KANTO CHEMICAL CO., INC.

Cç2003 No.1（通巻187号）

ISSN 0285-2446

新年を迎えて代表取締役社長 野澤 俊太郎

2

計量法トレーサビリティ制度により供給される環境計測用有機標準液の開発

上野 博子

3

シリコンウェハー加工プロセスの化学品特性と問題点

富岡

弘

8

遺伝子情報を医薬品へ（その9） 海外のバイオクラスター(2)英国

坂田 恒昭

16

ドイツの切手に現れた科学者、技術者達（１）アルベル卜ス・マグナス

原田

22

編集後記

馨

24

新年を迎えて代表取締役社長
新年あけましておめでとうございます。

野澤俊太郎
弊社では、環境・安全の管理について、試薬業界初

ケミカルタイムズの読者の皆様並びにご執筆の先生

で全工場がISO14001の認証を1998年に取得し、さらに方におかれましては、さぞかし良いお正月を迎えられ弊社独自の総合安全管理体制を構築し、「設計開発からたこととお喜び申し上げます。

廃棄に至るすべての段階における化学物質の安全管

昨年来、政府の景気月例報告において、輸出が拡大

理」を徹底しています。また、ＰＲＴＲ法によるＭＳＤＳに転じたこともあり、5月に「底入れ宣言」を表明するの提供や排出データの初年度届出にも取り組み、皆様ほどになり、その後「持ちなおし」の動きから、一転し方が製品を安全にご使用いただくとともに、環境負荷て9月には「環境は厳しさを増している」と景気判断をを低減する地球環境保全や化学物質の悪用防止のため

下方修正されるなど、景気の先行きに予断を許さないの施策を積極的に推進しております。品質の管理につところとなりました。日銀による銀行保有株の買い取

きましても、他社にさきがけ、試薬メーカーとして最り、政府によるペイオフ2年延期、金融再生プログラム

初に品質保証システムISO9001の認証を1994年に取得

策定での不良債権処理、税制改正等を含めた景気対策

し、さらに、新しく改訂されました2000年版品質マネにも拘わらず、依然として、「物価は下がる」という傾

ジメントシステムの移行も2002年９月に全工場が完了い向で、一向に景気回復の兆しが見られないまま推移したしました。また、分析データの信頼性確保のために、ているのが、日本経済の状況であります。また、師走ISO/IEC17025試験所認定制度の認定を2000年に取得の東京は11年ぶりの初雪に見舞われ、一面に銀世界がしております。さらに、昨年３月に完成し順調に稼動し広がり、自然環境の厳しさがこの景気回復にブレーキております環境・食品関連試薬の「溶剤専用工場」に加をかけるのではないかと懸念しております。

えて、診断用用途を中心に食品・環境分野も含めた微そのような中での明るい出来事として、6月に日韓共同開催の「ワールドカップ2002」が行われ、サッカー旋

生物検査試薬の「生培地工場」が本年3月に完成いたします。

風が沸き起こり、全国民が興奮と感動を味わいました。

弊社の理念であります「社会に対して積極的に貢献

さらに、日本人研究者がノーベル賞を物理と化学の両すること」を念頭に、これらのシステムと新工場設備を部門で受賞し、化学では3年連続受賞という快挙に、国駆使し、新製品の開発ならびに技術開発の強化に努め、民全体がその喜びを大いに祝福すると同時に、次世代

平成15年度経営方針を達成すべく、全社員が一丸となを担う若い研究者の方々に、夢と希望をもたらしたもって取り組んでいく所存です。

のと考えます。そして、弊社は研究用試薬メーカーとまた、ご愛読いただいております「THE CHEMICAL

して、それらの受賞の見えないところで研究者の役にTIMES」は、本号（187号）より表紙デザインならびにたってきたものと自負しているところであります。

サイズを変更し、装いを新たにいたしました。今後と昨今の化学業界を取り巻く環境は、規制緩和に伴うも、尚一層のご愛顧、ご鞭撻をお願い申し上げます。

自主管理を取り入れる等の企業における責任が増大し皆様方におかれましては、この１年が光輝に満ちたており、これらの社会的責任を全うするための社内体

幸多い年でありますよう祈念し、新年のご挨拶といた制の確立が強く求められております。

します。

2

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

計量法トレーサビリティ制度により供給される
環境計測用有機標準液の開発
Development of organic standard solutions supplied by Japan Calibration service System
財団法人 化学物質評価研究機構 東京事業所 化学標準部

上野 博子
HIROKO UENO

Chemicals Evaluation and Research Institute, Japan

1. はじめには、平成13年度末（2001年度末）までに1997年当時の42物質を120物質までに整備拡充するとした（表1 1））。

最近の環境問題等への関心の高まりの中で、測定対その結果、平成13年度末において標準ガス19種類、無象物質の種類の増大、対象濃度の低濃度化や正確さ

機標準液10種類、有機標準液23種類、内分泌攪乱化への要求から、機器分析は日常の化学分析に欠かせな学物質（環境ホルモン）関連標準液10種類の開発が完いものとなっている。また、機器分析において得られる値

了し、供給のための準備が進められている。ここでは、

は電流値や電圧値であり、測定対象物の濃度との関係

平成13年度までに開発された有機標準液23物質についが明らかでなければならない。その測定対象物の濃度とて紹介する。

電流値等との関係は、分析ごと、対象物質ごとに校正と表１ 環境関連標準物質の整備計画いう形で求めることになる。その校正に用いられる標準
物質は、測定結果の信頼性確保に欠かせない重要なものとなっている。
1997年当時、我が国において計量法に基づき供給される標準物質は、42種類であり、トレーサビリティ体系の確立された標準物質の供給という観点からすると、欧米

対象物質
標準ガス
無機標準液（金属）
無機標準液（非金属）
有機標準液
pH標準液
計
合計

現 在
11種
18種
7種
−
6種
42種
42種

Ⅰ 期
12種
8種
3種
17種
−
40種
82種

Ⅱ 期
19種
7種
−
12種
−
38種
120種

現在：1997年 Ⅰ期：1998年〜1999年 Ⅱ期：2000年〜2001年

諸国と比較して不十分な状況であった。また、その42種類の標準物質は、無機系の標準物質であり、特に有機2. 開発の概要

系標準物質については民間企業が製造している標準は供給されているものの、国家標準にトレーサブルな標準

当機構は、指定校正機関として、これまでにもpH標は供給されておらず、測定データの信頼性、データの相準液や、無機（金属・イオン）標準液の特定標準液を調製互比較・受入れに支障をきたしており、産業界から基準とし、特定二次標準液への濃度の値付けを行ってきた。

なる標準物質の供給が強く望まれていた。

今回、新しく有機標準液の供給を始めるにあたり、信頼

そこで、通商産業省（現 経済産業省）は、産業技術のおける濃度の標準液を供給するために検討が必要な

審議会・日本工業標準調査会合同会議知的基盤整備特項目をいくつか挙げた。

別委員会を設け、計量標準、標準物質、生物資源情報、①純度の決定された高純度基準物質

化学物質安全、材料関連知的基盤及び生活・福祉関連②高精度の調製技術

知的基盤の分野について、その推進方策を検討し、平③繰り返し性のよい標準液への値付け方法

成10年6月に「我が国の知的基盤の充実に向けて」と題④優れた保存安定性

した報告書を取りまとめた。その中で標準物質について

以上の4項目を中心に検討を進めてきたが、①の高純度

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

3

基準物質の開発と純度の決定については、独立行政法

度の不純物であることを確認したものを用いる必要が

人産業技術総合研究所が、また、その基準物質の保存あった。そこで、溶媒は数種のグレードのものを用いて安定性については、独立行政法人製品評価技術機構がガスクロマトグラフで測定し、クロマトグラム上で測定対行った。当機構では標準液の調製方法、濃度の値付け方

象物やそのピーク近傍の不純物が少ないものを選択し法、また、標準液の保存安定性について検討を行った。

た。現在は、関東化学株式会社製の水質試験用のメタ

今回開発した23物質は、トリクロロエチレン、ベンゼン

ノールとヘキサンを用いているが、今後もロットごとに不等の国の環境基準・排出基準が設けられている有害な純物等の確認をする必要がある。

揮発性有機化学物質であり、それぞれ100〜1000ppmの濃度範囲のメタノールとヘキサン溶液である。

3.3 調製方法
これまで、金属・非金属の無機標準液の調製は、全量3. 開発の内容

フラスコ等の容器を用いて質量比法で行ってきた。しかし、揮発性の高い有機標準液の調製においては、調製

3.1 基準物質

2）

容器の密閉性が重要になってくる。全量フラスコのような基準物質の開発は、原料選定、精製、アンプル充填、

スリつきの蓋の容器においては、溶媒等の揮発による質純度測定及び 微量不純物の定量という過程で行われ量変化が心配された。そこで、全量フラスコ、ねじ口のた。精製前に市販品の試薬数種をガスクロマトグラフ法

バイアルびん、揮発性有機溶媒用二重栓びんにメタノーにより測定し、主成分含量が多く、不純物の少ないもの

ルとヘキサンをそれぞれ入れ、蓋をしたときの質量変化を原料の候補として選定した。それを精密蒸留法で精を調べたが、いずれもほとんど変化しなかった。しかし、製することで、安定化剤、極低沸点分や高沸点分を除蓋の開閉後の質量変化をみると、10秒開けることにより去し、ほとんどの物質で99.9％以上の高純度化がなされメタノール、ヘキサンともに約0.002g減少した。これは原た。また、蒸留前に物質により必要に応じて脱水処理を料を加える際、容器の蓋の開閉により溶媒の質量変化を行うことで10ppm以下の水分値となった。精製により得起こし、正確な質量の測定ができず調製濃度に影響がられた高純度物質は、高純度アルゴン雰囲気下でアンでることを示している。溶媒の蒸気圧を抑えるため、溶プル封入された。大量スケールでの精製とアンプル充填

媒や容器を冷却する方法も検討したが、操作が容易では、関東化学株式会社草加工場で行われた。純度決はなく、低温で質量測定をするための環境を整える必要

定は、示差走査熱量計（DSC）を用いた凝固点降下法があり、それは困難であった。室温での調製操作を可で行った。凝固点降下法はSI単位系に直接つながる一能にするためには、全量フラスコのように口の広い容器

次標準測定法である。アンプル封入された高純度基準は適当でないと考え、口の狭い容器が必要となった。そ物質は、安定性を考慮し、物質により−140℃、−20℃でこで高気密保存びんで同様の確認を行ったところ、大きの保存とした。この高純度基準物質の一部は、当機構

な質量変化は起こらなかった。シリンジの針サイズほどにおいて上記の温度で保存・管理され、特定標準液のの穴が開いているだけであり、気体の大量の通過が阻

調製に用いられる。

まれていると考えられた。しかし、蓋の開閉が困難であり容量も小さく標準液の調製には適当でないため、同様

3.2 溶媒4にシリンジの針程度の穴で開閉が容易である図１に示す

標準液の調製に用いる溶媒は、不純物等の存在によ

125mLポリテトラフルオロエチレン（商品名：テフロン）製って調製濃度に影響を与えないことが重要である。標準

ピストンシール型スクリューキャップ付密閉型ガラス容器を液の値付けと同条件で溶媒のみを測定した場合、目的用いて確認を行った。この容器にヘキサンを入れ質量成分の定量に影響を与えるクロマトグラムが得られること変化の測定を行ったところ、図2に示すようにびんによりがある。測定方法の設定において、それらの成分が妨

質量変化の大きいものがあった。容器とキャップは対で害しないような分析条件を検討する必要があるが、全て販売されているわけではないので、無作為に選んだキャッを除くことは困難なため、調製濃度に影響を与えない濃プとびんの口の密閉性はそれぞれ 異なるようである。

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

計量法トレーサビリティ制度により供給される環境計測用有機標準液の開発

キャップを交換して同様に質量変化を確認すると、変化

この方法で標準液の調製が正しくなされているか、次せず密閉性が保たれていることが確認された。そこで、のように濃度確認を行った。1000mg/L、100mg/Lの標

使用前に全ての容器にヘキサンを入れて質量変化のな

準液を上記の方法で各5組調製し、そのうちの1組を試いことを確認し、キャップとびんに番号を付け、毎回同じ料として他の4組の標準液で濃度の値付けを行ったとこ組み合わせで使用することとした。

ろ、問 題なく調 製 が 行われていることがわ かった 。

開放時

1000mg/Lのシス-1,3-ジクロロプロペン（メタノール溶液）

密閉時

開閉弁

における濃度確認の結果を図4に示した。
1005.0106

測定濃度（mg/L）

Oリング

95

1004.01003.01002.01001.01000.0
999.0

単位：mm

58

998.0

図1 調製容器

図4 4組の標準液による濃度の値付け結果

質量変化率
（％）

0.00

3.4 測定方法−0.02

濃度の測定は物質によりガスクロマトグラフと高速液体−0.04

クロマトグラフを用いて行うこととした。精度の良い値付けのため、測定によるピーク面積の繰り返し性の良い測−0.06

定条件を検討する必要があった。
−0.08
0

2

4

6

ガスクロマトグラフにおいて、繰り返し性に大きく影響

経過時間
（日）

図2 容器と蓋の組み合わせによる密閉度の比較（内溶液：ヘキサン）

する要因の一つに注入方法が挙げられる。一般的なス
プリット・スプリットレス注入法では、繰り返し測定による調製は、質量比法により図3に示す手順で行うこととしピーク面積の相対標準偏差が、数％と大きい値を示した。

た。質量を測定した調製容器にメタノール（又はヘキサ

そこで、注入した試料全てがカラムへ 導入されるオンカン）
を入れてひょう量し、原料物質を加えて10000mg/L

ラム注入法について検討した。オンカラム注入法は、の 原液とした。密度の 測定は、濃度単位をg/gから他の注入法に比べて精度の高い方法であるが、いくつ

mg/Lに換算するために行うこととする。さらに、この原か制限されるパラメータがある。試料注入量がスプリッ

液をメタノール（又はヘキサン）で希釈し1000mg/Lのト注入法等に比べて少なく、また、径の小さいカラムで中間原料とした。原液をメタノール（又はヘキサン）ではカラムの過負荷が起こりやすい。しかし、繰り返し性

希釈して1000mg/L標準液を、中間原料を希釈してを良くするために感度を上げ、ピーク面積を大きくするた

100mg/L標準液を調製することとした。

めに注入量は多いほうが良いので、カラムは径の大き

ひょう量済みの調製容器
メタノール又はヘキサンを加える
質量測定
原料物質、原液又は中間原料を加える
質量測定

密度測定

いメガボアカラムで膜厚の大きいものを用いた。また、ピー
クバンド幅の広がりやピークの歪みを抑えるため、メタノール溶液で5ｍ、ヘキサン溶液で1ｍの不活性化処理したリテンションギャップを使用した。さらに、オートインジェクタにより高速注入し試料の損失を少なくした。また、
オンカラム注入法では、溶媒のピークを目的成分のピー
クより先に溶出させる必要があるため、カラムは溶媒ご

標準液
図3 有機標準液の調製方法とにヘキサン溶液には強極性の液相（polyethylene
glycol）を、メタノール 溶液には 微極性の 液相（6%-THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

5

Cyanopropylphenyl, 94%-Dimethylsiloxane）
を選

3.5 保存安定性択した。同じ全量注入法であるダイレクト注入法とオンカ以上の調製方法と測定方法を踏まえて、標準液の保ラム注入法で20回繰り返し値付けを行い比較したとこ

存安定性試験を行った。物質ごとにメタノール溶液、ヘろ、オンカラム注入法は、ダイレクト注入法より繰り返し性

キサン溶液でそれぞれ100mg/L、1000mg/Lの濃度のの良い結果を示した。各注入法による繰り返し測定によ

標準液（試料）を300ｍL調製し、ほうけい酸ガラス製アる値付けの不確かさの一例を表2に示す。カラム槽の温ンプルに8mL充填してバーナーで熔封したのち5℃の冷度条件は、標準液が単成分であるため、基本的に溶媒蔵庫で保存した。測定は、調製直後と2、4、6か月後にと目的成分の分離が可能であれば全物質共通でも問題行い、6か 月間の保存安定性を試験した。念のため、ないが、溶媒中の微量不純物との分離や分析時間の短測定試料は保存前に質量を測定し、使用直前にも質量縮を考慮して物質ごとに設定した。また、検出器は水素を測定して試料の漏れがないことを確認した。また、測炎イオン化検出器（FID）とした。

定はその都度新しく調製した基準液を用いて値付けを行った。その結果の一例を図5に示す。これにより6か月間の保存安定性が確認された。
調整濃度からの偏差（％）

表2 ダイレクト注入法とオンカラム注入法の比較
3回測定時の値付けの不確かさ（％）

ベンゼン、キシレン等は、高速液体クロマトグラフで値付けを行うこととした。主な測定条件を表3にまとめた。
溶離液の組成は、溶媒中の微量不純物との分離や分析時間の短縮等を考慮し物質ごとに異なっている。また、
感度とピーク面積の関係から、注入量は1000mg/Lで

2

0

−2

0

4

2

6

経過時間
（月）
100mg/L トランス-1, 3-ジクロロプロペン/メタノール溶液
1000mg/L 四塩化炭素/メタノール溶液
100mg/L 1, 1, 1-トリクロロエタン/ヘキサン溶液
1000mg/L テトラクロロエチレン/ヘキサン溶液

図5 標準液の6か月の保存安定性

10μL、100mg/Lで25μLとした。
以上の条件で標準液の濃度付近における検量線を作

4. 不確かさ成したところ（100mg/Lで80〜120mg/L、1000mg/Lで800〜1200mg/L）良い直線関係が得られたこと、また、

ISO/IEC 17025等の試験所認定制度において、技値付けされる標準液が検量線用標準液の濃度値に近い能試験や測定の不確かさが重要な要素となっている。

ものであることから、1点検量線で正確な値付けが可能

そのため、測定に用いられる標準物質にも不確かさのであると考えた。さらに、確認のため挟み込みの2点検

表示が不可欠となり、標準液の不確かさをどのように評量線で測定した結果と1点検量線で測定した結果を比価するか検討が続けられている。現在、特定標準液に較したところ両者はよく一致したため、1点検量線法を用よる特定二次標準液への値付けによる不確かさの要因いることにした。

としては、原料物質の純度の不確かさ、溶媒中の不純表3 高速液体クロマトグラフによる測定条件

装置
検出器
カラム
カラム槽温度試料導入装置
試料注入量
溶離液の組成溶離液の流量6

高速液体クロマトグラフ
UV検出器
ODSカラム 4.6×250mm
40℃
オートインジェクタ
25μL（100mg/L）、10μL（1000mg/L）
アセトニトリル/水＝60/40 又は 70/30
1.0mL/min

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

物の不確かさ、特定標準液調製の不確かさ、特定二次標準液を小分けした際の試料（アンプル）間の不確かさ、
特定二次標準液への値付け（測定）の不確かさ、特定標準液の保存安定性の不確かさを挙げている。一般的に標準液の濃度は初期濃度が決定された場合、その初期濃度を用いるため、ある一定期間経過後の濃度を補正して用いることはない。そのため、ここで意味する

計量法トレーサビリティ制度により供給される環境計測用有機標準液の開発

保存安定性の不確かさとは仮に濃度変化があった場合

質として指定されている（表5）。ただし、現在のところ、でも、その濃度変化分を補正せずに初期に何らかの形認定申請が出されておらず、JCSSとしての供給には至っで決めた値をその標準液の濃度として用いる場合の濃ていない。今後、供給に向けた積極的な取り組みが必

度値の不確かさを示す。

要と思われる。また、これらの標準液は、混合標準液と以上の各要因をもとに、不確かさの伝播則に従ってしての供給の要望が強く、現在、23物質の混合標準液

特定二次標準液の値付け直後の不確かさを算出した。

について、保存安定性等を含めた標準液の不確かさ

各成分の不確かさ、合成標準不確かさ及び拡張不確か

算出のための検討を始めたところである。

さの一例を表4に示した。拡張不確かさは、合成標準

表5 指定された標準液の種類と校正の不確かさ

不確かさに包含係数k=2を乗じ小数点第二位を切り上げた。なお、この不確かさは、独立行政法人産業技術総合研究所で開発した計算方法により求められた。
表4 標準液の不確かさの一例

5. まとめ

本研究は、新エネルギー・産業技術総合開発機構と独立行政法人産業技術総合研究所からの委託を受け

平成10年度から平成13年度にかけて23物質の有機標て実施したものである。

準液の開発を行ってきた。これにより、SI単位系にトレーサブルな手法で純度が精確に決定された高純度基準物
質を用いた標準液の調製、繰り返し性のよい標準液へ

参考文献の値付け技術が確立され、信頼性のある標準液を供給することが可能となった。現時点（2002年10月）では、
これら23物質は計量法トレーサビリティ制度（Japan
Calibration Service System：JCSS）
による特定標準物

1) 産業技術審議会・日本工業標準調査会合同会議知的基盤整備特別委員会，報告書 我が国の知的基盤の充実に向けて（平成10年6月）
2) 井原俊英，THE CHEMICAL TIMES，No.181,3（2001）

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

7

シリコンウェハー加工プロセスの化学品特性と問題点
Chemical Characteristics and Problems of Silicon Wafer Manufacturing Process

有限会社 トライボ

富岡弘

HIROSHI TOMIOKATRIBO Private Limited Co.,

はじめに

一般にシリコンウエハー加工は、次のプロセスからなっている。

広く日本の半導体産業は、今なお世界に冠たる地位(1) シリコン単結晶インゴットを切断してラップドウエハーを築いている。材料分野では、シリコンウエハー、化合（Lapped Wafer：ＬＷ）経由でポリッシドウエハー

物ウエハー、水晶ウエハー、封止剤、リードフレーム、配（Polished Wafer：ＰＷ）
を造るＰＷ製造プロセス

線機、液晶ガラス、研削・研磨材などはその製品例とな(2) ＬＷを基板にリン、ボロンを拡散せしめて拡散ウエハー

ろうが、今なお高い市場シェアを有している。
半導体製造装置分野では、膜付装置、デファクトスタ

(3) ＰＷを基板にシリコン等を積層せしめてエピタキシャ

ンダード化されている測定検査装置などでは欧米勢にそルウエハー（Epitaxial wafer：ＥＰＷ）
を造るＥＰＷの地歩を譲らねばならないが、その他装置では相当に支製造プロセス

配的な地位を築いている。しかし、シリコン半導体デバ(4) ＰＷを基板に酸素、もしくは水素を打込み熱処理をしイス製造分野では伸長が見られるものもあるが、ＤＲＡＭて絶縁層を形成、或は２枚を熱処理により貼り合わせのように、景気の低迷による需要の減少と高コストによる絶縁膜を形成するＳＯＩ（Silicon on Insulator：

価格対応力の不足で事業体質が弱められ、結果として

SOI）
ウエハーを造るＳＯＩ製造プロセス

設備投資の遅れが規模の縮小を招き、市場の支配力を(2) (3) (4)はＰＷ製造プロセスを中心に据えると枝流、失いつつあるものもある。現在、色々な事業の再構築が下流に配されるプロセスとなる。

行われながら今日に至っている。経営合理化の最適化

本稿は、他のウエハー加工に共通するところも多いので、を行い産業としての地歩を冠たるものに回復せしめて欲ＰＷ製造プロセスを取上げて解説をさせて戴くことにする。

しいものである。

ＰＷ製造プロセスは設備・装置の種類や大きさの相ウエハー加工は、酸化物系（水晶、サファイヤ）、セラミ

違、配置・配列の組合せ、使用消耗材、治工具の種類

ック系（窒化アルミ、アルテイック、アルミナ、チタン酸バリなどによって様々なプロセス構成が可能であり、会社やウム）、化合物系（ガリウム砒素、ガリウムリン）、金属系事業所が異なると要所は同じでも皆異なるプロセスと言（シリコン、アルミ、銅）など多岐にわたる分野で実施され、っても過言ではない程に複雑多岐となっている。

いずれも規模を拡大しつつある。シリコンウエハー加工

ｐｐｂオーダーの不純物コントロール、サブミクロンもしく

は数量的にも圧倒的に大量で口径も飛び抜けて大きく、はナノメーターオーダーの平坦度や表面粗さのコントロー

また平坦度や表面清浄に対する品質要求も一段と厳し

ルが製品に要求されるため、ウエハー加工事業所は、

いものがあり、
ウエハー加工を代表するものになっている。

それぞれに知恵と工夫を加えておりその結果として独自

このような理由から、シリコンウエハー加工プロセスを本独特の加工プロセスが出来上がったものと考えている。

稿に取り上げた次第である。

8（Diffused Wafer：ＤＷ）
を造るＤＷ製造プロセス

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

本稿では、図−1に示したプロセスブロック図を典型例

シリコンウェハー加工プロセスの化学品特性と問題点にプロセスの流れに従って解説を行う。また、ここで取上

2. シリコンウエハーの種類と応用デバイスの関係

げる化学品は、ウエハーに直接接触をする部材、薬剤等に限らせていただいた。品質に与える影響が相対的

シリコンウエハーは応用デバイスの付加価値（販売価に大きいためであるとご了解を戴きたい。この最後に、格）に合せた品質グレードで、更にはデバイス加工のしシリコンウエハーは色々なシリコン半導体デバイス製造

易さに合せて使用され通常以下のようになっている。

の母材となっており、それがどの様に造られるかを知ってシリコンウエハーの種類

いただくと共にデバイス製品の動向も併せて知っていた(1) スライスドウエハー（ＳＷ）

だくのが良いのではないかと考え、これら製品の市場動(2) ラップドウエハー（ＬＷ）

向等をプロローグとしてご紹介することにした。データ−(3) エッチドウエハー（ＥＷ）

ベースは経済産業省の鉱工業指数により、数値を加工し(4) 拡散ウエハー（ＤＷ）てご理解を増すようにした。

＊応用デバイスの種類
・ＦＺ結晶品が主流でＣＺ品は少なくダイオード、トランジ

1. シリコン単結晶の種類

スター、サイリスターなどのデイスクリート素子
・高耐圧品はＤＷを基板にする

シリコン単結晶は、ＦＺ（Floating Zone）法とＣＺ(5) ポリッシドウエハー（ＰＷ）（Czochralski）法によって製造され、ＣＺ法品が全生産•ＤＲＡＭ、ＳＲＡＭなどのメモリー素子、バイポーラ

量の95％を、残りがＦＺ法品というところである。

素子、ＭＰＵ、ＣＰＵ素子などのロジック素子

ＦＺ法は、棒状の多結晶シリコンをアルゴン雰囲気で高周波コイルによる加熱溶融し、種結晶に接触せしめて棒状のまま引き下げて製造する。高抵抗率ウエハー基板(6) エピタキシャルウエハー（ＥＰＷ）•メモリー素子、ＣＣＤ、高周波高耐圧のデイクリート品(7) ＳＯＩウエハー（ＳＯＩ）に向いた結晶で、中性子照射によって抵抗率を軸方向、•高速のＭＰＵなどのロジック素子、高耐圧のデイス

面内方向に一様にすることができる特徴がある。製法はクリート素子コンパクトであるが、大口径の棒状多結晶を入手しにくいこと、ＰＷには、アルゴン、水素、窒素、酸窒素などの雰囲

中性子照射ができる場所が限られるなどの制約もある。

気ガス中で熱処理を施して表層の結晶欠陥をなくしたウ

一方ＣＺ法は、塊状の多結晶を石英ルツボに入れアルエハーやＣＶＤ膜を施してゲッタリング効果を上げたウエゴン雰囲気で抵抗加熱によって溶融し、種結晶に接触ハーがある。生産性、歩留りの向上に寄与するところがせしめて徐々に引き上げて製造する。抵抗率は、ドーパ大きいのでこうした附加価値を持つウエハーが好まれる

ント濃度でコントロールするが、軸方向、面内方向の抵傾向にあるが、コストの回収が難しく悩ましいものがある

抗率を一様にすることがＦＺ法に比べて難しくまた、ルツと聞いている。

ボや炉材からの不純物の混入もあるので、このコントロールは難しいという問題点がある。

3. シリコン半導体デバイスの市場動向

塊状の多結晶があれば引上げ機の大きさ次第で大口径（直径400m/m）の単結晶も造ることができ、機械的我が国の半導体生産は、世界シェアの50％に至るま強度のある単結晶ができるというメリットがあり、大口径での規模となり隆盛をきわめたのは10年前の1992年頃

ウエハーはすべてＣＺ法によっている。

までのことである。

ドーパントの種類は、砒素、りん、アンチモン、ボロン、

この頃にはじまったバブルの崩壊による景気の低迷にゲルマニウムなどからなる。ボロンはＰ型の基板に、他はより、わが国の半導体生産も落込みを余儀なくされ、再Ｎ型品に使用されている。単結晶の年間生産量は、年

び米国勢にシェアを奪われることになった。これは、情間4500トン前後である。単結晶のドーパント別の生産比

報伝達の共有化、迅速化などを通じて、生産性の向上

率はおよそ75％がボロン品、りん品が12％、アンチモン

やコスト削減を果すために、いわゆる経営の合理化策と品が8％、砒素品が5％といったところである。

して米国企業ではパソコンが盛んに用いられるようにな

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

9

り、この結果を生んだものと考えている。
その 後パソコンの 普 及は世 界 的な広がりを見せ 、うにしたことが、日米の差を生んだように思う。

1995年には我国のＤＲＡＭを中核とする半導体生産も対1998年頃には、ＤＲＡＭの製造技術にも米国発のシュ

前年度比42％増の空前の成長を見せたが、長続きはせ

リンク技術、銅配線技術などが実際に応用されるなどデずに線香花火の最後の状態にも似た輝きの結果となっバイスの性能と価格に於いても日本勢は大きな遅れをとた。パソコン需要の一巡によりＤＲＡＭは需給のバランス

らされるようになった。1999年には携帯電話などの爆発を失い価格破壊を生じ、1996年には日本の半導体産業的な需要増もあって生産は一時的に活況を呈したが、長も1985年以来のマイナス成長となった。

続きせずであった。デバイス需要もＤＲＡＭとは異なるフ

日本のＤＲＡＭ中心の半導体生産に対し、米国ではラッシュメモリー、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）
といＣＰＵ、ＭＰＵといったロジックデバイスが中心で価格破ったものの需要が旺盛になり、日本もロジック系デバイス①②

図-1 シリコンウェーハ製造プロセスシート

10

壊が起きにくい事業体質にし、過当競争に加わらないよ

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

シリコンウェハー加工プロセスの化学品特性と問題点

へ重心を移すきっかけになった。

前後、日本が21〜23％位となっている。50％のシェアー

2000年に入ってからは、ＤＲＡＭにコスト競争力のあを持っていた往時に比べれば凋落の状態にはなっている韓国、台湾、シンガポールの成長が著しく日本のメーカ

るが、まだまだ充分に巻き直しができる地位にはある。シーの凋落が決定的となり、事業の合従連衡、縮小、撤

リコンウエハーのような素材産業にあっては、その最終退、外注生産委託（ＯＥＭ）などがマスコミを賑わせるよ

製品の市場動向を知ることが、そして自己の寄与率がいうになり今日に至っている。今後も生き残りが激しくなってかほどのものであるのかを知ることは大事なことである。

いるのは事実のようである。

シリコンウエハー産業の半導体デバイス産業に対する寄ＷＳＴＳ（World Semiconductor Trade Statistics）

与率（依存率）は5％程度のものと言われ、ほぼこのレベのデータによると、シリコン半導体の市場規模は米国がルを保って来たが、最近では価格破壊の影響もあってこ30〜32％、アジア太平洋地域が24〜26％、欧州が20％の維持が相互に難しくなっている。経常収支が両産業と

①へ→

②へ→

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

11

もマイナス方向にに陥いっているのはこの現れであろう。
半導体産業分野の統計方法が1999年に改められそ(2) 図-2 半導体集積回路の生産、在庫動向
・数量変動が大きいので3ヶ月移動平均で表示。

れ以前のデータ紹介は出来ないが、1999年以降の国内半導体デバイス製品、半導体部品としてのシリコンウエ
ハー製品、そして最終出荷製品であるコンピューター、携（在庫積上り局面）（サイクルの山）

帯電話の生産、出荷、在庫の推移状況を紹介する。感
触を知っていただければ幸いである。統計データは、経（在庫調整局面）（在庫積増し局面）

済産業省の鉱工業指数に基づいてまとめられている。
金額データも存在するが変動が激しいので本稿では数量のみの扱いとさせていただくことにした。

（サイクルの谷）

また、統計の確報値を得るには2〜3ヶ月の時間遅れが生じると云うことをご理解願いたい。
(1) 表-1 生産出荷在庫の指数（確報値）（意図せざる在庫減少局面）

縦軸：在庫前年同月比 横軸：生産前年同月比

図-2の読み方デバイスの分類、数量規模に注目して欲しい。
表-1 生産・出荷・在庫指数確報（＝機械統計） 平成14年8月分

図-2 半導体集積回路生産・在庫数量（個数）動向

1999年初頭より約１年間は活況、その後生産調整を行うも在庫増の局面が続き、01年初頭より生産増に移行し02年3月頃より繁忙の生産が行われるものの8月頃より在庫増の懸念あり生産調整が必要の模様。
(3) 図-3 論理素子の生産・在庫動向(4) 図-4 記憶素子の生産・在庫動向(5) 図-5 ＤＲＡＭの生産・販売・在庫推移(6) 図-6 フラッシュメモリーの生産・販売・在庫推移(7) 図-7 ＤＲＡＭの生産・在庫動向(8) 図-8 シリコンウエハー合計の生産・販売・在庫推移

12

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

シリコンウェハー加工プロセスの化学品特性と問題点

図-3 論理素子（マイコン・ロジック）生産・在庫数量（個数）動向

図-6 フラッシュメモリー生産・販売・在庫推移

図-4 記憶素子（メモリ）生産・在庫数量（個数）動向

図-7 DRAM生産・在庫数量（個数）動向

図-5 DRAM 生産・販売・在庫推移

図-8 シリコンウェーハ合計 生産・販売・在庫推移

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

13

• 数量表示が平方メートル［m2］単位となっている。
6インチウエハー面積＝1.766×10−2［m2］8インチウエハー面積＝3.140×10−2［m2］12インチウエハー面積＝7.065×10−2［m2］従って、1㎡のシリコンウエハーの枚数は以下の通りとなる。
6インチウエハーは56.6枚分
8インチウエハーは31.8枚分
12インチウエハーは14.2枚分となる。

14

図-9 シリコンウェーハ合計 生産・在庫数量動向

図-11 8インチウェハ生産・在庫数量動向

図-10 6インチウェーハ生産・在庫数量動向

図-12 12インチウェーハ生産・在庫数量動向

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シリコンウェハー加工プロセスの化学品特性と問題点(9) 図-9 シリコンウエハー合計の生産・在庫動向

4. シリコンウエハーの要求品質(10) 図-10 6インチ（150mm）
ウエハーの生産・在庫動向(11) 図-11 8インチ（200mm）
ウエハーの生産・在庫動向

シリコンウエハーに求められる要求品質は、デバイス(12) 図-12 12インチ（300mm）
ウエハーの生産・在庫動向。

のニーズによって様々である。このために重金属不純• 300ミリウエハーは、200ミリウエハーに比べ 少なくともやパーティクルの要求仕様に応じて、或は口径による物

30％のコストダウンが図れるとされ、ＤＲＡＭや量産形の理的、機械的な制約で専用プロセスラインが構築されロジック素子への応用が期待されているが、設備投資額ているが、形状が似ているのでプロセスは「大は小を兼が膨大であるため、顧客は日本のトレセンティーテクノロ

ねる」の併用方式を採ることもできるのである。万能のジー、韓国のサムスン、台湾のＴＳＭＣなどに限られ需要プロセスラインが構築できれば、3インチの小口径品かが少ない割にウエハーメーカーのキャパシティが大きく在ら300ミリの大口径品まで一つのラインで造り込みをす

庫増を招き易い傾向がある。需要が本格化するのはる混流併産生産方式を採ることができるのである。ウエ

2004年以降ではないかと思われる。

ハーの搬送系が混流方式では機械的に調整が難しか(13) 図-13 パソコンの生産・販売・在庫推移

ったり、エッチング槽や洗浄槽の薬液量を調節すること(14) 図-14 携帯電話の生産・販売・在庫推移が難しかったり、無駄が多いなどで実際にはこの様なラインは何処にも設備されていないが造ることは可能なのである。
その時代の最先端仕様、平たく言えば 最も厳しい仕様品が造れるプロセスが出来あがれば 、その様な厳しい 仕 様 品でなくてもすべ てのウエ ハーがそのレベルの製品に自然にもしくは自動的になってしまうとい
うことでもある。従って、ウエ ハーに求められる品質
は、品種毎に一つであるともいえる訳である。ＰＷに対する現時点での要求品質は次の品質仕様のものとなろう。
(1) ウエハー表面に対する仕様
・平坦度はサイトサイズ（25m/m×25m/m以上で）

図-13 パソコン生産・販売・在庫推移（'98.1〜'02.8）

0.1μm以下
・微少欠陥はOSF、COPなどのなきこと・パーティクルは0.1μm以上のもののなきこと。
・重金属の汚染レベルは10 9 atoms／cm2以下のこと。
(2) 端面及び裏面に対する仕様
・端面及び裏面は鏡面でパーティクルは表面と同じレベルであること。
・重金属汚染レベルも表面と同じであること。

図-14 携帯電話生産・販売・在庫推移（'98.1〜'02.8）

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

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遺伝子情報を医薬品へ（その9）
海外のバイオクラスター(2)英国
Medicines Based on Genetic Information IX Bio-cluster (2) England
塩野義製薬株式会社 創薬研究所 主管研究員

坂田 恒昭

TSUNEAKI SAKATA, Ph.D.
Shioogi Research Laboratories Shionogi & Co.

今回は前回に引き続き海外のバイオクラスターの紹介として、英国のバイオテクノロジー産業について紹介する。本稿を書くにあたっては英国総領事館・目時由紀氏のご協力を頂いた。なお、次回は英国の中でも独自の発展を遂げている
スコットランド地域を紹介する予定である。

9.1 英国のバイオテクノロジーの概要

Bioscience, North West Biotechnology Initiative（BioNow）,BioSciNorth, London Biotechnology

英国はバイオテクノロジーにおいて欧州の先頭に立っ

Network, Southern Bioscience等が含まれている。

ている。英国においてバイオテクノロジーが発展してきた図1に英国の製薬企業とバイオテクノロジー企業マップを理由として次のことが挙げられる。

示す。

1) 英国は中世より卓越した科学の中心地である。
2) 英国は経済的・政治的に恵まれた条件を持ち、規制面でも明確かつ公正な制度がある。
3) 英国は欧州で最大のベンチャー・キャピタル市場である。
4) 英国内には約285社のバイオテクノロジー専門企業があり、さらに400社を超える企業がバイオ科学関連の活動に関わっている。
5) 欧州のバイオテクノロジー関連企業の18%が英国に立地している。
6) 1994年から2000年の間に英国のバイオテクノロジー
関連企業は1.5倍に増加している。

図１ 英国の製薬企業（左）とバイオテクノロジー企業（右）マップ

英国のバイオテクノロジー産業は核となる大学、研究所や法的機関を中心とした地域密集型の発展を遂げている。
英国のバイオテクノロジー産業は、優れた科学研究基盤

9.2 バイオテクノロジーの世界的センターとしての英国を持つ地域に集中しており、その地域は高度なインフラス

16

トラクチャーの供給によって支えられている。多くの産業主

英国内には約285社バイオテクノロジー専門企業があ導ネットワークが確立され、地域の大学・研究機関・開発組

り、欧州のバイオテクノロジー企業の約5分の1を占めて織とバイオテクノロジー企業の諸活動とを結びつけている。

いる。さらに、バイオ科学関連の活動に関わる企業は

この中には、Oxfordshire Biolink, Eastern Region

450社を越えている。1994年から2000年までに、英国

Biotechnology Initiative（Cambridge）,York

内のバイオテクノロジー関連企業の数は150%増加した

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

遺伝子情報を医薬品へ（その9）（Ernest &Young 2000/DTI,2000）。このような企業

9.3 投資と金融

は、核となる大学、研究所、法的機関を中心に数多くの重点地域に集中している。

英国には活発な投資社会があり、欧州で最大のベン主要15社のバイオテク株の株式運用を評価するロン

チャー・キャピタル国である。1999年には、ヨーロッパのドンのバイオセンチュリー・インデックス（BioCentury

総株式資本・ベンチャーキャピタル資本投資のうち46%

Index）によれば、1999年に63%であったものが2000年

を、また投資全体の20%を、英国が占めた。1999年にには80%にまで上昇している。2000年の中心的バイオ

約13億ポンドのベンチャー・キャピタル資金がハイテク部

テク推進企業は Celltech、Cambridge Antibody

門への投資に調達された。

Technology（CAT）、Oxford GlycoSciencesであった（Financial Times,2000/2001）。
次のような様々な要素が、全てのタイプのバイオテクノ

1999年に、バイオテクノロジー及び医療関連分野において、3億9,200万ポンド（5億6,400万米ドル）を越える資金が投資された。これは1998年からの1年間に48%の増

ロジーの実践として、英国の力に寄与している。

加を見たことになる。図2は、近年における英国のバイオテ① 世界市場に製品を提供できる主要な多国籍企業とのクノロジー投資における著しい成長を示している。
（図2）

優れた共同研究。英国だけで20を越えるバイオ科学

英国の多数のベンチャー・キャピタル企業がバイオテク

分野のノーベル賞を受賞。
② 年間6億5千万ポンド（9億6千万米ドル超）に及ぶ政府のバイオ科学関連研究の予算。ウェルカム・
トラスト（Wellcome Trust）、ガン研究キャンペーン
（Cancer

ノロジー及び関連分野への投資を専門としている。
百万ポンド
450
400
350
300

Research Campaign）、
王立ガン研究基金（Imperial

250

Cancer Research Fund）のような慈善団体もまた、

200

かなりの資金を提供。

100

150

50

③ サンガー・センター（Sanger Centre）やロズリン研究

01991

所（Roslin Institute）
を始めとする数多くの世界的に名の通った研究所、バイオインフォマティックス研究所

1992

1993

1994

1995

1996

1997

1998

1999

出典：EVCA,2000

図2 英国のバイオテクノロジー・医療・保険部門におけるベンチャー・キャピタル投資（Bioinfomatics Institute）のような国際的な研究機
関、さらに欧州医薬品評価局（European Agency

9.4 法的規制の枠組

for the Evaluation of Medicinal Products）や 医
薬品管理局（The Medicines Control Agency）のような法的機関を英国はホスト国として支援。

英国政府は、人の健康と安全を守ると同時に、産業への法的規制を軽減する努力をしている。英国は、欧④ 見識の高い投資集団、高い能力を持つ特許代理人

州でバイオテクノロジー発展に影響を及ぼす規制やそのや経営コンサルタント、超一流の毒物検査、臨床試験、他の対策が、産業の関心を十分に考慮に入れるよう努

その他専門家サービスの存在。

力をしている。これでバイオテクノロジーにふさわしい規⑤ 世界トップクラスの、革新に適した卓越した環境と研究開発支援。

制環境が整ったが、その諸要件に次のような目標を定めている。

⑥ バイオテクノロジー部門が繁栄できる支援体制を発① リスクに見合う。

展・維持するための政府、産業、金融界の強く結束し② 科学に基づく。

た協力関係。

③ 簡明である。

⑦ 非常に成功している製薬・ヘルスケア産業 − 現代

④ 柔軟で科学知識の進歩に素早く反応する。

バイオテクノロジーの唯一かつ最大のユーザー。英国⑤ 革新に共感的であり、かつ適切な安全基準を維持する。

内に拠点をおく製薬会社による2000年の研究開発投

英国では、新食品等の製造許認可に関しては新食品・資は20億米ドル超。

加工諮問委員会（Advisory Committee on Novel

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

17

Foods and Processes−ACNFP）
が、診断については医（Genome Valley Report（1999年11月））は、英国内のバ

療器具局（Medical Devices Agency−MDA）
を通じて、

イオテクノロジー部門の競争力が確実にかつ恒常的に実際的かつ効果的な方法を取っている。
また、
遺伝子治

備わるようにするための主要な行動領域を特定した。

療については、遺伝子治療諮問委員会（Gene Therapy

バイオテクノロジー産業への様々な支援は、DTIを通Advisory Committee−GTAC）が実際的、合理的なじて受けることができる。この支援の主な活動内容は下方法で管理している。環境放出諮問委員会（Advisory

記のようなものある。

Committee on Release to the Environment−
ACRE）
は遺伝子組み替え有機体（GMO）の承認に関する助言を与える。

9.6.1 ゲノミクスの利用（Harnessing Genomics）
これは2,500万ポンドの新しいプログラムであり、急速規制システムの見直しに続いて、政府はバイオテクノに発展するバイオテクノロジー／ゲノミクス科学に企業がロジー問題とその環境について広く諮問するために、農取り組むための支援を行うことを、またさらに、英国の健業・環境バイオテクノロジー委員会（Agriculture and

康管理の向上や実際に社会的・経済的価値をもつ環境

Environment Biotechnology Commission−AEBC）

への応用につながる新しい多数の商品、プロセス、及を設立した。また遺伝子委員会（Human Genetics

びサービスにその技術を応用するための支援を目的としCommission−HGC）が遺伝子技術と人体への影響のている。このプログラムは、2001年2月13日刊行の、調査を行い、政府に戦略的助言を与えるために設立さOpportunity for All in a World of Change と題れた。食品安全管理局（Food Standards Agency−

された白書の中で公表された。このプログラムには次のFSA）
は、遺伝子組み替え食品の評価と新しい施策の展ような多くの要素が含まれている。

開に責務を負っている。

① 産業と結びついた研究開発を刺激し、特にバイオ・イ

欧州医薬品審査局（European Medicines Evaluation

ンフォマティックスのような技術を可能にすること。

Agency：EMEA）は、欧州のバイオテクノロジーから② バイオ製造産業を奨励すること。

派生する薬品及び獣医関係薬品のFirst Track認可③ 米国の経験豊かなビジネス指導者から学ぶことが出来るの責任を負っている。この局はEU加盟国全てに有効ように、
新規バイオテクノロジー関連企業を支援すること。

な単一ライセンスを与える。英国医薬品管理局（UK④ 新規バイオテクノロジービジネスのためのバイオ・イン

Medicines Control Agency：MCA）は他の医薬品にキュベーターや専門家指導サービスを促進すること。

認可を与え、国際的にも高い評価を得ている。
9.6.2 バイオテクノロジー活用プラットフォーム・チャレンジ
9.5 バイオガイド（BioGuide）（The Biotechnology Exploitation Platform（BPE）Challenge）
これはDTIからの約640万ポンドの援助を伴った、総貿易産業省（DTI）
は、バイオ科学研究の全ての面に

額1,200万ポンドを越えるプログラムであり、公的な資金関わる規制について、理解と利用を促進する目的で、助成を受けた科学基礎研究機関のための助成金コンペ

バイオガイド（BioGuide）
を作成した。それはまた、政府である。この研究機関の目的は、相互補完的なバイオ

各省庁と研究会議の役割と責任を定めている。

科学研究共同体を組織し、その研究結果をより効率よく管理・利用することによって相互の協力を促すことであ9.6 政府援助る。このチャレンジは、知的財産（IP）の戦略的管理を向上させ、英国からの技術流失をせき止め、この共同体

貿易産業省内の化学・バイオテクノロジー部（Chemicals

18がIPを管理しその潜在力を市場に適合させるために必and Biotechnology Directorate）
は、科学的基礎を利要な技術者を雇うことができるように支援する。

用し、その部門の発展に必要なあらゆる状況に影響を与え

BPEのこれまでの主要な業績は次のとおりである。

ることによって、英国バイオテクノロジー部門の競争力をつ① 14のBEP共同体がすでに英国内で設立され、加えてけることを目標としている。DTIの遺伝子バレー・レポート

6つの共同体が発足直後、あるいはまさに発足直前。

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

遺伝子情報を医薬品へ（その9）② 商業開発の可能性がある600近くの技術の特定。

その結果470以上の雇用を生み出し、1億8,000万ポン③ 125の新しい特許の提出。

ドを越す資金調達が可能となった。5つのプロジェクト④ 60の新しい商業ライセンスの契約。

にはバイオ・インキュベーター施設（3Bs, Manchester,⑤ 45のバイオテクノロジー関連の新規企業の設立。

Babraham Bioincubator, Babraham；Oxfordshire⑥ 27の技術移転専門職の創設。

BionNet, Oxford；SWIBTECH, Porton Down；
BioincubatorYork Limited, York）が含まれている。

9.6.3 バイオワイズ（BIO-WISE）

このプログラムは今後の申請には応じていない。しかし、これは1999年に創設された1,300万ポンドのプログラ

Opportunity for all in a World of Change 白書

ムである。その目的は、バイオテクノロジーの使用と英国の発表内容によれば、「ゲノミクスの利用（Harnessing

バイオテクノロジー供給産業の発展を通して、英国産業

Genomics）」の下での追加資金が、小規模な活動に対の競争力を養うことにある。コスト削減、環境上の利益して利用可能になるだろうと予想されている。

向上、ビジネス・リスクの縮小がバイオテクノロジー使用の主たる理由である。多くの場合、バイオテクノロジーに

9.6.5 英国バイオテクノロジー財政諮問局

よって企業は法律を遵守しやすくなる。他の方法と比較（UK Biotechnology Finance Advisory Service）

して、結局バイオテクノロジーは、より一層良く、早く、清DTIは、英国バイオテクノロジー財政諮問局に対して潔に、安く、効果的に物事を行う方法に繋がる。

財政コンサルタントの支援を行っている。この無料サービ

このプログラムの活動内容は次の通りである。

スの目的は、現在あるバイオテクノロジー企業と、適切な① ヘルプラインやウェブサイト
（http://www.dti.gov.
uk/biowise）
を通じた独自のアドバイス。
② バイオテクノロジーの利用による経済的・環境的利点を説いた無料刊行物。

融資形態を利用するために新しく設立する企業の両者を支援することにある。このサービスは、民間部門の資金と政府助成金の可能性を特定すること及び他の援助形態へのガイダンスを与えることに役立っている。

③ 産業バイオテクノロジー専門家による中小企業への無料訪問。

9.6.6 バイオテクノロジーのための製造支援策④ バイオテクノロジーの実演、ネットワーク情報へのアク（Manufacturing for Biotechnology−MfB）

セス機会の提供、そしてバイオテクノロジー供給業者

この支援策は、バイオテクノロジー関連中小企業が製に対するアドバイス等を与える無料イベント開催。

造の機会について意識を高めるためのものである。支

⑤ バイオテクノロジーの利点を実践する会社への助成

援の形態には、ワークショップ、情報、経営方策、訓練金支給（約100万ポンドのバイオワイズ資金がすでに9

助成金、実施可能性調査のための助成金がある。

件の実践プロジェクトに委ねられた）。
9.6.7 スマート
（SMART）
9.6.4 バイオテクノロジー・メンタリング及びインキュベーター・チャレンジ

これは個人や中小企業による、次のような研究開発を（Biotechnology Mentoring and Incubator（BMI）Challenge）

支援する助成金を提供する。

これは、新興バイオ関連企業の成長を助けるために、① 技術の使用法の見直し。

インキュベータや専門家によるビジネス・メンタリングサービ② 技術、研究、開発の利用。

スの提供を奨励するコンペであった。1996年に立ち上③ 技術的に革新的な製品や製造行程の開発（技術チェック、げられ、総予算490万ポンドの3年間にわたるプログラム

技術調査、マイクロ・プロジェクト、実行可能性調査、であった。50万ポンドに達する報償金が、革新的な指導

開発プロジェクト及び例外的な開発プロジェクトを含む）。

サービス、専門施設、実験設備の提供に成功した機関に与えられた。

9.6.8 リンク
（LINK）

BMIは現在12のプロジェクトを支援しており、そのプ

このスキームは、国家経済にとって戦略的重要性を持

ロジェクトは80を超える新興バイオ関連企業を助成し、つ分野の科学・技術支援において、公共部門と民間部

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

19

門間の協力関係を作るための確立した枠組みを提供す9.6.12 事業振興基金（Enterprise Fund）

るものである。現在、DTIはこのリンク・プログラムを通じこの基金の下で、DTIは、見込みのあるビジネスチャて、約30のバイオテクノロジー関連プロジェクトを支援しンスがあるにもかかわらず、通常の資金調達が不可能なている。政府の各省庁（Government Departments）

小企業が融資を受けるために、
小企業ローン保証（Small

及び政府研究会議（Research Councils）
は各プロジェク

Firms Loan Guarantee）
を提供する。この事業振興基トの適格コストの50%を限度とした資金援助を行う。残りの金には、地域ベンチャー資本基金（Regional Venture

コストは産業界からの資金でまかなわれることになっている。

Capital Funds−地域開発公社（RDA）
を通じて提供）リンク・ゲノミクス応用プログラム（the LINK Appliedと、英国ハイテクノロジー基金（UK High Technology

Genomics programme）は、健康管理応用のためのFund）が含まれる。

ゲノミクスにおける開発が産業界で利用されることを促進するために、総額1,500万ポンドの公的補助（DTI,BBSRC及びMRCから）を受けて2000年7月にスタートした。

9.6.13 新規／再生可能エネルギー・プログラム（New and Renewable Energy Programme）
ETSU（AEA Technology Environment）
によって現

9.6.9 リンク・バイオ治療プログラム（the LINK Bioremediation Programme）
このプログラムは、総額750万ポンドの公的補助（主要在運営されているDTIのこの制度は、バイオマスや生物廃棄物からできる燃料の生産と利用に関する研究を支援している。

なスポンサー：BBSRC, DTI, EPSRC及び環境局）
を受けて2001年4月にスタートした。これは汚染された土地、

9.7 スコットランドの状況

水、空気の浄化のためにコスト効率の高いバイオ科学解決策の開発を援助しようというものである。

バイオテクノロジーにおける開発支援は、スコットラン
ド行政事業振興・生涯学習省（Scottish Executive

9.6.10 ユーレカ（EUREKA）

Enterprise and Lifelong Learning Department -この制度の目的は、ユーレカ加盟国の企業や組織間

SEELLD）
より受けることができる。スコティッシュ・エンタ

の協力関係によって企業競争力をつけ、先端技術の利ープライズ（Scottish Enterprise）
は、バイオテクノロジー

用を進めることにある。様々なプロジェクトが産業界主導専門家グループを有し、スコットランド・バイオテクノロジー

でかつ前競争段階であり、欧州のバイオ科学分野から関連企業の発展のための戦略を実施している。

新しいパートナーを探すための確立した場を企業、特に中小企業に提供する。
9.6.11 欧州連合第５フレームワーク・プログラム

9.8 ウェールズの状況
技術移転グループ（Technology Transfer Group）（EU Fifth Framework Programme-FP5）はウェールズ開発庁（Welsh Development Agency）

このプログラムは、1999年から2002年にわたるECのの一部門として、技術の応用、管理、開発を通してビジ研究基金プログラムである。その目的は、企業間またはネスを成功に導くことに専念している。

産学間の関係を築くことになる共同研究開発プロジェク
トに資金援助を行うことによって、企業競争力をつけ、欧9.9 北アイルランドの状況

州全体の生活の質を向上させることにある。FP5には20

現在7件のプロジェクトがあり、そのうちの4件は「テーマ

北アイルランドの研究開発に関する施策は、産業研設定」に基づく研究、技術開発及び 実施（research,

究技術局（Industrial Research and Technology

technological development and demonstration -Agency-IRTA）という専門の政府部局によって実施されRTD）
プログラムであり、3件はプログラムの横断的活動ている。その部局はまた、企業の研究開発のために広を支援するものである。

汎な財政的・専門的支援サービスを提供する。

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

遺伝子情報を医薬品へ（その9）9.10 世界的な研究インフラストラクチャー方において）
を支援している。それらの研究は、遺伝子工学・タンパク質工学、単一クローン抗体、遺伝子治療、英国には、幅広い科学分野において研究と訓練を支

伝染性微生物といった人間の健康管理に関連するバイ援する責務を委ねられた7つの研究会議（Research

オテクノロジー分野を支えている。MRCは、それ自体でCouncil）がある。バイオテクノロジーに関わる3つの研は通常、特定の製品開発の研究に資金援助を行わない。

究会議はそれぞれ、バイオテクノロジー関連の研究を行研究会議の方針は、産業関連技術の移転、研究会議のう独自の研究施設を持っている。この研究会議は産学

発明の商業的利用、及び健康管理分野での新製品開

協同の基礎研究プログラムを推進している。

発を促進するために、委員会と産業の協力関係を育成することにある。

9.10.1 バイオテクノロジー・生物科学研究会議（Biotechnology

MRCは、
新規バイオテクノロジー企業の発展のために、

and Biological Sciences Research Council：BBSRC）

いくつかの英国ベンチャー資本との緊密な連携を維持

およそ3億2,000万米ドル（2億1,600万ポンド超）の年している。新規子会社である、英国医学ベンチャー・マ

間予算を持つBBSRCは、医療とは無関係のバイオ科学

ネージメント社（UK Medical Ventures Management

基礎・戦略研究にとって重要な英国政府の助成組織であLtd.）の後援を通じて、MRCは萌芽状態の事業や初期る。この研究は、農業、バイオ加工、化学、食品、健康段階にある投資ファンドを促進し、新興企業への初期融管理、薬品分野を含むユーザー産業を支えている。

資を行うために民間部門から4,000万ポンドを調達した。

BBSRCは、この研究会議が支援する研究・訓練プログ
ラムを最大限に活用する責務を負っている。この研究会

これらの新興企業の少なくとも75%がMRCの技術を基盤とする予定である。

議は知識移転の推進、イノベーションに対する障害除去、企業関連の訓練のための施策を開発し、実施している。

9.10.3 自然環境研究会議（Natural Environment Research Council - NERC）

9.10.2 医学研究会議（Medical Research Council-MRC）

NERCは、自然環境における微生物・動植物の生態と

総予算額4億8,000万ドル（3億2,500万ポンド超）を有変種に関する研究に対する責務と専門的知識によって、するMRCは、膨大な基礎研究（自らの施設と大学の両バイオテクノロジーにおいて目覚しい役割を果たしている。

新しい「THE CHEMICAL TIMES」の発刊にあたって −表紙デザインの変更とA4版化−「THE CHEMICAL TIMES」は昭和25年（1950年）3月の創刊以来、半世紀以上の永きにわたり関東化学と共に歩み、187号の発刊を迎えました。おかげさまで多くの読者の皆様に学術誌としてご愛顧されております。さらにご愛読者の皆様に親しまれる「THE CHEMICAL TIMES」をめざし、今号より装いを新たに改訂いたしました。今後ともますますのご愛顧の程よろしくお願い申しあげます。
【創刊号からの表紙の変遷】
従来のB5版から、今回の通巻187号をもってA4版に変更いたしました。
創刊以来5回目の表紙図柄であり、従来のイメージを一新いたしております。今後は毎号毎に表紙写真を差しかえいたします。季刊ではありますが、高山植物の写真をお楽しみください。

初代

1号〜26号
S25（1950）3月〜S37（1962）10月

第2代

27号〜100号
S38（1963）1月〜S56（1981）4月

第3代101号〜154号
S56（1981）7月〜H6（1994）10月

第4代

155号〜186号
H7（1995）1月〜H14（2002）10月

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

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ドイツの切手に現れた科学者、技術者達（１）アルベル卜ス・マグナス
Scientists and Engineers in German Stamps (1). Albertus Magnus
筑波大学名誉教授

原田馨

KAORU HARADA
Doctor of Science,Professor Emeritus,University of Tsukuba.

連続掲載にあたって
今回「ドイツの切手に現れた科学者、技術者達」と云う標題で短い読み物を連載することになりました。標題に科学者、技術者と云う言葉を使いましたが、古い時代にはこのような言葉はありませんでした。科学者と云う言葉は19世紀の30年代に科学研究を行い、その事を職業とする人が社会に現れた時期にイギリスの学者W.ヒューエルにより提唱されました。ガリレイ、ニュートンは科学者ではなく哲学者と呼ばれました。古い時代の哲学は多くの学問を含んでいました。連載をはじめるにあたり昔は科学者と云う言葉がなかったことをまず述べた
いと思います。
西ドイツ発行（1961−1964）の有名人
普通切手、アルベルトス・マグナス（1200頃−1280）

アルベルトス・マグナム
アルベル卜ス・マグナス、Albertus Magnus（1200頃〜1280）
はドイツの神学者、哲学者そして自然学者であり、南ドイツのラウインゲン（Lauingen）に生まれた。貴族の出で、本名はAlbert,Graf von Bollstädtと云う。ラテン語に翻訳されたアリス卜テレスの古典などについて学んで得た彼の深い学識の故に偉大なるアルベルト（Albertus Magnus）、また 万能博士"（ Doctor
Universalis）と呼ばれた。アルベルトスはその学識の故に魔術師の疑いを受けたが、彼のキリスト教信仰の正統性とキリスト教組織における高い地位の故にその疑いから免れることができた。
ゲルマン諸族の侵入により西ローマ帝国は崩壊し古代は終わつた。崩壊した
広大な地域はキリスト教の新しい権威のもとにヨーロッパを形成した。それ故ヨーロッパはキリスト教と不可分の関係にある。西ヨーロッパの地域はローマカトリ
ックにより支配され、長い中世の間に古代文明の遺産を失いギリシア語を解する者も居なくなつた。12世紀になるとアラビア語に翻訳されたギリシアの古典をラテン語に翻訳する作業が卜レドなどで組織的に行われるようになつた。この文化移転の運動を1400年代のイタリア・ルネッサンスと区別して「12世紀ルネッ
サンス」と云う。このように西ヨーロッパは多くの古代文化を吸収し13世紀には

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THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

ドイツの切手に現れた科学者、技術者達（1）アルベルトス・マグナス

次第に西ヨーロッパ独自の文化の創造が始つた。次の14世紀は困難な時
代（飢饉、戦争、ペスト）であつたが、これを乗り越えた西欧は、15世紀以
降急速に独自の文化発展の道を辿つた。イ夕リア・ルネッサンスはこの時代における文化的爆発であり、これを準備したのが12世紀ルネッサンスであつた。これに反して西欧に先んじて500年にわたり栄えた輝かしいイスラム
文化はl3世紀以降ゆるやかに沈滞の時代に入つた。歴史の流れから見れ
ば古代ギリシアの文化がイスラム文化を介して西ヨーロッバに再び花咲いたのである。
このように13世紀の西ヨーロッパはようやく中世の文化的停滞から脱し、
キリスト教のもとに社会秩序が生まれ、農業生産が拡大し、商人階級が生れ安定した社会に学校と大学が設立され、知識人が生まれた時代であつた。そして西ヨーロッパは独自の文化の創造をはじめた。例えばl3世紀に始つた巨大なゴシック様式の大聖堂（カテドラル）の建設は西ヨーロッパがはじめて創造した巨大な独自の建築様式であつた。またアルベルトスが発展

図1
フライブルグ大学（Universität Freiburg）の或る建物の壁に大きな講義（説教）するアルベルトスの像が掲げられている。

させたスコラ学（Scholasticism）
もまた西欧が生み出した独自の学問であつた。13世紀はスコラ学の最盛期であり、アルベルトスはこの学問の最も盛んな時期の学者であつた。スコラ学はいろいろ曲折はあつたが古典古代の文化を受容し、キリスト教的思想（ヘブライズム、Hebrewism）
をギリシヤ的思想（ヘレニズム、Hellenism）と結合することによりキリス卜教の基礎を固めることを目標とした。言い換えればより広い視点から神、人、自然をキ
リスト教の本質を変えることなく論理的に関係づけ、神には神の座を構築することであつた。アルベルトスは彼の弟子トーマス・アクイナス（1225‐1214）と共にl3世紀のスコラ学を発展させた代表的人物であった。その成果は卜ー
マスの「神学大全（Summa Theologia）」に集約されている。神学以外に
アルべル卜スと卜ーマスは自然について深い学識と理解を持つていた。
アルベルトスの植物学、錬金術についての学識は同時代の知的敵対者ロージャー・ベーコン（Roger Bacon,12l4-l294）以外の多くのスコラ学者が持っていないものであつた。
アルベルトスのラテン世界における思想史上の功績は古代ギリシアの古典、特にアリストテレスの哲学及び自然学を学び、理性と信仰について明快な定義を下したことである。理性は自然界を理解することができるが、信仰は理性を超えるものであり、理性は信仰に取つて代ることができない。即ち理性には限界があり、哲学は理性の領域における活動であり、神学は信仰の領

図2ミュンヘンのドイツ博物館（Deutsches Museum）
は世界有数の大自然科学博物館である。博物館には栄誉の間（Ehren Saal）があり、自然科学と技術に貢献したドイツ人の胸像（と肖像画）がある。その中にある最も古い人物像はアル ベ ルトスの 胸像である。

域にかかわるものである。この理性と信仰、即ち哲学と神学の間に調和を求めることにより自然界と信仰の世界についての理解を深めようとした。しかしスコラ学においては理性と信仰のどちらに重きを置くかと云うことが問題となる。このアルベルトスの哲学と神学においては未だ理性の信仰に対する優位は確立されておらず、哲学の立場からの神の存在論、三位一体論などは哲学の領域を超える問題であつた。アルベルトスは更に霊魂について論じ、神に到る瞑想へと進む新プラトン主義的神秘的霊魂論を展開した。このようなアルベル卜スの立場は後のドイツ神秘主義の起源となつたとされている。
アルベルトス・マグナスの記念碑、記念板はドイツ各地にあるが、私が訪ねることができた記念碑は図1〜7などであつた。
（尚、掲載写真は、全て著者原田馨先生の撮影によるものです）

THE CHEMICAL TIMES 2003 No.1（通巻187号）

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ドイツの切手に現れた科学者、技術者達（１）アルベル卜ス・マグナス
図4アルベルトスが生れたラウィンゲン（Lauingen）の 町のマルクト・プ
ラッツには書物を持った彼の立像が台の上に立っている。

図3
1980年に西ドイツ政府が発行した
アルベルトス・マグナス（Albertus
Magnus、哲学者、神学者、自然学者、1200後頃−1280）の没後
700年の 記念切手。アル ベ ルト
ス・マグナスはドイツが生んだ最も古い時代の学者の一人であり、哲学者、神学者であると共に植物学、錬金術に詳しかった。

図5、図6
アルベルトスが司教をしていたレーゲンスブルグ（Legensburg）のアルベルトス・マグナス・プラッツのドミニコ会の建物の脇に彼のブ
ロンズの胸像がある。
（図5、6）

編

表紙写真
シナノキンバイ

図7
アルベルトスが長期間滞在したケルン（Köln）の聖アンドレアス教会のそばに彼の石の立像がある。同じく同地のケルン大学の本部棟と哲学棟の間にアルベルトスのデフォルメされた座像がある。当時像の鼻は赤いペンキが塗られていた。

集

後

記

あけましておめでとうございます。

創刊以来52年間、今回の発刊で187回目を迎えておこの鮮やかな黄色は、高山で最も目に我が国の経済は昨年よりのデフレ現象が続いております。これも偏に愛読者の皆様方ならびにご執筆の付く植物の一つで、黄一色のその群生り、一向に景気回復の兆しが見えない状況にありま先生方のご愛顧、ご支援の賜物と深く感謝申し上げ

は見事なもの。信濃の金盃という名のす。また、本年の天気予報は暖冬とのことで、関東以ます。弊社では、本学術誌がご愛読者の皆様方にと西の太平洋側でも雪が多く降り、雪対策に頭を痛めりまして、読みやすく、お役に立つ情報提供となるこごとくサカズキ形の花を咲かせます。これを食してみる人はいないでしょうが、見た目ほど優しくなく、口にすると激しい下痢を引き起こします。
草丈およそ50cm・花径 4〜5cm

る年になりそうですが、その自然現象の変化を契機に、とを願い、今回の第187号より、弊社ホームページに、景気動向も右肩上がりの変化になることを期待する

本誌の内容についても掲載を開始いたしました。

ところです。

何卒、本年も尚一層のご愛顧、ご支援、ご鞭撻を

本誌「THE CHEMICAL TIMES」
は、昭和25年のC K

お願い申し上げます。

（三城記）〒103-0023 東京都中央区日本橋本町3丁目2番8号
電話（03）3279−1751 FAX（03）3279−5560
インターネットホームページ http://www.kanto.co.jp
編集責任者 三城 侑三
平成15年1月1日 発行