第 36 回研究評価委員会

資料 3-3-2「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト」
事後評価報告書（案）概要

目

次

分科会委員名簿 ·············································· １
プロジェクト概要 ··········································· ２
評価概要（案） ··········································· １６
評点結果 ···················································· ２２（参考）評価項目・評価基準 ························· ２６

はじめに

本書は、第３５回研究評価委員会において設置された「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト」（事後評価）の研究評価委員会分科会（第１回（平成２５年５月２４日））において策定した評価報告書（案）の概要であり、ＮＥＤＯ技
術委員・技術委員会等規程第３２条の規定に基づき、第３６回研究評価委員会（平成２５年１１月６日）にて、その評価結果について報告するものである。

平成２５年１１月
独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構
研究評価委員会「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト」分科会（事後評価）
分科会長 庄子習一

独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構

研究評価委員会「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト」（事後評価）分科会委員名簿（平成２５年５月現在）
氏
分科会長

分科会長
代理

委員

しょうじ

名
しゅういち

庄子

習一

はっとり

ただし

服部

正

さわだ

れんし

澤田

廉士

たみや

えいいち

民谷

栄一

でがわ

とおる

出川

通

にしもと

たかひろ

西本

尚弘

むろ

ひでお

室

英夫

所
早稲田大学

属、役

理工学術院

名古屋大学大学院

九州大学大学院

職

教授

工学研究科

工学研究院

客員教授

機械工学部門教授

大阪大学大学院 工学研究科
精密科学・応用物理学専攻 教授

株式会社テクノ・インテグレーション 代表取締役社長

株式会社島津製作所 基盤技術研究所
マイクロＴＡＳユニット ユニット長（主幹研究員）

千葉工業大学

工学部

電気電子情報工学科教授

敬称略、五十音順

1

プロジェクト概要

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

技術分野全体での位置づけ（分科会資料６より抜粋）

14

「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト」
全体の研究開発実施体制[Ｈ２１年－Ｈ２２年][Ｈ２３年－Ｈ２４年]

15「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト」（事後評価）
評価概要（案）
１．総論
１）総合評価バイオ技術と IT 技術等の異分野技術を活用した新しい機械の創造という目標は、
挑戦的で今後日本の先端機械技術の国際的地位を決める上で重要であり、NEDO プ
ロジェクトとして実施した意義は大きい。
本プロジェクトは、これまでの縦割り構造社会を打破した異分野融合プロジェクトとして日本のこれからの新しい産業を創造する製造技術という観点から非常にチャ
レンジングであるにもかかわらず、技術レベルの高い研究成果が得られており、様々な MEMS 応用分野での産業技術としての発展が期待できる。また、本プロジェクトを通して MEMS／NEMS 技術の最先端研究を担う若手研究者が多数育成されたことは大いに評価できる。
但し、産業化への要素技術としては良いが、開発技術が既存の技術や製品と比べて優位性があるかは疑問が残る。今後、広く他の高機能デバイスに活用するためには、開発したプロセス技術を他の競合技術と比較しその利点・欠点をより明確にすることが必要である。実用化には開発プロセス技術のポテンシャルを俯瞰的に示すプラット
フォーム技術マップが有効となると考えられ、そのためには当該プロジェクトで開発したデータベースをさらに整備・改善し、継続的に維持する努力が必要である。
２）今後に対する提言
日本の国際競争力強化のためには、本プロジェクトで培われたプロセス技術を生かし、さらに新たなプロセス技術を包含した網羅型のプラットフォーム構築が不可欠である。得られた知的財産・ノウハウを日本として、海外を含めどのようにすればよいか議論して、異分野企業の融合、海外との融合も取り入れ、大きな意味でのグローバ
ル化を進めてほしい。
今後、実用化に関して、MEMS 分野における世界的な競争力を維持していくために特許による技術の保護の他、各企業における継続的かつ集中的な技術蓄積と人材育成が必要である。また、本プロジェクトの成果を水平展開できるように応用技術開発も進めてもらいたい。さらに、今回得られた成果を参画機関以外にも広く普及させるための取り組みも継続すべきである。
16

２．各論
１）事業の位置付け・必要性について
バイオ技術、IT 技術、材料技術などの異分野技術を活用した新しい機械の創造という目標は、挑戦的で今後の日本の国際的な技術的優位性を向上させる上でも重要と考えられる。また、MEMS 分野において、製造プロセス技術はその根幹を成すものであり、製造技術の国際競争力強化の面からも重要である。このような異分野融合プ
ロジェクトは、企業単独で開発するにはリスクの高いもの、また投資が大きいものがあり、NEDO 事業として実施は妥当なものと考える。
但し、異分野融合型プロセス技術は意欲的な取り組みであり，独創的技術も多々開発されているが、すべての製造工程のプロセス技術を新技術に置き換えることは不可能であり、他の技術との併用が求められる。その際、既存プロセスとの整合性等を評価することもプロジェクト推進上、並行して進める必要があったと考えられる。
２）研究開発マネジメントについて
革新的次世代デバイスを目的とした異分野融合を標榜する基盤的プロセス技術開発およびそのプラットフォーム構築は、我が国の機械技術の国際競争力を高める上で極めて重要である。また、バイオ技術や IT 技術、材料技術などの異分野技術を活用した新しい機械の創造は国内外の技術動向とも合致しており、極めてタイムリーかつ戦略的目標である。さらに、デバイス作製のための独創的な技術に対して、テーマ毎に各分野で高い技術力を持った実施者が選ばれており、成果促進テーマの追加、テーマのスピンアウト・短期間での完了など、多数の機関が関係するプロジェクトにもかかわらず、拠点内および拠点間の運営体制の工夫により全体としての運営も効率的になされた。
但し、国際的競争力についての検証がやや弱いように見受けられる。参加していない国内外の有識者に妥当性を問うことも有効であったと考えられる。
３）研究開発成果について各研究テーマともチャレンジングな目標を掲げ、中間評価以降は開発目標の定量化・数値化を行うなど、研究開発の方向性がより明確になっており、目標以上の成果を上げている実施者も多数見られた。また、実用化に大きな期待ができる内容もあり、それぞれの製品・商品イメージのなかで、新規な成果を出していると評価できる。
成果報告に関して投稿論文数は妥当な数であり、MEMS 関連の権威ある国際会議
への採択件数が多く質の面でも評価できる。また、成果の普及についても積極的に取り組んでいる。
但し、プロジェクト開始当初、プレコンペティティブな製造プロセス基盤の構築が目標であったため、全体的にシーズ志向の研究テーマが多く、実証デバイスもユー
17ザーからの要求により選定したケースはやや少ない。研究開発者側からの視点でなく、今回の開発品の実用性や普及性などについては冷静に見ておく必要がある。今後、実用化に向けたデバイス評価を行う上で、ユーザーとの連携体制が重要である。
４）実用化に向けての見通し及び取り組みについて
中間評価以降、実用化を意識した基本計画の変更が行われており、課題及びマイルストーンがより明確化された。また、参画企業での実用化イメージ・出口イメージも明確になっている。さらに具体的な市場があり BEANS 技術の利点を生かした製品イメージが明確化されている成果の中には、実用化のめどがついているものがあることは評価できる。
但し、提案されている BEANS デバイスは魅力あるものであるが、市場に受け入れられるにはプロセスコストの削減につながる技術改善が必要と考えられるケースが多々ある。これらは、実用化までに必要な課題の規模（解決のためにどの程度の期間・費用がかかるか）が明確でない。今後、当該プロジェクトの実用化を促進するためには、その利点・欠点を客観的に評価し特徴を明確化する必要がある。

18

個別テーマに関する評価
研究開発成果、実用化に向けての見通し及び取り組み、今後に対する提言について
脂質 2 重膜の形成やハイドロゲルの生体内注入などのプロセス開発は大変チャレ
ンジングであり、将来の新しいバイオセンサ実現に向けた第一歩として高く評価できる。実用化に向けた開発の要素技術として確立された事に加え、基礎技術としても汎用性のあるもので、基礎科学の分野にも貢献できる結果である。ハイドロゲルの長期血糖値モニタリングへの応用研究は、ビーズからファイバー構造へ変更した
ことにより使いやすくなり、長期の機能維持も確認されている。プロトタイプ小型
計測器による連続計測も実施されている。また、細胞を用いた高次構造形成プロセスも３次元培養系が実現されている。
但し、実用化に向けてはより具体的な製品開発や実証試験などまだ多くのハード
ルがある。また、今後、複数の企業が参入できるような形態で実用化開発をすることも必要であると考える。

有機材料融合プロセス技術の開発

有機材料の特徴を生かした大面積ナノ構造体形成技術の確立により、太陽電池、EL、
熱電デバイス等で、大幅な性能向上が確認されている。また、プラズモン共鳴アンテナ構造型赤外線センサは大幅な性能向上が実現されており、BEANS プログラムのタイムリーな成果促進の例として評価できる。
しかし、太陽電池や照明・表示装置では現在有機、無機を問わず様々なデバイスが開発されており、実用化に向けて全体の中での競争力が問われている。優れた特性を持つデバイスの基本構造・基礎特性は評価されているが、実用化への目標値などが明確でなく、実用化に不可欠な経時変化・寿命・耐環境性等の評価はまだ十分とは言えない。今後は耐環境性に優れた有機材料の開発が望まれる。

19

バイオ材料融合プロセス技術の開発

3 次元ナノ構造形成プロセス技術の開発

中性粒子ビームエッチングでは、第一原理量子化学計算を有効に活用し、形状シミュレーションを実現するなど高アスペクト比構造形成技術を確立した。フェムト秒レーザーアシストエッチングでは、従来難しかったアスペクト比の大幅な向上が実現されている。超臨界流体成膜法では高アスペクト比トレンチ構造への成膜が実現されており、低面積・大容量キャパシタへの応用が確認されている。また、ナノ粒子配列を用いたガスセンサは低コストプロセスに魅力があり、実用化の観点から期待ができる。

20

但し、開発した 3 次元構造形成プロセス技術を用いて様々な BEANS デバイスの開発例を示しているが、それぞれの応用例、特に加工技術とデバイスの組み合わせにおいて、優位性・競争力があるのかどうかの検証が必要である。さらに本プロジ
ェクトで検討されたデバイス以外にも多くの応用先が見込まれるプロセス技術、プ
ロセス装置であり、開発技術の展開を図って欲しい。
マイクロ・ナノ構造大面積・連続製
プロセス技術として高速成膜、膜厚制御、インプリント等意欲的な取り組みがさ
造プロセス技術の開発れており、これまでの MEMS の範囲を超えた応用が期待される。さらに、繊維状基材連続微細加工は独創的なプロセス技術であり、リールツーリール立体インプリント技術等、当該技術から派生したプロセス技術を加えることによって応用範囲が大幅に広がった。
但し、実用化の方向性が整理されておらず、見えにくい面がある。非真空製造プ
ロセス技術は製造装置の簡素化が期待でき製造コスト削減が期待されるが、薄膜成膜時の構造制御やコンタミの点で実用的デバイスを作製した上での性能評価等更なる検証が必要と考える。今後、異分野融合を通して実現したマイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術を用いた革新的デバイスの創出が望まれる。

異分野融合型次世代デバイス製造技
限られた期間で BEANS デバイス製造技術に関する多数のデータを収集しデータ
術知識データベースの整備
ベース化した点で評価できる。また、多岐にわたる情報を細かく整理・分類した試みも有益であり、データごとのアクセス回数やユーザーからのフィードバック情報も取り入れられているなど、当該分野のデータベース作成の基盤となり得ると考えられる。また、今回作成されたデータベースは、階層的なアイテムに整理分類されているので、今後新規に研究に参入する人にとっては有効な道標になる。
今後、継続的に情報量を増やし、情報の質を向上していく必要がある。マイクロマシンセンターに移管後も、プラットフォームとしての取り組みを継続してほしい。
このような知識データベースが多数融合されて、より大きな知識データベースとなり、簡単にアクセスできるシステムが望まれる。
21

評点結果〔プロジェクト全体〕

１．事業の位置付け・必要性

2.7

2.0

２．研究開発マネジメント

2.6

３．研究開発成果

４．実用化に向けての見通しについて及び取り組みについて

1.6

0.0

1.0

2.0

3.0

平均値
評価項目

平均値

素点（注）

１．事業の位置付け・必要性について

2.7

A

A

A

B

B

A

A

２．研究開発マネジメントについて

2.0

B

B

A

B

B

C

B

３．研究開発成果について
４．実用化に向けての見通し及び取り組みについて

2.6

A

A

A

B

B

B

A

1.6

C

B

B

C

C

B

B

（注）A=3，B=2，C=1，D=0 として事務局が数値に換算し、平均値を算出。
〈判定基準〉
１．事業の位置付け・必要性について

３．研究開発成果について・非常に重要・重要・概ね妥当・妥当性がない、又は失われた・非常によい・よい・概ね妥当
・妥当とはいえない

→A
→B
→C
→D

２．研究開発マネジメントについて

４．実用化に向けての見通し及び取り組みについて・非常によい・よい・概ね適切
・適切とはいえない

・明確
・妥当
・概ね妥当
・見通しが不明

→A
→B
→C
→D

→A
→B
→C
→D

22

→A
→B
→C
→D

評点結果〔個別テーマ〕
バイオ材料融合プロセス技術の開発

1.研究開発成果

2.6

2.実用化に向けての見通し
及び取り組みについて
0.0

2.3

1.0

2.0

3.0

平均値

有機材料融合プロセス技術の開発

1.研究開発成果

2.1

2.実用化に向けての見通し
及び取り組みについて
0.0

1.4

1.0

2.0

3.0

平均値

3 次元ナノ構造形成プロセス技術の開発

1.研究開発成果

2.4

2.実用化に向けての見通し
及び取り組みについて
0.0

2.1

1.0

2.0

平均値

23

3.0

マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の開発

1.研究開発成果

2.1

2.実用化に向けての見通し
及び取り組みについて
0.0

1.7

1.0

2.0

3.0

平均値
異分野融合型次世代デバイス製造技術知識データベースの整備

1.研究開発成果

0.0

2.1

1.0

2.0

平均値

24

3.0

個別テーマ名と評価項目

平均値

素点（注）

バイオ材料融合プロセス技術の開発
１．研究開発成果

2.6

A

A

A

B

B

B

A

２．実用化に向けての見通し及び取り組みについて

2.3

B

A

A

B

B

B

B

１．研究開発成果

2.1

A

A

B

C

B

C

A

２．実用化に向けての見通し及び取り組みについて

1.4

C

B

C

C

B

C

B

１．研究開発成果

2.4

A

A

A

B

B

B

B

２．実用化に向けての見通し及び取り組みについて

2.1

B

B

A

B

B

B

B

有機材料融合プロセス技術の開発

3 次元ナノ構造形成プロセス技術の開発

マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の開発
１．研究開発成果

2.1

B

B

A

B

B

B

B

２．実用化に向けての見通し及び取り組みについて

1.7

C

B

B

B

B

C

B

B

C

B

異分野融合型次世代デバイス製造技術知識データベースの整備
2.1

１．研究開発成果

A

B

A

B

（注）A=3，B=2，C=1，D=0 として事務局が数値に換算し、平均値を算出。
〈判定基準〉
１．研究開発成果
・非常によい・よい・概ね適切
・適切とはいえない

２．実用化に向けての見通し及び取り組みについて
・明確
・妥当
・概ね妥当
・見通しが不明

→A
→B
→C
→D

25

→A
→B
→C
→D

＜参考＞
「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト」（事後評価）に係る評価項目・評価基準

１．事業の位置付け・必要性について(1) NEDO の事業としての妥当性
・ 「ロボット・新機械イノベーションプログラム」の目標達成のために寄与しているか。
・ 民間活動のみでは改善できないものであること、又は公共性が高いことにより、NEDO の関与が必要とされる事業か。
・ 当該事業を実施することによりもたらされる効果が、投じた予算との比較において十分であるか。
(2)事業目的の妥当性
・ 内外の技術開発動向、国際競争力の状況、エネルギー需給動向、市場動向、
政策動向、国際貢献の可能性等から見て、事業の目的は妥当か。

２．研究開発マネジメントについて(1)研究開発目標の妥当性
・ 内外の技術動向、市場動向等を踏まえて、戦略的な目標が設定されているか。
・ 目標達成度を測定・判断できる具体的かつ明確な開発目標を設定しているか。
(2)研究開発計画の妥当性
・ 目標達成のために妥当なスケジュール、予算（各個別研究テーマごとの配分を含む）となっているか。
・ 目標達成に必要な要素技術を取り上げているか。
・ 研究開発フローにおける要素技術間の関係、順序は適切か。
・ 継続プロジェクトや長期プロジェクトの場合、技術蓄積を、実用化の観点から絞り込んだうえで活用が図られているか。
(3)研究開発実施の事業体制の妥当性
・ 真に技術力と事業化能力を有する企業を実施者として選定しているか。
・ 適切な研究開発実施体制になっており、指令命令系統及び責任体制が明確になっているか。
26

・ 目標達成及び効率的実施のために必要な実施者間の連携が十分に行われる体制となっているか。
・ 知的財産取扱（実施者間の情報管理、秘密保持、出願・活用ルール含む）
に関する考え方は整備され、適切に運用されているか。
(4) 研究開発成果の実用化に向けたマネジメントの妥当性
・ 成果の実用化につなげる戦略が明確になっているか。
・ 成果の実用化シナリオに基づき、成果の活用・実用化の担い手、ユーザーが関与する体制を構築しているか。
・ 全体を統括するプロジェクトリーダーが選任されている場合、成果の実用化シナリオに基づき、適切な研究開発のマネジメントが行われているか。
・ 成果の実用化につなげる知財戦略（オープン／クローズ戦略等）や標準化戦略が明確になっており、かつ妥当なものか。
(5)情勢変化への対応等
・ 進捗状況を常に把握し、社会・経済の情勢の変化及び政策・技術動向等に機敏かつ適切に対応しているか。

３．研究開発成果について(1)目標の達成度と成果の意義
・ 成果は目標を達成しているか。
・ 成果は将来的に市場の拡大あるいは市場の創造につながることが期待できるか。
・ 成果は、他の競合技術と比較して優位性があるか。
・ 目標未達成の場合、達成できなかった原因が明らかで、かつ目標達成までの課題を把握し、この課題解決の方針が明確になっているなど、成果として評価できるか。
・ 設定された目標以外に技術的成果があれば付加的に評価する。
・ 世界初、世界最高水準、新たな技術領域の開拓、又は汎用性のある成果については、将来の産業につながる観点から特に顕著な成果が上がっている
場合は、海外ベンチマークと比較の上で付加的に評価する。
・ 投入された予算に見合った成果が得られているか。
・ 大学または公的研究機関で企業の開発を支援する取り組みを行った場合には、具体的に企業の取り組みに貢献しているか。
(2)知的財産権等の取得及び標準化の取組
・ 知的財産権等の取扱（特許や意匠登録出願、著作権や回路配置利用権の登27

録、品種登録出願、営業機密の管理等）は事業戦略、または実用化計画に沿って国内外に適切に行われているか。
(3)成果の普及・ 論文等の対外的な発表は、将来の産業につながる観点から戦略的に行われているか。
・ 成果の活用・実用化の担い手・ユーザー等に対して、適切に成果を普及しているか。また、普及の見通しは立っているか。
・ 一般に向けて広く情報発信をしているか。

４．実用化に向けての見通し及び取り組みについて
本項目における「実用化」の考え方
異分野の新しい素材と融合させたデバイスやその製造装置、及びそれらの知識情報を蓄積したデータベース等が社会的利用（顧客への提供等）されることを言う。

(1)成果の実用化の見通し
・ 実用化イメージに基づき、課題及びマイルストーンが明確になっているか。
・ プロジェクトの直接の成果ではないが、特に顕著な波及効果(技術的・経済的・社会的効果、人材育成等)がある場合には付加的に評価する。
(2)実用化に向けた具体的取り組み
・ 成果の実用化に向けて、誰がどのように引き続き技術開発を取り組むのか明確になっているか。

28