AppNano社製SPMプローブ

https://www.appnano.com

AppNano社はほとんどの用途に対応可能なSPMプローブの開発、製造を行う数少ないメーカーで、そのラインナップは従来品から特殊用途まで多岐にわたります。
⻑年にわたるナノ加⼯とAFMプローブの研究での豊富な経験を活かし、市場の最新技術を活用した高品質のプローブをご提供します。

プローブラインナップ
プローブタイプ

各種コーティング及び特殊仕様･Non- Contact / Tapping Mode/ Soft Tappingモード用･反射コートティング(Al)

ACT/ACL/ACST シリーズ

で対応可能

･ Force Modulationモード用
FORTシリーズ

ACT/ACL/ACST/ FORT/ SICON/SHOCONシリーズ･導電コーティングプロ−ブ（Pr/Cr）
ACT/FORT/ SICON、一部ACCESSタイプで対応可能･ Contact/Short Contactモード用
SICON/SHOCONシリーズ･シリコンナイトライドプローブ（V-Shape, Rectangular)
HYDRAシリーズ

・Tiplessプローブ
で対応可能

SiNカンチレバーにSi Tipを有するプローブ。

ACT/ACL/ACST/ FORT/ SICON/SHOCONシリーズ･金コ−トプロ−ブ(全面及び背面)・ACCESSタイプ

能Tip先端を光学的に確認できるように設計されたプローブ

ACT/ACL/ACST/ FORT/ SICON/SHOCONで対応可
全面コート(GG)及び背面コート(G)より選択･導電ダイヤモンドコーティング

ACT/ACL/ACST/ FORT/ SICONで対応可能

ACT/FORT/ SICONで対応可能
・Ball Probe

・Tiplessプローブ
ACT/ACL/ACST/ FORT/ SICON/SHOCONシリーズで対応可能

EBDにてプローブ先端に以下の直径を有するHDC製Ballを形成。
<直径>20nm/35nm/50nm/100nm/150nm
ACT/FORT/ SICONで対応可能

特殊タイプ･A-FAST Series

NEW !

･TERS プローブ

大気中/液中の高速イメージング用に設計されており、Omni™ Tip Enhanced Raman Spectroscopy (TERS)

分解能を損ねることなく測定が可能です。

プローブは、試料のトポグラフィーとラマンスペクトル情報を同時に取得するように設計･PtSiコートプローブ

NEW !

EFMアプリケーション用に両面にPtSiをコーティングを施したプローブ<特徴>:- TERSのすべての動作モードが可能- ほとんどのAFM-RAMANシステムと互換性あり。

･Plateau /Pillarプローブ
平らな先端を有するプローブ- Agコーティングされたプローブは不活性ガス封入可能な独自のプローブボックスで先端を保護

開発品（購入可能）･COLLOIDAL Series

NEW !

表面相互作用力測定用プローブ･BioLeverNEW !

高速AFM用に設計されたプローブ

Tiplessカンチレバーに取り付けられた共振周波数: 約1.5 MHz(大気中）

コロイド粒子にて相互作用力を測定※水中では約600 kHz<材質＞
Borosilicate Glass/SiO2/Polystyrene※対応可能な直径はお問い合わせください

ばね定数:

0.1 N/m〜0.3 N/m

カンチレバー寸法: 9X3X0.15um
コーティング: 背面Auコート<対応可能なプローブ＞
すべてのTiplessカンチレバー<対応可能なコーティング＞
背面: Al / Au
コロイド: 要相談

・Step Height Standard (SHS)）･AFM、SEM、光学式/機械式プロファイラの校正用に設計された多目的キャリブレーションサンプル
異なるピッチのステップハイト、ライン、グリッド、Force Modulation

倍率ボックス、スポット測定構造を有します。
本品はSiO2とSiで構成され、オプションで反射率向上、帯電防止のための金属コートが選択可能
詳細は以下のウェブサイトを参照ください:

Contact

https://www.appnano.com/step-height-standard

詳細はお問い合わせください。

プローブスペック

Silicon Probes
Non- Contact / Tapping Mode Silicon Probes
Probe Model

ACT
ACTA
ACT-SS
ACTA-SS
ACTG
ACTGG
ACL
ACLA
ACL-SS
ACLA-SS
ACLG
ACLGG
ACCESS-NC
ACCESS-NC-GG
ACCESS-NC-A
ACCESS-NC-G

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

37300

12530

458190

225

40

7.8

78320

150

54

5.5

Coating

QuantityNone
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Au both sides
Al reflex side
Au reflex side

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50Non-Contact/Soft Tapping Mode Silicon Probes
Probe Model

Force Modulation

ACST
ACSTA
ACST-SSACSTA-SSACSTG
ACSTGGACCESS-SNC
ACCESS-SNC-GG
ACCESS-SNC-A
ACCESS-SNC-G

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

7.8

150

150

28

3.0

4.45

125

150

50

2.0

Coating

QuantityNone
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Au both sides
Al reflex side
Au reflex side

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Force Modulation Mode Silicon Probes
Probe Model

FORT
FORTA
FORT-SS
FORT-SS
FORTG
FORTGGACCESS-FM
ACCESS-FM-GG
ACCESS-FM-A
ACCESS-FM-G

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

1.6

61

225

27

2.7

2.7

60

245

52

2.8

k (N/m)f (kHz)Coating

QuantityNone
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Au both sides
Al reflex side
Au reflex side

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Coating

QuantityNone
Al reflex side
NoneAl reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Au both sides
Al reflex side
Au reflex side

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Contact

Contact Mode Silicon Probes
Probe Model

SICON
SICON
SICON-SS
SICONSSSICONGSICONGGACCESS-C
ACCESS-C-GG
ACCESS-C-A
ACCESS-C-G

Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

0.29

15450

49

2.5

0.3

16450

49.5

2.5

プローブスペック

Short Contact Mode Silicon Probes
Probe Modelk (N/m)

SHOCONSHOCONASHOCON-SS
SHOCON-SS
SHOCONGSHOCONGG

0.14

Probe Modelk (N/m)f (kHz)21

Length (µm)

225

Width (µm)

46

Thickness (µm)

Coating

Quantity

1.0

None
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Coating

QuantityNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex side
Au reflex side
Au both sidesNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50

Force Modulation

Tipless Silicon Probe from All Modes
ACT-TLACTA-TL
ACTG-TL
ACTGG-TL
ACL-TL
ACLA-TLACLG-TLACLGG-TL
ACST-TLACSTA-TL
ACSTG-TL
ACSTGG-TL
FORT-TLFORTA-TLFORTG-TL
FORTGG-TL
SICON-TL
SICON-TL
SICONG-TL
SICONGG-TL
SHOCON-TL
SHOCONA-TL
SHOCONG-TL
SHOCONGG-TL

f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

37300

125

30

4.0

58190

225

40

7.8

7.8

150

150

28

3.0

1.6

61

225

27

2.7

0.29

15450

49

2.5

0.14

21225

46

1.0k (N/m)

f (kHz)Length (µm)

MFM Probes
Probe Model

MAGT
MAGT-HM
MAGT-LM

1.6

61225

Probe Modelk (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

27Thickness (µm)

Coating

Quantity

2.7

Co-Cr(50nm)
Co-Cr(150nm)
Co-Cr(15nm)

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50/410

CoatingQuantity

Contact

EFM Probes
Width (µm)

Thickness (µm)

ANSCM-PC

0.29

1545049

2.5

ANSCM-PT

1.661

225

272.7

ANSCM-PA

37300

12530

4.0

ANSCM-PA5

37300

12530

4.0

ACCESS-EFM

2.760

245

52

2.8

PtSi-ACT
PtSi-FORT
PtSi-SICON

37
1.6
0.29

300
61
15125
225
450

30
2749

4.0
2.7
2.5

Pt-Ir bothside(25nm)
Pt-Ir bothside(25nm)
Pt-Ir bothside(25nm)
Pt-Ir bothside(50nm)
Pt-Ir bothside(25nm)PtSi both side
PtSi both side
PtSi both side

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

プローブスペック

Doped Diamond Probes
Probe Modelk (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

Coating

DD-ACTA

37300

125

30

4.0

DD-FORTA

1.6

61

225

27

2.7

DD-SICONA

0.3

15

450

49

2.5

DD-ACCESS-NC-A

78

300

150

54

5.2

Probe Modelk (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

Coating

QuantityOMNI-TERS-NC-Au
OMNI-TERS-SNC-Au78.00
4.45

300
1251501505450

5.2
2.0

5/10
5/10

OMNI-TERS-SNC-Ag

4.45

12515050

2.0

OMNI-TERS-FM-Ag

2.760

24552

2.8

Ti/Au Both side
Ti/Au Both side
Ag Tip side
Ag/Au Cantilever
Ag Tip side
Ag/Au Cantilever

Doped Diamond
Tip side(100nm)
Al reflex side
Doped Diamond
Tip side(100nm)
Al reflex side
Doped Diamond
Tip side(100nm)
Al reflex side
Doped Diamond
Tip side(100nm)
Al reflex side

Quantity

5/10/20/50/410

5/10/20/50/410

5/10/20/50/410

5/10/20/50

Contact

Force Modulation

Tip Enhanced Raman Spectroscopy (TERS) Probes

5/10
5/10

プローブスペック

Silicon Nitride Probes
Single Regtangular Cantilver
Probe ModelHYDRA6R-200N
HYDRA6R-200NG
HYDRA6R-200NGG
HYDRA6R-100N
HYDRA6R-100NGHYDRA6R-100NGG
HYDRA2R-100N
HYDRA2R-100NGHYDRA2R-100NGG
HYDRA2R-50N
HYDRA2R-50NG
HYDRA2R-50NGG

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

0.035

17.0

200.0

35.0

0.6

0.284

66

100

350.60.011

21

100

350.20.084

77

50

350.2

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

0.045

17200

400.60.081

17200

400.60.292

66

100

180.60.405

67

100

250.60.088

42.0

100.0

18.00.4

Coating

Quantitynone
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides

10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Coating

Quantitynone
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides

10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

V-shaped Single Cantilver

Contact

Force Modulation

Probe ModelHYDRA6V-200N
HYDRA6V-200NG
HYDRA6V-200NGG
HYDRA6V-200W
HYDRA6V-200WG
HYDRA6V-200WGG
HYDRA6V-100N
HYDRA6V-100NGHYDRA6V-100NGG
HYDRA6V-100W
HYDRA6V-100WG
HYDRA6V-100WGG
HYDRA4V-100N
HYDRA4V-100NGHYDRA4V-100NGG

Tipless Single Cantilver (from All Models)
Probe ModelHYDRA6R-200N-TL
HYDRA6R-200NG-TL
HYDRA6R-200NGG-TL
HYDRA6R-100N-TL
HYDRA6R-100NG-TL
HYDRA6R-100NGG-TL
HYDRA2R-100N-TL
HYDRA2R-100NG-TL
HYDRA2R-100NGG-TL
HYDRA2R-50N-TL
HYDRA2R-50NG-TL
HYDRA2R-50NGG-TL
HYDRA6V-200N-TL
HYDRA6V-200NG-TL
HYDRA6V-200NGG-TL
HYDRA6V-200W-TL
HYDRA6V-200WG-TL
HYDRA6V-200WGG-TL
HYDRA6V-100N-TL
HYDRA6V-100NG-TL
HYDRA6V-100NGG-TL
HYDRA6V-100W-TL
HYDRA6V-100WG-TL
HYDRA6V-100WGG-TL
HYDRA4V-100N-TL
HYDRA4V-100NG-TL
HYDRA4V-100NGG-TL

k (N/m)f (kHz)Length (µm) Width (µm) Thickness (µm)

0.035

17.0

200.0

35.0

0.6

0.284

66

100

350.6

0.011

21

100

350.2

0.084

77

50

350.2

0.045

17200

400.6

0.081

17200

400.60.292

66

100

180.6

0.405

67

100

250.60.088

42.0

100.0

18.00.4

Coatingnone
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides

Quantity
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Force Modulation

プローブスペック

Special Probes
Contact

Plateau Probes
Probe Model
ACT-PTU
ACTA-PTU
FORT-PTUFORTA-PTU
SICON-PTU
SICONA-PTU

k (N/m)f (kHz)Length (µm) Width (µm) Thickness (µm)

79

300

125

33

5.0

3.0

60

225

28

3.0

0.31

13450

43

3.0

Probe Model
A-FASTACCESS-UHF

k (N/m)20115

f (kHz)1200
1100

Probe Model
VSCAN-AIRk (N/m)
100

f (kHz)18

Length (µm) Width (µm) Thickness (µm)
0.6
66
0.3

Probe Model
SNOM-C
SNOM-NCk (N/m)
1.41
16.5

f (kHz)21130

Length (µm)
500200Coatingnone
Au reflex sidenone
Au reflex sidenone
Au reflex side

Quantity
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Coating
Gold reflex side
31

Quantity20
10/20/50/200/410

UHF Fast Scanning Probes NEW
Length (µm) Width (µm) Thickness (µm)
28
35
0.6
55
25
2.8

Vscan-Air Probes for SCAN-ASYST mode NEW
Coatingnone

Quantity
10/20/50
Quantity
1010

SNOM ProbeBase

Apperture size

Coating

SiO2150±25nm

Al all side

Adama Innovations社製導電性単結晶ダイヤモンドプローブ
高分解能、高耐久性を有する、導電性単結晶ダイヤモンドプローブです。

主な仕様
プローブ部
･Tip形状四面体･Tip高さ

12.5 um±2.5um･フロント/バックアングル

55±5°･サイドバックアングル

45±5°

･TSB

15±5umAdama Tip on Bulk Tip

ダイヤモンドコート部･Boron doped diamond (7,000 - 8000 ppm Boron)･ダイヤモンド膜の抵抗率（Bulk):<5mΩ・cm(<15m Ω・cm on LC tips)･接触抵抗（Ag表面での測定）: 10-100kΩのレンジ
Bulk Tip (Front View)
プローブラインナップ
Apexシリーズ標準タイプのプローブです。SharpタイプとSuper Sharpタイプがあります。
･Tip形状

円錐形･ダイヤモンドTip高さ

300±100nm･ティルトアングル

0±1°

･材質

単結晶ダイヤモンド･フルコーンアングル･タイプ
型番30±4°

Sharpタイプ

曲率半径(nm)

ばね定数(N/m)

共振周波数(kHz)Sharp

AD-2.8-AS

10±52.8±1.875±25

SharpAD-40-AS10±540±5200±100

SuperSharp

AD-2.8-SS<52.8±1.875±25SuperSharp

AD-40-SS<540±5200±100

CONE⻑寿命かつナノ機械特性想定に適したプローブです。
･Tip形状
円錐形･ダイヤモンドTip高さ

175±50nm･ティルトアングル

0±1°

･材質
･フルコーンアングル

単結晶ダイヤモンド
90±20°タイプ

型番

曲率半径(nm)

ばね定数(N/m)

共振周波数
(kHz)

CONE

FM-LC

20±1010±6100±50

CONE

NC-LC

20±10125±75

450±150

Super Sharpタイプ

プローブラインナップ
CONE NANOMECHANICS
ナノ機械特性想定に特化した高ばね定数タイプのプローブです。
･Tip形状
円錐形･ダイヤモンドTip高さ

500±50nm･ティルトアングル

0±1°

･材質
･フルコーンアングル

単結晶ダイヤモンド
TC: 95±20°
RC: 95±10°タイプ

型番

曲率半径(nm)

ばね定数(N/m)

共振周波数
(kHz)

CONE

NM-TC

20±10600±250350±250

CONE

NM-RC

10±5600±250

350±250

PILLER(HAR）
高アスペクト比タイプ（ピラー形状）のプローブです。
･Tip形状ピラー（円柱形）･ダイヤモンドTip高さ100±20nm･ティルトアングル

0±1°･材質

単結晶ダイヤモンドタイプ

型番

ピラー部直径(nm)

ばね定数
(N/m)

共振周波数
(kHz)

PILLER

AD-2.8-P40

20-40

2.8±1.875±25

PILLER

AD-2.8-P20

10-20

2.8±1.875±25

PILLER

AD-2.8-P10

5-10

2.8±1.8

75±25

PILLER

AD-2.8-P5<5

2.8±1.8

75±25

PILLER

AD-40-P40

20-40

40±5200±100

PILLER

AD-40-P20

10-2040±5200±100

PILLER

AD-40-P105-1040±5200±100

PILLER

AD-40-P5<540±5200±100

Sharpタイプ

Super Sharpタイプ

主な用途
Imaging
Contact Mode, Tapping Mode, Amplitude Modulation, Frequency Modulation, True Non-Contact Mode, LFM,Nanomanipulation etc.
Electrical
C-AFM, SCM, PFM, EFM, KPFM, PeakForce-KPFM™, TUNA, PeakForce-TUNA™, SSRM, STM, Lithography, SRM,ResiScope™, Soft-ResiScope™, HD-KFM™ etc.
Nanomechanics
PeakForce-QNM™, AMFM Mode, Contact Resonance, QI™ Mode, PinPoint™ Nanomechanical Mode, HybriD Mode™,Nanoindentation

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