超高真空トリプルゲージ™に対するBCG450 ATM

INFICONベイヤード・アルパートピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ(トリプルゲージ™)BCG450は、コンパクトかつ経済的な1台のパッケージに3種類のテクノロジーを組み込み、プロセスと、5×1010～1500 mbar（3.75×10-10～1125 Torrまで）の基準気圧を計測することができます。BCG450は3つのセンサー（熱陰極、コンベクション式ピラニ、真空スイッチ）に代わるようにデザインされ、これによってコストを削減し、貴重なスペースを節約します。

利点n

BCG450はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減

n

10 Torr以上のガス種に依存しない気圧計測は、どのような混合ガスに対しても、より信頼できるロードロックコントロールを実現します。

n

ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止

n

自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減

n

差圧測定により、気圧の変化による不確実性を取り除きますn

交換が容易なセンサー部と、オンボード較正データにより再現性を保証

nオプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもありますn

RoHSコンプライアンス

注文の情報

1

超高真空トリプルゲージ™に対するBCG450 ATM

タイプ

BCG450BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R

353-553

BCG450 DN 40 CF-R

353-551

BCG450 LCD、DN 25 ISO-KF

353-552

BCG450 TripleGauge; W, DN 40 CF-R

353-606

BCG450 DN25KF (ディスプレイ無し)

353-550

BCG450 スペア測定 DN40CF-R

354-493

BCG450-PN Profinet, DN 25 ISO-KF

353-517

BCG450-PN Profinet, DN 40 CF-R

353-518

BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF

353-557

BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.

353-558

BCG450-SE ECAT、DN 25 ISO-KF

353-592

BCG450-SE ECAT、DN 40 CF-R

353-593

BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-598

BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R

353-599

BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF

353-554

BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R

353-556

スペア センサーヘッド BCG450、DN 25 ISO-KF

354-492

仕様
タイプ

BCG450

測定範囲

mbar

5×10⁻¹⁰ … 1500

測定範囲

Torr

3.75×10⁻¹⁰ … 1125

精度
10⁻⁸ ～ 50 mbar

% of reading±1550 ～ 950 mbar

% of reading±5

950 ～ 1050 mbar

% of reading±2.5

10⁻⁸ ～ 10⁻² mbar

% of reading5

熱陰極エミッションのアクチベーション

mbar2×10⁻² (high)(RS232 / フィールドバスを介し mbarて高/低を選択可能)

8×10⁻³ (low)

再現性

脱ガス (1)
p < 7.2 × 10⁻⁶mbar

最大圧力bar (absolute)2

超高真空トリプルゲージ™に対するBCG450 ATM

electron bombardment, max. 3 min
5

仕様
タイプ

BCG450温度
使用温度 (周囲)°C

0 … +50

保存°C-20 … +70

ベークアウト (フランジにおい °Cて)80

ベークアウト（電子ユニットなし）

°C

150

供給電圧

V (dc)

20 … 28

供給電圧

A (dc)

0.8

アナログ出力信号
出力信号

V

0 … 10.3

測定範囲出力V

0.774 … 10.3

エラー信号

V

0.3 / 0.5

アナログ出力信号
電圧と圧力の関係

volts per decade

0.75kΩ

10

アナログ出力信号
最小負荷
インターフェース (デジタル) (2)RS232C

コネクタ

D-Sub, 15-pin, male

ケーブル長、最大 (3)m (ft.)

接ガス材料

100 (330)
Yt₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI₂O₃, SnAg,
stainless steel, glass

内部容積 KF / CF

cm³ (in.³)

重量 KF / CFg

保護クラス

24 (1.46) / 34 (2.1)
285 / 550
IP30

DeviceNet™
プロトコル
MAC ID

DeviceNet™, group 2 slave only
2 switches (address 00 - 63) or network
programmable

ネットワークサイズ

up to 64 nodes per segment

デジタル機能read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas
function, monitor gauge status, safe state allows
definition of behavior in case of error, detailed alarm
and warning information

アナログ機能0 … 10 V analog output pressure indication, two
setpoint relays A + B

3

超高真空トリプルゲージ™に対するBCG450 ATM

仕様
タイプ

BCG450ビジュアルコミュニケーショ
ンインジケーター

LED network status (green / red) ; LED module status(green / red)仕様

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

デバイスタイプ''CG'' for combination gauge

I/O スレーブメッセージング

polling only

セットポイントリレー： セッ
トポイント数2

セットポイントリレー： リ
レー接点n.o., potential free

セットポイントリレー： コネ
クター

D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 用コネクタ

Microstyle, 5-pin

BCG 用コネクター (アナログ出力、供給電圧、セットポイント)

D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™
データレートスイッチ

kBaud

125, 250, 500 or network programmable

ケーブル長さ 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

ケーブル長さ 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

ケーブル長さ 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

mbar

1×10⁻⁹ … 1400

DeviceNet™

DeviceNet™
セットポイントリレー： レンジ
DeviceNet™
セットポイントリレー： ヒス
テリシス% of reading

10

セットポイントリレー： 接点
定格

V (dc)

60

DeviceNet™ 用供給電圧

V (dc)

11 … 25

ゲージ用供給電圧

V (dc)

20 … 28

セットポイントリレー： 接点
定格

A (dc)

0.5

DeviceNet™ 用供給電圧

A (dc)

0.5

ゲージ用供給電圧

A (dc)

0.8

DeviceNet™

DeviceNet™

4

超高真空トリプルゲージ™に対するBCG450 ATM

仕様
タイプ

BCG450

Profibus DP
ボーレート

kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

Mbaud

1.5 / 12

Profibus DP
ボーレート
Profibus DP
アドレス

2 switches (address 00 - 127) or network
programmable

デジタル機能read pressure, select units: Torr, mbar, Pa ; degas
function , monitor gauge status , safe state allows
definition of behavior in case of error , detailed alarm
and warning information

アナログ機能0 … 10 V analog output pressure indication , two
setpoint relays A + B

セットポイントリレー： セットポイント数2

セットポイントリレー： リ
レー接点n.o., potential freeProfibus DP 用コネクター

D-Sub, 9-pin, female

BCG 用コネクタ (アナログ出力、供給電圧、セットポイント)

D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP
セットポイントリレー： レンジmbar

1×10⁻⁹ … 1400

Profibus DP
セットポイントリレー： ヒステリシス% of reading

10V (dc)

60

A (dc)

0.5

Profibus DP
セットポイントリレー： 接点
定格
Profibus DP
セットポイントリレー： 接点
定格
EtherCAT
Protocol EtherCAT
通信規格

ノードアドレス

5

超高真空トリプルゲージ™に対するBCG450 ATM

protocol specialized for EtherCAT
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device
Profile (CDP)ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part
2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum
Pressure Gauge
Explicit Device Identification

仕様タイプBCG450

物理層100BASE-Tx (IEEE 802.3)

デジタル機能 EtherCAT

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission
control, degas function monitor gauge status, filament
status safe state allows definition of behavior in caseof error detailed alarm and warning

処理データ

Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

Mailbox（CoE）

SDO requests, responses and information

EtherCATコネクタ

RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

ケーブル

shielded Ethernet CAT5e or higher

EtherCAT
ケーブル長m (ft.)≤100 (330)ProfinetCommunication protocol
Data rate
Physical layerprotocol specalized for Profinet
100 Mbps
100BASE-Tx (IEEE 802.3)

Digital functions Profinet
read pressure, select Units (Torr, mbar, Pa), emisson
control, degas function, monitor gauge status,
filament status
Analog function

10 … 10 V anlog output pressure indication

Profinet connector

2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output

Profinet Cable

Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable,
shielded (CA5e quality or higher)

Cable lenght<100 m (330 ft)
Cyclic data
Mailbox (CoE) Profinet(1) 脱気中の精度低下(2) RS232CまたはVGC40xシリーズコントローラーとFieldbusの同時使用は不可(3) RS232Cのオペレーションは<30m6

超高真空トリプルゲージ™に対するBCG450 ATM

IO-dataconfiguration, responses and information

スペア部品BCG450BCG450 スペア測定 DN40CF-R

354-493

スペア センサーヘッド BCG450、DN 25 ISO-KF

354-492

アクセサリ
BCG450BAFFLE for BPG400

353-512Centering ring with baffle DN 25 KF

211-113Power supply BPG400 24VDC

353-511

寸法www.inficon.com

reachus@inficon.com

製品向上のプログラムを続行するため、仕様は通知なく変更されます。
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