2024年

產品一覽

Leading Manufacturer of Clean Robot

Product Lineup

SCR3160CSN-300-CM
3軸圓筒座標型單臂無塵室用機械手臂
高無塵等級無塵室用SCR3000CSN系列
採用閉迴路步進馬達,具有不易發生馬達失步之優點,同時使用不需要記憶電池之絕對值編碼器,
具有搬運的多樣性,優越的便利性及能安全,穩定地搬運產品之特點
適用於300mm以下晶圓及其他各式搬運物

特◆ 採用閉迴路步進馬達,負載有突然的變動或是瞬間的加速也不易發生馬達失步◆ 搭配機械式多迴轉絕對感應器,不需要記憶電池◆ 亦可根據需求設計成類似多關節水平搬運動作設計以對應平行配置工作站◆ 搬運重量：手臂第3關節3Kg以內
◆ 與本公司舊型SHR系列機種具有互換性,既有設備需進行機械手臂更新時可順利替換
SCR3000CSN系列及SCR3000CS系列之間亦有互換性

規●使用環境及規格

色

格

搬運對象

最大至300mm晶圓
手

●選配

大

※如有需要CE認證,
KCs認證等相關諮詢,歡迎與本公司業務人員聯絡

氣

●搬運方式

選配

臂

旋

轉

升

降

動作範圍 ※(手臂:第3關節中心位置)

340mm

340度角

300mm

搬運速度(平均速) ※610mm/sec

340度/sec

250mm/sec

搬運速度(最高速) ※1220mm/sec

500度/sec

320mm/sec

10.0µm以內0.0015度

2.00µm精度※Pass Line ※536mm(從本體底板到牙叉面)

重複再現精度±0.1mm以內潔淨度

ISO Class2(驅動部位排氣時)

廠務需求 ※

電源:DC24V±10% 10A

氣體:負壓-53Pa以上※為使用本公司標準規格SCR3160CSN-300-CM真空吸取型牙叉時
根據搬送物之取放方式（邊緣夾取方式,柏努利方式）需準備廠務CDA● 機械手臂本體質量:約22Kg● 控制器（C4000B） 尺寸：W297×D180×H120,質量：約5Kg※CE及KCs法規對應控制器外觀尺寸及重量將會有些許不同SCR3000系列◆ 可根據設備的設計做多樣化的設計搭配S C R 3 1 6 0 C S N - 3 0 0 - CM臂

控制器:C4000B● 控制方式:RS232C及並列埠I/O

長

Z軸行程

1 0 0
1 3 0
2 0 0

2 0 0
4 0 0 ※
5 0 0 ※
6 0 0 ※
※為選配

● 參考圖面．影片請參考網址連結

https://www.jel-robot.com.cn
手持編程器:JCT3B

1

JEL Corporation

JEL

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其他尚有許多特殊設計機種,對本公司產品若有任何疑問歡迎隨時與本公司業務人員聯絡

STCR4160SN-300-CM
4軸圓筒座標型雙臂無塵室用機械手臂
高無塵等級無塵室用STCR4000SN系列
採用閉迴路步進馬達,具有不易發生馬達失步之優點,同時使用不需要記憶電池之絕對值編碼器,
具有搬運的多樣性,優越的便利性及能安全,穩定地搬運產品之特點
適用於300mm以下晶圓及其他各式搬運物

特◆ 使用雙臂設計以縮短晶圓交換時間◆ 採用閉迴路步進馬達,負載有突然的變動或是瞬間的加速也不易發生馬達失步◆ 搭配機械式多迴轉絕對感應器,不需要記憶電池◆ 亦可根據需求設計成類似多關節水平搬運動作設計以對應平行配置工作站◆ 搬運重量：手臂第3關節3Kg以內
◆ 與本公司舊型STHR系列機種具有互換性,既有設備需進行機械手臂更新時可順利替換
STCR4000S系列及STCR4000SN系列之間亦有互換性

規●使用環境及規格

色

格

搬運對象

最大至300mm晶圓
手

●選配

選配

轉

升

降

動作範圍 ※(手臂:第3關節中心)

315mm

340度

300mm

搬運速度(平均速度) ※570mm/sec

220度/sec

200mm/sec

搬運速度(最高速) ※1140mm/sec

270度/sec

250mm/sec

12.6µm以內0.0045度

6.25µm精度※Pass Line ※620mm(從本體底板到牙叉面)

重複再現精度±0.1mm以內潔淨度

ISO Class2 (驅動部位排氣時)

廠務需求 ※

電源:DC24V±10% 10A

氣

●搬運方式

旋

大

※如有需要CE認證,
KCs認證等相關諮詢,歡迎與本公司業務人員聯絡臂氣體:負壓-53Pa以上※為使用本公司標準規格STCR4160CSN-300-CM真空吸取型牙叉時
根據搬送物之取放方式（邊緣夾取方式,柏努利方式）需準備廠務CDA● 機械手臂本體質量:約30Kg● 控制器（C4000B） 尺寸：W297×D180×H120, 重量：約5kg※CE及KCs法規對應控制器外觀尺寸及重量將會有些許不同STCR4000系列◆ 可根據設備的設計做多樣化的設計搭配S T C R 4 1 6 0 S N - 3 0 0 - CM臂

控制器:C4000B● 控制方式:RS232C及並列埠I/O

長

Z軸行程

1 0 0
1 3 0
2 0 0

2 0 0
4 0 0 ※
5 0 0 ※
6 0 0 ※
※為選配

● 參考圖面．影片請參考網址連結

https://www.jel-robot.com.cn
手持編程器:JCT3B

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Leading Manufacturer of Clean Robot2

SCR3160CS-300-PM
3軸圓筒座標型單臂無塵室用機械手臂
高無塵等級無塵室用SCR3000CS系列
採用開迴路控制步進馬達之高安全性,高穩定性系列機種
本機種為敝公司之標準規格機種,具有多年的設計經驗,也容易根據客戶需求展開客製化設計
適用於300mm以下晶圓及其他各式搬運物

特色◆ 依照設備的設計可選擇底部固定或是法蘭固定◆ 可根據搬運物及設備之尺寸搭配最適合之牙叉
◆ 搬運重量：手臂第3關節3Kg以內
◆ 與本公司舊型SHR系列機種具有互換性,既有設備需進行機械手臂更新時可順利替換
SCR3000CS系列及SCR3000CSN系列之間亦有互換性

規

格

搬運對象

最大至300mm晶圓●使用環境及規格

手

●選配

大
氣

●搬運方式

旋

轉

升

降

動作範圍 ※(手臂:第3關節中心)

340mm

340度

300mm

搬運速度(平均速) ※610mm/sec

340度/sec

250mm/sec

搬運速度(最高速) ※1220mm/sec

500度/sec

320mm/sec

12.6µm以內0.0045度

6.25µm精※有關於CE認證相關事
宜也請與我們聯絡

臂度※Pass Line ※536mm(從本體底板到牙叉面)

重複再現精度±0.1mm以內潔淨度

ISO Class2 (驅動部位排氣時)

廠務需求 ※

電源:DC24V±10% 15A

氣體:負壓-53Pa以上※為使用本公司標準規格SCR3160CS-300-PM真空吸取型牙叉時
根據搬送物之取放方式（邊緣夾取方式,柏努利方式）需準備廠務CDA● 機械手臂本體質量:約20Kg● 控制器（C4000） 尺寸：W300×D110×H120,重量：約2kg※CE及KCs法規對應控制器外觀尺寸及重量將會有些許不同SCR3000系列◆ 可根據設備的設計做多樣化的設計搭配S C R 3 1 6 0 C S - 3 0 0 - PM臂

控制器:C4000● 控制方式:RS232C及並列埠I/O

長

Z軸行程

1 0 0
1 3 0
2 0 0

2 0 0
4 0 0 ※
5 0 0 ※
6 0 0 ※
※為選配

● 參考圖面．影片請參考網址連結

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手持編程器:JCT1

3

JEL Corporation

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其他尚有許多特殊設計機種,對本公司產品若有任何疑問歡迎隨時與本公司業務人員聯絡

STCR4160S-300-PM
4軸圓筒座標型雙臂無塵室用機械手臂
高無塵等級無塵室用STCR4000S系列
採用開迴路步進馬達的高安全性,高穩定性系列機種
本機種為敝公司之標準規格機種,具有多年的設計經驗,也容易根據客戶需求展開客製化設計
適用於300mm以下晶圓及其他各式搬運物

特色◆ 使用雙臂設計以縮短晶圓交換時間◆ 依照設備設計可選擇底邊固定或法蘭固定◆ 可根據搬運物及設備之尺寸搭配最適合之牙叉
◆ 搬運重量：手臂第3關節3Kg以內
◆ 與本公司舊型STHR系列機種具有互換性,既有設備需進行機械手臂更新時可順利替換
STCR4000S系列及STCR4000SN系列之間亦有互換性

規

格

搬運對象

●使用環境及規格

最大至300mm晶圓
手

●選配

轉

升

降

動作範圍 ※(手臂:第3關節中心)

315mm

340度

300mm

搬運速度(平均速) ※570mm/sec

220度/sec

200mm/sec

搬運速度(最高速) ※1140mm/sec

270度/sec

250mm/sec

12.6µm以內0.0045度

6.25µm精度※Pass Line ※620mm(從本體底板到牙叉面)

重複再現精度±0.1mm以內潔淨度

ISO Class2 (驅動部位排氣時)

廠務需求 ※

電源:DC24V±10% 16A

氣

●搬運方式

旋

大

※有關於CE認證相關事
宜也請與我們聯絡

臂氣體:負壓-53Pa以上※為使用本公司標準規格STCR4160CS-300-PM真空吸取型牙叉時
根據搬送物之取放方式（邊緣夾取方式,柏努利方式）需準備廠務CDA● 機械手臂本體質量:約30Kg● 控制器（C4000） 尺寸：W300×D110×H120 質量：約2Kg※CE及KCs法規對應控制器外觀尺寸及重量將會有些許不同STCR4000系列◆ 可根據設備的設計做多樣化的設計搭配S T C R 4 1 6 0 S - 3 0 0 - PM臂

控制器:C4000● 控制方式:RS232C及並列埠I/O

長

Z軸行程

1 0 0
1 3 0
2 0 0

2 0 0
4 0 0 ※
5 0 0 ※
6 0 0 ※
※為選配

● 參考圖面．影片請參考網址連結

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手持編程器:JCT1

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4

GCR4210-300-PM
無塵等級4軸水平多關節型單臂機械手臂
高無塵等級無塵室用GCR4000-PM系列

特◆ 僅需要機械手臂即可對應SEMI標準兩Port◆ 依照設備設計可選擇底邊固定或法蘭固定◆ 搬運重量：手臂第3關節3Kg以內

規採用絕對值編碼器步進馬達的高安全性,高穩定性系列
本機種為敝公司之標準規格機種,具有多年的設計經驗,也容易根據客戶需求展開客製化設計
適用於300mm以下晶圓及其他各式搬運物●使用環境及規格

大※有關於CE認證相關事
宜也請與我們聯絡

氣

●搬運方式

格

搬運對象

最大至300mm晶圓
手

臂

旋

轉

升

降

動作範圍 ※(手臂:第3關節中心)

400mm

335度

300mm

搬運速度(平均速) ※730mm/sec

280度/sec

200mm/sec

搬運速度(最高速) ※1100mm/sec

400度/sec

250mm/sec

0.0055度

0.0025度

6.25µm

精
●選配

色

度※

Pass Line ※620mm(從本體底板到牙叉面)

重複再現精度±0.1mm以內潔淨度

ISO Class2 (驅動部位排氣時)

廠務需求 ※

電源:DC24V±10% 15A

氣體:負壓-53Pa以上※為使用本公司標準規格GCR4210-300-PM真空吸取型牙叉時
根據搬送物之取放方式（邊緣夾取方式,柏努利方式）需準備廠務CDA● 除步進馬達機種之外尚有交流伺服馬達機種● 機械手臂本體質量:約28Kg ● 控制器（C4451） 尺寸：W300×D230×H142 質量：約2Kg※CE及KCs法規對應控制器外觀尺寸及重量將會有些許不同

GCR-PM系列◆ 可根據設備的設計做多樣化的設計搭配

GC R 4 2 1 0 - 3 0 0 - PM
Z軸行程

馬達式樣

4 0 0※ AM
5 0 0※ AM※為選配

控制器:C4451● 控制方式:RS232C及並列埠I/O● 參考圖面．影片請參考網址連結

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手持編程器:JCT5B

5JEL Corporation

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其他尚有許多特殊設計機種,
對本公司產品若有任何疑問
歡迎隨時與本公司業務人員
聯絡

其他尚有許多特殊設計機種,對本公司產品若有任何疑問歡迎隨時與本公司業務人員聯絡

GTCR5280-300-AM
5軸水平多關節型單臂雙牙叉無塵用機械手臂
高無塵等級無塵室用GTCR5000系列
單臂雙牙叉設計,即使是單臂亦能達到雙臂機種之功能採用直流伺服馬達以達到快速,安全且高穩定性搬運之系列機種
除了能對應到最大300mm晶圓之外亦適用於各式形狀搬運物之搬運

特色◆ 適用於搬運大尺寸晶圓及小型玻璃基板◆ 300mm晶圓搬運時機械手臂可不須搭配走行軸,快速取放且可對應到3個FOUP◆ 各軸使用具有絕對值編碼器之伺服馬達◆ 機械手臂動作軌跡最佳化,可更高速且精準的搬送晶圓◆ 搬運重量：手臂第3關節4Kg以內

規

格

搬運對象

大尺寸晶圓及小型面板●使用環境及規格

手

●選配

轉

升

降

553mm

335度

300mm

搬運速度(平均速) ※833mm/sec

250度/sec

300mm/sec

搬運速度(最高速) ※1400mm/sec

350度/sec

450mm/sec

0.0011度

0.0013度

1.96µm度※

698mm(從本體底板到上臂牙叉面)

重複再現精度±0.1mm以內潔淨度

ISO Class2 (驅動部位排氣時)

廠務需求 ※

電源:單相AC200V±10% 10A

氣Pass Line ※

大

●搬運方式

旋

動作範圍 ※(手臂:第3關節中心)精※有關於CE認證相關事
宜也請與我們聯絡

臂氣體:負壓-53Pa以上※為GTCR5280-300-AM真空吸取型牙叉,為本公司標準規格品。
根據搬送物之取放方式（邊緣夾取方式,柏努利方式）需準備廠務CDA● 機械手臂本體質量:約53Kg ● 控制器（C5000S） 尺寸：W370×D330×H270 質量：約15Kg※CE及KCs法規對應控制器外觀尺寸及重量將會有些許不同GTCR系列◆ 可根據設備的設計做多樣化的設計搭配G T C R 5 2 8 0 - 3 0 0 - AM
臂

長

Z軸行程

2 1 0 ※ 3 2 0 ※4 2 0 ※
控制器:C5000S※為選配● 控制方式:RS232C及並列埠I/O● 參考圖面．影片請參考網址連結

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SVCR3260-020-PM
3軸圓筒座標型單臂無塵室用機械手臂
真空腔體用機械手臂SVCR3000系列
適合於真空環境內搬運300mm以下各式搬運物之系列
採用開迴路控制步進馬達的高安全性,高穩定性之系列
本機種為敝公司之標準規格機種,具有多年的設計經驗,也容易根據客戶需求展開客製化設計●使用環境及規格

特色◆ 真空環境專用◆ 手臂關節部位以磁流體密封◆ 真空密封：以磁流體及蛇腹管密封◆ 潔淨度對應：於機械手臂內設計排氣用濾網◆ 搬運重量：手臂第3關節2kg以內◆ 與本公司舊型SVHR系列機種具有互換性,既有設備需進行機械手臂更新時可順利替換

規

格

搬運對象

最大至300mm晶圓
手

●選配

真

※如有需要CE認證,
KCs認證等相關諮詢,歡迎與本公司業務人員聯絡

空

●搬運方式

臂

旋

轉

升

降

動作範圍 ※(手臂:第3關節中心)

520mm

330度

20mm

搬運速度(平均速) ※300mm/sec

120度/sec

20mm/sec

搬運速度(最高速) ※550mm/sec

170度/sec

30mm/sec

82µm以內

0.009度1.25µm精度※Pass Line ※98mm(從本體頸部組裝面到牙叉面)

重複再現精±0.1mm以內潔淨度採用磁流體及濾網密封

耐真空度

1.33×10-6Pa

廠務需求

電源:DC24V±10% 8A※為SVCR3260-020-PM（步進馬達）標準規格時● 除步進馬達機種之外尚有交流伺服馬達機種● 機械手臂本體質量:約25Kg● 控制器（C4000） 尺寸：W300×D110×H120,重量：約2kg※CE及KCs法規對應控制器外觀尺寸及重量將會有些許不同SVCR3000系列◆ 可根據設備的設計做多樣化的設計搭配S VC R 3 2 6 0 - 0 2 0 - PM
臂

長

1 6 0
1 9 0
3 3 0

控制器:C4000● 控制方式:RS232C及並列埠I/O

Z軸行程

馬達規格

0 4 0

AM

● 參考圖面．影片請參考網址連結

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手持編程器:JCT1

7

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其他尚有許多特殊設計機種,對本公司產品若有任何疑問歡迎隨時與本公司業務人員聯絡

STVCR4160S-050-PM
4軸圓筒座標型雙臂無塵室用機械手臂
真空腔體用機械手臂STVCR4000系列
適合於真空環境內搬運300mm以下各式搬運物之系列
採用開迴路控制步進馬達的高安全性,高穩定性之系列
本機種為敝公司之標準規格機種,具有多年的設計經驗,也容易根據客戶需求展開客製化設計●使用環境及規格

特色◆ 真空環境專用◆ 雙臂設計以節省交換片時間◆ 手臂關節部位以磁流體密封◆ 真空密封：以磁流體及蛇腹管密封◆ 潔淨度對應：於機械手臂內設計排氣用濾網◆ 搬運重量：手臂第3關節2kg以內◆ 與本公司舊型STVHR系列機種具有互換性,既有設備需進行機械手臂更新時可順利替換

規

格

搬運對象

最大至300mm晶圓
手

●選配

轉

升

降

動作範圍 ※(手臂:第3關節中心)

310mm

330度

50mm

搬運速度(平均速) ※300mm/sec

110度/sec

30mm/sec

搬運速度(最高速) ※550mm/sec

150度/sec

50mm/sec

10.06µm以內

0.00225度

0.625µm

精度※

Pass Line ※196mm(從法蘭到牙叉面)

重複再現精±0.1mm以內潔淨度採用磁流體及濾網密封

耐真空度

1.33×10-6Pa

廠務需求

電源:DC24V±10% 16A

空

●搬運方式

旋

真

※如有需要CE認證,
KCs認證等相關諮詢,歡迎與本公司業務人員聯絡

臂※為STVCR3260-020-PM（步進馬達）標準規格時● 步進馬達的規格亦可替換成內含絕對編碼器之直流伺服馬達系列● 機械手臂本體質量:約80Kg ● 控制器（C4000） 尺寸：W300×D110×H120,重量：約2kg※CE及KCs法規對應控制器外觀尺寸及重量將會有些許不同STVCR4000系列◆ 可根據設備的設計做多樣化的設計搭配S T VC R 4 1 6 0 S - 0 5 0 - PM臂

控制器:C4000

長

馬達規格

1 9 0
2 6 0

● 控制方式:RS232C及並列埠I/OAM● 參考圖面．影片請參考網址連結

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手持編程器:JCT4B

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其他尚有許多特殊設計機種,
對本公司產品若有任何疑問
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8

GTVCR5330-060-AM
5軸水平多關節型單臂雙牙叉無塵室用機械手臂
真空腔體用機械手臂GTVCR5000系列
對應平行配置真空腔體各站間之搬運
搭載AC伺服馬達可達到產品高速搬運,高安全性以及高安定性
真空環境中最大可對應到運送300mm尺寸的各類型製品

特◆ 真空環境用◆ 平行配置真空腔體各站間之搬運◆ 手臂關節部位採用磁流體以及蛇腹管密封設計◆ 真空密封：以磁流體及蛇腹管密封◆ 潔淨對應：手臂內裝備排氣用濾網◆ 搬運重量：手臂第3關節4kg以內

規●使用環境及規格

色

格

搬運對象

最大至300mm晶圓
手

●選配

真

※有關於CE認證相關事
宜也請與我們聯絡

空

●搬運方式

臂

旋

轉

升

降

動作範圍 ※(手臂:第3關節中心)

635mm

360度

60mm

搬運速度(平均速) ※640mm/sec

160度/sec

60mm/sec

搬運速度(最高速) ※950mm/sec

200度/sec

85mm/sec

0.00081度

0.00072度

0.98µm精度※Pass Line ※219mm(從法蘭到牙叉面)

重複再現精±0.1mm以內潔淨度採用磁流體及濾網密封

耐真空度

1.33×10-6Pa

廠務需求

電源:單相AC200V～230V+10%～-15% 2kVA

50/60Hz※為GTVCR5330-060-AM之標準規格時● 機械手臂本體質量:約75Kg● 控制器（C5000S） 尺寸：W370×D330×H270,重量：約23kg※CE及KCs法規對應控制器外觀尺寸及重量將會有些許不同GTVCR5000系列◆ 可根據設備的設計做多樣化的設計搭配G T C R 5 3 3 0 - 0 6 0 - AM
臂

長

2 8 0

控制器:C5000S● 控制方式:RS232C及並列埠I/O● 參考圖面．影片請參考網址連結

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手持編程器:JCT5B

9JEL Corporation

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其他尚有許多特殊設計機種,對本公司產品若有任何疑問歡迎隨時與本公司業務人員聯絡

SAL38C3HV

特色◆ 可對應矽晶圓,矽晶圓貼藍膜,透明,半透明等材質晶圓◆ 可對應非SEMI規格形狀之晶圓切角,切邊◆ 可選擇搭配Z軸進行自動反復巡邊操作
◆ 附有可自行簡易追加產品設定之巡邊器專用軟體◆ 馬達驅動及控制器均內建於機體內

多品種晶圓對應巡邊器可對應鏡面,透明以及半透明等材質晶圓,
或有翹曲及特殊規格的切角,平邊等各種產品形狀之巡邊器規有翹曲或特殊變形及透明產品等光透過率不同的產品也有可能僅需要一台即可對應。(※1)●使用環境及規格

●選配

搬運對象

2吋～150mm晶圓(SAL3262HV)
100～200mm(SAL3482HV)
200～300mm(SAL38C3HV)

定位時間

中心定位：3sec(※1)

定位精度

中心定位：±0.1mm以內(※1)
平邊或切角：±0.1度以內(※1)

感應方式

Image sensor 加上LED照明搭配以檢測晶圓邊緣

巡邊晶圓尺寸切換功能

透過指令控制進行通訊及切換

潔淨度ISO Class2 (驅動部位排氣時)

廠務需求

電源:DC24V±10% 3A

大氣體:負壓-53Pa以上氣※如有需要CE認證,
KCs認證等相關諮詢,歡迎與本公司業務人員聯絡

格● 巡邊器本體質量:約10Kg※1：根據產品的不同定位時間及定位精度會有所不同,可針對客戶事先提供之產品實際進行搬運確認

SAL3000HV系列◆ 配合客戶晶圓尺寸有各種產品搭配S A L 3 8 C 3 H VZ ※
晶圓尺寸

升降軸

2 6
4 8

※為選配

● 參考圖面．影片請參考網址連結

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JEL

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歡迎隨時與本公司業務人員
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Leading Manufacturer of Clean Robot

10

GCR4280-300-AM

大氣

4軸水平多關節型單臂無塵室用機械手臂
高無塵等級無塵室用GCR4280-AM系列
特色◆ 臂長種類：280mm◆ 僅需要機械手臂即可對應SEMI標準3Port（300mm晶圓）◆ Z軸行程種類：300mm,420 mm◆ 搬運重量：手臂第3關節4Kg以內
◆ 依照設備設計可選擇底邊固定或法蘭固定◆ 各軸採用內含絕對編碼器之直流伺服馬達

KHR3480-290-AM◆ 晶圓取放方式：真空吸取方式,托盤方式,邊緣夾取方式

大氣

無塵室用直線式機械手臂（一次搬運25片300mm晶圓）
可同時移轉最多25片晶圓
一次取放25片晶圓，可大幅縮短Cassette間移轉的時間
搭配旋轉軸可在複數的Cassette之間進行晶圓移轉特◆ 通訊方式: RS232C◆ 牙叉材質: 氧化鋁陶瓷◆ 晶圓取片方式: 托盤式及邊緣對齊方式◆ 各軸使用包含絕對值型編碼器的AC伺服馬達(不須記憶用電池)

無塵等級4軸圓筒座標雙臂機械手臂

高無塵等級無塵室用MCR3000系列
各軸均使用直流伺服馬達以達到高速搬送適用於高產出速度應用

特

色

大氣

◆ Z軸行程種類：300mm,400mm,420mm,500mm◆ 搬送重量：手臂第3關節4kg以內
◆ 依照設備設計可選擇底邊固定或法蘭固定◆ 各軸採用內含絕對編碼器之直流伺服馬達◆ 晶圓取放方式：真空吸取方式,邊緣夾取方式,柏努利方式

SVCR3330-060-AM
3軸圓筒座標型單臂無塵室用機器手臂真空腔體用SVCR3000系列

各軸採用直流伺服馬達以實現高速搬送適用於高速,高產能設備

適用於真空腔體內托盤,載盤等重量物之搬送

特11

3軸圓筒座標型單臂無塵室用機械手臂

高無塵等級無塵室用MTCR4000系列
色◆ 臂長種類：160mm,200mm,280mm◆ Z軸行程種類：300mm,400mm,420mm,500mm◆ 搬運重量：手臂第3關節4Kg以內
◆ 使用雙臂設計以縮短晶圓交換時間◆ 依照設備設計可選擇底邊固定或法蘭固定◆ 各軸採用內含絕對編碼器之直流伺服馬達◆ 晶圓取放方式：真空吸取方式,托盤方式,邊緣夾取方式,柏努利方式

JEL Corporation

大氣◆ 臂長種類：160mm,200mm,280mm

色

MTCR4160-300-AM

MCR3160C-300-AM

特色◆ 臂長種類：330mm◆ Z軸行程種類：60mm◆ 搬運重量：手臂第3關節10Kg以內
◆ 手臂關節部位採用磁流體以及蛇腹管密封設計
各軸採用內含絕對編碼器之直流伺服馬達◆ 晶圓取放方式：托盤方式

真空

其他尚有許多特殊設計機種,對本公司產品若有任何疑問歡迎隨時與本公司業務人員聯絡

SWCR3160CS-300-PM

防水

無塵室用3軸圓筒座標型單臂機械手臂

STWCR4160S-300-PM

真空腔體內4kg以下之托盤(tray)可以雙牙叉方式搬送

防水型機械手臂SWCR3000系列

防水型機械手臂STWCR4000系列

對應300mm晶圓,具有翻轉及晶圓邊緣夾取功能
防水等級IP64,適用於有酸/鹼環境製程之晶圓搬送

對應300mm晶圓且具有翻轉及邊緣夾持功能
IP64 LSI製程防水等級,適合用於耐酸鹼環境之搬運

特色◆ 臂長種類：160mm◆ Z軸行程種類：200mm,300mm◆ 搬運重量：手臂第3關節3Kg以內
◆ 手臂部位施以耐腐蝕鐵氟龍表面處理◆ 手臂關節部位使用V seal防水◆ 零件接合部分採用FKM packing防水◆ Z軸採用蛇腹管防水

SAL20C1

特◆ 各軸採用步進馬達◆ 晶圓取放方式：真空吸取方式,
托盤方式,邊緣夾取方式搭配過濾網

色◆ Z軸行程種類：200mm,300mm◆ 搬運重量：手臂第3關節3Kg以內
◆ 手臂部位施以耐腐蝕鐵氟龍表面處理◆ 手臂關節部位使用V seal防水◆ 零件接合部分採用FKM packing防水◆ Z軸採用蛇腹管防水

搬運系統

大氣

防水

◆ 使用雙臂設計以縮短晶圓交換時間◆ 各軸採用步進馬達◆ 晶圓取放方式：真空吸取方式,
托盤方式、邊緣夾取方式

大氣以邊緣夾取方式對應300mm晶圓之巡邊器

桌上型系統,Sorter系統,包裝機

採用夾邊方式以達到最少晶圓接觸面積從桌上型系統到大型系統均可根據客戶需求進行提案

特

桌上型系統

色

Sorter系統
SSY-10000(對應100mm
晶圓之桌上型系統)◆ 以夾邊方式進行高速且高精準度之巡邊
◆ 採用減少因表面摩擦而造成異物汙染之設計◆ 可對應150mm,200mm等各種晶圓尺寸◆ 驅動馬達及控制器內建於機體內SVAL3001

150mm對應
Sorter系統

晶圓搬運盒包裝/反包裝機真空

真空環境巡邊器

SSY-10010(晶圓搬運盒包裝及反包裝自動機)於真空環境內以邊緣夾持方式
夾取晶圓或是晶圓托盤之巡邊器
特色◆ 搬運重量：4Kg以內◆ 僅需將定位感知器配置於真空環境下並將本機械手臂單體設置即完成,故能提升設備設計的自由度

Sorter系統（4-port inline type）◆ 手臂關節部位採用磁流體以及蛇腹管密封設計◆ 使用索引功能可配合托盤內晶圓配置狀態進行任意角度迴轉

Leading Manufacturer of Clean Robot12

●選配產品(牙叉列表)

真空吸取牙叉

柏努利吸筆

I型真空吸牙叉,Y型真空吸牙叉

可取放2,3吋及100～150mm晶圓

多使用於大氣環境之機械手臂,以真空（負壓）吸取方式吸取產品
牙叉表面施以導電性鐵氟龍處理,在搬送產品時能減輕靜電及接觸對產品造成的傷害

本產品為使用於半導體製程(前段製程)或半導體晶圓生產工廠中從晶舟盒及卡匣中取出或放入晶圓之工具。
本產品為以柏努利原理方式取放晶圓之小型且輕量之吸筆
由於非使用真空吸取方式,故可將取放中造成破片的風險降至最小
吸筆為可彎設計,一般平放取放片之外,晶舟盒及卡匣亦能簡單取放
除晶圓以外其他特殊形狀之產品也能客製化對應

特式

SC-IW-200

搬運對象

矽晶圓等

搬運對象尺寸全厚材

型

SC-IW-240

SC-YW-200

SC-YW-227

3D-02229

3D-01661

3吋
φ100mm～200mm

3吋
φ100mm～200mm

φ100mm～200mm

φ100mm～200mm

φ150mm～300mm

φ300mm

長

200mm

240mm

200mm

227mm

242mm

242mm

度

2mm

2mm

2mm

2mm

2mm

3mm

質

高純度鋁質陶瓷燒結體

表面處理

導電性鐵氟龍電鍍晶圓搬運方式

真空吸取

色◆ 以氣旋效果達到非真空吸取又能取放晶圓之功能◆ 與被搬送物接觸部分設計墊片
（材質：FKM）以緩和接觸時的衝擊
同時又達到不需要限位塊防止
產品滑動效果◆ 採用軟管設計,使用者可任意調整
合適角度使使用
※若有需取放其他非規格產品需求（規格,尺寸…等）歡迎隨時與本公司業務人員聯絡

其他各式搬運物（尺寸,形狀）對應用牙叉均可客製化設計

柏努利原理

側夾式牙叉

柏努利原理微接觸牙叉,柏努利原理完全非接觸牙叉

適用於已經過表面處理等晶圓背面不可接觸之晶圓搬運

適用於較大翹曲以及較薄產品之高性價比柏努利原理
可搭配敝公司任一款大氣環境用機械手臂
可提供客戶產品驗證服務,各種形狀及大小之晶圓,各種翹曲程度及產品厚度均可根據客戶產品進行設計

側夾式牙叉由於在夾取時具有些許中心對位功能,較適合托盤式等不具備定位功能之工作站
晶圓前後方向以汽缸進行夾持同時對位

非接觸方式
接觸方式

材質

鋁質

表面處理

黑色陽極處理晶圓搬運方式

使用旋風式柏努利吸盤及限位塊（PEEK材質）
以保持產品搬運時的安定（與產品接觸部位可選用多種材質製作）

廠務需求30～80L/min（根據搬運物的大小尺寸有所不同）

材質

鋁質

表面處理

黑色陽極處理晶圓搬運方式
晶圓搬運方式 使用旋風式柏努利軟性吸盤（與晶圓接觸部位有多種材質可選擇）
廠務需求

13

JEL Corporation

30～80L/min（根據搬運物的大小尺寸有所不同）（限制晶圓側邊以防止側向滑移）托盤式牙叉
適用於有較大翹曲等真空吸取時會發生漏真空問題之搬運物
適用於背面外圈及邊緣處可以碰觸之搬運用牙叉利用牙叉的推拔斜面設計及搬運物自身的重量,將搬運物限制在牙叉內以進行搬送

其他尚有許多特殊設計機種,對本公司產品若有任何疑問歡迎隨時與本公司業務人員聯絡● 選擇機械手臂
根據搬運重量及最遠搬運距離根據產品系列
單

搬運重量

（※1）

SCR3000CS

LTHR4400

15kg

LHR3400

大氣型

LVHR3440
10kg

SVCR3330

4kg

GCR4210-AM

GCR4280-AM

MTCR4160

MTCR4200

MTCR4280

MCR3160

MCR3200臂雙臂

STCR4000S

主要用途
半導體用,圓筒座標

SCR3000CSN

STCR4000SN

半導體用,圓筒座標

MCR3000

MTCR4000

半導體用,圓筒座標

GCR4000

GTCR5000

半導體用,水平多關節

LHR3000

LTHR4000玻璃基板用,圓筒座標

真空型

SVCR3000STVCR4000

半導體用,圓筒座標

防水型

SWCR3000CSSTWCR4000S

半導體用,圓筒座標

根據動作方式
圓筒座標型

適用於各站以機械手臂為圓心配置方式

水平多關節型

適用於各站平行配置方式

GCR4210-PM
3kg

STCR4100S

STVCR4190

STCR4200S

SCR3100CS

SVCR3190

SCR3200CS

操作教育訓練為了讓採購JEL機械手臂之客戶
安全且有效率的使用敝公司產品,敝公司亦有安排機械手臂相關教
育訓練

STVCR4160
2kg

SVCR3160
400mm

600mm

SVCR3260
800mm

1000mm

1500mm
最遠搬運距離（※2）※1 搬運重量為指機械手臂第3關節能承受之重量（Payload）,並非指被搬運物本身之重量※最遠搬運距離為加上計算牙叉固定塊及牙叉長度之概估值※除上述之產品外,尚有其他各種特殊規格產品,詳細請參閱網頁
https://www.jel-robot.com.cn［實施地點］● JEL總公司● JEL東京營業所
※若有其他的訓練需求，也可聯繫JEL的
海外代理商進行洽談※不發行與勞動安全衛生法規相關之結業證書

Leading Manufacturer of Clean Robot14

日本國內售後服務據點

海 外 代 理 商 、售 後 服 務 據 點
韓

總

公

司

國

台

灣

北

京

東 京 營 業 所

JELK CO., LTD.

佳霖科技股份有限公司

https://www.jelk.co.kr

Challentech International Corporation

75, Seokmun-gil, Seonggeo-eup,
Seobuk-gu, Cheonan-si,
Chungnam-do 31053, Korea

30267 新竹縣竹北市泰和路21號

TEL: +82-41-583-6360
FAX: +82-41-583-6469
E-mail: master@jelk.co.kr

https://www.challentech.com.tw
TEL: +886-3-5536525
FAX: +886-3-5531908
E-mail: ｌobo@challentech.com.tw

海外代理商
韓

〒101-0025 日本東京都千代田區
神田佐久間町4-18 神田分銅大樓2F〒720-0831 日本廣島縣福山市草戶町2-8-20
TEL: +81-84-932-6500
FAX: +81-84-932-6501
E-mail: info@jel-robot.co.jp

国

Beijing REJE Automation Co., Ltd.

https://www.reje.com.cn

101111 北京市北京經濟技術開發區科創十街10號院3號樓
TEL： +86-10-5382-2087,+86-133-2115-2839
E-mail： xiaoshou06@reje.com.cn

海外合作夥伴上海

TEL： +81-3-5825-9071
FAX：+81-3-5825-9072
E-mail：tokyjim@jel-robot.co.jp

上海Contact NAGASE's
office in China

總公司地圖

東京營業所地圖

日本國內生產據點

Inatech & CORP Inc.
J E L

佐 波 工 廠北京銳潔機器人科技
有限公司

高 知

〒720-0835
日本廣島縣 福山市
佐波町245-1〒782-0010
日本高知縣香美市土佐山田町
Techno Park 4

TEL： +81-84-952-5590
FAX：+81-84-952-5591

TEL： +81-887-53-1181
FAX：+81-887-53-1182
E-mail：kochi@jel-robot.co.jp

http://www.inatechncorp.com

上海鋭潔芯導體機器人有限公司 芯鈦半導體設備（上海）Shanghai REJE Robotics Co., Ltd.
有限公司

#C-812, 168, Gasan digital
1-ro, Geumcheon-gu,
Seoul 08507, Korea

200120 中國上海市浦新區金科路
2889弄3號長泰廣場C座6樓

TEL: +82-2-2026-0660
FAX: +82-2-2026-0661
E-mail: jel-robot@inacorp.co.kr

台灣https://www.reje.com.cn

TEL： +86-21-2050-1619,+86-178-1202-2295
E-mail： xiaoshou05@reje.com.cn

美國Sintaike Semiconductor
Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

http://www.sintaike.com

201108 中國上海市閔行區金都路
1165弄123號南方城市園6棟3-4樓
TEL : +86-21-52231829（ 座機 ）+86-13564665802（ 手 機 ）E-mail： info@sintaike.com

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佐波工廠地圖

海外據點
捷 益 爾 ( 上 海 ) 機 器 人有 限 公 司

公 司 概 要上 海

韓 國 分 公 司

韓 國

中國上海市浦新區金 科路
2889弄3號長泰廣場
C座6 樓625

F20Ho, 4F 401,402Ho, 526,
Maesonggosaek-ro, Gwonseon-gu,
Suwon-si, Gyeonggi-do 16634, Korea

TEL : +86-21-2050-1625（ 座機 ）+86-13021105268（ 手 機）
E-mail: shanghai@jel-robot.com

TEL : 韓國 +82-10-6759-6360
日本 +81-80-6340-9905（080-6340-9905）
E-mail: jkl@jel-robot.co.jp

公司名 ：JEL Corporation
資本額 ：7,457萬日圓● 創立：1993年● 董事長 ：崎谷信夫
●

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Hine Automation, LLC

https://www.jel-automation.com

12495 34th St. North, Suite B
St. Petersburg, FL 33716, U.S.A.

302053 新竹縣竹北市嘉政九街29號1樓
TEL : +886-3-6583741
E-mail: alex.chen@jel-automation.com

行業別：電子機器生產及銷售主要產品 ：半導體晶圓搬運用機械手臂及搬運系統/液晶面板搬運用機械手臂及搬運系統
往來銀行 ：三菱日聯MUFG銀行■ 關於本公司產品若有任何詢問，請隨時聯絡本公司業務人員。

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TEL : +1-8137497519
E-mail: sales@hineautomation.com

代 理 商

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總公司 ‧工廠

JQA-EM6019
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202408AO