令和６年６月２４日判決言渡
令和５年（行ケ）第１００５３号

特許取消決定取消請求事件

口頭弁論終結日 令和６年５月８日
判

決

5

原

告

原

告

三 井 化 学 株 式 会 社

国立研究開発法人産業技術総合研究所

10

上記両名訴訟代理人弁護士

高

橋

雄

上記両名訴訟代理人弁理士

速

水

進

治

同

林

佳

輔

同

花

一

哉

岡

一

郎

15

被

20

告

特

同 指 定 代 理 人

山

村

同

野

村

伸

雄

同

小

暮

道

明

同

須

田

亮

一

主
１

許

庁

長

官
浩

文

特許庁が異議２０２１－７００３６９号について令和５年３月３０日にした決定のうち、特許第６７８１８６４号の請求項１、３～１８に係る特許を取り消した部分を取り消す。
25

２ 訴訟費用は被告の負担とする。
事

実

及

び

理

1

由

【略語】
本判決で用いる略語は、別紙１「略語一覧」のとおりである。なお、本件決定中で使用されている略語は、本判決でも原則としてそのまま踏襲している。
第１ 請求
主文と同旨

5

第２ 事案の概要
１

特許庁における手続の経緯等（当事者間に争いがない。）(1) 原告らは、発明の名称を「ペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクル、その製造方法、露光原版、露光装置、半導体装置の製造方法」とする発明について、平10

成２９年７月３日特許出願をし（優先権主張日は平成２８年７月５日）、令和
２年１０月２１日本件特許に係る特許権の設定登録を受け（請求項の数２３）、
同年１１月１１日に特許掲載公報が発行された。
(2) 本件特許について、特許異議の申立て（①令和３年４月２３日付け〔請求項１～１８に係る特許に対するもの〕、②同年５月７日付け及び③同月１１15

日付け〔いずれも請求項１～２３に係る特許に対するもの〕の３件）がされ、特許庁は、これらの申立てを異議２０２１－７００３６９号事件として審理を行った。
(3) 原告らは、令和４年８月８日付けで取消理由通知（決定の予告）を受けたことから、その意見書提出期間内である同年１１月１１日、本件特許の特許20

請求の範囲（請求項１～２３）を下記２(1)及び別紙２のとおりに訂正（本件訂正）する旨の訂正請求をした（訂正後の請求項の数１７）。
(4) 特許庁は、令和５年３月３０日、本件訂正を認めた上で、「特許第６７８１
８６４号の請求項１、３－１８に係る特許を取り消す。特許第６７８１８６４号の請求項２、１９－２３に係る特許についての特許異議の申立てを却下

25する。」との本件決定をし、その謄本は同年４月１０日原告らに送達された。
(5) 原告らは、令和５年５月９日、本件決定の取消しを求める本件訴訟を提起

2

した。
２

本件発明の内容(1) 特許請求の範囲の記載
本件特許の特許請求の範囲の請求項（本件訂正後のもの、請求項２、１９～5

２３は削除）のうち、独立項である請求項１、６を以下に掲げる（請求項３～５、１３～１８は請求項１を直接又は間接に引用する請求項、請求項７～１８は請求項６を直接又は間接に引用する請求項である。なお、請求項１についての分説は原告らによる。請求項３～５、７～１８については別紙２に記載）。

10【請求項１】
１Ａ

支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、前記ペリク

ル膜は、厚さが２００ｎｍ以下であり、前記ペリクル膜は、カーボンナノ
チューブシートの自立膜であり、
１Ｂ

前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、

15

１Ｃ

前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、
１Ｄ

下記条件式（１）を満たし、１Ｇ

前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し、20１Ｈ

前記カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下である、

１Ｉ

露光用ペリクル膜。

（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、
前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボ
25

ンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベ
クトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチューブシートの膜厚方3向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベ
クトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前5記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比ＲＢが０．４０以上である。
【請求項６】
カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であり、カーボンナノチューブの長さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下であり、10

カーボンナノチューブ中のカーボンの含有量が９８質量パーセント以上である、カーボンナノチューブシートの自立膜であるペリクル膜であって、前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、

15

前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向し、下記条件（１）を満たし、
前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有する、ペリクル膜。
（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、

20

前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナ
ノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピー
クと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カ

25

ーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシート

4

の面内方向の回折強度との差で除した比ＲＢが０．４０以上である。

(2) 本件明細書（甲２０）には、本件発明について次のような開示があることが認められる。
ア
5

本発明は、半導体デバイス等をリソグラフィ技術により製造する際に使用するフォトマスク又はレチクル及び、塵埃が付着することを防ぐフォト
マスク用防塵カバーであるペリクル等、特に、極端紫外光（Ｅｘｔｒｅｍｅ
Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ：ＥＵＶ）リソグラフィ用の極薄膜であるペリク
ル膜、ペリクル枠体、ペリクル、及びその製造方法、並びにこれらを用いた
露光原版、半導体装置の製造方法に関する（【０００１】）。

10

イ

リソグラフィでは、回路パターンが描画されたマスクに露光光を照射して、フォトレジストが塗布された半導体ウェハに回路パターンを転写するが、その際マスク上に塵埃などの異物が付着すると、該異物の影が半導体ウェハに転写され、回路パターンが正確に転写されず不良品となってしま
うことがある。
これに対し、ペリクル膜が貼り付けられた支持枠からなるペリクルをマ15

スクに装着すると、塵埃などの異物をペリクル膜上に付着させ、マスクに付着することを防ぐことができ、ペリクル膜に付着した異物の影が半導体ウェハ上で結象することはないため、不良品の発生率を大幅に抑制できる（【０００２】、【０００３】）。
20

ウ

ペリクル膜の光透過率が低いと、半導体ウェハ上に形成されているフォトレジストが十分に感光されないため、ペリクル膜には、露光光を高透過率で透過させる特性が求められる。
ペリクル膜にＥＵＶ光などの露光光が照射されると、露光時にはペリク
ル膜の温度が上昇する。そのため、温度上昇時の放熱性や耐熱性という観25点からも、ＥＵＶ透過率の高いペリクル膜が必要となる（【０００６】）。
エ

従来、ペリクル膜の膜強度を得るために密度を高めると高い透過率が得5られないこと、カーボンナノチューブは製造過程で含まれる金属などの不純物が多く透過率が悪くなることが指摘されていた（【０００８】）。
オ

そこで、本件発明は、請求項記載の構成を採用した（【００１３】～【００１５】、【００１７】～【００１９】、【００２１】、【００２３】、【００２４】、【００２６】～【００３４】）。

5カ

本件発明によれば、ＥＵＶ透過性が高く耐熱性に優れたペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクルを提供することができる。また、これらを用いた露光
原版をもって、ＥＵＶ光等によって微細化されたパターンを形成でき、異物による解像不良が低減されたパターン露光を行うことできる露光原版及び半導体装置の製造方法を提供することができる（【００４０】）。

10

キ

ＲB の値が、０．４０以上では面内配向しており、０．４０未満では面内配向していないことを表す。ＲＢの値は、０．４０以上であることが好まし
く、０．６以上がより好ましい（【０１０４】）。

ク

バンドルが面内配向しているカーボンナノチューブシートは、バンドルの径と同等の膜厚とすることが可能となり、高いＥＵＶ透過率を達成する

15ことができる。さらには、バンドルが面内配向しているカーボンナノチュ
ーブシート（又はペリクル膜）は、面内方向にバンドル同士が絡み合った網目構造とすることができるために、１００ｎｍ以下の厚さであっても自立膜を形成することができる（【０１１２】）。
面内配向したバンドルが網目構造を有するカーボンナノチューブシート

20は、シートに応力が加わった際に、応力を分散させると同時に、バンドルの変形やバンドルの並進運動を抑制することができるため、自立膜に応力を加えても網目構造及び自立膜形状を保つことができる（【０１１４】）。
３25

本件決定の理由の要旨(1) 訂正の許否について
本件訂正は、いずれも特許請求の範囲を減縮するものであり、その他法定6

の要件を充足するものであるから、これを認める。
(2) 判断基準日について
本件特許の優先権主張の基礎出願には、本件発明の構成要素であって記載されていないものがあるから、本件発明の特許出願には優先権の効果は認め
5

られず、新規性、進歩性、拡大先願等の判断基準日は、本件特許の出願日である２０１７年（平成２９年）７月３日である。
(3) 特許法１１３条２号の特許取消理由について（詳細は別紙３「本件決定の理由」を参照）
本件決定において判断の対象となった特許取消理由は、以下のものである。
（取消理由）（引用例／先願）（対象請求項）

新規性欠如

引用文献１

請求項１、３～５

進歩性欠如

引用文献１～３

請求項１、３～１８（それぞれ独立の主引用例）
拡大先願違反10ア

先願１

請求項１、３～５、１３～１８

引用文献１を主引用例とする本件発明１、３～５の新規性欠如についての判断
本件発明１、３～５は、引用発明１との間に実質的な相違点はなく、新規性を欠く。その特許は特許法２９条１項に違反してされたものである。
イ

引用文献１を主引用例とする進歩性欠如についての判断
本件発明は、引用発明１及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明で15きたものである。その特許は特許法２９条２項に違反してされたものである。
ウ

引用文献２を主引用例とする進歩性欠如についての判断
本件発明は、引用発明２及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明で20きたものである。その特許は特許法２９条２項に違反してされたものであ
る。

7

エ

引用文献３を主引用例とする進歩性欠如についての判断
本件発明は、引用発明３及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明できたものである。その特許は特許法２９条３項に違反してされたものであ
る。

オ

5

拡大先願についての判断
本件発明１、３、４は先願発明Ａと、本件発明５は先願発明Ｂと、本件発明１３は先願発明Ｃと、本件発明１４～１６は先願発明Ｄと、本件発明１７、１８は先願発明Ｅと、それぞれ同一である。その特許は特許法２９条の２に違反してされたものである。

10

４

取消事由
本件の取消事由は以下のとおりである。
なお、本件発明の特許出願に優先権の効果は認められず、新規性、進歩性、拡大先願等の判断基準日が本件特許の出願日となることには争いがない。
(1) 引用文献１を主引用例とする本件発明１、３～５の新規性の判断の誤り（取
消事由１）

15

(2) 引用文献１を主引用例とする本件発明の進歩性の判断の誤り（取消事由２）(3) 引用文献２を主引用例とする本件発明の進歩性の判断の誤り（取消事由３）(4) 引用文献３を主引用例とする本件発明の進歩性の判断の誤り（取消事由４）(5) 本件発明１、３～５、１３～１８と拡大先願に係る発明との同一性に関する判断の誤り（取消事由５）20

第３ 当事者の主張
１

取消事由１（引用文献１を主引用例とする本件発明１、３～５の新規性の判

断の誤り）について【原告らの主張】
25(1) 引用発明１の認定の誤り
本件決定の引用発明１の認定は、以下のとおり誤りである。

8

ア

引用文献１中、構成１ｃの認定根拠とされる部分（１２頁７～８行）は、
ＣＮＴ自立膜を得ることができるかもしれないという筆者の予想ないし期待を述べたものであって、実際に行った実験内容に基づくものではなく、
図１４（ｂ）も上記予想ないし期待に基づく模式図にすぎない。
引用文献１には、ＣＮＴ膜の形状を保ったままＳｉＮｘ膜をどのように5除去するのか記載も示唆もない。本件決定が引用する引用文献１の１０頁
２行は、「エアロゾルＣＶＤ法」で成長させたＣＮＴを微多孔フィルタ上に集めて膜を形成し、これを、開口部を持つ基板に乾燥転写することで自立膜を作製する他の文献（甲１８）を引用するものであるが、これと引用文献
１記載の技術は異なる。

10イ

構成１ｅの認定根拠とされる部分（図１１（ｅ））は、ＣＮＴの光散乱を評価するシミュレーションに用いるパラメータとしてＳＷＣＮＴ（単層ＣＮＴ）の径を示したものである。実際に作製、評価を行った「ＳｉＮｘ／多層ＣＮＴ積層膜」に関するものではない点、単層ＣＮＴであるという点に15

おいて、多層ＣＮＴに係る発明である引用発明１の径を特定する根拠として不適切である。
ウ

引用文献１において、積層膜からＳｉＮｘ膜を除去したものが「ペリクル膜」であると解すべき根拠はない。引用文献１において、自立ＣＮＴペリ
クル膜を対象とした性能評価の記載はない。
20

原告らは、引用文献１の記載に基づいてＳｉＮｘ上にＣＮＴ膜を堆積したＣＮＴ積層膜を作製し、その後、ＳｉＮｘを除去することで自立膜を形成できるかを確認すべく、実験を行ったが（甲３６）、ＳＷＣＮＴ膜が破砕してバラバラになってしまい、ペリクルとして使用可能な程度のＣＮＴの自立膜を形成可能なものではないことが確認された。

25(2) 相違点（実質的な相違点）の認定の誤り
本件決定の認定する相違点１Ａを前提としても、それに含まれるＲＢ０．４

9以上事項は、引用発明１に対して実質的な相違点となる。この点を含め、実質的な相違点はないとした本件決定の判断は誤りである。
本件決定がＲＢ０．４以上事項が実質的な相違点でないと判断する理由は、
本件発明１のＲＢ０．４以上事項はＣＮＴのバンドルが面内配向していること
5を特定するものであり、引用発明１は面内配向しているものを想定しているから、「ＣＮＴペリクル膜中でバンドルが面内配向し」ているものである以上
引用発明１もＲＢ０．４以上事項を満たすことになるというものである。
しかし、本件発明１は、「前記カーボンナノチューブシート中で前記バンド
ルが面内配向しており」との構成（構成１Ｃ）に加え、「下記条件式（１）を10満たし」としてＲＢが０．４０以上であるとし、面内配向が高度であることをＲＢの値により特定しているのである（構成１Ｄ）。
引用文献１の図１１（ａ）（ｂ）及び１０頁５～８行には、ＣＮＴの配置に関する近似モデルが示されているだけで、実際に作製したＣＮＴ膜が配向していることも記載されず、まして、どの程度の配向性を有しているかも記載

15

されていない。
被告は、ＲＢ０．４以上事項は薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば通常満たしている旨主張するが、「薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシート」なる本件決定に記載もない概念を導入するもので不当であるし、この「薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシート」が本件明細書の実施例１と同様にＲＢ０．４以上事項を20

満たしているとは限らない（甲４０の実験結果参照）。
【被告の主張】(1) 引用発明１の認定に誤りがないことについて
ア

原告らは、本件決定中、引用発明１の構成１ｃの認定根拠とされる部分

が実際に行った実験内容に基づくものではない旨主張する。
25

しかし、本件出願当時において単層カーボンナノチューブを用いたＣＮ
Ｔシートからなる２００ｎｍよりも十分に小さい厚さの自立膜であって、

10

ＣＮＴに対して特段の配向秩序が与えられることなく製造されたもの（薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシート）は技術常識であったのであり、しかも、引用文献１はその根拠となる甲１８を明記している。原告らは、甲１８記載の技術と引用文献１記載の技術とで自立膜の作製方法が異なる旨主張するが、引用発明１は、「ＣＮＴペリクル膜」という物に係る発明であることか

5ら、当業者が自立膜という構造を認識、理解できるかどうかが問題である。
イ

原告らは、本件決定が構成１ｅを認定した根拠箇所が、シミュレーショ
ンに用いられるパラメータとしてＳＷＣＮＴの径を示したものにすぎない
こと、引用発明１が多層ＣＮＴに係る発明であることから、構成１ｅでＳ

10

ＷＣＮＴの径を特定する点で誤りである旨主張する。
しかし、引用文献１に記載されている径（１～３ｎｍ）は、技術常識に沿うものであるし（乙５）、引用文献１には、ＳＷＣＮＴについての記載もあることから、当業者であれば、当該根拠箇所の記載における多層ＣＮＴを
ＳＷＣＮＴに読み替えて認識、理解できる。

15

ウ

原告らは、引用文献１において、積層膜からＳｉＮｘ膜を除去したもの

が「ペリクル膜」であると解すべき根拠はない旨主張するが、図１４（ｂ）
からペリクル膜であることは理解できる。
また、原告らは、引用文献１には、自立ＣＮＴペリクル膜を作製したことの記載がない旨主張するが、その明記の有無は、引用文献１の記載及び技
20

術常識に基づいて、本件決定が認定した引用発明１に係るＣＮＴペリクル
膜を当業者が認識、理解できることを左右するものではない。
さらに、原告らは、引用文献１におけるＣＮＴ薄膜の製造方法の記載か
らは、ＣＮＴの自立膜を作ることができず、ＳＷＣＮＴ膜が破砕してバラバラになる旨主張し、その根拠として原告らが行った実験結果（甲３６）を25挙げるが、当業者であれば、適宜ＣＮＴの分散性を向上させるようにして、ＣＮＴの自立膜を作ることができる。

11

(2) 相違点（実質的相違点）の認定の誤りがないことについて
原告らは、ＲＢ０．４以上事項が実質的な相違点である旨主張するが、ＲＢ
０．４以上事項は、通常の発想のもとで、通常の性状のＳＷＣＮＴ及び通常用いられるプロセスで製造された薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば、
5

通常、満たしているといえるものである。
ＲＢは、ＣＮＴのバンドルの三角格子に由来する特定のピークについて、ベースラインとなる強度を差し引いた上での、面内方向におけるピーク強度と膜厚方向におけるピーク強度の比によって定義される（本件明細書【００９９】）ところ、面内配向が強いほどＲＢの値は大きな正の値となり（【０１０10３】）、０．４０以上では面内配向しているとされている（【０１０４】）。
そして、膜厚２００ｎｍかつ径が１００ｎｍを超えるバンドルが見られない
自立膜に係る実施例１では、ＲＢが１．０２（【０１８８】、【０１９０】、【０１９２】）である一方、膜厚２００ｎｍかつ径が１００ｎｍを超えるバンドルが観察された非自立膜に係る比較例１では、ＲＢが０．３５３（【０１９15４】、【０１９６】、【０１９７】）であるとされている。
薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートは、膜厚、バンドル径及び自立性のいずれの観点においても、比較例１よりは実施例１に相当程度似通っている。その上、そもそも比較例１のＲＢの値（０．３５３）がＲＢ０．４以上事項の下限である０．４に相当程度近く、さらにＲＢの値には一定程度の不確定性が入20

り込まざるを得ないことをも考慮すれば、比較例１よりも実施例１に相当程
度似通っている薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば、ＲＢ０．４以上事項を満たしているというべきである。さらに、上記のとおり、ＲＢの値は面内配向が強いほど大きな正の値となるところ、膜厚が薄くなれば、ＳＷＣＮＴ
バンドルがシート表面方向に沿う程度がより大きくなることから、当該シー

25

トは、より明白に、ＲＢ０．４以上事項を満たすことになる。
なお、原告らは、バンドルが面内配向したものであってもＲＢ０．４以上事

12

項を満たすとは限らないとして甲４０の実験結果を提出するが、ＲＢ測定サン
プルの保管が実際にどのような条件で行われていたか確認できず、サンプルの実在も確認できないこと、本件明細書等に記載された実施例及び比較例と実験条件が異なること、当該各ＲＢ測定サンプルは特性が位置的にみて不均一となっていることといった問題がある。また、ＲＢ０．４以上事項を満たさな5いとされるサンプル１、２は一部破損がみられるところ、製造工程にあたって一部が破砕してしまうような膜は、掬い取り前の状態において何らかの問題があるというべきであり、そのような問題のある浮遊体のうち、その後の製造工程において破砕しなかった膜を「自立膜」と評価することは妥当では
ない。

10

２

取消事由２（引用文献１を主引用例とする本件発明の進歩性の判断の誤り）について【原告らの主張】
本件決定における引用発明１と本件発明の一致点・相違点の認定を前提とし
15ても、本件決定には、容易想到性の判断について誤りがある。
(1) 引用発明１は、ＳｉＮｘ／多層ＣＮＴ積層膜からＳｉＮｘ膜を除去した後の膜を特定するものである。
引用発明１の「ＳｉＮｘ膜を除去した後、ＣＮＴペリクル膜は、完全に自立しているものであり」という構成は、実際に作製されたものではなく、技術常20

識を踏まえても実現困難なものである。このような具現化されていない要素を含む引用発明１を出発点として、相違点１Ａ又は相違点６Ａを満たす構成は、容易に想到し得るものではない。
(2) 引用発明１においてＲＢ０．４以上事項を具備するようにする動機付けはな
いし、引用発明１の膜に対してＲＢ０．４以上事項を具備するような高度な配25

向性を付与する技術手段は引用文献１に記載されていない。
(3) 本件発明３～５、７～１８は、本件発明１又は本件発明６を引用し、本件

13発明１又は本件発明６の構成を全て含むものであるから、引用文献１記載の発明及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものではない。
【被告の主張】(1) 原告らの主張するところは、結局引用発明１の認定の誤りをいうものにすぎず、その前提が失当である。

5(2) 原告らは、引用発明１において、ＳｉＮｘ／ＣＮＴ積層膜からＳｉＮｘ膜を除去した後において、当該積層膜のときのＣＮＴ膜の性状がそのまま維持されるか、特にＲＢ０．４以上事項を満たすかは不明である旨主張するが、除去を行う手法はＳｉＮ層のウェットエッチングであって技術常識にすぎない
し（乙１０、１１）、ＲＢ０．４以上事項は、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシー

10

トであれば通常満たしているといえるものであることは前述のとおりであるから、この点が相違点に当たるとしても少なくとも容易想到である。
３

取消事由３（引用文献２を主引用例とする本件発明の進歩性の判断の誤り）

について
15

【原告らの主張】(1) 引用発明２の認定の誤り、相違点の認定の誤り
本件決定は、引用発明２につき「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構
造体を用いた光学製品である放熱シート」との認定をするが、引用文献２の発明に係る放熱体は、当該放熱体とは異なる物品から発する熱を放熱するも20のである（３７頁下から２行～３８頁１行）。
また、引用文献２には、「従来にみられない高純度、高比表面積のカーボン
ナノチューブ（特に配向した単層カーボンナノチューブ・バルク構造体）およびその製造方法装置を提供すること」との記載があり、図２７をみても、引用
発明２におけるカーボンナノチューブ・バルク構造体は、カーボンナノチュ

25

ーブが垂直方向に成長した構造を有する。
以上の点を併せ考慮すると、本件発明１と引用発明２の間には、①本件発

14明１は、「支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、前記ペリ
クル膜は、厚さが２００ｎｍ以下であり、前記ペリクル膜は、カーボンナノチ
ューブシートの自立膜であり」という構成１Ａを備えるのに対し、引用発明
２は、「光学製品が発した熱を放熱するのに用いられる、配向単層カーボンナ
5ノチューブ・バルク構造体」である点、②カーボンナノチューブシートについて、本件発明１は「面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し」ているという構成１Ｇを備えるのに対し、引用発明２は、当該構成を備えていない点で相違点があるのに、本件決定はこれを看過している。
また、本件発明６と引用発明２の間においても、上記①、②と同様、③カー

10

ボンナノチューブシートについて、本件発明６は「面内配向した前記バンド
ル同士が絡み合った網目構造を有し」ているという構成を備えるのに対し、
引用発明２は、当該構成を備えていない点、④本件発明６は、「カーボンナノ
チューブシートの自立膜であるペリクル膜であって」という構成を備えるのに対し、引用発明２は、「光学製品が発した熱を放熱するのに用いられる、配15

向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」である点で相違点があるのに、本件決定はこれを看過している。
(2) 相違点の容易想到性の判断の誤り
ア

引用発明２に周知技術を適用して、カーボンナノチューブシートについて、上記(1)②、③の相違点に係る構成（「面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し」ているという構成）とすると、引用発明２の20

配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体（カーボンナノチューブが垂直方向に成長する）ではなくなるから、このような改変には阻害要因が
ある。
イ
25

引用発明２を出発点として、上記(1)①、④の相違点に係る構成を備えるようにするためには、「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」自体を「光学製品」とし、「光学製品」としてペリクル膜を選択するという２

15

段階の改変を要することとなる。
第１段階の改変は、引用文献２に記載されていない技術事項を持ち込むものであるとともに引用文献２における「放熱体」の技術的意義を喪失させるものであるから、阻害要因がある。
引用文献２に「ペリクル」についての記載も示唆も全く存在しないこと

5を踏まえれば、当業者が第２段階の改変を行う動機付けは全く存在しない。
ウ

本件発明は、０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下の径の複数のカーボンナノチューブから形成され、１００ｎｍ以下の径を有するバンドルの絡み合いにより形成される本件発明特有の網目構造と、ＲＢ０．４以上事項という、本件発明特有の定義による高度な配向性を備えた面内配向を共に備えるＣＮＴ

10

自立膜であるペリクル膜というひとまとまりの構成を有することにより、自立ペリクル膜としての実用に耐える強度と、高いＥＵＶ透過性とを両立させるという作用効果を奏するものであるところ、上記構成を満たす構成
は、引用文献２及び周知技術から容易に想到し得るものではない。
エ15

本件発明３～５、７～１８は、本件発明１又は本件発明６を引用し、本件発明１又は本件発明６の構成を全て含むものであるから、引用発明２及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものでもない。

【被告の主張】本件決定における引用発明２及び相違点の認定並びに相違点の容易想到性に20ついての判断に誤りはなく、原告らの主張には理由がない。
４

取消事由４（引用文献３を主引用例とする本件発明の進歩性の判断の誤り）について【原告らの主張】(1) 引用発明３の認定の誤り
25

特許法２９条１項３号の「刊行物に記載された発明」は、当該刊行物の記載から抽出し得る具体的な技術的思想でなければならない。また、刊行物に物

16

の発明が記載されているといえるためには、刊行物の記載及び本件特許の出願時の技術常識に基づいて、当業者がその物を作れることが必要である。引
用文献３は、配向カーボンナノチューブシートをペリクル膜として利用する
アイデアを提示するものにすぎず、配向カーボンナノチューブシートが、Ｅ
5ＵＶ用ペリクル膜として実用に耐える性能（機械的強度、ＥＵＶ耐性、サイズ等）を有することは、記載されていない。
本件特許出願日において、ＳＷ－ＣＮＴ（単層ＣＮＴ）の自立膜を形成する
ことは知られていたが（甲１８）、これには、触媒鉄粒子が含まれており、Ｅ
ＵＶ用のマスクペリクルとしては使用できない。結局、引用文献３には、「マ10スクペリクルとして配置される、配向したカーボンナノチューブシートを含む自立型の光学素子」を満たす発明を当業者が作れるように記載されているとはいえないから、そこに特許法２９条１項３号の「刊行物に記載された発明」が記載されているとはいえない。
これを前提とすると、引用文献３記載の発明は、①本件発明１の「支持枠の15

開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、前記ペリクル膜は、厚さが２００ｎｍ以下であり、前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートの自立膜であり」（構成１Ａ）という構成を備えない点で本件発明１と相違し、②本件発明６の「カーボンナノチューブシートの自立膜であるペリクル膜であって」という構成を備えない点で本件発明６と相違する。

20

これら相違点を看過した本件決定は誤りである。
(2) 容易想到性についての判断の誤り
本件決定の認定する相違点を前提としても、容易想到性の判断には誤りが
ある。
ア

25

本件発明１、６は、所定の要件を満たすバンドル同士が面内配向した状

態で絡み合った網目構造と、ＲＢ０．４以上事項という、本件発明特有の定義による高度な配向性を備えた面内配向を共に備えるＣＮＴ自立膜である

17

ペリクル膜というひとまとまりの構成を有することにより、自立ペリクル
膜としての実用に耐える強度と、高いＥＵＶ透過性とを両立させるという作用効果を奏するものである。
引用発明３は実際に作製されたものではなく、技術常識を踏まえても実
現困難な、引用発明３の自立型の光学素子を構成する配向カーボンナノチ

5ューブシートを出発点として、相違点３Ａと３Ｂ（又は、相違点３Ｃと３Ｄ）に含まれる複数の構成を具備する自立ＣＮＴペリクル膜という構成に到達することは、容易想到とはいえない。
イ10

ＲＢ０．４以上事項は、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば、通常、満たしているといえるとする被告の主張が不当であることは前述のとおりである。

ウ

以上のとおり、本件発明１及び本件発明６は、引用文献３記載の発明及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものではない。
また、本件発明３～５、７～１８は、本件発明１又は本件発明６を引用
15

し、本件発明１又は本件発明６の構成を全て含むものであるから、引用文
献３記載の発明及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものではない。
【被告の主張】(1) 引用発明３の認定に誤りがないことについて

20

引用文献３には、「リソグラフィ装置内のマスクペリクルとして配置される光学素子」（【００８５】）が、①約２０～５００ｎｍの範囲内の素子厚さを有すること（【００６４】）、②カーボンナノチューブシートを含むこと（【００６１】）、③当該カーボンナノチューブシートは、カーボンナノチュ
ーブシートの表面と実質的に平行にカーボンナノチューブが配向したもので25あること（【００６１】）、④自立型であること（【００６７】）、⑤リソグ
ラフィ装置内のマスクペリクルとして配置されること（【００８５】）、が開18

示されている。また、本件出願当時、膜厚が４０、８０、１２０、１６０及び２００ｎｍの自立膜を構成するＳＷＣＮＴ薄膜それ自体は、甲１８に記載されており、この文献は、技術常識に属するものであった。そうすると、当業者は、これらの技術的事項について、上記した引用文献３の記載のみならず、上5

記技術常識に属する自立膜を構成するＳＷＣＮＴ膜をも踏まえて認識、理解
するといえるところ、具体的には、引用発明３に係る光学素子が、サポートや支持がされなくても存在するカーボンナノチューブシートから構成されていることを、上記技術常識に属する自立膜を踏まえて認識、理解するといえる。
引用文献３には、引用発明３に係る光学素子の構造が、本件出願当時の技

10

術常識を前提にして、当業者に理解可能な程度に明らかになっていたといえるから、引用文献３には、本件発明１と対比可能な程度に技術的事項が開示されていたものである。
(2) 容易想到性の判断に誤りがないことについてア

引用発明３の「カーボンナノチューブシート」に係るＣＮＴはＳＷＣＮ

Ｔでよい（【００２３】）ところ、相違点３Ｂに係るＳＷＣＮＴの径は通常15のものである。
イ

ＳＷＣＮＴは、通常、バンドルを形成するところ、引用発明３のＣＮＴは表面と実質的に平行に配向していることから、ＳＷＣＮＴバンドルの径は、膜厚（５００ｎｍ以下）と比べて同程度以下となる。そして、引用文献３に

20

はＥＵＶ放射の透過率がカーボンナノチューブシートのシート厚さに依存することが記載されている（【００６５】）ことから、引用発明３において、
ＥＵＶ放射の透過率を高めるべく、カーボンナノチューブシートの膜厚を小さくするのは技術の通常の方向性といえるところ、そうであれば、当該膜厚を小さくしつつ、その結果、バンドル径も通常存在するようなものと25

することは、当業者にとって容易である。
ウ 「カーボンナノチューブシート」を製造するに当たって、ＣＮＴに特段の19

配向秩序が与えられないようにすることは通常なされていたことであるか
ら、引用発明３の「カーボンナノチューブシート」を同様に構成することは当業者が適宜なし得たことであり、そのようにしたことにより、当該「カーボンナノチューブシート」は、通常存在するような、ＳＷＣＮＴ同士が絡み合った網目構造を有していることになる。

5エＲＢ０．４以上事項は、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば、通常、満たしているといえるものであることは前述のとおりである。
ペリクル膜の厚さを薄くすることでＥＵＶ放射の透過率を高めることは技術の通常の方向性であり、面内配向膜である引用発明３のペリクル膜において膜厚を２００ｎｍ以下にまで小さくしつつ、その結果、バンドル径10を通常存在する１００ｎｍ以下とするように構成すれば、ＲＢ０．４以上事項を満たすことになる。
オ

相違点３Ａ及び３Ｂに係る本件発明１の構成は、引用発明３に係る「約２０～５００ｎｍの範囲内の素子厚さ」を有する「自立型」の「光学素子」を構成する「配向したカーボンナノチューブシート」において、通常のＳＷ

15ＣＮＴを用いるとともに、膜厚を技術の通常の方向性に従って薄くし、さらに、通常行われるようなＣＮＴに特段の配向制御が与えられないプロセスを用いれば、満たされてしまうようなものにすぎず、当業者が容易に想到できたものである。
20

５

取消事由５（本件発明１、３～５、１３～１８と拡大先願に係る発明との同一性に関する判断の誤り）について【原告らの主張】(1) 先願１は、「ＥＵＶＬでの使用に適したペリクルを可能にする極端紫外線
リソグラフィレチクルのためのペリクル膜を提供する」ものであり、加圧に25よる結合（ｂｏｎｄｉｎｇ）は、ＣＮＴ間の引力（ファンデルワールス力）よりも大きいこと、加圧による結合により膜が強化されることが記載されてお20

り、「オーバーラップしたＣＮＴ又は交差するＣＮＴを、２つの加圧面の間で加圧することで共に結合し、これにより自立型ＣＮＴペリクル膜を形成する」
ものである。この点は、先願１に記載された発明における課題解決手段の中核をなすものであるから、これを含めて先願１に記載された発明を認定すべ5きである。
そうすると、本件発明１は、所定の要件を満たすバンドル同士が面内配向した状態で絡み合った網目構造と、ＲＢ０．４以上事項を満たす高度な配向性を備えた面内配向とを備えた、厚さが２００ｎｍ以下のカーボンナノチュー
ブシートの自立膜であるペリクル膜（構成１Ａ）であるのに対して、先願１記

10載の発明は、バンドル同士が絡み合った網目構造の形成により自立型ＣＮＴ
ペリクル膜としたものではなく、「２つの加圧面の間で加圧することで、オーバーラップしたＣＮＴまたは交差するＣＮＴが共に結合し、これにより自立型ＣＮＴペリクル膜としたもの」である点で両者は相違することになる。
なお、先願１記載の発明は、加圧による結合により強化した膜であり、結合15

した点は固定化されるため、シートに応力が加わった際に、応力を分散させることができないのに対し、本件発明１は、「バンドル同士が絡み合った網目構造」を有することにより、「シートに応力が加わった際に、応力を分散させると同時に、バンドルの変形やバンドルの並進運動を抑制することができる
ため、自立膜に応力を加えても網目構造および自立膜形状を保つことができ20る。」という効果を奏する。よって、上記相違点は実質的なものである。
(2) 先願１にも、ＲＢ０．４以上事項の記載はないところ、これは実質的な相違点であるのに、本件決定ではこの相違点を看過した。
(3) 以上のとおり、本件発明１は先願１に記載された発明と同一でなく、本件発明１を引用する本件発明３～５、１３～１８についても同様である。

25【被告の主張】(1) 原告らは、「オーバーラップしたＣＮＴまたは交差するＣＮＴを、２つの21

加圧面の間で加圧することで共に結合し、これにより自立型ＣＮＴペリクル
膜を形成する」という構成は、先願１に記載された発明における課題解決手
段の中核をなすものであるから、これを含めて先願発明を認定すべきである
旨主張する。
5

しかし、本件決定は、加圧面間で少なくとも１つの「ＣＮＴフィルム」を加圧することによって形成された「自立型ＣＮＴペリクル膜１０２」を先願発明Ａとして認定したところ、さらに、加圧前の当該「ＣＮＴフィルム」が、Ｃ
ＮＴの束から形成されたメッシュ（すなわち網目状）、ウェブ、グリッド（すなわち格子状）などのＣＮＴの接続された配置であることをも認定している10のであるから、先願発明Ａの加圧前の当該「ＣＮＴフィルム」は、実質的には、ＣＮＴの束が交差又はオーバーラップして配置されたものである。
一方、先願発明Ａでは、化学結合が存在するが、加圧により、交差又はオー
バーラップしたＣＮＴの束のうち、あらゆるものが共に結合するとは考えに
くく、交差又はオーバーラップしたＣＮＴの束が、共に結合されることなく、

15

そのまま残っていることが想定されている。
このようにそのまま残ったＣＮＴの束は、ＣＮＴが、通常、アスペクト比が非常に高く柔軟性に優れていることに加えて、先願１の図１からも明らかなとおり、加圧前の「ＣＮＴフィルム」を製造するのに、特段の配向秩序が与えられているとは解されないことから、絡み合った網目構造を備えているとい20える。
したがって、先願発明Ａに係る自立型カーボンナノチューブペリクル膜は、ＣＮＴの束が絡み合った網目構造を有するのであり、また、当業者はそのように認識するといえる。
なお、本件発明１の１Ｅ「前記カーボンナノチューブシートは、面内配向し25

た前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し」は、「絡み合った網目構造」を含んでいればよく、これに加えて、化学的な結合構造を含んでいる態様

22

を排除するものではない。
(2) 原告らは、ＲＢ０．４以上事項の有無は実質的な相違点である旨主張するが、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートがＲＢ０．４以上事項を満たすことは上述のとおりであり、本件発明１との間に実質的な相違点はない。
(3) よって、本件決定がした先願発明Ａの認定、本件発明１と先願発明Ａとの5一致点及び相違点の認定に誤りはない。また、本件発明３～５及び１３～１
８と先願発明Ａ～Ｅについても事情は同じである。
第４ 当裁判所の判断
１
10

取消事由１、２（引用文献１に基づく新規性、進歩性の判断の誤り）について原告らが取消事由１、２を通じて主張するところの眼目は、①引用文献１には「自立ＣＮＴペリクル膜」の発明が記載されているとはいえない、②引用発明
１には本件発明のＲＢ０．４以上事項の記載がないところ、これらに係る本件発明１との相違点は実質的なものであり、かつ、引用発明１にＲＢ０．４以上事項を持ち込むことは容易想到ともいえないという２点に集約される。

15

当裁判所は、①に係る原告らの主張は採用できないが、②の主張は理由があるものと判断する。以下に詳説する。
(1) 引用文献１（甲１）の記載事項
引用文献１には以下の開示があるものと認められる。
ア

本発明は、保護膜として用いられる新規ペリクル膜を用いたＥＵＶリソ

グラフィーイメージングに関するものである（１頁タイトル、要約）。

20

イ

反射型マスクでは、露光パワーはペリクルを２回通過すると減少する（１
頁下から２～１行）。
ＥＵＶペリクルとしては、高い平均透過率と良好な透過均一性、高温負荷に耐え得ることが求められる（２頁１８～２９行）。

25

ウ

新規な低密度ベースのペリクルとして、ＳｉＮＸプロセスフローのカーボ
ンナノ材料(ＣＮＭ)の統合に基づくものがある（７頁下から４～１行）。

23

シリコンウェハの両側に、ＳｉＮＸの層を形成し、裏面は、四角形でパターン化されている。対象のカーボンナノ材料が試料の表側に堆積された後、シリコンを除去するために、裏面はＫＯＨ液でエッチング処理するが、同処理は試料の表面のＳｉＮＸ層で選択的に止まる。その結果、独立したＳｉ
ＮＸ/ＣＮＭ膜が作製される。

5

ＣＮＴ膜は、多層ＣＮＴ粉末をパラフィンワックス溶液中に分散させ溶液をＳｉＮＸ上にスピンコート又はスプレーコートすることによって堆積された（８頁１～１５行）。
エ

ＣＮＴ膜は約９５％の透過率を達成することができた。そのＳＥＭ像は約５０ｎｍの厚さを示すが、ナノチューブの配置によって局所的な厚さの10ばらつきが大きい。ナノチューブ直径は～１５ｎｍである。多層ナノチューブであり、ナノチューブ層が３～４層からなることが示唆される（９頁
９～２４行）。
オ

安定した自立型ＣＮＴ膜の製造が実際に可能なことが報告されている（甲１８）（９頁下から４行～１０頁２行）。

15

カ

ＣＮＴの複雑なネットワークを平面内に位置する平行な管の集合に簡略化したペリクルモデル（２層から１０層）を用い、管の直径や間隔を変えて計算することができた（１０頁５～８行）。

キ

このコーティング被膜は、ＳｉＮｘを除去した後、完全に自立しているかもしれない（may be fully freestanding）（１２頁７～８行）。（注・

20

下線は原告の訳文。本件決定の訳文は「完全に自立していることができる。」）
ク

図１４には、ＥＵＶ＋Ｈ２においてカーボンナノチューブを保護するＭｏ
でのＰＶＤコーティング（同（ａ））、ＲｕでのＡＬＤコーティングの模式図（同（ｂ））が示され、後者は自立していることが把握される。

24

図１４．ＥＵＶ＋Ｈ２においてカーボンナノチューブを保護する２種類のコーティング
手法の模式図。（ａ）ＭｏでのＰＶＤコーティング、（ｂ）ＲｕでのＡＬＤコーティン
グ。両方の場合とも、実験の堆積結果のＳＥＭ写真が右側に示されている。
5(2) 引用文献１には「自立ＣＮＴペリクル膜」の記載があるか
上記(1)のとおり、引用文献１には、ＳｉＮｘの影響を差し引いたＣＮＴ膜
単体での透過率の計算がなされていること（９頁９～２４行、図１０）、Ｒｕ
コーティングされたＣＮＴ膜を作成した例（図１４（ｂ））において背面Ｓｉ
10

Ｎ膜をエッチング除去し自立膜とする技術も記載されていること、ＣＮＴ自立膜自体は甲１８等に記載された周知の技術であることに照らすと、上記(1)キの疑義のある記載の解釈に立ち入るまでもなく、当業者は、引用文献１からＣＮＴ自立膜の構成を認識することができるといえる。
原告らは、甲１８記載の技術と引用文献１記載の技術とでは、自立膜の作

15

製方法が異なる旨主張するが、引用発明１は物に係る発明であるから、その発明の新規性、進歩性に影響を及ぼすものとはいえない。
(3) ＲＢ０．４以上事項の有無は実質的相違点か
ア

本件決定が認定した本件発明１と引用発明１の相違点１Ａ（別紙３「本件決定の理由」１(2)アの[相違点１Ａ]）の中には「引用発明１ではＲＢ０．

25

４以上事項の構成が明らかでない」点が含まれているところ、本件決定は、
このＲＢ０．４以上事項の有無に係る相違点は実質的な相違点ではないと判断した。
イ

しかし、引用文献１には、ＲＢの数値を特定する記載は一切なく、その示唆もない。また、ＣＮＴ膜の面内配向性をＲＢによって特定すること自体も、

5

引用文献１その他の出願時の文献に記載されていたと認めることはできず、技術常識であったということもできない。
ウ

本件決定の上記アの判断は、ＲＢの値が、０．４０以上では面内配向しており、０．４０未満では面内配向していないことを表す旨の本件明細書等10の記載（【０１０４】）から、本件発明１のＲＢ０．４以上事項が、ＣＮＴのバンドルが面内配向していることを特定するものであり、引用発明１は面内配向しているものを想定しているから、ＲＢ０．４以上事項を満たすことになるとの理解に基づくものと解される。
しかし、本件発明１の特許請求の範囲に照らすと、ＣＮＴバンドルが面15内配向しているという定性的構成（構成１Ｃ）と、ＲＢ０．４以上事項というパラメータによる定量的構成（構成１Ｄ）は独立の構成となっており、本件明細書の【０１０４】等の記載を踏まえても、引用発明１のＣＮＴバンド
ルが面内配向の特性を有しているからといって、ＲＢ０．４以上事項を当然に満たすと判断することはできない。

20

エ

被告は、通常の発想のもとで、通常の性状のＳＷＣＮＴ及び通常用いられるプロセスで製造された薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば、膜厚、バンドル径及び自立性のいずれの観点においても、本件明細書等における比較例１よりは実施例１に相当程度似通っているといえる上、比較例
１のＲＢの値（０．３５３）がＲＢ０．４以上事項の下限である０．４に相25当程度近いこと等を考慮すれば、比較例１よりも実施例１に相当程度似通っている薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば、ＲＢ０．４以上事項を26

満たしている旨主張する。
しかし、被告の主張する「通常の発想のもとで、通常の性状のＳＷＣＮＴ
及び通常用いられるプロセスで製造された」との薄膜自立無秩序ＳＷＣＮ
Ｔシートの製造方法や、当該薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートの「膜厚、バ5ンドル径及び自立性」について具体的に特定する主張立証はされておらず、したがって、「比較例１よりも実施例１に相当程度似通っている薄膜自立
無秩序ＳＷＣＮＴシート」の内容も明らかではないというよりほかない。
かえって、原告ら提出に係る甲４０によれば、原告らが引用文献２記載の方法で作製したＣＮＴ自立膜（サンプル１、２）ではそれぞれＲＢが－０．

10

３８、－０．２６であったのに対し、本件発明の完成当時に製造されたＣＮＴ自立膜では１．０４だったのであり、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシート
であれば、ＲＢ０．４以上事項を満たしているともいえない。
被告は、甲４０について、①ＲＢ測定サンプルの保管が実際にどのような条件で行われていたか確認できず、サンプルの実在も確認できない、②本

15

件明細書等に記載された実施例及び比較例と実験条件が異なる、③当該各ＲＢ測定サンプルは、特性が位置的にみて不均一となっている、④ＲＢ０．
４以上事項を満たさないとされるサンプル１、２は一部破損がみられるか
ら自立膜とみられないなどと論難するが、①については、サンプル１、２は
平成２９年４月の開発時に作製したものと推認され、②については、甲４20０は、「面内配向していてＲＢが０．４未満の膜が存在するかどうか」の点を検証する実験であるから本件明細書等の実施例及び比較例の条件によらねばならないものではない。また、③については、もともとＲＢの測定方法
は局所的な断面に対するものであり、ＲＢ０．４以上事項は、少なくとも一つの断面で０．４未満以上となることを意味するのであるから、被告主張

25の点をもって甲４０に基づく上記判断は左右されない。さらに、④については、甲４０では、サンプル１、２について製造過程で一部破損があったと

27

しても、自立膜となったものを測定しているのであるから、やはり被告の主張は採用できない。
(4) 以上のとおりであって、本件決定には、ＲＢ０．４以上事項を含む相違点１
Ａが実質的なものであることを看過し、引用発明１に基づき本件発明１、３～５が新規性を欠くとした誤りがあり、取消事由１は理由がある。

5２

取消事由２（引用文献１を主引用例とする進歩性の判断の誤り）について(1) 本件決定が認定した本件発明１と引用発明１との相違点１Ａ及び本件発明
６と引用発明１との相違点６ＡにはＲＢ０．４以上事項の有無が含まれるところ、引用文献１には、ＲＢの数値を特定する記載は一切なく、その示唆もない
こと、ＣＮＴ膜の面内配向性をＲＢによって特定すること自体も、引用文献１

10

その他の出願時の文献に記載されていたと認めることはできず、技術常識であったということもできないこと、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれ
ば通常ＲＢ０．４以上事項を満たしているとの被告の主張が採用できないことは前述のとおりである。
(2) そうすると、他に副引用例が提出されているわけでもない本件において、

15

当業者が相違点１Ａに係る本件発明１の構成又は相違点６Ａに係る本件発明
６の構成を容易に想到することができたとはいえず、引用発明１に基づき本
件発明１及び本件発明６の進歩性を否定した本件決定の判断には誤りがある。
本件発明３～５、７～１８は、本件発明１又は本件発明６を引用し、本件発明１又は本件発明６の構成を全て含むものであるから、引用発明１に基づき

20

本件発明３～５、７～１８の進歩性を否定した本件決定の判断には誤りがある。
よって、取消事由２は理由がある。
３
25

取消事由３（引用文献２を主引用例とする進歩性の判断の誤り）について(1) 引用文献２（甲２）の記載事項
引用文献２には、以下の開示があるものと認められる。

28

ア

本発明は、詳しくは、従来にない高純度化、高比表面積化、ラージスケー
ル化、パターニング化を達成したカーボンナノチューブ及び配向単層カー
ボンナノチューブ・パルク構造体並びにそれらの製造方法。装置及び応用に関する（１頁４～９行）。

5イ

ＣＮＴの製造方法として、炭素源となる化合物を高温で触媒となる金属微粒子と接触させるとＣＮＴが成長するという化学気相成長（ＣＶＤ）がある｡金属微粒子は基板上に配置するため、基板面に垂直に配向したＣＮＴが成長する（１頁１４～２２行）。

ウ

従来の技術には、不純物を除く精製中に無秩序・無配向のバルク構造体を形成してしまうため垂直配向した単層カーボンナノチューブのバルク構

10造体が得られていないという問題があった（３頁１５～２６行）。
エ本発明は、反応系に金属触媒を存在させ、かつ反応雰囲気に酸化剤を添加することを特徴とする（２１頁２０～２２行）。

オ

本発明に係る配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体は、配向した単層カーボンナノチューブが複数本集まったものであり、基板上に垂直15配向したものとすることができ、高純度で、ラージスケール化されたものである（２６頁１０～２５行）。
カ

バルク構造体の応用例としては、電子部品、電気製品、光学製品及び機械部品等の種々の物品の放熱体として利用される放熱体（３７頁１５行～３20

８頁１行、図１７）、伝熱体（３８頁２～１１行、図１８）、光学素子（３９頁３～１８行、図２０）がある。

29

(2) 以上を前提に、引用発明２の認定の誤り、相違点の認定の誤りについて検討する。
上記(1)カによれば、引用文献２記載の放熱体は、「光学製品」等の他の物5品で発した熱を「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」が放熱するものであり（３７頁２８行～３８頁１行）、ここでいう「光学製品」と「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」は別個の物品である。
ところが、本件決定は、引用発明２を、「配向単層カーボンナノチューブ・
バルク構造体を用いた光学製品である放熱シート」とし、「配向単層カーボン

10

ナノチューブ・バルク構造体」自体が「光学製品」であるという前提で引用発明２の認定をしており、同認定は誤りである。
そして、この誤った認定は、相違点２Ａ及び相違点２Ｈ（引用発明２は「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体を用いた光学製品である放熱シート」であるとの点）の認定にもそのまま反映されている。
この認定の誤りは、引用発明２の技術分野、基本的な技術的意義に関わっ

15てくるものであって、決定の結論に影響を及ぼすものである。
(3) 次に、容易想到性の判断について検討する。
ア

相違点２Ａ及び相違点２Ｈについて
引用文献２に記載された発明においては、熱を発生する物品（光学製品30等）と、その熱を放熱する「放熱体」とが別個のものとして存在する。一方、
本件発明１における「カーボンナノチューブシートの自立膜」である「ペリクル膜」は、引用文献２でいう「熱を発生する物品（光学製品等）」であり「放熱体」に該当するものではない。
したがって、引用発明２における「配向単層カーボンナノチューブ・バル

5ク構造体」を「放熱体」に該当しないペリクル膜として適用するということ
は、引用文献２の記載から離れた適用であり、論理付けが成立しない。また、引用文献２にはペリクル膜の例示はなく、その示唆もない。
よって、引用発明２について相違点２Ａに係る本件発明１の構成とする
こと、相違点２Ｈに係る本件発明６の構成とすることは、当業者が容易に10なし得たことではない。
イ

相違点２Ｄ及び相違点２Ｇについて
引用文献２の「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」は、垂直に起立した複数のＣＮＴの集合体からなるものである（上記(1)イ、オ）。

15

したがって、当該構造体におけるＣＮＴ同士がバンドルを形成したとしても、バンドル自体が絡み合いを有し、その結果「網目構造」を形成するという形態に至ることは想定されていない。
仮にバンドル同士が絡み合い「網目構造」を有する状態に至ったとすれ
ば、そのような状態の構造は、もはや「配向単層カーボンナノチューブ・バ

20

ルク構造体」ではなくなり、垂直配向した単層カーボンナノチューブのバ
ルク構造体を得るという引用文献２記載の課題にも反するから、そのような適用には阻害要因が存在する。
(4) 以上のとおりであって、本件決定は引用発明２及び相違点２Ａの認定、相違点２Ａ及び相違点２Ｈ並びに相違点２Ｄ及び相違点２Ｇの容易想到性の判

25

断に誤りがあるから、引用発明２に基づき本件発明１及び本件発明６の進歩性を否定した本件決定の判断には誤りがある。

31

また、本件発明３～５、７～１８は、本件発明１又は本件発明６を引用し、
本件発明１又は本件発明６の構成を全て含むものであるから、引用発明２に基づき本件発明３～５、７～１８の進歩性を否定した本件決定の判断には誤りがある。
よって、取消事由３は理由がある。

5

４

取消事由４（引用文献３を主引用例とする本件発明の進歩性の判断の誤り）について
原告らは、取消事由４として、①引用文献３の認定の誤り、②引用発明３に基づく容易想到性についての判断の誤りを主張するところ、以下に述べるとおり、

10

当裁判所は、①に係る原告らの主張は採用できないが、②の主張は理由がある
ものと判断する。
(1) 引用文献３（甲３）の記載事項
引用文献３には、以下の開示があるものと認められる。
ア

本発明は、リソグラフィ装置用の光学素子、かかる光学素子を含むリソ

グラフィ装置、さらに、かかる光学素子を製造する方法に関する（【０００

15

２】）。
イ

極端紫外線（ＥＵＶ）源は、スズ（Ｓｎ）等の蒸気を使用してＥＵＶ放射を生成することになるが、スズがリソグラフィ装置内に漏洩して、リソグ
ラフィ装置内のミラー上に一定程度を超えて堆積すると、バルクＳｎと同じようにＥＵＶ放射を反射し、コレクタの透過は全体として著しく減少さ20

れる（【０００６】）。
ウ

そこで、本発明の光学素子（【００６１】）は、約２０～５００ｎｍの範囲内の素子厚さを有し、ＥＵＶ垂直照射下で少なくとも約２０％の透過を有するものとし（請求項１、【００１０】、【００６４】）、好適にはシー25トの表面と実質的に平行したナノチューブを含み（【００６１】）、強度があることによりサポートが必ずしも必要でなく、自立型であり（【００１32

１】、【００６７】）、マスペリクルとして配置され（【００８５】）、Ｅ
ＵＶ透明材料層を含み、ＥＵＶ透明材料層及びナノチューブシートはラミ
ネートを形成し（【００６８】）、ＥＵＶ透明材料層は、Ｂｅ、Ｂ、Ｃ、Ｓ
ｉ、Ｐ、Ｓ、Ｋ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｓｒ、Ｒｂ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ａｇ、Ｂａ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｉｒ、Ａｕ、Ｐａ、及びＵからなる

5

群から選択される１つ以上の元素、さらに特にＢ、Ｃ、Ｓｉ、Ｓｒ、Ｓｃ、
Ｒｕ、Ｍｏ、Ｙ、およびＺｒ、よりさらに特にＺｒを含み得るものとし（【００６９】）、任意選択的なホルダによって囲まれている（【００６３】）も
のとした。
10

エ

引用発明３の配向カーボンナノチューブシートは、自立的であることにより良好、均一な透過が可能となり（【００６７】）、マスクペリクルとして配置されるので、デブリがターゲットに到達することをさらに減少し、マスク上流部分内へと不所望の成分が流入することを減少しうる（【００３１】、【００８５】）。

15(2) 原告らは、引用文献３には、ＥＵＶ用ペリクル膜として実用に耐える性能の配向したカーボンナノチューブシートは示されておらず、マスクペリクル
として配置される、配向したカーボンナノチューブシートを含む自立型の光学素子」を満たす発明を当業者が作れるように記載されているとはいえないから、特許法２９条１項３号の「刊行物に記載された発明」が記載されている

20とはいえない旨主張する。
しかし、当業者は、引用発明３に係る光学素子を、技術常識に属する自立膜を構成するＳＷＣＮＴ膜（甲１８）をも踏まえて認識、理解するところ、当該膜は引用発明３でいう「マスクペリクル」として使用できる「配向カーボンナ
ノチューブシート」に該当するのであるから、引用文献３の記載及び技術常25

識に照らして、ペリクル膜として使用できる自立型の「配向カーボンナノチ
ューブシート」の作製方法を理解できると解され、引用文献３に「刊行物に記33

載された発明」が記載されていないとはいえない。
原告らは、甲１８のＳＷＣＮＴの自立膜は触媒鉄粒子が含まれ、ＥＵＶ用ペリクルとしての実用に耐える性能を有しない旨主張するが、実用に耐えるものであるか否かは本件特許請求の範囲に直接特定された事項ではなく、原5

告らの主張は対比に必要な限度を超えた事項を要求するものであるし、鉄触媒粒子がＥＵＶ光を吸収する不純物となるのであれば、当業者は適宜これを除去した態様として引用発明３を理解するものといえるから（乙１６～１８）、
原告らの主張は採用できない。
よって、引用発明３の認定に誤りがあるとの原告らの主張は採用できない。

10(3) 次に、引用文献３に基づく容易想到性について検討する。
本件決定が認定した本件発明１と引用発明３との相違点３Ａ及び本件発明
６と引用発明３との相違点３ＤにはＲＢ０．４以上事項の有無が含まれるところ、引用文献３には、ＲＢの数値を特定する記載は一切なく、その示唆もない。
ＣＮＴ膜の面内配向性をＲＢによって特定すること自体も、引用文献３その15

他の出願時の文献に記載されていたと認めることはできず、技術常識であったということもできないこと、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば通常ＲＢ０．４以上事項を満たしているとの被告の主張が採用できないことは前述のとおりである。
被告は、面内配向膜である引用発明３のペリクル膜において膜厚を２００20ｎｍ以下にまで小さくしつつ、バンドル径を通常存在する１００ｎｍ以下とするように構成すれば、ＲＢ０．４以上事項を満たすことになる旨主張するが、上記被告の主張は、膜厚及びバンドル径の上限値とＲＢの数値の関係を定量的に特定するものではなく、膜厚２００ｎｍ以下でバンドル径が１００ｎｍ以下であるカーボンナノチューブの面内配向膜であっても、ＲＢが０．４以上で25はない膜も存在する（甲４０）ことに照らすと、被告主張のとおり構成することで、引用発明３がＲＢ０．４以上事項を満たすことになるとはいえない。

34

(4) そうすると、当業者が相違点３Ａに係る本件発明１の構成又は相違点３Ｄに係る本件発明６の構成を容易に想到することができたとはいえず、引用発
明３に基づき本件発明１及び本件発明６の進歩性を否定した本件決定の判断には誤りがある。
本件発明３～５、７～１８は、本件発明１又は本件発明６を引用し、本件発5

明１又は本件発明６の構成を全て含むものであるから、引用発明３に基づき本件発明３～５、７～１８の進歩性を否定した本件決定の判断には誤りがある。
よって、取消事由４は理由がある。
10

５

取消事由５（本件発明１、３～５、１３～１８と拡大先願に係る発明との同一性に関する判断の誤り）について
原告らは、取消事由５として、①自立型ペリクル膜の形成が加圧結合によるものか（先願発明Ａ）、網目構造によるものか（本件発明１）という先願１の課
題解決の中核をなす構成に係る相違点の看過、②ＲＢ０．４以上事項の有無を実15

質的な相違点と認めなかった判断の誤りを主張するところ、以下に述べるとおり、当裁判所は、①に係る原告らの主張は採用できないが、②の主張は理由があるものと判断する。
(1) 先願１（甲１９）の記載事項
先願１には、以下の開示があるものと認められる。

20

ア

本発明は、極端紫外線リソグラフィレチクルのためのカーボンナノチュ

ーブペリクル膜を形成する方法、極端紫外線リソグラフィのためのペリクルを形成する方法、及び極端紫外線リソグラフィのためのレチクルシステ
ムを形成する方法に関する（【０００１】）。
イ25

従来のリソグラフィでは、ペリクルが一般にレチクルの上に配置されて、ハンドリング及び露光などの間のレチクルの汚染から保護する（【０００
３】）。

35

しかし、従来の深紫外線（ＤＵＶ）ペリクルは、極端紫外線光の過吸収を呈し、極端紫外線の高いエネルギーは、ペリクル膜の材料を損傷する傾向があるという問題があった（【０００５】）。
本発明は、ＥＵＶＬでの使用に適したペリクルを可能にする極端紫外線
リソグラフィレチクルのためのペリクル膜を提供することを目的とする

5（【０００６】）。
ウ

本発明は、オーバーラップしたＣＮＴフィルムを加圧することによって、強化された膜を形成する（【０００７】、【００１３】、【００８９】）。

エ

本出願の文脈内では、“ＣＮＴフィルム”という用語は、個々のＣＮＴま
たはＣＮＴの束から形成されたメッシュ、ウェブ、グリッドなどのＣＮＴ10の接続された配置を指すことができることに留意されたい。各ＣＮＴフィルムの個々のＣＮＴ（単層壁ＣＮＴまたは多層壁ＣＮＴ、ＭＷＣＮＴ）は、整列されて束を形成することができる。整列したＣＮＴのこのような束は、
ＣＮＴフィルムの製造中に自発的に形成される傾向がある。したがって、
オーバーラップするＣＮＴ同士を結合することは、オーバーラップする

15

個々のＣＮＴまたはオーバーラップするＣＮＴ束を共に結合することを含
むことができる（【００１０】）。
ＣＮＴフィルムのＣＮＴまたはＣＮＴ束は、ＣＮＴフィルム内にランダムに配置されることができる。しかしながら、ＣＮＴフィルムのＣＮＴま
たはＣＮＴ束は、重要または主な方向に沿って、または複数の主方向に沿20って配置または整列されてもよい（【００１１】）。
オ

本発明は、自立型ＣＮＴペリクル膜によって比較的高い機械的強度と低いＥＵＶ光吸収を示す自立型ＣＮＴペリクル膜を形成し、その粒子遮断または保護特性及び耐薬品性は、オーバーラップしたＣＮＴ間の結合によって高められる（【００２２】）。

25

カ

複数の個々のＣＮＴが束（すなわち、糸またはロープ様構造）を形成する

36という意味で、ＣＮＴは、ＣＮＴフィルム１０４内に束ねられることもでき、これは、ＣＮＴフィルムが、整列した網を形成する複数の束、またはランダムに配向されたＣＮＴ束から形成される。したがって、図１に示す各要素１１０は、代替的に、ＣＮＴ束を指してもよい。ＣＮＴ束１１０は、例
5

えば、２～２０個の個々のＣＮＴを含むことができる（【００８０】）。

【図１】(2) 加圧結合か網目構造かの相違点について
10

原告らは、本件決定が、先願１に記載された課題解決の中核をなす「オーバーラップしたＣＮＴ又は交差するＣＮＴを、２つの加圧面の間で加圧することで共に結合し、これにより自立型ＣＮＴペリクル膜を形成するものである」
構成を先願発明に含めなかったことが不当である旨主張する。

37しかし、上記(1)エ、カ（図１）に照らすと、先願発明Ａも、本件発明１と同様、「面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造」（構成１Ｇ）
を備えているものと認められる。先願発明ＡのＣＮＴの束では化学結合が生じているとしても、本件発明１の構成１Ｇは、化学結合を含むバンドル同士
5が絡み合う態様を排除するものとはいえない。加圧結合か網目構造かの相違点の看過をいう原告らの主張は、ＣＮＴの加圧結合による自立型ＣＮＴペリ
クル膜の形成（先願１）と、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造によるペリクル膜の形成（本件発明１）を択一関係のように理解するものであるが、その前提において失当である。

10(3) ＲＢ０．４以上事項に係る相違点について
本件決定は、本願発明Ａの「ＣＮＴフィルムのＣＮＴまたはＣＮＴ束は、重要または主な方向に沿って、または複数の主方向に沿って配置または整列され」は、本件発明１のＲＢ０．４以上事項に相当すると判断したが、先願１には、ＲＢの数値を特定する記載は一切なく、その示唆もない。ＣＮＴ膜の面内15配向性をＲＢによって特定すること自体も、先願１その他の出願時の文献に記載されていたと認めることはできず、技術常識であったということもできな
いことは前述のとおりであり、本件決定の上記判断は根拠を欠くというべきである。
被告は、先願発明Ａに係る「自立型カーボンナノチューブペリクル膜」は、20

厚さが５～５０ｎｍの範囲であって、０．５～２ｎｍの範囲の直径を有する
ＳＷＣＮＴから形成され、自立するものであり、しかも、加圧前の「ＣＮＴフィルム」を製造するのに、特段の配向秩序が与えられているとは解されないことから、当該「自立型カーボンナノチューブペリクル膜」は、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートに該当し、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば通25

常ＲＢ０．４以上事項を満たしている旨主張する。しかし、被告の主張は、特段の配向秩序が与えられていないカーボンナノチューブ自立膜における厚さ

38

及びＳＷＣＮＴ直径とＲＢとの関係を定量的に特定するものではなく、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば通常ＲＢ０．４以上事項を満たしているとの被告の主張が採用できないことは前述のとおりである。被告の主張は採用できない。
よって、先願発明Ａは本件発明１と同一とはいえない。

5(4) そうすると、先願発明Ａが本件発明１と同一だとした本件決定の判断には誤りがある。
本件発明１を引用する本件発明３～５、１３～１６についても、ＲＢ０．４
以上事項を含む以上、先願発明Ａ～Ｅと同一とはいえず、この点についても本件決定の判断には誤りがある。

10

６

結論
以上のとおり、取消事由１～５はいずれも理由があるから、本件決定中、請求
項１、３～１８に係る部分を取り消すこととし、主文のとおり判断する。
知的財産高等裁判所第４部

15

裁判長裁判官
宮

坂

昌

利

本

吉

弘

行

岩

井

直

幸

裁判官
20

裁判官

39

別紙１ 略語一覧
（略語）

（意味）

・本件特許

：原告らを特許権者とする特許第６７８１８６４号の特許・本件決定：本件特許に係る異議２０２１－７００３６９号事件について特許庁が令和５年３月３０日にした特許取消決定（本件訴訟の対象）

・本件訂正：原告らの令和４年１１月１１日付け訂正請求に係る本件特許の特許請求の範囲の
訂正

・本件発明

：本件特許の請求項１～２３に係る発明の総称（本件訂正後のもの）
ただし、請求項２、１９～２３は削除されている。
請求項の番号に応じ、「本件発明１」等という。

・本件明細書：本件特許に係る明細書・引用発明１：引用文献１（Ｉｖａｎ Ｐｏｌｌｅｎｔｉｅｒ，ｅｔ．ａｌ．
，“ＥＵＶ ｌｉｔ
ｈｏｇｒａｐｈｙ ｉｍａｇｉｎｇ ｕｓｉｎｇ ｎｏｖｅｌ ｐｅｌｌｉｃｌ
ｅ ｍｅｍｂｒａｎｅｓ”，Ｐｒｏｃ．ｏｆ ＳＰＩＥ Ｖｏｌ．９７７６ ９７７
６２０，２０１６年３月１８日、甲１）に記載された発明として本件決定が認定した内容（別紙３の１(1)）

・引用発明２：引用文献２（国際公開第２００６／０１１６５５号）に記載された発明として本件決定が認定した内容（別紙３の３(1)）

・引用発明３：引用文献３（特表２０１１－５３０１８４号公報）に記載された発明として本件決定が認定した内容（別紙３の４(1)）

・先願１：特願２０１８－９３９０９号（特開２０１８－１９４８４０号公報、優先権の主張の基礎とされた出願の番号：１７１７１１７２．４、欧州特許庁）

・先願発明：先願１に記載された発明として本件決定が認定した内容。個別には「先願発明Ａ」～「先願発明Ｅ」という（別紙３の５(1)）
。

・ＲＢ０．４以上事項：本件特許の請求項１、６の（１）として記載された条件式。ただし、本件決定は「ＲＢ０．４０以上事項」と呼称している。
・ＣＮＴ：カーボンナノチューブ

・ＳＷＣＮＴ：単層カーボンナノチューブ

40別紙２ 本件特許の特許請求の範囲の記載（請求項１、６を除く。
）【請求項３】
前記カーボンナノチューブシートに接する保護層をさらに含む
請求項１に記載の露光用ペリクル膜。
【請求項４】
前記保護層は、ＳｉＯｘ（ｘ≦２）
、ＳｉaＮb（ａ／ｂは０．７～１．５）、ＳｉＯＮ、Ｙ2Ｏ3、ＹＮ、
Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｂ４Ｃ、ＳｉＣまたはＲｈからなる群から選択される１つ以上を含む、請求項３に記載の露光用ペリクル膜。
【請求項５】
請求項１、３～４のいずれか一項に記載の露光用ペリクル膜と、前記ペリクル膜を支持する支持枠と、を有するペリクル。
【請求項７】
前記カーボンナノチューブの径に対する長さの比（長さ／径）が、１×１０4 以上１×１０8 以下である、請求項６に記載のペリクル膜。
【請求項８】
カーボンナノチューブシートに接する保護層をさらに含む請求項６に記載のペリクル膜。
【請求項９】
前記保護層は、ＳｉＯx（ｘ≦２）
、ＳｉaＮb（ａ／ｂは０．７～１．５）、ＳｉＯＮ、Ｙ2Ｏ3、ＹＮ、
Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｂ4Ｃ、ＳｉＣまたはＲｈからなる群から選択される１つ以上を含む請求項８に記載のペリクル膜。
【請求項１０】
請求項６～９のいずれか一項に記載のペリクル膜と、前記ペリクル膜を支持する支持枠と、を有するペリクル。
【請求項１１】
請求項６～９のいずれか一項に記載のペリクル膜と、前記ペリクル膜を支持する第１の枠体と、を有するペリクル枠体。
【請求項１２】
請求項１１に記載のペリクル枠体と、
前記ペリクル枠体に接続される第２の枠体と、を有するペリクル。
【請求項１３】41

原版と、前記原版のパターンを有する側の面に装着された請求項５、１０または１２に記載のペリク
ルと、を含む露光原版。
【請求項１４】
請求項１３に記載の露光原版を有する、露光装置。
【請求項１５】
露光光を放出する光源と、請求項１３に記載の露光原版と、前記光源から放出された露光光を前記露光原版に導く光学系と、を有し、前記露光原版は、前記光源から放出された露光光が前記ペリクル膜を透過して前記原版に照射されるように配置されている、露光装置。
【請求項１６】
前記露光光が、ＥＵＶ光である、請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１７】光源から放出された露光光を、
請求項１３に記載の露光原版のペリクル膜を透過させて原版に照射し、前記原版で反射させるステップと、前記原版によって反射された露光光を、前記ペリクル膜を透過させて感応基板に照射することにより、前記感応基板をパターン状に露光するステップと、を有する、半導体装置の製造方法。
【請求項１８】
前記露光光がＥＵＶ光である、請求項１７に記載の半導体装置の製造方法。

42

別紙３ 本件決定の理由
１ 引用発明１に基づく新規性欠如について(1) 引用文献１の記載事項の認定（分説は原告による）
引用文献１には、下記の引用発明１が記載されている。
「１ａ ＥＵＶリソグラフィーイメージングに用いられる支持枠の開口部に張設されたＣＮＴペリクル膜であって、
１ｂ カーボンナノ材料系のペリクルのＣＮＴ膜は、ＳｉＮＸ上にスピンコーティング又はスプ
レーコーティングによって堆積され、１ｃ ＳｉＮｘ膜を除去した後、ＣＮＴペリクル膜は、完全に自立しているものであり、１ｄ ＣＮＴの複雑なネットワークが平面内に位置し、１ｅ ＳＷＣＮＴの径が１～３ｎｍであり、
１ｆ ＣＮＴは、Ｍｏ又はＲｕでコーティングされた、
１ｇ ＣＮＴペリクル膜。
」(2) 本件発明１について
ア 本件発明１と引用発明１の一致点及び相違点について［一致点］「支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、
前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートの自立膜であり、前記カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下である、
露光用ペリクル膜。
」［相違点１Ａ］
カーボンナノチューブシートについて、本件発明１は「前記ペリクル膜は、厚さが２００ｎｍ
以下であり、」「前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、前記カーボンナノチューブシート
中で前記バンドルが面内配向しており、下記条件式（１）を満たし、前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し」「（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシー
トの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナ
ノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比ＲＢが０．４０以上である」のに対し、引用発明１は、そのような構成か明らかでない点。
イ 相違点１Ａが実質的なものであるかについて
相違点１Ａは実質的なものではない。

43

ＲＢ０．４０以上事項は、露光用ペリクル膜のバンドルが面内配向をしていることを特定しているものであるところ、引用発明１の「ＣＮＴ」のバンドルも「複雑なネットワークを平面内に位置し」、面内配向をしている。
(3) 本件発明３－５について
本件発明３－５の発明特定事項は全て引用発明１と一致する。
２ 引用発明１に基づく進歩性欠如について(1) 本件発明１、３－５について
カーボンナノチューブに関する技術において、バンドルが複数のカーボンナノチューブから形成され、バンドルの径が１００ｎｍ以下であるものは周知技術であり、カーボンナノチューブシート
中でバンドルが面内配向し、前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有しているものも周知技術である。
ＲＢ０．４０以上事項は、露光用ペリクル膜のバンドルが面内配向をしていることを特定しているといえる。
ＣＮＴに関する周知技術も参酌して、引用発明１の「ＣＮＴペリクル膜」を相違点１Ａに係る本件発明の構成とすることは、当業者が適宜なし得た設計的事項である。
(2) 本件発明６について
ア 本件発明６と引用発明１の一致点及び相違点について［一致点］「カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であり、カーボンナノチューブシートの自立膜である、ペリクル膜。
」［相違点１Ｂ］
カーボンナノチューブについて、本件発明６は「長さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下であり、」「カーボンナノチューブ中のカーボンの含有量が９８質量パーセント以上である」のに対し、引用発明１は、そのようなものであるのか明らかでない点。
［相違点１Ｃ］
カーボンナノチューブシートについて、本件発明６は「前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下
であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向し、下記条件（１）を満たし、前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有する」、「（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜
厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチュ
ーブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボン
ナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベ44クトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比 ＲＢ
が０．４０以上である。
」のに対し、引用発明１は、そのような構成か明らかでない点。
イ 相違点の容易想到性について(ｱ) カーボンナノチューブの長さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下であり、カーボンナノチューブ中のカーボンの含有量が９８質量パーセント以上であるものは周知技術であり、ペリクル膜には放熱性や耐熱性が求められること、ペリクル膜に用いられるカーボンナノチューブは不純物を少なくすることも周知の課題であるから、引用発明１に上記周知技術を採用することは当業者が適宜なし得た。
(ｲ) 相違点１Ｃは、相違点１Ａと同様に、実質的な相違点ではない。又は、引用発明１に周知技術を採用して、相違点１Ｃに係る本件発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得た。
(3) 本件発明７、本件発明８，９、本件発明１０－１２、本件発明１３－１８について当業者が引用発明１及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができた。
３ 引用発明２に基づく進歩性欠如について(1) 引用文献２の記載事項の認定
引用文献２には、下記の引用発明２が記載されている。
「複数の配向単層力一ボンナノチューブからなり、高さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下であり、純度が９８ｍａｓｓ％以上であり、配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体を用いた光学製品である放熱シート。
」(2) 本件発明１について
ア 本件発明１と引用発明２の一致点及び相違点について［一致点］「カーボンナノチューブシートであり、
前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備える、膜。
」［相違点２Ａ］
本件発明１は「支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜」であって「厚さが２００ｎｍ
以下であ」り、「カーボンナノチューブシートの自立膜であり」のに対し、引用発明２は「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体を用いた光学製品である放熱シート」である点。
［相違点２Ｂ］
バンドルが、本件発明１は「径が１００ｎｍ以下であり」、「カーボンナノチューブシート中で」「面内配向しており、」「（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブ
シートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボ
ンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前45

記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比 ＲＢが０．４０以上である。
」の「条件式（１）を満た」すのに対し、引用発明２はそのようなものか明らかでない点。
［相違点２Ｃ］
カーボンナノチューブの径が、本件発明１は「０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下」であるのに対し、
引用発明２はそのようなものか明らかでない点。
［相違点２Ｄ］
カーボンナノチューブシートについて、本件発明１は「面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し」ているのに対し、引用発明２は、そのような構成か明らかでない点。
イ 相違点の容易想到性について(ｱ) カーボンナノチューブシートを含むペリクル膜として厚さが２００ｎｍ以下のものは、周知技術である。
引用発明２の「放熱シート」は「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体を用いた光学製品であ」り、光学製品である放熱シートの一態様として、カーボンナノチューブを含むペリクル膜は、一般的に知られている。
ペリクル膜は支持枠に開口部に張設されることは、技術常識であり、カーボンナノチューブ
シートを自立膜とすることも、周知技術である。
そうすると、引用発明２に周知技術を採用して、相違点２Ａに係る本件発明１の構成とする
ことは、当業者が容易に想到し得た。
(ｲ) 引用発明２に周知技術を採用して、相違点２Ｂ～２Ｄに係る本件発明１の構成とすることは、当業者が容易に想到し得た。
(3) 本件発明６について
ア 本件発明６と引用発明２の一致点及び相違点について［一致点］「カーボンナノチューブの長さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下であり、カーボンナノチューブ中のカーボンの含有量が９８質量パーセント以上である、カーボンナノ
チューブシートであって、前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備える、膜。
」［相違点２Ｅ］
バンドルが、本件発明６は「径が１００ｎｍ以下であり」、「カーボンナノチューブシート中で」「面内配向し」ており、「（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチュー
ブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カー

46

ボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比 ＲＢが０．４０以上である。
」の「条件式（１）を満た」すのに対し、引用発明２はそのようなものか明らかでない点。
［相違点２Ｆ］
カーボンナノチューブの径が、本件発明６は「０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下」であるのに対し、
引用発明２はそのようなものか明らかでない点。
［相違点２Ｇ］
カーボンナノチューブシートについて、本件発明６は「面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し」ているのに対し、引用発明６は、そのような構成か明らかでない点。
［相違点２Ｈ］
本件発明６は「カーボンナノチューブシートの自立膜である」「ペリクル膜」であるのに対し、引用発明２は「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体を用いた光学製品である放熱シート」である点。
イ 相違点の容易想到性について
引用発明２に周知技術を適用して相違点２Ｅ～２Ｈに係る本件発明６の構成とすることは、当業者が容易に想到し得た。
(4) 本件発明３、４、８、９、 本件発明５、１０－１２、本件発明７、本件発明１３－１８についても、当業者が引用発明２及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができた。
４ 引用発明３に基づく進歩性欠如について(1) 引用文献３の記載事項の認定
引用文献２には、下記の引用発明３が記載されている。
「光学素子は、約２０～５００ｎｍの範囲内の素子厚さを有し、光学素子は、カーボンナノチューブシートの表面と実質的に平行にカーボンナノチューブが配向したカーボンナノチューブシートを含み、光学素子は、自立型であり、光学素子は、リソグラフィ装置内のマスクペリクルとして配置され、光学素子はさらに、ＥＵＶ透明材料層を含み、ＥＵＶ透明材料層およびナノチューブシートはラミネートを形成し、光学素子のＥＵＶ透明材料層は、Ｂｅ、Ｂ、Ｃ、Ｓｉ、Ｐ、Ｓ、Ｋ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｓｒ、Ｒｂ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ａｇ、Ｂａ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｉｒ、Ａｕ、Ｐａ、およびＵからなる群から選択される１つ以上の元素、さらに特にＢ、Ｃ、Ｓｉ、Ｓｒ、Ｓｃ、Ｒｕ、
Ｍｏ、Ｙ、およびＺｒ、よりさらに特にＺｒを含み、47

ナノチューブシートは任意選択的なホルダによって囲まれている、光学素子。
(2) 本件発明１について
ア 本件発明１と引用発明３の一致点及び相違点について［一致点］「支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、
前記ペリクル膜は、厚さが２００ｎｍ以下であり、前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートの自立膜である、露光用ペリクル膜。
」［相違点３Ａ］
カーボンナノチューブシートについて、本件発明１は「前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下
であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、下記条件式（１）を満たし、前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し」、「（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボン
ナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記
カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる
逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した
比 ＲＢが０．４０以上である。
」のに対し、引用発明３はそのようなものか明らかでない点。
［相違点３Ｂ］
カーボンナノチューブの径が、本件発明１は「０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下」であるのに対し、
引用発明３はそのようなものか明らかでない点。
イ 相違点の容易想到性について(ｱ) 相違点３Ａについてバンドルが複数のカーボンナノチューブから形成され、バンドルの径が１００ｎｍ以下
で、カーボンナノチューブシート中で面内配向したもの及び面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有するカーボンナノチューブシートはいずれも周知技術である。また、上記ＲＢ０．４０以上事項は、露光用ペリクル膜のバンドルが面内配向をしていることを特定しているところ、引用発明３は「カーボンナノチューブシートの表面と実質的に平行にカーボンナノチューブが配向し」ている。
よって、引用発明３に周知技術を採用して、相違点３Ａに係る本件発明１の構成とすることは、当業者が容易に想到し得た。

48

(ｲ) 相違点３Ｂについて
引用発明３に周知技術を採用して、相違点３Ｂに係る本件発明１の構成とすることは、当業者が容易に想到し得た。
(3) 本件発明６について
ア 本件発明６と引用発明３の一致点及び相違点について［一致点］「カーボンナノチューブシートの自立膜である、
ペリクル膜。
」［相違点３Ｃ］
本件発明６は「カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であり、カーボンナノ
チューブの長さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下であり、カーボンナノチューブ中のカーボンの含有量が９８質量パーセント以上である」のに対し、引用発明３のカーボンナノチューブはそのようなものか明らかでない点。
［相違点３Ｄ］
カーボンナノチューブシートについて、本件発明６は「前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下
であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向し、下記条件（１）を満たし、前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有する」、「（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜
厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチュ
ーブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボン
ナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベ
クトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比 ＲＢ
が０．４０以上である。
」のに対し、引用発明３はそのようなものか明らかでない点。
イ 相違点の容易想到性について(ｱ) 相違点３Ｃについて
相違点３Ｃに係る構成はいずれも周知技術である。
よって、引用発明３に周知技術を採用して、相違点３Ｃに係る本件発明６の構成とすることは、当業者が容易に想到し得た。
(ｲ) 相違点３Ｄについて
相違点３Ａと同様に、引用発明３に周知技術を採用して、相違点３Ｄに係る本件発明６の構成とすることは、当業者が容易に想到し得た。
(4) 本件発明３、４、８、９、本件発明５、１０－１２、７、１３－１８について

49

いずれも当業者が引用発明３及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができた。
５ 拡大先願について(1) 先願１の記載事項の認定
先願１には、以下の先願発明Ａ－Ｅが記載されている。
（先願発明Ａ）「ペリクルフレームのようなフレームによって、その縁部で懸架されている、極端紫外線リソグ
ラフィレチクルのための自立型カーボンナノチューブペリクル膜であって、
ＣＮＴペリクル膜の厚さは、５～５０ｎｍの範囲であり、
ＣＮＴペリクル膜は、ＣＮＴフィルムを加圧することによって、形成することができ、
ＣＮＴフィルムが、整列した網を形成する複数の束から形成され、ＣＮＴ束は、例えば、２～２０個の個々のＣＮＴを含むことができ、
ＣＮＴフィルムのＣＮＴまたはＣＮＴ束は、重要または主な方向に沿って、または複数の主方向に沿って配置または整列され、ＣＮＴフィルムは、
０．
５～２ｎｍの範囲の直径を有するＳＷＣＮＴから形成することができ、ＣＮＴの束から形成されたメッシュ、
ウェブ、
グリッドなどのＣＮＴの接続された配置であり、カーボンナノチューブフィルム上にＢ、Ｂ４Ｃ、ＺｒＮ、Ｍｏ、Ｒｕ、ＳｉＣ、ＴｉＮおよびａ－Ｃからなる群から選択される少なくとも１つの材料を含むコーティングが形成される、自立型カーボンナノチューブペリクル膜。
」（先願発明Ｂ）「先願発明Ａに記載の自立型カーボンナノチューブペリクル膜と、カーボンナノチューブペリク
ル膜を固定するペリクルフレームと、を含むペリクル。
」（先願発明Ｃ）「先願発明Ｂに記載のペリクルがレチクル上に取り付けられた、レチクルシステム。
」（先願発明Ｄ）「レチクル上に存在するパターンは、ＥＵＶ放射で先願発明Ｃに記載のレチクルシステムのレチ
クルを照明することによって、ＥＵＶ放射に敏感な層に転写することができ、ＥＵＶ光は、レチ
クルパターンによって変調され、フォトレジストがコーティングされたウエハ上に結像される半導体を製造する極端紫外線リソグラフィ装置。
」（先願発明Ｅ）「レチクル上に存在するパターンは、ＥＵＶ放射で先願発明Ｃに記載のレチクルシステムのレチ
クルを照明することによって、ＥＵＶ放射に敏感な層に転写することができ、ＥＵＶ光は、レチ
クルパターンによって変調され、フォトレジストがコーティングされたウエハ上に結像される半導体を製造する極端紫外線リソグラフィ。
」(2) 本件発明１について
本件発明１は、先願発明Ａと同一である。

50

先願発明Ａの「『ＣＮＴフィルムのＣＮＴまたはＣＮＴ束は、重要または主な方向に沿って、または複数の主方向に沿って配置または整列され、』『ＣＮＴの束から形成されたメッシュ、ウェブ、
グリッドなどのＣＮＴの接続された配置であり』」は、本件発明１の「カーボンナノチューブシー
トは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し」に相当する。
ＲＢ０．４０以上事項は、露光用ペリクル膜のバンドルが面内配向をしていることを特定しているといえることから、先願発明Ａの「ＣＮＴフィルムのＣＮＴまたはＣＮＴ束は、重要または主な方向に沿って、または複数の主方向に沿って配置または整列され」は、本件発明１の「カーボンナ
ノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、下記条件式（１）を満たし、」（条件式（１）はＲＢ０．４０以上事項）に相当する。
(3) 本件発明３、４、本件発明５、本件発明１３、本件発明１４－１６、本件発明１７、１８について
本件発明３、４は先願発明Ａと、本件発明５は先願発明Ｂと、本件発明１３は先願発明Ｃと、本件発明１４－１６は先願発明Ｃと、本件発明１７、１８は先願発明Ｅと同一である。

51