新設計により視認性と機能アップ！

イオンポンプ・ノーブルポンプ用小型制御装置
P-500シリーズ■

概要

10-2Pa～10-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又はノーブルポンプを運転する制御装置です。
表示は緑色の大型LEDを採用して、離れた位置からの視認性を向上しました。
従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を実現しています。
充実したＩ／０機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に最適です。
イオンポンプ用とノ－ブルポンプ用それぞれに、超高真空型と高出力型の2タイプがあり、接続するポンプにより、動作可能圧力範囲と起動可能圧力が変わります。

■ 特長
１.高性能
電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現
２.充実の機能
セットポイント２点標準装備など 各種Ｉ／O標準装備で外部制御に対応
停電自動復帰（選択可能）
３.高互換性
従来機種とリモ－トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保
４.通信対応RS232C （オプション（工場組込対応））
５.適合規格CEマーキング、RoHS指令■

適合

用途・電子顕微鏡、電子線描画装置
・イオンビ－ム装置、マスクリペア装置
・蓄積リング、ビームライン等の加速器関連システム
・MBE、表面分析装置等の超高真空装置、各種分析装置など

■ 仕様
型名

P-511 IP

P-521 IP

名称

イオンポンプ制御装置

対応ポンプ

全てのイオンポンプ

P-511 NPP-521 NP
ノーブルポンプ制御装置

全てのノーブルポンプ、エクセルポンプ、コンビネーションポンプ
DC+5.2KV±10%／DC+7.5KV±10%／DC+3.5KV±10%

DC－5.2KV±10%／DC－7.0KV±10%

プログラムモードでの切換式プログラムモードでの切換式

最大出力電圧43mA以上170mA以上

最大出力電流43mA以上170mA以上

1L/s及び8L/sの場合は約20mAに制限
入力電圧

AC90～250V 50/60Hz単相 （マルチ電圧入力）

消費電力

最大 約500VA

外形寸法

W209×H99×D370 mm（1/2ラックサイズ）

質量約6Kg（オプションボード未装着）

使用温度／湿度

0～40℃／85% RH以下（結露無きこと）

使用環境

屋内使用／標高2000m以下／汚染度:2／設置カテゴリー:Ⅱ

出力電圧0.1×103V（0.1KV）～8.0×103Ｖ（8.0KV）

出力電流0.1×10－7A（10nA）～5.0×10－1A（500mA）

表示範囲
圧力

1.1×10－９～1.0×10－3Pa

1.1×10－９～1.0×10－３Pa（接続するﾎﾟﾝﾌﾟにより表示範囲が変わります）（接続するﾎﾟﾝﾌﾟにより表示範囲が変わります）

1L/s及び8L/sの場合、表示機能無し
保護機能

各種保護機能有り 保護機能動作時は表示部にエラーと番号表示

圧力接点

1μA～99mAの範囲で２点設定可能

REMOTEモード

前面パネルのREMOTEスイッチにてREMOTE／LOCALの切換が可能

適合規格

CE、RoHS■ 外観寸法図■セレクションガイド
P-510シリ－ズ イオンポンプ制御装置、ノ－ブルポンプ制御装置のいずれも、
超高真空用と高出力型があり、同じポンプを動作させた場合の起動可能圧力が異なります。
ご用途により、下記表を目安として使用する制御装置をご選定ください。

起動可能圧力

適用ポンプ型名／名称

備考＜イオンポンプ＞

PIC-511 IP ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ制御装置（超高真空型）

PIC-521 IP ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ制 出荷時は出力電圧を+5.0ｋＶに設御定装置（高出力型）

912-7125

20L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ

1×10-2 Pa以下

2×10-2 Pa以下

912-7135

30L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ

1×10-2 Pa以下

2×10-2 Pa以下

912-7165

60L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ

5×10-3 Pa以下

2×10-2 Pa以下

912-7010

140L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ

2×10-3 Pa以下

1×10-2 Pa以下

912-7030
912-7031
912-7050

270L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
270L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
500L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ

1×10

912-9100912-7195
913-00071000L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
1000L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
1L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ

913-0008

1L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ

911-7000

8L/s ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ-3

出力電圧+7.5kVに設定変更必要-3Pa以下6×10 Pa以下

5×10-4 Pa以下

3×10-3 Pa以下

3×10-4 Pa以下

2×10-3 Pa以下

1×10-2 Pa以下－

出力電圧+3.5kVに設定変更必要
出力電圧+3.5kVに設定変更必要

1×10-2 Pa以下－

＜ノーブルポンプ＞

PIC-511NP ﾉｰﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ制 PIC-521NP ﾉ-ﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ制 出荷時は出力電圧を-5.0ｋＶに設御御定装置 （超高真空型）
装置 （高出力型）

912-7120

20L/s ﾉｰﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ

1×10-2 Pa以下

2×10-2 Pa以下

912-7130

30L/s ﾉｰﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ

1×10-2 Pa以下

2×10-2 Pa以下

912-7160

60L/s ﾉｰﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ

5×10-3 Pa以下

2×10-2 Pa以下

912-7020

110L/s ﾉｰﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ

2×10-3 Pa以下

1×10-2 Pa以下

912-7040
912-7041
912-7060

220L/s ﾉｰﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ
220L/s ﾉｰﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ
400L/s ﾉｰﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ

1×10-3 Pa以下

6×10-3 Pa以下

5×10-4 Pa以下

3×10-3 Pa以下

912-9110

800L/s

ﾉｰﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ 3×10-4 Pa以下

2×10-3 Pa以下

912-7190

800L/s

ﾉｰﾌﾞﾙﾎﾟﾝﾌﾟ

912-7100

125L/s ｴｸｾﾙﾎﾟﾝﾌﾟ

3×10-3 Pa以下

2×10-2 Pa以下

913-7000ﾝﾌﾟ
913-7001
ﾝﾌﾟ
913-7002
ﾎﾟﾝﾌﾟ

400L/s ｺﾝﾋﾞﾈ-ｼｮﾝﾎﾟ 1×10-2 Pa以下

2×10-2 Pa以下

800L/s ｺﾝﾋﾞﾈ-ｼｮﾝﾎﾟ 1×10-2 Pa以下

2×10-2 Pa以下

1600L/s ｺﾝﾋﾞﾈ-ｼｮﾝ

2×10-2 Pa以下

5×10-3 Pa以下

出力電圧を-7Kvに設定変更必要注）ポンプの排気履歴及び排気系の構成、容量などの条件により値が変わりますのでご注意ください。

■

出力ケ－ブルP-500シリ－ズ イオンポンプ／ノ－ブルポンプ制御装置は、本体がＣＥ対応となっています。
これに伴い、出力ケ－ブルについてもＣＥ対応タイプを新たに追加しております。
また、従来タイプのケ－ブル（ＣＥ非対応）も使用可能ですので、必要に応じてご選定ください。
CE対応出力ケーブルを、イオンポンプ・ノーブルポンプに接続する場合は、電流端子アダプタが必要です。
出力ケーブル組立

L=139mm

電流端子アダプタ

アダプタを装着した電流端子CE対応出力ケーブル組立■

L=185mm

電流端子アダプタは、CE対応出力 ケーブルに付属しています。

オーダリングインフォメーション
製品ｺｰﾄﾞ
10261
10262
10361
10362
10263
10264
10363
10364
10561
10562
10563
10564
10548
10549
10550
10551

商型 名
P-511IP
P-521IP
P-511NPP-521NP
P-511IP-RS
P-521IP-RS
P-511NP-RS
P-521NP-RS
501-003
501-005
501-007
501-009954-7403
954-7405954-7407
954-7409

品名品 名
イオンポンプ制御装置
イオンポンプ制御装置
ノーブルポンプ制御装置
ノーブルポンプ制御装置
イオンポンプ制御装置 RS232C付
イオンポンプ制御装置 RS232C付
ノーブルポンプ制御装置 RS232C付
ノーブルポンプ制御装置 RS232C付
ＣＥ対応出力ケ－ブル組立（3ｍ）
ＣＥ対応出力ケ－ブル組立（5ｍ）
ＣＥ対応出力ケ－ブル組立（7ｍ）
ＣＥ対応出力ケ－ブル組立（9ｍ）
出力ケ－ブル組立（3ｍ）
出力ケ－ブル組立（5ｍ）
出力ケ－ブル組立（7ｍ）
出力ケ－ブル組立（9ｍ）

備考
超高真空用
高出力型
超高真空用
高出力型
超高真空用､RS232C組込済
高出力型､RS232C組込済
超高真空用､RS232C組込済
高出力型､RS232C組込済
20L/s-1000L/s IP/NP共通
20L/s-1000L/s IP/NP共通
20L/s-1000L/s IP/NP共通
20L/s-1000L/s IP/NP共通
20L/s-1000L/s IP/NP共通
20L/s-1000L/s IP/NP共通
20L/s-1000L/s IP/NP共通
20L/s-1000L/s IP/NP共通●性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。

東日本エリア西日本エリア九州エリア

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・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置
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TEL 044-980-5155
TEL 044-980-5132
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FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236
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FAX 044-986-4236〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・各種装置関係
・真空コンポーネント

TEL 06-6821-9701
TEL 06-6821-9708

FAX 06-6821-9702
FAX 06-6821-9702〒862-0924

TEL 096-385-3111

FAX 096-385-3061

熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ

輸出に関する注意事項 本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易法の規程に 基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。

http://www.canon-anelva.co.jp/
特約店

162-34.1303-2001OK