㔚⏛ᵄࠍ↪޿ߚ‛⾰ౝㇱߩ⇣Ᏹὐ╬ߩ⸘᷹ᛛⴚߦ㑐ߔࠆ⎇ⓥ 㧖⢈ᓟ ৻ᒾ 㧖㧝࡮ ዊ↰ ⺈ 㧖㧝Study on Technology of Abnormal Point Measurement in Inside of Material
Using Electromagnetic Radiation
Kazuhiko HIGO and Makoto ODAᧄ⎇ⓥߢߪ㧘‛⾰ߦࡒ࡝ᵄࠍᾖ኿ߒߘߩㅘㆊᵄ߹ߚߪ෻኿ᵄࠍ⸘᷹ߔࠆᣇᑼ㧔ࠕࠢ࠹ࠖࡉᣇᑼ㧕ߦߡ㧘ᧁ᧚ߩ㕖⎕უᬌᩏ䋨⣣᧎䋬▵䋬ⓨᵢ䈭䈬䈱ౝㇱᰳ㒱ᬌ಴䈭䈬䋩䈱䈢䉄䈱ⵝ⟎ࠍ㐿⊒ߔࠆߎߣࠍ⋡⊛ߣߒߡ޿ࠆ㧚੹࿁䈲䋬ㅘㆊᣇᑼ䈱ⵝ⟎䉕↪䈇䈩䋬ᧁ᧚䈱㕖⎕უᬌᩏ䉕ⴕ䈉਄䈪䈱ၮᧄᕈ⢻䉕ត䉎䈢䉄䋬ⵝ⟎䈱ࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣ㧔นⷞൻ㧕ߦࠃࠅ▵㧘ⓨᵢࠍᬌ಴䈜䉎႐ว䈱ኸᴺ♖ᐲ䈮䈧䈇䈩䋬ᬌ⸽䉕ⴕ䈦䈢㧚ߐࠄߦ㧘ᧁ᧚ౝㇱߩ⣣᧎ߩᬌ಴ߩน⢻ᕈߦߟ޿ߡ㧘ታ㓙ߦ⣣᧎ߒߚ᧚ߩࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣታ㛎ߦߡ㧘⏕⹺ࠍⴕߞߚ㧚 ࠠ࡯ࡢ࡯࠼㧦ࡒ࡝ᵄ㧘ࠕࠢ࠹ࠖࡉᣇᑼ㧘ᧁ᧚㧘ㅘㆊ₸㧝 ߪߓ߼ߦ䊚䊥ᵄฃାེ䊚䊥ᵄ䈫䈲䋬ᵄ㐳䈏 㪈㫄㫄 䈎䉌 㪈㪇㫄㫄䋨๟ᵄᢙ 㪊㪇㪞㪟㫑ᷫ⴮ེ䌾㪊㪇㪇㪞㪟㫑䋩䈱㔚ᵄ䈱䈖䈫䈪䈅䉎㧚䊚䊥ᵄ䈲៤Ꮺ㔚⹤╬䉝䊮䊁䊅(⊒ା஥䋩䈪૶䉒䉏䈩䈇䉎䊙䉟䉪䊨ᵄ䈭䈬䈱㔚ᵄ䈫Ყ䈼䈩䋬ⓨ㑆ᾖ኿䊚䊥ᵄ䋨㓸᧤ᵄ䋩ಽ⸃⢻䈏㜞䈇䈢䉄䋬ዊဳ䊶シ㊂䈱䉲䉴䊁䊛䉕ታ⃻䈪䈐᷹ቯ⹜ᢱ䉎㧚䉁䈢䋬นⷞశ✢䋬⿒ᄖ✢䈮Ყ䈼䈩䋬‛⾰ߩㅘㆊᕈ߇⦟ߊ㧘޽ࠄࠁࠆಽ㊁ߩ㕖⎕უᬌᩏߦᔕ↪ߢ߈ࠆน ⢻ ᕈ ߇ ޽ ࠆ 㧚 ᧄ ⎇ ⓥ 䈪 䈲 䋬 㪢㪸 Ꮺ 䋨 㪉㪍㪌㪞㪟㫑 䌾ㅘㆊ䊚䊥ᵄ䋲ゲ⥄േ䉴䊁䊷䉳䉝䊮䊁䊅(ฃା஥䋩㪋㪇㪞㪟㫑㪀䈱䊚䊥ᵄ䉕೑↪䈚䈢ᧁ᧚䈱㕖⎕უᬌᩏ䋨⣣᧎䋬䊚䊥ᵄฃା䉲䉴䊁䊛▵䋬ⓨᵢ䈭䈬䈱ౝㇱᰳ㒱ᬌ಴䈭䈬䋩䈱䈢䉄䈱ⵝ⟎䈱㐿⊒䈮ข䉍⚵䉖䈪䈇䉎㧚 ੹࿁䈲䋬ㅘㆊᣇᑼ䈱ⵝ⟎䉕↪䈇䈩䋬ᧁ᧚䈱㕖⎕უ࿑㧝 ታ㛎ⵝ⟎㧔᭴ᚑ࿑㧕ᬌᩏ䉕ⴕ䈉਄䈪䈱ၮᧄᕈ⢻䉕ត䉎䈢䉄䋬ⵝ⟎䈱ࠗࡔታ㛎ߪ㧘࿑㧝ߩ᭴ᚑ࿑ߢ␜ߒߚㅘㆊᣇᑼߩⵝ⟎࡯ࠫࡦࠣ㧔นⷞൻ㧕ߦࠃࠅ▵㧘ⓨᵢࠍᬌ಴䈜䉎႐ߦߡⴕߞߚ㧚࿑㧝ߦ␜ߒߚࠃ߁ߦ㧘⊒ା஥ߩⵝ⟎ว䈱ኸᴺ♖ᐲ䈮䈧䈇䈩䋬ᬌ⸽䉕ⴕ䈦䈢㧚ߐࠄߦ㧘ᧁߣฃା஥ߩⵝ⟎ࠍ᷹ቯ⹜ᢱࠍ᜽ࠎߢኻะߦ⟎ߊ㧚᧚ౝㇱߩ⣣᧎ߩᬌ಴ߩน⢻ᕈߦߟ޿ߡ㧘ታ㓙ߦ⣣⊒ା஥ߦߪ )*\ ᵄ㐳⚂ OO ߩනᵄ㐳⊒ାེ᧎ߒߚ᧚ߩࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣታ㛎ߦߡ㧘⏕⹺ࠍⴕߞߚ㧚ߣߒߡࠟࡦ࠳ࠗࠝ࡯࠼߅ࠃ߮ࠟࡦ࠳ࠗࠝ࡯࠼ߩ಴ജࠍᷫ⴮ߔࠆߚ߼ߩᷫ⴮ེࠍ㈩⟎ߒ㧘వ┵ߦਔಲ㧞 ታ㛎ᣇᴺ䊧䊮䉵䋨ਔ㕙䈫䉅㕖⃿㕙䈱䊧䊮䉵䋩䉕ข䉍ઃ䈔䈢䉝䊮䊁㧞㧙㧝 ታ㛎ⵝ⟎䊅䉕ㅢ䈚䈩䋬᷹ቯ⹜ᢱߦะߌࡒ࡝ᵄࠍᾖ኿ߔࠆ㧚 ฃା஥ߦߪ㧘ᓸᒙߥࡒ࡝ᵄߢ߽᷹ቯߢ߈ࠆࠃ߁㧘㧖 㔚⏛ᵄࠍ↪޿ߚ‛⾰ౝㇱߩ⇣Ᏹὐ╬ߩ⸘᷹ᛛⴚߦ㑐ߔࠆ-C Ꮺࡒ࡝ᵄߦฃାᗵᐲࠍᜬߟ࠺ࠖ࠶ࠤဳߩฃା

㧖1 ᯏ᪾㔚ሶㇱࠪࠬ࠹ࡓࠍ㈩⟎ߒߚ㧚᷹ቯ⹜ᢱߪ㧞ゲ⥄േࠬ࠹࡯⎇ⓥ㧔╙㧞ႎ㧕 ࠫߦ៞タߐࠇߡ߅ࠅ㧘ࠬ࠹࡯ࠫࠍേ߆ߔߎߣߦࠃ ᷹ቯ⹜ᢱߣߒߡ㧘࿑㧠ߩࠃ߁ߥෘߺ OO ߢ᧚ߩࠅ㧘ࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣ㧔นⷞൻ㧕↹௝ࠍᓧࠆߎߣ߇ߢ৻ㇱ߇⣣᧎ߒߡ޿ࠆ߽ߩࠍ↪ᗧߒߚ㧚ᧄ⹜ᢱߪ㧘߈ࠆ㧚ߥ߅㧘⊒ା஥㧘ฃା஥෺ᣇߦ߅޿ߡ㧘ߎߩ࿑㧠ߩ஥㕙౮⌀߆ࠄ߽ಽ߆ࠆࠃ߁ߦ㧘ਛᄩㇱಽߦ࡟ࡦ࠭ࠕࡦ࠹࠽ߩὶὐ૏⟎߇᷹ቯ⹜ᢱߩෘߺᣇะ⣣᧎ߩỗߒ޿▎ᚲ߇ሽ࿷ߔࠆ㧚ᧄ⹜ᢱߦߟ޿ߡࠗ

ߦኻߒߡ᭎ߨਛᔃߣߥࠆࠃ߁ߦ㈩⟎ߒ㧘ታ㛎ࠍⴕࡔ࡯ࠫࡦࠣታ㛎ࠍⴕߞߚ㧚ߞߚ㧚߹ߚ㧘᷹ቯ⹜ᢱࠍࠬࠠࡖࡦߔࠆࡇ࠶࠴ߪ䉟䊜䊷䉳䊮䉫▸࿐䋨120mm㬍80mm䇮䉟䊜䊷䉳䊮䉫䊏䉾䉼䋺2.5mm)

2.5mm ߣߒߚ㧚㧞㧙㧞 ▵㧘ⓨᵢߩᬌ಴ኸᴺ♖ᐲߦߟ޿ߡ ৻⥸⊛ߦᧁ᧚ߩ▵ߪ㧘⴫㕙ߩ▵ߣⵣ㕙ߩ▵ߣߢ૏⟎߇ߕࠇߡ޿ࠆ႐ว߇ᄙ޿ߚ߼㧘ታ㓙ߩ▵ߢߪ⣣䉏䈱ỗ䈚䈇ㇱಽங஬᩿ͨங஬(ҽǈ48mm)ɥ᩿

ᬌ⸽߇ߢ߈ߥ޿㧚ߘߎߢ㧘⴫㕙ߣⵣ㕙ߩ૏⟎߇ߕࠇߡ޿ߥ޿႐วߩ▵ࠍᗐቯߒߚ⹜ᢱߣߒߡ㧘ෘߺ࿑㧠 ⣣᧎ߩታ㛎↪⹜ᢱ㧔ࠗࡍ᧼᧚㧕OO ߩ᧖᧼᧚߆ࠄǾOOǾOOǾOO ߩ▵ࠍขࠅ಴ߒ㧘࿑㧞ߩࠃ߁ߦ OO ෘߩࡎ࠙᧼᧚ߦⓨߌ㧟 ታ㛎⚿ᨐ෸߮⠨ኤߚ⽾ㅢⓣ㧔ǾOOǾOOǾOO ߩ㧟▎ᚲ㧕ߦᒰ㧟㧙㧝 ▵㧘ⓨᵢߩᬌ಴ኸᴺ♖ᐲߦߟ޿ߡ⹥▵ࠍၒ߼ㄟࠎߛ߽ߩࠍ૞ᚑߒ㧘ࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣታ ▵ߩ႐วߩታ㛎⚿ᨐࠍ࿑㧡ߦ␜ߔ㧚๟ㄝߣᲧߴ㛎ࠍⴕߞߚ㧚ߡ▵ߦࠃࠅㅘㆊ₸߇ૐਅߒߡ޿ࠆ▸࿐߇㧘ታ㓙ߩ ৻ᣇ㧘ⓨᵢߦߟ޿ߡߪ㧘࿑㧟ߩࠃ߁ߦෘߺ 48mm▵ߩᄢ߈ߐࠃࠅ㧘ᄢ߈߼ߦᬌ಴ߐࠇߡ޿ࠆߎߣ߇

ߩ᧖᧼᧚ࠍ↪ᗧߒ㧘஥㕙߆ࠄ࠼࡝࡞ߢǾ0mm㧘

ಽ߆ࠆ㧚㧔ฦ▵ߦ߅޿ߡ㧘ታ㓙ߩ▵ߩᄢ߈ߐࠃࠅ㧘

Ǿ20mm㧘Ǿ10mm ߩⓣࠍⓨߌ㧘਄㕙߆ࠄࡒ࡝ᵄࠍ

⚂ 15mm ⒟ᐲᄢ߈ߊߥߞߡ޿ࠆ㧚㧕ߎࠇߪ㧘ᧄⵝᒰߡ㧘ࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣࠍⴕߞߚ㧚⟎ߩⓨ㑆ಽ⸃⢻ߦ⿠࿃ߔࠆ߽ߩߢ޽ࠆߣ⠨߃ࠄࠇࠆ㧚䉟䊜䊷䉳䊮䉫▸࿐

䋨180mm㬍80mm䇮䉟䊜䊷䉳䊮䉫䊏䉾䉼䋺2.5mm)

䉟䊜䊷䉳䊮䉫▸࿐

䋨180mm㬍80mm䇮䉟䊜䊷䉳䊮䉫䊏䉾䉼䋺2.5mm)▵䋨10mm㱢)▵䋨20mm㱢)▵䋨15mm㱢)ங஬(ҽǈ10mm)ɥ᩿

▵䋨10mm㱢)▵䋨20mm㱢)▵䋨15mm㱢)ங஬(ҽǈ10mm)ɥ᩿

࿑㧞 ▵ߩታ㛎↪⹜ᢱ㧔ࡎ࠙᧼᧚㧕䉟䊜䊷䉳䊮䉫▸࿐䋨140mm㬍60mm䇮䉟䊜䊷䉳䊮䉫䊏䉾䉼䋺2.5mm)ⓣ䋱䋨30mm㱢)ⓣ2䋨20mm㱢)⚂35mm

ᧁ᧚਄㕙䈎䉌䈱䉟䊜䊷䉳䊮䉫⚿ᨐⓣ3䋨10mm㱢)ங஬(ҽǈ48mm)ɥ᩿

ங஬᩿ͨ࿑㧟 ⓨᵢߩታ㛎↪⹜ᢱ㧔᧖᧼᧚㧕㧞㧙㧟 ⣣᧎᧚ߩࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣߦߟ޿ߡ

⚂30mm ⚂25mm     ࿑㧡 ▵ߩࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣ⚿ᨐ৻ᣇ㧘ⓨᵢߩ႐วߩ⚿ᨐࠍ࿑㧢ߦ␜ߔ㧚ⓣࠍⓨߌߚ୘ᚲߦߟ޿ߡߪ㧘ⓣߣⓣ๟ㄝㇱߣߩႺ⇇ߦ㧘ㅘㆊ₸߇ૐ޿㗔ၞ㧔એਅ㧘‫ޟ‬Ⴚ⇇㗔ၞ‫ߣޠ‬๭߱㧚㧕㧠 ߹ߣ߼߇ߢ߈ߡ޿ࠆߩ߇ಽ߆ࠆ㧚ߎߩႺ⇇㗔ၞߪ㧘ⓣߩ ࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣ㧔นⷞൻ㧕ߦࠃࠅ▵㧘ⓨᵢࠍᬌ಴஥㕙ߢ↢ߓߡ޿ࠆ߽ߩߣᕁࠊࠇࠆ㧚ߥ߅㧘ߎߩႺ䈜䉎႐ว䈱ኸᴺ♖ᐲ䈮䈧䈇䈩䋬ᬌ⸽䉕ⴕ䈦䈢䋮䈘䉌⇇㗔ၞߪ৻ቯߩ᏷ࠍᜬߞߡ߅ࠅ㧘ߘߩ᏷ߩਛᔃㇱ䈮䋬ᧁ᧚ౝㇱ䈱⣣᧎ᬌ಴ߩน⢻ᕈߦߟ޿ߡ㧘ታ㓙ಽߩᏀฝߩ㑆㓒߇߅߅ࠃߘⓣߩᄢ߈ߐߦ⹥ᒰߒߡߦ⣣᧎ߒߚ᧚ߩࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣታ㛎ߦߡ⏕⹺ࠍⴕߞ޿ࠆ㧚ߒߚ߇ߞߡ㧘Ⴚ⇇㗔ၞࠍ᷹ⷰߔࠇ߫㧘ⓣᒻߚ⚿ᨐ㧘એਅߩߎߣ߇್᣿ߒߚ㧚⁁࡮ᄢ߈ߐ߇⏕⹺ߢ߈ࠆ߽ߩߣ⠨߃ࠄࠇࠆ㧚ߒ߆࡮▵ߪ㧘ታ㓙ߩ▵ߩᄢ߈ߐࠃࠅ㧘৻ቯߩᄢ߈ߐߢߒ㧘OO ߩⓣߦߟ޿ߡߪ㧘ㅘㆊ₸߇ૐߊߥࠆ㗔ၞᄢ߈߼ߦᬌ಴ߐࠇࠆߎߣ߇ಽ߆ߞߚ㧚ߒ߆⃻ࠇߡ޿ߥ޿㧚ⓨᵢߩ႐ว㧘ේℂ⊛ߦߪⓣㇱ

࡮ⓨᵢߦߟ޿ߡߪ㧘ᧁ᧚ߣⓨᵢߣߩႺ⇇ߦ߅ߌࠆಽߪ๟ㄝㇱࠃࠅࡒ࡝ᵄㅘㆊ₸߇㜞ߊߥࠆߪߕߢ޽

৻ቯ᏷ߢㅘㆊ₸ߩਅ߇ࠆ㗔ၞ߇ᬌ಴ߐࠇࠆ߇㧘ߘࠆߚ߼㧘ߎߩ⒟ᐲߩⓣᓘߦߥࠆߣ㧘ⓨᵢߣߒߡᱜߩႺ⇇㗔ၞߩਛᔃㇱಽߩ㑆㓒߇㧘ⓨᵢߩᄢ߈ߐߢ

ߒߊᬌ಴ߢ߈ߥ޿ߎߣ߇ಽ߆ࠆ㧚޽ࠆߎߣ߇ಽ߆ߞߚ㧚ߒ߆ߒ㧘ⓣᓘ߇ዊߐߊߥࠆߣ㧘ߎߩႺ⇇㗔ၞ߇ᓇ㗀ߒߡ㧘ⓨᵢߣߒߡᱜߒߊ

䉟䊜䊷䉳䊮䉫▸࿐䋨140mm㬍60mm䇮䉟䊜䊷䉳䊮䉫䊏䉾䉼䋺2.5mm)ⓣ䋱䋨30mm㱢)ⓣ2䋨20mm㱢)ᬌ಴ߐࠇߥ޿ߎߣ߇ಽ߆ߞߚ㧚࡮ታ㓙ߩ⣣᧎᧚ߢࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣታ㛎ࠍⴕߞߚߣߎ
ࠈ㧘⣣᧎ߒߡ޿ࠆ▎ᚲࠍ⊒⷗ߢ߈ࠆน⢻ᕈ߇޽ࠆߎߣࠍ⏕⹺ߒߚ㧚ⓣ3䋨10mm㱢)ங஬(ҽǈ48mm)ɥ᩿

ங஬᩿ͨ




ᧁ᧚਄㕙䈎䉌䈱
䉟䊜䊷䉳䊮䉫⚿ᨐ
⚂30mm ⚂20mm࿑㧢 ⓨᵢߩࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣ⚿ᨐ㧟㧙㧞 ⣣᧎᧚ߩࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣߦߟ޿ߡ ታ㛎⚿ᨐࠍ࿑㧣ߦ␜ߔ㧚ᧄ⹜ᢱߪਛᄩㇱಽ߇․ߦ⣣᧎߇ỗߒ޿߇㧘ߎߩ㗔ၞߢਥߦࡒ࡝ᵄㅘㆊ₸߇㜞ߊߥߞߡ޿ࠆߎߣ߇ࠊ߆ࠆ㧚ᧄ⚿ᨐߪ㧘⣣᧎ߒߡ޿ࠆ▎ᚲࠍ⊒⷗ߢ߈ࠆน⢻ᕈ߇޽ࠆߎߣࠍ␜
ໂߔࠆ߽ߩߢ޽ࠆ㧚䉟䊜䊷䉳䊮䉫▸࿐䋨120mm㬍80mm䇮䉟䊜䊷䉳䊮䉫䊏䉾䉼䋺2.5mm)⣣䉏䈱ỗ䈚䈇ㇱಽங஬(ҽǈ48mm)ɥ᩿

ங஬᩿ͨᧁ᧚਄㕙䈎䉌䈱䉟䊜䊷䉳䊮䉫⚿ᨐ࿑㧣 ⣣᧎ߩࠗࡔ࡯ࠫࡦࠣ⚿ᨐ