MIKROPRÄZISIONS BOHREN UND FRÄSEN IM µm-BEREICH IM SCHNEIDVERFAHREN*) Die Bilderfolge zeigt eine 0,5 mm starke Graphitmine mit 500 Bohrungen im Durchmesser von 30 µm.

1-13-10 Higashi-Rogo Ota-ku
Tokio 144-0046 Japan

INT: www.shinei-tecno.co.jp
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TEL. ++88-3-3739-3121
FAX. ++88-3-3739-3129

MIKROPRÄZISIONS BOHREN UND FRÄSEN IM µm-BEREICH IM SCHNEIDVERFAHREN

Firmendarstellung

SHINEI TECNO ist ein hochspezialisiertes Dienstleistungsunternehmen,welches sich auf die Zerspanungstechnik im µm - Bereich konzentriert.
Das Unternehmen wurde 1953 gegründet und befindet sich im Herzen derjapanischen Kameraindustrie im Stadtteil Ota City in Tokyo.
Seit Gründung ist das Unternehmen fokusiert auf Bohren und Fräsen im µmBereich.
Das Unternehmen befindet sich in der 3. Generation undwird von Herrn Kenta Takahashi geführt.

Worin liegt der Vorteil der spanenden Bearbeitung in der Mikrofabrikation:■ Die spanende Bearbeitung in der Mikrofabrikation erlaubt es Bohrungen und Fräsungenmit einer sehr hohen Genauigkeit in Punkto Oberflächenrauheit im Bereich Ra0,03 odergeringer herzustellen.
■ Bohrungen mit hoher Präzision in Punkto Rundheit.
■ Tieflochbohrungen mit sehr hohem Seitenverhältnis.

Beispiel:
Diese Darstellung der Erde in Form einer Glaskugel hat einen
Durchmesser von 60 mm.
Die Achse ist eine Bohrung mit einem Durchmesser von 0,3mm, welche im spanenden Verfahren hergestellt wurde.
Dies entspricht einem Seitenverhältnis Durchmesser zu Länge
von D/l = 200!
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Unser Dienstleistungsspektrum■ Bohren ab einem Mindestdurchmesser von Ø 10 µm■ Fräsen ab einem Mindestnutbreite von Ø 10 µm■ Herstellung von Einfachdüsen und Mehrfachdüsen, konische Mikrosenkungen■ Ultrafeine Strukturen

Technische Kompetenz

Materialien

Kunstharze

MetallePI (Polyimide)

Edelstahllegierungen

PEEK (Poly Ether(Auszug der von uns eingesetzten Materialien)
Die Auswahl des Materials erfolgt in Absprache
mit den Kunden.
Gerne können wir für ihr Vorhaben auch
entsprechend geeignetes Material vorschlagen.

Ether Ketone)

Aluminium

PBI (Poly Benz

MessingImidazol)

POM (Polyacetal)

Seltene Metalle,wie Titan, Platin,Tantal, etc.

Spröde Materialien

Keramik
Aluminiumoxid
Silizium
ZirkonQuarzglas

PA (Polyamide)

Minimaler
DurchmesserD Ø µmØ 10 µm

Ø 10 µm

Ø 30 µm

D<100 µm=5D

D<100 µm=5D

D<100 µm=5D

D>100 µm=10D

D>100 µm=10D

D>100 µm=10D

B 10 µmB 10 µm

B 30 µm

W<100 µm=2W

W<100 µm=2W

W<100 µm=2W

W>100 µm=5W

W>100 µm=5W

W>100 µm=5W

BohrtiefeMinimale
Nutbreite
B µm

Frästiefe

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Interne Studien zur Mikrobearbeitung
Die SHINEI TECNO betreibt interne Studien und versucht sich stetig weiter in derMikrobearbeitung zu entwicklen.

■ Tieflochbohrung Glaskugel
Material:
Bohrung:
Bohrtiefe:

Glas
0,15 mm
30 mm■ Tieflochbohrung Glasquader:

Material:
Bohrung:
Bohrtiefe:

Glas
0,1mm
10 mm

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MIKROPRÄZISIONS BOHREN UND FRÄSEN IM µm-BEREICH IM SCHNEIDVERFAHREN■ Prozess Spiegeloberfläche

Material:
Weite:
Tiefe:
Oberfläche:Nickel Silber (C7521)
Cu: 64% ZN:18% Ni:18%
0,1 mm
0,1 mmRa 3 nm■ Mikro Frästeile

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Material:
Größe:
Stärke:Kupfer (Cu)
2 mm x 2 mm
0,15 mm

Weite 1:
Weite 2:

0,06 mm0,12 mmMaterial:
Größe:
Stärke:Kupfer (Cu)
1 mm x 1 mm
0,15 mm

Weite 1:
Weite 2:0,03 mm0,06 mm

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MIKROPRÄZISIONS BOHREN UND FRÄSEN IM µm-BEREICH IM SCHNEIDVERFAHREN■ Mikro Langnut-Fräsen für Mikrofluidanwendungen

Material:Größe:
Weite:
Tiefe:

Acryl (PMMA)
20 mm x 20 mm
0,05 mm0,05 mm

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Materialien■ Alle Arten von Metallen (Aluminium, Edelstahl, Hochfeste Legierungen, Titan, etc.)■ Spröde Materialien wie Quarzglas, Keramiken (Aluminiumoxid)■ Hochleistungskunstharze

Messeinrichtungen■ Elektronenrastermikroskop■ Optische Präzisionsmikroskope

Anwendungen■ Medizintechnik■ Forschungsabteilungen in Unternehmen■ Universitäten, Technische Hochschulen■ Hightech – Unternehmen aus Elektronik

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Beispiele für Präzisionsbohrungen
Bild

Material

Bohrung

RasterBohrtiefeAnzahl

Hartmetall

Ø 50µm

100µm

350µm

2560mm

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Tokio 144-0046 JapanGlasØ 0,3mm

Quarzglas,Titan,u.a.

M 1,0

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Seitenverhältnis
D/l = 1/200 !!!

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Beispiele für Bohrungen in Metall
Bild

Material

Bohrung

RasterBohrtiefe

Ø 3µm

5µm

12µm

Ø 5µm

10µm

10µm

Ø 8µm

30µm

30µm

AnzahlAluminium
AlMg2,5 (DE)A5052 (JP)Aluminium
AlMg2,5 (DE)A5052 (JP)Aluminium
AlMg2,5 (DE)A5052 (JP)

Edelstahl (DE)
X5Cr-Ni18-10

Ø 10µmbis
Ø 100µm

SUS304 (JP)

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Ø 10µm –50µm

Ø 20µm –bis
Ø 100µm

100µm

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Beispiele für Bohrungen in Metall
Bild

Material

Bohrung

RasterBohrtiefeAnzahl

Ø 10µm

3µm

50µm

25

Ø 20µm

30µm

50µm

25

Ø 30µm50µm

150100Ø 30µm

100µm

50µm

25

Edelstahl (DE)X2CrNiMo17-12-2
SUS316L (JP)

Titan

Edelstahl (DE)
X5Cr-Ni18-10
SUS304 (JP)Nickel

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Beispiele für Bohrungen in Metall
Bild

Material

Bohrung

RasterTantalØ 30µm

100µm

Titan

Ø 50µmAluminium
AlMg2,5(DE)A5052 (JP)

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BohrtiefeAnzahl

80µm

100µm

1000

Tiefe

400µm

ca. 17000

Ø 50µmundØ 100µm

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Beispiele für Fräsungen in Metall
Bild

Material

Fräsung

RasterFrästiefe

80µm

100µm

AnzahlEdelstahl (DE)
X5Cr-Ni18-108µm

SUS304 (JP)

Edelstahl (DE)40µm
X8CrNi18-1910

Nutbreite

Rillen

SUS303 (JP)5μmAluminium
AlMg2,5 (DE)A5052 (JP)

10μm
15μm

20µm

20μm
Rippenstärke

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Beispiele für Bohrungen in Kunstharze (Teil 1)
BildMaterial

Bohrung

RasterBohrtiefeAnzahl

PolyimidØ 10µm

50µm

75µm

25

Ø 30µm

40µm

200µm

49

SA101
PI(Polyimide)Ø 35µm

50µm

250µm

49

SA101
PI(Polyimide)Ø 55µm

70µm

250µm

49

PPS (Polyphenylenesulfide)

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Beispiele für Bohrungen in Kunstharze (Teil 2)
BildMaterial

Bohrung

RasterBohrtiefeAnzahl

PPS (Polyphenylenesulfide)Ø 55µm

70µm

250µm

49

Ø 500µm

5200µm

4900µm105

Acryl

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Beispiele für Fräsungen in KunstharzeBild1-13-10 Higashi-Rogo Ota-ku
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Material

Bohrung

Bohrtiefe

Anzahl

Acryl

10µm

10µm

1

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Beispiele für Bohrungen in KeramikBild

Material

Bohrung

RasterBohrtiefeAnzahl

Ø20μm

50μm

100μm

100

Machaniableceramics

Ø30μm

50μm

150μm

100

Machaniableceramics

Ø55μm

80μm

500μm

100

HSP
Machaniableceramics

HSP

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Beispiele für Bohrungen in spröden Materialien (Teil 1)Bild

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MaterialBohrung

RasterBohrtiefe

AnzahlQuarzglas

Ø25μm

50μm

150μm

1024

Quarzglas

Ø30μm

100μm

200μm

1000

AluminiumOxid
99,5%

Ø50μm

100μm

250μm

25Zirkon

Ø50μm

100μm

250μm

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Beispiele für Bohrungen in spröden Materialien (Teil 2)
BildMaterial

Bohrung

RasterBohrtiefe

AnzahlZirkonØ 100μm

500μm

500μm

1000

SiliziumØ 100μm

150μm

250μm

25Senkungswinkel:
Quarzglas

Bohrung Ø 100µm
10° - 60°

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Beispiele für Fräsungen in spröden Materialien
BildMaterial

Bohrung

RasterBohrtiefe

Silizium

Nutbreite: 50µm

Nuttiefe: 50µm

Nutbreite:

Nuttiefe:

50µm

50µm

100µm

100µm

200µm

200µm

AnzahlQuarzglas

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Beispiele für Düsen
Bild

Material

BohrungØ 0,04 mm
Einfach- undMehrfachdüsen

Edelstahl,
PI (Polyimide)
und andereBisØ 0,1 mm

Edelstahl (DE)
Einfachdüse

X8CrNi18-19

Ø 20 µm

SUS303 (JP)

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KONTAKT D/A/CH:

SHINEI TECNO Co., Ltd

BLUM Germany GmbH

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86381 KrumbachT:++88-3-3739-3121

T:+49-8282-800 3717

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