Motion

電動直進ステージ

170ILSシリーズ

高性能ロングトラベルリニアモータステージ
High-Performance Long-Travel Linear Motor Stages

電動垂直ステージ• 剛性が大きく、FEMで最適化された成形アルミニウム製のボディは熱変形を防止• 予荷重をかけたバックラッシュのないボールスクリュー・ドライブ
により、短いステップ時間および整定時間でのすばやい移動が可能• ボールスクリュードライブバージョンは、短いステップ時間

リニアスケールを搭載

移動量

ヘキサポッドコントローラ&ドライバ

F I C ATI OILS100LM-S

ILS200LM-S

100 mm±1.5 ȝm

200 mm±2.0 ȝm

ILS300LM-S
300 mm精度 (代表値)±0.5 ȝm

±1.0 ȝm

±2.5 ȝm
±1.2 ȝm

ピッチ (保証値)±110 ȝrad
±100 ȝrad

±135 ȝrad
±125 ȝrad

±150 ȝrad

精度 (保証値)

ヨー (保証値)
最小移動量

500 mm/s
0.010 ȝm

継続動力

20 N

ピーク動力

72 N

中心耐荷重

250 N±0.30 ȝm

双方向再現性 (保証値)±20 ȝrad±15 ȝradヨー (代表値)±40 ȝrad±25 ȝradM6ネジタイプ
2.9 kg

自重3.7 kg

CE4.5 kg準拠

ILS100CC ILS150CC ILS200CC ILS250CC
移動量±150 ȝrad±0.12 ȝm双方向再現性 (代表値)

100 mm

150 mm

200 mm

250 mmILS50CCILS100HA ILS150HA ILS200HA ILS250HA

50 mm

100 mm

150 mm

200 mm

250 mmILS50HA
50 mm

100 mm/s

最大速度
電動光学マウント

CI

ANTE仕様ピッチ (代表値)

1.0 ȝm最小移動量0.30 ȝm
250 N

中心耐荷重
軸耐荷重 (+Cx)

40 N

逆軸耐荷重 (-CX)-40 N

精度 (代表値)±0.8 ȝm

±1.5 ȝm

±1.2 ȝm

±1.7 ȝm

±0.6 ȝm±1.2 ȝm±0.8 ȝm

±1.5 ȝm

±0.3 ȝm

精度 (保証値)±2.5 ȝm
±0.25 ȝm±3.7 ȝm
±0.35 ȝm±5.0 ȝm
±0.35 ȝm±1.5 ȝm±0.20 ȝm±2.0 ȝm±0.08 ȝm±3.0 ȝm

一方向再現性 (代表値)±2.0 ȝm
±0.20 ȝm±3.75 ȝm±0.10 ȝm±2.0 ȝm
±0.08 ȝm双方向再現性 (代表値)±0.40 ȝm±0.45 ȝm±0.45 ȝm±0.60 ȝm±0.40 ȝm±0.15 ȝm±0.08 ȝm双方向再現性 (保証値1)
ヨー (代表値)±20 ȝrad±17 ȝrad±37 ȝrad±20 ȝradヨー (保証値)±37 ȝrad±65 ȝradピッチ (代表値)

原点再現性±42 ȝrad±25 ȝrad±0.10 ȝm±80 ȝrad±0.5 ȝm±95 ȝrad5.1 kg

5.4 kg±15 ȝrad±12 ȝrad±25 ȝrad±0.15 ȝm±0.10 ȝm±0.10 ȝm±0.08 ȝm±0.10 ȝm±17 ȝrad±7 ȝrad±0.10 ȝm±25 ȝrad±50 ȝrad±0.15 ȝm±35 ȝrad±45 ȝrad±17 ȝrad±37 ȝrad±25 ȝrad±65 ȝrad±80 ȝrad±30 ȝrad±95 ȝrad±25 ȝrad5.4 kg

4.2 kg±0.1 ȝm3m

ケーブル長
自重±0.6 ȝm±0.50 ȝm±1.0 ȝm

一方向再現性 (保証値)

特殊な製品

ARNSCompliant

最大速度測定機器

GU

RoHS

ンしてビデオを見る

ED

QRコードをスキャ

E

電動アクチュエータ

• LMバージョンは、アイロンレス3相同期リニアモータとスチール製

SP

電動回転ステージ

および整定時間でのすばやい移動が可能

4.5 kg

4.8 kg

4.2 kg

4.5 kg

4.8 kg

MTBF

20,000時間 (25%負荷、30%デューティ周期)CE

準拠

5.1 kgPP.CCLバージョンの仕様はwww.newport.comを参照またはお問い合わせ下さい。

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください171

Motion

電動直進ステージ

荷重特性と剛性

設計仕様

ZILS
基本材料

ILS-LM

DQ

成型アルミニウム

ベアリング

複列再循環ボールベアリング
アイロンレス3相同期
リニアモータ(ホール効果センサなし)

2-

CC、CCL、PP：スクリューに取り付けたロータリーエンコーダ、4,000ポイント／回転、
インデックスパルス
HA：スチール製リニアスケール、信号周期20 ȝm

スチール製リニアスケール、信号周期20 ȝm
1 Vpp

ドライブスクリューピッチ (mm)フィードバック– Cx

ILS (PP, CC, CCL, HA) の荷重

光学式

原点

Z

3 (付属)

QD

光学式、移動範囲の中央、メカニカルゼロシグナル付

ケーブル長 (m)Y

別売X

20,000

MTBF (h)kαyxkαCz

Ykαz

電動アクチュエータ

力学仕様 (LMモデル)
モデル(M-) ILS100LM-S(M-) ILS200LM-S

最大加速度
負荷なし (m/s2)

20

最大力 (連続) (N)15最大力 (ピーク) 4 s (N)30

発注のご案内+Cx X軸の水平耐荷重-Cx X軸の逆水平耐荷重
kaxコンプライアンス(ロール)
kayコンプライアンス(ピッチ)
kazコンプライアンス(ヨー )Q 中心から離れた負荷

ILS-LM
250 N<40 N

15 ȝrad/N.m
10 ȝrad/N.m
10 ȝrad/N.m
QCz/ (1 + D/60)

D キャリッジ中心から負荷までの距離 (mm)推奨モーション
コントローラ：XPS-RL, XPS-D (P283、288を参照)
ESP301 (P292を参照)
SMC100 (P294を参照) ILSCC、ILSPPのみ
モーターケーブル付属 (PP、CCのみ)

測定機器

2台のIMS (P173参照)、1台のILS、1台のEQ120によるXYZの組合せ

電動光学マウント

EQ120を使用してRV80 (P229参照) をILSに垂直マウント可能です

ILS
Cz 垂直耐荷重

コントローラ&ドライバ

モデル シリーズ 移動量 ドライブ
(mm)
50
CC
例：
100
CCL
ILS150HAは150 mm移動量、リニ
150
MILS
HA
アエンコーダ付きDCモータドラ
200
イブ、インチ仕様のILSステージ
PP
250です。
(2)LM
300 (1)
1)
LMドライブバージョンのみ。
2)100、200、および300 mm移動量のみ。
M-:
ミリ仕様バージョンの場合
CC:
DCモータ
CCL: SMC100CCコントローラ用DCモータ
HA: リニアエンコーダ付きDCモータ
PP:
ステッピングモータ
LM: リニアモータ

ILS-LMの荷重

ヘキサポッド仕様の定義については、P302「モーションの基礎と基準」をご覧ください。

(M-) ILS300LM-S

電動回転ステージ

リミットスイッチ

k+ Cx

電動垂直ステージ

バックラッシュのない
ボールスクリュー

駆動方法

Cz

kαy
Xαx

特殊な製品定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください電動垂直ステージ

電動直進ステージ

172

Motion

寸法 (ILS PP、CC、CCL、およびHA)
L1

4.33 (110)2.36(60)

電動回転ステージ

4.53 (115)

2.24(57)

L2.63(16)図のモデル：ILS200
寸法インチ表記（カッコ内（mm））

電動アクチュエータ

モデル (ミリ仕様)

A

3.03 (77)A

3.94 (100)

M 6 ねじ用
n1 x 2 クリアランス
ホール

3.94(100)

4.00(101.6)

3.00(76.2)

BB

ヘキサポッドL3

4.33 (110)n1

B

ILS50 (M-ILS50)

2

ILS100 (M-ILS100)

2

ILS150 (M-ILS150)

23 in.

A

25ピン、D-サブコネクタ

1/4-20 ねじ用
n2 x 2 クリアランスホール

CC, CCLおよびPP用寸法
L1L3CCHA用寸法

n2L2L1L3

28 (203)14 (358)

4.8 (123)

15.5 (394)

6.3 (159)

210 (253)

16 (408)

4.8 (123)

17.5 (444)

6.3 (159)

412 (303)

18 (458)

4.8 (123)

19.4 (494)

6.3 (159)

ILS200 (M-ILS200)

100 mm43 in.

414 (353)

20 (508)

4.8 (123)

21.4 (544)

6.3 (159)

ILS250 (M-ILS250)

100 mm43 in.

416 (403)

22 (558)

4.8 (123)

23.4 (594)

6.3 (159)

寸法 (ILS-LM-S)
1.18(30)

C4.72(120)

1.18(30)C

CADファイルについては、弊社までお問合せください。

電動光学マウント

コントローラ&ドライバ.77 (19.5).41(10.5)

両面：M4ネジ穴x2、深さ：.31（8）3.94(100)

2.95 x 0.31（75 x 8）上のM4ネジ穴x4
深さ：.31（8）4.53(115)
2.58(65.5)

2.36(60)

4.33(110)図のモデル：ILS300LM-S
寸法インチ表記（カッコ内（mm））

測定機器

両面：M4ネジ穴x7、深さ：.31（8）.47(12)

M6ネジ用
通し穴n1×2

3.0(76.2)

3.94(100)L
3.0(76.2)

1/4-20ネジ用
通し穴n2×2

4.0(101.6)

3.94(100)

特殊な製品

3.0(76.2)

3.94(100)

3.94(100)モデル（ミリ仕様）(M-)ILS100LM(M-)ILS200LM

n12
4n224

C
1.08 (27.5)
2.76 (70)移動量3.94 (100)7.87 (200)L
11.22 (285)
15.16 (385)(M-)ILS300LM

443.54 (90)11.8 (300)

19.09 (485)

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください