MOTORIZED STAGES

自動ステージ
当社はステージメーカーとして、お客様のご要望にお応えする
ために、各種自動ステージ、コントローラを製造販売しています。
また、お客様の目的に応じた自動ステージを自由に選択してご［▼取付ねじ基準寸法］▪ステージ面▪ステージ底面1224価格など、各仕様での自動ステージの位置付けを明確にしました。
さらに、精度、品質保証の充実に務め、製品価格においても極力原価低減し、ご提供できるよう日々努力しています。今後も、

24

図 1 −⑧

図 1 −①

いち早く新技術の動向に対応していきますのでご期待ください。

4-2.5ｷﾘ4.3深ｻﾞｸﾞﾘ

24

使用いただけるように、当社ではステージ面寸法、移動量、精度、

6-M2

12

4-M3

32

32
4-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

特

長
32

32

1

①ステージ面寸法、移動量、精度、価格など、各仕様での位置付けを明確にしていますので、選択が容易です。

50
32があり、お客様の仕様に合わせて、自由な多軸組み合わせが【図 1 －⑧〜⑭．取付けねじ基準寸法

ステージ底面】

4-M3

4-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

図 1 −⑩

図 1 −③③自動ステージは全数検査を行っています。測定機器のトレー
サビリティを確立し、信頼できる精度、品質を保証しています。

25

25④アフターサービス、サポート体制が充実しています。

4

11

32

4-M3

図 1 −⑪

図 1 −④
50

25

20-M4

100

4-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

25

25

4

11

φ

25

φ

4-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

12-M4

25

32

ステージ面】

5032【図 1 －①〜⑦．取付けねじ基準寸法

50

4-M4

50

②自動ステージのステージ面、ベース底面の取り付けに互換性可能です。

図 1 −⑨

図 1 −②

4

25

100

50

11

φ

図 1 −⑤
25

130
50

25

図 1 −⑫130

4-M6

4-7ｷﾘ11深ｻﾞｸﾞﾘ

4

130

11

φ

25

130
50

25

20-M4

図 1 −⑥180
130
25 50 25

図 1 −⑬1808-M64

図 1 −⑦

A

8

180

180
130
25 50 25

20-M4
11

φ

図 1 −⑭

4-7ｷﾘ11深ｻﾞｸﾞﾘ

MOTORIZED STAGES

2

分

類

自動ステージは案内方式により 6 つの種類に分類されます。

① V 溝レールとクロスローラ（V-CR）【図 2 −①】
向き合った 2 本のＶ溝レールにローラを交互に直交配列させて 1 セットとし、2 セッ
ト 1 組で使用して案内します。
V 溝レール軌道面は焼き入れ硬化後、高精度研磨加工されていますので、真直度のよい案内が得られます。また、ローラが使用されていますので、上下、横方向荷重

図 2 −①

V 溝レールとクロスローラ（V-CR）

共に大きな負荷容量を備えています。
高精度、重荷重用ステージに使用し、当社で最も多く採用している方式です。

② V 溝レールと鋼球（VB）【図 2 −②】
向き合った 2 本の V 溝レールに鋼球を直列配列させて 1 セットとし、2 セット 1 組
で使用して案内します。
高精度、軽荷重用傾斜ステージに使用しています。
傾斜ステージは直動ステージと違い V 溝レールが弧を描いています。このため、直動と同じ構造のガイドレールを使用すると V 溝と鋼球にずれが生じ、V 溝に異常な圧力がかかります。このことは耐久性の低下を招くのはもちろん、リテーナ（鋼球とそれを挟み込んでいる板の部品）がずれて機能しなくなってしまいます。これらを解消するために当社では全く新しい発想の新型ガイドレールを開発しました。こ

図 2 −②

V 溝レールと鋼球（VB）のガイドレールは、鋼球が接触する 4 点を、弧の内側と外側で軌道距離の修正をし、耐久性の低下を防ぎ、リテーナのずれを大幅に減少させています。このガイドレー
ルは特許を取得しました。
特許第 2762055 号③ローラウェイ
【図 2 −③】
循環式ローラベアリング 2 個と V 溝レール 1 本を 1 セットとし、2 セット 1 組で使用して案内します。
V 溝レールは高精度研磨加工されていますので、真直度のよい案内が得られます。
また、ローラが使用されていますので、上下、横方向荷重共に大きな負荷容量を備

図 2 −③

ローラウェイ

えています。さらに、循環式ローラベアリングを使用していますので、ストロークに関係なく、ステージ面の大きさがコンパクトです。
高精度、重荷重用のステージに使用しています。

9A

MOTORIZED STAGES④ボールウェイ
【図 2 －④】
循環式ボールベアリング 2 個とガイドレール 1 本を 1 セットとし、2 セット 1 組で使用して案内します。
ガイドレールは高精度研磨加工されていますが、ステージ取付面精度によって精度が若干変化します。循環式ボールベアリングは、多数の鋼球がガイドレールの R 溝と接触していますので、上下、横方向荷重共に負荷容量を備えています。循環式ボールベアリングを使用していますので、ストロークに関係なく、ステージ面の大きさ
がコンパクトです。

図 2 －④

ボールウェイ

図 2 −⑤ボールブッシュ

高精度、重荷重用のステージに使用しています。

⑤ボールブッシュ【図 2 －⑤】
ボールスライドベアリング 2 個とシャフト 1 本を 1 セットとし、2 セット 1 組で使用して案内します。
シャフトは研磨加工されていますが、ステージ取付面精度や荷重によって変化しやすいため、並精度です。鋼球とシャフトは点接触となりますので、軽負荷用になります。ボールスライドベアリングを使用していますので、ストロークに関係なく、
ステージ面の大きさはコンパクトです。ステージ本体はアルミ合金製で軽量です。
並精度、軽荷重用のステージに使用しています。

⑥回転ベアリング【図 2 −⑥】
アンギュラベアリング、クロスローラベアリング等の回転ベアリングを使用して案内します。
高精度予圧式アンギュラベアリング、クロスローラベアリングを使用していますので、精度がよく、ガタのない回転が得られます。また、クロスローラベアリングはロー

アンギュラベアリング

ラを使用していますので、上下、横方向荷重共に大きな負荷容量を備えています。

図 2 −⑥

高精度、重荷重用の回転ステージに使用しています。

案内方式

移動精度

耐荷重

剛性

V 溝レールとクロスローラ（V-CR）

◎

◎

◎

ローラウェイ◎◎◎

ボールウェイ○○◎

ボールブッシュ△△△V 溝レールと鋼球（VB）◎

回転ベアリング
表1A

案内方式による比較

10

クロスローラベアリング
回転ベアリング

◎
◎：優

○：良

△：並

○

○

○

○

MOTORIZED STAGES

3

精

度

△理論値との誤差
基 準長①位置決め精度【図 3】［JIS B 6191-1993 準拠］

さB

△B △A

「運動部品上の一点が運動後に到達した位置の、目標位置からの偏差の許容できる限界値。」
自動ステージ機種別に規定する基準長さ（角度）ごとに一方向に順次位置決めを行い、移動すべき基準長さ（角度）と実際に移動した量との差をそれぞれ測定し、最大差を

移動距
離
基準長さA
（測定間隔）
図3「位置決め精度」とします。

最大差②繰り返し精度【図 4】［JIS B 6191-1993 準拠］「一方向から繰り返して位置決めしたときの、目標位置と実際の位置との偏差のば

L7
L6
L5
L4
L3
L2
L1

らつきの許容できる限界値。」
任意の 1 点に同じ方向から位置決めを 7 回繰り返して停止位置を測定し、測定値の最大差を測定します。測定は移動距離の中央、両端の位置で行い、求めた差の最大
値の 1/2 に±を付けて「繰り返し精度」とします。

③ロストモーション【図 5】［JIS B 6330-1980 準拠］

図4「ある位置への正の向きでの位置決めによる停止位置と、負の向きでの位置決めに差よる停止位置との最大差。」

L7'
L6'
L5'
L4'
L3'
L2'
L1'

1 点に向かって正と負の向きに位置決めを行い、停止位置をそれぞれ 7 回繰り返し測定し、平均差を算出します。測定は移動距離の中央、ほぼ両端で行い、最大値を「ロストモーション」とします。

L7
L6
L5
L4
L3
L2
L1

④真直度
（水平）
【図 6】
［JIS B 6191-1993 準拠］
図5「直進運動する運動部品の運動の幾何学的直線からの狂いの大きさ。
」
基 準 位 置 か ら 一 方 向 に 順 次 位 置 決 め を 行 い、 そ れ ぞ れ の 位 置 で の 水 平 方 向（HORIZONTAL）変位長さと基準位置との差をその位置の測定値とします。

移動量

基準
長さ

基準位置と最終測定位置での測定点を結んだ幾何学的直線との最大差を「真直度（水平）」とします。

⑤真直度
（垂直）
【図 7】
［JIS B 6191-1993 準拠］

最大値

変位（長さ）

Xステージ

図6「直進運動する運動部品の運動の幾何学的直線からの狂いの大きさ。
」
基 準 位 置 か ら 一 方 向 に 順 次 位 置 決 め を 行 い、 そ れ ぞ れ の 位 置 で の 垂 直 方 向

最大値（VERTICAL）変位長さと基準位置との差をその位置の測定値とします。

変位（長さ）

基準位置と最終測定位置での測定点を結んだ幾何学的直線との最大差を「真直度（垂直）」とします。

移動量
基準
長さ
Xステージ
図7

11

A

MOTORIZED STAGES⑥ヨーイング【図 8】［JIS B 6191-1993 準拠］

基準

長さ

移動量

「直進運動すべき運動部品の運動中の姿勢の狂いの大きさであって、運動部品が直進運動するときに生じる角度の偏差。」
基準位置から一方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置で基準位置に対して水最大値

変位（角度）

平方向変位角の最大値を「ヨーイング」とします。

Xステージ

図8

⑦ピッチング【図 9】［JIS B 6191-1993 準拠］
最大値「直進運動すべき運動部品の運動中の姿勢の狂いの大きさであって、運動部品が直変位（角度）

進運動するときに生じる角度の偏差。」
基準位置から一方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置で基準位置に対して垂直方向変位角の最大値を「ピッチング」とします。

⑧ X・Y 直交度
【図 10】［JIS B 7440-1987 準拠］

移動量
基準

長さ
Xステージ

「直行する 2 軸間の直角度は、運動の真直基準となる幾何学的直線に直角な幾何学
図9

的直線に対し、他方の直線運動の狂いの大きさ。」
X ステージの基準位置と最終測定位置での真直度（水平）の幾何学的直線を基準軸とします。
X ステージ基準軸に対し、直角の幾何学的直線に対する Y ステージの基準位置から

90°X
軸

の軌

最終測定位置までの水平誤差の最大値を「XY 直交度」とします。

⑨心振れ【図 11】［JIS B 6194-1997 準拠］

道

Y軸の軌道

「得られた実経路を二つの同心円で挟んだときの最大内接円と最小内接円との半径

図 10差又は得られた実経路の最小二乗円を基準とし、その中心を同心として描いた最大面振れ

半径円と最小半径円との半径差。」
回転ステージのステージ面の回転軸のラジアル（水平）方向の振れの最大値を「心振れ」とします。

心振れ⑩面振れ【図 11】［JIS B 6191-1993 準拠］「一つの軸を中心として回転する端面が回転中にこの軸に直角な一平面から外れる
大きさ。」

図 11

回転ステージのステージ上面のスラスト（垂直）方向の振れの最大値を
「面振れ」
とし

回転中心精度ます。

⑪回転中心精度【図 12】
［中央精機

社内規格］

ゴニオステージのステージ上面から理想回転中心までの位置を基準とし、ステージ

回転中心
ステージ
上面より

を位置決めした時の、理想回転中心に対する最大差を測定します。最大差を半径とした球の直径を「回転中心精度」とします。

図 12

A

12

MOTORIZED STAGES

4

検査方法

当社自動ステージはカタログに掲載している検査項目と精度基

検査項目

直動ステージ回転ステージ

傾斜ステージ

準を設け、工場出荷時に全数精度検査し、合格品を出荷してい位置決め精度ます。

繰り返し精度○○○ロストモーション○○○

精度検査は人為的誤差（個人的な検査誤差）が生じないように全

真直度
（水平）

○

自動化し、検査結果は保管されます。ご希望により、工場出荷

真直度
（垂直）

○

ヨーイング

○

時に検査表を添付します。

ピッチング

○

検査に使用する測定機器はそれぞれ標準器とのトレーサビリティ

XY 直交度（XY のみ）

○

心振れ

○

面振れ

○

静止平行度

○

を確立し、信頼性の高い精度管理を行っています。

○

回転中心精度（抜き取り検査）
表2

○

○

○

自動ステージの検査項目

１直動ステージの検査
位置決め精度などの測長は超精密レーザー測定システム、または、ガラススケール内蔵型デジタル測長器を使用しています。
真直度（水平）、真直度（垂直）、ヨーイング、ピッチングの測定は 4 つの変位を同時測定できる当社真直度測定機「ストレーター
TC-2」、または、超精密レーザー測定システムを使用しています。
測定されたデータは製造番号別に保管されます。ご希望により工場出荷時に検査表を添付することができます。
▪検査
超精密レーザー測定システムにより、X ステージの位置決め精度を測定しています。
超精密レーザー測定システムは微小送りでの位置決め精度などサブミクロンクラスの精密測定が可能です。また、トレーサビリティが確立され、信頼できる精度を保証しています。
測定は恒温恒湿度の検査室で行っています。
X ステージの制御には当社コントローラドライバ「CAT-D」を使用し、接続したパソコンの当社検査プログラムにより、人為的誤差が生じないように、自動で行っています。

超精密レーザー測定システムによるX ステージの検査

当社真直度測定機「ストレーター TC-2」により、X ステージの運動の姿勢度である
真直度（水平、垂直）、ヨーイング、ピッチングの 4 つの変位を同時測定しています。
4 変位同時測定により、セッティングや測定時間が大幅に短縮されています。
X ステージの制御には当社コントローラドライバ「CAT-D」を使用し、接続したパソコンの当社検査プログラムにより、人為的誤差が生じないように、自動で行っています。
「ストレーター TC-2」
による X ステージの検査

13

A

MOTORIZED STAGES② Z ステージの検査
位置決め精度などの測長はガラススケール内蔵型デジタル測長器を使用しています。
真直度（水平）、真直度（垂直）、ヨーイング、ピッチングの測定は 4 つの変位を同時測定できる当社真直度測定機「ストレーター
TC-2」を使用しています。
測定されたデータは製造番号別に保管されます。ご希望により工場出荷時に検査表を添付することができます。
▪検査
当社真直度測定機「ストレーター TC-2」を縦に設置し、Z ステージの運動の姿勢度である真直度（水平、垂直）、ヨーイング、ピッチングの 4 つの変位を同時測定しています。
4 変位同時測定により、セッティングや測定時間が大幅に短縮されています。
Z ステージの制御には当社コントローラドライバ「CAT-D」を使用し、接続したパソコンの当社検査プログラムにより、人為的誤差が生じないように、自動で行っています。

③傾斜ステージの検査「ストレータ TC-2」
による Z ステージの検査

傾斜ステージの測定はセオドライト、当社「レーザーオートコリメータ LAC-S」、または、光電式オートコリメータと精密ミラーを使用しています。
測定されたデータは製造番号別に保管されます。ご希望により工場出荷時に検査表を添付することができます。
▪検査
当社「レーザーオートコリメータ LAC-S」により、傾斜ステージの繰り返し精度を測定しています。
「レーザーオートコリメータ LAC-S」は半導体レーザーを光源としていますので、光軸が見え、セッティングが楽に行えます。
また、ビーム径が小さいため、測定用ミラーは小径で可能です。
傾斜ステージの制御には当社コントローラドライバ「CAT-D」を使用し、接続したパソコンの当社検査プログラムにより、人為的誤差が生じないように、自動で行っています。

「レーザーオートコリメータ LAC-S」
による
傾斜ステージの検査④回転ステージの検査
回転ステージの測定は光電式オートコリメータ、または、水平、垂直の角度変位を同時に測定できる当社「レーザーオートコリ
メータ LAC-S」と精密 12 面鏡を使用しています。
測定されたデータは製造番号別に保管されます。ご希望により工場出荷時に検査表を添付することができます。
▪検査
光電式オートコリメータと精密 12 面鏡により、回転ステージの位置決め精度を測定しています。
回転ステージの制御には当社コントローラドライバ「CAT-D」を使用し、接続したパソコンの当社検査プログラムにより、人為的誤差が生じないように、自動で行っています。
同様な測定が「レーザーオートコリメータ LAC-S」でもできます。
回転ステージの検査

A

14

MOTORIZED STAGES

5モーメント剛性［JIS B6201-1993 準拠］

ロール剛性

ヨー剛性

1N・㎝当たりのモーメント負荷による自動ステージの変位角（sec）を「モーメント剛性」とします。モーメント剛性はモーメント負荷の方向により種類があり、自動ステー
ジの種類により異なります。X、X・Y、Z ステージはヨー剛性、ピッチ剛性、ロール

ピッチ剛性

図 13

剛性の 3 種類、回転ステージは 1 種類、傾斜ステージはヨー剛性、ロール剛性の 2 種類を設定します。モーメント剛性の数値が小さいほど、モーメント負荷による自動ス
ヨー剛性

テージの変位が小さく、剛性に優れていることを示します。

ロール剛性① X、X・Y、Z ステージのモーメント剛性【図 13】※ X・Y ステージの場合は下軸が基準となります。
1. モーメント剛性（ヨー剛性）

2. モーメント剛性（ピッチ剛性）3. モーメント剛性（ロール剛性）

ピッチ剛性

図 14

② Z 昇降ステージのモーメント剛性【図 14】
1. モーメント剛性（ヨー剛性）

2. モーメント剛性（ピッチ剛性）3. モーメント剛性（ロール剛性）③回転ステージのモーメント剛性【図 15】
1. モーメント剛性

モーメント剛性④傾斜ステージのモーメント剛性【図 16】
1. モーメント剛性（ヨー剛性）

6

図 15

2. モーメント剛性（ロール剛性）
ヨー剛性

ロール剛性

耐荷重

①耐荷重とは自動ステージに積載可能なステージ面に応じた等分荷重を
「耐荷重」
とします。

図 16

②積載物の寸法【図 17】

耐荷重内であっても、自動ステージの性能を十分に発揮するには積載物の寸法に制限があります。積載物の縦、横寸法はステージ面寸法の約 1.5 倍以下、高さ寸法は
ステージ面寸法の約1倍を基準とします。それ以上の寸法のものを積載したい場合は、ステージ面の大きい自動ステージを使用してください。

積載物の寸法基準
ステージ面寸法に対して
1.5倍
1.5倍
１倍

例．ステージ面＝ 200 ㎜× 200 ㎜の場合
積載物の縦、横寸法＝ 200 ㎜× 1.5 倍＝各約 300 ㎜以内
積載物の高さ寸法＝ 200 ㎜× 1 倍＝約 200 ㎜以内

ステージ面寸法③積載物の偏荷重【図 18】

図 17

積載物が偏荷重になる場合、自動ステージにかかるモーメントに制限があります。
ステージ面中心からステージ面寸法の 1/4 の重心位置に耐荷重と同負荷を掛けたと

重心

きのモーメント以内を基準とします。ただし、自動ステージを縦置きしたり、逆さまに使用するなどの特殊な条件の場合は除きます。

ステージ中心積載物

ステージ面中心から重心までの寸法

基準以上の偏荷重がかかる場合は、耐荷重の大きい自動ステージを使用してください。
例．耐荷重＝ 490N、ステージ面寸法 200 ㎜の自動ステージの場合
許容モーメント＝ 490N × 20 ㎝× 1/4 ＝ 2450N・㎝以内≒ステージ面中心から 10 ㎝の部分が重心の場合、積載物の質量 25 ㎏

以内

（ 10 ㎝ ＝ 25 ㎏）

図 182450N・㎝

15

A

MOTORIZED STAGES

最高速度

7

自動ステージの最高速度は自動ステージの種類によって異なります。また、使用するコントローラ／ドライバの出力、加減速条件などで異なります。過負荷や、加減速条件が厳しくなると、最高速度まで使用できないことがありますのでご注意ください。当社
カタログの設定は【表 3】の条件の場合を示します。
項

目条使用コントローラ／ドライバ

表3

類によって異なります。
マイクロステップドライバの場合、約

X、X・Y ステージ
（送りねじリード 5 ㎜は除く）
最高速度＝ 8,000pps
起動速度＝ 1,000pps
加減速時間＝ 200ms
最高速度と加速条件

コントローラ／ドライバの最高速度は種件

QT-CD1［参考］

3,000pps がモータ出力の最大値になり加減速レート（ms/kpps）＝

ます。
当社のコントローラ／ドライバの最高速

加減速時間
（ms）
最高速度
（kpps）−起動速度（kpps）

X、X・Y ステージ
（送りねじリード 5 ㎜）
Z、回転、傾斜ステージ
最高速度＝ 5,000pps
起動速度＝ 1,000pps
加減速時間＝ 100ms

度のランクは次のようになります。

加減速レート＝ 20 以上

最高速度の条件① X、X・Y ステージ
高速

② Z、回転、傾斜ステージ

8,000pps

3,000pps

QT-CD1

低速

高速

5,000pps

QT-CM23,000pps

QT-CD1

QT-CM2
QT-MD

QT-MD

8

低速

センサ動作原理とタイミングチャート

当社自動ステージは型式によって、原点／原点前／リミットのセンサの有無、動作論理が異なります。
自動ステージ型式

センサの有無と動作論理

原点

原点前

CW リミット

CCW リミット

ALS/ALD/ALZ- ○○○ -E ○ P ○ALS/ALD/ALZ- ○○○ -C ○ P ○ALS/ALD/ALZ- ○○○ -H ○ P ○ALV- ○○○ -H ○ P
ATS/ATD- ○○○ -HP
HGS-300X/XY

NO

NC

NC

NC

ARS-936-HP、ARS-136-HP

NO

NO

—

—

ALS/ALD/ALZ- ○○○ -H ○ M
ALV- ○○○ -H ○ M
ATS/ATD- ○○○ -HM
MMU-40X/X・Y/Z、-H1
MMU-60X/X・Y/Z/V、-H1
MM-40GU/GL/GD、MM-60GU/GL/
GD

NO

—

NO

NO

ARS-436-HM、ARS-636-HM
MM-40 θ、MM-60 θ

NO

—

—

—

MSS-50A、MSS-50WA、MSS-150A、
MSS-200A、MSS-300A

NC

—

NC

NC

ALS-301-HM、ALS-305-CM、
ALD-301-HM、ALZ-301-HM、
ALZ-305-CM、ALV-300-HM

—

—

NO

NO

NO：ノーマルオープン

16－：装備なしセンサがない場合は NO に設定してください。
各コントローラ／ドライバのディップ
スイッチ、パラメータ設定の詳細は各製品の取扱説明書をお読みください。

表4 当
 社自動ステージの、原点／原点前／リミットセンサの有無と動作論理

A

NC：ノーマルクローズ

MOTORIZED STAGES［タイミングチャート

No.1］（略：チャート①）

モータ１回転原点検出点
遮光時（5V）
入光時（0V）；検出

原点センサ
メカストッパ［タイミングチャート

No.2］（略：チャート②）

メカストッパ
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）

CCWリミット
原点センサ

遮光時（5V）；検出
入光時（0V）
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）

CCWリミット
原点前センサCWリミット
CW方向（反モータ側）

CWリミット
CW方向（反モータ側）CCW方向（モータ側）
メカ
リミット

原点
CW
リミット 反端面

原点
端面

メカ
CCW
リミット リミット

CCW方向（モータ側）
メカ
リミット

CW
リミット

原点前
反端面

原点前
端面

メカ
CCW
リミット リミット

原点センサ（スリット検出）
フォトセンサ（N.O.）
原点センサフォトセンサ
（N.C.）
CWリミットフォトセンサ（N.C.）
CCWリミットフォトセンサ（N.C.）

原点前センサフォトセンサ
（N.C.）
CWリミットフォトセンサ（N.C.）
CCWリミットフォトセンサ（N.C.）［タイミングチャート

No.3］（略：チャート③）

メカストッパ［タイミングチャート

No.4］（略：チャート④）

メカストッパ

CCWリミット
原点センサ
CWリミット
CW方向（反モータ側）
メカ
リミット

CW
原点
リミット 反端面

原点
端面

磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出
磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出
磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出

CCWリミット

CCW方向（モータ側）

CW方向（反モータ側）磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出

磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出

CWリミットCCW
メカ
リミット リミット

CCW方向（モータ側）
メカ
リミット

CW
リミット

CCW
リミット

メカ
リミット

原点センサホールIC（N.O.）
CWリミットホールIC（N.O.）

CWリミットホールIC（N.O.）
CCWリミットホールIC（N.O.）［タイミングチャート

CCWリミットホールIC（N.O.）

No.5］（略：チャート⑤）

モータ１回転［タイミングチャート

No.6］（略：チャート⑥）

モータ１回転原点検出点
遮光時（5V）
入光時（0V）；検出

原点センサ
メカストッパ

原点検出点
遮光時（5V）
入光時（0V）；検出

原点センサ
メカストッパCWリミット

遮光時（5V）；検出
入光時（0V）
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）

CW方向（上側）

CCW方向（下側）

CCWリミット
原点前センサ

メカ
リミット

CW
リミット

原点前
反端面

CWセンサフォトセンサ（N.C.）

原点前
端面

CCW
リミット

メカ
リミット

原点センサ（スリット検出）フォトセンサ（N.O.）

遮光時（5V）；検出
入光時（0V）
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）

CCWリミット
原点前センサCWリミット
CW方向（下側）

CCW方向（上側）
メカ
リミット

CW
リミット

原点前
反端面

CCWセンサフォトセンサ（N.C.）

原点前センサフォトセンサ
（N.C.）

原点前センサフォトセンサ
（N.C.）CCWセンサフォトセンサ
（N.C.）

CWセンサフォトセンサ
（N.C.）

原点前
端面

CCW
リミット

メカ
リミット

原点センサ（スリット検出）フォトセンサ（N.O.）※タイミングチャート中のセンサの状態はセンサ用電源に 5V を使用した例です。

17

A

MOTORIZED STAGES［タイミングチャート

No.7］（略：チャート⑦）

メカストッパ［タイミングチャート

No.8］（略：チャート⑧）

メカストッパ
磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出
磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出
磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出

CCWリミット
原点センサ
CWリミット

CCW方向（下側）

CW方向（上側）
メカ
リミット

CW
リミット

原点
反端面

CCW
リミット

原点
端面

CCWリミット

遮光時（5V）
入光時（0V）；検出

CWリミット

遮光時（5V）
入光時（0V）；検出

CW方向（上側）

CCW方向（下側）
メカ
リミット

メカ
リミット

CW
リミット

CCW
リミット

メカ
リミット

CWセンサフォトセンサ（N.O.）

CWセンサホールIC（N.O.）

原点センサホールIC（N.O.）

CCWセンサフォトセンサ
（N.O.）CCWセンサホールIC（N.O.）［タイミングチャート

No.9］（略：チャート⑨）

モータ１回転［タイミングチャート

No.10］（略：チャート⑩）

原点検出点
メカストッパ原点センサ

磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出
磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出
磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出

CCWリミット
メカストッパ
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）
遮光時（5V）；検出
入光時（0V）

CCWリミット
原点前センサCWリミット

原点センサ
CWリミットメカ
リミット

CCW方向（モータ側）

CW方向（反モータ側）
メカ
リミット

CW 原点前リミット 反端面

CCW方向（モータ側）

CW方向（反モータ側）
CW
原点
リミット 反端面

原点
端面

CCW
メカ
リミット リミット

原点前 CCWメカ
端面 リミット リミット

原点センサ（スリット検出）
フォトセンサ（N.O.）
原点センサホールIC（N.O.）
ＣＷリミットホールIC（N.O.）

CCWリミットホールIC（N.O.）

CCWリミットフォトセンサ（N.C.）
原点前センサフォトセンサ（N.C.）
ＣＷリミットフォトセンサ（N.C.）［タイミングチャート

No.11］（略：チャート⑪）

モータ１回転原点検出点［タイミングチャート

No.12］（略：チャート⑫）
磁束なし（5V）
磁束あり（0V）；検出

原点センサ

原点センサ
遮光時（5V）
入光時（0V）；検出

原点前センサ
CW方向（反時計回り）

CW方向（反時計回り）

CCW方向（時計回り）
原点
反端面

原点
端面

CCW方向（時計回り）
原点前
反端面

原点前
端面
モータCCW
回転時

原点センサ（スリット検出）
フォトセンサ（N.O.）

モータCW
回転時
原点センサホールIC（N.O.）

モータCCW
回転時

モータCW
回転時
原点前センサフォトセンサ（N.O.）※タイミングチャート中のセンサの状態はセンサ用電源に 5V を使用した例です。

A

18

MOTORIZED STAGES

9

自動ステージとコントローラ／ドライバとの接続

当社自動ステージとコントローラ／ドライバの接続には接続ケーブル、コネクタをご購入ください。
自動ステージ型式
ALS/ALD/ALZ- ○○○ -E ○ P ○ALS/ALD/ALZ- ○○○ -C ○ P ○ALS/ALD/ALZ- ○○○ -H ○ P ○ALV- ○○○ -H ○ P
ARS- ○○○ -HP
ATS/ATD- ○○○ -HP
HGS-300X/XY

接続ケーブル、コネクタ型式【別売】自動ステージ側
コントローラ／接続ケーブル
コネクタ
ドライバ側コネクタ

コントローラ／ドライバ型式

ACN-4

ACB-STD3ACB-STD2

ACN-6

QT-CD1、QT-CM2
QT-MD1/-MD2
QT-SD2MM-SA0ACB-STM3
ACB-STM2

ACN-6

QT-CD1、QT-CM2
QT-MD1/-MD2
QT-SD2

QT-CD1

ALS/ALD/ALZ- ○○○ -H ○ M
ALV- ○○○ -H ○ M
ARS- ○○○ -HM
ATS/ATD- ○○○ -HM
MMU-40X/X・Y/Z、-H1
MMU-60X/X・Y/Z/V、-H1
MM-40 θ、MM-60 θ
MM-40GU/GL/GD、
MM-60GU/GL/GD
MSS-50B-OA/OB/NA
MSS-50WB-OA/OB/NA
MSS-150B、150B-OA/NA/NB/NC
MSS-200B、200B-NA
MSS-300B、300B-NA
MSS-BT110B、BT110B-NA
表510

QT-CM2

ACN-9

ACB-STH2
ACB-STH3

QT-ADL1-35
QT-ADM2-35
QT-ADH2-35
QT-ADM3-35（QT-A シリーズ）

ACN-4

接続ケーブル、コネクタ※ QT-A シリーズは新製品カタログ掲載

自動ステージのコネクタ接続

ALD-602-H1M

当社自動ステージのコネクタ結線は型式によって 3 種類あります。
自動ステージ型式
ALS/ALD/ALZ- ○○○ -H ○ M
ALV- ○○○ -H ○ M
ARS- ○○○ -HM
ATS/ATD- ○○○ -HM
MMU-40X/X・Y/Z、-H1
MMU-60X/X・Y/Z/V、-H1
MM-40 θ、MM-60 θ
MM-40GU/GL/GD
MM-60GU/GL/GD

表6

結線仕様
モータ線（青）モータ線（赤）モータ線（橙）モータ線（緑）モータ線（黒）センサ Vcc
CW リミット
CCW リミット
センサ GND
原点センサ

No.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15

結線仕様
モータ線（青）モータ線（赤）モータ線（橙）モータ線（緑）モータ線（黒）センサ Vcc
CW リミット
CCW リミット
センサ GND
原点センサ
原点前センサ相手コネクタ型番（メーカー）

HR10A-10P-12S（ヒロセ）

ARS-636HM

FG

結線仕様
（1）
自動ステージ型式

ALS/ALD/ALZ- ○○○ -E ○ P ○ALS/ALD/ALZ- ○○○ -C ○ P ○ALS/ALD/ALZ- ○○○ -H ○ P ○ALV- ○○○ -H ○ P ○ARS- ○○○ -HP
ATS/ATD- ○○○ -HP
HGS-300X/XY

表7

No.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12

結線仕様
（2）

相手コネクタ型番（メーカー）

DB15-HDF 3 列（データスペックジャパン）
または、
レセプタクル
D02-M15SG-N-FO（JAE）
ソケットコンタクト
D02-22-26S-PKG100（JAE）

ALS-904-H1PB

電磁ブレーキ＋24V
電磁ブレーキ GND
FG
ARS-136-HP

19A

MOTORIZED STAGES

自動ステージ型式

No.

結線仕様

1

モータ線（青）2

モータ線（赤）3

モータ線（橙）4

モータ線（緑）5

モータ線（黒）6

センサ Vcc

7

CW リミット

8

CCW リミット

9

センサ GND

10

原点センサ

MSS-50B-OA/OB/NA
MSS-50WB-OA/OB/NA
MSS-150B、150B-OA/NA/NB/NC
MSS-200B、200B-NA
MSS-300B、300B-NA
MSS-BT110B、BT110B-NA

11
12
表8

相手コネクタ型番（メーカー）

レセプタクルHR30-7R-12PC
（71）
（ヒロセ）
圧着端子
HR30-PC-111（ヒロセ）

MSS-50B

FG

結線仕様（3）

MSS-150B

MSS-200B

使用環境

11

自動ステージをご使用の際は、使用環境にもご注意ください。
温度の極端に高いところや低いところ、温度変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでの使用は避け、下記の温度／湿度
でご使用ください。
温度

10 〜 40°C

湿度

20 〜 80％ RH

12保ただし、ステージの精度を保証する温度／湿度ではありませんのでご注意ください。

証

当社の自動ステージは工場出荷時から 3 年、コントローラ／ドライバは 1 年を保証期間とします。
ただし、お客様の使用上の誤り、衝撃によるガイドレールのキズなどの不具合、天変地変については保証期間内でも有償修理となりますので、ご注意ください。

A

20

MOTORIZED STAGES

カタログ仕様表の見方❶移動方向

自動ステージの仕様表の見方を説明します。

❷移動量

13

ステージの移動方向。
ステージの移動量。

［▼ X・Y ステージのカタログ仕様表］
移 動 方 向 ❶ X 軸 1 方向
移動量 ❷ ± 30 ㎜
ス テ ー ジ 面 ❸ 125 ㎜× 125 ㎜
PH544-B 相当
使 用 モ ー タ❹
（5 線式ペンタゴン結線）-H1P 0.002 ㎜
分
解能❺-H2P 0.004 ㎜-H1P 1 ㎜
送りねじリード ❻-H2P 2 ㎜
移 動 ガ イ ド ❼ V 溝とクロスローラ
0.004 ㎜（水平・垂直）真直度 ❽ 15sec（ヨーイング）
20sec（ピッチング）
位置決め精度
0.006 ㎜
-H1P ± 0.0005 ㎜
繰り返し精度-H2P ± 0.0008 ㎜-H1P 0.001 ㎜
ロストモーション-H2P 0.002 ㎜

ヨー剛性 0.1sec/N・㎝
モ ー メ ン ト 剛 性 ❾ ピッチ剛性 0.1sec/N・㎝
ロール剛性 0.05sec/N・㎝
耐
荷重 ❿ 392N（40kgf）
質量 ⓫ 4.8 ㎏
最 高 速 度-H1P 16 ㎜ /sec
⓬ -H2P 32 ㎜ /sec
（8,000pps時）
材
質 ⓭ 鋼材原 点 セ ン サ
N.O.（ノーマルオープン）（動作論理）
フォトセンサ
原 点 前 セ ン サ ⓯ N.C.（ノーマルクローズ）（動作論理）
フォトセンサ
リミットセンサ
N.C.（ノーマルクローズ）（動作論理）
フォトセンサ
適 合 ケ ー ブ ル ⓰ ACB-STD2、ACB-STD3

移

方

動

向 ❶ 回転方向量 ❷ 360°

ス テ ー ジ 面 ❸ φ 125 ㎜

耐質

荷

重 ❿ 147N（15kgf）
量 ⓫ 3.0 ㎏

移 動 ガ イ ド ❼ クロスローラベアリング

原 点 セ ン サ
（動作論理）

能 ❺ 0.004°

心振れ ❽ 0.01 ㎜

面

振

れ

位置決め精度
繰り返し精度ロストモーション

0.015 ㎜0.025°± 0.003°

0.003°

ステージに使用しているモータの型式。
「相当」とは一部当社仕様になっていることを表します。
仕様の詳細は当社営業部にお尋ねください。
❺分解能
1 パルス
（フルステップ時）
当たりの移動量。
❻送りねじリード❼移動ガイドモーメント剛性 ❾ 0.15  /N・㎝

最 高 速 度
⓬ 20° / 
（5,000pps 時）

解❹使用モータ

リード。

PK545-B 相当
使 用 モ ー タ❹
（5 線式ペンタゴン結線）
分

ステージ移動面の大きさ。

直動ステージ（X、X・Y、Z ステージ）の場合の送りねじの［▼ 回転ステージのカタログ仕様表］
移 動❸ステージ面材

質 ⓭ 鋼材（ステージ面）

原点前センサ（動作論理）⓯

N.O.（ノーマルオープン）
フォトセンサN.O.（ノーマルオープン）
フォトセンサ

適 合 ケ ー ブ ル ⓰ ACB-STD2、ACB-STD3［▼ 傾斜ステージのカタログ仕様表］

ステージに採用している案内方式。
❽精度
位置決め精度
繰り返し精度ロストモーション
真直度（水平・垂直）真直度（ヨーイング・ピッチング）
XY 直交度
心振れ

移 動

方

向 ❶ 傾斜 2 方向

面振れ

回 転

中

心⓮

回転中心精度移動

ステージ上面より -120 112㎜（R128.5㎜）-115 160 ㎜（R186 ㎜）-120 上軸± 15°、下軸 ± 10°
量❷-115 上軸± 10°、下軸 ± 7.5°

ス テ ー ジ 面 ❸ 125 ㎜× 125 ㎜

PK545-B 相当
使 用 モ ー タ❹
（5 線式ペンタゴン結線）分解

能 ❺ 0.002°

移 動 ガ イ ド ❼ V 溝レールと鋼球

詳細は【3. 精度】
をご参照ください。
❾モーメント剛性
詳細は【5. モーメント剛性】
をご参照ください。
❿耐荷重

位 置 決 め 精 度 ❽ 0.025°

詳細は【6. 耐荷重】
をご参照ください。

ロストモーション⓫質量

繰り返し精度± 0.002°0.002°

モーメント剛性 ❾ ヨー剛性 0.4sec/N・㎝
耐質

荷重 ❿ 78.4N（8kgf）

量 ⓫ -120 5.4 ㎏、-130 5.3 ㎏

最 高 速 度
⓬ 10°/sec（5,000pps 時）
材

質 ⓭ アルミ合金

原 点 セ ン サ
（動作論理）

N.O.（ノーマルオープン）、フォトセンサ

原点前センサN.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ
（動作論理） ⓯リミットセンサ（動作論理）

N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ

適 合 ケ ー ブ ル ⓰ ACB-STD2、ACB-STD3※最高速度は QT-CD1/QT-CN6+QT-SD2 を使用した場合です。

ステージ単体の質量。
⓬最高速度
詳細は
【7. 最高速度】
をご参照ください。
⓭材質
ステージの主要部品の材質。
⓮回転中心
ステージ上面から回転中心までの寸法。
⓯センサ
センサの有無と動作論理。
⓰適合ケーブル
使用する接続ケーブル。

21

A