第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール
10 月 20 日（月）09:50-10:20（A 会場）20am1-A

11:15

20am2-E4
FIB/EB 複合リソグラフィーによる SU-8 からのカーボ
ンナノ振動子の作製
宮田 雄斗*,割澤 伸一,石原 直,前田 悦男,米谷 玲皇
東京大学

11:30

20am2-A1
ＭＥＭＳ光干渉計を利用した表面応力センサにおける分子吸着に対するダイアフラムの変形評価
高橋 一浩*，小澤 遼，石田 誠，澤田 和明
豊橋技術科学大学

20am2-E5
3 次元光造形装置ナノスクライブによる蚊の口針を模擬したマイクロニードルの作製
澤 貴裕*,鈴木 昌人,高橋 智一,青柳 誠司
関西大学

11:45

20am2-A2
等温核酸増幅の電気化学的リアルタイムモニタリング
田畑 美幸*{1}，片山 由梨佳{1}，Mannan Fahmida{2}，星地 彩花{3}，鈴木 孝治{3}，合田 達郎{1}，松元 亮{1}，宮原 裕二{1}{1}東京医科歯科大学，{2}Imperial College London，{3}慶應義塾大学

20am2-E6
光ファイバー・マイクロ光造形法による３次元構造体の作製
石橋 弦樹*,駒田 英祐,丸尾 昭二
横浜国立大学

10:30-12:00（F 会場）20am2-F
OS4: マイクロ・ナノ機械の信頼性
座長：土屋 智由/京都大学

開会式

10:30-12:00（A 会場）20am2-A
バイオＩ：バイオセンサ（センサシンポジウムとマイクロ・ナノシンポジウムとの合同セッション）

座長：安田 隆/九州工業大学, 山西 陽子/芝浦工業大学
10:30

10:45

11:00

11:15

11:30

11:45

10:30

20am2-F1
MEMS 材料の機械特性評価
佐藤 一雄*
愛知工業大学

11:00

20am2-A4
ゲル微粒子型微小濃縮器によるタンパク質の濃縮固定
平間 宏忠*,鳥居 徹
東京大学

20am2-F2
デバイスを使ったシリコン疲労
池原 毅*
産業技術総合研究所

11:15

20am2-A5蛍光偏光を用いたマイクロ流路内の流体温度計測
Hsu Chihsuan*,鈴木 淳史,巽 和也,中部 主敬
京都大学

20am2-F3接合部のマイクロ材料物性評価技術
三宅 修吾*,加藤 隆明
コベルコ科研11:30

20am2-F4
高サイクル疲労下におけるサブミクロン金単結晶のすべり帯形成
澄川 貴志*,塩原 良祐,北村 隆行
京都大学,

11:45

20am2-F5
ナノ～マイクロ構造体の機械物性を測る
生津 資大*
兵庫県立大学

20am2-A3
薬剤感受性試験に向けたオプトフルイディックデバイ
スの構築
薄葉 亮*{1}，小川 光一{1}，横川 雅俊{1}，Llobera
Andreu{2}，村田 聡一郎{1}，大河内 信弘{1}，鈴木 博章{1}{1}筑波大学，{2}Centre Nacional de Microelectronica

20am2-A6
ツリガネムシと可動構造体の融合による流体抵抗可変型マイクロバルブの開発
谷崎 耕平*,永井 萌土,川島 貴弘,柴田 隆行
豊橋技術科学大学

10:30-12:00（E 会場）20am2-E
OS1: 三次元の微細形状創成技術
座長：吉野 雅彦/東京工業大学, 丸尾 昭二/横浜国立大学
10:30

2014/10/7

20am2-E1
マイクロデバイス用線材に対する微細加工
芹沢 正規*,松村 隆
東京電機大学

10:45

20am2-E2
酸化銅ナノ粒子還元を用いたフェムト秒レーザ直接描
画プロセス
溝尻 瑞枝*,荒金 駿,秦 誠一
名古屋大学

11:00

20am2-E3
電力フリーで多項目センシングを可能とする構造色センサーの検討二宮 崚*,山本 貴富喜,茂木 克雄
東京工業大学

13:20-14:50（A 会場）20pm1-A
バイオ II：バイオセンサ（センサシンポジウムとマイクロ･ナノシンポジウムとの合同セッション）

座長：村上 裕二/豊橋技術科学大学, 青柳 誠司/関西大学
13:20

20pm1-A1グルコース駆動式の薬物放出システムの高機能化に関する研究
ムンフジャルガル ムンフバヤル*，佐藤 怜，
高木 寛之，當麻 浩司，荒川 貴博，齊藤 浩一，
三林 浩二
東京医科歯科大学

13:35

20pm1-A2
アンモニアの膜透過性を指標とした新しい細胞膜障害・
細胞毒性評価技術の開発
今泉 祐輝*，合田 達郎，松元 亮，宮原 裕二
東京医科歯科大学

A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）

1

第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール
13:50

14:05

14:20

14:35

20pm1-A3
ナノロボットを利用したオンチップ DNA センシング
伊達 雄亮*，吉積 義隆，大久保喬平，横川 雅俊，
鈴木 博章
筑波大学
20pm1-A4
使い捨て免疫検査チップのためのオンチップバッテリの基本構成
木村 優斗*,塚本 貴城,石川 智弘,田中 秀治
東北大学
20pm1-A5
イオン濃度分極を用いた微粒子の分離・濃縮デバイスの開発
林田 佳*,茂木 克雄,山本 貴富喜
東京工業大学
20pm1-A6
ペーパーマイクロ分析チップ用電極センサの開発
中原 和貴*{1}{2} ,三宅 亮{2} ,松垣 仁{2} ,小谷 紘{1}{1}広島大学、{2}東京大学

13:20-14:50（F 会場）20pm1-F
OS4: マイクロ・ナノ機械の信頼性
座長：生津 資大/兵庫県立大学
13:20

20pm1-F1
ポリマー薄膜を用いた 3 次元マイクロデバイスの作製と評価
池内 真志*
東京大学

13:35

20pm1-F2
樹脂製フィルムデバイスへの MEMS 応用
式田 光宏*
広島市立大学

13:50

20pm1-F3
PZT 圧電薄膜および圧電 MEMS デバイスの信頼性評価
神野 伊策*,辻浦 裕一,黒川 文弥,肥田 博隆
神戸大学

14:05

20pm1-F4
耐摩耗プローブによる SPM リソグラフィの描画安定性向上
李 永芳*{1},冨澤 泰{1},杉山 正和{2},年吉 洋{2},藤田博之{2}{1}東芝,{2}東京大学

14:20

20pm1-F5
顕微鏡技術を応用した微小機械振動子の動特性評価
米谷 玲皇*,中野 和洋,石原 直,割澤 伸一{1}東京大学

14:35

20pm1-F6
MEMS 慣性力センサの信頼性
土屋 智由*
京都大学

13:20-14:50（E 会場）20pm1-E
OS8: スマート・インテリジェンス材料・デバイス
座長：中尾 航/横浜国立大学
13:20

13:35

20pm1-E1
多層カーボンナノチューブの静水圧下皺状変形の原子モデル解析
梅野 宜崇*{1},小池 郁代{2},草野 彩子{2},佐藤 太裕{2},島 弘幸{3}{1}東京大学,{2}北海道大学,{3}山梨大学
20pm1-E2
正・逆圧電効果による PZT 薄膜の圧電定数 e31,f の評
価河邊 真之*,辻浦 裕一,黒川 文弥,肥田 博隆,神野 伊策
神戸大学

13:50

20pm1-E3
金属基板上圧電薄膜アクチュエータを用いたミリメー
タスケールロボットの作製
森田 勇樹*,辻浦 裕一,黒川 文弥,肥田 博隆,神野 伊策
神戸大学

14:05

20pm1-E4
近接シリコン探針と FePd 磁歪膜アクチュエータを搭載したデュアル AFM カンチレバー形成と動作特性評
価
峯田 貴*,川島 健太,田口 涼雅
山形大学

14:20

14:35

20pm1-E5
生体材料シート操作用のフラッシュ蒸着 SMA 厚膜を用いたマイクログリッパの形成
鎌田 隆宏*,峯田 貴
山形大学
20pm1-E6
MEMS デバイスを用いた ICT プラットフォームの実現
三幣 康太*,コルテス カルロス,小川 実穂,三木 則尚
慶應義塾大学2014/10/7

15:00-15:40（A 会場）20pm2-A 招待講演
座長：庄子 習一/早稲田大学
15:00
20pm2-A1【アカデミアと産業界の縁結び：島根にて】
未来を変えるトリリオンセンサの衝撃
神永 晉*
SPP テクノロジーズ、
エグゼクティブシニアアドバイザー戦略会議議長
16:00-18:00（P 会場）20pm3-PM
ポスターセッション
20pm3-PM001
集束イオンビーム化学気相成長法による長尺オーバー
ハングナノ構造の形成
米谷 玲皇*,青沼 正
東京大学
20pm3-PM002
導電性高分子の 3 次元造形の検討
曽根 順治*,山田 勝実,陳 軍
東京工芸大学
20pm3-PM003
700℃高真空アニールによる FIB 加工 Si ナノワイヤの機械信頼性回復の試み
藤井 達也*{1},小杉 幸次郎{2},米谷 玲皇{2},須藤 幸一{3},内藤 宗幸{4},井上 尚三{1},生津 資大{1}{1}兵庫県立大学,{2}東京大学,{3}大阪大学,{4}甲南大学

A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）

2

第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール
20pm3-PM004
単結晶シリコンの疲労寿命に及ぼす結晶方位と環境の効果
Arasu Udhayakumar*,Hayato Izumi,Kozo Koiwa,
Shoji Kamiya
Nagoya Institute of Technology
20pm3-PM005
単結晶シリコンマイクロ構造の引張応力下における脆性延性遷移
上杉 晃生*,平井 義和,土屋 智由,田畑 修
京都大学
20pm3-PM006
自己伝搬発熱素材 Al/Ni を用いたはんだ接合における熱影響部評価金築 俊介*{1},三宅 修吾{1},生津 資大{2}{1}コベルコ科研,{2}兵庫県立大学
20pm3-PM007
異なる応力比における単結晶シリコン薄膜の疲労試験
喜多 俊文*,泉 隼人,神谷 庄司
名古屋工業大学
20pm3-PM008
自己治癒性のサイズ効果
中尾 航*
横浜国立大学2014/10/7

20pm3-PM015
一細胞スケールの部位局所的な液性刺激を実現するマイクロ流体デバイス
洞山 正幸*{1},大久保 智樹{2},新井 健太{1},樺山 一哉{3},藤井 輝夫{2},木村 啓志{1}{1}東海大学,{2}東京大学, {3}大阪大学
20pm3-PM016
1nl/s オーダの送液法および計測法の検定方法
伊藤 大*,佐山 智寛,西部 光一,冨士原 民雄,大上 浩
東京都市大学
20pm3-PM017
交互送液型マイクロミキサ用流路の最適化
林 翔太*,冨士原 民雄,大上 浩,西部 光一
東京都市大学
20pm3-PM018
基板上に固定した液滴アレイの電気的結合と分裂
岡 洸佑*,横川 隆司,小寺 秀俊,新宅 博文
京都大学
20pm3-PM019
表面微細構造を有する平行平板間における近接場熱ふ
く射エネルギー輸送の実験検証
居城 俊和*,山田 昇
長岡技術科学大学

20pm3-PM009
液体ナノ薄膜の流動特性の加熱による影響
藤川 翔平*,松岡 広成,福井 茂寿
鳥取大学

20pm3-PM020
集束イオンビームを用いたフォノン熱伝導の実験的研究
楢崎 将弘*,高橋 厚史,生田 竜也,西山 貴史,林 浩之,高
田 保之
九州大学

20pm3-PM010
マイクログローコロナによる微量ガスの発光スペクト
ル測定
遠藤 真太郎*,角田 直人
首都大学東京20pm3-PM021
マイクロ流体デバイス用ガラス基板の熱圧着接合技術の研究
濱村 心*,森塚 大樹,柳生 裕聖
関東学院大学

20pm3-PM011
多方向圧力検出可能な円筒状の触覚センサ
Nurul Adni Ahmad Ridzuan*,三木 則尚
慶應義塾大学

20pm3-PM022
金ナノ粒子を利用したレーザ微細加工技術の研究
喜々津 岳史*,小川 正嗣,位高 裕希,柳生 裕聖
関東学院大学

20pm3-PM012
2 段階誘電泳動を用いた同サイズ粒子の分離
清水 孝充*,宮村 洋祐,鈴木 利宙,亀谷 雄樹,元祐 昌廣,
安部 良
東京理科大学

20pm3-PM023
KOH 水溶液に微量界面活性剤を添加した場合のシリコ
ン異方性エッチング加工特性
武田 将人*{1} ,田中 浩{1} ,佐藤 一雄{2}{1}鶴岡工業高等専門学校,{2}愛知工業大学

20pm3-PM013
触覚センサとの連携による疑似触覚の提示と評価
小瀬村 悠美*{1} ,渡邉 順平{1} ,石川 寛明{1} ,三木 則
尚{1} {2}{1}慶應義塾大学, {2}ＪＳＴさきがけ

20pm3-PM024
PDMS 微小流路によるマイクロ吸引制御アレイ
西田 知司*,尾上 弘晃
慶應義塾大学

20pm3-PM014
2 光子吸収マイクロ光造形法を用いた光駆動マイクロモータの試作および動作検証
中西 寛弥*,居城 俊和,山田 昇,中山 忠親,高橋 勉
長岡技術科学大学

20pm3-PM025
螺旋形状マイクロゲル構造の自己構築
吉田 光輝*,尾上 弘晃
慶應義塾大学
20pm3-PM026
複数のアレルゲンタンパク質の同時検査のための
ELISA チップの開発
不破 敦宣*,曽根 冬馬,長谷川 忠大,山下 光雄
芝浦工業大学A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）

3

第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール
20pm3-PM027
バブルジェットによる液中マイクロモータの実現可能性の検討
原山 叶*,青野 弘幸,今村 凌大,渕脇 大海
横浜国立大学
20pm3-PM028
動的自己組織化のための複数区画化されたマイクロ粒子の作製
吉田 悟*,尾上 弘晃
慶應義塾大学
20pm3-PM029
反射型ディスプレイのための構造色素子の光学特性
鈴木 規之*,尾上 弘晃
慶應義塾大学10 月 21 日（火）09:00-09:40（A 会場）21am1-A 招待講演
座長：丸尾 昭二/横浜国立大学
09:00
21am1-A1
新学術領域「分子ロボティクス」
萩谷 昌己*
東京大学大学院 情報理工学系研究科教授
10:00-12:00（A 会場）21am2-A
マイクロナノプロセス技術 I（センサシンポジウムとマイクロ･ナノシンポジウムとの合同セッション）

座長：小西 聡/立命館大学, 米谷 玲皇/東京大学
10:00

21am2-A1
液体有機発光材料有機 ECL 溶液を励起光源として用いたポータブル蛍光検出デバイスの 試作
津脇 美帆*{1}，笠原 崇史{1}，江面 知彦{2}，松波 成行{2}，今任 稔彦{2}，石松 亮一{2}，國澤 栄里{2}，安達 千波矢{2}，庄子 習一{1}，水野 潤{1}{1}早稲田大学，{2}九州大学

10:15

21am2-A2
埋め込み型透析装置の開発へ向けた透析膜の透水性向
上藤 直也*{1}，眞田 一平{1}，伊藤 昂{1}，森田 伸也{1}，菅野 義彦{2}，三木 則尚{1}{1}慶應義塾大学，{2}東京医科大学

10:30

21am2-A3
CHARACTERIZATION OF STRETCHABLE ANDCOMPRESSABLE DRUG-LADENMICROPARTICLES
ゼリーン ダニエラ*，竹内 昌治
The University of Tokyo

10:45

21am2-A4
EUV リソグラフィー光源のためのグリット型赤外線遮断フィルターの作製と評価
鈴木 裕輝夫*，戸津 健太郎，森山 雅昭，江刺 正喜，
田中 秀治
東北大学

11:00

21am2-A5
微細加工による水晶振動子荷重センサの小型化
室崎 裕一*,佐久間 臣耶,新井 史人
名古屋大学

11:15

21am2-A6
固体高分子形燃料電池触媒層表面の温度・湿度測定に向けたセンサ開発
金 スンヨン*,杉本 俊樹,荒木 拓人
横浜国立大学

11:30

21am2-A7
銅張積層板を用いた熱式フレキシブルセンサに関する研究
柴田 峻志*{1},新美 洋介{1},式田 光宏{2}{1}名古屋大学,{2}広島市立大学

11:45

21am2-A8
ウエットエッチングによる圧電薄膜の PDMS 基板上への転写技術
肥田 博隆*,八神 瞬,諏訪 英作,黒川 文弥,辻浦 裕一,
神野 伊策
神戸大学

20pm3-PM030
ＴＭＡＨ水溶液によるシリコン異方性ウエットエッチ
ングの高温および低濃度での加工特性
田中 浩*,齋藤 祐樹
鶴岡工業高等専門学校
18:10-20:00 （B 会場）懇親会

2014/10/7

A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）

4

第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール

2014/10/7

10:00-12:15（E 会場）21am2-E
OS3: マイクロ・ナノ生体医工学
座長：川野 聡恭/大阪大学, 井上 康博/京都大学

10:00-12:00（F 会場）21am2-F
OS7: マイクロナノトライボロジー
座長：田中 健太郎/東京海洋大学, 鷲津 仁志/豊田中央研究所

10:00

21am2-E1
音振動を電気信号に変換する内耳蝸牛の仕組み
日比野 浩*
新潟大学

10:00

21am2-F1
剪断配向と光配向が微小隙間に閉じ込められた液晶の粘性に及ぼす影響の解明
伊藤 伸太郎*,伊村 優一,福澤 健二,張 賀東
名古屋大学

10:45

21am2-E2
PC12D パターニングのための誘電泳動法を用いた BioMEMS デバイスの開発
村上 愼彌*,森田 有亮,仲町 英治
同志社大学

10:15

21am2-F2高分子電解質ブラシの粗視化シミュレーション
鷲津 仁志*,金城 友之,吉田 広顕
豊田中央研究所

11:00

21am2-E3
上皮組織変形における頂端収縮する細胞の空間的パターンの役割
井上 康博*,渡辺 惟史,安達 泰治
京都大学

10:30

21am2-F3
サブモノレイヤー極性液体潤滑膜の表面拡散に関する
分子動力学シミュレーション
小林 敬之*,張 賀東,福澤 健二,伊藤 伸太郎
名古屋大学

11:15

21am2-E4
マイクロ流体デバイスを用いた樹状細胞と癌細胞の１：１電気細胞融合による細胞質移植法の開発
板垣 雄太郎*,オケヨ ケネディ,黒澤 修,小穴 英廣,鷲津 正夫
{1}東京大学

10:45

21am2-F4
境界面温度と周囲気体を考慮した分子気体潤滑ダイナ
ミクス(t-MGL 方程式の極限近似に基づく摂動解析)
岡村 祐輝*,中筋 敦志,松岡 広成,福井 茂寿
鳥取大学

11:00

11:30

21am2-E5
揺らぎ格子ボルツマン法による流れ場中の溶質分子挙動解析
花崎 逸雄*,川野 聡恭
大阪大学

21am2-F5
液体架橋破断時の微小液滴発生における表面張力と粘性の影響
齊藤 航*,山村 研人,田中 健太郎,岩本 勝美
東京海洋大学

11:15

11:45

21am2-E6クロマチン高次構造のオンチップ制御技術の開発
森 裕貴*,小穴 英廣,オケヨ ケネディ オモンディ,鷲
津 正夫
東京大学

21am2-F6
AFM 測定によるナノストライプ構造の潤滑特性の解明
三浦 友洋*,安藤 泰久
東京農工大学

11:30

21am2-F7
Ag-Cr ナノストライプ構造の真空中の摩擦特性
阿部 俊介*,安藤 泰久
東京農工大学11:45

21am2-F8
防汚コーティング膜の表面形状に関する研究
山下 直也*,谷 弘詞,小金沢 新治,多川 則男
関西大学

12:00

21am2-E7
マイクロスリット構造を有したＳＰＲセンサチップによる生体試料分離・検出
寺尾 京平*,平松 真一,鈴木 孝明,高尾 英邦,下川 房男,
大平 文和
香川大学

13:50-14:50（A 会場）21pm1-A
マイクロナノプロセス技術 II（センサシンポジウムとマイクロ･ナノシンポジウムとの合同セッション）

座長：生津 資大/兵庫県立大学,鈴木 雄二/東京大学
13:50

21pm1-A1
Flexible Clamp-type Current Sensor for Monitoring ofElectric Consumption
Yi Zhang*，Takahiro Yamashita，Toshihiro Itoh，
Ryutaro Maeda
NMEMS
Technology
Research
Organization,
National Institute of Advanced Industrial
Science and Technology (AIST)

14:05

21pm1-A2
ナノ粒子を混合した高性能フッ素樹脂製エレクトレッ
トの開発およびその振動発電への応用
鈴木 昌人*，高橋 智一，青柳 誠司
関西大学

A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）

5

第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール
14:20

14:35

21pm1-A3
金ナノ粒子の電界トラップを用いた自己修復配線における粒径依存性
古志 知也*,岩瀬 英治
早稲田大学
21pm1-A4
タイミングデバイス用圧電薄膜共振子における電極材料による Q 値改善の検討
原 基揚*,桑野 博喜
東北大学

13:50-14:50（E 会場）21pm1-E
OS2: マイクロ・ナノ医療デバイス
座長：土肥 徹次/中央大学
13:50

14:05

14:20

14:35

21pm1-E1
鍼灸の押手と刺手および蚊の下唇にヒントを得たマイクロニードルの座屈防止機構の提案
鶴田 隆祥*{1},高橋 智一{1},鈴木 昌人{1},青柳 誠司{1},山本 晃久{2}{1}関西大学,{2}鈴鹿医療科学大学
21pm1-E2
ステンレスおよびポリ乳酸の表面への MPC ポリマーのコーティングとその効果
曹 晨磊*,加藤 晃将,鈴木 昌人,高橋 智一,青柳 誠司,岩
﨑 泰彦
関西大学
21pm1-E3
脳波計測に用いるポリマ製微小針ドライ電極
荒井 都子*,西中 雄哉,三木 則尚
慶應義塾大学
21pm1-E4
超並列細胞内デリバリーのためのナノニードルアレイの先端形状制御宮本 篤真*,永井 萌土,川島 貴弘,柴田 隆行
豊橋技術科学大学

13:50-14:50（F 会場）21pm1-F
OS9: 分子ロボティクス
座長：村田 智/東北大学, 小林 聡/電気通信大学
13:50

21pm1-F1
分子ロボットのための化学反応回路
小林 聡*
電気通信大学14:05

21pm1-F2分子アメーバ型ロボットの実現に向けて
小長谷 明彦*東京工業大学

14:20

14:35

21pm1-F3分子アメーバの構築に向けて
野村 慎一郎*{1},田中 義明{1},平塚 祐一{2},藤原 慶{3}{1}東北大学,{2}北陸先端科学技術大学院大学,{3}慶應義塾大学
21pm1-F4
スライム型分子ロボットのための DNA ゲルコンピューティング
村田 智*{1},川又 生吹{1},高畠 芙弥{1},菅原 研{2}{1}東北大学,{2}東北学院大学

2014/10/7

15:00-16:00（A 会場）21pm2-A
マイクロナノプロセス技術 III（センサシンポジウムとマイクロ･ナノシンポジウムとの合同セッション）

座長：積 知範/オムロン, 安藤 泰久/東京農工大学
15:00

21pm2-A1
MEMS と TEM を組み合わせた実験系による単接点 Pt
ナノ摩擦のリアルタイム観察
佐藤 隆昭*，Jalabert Laurent，高山 由貴，藤田 博之
東京大学

15:15

21pm2-A2
マイクロ構造上の面粗さによる強度低下の簡単な見積り方法
池原 毅*{1}，土屋 智由{2}{1}産業技術総合研究所，{2}京都大学

15:30

21pm2-A3
Stainless steel 基板の表面研磨
Wang Qi,Feng Hao*,大口 裕之,桑野 博喜
東北大学

15:45

21pm2-A4三次元微細構造を用いた電気粘着表面の性能評価
山田 宗一郎*,青山 藤詞郎,柿沼 康弘
慶應義塾大学

15:00-15:45（E 会場）21pm2-E
OS2: マイクロ･ナノ医療デバイス
座長：尾上 弘晃/慶應義塾大学
15:00

21pm2-E1
フェムト秒レーザで作製した複合プラズモニック構造と高感度センシング
西山 宏昭*,大関 透典
山形大学

15:15

21pm2-E2
梯子型電極による誘電泳動現象を利用したマイクロ流路における粒子の整列と分取
川野 光輝*,巽 和也,新谷 拓宙,中部 主敬
京都大学

15:30

21pm2-E3
MRI 画像計測のための感度切り替え式マイクロ鞍型コイル
村重 昂典*,土肥 徹次
中央大学

15:00-16:00（F 会場）21pm2-F
OS9: 分子ロボティクス
座長：小長谷 明彦/東京工業大学
15:00

21pm2-F1
化学反応を駆動源とする自励振動ゲルポンプの開発
原 雄介*{1} ,山口 佳則{2}{1}産業技術総合研究所,{2}大阪大学

15:15

21pm2-F2
シグナル伝達系における積分制御に関する一考察
栗原 健太郎*,中茎 隆
九州工業大学

15:30

21pm2-F3
モータタンパク質により自己組織化され駆動する筋肉
繊維型アクチュエータ
平塚 祐一*{1},新田 高洋{2}{1}北陸先端科学技術大学院大学,{2}岐阜大学

A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）6

第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール
15:45

21pm2-F4
DNA 応答型ナノマシンの動作を指定する DNA シグナ
ル生成機構の構築
小宮 健*,山村 雅幸
東京工業大学

16:10-18:10（P 会場）21pm3-PM
ポスターセッション
21pm3-PM001
熱可塑性樹脂の注型によるマイクロニードルの作製
生地 一鷹*{1},鈴木昌人{1},高橋 智一{1},青柳 誠司{1},大石 眞久{2}{1}関西大学,{2}ナノポリテク
21pm3-PM002
２層薄膜の応力差によるセルフローリングを利用した
Ti 製中空マイクロニードルの開発
元 彪*,漆畑 雄也,鈴木 昌人,高橋 智一,青柳 誠司
関西大学
21pm3-PM003
マクロニードル型作製のための移動マスク露光法
甲斐 貴久*{1},平野 雅一{2},加藤 暢宏{1}{1}近畿大学,{2}旭光精工,
21pm3-PM004
プラズマキャビテーションによる液中マイクロ加工
荒川 佑太*,大村 実樹子,山西 陽子
芝浦工業大学
21pm3-PM005
液中プラズママイクロナノバブルによる循環流路内活性種凝集小林 卓矢*,山西 陽子
芝浦工業大学
21pm3-PM006
多筒式電極誘起気泡による二次元試薬インジェクション
神林 卓也*,濱野 洋平,山西 陽子
芝浦工業大学
21pm3-PM007
熱電型マイクロガスセンサによる健常人の呼気水素ガス濃度分析
佐々木 良隆*{1},申 ウソク{2},田中 明子{1},進藤 美知
子{1},佐藤 一雄{1}{1}愛知工業大学,{2}産業技術総合研究所
21pm3-PM008
電界誘起バブルによるタンパク質結晶加工
高澤 曹,周 澤道*,山西 陽子
芝浦工業大学
21pm3-PM009
MRI 画像計測のための双円錐型立体マイクロコイル
横山 裕也*,土肥 徹次
中央大学
21pm3-PM010
血圧計測におけるクロストークを低減可能な凸型マイ
クロセンサアレイ
遠藤 優祐*,土肥 徹次
中央大学

2014/10/7

21pm3-PM011
マイクロメッシュを用いた細胞培養と細胞シート作製
Okeyo Kennedy*,矢鳴 里奈,黒澤 修,小穴 英廣,鷲津正夫
東京大学
21pm3-PM012
捩りフローサイトメトリーチップによる細胞検出佐藤 友美*,三宅 亮
東京大学
21pm3-PM013
ZnO/ステンレス構造を有する振動型エナジーハーベス
タの試作細川 翔多, 原 基揚 *, 大口 裕之 ,桑野 博喜
東北大学
21pm3-PM014
磁石により静電引力を軽減した静電型振動発電デバイス
西谷 大希*{1},高橋 智一{1},鈴木 昌人{1},西田 敏夫{2},吉川 泰弘{2},青柳 誠司{1}{1}関西大学,{2}ローム
21pm3-PM015
対向したばねにより周波数アップコンバートした静電型振動発電デバイス
高橋 智一*{1},鈴木 昌人{1},西田 敏夫{2},吉川 泰弘{2},青柳 誠司{1}{1}関西大学,{2}ローム,
21pm3-PM016
波長選択性熱輻射光源のための NiW 自立膜微細加工技術の開発
岩見 健太郎*,那 順,穴澤 勇人,河田 晋弥,梅田 倫弘
東京農工大学
21pm3-PM017
YbB6 ナノ結晶の合成と焼結体の熱電特性
牧野 慎司*,藤田 伊覚那,萱村 耕治,武田 雅敏
長岡技術科学大学
21pm3-PM018
溶融塩法による CaB6 の部分置換とその熱電特性
栗林 広延*,武田 雅敏
長岡技術科学大学
21pm3-PM019
真空アーク蒸着法による低次元熱電薄膜の生成と評価
山田 晋弘*,濱 翔太,矢吹 智英,宮崎 康次
九州工業大学
21pm3-PM020
金属バッファ層を導入した熱電薄膜デバイスの発電特性
溝尻 瑞枝*{1},三上 祐史{2},尾崎 公洋{2},秦 誠一{1}{1}名古屋大学,{2}産業技術総合研究所
21pm3-PM021
電子線照射により歪みを付加したビスマステルル薄膜の熱輸送特性工藤 奨平*{1},佐々木 勇介{1},栗田 健介{1},萩野 春俊{2},田中 三郎{3},宮崎 康次{2},西 義武{1},高尻 雅之{1}{1}東海大学,{2}九州工業大学,{3}日本大学

A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）

7

第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール
21pm3-PM022
n 型ビスマス・テルルおよび p 型アンチモン・テルル薄膜熱電素子の応力負荷時の熱電特性
草ヶ谷 喬介*{1},稲本 拓也{1},高山 健{1},田中 三郎{2},宮崎 康次{3},高尻 雅之{1}{1}東海大学,{2}日本大学,{3}九州工業大学
21pm3-PM023
光ピンセット法による基板上微小物体の移動
木下 イヴァン悟*,斎藤 航,田中 健太郎,岩本 勝美
東京海洋大学
21pm3-PM024
DNA ナノマシンによる歩行動作の温度特性の検証
外舘 悠仁*,小宮 健,山村 雅幸
東京工業大学
21pm3-PM025
モータータンパク質による自己集積能とマイクロパターンを利用した収縮性ネットワークの構築
大磯 賢司*,平塚 祐一
北陸先端科学技術大学院大学
21pm3-PM026
遺伝子ネットワークのダイナミクス多様性
吉田 卓弘*,東 俊一,杉江 俊治
京都大学
18:20-19:00（A 会場）21pm4-A 招待講演
座長： 藤田博之/東京大学
18:20
21pm4-A1【アカデミアと産業界の縁結び：島根にて】Current US Entrepreneurial Environment for MEMS
Kurt Petersen*
Member, Silicon Valley Band of Angels
19:00-20:00（A 会場）21pm5-A
Petersen 先生を囲む会（アカデミアから産業へ：ＭＥＭＳ産業強化に関する議論）
話題提供 日本における産官学連携藤田 博之/東京大学
話題提供 MEMS ベンチャー創出について
下山 勲/東京大学
フリー議論

2014/10/7

10 月 22 日（水）09:00-09:40（A 会場）22am1-A 招待講演
座長：宮崎 康次/九州工業大学
09:00
22am1-A1
酸化物熱電材料
舟橋 良次*
産業技術総合研究所
ユビキタスエネルギー研究部門ナノ機能合成グループ
上級主任研究員
10:00-12:00（A 会場）22am2-A
マイクロナノプロセス技術 IV（センサシンポジウムとマイクロ･ナノシンポジウムとの合同セッション）

座長：佐々木 実/豊田工業大学, 岩瀬 英治/早稲田大学
10:00

22am2-A1
チタニウムウェハの貫通加工のための熱反応性イオン
エッチング法の開発
山田 周史*，南 佑人，寒川 雅之，安部 隆
新潟大学

10:15

22am2-A2
薄膜間の剥離エネルギー差を利用した金属素子の加工
プロセス
青野 宇紀*，岩崎 富生，吉村 保廣，中山 義則
日立製作所

10:30

22am2-A3
Si(100)基板上への結晶配向γ-Al2O3 薄膜と CMOS 回路のインテグレーション及びその評価
大石 浩史*{1}，赤井 大輔{2}，石田 誠{1}{1}豊橋技術科学大学，{2}エレクトロニクス先端融合研究所(EIIRIS)

10:45

22am2-A4
超並列電子線描画装置用アクティブマトリクスナノ結
晶シリコン電子源の開発と動作特性評価
池上 尚克*{1}，小島 明{1}，宮口 裕{1}，吉田 孝{1}，西野 仁{1}，吉田 慎哉{1}，室山 真徳{1}，菅田 正徳{2}，越田 信義{3}，江刺 正喜{1}{1}東北大学，{2}クレステック，{3}東京農工大学

11:00

22am2-A5
結晶異方性エッチングを用いた三角錐構造体作製方法に関する研究今枝 航大*{1},別所 克彦{1},式田 光宏{2}{1}名古屋大学,{2}広島市立大学

11:15

22am2-A6ポリビニルアルコール薄膜への金属パターン転写技術を用いた全反射照明蛍光顕微鏡用校正プレートの作製
海野 徳幸*{1}{2},前田 麻夫{1},佐竹 信一{1},辻 隆浩{1},谷口 淳{1}{1}東京理科大学、{2}日本学術振興会（PD)

11:30

22am2-A7
テンプレーテッド熱デウェッティングのためのプラス
チックモールドを用いた金薄膜層への直接ナノインプ
リント法
Potejana Potejanasak*{1},吉野 雅彦{1},寺野 元規{1},三田 正弘{2}{1}東京工業大学,{2}協同インターナショナル

11:45

22am2-A8
MEMS 技術を利用したミラー高速２軸駆動機構の開発
石塚 智哉*,高原 大地,安藤 泰久
東京農工大学A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）

8

第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール
10:00-12:00（E 会場）22am2-E
OS5: 電池レス・デバイスのためのエネルギーハーベストの展開
座長：青柳 誠司/関西大学, 藤田 孝之/兵庫県立大学
10:00

22am2-E1
金属基板上 PZT 薄膜を用いた自励振動発電素子の評価
諏訪 英作*,辻浦 裕一,黒川 文弥,肥田 博隆,神野 伊策
神戸大学

10:15

22am2-E2
ステンレス箔振動子を用いた静電誘導型の振動発電素
子の発電量向上の検討
浅沼 春彦*,大口 裕之,原 基揚,桑野 博喜
東北大学

10:30

22am2-E3
金属基板上 PZT 薄膜を用いた振動発電素子の信頼性評
価に関する研究辻浦 裕一*,諏訪 英作,黒川 文弥,肥田 博隆,神野 伊策
神戸大学

10:45

22am2-E4
ステンレス板ばね構造を有する AlN 圧電薄膜発電機
賀 建軍, 原 基揚 *, 桑野 博喜
東北大学

11:00

22am2-E5
パッケージ後に荷電された MEMS エレクトレット環境
振動発電器の試作
金 善右*,付 乾炎,萩原 啓,鈴木 雄二
東京大学

11:15

22am2-E6
微細凹凸形状 Si へのスパッタ NdFeB を用いた電磁型
MEMS エナジーハーベスタの試作
山口 晃平*,田中 祐至,竹平 徳崇,藤田 孝之,園田 晃司,
神田 健介,前中 一介
兵庫県立大学

11:30

22am2-E7
選択的電極配置によるスパイラル型振動発電素子の性
能向上
杉山 健司*,丸尾 昭二
横浜国立大学11:45

22am2-E8
圧電フィルムを用いたツイストボール式電子ペーパーの電池レス駆動装置
駒崎 友亮*,鳥居 徹
東京大学2014/10/7

10:30

22am2-F3
分子動力学法によるナノチャネル内水溶液の輸送現象の解析
吉田 広顕*,金城 友之,鷲津 仁志
豊田中央研究所

10:45

22am2-F4

11:00

22am2-F5
ダイナミック電子線リソグラフィによる 2 次元ナノ流
体制御宮廻 裕樹*,満渕 邦彦,星野 隆行
東京大学

11:15

22am2-F6
液体光スイッチング機構を備えた光放射圧による粒子輸送デバイスの開発
砂田 大樹*,亀谷 雄樹,元祐 昌廣
東京理科大学

11:30

22am2-F7
荷電されたマイクロピラー上における液体表面の挙動
Chen Yu-Chung*,Song Ki-Young,Suzuki Yuji
The University of Tokyo

11:45

22am2-F8
近赤外吸収イメージング法を応用したマイクロ流路内の酸・アルカリ水溶液混合場の観察
川嶋 大介*{1} ,角田 直人{1} ,近藤 克哉{2} ,有本 英伸{3} ,山田 幸生{4}{1} 首 都 大 学 東 京 ,{2} 鳥 取 大 学 ,{3} 産 業 技 術 総 合 研 究所,{4}電気通信大学

講演取下げ

10:00-11:45（G 会場）22am2-G
バイオ III：バイオマイクロシステム（センサシンポジウムとマイクロ･ナノシンポジウムとの合同セッション）

座長 三木 則尚/慶應義塾大学
10:00

22am2-G1
還元基修飾インターカレータによる 1 本鎖／2 本鎖DNA 複合体の部位特異的金属被覆
氷室 貴大*，佐藤 しのぶ，竹中 繁織，安田 隆
九州工業大学

10:15

22am2-G2
腱様構造付き骨格筋アクチュエータの構築
森本 雄矢*，尾上弘晃，竹内 昌治
東京大学

10:30

22am2-G3
真空中細胞観察のための Si 薄膜窓を有するマイクロチ
ャネル型チャンバー
林 秀樹*，戸田 雅也，小野 崇人
東北大学

10:00-12:00（F 会場）22am2-F
一般セッション:マイクロ・ナノ熱流体
座長：塩見 淳一郎/東京大学
10:00

22am2-F1
液体メニスカス架橋の振動伝達特性(固体表面粗さの影
響)
近藤 大地*,宮本 麻由,松岡 広成,福井 茂寿
鳥取大学

10:45

22am2-G4
Micro-TAS 応用に向けた表面モフォロジー制御による
超撥水性／超親水性パターニング
小林 大造*,小西 聡
立命館大学

10:15

22am2-F2
液滴前方に存在する先行薄膜の光学的二次元可視化計
測中村 槙悟*,小宮 敦樹,岡島 淳之介,円山 重直
東北大学

11:00

22am2-G5
寸法選別マイクロ流体デバイスを用いた血液分級における流速の影響鈴木 崇弘*,小西 智樹,岡野 弘聖,鈴木 利宙,有安 真也,
青木 伸,安部 良,早瀬 仁則
東京理科大学A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）

9

第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール
11:15

22am2-G6
蚊の口針のモデル化と有限要素法解析による振動穿刺の効果の確認漆畑 雄也*{1},鈴木 昌人{1},高橋 智一{1},青柳 誠司{1},大野 泰史{2},川尻 由美{2},神崎 務{2},山口 哲{3},今里聡{3},功刀 厚志{4},猿渡 智治{4}{1}関西大学,{2}大日本除虫菊,{3}大阪大学,{4}JSOL

11:30

22am2-G7
マイクロ力センサを用いたウェアラブル血圧計測デバ
イス
五嶋 亮祐*,土肥 徹次
中央大学

13:50

22pm1-F3
表面増強ラマン散乱のためのラメラ状金属構造に関する研究前田 悦男*{1},イ エリム{1},上野 藍{1},多喜川 良{2},ドロネー ジャンジャック{1},米谷 玲皇{1},前田 悦男*{1}{1}東京大学,{2}九州大学

14:05

22pm1-F4
微細形状を持つサンプルの特性と触覚との関係評価
長谷川 翔一*{1} ,三木 則尚{1} {2}{1}慶應義塾大学，{2}JST PRESTO

14:20

22pm1-F5
光ファイバーが不要なフローサイトメーターチップの開発
重田 晃佑*,亀谷 雄樹,元祐 昌廣
東京理科大学14:35

22pm1-F6
感温塗料を用いた赤外線熱イメージングデバイスのためのディジタルフィルタの開発
塚本 貴城*,王 敏,田中 秀治
東北大学

13:20-14:50（E 会場）22pm1-E
OS6: マイクロ・ナノと熱電変換
座長 宮崎 康次/九州工業大学, 塩見 淳一郎/東京大学
13:20

22pm1-E1
低熱伝導材料のフォノン平均自由行程の測定
小宅 教文*,坂田 昌則,塩見 淳一郎
東京大学

13:35

22pm1-E2多結晶構造におけるフォノンの平均自由行程のシミュ
レーション
堀 琢磨*{1},塩見 淳一郎{1},Dames Chris{2}{1}東京大学,{2}University of California, Berkeley

2014/10/7

13:20-14:35（G 会場）22pm1-G
バイオ IV：バイオマイクロシステム（センサシンポジウムとマイクロ･ナノシンポジウムとの合同セッション）

座長： 鈴木 孝明/香川大学, 小穴英廣/東京大学

13:50

22pm1-E3
フレキシブル熱電変換材料に向けたカーボンナノチュ
ーブ薄膜の第一原理計算
加藤 哲平*{1},臼井 信志{2},山本 貴博{1}{1}東京理科大学,{2}QuantumWiseJapan

13:20

22pm1-G1
単一神経細胞をモジュールとして扱う神経回路アセンブリ
吉田 昭太郎*，竹内 昌治
東京大学

14:05

22pm1-E4
薄膜中のナノ粒子制御による熱電特性改善
何 超*,上沼 睦典,岡本 尚文,上武 央季,山下 一郎,浦岡行治
奈良先端科学技術大学院大学

13:35

22pm1-G2
PDMS マイクロ流路内壁への LSI チップ埋め込み
荒木 慶太*，村上裕二
豊橋技術科学大学

13:50

14:20

22pm1-E5
石英ガラスを利用した Bi ナノワイヤーの作製と熱電物性の評価
村田 正行*{1} ,山本 淳{1} ,長谷川 靖洋{2} ,小峰 啓史{3}{1}産業技術総合研究所,{2}埼玉大学,{3}茨城大学

22pm1-G3
細胞固定化システムを用いた膜タンパク質の機能解析
井上 晃佑*{1}{2}，神谷 厚輝{2}{4}，阿部 裕太{1}{2}，大崎 寿久{2}{3}，三木 則尚{1}，竹内 昌治{2}{3}{1}慶應義塾大学，{2}神奈川科学技術アカデミー，{3}東京大学, {4}JST さきがけ

14:05

14:35

22pm1-E6

22pm1-G4
エンドトキシン凝固過程のインピーダンス計測
小谷 紘*{1} ,舟橋 久景{1} ,黒田 章夫{1} ,三宅 亮{2}{1}広島大学,{2}東京大学

14:20

22pm1-G5
消化管内走行カプセル
伊藤 高廣*,村上 直
九州工業大学講演取下げ

13:20-14:50（F 会場）22pm1-F
一般セッション：プロセス技術と応用
座長 柿沼 康弘/慶應義塾大学
13:20

13:35

22pm1-F1
Gas/Oil/Water 法による中空マイクロカプセルの製造
櫻井 大地*{1},大宮司 啓文{1},竹村 文男{2}{1}東京大学,{2}産業技術総合研究所
22pm1-F2
光硬化性シリコーンを用いた微細構造形成法の開発
茂木 克雄*,橋本 優生,塚原 剛彦,山本 貴富喜
東京工業大学

15:00-15:40（A 会場）22pm2-A 招待講演
座長: 三原 孝士/マイクロマシンセンター
15:00
22pm2-A1【アカデミアと産業界の縁結び：島根にて】生産革命ミニマルファブ
原 史朗*
産業技術総合研究所 ナノエレクトロニクス研究部門
ミニマルシステムグループ開発プロジェクトリーダ
15:40-16:00（A 会場）22pm3-A 閉会式

A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）

10

第 6 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム プログラムスケジュール

2014/10/7

MEMS 開発基礎講座（日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門、電気学会センサ・マイクロマシン部門共催 ）10 月 20 日（月）10:30-12:00（D 会場）20am2-D
MEMS 開発基礎講座（１）
座長: 三原 孝士/マイクロマシンセンター
10:30

11:00

11:30

20am2-D1
シリコンウェットエッチング 基礎と応用
肥田 博隆*
神戸大学
20am2-D2
シリコンドライエッチング 基礎と応用、最新技術
金尾 寛人*SPP テクノロジーズ
20am2-D3
CMOS-MEMS 技術：基礎と応用
小西 敏文*NTT アドバンステクノロジーズ

13:20-14:50（D 会場）20pm1-D
MEMS 開発基礎講座（２）
座長: 三原 孝士/マイクロマシンセンター
13:20
20pm1-D1
障害者への対応を目指したセンサ・電極
外山 滋*
国立障害者リハビリテーションセンター
13:50
20pm1-D2
MEMS カンチレバー理論と応用
池原 毅*
産業技術総合研究所
14:20
20pm1-D3
センサー回路とシステム、SN 向上手法
三原 孝士*
マイクロマシンセンター

10 月 22 日（水）10:30-12:00（D 会場）22am2-D
MEMS 開発基礎講座（３）
座長: 三原 孝士/マイクロマシンセンター
10:30
22am2-D1
MEMS de Piano MEMS 設計 基礎と応用
三田 吉郎*
東京大学
11:00
22am2-D2
MEMS 理論、静電 MEMS への応用
橋口 原*
静岡大学
11:30
22am2-D3
MEMSpice 機能・回路シミュレータ
望月 俊輔*NTT データ数理システム

13:20-14:50（D 会場）22pm1-D
MEMS 開発基礎講座（４）座長: 三原 孝士/マイクロマシンセンター
13:20
22pm1-D1
無線技術と実装岡田 浩尚*
産業技術総合研究所
13:50
22pm1-D2
医療・バイオセンサー
三林 浩二*
東京医科歯科大学
14:20
22pm1-D3
ケミカルセンサ（ガス測定）の原理とその応用
野田 和俊*
産業技術総合研究所

A 会場=国際会議場（3F）,B 会場=多目的ホール(1F),C 会場=小ホール(1F),D 会場=401 会議室(4F),E 会場=501 会議室(5F),F 会場=601 会議室(6F),G 会場/P 会場=大展示場（1F）

11