Capacitance Diaphragm Gauge
Porter™ CDG020D

Gebrauchsanleitung
inkl. EG-Konformitätserklärung

tina80d1(2012-06)

1

Produktidentifikation
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes
erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.

Model:
PN:
SN:
V

2

W

tina80d1(2012-06)

Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe CDG020D.
Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte angeführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und unterscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter(z. B. kundenspezifischer Messbereich).

3CAx-xxx-0x00
Stecker

FlanschEinheit
Messbereich(F.S.)

Genauigkeit

0  FCC1  D-Sub, 9-poligA  Binder M12, 8-polig
1  DN 16 ISO-KF
C  4VCR AußengewindeD  4VCR InnengewindeE  8VCR Innengewinde
5  Torr (x 133 Pa; x 1.3 mbar)
6  mbar (x 100 Pa)
9  10A  20B  50C  100
D  200
E  500
F  1000 (nur Torr)
G  1100 (nur mbar)
3  1%
4  0.5%

Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit
D-Sub-Stecker und Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie geltensinngemäß auch für die anderen Messröhren.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
Alle Maßangaben in mm.

tina80d1(2012-06)

3

Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die Capacitance Diaphragm Gauges der Serie CDG020D sind
Vakuum-Messröhren und erlauben die Absolutdruck-Messung
von Gasen in unterschiedlichen Messbereichen (→  3).
Die Messröhren können mit einem INFICON-Messgerät (VGCSerie) oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben
werden.

Funktion
Die CDG-Messröhre besteht aus einem keramischen kapazitiven
Aufnehmerelement und einer Elektronik, die die Kapazität in ein
Gleichspannungs-Ausgangssignal umwandelt.
Das Ausgangssignal ist linear mit dem zu messenden Druck undunabhängig von der zu messenden Gasart.

MarkenPorter™ INFICON GmbH
VCR®
Swagelok Marketing Co.

PatenteEP 1070239 B1, 1040333 B1
US 6528008 B1, 6591687 B1, 7107855 B2, 7140085 B2,7536915 B2

4

tina80d1(2012-06)

Inhalt
Produktidentifikation
Gültigkeit
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Funktion
MarkenPatente

2
3
4
4
4
4

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewährleistung

6
6
6
7
7

2

Technische Daten

8

3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
3.2 Elektrischer Anschluss
3.2.1 Stecker FCC68, 8-polig
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig
3.2.3 Binder M12, 8-polig

13
13
16
17
18
19

4 Betrieb
4.1 Messröhre abgleichen

20
20

5

Ausbau22

6

Instandhaltung, Instandsetzung

23

7

Produkt zurücksenden

24

8

Produkt entsorgen

25

Literatur

26

ETL-Zertifizierung

26

EG-Konformitätserklärung

27

Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→  XY) verwendet, für Verweise auf weitere, im Literaturverzeichnis aufgelistete, Dokumente das Symbol (→  [Z]).

tina80d1(2012-06)5

1

Sicherheit

1.1

Verwendete Symbole
GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art.

WARNUNG
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.

Vorsicht
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten
kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen.
Hinweis1.2

Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur
durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind.

6

tina80d1(2012-06)

1.3

Grundlegende Sicherheitsvermerke• Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die
Schutzmaßnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien.
• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen zulässig.
Beachten Sie zudem die in diesem Dokument angegebenen
Sicherheitsvermerke.
• Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften undhalten Sie die Schutzmaßnahmen ein.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
weiter.

1.4

Verantwortung und Gewährleistung
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen• dieses Dokument missachten• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungenusw.) vornehmen• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung.

tina80d1(2012-06)

7

2

Technische Daten
Messbereich→ "Gültigkeit"

Genauigkeit 1)
3CA3-xxx-xxxx
3CA4-xxx-xxxx
Temperatureinfluss auf Nullpunkt
Temperatureinfluss auf Bereich
AuflösungGasartabhängigkeit≤1% vom Messwert≤0.5% vom Messwert
0.02% F.S./ °C
0.02% vom Messwert/ °C
0.05% F.S.
keine

Ausgangssignal analog(Messsignal)
Spannungsbereich
Messbereich
Beziehung Spannung-Druck
Ausgangsimpedanz
Lastimpedanz
Ansprechzeit
Identifikation der Messröhre

1)8-0.2 … +10.24 V
0 … +10 V
linear10 Ω (kurzschlussfest)>10 kΩ
100 msWiderstand 13.2 kΩ gegenSpeisungserde

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholgenauigkeit bei 25 °C ohne
Temperatureinfluss nach 2 h Betrieb.
tina80d1(2012-06)

Speisung

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungender geerdeten Schutzkleinspannung (SELV) und
einer Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS)
der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzusichern 2).
Versorgungsspannung
an der Messröhre+13 … +32 VDC
Klasse 2 / LPS
Ripple≤50 mVpp
Stromaufnahme<20 mA
Leistungsaufnahme≤0.3 W
1 AT (träge), automatischSicherung (vorzuschalten) 2)
rückstellend (Polyfuse)
Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung geschützt.
Anschluss elektrisch
3CAx-xxx-0xxx

FCC68/RJ45, 8-polig, Buchse
D-Sub, 9-polig, Stifte
Binder M12, 8-polig, Stifte

3CAx-xxx-1xxx
3CAx-xxx-Axxx
Messkabel
3CAx-xxx-0xxx
8-polig plus Abschirmung
3CAx-xxx-1xxx
9-polig plus Abschirmung
3CAx-xxx-Axxx
8-polig plus Abschirmung
Leitungslänge≤100 m (0.14 mm² Leiter)
Für längere Kabel sind größere Leiterquerschnitte erforderlich.

2)

tina80d1

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.

(2012-06)

9

Erdkonzept
Vakuumflansch–Signalerde
Speisungserde–Signalerde
Werkstoffe gegen Vakuum
Flansch, RohrSensor, Durchführung
Inneres Volumen
DN 16 ISO-KF
4 VCR Außengewinde
4 VCR Innengewinde
8 VCR Innengewinde
Maximaldruck (absolut)≥500 Torr/mbar (F.S.)
50 … 200 Torr/mbar (F.S.)
10 … 30 Torr/mbar (F.S.)
Berstdruck (absolut)
Kompensierter Temperaturbereich
Zulässige Temperatur
Lagerung
Betrieb
Ausheizen (außer Betrieb)
Relative Feuchte

Verwendung
Schutzart

10→ "Elektrischer Anschluss"
getrennt geführt; für differentielle Messung (10 Ω)
Edelstahl AISI 316L
Keramik (Al2O3 ≥99.5%)≤3.7 cm3≤6.1 cm3≤5.6 cm3≤5.1 cm3
4 bar
3 bar
2 bar
6 bar
+10 °C … +50 °C–20 °C … +85 °C
0 °C … +70 °C≤110 °C am Flansch≤80% bei Temperaturen≤+31 °C abnehmend auf
50% bei +40 °C
nur in Innenräumen,
Höhe bis zu 4000 m NN
IP 40

tina80d1(2012-06)

39.15

23.8

23.8

30.7

64.2

DN 16 ISO-KF

49.2

15

84

6

28.3

3.8

Abmessungen [mm]8 VCR
Innengewinde
4 VCR
4 VCR
Innengewinde Außengewinde

Gewicht

tina80d1(2012-06)≤159 g11

Beziehung Messsignal analog – Druck
Druck p1.1×F.S.
1.0×F.S.
0.9×F.S.
0.8×F.S.
0.7×F.S.
0.6×F.S.
0.5×F.S.
0.4×F.S.
0.3×F.S.
0.2×F.S.
0.1×F.S.
0.0×F.S.
0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

Messsignal Uout [V]p = (Uout / 10 V) × c (F.S.)
Umrechnung Torr ↔ PascalcBeispiel:Torrmbar 3)

Pa 3)

1.00

1013.25 / 760 =
1.3332…

101325 / 760 =
133.3224…

Messröhre mit 10 Torr F.S.
Messsignal Uout = 6 V
p = (6 V / 10 V) × 10 Torr
= 0.6 × 10 Torr = 6 Torr

3)

12Quelle: NPL (National Physical Laboratory)
Guide to the Measurement of Pressure and Vacuum, ISBN 0904457x /1998
tina80d1(2012-06)

3

EinbauWARNUNGWARNUNG: Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zerstören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge vermeiden.

3.1

Vakuumanschluss
GEFAHRGEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 barÖffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.

tina80d1(2012-06)

13

GEFAHRGEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.

GEFAHRGEFAHR: Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten
Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindungmuss den Anforderungen einer Schutzverbindungnach EN 61010 entsprechen:• VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.
• Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender
Spannring zu verwenden.

Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

14

tina80d1(2012-06)

Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen undsauberes Werkzeug benutzen.

Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Einbaulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel
nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechtebis stehende Einbaulage zu bevorzugen und eventuelleine Dichtung mit Zentrierring und Filter zu verwenden.
Falls ein Abgleich der Messröhre im eingebauten Zustand möglich sein soll, ist die Zugänglichkeit zum
Taster mit einem Stift zu gewährleisten (→  20).
Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem anschließen.

Dichtung mit Zentrierringoder
Schutzkappe
Dichtung mit Zentrierring
und Filter
Spannelement

Schutzkappe aufbewahren.
tina80d1(2012-06)

15

3.2

Elektrischer Anschluss
Die Messröhre muss ordnungsgemäß an der Vakuumapparatur angeschlossen sein (→  13).

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (SELV)
und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung(LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur
Messröhre ist abzusichern 4).

Erdschleifen, Potentialunterschiede oder EMV können
das Messsignal beeinflussen. Für beste Signalqualität
beachten Sie bitte die folgenden Einbauhinweise:• Kabel mit Geflechtsschirm und metallischem Steckergehäuse verwenden.
• Den Kabelschirm nur einseitig flächenhaft über das
Steckergehäuse mit der Erde verbinden. Das andere
Schirmende offen lassen.
• Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutzerde verbinden.
• Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte
Signal- und Speisungserde).
• Potentialdifferenz zwischen Speisungserde undGehäuse ≤16 V (Überspannungsschutz)

4)

16

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
tina80d1(2012-06)

3.2.1

Stecker FCC68, 8-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen (Kabel→  9).

Ident
Messsignal

4RemoteZero
Adjust

3

10Ω

5
1

100K

680nF

16 V

2

case

Elektrischer Anschluss
Pin 1 Speisung
Pin 2 Speisungserde GND
Pin 3 Signalausgang (Messsignal)
Pin 4 Messröhrenidentifikationoder Remote Zero Adjust
Pin 5 SignalerdePin 6 N.C.
Pin 7 N.C.
Pin 8 N.C.
case Steckergehäuse

tina80d1(2012-06)

1
8

8-pol.
FCC68
Stecker173.2.2

Stecker D-Sub, 9-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen (Kabel→  9).

Ident
Messsignal

7

RemoteZero
Adjust

1

10Ω

8
4

100K

680nF

16 V

9

case

Elektrischer Anschluss
Pin 1 Signalausgang (Messsignal)
Pin 2 N.C.
Pin 3 N.C.
Pin 4 Speisung
Pin 5 N.C.
Pin 6 N.C.
Pin 7 Messröhrenidentifikationoder Remote Zero Adjust
Pin 8 SignalerdePin 9 Speisungserde GND
case Steckergehäuse

18

6

1

9

5

9-pol.
D-Sub
Buchsenlötseitig

tina80d1(2012-06)

3.2.3Binder M12, 8-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen (Kabel→  9).

Ident
Messsignal

4RemoteZero
Adjust

3

10Ω

5
1

100K

680nF

16 V

2

case

Elektrischer Anschluss
Pin 1 Speisung
Pin 2 Speisungserde GND
Pin 3 Signalausgang (Messsignal)
Pin 4 Messröhrenidentifikationoder Remote Zero Adjust
Pin 5 SignalerdePin 6 N.C.
Pin 7 N.C.
Pin 8 N.C.
case Steckergehäuse

tina80d1(2012-06)

2

8

1

3

7
4

5

6

8-pol.
Binder M12
Buchsenlötseitig

19

4

Betrieb
Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb. Bei Verwendung mit
einem INFICON-Messgerät den Messbereich eingeben(→  [2], [3], [4]).
Aufwärmzeit der Messröhre: ca. 1 Minute.

4.1

Messröhre abgleichen
Die Messröhre ist ab Werk in vertikal stehender Lage abgeglichen und ist wartungsfrei.
Einbaulage, Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu
einer Nullpunktverschiebung führen und eine Nullpunkteinstellung erfordern.
Nullpunkteinstellung bei den gleichen und konstanten Umgebungsbedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei
denen die Messröhre normalerweise verwendet wird.
Wird die Messröhre mit einem Messgerät betrieben,muss die Nullpunkteinstellung für das ganze System am
Messgerät erfolgen: Zuerst die Messröhre abgleichen
und anschließend das Messgerät.

4.1.1

Nullpunktabgleich
Der Nullpunktabgleich kann erfolgen über• den Taster an der Messröhre, oder• den digitalen Input "Remote Zero Adjust" (am Pin 7 (D-SubStecker) oder am Pin 4 (FCC68- und Binder M12-Stecker)
kurz die Versorgungsspannung anlegen), oder
• ein INFICON-Messgerät (VGC-Serie).

20

tina80d1(2012-06)

 Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entsprechend der nachfolgenden Tabelle:
F.S.
1100 mbar
1000 Torr/mbar
200 Torr/mbar
100 Torr/mbar
50 Torr/mbar
20 Torr/mbar
10 Torr/mbar

Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung−<5×10-2 Torr
<10-2 Torr
<5×10-3 Torr
<2.5×10-3 Torr
<10-3 Torr
<5×10-4 Torr

<6.65×100 Pa<6.65×100 Pa<1.33×10-0 Pa<6.65×10-1 Pa<3.33×10-1 Pa<1.33×10-1 Pa<6.65×10-2 Pa<5×10-2 mbar
<5×10-2 mbar
<10-2 mbar
<5×10-3 mbar
<2.5×10-3 mbar
<10-3 mbar
<5×10-4 mbar

Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck(>25% von F.S.) durchgeführt, kann Zero nicht erreicht
werden.

 Taster mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz drücken. Der
Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch (Dauer ≤8 s).

Taster kurz drücken
max. ø1.1 mm

Nach dem Nullpunkt-Abgleich kehrt die Messröhre automatisch in den Messmodus zurück.

tina80d1(2012-06)

21

5

AusbauWARNUNGWARNUNG: Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zerstören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge vermeiden.

GEFAHRGEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

22

tina80d1(2012-06)

Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder Teilen davon mit
bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen.

 Vakuumsystem belüften.
 Messröhre außer Betrieb setzen.
 Messkabel ausziehen.
 Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutzdeckel aufsetzen.

6

Instandhaltung, Instandsetzung
Das Produkt ist wartungsfrei.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzungoder Verschleiß zurückzuführen sind, fallen nicht unter
die Gewährleistung.
Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen.
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten
selber ausführen.

tina80d1(2012-06)

23

7

Produkt zurücksenden
WARNUNGWARNUNG: Versand kontaminierter Produkte
Kontaminierte Produkte (z. B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art) können
Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei
von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung *) beilegen.
*)

Formular unter www.inficon.com

Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte
werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

24

tina80d1(2012-06)

8

Produkt entsorgen
GEFAHRGEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

WARNUNGWARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichen
Vorschriften entsorgen.

Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in folgende Kategorien zu unterteilen:• Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch, usw.) müssen entsprechend den länderspezifischen
Vorschriften dekontaminiert, entsprechend ihrer Materialartgetrennt und entsorgt werden.
• Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen
und der Wiederverwertung zuzuführen.

tina80d1(2012-06)25

Literatur [1]www.porter-inficon.com
Produktinformationen
Porter™ CDG020D
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [2]www.inficon.com
Gebrauchsanleitung
Vacuum Gauge Controller VGC032
tinb02d1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [3]www.inficon.com
Gebrauchsanleitung
Einkanal-Messgerät VGC401
tinb01d1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [4]www.inficon.com
Gebrauchsanleitung
Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergerät VGC402,
VGC403
tinb07d1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

ETL-Zertifizierung

3103457

26

ETL LISTED
The product CDG020D complies withthe requirements of the followingStandards:
UL 61010-1, Issued: 2004/07/12 Ed: 2
Rev: 2008/10/28
CAN/CSA C22.2#61010-1,
Issued: 2004/07/12, Ed:2 (R2009)tina80d1(2012-06)

EG-Konformitätserklärung
Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt
die Konformität zur EMV-Richtlinie 2004/108/EG und zur RoHSRichtlinie 2011/65/EU.

Capacitance Diaphragm Gauge
Porter™ CDG020D
NormenHarmonisierte und internationale/nationale Normen sowie
Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)• EN 61000-6-3:2007 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2001 (Sicherheitsbestimmungen für Elektrische Messund Steuereinrichtungen)

Hersteller / Unterschriften
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

tina80d1

27. Juni 2012

27. Juni 2012

Dr. Urs Wälchli
Managing Director

Alex Nef
Product Manager(2012-06)

27

Original: Deutsch tina80d1 (2012-06)
t i na80d1

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
Fax +423 / 388 3700
reachus@inficon.com
www.inficon.com