AD2-I20-A004A

6mφ 放射計スペースチャンバ
ユーザーズマニュアル株式会社 エイ･イー･エス
Advanced Engineering Services Co., Ltd.

目次
1.

目的........................................................................................................................................................ 1

2.

設備概要................................................................................................................................................. 2
2.1.

システム構成 ........................................................................................................................................ 22.2.

性能仕様 ............................................................................................................................................... 4

2.2.1. 制御監視系 ........................................................................................................................................ 5
2.2.2. 真空容器系 ........................................................................................................................................ 5
2.2.2.1. 真空容器本体 .............................................................................................................................................. 5
2.2.2.2. 供試体搬入用装置 ....................................................................................................................................... 6

2.2.3. 真空排気系 ........................................................................................................................................ 8
2.2.4. 極低温系 ............................................................................................................................................ 8
2.2.5. 試験用電源系 .................................................................................................................................... 11
2.2.6. 防振系 .............................................................................................................................................. 13
2.2.7. 計測データ処理系 ........................................................................................................................... 19
2.2.8. 付帯設備 .......................................................................................................................................... 21

2.2.9. 付属品及び予備品 ........................................................................................................................... 23
3.

ユーザーインタフェース ...................................................................................................................... 26
3.1.

チャンバ内外間コンフィギュレーション........................................................................................... 263.2.

計測制御室 .......................................................................................................................................... 26

3.3.

装置インタフェース ........................................................................................................................... 26

3.3.1. 真空容器系 ...................................................................................................................................... 26
3.3.1.1. 真空容器ノズル配置 .................................................................................................................................. 26
3.3.1.2. 電力・信号等結線について ....................................................................................................................... 31
3.3.1.3. ハードポート詳細 ..................................................................................................................................... 47
3.3.1.4. 供試体冷却・加温インタフェース ............................................................................................................ 52
3.3.1.5. 供試体搬入用装置インタフェース ............................................................................................................ 56
3.3.1.6. 光学窓・アライメント窓について ............................................................................................................ 57
3.3.1.7. その他（真空容器内作業床、移動式操作架台、高所作業台） ................................................................. 61

3.3.2. 試験用電源装置 ............................................................................................................................... 65
3.3.2.1. 本装置の配置、構成、操作 ....................................................................................................................... 65
3.3.2.2. 電源の接続 ................................................................................................................................................ 65

3.3.3. 防振系 .............................................................................................................................................. 71
3.3.4. 付帯設備 .......................................................................................................................................... 73
3.3.4.1. クリーンブース ......................................................................................................................................... 73

3.4.

設備付属品 .......................................................................................................................................... 77

i

3.5.

建屋インタフェース ........................................................................................................................... 78

3.5.1. 準備室 .............................................................................................................................................. 78
3.5.2. 計測制御室 ...................................................................................................................................... 79
3.5.3. 試験用分電盤設備 ........................................................................................................................... 79
3.5.4. クレーン設備 ................................................................................................................................... 84
3.5.5. 解梱室 .............................................................................................................................................. 84
3.5.6. ユーザ用 UPS ................................................................................................................................. 86
3.5.7. コンタミネーション管理 ................................................................................................................. 884.

試験の実施 ........................................................................................................................................... 90
4.1.

試験作業手順 ...................................................................................................................................... 90

4.1.1. 試験概要 .......................................................................................................................................... 91
4.1.2. 標準チャンバ排気曲線等 ................................................................................................................. 93
4.2.

停電対策 ............................................................................................................................................. 94

4.3.

その他特記事項 .................................................................................................................................. 97

4.3.1. 試験にあたっての確認事項 ............................................................................................................. 97
4.3.2. スペースチャンバ使用上の主要な注意事項 .................................................................................... 98
4.3.3. 緊急停止スイッチ ........................................................................................................................... 99
4.4.

キックオフミーティング時の提出書類 ............................................................................................ 103

ii

図目次
図 2-1 6mφ 放射計スペースチャンバ外観 ........................................................................................... 2
図 2-2 システム構成図 ........................................................................................................................ 3
図 2-3 システム系統図 ........................................................................................................................ 3
図 2-4 制御監視系システム構成図 ...................................................................................................... 5
図 2-5 供試体搬入用装置外観 ............................................................................................................. 7
図 2-6 冷却パネル付支持卓 ................................................................................................................. 9
図 2-7 支持卓 ..................................................................................................................................... 10
図 2-8 電源架 外観 ............................................................................................................................ 12
図 2-9 防振系 ..................................................................................................................................... 13
図 2-10 防振架台 ............................................................................................................................... 15
図 2-11 独立基礎................................................................................................................................ 16
図 2-12 振動解析装置ブロック図 ...................................................................................................... 18
図 2-13 計測データ処理装置 系統図 ................................................................................................ 19
図 2-14 クリーンブース 外観 ......................................................................................................... 22
図 2-15 カロリーメータ結線例 ......................................................................................................... 24
図 2-16 カロリーメータ構成図 ......................................................................................................... 25
図 3-1 準備室内運用図 ...................................................................................................................... 27
図 3-2 計測制御室装置配置図 ........................................................................................................... 28
図 3-3 貫通端子ノズル配置図 ........................................................................................................... 29
図 3-4 貫通端子結線図 ...................................................................................................................... 34
図 3-5 供試体系信号ライン結線図(A1～A100) ................................................................................. 36
図 3-6 供試体系電力ライン結線図(B1～B11) ................................................................................... 37
図 3-7 供試体熱電対・カロリーメータ・熱電対予備ライン結線図 ................................................. 38
図 3-8 供試体系温度センサ結線図(E1～E13) ................................................................................... 39
図 3-9 SBG 温度計測結線図(G1～G3) ............................................................................................... 40
図 3-10 試験用電源大電力結線図(H1～H15).................................................................................... 41
図 3-11 試験用電源小電力結線図(J1～J6) ........................................................................................ 42
図 3-12 供試体系同軸ケーブル用貫通端子 ....................................................................................... 43
図 3-13 容器内常設端子盤(1)、(2)、(3) ............................................................................................ 44
図 3-14 外部入力端子盤(1)、(2) ........................................................................................................ 45
図 3-15 熱電対ソケットコンタクト(日立原町電子製) ...................................................................... 46
図 3-16 ハードポート位置図 ............................................................................................................. 48
図 3-17 冷却パネル付支持卓/支持卓許容荷重................................................................................... 49
図 3-18 胴部シュラウドハードポート許容荷重 ................................................................................ 50
図 3-19 防振架台メンテナンス用ハードポート概略図 ..................................................................... 50
図 3-20 供試体側取合位置図 ............................................................................................................. 54

iii

図 3-21 供試体冷却用 LN2 取合グレイロック図 ............................................................................... 55
図 3-22 供試体加温用 GN2 取合フランジ図 ...................................................................................... 56
図 3-23 供試体搬入手順 .................................................................................................................... 58
図 3-24 光学窓取付位置図 ................................................................................................................. 59
図 3-25 光学窓取付用フランジ構造図 .............................................................................................. 60
図 3-26 光学窓 ................................................................................................................................... 61
図 3-27 真空容器内作業床構造図 ...................................................................................................... 62
図 3-28 移動式操作架台 .................................................................................................................... 63
図 3-29 高所作業台............................................................................................................................ 64
図 3-30 クリーンブース運用概略フロー ........................................................................................... 74
図 3-31 クリーンブース内高さインタフェース ................................................................................ 75
図 3-32 クリーンブースダクト配置図 .............................................................................................. 76
図 3-33 積載台（大） ........................................................................................................................ 80
図 3-34 分電盤/コンセント盤配置図 ................................................................................................. 81
図 3-35 分電盤結線図 ........................................................................................................................ 82
図 3-36 分電盤下部コンセント及びコンセント盤(A)仕様 ................................................................ 83
図 3-37 各室内クレーン可動範囲 ...................................................................................................... 85
図 3-38 ユーザ用分岐盤回路図 ......................................................................................................... 87
図 3-39 NVR プレート 設置場所 概略図 .......................................................................................... 88
図 4-1 試験作業フロー ...................................................................................................................... 90
図 4-2 標準チャンバ排気曲線等 ........................................................................................................ 93
図 4-3 瞬停・停電時の標準フロー .................................................................................................... 95
図 4-4 停電時のチャンバ内圧力推移(約 20 分間の停電発生を想定) ................................................. 96
図 4-5 チャンバ内緊急停止スイッチ .............................................................................................. 100
図 4-6 準備室・計測制御室 緊急停止スイッチ位置 ....................................................................... 101
図 4-7 計測制御室 非常停止操作盤上 緊急停止スイッチ位置 ...................................................... 101
図 4-8 準備室 供試体搬入扉操作盤上 緊急停止スイッチ位置..................................................... 102

iv

表目次
表 2-1 6mφ 放射計スペースチャンバ主要性能及び設備諸元 .............................................................. 4
表 2-2 移動台概略 ................................................................................................................................ 6
表 2-3 供試体搬入台概略 ..................................................................................................................... 6
表 2-4 冷却パネル付支持卓概要 .......................................................................................................... 8
表 2-5 支持卓概要 ................................................................................................................................ 8
表 2-6 試験用電源装置の概略仕様 .................................................................................................... 11
表 2-7 直流安定化電源の概略仕様 .................................................................................................... 11
表 2-8 防振架台概略 .......................................................................................................................... 13
表 2-9 振動解析装置概略 ................................................................................................................... 17
表 2-10 加速度計仕様 ........................................................................................................................ 17
表 2-11 計測データ処理装置概略 ...................................................................................................... 20
表 2-12 クリーンブース概略仕様 ...................................................................................................... 21
表 3-1 フランジ一覧表 ...................................................................................................................... 30
表 3-2 貫通端子一覧表（簡略版） .................................................................................................... 32
表 3-3 貫通端子一覧表（詳細版） .................................................................................................... 33
表 3-4 容器内常設端子盤コネクタと計測データ処理装置 ch 番号対応 ........................................... 35
表 3-5 ハードポート一覧 ................................................................................................................... 47
表 3-6 支持卓ハードポート許容荷重 ................................................................................................ 47
表 3-7 胴部シュラウドハードポート許容荷重 .................................................................................. 49
表 3-8 防振架台上ハードポート許容荷重 ......................................................................................... 51
表 3-9 供試体冷却・加温インタフェース概要 .................................................................................. 52
表 3-10 供試体 LN2 ライン一覧 ........................................................................................................ 52
表 3-11 流量と弁開度の関係 ............................................................................................................. 52
表 3-12 電力コネクタ割付 ................................................................................................................. 66
表 3-13 試験用電源装置ヒータラインピンアサイン表（3kW-2kW 電源架-1） .............................. 67
表 3-14 試験用電源装置ヒータラインピンアサイン表（3kW-2kW 電源架-2） .............................. 68
表 3-15 試験用電源装置ヒータラインピンアサイン表（800W-400W 電源架-1） .......................... 69
表 3-16 試験用電源装置ヒータラインピンアサイン表（80W 電源架(25 台)-1） ............................ 70
表 3-17 設備付属品一覧 .................................................................................................................... 77
表 3-18 ハンドパレット小概略 ......................................................................................................... 78
表 3-19 試験用分電盤リスト ............................................................................................................. 79
表 3-20 クレーン仕様 ........................................................................................................................ 84
表 3-21 ユーザ用 UPS 出力定格・配線番号 ..................................................................................... 86
表 4-1 試験の種類及び環境条件まとめ ............................................................................................. 91
表 4-2 試験目的による試験方法の使い分け...................................................................................... 92
表 4-3 設備側への要求事項 ............................................................................................................. 104v

表 4-4 スペースチャンバ内持込み物品リスト ................................................................................ 105vi1. 目的
本ユーザーズマニュアルは、6mφ放射計スペースチャンバ棟内にある 6mφ放射計スペース
チャンバ（以下「本設備」という）を利用して試験を行うユーザに、必要な情報を提供するものです。
本設備は、宇宙環境を地上に模擬的に作り出し、人工衛星に搭載される地球観測用各種放射計の光学試験及び中・小型衛星、衛星コンポーネントの熱真空試験に使用されるものです。
高精度の光学機器などの試験が可能な様、供試体への地盤の常時微動及び真空ポンプ等の振動の伝播を防振基礎により極力低減しています。
また、光学機器の清浄度要求、粒子状コンタミネーション、分子状コンタミネーションの両方に対し設備設計を行い、高清浄度な空間を実現しています。
宇宙空間における環境は、代表的なものとして高真空、冷暗黒等があります。静止衛星軌道である地表から約 36,000km の上空では、それぞれ約 1.3×10−11 Pa の高真空、無限の熱吸収体として約 3 K の冷暗黒となります。しかし、これらの環境をそのまま地上で再現するのは経済的に困難であるため、本設備では、運用真空圧力を 1.3×10−4 Pa 以下、黒色内包面（シュラウド）温度は 100 K 以下としています。
上記環境下において熱設計の精度評価などを行うことにより、宇宙空間における挙動を外挿的に把握し、人工衛星等の動作について信頼性を確認することができます。

12. 設備概要
2.1. システム構成
図 2-1 に本設備の外観、図 2-2 にシステム構成図、図 2-3 にシステム系統図を示します。

図 2-1 6mφ放射計スペースチャンバ外観

2

大気

液体窒素系
系

A

加温器
弁箱

液化窒素
L

気液

N2
ｼｭﾗｳﾄﾞ加温ﾋｰﾀ

貯槽

分離器
LN2 蒸発器

ｶﾞｽ窒素系
系
シュラウド

大気圧戻し系
大気乾燥器

脱ｶﾞｽ用加熱系

乾燥器再生ﾋｰﾀ

大気導入元弁

供試体

大気導入ﾋｰﾀ 大気導入ﾌｨﾙﾀ

光学窓

粗引元弁
油回転ﾎﾟﾝﾌﾟ(2 台)

粗引排気系
系

加速度

ｸﾗｲｵｿｰﾌﾟｼｮﾝ
ﾎﾟﾝﾌﾟ(4 台)

ﾒｶﾆｶﾙ
ﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ(2 台)

外部光源

計

防振架台

ﾎｰﾙﾃﾞｨﾝｸﾞﾎﾟﾝﾌﾟ(2 台)
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(4 台)

加速度計

高真空排気系

振動解析装置本体
真空容器

LN2 放出槽

独立基礎

基礎

真空容器
基礎

独立基礎

LN2
ｺﾝﾀﾐﾈｰｼｮﾝﾊﾟﾈﾙ

防振系
系

図 2-2 システム構成図

制御監視卓

非常停止操作卓

制御監視系
運転制御装置真空容器本体運用保守点検作業用設備

粗引排気系

大気圧戻し系

高真空排気系

真空計測系

液化窒素系

ガス窒素系

計装空気発生設備

冷却水設備

真空容器系

真空排気系

6
m
φ
放

極低温系

酸素濃度監視装置

射
計
ス
ペ
|
ス

試験用電源系

電源設定部

電源制御部

独立基礎

振動解析装置

防振系
防振架台

チ

ャ
ン
バ

収集保存部

計測データ処理系

表示設定部

作業用通話設備

動力盤(MCC)

ITV装置

完成図書類検索装置

クリーンブース設備

クレーン設備付帯設備

無停電電源装置(UPS)

付属品

専用工具

図 2-3 システム系統図

3

各系付属品(RGA、T-QCM等)

2.2. 性能仕様
設備全体の概略性能仕様を表 2-1 に示します。
表 2-1 6mφ放射計スペースチャンバ主要性能及び設備諸元項目

性能 ／ 諸元

備考

１．スペースチャンバ(1) 供試体収容空間

6 m 径×8 m 長

シュラウド内径(2) チャンバ搬入口

幅 6 m×高さ 5.1 m

冶具含む(3) シュラウド温度

100 K 以下
または常温～60 ℃(4) チャンバ内搬入許容質量4,000 kg

冶具含む(5) 真空圧力(a)運用真空圧力

1.33×10−4 Pa 以下(1×10−6 Torr 以下)(b)到達真空圧力

注 1)

1.33×10−5 Pa 以下(1×10−7 Torr 以下)(6) 排気/大気圧戻し時間

8 時間以内 / 12 時間以内

(7) 連続運転可能時間

最大 50 日(8) 冷暗黒面割合

95％以上(9) チャンバ形状

水平かまぼこ型

注 2)

冷却パネル付支持卓使用時

２．試験用電源装置(1) 電源架 / 電源台数

4 ラック / 75 台

3kW 電源 ：10 台
2kW 電源 ：20 台
800W 電源 ：10 台
400W 電源 ：20 台
80W 電源 ：25 台

３．防振系(1) 防振架台寸法

4m×6m×0.5m 厚

真空容器内常設(2) 防振架台固有値

30 Hz 以上

(3) 相対変位振動

1.0μm 0-P 未満

チャンバ内架台と(4) 相対角度振動

0.3μrad P-P 未満

チャンバ外基礎間

注1) 供試体及び供試体支持架台なし、IR 照射なし、シュラウド LN2 冷却とし、排気開始後 8 時間以内。
注2) 大気圧戻しにおける防振架台の昇温を除く。

4A

2.2.1. 制御監視系
本系は、DCS コントロールセンターに集められた真空排気系、極低温系等の各種プロセスデータをもとに、ヒューマンインタフェースステーション（HIS)によりスペースチャンバの運転状態を集中監視することができます（図 2-4）
。
HIS01

HIS02

HUB

プロセスデータ

機器，弁類

DCSコントロールステーション

図 2-4 制御監視系システム構成図

2.2.2. 真空容器系
本系は、真空容器本体、運用保守点検作業用設備から成ります。概略を以下に示します。
2.2.2.1. 真空容器本体
真空容器本体はステンレス製のかまぼこ形状で、6m 径×8m 長（シュラウド内径）の供試体
収容空間を有します。特徴は、真空容器をかまぼこ型とすることで作業空間を広くとることができること、また供試体へアクセスし易いことです。
真空容器内の真空圧力の計測は、真空容器本体に取り付けられたピラニ真空計、電離真空計等により測定しています。測定範囲は、大気圧から到達真空圧力領域まで連続的に計測し、計測制御室の制御監視卓上に表示します。また、無停電電源装置により停電時も計測可能となっています。
真空容器には、放射計の光学確認試験に用いるための光学窓が、真空容器側胴部両側及び供試体搬入用扉に設けられています。また、アライメント測定用の窓も側胴部、扉部及び胴上部に設けられています。
アライメント測定窓には真空容器内部を監視するための ITV 装置(2.2.8 項(1)参照)取付用の座を付属しています。

5

2.2.2.2. 供試体搬入用装置
供試体搬入用装置は、移動台、供試体搬入台、及び冷却パネル付支持卓（又は支持卓）から成ります。移動台、供試体搬入台は、エアベアリングによりわずかに浮上するため、人力により移動することができます。それぞれの概略を以下①、②に示します。供試体搬入用装置の運用方法は、3.3.1 項を参照してください。図 2-5 に供試体搬入用装置の外観図を示します。
(1)移動台
移動台は、供試体搬入台、供試体支持卓及び供試体を載せ、準備室内を自由に移動する装置です。また、真空容器内の防振架台上に供試体搬入台が移動するための渡り板を設けた機構を有します。概略仕様を以下に示します。
表 2-2 移動台概略
項

目

仕

様

寸法

幅 5 m×長さ 7.25 m×高さ 0.85 m(フロア面から)

積載荷重

最大 12,400 kg（内、供試体及び治具は 4,000 kg）

自重7,700 kg

駆動方式

手押し

移動範囲

解梱室、準備室

供給用エアホース長さ

30 m

移動荷重(最大牽引力)

最大 52 kg

空気消費量

2.0 Nm3／min

空気圧力0.39 MPa 以上(2)供試体搬入台
供試体搬入台は真空容器内の防振架台上に、移動台から冷却パネル付支持卓又は支持卓を搬入、搬出をするために使用します。概略仕様を以下に示します。
表 2-3 供試体搬入台概略
項
寸

目

法

仕

様

幅 3.19 m×長さ 5.16 m×高さ 0.145 m(ジャッキ上端まで)

積載荷重

6,800 kg(内、供試体及び治具は 4,000 kg)

自重2,100 kg

駆動方式

手押し

移動範囲

移動台と真空容器内の防振架台上の往復供給用エアホース長さ

10 m

空気消費量

2.0 Nm3／min

空気圧力0.39 MPa 以上

6

図 2-5 供試体搬入用装置外観7

(3)供試体支持卓
本装置は、試験に際し供試体を搭載し、真空容器内に設置するためのもので、供試体搬入用装置によって供試体ごと真空容器内に搬入され、防振架台上に設置されます。供試体支持卓には
主に熱真空試験で使用される冷却パネル付支持卓と光学性能確認試験で使用される(光学試験用)
支持卓の 2 種類があります。表 2-4 及び図 2-6 に冷却パネル付支持卓、表 2-5 及び図 2-7 に支持卓の概略仕様を示します。表 2-4、表 2-5 のとおり、積載可能な供試体（治具含む）重量は
最大 4000 kg です。
ハードポートのネジ穴径等、インタフェースについては 3.3.1.3 項に示します。
表 2-4 冷却パネル付支持卓概要
項

目

仕

様

寸法

幅 5 m×奥行き 3.5 m

載質量

最大 4000 kg

本体質量

約 2800 kg

材質

アルミニウム合金

表面温度

100 K 以下（供試体局部冷却用 LN2 ラインのうち 2 本を使用）
表 2-5 支持卓概要

項

目

仕

寸法

幅 5 m×奥行き 3.5 m

積載質量

最大 4000 kg

本体質量

約 2200 kg

材質

アルミニウム合金

様2.2.3. 真空排気系
本系は、真空容器を大気圧から高真空まで排気する粗引及び高真空排気装置、真空容器内を真空状態から大気圧状態までガス窒素及び乾燥空気にて昇圧するための大気圧戻し系から成ります。
熱真空試験時の標準的な排気曲線（供試体なし）を図 4 2 に示します。

2.2.4. 極低温系
本系は、液化窒素により 100 K 以下に冷却され、極低温環境を作るシュラウド（アルミニウム
合金製フィンチューブ式）で構成されます。

8

図 2-6 冷却パネル付支持卓
9図 2-7 支持卓
10

2.2.5. 試験用電源系
本試験用電源装置は、6mφ放射計スペースチャンバで行う赤外線照射熱平衡／熱真空試験に使用するもので、衛星への外部熱入力に用いる、赤外光源である IR ランプ、ヒータあるいは
衛星搭載機器の模擬発熱機器に所要の電力を供給するための装置です。
本装置にて取得した試験データは、6mφ放射計スペースチャンバ計測データ処理装置へ転送され、記録されます。
表 2-6 試験用電源装置の概略仕様
項

目

電源架種類

仕
名称

搭載DC電源(1) 3kW-2kW電源架-1

3kW電源

5台

2kW電源

10台

(2) 3kW-2kW電源架-2

3kW電源

5台

2kW電源

10台

(3) 800W-400W電源架-1800W電源 10台

400W電源 10台(4) 80W電源架(25台)-1

80W電源

−

(1) 設定用PC

制御端末

様
合計 75台

25台： 計測制御室(2) 電源架 コントローラPC： 計測制御室

制御周期

5秒

保存周期

1分 （計測データ処理装置 収集サーバにて出力データを保存）

温度データ取得

計測データ処理装置から5秒周期で温度データ取得(1) 温度制御（設定用 PC より遠隔制御）(2) 定電力制御（設定用 PC より遠隔制御）
出力調整方法(3) ON-OFF 制御（設定用 PC より遠隔制御）(4) 手動電圧出力制御（設定用 PC より遠隔制御）(5) ローカル制御（直流安定化電源単体よりマニュアルで制御）
表 2-7 直流安定化電源の概略仕様

No.

電源名称

仕様

型式
電圧

電流

設備保有
台数

容量

1

3kW 電源PRK100-36-LMi

100V

30A

3.6kW

10

2

2kW 電源PRK100-25-LMi

100V

25A

2.5kW

20

3

800W 電源

PK120-6.6-LEt

120V

6.6A

792W

10

4

400W 電源

PK120-3.3-LEt

120V

3.3A

396W

10

5

80W 電源P4K-80M-LEt

110V

1.3A

80W

25

11

A

A

図 2-8 電源架 外観

12

2.2.6. 防振系
防振系は、スペースチャンバで実施する放射計の光学確認試験において、外部から伝播してくる振動による悪影響を避けるために設けられており、防振架台、独立基礎、振動解析装置から成ります。概要は図 2-9 を参考にしてください。概略仕様を以下に示します。

図 2-9 防振系
(1)防振架台(図 2-10)
真空容器内に常設されている架台で、供試体を設置した供試体支持卓を本架台に固定して使用します。本架台の支柱はベローズを介して真空容器を貫通して直接独立基礎上に据え付けられており、真空容器系とは完全に振動絶縁されています。
表 2-8 防振架台概略
項

目

仕

寸

法

長さ 6 m×幅 4 m×高さ 0.5 m

質

量

約 6500 kg

材

質

アルミ合金(A5083P-O)

構

造

溶接ボックス一体構造

支柱ステンレスパイプ 6 本

様

ベローズ

ステンレス

表面粗さ

25 μm 以下

平 面 度

600 μm 以下

固有振動数

単品：全方向について 30 Hz 以上
据付時：支持卓を取付た状態で Y 方向について約 27 Hz

13

(2)独立基礎(図 2-11)
独立基礎は鉄筋コンクリート製の大型基礎で、建屋の基礎、真空容器支持基礎、真空ポンプの機械基礎等と分離させ、振動絶縁を計っています。
放射計等の光学確認試験を行う場合、外部光源をこの独立基礎上に設置することによって、光源と供試体が同一の基礎上に設置されることとなり、相対振動を抑えることが出来ます。
・固有振動数

20Hz 以上（上下モード及び曲げモードについて。解析による。
）

14

図 2-10 防振架台15

図 2-11 独立基礎
16

(3)振動解析装置
本装置は、主に微小振動環境下での供試体の光学特性確認試験が本設備の特性上の振動外乱の制約の中で実施可能であることの評価、検証を行うことを目的としており、加速度計、ドライバなどの測定装置と、データを解析するためのワークステーションから構成されます。概略仕様を
表 2-9 に、振動解析装置ブロック図を図 2-12 に示します。設備で保有する加速度計の仕様を
表 2-10 に示します。なお、使用する場合は設備側で使用前点検が必要となりますので、使用 6 ヶ月前に連絡ください。
表 2-9 振動解析装置概略
項

目

性

能

取扱いデータ

加速度、相対変位、相対角度

測定場所

真空容器内：防振架台、シュラウド、真空容器
真空容器外：独立基礎、光学窓

入力

加速度計を介して入力されるデジタル信号

出力モニタへの出力、デジタルデータ（バイナリー／テキスト）、
アナログデータ

周波数範囲

1 Hz～1,000 Hz

測定チャンネル数

31 チャンネル(内訳)
加速度計用

30ch（真空容器内

15ch、真空容器外

レーザドップラ変位計用 1ch
データ解析内容

・PSD 解析 ・伝達関数解析 ・波形解析 ・FFT 解析

校正装置

小野測器製 LV-2100（レーザドップラ変位計）
表 2-10 加速度計仕様項

目性

極低温加速度計(393M33)
8式

能＊1

測定範囲(±G) ：2.5感度(gal/V)：1,000

分解能(μG)：100

使用温度範囲(℃)：−196～＋121
高感度加速度計(393B12)
3式

測定範囲(±G) ：0.5
感度(gal/V)：100

分解能(μG)： 8

使用温度範囲(℃)：−46～＋82
高感度加速度計(393B31)
12 式

測定範囲(±G) ：0.5
感度(gal/V)：100

分解能(μG)： 1

使用温度範囲(℃)：−18～＋65＊1.加速度計はヘリサートにより固定されます。
ネジ部がかみやすくなっておりますので取扱に十分注意して下さい。

17

15ch）

A

図 2-12 振動解析装置ブロック図18

2.2.7. 計測データ処理系
計測データ処理装置は、本設備を用いて行われる試験の供試体各部の熱電対信号、
カロリーメータ信号又は試験設備のデータを収集、処理、記録し、同時にオペレーターに対して
リアルタイムに表示する機能(モニタリング機能)を有しています。概略仕様を表 2-11 に示します。
また、計測データ処理系システム系統図を図 2-13 に、熱電対チャンネル対応表を別紙-1 に示します。
計測データ処理装置は大別して、収集保存部、表示設定部から構成されています。
収集保存部では、熱電対信号、カロリーメータ、試験用電源装置、制御監視装置からのデータを収集し保存します。
また、収集保存部のコンピュータ（収集サーバ）は冗長構成のため、障害が発生しても冗長系に処理が切り替わり、データ収集を継続します。計測したデータは 2 台ある収集サーバそれぞれに保存されます。
供試体温度計測、及びカロリーメータ計測用のデータロガーは合計 12 台あり、熱電対信号を A/D
変換後、熱電対起電力から温度演算し、LAN 経由で信号出力を行います。
表示設定部では、計測に使用する測定 ID の設定、リミット値の設定、データの監視等、計測に係る設定や、収集部で保存したデータの表示、出力を行います。
また、突然の停電等に関して処理が中断されないように計測データ処理装置は無停電電源装置に接続されており、停電時でも 10 分間のデータ収集・監視が可能です。

熱電対線

制御監視系（DCS）
データロガー（VTI）
LAN

LAN

HUB

供試体

HUB

収集保存部

LAN

試験用電源装置
LAN

収集サーバ
(従系)

収集サーバ
(主系)
GPSタイムサーバ１

制御監視系（ExaQuantum）

LAN

設定用PC

HUB

LAN
LAN

試験ユーザー

HUB
GPSタイムサーバ2

LAN

表示設定部

電源架

RS232C

プリンタ

試験ユーザー
持込みPC
試験ユーザー

表示設定PC1～4
試験ユーザー
試験ユーザー

図 2-13 計測データ処理装置 系統図

19A

表 2-11 計測データ処理装置概略
項目仕様①連続試験期間

50 日間

②計測点数

供試体用熱電対温度／カロリーメータデータ 516ch（熱電対 ch 対応は表 3-4 参照）③計測精度

供試体温度（±200℃）：±1.0℃
熱電対線は T 型、CLASS1 のものを敷設しています。
カロリーメータの精度確認はユーザ側にて行って下さい。

④サンプリング速度

1 回/1 秒（供試体用熱電対温度データ）
1 回/1 分（その他）
ただし、供試体用熱電対温度データを 1 秒間隔で表示する場合、一度に 1 時間分までの表示となります。
1 分間隔で表示する場合、全試験期間分が表示出来ます。

⑤使用可能な熱電対の種類

T型⑥データ処理機能

工学値/ステータス変換処理・リミットチェック処理
・平衡温度判定・処理・温度変化率計算処理・表示出力処理⑦データ表示機能

収集した供試体用熱電対温度データ、カロリーメータ照度、制御監視装置で取得する設備データ（真空圧力・シュラウド温度等）
をモニタ画面に数値及びグラフで表示します。
また、試験用電源装置の電源出力データも表示可能です。

⑧データ出力機能

ハードディスクやユーザ側で準備する下記の媒体にテキスト形式（CSV 形式）で保存することが可能です。
（1）USB メモリ（2）DVD RAM
計測データ（1 分間隔）は収集サーバ 2 台へ保存されます。

⑨バックアップ機能

冗長構成として 2 台の収集サーバを有しています。

⑩断線検出機能

データロガーの機能により熱電対線断線のチェックが可能です。
断線検出機能により、7.5nA の検知電流が熱電対線に流れるため、
温度表示値にオフセットが掛かります。
例．線抵抗 500Ωの場合 500×7.5=3.75μV → +0.1℃ ( 0℃近傍)⑪停電対策

無停電電源装置により、停電後のデータ収集、処理が可能です。
（10 分間）20

A

2.2.8. 付帯設備
(1)ITV 装置
ITV 装置は、本設備内の機器の状況、作業状況を計測制御室で監視するためのテレビシステム
です。準備室内に 2 ヶ所、旋回ズーム機能付のカメラを設置しています。また、真空容器の内部を監視するための可搬式カメラ(真空容器アライメント窓に外部より設置)も 2 台用意されています。2 台の内 1 台は高感度型、1 台は普通型です。なお、真空容器内部への ITV カメラの設置はされていません。
カメラの映像は時分割タイムラプスビデオにより、全画面を 30 日間までビデオ録画でき、要求の画面を外部媒体にコピーできます。可搬式カメラの映像・電力用ケーブルのジャックは、必ず電源を OFF してから抜き差ししてください。
(2)作業用通話設備
本装置は、設備の運用作業、供試体の試験準備作業等において、試験関係者の相互通話、指令放送を行うための有線ページング装置及び無線ページング装置(多機能電話機及び携帯電話機（デジタル）)により構成されています(3)クリーンブース
クリーンブースは、高レベル清浄度環境を実現、維持して試験及び試験準備作業をするためのものです。概略仕様を表 2-12 に示します。また図 2-14 に外観図を示します。
表 2-12 クリーンブース概略仕様
項

目

性能、構成

仕

様

清浄度 ：ISO クラス 5（FED-STD-209 クラス 100 相当）
温度 ：設定温度±1℃(設定温度 20～23℃)

湿

度 ：50±10％

本体寸法：幅 6m×奥行 4.6m×高さ 3.5m
質量：3000kg

設置場所

準備室内及び真空容器内

設置場所の環境

清浄度：ISO クラス 7(真空容器内､準備室)（FED-STD-209 クラス 10,000 相当）
温度：23±3℃

湿

度：45±15％21図 2-14 クリーンブース 外観
22

2.2.9. 付属品及び予備品(1)マスフィルター型質量分析計(QMG220M3) ： 1 式
本装置は、四重極分析装置を使用し、真空容器内のガス成分を測定し分析するものです。
測定質量範囲：M／e＝1～300(2)TQCM(Thermoelectric Controlled Quartz Crystal Microbalance)
TQCM は、熱真空試験中におけるコンタミネーションモニタ用です。
（2 系統常設）
型式 ： MK-10（センサ）、M-2000（プロセッサ・コントローラ）
製造メーカ ： QCM リサーチ社〈 注意事項 〉① TQCM 使用前には、動作確認を行って下さい。また、取扱いには十分注意して下さい。
② TQCM センサ設置上の注意事項として、センサ周りを IR パネル等の熱源で囲うと、その熱入力によりセンサ温度が下がらない事があります。その場合は、センサのヒート
シンク面を冷却する等の処置をして設置して下さい。
③ TQCM の HEAT PUMP(ペルチェ)を ON して使用する場合は、−110℃以上で使用して下さい。
④ 4 ℃/min 以下の温度変化率で制御して下さい。
※TQCM を借用したい場合には、事前に問い合わせて調整願います。センサ取付部の治具はユーザ側で準備願います。
(3)カロリーメータ
カロリーメータは衛星の熱真空試験において、試験条件の設定、モニタ及び制御を目的として、外部の熱源、例えばソーラシミュレータや赤―外ランプから衛星に照射される熱流束を測定する
熱量計です。図 2-15 にカロリーメータの結線例を、図 2-16 にカロリーメータの構成図を示します。
測定範囲：0.1 kW/m2 ～ 2.0 kW/m2
使用熱電対：銅−コンスタンタン （T 型）〈 注意事項 〉①カロリーメータの機能（精度）確認は、ユーザ側にて行って下さい。
②カロリーメータの設置・配線・撤収はユーザ側で行って下さい。
③カロリーメータ用熱電対のコネクタ結線については、受光板側を A、B へ、ディスク側をC、D へ結線する事を推奨します（複数の場合は、E、F から同様に結線）。なお、結線する
場所は、ユーザ側で自由に選ぶ事も可能です。
④設置したカロリーメータの S/N と接続 ch を運転業者へご連絡下さい。

23A

⑤計測データ処理装置におけるカロリーメータ設定（カロリーメータ S/N、コンダクタンス
値、受光板及びディスク温度計測 ch 等）の最終確認はユーザ側で必ず行って下さい。
⑥カロリーメータの取付金具を借用する場合は、カロリーメータと金具及び金具と治具を固定するネジは、ユーザ側で準備願います。
※カロリーメータを借用したい場合には、事前に問い合わせて調整願います。なお、借用したカロリーメータは取扱説明書を十分に読んでから使用して下さい。
8mφスペースチャンバおよび 13mφスペースチャンバと共用しているため、御使用になる
場合には、事前に問い合わせて調整して下さい。

図 2-15 カロリーメータ結線例

24A図 2-16 カロリーメータ構成図25

3. ユーザーインタフェース
3.1. チャンバ内外間コンフィギュレーション
準備室（クリーンルーム）へ搬入した後の供試体の概略的なコンフィギュレーションを図 3-1 に示します。

3.2. 計測制御室
計測制御室（1F）には、制御監視系、計測データ処理系のそれぞれの制御、監視装置が設置されています。
計測された供試体温度等は、計測データ処理装置で確認することができます。
T-QCM 操作盤、振動解析装置、クリーンブース操作卓、試験用電源装置を使用する際は、ユーザ側で操作願います。なお、供試体を局部的に冷却・加温する場合（3.3.1.4 項参照）は、設備運転
業者に自動弁の開度をご指示ください。図 3-2 に計測制御室内の各装置の配置を示します。

3.3. 装置インタフェース
3.3.1. 真空容器系
3.3.1.1. 真空容器ノズル配置
真空容器の各所には、容器内外とのインタフェースのためにフランジ付ノズルがあります（図 3-3
参照）。既に設備で使用しているノズル以外は、ユーザ側で使用可能です。
特にチャンバ胴部（計測制御室側）には、供試体用として信号、電力、熱電対、導波管等のフランジがあります。
設備側で準備している貫通端子以外のものが必要となった場合は、用途に応じた貫通端子付
フランジをユーザ側で準備願います。表 3-1 にフランジの一覧表を示します。

26

図 3-1 準備室内運用図
27

A

図 3-2 計測制御室装置配置図28

図 3-3 貫通端子ノズル配置図29

表 3-1 フランジ一覧表
記号

呼び径

N-1
N-2
N-3
N-4
N-5
N-6
N-7
N-8

1500×800
1000φ
250A
300A
300A
300A
300A
300A

個
数
2
3
19
4
4
5
1
2

N-9
N-10
N-11
N-12
N-13
N-14
N-15
N-16
N-17
N-18
N-19
N-20
N-21
N-22
N-23
N-24
N-25
N-26
N-27
N-28
N-29
N-30
N-31
N-32
N-33
N-34
N-35
N-36
N-37
N-38
N-39
N-40
N-41
N-42
N-43
N-44
N-45
N-46
N-47

300A
300A
150A
125A
150A
200A
250A
150A
250A
1250A
500A
500A
100A
32A
300A
150A
20A
32A
32A
100A
32A
250A
50A
300A
600A
500A
150A
15A
32A
300A
300A
150A
32A
20A
300A
200A
150A
20A
450A

1
5
1
1
2
1
1
4
1
4
4
1
1
1
1
3
1
1
1
2
1
1
2
1
2
2
3
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
6

形式

名称

備考

SPECIAL
SPECIAL
JIS VGJIS VGJIS VGJIS VGJIS VGJIS VG

マンドア
光学窓
アライメント窓
CC 熱電対用（含ｶﾛﾘｰﾒｰﾀ、予備用）
電流導入端子
電流導入端子（100V、5A）
高周波出力信号（同軸）
導波管用

直胴部 1、搬入扉 1
直胴部 2、搬入扉 1
直胴部 11、上部 3、搬入扉 5
供試体熱電対用試験用電源装置用（N-54 は予備）供試体信号用JIS VGJIS VG
ｽﾀﾌﾞｴﾝﾄﾞ
ｽﾀﾌﾞｴﾝﾄﾞ
ｽﾀﾌﾞｴﾝﾄﾞ
ｽﾀﾌﾞｴﾝﾄﾞ
ｽﾀﾌﾞｴﾝﾄﾞ
ｽﾀﾌﾞｴﾝﾄﾞ
ｽﾀﾌﾞｴﾝﾄﾞ
SPECIAL
JIS VGJIS VGJIS VGICF 70JIS VGJIS VGJIS VGICF 70
ICF 70JIS VGICF 70JIS VGJIS VG
ｽﾀﾌﾞｴﾝﾄﾞJIS VGJIS VGJIS VG−ICF 70JIS VGJIS VGJIS VGICF 70JIS VGJIS VG
ｽﾀﾌﾞｴﾝﾄﾞ
ｽﾀﾌﾞｴﾝﾄﾞJIS VGJIS VG

電流導入端子（200V、10A）
予備ノズル
LN2 配管
LN2 配管
LN2 配管
LN2 配管
LN2 配管
LN2 配管
He 配管
クライオソープションポンプ
ターボ分子ポンプ
粗引系真空排気口
乾燥空気導入口
残留ガス分析管口
電流導入端子GN2 入口ブルドン管圧力計
ピラニ真空計BA ゲージ
電離真空計（ヌードゲージ）
電離真空計（ワイドレンジ A）
GN2 出口
ｺﾝﾀﾐﾈｰｼｮﾝﾊﾟﾈﾙﾄﾞﾚﾝ用
供試体局部冷却用
常設照明用
マンホール（作業用）
GN2 出口
GN2 入口
安全スイッチ用
設備用、シュラウド温度測定用
設備用（TQCM 含）
安全装置
電離真空計（ワイドレンジ B）
ダイヤフラム式圧力計
電流導入端子
LN2 配管
LN2 配管酸素ガス濃度計
防振架台支柱用ノズル

注）網かけしてある行が、ユーザが使用できるフランジを示す。

30

ノズルのみ、N-81 はｱﾗｲﾒﾝﾄ窓兼用
供試体電力用IR ケージ

振動解析装置用IR ゲージ
背面鏡部 1、下胴部 1

粗引系真空排気口配管に取付

抵抗温度計用

3.3.1.2. 電力・信号等結線について
チャンバ内外の供試体−供試体チェックアウト装置等とのケーブル配線、コネクタ結線等には
下図を参照の上、それぞれの用途に応じて使用してください。
(1)電流／熱電対用（ユーザ用）貫通端子一覧表（表 3-2、表 3-3）(2)貫通端子結線図（図 3-4）
(3) 容器内常設端子盤コネクタと計測データ処理装置 ch 番号対応（表 3-4）(4)供試体系信号ライン（5A）[プラグ記号 A1～100]結線図（図 3-5）(5)供試体電力ライン（10A）[プラグ記号 B1～11]結線図（図 3-6）(6)供試体熱電対、カロリーメータ、熱電対予備ライン[プラグ記号 C1～38、D1～5、N1～2]
結線図（図 3-7）(7)供試体系温度センサ（サーミスタ白金センサ）[プラグ記号 E1～13]結線図（図 3-8）(8)SBG 温度計測[プラグ記号 G1～3]結線図（図 3-9）(9)試験用電源（100V、30A）[プラグ記号 H1～15]結線図（図 3-10）(10)試験用電源（100V、3A)[プラグ記号 J1～6]結線図（図 3-11）(11)供試体系同軸ケーブル用貫通端子（図 3-12）(12)容器内常設端子盤（1）
、
（2）
、
（3）
（図 3-13）(13)外部入力端子盤（1）、（2）（図 3-14）＊アースは（8）のプラグを使用します。取付け位置は容器内常設端子盤（3）の Q1 と成ります。
また、Q1 の A ピンが D 種接地(E3)、B ピンが C 種接地(SE3)と成ります。
〔熱電対を配線する際の注意事項〕
熱電対用端子は、容器内常設端子盤（図 3-13）には日本ドイツ製のコネクタを使用し、外部入力
端子盤（図 3-14）には日立原町電子工業製コネクタを使用しています。両レセプタクルでは芯数
及びピン配列が異なるため次のことに注意願います。
①日立原町電子工業コネクタの J−Q ペアに対する日本ドイツ製コネクタのペアは、Q 端子がないため J−C ペアとなっている。
②日本ドイツ製コネクタの a、b 端子は使用しない。
③日本ドイツ製コネクタの K-R、J-C ペアは、ピン配置が離れているので結線順序に注意のこと。
④熱電対用プラグはソケットコンタクトを含んでいないため、下記に示す仕様にて手配してください。
・日本ドイツ（株）社製
ソケットコンタクト（Cu）：型番 0603−34−2039

ソケットコンタクト（コンスタンタン）：型番 105372

・日立原町電子工業（株）社製
ソケットコンタクト（Cu）：図 3-15 NM−104−845−品＃1

ソケットコンタクト（コンスタンタン）：図 3-15 NM−104−845−品＃2

31A表 3-2 貫通端子一覧表（簡略版）
記
号

用途

仕様

コネクタ

使用

No.

可能数

状況

図番号

ユーザ使用可能A

信号線

100V/5A

A1～A100

チャンバ内

495

～外部入力端子盤まで配線あり

図 3-5※A29：使用不可
B1～B6

B7～B10B

電力

24

試験用電源装置へ接続

16120V/10A

ユーザ使用可能

図 3-6 供

チャンバ内

試体系電力

～外部入力端子盤まで配線あり

ライン結線
図(B1～

C

D
N

熱電対
カロリー
メータ
熱電対予備

B11

0

C.C.

C1～C38

456

C.C.

D1～D6

60

C.C.

N2

0

設備用電源（支持卓、防振架台）

計測データ処理装置へ接続（表 3-4 参照）
計測データ処理装置へ接続（表 3-4 参照）
設備制御装置へ接続

測温抵抗体
E

サーミスタ、 −

電力

図 3-7

図 3-7
-

ユーザ使用可能E1～E1330

変換器盤 LP910 経由

白金センサ
H

B11)

図 3-8

計測装置へは未接続
120V/30A

H1～H1530試験用電源装置へ接続

J1～J5

25

試験用電源装置へ接続

図 3-10

図 3-11 試
J

電力

120V/3AJ6

532

ユーザ使用可能

験用電源小

チャンバ内

電力結線図

～外部入力端子盤まで配線あり(J1～J6)A

ユーザが用意する

表 3-3 貫通端子一覧表（詳細版）

33

真空容器外→←真空容器内RF回路（同軸/SMA）: 20本

（
ユ
ー
ザ
側
用
意
）

導波管
供試体信号入出力(5A) ：500ch A1～A100
供試体電力(10A)

供: ノズル2個

外
部

熱電対

試

容

熱電対線・カロリーメータ ： 516ch

カロリーメータ体

抵抗温度計
IRランプ等器
抵抗温度計

内： 30ch常設

試験用電源 ： 75ch

空
容

入

計

力

処

端

理

子

装

盤

試験用電源装置

端
子

SBG

真

SBG温度計測 : 3ch G2～G3

チ
ェ
ッ
ク
ア
ウ
ト
装
置

置

測
デ
ー
タ

器

盤

貫

SBG温度計測 : 2ch G1
SBG(設備用)

通
常設照明用(10A)

シュラウド温度計測用

常設照明用(10A) ： 2ch

端
シュラウド温度計用

制供試体搬入扉操作盤

御監： 30ch視子

系
緊急停止スイッチ

TQCM

加速度計

1ch

TQCM用 ： 2ch

TQCMコントローラ

ローノイズケーブル : 15ch

中継箱

TQCM用PC

振動解析装置［注意事項］① 図中の実戦で示したケーブル等はチャンバの付属として常設されています。
② 容器内常設端子盤等のとの取合は、端子盤等にレセプタクルが取り付けられており、そこにプラグを差し込む形式になっています。
③ 導波管は貫通フランジも含め、前景ユーザ側で準備願います。
④ 光信号、D-sub コネクタ等の特殊なものはユーザ側で準備願います。
⑤ 同軸ケーブルは貫通端子付きフランジをチャンバ側に常設しています。

図 3-4 貫通端子結線図

34A

表 3-4 容器内常設端子盤コネクタと計測データ処理装置 ch 番号対応
計測データ処理装置

データロガー
No.

ポート
No.

属性

ch番号

ID

供試体温度

1

C1

0

供試体温度

2

C2

1

供試体温度

3

C3

2

供試体温度

4

C4

3

供試体温度

5

C5

4

供試体温度

6

C6

5

供試体温度

7

C7

供試体温度

8

C8

7

供試体温度

9

C9

8

供試体温度

10

C10

9

供試体温度

11

C11

10

容器内常設端子盤側コネクタ
レセプタ
クルNo.

C1
1

6

供試体温度

12

C12

11

供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
供試体温度
カロリーメータ用
カロリーメータ用
カロリーメータ用
カロリーメータ用
カロリーメータ用
カロリーメータ用
カロリーメータ用

13～24
25～36
37～48
49～60
61～72
73～84
85～96
97～108109～120121～132
133～144
145～156
157～168
169～180181～192
193～204
205～216217～228229～240241～252
253～264265～276277～288289～300
301～312313～324325～336337～348349～360361～372373～384385～396397～408
409～420421～432
433～444445～456469～480481～504505～516517～528529～540541～552553～554555～556567～576

C13～C24
C25～C36
C37～C48
C49～C60
C61～C72
C73～C84
C85～C96
C97～C108
C109～C120
C121～C132
C133～C144
C145～C156
C157～C168
C169～C180
C181～C192
C193～C204
C205～C216
C217～C228
C229～C240
C241～C252
C253～C264
C265～C276
C277～C288
C289～C300
C301～C312
C313～C324
C325～C336
C337～C348
C349～C360
C361～C372
C373～C384
C385～C396
C397～C408
C409～C420
C421～C432
C433～C444
C445～C456
C457～C480
C481～C504
C505～C516
C517～C528
C529～C540
C541～C552
C553～C554
C555～C566
C567～C576

12～23
24～35
36～47
0～11
12～23
24～35
36～47
0～11
12～23
24～35
36～47
0～11
12～23
24～35
36～47
0～11
12～23
24～35
36～47
0～11
12～23
24～35
36～47
0～11
12～23
24～35
36～47
0～11
12～23
24～35
36～47
0～11
12～23
24～35
36～47
0～11
12～23
24～35
36～47
0～11
12～23
24～25
38～47

※TC1と同様。

35

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

A

C2
C3
C4
C5
C6
C7
C8
C9
C10
C11
C12
C13
C14
C15
C16
C17
C18
C19
C20
C21
C22
C23
C24
C25
C26
C27
C28
C29
C30
C31
C32
C33
C34
C35
C36
C37
C38
D1
D2
D3
D4
D5
D6

レセプタ
クルピンNo

単位

A
B
D
C
F
E
H
G
c
J
K
R
M
L
N
P
S
T
U
V
W
X
Z
Y
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※
A～Y※

℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃

図 3-5 供試体系信号ライン結線図(A1～A100)36

図 3-6 供試体系電力ライン結線図(B1～B11)

37

AFD56-16-26SN-043

C1～C42 熱電対用 図 3-7 供試体熱電対・カロリーメータ・熱電対予備ライン結線図
D1～D5 カロリーメータ用
N2 予備
38

サーミスタ・白金センサ用
E1～E13(DC100V 1A)

図 3-8 供試体系温度センサ結線図(E1～E13)

39

SBG用

G1～G3

図 3-9 SBG 温度計測結線図(G1～G3)

402kW電源用
H1～H15(DC100V 20A)

図 3-10 試験用電源大電力結線図(H1～H15)41

図

図 3-11 試験用電源小電力結線図(J1～J6)

42図 3-12 供試体系同軸ケーブル用貫通端子43A

図 3-13 容器内常設端子盤(1)、(2)、(3)44

A

図 3-14 外部入力端子盤(1)、(2)45

図 3-15 熱電対ソケットコンタクト(日立原町電子製)

46

3.3.1.3. ハードポート詳細
真空容器内には表 3-5 のようなハードポートが用意してあります。このうち No.1～3 については
図 3-16 を参照してください。ハードポートの許容荷重については、以下(1)～(5)のとおりです。
表 3-5 ハードポート一覧
No.

ボルト

場所

個数

1

供試体支持卓45

M20

ヘリサートインサート付

2

冷却パネル付支持卓15

M20

ヘリサートインサート付(2) 3

胴部シュラウド

64

M12

(3) 4

真空容器上部

2(4) 5

真空容器上部

(5) 6

防振架台上

-

作業床上

(1)

7

サイズ＊1

利用法等

SBG 用サポート用
防振架台メンテナンス用＊2

11

M16

支持卓搬入時のガイド＊3＊4＊1：ボルトはユーザ側で準備してください。
＊2：名目上は防振架台メンテナンス用となっているが、使用目的を制限するものではなく、ユーザ側で使用可能である。
＊3：本ネジ穴は供試体支持卓搬入時のガイドを取り付けるのにも使用されるが、その時以外はハードポートとして使用可能。
＊4：取付冶具を工夫することにより、作業床上のレールを利用可能。
(1)供試体支持卓、冷却パネル付支持卓
表 3-6、図 3-17 を参照してください。
表 3-6 支持卓ハードポート許容荷重
No.

記号

名称

許容荷重＊2

1

Fc

圧縮荷重

37262.80 N（ただし、鉛直荷重の場合）

2

Ft

引張荷重

43146.4 kg（ただし、鉛直荷重の場合）

3Fx

水平面内 X 方向荷重 23534.4 N ＊1

4Fy

水平面内 Y 方向荷重 23534.4 N ＊1

5Mx

X 方向モーメント

1618 N･m

6

My

Y 方向モーメント

98.06 N･m

＊1：せん断に関する許容荷重であり、横ずれの防止を保証するものではない。
＊2：供試体支持卓、冷却パネル付支持卓に関する許容荷重であり、安全率 f=3 として得られた許容荷重である。

47

図 3-16 ハードポート位置図48

図 3-17 冷却パネル付支持卓/支持卓許容荷重(A)冷却パネル付支持卓
冷却パネル付支持卓には液体窒素(LN2)を流すパネルが取り付けられており、強制的な冷却が可能です。供試体や治具を取り付けるハードポートは、液体窒素が流れる部分と熱的に絶縁されています。そのためこの部分は放射冷却によってのみ冷やされます。また、支持卓と同様にヒータで加温されます。
供試体・治具の取り付けの際は十分な断熱処置を行ってください。
(B)供試体支持卓
供試体支持卓は LN2 を流す構造ではないため、冷却はできません。支持卓にはヒータが貼られており、試験中の加温が可能です。よって、放射冷却による冷却と、ヒータによる加温のバランスで温度が決まります。供試体支持卓を使用される場合はこの点に留意してください。
(2)胴部シュラウド
表 3-7 及び図 3-18 を参照ください。
表 3-7 胴部シュラウドハードポート許容荷重
No.

記号

1

Ft

名称

許容荷重

引張荷重

588.36 N（鉛直荷重。ただし、1 シュラウド当たりの合計重量が 600kg を越えないこと。
）

2

Fs

せん断荷重

294.18 N（軸直角方向。ただし、1 シュラウド当たりの合計重量が 600kg を越えないこと。
）

3

M

モーメント

80 kg･cm（ただし、1 シュラウド当たり 8 ヶ所以上使用しないこと。）

49

図 3-18 胴部シュラウドハードポート許容荷重(3)真空容器上部（防振架台メンテナンス用）
本ハードポートは防振架台メンテナンス用であるが、使用目的を制限するものではないので、ユーザ側で次の利用方法により使用できます。
本ハードポートは真空容器上部に取り付けられており、そのままでは利用できません。図 3-19のようにロッドをねじ込んでユーザ側取付部をシュラウド内面側に延長したロッドの先端に
ユーザ側にて必要とする座を設けてください。

図 3-19 防振架台メンテナンス用ハードポート概略図

50ロッドを取り付けるに当たり次のことに注意してください。
①ハードポート耐荷重：4500 kg（ただし、鉛直荷重の場合）②シュラウド開口寸法：180×180
従って製作するロッドの最大寸法はこの穴が貫通できる寸法とすること。ただし、真空容器とシュラウドの製作誤差があるので、ロッド寸法はシュラウド貫通部の寸法ができるだけ小さくなるよう計画のこと。
③ロッド形状：ロッドに曲げが作用したときのねじ込み部の焼き付けを防止するため、ロッド先端には必ず座を設けて曲げ荷重が直接ネジ部に作用しない構造とすること。
④焼付防止：ハードポートは SUS304 でありロッドにステンレス鋼を使用する場合はネジ部が焼付を起こさないようにすること。焼付防止剤を使用する場合はアウトガス等で供試体及び真空容器に対し悪影響を与えないものを選定のこと。
(4)防振架台上
表 3-8 を参照してください。
表 3-8 防振架台上ハードポート許容荷重
No.

記号

名称

許容荷重

1

Ft

引張荷重

13728.4 N（鉛直方向）

2

M

モーメント

23.53 N･m

※注意事項
2.2.6 項で記述されているとおり、真空容器支持基礎は、独立基礎とは縁を切ってあります。
防振架台は独立基礎に設置されています。微小振動を考慮する光学特性確認試験を行う際には、真空容器 からの振動がハードポートを介して伝わることのないよう注意してください（例：供試体を固定したタイラップを胴部シュラウドにくくりつける）。

51

3.3.1.4. 供試体冷却・加温インタフェース(1)概要
供試体側で温度制御するための治具を製作する場合、供試体局部冷却用 LN2 及び加温用 GN2の供給用フランジが真空容器内に設置されています。図 3-20 に取合位置を示します。なお、
これらのフランジのうち、一部は作業床冷却用、及び冷却パネル付支持卓を使用する場合の専用フランジになっています（表 3-9 参照）。供試体 LN2 ラインの一覧を表 3-10 に示します。
表 3-9 供試体冷却・加温インタフェース概要
供試体局部冷却用 LN2 ライン

供試体局部加温用 GN2 ライン

・20 A×5 本

・150 A×3 本

・N−32 ノズル（図 3-20 参照）

・N−24 ノズル(図 3-20)

CASE.1 支持卓下面シュラウド不要時（供試体側は 4 本使用可） 供給温度：常温～60 ℃
背面鏡部（2 本）：作業床用 1 本、供試体用 1 本
胴

供給圧力：0.098～0.148 MPa

部（3 本）：供試体用 3 本

CASE.2 支持卓下面シュラウド冷却時（供試体側は 3 本使用可）
背面鏡部（2 本）：供試体用 1 本、作業床／支持卓下面シュラウド用 1 本
胴部（3 本）：供試体用 2 本、作業床／支持卓下面シュラウド用 1 本

表 3-10 供試体 LN2 ライン一覧
No.

ライン No.

場所

用途

1

LN-3145-20-3HV

胴部

作業床冷却/供試体冷却

2

LN-3146-20-3HV

背面鏡部

作業床冷却

3

LN-3147-20-3HV

背面鏡部

供試体冷却

4

LN-3148-20-3HV

胴部

供試体冷却

5

LN-3149-20-3HV

胴部

供試体冷却

(2)液化窒素及びガス窒素供給量について①液体窒素（LN2 ）供給ラインの供給条件（流量と弁開度の関係）は、表 3-11 のようになっています。ただし、ガス化率は 35%、また供給圧力は 0.098～0.148MPa 程度です。
表 3-11 流量と弁開度の関係
流量（Nm3/h）

50

60

70

弁開度（%）

24

27

31

52

②ガス窒素（GN2 ）供給ラインについては弁開度 46%の時流量 30 Nm3/h、供給圧力は0.098～0.158 MPa 程度です。
（3）取合について
LN2 の取合はグレイロック継手となっています（図 3-21 参照、締付トルク 260 kg・cm）。
グレイロック継手にユーザ側で配管を敷設する場合、次の注意が必要です。
①図 3 21 に示すハブ及びシールリングはユーザ側で用意してください。
②グレイロック継手のハブは納期が標準で 3 ヶ月かかるため（シールリングも納期が長い）、接続配管を計画する際にはグレイロック継手のハブの調達期間をメーカ（（株）日機装）に確認して製作工程を立案のこと。
（4）供試体加温 GN2 ラインについて供試体の加温のための GN2 ラインが 3 系統用意してあります（図 3-20 参照）。場所は入口が背面鏡部、出口が胴部です。取合はメタル中空 O リングを用いた 150 A の特殊 VG フランジを使用しています。
従って、ユーザ側で配管を敷設する場合、次の注意が必要です。
①メタル中空 O リング及び接続配管はユーザ側で用意してください。
②メタル中空 O リングは納期が標準で 1 ヶ月かかるため、予め準備しておくことを勧めます。
③GN2 ノズルのフランジは図 3-22 で製作されています。
接続配管を計画する場合はこの図面を参考にしてください。

53

N-24 供試体加温 GN2 入口
N-35 供試体加温 GN2 出口
N-32 供試体冷却 LN2 出入口
図 3-20 供試体側取合位置図54

図 3-21 供試体冷却用 LN2 取合グレイロック図55

図 3-22 供試体加温用 GN2 取合フランジ図

3.3.1.5. 供試体搬入用装置インタフェース
図 3-23 に供試体を真空容器内に搬入する際の典型的な手順を示します。搬入用装置の操作は原則として設備側が行います。
供試体の組立作業は、供試体搬入台上で行います。供試体移動台、供試体搬入台への最大積載
荷重は 2.2.2.2 項に示すとおりです。
積載物の重心がそれぞれの中心からずれた場合は、許容積載荷重が変化します。積載物の重心は出来る限り供試体搬入台の中心に来るようにしてください。特に供試体・治具合わせて 2000 kg を超え、しかも重心が搬入台の中心からずれる場合は事前に運用業者まで連絡してください。

56

3.3.1.6. 光学窓・アライメント窓について
真空容器には光学窓取付用フランジ 3 式及びアライメント窓 19 式が設置されています。取付位置は図 3-24 を参照ください。
（1）光学窓フランジ
光学窓フランジの構造は図 3-25 のとおりです。光学窓を使用される場合は図 3-25 を参考にしてユーザ側で光学ガラス及びフランジを用意してください。設備側フランジとの接触面の面粗さは 50μm 以下になっています。光学窓フランジには調整機構がついており、真空容器の真空引き後の最大 5.067×10−4 rad の傾きを 1 分（2.9×10−4 rad）に抑えることが可能です。
旧放射計チャンバで使用していた光学窓及び、取付用フランジを設備で保有しています。
仕様及び図面を図 3-26 に示します。
（2）アライメント窓
供試体のアライメント測定のためにアライメント窓が設けられています。常時取り付けられているアライメント窓ガラスの材質は強化ガラスです。ただし、透過波面精度の高い BK7 製のガラス用いたアライメント窓（φ96）も 8 式（同心 4 式、偏心 4 式）用意してあり、試験要求に応じ試験前に付け替えることが可能です。また、アライメント窓部にはセオドライト及び2.2.8（1）項 ITV 装置（可搬式）が設置可能です。
アライメント窓の強化ガラスを取り外すときは、エアパッキン等を敷き、万が一落下しても強化ガラスが傷つかないように十分注意して作業を行ってください。
図 3 24 に供試体支持卓から光学窓、アライメント窓中心までの高さを示します。

57

図 3-23 供試体搬入手順58

図 3-24 光学窓取付位置図59

図 3-25 光学窓取付用フランジ構造図60

図 3-26 光学窓

3.3.1.7. その他（真空容器内作業床、移動式操作架台、高所作業台）（1）真空容器内作業床（図 3-27 参照）
真空容器内作業床は、真空容器内に供試体を搬入したあとの真空容器内での作業に使用します。
作業床の耐荷重は 150 kg／枚です。
（2）移動式操作架台（図 3-28 参照）
マンドア、光学窓のアクセス用に移動式の操作架台があります。ユーザ側でも必要に応じ使用可能です。
（3）高所作業台（図 3-29 参照）
容器内での供試体上部へのアクセス、または SBG の取付用として高所作業台があります。
最大積載質量及び使用寸法は以下のとおりです。組立及び運用は、ユーザ側で行ってください。
①最大積載質量②使用寸法(a)高所作業床

150 kg(a)最大使用高さ 3505 mm(b)高所作業台跳上床

100 kg(b)収納高さ(c)高所作業台梯子

100 kg61

1705 mm

図 3-27 真空容器内作業床構造図62

図 3-28 移動式操作架台63

図 3-29 高所作業台

643.3.2. 試験用電源装置
3.3.2.1. 本装置の配置、構成、操作
本装置の配置（試験用電源装置用の分電盤含む）を図 3-2 に示します。試験用電源装置のコネクタ接続割付については、表 3-12 を参照して下さい。直流電源と出力コネクタは以下のように対応します。
（詳細は表 3-13～表 3-16）本電源装置は計測制御室の設定用 PC 及び電源架のコンソールから入出力設定、変更設定が出来ます。また、電源架内に格納している直流安定化電源単体からも定電流制御・定電圧制御が出来ます。設定用 PC のソフトに関する詳細については、運転業者に確認して下さい。

3.3.2.2. 電源の接続(1) 出力
各電源架から容器内常設端子盤までのケーブルは常設されています。
ケーブルの接続については図 3-6、図 3-10、図 3-11、表 3-1、表 3-5 を参照して下さい。
(2) 制御系への給電試験用電源装置の制御系統（PC 類等）については設備用の無停電電源装置に接続され、停電時に 10 分間の自動給電を行います。
(3) 直流安定化電源への給電
電源架内に設置された直流電源安定化電源の電源系統図を図 3-37 に示します。直流安定化
電源の電力供給は、無停電電源装置接続ではありません。必要に応じて供試体用無停電電源装置（項参照）と接続する事が出来ます。接続作業はユーザ側にて実施願います。無停電電源装置の容量以下で使用して下さい。

65

A表 3-12 電力コネクタ割付
接続端子

ピン数

接続機器

J1
J2
J

J3
J4
J5
J6

10

6mφ 80W 電源架(25 台)-1

ユーザ用

H1
H2

6mφ 3kW-2kW 電源架-1

H3

H

B

H4
H5
H6
H7
H8
H9
H10
H11
H12
H13
H14
H15
B1
B2
B3
B4
B5
B6
B7
B8
B9
B10
B11

6mφ 3kW-2kW 電源架-2

46mφ 3kW-2kW 電源架-16mφ 3kW-2kW 電源架-26mφ 800W-400W 電源架-1

8
ユーザ用
ユーザ用
ユーザ用
ユーザ用
支持卓・防振架台

66

A

直流安定化電源使用
ch 数

6-80W001～005
6-80W006～010

556-80W011～015
6-80W016～020
6-80W021～025
―

5
5
5
―

6-3kW001～002
6-3kW003～004
6-3kW005
6-3kW006

2
2

6-3kW007～008
6-3kW009～0010
6-2kW001～002
6-2kW003～004
6-2kW005～006
6-2kW007～008
6-2kW009～010
6-2kW011～012
6-2kW013～014
6-2kW015～016
6-2kW017～018
6-2kW019～020
6-800W001～004
6-800W005～008
6-800W009～010
6-400W001～004
6-400W005～008
6-400W009～010――――
3kW 電源 2 台

2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
4
4
2
4
4
2
―
―
―
―
4

2

表 3-13 試験用電源装置ヒータラインピンアサイン表（3kW-2kW 電源架-1）
試験用電源装置

機器名称

電源型式

PRK100-36-LMi

常設電力供給ケーブル

電源名称

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

No

型式

ﾋﾟﾝ No

PRK100-36-LMi

PRK100-36-LMi

PRK100-36-LMi

PRK100-25-LMi

PRK100-25-LMi

6-3kW005

J13

PRK100-25-LMi

PRK100-25-LMi

端子ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

番号

番号

型式

ﾋﾟﾝ No

1

+

1

A

A

2

-

2

B

B

A

NCS-544-PM

MS3106B32-17S

MS3102A32-17P

H1

H1

B
MS3102A32-17P

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

1

+

1

A

A

2

-

2

B

B

B

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

NCS-544-RF

NCS-544-PM

MS3106B32-17S

MS3102A32-17P

H2

H2

B
MS3102A32-17P

NCS-544-RF

NCS-544-PM

MS3106B32-17S

MS3102A32-17P

H3

H3

A
MS3102A32-17P

NCS-444-RF

NCS-444-PM

MS3106B32-17S

MS3102A32-17P

H6

H6

B
MS3102A32-17P

NCS-444-RF

NCS-444-PM

MS3106B32-17S

MS3102A32-17P

H7

H7

B
MS3102A32-17P

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

6-2kW004

6-2kW005
NCS-444-RF

NCS-444-PM

MS3106B32-17S

MS3102A32-17P

H8

H8

B
MS3102A32-17P

6-2kW006

6-2kW007
NCS-444-RF

NCS-444-PM

MS3106B32-17S

MS3102A32-17P

H9

H9

B
MS3102A32-17P

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

6-2kW008

6-2kW009

J18
PRK100-25-LMi

端子

型式

6-2kW003

J17
PRK100-25-LMi

ﾌﾟﾗｸﾞ

ﾋﾟﾝ No6-2kW002

J16
PRK100-25-LMi

ﾌﾟﾗｸﾞ

ﾋﾟﾝ No6-2kW001

J15

PRK100-25-LMiﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

型式6-3kW004

電源架-1
PRK100-25-LMiﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

型式

NCS-544-RF

6mφ
3kW-2kWﾌﾟﾗｸﾞ

ﾋﾟﾝ No6-3kW003

J14
PRK100-25-LMi

ﾌﾟﾗｸﾞ

6-3kW002

J12

A

容器内常設端子盤(3)6-3kW001

J11
PRK100-36-LMi

極性

外部入力端子盤

NCS-444-RF

NCS-444-PM

MS3106B32-17S

MS3102A32-17P

H10

H10

B
MS3102A32-17P

6-2kW01067

表 3-14 試験用電源装置ヒータラインピンアサイン表（3kW-2kW 電源架-2）
試験用電源装置

機器名称

電源型式

PRK100-36-LMi

常設電力供給ケーブル

電源名称

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

No

型式

ﾋﾟﾝ Noﾌﾟﾗｸﾞ

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

ﾌﾟﾗｸﾞ

ﾌﾟﾗｸﾞ

端子

端子

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ

ﾋﾟﾝ No型式

型式

ﾋﾟﾝ Noﾋﾟﾝ No

型式

番号

番号

型式

ﾋﾟﾝ NoCC
MS3102A32-17P

H3

H3MS3102A32-17P

D

D

D

A

A

A

B

B

C

C

C

D

D

D

A

A

A

B

B

1

+

1

2

-

2

MS3106B32-17S
NCS-544-RF
3

+

3

4

-

4

1

+

1

2

-

2

3

+

3

4

-

4

6-3kW007

NCS-544-RF

PRK100-25-LMi

6-3kW010

J13

PRK100-25-LMi

PRK100-25-LMi

PRK100-25-LMi

+

1

C

C

C

2

-

2

D

D

D

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

NCS-544-PM

NCS-444-RF

NCS-444-PM

MS3106B32-17S

B
MS3102A32-17P

H11

H11

MS3102A32-17P

NCS-444-RF

NCS-444-PM

MS3106B32-17S

B
MS3102A32-17P

H12

H12

MS3102A32-17P

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

6-2kW015
NCS-444-RF

NCS-444-PM

MS3106B32-17S

B
MS3102A32-17P

H13

H13

MS3102A32-17P

6-2kW016

6-2kW017
NCS-444-RF

NCS-444-PM

MS3106B32-17S

B
MS3102A32-17P

H14

H14

MS3102A32-17P

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

6-2kW018

6-2kW019
J18

PRK100-25-LMi

MS3102A32-17P

6-2kW014

J17
PRK100-25-LMi

H56-2kW013

J16
PRK100-25-LMi

H56-2kW012

J15

PRK100-25-LMi

B
MS3102A32-17P

6-2kW011

電源架-2
PRK100-25-LMi

MS3102A32-17P

1
NCS-544-RF

6mφ
3kW-2kW

H4

6-3kW009

J14
PRK100-25-LMi

H4

NCS-544-PM

MS3106B32-17S
PRK100-36-LMi

B
MS3102A32-17P

6-3kW008
J12

PRK100-36-LMi

C

NCS-544-PM

MS3106B32-17S
PRK100-36-LMi

A

容器内常設端子盤(3)ﾌﾟﾗｸﾞ

6-3kW006
J11

PRK100-36-LMi

極性

外部入力端子盤

NCS-444-RF

NCS-444-PM

MS3106B32-17S

B
MS3102A32-17P

H15

H15

MS3102A32-17P

6-2kW02068表 3-15 試験用電源装置ヒータラインピンアサイン表（800W-400W 電源架-1）
試験用電源装置
機器名称

常設電力供給ケーブル

電源型式

電源名称

PK120-6.6-LEt

6-800W001

PK120-6.6-LEt

6-800W002

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙNo

J11PK120-6.6-LEt
PK120-6.6-LEt

6-800W004

PK120-6.6-LEt

6-800W005

PK120-6.6-LEt

6-800W006

PK120-6.6-LEt

6-800W007

PK120-6.6-LEt

6-800W008

PK120-6.6-LEt

6-800W009

PK120-6.6-LEt

6-800W010

PK120-3.3-LEt

6-400W001

PK120-3.3-LEt

6-400W002

J13

J14
PK120-3.3-LEt

6-400W003

PK120-3.3-LEt

6-400W004

PK120-3.3-LEt
PK120-3.3-LEt

NCS-448-RF

NCS-448-RF

NCS-448-RF

6-400W005
6-400W006
J15

PK120-3.3-LEt

6-400W007

PK120-3.3-LEt

6-400W008

PK120-3.3-LEt

6-400W009
J16

PK120-3.3-LEt

NCS-448-RF

6-800W003

J126mφ
800W-400W
電源架-1

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
型式6-400W010

NCS-448-RF

NCS-448-RF

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
ﾋﾟﾝ No極性

ﾌﾟﾗｸﾞ
ﾋﾟﾝ No

1

+

2

-

3

ﾌﾟﾗｸﾞ
型式

外部入力端子盤
ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
型式

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
ﾋﾟﾝ Noﾌﾟﾗｸﾞ
ﾋﾟﾝ No

1

A

A

A

2

B

B

B

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

5

+

5

E

E

6

-

6

F

F

F

7

+

7

G

G

G

8
1

+

8
1

H
A

H
A

H
A

2
3

+

2
3

B
C

B
C

B
C

4
5

+

4
5

D
E

D
E

6
7

+

6
7

F
G

F
G

F
G

8
1

+

8
1

H
A

H
A

H
A

2
3

+

2
3

B
C

B
C

4
1

+

4
1

D
A

D
A

D
A

2
3

+

2
3

B
C

B
C

B
C

4

-

4

D

D

5

+

5

E

E

6

-

6

F

F

F

7

+

7

G

G

G

8

-

8

H

H

H

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

B

3

+

3

C

C

C

4
5

+

4
5

D
E

D
E

6
7

+

6
7

F
G

F
G

F
G

8
1

+

8
1

H
A

H
A

H
A

2
3

+

2
3

B
C

B
C

4

-

4

D

D

NCS-448-PM

NCS-448-PM

NCS-448-PM

NCS-448-PM

NCS-448-PM

NCS-448-PM

69

MS3106B22-23S

MS3106B22-23S

MS3106B22-23S

MS3106B22-23S

MS3106B22-23S

MS3106B22-23S

ﾌﾟﾗｸﾞ
型式

A

容器内常設端子盤(3)MS3102A22-23P

MS3102A22-23P

MS3102A22-23P

MS3102A22-23P

MS3102A22-23P

MS3102A22-23P

端子
番号

B1

B2

B3

B4

B5

B6

端子
番号

B1

B2

B3

B4

B5

B6

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
型式

MS3102A22-23P

MS3102A22-23P

MS3102A22-23P

MS3102A22-23P

MS3102A22-23P

MS3102A22-23Pﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
ﾋﾟﾝ No

D
E

D
E

B
C

D
E

D
E

B
C
D

表 3-16 試験用電源装置ヒータラインピンアサイン表（80W 電源架(25 台)-1）
試験用電源装置
機器名称

6mφ
80W 電源架(25 台)-1

常設電力供給ケーブル
電源型式

電源名称

P4K-80M-LEt

6-80W001

P4K-80M-LEt

6-80W002

P4K-80M-LEt

6-80W003

P4K-80M-LEt

6-80W004

P4K-80M-LEt

6-80W005

P4K-80M-LEt

6-80W006

P4K-80M-LEt

6-80W007

P4K-80M-LEt

6-80W008

P4K-80M-LEt

6-80W009

P4K-80M-LEt

6-80W010

P4K-80M-LEt

6-80W011

P4K-80M-LEt

6-80W012

P4K-80M-LEt

6-80W013

P4K-80M-LEt

6-80W014

P4K-80M-LEt

6-80W015

P4K-80M-LEt

6-80W016

P4K-80M-LEt

6-80W017

P4K-80M-LEt

6-80W018

P4K-80M-LEt

6-80W019

P4K-80M-LEt

6-80W020

P4K-80M-LEt

6-80W021

P4K-80M-LEt

6-80W022

P4K-80M-LEt

6-80W023

P4K-80M-LEt

6-80W024

P4K-80M-LEt

6-80W025

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
No

J11

J12

J13

J14

J15

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
型式

NCS-4410-RF

NCS-4410-RF

NCS-4410-RF

NCS-4410-RF

NCS-4410-RF

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
ﾋﾟﾝ No極性

ﾌﾟﾗｸﾞ
ﾋﾟﾝ No

1

+

2

-

3

ﾌﾟﾗｸﾞ
型式

外部入力端子盤
ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
型式

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
ﾋﾟﾝ Noﾌﾟﾗｸﾞ
ﾋﾟﾝ No

1

A

A

A

2

B

B

B

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

5

+

5

E

E

6

-

6

F

F

7

+

7

G

G

G

8

-

8

H

H

H

9

+

9

I

I

I

10

-

10

J

J

J

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

5

+

5

E

E

6

-

6

F

F

7

+

7

G

G

G

8

-

8

H

H

H

9

+

9

I

I

I

10

-

10

J

J

J

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

D

5

+

5

E

E

6

-

6

F

F

7

+

7

G

G

G

8

-

8

H

H

H

9

+

9

I

I

I

10

-

10

J

J

J

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

5

+

5

E

E

6

-

6

F

F

7

+

7

G

G

G

8

-

8

H

H

H

9

+

9

I

I

I

10

-

10

J

J

J

1

+

1

A

A

A

2

-

2

B

B

B

3

+

3

C

C

C

4

-

4

D

D

5

+

5

E

E

6

-

6

F

F

7

+

7

G

G

G

8

-

8

H

H

H

9

+

9

I

I

I

10

-

10

J

J

J

NCS-4410-PM

NCS-4410-PM

NCS-4410-PM

NCS-4410-PM

NCS-4410-PM

70

MS3106B18-1S

MS3106B18-1S

MS3106B18-1S

MS3106B18-1S

MS3106B18-1S

ﾌﾟﾗｸﾞ
型式

A

容器内常設端子盤(3)
端子
番号

端子
番号

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
型式

ﾚｾﾌﾟﾀｸﾙ
ﾋﾟﾝ NoD

MS3102A18-1PJ1J1MS3102A18-1P

EF

DMS3102A18-1P

MS3102A18-1P

J2

J3

J2

J3

MS3102A18-1P

MS3102A18-1P

E
F

E
F

D

MS3102A18-1PJ4J4MS3102A18-1P

EF

DMS3102A18-1PJ5J5MS3102A18-1P

EF

3.3.3. 防振系
本系のうち、振動解析装置の準備作業、操作はユーザで行っていただきます。振動解析装置を使用するためには、加速度計を設置、ケーブルを接続し、振動解析装置本体の設定を行う必要があります。準備作業、操作を行う上でのポイント、注意事項を以下に示します。詳細は問い合わせてください。
（1）加速度計の使い分け
加速度計は表 2-10 のとおり、3 種類用意されています。これらは分解能、使用温度範囲で使い分けますが、およそ以下のような設置個所を想定しています。
①393M33：真空容器内（シュラウド、冷却パネル付支持卓、真空容器、光学窓）②393B12 ：真空容器内（防振架台、供試体支持卓）③393B31 ：独立基礎
ただし、断熱材を巻く等の保温措置を行えば、例えば真空容器内の供試体支持卓上で 393B31 を使用しても構いません（真空中での使用は差し支えない）。
(2)加速度計インタフェース(a)ケーブル接続インタフェース
図 2-10 からわかるように真空容器内と容器外ではケーブル接続のインタフェースが異成ります。
真空容器内に加速度計を設置する場合は、真空容器胴部シュラウド切り欠き部に収納されている
ローノイズケーブルの先端の MIL コネクタで取り合います。独立基礎上など容器外に設置する
場合は、より線ケーブルを用いて真空容器下部ピットにある中継箱と接続します。中継箱から振動解析装置までの配線は予め施工されています。真空容器内に加速度計を設置する場合は 1～15ch、真空容器外に設置する場合は 16～30ch に接続するよう予め決められており、1～15ch については
真空容器内 MIL コネクタ～中継箱間も配線がされています。
(b)設置のためのインタフェース
概略以下のようになっています。なお、下記の専用プレートが足りない場合はユーザ側で用意してください。加速度計は、決められた以外の場所にカプトンテープ等で固定しても構いません。
①独立基礎
加速度計固定用のネジ穴を予め設けてあります。専用のプレートをインタフェースとして取り付けてください。
②防振架台
供試体支持卓ガイド取り付け用ネジ穴を利用し、専用のプレートをインタフェースとして取り付けます。
③供試体支持卓
ハードポートを利用し、専用のプレートをインタフェースとして取り付けます。

71

④シュラウド
胴部マンドア付近に専用の取付座を設けています。
⑤真空容器
真空容器底のマンホール付近に専用の取付座を設けています。
⑥光学窓
3 ヶ所の光学窓底部に専用の取付座を設けています。
（3）解析する上での注意
加速度データは、ハードディスクの容量の関係から、サンプリング周波数 800 Hz で 3 分間取得できます。長時間のモニタを行いたい場合は、Monitor モード（詳細は問い合わせ）を選択してください。
（4）データ引き渡しについて
振動解析装置で収集した加速度、変位データ及びそれらを後処理することによって得られる FFTの結果はワークステーション内にバイナリの型式で保存されます。また、データの引き渡し方法としては次の 3 通りが考えられます（記録媒体はユーザー側で準備してください）。
①バイナリデータを磁気テープにコピーし、磁気テープを持ち帰る。
②バイナリデータをテキストデータに変換し、LAN 経由でデータ保管装置にコピーし、MO で持ち帰る。
③バイナリデータをバイナリモードで LAN 経由でデータ保管装置にコピーし、MO で持ち帰る（バイナリモードにしないと、転送中にデータが破壊されます）。
磁気テープは、容量 525MB のものを使用してください。

72

3.3.4. 付帯設備
3.3.4.1. クリーンブース（1）概略運用手順
クリーンブースを用いて光学性能確認試験を実施する場合の概略フローを、移動台上で試験を行う場合について図 3-30 に示します。クリーンブースを移動台上から真空容器内へ移動させる場合
はクリーンブースのダクトを外さなければならないため、この間は ISO5[ISO14644]（クラス M3.5,
クラス 100 相当[FED-STD-209E]）の環境を提供できません。
（2）クリーンブース内インタフェース
クリーンブース内の有効空間（容積）は、3,500mm（幅）×5,000mm（奥行き）×2,110mm（高さ、ただし温湿度計から 100mm のクリアランスをとった場合）と成ります（図 3-31 参照）。
（3）ISO5[ISO14644]（クラス M3.5,クラス 100 相当[FED-STD-209E]）を生成するまでの時間
クリーンブース内を ISO5[ISO14644]（クラス M3.5,クラス 100 相当[FED-STD-209E]）にする
までには、クリーンブース内が無人の場合でおよそ 30 分かかります。
（4）最大入室人数
クリーンブース内に入室できる人数は最大 3 人です。
（5）温度・湿度監視
クリーンブース作動時のクリーンブース内の温度及び湿度を確認するためにクリーンブース内の温度・湿度のデータ各 3 点をクリーンブース操作卓でモニタすることができます。また、3 点のうち中央の 1 点の温度・湿度については計測データ処理系に記録され、保存されます。
(6)関係機器配置
クリーンブースを使用する場合、空調のためのダクトを配置する必要のあるため、チャンバ横の試験装置設置エリアの使用範囲が図 3-32 のとおり限定されます。

73

図 3-30 クリーンブース運用概略フロー74

図 3-31 クリーンブース内高さインタフェース
75図 3-32 クリーンブースダクト配置図
76

3.4. 設備付属品
本設備には、試験時のデータ取得に必要なコネクタ等を常備していますので、在庫の貸し出し状況によりますが、以下の保有品をユーザは借用することができます。借用、返却時の手続きを以下に示します。
表 3-17 設備付属品一覧
品

名

用

途

型

式

保有数

コネクタ（プラグ）信号・電力・

MS3106B18-1S

─

試験用電源・

MS3106B22-23S

─

測温抵抗体用MS3106B32-17S

─

熱電対用

AFD56-16-26SN

─

JA3106B24-J28SC

─0603-34-2039

─105372

─

NM-104-845#1

─

NM-104-845#2

─

ソケット

熱電対用

コンタクト

カロリーメータ

照射強度測定用

ST4356A

30 個

Ｔ-ＱＣＭ

コンタミネーション

MK−10 センサ

2式

モニタ用

MODEL2000 コントローラ※1：ソケットコンタクト（熱電対用）は圧着タイプのため消耗品と成ります。試験時は、事前にユーザ側で準備願います。なお、調達の都合でスケジュールに間に合わない場合は、設備保有品の借用も可能です。その場合は後日同等品を必ず返却してください。
※2：プラグについてもできるだけユーザ側で準備してください。調達が間に合わない場合は設備保有品を貸し出します。熱電対プラグについてはピンを抜いて、その他については、はんだをきれいに除去して返却してください。
〔借用、返却時の手続きについて〕①借用時は借用書（設備運用業者側で用意してあります）に必要な品名、個数等を明記して提出してください。
②借用期間終了後は速やかに返却願います。消耗品（ソケットコンタクト等）については使用した個数分の同品（新品）を補充してください。
③使用時にはんだを塗布したもの（コネクタ等）については、はんだをきれいに除去して返却するか、使用した個数分の同品を補充してください。
④手続きの内容について不明な場合は、設備運用業者が説明します。

77

A

3.5. 建屋インタフェース
3.5.1. 準備室
チャンバ本体が設置されている部屋であり、ユーザ側作業エリアとして試験の準備作業及び試験を実施します。
①床の傾斜と許容荷重
準備室の床は供試体搬入用装置が移動するために、傾斜が 3/1000 以下となっています。そのため、準備室床には許容荷重の規定があります。広範囲に分布する荷重としては、9.8 kPa、集中荷重（架台のキャスタ等）としては、7.85 MPa（塗り床材の圧縮強度。コンクリートの圧縮強度（一時的な荷重に対して）は 23.8 MPa）です。ただし許容荷重以下の物品の場合でも床を傷つける恐れがある場合は事前に養生をして移動させてください。
②ハンドパレット準備室内で重量物を移動させる場合、ハンドパレットを使用することができます。
ハンドパレットは大と小の 2 種類あります。ハンドパレット大は供試体搬入台（2.2.2.2 項参照）と 同 じ も の で す （ 寸 法 、 能 力 も 同 一 ）。 ハ ン ド パ レ ッ ト 小 の 概 略 を 表 3-18 に 示 し ま す 。
ハンドパレット大で供試体等を移動する際は衛星積載台（大）（図 3-33 参照）を使用すると便利です。衛星積載台の質量は 2,100kg で、積載可能質量は 4,000kg です。
表 3-18 ハンドパレット小概略
ハンドパレット小
寸法1,230W×1,600 L×193H

能力2,400kg③温度・湿度モニタ
準備室内の温度・湿度については、可搬式モニタに表示することができます。
④パーティクル（清浄度）
準備室内に設置したダストカウンタで試験設備管理室において 24H モニタしております。
⑤最大入室人数
準備室に入室できる人数は最大 15 人です。

78

3.5.2. 計測制御室
ユーザ側がチェックアウト装置を搬入して、データ解析等に使用します。
3.5.3. 試験用分電盤設備試験に必要な分電盤及びコンセント盤については、その設置場所、用途に関して表 3-19 に試験用分電盤リストを示します。各分電盤はその下部にコンセント盤を付属しています。LS-1B、
LS-1C については、さらにそれぞれ別途露出コンセント盤（A）が設けられています。配置は図 3-34
を参照してください。分電盤の結線図を図 3-35 に示します。分電盤下部コンセント盤及び露出コンセント盤（A）の仕様（コンセント構成）を図 3-36 に示します。
分電盤は全て非常用電源系にも接続されていますので、商用電源が停電した場合は、動力棟の自家発電機により電源が供給されます。なお、自家発電機の供給に要する時間は 10 分間程度で、優先度の高いものから供給されます。また、商用電源の復電の際にも 10 分間程度の停電が生じます。
表 3-19 試験用分電盤リスト
分電盤 NO.

設置場所

用途

LS-1B

準備室

コンセント用及び装置用

LS-1C

準備室

コンセント用及び装置用

LS-1E

前室

コンセント用及び装置用

LS-1I

計測制御室

コンセント用及び装置用

79

図 3-33 積載台（大）80計測制御室LS-1I

ユーザ用 UPS(CP315BC AP2 分岐盤)
LS-1B
コンセント盤(A)

チャンバ

コンセント盤(A)

LS-1C
解梱室

前室

準備室

LS-1E
図 3-34 分電盤/コンセント盤配置図81

図 3-35 分電盤結線図

82

コンセント構成
3φ200V 3P30A 2 個
1φ115V 2P30A 1 個
1φ100V 2P30A 5 個
1φ100V 2P15A 接地ダブルコンセント 4 個
3φ200V 3P100AF/75AT

MCCB×1（取合はノブ端子台）

1φ100V 2P100AF/75AT

MCCB×1（取合はノブ端子台）

GND 端子 3 個

コンセント構成
3φ200V 3P30A 2 個
1φ115V 2P30A 1 個
1φ100V 2P30A 5 個
1φ100V 2P15A
接地ダブルコンセント 4 個
3φ200V 3P100AF/75AT

MCCB×1

1φ100V 2P100AF/75AT MCCB×1
1φ220V 2P 50AF/50AT MCCB×2
GND 端子 3 個

図 3-36 分電盤下部コンセント及びコンセント盤(A)仕様

83

3.5.4. クレーン設備
解梱室～前室間及び準備室にはクレーン設備があり、供試体の搬入等の作業に利用できます。
クレーンを利用する場合は、必ず有資格者が行い、所定のノートに使用実績を記録してください。
解梱室～前室クレーンはレール開閉機構を備えており、シャッタを開けた状態で解梱室～前室間の搬送が可能です。クレーンの仕様を表 3-20 に示します。なお、各クレーンには油の防滴対策が考慮されていますが、念のため供試体取扱い時は陣笠等での保護が必要です。各クレーンの室内可動範囲は図 3-37 を参照してください。クレーンはインバータ内蔵のため、ペンダント
スイッチの「入」釦を押してから操作ができるようになるまで 10 秒程度かかります。また、
停止釦を押してから実際に停止するまで多少の時間的なずれが生じます（起動の際も同様です）。
なお、クレーン作業後はフックを一杯まで巻き上げてください。
表 3-20 クレーン仕様
設置場所

解梱室～前室準備室

型式

モノレールホイスト式 4.8t

ダブルレールホイスト式
4.8t

定格荷重

4.8t

4.8t

揚程

11.0m（フック下：10.71m） 13.6m（フック下：13.54m）

巻き上げ速度（min/max） 0.4/4.0(m/分)

0.4/4.0(m/分)

横行速度（min/max）

1.25/12.5(m/分)

1.25/12.5(m/分)

走行速度（min/max）

2/20(m/分)

2/20(m/分)

操作方式

床上押釦操作

床上押釦操作※1：速度は押釦操作により 1 段目低速、2 段目高速となっています。
※2：1 段目の低速側速度については変更可能です。ただし、範囲は最高速の 1/10 以内となっています。

3.5.5. 解梱室
屋外側シャッタには僅かな隙間があり、台風の場合などに雨が侵入することがありますので、屋外側シャッタの付近には、治具、計測器等を置かないようにしてください。

84

図 3-37 各室内クレーン可動範囲85

3.5.6. ユーザ用 UPS
ユーザー側で使用できる UPS が準備室内にあります。使用される場合は予め連絡してください。
①設置位置
図 3-34 を参照してください。
②仕様(a)最大合計出力容量 15.0kVA(b)バックアップ時間 10 分以上(c)出力定格・配線番号(表 3-21)
表 3-21 ユーザ用 UPS 出力定格・配線番号
出力定格

分岐盤配線番号U1, V1, W1

AC200V ３相３線 50Hz

計４回路

U2, V2, W2
U3, V3, W3
U4, V4, W4
U5, V5AC200V 単相２線 50Hz

計３回路

V6, W6
W7, U7
U8, N8AC100V 単相２線 50Hz

計３回路

V9, N9W10, N10※取付の際には、現場分岐盤に表示されている配線番号を確認の上、実施してください。
③その他
分岐盤回路図を図 3-38 に示します。
ユーザ側にて取付ける機器負荷の合計は 75A 未満としてください。

86

図 3-38 ユーザ用分岐盤回路図

873.5.7. コンタミネーション管理①光学センサは一般の供試体に較べコンタミネーションの要求が厳しくなっています。そのため本設備では筑波宇宙センターの他のチャンバより厳しいコンタミネーション管理を行っています。具体的には、次のような方策を採っています。
(a) 粒 子 状 コ ン タ ミ ネ ー シ ョ ン は ISO7 [ISO14644] （ ク ラ ス M5.5, ク ラ ス 10,000 相 当[FED-STD-209E]）(b)分子状コンタミネーション防止のため、準備室内で使用する機材等の摺動部の潤滑剤には極力油分を使用せず、使用する場合には密閉する。
②特に清浄度要求の厳しい光学センサの試験を行う場合にはクリーンブースを使用してISO5[ISO14644] （ ク ラ ス M3.5, ク ラ ス 100[FED-STD-209E] ） の 環 境 を 生 成 す る こ と ができます。
③準備室、クリーンブースに入室可能な人数については、それぞれ準備室 15 名、クリーンブース
内 3 名で清浄度維持するように設計されていますので、それ以上の人数の場合、清浄度を満足できない可能性があります。なお、準備室の入退室に際しては、入退室管理ボードに入退室状況を明示してください。
④供試体及び設備への汚染調査の為、試験中は不揮発性残渣検出用の NVR プレートをチャンバ内に設置します。設置位置については図 3-39 をご参照ください。汚染量の分析には 1～2 週間
程度かかり、分析結果から設備への汚染が確認された場合（作業床の NVR 量が 1.5mg/0.1m2
以上※1）はユーザ負担によるチャンバ内の清掃及び確認試験（分析含む）をお願いする場合があります。チャンバ内清掃と確認試験には 2 週間程度必要となります。
※1 熱真空試験におけるコンタミネーション測定の考え方（GCT-2011023）

作業床

真空容器内

供試体
近傍

図 3-39 NVR プレート 設置場所 概略図

88

⑤クリーンルームにおける一般的注意事項
詳細は「試験設備利用の手引き」(GCA-99014)に基づくこととし、特に次の事項に留意してください。
(a)無塵服供試体の清浄度要求に応じ、以下の無塵服を着用してください。
ISO5[ISO14644]（クラス M3.5,クラス 100 相当[FED-STD-209E]）：オーバーオール、フード、
マスク、ブーツ ISO7 [ISO14644]（クラス M5.5,クラス 10,000 相当[FED-STD-209E]）：オーバー
オール、フード、ブーツ（またはシューズ、シューズカバー）ISO8 [ISO14644]（クラス M6.5,
クラス 100,000 相当[FED-STD-209E]）：オーバーオール（他のクリーンルームで使用しているものと同じで可）、帽子、短靴汚染に敏感な面を扱う場合はさらに手袋を着用してください。
クリーンブースを使用する試験を行う場合はクラス 100 対応の無塵服を準備してください。参考
までに設備側で使用している無塵服の一例（型式）を以下に示します。
東陽リントフリー（株）製
オーバーオール：FB102C

フード：FB405C

ブーツ：FE652C

マスク：FZ554C

手袋：クリーンファースト 1000

※設備側では、清浄度規格 ISO5,ISO7[ISO14644]双方に対応できる無塵服を使用しています。
(b)文房具
準備室内には出来る限り紙を持ち込まないようにしてください。持ち込む際は無塵紙を使用してください。また筆記用具はボールペンを使用してください。

89

4. 試験の実施
4.1. 試験作業手順
試験時の各作業は、供試体側の試験実施計画書に基づき実施されますが、以下に一般的な試験
作業フローを示します（供試体側作業は網掛けで示します）
。
A

供試体搬入

試験準備

支持卓へ
セットアップ

電気的機能試験

チャンバ内搬入

最終チェック

電源・信号ライン
導通チェック

熱電対断線
チェック

IRケージライン
漏洩確認

グレイロック
取付け

試験

供試体昇温

常温/大気圧戻しチャンバ外搬出

グレイロック
取り外し

外観検査

環境試験条件成立
真空排気
開始

供試体撤収

チャンバ内圧力
1.3×10-3Pa以下シュラウド温度
100K以下支持卓から供試体の取り外し

図 4-1 試験作業フロー

注意事項(1) 前室に搬入してから 1 時間程度放置し、清浄度が回復してから、準備室に搬入して下さい。
(2) 粗引排気開始時間は、13:00～となるように、試験スケジュールを設定して下さい。

90

4.1.1. 試験概要
本設備では、試験を目的、方法によって 2 種類の分類方法をとっています。以下にそれぞれの説明をします。試験目的によって選択できる試験方法には制限があります。その使い分けは表 4-1
を参照してください。
(1)目的別分類
本設備においては、目的別に、①放射計光学特性試験、②赤外照射熱平衡／熱真空試験等の環境試験が実施可能です。各試験環境の概要は下記のとおりです。また、各試験時の環境条件を
表 4-1 に示します。
①放射計光学特性試験
宇宙空間を模擬した高真空、極低温下及び大気圧、常温下での供試体の光学特性等を確認する試験が行われる。
②赤外照射熱平衡／熱真空試験
宇宙空間を模擬した高真空、極低温下で供試体の熱設計等を確認する熱平衡試験と、同様に宇宙空間で受ける高温、低温及びそれらが繰り返される熱環境下における供試体搭載機器の耐環境性を確認する熱真空試験が行われ、熱源としては IR ランプまたはヒータが使用される。
表 4-1 試験の種類及び環境条件まとめ
試験の種類
環境
1 .運用チャンバ内圧力

放射計光学特性試験
1.33×10-4Pa 以下

赤外照射熱平衡／熱真空試験
1.33×10-4Pa 以下

または大気圧
2. 赤外線強度20kW(max)

20kW(max)

3. シュラウド温度

100K 以下または100K 以下

300K（常温）91

(2)方法別分類
また、試験方法としては以下の 3 モードが選択可能です。試験目的による試験方法の使い分けを
表 4-2 に示します。
①モード 1
クライオソープションポンプによる排気を行い放電領域を通過させた後、シュラウド冷却を行う。
そのため、供試体が過冷却される危険性が少ない。熱真空・平衡試験は基本的にこのモードで行う。
注）大気圧戻し時に、シュラウド加温した後で CSP を停止する場合、供試体の放出ガス量によっては放電しやすい領域に入る場合がある。
②モード 2
シュラウド冷却を行った後にクライオソープションポンプによる排気を行う。熱真空・平衡試験を目的とする。供試体の過冷却による破損の恐れのない場合、試験条件の早期成立を行いたい場合にこのモードを使用する。
③モード 3
常温真空試験。シュラウドを冷却せずに真空状態のみを実現する。

表 4-2 試験目的による試験方法の使い分け
試験目的

試験方法

放射計光学特性試験

モード 1、2、3

赤外照射熱真空/熱平衡試験

モード 1、292

4.1.2. 標準チャンバ排気曲線等
モード 1 における標準的なチャンバ排気曲線（供試体無し）、標準的な運転手順およびシュラウド
温度曲線を図 4-2「標準チャンバ排気曲線等」に示します。

通常13:05に粗引排気開始
10:00

12:00

14:00

16:00

18:00

20:00

22:00

冷却水・計空設備
油回転ポンプ
メカニカルブースタポンプ
ホールディングポンプ
元弁「開」

元弁「閉」

ターボ分子ポンプ
コンタミネーションパネル

元弁「開」

元弁「閉」

クライオソープションポンプ
シュラウド冷却
シュラウド加温GN2リーク
大気圧戻し

粗引元弁「開」
105

GN2リークメカニカルブースタポンプ排気104

乾燥空気による大気圧戻しを徐々に行います。空気導入は約3時間弱かかりま
す。

103

102

13.3Paまで粗引排気した後、ターボ分子ポンプによる排気10
全排気元弁を閉めます。チャンバ内圧力が急速に上昇しますが、放電し易い領域（注1）での滞在時間を短くするため、GN2
リークにより強制的にチャンバ内圧力を2660Pa程度まで昇温します。
注1：4-3(1)参照

1

コンタミネーションパネル冷却

チャンバ内圧力[Pa]10-1

チャンバ内の汚染防止のため、コンタミネーションパネルを液体窒素により冷却することにより、急激に圧力が下がります。
10

-2

10

-3

GN2リーク

クライオソープションポンプ排気
1.33×10-3Pa付近でクライオソープションポンプを起動させ、更に真空排気を続けます。

シュラウド冷却
10-4

シュラウドに液体窒素を供給して冷却します。この操作が完了すると、熱真空試験の環境条件(1.33×10-4Pa,シュラウド100K以下が成立します。

シュラウド加温10-5

シュラウドにGN2を流し、昇温しま
す。この時点でチャンバ内圧力は1.33×10-4Pa程度になります。
真空引きから約7.5Hで試験環境成立

供試体試験

300

シュラウド

シュラウド温度[Ｋ]

250

シュラウド

200
150
100
コンタミネーションパネル
50

コンタミネーションパネル

0

図 4-2 標準チャンバ排気曲線等

図 4-1 標準チャンバ排気曲線等93

4.2. 停電対策
瞬停・停電発生時の標準フローを図 4-3 に示します。
(1)瞬停時①計装空気圧縮機以外を除く、設備の機器は 2 秒の瞬停対策が施されているため、2 秒以内の瞬停であれば排気ポンプ等の運転は継続されます。
②計装空気圧縮機は、2 秒以内の瞬停でも停止しますが、窒素ガスにより自動バックアップが行われますので、試験環境に影響を与えることはありません。
(2)停電時
供試体側措置 ： 停電発生後、速やかに供試体を打ち上げモードへ移行する等の放電対策を行って下さい。
① 2 秒以上の停電が発生すると、機械式の真空排気ポンプ類は全て停止します。なお、シュラウド・
コンタミパネルの冷却は継続可能です。
停電継続時間、供試体過冷却保護対策の状況により、シュラウド冷却を継続して急激な圧力上昇を避けるか、シュラウド冷却を停止して窒素ガスを導入するかのいずれかになります（通常はシュラウド冷却を継続して復電を待ちます）。
② 2 秒以上の停電が発生すると、チャンバ内圧力は約 10 分で一般的に放電しやすい領域(1.3×10-3
Pa)まで上昇します。停電発生後、速やかに供試体を打ち上げモードへ移行する等の放電対策を行って下さい。
ユーザ用に 15 KVA の UPS（3.5.6 項参照）を準備室に用意しています。停電の際に加温したい
ヒータや停電時にも制御・モニタしたいチェックアウト装置等を接続しておくことを推奨します。
ユーザ用 UPS の接続は 3.5.6 項に基づき行って下さい。ユーザ用 UPS に接続していないチェックアウト装置や試験用電源は停止状態となります。
③停電が 10 分程度継続すると、
筑波宇宙センター動力棟の非常用発電機による給電が開始されます。
給電開始までの時間及び使用可能な電力量は、他の施設・設備の使用状況により変動します。
20 分間の停電発生を想定した際のチャンバ内圧力推移を図 4-4 に示します。
④制御監視装置、計測データ処理装置、試験用電源装置設定用 PC 及びコントローラ PC、通話設備、酸素濃度計には、10 分以上給電出来る UPS（無停電電源）が接続されています。
⑤10 分以上停電が継続する場合は、データ処理装置の強制終了によるハードディスク故障に備え、保存データを外部媒体に保存して下さい（計測を中止する必要はありません）。
⑥筑波宇宙センター動力棟の非常用発電機による給電には限りがあります。非常用発電機による給電中は、必要のない照明や装置を OFF にする等、最低限の電力使用に努めて下さい。
⑦筑波宇宙センター動力棟の非常用発電機による給電が開始されればクライオソープションポンプ
(CSP)、ターボ分子ポンプ(TMP)による真空排気により、高真空運転(1×10-4 Pa 以下)を再開することができます。

94

瞬停／停電発生

状況確認

2秒未満の瞬停

停電時間
2秒以上の停電

計装空気圧縮機
再起動

供試体放電対策

Yes

10分以内に商用
電力の復電

No
動力棟自家発電機による給電給電さ れず( 2次的な災害等によ り )給電
供試体は放電しやすい領域内で待機可能かNo

Yes

・ TMP、 CSP再起動（ 排気再開） ※1
・ 試験用電源等によ る 供試体加温①
商用電力の復電No

全装置の再起動

Yes
商用電力への切替え に伴う 瞬停

・シュラウド冷却停止
・GN2リーク

試験再開

TMP､CSP再起動（ 排気再開）

高真空への復帰を 確認

高真空への復帰を 確認

供試体放電対策解除

供試体放電対策解除

対策会議

①へ

試験中止

極低温／高真空維持運転（ 試験継続）大気圧戻し（ 試験中止）※1 TMP： タ ーボ分子ポン プ
CSP： ク ラ イ オソ ープショ ン ポン プ

図 4-3 瞬停・停電時の標準フロー

図４ －２

瞬停・ 停電時の標準フ ロ ー95

1.0E-01

チャンバ内圧力［Pa］

1.0E-02

1.0E-03

非常用発電機による給電開始

CSP TMPによる再排気開始

停
電
発
生

CSP TMPによる再排気開始

非常用から商用電源への切り替わりによる瞬停
1.0E-04

1.0E-05

1.0E-06
X-10min

停電時間帯

X-0min

X+10min

X+20min

X+30min

X+40min

図 4-4 停電時のチャンバ内圧力推移(約 20 分間の停電発生を想定)(3)復電時①復電し、筑波宇宙センター動力棟の非常用発電機による給電から、通常の給電に復帰する際、一時的に瞬停が発生します。
②停電中、チャンバ内に窒素ガス導入又は乾燥空気導入を行っていない場合は、復電後およそ30 分以内で高真空運転に復旧できます。

96

4.3. その他特記事項
4.3.1. 試験にあたっての確認事項
スペースチャンバは供試体に異常が発生しても、すぐにアクセス出来ない点において、実際の宇宙空間と同様の環境である事を十分確認の上、以下に述べる注意事項をチェックして、表 4-3 の確認を行い試験開始前（設備アクセス前）の T/B 時に提出して下さい。
(1) チャンバ汚染に関する考慮
・ 蒸気圧の高いものや、加熱されて蒸発しやすいものが使用されていないか？
・ 宇宙用部品でなく市販品を使用していないか？
（市販の接着剤、粘着テープ等を使っていないか？）・ 脱ガスの少ない材料か？
・ 原則、熱真空試験を行う供試体、治具、ハーネスのすべてについてベーキングを試験前に行っているか？
設備使用者は、本スペースチャンバ設備において、設備使用者がチャンバ内に持ち込む物品（例：
供試体、治具類､貫通端子類､ケーブル類等）に関して、真空度劣化等の試験環境に影響を及ぼす
事象を未然に防止するため、チャンバ内で使用する持込物品については表 4-4 に示す様式「設備使用者チャンバ内持込物品リスト」により、物品リスト及び各物品の事確認結果等を記載し、キックオフミーティング（K/O）時に提出して下さい。
(2) 真空に対する考慮・ ガス封止になっているものから、ガスリークは発生しないか？
・ 内圧、外圧が付加されても問題ないか？
・ 真空シールコネクタ部の真空シールは十分検査されているか？
・ 真空容器を貫通するもの（導波管、パイプ等）がある場合、リークは十分検査されているか？
(3) 低温による弊害
・ 材料の低温脆性は問題ないか？
・ 低温部に高分子材（ゴム等）は使用していないか？
・ 常温大気圧戻し時、温度が上昇しにくいものはないか？上昇しにくいものは加温の手段を持っているか？
・ 流体を使用する場合は凍結防止等が考慮されているか？
(4) 真空放電に対する考慮・ 一般的に、1.33 × 10-3 Pa～1.33×104 Pa 付近の圧力では放電現象が発生しやすいと言われています。この領域で機器に高電圧を印加すると、放電により供試体を破損する恐れがあります（詳細は JERG-2-130-HB005 熱真空試験ハンドブック 3.7.1 項を参照）。
・ 放電しやすい領域は供試体側で設定し、設備側へ事前に連絡する必要があります。
・ 放電しやすい領域では電圧を印加しない、または放電防止対策を取った上で電圧を印加する等の対策を取る必要があります。

97A

(5) 高圧ガス保安法に対する考慮
・ 本設備の IR ケージラインは、高圧ガス保安法の高圧ガス製造設備の対象外となっています。
ユーザ側で、IR ケージラインを使用する供試体試験治具を用意する場合は、高圧ガス製造設備の対象とならないように設計して下さい。
（弁を設けない、液封にならない等）
・ IR ケージラインは、必ず気密を行って下さい。
(6) 設備とのインタフェース確認は図面のみに頼らず、必ず現物の確認を行って下さい。
・ 液化窒素系とのインタフェース等
・ チャンバ内突起物（ソーラシミュレータ用センサ、作業床、配管類等）とのインタフェース等

4.3.2. スペースチャンバ使用上の主要な注意事項
本内容は、6mφ放射計スペースチャンバを使用するにあたり、設備に関して特に注意すべき事項を記したものです。詳細な内容については、各設備の取扱説明書を参照して下さい。
(1) 安全A・ 供試体搬入扉閉の状態でマンドアから真空容器内に入る場合は、酸欠に留意し、携帯型酸素濃度計にて酸素濃度を確認してから入室してください。
(2) アウトガス
・ 本設備でのベーキングは実施しないでください。
・ 原則、熱真空試験を行う供試体、治具、ハーネスのすべてについてベーキングを試験前に他設備で行ってください。ベーキングを免除できる場合は以下に限ります。
(a)以前に熱真空試験を行い、アウトガスが枯れたことが明白である場合。
(b)表 4-4 のリストで、ベーキングを行う必要が無いことを証明できる場合。この場合、材料の
TML、CVCM を必ず記入してください。
・ アウトガス成分が不明な塗料を使用する場合も、アウトガス分析を行いアウトガスが多い場合は、
上記と同じ処置を行って下さい。
・ 衛星用塗料として使用されることのあるエアログレース Z306（黒色）は、特に国産品については
アウトガスが多く、チャンバ内では汚染防止のため使用できません。使用する場合は、事前にベーキングを十分行ってください。また、アウトガス成分が不明な塗料を使用する場合も、
アウトガス分析を行い、アウトガスが多い場合は、上記と同じ処置を行ってください。
(3) チャンバ系
・ ユーザ用チャンバノズルに、導波管、コネクタ等の貫通フランジを使用する場合は、
真空シール部に漏れのない事を確認の上使用願います。
・ IR ケ ー ジ ラ イ ン は 、 運 転 前 ま で に 接 続 部 に 漏 洩 の な い 事 を 確 認 し て 下 さ い 。 ユ ー ザ 用チャンバノズルに導波管、コネクタ等の貫通フランジを使用する場合は、真空シール部に漏れの無いことを確認の上使用願います。

98

(4) 供試体系
・ 供試体支持卓への供試体の搭載及び試験用電源装置のコントロール（使用した場合）については取扱説明書に従いユーザ側で操作願います（ただし、供試体支持卓のチャンバ搬入出は設備側で実施します）。
・ 大気圧戻しの際にチャンバ内に導入される空気は乾燥器を通ります。乾燥器内には吸着剤が充填されているために、吸着熱が生じます。この吸着熱と、空気の導入による圧縮熱のために
チャンバ内に導入される空気の温度が上昇する場合があります（温度上昇の程度は外気の温度・湿度で異なり、夏季に最も大きくなります）。温度に敏感な供試体を試験する場合にはこの点を考慮して、ユーザ側で対策を行ってください。
・ ハ ー ド ポ ー ト は SUS304 製 に な っ て お り 、 ユ ー ザ 側 で 準 備 す る ネ ジ が SUS 製 で 、 かつ
表面コーディングを施していない場合はかじりを起こすことがあります。ハードポートのヘリサートに SUS ネジをねじ込む場合は、まず手締めで行うなど、十分注意してください。
(5) セキュリティ確認について
・ ユーザ側が持ち込む端末等は、原則として本設備が所有する端末及びネットワーク（計測データ処理装置等）への接続は禁止とします。
・ 本設備とのデータの授受を行う場合、使用する外部記憶媒体は、使用前に最新状態のウィルスチェックソフトでウィルスチェックを行う事とします。

4.3.3. 緊急停止スイッチ
供試体搬入扉を閉めた後に万一作業者が真空容器内に取り残された場合を想定して、真空容器内に「緊急停止スイッチ」が設置されています（図 4-5 参照）。この「安全スイッチ」を取り残された本人が操作させる事により、警報表示機能、及びインターロック機能（真空排気不可）が動作します。設備使用前に、必ず現物を確認してください。また、計測制御室及び準備室内に緊急停止スイッチがあります。
(1)チャンバ内緊急停止スイッチ
スイッチは MS コネクタのレセプタクルとプラグで構成されており、プラグ側を引き抜くことにより接点が外れ、設備が停止するインターロックとなっています。万が一、チャンバ内に閉じ込められた場合は、当該スイッチを引き抜いて下さい。スイッチの位置を図 4-5 に示します。
(2)計測制御室緊急停止スイッチ
ボタンタイプのスイッチで、保護ピンを抜き押下することで緊急停止します。スイッチの位置を
図 4-6 および図 4-7 に示します。
(3)準備室緊急停止スイッチ
ボタンタイプのスイッチで、保護ピンを抜き押下することで緊急停止します。スイッチの位置を
図 4-6 及び図 4-8 に示します。

99

A

図 4-5 チャンバ内緊急停止スイッチ

100

空調機械室

計測制御室
玄関
ホール
計測制御室内緊急停止スイッチ（非常停止
計測制御室操作卓上）

空調機械室

玄関

機械室

真空容器

機械室

開梱室

真空容器

前室

準備室内緊急停止
計測制御室内スイッチ
緊急停止スイッチ（供試体搬入（非常停止
扉操作盤上）
操作卓上）

ホール

準備室内緊急停止
スイッチ（供試体搬入扉操作盤上）

控室2

控室1

控室2

図4-3 準備室・計測制御室緊急停止スイッチ位置
前室

開梱室

図 4-6 準備室・計測制御室 緊急停止スイッチ位置

図4-3 準備室・計測制御室緊急停止スイッチ位置

CP103-B
非常停止操作卓

ハイブリッドレコーダ

全系緊急停止液晶ガイド
CP103-B
非常停止操作卓

控室1

全系緊急停止保護ピンを外し、押下する。
液晶ガイド
ハイブリッドレコーダ
図 4-7 計測制御室 非常停止操作盤上 緊急停止スイッチ位置

図4-4 計測制御室非常停止操作盤上 緊急停止スイッチ位置
保護ピンを外し、押下する。

101
図4-4 計測制御室非常停止操作盤上
緊急停止スイッチ位置

図 4-8 準備室 供試体搬入扉操作盤上 緊急停止スイッチ位置

102

4.4. キックオフミーティング時の提出書類
キックオフミーティング時に下記文書を設備担当者に提出してください。
(1)試験実施計画書(2)設備側への要求事項（表 4-3 参照）(3)スペースチャンバ内持込み物品リスト(表 4-4 参照)103

表 4-3 設備側への要求事項>>>本要求事項は K/O 時に設備担当者へ提出願います。<<<
6mφ 放射計スペースチャンバ
試験名称

作成日：

設備使用者

備考

チャンバ内圧力

年

月

日

Pa 以下

放電注意圧力範囲

Pa～Pa

試 シュラウド温度

K 以下

験
条
件
等 クリーンルーム

温度：

23±3℃

湿度：

30～60％
ISO7[ISO14644]（準備室）環境(クラス 10,000 相当[FED-STD-209E])

清浄度：

ISO8[ISO14644](クラス 100,000 相当[FED-STD-209E])

試験モード

モード：

モード 1, 2, 3

供試体支持卓の種類

冷却パネル無 ・ 冷却パネル付
3kW 電源：台

2kW 電源：台

800W 電源：台

400W 電源：台

法080W 電源：台

・ 供試体用 LN2(GN2)

使用しない

・

使用する

供試体用 UPS

使用しない

・

使用する

機 振動解析装置

使用しない

・

使用する

使用しない

・

使用する

試

試験用電源装置

験
方

使
用
器
等

393M33：

台

393M12：

台

393M31：台

加速度計

クリーンブース

使用しない

・

使用する

TQCM

使用しない

・

使用する

104

台

A

A

表 4-4 スペースチャンバ内持込み物品リスト
使用チャンバ：6mφ放射計スペースチャンバ

作成年月日：

試験名称：

試験期間：

～

持込み物品名日No.

使用されている非金属材料
試験前ベーキング

数量
該当項目(※1)

事前確認結果材料名

使用量（商品名・型式）

（※2）

TML

CVCM

ベーキングあり（※3）
温度

（※1）

月

設備使用者名：該当項目に対する事前確認結果
No.

年

該当項目欄には、下記に示す関連する番号を記載し、各番号に対して事前確認結果を記載すること。

時間

ベーキングなし（※4）

使用実績

圧力環境 乾燥時間 ベーキングを実施しない理由（※2）使用量が不確定な場合は、最大の値を記入してください。シリコングリースであれば、2本×50g等。
少量であれば、少量を記入してください。

該当項目がない場合は空欄とする。
＜該当項目＞①供試体、治具類等に空気溜まりとなる構造がある場合は、空気抜き穴等を設置しているか。

（※3）ベーキングを実施している場合はベーキング条件（温度、時間、ベーキング時の圧力環境、乾燥時間）を記入する。

②供試体、治具類等の全て（塗装含む）について、熱真空試験前にベーキングを実施しているか。
③設備使用者持込み貫通端子（例：SMA端子）等の気密性は事前に確認しているか。
④チャンバ内持込み物品について、コンタミ源となる材料を使用していないか。

（※4）ベーキングを実施していない場合は、ベーキングを行わなくてもよい理由を具体的に記入する。
例) 少量かつ、TML、CVCM共に規格値以内。

⑤冷媒配管等を真空容器に貫通させて使用する場合は、継手等の気密性を事前に確認しているか。
（現場設置分については、タスクブリーフィングで確認する。）⑥与圧容器等をチャンバ内に入れる場合は、シール部の気密性は事前に確認しているか。
⑦その他

105