Překlad originalniho návodu k provozu

LDS3000, LDS3000 AQ
Modul hmotového spektrometru

560-300, 560-600
jiqa54cz1-14-(2403)
Od softwarové verze
MS modul 3.16

INFICON GmbH
Bonner Straße 498
50968 Köln, Německo

INFICON

Obsah

Obsah
1 Informace o tomto návodu ............................................................................................................................ 8
1.1 Další platné dokumenty............................................................................................................................ 8
1.2 Výstražné pokyny..................................................................................................................................... 8
1.3 Cílové skupiny.......................................................................................................................................... 9
1.4 Definice pojmů ......................................................................................................................................... 9
2 Bezpečnost ................................................................................................................................................... 11
2.1 Použití k určenému účelu....................................................................................................................... 11
2.2 Povinnosti obsluhy ................................................................................................................................. 12
2.3 Požadavky na provozovatele ................................................................................................................. 12
2.4 Nebezpečí .............................................................................................................................................. 12
3 Rozsah dodávky, přeprava, skladování ..................................................................................................... 14
4 Popis.............................................................................................................................................................. 15
4.1 Funkce ................................................................................................................................................... 15
4.2 Uspořádání přístroje............................................................................................................................... 16
4.2.1 Celé zařízení (LDS3000) ............................................................................................................ 16
4.2.2 Celé zařízení (LDS3000 AQ) ...................................................................................................... 17
4.2.3 Blok přípojů ................................................................................................................................. 20
4.2.4 MSB-Box..................................................................................................................................... 21
4.2.5 Označení na přístroji................................................................................................................... 24
4.3 Technické údaje ..................................................................................................................................... 24
4.4 Nastavení z výroby................................................................................................................................. 26
5 Montáž LDS3000........................................................................................................................................... 29
5.1 Přizpůsobení polohy přípojů montážním podmínkám ............................................................................ 29
5.2 Montáž modulu hmotového spektrometru na zkušební zařízení............................................................ 30
5.3 Zvolit připojení ULTRA, FINE nebo GROSS.......................................................................................... 31
5.4 Vytvoření spojení komponent................................................................................................................. 32
5.5 Vytvoření elektrických propojení ............................................................................................................ 32
6 Montáž LDS3000 AQ (akumulace) .............................................................................................................. 34
6.1 Přizpůsobení polohy přípojů montážním podmínkám ............................................................................ 34
6.2 Montáž modulu hmotového spektrometru na zkušební zařízení............................................................ 35
6.3 Vyberte komponenty a vytvořte mezi nimi spojení................................................................................. 37
6.3.1 Varianta 1.................................................................................................................................... 37
6.3.2 Varianta 2.................................................................................................................................... 40
LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

iii

ObsahINFICON

6.4 Vytvoření elektrických propojení ............................................................................................................ 42
7 Provoz LDS3000 ........................................................................................................................................... 43
7.1 Zapnutí přístroje ..................................................................................................................................... 43
7.2 Přednastavení ........................................................................................................................................ 44
7.3 Volba jednotky míry netěsnosti .............................................................................................................. 45
7.4 Volba jednotky tlaku ............................................................................................................................... 46
7.5 Zvolení režimu kompatibility................................................................................................................... 46
7.6 Volba provozního režimu ....................................................................................................................... 48
7.7 Volba druhu plynu (molární hmotnost) ................................................................................................... 49
7.8 Kalibrace přístroje .................................................................................................................................. 50
7.8.1 Časový okamžik a celková přednastavení.................................................................................. 50
7.8.2 Konfigurování a start interní kalibrace ........................................................................................ 52
7.8.3 Konfigurování a start externí kalibrace ....................................................................................... 53
7.8.4 Spustit externí dynamickou kalibraci........................................................................................... 55
7.8.5 Externí kalibrace pomocí vedení čichací sondy SL3000XL ........................................................ 57
7.8.6 Kontrola kalibrace ....................................................................................................................... 58
7.8.6.1

Kontrola kalibrace s interní kontrolní netěsností................................................................ 58

7.8.6.2

Kontrola kalibrace s externí kontrolní netěsností............................................................... 58

7.8.7 Zadání kalibračního faktoru ........................................................................................................ 59
7.8.7.1

Kalibrační faktor čichací sondy .......................................................................................... 59

7.8.7.2

Kalibrační faktor vakuum ................................................................................................... 59

7.8.8 Nastavení strojního faktoru a faktoru čichací sondy ................................................................... 60
7.8.8.1

Ruční nastavení strojního faktoru a faktoru čichací sondy ................................................ 60

7.8.8.2

Nastavení strojního faktoru a faktoru čichací sondy strojní kalibrací................................. 61

7.9 Spustit a zastavit měření........................................................................................................................ 61
7.10 Uložení a nahrání parametrů ................................................................................................................. 62
7.11 Kopírovaní změřených dat, vymazání změřených dat ........................................................................... 62
7.12 Potlačení pozadí plynu funkcemi „ZERO“ .............................................................................................. 63
7.13 Potlačení klesajícího pozadí plynu s EcoBoost ..................................................................................... 64
7.14 Zobrazení výsledku měření s filtry signálu ............................................................................................. 66
7.15 Ovládání ventilu plynového balastu vstupní vývěvy............................................................................... 67
7.16 Volba hranic zobrazení .......................................................................................................................... 68
7.17 Nastavení hodnot triggeru...................................................................................................................... 68
7.18 Nastavení hlídání kapiláry...................................................................................................................... 69
7.19 Nastavení otáček turbomolekulární vývěvy............................................................................................ 70
7.20 Zvolit katodu........................................................................................................................................... 70

iv

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONObsah

7.21 Nastavení pro XL Sniffer Adapter .......................................................................................................... 70
7.22 Zobrazení míry ekvivalence ................................................................................................................... 73
7.22.1 Výpočet faktoru ekvivalence ....................................................................................................... 73
7.22.2 Nastavení faktoru ekvivalence a molární hmotnosti ................................................................... 74
7.23 Vynulování nastavení............................................................................................................................. 75
8 Provoz LDS3000 AQ (akumulace)............................................................................................................... 76
8.1 Zapnutí přístroje ..................................................................................................................................... 76
8.2 Přednastavení ........................................................................................................................................ 76
8.3 Volba jednotky míry netěsnosti .............................................................................................................. 77
8.4 Volba jednotky tlaku ............................................................................................................................... 78
8.5 Zvolení režimu kompatibility................................................................................................................... 78
8.6 Provedení základních nastavení pomocí asistenta................................................................................ 81
8.7 Určení Peak ........................................................................................................................................... 82
8.8 Doložení míry netěsnosti kontrolní netěsnosti ....................................................................................... 82
8.9 Kalibrace přístroje .................................................................................................................................. 83
8.9.1 Časový okamžik a celková přednastavení.................................................................................. 83
8.9.2 Zadání kalibračního faktoru ........................................................................................................ 85
8.9.3 Kalibrační faktor vakuum ............................................................................................................ 85
8.9.4 Kalibrace ..................................................................................................................................... 85
8.10 Spuštění a zastavení měření (AQ Mode 2)............................................................................................ 87
8.11 Provedení ZERO.................................................................................................................................... 88
8.12 Nastavení strojního faktoru a faktoru čichací sondy .............................................................................. 88
8.12.1 Ruční nastavení strojního faktoru a faktoru čichací sondy ......................................................... 89
8.13 Provedení měření................................................................................................................................... 90
8.14 Uložení a nahrání parametrů ................................................................................................................. 91
8.15 Kopírovaní změřených dat, vymazání změřených dat ........................................................................... 91
8.16 Úprava „Faktoru času Zero AQ“............................................................................................................. 91
8.17 Volba hranic zobrazení .......................................................................................................................... 92
8.18 Nastavení kontroly tlaku......................................................................................................................... 92
8.19 Nastavení otáček turbomolekulární vývěvy............................................................................................ 93
8.20 Zvolit katodu........................................................................................................................................... 93
8.21 Vynulování nastavení............................................................................................................................. 94
9 Použití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ) ............................................................................. 95
9.1 Volba typu rozšiřujícího modulu ............................................................................................................. 95
9.2 Nastavení pro I/O modul IO1000 ........................................................................................................... 95

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)v

ObsahINFICON

9.2.1 Všeobecná nastavení rozhraní ................................................................................................... 95
9.2.2 Obsazení vstupů a výstupů......................................................................................................... 95
9.2.2.1

Obsazení digitálních vstupů I/O modulu .......................................................................... 105

9.2.2.2

Obsazení digitálních výstupů I/O modulu ........................................................................ 107

9.3 Nastavení pro modul sběrnice BM1000 ............................................................................................... 109
10 Výstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ) .......................................................................... 110
10.1 Zobrazení chybových kódů pomocí LED status................................................................................... 119
10.2 Zobrazení varování jako chyby ............................................................................................................ 120
11 Provoz CU1000 (volitelně) ......................................................................................................................... 122
11.1 Prvky dotykového displeje.................................................................................................................... 122
11.1.1 Prvky indikace měření............................................................................................................... 122
11.2 Prvky pro zobrazení chyb a varování................................................................................................... 125
11.3 Nastavení a funkce .............................................................................................................................. 125
11.3.1 Nastavení dotykového displeje ................................................................................................. 126
11.3.2 Typy pracovníků obsluhy a oprávnění ...................................................................................... 129
11.3.2.1 Odhlášení pracovníka obsluhy ........................................................................................ 130
11.3.3 Vynulování nastavení................................................................................................................ 130
11.3.4 Záznam dat ............................................................................................................................... 131
11.3.5 Vyvolání informací .................................................................................................................... 132
11.3.6 Zobrazit ekvivalentní míru netěsnosti pro jiný plyn ................................................................... 134
11.3.6.1 Gas equivalent selection.................................................................................................. 135
11.3.6.2 Configure gas list ............................................................................................................. 136
11.3.6.3 Výpočet faktoru ekvivalence ............................................................................................ 137
11.3.6.4 Nastavení faktoru ekvivalence a molární hmotnosti ........................................................ 137
11.3.7 Knihovna plynů ......................................................................................................................... 139
11.3.8 Aktualizace softwaru ................................................................................................................. 147
11.3.8.1 Aktualizace softwaru ovládací jednotky ........................................................................... 147
11.3.8.2 Kontrola a aktualizace verze softwaru MSB-Boxu........................................................... 147
11.3.8.3 Aktualizace softwaru I/O modulu ..................................................................................... 148
12 Údržba ......................................................................................................................................................... 150
12.1 Odeslání přístroje k údržbě, opravě nebo likvidaci .............................................................................. 150
12.2 Všeobecné pokyny pro údržbu............................................................................................................. 150
12.3 Výměna zásobníku provozního prostředku turbomolekulární vývěvy .................................................. 152
12.3.1 Úvod.......................................................................................................................................... 152
12.3.2 Zavzdušnění turbomolekulární vývěvy...................................................................................... 152
12.3.3 Vyjmutí starého zásobníku provozního prostředku................................................................... 153

vi

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONObsah

12.3.4 Vyměnit tyčky Porex ................................................................................................................. 156
12.3.5 Vložení nového zásobníku provozního prostředku ................................................................... 156
12.3.6 Potvrzení údržbářské práce ...................................................................................................... 159
12.4 LDS3000 AQ – součásti důležité pro údržbu ....................................................................................... 160
12.5 Plán údržby .......................................................................................................................................... 160
13 Odstavení z provozu .................................................................................................................................. 163
13.1 Odstavení přístroje pro hledání netěsností .......................................................................................... 163
13.2 Likvidace modulu hmotového spektrometru......................................................................................... 163
13.3 Zaslání modulu hmotového spektrometru k údržbě, opravě nebo likvidaci ......................................... 163
14 Příloha ......................................................................................................................................................... 164
14.1 Prohlášení CE ...................................................................................................................................... 164
14.2 Prohlášení o montáži ........................................................................................................................... 165
14.3 Prohlášení o kontaminaci..................................................................................................................... 166
14.4 RoHS.................................................................................................................................................... 167
Rejstřík ........................................................................................................................................................ 168

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

vii

1 | Informace o tomto návodu

INFICON

1 Informace o tomto návodu
Tento dokument je platný pro verzi softwaru uvedenou na titulní stránce.
V tomto dokumentu jsou případně uvedeny názvy produktů pouze za účelem
identifikace a jsou vlastnictvím příslušných držitelů práv.
Tento návod k obsluze popisuje montáž a obsluhu modulu hmotového spektrometru
LDS3000. Je dostupný je dvou variantách:• LDS3000• LDS3000 AQ (akumulace), přepínatelný do všech ostatních provozních režimů.

1.1 Další platné dokumenty
Návod k provozu ovládací jednotky CU1000

jina54

Návod k provozu modulu sběrnicejiqb10Návod k provozu I/O modulu

jiqc10Návod k provozu XL Sniffer Adapter

jinxa54

Protokoly rozhraní

jira54

1.2 Výstražné pokyny
NEBEZPEČÍ
Bezprostředně hrozící nebezpečí s následkem smrti nebo těžkých
zraněníVýstraha
Nebezpečná situace s možnou smrtí nebo těžkými zraněními v důsledku
toho

POZOR
Nebezpečná situace s následkem lehkých zraněníUPOZORNĚNÍ
Nebezpečná situace s následkem věcných škod nebo poškozeníživotního prostředí

8 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Informace o tomto návodu | 1

1.3 Cílové skupiny
Tento návod k provozu je určen provozovateli a technicky kvalifikovanému odbornému
personálu se zkušenostmi v oblasti techniky pro kontrolu těsnosti a integrace přístrojů
kontroly těsnosti do zařízení pro kontrolu těsnosti. Montáž a použití přístroje kromě
toho vyžadují znalosti zacházení s elektronickými rozhraními.

1.4 Definice pojmů
Zmínění helia v příručce
Jedná se o heliový přístroj kontroly těsnosti. Pokud použijete místo helia formovacíplyn, abyste prokázali v něm obsažený vodík, platí pokyny pro helium také pro vodík.

Akumulace
V souvislosti s kontrolou těsnosti se jedná o obohacování testovacích plynů po
určitou, definovanou dobu. To umožňuje prokázání malých měr netěsnosti bez použití
vakuového pouzdra. Lze použít helium nebo formovací plyn.
Když je v této příručce zmínka o „AQ“, jde o režim akumulace. K dispozici je pouzeu zařízení v provedení AQ.

Automatický souhlas / nastavení hmotnosti
Tato funkce nastaví hmotový spektrometr tak, aby se dosáhlo maximální indikace mírynetěsnosti. Abyste detekovali iontovým detektorem maximální iontový proud,přizpůsobí řídicí počítač napětí ke zrychlení iontů v rámci vybraného hmotnostního
rozsahu.
Při každé kalibraci probíhá automatická optimalizace.

Provozní režim
Hledač netěsností rozlišuje provozní režimy „Vakuum“ a „Čichání“. Při provoznímrežimu „Vakuum“ proudí testovací plyn zpravidla do kontrolovaného objektu. Tlak v
kontrolovaném objektu je menší než okolní tlak.
Při provozním režimu „Čichání“ proudí testovací plyn ven z kontrolovaného objektu aje odsáván držadlem čichací sondy. Tlak v kontrolovaném objektu je větší než okolní
tlak.

FINE
FINE označuje připojení k turbomolekulární vývěvě pro sací tlaky do 0,4 mbar.
Používá se také pro provozní režim „Čichání“.

Formovací plyn
Formovací plyn je souhrnný pojem pro směsi plynu vytvořené z dusíku a vodíku.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

9 / 170

1 | Informace o tomto návodu

INFICONGROSS
GROSS označuje připojení k turbomolekulární vývěvě s nejnižší citlivostí. Připouští
vysoké sací tlaky (do 15 mbar).

Interní pozadí heliaMěřicí systém přístroje kontroly těsnosti obsahuje vždy určité zbytkové množství helia.
Tento přístroj vytváří interní podíl měřicího signálu (signál pozadí), který překrývá odzačátku zobrazení netěsností, a tak ruší při hledání netěsnosti.
Abychom tento signál pozadí skryli, je aktivováno interní „potlačení pozadí“
nastavením z výroby.

Nejmenší prokazatelná míra netěsnosti
Nejmenší prokazatelná míra netěsnosti, kterou může hledač netěsností zachytit za
ideálních podmínek (< 5x10-12 mbar l/s).

ULTRA
ULTRA označuje přípoj k turbomolekulární vývěvě pro rozsah měření s nejvyšší
citlivostí při sacích tlacích pod 0,4 mbar (nastavitelné).

Signál pozadí
Helium nebo vodík (jako součást vody) jsou přirozené složky vzduchu.
Provozní režim „Vakuum“: Před každým hledáním netěsnosti se nachází již určitémnožství nastaveného testovacího plynu v objemu na površích zkušební komory,přívodů a dokonce v samotném přístroji kontroly těsnosti. Toto určité množství
testovacího plynu vytváří měřicí signál, který se nazývá „signál pozadí“. Neustálým
vakuováním zkušební komory se tento signál pozadí nepřetržitě zmenšuje.
Provozní režim „Čichání“: Přes vedení čichací sondy se nepřetržitě vede okolnívzduch do přístroje kontroly těsnosti. Množství helia či vodíku vyskytující se přirozeně
ve vzduchu vytváří přitom konstantní signál pozadí.

Vstupní tlak
Tlak v počátečním vakuu mezi turbomolekulární vývěvou a vstupní vývěvou.

ZERO
Existuje helium, které je během měření slabě vázáno jako přirozená složka okolního
vzduchu, např. na povrchu zkušebního tělesa, a je čerpáno pozvolna do měřicího
systému přístroje kontroly těsnosti. Vytváří pomalu klesající měřicí signál.
Pokud byste chtěli tento signál pozadí nebo také zobrazení stávajícího úniku skrýt,můžete nastavit funkci ZERO.

10 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Bezpečnost | 2

2 Bezpečnost
2.1 Použití k určenému účelu
Tento přístroj je modulární přístroj kontroly těsnosti pro montáž do průmyslových
zařízení pro kontrolu těsnosti. Testovací plyny, se kterými může přístroj měřit, jsou
helium a vodík (formovací plyn).
LDS3000 je vhodné pro přetlakový a podtlakový test, přičemž je vedle zkoušky vevakuu možná i lokální zkouška pomocí vedení čichací sondy.
LDS3000 AQ je určené pro měření testovacích plynů při jejich obohacování v externíměřicí komoře, lze ho však přestavět i pro jiné účely použití.
► Zařízení smíte instalovat, provozovat a udržovat pouze ve vnitřních prostorách v
souladu s tímto návodem k obsluze.
► Dodržujte hranice použití, viz „Technické údaje“.
Chybná použití

Zabraňte následujícímu použití v rozporu s určeným účelem:• Použití v radioaktivních oblastech• Odčerpání agresivních, hořlavých, výbušných, korozivních, mikrobiologických,reaktivních nebo toxických látek, které představují nebezpečí• Odčerpání kondenzujících kapalin nebo par• Nasávání kapalin do přístroje• Provoz s nepřípustně vysokou zátěží plynu• Provoz s nepřípustně vysokým vstupním tlakem• Provoz při příliš vysoké okolní teplotě
• Provoz s nepřípustně vysokou mírou zavzdušnění
• Použití vývěv v zařízeních, z nichž působí na vývěvu rázová zatížení a vibracenebo periodické síly

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

11 / 170

2 | Bezpečnost

INFICON

2.2 Povinnosti obsluhy• Přečtěte si informace v tomto návodu k obsluze a v pracovních pokynechvlastníka, dodržujte je a řiďte se podle nich. Týká se to zejména bezpečnostnícha výstražných pokynů.
• Při všech pracích dodržujte vždy kompletní provozní návod.
• Máte-li jakékoli dotazy týkající se obsluhy nebo údržby, které nejsou v tétopříručce zodpovězeny, kontaktujte zákaznický servis INFICON.

2.3 Požadavky na provozovatele
Následující pokyny jsou určeny pro podnikatelé nebo pro ty, kteří jsou odpovědní zabezpečnost a efektivní použití výrobku uživatelem, zaměstnancem nebo třetí stranou.

Práce s vědomím rizik• Zařízení provozujte jen tehdy, když je v technicky bezvadném stavu a nevykazuježádná poškození.
• Provozujte přístroj výlučně podle předepsaného účelu, v souladu s bezpečnostía se znalostí nebezpečí za respektování tohoto návodu k provozu.
• Dodržujte následující předpisy a kontrolujte jejich dodržování:– Použití k určenému účelu
– Všeobecně platné bezpečnostní předpisy a předpisy pro předcházení úrazům
– Mezinárodně, národně a lokálně platné normy a směrnice– Dodatečné k přístroji se vztahující ustanovení a předpisy• Používejte výhradně originální díly nebo výrobcem schválené díly.
• Návod k provozu trvale zpřístupněte na místě použití.

Kvalifikace personálu• Na přístroji nebo s přístrojem nechte pracovat jen instruovaný personál.
Instruovaný personál musí absolvovat školení na přístroji.
• Zajistěte, aby si pověřený personál před zahájením práce přečetl tento návod
a všechny další platné dokumenty a porozuměl jim.

2.4 NebezpečíPřístroj je vyroben dle současného stavu techniky a dle uznávaných bezpečnostně
technických pravidel. Přesto při nesprávném používání mohou vznikat nebezpečí pro
zdraví a život uživatele nebo třetích osob, popř. škoda na přístroji a další věcné škody.
Nebezpečí v důsledku Kapaliny a chemické látky mohou přístroj poškodit.
kapaliny• Dodržujte hranice použití, viz „Technické údaje“.

a chemických látek

12 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Bezpečnost | 2• Nenasávejte přístrojem žádné kapaliny.
• Vyhněte se detekci plynů, například vodíku, čichací sondou nad úrovní spodnímeze výbušnosti. Ohledně přípustného složení nakupovaných směsí plynu
odkazujeme na bezpečnostní listy příslušných výrobců.
• Používejte přístroj jen mimo oblasti ohrožené výbuchem.
Nebezpečí pro

V hmotovém spektrometru se nacházejí magnety. Magnetická pole mohou rušit funkciuživatele implantátů

implantátů.

a kardiostimulátorů

• Dodržujte vždy minimální vzdálenost 10 cm od modulu hmotového spektrometru.
• Pro zachování minimální vzdálenosti se vyhněte vybalování nebo montování
modulu hmotového spektrometru.
• Dále dodržujte vzdálenosti, které uvádí výrobce implantátu.

Nebezpečí v důsledku Přístroj je napájen elektrickým napětím až do 24 V. Uvnitř přístroje jsou výrazně vyšší
el. energienapětí. Vzniká ohrožení života při dotyku dílů pod proudem uvnitř přístroje.
• Před všemi instalačními a údržbářskými činnostmi odpojte přístroj od napájení.
Zajistěte, aby se elektrické napájení nemohlo znovu nepovolaně zapojit.
• Před začátkem testování netěsnosti odpojte kontrolované objekty od napájení.
Přístroj obsahuje elektrické součástky, které mohou být poškozeny vysokým
elektrickým napětím.
• Před připojením na napájení zajistěte, aby napájecí napětí činilo 24 V +/-5 %.

Kinetická energie

Pokud by poškozením došlo k zablokování rotujících částí turbomolekulární vývěvy,musí být zachyceny velké odstředivé síly. Pokud se to nepodaří, modul hmotového
spektrometru praskne a mohou vzniknout věcné škody a zranění.
• Zajistěte, aby upevnění modulu hmotového spektrometru mohlo pojmout brzdný
moment 820 Nm.

Nebezpečí zranění při

Pokud připojený kontrolovaný objekt nebo spojení s kontrolovaným objektem nevydrží

prasknutí předmětů

podtlak vakuového provozu, vzniká nebezpečí zranění při prasknutí předmětů.
• Učiňte vhodná ochranná opatření.

Nebezpečí při implozi

Externí měřicí komora, která je připojená na LDS3000 AQ, se odčerpává cca 60 sccm.

měřicí komory

V rámci běžné doby měření (2-30 sekund) nevzniká nebezpečný podtlak.
Když je měřicí komora těsná, ne však odolná proti vakuu, a pokud proběhne další
odčerpání, může dojít k její implozi. K tomu může dojít u 1l měřicí komory po cca
10 minutách.
• Po uplynutí doby měření měřicí komoru dále neodčerpávejte.
• Přijměte příslušná bezpečnostní opatření.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

13 / 170

3 | Rozsah dodávky, přeprava, skladování

INFICON

3 Rozsah dodávky, přeprava, skladování
Rozsah dodávkyVýrobek

Počet

Modul hmotového spektrometru

1)

1

Konektor pro přípoj 24 V

1

Snímač tlaku PSG500

1

Pojistné matice

4

Konektor pro výstup

1

Konektor pro Gauges Exit

1

Napouštěcí modul (jen u provedení LDS3000 AQ)
2)Adaptér DN16 se škrticím ventilem (jen u provedení

1
1

LDS3000 AQ)
USB paměť s návody, 3D výkresy a videa

11.) Obsahuje 560-300 LDS3000 nebo 560-600 LDS3000 AQ (akumulace).
2.) Viz „Vyberte komponenty a vytvořte mezi nimi spojení [} 37]“.
► Po dodání zařízení zkontrolujte úplnost dodávky.
Přeprava

UPOZORNĚNÍ
Poškození nevhodným balenímPřístroj může být při přepravě v nevhodném balení poškozen.
► Přepravujte přístroj pouze v originálním obalu.
► Originální obal uložte.

UPOZORNĚNÍ
Věcné škody způsobené chybějícím upevněním tlumičů vibrací► Tlumič vibrací upevněte šrouby pro upevnění při přepravě, aby nedošlo
k poškozením způsobeným otřesy.
Skladování

14 / 170► Skladujte přístroj při dodržování technických údajů, „Technické údaje [} 24]“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Popis | 4

4 Popis4.1 Funkce
Stanovení cíle

Modul hmotového spektrometru je detektor testovacích plynů helium a vodík. Přístroj
integrovaný ve zkušebních zařízeních slouží k detekování plynu unikajícího z
kontrolovaného objektu a zobrazení netěsností.
Přístroj může být použit jako pro vyhledávání netěsností ve vakuu, tak i pro
vyhledávání netěsností pomocí čichací sondy. Pro režim čichací sondy jsou
k dispozici vedení čichací sondy v různých délkách.

Režim AQ

Za účelem prokázání malých měr netěsnosti bez použití vakuové komory lze zařízení

(akumulace)

pro režim AQ připojit na externí měřicí komoru. V externí měřicí komoře docházík obohacování testovacího plynu (akumulace).
Kontrolovaný objekt plněný pod tlakem héliem nebo formovacím plynem je umístěn doměřicí komory nebo je v měřicí komoře pod tlakem ostřikován. Když je kontrolovaný
objekt netěsný, stoupá koncentrace hélia nebo formovacího plynu v měřicí komoře.
Tento nárůst se měří a je považován za míru netěsnosti.

Rozhraní zařízení

Modul hmotového spektrometru je částí systému pro kontrolu těsnosti LDS3000
a LDS3000 AQ. Ve zkušebním zařízení může být používán společně s modulemsběrnice nebo I/O modulem a datovým kabelem bez dalšího příslušenství INFICON.
MSB-Box předává data prostřednictvím digitálních rozhraní ovládací jednotce
CU1000, I/O modulu IO1000 nebo modulu sběrnice BM1000.

Další příslušenství

S XL Sniffer Adapter a vedením čichací sondy SL3000XL z příslušenství je navícmožné detekovat místa úniků při zhoršené hranici prokazatelnosti ve větší vzdálenosti
od předpokládaného místa úniku (provoz v režimu „High Flow“).

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

15 / 170

4 | Popis

INFICON

4.2 Uspořádání přístroje
4.2.1 Celé zařízení (LDS3000)

Obr. 1: Modul hmotového spektrometru LDS3000

1

Blok přípojů. Přípoje pro zkušební zařízení, vstupní vývěvu, snímač tlaku
PSG500, interní kontrolní netěsnost a vedení čichací sondy, viz také „Blokpřípojů [} 20]“.

2

Snímač tlaku PSG500 pro měření tlaku vstupní vývěvy

3Předzesilovač modulu hmotového spektrometru

4

Turbomolekulární vývěva s chladicí jednotkou

5

MSB-Box. Rozhraní modulu hmotového spektrometru (viz „MSB-Box [} 21]“)6Převodník turbomolekulární vývěvy

7Upevňovací prvky pro montáž modulu hmotového spektrometru do
zkušebního zařízení

8

16 / 170

Typový štítek s technickými údaji modulu hmotového spektrometru

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Popis | 4

4.2.2 Celé zařízení (LDS3000 AQ)
V provedení s akumulací se modul hmotového spektrometru zapojuje pomocí
hardwaru a softwaru do speciální měřicí soustavy.

1
4

2
3

6

5
7

Obr. 2: LDS3000 AQ (schematické znázornění)1 Systém ventilátoru
2 Měřicí komora při atmosférickém tlaku
3 Kontrolovaný objekt, který se má testovat
4 Spojení
5 Tok měřeného plynu (≈ 50 sccm)
6 LDS3000 AQ
7 Předčerpávací vývěva

K detailům měřicí soustavy viz „Vyberte komponenty a vytvořte mezi nimi spojení[} 37]“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

17 / 170

4 | Popis

INFICON

1

5

4

2

3

Obr. 3: Modul hmotového spektrometru (provedení akumulace)

1 Snímač tlaku PSG500 k měření sacího tlaku
2 GROSS regulační příruba s připojovací hadicí k vstupní vývěvě.
3 Hadice k měřicí komoře
4 Napouštěcí modul
5 ULTRA připojení slepá příruba

18 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Popis | 4

1
2
3

Obr. 4: Napouštěcí modul

Napouštěcí modul. Lze jej připojit nejen k měřicí komoře, ale i k modulu
hmotového spektrometru.
1 Filtr napouštěcího modulu. Čištění filtru není zajištěno. Objednejte jakonáhradní filtr INFICON pod objednacím číslem 211-090. Viz také „LDS3000
AQ – součásti důležité pro údržbu [} 160]“. Kalibrace po výměně filtru.
2 Použití škrticí klapky
3 Standardní škrticí klapkaPříslušenství

Pro doplnění měřicí soustavy může zákazník doplnit chybějící části.

zákazníka

Pokud chcete použít vlastní vstupní vývěvu, zajistěte, aby se jednalo o suchou vstupnívývěvu s průtokem plynu více než 60 sccm při základním tlaku méně než 5 mbar.
Musí mít vlastní napájení elektrickou energií.
Chcete-li použít vlastní ovládací jednotku, je třeba dbát na to, aby byl asistentprovádění nastavení měření, kalibrace a nastavení funkce ZERO pouze na ovládací
jednotce INFICON CU1000.
Viz také „Vyberte komponenty a vytvořte mezi nimi spojení [} 37]“.

VolitelnéS výjimkou měřicí komory nabízí INFICON všechny potřebné součástky.

příslušenství• Ovládací jednotka CU1000 (vč. asistenta pro důležitá nastavení)

INFICON• I/O1000 (rozhraní zařízení mezi vyhledávačem netěsností a externím řízením)• BM1000 (rozhraní zařízení např. mezi boxem MSB modulu hmotového
spektrometru LDS3000 a externím řízením)• Vlnitá hadice, k dispozici na domovské stránce INFICON v části „Vakuové
komponenty“.
• Připojení ISO-KF (např. Šroubovací příruba), dostupné na domovské stránce
INFICON v části „Vakuové komponenty“.
• Středicí kroužky a těsnění ISO-K, dostupné na domovské stránce INFICON v části
„Vakuové komponenty“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

19 / 170

4 | Popis

INFICON• Napájecí zdroj na DIN lištu 24 V, 10 A od INFICON (katalogové číslo 560-324) pro
suchou předčerpávací vývěvu INFICON.
• Suchá předčerpávací vývěva INFICON (katalogové číslo 560-630).

Přípojka pro hadici ID 10 mmPřípojka pro tlumič hluku (volitelné)Přípojka MínusPřípojka Plus (24 V)
Obr. 5: Suchá předčerpávací vývěva INFICON

4.2.3 Blok přípojů

Obr. 6: Blok přípojů

1

20 / 170Přípoj ULTRA

3Přípoj GROSS/FOREPUMPLDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Popis | 42Přípoj FINE/SNIFFER

4.2.4 MSB-Box

Obr. 7: Přípoje MSB-Boxu

Adaptér čichací sondy FFER
Elektrický přípoj pro vedení čichací sondy

GAUGES, EXTPřípoj pro volitelné externí snímač tlaku (0 ... 10 V/0 … 20 mA) pro servis INFICON
Obsazení konektoru
1+24 V výstup, max. 200 mA

2

Vstup pro servisní snímač tlaku P3, 0 ... 10V

3

GND

4

Reference ke vstupu pro servisní snímač tlaku P3

5

20 mA vstup pro servisní snímač tlaku P3

1 (viz také obrázek MSB-Box)Přípoj pro snímač tlaku PSG500, kontrolní netěsnost a supresor na předzesilovači(předmontovaný, trojitý kabel)

2 (viz také obrázek MSB-Box)Přípoj pro převodník turbomolekulární vývěvy a ventilátor turbomolekulární vývěvy
(předmontovaný, dvojitý kabel)VÝSTUPPřípoj pro plynový balast a tři ventily
Obsazení konektoru
1

Ventil 2 (plynový balast), 24 V, max. 1 A

2Ventil 3 (nepoužitý, rezerva)

3

Ventil 4 (nepoužitý, rezerva)

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

21 / 170

4 | Popis

INFICON

4

Ventil 6 (nepoužitý, rezerva)

5

GND

CONTROL UNIT, I/O / ANYBUS
Přípoj pro I/O modul nebo modul sběrnice nebo ovládací jednotku Délka datového
kabelu INFICON < 30 m. Aby nedocházelo k zobrazení nesprávných naměřených
hodnot, je třeba dodržovat uvedenou maximální délku kabelu.
Přípoje Control Unit a I/O Anybus mají stejnou funkčnost. Mohou být připojeny
volitelně:– ovládací jednotka CU1000 + I/O modul IO1000– ovládací jednotka CU1000 + modul sběrnice BM1000

SERVICEPřípoj RS232 pro servis INFICON.

24 V DCPřípoj pro síťový zdroj 24 V pro napájení modulu hmotového spektrometru, ovládací
jednotky, I/O modulu a modulu sběrnice. Délka vedení < 30 m.

STAV
LED stavu
LED status a LED napájení ukazují provozní stav přístroje.

LED napájení

/ LED status

LED napájení a LED status ukazují provozní stav přístroje.
LED napájení

LED stavuVýznamVypČervenáPřístroj není připraven k provozu

Zelená

Modrá

Turbomolekulární vývěva nabíhá

Zelená

Oranžová

Emise se zapne

Zelená

Zelená

Emise je stabilní

Zelená

FialováOtáčky turbomolekulární vývěvy nejsou
v normální oblasti

Zelená

Chybové kódyRůzné aktivity přístroje

LED status

22 / 170

Zelená, bliká pomalu

Napájecí napětí < 21,6 V

Zelená, bliká rychle

Napájecí napětí > 26,4 V

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Popis | 4

LED napájení

LED stavuVýznamZelená, bliká

Vyp

Software se aktualizuje

Zelená

Zelená, bliká

Software se aktualizuje

3 (viz také obrázek MSB-Box)Přípoj pro předzesilovač

ION SOURCEPřípoj pro iontový zdroj

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

23 / 170

4 | Popis

INFICON

4.2.5 Označení na přístroji
NEBEZPEČÍ
Nebezpečí pro uživatele implantátů a kardiostimulátorů
Permanentní magnety v modulu hmotového spektrometru ohrožují zdraví. Může být
ovlivněna funkce implantátů.
► Dodržujte vždy minimální vzdálenost 10 cm od modulu hmotového spektrometru.
► Pro zachování minimální vzdálenosti se vyhněte vybalování nebo montování
modulu hmotového spektrometru.
► Dále dodržujte vzdálenosti, které uvádí výrobce implantátu.

Přístroj se nesmí likvidovat s domovním odpadem.

4.3 Technické údaje
Mechanické údaje
560-300, 560-600Rozměry (D × Š × V)

330 × 270 × 293 mm(13 × 10,6 × 11,5 in.)

Vstupní příruba

1 × DN25 KF
5 × DN16 KF

Elektrické údaje
560-300, 560-600Odběr proudu

max.10 A

Provozní napětí

24 V

Stupeň krytí

IEC/EN 60034-5 IP40+/- 5 %UL 50E typ 1

Fyzikální údaje
560-300, 560-600

24 / 170

Odezva v režimu čichací sondy

GROSS: < 5 s, FINE/ULTRA: < 1 s

Maximální vstupní tlak

0,2 mbar - 18 mbarNáběh

< 150 sLDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Popis | 4560-300, 560-600Měřitelné plyny

Helium, vodík

Nejmenší dokazatelná míra netěsnosti,< 5E-12 mbar l/s

vakuový provoz
Nejmenší dokazatelná míra netěsnosti,< 1E-7 mbar l/sčichací provozMěřitelné rozměry

4He, H2, hmotnost 3 (např. H-D, 3He
nebo H3)

Iontový zdroj

2 longlife iridia vlákna, oxidem yttritým
povlečený

560-600 (režim AQ)
nejmenší prokazatelná míra netěsnosti< 1 × 10-7 mbar l/s

formovací plyn nebo hélium
Rozsah měření

6 dekády

Tlak ve zkušební komoře

1 atm

Časová konstanta signálu míry netěsnosti < 1 s

Okolní podmínky
560-300, 560-600Přípustná okolní teplota (v provozu)

10 °C ... 45 °C

Max. nadmořská výška

2000 mPřípustné magnetické pole max.

7 mT

Max. relativní vlhkost vzduchu nad 40 °C

50%Max. relativní vlhkost vzduchu od 31 °C

80% ... 50% (lineárně klesající)

do 40 °C
Max. vlhkost vzduchu 31 °C

80%

Teplota skladování-20 °C ... 60 °C

Stupeň znečištění

2

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

25 / 170

4 | Popis

INFICON

4.4 Nastavení z výroby
Parametry

Nastavení z výroby

AO exponent horní hranice1 x 10-5

Provozní režim

VakuumAQ Mode 1 1)

AQ objem komory

1 l 1)

AQ doba měření

10 s 1)

AQ faktor doby Zero

4 1)

Adresa modulu sběrnice126

Tlak hlídání kapiláry ucpané

0,4 mbar– s XL Sniffer Adapter (Low Flow)

0,2 mbar

Tlak hlídání kapiláry prasklé

2 mbar– s XL Sniffer Adapter (Low Flow)

0,6 mbar

Tlak hlídání kapiláry ucpané– s XL Sniffer Adapter (High Flow)

150 mbar

Tlak hlídání kapiláry prasklé– s XL Sniffer Adapter (High Flow)

400 mbarJednotka tlaku (rozhraní)

mbar

Emise

Zap

Filtr přepínací míry netěsnosti

1 x 10-10

Filtr ZERO čas

5sDruh filtru

I•CAL

Podíl plynu v procentech H2 (M3, He)

100 %5 % H2 (-, 100 % He) 1)

Plynový balast

Vyp

Protokol I/O modulu

ASCIIPožadavek kalibrace

Zap

Kalibrační faktor VAC/SNIF Mx

1.0(pro vakuum, režim čichací sondy avšechny molární hmotnosti)
Volba katody

Auto Cat1

Režim kompatibility

LDS3000
AQ 1)

26 / 170

Konfig. Analog. výstup 1

Mantisa míry netěsnosti

Konfig. Analog. výstup 2

Exponent míry netěsnosti

Konfig. Měřítko analog. výstupu

0,5 V / dekáda

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Popis | 4

Parametry

Nastavení z výroby

Konfigurace digitálních výstupů

Pin 1: Trigger 1, invertovaný
Pin 2: Trigger 2, invertovaný
Pin 3: Trigger 3, invertovaný
Pin 4: Trigger 4, invertovaný
Pin 5: ReadyPin 6: Error, invertovaný
Pin 7: CAL request, invertovaný
Pin 8: Open, invertovaný

Konfigurace digitálních vstupů

Pin 1: Select dyn. / normal CAL
Pin 2: Sniff
Pin 3: Start/Stop, invertovaný
Pin 4: ZERO
Pin 5: External CAL
Pin 6: Internal CAL
Pin 7: Clear
Pin 8: ZERO update
Pin 9: –Pin 10: –Jednotka míry netěsnosti SNIF (displej ambar l/s

rozhraní)Jednotka míry netěsnosti VAC (displej ambar l/s

rozhraní)Míra netěsnosti horní hranice VAC

1.0 x 10-1

(rozhraní)
Míra netěsnosti dolní hranice VAC

1.0 x 10-12(rozhraní)
Míra netěsnosti horní hranice SNIF

1.0 x 10-1

(rozhraní)
Míra netěsnosti dolní hranice SNIF

1.0 x 10-8

(rozhraní)Řízení ventilátoru

Ventilátor vždy zap

Strojní faktor v Standby

VypStrojní faktor / faktor čichací sondy

1,0 (pro všechny molární hmotnosti)

Mass

4

Modul na I/O přípoji

IO1000Jmenovitý stav TMP

Zap

Kontrolní netěsnost externí SNIF

9,9 x 10-2

Kontrolní netěsnost externí VAC

9,9 x 10-2

Kontrolní netěsnost interní

9,9 x 10-2

Kontrolní netěsnost interní otevřítVypLDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

27 / 170

4 | Popis

INFICON

Parametry

Nastavení z výroby

Detekce vedení čichací sondy

Zap

Tlačítko ZERO čichací sondy

Zap

Jazyk

Angličtina

Otáčky TMP

1500
1000 1)1 x 10-5 mbar l/sÚroveň triggeru 1 (2, 3, 4)

5 x 10-5 (1 x 10-5) mbar l/s 1)
Test předzesilovače u CAL

Zap

Zobrazit varování jako chybu (1–8)

No Entry

Hlášení pro údržbu

VypZERO při startu

VypRežim ZERO

Vše potlačit

1) v režimu AQ

28 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Montáž LDS3000 | 5

5 Montáž LDS3000
5.1 Přizpůsobení polohy přípojů montážním
podmínkám
Vyberte místo instalace
Pro měřicí soustavu vyberte prostředí, kde se vyskytuje co nejméně hélia. Pro
spolehlivé měření pomocí tohoto zařízení musí být obsah hélia ve vzduchu nižší než
10 ppm.
Přirozeně vzduch obsahuje 5 ppm (0,0005 %) hélia.

Namontujte box MSB
Aby bylo možné optimální přizpůsobení prostoru v místě montáže, může být MSB-Box
otočen a obrácen.
MSB-Box sedí ve dvou vodicích lištách a může být do tělesa zasunut zleva nebo
zprava. V případě potřeby může být také otočen, takže popisy jsou vzhůru nohama.
Pro vytažení MSB-Boxu musí být uvolněna blokovací podložka.
Pokud je třeba MSB-Box zasunout do tělesa z jiné strany, musí být také blokovací
podložka přišroubována na jiné straně tělesa. Příslušný závitový otvor je k dispozici.

Obr. 8: Blokování

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

29 / 170

5 | Montáž LDS3000

INFICON

5.2 Montáž modulu hmotového spektrometru na
zkušební zařízení
Modul hmotového spektrometru může být namontován ve všech polohách.

Obr. 9: Komponenty upevňovacího prvku

1

Inbusový šroub M8 x 50

5

Matice M8 (pojistná)

2

Podložka

6

Základní rám

3Pryžokovové uložení

7Pryžová podložka

4

Zkušební zařízení

8

Vedení MSB-BoxuPotřebujete:- Pojistné matice M8- Otevřený klíč vel. 13- Klíč s vnitřním šestihranem vel. 6- Otvory pro montáž do zkušebního zařízení

Ve stavu při dodání jsou uložení upevněna inbusovými šrouby a transportními
maticemi na základním rámu. Pro montáž modulu hmotového spektrometru použijte
dodané pojistné matice – nikoli transportní matice.

30 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Montáž LDS3000 | 5

Pozadí musí být stabilní.

VýstrahaTěžká zranění v důsledku vylomení modulu hmotového spektrometru
Pokud modul hmotnostního spektrometru není dostatečně zajištěn, může náhlý
blokovací rotor turbomolekulárního čerpadla způsobit uvolnění modulu hmotnostního
spektrometru. Následkem mohou být nejtěžší zranění.
► Zajistěte, aby upevnění modulu hmotového spektrometru mohlo pojmout brzdný
moment 820 Nm.
1

Vyvrtejte průchozí otvory:– vzdálenost X: 283 mm– vzdálenost Y: 121,5 mm– průchozí otvory do plechu: Ø 9 mm
– upevňovací šrouby: M8 x 50

2

Demontujte transportní matice.

3

Modul hmotového spektrometru nasaďte na průchozí otvory a přišroubujteupevňovacími prvky, jak je ukázáno na horním obrázku

5.3 Zvolit připojení ULTRA, FINE nebo GROSS
Provozní režim přípoje vakua a otáčky turbomolekulární vývěvy určují:• Nejmenší prokazatelná míra netěsnosti (KnL)• Trvale přípustný sací tlak (pmax)• Výkon sání (S)Následující údaje platí pro použití helia jako testovacího plynu.
Pro dosažení KnL musí být splněny následující podmínky:• LDS3000 musí být minimálně 20 minut v provozu.
• Okolní podmínky musí být stabilní (teplota, žádné vibrace/rázy, čisté prostředí).
• Testovaný objekt musí být při vypnuté funkci ZERO používán tak dlouho, až je
pozadí stabilní. Teprve potom smí být funkce ZERO zapnuta.
PřípojULTRAOtáčky turbomolekulární vývěvy
1000 Hz

1500 HzKnL:

5 x 10-12 mbar l/s

1 x 10-11 mbar l/s

pmax:

0,2 mbar

0,2 mbarpmax krátkodobě (< 3 s):

0,2 mbar

0,4 mbar

S:

5 l/s

6 l/s

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

31 / 170

5 | Montáž LDS3000

INFICONPřípojOtáčky turbomolekulární vývěvy
1000 Hz

FINE

GROSS

-11

1500 Hzmbar l/s

5 x 10-11 mbar l/s

KnL:

1 x 10pmax:

0,9 mbar

0,4 mbarpmax krátkodobě (< 3 s):

0,9 mbar

0,7 mbarS:

1,8 l/s

2,5 l/s-9KnL:

1 x 10 mbar l/s

2 x 10-8 mbar l/s

pmax:

18 mbar

15 mbarS:v závislosti na vstupní vývěvě

Překročení trvale přípustného sacího tlaku generuje výstražné hlášení „Přehřátí TMP“.

UPOZORNĚNÍ
Věcné škody v důsledku tlakových rázůTlakové rázy, které překračují maximální sací tlak, poškozují modul hmotového
spektrometru.
- Nepřekračujte maximální sací tlak.
1

Provozní režim přípoje vakua a otáčky turbomolekulární vývěvy stanovte podle
vakuově fyzikálních vlastností zkušebního zařízení.

2

Modul hmotového spektrometru připojte pomocí přípojů „ULTRA“, „FINE“, nebo
„GROSS“ na systém vakua zkušebního zařízení.

3

Nastavte otáčky turbomolekulární vývěvy, viz rovněž „Nastavení otáček
turbomolekulární vývěvy [} 70]“.

5.4 Vytvoření spojení komponent
1

Snímač tlaku PSG500 připojte na jeden z přípojů GROSS-/FOREPUMP.

2Připojte vstupní vývěvu na druhý přípoj GROSS-/FOREPUMP.

3

Pro režim čichací sondy připojte vedení čichací sondy na jeden z přípojů FINE-/
SNIFFER.

4

Pokud je k dispozici, připojte interní kontrolní netěsnost 560-323 na druhou
volnou přírubu (FINE popř. ULTRA) přípoje vakua.

Pokud je použit ventil čichací sondy: Aby přístroj při otevření ventilu čichací sondy
pracoval bezchybně, nesmí být mezi blok přípojů a ventil čichací sondy i mezi ventilčichací sondy a vedení čichací sondy zapojeno žádné další vedení.

5.5 Vytvoření elektrických propojení
Všechna elektrická spojení probíhají od a k MSB-Boxu.

32 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Montáž LDS3000 | 5

UPOZORNĚNÍ
Věcné škody v důsledku chybně dimenzovaného nebo chybně
připojeného síťového zdroje
Chybně dimenzovaný nebo chybně připojený síťový zdroj může přístroj zničit.
► Použijte vhodný síťový zdroj: Použijte síťový zdroj, který dodává elektricky
bezpečně oddělené výstupní napětí: 24 V +/-5 %, jmenovitý proud: min. 10 A
► Zajistěte ochranu proti zkratu 15 A pro napájení LDS3000.
► Použijte napájecí kabel s dostatečným průřezem.
► Zajistěte, aby bylo možné LDS3000 vypnout v případě nouze nebo při opravě:
Nastavte zařízení tak, abyste vždy dosáhli na síťovou zástrčku, abyste jej mohli
odpojit.
Případně připojte označené a snadno dostupné odpojovací zařízení.
1

Napájecí kabel 24 V namontujte na přiložený konektor (přípoje: +24 V na 1+
a GND na 1-).

2Připojte napájecí kabel na zdířku „24 VDC“. Délka vedení < 30 m.

3Připojte ovládací jednotku na zdířku „Control Unit“. Délka datového kabelu
INFICON < 30 m.

4Připojte I/O modul nebo modul sběrnice na zdířku „I/O“. Délka datového kabelu
INFICON < 30 m.

5

Snímač tlaku PSG500 a, pokud je použita, kontrolní netěsnost 560-323 připojte
kabelem na zdířku „1“. Ke zdířce 1 viz „MSB-Box [} 21]“.

6Připojte vedení čichací sondy na zdířku „Čichací sonda“.

7Připojte ventil plynového balastu na zdířku „Output“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

33 / 170

6 | Montáž LDS3000 AQ (akumulace)

INFICON

6 Montáž LDS3000 AQ (akumulace)
6.1 Přizpůsobení polohy přípojů montážním
podmínkám
Vyberte místo instalace
Pro měřicí soustavu vyberte prostředí, kde se vyskytuje co nejméně hélia. Pro
spolehlivé měření pomocí tohoto zařízení musí být obsah hélia ve vzduchu nižší než
10 ppm.
Přirozeně vzduch obsahuje 5 ppm (0,0005 %) hélia.

Namontujte box MSB
Aby bylo možné optimální přizpůsobení prostoru v místě montáže, může být MSB-Box
otočen a obrácen.
MSB-Box sedí ve dvou vodicích lištách a může být do tělesa zasunut zleva nebo
zprava. V případě potřeby může být také otočen, takže popisy jsou vzhůru nohama.
Pro vytažení MSB-Boxu musí být uvolněna blokovací podložka.
Pokud je třeba MSB-Box zasunout do tělesa z jiné strany, musí být také blokovací
podložka přišroubována na jiné straně tělesa. Příslušný závitový otvor je k dispozici.

Obr. 10: Blokování

34 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Montáž LDS3000 AQ (akumulace) | 6

6.2 Montáž modulu hmotového spektrometru na
zkušební zařízení
Modul hmotového spektrometru může být namontován ve všech polohách.

Obr. 11: Komponenty upevňovacího prvku

1

Inbusový šroub M8 x 50

5

Matice M8 (pojistná)

2

Podložka

6

Základní rám

3Pryžokovové uložení

7Pryžová podložka

4

Zkušební zařízení

8

Vedení MSB-BoxuPotřebujete:- Pojistné matice M8- Otevřený klíč vel. 13- Klíč s vnitřním šestihranem vel. 6- Otvory pro montáž do zkušebního zařízení

Ve stavu při dodání jsou uložení upevněna inbusovými šrouby a transportními
maticemi na základním rámu. Pro montáž modulu hmotového spektrometru použijte
dodané pojistné matice – nikoli transportní matice.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

35 / 170

6 | Montáž LDS3000 AQ (akumulace)

INFICON

Pozadí musí být stabilní.

VýstrahaTěžká zranění v důsledku vylomení modulu hmotového spektrometru
Pokud modul hmotnostního spektrometru není dostatečně zajištěn, může náhlý
blokovací rotor turbomolekulárního čerpadla způsobit uvolnění modulu hmotnostního
spektrometru. Následkem mohou být nejtěžší zranění.
► Zajistěte, aby upevnění modulu hmotového spektrometru mohlo pojmout brzdný
moment 820 Nm.
1

Vyvrtejte průchozí otvory:– vzdálenost X: 283 mm– vzdálenost Y: 121,5 mm– průchozí otvory do plechu: Ø 9 mm
– upevňovací šrouby: M8 x 50

2

Demontujte transportní matice.

3

Modul hmotového spektrometru nasaďte na průchozí otvory a přišroubujteupevňovacími prvky, jak je ukázáno na horním obrázku

36 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Montáž LDS3000 AQ (akumulace) | 6

6.3 Vyberte komponenty a vytvořte mezi nimi
spojení6.3.1 Varianta 1
Tato soustava je vhodná pro většinu uživatelů a hodí se pro krátké doby měření.

4

3

1

2

5

6
8

7

9
11
10

1

Koncový znak

2

Snímač tlaku PSG500 k měření sacího tlaku

3Těsnicí kroužky KF. Středicí kroužky a těsnění ISO-K. Není součástí dodávky. Můžete jej získat
z domovské stránky INFICON v části „Vakuové komponenty“.

4Vložka škrticího ventilu

5Středicí kroužek ISO-KF s filtrem

6

Je vyobrazené provedení se samostatnou měřicí komorou. Není součástí dodávky.

7Příruba škrticího ventilu. Alternativně lze připojit k modulu hmotového spektrometru, viz „Varianta 2[} 40]“.

8

Vlnitá hadice KF. Není součástí dodávky.

9

GROSS regulační příruba

10

Suchá předčerpávací vývěva s odděleným napájením elektrickým proudem. Není součástí dodávky.
„Membránové čerpadlo LDS AQ“ si můžete objednat u společnosti INFICON pod objednacím číslem
560-630, dále „Napájecí zdroj na DIN lištu 24 V, 10 A“ pod objednacím číslem 560-324.

11Síťový zdroj 24 V. Není součástí dodávky.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

37 / 170

6 | Montáž LDS3000 AQ (akumulace)

INFICONü Máte k dispozici modul hmotového spektrometru (akumulace) INFICON.
ü K dispozici máte suchou vstupní vývěvu s vlastním napájením elektrickým
proudem.
Můžete použít jakoukoliv suchou vývěvu s průtokem plynu více než 60 sccm při
základním tlaku nižším než 5 mbar. V tomto návodu je popsáno použití suchépředčerpávací vývěvy INFICON (katalogové číslo 560-630).
ü K dispozici máte vhodnou měřicí komoru.
Informace o měřící komoře lze získat od společnosti INFICON.
Upozorňujeme, že měřicí komora, která je těsná, ale není odolná proti vakuu, můžeimplodovat, když dochází k odčerpávání překračujícímu běžnou dobu měření. Viz
také „Provedení měření [} 90]“.
ü Máte k dispozici pro sestavu podle varianty 1 příslušné součásti. Viz výše uvedený
přehled.
1Připojte snímač tlaku PSG500 na přípojku FINE.

2

Namontujte přírubu škrticího ventilu na měřicí komoru.
Zajistěte, aby vložka škrticího ventilu směřovala ke komoře.
Nasaďte středicí kroužek ISO-KF s filtrem mezi přírubu škrticího ventilu
a měřicí komoru. Pro detaily viz také „LDS3000 AQ – součásti důležité proúdržbu [} 160]“.

3

Pro spojení přípojky FINE modulu hmotového spektrometru s přírubou škrticího
ventilu doporučujeme použít vlnitou hadici KF.

4Připojte regulační přírubu GROSS na připojení GROSS / FOREPUMP modulu
hmotového spektrometru.

5Spojte otevřený konec regulační přírubové hadice GROSS se vstupní vývěvou.

6

Zapojte předčerpávací vývěvu do elektrické sítě.
Při použití předčerpávací vývěvy INFICON (katalogové číslo 560-630)
postupujte následujícím způsobem:
ð Zjistěte, zda je kladná a záporná svorka svorkového pásku spojenás kabelem již z výroby.

+
Obr. 12: Svorkový pásek na suché předčerpávací vývěvě INFICON

ð Pokud ano, zapojte kladný a záporný kabel do zdroje stejnosměrného
proudu, 24 V +/-10 %, 5 A.

38 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Montáž LDS3000 AQ (akumulace) | 6

ð Pokud ne, zapojte kladný a záporný kabel s dutinkami 8 mm AWG 18
s červenou izolací do příslušných připojovacích svorek a poté kabel připojte
do zdroje stejnosměrného proudu, 24 V +/-10 %, 5 A.
Výfukový otvor vstupní vývěvy by měl být co nejdále od měřicí komory.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

39 / 170

6 | Montáž LDS3000 AQ (akumulace)

INFICON

6.3.2 Varianta 2
Tato varianta je vhodná pro použití, u kterých se má provádět odběr vzorku uvnitř
komory na definovaném místě, například mimořádně blízko kontrolovaného objektu.

3

1

4

2

5

9

8

7

6

10
12
11

1

Koncový znak

2

Snímač tlaku PSG500 k měření sacího tlaku

3Středicí kroužek ISO-KF bez filtru

4Vložka škrticího ventilu

5

Je vyobrazené provedení se samostatnou měřicí komorou. Není součástí dodávky.

6

Filtrační jednotka 0,45 µm Pall

7

Originální zásobovací hadice (2 mm)

8Adaptér Festo9Příruba škrticího ventilu

10

GROSS regulační příruba

11

Suchá předčerpávací vývěva s odděleným napájením elektrickým proudem. Není součástí dodávky.
„Membránové čerpadlo LDS AQ“ si můžete objednat u společnosti INFICON pod objednacím číslem
560-630, dále „Napájecí zdroj na DIN lištu 24 V, 10 A“ pod objednacím číslem 560-324.

12Síťový zdroj 24 V. Není součástí dodávky.

ü Máte k dispozici modul hmotového spektrometru (akumulace) INFICON.
ü K dispozici máte suchou vstupní vývěvu s vlastním napájením elektrickým
proudem.
Můžete použít jakoukoliv suchou vývěvu s průtokem plynu více než 60 sccm při
základním tlaku nižším než 5 mbar. V tomto návodu je popsáno použití suchépředčerpávací vývěvy INFICON (katalogové číslo 560-630).

40 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Montáž LDS3000 AQ (akumulace) | 6

ü K dispozici máte vhodnou měřicí komoru.
Informace o měřící komoře lze získat od společnosti INFICON.
Upozorňujeme, že měřicí komora, která je těsná, ale není odolná proti vakuu, můžeimplodovat, když dochází k odčerpávání překračujícímu běžnou dobu měření. Viz
také „Provedení měření [} 90]“.
ü Máte k dispozici pro sestavu podle varianty 2 příslušné součásti. Viz výše uvedený
přehled.
1Připojte snímač tlaku PSG500 na přípojku FINE.

2

Namontujte přírubu škrticího ventilu na přípojku LDS FINE.
Zajistěte, aby vložka škrticího ventilu směřovala k přípojce LDS FINE.
Nasaďte středicí kroužek ISO-KF bez filtru mezi přírubu škrticího ventilu
a přípojku FINE. Pro detaily viz také „LDS3000 AQ – součásti důležité proúdržbu [} 160]“.

3Připojte ke komoře 2mm hadici. V závislosti na použití může být vhodné zavést
hadici do komory. Hadice musí být vůči komoře uzavřená pomocí filtrační
jednotky 0,45 µm Pall.

4

Vytvořte spojení mezi hadicí a adaptérem Festo.

5

V případě potřeby zaveďte 2mm hadici do měřicí komory. Hadici lze zkrátit napotřebnou délku.

6Připojte regulační přírubu GROSS na připojení GROSS / FOREPUMP modulu
hmotového spektrometru.

7

Spojte otevřený konec regulační přírubové hadice GROSS se vstupní vývěvou.

8

Zapojte předčerpávací vývěvu do elektrické sítě.
Při použití předčerpávací vývěvy INFICON (katalogové číslo 560-630)
postupujte následujícím způsobem:
ð Zjistěte, zda je kladná a záporná svorka svorkového pásku spojenás kabelem již z výroby.

+
Obr. 13: Svorkový pásek na suché předčerpávací vývěvě INFICON

ð Pokud ano, zapojte kladný a záporný kabel do zdroje stejnosměrného
proudu, 24 V +/-10 %, 5 A.
ð Pokud ne, zapojte kladný a záporný kabel s dutinkami 8 mm AWG 18
s červenou izolací do příslušných připojovacích svorek a poté kabel připojte
do zdroje stejnosměrného proudu, 24 V +/-10 %, 5 A.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

41 / 170

6 | Montáž LDS3000 AQ (akumulace)

INFICONVýfukový otvor vstupní vývěvy by měl být co nejdále od měřicí komory.

6.4 Vytvoření elektrických propojení
Všechna elektrická spojení probíhají od a k MSB-Boxu.

UPOZORNĚNÍ
Věcné škody v důsledku chybně dimenzovaného nebo chybně
připojeného síťového zdroje
Chybně dimenzovaný nebo chybně připojený síťový zdroj může přístroj zničit.
► Použijte vhodný síťový zdroj: Použijte síťový zdroj, který dodává elektricky
bezpečně oddělené výstupní napětí: 24 V +/-5 %, jmenovitý proud: min. 10 A
► Zajistěte ochranu proti zkratu 15 A pro napájení LDS3000 AQ.
► Použijte napájecí kabel s dostatečným průřezem.
1Namontujte 24V napájecí kabel na přiložený konektor (přípojky: +24 V na 1+
a GND na 1-).

2Připojte napájecí kabel do zdířky „24VDC“.

3Připojte ovládací jednotku do zdířky „Control Unit“.

4Připojte I/O nebo modul sběrnice do zdířky „I/O“.

5Připojte snímač tlaku PSG500 na kabel zdířky 1. Ke zdířce 1 viz „MSB-Box[} 21]“.

42 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

7 Provoz LDS3000
Modul hmotového spektrometru můžete používat prostřednictvím následujícího
příslušenství:• Ovládací jednotka CU1000• Modul sběrnice BM1000• I/O modul IO1000
S adaptérem XL Sniffer, který je k dispozici jako příslušenství, a linií čichací sondy
SL3000XL lze úniky detekovat také ve větší vzdálenosti od podezřelého úniku, pokud
došlo ke zhoršení detekčního limitu (provoz při „vysokém průtoku“).
Je možné použít i přístroje LDS3000 AQ, když nejsou provozovány v režimu AQ.
Další informace k ovládací jednotce, modulům a XL adaptéru čichací sondy (XL
Sniffer Adapter) jsou obsaženy v dokumentech:• Návod k provozu ovládací jednotky CU1000• Návod k provozu I/O modulu IO1000• Návod k provozu modulu sběrnice BM1000• Návod k provozu XL Sniffer Adapter• Protokoly rozhraní LDS3000
V dalších částech uvedené cesty v programu se vztahují k ovládání modulu
hmotového spektrometru s ovládací jednotkou CU1000. Pokud se použije modulsběrnice nebo I/O modul, musí být realizovány akce v rámci použitého protokolu.
Uvedení cesty v programu pro ovládací jednotku vždy začíná v hlavním menu.

VýstrahaOhrožení života a věcné škody v důsledku nevhodných provozních
podmínek
Nevhodnými provozními podmínkami vzniká ohrožení života. Může dojít k poškozenípřístroje.
► Vyvarujte se náhlých změn polohy přístroje.
► Vyvarujte se extrémních cizích kmitů a rázů.

7.1 Zapnutí přístrojeð1Zapněte vstupní vývěvu.

2Zapněte napájecí napětí k modulu hmotového spektrometru.
Systém automaticky nabíhá.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

43 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICONð

Pokud jsou připojeny XL Sniffer Adapter a CU1000, probíhá po rozběhu
dotazování, zda má být nastaven provozní režim „XL Sniffer Adapter“. To neplatí
pro přístroje v režimu AQ.

Delší náběh v přístrojů v režimu AQ
Abyste zabránili zkreslení výsledků měření v důsledku zvýšené hodnoty na pozadí, jetřeba ponechat dobu zahřátí po zapnutí přístroje cca 10 minut.
Před stanovením „Peak“ nebo před kalibrací počkejte nejméně 60 minut. Viz také
„Provedení měření [} 90]“.

7.2 Přednastavení
Volba jazyka

Volba jazyka zobrazení. Nastavení z výroby je v angličtině. (Displej na držadle
vedení čichací sondy SL3000XL ukazuje hlášení místo ruštiny a čínštiny v
angličtině.)Němčina, Angličtina, Francouzština, Italština, Španělština, Portugalština, Ruština,Čínština, Japonština

Nastavení data a časuOvládací jednotka

Settings > Set up > Control unit > Language

LD protokolPříkaz 398

ASCII protokol*CONFig:LANG

Nastavení data
Formát: TT.MM.JJ

Ovládací jednotka

Settings > Date/Time > Date

LD protokolPříkaz 450

ASCII protokol*HOUR:DATE

Nastavení časuFormát: hh:mm

44 / 170

Ovládací jednotka

Settings > Date/Time > TimeLD protokolPříkaz 450

ASCII protokol*HOUR:TIMELDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

7.3 Volba jednotky míry netěsnosti
Jednotka mírynetěsnosti
zobrazení

Volba jednotky míry netěsnosti v zobrazení pro vakuum popř. čichací sondu
0mbar l/s (nastavení z výroby)1

Pa m3/s2

atm cc/s

3Torr l/s

4ppm (ne VAC, ne AQ)

5

g/a (ne VAC, ne AQ)

6oz/yr (ne VAC, ne AQ)

7

sccm

8

sft3/yr

OvládacíDisplay > Units (display) > Leak rate unit VAC (SNIF)

jednotka
LD protokolPříkaz 396 (Index 0: Vakuum, index 1: čichat)

ASCII protokolPříkaz *CONFig:UNIT:VACDisplayPříkaz *CONFig:UNIT:SNDisplay

Jednotka mírynetěsnosti rozhraní

Volba jednotky míry netěsnosti rozhraní pro vakuum popř. čichací sondu
0mbar l/s (nastavení z výroby)1

Pa m3/s2

atm cc/s

3Torr l/s

4ppm (ne VAC)

5

g/a (ne VAC)

6oz/yr (ne VAC)

7

sccm

8

sft3/yr

Ovládací

Settings > Setup > Interfaces > Units (interface) > Leak rate unit

jednotka

VAC (SNIF)LD protokolPříkaz 431 (vakuum)Příkaz 432 (čichací sonda)

ASCII protokolPříkaz *CONFig:UNIT:LRVacPříkaz *CONFig:UNIT:LRSnif

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

45 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICON

7.4 Volba jednotky tlaku
Jednotka tlaku
rozhraní

Volba jednotky tlaku rozhraní0mbar (nastavení z výroby)

1

Pa

2

atm

3

Torr

Ovládací

Settings > Set up > Interfaces > Units (interface) > Pressure unit

jednotka
LD protokolPříkaz 430 (vakuum/čichací sonda)

ASCII protokolPříkaz *CONFig:UNIT:Pressure

7.5 Zvolení režimu kompatibility
Za účelem dodatečného vybavení stávajícího zařízení pro kontrolu těsnosti LDS1000 /LDS2010 zařízením LDS3000 aktivujte odpovídající režim kompatibility:• Režim kompatibility pro LDS1000 nebo
• Režim kompatibility pro LDS2010Přechodem do režimu kompatibility se všechna nastavení vrátí na nastavení zvýroby a přístroj se restartuje. Zobrazí se jazyk podle nastavení z výroby. Pro změnu
jazyka viz „Přednastavení [} 44]“.
Pokud chcete použít LDS3000 k pozdějšímu okamžiku opět v normálním provozu,
uložte nejdříve své parametry na USB paměť, viz „Uložení a nahrání parametrů
[} 62]“. Uložené parametry můžete opět načíst poté, co přepnete do normálního
provozu.
• LDS1000: Režim kompatibility za účelem dodatečného vybavení stávajícího
zařízení pro kontrolu těsnosti LDS1000 zařízením LDS3000.
• LDS2010: Režim kompatibility za účelem dodatečného vybavení stávajícího
zařízení pro kontrolu těsnosti LDS2010 zařízením LDS3000.
• LDS3000• XL adaptér čichací sondy (XL Sniffer Adapter)

Ovládací jednotka

Settings > Set up > Compatibility > Compatibility mode

LD protokolPříkaz 2594 (dec)ASCII protokolPříkaz *CONFig:COMP

Následující tabulka ukazuje funkční rozdíly a společné vlastnosti LDS2010 a
LDS3000:

46 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

LDS2010

LDS3000Výstupy triggeru

bez společného vztahu

se společným vztahem

ostatní výstupy

se společným vztahem

se společným vztahem

Trigger 1 (LED čichací sondy,

Ovládání LED čichací sondy,

Ovládání LED čichací sondy, výstup

výstup relé, audiosignál)výstup audio PWM na ovládací

audio na ovládací jednotce pro

jednotce pro aktivní reproduktory

aktivní reproduktory

Limit Low/High (sériové rozhraní,

Limit Low působí na všechny

separátní nastavení pro protokoly

zobrazení, analogový výstup)výstupy, Limit High pouze narozhraní, zobrazení a analogové

zobrazenívýstupy

Plynový balast (3 nastavení)

OFF: Vypíná ventil balastního plynu 0 = vyp,modulu vývěvy.

1 = zap, ale říditelné přes digitální

ON: Zapíná ventil balastního plynu

vstup na IO1000

modulu vývěvy, až do dalšího

2 = zap, a neříditelné přes digitální

vypnutí sítě.

vstup na IO1000

Když „CAL mode“ (kalibrační režim)není roven 3 (bod menu 26), můžebýt ventil balastního plynu ovládán
digitálním vstupem DynCAL.
F-ON: Fixed on umožňuje, aby byl
ventil balastního plynu trvale zapnut(se zajištěním proti výpadku sítě anezávisle na digitálních vstupech).
Režim ovládání

LOCAL, RS232, RS485

Odpadá, řízení je možné současně
ze všech řídicích stanovišť.

LDS1000 režim kompatibility 9.2

ostatní funkceVýchozí hodnoty a chybová hlášení
(Výchozí hodnoty se vydávají
prostřednictvím rozhraní, na
dotykovém displeji se objevípůvodní hlášení - - > Důvod: novýhardware může způsobovat chyby,
které u předchozího neexistovaly)

Oprava míry netěsnosti v režimu

lze nastavit (ano/ne)

lze nastavit (ano/ne)Standby (strojní faktor)
ZERO při startu

od V1.02 jako LDS2010Otevření ventilu čichací sondyv SNIF po startu

v SNIF po startu

Otáčky turbomolekulární vývěvy

pouze 2 otáčkypřes sériové rozhraní nastavitelnéod 750 Hz do 1500 Hz, přesobsluhu přístroje 1000 Hz a
1500 Hz

Adresa RS485

ano, protože možnost sběrnicene, protože není možnost sběrnice

Tlačítko čichání zap/vyp

volitelně

volitelně

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

47 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICON

LDS2010

LDS3000

1E-15 mbar l/s

9,9E2 mbar l/s

1E-7 mbar l/s

9,9E2 mbar l/s

10E-7

1E-9 ... 9,9E-1 mbar l/s

Justování strojního faktoru

ruční

ruční/automatické

Rozsah hodnot strojního faktoru/

Strojní faktor: 1E-3...9.9E+3

Strojní faktor: 1E-4...1E+5

faktoru čichací sondy

Faktor čichací sondy: 1E-3...9.9E+3 Faktor čichací sondy: 1E-4...1E+4Výchozí hodnota pro int. kontrolnínetěsnostVýchozí hodnota Ext. Kontrolnínetěsnost režim VAC/SNIF
Rozsah nastavení int. kontrolnínetěsnosti

Tlak: Hlídání kapiláry 20

k dispozici, tlak nastavitelný

Analogový výstup

pevné charakteristikyvolně konfigurovatelnéPožadavek kalibraceZměna teploty předzesilovače 5 KZměna teploty předzesilovače 5 K

nebo 30 min

nebo 30 min nebo změněny otáčky
TMP

Jednotky tlaku/míry netěsnosti

ano

Ovládací jednotka a zbytek(VAC/SNIF) pro všechna rozhraníOprávnění uživatele

Klíčový spínačodděleně
3 úrovně přes PIN k obsluze

4 úrovně přes ovládací jednotkupřístroje nebo klíčový spínač

nebo volitelný klíčový spínačpevně namontovaný

může být připojen externě, pokud je
zapotřebí, viz „Obsazení digitálních
vstupů I/O modulu [} 105]“ (klíčový
spínač)7.6 Volba provozního režimu
Přístroj disponuje následujícími provozními režimy:• Vakuový provoz• Režim čichací sondy• XL Sniffer Adapter (režim čichací sondy s vysokou mírou průtoku, potřebný XL
Sniffer Adapter).
Přístroj přejde automaticky do provozního režimu „XL Sniffer Adapter“, kdyžpřipojíte XL Sniffer Adapter.

Volba provozního režimu

48 / 170

0VAC (vakuum)

1

SNIF (čichací sonda)

2

Provozní režim XL Sniffer Adapter

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

Ovládací jednotka

Provozní režim vakuový provoz nebo režim čichacísondy:
Main menu > Functions > VAC / SNIF
Provozní režim XL Sniffer Adapter:
Settings > Set up > Accessories > XL Sniffer Adapter

LD protokolPříkaz 401

ASCII protokolPříkaz *CONFig:MODEU LDS3000 AQ se pro provozní režim zobrazí text „AQ“ nebo hodnota „3“ či „4“.
► U LDS3000 AQ změníte provozní režim změnou „režimu kompatibility“, viz „Zvolenírežimu kompatibility [} 78]“.

7.7 Volba druhu plynu (molární hmotnost)
Faktory strojní, kalibrační a čichací sondy jsou závislé na nastavené molární
hmotnosti a jsou uloženy v modulu hmotového spektrometru.
2

H2 (vodík, formovací plyn)33

He nebo deuterium vodíku (HD), ne v režimu AQ

44

He (helium) (nastavení z výroby)

Ovládací jednotka

Settings > Mass

LD protokolPříkaz 506 s hodnotou 2 (3, 4)

ASCII protokolPříkaz *CONFig:MASS 2 (3, 4)

U LDS3000 AQ změníte druh plynu nejlépe přes asistenta, viz „Provedení základních
nastavení pomocí asistenta [} 81]“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

49 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICON

7.8 Kalibrace přístroje
7.8.1 Časový okamžik a celková přednastavení
UPOZORNĚNÍ
Chybná kalibrace v důsledku příliš nízké provozní teplotyKdyž je přístroj kalibrován ve studeném stavu, může poskytovat chybné výsledkyměření.
► Pro optimální přesnost by měl být přístroj zapnutý alespoň 20 minut.
Doporučujeme zařízení jednou za směnu kalibrovat v požadovaných provozníchrežimech a pro požadované plyny. Potom můžete bez nové kalibrace přecházet mezi
provozními režimy a plyny.
Pro provoz s XL Sniffer Adapter platí dodatečně:Přístroj se musí jednou za směnu kalibrovat v LOW FLOW a v HIGH FLOW. Potommůžete bez nové kalibrace přecházet mezi toky.
Dále je nutná kalibrace po následujících událostech:• Výměna vedení čichací sondy• Výměna filtru• Požadavek kalibrace ze systému

Vypnutí testu

Při kalibrování testuje přístroj namontovaný předzesilovač. Test předzesilovačepředzesilovačemůžete vypnout. Tím se kalibrace zrychlí, ale klesne spolehlivost.
0

VYP

1

ZAP

Ovládací jednotka

Settings > Set-up > MS-module > Preamplifier > Test >Preamplifier test with CAL

LD protokolPříkaz 370

ASCII protokolPříkaz *CONFig:AMPTest (ON,OFF)

AktivováníKdyž je požadavek kalibrace aktivován, požaduje přístroj při změnách teploty většíchpožadavku kalibracenež 5°C a po 30 minutách po zapnutí kalibraci.

50 / 170

0

VYP

1

ZAP

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

Ovládací jednotka

Functions > CAL > Settings > CAL request > Calibration
requestnebo
Settings > Setup > Notifications > CAL request > Calibration
requestLD protokolPříkaz 419

ASCII protokol*CONFig:CALREQ (ON,OFF)

Kalibrační výstrahaVýstražné hlášení Wrn650 „Nedoporučuje se kalibrace v prvních 20 minutách“ jeWrn650možné povolit nebo potlačit.
0

VYP (potlačeno)1

ZAP (povoleno)

Ovládací jednotka

Functions > CAL > Settings > CAL request > Calibration
warning W650
nebo
Settings > Setup > Notifications > CAL request > Calibration
warning W650

Zvláštnosti kalibrace

LD protokolPříkaz 429

ASCII protokol*CONFig:CALWarn ON (OFF)Přístroj je možné kalibrovat ve všech jeho provozních režimech. Rozlišujeme interní aexterní kalibraci.
Vnitřní kalibraci lze provést pomocí volitelného vestavěného testu netěsnosti. Pro
externí kalibraci je potřebná zvláštní kontrolní netěsnost.
Externí kalibrace mají tu výhodu, že se mohou provádět za podmínek tlaku a dobyměření, které jsou podobné pozdějšímu měření.
Interní– s interní kontrolní netěsností– Autotune (hmotnostní nastavení)– stanovení kalibračního faktoru při ustálení signálu
kontrolní netěsnosti– test předzesilovače– stanovení pozadí. V případě potřeby po kalibraci nastavte
strojní faktor, příp. faktor čichací sondy, viz „Nastavení
strojního faktoru a faktoru čichací sondy [} 60]“
– Nikoliv s XL Sniffer Adapter

Externí– vakuový provoz: s externí kontrolní netěsností ve
zkušebním zařízení
– režim čichací sondy: s externí kontrolní netěsností– zohlednění charakteristik zkušebního zařízení (tlak, poměr

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

51 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICONdílčích proudů)– test předzesilovače– Autotune (hmotnostní nastavení)– stanovení kalibračního faktoru po ustálení signálu
kontrolní netěsnosti– stanovení pozadí
externě - dynamicky– s externí kontrolní netěsností v kontrolním zařízení
– zohlednění charakteristik kontrolního zařízení (tlak, poměr
dílčích proudů, doba měření)– doba měření podle dynamického průběhu signálu– test předzesilovače– stanovení kalibračního faktoru před ustálením signálu
kontrolní netěsnost– stanovení pozadí

7.8.2 Konfigurování a start interní kalibracePředpokladem pro kalibraci s interní kontrolní netěsností je jednorázové zadání mírynetěsnosti kontrolní netěsnosti.
Míra netěsnosti

Definování míry netěsnosti kontrolní netěsnosti, která má být použita při kalibraci.

kontrolní netěsnostiBez zadání hodnoty není kalibrace možná.

- interní

1E-9 ... 9,9E-1 mbar l/s

Ovládací jednotka

Settings > Configuration> Operating Mode > Vacuum >Reference leak int. > Calibration leak internal
nebo
Functions > CAL > Settings > Calibration leak int.

LD protokolPříkaz 394

ASCII protokolPříkaz *CONFig:CALleak:INT

Kontrolní netěsnost

Kontrolní netěsnost otevřít/zavřít. To se provádí automaticky při interní kalibraci.

otevřít/Když byla kontrolní netěsnost otevřena pomocí ovládací jednotky nebo rozhraní,zavřítnení možné provést žádnou interní kalibraci. Kontrolní netěsnost musíte v tomtopřípadě nejdříve znovu zavřít.

52 / 1700Zavřeno1

Otevřeno

Ovládací jednotka

Functions > Valves > Open internal calibration leak

LD protokolPříkaz 12

ASCII protokolPříkaz *STATus:VALVE:TestLeak (ON, OFF)LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7► Spustit kalibraci
Ovládací jednotka: Functions > CAL > Intern
LD protokol: 4, parametr 0
ASCII protokol: *CAL:INT
IO1000: CAL interní, viz „Nastavení pro I/O modul IO1000 [} 95]“
ðKalibrace se provede automaticky.

7.8.3 Konfigurování a start externí kalibracePředpokladem pro kalibraci s externí kontrolní netěsností je jednorázové zadání mírynetěsnosti kontrolní netěsnosti a otevřená kontrolní netěsnost.
Ve vakuovém provozu je kontrolní netěsnost namontována ve zkušebním zařízení
nebo na něm a před kalibrací otevřena.
Při režimu čichací sondy se vedením čichací sondy čichá u trvale otevřené kontrolnínetěsnosti.
Míra netěsnosti

Definování míry netěsnosti kontrolní netěsnosti, která má být použita při kalibraci.

kontrolní netěsnostiBez zadání hodnoty není kalibrace možná.

– externí vakuum

Pro každý plyn (molární hmotnost) musí být nastavena specifická míra netěsnosti.
1E-9 ... 9,9E-2 mbar l/s

Ovládací jednotka

Settings > Set up > Operation modes > Vacuum > Ext.
calibration leak > Mass 2 (3, 4) > external calibration leak
VAC H2 (M3, He)
nebo
Functions > CAL > Settings > Ext. calibration leak (proaktuální molární hmotnost ve zvolené jednotce)

LD protokolPříkaz 390

ASCII protokolPříkaz *CONFig:CALleak:EXTVac (pro aktuální molární
hmotnost ve zvolené jednotce)

Míra netěsnosti

Definování míry netěsnosti kontrolní netěsnosti, která má být použita při kalibraci.

kontrolní netěsnostiBez zadání hodnoty není kalibrace možná.

– externí čichacísonda

Pro každý plyn (molární hmotnost) musí být nastavena specifická míra netěsnosti.
1E-9 ... 9,9E-2 mbar l/s

Ovládací jednotka

Settings > Set up > Operation modes > Sniffing > Ext.
calibration leak > Mass 2 (3, 4) > external calibration leak
SNIF H2 (M3, He)
nebo
Functions > CAL > Settings > Ext. calibration leak (proaktuální molární hmotnost ve zvolené jednotce)

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

53 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICONLD protokolPříkaz 392

ASCII protokolPříkaz *CONFig:CALleak:EXTSniff (pro aktuální molární
hmotnost ve zvolené jednotce)► Protokol LD a ASCII: Průběh musí být zjišťován pomocí: Příkaz 260 popř.
*STATus:CAL
1Otevřít externí kontrolní netěsnost, popř. podržet vedení čichací sondy u
kontrolní netěsnosti.

2

Spustit měření.

3

Počkat, než se signál míry netěsnosti ustálí a je stabilní.

4

Spustit kalibraci:
Ovládací jednotka: Functions > CAL > Extern
LD protokol: 4, parametr 1
ASCII protokol: *CAL:EXT
IO1000: viz následující obrázek.
ð Požadavek „Zavřít kontrolní netěsnost“

5

Vakuový provoz: Zavřít kontrolní netěsnost ve zkušebním zařízení.
Režim čichací sondy: Vedení čichací sondy vzdálit od kontrolní netěsnosti.
ð Signál míry netěsnosti klesne.

6

Potvrdit stabilní změřenou hodnotu pozadí:Ovládací jednotka: „OK“
LD protokol: 11, parametr 1
ASCII protokol: *CAL:CLOSEDIO1000 viz následující obrázek.

ð

Kalibrace je ukončena, když:Ovládací jednotka: Starý a nový kalibrační faktor se zobrazí
LD protokol: LD příkaz 260 dodává 0 (READY)ASCII protokol: Příkaz *STATus:CAL? dodává IDLE
IO1000 viz následující obrázek.

54 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

Obr. 14: Externí kalibrace s IO1000 na příkladu vedení čichací sondy SL3000XL, popis vstupů avýstupů PLC: viz „Obsazení vstupů a výstupů [} 95]“

7.8.4 Spustit externí dynamickou kalibraci
Aby se zohlednily časové a tlakové podmínky zkušebního zařízení, je možné provést
dynamickou kalibraci. Při tomto kalibračním režimu se neprovádí Autotune. Čas meziotevřením externí kontrolní netěsnosti a aktivováním kalibrace můžete zvolit tak, aby
se hodil optimálně k normálnímu měřicímu průběhu zařízení.
Předpoklady: Jednorázové zadání míry netěsnosti kontrolní netěsnosti a otevřená
kontrolní netěsnost, viz „Konfigurování a start externí kalibrace [} 53]“.
Protokol LD a ASCII: Průběh musí být zjišťován pomocí: Příkaz 260 popř.
*STATus:CAL?
1Otevřít externí kontrolní netěsnost, popř. podržet vedení čichací sondy u
kontrolní netěsnosti.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

55 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICON

2

Spustit měření.

3

Počkat do okamžiku, ve kterém dr signál míry netěsnosti hodí optimálně knormálnímu měřicímu průběhu zařízení.

4

Spustit kalibraci:
Ovládací jednotka: Functions > CAL > Dynamic
LD protokol: 4, parametr 2
ASCII protokol: *CAL:DYN
IO1000 viz následující obrázek.
ð Požadavek „Zavřít kontrolní netěsnost“

5

Vakuový provoz: Zavřít kontrolní netěsnost ve zkušebním zařízení.
Režim čichací sondy: Vedení čichací sondy vzdálit od kontrolní netěsnosti.
ð Signál míry netěsnosti klesne.

6

Potvrdit změřenou hodnotu pozadí:Ovládací jednotka: „OK“
LD protokol: 11, parametr 1
ASCII protokol: *CAL:CLOSEDIO1000 viz následující obrázek.

ð

Kalibrace je ukončena, když:Ovládací jednotka: Starý a nový kalibrační faktor se zobrazí
LD protokol: LD příkaz 260 dodává 0 (READY)ASCII protokol: Příkaz *STATus:CAL? dodává IDLE
IO1000 viz následující obrázek.

56 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

Obr. 15: Obr. 7 Externí dynamická kalibrace s IO1000 na příkladu vedení čichací sondy
SL3000XL, popis vstupů a výstupů PLC: viz „Obsazení vstupů a výstupů [} 95]“

7.8.5 Externí kalibrace pomocí vedení čichací sondy
SL3000XL
Postup odpovídá externí kalibraci nebo externí dynamické kalibraci v režimu čichacísondy.
Low Flow a High Flow musí být kalibrovány samostatně.
Aby byla zaručena optimální kalibrace s vodíkem nebo formovacím plynem pro Low
Flow a High Flow, musí kontrolní netěsnost splňovat následující požadavky:– 100 % H2: LR > 1 x 10-4
– Formovací plyn (95/5): LR > 2 x 10-3
Pro kalibraci doporučujeme naši kontrolní netěsnost s katalogovým číslem 12322.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

57 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICON

7.8.6 Kontrola kalibrace
Abyste prověřili, zda je potřebná nová kalibrace, můžete zkontrolovat stávající.

7.8.6.1 Kontrola kalibrace s interní kontrolní netěsností
Tato kontrola je možná jen s nastavením „molární hmotnost 4“.
► Spustit kontrolu:
Ovládací jednotka: Functions > CAL > Test int.
LD protokol: 4, parametr 4
ASCII protokol: *CAL:PROOFINT
IO1000: CAL kontrola interně, viz „Nastavení pro I/O modul IO1000 [} 95]“
ð

Kontrola se provede automaticky.

7.8.6.2 Kontrola kalibrace s externí kontrolní netěsností► Protokol LD a ASCII: Průběh musí být zjišťován pomocí: Příkaz 260 popř.
*STATus:CAL
1Otevřít externí kontrolní netěsnost, popř. podržet vedení čichací sondy u
kontrolní netěsnosti.

2

Počkat, než se signál míry netěsnosti ustálí a je stabilní.

3

Spustit kontrolu:
Ovládací jednotka: Functions > CAL > Test ext.
LD protokol: 4, parametr 5
ASCII protokol: *CAL:PROOFEXT
IO1000 srovnej obrázek v „Konfigurování a start externí kalibrace [} 53]“.
ð Požadavek „Zavřít kontrolní netěsnost“

4

Vakuový provoz: Zavřít kontrolní netěsnost ve zkušebním zařízení.
Režim čichací sondy: Vedení čichací sondy vzdálit od kontrolní netěsnosti.
ð Signál míry netěsnosti klesne.

5

Potvrdit stabilní změřenou hodnotu pozadí:Ovládací jednotka: „OK“
LD protokol: 11, parametr 1
ASCII protokol: *CAL:CLOSEDIO1000 srovnej obrázek v „Konfigurování a start externí kalibrace [} 53]“.

ð

Kontrola je dokončena, když:Ovládací jednotka: Výsledek kontroly se zobrazí
LD protokol: Jako u jiných kroků, musí být průběh zjišťován
ASCII protokol: Jako u jiných kroků, musí být průběh zjišťován
IO1000 srovnej obrázek v „Konfigurování a start externí kalibrace [} 53]“.

58 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

7.8.7 Zadání kalibračního faktoru
Kalibrační faktor se stanoví normálně odpovídající kalibrační rutinou. Proto nenínormálně potřebné kalibrační faktor nastavovat manuálně.
Nesprávně nastavený kalibrační faktor vede nuceně k chybnému zobrazení mírynetěsnosti!

7.8.7.1 Kalibrační faktor čichací sondy
Zadání kalibračního faktoru pro molární hmotnost 2, 3, 4 v režimu Low Flow a HighFlow.
Hodnoty se při další kalibraci přepíší.
Nastavení „High Flow“ popř. XL jsou k dispozici pouze v provozním režimu „XL
Sniffer Adapter“.
Kalibrační faktor pro Low Flow platí také pro aplikace čichací sondy, které seneprovádějí v provozním režimu „XL Sniffer Adapter“.
Kalibrační faktory jsou spravovány odděleně podle molární hmotnosti a podle „High
Flow“ a „Low Flow“.
0,01 … 100

Ovládací jednotka Settings > Set up > Operation modes > Sniffing > Calibr. factor >mass 2 (3, 4, 2 XL, 3 XL, 4 XL) > calibration factor SNIF H2 (M3,
He, XL H2, XL M3, XL He)
LD protokolPříkaz 519, 521

ASCII protokolPříkaz *FACtor:CALSniff popř. *FACtor:CALSXL pro aktuálnímolární hmotnost

7.8.7.2 Kalibrační faktor vakuum
Platí i pro přístroje v režimu AQ.
Zadání kalibračního faktoru pro molární hmotnost 2, 3, 4.
Hodnoty se při další kalibraci přepíší.
0,01 … 5000

Ovládací jednotka Settings > Set up > Operation modes > Vacuum > Calibr. factor> mass 2 (3, 4) > calibration factor VAC H2 (M3, He)
LD protokolPříkaz 520

ASCII protokolPříkaz *FACtor:CALVacLDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

59 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICON

7.8.8 Nastavení strojního faktoru a faktoru čichací sondy
Interní kalibrace kalibruje výhradně od zkušebního zařízení odpojený měřicí systém
modulu hmotového spektrometru. Když je ale měřicí systém po interní kalibracipoužíván paralelně k dalšímu čerpacímu systému (podle principu dílčích proudů),udává měřicí systém příliš nízkou míru netěsnosti podle poměru dílčích proudů.
Pomocí opravného strojního faktoru pro vakuový provoz a faktoru čichací sondy prorežim čichací sondy uvádí měřicí systém skutečnou míru netěsnosti. S těmito faktory
je tedy zohledněn poměr efektivního výkonu sání měřicího systému ve srovnání svýkonem sání měřicího systému na zkušebním zařízení.

7.8.8.1 Ruční nastavení strojního faktoru a faktoru čichací sondyü Modul hmotového spektrometru interně kalibrován.
1Změřit externí kontrolní netěsnost zkušebním zařízením.
ð Přístroj udává příliš nízkou míru netěsnosti podle poměru dílčích proudů.

2

Nastavení strojního faktoru popř. faktoru čichací sondy, viz níže.
ð Přístroj zobrazuje skutečnou míru netěsnosti.

Nastavení strojního
faktoruPřístroje v režimu AQ:
Strojní faktor „1“ je přednastavený. Toto nastavení neměňte.
Opravuje případnou odchylku mezi interní a externí kalibrací ve vakuovém provozu.
Bez možnosti interní kontrolní netěsnosti by měl mít hodnotu 1,00. Při změně
hodnoty se zobrazí míra netěsnosti vyplývající z této změny. Justování se takzjednoduší.
Rozsah hodnot 1E-4...1E+5

Ovládací jednotka Settings > Set up > Operation modes > Vacuum > Machine
factor > Mass 2 (3, 4) > machine factor VAC H2 (M3, He)

Nastavení faktoručichací sondy

LD protokolPříkaz 522

ASCII protokolPříkaz *FACtor:FACMachine

Opravuje případnou odchylku mezi interní a externí kalibrací v režimu čichací sondy
Rozsah hodnot 1E-4...1E+4

Ovládací jednotka Settings > Set up > Operation modes > Sniffing > Sniff factor >Mass 2 (3, 4) > Sniff factor H2 (M3, He)
LD protokol

60 / 170Příkaz 523

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

ASCII protokolPříkaz *FACtor:FACSniff

7.8.8.2 Nastavení strojního faktoru a faktoru čichací sondy strojníkalibracíü Interní kontrolní netěsnost připojena.
ü Externí kontrolní netěsnost namontována ve zkušebním zařízení nebo na něm azavřena.
ü Jsou zadány míry netěsnosti interní a externí kontrolní netěsnosti.
ü Protokol LD a ASCII: Průběh musí být zjišťován pomocí: Příkaz 260 popř.
*STATus:CAL
1Spustit strojní kalibraci.
Ovládací jednotka: Functions > CAL > Machine (Sniffer)
LD protokol: 4, parametr 3
ASCII protokol: *CAL:FACtor_Machine, *CAL:FACtor_Snif
IO1000 viz obrázek v „Konfigurování a start externí kalibrace [} 53]“
ð Interní kalibrace se provede automaticky.
ð Požadavek „Otevřít kontrolní netěsnost“ (externí kontrolní netěsnost).

2Otevřít externí kontrolní netěsnost a ventil (pokud je použit) mezi přístrojem pro
hledání netěsností a zařízením.

3

Ustálený a stabilní signál míry netěsnosti potvrdit.
Ovládací jednotka: „OK“
LD protokol: 11, parametr 1
ASCII protokol: *CAL:ACKnowledge
IO1000 viz obrázek v „Konfigurování a start externí kalibrace [} 53]“ð Požadavek „Zavřít kontrolní netěsnost“ (externí kontrolní netěsnost).

4Zavřít externí kontrolní netěsnost. Stávající ventil nechat otevřený.

5

Ustálený a stabilní signál míry netěsnosti potvrdit.
Ovládací jednotka: „OK“
LD protokol: 11, parametr 1
ASCII protokol: *CAL:CLOSEDIO1000 viz obrázek v „Konfigurování a start externí kalibrace [} 53]“ðStrojní faktor popř. faktor čichací sondy je stanoven.

7.9 Spustit a zastavit měření
Přechází mezi režimem měření a Standby
START = Standby --> Měření
STOP = Měření --> Standby

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

61 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICON

Ovládací jednotka

Functions > Start/Stop

LD protokolPříkaz 1, 2

ASCII protokolPříkaz *STArt, *STOp

Během měření

Během Standby

ZERO je možné.

ZERO není možné.

Výstupy triggerů spínají v závislosti naVýstupy triggerů udávají: Prahovámíře netěsnosti a prahu triggeru.

hodnota míry netěsnosti překročena.

Použití čichací sondy je možné.

Použití čichací sondy není možné.

Při aktivaci digitálního vstupu CAL sePři aktivaci digitálního vstupu CAL sespustí externí kalibrace.

spustí interní kalibrace.

Aktivování/

Ve vakuovém provozu může být při opravě míry netěsnosti pro Standby aktivován

deaktivování opravy

nebo deaktivován strojní faktor. V režimu čichací sondy je v Standby ventil čichacímíry netěsnosti v

sondy zavřen. Proto při tomto nastavení faktor čichací sondy odpadá.

režimu Standby

0

VYP (Strojní faktor není v režimu Standby zohledněn.)1

ZAP (Strojní faktor je v režimu Standby zohledněn.)Ovládací jednotka

Settings > Set up > Operation modes > LR correction >Machine factor in standby

LD protokolPříkaz 524

ASCII protokol–

7.10 Uložení a nahrání parametrů
Pro uložení a opětné obnovení parametrů ovládací jednotky a modulu hmotového
spektrometru může být použita USB paměť na CU1000.
Uložit parametry:► "Functions > Data > Parameter > Save > Save parameter"
Nahrát parametry:ü Aktuálně nastavený režim kompatibility se musí shodovat s režimem kompatibility
v souboru parametrů. Viz také Zvolení režimu kompatibility [} 46].
► "Functions > Data > Parameter > Load > Load parameter"7.11 Kopírovaní změřených dat, vymazánízměřených datZměřená data mohou být s CU1000 uložena na USB paměti.
• “Functions > Data > Recorder > Copy > Copy files”
Změřená data lze na CU1000 vymazat.

62 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7• “Functions > Data > Recorder > Delete > Delete files”

7.12 Potlačení pozadí plynu funkcemi „ZERO“
S ZERO můžete potlačit nežádoucí pozadí helia. Když je funkce „ZERO“ aktivována,
vyhodnotí se aktuální změřená hodnota míry netěsnosti jako pozadí helia a odečte seod všech následujících změřených hodnot. Hodnota pozadí, která je funkcí „ZERO“
potlačena, se automaticky přizpůsobí, když se pozadí v přístroji zmenší. Hodnota
pozadí je automaticky přizpůsobována v závislosti na nastaveném času ZERO,s výjimkou nastavení filtru I•CAL, viz „Zobrazení výsledku měření s filtry signálu[} 66]“.
„ZERO“ aktivovat
a deaktivovat

ZERO aktivovat/deaktivovat
0

Zap

1

Vyp

OvládacíFunction > ZERO > ZEROjednotka„ZERO při startu“
aktivovat
a deaktivovat

LD protokolPříkaz 6

ASCII protokolPříkaz *ZEROZERO při startu automaticky potlačuje pozadí helia při startu měření.
0

Zap

1

Vyp

Ovládací

Settings > ZERO/Filter > ZERO > ZERO with startjednotka
LD protokolPříkaz 409

ASCII protokolPříkaz *CONFig:ZEROSTART

Nastavit

Stanovuje stupeň pozadí hélia potlačeného pomocí ZERO (pouze s filtrem „pevný“režim ZEROa „2stupňový“).
0všechny dekády

1

1 – 2 dekády

2

2 – 3 dekády

3

2 dekády

4

3 – 4 dekády

5

19/20 pozadí helia se potlačíOvládací

Settings > ZERO/Filter > ZERO > ZERO modejednotka
LD protokolPříkaz 410

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

63 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICONASCII protokolPříkaz *CONFig:DECADEZero

Deaktivování tlačítka

Deaktivování tlačítka ZERO (justování ZERO) brání tomu, aby bylo měření

ZERO na čichacíneúmyslně ovlivněno.

sondě

0

Zap

1

Vyp

Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniffing > Sniffer > Keys >jednotkaZERO key sniffer

LD protokolPříkaz 412

ASCII protokolPříkaz *CONFig:BUTSniffer

7.13 Potlačení klesajícího pozadí plynu s EcoBoost
EcoBoost_ s héliem jako testovacím plynem je k dispozici pro LDS3000 ve vakuovémrežimu, nikoli pro LDS3000 AQ.
EcoBoost_ s vodíkem nebo formovacím plynem jako testovacím plynem je v rané fázivývoje. Chcete-li přepnout typ plynu z helia na vodík, viz "Volba druhu plynu (molární
hmotnost) [} 49]“. Tato funkce může stále obsahovat chyby, kvůli kterým seproduktivní používání nedoporučuje. INFICON si výslovně vyhrazuje právo tuto funkci
v budoucích softwarových verzích změnit nebo odstranit.
EcoBoost_ doplňuje stávající funkce ZERO, viz také „Potlačení pozadí plynu funkcemi„ZERO“ [} 63]“.
EcoBoost_ je optimalizováno pro rozpoznávání úniků při klesajícím pozadí v důsledku
odčerpání. Čím silněji pozadí během měření klesá, tím je funkce užitečnější. K tomutoúčelu se na základě průběhu signálu posledních dvou sekund vypočítává předpověď
budoucího průběhu a zohledňuje se při výpočtu míry netěsnosti.
Postupü Nastavili jste EcoBoost_.
Ovládací jednotka: Settings > EcoBoost_ > EcoBoost_ settings, tlačítko “On“
LD protokol: 410 (hodnota = 6)
ASCII protokol: *CONFig:DECADEZero:ECOBOOST
ü Tlačítko „Favorite 1“ nebo „Favorite 2“ v okně oblíbených položek jste nahradili„EcoBoost_“. Pro nastavení viz „Nastavení dotykového displeje [} 126]“, „Obsazení
oblíbených“. Po provedení tohoto nastavení je na displeji měření CU1000 k
dispozici tlačítko EcoBoost_.
V opačném případě by toto tlačítko na displeji měření chybělo a museli byste použít
menu „Function > ZERO > EcoBoost_, tlačítko „On“.
1

Odčerpejte podtlakovou komoru na maximální sací tlak zvolené přípojky
LDS3000.

2

64 / 170Otevřete ventil k LDS3000.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

3

Počkejte 3 sekundy a aktivujte EcoBoost_ takto.
Ovládací jednotka: Přes ideálně seřízené tlačítko oblíbených, viz nahoře.
LD protokol: 6 (hodnota = 1)
ASCII protokol: *ZERO(:ON)
Vstup PLC: Vstup s obsazenou funkcí „ZERO“ nebo „ZERO Puls“ nastavte na„aktivní“. Viz také „Obsazení digitálních vstupů I/O modulu [} 105]“.
Sběrnice: Přes cyklická data na sběrnici proveďte normální ZERO s ZeroMode
0 (tj. bit 2 a bit 3 v dolním bytu příkazového slova musí být 0)
ð Další upozornění na chování EcoBoost_:
Aby bylo možné tuto funkci aktivovat, když je nastaven EcoBoost_, signál na
pozadí se musí během této doby rovnoměrně snižovat a stavová zpráva pro
EcoBoost_ musí hlásit „STABLE“.
Ovládací jednotka: Zobrazení stavu pro EcoBoost_ ukazuje „STABLE“.

Viz také „Prvky dotykového displeje [} 122]“.
LD protokol: 493
ASCII protokol: *STATus:STABLE?
PLC výstup: Vyhodnocení výstupu s obsazenou funkcí „ZERO stabilní“, viz
také „Obsazení digitálních výstupů I/O modulu [} 107]“.
ð Pokud stavová zpráva pro EcoBoost_ nepřejde na „STABLE“ a nemůžete
tuto funkci aktivovat, použijte standardní funkci ZERO LDS3000, když je
pozadí plynu stabilní, viz také „Potlačení pozadí plynu funkcemi „ZERO“[} 63]“.
Ovládací jednotka: Zobrazení stavu ukazuje „UNSTABLE“. Viz také

„Prvky dotykového displeje [} 122]“.
LD protokol: 493
ASCII protokol: *STATus:STABLE?
PLC výstup: Vyhodnocení výstupu s obsazenou funkcí „ZERO stabilní“. Viz
také „Obsazení digitálních výstupů I/O modulu [} 107]“.
ð Po aktivaci se míra netěsnosti sníží podle rychlosti čerpání a objemu měřicí
komory o faktor v rozmezí 10 až 100.
4ðNapusťte místo úniku / kontrolovaný objekt heliem.
Je-li vaše jmenovitá míra netěsnosti desetkrát větší než zobrazené pozadí,
zobrazí se únik. Případně jsou zjištěny i menší úniky.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

65 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICON

3
Míra úniku s EcoBoost

iontový proud2

4

Obr. 16: Příklad křivek měření (EcoBoost)

1 Krok 1, viz výše část „Postup“: Odčerpání podtlakové komory (bezobrázku)
2 Krok 2: Otevření ventilu
3 Krok 3: Aktivace EcoBoost_
4 Krok 4: Naplnění kontrolovaného objektu heliem
Známé chování:• Při téměř stabilním pozadí má potlačení pouze faktor 10. Použijte v tomto případě
standardní funkci ZERO LDS3000. Viz také „Potlačení pozadí plynu funkcemi„ZERO“ [} 63]“.
• Když je EcoBoost_ aktivován bez zprávy „STABLE“, zařízení používá predikci
pozadí ze signálu posledních 2 sekund. To může vést k falešným poplachům ataké k vynechání úniku.
• Pokud výkon sání po aktivaci EcoBoost_ příliš silně klesá, zobrazí se únik.
EcoBoost_ nepoužívejte v blízkosti konečného tlaku použité předčerpávací
vývěvy.
• Případné přídavné čerpadlo pro měřicí komoru po aktivaci EcoBoost_ nevypínejte.
Jinak se zobrazí únik.

7.14 Zobrazení výsledku měření s filtry signálu
Volba filtru signálu

S filtry signálu je možné ovlivnit zobrazení míry netěsnosti vzhledem ke strmosti
hrany a chování při šumu.
– Pro provozní režim „Vakuum“ zpravidla zvolte filtr signálu I•CAL.
– Pro provozní režim „Čichací sonda“ zpravidla zvolte filtr signálu I-Filter.
– Pokud má filtr signálu reprodukovat časové chování starších přístrojů, pak zvolte
filtr „pevný“ nebo „dvoustupňový“.

66 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

I•CAL

Míry netěsnosti jsou v závislosti na rozsahu míry netěsnostiprůměrovány v optimalizovaných časových intervalech. Použitý
algoritmus nabízí vynikající citlivost a dobu reakce. Použití
tohoto nastavení se výslovně doporučuje.

pevný

Míry netěsnosti jsou průměrovány s pevným časem 0,2 s.

2stupňový

Filtr je kompatibilní s LDS1000 a LDS2000. Čas průměrováníje přepínán v závislosti na spínací míře netěsnosti filtru.

I-Filter

Optimalizovaný filtr pro režim čichací sondy.
(výchozí u sady XL Sniffer Adapter)

I-Filter s potlačením Jako I-Filter, ale s dodatečným potlačením hrany. Potlačení
hrany

hrany koriguje změny změřených hodnot během fáze choduzahřátého motoru.

Ovládací jednotka

Settings > ZERO/Filter > Filter > Filter mode

LD protokolPříkaz 402

ASCII protokolPříkaz *CONFig:FILTER

Nastavení spínací

Pozadí míry netěsnosti v mbar l/s za dobu zprůměrování. Pod touto hodnotou jemíry netěsnosti filtru

doba zprůměrování 10,24 s. Nad touto hodnotou je doba zprůměrování 160 ms.
Nastavení platí pro filtr „dvoustupňový“.
1E-11 ... 9,9E-3

Ovládací jednotka

Settings > ZERO/Filter > Settings filter > 2-zone

LD protokolPříkaz 403

ASCII protokolPříkaz *CONFig:LRFilter

Nastavení filtru čas

Aktualizace intervalu pro hodnotu offsetu při negativním signálu míry netěsnosti (sZEROvýjimkou filtru I•CAL).
Rozlišení 0,1 s (50 = 5,0 s)

Ovládací jednotka

Settings > ZERO/Filter > Settings filter > ZERO time

LD protokolPříkaz 411

ASCII protokolPříkaz *CONFig:ZEROTIME

7.15 Ovládání ventilu plynového balastu vstupnívývěvyModul hmotového spektrometru může přípojem „Output“ ovládat elektrický 24 V ventil
plynového balastu vstupní vývěvy.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

67 / 170

7 | Provoz LDS3000

Ovládání

INFICON

Ovládat ventil plynového balastu prostřednictvím digitálních výstupů.

ventilu plynového
balastu

0

Vyp

1

Zap

2

Trvale ZAP

Ovládací jednotka Functions > Valves > Gas Ballast
LD protokolPříkaz 228

ASCII protokol–

7.16 Volba hranic zobrazení
Hranice zobrazeníSnížení a zvýšení hranic zobrazení:
Pokud nemáte zájem o velmi nízké míry netěsnosti pro své použití, je možné
zvednutí spodní hranice zobrazení, která usnadňuje posouzení zobrazení mírynetěsnosti.
– do 15 dekád v VAC– do 11 dekád v SNIF
– do 8 dekád v režimu AQ
Pokud nevhodným nastavením vypadne užitný rozsah nižší než jedna dekáda,
posune se horní hranice do té míry, až je vidět dekáda.
Upozornění: V ovládací jednotce se při nastavení mezi oběma nastavovacími
parametry zobrazí aktuální hranice zobrazení. Přes LD protokol lze zjistit příkazem
399 aktuální hranice zobrazení.

OvládacíDisplay > Display limits

jednotka
LD protokolPříkaz 397

ASCII protokolPříkaz: *CONFig:DISPL_LIM:HIGH
Příkaz: *CONFig:DISPL_LIM:LOW

7.17 Nastavení hodnot triggeru
Modul hmotového spektrometru má čtyři nezávislé prahové hodnoty. Překračuje-lizměřená míra netěsnosti nastavené hodnoty triggeru, potom se aktivují odpovídající
digitální výstupy IO1000.
Kromě toho se překročení triggeru 1 na ovládací jednotce opticky zvýrazní.
V režimu AQ se výpočet doporučené době měření vztahuje na hodnotu triggeru 1.
1/2/3/4

68 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

Ovládací

Settings > Trigger > Trigger 1 (2, 3, 4) > Trigger leveljednotka
LD protokolPříkaz 385

ASCII protokolPříkaz *CONFig:TRIGger1 (2, 3, 4)

7.18 Nastavení hlídání kapiláry
Hodnota tlaku

Pro detekování ucpání kapiláry 25/300 sccm se nastavuje minimální hodnota tlaku.

kapilára ucpanáKdyž je tato hodnota podkročena, vydá systém výstražné hlášení 540. Při silném
podkročení je vydáno výstražné hlášení 541.
1E-3 ... 18 mbar

Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Capillary > Blockedjednotka> Pressure capillary blocked

LD protokolPříkaz 452

ASCII protokolPříkaz *CONFig:PRESSLow

Hodnota tlaku

Pro detekování přerušení kapiláry 25/300 sccm se nastavuje maximální hodnota

kapilára

tlaku. Když je tato hodnota překročena, vydá systém výstražné hlášení 542.

poškozena

1E-3 ... 18 mbar

Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Capillary > Broken

jednotka> Pressure capillary broken

LD protokolPříkaz 453

ASCII protokolPříkaz *CONFig:PRESSHigh

Detekce chybějícího

Automatická detekce chybějícího vedení čichací sondy. Tato funkce by měla být

vedení čichací sondy

deaktivována, když se použije vedení čichací sondy, které není automaticky
detekováno.
0

Zap

1

Vyp

Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Sniffer > Messages

jednotka> Sniffer line detection

LD protokolPříkaz 529

ASCII protokol–

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

69 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICON

7.19 Nastavení otáček turbomolekulární vývěvy
V některých aplikacích může být účelné snížení otáček turbomolekulární vývěvy, aby
se zvýšila citlivost přístroje. Tím se sníží ovšem maximálně přípustný sací tlak napřípoji GROSS, FINE a ULTRA. Po změně otáček je potřebná opětovná kalibrace!
Pro přístroje v režimu AQ viz „Nastavení otáček turbomolekulární vývěvy [} 93]“.

Otáčky turbomolekulární vývěvy v Hz
1000
1500

Ovládací

Settings > Setup > MS module > TMP > Settings > TMP rotational

jednotka

speed

LD protokol

501

ASCII protokol*CONFig:SPEEDTMP

7.20 Zvolit katodu
Volba katody

Hmotový spektrometr obsahuje dvě katody. V nastavení z výroby používá přístroj
katodu 1. Pokud je vadná, přepíná přístroj automaticky na druhou katodu.
S tímto nastavením je možné vybrat určitou katodu.
0

CAT1

1

CAT2

2

Auto Cat1 (automatické přepnutí na katodu 2, nastavení z výroby)3

Auto Cat2 (automatické přepnutí na katodu 1)

4

OFF

Ovládací

Settings > Set up > MS module > Ion source > Cathode selection

jednotka
LD protokol

530

ASCII protokol*CONFig:CAThode *STATus:CAThode7.21 Nastavení pro XL Sniffer Adapter
Pro provoz s XL Sniffer Adapter musíte– použít vedení čichací sondy SL3000XL,– zvolit provozní režim „XL Sniffer Adapter“, viz „Volba provozního režimu [} 48]“.
70 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

Funkce pravého

Aktivujte nebo deaktivujte pravé tlačítko čichací linky SL3000XL (přepínání mezi

tlačítka čichací sondynízkým a vysokým průtokem). Deaktivování tlačítka brání neúmyslnému ovlivnění
měření.

Funkce Search

Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Sniffer > Keys >jednotka

Sniffer flow key

LD protokolPříkaz 415

ASCII protokolPříkaz *CONFig:HFButton

S aktivovanou funkcí Search se spojí alarm automaticky s triggerem 2, jakmile sepřepne na High Flow.
• Vypnutá funkce Search: Alarm, když se překročí trigger 1.
• Zapnutá funkce Search a provoz v Low Flow. Alarm, když se překročí trigger 1.
• Zapnutá funkce Search a provoz v High Flow. Alarm, když se překročí trigger 2.
0

Vyp

1

Zap

Ovládací

Settings > Trigger > Searchjednotka
LD protokolPříkaz 380

ASCII protokolPříkaz *CONFig:SEARch

V SL3000XL závisí lišta míry netěsnosti, změna osvětlení pozadí, bzučák a změna
osvětlení čichací špičky na použitém triggeru.
LED diody čichací

Nastavení jasu LED diod, které jsou určeny k osvětlení kontrolovaného místa. Toto

sondy:

nastavení se vztahuje na postup měření bez konfigurace alarmu s LED, viz níže.

Jas

LED diody čichacísondy: Konfigurace
alarmů

Od „0“ (vyp) do „6“ (max.)Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Sniffer > LED >jednotka

Sniffer LED brightness

LD protokolPříkaz 414

ASCII protokolPříkaz *CONFig:BRIGHTness

Chování LED diod na čichací sondě, když se překročí hodnota triggeru 1.
Vypžádná reakce

BlikáníLED diody blikajíJasnější

LED svítí s maximálním jasem.

Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Sniffer > LED >jednotka

Sniffer LED alarm config.

LD protokolPříkaz 413

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

71 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICONASCII protokol
Bzučák čichacísondy: Konfigurace
alarmů

Příkaz *CONFig:LIGHTAlarm

Chování bzučáku na čichací sondě při překročení prahové hodnoty.
Vypžádná reakce

Trigger

Akustický signál/vibrační alarm

Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Sniffer > Beep >jednotka

Sniffer BeepLD protokolPříkaz 417

ASCII protokolPříkaz *CONFig:BEEP

ZobrazeníPři režimu čichací sondy s formovacím plynem se používá vodík. Tímto zadáním je

podílu vodíku

zohledněn podíl vodíku. Tím se zvyšuje zobrazená míra netěsnosti o příslušný
faktor. Pro plyny (M3, He) může být podíl plynu rovněž nastaven.
0 ... 100 %Interval Auto Standby

Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Gas percentage >jednotka

Mass2 > Gas percentage H2

LD protokolPříkaz 416

ASCII protokolPříkaz *CONFig:PERcent

Definuje dobu v minutách, než se aktivuje Standby. Když přístroj pracuje v režimu
High Flow, znečišťují se filtry vedení čichací sondy rychleji. Auto Standby pro jejichšetření přepíná na Low Flow. Při pohybu vedení čichací sondy se automaticky
provede přepnutí na předem zvolený proud.
Od „0“ (vyp) do „60“ (max.)Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Auto standby >jednotka

Interval auto standby

LD protokolPříkaz 480

ASCII protokolPříkaz *CONFig:STANDBYDel

Hodnota tlaku XL

Pro detekování ucpání XL kapiláry (High Flow, 3000 sccm) se nastavuje minimálníkapilára ucpaná (Highhodnota tlaku. Když je tato hodnota podkročena, vydá systém výstražné hlášení 550.

Flow)Při silném podkročení je vydáno výstražné hlášení 551.
100 ... 300 mbar

72 / 170

Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Capillary > Blockedjednotka

XL > Pressure capillary blocked XL

LD protokolPříkaz 455

ASCII protokolPříkaz *CONFig:PRESSXLLow

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

Hodnota tlaku XL

Pro detekování poškození XL kapiláry (High Flow, 3000 sccm) se nastavuje

kapilára poškozena

maximální hodnota tlaku. Když je tato hodnota překročena, vydá systém výstražné

(High Flow)hlášení 552.
200 ... 600 mbar

Volba proudu

Ovládací

Settings > Set up > Operation modes > Sniff > Capillary > Broken

jednotka

XL > Pressure capillary broken XL

LD protokolPříkaz 456

ASCII protokolPříkaz *CONFig:PRESSXLHigh

Volba Low Flow nebo High Flow. Poznámka: Volba může být prováděna pravým
tlačítkem čichací sondy nebo také jedním z tlačítek Favorité ovládací jednotky.
Malý (Low Flow)Velký (High Flow)

Ovládací

Settings > Configuration > Operating Mode > Flow > Flow Control

jednotkaor Functions > Flow > Flow Control

LD protokolPříkaz 229

ASCII protokolPříkaz *CONFig:Highflow

7.22 Zobrazení míry ekvivalence
Obor platnosti– Provedení pro ekvivalenční poměr se vztahují pouze na režim čichací sondy.
– Při použití ovládací jednotky CU1000 čtěte rozšířené možnosti pro zobrazení
ekvivalenčního poměru, viz „Zobrazit ekvivalentní míru netěsnosti pro jiný plyn[} 134]“.
Jestliže jako testovací plyn při měření používáte helium nebo vodík, ale chceteznázornit jiný plyn s jeho mírou netěsnosti, použijte k tomuto účelu korekční faktor
k použitému testovacímu plynu.
Vypočítejte faktor ekvivalence, viz „Výpočet faktoru ekvivalence [} 73]„.
Proveďte na zařízení potřebná nastavení, viz „Nastavení faktoru ekvivalencea molární hmotnosti [} 74]“.

7.22.1 Výpočet faktoru ekvivalence
Faktor ekvivalence není vypočítáván softwarem zařízení. Vypočítejte faktor
ekvivalence pomocí následujícího vzorce:

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

73 / 170

7 | Provoz LDS3000

INFICON

Dynamická viskozita testovacího plynu (helium nebo H2)
Dynamická viskozita ekvivalentního plynu
Absolutní tlak zkušebního plynu ve zkoušeném objektu v barech
Absolutní tlak ekvivalentního plynu v kontrolovaném objektu v barechPříkladKlimatizační soustavu je třeba zkontrolovat z hlediska úniků.
K tomuto účelu se soustava nejprve naplní heliem na tlak 2 bary (absolutní)a zkontroluje se z hlediska přítomnosti úniků. Později se soustava naplní médiem
R134a. Provozní tlak činí 15 barů (absolutní).
Dynamická viskozita helia činí 19,62 µPa*s.
Dynamická viskozita média R134a činí 11,49 µPa*s.
Aby během kontroly těsnosti pomocí helia byly zobrazovány ekvivalentní mírynetěsnosti pro R134a, musí se zadat následující faktor ekvivalence:

7.22.2 Nastavení faktoru ekvivalence a molární hmotnosti
ü Je znám faktor ekvivalence. Viz také „Výpočet faktoru ekvivalence [} 73]“.
ü Je stanoven použitý testovací plyn (vodík nebo helium, molární hmotnost 2, 3 nebo4).
ü Je známa molární hmotnost ekvivalentního plynu, jehož hodnoty chcete zobrazovat
na displeji.
1

Ovládací jednotka: Settings > Set up > Operation modes > Equivalence rate

2

Tlačítko „Faktor plynu“ð (LD protokol: Příkaz 469)

3

Zvolte v souladu s vaším testovacím plynem „Molární hmotnost 2“, „Molární
hmotnost 3“, nebo „Molární hmotnost 4“.
ð V případě helia jako testovacího plynu se otevře okno „Faktor ekvivalentního
plynu He“.

4

Nastavte příslušný faktor ekvivalentního plynu.

5

Ovládací jednotka: Settings > Set up > Operation modes > Equivalence rate

6

Tlačítko „Molární hmotnost“ð (LD protokol: příkaz „470“)

74 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 | 7

7

Stejně jako předtím zvolte v souladu s vaším testovacím plynem „Molární
hmotnost 2“, „Molární hmotnost 3“, nebo „Molární hmotnost 4“.
ð V případě helia jako testovacího plynu se otevře okno „Molární hmotnost
ekvivalentního plynu He“.

8
ðNastavte příslušnou molární hmotnost.
Pokud se faktor ekvivalence nerovná 1 nebo pokud molární hmotnost nemá
hodnotu nastavení z výroby, zobrazuje se kalibrační faktor u výsledku kalibrace
i na obrazovce měření.

7.23 Vynulování nastavení
Modul hmotového

Nastavení modulu hmotového spektrometru mohou být vrácena na původní

spektrometru

nastavení z výroby.
0

Načtení nastavení z výroby

10

Resetování nastavení pro režim kompatibility LDS1000

11

Resetování nastavení pro režim kompatibility LDS2010

12

Resetování nastavení pro režim XL Sniffer Adapter

OvládacíFunctions > Data > Parameters > Reset > Control unit settingsjednotka

Functions > Data > Parameters > Reset > MSB settings
Functions > Data > Parameters > Reset > Parameter access level

LD protokolPříkaz 1161

ASCII protokolPříkaz *RST:FACTORY
Příkaz *RST:SL3000

Pro ovládací jednotku platí: Na základě aktuálně nastaveného režimu se automaticky
zvolí příslušná hodnota pro reset nastavení tohoto režimu.
Pro protokol LD nebo ASCII platí: Resetem nastavení pro určitý režim se tento režim
aktivuje automaticky, viz rovněž „Zvolení režimu kompatibility [} 46]“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

75 / 170

8 | Provoz LDS3000 AQ (akumulace)

INFICON

8 Provoz LDS3000 AQ (akumulace)
8.1 Zapnutí přístroje
1Zapněte vstupní vývěvu.

2Zapněte napájecí napětí k modulu hmotového spektrometru.

ð

Systém automaticky nabíhá.

ð

Pokud jsou připojeny XL Sniffer Adapter a CU1000, probíhá po rozběhu
dotazování, zda má být nastaven provozní režim „XL Sniffer Adapter“. To neplatí
pro přístroje v režimu AQ.

Delší náběh v přístrojů v režimu AQ
Abyste zabránili zkreslení výsledků měření v důsledku zvýšené hodnoty na pozadí, jetřeba ponechat dobu zahřátí po zapnutí přístroje cca 10 minut.
Před stanovením „Peak“ nebo před kalibrací počkejte nejméně 60 minut. Viz také
„Provedení měření [} 90]“.

8.2 Přednastavení
Volba jazyka

Volba jazyka zobrazení. Nastavení z výroby je v angličtině. (Displej na držadle
vedení čichací sondy SL3000XL ukazuje hlášení místo ruštiny a čínštiny v
angličtině.)Němčina, Angličtina, Francouzština, Italština, Španělština, Portugalština, Ruština,Čínština, Japonština

Nastavení data a časuOvládací jednotka

Settings > Set up > Control unit > Language

LD protokolPříkaz 398

ASCII protokol*CONFig:LANG

Nastavení data
Formát: TT.MM.JJ

Ovládací jednotka

Settings > Date/Time > Date

LD protokolPříkaz 450

ASCII protokol*HOUR:DATE

Nastavení časuFormát: hh:mm

Ovládací jednotka

76 / 170

Settings > Date/Time > Time

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 AQ (akumulace) | 8

LD protokolPříkaz 450

ASCII protokol*HOUR:TIME

8.3 Volba jednotky míry netěsnosti
Jednotka mírynetěsnosti
zobrazení

Volba jednotky míry netěsnosti v zobrazení pro vakuum popř. čichací sondu
0mbar l/s (nastavení z výroby)1

Pa m3/s2

atm cc/s

3Torr l/s

4ppm (ne VAC, ne AQ)

5

g/a (ne VAC, ne AQ)

6oz/yr (ne VAC, ne AQ)

7

sccm

8

sft3/yr

OvládacíDisplay > Units (display) > Leak rate unit VAC (SNIF)

jednotka
LD protokolPříkaz 396 (Index 0: Vakuum, index 1: čichat)

ASCII protokolPříkaz *CONFig:UNIT:VACDisplayPříkaz *CONFig:UNIT:SNDisplay

Jednotka mírynetěsnosti rozhraní

Volba jednotky míry netěsnosti rozhraní pro vakuum popř. čichací sondu
0mbar l/s (nastavení z výroby)1

Pa m3/s2

atm cc/s

3Torr l/s

4ppm (ne VAC)

5

g/a (ne VAC)

6oz/yr (ne VAC)

7

sccm

8

sft3/yr

Ovládací

Settings > Setup > Interfaces > Units (interface) > Leak rate unit

jednotka

VAC (SNIF)LD protokolPříkaz 431 (vakuum)Příkaz 432 (čichací sonda)

ASCII protokolPříkaz *CONFig:UNIT:LRVacLDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

77 / 170

8 | Provoz LDS3000 AQ (akumulace)

INFICONPříkaz *CONFig:UNIT:LRSnif

8.4 Volba jednotky tlaku
Jednotka tlaku
rozhraní

Volba jednotky tlaku rozhraní0mbar (nastavení z výroby)

1

Pa

2

atm

3

Torr

Ovládací

Settings > Set up > Interfaces > Units (interface) > Pressure unit

jednotka
LD protokolPříkaz 430 (vakuum/čichací sonda)

ASCII protokolPříkaz *CONFig:UNIT:Pressure

8.5 Zvolení režimu kompatibility
Jak uživatel LDS3000 AQ proveďte nastavení mezi
• AQ Mode 1 nebo
• AQ Mode 2Přechodem do režimu kompatibility se všechna nastavení vrátí na nastavení zvýroby a přístroj se restartuje. Zobrazí se jazyk podle nastavení z výroby. Pro změnu
jazyka viz „Přednastavení [} 76]“.
Chcete-li nyní LDS3000 přepnout do jiného režimu a později se vrátit do aktuálně
nastaveného režimu, uložte nejprve své parametry na USB paměti, viz „Uložení anahrání parametrů [} 91]“. Po návratu do aktuálně nastaveného režimu můžete
uložené parametry opět načíst.
• AQ Mode 1: Tento režim je k dispozici pouze u přístrojů pro AQ. U přístrojů pro
AQ je přednastavený. Přepnutí do jiných režimů je možné.
Výběr tohoto režimu vede ke kontinuálně probíhajícímu měření. Výsledekměřicího cyklu je proto třeba včas upravit ručně. Pro získání stabilního výsledkuměření musíte minimálně dodržet dobu měření. Pro nastavení doby měření viz„Provedení základních nastavení pomocí asistenta [} 81]“. Pro režim měření viz„Provedení měření [} 90]“.
• AQ Mode 2: Tento režim je k dispozici pouze u přístrojů pro AQ. Přepnutí dojiných režimů je možné.
Výběr tohoto režimu vede k tomu, že po uplynutí nastavené doby měření seukončí měření AQ. Výsledek měření cyklu lze zobrazit až do nového ručního
spuštění dalšího cyklu měření. Pro nastavení doby měření viz „Provedenízákladních nastavení pomocí asistenta [} 81]“. Pro režim měření viz „Provedeníměření [} 90]“.

78 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 AQ (akumulace) | 8• LDS1000: Režim kompatibility za účelem dodatečného vybavení stávajícího
zařízení pro kontrolu těsnosti LDS1000 zařízením LDS3000.
• LDS2010: Režim kompatibility za účelem dodatečného vybavení stávajícího
zařízení pro kontrolu těsnosti LDS2010 zařízením LDS3000.
• LDS3000• XL adaptér čichací sondy (XL Sniffer Adapter)

Ovládací jednotka

Settings > Set up > Compatibility > Compatibility mode

LD protokolPříkaz 2594 (dec)ASCII protokolPříkaz *CONFig:COMP

Následující tabulka ukazuje funkční rozdíly a společné vlastnosti LDS2010 a
LDS3000:
LDS2010

LDS3000Výstupy triggeru

bez společného vztahu

se společným vztahem

ostatní výstupy

se společným vztahem

se společným vztahem

Trigger 1 (LED čichací sondy,

Ovládání LED čichací sondy,

Ovládání LED čichací sondy, výstup

výstup relé, audiosignál)výstup audio PWM na ovládací

audio na ovládací jednotce pro

jednotce pro aktivní reproduktory

aktivní reproduktory

Limit Low/High (sériové rozhraní,

Limit Low působí na všechny

separátní nastavení pro protokoly

zobrazení, analogový výstup)výstupy, Limit High pouze narozhraní, zobrazení a analogové

zobrazenívýstupy

Plynový balast (3 nastavení)

OFF: Vypíná ventil balastního plynu 0 = vyp,modulu vývěvy.

1 = zap, ale říditelné přes digitální

ON: Zapíná ventil balastního plynu

vstup na IO1000

modulu vývěvy, až do dalšího

2 = zap, a neříditelné přes digitální

vypnutí sítě.

vstup na IO1000

Když „CAL mode“ (kalibrační režim)není roven 3 (bod menu 26), můžebýt ventil balastního plynu ovládán
digitálním vstupem DynCAL.
F-ON: Fixed on umožňuje, aby byl
ventil balastního plynu trvale zapnut(se zajištěním proti výpadku sítě anezávisle na digitálních vstupech).
Režim ovládání

LOCAL, RS232, RS485

Odpadá, řízení je možné současně
ze všech řídicích stanovišť.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

79 / 170

8 | Provoz LDS3000 AQ (akumulace)

LDS1000 režim kompatibility 9.2

INFICON

LDS2010

LDS3000

ostatní funkceVýchozí hodnoty a chybová hlášení
(Výchozí hodnoty se vydávají
prostřednictvím rozhraní, na
dotykovém displeji se objevípůvodní hlášení - - > Důvod: novýhardware může způsobovat chyby,
které u předchozího neexistovaly)

Oprava míry netěsnosti v režimu

lze nastavit (ano/ne)

lze nastavit (ano/ne)Standby (strojní faktor)
ZERO při startu

od V1.02 jako LDS2010Otevření ventilu čichací sondyv SNIF po startu

v SNIF po startu

Otáčky turbomolekulární vývěvy

pouze 2 otáčkypřes sériové rozhraní nastavitelnéod 750 Hz do 1500 Hz, přesobsluhu přístroje 1000 Hz a
1500 Hz

Adresa RS485

ano, protože možnost sběrnicene, protože není možnost sběrnice

Tlačítko čichání zap/vyp

volitelně

volitelně

Výchozí hodnota pro int. kontrolní

1E-15 mbar l/s

9,9E2 mbar l/s

1E-7 mbar l/s

9,9E2 mbar l/s

10E-7

1E-9 ... 9,9E-1 mbar l/s

Justování strojního faktoru

ruční

ruční/automatické

Rozsah hodnot strojního faktoru/

Strojní faktor: 1E-3...9.9E+3

Strojní faktor: 1E-4...1E+5

faktoru čichací sondy

Faktor čichací sondy: 1E-3...9.9E+3 Faktor čichací sondy: 1E-4...1E+4netěsnostVýchozí hodnota Ext. Kontrolnínetěsnost režim VAC/SNIF
Rozsah nastavení int. kontrolnínetěsnosti

Tlak: Hlídání kapiláry 20

k dispozici, tlak nastavitelný

Analogový výstup

pevné charakteristikyvolně konfigurovatelnéPožadavek kalibraceZměna teploty předzesilovače 5 KZměna teploty předzesilovače 5 K

nebo 30 min

nebo 30 min nebo změněny otáčky
TMP

Jednotky tlaku/míry netěsnosti

ano

Ovládací jednotka a zbytek(VAC/SNIF) pro všechna rozhraníOprávnění uživatele

Klíčový spínačodděleně
3 úrovně přes PIN k obsluze

4 úrovně přes ovládací jednotkupřístroje nebo klíčový spínač

nebo volitelný klíčový spínačpevně namontovaný

může být připojen externě, pokud je
zapotřebí, viz „Obsazení digitálních
vstupů I/O modulu [} 105]“ (klíčový
spínač)80 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 AQ (akumulace) | 8

8.6 Provedení základních nastavení pomocí
asistenta
Pro provádění důležitých nastavení nebo pro kalibraci doporučujeme používat AQ
asistenta. Následující údaje se týkají CU1000, které bylo přizpůsobeno pro použití
LDS3000 AQ.
Pokud chcete provést jiná než standardní nastavení nebo chcete-li se informovato příkazech protokolu rozhraní, najdete další informace v dalších kapitolách tétopříručky.

Asistent AQ
Pro vyvolání asistenta AQ stiskněte na displeji CU1000
Main menu > Functions > Assistant
Alternativně stiskněte dole na displeji slovo „Asistent“.
V daném okně proveďte příslušná zadání, která se zobrazují postupně.
1. Objem komory(čistý objem)
Jednotku objemu můžete v případě potřeby vybrat v “Main Menu > Settings >Setup > Op. modes > AQ > Volume unit“.
(LD protokol: příkaz 1763
ASCII protokol: *CONFig:AQ:VOLume)
2. Úroveň trigger 1(LD/ASCII protokol: Viz „Nastavení hodnot triggeru [} 68]“)
3. Hmotnost(výběr mezi héliem nebo formovacím plynem)(LD/ASCII protokol: Viz „Volba druhu plynu (molární hmotnost) [} 49]“
4. Podíl plynu v procentech(například podíl vodíku ve formovacím plynu)(LD/ASCII protokol: Viz zobrazení podílu vodíku v „Nastavení pro XL Sniffer
Adapter [} 70]“
5. Doba měření
(volně nastavitelná, zobrazí se doporučení, které závisí na nastavených
parametrech)(LD protokol: příkaz 1765
ASCII protokol: * CONFig:AQ:TIME)
Při nastavení režimu kompatibility „AQ Mode 1“ se provádí nekonečné kontinuálníměření. Cyklus měření, resp. výsledek měření je třeba zobrazit z kontinuálníhoměření. Pro získání stabilního výsledku měření musíte minimálně dodržet dobuměření.
Při nastavení režimu kompatibility „AQ Mode 2“ se po uplynutí nastavené doby
LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

81 / 170

8 | Provoz LDS3000 AQ (akumulace)

INFICONměření ukončí měření AQ. Výsledek měření cyklu lze zobrazit až do nového
ručního spuštění dalšího cyklu měření. Při nastavení režimu kompatibility viz„Zvolení režimu kompatibility [} 78]“.

Alternativně můžete nastavení provést i na následujících místech:“Main menu > Settings > Set up > Operation modes > AQ”“Main menu > Settings > Mass”

8.7 Určení Peak
Pro dosažení co nejpřesnějších výsledků vždy před kalibrací stanovte aktuální špičku„Peak“ (špičková hodnota). Na konci tohoto postupu se nahradí hodnota pro starénapětí anody hodnotou nového napětí anody.
Justování využívá vzduch-hélium nebo vzduch-vodík. Justování není možné pouzes dusíkem.
Následující údaje o displeji se týkají CU1000, které bylo přizpůsobeno pro použití
LDS3000 AQ.
ü Pro zabránění zkreslení výsledků měření v důsledku zvýšené hodnoty pozadí jetřeba zaručit dobu zahřátí nejméně 60 minut.
1

Main menu > Functions > CAL > Peak.

2

Potvrďte pomocí „OK“.
ð Otevře se okno „CAL peak“.

3Vyjměte kontrolní netěsnost z komory.

4Při nastavení režimu kompatibility „AQ Mode 1“ počkejte, až je signál pozadí
stabilní a potom stisknutím „OK“ spusťte justování. Viz také „Zvolení režimu
kompatibility [} 78]“.
ð (LD protokol: 4, parametr 7 (peak adjust AQ)
ASCII protokol: *CAL:PEAK)
IO1000: Vstup „Peakfind“ð (Protokol LD a ASCII: Průběh je následně třeba zkontrolovat pomocí příkazu
260 (State Calibration) nebo *STATus:CAL)

5

Při nastavení režimu kompatibility „AQ Mode 2“ spusťte justování přímo
stisknutím „OK“.

ð

Po justování se zobrazí staré a nové napětí anody.

8.8 Doložení míry netěsnosti kontrolní netěsnosti
Jednou zapište údaje o použité kontrolní netěsnosti. Pro každý plyn (molární
hmotnost) musí být nastavena specifická míra netěsnosti.
Rozsah: 1E-9 ... 9,9E-2 mbar l / s

82 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 AQ (akumulace) | 8

Minimální velikost pro míru netěsnosti kontrolní netěsnost
Aby bylo možné provést stabilní kalibraci, doporučujeme minimální velikost pro mírunetěsnosti kontrolní netěsnosti.
Při dodržení asistentem AQ navržené doby měření by neměla být míra netěsnostinižší než následující hodnota:- Při použití formovacího plynu zvolenou prahovou hodnotu (trigger 1)- Při použití hélia 1/5 zvolené prahové hodnoty (trigger 1)
Pokud je míra netěsnosti použité kontrolní netěsnosti příliš nízká, dojde při spuštění
nebo ukončení kalibrace k vydání chybového hlášení.

Následující údaje se týkají CU1000, které bylo přizpůsobeno pro použití LDS3000 AQ.
ü Požadovaná jednotka, kterou chcete používat pro míru netěsnosti, je nastavena.
Pokud se v systému zobrazovaná jednotka míry netěsnosti liší od údaje jednotek na
kontrolní netěsnosti, nastavte alespoň přechodně jednotku stejnou jako na kontrolnínetěsnosti. Viz také „Volba jednotky míry netěsnosti [} 45]“.
1

Main menu > Functions > CAL > Settings > Ext. calibration leak2

Zadejte požadovaný plyn a příslušnou míru netěsnosti.
(LD protokol: příkaz 390
ASCII protokol: *CONFig:CALleak:EXTVac)

8.9 Kalibrace přístroje
8.9.1 Časový okamžik a celková přednastavení
UPOZORNĚNÍ
Chybná kalibrace v důsledku příliš nízké provozní teplotyKdyž je přístroj kalibrován ve studeném stavu, může poskytovat chybné výsledkyměření.
► Pro optimální přesnost by měl být přístroj zapnutý alespoň 60 minut.
Doporučujeme zařízení jednou za směnu kalibrovat v požadovaných provozníchrežimech a pro požadované plyny. Potom můžete bez nové kalibrace přecházet mezi
provozními režimy a plyny.
Dále je nutná kalibrace podle požadavku na kalibraci ze strany systému.

Vypnutí testu

Při kalibrování testuje přístroj namontovaný předzesilovač. Test předzesilovačepředzesilovačemůžete vypnout. Tím se kalibrace zrychlí, ale klesne spolehlivost.
0

VYP

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

83 / 170

8 | Provoz LDS3000 AQ (akumulace)

1

INFICON

ZAP

Ovládací jednotka

Settings > Set-up > MS-module > Preamplifier > Test >Preamplifier test with CAL

LD protokolPříkaz 370

ASCII protokolPříkaz *CONFig:AMPTest (ON,OFF)

AktivováníKdyž je požadavek kalibrace aktivován, požaduje přístroj při změnách teploty většíchpožadavku kalibracenež 5°C a po 30 minutách po zapnutí kalibraci.
0

VYP

1

ZAP

Ovládací jednotka

Functions > CAL > Settings > CAL request > Calibration
requestnebo
Settings > Setup > Notifications > CAL request > Calibration
requestLD protokolPříkaz 419

ASCII protokol*CONFig:CALREQ (ON,OFF)

Kalibrační výstrahaVýstražné hlášení Wrn650 „Nedoporučuje se kalibrace v prvních 20 minutách“ jeWrn650možné povolit nebo potlačit.
0

VYP (potlačeno)1

ZAP (povoleno)

Ovládací jednotka

Functions > CAL > Settings > CAL request > Calibration
warning W650
nebo
Settings > Setup > Notifications > CAL request > Calibration
warning W650

LD protokolPříkaz 429

ASCII protokol*CONFig:CALWarn ON (OFF)Podívejte se také na
2 Nastavení strojního faktoru a faktoru čichací sondy [} 88]

84 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 AQ (akumulace) | 8

8.9.2 Zadání kalibračního faktoru
Kalibrační faktor se stanoví normálně odpovídající kalibrační rutinou. Proto nenínormálně potřebné kalibrační faktor nastavovat manuálně.
Nesprávně nastavený kalibrační faktor vede nuceně k chybnému zobrazení mírynetěsnosti!

8.9.3 Kalibrační faktor vakuum
Platí i pro přístroje v režimu AQ.
Zadání kalibračního faktoru pro molární hmotnost 2, 3, 4.
Hodnoty se při další kalibraci přepíší.
0,01 … 5000

Ovládací jednotka Settings > Set up > Operation modes > Vacuum > Calibr. factor> mass 2 (3, 4) > calibration factor VAC H2 (M3, He)
LD protokolPříkaz 520

ASCII protokolPříkaz *FACtor:CALVac

8.9.4 KalibraceŘiďte se podle obecných pokynů pro kalibraci, viz „Kalibrace přístroje [} 50]“.

Předpoklady pro všechny postupy• Externí kontrolní netěsnost je k dispozici.
• Údaje o kontrolní netěsnosti jsou zadány, viz také „Doložení míry netěsnosti
kontrolní netěsnosti [} 82]“.
• Pro zabránění zkreslení výsledků měření v důsledku zvýšené hodnoty pozadí jetřeba zaručit dobu zahřátí nejméně 60 minut.
• Aktuální „Peak“ byl stanoven, viz také „Určení Peak [} 82]“.

Ovládací jednotka CU1000
1Vložte otevřenou kontrolní netěsnost do měřicí komory a zavřete měřicí
komoru.

2

Main menu > Functions > CAL > externalð Míra netěsnosti kontrolní netěsnosti se zobrazí spolu s dotazem, zda má být
spuštěna kalibrace.

3

Spuštění procesu kalibrace potvrďte stisknutím „OK“.

4Řiďte se podle pokynů na obrazovce.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

85 / 170

8 | Provoz LDS3000 AQ (akumulace)

INFICON

Protokol LD nebo ASCII, IO1000
1Vložte otevřenou kontrolní netěsnost do měřicí komory a zavřete měřicí
komoru.

2

Platí pouze pro nastavený „AQ Mode 1“: Pro dosažení stabilního signálu mírynetěsnosti vyčkejte minimálně po dobu nastavené doby měření AQ.

3Spusťte kalibraciProtokol LD: příkaz 4, parametr 1
Protokol ASCII: *CAL:EXT
IO1000: Vstup „CAL externí“, viz také následující obrázekð Při použití hélia pokračujte posledním krokem postupu (č. 8).

4

Pro stanovení pozadí u formovacího plynu (vodík) následně zkontrolujteprůběh:LD protokol: příkaz 260 (State Calibration)
ASCII protokol: *STATus:CALð Počkejte do dosažení následujícího stavu:
LD protokol: příkaz 260 stav 75 „WAIT_ZERO_AQ“
ASCII protokol: *STATus:CAL? Na „CLOSE“
IO1000: Výstup „CAL stabilní“,viz také následující obrázek

5

Odstraňte kontrolní netěsnost z měřicí komory a zavřete měřicí komoru.

6

Pro dosažení stabilního signálu míry netěsnosti vyčkejte minimálně po dobu
nastavené doby měření AQ.

7Spusťte měření pozadí.
LD protokol: příkaz 11, parametr 1 (Continue calibration)
ASCII protokol: *CAL:CLOSEDIO1000: Vstup „CAL externí“, viz také následující obrázek

8

Následně zkontrolujte průběh:LD protokol: příkaz 260 (State Calibration)
ASCII protokol: *STATus:CALð Počkejte do dosažení následujícího stavu:
LD protokol: příkaz 260 stav 0 „READY“ASCII protokol: *STATus:CAL? Na „IDLE“
IO1000: Výstup „CAL aktivní“, viz také následující obrázek
ð Kalibrace je dokončena.
ð V případě chyby:
LD protokol: příkaz 260 stav 51...59 (chybové stavy)
ASCII protokol: *STATus:CAL? Na „FAIL“
IO1000: Výstup „Chyba nebo výstraha“

86 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 AQ (akumulace) | 8

Obr. 17: Externí kalibrace pomocí IO1000 u přístroje pro režim AQ. Pro popis vstupů a výstupů
PLC viz „Obsazení vstupů a výstupů [} 95]“

8.10 Spuštění a zastavení měření (AQ Mode 2)
Platí pouze pro „AQ Mode 2“. Viz také „Zvolení režimu kompatibility [} 78]“.
Pro zobrazení tlačítka spuštění nebo zastavení v okně pohotovostního režimu
CU1000 pro ovládání cyklu měření nahraďte v okně Favorité tlačítko „Favorit 1“ nebo
„Favorit 2“ tlačítkem „Start/stop“. Jinak tlačítka spuštění nebo zastavení v okněpohotovostního režimu chybějí a musíte použít cestu přes menu “Functions > Start/
Stop“.
Pro nastavení viz „Nastavení dotykového displeje [} 126]“, „Obsazení oblíbených“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

87 / 170

8 | Provoz LDS3000 AQ (akumulace)

INFICONPřechází mezi režimem měření a Standby
START = Standby --> Měření
STOP = Měření --> Standby

Ovládací jednotka

Functions > Start/Stop

LD protokolPříkaz 1, 2

ASCII protokolPříkaz *STArt, *STOp

Podívejte se také na
2 Provedení měření [} 90]

8.11 Provedení ZERO
Po náběhu LDS3000 AQ a výběru formovacího plynu jako druhu plynu vodík přítomný
ve vakuovém systému nejprve zajistí, že na displeji bude viditelná stoupající křivka
(AQ Mode 1). Toto zobrazení lze špatně pochopit jako zobrazení netěsnosti.
Pro odstranění zkreslujících stop vodíku počkejte s měřením přibližně 30 minut ponaběhnutí přístroje.
Pro odstranění zbytkového offsetu poté proveďte ZERO AQ. ZERO AQ neslouží
k potlačení měřicích signálů.
ü Jako hmotnost je zadán vodík (formovací plyn).
Pokud není zadán žádný vodík (formovací plyn), můžete ho nastavit v “Main menu
> Settings > Mass" nebo dole na displeji měřicího okna prostřednictvím „Asistent“.
ü V měřicí komoře není zkušební těleso ani kontrolní netěsnost.
1

Main menu > Functions > ZERO AQ

2Řiďte se podle pokynů na obrazovce.
ð Protokol LD a ASCII: Po odstranění zkušebního tělesa nebo kontrolnínetěsnosti nejdříve počkejte na dobu měření (AQ Mode 1).
ð LD protokol: příkaz 6, parametr 1; ASCII protokol: *ZERO:ONð IO1000: Vstup ZERO

8.12 Nastavení strojního faktoru a faktoru čichacísondyInterní kalibrace kalibruje výhradně od zkušebního zařízení odpojený měřicí systém
modulu hmotového spektrometru. Když je ale měřicí systém po interní kalibracipoužíván paralelně k dalšímu čerpacímu systému (podle principu dílčích proudů),udává měřicí systém příliš nízkou míru netěsnosti podle poměru dílčích proudů.
Pomocí opravného strojního faktoru pro vakuový provoz a faktoru čichací sondy pro

88 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 AQ (akumulace) | 8

režim čichací sondy uvádí měřicí systém skutečnou míru netěsnosti. S těmito faktory
je tedy zohledněn poměr efektivního výkonu sání měřicího systému ve srovnání svýkonem sání měřicího systému na zkušebním zařízení.

8.12.1 Ruční nastavení strojního faktoru a faktoru čichací sondyü Modul hmotového spektrometru interně kalibrován.
1Změřit externí kontrolní netěsnost zkušebním zařízením.
ð Přístroj udává příliš nízkou míru netěsnosti podle poměru dílčích proudů.

2

Nastavení strojního faktoru popř. faktoru čichací sondy, viz níže.
ð Přístroj zobrazuje skutečnou míru netěsnosti.

Nastavení strojního
faktoruPřístroje v režimu AQ:
Strojní faktor „1“ je přednastavený. Toto nastavení neměňte.
Opravuje případnou odchylku mezi interní a externí kalibrací ve vakuovém provozu.
Bez možnosti interní kontrolní netěsnosti by měl mít hodnotu 1,00. Při změně
hodnoty se zobrazí míra netěsnosti vyplývající z této změny. Justování se takzjednoduší.
Rozsah hodnot 1E-4...1E+5

Ovládací jednotka Settings > Set up > Operation modes > Vacuum > Machine
factor > Mass 2 (3, 4) > machine factor VAC H2 (M3, He)

Nastavení faktoručichací sondy

LD protokolPříkaz 522

ASCII protokolPříkaz *FACtor:FACMachine

Opravuje případnou odchylku mezi interní a externí kalibrací v režimu čichací sondy
Rozsah hodnot 1E-4...1E+4

Ovládací jednotka Settings > Set up > Operation modes > Sniffing > Sniff factor >Mass 2 (3, 4) > Sniff factor H2 (M3, He)
LD protokolPříkaz 523

ASCII protokolPříkaz *FACtor:FACSniff

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

89 / 170

8 | Provoz LDS3000 AQ (akumulace)

INFICON8.13 Provedení měření
Výstraha
Nebezpečí při implozi měřicí komory
Externí měřicí komora, která je připojená na LDS3000 AQ, se odčerpává cca 60 sccm.
V rámci běžné doby měření (2-30 sekund) nevzniká nebezpečný podtlak.
Když je měřicí komora těsná, nikoliv odolná proti vakuu, a pokud proběhne další
odčerpání, může dojít k její implozi. K tomu může dojít u 1l měřicí komory po cca
10 minutách.
► Po uplynutí doby měření měřicí komoru dále neodčerpávejte.
► Přijměte příslušná bezpečnostní opatření.

ü Přístroj je zapnutý.
ü Byl nastaven režim kompatibility „AQ Mode 1“ nebo „AQ Mode 2“ (v CU1000 v okně„Kompatibilita“, potvrzení stisknutím „OK“).
ü Pouze režim kompatibility „AQ Mode 2“: Pro zobrazení tlačítka spuštění nebo
zastavení v okně pohotovostního režimu CU1000 pro ovládání cyklu měření
nahraďte v okně Favorité tlačítko „Favorit 1“ nebo „Favorit 2“ tlačítkem „Start/stop“.
Jinak tlačítka spuštění nebo zastavení v okně pohotovostního režimu chybějí
a musíte použít cestu přes menu “Functions > Start/Stop“. Pro nastavení viz„Nastavení dotykového displeje [} 126]“, „Obsazení oblíbených“.
ü Peak byl určen, viz „Určení Peak [} 82]“.
ü Kalibrace byla provedena, viz „Kalibrace [} 85]“.
ü ZERO AQ bylo určeno, viz „Provedení ZERO [} 88]“.
1

Pokud měříte s formovacím plynem, zajistěte, aby přístroj předtím minimálně
půl hodiny běžel. Tento čas je nutný k tomu, abyste mohli provést stabilníměření.
ð Pokud měříte s héliem, představuje doba čekání cca 10 minut.

2Vložte kontrolovaný objekt do měřicí komory a zavřete měřicí komoru.
Kontrolovaný objekt pokud možno nestavte na jeho případná netěsná místa.
ð Kontrolovaný objekt plněný pod tlakem héliem nebo formovacím plynem jebuď umístěn do měřicí komory nebo je teprve v měřicí komoře pod tlakemostřikován.

3

Při nastavení režimu kompatibility „AQ Mode 1“ počkejte na nastavenou dobuměření. Tlačítka spuštění nebo zastavení se při „AQ Mode 1“ nepoužívají.
ð Míra netěsnosti bude vypočítána a zobrazena. Na základě nekonečného
kontinuálního měření je třeba včas ručně upravit výsledek měřicího cyklu.

90 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 AQ (akumulace) | 8

ð Je-li kontrolovaný objekt netěsný, zobrazí se na příslušném displeji stoupající
míra netěsnosti.
4Při nastavení režimu kompatibility „AQ Mode 2“ stiskněte v okně „Pohotovostnírežim“ CU1000 tlačítko „Start“.
ð V okně měření můžete sledovat aktuální měření, vyčkat na konec cykluměření nebo stisknout tlačítko „Stop“. Zobrazuje se zbývající doba měření.
ð Na konci cyklu měření se zobrazí výsledek posledního měření.
ð Při nedosažení nebo překročení nastavené prahové hodnoty se zobrazízeleně zvýrazněný výsledek „Těsné“ nebo červeně zvýrazněný výsledek„Netěsné“.

5Vyjměte kontrolovaný objekt z měřicí komory a pokračujte v měření krokem
postupu 2.

8.14 Uložení a nahrání parametrů
Pro uložení a opětné obnovení parametrů ovládací jednotky a modulu hmotového
spektrometru může být použita USB paměť na CU1000.
Uložit parametry:► "Functions > Data > Parameter > Save > Save parameter"
Nahrát parametry:ü Aktuálně nastavený režim kompatibility se musí shodovat s režimem kompatibility
v souboru parametrů. Viz také Zvolení režimu kompatibility [} 46].
► "Functions > Data > Parameter > Load > Load parameter"8.15 Kopírovaní změřených dat, vymazánízměřených datZměřená data mohou být s CU1000 uložena na USB paměti.
• “Functions > Data > Recorder > Copy > Copy files”
Změřená data lze na CU1000 vymazat.
• “Functions > Data > Recorder > Delete > Delete files”

8.16 Úprava „Faktoru času Zero AQ“
Platí pouze pro „AQ Mode 1“. Viz také „Zvolení režimu kompatibility [} 78]“.
Pro zabránění zdánlivě záporným mírám netěsnosti při měření s formovacím plynem
se po určité době (faktor času Zero AQ x doba měření) převede zobrazení mírynetěsnosti na 0.
Faktor času Zero AQ lze nastavit v:

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

91 / 170

8 | Provoz LDS3000 AQ (akumulace)

INFICON

Main menu > Settings > Set up > Operation modes > AQ > Measurement timeStandardní hodnota je 4 a lze ji měnit v celých číslech od 1..10.
(LD protokol: příkaz 1767
ASCII protokol: *CONFig:AQ:ZEROTime)8.17 Volba hranic zobrazení
Hranice zobrazeníSnížení a zvýšení hranic zobrazení:
Pokud nemáte zájem o velmi nízké míry netěsnosti pro své použití, je možné
zvednutí spodní hranice zobrazení, která usnadňuje posouzení zobrazení mírynetěsnosti.
– do 15 dekád v VAC– do 11 dekád v SNIF
– do 8 dekád v režimu AQ
Pokud nevhodným nastavením vypadne užitný rozsah nižší než jedna dekáda,
posune se horní hranice do té míry, až je vidět dekáda.
Upozornění: V ovládací jednotce se při nastavení mezi oběma nastavovacími
parametry zobrazí aktuální hranice zobrazení. Přes LD protokol lze zjistit příkazem
399 aktuální hranice zobrazení.

OvládacíDisplay > Display limits

jednotka
LD protokolPříkaz 397

ASCII protokolPříkaz: *CONFig:DISPL_LIM:HIGH
Příkaz: *CONFig:DISPL_LIM:LOW

8.18 Nastavení kontroly tlaku
Min. tlak režim AQ

Pro detekci ucpání škrticího ventilu je nastavena minimální hodnota tlaku. Když jetato hodnota podkročena, vydá systém výstražné hlášení 556. Při silném podkročení
je vydáno výstražné hlášení 557.
5E-2 ... 0,45 mbar

Max. tlak režim AQ

Ovládací

Settings > Setup > Operation modes > AQ > Pressure limits >jednotka

Min. pressure > Min. pressure AQ mode

LD protokolPříkaz 532

ASCII protokolPříkaz *CONFig:PRESSACCULow

Pro detekci vadného nebo chybějícího škrticího ventilu je nastavena maximální
hodnota tlaku. Když je tato hodnota překročena, vydá systém výstražné hlášení 520.
0,5 ... 1 mbar

92 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz LDS3000 AQ (akumulace) | 8

Ovládací

Settings > Setup > Operation modes > AQ > Pressure limits >jednotka

Max. Pressure > Max. Pressure AQ mode

LD protokolPříkaz 533

ASCII protokolPříkaz *CONFig:PRESSACCUHigh

8.19 Nastavení otáček turbomolekulární vývěvy
OtáčkyPři měřeních s vodíkem / formovacím plynem může být vhodné nastavit

turbomolekulárníturbomolekulární vývěvu LDS3000 AQ na 1 250 Hz.

vývěvyJe tomu tak vždy v případě, že proměnlivé podmínky prostředí, jako např. vlhkost
vzduchu, ovlivňují kvalitu signálu silněji než menší sílu signálu (větší kalibrační faktor)
pro vodík / formovací plyn v režimu 1 250 Hz.
Po změně otáček je potřebná opětovná kalibrace!
Otáčky turbomolekulární vývěvy v Hz
1000
1250

Ovládací

Settings > Setup > MS module > TMP > Settings > TMP rotational

jednotka

speed

LD protokol

501

ASCII protokol*CONFig:SPEEDTMP

8.20 Zvolit katodu
Volba katody

Hmotový spektrometr obsahuje dvě katody. V nastavení z výroby používá přístroj
katodu 1. Pokud je vadná, přepíná přístroj automaticky na druhou katodu.
S tímto nastavením je možné vybrat určitou katodu.
0

CAT1

1

CAT2

2

Auto Cat1 (automatické přepnutí na katodu 2, nastavení z výroby)3

Auto Cat2 (automatické přepnutí na katodu 1)

4

OFF

Ovládací

Settings > Set up > MS module > Ion source > Cathode selection

jednotka
LD protokol

530

ASCII protokol*CONFig:CAThode *STATus:CAThodeLDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

93 / 170

8 | Provoz LDS3000 AQ (akumulace)

INFICON

8.21 Vynulování nastavení
Modul hmotového

Nastavení modulu hmotového spektrometru mohou být vrácena na původní

spektrometru

nastavení z výroby.
0

Načtení nastavení z výroby

10

Resetování nastavení pro režim kompatibility LDS1000

11

Resetování nastavení pro režim kompatibility LDS2010

12

Resetování nastavení pro režim XL Sniffer Adapter

14

Resetování nastavení pro LDS3000 AQ

OvládacíFunctions > Data > Parameters > Reset > Control unit settingsjednotka

Functions > Data > Parameters > Reset > MSB settings
Functions > Data > Parameters > Reset > Parameter access level

LD protokolPříkaz 1161

ASCII protokolPříkaz *RST:FACTORY
Příkaz *RST:SL3000

Pro ovládací jednotku platí: Na základě aktuálně nastaveného režimu se automaticky
zvolí příslušná hodnota pro reset nastavení tohoto režimu.
Pro protokol LD nebo ASCII platí: Resetem nastavení pro určitý režim se tento režim
aktivuje automaticky, viz rovněž „Zvolení režimu kompatibility [} 78]“.

94 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONPoužití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9

9 Použití rozšiřujícího modulu (LDS3000,
LDS3000 AQ)
9.1 Volba typu rozšiřujícího modulu
Volba rozšiřujícího
moduluVolba typu modulu připojeného na I/O přípoj
I/O modul
Modul sběrnice

Ovládací

Settings > Configuration > Interfaces > Device Selection > Module

jednotka

on I/O connection
nebo
Settings > Configuration > Accessories > Device Selection. >Module on I/O connection

LD protokol–

ASCII protokol–

9.2 Nastavení pro I/O modul IO1000
9.2.1 Všeobecná nastavení rozhraní
Nastavení protokolu

Nastavení protokolu pro modul připojený na I/O přípoj. Toto nastavení může býtrozhranípřepsáno prostřednictvím DIP spínačů na IO1000.
LD
ASCII
BinárníLDS1000

Ovládací

Settings > Set up > Interfaces > Protocol > I/O module protocol

jednotka
LD protokol

2593

ASCII protokol*CONFig:RS232

9.2.2 Obsazení vstupů a výstupůObsazeníAnalogové výstupy I/O modulu IO1000 mohou být obsazeny různými změřenými

analogových výstupů

hodnotami.

I/O moduluMožné funkce: viz následující tabulka

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

95 / 170

9 | Použití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ)

INFICON

Ovládací

Settings > Set up > Interfaces > I/O module > Analog outp. >jednotka

Config. Analog outputs 1/2

LD protokolPříkaz 222, 223, 224

ASCII protokolPříkaz *CONFig:RECorder:LINK1Příkaz *CONFig:RECorder:LINK2Příkaz *CONFig:RECorder:SCALEPříkaz *CONFig:RECorder:UPPEREXPPro výstupní napětí mohou být definovány mezní hodnoty.
VAC:

Min. 1 x 10-13...1 x 10-1 mbar l/s
Max. 1 x 10-12...1 x 10-1 mbar l/s

SNIF:Min. 1 x 10-9...1 x 10-1 mbar l/s
Max. 1 x 10-8...1 x 10-1 mbar l/s

Ovládací

Settings > Set up > Interfaces > LR limits

jednotka
LD protokolPříkaz 226 (Vac)Příkaz 227 (Snif)

ASCII protokolPříkaz *CONFig:LIMITS:VAC
Příkaz *CONFig:LIMITS:SNIF

Funkce, obsazení analogových výstupů:Vyp

Analogové výstupy jsou vypnuté(výstupní napětí = 0 V).

Tlak p1 / tlak p2

1 ... 10 V; 0,5 V / dekáda;
1 V = 1 x 10-3 mbar

Mantisa míry netěsnosti

1 ... 10 V; lineárně; ve zvolené

Má smysl jen tehdy, pokud je druhý

jednotce

analogový výstup obsazen„exponentem míry netěsnosti“.

Exponent míry netěsnosti

1 ... 10 V; 0,5 V / dekáda;

Má smysl jen tehdy, pokud je druhý

stupňová funkce;

analogový výstup obsazen

1 V = 1 x 10-12; ve zvolené jednotce„mantisou míry netěsnosti“ nebo
„mantisou míry netěsnosti s
hysterezí“.

Míra netěsnosti lineárně

x ... 10 V; lineárně;ve zvolené jednotce

96 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONPoužití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9

Horní hranice (=10 V) se nastavuje pomocí parametru „Exponent horní mezní hodnoty“. Spodní hodnota jevždy 0 (míra netěsnosti), což odpovídá výstupnímu napětí 0 V. Exponent horní mezní hodnoty je možné
nastavit v celých dekádách, např. 1 x 10-4 mbar l/s.
Settings > Set up > Interfaces > I/O module > Analog scale > AO exponent upper limit.
Toto nastavení platí pro oba analogové výstupy, pokud byla zvolena příslušná funkce výstupu. Podle zvolené
jednotky míry netěsnosti vzniká druhá absolutní hranice.
Zvolený rozsah je možné dodatečně zúžit hranicemi, které jsou platné pro všechna rozhraní, viz výše.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

97 / 170

9 | Použití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ)

Míra netěsnosti log.

INFICONx ... 10 V; logaritmicky;ve zvolené jednotce

Horní hranice (=10 V) a měřítko (V/dekáda) se nastavuje pomocí parametru „Exponent horní mezní hodnoty“ a„Měřítko míry netěsnosti“. Příklad:Horní hranice nastavena na 1 x 10-5 mbar l/s (= 10 V). Měřítko nastaveno na 5 V/dekáda. Spodní hranice činí 1
x 10-7 mbar l/s (= 0 V). U logaritmické funkce výstupu se nastaví jak stoupání v V/dekáda, tak i horní mezníhodnota (hodnota 10 V). Z toho vychází nejmenší zobrazitelná hodnota. Volitelná jsou následující stoupání:
0.5, 1, 2, 2.5, 3, 5, 10 V/dekáda Čím vyšší je nastavená hodnota stoupání, tím menší je zobrazitelná oblast.
Logaritmická nastavení jsou nejúčelnější, když je zobrazitelných několik dekád, tedy nastavení < 10 V/dekáda.
Horní mezní hodnota je stejná pro oba analogové výstupy. Na obou následujících obrázcích jsou příkladně
zobrazeny 1 V/dekáda a 5 V/dekáda s různými nastaveními horní mezní hodnoty. Podle zvolené jednotky mírynetěsnosti vzniká druhá absolutní hranice. Zvolený rozsah je možné dodatečně zúžit hranicemi, které jsou
platné pro všechna rozhraní, viz výše.
Prostřednictvím rozhraníVýstupní napětí může být pro test stanoveno pomocí LD protokolu
příkazem 221.

Mantisa míry netěsnosti s hyster.

0,7 ... 10 V; lineárně;Má smysl jen tehdy, pokud je druhý

ve zvolené jednotce

analogový výstup obsazen„exponentem míry netěsnosti“.
Přesahem mantisy v rozsahu 0,7 až
1,0 se zabrání trvalému skákání mezidvěma dekádami. 0,7 V odpovídámíře netěsnosti 0,7 × 10-x. 9,9 V
odpovídá míře netěsnosti 9,9 × 10-x

Tlak p1 (1 V/dek.)/

1 ... 10 V; 1 V / dekáda;

Tlak p2 (1 V/dek.)/

2,5 V = 1 x 10-3 mbar;
8,5 V = 1000 mbar

Míra netěsnosti log. h./zvláštní funkce. Použít pouze

Míra netěsnosti exp. Inv.

na doporučení firmy INFICON.

98 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONPoužití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9

Obr. 18: Analogové výstupní napětí míra netěsnosti log. 1 V/dekáda

Obr. 19: Analogové výstupní napětí míra netěsnosti log. 5 V/dekáda

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

99 / 170

9 | Použití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ)Výstupní napětí v

V případě chyby jsou na analogových výstupech následující napětí:případě chyby

Konfigurace

INFICONRežim kompatibilityNapětíLDS1000

0V

LDS2010

10V

LDS3000

10,237V

Pro přenos nastavení z LDS2010 na LDS3000 může být použita následující tabulka.

(LDS2010
kompatibilní)
LDS2010Kanál

nastav.

analogovPoložkaéhomenu 22výstupu

1

1

1

2

2

1

Funkce LDS2010

FunkceMěřítko míry Horní hranice

LDS3000netěsnosti

Mantisa míry netěsnosti ve zvolené

Mantisanerelevantní nerelevantní

jednotce.

míry

1 ... 10V

netěsnosti

Exponent míry netěsnosti (stupňová

Exponent

funkce) ve zvolené jednotcemíry. 1 ... 10 V, 0,5 V/dekáda, 1 V = 1E-12netěsnosti

Míra netěsnosti log. ve zvolené jednotce.

Míra

1 ... 10 V, 0,5 V/dekáda, 1 V = 1E-12netěsnosti(10 V = ...)

nerelevantní nerelevantní

0,5 V/dek.

1E6 [zvolená
jednotka]

log.
2

2

Tlak p1 log. ve zvolené jednotce.

Tlak p1

nerelevantní nerelevantní

Mantisa míry netěsnosti v mbar l/s

Mantisanerelevantní nerelevantní

1 ... 10Vmíry

1 ... 10 V, 0,5 V/dekáda 1 V = 1E-3 mbar
3

1netěsnosti
3

2

Exponent míry netěsnosti (stupňová

Exponent

funkce) v mbar l/s

míry

1 ... 10 V, -1 V/dekáda, 0 V = 1E0 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní nerelevantní

invert.
4

4

1

2

Míra netěsnosti log.

Míra

0 ... 10 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-10 mbar l/netěsnosti

s

log.

Tlak p1 log. v mbar

p1 1 V/

1 V/dekáda, 2.5 ... 8,5 V,dek.

1 V/dek.

1,00E+00

nerelevantní nerelevantní

2,5 V = 1E-3 mbar,
5,5 V = 1E0 mbar

100 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONPoužití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9

LDS2010Kanál

nastav.

analogovPoložkaéhomenu 22výstupu

5

1

Funkce LDS2010

FunkceMěřítko míry Horní hranice

LDS3000netěsnosti

Mantisa míry netěsnosti ve zvolené

Mantisanerelevantní nerelevantní

jednotce.

míry

1 ... 10 V rise, 0.7 ... 10 V fallnetěsnosti(10 V = ...)

hyst.
5

6

6

2

1

2

Exponent míry netěsnosti ve zvolené

Exponent

jednotce.

míry

1 ... 10 V, 0,5 V/dekáda, 0 V = 1E-14

netěsnosti

Míra netěsnosti log. v Pa·m³/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V/dekáda,netěsnosti

0 V = 1E-12 Pa·m³/s = 1E-12 mbar l/slog.

Tlak p1 log. v Pa

p1 1 V/

1 V/dekáda, 2.5 ... 8,5 V,

dek.

nerelevantní nerelevantní

1 V/dek.

1E-2 mbar l/s

nerelevantní nerelevantní

2,5 V = 1E-3 mbar
8

8

1

2

Míra netěsnosti log. v Pa·m³/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V/dekáda,netěsnosti

0 V = 1E-12 Pa·m3/s = 1E-12 mbar l/slog.

Tlak p2 log. v Pa

p2 1 V/

1 V/dekáda, 2.5 ... 8,5 V,dek.

1 V/dek.

1E-2 mbar l/s

nerelevantní nerelevantní

2,5 V = 1E-3 mbar
91

Tlak p1 log. v Pa

p1 1 V/

1 V/dekáda, 2.5 ... 8,5 V,

dek.

nerelevantní nerelevantní

2,5 V = 1E-3 mbar
92

Tlak p2 log. v Pa

p2 1 V/

1 V/dekáda, 2.5 ... 8,5 V,

dek.

nerelevantní nerelevantní

2,5 V = 1E-3 mbar
10

1

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 8 V, 2 V/dekáda, 0 V = 1E-3 mbar l/snetěsnosti

2 V/dek.

1E+2 mbar l/s

Speciální 1

1E+1 mbar l/s

2 V/dek.

1E+1 mbar l/s

Speciální 1

1E+0 mbar l/s

log.
10

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 3 V/dekáda, 0 V = 1E-3 mbar l/snetěsnosti
log.

11

1

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 8 V, 2 V/dekáda, 0 V = 1E-4 mbar l/snetěsnosti
log.

11

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 3 V/dekáda, 0 V = 1E-4 mbar l/snetěsnosti
log.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

101 / 170

9 | Použití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ)

LDS2010Kanál

nastav.

analogovPoložkaéhomenu 22výstupu

12

1

INFICON

Funkce LDS2010

FunkceMěřítko míry Horní hranice

LDS3000netěsnosti(10 V = ...)

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

2 V/dek.

1E0 mbar l/s

0 ... 8 V, 2 V/dekáda, 0 V = 1E-5 mbar l/snetěsnosti

Speciální 1

1E-1 mbar l/s

2 V/dek.

1E-1 mbar l/s

Speciální 1

1E-2 mbar l/s

2 V/dek.

1E-2 mbar l/s

Speciální 1

1E-3 mbar l/s

2 V/dek.

1E-3 mbar l/s

Speciální 1

1E-4 mbar l/s

2 V/dek.

1E-4 mbar l/s

Speciální 1

1E-5 mbar l/s

2 V/dek.

1E-5 mbar l/s

Speciální 1

1E-6 mbar l/s

log.
12

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 3 V/dekáda, 0 V = 1E-5 mbar l/snetěsnosti
log.

13

1

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 8 V, 2 V/dekáda, 0 V = 1E-6 mbar l/snetěsnosti
log.

13

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 3 V/dekáda, 0 V = 1E-6 mbar l/snetěsnosti
log.

14

1

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 8 V, 2 V/dekáda, 0 V = 1E-7 mbar l/snetěsnosti
log.

14

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 3 V/dekáda, 0 V = 1E-7 mbar l/snetěsnosti
log.

15

1

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 8 V, 2 V/dekáda, 0 V = 1E-8 mbar l/snetěsnosti
log.

15

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 3 V/dekáda, 0 V = 1E-8 mbar l/snetěsnosti
log.

16

1

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 8 V, 2 V/dekáda, 0 V = 1E-9 mbar l/snetěsnosti
log.

16

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 3 V/dekáda, 0 V = 1E-9 mbar l/snetěsnosti
log.

17

1

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 8 V, 2 V/dekáda, 0 V = 1E-10 mbar l/snetěsnosti
log.

17

102 / 170

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 3 V/dekáda, 0 V = 1E-10 mbar l/netěsnosti

s

log.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONPoužití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9

LDS2010Kanál

nastav.

analogovPoložkaéhomenu 22výstupu

18

1

Funkce LDS2010

FunkceMěřítko míry Horní hranice

LDS3000netěsnosti(10 V = ...)

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

2 V/dek.

1E-6 mbar l/s

0 ... 8 V, 2 V/dekáda, 0 V = 1E-11 mbar l/snetěsnosti

Speciální 1

1E-7 mbar l/s

log.
18

20

2

1

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 3 V/dekáda, 0 V = 1E-11 mbar l/netěsnosti

s

log.

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V = 1 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní 1E1 mbar l/slineárně
20

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-3 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E7 mbar l/s

log.
21

1

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V = 1E-1 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní 1E0 mbar l/slineárně
21

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-4 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E6 mbar l/s

log.
22

1

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V = 1E-2 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní 1E-1 mbar l/slineárně
22

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-5 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E5 mbar l/s

log.
23

1

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V = 1E-3 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní 1E-2 mbar l/slineárně
23

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-6 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E4 mbar l/s

log.
24

1

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V = 1E-4 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní 1E-3 mbar l/slineárně
24

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-7 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E3 mbar l/s

log.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

103 / 170

9 | Použití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ)

LDS2010Kanál

nastav.

analogovPoložkaéhomenu 22výstupu

25

1

INFICON

Funkce LDS2010

FunkceMěřítko míry Horní hranice

LDS3000netěsnosti

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

nerelevantní 1E-4 mbar l/s

0 ... 10 V, 1 V = 1E-5 mbar l/snetěsnosti(10 V = ...)

lineárně
25

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-8 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E2 mbar l/s

log.
26

1

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V = 1E-6 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní 1E-5 mbar l/slineárně
26

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-9 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E1 mbar l/s

log.
27

1

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V = 1E-7 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní 1E-6 mbar l/slineárně
27

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-10 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E0 mbar l/s

log.
28

1

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V = 1E-8 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní 1E-7 mbar l/slineárně
28

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-11 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E-1 mbar l/s

log.
29

1

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V = 1E-9 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní 1E-8 mbar l/slineárně
29

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-11 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E-1 mbar l/s

log.
30

1

Míra netěsnosti lin. v mbar l/s

Míra

0 ... 10 V, 1 V = 1E-10 mbar l/snetěsnosti

nerelevantní 1E-9 mbar l/slineárně
30

2

Míra netěsnosti log. v mbar l/s

Míra

0 ... 4 V, 1 V/dekáda, 0 V = 1E-11 mbar l/snetěsnosti

1 V/dek.

1E-1 mbar l/slog.
Načtení– Pro analogový vstup není žádná funkce konfigurovatelná.

analogového vstupu– Je rezervován pro budoucí aplikace.

104 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONPoužití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9– Prostřednictvím LD příkazu 220 lze načíst hodnotu napětí na analogovém vstupu.

9.2.2.1 Obsazení digitálních vstupů I/O modulu
Digitální vstupy PLC-IN 1 ... 10 I/O modulu mohou být libovolně obsazeny funkcemi, které jsou k dispozici.
– Aktivní signál: typicky 24 V
– Neaktivní signál: typicky 0 V
Jako aktivní signál může být použit 24 V výstup I/O modulu.
Každá funkce může být invertována.
Možné funkce: viz následující tabulka
Ovládací jednotka

Settings > Set up > Interfaces > I/O module > Digital inputs > Configuration PLC Input

LD protokolPříkaz 438

ASCII protokol*CONFig:PLCINLINK:1 (2 ... 10)

Klíčový spínač

Prostřednictvím tří PLC vstupů může být externí klíčový spínač připojen na až tři
spínací výstupy. Klíčovým spínačem může být zvolen stupeň oprávnění uživatele
ovládací jednotky.
Tlačítko 1 – Operátor
Tlačítko 2 – Supervisor
Tlačítko 3 – IntegrátorPříklad vhodného klíčového spínače: Hopt+Schuler, č. 444-05
Funkce, obsazení digitálních vstupů:FunkceHrana/

Popis

stav:
Žádná funkce–žádná funkce

CAL dynam.

neaktivní → aktivní:

Spustit externí dynamickou kalibraci.

aktivní → neaktivní:Převzít hodnotu pro pozadí a ukončit kalibraci.

neaktivní → aktivní:

Spustit externí kalibraci.

aktivní → neaktivní:Převzít hodnotu pro pozadí a ukončit kalibraci.

CAL interní

neaktivní → aktivní:

Spustit interní kalibraci.

SNIF/VAC

neaktivní → aktivní:

Aktivovat režim čichací sondy.

aktivní → neaktivní:

Aktivovat režim vakua.

neaktivní → aktivní:Přepnout na Meas. (Funkce ZERO je možná, všechny výstupy

CAL externíStarttriggerů spínají v závislosti na míře netěsnosti.)
STOP

neaktivní → aktivní:Přepnout na Standby. (Funkce ZERO není možná, všechnyvýstupy triggerů vrací „Prahová hodnota míry netěsnostipřekročena“.)ZEROneaktivní → aktivní:ZERO zapnout.

aktivní → neaktivní:ZERO vypnout.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

105 / 170

9 | Použití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ)

FunkceHrana/INFICON

Popis

stav:
ZERO puls

neaktivní → aktivní:ZERO zapnout popř. vypnout.

Vymazatneaktivní → aktivní:

Vymazat výstražné nebo chybové hlášení popř. přerušit
kalibraci.

Plynový balast

Volba dyn/norm

neaktivní → aktivní:

Ventil plynového balastu otevřít.

aktivní → neaktivní:

Ventil plynového balastu zavřít, pokud není trvale otevřený.

neaktivní → aktivní:Režim externí kalibrace při aktivaci digitálního vstupu „CAL“:

aktivní → neaktivní:

Externí dynamická kalibrace (bez Autotune, se zohledněním
časů cyklů měření a čerpání zadaných prostřednictvím
digitálních vstupů)Externí normální kalibrace (s Autotune, bez zohlednění časůcyklů měření a čerpání specifických pro zařízení)Start / Stop

neaktivní → aktivní:Přepnout na Meas. (Funkce ZERO je možná, všechny výstupy
triggerů spínají v závislosti na míře netěsnosti.)aktivní → neaktivní:Přepnout na Standby. (Funkce ZERO není možná, všechnyvýstupy triggerů vrací „Fail“.)Tlačítko 1

aktivní:Uživatel „Operátor“Tlačítko 2

aktivní:Uživatel „Supervisor“Tlačítko 3

aktivní:Uživatel „Integrátor“CAL

neaktivní → aktivní:V režimu Standby se spustí interní kalibrace.
V režimu Meas se spustí externí kalibrace.

ZERO aktualiz.

neaktivní → aktivní:ZERO aktualizovat popř. zapnout

aktivní → neaktivní:žádná funkce

Kontrolní

neaktivní → aktivní:Otevřít interní kontrolní netěsnostnetěsnost otev.

aktivní → neaktivní:Zavřít interní kontrolní netěsnost

Kontrolní

neaktivní → aktivní:

Kontrolní netěsnost otevřít, když zavřena, popř. zavřít, kdyžnetěsnost na pulsPrůtokotevřena
neaktivní → aktivní:

Tok SL3000XL zapnout na 3000 sccm (XL adaptér)

aktivní → neaktivní:

Tok SL3000XL zapnout na 300 sccm (XL adaptér)

CAL stroj

neaktivní → aktivní:

Stanovení strojního faktoru nebo faktoru čichací sondy

Kontrola CAL

neaktivní → aktivní:

Zkontrolovat kalibraci s interní kontrolní netěsností

neaktivní → aktivní:

Zkontrolovat kalibraci s externí kontrolní netěsností

neaktivní → aktivní:Přepínání mezi měřicím provozem a Standby

interníKontrola CAL
externíStart / Stop Puls

106 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONPoužití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9

FunkceHrana/

Popis

stav:
Molární hmotnost neaktivní → aktivní:

Aktivovat molární hmotnost 4

2 / molární

aktivní → neaktivní:

Aktivovat molární hmotnost 2

neaktivní → aktivní:

Spuštění stanovení Peak (jen AQ)

hmotnost 4
Peakfind

9.2.2.2 Obsazení digitálních výstupů I/O modulu
Digitální vstupy PLC-OUT 1 ... 8 I/O modulu mohou být libovolně obsazeny funkcemi, které jsou k dispozici.
Každá funkce může být invertována.
Možné funkce: viz následující tabulka

Ovládací jednotka

Settings > Set up > Interfaces > I/O module > Digital outputs > Configuration PLC
OutputLD protokolPříkaz 263

ASCII protokol*CONFig:PLCOUTLINK:1 (2 ... 8)
Funkce, obsazení digitálních výstupů:Funkce

Stav:

Popis

Otevřenootevřen:vždy zavřen

Trigger 1zavřen:Překročena prahová hodnota míry netěsnosti triggeru 1otevřen:Podkročena prahová hodnota míry netěsnosti triggeru 1zavřen:Překročena prahová hodnota míry netěsnosti triggeru 2otevřen:Podkročena prahová hodnota míry netěsnosti triggeru 2zavřen:Překročena prahová hodnota míry netěsnosti triggeru 3otevřen:Podkročena prahová hodnota míry netěsnosti triggeru 3zavřen:Překročena prahová hodnota míry netěsnosti triggeru 4otevřen:Podkročena prahová hodnota míry netěsnosti triggeru 4zavřen:Emise zapnuta, proces kalibrace neaktivní, žádná chybaotevřen:Emise vypnuta nebo proces kalibrace aktivní nebo chybazavřen:Výstrahaotevřen:žádná výstrahazavřen:Chybaotevřen:žádná chybazavřen:Přístroj se kalibruje.

otevřen:Přístroj se nekalibruje.

Trigger 2

Trigger 3

Trigger 4PřipravenVýstraha

Chyba

CAL aktivní

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

107 / 170

9 | Použití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ)

INFICON

Funkce

Stav:

Popis

CAL požad.

zavřen:a žádná externí kalibrace: Požadavek kalibrace (při změnách teploty většíchnež 5 °C nebo po 30 minutách po zapnutí nebo po změně zadání otáček)zavřen:a externí kalibrace nebo „Kontrola CAL“: Požadavek „Otevřít nebo zavřít
externí kalibrační netěsnost“otevřen:žádný požadavekNáběhzavřen:Náběhotevřen:Žádný náběh

ZEROzavřen:ZERO zapnuto

aktivníotevřen:ZERO vypnuto

Emisezavřen:Emise zapnuta

zapnutaotevřen:Emise vypnutaMěření

zavřen:Měření (Funkce ZERO je možná, všechny výstupy triggerů spínají v závislosti
na míře netěsnosti.)otevřen:Standby nebo Emise vypnuty (Funkce ZERO není možná, všechny výstupy
triggerů vrací „Prahová hodnota míry netěsnosti překročena“.)Standbyzavřen:Standby (Funkce ZERO není možná, všechny výstupy triggerů vrací „Prahová
hodnota míry netěsnosti překročena“.)otevřen:Měření (Funkce ZERO je možná, všechny výstupy triggerů spínají v závislosti
na míře netěsnosti.)

SNIFzavřen:

SNIFotevřen:

VAC

Chyba nebo zavřen:Chyba nebo výstrahavýstrahaotevřen:Žádná chyba ani výstraha

Plynový

zavřen:Plynový balast je aktivníbalastotevřen:

Plynový balast není aktivní

Kontrolnízavřen:Kontrolní netěsnost je aktivnínetěsnostotevřen:

Kontrolní netěsnost není aktivníotevřena
CAL stabilní zavřen:Požadavek „Otevřít nebo zavřít externí kalibrační netěsnost“ (viz
Konfigurování a start externí kalibrace [} 53]“)

Katoda 2

108 / 170otevřen:Signál není stabilní nebo kalibrace není aktivnízavřen:Katoda 2 je aktivníotevřen:

Katoda 1 je aktivní

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONPoužití rozšiřujícího modulu (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9

Funkce

Stav:

Popis

ZERO

zavřen:EcoBoost_ hlášení stabilnístabilníotevřen:

EcoBoost_ hlášení nestabilní
Viz také „Potlačení klesajícího pozadí plynu s EcoBoost [} 64]“.

9.3 Nastavení pro modul sběrnice BM1000
Adresa modulusběrnice

Nastavení adresy pro modul sběrnice. (adresa uzlu u Profibus, MACID u DeviceNet)
0 ... 255

Ovládací

Settings > Set up > Interfaces > Bus module > Address

jednotka
LD protokol

326

ASCII protokol–

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

109 / 170

10 | Výstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ)

INFICON10 Výstražná a chybová hlášení (LDS3000,
LDS3000 AQ)Přístroj je vybaven rozsáhlými funkcemi vlastní diagnostiky.
Chybová hlášení

Chyby jsou jevy, které přístroj nedokáže sám odstranit a které vedou k přerušení
provozu. Chybové hlášení se skládá z jednoho čísla a popisného textu.
Poté, co jste odstranily příčinu poruchy, zapněte opět provoz pomocí tlačítka Restart.

Výstražné hlášení

Výstrahy varují před stavy přístroje, které by mohly přesnost měření zhoršit. Provozpřístroje se nepřeruší.
Pomocí tlačítka OK nebo pomocí tlačítka na držadle čichací sondy potvrďte
obeznámení se s výstražným hlášením.
Následující tabulka ukazuje všechna výstražná a chybová hlášení. Uvedou se možné
příčiny poruchy a upozornění k odstranění poruchy.
Respektujte, že práce označené hvězdičkou smí provádět jen servisní personál, který
byl autorizován firmou INFICON.

Výstraha Zobrazení chybyČíslo chyby

Mezní

(Wrn)

LDS1000 Binární

hodnoty

LDS3000Příčina

Protokoll protokol,

Chyba

protokol

(Err)

ASCII
Režim
kompatibil
ity
LDS1000/
LDS2010
1xx systémová chyba (RAM, ROM, EEPROM, hodiny, ...)
Wrn102Překročení času EEPROM 84

43

MSB-Box (počet

Vadná EEPROM na IF descenebo MSB

parametrů)Wrn104

Inicializován parametr

84

43

EEPROM
Wrn106

Inicializován parametr

vadná EEPROM
84

43

EEPROM
Wrn110Hodiny nejsou nastaveny

Po aktualizaci softwaru nebo

Po aktualizaci softwaru nebo
vadná EEPROM

16

16

Jumper hodin není zastrčen,
vybitá baterie, vadné hodiny

Wrn122Žádná odpověď z modulusběrnice

110 / 170

99

99

Spojení s modulem sběrnicepřerušeno

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONVýstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10Výstraha Zobrazení chybyČíslo chyby

Mezní

(Wrn)

LDS1000 Binární

hodnoty

LDS3000Příčina

Protokoll protokol,

Chyba

protokol

(Err)

ASCII
Režim
kompatibil
ity
LDS1000/
LDS2010
Wrn123

Není podporována

99

99

Zvolená konfigurace INFICON jekonfigurace INFICON

podporována připojeným typemz BM1000polní sběrnice BM1000.

Wrn125I/O modul není připojen

99

99

Spojení s I/O modulem přerušeno

Wrn127

Chybná verze bootloaderu 99

99

Bootloader není kompatibilnís aplikací

Err129Nesprávný přístroj

99

99

EEPROM neobsahuje žádná(EEPROM)
Err130

Není připojena čichacíkompatibilní data
99

99

Vedení čichací sondy nenísonda

elektricky připojeno.
Viz také „Nastavení hlídání
kapiláry [} 69]“.

Wrn132

Není podporován SL3000

99

99

S XL adaptérem čichací sondy se
smí používat pouze SL3000XL

Wrn150Snímač tlaku 2 není

62

146

Snímač tlaku P2 nepřipojen nebopřipojenvadný.
IF-Board nebo MSB vadné

Wrn153

Verze softwaru CU1000 je

99

99

Doporučujeme aktualizovat

zastaralá
Wrn156

Nesprávné ID AQ režimu

software CU1000
99

99

Nesprávné ID AQ režimu

2xx chyba provozního napětí
Wrn201

U24_MSB příliš nízké

24

120

21,6V

Síťový zdroj 24 V

Wrn202

U24_MSB příliš vysoké

24

120

26,4V

Síťový zdroj 24 V

Wrn203Napětí 24 V_PWR12 mimo 24

120

20V

Zkrat na ventilu 1 (kalibrační

30Vnetěsnost) nebo ventilu 2 (plynový

rozsah (TL_valve/
GB_valve)
Wrn204Napětí 24 V_PWR34 mimo 24

balast)120

rozsah20V

Zkrat na ventilu 3 nebo ventilu 430V(valve 3/4)

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

111 / 170

10 | Výstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ)

INFICONVýstraha Zobrazení chybyČíslo chyby

Mezní

(Wrn)

LDS1000 Binární

hodnoty

LDS3000Příčina

Protokoll protokol,

Chyba

protokol

(Err)

ASCII
Režim
kompatibil
ity
LDS1000/
LDS2010
Wrn205Napětí 24V_PWR56 mimo 24

120

rozsah (Sniff_valve/valve6)
Wrn221

Interní napětí 24 V_RC

24

120

mimo rozsah
Wrn222

Interní napětí 24 V_IO

24

120

mimo rozsah
Wrn223

Interní napětí 24 V_TMP

Interní napětí 24 V_1

Zkrat na ventilu 5 (čichací sonda)

30V

nebo ventilu 6

20V

Zkrat 24 V na výstupu ovládací

30V

jednotky

20V

Zkrat 24 V na výstupu IO

30V
24

120

mimo rozsah
Wrn22420V

20V

Zkrat 24 V na TMP

30V
24

120

(Pirani) mimo rozsah

20V

Zkrat 24 V

30V

Snímač tlaku PSG500 (1,2,3),
vedení čichací sondy

Wrn240Napětí +15 V mimo rozsah 24

120+15V příliš nízké, vadná deska IF
nebo MSB

Wrn241Napětí -15 V mimo rozsah

24

120

-15V příliš nízké, zkrat napředzesilovači, vadná deska IF
nebo MSB

Err242Napětí +15 V nebo -15 V

24

120

+ 15V nebo -15V příliš nízké, zkrat

zkratovanéna předzesilovači, vadná deska IF
nebo MSB

Wrn250Napětí REF5V mimo

24

120

rozsah4,5V+15V nebo 5V příliš nízké, zkrat

5,5Vna předzesilovači, vadná deska IF
nebo MSB

Err252Napětí REF5V zkratované

24

120

+15V nebo REF5V příliš nízké,zkrat na předzesilovači, vadná
deska IF nebo MSB

3xx systém prokázání (offset předzesilovače, test předzesilovače, emise, test katody)
Wrn300Napětí anody příliš nízké

41

132

7V<

Zkrat napětí anody, příliš vysoký

požadovan tlak v hmotovém spektrometru,
é hodnoty

vadná deska IF, MSB nebo
iontový zdroj

112 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONVýstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10Výstraha Zobrazení chybyČíslo chyby

Mezní

(Wrn)

LDS1000 Binární

hodnoty

LDS3000Příčina

Protokoll protokol,

Chyba

protokol

(Err)

ASCII
Režim
kompatibil
ity
LDS1000/
LDS2010
Wrn301Napětí anody příliš vysoké 40

131

7V>

Vadné MSBpožadovan
é hodnoty
Wrn302Napětí supresoru příliš

39

130

297V

nízké
Wrn303Napětí supresoru příliš

zkrat supresoru, vadná deska IF
nebo MSB

38

129

363V

Vadné MSBNapětí anoda–katoda příliš 36

127

40V

zkrat na anodě nebo katodě,vysoké
Wrn304nízké
Wrn305vadná deska IF nebo MSBNapětí anoda–katoda příliš 35

126

140V

Vadné MSB

127

40 V

Napětí anody neodpovídá zadané

odchylkahodnotě nebo zadaná hodnota ležívysoké
Err306

Napětí anody chybné

36

od zadané mimo přípustný rozsah nastavení.
hodnoty
Wrn310

Katoda 1 vadná

45

136

Vadná katoda, přerušené vedení
ke katodě, vadná deska IF nebo
MSB

Wrn311

Katoda 2 vadná

46

137

Vadná katoda, přerušené vedení
ke katodě, vadná deska IF nebo
MSB

Err312

Katody vadné

47

138

Vadná katoda, přerušené vedení
ke katodě, vadná deska IF nebo
MSB

Wrn332Systém znečištěn héliem

62

146

Míra netěsnosti příliš záporná(např. Nižší než – 0,15 * trigger 1).
Reakční dobu výstrahy nelze
nastavit. Viz „Úprava „Faktoručasu Zero AQ“ [} 91]“

Wrn334Náhlý vzrůst míry

62

146

Velká netěsnostnetěsnosti

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

113 / 170

10 | Výstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ)

INFICONVýstraha Zobrazení chybyČíslo chyby

Mezní

(Wrn)

LDS1000 Binární

hodnoty

LDS3000Příčina

Protokoll protokol,

Chyba

protokol

(Err)

ASCII
Režim
kompatibil
ity
LDS1000/
LDS2010Err340Chyba emise

44

135

< 90 %

Emise byla předtím stabilní,požadovan zřejmě vysoký tlak, hlášení po 15
é hodnotys> 110 %
požadovan
é hodnoty
Wrn342Nepřipojeny katody

47

138

Obě katody při autotestu pozapnutí vadné nebo konektor nenízastrčen

Wrn350Nepřipojen supresor

39

130

Kabel supresoru při autotestu pozapnutí nezastrčen nebo vadný

Wrn352Nepřipojen předzesilovač

33

60Vadný předzesilovač, kabel nenízastrčen

Err358Předzesilovač se pohybuje 31

123

Signál kolísá příliš silně (viz příkaz

mezi 2 rozsahy

1120)Vadný předzesilovač

Wrn359Předzesilovač přebuzený

31

123

Signál příliš velký, vadný
předzesilovač

Wrn360Výstup předzesilovače

31

123

příliš nízký
Wrn361

Offset předzesilovače příliš 31
vysoký

<-70 mVVadný iontový zdroj nebo

při 500 GΩ znečištěný hmotový spektrometr
123>+/-50 mV Vadný předzesilovač
při
500 GΩ,>+/-10 mV
při 15 GΩ,<+/-10 mV
při
470 MΩ,<+/-9 mVpři 13 MΩ

114 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONVýstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10Výstraha Zobrazení chybyČíslo chyby

Mezní

(Wrn)

LDS1000 Binární

hodnoty

LDS3000Příčina

Protokoll protokol,

Chyba

protokol

(Err)

ASCII
Režim
kompatibil
ity
LDS1000/
LDS2010
Wrn362Chyba rozsahu

31

123

Vadný předzesilovač nebo MSB-předzesilovače
Wrn390500 G mimo rozsah

Box
31

123

450 GΩ

Vadný předzesilovač, chyba na

550 GΩ

supresoru, vadná deska IF nebo
MSB

4xx chyba TMP (také teplota)
Err400Číslo chyby TMP

49

15

Wrn401Číslo výstrahy TMP

49

15

Err402Žádná komunikace s TMP

49

15

Kabel k TMP, TMP vadné, vadná
deska IF nebo MSB

Err403

Otáčky TMP příliš nízké

53

142

< 95 %

Příliš vysoký tlak, vadné TMPpožadovan
é hodnoty
Err404Odběr proudu TMP příliš

49

2

3A

5 min.

vysoký
Err405Žádný náběh TMP

60

61

Err410

Teplota TMP příliš vysoká

492Příliš vysoký tlak, vadné TMP
Chlazení vypadlo, prověřit
podmínky použití MSB modulu

Wrn411

Vysoká teplota TMP

49

2

Chlazení vypadlo, prověřit
podmínky použití MSB modulu

Err420Napětí TMP příliš vysoké

Wrn421Napětí TMP příliš nízké

492Síťový zdroj vadný, TMP vadný
Průřez vodiče napájení 24 V pro
MSB moduly příliš nízký, výstupníproud síťového zdroje 24 V příliš
nízký (I <10 A), síťový zdroj vadný,TMP vadný

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

115 / 170

10 | Výstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ)

INFICONVýstraha Zobrazení chybyČíslo chyby

Mezní

(Wrn)

LDS1000 Binární

hodnoty

LDS3000Příčina

Protokoll protokol,

Chyba

protokol

(Err)

ASCII
Režim
kompatibil
ity
LDS1000/
LDS2010Err422Žádný náběh TMP

49

2

8 min.

Vstupní tlak TMP příliš vysoký,konečný tlak vstupní vývěvy příliš
vysoký, netěsnost systému
vysokého vakua, zavzdušňovací
ventil není zavřený, poškozeníložisek TMP, TMP chybné

Err423Nárůst tlaku TMP

49

2

Vniknutí vzduchu, ventil
zavzdušnění vadný nebo chybně
dimenzovaný

5xx chyba tlaku a toku
Wrn500Nepřipojen snímač tlaku

58

144

0,5V

Snímač tlaku PSG500 P1nepřipojen, vadná deska IF nebo
MSB

Wrn502

XL adaptér čichací sondy

58

144

XL adaptér čichací sondynepřipojennepřipojen nebo vadný, IF-Board
nebo MSB vadný.

Wrn520Příliš vysoký tlak

73

148

18 mbarPříliš vysoký tlak p1

Wrn521Nárůst tlaku, zhroucení

73

148

<

Příliš vysoký tlak p1, hlášení ponapětí anodypožadovan 1,4 sá hodnota- 20 VWrn522Nárůst tlaku, emise

73

148

zhroucena< 90 %

Emise byla předtím stabilní, příliš

požadovan vysoký tlak p1, hlášení po 5 sé hodnoty> 110 %
požadovan
é hodnoty

Wrn540

Tlak příliš nízký, čichacísonda blokována

63

62

ParametryČichací sonda ucpaná, vadný

čichacíventil čichací sondy, ucpaný filtr

sondyvýstrahaproudu116 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONVýstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10Výstraha Zobrazení chybyČíslo chyby

Mezní

(Wrn)

LDS1000 Binární

hodnoty

LDS3000Příčina

Protokoll protokol,

Chyba

protokol

(Err)

ASCII
Režim
kompatibil
ity
LDS1000/
LDS2010
Err541Čichací sonda blokována

62

146

Čichací sonda ucpaná, vadný

(p1)

ventil čichací sondy (tlak nižší nežpolovina nastavené hodnoty
varování), ucpaný filtr

Wrn542Čichací sonda prasklá

64

147

Prasklá čichací sonda

Wrn550

Tlak příliš nízký, XL čichací 63

62

Vyčistit nebo vyměnit kapiláru

sonda blokována

High Flow vedení čichací sondy.
Vyměňte znečištěný filtr.

Wrn552

XL čichací sonda prasklá

64

147

Vyměnit kapiláru High Flowvedení čichací sondy.

Wrn554

XL čichací sonda P2 příliš

63

62Příliš nízký tlak v SL3000XL přimalý

Low Flow.

Wrn556

Přidaný škrticí ventil

63

62

Tlak příliš nízký (p1)Err557

Škrticí ventil ucpaný

62

146

Tlak příliš nízký (p1)

81

153

6xx chyba kalibrace
Wrn600Kalibrační faktor příliš

0,01

nízký
Wrn601

Kalibrační faktor příliš

Chybně nastavená kalibračnínetěsnost nebo strojní faktor

81

153

10000

vysoký

Chybně nastavená kalibračnínetěsnost nebo strojní faktor,příliš velký faktor dílčího proudu

Wrn602Kal. faktor nižší než při

81

153

poslední kalibraci

Wrn603Kal. faktor větší než při

81

153

poslední kalibraci

Wrn604Int. kalibr. není možná,

81

153

chybějící kontrola kontrolní< 50 %

Kalibrační netěsnost, strojní faktor

staré

nebo faktor dílčího proudu se

hodnotyzměnily> 200 %

Kalibrační netěsnost, strojní faktor

staré

nebo faktor dílčího proudu se

hodnotyzměnily
Kontrolní netěsnost neníaktivovánanetěsnosti

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

117 / 170

10 | Výstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ)

INFICONVýstraha Zobrazení chybyČíslo chyby

Mezní

(Wrn)

LDS1000 Binární

hodnoty

LDS3000Příčina

Protokoll protokol,

Chyba

protokol

(Err)

ASCII
Režim
kompatibil
ity
LDS1000/
LDS2010
Wrn605

Rozdíl při kalibraci příliš

78

151

Vadná kontrolní netěsnost nebomalýpříliš malý signál.

Wrn610Strojní faktor příliš nízký

81

153

1,00E-04

Chybné justování strojního faktoru

Wrn611

Strojní faktor příliš vysoký

81

153

1,00E+04

Chybné justování strojního
faktoru, příliš velký faktor dílčího
prouduWrn612

Strojní faktor nižší než

81

153

naposledy< 50 %

Faktor dílčího proudu se změnil

staré
hodnoty

Wrn613

Strojní faktor větší než

81

153

naposledy> 200 %

Faktor dílčího proudu se změnil

staré
hodnoty

Wrn625Int. kontrolní netěsnost

99

99

není nastavena

Míra netěsnosti int. kontrolnínetěsnosti má ještě nastaveníz výroby

Wrn626Ext. Kontrolní netěsnost

99

99

není nastavena
Wrn630Požadavek kalibrace

Míra kontrolní netěsnosti má ještě
nastavení z výroby

99

99

Mimo jiné při změně zadání
otáček nebo změně teplotypředzesilovače o 5 °C od posledníkalibrace

Wrn650V prvních 20 minutách sekalibrace nedoporučuje

00

Kalibrace se během prvních 20
minut po spuštění (fáze zahřívání
motoru) vyhledávače netěsností
nedoporučuje.
Výstražné hlášení je možné
vypnout:– LD protokol: Bef 429– ASCII: *CONFig:CALWarn(ON,OFF)

118 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONVýstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10Výstraha Zobrazení chybyČíslo chyby

Mezní

(Wrn)

LDS1000 Binární

hodnoty

LDS3000Příčina

Protokoll protokol,

Chyba

protokol

(Err)

ASCII
Režim
kompatibil
ity
LDS1000/
LDS2010
Wrn670Chyba při kalibrování

81

153

Jelikož při kalibrování nastal
problém, musíte kalibrovat znovu.

Wrn671Špička nenalezena

81

153

Během vyhledávání špičky bylsignál příliš neklidný. Kalibracebyla přerušena.

Wrn680Zjištěna odchylka od

00Prověření kalibrace ukázalo, žekalibracejste měli kalibrovat znovu.

7xx chyba teploty (předzesilovač, elektronika)
Wrn700

Teplota předzesilovače

33

60

2 °C

Příliš nízká teplota

32

124

60 °C

Příliš vysoká teplota

55

99-21 °C

Teplota příliš nízká nebo vadný

příliš nízká
Wrn702

Teplota předzesilovačepříliš vysoká

Err709

Teplota MSB příliš nízká

snímač teploty
Wrn710

Teplota MSB příliš vysoká

54

44

55 °C

Příliš vysoká teplota

Err711Překročena max. teplota

54

44

65 °C

Příliš vysoká teplota

4 rokyPotřeba údržby TMP

MSB
8xx nepoužito
9xx hlášení pro údržbu (např. TMP)
Wrn901Údržba TMP

99

99

Wrn910Údržba membránového

9999čerpadla

8000 hodin - potřebná údržba
membránového čerpadla

10.1 Zobrazení chybových kódů pomocí LED status
Chyba nebo varování v MSB-Boxu jsou zobrazeny jednak jako chybový kód na
ovládací jednotce i jako blikací kód pomocí LED status.
Blikací kód startuje dlouhým bílým signálem. Následuje číslo chyby popř. varování.
Číslo chyby je zobrazeno červenými signály, číslo varování oranžovými signály(oranžové signály mají silný nádech do zelena):

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

119 / 170

10 | Výstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ)

INFICON-> Start blikacího kódu: dlouhý bílý signál• Stovková pozice: 0 ... 9 červené signály pro chybu resp. 0 ... 9 oranžové signály
pro výstrahy• Oddělení: modrý signál• Desítkové místo: 0 ... 9 červené signály pro chybu resp. 0 ... 9 oranžové signály
pro výstrahy• Oddělení: modrý signál• Jednotkové místo: 0 ... 9 červené signály pro chybu resp. 0 ... 9 oranžové signály
pro výstrahy
Blikací kód se cyklicky opakuje.
Příklad: Tlak je příliš velký.
-> Kód chyby = Výstraha 520-> Blikací kód LED status: bílá (dlouho), 5x oranžová, modrá, 2x oranžová, modrá

10.2 Zobrazení varování jako chybyAž 8 libovolných výstražných hlášení lze povýšit na chybová hlášení.
Na rozdíl od varování vedou chyby k přerušení provozu přístroje. Povýšením
výstražných hlášení na chybová hlášení tak lze zabránit tomu, aby obsluha tatovarování ignorovala a pracovala s přístrojem dál.

Povýšení vybraných varování na chyby
ü Máte k dispozici ovládací jednotku INFICON CU1000.
1"Settings > Setup > Notifications > Warning -> Error"

2

Proveďte nastavení v okně „Zobrazit varování jako chybu“.
ð Vyberte z čísel 1–8 požadované „Č. záznamu v seznamu“.
ð Vyberte z přehledu čísel varování níže čísla, ze kterých se mají stát chybová
hlášení. Pokud vybraná čísla držíte déle stisknutá, číslo se zvyšuje v krocích
po deseti.
ð Pro změnu varování, které bylo povýšeno na chybu, zadejte do téhož
„Č. záznamu v seznamu“ požadované nové číslo varování.
ð Pro přehled se v dolní části okna zobrazí text příslušného varování.

3

Potvrďte pomocí „OK“.
ð Alternativně můžete okno opustit bez uložení pomocí tlačítka „X“.

Zrušení povýšení varování na chyby

120 / 170

1

"Settings > Setup > Notifications > Warning -> Error"

2

Proveďte nastavení v okně „Zobrazit varování jako chybu“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONVýstražná a chybová hlášení (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10

ð Vyberte z čísel 1–8 použité „Č. záznamu v seznamu“ s přiřazeným číslem
varování.
ð V zobrazeném přehledu čísel varování nastavte hodnotu nižší než 100. Tím
se zobrazí „Žádný záznam“.
3

Potvrďte pomocí „OK“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

121 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)INFICON

11 Provoz CU1000 (volitelně)11.1 Prvky dotykového displeje
11.1.1 Prvky indikace měření

Obr. 20: Zobrazení měření

1

Blokování klávesnice2

Status komunikace

3

Záznam dat

4

Pracovník obsluhy

5

ZERO

6

Hlášení7

Testovací plyn

8

Provozní režim

9

Míra netěsnosti s funkcí Držet
špičku10 Grafické znázornění míry

11 Časová osa

12 Vstupní tlak

14 Tlačítko „Favorit 1“

15 Menunetěsnosti a funkce Držet špičku
13 Tlačítko „Favorit 2“

122 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

16 Osa hodnot

17 Měrná jednotka

18 Zobrazení míry ekvivalence

1 – Blokování klávesnice
Ovládací jednotka se delším stisknutím symbolu blokování klávesnice zablokuje nebo
uvolní.

2 - Symbol stavu komunikace• Symbol propojen: Přístroj komunikuje s modulem hmotového spektrometru.
• Symbol rozpojen: Přístroj nekomunikuje s modulem hmotového spektrometru.
Vytvoření komunikace:
1

Vynulovat ovládací jednotku (Reset).

2

Zkontrolovat status modulu hmotového spektrometru.

3

Zkontrolovat kabelové spojení

3 – Symbol pro záznam datMěření se zaznamenává.

4 – SerPřihlášený pracovník obsluhy je zobrazen zkratkou.
ZobrazeníVýznamOpe

Operátor

Sup

Supervisor

Int

Integrátor

Ser

ServisDalší informace viz “Typy pracovníků obsluhy a oprávnění [} 129]“.

5 – Zero
Potlačení pozadí je aktivní.

6 – Symbol pro pozor
V přístroji jsou uložena aktivní výstražná hlášení.
Aktivní výstražná hlášení můžete zobrazit v menu pomocí "Info > History > Active
warnings".

7 – Testovací plyn
Nastavený testovací plyn a koncentrace testovacího plynu v procentech.
ZobrazeníVýznamHe

Helium (4He)LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

123 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)INFICON

ZobrazeníVýznam

H2

Vodík

M3

např. H-D, 3He nebo H3

8 – Provozní režim
Nastavený provozní režim
Zobrazení

Provozní režim

VAC

VakuumSNIFČicháníLOW FLOW

XL adaptér čichací sondy v LOW FLOWHIGH FLOW

XL adaptér čichací sondy v HIGH FLOW

Standby

XL adaptér čichací sondy v HIGH FLOWv režimu Standby

9 – Míra netěsnosti
Aktuální změřená hodnota míry netěsnosti.

10 ‒ Graf
Grafické zobrazení míry netěsnosti Q(t).

11 - Časová osaČasová osa míry netěsnosti Q(t).

12 – Vstupní tlak (nikoli při provozním režimu XL adaptér čichacísondy )
Vstupní tlak p1.

13 - Tlačítko „Favorit 2“Toto tlačítko lze použít k uložení preferovaných parametrů, viz také “Nastavení
dotykového displeje [} 126]“. Na obrázku v „Prvky indikace měření [} 122]“ jenapříklad tlačítku „Oblíbené 2“ přiřazena funkce „ZERO“.

14 - Tlačítko „Favorit 1“Toto tlačítko lze použít k uložení preferovaných parametrů, viz také “Nastavení
dotykového displeje [} 126]“. Na obrázku v „Prvky indikace měření [} 122]“ jenapříklad tlačítku „Oblíbené 1“ přiřazena funkce „ZERO“.

15 – Symbol pro menu
Všechny funkce a parametry ovládací jednotky jsou dostupné pomocí tlačítka „Menu“.

124 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

Kompletní zobrazení menu je uloženo na USB paměti dodané s LDS3000.

16 – Osa hodnot
Osa hodnot míry netěsnosti Q(t).

17 – Měrná jednotkaMěrná jednotka osy hodnot.

18 - Zobrazení míry ekvivalence
Korekční faktor k použitému testovacímu plynu.

11.2 Prvky pro zobrazení chyb a varováníVýstrahaČíslo: 500
Zobrazené

Snímač tlaku není připojen

hlášenís detaily(hodnota = 4.23E-2)
Další chyby nebo varování

501

502

K zobrazení
dalších aktivních
chyb nebo
varování
(pokud se vyskytují)

Detailní zobrazení
dalších aktivních
chyb nebo
varování
(pokud se vyskytují)

Informace kpříčině nebo odstranění
výše zobrazených

K potvrzení
všech hlášení

hlášeníPřehled možných chyb a varování najdete také v návodu k provozu pro LDS3000(modul hmotového spektrometru), kapitola „Varovná a chybová hlášení“.

11.3 Nastavení a funkce
Dále jsou vysvětleny nastavení a funkce ovládací jednotky. Nastavení a funkce
modulu hmotového spektrometru LDS3000, které se nastavují pomocí ovládací
jednotky, jsou uvedeny v návodu k provozu modulu hmotového spektrometru.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

125 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)INFICON

11.3.1 Nastavení dotykového displeje
Dotykový displej ukazuje parametry šedě, když• uživatel nesmí změnit hodnoty, viz také „Typy pracovníků obsluhy a oprávnění
[} 129]“.
• starší verze softwaru modulu hmotového spektrometru LDS3000 tento parametr
nepodporuje.
Měřítko osy Q(t)Lineárně nebo logaritmicky
Lin.
Log.

Ovládací jednotka

Display > Q(t) axis > Linear or logarithmic

Počet dekád při logaritmickém zobrazení
1
2
3
4

Ovládací jednotka

Display > Q(t) axis > Decades

Automatické měřítko
Vyp: Vyp (když je „Vyp“, můžete změnit zobrazení tak, že stisknete průsečíksouřadnic a potom prstem pojedete podél požadované osy a pustíte, nebo stisknete
konec požadované osy souřadnic a prstem jedete ve směru průsečíku os a pustíte).
Zap: Zobrazení se automaticky přizpůsobí v závislosti na míře netěsnosti.

Ovládací jednotkaMěřítko časové osy

Display > Q(t) axis > Auto scaleMěřítko časové osy
15 s

240 s

30 s

480 s

60 s

960 s

120 s

Ovládací jednotka
Zobrazované
jednotky

126 / 170

Display > Time axis > Time axis scale

Jednotka tlaku
mbar

atm

Pa

Torr

Ovládací jednotka

Display > Units (display) > Pressure unit

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Zobrazení změřené
hodnoty

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

Druh grafického zobrazení
Graf
Sloupcový ukazatel

Ovládací jednotka

Display > Measurement view > Measurement view modeČíselné zobrazení změřených hodnot
VypZap

Ovládací jednotka
Jas zobrazení

Display > Measurement view > Show value

Jas zobrazení
20 ... 100 %Ovládací jednotka

Display > Brightness > Display brightness

Zobrazení triggeru na

Volba triggeru (prahová hodnota míry netěsnosti), který se zobrazuje na dotykovém

dotykovém displeji

displeji.
1
2
3
4

Ovládací jednotka
Obsazení oblíbených

Settings > Trigger > Trigger sel.

Tlačítka Oblíbené poskytují přímý přístup k jednotlivým funkcím. Mohou být
obsazena uživatelem s oprávněním „Supervisor“ nebo vyšším.
Favorit 1: Střední tlačítko (viz obrázek v části „Prvky indikace měření [} 122]“).
Favorit 2: Pravé tlačítko
Favorit 3: Tlačítko vpravo dole v hlavním menu.
HlasitostPřepnutí proudu

Nastavení zobrazení

Kontrola CAL

Start/Stop(při AQ navíc: AQ asistent)

Zobrazení změřené hodnoty

Gas equivalentZERO (při AQ místo ZERO: ZERO AQ,- - - (= bez funkce)

při EcoBoost_ místo ZERO: EcoBoost_)
CAL

Ovládací jednotka

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

Settings > Favorites > Favorite 1 (2, 3)

127 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)Zobrazení výstrah na
dotykové obrazovce

INFICON

Zobrazení výstrah na dotykové obrazovce lze povolit nebo zakázat.
Vyp
Zap

Ovládací jednotka

Settings > Set up > Control unit > Messages > Show
warnings

Zobrazení
kalibračního pokynu

Zobrazit nebo potlačit kalibrační pokyn s následujícím obsahem:• Míra netěsnosti použité kontrolní netěsnosti• V prvních 20 minutách po zapnutí se nemá kalibrovat
VYP (potlačeno)ZAP (povoleno)

Ovládací jednotka

Settings > Set up > Control unit > Messages > Showcalibration notes

Zobrazení požadavku

Zobrazení požadavku kalibrace lze povolit nebo zakázat.

kalibrace

Pro aktivaci nebo deaktivaci požadavku kalibrace jako takové viz „Aktivacepožadavku kalibrace“.
VYP (potlačeno)ZAP (povoleno)

Ovládací jednotka

Settings > Set up > Control unit > Messages > Showcalibration request

Nastavení zvukového
poplachu

Vydání zvukového signálu v závislosti na míře netěsnosti--- (žádný tón)
Proporcionální: Frekvence akustického signálu proporcionálně odpovídá
sloupcovému ukazateli popř. výšce grafu. Kmitočtový rozsah činí 300 Hz až 3300
Hz.
Setpoint: Výška tónu je proporcionální k míře netěsnosti. Je-li překročena míranetěsnosti zvoleného triggeru, je vydán tón.
Pinpoint: Tón akustického signálu mění svůj kmitočet v rámci rozsahu mírynetěsnosti. Dosah: Jedna dekáda pod zvoleným prahem triggeru až jedna dekáda
nad ním. Pod tímto rozsahem je tón konstantně nízký, nad tímto rozsahem je tón
konstantně vysoký.
Trigger: Při překročení prahu zvoleného triggeru se vydá dvoutónový signál.

Ovládací jednotka

Settings > Set up > Control unit > Audio > Audio alarm mode

Chování při výstrahách nebo chybových hlášeních: Když dotykový displej
zobrazuje varování nebo chybu, je vždy současně vydán dvoutónový signál.

128 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

Automatické vypnutí

Pro šetření energie se může dotykový displej automaticky vypnout po určité době,dotykového displejeběhem které neproběhne žádné ovládání.
30 s

10 min

1 min

30 min

2 min

1h

5 min

∞ (=nikdy)

Ovládací jednotka

Settings > Set up > Control unit > Energy > Display off after

11.3.2 Typy pracovníků obsluhy a oprávnění
Existují různé typy pracovníků obsluhy, vyznačující se různým oprávněním. Z výroby
je přihlášen integrátor.
Mohou být přihlášeni další pracovníci obsluhy. Následující tabulka ukazuje možnosti
jednotlivých typů pracovníků obsluhy a přihlášení nových typů pracovníků obsluhy.
Přihlášení pracovníků obsluhy
Prohlížeč

Operátor

Supervisor

Integrátor-

Operátor

Supervisor

Integrátor

Prohlížeč

Operátor

Supervisor

Prohlížeč

Operátor
Prohlížeč

Pro typy „Integrátor“, „Supervisor“ a „Operátor“ musí být při přihlášení zadánčtyřmístný PIN (0000 ... 9999). Z výroby je pro všechny pracovníky obsluhy zadáno„0000“.
Pokud si některý pracovník obsluhy ponechá PIN „0000“, bude při startu systému vždypřihlášen tento pracovník (bez dotazu na PIN).
Pokud je připojen I/O modul, může být dodatečně k PIN použit klíčový spínač. Klíčový
spínač je k I/O modulu připojen pomocí tři digitálních vstupů (viz návod k provozu
LDS3000).
Následující tabulka ukazuje oprávnění jednotlivých typů pracovníků obsluhy.
FunkceProhlížeč

Operátor

Supervisor

IntegrátorZměnit

-

x

x

x

-

x

x

x

-

-

-

x

parametrZměnitzobrazení
informace ochybáchVyvolání
nastavení zvýrobyLDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

129 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)INFICON

FunkceProhlížeč

Operátor

Supervisor

Integrátor

Zapsat průběh

-

-

-

x

údržbyMenu „Servis“ je přístupné pouze pro servis INFICON.
Nahrát parametryUložené/zabezpečené parametry ovládací jednotky CU1000 a modulu hmotového
spektrometru mohou být nahrány z USB paměti.
Ovládací jednotkaUložit parametry

Function > Data > Parameters > Load

Parametry ovládací jednotky CU1000 a modulu hmotového spektrometru mohou být
zapsány na USB paměť.
Ovládací jednotka

Function > Data > Parameters > Save

Zobrazení informací oZpůsob zobrazení informací o chybách může být nastaven rozdílně pro každý typchybáchpracovníka obsluhy. Integrátor vždy dostane kompletní informace.
Číslo: Přihlašovací číslo
Text: Stručný popis
Info: Rozšířené informace hlášení
• Jen čísla
• Číslo a text
• Číslo, text a info
Ovládací jednotka

Function > Data > Parameter > Error info
Viewer (Operator, Supervisor)

Zobrazení seznamu

Parametry mohou být zobrazeny jako abecední seznam s názvem a aktuálníparametrů a změna

hodnotou. Každý záznam v seznamu je tlačítko, jehož stisknutí vyvolá dialog

parametrů

nastavení parametru.
Ovládací jednotka

List > Parameters list nebo:
Functions > Data > Parameters > List

Zobrazení seznamu

Parametry mohou být zobrazeny jako abecední seznam s názvem a aktuálním

parametrů aoprávněním ke změně. Každý záznam v seznamu je tlačítko, jehož stisknutí změní

oprávnění ke změně

oprávnění. Změny jsou možné podle hierarchie pracovníků obsluhy.

parametrů

Ovládací jednotka

Functions > Data > Parameters >Parameter Access11.3.2.1 Odhlášení pracovníka obsluhy
Pro odhlášení aktivuje pracovník obsluhy stupeň oprávnění „Prohlížeč“. "Access Ctrl >Viewer"11.3.3 Vynulování nastavení
Modul hmotového

Nastavení modulu hmotového spektrometru mohou být vrácena na původní

spektrometru

nastavení z výroby.

130 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

Ovládací jednotka

Functions > Data > Parameters > Reset >MSB settings

Oprávnění

Oprávnění pro změnu parametrů mohou být vrácena na původní nastavení z výroby.
Ovládací jednotka

Functions > Data > Parameters > Reset >Param. Access control

Ovládací jednotka

Nastavení ovládací jednotky mohou být vrácena na původní nastavení z výroby.
Ovládací jednotka

Functions > Data > Parameters > Reset >Control unit settings

11.3.4 Záznam dat
Data se ukládají jako TXT soubor. V každém TXT souboru jsou obsaženy následující
informace:• Datum vypracování• Verze softwaru• Sériové číslo
• Čas startu• Časové razítko (měření udává ofset ve vteřinách vůči času startu)• Název souboru• Časové razítko (ofset ve vteřinách vůči času startu)• Míra netěsnosti (ve zvolené jednotce zobrazení)• Tlak p1 (ve zvolené jednotce zobrazení)• Stav přístroje
Zapnutí/vypnutí

Zapnutí nebo vypnutí záznamu dat
• Vyp
• Zap
Ovládací jednotka

Functions > Data > Recorder > Settings >Data recording

Interval ukládání

Interval mezi záznamem dat• 100 ms, 200 ms, 500 ms, 1 s, 2 s, 5 s
Ovládací jednotka

Functions > Data > Recorder > Settings >Record intervalPaměťové místo

Data mohou být uložena v ovládací jednotce nebo na USB paměti. Paměťové místo
v ovládací jednotce je omezeno na záznam 24 hodin měření. Vždy po uplynutí jedné
hodiny se soubor uzavře a záznam pokračuje v dalším souboru.
• USB paměť
• Ovládací jednotka

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

131 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)INFICON

Ovládací jednotka

Functions > Data > Recorder > Settings >Storage location

Kopírování dat

Data z interní paměti ovládací jednotky zkopírujte na připojenou paměť USB.
Ovládací jednotka

Functions > Data > Recorder > Copy >Copy files

Vymazání dat

Vymazání dat z interní paměti ovládací jednotky
Ovládací jednotka

Functions > Data > Recorder > Delete >Delete files

11.3.5 Vyvolání informací
Pomocí menu Info mohou být vyvolány různé informace a stavy zařízení.
Změřené hodnoty• Předzesilovač• Prostředí
• TMP

Teplota• Elektronika• TMP

Energie a hodiny• Hodnoty energie: Informace k hodnotám spotřeby

provozu• Hodiny provozu: Zobrazení hodin provozu• Napájecí napětí: Informace k interním napájecím napětím
• Napájení: Informace k elektrickému napájení částí

Průběh• Chyba, průběh chyby/výstrahy• Kalibrace, průběh kalibrace• Chyba TMP, průběh TMP• Výstrahy, aktivní výstrahy• Údržba, průběh údržby

Ovládací jednotka• Verze ovládací jednotky: Informace k verzi softwaru• Paměť: Informace k disponibilní paměti• Nastavení: Nastavení ovládací jednotky.
• Připojení sériového portu: Informace ke komunikačnímu přípoji
• Výměna dat: Informace k výměně dat mezi modulem hmotového spektrometru aovládací jednotkou

Modul hmotového• MSB (1): Informace k verzi softwaru

spektrometru• MSB (2): Informace k provozním parametrům
• TMP regulátor (1): Informace k turbomolekulární vývěvě
• TMP regulátor (2): Informace k turbomolekulární vývěvě, pokračování• Iontový zdroj: Informace k použitému iontovému zdroji

132 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

• Předzesilovač: Informace k předzesilovači• Test předzesilovače: Informace k testu předzesilovače.
Rozhraní• I/O moduly (1): Informace k verzi softwaru, vstupům a výstupům
• I/O moduly (2): Vizualizované informace k digitálním vstupům

2
1

3

Obr. 21: I/O moduly (2): Vizualizované informace k digitálním vstupům

1

Stav vstupních signálů

2

Konfigurovaná funkce (INV =funkce je invertovaná)

3

Stav funkce (aktivní nebo
neaktivní)

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

133 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)INFICON• I/O moduly (3): Vizualizované informace k digitálním výstupům

1

2
3

Obr. 22: Vizualizované informace k digitálním výstupům

1

Konfigurovaná funkce (INV =2Stav výstupních signálů

funkce je invertovaná)
3

Stav funkce (aktivní nebo
neaktivní)• Modul sběrnice (1): Informace k modulu sběrnice• Modul sběrnice (2): Informace k modulu sběrnice, pokračování

11.3.6 Zobrazit ekvivalentní míru netěsnosti pro jiný plyn
Obor platnosti
Provedení pro ekvivalenční poměr se vztahují pouze na režim čichací sondy.
Jestliže jako testovací plyn při měření používáte helium nebo vodík, ale chceteznázornit jiný plyn s jeho mírou netěsnosti, použijte k tomuto účelu korekční faktor
k použitému testovacímu plynu.

134 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

1

2
Obr. 23: Obrazovka měření se zobrazenou ekvivalentní mírou netěsnosti a nastaveným
tlačítkem Favorité

1 Zobrazení názvu plynu a faktoru ekvivalence
2 Tlačítko Favorité pro rychlé nastavení „Nabídky plynových ekvivalentů“ poseřízení, viz „Nastavení dotykového displeje [} 126]“, „Obsazení favoritů“.

Máte na výběr ze dvou postupů:• Pro pohodlné nastavení korekčního faktoru použijte „Gas equivalent selection[} 135]“. Zde můžete korekční faktor vybrat ze samostatně definovaného
seznamu, viz „Configure gas list [} 136]“, nebo opět přepnout na testovací plyn.
• Alternativně můžete vypočítat a nastavit korekční faktor. Pro výpočet viz „Výpočet
faktoru ekvivalence [} 137]“. Pro zastavení na zařízení viz „Nastavení faktoru
ekvivalence a molární hmotnosti [} 137]“.

11.3.6.1 Gas equivalent selection
1

Ovládací jednotka: Settings > Set up > Operation modes > Equivalence leakrate > Gas equi.".

2

V okně „Gas equivalent selection“ můžete reagovat na různé situace:ð Je-li již uložen požadovaný plynový ekvivalent (čísla 1 až 4), zvoltepožadované číslo plynového ekvivalentu a potvrďte pomocí „OK“. Potom senázev plynu a faktor ekvivalence tohoto plynového ekvivalentu zobrazí vlevo
nahoře v okně měření. Můžete měřit.
ð Není-li požadovaný plynový ekvivalent uložen, musíte jej seřídit, viz„Configure gas list [} 136]“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

135 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)INFICONð Nenajdete-li žádný vhodný záznam ve 4 plynových ekvivalentech a nechcete
je změnit, můžete alternativně korekční faktor vypočítat. V okně „Gas
equivalent selection“ zvolte záznam „User-defined“ a nastavte korekčnífaktor, viz „Nastavení faktoru ekvivalence a molární hmotnosti [} 137]“.
ð Chcete-li ze zobrazení plynového ekvivalentu v okně měření opět přepnout
na naměřenou hodnotu měřicího plynu, zvolte „Switch off“ a potvrďte pomocí„OK“.
Možnosti „Switch off“ a „Č. plynového ekvivalentu 1...4“ přepisují parametry, viz„Nastavení faktoru ekvivalence a molární hmotnosti [} 137]“.
Při výběru možnosti „User-defined“ je třeba příslušně nastavit parametry, viz„Nastavení faktoru ekvivalence a molární hmotnosti [} 137]“.

11.3.6.2 Configure gas listPředem definovat a opatřit názvy můžete až 4 ekvivalentní plyny. Potom můžete
ekvivalentní plyny vybírat v nabídce plynových ekvivalentů, viz „Gas equivalent
selection [} 135]“.
1

Ovládací jednotka: Settings > Set up > Operation modes > Equivalence leakrate > Configure gas list

2

Zvolte některé z čísel 1 až 4.
ð Ke každému uloženému plynu se zobrazí sada parametrů. U volného
záznamu se zobrazí „No Entry“.

3Stiskněte tlačítko „Upravit“.
ð Chcete-li potvrdit některý z plynů z uložené knihovny, stiskněte požadovaný
záznam. Viz také „Knihovna plynů [} 139]“.
ð Není-li požadovaný plyn uložený, přejděte na konec knihovny plynů a zvolte„User-defined gas“. V okně „Equivalence gas name“ potom zadejte název své
volby a potvrďte. Následně zadejte molární hmotnost a faktor viskozity
ekvivalentního plynu. U všech plynů, které nejsou uvedeny v knihovně, seobraťte na INFICON.

4

V následujících oknech, která vyvolává asistent, uveďte své zákaznické údaje,
nejprve „Absolute pressure equivalence gas“.
ð Odpovídá absolutnímu tlaku ekvivalentního plynu v kontrolovaném objektu
v jednotkách bar.

5

Okno „Measuring mass“.
ð Jedná se o hmotnost testovacího plynu (helium, hmotnost 3 nebo vodík)

6

Okno „Percentage of measuring gas“.
ð Jedná se o podíl testovacího plynu v procentech, např. u tvářecího plynu(95/5) je to 5 %.

7

136 / 170

Okno „Absolute pressure measuring gas“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

ð Odpovídá absolutnímu tlaku testovacího plynu v kontrolovaném objektu
v jednotkách bar.

PříkladKlimatizační soustavu je třeba zkontrolovat z hlediska úniků. K tomuto účelu se
soustava nejprve naplní heliem na tlak 2 bary (absolutní) a zkontroluje se z hlediskapřítomnosti úniků. Později se soustava naplní médiem R134a. Provozní tlak činí15 barů (absolutní).
Pro výše uvedený parametr tak připadají v úvahu následující hodnoty:
Absolute pressure equivalence gas = 15,0
Measuring mass = 4
Percentage of measuring gas = 100,0Absolute pressure measuring gas = 2,011.3.6.3 Výpočet faktoru ekvivalence
Faktor ekvivalence není vypočítáván softwarem zařízení. Vypočítejte faktor
ekvivalence pomocí následujícího vzorce:

Dynamická viskozita testovacího plynu (helium nebo H2)
Dynamická viskozita ekvivalentního plynu
Absolutní tlak zkušebního plynu ve zkoušeném objektu v barech
Absolutní tlak ekvivalentního plynu v kontrolovaném objektu v barechPříkladKlimatizační soustavu je třeba zkontrolovat z hlediska úniků.
K tomuto účelu se soustava nejprve naplní heliem na tlak 2 bary (absolutní)a zkontroluje se z hlediska přítomnosti úniků. Později se soustava naplní médiem
R134a. Provozní tlak činí 15 barů (absolutní).
Dynamická viskozita helia činí 19,62 µPa*s.
Dynamická viskozita média R134a činí 11,49 µPa*s.
Aby během kontroly těsnosti pomocí helia byly zobrazovány ekvivalentní mírynetěsnosti pro R134a, musí se zadat následující faktor ekvivalence:

11.3.6.4 Nastavení faktoru ekvivalence a molární hmotnosti
ü Je znám faktor ekvivalence. Viz také „Výpočet faktoru ekvivalence [} 137]“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

137 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)INFICONü Je stanoven použitý testovací plyn (vodík nebo helium, molární hmotnost 2, 3 nebo4).
ü Je známa molární hmotnost ekvivalentního plynu, jehož hodnoty chcete zobrazovat
na displeji.
1

Ovládací jednotka: Settings > Set up > Operation modes > Equivalence rate

2

Tlačítko „Faktor plynu“ð (LD protokol: Příkaz 469)

3

Zvolte v souladu s vaším testovacím plynem „Molární hmotnost 2“, „Molární
hmotnost 3“, nebo „Molární hmotnost 4“.
ð V případě helia jako testovacího plynu se otevře okno „Faktor ekvivalentního
plynu He“.

4

Nastavte příslušný faktor ekvivalentního plynu. Na příklad (viz „Výpočet faktoru
ekvivalence [} 137]“) pro 127:5

Ovládací jednotka: Settings > Set up > Operation modes > Equivalence rate

6

Tlačítko „Molární hmotnost“ð (LD protokol: příkaz „470“)7

Stejně jako předtím zvolte v souladu s vaším testovacím plynem „Molární
hmotnost 2“, „Molární hmotnost 3“, nebo „Molární hmotnost 4“.
ð V případě helia jako testovacího plynu se otevře okno „Molární hmotnost
ekvivalentního plynu He“.

8

ðNastavte příslušnou molární hmotnost. Například pro 102:

Pokud se faktor ekvivalence nerovná 1 nebo pokud molární hmotnost nemá
hodnotu nastavení z výroby, zobrazuje se kalibrační faktor u výsledku kalibrace
i na obrazovce měření.

138 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

Obr. 24: Vlevo nahoře: Zobrazení molární hmotnosti (102) a faktoru ekvivalence (127)11.3.7 Knihovna plynů
Provozní software zařízení zahrnuje seznam s cca 100 plyny, které mohou být
relevantní v chladírenském průmyslu.
Seznam je uložen nezávisle v paměti flash obsluhy přístroje a lze jej aktualizovat.
Uživatel může tento seznam používat při předběžném definování ekvivalentníchplynů, viz „Configure gas list [} 136]“. Z předem definovaných plynů může potomuživatel vybírat při volbě plynového ekvivalentu, viz „Gas equivalent selection [} 135]“.
Knihovna zařízení má následující obsah definovaný z výroby:
Označení plynu

Jiná označení(max. 8 míst)

Molekulární

Faktor viskozity

Faktor viskozity

hmotnost (amu)heliumvodík resp.
hmotnost 3

R11

CFCl3

137,4

0,515

1,15

R12

CF2Cl2

120,9

0,591

1,319

R12B1

CF2ClBr

165,4

0,523

1,167

Halon 1211
R13

CF3Cl

104,5

0,857

1,913

R13B1

CF3Br

149

0,852

1,902

Halon 1301
R14

CF4

80

0,857

1,913

R21

CHFCl2

102,9

0,535

1,194

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

139 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)Označení plynu

Jiná označení(max. 8 míst)

INFICON

Molekulární

Faktor viskozity

Faktor viskozity

hmotnost (amu)heliumvodík resp.
hmotnost 3

R22

CHF2Cl

86,5

0,632

1,411

R23

CHF3

70

0,704

1,571

R32

CH2F2

52

0,632

1,411

R41

CH3F

34

0,551

1,23

R50

CH4

16

0,556

1,241

MethanR113

C2F3Cl3

187,4

0,484

1,08

R114

C2F4Cl2

170,9

0,545

1,217

R115

C2F5Cl

154,5

0,627

1,4

R116

C2F6

138

0,709

1,583

R123

C2HF3Cl2

152,9

0,54

1,205

R124

C2HF4Cl

136,5

0,581

1,297

R125

C2HF5

120

0,653

1,458

R134a

C2H2F4

102

0,591

1,319

R141b

C2H3FCl2

117

0,464

1,036

R142b

C2H3F2Cl

100,5

0,494

1,103

R143a

C2H3F3

84

0,561

1,252

R152a

C2H4F2

66,1

0,515

1,15

R170

C 2H 6

30,1

0,479

1,069

Ethan
R218

C3F8

188

0,627

1,4

R227ea

C3HF7

170

0,627

1,4

R236faC3H2F6

152

0,55

1,228

R245faC3H3F5

134

0,52

1,161

R290

C 3H 8

44,1

0,433

0,967

PropanR356

C4H5F5

166,1

0,561

1,252

R400

Směs

141,6

0,571

1,275

94,4

0,607

1,355

50% R12
50% R114
R401A

Směs
53% R22
13% R152a
34% R124

140 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Označení plynu

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

Jiná označení(max. 8 míst)

Molekulární

Faktor viskozity

Faktor viskozity

hmotnost (amu)heliumvodík resp.
hmotnost 3

R401B

Směs

92,8

0,612

1,366

101

0,602

1,344

101,6

0,647

1,444

94,7

0,642

1,433

92

0,642

1,433

103,3

0,647

1,444

97,6

0,607

1,355

111,9

0,622

1,388

89,9

0,566

1,263

61% R22
11% R152a
28% R124
R401C

Směs
33% R22
15% R152a
52% R124

R402A

Směs
38% R22
60% R125
2% R290

R402B

Směs
60% R22
38% R125
2% R290

R403A

Směs
75% R22
20% R218
5% R290

R403B

Směs
56% R22
39% R218
5% R290

R404A

Směs
44% R125
52% R143a
4% R134a

R405A

Směs
45% R22
7% R152a
5,5% 142b
42,5% RC318

R406A

Směs
55% R22
4% R600a
41% R142b

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

141 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)Označení plynu

Jiná označení(max. 8 míst)

INFICON

Molekulární

Faktor viskozity

Faktor viskozity

hmotnost (amu)heliumvodík resp.
hmotnost 3

R407A

Směs

90,1

0,637

1,422

102,9

0,647

1,444

86,2

0,627

1,4

91

0,612

1,366

83,8

0,622

1,388

82,1

0,67

1,496

87

0,602

1,344

97,4

0,607

1,355

96,7

0,612

1,366

72,6

0,673

1,502

20% R32
40% R125
40% R134a
R407B

Směs
10% R32
70% R125
20% R134a

R407C

Směs
10% R32
70% R125
20% R134a

R407D

Směs
23% R32
25% R125
52% R134a

R407E

Směs
25% R32
15% R125
60% R134a

R407F

Směs
40% R134a
30% R125
30% R32

R408A

Směs
7% R125
46% R143a
47% R22

R409A

Směs
60% R22
25% R124
15% R142b

R409B

Směs
65% R22
25% R124
10% R142b

R410A

Směs
50% R32
50% R125

142 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Označení plynu

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

Jiná označení(max. 8 míst)

Molekulární

Faktor viskozity

Faktor viskozity

hmotnost (amu)heliumvodík resp.
hmotnost 3

R410B

Směs

75,6

0,673

1,502

82,4

0,617

1,377

83,1

0,62

1,388

83,4

0,627

1,4

92,2

0,602

1,344

104

0,581

1,297

96,9

0,586

1,308

81,7

0,622

1,388

111,9

0,576

1,286

106,7

0,61

1,362

45% R32
55% R125
R411A

Směs
1,5% R1270
87,5% R22
11% R152a

R411B

Směs
3% R1270
94% R22
3% R152a

R411C

Směs
3% R1270
95,5% R22
1,5% R152a

R412A

Směs
70% R22
5% R218
25% R142b

R413A

Směs
9% R218
88% R134a
3% R600

R414A

Směs
51% R22
28,5% R124
4% R600a
16,5% R142

R415A

Směs
82% R22
18% R152a

R416A

Směs
59% R134a
39,5% R124
1,5% R600

R417A

Směs
50% R134a
46% R125
4% R600a

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

143 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)Označení plynu

Jiná označení(max. 8 míst)

INFICON

Molekulární

Faktor viskozity

Faktor viskozity

hmotnost (amu)heliumvodík resp.
hmotnost 3

R422D

Směs

112,2

0,622

1,388

104,9

0,617

1,377

49,6

0,398

0,888

81,8

0,629

1,404

99,3

0,625

1,395

87,2

0,622

1,388

109

0,592

1,321

103,5

0,612

1,366

65,1% R125
31,5% R134a
3,4% R600a
R438A

Směs
45% R125
44,2% R134a
8,5% R32
1,7% R600
0,6% R601a

R441A

Směs
54,8% R290
36,1% R600
6% R600a
3,1% R170

R442A

Směs
31% R32
31% R125
30% R134a
5% R227ea
3% R152a

R448A

Směs
26% R32
26% R125
21% R134a
20% R1234yf
7% R1234ze

R449A

Směs
25,7% R134
25,3% R1234yf
24,7% R125
24,3% R32

R450A

Směs
58% R1234ze
42% R134a

R452A

Směs
59% R125
30% R1234yf
11% R32

144 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Označení plynu

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

Jiná označení(max. 8 míst)

Molekulární

Faktor viskozity

Faktor viskozity

hmotnost (amu)heliumvodík resp.
hmotnost 3

R452B

Směs

72,9

0,639

1,426

90,8

0,62

1,384

99,3

0,581

1,297

93,1

0,627

1,4

111,6

0,647

1,444

87,3

0,709

1,583

79,3

0,678

1,513

103,5

0,612

1,366

93,7

0,561

1,252

98,9

0,612

1,366

100,1

0,729

1,627

95,4

0,729

1,627

67% R32
26% R1234yf
7% R125R454C

Směs
22% R32
78% R1234yf

R500

Směs
74% R12
26% R152a

R501

Směs
75% R22
25% R12R502

Směs
49% R22
51% R115

R503

Směs
40% R23
60% R13R504

Směs
48% R32
52% R115

R505

Směs
78% R12
22% R31R506

Směs
55% R31
45% R114

R507

Směs
50% R125
50% R143a

R508A

Směs
39% R23
61% R116

R508B

Směs
46% R23
54% R116

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

145 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)Označení plynu

Jiná označení(max. 8 míst)

INFICON

Molekulární

Faktor viskozity

Faktor viskozity

hmotnost (amu)heliumvodík resp.
hmotnost 3

R513A

Směs

108,7

0,582

1,299

58,1

0,377

0,842

58,1

0,377

0,842

72,2

0,341

0,761

72,2

0,336

0,75

72,2

0,337

0,752

70,1

0,337

0,752

44% R134a
56% R1234yf
R600

C4H10
Butan

R600a

C4H10
Iso-Butan

R601

C5H12
Pentan

R601a

C5H12
Iso-Pentan

R601b

C5H12
Neopentan

R601c

C5H12
Cyclopentan

R1233zd

C3H2FCl3

130,5

0,558

1,246

R1234yf

C3H2F4

114

0,624

1,393

R1234ze

C3H2F4

114

0,619

1,382

R1243zf

C3H3F3

96

0,6

1,339

Ar

Argon

40

1,127

2,516

CO2

R744

44

0,744

1,661

H2

Vodík

2

0,448

1

H 2O

R718

18

0,459

1,025

He

Helium

4

1

2,232

HT135

Galden HT135

610

1

2,232

Kr

Krypton

84

1,275

2,846

N2

Dusík

28

0,892

1,991

Ne

Neon

20,2

1,586

3,54

NH3

R717

17

0,505

1,127

O2

Kyslík

32

1,03

2,299

146,1

0,765

1,708

SF6
Xe

Xenon

131,3

1,153

2,574

ZT130

Galden ZT130

497

1

2,232

Tab. 1: Knihovna plynů V3.24

146 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

11.3.8 Aktualizace softwaru
Aktualizace softwaru firmy INFICON se nahrávají s pomocí USB paměti. Funkci
Update přístroje najdete na "Functions > Data > Update".
Aktualizace je možná,• když je na USB paměti k dispozici jedna nebo více aktualizací, ale nejvýše jedna
aktualizace pro typ (ovládací jednotka, MSB-Box, I/O modul).
• když jsou tyto díly kromě toho připojeny bez poruchy a disponují funkcí Update.
Příslušná tlačítka v menu Update jako „ovládací jednotka“, „MSB-Box“, a „I/O modul“
jsou potom aktivní a mohou být jednotlivě stlačována.

UPOZORNĚNÍ
Přerušení spojení
Ztráta dat při přerušení spojení► Během aktualizování softwaru nevypínejte přístroj ani nevytahujte USB paměť.
► Po proběhlých aktualizacích softwaru přístroj vypněte a opět jej zapněte.

11.3.8.1 Aktualizace softwaru ovládací jednotky
Software je obsažen ve dvou souborech se stejným názvem, ale s různými příponami(„.exe“ a „.key“).
1

Zkopírujte soubor do hlavního adresáře USB paměti.

2Zasuňte USB paměť do USB přípojky přístroje.

3

Zvolte: "Functions > Data > Update > Control unit".
ð Během aktualizování softwaru nevypínejte přístroj ani nevytahujte USBpaměť.

4

Zkontrolujte informace o verzi.

5

Zvolte tlačítko „Start“ ke spuštění aktualizace. Během aktualizování softwaru
nevypínejte přístroj ani nevytahujte USB paměť.

6Řiďte se pokyny na dotykové obrazovce a počkejte, dokud aktualizace nebude
ukončena.

11.3.8.2 Kontrola a aktualizace verze softwaru MSB-Boxu
Aktuální software lze získat u technické podpory Inficon.
Funkce XL Sniffer Adapter Set jsou součástí systémového softwaru od verze 2.11.
1

Zkopírujte soubor s příponou „.bin“ do hlavního adresáře USB paměti.

2Zasuňte USB paměť do USB přípojky přístroje.

3

Zvolte: "Functions > Data > Update > MSB".

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

147 / 170

11 | Provoz CU1000 (volitelně)INFICONð Zobrazí se informace k verzi aktuálního softwaru, nového softwaru
a Bootloaderu.
4

Zkontrolujte informace o verzi.
ð Zvolte tlačítko „Start“ ke spuštění aktualizace.
ð Během aktualizování softwaru nevypínejte přístroj ani nevytahujte USBpaměť! Během aktualizování softwaru nevypínejte přístroj ani nevytahujte
USB paměť.

5Řiďte se pokyny na dotykové obrazovce a počkejte, dokud aktualizace nebude
ukončena.

6

Pokud systém vydá výstrahu 104 nebo 106, potvrďte ji pomocí „C“.

11.3.8.3 Aktualizace softwaru I/O modulu
Software I/O modulu může být aktualizován z ovládací jednotky, pokud má modul
hmotového spektrometru verzi softwaru minimálně „MS-Modul 1.02“.
1

Zkopírujte soubor s příponou „.bin“ do hlavního adresáře USB paměti.

2Zasuňte USB paměť do USB přípojky přístroje.

3

Zvolte: "Functions > Data > Update > I/O module"ð Zobrazí se informace k verzi nového softwaru, aktuálního softwaru
a aktuálního Bootloaderu.

4

Zkontrolujte informace o verzi.

5

Zvolte tlačítko „Start“ ke spuštění aktualizace.
ð Během aktualizování softwaru nevypínejte přístroj ani nevytahujte USBpaměť.

6Řiďte se pokyny na dotykové obrazovce a počkejte, dokud aktualizace nebude
ukončena.
ð Po zvolení tlačítka „Start“ se objeví na dotykové obrazovce následující
pokyny:• Připojit a zapnout IO1000.
• Aktivovat režim bootování (DIP S2.3 zapnout a opět vypnout).
• Když bliká LED STATUS zeleně, stisknout OK.

148 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Provoz CU1000 (volitelně) | 11

Obr. 25: DIP spínače na I/O modulu

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

149 / 170

12 | Údržba

INFICON12 Údržba
Modul hmotového spektrometru je přístroj pro kontrolu těsnosti pro průmyslovépoužití. Použité části a moduly jsou do značné míry nenáročné na údržbu.
Údržba modulu hmotového spektrometru se omezuje na výměnu zásobníku
provozního prostředku turbomolekulární vývěvy a kontrolu ventilátoru na
turbomolekulární vývěvě.
Doporučujeme uzavření servisní smlouvy s INFICON nebo s autorizovaným servisním
partnerem INFICON.

12.1 Odeslání přístroje k údržbě, opravě nebo
likvidaciVýstrahaOhrožení zdraví
Kontaminované přístroje mohou ohrozit zdraví zaměstnanců INFICON.
► Kompletně vyplňte formulář Prohlášení o kontaminaci.
► Prohlášení o kontaminaci připevněte z vnější strany na balení.
► Před zasláním prohlášení kontaktujte výrobce a pošlete mu vyplněné prohlášení
o kontaminaci.
ð Poté obdržíte zasílací číslo a adresu.
Prohlášení o kontaminaci je zákonným požadavkem a slouží k ochraně našich
pracovníků. Přístroje, které budou zaslány bez vyplněného prohlášení o kontaminaci,
pošle INFICON zpět odesílateli. Viz „Prohlášení o kontaminaci [} 166]“.

12.2 Všeobecné pokyny pro údržbu
Údržbářské práce na modulu hmotového spektrometru se dělí do tří stupňů servisu:• Stupeň servisu I: Zákazník bez technického vzdělání
• Stupeň servisu II: Zákazník s technickým vzděláním a školením INFICON• Stupeň servisu III: Servis INFICONNEBEZPEČÍ
Ohrožení života v důsledku úderu el. proudem
Uvnitř přístroje jsou vysoká napětí. Při dotyku částí pod elektrickým napětím jeohrožen život.
► Před všemi údržbářskými činnostmi přístroj odpojte od napájení.

150 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONÚdržba | 12

UPOZORNĚNÍ
Věcné škody v důsledku znečištění
Modul hmotového spektrometru je přesný měřicí přístroj. Již malé nečistoty mohoupřístroj poškodit.
► Při všech údržbářských činnostech dbejte na čistotu okolí a používejte čisté
nástroje.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

151 / 170

12 | Údržba

INFICON12.3 Výměna zásobníku provozního prostředku
turbomolekulární vývěvy
12.3.1 ÚvodSada náhradních dílů zásobník provozního prostředku,

P/N: 200003801

rozsah dodávky: Zásobník provozního prostředku
s malým O-kroužkem (1 ks),
tyčky Porex (8 ks),
O-kroužek pro uzavírací víko model A*) (1 ks),
O-kroužek pro uzavírací víko model B*) (1 ks)
Kolíkový klíč pro model A*)

P/N: 551-200

Klíč s vnitřním šestihranem 3 mm, jako momentový klíčs 3 Nm pro montáž, pro model B*)
Závitový šroub M5 jako pomůcka pro model B*)*) Pro rozlišení modelů A a B viz následující zobrazení v “Zavzdušnění
turbomolekulární vývěvy [} 152]“.

Turbomolekulární vývěva je pro mazání kuličkových ložisek naplněna provozním
prostředkem. Výměna zásobníku provozního prostředku se však musí provést
nejpozději každé 4 roky. Při extrémních zatíženích vývěvy nebo nečistých procesech
se musí zásobník maziva měnit v kratších intervalech.
Uzavírací víko zásobníku provozního prostředku lze vyšroubovat pouze tehdy, když jeturbomolekulární vývěva zavzdušněna.
► Postupujte podle pracovních kroků v pořadí následující kapitoly.

12.3.2 Zavzdušnění turbomolekulární vývěvy
1

Odstavit modul hmotového spektrometru z provozu, viz „Odstavení z provozu[} 163]“.

2

Počkat na doběh turbomolekulární vývěvy (minimálně 1 min.).

3

24 V síťový zdroj odpojit od MSB-Boxu.

4Případně nechat turbomolekulární vývěvu vychladnout.

5

Demontovat turbomolekulární vývěvu.

6

Odvzdušňovací šroub pomalu otevřít.
ð Turbomolekulární vývěva se zavzdušní na atmosférický tlak.

152 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONÚdržba | 12

1
2

Obr. 26: Turbomolekulární vývěva SplitFlow 80 s různými víky

1 Odvzdušňovací šroub u modelu A

2

Odvzdušňovací šroub u modelu B

12.3.3 Vyjmutí starého zásobníku provozního prostředku
Výstraha
Nebezpečí otravy zdraví škodlivými látkami
Zásobník provozního prostředku a části turbomolekulární vývěvy mohou být
kontaminovány jedovatými sloučeninami z čerpaných médií.
► Proveďte vhodná bezpečnostní opatření.
► Kontaminované části před provedením údržbářských prací dekontaminujte.
► Starý zásobník provozního zařízení zlikvidujte podle platných předpisů.

UPOZORNĚNÍ
Poškození turbomolekulární vývěvy povolením šroubů
Chcete-li vyjmout zásobník provozního prostředku, odšroubujte pouze uzavírací víko.
Nepovolujte šrouby pod uzavíracím víkem! V opačném případě bude čerpadlo
nenapravitelně poškozeno.

Model Aü Uzavírací víko odpovídá modelu A, viz zobrazení turbomolekulární vývěvy
SplitFlow 80 v “Zavzdušnění turbomolekulární vývěvy [} 152]“.
ü Kolíkový klíč, P/N: 551-200
ü Dva šroubováky
ü Hmotový spektrometr a turbomolekulární vývěva zavzdušněny.
1

Odšroubujte uzavírací víko (1) kolíkovým klíčem.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

153 / 170

12 | Údržba

INFICON2Výtah Zásobník provozního prostředku (2) se dvěma šroubováky. Nepovolujtešrouby!

1
2

1 Uzavírací víko

2 Zásobník provozního prostředku

Model Bü Uzavírací víko odpovídá modelu B, viz zobrazení turbomolekulární vývěvy
SplitFlow 80 v “Zavzdušnění turbomolekulární vývěvy [} 152]“.
ü Klíč s vnitřním šestihranem 3 mm
ü Dva šroubováky
ü Hmotový spektrometr a turbomolekulární vývěva zavzdušněny.
1

Uvolněte nalepenou záruční pečeť.

2

Klíčem s vnitřním šestihranem vyšroubujte 3 šrouby (M4) uzavíracího víka.

3

Závitový šroub (M5) zašroubujte o několik otáček do volného středního
závitového otvoru hliníkového víka.

154 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONÚdržba | 12

4

Pro zvednutí uzavíracího víka použijte šroub.

5

Pomocí obou šroubováků vyjměte O-kroužek a zásobník provozního
prostředku.
ð Nepoškrábejte těsnicí plochy!
ð Abyste nepoškodili TMP, nesmíte kolem zásobníku provozního prostředku
povolit žádné další šrouby.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

155 / 170

12 | Údržba

INFICON

12.3.4 Vyměnit tyčky Porex
UPOZORNĚNÍ
Věcné škody v důsledku čisticích kapalinČisticí kapaliny mohou přístroj poškodit.
► Nepoužívejte žádné čisticí kapaliny.
► Použijte čistou utěrku, která nepouští vlákna.
ü Pinzeta
ü Tyčky Porex
1

Vytáhněte staré tyčky Porex (1) (8 kusů) pinzetou.

2

Znečištění turbomolekulární vývěvy a uzavíracího víka odstraňte čistouutěrkou, která nepouští vlákna.

3Vložte nové tyčky Porex (1) (8 kusů) pinzetou.

1

Obr. 27: Zobrazení s modelem A, model B analogicky

1 Tyčky Porex

12.3.5 Vložení nového zásobníku provozního prostředkuUPOZORNĚNÍ
Věcné škody kvůli chybně namontovanému O-kroužku
Chybně namontovaný O-kroužek může způsobit netěsnosti. Přístroj funguje chybně apoškodí se.
► Opatrně vložte O-kroužek uzavíracího víka.

156 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONÚdržba | 12

1

2

3

4

Obr. 28: Zobrazení s modelem A

1 Uzavírací víko

2 Zásobník provozního prostředku s
O-kroužkem

3 O-kroužek pro uzavírací víko

4 Odvzdušňovací šroub

Model A
ü Kolíkový klíč
ü Nový O-kroužek pro uzavírací víko
ü Nový zásobník provozního prostředku
ü Nový zásobník provozního prostředku je dostatečně naplněn provozním
prostředkem. Nedoplňujte další provozní prostředek.
1

Zkontrolujte datum exspirace nového zásobník provozního prostředku (2).

2Nový zásobník provozního prostředku (2) ne v plné výšce, ale pouze k Okroužku zásobníku provozního prostředku zatlačte do čerpadla.
ð Nový zásobník provozního prostředku je správně umístěn zašroubováním
uzavíracího víka (1).

3Vyjměte starý O-kroužek (3) uzavíracího víka.

4Vložte nový O-kroužek (3) pro uzavírací víko.

5

Uzavírací víko (1) zašroubujte kolíkovým klíčem bez námahy.
ð Chcete-li zabránit naklánění závitů, nasaďte uzavírací víko (1) a pomalu
otáčejte proti směru hodinových ručiček, dokud závitové konce víka ačerpadla do sebe nezapadnou. Jakmile je toho dosaženo, víko se ponoří
trochu zpět do čerpadla. Tato poloha umožňuje lepší záběr vláken.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

157 / 170

12 | Údržba

INFICON

6

Utáhněte uzavírací víko momentem 13 Nm +/-10%.

7

Odvzdušňovací šroub (4) dotáhněte rukou.

8

Namontujte turbomolekulární vývěvu.

9Uveďte modul hmotového spektrometru do provozu.

Model B
ü Klíč s vnitřním šestihranem 3 mm, jako momentový klíč s 3 Nm pro montáž
ü Nový O-kroužek pro uzavírací víko
ü Nový zásobník provozního prostředku
ü Nový zásobník provozního prostředku je dostatečně naplněn provozním
prostředkem. Nedoplňujte další provozní prostředek.
1

Zkontrolujte datum spotřeby nového zásobníku provozního prostředku.

2Nový zásobník provozního prostředku ne v plné výšce, ale pouze k O-kroužku
zásobníku provozního prostředku zatlačte do čerpadla.
ð Nový zásobník provozního prostředku se správně umístí zašroubováním
uzavíracího víka.

158 / 1703

Do uzavíracího víka vložte nový O-kroužek.

4

Pomocí závitového šroubu (M5) uzavírací víko opět nasaďte.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONÚdržba | 12

5

Klíčem s vnitřním šestihranem a utahovacím momentem 3 Nm zašroubujte
3 šrouby (M4) uzavíracího víka.

6

Odvzdušňovací šroub dotáhněte rukou.

7

Namontujte turbomolekulární vývěvu.

8Uveďte modul hmotového spektrometru do provozu.

12.3.6 Potvrzení údržbářské práceü Ovládací jednotka instalována
ü Oprávnění = integrátor► Potvrďte údržbářskou práci v ovládací jednotce: "Authorization > Integrator >Maintenance > Maintenance Work“

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

159 / 170

12 | Údržba

INFICON12.4 LDS3000 AQ – součásti důležité pro údržbu
1
6
2
7
3
4
8
5

Obr. 29: Škrticí ventil pro AQ

Popis

Počet

1 Středicí kroužek ISO-KF bez filtru.

Objednací číslo

1

211-0591

211-090

3 Vložka škrticího ventilu LDS AQ náhradní díl

1

200009029

4 Příruba škrticího ventilu LDS AQ kompletní1

200009030

5 Filtrační jednotka 0,45 µm Pall.

4200009847

1200008464

7 Náhradní filtr pro ventil LDS AQ (poz. č. 6)

10200009701

8 Příruba škrticího ventilu GROSS – 1,02 mm.

1200008532

Použít pouze při připojení podle varianty 2(s filtrační jednotkou 0,45 µm Pall, poz č. 5). Viz„Varianta 2 [} 40]“.
2 Středicí kroužek ISO-KF s filtrem.
Použít pouze při připojení podle varianty 1 (bezinstalace filtrační jednotky 0,45 µm Pall,poz. č. 5). Viz „Varianta 1 [} 37]“.

Použít pouze při připojení podle varianty 2. Viz„Varianta 2 [} 40]“.
6 Ventil LDS AQ.
Použít pouze při připojení druhé komory propřepínání.

Použít u obou variant. Viz „Varianta 1 [} 37]“a „Varianta 2 [} 40]“.

12.5 Plán údržby
Pokud údržbářské práce nejsou prováděny podle plánu údržby, zaniká záruka na
modul hmotového spektrometru.
Legenda k plánu údržby:160 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONÚdržba | 12

• I Zákazník nebo vyšší stupeň• II Zaškolený zákazník nebo vyšší stupeň
• III Servisní technik INFICON• X Údržbářské práce podle provozních hodin nebo doby trvání• X1 Údržba podle provozních hodin, ne podle doby trvání• X2 Údržba podle doby trvání, ne podle provozních hodin• X3 V závislosti na vlivech prostředí, provozních podmínkách, znečištění a způsobu
použitíÚdržbaProvozní hodiny

24

Doba

4000

8000

16000

24000

36000

Úroveň

1/2 roku 1 roky 2 roky

3 roky4 rokyslužebTurbomolekulární Výměna zásobníku
pumpa

X3

I a II

provozního prostředku (č.
náhradního dílu
200003801)
Revize: Vyměňte ložisko a

X2

III

vyměňte zásobník
provozního prostředku (č.
náhradního dílu 200003800
nebo 200003800R)
Vyčištění ventilátoru aX3

I a II

X

III

X2

III

kontrola funkcePříslušenství

Vyčištění ventilu čichacísondy
Kalibrace interní kontrolnínetěsnosti

Interní kalibrace

Provedení interní kalibrace

X1

I

Externí kalibrace Provedení externí kalibrace X1I

Detekce

Provést hledání netěsnostínetěsností MS

He na MS-modulu

X

III

modul
Filtr AQ *) Ventil / Zkontrolujte stav. V případě
škrticí ventilpotřeby vyměňte

– Filtr ventiluVyměnit preventivně

X3
X3

I

X

I

– Filtračníkroužek ISO KF– 0,45 µm Pall*) Platí pouze pro LDS3000 AQ:
Nevhodné vlivy prostředí nebo provozní podmínky a znečištění a způsob procesupoužití mohou zkrátit doporučený interval údržby použitého filtru AQ na méně než
8 000 hodin, resp. 1 rok. V závislosti na sestavě se používají různé filtry AQ, viz„LDS3000 AQ – součásti důležité pro údržbu [} 160]“.

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

161 / 170

12 | Údržba

INFICONSnížený průtok/tlak, způsobený ucpanými filtry, může vést k výstražným nebo
chybovým hlášením. V tom případě je nutná předčasná výměna filtru.

162 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICON

Odstavení z provozu | 13

13 Odstavení z provozu
13.1 Odstavení přístroje pro hledání netěsností1Vypněte přístroj pro hledání netěsností na síťovém zdroji.

2

Počkejte, než turbomolekulární vývěva doběhne.

13.2 Likvidace modulu hmotového spektrometruPřístroj může být likvidován provozovatelem nebo zaslán firmě INFICON.
Přístroj se skládá z materiálů, které mohou být recyklovány. Aby se přecházelo
odpadům a šetřilo se životní prostředí, měla by se tato možnost využít.
► Při likvidaci je nutné respektovat bezpečnostní a ekologická ustanovení danézemě.

13.3 Zaslání modulu hmotového spektrometruk údržbě, opravě nebo likvidaci
VýstrahaOhrožení zdraví škodlivými látkami
Kontaminované přístroje mohou ohrožovat zdraví. Prohlášení o kontaminaci slouží
k ochraně všech osob, které přijdou do styku s přístrojem.
► Vyplňte kompletně prohlášení o kontaminaci.
1Před zasláním prohlášení kontaktujte výrobce a pošlete mu vyplněné
prohlášení o kontaminaci.
ð Poté obdržíte zasílací číslo a adresu.

2

Pro zaslání zpět použijte originální obal.

3Než přístroj odešlete, přiložte k němu kopii vyplněného prohlášení
o kontaminaci. Viz Prohlášení o kontaminaci [} 166].

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

163 / 170

14 | Příloha

INFICON14 Příloha
14.1 Prohlášení CE

164 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONPříloha | 14

14.2 Prohlášení o montáži

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

165 / 170

14 | Příloha

INFICON14.3 Prohlášení o kontaminaci

166 / 170

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

INFICONPříloha | 14

14.4 RoHS

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)

167 / 170

Rejstřík

INFICON

Rejstřík
A

T

AQ

Technické údaje

Akumulace stanovení cíle

15

Definice akumulace

9

Doba měření a režim kompatibility

81

Doporučená montáž pro akumulaci

37, 40V
Varování jako chyby

Kalibrace

85

Montáž AQ – varianta 1

37

ZMontáž AQ – varianta 2

40

ZasláníMožnosti Start/stop

88

Nastavení AQ Mode 1

78

Nastavení AQ Mode 2

78

Obrázky k doporučené montáži

18

Provedení měření, jednotlivé kroky

90

Provedení ZERO88

Tlačítko Start/stop pro CU1000
Základní nastavení pomocí asistenta

24

120

163

90, 127
81

D
Definice pojmů

9

E
EcoBoost_

64, 109

Ekvivalentní míra netěsnosti

73, 134

F
Faktor ekvivalence
Funkce ZERO73, 134
63

P
Potlačení pozadí

10

Prohlášení o kontaminaci

163

RRežim kompatibility AQ

78, 81, 91

S
Signál pozadí

168 / 170

10

LDS3000(AQ)-MSM-návodu-k-provozu-jiqa54cz1-14-(2403)