ガス混合装置
Gas Mixer

MU Series

コンパクトなガス混合ユニットと、制御用ソフトをセットにしました！

発生ガス成分に応じたマスフローコントローラを搭載し、簡単操作で混合ガスを発生することができます。
２成分から最大６成分のガス混合までラインアップを用意しています。
制御用ソフトは、プログラム運転機能や、ガス濃度での設定機能等を有しており、各種研究開発用途に最適なガス発生システムとしてご提供いたします。

特徴
安定した濃度のガス発生
質量流量制御により供給圧力・環境温度変化の影響を受けずに正確な濃度の混合ガスが発生できます。

多様なガス種への対応
マルチガス・マルチレンジ機能モデルのマスフローコントローラを搭載していますので、ガス種・流量レンジの変更がお客様にて実施いただけます。

簡単操作
専用ソフトにより、発生ガス流量・ガス濃度の設定が簡単に行えます。
プログラム機能を付帯していますので、お好みのレシピ作成が可能です。

幅広い流量レンジに対応
微少流量（数SCCM）から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。

制御ソフト機能

STATUS画面

RECIPE画面クリック

MFC Manual設定画面

SETTING画面

ALARM画面

運転モード●

Manual・・・各MFCラインを手動で動作ができます。

●

Auto・・・・・あらかじめ設定したレシピ（プログラム）で動作します。
ローカル：パソコンからの、レシピスタート／レシピストップ（一時停止選択可能）
リモート：外部信号によるレシピスタート／レシピストップ（一時停止選択可能）

表示機能●

瞬時流量設定値／瞬時流量値／積算流量表示／総発生流量値／総発生流量積算値●

発生ガス濃度値での設定・表示が可能。

●

電磁弁開閉状態●

レシピ動作状態表示（各ステップの回数中の残りステップ中が表示されます。）

レシピ作成機能（プログラム機能）●

各ライン最大50STEPのプログラム作成が可能。
（ランプアップ／ダウン機能付帯）●

ループ機能付帯●

レシピ記憶機能／レシピ確認機能

各流量のロギング機能
発生ガスの流量出力をロギングすることができますで、運用状態の記録を残すことができます。

MFC AUTO ゼロ機能
PCソフトより、AUTOゼロ設定が可能です。

アラーム機能●流量異常●

外部異常警報●通信異常ワイドレンジMFCの搭載
Conﬁgration SoftwareConﬁgration Software

本ユニットには、お客様にてガス種、流量レンジの変更が可能なMFCを搭載しています。
MFCを取り外すことなく、専用ソフト（Conﬁgration Software）にて簡単にMFCの仕様を変更することができます。
制御ソフトは、MFCのガス種・流量レンジを変更しても、自動でMFCの情報を読込ますので、変更後の初期設定が簡単に行えます。

ガス種変更が簡単に

H₂/N₂ ガス混合の例

MFCのマルチガス機能により、ガス種の変更も簡単操作で実施可能です。コンバージョンファクターによる補正の必要がなく、正確な流量制御が可能ですので、複数のガスボンベを入替しながらご使用いただく場合に有効です。

総発生 2 SLM で、H₂濃度50％〜0.25%で発生

SEC-E40

N₂ 1SLM
H₂ + N₂
混合ガス

SEC-E40

H₂ 1SLMSEC-E40

H₂ 250 SCCM

ワイドレンジ濃度の発生
MFCのマルチレンジ機能は、混合ガスの発生濃度幅を、MFCを追加することなく、大幅に広げることが可能です。ワイドレンジな濃度で発生できる為、MFCのライン数低減が可能となり、コストダウンが可能です。

N₂ 1SLM

H₂ + N₂
混合ガス

N100

H₂ 1SLM

N100!

250 SCCMに変更
マルチレンジのMFCを搭載することで、ガスラインの低減に小型ガスミキサーの搭載
ガス混合部には、自社開発したガスミキサーを搭載しており、性質の異なるガスを混合する場合でも、均一に発生する事ができます。

ガスミキサーの原理
ガスA混合
ガス

ガスB
ガスミキサー

ガスミキサー内で乱流を起こすことで、流体を効果的に混合します。

機器構成

Conﬁgration Software

USBケーブル 2M

Mu series専用Software

ノートパソコン

用途例

AC 100V

ガスユニット

ご用命に際して●触媒・センサー等、各種試験の模擬ガス発生以下をご指示ください。

●

バーナーガス流量制御

1. 総発生流量●

分析計スパンガスの希釈

2. 使用ガス種、発生濃度または、各ガスの流量●

各種封入ガスの濃度制御

3. 発生2次側の圧力

フローシート

外形図単位：mm

POWER

INLET-2

INLET-3

INLET-4MFC

F-1

MFC-1F

MFC

F-2MFC-2F

MFC

F-3MFC-3F

MFC

F-4MFC-4F

MFC

SV-1

CV-1

SV-2

CV-2

SV-3CV-3

SV-4CV-4SV-5CV-5261.5±3

F

HORIBA STEC

MU

480±311

INLET-1420±3USB

INLET-5F-5

MFC-5POWER

He
100SCCMHe
100SCCM

CO/He
10SCCM

C3H3/He
20SCCM

O2/He
20SCCM

CO/He
50SCCM

OUTLET

INLET-6F

MFC

F-6

MFC-6M
SV-6CV-6

OUTLET

55AC100V

135505050505050※6成分ガスユニットの例です。

製品仕様
MU(2ライン、3ライン、4ライン、5ライン、6ライン仕様)

型式

MFCによる流量比混合法

発生方式
発生最大流量

最大50SLM

搭載M F CSEC-N102シリーズ(MAX 6ライン)
ご指定ガス（腐食性ガスは、別途ご相談下さい）

ガス種

各ライン 2〜100％F.S. (MFC単体性能)

流量レンジ

SUS304,SUS316,FKM

接ガス部材質
流量精度±1％S.P.(各ライン MFC単体性能)

流量再現性±0.2％F.S(各ライン MFC単体性能)

流量直線性±0.5％F.S(各ライン MFC単体性能)

原料ガス供給圧力

0.1〜0.45MPa（ゲージ圧）

二次側使用圧力

大気圧〜0.25MPa（ゲージ圧）※発生圧力の調整は行えません。供給圧力により変化します。

流量設定方法

総発生流量設定 専用ソフトウェアによる設定

濃度設定方法

発生濃度設定 専用ソフトウェアによる設定

制御

専用ソフトウェアによるプログラム運転

リーク規格

N2 0.45MPa（ゲージ圧）※１時間加圧封入にて圧力減少1％以下
流量異常（ホールド機能有り）
希釈ガス/成分ガス用MFCのいづれかの流量出力が、設定流量に対し、任意の閾値を設定時間以上超えた場合、アラーム表示/外部へ出力(リセットキーにて復帰) ※アラームの閾値とディレイタイムは任意に設定可能。

アラーム機能電源

AC100 V 50/60Hz※使用可能なパソコン及びOSにつきましては、弊社もしくは弊社販売代理店までお問合せください。

HORIBAグループでは、品質ISO9001•環境ISO14001•労働安全衛生OHSAS18001を統合したマネジメントシステム（IMS:JQA-IG001）を運用しています。
さらに事業継続マネジメントISO22301を加え、有事の際にも安定した製品•サービスを提供できるシステムに進化しました。

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カタログNo. MU-AJ

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