資料

檢查項目我社滑台在工場出貨前皆以下述之檢查規定進行嚴格產品檢查。

品質保 證可依據序列號提供查詢追溯，如客戶需要檢查表，敬請聯絡我社。

JIS B6191,依照B6201

檢查室環境溫度

室溫：22±5℃
濕度：60％以下檢查規定檢查規定檢查項目檢查根據不同產品，對以下項目進行測定。 詳情敬請參照P.2-187之後。
■定位誤差

■平行度

運動部件上的1點運動後到達的位置與目標位置的誤差。
● 單方向定位精度

平行度對以線或面為基準
相關的形狀或運動。

● 反復定位精度● 平行度● 空轉（翻轉定位精度）● 運動的平行度
● 垂直度

■移動精度

■偏芯量

運動部件在直進運動時，直交3軸周邊會發生角度偏差。
此外，同時會發生在與運動方向直交的2軸並進的直進偏差。
包含這些皆表現為移動精度。

■面振動■旋轉中心高度（工作距離）

● 仰俯

■直角度

● 橫擺■背隙● 真直度（垂直、水平方向）■行程確認及極限動作確認◎各產品配置內的數值皆為單軸下的性能標記。

2185

品質保證■關於品質

品質保 證我社滑台組裝完成時皆進行靜態˙動態精度測定，僅在此嚴格檢查規定中合格的產品方可交納。
檢查方法詳情敬請參照P.2-187∼。

檢查規定■關於刻印
我社產品刻印有序列號等。

■關於檢查數據如需測定後的檢查數據，敬請聯絡我社。

2186

技術資料

直動滑台 檢查規定
品質保 證
檢查規定
■單方向定位精度[單位：μｍ]

鐳射干涉測長計

測定機器：鐳射干涉測長器
從基準點（行程端）均等分割有效行程之後的點按順序進行定位，求各個定位點上實測值（從基準點實際移動的距離）與理論值（指令輸入的距離）之差，將其最大差作為一方向定位精度。

定位精度

基準點

■反復定位精度[單位：±μｍ]

鐳射干涉測長計

測定機器：鐳射干涉測長器
重複7次對任意1點來自同方向的定位與位置測定，求測定值的最大差。
將其在行程中央及兩端的3點進行，對求得值的最大值的1/2加上±符號，最大差作為反復定位精度。

任意1點

■力矩剛性[單位：〃/N˙cm]

側傾橫擺仰俯測定機器：鐳射自動準直儀
將對滑台上面，仰俯、橫擺、側傾各個方向施加力矩荷重時的滑台移動面為中心的每1N˙cm變位角作為力矩剛性。

負載

自動准直儀

產品目錄記載的力矩剛性值標記為代表實測值。

■空轉（翻轉定位精度）[定位：μｍ]
測定機器：鐳射干涉測長器
正向進行定位，測定其位置。 再向同一方向施加規定脈衝令其移動，

從該位置至負方向施加同一脈衝進行定位，測定其位置。 再向負方鐳射干涉測長計

向施加同一脈衝令其移動，從該位置至正方向施加同一脈衝進行定位，測定其位置。向正及負方向重複7次該測定，計算各個方向的平均值，求差。 將其在行程中央及兩端的3點進行，對求得值的最大值作為空轉。
《空轉測定值》

任意1點2187

■背隙[單位：μｍ]

品質保 證鐳射干涉測長計

測定機器：鐳射干涉測長器
進行任意方向定位，以該位置為基準，向同一方向對移動面施加規定負負載荷。 之後，以去除負荷狀態下測定的值與基準位置之差作為背隙。

■平行度[單位：μｍ]

位移計

測定機器：變位計
將滑台固定在基準平面上，以面全體測定對基準平面的移動面的平行度，檢查規定將最大高低差作為平行度。

■運動的平行度[單位：μｍ]
測定值

測定機器：變位計

整個移動距離將固定在基準平面上的滑台從基準點（行程端）向一方向以一定間隔按順
序進行定位，測定各個定位點上固定在基準平面與移動面上的測定機器
之間的變位，將其最大差作為運動的平行度。

▲位移計

自動准直儀

■仰俯[單位：〃]
測定機器：鐳射自動準直儀從基準點（行程端）向一方向以一定間隔按順序進行定位，在全行程內測
定各個定位點上上下搖動偏差，將其最大差作為仰俯。
自動准直儀■橫擺[單位：〃]
測定機器：鐳射自動準直儀從基準點（行程端）向一方向以一定間隔按順序進行定位，在全行程內測
定各個定位點上左右搖動偏差，將其最大差作為橫擺。
位移計■運動直交度[單位：μｍ]
測定機器：變位計˙直角基準
將XY滑台及直角基準確實固定在基準平面上，將任意1個移動軸的軌跡

直角基準器

與直角基準調整為平行，將其他移動軸從基準點（行程端）向一方向以一定間隔按順序進行定位，測定各個定位點上固定在直角基準與移動面上的測定機器之間的變位，將其最大差作為運動的直角度。

■運動垂直度[單位：μｍ/全行程]
測定機器：變位計
將Z軸滑台及直角基準固定在基準面上，將固定在滑台移動面的變位計對

位移計
直角基準器

準直角基準，以行程端為起點移動有效行程，計測變位器的數值，將其
最大差作為運動垂直度。

■極限動作確認
移動至行程末端時，我社標準控制器的顯示面板中會提示極限檢出標誌，停止滑台後，確認推薦原點回歸型會顯示原點檢出標誌。

2188

技術資料

直動滑台 檢查規定■真直度[單位：μｍ]

品質保 證

測定機器：真直度測定器或量規＋直尺
表示對令直動滑台執行全行程後的理想移動軸（聯接起點與終點的直線）的曲折量。 將距離理想軸的水平或垂直方向之一的最大偏離量作為真直度的測定值。

■自動滑台

單軸（X軸）上的真直度
平直度（μm以內）款型

行程（mm）

直線滾珠導軌KXT04015

1510【98】

KXT06015

1510【98】

PG413

1310【98】

PG513

1310【98】

PG615

1510【98】

PG7151510【98】PG430

3010【98】

PG5303010【98】PG650

5010【98】

PG750

5010【98】

KXG06020

205【49】KXG06030

30

5【49】

KXL0603030

12【117.6】

KXL0605050

12【117.6】

KXL0607575

12【117.6】

KXL06100

100

12【117.6】

KXL06150

150

12【117.6】

KXL06200

200

12【117.6】

KXL06300

300

12【117.6】

KXC04015

155【49】KXC06020

205【49】KS101-30305【49】KX0725C

2510【98】

KX0830C30

15【147】

KX1040C

4020【196】

KX1250C

5025【245】

KXS18100

10030【294】KXS18200

200

30【294】

KXS18300

300

30【294】

KXS18400

400

30【294】

KXS18500

500

30【294】

檢查規定構造1235791015202530

水平耐荷重kgf【N】

45°
哥特式圓弧槽哥特式圓弧槽交叉滾子導軌

滑動導軌

注）
自動XY軸、Z軸、XYZ軸滑台為以上單軸
（X軸）
滑台組合構成。
關於其平直度敬請以單軸數值作為參考。

2189

樣品計測數據以下圖表為直動滑台交叉滾子型KS102-70的品質保 證

單方向定位精度空轉
反復定位精度將測定數據圖表化後如下。 空轉及反復定位精度為以形成的中央附近及兩端（CCW極限及CW極限附近）的3點進行測定。
此測定對直動滑台全出貨品皆各個單軸進行、保存。
CCW極限為滑台運動到馬達一側時的極限。
CW極限為滑台運動到馬達相反一側時的極限。

檢查規定■單方向定位精度
測定結果:0.99(μm)（μm）
205.427.0（mm）

54.0−2■無效運動■重複定位精度
測定結果:±0.06(μm)

測定結果:0.3(μm)
行程中心附近

（μm）
0.50

1

行程中心附近

（μm）
0.5

70

10.03（μm）±0.03（μm）−0.5−0.5（μm）
0.50CCW限位附近

1（μm）
0.5

70CCW限位附近10.30（μm）−0.5（μm）
0.5−0.57±0.02（μm）−0.507CW限位附近

1CW限位附近（μm）
0.5

700.12（μm）

1

7±0.06（μm）−0.52190

技術資料

水平面Z軸滑台 檢查規定品質保 證檢查規定■單方向定位精度[單位：μm]
測定機器：鐳射干涉測長器鐳射干涉測長計從基準點（行程端）均等分割有效行程之後的點按順序進行定位，求各個定位點上實測值（從基準點實際移動的距離）與理論值（指令輸入的距離）之差，將其最大差作為一方向定位精度。

定位精度

基準點

■反復定位精度[單位：±μm]
測定機器：鐳射干涉測長器鐳射干涉測長計

重複7次對任意1點來自同方向的定位與位置測定，求測定值的最大差。
將其在行程中央及兩端的3點進行，對求得值的最大值的1/2加上±符號，最大差作為反復定位精度。
任意1點

■空轉
（翻轉定位精度）[單位：μm]
測定機器：鐳射干涉測長器
正向進行定位，測定其位置。 再向同一方向施加規定脈衝令其移動，

從該位置至負方向施加同一脈衝進行定位，測定其位置鐳射干涉測長計。 再向負方

向施加同一脈衝令其移動，從該位置至正方向施加同一脈衝進行定位，測定其位置。向正及負方向重複7次該測定，計算各個方向的平均值，求差。 將其在行程中央及兩端的3點進行，對求得值的最大值作為空轉。
《空轉測定值》

2191

任意1點

品質保 證

■真直度（向移動方向直行的2方向）[單位：μm]
測定機器：真直度測定器，或變位器˙平直基準
從基準點（行程端）向一方向以一定間隔按順序進行定位，在全行程內測
定各個定位點上垂直、水平方向的直進偏差，將其距離代表直線的最大差作為真直度。

檢查規定■滑台面平行度[單位：μm]
平行度

測定機器：變位計
將滑台固定在基準平面上，以面全體測定對基準平面的滑台面的平行度，
將最大高低差作為滑台面平行度。

■運動垂直度[單位：μm]
測定機器：變位計˙直角基準
將滑台及直角基準固定在基準平面上，從基準點（行程端）向一方向以進行定位，測定與固定在直角基準與滑台面上的測定機器之間的變位，將
其在終點的變位作為運動的垂直度。

■力矩剛性[單位：〃/N˙cm]
測定機器：鐳射自動準直儀

橫擺仰俯

將對滑台上面，仰俯、橫擺、側傾各個方向施加力矩荷重時的滑台移動面為中心的每1N˙cm變位角作為力矩剛性。
產品目錄記載的力矩剛性值標記為代表實測值。

■極限動作確認
移動至行程末端時，我社標準控制器的顯示面板中會提示極限檢出標誌，停止滑台後，確認推薦原點回歸型會顯示原點檢出標誌。

2192

技術資料

測角滑台 檢查規定
品質保 證
檢查規定
■反復定位精度[單位：±q]
測定機器：旋轉編碼器
重複7次對任意1點來自同方向的定位與位置測定，求測定值的最大差。
將其在行程中央及兩端的3點進行，對求得值的最大值的1/2加上±符號，作為反復定位精度。
最大差
任意1點

■空轉
（翻轉定位精度）[單位：q@
測定機器：旋轉編碼器
正向進行定位，測定其角度。 再向同一方向施加規定脈衝令其移動，

從該位置至負方向施加同一脈衝進行定位，測定其角度。 再向負方向施加同一脈衝令其移動，從該位置至正方向施加同一脈衝進行定位，測定其角度。向正及負方向重複7次該測定，計算各個方向的平均值，求差。 將其在行程中央及兩端的3點進行，對求得值的最大值作為空轉。
《空轉測定值》

2193

任意1點

品質保 證

■旋轉中心振動精度[單位：mm]
測定機器：變位計
旋轉中心（非設計理論上的實際的旋轉中心）高度上放置鋼珠，以令其全實際旋轉中心高度

行程移動時的鋼珠振動量作為旋轉中心振動精度。

檢查規定旋轉中心高度■旋轉中心高度（工作距離）[單位：mm]
測定機器：高度計
旋轉中心（非設計理論上的實際的旋轉中心）的旋轉中心振動精度測定時，將鋼珠位置對準實際的旋轉中心高度。 將該鋼珠的中心點的滑台設置面
距離高度作為旋轉中心高度。
−20−10■力矩剛性 [單位：〃/N˙cm]

自動准直儀

010−

20−

負載

測定機器：鐳射自動準直儀
將對滑台上面，仰俯、橫擺、側傾各個方向施加力矩荷重時的滑台移動面為中心的每1N˙cm變位角作為力矩剛性。
產品目錄記載的力矩剛性值標記為代表實測值。

■極限動作確認
移動至行程末端時，我社標準控制器的顯示面板中會提示極限檢出標誌，停止滑台後，確認推薦原點回歸型會顯示原點檢出標誌。

2194

技術資料

旋轉台 檢查規定品質保 證檢查規定■單方向定位精度[單位：q]
定位精度

測定機器：鐳射自動準直儀˙12面鏡
以0q位起點，每30q進行定位，測定各個定位點上對12面鏡的誤差，將
其最大差作為一方向定位精度。

基準點

■反復定位精度[單位：±q]
任意1點

測定機器：鐳射自動準直儀˙12面鏡
重複7次對任意1點來自同方向的定位與對12面鏡的誤差測定，求測定值
的最大差。 將其在圓周上每90q的4點進行，對求得值的最大差的1/2加上±符號，作為反復定位精度。

■空轉（翻轉定位精度）[單位：q]
任意1點

測定機器：鐳射自動準直儀˙12面鏡
正向進行定位，測定對12面鏡的誤差。 再向同一方向施加規定脈衝

令其移動，從該位置至負方向施加同一脈衝進行定位，測定其對12面鏡的誤差。 再向負方向施加同一脈衝令其移動，從該位置至正方向施加同一脈衝進行定位，測定其對12面鏡的誤差。 向正及負方向重複7

次該測定，計算各個方向的平均值，求差。 將其在圓周上每90q的4點進
行測定，對求得值的最大值作為空轉。
《空轉測定值》

2195最大差

品質保 證

■平行度[單位：μm]
測定機器：變位計
將滑台固定在基準平面上，以面全體測定對基準平面的移動面的平行度，平行度

將最大高低差作為平行度。 此時因面振動導致的移動面傾斜為以對基準平面成為最大的位置進行測定。

檢查規定■面振動量[單位：μm]
測定機器：變位計
以固定在基準平面上的滑台的移動面的大致外周為測定點，將對應令其表面跳動

1旋轉時的基準平面的移動面的變位最大差作為面振動量。

■偏芯量[單位：μm]
測定機器：變位計
將旋轉中心軸的水平方向變位量作為偏芯量。
■背隙[單位：q]
測定機器：鐳射自動準直儀˙12面鏡
對圓周上的任意1點，向接線方向的正（或負）方向施加任意大小力，將此1kg(負方向)時的位置作為基準位置。 之後向接線方向的正（或負）方向施加同樣大小力，測定距離基準位置的角度變位。 將其在圓周上的任意4點進行測定，任意1點

將求得的最大值作為背隙。

反沖間隙
1kg(負方向)■力矩剛性[單位：〃/N˙cm]
測定機器：鐳射自動準直儀
將對滑台上面，仰俯、橫擺、側傾各個方向施加力矩荷重時的滑台移動

自動准直儀

負載面為中心的每1N˙cm變位角作為力矩剛性。
產品目錄記載的力矩剛性值標記為代表實測值。

■極限及原點動作確認
令滑台移動至極限設定位置時，我社標準控制器的顯示面板中會提示極限檢出標誌，停止滑台後，確認推薦原點回歸型會顯示原點檢出標誌。

2196