あらゆる部分にお客様からのご提案を取り入れさせていただいております。

ビシライト1ねじ※12圧縮リング型式接続※2

温度･圧力線図（P10）にてご確認下さい。

23,4参照インナー弁は、ボディ及びステムへねじ込み接続する構造で、シートとディスクが交換できるディアブルシートが標準です。
（Cv値5、低温用ON-OFF弁を除く）

インナー弁仕様
材質

SUS316+ ステライト盛 ( 標準 )EQ%
( イコールパーセント )

流量特性
Cv 値

リニア

0.0000015～5

レンジアビリティ

ON-OFF
0.25〜5

Cv 値 0.00025 以上
20:1( 標準 )Cv 値 0.00025 未満
10:1( 標準 )許容リーク量（出荷時）( 定格 Cv 値に対する比 )1×10 −4

5×10 −7

アクチュエータ仕様→P12参照アクチュエータタイプ

M3 型

M2 型

UN 型

作動型式

ダイヤフラム式
正作動型 / 逆作動型

手動アクチュエータ外径φ146

φ200φ68（ハンドル径）

供給圧力
EQ%・リニア

140 kPa/240 kPa/400 kPa/
20 〜 100 kPa

ON-OFF

100 kPa/400kPa 200 kPa/400kPa

空気配管接続

Rc1/4

材質
ヨーク

ADC12AC2A

カバー

ADC12AC2A

ダイヤフラム

本質安全防爆（ExiaⅡCT6）
等

布入りニトリルゴム

ハンドル

ADC12塗装

焼付塗装

ヨーク

シルバー

シルバー

カバー

ブルーブルー

最高使用圧力49 MPa

周囲温度

110 MPa−10～＋60℃

定格リフト
Cv 値
EQ 0.00015 以下%
リ Cv 値
ニ 0.00025 ～ 3
ア
Cv 値 5
ON-OFF

6mm
8mm
10mm
5mm

ヒステリシス
ポジショナなし
ポジショナあり特殊材質をご用命のお客様はP8をご参照下さい。

15%F.S. 以下
1.5%F.S. 以下（Cv 値 0.00025 未満は 2％ F.S. 以下）

リニアリティ
ポジショナなし
ポジショナあり

A5052

15%F.S. 以下
5%F.S. 以下

シルバー49 MPaレンジアビリティ

備考① ② ③ ④ポジショナ
型式

アクチュエータ
型式

作動型式

なし

ポジショナなし

P

空空ポジショナ(SIEMENS㈱製）
付E

電空ポジショナ㈱スリーエス製 XE151タイプ）付（耐圧防爆：ExdⅡBT6適合）

E1

電空ポジショナ
（㈱スリーエス製 XE161タイプ）付（水素対応耐圧防爆：ExdⅡB＋H2T6適合タイプ）

E32

電空ポジショナ
（スマートポジショナ、ザムソン㈱製 3730-2型）
付（診断機能付、本質安全防爆：ExiaⅡCT6）

E33

電空ポジショナ
（スマートポジショナ、ザムソン㈱製 3730-3型）
付（診断機能付、HART® 通信機能付）

E53

電空ポジショナ
（スマートポジショナ、ザムソン㈱製 3731-3型）
付（診断機能付、HART® 通信機能付、耐圧防爆: ExdⅡCT6）
M2

φ220mmアクチュエータ

M3

φ146mmアクチュエータ

UN

アクチュエータなし 手動タイプ
なし手動タイプ

D正作動型

R
操作圧力（ポジショナなしタイプ）
供給圧力（ポジショナ付タイプ）

逆作動型
なし 100 ｋPa（ON-OFF）、20～100 ｋPa/140 kPa (EQ%、リニア）
2240 ｋPa

4

400 ｋPa

ねじ
ねじ

製品出荷の際、品番の末尾に#A、#B・・・と表記する場合があります。これは製品仕様の変更履歴を示すものです｡: 別途定める付属品を表す記号が入ります。

(153)

ポジショナなし
共通仕様
ボディ型

14.7MPa型

29.4MPa型

49MPa型

電空ポジショナ（ザムソン㈱製）付
ポジショナなし

ボディ接続

Cv値

Rc1/4～1/2

寸法[mm]
H

L

0.5以下

222

70

Rc1/4～10.7以上

226

100

SW1/4～1/2B0.5以下

222

90

SW1/4～1B

0.7以上

226

110

Rc1/4～1/20.5以下

230

80

Rc1/4～10.7以上

231

100

SW1/4～1/2B0.5以下

230

90

SW1/4～1B

0.7以上

231

110

(109)

電空ポジショナ［（ザムソン㈱製)3730］付

品番
正作動型

寸法[mm]
逆作動型

M3D-115※

電空ポジショナ
（㈱スリーエス製）付

M3R-115※

M3D-515※

M3R-515※

M3D-130※

M3R-130※

M3D-530※

M3R-530※

H1
246
250
246
250
254
255
254
255

品番
正作動型

電空ポジショナ（㈱スリーエス製）付

寸法[mm]
逆作動型

E3＊M3D-115※ E3＊M3R-115※
E3＊M3D-515※ E3＊M3R-515※
E3＊M3D-130※ E3＊M3R-130※E3＊M3D-530※ E3＊M3R-530※

Ｈ２246
250
246
250
254
255
254
255

品番
正作動型

空空ポジショナ
（SIEMENS㈱製）付
空空ポジショナ
（SIEMENS㈱製)付

寸法[mm]
逆作動型

EM3D-115※ EM3R-115※
EM3D-515※ EM3R-515※
EM3D-130※ EM3R-130※
EM3D-530※ EM3R-530※

H2270274
270274278279278279

品番
正作動型

寸法[mm]
逆作動型

PM3D-115※ PM3R-115※
PM3D-515※ PM3R-515※
PM3D-130※ PM3R-130※
PM3D-530※ PM3R-530※

H3374
378
374
378
382
383
382383

Rc1/4～1/20.5以下

235

100 M3D-150※

M3R-150※260 E3＊M3D-150※ E3＊M3R-150※ 260

EM3D-150※ EM3R-150※ 283 PM3D-150※ PM3R-150※ 388

SW1/4～1/2B0.5以下

235

110 M3D-550※M3R-550※

260 E3＊M3D-550※ E3＊M3R-550※ 260

EM3D-550※ EM3R-550※ 283 PM3D-550※ PM3R-550※ 388※ : 本体部仕様、Cv 値とレンジアビリティを表す。 ＊：弁仕様を表す。

(153)

ポジショナなし
共通仕様
ボディ型

14.7MPa型

29.4MPa型

49MPa型

電空ポジショナ
（ザムソン㈱製）付
ポジショナなし

ボディ接続

Cv値

Rc1/4～1/2

寸法[mm]
H

L

0.5以下

332

70

Rc1/4～10.7以上

337

100

SW1/4～1/2B

0.5以下

332

90

SW1/4～1B

0.7以上

337

110

Rc1/4～1/20.5以下

330

80

Rc1/4～10.7以上

342100SW1/4～1/2B

0.5以下

33090

SW1/4～1B

0.7以上

342

110

品番
正作動型

(109)

電空ポジショナ［（ザムソン㈱製)3730］付
寸法[mm]

逆作動型

M3D-115H※ M3R-115H※M3D-515H※ M3R-515H※M3D-130H※ M3R-130H※M3D-530H※ M3R-530H※

電空ポジショナ
（㈱スリーエス製）付

H1356361356361354366354366

品番
正作動型

電空ポジショナ（㈱スリーエス製）付

寸法[mm]
逆作動型

E3＊M3D-115H※ E3＊M3R-115H※
E3＊M3Dv515H※ E3＊M3R-515H※
E3＊M3D-130H※ E3＊M3R-130H※E3＊M3D-530H※ E3＊M3R-530H※

Ｈ２356361356361354366354366

品番
正作動型

空空ポジショナ
（SIEMENS㈱製）付
空空ポジショナ
（SIEMENS㈱製)付

寸法[mm]
逆作動型

EM3D-115H※ EM3R-115H※EM3D-515H※ EM3R-515H※EM3D-130H※ EM3R-130H※EM3D-530H※ EM3R-530H※

H2380385
380385378390378
390

品番
正作動型

寸法[mm]
逆作動型

PM3D-115H※ PM3R-115H※PM3D-515H※ PM3R-515H※
PM3D-130H※ PM3R-130H※PM3D-530H※ PM3R-530H※H3484489484489482494482494

Rc1/4～1/20.5以下

312

100 M3D-150H※ M3R-150H※ 336 E3＊M3D-150H※ E3＊M3R-150H※ 336

EM3D-150H※ EM3R-150H※ 360 PM3D-150H※ PM3R-150H※ 464

SW1/4～1/2B0.5以下

312

110 M3D-550H※ M3R-550H※ 336 E3＊M3D-550H※ E3＊M3R-550H※ 336

EM3D-550H※ EM3R-550H※ 360 PM3D-550H※ PM3R-550H※ 464※ : 本体部仕様、Cv 値とレンジアビリティを表す。 ＊：弁仕様を表す。
5

(153)

ポジショナなし
共通仕様
ボディ型

14.7MPa型

29.4MPa型

49MPa型

ボディ接続

Cv値

Rc1/4～1/2

電空ポジショナ
（ザムソン㈱製）
付
ポジショナなし

寸法[mm]
H

L

0.5以下

414

70

Rc1/4～10.7以上

419

100

SW1/4～1/2B0.5以下

414

90

SW1/4～1B

0.7以上

419

110

Rc1/4～1/20.5以下

417

80

Rc1/4～10.7以上

429

100

SW1/4～1/2B0.5以下

417

90

SW1/4～1B

0.7以上

429

110

品番
正作動型

(109)

電空ポジショナ［（ザムソン㈱製)3730］付
寸法[mm]

逆作動型

M3D-115C※ M3R-115C※
M3D-515C※ M3R-515C※
M3D-130C※ M3R-130C※
M3D-530C※ M3R-530C※

電空ポジショナ
（㈱スリーエス製）付

H1
439
443
439
443
442
453
442453

品番
正作動型

電空ポジショナ（㈱スリーエス製）付

寸法[mm]
逆作動型

E3＊M3D-115C※ E3＊M3R-115C※
E3＊M3D-515C※ E3＊M3R-515C※
E3＊M3D-130C※ E3＊M3R-130C※
E3＊M3D-530C※ E3＊M3R-530C※

Ｈ２439443439443442453442453

品番
正作動型

空空ポジショナ（SIEMENS㈱製）付
空空ポジショナ（SIEMENS㈱製）付

寸法[mm]
逆作動型

EM3D-115C※ EM3R-115C※
EM3D-515C※ EM3R-515C※
EM3D-130C※ EM3R-130C※
EM3Dv530C※ EM3R-530C※

H2463467463
467466478466478

品番
正作動型

寸法[mm]
逆作動型

PM3D-115C※ PM3R-115C※
PM3D-515C※ PM3R-515C※PM3D-130C※ PM3R-130C※PM3D-530C※ PM3R-530C※

H3567571567571570
581570581

Rc1/4～1/20.5以下

414

100 M3D-150C※ M3R-150C※ 439 E3＊M3D-150C※ E3＊M3R-150C※ 439

EM3D-150C※ EM3R-150C※ 462 PM3D-150C※ PM3R-150C※ 462

SW1/4～1/2B

0.5以下

414

110 M3D-550C※ M3R-550C※ 439 E3＊M3D-550C※ E3＊M3R-550C※ 439

EM3D-550C※ EM3R-550C※ 462 PM3D-550C※ PM3R-550C※ 462※ : 本体部仕様、Cv 値とレンジアビリティを表す。 ＊：弁仕様を表す。

※：弁仕様を表す。

※：弁仕様を表す。

12
Cv値0.007以下では、ビシライト 盛での対応となります。

34

コントロールバルブの精密制御に欠かせません。空空（P/P）
・電空（E/P）の中からお選び下さい。

ポジショナ付ミニュコンR仕様一覧表
空空(P/P)ポジショナ項目
メーカー名
型番

空空（P/P）
ポジショナ付の場合は、 供給空気圧力空気信号を入力すれば所定の開入力信号度が得られます。
トップマウント式で 供給圧力接続口すから省スペースです。
電気配線接続口

電空（E/P）
ポジショナ付の場合は、 外部導線引込方式
電気信号に応じてバルブが動作し周囲温度 ※1ます。耐圧防爆（ExdⅡBT6）、水素ヒステリシス
対 応 耐 圧 防 爆（ E x dⅡB + H 2 T
感度 ※36）、
本 質 安 全 防爆（ExiaⅡCT6 ）防爆構造等に対応できます。
スマートタイプ（マイクロプロセッサーを搭載したインテリジェントタイプ）
電空（E/P）
ポジショナも選択できます。
：ポジショナ単体の使用温度範囲を示しています。
バルブに取付けた際の周囲温度は、−10〜＋60℃になります。
（時定数）のご要求がある場（注）作動速度
合は、お問合せ下さい。

供給空気はオイル、水分を除去した清浄な空気源を供給しまた、圧力の安定しお願い て下さい。
た空気源として下さい。
空気源の代わりに乾燥した窒素ガスを用いますとシール材の劣化が早くなる場合がありますのでご注意願います。

空気消費量
質量
材質

電空(E/P)ポジショナ

SIEMENS㈱製
73N12F(正作動型)

73N-B1(逆作動型)

ザムソン㈱製
3730-2㈱スリーエス製

3730-33731-3

XE151SB4/F6

XE161SB4/F6

140～400 kPa

140～400 kPa

20～100 kPa

DC 4～20 mA

140～400 kPa
DC 4～20 mA

1/4NPT

1/4NPT (オプション：G1/4）

Rc1/4 (圧力計接続口：Rc1/8)－M20×1.5

1/2NPT(オプション：M20×1.5）

G1/2（オプション：1/2NPT）－

電線引き込み方式

耐圧パッキン方式

電線管耐圧ねじ結合式、耐圧パッキン方式−40 ～ +82 ℃−20 ～ +80 ℃−40 ～ +80 ℃−20 ～ +60 ℃※2

0.5 % F.S.

※2

0.2 % F.S.

※2－

0.3 % F.S. 以下

0.25 % F.S.

0.1 % F.S.

－
7 NL/min

本質安全防爆に対応可 ※4
ExiaⅡCT6

17 NL/min

供給圧力：140 kPa、入力信号：63 kPa時
約1kg

※2
耐圧防爆
ExdⅡCT6

非防爆

水素対応耐圧防爆
ExdⅡB＋H2T6

1.83 ＮL/min

5 ＮL/min

供給空気圧力に関わらず

供給圧力：140 KPa、出力圧力：50％時

約1kg

約2.5kg

アルミダイキャスト(外部露出部 ステンレス)

アルミダイキャスト耐圧防爆
ExdⅡBT6

スマートポジショナ(マイクロプロセッサーを搭載したインテリジェントポジショナ)

約2.6kg本体；アルミダイキャスト（特殊アルマイト処理）
カバー；PBT樹脂(ガラス繊維入り)

診断機能付
ー
備考

ーHART® 通信機能付
開度発信機能（オプション）

近接式リミットスイッチ（メカニカルスイッチ）（オプション）ー

ソフトウェアリミットスイッチ

ソフトウェア
リミットスイッチ（オプション）ー外観※2：ポジショナ単体での性能です。 ※3：ポジショナのリフトに対する精度（細かさ）を表します。
※4：特に指定のない場合は、本質安全防爆で製作いたします。非防爆型も対応可能ですので、ご相談下さい。

ザムソン㈱製メーカー名・型番
ザムソン㈱製㈱スリーエス製

供給圧力

240 kPa以下

XR-1044708-53
XR-108400 kPa
周囲温度 ※1㈱スリーエス製

主な仕様−25〜＋80 ℃−20〜＋83 ℃

空気接続口

1/4NPT

Rc1/4（圧力計：Rc1/8)フィルターエレメント

ポリプレン不織布
エレメント：20 μm

ポリプレン不織布
エレメント：5 μm

最大供給圧力1.2 MPa

0.9 MPa

質量0.48 Kg

0.26 Kg+

ExdⅡCT6

MOOU-8-E22POA-SA+

アズビル（株）製

12 温度･圧力線図の確認
レーティング表に準じます。

温度･圧力線図でご確認下さい。

3

Cv値計算は、バルブ選定の為の基準であり参考値として取り扱って下さい。
実際には、固有の配管条件やご使用条件などにより、計算結果と差が生じる可能性があります。

4

温度制御、開ループ制御等に適します。バルブ前後の差圧がほぼ一定の場合、差圧が大きい場合等に選定。

加します。圧力制御、閉ループ制御等に適します。配管系の摩擦損失が大きい場合、又はバルブ開度に応じて差圧が大きく変化する場合、常用流量に比べてはるかに小さな流量でも使用することが予想される場合（リニア特性では小流量域で単位感度が非常に高くなり不安定になり易い）等に選定。

56
最小計算Cv値が開度10％以上の領域で制御できるように選定します。

開度10％以上ミニュコンは各 開 度 の 計 画 C v 値に対し許容差があります。定格Cv値を決定する際は、余裕を持たせた選定をお願いします。

7操作圧力
操作圧力
操作圧力
供給圧力
供給圧力
供給圧力

操作圧力
操作圧力
供給圧力
供給圧力

89Ⴀᴗᡭ㓄␒ྕ䝭䝙䝳䝁䞁㼹䚷ཷὀ᫂⣽᭩ᚚ䚷せ㡿᭩␒ྕ䚷♫㻌䚷䚷䚷䚷ྡᵝྎ䚷᭱䚷⤊䚷䛤䚷౑䚷⏝䚷ඛᵝ䛤ᕼᮃ⣡ᮇ䛤㻌㻌౑㻌㻌⏝㻌㻌タ㻌㻌ഛ㻌㻌ྡ㼀㻭㻳㻌㻺㼛㻚ရ䚷䚷␒㐣ཤ⣡ධရ〇㐀␒ྕタィᅽຊ㼇㻌㻹㻼㼍㻌㻳㻌㼉タィ ᗘ㼇㻌䉝㻌㼉⥾ษ᭱኱ᕪᅽ
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ボディ材質
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No.2

No.4

No.3

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No.4

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No.3

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No.1

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高圧ガス大臣認定㼇㼗㻼㼍㼉㻱㻛㻼䢊䢛䡸䢚䡸䡪䢁䡭䡴䡽䡩䡰䡬䡼ྲྀ௜ጼໃ䠄䢈䡸䢚䡳䢙ᶆ‽䛿㻺㼛㻚㻝䠅剟剰剭剂剎剂剫ᘚ≉ᛶ㼇㼙㻭㼉㻛㼇㼗㻼㼍㼉౪⤥ᅽຊ㻔᧯సᅽຊ㻕㥑ື㒊⥅ᡭ剞剎剰剉副ᶆ‽䢢凚䣒䣖䣈䣇〇剜剱剁剉副౑⏝凛䜾䝷䞁䝗䝅䞊䝹ᙧᘧධຊಙྕ㻔ಙྕᅽຊ㻕㒊䣕䣗䣕䢵䢳䢸䢢䣱䣴䢢䣕䣗䣕䣈䢵䢳䢸凚剞剎剰剉副ᶆ‽凛䢢㏫సື䢪䣐䢰䣅䢫䢢䣒䢱䣒䢢䢪儛兠充兗儝〇䢫䢢P/P(シーメンス製)(䝇䝸䞊䜶䝇〇䞉⪏ᅽ㜵⇿)䣇䢱䣒䢢E/P(スリーエス製・耐圧防爆)䣇䢱䣒䢢E/P(スリーエス製・水素対応耐圧防爆)(䝇䝸䞊䜶䝇〇䞉Ỉ⣲ᑐᛂ⪏ᅽ㜵⇿)䣇䢱䣒䢢
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GASの場合の流量単位[m3/h(normal)]は、15℃大気圧(0.1013MPa)が基準です。
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注: 着色部は必ずご記入願います。

TMFCS®Thermal Series
FCST1000FCS®Thermal Series
FCST2000FCS®Pressure Series
4

2007

奨励賞
受賞

マルチガス、マルチレンジ対応
Mass Flow Controller Thermal Series
ウルトラクイックレスポンス
DeviceNetTM通信対応

高精度Mass Flow Controller Thermal Series
高性能センサー搭載
高信頼性ダイヤフラムバルブ搭載
DeviceNetTM通信対応

Flow Control System Pressure Series
供給圧力変動に制御流量は影響を受けない
応答時間が0.5秒以下と早い
DeviceNetTM通信対応

お問合せはhttps://www.daiichi-kagaku.co.jp/
本社 〒 113-8450 文 京 区 本 郷 2 - 1 2 - 1 3 TEL.03-3812-6721
茨 城 支 店 〒 312-0052 ひたちなか市東石川3-1-21 TEL.029-353-5001
西東京営業所 〒 185-0021 国 分 寺 市 南 町 1 - 3 - 3 TEL.042-300-0080
関 西 営 業 所 〒 530-0041 大阪市北区天神橋2-2-10Y'sビル4F TEL.06-6357-6166● 第1回ものづくり日本大賞 「優秀賞」
IGS ® 開発者9名が受賞● 第5回ものづくり日本大賞 「優秀賞」
海外展開部門 Fujikin Vietnam 4名が受賞● 第7回ものづくり日本大賞「経済産業大臣賞」
FALVS ®（ファリバス ®） 開発者7名が受賞

CAT: No.131-G