©2004, (社)応用物理学会

夢の青色発光デバイスの実現を語る−私のナイトライド研究−赤﨑勇

ナイトライド半導体の結晶成長や電気伝導制御を中心とする 1960年代からの筆者らの信念を貫いた
地道な研究が 1980年代に入って重要なブレークスルーを次々に生み，世界中の研究者を刺激するとともに，高性能青色発光デバイスの実現に導き，さらに今日のナイトライド研究開発とその関連産業の隆盛をもたらすこととなった．
‑

1． ま

え が

‑

して 1960年代後半から 70年代にかけて，光りもの半導体き屋 は，二つの魅力ある重要課題に巡りあったことになる．

GaN 系Ⅲ族窒化物半導体（ナイトライド）は，今，最も注目されている半導体の一つである ．世界中で多くの人が研究開発や産業応用に携わっており，限られた誌面に全ぼうを記述するのは容易ではない．

2． 青色発光デバイス実現へ向けて −その原点−
青色発光デバイスを実現するにはバンドギャップ（）

が 2.6eV 以上の半導体の ① 高品質単結晶の作製」と，②

本稿は，企画の主旨に沿って，三十数年にわたる筆者自

電気伝導の制御」，さらに①，②に基づく ③ 高品質量子身(松下東研，名大，名城大のグループを含む)のナイトラ構造の実現」が必要不可欠であるが，ワイドギャップ半導イドによる青色発光デバイスの研究開発に限ることを，は体でこれらのことを実現することはきわめて困難であっじめにお断りしておきたい．

た．1960年代後半から 80年代前半にかけて，青色発光デバ

筆者が青色発光デバイス（発光ダイオード(LED)，レー
ザーダイオード(LD)）を強く意識し始めたのは，名大でのイス用材料としては，間接遷移型の SiC，直接遷移型の新設の松下電器東Ge のエピタキシャル成長の仕事が縁で，
京研究所（松下東研) に転じ（1964年），GaAs を中心とす

ZnSe（ZnS を含む）と GaN が最有力候補とみられていた ．

るⅢ‑Ⅴ族化合物半導体の結晶成長，物性研究そしてデバイ

SiC は，当時から p‑n 接合が可能なことから多くの研究者が最近まで研究していたが，間接遷移型のため高い発光ス応用まで一貫して研究していた 1966年ごろである．当効率は期待できず，（したがって)レーザー発振は不可能で

時，GaAs は magic crystal とよばれていたが，レーザー発
振やガン発振がすでに実現され，Ge，Si とは一味違った魅あり，青色発光デバイス材料としては筆者はまったく関心がなかった．

力ある半導体であった．筆者らは GaAs の結晶成長，物性

かねてナイトライドの高いポテンシャルに注目していたの研究に加えて，GaAsP 混晶や GaP の赤色 LED，(黄)緑色 LED の開発なども行った．中には，当時世界最高効率の筆者は，松下東研に移って間もなく，前記 GaAs 系半導体

LED の開発も行ったが ，前後してこれらの赤色から黄緑色にいたる LED は世界各所で開発，市販され始めた．しかし 青色だけは実現が困難と思われていた．

の研究と並行して，AlN の VPE 成長を橋本雅文と始め（1966年），残留線を見いだし ，また不純物の種類によって，赤色やオレンジ色の陰極線励起発光（CL）や，光励起発光（PL）を観測したが，電界発光（EL）は（ が大き一方，LD については，GaAs 系 LD の室温連続発振が主要課題であった ．LD に関する研究開発はその後二つの流すぎて）きわめて困難と判断し，重点を GaN に移すことにれに分かれる．一つは光通信用の 1.5μm 帯 LD，他の一つである．

は可視光 LD を目指すものである．筆者らは，GaInAsP 系
赤色 LD ，さらには青色 LED，LD を志向していた．こうした．デバイスの実現には電気伝導性の制御が必須だから
1969年，Maruska らが，ハ イ ド ラ イ ド 気 相 成 長（HVPE）
法で GaN 単結晶を作り，光吸収の実験から〜

3.39eV の直接遷移型であると報告したのに続き，1971年
のち松下技研，松下電器産業(株)先端研と改称．

に は Pankove ら が GaN

M IS 型 青 緑 色 LED を 発 表

名城大学理工学研究科 〒 468‑8502 名古屋市天白区塩釜口 1‑501．e‑mail:akasaki＠ccmfs.meijo‑u.ac.jp
分類番号 3.2，6.6
Creation of desired blue light‑emitting devices − My personal history of nitride research−. Isamu AKASAKI. Graduate School of
Science and Technology, M eijo University, (1‑501 Shiogamaguchi, Tempaku‑ku, Nagoya 468‑8502)

1060

応用物理 第 73巻

第８号（2004)

図 1 ナイトライドに関する論文数(INSPEC による)および主要な成果の年次推移(成果はすべて世界で最初に達成された年に記載
してある)．
単結晶作製につづき，研究は一時立ち上がる(期間 A)が，結晶の高品質化がきわめて困難で伝導性制御が不可能のためやがて衰退する(期間 B)．高品質結晶の創製(1986年)，
p 型伝導の発見(1989年)，p‑n 接合青色 LED の実現(1989年)および室温での紫外線誘導放出の観測(1990年)など(期間 C)に刺激され，世界中の研究者が多数参入し，論文数が指数関数的に急増するとともに，各種デバイスが次々に開発されている(期間 D)状況がわかる．緑色：結晶成長，青色：デバイス，赤色：伝導性制御，物性研究など．
の成果は，筆者または同グループによる．
は筆者のグループおよび他のグループによる．

夢の青色発光デバイスの実現を語る（赤﨑）1061

し ， 青色発光デバイス を目指した研究が一気に立ち上がった（図 1，期間(A)）．しかし，GaN 結晶は表面の凹凸が激しく，多数のクラックやピットを含み結晶性がきわめて劣悪で，しかも p 型伝導が実現できないことなどから，
やがてほとんどの研究者は GaN から撤退したり，ZnSe な
ど他の材料の研究に転向していった（図 1，期間(B)）．ZnSe
は〜2.7eV で，ミスマッチのかなり小さい GaAs 基板

上に低温で成長可能で，また加工もしやすい．したがって，
当時，p‑n 接合型高性能青色発光デバイスの実現を目指す
研究者の多くは ZnSe に取り組んでいた．筆者は，GaN は，融点や蒸気圧が高く結晶成長がきわめて困難であり，また（ZnSe に比べて) がより大きいので伝導性制御はより困難である（と予想される）が，一旦これらの難題を解決した暁には，きわめて安定でかつ，ZnSe に比べてより短波長の発光デバイスを実現できると考えた．そして 1973年，

図 2 Ga と NH をソースとする MBE 法でサファイア C 面上に作製した GaN 単結晶(EPMAでも確認)層からの室温でのフォトル
ミネッセンス．発光は下部のみで均一性はよくない(1974年)．

この 前人未到 の『GaN 系ナイトライドの p‑n 接合による青色発光デバイスの実現』への挑戦を ライフワークとグループが相つぎ，まして新たに参入する人はほとんどいする ことを決意した ．

ない状況であった．それでも「決してあきらめず研究を続

それまで，GaN の結晶成長は，主に HVPE 法で行われていた．筆者は，新しい成長法として GaAs などに用いら行する」という筆者の方針に同僚の大木芳正や豊田幸雄られ始めていた分子線エピタキシー（M BE）法を試みること

ピングなど，さまざまな工夫と努力の結果，1978年，従来にした．古い真空蒸着装置を改造し Ga と NH をソースとのものに比べて格段に明るい青色 LED を開発し，プロする M BE 法で不均一ながら GaN 単結晶を作り，「単結晶

ジェクト目標を達成した．しかもこの青色 LED は GaN に

GaN へのイオン注入法による青色発光素子の実現」という計画を通商産業省（1974年当時）に重要（中核）プロジェ

初めて選択成長を適用し，従来困難であった n 電極作製

クトとして提案した．ヒアリングで「NH を分解させるとが ，ウエハーのクラックなどによる歩留まりの悪さから大量の水素や窒素が発生し M BE 法自体が無理では 」と市販されるに至らなかった．また，種々の事情で 2年後に聞かれたが，私は「やり方次第で可能です」と答えた．こ

国際会議の審査官のコメントは「MBE 法は超高真空が絶対条件」という既成概念に基づいたものだったと思う．実際，筆者らPhilips 社もすでに GaN 研究から撤退したこともあり，関心を示す人はほとんどいなかった．

が M BE 法で初めて作った結晶は，均一性や純度は悪かっ

しかし，毎日 GaN 結晶を扱っているうち筆者は何事にたが，間違いなく GaN 単結晶であることが裏づけられ（図も代え難い貴重な体験をした．それは，凹凸の激しい結晶，1975年から 3年間の中核プロジェクト「青色発光素子
2）に関する応用研究」に対し補助金を得た ．ちなみにそのとの中に，まれに結晶性のよい（微小）部分を見いだしたこ

きの実験結果は，通産省への報告（和文）以外には発表し表現）のような 微細な針状結晶の集合体 が「よく光る」ていないが，この方法は，ナイトライドの M BE 成長法の一ことにも気づいた．これらの体験から 発光材料としてのつとして，その後世界中で広く採用されている．種々の制約はあったにせよ，論文としてまとめておかなかったのは

GaN の素性のよさ を直感した．ナイトライドの研究開始
以来，「結晶の品質をよくすれば，きっと p 型伝導も実現で

筆者の怠慢である．

きるに違いない」 と絶えず自らにいい聞かせ，また仲間が賛同してくれた．基板の選択，その前処理，不純物ドーを容易にしたフリップチップ型で ，約 1万個試作されたに 発 表 し た が，最 後 ま で 好 敵 手 で あったとである．また，成長後の反応管中の一見 かび （大木の新しい MBE 装置を前記通産省補助金で購入し，実験をを説得し続けてはいたが，それは筆者の（希望的）勘であっ再開したが，
結晶品質はさほど向上せず，自家製装置で作って，確たる根拠があったわけではなかった．しかし，上記たものと大同小異であった．当時は，MBE 法自体が揺藍期

体験から，『なんとかして，ウエハー全体を，この高品質微にあり（例えばヒーターなどは露出したままで，不純物に結晶部分と同程度の品質に均質にできれば（そのとき，多よる汚染防止が困難），また，窒素の蒸気圧が高いため真空分，表面は鏡面になると想像した），伝導性制御（p 型伝導中で多くの窒素空格子点が発生したためと考えられる．さも）は必ず実現できる』と確信するに至った．

らに，当時の方法は成長速度が遅いこともわかり，HVPE法も併用することにした．

ために，世界中の研究者から見放されていた時期（1978年）

後述のように，ナイトライドの研究はさまざまな困難のHVPE 法による GaN 成長は，わが国を含め各機関で研究されていた．しかし，良質の結晶の成長は困難で，1970に，さらにナイトライド研究に筆者を駆りたてたのは， ナ

年代後半になると，GaN の結晶成長や研究自体を中止するもなかった．

1062

イトライドに対する洞察とこの 確信 以外の何もので応用物理 第 73巻 第８号（2004)

こうしてもう一度，本研究の原点である−
結晶成長− ミスマッチのきわめて大きい系におけるヘテロエピタキシー に立ち返ることにした ．

3． ナイトライドの結晶成長におけるブレークスルー−O MVP E 法の選択と低温たい積
バッファ層技術の開拓−
筆者は日ごろ，結晶の劣悪なモルフォロ
ジーと，伝導性制御ができないことは深く関係していると考えていた ．そこで，筆者が立てた目標は，(１)クラック，ピットフリーで鏡面の結晶．
(２)残留ドナーを少な く と も 10 cm 程度（または以下）にする．
であった．(２)はかつて（1966年ごろまで），
GaAs の残留ドナーは 10 cm 以下にはできなかったが，筆者ら（原徹）は，VPE 法で
残 留 ド ナーを 10 cm 以 下 に 低 減 さ せ た

図 3 (a )サファイア基板上に直接成長させた GaN 結晶(光学顕微鏡
写真)．表面は凹凸が激しく，多数のクラックやピットがみられる．X線回折線幅は広く，フォトルミネッセンス特性も悪い．残留ドナー密度は 10 〜10 cm ，電子移動度は 20〜30cm /V･s
程度．(b )サファイア基板上に低温たい積 AlN バッファ層を介して成長させた GaN 単結晶(方眼紙上の GaN 単結晶の写真)．
表面は原子的に平坦．クラックやピットはまったく見られず無色透明．X線回折線幅は狭く，フォトルミネッセンスは鋭いバン
ド端発光のみ．残留ドナー密度は 10 cm 以下，電子移動度は700cm /V･s 以上．(1986年)

GaAs で高電子移動度を実現，また，負性抵抗を見いだした体験に基づいている．結晶の品質（特性）は，成長条件に大きく依存するので，成長法の選択は時に死命を制することがある．GaN のエピタキ
シャル成長法としては，M BE 法，HVPE 法，有機金属化

大の努力にもかかわらず，OMVPE 法でもはかばかしい成果は得られなかった．
考え続けていたあるとき，松下時代（1978〜79年）の合物気相成長（OMVPE）法などが考えられる．GaN は窒素蒸気圧がきわめて高いので，超高真空中で行う MBE 法「GaAsP/GaAs 上への GaInAsP のヘテロエピタキシー」
において バッファ層 の適用が有効であること を思い出は（急しゅんな界面作製など優れた点は多いが）GaN に関し，系も成長法も異なるが，試みることにした．そのときする限り，最適とはいえない．HVPE 法は成長速度が速す
ぎ，また一部可逆反応を伴うので，高品質化には不向きと考えたのは，GaN エピ成長に先立ち，GaN やサファイア基板に物性の似通った材料を①低温（単結晶の成長温度より考えた．一方，OM VPE 法は，当時 GaN にはほとんど用い

十分低い温度）で，②薄く（基板の結晶学的情報をエピタられていなかったが，単一温度領域での不可逆反応を用いキシャル層に引き継ぐことを妨げない厚さ）
たい積させ（微る方法で，成長速度も前二者の中間であり，GaN 成長には

小な成長核を含むソフトな構造を与え，これが基板との間最適と考え，1979年以降，この方法を中心に成長を行うこの大きなミスマッチに起因するエピタキシャル層の結晶性とにした『Decision(1)』 ．これが今日主流になっており悪化を防ぐ），ホモエピタキシー（界面エネルギーなし）のきわめて重要な Decision であったと思う．

状況に（人為的に）近づけるという着想に基づいており，

次の問題は基板結晶の選択である．結晶の対称性，物性
定数の類似性と同時に，（OM VPE 法での）
成長条件
（環境）

低温たい積バッファ層技術 （以下，バッファ層技術)と名づけた．

への耐性など総合的な検討が必要であり，実験的に決める

バッファ層としては，なるべくエピ層や，基板に物性がことにした．1年余りをかけて，Si，GaAs やサファイアなどを実際に比 した結果，やはり当面は（将来，より優れ似通った材料が望ましいと考え，当時，ZnO，AlN，GaN
および SiC を考えたが，すべてを同時に実験することはでた基板の使用が可能になるまで），サファイアを用いること

きず，ZnO と SiC については山梨大などに相談した．筆者
自身は，すでに 1966年から AlN になじみがあり，まずにした（1979年）『Decision(2)』 ．
この重要な Decision のあと，筆者は名大に戻る（1981年）ことになった．直ちに上記基本方針に沿って，ナイト

AlN で実験することにした．
天野らの没我的奮闘により，1985年ついに最適条件を見

ライド研究を（継続）推進した．天野浩，小出康夫らの多いだし，クラックやピットフリーの無色透明で鏡面の GaN単結晶を世界ではじめて実現した

そのころ，ワイドキャップ半導体の研究会(主に ZnSe 系)で GaN
でも自己補償効果があるか」との質問に，「GaN は残留ドナーが10 〜10 cm もある．まず，10 cm 以下にしてから論ずるべきだ」と答えたことがある．

夢の青色発光デバイスの実現を語る（赤﨑）(図 3）．直ちに，電気

ZnO についてはのちに，バッファ層として有効であることを筆者らのグループが確認した ．

1063

的，光学的特性などすべての特性が同時に飛躍的に向上していることを確認し，未到といわれた GaN 結晶が初めて半導体としての機能を発現できると確信し，GaN 研究における最大の山場を突破したことを実感した．後述のように，この高品質結晶によってナイトライド結晶の伝導性制御や室温誘導放出が初めて実現できたのであり，その意味でこの バッファ層技術の開拓による高品質 GaN 単結晶の創製

はきわめて重要なブレークスルーである．
上記 AlN バッファ層による成功を発表した
あと，「条件は多少異なるが GaN でも同様の効
果が期待されるであろう」と学会などで発表した ．5年後（1991年），AlN バッファ層の代わりに低温たい積 GaN 層をバッファ層とする高品質 GaN 単結晶の作製が中村修二らによって報告された ．今日，このバッファ層技術はナイ

図 4 (a )世界初の GaN p‑n 接合型青色 LED(1989年)．黒く見えるのはすべて LED．1つの LED のみ発光させているが，その青色発光が無色透明の GaN ウエハー内を透過し，周縁で反射している．(b )従来の MIS 型および初の p‑n 接合型 LED の電流−電圧特性．

トライドの結晶成長には不可欠なものとなっている．

年）し，みごとな青色発光と電流−電圧特性などを発表し

4． ナイトライドにおける p 型伝導の発見

た（1989年) (図 4）．その後，筆者らは，1992年には p 型
AlGaN を ，1995年には p 型 GaInN を実現し，混晶を低温バッファ層技術によって，残留電子密度 10 〜10

含むナイトライドの p 型伝導を達成した．なお 1992年，

cm 台の高品質結晶（電子移動度約 350cm /V･s（直後に〜700cm /V･s 台））が再現性よく得られるようになったの

Cp M g を用いて作られた Mg ドープ高品質 GaN を窒素
雰囲気中で熱処理するという量産に優れた方法で p 型

で，p 型結晶の実現へ向け，Zn ドーピングをくり返し行っ
たが p 型伝導 は得られなかった．ある日，M g が Zn よGaN を作製できることが，日亜グループによって報告された ．

りイオン化エネルギーがわずかながら小さいことに気づき，ドーパントとして OM VPE 法に適合するよう有機 Mg
化 合 物 ， ビ シ ク ロ ペ ン タ ジ エ ニ ー ル M g （ bis‑
（CP M g）を輸入した．こcyclopentadienyl magnesium）
れを用いてきわめて制御性よく M g をドープできること

5． n 型ナイトライドの伝導度制御
一方，n 型結晶の伝導度について，一つ新たな問題が発生した．それは，低温バッファ層技術による結晶の高品質化に伴い電子密度が著しく減少し，結晶が高抵抗化したことを示した ．この M g ドープ高品質 GaN は，きれいな D‑である．実際のデバイス作製では，結晶性を劣化させるこ（低A（ドナー・アクセプター）ペア青色発光を示したが，抵抗） p 型伝導 は得られなかった．実は 1988年バッファとなく広い範囲にわたって伝導度を制御する必要がある．

層を介して成長させた Zn ドープ高品質 GaN 結晶からのn 型伝導度制御の試みに関しては，一編報告 されていることが後でわかった．
（しかし，
当時，
筆者ら以外は低温バッ

青色発光強度が低速電子線照射（LEEBI）により著しく増大する現象を見いだしていた ので，翌 1989年，Mg ドー

ファ層技術を用いていないため），
その報告では残留電子密

プ高品質 GaN に LEEBI 処理を行ったところ，Mg の関与

れていなかった．筆者らは，Si がすべてのナイトライドでドナーとして振る舞うことを見いだし，バッファ層技術にする青色発光強度の増大と同時に， GaN における低抵抗の p 型伝導 現象を発見した
直ちに

注 1)注 2)．

GaN による p‑n 接合型青色 LED を実現（1989

注 1) あるとき，「p 型 GaN を実現した」と原稿(J.Crystal Growth)に書いたところ，「ナイトライドにおける p 型伝導を発見した」のだと J. B. Mullin 教授に指摘された．
注 2) 後日，海外のある雑誌に この p 型伝導の発見は Serendipityによる と紹介されたことがある．確かに 1988年の「電子線による Zn ドープ GaN の青色発光強度の増大現象の発見」は Serendipityであろう．しかし，これは低温バッファ層技術による高品質結晶を用いて初めて観測されるのである．また，M g ドー
プ GaN で（Mg の水素による不活性化を解除して）p 型伝導を発現できるのも，低温バッファ層技術による高品質結晶を用いて初めて可能であることを強調しておきたい．

1064

度は 10 cm 程度と高く，伝導度の制御にはまったく触より結晶性を高品質に保ちながら，SiH (シラン）ドーピン
グを行い，電子密度を 10 〜10 cm の広い範囲にわたって制御することに，同 1989年に成功した ．この n 型伝導度の制御 は，先の p 型伝導の発見とともに実用上きわめて重要である．この技術は GaN につづき AlGaN ，
GaInN 混晶にも適用され，現在世界中で広く用いられている．
これら，高品質ナイトライド単結晶の創製（1986年）と伝導性制御（1989年) ならびに p‑n 接合青色 LED の実現（1989年）などのブレークスルーは，世界中のナイトライド
研究者を勇気づけ，その結果多くの研究者が同分野に参入
応用物理 第 73巻 第８号（2004)

図 5 (a )高品質 GaN/GaInN 多重量子井戸のフォトルミネッセンス強度の井戸幅依存性(77K)．バンド端発光強度は井戸幅を 2〜3nm程度に薄くすると，厚いときより 2けた以上(3けた近く)増大す
る．(室温でも同様)(1995年)．(b )AlGaN/GaN/GaInN 量子井戸ダイオードからの電流注入による誘導放出(室温)．(1995年)．

し，1990年ごろから論文数も指数関数的に急増している（図 1，期間(D)）．

6． 青色発光デバイスの高性能化と量子効果の検証

これら高品質 GaN/GaInN QW を用いて，その後各所でLED や LD の性能向上が進められ て き た．例 え ば 青 色
LED の発光効率は，前記の高品質結晶の創製と p‑n 接合実
現のあと，（図 1の論文数推移と同様）
指数関数的に増大し，上述のように，筆者らは GaN の p‑n 接合による青色

現在，青色 LED の外部量子効率は約 30％に達している．

LED に必須の要素技術を 1989年までにほとんど達成し，同青色 LED を 1989年に世界に先駆けて実現したが，1991

一方，LD 実現に必須のナイトライドからの誘導放出については，それまで長年，低温に限られていたが，筆者ら年には，AlGaN/GaN 多重量子井戸（MQW ）構造で量子サイズ効果を検証する とともに，バッファ層技術は高品

は，低温バッファ層技術による高品質 GaN を用いて室温

質 M QW 作製にも有効であることを示した．ついで，1992

向上を裏づけるとともに，先の p‑n 接合 LED 実現（1989

年には AlGaN/GaN ダブルへテロ接合（DH）ダイオード

年）と合わせて，LD 実現の可能性を示した（1990年）．まを用い，外部量子効率 1.5％の青色／紫外 LED を実現した高品質混晶を含むこの系の屈折率の波長分散の測定かた ．
翌 1993年には日亜化学によって AlGaN/GaInN DH

ら ，光とキャリアの同時閉じ込めの可能性を指摘し，実際

構造青色 LED が商品化された ．この GaInN はきわめてに DH や SCH 構造を用いて誘導放出のしきい値を年々指発光特性に優れ，組成によって発光波長を制御できるので，数関数的に低減させてきた ．この低減（性能の向上）の傾

現在ほとんどのデバイス（LED，LD）の活性層として用い

向も図 1の論文数および青色 LED 効率の指数関数的増大

られている．GaInN 混晶は 1970年代に全組成域にわたる
多 結 晶 が，1986年 に は InN 分 率 が 1％程 度 な が らのカーブに一致する ．また，筆者らは AlGaN/GaN DH

GaInN 単結晶層が低温バッファ層を介した高品質 GaN
上に（GaN/GaInN 構造）が作られ 注 1)，ついで 1989年に

戸幅 3nm 以下の高品質 GaN/GaInN M QW 構造からのは InN モル分率 0.42までの単結晶が(図 5(a )）（のち 1997年，GaN 上の GaInN のコヒーレン，さらに，高品質の作製など，ほとん
GaN/GaInN 量子井戸（QW ）構造
注 2)
どわが国で初めて作製されている ．

での誘導放出を初めて観測し（1990年) ，結晶性の飛躍的構造で光学利得を初めて観測したが，さらに 1995年，井バンド端発光強度が 3けた近く増大する現象を見いだし
ト成長に起因するピエゾ電界の影響の抑制によること

を筆者らが解明した），ひきつづき同年夏，ナイトライド量
子井戸ダイオードからの電流注入による誘導放出に初めて

注 1) この GaInN/GaN/低温バッファ層/サファイア基板 構造は今日の LED，LD の基本構造である．
注 2) InN の E に関しては，以前約 1.9eV という値が報告されていたが，最近，この値が見直され議論されている．

夢の青色発光デバイスの実現を語る（赤﨑）

成功した(図 5(b )）．これは，短寿命ながら，実質上初のナイトライド系 LD パルス発振である．
そして，1996年，紫色 LD が日亜化学によって実現さ1065

れ ，現在さらに同 LD や他のデバイスの高性能化に向け，

域の科学の飛躍的進展によるものである．

結晶，量子構造のさらなる高品質化やプロセス技術の開発

振り返ってみると，1980年代後半（図 1，期間(C)）に達成された重要なブレークスルーが世界中の研究者を勇気づが世界中で活発に進められている（図 1，期間(D)）．
一方，結晶の高品質化に伴い，それまで混とんとしていけ，同分野の研究開発を加速させ，青色発光デバイスの産たナイトライド結晶の微細構造や，それまで不明であった業化に到るなどその進展（図 1，期間(D)）のスピードは他物 性 が 次々と 明 ら か に さ れ て い る．例 え ば，1997年，

分野にあまり例をみない．

AlGaN/GaN 系や GaInN/GaN でのピエゾ効果 やナイ
トライド系における量子閉じ込めシュタルク効果 が検証されるなど材料科学的研究の進展も著しい．

7． ナイトライド結晶成長技術の最近の進展

そのブレークスルーは，ほとんどの研究者が撤退する中，
決してあきらめることなく，結晶成長の原点に立ち返り
OMVPE 法を中心に据えた愚直な研究（図 1，期間(B)）から生まれた．
本研究の源流をたどれば，筆者が松下電器東京研究所在現在，実用化されているサファイア基板上のナイトライ

籍時代にさかのぼる．そこでの筆者のいくつかの決断に至ドデバイスはすべて，前記 低温バッファ層技術 を用いる過程で協力いただいた当時の仲間に深謝するとともに，て作製されている．これらのデバイスの活性層（GaN，名大，名城大における多くの学生，大学院生，強力な共同中には，激減したとはいえ，なお 10 〜10 cm のGaInN）
高密度の転位が存在する．これらの転位は，LED の特性，

研究者の多大の貢献に，そして日ごろ，議論していただく

寿命には実用上目立った悪影響はない．しかし，高電流密す．本稿に関連した研究が，現在，名城大 HRC，COE プロ

度動作の LD や超高速トランジスタ（FET），紫外線検出器グラムの一環として行われていることを付記する．

（UV‑PD）の特性，寿命その他に大きな影響を及ぼす．この転位密度低減のために，最近新たな結晶成長技術が開発

文されている．これらは，前記 バッファ層技術 による GaN
基板に，新たな表･界面の制御技術（マイクロ･チャネル･エ
ピタキシー ，いわゆる ELO

や低温中間層技術など）を適用し，転位密度を 10 cm 程度以下に低減させることに成功し，LD の長寿命化 や UV‑PD の低雑音化，高性能化 などに寄与している．また最近，HVPE 法や GaAs 基板による低転位バルク GaN 結晶が作製されている．これら新技術はいずれも直接，間接的に バッファ層技術を基礎にしている ．
このように，青色発光デバイスの実現と高性能化に 結
晶成長 の果たす役割はきわめて大きい．

8． む

す

び

はじめに光ありき という言葉が示すように 光 はわ
れわれの生活に深くかかわっている．人類や多くの生物にとって光はかけがえのない 存在 であり，古来人類は永遠の光である太陽にあこがれ，太陽のような 発光体 を求め続けてきた．火の創出に始まり，電球や蛍光灯など真空技術を応用した光源につづき，近年 EL や半導体発光デバイスなど種々の固体光源を実用化してきた．これらの光源は，全体としては広い波長範囲をカバーしているが，概して高エネルギー（短波長）光の発光の開発が遅れていた．
特に，渇望されていた半導体青色発光デバイスは最近まで実現されず， 未到 であった．
その青色発光デバイスの実現に必須の，ナイトライド高品質単結晶の創製と電気伝導の制御を達成した 結晶成長や 半導体の物性制御とプロセス技術 は，いずれも，物
理学，化学，電子工学，物質科学などとそれらの境界領域
を含む分野の融合するきわめて学際的な科学技術である．
すなわち，「青色発光デバイスの実現」
は，正にこの境界領

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天野浩，上山智および岩谷素顕各氏に心から謝意を表しま献1) 赤﨑 勇編著：Ⅲ族窒化物半導体，p. 1（培風館，1999 )．
2) I. Akasaki:M at. Res. Soc. Symp. Proc. 639, G8. 1. 1 (2001).
3) 小林敬幸，橋本雅文，原 徹，有賀弘三，赤﨑 勇：National
Technical Report 15, 171 (1969 )；エレクトロニクス 14，14(1969 )．
4) 青木昌治，佐野雅敏：応用物理 42, 1230 (1973)．
5) 林 厳雄：応用物理 70, 1043（2001)．
（昭和 54 年 4 月
6) 大島正晃，赤﨑 勇：特許公報（昭 60‑38036），．
23 日出願）7) 赤﨑 勇：テレビジョン 23，354 (1971)．
8) 赤﨑 勇，橋本雅文：電子通信学会誌 69, 487 (1986)．
9 ) I. Akasaki and M . Hashimoto :Solid State Commun. 5, 851(1967).
10) H. P. Maruska and J. J. Tietjen : Appl. Phys. Lett. 15, 327(1969 ).
11) J. I. Pankove, E. A. Miller and J. E. Berkeyheiser: RCA
Review 32, 383 (1971).
12) 赤﨑 勇，林 厳雄：工業技術 17，48 (1976).
13) 赤﨑 勇：応用物理 71，814 (2002）など．
14) 後日（1981 年），New York のショーに展示された．
15) Y.Ohki,Y.Toyoda,H.Kobayasi and I.Akasaki:Inst.Phys.
Conf. Ser. 63, 479 (1981).
16) I.Akasaki and T.Hara :Proc. 9 Intl. Conf. Phys. Semicond.
IX , p. 787 (M oscow, 1968).
17) 赤﨑 勇：物性，p. 345 (1969 )．
18) 赤﨑 勇，沢木宣彦：米国特許 4855249 (1989 )など．
19 ) 赤﨑 勇：表面科学 21，125 (2000)．
20) T. Detchprohm, K. Hiramatsu, H. Amano and I. Akasaki:
Appl. Phys. Lett. 61, 2688 (1992).
21) H.Amano,N.Sawaki,I.Akasaki and Y.Toyoda :App.Phys.
Lett. 48, 353 (1986).
22) I. Akasaki, H.Amano, Y. Koide, K.Hiramatsu and N.Sawaki:J. Crystal Growth 98, 209 (1989 ).ほか．
23) 赤﨑 勇，澤木宣彦，平松和政，後藤英雄：文部省重点領域研究，
新しい機能性材料の設計・作製・物性制御，小領域 A 化合物半導体の物性制御 ，1987 年度研究成果報告書，p.106 (1988)ほか．
24) S.Nakamura,M .Senoh and T.M ukai:Jpn.J.Appl.Phys.30,

応用物理 第 73巻 第８号（2004)

1708 (1991).
25) H.Amano,M .Kito,K.Hiramatsu,and I.Akasaki:J.Electrochem. Soc. 137, 1639 (1990).
26) H.Amano,I.Akasaki,T.Kozawa,K.Hiramatsu,N.Sawaki,
K. Ikeda and Y. Ishii:J. Lumin 40 & 41, 121 (1988).
27) H. Amano, M . Kito, K. Hiramatsu and I. Akasaki: Jpn. J.
Appl. Phys. 28, L2112 (1989 ).
28) I. Akasaki and H. Amano :Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 242,
383 (1992);I.Akasaki and H.Amano :Ext. Abstr. Intl. Conf.
Solid State Devices & Mater., p. 327 (Tsukuba, 1992).
29 ) S.Yamasaki,S.Asami,N.Shibata,M.Koike,K.Manabe,T.
Tanaka,H.Amano and I.Akasaki:Appl.Phys.Lett.66,1112(1995).
30) S. Nakamura, T. M ukai, M. Senoh and N. Iwasa : Jpn. J.
Appl. Phys. 31, Pt. 2, 2B, L139 (1992).
31) K.Sayyah,B.C.Chung and M.Gershenzon :J.Cryst.Growth77, 424 (1986).
32) H. Amano and I. Akasaki:Ext. Abstr. Mat. Res. Soc. EA‑21,
p. 165 (1990).
33) H.Murakami,T.Asahi,H.Amano,K.Hiramatsu,N.Sawaki
and I. Akasaki:J. Crystal Growth 115, 648 (1991).
34) K. Itoh, T. Kawamoto, H. Amano, K. Hiramatsu and I.
Akasaki:Jpn. J. Appl. Phys. 30, 1924 (1991).
35) I.Akasaki,H.Amano,K.Itoh,N.Koide and K.M anabe:Inst.
Phys. Conf. Ser. 129, 851 (1992).
36) 日経産業新聞 (1993.11.30).
37) K.Osamura,K.Nakajima,Y.Murakami,P.H.Singu and A.
Ohtsuki:Solid State Commun.11,617 (1972);K.Osamura,S.
Nakajima and Y. M urakami:J. Appl. Phys. 46, 3432 (1975).
38) 小沢隆弘，天野 浩，服部克巳，橋本雅文，沢木宣彦，赤﨑 勇：
応用物理学会秋季学術講演会，27p‑H‑15(1986)；小沢隆弘：名古屋大学修士論文(1986 年度)．
39 ) T. Nagatomo, T. Kuboyama, H. Minamino and O. Otomo :Jpn. J. Appl. Phys. 28, L1334 (1989 ).
40) T. Matsuoka, H. Tanaka, T. Sasaki and A. Katsui: Inst.
Phys.Conf.Ser.106,141 (1990);N.Yoshimoto,T.Matsuoka,
T. Sasaki and A. Katsui:Appl. Phys. Lett. 59, 2251 (1991).
41) S.Nakamura,M .Senoh,N.Iwasa,S.Nagahama,T.Yamada
and T. Mukai:Jpn. J. Appl. Phys. 34, L1332 (1995).
42) H. Amano and I. Akasaki:Ext. Abstr. Intl. Conf. Solid State
Devices and Materials, p. 683 (Osaka, 1995);I. Akasaki and
H. Amano :Proc. Intl. Symp. on Blue Laser and Light Emitting Diodes, Tu‑02, p. 11 (1996).
43) H. Amano, T. Asahi and I. Akasaki:Jpn. J. Appl. Phys. 29,
L205 (1990).

夢の青色発光デバイスの実現を語る（赤﨑）44) I.Akasaki and H.Amano :M ater.Res.Soc.Symp.Proc.399,
443 (1994).
45) H. Amano, T. Tanaka, Y. Kunii, K. Kato, S. T. Kim and I.
Akasaki:Appl. Phys. Lett. 64, 1377 (1994).ほか．
46) 赤﨑 勇：電気学会論文誌 124，107 (2004)．
47) S. T. Kim, H. Amano and I. Akasaki:Appl. Phys. Lett. 64,
1535 (1994).
48) T. Takeuchi, H.Takeuchi, S. Sota, H. Sakai, H. Amano and
I. Akasaki:Jpn. J. Appl. Phys. 36, L177 (1997).
49 ) I. Akasaki, H. Amano, S. Sota, H. Sakai,T.Tanaka and M.
Koike:Jpn. J. Appl. Phys. 34, L1517 (1995).
50) S.Nakamura,M .Senoh,S.Nagahama,N.Iwasa,T.Yamada,T.Matsushita,Y.Sugimoto and H.Kiyoku :Appl.Phys.Lett.
37, 4056 (1996).
51) T. Takeuchi, S. Sota, M . Katsuragawa, M . Komori, H.
Takeuchi, H. Amano and I. Akasaki:Jpn. J. Appl. Phys. 36,
L382 (1997).
52) T. Takeuchi, C. Wetzel, S. Yamaguchi, H. Sakai, H. Amanoand I. Akasaki:Appl. Phys. Lett. 73, 1691 (1998).
53) T.Nishinaga,T.Nakano and S.Zhang :Jpn.J.Appl.Phys.27,
L964 (1988).
54) A. Usui, H. Sunagawa, A. Sakai and A. Yamaguchi:Jpn. J.
Appl. Phys. 36, 899 (1997)55) M .Iwaya,T.Takeuchi,S.Yamaguchi,C.Wetzel,H.Amanoand I. Akasaki:Jpn. J. Appl. Phys. 37, L316 (1998).
56) S. Nakamura, M . Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Matsushita and T.M ukai:M ater.Res.Soc.Symp.Proc.537,G1.1.
1 (1998).
57) C. Pernot, A. Hirano, M. Iwaya, T. Detchprohm, H. Amanoand I. Akasaki:phys. stat. sol. 176, 178 (1999 ).
58) K. M otoki, T. Okahisa, N. M atsumoto, M . M atsushita, H.
Kimura, H. Kasai, K. Takemoto,K.Uematsu,T.Hirano,M.
Nakayama,S.Nakahata,M .Ueno,D.Hara,Y.Kumagai.A.
Koukitu and H. Seki:Jpn. J. Appl. Phys. 40, L140 (2001).
59 ) I. Akasaki:J. Cryst. Growth 237, 905 (2002).
(2004 年 5 月 17 日 受理)

赤﨑勇

1929年 1月 30日生．1952年京都大学理学部卒業．81
年名古屋大学教授，92年より同名誉教授，名城大学教授，01年より名古屋大学赤﨑記念研究センター兼務．
ワイドギャップ半導体等の研究に従事．工学博士．

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