超高真空ビューイングポート■概要
ビューイングポートは、真空容器内を外部より観察するためののぞき窓です。コバールガラスまたは合成サファイアとコバールを封着したものを ICF フランジに溶接していますので、10 − 8Pa 以下の超高真空領域まで使用することが可能です。
特にサファイア製ビューイングポートは、紫外線領域（短波長）の電磁波や粒子線の照射に対して安定した透過特性を持っています。

■特長
1. 広く鮮明な有効視野（952-7042、7043、サファイア製ビューイングポート）

薄型ビューイングポートですので有効視野が広く、またガラス、サファイアにはほとんど歪みがないので鮮明に観5. 優れた耐放射特性察することができます。

合成サファイアは AL2O3 の単結晶体なので、高エネルギ

2. 超高真空領域まで使用可能の電磁波や粒子線の照射に対して、透過率の変化や変ICF フランジを用いていますので、超高真空領域まで使色が少なく優れた耐放射線特性があります。
（954-7042、用できます。

7043、サファイア製ビューイングポート）

3. 優れた加熱許容性
350℃のヒートサイクルに耐えます。

■仕様

4. 広範囲波長を安定透過

耐サファイア製ビューイングポートは、コバールガラス製に比べ紫外線から赤外線領域にかけて、より広範囲の波長を、また石英ガラス製ビューイングポートに比べ赤外線領域において、より長波長まで安定した透過率を保ちます。

圧力0.1MPa（内部真空、外部大気圧）

許容加熱温度

350℃

温度

変化

25℃ /min 以下

リー

ク

量

1.3 × 10 − 11Pa・m3/sec 以下

コバールガラス

石英ガラス

サファイア

100

透過率（％）

80
6040
紫外線
200.1

0.15

0.2

0.3 0.4

赤外線

可視光線

0.7

1.0

2.0

4.0

6.0

8.0

波長（μm）

薄型ビューイングポートの波長と透過率の関係（参考値）

294

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1■コバールガラス製ビューイングポート外形寸法図

コバールガラス
封入皿

C（有効可視径）TTttB

コバールガラス C （有効可視径）

A

封入皿

D

D

第２図 薄型ビューイングポート（形状w）

第１図 薄型ビューイングポート（形状q）AC（有効可視径）Tt

コバールガラス

封入皿D

第３図 薄型ビューイングポート（形状e）

材質（フランジ：SUS-304、ガラス：コバールガラス、封入皿：コバール）型

名品954-7001

名

φ 34ICF 付薄型ビューイングポート

接続フランジ

形状A

B

C

DTt

質 量

φ 34ICF①

φ20＜0φ15φ 34

101.80.05kg＜ 2.9954-7002

φ70ICF 付薄型ビューイングポート

φ70ICF②φ 43954-7003

φ114ICF 付薄型ビューイングポート

φ114ICF②

φ72.5 ＜ 3φ 32.6 φ70

143.50.25kg

φ 60

φ114

194.50.85kg

954-7004

φ152ICF 付薄型ビューイングポート

φ152ICF②

φ113 ＜ 5φ 98

φ152

226.1

1.4kg

954-7005

φ 203ICF 付薄型ビューイングポート

φ 203ICF③

φ163 ＜ 0φ143 φ203

248.62.5kg■サファイア製ビューイングポート外形寸法図
A

C

封入皿t

合成サファイア

A

封入皿

TTt

合成サファイア

BBC

954-7042、φ70ICF 付サファイアビューイングポート

954-7043、φ114ICF 付サファイアビューイングポート

材質（フランジ：SUS-304、ガラス：合成サファイア、封入皿：コバール）
型

2

名品

名接続フランジA

B

C

Tt

質 量

954-7042

φ70ICF 付サファイアビューイングポート

φ70ICF

φ 40

φ 33

φ70

12.7

2.50.25kg

954-7043

φ114ICF 付サファイアビューイングポート

φ114ICF

φ 56

φ 62

φ114

17.53.00.97kg

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295

■オプション

保護カバー（材質：SUS-304）

ビューイングポートを保護するため、以下のオプションを用意しています。

型

名

954-7012

保護カバー

954-7013●特長
1. ボルト締めしたビューイングポートの、ガラス面への外力による破損を防ぎます。
2. 保護カバーは第 4 図のようになっていますので、簡単にビューイングポートへかぶせることができます。

954-7014
954-7015

適用ビューイングポート
954-7002、7042
φ70ICF 付薄型
ビューイングポート
954-7003、7043
φ114ICF 付薄型
ビューイングポート
954-7004、
φ152ICF 付薄型
ビューイングポート
954-7005、
φ 203ICF 付薄型
ビューイングポート

ABt

φ72.7

200.4

φ116.7250.4

φ154.7290.6

φ 205.7

320.6

ビューイングポート

真空容器

ガラスAt

B

保護カバー

第４図

第５図

第4図

第5図

シールド

シールド組立て（材質：SUS-304）●特長

型

1. 真空室内部で発生した蒸発物質等を、シールドガラスに

954-7022

φ 38954-7023

φ 54.9954-7026

φ 60.2954-7025

φ147

付着させ、常にビューイングポートの鮮明な視界を保ちます。
2. シールド組立てはシールドガラスを保持し、かつ真空容名適用取付けポート内径器側ポート内径にワンタッチで固定できますので、シールドガラスの交換も容易です。

シールドガラス（材質：ソーダガラス）
型

296

名

適用シールド組立て

ガラス径

厚さ

954-7032

954-7022

φ 35

2954-7033

954-7023

φ 512954-7036

954-7026

φ 562954-7035

954-7025

φ1422954-7034

954-7024

φ 912

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3

真空容器

ビューイングポート

シールドガラスクリップ

シールドガラス

シールド組立

取付方法—シールド組立てのクリップ部をつまみ、取付けポート内に入るようにします、後はシールド組立ての復元力により、取付けポート内径面にしっかり固定できます。

シールド組立取付けポート■オーダリングインフォメーション
製品コード

4

商 品 名型 名

備 考

品 名

36305

954-7001

φ 34ICF 付薄型ビューイングポート

φ 34ICF 付（コバールガラス製）

36301

954-7002

φ70ICF 付薄型ビューイングポート

φ70ICF 付（コバールガラス製）

36302

954-7003

φ114ICF 付薄型ビューイングポート

φ114ICF 付（コバールガラス製）

36303

954-7004

φ152ICF 付薄型ビューイングポート

φ152ICF 付（コバールガラス製）

36304

954-7005

φ 203ICF 付薄型ビューイングポート

φ 203ICF 付（コバールガラス製）

36311

954-7042

φ70ICF 付サファイア製ビューイングポート

φ70ICF 付

36312

954-7043

φ114ICF 付サファイア製ビューイングポート

φ114ICF 付

36340

954-7012

φ70 保護カバー

φ70ICF 付薄型ビューイングポート・φ70ICF 付サファイアビューイングポート用

36341

954-7013

φ114 保護カバー

φ114ICF 付薄型ビューイングポート・φ114ICF 付サファイアビューイングポート用

36342

954-7014

φ152 保護カバー

φ152ICF 付薄型ビューイングポート用

36343

954-7015

φ 203 保護カバー

φ 203ICF 付薄型ビューイングポート用

36350

954-7032

φ 35 シールドガラス

φ70ICF 付薄型ビューイングポート用

36354

954-7036

φ 56 シールドガラス

φ114ICF 付薄型ビューイングポート用

36370

954-7022

φ 38 シールド組立

φ70ICF 付薄型ビューイングポート用

36374

954-7026

φ 60.2 シールド組立

φ114ICF 付薄型ビューイングポート用

36372

954-7024

φ 95.6 シールド組立

φ152ICF 付薄型ビューイングポート用

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2011年9月作成

東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1・エレクトロンデバイス製造装置
TEL 044-980-5155
・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5132
・パネルデバイス製造装置
TEL 044-980-5131
・真空コンポーネント
TEL 044-980-3503〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・各種装置関係
・真空コンポーネント

無断転載禁止FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236
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本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。
※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。
※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。
※ 禁無断転載・複写
本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/