JEMEA Bulletin Vol.4 No.1 (2018.6)

研究トピックス
会員アンケートからみる半導体マイクロ波発振器への期待・アンケート回答結果の報告

1. はじめに

Survey report: Member’s vision of “solid-state microwave device”
産業技術総合研究所 西岡 将輝〒983-8551 宮城県仙台市宮城野区苦竹 4-2-1,
e-mail: m-nishioka@aist.go.jp

2017 年 11 月に名古屋で開催の JEMEA 11th シンポ

メール登録歴のある非会員にメールにて案内を出し、ジウムにおいて、半導体発振器関連パネルディスカッ

JEMEA ホームページで Web 回答する形式で実施した。

ション「会員アンケートから見る半導体デバイスの将回答状況および回答者の属性は表 1 に示すとおり、全来」を行った。この結果についてまとめた結果を、筆体で 40 件のうち 33 件が会員からであった(設問 1)。産者の視点から紹介する。

業界からの回答が 58%と産業界からの関心が高い(設問 2)。また、マイクロ波装置の利用者側・設計者側が2. アンケートの内容ほぼ同じ比率であり、双方とも関心が高いことがわか

本アンケートは 2017 年 11 月 10 日に開催した、る(設問 3)。発振器そのものの開発者も 22%となっておJEMEA シンポジウム企画 半導体発振器パネルディ

り、今回のアンケートはニーズの動向に関心が高いこ

スカッション「会員アンケートから見る半導体デバイとがうかがわれる。経験年数を問う設問では、10 年以スの将来」の運営のために、2017 年 10 月 17 日から、上が 61%となっており、若手研究者・開発者の関心が2017 年 11 月 7 日まで JEMEA ホームページで Web薄いように感じられる結果となっている(設問 4)。また、形式にて行ったものである。本アンケートへの協力は、54%がすでに半導体マイクロ波源を利用しており、多JEMEA 事務局よりホームページによる広報、学会員

くの研究開発従事者が半導体マイクロ波源を利用しておよび、これまでのシンポジウム・セミナー・研修会いる(設問 5)。高効率のマイクロ波源として期待されて参加の際にアドレス登録された方々に、メールにて依いる GaN についても 30%が使用実績ありとしており、頼した。

新しい技術を積極的に取り入れる姿勢が読み取れる。

アンケートの設問は主に、半導体マイクロ波デバイ
表 1 回答者の属性に関する回答結果

ス・発振器・発生器の将来展望に関する、関係者の意
設問1

JEMEA会員ですか？
1 会員
2 学生会員
3 非会員

件数 比率
31 78%
回答
25%
7 18%
40
設問2 産学官どのポジションですか？
件数 比率
1産23 58%
回答
2学12 30%
3 官・その他
5 13%
40
設問3 マイクロ波にはどのようにかかわられていますか？件数 比率
1 利用側
21 41%
回答
2 マイクロ波装置設計・製造側
15 29%（複数）
3 発振器開発・製造
11 22%
4 その他
48%
51

識を知ることを目的とした。内容は、「回答者属性」、「半導体マイクロ波発振器全般」、「マイクロ波の応用について(半導体マイクロ波発振器を含む全般)」、「事務局運営」に関する項目にを設定した。本報告では「事務局運営」関して、全 38 の設問を設定した。
3. アンケート回答結果
3-1. 回答状況・回答者属性
アンケートは JEMEA 会員および、セミナー参加で（次ページにつづく）

6

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表１ つづきこの分野に携わって何年ですか？
1 これから
2 1年未満回答
3 1から3年（複数）
4 3～5年
5 5～10年
6 10年以上
設問4

設問5
回答

設問6
回答

半導体マイクロ波源を既にお使いですか？
1 半導体発振器（ＬＤＭＯＳ等）
2 半導体発振器（GaN）
3 使っていない／その他
半導体マイクロ波発振器以外のマイクロ波源はお使いですか？
1 マグネトロン
2 その他電子管
3 使っていない／その他

表 3 半導体マイクロ波発振器採用に関する回答

5件数 比率13%
13%00%38%
9 25%
22 61%
36
件数 比率
11 24%
14 30%
21 46%
46

設問9回答

件数 比率

導入に際して装置の希望金額はいくらでしょうか？(万円30万円、100万円～300万円、1ＭＷ，1億円、30万円、300万円／2kWクラス、1.5kW出力の発振器が20万円程度だったらよいです、10万円以内／200W以上 くらいになれば検討をしてみたいと思いますが。
マイクロ波発生装置 10万円/KW、100万円以下、300万円以内、システム全体で５０万円程度になるとう
れしいです、100万円以下、10万円、ラボ用の実験装置として\500万未満で提供したい、300万円程度、300万円程度

設問10 採用に何を重視していますか？
1 出力
2 コスト
回答
3 制御性
（複数）
4 寿命
5 サイズ／重さ
6 その他

25 57%
49%
15 34%
44

3.2. 半導体マイクロ波発振器全般について
続いて、半導体マイクロ波装置の実用化がどのよう

件数 比率
14 21%
21 31%
18 26%
8 12%
69%
11%
68

設問11 採用に関して、コメントがあればピンポイント（1～2cmの制度）で当てたい部分を選択できるのが良い
制御性の内容を具体的に発信して欲しい
１：半導体は均一スペクトル。マグネトロンは周波数や出力が揺れ動くことによって加熱が均一に成る魅力を回答有している。
半導体を用いてマルチモードアプリケータをマグネトロン並みに均一加熱するコントローラの実現を望む
２：マグネトロンは反射波に強い。
マグネトロン並みの耐VSMR性がほしいに進むかの問いについて、加熱乾燥(25%)、化学反応(21%)、材料プロセッシング(16%)の回答が多く、プラズマ(11%)、医療(9%)、エネルギー伝送(6%)と続いた（設問 7）。化学反応、材料プロセッシングへの期待が大きいのは、当学会が主要な研究対象としているためと考えられる。学会での発表件数は多くないものの、加熱が 30 万円～100 万円であることから、現状を判断材料乾燥、医療についても期待されていることがうかがえとしてこのような価格帯の回答が多かったと推察してる。処理量についてはラボスケール(43%),ベンチスケいる。今後、半導体マイクロ波発振器の価格が下がるール(50%)と小規模に留まると想定されている。

ことで、アンケート結果も大きく変わると思われる。
半導体マイクロ波源を採用する際に重視する点として

表 2 半導体マイクロ波発生器に関する回答結果

は、コスト(31%)、制御性（26%）
、出力（21%）と、（半導体マイクロ波発振器は）どの分野で（普及
設問7
件数 比率
すると）思われていますか？
1 加熱・乾燥24 25%
2 自動車
3 3%
3 調理
3 3%
4 化学反応20 21%
回答
5 材料プロセッシング
15 16%（複数）
6 プラズマ11 11%
7 医療
9 9%
8 エネルギー伝送
6 6%
9 その他
5 5%
植物、通信機器、通信、レーダ、洗浄、マイク
その他の回答 ロ波計測、マイクロ波計測
96
設問8 処理量(予定も含む)はどのくらいでしょうか？
件数 比率
1 ラボスケール
13 43%
回答
2 ベンチスケール
15 50%（複数）
3 日産0.1t
1 3%
4 日産1t1 3%
30

コストを主要因と挙げられていることからも（設問10）、現状のマイクロ波装置の低価格化への期待が大きいと考えられる。制御性をポイントとしている回答も多く、制御性（周波数制御、応答速度、パルス化）に関する差別化と、低コスト化は 2 極化することが示唆される。一方、出力が 3 番目とされており、現状の出力で対応できるアプリケーションを探していることもうかがえる。採用についての自由記載コメントでは、仕様書などで見える電気的な制御性ではなく、照射エリアや均一加熱性、耐久性など、より実用的な項目にした際の性能が明確になることが期待されていると読

半導体マイクロ波発振器が組み込まれた装置の購入み取ることができる。

希望に関する自由回答結果を表 3（設問 9）に示す。お表 4（設問 12）に使用状況や関心を質問したところ、およそ 100 万円以上が多いように感じる。回答者がマ「実績あり」が 57%と多くの人が利用し始めており、イクロ波装置設計・製造装置（設問 3）従事者が多い

すでに研究・開発環境では普及が進んでいると判断でこと、現状の半導体マイクロ波発振器（100W クラス）

7

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きる。類似の質問としてデモ品の希望に関しても、使希望の大きい理由として、高周波利用設備としての届用を希望(66%)としており（設問 19）同様の傾向がう

け出が不要な 50W 以下の実用化を目指した研究・開発

かがえる。
一方、デモ品の希望をしない（34%）と、高いこと

表 5 改良・改善の希望点なども特徴であり、その理由として、発振器のみのデモで設問13 魅力的な点
件数 比率
1 効率
11 10%
2 サイズ
11 10%
3 周波数可変24 21%
回答
4 スペクトル幅
18 16%（複数）
5 応答スピード
15 13%
6 寿命
17 15%
7 マイクロ波ON/OFF
14 13%
8 その他
2 2%位相や周波数制御による電界場制御周波数スペクトラムの帯域が狭いこと
電圧が低い、電力可変高圧電圧対策不要
振動に強い
かっこいい（目新しい）装置の組み立て分解の自由度が大きい。

は評価が難しい、競合他社となり得るため回答を控えているのではないか、など考察される。
表 4 半導体マイクロ波発振器の使用状況について設問12 使用状況／関心について
1 使用実績あり
回答
2 使用実績はないが関心はある
（複数）
3 様子見
4 その他

件数 比率
21 57%
12 32%
38%
13%
37

設問19 もしデモ品があれば使いたいですが
1 使いたい回答
2 どちらでもいい件数 比率
19 66%
10 34%
29

設問14 改良を希望する点
1 出力
回答
2 価格
（複数）
3 効率
4 その他
反射に対する防御
個別にアイソレータではなく、電子的制御が望ましい
同調長寿命化できるのでしょうか
標準化
出力、価格、効率全て。
また高出力化の場合はサイズも。

3.3. 現状の半導体マイクロ波発生器に対する評価
表 5 に、半導体マイクロ波発生器に関する評価や改良への要望の回答を記す。魅力的な点として周波数可変(21%)があげられる点が特徴であるが(設問 13)、その112
件数 比率
2 6%
26 76%
3 9%
3 9%

設問20 その他改善を希望する点
スプリアス制御
回答 半導体の故障モードの公開とその対応策
反射波（あるいはVSWR）に対する耐久性。

他の項目は、10-16%であり、回答者それぞれの評価が分散している。応用用途ごとに、異なる特性が必要であることが示唆される。

グループが多いためと考えられる。同様に 1kW 以上が一方、改善点として価格(76%)が突出している（設問大きい理由として、大規模生産設備への実用化を期待

14）。表 3（設問 10）の採用に重視する点でもコストしているグループがいるためと示唆される。

が重要視されていたが、将来的にはさらなる低価格化を期待していることがわかる。シンポジウムの質問な表 6 効率、最大出力への関心

どで出力・効率が話題に上るものの、改良を希望する

設問15 何％の効率であれば購入を検討しますか？
1 現状(60%でよい）
2 60-70%
回答3 70-75%
4 75-80%
5 80%以上

ほど優先度が高くないようである。
効率、出力の改善希望が少なかったが、希望する効率、出力の回答結果を表 6 に示す。この結果からも、効率は現状のまま（41%）と、効率向上を重視してい設問16 何Wの出力が必要ですか？
1 100W以下
2 100-200W
回答
3 200-300W（複数）
4 300-500W
5 500-1000W
6 1000W以上ない様子がうかがえる（設問 15）。希望出力については 200-300W(23%),100W 以下(19%)、1kW 以上(19%)と大きく分かれている。200-300W は現状市販レベルで到達できているため、これ以上の効率向上を大きく求めていないように受け取れる。一方、100W 以下の

8

件数 比率
12 41%
4 14%
6 21%
5 17%
2 7%
29
件数 比率
10 19%
7 13%
12 23%
6 12%
7 13%
10 19%
52

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表 8 普及に関する回答

表 7 実装に関わる仕様に関する要望

設問23 どの分野が最初に普及すると思われていますか？件数 比率
1 加熱・乾燥24 25%
2 自動車
33%
3 調理
33%
4 化学反応20 21%
回答
5 材料プロセッシング
15 16%（複数）
6 プラズマ11 11%
7 医療99%
8 エネルギー伝送
66%
9 その他
55%
生産物が高価で、所用出力が小さい分野
普及マグネトロンの価格になれば、電子レンジへの採用もあると思います。
ほとんど、同時進行的に進むでしょう。
産業スケールではなく、ラボスケールで先行が必要かと思う。
産業用の加熱という分野で考えると、今のところ半導体発振器を使うイメージがわかな
い。

ご使用に対して利用不可能な冷却方法はありま
件数 比率
すか？
1 自然空冷1 3%
2 強制空冷
3 9%
回答
3 水冷
8 24%
（複数）
4 特になし14 41%
5 分からない
8 24%
34
設問17ご使用に対して利用不可能な出力コネクタはあり
件数 比率ますか？
1 SMAコネクタ
2 5%
2 Nコネクタ
8 19%
3 DINコネクタ
6 14%
回答
4 導波管
6 14%
（複数）
5 その他
0 0%
6 特になし9 21%
7 分からない
11 26%
42
設問18

設問24 普及のための処理量
1 ラボスケール
回答
2 ベンチスケール（複数）
3 日産0.1t
4 日産1t

表 7 には半導体マイクロ波発生装置の基本性能ではなく、装置として実装する際に必要となる冷却方式やコネクタについての回答結果を示した。冷却方設問25 普及について
1 普及が始まっている
2 3年以内
3 5年以内回答
4 10年以内
5 10年以上6 わからない式については、「特になし」と「分からない」が併せて 65%であり、一部に水冷を希望(24%)する以外は、大きな関心事項でないことが読み取れる。また、コ件数 比率
13 43%
15 50%
1 3%
1 3%
30
件数 比率10 38%
6 23%
0 0%
2 8%
0 0%
8 31%
26

ネクタについても同様で、「特になし」と「分からな表 9(設問 26)を見ると、普及に必要な効率としては、い」が併せて 47%と大部分を占めている。

70-75%(24%)、現状(21%)、わからない(18%)と回答されている。これを関心項目（表 6（設問 15））と比較す

3.4. 普及に関する回答
半導体マイクロ波装置の普及については、表 8 に示

ると、普及には設計者・開発者が想定するよりは、高すよう、加熱・乾燥(25％)、化学反応(21%)、材料プロい効率が必要と考えていることが見える。特に、セッシング(16%)となっている。これは、現状について70%-80%以上を合計すると 48%の回答者が普及に必の回答結果(表 2（設問 7）)と同じである。設問 7 の意要と考えており、現状技術レベルを超えた効率向上が図が現状と認識されていない恐れはあるが、おおよそ本格普及の要件と考えていることが推測される。一方、現状の開発分野がそのまま半導体マイクロ波装置の普出力に関しては、現状の技術レベルを大幅に超える、及を牽引していくと予想する、設計・開発者が多いと500W を普及の要件とする回答者は少ない。大出力マ考えられる。

イクロ波源はマグネトロン等電子管式、500W 以下は半導体マイクロ波発振器との住み分けを想定している

また、設問 24 では普及促進に必要な処理量はベンチ回答者が多いためと推測される。

スケール(50%)、ラボスケール(43%)であり、こちらも

表 9 普及に必要な効率・出力について設問 8 の現状と同様の回答と判断できる。ただし、設問 7、8 についての質問が普及に必要な条件と解釈した

設問26 普及のための効率は？
1 現状(60%でよい）
2 60-70%
3 70-75%
回答
4 75-80%
5 80%以上6 わからない回答も多いと推定される。
普及が始まる時期については、普及が始まっている(38%)、3 年以内(23%)となっている。既に半導体マイクロ波装置の技術は当該事業者、研究者には浸透して設問27 普及するために、必要な出力は？
1 現状(200W以下)
2 200-500W
回答
3 500-1ｋW
4 1kW以上5 わからない

おり、応用面での普及も始まりつつあると認識されていると考えられる。

9件数 比率
7 21%
5 15%
8 24%
6 18%
26%
6 18%
34
件数 比率
3 14%
10 48%
00%
3 14%
5 24%
21

JEMEA Bulletin Vol.4 No.1 (2018.6)

表 10 普及に必要な価格についての回答

表 12 マグネトロン等電子管を含むマイクロ波応用

設問28 普及するために必要な価格
マグネトロン発振器並み
基本的に、市場規模が大きくなれば価格は下がる。
10円/1ワットが当面の目標でしょう。
現在の加熱・加工用マイクロ波装置メーカーは、大きな転換期を迎えています。
導波管・立体回路はほとんどビジネスにならない。
電源も、高圧から低圧大電流に変わります。
立体回路は、増幅器のコストダウンのボトルネックで回答 す。
20万円@200W
料理用機器で10万円＠1kW
10万円以内／200W以上5000円/Kw
100Wで1万円以下
１００円以下発振に必要なもの1セットで￥100万/kW

全般についての回答
マイクロ波の応用について(半導体マイクロ波発設問30 振器を含む全般)
件数 比率
どの応用分野に興味がありますか？
1 加熱・乾燥24 22%
2 自動車
65%
3 調理
87%
4 化学反応24 22%
回答
5 材料プロセッシング
18 16%（複数）
6 プラズマ11 10%
7 医療
12 11%
8 エネルギー伝送
76%
9 その他
00%
110

設問31

表 11 普及に関するコメント
設問29

回答

普及に関してコメントがあれば出力と寿命の利点のみであれば、価格がマグネトロンと同等になる必要がある。サイズや、スペクトル特性などがプロセス上利点となれば、多少価格が高くても。要は、利益に見合う価格である事が必要と思います。安価な代替手段があれば、そちらが採用されます。ターゲットはコンビニエ
ンスストア（業務用1kW）、官公庁（一般家庭用500W）
900MHz帯のISMバンド利用域を広げてほしいすでにそれなりに普及しているものと認識しています。<br>さらに普及させるときには、かねがね言っている様に、電場磁場の使い分けなど装置仕様を明らかにしていく、単に半導体発信源ですよだけでなく半導体でどういう種類のどういう類のマイクロ波を発振させ利用しているのかの公開と明示が必要だと思う。半導体デバイスは、化学反応においてキャビティと容器をセットでシステムの検討が必要。そうでなければ半導体を選ぶ必要がない。「これからの技術」ではなく、すでに普及していおり、現状は、より多方面に利用可とするための改善中、という認識しています。ラボ用に小出力分野で実績を積み上げる

回答

マイクロ波の応用全般について
応用分野名（例 加熱乾燥）
化学反応21世紀は、加熱ではなく、加工したいプロセスを支配しているエネルギーチャンネルを標的にした非平衡加工が主流になるでしょう。
その意味で、マイクロ波は、典型的な選択加熱・加工の手段。
反応装置設計
反応メカニズム
加熱・乾燥
化学反応
材料プロセッシング
医療
食品加工・工業品加工
加熱応用、エネルギー伝送エネルギー伝送
プラズマ加工（半導体加工装置）
粒子合成
精油抽出
医療
化学プロセス
化学反応
熱処理装置（おもに、半導体、電子部品分野）

これは、半導体マイクロ波発振器・装置に関する設問
7 と類似の傾向を示すが、大出力を得意とするマグネトロン等電子管デバイスが多く利用されている分野の表 10 には自由記入で価格についての回答を記載す回答も多かった。

る。本回答は、現状より大幅な低価格化を想定した記述が多く、現状レベルからの要求価格（表 3（設問 9））と大きな乖離が見られる。表 3（設問 10）、表 5（設問

表 13 マイクロ波全般における必要電力・周波数帯に14）からも、低価格化は本格普及の要件ととらえてい関する回答る回答者が多い。普及に関して自由記述での回答を表

マイクロ波の応用全般について必要電力は？
1 ～10W
2 10～200W
回答
3 200～1kW（複数）
4 1kW～100kW
5 100kW以上
設問32

11 に示す。
3.5.マイクロ波全般（半導体を含む）に関する回答
これまでは半導体マイクロ波発振器・装置についてマイクロ波の応用全般について興味のある周波数は？
1 915MHz回答
2 2.45GHz（複数）
3 5.8GHz
4 その他
設問33の回答を整理したが、マイクロ波エネルギー全般についての意識の分析を行った。分野に関する設問、表 12（設問 30）では、加熱・乾燥(22%)、化学反応(22%)、材料プロセッシング(16%)に興味があるとされている。

10件数 比率
411131124110%
27%
32%
27%
5%

件数 比率
13 22%
23 39%
18 31%5 8%59

JEMEA Bulletin Vol.4 No.1 (2018.6)

表 13 にはマイクロ波全般の応用に必要なマイクロマグネトロンと半導体マイクロ波発振器・装置の違波電力・周波数帯の回答を示す。マイクロ波応用はいを認識しているかの設問（表 16（設問 21））には、100kW までの出力が必要な応用分野に広く期待され92%が理解していると答えている。回答者は半導体マていることがわかる。周波数帯も同様で、915MHz、イクロ波発振器・装置への理解が高いことがわかるが、2.45GHz、5.8GHz すべての帯域に均等に関心がもた回答者属性（表 1（質問 4））を見ると 10 年以上従事れていることが読み取れる。

している回答者が多く、若手に対する認知度や教育状

当該領域の成熟度に関する設問（表 14（設問 34））

表 15 マイクロ波全般の市場規模と実用化の必要項目

では、成熟度を 5 段階（1;基礎研究レベル、5:産業化）
設問36で回答を得たが、39%が基礎研究レベルとしていることが分かった。一方、実用化への到達度に関する設問

回答（表 14（設問 35））では、既に実用化、3 年以内、5年以内を合計すると 64%となっている。学術的には基マイクロ波の応用全般について実用化するために重要な項目は？
1 装置コスト
2 ランニングコスト
回答
3 基礎理論（複数）
4 法整備
5 その他

礎レベルにもかかわらず、実用化が進んでいると認識

設問37されていることが推測される。一方、10 年以上との回答はなく、近い将来、本格的な産業応用への期待が大きいことがわかる。

設問38

表 14 マイクロ波応用全般における成熟度と実用化期間に関する関東
マイクロ波の応用全般について
設問34
現在の技術レベル（５段階評価）
1 １（基礎研究）
22
回答
33
44
5 ５（産業化）

設問35

回答

マイクロ波の応用全般について実用化に必要な期間は？
1 実用化済み
2 ～3年
3 3～5年
4 5～10年
5 10年以上6 わからない

件数 比率
116
64
128

マイクロ波の応用全般について実用化時の市場規模は？
1 ～1億
2 １～10億
3 10～100億
4 100億～１兆
5 １兆円以上6 わからない

39%
21%
21%
14%
4%

件数 比率
3 14%
0 0%
3 14%
0 0%
0 0%
15 71%
21
件数 比率
17 34%
12 24%
9 18%
10 20%
2 4%50マイクロ波の応用全般についてコメントがあれば？
利用により得られる価値が、投資コスト（発振器のみでなく、全体システム）に見合わなければ、実用にはなりません。
SiCウエハの活性化アニールや酸窒化プロセスのような1300～2000℃の温度領域の加熱が必要な用途に使用を考えたが、大学の研究室を想定すると、価格が成り立たない。
また、チップレベルでの研究が、同じプロセスで量産レベルの装置にできるとは思えない。
加熱分野で産業用として育成しようとするとラボから生産ラインへのギャップがある。<br>
その技術が、その分野でスケーラブルかということが産業用として花開くかどうかのポイントかと思う。

件数 比率
5 18%
4 14%
9 32%
3 11%
00%
7 25%
28

表 16 その他
マグネトロンと半導体マイクロ波発振器の違いを件数 比率
ご存知でしょうか？
1 知っている33 92%
回答
2 よくわからない
38%
36
設問22 マイクロ波装置を販売する場合、販売地域は？ 件数 比率
回答
1 国内20 61%
（複数）
2 海外
13 39%
33
設問21

市場規模に関する回答を表 15（設問 36）に示す。
「わからない」が 71%となっており、当該分野に従事している設計者・開発者においても、将来基盤産業になる況については、不明のままであった。

か不安が大きいことが伺える。表 15（設問 37）を見ると、装置コスト、ランニングコスト合わせて 58%が

表 16（質問 22）を見ると、39%の回答者が海外販売実用化のために重要と考えており、類似の回答結果（表を視野に入れており、国際競争に耐えうる技術を望ん3（設問 10)、表 5（設問 14））以上に、コストが重要でいることがうかがえる。

であるとの認識が示されている。
4. パネルディスカッションでの議論
シンポジウム中のパネルディスカッションでは以下

3.6. その他

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JEMEA Bulletin Vol.4 No.1 (2018.6)の話題が出た。
・現状は半導体発振器以外のコスト要因も大きい。
（メーカー）
・マグネトロンからみて 1KW 以上の分野では、半導体は脅威ではない（メーカー）
・欧州では周辺機器が高いので普及はまだ先と考えられている（パネラー）
・半導体のメリットが明確になっていないので、一緒に探してほしい（メーカー）
また、最後に学会顧問より、「今後、JEMEA が化工系の学会と協力して広げていけたらいいと思います。また、製造の方は、電機業界の枠を超えてやっていただきたい。自動車が今までとは違う方向に進んでいるように、新しい挑戦が出来るのではないでしょうか。半導体発振器はマイクロ波の実験にすごく良いと思います。皆さんでこれからを開いてください！」の発言があり、パネルディスカッションを終えた。
5．まとめ
筆者の主観が大きく入るものの、おおむね以下の項目が回答者の共通認識として読み取ることができた。
・将来の低価格への期待はとても大きいが、現状の価格は容認されている。
・周波数可変の期待は共通認識となっているが、その他の特徴（サイズ、応答速度、寿命）への期待は、応用用途毎に異なっている。
・出力への要請は小さい（現状程度で十分）。
・すでに普及は始まっている。
・マグネトロン等、電子管デバイスとの住み分けの意
識が明確になっている（大電力低コスト vs 省電力高機能）。
・国際競争に耐えうる技術が望まれている。
謝辞
回答をいただいた皆様、設問作成にご協力していただいた皆様、本アンケートをもとにパネルディスカッ
ションを運営していただいた上智大学 堀越先生、パネルディスカッションにご参加いただいた皆様にお礼を申し上げます。

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