Training Sign-off Sheet

DFL7161 階層 2（BSS6 仕様）（Rev. 2.00）

受講者氏名

受講期間

会社名

トレーナー

＜DFL7161 階層 2（Rev. 3.00）＞
項目

日付

受講者 トレーナー······································································· 1 日目 ·······································································
1. 安全事項
1.1. メンテナンス時の安全事項を理解する_____________________

1.2. メンテナンス時に使用するインターロック機構を理解する_____________________

2.1. デバイスデータを操作する_____________________

2.2. デバイスデータを編集する_____________________

2.3. インデックスを測定する_____________________

2.4. アライメントデータを理解する_____________________

2.5. 洗浄データを理解する_____________________

2.6. プロセスコントロールテーブルを設定する_____________________

2.7. カーフチェックデータを設定する_____________________

2.8. カーフチェック時のエラーに対処する_____________________

2.9. コーティングデータを設定する__________________________________________

2. デバイスデータ関連画面

3. アライメントティーチ
3.1. アライメントティーチを実行する······································································· 2 日目 ·······································································
4. オペレータメンテナンス
4.1. 機能データメンテナンス画面を設定する_____________________

4.2. 動作データメンテナンス画面を設定する_____________________

4.3. 共通洗浄データ画面を設定する_____________________

4.4. デバイスデータのセーブとロードを実行する_____________________

4.5. マシンデータのバックアップとリストアを実行する_____________________

5.1. フレームサイズを変更する_____________________

5.2. フォーカスメンテナンスを実行する_____________________

5. マシンメンテナンス

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5.3.回転軸合わせを実行する__________________________________________

7.1. アッテネータ補正を実行する_____________________

7.2. レーザメンテナンスを実行する_____________________

6. ログビューア
6.1. ログビューアを使用する
7. レーザメンテナンス······································································· 3 日目 ·······································································
8. エンジニアリングメンテナンス
8.1. 軸動作を行う_____________________

8.2. I/O チェックを行う_____________________

8.3. パスワードおよびユーザ設定データを設定する_____________________

9.1. 圧力センサのしきい値を調整する_____________________

9.2. スピンナ部二流体ノズルのユーティリティを調整する_____________________

10.1. 加工点ノズルメンテナンスを行う_____________________

10.2. チラーのレーザ冷却水を交換する_____________________

10.3. 真空エジェクタを清掃する_____________________

10.4. X 軸のグリスアップを行う__________________________________________

10.6. Y 軸のグリスアップを行う_____________________

10.7. プッシュプル軸のグリスアップを行う_____________________10.8. フレームセンタリング軸のグリスアップを行う_____________________

9. 不定期メンテナンス

10. 定期メンテナンス

10.5. θ軸センサアッシー部のグリスアップ（380°回転仕様【特別付属品】）を行う······································································· 4 日目 ·······································································
11. 消耗品交換11.1. エアークリーンユニットの消耗品を交換する_____________________

11.2. ハロゲンランプを交換する_____________________

11.3. アッパーアーム部パッドを交換する_____________________

11.4. ロアアーム部パッドを交換する_____________________

11.5. スピンナ部ロールカバーを交換する_____________________

11.6. 顕微鏡 LED 照明を交換する_____________________

11.7. 真空エジェクタを交換する_____________________

11.8. エアーガンフィルタを交換する_____________________

11.9. チャックテーブルセンタリングを交換する_____________________

11.10. スピンナテーブル O-リングを交換する_____________________

11.11. コータテーブル O-リングを交換する_____________________DISCO Corporation
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12. コーティング部メンテナンス
12.1. 保護膜溶液を交換する_____________________

12.2. 溶液チャージを実行する_____________________

12.3. 配管クリーンを実行する_____________________

12.4. コータケースを清掃する_____________________

12.5. コーティング部ミストセパレータを清掃する_____________________＜オペレーションガイド「定期メンテナンス（PM）手順書（BSS6 仕様）」＞項目

日付

受講者 トレーナー······································································· 5 日目 ·······································································
A. 重要安全事項
重要安全事項_____________________

1. スピンナ部、およびコーティング部のメンテナンス_____________________

2. コーティング後の水滴残り確認_____________________

3. 加工点ノズルメンテナンス（B03 ノズル）_____________________

4. レーザ出力と光路効率の確認_____________________

5. フォーカスメンテナンスの実行_____________________

6. Wide 焦点位置の確認_____________________

7. Narrow 焦点位置の確認_____________________

8. ヘアライン位置の確認_____________________

9. パルス形状と熱レンズ効果の確認_____________________

10. グルービング能力チェック_____________________

1. 二分岐ビームのインデックス＆オフセット確認_____________________

2. ビーム分岐バランス測定_____________________

3. Wide 時のマスク位置確認_____________________

4. パルス痕確認（Wide Angle）_____________________

B. 7 日周期で行う保守・点検

C. 30 日周期で行う保守・点検············································································ ···········································································DISCO Corporation
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各コースの研修対象者および研修目標について

コース名

研修対象者

研修目標

階層 1

・ 製品加工のために装置の操作を行う方

階層 2

・ 階層 1 コースを修了した（または修了相当の ・ 装置を稼動させるためのデータ作成およ
装置オペレーションスキルを習得済みの）方
び設定、機能設定するスキルを習得します・ 装置のデータや機能設定を行う方・ 装置付属のメンテナンスマニュアルに記・ 装置の定期的な保守作業を行う方載されている定期保守項目・消耗品交換項目を、確実かつ安全に実施するスキルを習得します

階層 3・ 階層 2 コースを修了した（または修了相当の装置メンテナンススキルを習得済みの）方・ 装置付属のメンテナンスマニュアルに記載されていないレベルの保全作業を行う方

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操作に必要な用語を理解し、装置に設定済みのデータを呼び出して製品を加工するスキルを習得します

装置付属のメンテナンスマニュアルにないメンテナンス項目のうち、特殊な治工具を必要とせず、かつメーカーデータにアクセスする必要のない作業のスキルを習得します