分科内招待講演
1.5 計測技術・計測標準
9/18(⽕)

16:00 - 16:30

231A

航空機複合材技術と計測技術

⾼⽊ 清嘉(三菱重⼯)

9/18(⽕)16:30 - 17:00

231A

圧⼒容器を⽤いた接合体の加速劣化

船橋 正弘
(産総研)

9/18(⽕)17:00 - 17:30

231A

特許出願技術動向調査 －繊維強化プラスチック－

関⼝ 貴夫
(特許庁)

212B

X線⼩⾓散乱法でみるRasタンパク質の多量体化

杉本 泰伸
(名⼤)

7.4 量⼦ビーム界⾯構造計測
9/18(⽕)

15:00 - 15:30

7.6 原⼦・分⼦線およびビーム関連新技術
9/18(⽕)13:45 - 14:15

431B

⼭⼝ 浩樹
(名⼤)

マイクロスケール気体流れに対する実験的計測

8.7 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演
9/18(⽕)10:30 - 11:15

234A

Tissue models in plasma medicine research

Endre Szili(Univ. of SouthAustralia)

9/18(⽕)11:15 - 12:00

234A

Low temperature plasma synthesis of novel nanomaterials

Lorenzo Mangolini(Univ. of California,Riverside)

9/19(⽔)

11:45 - 12:15

141

半導体デバイス製造⽤プラズマエッチング技術とイノベーションへの期待

林 久貴(東芝メモリ)15.1 バルク結晶成⻑
9/21(⾦)

09:00 - 09:30

431B

マイクロ引き下げ法の新展開︓⾼吸湿性ハロゲン化物、難加⼯性合⾦、三次元形状制御

横⽥ 有為(東北⼤)9/21(⾦)10:30 - 11:15

431B

マテリアルズ・インフォマティクスによる新規光学材料設計・開発の⾼速化・⾼度化

川添 良幸
(東北⼤)

注⽬講演Ⅰ
注⽬講演とは︖︖
各分科に投稿された講演の中から，プログラム編集委員が「おもしろい講演なので、他の分科の参加者にもぜひ聞いていただきたい︕」とおすすめする講演です。プログラムにも、講演タイトルの前に「注⽬講演」という冠がついています。
※講演番号の読み⽅︓18a-131-16は18⽇，aは午前，131会場の16番⽬の講演、20p-PA-3は20⽇，pは午後，PA会場の3番⽬の講演を意味します．
中分類分科名講演番号

⽇時

講演タイトル

講演者

超⾳波型液晶レンズの光学特性評価
1.6 超⾳波

18a-231B-3

18p-232-13

19a-133-12

同志社⼤理⼯超⾳波による放射圧を利⽤して液晶の分⼦配向を制御することを利⽤した可変焦点液晶レンズの光学特性に関する講演である．超⾳波を9⽉18⽇(⽕)

光を⽤いる無線給電として，⾼輝度⾼効率のLEDを⽤いたIoT端末向けのシステムの検討を⾏っている．本報告では，1mの距離から1W出

10:30 - 10:45 利⽤することによりレンズの薄型化が可能となるため，スマートフォンなどの薄型化につながる技術である．オリジナリティーの⾼い研究であり，注⽬講演に強く推薦する．
Yuhuan Zhou

FIRST, Tokyo Tech

16:45 - 17:00 ⼒のLED光を照射し，1.7cm⾓の太陽電池で130mWの電⼒を得ている．⼿持ち，ロボットやドローンなどからIoT端末への給電が期待される成果である．
時間分解放射光X線回折を⽤いた菱⾯体晶PZTにおける⾮180˚ドメインスイッチングの周6.1 強誘電体薄膜

福井 鞠奈

9⽉18⽇(⽕)

Above 130mW Class Optical Wireless Power Transmission for Compact IoT
3.13 半導体光デバイス

所属

注⽬講演推薦理由

9⽉19⽇(⽔)
12:00 - 12:15

波数応答特性の評価

清⽔ 荘雄

東⼯⼤

チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）が⽰す⼤きな圧電応答は、ドメイン反転や電場誘起相転移による寄与が⼤きいと⾒られているものの、詳細は完全には明らかにされていない。発表者は菱⾯体晶PZT薄膜のドメイン反転挙動について、その周波数応答特性が、正⽅晶PZT薄膜とは異なることを⾒出した。関係分野の研究者・技術者にとって極めて有益な情報であり強く推薦する。

今回の注⽬講演は16件。プログラム編集委員がおすすめする講演です。

注⽬講演Ⅱ
中分類分科名

講演番号

講演タイトル

⽇時

⾼速熱サイクルALEのランプ加熱⼯程におけるSelf-limiting特性およびW／TiN選択性制御
8.2 プラズマ成膜・エッチング・表⾯処理

20p-438-2

9⽉20⽇(⽊)

講演者

所属

篠⽥ 和典

⽇⽴研開,名⼤注⽬講演推薦理由

等⽅的なアトミックレイヤーエッチング(ALE)は、新規デバイスの創出に寄与する⾰新的技術として、⼤きな注⽬を集めている。筆者らは14:00 - 14:15 プラズマによる反応層⽣成と、ランプ加熱を⽤いた独⾃の脱離プロセスを組み合わせ、SiN、TiN及びWについてALEを実現してきた。本報
告はランプ加熱ステップのSelf-limiting特性をin-situで解析する野⼼的な内容であり、ALEの反応機構解明が⼤きく進展するものと期待される。
リポソームを⽤いたプラズマ処理⽔による細胞内酸化ストレスの化学反応速度論的評価

8.4 プラズマライフサイ
エンス21a-144-5

9⽉21⽇(⾦)

北野 勝久

阪⼤⼯

⽔に⼤気圧プラズマを照射したプラズマ処理⽔の医療応⽤が注⽬される中、著者は殺菌有効成分が過硝酸だと世界で初めて明らかにしてい

10:00 - 10:15 る。今回は、試薬内包リポソームを⼈⼯細胞モデルとして⽤い、過硝酸から解離したHOO・が細胞内酸化ストレスを与えることを明らかにし報告している。本研究は反応速度論的なアプローチによりプラズマ医療の反応素過程解明に貢献する独創的な研究であり注⽬に値する。
Cu2-δSeにおける⾃⼰キャリア濃度調整効果

9.4 熱電変換

21p-438-5

9⽉21⽇(⾦)⽵内 恒博

豊⽥⼯業⼤学

当該講演では，構造相変態と数mΩcm程度の⾦属的電気伝導で特徴づけられる材料において，1mV/Kを超える巨⼤なゼーベック効果が観15:00 - 15:15 測されることが報告される．発表者らの主張では，巨⼤ゼーベック効果は，低温相と⾼温相が共存し，それらの間でキャリアが移動することで発現する．物理的観点と応⽤の観点の双⽅において興味深く，注⽬講演として強く推薦する．
光波⻑計測のためのスパイラル型ブルズアイアンテナを有する光機械振動⼦の作製

13.4 Si系プロセス・Si系
薄膜・配線・MEMS・集

18a-233-8

積化技術

9⽉18⽇(⽕)
11:15 - 11:30

Penekwong
Khemnat

東⼤院新領域

本研究では、同⼼円状に⾦属ナノ周期構造が並ぶブルズアイアンテナとナノメカニカル振動⼦を組み合わせることにより、光波⻑検出を可能とする新しい光機械振動⼦を提案し、作成している。アイデアに新規性があり、実際にアンテナの特定位置での光波⻑検出を達成している。新規性、発展性も注⽬に値する。
多光⼦励起フォトルミネッセンスによるHVPE成⻑GaNの選択成⻑過程と転位の伝搬の観察

15.4 III-V族窒化物結晶

18a-146-4

⾕川 智之

東北⼤⾦研

9⽉18⽇(⽕)

⾼品質なGaN結晶を得るためには、結晶成⻑の挙動と転位の挙動の両者を理解することが重要です。本研究では、多光⼦励起PLによりバン
09:45 - 10:00 ド端発光とイエロールミネッセンスの⼆波⻑を計測しながら三次元マッピングを⾏うことで、HVPE選択成⻑中の複雑な三次元形状と転位伝搬の性質を同時に観察することができました。
パルス光伝導法によるSiウェーハのゲッタリング能⼒評価

15.7 結晶評価，不純物・結晶⽋陥

19a-131-8

9⽉19⽇(⽔)
11:00 - 11:15

前⽥ 貴弘

グローバルウェーハズ・ジャパン

本講演は、単結晶Siウェーハのゲッタリング能⼒を、酸化膜の電気伝導率で評価する新しい⼿法についての報告である。従来のような強制汚染による評価ではなく、熱処理プロセスからの⾦属汚染で評価している点が新しい。ウェーハの極微量汚染を⾼精度に評価できる可能性があり、今後の発展が期待される。
結晶シリコン太陽電池の新温度補正式とIV特性のSTC補正への応⽤

16.3 シリコン系太陽電池

21p-133-1

9⽉21⽇(⾦)

菱川 善博

産総研

太陽電池において重要な実発電量の推定について、筆者らは結晶シリコン太陽電池における温度変化に対する出⼒電圧の補正式を構築し13:45 - 14:00 た。さらに複数接続モジュール、ストリングにも接続数を変数とし、同様の補正⽅式が適⽤可能である事を⽰した。発表では、太陽光照度補正への展開、適⽤可能範囲の考察、屋外実測値から同補正式の有⽤性についての報告が⾏われる。
カーボンナノチューブのアップコンバージョン発光を⽤いた⽣体深部の無⾃家蛍光バイオイ

17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカー

19p-224B-11

ボン材料

9⽉19⽇(⽔)
15:45 - 16:00

メージングと光温度計測

⼋⾕ 健吾

京⼤エネ研

⽣体透過性の⾼い近⾚外光を⽤いた⽣体深部イメージングに関し、カーボンナノチューブを⽤いた新規計測⼿法に関する講演である。カーボンナノチューブはアップコンバージョン発光（発光波⻑＜励起光波⻑）が効率よく観測されるため、⽣体からの⾃家蛍光により信号が隠れてしまうという問題が⽣じる従来法と⽐較して、より低ノイズ測定となる可能性を有し、意義深い。
γ -Al2O3/Ga 2O3超格⼦の作製

21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物

19a-224A-4

半導体材料・デバイス」

9⽉19⽇(⽔)
10:15 - 10:30

加藤 勇次

佐賀⼤学

本論⽂は、Al2O3とGa2O3の超格⼦を作製した事と、Ga2O3の限界膜厚を特定されたことが⾮常に興味深い。Ga2O3は新規パワーデバイス材料として期待されてきており、多くの物性値の評価が⾏われてきている。本論⽂では、Ga2O3の限界膜厚(積層した膜は⾃らの結晶サイズを保とうと歪むが、膜厚が薄い場合下地層に引きずられ結晶が下地層に習う。その限界厚さ。)を超格⼦を作製し実験的に求められている。本成果は今後のGa2O3系デバイス開発において⼀つの指標になる重要な成果である。
⾮極性ZnO/ZnMgO多重量⼦井⼾を⽤いた紫外光変調器の開発(II)21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物

20a-234A-8

半導体材料・デバイス」

9⽉20⽇(⽊)
11:00 - 11:15

阿部 友紀

⿃取⼤⼯

ワイドバンドギャップ半導体の⼀つであるZnOは⾮常に⾯⽩い物理的性質を有しており様々なデバイスへの応⽤が期待されてきた。しかしながら⾼品質な結晶の作製が困難であったり特性が⽋陥に影響されやすくデバイスとして利⽤されることは少なかった。本論⽂では、⾮極性⾯においてZnOとZnMgOの量⼦井⼾を形成した紫外光変調器を形成し、3.40 eVにおいて30％を超える光変調度を達成させており、今後の開発が期待される。

CS.6 3.11フォトニック

近接場光を利⽤した光-電気-機械結合系

構造・現象, 13.6ナノ構
造・量⼦現象・ナノ量⼦

21a-143-1

デバイスのコードシェア

9⽉21⽇(⾦)

光共振器ー電気回路ー機械振動が結合した光-電気-機械結合系は、光―マイクロ波変換や電荷・スピンの⾼感度センサとして期待されてい電気機械共振器とを近接場光によって結合する新規構造の提案 ・実証であり，注⽬講演に値する。
今なぜユビキタス・パワーレーザーかS4 ユビキタス・パワー
ンティア開拓から先端技

NTT物性基礎研

09:00 - 09:15 る。⼀⽅，光機械結合を達成するために，素⼦構造が限られてしまうことが難点であった。本講演は、この難点を克服し得る，光共振器とセッション
レーザー 〜 科学のフロ

浅野 元紀

18p-233-1

9⽉18⽇(⽕)
13:30 - 14:00

術の社会実装まで

佐野 雄⼆

JST

内閣府ImPACT「ユビキタス・パワーレーザーによる安全・安⼼・⻑寿社会実現」プログラムの最終年度に於いて、これまでの総括と今後の展望を⾏う。
Rensselaer Polytechnic
Surface Relaxation of Silica Glass

S26 シリカガラスの最前線

20p-432-1

友澤 稔

9⽉20⽇(⽊)
14:00 - 14:45

Institute, Department ofMaterials Science andEngineering

シリカガラスの表⾯の構造緩和はバルク内部に⽐べて格段に容易であり、500℃というガラス転移温度よりはるか低温や応⼒下で進⾏する。本講演では、シリカガラスの表⾯緩和の関与する多様な現象が紹介される。本現象の理解はファイバーや薄膜など⼤きな⽐表⾯積をもつ材料やそれらを⽤いたデバイスの開発・作製に際しても重要性が⾼く、注⽬講演として推薦する。