天アキ25mm

5編
企画・編集

執 筆 者

計測

工 学

滋

大 園 成 夫

清 野慧

今 井 秀

孝

上 野小 林彬笹 島 和 幸

嶋 田智

下河辺明

永 島

晃

安 藤繁

池 上健

出 海滋

今 井 秀

孝

岩 附 信

行

臼 田孝

上 田 守 正

大 園 成

夫

大 高

正

小 川 実 吉小 貫 英 雄

鍵樹

加 藤 英

幸

清 野慧

倉 野 恭 充高偉

笹 島 和幸指 田 孝 男沢 辺 雅 二

高 増

潔

田 中充

田 村

寺 尾 𠮷 哉

天神林 孝

二

中 野 英

俊

中 村 健太郎

仁 科健

萩 原 正

弥

橋 本 成

広

馬 場 利 隆平 田 正 紘

藤 井 賢

一

藤 井 修

二藤 間 一 郎

北 條 春 夫

松 本 義久

水 島 茂

喜吉 澤徹

吉 田 春 雄目次收直第 1章 計 測 と は1・1 計測と測定 ……………………………………11・2 尺度と次元 ……………………………………11・2・1 測定の尺度………………………………1
1・2・2 測定の次元………………………………1

第 2章 単 位 と 標 準
2・1 国際単位系 ……………………………………22・2 計量標準 ………………………………………22・3 工業規格 ………………………………………42・3・1 ISO 規格の目的 ………………………42・2・1 知的基盤としての計量標準……………22・3・2 ISO の歴史 ……………………………52・2・2 計量標準…………………………………22・3・3 ISO 規格と測定 ………………………52・2・3 標準物質…………………………………32・3・4 ISO 規格制定のプロセス ……………52・2・4 トレーサビリティ………………………42・3・5 適合性評価について……………………5第 3章 測 定 概 論
3・1 測定の計画と設計 ……………………………73・1・1 測定計画の基本…………………………73・3・2 不確かさ ………………………………123・1・2 測定計画の具体化………………………83・3・4 不確かさの評価（解析の手順)………13

3・2 測定方式の分類 ………………………………93・2・1 直接測定と間接測定 …………………103・3・3 不確かさの原因 ………………………123・3・5 不確かさの表示（不確かさの総合的見積り)………………………………133・2・2 絶対測定と比較測定 …………………103・3・6 不確かさの性質 ………………………133・2・3 各種の測定方式 ………………………103・4 測定の精度と校正……………………………143・4・1 各種の精度 ……………………………143・2・4 アナログ方式とディジタル方式 ……103・3 測定の誤差と不確かさ………………………103・3・1 誤差 ……………………………………103・4・2 安定性 …………………………………143・4・3 直線性とヒステリシス ………………14

目ii

次3・4・4 校正とその目的 ………………………153・5・2 差動構造での補償 ……………………183・4・5 幾何学量の計測と各種の校正法 ……153・5・3 除算構造での補償 ……………………193・5 補償法…………………………………………173・5・1 補償の考え方 …………………………173・5・4 加算構造 ………………………………20

第 4章

3・5・5 各種の補償法 …………………………21

測定データの処理

4・1 静的データの処理……………………………254・1・1 静的データとは ………………………254・1・7 検定と推定 ……………………………28

4・1・2 数値の丸め方 …………………………254・2 動的データ処理………………………………304・2・1 動特性の表示 …………………………30

4・1・3 一次元データの要約 …………………254・2・2 フィルタリング ………………………314・1・4 一次元データの表現と近似 …………264・2・3 周波数解析 ……………………………33

4・1・5 二次元データの要約 …………………274・2・4 ウェーブレット解析 …………………354・1・6 二次元データの表現と近似 …………27

4・3 機器の雑音とその対策………………………36

第 5 章 各種変量の測定
5・1 基本量の測定…………………………………385・1・1 長さ ……………………………………385・3・3 振動，速度，加速度 …………………795・1・2 質量 ……………………………………405・1・3 時間（周波数)…………………………425・4 熱的諸量，湿度の測定………………………865・4・1 熱的諸量 ………………………………86

5・1・4 電流（電圧，電気抵抗)………………465・4・2 湿度 ……………………………………88

5・1・5 温度 ……………………………………48
5・1・6 物質量 …………………………………51

5・5 各種物性値の測定……………………………90
5・5・1 密度 ……………………………………90

5・3・4 流量，流速 ……………………………81

5・1・7 光度 ……………………………………54

5・5・2 粘度 ……………………………………92

5・2 幾何学量の測定………………………………56
5・2・1 寸法，変位 ……………………………56

5・5・3 弾性係数 ………………………………94

5・2・2 角度 ……………………………………62
5・2・3 形状 ……………………………………66

5・6 その他の諸量の測定…………………………99
5・6・1 振動，騒音 ……………………………99

5・5・4 熱物性値 ………………………………96

5・2・4 表面性状 ………………………………71

5・6・2 放射線…………………………………103

5・3 力学量の測定…………………………………73
5・3・1 力，動力，回転数 ……………………73

5・6・3 環境関連………………………………106

5・3・2 圧力，真空度 …………………………75

5・6・5 感応量…………………………………113

5・6・4 生体関連………………………………109

第 6章 各種応用計測
6・1 電気計測器 …………………………………120
6・1・1 はじめに………………………………120

6・3・1 SEM 応用計測（測長 SEM ，LSI検査) …………………………………1286・1・2 波形測定器……………………………1206・3・2 工業用 X 線 CT ……………………1296・1・3 電力計測器……………………………1216・1・4 データ収集装置………………………1226・4 超音波応用計測 ……………………………1306・4・1 超音波の定義と超音波応用計測の6・1・5 現場用計測器…………………………124特徴……………………………………1306・2 光応用計測 …………………………………1256・2・1 光干渉計による変位計測……………1266・4・2 使用する周波数範囲…………………1316・2・2 光を用いた回転角度計測……………1266・2・3 光干渉計による形状計測……………1276・2・4 ホログラフィーおよびスペックル

6・4・3 伝搬する弾性波動の種類……………1316・4・4 伝搬速度・波長と計測における分解能……………………………………1316・4・5 超音波の発生と検出…………………131

干渉による変形計測…………………1286・4・6 距離測定………………………………1326・2・5 終わりに………………………………1286・4・7 速度測定………………………………133

6・3 放射線応用計測 ……………………………1286・4・8 物性測定・材料評価…………………133

天アキ
25mm
目

6・4・9 超音波を用いた計測，センサデバ
イス……………………………………133
6・5 画像応用計測 ………………………………1346・5・1 幾何光学的原理による方法…………1346・5・2 波動光学的原理による方法…………1366・6 知識応用計測 ………………………………1396・6・1 知識応用計測の範囲…………………139

次iii

6・6・6 ニューラルネットワーク，GA ……140
6・6・7 GPS …………………………………141
6・6・8 計測における複雑化への動向と知識応用計測……………………………1416・7 官能検査 ……………………………………1416・7・1 官能検査と官能量計測………………1416・7・2 官能検査方法…………………………1416・6・2 区分と逐次接続法……………………1396・7・3 適用例…………………………………1426・6・3 反転法，マルチステップ法…………139

6・7・4 官能検査の不確かさ…………………1426・6・4 ステレオ法……………………………140

6・7・5 感性と官能検査………………………1426・6・5 CT ……………………………………140

第 7 章 計測における管理と教育
7・1 計測機器の管理 ……………………………1447・1・1 計測機器管理の必要性………………1447・2・2 教育・訓練のマニュアルの必要性とその基本……………………………1477・1・2 管理対象機器の選定…………………1447・2・3 教育・訓練の方法……………………1477・1・3 計測機器の校正とその周期…………1447・2・4 教育・訓練の効果……………………1487・1・4 日常点検………………………………1457・2・5 測定データへの人間の影響と教育

7・2 計測技術者の教育・訓練 …………………1457・2・1 計測技術者としての条件の把握……145…………………………………………148索引（日本語・英語）………………………………………………………………………………………………巻末