■オーダリングインフォメーション
商 品 名

製品コード型 名

備 考品 名

20090

M-201QA-TDM（W） 四重極型質量分析計

200amu、M タイプ、W-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20091

M-201QA-TDM（Y） 四重極型質量分析計

200amu、M タイプ、Y-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20092

M-101QA-TDM（W） 四重極型質量分析計

100amu、M タイプ、W-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20093

M-101QA-TDM（Y）

四重極型質量分析計

100amu、M タイプ、Y-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20094

M-101QA-TDF（W）

四重極型質量分析計

100amu、F タイプ、W-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20095

M-101QA-TDF（Y）

四重極型質量分析計

100amu、F タイプ、Y-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20096M-070QA-TDF

四重極型質量分析計

70amu、F タイプ、Y-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20190

M-201QA-TDM（Re） 四重極型質量分析計（箱型イオン源）

200amu、M タイプ、Re-FIL、箱型イオン源、AC アダプタ付、通信ケーブル無し※

20191

M-101QA-TDM（Re） 四重極型質量分析計（箱型イオン源）

100amu、M タイプ、Re-FIL、箱型イオン源、AC アダプタ付、通信ケーブル無し※

20393

四重極型質量分析計用 RS-232C ケーブル
（1.5m）クロスケーブル（薄型コネクタ）20294

四重極型質量分析計用 RS-232C ケーブル（3m）クロスケーブル（薄型コネクタ）

20295

四重極型質量分析計用 RS-232C ケーブル（5m）クロスケーブル（薄型コネクタ）

20293
20430

四重極型質量分析計用 RS-232C ケーブル（10m）クロスケーブル
COM-1（USB）H

USB-RS-232C コンバータ※ 120296

四重極型質量分析計用 RS-485 ケーブル（5m） RS-485 ケーブル 5m ＋ Y ケーブル（0.2m）20297

四重極型質量分析計用 RS-485 ケーブル（10m）RS-485 ケーブル 10m ＋ Y ケーブル（0.2m）20298

四重極型質量分析計用 RS-485 ケーブル（15m）RS-485 ケーブル 15m ＋ Y ケーブル（0.2m）20299

四重極型質量分析計用 RS-485 ケーブル（20m）RS-485 ケーブル 20m ＋ Y ケーブル（0.2m）※2

20392

Quadrupole Mass Spectrometers
Vacuum Components

COM-1PD（USB）H USB-RS485 コンバータ※ 120395

AC アダプタ延長ケーブル（5m）M-070/101/201QA 用

20396

AC アダプタ延長ケーブル（10m）

M-070/101/201QA 用

20397

AC アダプタ延長ケーブル（15m）

M-070/101/201QA 用

20422

NIST ライブラリーデータ変換ソフト

20423

温度読込ソフトM-070QA-TDF
M-101QA-TDF
M-101/201QA-TDM
M-401QA-MG/U

20490

TD-W-FIL

M-101/201 用 W フィラメント

20491

TD-Y-FIL

M-101/201 用 Y フィラメント

20492

TD-Re-FIL

M-101/201 箱型イオン源用 Re フィラメント

3 0111

V-040LV-MMI

DN40 手動 L 型バルブ MSB

M-070/101/201 用保護バルブ

20110

M-401QA-MGSY

四重極型質量分析計

410amu、ガス導入型（箱型）高速型、Y203-FIL、通信ケーブル無し ※2 0111

M-401QA-MUSY

四重極型質量分析計

410amu、UHV 型（かご型）高速型、Y203-FIL、通信ケーブル無し ※20112

M-401QA-MGHY

四重極型質量分析計

410amu、ガス導入型（箱型）高感度型、Y203-FIL 通信ケーブル無し ※20113

M-401QA-MUHY

四重極型質量分析計

410amu、UHV 型（かご型）高感度型、Y203-FIL、通信ケーブル無し ※20130

401G-Y203-FIL

M-401QA 用ガス導入型フィラメント（箱型 Y2O3）

20131

401U-Y203-FIL

M-401QA 用 UHV 型イオン源（カゴ型 Y2O3）※四重極型質量分析計には、専用ソフトウェア QUADVISION（CD 版）が添付されています。
Windows は、米国 Microsoft Corporation の米国及びその他の国における登録商標または商標です。
※ 1 通信のためにコンバータを使用する際は、必ず指定品をご使用ください。
※ 2 20m 以上のケーブル長についてはご相談ください2020 年 1 月作成

東日本エリア西日本エリア九州エリア

四重極型質量分析計

無断転載禁止〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1・各種装置関係
・真空コンポーネント

TEL 044-980-5155
TEL 044-980-3503

FAX 044-986-4038
FAX 044-986-4038〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・各種装置関係・真空コンポーネント

TEL 06-6821-9701
TEL 06-6821-9703

FAX 06-6821-9702
FAX 06-6821-9704〒862-0924

TEL 096-385-3111

FAX 096-385-3061

熊本県熊本市中央区帯山3-3-10 キヤノンMJ熊本ビル3F※輸出・移転・処分に関する注意事項

本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。
また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。
URL : https://www.canon-anelva.co.jp/※本カタログに掲載されている内容は性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。

162-10.2001-01013KK

高感度分析、低ガス放出の要求に応える PC 制御専用の四重極型質量分析計

四重極型質量分析計（トランスデューサタイプ）
M-070QA-TDF、M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM
Category9■概 要
四重極型質量分析計は薄膜製造装置のガス分析から炉内ガス分析、加速器ガス分析等幅広く使用されています。
このような用途に対応するため四重極型質量分析計には、低ガス放出、高感度が要求されます。M-101QA-TDF、
M-101/201QA-TDM はそうした用途に適した高感度・高機能で低ガス放出を実現した PC 制御専用の四重極型質量分析計です。
また、M-070QA-TDF は各種真空装置の残留ガスモニタに最適な、低価格版四重極型質量分析計です。
生産用装置の真空の質の管理から、研究開発用のガス分析として十分な性能を確保しています。

■特 長
1. 高感度・検出器に２次電子増倍管を使用（M-101/201QA-TDM）

4. QUADVISION―操作が簡単な日本語 / 英語版制御ソフト―・マルチコントローラ制御（同時に最大８台）・測定したデータを CSV 変換可能

2. 低ガス放出分析管
・低ガス放出のイオン源を採用
・デガス機能有り（※ 1）
3. 優れた基本性能―高度な分析に対応―
・イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能（※1）
・広いダイナミックレンジ

5. 豊富なＩ／Ｏ機能を標準装備
・自動測定信号・アナログ信号入力
・セットポイント出力※１：M-070QA-TDF は対象外です。

■セレクションガイド
利用分野

M-070QA-TDF

M-101QA-TDF

M-101QA-TDM

M-201QA-TDM

ＰＶＤ装置残留ガスモニタ

◎◎

◎

○

ＣＶＤ装置残留ガスモニタ

△△

△

△

エッチング装置残留ガスモニタ

△△

△

△

真空装置残留ガスモニタ

◎◎

◎

○

超高真空装置残留ガス分析△△◎○

加速器真空ガスモニタ

○○

◎

○

無機ガス分析

○○◎○熱天秤放出ガス分析△○○◎

昇温脱離ガス分析△○○◎微量ガス分析△△◎◎

ＰＦＣガス分析

△△○○

Ｒ&Ｄ○○◎◎◎：最適 ○：適 △：弊社までお問い合わせください。
上記の表は一般的な使用方法にて推奨する四重極型質量分析計を示すものです。上記以外の用途にてご使用を検討されている場合には、弊社営業部門へお問合せください。

1■仕 様標準モデル

機種名
測定質量数範囲

高感度モデル

M-070QA-TDF

M-101QA-TDF

M-101QA-TDM

M-201QA-TDM

1 ～ 701 ～ 100

1 ～ 100

1 ～ 200

分解能

M/Δ M ≧ 2M

感度（N2） FC
基本性能

1.5 ×10A/Pa 以上

7.0× 10－6

SEM

A/Pa 以上

ー
1.8A/Pa 以上

1.0 × 10 － 12Pa 以下

1.0 × 10 － 12Pa 以下ー

最小検知分圧

6.7 × 10 － 9Pa 以下

動作圧力

2.7 × 10 － 2Pa 以下

5.0 × 10 － 10Pa 以下

1.3 × 10 － 2Pa 以下

ダイナミックレンジ

6桁検出器

FC

○

○

○

EMーー○

イオン源

7桁

カゴ型

フィラメント

デガス機能

250℃（分析管のみ）ーエレクトロンボンバード

定格入力電圧

AC100V ～ AC240V

最大消費電力

60W

質量分析管

1.5kg

コントローラ2.1kg標準ソフト）

イットリアコートイリジウム 2 本
オプション : タングステン※ 1

φ70ICF

対応○カゴ型（オプション : 箱型

イットリアコートイリジウム
2本接続フランジ

通信インターフェイス○※ 1、※ 2ベーク温度
仕様

ー2.5A/Pa 以上

－690W
1.4kg

1.6kg
2.2kg

RS-232C（クロス）/485 ※ 3
QUADVISION3 (Windows 7、8.1、10)
CE マーキング、RoHS（Category9）※ 1 オプションに関する仕様は別途お問い合わせ下さい。
※ 2 フィラメントはレニウム 1 本※ 3 通信のためにコンバータを使用する際は、必ず指定品をご使用ください。 RS-232：COM-1(USB) H

RS-485：COM-1PD(USB) H■外形寸法図
M-070QA-TDF

M-101QA-TDF

M-101QA-TDM、M-201QA-TDM

2四重極型質量分析計（高速測定／高感度測定）
M-401QA-MG/U

Category9■概 要
質量数 410amu まで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計です。
M-401QA-MGSY/ MUSY は、汎用型質量分析計として、10 倍（当社比）の高速測定を実現しました。

■特 長
１．高速測定対応（M-401QA-MGSY/MUSY）

４．低ガス放出分析管

m/Z ＝1 ～ 410 を 1 秒間隔でデータ取得

低ガス放出のイオン源を採用
デガス機能有り２．
２種類のイオン源UHV 型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能
３．高感度（M-401QA-MGHY/ MUHY）
８桁のダイナミックレンジ■セレクションガイド
利用分野

高速型高感度型

M-401QA-MGSY

M-401QA-MUSY

M-401QA-MGHY

M-401QA-MUHY

超高真空装置残留ガス分析○◎○◎

無機ガス分析

○○◎○熱天秤放出ガス分析

◎○

◎

○

昇温脱離ガス分析◎○◎◎

微量ガス分析

○△◎◎PFC ガス分析

△○○

○

R&D◎

◎◎

◎

◎：最適 ○：適 △：弊社までお問い合わせください
上記の表は一般的な使用方法にて推奨する四重極型質量分析計を示すものです。上記以外の用途にてご使用を検討されている場合には、弊社営業部門へお問合せください。

3

■仕 様
高速型

機種名

M-401QA-MGSY

M-401QA-MUSY

1 ～ 410

分解能

M/Δ M ≧ 2M
SEM

最小検知分圧

4.0 × 10 － 1A/Pa

4.0A/Pa≦ 5.0 × 10

M-401QA-MUHY

4.0 × 10 － 1A/Pa

Pa

4.0A/Pa≦ 1.0 × 10 － 12Pa

－ 12

最大動作圧力1.3 × 10 － 2Pa 以下

ダイナミックレンジ

7桁

8桁

（高速時）

5桁

--

ガス導入型（箱型）

UHV 型（カゴ型）

イオン源形状

ガス導入型（箱型）

UHV 型（カゴ型）

フィラメント種類
デガス機能
掃引速度

300℃ ( 分析管のみ）
イオンソースヒータ

エレクトロンボンバード

イオンソースヒータ

1mSec/amu ～φ114ICF

定格入力電圧

AC100V ～ AC240V

最大消費電力

300W

分析管

5.1Kg

コントローラ6.2Kg

通信インターフェイス
標準ソフト
対応

エレクトロンボンバード

10mSec/amu ～接続フランジ

質量7桁

イットリアコートイリジウム ※ 1

ベーク温度

仕様

M-401QA-MGHY

質量数
N2 感度
基本性能

高感度型

RS-485/USB ※ 2
QUADVISION3(Windows 7、8.1、10)

RoHS（Category9）※ 1 フィラメントの素材はオプションがございます。別途お問い合わせ下さい。
※ 2 通信のためにコンバータを使用する際は、必ず指定品をご使用ください。 RS-485：COM-1PD(USB) H■外形寸法図4

四重極型質量分析計対応ソフト

QUADVISION3
簡単操作でらくらく測定■測定モード① 多重イオン検出 (SIM)② マスピークモニタ (MPM）③ リークテスト (LT)④ 分圧測定 (PPM）

5①多重イオン検出(SIM)②マスピークモニタ(MPM)③リークテスト④分圧測定(PPM)

設定画面例

温度読込使用例(オプション)

■ QUADVISION3 仕様
対応四重極型質量分析計

測定モード

M-070QA-TDF
M-101/201QA シリーズ
M-401QA シリーズ
多重イオン検出（SIM）
マスピークモニタ（MPM）
リークテスト（LT）
分圧測定（PPM）

その他の機能オプション
パーソナルコンピュータ仕様

通信は RS-232C ／485 ※ 1
通信は USB/RS-485 ※ 1
最大 16 チャンネルの質量数のトレンドモニタ
指定した範囲のマススペクトル連続測定
指定した質量数でのリークテスト
固定の 10 成分（H2, He, CH4, H2O, CO, N2 O2, Ar, CO2, HC,+ 全圧）の分圧測定

レシピ機能
面積計算
調整モード（質量数校正、波形調整）
保存データの CSV 変換
ステータスチェック
自動測定、アナログ入力（0 ～ 10V）
、セットポイント出力
圧力読込
RS-232C 通信により QUADVISION へ圧力値の取り込み可能 ※2
温度読込
RS-232C 通信により QUADVISION へ温度値の取り込み可能 ※3
NIST 変換
NIST ライブラリにて検索可能な形式へ保存データを変換可能
OS
Windows 7、8.1、10
インターフェイス
RS-232C（9P クロス）／485 ポート ／ USB※1

注記 ※ 1 通信のためにコンバータを使用する際は、必ず指定品をご使用ください。RS-232：COM-1(USB) H RS-485：COM-1PD(USB) H※ 2 圧力読込を行う場合には弊社指定の真空計及びケーブルが必要となります。
※ 3 温度読込を行う場合には弊社指定の温調計及びケーブルが必要となります。

四重極型質量分析計を使用した簡易型ガス分析システム

コンパクト型ガス分析システム■概 要
排気系（TMP+MP）搭載によりプロセスガスや大気圧等の四重極型質量分析計の動作圧力範囲外でのガス分析が可能。
用途に合わせ四重極型質量分析計、ガス導入系のシステムアップが可能。

■用 途
・真空装置残留ガス分析
・熱天秤放出ガス分析
・昇温脱離ガス分析
・炉内ガス分析、モニタリング ・真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、電子ビーム式溶解炉（EB 炉）、ウエハ引上炉など
・密封ガス分析 等■システム● D シリーズ
用途に合わせて四重極型質量分析計、TMP 排気系、ガス導入系、その他オプションを基本架台に組み合わせシステムアップ可能。
四重極型質量分析計は M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M（高感度 / 高速）の計 5 機種より選択可能※ご希望によりカスタマイズのご要望にお応えします。

● C シリーズ
フットプリントW480 ｍｍ× D500 ｍｍと D シリーズより更に省スペースで手軽な分析システムです。
四重極型分析計は M-070QA-TDF、M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDMの計 4 機種から選択可能

6

■オーダリングインフォメーション
商 品 名

製品コード型 名

備 考

品 名

20090

M-201QA-TDM（W） 四重極型質量分析計

200amu、M タイプ、W-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20091

M-201QA-TDM（Y） 四重極型質量分析計

200amu、M タイプ、Y-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20092

M-101QA-TDM（W） 四重極型質量分析計

100amu、M タイプ、W-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20093

M-101QA-TDM（Y）

四重極型質量分析計

100amu、M タイプ、Y-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20094

M-101QA-TDF（W）

四重極型質量分析計

100amu、F タイプ、W-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20095

M-101QA-TDF（Y）

四重極型質量分析計

100amu、F タイプ、Y-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20096

M-070QA-TDF

四重極型質量分析計

70amu、F タイプ、Y-FIL、AC アダプタ付、通信ケーブル無し ※20190

M-201QA-TDM（Re） 四重極型質量分析計（箱型イオン源）

200amu、M タイプ、Re-FIL、箱型イオン源、AC アダプタ付、通信ケーブル無し※

20191

M-101QA-TDM（Re） 四重極型質量分析計（箱型イオン源）

100amu、M タイプ、Re-FIL、箱型イオン源、AC アダプタ付、通信ケーブル無し※

20393

四重極型質量分析計用 RS-232C ケーブル
（1.5m）クロスケーブル（薄型コネクタ）20294

四重極型質量分析計用 RS-232C ケーブル（3m）クロスケーブル（薄型コネクタ）

20295

四重極型質量分析計用 RS-232C ケーブル（5m）クロスケーブル（薄型コネクタ）

20293
20430

四重極型質量分析計用 RS-232C ケーブル（10m）クロスケーブル
COM-1（USB）H

USB-RS-232C コンバータ※ 120296

四重極型質量分析計用 RS-485 ケーブル（5m） RS-485 ケーブル 5m ＋ Y ケーブル（0.2m）20297

四重極型質量分析計用 RS-485 ケーブル（10m）RS-485 ケーブル 10m ＋ Y ケーブル（0.2m）20298

四重極型質量分析計用 RS-485 ケーブル（15m）RS-485 ケーブル 15m ＋ Y ケーブル（0.2m）20299

四重極型質量分析計用 RS-485 ケーブル（20m）RS-485 ケーブル 20m ＋ Y ケーブル（0.2m）※2

20392

Quadrupole Mass Spectrometers
Vacuum Components

COM-1PD（USB）H USB-RS485 コンバータ※ 120395

AC アダプタ延長ケーブル（5m）M-070/101/201QA 用

20396

AC アダプタ延長ケーブル（10m）

M-070/101/201QA 用

20397

AC アダプタ延長ケーブル（15m）

M-070/101/201QA 用

20422

NIST ライブラリーデータ変換ソフト

20423

温度読込ソフト

M-070QA-TDF
M-101QA-TDF
M-101/201QA-TDM
M-401QA-MG/U

20490

TD-W-FIL

M-101/201 用 W フィラメント

20491

TD-Y-FIL

M-101/201 用 Y フィラメント

20492

TD-Re-FIL

M-101/201 箱型イオン源用 Re フィラメント

3 0111

V-040LV-MMI

DN40 手動 L 型バルブ MSB

M-070/101/201 用保護バルブ

20110

M-401QA-MGSY

四重極型質量分析計

410amu、ガス導入型（箱型）高速型、Y203-FIL、通信ケーブル無し ※2 0111M-401QA-MUSY

四重極型質量分析計

410amu、UHV 型（かご型）高速型、Y203-FIL、通信ケーブル無し ※20112

M-401QA-MGHY

四重極型質量分析計

410amu、ガス導入型（箱型）高感度型、Y203-FIL 通信ケーブル無し ※20113

M-401QA-MUHY

四重極型質量分析計

410amu、UHV 型（かご型）高感度型、Y203-FIL、通信ケーブル無し ※20130

401G-Y203-FIL

M-401QA 用ガス導入型フィラメント（箱型 Y2O3）

20131

401U-Y203-FIL

M-401QA 用 UHV 型イオン源（カゴ型 Y2O3）※四重極型質量分析計には、専用ソフトウェア QUADVISION（CD 版）が添付されています。
Windows は、米国 Microsoft Corporation の米国及びその他の国における登録商標または商標です。
※ 1 通信のためにコンバータを使用する際は、必ず指定品をご使用ください。
※ 2 20m 以上のケーブル長についてはご相談ください2020 年 1 月作成

東日本エリア西日本エリア九州エリア

四重極型質量分析計

無断転載禁止〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1・各種装置関係
・真空コンポーネント

TEL 044-980-5155
TEL 044-980-3503

FAX 044-986-4038
FAX 044-986-4038〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・各種装置関係
・真空コンポーネント

TEL 06-6821-9701
TEL 06-6821-9703

FAX 06-6821-9702
FAX 06-6821-9704〒862-0924

TEL 096-385-3111

FAX 096-385-3061

熊本県熊本市中央区帯山3-3-10 キヤノンMJ熊本ビル3F※輸出・移転・処分に関する注意事項

本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。
また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。
URL : https://www.canon-anelva.co.jp/※本カタログに掲載されている内容は性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。

162-10.2001-01013KK