静電気学会誌，47, 3（2023）114-120

J. Inst. Electrostat. Jpn.

論

文

コロナ放電方式交流イオナイザにおける
金属グリッドを用いた誘導電位の抑制
山口 晋一，中田 江理子 ，内御堂 駆 ，高橋 克幸＊, ＊＊＊＊＊

高木 浩一 ，竹内 希 ，永田 秀海
＊

＊＊

＊, 1

，榎本 洋介＊＊＊＊＊＊（2022年8月8日受付；2023年3月2日受理）

Suppression of Induced Voltage From Corona Discharge Type Ionizer
Using Grid Electrodes＊, ＊＊＊＊＊

Shinichi YAMAGUCHI, Eriko NAKATA , Kakeru UCHIMIDO
＊, 1
＊
＊＊
Katsuyuki TAKAHASHI , Koichi TAKAKI , Nozomi TAKEUCHI＊＊＊＊＊＊
Hidemi NAGATA
and Yosuke ENOMOTO（Received August 8, 2022; Accepted March 2, 2023）

A conductive grid electrode was placed in front of the discharge electrode of an AC-type corona ionizer to study theelectrostatic induction of charged objects at a distance of about 10 cm from the electrode and its effect on ionization. A
sinusoidal high voltage was applied to the corona electrode, and the frequency was varied between 10 Hz and 5000 Hz. The
gap width between grid electrodes ranged from 1 to 7 mm, and the number of grid electrodes ranged from 2 to 18 pcs. The
induced potential on the charged object was reduced by half when two grid electrodes with a gap width of 1 mm were used.
The induced voltage decreased with increasing gap width and number of rods. The amount of charge flowing into the gridelectrode was greater than the amount of charge flowing into the ground electrode. The half cycle discharge current increased
with increasing frequency of the applied voltage. The charge decay time increased as the vertical direction width of the gridelectrode, including the gap width, increases. The increase in charge decay time was greater at lower frequencies. It was foundthat the induced voltage suppression from the ionizer should be driven at 250 Hz or higher frequency condition.

1．序論（はじめに）り，電子デバイス製品の製造工程における歩留り低下の原

電子部品産業では，半導体素子や液晶パネルの高集積化，因となる．そのため静電気障害を防ぐための様々な対策が高速化，高精細化，動作電圧の低下に伴い，静電気による行われている．また近年の電子機器の微細化により，絶縁影響や損傷を受けやすい構造となっている．静電気の問題

耐性が低下し小さな帯電電位でもデバイスや製造装置が取は，それにより引き寄せられる塵や埃の付着をはじめ，静り扱う電子部品に影響を及ぼす場合がある

電気放電（ Electrostatic Discharge：ESD ）が IC の誤作動や去にはさまざまな手法があり，コロナ放電方式イオナイザ

内部回路の損傷などの静電気障害を引き起こすことがあは安全性の高さと取り扱いの容易さから広く用いられてい．静電気の除1-6）

る．中でも交流コロナ放電方式イオナイザは，コロナ放電
キーワード：イオナイザ，コロナ放電，誘導電位，導電性
グリッド，除電時間＊
岩手大学理工学部（〒020-8551 岩手県盛岡市上田 4-3-5）
Faculty of Science and Engineering / Iwate University. 4-35, Ueda, Morioka-City, Iwate 020-8551, Japan＊＊
東京工業大学（〒152-8550 東京都目黒区大岡山 2-12-1）
Tokyo Institute of Technology / 2-12-1 Ookayama, Meguroku, Tokyo 152-8550 Japan＊＊＊
シシド静電気株式会社（〒150-0012 東京都渋谷区広尾 5-8-14 いちご広尾ビル 9F）
Shishido Electrostatic Ltd., / 9F Ichigo BDG, 5-8-14, Hiroo,
Shibuya-Ku, Tokyo 150-0012, Japan1
ktaka@iwate-u.ac.jp
DOI：https://doi.org/10.34342/iesj.2023.47.3.114

28303455-1静電気学会誌47巻3号.indb

114

によって生成した正負のイオンが静電気を帯びた対象物にあたることで静電気を除去あるいは中和する方式である．
また，単一の電極から正負のイオンを供給することができるため，省スペースかつイオンの分布を比較的均一に生成することができ，さまざまな用途に広く用いられている

．

7-20）

交流方式を用いたイオナイザでは，対象物との距離や印加電圧によって変位電流が流れ，市販されているイオナイ
ザの場合，数十～百 V 程度の誘導電位が発生する．この誘導電位によって，静電気対策が必要な電子デバイスにおいて，静電気障害（ ESD ）が引き起こされる．特にハードディスク製造工程で，誘導帯電による障害の可能性が報告されている ．今までの調査では，金属グリッドを使用
21）

した場合誘導帯電の緩和は可能となったが，除電能力が大2023/05/18

9:18:33

コロナ放電方式交流イオナイザにおける金属グリッドを用いた誘導電位の抑制（山口 晋一ら）

115（37）

きく損なわれたため，除電能力の向上が課題となった ．
22）

先から 20 mm の距離でグリッドの中心に合わせて設置しそのため，イオナイザで生成される正負イオンのバランス

た．グリッドは，幅 200 mm の距離に設置されたカッパー（イオンバランス）と除電性能を保ちつつ，誘導電位の抑プレート（縦 230 mm，横 30 mm，厚さ 1 mm ）の設置用制も重要な要求項目となっている．本研究では，対象物への穴に保持されている．リング電極と同様に変位電流成分の静電誘導の影響の抑制を目的とし，導電性グリッド電極

は，金属棒からなるアンテナに流れる電流から算出し除去をコロナ放電電極前方に配置する手法に着目し，コロナ放した．金属棒（グリッド電極）は，平行に 1 , 3 , 5 , 7 mm

電と除電の特性へ及ぼす影響を評価したの間隔で配置し，2 本ずつ増加し 18 本まで変化させ，抵抗．

23-25）に流れる電流をグリッド電流とした．

2．実験方法

除電時間の評価には，針電極前方に高インピーダンス・

図 1 に，実験装置の概略図を示す．電極にはタングステ

高速の電位測定回路と接続したイオン捕集プレート を設

ン製の針（長さ：16 mm，半径：0.75 mm，テーパ角：20°，

置した．イオン捕集プレートにはステンレス製の金属板

曲率半径：0.075 mm ）をコロナ放電電極として，エアノ（150 × 150 mm ）を用い，誘導電位特性・除電特性では針9）2ズルの中央に埋め込み上方より高圧出力ケーブルを接続し電極の針先から 100 mm，放電特性では針先から 300 mm

た．ステンレス製のリング（内径：25 mm，外径：26 mm ）の 位 置 に 設 置 し た． 電 位 測 定 回 路 は， コ ン デ ン サ C1を対向電極として用いた．また放電電極の先端は，リング（ WIMA, FKP2-33/1000/10, 3series, 33 pF ），C2（ KEMET,

電極の中心となるよう設置した．針電極には，高電圧アンPHE448SB4100JR06, 1 nF ），オペアンプ（ Texas Instruments,

プリファイア（ Trek INC, Model 20/20C-HS ）とファンクシ

OPA454）を用いたバッファ回路で構成されている．イオンョンジェネレータ（ NF 回路設計ブロック，WF1974）を用捕集プレートの電位は C1，C2 により分圧される．バッファ

い任意の正弦波を印加した．また，除電測定後のイオン捕回路を用いて C2 の電位を測定することにより，イオン捕集

集プレートの電位（イオンバランス）が 0 V となるように，プレートの電位を測定する．バッファ 回路の出力電圧は捕

交流印加電圧の中心電圧をオフセット（直流バイアス）さ

集プレートの電位の 85 分の 1 となる．本計測回路を開発しせ調整した．振幅値は放電特性・除電特性では 8 kVP-P とし，た際，測定回路の校正を行った．校正の方法は，プレートに誘導特性では 5 kVP-P とした．周波数は，10 Hz から 5000

既知の電圧（1,000 V ）を印加した時の出力電圧を計測し，Hz の範囲で変化させた．針の後方には，エアノズル（い出力比を確認したところ 85 倍となった．イオン捕集プレート

けうち，1/4MTF-R8-010PP-IN ）を設置し，圧縮空気を注と接地間の容量は，C1，C2 の静電容量 および，配線の浮遊入することにより針前方に送風した．空気圧力は，7～21容量の合成容量となり，計算上 20.1 pF となる．プレートに

kPa とした．リング電極は 100 kΩ の抵抗を介して接地し，おける静電容量を実測したところ，プレートの容量は，20.32

抵抗における電圧降下をリング電流として計測した．静電pF（誤差 1％程度）となった．測定方法は，春日電機製ナノ誘導による誘導電位を除去するために，高圧アンプ付近に

クーロンメータ（ NK-1001A ）を使用し，プレートに 1,000 V

リング電極と同様の金属棒からなるアンテナ（直径 3 mmφ ，を印加しそのプレートに溜まった電荷をナノクーロンメータ

全長 255 mm ）を設置し，100 kΩ の抵抗（ R3，R4）を介しで測定し，Q=CV より求めた．測定時における測定者が及ぼて接地した．また，針電極から発生する電界の影響を抑制

す誤差を考慮し，プレートの容量は計算から導き出された値する目的で，100 kΩ を介して接地されたステンレス製のを採用することとした．除電時間の測定には，直流電源（シ

棒状グリッド（直径 3 mm，全長 250 mm ）を針電極の針シド静電気，スタチラー 35S ）を用い，イオン捕集プレートに± 1.1 kV を帯電させた後に，放電針からのイオンによりプ
レート電圧が± 1 kV から± 100 V までの減衰に要する時間
を除電時間と定義し評価した．電位測定回路からの出力，およびリング電極，グリッド電極に流れる電流はオシロスコー
プ（ Tektronix, MSO46）によって同時に変化を測定した．

3．実験結果と考察
3.1 誘導電位特性
図 2 に，グリッド電極を 14 本とし，グリッド間隔を変
図 1 実験装置概略図
Fig.1 Schematic of the experimental apparatus.

28303455-1静電気学会誌47巻3号.indb

115

化させたときの典型的な誘導電位波形を示す．電位測定回路の出力は，空間中のキャパシタンスと測定回路のキャパ

2023/05/18

9:18:33

116（38）

静電気学会誌 第47巻 第 3 号（2023）

図 2 典型的な誘導電位波形
Fig.2 Typical waveforms of the induced voltage.

図 4 導電性グリッド外観
Fig.4 Appearance of conductive grids.

図 5 本数固定でのギャップ幅を変化させた場合のグリッド電極
Fig.5 Grid electrodes with varying gap width with fixed number ofgrids.
図 3 本数を変化させた場合のグリッド間隔を含む見かけのグ
リッド電極幅における誘導電位
Fig.3 Induced voltage as a function of the grid electrode vertical
width including gap length.

シタンスの直列となっているため，誘導電位波形は印加電圧波形と同様の正弦波が観測される．各グリッド間隔における誘導電位波形を比較すると，グリッド間隔が 7 mm のときが最も誘導電位が小さくなり，グリッド間隔が小さくなるほど誘導電位が大きくなることがわかる．
図 3 に，グリッド電極の本数をそれぞれ 2～10 本に変化させた場合のグリッド間隔を含む見かけのグリッド電極幅における誘導電位を示す．図 4 に，導電性グリッド外観．図 5に，本数固定でのギャップ幅を変化させた場合のグリッド

図 6 本数 2 本の場合のグリッド間隔を含む見かけのグリッド
電極幅における誘導電位
Fig.6 Induced voltage as a function of the grid electrode vertical
width including gap length.

電極を示す．図のように，本数を固定しグリッド間のギャッ
プ幅を広げると，見かけ上のグリッド縦方向の長さが長くな

間の電界が遮蔽されて行くことが考えられる．一方，見かってゆく．グラフの横軸は，グリッド間隔および電極を加算

けのグリッド電極幅が大きすぎる場合は，グリッド間のギャした見かけ上の垂直方向の幅としている．図より，グリッド

ップ幅が広がることにより電界がギャップ間を貫くことで，電極本数が多いほど誘導電位の値は減少する．また，見か誘導電位が増加すると考えられる．このことから，それぞけのグリッド電極幅が広がるにつれて誘導電位は減少する

れのグリッド電極本数において適切なグリッド間隔を設定

が，あるグリッド電極幅で最小値となりその後増加することすることで誘導電位の抑制を最適化できると考えられる．

がわかる．見かけのグリッド電極幅が広がるにつれて誘導

図 6 に，グリッド電極の本数が 2 本の場合のグリッド間電位が減少する要因として，針電極とイオン捕集プレート

隔を含む見かけのグリッド電極幅における誘導電位を示

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1162023/05/18

9:18:34

コロナ放電方式交流イオナイザにおける金属グリッドを用いた誘導電位の抑制（山口 晋一ら）

117（39）す．図より，グリッド電極の本数が 2 本の場合でも最小のり，ドリフトの影響がより顕著になるためだと考えられる．

誘導電位が約 8.7 Vp-p となり，グリッド電極なしの場合とCOMSOL Multiphysics を用いた有限要素法によって解比較し，半分以上誘導電位が抑制されていることがわかる．

析した電界強度の空間分布を図 8 に，針先からの距離によ

また，グリッド間隔が最大となる 185 mm のとき，誘導電る電界強度の変化を図 9 にそれぞれ示す．グリッド本数は位も最大の約 13.3 Vp-p となるが，グリッド電極がない場合

2 本，間隔を 1 mm にしている．この結果から，針 - リンの誘導電位は約 21.4 Vp-p であるので，グリッド電極本数がグ電極における電界強度は 10 V/m 程度であり，リング電

2 本でも針先に接地されたグリッド電極を配置することで極方向へのドリフト速度は負イオンの場合 24 m/s，正イオ

誘導電位の抑制効果があるといえる．

ンの場合 17 m/s 程度となる．イオン捕集プレート方向へ®

5

3.2 放電特性の風速は約 10 m/s であり，ドリフト速度は 2 倍程度高く，

図 7 に，周波数を変化させた場合の半周期あたりのリン

グリッド方向への電界の影響は大きいと考えられる．流入

グならびにグリッドに流入する電荷量および流入する電流

電流については，周波数の増加に伴って，リング電極，グを示す．流入電荷量の図より，正周期においては，ほとん

リッド電極ともに流入する電流が増加している．これは，どの電荷がグリッド電極に流入していることがわかる．こ

周波数増加とともに針電極とリング電極間の電界の時間変れは，低周波数において顕著であり，10 Hz のときグリッ化が増加する．これは，交流電界において周波数が上昇しド電荷量が 16 nC であるのに対して，リング電荷量は 1 ～て行くと，放電電極付近での極性の切り替え速度が増すこ

2 nC であった．また，負周期においても，グリッド電極に流とで，前周期の電界（電荷）が残留し見かけの電位差が大入する電荷量が大きいことがわかる．しかし，その割合は，正周期に比べて低い．これは，負イオンの移動度（2.4×10-4m（V/ ・s） ）は正イオンの移動度（1.69×10 m（V/ ・s） ）よ
2

10）

-4

2

10）

りも高く，電界に沿ってよりリング電極へ電荷が流入しやすいことが要因として考えられる．また，放電の極性効果
により，負周期の場合コロナ放電がパルス状になるため局所的な電界強度が強く，放電領域，電離領域ともに広くな

図 8 グリッド 2 本，間隔 1 mm の場合の針 - プレート間距離変化における有限要素解析による電界強度の空間分布
Fig.8 Spatial distribution of electric field intensity by finite element
analysis for varying needle-plate distance for two grids at 1mm spacing.

図 7 周波数を変化させた場合の（ a ）リングとグリッドへの流
入電荷量（ b ）リングとグリッドへの流入電流
Fig.7 （a）Amount of charges flow into ring electrode and gridelectrode in one cycle（b）Discharge currents flow into ring
electrode and grid electrode in one cycle as a function of thefrequency.

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117

図 9 グリッド 2 本，間隔 1 mm の場合の針 - プレート間距離変化における有限要素解析による電界強度グラフ
Fig.9 Electric field intensity graph by finite element analysis for thevariation of the distance between the needle and the plate in
the case of 2 grids and 1 mm spacing.

2023/05/18

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118（40）

静電気学会誌 第47巻 第 3 号（2023）

図 10 グリッド間隔を変化させた場合のリング・グリッド流入
電流 （ a ）正周期，（ b ）負周期
Fig.10 Discharge currents flow into ring electrode and grid electrodein one cycle as a function of gap length.（a）positive and（b）
negative phases.

図 11 グリッド間隔を変化させた場合の除電時間の周波数特性（ a ）正帯電時，（ b ）負帯電時
Fig.11 The decay time for（a）positive and（b）negative charge as afunction of the frequency.

極とイオン間の電界が強まり，イオンがグリッド電極に捕集きくなり、電界強度が増すと考えられる．そのため，針電されやすくなったことが要因であると考えられる．また，高極近傍の電界強度が高く保たれる．よって，放電が起こり周波数の領域では，低周波数の領域よりも単位時間当たりやすくなり放電電流が増加すると考えられる．

に生成されるイオン量が増加し，周波数増加に伴い除電時風速の測定は，ノズルの吹き出し口からの距離を 100

間が短くなったと考えられる．500～5000 Hz では周波数増

mm まで変化させた時の流速を，テストー社製（ Testo 512

加に伴う除電時間の差はほぼない．これは，生成される電差圧計）と L 型ピトー管を使用計測し，同時に圧力も 7

荷量は増加するが，極性が異なるイオン領域が近接していkPa, 14 kPa, 21 kPa と変化させて測定した．

るため生じる，イオンの再結合の割合の変化が少ない影響

図 10 に，グリッド電極本数を 2 本としてグリッド間隔

により，除電時間の差がみられなくなったと考えられる．まを変化させた場合におけるリングとグリッド流入電流を示

た，負帯電時よりも正帯電時の除電時間が長い．これは，す．図より，グリッド間隔を広げると正，負の周期いずれ

正負イオンの移動度の差が要因であると考えられる．

もグリッド電極に流入する電流が減少し，リング電極に流図 12 に，グリッド間隔を含む見かけのグリッド電極幅

入する電荷量が増加する．これは，グリッド間隔が広がるにおける除電時間を示す．図より，見かけのグリッド電極ことでグリッド電極方向への電界が弱まり，グリッド電極

幅の増加に伴い，除電時間は増加していることがわかる．

に引き寄せられるイオンが減少することで，リング電極にこれは，グリッド間隔を一定にし，グリッド本数を増加さ

引き寄せられるイオンが増加したと考えられる．

せたことにより，イオンが通過する空間における金属グリ

3.3 除電特性

ッドの面積が広くなり，より多くのイオンがグリッド電極

図 11 に，グリッド電極本数を 18 本として，グリッド間隔に流入することが要因であると考えられる．いずれの極性を変化させた場合の除電時間の周波数特性を示す．図より，においても，特に周波数が低いほど見かけのグリッド電極

すべての周波数でグリッド間隔が狭いほど除電時間が長い

幅の影響を強く受けることがわかる．これは，低周波数領ことがわかる．これは，空間を輸送されるイオンがグリッド域では，単一極性のイオンの領域が形成されることにより上で捕集されたことが大きな要因であるといえる．また，低空間の電位が増加し，グリッド電極に捕集されやすくなる

周波数で，グリッド間隔ごとの除電時間の影響が最も大きく，ためだと考えられる．また，グリッド間隔を 7 mm とした周波数が増加するほどグリッド間隔の変化による除電時間

場合は見かけのグリッド電極幅の影響は少ない．これは針への影響は小さくなる．これは，周波数が低いほどイオン

電極近傍におけるイオン輸送経路において，十分なグリッ

輸送空間において，単一極性のイオンの領域が大きく形成

ド間隔となっているため，グリッド電極の本数を増やしてされるため，イオン領域空間の電位が増加し，グリッド電も除電時間の変動があまりなかったと考えられる．また，28303455-1静電気学会誌47巻3号.indb

1182023/05/18

9:18:35

コロナ放電方式交流イオナイザにおける金属グリッドを用いた誘導電位の抑制（山口 晋一ら）

図 12 グリッド間隔を含む見かけのグリッド電極幅における除電時間 （ a ）正帯電時，（ b ）負帯電時
Fig.12 The decay time for（a）positive and（b）negative charge as afunction of the grid electrode vertical width including gap
length.

119（41）

図 13 本数 2 本の場合のグリッド間隔を含む見かけのグリッド
電極幅における除電時間 （ a ）正帯電時，（ b ）負帯電時
Fig.13 The decay time for（a）positive and（b）negative as afunction of the grid electrode vertical withs including gridinterval.

負極性の除電の場合，見かけのグリッド電極幅が 40～50
mm 以上広がると除電時間はほとんど変化しない．一方で，正極性除電の場合には，見かけのグリッド電極幅が 60 mm以上で除電時間の変化が小さくなっている．この結果から，正帯電の除電に寄与する負イオンは正イオンより広い領域に拡散し，除電空間を輸送されている可能性がある．
図 13 に，グリッド電極の本数 2 本の場合のグリッド間隔変化における除電時間を示す．図より，グリッド間隔が広がるにつれて徐々にグリッドなしの除電時間に近づいていく．これは，グリッドの本数を 2 本と固定した条件で，グリッドの間隔を広げてゆくことにより，イオンが通過する空間における金属グリッドの面積が小さくなり，多くのイオンがグリットに吸収されず通過して行くためと考えられる．また，正帯電時よりも負帯電時のほうが，よりグリッドなしの除電時間に近づく．これは，負イオンよりも正イオンのほうが移動度が低いうえ，空気圧力が 7 kPa であるため風速の影響を受けやすいことが要因であると考えられる．

図 14 空気圧力変化における除電時間電極間隔を固定し電極本
数変化 （ a ）正帯電時，（ b ）負帯電時
Fig.14 The decay time for（ a ）positive and（ b ）negative at samegrid interval with function of number of grids.

4．まとめ

図 14 に，グリッド電極の本数を 2 から 16 本まで増やし，本研究では，イオナイザからの誘導電位の抑制を目的と

エアー圧力を 0 から 21 kPa まで増加させたときの減衰時

して，放電電極前方に接地された金属グリッド電極を用い間の変化を示す．図から，グリッド本数が増加するに従いて，誘導電位特性，放電特性および除電特性を調べた．

減衰時間が増加して行くことがわかる．また，空気圧力を誘導電位特性では，グリッド電極本数が 14 本において最増加して行くことで，除電時間が短くなっていくことがわ

もグリッド間隔の広い 7 mm で全体の幅が 133 mm のときにかる．その際，空気圧力が 5 kPa まではグリッド本数によ誘導電位は最小の 5.15 V となりグリッドのない状態から比る除電時間の違いが確認できていたが，6 kPa 以上になる

べると約 4 分の 1 となった．また，グリッド電極本数を固定とほぼ同じ除電時間で推移していく．

し，グリッド間隔を徐々に広げた場合には，見かけのグリッ

28303455-1静電気学会誌47巻3号.indb

1192023/05/18

9:18:35

120（42）

静電気学会誌 第47巻 第 3 号（2023）

ド電極幅の増加に伴い誘導電位は減少していくが，その後Proceeding of EOS/ESD Association Symposium 98, 4B.7.1,増加する．グリッド電極本数が 2 本の場合，グリッド間隔を

p.375（1998）

最小の 1 mm とし，全体の幅が 7 mm の場合，誘導電位は約10.4 V となりグリッドなしの状態から半分近く抑制されている．また同じグリッド 2 本の条件で，グリッド間隔を 29 mmとし，全体の幅が 35 mm の場合，誘導電位が約 8.7 Vp-p と最小値を取り，半分以上誘導電位が抑制することができた．
放電特性では，ほとんどの電荷がグリッド電極に流入す
ることがわかった．また，高周波領域では，低周波とは異

7） Y. Murata: Static Electricity Eliminator and Static Elimination
Technology. CMC Publishing（2004）
8） A. Steinman: Static Control Issues for Disk Drive Production
Using MR Heads. Proceedings of 18 EOS/ESD Association
Symposium, p.22（1996）
9） S. Cooray, T. Sato, and K. Okano: Basic Characteristics of theField Assisted Air Ionizer. EOS/ESD Association Symposium,
1B.2（2013）

なり両極性においてリング電極にも流入する電流が多く見

10）S. Sato, T. Ikehata, T. Terashige and K. Okano: Basicられた．除電特性では，周波数が高く，グリッド間隔が広Characteristics of Self-control Discharge Air Ionizer. IEEJ Trans.

いほど除電時間が早いことがわかった．また，本数を増加
すると除電時間が遅くなり，低周波数においてグリッド間隔による除電時間への影響が大きく，高周波数ではグリッド間隔による影響が小さいことがわかった．グリッド本数を増やすことで，除電時間が長くなる影響を確認できたが，空気圧力を増加することで，影響を低減できることもわかった．

Electrical and Electronic Engineering, 11［ S1］（2016）S29
11） K. Takahashi: Selection and Use of Ionizers as Anti-StaticTechnology. Monthly EMC, 317（2014）119
12）Y. Murata: Static Electricity Eliminator and Static Elimination
Technology. CMC Publishing（2004）
13）A. Ohsawa: 2-Delectrohydrodynamic simulations towards zero
offset voltage with corona ionizers. J. Electrostat, 71（2013）116

今回の実験結果から，高電圧の印加は周波数を 250 Hz 以

14）A. Ohsawa: Computational comparison of charge neutralizations

上で駆動させることが有効である事がわかった．また，金属of conductors and insulators with corona ionizers. J. Electrostat,

体での対策では誘導電位の抑制には効果があることがわか

71（2013）801

った．一方，除電能力の維持はかなり難しい事が判明した．
今後の予定として，誘導帯電の抑制と除電効果を向上させてゆくために，金属棒（グリッド）の直径，形状，電極に対しての距離や有効な最大幅の検証などを行い，一般的な電極構造に対しても適応可能なモデルの構築を行う．

15）A. Ohsawa: Computer simulations of insulator charge
neutralizations with a corona ionizer e Influence of initial surface
charge distribution. J. Electrostat, 71（2013）287
16）A. Ohsawa: Efficient charge neutralization with an ac corona
ionizer. J. Electrostat, 65（2007）598
17）A. Ohsawa: Modeling of charge neutralization by ionizer. J.
Electrostat, 63（2005）767

謝辞

18）K. Yoshimizu: Effects of Frequency of AC Air Ionizer on Static

本研究の一部は「令和元年度科学研究費助成事業（基盤

Neutralization Performance. J. Electrostat, 36（2013-05）297

研究 S：19H05611）」のための支援事業の補助を受けて行19）M. A. Noras, B. T. Williams, J. Kieres: A novel ion monitoring

われた．

20）M.A. Noras, D. Pritchard: Ion imbalances on an ionizercontrolled work surface. J. Electrostat, 64（2006）310

参考文献
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devices an overview. Proceeding of the IEEE, 86, Issue.2（1998）
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2023/05/18

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