フォアライントラップ
フォアライントラップ 2F
フォアライントラップ S■概要
イオンポンプやクライオポンプを用いた清浄な高真空装置を、油回転真空ポンプであら引きする場合に、油回転真空ポンプからの油蒸気による真空装置内の汚染を防止したいとき、フォアライントラップを使用することによって、簡単に油蒸気の逆流を防止することができます。
アネルバのフォアライントラップは、ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、油分子を効率よく吸着します。さらに、モレキュラシーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみならず水蒸気も効果的に吸着します（フォアライントラップ S の場合）。
また、フォアライントラップにはヒータが内蔵されていますので、使用前にモレキュラシーブをベーキングすることによって、簡単にモレキュラシーブの吸着能力を再生できます。

956-7100●用途
1. 油回転真空ポンプで、イオンポンプやクライオポンプを用いた系をあら引き排気するときの油回転真空ポンプからの油蒸気の逆流防止
2. 油回転真空ポンプを、ターボ分子ポンプや油拡散ポンプの補助ポンプとして使用するときの、油回転真空ポンプからの油蒸気の逆流防止
3. その他、油回転真空ポンプを用いて清浄真空を得たいときの油蒸気の逆流防止●仕様（フォアライントラップ２Ｆ）
型 名956-7100
956-7105

モレキュラシーブ量（g）※
約 55

956-7110956-7111956-7112

質量（kg）※※

ヒータ容量

接続フランジ1.3単相100V60W

φ70ICF 注 1）

単相
100V
125W

φ70ICF 注 1）

0.9
2.5

約 500

2.1
2.1

NW25 注 2）

備 考
被排気容量の小さい装置に適用

NW25 注 2）
NW40 注 2）※モレキュラシーブ 13X を使用（出荷時充填されています）。※※モレキュラシーブを除く。
注 1）953-5014 ガスケッ
トパック（5 枚入）及びボルトナットが標準で添付されます。
注 2）センターリング及びクランプは添付されません。別途御注文下さい。

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真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社

Vol.8.91

●外形寸法図
ヒータ
カートリッジヒータ
カートリッジ
φ70 ICFφ70 ICF

NW25

NW25146100.5

φ38100.5

146（回転）

（回転）

φ76

φ76

177

164

956-7100956-7105

ヒータ
カートリッジヒータ
カートリッジ

φ70 ICF

φ114.3150

NW25（NW40）

φ38150（回転）203

φ70 ICF203

NW25（NW40）（回転）

φ114.3200

210

956-7110（ ）内は 956-7112の寸法を示す

956-7111/956-7112●フォアライントラップ S
トラップ自体が液体窒素の容器となる構造をしており、冷却効果がよく、油蒸気の逆流防止のみならず、水蒸気の吸着能が大きく、低い到達圧力が得られます。したがって、イオンポンプを用いた系で、イオンポンプの起動を容易にします。

956-7130956-7131●仕様（フォアライントラップ S）
型 名モレキュラシーブ量（g）※956-7130
956-7131956-7132

質量（kg）※※

ヒータ容量

接続フランジ
φ70ICF（注 1）

2.4
約 500

2.0

単相、100V、380W

2.0

NW25（注 2）
NW40（注 2）※モレキュラシーブ 13X を使用（出荷時、缶に入れて添付されます）。※※モレキュラシーブを除く。
注 1）953-5014 ガスケッ
トパック（5 枚入）及びボルト・ナットが標準で添付されます。
注 2）センターリング及びクランプは添付されません。別途御注文下さい。

2

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Vol.8.9103

●外形寸法図
φ70 ICF91

シースヒータ98

シースヒータ（回転）

NW25（NW40）367

NW25（NW40）

φ38

360

160

167

φ38

φ70 ICF

（固定）

φ113

φ113

956-7130（ ）内は 956-7132の寸法を示す

956-7131/956-7132●保守・消耗部品交換用モレキュラシーブ（13X）
型 名：956-7101
内容量：500 ｇ（缶入）
交換用ヒータ型 名

適用トラップ型名

備 考

956-9100956-7100956-7105

100V、60W
カートリッジヒータ

956-7114

956-7110956-7111956-7112

100V、125W
カートリッジヒータ

944-9150

956-7130956-7131956-7132

100V、380W
シースヒータ

●使用方法
下図に示すように真空室（または主ポンプ）と油回転真空ポンプの間の真空配管に組み入れます。

リークバルブリークバルブ※油回転真空ポンプ

真空室または主ポンプ

ダクトバルブバルブ※
フォアライントラップ※フォアライントラップを真空保持しない場合は、省略できます。

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Vol.8.93

■オーダリングインフォメーション
製品コード4型 名商 品 名備 考

品 名

13800

956-7100

フォアライントラップ 2F

ストレート型 , φ70ICF 付 ,AC100V/60W ヒータ付

13802

956-7105

フォアライントラップ 2F

ストレート型 ,NW25 フランジ付 ,AC100V/60W ヒータ付

13803

956-7110

フォアライントラップ 2F

ストレート型 , φ70ICF 付 ,AC100V/125W ヒータ付

13804

956-7111

フォアライントラップ 2F（NW25 付）

ストレート型 ,NW25 フランジ付 ,AC100V/125W ヒータ付

13805

956-7112

フォアライントラップ 2F（NW40 付）

ストレート型 ,NW40 フランジ付 ,AC100V/125W ヒータ付

13801

956-7130

フォアライントラップ S（φ70ICF 付）

アングル型 , φ70ICF 付 ,AC100V/380W ヒータ付

13806

956-7131

フォアライントラップ S（NW25 付）

アングル型 ,NW25 フランジ付 ,AC100V/380W ヒータ付

13807

956-7132

フォアライントラップ S（NW40 付）

アングル型 ,NW40 フランジ付 ,AC100V/380W ヒータ付

13810

956-7101

13X モレキュラーシーブ

500 グラム入13811

956-9100

カートリッジヒータ

956-7100/7105 用 ,AC100V/60W

13813

956-7114

カートリッジヒータ

956-7110/7111/7112 用 ,AC100V/125W

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Vol.8.9105

2011年9月作成

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本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。
※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。
※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。
※ 禁無断転載・複写
本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/