Elektronenund Ionenmikroskopie
N I C H T M A G N E T I S C H E U N D VA K U U M K O M PAT I B L E A K T O R I K
UND POSITIONIERSYSTEMEW W W. P I . D E

Partikelstrahlmikroskopie:
Weit mehr als Höchstauflösung
Die Partikelstrahlmikroskopie, basierend auf negativ geladenen Teilchen, also Elektronen, oder
positiv geladenen Teilchen, also Ionen von so unterschiedlichen Materialien wie Helium, Neonoder Gallium, ermöglicht Probenuntersuchungen und -manipulation mit extrem hohen Auflösungen bis in den Subnanometerbereich. Verfahren auf Basis von geladenen Teilchen finden
heute Anwendungen weit über den Forschungsbereich hinaus auch im industriellen Umfeld.

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Rasterscans zur Abbildung von Oberflächen, die Analysevon Materialzusammensetzungen, kristallographische
Analysen, Erstellung von 3-D Modellen – SEM, TEM und
Kryo-TEM sind vielseitige Werkzeuge, die sowohl in derHalbleitertechnologie und der Materialforschung als auchin den Lebenswissenschaften genutzt werden sowie fürvielfältige Aufgaben in der Qualitätssicherung. Für Präparationsverfahren, wie die Erstellung von TEM Lamellenoder das Bohren von Löchern mit präzise definierten
Abmessungen, für Abtrag von Probenmaterial oder zum
Abscheiden von Materialien im Nanomaßstab werden
Systeme mit integrierten Ionenstrahlsäulen eingesetzt.
Zu Recht werden solche Systeme häufig als „Nanolab“
bezeichnet.
All diese Verfahren und Anwendungen stellen höchste
Anforderungen an die abbildenden Module und an die
Verstellsysteme der einzelnen Strahlführungskomponenten, wie z. B. Blenden. Ebenso präzise muss die Positionierung der Probe erfolgen. Diese Aufgabe wird inPartikelstrahlmikroskopen erschwert, da hier Vakuum
oder sogar Hochvakuum herrscht, die Bewegungsmodule
selber, darin verwendete Schmierstoffe und die zuführenden Kabel also nicht ausgasen dürfen. Außerdem müssen
die Module nichtmagnetisch sein, um Auswirkungen auf
den Strahlverlauf zu vermeiden.

Für die Positionierung der Probe sind Linear- und Rotationsversteller geeignet, die auch leicht zu mehrachsigen
Lösungen kombiniert werden können. Besonders kompakt sind parallelkinematische Multiachstische, die bis
zu sechs Freiheitsgrade der Positionierung bieten. Füralle Systeme stehen die entsprechenden Ansteuerelektroniken und Controller zur Verfügung, die sich mit ihren
analogen oder digitalen Schnittstellen und der umfangreichen Softwareunterstützung nahtlos in bestehende
Systeme einfügen.
PI bietet Antriebe, Aktoren und Mehrachspositioniersysteme, die schmiermittelfrei und vakuumkompatibel sind.
Die eigenentwickelten piezobasierten Antriebskonzepte
erzeugen keine Magnetfelder und werden von diesen auchnicht beeinflusst.
Angepasste LösungenDie hier vorgestellten Produkte stellen nur eine kleine
Auswahl aller verfügbaren Positionierlösungen von PI
dar. Spezielle Applikationen erfordern häufig die Anpassung von bestimmten Eigenschaften, zum Beispiel der
Stellwege, der mechanischen Ankopplung und der Abmessungen. Gerne erarbeiten wir mit Ihnen zusammeneine Lösung für Ihre Positionieraufgabe. Nehmen Sie uns
beim Wort!

Da viele Prüfvorgänge mittels SEM und TEM immer stärker
automatisiert werden, sind flexible, zuverlässige Antriebslösungen erforderlich, um Scans mit hoher Wiederholgenauigkeit und stabiler Position durchführen zu können.
Nichtmagnetisch und vakuumkompatibel:
Aktorik und Positioniersysteme von PI
Auf Basis langjährigen Knowhows, insbesondere in der
Piezotechnologie, stellt PI für genau diese Anforderungenverschiedenste Antriebssysteme zur Verfügung. EinfacheAktoren oder Stellantriebe können für Zustellaufgaben
am Elektronenstrahl integriert werden, wo sie zur Korrektur der Strahlführung oder zur Justage von Blenden
dienen.

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BEWEGEN|

POSITIONIEREN

Piezotechnologie –Basis für mehrere Antriebsarten

Die eigenentwickelte und auf eigener Produktion
bei der Tochtergesellschaft PI Ceramic basierendePiezotechnologie, bildet die Grundlage für mehrere Antriebsarten, die bestens geeignet sindfür den Einsatz in der Partikelstrahlmikroskopie.
Den Ausgangspunkt für Piezoantriebe bilden
Piezoaktoren – häufig mit Hebelübersetzung –oder PICMA® piezokeramische Multilayeraktoren.
Diese Aktoren sind prinzipiell vakuumkompatibelbis 10–11 hPa und erzeugen keine magnetischen
Störungen. Die Bewegung dieser äußerst kompakten Aktoren beruht auf reibungsfreien Festkörpereffekten, wodurch ihre Auflösung im Prinzip
unbegrenzt ist. Ihre sehr hohe Steifigkeit ermöglicht eine große Kraftentwicklung und Dynamik
mit Ansprechzeiten im Mikrosekundenbereich.
Flexible Querschnitte und Auslenkungen ermöglichen eine anwendungsspezifische Anpassung.
Dank ihrer vollkeramischen Isolierung verfügen
die Aktoren über eine hohe Lebensdauer.

Hohe Führungsgenauigkeit durch Flexure Festkörpergelenke

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Die Auslenkung eines Piezoaktors lässt sich durch die Integration von Hebelmechanismen vervielfachen. Der Aktor wird mechanisch so in ein Festkörpergelenk eingebunden, dass sich der Stellweg auf bis zu 2 mm verlängert. Die
Bewegung eines Flexuregelenks beruht auf der elastischen Deformation eines
Festkörpers. Dadurch treten weder Haft-, Roll- noch Gleitreibung auf. Vorteilesind hohe Steifigkeit, Belastbarkeit und Verschleißfreiheit. Flexures sind wartungsfrei, können aus nichtmagnetischen Materialien gefertigt werden undbenötigen weder Schmiermittel noch andere Betriebsstoffe – deshalb arbeiten
sie auch problemlos im Vakuum.

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Piezobasierte Positionierer
PI bietet eine Vielzahl an Produkten an, die auf Basis von Piezoaktoren entwickelt worden sind. Piezoaktoren benötigen weder
Schmiermittel noch verursachen sie Abrieb. Die vollkeramischisolierten PICMA® Aktoren kommen darüber hinaus ohne Polymerisolation aus und sind deshalb ideal für UHV-Anwendungengeeignet. Ihre Bewegung basiert auf kristallinen Festkörpereffekten und ist daher verschleißfrei. Der Piezoeffekt basiert auf elektrischen Feldern, daher erzeugen Piezoaktoren weder Magnetfelder noch werden sie davon beeinflusst. Der Piezoeffekt existiert auch bei geringsten Temperaturen bis nahe 0 Kelvin.

S-330 Piezo-Kippplattform
Die S-330 Piezo-Kippplattform findet zahlreiche Anwendungen in optischen Aufbauten.
Die Auslenkung der Piezoaktoren in der S-330 Kippplattform wird durch die Integration
von Hebelmechanismen vervielfacht.
nAuflösung bis zu 20 nradnSub-ms-AnsprechzeitnHervorragende Positionsstabilitätn

Hohe Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik

P-752 hochpräziser NanopositioniertischnAuflösung bis zu 0,1 nmnHöchste Linearität durch integrierte kapazitive SensorennStellwege bis 35 µmnReibungsfreie Festkörperführungen für hohe
Ablaufgenauigkeit

P-733.3 XYZ PiezonanopositionierernStellwege bis 100 µm × 100 µm in X, Y und bis 10 µm in ZnUltrahochvakuumtaugliche und unmagnetische VersionennSpielfreie und hochgenaue Festkörperführungenn

Höchste Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik

P- 563 PIMars NanopositioniertischnStellwege bis 300 × 300 × 300 µmn

UHV-tauglich bis 10–9 hPanHöchste Linearität durch integrierte kapazitive SensorennSpielfreie und hochgenaue Festkörperführungen

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BEWEGEN|

POSITIONIEREN

Piezomotortechnologien im Detail
PILine®
Ultraschall-Piezomotoren

Piezoträgheitsantriebe

PiezoWalk®
Piezoschreitantriebe

Sub-Nanometer-Auflösung

Sub-Nanometer-Auflösung

Sub-Nanometer-Auflösung

Sehr hohe Betriebsfrequenz

Sehr hohe Betriebsfrequenz

Geschwindigkeit bis 10 mm/s

Geräuschloser Antrieb

Geräuschloser Antrieb

Hochdynamischer Scanmodus

Hohe Geschwindigkeit bis zu mehreren 100 mm/s

Geschwindigkeit über 10 mm/s

Lange Stellwege, nur durch die
Läuferlänge begrenzt

Lange Stellwege, nur durch die
Läuferlänge begrenzt

Lange Stellwege, nur durch die
Läuferlänge begrenzt

Kräfte bis 40 N

Kräfte bis 10 N

Selbsthemmend in Ruhe

Selbsthemmend in Ruhe

Sehr hohe Kräfte bis zu 800 N(NEXLINE®)
Selbsthemmend in Ruhe

Ideal für:Positionierung mit Sub-µmGenauigkeitn	Schnelles Einregeln

Nanometergenaue und langzeitstabile Positionierungn	Quasistatische Anwendungenmit geringer bis mittlerer
Haltekraftn	

Nanometergenaue Positionierungn	Quasistatische Anwendungenmit großer Haltekraft

n	

n	

Scanbetrieb mit hohen
Geschwindigkeitenn	

Betrieb mit konstanter
Geschwindigkeitn	Stellwege bis einige mmn	n

Grob- und Feinjustagen

Krafterzeugungn

Aktive Schwingungsisolierung
Betrieb mit konstanter
Geschwindigkeit

n	

Scale
Sensor
RunnerLateralGuiding

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Coupling
Element
Piezoelectric
Actuator
Preload

PILine ® Ultraschallantriebe entwickeln
sehr hohe Vorschubgeschwindigkeiten
und positionieren im Sub-MikrometerBereich. Der piezokeramische Aktor wird
mit einer hochfrequenten Wechselspannung zu Ultraschallschwingungen zwischen 100 und 200 kHz angeregt. Die
Deformation des Aktors führt zu einer
periodischen diagonalen Bewegung desKopplungselements zum Läufer. Die
hohen Frequenzen führen zu den hohen
Geschwindigkeiten von mehreren 100
mm/s.

Trägheitsantriebe basieren auf einem einzigen Piezoaktor und nutzen ein einfaches
Ansteuerprinzip, das selbst nanometergenaue Positionierung erlaubt. Sie nutzen
den Stick-Slip-Effekt (Trägheitseffekt),wobei das Piezoelement einen zyklischen
Wechsel von Haft- und Gleitreibung zwischen einem bewegten Läufer und dem
Pie­zo­aktor erzeugt. Mit einer Betriebsfrequenz von mehr als 20 kHz erreichen die
Antriebe einen kontinuierlichen Vorschubdes Läufers mit Geschwindigkeiten vonüber 10 mm/s.

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In PiezoWalk® Antrieben wie NEXACT®,NEXLINE® und PICMAWalk wirken piezoelektrische Aktoren paarweise als Klemmund Vorschubelemente auf einen bewegten Läufer. Zyklisch angesteuert erfolgt soeine schreitende Bewegung der Aktoren
auf dem Läufer, dieser wird vor oderzurück bewegt. NEXACT® bietet Nanometer-Auflösung bei Geschwindigkeiten
bis 10 mm/s, während NEXLINE® Antriebe
für hohe Kraftentwicklung eingesetzt werden.

PILine® Ultraschall-Piezomotoren – kompakt,
schnell, selbsthemmend
U-521.24V PILine® Lineartisch
Stellweg: 18 mm

n



n



n



n



Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,2 µm
Geschwindigkeit: 200 mm/s
Vakuumversion (bis 10–6 hPa) verfügbar

U-751.24V PILine® Kreuztisch
Stellweg: 25 x 25 mm

n



n



n



n

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,3 µm
Geschwindigkeit: 100 mm/s

Nichtmagnetische Vakuumversion (bis 10–6 hPa)
auf Anfrage verfügbar


U-653 PILine® RotationstischnRotationsbereich: 360°

n



n

Geschwindigkeit: 360°/snNichtmagnetische Vakuumversion (bis 10–6 hPa)

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±54 µrad7

BEWEGEN|

POSITIONIEREN

Platzsparende und preiswerte Antriebe
auf Basis des Trägheitsantriebsprinzips
N-422 Linearaktor mit Piezomotor
Stellweg: 35 mm

n



n

Druck-/Zugkraft (aktiv): 7 N / Haltekraft (passiv): bis 10 NnAuflösung: Sensorabhängig / Antrieb: Sub-nm

nGeschwindigkeit: bis zu 5 mm/sn

Vakuum-/reinraumtauglich (bis 10–7 hPa) und
nichtmagnetisch

Q-545 Q-Motion® Präzisions-Lineartisch
Stellweg: modellabhängig –13 / 26 mm

n



n



n



n



n



n



Antriebskraft: 7 N
Belastbarkeit: 0,5 kg (horizontal) / 0,1 kg (sonstige Achsen)
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: modellabhängig
100 / 200 nm
Geschwindigkeit: bis zu 8 mm/s
Vakuumversion (bis 10–9 hPa): auf Anfrage

N-470.V / N-470.U PiezoMike Linearaktoren
Stellweg: modellabhängig 7,4 mm bis 26 mm, Schrittweite
20 nm (typisch)

n



n



n



n



n

Vorschubkraft 22 N / Haltekraft >100 N
Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
Lebensdauer >1.000.000.000 Schritte

Nichtmagnetisch, vakuumtauglich bis 10–6 hPa (Variante V)
bzw. bis 10–9 (Variante U)Funktionsprinzip der PiezoMike

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Wie die direkt angetriebenen Piezoträgheitsantriebe, beruht auchdas Antriebsprinzip der PiezoMike auf dem Trägheitseffekt. Durch
Anlegen einer elektrischen Spannung dehnt sich der Piezoaktor
langsam aus. Diese Ausdehnung bewirkt eine Drehbewegung
des Greifers. Da dieser die Feingewindeschraube umfasst erfolgt
mit der Bewegung des Greifers auch eine Drehung der Schraube.
Hat der Piezoaktor seine maximale Ausdehnung erreicht, zieht
er sich schnell zusammen und der Greifer geht in seine Ausgangsposition zurück. Durch die schnelle Kontraktion gleitet derGreifer um die Schraube. Diese verharrt aufgrund ihrer Massenträgheit in ihrer Position. Dieser Zyklus kann jederzeit wiederholt
werden, um durch die Drehung der Schraube den gewünschten
Vorschub des Abtriebs zu erreichen. Nach diesem Prinzip ist aucheine Bewegung in entgegengesetzter Drehrichtung möglich.

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Feingewindeschraube
Greifer
Piezoaktor
Vorspannung

Nanometerpräzision und hohe Vorschubkraft
mit PiezoWalk® Schreitantrieben
N-216 NEXLINE® Linearaktor
Stellweg: bis 20 mm

n



n

Stellkraft: bis 600 N / Haltekraft: bis 800 NnAuflösung: 0,03 nm (ungeregelt) / –5 nm (geregelt)nGeschwindigkeit: bis zu 1 mm/sn

Vakuum-/reinraumtauglich und nichtmagnetischN-310 NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor/-aktor
Stellweg (abhängig von Läuferlänge): zwischen bis zu 10 mm
und bis zu 125 mm

n



n

Stellkraft: bis 10 N / Haltekraft: bis 12 NnAuflösung: 0,03 nm (ungeregelt) / –5 nm (geregelt)nGeschwindigkeit: bis zu 10 mm/sn

Vakuum-/reinraumtauglich und nichtmagnetischP-911 UHV-kompatibler Miniatur-Hexapod
Der platzsparende parallelkinematische Aufbau ermöglicht
die geringe Bauhöhe von unter 90 mm und den Durchmesser
von nur 100 mm. NEXLINE® Piezoschreitantriebe und integrierte
inkrementelle Sensoren sorgen für eine Positionsauflösung
bis zu 0,1 µm in den Linearachsen.
nUHV-kompatibel bis 10–9 hPanNichtmagnetischn

Mit NEXLINE® PiezoschreitantriebennHöchste Präzision durch Festkörpergelenke

N-331 PICMAWalk Walking Drive
Stellweg (abhängig von Läuferlänge):zwischen bis zu 25 mm und bis zu 100 mm

n



n



n



n



n



Stellkraft: bis 50 N / Haltekraft: bis 60 N
Auflösung: 0,02 nm (ungeregelt) / <10nm (geregelt)
Geschwindigkeit: bis zu 15 mm/s
Vakuum-/reinraumtauglich und nichtmagnetisch

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BEWEGEN|

POSITIONIEREN

Von der Einzelanfertigung bis zur Serie:
OEM-Kunden profitieren von maximaler Flexibilität

Standardisierte Leistungskontrolle mit vollständiger Dokumentation der einzelnen Messprotokolle

PI bedient sowohl den Forschungs- als auch den Industriemarkt. Die umfassende Kontrolle über das Produktdesign und die Fertigungsprozesse verschafft unseren Kunden erhebliche Wettbewerbsvorteile. Optimierte Prozesse ermöglichen PI kundenspezifische
Produkte in Mengen von bis zu mehreren 100.000 Stück pro Jahr zu niedrigen Kosten und mit hoher Qualität zu liefern. Die Bandbreite
der von der PI-Gruppe angebotenen OEM-Produkte reicht von reinen Aktoren und Sensoren bis hin zu hochintegrierten parallelkinematischen Positionierungssystemen. Auswertungen des Vorserienlaufs, Produktmuster, Prüfverfahren, Produktionsprozesse und
Qualitätsmanagement sind in die Entwicklung einbezogen.
Unser Angebot:nGlobale Kundenbetreuung: Kundennähe durch internationale Präsenz

n

Risikobewertung vom Entwurf bis zur AuslieferungnAbhängig von der Aufgabe: Vom Antrieb bis zum schlüsselfertigen Systemn„Copy exactly“ PolitiknVorbereitung der internen und externen ZertifizierungnProduktion von Serien von mehreren 10.000 Stück in kürzester ZeitnNachhaltiger ErsatzteilservicenFertigungs- und Prüfkapazitäten vom Funktionsmuster bis zur Serienfertigung

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Support-Dienstleistungen –Extended Warranty – PI Express
PI hilft seinen Kunden vom ersten Beratungsgespräch bis zur Auslieferung des PI Systems. Darüber hinaus unterstützt die PI Service­abteilung in jeder Hinsicht die optimale Nutzung eines Positioniersystems von PI. In Europa, USA, Asien und in China stehen vierglobale Servicezentren mit ihren Vor-Ort-Spezialisten bereit, um Kunden mit einem globalen Serviceteam bei allen Technologien
und Applikationen zu betreuen. Zusätzlich zum bestehenden Standardservice bietet PI weitere Serviceangebote. Diese werden unten
beschrieben und können individuell an die Anforderungen des Kunden angepasst werden.
Standard
SupportExtendedWarranty

ExtendedWarranty
PLUS

PI Express

PI Express
PLUS(Ersatzteile und Arbeitszeit
bei Herstellungsfehlern)

ü

ü

ü

ü

ü

Zugang zum PI Service-Support-Desk

Regionaler
Supportfür 2 Jahre

Regionaler
Support für
bis zu 5 Jahren
ZRZ <12 Ar­b eits­stunden

Regionaler
Supportfür 3 Jahre

ZRZ <12 Arbeitsstunden

Regionaler
Support für
bis zu 5 Jahren

Regionaler
Support für
bis zu 5 Jahrenüü

Optional

Optionalü

Optional

Optional

ü

ü

ü

ü

24 Monate Gewährleistung(ZRZ = Zielreaktionszeit)
Standard­arbeitszeit 8:00 –16:00

ZRZ <12 Arbeitsstunden

ZRZ <4 Arbeitsstunden

ZRZ <4 Arbeitsstunden

Erweiterte Gewährleistung(Ersatzteile und Arbeitszeit
bei Herstellungsfehlern –1, 2 oder 3 zusätzliche Jahre)

Erweiterte Gewährleistung PLUS
(Erweiterte Gewährleistung plus
Deckung für Ersatzteile, die aufgrund
von normalem Verschleiß ausfallen.*)Erweiterte Support-Stunden

Zugriff auf das globale Support-Team
von PI für kurzfristig geplante
Support-Dienstleistungenaußerhalb der Geschäftszeiten

Fernunterstützung & Vor-Ort-Support**
mit der höchsten Priorität
Ersatzteillagerung(Dedizierte Lagerung von Ersatzteilen/
Systemen zur Minimierung
ungeplanter Ausfallzeiten)üStandard Support
Bereits heute steht dieser Service allen Kunden zur Verfügung. Jede Support-Anfrage, egal ob innerhalb oder außerhalb der Gewährleistungsfrist, wird in der Reihenfolge ihres Eingangs bearbeitet. Die Fernunterstützung von PI ist kostenlos und die Kunden profitieren während der Gewährleistungsfrist von einer Zielreaktionszeit von 12 Arbeitsstunden ab dem ersten Kundenkontakt.
Extended Warranty
Die erweiterte Gewährleistung von PI liefert einen Rundumschutz für Kunden mit der Möglichkeit, die Gewährleistungsfrist auf bis zu
fünf Jahre zu verlängern. Die erweiterte Gewährleistung kann Kostenschutz vor versteckten Mängeln, kürzere Reaktionszeiten auf
Supportanfragen sowie einen priorisierten Service für Reparaturen und Fehleranalysen bieten.
PI Express
PI Express ist die Support-Dienstleistung mit der höchsten Prioritätsstufe. Wenn ein Produktausfall beim Kunden auftritt, bietet
PI eine Express-Fernunterstützung bzw. eine Express-Vor-Ort-Unterstützung wenn nötig und kann auch ein dediziertes Ersatzsystem ausliefern, damit der Betrieb beim Kunden so schnell wie möglich weitergeführt werden kann.
>> Mehr Infos über die Serviceleistungen von PI unter www.pi.de/service*	Ein normaler Verschleißausfall ist definiert als ein Schaden, der durch den normalen Gebrauch verursacht wurde. Verschleißausfälle, die ausgeschlossen sind aufgrund
von nicht gewöhnlichem Gebrauch können z.B. sein, wenn das System einer Strahlung ausgesetzt war; flüssige oder abrasive Partikel von Dritten in die Mechanik gelangtsind; die Anwendung oder der Betrieb über die angegebene Kapazität des Systems hinausgeht (Ausrichtung, Belastung, Stellwegsgrenzen, Umgebung); oder wenn ein
Benutzerfehler oder eine externe Kraft angewendet wurde, die den Ausfall verursacht hat. Maximal 2 Ansprüche über die Laufzeit von 3 Jahren.
** Alle Vor-Ort-Dienstleistungen werden je nach Kundenstandort im Voraus berechnet.

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POSITIONIEREN

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|POSITIONIEREN

Gesellschaften

ACS Motion Control

PI Niederlassungen

DEUTSCHLAND

ISRAELUSA (Ost) & KANADA

USA (West) & MEXIKO

Physik Instrumente (PI)GmbH & Co. KG
Auf der Römerstraße 176228 Karlsruhe
Tel. +49 721 4846-0
Fax +49 721 4846-1019
info@pi.de
www.pi.de

ACS Motion Control Ltd.
Ramat Gabriel Industrial Park
1 Hataasia St.
Migdal HaEmek, 2307037
POB 984
Tel. +972-4-6546440
Fax +972-4-6546443
info@acsmotioncontrol.com
www.acsmotioncontrol.com

PI (Physik Instrumente) L.P.
Auburn, MA 01501
www.pi-usa.us

PI (Physik Instrumente) L.P.
Irvine, CA 92620
www.pi-usa.us

USA (San Francisco Bay Area)

UK & IRLAND

PI (Physik Instrumente) L.P.
Sausalito, CA 94965
www.pi-usa.us

PI (Physik Instrumente) Ltd.
Cranfield, Bedford
www.physikinstrumente.co.uk

ITALIEN

NIEDERLANDE

Physik Instrumente (PI) S. r. l.
Bressowww.pionline.it

PI Benelux B.V.
Sint-Oedenrode
www.pi.ws/benelux

FRANKREICHSPANIENPI France SAS
Aix-en-Provence
www.pi.ws

Micos Iberia S.L.
Vilanova i la Geltrú
www.pimicos.es

PI miCos GmbH
Freiburger Straße 30
79427 EschbachTel. +49 7634 5057-0
Fax +49 7634 5057-99
info@pimicos.dewww.pi.de
PI Ceramic GmbH
Lindenstraße
07589 Lederhose
Tel. +49 36604 882-0
Fax +49 36604 882-4109
info@piceramic.de
www.piceramic.de

JAPAN
PI Japan Co., Ltd.
Tokio
www.pi-japan.jp

PI Japan Co., Ltd.
Osaka
www.pi-japan.jp

CHINA© Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Alle Texte, Graphiken, Daten und deren Darstellung unterliegen dem
Schutz des Urheberrechts und anderer Schutzgesetze. Kopie, Veränderung, Weiterverbreitung sind ohne schriftliche Genehmigung von PI
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Physik Instrumente(PI Shanghai) Co., Ltd.
Beijing
www.pi-china.cn

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Singapore LLP
Singapurwww.pi-singapore.sg
Für ID / MY / PH / SG / TH / VNM

Physik Instrumente (PI)Taiwan Ltd.
Taipeiwww.pi-taiwan.com.tw

KOREA

Mit PI verbinden:

PI Korea Ltd.
Seoul
www.pikorea.co.kr

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