【PAT.】

空圧アクティブ微振動制御システム

αSeriesαシリーズ

微振動制御技術の粋を結集した・ 優れた除振性能
・ 早い整定時間と正確な位置制御
・ 多彩なバリエーション、 ３点から多点支持まで可能

α

１９８８年の世界初空圧アクティブ発売以来、進化し続けている

空圧アクティブ微振動制御システムシリーズ

半導体・液晶がますます微細化され、生産効率を上げるために、高精度、高速化へ推移し、そこではαシリーズは、このような市場の要望に大きな直動外乱を素早く解消する技術が求められています。
応え、優れた除振性能、制振性能、および復元性能を有します。

αシリーズ「空圧制御」の■ システム構成
加速度センサ

長所（フィードバック制御）■ 低域から優れた振動絶縁特性■ 静荷重の支持が容易

加速度センサ
制御定盤（地動フィードフォワード制御）■ 位置・姿勢制御が容易■ ストロークが大きい

変位センサ■ クリープしない（位置制御）■ 発熱しない■ 漏洩磁束がない

エアアクチュエータ

サーボバルブαシリーズの多彩なバリエーション■ 装置の仕様・要求にあわせたαシリーズの微振動制御技術● Ｌ タイプ ・・・除振性能を重視した装置 （ＳＥＭ・ＡＦＭといった研究開発に用いる装置など）■ ３点から多点支持まで可能。
装置と現場の仕様や要求に応じた適切なご提案が可能です。

● Ｍ タイプ ・・・除振・制振性能が応分に必要な装置 （スタンダードな嫌振装置など）● Ｈ タイプ ・・・制振性能を重視した装置 （高速加工・検査装置など）
制振性能
disp[mm]

３点支持（例）
除振性能30

L type passive
M type passive
H type passive

200.30.2
0.1
0-0.1-0.2

L type05100

disp[mm]

Magnitude[dB]

４点支持（例）-10-20-302530

L type active
M type active
H type active

M type05101

Frequency[Hz]10210disp[mm]01015202530

Time [sec]0.30.20.1
0-0.1-0.2

H type051015

Time [sec]８点支持（例）

200.30.20.10-0.1-0.2-40-50 -1
1015Time [sec]10■ ３点支持から多点支持まで可能● 基本配置パターン例 ※６点以上も可能です。

202530αシリーズの特長

精密除振環境づくりには３つの視点があります。
αシリーズは、各性能の最適なバランスを実現します。

■ 優れた振動絶縁特性

１．除振性能フィードバック制御と地動フィードフォワード制御（ＦＢ+ＧＦＦ）により、絶縁量を大きくします。

■ 早い整定時間と正確な位置制御
高精密な加速度センサと変位センサにより、衝撃を瞬時に感知し正確な位置復元を実現。

■ 高い耐用性を保持
地震や２Ｇ動作での駆動シス
テムへの大きな衝撃があっても良い性能を維持し続けます。

αシリーズの製品群

以下の超微振動環境を創出● 床振動を0.5Hzから絶縁：：＞＞以上

Magnitude[dB]［振動絶縁性能］●

3020Active OFF
Active ON

100-10-20-30-40-50

110100Frequency[Hz]２．制振性能装置の直動外乱を瞬時に感知し、素早く整定させます。
［ステージ駆動時の定盤応答性能］● 揺れを小さくして、高速運転を可能に※● ステージフィードフォワード（ＳＦＦ）
制御で制振量をさらに大きく0.015

Accelerate [m/s²]

フィードバック制御と、フィードフォワード制御により、卓越かつ安定した絶縁性能を発揮。

0.010.005
0-0.005-0.01※ ステージフィードフォワード制御
搭載するステージ等からの信号に同期し、アクチュエータを駆動させ、ステージ移動から起こる姿勢の変化を速やかに復元します。
オプション対応となります。

-0.015

00.5

11.5

22.5

356Time [sec]３．復元性能変位信号を常時監視し、制御を行う事で、正確な位置復元性能を実現します。
■ 空圧アクティブ微振動制御

αシリーズは除振性能、制振性能に加え姿勢維持にも優れた効果を発揮。
また６点や８点支持により大荷重の搭載も対応。

● 周辺機器との相対変位を最小に● 装置重心が変動しても即座に５μmの精度で原点回帰

0.20.100.10.2

Active OFF
Active ON01234

Time [sec]ダブルアクティブ（装置内αシリーズ＋装置下αシリーズ）で、共振を発する事なく、更に良い振動環境を実現。

■ 高性能コントローラ
最高の制御とデータ処理能力を備え、エラー発生時のログ機能などを装備。
状況に応じて、現地調整対応
もしくはAuto Tuning対応。

［位置復元性能］

disp[mm]システムα シリーズ

装置下アクティブ

装置内アクティブ

装置内アクティブ
設置床
装置下アクティブ

αシリーズの仕様
基本仕様
型 式
設計許容荷重１ユニット （kgf） ※１

α-１４０400

α-２００750

234 × 180

268 × 253328 × 313

Ｌ238

238

238

Ｍ

168

168

168

外形寸法（Ｗ×Ｄ mm）
除振性能別
着座時高さ （mm）

α-１００
180

ユニット質量（kg/1ユニット）

168

168

Ｈ

168

L

Ｍ

Ｈ

L

Ｍ

Ｈ

L

Ｍ

Ｈ

10.1

8.6

8.9

17.3

15.2

15.7

21.4

18.4

19.4

型 式

α-２０１

設計許容荷重１ユニット （kgf） ※１

740

α-２０２
1300

α-２０３
1800
260 × 260

260 × 260

260 × 260

Ｌ

259

－－Ｍ

204

259

314

外形寸法（Ｗ×Ｄ mm）
除振性能別
着座時高さ （mm）

204

259

314

α3ｗ-201Ｍ
16

α3ｗ-202Ｍ
21

α3ｗ-203Ｍ
26

型 式

α-３３１

設計許容荷重１ユニット （kgf） ※１

2000

α-３３２3900

α-３３３5800

Ｈユニット質量（kg/1ユニット）

400 × 400

400 × 400

400 × 400

Ｌ298403508

Ｍ262333404Ｈ262333404

α3ｗ-331Ｍ
72α3ｗ-332Ｍ
88α3ｗ-333Ｍ
100

外形寸法（Ｗ×Ｄ mm）
除振性能別
着座時高さ （mm）

ユニット質量（kg/1ユニット）● ご注意 ※１ 設計許容荷重は１ユニットあたり供給圧０.５ＭＰａ時の値です。

本基本仕様以外にも、低床ユニット等のバリエーションもございます。

アクチュエータ制御方向α２ｓ

α
鉛直１α２ｗ

α３ｓ

α３ｗ

鉛直１
水平１
鉛直１
水平１( 対向 )鉛直１水平２(Ｌ型 )鉛直１
水平２型 式

制御用コントローラ● 付属物：レギュレータ、配管、配線

α１８５①【定格電源】
・１００-２４０ＶＡＣ
・５０-６０Ｈｚ
・８０Ｗｍａｘ③④⑤① シリーズ名② 制御軸の数・・・・α
α２=鉛直１+水平1、αα３=鉛直１+水平２③ 水平一方向の制御コア数・・・・・・・・・・・ｓ（シングル）=１、ｗ（ダブル）=２④ 鉛直用ダイヤフラム空気ばねの種類⑤ 鉛直方向の固有振動数
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ｈ=高、Ｍ=中、Ｌ=低６８

２１０

安全に関するご注意②●ご使用前に 「取り扱い説明書」 をよくお読みのうえ、 正しくお使いください。

このカタログは２０２０年１２月現在のものです。 製品の改良にともない一部仕様を変更することがあります。

東京営業課
関西営業課
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(代)
(代)
(代)

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Cat No.20.12.04
0.12.04