放射光第 11 巻第 5 号

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Henke らをはじめとするこれまでに報告されている実験式，電子線直接描画方式，電子線投影方式等がある。 SIAデータよりも，今回の彼女らの計測データがより理論モデ(米半導体工業会)の National T
echnologyRoadmap に基ルに近いことを示した。これらの研究は，基礎的な定数をづいて，克服すべき課題を明確にし，組織的，体系的に取利用して，誰もが普通的に絶対測定を可能にする上で意義り組んでいる様子が強く感じられた。ここ 2 年くらいで，どの方式に絞るか決定するということで，今は demonstra幽がある。

リソグラフィーに関しては，

D.Attwood(LBNL) が，tionphase に入っているということである。それに対し

SEMATEC プロジェクトの中の候補のーっとなっているて，日本の取り組みは，出だしは比較的早かったものの，EUV リソグラフィーの手法について招待講演を行った。

組織化という点では一転して劣勢に置かれているといってこれは，レーザープラズマを光源とし，縮小露光を行う方も過言ではないだろう。前回の会議で招待講演者を出した式により，線幅 70nm 程度以下を目指すものであるが，NTT が，現在 X 線リソグラフィー研究からの撤退を検討

他候補には，シンクロトロン放射を光源とする等倍露光方しているそうであるが，残念なことである。

くコ研究会報告じ>

SPIE'98報告
小池正記(電子技術総合研究所)

SPIE'98年会は 7 月四日 '"'-'24 日の関，サンディエゴ国

このうち，放射光に多少とも関連したコンブァランスと発際会議センターにおいて開催された。これまで毎年，サン

表論文件数は，表 1 の通りである。ただし，Conf.3443'"'‑'

ディエゴ(党大会等がある時はデンバー)で開催されてき3446 は，大枠が“天文。宇宙応用"であるため，約半数ており，今回が43 田自である。 SPIE は電磁波から X 線，は放射光とは無関係なものであるが，多麗膜ミラーの一部

さらには超電導関係まで，光に関連するすべての分野をカや，汎用的な X 線検出器はここに含まれている。シンポノ'\-ジウム終了後，それぞれの番号のプロシーディングスが発刊される(例えば，最初のものは，
表 1SPIEProc.3443 となる) 0 Con
f.3447'"'-'3451 で畠別の発表件数を数えてみる

放射光関連のコンブァランス

ProgramonAstronomicalSensor
sandMissionsndPolarimet‑Conf.3443 X‑RayandUltravioletSpectroscοpy a

実表論文件数: 19ndMissionConf.
3444 X‑RayOptics , Instruments , a
発表口文件数: 7
7ndGamma‑RayInstrumentationforConf.
3445 EUV, X-Ray, a
Astronomv
発表論文件数: 75Conf.
3446 HardX‑RayandGammma‑RayDetectorPhysicsandApplications
発表論文件数: 36と，米 57 ，仏34 ，日 9 ，英独 6 ，他となっていた。なお，

これらのコンブァランスは 1"-'3 日間かけて並行して行われたので，筆者はすべて参加したわけではない。また，参加したものについても不確かなところが多いので詳縮はプロシーディングスを参照、されたい。以下では日付)1慣に，者が多少でも参加したコンブァランスについての印象を簡ProgramonSynchrotronRadiationOpticsConf.
344
7 AdvancesinMirror
TechnologyforSynchrotronX嗣
RayandLaserApplications
発表論文件数: 1
6Conf.3
448 CrystalandMultilayerOptics
発表論文件数: 3
9Conf.3
44
9 X‑RayMicrofocusing:ApplicationsandTechniques
発表論文件数: 29Conf.3
450 TheoryandPracticeofSur
face‑ReliefDi涯raction
Gratings:S伊lchrotron andOtherApplications
発表論文件数: 1
4tsA
pplicaｭConf.
3
451 TimeStructureofX‑RaySourcesandItions
発表論文件数: 27P
hoto.
l サンディエゴ国際会議場

49‑(C) 1998 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Research

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単に述べる。

年目は 7 月 19 日，レセプションが行われ， 20 日は，Conf.3447 に参加した。特に米関の研究機関では，非球面ミラーの作製とその評価に関して重点を置いているのが印象的であった。ここでは姫路工大の木下氏により，LIGAプロセスのための多層膜ミラービームラインに関する発表がなされ，新部氏により，リソグラフィ用の非球菌ミラー作製に関する発表がなされた。今回は軟 X 線に関しては，2 週間後にサンフラソシスコで真空紫外線に関する国際会議が開催されるため，発表件数が 20 件足らずと少なかった。 Conf. 3450 では，都立大の原田氏により，シリコンの異方性エッチングを用いたブレーズ回折格子についての発P
hoto.
2 パンケットにて。中央は， SPIE ブエローシップを受賞された石原聴氏。

表がなされた。 21 日は， Conf.3448 に参加した。 SPring同

8 , ESRF , APS といった第 3 世代リングの光学系を中心とした議論が行われた。日本からは SPring-8 の石川氏によで，ニューヨークリ、1'1 立大学，ゲッチンゲン大学，キング、スり，高熱負荷のアンジュレータゼームラインのための分光カレッジといった古くからのグツレープ等が地道に(着実に)器に関する発表がなされた。 X 線結晶回折のセッション

生体への応用を進めているのが印象に残った。 23 日，集では， BNL の Dr. Siddons 等により，多結品，多検出器光光学を中心としたセッションで SPring-8 の香村氏によ型粉末回折システムの発表があった。多層膜のセッション

り rx 線バブルレンズ」に関する発表が行われ，注目をでは，ベル研の Dr. Windt による最近の試み等が紹介さめていた。 24 臼は Conf.3451 及び3443 に参加した。

れた。大きさとしては 14 インチまで作製可能となっていNTT の芳賀氏により，透過型多層膜を用いた軟 X 線エリメーターに関する発表が行われた。

ること，また ， YjAl といった組合せを試していること等，興味深かった。多層膜ミラーに関しては，日本からはまた， 22 日夜開催されたバンケットでは，光産業技術

名大(山下研)のグループからスーパーミラー他数件と，振興協会(電総研から出向中)の石原聴氏が 1998 年

国際基督教大のグループから設計を中心とした発表があっ

SPIE ブエローシップを受賞された。朝倉利光氏(北大)た。 22-23 日は， Conf.3449 に参加した。 22 日はイメージは，ングシステムと応用が中心であった。主に軟 X 線が中心

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DennisGabor 賞を受賞された。