40

Manual Positioning

手動直進ステージステンレススチール
クロスローラーベアリング直進ステージ
Stainless-Steel Crossed-Roller Bearing Translation Stages• サブミクロン精度：精密な光学アライメント可能
手動垂直ステージ• ステンレススチール製：高い安定性＆丈夫さ• クロスローラベアリング設計：スムーズ＆高精度ポジショニング

真空対応

手動多軸キネマティックステージ

手動回転ステージ＆傾斜ステージ• 超安定、サブミクロン性能• 熱的に適合するクロスローラーベアリング• 最高10-6Torrの真空対応
モデル9066-XYZおよび9067-XYZ(アクチュエータは付属しません)

真空対応 (10-6Torr) のバージョンに、新しく最高性能のトランスレーションステージが登場しました。このステージはクリーン環境で組み立てられ、真空環境やクリーン環境に適した低蒸気圧グリースを使用しています。
注：真空対応モデルの場合、モデル番号に「-V」を追加します。
( 例：9067-X-V、9066-XYZ-R-V-M)

9067シリーズの仕様
移動量モデル9067-X-M
9067-XY-M
9067-XZ-M
9067-XYZ-M

手動アクチュエータ

9067-XYZ-L-M
9067-COM-M[in. (mm)]1.00(25.4)
1.00(25.4)
1.00(25.4)
1.00(25.4)
1.00(25.4)
1.00(25.4)

必要なアクチュエータ

偏角

移動軸[ȝrad]

直進・平坦度[ȝm]

ベアリング

ネジ溝タイプX

1150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6

X, Y

2150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6

X, Z

2150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6

X, Y, Z

3150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6

X, Y, Z

3150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6

X

1150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6

必要なアクチュエータ

偏角

移動軸[ȝrad]

直進・平坦度[ȝm]

ベアリング

ネジ溝タイプX

11503クロスローラーベアリング

M4およびM6X, Y

2150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6X, Z

2150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6X, Y, Z

3150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6X, Y, Z

3150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6X

1150

3

クロスローラーベアリング

M4およびM6

9066シリーズの仕様
移動量

手動ファイバアライメントステージ

モデル
9066-X-M
9066-XY-M
9066-XZ-M
9066-XYZ-M
9066-XYZ-L-M
9066-COM-M[in. (mm)]0.50(12.7)
0.50(12.7)
0.50(12.7)
0.50(12.7)
0.50(12.7)
0.50(12.7)

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認くださいManual Positioning

最も人気のあるアクチュエータは以下のものです。
9067シリーズ用 (25 mmアクチュエータ)：9353、9302、8302
9066シリーズ用 (13 mmアクチュエータ)：9352、9301、8301NF
他の対応可能なニューフォーカス社製調整ネジも参照可能です。
3. 真空対応には、以下のアクチュエータが推奨されます。
真空対応 9067 シリーズ用 (25 mm アクチュエータ )：8302-V, 8302-UHV
真空対応 9066 シリーズ用 (13 mm アクチュエータ )：8301-V, 8301-UHV
4. 産業向け直動ステージ
モデル9066-COM、または、9067-COM
お手持ちのシステムに直接組込みできる、産業向け直動ステージです。マウンティングベースプレートを排除して、外形寸法を抑えています。
システム組込みにあたっての詳細は、(株) 日本レーザーまでお問合せください。
5. [-L] は、左手系です。

モデル8301NF

説明
ピコモーターアクチュエータ、移動量0.5インチ、分解能30 nm、シャンク9.5 mm

8302

ピコモーターアクチュエータ、移動量1インチ、分解能30 nm、シャンク9.5 mm

9301

ねじ込み式調整スクリュー、ブレーキ付、移動量12.7 mm、ボールチップ、1/4-80
ねじ込み式調整スクリュー、ブレーキ付、移動量25.4 mm、ボールチップ、1/4-80
バーニアマイクロメータ、移動量13 mm、耐荷重9 lb、50.8 TPI

SM-25

バーニアマイクロメータ、移動量25 mm、耐荷重23 lb、50.8 TPI* P121、P263を参照してください

真空対応仕様説明
真空仕様、X軸、12.7 mm、M4&M6

9066-XY-R-V-M

真空仕様、X, Y軸、12.7 mm、M4&M6

9066-XYZ-R-V-M

真空仕様、X, Y, Z軸、12.7 mm、M4&M6

9066-XZ-V-M

真空仕様、X, Z軸、12.7 mm、M4&M6

9066-XY-L-V-M

真空仕様、X, Y軸、12.7 mm、M4&M6、左手系

9066-XYZ-L-V-M

真空仕様、X, Y, Z軸、12.7 mm、M4&M6、左手系

9066-COM-V-M

真空仕様、X軸、12.7 mm、M4&M6、ベースプレート無し

9067-X-V-M

真空仕様、X軸、25.4 mm、M4&M6

9067-XY-R-V-M

真空仕様、X, Y軸、25.4 mm、M4&M6

9067-XYZ-R-V-M

真空仕様、X, Y, Z軸、25.4 mm、M4&M6

9067-XY-L-V-M

真空仕様、X, Y軸、25.4 mm、M4&M6、左手系

9067-XYZ-L-V-M

真空仕様、X, Y, Z軸、25.4 mm、M4&M6、左手系

9067-COM-V-M

真空仕様、X軸、25.4 mm、M4&M6、ベースプレート無し

手動多軸キネマティックステージ

モデル
9066-X-V-M

手動回転ステージ＆傾斜ステージ

9302
SM-13

手動垂直ステージ

9066および9067ステージ対応アクチュエータ

手動直進ステージ* 注：
1. アクチュエータは別個に販売されています。ステージ軸に対してそれぞれ1台が必要となります。
2. 一部のアクチュエータの移動量はステージの実際の移動量より小さくなります。

41

真空用9066および9067ステージ対応アクチュエータ
説明
超高真空対応Picomotorアクチュエータ、0.5 in.移動量、0.375 in. シャンク

8301-V

真空対応Picomotorアクチュエータ、0.5 in.移動量、0.375 in. シャンク

8302-UHV

超高真空対応Picomotorアクチュエータ、1.0 in.移動量、0.375 in. シャンク

8302-V

超高真空対応Picomotorアクチュエータ、1.0 in.移動量、0.375 in. シャンク

* P265を参照してください

モデル
9041-M説明
90°アングルブラケット、9066-M用、M4&M6

9042-M

ベースプレート、9066-M用、M2.5

9161-M

90°アングルブラケット、9067-M用、M4&M6

9160-M

ベースプレート、9067M用、M4

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

手動ファイバアライメントステージ

ベースプレートおよびアングルブラケット

手動アクチュエータ

モデル
8301-UHV42

Manual Positioning

手動直進ステージ

1.25(31.8)

1.99 (50.5)間隔取付ネジ上の1/4-20 (M6) 用ザグリ穴スロット×2.88 (22.2)

手動垂直ステージ.40(10.2)
2.28(57.9)
3.13(79.5)

1.17x.58 (29.7x14.7) 上のステージスタッキング用4-40 (M2.51) ×8.50 (12.7) グリッド上のØ 0.125 (3.17) ×4 (調整ピン穴)

手動回転ステージ＆傾斜ステージ

2.45(62.2)

1.45 SQ (36.8).50 (12.5) グリッド上の8-32 (M4) ×10.50 (12.5) グリッド上の1/4-20 (M6)×3
4.19(106.3)
2.46(62.5)
アクチュエータクランプロック
ネジは5/64” (2)六角レンチを使用

1.34(33.9).60(15.2)

1.25(31.8)

2.50 (63.5).38(9.5)

手動多軸キネマティックステージ

Model 90662.00(50.8).75(19.1)

2.99 (75.8)間隔取付ネジ上の1/4-20 (M6) 用のザグリ穴スロット×4.88 (22.2)

手動アクチュエータ

3.50 x 2.50
(88.9 x 63.5).40(10.2).25 (6.4)

3.18(80.8)

4.43(112.5).75 (19.1) グリッド上のØ 0.125 (3.17)×4 (調整ピン穴).50 (12.5) グリッド上の1/4-20 (M6)×16

手動ファイバアライメントステージ.50 (12.5) グリッド上の8-32 (M4)×20
1.00 (25.0) グリッド上の1/4-20 (M6)×5

3.75(95.3)
Lock Screw
5/64 (2)Hex

2.50(63.5)

5.48(109.3)
2.98(75.8)

1.33(33.9).60(15.2)

アクチュエータクランプロック
ネジは5/64” (2)六角レンチを使用.38 (9.5)

Model 9067

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください0.50" (12.7)
0.75" (19.05)

1.75"(44.5)

4x 0.09" (2.4)
0.75" (19.05)
0.50" (12.7)

Model 9042-M

2x 1.25" (31.75)
5x 1.00" (25.0)
4x 0.75" (18.75)
5x 0.50" (12.5)
4x 0.25" (6.25)
0.00" (0.0)
4x 0.25" (6.25)
5x 0.50" (12.5)
4x 0.75" (18.75)
5x 1.00" (25.0)
1.25" (31.75)

0.25" (0.63)

詳細A
縮尺2:1
20x 8-32 (M4)0.19" (4.8)

21x 1/4-20 (M6)0.19" (4.8)

2x 0.754"(19.2)

詳細Aを参照8x 4-40 (M2.5) thru

Model 9042-M

2x 0.58"(14.7)

4x 0.12" (3.2)

2.50"(63.5)
4x 0.25"(6.35)

1/4-20 (M6) キャップネジ用のスロット×4

4x 2.00" (50.8)
0.375"(9.53)

2x 0.50"(12.7)

2.985"(75.82)

1/4-20 (M6)
キャップネジ用の通し穴×4

2x 0.992(25.2)

2x 1.25" (31.7)

3.50"(88.9)

1.50"(38.1)

2x 1.00"(25.4)

2x 2.00"(50.8)

1.00"(25.4)
2x 1.00"(25.4)

Model 9160-M

1.50"(38.1)

8x 8-32 (M4) thru

4x 0.12" (3.2)

3x 0.50" (12.5)
2x 0.25" (6.25)
0.00" (0.0)
2x 0.25" (6.25)
3x 0.50" (12.5)

3x 0.29" (7.4)
0.63"(16.0)

0.00" (0.0)
3x 0.29" (7.4)
2x 0.58" (14.8)
8x 4-40 (M2.5)
0.19" (4.8)

3x 0.50" (12.5)
2x 0.25" (6.25)
0.00" (0.0)
2x 0.25" (6.25)
3x 0.50" (12.5)

4-40 (M2.5) キャップネジ用の通し穴×4

0.03"
(0.6)
0.58"
(14.7)

ステージは全て任意に組立てられます。単軸
ステージを組合わせて多軸ステージを作成する際、これらベースプレートとアングルブラケットを利用することで、必要なセットアップに合わせたカスタマイズが可能です。

2x 0.725"(33.1)

手動アクチュエータ

2x 0.58" (14.8)
1.45"(36.8)

アングルブラケットおよびベースプレート
モデル9041、9042、9160、9161

10x 8-32 (M4) 0.19" (4.8)
3x 1/4-20 (M6) 0.28" (7.1)

2x 0.58" (14.8)

3x 0.29" (7.4)

0.44"(11.0)

0.00" (0.0)

0.58"(14.7)

3x 0.29" (7.4)

1.168"(29.67)2x 0.58" (14.8)

Model 9161-M

手動多軸キネマティックステージ

2x 1.984"(50.4)

1.50"(38.1)

手動回転ステージ＆傾斜ステージ

2x full R.

2x 0.58" 2x 1.17"(14.7) (29.7)

2.50"(63.5)

手動垂直ステージ

2x 1.99"(50.5)

1.25" (31.75)
5x 1.00" (25.0)
4x 0.75" (18.75)
5x 0.50" (12.5)
4x 0.25" (6.25)
0.00" (0.0)
4x 0.25" (6.25)
5x 0.50" (12.5)
4x 0.75" (18.75)
5x 1.00" (25.0)
1.25" (31.75)

0.1255+0.0005/–0.0000 0.14"(3.188+0.013/–0.000 3.6)

0.38"
(9.5)

2x 1.17 (29.7)

4x 0.12" (3.2)

4x 0.1255+0.0005/–0.0000 0.14"(3.188+0.013/–0.000 3.6)

1/4-20 (M6) キャップネジ用のスロット×4

2x 1.25" (31.8)

0.00" (0.0)
2x 0.50" (12.7)
0.50" (12.7)
0.75" (19.05)

Model 9160-M

43

手動直進ステージ

0.75" (19.05)
0.50" (12.7)
2x 0.50" (12.7)
0.00" (0.0)

Manual Positioning

4x 0.12" (3.2)

1.45" (36.8)

Model 9041-M

Model 9061-M 及びModel 9041-M

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

手動ファイバアライメントステージ

0.725"(33.1)