UL3000Fab(ULTRA)
Detector de fugas de helio móvil
Tecnología de sensor ULTRATEST®
Progress meets experienceSiempre a la vanguardia
Nueva generación dedetectores de fugas
INFICON cuenta con una larga
trayectoria fijando estándaresde rendimiento y facilidad deR E S U M E N D E V E N TA J A S Ahorre tiempo con el algoritmo
de software I·CAL para realizar
mediciones rápidas en el rango
de 10-9 a 10-12 mbar l/suso en el ámbito de la detección de gases. En la actualidad,el UL3000 Fab ofrece la mayor

de fugas gracias a I·ZERO 2.0 con
una función inteligente mejorada
para la supresión de fondo a lavez que se mantiene una elevada
sensibilidad para la medición

se ha desarrollado especialmente teniendo en cuenta la Válido para detección de fugas por

nvacío y por rastreo

en la fabricación de semicon-de visualización, incluidos los
subcomponentes.

gran manejabilidad que ofrece
su diseño compacton Bajo costo total de propiedad(TCO) gracias al robusto sistemade fuente de iones (con 3 añosde garantía) y al sistema de vacío
a contracorrienten Uso sencillo, interfaz HMI guiado
con pantalla giratoria de alta resolución a todo color Mínimo trabajo de comprobaciónnde las fugas gracias a una eva-ción de fugas de los semiconductores y las herramientas Ahorro de tiempo gracias a la Máxima eficacia de comprobación

pruebas de fugas. Este modelo

ductores, como la comproba-nn

velocidad y usabilidad en las

demanda especializada presentecuación y un tiempo de respuesta
rápidosn

VENTA JAS ADICIONALES DEL UL3000 FAB ULTRAn  Puede empezar a comprobar lasTiempos de detenimiento (evacua-nfugas más rápido, pues el softwaredel HYDRO·S elimina el fondo devapor de agua, lo que permite
alcanzar rápidamente rangos demedición sensiblesción) de la bomba más reducidos
gracias a la mayor velocidad debombeo del airen Menor TCO, ya que las bombas dedesbaste tipo roots no requieren
mantenimientoFÁCIL FUNCIONAMIENTO, ANÁLISIS Y ALMACENAMIENTO DE LOS RESULTADOS DE MEDICIÓN Orientación del usuario intuitiva con pantalla táctiln Estructura de menús modernan Pantalla giratoria de alta resolución a todo colorn Control remoto desde dispositivos móviles mediante wifin Capacidad de almacenamiento de datosn Exportación de datos a una memoria USB(con control de acceso)n

COSTOS OPERATIVOS Y
DE MANTENIMIENTO REDUCIDOS
Bajo mantenimiento y una vida útil prolongada gracias a:n Sistema de vacío robuston Fuente de iones reforzada con 3 años de garantíaFÁCIL TRANSPORTE A LAS ZONAS DE USO
n Diseño compacto y reforzado pensado para laestabilidad y la movilidad óptimasn Manipulación sencilla gracias a su bajo centro degravedadn Ruedas de gran tamaño para superar los obstáculos

TECNOLOGÍA DE SENSORES ULTRATEST

APLICACIONES COMUNESn Espectómetro de masa de 180°

nn Todos los componentes están elaborados con aceroinoxidable.
n Fuente de iones reforzada con 3 años de garantían Preamplificador con la mayor sensibilidad del sectorL os detectores de fugas de INFICON se utilizan
a diario en las principales plantas de fabricación desemiconductoresn Diversas herramientas de procesos:
Etching, CVD, PVD, calderas, implantes, MOCVD,solar, FPD, etc.
n Confirmación de la integridad de la herramienta ylocalización de fugas rápidas para su reparación tras
el mantenimiento de la herramientan Líneas de vacío y bombas en pequeñas plantas
de fabricación de semiconductoresn Módulos de gas y líneas de distribución de gas
complejasn Plantas de fabricación de semiconductoresy mitigación

ACCESORIOS DISPONIBLES INCLUIDOSEN EL DISPOSITIVOn Soporte para botellas de helio en el detector de fugasn Soporte para manguera de vacío en el dispositivon Accesorios en compartimentos con cerradura

DETECCIÓN PRECOZ DE FUGAS DE
GRAN TAMAÑO
Las fugas de grandes dimensiones pueden detectarse a
una velocidad significativamente superior, dado que ya noes necesario esperar a que el sistema realice un bombeode vacío.
Esto es posible gracias a la siguiente función:n Función de fugas MASSIVE (función especialde bombeo/bloqueo de válvulas)Especialistas en soluciones
de detección de fugas
INFICON ofrece tecnologías de medición y sensores de vanguardia en todo el mundo, así comola gestión de procesos para necesidades exigentes en procesos con vacío en industrias de alta
especialización. Los productos de INFICON para la detección de fugas de gas se utilizan particularmente en tecnologías de refrigeración y aire acondicionado, fabricación de semiconductores yproducción de automóviles.
Al confiar en INFICON, cuenta con un asesor experto que conoce los desafíos de su sector y que
trabajará en estrecha colaboración con usted para buscar la solución idónea en función de sus
necesidades.Además, INFICON garantiza un excelente servicio y la asistencia más cercana de lamano de profesionales especializados en diversas filiales en todo el mundo. Las principales plantas
de fabricación están ubicadas en EE. UU. y Europa, con filiales en Alemania, China, Corea,Dinamarca, EE. UU., Francia, Gran Bretaña, Japón, Liechtenstein, Singapur, Suiza y Taiwán.

D E T E C TO R D E F U G A S D E H E L I O M Ó V I L U L 3000 FA B ( U LT R A )ESPECIFICACIONESÍndice mín. de fugas detectables de helio (método de vacío)Índice mín. de fugas detectables de helio (modo rastreador)Presión de entrada máx. (modo MASSIVE)
Velocidad de bombeo durante la evacuación
Velocidad de bombeo de helio(modo de alta sensibilidad ULTRA)
Tiempo de respuesta
Tiempo de espera para el funcionamiento
Masas detectables (tecnología de sensor ULTRATEST)
Fuente de iones
Puerto de prueba
Desencadenantes ajustables
InterfazTensión de alimentación
Consumo de energía
Dimensiones (Lar. x An. x Al.)
Peso
Rango de temperaturas ambiente admisibles(durante el funcionamiento)
Características adicionales

UL3000 FabUL3000 Fab ULTRA<5 x 10-12 mbar l/s<5 x 10-8 mbar l/s
1000 mbar>32 m³/h>36 m³/h
4 l/s

<1 s
<3 min2, 3, 4 (H2, 3He, He)2 filamentos, recubiertos de óxido de iridio/itrio
DN 25 KF
42 USB, Ethernet/LAN
100-240 V 50/60 Hz (CA)típ. 700 VA, máx. 1500 VA
1050 x 472 x 987 mm (42 x 21 x 34 in.)
118 kg132 kg10-40 °CHYDRO·S, línea de rastreo
independiente, puerto SL3000–INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSPRODUCTO
UL3000 Fab 100-230 V 50/60 Hz
UL3000 Fab ULTRA 100-230 V 50/60 Hz(HYDRO·S, línea de rastreo independiente, puerto SL3000)
ACCESORIOS
RC1000: control remoto, con cable en espiral de 4 mRC1000WL: control remoto, inalámbrico, con transmisor
SL200: línea de rastreo, con cable de extensión eléc., 4 m de longitud
SL3000: línea de rastreo exclusiva para UL3000 Fab ULTRA,
con pantalla integrada
3 m de longitud
5 m de longitud
10 m de longitud
Abrazadera para SL3000
Módulo I/O1000 (módulo de entrada/salida)
Módulo Profibus BM1000
Módulo PROFINET E/S BM1000
Módulo de red para dispositivo BM1000
Ethernet/IP BM1000
Cable de datos (entre I/O1000/BM1000 y UL3000 Fab ULTRA)
0,5 m
2m5m10 m
Cámara de ensayos TC1000
Soporte para botellas de helio
Soporte para manguera de vacío

N.º cat.
550-200
550-260

551-010551-015551-210525-001525-002525-003551-203560-310560-315560-316560-317560-318560-334560-332560-335
560-340551-005551-201551-202

Certificación cTÜVus conforme alos estándares de EE. UU. yCanadáw w w.i n f i co n .co mreac hus@inficon. com

Debido a nuestro programa continuo de mejoras de productos, las especificaciones están sujetas a cambios sin previo aviso.
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