真空計シリーズ

Vacuum Gauges

Vacuum Components
クリスタルゲージ
電離真空計
サーモカップル真空計

2020 年 3 月作成 無断転載禁止ᮾ᪥ᮏ࢚ࣜ࢔bࠛࠉ⚄ዉᕝ┴ᕝᓮᕷ㯞⏕༊ᰩᮌ
ࠉ࣭ྛ✀⿦⨨㛵ಀࠉ࣭┿✵ࢥ࣏࣮ࣥࢿࣥࢺ

7(/
7(/

)$;
)$;す᪥ᮏ࢚ࣜ࢔bࠛࠉ኱㜰ᗓ྿⏣ᕷ༡㔠⏣
ࠉ࣭ྛ✀⿦⨨㛵ಀbࠉ࣭┿✵ࢥ࣏࣮ࣥࢿࣥࢺ

7(/7(/)$;
)$;

஑ᕞ࢚ࣜ࢔

ࠛࠉ⇃ᮏ┴⇃ᮏᕷ୰ኸ༊ᖏᒣ࢟ࣖࣀࣥ0-⇃ᮏࣅࣝ)

7(/

)$;

※輸出・移転・処分に関する注意事項

本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。
また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。
URL : https://www.canon-anelva.co.jp/※本カタログに掲載されている内容は性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。

165-29. 2003-00408ＥK

真空計シリーズ■概 要
当社では、様々な用途に合わせ低真空から
超高真空まで各種真空計を取りそろえております。

■セレクションガイド

コントロールユニット

測定球
Pa

2

クリスタルゲージ
M-320XG

本体測定球一体型

ワイドレンジ電離真空計
M-431HG

ミニチュアB-Aゲージ
MG-2シリーズ

ワイドレンジ電離真空計
M-833HG

ミニチュアB-Aゲージ
MG-2シリーズ（サーモカップルゲージ TG-550Cオプション）

電離真空計
M-723HG

B-Aゲージ UGD-1S（サーモカップルゲージ TG-550Cオプション）

電離真空計
M-823HG

ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B（サーモカップルゲージ TG-550Cオプション）

電離真空計
M-923HG

ヌードイオンゲージ NIG-2F／NIG-2TF（サーモカップルゲージ TG-550Cオプション）

サーモカップル真空計
M-012DM

サーモカップルゲージ
TG-550C

10−8圧力測定範囲
10

−6

10

−4

10−2

1

10 2

104

3

クリスタルゲージ
M-320XG■概 要
大気圧から 10 － 2Pa までの広い範囲にわたって、信頼性の高い測定が出来ます。
ピラニゲージやサーモカップルゲージのような従来のあら引き真空計のように不安定な熱現象を使用するのではなく、水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用していますので、はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能です。
あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧
ベントの検出用の圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。

■特 長
1. 広い測定範囲■外形寸法図

5 6

SP2

EXP
789

MANT
4

5 6

SP1

ATM
POWER
/ALM

取り扱いが安全な上、プロセスガスに影響を与えません。

44.5

4

78

0 1

78

MANT

CD
AB E

789

78

9

23

CD
AB E

EXP

F01

5 6

0 1

23

9

D/A

F01

4
23 5 60 1

23

9

真空計です。

4
23 5 6

クリスタルゲージは、熱源（フィラメント）を持たない

4

2. 高い安全性

ZERO

優れた再現性で測定が行えます。
大気圧から10－2Paまで、

REMOTE I/O

CRYSTAL GAUGEM-320XG

3. コンパクト、超軽量
コントローラ部は、
手のひらサイズ、
質量はわずか 200g です。

102

4. 2W の低消費電力

72.5

環境に配慮した少ない消費電力■用 途・各種真空装置のあら引き圧力の測定
・チャンバベント等の検出用圧力スイッチ
・その他大気圧から 10 － 2Pa までの圧力測定
プロセスガス（特に腐食性ガス）の圧力測定をご検討されている場合は、弊社営業に御相談下さい。ガス種や使用条件により、センサの寿命が短くなることがあります。

4

センサ
A

・各種プロセスの圧力測定

A 寸法
NW16, NW25 ：23
φ 34 ICF：36
φ70 ICF, VG70 ：30

■仕 様
型 名
測定球
測定圧力範囲精度
再現性
Gas 種選択
アナログ出力（圧力信号）

リモート I/O

セットポイント
動作環境
ゼロ調整
フルスケール調整
入出力コネクタ
表示
外形寸法（mm）
質量
所要電力
センサ取り付けフランジ

M-320XG
XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用）
10 − 2 〜 1× 105Pa± 20％：1× 10 ー 1 〜 1× 10 0Pa± 15％：1× 10 0 〜 1× 105Pa※ 1× 102 〜 5 × 10 3Pa 除く± 5％：1× 10 0 〜 1× 105Pa※ 1× 102 〜 5 × 10 3Pa 除く
N2、Ar、H2、Air
DC 0-10V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定① Log 出力
② 複合出力③ リニア出力 フルスケール圧力レンジ選択可能（1× 101、1× 102、1× 10 3、1× 10 4、1× 105Pa）
INPUT： ① ガス種設定 2bit 信号で切換
		 ② ゼロ調整
		 ③ ATM 設定
OUTPUT ： セットポイント出力 2 点
2 点（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定）
デジットスイッチにより設定（SP1、SP2 共仮数部、指数部）
5℃～ 50℃（コントローラ含む）
ゲージヘッドのみの耐熱温度 150℃ MAX
PUSH スイッチまたは、リモート I/O 入力によるソフトウェアゼロ調整
トリマーボリュームによる調整
Dsub 15P
LED 3 ヶ（PWR ／ ALM･･･ 緑／赤の 2 色発光、SP1-Status･･･ 緑、SP2-Status･･･ 緑）
72.5H × 102W × 44.5D（ゲージヘッド含まず）200g（ゲージヘッド含まず）
DC 22V ～ 33V、（最大消費電力 2W）
NW16、NW25、φ 34ICF、φ70ICF 等■オーダリングインフォメーション
製品コード
21561
21562
21580
21581
21582
21575
21576
21577
21578
21579
22784
22785

型 名

商 品 名

品 名

備 考

M-320XG/N16

A-NET クリスタルゲージ

コントローラ＋クリスタルゲージヘッド（NW16 付）

M-320XG/N25

A-NET クリスタルゲージ

コントローラ＋クリスタルゲージヘッド（NW25 付）

M-320XG/C34

A-NET クリスタルゲージ

コントローラ＋クリスタルゲージヘッド（PY34ICF 付）

M-320XG/C70

A-NET クリスタルゲージ

コントローラ＋クリスタルゲージヘッド（PY70ICF 付）

M-320XG/VG70

A-NET クリスタルゲージ

コントローラ＋クリスタルゲージヘッド（PY70 VG 付）

XG-1/NW16

NW16 付 クリスタルゲージヘッド

XG-1/NW25

NW25 付 クリスタルゲージヘッド

XG-1/ICF34PY34ICF 付 クリスタルゲージヘッド

XG-1/ICF70

PY70ICF 付 クリスタルゲージヘッド

XG-1/VG70

PY70 VG 付 クリスタルゲージヘッド

601320-005

M601/603GC 用 M320 ゲージケーブル（5m） M-320XG － M-601GC/603GC 表示器接続用

601320-010

M601/603GC 用 M320 ゲージケーブル（10m） M-320XG － M-601GC/603GC 表示器接続用

5

ワイドレンジ電離真空計
M-431HG■概 要
ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。

■特 長
1．外部入出力、RS-232C 通信機能を標準装備
2．入力電圧はワイド電圧
3．CE マーキング、RoHS（Category9）適合■用 途
・自動化真空装置の圧力測定
・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
・マルチチャンバシステムでの圧力測定
・一般真空装置の圧力測定

■仕 様
型 名

M-431HG−7〜 13.2 × 10 Pa ※ 10

圧力表示範囲

0.01× 10

圧力表示

デジタル、測定レンジ自動切換

セットポイント

２点標準装備（ヒステリシス付き）

Ｄ /Ａ出力Log または複合出力切換（０～１０Ｖ）

アナログ出力０～１０Ｖ（ＡＰＣ対応出力）

外部制御機能（リモート操作）
通信機能

INPUT ：フィラメント ON/OFF、パラメータ LOCK 、
		 フィラメント切換、デガス ON/OFF、レンジホールド
OUTPUT：セットポイント1，2、フィラメント ON/OFF ステータス
		 デガスステータス、フィラメント1/2 ステータス
ＲＳ２３２Ｃ標準搭載（9600、4800、2400、1200bps）

外形寸法 (mm)104W X 99H X 296D

質量

1.2Kg

消費電力

50VA AC90 ～ 240V 50/60Hz ※ 2

エミッション電流

10 μ A、100 μ A、1mA（自動切換えまたは固定）

ガス出し

グリッド通電加熱方式、通電タイマー３分

フィラメント切替

キー及びリモートＩ/ Ｏ操作

フィラメント保護13.3 × 10 0 Pa にてフィラメントＯＦＦ

標準構成

真空計本体（測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません）

対応

ＣＥマーキング、RoHS（Category9）※ 1 測定範囲は測定球 MG-2 の項をご参照ください。
※ 2 M-431HG に付属される AC ケーブルは 100 Ｖ仕様です。200V で使用される場合は別途ご相談ください。

6■外形寸法図■アクセサリケーブル
・専用ゲージケーブル（耐熱温度 80℃）
標準長さ 5m、10m、15m、20m
・ベーカブルケーブル（耐熱温度 250℃）も用意しております。
標準長さ 5m、10m、15m、20m
測定球
測定球の項ミニチュアゲージをご参照ください。

■オーダリングインフォメーション
製品コード

型 名

商 品 名

備 考

品 名

21672

430-901

ミニチュア B-A ゲージ用ケーブル（5m）MG-2/2F 用

21673

430-902

ミニチュア B-A ゲージ用ケーブル（10m）

MG-2/2F 用

21674

430-903

ミニチュア B-A ゲージ用ケーブル（15m）

MG-2/2F 用

21675

430-904

ミニチュア B-A ゲージ用ケーブル（20m）

MG-2/2F 用

21676

430-911

MG-2 用ベーカブルケーブル（5m）最高使用温度範囲 250℃

21677

430-912MG-2 用ベーカブルケーブル（10m）最高使用温度範囲 250℃

21678

430-913

MG-2 用ベーカブルケーブル（15m）最高使用温度範囲 250℃

21679

430-914MG-2 用ベーカブルケーブル（20m）最高使用温度範囲 250℃

21685

M-431HG

ワイドレンジ電離真空計

MG-2 用7

ワイドレンジ電離真空計
M-833HG■概 要
M-833HG は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロール
ユニットです。オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードが用意されています。ミニチュア B-A
ゲージと T C ゲージ（オプション）のコンビネーション
及び、ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、大 気 圧～ 超 高 真空までの高 精度な真空 測定を実現出来ます。高真空～超高真空装置搭載に最適です。

■特 長
1．見やすい液晶表示形式です。圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示されます。
2．圧力レンジは自動切換となっております。
3．豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が行えます。
4．セットポイントを 2 点標準装備しています。
5．最大４ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性に優れています。
（注記：GP-IB オプションには対応しておりません）
6．CE マーキング、RoHS（Category9）に対応しています。

■用 途
・自動化真空装置の圧力計測
・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
・マルチチャンバシステムでの圧力測定
・一般真空装置の圧力測定

■仕 様
型 名

M-833HG

測定球

ミニチュアゲージ MG-2 シリーズ

圧力表示範囲

0.01× 10 − 7 〜 1.32 × 101 Pa ※ 1

圧力表示

測定レンジ自動切換

セットポイント

2 点標準装備（オープンコレクタ）
0 ～ 10V：仮数部出力、指数部出力
0 ～ 11V：複合出力または Log 出力

D/A 出力アナログ出力（エレクトロメータ出力）

APC モード設定時（0.1 ～ 2.5V）
ノーマルモード設定時（0.1 ～ 1.6V）

外部制御機能（リモート操作）INPUT ： フィラメント ON/OFF		 デガス ON/OFF		 等 6 種類の外部制御機能
OUTPUT ： 6 種類のステータス信号出力

特殊機能

APC 対応： レンジホールド機能
		 エレクトロメータ出力機能

寸法（mm）

H99 × W209 × D330

質量1.9kg（オプションボード未装着時）

所要電力

100 ～ 240VAC ※ 2
100VA 以下、50 ／ 60Hz

エミッション電流

10 μ A、100 μ A、1mA 自動切換設定または固定設定

ガス出し

グリッド通電加熱方式

フィラメント切換

キー及び、リモート I/O 操作

フィラメント保護オーバーレンジ設定値またはエミッション電流± 50% の変動

標準構成

真空計本体（測定球及びケーブルは構成品に含まれません。
）

対応

ＣＥマーキング、RoHS（Category9）※ 1 測定範囲は測定球 MG-2 の項をご参照ください。
※ 2 M-833HG に付属される AC ケーブルは 100 Ｖ仕様です。200V で使用される場合は別途ご相談ください。

8■外形寸法図■アクセサリケーブル
・専用ゲージケーブル（耐熱温度 80℃）
標準長さ 5m、10m、15m、20m
・ベーカブルケーブル（耐熱温度250℃）も用意しております。
標準長さ 5m、10m、15m、20m■拡張機能オプション※オプションボードの組合せについては M-723HG、M-823HG、M-932HG のアクセサリの項目参考
サーモカップルゲージと B-A ゲージを組み合わせることで、
荒引き圧力から超高真空までの測定が可能となります。
１つのボードで２台の TG-550C を測定できます。但し、標準構成は TG-550C１個、ケーブル１本となります。

TC ゲージボード
BCD アウトプットボード

圧力値の BCD 出力が可能です。

CM ゲージボード

キャパシタンスマノメータとのコンビネーションにより大気圧から超高真空までの測定が可能になります。

セットポイントボード

圧力セットポイントの増設とリレー出力が可能です。

RS232C ボード

外部制御用（600、1200、2400、4800、9600、19200 bps）

ゲージセレクタボックス

2 つのミニチュア B-A ゲージ球を接続、切換が可能です。

■オーダリングインフォメーション
製品コード
21734
21487
21483
21481
21480
21485
21776
21775
21672
21673
21674
21675
21676
21677
21678
21679

型 名

商 品 名
品 名

M-833HG

ワイドレンジ電離真空計

ミニチュアゲージ専用電源、ケーブル / 測定球無722-TCTC ゲージボード

M-723HG・823HG・833HG・923HG 用 TG-550C, ケーブル 5m 付

722-BCDBCD アウトプットボード

M-723HG・823HG・833HG・923HG 用コネクタ付

722-CM

CM ゲージボード

M-723HG・823HG・833HG・923HG 用コネクタ付

722-SPB

セットポイントボード

M-723HG・823HG・833HG・923HG 用コネクタ付

722-232C

RS-232C ボード

M-723HG・823HG・833HG・923HG 用コネクタ付

831-331

M-833HG 用ゲージセレクタボックス

ケーブル無、MG-2 用

831-323

ゲージセレクタボックス（MG-2 用）

M-833HG 用、ケーブル（本体間 5m、ゲージ間 2m）含430-901

ミニチュア B-A ゲージ用ケーブル（5m）MG-2/2F 用

430-902

ミニチュア B-A ゲージ用ケーブル（10m） MG-2/2F 用

430-903

ミニチュア B-A ゲージ用ケーブル（15m） MG-2/2F 用

430-904

ミニチュア B-A ゲージ用ケーブル（20m） MG-2/2F 用

430-911

MG-2 用ベーカブルケーブル（5m）最高使用温度範囲 250℃

430-912MG-2 用ベーカブルケーブル（10m）最高使用温度範囲 250℃

430-913

MG-2 用ベーカブルケーブル（15m）最高使用温度範囲 250℃

430-914MG-2 用ベーカブルケーブル（20m）最高使用温度範囲 250℃

備 考9

電離真空計
M-723HG、M-823HG、M-923HG■概 要
多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた最も一般的な B-A 型電離真空計シリーズです。
真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能やA P C（自動圧力制御）で有 効なレンジホールド機能を標準で備えています。
M-823HG ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップル
ゲージのコンビネーション及びゲージの自動切替を行う
オートフィラメント機能の搭載により大気圧から高真空領域までを 1 台で高精度にカバーします。

■特 長
1．圧力レンジは自動切換となっております。

7．M-823HG では、TC、CM などのあら引きゲージから

2．圧力及び種々のメッセージが液晶表示されます。

B-A ゲージへ自動切換するオートフィラメント機能が搭

3．豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が行えます。

載されています。

4．セットポイントを 2 点標準装備しています。

8．ガス種による比感度の設定が可能です。

5．記録計用出力として、D/A 出力（仮数、指数、複合、9．電源電圧は、AC100V の他、AC115/200/230V も特Log の 4 出力）を標準装備しています。
6．APC（自動圧力制御）用に、便利なレンジホールド

注にて対応可能です。
10. 様々なオプションにより機能を拡張できます。

機能を標準装備しています。
この機能により、設定 圧力レンジへの固定／解除が■用 途できます。また、APC 用の信号として、D/A 出力とは・自動化真空装置の圧力測定

別に高速応答のアナログ出力（エレクトロメータ出力）

・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御が用意されております。

・マルチチャンバシステムでの圧力測定
・一般真空装置の圧力測定

10

■仕 様
型 名
測定球

圧力測定レンジ

M-723HG

M-823HG

UGD-1S B-A ゲージ球

BRG-1B ワイドレンジ B-A ゲージ球

5 レンジ自動切換

7 レンジ自動切換

、10

10

－2

10

－6

－3

、10

－4

、10

Pa

測定レンジ切換

－5

、

10

－0

10

－4

、10

、10

、10

－2

、10

－6

－1

－5

M-923HG、10

NIG-2F/NIG-2TF
ヌードイオンゲージ球
8 レンジ自動切換

－3

、

Pa

10

－2

10

－6

、10 － 3、10 － 4、10 － 5、、10 － 7、10 － 8 、10 － 9Pa

自動切換え（レンジホールド可）

ガス出し

グリッド通電加熱方式

フィラメント切換

電子衝撃方式

前面パネルと外部制御入力により切換可（M822HG を除く）

フィラメント保護

圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅のいずれかに問題があると自動的に OFF する。

アナログ出力D/A 出力（仮数部 D/A 出力、指数部 D/A 出力、複合 D/A 出力）アナログ生出力（エレクトロメータ出力）
INPUT： フィラメント ON/OFF 入力、デガス ON/OFF 入力、フィラメントインヒビット入力、レンジホールド 1 入力、

		 レンジホールド 2 入力、フィラメント切換入力、ゲージ 1/2 切換入力（ゲージセレクタオプション使用時）
I/O リモートOUTPUT： フィラメント ON/OFF 出力、デガス ON/OFF 出力、リモート / ローカル出力、セットポイント出力（2 点）、		 ゲージ 1/2 セレクト出力（ゲージセレクタオプション使用時）、パワー ON/OFF 出力、フィラメント1/2 出力、		 アラーム出力

セットポイント
外形寸法（mm）
質量

2 セットポイント標準装備（オープンコレクタ）
H99 × W209 × D330
5.4kg（オプションボード未装着時）

所要電力AC100V ± 10％ 2A、50/60Hz（AC115/200/230V にも対応可能）

標準構成

真空計本体（測定球およびケーブルは構成品に含まれません）■外形寸法図11

■アクセサリオプションボードの組み合わせ
オプションボードにより機能拡張が行えます。
セットポイントボード

CM ゲージボード

TC ゲージボード

BCD アウトプットボードRS-232C
ボード

ゲージセレクタ
ボックス

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

セットポイントボード
CM ゲージボード○

TC ゲージ
ボード

○

○

○

BCD アウトプットボード○○○RS-232C ボード

○

○

○

○

ゲージセレクタ
ボックス

○

○

○

○

○
○

（

○は組合せ可能＼は不可

M-723HG・823HG・833HG・923HG 本体
MIG-721, MIG-821, MIG-831, MIG-921本体＜オプションボード＞

ゲージセレクタボックス＜オプション＞

組合わせは表1
参照

セットポイントボード

圧力セットポイントの増設とリレー出力が可能です。４点 AC100V 1A, DC30V 1A

CM ゲージボード

キャパシタンスマノメータとのコンビネーションにより大気圧から超高真空までの測定が可能になります。

TC ゲージボード

サーモカップルゲージと B-A ゲージを組み合わせることで、あら引き圧力から超高真空までの測定が可能となります。
１つのボードで２台測定できます。但し、標準構成は、TG550C１個ケーブル１本となります。

BCD アウトプットボード

圧力値の BCD 出力が可能です。

RS-232C ボード

外部制御用（600、1200、2400、4800、9600、19200、 bps）

ゲージセレクタボックス

2 つの B-A ゲージ球を接続、切替が可能です。

ケーブル

測定球

標準長さ 5m、10m、15m、20m M-923 用のみベーカブル

測定球の項をご参照ください。
（使用可能ゲージ球は制御ケーブル（耐熱温度 200℃）を用意しております。

ユニット仕様をご参照ください。
）

オーダリングインフォメーションをご参照ください。

12

■オーダリングインフォメーション
製品コード
21704
21728
21747
21745
21764
21487
21481
21483
21480
21485
21645
21646
21647
21648
21750
21751
21752
21753
21754
21755
21756
21757
21765

型 名

商 品 名
品 名

備 考

M-723HG

電離真空計

JIS ラックタイプ

M-823HG

ワイドレンジ電離真空計

JIS ラックタイプ

M-923HG

超高真空計

JIS ラックタイプ

921-303

ゲージセレクタボックス

M-923HG 用、ケーブル（本体間 5m・ゲージ間 2m）含721-303

ゲージセレクタボックス

M-723HG/M-823HG 用、ケーブル（本体間 5m・ゲージ間 2m）含722-TCTC ゲージボード

M-723HG･823HG･833HG･923HG 用 TG-550C、ケーブル 5m 付

722-CM

CM ゲージボード

M-723HG･823HG･833HG･923HG 用 コネクタ付

722-BCDBCD アウトプットボード

M-723HG･823HG･833HG･923HG 用 コネクタ付

722-SPB

セットポイントボード

M-723HG･823HG･833HG･923HG 用 コネクタ付

722-232C

RS-232C ボード

M-723HG･823HG･833HG･923HG 用 コネクタ付

820-901

B-A ゲージ用ケーブル

M-723HG･823HG、標準 5m

820-902

B-A ゲージ用ケーブル

M-723HG･823HG、標準 10m

820-903

B-A ゲージ用ケーブル

M-723HG･823HG、標準 15m

820-904

B-A ゲージ用ケーブル

M-723HG･823HG、標準 20m

921-901

ヌードイオンゲージ用ケーブル

M-923HG 用、5m

921-902

ヌードイオンゲージ用ケーブル

M-923HG 用、10m

921-903

ヌードイオンゲージ用ケーブル

M-923HG 用、15m

921-904

ヌードイオンゲージ用ケーブル

M-923HG 用、20m

921-911

ヌードイオンゲージ用ベーカブルケーブル

M-923HG 用、5m

921-912

M-923HG 用ゲージ延長ベーカブルケーブル

921-911 延長用、5m

921-913

M-923HG 用ゲージ延長ベーカブルケーブル

921-911 延長用、10m

921-914

M-923HG 用ゲージ延長ベーカブルケーブル

921-911 延長用、15m

921-801

ラックマウントパネル

M-723HG･823HG･833HG･923HG 用

13

CC-Link 搭載電離真空計

電離真空計
M-723HG-CC、M-823HG-CC、M-833HG-CC、M-923HG-CC■概 要
ご好評いただいております電離真空計 M-723-HG ／M-823HG ／ M-833HG ／ M-923HG が、CC-Link
で通信制御できます。
CC-Link とは、CC-Link 協会推奨しているシステムの省配線、FA 制御を目的としたフィールドネットワークです。CCLink の使用により、１つのユニットで複数台の接続が可能となります。
CC-Link 接続概略図
PLC

CC-Link
ユニット

I／O
ユニット

MFC

■アクセサリ
他のオプションボードの組み合わせ
なお、オプションボードの追加は 1 台のみとなります。
TC ゲージボード

CM ゲージボード

ゲージセレクタボックス

セットポイントボード

BCD アウトプット
ボード

RS-232C
ボード

◎

◎

◎

○

○

×

◎；CC-Link での通信も可能 ○；組み合わせ可能 ×；組み合わせ不可■オーダリングインフォメーション
製品コード

14

商 品 名
型 名

備 考

品 名

21708

M-723HG-CC

電離真空計（CC-Link）

UGD-1S 用

21729

M-823HG-CC

ワイドレンジ電離真空計（CC-Link）

BRG-1B 用

21735

M-833HG-CC

ワイドレンジ電離真空計（CC-Link）

MG-2 シリーズ用

21748

M-923HG-CC

超高真空計（CC-Link）

NIG-2F シリーズ用

あら引き領域の定番

サーモカップル真空計
M-012DM■概 要
2 種 類の貴金属線を十時に組み合わせ、片方の一対を熱伝対として、他の一対をヒータとして構成され、気体の圧力によって変化する中央接点の温度を測定する真空計です。
M-012DM は、制御部がメータの裏に組み込まれている、
いわゆるパネルメータ型で、取り付け面積を小さくしています。
見やすい LED 発光型を用いています。その他、2 点のセットポイントを有しており、設定は、前面パネルスイッチ
にて容易に行えます。

■仕 様

■特 長
1. LED 発光型バーグラフ表示

型 名

M-012DM

見やすい LED 発光バーグラフ表示です。セットポイント

測定球

TG-550C サーモカップルゲージ

設定も前面パネルスイッチにて容易に行えます。

圧力測定範囲

5 × 10 － 1 ～ 200Pa

圧力表示

バーグラフ表示（LED 発光、疑似アナログ表示形式）

2. 安定した測定
2 0 0Pa から 5 × 10 － 1 Pa の圧力が測定でき、幅広い
電源電圧範囲や周囲温度の変化に対しても安定した測定が行えます。
3. 大気圧動作可能
貴金属抵抗線を用いていますから、大気中で動作可能
です。

■用 途
・あら引き系の圧力測定

動作可能圧力

大気圧から通電可能

アナログ出力DC0 ～ 10mV（圧力に対しノンリニア）

セットポイント

2 点（各点 NO、NC）
DC30V2A、AC250V2A

外形寸法（mm）

80W × 80H × 113D

質量

0.25kg

所要電力

AC90 ～ 264V 50/60Hz 5W

標準構成

M-012DM（本体） ：1 台
入力ケーブル（1.8m）：1 本
TG-550C：1 個
ゲージケーブル（5m）：1 本

・あら引き系の自動制御■外形寸法図■アクセサリケーブル：標準 5m ケーブルは添 付されていま
80

12.2

81

19
2

端子カバー

す。オプションで 10m、15m が可能です。オーダリングインフォメーション

φ65

80

をご参照ください。
Pa
M-012DM16

測定球 ：測定球の項 TG-550C をご参照くだ
さい。

通風口

■オーダリングインフォメーション
製品コード

商 品 名
型 名

品 名

備 考

21539

M-012DM

サーモカップル真空計（TG-550C 付）

TG-550C、ケーブル 5 ｍ付

21537

M-012DM

サーモカップル真空計

TG-550C、ケーブルは含まない

21526

012DM-05

M-012DM 用 5m ケーブル

21527

012DM-10

M-012DM 用 10m ケーブル

21528

012DM-15

M-012DM 用 15m ケーブル

15

測定球
ミニチュアゲージ

MG-2, MG-2M, MG-2F, MG-2WF

ミニチュア B-A ゲージ球 MG-2/MG-2M/MG-2F はガラス製ゲージ球の大きく、割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。従って、取付場所の選定が容易で、さらに、感度や測定範囲等のゲージの性能を損なうことなく小型化（従来の約 1/20 当社比）されており、到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力（1Pa 台が測定可）までの圧力計測が 1 つのゲージで行なえます。MG-2 及び MG-2M はゲージ
アダプタ（O リング差込み式：MG-2 はφ 15mm、MG-2M はφ 18mm 用）に接続するタイプです。MG-2F は到達圧力を重視したφ 70ICF に直接取付けたタイプです。

■外形寸法図■各種フランジ付例

38.5

30

φ70

MG-2M

MG-2F

φ26

φ26

φ26

MG-2

MG-2M

φ70ICF

φ30

φ70ICF

φ40

NW16MG-2I/φ 34ICF,φ70ICF

MG-2F

67

MG-2

φ34ICF

65.5

MG-2F

φ70

67

φ18

69.5

63.5

24

φ34

MG-2M

φ15

70.2

MG-2・MG-2WF

NW25

■仕 様
形 式

MG-2I/
NW16,25

ボディー材質SUS304

測定上限圧力（注 1）

1.3 × 10 － 1（注 3）Pa13Pa

測定下限圧力
（注 2）

10

－6

Pa 台

10

感度

0.045PaPa 台

1.0 × 10 － 5（注 4）Pa 台－7－1

フィラメント 2 本内蔵
フィラメント材：イットリアコートイリジウム線

フィラメント
測定球容積

フィラメント 2 本内蔵
フィラメント材：タングステン

約 12cc

所要 フィラメント
電力 グリッドデガス

2.3W
1.0W

デガス方式
取り付け方法MG-2WF

2.5W
1.0W
グリッド通電φ15 ゲージ
アダプタまたは各種フランジに溶接可

φ18 ゲージ
アダプタ

NW25、NW16

φ 34ICF、φ70ICF

φ70ICF
フランジに接続

φ15 ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可

注 1）リニアリティーの限界。
注 2）実用的に測定できる下限圧力はフランジ形状に依存します。
注 3）但し、窒素やアルゴンガスの様な不活性ガスでは 13Pa まで測定可能です。
注 4）MG-2WF は、標準 MG-2 と比べ測定下限値が 1 桁高い値となります。

■オーダリングインフォメーション
製品コード

16

型 名

商 品 名

備 考

品 名

21160

MG-2

ミニチュア B-A ゲージ測定球

取付部φ15 タイプ

21161

MG-2F

ミニチュア B-A ゲージ測定球

φ70ICF 付

21162

MG-2M

ミニチュア B-A ゲージ測定球

取付部φ18 タイプ

21163

MG-2I/NW16ミニチュア B-A ゲージ測定球

NW16 付21164

MG-2I/NW25

ミニチュア B-A ゲージ測定球

NW25 付21165

MG-2I/ICF34

ミニチュア B-A ゲージ測定球

φ 34ICF 付

21166

MG-2I/ICF70

ミニチュア B-A ゲージ測定球

φ70ICF 付

21167

MG-2F/WF

ミニチュア B-A ゲージ測定球

タングステンフィラメントタイプ、φ70ICF 付

21170

MG-2WF

ミニチュア B-A ゲージ測定球

タングステンフィラメントタイプ、取付部φ15 タイプ

シュルツゲージ

LG-11S－2100Pa ～10 Pa の間の圧力測定用の電離真空計測定球です。
LG-11Sフィラメントにはトリアコートイリジウム線を用いておりますので、使用温度が低く、それだけ長寿命に使えます。ケー20

ブルとの接続方法は、手軽さ、確実さ、安全性を考慮した

110

アダプタを用いるかまたはφ 70ICF 付のガラスアダプタへ

φ15

φ37

φ1.5

フィラメントコネクタ方式（ソケット型）です。真空装置との接続はφ15

陽極

イオンコレクタ

ガラス封着を行ないます。

B-A ゲージ75

LG-11S外形寸法図

UGD-1S

10 － 2Pa 台以下の圧力測定用のガラス管封入型 B-A 型電離イオンコレクタ

真空計測定球です。

グリッド

120

φ60

UGD-1S はコバールガラス封止の B-A ゲージです。グリッドはタングステン線で、通電加熱でガス出しが行なえます。
また、このためガス出し中でも圧力の測定が行なえます。
φ15

100

ケーブルとの接続方法は手軽さ、確実さ、安全性を考慮したフィラメントコネクタ方式（ソケット型）です。
UGD-1S外形寸法図

ワイドレンジ B-A ゲージ

BRG-1B

従来の B-A ゲージを改良し、とくに高圧側の測定範囲を広げた B-A ゲージです。ガス出し方式は UGD-1S と同様
グリッド通電方式を採用しております。フィラメントはとくに補助電極

高圧測定を考慮し、トリアコートイリジウム線を採用してフィラメント

19

129

21.6

おります。ケーブルとの接続はコネクタ方式（ソケット型）
で手軽にかつ確実に着脱できます。
64
60

真空装置との接続はφ 15 アダプタを用いるかまたは
φ 70ICF 付のガラスアダプタへガラス封着します。

グリッド

イオンコレクタ
φ15＊特許第 1623097 号

■仕 様
型 名
ゲージタイプ

LG-11SUGD-1S

BRG-1B

シュルツゲージ

B-A ゲージ

ワイドレンジ B-A ゲージ

形状

ガラス管状

被測定真空室との接続

φ15 ゲージポート（Oリング）

測定範囲

10 − 2 ～ 100Pa

標準感度0.0038Pa － 1 空気に対して0.075Pa － 1N2 に対して

X 線限界

＜ 10 － 4Pa

約 1.3 × 10 － 8Pa

ベーク可能温度
材質

フィラメントタングステン（2 本）

コバールガラス（真空封止）
NI-10D※

高圧（10 ～ 10 Pa）までのスパッタプロセス等
2

用途

10 − 6 ～ 10Pa

400℃（ただし、Oリングシール時 150℃以下）
トリアコートイリジウム（1 本）

ボディ
使用可能真空計電源

10 − 6 ～ 0.1Pa

M-723HG・NI-10D
一般真空用

トリアコートイリジウム（1 本）
タングステンガラス（開放）※M-823HG
高圧（10Pa）までのスパッタプロセス等※ 2008 年 6 月で販売終了となっております。

■オプション
ガラス製の各ゲージ球（UGD-1S、BRG-1B、LG-11S）には、φ 70ICF の付いたガラスアダプタを溶着したタイプも承ります。
接続方向、長さなどご指定の寸法に加工致しますので御用命下さい。

17

■オーダリングインフォメーション
製品コード

商 品 名

型 名

備 考

品 名

21225

BRG-1B

BRG-1B ワイドレンジ B-A ゲージ球

取付部φ15 タイプ

21133

952-7860

BRG-1 縦型ワイドレンジ B-A ゲージ球

φ70ICF ガラスアダプタ付

21132

952-7861

BRG-1 横型ワイドレンジ B-A ゲージ球

φ70ICF ガラスアダプタ付

21121

UGD-1SB-A ゲージ球

ソケット式

21130

952-7850

UGD-1S 縦型

φ70ICF ガラスアダプタ付

21131

952-7851

UGD-1S 横型

φ70ICF ガラスアダプタ付

21100

LG-11S

シュルツゲージ球

ソケット式

ヌードイオンゲージ

NIG-2F/NIG-2TF

B-A 型電極をフランジに直接マウントしています。このまま装置に取付けますので、導管による誤差がなく超高真空の測定に適しております。グリッドには白金クラッドモリブデン

2-18UNS

線を用いておりますのでガスの汚染による誤差を極小にして
（φ70）

おります。
ケーブルとの接続方法は、手軽さ、確実さ、安全性を考慮したコネクタ方式（キャノンプラグ型）です。NIG-2F はタ

69±2

ングステンフィラメントを使用しております。また、NIG-2TF

40

はイットリアコートフィラメントを使用して低温度化し、ガス

75±2

NIG-2F/2TF外形寸法図

放出を抑えて超高真空の測定を有利にしています。

■仕 様型

NIG-2F
954-7902

名NIG-2TF
954-7903

ゲージタイプヌード型 B-A

形状

ヌード型

被測定真空室との接続

φ70ICF

測定範囲

10 − 9 ～ 10 − 1Pa

標準感度0.19Pa － 1 N2 に対して

X 線限界

約 2.7 × 10 － 9Pa

ベーク可能温度

400℃

フィラメントフィラメント材：タングステン（2 本）

フィラメント材：イットリアコートイリジウム（2 本）
M-923HG・NI-10D ※使用可能真空計電源

10 － 9Pa 台まで

用途

超高真空装置（ベーカブル装置用）※ 2008 年 6 月で販売終了となっております。

■オーダリングインフォメーション
製品コード

型 名
954-7902

NIG-2F ヌードイオンゲージ球21119

NIG-2TF

NIG-2TF ヌードイオンゲージ（イットリアコートフィラメント）

21140

954-7905

備 考

品 名

21120
21142

18

商 品 名

キャノンプラグ式

イットリアコートフィラメントキット

NIG-2TF 用

ヌードイオンゲージ用フィラメントキット

NIG-2F 用

PG-150

サーモカップルゲージと同じく、SUS-304 を使っています。
大気から使用でき、φ15 アダプタで取付けます。
（標準耐
熱温度 80℃）
ベーク可能タイプのピラニゲージも販売しておりますので、ご相談下さい。
（最大加熱温度 200℃、ただしコネクタをはずした時）

サーモカップルゲージ

106

φ15

48
φ20

ピラニゲージ

14.2

52

PG-150外形寸法図
29.5TG-550C

φ15

材質は SUS-304 を使用しています。大気からの使用が可能
で、φ15 アダプタにて取付けます。
（最大加熱温度 150℃、
ただし、コネクタをはずした時）

■仕 様
型

名

ゲージタイプ形状
被測定真空室との接続

TG-550C
サーモカップルゲージ

メタル管球

メタル管球

φ15 ゲージポート（Oリング）

φ15 ゲージポート（Oリング）

10 − 1 ～ 133Pa

10 − 1 ～ 200Pa

ステンレス（SUS-304）

ステンレス（SUS-304）

測定範囲
材質

PG-150
ピラニゲージボディ

MPG-011
MPG-012 ※M-012DM
M-723HG/823HG/833HG/923HG

あら引き排気時測定用

あら引き排気時測定用※使用可能真空計電源
用途※ 2008 年 12 月で販売終了となっております。

■オーダリングインフォメーション
製品コード

商 品 名

型 名

備 考

品 名

21040

PG-150ピラニ測定球取付部φ15 タイプ

21041

PG-150/ICF70

ピラニ測定球（φ70ICF 付）

φ70ICF 付

21042

PG-150/ICF34

ピラニ測定球（φ 34ICF 付）

φ 34ICF 付

21015

TG-550C

サーモカップルゲージ球

取付部φ15 タイプ

21009

TG-550B

サーモカップルゲージ球

取付部φ15 タイプ

測定球の感度校正
測定球の精度は個々に若干の差違が有り、又経時変化もあります。当社では基準真空計に対する感度校正サービスを行っております。新品の測定球あるいは使用中の測定球に対しても承りますのでお申し付け下さい。

ゲージアダプタ
SUS-304、ゲージシールガスケット：ふっ素ゴム（バイトン）・クイックカップリング

φ30

41.3

952-7806

48.3

φ15 アダプタ

φ70 ICF

固定フランジ

φ30

型 名

φA

B

NW16

954-7832

30

52

NW25

954-7833

40

52

NW40

954-7834

55

52

φ16

オネジ

B

・ICF

A

■オーダリングインフォメーション
製品コード

型 名

商 品 名

品 名

備 考

32150

952-7806

φ15 アダプタ

φ70ICF 付、φ15 ゲージ取付ポート

32650

954-7832

NW16 ゲージアダプタ

φ15 ゲージ取付ポート

32651

954-7833

NW25 ゲージアダプタ

φ15 ゲージ取付ポート

32652

954-7834

NW40 ゲージアダプタ

φ15 ゲージ取付ポート

19

真空計シリーズ

Vacuum Gauges

Vacuum Components
クリスタルゲージ
電離真空計
サーモカップル真空計

2020 年 3 月作成 無断転載禁止ᮾ᪥ᮏ࢚ࣜ࢔bࠛࠉ⚄ዉᕝ┴ᕝᓮᕷ㯞⏕༊ᰩᮌ
ࠉ࣭ྛ✀⿦⨨㛵ಀࠉ࣭┿✵ࢥ࣏࣮ࣥࢿࣥࢺ

7(/
7(/

)$;
)$;す᪥ᮏ࢚ࣜ࢔bࠛࠉ኱㜰ᗓ྿⏣ᕷ༡㔠⏣
ࠉ࣭ྛ✀⿦⨨㛵ಀbࠉ࣭┿✵ࢥ࣏࣮ࣥࢿࣥࢺ

7(/7(/)$;
)$;

஑ᕞ࢚ࣜ࢔

ࠛࠉ⇃ᮏ┴⇃ᮏᕷ୰ኸ༊ᖏᒣ࢟ࣖࣀࣥ0-⇃ᮏࣅࣝ)

7(/

)$;

※輸出・移転・処分に関する注意事項

本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。
また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。
URL : https://www.canon-anelva.co.jp/※本カタログに掲載されている内容は性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。

165-29. 2003-00408ＥK