MM ステージMM-40/60
series

取扱説明書
MMU-40X
MMU-40X-H1
MMU-40X•Y
MMU-40X•Y-H1
MMU-40Z
MMU-40Z-H1MM-40θ
MM-40GU
MM-40GL
MM-40GD
MMU-60X
MMU-60X-H1
MMU-60X•Y
MMU-60X•Y-H1
MMU-60Z
MMU-60Z-H1
MMU-60V
MMU-60V-H1
MM-60θ
MM-60GU
MM-60GL
MM-60GD

MMステージ MM-40/60シリーズ

はじめに
このたびは、MMステージ MM-40/60シリーズをお買い上げいただき、ありがとうございました。
本製品をご使用になる前に、この取扱説明書をよくお読みいただき、製品の機能や性能をご理解の上、正しくお使いください。なお、お読みになった後も保管して、製品とともに末永くご愛用ください。

この取扱説明書について
この取扱説明書は、MMステージ MM-40/60シリーズの全機種を一冊にまとめて解説してあります。
「設置方法」（P.6）などについては、機種によって方法が一部異なりますので、お使いの機種をご確認の上、該当する項目をご覧になってください。また、文章や説明図は、代表例として類似した形式のものが使われている場合がありますが、内容や手順については同様です。

目次
1特長 ................................................................................................................. 32

付属品 ............................................................................................................. 3

3

使用上のご注意 ............................................................................................... 44

設置方法 .......................................................................................................... 6■ X 、X Y 、傾斜ステージの設置 ..................................................................... 6■回転、Z 、Ｚ昇降ステージの設置 ................................................................ 75

主な仕様 .......................................................................................................... 8
1. ステージ仕様 .............................................................................................. 8

2. モータ仕様（モータ単体）.......................................................................... 153. モータ内部結線 ........................................................................................ 154. コネクタ結線仕様 .................................................................................... 165. センサ仕様 ............................................................................................... 176. リミット、原点信号の動作論理 ............................................................... 176コントローラ、接続ケーブル（別売）............................................................. 181. 接続方法 ................................................................................................... 182. コントローラの設定 ................................................................................. 193. 表示単位の設定 ........................................................................................ 197アクセサリ .................................................................................................... 208保証と修理 .................................................................................................... 222

MMステージ MM-40/60シリーズ

1 特長
小型・軽量・薄型
チャンバなど狭い場所への組み込みが容易です。

高精度・高性能
小型・軽量にもかかわらず精度・性能は従来のステージと変わりません。

高度な制御が可能
当社製QTシリーズコントローラと組み合わせることにより、簡単な操作で高度な制御が可能です。

豊富な品揃え各シリーズともに、X 、X•Y 、Z 、θ、 GU 、GL 軸の 6 機種をラインナップ。さらに MM-60 シ
リーズには水平面上下動のZ昇降ステージもあります。

高耐久性
MMU-40/60（X 、X•Y 、Z ）、MMU-60V には耐久性に優れたボールネジ仕様（-H1 ）もあります。

低価格
必要な精度はそのままに材質などの見直しにより、ステージ本体、コントローラ（MMC-2）ともに低価格を実現しました。

原点センサ
すべての機種に原点センサが内蔵されています。センサにはホールICを使用していますので、コントローラからの指示により簡単に、素早く正確な原点復帰が行えます。

2 付属品
本製品には下記のものが付属品として同梱されています。開梱時にすべてのものが揃っている
かご確認ください。万一不足していたり、破損していた場合は、当社営業部までご連絡ください。

六角レンチ（固定用）
MM-40 シリーズ （レンチの呼び 2.5）............................................................................ 1
MM-60 シリーズ （レンチの呼び 3）............................................................................... 1
六角穴付きボルト（固定用）
MMU-40X, X•Y （M3）..................................................................................................... 4
MMU-40Z（M3）..................................................................................................... 2
MM-40θ
（M3）..................................................................................................... 3
MM-40GU, GL （M3）..................................................................................................... 4
MMU-60X, X•Y （M4）..................................................................................................... 4
MMU-60Z（M4）..................................................................................................... 2MMU-60V（M4）..................................................................................................... 4MM-60θ
（M4）..................................................................................................... 3MM-60GU, GL （M4）..................................................................................................... 4
取扱説明書（本書）.................................................................................................................... 1
接続コネクタ、接続ケーブル、コントローラは別売です。

3MMステージ MM-40/60シリーズ

3 使用上のご注意
衝撃を与えないでください
本製品は精密部品で構成されています。衝撃を与えたり、他の機器からの振動の悪影響を受ける恐れのあるところで使用しないでください。保証された精度内の動作が行えなくなります。

分解や改造をしないでください
本製品は精密に調整されていますので、分解や改造は絶対に行わないでください。故障や動作不良の原因になります。分解や改造を起因とする精度低下や故障が発生した場合、保証が適用できなくなります。改造や追加工が必要な場合には、当社営業部までご相談ください。

ステージ面に他の器具を取り付ける時は①本製品のステージ面に別の器具などを取り付ける場合は、取り付けネジの長さに注意してください。使用ステージにより異なりますが、取り付け器具の底面から3〜5mmでご使用ください。長すぎる場合、破損の原因となりますので注意してください。

3〜5mm

ステージ面に他の器具を取り付ける時は②本製品のステージ面に別の器具などを取り付ける場合は、移動部に無理な力がかからないように移動部をしっかり固定した状態で取り付けを行ってください。移動部を固定しないで力をかけると精度に影響したり、破損する場合がありますので注意してください。

4

MMステージ MM-40/60シリーズ

磁気記録媒体を近づけないでください
ステージに使用されているモータには強力なマグネットが使われています。フロッピーディスク、MOディスク、カセットテープなどの磁気記録媒体をステージに近づけないでください。データを破損する恐れがあります。

使用環境にご注意ください
温度の極端に高いところや低いところ、温度の変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでは使用しないでください。本製品は、周囲温度10〜40℃/湿度20〜80％
RHでご使用ください。

10℃〜40℃

移動中のステージに触れないでください
コントローラによる操作を行っているときは、移動中のステージに触れたり、手動ハンドルに触れたりしないでください。
正確な動作ができなくなり、故障や動作不良の原因となります。また、指などを巻き込みけがをする恐れがあります。
使用中モータは発熱しています。火傷の恐れがあります
ので、モータには触れないよう十分ご注意ください。

異常が発生したら使用中に異音・異臭・発煙などが発生した場合は、すぐに使用を中止し、コントローラ（ドライバ）の電源をOFFにして、お買い上げの販売店または当社営業部までご連絡ください。

5MMステージ MM-40/60シリーズ

4 設置方法設置上のご注意● ステージはしっかりとした作業台などに、付属のネジで設置してください。
● 取り付け穴の間隔、位置、ネジの数は機種によって異なります。主な仕様（P.8）
を参照して、設置面にあらかじめネジ穴加工などを施してください。
● ステージを設置する面の平面度が悪いと、性能を十分に発揮できないだけでなく故障や動作不良の原因にもなります。設置面の精度には十分配慮してください。
● 設置面とステージ裏面のゴミの付着や傷にご注意ください。
● ステージ設置の際、手動でステージを移動させたときは、設置終了後必ず手動でステージを中央付近に戻してください。移動したままの状態では、リミットセンサの検知範囲外になっている場合があり、そのままモータ駆動を行うと故障や誤動作の原因となります（回転ステージを除く）。

■ X 、X ・ Y 、傾斜ステージの設置
X、X・Y、傾斜ステージを設置する場合は、ステージを図のように移動させ取り付け穴が見える状態にして行います。
二軸の場合も同様に、下軸を移動して行います。
A→B→C→Dの順序で徐々に締め付ける。
［注意］最後の締め付けは確実に行ってください。
締め付け順序BDC

A

X、X・Yステージ

傾斜、二軸傾斜ステージ設置を行う際のステージの移動について
ステージの移動は、ハンドルを回して手動で行う方法と、コントローラによる自動で行う2つの方法があります。
［注意］● 手動でステージを移動する場合は、必ずコントローラの電源を切ってください。コントローラの電源を入れたまま手動ハンドルを回すと、故障や動作不良の原因となります。
● 自動でステージを移動する場合は、指や工具を挟まないように注意してください。故障や動作不良の原因となるばかりではなく、けがをする恐れがあります。
● 自動でステージを移動させた場合にステージの種類よっては、取付穴が見えないものがあります。そのような場合はコントローラの電源を切り手動でステージを移動してください。

6

MMステージ MM-40/60シリーズ■回転、Z 、Ｚ昇降ステージの設置
図のようにすべての取り付け穴を付属のネジで固定します。
MMU-40Z、MMU-60Zは2カ所、MM-40θ、MM-60θは3カ所、MM-60Vは4カ所の取り付け穴があります。
各ネジを順番に少しずつ締め付けます。
［注意］最後の締め付けは確実に行ってください。

回転ステージ

Z昇降ステージ

Zステージ

7

MMステージ MM-40/60シリーズ

5 主な仕様1.ステージ仕様
MMU-40X

製品番号（型式）

MMU-40X-H1

MMU-60X

MMU-60X-H1

X軸1方向

移動方向
±5mm

±10mm

40mm×40mm

60mm×60mm

移動量
ステージ面

PH533-NB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ
分解能0.001mm

0.002mm0.001mm

0.002mm

送りねじリード0.5mm

1mm

0.5mm

1mm

V溝とクロスローラ

移動ガイド0.008mm

真直度（水平・垂直）
0.015mm

位置決め精度

0.015mm0.01mm0.02mm0.01mm

±0.001mm

繰り返し精度
0.005mm

ロストモーション

0.003mm

0.005mm

39.2N（4kgf）

耐荷重0.003mm
49N（5kgf）

0.25kg

質量0.45kg

8mm/sec

移動速度（8,000pps時）

16mm/sec

8mm/sec

16mm/sec

アルミ合金

材質

MMU-40X / MMU-40X-H1
100

4-M3深7コネクタ

φ2040

44.5

4-M2深5

手動ハンドル□17□32□32

4-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

ステッピングモータ

4034 (35.5)

33
17.5 (19)225 (28)

7 18 (21)96※（ ）は-HIタイプの寸法

MMU-60X / MMU-60X-H1
4-M3深54-M4深6

コネクタ

φ2060

4-M2深5

手動ハンドルステッピングモータ□24

4-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

□32
□5060

34 (35.5)

33
17.5 (19)1.525 (28)

7 18 (21)120※（ ）は-HIタイプの寸法8□50

MMステージ MM-40/60シリーズ

MMU-40X・Y

製品番号（型式）

MMU-40X・Y-H1

MMU-60X・Y

MMU-60X・Y-H1

X・Y軸2方向

移動方向
±5mm

±10mm

40mm×40mm

60mm×60mm

移動量
ステージ面

PH533-NB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ
分解能

0.001mm

0.002mm0.001mm

0.002mm

送りねじリード0.5mm

1mm

0.5mm

1mm

V溝とクロスローラ

移動ガイド0.015mm

0.008mm

真直度（水平・垂直）
0.015mm

位置決め精度

0.01mm0.02mm0.01mm

±0.001mm

繰り返し精度
0.005mm

ロストモーション

0.003mm

0.005mm

29.4N（3kgf）

耐荷重0.003mm
39.2N（4kgf）

0.5kg

質量0.8kg

8mm/sec

移動速度（8,000pps時）

16mm/sec

8mm/sec

材質

アルミ合金

XY直交度

0.010mm

16mm/sec

MMU-40X・Y / MMU-40X・Y-H1
コネクタ

52 (56.5)
35.5 (40)φ2033
手動ハンドルステッピングモータ

100

4-M2深5

コネクタ

40

φ20

96

4-M3深7手動ハンドル□1743(49)

ステッピングモータ□32

4-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

□3240

33
17.5

43 (49)27 18 (21) 18 (21)96※（ ）は-HIタイプの寸法

MMU-60X・Y / MMU-60X・Y-H1

52 (56.5)
35.5 (40)

φ20

手動ハンドル33

ステッピングモータ

コネクタ

4-M2深5コネクタ

φ2060

120

4-M4深6

手動ハンドル43(49)
4-M3深5□24

4-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

ステッピングモータ

□32
□5060

33
17.5

1.543 (49)

7 18 (21) 18 (21)120※（）は-HIタイプの寸法9□50

MMステージ MM-40/60シリーズ

MMU-40Z

製品番号（型式）

MMU-40Z-H1

MMU-60Z

MMU-60Z-H1

Z軸1方向

移動方向
移動量
ステージ面±5mm±10mm

40mm×40mm

60mm×60mm

PH533-NB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ
分解能

0.001mm

0.002mm0.001mm

0.002mm

送りねじリード0.5mm

1mm

0.5mm

1mm

V溝とクロスローラ

移動ガイド0.015mm

0.008mm

真直度（水平・垂直）
0.015mm

位置決め精度

0.01mm0.02mm0.01mm

0.005mm

0.003mm

±0.001mm

繰り返し精度
0.005mm

ロストモーション

0.003mm
19.6N（2kgf）

耐荷重0.25kg質量0.5kg

8mm/sec

移動速度（5,000pps時）

16mm/sec

8mm/sec

16mm/sec

アルミ合金

材質

MMU-40Z / MMU-40Z-H1

MMU-60Z / MMU-60Z-H1

4-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

32

50

2-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

33
コネクタ

コネクタ

φ20

手動ハンドルステッピングモータ

100

手動ハンドルステッピングモータ

33

φ20

4-M2深54-M4深6135

4-M2深5

2430

45

4060

106

4-M3深7

□17

□2415

□32

18 (21)4046 (47.5)

□32

19

□5060

※（ ）は-HIタイプの寸法104-M3深52318 (21)2855 (56.5)※（ ）は-HIタイプの寸法

MMステージ MM-40/60シリーズ
MMU-60V

製品番号（型式）

MMU-60V-H1
Z軸1方向

移動方向

0〜5mm

移動量

60mm×60mm

ステージ面

PH533-NB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ
0.0005mm

分解能

0.001mm

0.5mm

送りねじリード

1mm
V溝とクロスローラ

移動ガイド0.006mm

真直度（水平・垂直）
位置決め精度

0.015mm

繰り返し精度±0.002mm
0.003mm

ロストモーション

29.4N（3kgf）

耐荷重0.55kg質量2.5mm/sec（5,000pps時）
移動速度5mm/sec
アルミ合金

材質

MMU-60V / MMU-60V-H1

4-M4深6コネクタ

60φ2062.5

4-M3深64-M2深5

手動ハンドル
M6深6
ステッピングモータ□244-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

□32
□5060

33
19

2.5

４５〜５０117

11□50

MMステージ MM-40/60シリーズ
MM-40θ

製品番号（型式）MM-60θ
回転方向

移動方向

360゜

移動量

φ40mm

ステージ面φ60mm
PH533-NB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ

0.01゜

分解能

ボールベアリング

移動ガイド

0.02mm

心振れ0.03mm0.06mm

面振れ
位置決め精度

0.18゜

繰り返し精度±0.003゜
0.02゜

ロストモーション
耐荷重

29.4N（3kgf）

質量0.4kg

39.2N（4kgf）
0.6kg
50゜/sec（5,000pps時）
移動速度

アルミ合金

材質

102
4-M3深5P.C.D.32

ステッピングモータ

64
20

手動ハンドル

コネクタ

2032

52

φ20

2

MM-40θ

4-M2深5P.C.D.24
3-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

32100φ10（透過穴）406173433

φ404-M3深6

ステッピングモータ

4-M2深5

手動ハンドル

305073φ20MM-60θ

コネクタ

3-3.5キリ7.5深ザグリ

φ20（透過穴）□24□325060108

6173433φ6012

MMステージ MM-40/60シリーズ
MM-40GU

製品番号（型式）MM-40GL

MM-60GU

MM-60GL

傾斜1方向

移動方向
31mm

回転中心

54mm

40mm

68mm

±5゜

移動量

±10゜

40mm×40mm

ステージ面

60mm×60mm

PH533-NB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ

0.004゜

分解能
移動ガイド

V溝レールと鋼球

回転中心精度

φ0.1mm

位置決め精度

0.05゜

繰り返し精度±0.002゜
0.01゜

ロストモーション
耐荷重

19.6N（2kgf）

質量0.3kg

24.5N（2.5kgf）
0.5kg（5,000pps時）
移動速度

20゜/sec

材質

アルミ合金

MM-40GU / MM-40GL
100

4-M3深5
M6深さ6コネクタ

1240

φ20128-M2深512手動ハンドル

12

□32

4-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

ステッピングモータ

□3240

33.5

33

71723

33031（MM-40GU）
54（MM-40GL）

97
回転中心

MM-60GU / MM-60GL
4-M3深64-M4深6コネクタ

φ2060

4-M2深5手動ハンドル
M6深8ステッピングモータ□244-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

□32
□50
60

33.5

33

28

173
73540（MM-60GU）
68（MM-60GL）

125
回転中心

13□50

MMステージ MM-40/60シリーズ
MM-40GD

製品番号（型式）MM-60GD
傾斜2方向

移動方向
回転中心31mm

移動量±5゜±10゜

40mm×40mm

60mm×60mmステージ面40mm

PH533-NB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ

0.004゜

分解能V溝レールと鋼球移動ガイド
位置決め精度

0.05゜

繰り返し精度±0.002゜
0.01゜

ロストモーション
耐荷重

16.6N（1.7kgf）

質量

0.6kg

19.6N（2kgf）
1kg
20゜/sec（5,000pps時）
移動速度

アルミ合金

材質

MM-40GD

コネクタ

100

56.5
40φ2033
手動ハンドルステッピングモータ

100コネクタφ20121240

97

4-M3深51212

手動ハンドル

8-M2深5□32

53

ステッピングモータ

M6深さ6

4-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

□32

40
97

731723

33

53

23

31

回転中心

45
コネクタ

MM-60GD

33

φ20

手動ハンドルステッピングモータ
コネクタ

φ2060

125

4-M3深6

手動ハンドル
4-M4深64-M2深5M6深8ステッピングモータ

□24
□32
□50
60
125717328336328

40

回転中心

144-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ□50

MMステージ MM-40/60シリーズ

2.モータ仕様（モータ単体）
項目

仕モータ型式様PH533-NB相当（5線式ペンタゴン結線）

励磁最大静止トルク0.26kgcm

電流0.75A／相

巻線抵抗1.5Ω／相ロータ慣性モーメント9gcm2

質量0.11kg

モータ構造

ハイブリッド型

巻線相数

5相ステップ角

フルステップ 0.72゜ ハーフステップ 0.36゜

静止角度誤差±5分

絶緑抵抗

常温常湿においてモータのコイルケース間をDC500Vメガーで測定した値が絶縁耐圧

常温常湿においてモータのコイルケース間に50Hz 0.5kVを1分間印加しても異100MΩ以上あります。
常を認めません。
絶縁階級

B種（130℃）

温度上昇

常温常湿において定格電流で5相励磁・静止状態のとき80℃以下（抵抗法）

使用温度範囲

−10℃〜50℃※静止角度誤差：フルステップ（0.72゜）無負荷時の値（負荷により変動します）※本モータはオリエンタルモーター社の標準品ではありません。

3.モータ内部結線
モータの内部結線は5線式ペンタゴン結線になっています。ドライバを選定する際には注意してください。

青D相A相

黒赤B相C相緑E相15橙

MMステージ MM-40/60シリーズ

4.コネクタ結線仕様
コネクタの結線はすべての機種が共通になっています。ただし、回転ステージにはリミットセンサがありませんので、ピンNo.7 、8 には結線をしてありません。
モータ

PH533-NB相当（オリエンタルモーター製）

コネクタ

HR10A-10J-12PC（MM-40シリーズ）
HR10A-10R-12PC（MM-60シリーズ）（ヒロセ製）

ピンNo.
123456789101112青赤橙緑
黒

CCWリミットセンサ
GND
OUT
Vcc

原点センサ
GND

内容
モータ線
モータ線
モータ線モータ線
モータ線センサ Vcc 4.5V〜16V
CW方向リミットOUT
CCW方向リミットOUT
GND
原点センサOUT
未使用
FG※回転ステージには、リミットはありません。

OUT
Vcc

CWリミットセンサ

GND
OUT
Vcc

［注意］● ステージとコントローラの間のケーブルは3m以内にしてください。
● リミットOUT、原点センサOUTはコントローラ側においてフォトカプラ等でのアイソレーションを推奨します。

16

MMステージ MM-40/60シリーズ

5.センサ仕様● 本製品は回転ステージ以外の機種に、ストロークエンドのリミットセンサと原点センサが組み込まれています。
（原点センサは全機種）● センサには松下電子工業製のホールIC DN6848S を使用していますので、高精度の機械原点検出が可能です。
● 当社製QTシリーズコントローラで原点検出が可能です。原点復帰方向は、CCWにしてください。原点復帰方向を逆にすると、原点位置が目盛りの0位置と合わなくなります。
● ホールICは磁力で動作します。ステージの周辺に強い磁気を発生するものがあると、誤動作することがありますので注意してください。
● 原点センサの位置はすべて固定で移動することはできません。標準以外の原点位置が必要な場合には、コントロー
ラによる原点復帰の後、必要な位置までテーブルを移動させそこを原点とするようにしてください。
● 原点復帰速度が速すぎたり、減速時間が長すぎるとテーブルの減速中に原点センサを越えてしまう場合があります。
その場合正しい原点復帰精度が得られなくなります。

出力形態：オープンコレクタ
センサ電源電圧（Vcc） ：4.5V〜16V
センサ消費電流（Icc） ：10mA（センサ1個当り）
最大電圧（Vo）：16V（ただし、センサ電源電圧〔Vcc〕を越えないこと）
最大電流（Io）：20mA［注意］● 回転ステージ以外のステージは、手動ハンドルでテーブルを移動させるとリミットセンサの範囲を超えてしまう場合があります。手動でテーブルを移動させた後は、必ず側面の目盛りの範囲内にテーブルを戻してから、自動動作をさせるようにしてください。
● 本製品にはケーブル用コネクタは付属していません。お客様がご自分でケーブルを製作される場合は、別売のコネクタMM-SA0または、ヒロセ製のHR10A-10P-12Sをご使用ください。

6. リミット、原点信号の動作論理
リミットセンサ

原点センサ

N.O.

N.O.

−N.O.

Xステージ
XYステージ
Zステージ
Z昇降ステージ
傾斜ステージ回転ステージ

N.O.：ノーマルオープン※回転ステージには、リミットはありません。

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MMステージ MM-40/60シリーズ

6 コントローラ、接続ケーブル（別売）
1.接続方法
当社製コントローラとの接続を示します。お客様の仕様に合わせてご購入ください。万が一、間違って購入された場合には、速やかに当社までご連絡ください。

※他のコントローラとの接続については、当社までお問い合わせください。
製品名
1軸コントローラドライバ
2軸コントローラドライバ
6軸コントローラ
1軸マイクロステップドライバボックス
2軸マイクロステップドライバボックス
2軸スタンダードドライバボックス
MM-40/60接続ケーブル（1.5m）
MM-40/60接続ケーブル（3m）
ドライバ側切り離しケーブル
（3m）

製品番号

QT-CD1
QT-CM2
QT-CN6
QT-MD1QT-MD2
QT-SD2ACB-STM2
ACB-STM3
ACB-STD-D3

価格￥62,000￥130,000￥198,000￥80,000￥145,000￥150,000￥8,000￥8,000￥7,000※コントローラには、操作ボックスなどを用意しておりますので、当社カタログをご参照ください。
※ステージの軸数に合わせて、コントローラ・ドライバの台数および接続ケーブルの本数をご選定ください。

2. コントローラの設定
本製品のセンサ論理は以下のとおりです。使用するコントローラのリミットセンサ、原点センサのセンサ論理を合わせる必要がありますので、ご注意ください。

■ ステージのセンサ論理
ステージの種類Xステージ
X・Yステージ
Zステージ
Z昇降ステージ
傾斜ステージ回転ステージ

リミットセンサ 原点前センサ

原点センサ

N.O.

−

N.O.

−−

N.O.

N.O.：ノーマルオープン※すべてのステージに、原点前センサはありません。回転ステージには、リミットセンサはありません。

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MMステージ MM-40/60シリーズ■ ディップスイッチの設定
当社製コントローラQT-CD1/CM2/CN6で動作させる場合、工場出荷時の初期設定で動作可能です。
動作が異常な場合は、各スイッチの設定を確認してください。ディップスイッチ設定の詳細については、コントローラの取扱説明書をご参照ください。
QT-CM2-は2軸、QT-CN6は6軸です。使用する軸に合わせて設定してください。

■ パラメータの設定
原点前センサと原点センサの論理設定は、コントローラのパラメータ設定で行います。工場出荷時の初期設定は、原点前センサ「N.C.」、原点センサ「N.O.」となっています。原点前センサと原点センサの論理設定は、原点復帰モードと関係がありますのでご注意ください。
パラメータNo.

010203

項目
原点センサ論理と使用／未使用
原点前センサ論理と使用／未使用
原点復帰モード

設定値

1023

設定内容
1：NO0：未使用
原点・Z相原点

原点復帰モードについて
MM-40/60シリーズでは、上記表の原点復帰モード2つの中から選択できます。当社としては、「設定値：3」を推奨いたします。原点復帰の動作については、コントローラの取扱説明書をご参照ください。

3. 表示単位の設定
QTシリーズコントローラでは、パラメータ設定によりステージの移動量をmm単位やμm単位などでの表示が可能です。パラメータNo.19,20の設定を、ステージの分解能に合わせて設定を行ってください。
例：0.000mm→mm単位でμmまで表示する。
ステージの分解能：0.002mm
パラメータNo.

1920

項目
転移表示の選択
単位表示の分解能

設定値

12000

19

設定内容
1：mm表示（1μmまで）
2000：0.002×1,000,000

MMステージ MM-40/60シリーズ

7 アクセサリMMステージ MM-40/60シリーズには、次のアダプタ、Zブラケット、スペーサを用意しています。アダプタSA-410
はMM-40/60シリーズの上に光学アクセサリを取り付けるときに使用します。ZブラケットSB-410、SB-610はX軸ステージを取り付けて、Zステージとして使用するなどステージの移動方向を90゜変換する場合に使用します。スペーサ
SS-410、SS-610は回転ステージ上に他のステージを取り付けるときに使用します。

1.SA-410 MM-40、MM-60用M6アダプタ

640

2.51616401616M68-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

2.SS-410 MM-40用スペーサ
40
□32

5
1.524-Ｍ340

φ34-3.5 ｷﾘ 6深ｻﾞｸﾞﾘ

3.SS-610 MM-60用スペーサ
60

850
4.54-M44-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

2060

50

3232

MMステージ MM-40/60シリーズ

4.SB-410 MM-40用Zブラケット
32

1915

2.5

2-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

40
32241750

530

32

1712φ

24

5

8-2.5ｷﾘ4深ｻﾞｸﾞﾘ

24-M3

5.SB-610 MM-60用Zブラケット

28

2-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

23

3.5

50

860
50

50

4-M4

4-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

2184457535.4

φ2535.4

MMステージ MM-40/60シリーズ

8 保証と修理■保証期間
取扱説明書、本体貼付ラベルなどの注意書きまたはカタログ記載の取り扱いの注意に基づき、正常な使用状態で故障が発生した場合は、工場出荷日より次の期間、無償修理いたします。

保証期間

工場出荷日より3 年間

ただし、納入後の故障により誘発される損害については、この対象範囲から除外させていただきます。
保証期間内でも下記の場合には有償修理となりますのでご了承ください。
・使用上の誤り、または修理や改造によるもの。
・お買い上げ後の落下などによる故障および損傷。
・火災、地震、水害、落雷その他天災地変、公害や異常電圧による故障および破損。
・消耗品の劣化などによる性能低下や動作異常。
・保証期間外のもの。
・事前に当社が保証範囲外と定めた製品や部品。
※この保証は、日本国内においてのみ有効です。

■保証期間中の修理お求めの販売店までご連絡ください。

■保証期間が過ぎてしまった場合の修理保証期間が過ぎてしまった場合でも、お求めになった販売店にご連絡ください。故障の状態により有償にて修理いたします。その際、修理期間の短縮、修理内容を確実にするために以下の事項をお知らせください。
・購入年月日、製品名、製品番号、製造番号。
・お客様の具体的な使用方法。
・具体的な故障内容。
・故障の原因となったと思われる点。

■お問い合わせ弊社の製品でご不明な点がありましたら下記にご連絡ください。

本社営業部

TEL.03-3257-1911

FAX.03-3257-1915

大阪出張所

TEL.06-6341-6091

FAX.06-6344-8565

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MMステージ MM-40/60シリーズ

23本取扱説明書に記載された内容は予告無しに変更する場合がありますのでご了承ください。また、製品についても改良のため予告無しに変更することがありますのでご了承ください。

MM-40/60シリーズ 取扱説明書 Ver.2.1
2006/04/21 ADV.

本社営業部
大阪出張所

〒101-0063 東京都千代田区神田淡路町1-5 及川ビル3F
TEL. 03-3257-1911 FAX.03-3257-1915
TEL. 06-6341-6091 FAX.06-6344-8565

A002-A006