大 学 研 究 室 紹 介

琉球大学工学部電気電子工学科 電子物性講座 野口研究室「強い探究心による次世代薄膜半導体の研究
先端技術を人類のために有効活用できる国際的人材の育成」
教授

創造性の３要素野口隆

現在の半導体に支えられたユビキタス社会でグローバルな時代において、生きた知識を習得し、機知に富み、かつ創造性の三要素倫理観も備えて、国際社会へ貢献できる人材の育成と革新的な研究を目指しています。
同志社での学生時代に学んだ、創造性の３要素（右図）をベースにエンジニアリング教育、研究に励んでいます。
半導体研究の醍醐味を初めて知った大学院在学以来、Si を中心とした研究を一貫して行なっています。修了後、企業〈ソニー〉において、MOS FET および薄膜素子（TFT など）の材料、解析、プロセスを重点に研究、開発を推進しました。
特に、アモルファス Si の低温製膜と光電特性評価、固相結晶化からレーザアニールによる Si 表面、薄膜素子の高性能化に関する研究において、先駆けて研究を推進しました。

温故知新⇒温故拓新温故知新⇒温故拓新

在職中に、米（MIT）での１年間の客員研究滞在を送り、ソニー退職後、仏（パリオルセー大）での研究、韓国の三星総合技術院（SAIT）での研究マネジメント、成均館大学校などで大学院教育に専念し、英語圏以外の国でも貴重な体験をしました。帰国してから（着任後）、３年半が経過しましたが、着任時、実験装置は何もなく、研究予算も少なくて途方に暮れました。学外との共同研究、また国内外、学内外の方々のサポートと激励をいただき、学生が楽しめる研究環境をようやく少しずつですが築きつつあります。
国際会議への参加や運営などで、また共同研究を通して、今後も国際的に貢献していきたいと希望しています。技術研究、人的交流を通して、東アジアから世界の恒久平和、友好、発展を切望しています。

温故知新 ⇒温故知新⇒ 温故拓新温故拓新Black Stripe は FPD においてコントラスト向上に有効であ研究室概要
本研究室では、2005年の発足以来、国内外の大学、企業進しています。これらの研究を通して、半導体の生きた先と連携して、薄型ディスプレイパネルで重要な TFT（薄膜端技術、知識を習得し、未来の社会へ貢献できる国際的感トランジスタ）の要素技術、プロセス、材料デバイス（シミュ覚をもった人材育成を目標にしています。

レーション）に関しての研究に力を注いでいます。関連して、具体的な研究テーマは、次の３つのテーマを中心に、シ光薄膜センサ、さらに亜熱帯、沖縄での豊かな光エネルギーリコン系薄膜半導体素子、要素プロセスなどの研究を進めの有効利用として新しい薄膜太陽電池への応用の研究を開ています。

始しました。また、東アジアでの地理的位置の優位性をもとに、台湾や韓国、中国などの研究機関との共同研究を推18

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琉球大学
研究スタッフ紹介

研究テーマ（１）薄膜太陽電池「システム・オン・パネル（SOP）

亜熱帯の豊富な光エネルギーを有効利用した新構造のにおける不揮発性メモリ素子形成に薄膜太陽電池の研究向けて、低耐熱性基板上へのシリコᣂឭ᩺᭴ㅧ䈱⭯⤑ᄥ㓁㔚ᳰ

ンナノ結晶形成に関する研究、また半導体膜の結晶化などに用いられる急速熱処理（RTA）において、プローブレーザ光を用いた基板温度の非接触実時間測定および基板厚さ方向の温度分布解析に関する研究を行なっています。野口先生、そして大学院生をはじめとする学生諸氏の研究（や遊び）に対する勢いやモチベーションには圧倒されつつも、それに負けないよう頑張っています。（岡田竜弥助教）」

Etudes sur la photoconductivité
dans les ﬁlms minces de silicium
新提案構造の薄膜太陽電池

poly cristal（poly-Si）pulvérisées
sur les panneaux en verre. Dans leperspective de concevoir le système（２）光センサ

intègres sur les panneaux en verre

次世代機能型ディスプレイに向けた薄膜光センサの研et réaliser la futuriste génération

究des écran plat. L'intégration desdispositifs pour fonctions d'entrée parallèlement aux pixel（３）半導体薄膜素子（TFT）作製技術、素子特性の研究(cellule) de l écran aussi bien que la réduction de circuits

結晶性、特性向上を目的とした低温製膜、結晶化プロ

et goupilles de raccordement deviennent de plus en plus

レーションの研究

Lʼune des technologies de base est fondée sur lʼutilisationᰴ਎ઍᯏ⢻ဳ䊂䉞䉴䊒䊧䉟ะ䈔TFT
セス、材料解析の研究、素子特性に関しての計算シミュ

une tendance dans les industries des écran à panneau plat.
de ﬁlms minces de poly-Si déposé à une température
relativement baisse comme conduit. Les activités derecherché dans notre laboratoire couvrent diﬀérents
domaines allant de la pulvérisation et du dépôt des ﬁlms,
suivie de la cristallisation par les méthodes diverses par
exemples le traitement dans les fours, aussi connue
comme cristallisation en état solide (la températuremaximal est toujours en dessous de la température defusion) et cristallisation par recuit de laser. A la ﬁn, les

次世代機能型ディスプレイ向け TFT

dispositifs sont fabriques, leurs caractéristiques électriqueset optiques sont mesurées grâce aux instruments dʼ

これらの研究テーマに対し、海外から（ルワンダ、マレー

analyse de haute précision. Le thème de nos travaux vise

シア、中国）の３名の留学生を含む10名の学生（＆技術補

le développement des photodiodes et phototransistors

佐員、博士研究員）が取り組んでいます。研究室で、供に、

pour les capteurs optiques dans des écrans à panneau

日々研究に打ち込んでいる助教の先生、学生に、コメント

verre et des écrans tactiles.と意見を書いてもらいました。これらのコメントから研究次世代のディスプレイやシステムオングラス（SOG）を内容と研究室の学生の熱意を感じ取っていただけたら幸い実現するために：入力機能を画素内に持たせること、回路です。

数や配線数を減らす事が、フラットパネルディスプレイ分野ではトレンドとなっています。LTPS がこの領域のもっとも有望な技術です。私たちの研究室では、室温でスパッタ法によりガラス基板に製膜したシリコン薄膜の光伝導をSEAJ Journal 2009. 11 No. 123

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研究しています。製膜したシリコン薄膜は SPC からレーザられています。そのため、適当な粒アニールなど様々な方法により結晶化を行い、最新の装置径を算出するためのモデルを考え、を使って電気特性の評価をしています。光センサやタッチTFT のシミュレーターに組み込み、パネルディスプレイなどのアプリケーションを多結晶シリいかに安定して、高電流を得ることコン薄膜によるフォトダイオードやフォトトランジスタにができるかという、現在の TFT がよ り 実 現 す る 事 が 私 た ち の 主 な 研 究 の 目 的 で す。

抱える問題を、楽しみながら研究を（MUGIRANEZA J. D.

進めています。
（大城 文明D１

ルワンダ出身）」M １）」「現在、テレビやノート PC に画素「ガラスなどの基板上に回路を作スイッチとして使用されている製するシステム・オン・グラス技術

TFT の特性向上に必要な、ソース・に関する研究を行っています。そのドレイン電極部の低抵抗化を目的と中で特に、ラテラル型の薄膜フォトして研究を行っています。この低抵センサに関するデバイスシミュレー

抗化のために、ガラス基板上に製膜ションを行っています。従来のバルク半導体と異なりガラスなどの基板も し く は RTA（Rapid Thermal上に作製されるこのセンサは、ディAnnealing）によって熱処理を施し、その電気特性および結スプレイの画素スイッチに使用される TFT と同一プロセ晶性を調べています。ガラス基板を用いるため、650℃以上

スで作製でき、タッチパネルやイメージスキャンの機能をの高温でアニーリングを行うとサンプルが変形してしまう組み込んだ高機能パネルへの応用が期待できます。

ので、その事に注意しつつ、いかにシート抵抗値を低減させるかが、悩ましい部分であり、面白いところであると思います。（宮平知幸

センサの高感度化に向けて解析データを積み重ね、勉強に励んでいます。
（坂本明典

M １）」

「Sayapelajar tahun 4 jurusan

M ２）」
在野口研究室，我正从事着薄膜高Kejuteraan Elektrik & Elektronik

能效太 阳 池的研究。高效率的太 阳

di Universiti Ryukyu,Okinawa.Saya

能 池的amat meminati dalam bidang ini

并不是一件容易的事 , 但是能致力于

最受注的,我terutama sekali berkaitan dengan

感到很 幸， 此我将不惜付出所有

ransistor.Sekarang saya

努力。

menjalankan kajian tentang fungsi

ここ数年、太陽電池生産量は非常に増加しており、毎年30%以上の伸Saya berazam mendalami bidang ini dan berharap agarびを継続してきています。省資源の観点からも薄膜型素子

dapat mengaplikasikan pengetahuan ini dengan sebaekが期待されており、ガラス基板上に、高効率の薄膜型太陽

yang mungkin di masa akan datang.

電池の新しい素子構造を検討する必要性が生じています。

現在、薄膜トランジスタ（TFT）と基本的な動作原理が私は次世代太陽電池として「ハイブリッド構造の薄膜シリ同じである MOSFET を基にして、デバイスパラメータのコン太陽電池素子」の開発を目指して研究を進めています。

TFT 特性への影響についてシミュレーション解析を行って高効率の太陽電池素子を生み出すことは容易ではありませいます。シミュレーションでは、チャネル長、酸化膜厚とチャんが、最も注目を浴びている課題に取り組むことができるネル濃度の各変化による電流特性への影響を調査中です。という機会を常に意識し、日々の研究と勉強に励んでおり半導体デバイスに関する基礎的な知識から高度の専門知識ます。

を一段一段レベルを超え、優れた技術の発展を学びたいと（陳訳

M ２ 中華人民共和国出身）」

考えています。頑張ります！！
（Dayana Kamaruzaman B ４ マレーシア出身）」「TFT の粒径（grain size）変化が及ぼす特性変化を、シ＊以上、研究スタッフのコメントから研究室の雰囲気をミュレーションを用いて計算しています。特性を決める重ちょっとだけ感じ取っていただけたかと思います。次に、要なパラメータの一つがポリ Si の粒径であり、粒径を大き大学に関しても少し紹介させていただきます。

くすることで TFT の特性を向上させることができます。
しかし、粒径が大きくなると、そのばらつきも大きくなり、結果、特性もばらつくことになるので、適当な粒径が求め
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琉球大学について（Global & Local 地域特性と国際性）
琉球大学は、日本最南端の沖縄県に位置する県内唯一の学部

工学部組織図（学部）

工学部組織図（学部）

琉球大学

学部
総合大学で、７学部７研究科があります。沖縄県は亜熱帯

学部

気候の豊かな自然に恵まれており、国内外から多くの観光工学部組織図（学部）客が沖縄を訪れています。かつて琉球王朝時代には、九州

工学部組織図や本州など本土だけでなく、中国や韓国、東南アジアの国々
大学院 理工学研究科（大学院）と貿易を盛んに行い、文化も大きく影響されました。本大学は、このように、独特の歴史的、地理的な教育研究環境に恵まれており , 地域特性と国際性を併せ持つ大学を理念に、特にアジア・太平洋地域との交流を推進しています。
現在、23カ国53大学との国際交流協定を締結しており、世界の国々から多くの留学生が琉球大学のキャンパスで学ん大学院でいます。

大学院 理工学研究科（大学院）学部学科の説明（案内資料より）
工学部
工学の目的は基礎科学の成果を、実際の産業や人間の生活・福祉等に役立つよう応用・開発することです。今日の工業・技術社会の要請に応え、幅広い教養と技術者倫理および高度な専門知識を有し、社会および地域環境保全や平和に貢献し得る、豊かな創造力と実践力を備えた人材を養成するところが、工学部であり、大学院理工学研究科です。
工学部は機械システム工学科、環境建設工学科（土木／建基盤を形成しています。さらに、電気、電子、通信および築コース）、電気電子工学科、情報工学科の４つの基幹学科

システム工学は社会の産業発展の推進的役割を担う学問分から構成されています。（工学部組織図）学部教育の後、大野であり、常に新しい研究開発とそれを支える人材の育成

学院博士前期課程（修士２年）と後期課程（博士３年）へが養成されています。これらの学問分野の教育・研究を担の進学の道が開かれており、それぞれ、機械システム工学

う本学科では、これらの社会的養成に応えるため、電気電専攻、環境建設工学専攻、電気電子工学専攻、情報工学専

子工学に関する基礎的な知識から高度の専門知識を備え、攻（博士前期課程）、生産エネルギー工学専攻、総合知能工

幅広い視野と柔軟な適応能力を有し、広く世界で活躍でき学専攻（博士後期課程）から構成されています。

る技術者を育成することを目指しています。

私の研究室の学生は、工学部電気電子工学科電気電子物性講座、大学院電気電子工学専攻、生産エネルギー工学専

琉球大学工学部

攻のいずれかに所属しています。

# 夏は暑いですが、美しい海に囲まれて研究環境に恵まれています（写真）。世界中から、意欲的で明るく、ユニークな学生、研究生の本研究室への参加、また新しいテーマでの共同研究を歓迎します。
（T. N,）

共同研究
OutputOutput
本研究室

Input

琉球大学工学部
電気電子工学科
現代社会のさまざまな分野において、電気、電子、通信およびシステム工学の貢献する範囲は極めて広く、これらの学問分野から生まれた技術が今日の高度 ICT 技術社会の共同研究SEAJ Journal 2009. 11 No. 123

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大学研究室紹介
琉球大学着任後の論文・共同研究など

湖西大学（2005.5〜）他

Bae 研究室（韓）国際会議発表10件以上
本研究室、研究推進に、協力支援、激励をいただいた企業

正規論文10件以上
出願特許５件

キヤノン株式会社

中央研究所

株式会社 ULVAC（Cooperation Research）

日新電機株式会社

日立コンピュータ機器株式会社

ユニバーサルシステムズ株式会社

西華産業株式会社

株式会社ユー・エス・イー

株式会社 SEN

プロダクトサポート同志社大学

株式会社シルバコ・ジャパン

大鉢研究室

九州大学

宮尾研究室

コーニングジャパン株式会社

明治大学

小椋研究室

KORNIC SYSTEMS CORPORATION SOPRA SA

全体写真

台湾科学技術大学 NTUST 葉研究室

全体写真

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琉球の海

琉球の海