SKY® CDG045D - 45°C (F.S.R. 0.05 ... 1000Torr /mbar)SKY® CDG045D - 45°C - Unprecedented Full Scale Stability
INFICON SKY CDG045D-Manometer sind die beste Wahl fürhochpräzise Gesamtdruckmessung und -steuerung. CDG045DMessgeräte sind temperaturgeregelt auf 45 °C für bessere
Signalstabilität und Wiederholbarkeit. Sie sind erhältlich fürVollskalenbereiche von 50 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen
Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vomGastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V.
Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine
korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. DieVorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität,schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze
Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON
CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren füranspruchsvolle Vakuumanwendungen.

VORTEILE
nNiedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedrigerStromverbrauchnEinfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei
SollwertennEinfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbarnDiagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten

nZwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und MessgerätschutznKeine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei
anspruchsvollen Plasmaanwendungen

nKonformität und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS1SKY® CDG045D - 45°C (F.S.R. 0.05 ... 1000Torr / mbar) - SKY® CDG045D - 45°C Unprecedented Full Scale Stability

BESTELLINFORMATIONEN

2SKY® CDG045D - 45°C (F.S.R. 0.05 ... 1000Torr / mbar) - SKY® CDG045D - 45°C Unprecedented Full Scale Stability

TECHNISCHE DATEN
Typ1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05Torr / mbar

% of reading

0.15

0.15

0.15

percent FS/°C

0.00250.00250.005

auf Bereich% of reading / °C

0.01

0.01

0.01

Druck, max.

kPa (absolute)

400

260

130

Auflösungpercent FS

0.003

0.003

0.003

Niedrigster messbarer Druck percent FS

0.01

0.01

0.01

Niedrigster empfohlener
Messdruck

percent FS

0.05

0.05

0.05

Niedrigster empfohlener
Steuerdruck

percent FS

0.5

0.5

0.5

Genauigkeit (1)Temperatureinfluss
auf Nullpunkt
Temperatureinfluss

Temperatur
Betrieb (Umgebung)°C+10 … +40

+10 … +40

+10 … +40

Ausheizen am Flansch°C

≤110

≤110

≤110

Lagerung°C–20 … +65

–20 … +65

–20 … +65

+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)

Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Während AufheizphaseW≤12≤12≤12Bei Betriebstemperatur

W

≤8

≤8

≤8Ausgangssignal (analog)

V (dc)

0 … +10

0 … +10

0 … +10Ansprechzeit (2)

ms

30

30

130 / 30 ⁽³⁾

IP 40

IP 40

IP 40

Schutzart
NormenCE-Konformität

EN 61000‑6‑2/-6-3, EN EN 61000‑6‑2/-6-3, EN EN 61000‑6‑2/-6-3, EN
61010 & RoHS
61010 & RoHS
61010 & RoHSETL-Zertifizierung

UL 61010‑1, CSA 22.2 UL 61010‑1, CSA 22.2 UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1
No.61010‑1
No.61010‑1

SEMI-Einhaltung

SEMI S2

SEMI S2

SEMI S2

Elektrischer Anschluss

D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

≤30

≤30

≤30

Schaltpunkt
Anzahl Schaltpunkte
Schaltpunkt
Relaiskontakt

3V (dc)SKY® CDG045D - 45°C (F.S.R. 0.05 ... 1000Torr / mbar) - SKY® CDG045D - 45°C Unprecedented Full Scale Stability

TECHNISCHE DATEN
Typ1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05Torr / mbar

≤0.5

≤0.5

≤0.5

111

Protokoll

RS232-C

RS232-C

RS232-C

Lesenpressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID

Einstellen

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

Werkstoffe gegen Vakuum

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Inneres Volumen 1/2'' Rohr cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Inneres Volumen DN 16
ISO KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Inneres Volumen DN 16
CF-R

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Inneres Volumen 8 VCR®

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Schaltpunkt
Relaiskontakt

A (dc)

Schaltpunkt
Hysterese

percent FS

Diagnostik-Port

Inneres Volumen

Gewicht
Gewicht 1/2'' Rohrg

837

837

837

Gewicht DN 16 ISO KF

g

852

852

852

Gewicht DN 16 CF-Rg

875

875

875

Weight 4 VCR® female

g

877

877

877

Weight 4 VCR® maleg

861

861

861

Gewicht 8 VCR®

g

897

897

897

Weight 8 VCR® female
longg

912

912

912

EtherCAT
Protokoll EtherCAT

4protocol specialized for protocol specialized for protocol specialized for
EtherCAT
EtherCAT
EtherCAT

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TECHNISCHE DATEN
Typ1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05Torr / mbar

Kommunikationsstandards

ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
DeviceDeviceDeviceProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
Device Profile:
Device Profile:
Device Profile:
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge

Knotenpunktadresse

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

Physikalische Schicht

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

Digitale Funktionen gelesenpressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID

Digitaler Funktionssatz

set points, filter, zeroset points, filter, zeroset points, filter, zeroadjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset

Mailbox (CoE)SDO requests,responses andinformation

SDO requests,
responses andinformation

SDO requests,
responses andinformation

ProzessdatenFixed PDO mapping
Fixed PDO mapping
Fixed PDO mappingand configurable PDO and configurable PDO and configurable PDO
mapping
mapping
mapping

EtherCAT-Stecker

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

Kabel

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)

EtherCAT
Kabellänge

m (ft.)

ProfinetCommunication protocol
Data rate

protocol specalized for protocol specalized for protocol specalized forProfinet
Profinet
Profinet
100 Mbps

100 Mbps

100 Mbps

Physical layer

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

Digital functions readpressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID

Digital functions set

set points, filter, zeroset points, filter, zeroset points, filter, zeroadjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset

Profinet connector

2 x RJ45, 8-pin
2 x RJ45, 8-pin
2 x RJ45, 8-pin(socket), input & output (socket), input & output (socket), input & output

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TECHNISCHE DATEN
Typ1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05Torr / mbar

Profinet Cable

Special Ethernet Patch Special Ethernet Patch Special Ethernet Patch
Cable or Crossover
Cable or Crossover
Cable or Crossover
Cable, shielded
Cable, shielded
Cable, shielded(CAT5e quality or(CAT5e quality or(CAT5e quality orhigher)
higher)higher)

Cable lenght<100 m (330 ft)<100 m (330 ft)<100 m (330 ft)Protokoll

DeviceNet™, group 2
slave only

DeviceNet™, group 2
slave only

DeviceNet™, group 2
slave only

MAC ID

address 00 - 63 byswitch or network
programmableaddress 00 - 63 byswitch or network
programmableaddress 00 - 63 byswitch or network
programmable

Digitale Funktionen lesenpressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID

Digitale Funktionen
einstellen

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offsetSpezifikation

DeviceNet™ "Vacuum DeviceNet™ "Vacuum DeviceNet™ "Vacuum
Gauge Device Profile" Gauge Device Profile" Gauge Device Profile"(ODVA)(ODVA)(ODVA)

Gerätetyp''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge

I/O Slave-Messaging

polling only

polling only

polling only

Versorgungsspannung
Messröhre am D-Sub
Stecker+14 … +30 VDC or±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or±15 V / ≤12 W

Versorgungsspannung
DeviceNet mit MicrostyleStecker

24 V nom / <2 W (11… 25 V)

24 V nom / <2 W (11… 25 V)

24 V nom / <2 W (11… 25 V)

Anschluss DeviceNet™

microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, maleAnschluss CDG (analog
Ausgang,
Versorgungsspannung
CDG, Schaltpunkte)

D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, malekBaud

125, 250, 500 by
switch or network
programmable

125, 250, 500 by
switch or network
programmable

125, 250, 500 by
switch or network
programmable

Kabellänge 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

500 (1650)500 (1650)

Kabellänge 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

250 (825)

250 (825)

DeviceNet™

DeviceNet™
Übertragungsrate

DeviceNet™

6SKY® CDG045D - 45°C (F.S.R. 0.05 ... 1000Torr / mbar) - SKY® CDG045D - 45°C Unprecedented Full Scale Stability

TECHNISCHE DATEN
Typ1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05Torr / mbar

m (ft.)

100 (330)

100 (330)

100 (330)kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

Mbaud

1.5 / 12

1.5 / 12

1.5 / 12Adresseaddress 00 - 125 byswitch or network
programmableaddress 00 - 125 byswitch or network
programmableaddress 00 - 125 byswitch or network
programmable

Digitale Funktionen lesenpressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID

Digitale Funktionen
einstellen

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

Anschluss Profibus DP

D-sub, 9 pin, female

D-sub, 9 pin, female

D-sub, 9 pin, female

Anschluss CDG (analogeAusgabe,Versorgungsspannung,Schaltpunkte)

D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, maleKabellänge 500 kbps
Profibus DPÜbertragungsraten
Profibus DPÜbertragungsraten
Profibus DP

4-20mA current loop (analog)
Signal range

mA

3.8 ... 20.2

3.8 ... 20.2

3.8 ... 20.2

Measuring range (zero...FS)mA

4.0 ... 20.0

4.0 ... 20.0

4.0 ... 20.0

Loaded impedance RLΩtypical 500Ω ±1%
24±3 V (dc) (5)typical 500Ω ±1%
24±3 V (dc) (5)typical 500Ω ±1%
24±3 V (dc) (5)Loaded impedance
absoluteΩ

309 ... 657 Ω at 24 V(dc) (5)309 ... 657 Ω at 24 V(dc) (5)309 ... 657 Ω at 24 V(dc) (5)4-20mA current loop (analog)(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C
Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffektenach 2-stündigem Betrieb.
(2) Anstieg 10 … 90 Prozent FS(3) Nur für Drucksteuerungstyp(4) 18 % Cr, 10 % Ni, 3 % Mo, 69 % Fe7SKY® CDG045D - 45°C (F.S.R. 0.05 ... 1000Torr / mbar) - SKY® CDG045D - 45°C Unprecedented Full Scale Stability

ABMESSUNGEN

www.inficon.com

reachus@inficon.com

Aufgrund laufender Produktverbesserungen können sich Spezifikationen ohne vorherige Bekanntmachung ändern.
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