Grundlegende Sicherheitsvermerke

Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern:
MPG400 (FPM-gedichtet)
MPG401 (ganzmetall)
351-010 (DN 25 ISO-KF)
351-020 (DN 25 ISO-KF)
351-011 (DN 40 ISO-KF)
351-021 (DN 40 ISO-KF)
351-012 (DN 40 CF-F)
351-022 (DN 40 CF-F)
Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen dem Produkt mit
Artikelnummer 351-010. Sie gelten sinngemäß auch für dieanderen Produkte.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
Alle Maßangaben in mm.

Bestimmungsgemäß er Gebrauch
Die Inverted Magnetron Pirani Gauges MPG400 undMPG401 erlauben die Vakuummessung von Gasen imDruckbereich 5×10-9 … 1000 mbar.
Die Inverted Magnetron Pirani Gauges dürfen nicht für dieMessung von leicht entzündbaren oder brennbaren Gasen,
die mit Luft reagieren, verwendet werden.
Die Messröhren können mit dem INFICON Messgerät derVGC40x- / VGC50x-Serien, oder mit einem kundeneigenen
Auswertegerät betrieben werden.

• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen
Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen zulässig. Beachten Sie zudem die in diesem Dokument angegebenen Sicherheitsvermerke.
• Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften undhalten Sie die Schutzmaßnahmen ein.

GEFAHRGEFAHR: Magnetfelder
Starke Magnetfelder können elektronische Geräte, z. B. Herzschrittmacher, stören oder ihre
Funktion beeinträchtigen.
Zwischen Herzschrittmacher und Magnet einen
Sicherheitsabstand von =10 cm einhalten oder
den Einfluss starker Magnetfelder durch Magnetfeldabschirmungen vermeiden.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzerweiter.

• dieses Dokument missachten• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen

Funktion
Die Messröhren enthalten zwei separate Messsysteme(Pirani- und Kaltkathoden-System) deren Signale so verknüpft werden, dass ein Ausgangssignal zur Verfügung steht.
Der Pirani Sensor ist ständig aktiv.

• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungenusw.) vornehmen• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten
Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (Heizfaden), fallen
nicht unter die Gewährleistung.

Vorsicht
4 6 10–1

24 6 10024 6 10124 610

27560

10–1
864864Low = 0 VAnzeigenbereich
10-6 ... 10-1 mbar

Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen undsauberes Werkzeug benutzen.

55

2Low = 0 V

High = 15 … 30 V (dc)

ø 63.5

Ar

10–3
8
6
4
2

LuftN2O2
CO

10–4

ø 63.5864
2
86
4

Hochspannung ein (LED ein)

WARNUNG

He

10–5

10–6
10-6 2Die Messröhre darf nur an Speise- oder Auswertegeräte angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung mit sicherer Trennung zum Netz (PELV)
entsprechen. Die Leitung zur Messröhre istabzusichern 1).
Versorgungsspannung an derMessröhre

15 … 30 V (dc)
(Rippel ≤1 Vpp)

Leistungsaufnahme
Sicherung 1)≤2 W

Abgleich
Potentiometer <HV>
Potentiometer <ATM>≤1 AT

16 … 30 V (dc)
(Rippel ≤1 Vpp) 2)
Abgleich unter 10-4 mbar
Abgleich bei Atmosphärendruck

Elektrischer Anschluss
Messkabel
Leitungslänge

FCC68 Buchse, 8-polig
8-polig, abgeschirmt≤50 m (8×0.14 mm²)

Betriebsspannung
Betriebsstrom≤3.3 kV

Erdkonzept
Vakuumanschluss-Messerde→ "Elektrischer Anschluss"über 10 kΩ verbunden(max. Spannungsdifferenz
bezüglich Sicherheit ±50 V
bezüglich Genauigkeit±10 V)
getrennt geführt

Speisungserde-Signalerde
Werkstoffe gegen Vakuum
Vakuumanschluss
Messkammer
Durchführung
Interne Dichtung
MPG400
MPG401
Anode
Zündhilfe
Pirani-Messrohr
Pirani-Heizfaden
Einbaulage

4 6 10-6 2

4 6 10–4 2

4 6 10-3 2

4 6 10-2 2

4 610-1

peff (mbar)

GEFAHR

Spannung am Speisegerät
bei max. Leitungslänge

Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen
die Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten dieRegeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor
Beschädigung beachten.

210–2

2

Verantwortung und Gewährleistung
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen• Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender
Spannring zu verwenden.

p (mbar)Speisung• Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie
die Schutzmaßnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen (z.B. Explosion)
zwischen Werkstoffen und Prozessmedien.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der Prozessmedien infolge Eigenerwärmung des Produkts.

Gültigkeit<10 ms≈1000 ms

≤500 µA

DN 25 ISO-KF

Gewicht
351-010351-011351-012≈700 g≈720 g≈980 g

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.

2)

Die minimale Spannung des Speisegerätes muss proportionalzur Leitungslänge erhöht werden.

XeKrAr

H2NeHeK (Mittelwerte)

1.0

0.4

0.5

0.8

2.4

4.1

5.9

Die Einbaulage ist beliebig. Damit Kondensate undPartikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine
waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzugen
und eventuell eine Dichtung mit Zentrierring undFilter zu verwenden.
Bei der Montage an CF-Flanschen kann es vorteilhaft sein, die Elektronikeinheit und die Magneteinheit zu entfernen (→  Gebrauchsanleitungtina48d1).
Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystemanschließen.

Vakuumanschluss
p = 101.667U-dmbar

GEFAHR

torr

1E+02

1E–04

Luft(O2, CO, N2)

WARNUNG: Elektrischer ÜberschlagHelium kann in der Elektronik des Produkts zuelektrischen Überschlägen führen und diesezerstören.
Vor der Durchführung der Dichtheitsprüfung das
Produkt außer Betrieb setzen und Elektronikeinheit abnehmen.

Pa

1E+04

1E–02

GasartEinbauDruck p1E+00

peff = K × angezeigter Druck≈730 g≈750 g≈1010 g351-020351-021351-022

Messsignal vs. Druck

1E–06

GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 barÖffnen von Spannelementen bei Überdruck imVakuumsystem kann zu Verletzungen durch
herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden
durch ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck
im Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete Spannelemente verwenden.

Innensechskant SW 1.5
SW 7

1E–08
0.00.5 1.5 2.5 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5
U [V]

8.5 9.5 10.5

Messsignal U [V]p = 101.667×U-d

FPM 75
Ag, Cu, Weichlot (Sn, Ag)
MoEdelstahl
Ni, AuW1)

DN 40 ISO-KF

DN 40 CF-F

Edelstahl
Edelstahl
Keramikbeliebig

Im Bereich unter 10-5 mbar ist die Anzeige linear. Für andere
Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnung ermittelt werden:

overrange

Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein:

Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen
nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen
Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult wurden.

• CF-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.

peff (mbar)

sensor error

Produktidentifikation

Xe

100

H2O2Dampf
10–2–3
10 2 4 6 10–2 215.5

FachpersonalFreon 12Kr

2864Abmessungen [mm]32(2017-07)

Pin 6Anzeigenbereich>10-2 mbar)

864

GEFAHR: Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können imStörungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen:

10–1

18.5

tima48d1-b

Personalqualifikation

Statusp > 10-2 mbar
Reiner Pirani-Betrieb
p < 10-2 mbar
Kaltkathode nicht
gezündet
Reiner Pirani-Betrieb
p < 10-2 mbar
Kaltkathode gezündet,
Kombinierter Pirani-/
Kaltkathoden-Betrieb
LED

Schutzart

2LuftO2
CON2CO2Ar

275

inkl. EU-Konformitätserklärung

85 kΩ
gegen Speisungserde

Verwendung+31 °C, abnehmend auf
50% bei +40 °C
nur in Innenräumen
Höhe bis zu 2000 m NN
IP 40105Kurzanleitung

Identifikation Messröhre≤80% bei Temperaturen bis60Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden
führen.

2×10 Ω
10 kΩ, kurzschlussfest

Relative Feuchte

864

Pirani-Heizfaden
Lagerung

H2 He Ne

864

101

24

Vorsicht

Ausgangsimpedanz
Minimale Lastimpedanz
Ansprechzeit (druckabhängig)
p > 10-6 mbar
p = 10-8 mbar

GEFAHRp (mbar)102

underrange

Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.

Gasartabhängigkeit+5 …+55 °C
150 °C (ohne Magnetabschirmung und Elektronikeinheit)
120 °C−40 …+65 °C

55WARNUNG

Ausgangssignal (Messsignal)
0 … +10.5 V
Spannungsbereich
Messbereich
1.82 … 8.6 V
Spannung vs. Druck
logarithmisch, 0.6 V/DekadeFehlersignal<0.5 V keine Speisung>9.5 V Pirani-Messelement
defekt (Fadenbruch)≤10 bar (absolut),beschränkt auf inerte Gase

Temperaturen
Betrieb 3)
Ausheizen

sensor error

Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher
Art.

Wiederholbarkeit

5×10-9 … 1000 mbar≈±30% (im Bereich
1×10-8 … 100 mbar)≈±5% (im Bereich
1×10-8 … 100 mbar)≈20 cm³92

MPG400
MPG401GEFAHR

Messbereich (Luft, N2)
Genauigkeit (N2)28

Verwendete Symbole

Inverted Magnetron Pirani
Gauge

Inneres Volumen
Druck

Technische Daten

18Sicherheit

dcgültig im Bereich3)

U = c + 0.6log10 p⇔mbar

PaTorr

11.33
6.8

9.33
5.6

11.46
6.875

GEFAHRGEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem>2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtungen (z.B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr
standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden
durch ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.

Schutzkappe

Schutzkappe aufbewahren.

5×10-9 mbar <p< 1000 mbar
3.8×10-9 Torr <p< 750 Torr
5×10-7 Pa <p< 1×105 Pa

MPG401: Bis 150 °C am Flansch bei waagrechter Einbaulage
und ohne Magneteinheitt i ma 4 8 d 1 - b

Original: Deutsch tima48d1-b (2017-07)(2017-07)

Zündverzögerung
Dichtung mitZentrierringoder

Schutzdeckel

Spannelement

Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eineZündverzögerung. Sie nimmt bei tieferen Drücken zu undbeträgt für saubere, entgaste Messröhren typischerweise bei:
…10-5 mbar
≈1 Sekunde…10-7 mbar
≈20 Sekunden-9
5×10 mbar≈2 Minuten
Die Zündung ist ein statistischer Prozess, der bereits durchgeringe Ablagerungen auf den inneren Oberflächen starkbeeinflusst werden kann.
Solange der Kaltkathodenmesskreis nicht gezündet hat, gibt
der Signalausgang den reinen Pirani-Messwert wieder.

Dichtung mit Zentrierring
und Filter

Falls ein Abgleich der Messröhre im eingebauten Zustandmöglich sein soll, ist die Zugänglichkeit zu den beiden Potentiometern <HV> und <ATM> mit dem Schraubendreher zu
gewährleisten (→ "Messröhre abgleichen").

Elektrischer Anschluss
Die Messröhre muss ordnungsgemäß angeschlossen sein (→ "Vakuumanschluss").

Bei hohen Betriebsdrücken und / oder verschmutzenden Betriebsbedingungen ist ein regelmäßiges
Reinigen der Messröhre erforderlich.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile(Heizfaden), fallen nicht unter die Gewährleistung.

Der für den tiefen Druckbereich (<1×10-3 mbar) dominante
Kaltkathoden-Messkreis ist werksseitig fest abgeglichen. Hingegen kann der Pirani-Messkreis nachjustiert werden. Beim
Abgleichen wird der Druckbereich zwischen etwa 10-2 mbar
und 102 mbar kaum beeinflusst.

oder… 1×103 mbar
abgleichen

Produkt zurücksenden
WARNUNG Typenschild in seine Ausgangsposition zurückdrehen(es rastet ein).

 Eventuell eingesetzte Dichtung mit Zentrierring undFilter auf Verschmutzung prüfen und nötigenfalls
ersetzen (→ "Ausbau").

 Messröhre in Betrieb nehmen.
 Evakuieren auf p << 10 mbar, anschließend-4 Typenschild im Gegenuhrzeigersinn bis zum Anschlag
drehen.

schließen.

Mit einem zylindrischen Stift (ø ≈ 3 mm) den Taster
drücken.
Gleichzeitig mit Schraubendreher (1.5 mm) am
Potentiometer <HV> auf …
… 4.2 Vabgleichenoder… 5×10-4 mbar
abgleichen

Betrieb
Nach dem Anlegen der Speisespannung steht zwischen denAnschlüssen 3 und 5 das Messsignal zur Verfügung
(Beziehung Messsignal-Druck → "Technische Daten").
Eine Stabilisierungszeit von ≈10 Minuten ist zu beachten. DieMessröhre sollte unabhängig vom anliegenden Druck immer
eingeschaltet bleiben.
• Der Pirani-Messkreis ist immer aktiviert.
• Der durch den Pirani-Messkreis gesteuerte KaltkathodenMesskreis wird erst bei Drücken <1×10-2 mbar aktiviert.

Gasartabhängigkeit
Der Messwert ist gasartabhängig. Die Anzeige gilt für trockene Luft, O2, CO und N2. Für andere Gase ist sie umzurechnen (→ "Technische Daten").
Wird die Messröhre mit einem INFICON-Messgerät betrieben, kann für diese Fälle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur desangezeigten Messwerts eingegeben werden.

Anschließend 1/3 Umdrehung im Gegenuhrzeigersinn drehen.

 Belüften mit Luft oder Stickstoff auf Atmosphärendruck,anschließend mindestens 10 Minuten warten.

 Typenschild im Uhrzeigersinn bis zum Anschlag
drehen.

WARNUNG: Versand kontaminierter Produkte
Kontaminierte Produkte (z.B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art)können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit
frei von Schadstoffen sein. Versandvorschriften
der beteiligten Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beilegen(Formular unter www.inficon.com).
Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert.

GEFAHRGEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- undUmweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und dieSchutzmaßnahmen einhalten.

Vorsicht

 Messröhre mit dem Messkabel an das Messgerät an-RECOGNIZEDCOMPONENT

EU-Konformitätserklärung

The products MPG400 and MPG401

Hiermit bestätigen wir, INFICON, für die nachfolgenden Produkte die Konformität zu folgenden Richtlinien:• conform to the UL Standard UL 61010-1• 2014/30/EU, Abl. L 96/79, 29.3.2014

ETL LISTED(EMV-Richtlinie; Richtlinie über dieelektromagnetische Verträglichkeit)• are certified to the CAN/CSA Standard
C22.2 No. 61010-1• 2011/65/EU, Abl. L 174/88, 1.7.2011

3103457(RoHS-Richtlinie; Richtlinie zur Beschränkung
der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten)Inverted Magnetron Pirani
Gauge
MPG400
MPG401
Artikelnummern
351-020351-010351-021351-011351-022351-012

NormenHarmonisierte und internationale/nationale Normen sowie
Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)

Ausbau>10 Minuten warten.

ETL-Zertifizierung

Mit Schraubendreher (1.5 mm) am Potentiometer<ATM> auf …

Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Durch Einsatz unter
anderen klimatischen Bedingungen, durch extreme Temperaturen, Alterung, Verschmutzung oder durch Austauschen
des Sensors kann eine Verschiebung der Kennlinie stattfinden und ein Nachabgleich notwendig werden.

 Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel
gemäß Schema herstellen.

→  Gebrauchsanleitung tina48d1… 8.60 Vabgleichen

Messröhre abgleichen
Schutzkappe aufbewahren.

Instandhaltung, Störungsbehebung

Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen
die Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten dieRegeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor
Beschädigung beachten.

Ohne ausgefüllten "Fragebogen zur Sicherheit" eingesandte
Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2010 (Sicherheitsbestimmungen für elektrische
Mess- u. Steuereinrichtungen)• EN 61326-1:2013; Gruppe 1, Klasse B (EMV-Anforderungen für elektrische Mess- u. Steuereinrichtungen)

Hersteller / Unterschriften
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

Produkt entsorgen

17. Juli 201717. Juli 2017

Dr. Bernhard Andreaus
Director Product Evolution

Markus Truniger
Product Manager

GEFAHRGEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- undUmweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die
Schutzmaßnahmen einhalten.

Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen undsauberes Werkzeug benutzen.

 Vakuumsystem belüften.
 Messröhre außer Betrieb setzen und Messkabel ausziehen.

 Messröhre vom Vakuumsystem demontieren undSchutzkappe montieren.
Bei der Demontage von CF-Flanschen kann es vorteilhaft sein, die Elektronikeinheit und die Magneteinheit zu entfernen (→ "Einbau").

WARNUNGWARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechanische undElektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichenVorschriften entsorgen.
Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in folgende Kategorien zu unterteilen:• Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend,mikrobiologisch, usw.) müssen entsprechend den länderspezifischen Vorschriften dekontaminiert, entsprechend
ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden.
• Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu
trennen und der Wiederverwertung zuzuführen.

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
Fax +423 / 388 3700
reachus@inficon.com
www.inficon.com