¡æ13ñú{úËõwï§ãÜóÜ¤ñúËõp¸x X ü~[Ì»ìÆimr[pOºGa(åãåwåw@Hw¤Èuõ¹vÌ­WªúËõªìÌ¬·GWÅ¸§ÈwÉp¨wêUjéªC»ÌGWðLøÉp·éuõwnvàdvÅèCõ¹Ì«\ðÅåÀÉø«o·¤ðißÈ¯êÎÈçÈ¢Bæ 3 ¢ãúËõ{ÝÅÍC­x¾¯ÅÈ­CÂ±Â«àDê½ X üÌpªÂ\ÉÈÁ½ÊCãiÌõwnÌsïªCÀ±ÉCæèe¿·éæ¤ÉÈÁ½BuX
üÌ­xÉªéBvuX ür[ªU®µÄ¢éBvuzIÈ X üÌ­xª¾çêÈ¢BvÈÇÅ
õÀ±ÌêCr[^CÉÀèªéBúËèCÜ½C½ßÝ^Ìvªª½­C­xª1.5{áÁÄàe¿ªå«¢BõwnÉÍCñíÉ¿ÈõwfqÆ»ÌACguªÀ×çêéB{¤ÎÛÍCõwnÅgp³êéõwfqÌÅà~[ÅéBX üð½Ë·é½ßÌ¾ÅéB~[ðp¢È¢r[CÍÈ­C~[Ì«\ÍC­xâgÊªzÉå«­e¿·éB±êÜÅCX ü~[ÌJ­Éæègñ¾ÊCX ü~[ÉKvÈ«\ð¾ç©ÉµCVµ¢ X ü~[ÌÁHÉvª@ðm§CzIÈFig. 1

Intensity distribution images of X­ray reected on fabricatedat mirror surfaces before and after mirror fabrication sys­
tem improvement. Fig. 1(a) is the rst data, using the rstly
fabricated X­ray mirror. Fig. 1(b) is the image obtained byusing X­ray mirror not having high frequency gure errors
around 1mm wavelength range.

X ü~[ÌJ­ðo±µ½B±±ÅÍC¬÷ÖÌ^[jO|CgðSÉC{¤ðÐîµ½¢BgÊªêéBÍCX ü~[Ì«\ÉÇÌæ¤ÈX ü½Ê~[ÌJ­«\ªKv©í©çÈ©Á½BÆèçäé¨¿Í´q©ç\¬³êÄ¢éÌÅCuÁHÌÉÀ¸xÍ´qÌTCYÅ

iBL29XULjÉ¨¢ÄCì»µ½ X ü~[É X üðÆévÆCw¶ãÌ³öÅéXEUæ¶i»åãåw¼_³öj©ç½xà¾¢·©
³ê½BÈwÒC¤ÒÍC¤ÌÆn«ªåÅ¦¸À±ðæs³¹C®¬µ½Î©èÌ SPring­8C1 km ·Úr[Cé

ªC¤ÚIÌÝèÉêJ·éBXæ¶ªÚw³ê½¤ËµC½Ë­xðÏ@µ½B»ÌÊCFig. 1(a)É¦·æ¤ÉC­xÌµ¢Êª¾çê½B·Èí¿CüË X üÌ«\ð¹È¤C_È~[ÅÁ½BÍÉßÄVvÅèCÉÀÌ´qxÌ´½È\~[Ìì»Æ¯ÉCX üª~[ð½Ë·éÛÌÊðÀ»·é±ÆÅ

Á½BïÌIÉÍC30NÈãÉj

®ð\ªÂ\ÈCg®õwÉîÃ­vZè@ÌJ­ð¯ÁÄC»ÌÉÀÌ´qPÊÌÁH@ÌJ­ð¸ÍIÉiß

ÉißCX üÌ½ËðÀ±µÈ­Äà\ª·é±ÆçêCEEM (Elastic Emission Machining) ÆÄÎêé»ªÂ\ÉÈÁ½B±ÌvZè@ðp¢ÄCÀ±Êðl@w½ðx[XÆµ½ÁH@ÉæèC»ÌÚIªB¬³ê

·éÆC~[Ì\ÊÉ¶Ý·é 1 im[gx½1)B»µÄC»ÌpæÌêÂÆµÄCX ü~[ªLÌÊÅàC»ÌÊÌüúª 1 mm OãÅÍÌóâÆµÄªèC2001NÉ SPring­8 ÆÌ¤¯¤ÉÍÁ«èÆµ½­xð­¶³¹é±Æªí©Á½BªX^[gµ½BÍCRàalæ¶i»åãåwåw@CEEM ðp¢éÆC\Êe³ÅÍC´qxÌêÎC½Ë³öjÌäw±ÌºCd X üpÌ X ü~[Ìì»Æ´½ÊðÀ»Å«C³çÉC`óÉ¨¢Äàl§äÁSPring­8 ÅÌ X üÉæé]¿Égíé±ÆÉÈÁ½BHÉæèCIOXg[ÌPÊÅCÓÌ`óðìé±±±ÅÌ X ü~[ÍS½Ë~[ð¦·BX üÍCÆªÅ«½Bµ©µÈªçCÁHªìÉ¨¢ÄuªêÈ¢¨¿àÌüÜ¦ªóCÜ½Í^óÌüÜ¦æèà¬³àÌÍìêÈ¢vÆ¢¤¾tª­C½Ë³¹é½ßÉÍC~[\Ê©ç mrad xÌ­C»Ì`ðvª·éè@àC~[ì»ÉÍdvÉÈ

pxÅüË³¹éKvªéB®SÉ½RÅêÎâèÈ

¢ªCÊª¶Ý·éÆC»ÌÊÌe¿Å½Ë X üÌéæ¤ÉCÁH¾¯ÅÈéBOqµ½Êð·é½ßÉÍCªð\Å~[SÊðvª·éKvªéB»±ÅCMicrostitching In­úËõ March 2009 Vol.22 No.2  113(C) 2009 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Researchterferometry (MSI) ÆÄÎêéC\Êe³Ì]¿ÅgpµÄ¢½F±Â°÷¾ðp¢½`óvªè@ð®¬³¹½B»ÌÊC30 mm Ì¡ªð\Å0.1 nm Ì³¸xÅ\ÊÊÌ`óvªðÂ\Éµ½2,3) B{vªíÆ EEM
ðgÝí¹CÄxC­xÌ´öÆÈÁ½ÊðµCÄÀ±ðsÁ½BFig. 1(b)É¦·æ¤ÉC\zÇ¨èÉ X üÌ½ËÌ­xð·é±ÆÉ¬÷µ½4)B±Ì¤ÉæèCEEM Éæél§äÁHCMSICg®
õwV~[VÈÇCÌ X üWõ~[ÌJ­Ì½ßÌyäª®¬µ½BX üWõ~[ÌJ­Fig. 2 Progress of achieved focal beam sizes.

X üðWõ·é±ÆÍCõq§xðå³¹CÜ½C°÷¾Ìªð\ðüã³¹éÈÇCå«ÈÓ¡ªèC¢EIÉ©Äà·NÉjÁÄ X üpÌWõõwfqÌ¤

üðCS½Ë~[ÅÍÀEÅ¬Éß¢C25 nm TCYÜªißçêÄ«½BÂõÅÅWõ·é±ÆÉ¬÷µ½9)B{¤ÉæèÀ»³ê½ XêÎCÈPÉñÜÀEÌWõTCYâ«\ð¾é±ÆªÅ«éªCX üÍ¨¿

üWõ~[ÍCWõaCWõø¦ÆàÉCzIÈ«\ÆÌÝìpªã­CÈPÉ X üÌûüðÈ°é±ÆªðmFµÄ¢éBÜ½CðNxCX ü©Rdq[U[Å«È¢CÜ½CX üÌg·ªZ¢½ßÉCz«\ðÉÎµ½C400 mm ·³Ì X üWõ~[Ìì»Æ]¾é±ÆÍïµ¢Æ³ê½B¿ðs¢C[NfBX^X350 mm ÌÝvÉ¨¢ÄC

X üð~ [Å Wõ· é½ß ÉÍC Kirkpatrick­BaezzIÈñÜÀEWõðmFµ½10) B{~[ðp¢éiK_BjzuÆÄÎêéñÌÈ~~[ðp¢ÄWõ·Æ[NfBX^Xª·¢ÌÅ^óuÌO©çWõéBüËpxÍ mrad xÅr[ðüêé±ÆàÂ\ÅéÌÅC~[`óÌÅéB¡ãCúËõ{ÝÌ_ÆÅá_Ìá·ÍC100 mm ·Ì~[ÅàC1r[CÖÌ±üâClXÈ X ü°÷¾VXeÖmm`20 mm ÅÌpðúÒµÄ¢éBèC©½ÚÍ½ÊÅéB½Ê~[Å|Á½ì»è@ðWõ~[Ìì»ÉpÈãC½ÊCWõ~[ÌJ­ÉÖµÄUèÔÁÄÝé

µ½BßÄì»µ½~[ÍCÅ_£300 mm ÅCñÆCEEM ªÁH@ÆµÄ®¬xª©Á½Í¾¤ÜÅÜÀEÅè³êéWõaÍ15 keV Ì X üÅ180 nm ÌàÈ¢ªC»êÈOÉCg®õwV~ÝvÅéB`óë· 5 nmiP_VjÜÅ®¬³¹C1 ³ÌWõÁ«Ì]¿ð SPring­8 1 km ·Úr[C[VÉæè½Ëð\ªÂ\Éµ½±ÆCñÂÌVµ¢TOÌ`óvªíÌJ­É¬÷µ½±ÆªC®ÅÁ½Æl¦éB{¤iBL29XULjÅÀ{µCzIÈWõTCYCr[EÉæèCV~FXgßTÉ¨¢ÄCg®õwIÈUé¢ð¢EÅß¦µC»êðì»·é½ßÌCÁHCvª@ÌJ­CüP

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ðÀ{·éÆ¢¤X^Cªm§µ½BX üWõ~[Ì¤É¨¢ÄCÉÀÌ´½È\ÊðÚwµ½æ¤ÉC¢©ÉµÄzIÈÉÀÌñÜÀEWõðB¬·é©ðOªÉ¤ðiß½BXÉWõað¬³¡ãÌvæ
Fig. 2 É±êÜÅB¬µ½WõaÌÚð¦·B2001N­·é½ßÉÍCõwnÌ NA (Numerical Aperture) ðÉæègñÅÈ~CWõTCYÌk¬ðißÄ¨èC¢Eå«­·éKvªIÈ X üWõÉÖ·é¤£ÌÉ¢éBÁH@â`èC~[ÌüËpxðå«­µC}sÈ`óÉ·éKvªéB~[Ì`óÍñÊ`óÅóvª@ÈOÉàCWõ}js[^[ÌJ­11) âWèCim[gÌ¸xÅ~[`óðªè·éÌÍ¢õr[ðp¢½¸^uõ X ü°÷¾ÌJ­12)CÊÁ½B»±ÅCtB][±Âvðp¢½ Relativeñ@Éæé~[`óÌZo13) C¸xr[vtAngle Determinable Stitching Interferometry (RADSI) ð@Cvª@Ìm§14) CÈÇÌ¤ðsÁ½B»ÝÍC­Äµ®¬³¹½6)B±Ìè@ÍCXeBb`OÉp½w~[Éæé Sub_10 nm WõâANeBu~[¢éâ³pxð¸xÉªè·éû@Åðp¢½âõwnÌJ­ðsÁÄ¨èCÜ½CX ü©

ïÅ[`óÉÎÂ\ÅèC}sÈ~éB{è@Æ MSICEEM ðgÝRdq[U[pÌ~[ÌJ­ðißévæÅéB

í¹ÄC~[îÂðì»µCå«ÈüËpxÅà½Ë·éæ¤ÉCàð~[\ÊÉöµCWõ~[ð®

Ó«¬³¹½B»ÌÊC50 nm TCYÌWõaðËjµC{ÜÌóÜÉÁ½¸x X ü~[Ì¤ÍCñízIÈñÜÀEWõðÀ»³¹7,8)C³çÉC15 keV Ì X

É½­ÌûÌ²w±â²¦ÍÉæèsÁ½àÌÅ·BRà

114  úËõ March 2009 Vol.22 No.2

úËõjal³öiãåjÉÍCw¶ã©ç»ÝÉéÜÅC¤ÌS¾C¤ûjÈÇäw±¸«Üµ½B{¤ÍCåãåwÌRºaçy³öC²ì×vy³öCÖ¡²y³9)

öC¼Rq ³C ´K¶ut C{ mi»
SPring­8/JASRI ¤õjCRà¤ºÌÝw¶C20¼ð´¦é²Æ¶Æ¤¯Å¤ðs¢Üµ½B{¤ðißéÉ10)½ÁÄÍC»w¤ÌÎìNçåC¤õCÊì«¡êC¤õC¼ìg¥êC¤õCî´q¼`[
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2006N10æèCJST ³«ª¯¤õ(±)BúËõ March 2009 Vol.22 No.2  115