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5001

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5023

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5025



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【同軸上2表面的平行度】

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L1-2=0.0deg

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L1 L2

L2

平行
5027

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5028

⩞䚋峮㉻

The difference between Smart LAC to Smart W-LAC
ӖThe detector is different鉈䈲峮ꄈ%FUFDUPS
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5JMU"OHMFꦾ㵥舅Ⳃ嶗波⧘

0CKFDU

Model

CMOS

SSmart LAC H410

PSD

Smart W-LAC Series
H900, H920

0CKFDU

CMOSմմComplementary Metal Oxide Semiconductor
2D position sensor
Vertical 480Pixel x Horizontal 640pixel

Detector

PSDմմPosition Sensitive Detector
1D detector using surface resistance characteristics.

Monitor View
AdvantageDue to continuous electrical signal. Detector can provide
High resolution and Fast response time.
X= −0.3deg
Y= 0.0deg
D= 0.3deg냖鵯٬냖鉮冫䈲嫚榫鿦♭

5029

Based on X and Y position data, CCD/CMOStype sensor can handle several spot at once.

Disadvantage
Due to 1D sensor, it could not identify several spot position.(Not supportMulti Spot measurement).

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