396放射光第 11 巻第 5 号(1998年)〈コ研究会報告仁>12北h Int.Conf.VacuumUltravioletRadiationPhysics(VUV‑12)

第 12 閤真空紫外線物理国際会議に参加して
柿崎明人*?

斎藤輝文**?

功**鈴木(*高エネルギー加速器研究機構，料電子技術総合研究所)

3 年前の第 11 回会議 (VUV-11) は，東京池袋立教大学会議の代表を勤める G. Margaritondo がトリエステの紹で 8 月末の残暑きびしい折りに行われ，地理的なハンデ介を行い，また国際アドバイザリー委員会のメンバ -8

ィのため米国，欧州、|からの参加者は，従来より少なかった人の交代が発表された。委員長は，I.Lindau が勤めることは言え，全参加者数は 500名を越え，盛会であった。そとになり，日本の委員は，佐藤繁(東北大)氏より関一彦

8, No. 5)(名古屋大)氏に替わった。尚，本会議のプロシーディンれを受けて，本放射光学会誌でも特集号 (Vo1.

を組んで，その内容を相当詳細に伝えた。 3 年後の本年は場所をサンフランシスコに移し，AdvancedLightSource(ALS) のスタップが中心的な組織委員会メンバーとして

グは，会期中での 2 人のレフリーの査読を行い，J.Elec.

Spectrosc.Relat.Phenom. の特集号として， $85程度で来年 2 月噴出版される予定である。

この会が開催された (8 月 3 日 -7 日 )0 2 日夜のレセプシ

科学的発表内容に話を移すと， 46件の招待講演と約530

ョン， 313 の国際アドバイザリー委員長 C. Fadley

件のポスター発表があったが， 3 人の筆者でカバーできる(LBNL) ，国際会議委員長 N.

Smith (ALS) ，組織委員長A.Schlachter (ALS) らの挨拶，全体状況の説明などの開表 i

会式の後，研究発表に入った。午前中は全体講演とポスターセッション第 1 部 (7 日を訟く) ，午後は 2 会場に分かロ

506吐.AqUFOqGA追加

ムにはドイツ，イギリス，フランスが多いが，スウェーデンが 4 番自の参加者数であることは注目に値する。表には，

せ3-その他計るが，日本からの参加者も大変多く， 23% も占める。他

QO 円，タイタリア

招待講演者数円
hd 円
hvQU1

フランス

1ムとのことであった。最大は開催地アメリカで約30% であ

イギリス

qhq 中

初日に配布されたリストより調べた参加者の国別内訳を
表 1 に示しておく。当日登録者を含めると，総数は 506名

ひっ中

ドイツ

スウェーデン

A日本

寸上略上アメリカ

終日午前中は全体講演と閉会式，午後は 2 斑に分かれて4せ01i8765150
F

登録者数

れての招待講演とポスターセッション第 2 部があり，最の ALS あるいは SSRL への見学ツアーであった。

参加者数，講潰者数の国別リスト

ポスター発表数

85103802323311813910+α

46512 十 α

招待講演者数も示しておいたが，参加者数との比較では，ドイツ，イタリアの多いのが目を引き，日本の少なさが気になる。語学力を含めた発表能力のまずさからきているのならまだよいのだが，世界をリードする優れた研究の少なさの現れだと深刻な問題と受け止めなければいけない。また表には，発表筆頭者で整理したポスター数も示しであるが，研究の中心機関の国別でまとめた方が適切なのかもしれない。

バンケットは 6 日夜に，中華街の新アジアレストランで行われ，ピンク色の衣装を付けた狛犬風の二人獅子舞の曲芸の後，北京ダックや幸運クッキー(クッキーの中におみくじ)を含む中華のコース料理を楽しんだ。最後に次回2001 年の VUV-13 はイタリアのトリエステで開催されることが発表された。また 7 日の閉会式の時，

写真 1

トリエステ

今回および次回会議の代表者の方々

ley, I.Lindau, G.M
argaritondo)(N. Smith , C.Fadｭ

‑46‑(C) 1998 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Research

放射光第 11 巻第 5 号

397(1998年)

内容は限られているので，特に関心を引かれたもの，多くオン化の講演で，チャンネル間相互作用を入れた ab-init­の人の話題になったものなどを紹介し，全体の傾向を感じ

io 量子欠損法の適用につき， Ar の 30eV 以上でのおイオて頂けたら有り難い。

ン化に現れる複雑なスベクトルや C1， Mg などの開殻原子

今回の会議における真空紫外領域の間体分光分野の特徴のスペクトルの例をあげて，現在の手法の可能性を示したOの一つは，高分解能光電子分光，スピン分解光電子分光，

F.Wuilleumier (Paris引ld 大)は，中空原子の光イオン

軟 X 線国体発光，光電子顕微鏡など，前自の会議ではま化実験の話題を，近年最もよく取り組まれている Li につだ目新らしさが残っていた実験が多くの物質に応用されそいて講演した。他のグループで行っている吸収の測定，多の成果が示されたことである。会議の最初と最後の講演が価イオンの測定とともに，自身のグループ，特に ALS を各々， Z. 忍. S
hen (Stanford 大)による高温超伝導体を利用しての電子分光でのスベクトルと各ピークの異方性パはじめとする一連のエキゾチックマテリアルの電子相関効

ラメータについて紹介した。

果について高分解能光電子分光実験を用いた研究成果と，B.Tonner (Wisconsin“Mi1waukee 大)による顕微分光を4 白(火)の全体講演で，P.Morin (Paris-sud 大)は，軟 X 線領域における分子の電離性分解過程の研究展開に利用した環境関連物禁に関する研究成果であったこともこついて?日本の複数のグループの寄与を含めたこの 10 年のことを示している。

程の発展を紹介した。測定手法の特徴を三原子分子を対象ともに物資のにしたデータから説明し最新のダブルトロイダル型分析

磁性を研究対象とするものが多かった。磁性体の電子状態器による電子分光と TDC (時間一ディジタ jレ変換器)と位については，光電子分光， MCD によってバルクの性質を置敏感型検出器を組み合わせて複数イオンの飛行時間と飛議論したもののほか，磁性薄膜の量子井戸状態の解析や逆行方向のコインシデンス計測を用いた CO 2 ， S02 のデータ

Donath (Max刷を示した。 N. Berrah (西 Michigan 大)は， ALS におけその{也の講演，…般のポスタ…発表では，光電子分光による表面磁性の研究成果 (M.

Planck 研) )などが招待講演として取り上げられた。 C.

る原子分子を対象にした角度分解型電子分光スペクトル，Carbone(KFA-Juelich) の講演は，磁性体の電子状態に高分解能スペクトルの測定を紹介した。 Ne の 53 eV 付近現われる量子サイズ効果について過去数年間の研究成果をでの (2p) -2 状態でのパリティ禁制遷移の異常強度や，まとめたもので印象的であった。また柿崎(高エ研)は，

HC1 の C12p→がでのオージェ電子， CO の C1s→π* でのスピン分解@角度分解型光電子分光法を用いた測定により，オージェ電子， OCS の S2p 光電子の異方性パラメータなNi 価電子帯の分散関係と 3d バンドの交換相互作用分裂をどにつき，斜入射分光器，電子スベクトロメータでの高分議論した。一方，遷移金属駿化物を始めとする強相関電子解能化の効果を強調した。間瀬(分子研)は，競縮した系物質については，前出の Z.-X. Shen のほかに G. Sawatｭ

H20 , Si に吸着した H 2 0 からの軟 X 線照射によるプ口トzky (Groningenn 大) ，藤森(東大)らの講演があり，こン脱離現象をオージェ電子@プロトンコインシデンス法での物質系に特徴的な低エネルギー励起状態(素励起)追跡した研究を講演した。オージェ電子放出で生成される

子分光を用いて探るには，高分解能@角度分解光電子分光

二正孔状態が，深い価電子軌道によるものであるとプロトによる電子状態の系統的な解析が不可欠であるという印象

ン収率は増大することを示した。 M. P
iancastelli(Torをあらためて与えた。(企業展示の中にはエネルギー分解Vergata 大)は H 2 0 を取り上げて， BNL の NSLS で電子能 2 meV (HeI) を保証する電子エネルギー分析器が並ん分光スベクトルを共鳴オージェ過程に適用して，非誼線型でいた。)の分散関係が見出されること，狂ASYLAB でのマルチヒ

もう一つ印象的であったのは，ポスター発表のなかで有機物質を取り上げたものが多かったことである。従来から行われている XANES のほかに高輝度放射光を利用する

ット型質量分析計でのイオン計測では，日2 分子イオンが01s- 1 2b 2 状態を経て生成されることを発表した。

5 日(水)の全体講演で，柳下(高エ研)は ， 3 年程前か

軟 X 線発光@蛍光実験が表面吸着原子@分子系などに広ら特徴的な成果を出している，空間国定した直線型分子かく利用され，構造や電子状態だけでなく解離@反応に関すらの内殻光電子スベクトルを発表した。フラグメントイオる研究成果がめざましいためであろう。これらは，太田ンとのコインシデンス計測によって，分子軸を特定した状(東大)の表面 XAFS での有機吸着種の構造決定，高桑(東態での光電子角度分布スペクトルにより，連続状態波動関北大)の UPS ， RHEED を駆使した Si 表面での反応追跡数の部分波展開係数が求められるので，厳密な光イオン化の講演とも共通する流れと感じられた。 ALS ， ESRF ,理論との比較が従来より格段に直接的に行えるようになっ

ELETTRA など既に稼働中の施設だけでなく，

BESSYE などでも多くの研究が予定されており，顕微分光とともてきた。 6 日(木)の全体講演で，H.Schmidt忍りcking(Frankfurt 大)は，極冷温に冷却した原子，分子ビームにこの分野も高輝度放射光の利用によって急速に発畏しての二重光イオン化によって生ずるイオンを位置敏感型検出いくことを窺わせた。

器で精密計測する測定技術を紹介し，光イオン化による粒気相を対象にした研究では，初日(3 日)の午後， C.

Greene (Colorado 大)の理論による多電子系原子の光イ子関のエネルギーおよび運動量移行が，いかに進展するかを示した。 V. Do1matov (Georgia 州立大)は，完全実験‑47‑

398

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で測定すべき 5 つのパラメータのうち，異方性パラメー発生と変調が重要さを増しており，例えばL.

Nahon

タが極値をとる領域では， 3 つのパラメータに減じうるこ(LURE) らは，電磁五によって偏光可変とする小貫型アとを，理論的に示した後， Cr の 3d 光イオン化での実験デンジュレータを Super孔CO に設置し， preliminary な実ータとの比較を行った。 D. C
aldwell (米国科学財団)は，験結果について報告していたが，本来，偏光を変更しても主にハロゲン原子を対象に，内殻光イオン化に現れる開殻一定であるべきピーク波長，パワーが変化する問題が認め構造の多電子相関効果を， ALADDIN で測定した高分解られたとのことであった。 Microscopy に関しては，能スペクトルによって議論した。 J. West (Daresbury 研)

ELETTRA の SPELEEM. BESSY‑1Iの SMART (し 1 ずは， Sr , Ca 等の金属原子を対象にした光イオン化で発光れも招待講演)とも空間分解能の向上だけではなく，光電と放出電子とのコインシデンス測定によって，完全実験を子エネルギー分光をはじめとするさまざまな機能を付加し目指す研究を紹介した。光励起と発光をこ段階モデルに基て，種々のマッピングを可能とする意欲的な取り組みが行づいて解析することにより，放出電子波動関数の位相差われている。多層膜や検出器については，件数はそれほどと，双撞子モーメントの比を導出した。

多くはないが，興味ある波長，空閉鎖域にパワーを集中すポスターセッションでの気相を対象にした研究は， 3 割るため，あるいは偏光解析(東北大の山本ら，電総研の斎程度あり，また測定技術を主題にしたものの中にも，原藤輝文など)のため，検出器の高計数率化 (Omicron の分子をターゲットにしたものも多数あった。それらのJ.Westermann ら) ，高分解能化 (LBNL の S. Friedrich

全体的な印象としては，軟 X 線ビームの高分解能化と，など)のため等，引き続き重要な役割を持つ傾向に変わり電子分光スベクトルの高精度化が注目され， ELETTRAはない。

でのデータが出てきていることも気の付く点であった。まそのほか個別に興味を持った発表には，以下のようなもた，軟 X 線絶対測定法や軟 X 線照射での特異的分子鎖切のがある。 S. Dambach (Kernphysik 研)は，真空紫外・NewYork 州立大

軟 X 線領域で新しいアイデアに基づく干渉計を提案し，断反応に関する発表(電総研の鈴木ら，の D. Hanson ら，京都教育大の伊吹ら，他)も興味を集実験的に有効性を示したのが注目をヲ!いた。この波長領域めていた。東欧からのボスタ

では，広帯域のビーム@スプリッターがほとんど実現不可

まになっているのが散見され，経済事情の困難さのため参能であるので，かれらは，それを用いずに，透過性のサン加できなかったことが窺われた。

プルの前後に 2 つのアンジュレータを配寵し，合成に分測定手法@装置技術関係については，一般的な額向とし光器を用いるという方法を用いている。すなわち，第一のて，近年の光源の高輝度化にともなって，実験データの精アンジュレータによって生じたアンジュレータ放射はサン綾化がより進んでいることが特に印象づけられた。すなわ

プルを透過することによって位相差を持つ波連となる。サ

ち，照射する光に関しては，高輝度化，高分解能化に加えンプルを透過した電子は第二のアンジュレ…タに入り，サて，偏光，パルス特性の積極的利用を図り，生じたイオンンプルによって位相差の変調を受けない reference として@電子等については，エネルギー分解のみならず，角度分の第二の波連を発生する。これらこつの波連は二つのアン解さらにはスピン分解するなどにより，いわゆる完全実験ジュレータ聞の距離に比例した時間差を持つが，これは，を追及する傾向が強まっている。特に，検出系について分光器により時間差が O とされ検出器によって援幡合成

は，ニ次元検出器を利用して，エネルギー測定と向時に角され，二つのアンジュレータ間の距離を変えて，度分布測定を可能にする方式(大門(奈臭先端科技大)のgram を取ることが可能となる仕組みである。この方法方法他)の採用など高効率化が顕著な傾向となっている。

は，サンプノレが光子に対してだけでなく，電子に対しても3 年前の東京の会議(本誌 Vol. 8 , No.5 , p.547)

interferoｭと比べある程度の透過率を持つ必要がある上，サンプルでの電子ると，光源開発関係の発表が少ない印象を持った。一つにの吸収，散乱のために，このシステムを電子蓄積リングには，各地の放射光施設で前回設計，建設段階にあった多く設置することはできないという制限があるが，発表のあっが完成あるいは完成間近となっていることが関係している

たアンジュレータの大きさは片手に乗るぐらいコンパクト

laserplasma についての発表も今回は比較で，マイクロトロンを入射器として実験を行ったとのことと忠われるが，的少なかったようである。また， FEL に関連する発表も，であった。

筆者の知る限り，蓄積リングを用いたものは，今回なかっ

M.Richter(PTB) らはシリコン結品の光電量子効率をたようである。しかし，ミラー共振器を必要としない sin­

2‑1500eV の広い範囲で実験的に求め，いくつかの理論と

glepath の自己増輔自発発光型の FEL は，その存在価値比較した。まだ，理論の方が精度が不十分とみられるが，を高めているようであり， DESY の G. Materlik は招待講

定性的には良い一致が得られている。また，向じく PTB

演で，当面は 40-120 nm 域の発援を，次に 6nm まで，さの H. Henneken らは， Au(111) 商と Cu(l11) 面からの光らに O.lnm までと!唄次短波長化を目指す壮大な計画(開電子放出の量子効率を 40-1500 eV の範囲で実験的に求め港したての香港空港ターミナルピルにそっくりの構造)をた。また，示していた。アンジュレータに関しては，引き続き偏光のとして実験的に求め，簡単な理論モデルとの比較を行い，‑48‑electronescapedepth も波長依存性のない値

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399(1998年)

Henke らをはじめとするこれまでに報告されている実験式，電子線直接描画方式，電子線投影方式等がある。 SIAデータよりも，今回の彼女らの計測データがより理論モデ(米半導体工業会)の National T
echnologyRoadmap に基ルに近いことを示した。これらの研究は，基礎的な定数をづいて，克服すべき課題を明確にし，組織的，体系的に取利用して，誰もが普通的に絶対測定を可能にする上で意義り組んでいる様子が強く感じられた。ここ 2 年くらいで，どの方式に絞るか決定するということで，今は demonstra幽がある。

リソグラフィーに関しては，D.Attwood(LBNL) が，tionphase に入っているということである。それに対し

SEMATEC プロジェクトの中の候補のーっとなっているて，日本の取り組みは，出だしは比較的早かったものの，EUV リソグラフィーの手法について招待講演を行った。

組織化という点では一転して劣勢に置かれているといってこれは，レーザープラズマを光源とし，縮小露光を行う方も過言ではないだろう。前回の会議で招待講演者を出した式により，線幅 70nm 程度以下を目指すものであるが，NTT が，現在 X 線リソグラフィー研究からの撤退を検討

他候補には，シンクロトロン放射を光源とする等倍露光方しているそうであるが，残念なことである。

くコ研究会報告じ>

SPIE'98報告
小池正記(電子技術総合研究所)

SPIE'98年会は 7 月四日 '"'-'24 日の関，サンディエゴ国

このうち，放射光に多少とも関連したコンブァランスと発際会議センターにおいて開催された。これまで毎年，サン

表論文件数は，表 1 の通りである。ただし，Conf.3443'"'‑'ディエゴ(党大会等がある時はデンバー)で開催されてき3446 は，大枠が“天文。宇宙応用"であるため，約半数ており，今回が43 田自である。 SPIE は電磁波から X 線，は放射光とは無関係なものであるが，多麗膜ミラーの一部さらには超電導関係まで，光に関連するすべての分野をカや，汎用的な X 線検出器はここに含まれている。シンポノ'\-ジウム終了後，それぞれの番号のプロシーディングスが発刊される(例えば，最初のものは，
表 1SPIEProc.3443 となる) 0 Con
f.3447'"'-'3451 で畠別の発表件数を数えてみる

放射光関連のコンブァランス

ProgramonAstronomicalSensorsandMissionsn
dPolarimet‑Conf.3443 X‑RayandUltravioletSpectroscοpy a

実表論文件数: 19ndMission
Conf.
3444 X‑RayOptics , Instruments , a
発表口文件数: 7
7ndGamma‑RayInstr
umentationforConf.
3
445 EUV, X-Ray, a
Astronomv
発表論文件数: 7
5Conf.
3446 HardX‑RayandGammma‑RayDetectorPhysicsandApplications
発表論文件数: 36と，米 57 ，仏34 ，日 9 ，英独 6 ，他となっていた。なお，これらのコンブァランスは 1"-'3 日間かけて並行して行われたので，筆者はすべて参加したわけではない。また，参加したものについても不確かなところが多いので詳縮はプ
ロシーディングスを参照、されたい。以下では日付)1慣に，者が多少でも参加したコンブァランスについての印象を簡ProgramonSynchrotronRadiationOpticsConf.
3447 AdvancesinMirror
TechnologyforSynchrotronX嗣RayandLaserApplications
発表論文件数: 1
6Conf.3
448 CrystalandMultilayerOptics
発表論文件数: 3
9Con
f.3
449 X‑
RayMicrofocusing:Applicationsan
dTechniques
発表論文件数: 2
9Con
f.3
450 TheoryandPr
acticeofSur
face‑ReliefDi涯ractionGratings:S伊lchrotron andOtherApplications
発表論文件数: 14tsA
pplicaｭConf.
345
1 TimeS
tructureo
fX‑RaySourcesandItions
発表論文件数: 2749‑

Photo.
l サンディエゴ国際会議場