志，金澤誠司（大分大工）
B-2 液体金属の磁場中での流動の基礎研究 ····································································· 95
次木匠 1，
花田和明 2，胡長洪 2，
廣岡慶彦 3，嶋田道也 4，Hatem O ELSerafy1，
Jabir Al Salami2，
大宅諒 1，川崎昌二 2（1 九大総理工，2 九大応力研，3 中部大，4 元量研）
B-3 QUEST における ECE 輻射計測 ·············································································· 97
加藤凌哉 1，出射浩 2，福山雅治 1，張逸凡 1，芦田竜一 1，尾形大地 1，工藤倫大 1，HATEM
Elserafy1，小島信一郎 1，池添竜也 2，恩地拓己 2，花田和明 2，長谷川真 2，黒田賢剛 2，
大澤佑規 3，江尻晶 3（1 九大総理工，2 九大応力研，3 東大新領域）
B-4 回転迷路型高周波マグネトロンスパッタ装置の開発とその評価 ···································· 99
田中黎 1，中嶋崇博 2，大津康徳 1,2（1 佐賀大院工，2 佐賀大理工）
B-5 プラズマ照射したカイワレダイコン種子の発芽促進機構－吸水時の種子内ラジカル動態－········································································· 101
有田涼 1，田中颯 1，廣松真弥 1，佐藤僚哉 1，松尾かよ 1，山下大輔 1，板垣奈穂 1，鎌瀧
晋礼 1，Pankaj Attri1，石川健治 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1 九大シス情，2 自然科学研究機構）
B-6 トーラス装置 PLATO における MHD 不安定性のダイナミクス ··································· 103
富松修平 1，糟谷直弘 1,2，佐藤雅彦 3，福山淳 4，矢木雅敏 5，永島芳彦 1,2，藤澤彰英 1,2（1 九大総理工，2 九大応力研，3 核融合研，4 京大，5 量研）=休憩 11:15－11:30

11:30－12:00
依頼講演-3
座長：渡辺隆行
I-3 プラズマ推進機による小惑星ランデブーについて ·························································
細田聡史（JAXA）=昼食休憩 12:00－12:45

vi

12:45－14:00

C セッション（5 件）

座長：松田良信

C-1 プラズマ照射溶液を用いた酵母の増殖，発酵特性 ···················································· 105
青柳勇太 1，上原健 2，北崎訓 2（1 福工大院工，2 福工大工）
C-2 トモグラフィを用いた PANTA におけるプラズマ揺動と構造の磁場依存性の研究 ············ 107
丸井一生 1，藤澤彰英 2,3，永島芳彦 2,3，文贊鎬 2,3，山崎広太郎 2，稲垣滋 2,3，佐々木真 2,3，小菅佑輔 2,3，山田琢磨 3,4，糟谷直宏 2,3，井戸毅 2，挾間田一誠 1，河内裕一 1，荒木健 1，
星野智 1，北川文哉 1，上島稔之 1，赤司智宏 1，小林大輝 1，西村大輝 1（1 九大総理工，2九大応力研，3 九大極限プセ，4 九大基教）
C-3 窒素雰囲気における多相交流アークの温度変動現象の可視化 ····································· 109
丸山大貴 1，釘宮悠太 1，田中学 1，渡辺隆行 1，上田紹央 2，東崎英樹 3（1 九大工，2 福伸工業，3 玉田工業）
C-4 小型電子ビームイオントラップを用いたタングステン多価イオンの禁制線の同定··········· 111
恵良彰太 1，坂上裕之 2，村上泉 2,3，中村信行 4，加藤太治 1,2（1 九大総理工，2 核融合研，
3総研大，4 電通大）
C-5 粉体ターゲットを用いた 2 次元機能性薄膜の作製 ···················································· 113
川崎仁晴，大島多美子，柳生義人，猪原武士，篠原正典（佐世保高専）

14:00－15:00

D セッション（4 件）

座長：林信哉D-1 アルミニウム製プラズマグリッドから引出される水素負イオンの最大電流密度 ············· 115
綿野稜眞，森永悠太，紀幸志郎，白石崇，藤井征志，加治龍矢，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）
D-2 酸化物ターゲットを用いた RF マグネトロンスパッタリングにおけるエネルギー分布関数の磁気フィルタ効果··············································································· 117
安元秀，石場将希，喜納淳，松田良信，山下敬彦（長崎大工）D-3 エンストロフィーを最小化する流れ構造に対する中性粒子の影響 ······························· 119
青木大輔 1，小菅佑輔 2,3（1 九大総理工，2 九大応力研，3 九大極限プセ）
D-4 大気圧プラズマを照射したシロイヌナズナのエピジェネティクス解析 ······························
リャオ ユーシャン，林信哉（九大総理工）vii