ヘリウムリークディテクタ

Helium Leak Detector
Vacuum Components
M-212LD
M-212LD-D
M-222LD
M-222LD-D
M-232LD
M-222LD-H
M-222LD-D-H
M-222LD-D-H̲500

2019年 12月作成 無断転載禁止ᮾ᪥ᮏ࢚ࣜ࢔bࠛࠉ⚄ዉᕝ┴ᕝᓮᕷ㯞⏕༊ᰩᮌࠉ࣭ྛ✀⿦⨨㛵ಀࠉ࣭┿✵ࢥ࣏࣮ࣥࢿࣥࢺ

7(/7(/)$;)$;す᪥ᮏ࢚ࣜ࢔bࠛࠉ኱㜰ᗓ྿⏣ᕷ༡㔠⏣
ࠉ࣭ྛ✀⿦⨨㛵ಀbࠉ࣭┿✵ࢥ࣏࣮ࣥࢿࣥࢺ

7(/7(/)$;)$;

஑ᕞ࢚ࣜ࢔ࠛࠉ⇃ᮏ┴⇃ᮏᕷ୰ኸ༊ᖏᒣ࢟ࣖࣀࣥ0-⇃ᮏࣅࣝ)

7(/)$;

※輸出・移転・処分に関する注意事項

本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。
また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。
URL : https://www.canon-anelva.co.jp/※本カタログに掲載されている内容は性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。

163-03.1912-01014EK

ヘリウムリークディテクタ
HELEN シリーズ

真空装置
Model:

M-212LD

コンパクト！

機動性を重視したコンパクトタイプ。
計測器・制御器M-212LD-D

コンパクト＆ドライ！
ダイヤフラムポンプを搭載した低パーティクルのドライ・コンパクトタイプ

Model:

M-222LD

ハイパワー！

212 のあら引きポンプをパワーアップしたハイパワータイプ。

M-222LD-D

ハイパワー＆ドライ！
ドライポンプを搭載したポータブルタイプ
クリーンな環境に！
1178

キヤノンアネルバ株式会社

真空機器総合カタログ

Vol.9.2

自動車産業

医療産業

Model:

M-222LD-H
M-222LD-D-H
M-222LD-D-H_500
計測器・制御器

高感度・大排気量タイプ

新しいプラットホーム（新開発の TMP・バルブブロック）を採用し、FINE モードを標準とした高感度・高レスポンスタイプ。
500L/min マルチルーツポンプ仕様の大排気量タイプ真空部品

Model:

M-232LD

スニファー

スニファー専用タイプ

キヤノンアネルバ株式会社

電子デバイス

真空機器総合カタログ

Vol.9.2

2179

Portable

HELEN ポータブルシリーズ
HELEN M-212LD(-D)/M-222LD(-D)(-H)(_500)/M-232LD

計測器・制御器■概 要
HELEN ポータブルシリーズは、小型、軽量、可搬性をコ

M-212LD ．．．．．．．．．．．．． Compact!

ンセプトに開発されました。

・各種真空装置の検査、フィールドサービスに最適です。

M-212LD(-D) は、フィールドサービスを目的としたシリーズ

・小型の各種真空部品のリークテスト。

軽量の汎用モデルです。

M-212LD-D ．．．．．．．．． Compact & Dry!

M-222LD(-D) は、大型のあら引きポンプを搭載しているため、装置搭載のポンプの助けを借りずに本体のみで大型真空容器のリークテストが行える汎用モデルです。
M-222LD-H、M-222LD-D-H は、高 感 度モデルとして、新しいプラットホーム（TMP・バルブブロック）を用い、従来機をさらに高感度・高レスポンスとして開発しました。また、大型の真空装置用として 500L/minドライポンプを搭載した M-222LD-D-H_500 も新たにシリーズラインナップ。
M-232LD はスニファ法に機能を絞った専用機で、各種ガス配管、加圧部品等の用途に最適です。

・ダイヤフラムポンプを搭載、低パーティクル、ドライでクリーンルームの使用環境に最適。
M-222LD/M-222LD-D ．．．．High Power& Dry!
M-222LD-H/M-222LD-D-H/M-222LD-D-H_500．．．．．．．．．．．． High Power & Dry!
・各種真空装置の保守保全。
・リークシステムの検出器として。
・オイルフリーリークテスト。
（-D）
-13

3、高レスポンス（0.5sec）の測定。
（-H）
・高感度（10 Pa･m /s 台）(-D) シリーズでは、補助ポンプをドライポンプ化したオイル・ 加速器等の大型の各種真空容器のリークテスト。

フリーシステムを表しており、お客様の真空装置（真空部品）

M-232LD ．．．．．．．．．．．．．．．Sniffer!

をオイル汚染から防ぐことができます。

・ガス供給システム、真空部品、配管部品のリークテスト。

以上、お客様のアプリケーションに合わせて、多彩なモデ・自動車部品、空調冷凍機のリークテスト。

ルをご用意しております。各種シリーズの中からお選びくだ・食品、医療品のパッケージのリークテスト。

さい。

・ 水道、各種ガス配管のリークテスト。

3180

キヤノンアネルバ株式会社

真空機器総合カタログ

Vol.9.2

■特 長
1．イージーオペレーション

4．耐久性を重視した堅牢設計

ボタン操作１つで機器の立ち上げから測定までが行えま

各種安全機能を充実。オペレータの誤操作や環境の異常す。試験体に応じて最適な条件を設定し、どなたにでも簡にも瞬時に対応できます。

単にリークテストが行えます。もちろん感度校正も全て自動

長寿命タングステン・フィラメントを採用することにより、長で行うことができます。

期間、高感度測定が行えます。また、24 時間稼働のシス
テムへの搭載を前提に各部を堅牢な設計にしています。

2．業界最高レベルの感度、安定性、応答性を実現
偏向角度 180°の質量分析管採用。さ5．幅広い機能らにヘリウムイオンの増幅に MCP（2操作法は、従来機の簡単な操作を踏襲し、スタート／ストッ次電子増倍管）を搭載しました。そのプボタンで測定ができます。また、様々な使用に合わせる、結果標準機でも 10−12複雑な設定をご希望のお客様に対しましても、納得のいく

3Pa･m /s の高感度と長時間の使用に対しても高い安定性を実現しました。

対応が可能です。ディスプレー部分は、4.1 インチカラー液分析管晶を使用しています。カラーにより一層分かりやすい表現となりました。下図は標準画面とステータス画面とトレンド画

3．イージーキャリー面です。

可搬に便利な大型キャスタ、その他の機能の一例としては、内部温度の変動を読み取

ハンドル等フィールドサービ

イージーキャリー

スを目的とした利用にも対応

り、前置増幅器（プリアンプ）の温度ドリフトを補正することにより、より精度の高い計測を実現致しました。

可能です。

計測器・制御器■ハンドコントローラ

標準画面

ステータス画面

ハンドコントローラ

キヤノンアネルバ株式会社

トレンド画面

アナログ画面

真空機器総合カタログ

Vol.9.24181

■テクニカルデータ

最小可検リーク量データ

プリントアウト例(Pa･m3/sec)
1.0×10－11

5.0×10－12

4.0×10－12

3.0×10－12

2.0×10－12

1.0×10－12

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 (min)M-212/222LD

レスポンス / クリーンアップデータ(Pa･m3/sec)

Standard Leak
5×10-9Pa･m3/s

Standard Leak Valve**CLOSE**

1.0×10-7

1.0×10-8

校正リークバルブ開
校正リーク(5×10-9Pa･m3/sec)

1.0×10-9
Standard Leak Valve**OPEN**

1.0×10-10

計測器・制御器

1.0×10-11
校正リークバルブ開1.0×10-12

5

10 15

20 25 30

354045 50

5560

65

70 (sec)

M-212/222LD

ドライポンプ仕様と RP 仕様のインレットポートにおける残留ガス分析（RGA）の比較

M-222LD5182

キヤノンアネルバ株式会社

M-222LD-D

真空機器総合カタログ

Vol.9.2

■スペックシート
標準タイプ
M-212LD

M-212LD-D

M-222LD

M-222LD-D

M-232LDバージョン

型 名コンパクト

コンパクトドライ

ハイパワー

ハイパワードライ

スニファー

定量測定範囲（Pa・m ３/s）

10 –12 ～ 10 –3

10 -12 ～ 10 -3

10 –12 ～ 10 –3

10 –12 ～ 10 –3

10 –8 ～ 10 –1（10 –2 ～ 105ppm）

1.0（Middle2 Mode）
1.8（Gross Mode） 2.0（Gross Mode）
インレットポート排気速度（He) 0.5（Gross Mode）
4.0（Middle1 Mode）2.0（Middle Mode） 2.0（Middle Mode）（L/s) 2.0（Middle Mode）
7.0（Fine Mode)
インレットポート形状
NW25（ISO）

プローブ吸引速度
0.3Pa・m3/s
スニファープローブ

ターボ分子ポンプ

メインポンプ
粗引きポンプ

50L/s

70L/s

50L/s

油回転ポンプ
30L/min

ダイヤフラムポンプ
15L/min

表示器
981-9370 型（オプション）※1

AC100 ～ 120V、8A AC100 ～ 120V、6.3A

所要電力※ 2
外形寸法
（W × H × D）
（mm）
質量（ｋｇ）

スクロールドライポンプ
250L/min

油回転ポンプ
30L/min+
ダイヤフラムポンプ

RS232C
Analog 出力（2 点）・標準 I/O

外部インタフェース

スニファープローブ

油回転ポンプ
236L/min435 × 487 × 364
424.1インチカラー液晶
981-9371 型
標準（オプション）※3
AC100V～120V、15A
AC100V、15A
AC100 ～ 120V、8A
AC200V ～ 240V、10A
462 × 867 × 715
435 × 470 × 363

3975

42

計測器・制御器※ 1：別途ご相談ください。
※ 2：ご注文時のご指定により、115V、200V、230V の電圧対応をいたします。
※ 3：添付のヒューズ交換及び入力ケーブル交換が必要となります。

3■外形寸法図M-212LD

M-222LD

M-212LD-D

M-222LD-D

キヤノンアネルバ株式会社

真空機器総合カタログ

M-232LD

Vol.9.2

1836

■スペックシート
高感度タイプ型 名バージョン

M-222LD-H

M-222LD-D-H

M-222LD-D-H_500

ハイパワー

ハイパワードライ

ハイパワードライ 500

定量測定範囲（Pa・m /s）

10

インレットポート排気速度（He)（L/s)

1.8（Gross Mode）
4.0（Middle Mode）
7.0（Fine Mode)３

インレットポート形状
メインポンプ粗引きポンプ

油回転ポンプ
236L/min

表示器
所要電力

外形寸法
（W × H × D）
（mm）

～ 10

10 –12 ～ 10 –3–32.0（Gross Mode）
4.0（Middle Mode）
7.0（Fine Mode)
NW25（ISO）

AC100V、15A

マルチルーツドライポンプ
500L/min
バイパス排気RS232C Analog 出力（2 点）・標準 I/O
スクロールドライポンプ
250L/min4.1インチカラー液晶
AC100V ～ 120V、15A ※ 2
AC200V ～ 240V、10A
462 × 867 × 715

質量（ｋｇ）
対応

3.5(Gross Mode)
4.0(Middle Mode）
7.0(Fine Mode)

ターボ分子ポンプ 70L/s

外部インタフェース※1–13

AC100V ～ 120V、15A ※ 3
AC200V ～ 240V、10A75
CE マーキング、RoHS（Category9）

RoHS（Category9）※ 4※ 1：ご注文時のご指定により、115V、200V、230V の電圧対応をいたします。
※ 2：添付のヒューズ交換及び入力ケーブル交換が必要となります。
※ 3：ご注文時のご指定によります。
※ 4：CE マーキング未対応

計測器・制御器■外形寸法図M-222LD-H
M-222LD-D-H
M-222LD-D-H_500

7184

キヤノンアネルバ株式会社

真空機器総合カタログ

Vol.9.2

■アクセサリフィラントメンテナンスキット

各種カート

スニファープローブ

フレキシブルチューブ及び変換アダブタ

校正リーク

ポンピングシステム

専用 PC ソフト

ヘリウムスプレーガン（5 × 10 -9 ～ 2 × 10 -3Pa・m3s 台）（各種取り揃えております）

計測器・制御器■オーダリングインフォメーション
製品コード
26640
26616
26619
26650
26654
26625
26626
26651
26655
26656
26657
26658
26660
26661
26680
26681
2668226801
26802
26810
26811
26830
26850
26851
26856

商 品 名型 名品

備名考

M-212LD

ヘリウムリークディテクタ（HELEN212）

AC100 ～ 120V、コンパクトタイプ

2014VERSION

M-212LD

ヘリウムリークディテクタ（HELEN212）

AC200 ～ 230V、コンパクトタイプ

2014VERSION

M-212LD-D

ヘリウムリークディテクタ（HELEN212D）

AC100 ～ 120V、コンパクトドライタイプ

M-222LD

ヘリウムリークディテクタ（HELEN222）

AC100V、ハイパワータイプ

2014VERSION

M-222LD

ヘリウムリークディテクタ (HELEN222)

AC200V、ハイパワータイプ

2014VERSION

M-222LD

ヘリウムリークディテクタ（HELEN222）

AC110V ～ 120V、ハイパワータイプ

2014VERSION

M-222LD

ヘリウムリークディテクタ（HELEN222）

AC220 ～ 240V、ハイパワータイプ

2014VERSION

M-222LD-D

ヘリウムリークディテクタ（DRY HELEN222D）AC100 ～ 240V、ドライポンプタイプ

2014VERSION

M-222LD-H CE ヘリウムリークディテクタ（HELEN222H CE） AC100V、ハイパワー高感度タイプ

2014VERSION※1

2014VERSION

M-222LD-H CE ヘリウムリークディテクタ（HELEN222H CE） AC220 ～ 240V、ハイパワー高感度タイプ

2014VERSION ※ 1

M-222LD-D-H CE ヘリウムリークディテクタ（DRY HELEN222DH CE）AC100 ～ 240V、ドライポンプ高感度タイプ

2014VERSION ※ 1

M-222LD-D-H_500 ヘリウムリークディテクタ（DRY HELEN222DH500）AC100 ～ 120V、ドライ大排気速度タイプ

2014VERSION ※ 2

M-232LD

ヘリウムリークディテクタ（HELEN232）

AC100 ～ 120V、スニファー専用タイプ 2014VERSION

M-232LD

ヘリウムリークディテクタ（HELEN232）

AC200 ～ 230V、スニファー専用タイプ 2014VERSION

ツールケース（HELEN2 トランスポートケース用）HELEN2 トランスポートケース用
HELEN212トランスポートケース

キャスター付HELEN222トランスポートケース

キャスター付

ASL25V ヘリウム校正リーク

NW25、バルブ付、校正リーク量：5×10−9～2×10−8Pa・m3/S

ASL25N2 ヘリウム校正リーク

NW25、バルブ無、校正リーク量：5×10−9～2×10−8Pa・m3/S

981-9370

HELEN 212/210 用スニファプローブ

吸引量：0.1Pa・m3/S（HELEN/ALD 対応）

981-9371

HELEN 222/220 用スニファプローブ

吸引量：0.3Pa・m3/S（HELEN/ALD 対応）

981-9790

He スプレーガン

981-9351

HELEN 用フィラメントメンテナンスキット

フィラメント・ガスケット・イオンチャンバ：各（HELEN/ALD1対応）

981-9350

HELEN 用フィラメント組立
HELEN 用フィラメントメンテナンスキット
Oリングタイプ

フィラメントのみ（HELEN/ALD対応）
フィラメント・Oリング・イオンチャンバ：各 1（M-232LD/2014VERSION 対応）

981-9361※ 1： CE マーキング、RoHS（Category9）対応品※ 2： RoHS（Category9）対応品

キヤノンアネルバ株式会社

真空機器総合カタログ

Vol.9.28185

ヘリウムリークディテクタ

Helium Leak Detector
Vacuum Components
M-212LD
M-212LD-D
M-222LD
M-222LD-D
M-232LD
M-222LD-H
M-222LD-D-H
M-222LD-D-H̲500

2019年 12月作成 無断転載禁止ᮾ᪥ᮏ࢚ࣜ࢔bࠛࠉ⚄ዉᕝ┴ᕝᓮᕷ㯞⏕༊ᰩᮌࠉ࣭ྛ✀⿦⨨㛵ಀࠉ࣭┿✵ࢥ࣏࣮ࣥࢿࣥࢺ

7(/7(/)$;)$;す᪥ᮏ࢚ࣜ࢔bࠛࠉ኱㜰ᗓ྿⏣ᕷ༡㔠⏣ࠉ࣭ྛ✀⿦⨨㛵ಀbࠉ࣭┿✵ࢥ࣏࣮ࣥࢿࣥࢺ

7(/7(/)$;
)$;

஑ᕞ࢚ࣜ࢔ࠛࠉ⇃ᮏ┴⇃ᮏᕷ୰ኸ༊ᖏᒣ࢟ࣖࣀࣥ0-⇃ᮏࣅࣝ)

7(/)$;

※輸出・移転・処分に関する注意事項

本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。
また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。
URL : https://www.canon-anelva.co.jp/※本カタログに掲載されている内容は性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。

163-03.1912-01014EK