SPring-8/SACLA ฼⏝◊✲ᡂᯝ㞟
2016B5311, 2017A5311, 2017B5311        Section B        BL16B2

㧗࢚ࢿࣝࢠ࣮X ⥺ࢆ⏝࠸ࡓ㐽⇕ࢥ࣮ࢸ࢕ࣥࢢࡢෆ㒊ᛂຊホ౯Analysis on Internal Residual Stress of Thermal Barrier Coating using
High Energy X-Ray᰿ୖ ᑗ኱ a, ᪥ẚ㔝 ┿ஓ a, Ỉ㛫 ⚽୍ a, 㯮ᯇ ༤அ b㸪ᑿゅ ⱥẎ a
Masahiro Negamia, Shinya Hibinoa, Shuichi Mizumaa, Hiroyuki Kuromatsub, Hideki Okadoaa ᕝᓮ㔜ᕤᴗ(ᰴ), b ᕝ㔜ࢸࢡࣀࣟࢪ࣮(ᰴ)

aKawasaki Heavy Industries, Ltd., bKawasaki Technology Co., Ltd.

 ࢞ࢫࢱ࣮ࣅ࢚ࣥࣥࢪࣥ࡟⏝࠸ࡽࢀࡿ㐽⇕ࢥ࣮ࢸ࢕ࣥࢢࡢ๤㞳ᣲືࡢゎ᫂ࡢࡓࡵࠊ㧗࢚ࢿࣝࢠ࣮ᨺᑕග X ⥺ࢆ⏝࠸ࡓ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺෆ㒊ᛂຊ ᐃࢆᐇ᪋ࡋࡓࠋ㧗 in-situ ᛂຊ ᐃ࡟ࡼࡾࠊ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡣᐊ ࡛ࡣ㧗࠸ᘬᙇᛂຊࢆ♧ࡍࡀࠊ㧗 ⎔ቃ࡛ࡣᘬᙇᛂຊࡀῶᑡࡍࡿࡇ࡜ࡀศ࠿ࡗࡓࠋࡲࡓࠊ㐠⏝୰ࡢຎ໬ࢆᶍᨃࡋࡓ✀ࠎࡢ⇕ฎ⌮ࢆ࠾ࡇ࡞ࡗࡓヨ㦂∦࡟ᑐࡋ࡚ࡶᛂຊ ᐃࢆᐇ᪋ࡋࠊ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢ㓟໬ຎ໬ࡀෆ㒊ᛂຊ࡟୚࠼ࡿᙳ㡪࡟ࡘ࠸᳨࡚ウࡋࡓࠋ࣮࣮࢟࣡ࢻ㸸 X ⥺ᅇᢡࠊᛂຊ ᐃࠊ㐽⇕ࢥ࣮ࢸ࢕ࣥࢢ⫼ᬒ࡜◊✲┠ⓗ㸸࢞ࢫࢱ࣮ࣅࣥࡢ㧗 㒊ࡢ㒊ရ࡟ࡣࠊ㧗 ࢞ࢫὶ࠿ࡽ㒊ရࢆಖㆤࡍࡿࡓࡵ࡟㐽⇕ࢥ࣮ࢸ࢕ࣥࢢ
㸦Thermal Barrier Coatings, TBC㸧ࡀ㐺⏝ࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋTBC ࡣࠊNi ᇶྜ㔠ࡢᇶᮦࡢୖ࡟ MCrAlY ྜ㔠㸦M = Ni or Co㸧ࡢ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺᒙࢆ᪋ᕤࡋࠊࡑࡢୖ࡟࢖ࢵࢺࣜ࢔Ᏻᐃ໬ࢪࣝࢥࢽ࢔㸦Yttria
Stabilized Zirconia, YSZ㸧ࢆ᪋ᕤࡋࡓࡶࡢ࡛࠶ࡿࠋTBC ࡣྛ✀ࡢ࢞ࢫࢱ࣮ࣅࣥ࡟ᗈࡃ㐺⏝ࡉࢀ࡚࠸ࡿࡀࠊࡋࡤࡋࡤ๤㞳ᦆയࢆ㉳ࡇࡍࡇ࡜ࡀၥ㢟࡜
࡞ࡿࠋTBC ࡣࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺ࡜࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢ⥺⭾ᙇಀᩘࡢ㐪࠸࠿ࡽࠊ࢞ࢫࢱ࣮ࣅࣥࡢጞື೵Ṇ࡟ࡼࡿຍ⇕෭༷ࢧ࢖ࢡࣝ࡟ࡼࡗ࡚ෆ㒊࡟⇕ᛂຊࢆ⏕ࡌࠊᦆയࢆཷࡅࡿࠋࡲࡓࠊ㧗 ࡛ࡢ㛗᫬㛫ࡢ㐠⏝࡟ࡼࡾࠊ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡀ㓟໬ࡉࢀࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺ࡜࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢ⏺㠃࡟㓟໬≀ᒙ㸦Thermally
Grown Oxide, TGO㸧ࡀ⏕ࡌࡿࠋTGO ᒙࡣ㠀ᖖ࡟ᙉ࠸ᅽ⦰ᛂຊሙ࡜࡞ࡗ࡚࠸ࡿࡇ࡜ࡀሗ࿌ࡉࢀ࡚࠾
ࡾ[1]ࠊTBC ࡢ๤㞳ࡁ⿣Ⓨ⏕࡟ᙳ㡪ࢆ୚࠼࡚࠸ࡿ࡜⪃࠼ࡽࢀࡿࠋࡋࡓࡀࡗ࡚ࠊTBC ࡢ๤㞳ᣲືࡢゎ᫂ࠊᑑ࿨ண ࡢࡓࡵ࡟ࡣࠊ⇕ࢧ࢖ࢡࣝࡸ㓟໬࡟ࡼࡿ TGO ࡢ⏕ᡂ࡜ TBC ྛᒙࡢෆ㒊ṧ␃ᛂຊᣲືࡢ㛵ಀᛶࢆ⌮ゎࡍࡿᚲせࡀ࠶ࡿࠋࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺ࡟ᑐࡋ࡚ࡣࠊX ⥺ᅇᢡἲ㸦ࣛ࣎ᶵ࡟ࡼࡿ X ⥺ᅇᢡཬࡧᨺᑕගࡦࡎࡳࢫ࢟ࣕࢽࣥࢢἲ㸧࡟ࡼࡿṧ␃ᛂຊ ᐃࡀヨࡳࡽࢀ࡚࠸ࡿ[2]ࠋࡲࡓ TGO ࡢᛂຊ ᐃἲ࡜ࡋ࡚ࡣࠊCr3+ࡢ⺯ගࣆ࣮ࢡࢩࣇࢺࢆ฼⏝ࡋࡓ᪉ἲࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸ࡿ[1]ࠋࡉࡽ࡟ࠊ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢᛂຊ ᐃࡢヨࡳ࡜ࡋ࡚ࠊᨺᑕග᪋タ࡛ࡢ㧗࢚ࢿࣝࢠ࣮X ⥺ࢆ⏝࠸ࡓṧ␃ᛂຊ ᐃࡀᐇ᪋ࡉࢀ࡚࠸ࡿ[3]ࠋࡋ࠿ࡋࠊ࢞ࢫࢱ࣮ࣅࣥࡢ㐠⏝୰࡟୚࠼ࡽࢀࡿ✀ࠎࡢ⇕ᒚṔ࡟ࡼࡗ࡚࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺෆ㒊ࡢᛂຊ≧ែࡀ࡝ࡢࡼ࠺࡟ኚ໬ࡍࡿ࠿࡟ࡘ࠸࡚ࡣࠊࡇࢀࡲ࡛ࡢ◊✲࡛ࡣ༑ศ࡟ㄪ࡭ࡽࢀ࡚࠸࡞࠸ࠋࡑࡇ࡛ᮏ◊✲࡛ࡣࠊ㛗᫬㛫ࡢ⇕ຎ໬ࢆᶍᨃࡋࡓ TBC ࡢヨ㦂∦ࢆస〇ࡋࠊࡇࡢヨ㦂∦ࡢ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢᛂຊ≧ែࢆ ᐃࡍࡿࡇ࡜ࢆヨࡳࡓࠋᐇ㦂㸸Ni ᇶྜ㔠 CMSX-4 ࡢᇶᮦࡢୖ࡟࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺ࡜ࡋ࡚ NiCoCrAlY(Ni-23Co-17Cr-13Al-0.45Y)ࢆ㧗㏿ࣇ࣮࣒ࣞ⁐ᑕἲ࡛⣙ 100 ȝm ᪋ᕤࡋࡓࠋࡑࡢୖ࡟ 8wt%-Y2O3-ZrO2 ࢆ኱Ẽࣉࣛࢬ࣐⁐ᑕࡋࠊ⣙ 80
ȝm ࡢࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺᒙࢆ᪋ᕤࡋࡓࠋࡇࢀࢆᖜ 10 mmࠊ㛗ࡉ 20 mmࠊཌࡉ 1.5 mm ࡢ኱ࡁࡉ࡟ຍᕤࡋࡓᚋࠊ┿✵୰࡛ᚋ⇕ฎ⌮ࡋヨ㦂∦࡜ࡋࡓࠋࡇࡢヨ㦂∦࡟ᑐࡋࠊ኱Ẽ୰࡛✀ࠎࡢ⇕ฎ⌮ࢆᐇ᪋ࡋࡓࠋ⾲ 1 ࡟ヨ㦂∦ࡢ⇕ฎ⌮᮲௳ࢆ♧ࡍࠋIT75ࠊ
IT500 ࡢヨ㦂∦ࡣ㟼ⓗ࡞᮲௳࡛ࡢ㐃⥆ຍ⇕ࢆ࠾ࡇ࡞ࡗࡓࡶࡢ࡛࠶ࡿࠋࡑࢀࡒࢀ 1100°௚ ࡢ኱Ẽ⅔୰
࡛ 75 hࠊ500 h ࡢ㐃⥆ⓗ࡞⇕ฎ⌮ࢆ࠾ࡇ࡞ࡗࡓࠋCT75 ࡣࠊヨ㦂∦ࢆ⮬ື࡛⅔ෆ࡟ฟࡋධࢀࡍࡿᶵᵓࢆᣢࡗࡓ኱Ẽ⅔ࢆ⏝࠸ࠊ10 min ᪼ ࠊ1100°௚ࠊ30 min ➼ ຍ⇕ࠊ10 min ✵෭ࡢࢧ࢖ࢡࣝࢆ 150

䠉㻞㻢㻢䠉SPring-8/SACLA ฼⏝◊✲ᡂᯝ㞟Section Bᅇ⧞ࡾ㏉ࡋࡓࡶࡢ࡛࠶ࡿࠋࡋࡓࡀࡗ࡚ IT75 ࡜ CT75 ࡢ 1100°௚ ࡛ࡢಖᣢ᫬㛫ࡣ࡝ࡕࡽࡶྜィ 75 h࡜࡞ࡿࠋᅗ 1 ࡟௒ᅇ ᐃࡋࡓ TBC ヨ㦂∦ࡢ᩿㠃⤌⧊ࡢ SEM ෗┿ࢆ♧ࡍࠋ ᐃ๓ࡢ኱Ẽ୰⇕ฎ⌮ࢆᐇ᪋ࡋ࡚࠸࡞࠸ヨ㦂∦ VHT ࡛ࡣࠊࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺ࡜࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢ㛫ࡢ TGO ᒙࡣ࡯࡜ࢇ࡝Ꮡᅾࡋ࡞࠸ࠋ୍᪉ࠊ⣼ィ 75 hr ኱Ẽ୰⇕ฎ⌮࠾ࡇ࡞ࡗࡓヨ㦂∦ CT75ࠊIT75 ࡟ࡣࠊ࡜ࡶ࡟⏺㠃࡟ TGO ᒙࡀᡂ㛗ࡋ࡚࠸ࡿࡇ࡜ࡀ☜ㄆ࡛ࡁࡿࠋࡉࡽ࡟㛗᫬㛫ࡢ⇕ฎ⌮ࢆཷࡅࡓヨ㦂∦ IT500 ࡛ࡣࠊTGO ᒙࡀࡼࡾཌࡃᡂ㛗ࡋ࡚࠸ࡿࠋࡲࡓࠊIT500 ࡢࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺ/TGO ⏺㠃ࠊTGO/࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺ⏺㠃ཬࡧ TGO ෆ㒊࡟ࡣ⏺㠃࡟ᖹ⾜࡞ࡁ⿣ࡀ⏕ࡌ࡚࠸ࡿࡇ࡜ࡀ☜ㄆࡉࢀࡓࠋṧ␃ᛂຊ ᐃࡣࠊSPring-8 ࡢ BL16B2 ࡟࡚ᐇ᪋ࡋࡓࠋᅗ 2 ࡟ᐇ㦂ࢭࢵࢺ࢔ࢵࣉࢆ♧ࡍࠋ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢᅇᢡࢆ ᐃࡍࡿࡓࡵ࡟ࡣ X ⥺ࡀࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺࢆ㏱㐣ࡋ࡞ࡅࢀࡤ࡞ࡽ࡞࠸ࡓࡵࠊ㏱㐣ຊࡢ㧗࠸㧗࢚ࢿࣝࢠ࣮X ⥺ (⣙ 75 keV) ࢆ౑⏝ࡋࡓࠋSi(311)ศග⤖ᬗ࡟࡚༢Ⰽ໬ࡋࡓ X ⥺ࢆධᑕ X ⥺࡜ࡋ࡚⏝࠸ࠊX ⥺࢚ࢿࣝࢠ࣮ࡣ CeO2 ⢊ᮎࡢᅇᢡ ᐃ࡟ࡼࡾ㍑ṇࡋࡓࠋྛࢧࣥࣉࣝࡢ ᐃ᫬ࡢ X⥺࢚ࢿࣝࢠ࣮ࢆ⾲ 2 ࡟♧ࡍࠋᛂຊ ᐃ ᗘࡣ 25°௚ࠊ500°௚ࠊ700°௚ࠊ900°௚ࠊ1100°௚ ࡜ࡋࠊ㧗 ṧ␃ᛂຊ ᐃࡣヨᩱࢆ㧗 ࢫࢸ࣮ࢪ (Anton Paar ♫ DHS1100) ࡟タ⨨ࡋ࡚ᐇ᪋ࡋࡓࠋ㧗ᐃ࡛ࡣᐃ ᗘ࡛ 10 min ௨ୖ࣮࢟ࣉࡋ࡚࠿ࡽᛂຊ ᐃࢆᐇ᪋ࡋࡓࠋࡲࡓᐇ㦂୰ࡣヨᩱࢳࣕࣥࣂ࣮ෆ࡟
100 ml/min ࡢ஝⇱✵Ẽࢆ㏻ẼࡋࡓࠋX ⥺ᅇᢡ ᐃࡣ HUBER 〇 6 ㍈ᅇᢡィୖ࡛ᐇ᪋ࡋࡓࠋධᑕࢫࣜࢵࢺᖜࡣ W2.0 mm×H0.5 mm ࡜ࡋࠊ㧗࢚ࢿࣝࢠ࣮X ⥺ࡢᅇᢡගࢆ㧗࠸ S/N ᳨࡛ฟࡍࡿࡓࡵ CdTe ᳨ฟჾࢆ⏝࠸ࠊཷගࢫࣜࢵࢺ࡟
ࡣࢯ࣮ࣛࢫࣜࢵࢺ (ゅᗘศゎ⬟㸸0.08°) ࢆ⏝࠸ࡓࠋࡲࡓ X ⥺࢚ࢿࣝࢠ࣮ࡀ㧗ࡃᅇᢡゅࡀᑠࡉࡃ࡞ࡿࡓࡵࠊᛂຊ ᐃ࡟ࡣഃഴἲࢆ⏝࠸ࡓࠋᛂຊ ᐃ࡟ࡣࠊȖ-Ni ࡢ(311)㠃ᅇᢡࡢࣆ࣮ࢡࢆ⏝࠸ࡓࠋᛂຊィ⟬࡟ᚲせ࡞ᐊ ࡛ࡢᛂຊᐃᩘࡢ್ࡣࠊᩥ⊩್ (ᐇ㦂ⓗ࡟ồࡵࡽࢀࡓ X ⥺ⓗᙎᛶಀᩘཬࡧ࣏࢔ࢯࣥẚࡢ್[2]) (⾲ 2)ࢆ⏝࠸࡚⟬ฟࡋࡓ(⾲ 2)ࠋࡲࡓࠊ㧗 ࡛ࡢ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢᛂຊᐃᩘࡣࠊNi ᇶ㉸ྜ㔠ࡢࣖࣥࢢ⋡ࡢ ᗘ౫Ꮡᛶࢆࡶ࡜࡟ẚ౛ィ⟬࡟ࡼࡾồࡵࡓࠋᩓ஘ゅ (2ș ゅ) ࡢ ᐃࢫࢸࢵࣉࡣ 0.001°ࠊྛࢫࢸࢵࣉ࡛ࡢ ᐃ᫬㛫ࡣ2 s ࡜ࡋࡓࠋ
⾲ 1㸬ヨ㦂∦ࡢ኱Ẽ୰⇕ฎ⌮᮲௳ᅗ 1㸬ᛂຊ ᐃ࡟౑⏝ࡋࡓヨ㦂∦ࡢ᩿㠃⤌⧊ (a) VHT, (b) CT75, (c) IT75, (d) IT500, (e) VHT(ࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺ-࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺ⏺㠃㒊ᣑ኱), (f) IT500 (ࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺ-࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺ⏺㠃㒊ᣑ኱)䠉㻞㻢㻣䠉SPring-8/SACLA ฼⏝◊✲ᡂᯝ㞟

Section B⾲ 2㸬X ⥺ᛂຊ ᐃ᮲௳ᅗ 2㸬ᛂຊ ᐃࢭࢵࢺ࢔ࢵࣉ⤖ᯝ࠾ࡼࡧ⪃ᐹ㸸ᛂຊ ᐃ࡟ඛ❧ࡕࠊࡲࡎヨ㦂∦ࡢᅇᢡ ᐃࢆ࠾ࡇ࡞ࡗࡓࠋᅗ 3 ࡟ IT500 ヨ㦂∦ࡢ X ⥺ᅇᢡ ᐃ⤖ᯝࢆ♧ࡍࠋZrO2 ࡟ᑐᛂࡋࡓࣆ࣮ࢡࡔࡅ࡛࡞ࡃࠊȖ-Ni ࡟ᑐᛂࡋࡓࣆ࣮ࢡࡀ☜ㄆࡉࢀࡓࠋࡘࡲࡾࠊ
75 keV ࡢ X ⥺ࢆ⏝࠸࡚ࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺᒙࢆ㏱㐣ࡋ࡚࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢᅇᢡࢆ ᐃྍ⬟࡛࠶ࡿࡇ࡜ࢆ
☜ㄆࡋࡓࠋ୍᪉ࠊIT500 ࢆྵࡴ࠸ࡎࢀࡢヨ㦂∦࡟࠾࠸࡚ࡶࠊTGO ࡢ୺ᡂศ࡛࠶ࡿ Į-Al2O3[4]ࡢࣆ
࣮ࢡࡣ☜ㄆ࡛ࡁ࡞࠿ࡗࡓࠋࡇࢀࡣࠊTGO ᒙࡢཌࡉࡀࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺࡢ 10 ศࡢ 1 ⛬ᗘࡋ࠿࡞࠸ࡇ࡜
࡟ຍ࠼ࠊNi ࡸ Zr ࡟ẚ㍑ࡋ࡚ Al ࡢཎᏊᩓ஘ᅉᏊࡀᑠࡉ࠸ࡇ࡜࡟㉳ᅉࡋ࡚࠸ࡿ࡜⪃࠼ࡽࢀࡿࠋḟ࡟ࠊ
VHT ࡢヨ㦂∦ࡢᐊ ཬࡧ㧗 (1100°௚)࡛ࡢᛂຊ ᐃࢆᐇ᪋ࡋࡓ࡜ࡁࡢ Ni(311)ᅇᢡࡢ ᐃ⤖ᯝࢆ
ᅗ 4 ࡟♧ࡍࠋ㧗 ࡟࠾࠸࡚ࡣ⇕᣺ືࡢᙳ㡪࡟ࡼࡾᅇᢡࣆ࣮ࢡᙉᗘࡀపୗࡋ࡚࠸ࡿࡀࠊࣆ࣮ࢡ⮬యࡢ ᐃࡣྍ⬟࡛࠶ࡗࡓࠋᅇᢡࣆ࣮ࢡࢆ࢞࢘ࢫ㛵ᩘ࡛ࡢࣇ࢕ࢵࢸ࢕ࣥࢢࡍࡿࡇ࡜࡛ᅇᢡ௦⾲ゅࢆồࡵࠊᅗ 5 ࡟♧ࡍ 2ș-sin2ȥ ⥺ᅗࢆసᡂࡋࡓࠋࡉࡽ࡟ࡇࡢࢹ࣮ࢱ࠿ࡽ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢෆ㒊ᛂຊࡢ್ࢆ
ィ⟬ࡋࡓࠋᅗ 6 ࡟ 4 ࡘࡢヨ㦂∦ࡢྛ ᗘ࡛ࡢෆ㒊ᛂຊࢆࡲ࡜ࡵࡓࠋ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢෆ㒊ᛂຊࡣࠊ࠸ࡎࢀࡢヨ㦂∦࡟࠾࠸࡚ࡶᐊ ௜㏆࡛ࡣᘬᙇᛂຊࢆ♧ࡋࡓࠋࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺࡢ⥺⭾ᙇಀᩘࡣ ĮTC § 11-6-6
10 /°௚ࠊ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢ⥺⭾ᙇಀᩘࡣ ĮBC § 15×10 /°௚ ࡛࠶ࡾࠊࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺ࡟ẚࡋ࡚࣎ࣥࢻࢥ
࣮ࢺࡢ⥺⭾ᙇ⋡ࡀ኱ࡁ࠸ࡓࡵࠊ
⇕ฎ⌮ᚋᐊ ࡟෭༷ࡉࢀࡿ㐣⛬࡛ᘬᙇᛂຊࡀ⏕ࡌࡓ࡜⪃࠼ࡽࢀࡿࠋ㧗 ࡟࡞ࡿ࡟ᚑ࠸ࠊ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢᘬᙇᛂຊࡣῶᑡࡋࠊᅽ⦰ഃ࡟᥎⛣ࡋ࡚࠸ࡃࡀࠊࡇࢀࡶ⥺⭾ᙇ⋡ࡢ㐪࠸࡟ࡼࡿࡶࡢ࡜⪃࠼ࡽࢀࡿࠋ୍᪉ࠊ700°௚ ௨ୖ࡛ࡣᅽ⦰ᛂຊࡀ࡯࡜ࢇ࡝ቑຍࡋ࡞ࡃ࡞ࡿࡀࠊ
ࡇࢀࡣ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢ㌾໬࡟ࡼࡿࡶࡢ࡜᥎ᐃࡉࢀࡿࠋ୍⯡ⓗ࡟ࠊ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺᮦࡢ NiCoCrAlY ࡣ500°௚㹼850°௚ ࡢ㛫࡛ᛴ㏿࡟㌾໬ࡋࠊᙎᛶኚᙧࢆ࡯࡜ࢇ࡝⏕ࡌ࡞ࡃ࡞ࡿ࡜ࡉࢀ࡚࠾ࡾ[5]ࠊࡇࡢࡓ
ࡵ࡟ 700°௚ ௨ୖࡢ⎔ቃ࡛ࡣᛂຊࡀቑຍࡋ࡞ࡃ࡞ࡗࡓ࡜⪃࠼ࡽࢀࡿࠋ
⇕ฎ⌮࡟ࡼࡿ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺᛂຊࡢᕪ␗ࢆẚ㍑ࡋ࡚ࡳࡿ࡜ࠊ㧗 㓟໬ヨ㦂ࢆ⾜ࡗ࡚࠸࡞࠸ VHT࡜㧗 ⇕ฎ⌮ࢆ࠾ࡇ࡞ࡗࡓ CT75ࠊIT75ࠊIT500 ࡢヨ㦂∦࡛ࡣᣲືࡀ␗࡞ࡾࠊ≉࡟ᐊ ࡛ࡢᘬᙇᛂຊࡀ VHT ࡢࡳⴭࡋࡃ኱ࡁ࠸ࠋTGO ࡢ⥺⭾ᙇಀᩘࡣ ĮTGO § 810-6/°௚ ࡛࠶ࡾ[1]ࠊࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺࡢ⥺⭾ᙇಀᩘࡼࡾᑠࡉ࠸ࡇ࡜࠿ࡽࠊ⇕⭾ᙇ⋡ࡢᕪࡢࡳ࠿ࡽࡣࡇࡢṧ␃ᛂຊࡢపୗࡢㄝ᫂ࡀࡘ࠿࡞࠸ࠋࡋࡓࡀࡗ࡚ࠊṧ␃ᛂຊࡢపୗࡣ㧗 ࡛ࡢ⇕ฎ⌮࡟ࡼࡗ࡚ࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺࡶࡋࡃࡣ TGO ෆ࡟Ḟ㝗ࡸࡁ⿣ࡀⓎ⏕ࡋࠊࡑࢀ࡟ࡼࡗ࡚࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢᛂຊࡀゎᨺࡉࢀࡓຠᯝ࡟ࡼࡿࡶࡢ࡜⪃࠼ࡽࢀࡿࠋᐇ
㝿 IT500 ࡢヨ㦂∦࡟ࡣ๓㏙ࡢ࡜࠾ࡾ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺ࡜ TGOࠊ࠶ࡿ࠸ࡣ TGO ෆ㒊࡟ከᩘࡢࡁ⿣ࡀ☜ㄆࡉࢀ࡚࠸ࡿ㸦ᅗ 1㸧ࠋࡲࡓ኱Ẽ㓟໬ฎ⌮୰ࡢ㧗 ࠊ㛗᫬㛫ಖᣢ࡟ࡼࡿࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺࡢ↝⤖ࡸࠊTGO⏕ᡂࡶᛂຊࢆ⦆࿴ࡍࡿ᪉ྥ࡟ാࡃ࡜⪃࠼ࡽࢀࡿࠋࡇࢀࡽࡢᣲືࡣࠊṧ␃ᛂຊࡢపୗ࡟ᙳ㡪ࢆ୚࠼࡚࠸ࡿྍ⬟ᛶࡀ࠶ࡿࠋ䠉㻞㻢㻤䠉SPring-8/SACLA ฼⏝◊✲ᡂᯝ㞟

ᅗ 3㸬TBC ヨ㦂∦ IT500 ࡢ X ⥺ᅇᢡ ᐃ⤖ᯝᅗ 4㸬TBC ヨ㦂∦ VHT ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢ Ni(311)ᅇᢡ ᐃ⤖ᯝ(a) 25°௚, (b) 1100°௚ᅗ 5㸬TBC ヨ㦂∦ VHT ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢ Ni(311)ᅇᢡ࡟ᑐࡍࡿ 2ș-sin2ȥ ⥺ᅗ(b) 25°௚, (b) 1100°௚䠉㻞㻢㻥䠉Section B

SPring-8/SACLA ฼⏝◊✲ᡂᯝ㞟

Section Bᅗ 6㸬TBC ヨ㦂∦ࡢ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺṧ␃ᛂຊࡢ ᗘ౫Ꮡᛶ௒ᚋࡢㄢ㢟㸸௒ᅇࡢᐇ㦂࡛ࡣࠊ㧗 ⇕ฎ⌮ࢆ࠾ࡇ࡞ࡗࡓ 3 ࡘࡢヨ㦂∦ࠊࡘࡲࡾ IT75ࠊIT500ࠊCT75 ࡢ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢᛂຊኚ໬ᣲືࡣ࡯ࡰྠࡌഴྥࢆ♧ࡋࡓࠋࡘࡲࡾࠊ㧗 㓟໬᫬ࡢࢧ࢖ࢡࣝᩘࡸࠊ㓟໬᫬㛫ࡢ㐪࠸࡟ࡼࡿ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺṧ␃ᛂຊࡢኚ໬ࡣ☜ㄆ࡛ࡁ࡞࠿ࡗࡓࠋ୍᪉ࠊࡇࢀࡲ࡛ࡢ◊✲࡟ࡼࡾࠊ㟼ⓗ࡞㧗 㓟໬ヨ㦂࡜⇕ࢧ࢖ࢡࣝヨ㦂࡛ TBC ࡢ๤㞳ᑑ࿨ࡀ኱ࡁࡃ␗࡞ࡿࡇ࡜ࡀᣦ᦬ࡉࢀ࡚࠸ࡿ
[6]ࠋ㓟໬≀ᡂ㛗ᣲືࡢ㐪࠸ࡸࠊ෭༷㏿ᗘࡢ㐪࠸ࡀṧ␃ᛂຊࢆ኱ࡁࡃࡋ࡚࠸ࡿࡇ࡜ࡀ␲ࢃࢀࡓࡀࠊ௒ᅇࡢヨ㦂⤖ᯝ࡛ࡣṧ␃ᛂຊࡢほⅬ࠿ࡽࡣᕪ␗ࡀぢ࠸ࡔࡏ࡞࠿ࡗࡓࠋTBC ࡢ๤㞳࡟ࡣṧ␃ᛂຊࡔࡅ࡛࡞ࡃࠊ⏺㠃⢒ࡉࡢኚ໬ࡸ⏺㠃ࡁ⿣ࡢᡂ㛗➼ᵝࠎ࡞せᅉࡀ」ྜࡋ࡚࠸ࡿ࡜⪃࠼ࡽࢀࠊࡇࢀࡽࡢᙳ㡪ࢆ⌮ゎࡍࡿࡇ࡜ࡀ௒ᚋࡢㄢ㢟࡛࠶ࡿࠋࡲࡓ௒ᅇࡢ ᐃ࡛ࡣ࣎ࣥࢻࢥ࣮ࢺࡢᛂຊࡢࡳࢆホ౯ࡋࡓࡀࠊTBC ࡢᦆയᣲືࢆホ౯ࡍࡿࡓࡵ࡟
ࡣࢺࢵࣉࢥ࣮ࢺࠊTGO ࡢᛂຊホ౯ᡭἲ࡟ࡘ࠸࡚ࡶ᳨ウࡍࡿᚲせࡀ࠶ࡿࠋࡑࡋ࡚௒ᅇࡢᡭἲ࡟ࡼࡿᛂຊ ᐃ࡛ࡣ㸯Ⅼࡢ ᐃ࡟㸯᫬㛫௨ୖ࠿࠿ࡗ࡚ࡋࡲ࠺ࡀࠊࡼࡾ㧗㏿࡟ᛂຊホ౯ࡍࡿࡇ࡜ࡀ࡛ࡁࡿࡼ࠺࡟࡞ࢀࡤࠊຍ⇕ࠊ෭༷୰ࡢືⓗ࡞ᛂຊኚ໬ࡢ㐣⛬ࢆホ౯ࡍࡿࡇ࡜ࡀྍ⬟࡟࡞ࡿࠋ㧗࢚ࢿࣝࢠ࣮࡟ᑐᛂࡋࡓ㸰ḟඖ᳨ฟᶵ➼ࢆά⏝ࡍࡿࡇ࡜࡛ࠊࡇࡢࡼ࠺࡞ ᐃࡀᐇ⌧࡛ࡁࡿྍ⬟ᛶࡀ࠶ࡿࠋཧ⪃ᩥ⊩㸸
[1] ⏣୰ㄔࠊ㤶ᕝ㇏ࠊ᪥ᮏ࢞ࢫࢱ࣮ࣅࣥᏛ఍ㄅࠊ37, 93 (2009).
[2] 㕥ᮌ ௚ࠊ᪥ᮏᶵᲔᏛ఍ㄽᩥ㞟㸦A ⦅㸧
ࠊ71-711 A, 1523 (2005).
[3] 㕥ᮌ ௚ࠊᨺᑕගࠊ15(6), 347 (2002).
[4] 㧗ᶫ ௚ࠊ᪥ᮏ㔠ᒓᏛ఍ㄅࠊ71, 47 (2007).
[5] Ṋᾈ ௚ࠊ᪥ᮏᮦᩱᏛ఍Ꮫ⾡ㅮ₇఍ㄽᩥ㞟ࠊ46, 206 (1997).
[6] J. A. Haynes et al., Surface and Coatings Technology, 39ࠊ
ࠊ215 (2013).

(Received: April 22, 2019; Early edition: July 8, 2019;
Accepted: July 16, 2019; Published: August 29, 2019)䠉㻞㻣㻜䠉