5350

デジタル・エレクトロメータ

半導体、電子部品、光デバイスの評価・試験に51/2桁表示の低価格デジタル・エレクトロメータ
ワイド・レンジな電流測定1 fA〜20 mA
高入力インピーダンス電圧測定：1013 Ω以上
ドライビング・ガードによる高速電圧測定
高速測定：最高1,000サンプリング／秒
データ・メモリ：100,000データ
可変積分機能：500 µs〜3.2 s

USB, GPIBインタフェース標準装備

LAN
工場オプション

電流測定

高入力インピーダンス電圧測定

分解能

以上

1 fA

http://www.adcmt.com

10 Ω
13

高速測定

1000
サンプリング／秒

5350 は 1013 Ω以上の高入力インピーダンス電圧測定と、1 fA から 20 mA までの広範囲電流測定

1 fA から20 mAまでの広範囲な電流測定が可能な 51/2 桁

最小分解能 1 fA からの微少電流測定が可能なため、の低価格デジタル・エレクトロメータです。材料の基礎研究、MOSFET のゲート電流などの半導体リーク電流測定や、半導体・電子部品の評価試験・選別、新素子の研究・開発、光デバイスの暗電流測定に対応できます。また、最大電流あるいは分析、生体関係など広い用途に使用できます。電測定値は 20 mA と広域であるため、小信号トランジスタや圧測定はドライビング・ガード機能を選択することで、高インダイオードなどの IB-VBE、IC-VBE 特性の評価にも適していピーダンス信号源を正確にレスポンス良く測定できます。測ます。

定スピードは最高 1000 サンプリング／秒と高スループットを実現し、内部メモリに測定結果を 100,000 データ保存出来

1013 Ω 以上の高入力インピーダンス電圧測定ます。インタフェースは標準で USB、GPIB、オプションで高出力インピーダンスの電圧測定で一般的な電圧計を使LAN インタフェースを追加できるため、用途に合ったシステ用すると、電圧計の入力インピーダンス（109 Ω 程度）がム設計が可能です。

影響し測定値に誤差を与えます。しかし、5350 は 1013 Ω以上の高入力インピーダンスをもっているため、一般的なINPUT 端子2 重シールド構造の入力コネクタ電圧計に比べて被測定物の出力インピーダンスの影響が1/10,000 に低減され高確度な測定ができます。
ドライビング・ガードによる高速電圧測定
直流電圧測定では被測定物の出力インピーダンスが大きな場合（100 MΩ 以上）、入力ケーブルの浮遊容量によってレスポンスが遅くなります。5350 は２重シールド構造の入力コネクタ、入力ケーブルを採用することによって内側シールドを 5350 の入力電圧と同電位で駆動しています。このドラ
イビング・ガード機能によって、入力ケーブルの中心線と外GND 端子、GUARD 端子
測定系の接地に使用する端子で出荷時はショート・プレートで接続【フロントパネル】

側シールドの浮遊容量が見かけ上ゼロとなりレスポンスの向上を実現しています。
入力信号を電圧値として外部出力入力信号を電圧値として機器外部に出力するプリアンプ出力 (AMP OUT）と D/A OUT を搭載しています。プリア

D/A OUT コネクタ

ンプ出力は 5350 測定回路の出力電圧をアイソレーションせ測定値を電圧換算して出力

AMP OUT 端子
電圧測定時はインピーダンス変換電圧出力
電流測定時は電流 - 電圧変換出力ずに機器外部に出力できます。高インピーダンス電圧測定

GPIB コネクタのときのインピーダンス変換出力器、電流測定のときの電流 - 電圧変換出力器として使用することができます。D/A
OUT は A/D 変換された測定値を ± 1 V の電圧に換算し、アイソレーションされた信号として出力します。
可変積分機能搭載
5350 は積分時間を 500 µs ～ 3.2 s の間、100 µs 分解能で任意の値に設定可能です。この機能によりパルス状の電LAN コネクタ

TRIGGER IN コネクタ
測定開始信号入力※工場オプション

COMPLETE OUT コネクタ
測定終了出力USB コネクタ

圧／電流の平均値を簡単に測定することが出来ます。
A/D 変換器自体の積分時間を任意に設定できるため積分時間中の歯抜けのない正確な平均値が測定できます。予め用意された 8 種類の積分時間を正面パネルの RATE
キーでも簡単に切り換えできるので、用途に合わせて積分【リアパネル】

時間を選択できます。

Wide Range & High Speed Measuring
2

性能諸元

測定時間と表示桁数

特に規定のない場合、
温度 23 ℃± 5 ℃、
湿度 70 %RH 以下において 1 年間保証。

直流電圧測定測定
レンジ

温度係数
セットリング・分解能±（% of rdg ±※1※1※2
タイム（ms）※4
ゼロ・チェックOFF ゼロ・チェックONdigit）/℃※1※3
測定確度±(% of reading + digit)

最大表示

200 mV 199.999 mV
1 µ V 0.06 ＋ 150
2000 mV 1999.99 mV 10 µ V 0.06 ＋ 3020 V 19.9999 V 100 µ V 0.06 ＋ 200.06 ＋ 300.06 ＋ 300.06 ＋ 200.004 ＋ 180.004 ＋ 20.004 ＋ 1

2.5
2.52.5※ 1 積分時間：10 PLC 表示桁：5½ 桁 オート・ゼロ：ＯＮにて※ 2 ゼロ・チェック後 24 時間以内、± 1 ℃の範囲における確度。ただし温度 23 ℃± 5 ℃、湿度 70 %RH 以下。
※ 3 温度 0 ～ 50 ℃、湿度 70 %RH 以下における値。
※ 4 信号源抵抗 1 M Ω以下にて、フルスケールの± 1 % 以内に入るまでの時間。ただし、レンジ切替時間を除く。

積分時間設定による追加誤差

200 mV
レンジ－500 µ s ≦ IT ＜ 1 PLC
4½ 桁表示にて
1 PLC ≦ IT ＜ 10 PLC 1 PLC の整数倍 5½ 桁表示にて
1 PLC の整数倍 5½ 桁表示にて10 PLC ＜ IT ≦ 3.2s

101010

他レンジ

336

1 × 1013 Ω以上
30 pF 以下

ノイズ除去比（50/60 Hz ± 0.08 %）積分時間

1 PLC の整数倍
その他

実効 CMRR
120 dB 以上
60 dB 以上

NMRR
60 dB 以上
0 dB

最大表示

測定確度±(% of reading + digit)
ゼロ・チェックOFF

ゼロ・チェックON

200 pA 199.999 pA
1 fA 0.7 ＋ 702000 pA 1999.99 pA
10 fA 0.6 ＋ 2020 nA 19.9999 nA 100 fA 0.25 ＋ 170
200 nA 199.999 nA
1 pA 0.2 ＋ 30
2000 nA 1999.99 nA 10 pA 0.2 ＋ 2020 µ A 19.9999 µ A 100 pA 0.1 ＋ 170
200 µ A 199.999 µ A
1 nA 0.1 ＋ 30
2000 µ A 1999.99 µ A 10 nA 0.1 ＋ 2020 mA 19.9999 mA 100 nA 0.1 ＋ 30

0.7 ＋ 60
0.6 ＋ 200.25 ＋ 300.2 ＋ 200.2 ＋ 200.1 ＋ 30
0.1 ＋ 200.1 ＋ 200.1 ＋ 20※6※6※7温度係数
セットリング・±（% of rdg ±タイム（ms）※9※6※8）℃
digit /0.03 ＋ 70.03 ＋ 10.01 ＋ 190.01 ＋ 20.01 ＋ 10.01 ＋ 190.01 ＋ 20.01 ＋ 10.01 ＋ 2

4504505552.52.52.52※ 6 積分時間：10 PLC 表示桁：5½ 桁 オート・ゼロ：ＯＮにて※ 7 ゼロ・チェック後 24 時間以内、± 1 ℃の範囲における確度。ただし温度 23 ℃± 5 ℃、湿度 70 %RH 以下。
※ 8 温度 0 ～ 50 ℃、湿度 70 %RH 以下における値。ただし、40 ℃～ 50 ℃は digit 項に20 fA/ ℃を加算。
※ 9 フルスケールの± 1 % 以内に入るまでの時間。ただし、レンジ切替時間を除く。

積分時間設定による追加誤差
追加誤差±（digit）

積分時間－
500 µ s ≦ IT ＜ 1 PLC
4½桁表示にて
1 PLC ≦ IT ＜ 10 PLC 1 PLCの整数倍 5½桁表示にて10 PLC ＜ IT ≦ 3.2 s 1 PLCの整数倍 5½桁表示にて200 pA 20 nA
レンジ

レンジ

20 µ Aレンジ

他
レンジ

2525102020
10101010557

入力電圧降下20 mA レンジ
他レンジ
入力バイアス電流：±（30 Ω × 測定電流）以下±（200 µV + 0.5 Ω × 測定電流）以下

199999

その他機能
演算機能：

NULL 演算／スムージング演算／アベレージング演算／トータライジング演算／スケーリング演算

拡張設定機能：オート・ゼロ／ゼロ・チェック／測定レンジ上限・下限／測定オート・レンジ・レベル

インタフェース機能：◦リモート・コマンド：

ADCコマンド体系、弊社製品8240のコマンド体系に準拠◦ GPIB1. 規格：
2. コネクタ：IEEE488.2 準拠
24 ピン・アンフェノール◦ USB

1. 規格：
2. コネクタ：

タイプ B◦ TRIGGER IN（外部トリガ入力）
分解能

19999

※ 10 演算 OFF、測定データ表示 OFF 等条件有◦LAN（工場オプション） 1.規格：
2.コネクタ：

直流電流測定表示桁数※ 11 積分時間を RATE で設定した場合※5※5 不平衡インピーダンス1 k Ω

測定レンジ※10500 µs
500 µs
2 ms
1 PLC
5 PLC
※1110 PLC
10 PLC × 4
10 PLC × 8
10 PLC × 16

追加誤差±（digit）

積分時間

入力抵抗：
入力容量：

測定速度
電源周波数 50 Hz 電源周波数 60 Hz
1000回／s
200回／s
77回／s
33回／s
29回／s
8回／s
4回／s
1回／s
0.5回／s
0.25回／s

積分時間（IT）USB2.0 Full-Speed 準拠

IEEE802.3 準拠（10BASE-T、100BASE-TX）
RJ-45

1. 信号レベル：TTL、立下りエッジ検出
2. コネクタ： BNC◦ COMPLETE OUT 1. 信号レベル：TTL、負パルス（オープン・コレクタ）（測定終了出力）
2. コネクタ： BNC◦ D/A OUT
（D/A 出力）

1. 機能：
2. コネクタ：

BNC

測定値の任意 3 桁を電圧出力する◦プリアンプ出力（AMP OUT）

1. 機能：
2. 端子：

入力電圧／電流に応じて直流電圧を出力する
セーフティ

一般仕様
使用環境範囲：

温度：0 ℃～＋ 50 ℃
湿度：85 ％ RH 以下、結露のないこと
温度：－ 20 ℃～＋ 70 ℃
保存環境範囲：湿度：85 ％ RH 以下、結露のないこと
ウォームアップ時間： 60 分以上表示：
10 進 6 桁、7 セグメント蛍光表示管
入力方式：
フローティング方式
測定方式：
過入力表示：
レンジ切替え：積分方式

OL 表示

自動または手動

トリガ機能：

内部および外部トリガ
外部トリガは外部トリガ入力、パネル・キー、リモートメモリ：

データ・メモリ 最大 100,000 データ
条件設定メモリ：4（USER0 ～ USER3）

30 fA 以下

ノイズ除去比（50/60 Hz ± 0.08 %）積分時間

1 PLC の整数倍
その他

NMRR
60 dB 以上
0 dB

最大許容入力容量：

0.1 µF3

標準付属品
測定端子／AMP OUT 端子：

端子名称
INPUT 端子GUARD 端子※ 12、GND 端子

AMP OUT HIAMP OUT LO

コネクタ
TRIAX コネクタ
ネジ式端子台赤色セーフティ・ソケット
黒色セーフティ・ソケット

INPUT 端子 各部名称
① INPUT HI② INPUT LO③ GUARD ※ 12

※12 INPUT 端子GUARDとGUARD 端 子 間 は機器内部で接続されています

最大許容印加電圧： DCVドライビング・ガード ON/OFFDCI ドライビング・ガード OFF

GNDGUARD
46 Vpeak

INPUT HIINPUT LO 200 Vpeak
200 Vpeak※13 200 Vpeak
200 Vpeak※13 200 Vpeak※13 AMP OUT端子を外部と接続する場合は46 Vpeak

DCI ドライビング・ガード ON

GND

GUARD
46 Vpeak

INPUT HIINPUT LO 200 Vpeak
20 mApeak※14 200 Vpeak
46 Vpeak
200 Vpeak※14 INPUT LO - GUARD間は機器内部で接続されています

AMP OUT 端子

最大許容印加電圧： INPUT LO - GND 間が 46 Vpeak 以下にてGND
電源

AMP OUT LO
46 VpeakAMP OUT HI
30 Vpeak76 Vpeak

AC電源：100 V/120 V/220 V/240 V（ユーザにて切り替え可能）
オプションＮＯ
標準 OPT. 32 OPT. 42 OPT. 44
電源電圧
100 V 120 V 220 V 240 V
注文時指定
ユーザにて電源電圧を変更する場合は、適合ケーブルと適合ヒューズを確かめてご使用ください。

電源周波数：
消費電力：
外形寸法：
質量：

50 Hz/60 Hz
20 VA 以下
約 212（幅）× 88（高）× 340（奥行）mm
3.6 kg 以下

安全性：

IEC61010-1 Ed.3 準拠、IEC61010-2-30 準拠

EMC：

EN61326-1 classA

型名

数量

A01402
A01010DFT-AAR5A-1
DFT-AAR315A-1

111

名称
電源ケーブル
入力ケーブル
電源ヒューズ（AC100 V/120 V 用）
電源ヒューズ（AC220 V/240 V 用）

アクセサリ（別売）
型名

A01009A01011
A04201
A04202
A04203
A04207CC015006
A04208MI-03
A01036-1500
A01044
A08531
A08532
12602
12603
127XXシリーズ
4215045シリーズ
A02263
A02264
A02463
A02464
A02039A02040

名称
入力ケーブル（TRIAX - TRIAX）
入力ケーブル（TRIAX - BNC）
接続コネクタ（TRIAX・J - TRIAX・J）
接続コネクタ（TRIAX・J - BNC・P）
接続コネクタ（BNC・J - M・P）
接続コネクタ（BNC・J - TRIAX・P）
接続コネクタ（TRIAX・J レセプタクル）
BNC - みの虫
入出力ケーブル（BNC - BNC 1.5m）
入出力ケーブル セーフティ・プラグ
バナナチップ・アダプタ A01044用
ワニ口クリップ・アダプタ A01044用
ボルテージ・デバイダ・プローブ
テスト・リード
テスト・フィクスチャ（別電源必要）
標準抵抗（別電源必要）

JISラック・マウント・セット（ツイン）JISラック・マウント・セット
EIAラック・マウント・セット（ツイン）
EIAラック・マウント・セット

パネル・マウント・セット
パネル・マウント・セット
（ツイン）

価格

¥15,000～¥15,000～¥8,000¥10,000¥11,000¥5,000¥8,500¥3,500¥11,100¥4,700¥1,900¥600¥1,500¥110,000¥90,000￥90,000～¥100,000￥65,000～¥12,000¥15,000¥12,000¥15,000¥20,000¥22,000

メーカ希望小売価格
名称
デジタル・エレクトロメータ

LANインタフェース付き
入力ケーブル付属無LANインタフェース付き、入力ケーブル付属無型名

5350
5350+06
5350+63
5350+06+63

価格¥230,000¥270,000¥220,000¥260,000◦ 表示価格に消費税は含まれていません。消費税相当額については別途申し受けます。
◦ 本製品を正しくご利用いただくため、お使いになる前に必ず取扱説明書をお読みください。
◦ ユーザ各位のご要望、当社の品質管理の一層の高度化などにともなって、おことわりなしに仕様の一部を変更させていただくことがあります。

お問い合わせはコールセンタへ @0120-041-486

受付時間： 9：00〜12：00，13：00〜17：00（土・日、祝日を除く）

本 社〒355-0812 埼玉県比企郡滑川町大字都 77-1
東松山事業所 TEL（0493）
56-4433 FAX（0493）57-1092●ご用命は営業部
東 営 業 所 〒330-0852 埼玉県さいたま市大宮区大成町3-515
岡部ビル3階TEL（048）651-4433 FAX（048）651-4432
西 営 業 所 〒532-0003 大阪市淀川区宮原2-14-14
新大阪グランドビル 9階B号室
TEL（06）6394-4430 FAX（06）6394-4437
中 部 営 業 所 〒464-0075 名古屋市千種区内山3-18-10
千種ステーションビル 8階
TEL（052）735-4433 FAX（052）735-4434

E-mail : kcc@adcmt.com URL : http://www.adcmt.com
このカタログは再生紙を使用しています。

© 2018 ADC CORPORATION Printed in Japan 5350-531 Aug. '18 AH