2008.1

103

スパッタ法により作製した薄膜の構造

低

エネルギー

高

各種エネルギーの異なるスパッタ法で作製された薄膜の断面SEM像

表

面

断

面

低エネルギーのスパッタ法により､ 非加熱で結晶化した酸化膜のSEM像(詳細は､ 本誌２ページをご覧下さい｡)

目研究紹介
薄膜加工技術の研究開発と応用及びその実用化 ………
建築用フリーCADソフトのモックアップ製作への転用 …
海洋由来の有用微生物の工業的応用 ……………………
雪上作業ロボットの開発 …………………………………
技術レポートEUのRoHS指令への対応について ………………………
メジャーリーガーを支えるバット製造技術 ……………

次
2
3
4
5
6
7

国際会議等レポート
Transducers'07 に参加して ……………………………… 8InterPACK'07 に参加して ……………………………… 9
European NDT days in Prague 07 に参加して ……… 10
知的所有権センターだより
受賞者＆表彰者の紹介
講習会のご案内薄膜加工技術の研究開発と応用及びその実用化
中央研究所
１. はじめに
近年､ 微細加工技術や多層膜を利用したデバイスの発達とともに､ 薄膜加工の高度化が求められている｡ とくに薄膜の作製技術は､ それらを開発する上で重要な基礎技術と位置づけられる｡ 薄膜作製技術
は､ 大きく分けてCVD(Chemical Vapor Deposition)とPVD(Physical Vapor Deposition)に分けられるが､PVDは金属や酸化物などの膜作製が可能なため､ 幅広く応用されている｡ その中でもスパッタ法はよく利用される膜作製方法であるが､ スパッタ粒子のエ
ネルギー､ あるいは膜堆積中のイオン衝撃による膜の構造変化についての詳細な議論は無かった｡ 目的とする薄膜を作製するためには､ 薄膜作製におけるそれら粒子のエネルギー状態を明らかにし､ 作製条件に適した方法や装置を選択することが重要である｡
そこで本研究では､ スパッタ粒子などの膜堆積中に飛来する粒子の評価と､ 作製された膜の関係を明らかにし､ 以下の各種膜に要求される作製条件を示
した｡

加工技術課

副主幹研究員２. 手法・手段と結果
これまで膜の構造とその作製条件の関係は､ 図１に示す材料の融点 に対する基板温度 の比を パ ラ メ ー タ と し た Thornton ら の Structure Zone
Model (SZM)により､ 良く現すことができる[1]｡ これによると､ が高くなるにしたがって､ 膜は空隙の多い柱状構造から緻密な構造へと変化することが示され､ その原因は表面拡散の状態と堆積中の再結晶化の頻度であるとしている｡ しかしながら､ 現実に膜堆積を行う場合には､ 基板の耐熱性や膜の剥離の問題があるために､ 使用できる基板温度には制限がある｡ つまり､ なるべく基板温度を変えないで､膜の構造を変える技術が必用になる｡ そのパラメータとして､ 堆積粒子のエネルギーが重要である｡
図２に､ 各種スパッタ法の堆積粒子となるスパッ
タ粒子のエネルギーとターゲットから発生する反跳
Arのエネルギー分布を示す｡ スパッタ法によって､堆積粒子のエネルギーが大きく異なる｡ この原因は
主に動作真空度にある｡ さらに､ 膜堆積中のイオン
衝撃､ あるいは電子アシストによる局所的加熱技術を駆使することで､ 膜構造を自由に制御できることが分かった｡ 表紙に､ 本研究で作製された堆積エネ
ルギーの大きく異なる方式で作製した膜の断面SEM像を示す｡ いずれも膜作製時に基板加熱機能は用いていない｡ このようにスパッタ粒子などのエネル

聡

ギー制御技術によって､ SZMで示される様々な膜構造を実現することができた｡ これらの手法により､各種機能性薄膜の特性向上を試みた｡ その結果を次
に示す｡

TS/TM



図１㪪㫋㫉㫌㪺㫋㫌㫉㪼㩷㪱㫆㫅㪼㩷㪤㫆㪻㪼㫃㩷㩿㪪㪱㪤㪀Structure Zone Model (SZM)  ࿑㧝ࠟࠬࡈࡠ࡯
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図２(1) 硬質薄膜と磁性薄膜(構造の緻密化)(2) 熱ひずみのバッファ層(構造の低密度化)(3) 紫外可視透明電極用金属超薄膜 (初期成長制御)

岩 坪

G8 

各種スパッタ法のエネルギー状態(1) 硬質薄膜と磁性薄膜膜作製装置における基板とターゲットの位置関係を最適化することにより､ 比較的高いエネルギーが利用できるスパッタ装置を提案し[2]､ 優れた特性をもつ硬質薄膜が作製できた｡(2) 熱ひずみのバッファ層としてのポーラス薄膜
基板から受ける熱ひずみを抑制するためのポーラス構造を有する低剛性なZrO２ 膜によって､ 抵
抗温度係数 (TCR) 特性の小さな超精密薄膜抵抗器が作製できた｡(3)紫外可視透明電極用金属超薄膜
Arイオン衝撃の手法を膜が成長する初期成長段階に適用することで､ 従来の方法では不可能な厚みにおいて層状構造をもつ金薄膜を作製することができ､ 波長が200nmの紫外線域に対しても､約80%以上の高い透過率を示す導電性の超薄膜が作製できた[3]｡３. まとめと今後の展開
今後､ 反応性スパッタにおける堆積速度などの問
題点の解決など､ 工業的に必要とされる薄膜作製技
術の向上を図って行く予定である｡
参考文献
1) J. A. Thornton, J. Vac, Sci. Technol. 11, 4, 666 (1974)
2) 岩坪 聡､ 高橋 隆一, ｢傾斜ターゲット型マグネトロ
ンスパッタ装置｣, 特許第3893436号
3) 岩坪 聡, 真空, 46, 10, 726 (2003)

建築用フリーCADソフトのモックアップ製作への転用
中央研究所

材料技術課
評価技術課
総合デザインセンター
１. はじめに
県内中小・ベンチャー企業の商品開発にはモック
アップモデル (試作品：以下モックアップと略) による比較検討が必要不可欠であるが､ 複雑で高度な機能を有する設備が無くても､ 2Dの図面と自社の既存技術で十分対応できるケースが多い｡ そこで､普及率や互換性が高く､ 無料で入手できるJW̲CAD(一般的に建築製図用として国内で最も普及している２次元フリーソフトウェアの一つ) に着目し､ 工業系の2D-CADとして､ 県内企業が容易にモックアップ製作に活用 (転用) できる方法を検討した｡
２. モックアップ用コマンドの選別
まず､ JW̲CAD関連の情報収集を行い､ 実際に使用方法を習得した｡ その後､ JW̲CADのすべてのコ
マンドの中から､ モックアップ製作に必要十分と考えられるものを抽出するために検討を行い､ コマン
ドを選別､ ４つに区分し整理した｡ それらを以下に示す｡＜設定コマンド＞
縮尺､ 画面倍率､ 用紙サイズ､ 線属性 (線種)
＜作図コマンド＞
直線､ 2線､ 中心線､ 連線､ 複線､ 矩形､ 多角形､円､ 接線､ 接円､ 曲線､ 点､ 文字､ 寸法線＜編集コマンド＞
範囲､ 消去､ 複写､ 移動､ 伸縮､ コーナー､ 面取＜便利コマンド＞
測定､ 寸法図形化､ レイヤー､ 属性変更
３. モックアップ用レファレンスの作成
次に､ これらのコマンドについて､ 簡易なレファ
レンスを電子ファイル (PDF形式) で作成した｡ これについては､ まず一部の協力企業に使用してもら
い､ 意見を取り入れながら､ 改良を重ね､ 最終的には県内企業へ配信・配布出来るようにしたいと考え
ている｡

主任研究員
主任研究員
主幹研究員

住 岡 淳 司林
千 歳
吉 田 良 広を送り､ ローコストのオーダーメイドを可能にしたものである｡ 本県でも､ 特に銅器産業をはじめとする伝統産業での展開が可能である｡
図２は､ 所内のあるス
ペースのために考案したライティングデスクのモックアップで､ 家具においても同様､ ユーザーと県内メーカーとの直接的な図面のやりとりのみでローコストのオーダーメイドが可能となる｡
図３は､ インテリア用
図２ ライティングデスクのログウォール(木材の積
モックアップ層による間仕切り) のモックアップである｡ 県内は勿論､ 全国的に課題となっている杉間伐材の有効活用を主な目的としたもの
で､ ユーザーと森林事業者・組合等との図面のや
図３ インテリア用ログウォー りとりにより､ マンショ
ルのモックアップ
ンなどのインテリアの一部を自由な発想で簡単に､癒しの空間に変えることができるという提案である｡
図４は､ 某自治体公募の観光復興モニュメント
デザインへの応募作品で
図４ モニュメントデザイン ある｡ 県内にはモニュメ
応募作品
ント製作を受注する企業があり､ その際､ 遠隔地の事業主や建築家､ 作家とのやりとりが発生する｡
先と同様､ 図面とモックアップ､ Eメール等を併用すれば､ 概算の見積依頼や簡単な打ち合わせ等は十分可能である｡

４. 活用事例

図１ 木彫用小刀のモックアップと実製品

さらに､ JW̲CADを実際に活用して､ 以下のモックアップを製作した｡
図１は､ 木彫用小刀のモックアップと実製品で､遠隔地(他県)の刃物製作所へ､ JW̲CADによる図
面と木型のモックアップ

５. おわりに
JW̲CADは､ 工業系のものづくりでも十分に活用でき､ 一般消費者や建築・インテリア関連ユーザー
が､ 県内企業とリンクすることで､ ローコストのオー
ダーメイドやユニークな商品開発も可能であることが確認できた｡ 今後､ JW̲CADが有効なコミュニケー
ションツールとして活用されていくことを期待したい｡

海洋由来の有用微生物の工業的応用
生活工学研究所

生産システム課
製 品 科 学 課

１. はじめに

九 曜 英 雄高 松 周 一副主幹研究員
主任研究員

油分解菌Ｒ15､ Ｒ28の成長は､ NaCl濃度が2%か

海洋深層水などの海水に生息する微生物は､ 塩分

ら5%で著しいが､ Ｒ15についてはNaClがなくても濃度が3.4％で､ かつ２℃程度の低温な領域に生息繁殖が可能であり､ さらに8%の高濃度までも成長しているため､ 陸上の微生物とは異なる生理機能やできる (図１)｡ 生育温度については､ 図２に示し代謝系をもつものと考えられる｡ そのため､ これらたようにＲ15､ Ｒ28ともに20℃前後が最も繁殖力がの機能をうまく活用すれば既存の微生物利用産業の強
2.0

大幅な転換も可能となる｡ 本研究では､ 塩分濃度が高く､ 通常の生物処理では困難なことが多い食品工

1.0

R15
R28

1.5
OD660

層水から油分解菌を分離し､ その特性を調べた｡

1.5
OD660

場等からの油含有廃水の生物処理を目的に､ 海洋深

2.0

R15
R28

0.5

1.0

0.5

２. 油分解菌の探索
油分解菌の探索は､ 富山湾滑川沖の約４㎞の沿岸

0.0

0.0
0

2

6

8

10 12 14 16

0

5

図１

10 15 20 25 30 35 40᷷ᐲ㧔͠㧕

NaCl(%)

部St.40､ 約10kmのSt.N4､ 約25㎞のSt.08地点の深度100m､ 300m及び700mの海水から行った｡ 油を効率

4

菌の耐塩性

図２

菌の生育温度よく分解する菌を得るために､ オリーブ油を炭素源とした液体培地にこれらの海水を加えて集積培養を繰り返し､ その培養液を用いて､ 寒天培地上に油分

く､ 採水温域に近い４℃では繁殖力は弱かった｡ ま

解菌のコロニーを形成させ単離した｡

た､ 高温域では､ 40℃以上になると全く繁殖せず菌が死滅した｡ ４℃での繁殖力が小さいことから､ こ

３. 油分解菌の特性

れらは低温細菌ではなく､ 通常の常温細菌に分類さ海水中から油を分解する海洋細菌を32種類単離しれる｡
油を分解するリパーゼ

オリーブ油の他に､ 植物性のサラダ油､ 動物性のバ酵素の活性については､ター､ ラードを基質としたローダミンＢ寒天培地を図３に示したように､ 低用いて､ コロニーの成長性､ 培地の発光状況から油温側では活性が弱く､ 45

分解性能を評価した｡ 実験の結果､ 油分解性能が高℃で最も活性が強くなっいと思われる菌株を6種類選抜した｡ これらの中でた｡ さらに高温になるとも､ 水深700mの深海から採取したＲ15や水深300m

活性は弱まった｡ これはから採取したＲ28が油の種類によらず優れた分解性

通常の陸上細菌のリパーを示したが､ 特にＲ15が優れていた (表１)｡ゼと同様の傾向であり､

120
R15
R28

100
80
㉂⚛ᵴᕈ 

たが､ 特に油分解性能が高い菌株を選定するために､

60
40
20
0
0

10 20 30 40 50 60 70 80᷷ᐲ㧔͠㧕

図３ リパーゼ活性

深海の低温域で生息して表１. 油分解菌による各種油の分解性能いる割には､ 特に特徴的な変化が見られなかった｡

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䌒04

St40-300m

+

++

+

++

４. まとめ䌒07

StN4-100m

+

++

+

++

塩分を含んだ食品工場等からの油含有廃水処理を

䌒08

StN4-100m

+

++

+

++

目的に深層水から油分解菌をスクリーニングし､ 優䌒15

StN4-700m

+++

+++

+++

+++

秀株Ｒ15を選抜した｡ この菌はいろいろな種類の動䌒22St08-700m

++

++

+

++

植物油に対し､ 優れた分解性を示すとともに､ 広範

䌒28

St08-300m

++

++

++

++

囲の塩分濃度域で繁殖でき､ また､ 低温よりも常温+++ 油分解性能が非常に優れている､ ++油分解性能が優れている､ + 油分解性能がある

付近での繁殖力が旺盛であることから食品系廃棄物の油処理に有用であることがわかった｡

雪上作業ロボットの開発
機械電子研究所

電子技術課

主任研究員

上 野

実

１. はじめにな路面における全方向移動機構については､ 車輪を軟弱な路面での駆動方法としては､ 接地圧を小さ

360°進行方向に回転させるNakano方式や､ 車輪のくするためクローラ (無限軌道) を用いたものが一円周上に小さなローラを複数配置するRoller Wheel

般的であり､ 雪上車などにも用いられている｡クロー方式､ Mechanum Wheel方式などが実用化されていラ方式は､ 左右の駆動方向を逆にすることでその場るが､ 雪上を含め不整地では構造が複雑となり､接旋回 (超信地旋回) ができ､ 小回りがきくとされて地面積を大きくとれないことから応用は困難である｡

いるが､ 雪上など軟弱な路面で不用意にこれを行う

このため､ 滑りやすい雪の性質を逆に利用した４と､ 車体が潜ってしまい駆動できなくなるといった

軸反転スクリューローラを用いた駆動機構を開発し問題がある｡このため､ スペースの限られた傾斜面た｡ これは､ 図１に示すように､ 右ネジと左ネジのや深雪面においても自在に活動可能な雪上作業用ロ

アルキメデススクリュー (ローラ) を対とし､ これ

ボット向け駆動機構の開発をおこなった｡

を両側に平行に固定配置し､ 個々のローラの回転方
向･回転数を図２のように個別に制御することによ２. 開発駆動方式

り､ 全方向移動可能な駆動機構である｡ この方式に屋根や路肩斜面などを想定し､ 狭い傾斜したスペーよれば､ ステアリング機構や動作を必要とせず､ 構スにおいても活動可能な駆動方法の検討を行った｡

造が簡略でありながら移動方向を変えることができ狭いスペースでの作業においては､ スペース的な制る｡ なお､ ２本のローラだけでは前後進､ 左右 (真約のほか､ 作業を行う場合､旋回や方向の修正を行

横) 移動だけしかできず､ 旋回･斜行のように機体う工程に時間の方向を制御できないため､ 最低限４本のローラがが割かれ作業必要である｡

効率が悪化す図１ ローラ配置

るといった問３. まとめ

題があるため､スキー場の斜面で試験した結果､ ほぼ設計どおり

全方向へ駆動の駆動が可能であった｡ しかし斜行については､ 自可能な方式を身の轍を乗り越える形となるため､ 雪質によっては採用すること困難な場合もあった｡本駆動機構は舗装路など通常とした｡ 平坦の路面では羽根が摩耗するため走行不可能であるが､雪面や芝生､ 泥ねい地など滑りやすく通常の駆動方



式ではスリップしやすい路面でもスクリューの羽根

が滑り止めとなり駆動可能な方式であることから､



不整地作業用のロボットのへの応用を検討してゆく｡


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図２

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駆動方法(俯瞰図)

図３

雪面駆動

EUのRoHS指令への対応について
中央研究所
１. はじめに2006年７月からEU圏への電気機器製品の輸出に
RoHS指令が適用されるようになりました｡ その後､輸入拒否の具体的な事例は発表されていませんが､メーカーの判断によるリコールや輸出中止などは確実に増加しています｡ また､ 分析データの提出や税関での抜き取り検査も､ 実際に行われているようです｡ そして､ 欧州に輸出する場合に限らず､ 国内の電気機器メーカーの多くがEU圏に製品を販売しているため､ 工業製品のほとんどすべてにRoHS指令
元素の分析結果を提出することが求められています｡
ここでは､ RoHS指令についてどのように対応していったらよいのかについて､ 簡単に述べたいと思い
ます｡

評価技術課

表1

対象物質と最大許容濃度

対 象 物 質
最大許容濃度
カドミウム
0.01wt%鉛0.1wt%
水銀
0.1wt%
６価クロム
0.1wt%
ポリ臭素化ビフェニル(PBB)
0.1wt%
ポリ臭素化ジフェニルエーテル(PBDE)
0.1wt%
３. RoHS指令への対応
RoHS指令の基本的な考え方は､ ｢環境に負荷をかけると思われるカドミウム､ 鉛､ 水銀､ ６価クロム､
PBB､ PBDE｣ が含まれている電気電子機器をできるだけ作らないようにしましょう｡｣ というものです｡ このため､ ｢最大許容値以下だから問題ないです｡｣ ではなく､ ｢対象物質を使用していない代替品があるので､ そちらを使います｡｣ というのが正しい姿勢と思われます｡
その他注意すべき点として､ 数年毎に見直される
適用除外製品や材料を把握しておくこと､ 濃度の分母となる均質材料の定義などがあげられます｡
対象物質の分析方法としては､ 現在公定法が検討されており､ 2007年末に確定する見通しです｡ 現在の一般的な試験の流れを図１に示します｡ まず､ 蛍

角 田 龍 則光Ｘ線によるスクリーニングの後､ それぞれの物質ごとに詳細な分析をおこなうことになります｡ ６価
クロムとPBB､ PBDEについては､ 分析が難しいた
め公定法が決定されず､ 参考試験として公表される見込みです｡ 試験をする際には必ず標準試料やブランク試料などの確認試験も行う必要があります｡ኻ⽎‛⾰㩀㩎㩨㩚㨽㩛㋦᳓㌁ ଔ㩂㩥㩛㪧㪙㪙㩷㪧㪙㪛㪜㩷
図1

２. RoHS指令の概要
RoHS指令の概要は､ 電気電子機器に含まれる有害物質の使用を制限しようというものであり､ その有害物質の最大許容濃度は､ 表１のようになっています｡ 最大許容濃度は､ それほど厳しい条件ではな
く､ 意図的に添加しないとこれほどの濃度にはなり
ません｡

主任研究員

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対象物質と試験方法 (() は参考試験法)

また､ RoHS指令に適合しているかどうかは､ 第３者機関が保証するわけではなく､ 自主的に宣言するという形式をとっています｡ つまり会社の品質管理責任者が自社の品質管理体制について保証することになります｡ 商品の付加価値を高めるため､ 無責
任にRoHS指令対応を保証することは､ 多くの同業他社に､ 迷惑をかけることにつながります｡ 試験方法や試料のサンプリングなどにも注意をはらい､ 一
度の分析結果だけでなく､ 最低年に１回､ また原料や製造過程の変更に伴って対象物質の含有が考えられる場合は､ 再度分析を行う必要があります｡
しかし､ 実際にこれらの分析をすべての材料に対して実施すると膨大なコストと時間がかかってしまいます｡ また､ RoHS指令は企業の経済活動を妨げることが目的ではなく､ 環境に負荷をかけないことが目的であり､ そのため適用除外が多いのも事実です｡ そこでいかに低いコストで最低限の分析を行うかが重要になってきます｡ 当センターでは､ 昨年度
スクリーニング用に蛍光Ｘ線分析装置を導入し､ ９ヶ月間で約100件の利用がありました｡ また､ 県内
企業二十社が参加して ｢有害微量元素分析研究会｣としてRoHS指令元素の分析技術についての講習会を開催しています｡ 是非､ 多くの方が講習会に参加
して､ 分析技術について理解を深めていただきたいと思います｡
４. おわりに細やかな品質管理を行いRoHS指令に対応した商品を供給することは､ コストと労力がかかることです｡ しかし､ いいものを作るだけではなく､ より環境負荷が低いものを供給していくことが求められています｡

メジャーリーガーを支えるバット製造技術
生活工学研究所

製品科学課

副主幹研究員溝 口 正 人１. はじめにを除去するフィルタ処理､ 切削用バイトの矩形刃先

本県の南砺市福光地区は､ 野球用木製バットの生の接触角度に対応した切込み量の補正､ 刃物回転数

産シェアの約５割を有する国内最大の産地ですが､や送り速度などの設定機能を付加して､ 粗削り､ 薄

バットの旋削工程は従来から熟練職人による手作業

皮残し加工､ 仕上げ加工の3工程からなるNCツールに依存しており､ 生産の効率化と高齢化に伴う技術

パスに変換するシステムを構築しました (図２)｡

伝承への対応が急務となっています｡ このため､ 県

このシステムにより､ これまでに硬式用､ 軟式用､

内のバット業界では､ NC旋盤の導入による旋削工

ソフトボール用など150本以上のバット形状を測定程の省力化､ 迅速化､ 精度の向上を目指しています｡

し､ NC加工用のデータを供給しています｡

NC加工用のデータを得るためには､ 選手により太さやグリップ部などが微妙に異なる多様なバット形
状を正確に測定し､ 制御用のフォーマットに変換する技術が必要となります｡ そこで当所では, 野球バッ

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ト専用の形状測定装置とNCデータ変換システムを㪈㪇㪌

開発しましたので､ その概要を紹介します｡

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図２

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ＮＣ加工データの一例

２. バット測定装置の概要
開発した測定装置の外観を図１に示します｡
装置は､ バット両端をチャックで固定し､ レーザ
式距離センサを搭載した駆動部を軸方向にスライドさせることにより､ バットの軸方向の位置と､ レー
ザセンサで出力される半径情報を同期させてPCに
図３ バット用ＮＣ旋盤

取り込む機構となっています｡
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図４ モデルバット(上)と試作バット(下)

４. まとめ
これまでは熟練職人のスキルに依存していたバッ⋥ᓘᬌ಴↪䉶䊮䉰 㪤㫆㫋㫆㫉

ト旋削工程の自動化を実現した結果､ 形状精度が均䉶䊮䉰䉴䊤䉟䊄ᯏ᭴

することができました｡ また､ 取得したデータを応㪯㪄㪰㩷㪻㪸㫋㪸
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質化され､ 加工時間も手作業に比べて約1/3に短縮೙ᓮ䊶䊂䊷䉺ಣℂ↪㪧㪚㪥㪚㪄㪫㫌㫉㫅㫀㫅㪾㩷㪤㪸㪺㪿㫀㫅㪼

図１ バット形状測定装置

用して直径や長さなどの変更が容易に行えるため､オーダーメード需要への迅速な対応が可能となりました｡ 現在､ 米国MLB､ セ・パの各リーグで活躍するプロ野球選手をはじめ､ 社会人や大学野球など

３. バット加工データ

多くの選手が､ この技術により製作されたバットを

プロ野球用のバットは､ 太さや重量のほか､ 先端使用して活躍しています｡

やグリップエンド部の形状が各選手の繊細な好みによりオーダーされるので､ 特に両端部では測定ピッチを密にした詳細な形状データが必要となります｡
このため､ 加工された直径精度や表面粗さを検証しながら､ バットの部位や材質によるサンプリング
点数と旋削加工時間を考慮することで､ NC加工用
データの最適化を図りました｡
さらに､ バットの反りや表面の凹凸によるノイズ

図５ バットに関するメジャー選手との打合わせ

Transducers'07に参加して機械電子研究所

機械システム課

主任研究員

鍋 澤 浩 文１. はじめに

慣性センサは､ デジタルカメラや自動車などに採用

2007年６月10日から14日まで､ フランスのリヨン

され､ 最も成功したMEMSの事例と言えます｡ 県内

国際会議場で開催されました Transducers'07 (The

でも取り組んでいる企業がいくつかありますが､ チッthInternational Conference on Solid-State Sensors,

プの低価格化が進んでおり､ 競合他社との差別化がActuators and Microsystems)に出席いたしました｡

課題になっています｡ 発表の中には､ 熱応力によるTransducers'07は､ 隔年開催されるMEMS(メムス：

感度のずれを補正するために､ 複数の錘を用いる角

Micro Electro Mechanical Systems)分野最大の国際速度センサがあり､ 大変印象的でした｡ また､ 新し会議です｡ 会場は､ 新市街のローヌ川沿いに建ち､い原理として磁気抵抗効果を用いた加速度センサの川向こうには､ ユネスコの世界文化遺産に登録され提案がありました｡

たリヨン歴史地区やフルヴィエール・ノートルダム④

14

聖堂を展望することができます｡

ガスセンサ
ガスセンサは､ 自動車や工場からの排ガス検知､

今回の会議は､ 過去最高である1552件の投稿論文

住宅におけるVOCガス検知など､ その用途は多岐の中から､ 632件が採択され､ 210件の口頭発表とにわたります｡ 半導体ガスセンサは､ SnO２ がセン422件のポスター発表がありました｡ 会議のプログ

シング材料として使用されていますが､ 劣悪な条件

ラムは､ 技術分野別に48のセッションに分けられて下でも使用できるように､ Ga２O３やSrTiO３などの新

おり､ 今回の会議では､ ｢MEMS製造技術｣､ ｢ポリ材料を用いたセンサが報告されていました｡ また､

マーMEMS｣､ ｢慣性センサ｣､ ｢ガスセンサ｣ につい電極−半導体接合によるセンサ感度の不具合をなくて最新技術の動向調査を行いました｡

すために､ 表面電位の変化を読み取るゲートレスF
ETについても報告がありました｡ その他､ MEMS

２. Transducers'07に見るMEMS最新技術①

MEMS製造技術
MEMSの基盤技術であるエッチング技術についての製造コストの60%を占めると言われるパッケージ
ングについて､ シリコンの深堀ホールを用いて低コスト化する手法が紹介されていました｡

調査を行いました｡ 加速度センサの市場形成を加速してきたシリコン深堀加工技術ですが､ 2010年には

３. おわりに

50μm/minに達するとの予測が報告されていました｡

今回､ 国内外の研究者の発表を直接耳にし､ 研究

また､ μTASやパワーMEMSの基材となるガラスや内容について意見交換ができたことは､ 大変有意義

SiC､ 犠牲層として用いられるSiGe､ a-Si等､ 新材でした｡ 今後､ これらの技術情報を､ 技術相談や共料の深堀加工が､ 新しいマイクロシステムの市場供

同研究などに活かしていきたいと思います｡

給には不可欠であるとの報告がありました｡②

ポリマーMEMS

最後に､ 今回の渡欧に際して､ 多くの医療用の使い捨てバイオチップ､ 大変位・高出力

方々にお世話になりアクチュエータのニーズから､ MEMSの素材としてました｡ この場を借ポリマーに注目が集まっています｡ 厚膜レジストでりて､ 心から感謝致

あるSU-8と剛性に優れたシリコンを多層化したV字します｡

アクチュエータが､ シリコン単体のアクチュエータに比較して､ 剛性が2倍､ 変位が10倍になることが報告されていました｡ また､ 厚さ数mmの矩形性に優れたパターニングを可能とする新しいレジストについて報告があり､ 講演後には講演者の周囲に人だかりができるほどでした｡③

慣性センサ
物体の運動情報 (加速度や角速度) を得るためのリヨン国際会議場前にて

InterPACK'07に参加して
中央研究所

加工技術課

主任研究員

釣 谷 浩 之１. はじめにした｡ 特に､ メーカーのかたからは､ 実際の製品に2007年７月８日から13日まで､ カナダ､ バンクー

適用できないかといった質問や､ 鉛フリーはんだや

バ ー の Westin Bayshore Resort で 開 催 さ れ ま し た

他の材質への適用の可能性について質問が寄せられInterPACK'07に出席いたしました｡

ました｡

InterPACK (The ASME / Pacific Rim TechnicalConference & Exhibition On Integration & Packaging

３. おわりに

Of MEMS, NEMS, & Electronic Systems) は､ ２年今回の会議では､ 電子基板における熱の問題に関に一度開催されるエレクトロニクス実装技術に関すする発表が非常に多く行われました｡ 私達が取り組る国際会議であり､ 最新の技術動向に大きな影響をんでいる研究についても､ 問題の本質は熱による影もつ会議の一つです｡

響であり､ 近年の電子基板実装の高密度化によって､

近年は､ Heat Transfer Conferenceと同時開催され従来以上に熱の問題が深刻になっていることが感じており､ 参加人数も大変多く､ 非常に活気のある国られました｡ 私達の研究内容に関しても､ 今後ます

際会議です｡

ます､ その重要性が高まって行くものであると感じました｡

２. 研究発表の概要
今回は､｢Application of Synchrotron Radiation X-Ray
Micro - Tomography to Nondestructive Evaluation of
Thermal Fatigue Damage in Flip Chip Interconnects｣という題目で発表を行いました｡
発表した研究成果は､ 私のほか､ 当センターの佐山副主幹研究員､ コーセル株式会社､ 富山県立大学で行った共同研究によるものです｡
私達は､ これまで大型放射光施設SPring-8を利用
し､ 非破壊でのはんだ内部の金属組織の観察を試みてきました｡ 今回は､ 実際に使用されているフリッ
プチップと呼ばれるICチップから試料を切出し､ 内部のはんだ接合部を非破壊で観察し､ 熱サイクル負荷を加えた際のはんだ内部の金属組織の変化から､

写真１

基調講演風景はんだの熱疲労損傷の評価やき裂発生寿命の推定を行ったので､ その成果について発表を行いました｡
加えて､ 屈折コントラスト法と呼ばれる手法を用いることで､ 非常に小さな開口量の熱疲労き裂を観察できることを明らかにし､ 熱疲労き裂の進展過程についても評価をおこなったので､ その内容についても発表しました｡
従来､ このようなはんだ接合部内部の微細な金属組織や熱疲労き裂を観察するためには､ 走査型電子顕微鏡を用いた断面観察を行うしか方法が無く､ 観察を行うためには､ 切断や研磨を行う必要がありました｡ 非破壊でフリップチップはんだ接合部の微細な金属組織や熱疲労き裂を観察した例はこれまで無かったため､ 発表では非常に高い関心が寄せられま

写真２ バンクーバーの街並 (ダウンタウン)

European NDT days in Prague 07に参加して
中央研究所

加工技術課

主任研究員

山 岸 英 樹平成19年11月5日より5日間､ チェコ共和国の首都の相関を､ 粘弾性および音弾性の観点から論じ､ 将プラハにて開催された非破壊検査(NDT) および非来の簡便な金属疲労非破壊評価システムの可能性を破壊評価(NDE) に関する国際会議(European NDT示しました｡ 会議では本研究に類する手法の発表はdays in Prague 07) に出席しました｡ 本会議は､ 欧

なく､ 試験結果および新規性から､ 本分野に関して

州非破壊検査協会 (European Federation for Non-

大きなアピールができたと考えています｡ また会議

Destructive Testing) が隔年で主催するもので､ 今を通じ､ 他手法による研究者のほか､ 金属疲労に直年で４回目となるものです｡会議はNDTおよびNDE

接関係のない研究者とも､ 本現象について興味深いに関して４つの独立した分科会が設けられ､ その中意見交換をすることができました｡ この経験は本研で研究､ 開発､ 装置製造､ 応用事例､ 規格標準化な究推進に大変有益なものとなりました｡

どについて報告また活発な意見交換がなされました｡
私は､ この４つの分科会の内の２つに出席し(NDT in ProgressおよびNDE for Safety)､ NDT in
Progressにおいてはポスターセッションでの研究発

なお､ 本発表内容に関しては下記のものがありますので､ 詳しくはこちらを参照下さい｡
・H. Yamagishi and M. Fukuhara: Mater. Trans.,
48 (2007) 550-555

表を行いました｡ なお､ NDT in Progressは主に新・H. Yamagishi and M. Fukuhara: Proc. 4th Int.

たな手法や知見について､ またNDE for Safetyは主Conf. on NDT in Progress, (EF NDT, Prague,に建設､ 輸送､ パワープラントなどにおける実際の2007) pp. 233-242.

適用事例がテーマとされていました｡
私の研究発表は､Acoustic Characteristics ofFatigued Aluminum Alloy Using Ultrasonic Shear
Waves｢横波超音波を用いたアルミニウム合金における金属疲労の音響特性｣ と題して行いました｡
これは､ 平成17年度より東北大学 金属材料研究所の福原先生の指導を拝受し行っている研究の成果になります｡
機械構造物の破損不具合において､ その原因の大半は金属疲労破壊と言っても過言ではありません｡
国内においても､ 金属疲労を原因とする大きな事故は毎年のようにニュースで目にします｡ このため実機そのものの金属疲労を評価するべく､ これまでX
線回折 (XRD) をはじめ､ 陽電子消滅法 (PA)､ 電
図１

子線後方錯乱回折法 (EBSD) など様々な手法が試測定ダイアグラムみられています｡ しかしながら､ 現実的に現場で精度良く非破壊評価可能な手法は､ まだ開発されてな
い状況にあります｡ 本研究は､ 簡便な金属疲労の非破壊評価を可能とする技術の開発をねらい､ 原子レベルの材料変化に対し敏感に応答を示すことが知られている横波超音波を用いて､ 金属疲労が横波超音波に与える影響について調査検討を行ったものです｡
図１に本測定システムの概略図を示します｡ 供試
材には超ジュラルミンA2024T3を用いました｡ 応力
比０で繰り返し引張り負荷を与え､ 取得された各疲
労度と横波超音波の応答挙動 (SVおよびSH波) と

図２

会議場 (TOP HOTEL PRAHA)

特許情報の読み方
特許情報は､ 技術開発情報の宝庫です｡ 技術者や䌉䌐䌄䌌ೋᦼ↹㕙䋨http://www.ipdl.inpit.go.jp/homepg.ipdl)

研究者にとって特許情報を読むことは､ 極めて重要です｡ 最新､ 既存技術の調査や他社動向､ 企業ニーズの把握など､ 常に関連のある特許情報を読むことを心掛けて下さい｡ 特許情報は特許電子図書館 (ＩＰＤＬ) から簡単に出力できます｡
特許情報の代表的なものは ｢公開特許公報｣ と｢特許公報｣ です｡ ここでは､ これらの読み方について､ 基本的なポイントを述べてみます｡
１. ｢公開特許公報｣ なのか ｢特許公報｣ なのか？
｢公開特許公報｣ と ｢特許公報｣ の区別は非常に重要です｡ ｢公開特許公報｣ は､ 実体審査をせずに､出願から１年６月経過後に､ 公開したものです｡ 従って､ 記載されている内容は､ まだ特許 (権利) となっくあります｡ この ｢未請求｣ とは､ この公報の公開ていない技術情報です｡
一方､ ｢特許公報｣ は実体審査を終了し､ 特許と日時点で､ 審査請求していないことを示すもので､して認められたもので､ 権利内容が記載されていま

その後､ 請求されたかどうかを確認しておくことがす｡ 特に ｢特許請求の範囲｣ は丁寧に読んで､ どこ大切です｡ ＩＰＤＬの ｢経過情報検索｣ で容易に調までが権利の範囲なのかを読み取ることが大切です｡

べることができます｡

２. ｢出願日｣ はいつか？

４. ｢発明の種類｣ は何か？

｢出願日｣ は正確な日付を確認して下さい｡ この｢発明の種類｣ には､ ①物の発明､ ②物の製造方

発明の内容が､ いつ出願されたかは､ ｢特許庁へ先法の発明､ ③評価､ 測定方法の発明の３種類がありに出願した者に特許を与える｣ という ｢先願主義｣

ます｡ この出願が何の発明か､ ｢特許請求の範囲｣から重要です｡ 先に発明しても､ 他者が先に出願すをよく読んで､ 見極めることが重要です｡ 出願人がれば特許を取られてしまいます｡ 発明の ｢新規性｣

何を権利化したいのか､ したのか､ を確認して下さや ｢進歩性｣ の判断はこの ｢出願日｣ が基準となりい｡
以上のような点に注意して特許情報を読み､ 皆さます｡

んの商品・技術開発に役立てて下さい｡
３. ｢審査請求｣ はされているか？

ＩＰＤＬや特許情報に関する疑問や質問などがあ

特許庁は ｢出願人｣ が審査料を払って ｢審査請求｣をしないと審査しません｡ ｢公開特許公報｣ の右上中段に ｢審査

りましたら､ 気軽に特許情報活用支援アドバイザーに声を掛けて下さい｡

未請求｣ と記載されている場合が多＜連絡先＞
富山県知的所有権センター
蜷川甚

TEL 0766-29-1252

一

特許情報活用支援アドバイザー

(にながわ

じんいち)

FAX 0766-29-1253

E-mail：ninagawa.jinichi@ad.japio.or.jp

受賞者＆表彰者の紹介
当センター中央研究所 岩坪 聡 副主幹研究員の実施した研究 ｢薄膜加工技術の研究開発と応用及びその実用化｣ が､ 中部科学技術センター会長賞を受賞いたしま
した｡ 本研究により､ スパッタ粒子のエネルギーをパラメータとして､ 作製方法と得られる膜特性の関係が明らかになりました｡ この成果は､ 精密薄膜抵抗器を始めとする各種センサへの応用が期待されます｡(詳細は､ 本誌表紙及び２ページをご覧下さい｡)
当センター中央研究所 林 千歳 主任研究員が､ 平成19年度富山県優良職員表彰を受賞いたしました｡ 多様な形状の中空部分を有するアルミニウムダイカスト製品の製造に必要な中子の研究に取り組み､ 水に触れると容易に崩壊する性質を持つ中子を開発し､ 県内のアルミ鋳物関連業界の振興に寄与したことが評価されたものです｡

講 習 会 の ご 案 内｢身 体 機 能 向 上 の た め の 衣 服 設 計 に 関 す る 講 演 会 ｣− 服装解剖学から見る人体形状･機能とデザイン −講師：学校法人 文化学園
文化服装学院
文化･服装形態機能研究所
[概

要]

教授
副所長

伊藤 由美子スポーツ､ 健康にかかわる衣服など､ 身体の動作に関連する衣服の開発では､ 人体形状や身体部位の動き等を知ることは重要である｡ ここでは､ 体に適合する美しい衣服をつくることを目的に､ 人体に関する基本事項を学びながら､ より機能性の高い衣服やアパレルデザインについて考え､ 今後の製品設計指針を得る｡[日時]

平成20年３月14日(金)13:30〜16:30[場

所]

富山県工業技術センター 生活工学研究所 ホール

[参加費]

無料

[申

郵送､ FAX又は電子メールで下記宛お申し込み下さい｡〒939-1503 富山県南砺市岩武新35-1
富山県工業技術センター 生活工学研究所
担当：野尻､ 和田
TEL:0763-22-2141､ FAX：0763-22-4604

込]技 術 情 報No.103

編集発行

富山県工業技術センター企画情報課
http://www.itc.pref.toyama.jp/
富山県高岡市二上町150 (〒933−0981)
ＴＥＬ(0766)21−2121
ＦＡＸ(0766)21−2402
E-mail kikaku2@itc.pref.toyama.jp

2008年１月発行

印 刷 所

キクラ印刷株式会社