プラズマ・核融合学会
第 24 回

九州・沖縄・山口支部

支部大会プログラム

第 1 日目 (12/19)
12:30 から入室開始・画面共有チェック

13:00-13:05

開会式
挨拶 支部長 大津康徳（佐賀大）

会議室 A

13:05-13:30

支部総会 司会：大津康徳（佐賀大）

会議室 A

13:30-14:00
招待講演１（３０分）
司会：花田和明（九大）
会議室 A
INV01
JT-60SA 計画の概要と現状………………………………………………………… 1
井手俊介 1、JT-60SA チーム（1 量子科学技術研究開発機構）

14:00-15:30
一般講演 A1（各１５分）
司会：佐々木真（九大）
会議室 A
19pA01 熱雪崩現象の渋滞効果に関する数値解析………………………………………… 3
古賀大喜 1，小菅佑輔 2，佐々木真 3（1 九州大学総合理工学府，2 応用力学研究所，3

19pA02

極限プラズマ研究連携センター）

統合コード TASK を用いた PLATO トカマクにおける平衡および輸送解析… 5
持永祥汰 1， 糟谷直宏 1,2，福山淳 3，藤澤 彰英 1,2，永島芳彦 1,2（1 九大総理工，219pA03

九大応力研，3 京大）

PLATO トカマクにおけるバルーニングとキンク不安定性の評価……………
黒田侑 ，糟谷直宏
1英19pA04，佐藤雅彦 ，福山淳 ，矢木雅敏 ，永島芳彦

1,2

34

57，藤澤彰1,2（ 九大総理工， 九大応力研， 核融合研， 京大， 量研）

1,2

1

2

3

45

抵抗性ドリフト波乱流のイオン質量数依存性……………………………………
石田雅信 ,糟谷直宏
19,今橋優大 ,矢木雅敏 （ 九大総理工， 九大応力研， 量研

1,213123機構）
19pA05後進波と逆進行波が伝搬する水素イオン性プラズマ…………………………… 11
弘瀬和正，藤井柾志，濱本康平 ，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）

19pA06層厚の異なる酸化アルミニウムの仕事関数に及ぼす水素プラズマ照射の影響 13
田中陸太，綿野稜眞，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）i

14:00-15:30
一般講演 B1（各１５分）
司会：三沢達也（佐賀大）
会議室 B
19pB01 アルゴンプラズマ中光捕捉微粒子への作用力の校正…………………………… 15
奥永冴京 1，鎌滝晋礼 1，富田健太郎 2，Pan Yiming1，山下大輔 1，板垣奈穂 1，古閑一憲 1,3，白谷正治 1（1 九大，2 北海道大，3 自然科学研究機構）
19pB02

PIC-MCCM を用いた CCP における IED に関する研究……………………… 17
阿部滉平 1，陶陽 1，岩本亮介 1，佐々木勇輔 1，吉田知晃 1，山下大輔 1，鎌滝晋礼 1，奥村賢直 1，板垣奈穂 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1 九大シス情，2 自然科学研究機構）

19pB03

CCP における径方向電場 Ey の計測の試み……………………………………

19

陶陽 ，岩本亮介 ，阿部滉平 ，鎌滝晋礼 ，山下大輔 ，奥村賢直 ，
1

1

1

1

1

1

板垣奈穂 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1 九大シス情，２自然科学研究機構）
19pB04UHF プラズマのトムソン散乱法による電子密度・温度計測…………………

21

上田洋輔，PAN Yiming，内野喜一郎，河合良信（九大総理工）19pB05

水素プラズマによる Sn 薄膜のイオンエッチング過程における水素イオンエネル
ギーの影響…………………………………………………………………………… 23
永田崚，Ji Mengran，内野喜一郎（九大総理工）19pB06ECDL を用いたプロセス用プラズマ中の気体温度計測法の開発……………… 25嶋本凌，中山瑛規，菅恭介，喜納淳，松田良信（長崎大院工）15:30-16:00

休憩・画面共有チェック

16:00-17:15
一般講演 A2（各１５分）
司会：王 斗艶（熊本大）
会議室 A
19pA07 大気圧プラズマジェット窒化における処理可能面積の調査…………………
27
神原優華，市來龍大，矢川智健，立花孝介，古木貴志，金澤誠司（大分大）19pA08大気圧酸素プラズマ照射による EL-4 T 細胞活性化…………………………… 29
植松陽香，シティ スバエダ，林 信哉（九大総理工）19pA09大気圧 He プラズマ照射によるがん細胞の不活化効果………………………… 31
西田和貴，林信哉（九大総理工）19pA10立体大気圧プラズマを用いたトマトの殺菌と品質保持………………………… 33
佐藤翔，Izah Aqilah binti Zolkarnain，三沢達也（佐賀大工）

19pA11レタス種子の発芽特性に及ぼす調湿・プラズマ照射時間依存性……………… 35
阿南輝樹 1，田中颯 1，有田涼 1，山下大輔 1，奥村賢直 1，アトリ パンカジ 1，鎌滝晋礼 1，板垣奈穂 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1，石橋勇志 1，藤本祉史 3，熊内雅
人 3，松井英享 4（1 九大，2 自然科学研究機構，3 三進金属工業，4 新興精機）ii

16:00-17:00
一般講演 B2（各１５分）司会：田中学（九大）
会議室 B
19pB07 磁気フィルタ付 RFEA を用いた DCMS 中のイオンエネルギー分布関数測定 37
安元秀，小久江利光，井川樹，松田良信，山下敬彦（長崎大院工）
19pB08

アルミニウムプラズマグリッドを通過した水素正イオンのエネルギー分析… 39
紀幸志郎，丸﨑 優太，前田哲志，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）

19pB09大口径テーパー構造のアルミニウムプラズマグリッドを用いた水素イオン性プラズマの生成………………………………………………………………………… 41
濵本康平，加治龍矢，弘瀬和正， 藤井柾志 ，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）

19pB10タンデム型水素プラズマ源のプロトン比最大条件の探索……………………… 43
前田哲志，紀幸志郎，吉田雅史，大原渡（山口大院創成）

18:30-20:30

オンライン交流会交流会会場（Remo）

第 2 日目 (12/20)
9:00 から入室開始・画面共有チェック

09:30-10:00
招待講演２（３０分）
司会：白谷正治（九大）
会議室 A
INV02
半導体産業におけるプラズマの応用……………………………………………… 45
守屋 剛（東京エレクトロン（株））

10:00-11:45
一般講演 A3（各１５分）
司会：鎌滝晋礼（九大）
会議室 A
20aA01 ITO 薄膜のスパッタ製膜プロセスへの機械学習の適用………………………… 47
陳飛宇 1，岩本亮介 1，鎌滝晋礼 1，板垣奈穂 1, 古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1 九大シス情，2 自然科学研究機構）
20aA02対向円筒型ターゲットを用いた高周波プラズマスパッタによる透明導電膜の合成とその空間分布…………………………………………………………………… 49
坂田豪大，大津康徳（佐賀大）

20aA03

アンバランスマグネトロンスパッタによる ポリカーボネート板への PTFE 撥水性薄膜合成及び評価………………………………………………………………… 51
井野雄太 1，大津康徳 1，安永健 2，池上康之 2，田原竜夫 3，藤尾侑輝 3（1 佐賀大院工，2 佐賀大海エネ，3 産総研）

20aA04高周波マグネトロンスパッタにおける回転型新規磁石配置によるターゲット浸
食分布の改善………………………………………………………………………… 53
安田洸也，大津康徳（佐賀大院工）iii

20aA05

粉体ターゲットプラズマプロセスによる水素脆性防止膜の試作……………… 55
川崎仁晴，大島多美子，柳生義人，猪原武士，西口廣志（佐世保高専）

20aA06

Ar/N2 スパッタリングによるサファイア基板上への ZnO 単結晶成長：O-poor バッファー層の効果…………………………………………………………………… 57
松本翔剛 1，髙橋大智 2，中村優太 2，山下大輔 2，奥村賢直 2，鎌滝晋礼 2，古閑一憲 2，白谷正治 2，板垣奈穂 2（1 九大工，2 九大シス情）

20aA07

スパッタエピタキシー法による(ZnO)X(InN)1-X 膜の作製: 高温バッファー層の効果…………………………………………………………………………………… 59
寺澤寛 1，金島健太郎 2，成重椋太 2，山下大輔 2，奥村賢直 2，鎌滝晋礼 2，古閑一憲 2，白谷正治 2，板垣奈穂 2（1 九大工，2 九大シス情）

10:00-11:45
一般講演 B3（各１５分）
司会：松田良信（長崎大）
会議室 B
20aB01 粉体供給中の多相交流アークにおける Li 金属蒸気の高速度計測……………… 61
末永拓也 1，釘宮悠太 1，田中学 1,2，渡辺隆行 1,2，大熊崇文 2,3，永井久雄 3，小岩
3 1
崎剛 3，丸山大貴 （九大工，2 九大プラズマナノ界面工学セ，3 パナソニック（株））

20aB02

Arc temperature measurement of nitrogen DC arc based on emission intensity
ratio method in dual wavelength ranges…………………………………………… 63
Zhengtong SHEN, Yuki TAKEMOTO, Masayuki MAEKAWA, Manabu TANAKA,and Takayuki WATANABE（Kyushu Univ.）

20aB03

ミスト量調節型水プラズマにおけるアーク変動………………………………… 65
村上寛，金淳浩，宗像大貴，田中学，渡辺隆行（九大院工）20aB04

窒素雰囲気における多相交流アークの電極蒸発現象の可視化………………… 67
釘宮悠太 1，田中学 1，渡辺隆行 1，松浦次雄 2，上田紹央 3，東崎英樹 4（1 九大工，
2

20aB05

タソーアーク（株），3 福伸工業（株），4 タマダ（株））

Synthesis of Li-Sm-W composite oxide nanoparticles by induction thermal plasma………………………………………………………………………………………… 69
Byeong-Il MIN, Xiaoyu ZHANG, Yiran WANG, Manabu TANAKA, and Takayuki
WATANABE（Kyushu Univ.）

20aB06

高周波熱プラズマを用いた非晶質 Li3BO3 ナノ粒子の生成機構………………… 71
王怡冉，闵 丙一，張曉宇，田中学，渡辺隆行（九大工）

20aB07

容量結合プラズマ触媒法によるサバティエ反応：圧力依存性………………… 73
長谷川大樹 1，出口雅志 1，都甲将 2，山下大輔 1，鎌滝晋礼 1，板垣奈穂 1，古閑一憲 1,3，白谷正治 1（1 九大，2 大阪大，3 自然科学研究機構）

11:45-13:30

昼食・休憩・画面共有チェックiv

13:30-14:00
招待講演３（３０分）
司会：稲垣滋（九大）
会議室 A
INV03
ブラックホール周辺のプラズマのダイナミクス………………………………… 75
町田真美（国立天文台）

14:00-15:30
一般講演 A4（各１５分）
司会：出射浩（九大）
会議室 A
20pA01 強制非平衡イオン発光計測による多価イオンの電子衝突電離断面積の実験的評
価……………………………………………………………………………………… 79
佐々木康 1，物部将士2，中村信行2，神原永昌 3,4, 坂上裕之 5，村上泉 3 , 5，加藤太治 1,5（1 九大，2 電通大レーザー研，3 総研大，4 国立天文台，5 核融合研）
20pA02トカマク磁場配位プラズマ中の高速イオン挙動及びバルク加熱に対する核弾性散乱効果……………………………………………………………………………… 81
中島弘貴 1，松浦秀明 1，杉山翔太 2（1 九大院工，2 量研）

20pA03

新しい条件付き平均法(CECAME)の提案と PANTA プラズマへの適用……… 83
小林大輝 1，藤澤彰英 2,3，永島芳彦 2,3，文贊鎬 2,3，山崎広太郎 2，稲垣滋 2,3，井戸毅 2，山田琢磨 3,4，小菅佑輔 2,3，糟谷直宏 2,3，佐々木真 2,3，河内裕一 1，赤司智宏 1，西村大輝 1（1 九大総理工，2 九大応力研，3 九大極限プラズマ研究連携セ，
420pA04

九大基幹教育院）

円筒プラズマにおけるモード偏光解析法の提案………………………………… 85
西村大輝 1，藤澤彰英 2,3，永島芳彦 2,3，文贊鎬 2,3，山崎広太郎 2，稲垣滋 2,3，佐々木真 2,3，小菅佑輔 2,3，山田琢磨 3,4，糟谷直宏 2,3，井戸毅 2，河内裕一 1，赤司智
宏 1，小林大輝 1（1 九大総理工，2 九大応力研，3 九大極限プラズマ研究連携セ，
420pA05

九大基幹教育院）

局所速度推定法（LoMA）と PANTA プラズマへの適用……………………… 87
赤司智宏 1，藤澤彰英 2,3，永島芳彦 2,3，文贊鎬 2,3，山崎広太郎 2，稲垣滋 2,3, 佐々木真 2,3，小菅佑輔 2,3，山田琢磨 3,5，糟谷 直宏 2,3，井戸毅 2,4，河内裕一 1，小林大輝 1，西村大輝 1（1 九大総理工，2 九大応力研，3 九大極限プラズマ研究連携セ，4

20pA06

九大高温プラズマ理工学研究セ，5 九大基幹教育院）

QUEST における周辺部磁気コイルアレイの開発……………………………… 89
武田康佑 1，池添竜也 2，工藤倫大 1，黒田賢剛 2，恩地拓己 2，木谷彰宏 1，福山雅治 1，張逸凡 1，加藤凌哉 1，出射浩 2（1 九大総理工，2 九大応力研）

v

14:00-15:30
一般講演 B4（各１５分）
司会：古閑一憲（九大）
会議室 B
20pB01 多相交流アークによる Li-Mn 系複合酸化物ナノ粒子合成……………………… 91
玉江藍花 1，末永拓也 1，釘宮悠太 1，田中学 1，渡辺隆行 1，松浦次雄 2，上田紹央 3，東崎英樹 4（1 九大工，2 タソーアーク（株），3 福伸工業（株），4 タマダ（株））
20pB02プラズマ CVD におけるナノ粒子成長とプラズマ生成の関係………………… 93
吉田知晃 1，阿部滉平 1，佐々木勇輔 1，山本晃大 1，山下大輔 1，奥村賢直 1，鎌滝晋礼 1，板垣奈穂 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1 九大，2 自然科学研究機構）

20pB03

Ar+CH4 マルチホロー放電プラズマ CVD で作製したカーボンナノ粒子のフラックスに対する熱泳動力の効果……………………………………………………… 95
郝源 1，𠮷川大智 1，黄成和 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1，鎌滝晋礼 1，板垣奈穂 1，奥村賢直 1（1 九大シス情，２自然科学研究機構）

20pB04PECVD における任意電圧波形を用いた a-C:H 成膜…………………………… 97
永松大樹 1, 岩本亮介 1, 山下大輔 1, 鎌滝晋礼 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1，進藤崇
央 3，田中諭志 3，松土龍夫 3（1 九大，2 自然科学研究機構，3 東京エレクトロンテ
クノロジーソリューションズ(株)）20pB05TEOS プラズマ CVD を用いた SiO2 膜の形成:基板バイアス電圧依存性……

99

山本晃大 ，吉田知晃 ，阿部滉平 ，佐々木勇輔 ，山下大輔 ，奥村賢直 ，鎌1

1

1

1

1

1

滝晋礼 1，板垣奈穂 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1 九大，2 自然科学研究機構）
20pB06

容量結合プラズマ CVD 法による SiO2 膜の低温製膜………………………… 101
佐々木勇輔 1，吉田知晃 1，阿部滉平 1，山本晃大 1，鎌滝晋礼 1，奥村賢直 1，板垣奈穂 1，古閑一憲 1,2，白谷正治 1（1 九大，2 自然科学研究機構）

15:30-15:45

閉会式

会議室 A

vi