評価関連保有設備
名称

２０２３年 １２月現在

メーカー・形式台数

エスペック
TSA-71H , TSA-73EH

3

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:－70℃～0℃，60℃～200℃
槽寸法：410mm×460mm×370mm

エスペック
TSA-73H(高温 300℃)

1

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:－70℃～0℃，60℃～300℃
槽寸法：410mm×460mm×370mm

エスペック
TSA-203ES3

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:－70℃～0℃，60℃～200℃
槽寸法：650mm×460mm×670mm

エスペック
ＳＨ-221

1

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:－20℃～130℃ 30%～95%Rh
槽寸法：300 mm×300mm×240mm

エスペック
SH-6622

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:－60℃～150℃ 30%～95%Rh
槽寸法：400 mm×400mm×400mm

エスペック
PSL-4J

1

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:－70℃～150℃ 20%～98%Rh槽寸法：1000 mm×1000mm×800mm

エスペック
PR-4KP

185℃/85% で条件固定、 槽寸法：1000 mm×1000mm×800mm

エスペック
PH-4KT1

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:10℃～100℃ 60%～98%Rh
槽寸法：1000 mm×1000mm×800mm

エスペック
PL-4J

2

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:-40℃～100℃（150℃） 20%～98%Rh
槽寸法：1000 mm×1000mm×800mm

エスペック
ARSF-0800-15（Hi Power）

1

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:－70℃～180℃ 10%～98%Rh
上昇：15℃/min 下降：15℃/min（無負荷） 勾配制御：-45～155℃
槽寸法：1000 mm×980mm×800mm

エスペック
ARL-1100-J（Hi Power）

1

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:－45℃～180℃ 10%～98%Rh
上昇：4℃/min 下降：4℃/min（無負荷） 勾配制御：-22.5℃～157.5℃
槽寸法：1100 mm×1000mm×1000mm

エスペック
ARS-1100-J（Hi Power）

1

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲:－75℃～180℃ 10%～98%Rh
上昇：4℃/min 下降：4℃/min（無負荷） 勾配制御：-49.5℃～154.5℃
槽寸法：1100 mm×1000mm×1000mm

エスペック
ST-1201

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲: 常温～200℃
槽寸法：400 mm×280mm×350mm

ヤマト科学 DK-400

1ﾌﾘｰ

エスペック
PH-2006125℃×1 台で条件固定 5 台はﾌﾘｰ（各種条件対応）
1 台 制御範囲:常温～200℃、 槽寸法：600 mm×600mm×600mm

エスペック
PＳ-2222

ﾌﾘｰ（各種条件対応） 制御範囲:常温～200℃
槽寸法：600 mm×600mm×600mm

エスペック
IPH-2021

ﾌﾘｰ（各種条件対応）制御範囲: 常温～200℃
槽寸法：600 mm×600mm×600mm Ｎ２雰囲気可エスペック
PU-１KTH1

ﾌﾘｰ（各種条件対応）－40℃～100℃
槽寸法：500 mm×600mm×400mm

エスペック
EHS-220M

1エスペック
EHS-221M

1

リフロー装置日本 ANTOM
UNI-83161

加熱 8Zone(max 9Zone) 冷却 3Zone(加熱 max 使用時 冷却 2Zone)(遠赤外線併用熱風対流加熱タイプ) 各種 Pb フリー条件対応可能
基板有効幅：Max150mm 部品高さ：Max25mm

半田耐熱試験装置

大洋電機産業

1

400℃ＭＡＸ 半田槽

熱抵抗測定装置

TRM-7110A

1

測定パラメーター：θj-a、Ψj-t 測定環境：JEDEC 無風、風速（～4m/s）
測定サンプル：実デバイス、TEG

導体抵抗評価システム

AMR-120-UD1

印加方式：直流電流方式
チャンネル：Max120ch

IMV
VS-2000A-140T

1

最大出力：正弦波 19.6kN（2000kgf）、 ﾗﾝﾀﾞﾑ波 13.7kNrms(1400kgfrms)
最大加速度：980m/s2（100G）、 最大速度：2.0m/s、 最大変位：51mmp-p
振動周波数：5～3000Hz、 最大積載質量：300kg、 加振方向：上下

IMV
VS-1031-200

1

最大出力：正弦波 9.8kN（1000kgf）、 ﾗﾝﾀﾞﾑ波 6.86kNrms(700kgfrms)
最大加速度：1020m/s2（100G）、 最大速度：2.0m/s、 最大変位：51mmp-p
振動周波数：5～3000Hz、 最大積載質量：140kg、 加振方向：上下

AVEX
SM-110-MP

1

発生波形：正弦半波、 衝撃加速度：98～49000m/s2（10～3000G）
衝撃作用時間：0.1～60ms、 最大積載質量：90kg

3m 法小型電波室

1

室内寸法：7.0m×3.0m×3.2m、 扉寸法：1.2ｍ×2.0m、 測定周波数：30～1GHz
ｱﾝﾃﾅ昇降：1.0～2.0m、 ﾀｰﾝﾃｰﾌﾞﾙ：φ1.2m（耐荷重 250kg）、電波吸収：ﾌｪﾗｲﾄ

TOPCON
BM-5A（色彩輝度計）

1

測定角：0.1/0.2/1/2°切換式、 分校感度特性：CIE1931 等関数に近似
測定範囲：0.0001～1,200,000cd2、 測定距離：520mm～∞
輝度精度（°）：±4% of rdg、 色度精度（xy）：±0.005 以内

TOPCONSR-UL1R（分校放射計）1

測定角：0.1/0.2/1/2°電動切換式
測定範囲：0.005～300,000cd2、 測定距離：350mm～∞
輝度精度（°）：±2%以内、 色度精度（xy）：±0.002

冷熱衝撃試験装置（７台）

恒温恒湿試験装置（１１台）

恒温試験装置（１1 台）

低温恒温試験装置（１台）
高度加速寿命試験装置
ＰＣＴ/HAST(2 台)

振動試験装置衝撃試験装置
小型電波暗室（EMI）

自動光学測定器仕様・稼動条件

制御範囲:常温～210℃、 槽寸法：400 mm×400mm×400mm

105℃/75%Rh 以上 142.9℃/100%Rh 以内、飽和、不飽和 併用可
槽寸法：Φ355ｍｍ × L426mm（EHS-220M,EHS-221M）
試料信号端子：12 定格：AC/DC 125V 1A

半田槽寸法：130ｍｍ×180ｍｍ×60ｍｍ

内藤電誠工業株式会社 評価解析事業部

測定範囲：１×１０－３～1×１０６Ω
測定精度:10mΩ解析関連保有設備
名称
実体顕微鏡

金属･透過型顕微鏡

２０２３年 １２月現在

メーカー・形式台数

仕様

ライカ Z16 APO

1

観察倍率：×3.6～×230
撮影装置：デジタル高精細画像・電子ファイル形式

オリンパス SZH101

観察倍率：×3.5～×140

ニコンエクリプス
LV100D・ME600L
オリンパス
BX60MF531

観察倍率：×25～×1500
撮影装置：デジタル高精細画像・電子ファイル形式
観察倍率：×37.5～×990
撮影装置：デジタル高精細画像・電子ファイル形式
観察倍率：×0.1～×2000
撮影装置：ﾃﾞｼﾞﾀﾙ高精細画像・電子ﾌｧｲﾙ形式 傾斜角度：±90 度
測長：校正ｹﾞｰｼﾞｷｬﾘﾌﾞﾚｰｼｮﾝ対応

ﾃﾞｼﾞﾀﾙﾏｲｸﾛｽｺｰﾌﾟ

ｷｰｴﾝｽ VHX-6000

ﾏﾙﾁﾌｫｰｶｽ X 線 CT 装置ｺﾒｯﾄﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞｼﾞｬﾊﾟﾝ
Cheetah EVO

1

透視観察：ﾅﾉ・ﾏｲｸﾛ・ﾊｲﾊﾟﾜｰ CT ｽｷｬﾝ：直行＋斜め CT 搭載
観察倍率：～×3000 焦点寸法：最小 0.3μm 管電圧：最大 160ｋV
管電流：最大 1mA 撮像素子：FPD 16bit 100 万画素
ｽﾃｰｼﾞｻｲｽﾞ：460×410mm ｻﾝﾌﾟﾙ重量：最大 5kg

ﾏｲｸﾛﾌｫｰｶｽ X 線装置

島津製作所
SMX-160LT

1

観察倍率：×5～×2700 焦点寸法：最小 0.4μm 管電圧：最大 160kV
管電流：最大 0.3mA 撮像素子 I・I 管 8bit 40 万画素
ｽﾃｰｼﾞｻｲｽﾞ：350×300mm ｻﾝﾌﾟﾙ重量：最大 2kg

超音波探査映像装置（ＳＡＴ）

日立建機ﾌｧｲﾝﾃｯｸ
HYE-FOCUSⅡ

1

走査範囲：340×340×50mm 最大倍率：1000 倍
最小走査ﾋﾟｯﾁ：0.5μm 256 表示階調 プローブ：25,50,75,140,230MHz

ﾚｰｻﾞｰﾊﾟｯｹｰｼﾞ開封装置

Laser Decap PRO

1ﾚｰｻﾞｰ方式：Nd・YVO4 ﾚｰｻﾞｰ 波長：1,064nm 定格出力：>9W
ﾊﾟﾙｽ周波数：0-200kHz 加工範囲：200×200mm

ﾊﾟｯｹｰｼﾞｵｰﾌﾟﾅｰ（自動開封装置）

日本ｻｲｴﾝﾃｨﾌｨｯｸ
PA-103

1

使用薬品：発煙硝酸 開封可能ﾊﾟｯｹｰｼﾞ：ﾌﾟﾗｽﾁｯｸﾓｰﾙﾄﾞ
開封温度 50℃～80℃ 時間設定：0～59 分 59 秒

ﾘﾌｧｲﾝﾃｯｸ RCA-005

4

ダイヤモンド切断ホイールΦ５インチ使用

BUEHLE ｱｲｿﾒｯﾄ 2000

1ダイヤモンド切断ホイールΦ６インチ使用

ALLIED ﾏﾙﾁﾌﾟﾚｯﾌﾟ 6

4

研磨ディスク：１２インチ 回転数：１０～３５０rpm で５rpm 毎に可変

BUEHLER ｴｺﾒｯﾄﾂｲﾝ

1

研磨ディスク： ８インチ 回転数：１０～３５０rpm で１０rpm 毎に可変

ﾎﾟﾘｼｽﾃﾑ PS-2000

2

研磨ディスク： ２００mm 回転数：１０～２００rpm 無断変速

丸本ｽﾄﾙｱｽ ﾛﾄﾎﾟｰﾙ 25

1

研磨ディスク：２５０mm／２枚 回転数：４０～６００rpm で無断変速

試料切断装置

試料研磨装置1

クロスセクションポリッシャ

ＪＥＯＬ
ＳＭ－０９０２０ＣＰ Ⅱ

1

ディンプルグラインダー

GATAN Model656

1

電界放出(放射)走査型電子顕微鏡(ＦＥ－ＳＥＭ)

日立
SU80001

ｲｵﾝ加速電圧：2～6V ｲｵﾝﾋﾞｰﾑ径：500μm(半値幅)
最大搭載試料サイズ／ミリングスピード
ＣＰ：幅 11mm×長さ 10mm×厚さ 2mm／100um/H
ミリング：幅 20mm×長さ 20mm×厚さ 3mm／4um/H
試料移動範囲：X 軸：±3mm、Y 軸：±3mm 試料角度調整：±5 度
初期試料厚さ：200µm 以下 最終試料厚さ：5～10µm
研磨ホイール径：15mmφ 研磨ホイール速度：0～600rpm【SEM】:二次電子像分解能：1.0nm・加速電圧：0.1kV～30kV
倍率：×30～×800,000・試料サイズ：Φ100mm
二次検出器：Top/Upper/Lower
SE（二次電子）・BSE-H（組成情報）･BSE-L（組成+凹凸情報）【EDX】:検出元素範囲：B(5)～U(92)
検出器：ｼﾘｺﾝ･ﾘﾁｳﾑ･ﾄﾞﾘﾌﾄ型・分解能：137ev 以下その他：定性分析、ｶﾗｰﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ機能、定量分析(1%未満分析可能)、多点・線分析【SEM】:高真空ﾓｰﾄﾞ分解能：3.0nm(30kV)、8.0nm(3kV)、15.0nm(1.0kV)
低真空ﾓｰﾄﾞ分解能：4.0nm(30kV 反射電子検出器)
倍率：×5～×300,000 試料サイズ：Φ150mm×H 48mm
【EDX】:検出元素範囲：Be(4)～U(92) 検出器：ｼﾘｺﾝ･ﾄﾞﾘﾌﾄ型
分解能：130ev 以下 その他：元素ﾏｯﾌﾟ、ｽﾍﾟｸﾄﾙ分析、線分析
高周波出力：20～100W 電極間距離：30mm ｼｰｹﾝｽ動作：全自動使用真空度：5～80Pa ﾌﾟﾛｾｽｶﾞｽ：CF4,O2,他
ｽﾃｰｼﾞ温度範囲：30℃～50℃ ｴｯﾁﾝｸﾞ時間：0～99min59sec
ﾎﾞﾝﾃﾞｨﾝｸﾞﾜｲﾔ(Au・Cu・Ａｌ) ﾌﾟﾙ・ｼｪｱﾃｽﾄ対応
ﾛｰﾄﾞｾﾙ：100gf、10kgf
測定誤差：±0.075％

HORIBA
EMAX x-act250

1

走査型電子顕微鏡
（ＳＥＭ）

日本電子
JSM-IT200

1

ドライエッチング装置

日本ｻｲｴﾝﾃｨﾌｨｯｸES373

1ボンドテスター

ザイズテック
CondorＳigma

1

ﾌﾟﾛｸﾞﾗﾏﾌﾞﾙｶｰﾌﾞﾄﾚｰｻ

ﾃｸﾄﾛﾆｸｽ 370B

1

ｽﾃｯﾌﾟ・ｾﾞﾈﾚｰﾀｰ機能搭載 最大ﾋﾟｰｸ電力 220W，電圧 2000V，電流 10A

PIND 試験装置

B&W エンジニアリング
BW-LPD-DAQ40001

周波数：40Hz（27Hz）～260Hz
ﾄﾗﾝｽﾃﾞｨｰｻ：感度-77.5±3dB

卓上型精密万能試験機

島津製作所
ｵｰﾄｸﾞﾗﾌ AGS-5kNX

1

負荷容量：5kN 試験力測定精度：±1%以内
クロスヘッド（引張ストローク）：1200mm（885mm）
試験空間（テーブル面）：幅 420mm×奥行（無限）内藤電誠工業株式会社 評価解析事業部

加速度：0～20G
ｽﾃｰｼﾞ：2 ｲﾝﾁ

衝撃：1000±200G