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Chemical Dispense System

薬品自動供給設備は､1979年に日本初の半導体製造用薬品自動供給設備として､関東化学(株)により開発されました。以来､現在に至るまで半導体･液晶工場を始めとする電子工業の分野において､日本はもとよりアメリカ合衆国､台湾､韓国､EU諸国等､世界各地に関東化学グループとして2,000を超える設備を納入してまいりました。
弊社の設計･調達･施工･試運転･メンテナンスまでの一貫したサポート体制は､多くのお客様から高い評価と信頼をいただいております。
また今後は､お客様設備の先行的設備診断･点検･メンテナンスの体制を充実させ､薬品自動供給設備における総合的なエンジニアリングサービスを提供いたします。

省

力Labor Saving
安安

品

全

質

Quality

Safety

薬品自動供給設備

CDS

全：漏液対策･腐食対策･防爆対策

環省

力：ユースポイントからのリクエストにより､自動供給品

質：クリーンで安定した供給
コンタミネーションフリー

境

Environment環

境：薬品リサイクルシステム
リンク容器の使用

顧客満足

Customer Satisfaction

少使用量別設備分類

薬品
使用量S〜wagon

使用量目安 ● 〜100 L /day

LS-100/200

使用量目安 ● 50 L /day〜1,000 L /day

定置式供給設備

使用量目安 ● 200 L /day〜

多薬品種別モデル

供給方

Model-Ⅰ
有機溶剤系用(接液部にSUS,フッ素樹脂)

Model-Ⅱ酸,アルカリ系用(接液部にフッ素樹脂)

Model-III
腐食性有機溶剤用(接液部にフッ素樹脂､外装にSUS)

N2方式

高純度窒素による加圧送液式
ポンプ方式

ポンプによる送液2Chemical Dispense System

S〜wagon
省スペースで設置可能

18L容器2本を連続供給

排気

窒素

薬品

F
フィルター

写真はS〜wagon Model-I

廃液

S〜wagon (18L×2)

LS-100/200
100L容器(200L)2本を連続供給

窒素

排気薬品

F
写真はLS-100 Model-II

廃液(別売 専用台車)

LS-100/200 (100L/200L×2)

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Chemical Dispense System

小型定置式供給設備
定置タンクに薬品を貯蔵遠距離･上階への供給にも対応

100(200)L 通い容器からサプライタンクへ移送し､連続供給
排気

窒素

F

薬品

廃液

CDM
(Chemical Dispense Module)

サプライタンク

大型定置式供給設備
ローリー/コンテナ車から定置ストレージタンクへ

窒素
排気

排気

F

遠距離･上階への供給に対応

薬品

ストレージタンクからサプライタンクへ移送し､連続供給

タンクローリーカップリングブース

ストレージタンク

サプライタンク

希釈調合/混合供給設備
希釈液

原料購入による薬品/運搬コスト低減

排気窒素
超純水

オンサイト希釈
原料

納入実績

CIC

排気

濃度計

TMAH 25wt% → 2.38wt%
HF
50wt% → 5wt%,1wt%
NH4OH 29wt% → 2wt%
混酸調合供給設備

P
ポンプ

FP

混合タンク

その他の設備IPA再生設備

粉体溶解設備

温調循環供給設備

NaOH高濃度調合設備

廃液回収設備

めっき液供給設備

混合ユニット

サプライタンク

4Chemical Dispense System

設備の安全対策
薬品を安心してお使いいただくために､様々な安全対策を講じています。
・漏液対策（二重配管構造・漏液センサ・筐体ドレンパン構造, etc.）
・薬品誤接続防止対策（キースイッチ・バーコードリーダ, etc.）
・タンク/配管圧力管理（安全弁・圧力監視･制御システム・液温監視システム, etc.）
・集中監視システム（タッチパネル式制御パネル・SCADA・上位ビル管理システムとの連携, etc.）
・停電/瞬停対応（UPS・CVCF・停電検出継電器, etc.）
・危険物/防爆対策（電気室窒素パージ・ガス検知システム, etc.）
・自動消火設備（CO2 消火器・N2-Ar消火器, etc.）
・地震対策（地震計･フレキシブル配管設備, etc.）

メンテナンス
お客様の設備使用状況に応じて､点検･メンテナンス計画を提案いたします。
設備設置から検査･点検･メンテナンスまで設備のライフサイクルマネジメントをサポート

設備設計

お客様のニーズに合わせた設計

メンテナンス･
リニューアル

点検計画
立案

稼動実績により点検･診断の計画を提案

メンテナンス
計画立案

点検結果よりメンテ
ナンス･修繕計画を提案

点検

点検結果の解析5
Chemical Dispense System

設備診断
長年培ってきた技術･経験から､設備全体及び使用部材の劣化度を調査し､設備の状態を確認します。
診断は設備の停止を必要とせず､稼動状態で行うことができます。
劣化状態の把握

修繕要否判定保全周期の最適化

提 案

現地調査

設備診断

経過観察
熱画像診断

ライニングタンク外観目視検査
絶縁抵抗測定
熱画像診断
耐震調査

設備診断

自動バルブ

作動回数モニタリング
排気圧力波形分析
AE法（音響測定）

薬液配管

紫外線量測定
（外管）
白化度確認
（内管）

修

繕

保全周期検討6
Chemical Dispense System

標準仕様
S〜wagon
外形寸法
筐体材質
配管材質
継手材質
フィルター
通い容器

Model-I (有機溶剤専用)
高さ1,450mm×幅500mm×奥行1,200mm
SUS304
SUS316チューブ
SUS316
外装/SUS316,エレメント/フッ素樹脂
18L×2本Model-II (酸･アルカリ専用)
高さ1,450mm×幅500mm×奥行1,200mm
PVC, PPPFAチューブ
PFA, PTFE
フッ素樹脂
15L×2本計装空気(0.5MPa以上)
高純度窒素(0.2MPa以上)
電気(100V)

ユーティリティ
有機系排気(2,000NL/min)
有機系廃液(10L/min)

酸･アルカリ系排気(2,000NL/min)
酸･アルカリ系廃液(10L/min)

Model-I (有機溶剤専用)
高さ2,200mm×幅1,800mm×奥行1,000mm
SUS304
SUS316チューブ
SUS316
外装/SUS316,エレメント/フッ素樹脂
100L×2本(200L×2本)

Model-II (酸･アルカリ専用)
高さ2,200mm×幅1,800mm×奥行1,000mm
PVC, PPPFAチューブ
PFA, PTFE
フッ素樹脂
100L×2本(200L×2本)

LS-100(200)
外形寸法
筐体材質
配管材質
継手材質
フィルター
通い容器

計装空気(0.5MPa以上)
高純度窒素(0.2MPa以上)
電気(100V〜200V)

ユーティリティ
有機系排気(8,000NL/min)
有機系廃液(10L/min)

酸･アルカリ系排気(8,000NL/min)
酸･アルカリ系廃液(10L/min)

Model-I (有機溶剤専用)
SUS304
SUS316
SUS316チューブ
SUS316
外装/SUS316,エレメント/フッ素樹脂
100L×2本(200L×2本)

Model-II (酸･アルカリ専用)
PVC, PP
外装/SUS304, 内装/PFA, PTFEPFAチューブ
PFA, PTFE
フッ素樹脂
100L×2本(200L×2本)

小型定量式
筐体材質
タンク材質
配管材質
継手材質
フィルター
通い容器

計装空気(0.5MPa以上)
高純度窒素(0.5MPa以上)
電気(100V〜200V)

ユーティリティ
有機系排気(タンク容量による)有機系廃液(10L/min)

酸･アルカリ系排気(タンク容量による)
酸･アルカリ系廃液(10L/min)

Model-I (有機溶剤専用)
SUS304
SUS316
SUS316チューブ
SUS316
外装/SUS316,エレメント/フッ素樹脂
1,000L以上

Model-II (酸･アルカリ専用)
PVC, PP
外装/SUS304, 内装/PFA, PTFEPFAチューブ
PFA, PTFE
フッ素樹脂
1,000L以上

大型定量式
筐体材質
タンク材質
配管材質
継手材質
フィルター
通い容器

計装空気(0.5MPa以上)
高純度窒素(0.5MPa以上)
電気(100V〜200V)

ユーティリティ
有機系排気(タンク容量による)有機系廃液(10L/min)1) 外形寸法は標準的なサイズです。設備の仕様により変更されることがあります。
2) 通い容器は標準的な容量です。その他の容器サイズにも対応可能です。
3) ユーティリティは標準的な条件です。設備規模(タンクの大きさ等)により､別途ご相談となります。

酸･アルカリ系排気(タンク容量による)
酸･アルカリ系廃液(10L/min)お問合せ･ご注文は

本社〒103-0023

東京都中央区日本橋本町3-2-8

事務所〒103-0023 東京都中央区日本橋本町3-11-5 マルサンビル
TEL.03-3639-8581（代） FAX.03-3667-0440

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