PRIMESMicroSpotMonitor

マイクロスポットモニタ

MicroSpotMonitor マイクロスポットモニタ（MSM）は、マイクロマテリアルプロセッシング分野で使用 される微小スポットに集光されたレーザビームをチェック、モニタリング、および品質管理するための 理想的なツールです。

MSMは、ビームプロパゲーションパスに沿った異なる位置でのフォーカス周辺の 空間ビーム分布を自動的に測定、解析します。

基本

集光レーザは、製造結果の品質に大きな影響を与えます。
また、レーザ加工における実際のツールです。

MicroSpotMonitor マイクロスポットモニタ （MSM） のタスクは、マイクロマテリアルプロセッシング用レーザシステムの集光レーザビームの品質管理とモニタリングです。定期的測定により、ビームプロファイル、焦点位置またはビームサイズの変化を検出および記録できます。
結果は、エラー解析だけでなく、微細加工プロセスの最適化に役立ちます。
MSMは多様な作業環境で使用できるため、ユーザに幅広いアプリケーションと可能性を提供します。

アプリケーション

MSMは、様々なアプリケーションで試され、テストされており、多くの利点があります：プロセス開発中に、レーザパラメータを簡単かつ再現性よく文書化できます。
レーザシステムのセットアップと品質管理は、迅速かつ一定の品質で行うことができます。

ビームパラメータの変更をもたらす光学部品のエージングプロセスを早期に検出することができ、メンテナンスの正確な計画が可能になります。
レーザ加工された部品の一貫した品質保証ができます。
システムブレークダウン時、エラー原因を容易に特定でき、これによりダウンタイムが大幅に削減されます。

ビームパラメータ•

シングルプレーンでのビーム強度分布•

フォーカスディメンション

•

レイリー長

••

焦点位置

•

•

ビームパラメータプロダクトBPP

ビームプロパゲーションレシオM2

すべての測定はISO 11146に準拠して行われます。

発散角

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MicroSpotMonitor
レーザ

測定面上限

原則：カメラベース測定

下限

M i c r o S p o t M o n i t o rマイクロスポットモニタ（M S M）は 、プロ セッシングゾーン内でスポット径 2 0 µ m から1 m m 、平均パワー200 Wまでの集光レーザビームのビームパラメータ

アブソーバを測定できます。

空 冷 式 システムで、ビームスプリッタとN Dフィルタで 減オブジェクトレンズ

衰 さ れ た レ ー ザ ビ ー ム を C C D セン サ に 結 像 さ せ ます。

ビーム位置及びビーム半径は、各プレーンで計測されたビーム強度分布などから導かれます。ビームパラメータは、インテグレートされた Z 軸 移 動メカニズムを使 用しての、レーザビームパスに沿った異なる位置での測定により計算されます。

MSMの測定用光学系は、測定されるビームに応じて選択される。
重要な要素は、波長（248–1090 nm）と焦点スポットサイズからミラー

フィルタ

CCD

オブジェクトレンズ

プリズム決定される倍率（3：1、5：1、15：1）です。

インテグレートされたCCDセンサのダイナミックレンジは、照射時間を制御することにより130 dB以上に拡大され、ISO 11146

フィルタホイールで要求される4レイリー長以上のコースティクスの測定が可能になります。

トリガ

アブソーバ

オプションとして、NDフィルタ（OD1〜OD5）を装備したフィルタホイールをMSMに追加することができます。

このフィルタホイールは、システムを変更することなく数W / cm²

レーザビームエクステンション

から数MW / cm²までのパワー密度測定を可能にします。

操作上の選択肢：MSMにおける光学システムの概略図

MicroSpotMonitor マイクロスポットモニタ（MSM）の操作には2つの選択肢があります。

1.PCベースのLaserDiagnosticsSoftware (LDS）を使用し、ビーム位置、ビームサイズ、ビーム強度分布を手動または半自動測定する。

2.スクリプトコントロールによるMSMの半自動制御。
たとえば、サービス、品質保証、受入れ検査などの繰返測定などに有効です。
必要な個別測定手順に適合できます。

利点：プログラムされたユーザーガイダンスは、MSMの操作を簡便にします。

多様性：モデルとオプション

1.ビームパラメータに応じて、以下の3つのオブジェクティブレンズを選択できます。
•

3.3×MOB（メジャリングオブジェクティブ）•15×MOB•

5×MOB

シングルモードファイバレーザの3Dプレゼンテーション

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2.各々のオブジェクティブレンズは、以下の波長レンジの1つまたは組合せで供給されます：
340 – 360 nm•

515 – 545 nm•

1030 – 1090 nm•

3.コーティングの変更により、他の波長レンジ対応も可能です。

4.交 換 可 能 なN Dフィルタは、パルスレーザおよびUSPレーザのピークパワーを減衰させます。

シングルモードファイバレーザのコースティックプレゼンテーション

5.NDフィルタ（OD1〜OD5）を装備したフィルタホイールにより、MSMの測定レンジを調整できます。
6. LaserDiagnosticsSoftwareは、測定結果の評価を可能にし、限界値をモニタします。

LaserDiagnosticsSoftwareでは、様々なビーム径定義の使用が可能です：2ndモメント（標準）、移動スリット法、86 ％パワー（標準）、ナイフエッジ法、ガウシアンフィット、86 ％パワー密度ドロップなど。

テクニカルデータ MicroSpotMonitor マイクロスポットモニタ
測定パラメータパワーレンジ
波長レンジ
ビーム径

測定原理

••
•
•
•

1 mW – 200 W

257 – 272 nm (ご要望に応じて)340 – 360 nm
515 – 545 nm
1030 – 1090 nm
20 µm – 1 mm

CCDによるxy平面におけるレーザビームのパワー密度分布の2次元記録
測定レンジx、y方向：使用目的に応じて0.02 – 8 mm
35 mm z-レンジ（120 mmも可能）
xおよびy方向の空間分解能（1ラインあたりの測定点の数32,64,128,256）

ピクセルあたり0.3 μmまで、対物レンズの回折限界
オプション：6レベル切替え可能なアッテネータ 0 – 100 dB

サプライデータ
電源24VDC±5 %、最大1.8 A

インタフェース

Ethernet

サイズ
•長さ
•幅
•
高さ

430 mm (コネクタを除く)
202 mm
182 mm (+ 35 mm可動範囲、オプション120 mm）

コミュニケーション
サイズと重量重量 (約)

環境条件

動作温度範囲許容湿度（結露しないこと）

15 kg+10°C 〜 +40°C
10 – 80 %PRIMES Japan 株式会社 | 〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜2-3-4 クレシェンドビル 7F

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