アジレントのイオンポンプ
極高真空向けソリューション

目次

イオンポンプの特長と利点

4

コントローラの特長と利点

8

UHV 排気性能の進化

4UHV – 超高真空および極高真空用
IPCMini – 直感的に操作できるタッチパネル
排気速度の最適化

4

9
9
10

SEM イオンポンプの特長と利点

12

Agilent VacIon Plus ポンプの一般的なアプリケーション

14

SEM アプリケーションの専用ソリューション
研究開発用の UHV/XHV
質量分析

ナノテクノロジー

産業用真空プロセス

VacIon ポンプのモデル

VacIon のミニチュアポンプと小型ポンプ
VacIon Plus 20 ポンプ
VacIon Plus 40 ポンプ
VacIon Plus 40 ポンプ、粒子シールド付き
VacIon Plus 55 ポンプ
VacIon Plus 55 ポンプ、粒子シールド付き
VacIon Plus 75 ポンプ
VacIon Plus 75 ポンプ、粒子シールド付き
VacIon Plus 150 ポンプ
VacIon Plus 200 ポンプの概要
革新的な真空処理

VacIon Plus 200 ポンプ
VacIon Plus 300 ポンプ
VacIon Plus 500 ポンプ
VacIon Plus 800 ポンプ
VacIon Plus 1000 ポンプ

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48

チタンサブリメーションコンビネーションポンプのモデル

50

Ion CombiNEG ポンプ

58

イオンポンプコントローラ

68

イオンポンプのテクニカルノート

74

TSP カートリッジ
TSP クライオパネル
TSP 環境シールド
VacIon Plus CombiTSP ポンプ

Ion CombiNEG 40-400 ポンプ
NEG カートリッジ D400-2
Ion CombiNEG 150-1000 および 150-2000 ポンプ
NEG カートリッジ D–1000 および D–2000
IPCMini イオンポンプコントローラ
4UHV イオンポンプコントローラ
TSP コントローラ
操作

清浄性

イオンポンプの脱ガスシステム

各種ガスの排気長い動作寿命
圧力測定

カスタム設計と柔軟性

アジレントのフィードスルーオプション

VacIon Plus ファミリー
VacIon Plus の排気速度
基本性能要素アジレントのサービスとサポート

アジレントイオンポンプのサービスおよびサポートプラン

技術支援
詳細情報

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

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90
91
92

3

イオンポンプの特長と利点

UHV 排気性能の進化
超高真空分野の先駆者

アジレントのイオンポンプは 1957 年に、Varian Associates の Jepsen 氏、Helmer 氏、Hall 氏によって発明されました。これは、超高真空（UHV）を実現する画期的な出来事でした。この重要な実現技術の開発により、科学技術の多くのアプリケーション、例えば粒子加速器と分析機器、半導体とコーティングなどで、クリーンな高真空と超高真空を利用できるようになりました。

Varian（現アジレント）が 1957 年に発明した、最初のイオンポンプ

VacIon Plus
VacIon Plus はあらゆるアプリケーションに対応するソリューションを提供するために設計された、イオンポンプ、コントローラ、アクセサリの幅広い製品ファミリーです。

動作圧力、排気されるガス混合物、始動圧力などのパラメータは非常に多種多様であるため、Varian（現アジレント）は各種アプリケーション向けに専用のイオンポンプを開発することを決定しました。

VacIon Plus ファミリーのポンプには、ダイオード、ノーブルダイオード、および StarCell のバージョンがあります。このためアジレントは、各アプリケーション分野に最適な技術を提供できます。VacIon Plus ファミリーは 4UHV および IPCMini イオンポンプコントローラにより補完されており、さまざまな電力レベルとインタ

フェース機能を実現できます。

VacIon Plus 200

高真空高真空で最大限の排気速度を実現する最初のイオンポンプ。38 ページを参照。

VacIon Plus 1000

重力波検出器とその他の重要な研究アプリケーション用に設計。48 ページを参照。

4

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

イオンポンプの特長と利点

Ion CombiTSP ポンプ

CombiTSP ポンプはイオンポンプ、TSP カートリッジ、TSP クライオパネルを統合し、同じ設置面積で排気速度を向上。

チタンサブリメーションがゲッタリング可能なガスの排気速度を向上させ、イオンポンプメカニズムがゲッタリ

ング不可能なガス（アルゴンやメタンなど）を処理します。このコンビネーションポンプには、円筒形クライオ

パネル（または新しい環境シールド）と TSP カートリッジが含まれており、追加ポートに取り付けられています。
ポンプ構成はカスタマイズすることもできます。50 ページを参照してください。

Ion CombiNEG ポンプ

Agilent Ion CombiNEG ポンプでは、VacIon ポンプ内部に大容量の非蒸発型

カートリッジが組み込まれています。

イオンポンプと焼結 NEG カートリッジを組み合わせて最高の UHV 性能を実現する、スマートなソリューション
です。NEG カートリッジは活性ガス、StarCell イオンポンプやダイオードイオンポンプはアルゴンやその他の

残留希 ガスを高速で排気します。このため CombiNEG ポンプは、超高真空（UHV）や極高真空（XHV 。

58 ページを参照）に最適です。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers5イオンポンプの特長と利点
幅広い排気速度範囲
–
–
–
–
–
–

0.2 ～ 2 L/s のミニチュア/付属ポンプ
10 ～ 75 L/s の小型/中型ポンプ
150 ～ 1,000 L/s の大型ポンプ
Ion CombiTSP ポンプ

Ion CombiNEG ポンプ

特殊な排気速度、サイズ、磁場のカスタムソリューション

アジレントのフィードスルー
–
–
–
–
–

腐食防止

高電圧ケーブルのインターロックを導入
接続が容易

不注意による抜けを防止
全体寸法を最小化

一般的な工業用フィードスルーもすべて使用可能です。

真空処理

清浄性を保つため、すべてのポンプが次の条件を満たしています。

–––

出荷時に超真空で高温処理（450 ℃）され、本体とすべての内部コンポーネントを完全に脱ガス
真空環境で出荷され、ポンプごとに RGA スペクトルを提供可能
ヘリウムリークチェック

ヒーター
–
–

6

ポンプには、圧力を下げるためのポンプベーキング用ヒーターの取り付けが可能

運用コストの大幅な低減

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

イオンポンプの特長と利点
エレメントのセルとインシュレータ––––

セルのサイズと形状は、次の目的のために最適化されています。

放電強度を最大化
排気速度を最大化

特殊設計のセラミックインシュレータにより、スパッタリングされた導電性コーティングの蓄積を防ぎ、ポンプ寿命

を最大化

カスタム

ポンプ本体は、次のオプション要件に合わせて構成できます。

–
–
–
–

クライオパネル （または環境シールド）と TSP、サイドマウントまたはボトムマウント一体型ヒーター追加の粗引きポート

その他のカスタムソリューション

ポンプエレメント

あらゆるガス混合物に対応し、アプリケーション固有の性能を最適化するため、3 種類のポンプエレメントがあります。

–
–
–

ダイオード

ノーブルダイオード

アジレント独自の StarCell

アジレントのケーブル
–
–
–
–
–

アジレントのケーブルは、感電防止のための HV 安全インターロック付き
ケーブルがポンプから外れると、電圧が自動的に遮断される

さまざまな長さとコネクタに対応（ポンプ側とコントローラ側の両方）

堅牢性と柔軟性の高い金属シールド付き

107 Gy（グレイ）の放射線耐性

アジレントは、ご要望に応じて追加のケーブルオプションもご用意できます。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

7写真提供：CERN

アジレントのイオンポンプを活用するための高い選択性と柔軟性
VacIon Plus ファミリーはイオンポンプコントローラにより補完されており、さまざまな電力レベルとインタフェース機能を実現できます。

ア ジ レントの イオン ポンプ コ ントロ ー ラ に は、IPCMini、
4UHV、 および TSP コントローラと、OEM 専用 シリーズのIPCU コントローラがあります。

4UHV および IPCMini イオンポンプ

コントローライオンポンプコントローラとイオンポンプアプリケー

ションの詳細については、次のページをご覧ください。

www.agilent.com/en/product/vacuumtechnologies/ion-pumps-controllers/ion-pumpcontrollers

8

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

コントローラの特長と利点

4UHV – 超高真空および極高真空用

4UHV 1/2 ラックイオンポンプコントローラにより、最大 4 個のポンプを同時に独立して稼働させることができます。
4UHV では、あらゆる種類（ダイオード、ノーブルダイオード、StarCell）とサイズ（2 ～ 1,000 L/s）のイオンポンプを始動および制御できます。

大きい LCD ディスプレイで、個々のポンプの電圧、電流、圧力を同時に表示できます。

可変ステップ電圧機能により、動作圧力範囲全般にわたり、最適な排気速度と圧力測定を実現できます。

設定値、リモート操作、RS-232/485 コンピュータインタフェースが標準で組み込まれています。イーサネットバージョンと Profibus バージョンがあります。

4UHV 高速レスポンスバージョンは、UHV システムを保全するために迅速なトリ
ガーレスポンスを必要とする大型シンクロトロンや線形粒子加速器 などのアプリ

ケーションで使用できます。

4UHV イオンポンプコントローラ

IPCMini – 直感的に操作できるタッチパネル

IPCMini は 1/4 ラックのイオンポンプコントローラです。直感的な表示で離れた場所からでも簡単に確認できる、
3.5 インチの抵抗膜方式タッチパネルを備えています。
IPCMini では、0.2 ～ 500 L/s のポンプを 40 W の電力で操作できます。I/O レ

スポンスタイムが 30 ms 未満、電流分解能が 1 nA 未満であるため、高真空でも迅速なトリガーや正確な圧力測定が必要な場合に最適です。

Intelligent Step （iSTEP）電圧機能 により、高真空 での 大型 ポンプの 始動 や、
UHV/XHV 領域での正確な圧力測定の維持に適した動作電圧を選択できます。
IPCMini には 専用の高電圧電源 ボタンと安全インターロックが付いているため、安全に、安心して使用できます。

IPCMini イオンポンプコントローラ

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

9コントローラの特長と利点

最適な排気速度

4UHV と IPCMini は、イオンポンプの排気速度を最適化するための適切
気速度の性能が向上します。

これは、イオンがカソードに衝突する際のエネルギーが、イオンポンプセ
ル内に存在する電子雲による空間電荷効果によって減少した、公称上のHV であるためです。空間電荷効果は圧力と関連性があるため、HV を可変し、最適な衝撃エネルギーを維持することで、あらゆる圧力で最大限のポンプ性能を実現できます。

5kV% of Nominal Speed

な動作電圧を選択します。動作圧力に応じた高電圧をかけることで、排

100

7kV

3kV
50

0
10 -11

10 -10

10 -9

10 -8

10 -7

Pressure (mbar)

10 -6

10 -5

10 -4

さまざまな電圧での排気速度と圧力

汎用性

アジレントは、さまざまな構成で使用できるシングルチャネルの「IPCMini」コントローラとマルチ
チャネルの「4UHV」コントローラをご用意しています。

4UHV コントローラでは、サイズや極性が異なる複数のポンプ（1 ～ 4 個）を、任意の組み合わせで個別に電力供給、制御、モニタリングできます。

利用可能なオプションは、高速レスポンス、イーサネット、Profibus です。

IPCMini は 単一チャネルのタッチスクリーン式イオンポンプコントローラであり、0.2 ～ 500 L/sのイオンポンプに使用できます。その特長は、高電流分解能（1 nA）による高真空範囲での正確な測定です。

イーサネットオプションもあります。

インテリジェンス

ユニットにアクセスするには、アナログポートか RS-232/485 ポートを使用できます。

このコントローラは、他のインテリジェント真空デバイス（TwisTorr ターボポンプコントローラおよびインバータ駆動のスクロールポンプとロータリポンプ）と同じプロトコルを使用しているため、真空システムのあらゆるエレメントに迅速、簡単にアクセスできます。

オプションとして、Profibus 通信とイーサネット通信を使用できます。

10

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

コントローラの特長と利点

安全性

ユーザーを高電圧から保護するため、ケーブルにインターロックシステムが搭載されています。このためプラグがポンプから外れると、高電圧がただちにシャットダウンされます。

保護モードでは電流が制限され、ポンプとコントローラが保護されます。

低ノイズ

SEM アプリケーション用に、高電圧出力の残りの AC 成分が最小限に削減されています。これは他のどの既存ユニットよりも少なく、多くの場合、追加のフィルタが不要です。

圧力測定

4UHV と IPCMini は、すべての Vaclon Plus ポンプの電流測定値を自動的に圧力に変換するようにプログラムされています。IPCMini コントローラでは 1 nA、4UHV コントローラでは 10 nA もの低いイオン電流を検出できます。

IPCMini では 10-11 mbar、4UHV では 10-10 mbar の範囲で圧力を測定できます。UHV 領域での信頼性の高い圧力測定のために、4UHV と IPCMini は、かけられる高電圧を圧力関数として最適化します。この結果、

イオンポンプのリーク電流がなくなり、圧力測定の精度が向上します。

従来のコントローラによる
一般的なリーク電流領域

電流（A）

1000 µ100 µ10 µ4UHV の測定値

1µ
0,1 µ
10

-10

10

-9

10

-8

10

-7

圧力（mbar）

10

-6

10

-5

一般的な電流と圧力の曲線

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

11

SEM イオンポンプの特長と利点

SEM アプリケーションの専用ソリューション

アジレントは、特殊設計の SEM イオンポンプを提供する唯一のメーカーです。これらのポンプは、高真空領域で動作する電子銃に最適です。荷電粒子フィラメントを制御および維持するには、安定した真空と低リーク電流が必要なためです。

この優れた性能のために重要なのが、アジレントが特許を取得しているアノード設計で、曲線状のセルとシンプルな電気エレメントを使用しています。このため、電流を安定的に測定し、粒子の生成を低減できます。

電子銃の SEM イオンポンプと下のカラムの StarCell イオンポンプを組み合わせること

で、アジレントのイオンポンプは最新の電子ビームカラム用に最適化された強力な組み合わせになります。SEM イオンポンプはお客様のご要望に応じてご用意します。技術的な詳細については、アジレントまでお問い合わせください。

革新的な SEM アノードの形状
–
–
–
–
–
–

電流安定性が向上

業界最小クラスのリーク電流（< 10 nA）

ダブルシールドセラミック
ポンプ寿命を延長

圧力安定性が向上

安定したパフォーマンス

広い、専用の範囲–

SEM イオンポンプの範囲は 10 ～ 75 L/s で、–設置面積が小さく、システム統合が容易

特定の真空ニーズに合わせて調整可能

専用ヒーター––––

12

専用ヒーター

あらゆるポンプサイズに適した専用ヒーター

新設計のヒーターによりポンプのベーキングを効率化し、圧力を低減
電力と運用のコストを削減

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

コンパクトな設計
–
–
–

軽量ポンプ

迅速なマグネット交換

メンテナンスフリーSEM イオンポンプの特長と利点

専用電源–

4UHV コントローラ：–

IPCMini コントローラ：高感度アプリケーションに適した超低リップルノイズ–

特殊な低ノイズエレクトロニクスにより SEM イメージングを改善

IPCU コントローラ：特殊な低ノイズエレクトロニクスを備えた 2 つの供給チャネルにより SEM イメージングを改善。オプションのディスプレイとフロン

トパネルあり。

RGA 保証付きの最高度の真空–––ポンプは 450 ℃で真空処理され、ポンプ内部の表面を脱ガス
ポンプは真空環境で出荷

製造プロセスの完了後に RGA（残留ガス分析）スペクトルが実行され、ポンプの仕様と清浄性が保証されます。

アジレントのフィードスルーとケーブル–––

HV 安全インターロックにより感電を防止

ケーブルがポンプから外れると、ただちに電圧を自動的に遮断

安全なポンプ動作

粒子シールド–––––粒子放出を最小限に抑制

伝導性の低下を最小限に抑制

カラム全体を保護

電子銃の寿命を最大限に延長
二次発光シールド

VacIon 200 L/s：UHV での排気速度が向上–––

磁場の最適化により、コンパクトなパッケージで最大限の性能を発揮
高速ポンプダウン

新しい VacIon 200 では、高真空領域で最大限の排気速度ピークを実現

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13Agilent VacIon Plus ポンプの一般的なアプリケーション

研究開発用の UHV/XHV粒子加速器とシンクロトロン光源

これらの装置では、荷電粒子（シンクロトロン光の生成の場合は電子、粒子アクセラレータの場合はイオン）が、ストレージリン
グと呼 ばれるリング内の曲線軌道に従って進みます。荷電粒子は数時間、一定のエネルギーでストレージリング内を循環します。

粒子をストレージリングに注入する前に、まず 1 ～ 2 台の加速器（リニアックまたはブースター）で構成される注入システム内で加速する必要があります。

粒子（電子またはイオン）は装置内を移動する間、真空チャンバ内で循環し続ける必要があります。そうでないと、粒子が空気分子と衝突して、急速に吸収されることになります。

リニアック

リニアックは線形加速器です。
最初の RF キャビティに入った荷電粒子は、加速すると同時に塊に分かれます。

荷電粒子は、リニアックの全長にわたり配置されている一連の RF キャビティにより加速します。リニアック内の真空は、20 ～ 75 L/s の Agilent VacIon Plus ポンプにより生み出されます。

ブースター

リニアック内で加速された荷電粒子は、ブースターにより、より大きなエネルギーで加速されます。この加速を生み出すのは RF キャビティです。荷電粒子は、RF キャビティ内を何回も通過しますが、通過するたびにエネルギーを獲得します。エネルギーが最大レベルに達すると、粒子ビームがブースターからストレージリング

写真提供

PSI SL 社

写真提供

LBNL Advanced Light Source 社に移送されます。ブースター内の真空は通常、イオンポンプで生み出します。Agilent VacIon Plus ポンプは、

このアプリケーションに最適です。

ストレージリング

荷電粒子は、一定のエネルギーレベルでストレージリング内を循環します。リング全体に曲線セクションと直線セクションがあります。ストレージリングは非常に厚いコンクリート壁のトンネル内に配置されているため、ビーム損失が発生しても、放出される放射線が閉じ込められます。超高真空は、装置のこの部分に必須です。

粒子はストレージリング内を何時間も循環するからです。

残留ガスが少なくなるほど、ビームの集束度が高いままになります。

Agilent 大型 VacIon Plus ポンプ（300 ～ 500 L/s）は、この条件の厳しいアプリケーションに使用されます。

14

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

Agilent VacIon Plus ポンプの一般的なアプリケーション

フロントエンド

フロントエンドは、真空下の粒子を抽出ゾーンからリングのトンネル外部のビームラインに移送する配管のようなものです。フロントエンドにはビームシャッターやその他の機器が収納されており、リング真空を、より

高真空のビームライン真空から分離できます。

ビームライン

ストレージリングの周囲の実験ホールには、リングに対して接線方向に構築されたビームラインが収納されています。ビームラインは通常、研究分野（生物学、ポリマー、磁性など）や実験方法（回折、広域 X 線吸収

微細構造（EXAFS）、イメージングなど）で専門的に使用されます。

写真提供

MedAustron 社

非常に長いビームラインの中には、実験ホールの外に構築されるものもあります。一般的に、機器のこの部分には大型ポンプ（300 ～ 500 L/s）が使用されます。これらを TSP やクライオパネルと組み合わせて、排気速度を上げることができます。

さまざまなプロジェクト

Agilent VacIon Plus ポンプは、（超高真空を必要とし、機械振動が許容されない）超精密機器を使用する
ほとんどの基礎研究プロジェクトで利用できます。新しい重力波検出器（gravitational waves detector：
GWD）、例えばイタリアの VIRGO や米国の LIGO などでは、アジレントのポンプを使用して必要な真空を

写真提供 パシフィック・ノースウェスト国立研究所

生み出し、維持しています。

写真提供

写真提供

P. Ginter - ESRF Grenoble 社

P. Ginter - ESRF Grenoble 社

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

15Agilent VacIon Plus ポンプの一般的なアプリケーション

質量分析–

集束荷電粒子ビーム（charged particle beam：CPB）や特定のタイプの質量分析計（磁場セクター–

これらのアプリケーションには、感度、分解能、サンプルスループット、測定の再現性に関する厳しい性能型やフーリエ変換など）を使用する分析システムでは、超高真空が頻繁に必要となります。
要件があります。

このような要件があるのは、特に半導体、製造、その他のハイテクアプリケーションにおいて、分析対象
サンプルのサイズが非常に小さくなっているためです。

–

一般的に、これらのアプリケーションには非常にクリーンな真空排気が必要であり、VacIon ポンプのみが必要な清浄性レベルの認定を受けています。アジレントは、真空ファーネス内で各ポンプをベーキング

し、各ポンプに RGA スキャンを提供する唯一のイオンポンプメーカーであるためです。

–

アジレントは 0.2 ～ 1,000 L/s のポンプ、コンビネーションポンプ、カスタムポンプなど、あらゆる種類のポンプを提供しています。このため分析システムの設計者は、1 社のサプライヤですべての真空要件に対応できます。

–

アジレントはイオンポンプの分野で 65 年以上の経験があり、特殊なアプリケーション向けのカスタマイ
ズソリューションを提供できる唯一のメーカーです。

ナノテクノロジー–

アジレントの高性能 VacIon イオンポンプのラインナップは、透過電子顕微鏡（TEM）、走査電子顕微鏡（SEM）、集束イオンビーム（FIB）および表面分析装置の真空要件に適しています。

–

アジレントは、SEM アプリケーションおよび特定用途向けに独自のアノード設計イオンポンプを提供する–

ダイオード SEM ポンプはリーク電流が非常に低く、カラムの銃セクションに最適です。

–

唯一のメーカーです。

StarCell ポンプエレメントは、カラムの高圧動作に最適な独自設計です。
StarCell は希ガスと水素にも最適なポンプです。

–

アジレントの顕微鏡製造サービスでは、低コストの電源や機能豊富な複数の出力コントローラなど、あら–また、サンプルチャンバの真空要件に最適なオイルフリーの低振動ターボポンプ、粗引きポンプ、真空ゲー

16

ゆる種類のコントローラ/電源を取り揃えています。

ジのラインナップも追加されたため、電子顕微鏡に必要なあらゆる真空コンポーネントを提供できます。

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

半導体製造

Agilent VacIon Plus ポンプの一般的なアプリケーション

産業用真空プロセス

いくつかの産業用プロセス、例えば医療、放送、防衛用機器の生産と運用などでは、VacIon ポンプを使用して、過酷な環境で超高真空（UHV）圧力を生み出しています。VacIon ポンプは、これらのアプリケーションに最適な次の特性を備えています。

–
–
–
–
–

超高真空（UHV）圧力での性能
低振動

高いベークアウト温度
高い信頼性

放射線に対する高い耐性

がんやその他の疾患の治療に使用される医療機器では、加速器内で超高真空圧力が必要です。これを実現できるのは VacIon ポンプだけです。

写真提供

University of Modena

写真提供

CPI

VacIon ポンプには可動部品がないため、ほとんどの精密機械装置に取り付けて、機器の性能低下の原因となりうる機械振動を発生させずに、超高真空を生み出すことができます。

医療イメージング用の X 線管の製造においては、内部表面を非常に清浄に保ち、管の寿命を延 ばす必要があります。各管の内部から水やその他の汚染物質を早く脱着させるには、高いベークアウト温度（250 ℃以上）が必要です。

マグネットありの場合は 350 ℃）
VacIon ポンプのベークアウト温度の上限は 450 ℃（マグネットなしの場合。

であるため、このアプリケーションに最適です。ベークアウト温度の上限がこれより低いその他の真空ポンプ
では、生産に時間がかかり、X 線管の寿命が短くなる可能性があります。

多くのアプリケーションでは、サイズと効率上の理由から電子管の代わりに半導体が使用されるようになっていますが、多くの高性能アプリケーションでは、依然として元の Varian（現アジレント）のクライストロン管の改良バージョンが使用されています。

マイクロ波伝送と一部のレーダーアプリケーションでは 今でも高性能電子管を使用しており、VacIon ポン

プはその生産に不可欠です。クライストロンの光バージョンである自由電子レーザー （free electron laser：

FEL）機器の製造でも、VacIon ポンプを使用しています。

2 ～ 10 L/s の小型イオンポンプは特に、これら一般的な種類の電子機器の生産サイクルに適していますが、機器の輸送中の超高真空の維持にも最適です。

これらのポンプはバッテリ電源で動作でき、消費電力が少ないため、「付属」ポンプとして使用できます。このため複雑な装置を真空下でお客様に届けることができ、製品の完全性を確保して設置時間を短縮できます。

放射能にさらされる環境で真空装置を作動させることには困難が伴います。

VacIon ポンプはこのような 環境でも問題なく動作するので、このアプリケーションに最適ですまた、アジレントのコネクタとケーブルの製造では 耐放射線性素材 が 使用されているため、信頼性 と長寿命 を実現 できます。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

17

VacIon ポンプのモデル
ミニチュアポンプ

2 L/s ポンプ

10 L/s ポンプ

Vaclon Plus 20

注入口フランジ

DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）

エレメントタイプ

排気速度（L/s）

ダイオード

ダイオードとノーブルダイオード

ダイオード

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

0.4

2

10

20

22

27

N/A

8,000

40,00080,00050,00050,0001 x 10-4

1 x 10-4≤ 1 x 10-4

≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

150（マグネット付き）

400（マグネットなし）

350

350

350

350

220

220

220

220

（飽和ポンプ、1 x 10-6 mbar）、窒素
動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）
最大始動圧力（mbar）
最高ベーキング温度、HV ケーブルなし（℃）
最高ベーキング温度、HV ケーブルあり（℃）
重量 kg（lb）

SEM バージョンの有無：

400（マグネットなし）

150（マグネット付き）
220

220

本体重量 0.3（0.66）

本体重量 0.3（0.66）

NN

ミニチュアポンプ
Vaclon Plus 40*

2 L/s ポンプ

出荷時 0.6（1.33）

Y：SEM バージョンのあるすべてのポンプ

注入口フランジ

エレメントタイプ

排気速度（L/s）（飽和ポンプ、1 x 10-6 mbar）、窒素
動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）

DN 63 CF-F（4.5 インチ CFF）

DN 100 CF-F（6 インチ CFF）

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

34

36

40

50

53

60

65

68

75

80,000

最高ベーキング温度、HV ケーブルあり（℃）

220

18

VaclonVaclon
PlusPlus
2075*

ダイオード

350

N：SEM バージョンのないすべてのポンプ

ポンプ
10
L/sPlus
Vaclon55*

ノーブルダイオード

最高ベーキング温度（℃）

Y：SEM バージョンのあるすべてのポンプ

Y

StarCell≤ 5 x 10

SEM バージョンの有無：

出荷時 11（24）Y

DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）

最大始動圧力（mbar）

重量 kg（lb）

マグネットなし 4（9）出荷時 0.6（1.33）

N：SEM バージョンのないすべてのポンプ

本体重量 7（15）-250,000≤ 1 x 10-3

50,000≤ 1 x 10-3

80,000≤ 5 x 10

350

350

350

220

220

220

-2

50,000≤ 1 x 10-3

50,000≤ 1 x 10-3

80,000≤ 5 x 10

350

350

350

220

220

220

-2

50,000≤ 1 x 10-3

50,000≤ 1 x 10-3

350

350

220

220

本体重量 17（37）

本体重量 18（39）

本体重量 19（42）

Y

Y

Y

*粒子シールド使用可能バージョン*粒子シールド使用可能バージョン*粒子シールド使用可能バージョン

出荷時 21（46）

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

出荷時 22（48）

出荷時 23（51）VacIon ポンプのモデル

注入口フランジ
エレメントタイプ

Vaclon Plus 150*

Vaclon Plus 200

Vaclon Plus 300

DN 100 CF-F（6 インチ CFF）

DN 160 CF-F（8 インチ CFF）

DN 160 CF-F（8 インチ CFF）

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

125

135

150

180

185

200

240

260

300

動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）

80,00050,00050,00080,00050,00050,00080,00050,00050,000

最大始動圧力（mbar）≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

最高ベーキング温度、

HV ケーブルなし（℃）

350

350

350

350

350

350

350

350

350

最高ベーキング温度、

HV ケーブルあり（℃）

220

220

220

220

220

220

220

220

220

排気速度（L/s）（飽和ポンプ、1 x 10-6 mbar）、窒素

本体重量 43（94）

重量 kg（lb）

出荷時 53（110）

Vaclon Plus 800

Vaclon Plus 1000

出荷時 94（207）

Vaclon Plus 150、Vaclon Plus 150

スリムボディ

Vaclon Plus 500

エレメントタイプ

本体重量 69（149）

出荷時 51（112）*150 の「スリムボディ」もあり

注入口フランジ

本体重量 45（99）

DN 160 CF-F

DN 160 CF-F（8 インチ CFF）

DN 200 CF-F

（8 インチ CFF）

（10 インチ CFF）

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

410

440

500

動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）

80,00050,00050,000

最大始動圧力（mbar）≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

最高ベーキング温度、

HV ケーブルなし（℃）

350

350

350

350

350

最高ベーキング温度、

HV ケーブルあり（℃）

220

220

220

220

220

排気速度（L/s）（飽和ポンプ、1 x 10-6 mbar）、窒素

重量 kg（lb）

本体重量 120（264）
出荷時 138（204）

DN 250 CF-F（12 インチ CFF）
StarCell

ダイオード

800

1000

80,00080,00050,000≤ 5 x 10-2

≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

450

450

350

350

220

220

StarCell
685

910

本体重量 198（437）
出荷時 213（470）

本体重量 265（585）
出荷時 308（679）

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

19

VacIon ポンプのモデル

VacIon のミニチュアポンプと小型ポンプ

アジレントは、電子機器および検出器アプリケーション用に設計された、さまざまな小型イオンポンプを提供しています。

ミニチュア Vaclon ポンプはダイオード構成で、窒素の排気速度 は 約 0.2 L/s です。2 L/s
モデルはダイオード構成の改良バージョンで、高真空での始動に適しています。

10 L/s ポンプは希ガスに最適なダイオード構成で、水素などの残留ガスで高い効率を発揮します。希ガスの排気速度は、公称排気速度の約 20 % です。

処理済みのポンプは最高 400 ℃でベーキングされ、真空下でピンチオフされます。このためユーザーは 使用前 に真空 の 完全性 を検証できます。未処理 のポンプは 試験 により、真空リークがないことと、リーク電流が最小限であることが確認されます。

改良バージョンとカスタマイズバージョン
インレットチューブの長さ、角度、直径の変更が必要な場合は、標準ポンプの改良バージョンもご用意できます。またこれらのポンプをカスタマイズ

して、別の高電圧フィードスルー、本体形状、ポンプセルの配置を変更することもできます。この分野で特別なご要望をお持ちのお客様には、特殊な試験手順をお見積りいたします。

20

25.7 (1.0) REF

F

PINCH OFF
APPROX.
63.0 (2.5) REF

19.05 (0.75) REF
43.0 (1.69) REF

20.0 (.79) REF

54.0 (2.13) REF

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

42.9 (1.7) REF(VACUUM
PROCESSED)

21.4 (.84) REF
25.7 (1.0) REF

54.0 (2.13) REF

31.8 (1.3) REF

REØ 9.4 (0.4) REF

EF
)R
.0

8)

28.0 (1.1) REF

(1

.9

.9

(0

24

.0

Ø

25

70.1 (2.8) REF
21.4 (.84) REF

54.0 (2.13) REF

Ø 9.5 (0.37) REF

Øミニチュアポンプ（180 度構成）

28.0 (1.1) REF

ミニチュアポンプ（90 度構成）

VacIon ポンプのモデル

2 L/s ポンプ

10 L/s ポンプ
DN 35 CF-F (2.75 in CFF)

DN 16 CF-F (1.33 in CFF)

30.200 (1.2)
60.400 (2.4)

153.00 (6.70) REF

Ø 19.500 (0.8)

55.673 (2.2)

35.800 (1.4)
32.173 (1.3)

40.000 (1.6)
40.000 (1.6)

40.000 (1.6)
46.000 (1.8)

95.00 (3.70) REF

78.70 (3.04) REF

133.00 (5.24) REF

111.705 (4.4)

206.00 (8.11) REF

ミニチュアポンプと 2 L/s ポンプは銅またはステンレス製のインレットチューブで、高電圧フィードスルーに対して 90 度または 180 度の構成で使用できます。

製品情報

寸法：ミリメートル （インチ）製品

重量 kg（lb）

部品番号

外径 ⅜ インチ、180°、ステンレスチューブ

0.5（1.0）9130038

外径 ⅜ インチ、180°、銅チューブ、真空処理済み

0.5（1.0）

ミニチュアポンプ外径 ⅜ インチ、90°、ステンレスチューブ

0.5（1.0）

外径 ⅜ インチ、90°、銅チューブ、真空処理済み

0.5（1.0）

マグネット、ミニチュアポンプ用

HV ケーブル、2.4 m（8 ft）、Kings 10 kV（SHV）コネクタ（コントローラ側）、VacIon ミニポンプ用

0.5（1.0）9130041
9130049
9130050
91300420.9（2.0）9240122外径 ¾ インチ、180°、ステンレスチューブ

0.9（2.0）9190521外径 ¾ インチ、180°、ステンレスチューブ、真空処理済み

0.9（2.0）

2 L/s ポンプ外径 ¾ インチ、180°、銅チューブ、真空処理済み

0.9（2.0）

外径 ¾ インチ、90°、ステンレスチューブ、T 型

0.9（2.0）

DN 16 CF-F（1.33 インチ CFF）、180°、真空処理済み

0.9（2.0）

2 L/s ポンプ用マグネット

HV 加熱可能ケーブル、耐放射線性、Kings（SHV）、4 m（13 ft）、インターロック付き、2 L/s ポンプ用
HV 加熱可能ケーブル、耐放射線性、Fischer、4 m（13 ft）、インターロック付き、2 L/s ポンプ用
10 L/s ポンプ

10 L/s Vaclon ポンプ、真空処理済み、DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）

マグネットアセンブリ、10 L/s Vaclon ポンプ用

HV ケーブル、3 m（10 ft）、コントローラ側に Kings 10 kV（SHV）コネクタ、ポンプ側に Varian ダイオードフィードスルー、加熱可能、耐放射線性
HV 加熱可能ケーブル、4 m（13 ft）、コントローラ側に Fischer コネクタ、ポンプ側に旧 Varian ダイオードフィードスルー、耐放射線性0.9（2.0）
0.9（2.0）919052291905239190524919052091900389290706

0.9（2.0）9290705

3.6（8.0）9195005

5.0（11.0）
0.9（2.0）9110030
92407419290712

マグネットは別途注文が必要。

IPCMini のコントローラ、ケーブル、アクセサリについては、68 ～ 69 ページを参照してください。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

21

VacIon ポンプのモデル

VacIon Plus 20 ポンプ
Version with Neodymium magnets
DN 35 CF-F (2.75 in CFF)

152 (6.00) REF

84.5 (3.34)

50.0 REF

24 (0.90) REF

133 (5.20) REF
224 (8.80) REF

121 (4.80) REF

Version with Ferrite magnets

寸法：ミリメートル （インチ）

技術仕様

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

窒素の公称排気速度（*）
（L/s）

20

22

27

動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）

80,00050,00050,000

最大始動圧力（mbar）≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

到達圧力（mbar）
回転式注入口フランジ
最高ベーキング温度（℃）

10-11 未満
DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）AISI 304 ESR SST
ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350

重量、kg（lb）（フェライトマグネット付き）

本体重量：5.4（11.9）、出荷時 11（24）

重量、kg（lb）（ネオジムマグネット付き）

本体重量：4.7（10.4）、出荷時 9（19.9）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

SEM ポ ンプ バ ー ジョン と カ ス タマ イズ 設 計 が あ りま す。
詳細については、最寄りのアジレント営業所にお問い合わせくだ

さい。

22

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

VacIon ポンプのモデル
40

VacIon Plus 20 Pumping speed (L/s)

排気速度と圧力

窒素不飽和ダイオード
窒素飽和ダイオード

アルゴン飽和 StarCell

30

20

10

0
10-11

10-10

10-9

10-8

10-7

10-6

10-5

10-4

Pressure (mbar)

製品情報
製品

部品番号

ダイオード、フェライトマグネット付き

9191115

ポンプ

ダイオード、マグネットなし

9191114

StarCell、フェライトマグネット付き

9191145

StarCell、マグネットなし

StarCell、ネオジムマグネット付き（スリムボディ）

91911449191146M018

ノーブルダイオード、フェライトマグネット付き

9191125

ノーブルダイオード、マグネットなし

9191124

アジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）フィードスルーオプションを提供

しています。

製品

部品番号

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV 加熱可能ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

HV ケーブル*その他のケーブル長については、アジレントまたは最寄りの販売店にお問い合わせください。

詳細については、アジレントまたは最寄りの代理店にお問い合わせください。

交換部品

200 W 負マグネットアセンブリ、フェライト、

VacIon Plus 20 ダイオードポンプ用

9191001

マグネットアセンブリ、フェライト、VacIon Plus 20 ノーブルダイオード
ポンプ用

9191002

マグネットアセンブリ、フェライト、VacIon Plus 20 StarCell ポンプ

用9191004

4UHV コントローラ*

9299010200 W 正9299011

IPCMini コントローラ*

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負IPCMini、100/240 V Fischer HV、正X3602-64000
X3602-64001*イオンポンプコントローラ（4UHV と IPCMini）を複数の構成で使用できます。

すべての部品番号については、4UHV および IPCMini コントローラのセクション（68 ～ 71ページ）をご覧ください。

ダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

正負については、70 ページを参照。

正負HV ポンプフィードスルー、Fischer、インターロック付き

VacIon Plus 20 ネオジムマグネットアセンブリ

ヒーター *、120 V、入力電力 140 W
ヒーター *、220 V、入力電力 140 W

9595125

9191006
91911109191111*交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント販
売店の真空製品担当者にお問い合わせください。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

23

VacIon ポンプのモデル

57 (2.24) REF

217.50 (8.56) REF

VacIon Plus 40 ポンプ

DN 35 CF-F (2.75 in CFF)

160 (6.30) REF=

60 (2.36) REF ===4 HOLES M6
310 (12.20) REF

136.50 (5.37) REF==

160.50 (6.32) REF

SEE NOTE 1

217.5 REF

N

110.5 REF

57.0 REF

サイドポートバージョン

60.0 REF

160.0 REF
M6 N°4 HOLES

SEM ポンプバージョン、粒子シールドバージョン、カスタ

136.5 REF

マイズ設計があります。

詳細については、最寄りのアジレント営業所にお問い合わ
せください。

182.0 REF
157.0 REF
300.0 REF

技術仕様
窒素の公称排気速度（*）（L/s）

動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）
最大始動圧力（mbar）
到達圧力（mbar）
注入口フランジ

最高ベーキング温度（℃）
重量、kg（lb）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

24

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

寸法：ミリメートル （インチ）

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

34

36

40

80,000≤ 5 x 1050,000-2≤ 1 x 10-3

10-11 未満

DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）AISI 304 ESR SST
ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350

本体重量 17（37）、出荷時 21（46）50,000≤ 1 x 10-3

VacIon ポンプのモデル

60

VacIon Plus 40 Pumping speed (L/s)

排気速度と圧力

窒素不飽和ダイオード
窒素飽和ダイオード

アルゴン飽和 StarCell

45

30

15

0
10-11

10-10

10-9

10-8

10-7

10-6

10-5

10-4

Pressure (mbar)

製品情報
製品

部品番号

製品

部品番号

ダイオード、フェライトマグネット付き

9191210

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

9191240

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

9191243

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

ポンプ

ダイオード、フェライトマグネットと DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）

サイトポート付き*

ダイオード、マグネットなし

StarCell、フェライトマグネット付き

StarCell、フェライトマグネットと DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）

サイドポート付き*

StarCell、マグネットなし

ノーブルダイオード、フェライトマグネット付き
ノーブルダイオード、マグネットなし

91912139191214919124491912209191224

アジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）フィードスルーオプションを提供

しています。

詳細については、アジレントまたは最寄りの代理店にお問い合わせください。

4UHV コントローラ**
200 W 負200 W 正92990109299011

IPCMini コントローラ**

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負IPCMini、100/240 V Fischer HV、正HV ケーブル

X3602-64000

交換部品

HV ポンプフィードスルー、Fischer、インターロック付き

9595125

ヒーター *、120 V、入力電力 250 W

9190071

ヒーター *、220 V、入力電力 250 W

9190070*交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント
販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。
ダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

正負については、70 ページを参照。

正負X3602-64001*サイドポートは非回転式です。

**イオンポンプコントローラ（4UHV と IPCMini）を複数の構成で使用できます。

すべての部品番号については、4UHV および IPCMini コントローラのセクション（68 ～ 71ページ）をご覧ください。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

25

VacIon ポンプのモデル

VacIon Plus 40 ポンプ、
粒子シールド付き

57 (2.24) REF

217.50 (8.56) REF

DN 35 CF-F (2.75 in CFF)

160 (6.30) REF=

60 (2.36) REF ===4 HOLES M6
310 (12.20) REF

136.50 (5.37) REF==

160.50 (6.32) REF

寸法：ミリメートル （インチ）

このポンプにはシールドが付いており、イオンポンプによって放出される粒子が真空チャンバに侵入しないようになっています。
また、二次粒子の放出もブロックされます。

このシールドによりガスの伝導性 が低下するため、有効排気速度 も低下します。アジレントは 設計上の工夫により、 シールドの効率性と排気速度を最大化しています。

多くのアプリケーションの中で最も一般的な 2 つのアプリケーションは、高エネルギー物理学（HEP）の粒子加速器と走査電子顕微鏡（SEM）です。これらのアプリケーションでは、UHV と、荷電粒子がポンプからチャンバに放出されないようにする必要があります。

技術仕様
窒素の公称排気速度（*）（L/s）

動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）
最大始動圧力（mbar）

27

31

80,00050,000≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

到達圧力（mbar）
注入口フランジ

最高ベーキング温度（℃）
重量、kg（lb）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

26

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

ダイオード

StarCell

10-11 未満
DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）AISI 304 ESR SST
ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350
17（37）

VacIon ポンプのモデル
VacIon Plus 40（粒子シールド付き）排気速度と圧力

VIP40 StarCell、粒子シールド付き
VIP40 StarCell、粒子シールド付き

排気速度（L/s）

VIP40 ダイオード、粒子シールド付き

圧力（mbar）

製品情報
製品

部品番号

製品

部品番号

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラと9290705

フィードスルーオプションを提供しています。

Fischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラと9290707

4UHV コントローラ

Fischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き
HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

ダイオード

9191210M012

StarCell

X3609-64200

HV ケーブルアジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）
アジレントまたは最寄りの販売店にお問い合わせください。

200 W 負200 W 正92990109299011

IPCMini コントローラ

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負IPCMini、100/240 V Fischer HV、正交換部品

X3602-64000

HV ポンプフィードスルー、Fischer、インターロック付き

X3602-64001

詳細については、アジレントの担当者にお問い合わせいただくか、次のページをご覧ください。

イオンポンプとコントローラ、超高真空（UHV）と極高真空（XHV）| アジレント

9595125

ヒーター *、120 V、入力電力 250 W

9190071

ヒーター *、220 V、入力電力 250 W

9190070*交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント
販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。
ダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

正負については、70 ページを参照。

正負www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

27

VacIon ポンプのモデル

71.16 (2.80) REF

231.66 (9.12) REF

VacIon Plus 55 ポンプ

DN 63 CF-F (4.5 in CFF)

160 (6.30) REF

4 HOLES M6= = 60 (2.36) REF

310 (12.20) REF

136.50 (5.37) REF

160.50 (6.32) REF

SEE NOTE 1

230.50 REF

N

122.50 REF

70.50 REF

サイドポートバージョン

60.00 REF

SEM ポンプバージョン、粒子シールドバージョン、カスタ

M6 N°4 HOLES

136.50 REF

マイズ設計があります。

160.00 REF

詳細については、最寄りのアジレント営業所にお問い合わ
せください。

182.00 REF
157.00 REF
300.00 REF

寸法：ミリメートル （インチ）

技術仕様
窒素の公称排気速度（*）（L/s）

動作寿命（時間）（1 x 10 mbar）-6

最大始動圧力（mbar）

到達圧力（mbar）
注入口フランジ

最高ベーキング温度（℃）
重量、kg（lb）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

28

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

50

53

60

80,000≤ 5 x 1050,000-2≤ 1 x 10-3

10-11 未満

DN 63 CF-F（4.5 インチ CFF）AISI 304 ESR SST
ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350

本体重量 18（39）、出荷時 22（49）50,000≤ 1 x 10-3

VacIon ポンプのモデル
100

VacIon Plus 55 -

窒素飽和ダイオード

排気速度（L/s）

窒素不飽和ダイオード

Pumping Speed (l/s)

排気速度と圧力

アルゴン飽和 StarCell

75

50

25

0

10 -11

10 -10

10 -9

10 -8

10 -7

10 -6

10 -5

10 -4

Pressure (mbar)

圧力（mbar）

製品情報
製品

部品番号

製品

部品番号

ダイオード、フェライトマグネット付き

9191310

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

ポンプ

ダイオード、追加の DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）ポート付き*
ダイオード、マグネットなし

StarCell、フェライトマグネット付き

StarCell、追加の DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）ポート付き*
StarCell、マグネットなし

ノーブルダイオード、フェライトマグネット付き
ノーブルダイオード、マグネットなし

919131391913149191340
9191343
919134491913209191324

アジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）フィードスルーオプションを提供

しています。

アジレントまたは最寄りの販売店にお問い合わせください。

200 W 正92990109299011

IPCMini、100/240 V Fischer HV、正X3602-64000
X3602-64001*サイドポートは非回転式です。

9595125

ヒーター *、120 V、入力電力 250 W

9190071

ヒーター *、220 V、入力電力 250 W

9190070*交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント販
売店の真空製品担当者にお問い合わせください。

IPCMini コントローラ**

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負交換部品

HV ポンプフィードスルー、Fischer、インターロック付き

4UHV コントローラ**
200 W 負HV ケーブルダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

正負については、70 ページを参照。

正負**イオンポンプコントローラ（4UHV と IPCMini）を複数の構成で使用できます。

すべての部品番号については、4UHV および IPCMini コントローラのセクション（68 ～ 71ページ）をご覧ください。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

29

VacIon ポンプのモデル

VacIon Plus 55 ポンプ、
粒子シールド付き

71.16 (2.80) REF

231.66 (9.12) REF

DN 63 CF-F (4.5 in CFF)

160 (6.30) REF= = 60 (2.36) REF

4 HOLES M6

310 (12.20) REF

136.50 (5.37) REF

160.50 (6.32) REF

寸法：ミリメートル （インチ）

このポンプにはシールドが付いており、イオンポンプによって放出される粒子が真空チャンバに侵入しないようになっています。
また、二次粒子の放出もブロックされます。

このシールドによりガスの伝導性 が低下するため、有効排気速度 も低下します。アジレントは 設計上の工夫により、 シールドの効率性と排気速度を最大化しています。

多くのアプリケーションの中で最も一般的な 2 つのアプリケーションは、高エネルギー物理学（HEP）の粒子加速器と走査電子顕微鏡（SEM）です。これらのアプリケーションでは、UHV と、荷電粒子がポンプからチャンバに放出されないようにする必要があります。

技術仕様
窒素の公称排気速度（*）（L/s）

動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）
最大始動圧力（mbar）

41

46

80,00050,000≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

到達圧力（mbar）
注入口フランジ

最高ベーキング温度（℃）
重量、kg（lb）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

30

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

ダイオード

StarCell

10-11 未満
DN 63 CF-F（4.5 インチ CFF）AISI 304 ESR SST
ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350
18（39）

VacIon ポンプのモデル
VacIon Plus 55（粒子シールド付き）排気速度と圧力

N2
VIP55 ダイオード、粒子シールド付き
VIP55 StarCell、粒子シールド付き

N2

排気速度（L/s）

VIP55 StarCell、粒子シールド付きAr

圧力（mbar）

製品情報
製品

部品番号

ダイオード

9191310M012

StarCell

X3609-64200

アジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）
アジレントまたは最寄りの販売店にお問い合わせください。

4UHV コントローラ
9299010200 W 正9299011

X3602-64000

IPCMini、100/240 V Fischer HV、正X3602-64001

詳細については、アジレントの担当者にお問い合わせいただくか、次のページをご覧ください。

イオンポンプとコントローラ、超高真空（UHV）と極高真空（XHV）| アジレント

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

交換部品

IPCMini コントローラ
IPCMini、100/240 V Fischer HV、負部品番号

HV ケーブル

フィードスルーオプションを提供しています。

200 W 負製品

HV ポンプフィードスルー、Fischer、インターロック付き

9595125

ヒーター *、120 V、入力電力 250 W

9190071

ヒーター *、220 V、入力電力 250 W

9190070*交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント販
売店の真空製品担当者にお問い合わせください。
ダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

正負については、70 ページを参照。

正負www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

31

VacIon ポンプのモデル

242.10 (9.53) REF

VacIon Plus 75 ポンプ

81.60 (3.21) REF

DN 100 CF-F (6 in CFF)

160 (6.30) REF=

4 HOLES M6== = 60 (2.36) REF

310 (12.20) REF

136.50 (5.37) REF==

160.50 (6.32) REF

SEE NOTE 1

242.1 REF

N

135.2 REF

81.6 REF

サイドポートバージョン

160.0 REF

60.0 REF

SEM ポンプバージョン、粒子シールドバージョン、カスタ

136.5 REF

マイズ設計があります。

M6 N°4 HOLES

詳細については、最寄りのアジレント営業所にお問い合わ
せください。

182.0 REF
157.0 REF
300.0 REF

技術仕様
窒素の公称排気速度（*）（L/s）

動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）
最大始動圧力（mbar）
到達圧力（mbar）
注入口フランジ

最高ベーキング温度（℃）
重量、kg（lb）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

32

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

寸法：ミリメートル （インチ）

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

65

68

75

80,00050,00050,000≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

10

-11

未満

DN 100 CF-F（6 インチ CFF）AISI 304 ESR SST
ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350

本体重量 19（42）、出荷時 22.5（49.6）

VacIon ポンプのモデル

160

VacIon Plus 75 -

排気速度（L/s）

Pumping Speed (l/s)

排気速度と圧力

窒素不飽和ダイオード
窒素飽和ダイオード

アルゴン飽和 StarCell

120

80

40

0

10 -11

10 -10

10 -9

10 -8

10 -7

10 -6

10 -5

10 -4

Pressure (mbar)

圧力（mbar）

製品情報
製品

部品番号

ポンプ
ダイオード、フェライトマグネット付き

ダイオード、フェライトマグネットと DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）
ポート付き*

ダイオード、マグネットなし

StarCell、フェライトマグネット付き

StarCell、フェライトマグネットと DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）
ポート付き*StarCell、マグネットなし

ノーブルダイオード、フェライトマグネット付き
ノーブルダイオード、マグネットなし

9191410919141391914149191440919144391914209191424

アジレントまたは最寄りの販売店にお問い合わせください。

4UHV コントローラ**

92990109299011

IPCMini、100/240 V Fischer HV、正IPCMini、100/240 V Fischer HV、正Fischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

交換部品

HV フィードスルー、インターロック付き

9595125

ヒーター *、120 V、入力電力 250 W

9190071

ヒーター *、220 V、入力電力 250 W

9190070*交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント
販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。
ダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

IPCMini コントローラ**
IPCMini、100/240 V Fischer HV、負HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラと9191444

アジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）フィードスルーオプションを提供

200 W 正部品番号

HV ケーブル

しています。

200 W 負製品

X3602-64000

正負については、70 ページを参照。

正負X3602-64001
X3602-64001*サイドポートは非回転式です。

**イオンポンプコントローラ（4UHV と IPCMini）を複数の構成で使用できます。

すべての部品番号については、4UHV および IPCMini コントローラのセクション（68 ～ 71ページ）をご覧ください。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

33

VacIon ポンプのモデル

VacIon Plus 75 ポンプ、
粒子シールド付き

81.60 (3.21) REF

242.10 (9.53) REF

DN 100 CF-F (6 in CFF)

160 (6.30) REF=== = 60 (2.36) REF

4 HOLES M6

310 (12.20) REF

136.50 (5.37) REF==

160.50 (6.32) REF

寸法：ミリメートル （インチ）

このポンプにはシールドが付いており、イオンポンプによって放出される粒子が真空チャンバに侵入しないようになっています。
また、二次粒子の放出もブロックされます。

このシールドによりガスの伝導性 が低下するため、有効排気速度 も低下します。アジレントは 設計上の工夫により、 シールドの効率性と排気速度を最大化しています。

多くのアプリケーションの中で最も一般的な 2 つのアプリケーションは、高エネルギー物理学（HEP）の粒子加速器と走査電子顕微鏡（SEM）です。これらのアプリケーションでは、UHV と、荷電粒子がポンプからチャンバに放出されないようにする必要があります。

技術仕様
窒素の公称排気速度（*）（L/s）

動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）
最大始動圧力（mbar）

53

51

80,00050,000≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

到達圧力（mbar）
注入口フランジ

最高ベーキング温度（℃）
重量、kg（lb）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

34

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

ダイオード

StarCell

10-11 未満
DN 100 CF-F（6 インチ CFF）AISI 304 ESR SST
ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350
19（42）

VacIon ポンプのモデル
VacIon Plus 75（粒子シールド付き）排気速度と圧力

N2

VIP75 ダイオード、粒子シールド付き
VIP75 StarCell、粒子シールド付き

N2

排気速度（L/s）

VIP75 StarCell、粒子シールド付きAr

圧力（mbar）

製品情報
製品

部品番号

ダイオード

9191410M012

StarCell

X3609-64200

アジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）
アジレントまたは最寄りの販売店にお問い合わせください。

4UHV コントローラ
9299010200 W 正9299011

X3602-64000

IPCMini、100/240 V Fischer HV、正X3602-64001

詳細については、アジレントの担当者にお問い合わせいただくか、次のページをご覧ください。

イオンポンプとコントローラ、超高真空（UHV）と極高真空（XHV）| アジレント

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

交換部品

IPCMini コントローラ
IPCMini、100/240 V Fischer HV、負部品番号

HV ケーブル

フィードスルーオプションを提供しています。

200 W 負製品

HV ポンプフィードスルー、Fischer、インターロック付き

9595125

ヒーター *、120 V、入力電力 250 W

9190071

ヒーター *、220 V、入力電力 250 W

9190070*交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント
販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。
ダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

正負

正負については、70 ページを参照。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

35

VacIon ポンプのモデル

78.1 (3.10) REF

VacIon Plus 150 ポンプ
368.1 (14.50) REF

DN 100 CF-F (6 in CFF)

80 (3.10) REF=

Four holes M12

=

=

=

100 (3.90) REF

386.5 (15.20) REF

130.1 (5.10) REF

193.3 (7.60) REF

VacIon Plus 150、スリムボディ

6.00" O.D. CFF (NW 100)

SEE DETAIL A

47.80 (1.88) REF

381.6 REF

47.8 REF

362.80 (14.28) REF

VARIAN
MOD.XXXX
MADE IN

100 (3.94) REF

Four holes M12

170 (6.69) REF

244.5 REF

272.50 (10.73) REF
205 (8.07) REF

272.5 REF

244.50 (9.62) REF

N S N S

N S

67.5 REF

VacIon Plus 150、ダブルエンド

VacIon Plus 150
寸法：ミリメートル （インチ）

技術仕様
窒素の公称排気速度（*）（v）

動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）
最大始動圧力（mbar）
到達圧力（mbar）
注入口フランジ

最高ベーキング温度（℃）
重量、kg（lb）

内部容量（L）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み
ご要望に応じてカスタマイズ設計を提供

36

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

ノーブルダイオード

StarCell

ダイオード

125

135

150

80,00050,00050,000≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

10

-11

未満

DN 100 CF-F（6 インチ CFF）AISI 304 ESR

ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350
43（94）
12.1

VacIon ポンプのモデル

300

VacIon Plus 150 排気速度と圧力

排気速度（L/s）

Pumping Speed (l/s)

250

窒素不飽和ダイオード
窒素飽和ダイオード

アルゴン飽和 StarCell

200
150
100
50
0

製品情報
製品

ポンプ

ダイオード

ダイオード、120 V ヒーター付き
ダイオード、220 V ヒーター付き
ダイオード、ダブルエンド

ダイオード、ダブルエンド、120 V ヒーター付き

部品番号9191510919151191915129191550
9191551

StarCell

9191540

StarCell、120 V ヒーター付き

9191541

StarCell、ダブルエンド、120 V ヒーター付き
StarCell、ダブルエンド、220 V ヒーター付き

ダイオード、「スリムボディ」

ダイオード、「スリムボディ」、120 V ヒーター付き
ダイオード、「スリムボディ」、220 V ヒーター付き

StarCell、「スリムボディ」

StarCell、「スリムボディ」、120 V ヒーター付き
StarCell、「スリムボディ」、220 V ヒーター付き

ノーブルダイオード

ノーブルダイオード、ダブルエンド

ノーブルダイオード、ダブルエンド、120 V ヒーター付き
ノーブルダイオード、ダブルエンド、220 V ヒーター付き

91915429191580
919158191915829191510M004
9191511M003
9191512M008
9191540M012
9191541M003
9191542M010
91915209191560
91915619191562

アジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）フィードスルーオプションを提供

しています。アジレントまたは最寄りの販売店にお問い合わせください。

4UHV コントローラ***
200 W 負200 W 正

10 -9

10 -8

10 -7

10 -6

10 -5

10 -4

Pressure (mbar)

9191552

StarCell、ダブルエンド

10 -10圧力（mbar）

ダイオード、ダブルエンド、220 V ヒーター付き

StarCell、220 V ヒーター付き

10 -11

製品

HV ケーブル

部品番号

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

交換部品

HV フィードスルー、インターロック付き

9595125

ポンプエレメント*、ダイオード用

9199040

ポンプエレメント*、ノーブルダイオード用

9199045

ポンプエレメント*、StarCell 用

9199030

ヒーター **、120 V、入力電力 480 W

9190073

ヒーター **、220 V、入力電力 480 W

9190072

スリムバージョンのヒーターの別売はできません*必要な数量：2。

**交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント
販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。

***イオンポンプコントローラ（4UHV と IPCMini）を複数の構成で使用できます。
すべての部品番号については、4UHV および IPCMini コントローラのセクション（68 ～ 71ページ）をご覧ください。

ダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

正負については、70 ページを参照。

正負92990109299011

IPCMini コントローラ***

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負IPCMini、100/240 V Fischer HV、正X3602-64000
X3602-64001

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

37

VacIon ポンプのモデル

写真提供：CERN

VacIon Plus 200 ポンプ

高真空で最大限の排気速度を実現する最初のイオンポンプ
極高真空性能––––––高真空で最大限の排気速度を実現（10-8 mbar 範囲）
窒素とアルゴンでクラス最高の排気速度を達成

工場出荷時に超クリーンな真空で高温処理されるため、脱ガスが減少

新しいダイオードおよびノーブルダイオードエレメント設計（容量に対するセル数が増加）

StarCell エレメント：希ガスで優れた性能と安定性を発揮
磁場拡散の最適化により、排気速度が向上

Vaclon Plus 200 ポンプは XHV（極高真空）およびUHV（超高真空）アプリケーションに最適––––

研究センター
大学とラボ

粒子加速器

ビームライン

汎用的でコンパクトな設計
–
–
–
–

38

カテゴリ内で最小サイズ

幅広い構成で使用可能（サイドポートや各種 HV フィードスルーなど）
新しいヒーター設計により熱効率が向上し、取り付けも容易
ポンプエレメントは完全に交換可能

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

アジレントの品質–

イオンポンプの発明者が認める技術と市場でのリーダーシップ：「イオンポンプ技術にアジレントがもたらしたあらゆる革新的技術が、業界標準となってきました」–

イオンポンプの製造ラインを完全に刷新し、生産–

厳格 な試験手法 により、長期 にわたる信頼性と能力を倍増性能を保証（アジレントの製品ライフサイクル）

VacIon ポンプのモデル

革新的な真空処理
uhv オーブンでの高温（450 ℃）の標準脱ガスプロセス

脱ガスプロセスサイクル - VacIon Plus 200 ポンプ

アジレントの標準脱 ガスプロセスにより、標準的 なイオンポンプより（最大

温度（℃）

圧力（mb）40 %）早く到達圧力を達成できます。

時間（時間）

真空焼成プロセス

上の図の真空焼成プロセスは、真空に接するすべての表面に適用されます。これにより、水素の脱ガス速度を低下させ、到達圧力までのポンプダウン時間を短縮できます。

10-8 mbar 範囲で最高の排気速度

磁場の増大（ダイオード/ノーブルダイオードで 16 個、StarCell で 20 個のマグネット）により、次のようなメリットがあります。

–––

真空焼成の成果

大規模真空システムの設計において、真空チャンバの素材として最もよく選 ばれているのはステンレスです。ステンレスを 24 時間、300 ℃でベークアウトすると、水素の脱ガス速度が常に 10-12 mbar L/s （cm2）に達するためです。真空焼成されたステンレスでは脱ガス速度の測定値が大幅に低下し、10-15 mbar L/s （cm2）の範

囲になります。

ポンプポケット内の磁場の均一性が大幅に向上
ポンプ内で、浮遊磁場への影響なく磁場を改善

排気速度の向上等価値曲線は、エレメントハウジング内のセル軸方向での磁場の値を示します。

–
–
–
–

ダークブルー：磁場値が低い

黄色：磁場値が高い

ポケットの中心と下部の灰色：1500 G を超える

外側の灰色の領域：

目盛りの最小測定値未満

Vaclon Plus 200：最適な磁場

VIP 200 ポンプは最適な磁場拡散とエレメント設計という特長を備えており、カテゴリ内で最もコンパクトです。

VIP 200 では、10-8 mbar 範囲でピーク排気速度に達します。これはイオンポンプの通常の動作範囲です。従来型のイオンポンプは、これより高い圧力（10-6 mbar）

でピーク排気速度に達します。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

39

VacIon ポンプのモデル

VacIon Plus 200 ポンプ

134.50164.00240.50277.8580.00

DN 150 CF-F (8 in CFF)

359.50 [414.50 STARCELL]
371.00 [426.00 STARCELL]

226.00 [242.6 STARCELL]

Four holes M12

寸法：ミリメートル （インチ）

技術仕様

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

窒素の公称排気速度（*）
（L/s）

180

185

200

アルゴンの公称排気速度（*）
（L/s）

63

60

窒素の動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）

80,00050,00050,000

保護電流

50 mA

50 mA

50 mA

最大始動圧力（mbar）≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

10-11

10-11

10-11

到達圧力（mbar）
注入口フランジ

DN 160 CF-F（8 インチ CFF）AISI 304 ESR

内部容量（L）

14

最高ベーキング温度（℃）
ヒーターなしの重量、kg（lb）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

40

12.2

本体重量 45（99）、出荷時 53（117）

本体重量 45（99）、出荷時 53（117）

ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

本体重量 51（112）、出荷時 59（130）

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

12.2

350

VacIon ポンプのモデル

VacIon Plus 200 -350

排気速度と圧力300

排気速度（L/s）

250

窒素不飽和ダイオード
窒素飽和ダイオード

アルゴン飽和 StarCell

200
150
100
50
0
1,E-11

製品

部品番号

ポンプ

ダイオード、120 V ヒーター付き
ダイオード、220 V ヒーター付き

ダイオード、サイドポート DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）

1,E-09

1,E-081,E-07

1,E-061,E-05圧力（mbar）

製品情報
ダイオード

1,E-10

X3601-64000
X3601-64002
X3601-64004
X3601-64001

製品

部品番号

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとHV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとHV ケーブルダイオード、サイドポート DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）、120 V ヒーター付き

Fischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

X3601-64003

ダイオード、サイドポート DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）、

220 V ヒーター付き

Fischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

X3601-64005

StarCellX3601-64040

StarCell、120 V ヒーター付き

X3601-64042

StarCell、220 V ヒーター付き

StarCell、サイドポート DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）

X3601-64044
X3601-64041

StarCell、サイドポート DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）、120 V ヒーター付き

X3601-64043

StarCell、サイドポート DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）と220 V ヒーター付き

X3601-64045

アジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）フィードスルーオプションを提供

しています。アジレントまたは最寄りの販売店にお問い合わせください。

4UHV コントローラ*
200 W 負9299010200 W 正9299011

IPCMini コントローラ*

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負IPCMini、100/240 V Fischer HV、正X3602-64000

交換部品

HV ポンプフィードスルー、Fischer、インターロック付き

ヒーター、120 V（2 個）、ダイオード
ヒーター、220 V（2 個）、ダイオード

9595125
X3601-68003
X3601-68004

ヒーター、120 V、サイドポートバージョン用（2 個）、ダイオード

X3601-68007

ヒーター、220 V、サイドポートバージョン用（2 個）、ダイオード

X3601-68008

ヒーター、120 V（2 個）、StarCell
ヒーター、220 V（2 個）、StarCell

X3601-68005
X3601-68006

ヒーター、120 V、サイドポートバージョン用（2 個）、StarCell

X3601-68009

ヒーター、220 V、サイドポートバージョン用（2 個）、StarCell

X3601-68010*交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント
販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。

X3602-64001*イオンポンプコントローラ（4UHV と IPCMini）を複数の構成で使用できます。

すべての部品番号については、4UHV および IPCMini コントローラのセクション（68 ～ 71ページ）をご覧ください。

ダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

正負については、70 ページを参照。

正負www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

41

VacIon ポンプのモデル

55.20 (2.17) REF

VacIon Plus 300 ポンプ

344.70 (13.57) REF

DN 150 CF-F (8 in CFF)

130 (5.11) REF

170 (6.69) REF
Eight holes M12244.50 (9.62) REF

450 (17.71) REF

VacIon Plus 300

55.2 REF

SEE DETAIL A

VARIAN
MOD.XXXX
MADE INN

388.4 REF

N

Nては、最寄りのアジレント営業所にお問い合わせください。

N

N

N

N

N

N

VacIon Plus 300、ダブルエンド

N

窒素の公称排気速度*（L/s）

動作寿命（時間）（1 x 10 mbar）-6

最大始動圧力（mbar）
到達圧力（mbar）
注入口フランジ

最高ベーキング温度（℃）
重量、kg（lb）

内部容量（L）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

42

寸法：ミリメートル （インチ）450.0 REF

技術仕様

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

N

170.0 REF

ご要望に応じて設計をカスタマイズできます。詳細についStarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

240

260

300

80,00050,00050,000≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

10-11 未満

DN 160 CF-F（8 インチ CFF）AISI 304 ESR

ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350

本体重量 69（149）、出荷時 94（207）18.6

VacIon ポンプのモデル

600

排気速度（L/s）

排気速度と圧力

窒素不飽和ダイオード
窒素飽和ダイオード

Pumping speed (L/s)

VacIon Plus 300 -

500
400
300
200
100

アルゴン飽和 StarCell

0
10-11

10-10

10-9

10-8

10-7

10-6

10-5

10-4

Pressure (mbar)
圧力（mbar）

製品情報
製品

部品番号

製品

部品番号

ダイオード

9191610

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

ポンプ

ダイオード、120 V ヒーター付き
ダイオード、220 V ヒーター付き
ダイオード、ダブルエンド

ダイオード、ダブルエンド、120 V ヒーター付き

919161191916129191650
9191651

ダイオード、ダブルエンド、220 V ヒーター付き

9191652

StarCell

9191640

StarCell、120 V ヒーター付き

9191641

StarCell、220 V ヒーター付き
StarCell、ダブルエンド

StarCell、ダブルエンド、120 V ヒーター付き
StarCell、ダブルエンド、220 V ヒーター付き

ノーブルダイオード

ノーブルダイオード、120 V ヒーター付き
ノーブルダイオード、220 V ヒーター付き
ノーブルダイオード、ダブルエンド

HV ケーブル

交換部品

91916429191680

HV ポンプフィードスルー、Fischer、インターロック付き

9191681

ポンプエレメント*、ダイオード

91916829191660

9190075

ヒーター **、220 V、入力電力 580 W

9190074*必要な数量：4。

**交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント
販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。

9299010ダイオード、ノーブルダイオード

9299011

StarCell

IPCMini コントローラ*

IPCMini、100/240 V Fischer HV、正9199030

ヒーター **、120 V、入力電力 580 W

9191622

4UHV コントローラ*

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負9199045

ポンプエレメント*、StarCell

9191621

しています。アジレントまたは最寄りの販売店にお問い合わせください。

200 W 正9199040

ポンプエレメント*、ノーブルダイオード

9191620

アジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）フィードスルーオプションを提供

200 W 負9595125

正負については、70 ページを参照。

X3602-64000

正負X3602-64001*イオンポンプコントローラ（4UHV と IPCMini）を複数の構成で使用できます。

すべての部品番号については、4UHV および IPCMini コントローラのセクション（68 ～ 71ページ）をご覧ください。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

43

VacIon Plus 500 ポンプ

107.25 (4.22) REF

VacIon ポンプのモデル

350 (13.78) REF

46.25 (1.82) REF

524.70 (20.65) REF

DN 150 CF-F (8 in CFF)

130 (5.11) REF

230 (9.05) REF
Twelve holes M12

450 (17.71) REF

305 (12) REF

296.8 (11.68) REF

145 (5.7) REF

VacIon Plus 500

SEE DETAIL A

S

N

107.00 REF

VARIANS

N

350.00 REF

S

N

S

N

564.50 REF

S

N

S

N

S

N

S

N

ご要望に応じて設計をカスタマイズできます。詳細については、最寄りのアジレント営業所にお問い合わせください。

450.00 REF

306.00 REF

VacIon Plus 500、ダブルエンド

技術仕様
窒素の公称排気速度*（L/s）

動作寿命（時間）（1 x 10-6 mbar）

最大始動圧力（mbar）
到達圧力（mbar）
注入口フランジ

最高ベーキング温度（℃）
ヒーターなしの重量、kg（lb）

内部容量（L）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

44

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

寸法：ミリメートル （インチ）

145.00 REF

StarCell

ノーブルダイオード

ダイオード

410

440

500

80,00050,00050,000≤ 5 x 10-2

≤ 1 x 10-3

≤ 1 x 10-3

10-11 未満

DN 160 CF-F（8 インチ CFF）AISI 304 ESR
ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350

本体重量 120（264）、出荷時 138（304）36.2

VacIon ポンプのモデル

800

VacIon Plus 500 排気速度と圧力

Pumping speed (L/s)

700

排気速度（L/s）

600

窒素不飽和ダイオード
窒素飽和ダイオード

500
400
300
200

アルゴン飽和 StarCell

100
0
10-11

10-10

10-9

10-8

10-7

10-6

10-5

10-4

圧力（mbar）Pressure(mbar)

製品情報
製品

部品番号

製品

部品番号

ダイオード

9191710

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

ポンプ

ダイオード、120 V ヒーター付き
ダイオード、220 V ヒーター付き
ダイオード、ダブルエンド

ダイオード、ダブルエンド、120 V ヒーター付き

919171191917129191750
9191751

ダイオード、ダブルエンド、220 V ヒーター付き

9191752

StarCell

9191740

StarCell、120 V ヒーター付き

9191741

StarCell、220 V ヒーター付き
StarCell、ダブルエンド

StarCell、ダブルエンド、120 V ヒーター付き
StarCell、ダブルエンド、220 V ヒーター付き

ノーブルダイオード

ノーブルダイオード、120 V ヒーター付き
ノーブルダイオード、220 V ヒーター付き
ノーブルダイオード、ダブルエンド

HV ケーブル

交換部品

9191742

HV ポンプフィードスルー、Fischer、インターロック付き

9191780

ポンプエレメント**、ダイオード

9191781919178291917219190077

ヒーター ***、220 V、入力電力 780 W

91917229191760

9190076**必要な数量：4。

***交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント
販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。
ダイオード、ノーブルダイオード

9299010

StarCell

9299011

正負については、70 ページを参照。

IPCMini コントローラ*

IPCMini、100/240 V Fischer HV、正9199030

ヒーター ***、120 V、入力電力 780 W

4UHV コントローラ*

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負9199045

ポンプエレメント*、StarCell

9191720

しています。アジレントまたは最寄りの販売店にお問い合わせください。

200 W 正9199040

ポンプエレメント**、ノーブルダイオード

アジレントは、これらのポンプと SHV 10 kV（SAFECONN）フィードスルーオプションを提供

200 W 負9595125

正負X3602-64000
X3602-64001*イオンポンプコントローラ（4UHV と IPCMini）を複数の構成で使用できます。
すべての部品番号については、4UHV および IPCMini コントローラのセクション（68 ～ 71ページ）をご覧ください。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

45

85,3585,35

VacIon ポンプのモデル

VacIon Plus 800 ポンプ

DN 160 CF-F（8 インチ CFF）

363,70363,70358

358

692,35 692,35

フランジ付きバージョン

494,20Eight holes M12494,20Eight holes M12

89,03

DN 200 CF-F（10 インチ CFF）

358

363,70358

694,35363,70694,3589,03

フランジ付きバージョン

494,20

寸法：ミリメートル （インチ）
494,20

技術仕様
窒素の公称排気速度*（L/s）

フランジ 10 インチ

フランジ 8 インチ

650

530

アルゴンの公称排気速度*（L/s）

295

260

動作寿命（時間）（e-6 mbar）
最高ベーキング温度（℃）
保護電流（mA）

最大始動圧力（mbar）
到達圧力（mbar）
注入口フランジ
ヒーターなしの重量 kg（lb）

内部容量（L）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

ご要望に応じて設計をカスタマイズできます。詳細については、最寄りのアジレント営業所にお問い合わせください。

46

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

80,000
ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350

150
≤ 5 x 10-2
< 1 x 10-11
DN 160 CF-F（8 インチ CFF）AISI 304 ESR

DN 200 CF-F（10 インチ CFF）AISI 304 ESR
本体重量 198（437）、出荷時 213（470）115

VacIon ポンプのモデル

VacIon Plus 800 排気速度（L/s）

排気速度と圧力

窒素不飽和ダイオード
窒素飽和ダイオード

アルゴン飽和 StarCell

圧力（mbar）

製品情報
製品

部品番号

ポンプ

StarCell、DN 200 CF-F（10 インチ CFF）注入口フランジ

StarCell、DN 200 CF-F（10 インチ CFF）注入口フランジ、X3607-64200

230 V ヒーター付き

X3607-64201

115 V ヒーター付き

X3607-64202

StarCell、DN 200 CF-F（10 インチ CFF）注入口フランジ、StarCell、DN 160 CF-F（8 インチ CFF）注入口フランジ

X3607-64203

StarCell、DN 160 CF-F（8 インチ CFF）注入口フランジ、
230 V ヒーター付き

X3607-64204

StarCell、DN 160 CF-F（8 インチ CFF）注入口フランジ、
115 V ヒーター付き

X3607-64205

2 x 80 W 負

2 x 200 W 負
4 x 80 W 負

2 x 80 W 負と 1 x 200 W 負*イオンポンプコントローラ 4UHV を複数の構成で使用できます。

4UHV コントローラのセクション（70 ～ 71 ページ）を参照してください。

部品番号

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

選択可能なケーブル

交換部品

HV ポンプフィードスルー、Fischer、インターロック付き

コントロールユニット：4UHV*

200 W 負製品

92990109299200
92990209299400
9299210

ポンプエレメント**、StarCell

ヒーター ***、115 V、入力電力 800 W
ヒーター ***、230 V、入力電力 800 W

9595125
9199030
X3607-68001
X3607-68000

ポンプには、標準の Fischer 高電圧フィードスルーが搭載されています。

**必要な数量：12。

***交換用ヒーターのご注文や既存のポンプのアップグレードについては、最寄りのアジレント
販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

47

VacIon ポンプのモデル
DN 250 CF-F (12 in CFF)

VacIon Plus 1000 ポンプ

106 (4.17) REF

712 (28.03) REF

463 (18.22 REF

Eight holes M12

501.9 (19.75) REF

627 (24.68) REF

技術仕様
窒素の公称排気速度*（L/s）

アルゴンの公称排気速度*（L/s）

動作寿命（時間）（e-6 mbar）
最高ベーキング温度（℃）
保護電流（mA）

最大始動圧力（mbar）
到達圧力（mbar）
注入口フランジ
ヒーターなしの重量 kg（lb）

内部容量（L）（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

ご要望に応じて設計をカスタマイズできます。詳細については、最寄りのアジレント営業所にお問い合わせください。

48

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

寸法：ミリメートル （インチ）
ダイオード

StarCell

1100

900

295

585

50,00080,000
ポンプ、マグネットなし

450

HV ケーブル

220

ポンプ、マグネット付き

350

200
≤ 5 x 10-2
10-11
DN 250 CF-F（12 インチ CFF）AISI 304 ESR
本体重量 265（585）、出荷時 308（679）136

VacIon ポンプのモデル

VacIon Plus 1000 -

窒素不飽和ダイオード
窒素飽和ダイオード

排気速度（L/s）

排気速度と圧力

アルゴン飽和 StarCell

圧力（mbar）

製品情報
製品

部品番号

構成

製品

部品番号

交換部品

ダイオード、ヒーターなし

X3604-64000

HV ポンプフィードスルー *、Fischer、インターロック付き

9595125

ダイオード、115 V ヒーター付き

X3604-64101

ポンプエレメント**、ダイオード

9199040ダイオード、230 V ヒーター付き

X3604-64102

ポンプエレメント**、StarCell

9199030

StarCell、ヒーターなし

X3604-64120

選択可能なケーブル

StarCell、115 V ヒーター付き

X3604-64121

StarCell、230 V ヒーター付き

X3604-64122

コントロールユニット：4UHV

200 W 負9299010200 W 正9299011

イオンポンプコントローラ 4UHV を複数の構成で使用できます。

HV ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290705

HV ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290707

HV ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290708

HV ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer コントローラとFischer ポンプ側、加熱可能、耐放射線性、インターロック付き

9290709

4UHV コントローラのセクション（70 ～ 71 ページ）を参照してください。
選択可能なコントローラは、始動圧力によって異なります。始動圧力が 10-6 mbar 範囲の場
合、ポンプの動作機能を始動および維持するには、200 W の単一チャネルで十分です。
ダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

正負については、70 ページを参照。

正*ポンプには、標準の Fischer 高電圧フィードスルーが搭載されています（ご要望に応じて、2 個のフィードスルーを搭載したポンプもご用意できます）。
**必要な数量：16。

負www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

49

チタンサブリメーションコンビネーションポンプのモデル

TSP カートリッジ
130.4 (5.13) REF
3 TITANIUMSUBLIMATIONFILAMENTDN 35 CF-F (2.17 in CFF)

STAINLESS STEELGROUND ROD
281.9 (11.10) REF
324.3 (12.77) REF

寸法：ミリメートル （インチ）

チタンサブリメーションポンプ（TSP）は 一般的に、UHV システムで水素や窒素 などのゲッタリング可能 なガスを効率的に排気するために使用されます。

TSP はよくイオンポンプと組み合 わせて使用されます。イオンポンプは、アルゴンやメタンなどのゲッタリング不可能 な UHV ガスに適しているためです。
TSP はイオンポンプの内部に追加することも、別のポンプユニットとして使用することもできます。

アジレントは、フィラメントカートリッジを使用するチタンサブリメーションポンプ（TSP）を提供しています。フィラメントタイプの TSP カートリッジは、UHVシステムで最もよく使用されます。サブリメーションの合間はオフにでき、熱による脱ガスが増えないためです。

動作の仕組みチタンサブリメーションポンプでは、真空システムの内部表面が昇華したチタン膜で覆われます。これには化学反応が含まれるため、主に活性ガスが存在す

る場合は、このような排気が便利です。単位面積あたりの排気速度は、反応性ガス種によって異なります。57 ページの表を参照してください。

昇華したチタンは薄い層を形成します。反応性ガスはこの層に触れると化合物を形成するか吸収されるため、排気速度が向上します。水や液体窒素で表面を冷却すると、液体で TSP が使用されている場合に排気速度が大幅に向上します。

TSP 環境シールドは室温で使用できます。これを TSP カートリッジと組み合わせると最適な形状となり、標準の TSP や非冷却式クライオパネル、または直径や長さが類似する円筒形チャンバで、活性ガスの排気速度性能が向上し、UHV/XHV 圧力に短時間で到達します。

TSP カートリッジのフィラメントカートリッジ

一般的な TSP カートリッジは DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）フランジに搭載されており、3 個のチタンモリブデンフィラメントが含まれます。使用可能なチタンはそれぞれ 1.1 g です。カートリッジアセンブリは 400 ℃まで加熱可能です。最大サブリメーションは 300 W の電源で到達します。

技術仕様

製品情報

チタンサブリメーションポンプ

使用可能なチタン（フィラメントあたり）

1.1 g

使用可能総量3.3 g

TSP フィラメントカートリッジ、DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）に搭載

使用範囲

10-4 ～ 10-12 mbar

個のフィラメントが必要。

TSP 交換用フィラメント、1 パック（12 個）。TSP カートリッジごとに 3

部品番号9160050
9160051

TSP コントローラについては、72 ～ 73 ページを参照してください。

50

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

チタンサブリメーションコンビネーションポンプのモデル

TSP クライオパネル
Ø 140.0 (5.51)

120.0 (4.72) REF

DN 150 CF-F (8 in CFF)

276.6 (10.89) REF

124.3 (4.89) REF

寸法：ミリメートル （インチ）

このサブリメーションクライオパネルは TSP カートリッジ用に設計ささまざまな蒸発率での排気速度と圧力れており*、DN 160 CF-F （8 インチ CFF）フランジに取り付け可能です。

UHV で使用する場合、水冷式、液体窒素、非冷却式に対応してい

ます。

1250

プに取り付け可能です。また、深さ/クリアランスが 11 インチのすべ

1000

Pumping speed (L/s)

このクライオパネルは、ダブルエンドまたはサイドポートのイオンポンての DN 160 CF-F （8 インチ CFF）フランジポートで独立して使用することもできます。

*クライオパネルにカートリッジは含まれません。

H2

750

0,1 gr/h

H2O

500

N2

250

0,01 gr/h

0
-11
10

-10

10

-9

10

-8

10

-7

10

-6

10

-5

10

-4

10

Pressure (mbar)

製品情報

技術仕様
N2

H2

H20

チタンサブリメーションクライオパネル

部品番号

排気速度、20 ℃、水冷式（L/s）

515

1200

575

に搭載

9190180

内部排気表面（cm2）826

リザーバ容量（L）

1.8

メインフランジ

冷却接続

チタンカートリッジフランジ

サブリメーションクライオパネル、DN 160 CF-F（8 インチ CFF）

外径 8.00 インチ CFF（NW 150）

3/8 インチ、ガス
2.75 インチ CFF

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

51

チタンサブリメーションコンビネーションポンプのモデル

TSP 環境シールド

[126]
4.96

[274.8]10.82[374.6]14.75[99.8]
3.93[202.4]
7.97

TSP 環境シールド*は、TSP クライオパネルの革新的製品です。冷却が不可能、または実用的でない、もしくは冷却が不要なアプリケーションに

寸法：ミリメートル （インチ）

おいて、昇華したチタンの表面積を増やせるように設計されています。

TSP 環境シールドの合計表面積は 1,300 cm²（201.5 in.²）です。

入口フランジの反対側にあるシールドと同様に、12 枚の翼の形状は、絶縁体をコーティングする可能性のあるチタンが直線的に移動することを防ぐように設計されています（システム内に存在する場合）。これは漏電や、最悪の場合はショートの原因となりうる電気路が作られることを防ぐ目

的があります。

DN 160 CF-F（8 インチ CFF）フランジと一体型の DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）で TSP カートリッジをコンビネーションポンプに収納することで、環境シールドを大型イオンポンプの本体に完全に統合できます。

アジレントコンビネーションポンプの構成は VacIon Plus 150、300、500 モデルで使用でき、環境シールド、追加のサイドマウントまたはボトムマウント DN 160 CF-F（8 インチ CFF）フランジポートが含まれます。

*TSP 環境シールドにカートリッジは含まれません。

技術仕様
N2

H2

H20

排気速度、20 ℃（L/s）

890

2195

1025

内部排気表面（cm2）1300

チタンカートリッジフランジ

2.75 インチ CFF

メインフランジ

製品情報

TSP 環境シールド

外径 8.00 インチ CFF（NW 150）

部品番号9190180M001

Pumping speed (L/s)

2000
1600
1200
800

H2

0,1 gr/h

H2O

N2

400
0
-11
10

0,01 gr/h

-10

10

-9

10

-8

10

-7

10

-6

10

-5

10

-4

10

Pressure (mbar)
さまざまな蒸発率での排気速度と圧力

52

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

チタンサブリメーションコンビネーションポンプのモデル

VacIon Plus CombiTSP ポンプ

CombiTSP は VacIon ポンプ、TSP カートリッジ、TSP クライオパネル、
環境シールドを統合し、同じ設置面積で排気速度を向上。

TSP カートリッジのゲッタリング特性により、超高真空（UHV）や極高真空（XHV）まで高速でポンプダウン

し、低い最終到達圧力を実現できます。クライオパネル、環境シールドにより、ゲッタリング可能なガスの排気効率が向上します。

StarCell エレメントにより、メタン、アルゴン、ヘリウムの排気速度と容量が大幅に向上。

素粒子物理学やその他の高真空ベースの研究（表面科学、ナノテクノロジー、材料科学など）に最適なポンプです。ニーズに合わせて、さまざまな高電圧フィードスルー、本体形状、ポンプエレメントでカスタマイズ可能です。

Vaclon Plus 150 CombiTSP ポンプ（サイドマウント TSP）

100.00 (3.94) REF

124.35(4.90) REF

M12

25.00 (.98) REF

337.80 (13.30) REF

123.50 (4.86) REF

DN 100 CF-F (6 in CFF)

170.00 (6.69) REF
245.50 (9.67) REF

205 (8.07) REF
200 (7.87) REF

272.50 (10.73) REF

寸法：ミリメートル （インチ）

技術仕様
ポンプ

VacIon Plus 150 CombiTSP

VacIon Plus 300 CombiTSP

VacIon Plus 500 CombiTSP

ご要望に応じて設計をカスタマイズできます。詳細については、最寄りのアジレント営業所にお問い合わせください。

N2 – 610
H2 – 1,380
N2 – 720
H2 – 1,580
N2 – 880
H2 – 1,930

StarCell エレメント（水冷式クライオパネル）を用いた、20 ℃での公称正味排気速度（L/s）

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

53

チタンサブリメーションコンビネーションポンプのモデル

Vaclon Plus 300 CombiTSP ポンプ（サイドマウント TSP）

Vaclon Plus 500 CombiTSP（サイドマウント TSP）
DN 150 CF-F (8 in CFF)

130 (5.12) REF
N4 HOLES M12367.95 (14.49) REF

525 (20.67) REF

55.45(2.18) REF
123.50(4.86) REF

348.65 (13.73) REF

8.00" O.D. CFF (NW 150)

170
(6.69) REF
244.45(9.62) REF

148.50(5.85) REF

124.35(4.90) REF

450 (17.72) REF

297 (11.69) REF

142(5.59) REF
124.35(4.90) REF

449.92 (17.71) REF

寸法：ミリメートル （インチ）

チタンサブリメーションコンビネーションポンプ
–チタンサブリメーションコンビネーションイオンポンプは最大限の排気性能により、超高真空および極高真空環境を生み出すことができます。
チタンサブリメーションがゲッタリング可能なガスの排気速度を大幅に向上させ、イオンポンプメカニズムがゲッタリング不可能なガス（アルゴンやメタンなど）を処理します。

–

この CombiTSP ポンプは、VacIon Plus 150、300、または 500 ポンプにサイドマウントまたはボトムマウントの 8 インチ ConFlat ポートが追加されたものです。このコンビネーションポンプには、円筒形クライオパネルと TSP カートリッジが含まれており、追加ポートに取り付けられています。ゲッタリング可能なガスは円筒形クライオパネルの末端に入り、そこで新たに堆積したチタンと結合して排気されます。クライオ

パネルや環境シールドを冷却する液体窒素により、ゲッタリングプロセスの効率が上がり、水分の排気速度が向上します。

––

CombiTSP コンビネーションポンプでは、クライオパネルの代わりに環境シールドも使用できるようになりました。52 ページを参照してくだ

さい。

Agilent VacIon Plus シリーズのコンビネーションポンプでは、ポンプの下部や側面にクライオパネルや環境シールドを追加できます。これは、高さの制限がある場合に非常に便利です。

ポンプ構成はカスタマイズすることもできます。

*VacIon Plus 150 Combi ポンプでは使用不可。

選択可能なイオンポンプコントロールユニットについては、58

ページの IPCMini コントローラ、60 ページの 4UHV コント

ローラをそれぞれ参照してください54

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

チタンサブリメーションコンビネーションポンプのモデル

VacIon Plus CombiTSP ポンプ
Vaclon Plus 300 CombiTSP ポンプ（ボトムマウント TSP）

Vaclon Plus 500 CombiTSP ポンプ（ボトムマウント TSP）
DN 150 CF-F (8 in CFF)

564.50 (22.22) REF
124.35(4.89)
REF

124.35 (4.90) REF

388.40 (15.29) REF

DN 150 CF-F (8 in CFF)

450 (17.72) REF

296.80 (11.69) REF

305 (12.01) REF

244.50 (9.63) REF

450 (17.72) REF

寸法：ミリメートル （インチ）

窒素 StarCell
水素 StarCell

2000
VacIon CombiTSP 500
VacIon CombiTSP 300

1750

Pumping speed (L/s)

Ion CombiTSP ポンプとクライオパネル（20 ℃）- 排気速度

1500
VacIon CombiTSP 150

1250
1000

750

VacIon CombiTSP 500

500

VacIon CombiTSP 300

VacIon Combi TSP 150

250
0
10 -11

10 -10

10 -9

10 -8

10 -7

10 -6

10 -5

10 -4

Pressure (mbar)
Nitrogen StarCell

Hydrogen StarCell

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

55

チタンサブリメーションコンビネーションポンプのモデル
製品情報

VacIon Plus CombiTSP 150、300、500 ポンプには、工場出荷時にチタンサブリメーションクライオパネル、または環境シールド（57 ページの部品番号リストを参照）が取り付けられています。TSP カートリッジも含まれますが、取り付けられてはいません。

ケーブルとコントローラは別途注文が必要です。VacIon Plus の部品番号については、26 ～ 35 ページを参照してください。
VacIon Plus 150、300、500 CombiTSP ポンプ

VacIon Plus 150 ダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き

VacIon Plus 150 ダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 150 StarCell、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 150 StarCell、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き

VacIon Plus 150 ノーブルダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 150 ノーブルダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 300 ダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 300 ダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 300 StarCell、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 300 StarCell、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き

VacIon Plus 300 ダイオード、クライオパネル、TSP カートリッジ、ボトムマウントヒーター付き
VacIon Plus 300 ダイオード、クライオパネル、TSP カートリッジ、ボトムマウントヒーター付き
VacIon Plus 300 StarCell、クライオパネル、TSP カートリッジ、ボトムマウントヒーター付き

VacIon Plus 300 StarCell、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ボトムマウントヒーター付き
VacIon Plus 300 ノーブルダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 300 ノーブルダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き

VacIon Plus 300 ノーブルダイオード、ボトムマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 300 ノーブルダイオード、ボトムマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 500 ダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 500 ダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 500 StarCell、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 500 StarCell、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き

VacIon Plus 500 ダイオード、ボトムマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 500 ダイオード、ボトムマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 500 StarCell、ボトムマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 500 StarCell、ボトムマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き

VacIon Plus 500 ノーブルダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 500 ノーブルダイオード、サイドマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き

VacIon Plus 500 ノーブルダイオード、ボトムマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
VacIon Plus 500 ノーブルダイオード、ボトムマウントクライオパネル、TSP カートリッジ、ヒーター付き
ポンプには、標準の Fischer 高電圧フィードスルーが搭載されています。

アジレントは、SHV 10 kV（SAFECONN）フィードスルーオプションのポンプも提供しています。

詳細については、アジレントまたは最寄りの代理店にお問い合わせください。
交換部品とアクセサリ

TSP フィラメントカートリッジ、DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）に搭載

TSP 交換用フィラメント、1 パック（12 個）。TSP カートリッジごとに 3 個のフィラメントが必要。

チタンサブリメーションポンプのコントロールユニット（ケーブルは別途注文）
チタンサブリメーションポンプのコントロールユニット（ケーブルは別途注文）

TSP カートリッジケーブル、3.5 m（12 ft）

サブリメーションクライオパネル、DN 160 CF-F（8 インチ CFF）に搭載

56

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

電圧

部品番号

120 V

9192510220 V

9192511120 V

9192540220 V

9192541

120 V

9192520220 V

9192521120 V

9192610220 V

9192611120 V

9192640220 V

9192641

120 V

9192612220 V

9192613120 V

9192642220 V

9192643120 V

9192620220 V

9192621120 V

9192622220 V

9192623120 V

9192710220 V

9192711120 V

9192740220 V

9192741120 V

9192712220 V

9192713120 V

9192742220 V

9192743

120 V

9192720220 V

9192721120 V

9192722220 V

9192723

4UHV および IPCMini コントロールユニットが利用できます。
68 ～ 71 ページを参照してください。

電圧

120 V
220 V

重量 kg（lb）

部品番号

2.7（6.0）9160050

17.7（39.0）

9290032

9.1（20.0）92407300.4（2.0）916005117.7（39.0）

9290033

10.5（23.0）

9190180

チタンサブリメーションコンビネーションポンプのモデル

各種ガスのチタンサブリメーション表面の、平方インチ

ガス

環境シールドとチタンサブリメーションポンプを組 み合 わせて使用する

単位面積あたりの（平方センチメートル）あたりの一般的な排気速度と、特に H2、N2、H2O、CO、CO2、O2 などのガスに適しています。

次の表に、内部環境シールドの単位面積当たりの各ガス予測排気速度を示します。

一般的な排気速度、

L/s*cm²（L/s*in²）

H2

3.1

（20）

N2

4.7

（30）

O2

9.3

（60）

CO

9.3

（60）

CO2

7.8

（50）

H20

3.1

（20）

CH4

Ar

He

0

0

0

注：環境シールドの内部排気表面：1,300 cm² - 201.5 in²
室温：20 ℃

製品情報

CombiTSP ポンプ、環境シールド付き

部品番号

TSP 環境シールド

9190180M001

VacIon Plus 150 ダイオード、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 150 ダイオード、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き

VacIon Plus 150 ノーブルダイオード、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 150 ノーブルダイオード、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き
VacIon Plus 150 StarCell、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 150 StarCell、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き

VacIon Plus 300 ダイオード、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 300 ダイオード、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き

VacIon Plus 300 ノーブルダイオード、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き
VacIon Plus 300 StarCell、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 300 StarCell、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き

VacIon Plus 300 ダイオード、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 300 ダイオード、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き

VacIon Plus 300 ノーブルダイオード、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 300 ノーブルダイオード、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き
VacIon Plus 300 StarCell、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 300 StarCell、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き

VacIon Plus 500 ダイオード、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 500 ダイオード、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き

VacIon Plus 500 ノーブルダイオード、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 500 StarCell、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 500 StarCell、サイドマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き

VacIon Plus 500 ダイオード、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 500 ダイオード、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き

VacIon Plus 500 ノーブルダイオード、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 500 ノーブルダイオード、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き
VacIon Plus 500 StarCell、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、120 V ヒーター付き
VacIon Plus 500 StarCell、ボトムマウント環境シールド、TSP カートリッジ、220 V ヒーター付き

9192510M100
9192511M100
9192520M100
9192521M100
9192540M100
9192541M100
9192610M100
9192611M100
9192621M100
9192640M100
9192641M100
9192612M100
9192613M100
9192622M100
9192623M100
9192642M100
9192643M100
9192710M100
9192711M100
9192720M100
9192740M100
9192741M100
9192712M100
9192713M100
9192722M100
9192723M100
9192742M100
9192743M100

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

57

Agilent Ion CombiNEG ポンプ

Ion CombiNEG ポンプ

UHV のリーダー間の完璧なパートナーシップ
Agilent Ion CombiNEG ポンプは、真空分野におけるアジレント・テクノロジーと SAES Getters の 100 年以上の経験を融合して誕生した製品です。アジレント（旧 Varian Vacuum）はイオンポンプを発明した企業であり、SAES は NEG ポンプの概念を生み出した企業です。

Ion CombiNEG ポンプは、アジレントが特許を保有する StarCell イオンポンプと、イオンポンプに簡単に挿入して同じポンプ容量を使用できる SAES NEG カート

リッジを組み合わせたものです。当社の StarCell イオンポンプを使用すると、アルゴンやその他の残留希ガスの排気速度が向上します。NEG カートリッジを使用す
ると活性ガスの排気速度がさらに向上し、圧力値が 10-12 mbar と低くなります。

磁場の最適化と真空焼成の製造プロセスにより、高真空での脱ガスが最小限となり、性能が大幅に向上します。また内部シールドにより、NEG の動作寿命が長くなります。

これは大量の希ガスを処理できる唯一のポンプであり、メタン、アルゴン、ヘリウムの高速排気と大容量という特長も備えています。つまり、超高真空や極高真空で排気速度の向上を必要とする、要求の厳しいアプリケーションに適しています。

Ion CombiNEG の一般的なアプリケーション：
–
–
–
–
–

58

粒子加速器

シンクロトロン放射カートリッジと関連装置

汎用的な UHV システム
表面科学

走査電子顕微鏡

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

Agilent Ion CombiNEG ポンプ

Ion CombiNEG 40-400

NEG カートリッジ

StarCell エレメント

Ion CombiNEG 40-400

DN 63 CF-F（4.5 インチ CFF）注入口フランジ付き

Ion CombiNEG
150-1000 および 150-2000

Ion CombiNEG 150-1000

DN 100 CF-F（6 インチ CFF）注入口フランジ付き

ION CombiNEG 150-2000

DN 100 CF-F（6 インチ CFF）注入口フランジ付き

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

59Agilent Ion CombiNEG ポンプ

ø70

35

Ion CombiNEG 40-400 ポンプ

42
188

132

D400-2 カートリッジ、CombiNEG ポンプに挿入

寸法：ミリメートル （インチ）

技術仕様
窒素の公称飽和排気速度（L/s）、シールドあり（シールドなし）*

アルゴンの公称飽和排気速度（L/s）、シールドあり（シールドなし）*

窒素の動作寿命（時間）（1E-6 mbar）

ダイオード（*）

StarCell

35

38

（39）

（43）

20

--

（22）

50,00080,000イオンポンプをオンにした場合の最大推奨ベーキング

保護電流

動作電圧（最大）
推奨始動圧力（mbar）
到達圧力（mbar）

DN 63 CF-F（4.5 インチ CFF）

注入口フランジAISI 304L ESR

DN 40 CF-F（2.75 インチ CFF）

サイドポート

内部容量（L）

3.0

温度上限（℃）：

ポンプ、マグネットなし

450

ポンプ、マグネット付き

350

HV ケーブル

ゲッターポンプ

5E-6

圧力（mbar）

技術仕様

30 mA
+7,000 VDC-7,000 VDC+/- 10 %+/- 10 %≤ 1E-5≤ 1E-4
1E-11 未満素材：

重量、kg（lb）

220

本体

カソード

アノード

マグネット

磁極片

（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み（**）

AISI 304L
チタン

チタン

AISI 304L
フェライト（セラミック 8）

鉄22.5（49.6）（**）ゲッターポンプに付属している操作手順マニュアルを参照してください。

60

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

Agilent Ion CombiNEG ポンプ

排気速度 - Ion CombiNEG 40-400 - StarCell、窒素窒素の一般的な排気速度と圧力の図（イオンポンプのみ、StarCell、飽和、シールド付き）

排気速度 - Ion CombiNEG 40-400 - StarCell、アルゴン
アルゴンの一般的な排気速度と圧力の図（イオンポンプのみ、StarCell、飽和、シールド付き）

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

61

Agilent Ion CombiNEG ポンプ

NEG カートリッジ D400-2
Ion CombiNEG 40-400 には DN 40 CF-F （2.75 インチ CFF）サイドポートが付いており、SAES
CapaciTorr D400-2 ゲッターポンプに対応できます。

CapaciTorr D400-2 ポンプは、ディスク形状に高性能 SINTERED St 172（Zr-V-Fe）素材を使用することで、非常にコンパクトな構成で高い排気性能を実現します。

D400-2 ポンプには、専用の電源が必要です。

D400-2 カートリッジ

D400-2 排気速度

CapaciTorr D400-2

ボディなし

ボディ付き

Ion CombiNEG 40-400 ポンプ（StarCell バージョン）のメインポンプアセンブリの断面図、

D400-2 ゲッターポンプ付き

技術仕様

一般的なポンプ特性

CapaciTorr D400-2

アロイタイプSt 172

アロイ組成

ZrVFe

ゲッター質量（g）

45

ゲッター表面（cm2）

排気速度（L/s）

吸着容量（Torr • l）

62

380
H2

400

CO

180

H2

450

CO、25 ℃

0.9

CO 合計

400

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

技術仕様

カートリッジコントローラの特性

入力

110 ～ 240 VAC

周波数50 ～ 60 Hz

過電圧クラス

区分 II

メインコードコネクタ

出力電圧
出力電流
出力電力

IEC タイプ 6A 250 V
8.6 ～ 16.5 VDC
6.0 A
100 W

Agilent Ion CombiNEG ポンプ

製品情報

製品情報

ポンプ

部品番号

ゲッターポンプ

Ion CombiNeg 40-400 ポンプ、ダイオード、ヒーター付き、115 V

X3606-64000

D400-2 NEG カートリッジ、ヒーター付き

X3605-68010

Ion CombiNeg 40-400 ポンプ、ダイオード、ヒーター付き、230 V

X3606-64001

CF35 ベースフランジ、コネクタ付き

X3605-68020

Ion CombiNeg 40-400 ポンプ、StarCell、ヒーター付き、115 V

X3606-64040

コントローラ*、NEG カートリッジ D-400-2 用

X3605-68030

Ion CombiNeg 40-400 ポンプ、StarCell、ヒーター付き、230 V

X3606-64041

ケーブルとヒーター

HV 耐放射線性ケーブル、4 m（13 ft）、

インターロック付き（Fischer フィードスルー用）

9290705

HV 耐放射線性ケーブル、7 m（23 ft）、

インターロック付き（Fischer フィードスルー用）

9290707

HV 耐放射線性ケーブル、10 m（33 ft）、

インターロック付き（Fischer フィードスルー用）

9290708

インターロック付き（Fischer フィードスルー用）

HV 耐放射線性ケーブル、20 m（66 ft）、

9290709

ケーブル （コントローラとカートリッジ）、

NEG カートリッジ D400-2 用、3 m

X3605-68050

ケーブル （コントローラとカートリッジ）、

NEG カートリッジ D400-2 用、20 m

X3605-68054（*）電源コード付き*イオンポンプコントローラ（4UHV と IPCMini）を複数の構成で使用できます。68 ～ 71 ペー

ヒーター、Ion CombiNEG 40-400 ポンプ、230 V、160 W

9192837M005

ヒーター、Ion CombiNEG 40-400 ポンプ、120 V、160 W

9192837M006

ジを参照してください。

部品の詳細についてはアジレントの担当者にお問い合わせください。

その他のフィードスルー付きケーブルの部品番号については、最寄りのアジレント販売店にお問い合わせください。

Ion CombiNEG ポンプ用コントローラ
4UHV コントローラ*
200 W 負200 W 正92990109299011

IPCMini コントローラ*
IPCMini、100/240 V Fischer HV、負IPCMini、100/240 V Fischer HV、正X3602-64000
X3602-64001

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

63

Agilent Ion CombiNEG ポンプ
DN 100 CF-F（6 インチ CFF）

Ion CombiNEG 150-1000
および 150-2000 ポンプ

DN 100 CF-F（6 インチ CFF）

D–1000

D–2000
D–1000 カートリッジ、D–2000 カートリッジを
CombiNEG ポンプに挿入

寸法：ミリメートル （インチ）

技術仕様

窒素の公称飽和排気速度（L/s）、シールドあり

125*

動作寿命（時間）（1E-6 mbar）

80,000アルゴンの公称飽和排気速度（L/s）、シールドあり

最大開始電流最大ベーキング電流
保護電流

動作電圧（最大）
最大始動圧力（mbar）
到達圧力（mbar）
注入口フランジ（*）ISO/DIS 3556-1-1992 に従って試験済み

64

80*

300 mA
25 mA
50 mA-7,000 VDC+/- 10 %≤1 x 10-3

技術仕様

NEG フランジ接続
内部容量（L）

350

ポンプ、マグネットなし

400

温度上限（℃）：

ポンプ、マグネット付き

350

フランジ

ゲッターポンプ

素材：

外径 6.00 インチ

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

12.1

最高ベーキング温度（℃）

10-11 未満

CFF（NW 100）

DN 100 CF-F（6 インチ CFF）

重量、kg（lb）

500

（*）

本体

AISI 304 SST

アノード

AISI 304 SST

カソード

マグネット

チタン
フェライト

43（94）

Agilent Ion CombiNEG ポンプ

排気速度 - Ion CombiNEG 150-1000 および 150-2000 - StarCell、窒素窒素の一般的な排気速度と圧力の図（イオンポンプのみ、StarCell、飽和、シールド付き）

排気速度 - Ion CombiNEG 150-1000 および 150-2000 - StarCell、アルゴン
アルゴンの一般的な排気速度と圧力の図（イオンポンプのみ、StarCell、飽和、シールド付き）

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

65Agilent Ion CombiNEG ポンプ

NEG カートリッジ D–1000 および D–2000
SAES GETTERS D–1000 および D–2000 非蒸発型ゲッターカートリッジは焼結 St
172（Zr-V-Fe）素材でできており、低品質な加圧粉末の NEG カートリッジより高い性能を発揮します。

これらのカートリッジを使用すると、コンパクトな 構成で高速排気 を実現できます。

各ゲッターカートリッジにはヒーターが組み込まれており、フランジ電源フィードスルーに直接接続されています。

加熱可能コネクタにより、始動およびモニタリング用の電源に簡単かつ迅速に接続できます。

SAES GETTERS NEG カートリッジを StarCell VacIon ポンプ内に直接取り付けると、あらゆるガスで最高クラスの排気速度を実現できます。

D–1000 排気速度

CapaciTorr D–1000

Ion CombiNEG 150-1000 および 150-2000 ポンプ（StarCell バージョン）のメインポンプアセンブリの断面図、D–1000 および D–2000 ゲッターポンプ付き

66

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

D-1000 カートリッジ

D–2000 排気速度
CapaciTorr D–2000

D-2000 カートリッジ

Agilent Ion CombiNEG ポンプ
技術仕様

技術仕様

一般的なポンプ特性

D–1000

D–2000

アロイタイプSt 172St 172

入力

アロイ組成

ZrVFe

ZrVFe

最大出力

3.5 kW

ゲッター質量（g）

136

225

供給電圧

110 ～ 220 VAC

ゲッター表面（cm2）

1140

1900

周波数

50 ～ 60 Hz

H2

1000

2000

入力電力

20 A/110 VAC ～ 14 A/230 VAC

CO

600

1000

1 mt でのノイズ< 40 dBA

H2

1360

2250

メインコードコネクタ

IEC タイプ 16A 250 V

CO、25 ℃

45

出力 1 ～ 4（110 V）

CO 合計

1224

2000

排気速度（L/s）

吸着容量（Torr • l）

製品情報

製品

部品番号

Ion CombiNeg 150-1000/2000 ポンプ、StarCell、ヒーター付き、

X3606-64060

Ion CombiNeg 150-1000/2000 ポンプ、StarCell、ヒーター付き、

X3606-64061

Ion CombiNEG 150-1000 および 150-2000 ポンプ
120 V
230 V

カートリッジコントローラの特性

700 W + 過負荷

出力電圧

0 ～ 110 VDC

サンプル過負荷

110 %（1 分間）

供給電流

10 A

製品情報

注：ご要望に応じて、ダイオードバージョンもご用意できます

製品

部品番号

D–1000 NEG カートリッジ、ヒーター付き

X3605-68012

D–1000 および D–2000 カートリッジ

ケーブルとヒーター

HV 耐放射線性ケーブル、4 m（13 ft）、

出力電力

インターロック付き（Fischer フィードスルー用）

9290705

HV 耐放射線性ケーブル、7 m（23 ft）、

インターロック付き（Fischer フィードスルー用）

9290707

ケーブル （コントローラとカートリッジ）、

インターロック付き（Fischer フィードスルー用）

HV 耐放射線性ケーブル、10 m（33 ft）、

9290708

D-2000 NEG カートリッジ

HV 耐放射線性ケーブル、20 m（66 ft）、

CF100 ベースフランジ、コネクタおよびヒーター付き（D–2000 用）

X3605-68023

インターロック付き（Fischer フィードスルー用）

9290709

ヒーター、Ion CombiNEG 150-1000 または 2000 ポンプ、120 V、

ケーブル （コントローラとカートリッジ）、

NEG カートリッジ D–2000 用、3 m

X3605-68052

9190072

ヒーター、Ion CombiNEG 150-1000 または 2000 ポンプ、120 V、

ケーブル （コントローラとカートリッジ）、

NEG カートリッジ D–2000 用、20 m

X3605-68058

9190073

480 W
480 W

CF100 ベースフランジ、コネクタ付き（D–1000 用）
NEG カートリッジ D–1000 用、3 m

他のフィードスルータイプのケーブルの部品番号については、最寄りのアジレント販売店にお問い合わせください。

Ion CombiNEG ポンプ用コントローラ

部品番号

200 W 負9299010

4UHV コントローラ*
200 W 正コントローラ*、NEG カートリッジ D-1000 および D-2000 用

X3605-68022
X3605-68051
X3605-68013

X3605-68031（*）タイプ F（Schuko）プラグの電源コードが付属*Agilent 4UHV および IPCMini イオンポンプコントローラを複数の構成で使用できます。
詳細は 68 ～ 71 ページを参照してください。

9299011

IPCMini コントローラ*

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負IPCMini、100/240 V Fischer HV、正X3602-64000
X3602-64001

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

67イオンポンプコントローラ

IPCMini イオンポンプコントローラ
129.4 [5.1]

Fischer コネクタ付きバージョン

4.3 [0.2]

245 [9.6]

106.4 [4.2]King（SHV）コネクタ付きバージョン

109.4 [4.3]

VERSION WITH CONN. H.V. KING

直感的に操作できるタッチパネル

245 [9.6]

IPCMini イオンポンプコントローラには、直感的に操作できる 3.5 インチのタッチパネルが付いており、
0.2 ～ 500 L/s のイオンポンプの電力供給、制御、モニタリングをまったく新しいユーザーエクスペリ

27.7 [1.1] MAX

Dimensions are : mm [ inches ]

–
–
–
–
–
–
–

タッチスクリーン

高電流分解能（1 nA）により、高真空範囲で正確に測定

I/O レスポンスタイムが 30 ms 未満（標準値）

新しい iSTEP 電圧機能により、高真空範囲での始動が改善

寸法：ミリメートル （インチ）標準の 1/4 ラック

フロントパネルの USB ポート（データ取り込み用）

RS-232/485 コンピュータインタフェース、またはイーサネット

技術仕様
入力

電圧：

100 ～ 240 VAC（± 10 %）電源：

160 VA

周波数：

出力50/60 Hz

高電圧：

± 7,000 VDC（± 5 %）HV 最大電力：

40 W

保管温度

-40 ～ +70 ℃

HV 短絡電流：

20 mA

使用温度

0 ～ 45 ℃

電圧測定

分解能 100 V（± 5 %）

電流分解能

リップルノイズ68

98.4 [3.9]

エンスで実行できます。

1 nA
20 V

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

重量

本体重量 1.9 kg（4.2 lb）、出荷時 3 kg（6.6 lb）

最高高度

2,000 m通信

RS-232/485（標準）- イーサネット（オプション）

設置カテゴリ
汚染度

II

2

準拠規格：

EN 61010-1 2010：

EN 61326-1 2013：

計測、制御および試験所用電気機器の安全要求事項

計測、制御および試験所用電気機器 - EMC 要件（Cl.A）

イオンポンプコントローラ

製品情報

製品

部品番号

選択可能なコントローラ

IPCMini、100/240 V Fischer HV、正IPCMini、24 VDC、Fischer HV、負IPCMini、24 VDC、Fischer HV、正IPCMini、100/240 V Kings（SHV）HV、負IPCMini、100/240 V Kings（SHV）HV、正IPCMini、24 VDC、Kings（SHV）HV、負X3602-64000
X3602-64001
X3602-64002
X3602-64003
X3602-64020
X3602-64021
X3602-64022

IPCMini、24 VDC、Kings（SHV）HV、正X3602-64023

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負、ETH

X3602-64010

IPCMini、イーサネット

IPCMini、100/240 V Fischer HV、正、ETH
IPCMini、24 VDC、Fischer HV、負、ETH
IPCMini、24 VDC、Fischer HV、正、ETH

IPCMini、100/240 V Kings（SHV）HV、負、ETH
IPCMini、100/240 V Kings（SHV）HV、正、ETH
IPCMini、24 VDC、Kings（SHV）HV、負、ETH
IPCMini、24 VDC、Kings（SHV）HV、正、ETH
ダイオード、ノーブルダイオード

StarCell

正負については、70 ページを参照。

製品

部品番号

高電圧ケーブル （ポンプ - コントローラ）

HV ケーブル、ミニチュアポンプ用、2.5 m（8 ft）のミニチュア -IPCMini ベーシックユニット

IPCMini、100/240 V Fischer HV、負製品情報

X3602-64011
X3602-64012
X3602-64013
X3602-64030
X3602-64031
X3602-64032
X3602-64033

9240122

Kings（SHV）

HV 耐放射線性ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer - Kings（SHV）

9290706

HV 耐放射線性ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer - Fischer

9290705

HV 耐放射線性ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer - Fischer

9290707

HV 耐放射線性ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer - Fischer

9290708

HV 耐放射線性ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer - Fischer

9290709

HV ケーブル、加熱可能、4 m（13 ft）、Varian StarCell - Fischer

9290710

HV ケーブル、加熱可能、

92907124 m（13 ft）、Varian ダイオード - Fischer
HV ケーブル、インターロックなし、

4 m（13 ft）、Kings（SHV）- Fischer

9290710M023

HV ケーブル、インターロックなし、

7 m（23 ft）、Kings（SHV）- Fischer

9290710M024

HV ケーブル、インターロックなし、10 m（33 ft）、Kings（SHV）- Fischer

9290710M025

HV ケーブル、インターロックなし、20 m（66 ft）、Kings（SHV）- Fischer

9290710M026

注：その他のケーブル長については、アジレントにお問い合わせください

正
負

アクセサリ

I/O アダプタ、MiniVac と IPCMini

インターロックアダプタ、IPCMini と SAFECONN

RS232 ケーブル、3 m、IPCMini DB15 を Minivac DB9

ピンアウトに適合可

X3602-68001
X3602-68002
X3602-68003

選択可能な電源コード

メインケーブル、NEMA プラグ、3 m（10 ft）

メインケーブル、欧州向けプラグ、3 m（10 ft）

電源コード、中国向けプラグ、10 A

9699958
9699957
8121-0723

www.agilent.com/en/product/vacuum-technologies/ion-pumps-controllers

69イオンポンプコントローラ

4UHV イオンポンプコントローラ

199.60 (7,86)

164.30 (6,47)

177.00 (6,97)

211.40 (8,32)
141.20 (5,56)

400.50 (15,77)

寸法：ミリメートル （インチ）

イオンポンプに必要な電力

電力要件はポンプのサイズと始動圧力によって異なります。ポンプサイズが大きくなるほど始動圧力が上がり、消費電力が大きくなります。

1000 L/s イオンポンプは 200 W で簡単に始動して最大 7 x 10-5 mbar の圧力を達成できます。500 L/s イオンポンプは200 W で始動して最大 10-5 mbar を達成できますが、中型イオンポンプ（75 L/s）はより小さい始動電力（80 W）で同じ圧力を達成できます。75 L/s イオンポンプを 10-6 mbar で、または 500 L/s イオンポンプを一般的な動作範囲（1 x 10-6
mbar 未満）で使用するには、40 W で十分です。

過去に高い電力定格が必要であった理由

以前は、イオンポンプの始動に吸着ポンプが使用されていましたが、到達圧力は 10-4 mbar にすぎませんでした。このため、今よりずっと大きく強力なイオンポンプコントローラが必要でした。イオンポンプを高圧で始動すると、寿命が短くなります（10-4 mbar での 1 分間の動作は 10-9 mbar での 2 か月間の動作に相当）。 今日のオイルフリーターボポンプ（オイル

フリーの一次ポンプを使用）では、イオンポンプの始動圧力を下げて、より低い圧力を達成できます。このため、ポンプコン

トローラの最大電力要件を下げて、ポンプ寿命を延 ばすことができます。

正負について負電位や正電位の要件は、イオンポンプに取り付けられているポンプエレメントによって異なります。ダイオードスタイルのエレメント（ダイオードとノーブルダイオード）が動作するには正電圧、トライオードスタイルのエレメント（旧式のトライオー

ドと StarCell）が動作するには負電圧が必要です。

高速レスポンスバージョンの使用の可否

取り込みプロセスでの高速レスポンスのトリガー、またはアクション（圧力の急上昇が検出された場合のバルブ閉鎖など）のトリガーのために出力信号が重要な場合は、標準の 4UHV のほか、4UHV 高速レスポンスバージョンを使用できます。

70

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

イオンポンプコントローラ
技術仕様

技術仕様

入力電圧

100 ～ 240 VAC（+/-10 %）

寸法400.5 x 211.4 x 177.0 mm（長さ x 幅 x 高さ）

入力周波数
ディスプレイ

利用可能な構成

電流測定範囲4 行、20 文字

1 x 200 W、2 x 80 W、
2 x 200 W、4 x 80 W、
HV カード、1 x 200 W または 2 x 80 W

出力電流（短絡）80 W チャネルで 40 mA、

CE、C_CSA_US

最大出力電力400 W

Fischer タイプ 105

RS-232/485（標準）Profibus またはイーサネット（オプション）
標準ユニット：

リレーおよびアナログ

出力レスポンスタイム

200 W チャネルで 100 mA

安全性マーク

フロントパネル表示

アナログ出力、NC 設定値、NO 設定値

4UHV

3 kV、5 kV、7 kV

ローカル/シリアル/リモート

出力信号

通信

最小構成

動作モード

オン/オフ、保護、ステップモード

HV コネクタ2 x 80 W + 1 x 200 W
出力電圧（開回路）

10 nA ～ 100 mA

入力信号50/60 Hz

4UHV

高速レスポンスユニット：

標準で 1 s（*）
標準で 20 ms（*）（**）（*）試験は 100 nA ～ 1 mA のステップロードと 1μ の設定値で実施しました。

電圧、圧力、電流、ステータス（**）警告：イオンポンプ内で放電が発生する可能性があります。リレーやアナログで 20 ms のレスポンスタイムフィルタリングを達成するため、出力を下げました。そのような放電が 20 ms

以上継続すると、コントローラによりリレーが作動し、（実際の圧力上昇ではなく放電により）偽陽性の結果が出る場合があります。

製品情報
製品

4UHV コントローラ*
200 W 負200 W 正2 x 80 W 負
2 x 80 W 正

2 x 200 W 負
2 x 200 W 正

1 x 200 W 正と 1 x 200 W 負
4 x 80 W 負
4 x 80 W 正

2 x 80 W 正と 2 x 80 W 負

2 x 80 W 負と 1 x 200 W 負
2 x 80 W 正と 1 x 200 W 正
2 x 80 W 正と 1 x 200 W 負
2 x 80 W 負と 1 x 200 W 正
HV ケーブル標準

イーサネット構成

Profibus

9299010729901082990109299011729901182990119299200

7299200

8299200

9299201

7299201

8299201

9299020729902082990209299021729902182990219299022729902282990229299400

7299400

8299400

9299401

7299401

8299401

9299402

7299402

8299402

929921072992108299210929921172992118299211929921272992128299212929921372992138299213

HV 耐放射線性ケーブル、4 m（13 ft）、Fischer - Fischer

9290705

HV 耐放射線性ケーブル、10 m（33 ft）、Fischer - Fischer

9290708

HV 耐放射線性ケーブル、7 m（23 ft）、Fischer - Fischer

HV 耐放射線性ケーブル、20 m（66 ft）、Fischer - Fischer

HV ケーブル、加熱可能、4 m（13 ft）、Varian StarCell - Fischer

HV ケーブル、加熱可能、4 m（13 ft）、Varian ダイオード - Fischer

9290707929070992907109290712

HV ケーブル、インターロックなし、4 m（13 ft）、Kings（SHV）- Fischer

9290710M023

HV ケーブル、インターロックなし、10 m（33 ft）、Kings（SHV）- Fischer

9290710M025

HV ケーブル、インターロックなし、7 m（23 ft）、Kings（SHV）- Fischer

HV ケーブル、インターロックなし、20 m（66 ft）、Kings（SHV）- Fischer

部品番号9290710M024
9290710M026

アクセサリ

ラックアダプタ、19 インチ

9290064

メインケーブル、NEMA プラグ、3 m（10 ft）

9699958

メインケーブル、欧州向けプラグ、3 m（10 ft）

電源コード、中国向けプラグ、10 A

9699957
8121-0723* M1000 を高速レスポンスユニットの部品番号に追加：

例えば 9299010M1000 は 4UHV 200 W 負の高速レスポンスユニットです。

**ユニットには電源ケーブルが付属していないため、別途注文してください。

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71イオンポンプコントローラ

TSP コントローラ
361.70 (14.24)
337.30 (13.28 )3.99 (.16)

164.3 (6.5)

19.00 (.75)

204.50 (8.05)

200.0 (7.9)

6.0 (.3)

177.04 (7.0)

211.33 (8.3)
141.22 (5.6)

寸法：ミリメートル （インチ）

TSP コントローラはコンパクトな標準ハーフラックに対応しており、Agilent TSP フィラメントカードリッジを操作します。このコントローラは 300 W の電力をカートリッジに供給します。
TSP コントローラ、カートリッジ、クライオパネルを組み合わせると、UHV/XHV 性能を最大化できます。
–
–
–
–
–
–

ポンプケーブルの最大長：50 m

標準ハーフラック幅の半分のコンパクト設計
自動またはマニュアル操作

RS-232/485 によるリモートコントロール（標準）TSP フィラメントカートリッジを操作
安全性マーク：CE、cCSAus

技術仕様
入力

電圧（ケースの背面で選択可能）

周波数：

100、120、220、240 VAC ± 10 % 単相

保護カテゴリ

IP 20• 90 ～ 110 VAC - 1 Ø（使用設定 100 VAC）

設置カテゴリII• 110 ～ 130 VAC - 1 Ø（使用設定 120 VAC）
• 190 ～ 230 VAC - 1 Ø（使用設定 220 VAC）
• 230 ～ 265 VAC - 1 Ø（使用設定 240 VAC）
50/60 Hz

消費電源

1,400 VA（最大、注を参照）

出力電流30 ～ 50 A

湿度

最大 90 %、非結露湿度

温度

保管温度
準拠規格

72

0 ～ +45 ℃-20 ～ +70 ℃
EN 61010-1

EN 61326-1 - クラス A（産業アプリケーション）

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

社外秘
汚染度

2
3m

電源ケーブル––重量

3 ワイヤ Ø AWG14、NEMA プラグ（モデル 929-0032 のみ）

3 ワイヤ Ø 0.75 mm、欧州向け 2 プラグ（モデル 929-0033 のみ）

本体重量 12 kg（26.5 lb）、出荷時 16.5 kg（36.3 lb）

注：変圧器がコントローラに電力を供給している場合、電力波形の歪みを防ぐには、変圧器の電力が 3,000 VA 以上であることが必要です。

イオンポンプコントローラ

製品情報
コントローラ*

部品番号

アクセサリ

部品番号

サブリメーションコントローラセット、220 VAC 用

9290033

ケーブル、TSP ポンプ用（3.5 m）

9240730

サブリメーションコントローラセット、110 VAC 用

9290032

ケーブル、TSP ポンプ用（7 m）

9240730M002

ケーブル、TSP ポンプ用（10 m）

9240730M001

ケーブル、TSP ポンプ用（30 m）

9240730M017

ケーブル、TSP ポンプ用（40 m）

9240730M015*電源コード付き

ラックアダプタ

9290064

メインケーブル、NEMA プラグ、3 m（10 ft）

9699958

メインケーブル、欧州向けプラグ、3 m（10 ft）

9699957

電源コード、中国向けプラグ、10 A

8121-0723

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73イオンポンプのテクニカルノート

テクニカルノート

イオンポンプは 、 システムからガスを除去して超高真空環境 を作るために使用されます。イオンポンプの原理の裏付 けを最初 に報告したのは

J. Plucker 氏（1858 年、ドイツ）です。同氏は、ガス放出チューブ内で電圧を上げ続けると、電流を維持できることを発見しました。

この結論は正しいものでした。この現象は、カソードを含むいくつかのメカニズムによるチューブ内の圧力低下により発生します。

後に、F. Penning 氏（1937 年、オランダ）はガス中の放電に関する派生研究として、10-3 ～ 10-5 Torr 範囲の圧力を測定できる冷陰極電離真空計を開発しました。高電圧のスパッタリング現象により、イオンはカソード材料に埋め込まれ、さらに「ゲッタリング」されます（ゲッタリングとは活性ガスとその反応物質の化学結合です）。

この排気アクションの結果、圧力が大幅に低下しました。以来、Penning 氏の開発したセルが市販の真空ゲージとして使用されてきましたが、1950 年代後半にはその排気特性を活かしたイオンポンプが新たに発明されました。この目的は、「付属の」イオンポンプによる継続的な排気により、マイクロ波管の寿命を延 ばし、性能を上げることでした。

スパッターイオンポンプの発明により超高真空の時代が到来し、宇宙時代に多大な貢献をすることになりました。真空システムを利用することで、

10 ～ 11 Torr の高真空範囲を常時実現できるようになり、研究開発分野の大きな進歩につながりました。宇宙空間で使用される機器や素材は、遭遇しうるあらゆる条件のシミュレーション試験を受けました。現在、イオンポンプは、クリーンで、オイルフリーの、振動がなくコスト効率の高い環境を必要とする研究および産業アプリケーションで使用されています。

動作
真空 ポンプは一般的に、そのポンプが排気している環境中に存在するガス密度より低いガス密度を維持するという原理に基づいて機能します。

つまり、分子流条件下での分子のランダムな動きにより、ポンプ内にガスが移動します。ポンプ内に入ったガスはほとんど漏れることはなく、ポンプの種類に応じて排出または捕捉されます。

イオンポンプは、ガス分子を実際に大気中に移動させる容積式ポンプとは異なり、ガス分子をトラップして保持します。この結果、いずれかの時点
でポンプの再コンディショニングか交換が必要になります。これが必要となるのは通常、何年も使用した後です。

一般名称であるスパッターイオンポンプ（またはイオンゲッターポンプ）は、一部のガス分子のイオン化により、ゲッター物質がスパッタリングすることに由来します。この物質が活性ガスと化学反応して安定化合物を形成し、ポンプの内壁に堆積します。ゲッター（通常はチタン）は、その材料で作られたプレートまたは電極です。ゲッターは、高電圧の影響下で形成されるガスイオンによりスパッタリングまたは侵食されます。これらの電位の範囲は通常、3,000 ～ 7,000 VDC です。

ほとんどのイオン化装置の動作は同じです。高エネルギー電子により、ガス分子が衝突します。衝突が起こると、分子の電子が 1 個以上失われるため、その分子は正電荷イオンとして残ります。イオンは強力な磁場の影響下で加速し、チタンカソードに入ります。この衝突の力により、カソー

ドから原子が放出され、付近のポンプ壁に「スパッタリング」されます。新たにスパッタリングされたチタンは非常に反応性が高く、活性ガスと化学反応します。こうして生成される化合物が、ポンプのエレメントや壁の表面に蓄積します。

74

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

イオンポンプのテクニカルノート

活性ガスは酸素、窒素、CO、CO2、水 などです。これに対し、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、

キセノンなどの 希 ガスは 非反応性です。希 ガスは 「イオン埋 め 込 み」により排気されます（イオン埋 め

込みは、スパッタリングされたゲッター原子による不活性ガス原子の「塗り込み」です）。

最もシンプルなイオンポンプ形状はペニングセルで、元は冷陰極真空計として知られていました。ペニング
セルは、中心の正高電圧のアノードワイヤで構成されています。イオンポンプ内のアノードは、金属チューブ

または四角形の箱のような構造の短いセクションであり、エッグクレートユニットのように各端に開口部があります。反対側の各開口端はチタンプレートであり、接地されてカソード構造を形成します。

外側の永久磁石回路により磁場が生まれます。この磁場は通常は 800 ～ 2,000 G で、アノードセル軸と平行です。このような構成のセルは、ダイオードポンプと呼 ばれます（図 1）。これが適切な筐体内にパッケージされると、このアセンブリがポンプとなります。

ポンプの排気速度を上げるには、パッケージ内のカソードのサイズを大きくし、セルを増やします（図 2）。

アノードセル構造の機能は、磁場に閉じ込められた高エネルギー電子の「雲」を密封することです。

この磁場により、電子が振動するらせん軌道を移動すると（図 3）、ガス分子と衝突してポジティブイオンが生成される可能性が高くなります。これらのイオンは加速してアノードの正電圧からはじき出され、チタンカ

図1
チタンカソード（ノーブルダイオードの場合
1 個のチタン）

アノード

ポジティブイオン

ソードプレートに衝突します（図 3）。この結果、「スパッタリング」によりチタン原子が除去されます。スパッ

吸収される
活性ガス
分子

タリングされたチタンはポンプの内壁に堆積し、そこで吸収された活性ガスと反応して、安定化合物を形成します。

排気効率は、（生成イオンの数を決める）電子「雲」の密度と、（生成される活性ゲッター材料の量を決める）

スパッタリング収率によって異なります。

磁場

カソードから
スパッタリングされる原子

チタン原子

ポンプ壁

図2

図3

チタンカソード

カソード
（V-）

磁場

マグネット

マルチセルアノード

ポンプ壁

電子

イオン化ガス

アノード
（V+）

ガス分子
（衝突点）

チタン原子

カソード
（V-）

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75イオンポンプのテクニカルノート

電子雲の密度は、主にペニングセルの形状と、電場と磁場の強度によって異なります。これらのパラメー

タを調節することで、
アプリケーションに合わせてポンプ性能を変更できます。特に、「インテリジェントな」

高電圧電源を使用すると、圧力の変化に合わせて適切な電圧を自動的に選択できます。

スパッタリング効率は、カソードの形状と材料、およびガス種によって異なります。このため、アプリケー

ションで使用するガスに合 わせて構成を最適化することもできます。アジレントは、さまざまなガスや動作圧力を含む多くのアプリケーションに対応できる、3 種類のカソード構成をご用意しています。イオン化

して排気する必要がない種類のガスもいくつかあるので、ご注意ください。例えば水素の場合、チタンカ
ソードプレートやスパッタリング膜により直接、固溶体を形成します。これは、「ゲッター」材料の新たな供給を維持するためのイオンの働きです。これについては、イオンポンプが自動制御します。イオンポン

プは、特定の圧力で必要とされる量だけ、ゲッター材料をスパッタリングします。

高真空では、カソードプレートが浪費されず、電力が節約されます。一部の希ガス原子は、イオン化された結果、排気されます。

この場合、これらの希ガス原子は加速電圧の力により、（少なくとも一時的に）カソード内に埋め込まれます。その他の希ガス原子は、チタンのスパッタリング膜に埋め込まれ、排気されます（図 4）。一般的に、希ガスは少量しか存在しないので、排気時に問題になることはありません。大量の希ガスの処理が必要な場合は、トライオード構成のポンプを使用してください（図 2）。

VacIon Plus ポンプの選択
超高真空（UHV）と極高真空（XHV）を生み出すには、一般的にイオンポンプが使用されます。イオンポンプは清浄性が高く、さまざ

まなガスの排気に使用でき、メンテナンスが不要で振動がないためです。

イオンポンプの長い動作寿命と圧力測定機能も重要な特長です。

Vaclon Plus ファミリーは、これらすべての特性を強化し、あらゆるイオンポンプ要件に適した、非常 に高度 な価値 あるソリューション
を提供できるように設計されています。

トライオードポンプ内のカソードは負電位であり、かすめ入射スパッタリングが可能になるようにスリットが入っています。このため、希ガス原子が大量に埋め込まれることはなく、以前に埋め込まれた希ガスの再放出は減少します。むしろ、これらのガスはポンプ本体の壁やアノード上のスパッタリング膜と反応するか、これに埋め込まれます。

図4

チタン原子

カソード

磁場
アルゴンイオン

斜角フィン
ポンプ壁と
アノード内に埋め込まれたアルゴン原子ポンプ壁

76

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

イオンポンプの断面図

イオンポンプのテクニカルノート
清浄性

あらゆるシステムで超高真空（10 ～ 11 mbar など）を達成するには、チャンバとポンプの脱ガスを最小限にする必要があります。イオンポンプを適切にクリーニングしないと、UHV ではそれ自体がガスの発生源になってしまいます。清浄性を確保するため、

VacIon Plus ポンプは出荷時に非常にクリーンな真空で高温処理され、本体とすべての内部コンポーネントを完全に脱ガスしています。

超クリーンな高温（450 ℃）の環境では、カソードへの衝撃が連続するため、イオンポ

ンプエレメントの清浄性がより重要になります。カソードの表面やバルクに捕捉されたガスは、最終的に解放されます。

イオンポンプ

温度コントローラ

イオンポンプの脱ガスシステム
イオンポンプの脱ガスシステムは、コンピュータ制御による完全自動の熱処理です。これにより、UHV でのイオンポンプの清浄性を確保し、公称仕様を満たすことができます。ポンプは窒素が制御された大気内でベークアウトされるため、外側のポンプ本体が酸化することはありません。システム概要については、図 5 を参照してください。

このシステムは、イオンポンプ内部表面固有の脱ガスの制御による加熱脱ガスの原理

コントロールユニット

真空システム

図 5：システム概要。熱処理の最後に室温に達すると、RGA が実行されます。

に基づいています。
このため、時間ではなく圧力がプロセス全体の決定要素となります。

ベークアウト時間は、ポンプコンポーネントの内部クリーニングによって異なり、すべてのポンプの脱ガス速度と到達圧力は最終的に同じになります。

図 6 に、その動作原理を示します。赤色の曲線は温度、黄色の曲線は脱ガスステーショ

ンの底部に配置されている真空制御システム上のゲージによる圧力測定値です（図 5を参照）。圧力が変 わらなくなるまで、つまり所定のベークアウト温度のポンプの脱ガスが完了するまで、温度は設定値レベルに維持されます。

真空システム上のガスアナライザが、ポンプにより排気される各種ガスのスペクトルを提供します。十分にベーキングした真空システム内に常在する H2 やその他のピークが許容レベルを超える場合は、ポンプを再度ベーキングします。許容レベル以下の場合、ポンプがピンチオフされ、その到達圧力がモニタリングされます。到達圧力は、イオン電流の測定値により評価されます。電流の減少はコンピュータによってモニタリングさ

マニホールド真空

れ、到達電流に達するとポンプの出荷準備が整います。

ベル温度

図 6：熱処理の動作原理

図 7 に、ベークアウトの最後に実施した残留ガス分析の結果を示します。

Pressure (mbar)

10 -7

10 -8

10 -9

10 -100

5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80 85 90 95 100

Mass (u.m.a.)

図 7：残留ガスの分析

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77イオンポンプのテクニカルノート

各種ガスの排気一般的に、すべてのイオンポンプはどのようなガスでもある程度排気できます。最高の性能と到達圧力を得る

ため、異なる圧力範囲やガスで最適な性能を発揮する、さまざまな種類のイオンポンプが開発されています。

Agilent VacIon Plus は、3 種類のエレメント（ダイオード、ノーブルダイオード、StarCell）から選択できる製品ファミリーです。さまざまなアプリケーションに合わせて、最適な Vaclon Plus ポンプを見つけることができます。

長い動作寿命すべての VacIon Plus ポンプの定格寿命は、1 x 10-6 mbar の圧力で数千時間以上です（ダイオードポンプ
は 50,000 時間、StarCell は 80,000 時間）。

多くのイオンポンプは、定格寿命のかなり前にメンテナンスが必要な場合があります。その原因は、インシュ

レータの硬化やポンプエレメントの歪みなどです。

すべての VacIon Plus エレメントは、（繰り返しベークアウトし、高圧で始動しても）カソードの歪みが最小限になるように設計されています。またインシュレータは、二重の凹角設計とキャップシールドにより、スパッタリングされるチタンから保護されます。

圧力測定
イオンポンプを使用して圧力を測定できるのは、ポンプの電流と動作圧力が正比例するためです。超高真空での測定値の信頼性は、リーク電流により限定的となります。また、電界放出からのリーク電流は、ポンプにかかる電圧によって大幅に異なります。

4UHV コントローラと IPCMini コントローラは、すべての VacIon Plus ポンプで使用できるように設計されており、動作圧力に応じて電圧を調節する独自機能を備えています。このため、高真空でのリーク電流を最小限に抑制し、10-10 mbar 範囲での信頼性の高い圧力測定が可能となります。

カスタム設計と柔軟性
すべてのイオンポンプは任意の位置に取り付けることができ、ベントや停電が発生してもアイソレーションバル

ブは不要です。

VacIon Plus ポンプは、各速度範囲で最もコンパクトなイオンポンプです。ポンプは追加のフランジで構成でき、その他のポンピングシステム（チタンサブリメーションポンプなど）にも対応できるため、スペースを最大限に活用できます。

78

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

イオンポンプのテクニカルノート

アジレントのフィードスルーオプション

アジレントの標準フィードスルーはすべてのイオンポンプで使用できます。また、その他の一般的な工業用フィードスルーも使用可能です。
アジレントの革新的なフィードスルーの利点は次のとおりです。
耐腐食性

フィードスルーの設計により、湿潤環境でポンプを使用する場合に発生しうる腐食 を大幅 に抑制できます。アジレントの試験と経験によると、フィードスルーとコネクタの間に湿気があると、腐食が始まり、広がります。ポンプ動作中の高電圧により、捕捉された水蒸気 がイオン化します。このイオンが合金と反応して腐食させます。

不注意により抜けた場合の安全性

高電圧ケーブル、インターロック

標準フィードスルーは、「HV ケーブルの安全インターロック」の導入に合わせて設計されてきました。この機能により、ケーブルがポンプから外れると、ただちに電圧が自動的に遮断されるた
め、感電を防止できます。

アジレントのイオンポンプコントロールユニット（4UHV および
IPCMini）と HV ケーブルは、フィードスルーでイオンポンプと接続した場合、この安全機能を満たします。

接続が容易

HV ケーブルコネクタは、特許取得済みの新しいフィードスルー

ケーブルコネクタをフィードスルーに接続するには、コネクタを挿入して押すだけです。 固定ネジは不要です。

標準フィードスルーの設計により、コンパクトに挿入され、しっかりと機械的に固定されます。ケーブルはラッチ付きで、外れにくくなっています。

次の問題を解決できます。
––

フィードスルーの設計構造により、ほとんど空気が入りません。

真空側でブレージングされるため、空気にさらされる合金表面は最標準フィードスルーの設計 は、スペースの有効活用に適しています。

小限になります。

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79イオンポンプのテクニカルノート

VacIon Plus ファミリー
ダイオード Vaclon Plus
Vaclon Plus ポンプのダイオードバージョンは、すべてのイオンポンプの中で、酸素（O2）、窒素（N2）、二酸化炭素（CO2）、一酸化炭素（CO）、

その他のゲッタリング可能なすべてのガスを最も高速で排気できます。このポンプは、水素（H2）の排気速度と容量も最高です。機械構造がシンプルであるため、超高真空でも電流/圧力測定値の信頼性が高く、動作振動もありません。このポンプは、電子検出器などの機器の近くでも使用できる形状/電気構成です。

このためダイオード Vaclon Plus ポンプは、汎用的 な UHV システムで、電子機器や超高感度電子顕微鏡の真空化 などに幅広く使用できます。
ただし、ダイオードポンプはアルゴン（Ar）、ヘリウム（He）、メタン（CH4）などの希ガスが排気されるアプリケーションには推奨されません。

ノーブルダイオード Vaclon Plus

ノーブルダイオード Vaclon Plus エレメントはダイオードエレメントの 1 バージョンであり、チタンカソードの代わりにタンタルカソードが使用されます。この変更により、希ガス（主にアルゴンとヘリウム）の排気時の排気速度と安定性が向上します。それ以外については、このエレメントはダイオード Vaclon Plus と同等です。

ノーブルダイオード Vaclon Plus ポンプは、希ガスの排気が重要特性となる、あらゆるアプリケーションで使用されます。ノーブルダイオードはダイオード構成と同様に、超高真空であらゆるガスの排気速度を一定に維持します。ただし、H2 とゲッタリング可能なガスの排気速度は、対応するダイオードの場合より遅くなります。

ノーブルダイオード Vaclon Plus は一般的に、混合ガスが排気され、圧力が完全に一定の（突然のガス爆発や規則的な高圧サイクルなどがない）

UHV アプリケーションで使用されます。

ノーブルダイオードは、超高真空でもほぼすべてのガスで速度が一定であるという特性があるため、イオンポンプのみを使用して UHV 圧力を得る

場合に最適です。例えば、粒子加速器やシンクロトロンリング、表面分析などのアプリケーションです。

その他の Vaclon Plus バージョンは、低真空サイクルや大量の H2 の排気が必要 なアプリケーション、またはイオンポンプと他の UHV ポンプ（チタンサブリメーションポンプや非蒸発型ゲッターなど）を組み合わせる場合に推奨されます。

80

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

イオンポンプのテクニカルノート

StarCell Vaclon Plus
StarCell Vaclon Plus エレメントは、トライオード構成の最新バリエーションです。このイオンポンプの特長は大量の希ガスを処理できる設計で、ノーブルダイオードより多くの希ガスと、ダイオードより多くの水素を処理できる唯一のポンプです。またメタン、アルゴン、 ヘリウムの高速排気と大容量という特長も備えています。

StarCell Vaclon Plus はあらゆるガスの総容量が大きく、比較的高い圧力で高い速度性能を発揮します。このため、10-8 mbar 以上での安定的動作が必要なアプリケーションに最適です。これには通常、電子顕微鏡や質量分析計も含まれます。

StarCell はアルゴン、ヘリウム、メタンを（すべての圧力で、他のどのイオンポンプよりも）高速で排気するため、イオンポンプと TSP ポンプまたは NEG ポンプを組み合わせて使用し、排気性能を向上させるアプリケーションで標準的に使用されます。
StarCell Vaclon Plus と TSP/NEG ポンプを組み合わせると、これらの組み合わせの特性が最適化され、最低到達圧力を得ることができます。

ほとんどの既存の粒子加速器とシンクロトロンカートリッジ、ビームライン、トランスファーラインなどの機器が、これらのポンプの組み合わせを今までも現在も使用して、あらゆるガス種の最高速度を実現しています。

各種ガスに関するさまざまなエレメント構成での排気速度の詳細については、Vaclon Plus の排気スピードのセクションに掲載されている曲線を参照してください。このセクションの目的は、お客様に最適な構成の Vaclon Plus を選択していただくことです。さまざまなアプリケーションに合
わせて、最適な Vaclon Plus バージョンを見つけることができます。

図 9 - StarCell ポンプエレメント

ポンプの選択についてサポートが必要な場合は、最寄りのアジレント販売店にお問い合わ

せください。

VacIon Plus と NEG の統合型 ポンプについては、アジレントにお問い合 わせください。
特別な見積りをご用意いたします。

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81イオンポンプのテクニカルノート

VacIon Plus の排気速度
所定の容積から分子を除去するポンプ能力を表すために使用される最も一般的なパラメータは、排気速度です。これは通常、秒単位のリットル数（L/s）で測定され、（所定の圧力で）除去される時間単位あたりのガス量を表します。
イオンポンプの正味排気効果は、次のようなさまざまな現象を積み重ねた結果です。

–
–
–
–

イオン衝撃によるカソード材料のスパッタリングにより生み出される、ゲッター膜の排気作用
イオン埋め込みとカソードへの拡散による排気作用
アノードやポンプ壁へのガスの埋め込み

カソードの加熱と腐食による、カソードからのガスの再放出

イオンポンプが新しい、またはベーキングなどで再生された場合、カソードの表面層はクリーンで、そこからガスが再放出されることはほとんどありません。この条件のイオンポンプは「不飽和」と呼 ばれ、ゲッタリング効果とイオンの埋め込み/拡散によって排気効果が生まれます。カソードに埋め込まれるガス分子の数が増えるにつれて、イオン衝撃による再放出が増えます。

この結果、イオン埋 め込みとガスの再放出が平衡状態に達するまで、実効排気速度が低下します。この状態のイオンポンプは 「飽和」であり、カソードからスパッタリングされる材料のゲッタリング作用のみにより、正味排気速度が不飽和ポンプの約半分になります。

飽和効果 はカソードに埋 め込まれるガス分子量によって異 なるため、イオンポンプの飽和に必要 な時間 は、ポンプの動作圧力に反比例します。

このため、圧力が低いほど、ポンプの飽和までの時間が長くなります（図 10）。

UHV システムでは、10-11 mbar 範囲の圧力が可能です。イオンポンプは飽和するまでの数年間は、この圧力で、高い（不飽和）排気速度値で動作します。

ポンプの飽和点に達すると、排気速度が一定になり、排気ガスの量によって変わることはなくなります。飽和後の排気速度曲線値は、所定の圧力で得られる最も低い値となります。

一般的に、イオンポンプは不飽和と飽和の間の中間的な状態で動作します。
「公称」
排気速度は、飽和ポンプの排気速度曲線上の最高点と定義されます。通常、リファ

レンスガスは窒素です。

このため 公称排気速度 は、イオンポンプの 特性 の 一部 のみを定義するものです。
イオンポンプ性能 を包括的 に示すには、排気速度全体と圧力曲線 を比較します。

これらのプロットを使用し、アプリケーションを考慮して、最適 なポンプを選択して

ください。

82

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

200% of Nominal pumping speed

適切 なベークアウト手順（およびそれによるポンプ 再生）を実施したイオン排気

1d

1M

100

1h

1Y
1 min

1O Y

1
10-11

10-10

10-9

10-8

10-7

10-6

10-5

10-4

Pressure (mbar)
図 10：飽和効果

イオンポンプのテクニカルノート

活性ガス（N2、O2、CO、CO2、その他）
これらのガスの特性 は、ほとんどの金属と容易に反応して、安定化合物を形成することです。イオンポンプでは、これらの活性ガス分子が、カソード材料のスパッタリングによって新たに生まれるチタン膜と反応します。これらの活性ガスは、カソード内で深く拡散しません。

飽和効果はカソード表面に捕捉されたこれらの分子の再放出により発生し、非常に強力です。

ダイオードエレメントとノーブルダイオードエレメントは、高真空での排気速度性能が高いです。StarCell エレメントは、エレメント内にペニング

公称速度との比較（%）

公称速度との比較（%）

放電が閉じ込められやすいので、高圧での性能がより高くなります（図 11、12）。

ダイオード

ノーブルダイオード

ダイオード

StarCell

図 11 - 飽和前の窒素の排気速度

ノーブルダイオード

StarCell

図 12 - 飽和後の窒素の排気速度

水素
H2 の排気は非常に高速です。カソード内にすぐに拡散し、再放出がほとんどないためです。
H2 を排気する場合、イオンポンプは必ず不飽和状態で動作します。この結果、H2 の公称速度は、対応する窒素の値の約 2 倍になります。

さらに、微量の重いガスが存在すると、スパッタリング速度が上がり、水素の排気速度がさらに向上します。

ダイオードエレメントはノーブルダイオードより排気速度 が高速です。タンタルカソード

ではチタンカソードより、H2 の溶解性が低いためです。StarCell エレメントでは、H2 の公称速度との比較（%）

水素は活性ガスですが、質量が小さいため、スパッタリングが非常に低速です。ただし、高圧での高性能と大容量を両立できます。

ダイオード

StarCell

図 13 - 水素の排気速度

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83イオンポンプのテクニカルノート

希ガス（He、Ne、Ar、その他）
希ガスの主な特性は、他の元素と反応しないことです。

このため、カソード材料のスパッタリングにより生成される膜で、ヘリウムやアルゴンの排気することはできません。さらに、これらのガスはカソー

ド内に拡散しにくいため、イオン埋め込みによる排気効果が永続的ではありません。ただし、すべてのイオンポンプエレメントには、これらのガスを除去するための、ある程度の能力があります。

希ガスはチタンに埋め込まれて排気されます。希ガスイオンはエネルギー損失なく中和し、カソードから散乱させることができます。このような中性原子は、アノードやポンプ壁に埋め込まれる、または付着するのに十分なエネルギーを維持しており、スパッタリングされるチタンによって埋め込まれるため、永続的に排気されます。

ダイオード構成では、中和と後方散乱の可能性が非常に低いため、希ガスの排気速度は N2 の排気速度のほんの数パーセントです。また、比較的高いアルゴン分圧（10-8 mbar 以上など）で動作している場合、カソードに一時的に埋め込まれたアルゴンの再放出により、急な圧力上昇が見られる場合があります。この現象が発生した場合、その原因が解消されるまで、ダイオードポンプはアルゴンを排気できなくなります。この現象 は「アルゴンの不安定性」として知られています。

図 15 の異なるカソードによる結果を見ると、ダイオードポンプより StarCell ポンプのほうが優れた性能を発揮していることがわかります。

この試験は 75 L/s のイオンポンプを用いて、10-5 mbar で実施しました。ダイオードは、アルゴンの排気時間が 10 時間未満でも不安定になりました。一方 StarCell は、アルゴンの排気時間が 100 時間以上になっても安定したままでした。不安定になる前に排気されたガスは、ダイオード
エレメントでは 3 mbar/L、StarCell エレメントでは 70 mbar/L に相当します。つまりゲッタリング不可能なガスの排気には、StarCell エレメントが最適です。

ノーブルダイオードエレメントでは、チタンカソード 1 個をタンタルカソード 1 個と入れ替えています。タンタルは原子核質量が大きく後方散乱の可能性が高いため、希ガスの排気速度も上昇します。

希ガスの排気速度で最高の結果を得るには、StarCell エレメント固有のオープンカソード構造を使用します。これらの構成では、平坦なカソード
構造ではなく、イオンによる角度の浅い衝突が可能な構造が利用されます。

これらのイオンは中和され、平坦なカソードよりずっと高い確率で、ポンプ壁やアノードに向かって前方散乱します。この結果、希ガスの排気速度が最大で N2 の 60 % になります。

StarCell ポンプは、利用可能なすべてのチタンを最適に使用できる独自設計であるため、他のすべてのポンプより動作寿命が約 50 % 長くなります。
図 15 - 1E-5 mbar l/s のアルゴンガス流による圧力と時間

圧力（mbar）

公称速度との比較（%）

図 14 - アルゴンとヘリウムの排気速度

時間（時間）StarCell、不飽和
StarCell、飽和84

ノーブルダイオード、不飽和ノーブルダイオード、飽和

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

ノーブルダイオード

StarCellイオンポンプのテクニカルノート

メタン
メタンは希ガスではありませんが、ゲッター材料と反応しません。メタンは、真空システムの壁に存在する水素と炭素の反応生成物として、UHV
システム内にある程度常在します。メタンはビーム減衰の主な原因であるため、電子加速器で特に問題となります。

メタン分子は （他の水素分子と同様に）、イオンポンプ内でのペニング放電により壊れて、より小さいゲッタリング可能な化合物（C、CH3、H）になります。

この結果、メタンと軽い炭化水素の排気速度が、常に N2 の速度を上回ります。

StarCell、不飽和
StarCell、飽和

ノーブルダイオード、不飽和ノーブルダイオード、飽和

図 16 - メタンの排気速度

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85イオンポンプのテクニカルノート

基本性能要素
排気速度 は、高真空 ポンプの場合と同様に、システムの到達圧力を決 める要因の 1 つです。ただし、イオ

ンポンプの排気速度はガスにより異なります。例えば、アルゴンでは非常に遅くなります。
水素では非常に速く、このため仕様をチェックして、ポンプがアプリケーションに適合していることを確認する必要があります。ポン
プの（ベークアウト後のガス負荷に関する）履歴も、排気速度に影響します。アジレントのポンプは、平衡や「飽和」速度のレベルで評価されています。

不飽和ポンプは、特に UHV において、一時的に速度が上がります。

一般的な排気速度と圧力の曲線については、69 ページを参照してください。
イオンポンプの最大スループットは、10-4 ～ 10-5 mbar の圧力範囲で見られます。一般的にイオンポンプの動作圧力はこれよりずっと低いため、スループットは通常、主要な考慮事項にはなりません。

始動圧力とは、グロー放電がアノードセル構造に閉じ込められ、排気効果が始まる前に、まずイオンポンプを
粗引き排気して到達する必要がある圧力です。ポンプが高圧で飽和するときに過熱して損傷しないようにする

ため、コントローラが出力電圧を自動的に下げて、電力を安全レベル未満に維持します。

ポンプ寿命は、カソード寿命などのさまざまな要因によって決まります。ポンプ寿命はカソードの腐食により制限され、平均動作圧力に比例します。10-6 mbar でのカソードの寿命は、35,000 ～ 80,000 時間です。

加熱可能性。一般的に、UHV システムとそのイオンポンプを 200 ～ 250 ℃でベーキングすると、適切に脱ガスされ、大気への暴露後に高真空を達成できます。

プロセスによっては、より高いベークアウト温度が必要です。

一般的に、イオンポンプ本体は、マグネットが除去されている場合は 450 ℃、マグネットがポンプに付いている場合 は 350 ℃でベーキングできます。ベーキング対応ケーブルがイオンポンプに接続されている場合 は、

温度を 220 ℃以下にする必要があります。

チタンサブリメーションポンプ
「ガスクリーンアップ」や「ゲッタリング」には、1 世紀以上にわたり、反応性材料の薄膜が使用されてきました。

初期の電子管メーカーは、機械的に約 1 x 10-4 mbar までしか排気できませんでしたが、「ゲッター」を内部表面に吹き付けて使用することで、10-7 mbar 範囲の高真空を実現できるようになりました。これらのゲッターは通常、バリウム、チタン、ジルコニウム、トリウムなどの金属でした。今日の製造プロセスでは、ポンプによって 1 x 10-8 mbar の圧力を容易に達成できますが、ゲッター材料 は 今でもチューブに使用されています。

ゲッタリングは、イオンポンプへの高い適合性が判明する 1960 年代までは、真空システムで広く採用されてはいませんでした。チタンはゲッタリングで一般的に使用される金属です。入手しやすく、適度な温度範囲でスムーズに昇華できるためです。

86

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

イオンポンプのテクニカルノート

チタンサブリメーションポンプ - 基本性能要素

排気速度。Ti 膜の排気速度は、膜面積と付着係数に比例します。

これは、衝突したガス分子が Ti と反応して安定化合物が形成される確率です。

アプリケーション

気速度（Si）を、次の式を用いて評価できます。

熱可能性、低消費電力、振動のない動作、長いポンプ

チタンサブリメーションポンプ（TSP）は、清浄性、加チタン膜の排気速度については、表 1 を参照してください。これらの係数を使用して、Ti 膜の固有の排寿命、高速排気という特長を備えた、超高真空で高い

Si[L/s] = 係数 x 表面

コスト効率を実現できる理想的なイオンポンプです。

この排気モードは多くの分野で、次のようなアプリケー

ガス分子が表面の Ti 原子と反応すると、活性点の数が減少し、この結果、排気速度が低下します。さまションに使用できます。

ざまな圧力での具体的な排気速度と時間を示すプロットについては、図 17 を参照してください。このプ
ロットを使用すると、Ti 膜を新たに補給すべき頻度を見積もることができます。

––

注：TSP の実際の排気速度（S）は、次の式のとおり、活性表面と真空ベッセルの間の伝導性（C）によって異なります。

––

1/S = 1/C + 1/Si––

スループット。ガス分子の活性膜への衝突速度が Ti のサブリメーション速度を上回ると（過剰なガス分–子が利用可能な Ti 原子に影響すると）、排気速度が付着係数に依存しなくなります。

–

排気速度は化学量論的反応に基づき、利用可能な Ti 原子量のみによって制御されます。

––

n 個の Ti 原子が 1 個のガス分子を排気する必要がある場合（例：2Ti + N2 = 2TiN, n=2）、ガススルー
プット Q は次の式で求められます。

[ ]

0.13
gr
R
____
___
n
h

化学分析用の電子分光法
電子管の製造質量分析計

材料科学の伝導体の研究開発
原子核物理学

宇宙空間のシミュレーション
粒子加速器

二次イオン質量分析
固体状態の半導体

100% of maximum pumping speed
for nitrogen

Q [mbar L/s] =オージェ電子分光9080

1E-12 mbar

70

1E-11 mbar

60

1E-10 mbar

50

1E-9 mbar

40

1E-8 mbar

30

1E-7 mbar

20
10
0

5E-7 mbar
1

102

10

103

104

105

106

Time (minutes)

図 17 - 異なる圧力での排気速度と時間

表1

各種ガスのチタンサブリメーション表面の、平方センチメートル （平方インチ）あたりの一般的な排気速度（L/s）

ガス

H2

N2

O2

CO

CO2

H2O

CH4

Ar

He

表面温度

20 ℃

20（3.1）30（4.7）60（9.3）60（9.3）50（7.8）20（3.1）

0

0

0

表面温度

-195 ℃

65（10.1）

65（10.1）70（10.9）70（10.9）60（9.3）90（13.9）000

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87イオンポンプのテクニカルノート

チタンサブリメーションポンプ - 基本性能要素

R を Ti のサブリメーション速度とすると、この条件で排気速度は一定ではなく圧力に依存し、サブリメーション速度に正比例します（図 18）。

チタンサブリメーションポンプの全体的な性能は、いくつかの変数（ガス種、圧力、ガス温度、ゲッター膜の温度、ゲッター膜の面積、領域の形状、サブリメーション速度、付着係数、膜から領域への伝導性など）の関数で表されます。詳細については、D.J. Harra 氏が 1974 年に発表した『Predicting and Evaluating Titanium Sublimation Pump Performance（チタンサブリメーションポンプの予測と評価）』（Vacuum

Report VR-88）を参照してください。

動作
–

–

図 18 - 排気速度と圧力

88

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

カートリッジはすべて Agilent 2.75 インチ ConFlat

フランジに取り付けられ、1.50 インチのポートで装着されます。

3 フィラメントカートリッジに含まれる使用可能なチタン
は 3.3 g です。

イオンポンプのテクニカルノート

動作

チタンサブリメーションポンプでは、真空システムの内部表面が昇華したチタン膜で覆われます。これには化学反応が含まれるため、主に活性ガスが存在する場合は、このような排気が便利です。

単位面積あたりの排気速度は、次の式のとおり、反応性ガス種に応じて変わります。また、基質を液体窒素の温度まで冷却すると、水素と水の排気速度が大幅に向上します。

「ゲッタリングされた」ガスは、チタンによって安定化合物を形成し、クリーニングによって除去されるまでシステム内に格納されます。ほとんどの場合、非反応性の自燃性チタンが沈着物に埋め込まれているので、クリーニングの際は注意してください。望ましいガススループットがわかっている
場合（Q = 排気速度 x 圧力）、理論上の最長動作時間は次の式で求められます。

0.13____ T [gr]______n
Q [mbar L/s]

動作時間 [時間] =T は使用可能なチタンです。

例えば、3 フィラメントカートリッジの Ti カートリッジを用いて、1 x 10-8 mbar でアジレントのクライオパネルを使用した場合、理論上の動作時間は次の式で求められます。

0.13

3.6 [gr]

2

500 [L/s] x 10-8 [mbar]= 46,800 時間 = 約 5 年

この時間を超過したら、フィラメントカートリッジを交換してください。

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89アジレントのサービスとサポート

アジレントイオンポンプのサービスおよびサポートプラン
アジレントの真空技術は、業界最高クラスの包括的なサービスおよびサポートプランを提供しています。

アジレントは世界的企業として、世界中のあらゆる地域のお客様に対して付加価値の提供に取り組んでいます。サービスとサポートの充実は、付加価値における主要な要素です。

サポートには、適正な資格を持つエンジニアと適切な物流インフラストラクチャが必要です。

技術的スキルとインフラストラクチャという 2 つの分野に対し、アジレントは長期的に投資を続けています。
当社は日常的なカスタマーサポートの理念として、2 つの重要な要素、すなわち迅速な対応とスムーズさを重視しています。

アジレントの真空製品は、お客様にできるかぎり包括的なサービス計画をご提供することに努めています。

以後のページでは、アジレントイオンポンプの標準的なサービスおよびサポートプランを説明しています。

詳細情報、またはカスタマイズソリューションが必要な場合は、アジレントの担当者にお問い合わせください。

優れた製品だけでは十分でない場合もあります。アジレントは、お客様のご要望に迅速に対応できるカスタマーサービス体制を常時整えております。ぜひご活用ください。

交換プログラムと修理プログラム
アジレントのイオンポンプとコントローラは、信頼性、性能、清浄性が非常に優れています。

稼働時間を最大化し、時間が重要なアプリケーションに対応するため、アジレントは事前出荷用のイオンポンプコントローラ交換用ユニットを提供しています。

交換用ユニットは、新品と同じ厳格な基準に従って完全に再製造されています。
場所により、翌日出荷も可能です。

修理プログラムは、資産の管理が重要であり、要求されるターンアラウンドタイムの重要性が低い場合に使用できます。

交換プログラムと修理プログラムにより、グローバル OEM やエンドユーザーは、配送時間、価格、部品番号、注文処理手順の一貫性を確保できます。

交換用製品のご注文については、最寄りのアジレント販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。

エンドユーザー向け延長保証
エンドユーザー向け延長保証は、標準的な 12 か月間の製品保証を延長する保守契約です。本保証は、材料や製造上の欠陥による故障に対し、追加で 12 か月間保証します。

購入製品の保証延長により、購入後の満足度が保証されます。これは、関連コストの削減と、コストの予測可能性の向上によるものです。

エンドユーザー向け延長保証は、高エネルギー物理学の超高真空アプリケーションのニーズに対応するために考案されました。

延長保証のご注文については、最寄りのアジレント販売店の真空製品担当者にお問い合わせください。

90

アジレントのイオンポンプ – 超高真空と極高真空向けソリューション

アジレントのサービスとサポート

技術支援
アジレントは、できるかぎり利用しやすくカスタマイズされたサービスをお客様にご提供するため、専門のサポートスタッフが対応しています。ぜひご相談ください。

カスタマーサポート

お問い合わせ窓口

アジレントは世界中の拠点に、現地言語で対応する通話無料の相談窓口とテクニカル

サポートエンジニアを配置しており、お客様のニーズに迅速かつ適正に対応いたします。

南北アメリカサポート担当者 が発見して解決した新たな問題 は、すぐにアジレントのテクニカルサ

北米：

フリーダイヤル：+1 800-882-7426

中南米：

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日本

フリーダイヤル：0120-477-111

韓国

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中国

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ポートシステムに入力され、アジレントのすべてのテクニカルサポートセンターで利用可能になります。

このシステムにより、アジレントのすべての拠点で、第 1 レベルおよび第 2 レベルの優れたテクニカルサポートを世界中のお客様に提供できます。またテクニカルサポート

センターは 、第 3 レベルのサポートを提供するため、アジレントの研究開発部門と日常的に連携しています。

アジア

アプリケーションサポート -アプリケーショントレーニング
ソリューションを常に追求しています。

アジレントのアプリケーションエンジニアチームは、非常 に困難 なニーズに対応する

Fax：+82 (0) 2-3452-3947

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ための知識をお客様の現場にお届けします。

前、または購入した後に発生しうるアプリケーションの問題を解決するため、アジレント

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前向きな協力関係を構築することを目指しています。

ヨーロッパとイスラエル

アジレントは、お客様のニーズに適したソリューションを設計することで、お客様とのアジレントのエキスパートは、産業/科学アプリケーションに関する豊富な最新情報をお客様にお届けします。その目的は、お客様のシステムにおいてアジレント製品を最適な条件で使用し、新たな真空技術を開発することです。

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フリ ー ダ イ ヤ ル：00-800-234-234-00
フリーダイヤル Fax：00-800-345-345-00（*）イスラエルからかける場合は、00 の代わりに 012 をダイヤルして
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本製品 は 一般的 な実験用途での使用を想定しており、医薬品医療機器等法に基づく登録を行っておりません。
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Printed in Japan, September 15, 2023
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