Tłumaczenie oryginalnej instrukcji obsługi

UL6000 Fab™
UL6000 Fab PLUS™
Badanie szczelności hel z technologią czujników ULTRATEST ™

550-520, 550-530
Od wersji oprogramowania
1.64 (działanie urządzenia)

iinc75pl1-04-(2403)

INFICON GmbH
Bonner Straße 498
50968 Kolonia, Niemcy

INFICON

Spis treści

Spis treści
1 Odnośnie do niniejszej instrukcji ................................................................................................................. 8
1.1 Grupy docelowe ....................................................................................................................................... 8
1.2 Wskazówki ostrzegające.......................................................................................................................... 8
1.3 Definicje pojęć.......................................................................................................................................... 8
2 Bezpieczeństwo............................................................................................................................................ 11
2.1 Użytkowanie zgodnie z przeznaczeniem ............................................................................................... 11
2.2 Obowiązki operatora .............................................................................................................................. 13
2.3 Wymagania stawiane użytkownikowi ..................................................................................................... 13
2.4 Niebezpieczeństwa ................................................................................................................................ 14
3 Zakres dostawy, transport, magazynowanie ............................................................................................. 15
4 Opis ............................................................................................................................................................... 18
4.1 Funkcja................................................................................................................................................... 18
4.2 Tryby pracy ............................................................................................................................................ 18
4.2.1 Tryb pracy „Próżnia” ................................................................................................................... 18
4.2.2 Tryb pracy „Sonda zasysająca” .................................................................................................. 19
4.3 Budowa urządzenia................................................................................................................................ 21
4.3.1 Całe urządzenie .......................................................................................................................... 21
4.3.2 Panel obsługi .............................................................................................................................. 24
4.3.2.1

Przycisk START................................................................................................................. 25

4.3.2.2

Przycisk STOP................................................................................................................... 26

4.3.2.3

Przycisk ZERO .................................................................................................................. 26

4.3.2.4

Znaczenie przycisków LED................................................................................................ 27

4.3.2.5

Znaczenie diod LED statusu.............................................................................................. 27

4.3.2.6

Budowa ekranu dotykowego.............................................................................................. 28

4.3.3 Przyłącza próżniowe ................................................................................................................... 30
4.3.3.1

Wlot.................................................................................................................................... 30

4.3.3.2

Układ wydechowy .............................................................................................................. 31

4.3.3.3

Przyłącze gazu płuczącego ............................................................................................... 31

4.3.3.4

Przyłącze wentylacyjne...................................................................................................... 32

4.3.4 Przyłącza osprzętu i sygnałów sterujących................................................................................. 33
4.3.5 Oznaczenia na urządzeniu ......................................................................................................... 34
4.4 Dane techniczne .................................................................................................................................... 34
4.5 Ustawienia fabryczne ............................................................................................................................. 36

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

iii

Spis treści

INFICON

5 Instalacja ....................................................................................................................................................... 42
5.1 Ustawianie.............................................................................................................................................. 42
5.2 Podłączanie wyposażenia dodatkowego objętego dostawą .................................................................. 46
5.3 Zamocować przewód sondy zasysającej SL3000 (wyposażenie dodatkowe, opcjonalne).................... 51
5.4 Podłączenie badanej próbki/odbiornika do kołnierza wlotowego ........................................................... 52
5.5 Podłączanie do sieci elektrycznej .......................................................................................................... 52
5.6 Kontrola działania urządzenia ................................................................................................................ 53
6 Praca.............................................................................................................................................................. 55
6.1 Włączanie............................................................................................................................................... 55
6.2 Ustawienia podstawowe......................................................................................................................... 56
6.2.1 Ustawianie języka interfejsów użytkownika ................................................................................ 56
6.2.2 Ustawianie daty, godziny i strefy czasowej................................................................................. 56
6.2.3 Ustawienia profilu użytkownika ................................................................................................... 57
6.2.3.1

Przegląd grup ustawień ..................................................................................................... 57

6.2.3.2

Wybór, edycja i tworzenie profilu użytkownika .................................................................. 57

6.2.3.3

Edytowanie ustawień osobistych ....................................................................................... 58

6.2.4 Wyłączanie funkcji automatycznego wylogowania ..................................................................... 59
6.2.5 Włączanie automatycznego logowania....................................................................................... 59
6.2.6 Widok ekranu pomiarowego ....................................................................................................... 60
6.2.6.1

Zmiana widoku wykresu liniowego .................................................................................... 60

6.2.6.2

Zmiana widoku wykresu słupkowego ................................................................................ 61

6.2.6.3

Zmiana widoku wykresu kołowego .................................................................................... 62

6.2.6.4

Zmiana ustawienia wskazania ogólnego ........................................................................... 62

6.2.7 Zmiana jednostki......................................................................................................................... 63
6.2.8 Zmiana ustawień audio ............................................................................................................... 63
6.2.9 Zmiana ustawień zabezpieczających.......................................................................................... 65
6.2.10 Ustawianie okresów konserwacji „Filtr sondy przyrządu kontrolnego nieszczelności” lub „Filtr
powietrza” ................................................................................................................................... 66
6.2.11 Włączanie lub wyłączanie wezwania do konserwacji ................................................................. 67
6.2.12 Włączanie lub wyłączanie wezwań do kalibracji ......................................................................... 67
6.2.13 Rozszerzanie lub ograniczanie możliwości obsługi .................................................................... 68
6.2.14 Zmierzyć wewnętrzną nieszczelność próbną po uruchomieniu .................................................. 68
6.2.15 Wykorzystanie funkcji Ulubione .................................................................................................. 69
6.2.16 Włączanie lub wyłączanie powiadomień..................................................................................... 69
6.3 Ustawienia pomiarów ............................................................................................................................. 71
6.3.1 Wybór trybu pracy....................................................................................................................... 71

iv

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Spis treści

6.3.2 Wybór gazu................................................................................................................................. 71
6.3.3 Ustawianie wartości progowych.................................................................................................. 71
6.3.4 Aktywacja zakresów próżni......................................................................................................... 72
6.3.5 Wpływ na prędkość obrotową pompy próżni wstępnej ............................................................... 72
6.3.6 Włączenie lub wyłączenie trybu TMP2 ....................................................................................... 72
6.3.7 HYDRO•S ................................................................................................................................... 73
6.3.7.1

Ustawianie HYDRO•S........................................................................................................ 73

6.3.7.2

Korzystanie z HYDRO•S.................................................................................................... 73

6.3.8 Ustawienie współczynnika urządzenia........................................................................................ 74
6.3.9 Ustawianie zewnętrznej nieszczelności próbnej ......................................................................... 74
6.3.10 Zmiana wartości granicznych ciśnienia....................................................................................... 75
6.3.11 Ustawianie funkcji ZERO i zarządzanie nią ................................................................................ 76
6.3.12 Wentylowanie, płukanie, regenerowanie .................................................................................... 77
6.3.13 Edycja filtra wartości nieszczelności ........................................................................................... 79
6.3.14 Edycja tłumienia tła ..................................................................................................................... 79
6.3.14.1 Określanie tła obszaru wlotowego ..................................................................................... 80
6.3.15 Zmiana ustawień SL3000 (dźwięk/światło) ................................................................................. 81
6.3.16 Zmiana monitorowania ciśnienia w przewodzie sondy zasysającej............................................ 81
6.3.17 Kalibracja .................................................................................................................................... 82
6.3.17.1 Kalibracja wewnętrzna....................................................................................................... 82
6.3.17.2 Kalibracja zewnętrza.......................................................................................................... 82
6.3.17.3 Kalibracja helem z powietrza (tryb sondy zasysającej) ..................................................... 83
6.3.17.4 Kontrola kalibracji .............................................................................................................. 83
6.3.17.5 Mierzenie wewnętrznej nieszczelności próbnej ................................................................. 84
6.4 Pomiar.................................................................................................................................................... 85
6.5 Badanie szczelności z I•RISE (zależnie od urządzenia) ........................................................................ 86
6.6 Mierzenie koncentracji helu w tle ........................................................................................................... 88
6.7 Dane pomiarowe .................................................................................................................................... 89
6.7.1 Włączenie zapisu danych i konfiguracja eksportu ...................................................................... 89
6.7.2 Wyświetlanie cykli pomiarowych................................................................................................. 90
6.7.3 Eksportowanie danych pomiarowych przez sieć ........................................................................ 91
6.7.4 Baza danych pomiarowych: Informacje ...................................................................................... 92
6.8 Informacje .............................................................................................................................................. 93
6.8.1 Wywoływanie informacji o aktualnej wartości pomiarowej.......................................................... 93
6.8.2 Wywoływanie informacji o aktualnych wartościach kalibracji...................................................... 93
6.8.3 Wywoływanie informacji o podłączonym wyposażeniu dodatkowym.......................................... 93

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)v

Spis treści

INFICON

6.8.4 Wywoływanie informacji o urządzeniu ........................................................................................ 94
6.8.5 Wywoływanie informacje o podzespołach .................................................................................. 94
6.8.6 Wywoływanie informacji dotyczących danych energetycznych .................................................. 94
6.8.7 Wywoływanie informacji o HYDRO • S ....................................................................................... 95
6.8.8 Wywoływanie informacji na temat przewodu sondy zasysającej SL3000................................... 95
6.9 Protokoły ................................................................................................................................................ 95
6.9.1 Wywoływanie protokołu błędów i ostrzeżeń................................................................................ 95
6.9.2 Wywoływanie protokołu kalibracji ............................................................................................... 95
6.9.3 Wywoływanie protokołu wyników................................................................................................ 95
6.9.4 Wywoływanie protokołu konserwacji........................................................................................... 95
6.10 Ustawienia urządzenia ........................................................................................................................... 96
6.10.1 Przeglądanie i dostosowywanie poszczególnych parametrów ................................................... 96
6.10.2 Zapisywanie zestawów parametrów i zarządzanie nimi ............................................................. 96
6.10.3 Eksport i import zestawów parametrów ...................................................................................... 97
6.11 Aktualizacja oprogramowania ................................................................................................................ 98
6.11.1 Aktualizacja oprogramowania interfejsu użytkownika................................................................. 98
6.11.2 Aktualizacja oprogramowania urządzenia podstawowego ......................................................... 98
6.11.3 Aktualizacja oprogramowania w trybie Ekspert .......................................................................... 99
6.11.4 Odblokowanie funkcji dodatkowych ............................................................................................ 99
6.12 Używanie monitora zewnętrznego ....................................................................................................... 100
6.12.1 Przełączyć z powrotem na monitor wewnętrzny ....................................................................... 100
6.13 Przeglądania wykresu próżni ............................................................................................................... 101
6.14 Reset do ustawień fabrycznych ........................................................................................................... 102
6.15 Wylogowanie z urządzenia .................................................................................................................. 103
6.16 Wyłączanie urządzenia ........................................................................................................................ 103
7 Komunikaty ostrzegawcze i błędów ......................................................................................................... 104
7.1 Lista komunikatów ostrzegawczych i o błędach................................................................................... 105
8 Czyszczenie i konserwacja........................................................................................................................ 126
8.1 Czyszczenie obudowy.......................................................................................................................... 126
8.2 Wymiana maty filtracyjnej w schowku na narzędzia ............................................................................ 126
8.3 Wymiana maty filtracyjnej u dołu urządzenia ....................................................................................... 127
8.4 Wymiana filtra przewodu sondy zasysającej SL200 ............................................................................ 128
8.5 Wymiana filtra przewodu sondy zasysającej SL3000 .......................................................................... 130
8.6 Zamontować lub wymienić butlę gazową............................................................................................. 132
8.7 Tworzenie zrzutów ekranu ................................................................................................................... 133

vi

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Spis treści

8.8 Zlecić konserwację lub naprawę urządzenia........................................................................................ 133
8.9 Plan konserwacji .................................................................................................................................. 135
9 Wyłączenie z ruchu .................................................................................................................................... 137
9.1 Utylizacja urządzenia ........................................................................................................................... 137
9.2 Odesłać urządzenie do konserwacji, naprawy lub utylizacji................................................................. 137
10 Wyposażenie dodatkowe i złącza ............................................................................................................. 139
10.1 Wyposażenie dodatkowe i części zamienne........................................................................................ 139
10.2 Moduł I/O.............................................................................................................................................. 143
10.2.1 Tworzenie połączenia między urządzeniem i modułem I/O...................................................... 143
10.2.2 Konfiguracja wyjść analogowych .............................................................................................. 143
10.2.3 Konfiguracja wejść cyfrowych ................................................................................................... 145
10.2.4 Konfiguracja wyjść cyfrowych ................................................................................................... 147
10.2.5 Tworzenie protokołu modułu I/O ............................................................................................... 149
10.3 Moduł magistrali ................................................................................................................................... 150
10.3.1 Tworzenie połączenia między urządzeniem i modułem I/O...................................................... 150
10.3.2 Nadawanie adresu modułowi magistrali ................................................................................... 150
10.4 Nawiąż połączenie pomiędzy urządzeniem a SMART-Spray .............................................................. 150
10.5 Sieć ...................................................................................................................................................... 151
10.5.1 Obsługa detektora nieszczelności poprzez wyszukiwarkę (LAN) ............................................. 151
10.5.1.1 Konfiguracja połączenia LAN detektora nieszczelności .................................................. 151
10.5.1.2 Ustawianie łączności LAN w PC lub tablecie................................................................... 152
10.5.1.3 Dopuszczanie dostępu klienta ......................................................................................... 152
10.5.2 Obsługa detektora nieszczelności poprzez wyszukiwarkę (WLAN).......................................... 153
10.5.2.1 Konfiguracja połączenia WLAN detektora szczelności.................................................... 154
10.5.2.2 Ustawianie łączności WLAN w PC lub tablecie ............................................................... 154
10.5.2.3 Dopuszczanie dostępu klienta ......................................................................................... 155
11 Załącznik ..................................................................................................................................................... 156
11.1 Ścieżki menu........................................................................................................................................ 156
11.1.1 Diagnoza................................................................................................................................... 156
11.1.2 Ustawienia ................................................................................................................................ 156
11.1.3 Informacje ................................................................................................................................. 158
11.2 Deklaracja zgodności CE ..................................................................................................................... 159
11.3 RoHS.................................................................................................................................................... 160
Skorowidz ................................................................................................................................................... 161

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

vii

1 | Odnośnie do niniejszej instrukcji

INFICON

1 Odnośnie do niniejszej instrukcji
Niniejszy dokument obowiązuje dla wersji oprogramowania podanej na stronie
tytułowej.
W dokumencie wspomniane są między innymi nazwy produktów podane wyłącznie
w celu identyfikacji, które stanowią własność odpowiednich właścicieli prawnych.

1.1 Grupy docelowe
Niniejsza instrukcja użytkowania skierowana jest do użytkownika i personelu
specjalistycznego posiadającego kwalifikacje techniczne i doświadczenie w dziedzinie
techniki kontroli szczelności.

1.2 Wskazówki ostrzegające
NIEBEZPIECZEŃSTWO
Skutkiem jest bezpośrednie zagrożenie życia lub niebezpieczeństwo
ciężkich obrażeń

OSTRZEŻENIE
Skutkiem są niebezpieczne sytuacje z możliwą śmiercią lub ciężkimi
obrażeniami

UWAGA
Skutkiem jest niebezpieczna sytuacja grożąca lekkimi obrażeniami

WSKAZÓWKA
Skutkiem jest niebezpieczna sytuacja grożąca szkodami materialnymi
lub środowiskowymi

1.3 Definicje pojęć
Wzmianka dotycząca helu w podręczniku
Niniejsze urządzenie jest helowym detektorem nieszczelności. W przypadku
stosowania gazu formującego zamiast helu – w celu stwierdzenia obecności wodoru –wskazówki dotyczące helu obowiązują również dla wodoru.

8 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICONOdnośnie do niniejszej instrukcji | 1

Automatyczne uzgodnienie/ustawianie mas
Funkcja ta ustawia spektrometr masowy tak, że osiągnięte zostaje maksymalne
wskazanie wartości nieszczelności. Aby wykryć maksymalny strumień jonów za
pomocą detektora jonów, komputer sterowniczy dopasowuje napięcie odpowiednio do
przyspieszenia jonów w wybranym zakresie mas.
Podczas każdej kalibracji następuje automatyczne uzgodnienie.

Tryb pracy
Tryby pracy wykrywacza nieszczelności „próżnia” i „wąchanie” różnią się od siebie.
W trybie pracy „próżnia” gaz próbny dopływa do obiektu próbnego. Ciśnienie
w obiekcie próbnym jest niższe od ciśnienia otoczenia.
W trybie pracy „wąchanie” gaz próbny wypływa z obiektu kontrolnego i jest odciągany
za pomocą uchwytu przyrządu kontrolnego nieszczelności. Ciśnienie w obiekcie
próbnym jest wyższe od ciśnienia otoczenia.

FINE
FINE oznacza przyłącze do pompy turbomolekularnej dla średnich ciśnień
wejściowych. Wykorzystywane jest ono również w trybie pracy „wąchanie”.

Gaz formujący
Gaz formujący to pojęcie zbiorcze, opisujące mieszanki gazu złożone z azotu
i wodoru.

GROSS
Jako GROSS oznaczone jest przyłącze pompy turbomolekularnej o najniższej
czułości. Pozwala to na uzyskanie wysokich ciśnień wlotowych.

Wewnętrzne tło helowe
System pomiarowy detektora nieszczelności zawsze zawiera pewne ilości resztkowe
helu. Wytwarza on wewnętrzny element sygnału pomiarowego (sygnał tła), który odpoczątku nakłada się na wskazanie wycieków, zakłócając w ten sposób wyszukiwanie
nieszczelności.
Aby wyciszyć sygnał tła w ustawieniach fabrycznych aktywowane jest „tłumienie tła” .
Po naciśnięciu przycisku START aktualnie określony wewnętrzny sygnał pomiarowy
analizowany jest jako tło helu i odejmowany od sygnału pomiarowego. Jeśli
wykrywacz nieszczelności jest w stanie „Czuwanie” lub „Wentylowany” krócej niż 20
sekund, zostanie odjęte ostatnie zastosowane wewnętrzne tło helowe.

Najmniejsza wykrywana wartość nieszczelności
Najmniejsza wykrywalna wartość nieszczelności, jaką urządzenie może wykryć
w idealnych warunkach.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

9 / 164

1 | Odnośnie do niniejszej instrukcji

INFICONMASSIVE
Po wyborze zakresu próżni „MASSIVE” duże nieszczelności mogą zostać zmierzone
już od ciśnienia atmosferycznego.

ULTRA
Jako ULTRA oznaczone jest przyłącze pompy turbomolekularnej dla zakresu
pomiarowego o najwyższej czułości przy niskich wartościach ciśnienia wlotowego.

Technologia czujników ULTRATEST™
Bardzo czuły spektrometr masowy dla mas atomowych 2, 3 i 4.

Sygnał tła
Hel i wodór (jako część wody) to naturalne składniki powietrza.
Tryb pracy „próżnia”: Pewna ilość ustawionego gazu próbnego jeszcze przed
rozpoczęciem wyszukiwania nieszczelności obecna jest w objętości, na
powierzchniach komory probierczej, przewodach doprowadzających, a nawet
w samym detektorze nieszczelności. Ta ilość gazu próbnego generuje sygnał
pomiarowy nazywany „sygnałem tła”. Poprzez sukcesywne wytwarzanie próżni
w komorze probierczej sygnał tła jest stopniowo zmniejszany.
Tryb pracy „Wąchanie”: Powietrze otoczenia jest nieustannie doprowadzane przez
przewód sondy zasysającej do detektora nieszczelności. Hel lub wodór, naturalnie
obecne w powietrzu, wytwarzają stały sygnał tła.

Ciśnienie wstępne
Ciśnienie próżni wstępnej, pomiędzy pompą turbomolekularną a pompą próżni
wstępnej.

ZERO
Podczas pomiaru hel obecny jako naturalny składnik powietrza otoczenia jest słabozwiązany np. z powierzchnią próbki i jest stopniowo przepompowywany do systemu
pomiarowego detektora nieszczelności. Wytwarza on powoli opadający sygnał
pomiarowy.
Wyciszenie sygnału tła lub też wygaszenie wskazania istniejącego wycieku jestmożliwe dzięki zastosowaniu funkcji ZERO.

10 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Bezpieczeństwo | 2

2 Bezpieczeństwo
2.1 Użytkowanie zgodnie z przeznaczeniemUrządzenie jest detektorem nieszczelności służącym do wykrywania i pomiarów
wycieków w obiektach próbnych. Urządzenie nadaje się do wykonywania badania
szczelności metodą próżniową i metodą zasysania.
• Urządzenie należy eksploatować wyłącznie zgodnie z przeznaczeniem, w sposób
opisany w instrukcji obsługi, aby uniknąć zagrożeń wynikających z niewłaściwegoużytkowania.
• Zachować granice zastosowania, patrz „Dane techniczne”.
Nieprawidłowe użycie

Unikać następujących, niezgodnych z przeznaczeniem zastosowań:• zastosowanie wykraczające poza specyfikacje techniczne, patrz „Dane
techniczne”;• Przekroczenie dopuszczalnych warunków otoczenia dla nieszczelności próbnych• Zastosowanie w obszarach radioaktywnych• Modyfikacja urządzenia przez dodatkowe mocowania, które zmieniają jej
stabilność. Wyjątek stanowią akcesoria Inficon.
• Zastosowanie elementów wyposażenia dodatkowego lub części zamiennych,
które nie są wymienione w niniejszej instrukcji obsługi• Praca urządzenia w zanieczyszczonym powietrzu, w którym cząstki przewodzące,takie jak włókna węglowe, mogą powodować wewnętrzne zwarcia.
• Badanie mokrych lub wilgotnych obiektów próbnych• Pompowanie substancji agresywnych, łatwopalnych, wybuchowych, żrących,
mikrobiologicznych, reaktywnych lub toksycznych, stwarzających zagrożenie• Obsługa urządzenia bez uwzględnienia aspektów ergonomicznych, takich jakzmęczenie• Odpompowywanie cieczy lub oparów kondensujących
• Odpompowywanie gazów zanieczyszczonych cząsteczkami• Umieszczanie płynów na detektorze nieszczelności lub w uchwycie węża falistego• Obciążenia udarowe lub wibracje• Stosowanie w miejscach, gdzie urządzenie i wyświetlacz mogą zostać
uszkodzone przez spadające przedmioty• Pompowanie stężenia wodoru, które w połączeniu z tlenem może prowadzić dowybuchu. Na dopuszczony skład dostępnych w handlu mieszanek gazowych
wskazujemy na kartach charakterystyki danych producentów.
• Zastosowanie urządzenia w atmosferze wybuchowej

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

11 / 164

2 | Bezpieczeństwo

INFICON• Badanie za pomocą przewodu sondy zasysającej przewodów lub obiektów
przewodzących prąd• Szybkie odpowietrzanie systemów próżniowych• Wykorzystanie urządzenia jako pojazdu do transportu przedmiotów lub osób
• Wykorzystanie dostępnego w opcji uchwytu na butlę jako środka do transportu
przedmiotów lub osób
• Wykorzystanie dostępnego w opcji uchwytu na butlę jako pomocy do wchodzenia• Łączenie elementów nie odpornych na próżnię lub obiektów testowych bez
zabezpieczenia przed pęknięciem fragmentów• Odpompowywanie gazów zawierających halogeny takie jak fluor czy chlor, w
wysokim stężeniu lub przez dłuższy czas. Zastosowanie w przypadku chłodziw lub
SF6.
• Eksploatacja bez przewodu spalinowego w źle wentylowanych pomieszczeniach,zależnie od rodzaju stosowanych gazów• Wskazówka: Niniejsze urządzenie nie jest przewidziane do stosowania
w obszarach mieszkalnych.

12 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Bezpieczeństwo | 2

2.2 Obowiązki operatora• Zapoznanie się, przestrzeganie i postępowanie zgodnie z informacjami zawartymi
w niniejszej instrukcji obsługi oraz w instrukcjach pracy opracowanych przezwłaścicieli. Dotyczy to w szczególności instrukcji dotyczących bezpieczeństwa iostrzeżeń.
• Podczas wykonywania wszelkich prac zawsze stosować się do kompletnej
instrukcji obsługi.
• W razie pytań dotyczących obsługi lub konserwacji, na które nie ma odpowiedzi w
tej instrukcji obsługi, skontaktować się z serwisem INFICON.

2.3 Wymagania stawiane użytkownikowi
Następujące wskazówki skierowane są do przedsiębiorcy lub osoby odpowiedzialnej
za bezpieczne i skuteczne użycie produktu przez operatorów, pracowników i osoby
trzecie.

Prace ze świadomością bezpieczeństwa• Obsługuj urządzenie tylko wtedy, gdy jest w doskonałym stanie technicznym i nie
ma uszkodzeń.
• Urządzenie wolno eksploatować wyłącznie zgodnie z przeznaczeniem, zeświadomością środków bezpieczeństwa i zagrożeń oraz przestrzegając niniejszej
instrukcji obsługi.
• Należy spełniać poniższe przepisy i upewnić się, że będą spełniane przez innych:– Użytkowanie zgodnie z przeznaczeniem– Ogólnie obowiązujące przepisy bezpieczeństwa i zapobiegania wypadkom– Normy i wytyczne obowiązujące w skali międzynarodowej, krajowej i lokalnej– Dodatkowe postanowienia i instrukcje dotyczące urządzenia• Używać wyłącznie części oryginalnych lub dopuszczonych przez producenta.
• Niniejsza instrukcja musi być dostępna w miejscu pracy urządzenia.

Kwalifikacje personelu• Urządzenie może być obsługiwane wyłącznie przez przeszkolony personel.
Personel ten musi zostać przeszkolony przy urządzeniu.
• Upewnić się, że przed rozpoczęciem pracy osoby przeszkolone przeczytały
i zrozumiały tę instrukcję i wszystkie dołączone dokumenty.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

13 / 164

2 | Bezpieczeństwo

INFICON

2.4 Niebezpieczeństwa
Urządzenie zbudowane jest według aktualnego stanu techniki i uznanych zasad
bezpieczeństwa technicznego. Jednakże przy niewłaściwym użyciu występują
zagrożenia dla ciała i życia użytkownika i osób trzecich lub niebezpieczeństwo
uszkodzenia lub innych szkód rzeczowych.
Niebezpieczeństwo

Głośnik jest umieszczony pod powierzchnią roboczą w pobliżu uchwytu. Poledla osób zmagnetyczne głośnika może zakłócać działanie implantu.

implantami, jak np.

• Osoby noszące takie urządzenia powinny zachować co najmniej 10 cm odstępu

stymulatory pracy
sercamiędzy magnesem głośnika a implantem.
• Należy również przestrzegać instrukcji bezpieczeństwa producenta implantu.

Niebezpieczeństwo

Dotknięcie przewodzących prąd elementów we wnętrzu urządzenia stwarza

spowodowane

zagrożenie dla życia.

prądem elektrycznym• Przed wszelkimi pracami instalacyjnymi i konserwacyjnymi urządzenie odłączyć
od zasilania prądowego. Upewnić się, że zasilanie prądowe nie zostanie
przypadkowo włączone ponownie.
Urządzenie zawiera części elektryczne, które mogą zostać uszkodzone przez wysokienapięcie elektryczne.
• Przed podłączeniem do zasilania należy upewnić się, że napięcie sieciowe w
miejscu instalacji mieści się w dopuszczalnym zakresie napięcia roboczego.
Dopuszczalny zakres napięcia roboczego podany jest na urządzeniu.

Zagrożenie

Wodór jest gazem palnym i wybuchowym.

wybuchem• Należy stosować wyłącznie gazy próbne o stężeniu wodoru, który w połączeniu
z tlenem nie może wybuchnąć. Na dopuszczony skład dostępnych w handlu
mieszanek gazowych wskazujemy na kartach charakterystyki danych
producentów.

Niebezpieczeństwo

Podczas eksploatacji urządzenia w trybie pracy „Próżnia” na kołnierzu wlotowym

zassania na kołnierzu

powstaje podciśnienie. Zassanie rąk lub innych części ciała może prowadzić dowlotowymobrażeń lub wywoływać niekontrolowane ruchy spowodowane strachem.
• Na to niebezpieczeństwo należy uważać szczególnie podczas używania zdalnego
pilota!
• Należy uważać, aby do wlotu nie przedostały się żadne przedmioty.
• Długie włosy należy chronić, gdy wlot jest otwarty, np. za pomocą siatki na włosy.
• Kołnierz wpustowy należy połączyć ze strukturą badania lub zamknąć go znakiemkońca.

Niebezpieczeństwo

Jeśli podłączony obiekt próbny lub łącze z obiektem próbnym może nie wytrzymać

odniesienia obrażeń

podciśnienia wytwarzanego w trybie próżniowym, zachodzi niebezpieczeństwo

spowodowane przez

odniesienia obrażeń spowodowanych przez pęknięcie przedmiotów.

pękanie obiektów• Zastosować odpowiednie środki zabezpieczające.

14 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Zakres dostawy, transport, magazynowanie | 3

3 Zakres dostawy, transport,
magazynowanie
Zakres dostawy

ArtykułLiczbaUL6000 Fab lub UL6000 Fab PLUS

1

Przewód sieciowy (właściwy dla danego kraju)

1

Adapter węża wydechowego – kołnierz KF DN251Odciążenie kabla sieciowego (zacisk rurowy i mocujący) 1)

1Śruby M6x12

5

Podkładka zabezpieczająca 2) S6

5

Klucz T30

1

Haczyk na kabel sieciowy

3)4Adapter DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF

1

Cyfrowa instrukcja obsługi do pobrania w formacie PDF ze

1strony www.inficon.com
Instrukcja rozpakowania

1

Certyfikat nieszczelności próbnej

1

Certyfikat detektora nieszczelności

1

Naklejka z wartością nieszczelności wbudowanej helowej

1nieszczelności próbnej
Ponadto 2 klucz do otwierania klapy narzędziowej pod uchwytem.
► Po otrzymaniu produktu prosimy sprawdzić kompletność dostawy.
Objaśnienia

1) Prowadzenie przewodu energetycznego z urządzenia do podłogi(zapobieganie niebezpieczeństwu potknięcia). Patrz „Podłączanie
wyposażenia dodatkowego objętego dostawą [} 46]”.
2) Do mocowania haków i odciążenia. Patrz „Podłączanie wyposażenia
dodatkowego objętego dostawą [} 46]”.
3) Nawijanie przewodu energetycznego lub przewodu sondy zasysającej naurządzeniu lub opcjonalnym uchwycie butli. Patrz „Całe urządzenie [} 21]”
oraz „Podłączanie wyposażenia dodatkowego objętego dostawą [} 46]”.

Transport

Podczas transportu urządzenia należy przestrzegać następujących zasad:

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

15 / 164

3 | Zakres dostawy, transport, magazynowanie

INFICONOSTRZEŻENIE
Niebezpieczeństwo obrażeń ciała wskutek nieprawidłowegotransportowania butli z gazem na mobilnym detektorze nieszczelności
► Podczas montażu uchwytu butli na detektorze nieszczelności należy postępować
zgodnie z kolejnością czynności opisanych w oddzielnej instrukcji montażu.
► Zamontować podstawę uchwytu na butlę równo z butlą gazową.
► Aby nie zakłócać stabilności detektora nieszczelności, należy transportować tylko
małe i średnie butle (maks. 10 l, maksymalna wielkość butli wraz z kapturkiem
ochronnym 98 cm, 200 barów)► Sprawdzić, czy dostarczone pasy napinające nie mają widocznych uszkodzeń.
► Butlę należy zawsze mocować w uchwycie za pomocą obu pasów mocujących
znajdujących się w zestawie.
► Przed transportem zamknąć zawór butli z gazem.
► Przed transportem zdemontować podłączony regulator ciśnienia.
► Na czas transportu zabezpieczyć zawór butli z gazem nakładką ochronną.
► Należy uważać, by podłączony wąż natryskowy nigdy nie był naprężony.
► Należy przestrzegać instrukcji bezpieczeństwa producenta dotyczących
obchodzenia się z butlami gazowymi.

OSTRZEŻENIE
Niebezpieczeństwo obrażeń ciała w wyniku porażenia elektrycznego► Urządzenie wolno przenosić tylko wtedy, gdy przewód sieciowy nie jest podłączony.
► Przed każdym użyciem należy sprawdzić przewód sieciowy pod kątem uszkodzeń.

OSTRZEŻENIE
Ryzyko obrażeń ciała na skutek upadku lub przewrócenia się urządzeniaJeśli urządzenie jest transportowane nieprawidłowo, może spaść lub przewrócić się,powodując ciężkie obrażenia ciała.
► Mobilny wykrywacz nieszczelności jest przeznaczony do transportu na płaskiej
powierzchni. Nie nadaje się on do przenoszenia lub podnoszenia za pomocą
żurawia. Do przesuwania urządzenia należy korzystać z uchwytu.
► W celu jednostronnego podniesienia na krótko w przypadku mniejszych przeszkódnależy chwycić za uchwyt urządzenia w dwie osoby. Może to być konieczne, na
przykład, aby móc przejechać przez kabel bez jego uszkodzenia.
► Jeśli do transportowania detektora nieszczelności wykorzystywany jest wózek
przemysłowy, na przykład wózek widłowy, należy zawsze zapewnić odpowiedniezabezpieczenie przed upadkiem.

16 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Zakres dostawy, transport, magazynowanie | 3

UWAGA
Ryzyko odniesienia obrażeń z powodu ograniczonego działania
hamulców postojowych
Bez prawidłowo działających hamulców postojowych może dojść do niezamierzonych
ruchów urządzenia i do obrażeń ciała.
► Dla zapewnienia prawidłowego działania hamulców postojowych należy usunąć
taśmę klejącą z kółek.

UWAGA
Niebezpieczeństwo zmiażdżenia kończyn
Możliwe jest najechanie na stopy i zmiażdżenie ich.
► Nie należy zbliżać stóp do kółek.
► Nie ciągnąć urządzenia.
► Chwycić urządzenie tylko za przewidziany do tego celu uchwyt i przesunąć je.
► Ustalić urządzenie w miejscu docelowym, blokując przednie kółka jezdne.

WSKAZÓWKA
Szkody majątkowe w przypadku transportu bez opakowania
transportowegoJeśli bezpieczny transport przez pchanie nie jest możliwy, urządzenie należy
zabezpieczyć przed uszkodzeniem za pomocą oryginalnego opakowania.
► Należy zachować oryginalne opakowanie do transportu.

WSKAZÓWKA
Uszkodzenie detektora nieszczelności przez urządzenia transportowe
Na spodzie urządzenia znajdują się zaczepy mocujące wentylatorów. Urządzenia
transportowe, takie jak wózki widłowe, mogą uszkodzić te zaczepy.
► Jeśli nie można dopchnąć urządzenia do miejsca docelowego za uchwyt, zalecamyużycie oryginalnej skrzyni transportowej.
► Korzystając z wózka przemysłowego bez skrzyni transportowej należy uważać, byzaczepy na spodzie urządzenia (mocowanie wentylatorów podłogowych) nie
zostały uszkodzone. Widły wózków widłowych należy przed podniesieniem wsunąć
pod urządzenie, nie dotykając go.
PrzechowywanieUrządzenie magazynować wyłącznie zgodnie z danymi technicznymi, patrz "Danetechniczne [} 34]".

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

17 / 164

4 | Opis

INFICON

4 Opis
4.1 Funkcja
Urządzenie jest detektorem nieszczelności służącym do wykrywania i pomiarów
wycieków w obiektach próbnych. Urządzenie nadaje się do wykonywania badania
szczelności metodą próżniową i metodą zasysania. Wykorzystuje technologię
czujników ULTRATEST TM.
• W przypadku zastosowania metody próżniowej w obiekcie próbnym wytwarzana
jest próżnia i od zewnątrz podawany jest hel lub gaz formujący. W tym celu
konieczne jest utworzenie połączenia próżniowego między urządzeniem
a obiektem próbnym.
• W przypadku metody zasysania w obiekcie próbnym wytwarzane jest nadciśnienie
za pomocą helu lub gazu formującego. Obiekt próbny jest następnie badany odzewnątrz za pomocą przewodu sondy zasysającej.
Przed przystąpieniem do badań szczelności należy najpierw skalibrować detektor
nieszczelności. Patrz również „Kalibracja wewnętrzna [} 82]” i „Kalibracja zewnętrza
[} 82]”.

4.2 Tryby pracy
4.2.1 Tryb pracy „Próżnia”
Na górnej stronie urządzenia znajduje się kołnierz wlotowy.
Aby móc wykonać badania szczelności po zastosowaniu metody próżniowej kołnierz
wlotowy musi być połączony z wybraną próbką.
W razie potrzeby należy użyć odpowiedniego reduktora do połączenia badanej próbki
z kołnierzem wlotowym. Adapter DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF jest dostarczany w
zestawie.
Jeśli ciśnienie w próbce jest mniejsze niż ciśnienie otoczenia, w przypadku
wystąpienia nieszczelności rozpylany na próbkę hel może wniknąć do jej wnętrza.
W detektorze szczelności hel wykrywany jest za pomocą spektrometru masowego.
HYDRO•S
W trybie pracy „Próżnia” istnieje możliwość skorzystania z HYDRO•S . Przyzastosowaniu większych obiektów próbnych HYDRO•S redukuje czas do osiągnięcia
gotowości do pomiaru.
Desorpcja pary wodnej w komorze testowej wytwarza niepożądany sygnałtła.HYDRO•S oddziela ten sygnał od sygnału helu i tłumi go, dzięki czemu test można
rozpocząć wcześniej. Po przejściu do tego trybu konieczna jest ponowna kalibracja.
W trybie HYDRO•S dolna granica wykrywalności znajduje się na poziomie 1 x 10-10
mbar l/s.
18 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4

Zobacz również
2 Kalibracja zewnętrza [} 82]

4.2.2 Tryb pracy „Sonda zasysająca”
Aby zbadać obiekty próbne za pomocą sondy zasysającej w warunkach nadciśnienia,można podłączyć przewód sondy zasysającej SL200 lub przewód sondy zasysającej
SL3000.
SL200

Przyłącze próżniowe przewodu sondy zasysającej SL200 podłączane jest z górnej
strony urządzenia do kołnierza wlotowego.
Przyłącze elektryczne przewodu sondy zasysającej SL200 podłączane jest za pomocą
wtyku „ACCESSORIES” z tylnej strony urządzenia, patrz „Przyłącza osprzętu
i sygnałów sterujących [} 33]”. Ponadto wymagany jest także przedłużacz kablowy
do połączenia elektrycznego, patrz „Wyposażenie dodatkowe i części zamienne[} 139]”.

SL3000Przewód sondy zasysającej SL3000 podłączany jest do przewidzianego do tego celu
gniazda znajdującego się z tyłu urządzenia, patrz „Przyłącza osprzętu i sygnałów
sterujących [} 33]”. Wtyk ten pozwala zarówno na podłączenie elektryczne jak
i podłączenie systemu próżniowego.
Przejście do trybu sondy zasysającej nie wymaga demontażu komponentów układupróżniowego, które są już połączone z kołnierzem wlotowym, ponieważ nie jest
konieczne utworzenie połączenia z kołnierzem znajdującym się na górnej stronieurządzenia.

Porównanie

SL200

SL3000< 5 x 10-8 mbar l/s< 2 x 10-7 mbar l/s

25 sccm

160 sccm

3,8 m

3/5/10/15 m

Stal nierdzewna

Tworzywo sztuczneWskaźnik dobry – zły

tak

tak

ZERO za pomocą

tak

tak

Na kołnierzu wlotowym

Przez oddzielne gniazdo

i przez przyłącze

z tyłu urządzenia

Granica wykrywalności
Natężenie przepływu gazu,
czułość wykrywaniaDostępne długości
Powłoka kabla

przyciskuPodłączanie do urządzenia

elektryczne
Możliwość jednoczesnego-takpodłączenia przewodupróżniowego i sondy
zasysającej

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

19 / 164

4 | Opis

INFICONWyświetlacz ze

-

tak

-

tak

-

tak

-

tak

wskaźnikiem pomiaru
Zatwierdzanie błędów
przyciskiem na uchwycie
sondy zasysającej
Kończenie trybu Standby
przyciskiem na uchwycie
sondy zasysającej
Zatwierdzanie kalibracji
przyciskiem na uchwycie
sondy zasysającej

20 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4

4.3 Budowa urządzenia
4.3.1 Całe urządzenie

Rys. 1: Widok z przodu

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

21 / 164

4 | Opis

INFICON

Rys. 2: Widok z przodu z otwartą klapą.

22 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4

Rys. 3: Widok z tyłu. Ilustracja przedstawia załączone opcjonalne elementy wyposażenia
dodatkowego.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

23 / 164

4 | Opis

INFICON

4.3.2 Panel obsługi

Rys. 4: Panel obsługi – widok z przodu

Panel obsługi składa się z ekranu dotykowego i panelu obsługowego wyposażonego
w przyciski START, STOP oraz ZERO (tłumienie tła) na obudowie.
Patrz również „Budowa ekranu dotykowego [} 28]” oraz „Przycisk START [} 25]”.
Oświetlenie LED przycisków na ekranie obsługi zmienia kolor odpowiednio do stanuurządzenia, patrz również „Znaczenie przycisków LED [} 27]”.

Panel obsługi jest obrotowy.

1

2

3

4

Rys. 5: Panel obsługi – widok z tyłu

24 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4

1 Interfejs HDMI
• Do podłączenia do interfejsu HDMI monitora dotykowego, maksymalnadługość kabla 3 m. Patrz również „Używanie monitora zewnętrznego[} 100]”.
2 / 3 Złącze USB 2.0• Do złącza USB ekranu dotykowego, maksymalna długość przewodu 3 m.
• Podłączenie nośnika USB z informacjami dotyczącymi aktualizacji, patrz„Aktualizacja oprogramowania [} 98]”.
• Podłączenie nośnika USB w celu kopiowania danych pomiarowych, patrz„Dane pomiarowe [} 89]”.
• Podłączenie adaptera WLAN USB w celu połączenia WLAN, patrz„Obsługa detektora nieszczelności poprzez wyszukiwarkę (WLAN)[} 153]”.
4 Złącze sieci Ethernet• Do podłączenia do sieci LAN, maksymalna długość kabla 30 m
(ekranowany)

W opcji dostępny jest również zdalny pilot RC1000, patrz „Wyposażenie dodatkowei części zamienne [} 139]”.
Możliwa jest również obsługa urządzenia za pomocą notebooka lub tabletu, patrz„Obsługa detektora nieszczelności poprzez wyszukiwarkę (WLAN) [} 153]”.

4.3.2.1 Przycisk START• Służy do uruchamiania pomiarów.
• Możliwość obsługi za pośrednictwem ekranu dotykowego lub ekranu obsługi.
• W przypadku ponownego wciśnięcia przycisku START podczas pomiaru,wyświetlana jest maksymalna wartość nieszczelności (Qmax), która wystąpiła od
momentu uruchomienia. Patrz również "Budowa ekranu dotykowego [} 28]".
• Wciśnięcie przycisku START na ekranie obsługi kolejny raz podczas wykonywania
pomiaru aktualizuje wskazanie maksymalnej wartości nieszczelności.
Funkcja

Ekran dotykowy

Uruchomienie

Ekran obsługi
Przycisk START

Wskazanie maksymalnej

Brak możliwości

Ponownie nacisnąć

wartości nieszczelności

obsługi za pomocą

przycisk START.

ekranu dotykowego

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

25 / 164

4 | Opis

INFICON

4.3.2.2 Przycisk STOP
• Służy do zatrzymywania pomiarów.
• Możliwość obsługi za pośrednictwem ekranu dotykowego lub ekranu obsługi.
• Przycisk STOP na ekranie obsługi pozwala nie tylko zatrzymać pomiar, alerównież obsługiwać funkcję wentylacji.
Funkcja

Ekran dotykowy

Ekran obsługi

Stop

Przycisk STOP

Wentylowanie

Ponownie nacisnąć
przycisk STOPi przytrzymać przez ok. 2
sekundy.
(Warunkiem jest ustawienie„Trybu napowietrzania”„Ręcznie”, patrz „Aktywacja
zakresów próżni [} 72]”.)4.3.2.3 Przycisk ZERO
• Aby wygasić „Sygnał tła”, patrz również „Definicje pojęć [} 8]”.
• Możliwość obsługi za pośrednictwem ekranu dotykowego lub ekranu obsługi.
• Funkcję ZERO można włączyć lub wyłączyć przyciskiem ZERO . Pozostałeszczegóły – patrz „Ustawianie funkcji ZERO i zarządzanie nią [} 76]”.
Funkcja

Ekran dotykowy Ekran obsługi

Tłumienie tła wł.

Przycisk ZERO

Tłumienie tła wył.

Ponownie nacisnąć przycisk
ZERO i przytrzymać przez ok. 2
sekundy.

Aktualnie zmierzona wartość nieszczelności zostanie oszacowana jako sygnał tła.
W zależności od wybranego trybu pracy sygnał tła wyłączany jest do osiągnięcia
wyświetlanej granicy danego zakresu próżni.
Graniczne wartości wskazań wg ustawień fabrycznych:
1×10-1 mbar l/s w MASSIVE
1×10-7 mbar l/s w GROSS
1×10-10 mbar l/s w FINE
1×10-12 mbar l/s w ULTRA

26 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4

Aby ponownie wyłączyć funkcję ZERO, nacisnąć przycisk ZERO przez ok. 2 sekundy.
Funkcja ZERO powinna zostać aktywowana dopiero wówczas, gdy sygnał wartości
nieszczelności jest stabilny i nie jest wykonywany żaden pomiar nieszczelności. Patrz
również "Ustawianie funkcji ZERO i zarządzanie nią [} 76]".

4.3.2.4 Znaczenie przycisków LED
Przycisk LED START

Przycisk LED STOP

Znaczenie

Wył.

Czerwone migające

Brak połączenia z panelemświatło

obsługiNiebieskie pulsujące

Niebieskie pulsujące

Rozruchświatło

światło

Wył.

zielona

Tryb Standby wentylowany(zawór wentylacyjny otwarty)

Wył.

Niebiesko-zielony

Tryb Standby odpompowany(zawór wentylacyjny zamknięty)Zielone pulsujące

Wył.

Odpompowywanie

Zielone migające

Kalibracja wewnętrznaświatło
Wył.

światło
Zielone migające światło Wył.

Kalibracja zewn.

zielona

Pomiar

Wył.

Kolor żółty (ostrzeżenie, Wył.

Pomiar bez zatwierdzeniamożliwy nieprawidłowy

ostrzeżenia

pomiar)Wył.

czerwonaBłąd

Przycisk LED ZERO
Wył.

Brak trybu pomiarowego

Wył.

ZERO – blokada

niebieska

ZERO wył i HYDRO•S wył.

zielonaZERO wł.

żółtyZERO wył. I HYDRO•S wł.

4.3.2.5 Znaczenie diod LED statusu
Diody LED sygnalizujące status znajdują się z tyłu urządzenia na listwie
przyłączeniowej wyposażenia dodatkowego i sygnałów sterujących, patrz również
Przyłącza osprzętu i sygnałów sterujących [} 33].

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

27 / 164

4 | Opis

INFICON

Status-LED

Znaczenie

Czerwone migające światło

Brak połączenia z obsługą urządzenia

Niebieskie migające światło

Rozruchniebieska

StandbyZielone migające światło

Wytworzenie próżni (pompowanie)

Zielone migające światło

Kalibracja

Zielone migające światło

Uruchamianie oprogramowania(bezpośrednio po włączeniu urządzenia)

Zielone migające światło

Program rozruchowy czeka na
aktualizację oprogramowania (pouruchomieniu aktualizacji
oprogramowania urządzenia
podstawowego)zielona

Pomiarżółty

Pomiar bez zatwierdzenia ostrzeżenia

czerwonaBłąd

4.3.2.6 Budowa ekranu dotykowegoWskaźnik jest ekranem dotykowym.
Ekran reaguje na lekkie dotknięcie. Aby prawidłowo wybrać daną funkcję, należy
unikać zbyt silnego nacisku.

Symbole służące nawigacji są zawsze widoczne na wskazaniu.
Dodatkowo, w zależności od kontekstu, widoczne są inne symbole i elementy.

28 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4
Poprzednia strona
Wartość pomiarowa
Wartość nieszczelności
Następna strona
WLAN
maks.
Nazwa użytkownika
LAN
Przycisk nawigacji
Wartość nieszczelności

Access control
Przycisk nawigacji
Ustawienia

Praca

Supervisor
Wartość pomiarowaCiśnienie wlotowe

ZERO
Wł.
Wartości progowe

ZERO
Wył.

Przełączanie:
Wykres liniowy
Wykres słupkowy
Wykres kołowy
Przycisk nawigacji
Informacje

ZERO
I•RISE(zależnie od urządzenia)

Dane pomiaroweGłośność danych pomiarowych

Przyciski
nawigacyjne

Gaz

ULTRA

Kalibracja
Tryb pracyPróżnia
HYDRO•S

Przycisk nawigacji
Diagnoza
Tryb pomiaru

Przyciski mogą być widoczne w pięciu różnych kolorach:• Szary: Funkcja zablokowana• Ciemnoniebieski: Funkcja gotowa do aktywacji• Jasnoniebieski: Funkcja aktywna• Czerwony: Błąd aktywny (przycisk aktywacyjny Diagnoza)• Pomarańczowy: Ostrzeżenie aktywne (przycisk aktywacyjny Diagnoza)
Ustawienia
Praca
Informacje
Diagnoza
Tab. 1: Przyciski nawigacyjne

Przyciski funkcyjne

Przyciski mogą być widoczne w trzech różnych kolorach:• Szary: Funkcja zablokowana• Jasnoniebieski: Funkcja gotowa do aktywacji• Biały: Funkcja aktywna
Ogólne symbole działania
Przerwanie bieżącej funkcji

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

29 / 164

4 | Opis

INFICON

Wywoływanie pomocy do aktualnej funkcji
Zatwierdzenie wprowadzonych danych lub wyboruŁadowanie
Zapisanie
EdycjaKopiowanie
Kasowanie
WLAN
LANStrona dalej
Strona wstecz
Tab. 2: Przyciski funkcyjne

Inne symbole

Uprawnienia „User”
Uprawnienia „Operator”
Uprawnienia „Supervisor”Wyświetlanie godziny lub ustawianie godziny
Patrz również "Przegląd grup ustawień [} 57]".

4.3.3 Przyłącza próżniowe
4.3.3.1 Wlot
Wlot znajduje się u góry urządzenia. Jest to kołnierz DN63. W razie potrzeby należy
użyć odpowiedniego reduktora do połączenia badanej próbki z kołnierzem wlotowym.
Adapter DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF jest dostarczany w zestawie.
W przypadku wyboru próżniowego trybu wykrywania nieszczelności obiekt próbny kub
komorę próżniową należy podłączyć do tego kołnierza. Patrz również "Podłączenie
badanej próbki/odbiornika do kołnierza wlotowego [} 52]".
Można wykorzystać tę okazję do podłączenia przewodu sondy zasysającej SL200.

30 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4

WSKAZÓWKA
Jeśli na wlocie detektora nieszczelności gromadzi się kurz lub brud, należy założyć
filtr, np. pierścień centrujący z siatką drucianą:► Należy pamiętać, że na filtrach może tworzyć się lód w wyniku skraplania się pary
wodnej. Może to prowadzić do szkód materialnych.

4.3.3.2 Układ wydechowy
OSTRZEŻENIE
Niebezpieczeństwo zatrucia przez gazy szkodliwe dla zdrowia
W zależności od podłączonego zbiornika i zawartego w nim gazu, za pośrednictwem
przyłącza wydechowego detektora nieszczelności do powietrza otoczenia mogąprzedostawać się gazy szkodliwe dla zdrowia.
► Należy zapewnić środki chroniące przed wdychaniem gazów szkodliwych dla
zdrowia.
► Nie należy wypompowywać toksycznych, żrących lub wybuchowych gazów, które
stwarzają zagrożenie.
► Podłączyć przewód spalinowy. Przyłącze spalin musi być podłączone przelotowo
do układu wydechowego i nie można go zamykać.

Na górnej stronie urządzenia znajduje się układ wydechowy. Układ wydechowy to
przyłącze rurowe z gwintem wewnętrznym i zewnętrznym. Informacje na tematpodłączania adaptera węża wydechowego, patrz także „Podłączanie wyposażenia
dodatkowego objętego dostawą [} 46]”.

4.3.3.3 Przyłącze gazu płuczącego
Z tyłu urządzenia znajduje się przyłącze gazu płuczącego, patrz „Przyłącza osprzętu
i sygnałów sterujących [} 33]”. Jest to szybkozłącze do węży o średnicy zewnętrznej
8 mm.
Do płukania należy stosować gaz niezawierający helu w ciśnieniu atmosferycznym.
Powietrze otoczenia może być obciążone większymi ilościami helu ze względu na
opryskiwanie lub napełnianie pojemników. W takich wypadkach gazowy przewód

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

31 / 164

4 | Opis

INFICONzasilający (tzn. azot, świeże powietrze i in.) należy podłączyć do przyłącza gazu
płuczącego. Ciśnienie w przewodzie gazowym nie powinno przekraczać ciśnienia
atmosferycznego o więcej niż 100 mbar.

4.3.3.4 Przyłącze wentylacyjne
Zwykle po zakończeniu badania próbka wentylowana jest za pomocą powietrzaotoczenia. W razie konieczności próbki można wentylować innym gazem (np.
świeżym powietrzem, suchym powietrzem azotem i in.) poprzez przyłącze
wentylacyjne. Ciśnienie w przyłączu wentylacyjnym nie powinno przekraczać ciśnienia
atmosferycznego o więcej niż 100 mbar.
W takich przypadkach konieczne jest podłączenie węża wentylacyjnego do przyłącza
wentylacyjnego urządzenia, patrz „Przyłącza osprzętu i sygnałów sterujących [} 33]”.

32 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4

4.3.4 Przyłącza osprzętu i sygnałów sterujących
SNIFFERWyłącznik sieciowy

ACCESSORIES
Przyłącze
kabla sieciowego
LD
Przyłącze wentylacyjne
REMOTE CONTROL
Przyłącze gazu płuczącego

RS232

Rys. 6: Przyłącza osprzętu i sygnałów sterujących

SNIFFERPodłączanie przewodu sondy zasysającej SL3000

ACCESSORIESPołączanie elektryczne przewodu sondy zasysającej SL200

LD

Przyłącze modułu magistrali BM1000 lub modułu I/O IO1000, maks.*) długość
kabla danych INFICON 30 m
Do podłączania zdalnego pilota RC1000 za pomocą kabla o maksymalnej*)

REMOTE CONTROL

długości 28 m lub bezpośredniego podłączenia nadajnika radiowego za pomocą
adaptera. Zdalny pilot nie znajduje się w standardowym zakresie dostawyurządzenia.
RS232

Przyłącze osprzętu i przyłącze serwisowe

Przyłącze kabla

Do zasilania urządzenia

sieciowego
Przyłącze wentylacyjne

Przewody elastyczne o średnicy zewnętrznej 14 mm, patrz również „Przyłącze
wentylacyjne [} 32]”

Przyłącze gazu

Przewody elastyczne o średnicy zewnętrznej 8 mm, patrz również „Przyłącze

płuczącego

gazu płuczącego [} 31]”*) Aby uniknąć wyświetlania nieprawidłowych wartości pomiarowych, należy
przestrzegać podanych maksymalnych długości przewodów.

WSKAZÓWKA
Elektronika urządzenia może zostać zniszczona.
► Należy podłączać wyłącznie urządzenia przewidziane do danego złącza.
Przyłącza urządzeń zewnętrznych są bezpiecznie oddzielone od sieci lub znajdują się
w zakresie bezpiecznego napięcia obniżonego.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

33 / 164

4 | Opis

INFICON

4.3.5 Oznaczenia na urządzeniu
Urządzenia nie wolno utylizować z odpadami z gospodarstw domowych.

Głośnik jest umieszczony pod powierzchnią roboczą w pobliżu uchwytu.
Pole magnetyczne głośnika może zakłócać działanie implantu.
• Osoby noszące takie urządzenia powinny zachować co najmniej 10 cm
odstępu między magnesem głośnika a implantem.
• Należy również przestrzegać instrukcji bezpieczeństwa producenta
implantu.

4.4 Dane techniczne
Dane mechaniczne
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS
Wymiary (dł. × szer. × wys.)

1050 mm × 472 mm × 1040 mm

Mass

ok. 144 kg

Kołnierz wlotowy

DN63

Ekran
Wyświetlacz

Kolorowy wyświetlacz z pojemnościowym
ekranem dotykowym

Przekątna ekranu

7 caliRozdzielczość

800 x 480 pikseli

kolory16,7 MPodświetlenie tła

LED

Dane elektryczne
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUSNapięcie robocze

100..240 V ±10%, 50/60 Hz

Maks. pobór mocy

1500 VA

Typowy pobór mocy
– podczas odpompowywania

1000 VA– w trybie pomiarowym

800 VA

Maks. pobór prądu przy napięciu 110 V

13A

Maks. pobór prądu przy napięciu 230 V

6A

Maksymalny prąd zwarciowy (SCCR)

300A

Główny bezpiecznikWyłącznik urządzenia 20 A – bezpiecznik
termiczny

34 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS
Stopień ochrony

EN 60529 IP20
UL 50E typ 1

Kategoria przepięć

IIInterfejsy elektroniczne

USB, Ethernet, HDMI, SNIFFER,ACCESSORIES, LD, REMOTE
CONTROL, SERVICE

Dane fizyczne
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS
Najmniejsza wykrywalna wartość

< 5·10-12 mbar l/s

nieszczelności w trybie próżniowym
Czas reakcji, przy zaślepieniu kołnierzem < 1 s
Czas reakcji, objętość 50 l

~ 1,4 sMaksymalne ciśnienie na wlocie (zakresCiśnienie otoczeniapróżni MASSIVE)
Wydajność zasysania helu (zakres próżni > 36 l/s
ULTRA, kołnierz wlotowy DN63)
Wydajność zasysania helu (zakres próżni ~ 30 l/s
ULTRA, kołnierz wlotowy DN40)
Wydajność zasysania powietrza przez

36 m3/hpompę wstępną
Czas do wartości 1 mbar dla objętości 50 < 52 slCzas wentylacji, objętość 50 l do 1000

~ 16 smbar
Czas do kalibracji< 30 sCzas rozruchu< 2 minuty

Wykrywalne masy

4

Najmniejsza wykrywalna wartość

< 5·10-8 mbar l/s

He, H2, masa 3 (np. H-D, 3He lub H3)

nieszczelności
w trybie sondy zasysającej
Przepływ gazu przez przewód sondy

25 sccm

zasysającej SL200
Przepływ gazu przez przewód sondy

160 sccm

zasysającej SL3000
Zakres pomiarowy

12 dekadyPoziom ciśnienia akustycznego w trybie< 70 dB (A) *)Standby

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

35 / 164

4 | Opis

INFICON

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUSŹródło jonów

2 katody irydowe o długiej żywotności,powlekane tlenkiem itru*) Emisja ciśnienia akustycznego wg oceny A zmierzona na miejscu pracy
pracowników obsługi podczas stosowania urządzenia do wszystkich przewidywalnychcelów zastosowania zawsze jest niższa niż 70 dB(A). Deklarację emisji hałasu
sporządzono zgodnie ze zharmonizowaną normą DIN EN ISO 3744:2011.

Warunki otoczenia
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS
Maks. wysokość nad poziomem morza

2000 mMaksymalna względna wilgotność

80% przy 30°C, liniowe zmniejszanie dopowietrza

50% przy 40°C

Temperatura przechowywania

0 °C...+50 °C

Temperatura otoczenia **)+10 °C...+40 °C

Stopień zanieczyszczenia ***)

2**) Warunki pomiarowe dla temperatury otoczenia 40°C: tryb pomiaru ULTRA,obciążenie gazem 35 sccm***) Zgodnie z normą DIN EN 61010-1: tylko zanieczyszczenia nieprzewodzące. W
niektórych przypadkach może wystąpić tymczasowa przewodność spowodowana
kondensacją.

4.5 Ustawienia fabryczne
Wartość progowa wartości nieszczelności 1

1×10-9 mbar l/s

Wartość progowa wartości nieszczelności 2

1×10-8 mbar l/s

Wartość progowa wartości nieszczelności 3

1×10-7 mbar l/s

Wartość progowa wartości nieszczelności 4

1×10-6 mbar l/s

Płukanie automatyczne

Wł.

Głośność

2

Tryb ZEROI•ZERO 2.0

Wezwanie do kalibracji

Wył.

Wentylacja TMP

Wł. (możliwość zmiany wyłącznie
przez serwis)

Jednostka wartości nieszczelności złącza –mbar l/s

tryb próżniowy
Jednostka wartości nieszczelności złącza

mbar l/s

w trybie sondy zasysającej
Jednostka ciśnienia złącza

36 / 164

mbar

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4Mass

4 (hel)Protokół na przyłączu IO1000 RS232

ASCIIWyjście analogowe IO1000, kanał 1Mantysa wartości nieszczelności

Wyjście analogowe IO1000, kanał 2

Wykładnik wartości nieszczelności

Wyjście analogowe IO1000, skalowanie

0,5 V/dekadę

Wyjście cyfrowe Pin 1 (IO1000)

Calibration request (zanegowane)Wyjście cyfrowe Pin 2 (IO1000)

Error or warning (zanegowane)Wyjście cyfrowe Pin 3 (IO1000)

Setpoint 1 (zanegowane)Wyjście cyfrowe Pin 4 (IO1000)

Setpoint 2 (zanegowane)Wyjście cyfrowe Pin 5 (IO1000)

MeasuringWyjście cyfrowe Pin 6 (IO1000)

ZERO activeWyjście cyfrowe Pin 7 (IO1000)

Ready for operationWyjście cyfrowe Pin 8 (IO1000)

Calibration activeWejście cyfrowe Pin 1 (IO1000)

VENTWejście cyfrowe Pin 2 (IO1000)

SniffWejście cyfrowe Pin 3 (IO1000)

Start

Wejście cyfrowe Pin 4 (IO1000)

StopWejście cyfrowe Pin 5 (IO1000)

ZEROWejście cyfrowe Pin 6 (IO1000)

CALWejście cyfrowe Pin 7 (IO1000)

ClearWejście cyfrowe Pin 8 (IO1000)

PurgeWejście cyfrowe Pin 9 (IO1000)

Start/StopWejście cyfrowe Pin 10 (IO1000)

No function

Współczynnik maszyny – próżnia, masa 2

1

Współczynnik maszyny – próżnia, masa 3

1

Współczynnik maszyny – próżnia, masa 41

Filtr wartości nieszczelnościI•CAL

KatodaKatoda 1 auto (możliwość zmianywyłącznie przez serwis)

Dolna granica ciśnienia kapilara SL200

0,1 mbarzatkanaGórna granica ciśnienia kapilara SL200

1 mbarpęknięta
Alarm dźwiękowy

TRIGGER

Alarm dźwiękowy, opóźnienie

60 sDźwięk powiadamiania

Wł.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

37 / 164

4 | Opis

INFICON

Przesunięcie obszaru wlotowego masy 2

1,3×10-10 A (możliwość zmiany za
pomocą funkcji „Określanie tła
obszaru wlotowego [} 80]”)

Przesunięcie obszaru wlotowego masy 3

6,7×10-14 A (możliwość zmiany za
pomocą funkcji „Określanie tła
obszaru wlotowego [} 80]”)

Przesunięcie obszaru wlotowego masy 4

3,3×10-15 A (możliwość zmiany za
pomocą funkcji „Określanie tła
obszaru wlotowego [} 80]”)Wyjście analogowe IO1000 górnego-5wykładnika
Jednostka ciśnienia (wskazanie)mbar

Jednostka wartości nieszczelności trybu

mbar l/spróżniowego (wskazanie)
Jednostka wartości nieszczelności w trybie

mbar l/s

sondy zasysającej (wskazanie)
Przewód sondy zasysającej, konfiguracja

Miganiealarmu diody LED (tylko SL3000)
Przewód sondy zasysającej, jasność diody5

LED (tylko SL3000)
Przewód sondy zasysającej, brzęczyk (tylko

Dźwięk przy wartości progowej 1

SL3000)Tryb pracyPróżnia

Test wzmacniacza podczas kalibracji

Wł. (możliwość zmiany wyłącznie
przez serwis)

Zakresy wzmacniacza wstępnego

Wł. (możliwość zmiany wyłącznie

zmieniające monitorowanieprzez serwis)

Dolna granica ciśnienia kapilara SL3000

80 mbarzatkanaGórna granica ciśnienia kapilara SL3000

200 mbarpęknięta
Granica ciśnienia MASSIVE -> GROSS

15,0 mbar

Granica ciśnienia GROSS -> FINE

2,0 mbarGranica ciśnienia FINE -> ULTRA

0,3 mbarCzas wytworzenia próżni, duża600 s

nieszczelność
Czas wytworzenia próżni, pomiar

1800 s

Wartość graniczna nieszczelności – ochrona 1×10-3 mbar l/s
przed dużą nieszczelnością
Ochrona przed dużą nieszczelnością

38 / 164

Wył.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4

Ochrona przeciwcząsteczkowa

Wył.

Tłumienie tła

Tylko wewnętrznieOpóźnienie wentylacjiręcznyUrządzenie w przyłączu LD

Moduł I/O

Komunikaty dotyczące konserwacji

wszystkie aktywne

zakresy próżniMASSIVE, GROSS, FINE oraz
ULTRA (wszystkie WŁ.)Adres modułu magistrali126Zewnętrzna nieszczelność próbna, próżnia,1×10-7 mbar l/s

wodórZewnętrzna nieszczelność próbna, próżnia,1×10-7 mbar l/s

masa 3Zewnętrzna nieszczelność próbna, próżnia,1×10-7 mbar l/shelZewnętrzna nieszczelność próbna,1×10-5 mbar l/s

wykrywanie nieszczelności, wodórZewnętrzna nieszczelność próbna,1×10-5 mbar l/s

wykrywanie nieszczelności, masa 3Zewnętrzna nieszczelność próbna,1×10-5 mbar l/s

wykrywanie nieszczelności, hel
Obsługa lokalna

Odblokowanie

Styl zegara

AnalogowyWyświetl tło w trybie czuwania

Wył.

Podniesienie dolnej granicy wartości

0nieszczelności
Minimalna głośność0

HYDRO•S

Nieaktywny

Tryb TMP2

Automatyczny

Delikatna wentylacja

Nieaktywny

Zmierzyć wewnętrzną nieszczelność próbną Nieaktywny
po uruchomieniu
Wskazówki dotyczące przyłącza węża spalin aktywowany
Ustawiony odstęp czasu pomiędzy
konserwacjami
Filtr sondy przyrządu kontrolnego

1000 hnieszczelności
Filtr powietrza

2500 hUstawiony operator
Nazwa

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

Supervisor

39 / 164

4 | Opis

INFICON

PIN

1111

Język

angielski

Ustawiony typ wykresu

Wykres liniowy

Wykres liniowy
Skalowanie

Logarytmiczny

Dekady4

Skalowanie automatyczne

Wł.

Dolna granica wykresu

1×10-12Oś czasu

30 s

Wykres słupkowy
Skalowanie

Logarytmiczny

Dekady4

Skalowanie automatyczne

Wł.

Dolna granica wykresu

1×10-12

Wykres kołowy
Dekady5

Skalowanie automatyczne

Wł.

Dolna granica wykresu

1×10-12

Rejestracja danych
Format eksportu

CSV enAktywny

Wył.

Eksportowane metadane

Wł.

WLAN
Nazwa (SSID)UL Series

WLAN klucz sieciowy

INFICONUL

Aktywacja

Wł.

LAN
MetodaWył.

I•RISE (zależnie od urządzenia)

40 / 164

Dekady3

Skalowanie automatyczneWł.

Oś czasu

240 s

Dolna granica wykresu

1E-5Objętość obiektu testowego

10 L

I•RISE jednostka

Pa/minDopuszczalność I•RISE

User

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Opis | 4

Wartość progowa dla wskaźnika

6E-2 Pa/min @ 10 L

wycieku I•RISE

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

41 / 164

5 | Instalacja

INFICON

5 Instalacja
5.1 Ustawianie
NIEBEZPIECZEŃSTWO
Niebezpieczeństwo porażenia prądem
Jeżeli urządzenie do badania szczelności zostanie przesunięte, co spowodujenaciągnięcie przewodu zasilającego, przewód zasilający podłączony na obu końcach
może zostać uszkodzony lub gniazdo ścienne może zostać wyrwane.
Wilgoć dostająca się do urządzenia może spowodować obrażenia ciała w wynikuporażenia prądem elektrycznym i szkody materialne w wyniku zwarcia.
► Przed każdym użyciem należy sprawdzić przewód sieciowy pod kątem uszkodzeń.
► Zwrócić uwagę na to, aby kabel sieciowy nigdy nie był naprężony.
► Aby przemieścić urządzenie, należy odłączyć przewód zasilający od gniazdkaściennego.
► Aby zapobiec niezamierzonym ruchom, należy unieruchomić urządzenie w miejscu
docelowym poprzez zablokowanie kół hamulcem postojowym.
► Urządzenie należy eksploatować wyłącznie w otoczeniu suchym i wewnątrz
budynków.
► Urządzenie należy eksploatować z dala od źródeł cieczy i wilgoci.
► Urządzenie należy ustawić w taki sposób, aby zawsze zapewniony był dobry dostęp
do wtyczki sieciowej umożliwiający odłączenie.
► Nie eksploatować urządzenia w stojącej wodzie i nie narażać na działanie kapiącej
wody ani innych cieczy.

OSTRZEŻENIE
Zagrożenie dla zdrowia spowodowane przez spaliny i opary
Spaliny i pary wydobywające się z pomp mogą być szkodliwe dla zdrowia.
► W przypadku pracy w słabo wentylowanych pomieszczeniach, w których występują
niebezpieczne dla zdrowia gazy, podłączyć przewód spalin do przyłącza
wydechowego.

42 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Instalacja | 5

OSTRZEŻENIE
Zagrożenie pożarowe spowodowane przeciążeniem, zwarciem iprzegrzaniem► Należy stosować się do dopuszczalnych warunków otoczenia.
► Zapewnić dostateczną wentylację zwłaszcza w otworach wentylacyjnych: Co
najmniej 10 cm wolnej przestrzeni z przodu, tyłu i z boku.
► Nie blokować wlotu powietrza w schowku na akcesoria.
► Trzymać urządzenie z dala od źródeł ciepła.
► Należy zapewnić, by przełącznik sieciowy lub wtyczka sieciowa były zawsze dobrzedostępne.
► W przypadku powstania dymu natychmiast odłączyć urządzenie od siecienergetycznej.

OSTRZEŻENIE
Urządzenie może się przewrócić podczas trzęsienia ziemi► Na terenach, gdzie istnieje ryzyko wystąpienia trzęsienia ziemi, należy
zabezpieczyć urządzenie krótkim łańcuchem lub pasem mocującym (owytrzymałości 1100 N) za uchwyt urządzenia.

Rys. 7: Uchwyt urządzenia

UWAGA
Niebezpieczeństwo obrażeń spowodowanych skróceniem węża falistegoWąż falisty podłączony do wlotu skraca się podczas wytwarzania próżni.
► Aby nie zagrozić stabilności urządzenia podczas wytwarzania próżni i uniknąć
obrażeń spowodowanych oderwaniem się węża, należy zamontować wąż falisty
bez napięcia mechanicznego.
► Przed poluzowaniem węża falistego należy go przewentylować.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

43 / 164

5 | Instalacja

INFICON

UWAGA
Niebezpieczeństwo obrażeń ciała spowodowane niekontrolowanym
toczeniem► Dla zapewnienia prawidłowego działania hamulców postojowych należy usunąć
taśmę klejącą z kółek.
► Aby uniknąć niekontrolowanego stoczenia na pochyłościach, urządzenie należy
zabezpieczyć, blokując koła hamulcem postojowym.

UWAGA
Niebezpieczeństwo zmiażdżenia kończyn
Możliwe jest najechanie na stopy i zmiażdżenie ich. Palce mogą zostać ściśnięte izmiażdżone.
► Trzymać nogi i ręce z dala od rolek.
► Nie zwalniać hamulców kół palcami, lecz zawsze stopą lub narzędziem.
► Nie ciągnąć urządzenia.
► Chwycić urządzenie tylko za przewidziany do tego celu uchwyt i przesunąć je.
► Unieruchomić urządzenie w miejscu docelowym, blokując kółka jezdne hamulcem
postojowym.

UWAGA
Ryzyko potknięcia się o kable sieciowe lub inne przewody► Aby uniknąć potknięcia na ukośnie wiszącym kablu energetycznym kabel należy
całkowicie rozwinąć lub skorzystać z „uchwytu odciążającego przewód
energetyczny”, aby przeprowadzić kabel bezpośrednio z urządzenia na wysokości
podłogi. Patrz również "Podłączanie wyposażenia dodatkowego objętego dostawą
[} 46]".
► Pozostałe podłączone przewody należy ułożyć tak, aby nie było ryzyka potknięcia
się.

44 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Instalacja | 5

WSKAZÓWKA
System operacyjny może zostać zaatakowany za pośrednictwem złącza
USB lub Ethernetu.
Zastosowany w detektorze nieszczelności system operacyjny Linux nie jest
automatycznie aktualizowany, wobec czego jego zabezpieczenia mogą posiadać luki.
Wykorzystanie takich luk w systemie zabezpieczeń detektora nieszczelności możliwe
jest poprzez złącza Ethernet lub USB w celu uzyskania nieuprawnionego dostępu do
systemu.
► Należy uniemożliwić dostęp do tych złączy osobom postronnym, na przykład przez
blokadę portu USB/portu Ethernet.
► Aby nie narażać bezpieczeństwa sieci firmowej, nigdy nie należy podłączać
detektora nieszczelności bezpośrednio do publicznej sieci internetowej. Dotyczy tozarówno łączności za pośrednictwem WLAN, jak i przez Ethernet.
► Jeśli konieczny jest dostęp zdalny do interfejsu sieciowego detektora
nieszczelności, zalecamy wykorzystanie szyfrowanego łącza Virtual Private
Network (VPN). Nie możemy zagwarantować bezpieczeństwa połączenia VPN,
które zostało utworzone przez osoby trzecie.

Unikanie błędów pomiarowych spowodowanych przez nieszczelneźródła helu w otoczeniu urządzenia
Zaleca się regularne badanie wszystkich większych źródeł helu, które znajdują się
w obszarze 10 m wokół urządzenia, pod kątem większych nieszczelności. Do tegocelu należy użyć przewodu sondy zasysającej.

Należy przestrzegać zasad transportu urządzenia, patrz także „Zakres dostawy,transport, magazynowanie [} 15]”.

Procedura• Aby wyniki pomiarowe były wiarygodne, urządzenie powinno być ustawione
w miejscu ze stałą temperaturą otoczenia.
• Dla zapewnienia prawidłowego działania kółek i hamulców należy usunąć taśmę
klejącą z kółek.
• Aby nie blokować otworów wentylacyjnych znajdujących się na spodzieurządzenia, powinno ono zostać ustawione na stabilnej, równej powierzchni
i oparte na stopkach.
• Aby mieć łatwy dostęp do wyłącznika sieciowego znajdującego się na tylnejściance urządzenia, należy ustawić urządzenie tak, aby znajdowało się za nim
odpowiednio dużo wolnej przestrzeni.
• Nie wystawiać urządzenia na bezpośrednie działanie promieni słonecznych.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

45 / 164

5 | Instalacja

INFICON

5.2 Podłączanie wyposażenia dodatkowegoobjętego dostawą
Montaż „haka na przewód energetyczny i przewód sondy
zasysającej”
Zakres dostawy (liczba): Haki (4x), śruby M6 x 12 (4x), podkładki zabezpieczające S6(4x)Narzędzia (w zakresie dostawy): Klucz T30 (Torx)• Aby móc zamocować do urządzenia przewód energetyczny i ewentualnie przewód
sondy zasysającej, konieczne jest zamontowanie haków, jak przedstawiono na
ilustracji.
• Jeśli na urządzeniu zamontowany jest uchwyt na butlę, hak należy zamontować
na uchwycie na butlę i zabezpieczyć śruby dostarczonymi nakrętkami.

46 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Instalacja | 5

1

2

3

1 Hak

2 Śruba M6 x 12

3 Podkładka zabezpieczająca S6

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

47 / 164

5 | Instalacja

INFICON

Rys. 8: Hak na urządzeniu lub na opcjonalnym uchwycie na butlę

48 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Instalacja | 5

Montaż „uchwytu odciążającego przewód energetyczny”
Zakres dostawy (liczba): Uchwyt odciążający (1x), Śruba M6 x 12 (1x), Podkładka
zabezpieczająca S6 (1x)Narzędzia (w zakresie dostawy): Klucz T30 (Torx)• Aby uniknąć ryzyka potknięcia na urządzeniu należy zamontować „uchwytodciążający przewód energetyczny”. Dzięki temu przewód energetyczny
prowadzony jest z urządzenia do podłogi.
• Jeśli na urządzeniu zamontowany jest uchwyt na butlę, „uchwyt odciążający
przewód energetyczny” należy zamontować na uchwycie na butlę i zabezpieczyćśrubę dostarczonymi nakrętkami.

1

1 Śruba M6 x 12

23

2 Podkładka zabezpieczająca S6

3 Uchwyt odciążający

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

49 / 164

5 | Instalacja

INFICONMontaż adaptera węża wydechowego na urządzeniu• Aby możliwe było odprowadzanie gazów poprzez wąż wydechowy DN25, należy
zamontować dołączony w zestawie adapter węża wydechowego o kołnierzu KF
DN25 na otworze wydechowym z tylnej strony urządzenia.
• Podczas montażu adaptera węża wydechowego należy używać rękawic
ochronnych, aby uniknąć skaleczeń.
• Do uszczelnienia adaptera węża wydechowego należy użyć taśmy teflonowej.
Dokręcić adapter w kierunku ruchu wskazówek zegara.

• Jeżeli wykorzystywany jest wąż wydechowy z końcówką (gwint zewnętrzny G ½cala), alternatywnie można zamocować końcówkę w otworze wydechowym,
obracając ją w kierunku ruchu wskazówek zegara.

OSTRZEŻENIE
Niebezpieczeństwo zatrucia przez gazy szkodliwe dla zdrowia
W zależności od podłączonego zbiornika i zawartego w nim gazu, za pośrednictwem
przyłącza wydechowego detektora nieszczelności do powietrza otoczenia mogąprzedostawać się gazy szkodliwe dla zdrowia.
► Należy zapewnić środki chroniące przed wdychaniem gazów szkodliwych dla
zdrowia.
► Nie należy wypompowywać toksycznych, żrących lub wybuchowych gazów, które
stwarzają zagrożenie.
► Podłączyć przewód spalinowy. Przyłącze spalin musi być podłączone przelotowo
do układu wydechowego i nie można go zamykać.

50 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Instalacja | 5

5.3 Zamocować przewód sondy zasysającej
SL3000 (wyposażenie dodatkowe, opcjonalne)
OSTRZEŻENIE
Niebezpieczeństwo odniesienia obrażeń ciała stwarzane przez sondę
przyrządu kontrolnego nieszczelności
W przypadku potknięcia się, na przykład o przewody, sonda przyrządu kontrolnegonieszczelności może spowodować poważne obrażenia, szczególnie w kontakcie z
oczami.
► Aby uniknąć obrażeń spowodowanych przez sondę przyrządu kontrolnegonieszczelności, należy ustawić sondę w uchwycie w taki sposób, aby byłaskierowana w kierunku od operatora.
Do sondy przyrządu kontrolnego nieszczelności dostępny jest uchwyt. Uchwyt można
zamocować z tyłu urządzenia, patrz także „Całe urządzenie [} 21]”.
Zakres dostawy (liczba):
Uchwyt (1x), śruby M6 x 12 mm (2x), podkładki S6 x 10 x 0,7 mm (2x)1Zamontować wspornik w sposób pokazany na rysunku za pomocą dwóch śrub i
podkładek z tyłu urządzenia.

2

W przypadku nieużywania zamocować przewód sondy zasysającej w taki
sposób, aby był skierowany w stronę od operatora.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

51 / 164

5 | Instalacja

INFICON

5.4 Podłączenie badanej próbki/odbiornika do
kołnierza wlotowego
ü Dostępne są 4 śruby zaciskowe ISO-K i klucz płaski o rozmiarze 17 mm.
► Dokręcić nakrętki na 4 śrubach mocujących na krzyż, w trzech krokachzwiększając moment obrotowy.

ð Etap 1: Dokręcić cztery nakrętki w kolejności przedstawionej powyżej,stosując początkowy moment obrotowy 3 Nm.
ð Krok 2: Dokręcić cztery nakrętki w kolejności przedstawionej powyżej,stosując środkowy moment obrotowy 10 Nm.
ð Krok 3: Dokręcić cztery nakrętki w kolejności przedstawionej powyżej,stosując końcowy moment obrotowy 22 Nm.

5.5 Podłączanie do sieci elektrycznej
NIEBEZPIECZEŃSTWO
Niebezpieczeństwo porażenia prądem
Nieprawidłowo uziemione lub zabezpieczone produkty mogą w przypadku awarii
stanowić śmiertelne niebezpieczeństwo. Zastosowanie urządzenia bez podłączonego
przewodu ochronnego jest niedozwolone.
► Należy stosować wyłącznie dostarczony wraz z urządzeniem 3-żyłowy kabelsieciowy.
► Wymienić uszkodzone kable sieciowe.
► W regionach z zasilaniem 100-120 V z wtyczką typu NEMA 5-15 (np. Ameryka
Północna i Środkowa, Tajwan i Japonia) można używać tylko dostarczonego
przewodu zasilającego "Hospital-Grade".
► kabel jest uszkodzony, należy go wymienić na oryginalną część zamienną
"Hospital-Grade" (INFICON p/n 200000587).
► Należy pamiętać, że przewody zasilające "Hospital-Grade" są oznaczone tymi
samymi literami i zieloną kropką, co wtyczka NEMA 5-15.
► Upewnij się, że gniazdo urządzenia (gniazdo w wyłączniku zasilania) jest zawszełatwo dostępne. Patrz również "Przyłącza osprzętu i sygnałów sterujących [} 33]".
► W przypadku stwierdzenia usterek urządzenie należy natychmiast odłączyć odsieci. Dotyczy to również tworzenia się dymu.

52 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Instalacja | 5

WSKAZÓWKA
Szkody materialne spowodowane zbyt wysokim napięciem sieciowymJeśli napięcie w sieci jest zbyt wysokie, urządzenie może ulec uszkodzeniu.
► Przed podłączeniem urządzenia należy sprawdzić, czy podane na nim napięcie
sieciowe jest zgodne z napięciem dostępnym lokalnie.

5.6 Kontrola działania urządzenia
WSKAZÓWKA
Pompa turbomolekularna może ulec uszkodzeniu
Uruchomiona pompa turbomolekularna może ulec uszkodzeniu wskutek szarpnięć lub
pod wpływem obcych ciał.
► Należy unikać gwałtownych ruchów lub wstrząsów urządzenia podczas eksploatacji
i do 2 minut po wyłączeniu.
► Należy uważać, aby do wlotu urządzenia nie przedostały się obce ciała.
Nie włączać urządzenia, jeśli temperatura otoczenia wynosi mniej niż 10°C.
ü Dostępny jest pasujący kołnierz zaślepiający (jeśli nie jest już zamontowany nakołnierzu wlotowym).
ü Dostępna jest helowa nieszczelność wzorcowa (opcja).
1

Rozpakować urządzenie, przejrzeć wszystkie elementy dostawy i sprawdzić,
czy nie uległy uszkodzeniu.

2

Sprawdzić, czy wlot jest zaślepiony. Jeśli tak nie jest, należy zamocować
kołnierz z uszczelką typu O-ring na wlocie w górnej części urządzenia.

3Podłączyć urządzenie do napięcia sieciowego.

4Włączyć detektor nieszczelności za pomocą wyłącznika sieciowego.
ð Po włączeniu na ekranie dotykowym wyświetlone zostaną informacje o staniezwiązane z prędkością pompy turbomolekularnej, ciśnienia wstępnego, emisjii aktywnej katody. Proces uruchamiania trwa ok. 3 minuty, a jegozakończenie sygnalizowane jest krótkim sygnałem dźwiękowym. Terazurządzenie znajduje się w stanie „czuwanie” (gotowość).

5

Nacisnąć przycisk START.
ð We wlocie wytwarzana jest próżnia, a następnie w trybie pomiaruwyświetlana jest wykryta wartość nieszczelności.
W przypadku podłączenia obiektu próbnego w pierwszej kolejności można
z zewnątrz rozpylić na niego hel.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

53 / 164

5 | Instalacja

INFICON

6

Przycisk ZERO należy nacisnąć, aby stłumić możliwe sygnały tła (tło helowe
w obiekcie próbnym).
Aby cofnąć tłumienie tła, należy nacisnąć przycisk ZERO na ekranie obsługi
i przytrzymać przez 2 – 3 sekund, patrz „Przycisk ZERO [} 26]”.

7

Nacisnąć przycisk STOP.
ð Urządzenie przechodzi do stanu „Standby”.
Wciśnięcie przycisku STOP na ekranie obsługi na kilka sekund sprawia, żewlot urządzenia jest wentylowany.

8Jeśli badanie powinno zostać teraz zakończone można wyłączyć urządzenie.

9

W celu sprawdzenia kalibracji wewnętrznej należy odczekać 15 do 20 minut, ażurządzenie się nagrzeje, aby osiągnąć lepsze wyniki pomiarowe.

10

Aby przejść do menu kalibracji, nacisnąć przycisk

11

Wybrać „wewnętrzna”.

12

Nacisnąć przycisk.

.

ð Uruchomi się wewnętrzna automatyczna kalibracja, która wymaga ok. 30
sekund.
13

Aby sprawdzić dokładność pomiarową urządzenia za pomocą opcjonalnej
helowej nieszczelności próbnej, należy zdjąć zaślepkę z wlotu i podłączyć
otwartą nieszczelność próbną do wlotu.

14

Nacisnąć przycisk START.
ð We wlocie wytwarzana jest próżnia, a wartość nieszczelności obiektu
próbnego jest mierzona i wyświetlana.

15

Aby przerwać pomiar nacisnąć przycisk STOP.
ð Detektor nieszczelności przechodzi w tryb gotowości (czuwanie).

16

Naciskać przycisk STOP na obudowie dopóki na wyświetlaczu nie pojawi się
komunikat STANDBY/VENTED.
ð Wlot jest teraz w stanie wentylowanym.

54 / 16417Odłączyć helową nieszczelność próbną od wlotu i ponownie zaślepić wlot.

18Wyłączyć detektor nieszczelności za pomocą wyłącznika sieciowego.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6 Praca
6.1 Włączanie
WSKAZÓWKA
Uszkodzenie pompy wspomagającej z powodu niskiej temperatury
otoczeniaJeśli temperatura otoczenia jest niższa niż 10 °C, po włączeniu urządzenie wyświetli
ostrzeżenie na wyświetlaczu. Uruchomienie urządzenia i tak jest możliwe popotwierdzeniu tego komunikatu. Może to spowodować uszkodzenie pompy
wspomagającej.
► Nie należy eksploatować urządzenia w temperaturze otoczenia poniżej 10 °C.
► Aby włączyć urządzenie, należy aktywować wyłącznik sieciowy.
ð W momencie dostawy po uruchomieniu wyświetla się okno „Standby”.

Rys. 9: Okno „Standby”

Uruchamianie pomiaru

Kalibracja

Płukanie

Wentylowanie

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

55 / 164

6 | Praca

INFICONWSKAZÓWKA
Możliwe zakłócenia z powodu dłuższego przestoju► Aby zapewnić prawidłowe działanie detektora nieszczelności, w tym wbudowanych
pomp, należy włączyć urządzenie co najmniej raz na około 15 minut po 6
miesiącach przestoju.

Opóźniona gotowość do pracy po długim przestoju
Jeśli tester szczelności z pompą turbomolekularną SHIMADZU BT70 nie był używany
przez ponad rok, opór łożyska turbomolekularnej pompy może wzrosnąć podczas
uruchamiania, powodując znaczny wzrost temperatury. Informacje na temat
zainstalowanego Pompa turbomolekularna można znaleźć w "Plan konserwacji[} 135]”.
W tym przypadku tester szczelności automatycznie kondycjonuje pompę
turbomolekularną podczas jej uruchamiania po jej włączeniu. To wstępne
przygotowanie przyspiesza pompę turbomolekularną do maksymalnej prędkości iponownie ją spowalnia. Proces ten przeprowadza się 5 razy z rzędu i zajmuje w sumie
około 20 minut.
Po pomyślnym zakończeniu przygotowania wstępnego tester szczelności jest gotowy
do ponownego użycia bez żadnych ograniczeń.

Podczas uruchamiania mogą pojawić się określone powiadomienia lub wskazówki dlaużytkownika. Niektóre z nich można włączać lub wyłączać, patrz również „Włączanie
lub wyłączanie powiadomień [} 69]”.

6.2 Ustawienia podstawowe
6.2.1 Ustawianie języka interfejsów użytkownikaJęzyk można wybrać w ustawieniach użytkownika, patrz „Wybór, edycja i tworzenie
profilu użytkownika [} 57]”.

6.2.2 Ustawianie daty, godziny i strefy czasowej
üUprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Ogólne > Data i czas

2

Dokonać ustawień

3

Zapisać.

Można też nacisnąć

56 / 164na górnym pasku okna i dokonać własnych ustawień.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.2.3 Ustawienia profilu użytkownika
6.2.3.1 Przegląd grup ustawień
Uprawnienia danego użytkownika zależą od grupy, do której został przypisany.
User

Członkowie grupy

User mogą

• wykonywać pomiary,• przeglądać historię wyników pomiarów,• przeglądać informacje o urządzeniu,• przeglądać protokoły błędów.
Operator

Członkowie grupy

Operator posiadają wszystkie prawa grupy User. Ponadto mogą• tworzyć / edytować / usuwać profile użytkowników (user),• eksportować / usuwać dane pomiarowe,• edytować ustawienia pomiarów,
Supervisor

Członkowie grupy

Supervisor mają wszystkie prawa grup User oraz Operator.

Ponadto mogą• tworzyć/edytować/usuwać profile operatorów,• tworzyć/edytować/usuwać profile supervisorów,• aktualizować oprogramowanie,• edytować datę/godzinę.

6.2.3.2 Wybór, edycja i tworzenie profilu użytkownika
üUprawnienia operatora lub supervisora
1> Konta użytkowników > Zarządzaj kontami użytkowników
ð Istniejące już profile użytkowników oraz przypisane im grupy wyświetlane są
w formie listy.

2Dostępne są następujące możliwości:Aby utworzyć nowy profil użytkownika, należy wybrać

w dolnym obszarze

okna.
Zostanie otwarte okno „Profil użytkownika”.
Można też nacisnąć jedną z istniejących już nazw użytkownika i wybrać
z wyświetlonej listy narzędzi:, aby wczytać profil użytkownika.
Zostanie otwarte okno logowania.
, aby edytować profil użytkownika.
Zostanie otwarte okno „Profil użytkownika”.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

57 / 164

6 | Praca

INFICON, aby usunąć profil użytkownika.
Zostanie wyświetlone pytanie bezpieczeństwa.

3

Po wybraniu niektórych narzędzi otworzy się okno „Profil użytkownika”. Jeśli
otwarte zostanie to okno, w zależności od potrzeby należy wprowadzić nazwę
użytkownika, edytować ją lub zachować.
Mueller

Nazwa

MuellerPIN
GrupaUżytkownik

JęzykNiemiecki

Profil użytkownika

4Jeśli pole „PIN” jest puste lub jego treść ma zostać zmieniona, należy
wprowadzić 4-cyfrowy numer PIN.

5

Aby przypisać użytkownikowi wymagane uprawnienia, należy wybrać grupę. Za
pomocą

oraz

wybrać grupę User, Operator lub Supervisor. Patrz “Przegląd

grup ustawień [} 57]“.
6

W polu „Język” przypisać użytkownikowi język, posługując się

7

Zapisaćoraz .

.

6.2.3.3 Edytowanie ustawień osobistychUżytkownik posiadający ograniczone uprawnienia (User) może zmienić język lub
numer PIN. Umożliwia to odpowiednie dostosowanie danego profilu. Dostęp dokompletnego profilu użytkownika nie jest potrzebny.
1

Nacisnąć własną nazwę widoczną w lewym górnym rogu wyświetlacza.
ð Zostanie otwarte okno „Konta użytkowników”.

2

W zależności od potrzeby wybrać przycisk ekranowy „Zmień własny PIN” lub„Zmień własny język”.

Zobacz również
2 Wylogowanie z urządzenia [} 103]

58 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.2.4 Wyłączanie funkcji automatycznego wylogowania
Ustawienie fabryczne
Login: Supervisor
PIN: 1111
Język: angielski
Zgodnie z ustawieniami fabrycznymi po włączeniu urządzenia użytkownik „Supervisor”
zostaje automatycznie zalogowany i wywoływany jest ekran pomiarowy. Ten wstępnie
ustawiony użytkownik posiada też uprawnienia grupy „Supervisor”. Bez zmiany tego
ustawienia każdy użytkownik może w nieograniczony sposób korzystać z wszystkich
funkcji urządzenia.
Możliwa jest zmiana ustawień – po włączeniu urządzenia zamiast automatycznego
logowania użytkownika może zostać wyświetlone okno logowania.
W oknie logowania mogą zalogować się wszyscy użytkownicy, którzy zostali
zarejestrowani w urządzeniu, patrz „Wybór, edycja i tworzenie profilu użytkownika[} 57]”.
ü

Uprawnienia Supervisora
1> Konta użytkowników > Zarządzanie logowaniem automatycznym

2

W oknie „Zarządzanie automatycznym logowaniem” należy wyłączyć opcję
„Aktywne”.

3ð

Zapisać.

Po ponownym uruchomieniu urządzenia zostaną uwzględnione aktualne
ustawienia.

6.2.5 Włączanie automatycznego logowaniaMożliwe jest określenie, czy dany użytkownik po włączeniu urządzenia jest
automatycznie logowany z pominięciem okna logowania.
üUprawnienia Supervisoraü Profil tego użytkownika został już utworzony. Patrz “Wybór, edycja i tworzenie
profilu użytkownika [} 57]“.
1> Konta użytkowników > Zarządzanie logowaniem automatycznym

2

W oknie „Zarządzanie automatycznym logowaniem” należy włączyć opcję
„Aktywne”.

3

W polu „Nazwa” wprowadzić nazwę użytkownika. Zwracać uwagę na dużei małe litery.

4

W polu „PIN” wpisać aktualny numer PIN profilu użytkownika.

5

Zapisać.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

59 / 164

6 | Praca

INFICON

6.2.6 Widok ekranu pomiarowego
Aby przełączać widok różnych wykresów, należy kliknąć ikonę w lewym dolnym rogu
ekranu pomiarowego, patrz „Budowa ekranu dotykowego [} 28]”.

Możliwy jest wybór jednego z dwóch widoków:• Wykres liniowy• Wykres słupkowy• Wykres kołowyRóżne rodzaje wykresów można następnie poddać dalszej konfiguracji. Patrz „Zmiana
widoku wykresu liniowego [} 60]”, „Zmiana widoku wykresu słupkowego [} 61]”,„Zmiana widoku wykresu kołowego [} 62]”.

6.2.6.1 Zmiana widoku wykresu liniowego
Supervisor

ULTRA
Rys. 10: Widok wykresu liniowego

üUprawnienia operatora lub supervisora1> Wskazanie > Wykres liniowy

2

W polu „Skalowanie” należy wybrać pomiędzy „Liniowy” i „Logarytmiczny”.

3

Wybrać jedną z możliwych „Dekad”.

4

W celu dynamicznego dopasowania górnej i dolnej granicy wartości
nieszczelności należy włączyć opcję „Skalowanie automatyczne”.

5

W polu „Oś czasu” wybrać długość osi czasu – „30”, „60”, „90”, „120” lub „240”
sekund.

6Jeśli opcja „Skalowanie automatyczne” nie jest włączona, w polu „Dolna
granica wykresu” wybrać żądaną dekadę.

7
60 / 164

Zapisać.
UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.2.6.2 Zmiana widoku wykresu słupkowego

Rys. 11: Widok w formie wykresu słupkowego

üUprawnienia operatora lub supervisora1> Wskazanie > Wykres słupkowy

2

W polu „Skalowanie” należy wybrać pomiędzy „Liniowy” i „Logarytmiczny”.

3

Wybrać jedną z możliwych „Dekad”.

4

W celu dynamicznego dopasowania górnej i dolnej granicy wartości
nieszczelności należy włączyć opcję „Skalowanie automatyczne”.

5Jeśli opcja „Skalowanie automatyczne” nie jest włączona, w polu „Dolna
granica wykresu” wybrać żądaną dekadę.

6

Zapisać.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

61 / 164

6 | Praca

INFICON

6.2.6.3 Zmiana widoku wykresu kołowego

Rys. 12: Widok w formie wykresu kołowego

üUprawnienia operatora lub supervisora
1
2> Wskazanie > Wykres kołowy
Aby ustawić stałą liczbę dekad wyświetlanych na wykresie kołowym, należy
wybrać żądaną liczbę w opcji „Dekady”. Działa tylko przy nieaktywnym
skalowaniu automatycznym.

3

Aby dynamicznie dostosowywać obszar wyświetlania do mierzonej wartości
nieszczelności, należy aktywować automatyczne skalowanie w opcji„Skalowanie automatyczne”.

4

W polu „Dolna granica wykresu” wybrać żądaną dolną granicę wykresu
kołowego. Ta granica działa także przy aktywnej opcji „Skalowanie
automatyczne”.

5

Zapisać.

6.2.6.4 Zmiana ustawienia wskazania ogólnegoü

Uprawnienia operatora lub supervisora
1
2> Wskazanie > Ogólne ustawienia wskazań
Jeśli dla danego zastosowania bardzo niewielkie wartości nieszczelności niemają znaczenia i użytkownik chce podnieść dolną granicę wartości
nieszczelności w polu wyboru „Podniesienie dolnej granicy wartości
nieszczelności”, należy dokonać wyboru między “ 1 a 6 dekadą. Podniesienie
dolnej granicy wartości nieszczelności może ułatwić ocenę wskazania wartości
nieszczelności.

3

Aktywacja lub dezaktywacja opcji „Wyświetl tło w trybie czuwania” pozwalawłączyć lub wyłączyć wyświetlanie wewnętrznej wartości nieszczelności tła
w oknie „Standby”.

62 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

ð Tło wewnętrzne wytwarzane jest przez pozostały gaz, który nie został jeszcze
odpompowany. Bardzo czyste systemy wykazują tło w zakresie 1x10-11 mbar
l/s. W normalnych warunkach występuje tło 1x10-10 mbar l/s lub 1x10-9 mbar l/s. Jak należy traktować tło w obliczeniach, patrz „Edycja tłumienia tła [} 79]”.
4

Zapisać.

6.2.7 Zmiana jednostki
Dla trybu próżniowego można wybrać „tor·l/s”, „atm·cc/s”, „Pa·m3/s” oraz „mbar·l/s”.
Po przełączeniu na tryb pracy „Sonda zasysająca” oprócz jednostek wymienionychwyżej możliwy jest wybór „oz/yr”, „g/a” oraz „ppm”.
Ponadto można wybrać jedną z poniższych jednostek ciśnienia: „Mbar”, „Pa”, „atm”
oraz „tor”.
üUprawnienia operatora lub supervisora
1
2> Ustawianie > Ogólne > Ustawiania jednostek
W razie potrzeby zmienić jednostkę „Jednostka wartości nieszczelności,próżnia”, „Jednostka wartości nieszczelności do wykrywania nieszczelności”
oraz „Jednostka ciśnienia”.
ð Zgodnie z ustawieniami fabrycznymi opcja „Jak wskazanie” jest aktywna, aby
jednostki złączy były przedstawione tak jak jednostki urządzenia.

3

Aby w razie potrzeby dokonać niezależnych ustawień jednostek dla złączy,należy wyłączyć opcję „Jak wskazanie”.
ð Zostaną wyświetlone kolejne pola służące do ustawiania jednostek dlazłączy.

4

Aktywować opcję „Jak wskazanie”, aby w razie konieczności ponownie ustawić
zastosować wybranych jednostek również do złączy.

5

Zapisać.

6.2.8 Zmiana ustawień audio
Oprócz optycznego wskazania wyniku pomiarowego możliwe jest ustawieniegłośności funkcji Dźwięk powiadamiania oraz alarmu dźwiękowego.

UWAGA
Uszkodzenie słuchu spowodowane przez głośne dźwięki
Poziom alarmowy urządzenia może przekraczać 85 dB(A).
► Głośność należy ustawić maksymalnie na wartość „5”.
► Jeżeli głośność jest ustawiona powyżej ”5”, należy stosować odpowiednie
ochronniki słuchu.
üUprawnienia operatora lub supervisora

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

63 / 164

6 | Praca

INFICON

1
2> Audio
Aby zmienić nasilenie zarówno alarmu dźwiękowego, jak i sygnału
powiadomienia wybrać żądaną „głośność”. Nie zmieniać ustawień poniżej
„Minimalna głośność” w następnym polu.
ð Zakres ustawień: 0 … 15
ð Ustawioną głośność można sprawdzić przyciskiem ekranowym „Test”.

3

W razie potrzeby można zmienić głośność minimalną.
ð „Minimalna głośność” to taka głośność akustycznego sygnału alarmowego,której dolna wartość progowa nie może zostać przekroczona. Jeśli została
wybrana wartość większa niż 0, to minimalne ustawienie głośności jest
zablokowane po naciśnięciu symbolu głośności na ekranie pomiarowym.
Zabezpiecza to przed ustawieniem przez osobę nieuprawnioną wartości
niższej od hałasu w otoczeniu.
ð Zakres ustawień: 0 … 15

4

Aby dokładniej ustawić element wyzwalający dla alarmu dźwiękowego orazrodzaj dźwięku powiadomienia w ustawieniach „Alarm dźwiękowy typ” należy
wybrać między „Wartość nieszczelności proporcjonalna”, „PINPOINT”,„SETPOINT”, „TRIGGER” oraz „Wył.”.
ð „Wartość nieszczelności proporcjonalna”: Częstotliwość sygnału
akustycznego jest proporcjonalna do wykresu słupkowego lub wysokości
wykresu. Zakres częstotliwości wynosi od 300 Hz do 3300 Hz.
ð „PINPOINT”: Dźwięk sygnału akustycznego zmienia swoją częstotliwość
w zakresie wartości nieszczelności. Zakres ten obejmuje jedną dekadę
poniżej wybranej wartości progowej oraz jedną dekadę powyżej. Poniżej tegozakresu dźwięk jest stale niski, powyżej – stale wysoki.
ð „SETPOINT”: Wysokość tonu jest proporcjonalna do wartości nieszczelności.
Dźwięk emitowany jest, jeśli wartość nieszczelności przekroczy wartość
progową 1. Patrz również "Ustawianie wartości progowych [} 71]".
ð „TRIGGER”: Po przekroczeniu ustawionej wartości progowej 1 wydawany jest
sygnał dwutonowy. Patrz również "Ustawianie wartości progowych [} 71]".

5

W niektórych aplikacjach możliwe jest czasowe stłumienie alarmu ponaciśnięciu przycisku START – w tym celu należy włączyć „Alarm dźwiękowy,opóźnienie”. Przykład: Okres czasu podczas odpompowywania systemu
komory probierczej.
ð Naciśnięcie przycisku START aktywuje sygnał akustyczny, gdy wartość
nieszczelności spadnie poniżej wartości progowej 1 lub upłynął czasopóźnienia alarmu. Ustawienie to dotyczy alarmów akustycznych„SETPOINT” oraz „TRIGGER”.

64 / 164

6

Aby włączyć dźwięki powiadomień aktywować opcję „Dźwięk powiadamiania”.

7

Zapisać.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.2.9 Zmiana ustawień zabezpieczających
W przypadku dużych nieszczelności urządzenie można chronić przed
zanieczyszczeniem helem oraz wnikaniem cząsteczek. Możliwa jest również zmiana
maksymalnego czasu wytworzenia próżni.
ü

Uprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Pomiar > Ochrona
Aby włączyć zabezpieczenie dużej nieszczelności, należy aktywować opcję
„Ochrona przed dużą nieszczelnością” i ustawić wartość graniczną wyłączenia
w „Limit ochrony przed dużą nieszczelnością”.
ð Urządzenie zamyka wszystkie zawory wlotowe, jeśli zmierzona wartość
nieszczelności jest większa niż wartość graniczna wyłączenia. Dzięki temu do
spektrometru masowego nie przedostaje się niepotrzebnie dużo helu.
Pozwala to uniknąć zanieczyszczenia detektora nieszczelności helem. Hel,który przedostał się do próbki, może zostać odpompowany przez pompę
zewnętrzną. W przypadku zastosowania pompy zewnętrznej zaleca się, aby
obiekt próbny był wentylowany przed kontynuowaniem pomiaru.

3

Aby zapobiec zasysaniu cząsteczek do urządzenia, należy pamiętać, aby
obiekty próbne zostały najpierw odpompowane za pomocą innej pompy
pracującej równolegle. Dodatkowo aktywować opcję „Ochrona
przeciwcząsteczkowa”.
ð Detektor nieszczelności rozpoczyna odpompowywanie dopiero wówczas, gdyciśnienie wlotowe p1 spadnie poniżej 1 mbar.

4

Wskazówka: Poniższe ustawienie nie ma zastosowania, jeśli włączony jest
zakres próżni „Massive”. Patrz również „Aktywacja zakresów próżni [} 72]”:
Aby zmienić maksymalny czas wytworzenia próżni w przypadku wystąpieniadużej nieszczelności, w pozycji „Czas wytworzenia próżni, duża nieszczelność”należy podać w sekundach żądany okres czasu.
ð Ustawienie to pozwala wyznaczyć moment emisji komunikatu
ostrzegawczego o dużej nieszczelności. Fabrycznie ustawiona jest wartość
600 s. Jeśli ciśnienie wlotowe p1 nie spadnie w tym okresie poniżej
100 mbar, wyświetlony zostanie komunikat o błędzie. Ten punkt menu jest
szczególnie przydatny do badań seryjnych prowadzonych w niezmiennych
warunkach kontrolnych.
Po naciśnięciu przycisku START w próbce wytwarzana jest próżnia. Jeśli
w ustawionym czasie odpowiednie warunki ciśnieniowe (p1 < 100 mbar) nie
zostaną osiągnięte lub zostaną przekroczone, proces odpompowywania
zostanie przerwany, a na wyświetlaczu pojawi się komunikat ostrzegawczy.
Wybierany czas zależy z jednej strony od żądanego czasu reakcji na
komunikat o dużej nieszczelności, a z drugiej od objętości obiektu próbnego
i rzeczywistej szybkości pompowania.
Jeśli proces odpompowywania nie powinien zostać przerwany należy
wprowadzić „0”. Odpowiada to wpisowi „nieskończony”.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

65 / 164

6 | Praca

INFICON

5

Wskazówka: Poniższe ustawienie nie ma zastosowania, jeśli włączony jest
zakres próżni „Massive”. Patrz również „Aktywacja zakresów próżni [} 72]”:
Aby zmienić maksymalny czas wytworzenia próżni do trybu pomiarowego,
w pozycji „Czas wytworzenia próżni, pomiar” należy podać w sekundachżądany przedział czasu.
W przypadku „Czas wytworzenia próżni, pomiar” chodzi o czas do momentuosiągnięcia pierwszego zwalnianego zakresu pomiarowego.
Fabrycznie ustawione jest 1800 s.
ð Jeśli w czasie wytworzenia próżni przewidziane ciśnienie nie zostanieosiągnięte, po upływie tego okresu czasu zostanie wyświetlony komunikat
ostrzegawczy. Wartości ciśnienia – patrz również następujące możliwości
ustawień:> Nastawy > Pomiar > Granice ciśnienia
oraz> Nastawy > Pomiar > Próżnia > Zakresy próżni

6

Zapisać.

6.2.10 Ustawianie okresów konserwacji „Filtr sondy przyrządu
kontrolnego nieszczelności” lub „Filtr powietrza”
Do ustawienia okresu konserwacji dopasowanego do zabrudzenia w miejscu
użytkowania można wybrać pomiędzy wartością standardową lub ustawioną
samodzielnie.
ü

Uprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Licznik konserwacji
Dokonać ustawień
ð Dla „Filtra sondy przyrządu kontrolnego nieszczelności” należy wybrać
własną wartość lub na przycisku obok „Wartość standardową” (1000 godzin).
ð Dla „Filtra powietrza” należy wybrać własną wartość lub na przycisku obok
„Wartość standardową” (2500 godzin).

3

Zapisać.

Po przeprowadzeniu konserwacji należy na nowo ustawić żądany czas do kolejnej
konserwacji.

Zobacz również
2 Wymiana maty filtracyjnej w schowku na narzędzia [} 126]
2 Wymiana maty filtracyjnej u dołu urządzenia [} 127]
2 Wymiana filtra przewodu sondy zasysającej SL200 [} 128]
2 Wymiana filtra przewodu sondy zasysającej SL3000 [} 130]

66 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.2.11 Włączanie lub wyłączanie wezwania do konserwacjiSłuży do włączania i wyłączania ostrzeżeń w przypadku, gdy przekroczony został
czas na wykonanie określonej konserwacji. Wyświetlany jest tam również czas dokolejnej konserwacji.
üUprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Wezwania do konserwacjið Okno „Aktywuj/dezaktywuj żądanie konserwacji” umożliwia włączanie
i wyłączanie wezwań do konserwacji dla następujących podzespołów:- Nieszczelność próbna- TMP- Filtr sondy przyrządu kontrolnego nieszczelności
- Pompa próżni wstępnej
- Filtr wydechowy- Filtr powietrza

2

Dokonać ustawień

3

Zapisać.

6.2.12 Włączanie lub wyłączanie wezwań do kalibracji
Jeśli opcja „Wezwanie do kalibracji” jest nieaktywna (ustawienia fabryczne), wezwanie
do kalibracji wysyłane jest tylko w następujących przypadkach:• Podłączono przewód sondy zasysającej SL3000 z nowym numerem seryjnym.
• Tryb pracy został zmieniony za pośrednictwem obsługi urządzenia i w ciągu
ostatnich 24 godzin nie został skalibrowany.

Jeśli opcja „Wezwanie do kalibracji” jest aktywna pozostałe wezwania do kalibracji
wysyłane są w następujących przypadkach:• Czas pracy urządzenia wynosi ponad 30 minut, a odchyłka temperatury względem
ostatniej kalibracji jest większa niż 5 kelwinów.
• W aktualnie wybranym trybie pracy w ciągu ostatnich 24 godzin nie
przeprowadzono kalibracji.

üUprawnienia operatora lub supervisora
1
2> Ustawianie > Pomiar > Inne
Aby włączyć pozostałe wezwania do kalibracji należy aktywować opcję
„Wezwanie do kalibracji”. Aby wyłączyć, dezaktywować tę opcję.

3

Zapisać.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

67 / 164

6 | Praca

INFICON

6.2.13 Rozszerzanie lub ograniczanie możliwości obsługi
Zawsze możliwa jest obsługa urządzenia za pomocą ekranu dotykowego. Możliwa jest
również zmiana ustawień fabrycznych, umożliwiających dodatkową obsługę za
pomocą przycisków na ekranie obsługi lub za pośrednictwem zdalnego pilota.
ü

Uprawnienia operatora lub supervisora
1
2> Ustawianie > Pomiar > Inne
W oknie „Obsługa lokalna” można wybrać:ð Odblokowanie.
Przyciski START, STOP i ZERO na polu obsługi oraz przyciski zdalnego
pilota są odblokowane. Jeżeli jednak żaden użytkownik nie jest zalogowany,
obsługa poprzez ekran dotykowy może zostać zablokowana.
ð Odblokowanie po zgłoszeniu.
Przycisków START, STOP i ZERO na polu obsługi oraz przycisków zdalnego
pilota można używać po zalogowaniu użytkownika do urządzenia za pomocą
prawidłowego kodu PIN.
ð Zablokowanie.
Urządzenie można obsługiwać wyłącznie poprzez ekran dotykowy. Przyciski
START, STOP i ZERO na polu obsługi są zablokowane. Zastosowanie
przycisków zdalnego pilota również będzie niemożliwe.

3

Zapisać.

6.2.14 Zmierzyć wewnętrzną nieszczelność próbną pouruchomieniu
Po włączeniu tej opcji po uruchomieniu automatycznie wykonywana jest funkcja„Pomiar wewnętrznej nieszczelności próbnej po uruchomieniu” . W ten sposób można
sprawdzić, czy detektor nieszczelności działa prawidłowo.
Funkcja ta jest dostępna tylko w trybie pracy próżni z helem jako gazem próbnym
(masa 4). Aby uzyskać optymalną dokładność pomiaru, kalibrację należy
przeprowadzać przy urządzeniu rozgrzanym do temperatury roboczej.
üUprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Pomiar > Inne
W razie potrzeby zmienić ustawienie pola „Pomiar wewnętrznej nieszczelności
próbnej po uruchomieniu”.
ð Opcja włączona: pomiar aktywowany
ð Opcja wyłączona: brak pomiaru (ustawienie fabryczne)

368 / 164

Zapisać.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.2.15 Wykorzystanie funkcji Ulubione
Aby skrócić czas szukania w menu często używanych funkcji, w oknie „Ulubione”
można zdefiniować przyciski menu.

Wywoływanie Ulubionych:► Nacisnąć ikonę z uprawnieniami,,a następnie przycisk „Ulubione”

lub alternatywnie wybrać►> Konta użytkowników > UlubioneðWyświetlone zostanie okno Ulubionych zawierające 9 przycisków. Przypisanych
przycisków można używać do szybkiego wywoływania żądanych funkcji.

Definiowanie Ulubionych:
1

Nacisnąć pusty przycisk w oknie Ulubionych.

2

Z przedstawionego widoku list należy wybrać właściwą nazwę menu i
potwierdzić wybór przez.

ð Alternatywny sposób to naciśnięcie

w oknie „Ulubione”, zaznaczenie

znajdującego się tam pustego wpisu i wybranie właściwego menuw wyświetlonej pozycji

w widoku list.

Zmiana lub usunięcie Ulubionych:1

W oknie Ulubionych należy nacisnąć na.

ð Otwiera się okno „Zarządzanie”, w którym można wybrać właściwy wpis.
ð Wyświetlana jest ikona
2

Po naciśnięciu ikonyoraz ikonaumożliwiająca usuwanie.

rozwijany jest widok list z nazwami menu, z którego

można wybrać i zapisać przyciskiem.

6.2.16 Włączanie lub wyłączanie powiadomień
ü

Uprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Ogólne > Powiadomienia
W razie potrzeby zmienić ustawienie pola „Wskazówka dotycząca podłączeniawęża spalin”.
ð Opcja włączona: wyświetlona zostaje wskazówka (ustawienie fabryczne)
ð Opcja wyłączona: brak wskazówki

3

W razie potrzeby zmienić ustawienie pola „Wskazówka dotycząca oczekującej
konserwacji nieszczelności próbnej”.
ð Opcja włączona: wyświetlona zostaje wskazówka (ustawienie fabryczne)
ð Opcja wyłączona: brak wskazówki

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

69 / 164

6 | Praca

INFICON

4

W razie potrzeby zmienić „Liczba tygodni między powiadomieniem a żądaniem
konserwacji nieszczelności próbnej”.
ð Zakres ustawień: od 1 do 12 tygodni (ustawienie fabryczne): 4 tygodnie)

570 / 164

Zapisać.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.3 Ustawienia pomiarów
6.3.1 Wybór trybu pracy
üUprawnienia operatora lub supervisora1> Tryb pracy

2

Wybrać tryb spośród „Próżnia”, „Sniffing / SL200” i „Sniffing / SL3000”.

3

Zapisać.

6.3.2 Wybór gazu
NIEBEZPIECZEŃSTWO
Niebezpieczeństwo wybuchu wodoru
W połączeniu z tlenem wodór może wybuchnąć. Na dopuszczony skład dostępnychw handlu mieszanek gazowych wskazujemy na kartach charakterystyki danych
producentów.
► Należy pamiętać, aby nie przekroczyć zalecanego stężenia wodoru.
ü

Uprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Pomiar > Mass2

Wybrać jedną z poniższych możliwości:„Wodór” H2 (2 amu)
„Hel” 4He (4 amu)
„Masa 3” 3He (3 amu)

3

Zapisać.

6.3.3 Ustawianie wartości progowychMożliwe jest oddzielne ustawienie wartości nieszczelności dla wartości progowych 1,
2, 3 oraz 4.
W przypadku przekroczenia wartości progowych:• Jeśli wartość progowa 1 lub 2 zostanie przekroczona, w oknie pomiarowym zmieni
się kolor linii pomiarowej.
• Przekaźnik wartości progowej wyjścia cyfrowego przełącza się, patrz również
"Moduł I/O [} 143]" lub opisy złączy.
Wartość progowa 1 definiuje ponadto próg wyzwalania różnych alarmów, patrz
również "Zmiana ustawień audio [} 63]". Służy też jako wartość graniczna dla funkcji
I•ZERO, patrz „Ustawianie funkcji ZERO i zarządzanie nią [} 76]”.
ü

Uprawnienia operatora lub supervisora
1> Wartości progowe

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

71 / 164

6 | Praca

INFICON

2

Dokonać ustawień

3

Zapisać.

6.3.4 Aktywacja zakresów próżni
zakresy próżni

Zakresy próżni MASSIVE, GROSS, FINE oraz ULTRA można aktywować dopomiarów.
Możliwe jest aktywowanie wszystkich 4 zakresów jednocześnie. Jeśli zostało
aktywowanych kilka zakresów, przełączają się one zależnie od ciśnienia wlotowego
p1. W ten sposób możliwy jest pomiar z różną czułością.
Aktywny musi być co najmniej jeden zakres.
üUprawnienia operatora lub supervisora1> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > zakresy próżni

2

W pozycji „Zakres próżni” aktywować żądane zakresy próżni.

3

Zapisać.

6.3.5 Wpływ na prędkość obrotową pompy próżni wstępnej
ü

Uprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > Pompa próżni wstępnej
W razie potrzeby zmienić ustawienie pola „Tryb pompy próżni wstępnej”.
ð “Automatycznie“ (ustawienia fabryczne)
W miarę możliwości zmniejszana jest prędkość pompy próżni wstępnej.
ð “Stała“Pompa próżni wstępnej pracuje ze stałą prędkością.

6.3.6 Włączenie lub wyłączenie trybu TMP2
ü

Uprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > TMP2
W razie potrzeby zmienić ustawienie pola „Tryb TMP2”.
ð Automatycznie (ustawienie fabryczne)
TMP2 uruchamia się automatycznie podczas wytwarzania próżni i zatrzymuje
się po przejściu w stan czuwania. Jest to zalecane ustawienie zapewniające
maksymalną wydajność.
ð Wył.: TMP2 nie uruchamia się.

72 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.3.7 HYDRO•S
W przypadku badania dużych obiektów próbnych w trybie próżniowym czas do
uzyskania gotowości do pomiaru można skrócić przez zastosowanie HYDRO•S, patrz
również Tryb pracy „Próżnia” [} 18].

6.3.7.1 Ustawianie HYDRO•SDostępność HYDRO•S oprócz opisanych tu ustawień podstawowych zależy od innych
warunków, takich jak wybrany tryb pracy czy stan, patrz „Korzystanie z HYDRO•S[} 73]”.
ü

Uprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Pomiar > HYDRO•S

2

Wybrać jedną z poniższych możliwości:„Dezaktywowany” (ustawienia fabryczne), jeśli funkcja HYDRO•S nie jestużywana i użytkownik rezygnuje również z przełączania ręcznego.
„Ręczny”, jeśli funkcja HYDRO•S powinna być włączana i wyłączana
przyciskiem

na ekranie pomiarowym. Patrz również "Budowa ekranu

dotykowego [} 28]".
„Automatyczny”, jeśli funkcja HYDRO•S ma zostać wykorzystana
w maksymalnym stopniu.
3

Zapisać.

4

Po ustawieniu funkcji HYDRO•S na tryb „Ręczny” lub „Automatyczny” należy
wykonać kalibrację, patrz „Kalibracja [} 82]”.

6.3.7.2 Korzystanie z HYDRO•S
HYDRO•S ręcznieü Funkcja HYDRO•S ustawiona jest na „Ręczny”, patrz „Ustawianie HYDRO•S[} 73]”.
ü Wybrany jest rodzaj gazu hel (masa 4), patrz „Wybór gazu [} 71]”.
ü Tryb pracy „Próżnia” jest aktywny.
ü Osiągnięty został zakres próżni ULTRA.
ü Urządzenie znajduje się w stanie „Pomiar”.
ü Aktualna wartość nieszczelności wynosi więcej niż 3x10-10 mbar l/s.
ü Funkcja ZERO jest wyłączona. Po włączeniu HYDRO•S funkcja ZERO może zostać
ponownie zastosowana. Patrz „Ustawianie funkcji ZERO i zarządzanie nią [} 76]”.
► Włączyć lub wyłączyć HYDRO•S wciskając

na ekranie pomiarowym. Stopzawsze wyłącza HYDRO•S.

HYDRO•S
automatycznieü Funkcja HYDRO•S ustawiona jest na „Automatycznie”, patrz „Ustawianie HYDRO•S[} 73]”.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

73 / 164

6 | Praca

INFICONü Spełnione są również pozostałe warunki dla wymienionej powyżej obsługi ręcznej.
ü Wykrywacz nieszczelności przez co najmniej 5 s znajduje się w aktualnym zakresie
pomiarowym.
► Funkcja HYDRO•S włącza się automatycznie.
ð HYDRO•S włącza się tylko raz w jednym cyklu pomiarowym (stop/start).
ð Funkcję HYDRO•S zawsze można włączać lub wyłączać za pomocą

,również wówczas, gdy aktywowana została funkcja automatyki.
ð Ręczne przełączanie HYDRO•S wyłącza automatykę do następnego cyklu
pomiarowego (stop/start).

6.3.8 Ustawienie współczynnika urządzenia
W przypadku wykonywania pomiarów w trybie pracy „Próżnia” i równoczesnego
stosowania zewnętrznego systemu pompy, zmierzone wartości nieszczelności byłyby
zbyt małe względem wartości nieszczelności określonych na podstawie kalibracji
wewnętrznej.
Aby dokonać wyrównania zmierzone wartości nieszczelności, należy pomnożyć przez
odpowiedni współczynnik maszyny i wyświetlić wyniki. Ten współczynnik
wykorzystywany jest tylko w trybie próżniowym, a nie w trybie sondy zasysającej.
Oszacowanie współczynnika maszyny możliwe jest również z uwzględnieniem
szybkości pompowania helu przez urządzenie. Bardziej dokładny jest pomiar wartości
zewnętrznej nieszczelności próbnej na obiekcie próbnym – raz z dołączoną pompą
zewnętrzną, a raz bez niej. Różnica między wynikami wyznacza współczynnik
maszyny.
Współczynnik maszyny może być też stosowany do korekcji wskazania wartości
nieszczelności w odniesieniu do ekwiwalentu powietrza. Współczynniki maszyny dla
tej korekcji wynosi 0,37.
üUprawnienia operatora lub supervisoraü Tryb pracy „Próżnia” został ustawiony.
1> Ustawianie > Pomiar > Nieszczelność próbna
ð Zostanie wyświetlone pole „Współczynnik maszyny, hel”.

2

Dokonać ustawień

3

Zapisać.

6.3.9 Ustawianie zewnętrznej nieszczelności próbnej
W celu wykorzystania zewnętrznej nieszczelności próbnej do kalibracji, należy
wprowadzić wartość nieszczelności próbnej.
üUprawnienia operatora lub supervisora
1

74 / 164> Ustawianie > Pomiar > Nieszczelność próbna

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

2

Odnotować wartość nadrukowaną na nieszczelności próbnej lub certyfikaciewraz z jednostką.
Nie zmieniać kombinacji nadrukowanej wartości i jednostki, nawet jeśli daneurządzenie zwykle ustawione jest na inne jednostki!

3

Zapisać.

Zobacz również
2 Kalibracja zewnętrza [} 82]

6.3.10 Zmiana wartości granicznych ciśnienia
Wartości graniczne ciśnienia dla trybu próżni.
Limity ciśnienia odnoszą się do czujnika ciśnienia „p1”, ciśnienia wlotowego pompy
turbomolekularnej 1. Patrz również "Przeglądania wykresu próżni [} 101]".

Funkcja ta pozwala na zmianę fabrycznie ustawionych punktów przełączania między
zakresami próżni MASSIVE, GROSS, FINE oraz ULTRA. Może być to konieczne
w przypadku, gdy za pomocą urządzenia odpompowywane są inne gazy niż
powietrze, jak na przykład argon. Przyczyną tego jest zależność wewnętrznegopróżniomierza Piraniego od rodzaju gazu.
Kompensacja możliwa jest poprzez zmianę wstępnie ustawionych punktów
przełączania. Sygnał ciśnienia wskaźnika ciśnienia zależnego od rodzaju gazu
(Piraniego) po dopasowaniu terowania sekwencyjnego urządzenia może dostarczyć
innych danych do przełączania.
üUprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Pomiar > Granice ciśnieniað Możliwa jest zmiana ustawionych wartości granicznych ciśnienia. Dotyczy to:
MASSIVE -> GROSSGROSS -> FINE
FINE -> ULTRA

2

Aby przywrócić ustawienia fabryczne powietrza po dokonaniu zmiany poprzeznaciśnięcie przycisku, należy nacisnąć przycisk „Air Default”.
ð Zostają ustawione wszystkie ustawienia fabryczne powietrza.
ð W razie potrzeby możliwa jest indywidualna zmiana wartości granicznychciśnienia. Patrz również "Ustawienia fabryczne [} 36]".

3

Aby przywrócić wartości dla argonu poprzez naciśnięcie przycisku, należy
nacisnąć przycisk „Argon Standard”.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

75 / 164

6 | Praca

INFICONð Zostaną wówczas użyte następujące ustawienia, odbiegające od ustawień
fabrycznych dla powietrza:
MASSIVE -> GROSS: 4 mbar
GROSS -> FINE: 1 mbar
FINE -> ULTRA: 0,2 mbar
ð W razie potrzeby możliwa jest indywidualna zmiana wartości granicznychciśnienia.
4

Zapisać.

6.3.11 Ustawianie funkcji ZERO i zarządzanie nią
Dlaczego mam

Zastosowanie funkcji ZERO umożliwia wykonywanie bardziej dokładnych pomiarów

korzystać z funkcji

niewielkich nieszczelności.

ZERO?

Przy każdym badaniu szczelności występuje „sygnał tła” (patrz „Definicje pojęć
[} 8]”),który zakłóca wyszukiwanie lub pomiar nieszczelności.
• Aby wyłączyć sygnał tła, należy aktywować funkcję ZERO.
• Z funkcji ZERO można korzystać również do wyłączania aktualnie wyświetlanych
nieszczelności, które zakłócają wyszukiwanie innych, ew. mniejszych
nieszczelności.

Aktualnie przedstawiona nieszczelności zostanie wyłączona za pomocą
funkcji ZERO.
Wykonywanie funkcji ZERO wyłącza nie tylko sygnał tła, ale również przedstawienie
aktualnej nieszczelności.
► Aby tego uniknąć, funkcję ZERO należy aktywować tylko wówczas, gdy
jednocześnie nie jest wykonywany pomiar nieszczelności.

Włączanie lub

Funkcja ZERO jest fabrycznie ustawiona jako włączona.

wyłączanie funkcji

ü

ZERO

Uprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Pomiar > Zero/filtr
W razie konieczności zmienić „Tryb ZERO”. Fabrycznie ustawione jest „I•ZERO
2.0”.
ð Do wyboru są opcje „I-ZERO 2.0”, „ZERO” i „Wyłączone”.
ð Jeśli została wybrana opcja „Wyłączony”, przycisk ZERO nie działa.

3ð

Zapisać.

Jeśli funkcja ZERO została aktywowana, funkcję tę można uruchomić,
naciskając przycisk ZERO. Patrz również "Przycisk ZERO [} 26]".

76 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

W jaki sposób mogęNa ekranie obsługi krótko przycisnąć przycisk ZERO lub na ekranie dotykowym.

włączyć funkcjęZERO?
W jaki sposób mogęNa ekranie obsługi nacisnąć przycisk ZERO na dłużej niż 2 s lub na ekraniewyłączyć funkcję

dotykowym.

ZERO?
Tryb pracy „Próżnia”,

W przypadku korzystania z ustawienia „I•ZERO 2.0”, po naciśnięciu przycisku ZEROdziałanie ustawieniawyświetlany sygnał tła jest wygaszany w zależności od aktualnego dryftu. Zwykle

ZEROwyświetlana granica opada wieloetapowo. Wielkość wyświetlanej granicy jest miarą
nieszczelności, które powinny móc być aktualnie zmierzone. Podczas pomiaru
aktualnie wyświetlana granica powinna wypadać co najmniej o dekadę poniżej
oczekiwanej wartości pomiarowej.
W przypadku korzystania z ustawienia „ZERO”, po naciśnięciu przycisku ZEROaktualnie wyświetlana wartość natężenia przecieku zostanie ustawiona na dolnej
granicy wyświetlania.

Tryb pracy „Próżnia”,

Po naciśnięciu przycisku ZERO aktualnie wyświetlona wartość nieszczelności„HYDRO•S”

zostanie ustawiona do niższej wyświetlanej granicy.

włączone, ustawienie

Wskazówka: Przycisku ZERO nie należy używać w przypadku silnie opadającego tła,

„I•ZERO 2.0” lubponieważ niewielki w porównaniu ze zmianą tła sygnał wartości nieszczelności mógłby

„ZERO”.

zostać pomyłkowo stłumiony.

Tryb „Sniffing”,

Po naciśnięciu przycisku ZERO aktualnie wyświetlona wartość nieszczelności

ustawienie „I•ZERO

zostanie ustawiona do niższej wyświetlanej granicy.

2.0” lub „ZERO”.

6.3.12 Wentylowanie, płukanie, regenerowanie
Wentylowanie

W trybie pomiarowym należy użyć tej funkcji po pomiarze do wentylowania wlotuurządzenia i połączonej z nim próbki. Próbkę można łatwo wymienić bez efektu
ssania.
ü

Uprawnienia operatora lub supervisora
1
2> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > Wentylowanie
W razie potrzeby zmienić ustawienie pola „Opóźnienie wentylacji”.
ð „Natychmiast”: Jeśli aktywowana została opcja „Natychmiast”, wentylacja
zostanie uruchomiona wraz z przejściem do trybu „Standby”.
ð „Ręcznie”: ustawienie fabryczne. Jeżeli aktywowano tryb „Ręcznie”,
wentylacja rozpocznie się po dłuższym naciśnięciu na przycisk STOP lubnaciśnięcie

w oknie „Standby”. Patrz również „Włączanie [} 55]”.

ð „Brak wentylacji”
3

W razie potrzeby zmienić ustawienie w polu „Łagodna wentylacja”.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

77 / 164

6 | Praca

INFICONð Opcja włączona: Wlot jest wentylowany jedynie bardzo powoli. Może to być
przydatne w celu uniknięcia silnego przepływu w obiekcie próbnym, który
mógłby porwać cząstki.
ð Opcja wyłączona: Ustawienie fabryczne
4

Płukanie

Zapisać.

Aktywacja funkcji płukania (w przypadku suchych pomp wstępnych) w stanie„Czuwanie” powoduje niewielki przepływ gazu do pompy próżni wstępnej. Funkcja
służy do usuwania skondensowanej pary wodnej z komory ssania pompy próżni
wstępnej lub do zredukowania tła helu.

OSTRZEŻENIE
Niebezpieczeństwo uduszenia w przypadku stosowania azotu lub argonu
jako gazu płuczącego
Stosowanie azotu lub argonu jako gazu płuczącego przy wysokimstężeniu w pomieszczeniu może prowadzić do uduszenia.
► Należy przedsięwziąć kroki w celu uniknięcia wysokiego stężenia tych gazóww zamkniętych pomieszczeniach.
► Podłączyć przewód spalinowy.
► Należy upewnić się, że ciśnienie w przewodzie gazu biegnącym do przyłącza gazu
płuczącego nie przekracza 100 mbar powyżej ciśnienia atmosferycznego.

Po przejściu do trybu „Standby” pompa wstępna jest automatycznie płukana przez 20
sekund.
ü

Uprawnienia operatora lub supervisora
1
2> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > Płukanie
W razie konieczności możliwa jest aktywacja opcji „Płukanie automatyczne”.
ð Jeżeli automatyczne płukanie zostało wyłączone, to można je włączyć/wyłączyć, przyciskając

3

Regeneracja

Zapisaćw oknie Czuwanie.

.

Może się zdarzyć, że do wnętrza urządzenia dostało się zbyt dużo helu, couniemożliwia dalsze dokładne pomiary (skażenie helem). Regeneracja toautomatyczny cykl start-stop-wentylowanie mający na celu usuwanie podwyższonego
poziomu helu w tle.
Aktywna regeneracja jest widoczna na wyświetlaczu.
Regeneracja dezaktywuje się automatycznie po 60 minutach.
ü

78 / 164

Uprawnienia operatora lub supervisora

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

ü W opcji „Tryb napowietrzania”, patrz wyżej, nie aktywowano ustawienia „Bez
wentylacji”.
►> Regeneracja
ð W wywołanym oknie można rozpocząć regenerację i przerwać ją w dowolnym
momencie lub odczekać 60 minut do automatycznej dezaktywacji.

6.3.13 Edycja filtra wartości nieszczelności
Wstępnie ustawiony jest filtr wartości nieszczelności „I•CAL”. I•CAL gwarantuje, żeczas uśredniania jest optymalnie dostosowany do danego zakresu wartości
nieszczelności.
Skrót I•CAL oznacza „Intelligent Calculation Algorithm for Leakrates”. Gwarantuje on,że sygnały uśredniane są w zoptymalizowanych interwałach czasowych na bazie
danego zakresu wartości nieszczelności. I•CAL eliminuje ponadto szczyty zakłóceń
związane z sygnałami wartości nieszczelności oraz zapewnia niezwykle krótkie czasy
reakcji również w przypadku niewielkich sygnałów wartości nieszczelności. Stosowany
algorytm cechuje doskonała czułość i czas reakcji.
Filtr wartości nieszczelności „Stałe” oznacza ponadto dostępność filtra o niezmiennej
stałej czasowej.
ü

Sposóbpostępowania

Uprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Pomiar > Zero/filtr

2

W pozycji „Wartość nieszczelności” wybrać między „I•CAL” oraz „Stałe”.

3

Zapisać.

6.3.14 Edycja tłumienia tłaWewnętrzne tłumienie tła zostało ustawione fabrycznie.
System pomiarowy detektora nieszczelności nawet bez połączenia z komorą
probierczą zawiera zawsze również resztkowe ilości helu i wodoru. Jest to przyczyną
powstawania składowej sygnału pomiarowego, która istnieje jeszcze przednaciśnięciem przycisku START.
Wciśnięcie „tłumienia tła” sprawia, że wewnętrzne tło i ewentualnie również tło
w obszarze wlotowym są odejmowane od wyświetlanej wartości nieszczelności. Ponaciśnięciu przycisku START proces zachodzi automatycznie.
üUprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Pomiar > Zero/filtr
W polu „Tłumienie tła” należy wybrać między „Tylko wewnętrznie”, „Obszar
wlotowy” a „Wyłączony”.
ð Tylko wewnętrznie
Ustawienia fabryczne. Przy każdym pomiarze wewnętrzna część sygnału
pomiarowego urządzenia odejmowana jest po naciśnięciu przycisku START.
Dzięki temu wewnętrzne tło nie zakłóca dokładności wyników pomiarowych.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

79 / 164

6 | Praca

INFICONW momencie trzymania przycisku START:
Aby określić nowe tło, detektor nieszczelności musi przez co najmniej 20
sekund znajdować się w stanie „czuwania”, a w tym czasie zawór do płukania
lub zawór balastu gazowego nie może być otwarty. Aby mieć pewność, żew kolejnym trybie pomiarowym zostanie użyte aktualne wewnętrzne tło, ,należy nacisnąć przycisk START dopiero wtedy, gdy wskazanie tła w trybie
czuwania zmieni się z wyszarzonego na normalne. Wyświetlanie wskaźnika
tła w trybie czuwania umożliwia odpowiednia funkcja, patrz „Zmiana
ustawienia wskazania ogólnego [} 62]”.
ð Obszar wlotowy
Dodatkowo do odejmowania wewnętrznego tła podczas każdego pomiaru ponaciśnięciu START odejmowane jest również tło obszaru wlotowego.
Przed aktywacją tej funkcji należy się upewnić, że tło obszaru wlotowego
zostało określone, patrz „Określanie tła obszaru wlotowego [} 80]”. Zaleca
się powtarzanie obliczeń tła obszaru wlotowego od czasu do czasu, ponieważ
po pewnym czasie urządzenie odpompowuje tło obecne w obszarze
wlotowym.
ð Wyłączony
Brak tłumienia tła.
3

Zapisać.

Wysokie wartości tłaJeśli rzeczywiste tło ma wartość wyższą niż 1×10-8 mbar l/s, jego automatyczne
odjęcie jest niemożliwe. W takim wypadku należy odpompować wysokie tło.

6.3.14.1 Określanie tła obszaru wlotowego
Funkcja ta określa wartość wewnętrznego tła helowego.
Jeśli w oknie „Zero i filtr” dla tłumienia tła została wybrana wartość „Obszar wlotowy”,
po wciśnięciu START wartość ta zostanie odjęta od zmierzonego sygnału. Patrz
również "Edycja tłumienia tła [} 79]".
ü Wlot zaślepiony
ü Tryb pracy „Próżnia”ü Urządzenie jest w stanie „Standby” lub „Pomiar”.

80 / 164

1

Nacisnąć

.

2

Wybrać kalibrację „Podłoże wlotu”.

3

Aby uruchomić automatyczne określanie tła wlotowego, należy nacisnąć

.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.3.15 Zmiana ustawień SL3000 (dźwięk/światło)Możliwe jest ustawienie sposobu informowania o wynikach pomiaru niezależnie odwskazania na ekranie dotykowym. Ustawienia są skuteczne dla wartości progowej 1.
üUprawnienia operatora lub supervisora1> Ustawianie > Pomiar > Wykrywanie nieszczelności > Przewód sondy
zasysającej SL3000

2

Wybrać „Przewód sondy zasysającej, konfiguracja alarmu diody LED”.
ð Możliwy jest wybór między „Jaśniej”, „Wył.” oraz „Miganie”.

3

Wybrać „Przewód sondy zasysającej, jasność diody LED”.
ð Do wyboru jest Wył./1 ... 6.

4

Za pomocą „Przewód sondy zasysającej, brzęczyk” ustawić brzęczyk sondy
zasysającej.
ð Do wyboru jest „Wył.” oraz „Dźwięk przy wartości progowej 1”.

5

Zapisać.

6.3.16 Zmiana monitorowania ciśnienia w przewodzie sondy
zasysającej
W trybie sondy zasysającej (SL200 lub SL3000) monitorowanie ciśnienia aktywowane
jest automatycznie. Określone wartości graniczne ciśnienia definiują maksymalne
i minimalne ciśnienie wlotowe. Do monitorowania ciśnienia w przypadku SL200
stosowany jest czujnik ciśnienia p3, a w przypadku SL3000 czujnik ciśnienia p4. Patrz
również "Przeglądania wykresu próżni [} 101]".
Jeśli ciśnienie nie mieści się w tym zakresie, z reguły oznacza to, że kapilary sąniedrożne lub uszkodzone. Komunikaty o błędach wydawane są zgodniez następującą regułą:Ciśnienie wlotowe > Górna granica: Kapilara uszkodzona.
Ciśnienie wlotowe < Dolna granica: Przepływ gazu przez kapilarę jest zbyt mały(kapilara zablokowana).
ü

Uprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Pomiar > Wykrywanie nieszczelności > Monitoring kapilarð Możliwa jest zmiana następujących ustawień, wartości wstępnie ustawione –patrz „Ustawienia fabryczne [} 36]”.
„Dolna granica ciśnienia kapilara SL200 zatkana” (dolna granica)„Górna granica ciśnienia kapilara SL200 pęknięta” (górna granica)„Dolna granica ciśnienia kapilara SL3000 zatkana” (dolna granica)„Górna granica ciśnienia kapilara SL3000 pęknięta” (górna granica)2

Dokonać ustawień

3

Zapisać.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

81 / 164

6 | Praca

INFICON

6.3.17 Kalibracja
Aby pomiar wartości nieszczelności był prawidłowy, detektor nieszczelności musi byćregularnie dokładnie ustawiany poprzez wykonywanie kalibracji. Jednocześnie
automatycznie dostosowywane są ustawienia spektrometru masowego.
Kalibrację można wykonać na podstawie nieszczelności próbnej zintegrowanej
z urządzeniem lub zastosować zewnętrzną nieszczelność próbną. Zwykle kalibrację
wykonuje się raz dziennie lub w przypadku wystąpienia wątpliwości co do zdolności
pomiarowej urządzenia.
► Wewnętrzna kalibracja jest niemożliwa w przypadku zastosowania jako gazu
próbnego wodoru lub helu-3 (3He). W takim wypadku należy skorzystać
z zewnętrznej nieszczelności próbnej.
► Tryby pracy „Próżnia” oraz „Sonda zasysająca” wymagają odrębnej kalibracji
w przypadku kalibracji zewnętrznej.
► Kalibrację należy wykonywać tylko wówczas, gdy urządzenie jest rozgrzane.
Kalibrację należy wykonać najwcześniej 20 minut po włączeniu.
► W instalacjach, gdzie dystans do obiektu próbnego jest zwiększony, zaleca sięużycie zewnętrznej nieszczelności próbnej w miejscu obiektu próbnego.
► Podczas używania wewnętrznej nieszczelności próbnej należy zwracać uwagę na
współczynniki maszyny, patrz także „Ustawienie współczynnika urządzenia [} 74]”.

6.3.17.1 Kalibracja wewnętrznaüUprawnienia użytkowników (user)ü Urządzenie jest w stanie „Standby” lub „Pomiar”.
1

Nacisnąć

2

Wybrać kalibrację „wewnętrzna”.

3

Nacisnąć

ð.

.

Urządzenie wykonuje wewnętrzną kalibrację.

6.3.17.2 Kalibracja zewnętrza
ü

Uprawnienia operatora lub supervisora
1
2
3

Nieszczelność próbną należy zamontować na wlocie urządzenia.
> Ustawianie > Pomiar > Nieszczelność próbna
Ustawić wartość zastosowanej nieszczelności próbnej, patrz również
„Ustawianie zewnętrznej nieszczelności próbnej [} 74]”.

82 / 1644

Ustawić urządzenie w stanie „Standby” lub „Pomiar”.

5

Nacisnąć

6

Wybrać kalibrację „zewnętrzna”.

.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

7

Nacisnąć

.

8

Stosować się do instrukcji na ekranie.

6.3.17.3 Kalibracja helem z powietrza (tryb sondy zasysającej)W dolnych warstwach atmosfery ziemskiej powietrze zawiera około 5,2 ppm, tj.
cząsteczek helu na milion (zawartość objętościowa).
Takie stężenie helu może zostać użyte do kalibracji wykrywacza nieszczelności
w trybie sondy zasysającej.

Opisana poniżej metoda jest niedokładna!
► Do otrzymania optymalnej dokładności należy zawsze używać wewnętrznej lubzewnętrznej, skalibrowanej nieszczelności próbnej.
1

W tym celu należy podłączyć przewód sondy zasysającej i w następujący
sposób skonfigurować wykrywacz nieszczelności:- Tryb sondy zasysającej
- Masa 4 (hel)- Jednostka nieszczelności ppm- Zewnętrzna nieszczelność próbna: 5,2 ppm

2

Wybrać typ kalibracji „zewnętrzna bez oznaczania punktu zerowego”
i rozpocząć proces kalibracji.

3Należy zasysać normalne powietrze z otoczenia, kiedy wykrywacz
nieszczelności poprosi o trzymanie sondy zasysającej w pobliżu zewnętrznej
nieszczelności próbnej. Należy uważać, żeby w powietrzu pomieszczenia nie
było dodatkowego helu, np. poprzez stosowanie helowych pistoletów
natryskowych.

4

Zmierzoną wartość należy zatwierdzić za pomocą

.

6.3.17.4 Kontrola kalibracji
Kalibrację można także sprawdzić bez zmieniania współczynnika kalibracji. Jest to
sposób na stwierdzenie, czy nowa kalibracja jest potrzebna.
üUprawnienia użytkowników (user)ü Urządzenie jest w stanie „Czuwanie” lub „Pomiar”.
1

Nacisnąć

.

2

Wybrać „Proof”.
ð Kontrola została rozpoczęta a współczynnik kalibracji jest obliczany na nowo.
ð Współczynnik kalibracji obliczony na nowo zostaje wyświetlony.
ð Jeżeli współczynnik kalibracji obliczony na nowo znacznie odbiega od
wartości zapisanego współczynnika kalibracji, pojawia się żądanie ponownej
kalibracji.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

83 / 164

6 | Praca

INFICON

6.3.17.5 Mierzenie wewnętrznej nieszczelności próbnej
ü

Uprawnienia użytkowników (user)ü Urządzenie jest w stanie „Czuwanie” lub „Pomiar”.
1

Nacisnąć

.

2

Wybrać „Pomiar wewnętrznej nieszczelności próbnej”.

3

Nacisnąć

.

ð Nieszczelność próbna zostaje otwarta, zmierzona wartość nieszczelności
wyświetlona i porównana z wartością zadaną.
Zgodność zmierzonej wartości wewnętrznej nieszczelności próbnej z wartością
kwalifikatora wewnętrznej nieszczelności próbnej nie świadczy o absolutnej
dokładności systemu pomiarowego, jeśli do kalibracji detektora nieszczelności użyto
wewnętrznej nieszczelności próbnej. Patrz również "Ustawienie współczynnikaurządzenia [} 74]".

84 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.4 Pomiar
ü Kołnierz wlotowy znajdujący się na górnej stronie urządzenia przygotowany jest do
kolejnego pomiaru. Z reguły to tam podłączana jest próbka lub przewód sondy
zasysającej SL200. Patrz również „Podłączenie badanej próbki/odbiornika do
kołnierza wlotowego [} 52]”.
ü Alternatywnie, przewód sondy zasysającej SL3000 podłączany jest z tyłuurządzenia (opcja). W takim przypadku należy zabezpieczyć kołnierz wlotowy
u góry urządzenia zaślepką.
ü Zamontowane są możliwe rozwiązania alternatywne związane z obsługą
urządzenia (opcja):
Moduł I/O, moduł magistrali, pilot zdalny, łączność WLAN z notebookiem lub
tabletem. Patrz również „Wyposażenie dodatkowe i części zamienne [} 139]” oraz
„Obsługa detektora nieszczelności poprzez wyszukiwarkę (WLAN) [} 153]”.
1Włączyć detektor nieszczelności za pomocą wyłącznika sieciowego.

2

Upewnić się, że został ustawiony żądany tryb pracy (patrz „Wybór trybu pracy[} 71]”).

3

Upewnić się, że aktywowane zostały właściwe ustawienia podstawowe oraz
ustawienia do aktualnego pomiaru. Patrz „Ustawienia podstawowe” oraz
„Ustawienia pomiarów”.

4

Przy wykonywaniu kalibracja należy uwzględnić 20 minut czasu nagrzewania.
Patrz „Kalibracja [} 82]”.

5

Uruchomić pomiar w trybie czuwania, naciskając przycisk START.
ð Aby mieć pewność, że w kolejnym trybie pomiarowym zostanie użyte
aktualne wewnętrzne tło, należy przestrzegać wskazówek zawartych
w rozdziale „Edycja tłumienia tła [} 79]”.

6

Analiza wyniku pomiaru możliwa jest za pomocą wykresu
liniowego,słupkowego lub kołowego, patrz „Widok ekranu pomiarowego [} 60]”
oraz „Budowa ekranu dotykowego [} 28]”.

7

Aby w razie potrzeby wyświetlić na ekranie maksymalną wartość nieszczelności
(Qmax) w czasie trwania pomiaru, ponownie nacisnąć przycisk START. Patrz
również „Przycisk START [} 25]” oraz „Budowa ekranu dotykowego [} 28]”.

8

W celu uzyskania lepszej wyrazistości niewielkich wartości nieszczelności
w razie potrzeby można nacisnąć przycisk ZERO, patrz „Ustawianie funkcji
ZERO i zarządzanie nią [} 76]”.

9

Wartości pomiarowe można w razie potrzeby zarejestrować, patrz „Włączenie
zapisu danych i konfiguracja eksportu [} 89]” oraz „Budowa ekranu
dotykowego [} 28]”.

10Wyłączyć urządzenie.

Zobacz również
2 Zmiana ustawienia wskazania ogólnego [} 62]
UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

85 / 164

6 | Praca

INFICON

6.5 Badanie szczelności z I•RISE (zależnie odurządzenia)
Standard w UL6000 Fab PLUS.

Wprowadzenie
I•RISE przeprowadza wewnątrz urządzenia do badania szczelności cykliczny pomiar
wzrostu ciśnienia.
W badaniu szczelności za pomocą pomiaru wzrostu ciśnienia wykorzystuje się fakt, że
pewna ilość gazu przepływa przez nieszczelności ze stałą szybkością do odpowiednioopróżnionego zbiornika. W technice próżniowej zbiornik ten nazywany jest również
odbiornikiem. Jest to zazwyczaj komora próżniowa.
Zaletą zwykłego wykrywania wycieków helu jest to, że można zmierzyć całkowity
stopień wycieku, tj. sumę wszystkich wycieków z odbiornika bez rozpylania. Można
jednak wykryć tylko stosunkowo duże nieszczelności.
W przypadku pomiaru wzrostu ciśnienia zawór po stronie pompy opróżnianego
odbiornika jest zwykle zamknięty. Następnie wzrost ciśnienia w odbiorniku jest zwykle
mierzony w mbar/min lub tor/min.

W przypadku rozwiązania INFICON I•RISE wzrost ciśnienia jest mierzony w objętości
znajdującej się wewnątrz detektora nieszczelności, a więc poza odbiornikiem.
W porównaniu z konwencjonalnym pomiarem wzrostu ciśnienia, pomiary mogą być
wykonywane znacznie szybciej i w sposób ciągły. Konwencjonalny pomiar wzrostuciśnienia zewnętrznego jest zastępowany przez I•RISE.
Współczynnik nieszczelności Q można również określić mnożąc wyświetlaną wartość
nieszczelności I•RISE przez objętość odbiornika, na przykład w mbar*l/s:
Q/(mbar*l/s) = I•RISE (mbar/s) * objętość/lUmożliwienie pomiaru I•RISE
ü

Uprawnienia operatora lub supervisora, w zależności od potrzeby
wprowadzenia zmian.

ü Urządzenie jest podłączone do odbiornika, np. komory próżniowej, w celu
wykonania pomiaru próżni.
1

Upewnić się, że urządzenie jest w trybie pomiaru ULTRA. W tym celu należy
porównać tryb pomiaru wyświetlany na ekranie pomiaru, patrz także „Budowa
ekranu dotykowego [} 28]”.
ð W ustawieniu fabrycznym wszystkie zakresy próżni są aktywne i przełączają
się automatycznie w zależności od ciśnienia wlotowego p1. Patrz również
„Przeglądania wykresu próżni [} 101]”. Zakres pomiarowy ULTRA oznacza
najwyższą czułość przy niskich ciśnieniach wlotowych.

86 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

ð Jeśli wykrywacz nieszczelności nie przełącza się automatycznie na zakres
pomiarowy ULTRA, sprawdź, czy ten zakres pomiarowy nie został wyłączony,patrz “Aktywacja zakresów próżni [} 72]“ (uprawnienia operatora lub
supervisora).
2

Upewnić się, że pompa turbomolekularna 2 została uruchomiona.
ð Pompę turbomolekularną 2 można włączyć lub wyłączyć, patrz “Włączenie
lub wyłączenie trybu TMP2 [} 72]“ (uprawnienia supervisora).

ðJeśli pomiar I•RISE jest możliwy, kolor symbolu I•RISE

zmienia się z szaregona niebieski na ekranie pomiaru.

Dokonywanie ustawień I•RISE
ü

Uprawnienia operatora lub supervisora1> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > I•RISE

2

W polu "Objętość badanych obiektów " podać objętość odbiornika w litrach.

3

W polu „Jednostka I•RISE“ podać żądaną jednostkę pomiaru I•RISE.
ð Dostępne jednostki: "mbar/s", "mbar/min", "Pa/s", "Pa/min", "Torr/s", "Torr/min" i "mTorr/min".

4

W zakładce "Uprawnienie I•RISE" podać, od której grupy uprawnień może być
rozpoczęta próba szczelności I•RISE.
ð Do wyboru są "User" (ustawienie fabryczne), "Operator" i "Supervisor".

I•RISE Ustawianie wartości progowychMożna oddzielnie ustawić wartość nieszczelności dla progu I•RISE.
Jeśli wartość progowa zostanie przekroczona, w oknie pomiarowym zmieni się kolor
linii pomiarowej. Wartość progowa określa również próg wyzwolenia dla różnych
alarmów, patrz również "Zmiana ustawień audio [} 63]".
ü

Uprawnienia operatora lub supervisora
1> Wartości progowe

2

Dokonać ustawień

3

Zapisać.

Rozpoczęcie lub zatrzymanie I•RISE
ü Możliwy jest pomiar I•RISE (patrz powyżej).
ü Dokonano ustawień I•RISE.
1

W celu rozpoczęcia pomiaru I•RISE, na ekranie pomiaru nacisnąć

.

ð Kolor tego przycisku zmienia się na biały, a ekran pomiaru zmienia się na
wskazanie I•RISE.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

87 / 164

6 | Praca

INFICONð Klikając jednostkę lub wskazanie objętości, można przejść bezpośrednio do
ustawień I•RISE.
ð Klikając zaznaczenie wartości progowej, można przejść bezpośrednio do
ustawienia wartości progowej I•RISE.
ð Klikając opisy osi, można przejść do ustawień widoku wykresu I•RISE.
2

Aby zatrzymać pomiar I•RISE, nacisnąć ponownie przycisk.

Zmiana widoku wykresu I•RISE
ü

Uprawnienia operatora lub supervisora1> Wskazanie > Wykres I•RISE

2

Wybrać jedną z możliwych „Dekad”.

3

W celu dynamicznego dopasowania górnej i dolnej granicy wartości
nieszczelności należy włączyć opcję „Skalowanie automatyczne”.

4

W polu „Oś czasu” wybrać długość osi czasu – „60”, „120”, „240” lub „480”
sekund.

5Jeśli opcja „Skalowanie automatyczne” nie jest włączona, w polu „Dolna
granica wykresu” wybrać żądaną dekadę.

6

Zapisać.

6.6 Mierzenie koncentracji helu w tle
Naturalna zawartość helu w powietrzu otoczenia wynosi ok. 5,2 ppm.
Możliwe jest przeanalizowanie powietrza otoczenia pod kątem zwiększonej zawartości
helu (zanieczyszczenia helem) w celu ustalenia odpowiedniego momentu na dalsze
pomiary.
ü Tryb pracy „Próżnia” został ustawiony.
ü Jako gaz wybrany jest „Hel” 4He. Patrz również "Wybór gazu [} 71]".

88 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

ü Do „Przyłącza gazu płuczącego” nie są podłączone żadne długie węże. To tamtędy
do urządzenia przedostaje się powietrze, które poddawane jest pomiarowi stężenia
helu. Patrz również "Przyłącza osprzętu i sygnałów sterujących [} 33]".
ü Urządzenie znajduje się w stanie „Standby”.
1

Nacisnąć

.

2

Wybrać opcję „I•CHECK”.

3

Nacisnąć

4

Przeanalizować wynik pomiaru.

.

Zobacz również
2 Przyłącza osprzętu i sygnałów sterujących [} 33]

6.7 Dane pomiarowe
Dane pomiarowe można zapisać w wewnętrznej bazie danych. Zapis może być
wykonywany automatycznie po pomiarze lub ręcznie za pomocą przycisku „Zapisz
dane pomiarowe”.
Patrz również „Włączenie zapisu danych i konfiguracja eksportu [} 89]”.
Przedstawione dane można także wyeksportować.
Patrz również „Wyświetlanie cykli pomiarowych [} 90]”.
Wyeksportować można za pomocą urządzenia z łączem USB lub połączenia
sieciowego, zobacz także „Eksportowanie danych pomiarowych przez sieć [} 91]”.

6.7.1 Włączenie zapisu danych i konfiguracja eksportu
WSKAZÓWKA
Ograniczenie żywotności pamięci
Rejestracja wielu wartości pomiarowych ogranicza żywotność pamięci wewnętrznej.
► Jeśli rejestracja danych nie jest konieczna, należy ją wyłączyć.
ü

Uprawnienia operatora lub supervisora
1
2> Ustawianie > Rejestracja danych
Aby rozpocząć rejestrację natychmiast po uruchomieniu pomiaru należy
aktywować opcję „Aktywny”.
Wskazówka: Zapis danych ma miejsce w trakcie pomiaru, tj. kiedy widoczny
jest ekran pomiarowy. Patrz również "Wyświetlanie cykli pomiarowych [} 90]".
ð Standardowo opcja ta jest wyłączona. Aby uruchomić lub zatrzymać
rejestrację bez aktywacji tej opcji, na ekranie pomiarowym należy nacisnąć
.

3

Pod „Format eksportu” należy wybrać pomiędzy „CSV en”, „CSV de” i „JSON”.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

89 / 164

6 | Praca

INFICONð Ustawienie standardowe to „CSV en”.
W formacie „CSV en” znakiem podziału kolumn jest przecinek.
W formacie „CSV de” znakiem podziału kolumn jest średnik.
„JSON” jest formatem danych niezależnym od języka.
ð Pliki do eksportu mają fabrycznie ustawioną nazwę i znacznik czasowy orazrozszerzenie (np. icmeas20160720-082829.csv).
4

Aby do eksportu danych pomiarowych dodać jeszcze inne dane, jak na
przykład numer seryjny urządzenia, należy aktywować opcję „wyeksportowane
metadane”.
ð Wskazówka: Jeżeli podczas eksportowania danych pomiarowych zostaną
dodane inne dane, to może się zwiększyć nakład potrzebny do ponownego
odtworzenia danych.

5

Zapisać.

6.7.2 Wyświetlanie cykli pomiarowych
Cykl pomiarowy to czas pomiędzy naciśnięciem przycisku START i przycisku STOP.
Możliwe jest przeglądanie odpowiednich informacji oraz ewentualne edytowanie 2 pól
tekstowych.
1> Dane pomiarowe > Cykle pomiaroweð Wyświetlane są cykle pomiarowe zapisane z ID, czasem startu i zakończenia.

2

Aby przeglądać szczegóły cyklu pomiarowego, należy kliknąć dany wpis
i przycisnąć

.

ð Zostaną wyświetlone wszystkie szczegóły i wykres danego cyklu
pomiarowego.

3Żeby edytować tekst w polach „Tekst 1” (Free text 1) oraz „Tekst 2” (Free text2), należy nacisnąć

.

ð Pola „Tekst 1” oraz „Tekst 2” można edytować także w oknie „Cykle
pomiarowe”. W tym celu należy zaznaczyć wpis i nacisnąć
4.

Aby zmienić okres wyświetlany na wykresie w widoku szczegółowym, należy
przesunąć palcem po ekranie w prawo lub w lewo.
Aby zmienić oś czasu, nacisnąć przycisk, aby powiększyć lub, aby

pomniejszyć. Oś wartości jest zawsze ustawiana automatycznie.

90 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 65Żeby wyeksportować wskazany cykl, należy podłączyć nośnik USB(sformatowany FAT32) do detektora nieszczelności i nacisnąć

.

6.7.3 Eksportowanie danych pomiarowych przez sieć
Oprócz dostępu do graficznego interfejsu użytkownika istnieje również możliwość
pobierania wybranych danych pomiarowych z detektora nieszczelności.
W tym celu zaimplementowano interfejs wymiany danych (REST).
To złącze odpowiada przy zapytaniach przez port 3000, przy przekazywaniu
prawidłowych parametrów z danymi w wymaganym formacie.
ü Zostało ustanowione połączenie sieciowe pomiędzy detektorem nieszczelności pojednej a PC lub tabletem po drugiej stronie.
Patrz także „Obsługa detektora nieszczelności poprzez wyszukiwarkę (LAN)[} 151]” lub „Obsługa detektora nieszczelności poprzez wyszukiwarkę (WLAN)[} 153]”.
ü Dane pomiarowe zostały zapisane. Patrz również „Włączenie zapisu danych
i konfiguracja eksportu [} 89]”.
► Istnieją dwie możliwości eksportu danych:ð Najpierw należy wyświetlić przedstawienie cykli pomiarowych, a następnie
nacisnąć

. Patrz również „Wyświetlanie cykli pomiarowych [} 90]”.

Po aktywowaniu przycisku

na tablecie lub PC plik z danymi pomiarowymi

zostaje udostępniony do pobrania.
ð Można także wpisać zapytanie o wymagane parametry jako URL do
wyszukiwarki. Ten sposób pozwala na wybranie nie tylko określonego
przedziału czasu (blok maksymalnie 24 godzinny), ale także formatu
i zakresu danych (z lub bez metadanych).
W przypadku dostępu przez sieć LAN należy użyć adresu IP znalezionego w
menu> Urządzenie > Sieć.

W przypadku uzyskiwania dostępu za pośrednictwem sieci Wi-Fi należy użyćadresu URL znajdującego się pod adresem> Nastawy > Sieć > Wi-Fi.

Przykład 1:
http://192.168.11.124:3000/md?f=csv_en&c=4&d=mr

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

91 / 164

6 | Praca

INFICON

Dostarcza metadane i dane pomiarowe wraz z ID 4 w formacie „csv_en”.
Przykład 2:
http://ul.inficon.com:3000/md?dts=2018-11-05T23:00:00.000Z&dte=
2018-11-06T23:00:00.000Z&f=json&d=r
Dostarcza dane pomiarowe od 2018-11-05T23:00:00.000Z do
2018-11-06T23:00:00.000Z w formacie „json”.
Parametr

Nazwa

Opis

Opcje

Przykład

c

Cykle

Wywołanie jednego lub

ID cykli pomiarowych. c=3

pomiarowekilku cykli pomiarowych

Rozdzielone

po ID

przecinkiem

c=3,5,8w przypadku kilku
dts

Start

Punkt początkowy

Data w formacie ISO

przedziału czasu, z

w czasie UTC

dts=2018-08-02T17:15:12.000Z

którego dane należy
wyeksportować.
dte

KoniecPunkt końcowy

Data w formacie ISO

przedziału czasu, z

w czasie UTC

dte=2018-08-02T17:45:35.000Z

którego dane należy
wyeksportować.
fdFormatZakresFormat danych

json, csv_en, csv_def=jsoneksportowanych

Standard: csv_enf=csv_en

Zakres danych. Z lub bez mr: Metadane

d=mrmetadanych

d=r

i wartości pomiarowe
m: Tylko metadane
r: tylko dane
pomiarowe
Standard: mr

6.7.4 Baza danych pomiarowych: InformacjeStandardowy rozmiar bazy danych odpowiada w przybliżeniu liczbie wartości
pomiarowych, jakie są generowane przy ciągłej rejestracji przez okres jednego
miesiąca. Odpowiada to bazie danych o wielkości ok. 1,5 GB.
W przypadku gdy pamięć jest niezbędna do dokonania rejestracji, a ustawiony w tym
miejscu maksymalny rozmiar bazy danych (w wartościach pomiarowych) został
przekroczony, najstarsze zapisy są automatycznie usuwane, zwalniając 5% podanej
w tym miejscu pamięci na nowe dane.
ü►92 / 164

Uprawnienia Supervisora> Dane pomiarowe > Informacja banku danych

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

ð Wyświetlane są:„Obecny rozmiar bazy danych” w [bajtach]„Wartości pomiaru”: liczba wartości pomiarowych zawartych w bazie danych„Maks. wielkość bazy danych”: Liczba wartości pomiarowych, które można
zapisać w bazie danych„Poziom napełnienia”„Najstarszy rekord danych”: Znacznik czasowy najstarszej wartości
pomiarowej„Najnowszy rekord danych”: Znacznik czasowy najnowszej wartości
pomiarowej
Zobacz również
2 Reset do ustawień fabrycznych [} 102]

6.8 Informacje
6.8.1 Wywoływanie informacji o aktualnej wartości pomiarowej►> Wartości pomiaru > Wartość nieszczelności i ciśnienieð Wyświetlona zostanie wartość nieszczelności oraz różne wartości ciśnienia.

►> Wartości pomiaru > Temperaturað Wyświetlane są różne wartości temperatury.

►> Wartości pomiaru > Czasy pracyð Trwa wywoływanie informacji o aktualnych czasach pracy.

6.8.2 Wywoływanie informacji o aktualnych wartościachkalibracji►> Kalibracja

6.8.3 Wywoływanie informacji o podłączonym wyposażeniu
dodatkowym►> Wyposażenie dodatkowe > Moduł I/OðJeśli podłączony jest moduł I/O, wyświetlone zostaną szczegóły.

►> Wyposażenie dodatkowe > Moduł magistraliðJeśli podłączony jest moduł magistrali, wyświetlone zostaną szczegóły.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

93 / 164

6 | Praca

INFICON

6.8.4 Wywoływanie informacji o urządzeniu
Wyświetlane są różne informacje dotyczące urządzenia: Numery oprogramowanie
i seryjne, informacje sieciowe i godziny robocze.
►> Urządzenie > Identyfikacja►> Urządzenie > Sieć►

> Urządzenie > Godziny pracy►> Urządzenie > MSB

6.8.5 Wywoływanie informacje o podzespołachWyświetlane są różne wartości pomiarowe oraz informacje o następujących
podzespołach: Wzmacniacz wstępny, źródło jonów, pompa turbomolekularna (TMP),
moduł procesora MSB, pompa wstępna oraz ich przetwornik częstotliwości.

►> Podzespoły > Wzmacniacz wstępny

►> Podzespoły > Źródło jonów►> Podzespoły > TMP►> Podzespoły > TMP2►

> Podzespoły > Pompa próżni wstępnej

6.8.6 Wywoływanie informacji dotyczących danych
energetycznychWyświetlane są różne mierzone napięcia zasilania i moce elektryczne.

►> Energia > Napięcie (1)ð W tym oknie wyświetlana jest pierwsza część informacji o napięciu.

►> Energia > Napięcie (2)ð W tym oknie wyświetlana jest druga część informacji o napięciu.

94 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6►

> Energia > Moc►> Energia > Prąd6.8.7 Wywoływanie informacji o HYDRO • SWyświetlane są wewnętrzne parametry HYDRO•S.
►> HYDRO•S

6.8.8 Wywoływanie informacji na temat przewodu sondy
zasysającej SL3000►> Przewód sondy zasysającej

6.9 Protokoły
6.9.1 Wywoływanie protokołu błędów i ostrzeżeń
►> Protokoły > Błędy i ostrzeżenia

Jeśli oczekujących wpisów jest więcej niż 20, najstarsze wpisy zostają nadpisane.

6.9.2 Wywoływanie protokołu kalibracji
Wprowadzane dane zasadniczo dotyczą całego okresu wykorzystania urządzenia.
Jeśli oczekujących wpisów jest więcej niż ok. 20, najstarsze wpisy zostają nadpisane.
►> Protokoły > Kalibracje

6.9.3 Wywoływanie protokołu wyników
Do wyświetlania wyników testu w trybie „Próżnia” (Qmax).
Jeśli oczekujących wpisów jest więcej niż 50, najstarsze wpisy zostają nadpisane.
►> Protokoły > Protokół wyników

6.9.4 Wywoływanie protokołu konserwacji►> Protokoły > KonserwacjeJeśli oczekujących wpisów jest więcej niż 20, najstarsze wpisy zostają nadpisane.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

95 / 164

6 | Praca

INFICON

6.10 Ustawienia urządzenia
6.10.1 Przeglądanie i dostosowywanie poszczególnych
parametrów
Funkcja ta umożliwia szybki przegląd aktualnych ustawień urządzenia i w razie
potrzeby dokonania ich edycji.
ü Użytkownik posiada uprawnienia konieczne do wprowadzenia zmian.
1> Zestawy parametrów > Lista parametrów
ð Ustawienia urządzenia wyświetlane są w formie listy.

2

W razie potrzeby można zmienić poszczególne parametry.

3

Zapisać.

► W celu dostosowania parametrów można też nacisnąć śródtytuł na liście. Zostanie
otwarte oddzielne okno ustawień, w którym można wprowadzać i zapisywać
zmiany.
ð Po wprowadzeniu zmiany w oddzielnym oknie ustawień należy powrócić za
pomocą

do przeglądu listy.

6.10.2 Zapisywanie zestawów parametrów i zarządzanie nimi
Zestaw parametrów gromadzi parametry o istotnych dla urządzenia ustawieniach.
Zestawy parametrów można w dowolnym momencie zapisać w pliku tekstowym.
Parametry widoczne są w czytelnej formie.
ü

Uprawnienia Supervisora
1> Zestawy parametrów > Zarządzaj zestawami parametrów
ð Utworzone już zestawy parametrów wyświetlane są w postaci listy.
Jeśli wartości zapisanego zestawu parametrów w 100% zgadzają sięz aktualnymi ustawieniami urządzenia, zostanie on wyświetlonyz oznaczeniem zielonym punktem.

2

Aby utworzyć nowy zestaw parametrów, nacisnąć

.

ð W poniższym oknie można wprowadzić opis zgodny z wyborem użytkownika.
Prefiks „parameter set” oraz data zapisu są standardowo stosowane
w nazwie pliku. Zapisać za pomocą

. Możliwe jest zapisanie maksymalnie

10 zestawów parametrów.
3

Aby otworzyć menu kontekstowe utworzonego już zestawu parametrów, należy
kliknąć wybrany zestaw i wybrać, aby wyświetlić więcej szczegółów dotyczących poszczególnych
parametrów. Parametry odbiegające od aktualnych ustawień urządzenia

96 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

oznaczane są punktem pomarańczowym.
Brak ustawienia sygnalizowany jest punktem czerwonym (przykładowo po
aktualizacji oprogramowania). W przypadku wykrycia brakującego ustawienia
zalecamy utworzenie nowego zestawu danych i usunięcie starego zestawu.
, aby aktywować zestaw parametrów.
, aby usunąć zestaw parametrów.

6.10.3 Eksport i import zestawów parametrów
Zapisane zestawy parametrów można przenieść z pamięci wewnętrznej napodłączony nośnik USB i ponownie je stamtąd zaimportować.
ü

Uprawnienia Supervisora
1> Zestawy parametrów > Zarządzaj zestawami parametrów

2

Aby wyeksportować wszystkie zestawy parametrów do pamięci USB(formatowanie FAT32), należy nacisnąć pod listą

3.

Aby zaimportować wszystkie zestawy parametrów z pamięci USB, należy
nacisnąć pod listą.

ð Na skutek importu wszystkie pliki zestawu danych kopiowane są z nośnika
USB do urządzenia, o ile nie została przekroczona liczba 10. Korzystając
z komputera, można usunąć nadliczbowe zestawy parametrów z nośnika
USB przed wykonaniem transferu.
ð Edycja poszczególnych parametrów zestawu na nośniku USB przed
importem jest niedozwolona. Po wprowadzeniu zmian przeniesienie ich dourządzenia nie będzie możliwe.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

97 / 164

6 | Praca

INFICON

6.11 Aktualizacja oprogramowaniaUrządzenie zawiera dwie różne wersje oprogramowania: Jedną do interfejsuużytkownika i jedną do urządzenia podstawowego. Każda posiada własny, odrębny
numer wersji.

6.11.1 Aktualizacja oprogramowania interfejsu użytkownika
Aktualizacje oprogramowania należy wczytać za pomocą nośnika USB.

WSKAZÓWKA
Utrata danych wskutek zerwania połączenia► Podczas aktualizacji oprogramowania nie należy wyłączać urządzenia ani odłączać
pamięci USB.
ü

Uprawnienia Supervisora
1

Plik skopiować do katalogu głównego pamięci USB sformatowanej do FAT32.

2Podłączyć pamięć USB do gniazda USB urządzenia.

3> Aktualizacja > Aktualizacja obsługi urządzenia
ð U góry w oknie wyświetlana jest aktywna wersja oprogramowania interfejsuużytkownika.
Jeśli w pamięci USB znajduje się jedna lub kilka wersji oprogramowania,
w wierszu poniżej zostanie wyświetlona najnowsza znaleziona wersja. Jeśli
jest ona nowsza niż wersja już zainstalowana, wyświetlane tło ma kolor
zielony, w innym razie jest czerwone.

4

Aby wczytać nową wersję oprogramowania, nacisnąć przycisk ekranowy„Aktualizacja”.

ðPo zakończeniu obsługa urządzenia automatycznie uruchomi się ponownie.

6.11.2 Aktualizacja oprogramowania urządzenia podstawowego
Aktualizacje oprogramowania należy wczytać za pomocą nośnika USB.

WSKAZÓWKA
Utrata danych wskutek zerwania połączenia► Podczas aktualizacji oprogramowania nie należy wyłączać urządzenia ani odłączać
pamięci USB.
ü

98 / 164

Uprawnienia Supervisora
1

Plik skopiować do katalogu głównego pamięci USB sformatowanej do FAT32.

2Podłączyć pamięć USB do gniazda USB urządzenia.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

3

> Aktualizacja > Aktualizacja urządzenia głównego
ð U góry w oknie wyświetlana jest aktywna wersja oprogramowania urządzenia
podstawowego.
Jeśli w pamięci USB znajduje się jedna lub kilka wersji oprogramowania,
w wierszu poniżej zostanie wyświetlona najnowsza znaleziona wersja. Jeśli
jest ona nowsza niż wersja już zainstalowana, wyświetlane tło ma kolor
zielony, w innym razie jest czerwone.

4

Aby wczytać nową wersję oprogramowania, nacisnąć przycisk ekranowy„Aktualizacja”.

ðPo zakończeniu system automatycznie uruchomi się ponownie.

6.11.3 Aktualizacja oprogramowania w trybie EkspertüUprawnienia Supervisora1> Aktualizacja > Aktualizacja obsługi urządzenia/urządzenia podstawowego> Aktualizacja ekspercka obsługi urządzenia
ð Wersje oprogramowania, które są już dostępne w urządzeniu, wyświetlane są
w formie listy.

2

W razie potrzeby zaznaczyć dowolną wersję oprogramowania i kontynuować
od punktu 5.
ð Możliwy jest reset do starszej wersji oprogramowania.

3Jeśli alternatywnie potrzebne jest dodanie nowej wersji oprogramowania,nośnik USB sformatowany do FAT32 i zawierający plik aktualizacji należy
podłączyć do gniazda USB urządzenia.

4

Aby wczytać nową wersję oprogramowania, nacisnąć

.

5

Aby aktywować nową wersję, zaznaczyć wybraną pozycję na liście i nacisnąć
.

ðPo zakończeniu system automatycznie uruchomi się ponownie.

6.11.4 Odblokowanie funkcji dodatkowychJeśli detektor nieszczelności oferuje taką możliwość, można zakupić jedną lub więcej
dodatkowych funkcji i aktywować je za pomocą kodu aktywacyjnego.
ü Podając numer seryjny posiadanego detektora nieszczelności, zamówiono
u producenta jedną z dostępnych funkcji dodatkowych.
ü Producent udostępnił Ci kod aktywacyjny.
üUprawnienia Supervisora1> Aktualizacja > Aktywacja funkcji

2

W polu „Kod aktywacyjny” wpisz otrzymany kod.

3

Zapisać.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

99 / 164

6 | Praca

INFICONðPo przeprowadzeniu aktywacji wyświetlona zostanie nowa funkcja.

Aktywacja funkcji nie zostanie utracona nawet po przywróceniu ustawień fabrycznych.

6.12 Używanie monitora zewnętrznego
Zamiast wbudowanego monitora możliwe jest używanie zewnętrznego monitora
dotykowego. Stosuje się monitor wewnętrzny lub zewnętrzny.
ü Posiadają one panel sterowania z interfejsem HDMI, ilustracja patrz „Panel obsługi[} 24]”.
ü Dysponują one jednym ekranem dotykowym z wejściem HDMI lub USB orazodpowiednim zasilaczem. HDMI wymagane jest do przesyłu obrazu, a USB doprzesyłu poleceń dotykowych.
1Należy podłączyć kabel HDMI oraz kabel USB ekranu dotykowego z listwą
przyłączeniową wykrywacza nieszczelności, patrz „Przyłącza osprzętu
i sygnałów sterujących [} 33]”. Do prawidłowego funkcjonowania należy
zapewnić kable o długości maksymalnie 3 m.

2
3

> Wskazanie > Zewnętrzny monitorNależy przycisnąć przycisk „monitor zewnętrzny”.
ð Obraz zostaje wyświetlony na drugim monitorze.

Alternatywne postępowanie► Można także podłączyć zewnętrzny monitor już przed załączeniem urządzenia.
ð Wtedy obraz będzie od razu wyświetlany na zewnętrznym monitorze be z
koniecznością zmiany w ustawieniach.

6.12.1 Przełączyć z powrotem na monitor wewnętrzny
WSKAZÓWKA
Odłączyć monitor zewnętrzny► Jeśli urządzenie jest włączone, przed odłączeniem przyłączy monitorazewnętrznego należy w menu przełączyć się na monitor wewnętrzny.
Gdy urządzenie jest załączone, w każdej chwili można przełączyć je na wewnętrzny
monitor.
1
2

100 / 164

> Wskazanie > Zewnętrzny monitorNależy przycisnąć przycisk „monitor wewnętrzny”.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

6.13 Przeglądania wykresu próżni
Wywołanie uproszczonego przedstawienia schematu próżni umożliwia szybką
kontrolę działania i stanu systemu pomiarowego.
►> Wykres próżni

2

5

4

3

6

1
V7
TL

p3

V15

MS

V4c

7
V8

2

p1

V14

V11
V2b

V13

V12

1

V9

p4

V10

V2a

p2

V5

10

9

8

Rys. 13: UL6000 Fab: Najważniejsze elementy schematu próżniowego

1 Pompa turbomolekularna 2

6 Spektrometr masowy(wspomagająca TMP)
2 Kołnierz wlotowy

7 Pompa turbomolekularna 1

3 p1 do p4: punkty pomiaru ciśnienia

8 Punkt pomiaru ciśnienia domonitorowania przepływu

4 Wewnętrzna nieszczelność próbna

9 Przewód sondy zasysającej

5 V2a, V2b … V15: Zawory

10 Pompa próżni wstępnej

magnetyczne do sterowania
przepływem gazów

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

101 / 164

6 | Praca

INFICON

2

5

4

3

6

1
V7
TL

p3

V15

MS

V4c

7
V8

2

p1

V14

V11
V2b

1

V9

p5

V13

V12

p4

V10

V2a

p2

V5

10

9

8

Rys. 14: UL6000 Fab PLUS: Najważniejsze elementy schematu próżniowego

1 Pompa turbomolekularna 2

6 Spektrometr masowy(wspomagająca TMP)
2 Kołnierz wlotowy

7 Pompa turbomolekularna 1

3 p1 do p5: punkty pomiaru ciśnienia

8 Punkt pomiaru ciśnienia domonitorowania przepływu

4 Wewnętrzna nieszczelność próbna

9 Przewód sondy zasysającej

5 V2a, V2b … V15: Zawory

10 Pompa próżni wstępnej

magnetyczne do sterowania
przepływem gazów

6.14 Reset do ustawień fabrycznychUżytkownik może przywrócić ustawienia fabryczne urządzenia.

Utrata ustawień danych pomiarowych
Po resecie do ustawień fabrycznych w pamięci urządzenia znajdować się będąwyłącznie ustawienia fabryczne producenta. Oprogramowanie urządzenia nie zostanie
zresetowane na skutek przywracania ustawień fabrycznych.
üUprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Ogólne > ResetujNależy wybrać:
ð Do skasowania ustawień służy przycisk „Kasowanie ustawień”.

102 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Praca | 6

ð Do usunięcia zapisanych danych i kont użytkowników służy przycisk„Kasowanie danych”.
ð Do przywrócenia ustawień fabrycznych należy nacisnąć kolejno oba
przyciski.

6.15 Wylogowanie z urządzenia
1

Nacisnąć nazwę widoczną w lewym górnym rogu wyświetlacza lub wybrać> Konta użytkowników.
ð Zostanie otwarte okno „Konta użytkowników”. Patrz również „Edytowanie
ustawień osobistych [} 58]”.

2

Przycisk ekranowy „Wyloguj” wylogowuje użytkownika z urządzenia.
ð Zostanie otwarte okno logowania.

6.16 Wyłączanie urządzenia
WSKAZÓWKA
Pompy turbomolekularne mogą ulec uszkodzeniu
Uruchomione pompy turbomolekularne mogą ulec uszkodzeniu wskutek szarpnięć lub
pod wpływem obcych ciał.
► Przed wyłączeniem urządzenia należy odpowietrzyć wlot, aby upewnić się, że
TMP2 (pompa wspomagająca) została wyhamowana.
► Po odpowietrzeniu wlotu należy unikać gwałtownych ruchów lub drgań urządzenia
podczas pracy i do 2 minut po wyłączeniu.
► W razie braku odpowietrzenia wlotu, należy unikać gwałtownych ruchów lub
wstrząsów urządzenia podczas eksploatacji i do 6 minut po wyłączeniu.
► Należy uważać, aby do wlotu urządzenia nie przedostały się obce ciała.
Urządzenie można w dowolnym momencie wyłączyć za pomocą wyłącznika
sieciowego. Parametry ustawione w urządzeniu pozostają zapisane.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

103 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

INFICON

7 Komunikaty ostrzegawcze i błędów
Podczas pracy urządzenia wyświetlacz wskazuje informacje, które wspomagają przyobsłudze urządzenia pomiarowego. Oprócz wartości pomiarowych wyświetlane są
aktualne stany urządzenia, wskazówki dotyczące obsługi oraz ostrzeżenia
i komunikaty o błędach. Urządzenie dysponuje szerokim zakresem funkcji
autodiagnostycznych. Jeśli układ elektroniczny wykryje nieprawidłowy stan,urządzenie wskazuje je, w miarę możliwości, przez wyświetlacz i w razie potrzeby
przerywa pracę. Komunikaty ostrzegawcze i o błędach składają się z numeru,
zapisywanego tekstu i często również przynależnej wartości pomiarowej (np.
zmierzonego napięcia).
Komunikaty

Komunikaty te ostrzegają przed stanami urządzenia, które mogą ujemnie wpłynąć na

ostrzegawcze

dokładność pomiarów. Praca urządzenia nie jest przerywana.
Aby poznać szczegóły dotyczące przyczyny i środków zaradczych, nacisnąć

.

Aby zamknąć komunikat ostrzegawczy, po zapoznaniu się z jego treścią należy
nacisnąć przycisk „Clear”.
Komunikaty błędów

Błędy to zdarzenia, które wymuszają przerwanie pracy.
Aby poznać szczegóły dotyczące przyczyny i środków zaradczych, nacisnąć

.

Po usunięciu przyczyny rozpocząć pracę, ponownie naciskając przycisk „Clear”.
Aktywne błędy

Ten punkt menu wyświetlany jest wyłącznie podczas przedstawiania aktywnych

i ostrzeżenia

błędów lub ostrzeżeń:►> Błędy i ostrzeżenia

Potwierdzone

W przypadku zatwierdzenia aktywnego ostrzeżenia bez usunięcia przyczyny zostanie

ostrzeżenia

ono wyświetlone w pozycji „Zatwierdzone ostrzeżenia”.
►> Potwierdzone ostrzeżenia

Dane referencyjne na

Przegląd możliwych błędów i ostrzeżeń znajduje się w:wyświetlaczu►

PrzypadekJeśli napięcie zasilania spadnie poniżej dopuszczalnego zakresu napięcia roboczego,szczególnypatrz „Dane techniczne [} 34]”, może dojść do awarii wewnętrznego zasilania 24 V

> Pomoc > Błędy i ostrzeżenia

testera szczelności, podczas gdy pompa spiętrzająca i tak nadal pracuje. Zdarza się
to bardzo rzadko.
1Jeśli po włączeniu urządzenia nie widać żadnych wskazań na wyświetlaczu, awszystkie diody LED na urządzeniu są ciemne, należy wyłączyć urządzeniewyłącznikiem sieciowym.

2Należy zlecić sprawdzenie napięcia w sieci elektrycznej wykwalifikowanemu
elektrykowi.

3104 / 164Jeśli problem nadal występuje, należy zwrócić się do serwisu.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

7.1 Lista komunikatów ostrzegawczych i o błędach
Postaw

NotyfikacjaaW102Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Przekroczenie czasu

Brak pamięci EEPROM • Skontaktować się z działem obsługi

podczas komunikacjina płycie VI lub pamięć

z pamięcią EEPROM na

uszkodzonaklientapłycie VI
W104

Parametr pamięci EEPROM

Po aktualizacji• Zatwierdzić komunikat ostrzegawczyzostał inicjalizowany

oprogramowania• Skontrolować, czy po ponownym

zainstalowano nowywłączeniu urządzenia komunikat nadal się

parametr

pokazuje• Skontrolować, czy ustawienia fabryczne
nowego parametru są odpowiednie

EEPROM na płycie VI• Zatwierdzić komunikat ostrzegawczyuszkodzona• Skontrolować, czy komunikat pojawia siękażdorazowo po włączeniu• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

W106

Kilka parametrów pamięci

Po aktualizacji• Zatwierdzić komunikat ostrzegawczy

EEPROM zostało

oprogramowania• Skontrolować, czy po ponownym

inicjalizowanych

zainstalowano nowewłączeniu urządzenia komunikat nadal się

parametrypokazuje• Skontrolować,czy ustawienia fabryczne
nowych parametrów są odpowiednie

EEPROM na płycie VI• Zatwierdzić komunikat ostrzegawczyzostała wymieniona• Skontrolować, czy po ponownymwłączeniu urządzenia komunikat nadal się
pokazuje• Skontrolować,czy ustawienia fabryczne
nowych parametrów są odpowiednie

EEPROM na płycie VI• Zatwierdzić komunikat ostrzegawczyuszkodzona• Skontrolować, czy komunikat pojawia siękażdorazowo po włączeniu• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

E107

E108

Wewnętrzny błądWewnętrzny błądkomunikacji IIC

komunikacji IIC

Wewnętrzny błądWewnętrzny błądkomunikacji IIC2

komunikacji IIC2

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

105 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

Postaw

Notyfikacjaa
W109

INFICONMożliwe źródła

Usuwanie usterekbłędówBłąd zegara czasu

Zegar czasu• Skontaktować się z działem obsługi

rzeczywistegorzeczywistego możeklienta

być uszkodzony
W110

Zegar czasu rzeczywistego

Nie ustawiono zegara• Wprowadzić datę i godzinę

został wyzerowany! Proszę

czasu rzeczywistego• Skontrolować, czy po ponownym

wprowadzić datę i godzinę

włączeniu urządzenia komunikat nadal się
pokazuje
Brak zworki• Skontaktować się z działem obsługi

akumulatora w MSB
Akumulator w MSB
rozładowany lub

klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony
Zegar czasu• Skontaktować się z działem obsługi

rzeczywistego

klientauszkodzony
W111

Wiele cykli zapisu EEPROM

Bardzo wiele poleceń

w ciągu ostatnich 6 minut

zapisu było

• Usunąć niepotrzebne zapisy z programu
sterującego

wykonywanych przez
gniazda. Na dłuższą
metę skróci tożywotność EEPROM.
E112

Niedozwolone ustawienie

Przełącznik DIP w MSB • Skontaktować się z działem obsługi

przełączników DIP

ma nieprawidłową

klientapozycję
Uszkodzona MSB• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

W113

Identyfikator urządzenia nie

Przełącznik DIP w MSB • Skontaktować się z działem obsługi

pasuje do rozpoznanej

ma nieprawidłową

pompy próżni wstępnej

pozycję
Typ pompy próżni
wstępnej nie zostałklienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientawykryty lub został
wykryty nieprawidłowo
Uszkodzona MSB• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

106 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Postaw

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

NotyfikacjaaW122Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Moduł Bus nie odpowiadaPołączenie z modułem• Skontrolować połączenie z modułem Bus

Bus przerwane• Wymienić kabel łączący z modułem Bus

Moduł Bus uszkodzony • Wymienić moduł Bus
Przyłącze modułu Bus
na urządzeniu• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzone
W125

Moduł I/O został odłączonyPołączenie z modułem• Skontrolować połączenie z modułem IO

I/O przerwane• Wymienić kabel łączący z modułem IO

Moduł I/O uszkodzony• Wymienić moduł IO

Przyłącze modułu I/O• Skontaktować się z działem obsługi

na urządzeniu

klientauszkodzone
W127

Niewłaściwa wersja

Program rozruchowy

programu rozruchowego

niekompatybilny• Skontaktować się z działem obsługi
klientaz aplikacją
E129

EEPROM odbiera dane od

Oprogramowanieurządzenia niewłaściwejurządzenia

klasy

podstawowego• Skontaktować się z działem obsługi
klientaniedostosowane do
EEPROM
EEPROM
niedostosowana do• Skontaktować się z działem obsługi
klientaklasy urządzenia
W130Odłączony przewód sondy

Przewód sondy

zasysającej

zasysającej

zasysającej z urządzeniem (odłączyć

nierozpoznany przez

i ponownie podłączyć)urządzenie• Skontrolować połączenie przewodu sondy• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Przewód sondy
zasysającej
uszkodzony• Użyć innego przewodu sondy
zasysającej, o ile to możliwe
• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

W132

Niedozwolony typ (XL)

Przewód sondy

przewodu sondy zasysającej zasysającej typu (XL)• Wymienić przewód sondy zasysającej na
typ kompatybilny z urządzeniem

nie może być
stosowany z tym
urządzeniem

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

107 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

Postaw

Notyfikacjaa
W151

INFICONMożliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Brak komunikacji z obsługą

Przeprowadzono• Zatwierdzić komunikat ostrzegawczyurządzenia

aktualizację

• Skontrolować, czy po ponownym

oprogramowania lubwłączeniu urządzenia komunikat nadal się

zresetowano

pokazuje

ustawienia
Problemy• Skontaktować się z działem obsługi

z wewnętrznym

klientapołączeniem między
urządzeniem
podstawowym
a obsługą urządzenia
W152

Brak komunikacji z panelem

Problemy

obsługiz wewnętrznym• Skontaktować się z działem obsługi
klientapołączeniem między
urządzeniem
podstawowym
a panelem obsługi
W153

OprogramowanieDostępna jest nowsza

obsługujące urządzenie jest

wersja• Prosimy o kontakt z działem obsługi
klienta w celu otrzymania aktualnej wersji

przestarzałe

oprogramowania

oprogramowania obsługującego

obsługującego

urządzenieurządzenie. W celu
zapewnienia
bezawaryjnegoużytkowania zaleca się
aktualizację
oprogramowania
obsługującego
urządzenie.
E167

Rozruch zablokowany,

Klucz sprzętowy nie

funkcja "Blokada" jest

jest podłączony do

aktywna

portu AKCESORIA
Klucz sprzętowy w
porcie AKCESORIA• Podłączyć klucz sprzętowy do portu
AKCESORIA• Użyć innego klucza sprzętowego, jeśli jest
taka możliwość

jest uszkodzony
Funkcja "Blokada"• Wyłączyć funkcję 'Blokada'została aktywowana w
sposób niezamierzony
W171

CU1000 nie jest

CU1000 nie może być

obsługiwany

stosowana z tym• Odłączyć CU1000 od urządzeniaurządzeniem

108 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Postaw

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

NotyfikacjaaW201Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędówNapięcie U24V_MSB zbyt

Usterka zasilacza 24 V

niskie• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Zwarcie lub
przeciążenie zasilania• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

24 V
W202Napięcie U24V_MSB zbyt

Usterka zasilacza 24 V

wysokie
W203Napięcie zaworu 24 V poza

• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Usterka zaworu

zakresem• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Zwarcie lub
przeciążenie zasilania• Skontaktować się z działem obsługi
klientazaworu 24 V
W206Napięcie zasilające 24 V

Usterka obsługi

obsługi urządzenia pozaurządzenia

zakresem

Zwarcie lub
przeciążenie zasilania• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

24 V obsługiurządzenia
W207

W208

Wewnętrzne napięcie

Zwarcie lub

zasilające 12 V pozaprzeciążenie zasilania

zakresem

12 VNapięcie zasilające 24 V

Usterka wentylatora

wentylatora poza zakresem• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Zwarcie lub
przeciążenie zasilania• Skontaktować się z działem obsługi
klientawentylatora 24 V
W209Napięcie zasilające 24 V

Zwarcie lub

DIV1 poza zakresem

przeciążenie zasilania• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

24 V DIV1
W210Napięcie zasilające 24 V

Zwarcie lub

DIV2 poza zakresem

przeciążenie zasilania• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

24 V DIV2
W211Wewnętrzne napięcie

Zwarcie lub

zasilające 5 V pozaprzeciążenie zasilania

zakresemwewnętrznego 5 V

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

109 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

Postaw

Notyfikacjaa
W212

INFICONMożliwe źródła

Usuwanie usterekbłędówNapięcie zasilające 5 V

Przewód sondy• Użyć innego przewodu sondy

przewodu sondy zasysającej zasysającej
poza zakresem

zasysającej, o ile to możliwe

uszkodzony• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Zwarcie lub• Skontaktować się z działem obsługi

przeciążenie zasilania

klienta

5 V w przewodzie
sondy zasysającej
W221

Napięcie wewnętrzne

Zdalny pilot

24V_RC poza zakresem

uszkodzony• Użyć innego pilota, o ile to możliwe

Kabel podłączony do• Użyć innego kabla, o ile to możliwe

przyłącza REMOTE
CONTROL jest
uszkodzony
Wyposażenie

• Użyć innego elementu wyposażenia, o ile

dodatkowe podłączone

to możliwe

do przyłączaACCESSORIES jest
uszkodzone
Kabel podłączony do• Użyć innego kabla, o ile to możliwe

przyłączaACCESSORIES jest
uszkodzony
Zwarcie lub• Skontaktować się z działem obsługi

przeciążenie zasilania

klienta

24V_RCW222

Napięcie wewnętrzne

Moduł podłączony do

24V_IO poza zakresem

przyłącza LD jest

• Użyć innego modułu, o ile to możliwe

uszkodzonyKabel podłączony do• Użyć innego kabla, o ile to możliwe

przyłącza LD jest
uszkodzony
Zwarcie lub• Skontaktować się z działem obsługi

przeciążenie zasilania

klienta

24V_IO
W223

Napięcie wewnętrzne

Zwarcie lub• Skontaktować się z działem obsługi

24V_TMP1 poza zakresem

przeciążenie zasilania

klienta

24V_TMP1

110 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Postaw

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

NotyfikacjaaW224Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędówNapięcie wewnętrzne

Zwarcie lub

24V_PRESSURE (Pirani)

przeciążenie zasilania

poza zakresem

24V_PRESSURE• Skontaktować się z działem obsługi
klienta(Pirani)W240Napięcie +15 V pozaZwarcie wzmacniacza

zakresemwstępnego
Płyta VI lub MSB
uszkodzone

W241Napięcie -15 V pozaZwarcie wzmacniacza

zakresemwstępnego
Płyta VI lub MSB
uszkodzone

E242

Zwarcie napięcia +15 V lub

Zwarcie wzmacniacza-15 Vwstępnego
Płyta VI lub MSB
uszkodzone

W250Napięcie REF5V pozaZwarcie wzmacniacza

zakresemwstępnego
Płyta VI lub MSB
uszkodzone

E252

Zwarcie napięcia REF5V

Zwarcie wzmacniaczawstępnego
Płyta VI lub MSB
uszkodzone

W254Prąd zaworu jest poza

Niepodłączony lub

zakresemuszkodzony jeden lub• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientawięcej zaworów
upustowych
Płyta VI lub MSB
uszkodzone
W255Prąd wentylatora poza

Wentylator nie jest

zakresempodłączony
Wentylator
zablokowany lub• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

111 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

Postaw

Notyfikacjaa
W300

INFICONMożliwe źródła

Usuwanie usterekbłędówNapięcie anody zbyt niskie

Zwarcie napięcia

• Skontaktować się z działem obsługi

anodowego

klientaPłyta VI lub MSB• Skontaktować się z działem obsługi

uszkodzone
W301Napięcie anody zbyt

klientaUszkodzona MSB

wysokie
W302• Skontaktować się z działem obsługi
klientaNapięcie supresora zbyt

Zwarcie tłumika lub

niskiewzmacniacza• Skontaktować się z działem obsługi
klientawstępnego
Płyta VI lub MSB• Skontaktować się z działem obsługi

uszkodzone
W303Napięcie supresora zbyt

klientaUszkodzona MSB

wysokie
W304

klientaNapięcie anoda-katoda zbyt

Zwarcie anoda –niskiekatoda• Skontaktować się z działem obsługi
klientaPłyta VI lub MSB• Skontaktować się z działem obsługi

uszkodzone
W305Napięcie anoda-katoda zbyt

klientaUszkodzona MSB

wysokie
E306• Skontaktować się z działem obsługi• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Wartość napięcia

Wartość zadana• Przeprowadzić kalibrację

anodowego niepoprawna

napięcia anodowego• Skontaktować się z działem obsługi

poza dopuszczalnym

klientazakresemUszkodzona MSB• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

W310

Katoda 1 uszkodzona

Katoda uszkodzona• Skontrolować, czy druga katoda jestpodłączona• Skontaktować się z działem obsługi
klientaPołączenie z katodą
przerwane
Płyta VI lub MSB
uszkodzone

112 / 164

• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Postaw

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

NotyfikacjaaW311Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Katoda 2 uszkodzona

Katoda uszkodzona• Skontrolować, czy druga katoda jestpodłączona• Skontaktować się z działem obsługi
klientaPołączenie z katodą
przerwane
Płyta VI lub MSB
uszkodzone
E312

Katody uszkodzone

Obie katody
uszkodzonePołączenie z katodą
przerwane
Płyta VI lub MSB
uszkodzone

E340Błąd emisji

Zbyt wysokie ciśnienie– zużyta katoda

W342

Katody niepodłączone

Obie katody
uszkodzone podczas• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

autotestu
Wtyczka źródło jonówodłączona
W350

Tłumik niepodłączonyKabel tłumikaodłączony lub• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony
E352

Wzmacniacz wstępny

Wzmacniacz wstępny

niepodłączony

uszkodzony lub• Skontaktować się z działem obsługi
klientaodłączony kabel
W358

Przełączyć zakres

Wzmacniacz wstępny

wzmacniacza wstępnego

uszkodzony
Nietypowy sygnałwartości nieszczelności

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

113 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

Postaw

Notyfikacjaa
W359

INFICONMożliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Wzmacniacz wstępny

Spektrometr masowy

przesterowany

skażony• Skontrolować szczelność połączeniapomiędzy wykrywaczem nieszczelności
i obiektem próbnym• Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu
z urządzeniem• W trybie pracy 'Próżnia' użyć funkcji'Regeneracja'Źródło jonów lub• Skontaktować się z działem obsługi

wzmacniacz wstępny

klientauszkodzone
W360

Wartość sygnałuŹródło jonów zbyt słabe • Skontaktować się z działem obsługiwyjściowego wzmacniaczawstępnego zbyt niska

klienta
Spektrometr masowy
zanieczyszczony

W361• Skontaktować się z działem obsługi
klientaNapięcie offsetu

Wzmacniacz wstępny

wzmacniacza wstępnego

uszkodzony• Skontaktować się z działem obsługi
klientazbyt wysokie
W362Błąd zakresu wzmacniacza

Wzmacniacz wstępny

wstępnegouszkodzony• Skontaktować się z działem obsługi
klientaUszkodzona MSB• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

W374

Podłoże w trybie gotowości

Spektrometr masowy

poza zasięgiem

skażony• Skontrolować szczelność połączeniapomiędzy wykrywaczem nieszczelności
i obiektem próbnym• Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu
z urządzeniem• W trybie pracy 'Próżnia' użyć funkcji'Regeneracja'Źródło jonów lub• Skontaktować się z działem obsługi

wzmacniacz wstępny

klientauszkodzone
W390

Opór wzmacniacza 500 GΩ

Wzmacniacz wstępny

poza zakresem

uszkodzony• Skontaktować się z działem obsługi
klientaUszkodzona MSB• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

E400Błąd TMP

Aktywny komunikatbłędu TMP

114 / 164

• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Postaw

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

Notyfikacja

a
W401

E402

Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Komunikat ostrzegawczy

Aktywny komunikat

TMP

ostrzegawczy TMP

Brak komunikacjiKabel TMP uszkodzony • Skontaktować się z działem obsługi

z przetwornikiem

lub odłączony

turbopompy

Przetwornik TMP
uszkodzony
Uszkodzona MSB• Skontaktować się z działem obsługi
klientaklienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

E404

W405

Zbyt wysoki pobór prądu

Ciśnienie w TMP zbyt

TMP

wysokie

Brak rozruchu TMPCiśnienie wlotowepodczas uruchamiania
zbyt wysokie• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontrolować, czy pompa próżni wstępnej
działa podczas rozruchu• Skontrolować, czy ciśnienie spada
podczas rozruchu• Skontaktować się z działem obsługi
klientaUszkodzenie łożyska
TMP
W406

Niedopuszczalny podtyp

Podtyp TMP nie został

TMP

wykryty lub został• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientawykryty nieprawidłowo
E410

Zbyt wysoka temperatura

Temperatura otoczenia • Wyłączyć urządzenie i pozostawić do

TMPzbyt wysoka

ochłodzenia• Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu
z urządzeniem

Filtr powietrzazabrudzony
Wentylator
zablokowany lub• Wyczyścić szczelinę wentylacyjną lub
wymienić płytkę filtracyjną
• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony
W411

Wysoka temperatura TMP

Temperatura otoczenia • Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu
zbyt wysoka
Filtr powietrzazabrudzony
Wentylator
zablokowany lub

z urządzeniem• Wyczyścić szczelinę wentylacyjną lub
wymienić płytkę filtracyjną
• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

115 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

Postaw

Notyfikacjaa
W421

INFICONMożliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Zbyt niskie napięcie TMP

Zasilanie TMP• Skontaktować się z działem obsługi

niewystarczające
E422

Brak rozruchu TMP

klientaCiśnienie wlotowepodczas uruchamiania
zbyt wysokie• Skontrolować, czy pompa próżni wstępnej
działa podczas rozruchu• Skontrolować, czy ciśnienie spada
podczas rozruchu• Skontaktować się z działem obsługi
klientaUszkodzenie łożyska
TMP
E423

Wzrost ciśnienia TMP• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Zapowietrzenie TMP• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

W449

Wymagany łagodny rozruch

TMP2 nie był• Poczekać do zakończenia łagodnego

TMP2aktywowany przezrozruchu. Wymaga to ciągłej pracy

długi czas lub nieurządzenia TMP2 przez kilka minut. W

działał przez długi czas

tym czasie można kontynuować pomiar
ze zmniejszoną wydajnością zasysania
helu, ponieważ prędkość TMP2 jestzwiększana powoli. Łagodny rozruchkończy się, gdy po raz pierwszy po tym
komunikacie stan TMP2 zmieni się na"Normalny" (patrz ekran informacyjny
TMP2).

E450

Zbyt wysoka temperatura

Temperatura otoczenia • Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu

przetwornika TMP2

zbyt wysoka

z urządzeniem

Wentylator• Skontaktować się z działem obsługi

zablokowany lub

klientauszkodzony
Uszkodzony konwerter
TMP2

116 / 164

• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Postaw

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

NotyfikacjaaE451Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Ostrzeżenie wstępne oTemperatura otoczenia • Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu

temperaturze pompy próżni

zbyt wysokawstępnej

Temperatura otoczenia • Podwyższyć temperaturę

z urządzeniem

zbyt niska

w pomieszczeniu z urządzeniem

Wentylator• Skontaktować się z działem obsługi

zablokowany lub

klientauszkodzony
Czujnik temperatury
pompy próżni wstępnej

• Skontaktować się z działem obsługi
klientajest uszkodzony
W452

Brak połączenia z pompą

Kabel sterujący pompypróżni wstępnej

próżni wstępnej

• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony lubodłączony
Brak zasilania pompypróżni wstępnej
Przetwornik pompypróżni wstępnej

• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony
Płyta VI lub MSB
uszkodzone
E453Błąd pompy próżni wstępnej

Aktywny komunikatbłędu pompy próżni

• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientawstępnej
E454Błąd pompy próżni

Zbyt niskie napięcie

wstępnej: zbyt niskie

sieciowe na wejściu

napięcie

pompy próżni wstępnej
w detektorze• Upewnić się, że użyto dołączonego kabla
zasilającego
• Zlecić elektrykowi kontrolę instalacji
zasilającej.

nieszczelności
Przetwornik pompypróżni wstępnej

• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony
W455Prędkość obrotowa pompy

Brak rozruchu pompypróżni wstępnej zbyt niskapróżni wstępnej

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

117 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

Postaw

Notyfikacjaa
W456

INFICONMożliwe źródła

Usuwanie usterekbłędówUżytkowanie pompy próżni

Wtyczka P1

wstępnej jest zablokowane

przemiennika• Skontaktować się z działem obsługi
klientaczęstotliwości pompypróżni wstępnej jest
uszkodzona lub niewłożona
E457Błąd pompy próżni

Nieprawidłowe napięcie • Upewnić się, że użyto dołączonego kablawstępnej: przerwanie

sieciowe na wejściu

dopływu prądu

pompy próżni wstępnej
w detektorze

zasilającego
• Skontrolować wzrokowo kabel zasilający
pod kątem uszkodzeń

nieszczelności

• Zlecić elektrykowi kontrolę instalacji
zasilającej.

W458

Pompa próżni wstępnej nie

Temperatura otoczenia • Podwyższyć temperaturę

uruchomi się, ponieważ jest

zbyt niska

w pomieszczeniu z urządzeniem

za zimna. Wyraźne

• W przypadku przeniesienia detektora

ostrzeżenie na własne

nieszczelności z zimnego miejsca na

ryzyko, aby uruchomićzewnątrz, należy odczekać co najmniejpompę.

jedną godzinę przed jego włączeniem
Czujnik temperatury
pompy próżni wstępnej

• Skontaktować się z działem obsługi
klientajest uszkodzony
Przetwornik pompypróżni wstępnej

• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony
W459

Zbyt długi czas

Przyłącze spalin• Zadbać o prawidłowe podłączenie wężauruchamiania pompy próżni

zamknięte

wstępnej

Pompa próżni wstępnej • Skontaktować się z działem obsługi

spalinuszkodzona
W460

Brak komunikacjiKabel TMP2z przetwornikiem TMP2

uszkodzony lub

klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientaodłączony
Uszkodzony konwerter
TMP2• Skontaktować się z działem obsługi
klientaUszkodzona MSB• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

E461

Nieprzetworzony komunikat

Uszkodzony konwerterbłędu TMP2

TMP2

• Skontaktować się z działem obsługi
klientaUszkodzenie TMP2

• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

118 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Postaw

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

NotyfikacjaaE462Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Zbyt wysoka temperatura

Temperatura otoczenia • Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu

pompy TMP2

zbyt wysoka
Wentylator
zablokowany lub

z urządzeniem• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony
Uszkodzenie TMP2

• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

E463Błąd temperatury pompy

Temperatura otoczenia • Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu

próżni wstępnej

zbyt wysoka
Wentylator
zablokowany lub

z urządzeniem• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony
Temperatura otoczenia • Podwyższyć temperaturę
zbyt niska
Czujnik temperatury
pompy próżni wstępnej

w pomieszczeniu z urządzeniem• Skontaktować się z działem obsługi
klientajest uszkodzony
E464

Zbyt wysoki pobór prądu

Przyłącze spalinprzez pompę próżni

zamknięte

wstępnej

Praca pod dużym
obciążeniem

E465

Nieprawidłowy kierunek

Przepływ gazu do

przepływu w pompie próżni

urządzeniawstępnej

spowodowany• Zadbać o prawidłowe podłączenie wężaspalin• Skontaktować się z działem obsługi
klienta• Usunąć nadciśnienie na przyłączu spalinnadciśnieniem naprzyłączu spalin
E466Błąd rozruchu pompy próżni

Przyłącze spalinwstępnej / zbyt niska

zamknięte

prędkość obrotowa

Pompa próżni wstępnej • Skontaktować się z działem obsługi
uszkodzona

E467

Zabezpieczenie przed

Przyłącze spalinprzeciążeniem pompy próżni zamknięte
wstępnej

spalinklienta• Zadbać o prawidłowe podłączenie wężaspalinPompa próżni wstępnej • Skontaktować się z działem obsługi
uszkodzona

W468• Zadbać o prawidłowe podłączenie wężaNieprzetworzony komunikat

Aktywny komunikat

ostrzegawczy pompy próżni

błędu pompy próżni

wstępnejwstępnej

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

119 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

Postaw

Notyfikacjaa
E500

INFICONMożliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Czujnik ciśnienia p1

Czujnik ciśnienia

niepodłączonyodłączony lub• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony kabel
Płyta VI lub MSB• Skontaktować się z działem obsługi

uszkodzone
E502

Czujnik ciśnienia p2

Czujnik ciśnienia

niepodłączonyodłączony lub

klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony kabel
Płyta VI lub MSB• Skontaktować się z działem obsługi

uszkodzone
E504

Czujnik ciśnienia p3

Czujnik ciśnienia

niepodłączonyodłączony lub

klienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony kabel
Płyta VI lub MSB• Skontaktować się z działem obsługi

uszkodzone
E505

klientaCzujnik ciśnienia p4

Czujnik ciśnienia p4 nie • Skontaktować się z działem obsługi

niepodłączony

podpięty do płyty VI
Płyta VI lub MSB• Skontaktować się z działem obsługi

uszkodzone
W509

Brak komunikacji z

Czujnik ciśnienia

czujnikiem ciśnienia p5odłączony lub

klientaklienta• Skontaktować się z działem obsługi
klientauszkodzony kabel
Płyta VI lub MSB• Skontaktować się z działem obsługi

uszkodzone
E520Ciśnienie zbyt wysokie

klientaCiśnienie p2 zbyt

• Skontaktować się z działem obsługi

wysokie przez coklientanajmniej 15 s
E521

Wzrost ciśnienia, spadek

Wzrost ciśnienia• Skontaktować się z działem obsługinapięcie anodowego

w czujniku ciśnienia p2

klienta

i spadek napięcie
anodowe
W522

Wzrost ciśnienia, spadek

Wzrost ciśnienianapięcia prądu emisji

w czujniku ciśnienia p2• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

i spadek prądu emisji

120 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Postaw

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

NotyfikacjaaW540Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Przepływ przez kapilarę zbyt Filtr zabrudzonyniski! Ryzyko niewykrycia
nieszczelności

• Wymienić filtr sondy przyrządu
kontrolnego nieszczelności

Końcówka sondy
zasysającej lub
kapilara zablokowane• Odblokować sondę przyrządu kontrolnegonieszczelności
• Użyć innego przewodu sondy
zasysającej, o ile to możliwe
• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Granica ciśnienia dla
zablokowanej kapilary• Skontrolować i w razie potrzeby zmienić
granicę ciśnienia

ustawiona zbyt wysoko
W541

Przepływ przez kapilarę

Filtr zabrudzony

zdecydowanie zbyt niski!

• Wymienić filtr sondy przyrządu
kontrolnego nieszczelności

Ryzyko niewykryciaKońcówka sondy

nieszczelności

zasysającej lub
kapilara zablokowane• Odblokować sondę przyrządu kontrolnegonieszczelności
• Użyć innego przewodu sondy
zasysającej, o ile to możliwe
• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Granica ciśnienia dla
zablokowanej kapilary• Skontrolować i w razie potrzeby zmienić
granicę ciśnienia

ustawiona zbyt wysoko
W542

Przepływ przez kapilarę zbyt Kapilara uszkodzona
wysokilub nieszczelna• Użyć innego przewodu sondy
zasysającej, o ile to możliwe
• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

Granica ciśnienia dla
uszkodzonej kapilary• Skontrolować i w razie potrzeby zmienić
granicę ciśnienia

ustawiona zbyt nisko

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

121 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

Postaw

Notyfikacjaa
W559

INFICONMożliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Wartość nieszczelności zbytDuża nieszczelność

• Skontrolować szczelność połączenia

wysoka! Przełączono na tryb w sprawdzanym

pomiędzy wykrywaczem nieszczelności

stand-by w celu

obiekcie lubi obiektem próbnym

zabezpieczenia przed

nieszczelne połączenieskażeniem!

z obiektem próbnym
Limit ochronny dla• Skontrolować i w razie potrzeby zmienićdużej nieszczelności

limit ochronny dla dużych nieszczelności

ustawiony zbyt nisko
Ustawiono zbyt krótki
czas opóźnienia• Skontrolować i w razie potrzeby zmienić
czas opóźnienia sygnału dźwiękowego

sygnału dźwiękowego
W580

Maksymalny czasDuża nieszczelność

• Skontrolować szczelność połączenia

wytworzenia próżni do

w sprawdzanym

pomiędzy wykrywaczem nieszczelności

100 mbar przekroczonyobiekcie lubi obiektem próbnym

nieszczelne połączenie • Użyć innego obiektu testowego, o ile toz obiektem próbnym
możliwe
Zbyt niska wartość

• Skontrolować i w razie konieczności

nastawcza maks.

zmienić maks. czas wytworzenia próżni

czasu wytworzenia

dla dużej nieszczelności

próżni dla dużych
nieszczelności
W581

Maksymalny czasDuża nieszczelność

• Skontrolować szczelność połączenia

wytworzenie próżni do trybu

w sprawdzanym

pomiędzy wykrywaczem nieszczelności

pomiarowego przekroczonyobiekcie lubi obiektem próbnym

nieszczelne połączenie • Użyć innego obiektu testowego, o ile toz obiektem próbnym
możliwe
Zbyt niska wartość

• Skontrolować i w razie potrzeby zmienić

nastawcza czasu

czas wytworzenia próżni do pomiaru

wytworzenia próżni dopomiaru
W618

Wartość nieszczelności

Nie ustalono jeszcze

I•BOOST spadła szybciej niż 'Stałej czasowej
oczekiwano (komunikat 5 s)

• Ponownie przeprowadzić procedurę
wyznaczania 'Stałej czasowej I•BOOST'I•BOOST' dlapodłączonego układupróżniowego lub po
ustaleniu 'Stałej
czasowej I•BOOST'
zmieniono coś wpodłączonym układziepróżniowym

122 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Postaw

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

NotyfikacjaaW619Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Wartość nieszczelności

Nie ustalono jeszcze

I•BOOST spadła szybciej niż 'Stałej czasowej
oczekiwano (komunikat 30

I•BOOST' dlas)podłączonego układu• Ponownie przeprowadzić procedurę
wyznaczania 'Stałej czasowej I•BOOST'próżniowego lub po
ustaleniu 'Stałej
czasowej I•BOOST'
zmieniono coś wpodłączonym układziepróżniowym
W625

Nie ustawiono jeszcze

Parametr EEPROM

wartości nieszczelności

został zresetowany• Wprowadzić prawidłową wartość
wewnętrznej nieszczelności próbnej

wewnętrznej nieszczelności
próbnej
W630

Wezwanie do kalibracji

Tryb pracy lub wymiary • Przeprowadzić kalibrację
uległy zmianie
HYDRO • S został• Przeprowadzić kalibrację

włączony (jeśli funkcja
jest dostępna)Automatyczny test

• Przeprowadzić kalibrację

nieszczelności
włączony, czas testu
uległ zmianiePodłączono nową linię

• Przeprowadzić kalibrację

sniffera SL3000 (jeśli
funkcja jest dostępna)Po ostatniej kalibracji• Przeprowadzić kalibrację

możliwy ponad 30-min
czas pracy i zmiana
temperatury o 5 K
Czas pracy przekroczył • Przeprowadzić kalibrację
30 min. Przy braku
kalibracji w ciągu 24
godzinW640

Automatyczny test

Wartość progowa 1 dla

nieszczelności: Szereg

stopnia nieszczelności

wartość progową 1 wartości

testów zakończony

niedostosowana do

nieszczelności

niepowodzeniem

obiektu próbnego
Komora testowa
nieszczelna

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)• Skontrolować i w razie potrzeby zmienić• Użyć innej komory testowej, o ile tomożliwe123 / 164

7 | Komunikaty ostrzegawcze i błędów

Postaw

Notyfikacjaa
W670

INFICONMożliwe źródła

Usuwanie usterekbłędówBłąd kalibracji (spadek

Przerwanie emisjinapięcia prądu emisji)podczas kalibracji• Skontrolować, czy po kalibracji komunikat
nadal się pojawia• Skontaktować się z działem obsługi
klienta

W700

Temperatura wzmacniacza

Temperatura otoczenia • Podwyższyć temperaturę

wstępnego zbyt niska

zbyt niska

w pomieszczeniu z urządzeniem

Czujnik temperatury
uszkodzony
W702• Skontaktować się z działem obsługi
klientaTemperatura wzmacniacza

Temperatura otoczenia • Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu

wstępnego zbyt wysoka

zbyt wysoka

z urządzeniem

Filtr powietrza• Wyczyścić szczelinę wentylacyjną lub

zabrudzony

wymienić płytkę filtracyjną

Wentylator• Skontaktować się z działem obsługi

zablokowany lub

klientauszkodzony
E709

Temperatura MSB jest zbyt

Temperatura otoczenia • Podwyższyć temperaturę

niska

zbyt niska

w pomieszczeniu z urządzeniem

Czujnik temperatury
uszkodzony
W710• Skontaktować się z działem obsługi
klientaTemperatura MSB zbyt

Temperatura otoczenia • Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu

wysokazbyt wysoka

z urządzeniem

Filtr powietrza• Wyczyścić szczelinę wentylacyjną lub

zabrudzony

wymienić płytkę filtracyjną

Wentylator• Skontaktować się z działem obsługi

zablokowany lub

klientauszkodzony
E711

Przekroczona temp.

Temperatura otoczenia • Obniżyć temperaturę w pomieszczeniu

maksymalna MSB

zbyt wysoka

z urządzeniem

Filtr powietrza• Wyczyścić szczelinę wentylacyjną lub

zabrudzony

wymienić płytkę filtracyjną

Wentylator• Skontaktować się z działem obsługi

zablokowany lub

klientauszkodzony
W901

Konserwacja: Łożysko TMP/ Termin konserwacjismarłożyska TMP/wymiany• Skontaktować się z działem obsługi
klientasmaru przekroczony

124 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Postaw

Komunikaty ostrzegawcze i błędów | 7

NotyfikacjaaW903Możliwe źródła

Usuwanie usterekbłędów
Konserwacja: Upłynął termin Termin konserwacjinieszczelności próbnej

nieszczelności próbnej

• Skontaktować się z działem obsługi
klientaprzekroczony
W904

Konserwacja: Filtr sondy

Termin konserwacji

przyrządu kontrolnego

filtra sondy przyrządu

nieszczelności

kontrolnego• Skontaktować się z działem obsługi
klientanieszczelności
przekroczony
W910

Konserwacja: Pompa próżni

Termin konserwacjiwstępnej

pompy próżni wstępnej

• Skontaktować się z działem obsługi
klientaprzekroczony
W920

Konserwacja: Filtr

Termin konserwacji

wydechowy

filtra wylotowego• Skontaktować się z działem obsługi
klientaprzekroczony
W925

Konserwacja: Filtr powietrza

Termin konserwacji
filtra powietrza• Skontaktować się z działem obsługi
klientaprzekroczony

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

125 / 164

8 | Czyszczenie i konserwacja

INFICON

8 Czyszczenie i konserwacja
Wszelkie opisane w tym miejscu prace czyszczące i konserwacyjne są dozwolonewyłącznie bez otwierania ścian bocznych!

NIEBEZPIECZEŃSTWO
Zagrożenie życia przez porażenie prądem
Wewnątrz urządzenia występują wysokie napięcia. Przy dotknięciu części
znajdujących się pod napięciem elektrycznym występuje zagrożenie życia.
► Przed wszelkimi pracami instalacyjnymi i konserwacyjnymi urządzenie odłączyć odzasilania elektrycznego. Upewnić się, że zasilanie prądowe nie zostanie
przypadkowo włączone ponownie.
► Nie otwierać urządzenia!

8.1 Czyszczenie obudowy
Przetrzeć obudowę miękką wilgotną szmatką.
Zwilżać ją wyłącznie wodą. Nie stosować środków czyszczących zawierających
alkohol, tłuszcz lub olej.

8.2 Wymiana maty filtracyjnej w schowku nanarzędzia
Mata filtracyjna w schowku nanarzędzia
Niezbędne narzędzia

Brak

W zależności od miejsca zastosowania mata filtracyjna w schowku na narzędzia możeulegać zanieczyszczeniu. Matę filtracyjną należy kontrolować w regularnychodstępach czasu i wymieniać ją, jeśli jest znacznie zanieczyszczona.
ü Użytkownik posiada nową matę filtracyjną.
1Należy odłączyć urządzenie od zasilania elektrycznego, wyciągając wtyczkę
sieciową.

2

Otworzyć schowek na narzędzia załączonym narzędziem.

3Wyciągnąć kratkę z tworzywa sztucznego. Mocowana jest wyłącznie
zatrzaskami.

126 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Czyszczenie i konserwacja | 84Wyjąć zużyty filtr powietrza z kratki z tworzywa sztucznego i założyć nowy.

5

Ponownie założyć kratkę z tworzywa sztucznego z nowym filtrem powietrza.

8.3 Wymiana maty filtracyjnej u dołu urządzenia
Mata filtracyjna na dolnej stronieurządzenia
Niezbędne narzędzia

Śrubokręt

Matę filtracyjną należy kontrolować w regularnych odstępach czasu i wymieniać ją,jeśli jest znacznie zanieczyszczona.
ü Użytkownik posiada nową matę filtracyjną.
1Należy odłączyć urządzenie od zasilania elektrycznego, wyciągając wtyczkę
sieciową.

2Odkręcić śrubę radełkowaną z przedniej strony urządzenia u dołu, aby uzyskaćdostęp do maty filtracyjnej.

3Wyjąć blachę wraz z matą filtracyjną. Przechylić blachę, aby móc ją łatwiejwyciągnąć.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

127 / 164

8 | Czyszczenie i konserwacja

INFICON

4Odkręcić śruby mocujące matę filtracyjną do blachy.

5

Wymienić matę filtracyjną.

6

Przykręcić nową matę filtracyjną, ponownie założyć blachę i przykręcić śrubę
radełkowaną.

8.4 Wymiana filtra przewodu sondy zasysającej
SL200
Montaż główki sondy
zasysającej detektora
nieszczelności

Rys. 15: Główka sondy zasysającej

128 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Czyszczenie i konserwacja | 8

1 Filtr kapilary (tworzywo sztuczne,

4 Wkręty krzyżowe

standard)
2 Podkładki filcowe

5 Filtr spiekany

3 Filtr kapilary (metal z uszczelką;6 Uszczelka

opcja)

Zatkanie główki sondy zasysającej może mieć następujące przyczyny:
Zatkany filtr kapilarny -> wymienić podkładki filcowe lub filtr kapilary
Zatkany filtr spiekany -> sprawdzić lub wymienić filtr spiekany
Zatkana kapilara w główce -> wymienić główkę sondy zasysającej
Główka sondy zasysającej uszkodzona -> wymienić główkę sondy zasysającej
Przewód sondy zasysającej uszkodzona / zatkana -> wymiana SL 200.

Wymiana podkładek• Należy wyłączyć wykrywacz nieszczelności lub odłączyć przewód sondy

filcowych lub filtra
kapilaryzasysającej od urządzenia.
• Przy pomocy pęsety należy usunąć zużyte filtry i zastąpić je nowymi.
lub• Odkręcić filtr kapilary i zastąpić go nowym. W wersji metalowej należy konieczniepamiętać o uszczelce!

Sprawdzanie i

1wymiana filtra
spiekanegoNależy wyłączyć wykrywacz nieszczelności lub odłączyć przewód sondy
zasysającej od urządzenia.

2Wyjąć obie śruby krzyżowe.

3Wyjąć filtr spiekany z uszczelki.

4Należy optycznie sprawdzić filtr pod kątem zabrudzeń.
ð Jeżeli nie ma zabrudzeń lub są one nieznaczne, można dalej używać filtraz uszczelką.

Rys. 16: Lekko zabrudzony filtr spiekowy

ð Przy mocnych zabrudzeniach należy wymienić filtr spiekowy wrazz uszczelką.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

129 / 164

8 | Czyszczenie i konserwacja

INFICON

Rys. 17: Mocno zabrudzony filtr spiekowy

5ðPonownie mocno dokręcić główkę sondy zasysającej.
Przewód sondy zasysającej jest ponownie gotowy do użycia.

Jeżeli wyświetlanie informacji o konieczności konserwacji zostało aktywowane, tomożna na nowo ustawić czas do konserwacji. Patrz również „Włączanie lubwyłączanie wezwania do konserwacji [} 67]” oraz „Ustawianie okresów konserwacji„Filtr sondy przyrządu kontrolnego nieszczelności” lub „Filtr powietrza” [} 66]”.

8.5 Wymiana filtra przewodu sondy zasysającej
SL3000
Wymiana wkładów

Filtr kapilarny z tworzywa sztucznego, metalowy filtr kapilarny oraz końcówka

filtrów kapilarnychstożkowa ochronna przed wodą wyposażone są we wkłady filtrujące.

oraz końcówki

Pod metalowym filtrem kapilarnym oraz końcówką ochronną znajduje się stożkowa

stożkowej ochronnej

uszczelka.

przed wodąW przypadku filtra kapilarnego z tworzywa sztucznego uszczelka ta jest wbudowana.

Tab. 3: Filtr kapilarny

1 Końcówka przewodu sondy

4 Filtr kapilarny z tworzywa

zasysającej
2 Uszczelka stożkowa

sztucznego
5 Końcówka stożkowa ochronna
przed wodą3 Metalowy filtr kapilarny

Filtr kapilarny oraz końcówkę ochronną nakręca się na końcówkę przewodu sondy
zasysającej. Wkłady filtrujące zostają włożone do środka i umiejscowione przed
niewielką metalową kratką, która także zostaje włożona do środka.
W celu wymiany wkładu filtrującego należy wykonać następujące czynności:1
130 / 164Należy wyłączyć detektor nieszczelności.
UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Czyszczenie i konserwacja | 82Odkręcić filtr kapilarny lub końcówkę ochronną. Uważać, aby nie dopuścić dowypadnięcia uszczelki stożkowej.

3

Wypchnąć stare wkładki filtrujące oraz metalową kratkę na zewnątrz.

Rys. 18: Wypychanie wkładów filtrujących z filtra kapilarnego

4

Wyrzucić stare wkłady i oczyścić metalową kratkę.

5Włożyć metalową kratkę i dwa nowe wkłady filtrujące od przodu filtra. Uważać,aby nie doszło do przekrzywienia kratki i wkładów.

6Należy załączyć detektor nieszczelności.

7

Zamknąć palcem główkę sondy zasysającej. W przypadku końcówki stożkowej
ochronnej przed wodą należy także zatkać otwór boczny. Wówczas
wyczuwalne powinno być podciśnienie. W przeciwnym razie wystąpiła
nieszczelność i należy skontrolować połączenie śrubowe. Mogło także dojść dowypadnięcia uszczelki stożkowej.

8Jeżeli wyświetlanie informacji o konieczności konserwacji zostało aktywowane,
to można na nowo ustawić czas do konserwacji. Patrz również „Włączanie lubwyłączanie wezwania do konserwacji [} 67]” oraz „Ustawianie okresów
konserwacji „Filtr sondy przyrządu kontrolnego nieszczelności” lub „Filtr
powietrza” [} 66]”.

Wymiana filtra

Filtr spiekany znajduje się w uchwycie sondy zasysającej. W celu wymiany wkładu

spiekanego

filtrującego należy wykonać następujące czynności:w uchwycie sondy
zasysającej

1Należy wyłączyć detektor nieszczelności.

2Odkręcić dwie śruby krzyżowe mocujące główkę sondy zasysającej.

3Wyjąć filtr spiekany wraz z uszczelką o-ring.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

131 / 164

8 | Czyszczenie i konserwacja

INFICON

Rys. 19: Filtr spiekany w uchwycie sondy zasysającej

4

Skontrolować filtr pod kątem widocznych zabrudzeń.

5Włożyć nowy filtr spiekany z uszczelką o-ring do podstawy końcówki filtra.

6

Ponownie mocno dokręcić główkę sondy zasysającej.

7Należy załączyć detektor nieszczelności.

8

Zamknąć palcem główkę sondy zasysającej. Wyczuwalne powinno być
podciśnienie. W przeciwnym razie wystąpiła nieszczelność i należy
skontrolować główkę sondy zasysającej oraz uchwyt.

9

W razie potrzeby dostosować odstęp czasu pomiędzy konserwacjami. Patrz
również "Ustawianie okresów konserwacji „Filtr sondy przyrządu kontrolnegonieszczelności” lub „Filtr powietrza” [} 66]".

8.6 Zamontować lub wymienić butlę gazową
Podczas korzystania z dostępnego opcjonalnie uchwytu na butle przestrzegaćponiższych wskazówek:132 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Czyszczenie i konserwacja | 8

OSTRZEŻENIE
Niebezpieczeństwo obrażeń ciała wskutek nieprawidłowego
zamocowania butli z gazem na mobilnym detektorze nieszczelności
► Podczas montażu uchwytu butli na detektorze nieszczelności należy postępować
zgodnie z kolejnością czynności opisanych w oddzielnej instrukcji montażu.
► Zamontować podstawę uchwytu na butlę równo z butlą gazową.
► Aby nie zakłócać stabilności detektora nieszczelności, należy transportować tylko
małe i średnie butle (maks. 10 l, maksymalna wielkość butli wraz z kapturkiem
ochronnym 98 cm, 200 barów)► Sprawdzić, czy dostarczone pasy napinające nie mają widocznych uszkodzeń.
► Butlę należy zawsze mocować w uchwycie za pomocą obu pasów mocujących
znajdujących się w zestawie.
► Należy uważać, by podłączony wąż natryskowy nigdy nie był naprężony.
► Należy przestrzegać instrukcji bezpieczeństwa producenta dotyczących
obchodzenia się z butlami gazowymi.

8.7 Tworzenie zrzutów ekranu
Istnieje możliwość zapisania aktualnej treści ekranu urządzenia w formie pliku
obrazowego. Takiego pliku można użyć podczas komunikacji z serwisem.
1

Na urządzeniu USB (sformatowanemu FAT 32) należy stworzyć katalogo nazwie „Screenshots”.

2Żeby zrobić zrzut ekranu, należy połączyć urządzenie USB z jednym z łączy
USB wykrywacza nieszczelności, patrz również tylna strona „Panel obsługi[} 24]”
ð Automatycznie zostaje utworzony zrzut ekranu i zapisany w kataloguurządzenia USB. Data i czas utworzenia również są zapisywane.

3Ażeby utworzyć kolejny zrzut ekranu, należy wyjąć urządzenie USB z wejścia
USB w wykrywaczu nieszczelności i włożyć je powtórnie.
ð Zapisany zrzut podczas tworzenia kolejnego zrzutu nie zostanie nadpisany.

8.8 Zlecić konserwację lub naprawę urządzenia
OSTRZEŻENIE
Niebezpieczeństwo spowodowane przez materiały szkodliwe dla zdrowia
Zanieczyszczone urządzenia mogą być szkodliwe dla zdrowia. Deklaracja
zanieczyszczeń służy ochronie wszystkich osób, które mają kontakt z urządzeniem.
► Należy wypełnić kompletną deklarację zanieczyszczeń.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

133 / 164

8 | Czyszczenie i konserwacja

INFICON

Prace konserwacyjne we wnętrzu urządzenia może wykonywać wyłącznie producent.
Zaleca się zlecenie przeglądu co 4000 godzin lub co rok.
Urządzenie można odesłać do firmy INFICON w celu zlecenia konserwacji lub
naprawy. Pozostałe szczegóły – patrz „Odesłać urządzenie do konserwacji, naprawy
lub utylizacji [} 137]”.

134 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Czyszczenie i konserwacja | 8

8.9 Plan konserwacji
Podzespół

Prace konserwacyjne

Liczba godzin pracy/lat

Stopień Numer części

1500

4000

8000

16000 24000 serwisu zamiennej

1/4

1

2

3

4

System próżniowy
Pompa próżni

Sprawdzić wydajność

X

X

X

X

II

wstępnej

W razie potrzeby

X3

X3

X

X3

III

NeoDrywymienić pompę

200009420R

Urządzenia do Wymiana zbiornika płynu
3/2024

roboczegowłącznie

Wymienić łożyska i(tabliczka

wymienić zbiornik płynu

znamionowa):

roboczego

200009420

X3
X2

II

200003801

III

200003800
200003800R

TMP Pfeiffer
SF80 *)
Urządzenia od Sprawdzić wydajność 4/2024jeśli to konieczne:(tabliczka

Odesłać TMP do

znamionowa):

przeglądu

TMP

zapobiegawczego

SHIMADZU

Wymienić TMP

BT70

Odesłać TMP do

X3

III

X

III

200012580
200012580R

przeglądu
Blok zaworów

Czyszczenie zaworów

X3

X

X

X

III

Wymienić uszczelki

X3

X

X

X

III

X3

X

X3

III

X1

X1

X1

II

200010545

zaworów
Rozmontowanie
i czyszczenie bloku
zaworów
Przewód gazu

Wymienić filtr

X3

przepływoweg

200000683
200001095

o i płuczącego
Układ elektryczny
Podzespoły

Przedmuchać podstawę

wentylatora

wentylatora i TMP
Sprawdzić zestaw filtra

X3

X1

X1

X1

X1

II

X3

X1

X1

X1

X1

I

200007656

powietrza i w razie
potrzeby wymienić
Podzespoły i akcesoria

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

135 / 164

8 | Czyszczenie i konserwacja

PodzespółPrzewód

Prace konserwacyjne

Wymienić filtr

sondy

INFICON

Liczba godzin pracy/lat

Stopień Numer części

1500

4000

8000

16000 24000 serwisu zamiennej

1/4

1

2

3

4

X3 - co 1000 godzin przeprowadzić

I

sniffing

200001116
20003500

zasysającej
SL3000Nieszczelność

Ponownie skalibrować /X2 - wykonać w zależności od daty

próbnawymienićważności

III

14030

Legenda planu*) W przypadku wymiany zawsze stosowana jest pompa turbomolekularnakonserwacji

SHIMADZU BT70.
I Klient lub wyższy poziom
II Klient przeszkolony lub wyższy poziom
III Technik serwisowy INFICON
X Prace konserwacyjne bazujące na godzinach pracy lub na czasie
X1 Konserwacja bazująca na godzinach pracy, nie na czasie
X2 Konserwacja bazująca na czasie, nie na godzinach pracy
X3 Zależy od czynników środowiska, warunków pracy, zanieczyszczenia i procesu
zastosowania

Do pompy próżni wstępnej Kashiyama NeoDry
Podczas pompowania czystych gazów, takich jak suche powietrze i gazy szlachetne,
zalecany harmonogram konserwacji profilaktycznej wynosi 3 lata.
W przypadku pompowania gazów ulegających kondensacji, takich jak para wodna i
rozpuszczalniki zmieszane z gazem, a także gazów agresywnych lub żrących,konieczne może być skrócenie okresu konserwacji do jednego roku.
Zalecenia podano w celu zachowania specyfikacji technicznych pompy określonych
przez producenta przez cały okres użytkowania urządzenia. Brak konserwacji zwykle
nie prowadzi do nagłej awarii pompy. Ze względu na zużycie, wydajność ciśnieniowa
spada wraz z upływem czasu.
Dopóki wydajność ciśnieniowa jest odpowiednia dla zastosowań klienta, okres
wymiany może być modyfikowany według uznania klienta.

Dotyczy urządzeń z I•RISE
W urządzeniach z wbudowaną funkcją I•RISE nie jest wymagana dodatkowa
konserwacja, jeśli urządzenie pracuje w czystych warunkach.

136 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICONWyłączenie z ruchu | 99 Wyłączenie z ruchu
9.1 Utylizacja urządzeniaUżytkownik może zutylizować urządzenie na własną rękę lub odesłać je do
producenta. Urządzenie zawiera materiały, które mogą być ponownie wykorzystane.
Aby uniknąć odpadów i ochronić środowisko, należy skorzystać z tej możliwości.
Podczas utylizacji przestrzegać krajowych przepisów bezpieczeństwa i ochronyśrodowiska.
Urządzenia nie wolno utylizować z odpadami z gospodarstw domowych.

9.2 Odesłać urządzenie do konserwacji, naprawy
lub utylizacji
OSTRZEŻENIE
Niebezpieczeństwo spowodowane przez materiały szkodliwe dla zdrowia
Zanieczyszczone urządzenia mogą być szkodliwe dla zdrowia. Deklaracja
zanieczyszczeń służy ochronie wszystkich osób, które mają kontakt z urządzeniem.
Urządzenia wysłane bez numeru zwrotu i wypełnionej deklaracji zanieczyszczeń
zostaną zwrócone przez producenta do nadawcy.
► Należy wypełnić kompletną deklarację zanieczyszczeń.
1

Przed odesłaniem należy skontaktować się z producentem i przesłać
wypełnioną deklarację zanieczyszczeń.
ð Następnie otrzymuje się numer zwrotu i adres do wysyłki.

2

Do wysyłki zwrotnej stosować oryginalne opakowanie.

3

Przed wysłaniem urządzenia, na zewnątrz opakowania dołączyć egzemplarz
wypełnionej deklaracji zanieczyszczeń.

Deklaracja zanieczyszczeń, patrz na dole.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

137 / 164

9 | Wyłączenie z ruchu

138 / 164

INFICON

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Wyposażenie dodatkowe i złącza | 10

10 Wyposażenie dodatkowe i złącza
10.1 Wyposażenie dodatkowe i części zamienneMożliwe jest zamówienie dodatkowo wymienionych niżej części:Moduł magistrali
BM1000 PROFIBUS

560-315

BM1000 PROFINET IO

560-316

BM1000 DeviceNet

560-317

BM1000 EtherNet/IP

560-318

Moduł I/O
Moduł IO1000

560-310

Kabel danych 0,5 m

560-334

Kabel danych 5 m

560-335

Kabel danych 10 m

560-340

Przewód sondy zasysającej SL200
Przewód sondy zasysającej SL200, długość 3,8 m (do przyłącza

14005

urządzeń UL6000 wymagany jest dodatkowy przedłużacz
kablowy)
Przedłużacz kablowy do podłączania elektrycznego SL200

551-205

Przewód sniffera SL200, długość 3,8 m i przedłużacz kabla do551-210podłączenia elektrycznego (zestaw 14005 i 551-205)
Przewód sondy zasysającej SL3000
Przewód SL3000-3, długość 3 m

525-001

Przewód SL3000-5, długość 5 m

525-002

Przewód SL3000-10, długość 10 m

525-003

Przewód SL3000-15, długość 15 m

525-004

Uchwyt przewodu sondy zasysającej SL3000

551-203

Przewód sondy zasysającej do integracji systemu (zastosowanie

525-015

robota)Sondy przyrządu kontrolnego nieszczelności do SL3000
Sonda przyrządu kontrolnego nieszczelności ST312, 120 mm

12213

długości, sztywna
Sonda przyrządu kontrolnego nieszczelności FT312, 120 mm

12214

długości, elastyczna
Sonda przyrządu kontrolnego nieszczelności ST200, 200 mm

12218

długości, sztywna

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

139 / 164

10 | Wyposażenie dodatkowe i złącza

INFICON

Sonda przyrządu kontrolnego nieszczelności FT250, 250 mm

12266

długości, elastyczna
Sonda przyrządu kontrolnego nieszczelności ST385, 385 mm

12215

długości, sztywna
Sonda przyrządu kontrolnego nieszczelności FT385, 385 mm

12216

długości, elastyczna
Sonda przyrządu kontrolnego nieszczelności FT600, 600 mm

12209

długości, elastyczna
Sonda przyrządu kontrolnego nieszczelności, sztywna, 500 mm,

12272

45° (ST 500)
Pozostałe wyposażenie dodatkowe do SL3000
Filc do filtra standardowego SL3xx, 50St.

200001116

Filtr kapilarny w wersji metalowej(1 szt.)

12217

Filtr standardowy do SL 300, zestaw 5 szt.(filtr kapilarny,

20003501

tworzywo sztuczne)
Filtr wewnętrzny do SL3xx, zestaw 5 szt.(filtr spiekany z o-20003500

ringiem)Końcówka stożkowa ochronna przed wodą (1 szt.)

122 46

Uchwyt SL3000

551-203

Zdalny pilot RC1000
Zdalny pilot RC1000WL, bezprzewodowy

551-015

Zdalny pilot RC1000C, z połączeniem kablowym

551-010

Przedłużacz zdalnego pilota, długość 8 m

14022

Inne
Uchwyt na butlę z helem

551-201

Pistolet rozpylający gaz testowy, z wężem

16555

SMART-Spray z 2 HeliCan pojemnikami na hel 50 ml, baterią,551-050

kablem do ładowania, paskiem na rękę,, BT-Dongle, kabel
adaptera dla BT-Dongle

Przewód sondy zasysającej SL200Dzięki zastosowaniu przewodu sondy zasysającej detektor nieszczelności można
łatwo zmodyfikować do wykrywacza metodą zasysania. Długość przewodu sondy
zasysającej 3,8 m.
Do użytkowania przewodu sondy zasysającej potrzebny jest dodatkowo przedłużacz
kablowy do podłączania elektrycznego.
Informacje na temat montażu haków na przewód energetyczny lub przewód sondy
zasysającej patrz „Podłączanie wyposażenia dodatkowego objętego dostawą [} 46]”.

140 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Wyposażenie dodatkowe i złącza | 10

Przewód sondy zasysającej SL3000
Przewód sondy zasysającej SL3000 montowany jest z tyłu detektora nieszczelności,tak aby nie był konieczny demontaż instalacji próżniowej u góry na kołnierzu
wlotowym detektora nieszczelności podczas przejścia na tryb sondy zasysającej.
Przewód sondy zasysającej dostępny jest w długości 3, 5, 10 lub 15 m.
Informacje na temat montażu haków na przewód energetyczny lub przewód sondy
zasysającej patrz „Podłączanie wyposażenia dodatkowego objętego dostawą [} 46]”.

Uchwyt na butlę z helem
Uchwyt na butlę z helem pozwala transportować zapas helu wraz z pistoletem
rozpylającym razem z detektorem nieszczelności. Tylko małe i średnie butle(maksymalnie 10 l, maksymalna wielkość butli wraz z kapturkiem ochronnym 98 cm,
200 bar) pasują bez wpływu na stabilność urządzenia.
Instrukcja montażu dostarczona jest z uchwytem na butlę jako osobny dokument.

Zdalny pilot RC1000C oraz RC1000WL
Zdalny pilot RC1000C umożliwia obsługę detektora nieszczelności za pośrednictwem
kabla o długości do 28 m.
Dzięki bezprzewodowemu rozwiązaniu zdalnego pilota RC1000WL obsługa detektora
nieszczelności możliwa jest z odległości nawet 100 m.
Zdalny pilot pozwala na sterowanie funkcjami START, STOP/VENT (STOP/
wentylacja), ZERO (tło). Na wyświetlaczu pilotów zmierzona wartość nieszczelności
prezentowana jest w formie wykresu słupkowego, liczbowej lub wykresu (patrzpodręcznik techniczny RC1000).
Wartości pomiarowe rejestrowane są przez okres do 24 godzin w wewnętrznej
pamięci RC1000. Dane w prosty sposób przenoszone są do pamięci USB.
Użytkownik może ustawić wewnętrzną wartość progową dla ostrzeżeń w przypadku
przekroczenia wartości progowej. Ostrzeżenie emitowane jest w postaci wizualnej nawyświetlaczu oraz w formie akustycznej za pośrednictwem wbudowanego głośnika lubpodłączonych słuchawek.
Zdalne piloty posiadają mocne obudowy, co umożliwia ergonomiczną pracę. Magnesy
znajdujące się na spodniej stronie umożliwiają mocowanie do poziomych i pionowych
powierzchni metalowych.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

141 / 164

10 | Wyposażenie dodatkowe i złącza

INFICON

Rys. 20: Bezprzewodowy zdalny pilot RC1000WL

Rys. 21: Mocowanie nadajnika za pomocą taśmy rzepowej w wolnym miejscu

Wyszukiwanie bezprzewodowego zdalnego pilota z detektora
nieszczelności
Jeżeli został podłączony zdalny pilot RC1000WL, można z detektora nieszczelności
aktywować sygnały akustyczne tego zdalnego pilota.
1
2> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > RC1000
W polu „Zapytanie Paging” wybrać ustawienie „Wł.”.
ð Zdalny pilot wysyła sygnały akustyczne.

3

Aby po odnalezieniu zdalnego pilota ponownie wyłączyć emisję sygnału, w polu
„Zapytanie Paging”, należy ustawić „Wył.”.

142 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Wyposażenie dodatkowe i złącza | 10

10.2 Moduł I/O
10.2.1 Tworzenie połączenia między urządzeniem i modułem I/OüUprawnienia Supervisora
1

Moduł I/O INFICON podłączyć za pomocą kabla danych do gniazda LD z tyłuurządzenia, patrz „Przyłącza osprzętu i sygnałów sterujących [} 33]”.

2> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Wybór urządzenia

3

Wybrać „Moduł I/O”.

4

Zapisać.

10.2.2 Konfiguracja wyjść analogowychüUprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Moduł I/O > Konfiguracja wyjść
analogowych

2

Ustawić „Wyjście analogowe 1”.
ð Do wyboru są funkcje „Wył.”, „Ciśnienie p1”, „Ciśnienie p2”, „Mantysa
wartości nieszczelności”, „Wykładnik wartości nieszczelności“, „Wartość
nieszczelności liniowo”, „Wartość nieszczelności logarytmicznie”, „Wartość
nieszczelności, mantysa, hist. ”, „Przez interfejs”.

3

Ustawić „Wyjście analogowe 2”.
ð Do wyboru są funkcje „Wył.”, „Ciśnienie p1”, „Ciśnienie p2”, „Mantysa
wartości nieszczelności”, „Wykładnik wartości nieszczelności“, „Wartość
nieszczelności liniowo”, „Wartość nieszczelności logarytmicznie”, „Wartość
nieszczelności, mantysa, hist. ”, „Przez interfejs”.

4

Ustawić „Skalowanie wyjścia analogowego”.
ð Do wyboru są „0,5 V/dekada”, „1 V/dekada”, „2 V/dekada”, „2,5 V/dekada”,„3 V/dekada”, „5 V/dekada”, „10 V/dekada”.

5

Ustawić „Górny limit, wykładnik”.

6

Zapisać.

Ustawienia „Skalowania wyjścia analogowego” oraz „Wykładnika limitu górnego”
oddziałują na oba wyjścia analogowe w zależności od wybranej funkcji, patrz poniżej
zestawienie tabelaryczne.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

143 / 164

10 | Wyposażenie dodatkowe i złącza

INFICON

Funkcje i przyporządkowanie wyjść analogowych:
Wył.

Wyjścia analogowe sąwyłączone(napięcie wyjściowe = 0V).

Ciśnienie p1 / ciśnienie

1 ... 10 V; 0,5 V/dekada;p2

logarytmicznie
1 V = 1 x 10-3 mbar

Mantysa wartości

1 ... 10V; liniowo; w

Ma sens tylko wtedy, gdy na innym wyjściu

nieszczelności

wybranej jednostce

analogowym jest "wykładnik wartości nieszczelności".

Wykładnik wartości

1 ... 10 V; 0,5 V / dekada;

Ma sens tylko wtedy, gdy na innym wyjściu

nieszczelności

Funkcja schodkowa;

analogowym jest „Mantysa wartości nieszczelności”

1 V = 1 x 10-12; w wybranej

lub „Wartość nieszczelności, mantysa, hist.”.

jednostce
Wartość nieszczelności

0 ... 10 V; liniowa;

Górna granica (= 10 V) ustawiana jest za pomocą

liniowa

w wybranej jednostce

parametru „Górny limit, wykładnik” w pełnych
dekadach. Dolna wartość zawsze wynosi 0 (wartość
nieszczelności), co odpowiada napięciu wyjściowemu
0 V.
Ustawienie to obowiązuje dla obu wyjść
analogowych, jeśli została wybrana odpowiednia
funkcja wyjściowa. Zależnie od wybranej jednostki
wartości nieszczelności istnieje inna granica
bezwzględna.
Wybrany obszar może dodatkowo zostać zawężony
przez granice obowiązujące dla wszystkich
interfejsów.

144 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Wyposażenie dodatkowe i złącza | 10

Log. wartości

0 ... 10 V; logarytmicznie;

Górna granica (= 10 V) oraz skalowanie (V/dekadę)nieszczelności

w wybranej jednostce

ustawiane są za pomocą parametru „Górny limit,
wykładnik” oraz „Skalowanie wyjścia analogowego”.
Przykład:Górna granica ustawiona na 1 x 10-5 mbar l/s (=10 V). Skalowanie ustawione na 5 V/dekadę. Dolna
granica wynosi 1 x 10-7 mbar l/s (= 0 V). Przy użyciu
logarytmicznej funkcji wyjściowej zostają ustawione
zarówno stromość w V/dekadę, jak i górna wartość
graniczna (wartość 10 V). Wynika z tego najmniejsza
wskazywalna wartość. Można wybierać
z następujących wartości stromości: 0,5; 1; 2; 2,5; 3;
5; 10 V/dekadę. Im wyższa jest ustawiona wartość
stromości, tym mniejszy pokazywany obszar. Górna
wartość graniczna jest taka sama dla obu wyjść
analogowych. Zależnie od wybranej jednostki
wartości nieszczelności istnieje inna granica
bezwzględna.

Przez interfejs

Napięcie wyjściowe można ustalić dla badań za pomocą polecenia 221 protokołu
LD.

Wartość nieszczelności,0,7 ... 10 V; liniowa;

Ma sens tylko wtedy, gdy na innym wyjściu

mantysa, hist.

w wybranej jednostce

analogowym jest „wykładnik wartości nieszczelności”.
Nakładanie się mantysy w zakresie od 0,7 do 1,0zapobiega ciągłemu przeskakiwaniu między dwoma
dekadami. 0,7 V odpowiada wartości nieszczelności
0,7 x 10-x. 9,9 V odpowiada wartości nieszczelności
9,9 x 10-x.

10.2.3 Konfiguracja wejść cyfrowychWejścia te służą do eksploatacji urządzenia za pomocą sterowania programowalnego(PLC).
Wejścia cyfrowe PLC-IN 1 do 10 modułu I/O mogą być dowolnie konfigurowane za
pomocą dostępnych funkcji.
– aktywny sygnał: typowo 24 V
– nieaktywny sygnał: typowo 0 V.
Jako sygnał aktywny można wykorzystać wyjście 24-V modułu I/O.
Każdą funkcję można zanegować.
ü

Uprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Moduł I/O > Konfiguracja wejść
cyfrowych

2

Wybrać żądany „Wejście cyfrowe”.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

145 / 164

10 | Wyposażenie dodatkowe i złącza

INFICONð Dostępne są wejścia PLC_IN 1 - 10.
3

Wybrać żądaną funkcję, patrz poniższe zestawienie tabelaryczne.

4

Wybrać żądany tryb.
ð Do wyboru jest tryb „Standard” oraz tryb „Odwrócony”.
Przejście do trybu „Odwrócony”: W poniższym zestawieniu tabelarycznym
w kolumnie „Przejście” kierunek oznaczony strzałką musiałby zostać
odwrócony.

5

Zapisać.

Funkcja

Przejście

Opis

VENT

nieaktywny →Wentylacja wlotu (tylko w stanie czuwania)

aktywny:
CAL

nieaktywny →Rozpocząć kalibrację.

aktywny:

Przejąć wartość dla tła i zakończyć kalibrację.

aktywny →nieaktywny:
No function-Wejście nie ma funkcji. Zalecane ustawienie dla nieużywanychwejść.

Clear

Sniff

nieaktywny →Kasować komunikat ostrzegawczy lub błędu względnie przerwać

aktywny:kalibrację.

nieaktywny →Aktywować tryb wykrywacza nieszczelności.

aktywny:

Aktywować tryb próżniowy.

aktywny →nieaktywny:Purgenieaktywny →Włączyć płukanie (tylko w stanie czuwania)

aktywny:Wyłączyć płukanie (tylko w stanie czuwania)

aktywny →nieaktywny:Startnieaktywny →Przejść do trybu pomiarowego.

aktywny:
Start/Stopnieaktywny →Przejść do trybu pomiarowego.

aktywny:

Przełączyć po stanie czuwania.

aktywny →nieaktywny:
Stopnieaktywny →Przełączyć po stanie czuwania.

aktywny:ZEROnieaktywny →Włączyć ZERO.

aktywny:Wyłączyć ZERO.

aktywny →nieaktywny:

146 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Wyposażenie dodatkowe i złącza | 10

10.2.4 Konfiguracja wyjść cyfrowychWyjścia cyfrowe PLC-OUT 1 do 8 modułu I/O mogą być dowolnie konfigurowane za
pomocą dostępnych funkcji.
üUprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Moduł I/O > Konfiguracja wyjść
cyfrowych

2

Wybrać żądane „wyjście cyfrowe”.
ð Dostępne są wyjścia PLC-OUT 1 - 8.

3

Wybrać żądaną „funkcję”, patrz poniższe zestawienie tabelaryczne.

4

Wybrać żądany „tryb”.
ð Do wyboru jest tryb „Standard” oraz tryb „Odwrócony”.
Przejście do trybu „Odwrócony”: W zestawieniu tabelarycznym opis stanu„otwarty” musiałby zostać zastąpiony opisem stanu „zamknięty”.

5

Zapisać.

Funkcja

Stan:

Opis

Off (open)

otwarte:zawsze otwarte

Ready for operation

zamknięte:Emisja włączona, proces kalibracji
nieaktywny, brak błędu

otwarte:Emisja wyłączona, proces kalibracji aktywny
lub błąd

Emission on

Error

Error or warning

Run-upCalibration request

zamknięte:Emisja włączonaotwarte:Emisja wyłączonazamknięte:Błąd

otwarte:Brak błędu

zamknięte:Błąd lub ostrzeżenie

otwarte:Brak błędu lub ostrzeżenia

zamknięte:Rozruchotwarte:Brak rozruchu

zamknięte:Brak kalibracji zewnętrznej: Konieczna jest
kalibracja
W przypadku kalibracji zewnętrznej lub„sprawdzenia CAL”: Wezwanie do „otwarcia
lub zamknięcia zewnętrznej nieszczelności
wzorcowej”

Calibration active

otwarte:Brak wezwania: Kalibracja nie jest konieczna

zamknięte:Urządzenie jest kalibrowane.

otwarte:Urządzenie nie jest kalibrowane.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

147 / 164

10 | Wyposażenie dodatkowe i złącza

INFICON

Funkcja

Stan:

Opis

Calibration stablezamknięte:Kalibracja za pomocą nieszczelności próbnej
zakończonaotwarte:Sygnał nie jest stabilny lub kalibracja nie jest
aktywna

Cathode 2

Measuring

zamknięte:Aktywna jest katoda 2

otwarte:Aktywna jest katoda 1

zamknięte:Pomiar (ZERO jest możliwe, wszystkiewyjścia wartości progowych przełączają sięzależnie od wartości nieszczelności.)otwarte:Standby lub emisja wyłączone (ZERO jest
niemożliwe, wszystkie wyjścia wartości
progowych sygnalizują „przekroczenie
wartości progowej nieszczelności”.)

Openotwarte:zawsze otwarte

Sniffzamknięte:Tryb pracy „Sonda zasysająca” jest aktywny

otwarte:tryb pracy „Próżnia” jest aktywny

zamknięte:Zmierzona wartość nieszczelności wynosi

Setpoint 1

więcej niż wartość progowa 1
otwarte:Zmierzona wartość nieszczelności wynosi
mniej niż wartość progowa 1

Setpoint 2

zamknięte:Zmierzona wartość nieszczelności wynosiwięcej niż wartość progowa 2

otwarte:Zmierzona wartość nieszczelności wynosi
mniej niż wartość progowa 2

Setpoint 3

zamknięte:Zmierzona wartość nieszczelności wynosiwięcej niż wartość progowa 3

otwarte:Zmierzona wartość nieszczelności wynosi
mniej niż wartość progowa 3

Setpoint 4

zamknięte:Zmierzona wartość nieszczelności wynosiwięcej niż wartość progowa 4

otwarte:Zmierzona wartość nieszczelności wynosi
mniej niż wartość progowa 4

Purge

Vent

zamknięte:Zawór płukania jest otwarty

otwarte:Zawór płukania jest zamknięty

zamknięte:Wewnętrzny zawór wentylacyjny jest otwarty

otwarte:Wewnętrzny zawór wentylacyjny jest
zamknięty

Standby or evacuate

zamknięte:Stan Standby lub wytwarzania próżni jest
aktywny

148 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Wyposażenie dodatkowe i złącza | 10

Funkcja

Stan:

Opis

otwarte:Stan Standby lub wytworzenie próżni
nieaktywny, na przykład podczas pomiaru

Status calibration

zamknięte:Zawór nieszczelności próbnej jest otwarty

leak valve

otwarte:Zawór nieszczelności próbnej jest zamknięty

Warningzamknięte:Ostrzeżenie

otwarte:Brak ostrzeżenia

zamknięte:Funkcja ZERO jest włączonaotwarte:Funkcja ZERO jest wyłączonaZERO active

10.2.5 Tworzenie protokołu modułu I/OSłuży do przełączania między ASCII oraz protokołem LD.
ü

Uprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Moduł I/O > Protokół modułu I/O

2

Dokonać ustawień

3

Zapisać.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

149 / 164

10 | Wyposażenie dodatkowe i złącza

INFICON

10.3 Moduł magistrali
Na nośniku USB dołączonym do urządzenia oraz do modułu magistrali BM1000
znajduje się więcej informacji dotyczących modułu magistrali. Należy do nich także
plik GSD do magistrali PROFIBUS znajdujący się w segregatorze „..
\Manuals\Interface Description”.
Informacje o różnych modułach magistrali INFICON – patrz także „Wyposażenie
dodatkowe i części zamienne [} 139]”.

10.3.1 Tworzenie połączenia między urządzeniem i modułem I/
O
Aby nawiązać połączenie pomiędzy detektorem nieszczelności a modułem magistrali,należy wykonać następujące czynności:1Należy wyłączyć detektor nieszczelności.

2

Moduł magistrali INFICON należy podłączyć za pomocą kabla transmisji
danych do gniazda LD urządzenia, patrz „Przyłącza osprzętu i sygnałów
sterujących [} 33]”.

3
4Należy załączyć detektor nieszczelności.
> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Wybór urządzenia

5

Jako urządzenie wybrać „Moduł magistrali”.

6

Zatwierdzić.

10.3.2 Nadawanie adresu modułowi magistrali
Ustawianie wartości zadanej dla adresu magistrali polowej. PROFIBUS® to adreswęzła. DeviceNet to Mac ID.
Dla Profinet oraz EtherNet/IP to ustawienie nie ma znaczenia.

ð1> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Moduł magistrali2

W polu „Adres modułu magistrali” należy wpisać wymagany adres.

3

Zatwierdzić.

Ustawiona wartość zostanie przyjęta po ponownym uruchomieniu detektora
nieszczelności. W tym celu należy wyłączyć i załączyć napięcie.

10.4 Nawiąż połączenie pomiędzy urządzeniem a
SMART-Sprayü

Uprawnienia Supervisoraü W wykrywaczu nieszczelności zainstalowane jest już oprogramowanie w wersji
V1.42 (urządzenie podstawowe) i V1.64 (działanie urządzenia) lub nowszej.

150 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Wyposażenie dodatkowe i złącza | 10

ü Masz działające urządzenie do natryskiwania helu SMART-Spray zawierające
oddzielny klucz BT-Dongle (nadajnik radiowy) do podłączenia do testeraszczelności.
1Włóż klucz BT-Dongle do interfejsu RS232 z tyłu testera szczelności, patrz“Przyłącza osprzętu i sygnałów sterujących [} 33]“.

2> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Wybór urządzenia

3

Dla portu RS232 wybierz “SMART-Spray“, jeśli nie jest to jeszcze ustawione.

4

Zapisać.

Patrz także osobna instrukcja obsługi rozpylacza helu “SMART-Spray“.

10.5 Sieć
10.5.1 Obsługa detektora nieszczelności poprzez wyszukiwarkę(LAN)
WSKAZÓWKA
System operacyjny może zostać zaatakowany za pośrednictwem złącza
USB lub Ethernetu.
Zastosowany w wykrywaczu nieszczelności system operacyjny Linux nie jest
automatycznie aktualizowany, wobec czego jego zabezpieczenie może posiadać luki.
Wykorzystanie takich luk w systemie zabezpieczeń możliwe jest poprzez złącza
Ethernet lub USB w celu uzyskania nieuprawnionego dostępu do systemu.
► Należy uniemożliwić dostęp do tych złączy osobom postronnym, na przykład przez
blokadę portu USB/portu Ethernet.
► Aby nie narażać bezpieczeństwa sieci firmowej, nigdy nie należy podłączać
wykrywacza nieszczelności bezpośrednio do publicznej sieci internetowej. Dotyczy
to zarówno łączności za pośrednictwem WLAN, jak i przez Ethernet.
► Jeśli konieczny jest dostęp zdalny do interfejsu sieciowego detektora
nieszczelności, zalecamy wykorzystanie szyfrowanego łącza Virtual Private
Network (VPN). Nie możemy zagwarantować bezpieczeństwa połączenia VPN,
które zostało utworzone przez osoby trzecie.

10.5.1.1 Konfiguracja połączenia LAN detektora nieszczelności
ü

Uprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Sieć > Ustawienia LANð Można także nacisnąć

2

na pasku menu.

Wybrać w polu „Sposób” właściwe ustawienie LAN:UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

151 / 164

10 | Wyposażenie dodatkowe i złącza

INFICONð Wył.: Również przy podłączonym kablu sieciowym (gniazdo RJ45) nie można
ustanowić połączenia sieciowego.
ð DHCP: Wykrywacz nieszczelności automatycznie pobiera adres IP z sieci, doktórej został podłączony.
ð Statyczne: Adres IP oraz maska sieci i brama sieciowa muszą zostać
skonfigurowane ręcznie, żeby wykrywacz nieszczelności był dostępny
w sieci. W razie konieczności należy skontaktować się z administratorem
sieci.
3

Zapisać.

10.5.1.2 Ustawianie łączności LAN w PC lub tableciePołączenie LAN – szybkie uruchomienieJeśli opisane tu czynności zostały już raz wykonane w przypadku wielu urządzeń
w razie powtórzenia wystarczy podanie adresu IP.
ü PC jest podłączony do tej samej sieci co wykrywacz nieszczelności.
ü W konfiguracji detektora nieszczelności zostały utworzone ustawienia LAN, patrztakże „Konfiguracja połączenia LAN detektora nieszczelności [} 151]”.
ü Należy zanotować adres IP detektora nieszczelności. Jest on dostępny
w detektorze nieszczelności pod „Diagnostyka > Informacje > Urządzenie > Sieć”.
ü W przeglądarce internetowej aktywowano JavaScript. Zalecamy zastosowanie
aktualnej wersji przeglądarek Chrome™, Firefox® lub Safari®.
► Ażeby z wyszukiwarki PC lub tabletu uzyskać dostęp do detektora nieszczelności,należy wpisać adres IP detektora nieszczelności w sposób następujący:http://<IP-Adresse>ðZostanie wywołany aktualnie aktywny interfejs użytkownika detektora
szczelności.

ðPC czy tablet udostępniają użytkownikowi te same funkcje co ekran dotykowy
detektora nieszczelności.

10.5.1.3 Dopuszczanie dostępu klienta
ü

Uprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Sieć > Dostęp klienta
W celu dopuszczenia obsługi detektora nieszczelności przez PC lub tabletnależy aktywować opcję „Dostęp klienta”.
ð Jeżeli opcja „Dostęp klienta” nie została aktywowana, detektor nieszczelności
nie może być obsługiwany za pośrednictwem PC lub tabletu. Nie można
zmienić żadnych ustawień.

3

152 / 164

Zapisać.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Wyposażenie dodatkowe i złącza | 10Wyświetlanie wszystkich powiązanych klientów.
ü Połączenie sieciowe pomiędzy detektorem nieszczelności a jednym lub kilkoma PC
lub tabletami zostało utworzone, patrz „Ustawianie łączności LAN w PC lub tablecie[} 152]”.
►> Nastawy > Sieć > Połączone klienty

10.5.2 Obsługa detektora nieszczelności poprzez wyszukiwarkę
(WLAN)WSKAZÓWKA
System operacyjny może zostać zaatakowany za pośrednictwem złącza
USB lub Ethernetu.
Zastosowany w wykrywaczu nieszczelności system operacyjny Linux nie jest
automatycznie aktualizowany, wobec czego jego zabezpieczenie może posiadać luki.
Wykorzystanie takich luk w systemie zabezpieczeń możliwe jest poprzez złącza
Ethernet lub USB w celu uzyskania nieuprawnionego dostępu do systemu.
► Należy uniemożliwić dostęp do tych złączy osobom postronnym, na przykład przez
blokadę portu USB/portu Ethernet.
► Aby nie narażać bezpieczeństwa sieci firmowej, nigdy nie należy podłączać
wykrywacza nieszczelności bezpośrednio do publicznej sieci internetowej. Dotyczy
to zarówno łączności za pośrednictwem WLAN, jak i przez Ethernet.
► Jeśli konieczny jest dostęp zdalny do interfejsu sieciowego detektora
nieszczelności, zalecamy wykorzystanie szyfrowanego łącza Virtual Private
Network (VPN). Nie możemy zagwarantować bezpieczeństwa połączenia VPN,
które zostało utworzone przez osoby trzecie.

Dostęp do interfejsu użytkownika urządzenia za pośrednictwem WLAN wymagapodłączenia z tyłu panelu obsługi adaptera WLAN USB z technologią WLAN Access
Point.
Wymagania minimalne dla adaptera WLAN-USB:• Złącze: USB 2.0• Gniazdo USB: Typ A• Zestaw chipów: RTL819x lub porównywalny• Obsługiwany tryb: Access Point Client Mode
Adapter WLAN USB, spełniający te wymogi i przetestowany z detektorem
nieszczelności, to „EDIMAX EW-7612UAn V2”.

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

153 / 164

10 | Wyposażenie dodatkowe i złącza

INFICONPołączenie WLAN może być podatne na zakłócenia. Jego stabilność zależy odzasięgu, ekranowania ścian, innych sieci WLAN, znajdujących się w pobliżu
zakłócających nadajników radiowych i innych czynników.

10.5.2.1 Konfiguracja połączenia WLAN detektora szczelności
ü

Uprawnienia Supervisora1> Ustawianie > Sieć > Ustawienia WLANð Można także nacisnąć

2

na pasku menu.

Aktywacja opcji „Aktywuj WLAN” włącza ustawienia pozwalające na obsługę
przez urządzenie połączenia WLAN.

3

W polu „Nazwa (SSID)” należy wpisać wybraną nazwę sieci, a w polu „WLAN
klucz sieciowy WLAN” wybrany klucz sieciowy WLAN klucz sieciowy .
ð „Nazwa (SSID) WLAN” oraz „WLAN klucz sieciowy WLAN” są poprzedzonenastępującymi wartościami: „UL Series” lub „INFICONUL”. Klucz sieciowy
WLAN klucz sieciowy musi zawierać co najmniej 8 znaków.
Klucz sieciowy nie jest wyświetlany w formacie tekstowym; wszystkie znakizastąpione są kropkami. Jeżeli nie jest to pożądane, możliwa jest zmiana
sposobu wyświetlania za pomocą symbolu

4ð

Zapisaćza polem wprowadzania.

.

Jeśli podłączony jest adapter USB z obsługą WLAN, jest on automatycznieuruchamiany jako Access Point. Do konfiguracji połączenia WLAN detektora
szczelności nie jest konieczne podłączenie adaptera USB.

10.5.2.2 Ustawianie łączności WLAN w PC lub tableciePołączenie WLAN – szybkie uruchomienieJeśli opisane tu czynności zostały już raz wykonane w przypadku wielu urządzeń
w razie powtórzenia wystarczy podanie URL.
ü Adapter WLAN wyposażony w technologię WLAN Access Point podłączony jest do
gniazda USB detektora szczelności, patrz „Panel obsługi [} 24]”.
ü W konfiguracji detektora nieszczelności aktywna jest opcja „Aktywny”, patrz„Konfiguracja połączenia WLAN detektora szczelności [} 154]”.
ü Połączenie WLAN jest automatycznie rozpoznawane przez klienta.
ü Również w starych urządzeniach konieczne jest ustawienie WPA2 jako
szyfrowania.
ü W przeglądarce internetowej aktywowano JavaScript. Zalecamy zastosowanie
aktualnej wersji przeglądarek Chrome™, Firefox® lub Safari®.
1

W ustawieniach WLAN PC lub tabletu użytkownika należy sprawdzić, czyzostało już nawiązane połączenie WLAN z detektorem nieszczelności.

154 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Wyposażenie dodatkowe i złącza | 102

W przypadku braku połączenia detektora szczelności z siecią WLAN należy
wybrać sieć WLAN detektora szczelności i w razie konieczności wprowadzić
WLAN klucz sieciowy, patrz „Konfiguracja połączenia WLAN detektora
szczelności [} 154]”.

3

Aby uzyskać dostęp do detektora nieszczelności za pośrednictwem
przeglądarki internetowej PC lub tabletu, należy zastosować następujący URL:
ul.inficon.com

ð

Zostanie wywołany aktualnie aktywny interfejs użytkownika detektora
szczelności.

ðPC czy tablet udostępniają użytkownikowi te same funkcje co ekran dotykowy
detektora nieszczelności.

10.5.2.3 Dopuszczanie dostępu klienta
ü

Uprawnienia Supervisora
1
2> Ustawianie > Sieć > Dostęp klienta
W celu dopuszczenia obsługi detektora nieszczelności przez PC lub tabletnależy aktywować opcję „Dostęp klienta”.
ð Jeżeli opcja „Dostęp klienta” nie została aktywowana, detektor nieszczelności
nie może być obsługiwany za pośrednictwem PC lub tabletu. Nie można
zmienić żadnych ustawień.

3

Zapisać.

Wyświetlanie wszystkich powiązanych klientów.
ü Połączenie sieciowe pomiędzy detektorem nieszczelności a jednym lub kilkoma PC
lub tabletami zostało utworzone, patrz „Ustawianie łączności WLAN w PC lub
tablecie [} 154]”.
►> Nastawy > Sieć > Połączone klienty

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

155 / 164

11 | Załącznik

INFICON

11 Załącznik
11.1 Ścieżki menu
11.1.1 Diagnoza
1> Potwierdzone ostrzeżenia

2> Błędy i ostrzeżenia

3> Dane pomiarowe > Rejestracja danych

4> Dane pomiarowe > Informacja banku danych

5> Dane pomiarowe > Eksport danych pomiarowych

6> Dane pomiarowe > Cykle pomiarowe

7> Protokoły > Protokół wyników

8> Protokoły > Błędy i ostrzeżenia

9> Protokoły > Protokół kalibracji

10> Protokoły > Protokół konserwacji

11> Regeneracja

12> Aktualizacja > Aktualizacja obsługi urządzenia

13> Aktualizacja > Aktualizacja obsługi urządzenia > Aktualizacja ekspercka
obsługi urządzenia

14> Aktualizacja > Aktualizacja urządzenia głównego

15> Aktualizacja > Aktualizacja urządzenia głównego > Aktualizacja eksperckaurządzenia głównego

16> Wykres próżni

11.1.2 Ustawienia

156 / 1641

> Wskazanie > Ogólne ustawienia wskazań

2> Wskazanie > Wykres słupkowy

3> Wskazanie > Wykres I•RISE (zależnie od urządzenia)

4> Wskazanie > Wykres kołowy

5> Wskazanie > Wykres liniowy

6> Wskazanie > Zewnętrzny monitor

7> Audio8> Konta użytkowników > Wyloguj

9> Konta użytkowników > Zarządzanie logowaniem automatycznym

10> Konta użytkowników > Zarządzaj kontami użytkowników
UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICONZałącznik | 11

11

> Konta użytkowników > Zmień własny PIN

12> Konta użytkowników > Zmień własny język

13> Konta użytkowników > Ulubione

14> Tryb pracy

15> Ustawianie > Ogólne > Powiadomienia

16> Ustawianie > Ogólne > Data i czas

17

> Ustawianie > Ogólne > Ustawiania jednostek

18> Ustawianie > Ogólne > Resetuj

19> Ustawianie > Rejestracja danych

20> Ustawianie > Pomiar > Granice ciśnienia

21> Ustawianie > Pomiar > HYDRO•S

22> Ustawianie > Pomiar > Mass23

> Ustawianie > Pomiar > Nieszczelność próbna

24> Ustawianie > Pomiar > Wykrywanie nieszczelności > Monitoring kapilar

25> Ustawianie > Pomiar > Wykrywanie nieszczelności > Przewód sondy
zasysającej SL3000

26> Ustawianie > Pomiar > Ochrona

27> Ustawianie > Pomiar > Inne

28

> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > I•RISE (zależnie od urządzenia)

29> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > TMP2

30

> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > zakresy próżni

31> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > Płukanie

32> Ustawianie > Pomiar > Próżnia > Wentylowanie

33> Ustawianie > Pomiar > Zero/filtr

34> Ustawianie > Sieć > Dostęp klienta

35> Ustawianie > Sieć > Ustawienia LAN

36> Ustawianie > Sieć > Połączone klienty

37> Ustawianie > Sieć > Ustawienia WLAN

38

> Ustawianie > Wezwania do konserwacji

39> Ustawianie > Licznik konserwacji

40> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Moduł magistrali

41> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Wybór urządzenia

42> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Moduł I/O > Protokół modułu I/O

43> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Moduł I/O > Konfiguracja wyjść
analogowych

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

157 / 164

11 | Załącznik

INFICON

44> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Moduł I/O > Konfiguracja wyjść
cyfrowych

45> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > Moduł I/O > Konfiguracja wejść
cyfrowych

46> Ustawianie > Wyposażenie dodatkowe > RC1000

47> Zestawy parametrów > Lista parametrów

48> Zestawy parametrów > Zarządzaj zestawami parametrów

49> Wartości progowe

11.1.3 Informacje

158 / 164

1

> Podzespoły > Źródło jonów

2> Podzespoły > TMP

3> Podzespoły > TMP2

4

> Podzespoły > Pompa próżni wstępnej

5> Podzespoły > Wzmacniacz wstępny

6> Energia > Moc

7> Energia > Napięcie (1)8> Energia > Napięcie (2)9> Energia > Prąd10

> Urządzenie > Godziny pracy11> Urządzenie > Identyfikacja

12> Urządzenie > MSB

13> Urządzenie > Sieć

14

> Pomoc > Błędy i ostrzeżenia

15> HYDRO•S

16> Kalibracja

17> Wartości pomiaru > Czasy pracy

18> Wartości pomiaru > Wartość nieszczelności i ciśnienie

19> Wartości pomiaru > Temperatura

20> Przewód sondy zasysającej

21> Wyposażenie dodatkowe > Moduł magistrali

22> Wyposażenie dodatkowe > Moduł I/O

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICONZałącznik | 1111.2 Deklaracja zgodności CE

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

159 / 164

11 | Załącznik

INFICON11.3 RoHS

160 / 164

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

INFICON

Skorowidz

Skorowidz
Kontrola nieszczelności próbnej

A
Automatyczne logowaniewłączanie59wyłączanie

59

L
LAN
Dopuszczanie dostępu klienta

C
Czas wytworzenia próżni – pomiary

66

Czas wytworzenia próżni, duża nieszczelność

65

D
Dane pomiarowe
Eksportowanie przez sieć

91

Format eksportu

89

Dane techniczne

34

Definicje pojęć

9

Deklaracja zanieczyszczeń

137

84

151
152, 155

Konfigurowanie detektora nieszczelności

151

Ustawienia PC lub tabletu

152

M
Mierzenie wewnętrznej nieszczelności próbnej

68

Moduł I/O

143

Moduł magistrali

150

Monitor dotykowy

25Możliwości obsługi

68O
ObsługaPC, tablet

154

Odblokowanie

99

Odblokowanie funkcji dodatkowych

99

E
Edytowanie ustawień osobistych

58

Ekran dotykowy

28

Symbole28Odstęp czasu pomiędzy konserwacjami
Filtr powietrza

66

Filtr sondy przyrządu kontrolnego nieszczelności

H

66

HYDRO•S

Operator

57
18

Definicja

18

Opis działania

ustawienie

73

Oprogramowanie

Zastosowanie

73

Aktualizacja interfejsu użytkownika

98

Aktualizacja urządzenia podstawowego

98

Oznaczanie punktu zerowego

I
I•RISE

86

83

P
Plan konserwacjiK135Podłączanie przewodu sondy zasysającej SL200
Kalibracja

19, 30helem z powietrza

83

Kalibracja wewnętrzna

82

Kalibracja zewnętrza

82Położenie wyjścia

82

Konserwacja

126

Kontrola kalibracji

83

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)

Podłączanie przewodu sondy zasysającej SL3000
19
Pompowanie argonu
Granice ciśnienia pomiędzy zakresami próżni 75
Powiadomienia

69

161 / 164

Skorowidz

INFICON

Prace czyszczące

126

Prawa

57

Profil użytkownika
Edycja57

Kasowanie

58Ładowanie

57

Tworzenie

57

Proof

83

Przeglądarka internetowa

153

Przewód sondy zasysającej
Monitorowanie ciśnienia

81

Wymiana filtra

129

Przewód sondy zasysającej SL200

140

Przewód sondy zasysającej SL3000

141

Przywracanie ustawień fabrycznych

102

Q
Qmax

25

R
Regeneracja

78

S
SMART-Spray

140, 151

Supervisor

57, 59Sygnał tła

10

T

W
Wentylowanie

77

Wezwania do konserwacji

67

Wezwanie do kalibracji

67

WLAN

153

Dopuszczanie dostępu klienta

152, 155

Konfigurowanie detektora nieszczelności

154

Ustawienia PC lub tabletu

154Włączanie

55

Wskazanie maksymalnej wartości nieszczelności 25
Wskazanie wartości tła

62

Współczynnik urządzenia

74

Wybór gazu

71

Wybór trybu pracy

71

Wybór trybu wentylacji

77

Wykres próżni

101Wyłączanie

103

Wysyłanie

133, 134, 137

Wyszukiwanie RC1000 WL (stronicowanie)

142

Wyszukiwanie zdalnego pilota (stronicowanie)

142Wyświetlanie czasów pracy

93Wyświetlanie wartości nieszczelności i ciśnienia

93Wyświetlanie wartości temperatury

93

Z
zakresy próżni
Aktywacja do pomiaru

72

FINE

75

GROSS

75

9, 79, 80

MASSIVE

75

Tryb pracy „Próżnia”

18, 71ULTRA

75

Tryb pracy „Sonda zasysająca”

19, 71

Zmiana wartości granicznych ciśnienia

75

Tłumienie tła

Tryb TMP2

72

Zdalny pilot RC1000

141

Tworzenie zrzutów ekranu

133

ZERO

85

U
Uchwyt na butle z helem
Układ wydechowy

141
31, 50

Uprawnienia

57

User

57

Ustawianie wartości progowych

71

Ustawianie zewnętrznej nieszczelności próbnej

74

Ustawienia fabryczne

36

Ustawienia języka

58

162 / 164

Przycisk

26

Ustawienie fabryczne

76

Zestaw parametrów
Kasowanie

97Ładowanie

97Zewnętrzny monitor

25, 100

Zmiana głośności

63

Zmiana jednostki

63

Zmiana ustawień audio

63

UL6000-Fab,-PLUS-instrukcja-obsługi-iinc75pl1-04-(2403)