BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert
和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×1010 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了
安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S，以经济高效的方式执行基本压力测量。传感元
件带有板载校准数据，保证更换传感器时的高再现性。

好处n

从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围n

在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性n皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁n

双长使用寿命氧化钇铱丝n备有可选的图形显示器和现场总线接口n

高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预n

传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性n

符合 RoHS 标准订购信息1

BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计类型

BPG402-S

BPG402 Spare measurement system DN40CF-R

354-495

BPG402 感应器

354-494

BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-570

BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-571

BPG402-S 真空计

353-572

BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.

353-577

BPG402-SD 型真空计353-576

BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-590

BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R

353-591

BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-578

BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-574

BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-575

规格类型BPG402-S测量范围（空气、O₂、CO、N₂）

mbar

5×10⁻¹⁰ … 1000测量范围（空气、O₂、CO、N₂）

Torr

3.8×10⁻¹⁰ … 750

精度
10⁻⁸ … 10⁻² 毫巴% of reading±15% of reading

5可重复性
10⁻⁸ … 10⁻² 毫巴除气 (1)
p < 7.2 × 10⁻⁶

mbar

压力，最大bar (absolute)electron bombardment, max. 3 min2

温度运行（环境）°C

0 … +50

贮存°C-20 … +70

在法兰处烘烤，无电子设备
BPG402-S°C

80无电子设备，在法兰处烘烤
BPG402-SL°C

150

电源电压

V (dc)+20 … +28电源电压

A (dc)≤0.82

BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计规格类型

BPG402-S

输出信号模拟
输出信号

V0 … +10测量范围

V+0.774 … +10

错误信号

V0.1 / 0.3 / 0.5

输出信号模拟
电压与压强

volts per decade

0.75

kΩ

10输出信号模拟
最小负载电阻设定点继电器设定点数量1

继电器触点

n.o., potential free设定点继电器范围mbar1×10⁻⁹ … 100设定点继电器滞后% of reading

10V (dc)≤30

A (dc)≤0.5

设定点继电器触点额定值设定点继电器触点额定值
数字功能degas

接口（数字）(2)

RS232C发射控制

automatic / manual via interface

单丝two Yt₂O₃ coated Ir单丝状态/继电器

LED / relay

电气连接D-Sub, 15-pin, male电缆长度，最大 (3)m (ft.)

暴露于真空的材料

100 (330)
Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel,glass

内部容积 KF / CF

cm³ (in.³)

重量 KF / CFg保护等级

24 (1.46) / 34 (2.1)
450 / 710
IP30

Profibus DP
波特率kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

Mbaud

1.5 / 12

Profibus DP
波特率3

BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计规格类型

BPG402-S

Profibus DP地址

2 switches (address 00 - 127) or network
programmable

数字功能read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission
control, degas function, monitor gauge status,
filament status, safe state allows definition ofbehavior in case of error, detailed alarm and warn

模拟功能0 … 10 V analog output pressure indication, twosetpoint relays A + B

设定点继电器： 设定点数量2设定点继电器： 继电器触点

n.o., potential freeProfibus DP 连接器

D-Sub, 9-pin, female

CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器

D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP设定点继电器： 范围mbar

1×10⁻⁹ … 100

Profibus DP设定点继电器： 滞后% of reading

10V (dc)≤30A (dc)≤0.5

Profibus DP设定点继电器： 触点额定值
Profibus DP设定点继电器： 触点额定值
DeviceNet™
协议

DeviceNet™, group 2 slave only

MAC ID2 switches (address 00 - 63) or network
programmable

数字功能read pressure, select units: Torr, mbar, Pa ; emission
control, degas function , monitor gauge status,filament status , safe state allows definition ofbehavior in case of error , detailed alarm and模拟功能

0 … 10 V analog output pressure indication , two
setpoint relays A + B

技术规格

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

设备类型''CG'' for combination gauge

I / O 从属传讯polling only设定点继电器： 设定点数量2设定点继电器： 继电器触点n.o., potential free4BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计规格类型BPG402-S

DeviceNet™ 连接器

Microstyle, 5-pin

BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器

D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™
数据率开关kBaud

125, 250, 500 or network programmable

电缆长度 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

电缆长度 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

电缆长度 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

mbar

1×10⁻⁹ … 100

DeviceNet™

DeviceNet™
设定点继电器： 范围
DeviceNet™
设定点继电器： 滞后% of reading10设定点继电器： 触点额定值V (dc)≤30

DeviceNet™ 电源电压V (dc)

+11 … +25

真空计电源电压

V (dc)+20 … +28设定点继电器： 触点额定值

A (dc)≤0.5

DeviceNet™ 电源电压A (dc)≤0.5

真空计电源电压A (dc)≤0.8

DeviceNet™

DeviceNet™

以太网以太网协议

protocol specialized for EtherCAT

通讯标准ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device
Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum
Pressure Gauge

节点地址

Explicit Device Identification

物理层

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

以太网数字功能read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission
control, degas function monitor gauge status, filament
status safe state allows definition of behavior in caseof error detailed alarm and warning

过程数据Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping邮箱 (CoE)

SDO requests, responses and information以太网连接件RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

5BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计规格类型

BPG402-S电缆shielded Ethernet CAT5e or higher

以太网电缆长度m (ft.)≤100 (330)1）除气期间准确性降低2）不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线3）RS232C 操作 <30m

备件
BPG402-S
BPG402 Spare measurement system DN40CF-R

354-495

BPG402 感应器

354-494

附件
BPG402-S
Baffle for BPG400

353-512

BPG400 24V电源

353-511中心圈 with baffle DN 25 KF

211-113

6

BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计尺寸

www.inficon.com

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