チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ■概要
チタンサブリメーションポンプおよびタイバックポンプは、チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜（ゲッター面）を作り、金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。

■特長

■仕様

1. オイルフリーの超高真空●ポンプ本体イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現できます。

名  称

チタンサブリメーションポンプ

タイバックポンプ

956-7015

956-7040

型名

2. 経済的動作圧力

3Pa 以下イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプ

有効チタン量

約 1g/1 本と併用しますと、排気速度、および到達圧力を著しく向フィラメント数3本―上することができますから、大型ポンプ単体で用いる場チタン蒸発量合に比べ極めて経済的です。

平均 0.07g/h（1 本）
45A 通電時

平均 0.35g/h
48A 通電時使用フランジ

3. コンパクト設計
小型軽量で取付場所を選びません。

約 15 ｇ

φ70ICF フランジ質量約 580g

約 680g

外形寸法

第 1 図参照

第 2 図参照

4. 優れた制御機能制御装置には、ON-OFF サイクルによるフィラメントの寿命低下を防ぐための、独特な制御方式を採用しております。
5. 簡単な着脱●制御装置
名称

サブリメーション制御装置

型名922-9119

入力

AC200V ± 20V 1φ 2A 50/60Hz

出力

電圧 :AC2.8V ～ AC10.8V（出力開放にて）スライダックにより可変
電流 : 最大 50A
電力 : 最大 430W

制御方式

2 つの独立タイマーによる蒸発 - 予熱制御蒸発時出力電圧 : スライダックにより可変予熱時出力電圧 : 約 3.8V に固定
タイマー設定 : 蒸発時間、予熱時間とも 0 及び1 ～ 10 分の間で設定可
動作 : 蒸発→予熱→ OFF（繰り返し動作はありません）

質量約 20.5kg

入力ケーブル

機外長さ 約 2m

蒸着、焼鈍、管球排気装置等の超高真空を必要とする装出力ケーブル長さ 2m

置において、プロセス途中で大量のガス放出がある場合に外形寸法

図面参照

制御装置とポンプ本体の接続は、コネクタ方式ですから着脱は簡単、確実です。
6. 容易な交換蒸発源（チタンフィラメント、タイバックヘッド）の交換は、容易にできます。

■用途
お手持ちの真空ポンプ（イオンポンプ、クライオポンプ、ターボモレキュラポンプ等）排気系の排気時間の短縮、到達圧力の向上、排気量の増加を図りたい場合に効果的です。

効果的です。

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キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社

Vol.8.91

●標準構成チタンサブリメーションポンプ（TSP）
名  称

制御装置（TSP およびタイバックポンプ兼用）
構  成名  称

1台

添 付 品

956-0010 チタンフィラメント

12 本（1 パック）

953-5014 φ70ICF フランジ用ガスケット

5 枚（1 パック）

10 × 10 コンビネーションレンチ

1本

7 × 8 両口スパナ

1本

寸法 2 六角棒スパナ

1本

ローコルペースト（潤滑剤）

1個（チューブ入り）

M4 × 4 セットネジ（予備）

4個

構  成

制御装置本体1台

4P プラグ付出力ケーブル（2m）

1本

添付品

956-7015TSP カートリッジ（チタンフィラメントは取り付けてありません）

200V 用入力コンセント

1個

5A ヒューズ

2本50A ツメ付ヒューズ

1本注）ケーブルコネクタは耐熱温度 125℃

タイバックポンプ構  成2本ローコルペースト（潤滑剤）

1本（チューブ入り）

M4 × 4 セットネジ（予備）6個サブリメーションポンプ制御装置

ゴム足
取り外し可
Kawasaki JAPANＳＥＲＩＡＬ.ＮＯ.

A

φ2

AC200V IN
F1 F2
3A TL 3A TL

3

入力ケーブル12MAX 48（φ47.5）

V

305 ±1.5

TSPカートリッジ

50±1.5

1922-9119
SUBLIMATION PUMP CONTROLLER

リーク溝（裏側）

010ONSTARTUPSUB HEATON304050

UP56782

FILAMENT SELECT
12319010POWER ADJ

S1DXHEAT TIME

10 ±0.5

43

FILAMENT CURRENT

S1DX

STOP

20A

EVA HEAT
POWER

149 ±1.5

2MAX 30

C

3100 ±1

タイバックホルダー

24.5 ±0.5

キー

φ70 ICF6

φ34±1.5

絶縁石（φ47.5）

φ34±1.5%CPQP#0'.8#%Q

V
Hz

周波数

142 ±1.5

ＭＯＤＥＬ /ＰＡＲＴ.ＮＯ.

A
最大出力

絶縁スペーサー
支持金具

入力

タイバックヘッド

430 ±1.5

C31228±570±3 33±1

リーク溝（裏側）
キーC

チタンフィラメント26.5±0.5

φ70 ICF

絶縁石

危険電圧部有り50±1.5271±4146±2(8.5)

寸法 2 六角棒スパナ(14)1本5.5 ±1

10 × 10 コンビネーションレンチTB1
OUTPUT

5 枚（1 パック）

キヤノンアネルバ株式会社

1個

953-5014 φ70ICF フランジ用ガスケット

0164-14974D

絶縁スペーサ（タイバックヘッドに付属）

警 告

添 付 品

1個

WARNING

1個

支持金具（タイバックホルダーに付属）

HAZARDOUS VOLTAGE INSIDE

1台

956-7035 タイバックヘッド

感電による火傷や死亡の恐れ有り。
サービスマン以外の方は、カバーを開けないで下さい。

956-7030 タイバックホルダー

Can shock,burn or cause death.
Do not open covers.
Trained service personnel only.

名  称

460 ±1.5480 ±2

タイバックポンプ2

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真空機器総合カタログ
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サブリメーションポンプ制御装置

Vol.8.951

■オプション
●水冷ゲッターチェンバ

φA

φ152ICF

φ 203ICF

φ 253ICF

φB

φ101.6

φ160

φ 203

φC

φ120

φ180

φ 221

300

350

400

330

380

430

F

380430

480

Ｇ60

5865

質量

約 5.5kg

約 10kg

約 15kg※冷却水用継手
φ70 ICF付

メタルアダプタ

リーク溝位置 D
EF

24DＥ

リーク溝位置G

241600L/s
ゲッターチェンバφC800L/s
ゲッターチェンバ

φB

400L/s
ゲッターチェンバ

φA

品名※冷却水用継手
チタンサブリメーションポンプ
またはタイバックポンプ（水冷ゲッターチェンバには含まれません。）※この継手は、外径 8mm の SUS パイプ（光輝焼鈍したオーステナイ
トステンレス鋼）または、銅パイプ用です。

■アプリケーション－2クポンプ）は、10 Pa 以上の圧力では、排気速度が大き●圧力・排気速度特性↑大ゲッターポンプ（チタンサブリメーションポンプおよびタイバッ
く減少します。
通常は、10 － 2Pa 以下の圧力で動作させるのが効果的です。

排力下でもイオンポンプと同時に動作させると、イオンポンプ気度の起動時間の短縮に効果があります。

コンダクタンス制限領域

速イオンポンプと併用する場合には、1 ～ 10 －1Pa の圧

チタン昇華速度制限領域
10−5−10−3Pa
圧力●新鮮なゲッター面の単位面積当りの排気速度
ガスの種類

高→（単位：L/sec、cm2）

H2N2O2CO

CO2H2O

不活性ガス

メタン

20℃

2.6

3.5

8.8

8.3

4.7

7.3

００－ 195℃

17.6

8.3

11.0

11.2――００

ゲッター面温度

ゲッターポンプの排気速度は上図に示すように圧力の高低

したがって、その領域での排気速度は、ゲッター面積と被により、コンダクタンス制限領域、チタン昇華速度制限領域

排気室からゲッター面までのコンダクタンスによって決まりまで大きく変化します。

す。

コンダクタンス制限領域で、ゲッター面へのチタンの供給がチタン昇華速度制限領域では、圧力が高いので、チタンが充分で新鮮なゲッター面が保たれている場合の排気速度

ゲッター面に到達する前に気体分子と衝突し、化合してしまは、上表のようになります。

い新鮮なゲッター面が得られなくなるため、排気速度は圧力に逆比例し、チタンの昇華速度に比例するようになります。

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Vol.8.93ゲッターポンプの使用法には、次のような方法があります。
1. 被排気室内壁をゲッター面とする場合

3. 専用のゲッターチェンバを被排気室に取り付ける場合（排気速度を大きくとりたい場合）（被排気室を汚さずに排気を行う場合に有効）
この方法を用いる場合、弊社では 3 種類の水冷ゲッターチェンバを用意しておりますので、ご利用ください。

被排気室
水冷却
シールド板

水冷却

チェンバ接続フランジ
水冷却

被排気室

シールド板

専用ゲッターチェンバ

2. 被排気室内に専用のゲッター面を設ける場合（水素を排気し超高真空を得たい場合に有効）

LiqN2冷却ゲッター面取付け
フランジ被排気室シールド板■オーダリングインフォメーション
製品コード4

商 品 名型 名備 考

品 名

10720

956-7040

タイバックポンプ

φ70ICF 付 , タイバックヘッド 1 ケ付

10730

956-7035

タイバックヘッド

TI 球

10700

956-7015

ＴＳＰカートリッジ

φ70ICF 付 , フィラメント / ガスケット / 取付工具付

10711

956-0010

ＴＳＰフィラメント

12 本組

10731

956-7030

タイバックホルダー

10770

922-9119

サブリメーション制御装置

AC200V/1φ ,TSP およびタイバックポンプ兼用

10780

Ｔ. Ｓ . Ｐ. 出力ケーブル

2m

10781

Ｔ. Ｓ . Ｐ. 出力ケーブル

3m

10782

Ｔ. Ｓ . Ｐ. 出力ケーブル

5m

10783

Ｔ. Ｓ . Ｐ. 出力ケーブル

7m

10752

941-7104

400 Ｌ / Ｓ ゲッターチャンバ

φ152ICF 付

10753

941-7108

800 Ｌ / Ｓゲッターチャンバ

φ 203ICF 付

10754

941-7116

1600 Ｌ / Ｓゲッターチャンバφφ 253ICF 付

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Vol.8.9532011年9月作成

東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1・エレクトロンデバイス製造装置
TEL 044-980-5155
・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5132
・パネルデバイス製造装置
TEL 044-980-5131
・真空コンポーネント
TEL 044-980-3503〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・各種装置関係
・真空コンポーネント

無断転載禁止FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236
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西日本エリア九州エリア

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FAX 06-6821-9702
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FAX 096-385-3061※ 輸出・移転・処分に関する注意
本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。
※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。
※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。
※ 禁無断転載・複写
本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/