Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지INFICON Gemini™ 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중). 두 개의 센서 시스템이 하나의소형 장치에 결합된 Gemini는 대기압부터 1x10 ~ 9mbar 사이를측정합니다. 특허 받은 초저 표류 자계 설계를 통해 새로운 분야를열었습니다. 고유의 상호 교환 가능한 이중 챔버 센서 유닛은 세척주기가 필요 없고 유지보수를 줄이므로 Gemini를 가장 강력하고경제적인 진공 게이지로 만듭니다.
Gemini 냉음극 및 결합 장치는 완벽하게 통합된 디지털 전자장치를
제공함으로써 시스템 통합을 위한 최상의 유연성을 제공합니다. 냉음극및 피라니 결합 옵션은 광범위한 분야에 걸쳐 원활한 전환, 신뢰성,실용성 및 유연성을 제공합니다.

장점nLong lifetime in harsh environmentsn혹독한 환경에서 긴 수명 유지n낮은 누출 자계n유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품n매우 작은 크기n내부식성 피드스루n선택 가능한 측정 전류n

2 relay setpoints (MxG55x)

nEtherCAT and RS232/ RS485 digital interace

1Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지주문 정보2

Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지사양
유형측정 시스템MAG5xx

MPG5xxCold cathode ionization
measurement system(according to the invertedmagnetron principle)

Pirani and cold cathodeionization measurement
system (according to theinverted magnetron principle)측정 범위(공기, N2)

mbar

1×10⁻⁹ … 1×10⁻²

1×10⁻⁹ … 1000측정 범위(공기, N2)

Torr(7.6×10⁻¹⁰ … 7.6×10⁻³)(7.6×10⁻¹⁰ … 760)

정확성 (N2)
1×10-8 … 1×10-2mbar% of reading30-

1×10-2 … 100mbar% of reading-

30

100 … 1,000mbar% of reading-50

1×10-8 … 1×10-2mbar% of reading

5-

1×10-8 … 100mbar% of reading-

5anyany

10 (limited to inert gases<55°C)

10 (limited to inert gases<55°C)

반복성 (N2)

장착 방향
허용 압력

bar (absolute)허용 온도작동(주변)°C+5 ... +55+5 ... +55

플랜지에서 베이크 아웃 (1)°C<150<150보관

°C-40 ... +70-40 ... +70

필라멘트 온도°C-120

1×10-7 … 1×10-2mbar%<95 (non-condensing)<95 (non-condensing)

1×10-8 … 1×10-2mbar%<70 (non-condensing)<70 (non-condensing)+14.5 ... +30+14.5 ... +30<1<1W<2<2AT<1<1상대 습도(1년/30일)공급 전압
게이지 (2)V (dc)

공급 전압리플

V (p-p)공급 전압전력 소모량공급 전압연결할 퓨즈3

Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지사양
유형

MAG5xx

MPG5xx0 ... +10.50 ... +10.5

전압 범위아날로그 출력V오류 신호출력 임피던스Ω

2x10오류 신호부하 임피던스kΩ>10 (short circuit-proof)게이지 식별kΩ85냉음극 점화됨V-피라니 전용 모드

V0 (low)결합된 피라니/냉음극 모드 3)

V+15 ... +30 (high)

3MAx-00x-0x0N

V-

3MBx-00x-0x0P

V+1.398 ... +8.598

3MAx-00x-0x0Q

V-

3MAx-xxx-xxxN

V+1.5 ... +8.5

3MBx-xxx-xxxP

V-

3MAx-xxx-xxxQ

V+0.667 ... +10

작동 전압kV<3.3높은 작동 전류

µA

<500

상태(핀 6)

측정 범위전압 대 압력
3MAx-00x-0x0N

volts per decade-

3MBx-00x-0x0P

volts per decade

0.6 (logarithmic)

3MAx-00x-0x0Q

volts per decade-

3MAx-xxx-xxxN

volts per decade

1 (logarithmic)

3MBx-xxx-xxxP

volts per decade-3MAx-xxx-xxxQ

volts per decade1.33 (logaritmic)

낮은 작동 전류µA

<100무게DN 25 ISO-KF

g<280

DN 40 ISO-KF

4g

Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지<320사양
유형MAG5xx

DN 40 CF-F 및 CF-Rg

MPG5xx<570오류 신호오류 신호V
09.5 ... +10.5

3MAx-xxx-xxxN

V<+0.53MA-xxx-xxxQ

V

<+0.3

3MBx-xxx-xxxP

V-Output impedanceΩ
2 x 4.7 (short circuit-proof)

표준CE 준수EMC (EN 61000-6-2, EN61000-6-3), EN 61010-1 &RoHS
Load impedancekΩ>10 (short circuit-proof)유지보수none스텝 응답 시간
p > 10-6mbar

ms<100<100스텝 응답 시간
p = 10-8mbar

s~1~1게이지 식별 (FCC connectorgauges)
3MAx-0xx-000NkΩ-

3MAx-0xx-000Q

kΩ

100

3MBx-0xx-000P

kΩ

-mA

100

High Voltage is ONV (dc)

+14.5 ... +30 (depending onsupply voltage)

High Voltage is OFF

V (dc)

0상태(핀 6)
Current rating
상태(핀 6)

Status signal, digital output (Dsub connector)

5Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지사양
유형

MAG5xxSupply voltage

MPG5xxV (dc)<30

High voltage ON

V (dc)
0

Status signal, digital output (Dsub connector)
Current ratingmA

100 (sink)Status signal, digital output (Dsub connector)High voltage OFFopen전기 연결
3Mxx-00x-000x

FCC68, 8-pin, female

3Mxx-00x-010x

D-sub, 9-pin, male

3Mxx-0xx-000x

FCC68, 8-pin, female

3Mxx-0xx-010x

D-sub, 9-pin, male

3Mxx-0xx-04xx

D-Sub HD, 15-pin, male (forRS232/485 version)

3Mxx-xxx-x2Gx

D-Sub HD, 15-pin, male (forEtherCAT Version)센서 케이블
3Mxx-00x-000x

8-pin, shielded

3Mxx-0xx-000x

8-pin, shielded

3Mxx-0xx-010x

9-pin, shielded

3Mxx-0xx-04xx
15-pin, shielded (forRS232/485 version)
3Mxx-xxx-x2Gx15-pin, shielded (forEtherCAT version)케이블 길이
50m 케이블m< 50 (8x0.14 mm²)75m 케이블m< 75 (8x0.25 mm²)

100m 케이블m< 100 (8x0.34 mm²)

300m 케이블m< 300 (8x1.00 mm²)

FCC connector cablem<50 (0.14 mm²/ conductor)

6Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지사양
유형

MAG5xx

MPG5xxHigh voltage (in the measuringchamber)
Ignition voltagekV<4.5작동 전압kV

<3.3

High current

µA

<380

Low currentµA<130Current (in the measuringchamber)

Setpoint relays (MxG55x)
Range (N2)mbar bar

5x10₋₅ ... 1500

Setpoint relays (MxG55x)
Relay contact

normally open (NO), potential
free

Setpoint relays (MxG55x)
Hysteresis% of threshold

10

Setpoint relays (MxG55x)
Contact rating of mechanicalrelays

V/A<30/ <1

ms<30

Setpoint relays (MxG55x)
Switching time진공에 노출된 재료
3Mx0-00x-0x0x

W, Ni alloy, AI₂O₃, glass,stainless steels

3Mx3-00x-0x0x

Ni alloy, AI₂O₃, stainlesssteels

3Mx0-xxx-xxxx

Ni alloy, Mo, AI₂O₃, glass,stainless steels

3Mx3-xxx-xxxx

Mo, AI₂O₃, stainless steels

3Mx0-11x-xxxxNi alloy, Mo, Al₂O₃, glass, Ti,stainless steels

3Mx3-11x-xxxx

Mo, Al₂O₃, Ti, stainless steels

내부 용적

22.8

DN 25 ISO-KF

cm³~19.9

DN 40 ISO-KF

cm³~20.9

DN 40 CF-F

cm³~25.2

DN 40 CF-R

cm³~25.6

7

Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지사양
유형
cm³

MAG5xx

MPG5xx22.8

22.8

무게 (MxG50x)
DN 25 ISO-KF

g<280

DN 40 ISO-KF

g

<320

DN 40 CF-F 및 CF-R

g

<570

DN 25 ISO-KF

g

<500

DN 40 ISO-KF

g

<320

DN 40 CF-F & CF-R

g

<780

Weight (MxG55x)

보호 수준IP 40

CE conformity
EMC

2014/30/EU, EN 61000-6-2,EN 61000-6-3, EN 61326-1

RoHS

2011/65/EU

SafetyEN 61010-1

RS232C / 485C (MxG50x)
Baud rates

kBaud

9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6

RS232C / 485C (MxG50x)
Address

2 switches (address 00 - 255)

Digital functions

Read pressure, select Units:Torr, mbar, Pa, micron,counts. Monitor gauge Status,
detailed Alarm and warning
Information, safe state allows
Definition of behaviour incase of error.

Connector for RS232 & RS485

D-Sub HD, 15-pin, male

EtherCAT® (MxG55x)
ProtocolEtherCAT8Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지?????

IP 40

사양
유형

MAG5xxCommunication standard
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 ⁴⁾
ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0⁵⁾
Node address

Explicit Device Identification

Physical layer

100Base-Tx (IEEE 802.3)

Digital functions

Read pressure, select Units:Torr, mbar, Pa, micron,Counts. Monitor gauge
Status, detailed Alarm andwarning Information, safe
state allows Definition ofbehaviour in case of error.

EtherCAT connector

2 x RJ45, 8-pin (socket),
Input & output

EtherCAT cableSpecial Ethernet Patch cableor crossover cable, shielded(CAT5e Quality or higher)

EtherCAT® (MxG55x)
Cable lenghtm (ft.)1) 전자장치가 없습니다.
2) 공급 장치의 최소 전압은 센서 케이블의 길이에 비례하여증가해야 합니다.
3) 냉음극 점화됩니다.

9Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지<100 (330)

MPG5xx예비 부품MAG5xx

MPG5xxMAG500 spare sensor, 25KF, SS

351-500-

MAG500 spare sensor, 25KF, TI

351-502-

MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS

351-524-

MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI

351-526-

MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS

351-536-

MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI

351-538-

MAG500 spare sensor, 40KF, SS351-512-

MAG500 spare sensor, 40KF, TI

351-514-MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI

351-503-MAG504 spare sensor, 25KF, SS

351-501-MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS

351-525-MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI

351-527-

MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS

351-537-

MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI

351-539-

MAG504 spare sensor, 40KF, SS

351-513-MAG504 spare sensor, 40KF, TI

351-515-

MPG500 spare sensor, 25KF, SS-351-506

MPG500 spare sensor, 25KF, TI-351-508

MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS-351-530

MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI-351-532

MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS-351-542

MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI-351-544

MPG500 spare sensor, 40KF, SS-351-518

MPG500 spare sensor, 40KF, TI-351-520

MPG504 spare sensor, 25KF, SS-351-507

MPG504 spare sensor, 25KF, TI-351-509

MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS-

351-531

MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI-351-533

MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS-

351-543

MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI-351-545

MPG504 spare sensor, 40KF, SS-

351-519

MPG504 spare sensor, 40KF, TI-351-521

MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)351-995351-995

Spare ion chamber ss

351-555351-555

Spare ion chamber ti

351-556351-556

10

Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지부속품
MAG5xx

MPG5xxBAFFLE FOR BPG400

353-512353-512CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF

211-113211-113

CENTERING RING WITH FINE FILTER DN 25 KF

211-098

211-098

MxG50x IGNITION TOOL SET

351-550

351-550크기

www.inficon.com

reachus@inficon.com

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09.08.2016=> Accuracy
MPG at 1x102 ...10mbar
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