トランスデューサ型真空計シリーズ

Transducer Gauge Series
Vacuum Components
キャパシタンスゲージ
ピラニゲージコールドカソードゲージ
コールドカソードピラニゲージ
イオンゲージクリスタルイオンゲージ

大気から超高真空までもれなくカバー

トランスデューサ型真空計シリーズ■概 要
１０-8Pa から大気圧まで広い範囲をカバーするトランスデューサ型真空計です。キャパシタンスゲージ、ピラニゲージ、コールドカソードゲージ、コールドカソードピラニゲージ、イオンゲージ、クリスタルイオンゲージ、表示器（1ch、3ch）をラインアップし、最先端の半導体製造装置、フラットパネル製造装置をはじめ、あらゆる産業分野に対応できる真空計です。
コンパクト・省配線、CE マーキング、RoHS に対応した環境配慮型製品です。

■セレクションガイド
ゲージ名

●特 長

Pa 10 － 8・トランスデューサ型

133.3 kPa

省配線
省スペース
・低消費電力で省エネルギー・アナログタイプ、通信タイプに対応
・ゲージ自動認識（表示器）

13.33 kPa
キャパシタンスゲージ
M-342DG

133.3 Pa・鉛フリーハンダ採用

13.33 Pa・ＣＥマーキング対応●用 途・真空薄膜装置、蒸着装置
・半導体製造装置、電子部品製造装置
・電子顕微鏡、電子ビーム装置
・質量分析装置、各種分析装置
・真空炉、凍結乾燥装置
・各種産業用装置
・各種排気装置
・研究開発装置

ピラニゲージ
M-350PG
M-351PG
コールドカソードゲージ
M-370CG
コールドカソードピラニゲージ
M-361CP
イオンゲージ
M-311HG
クリスタルイオンゲージ
M-336MX2

1.333 kPa

10 － 6

圧力測定範囲
10－4

10 － 2

1102

104

3

キャパシタンスゲージ
M-342DG■概 要
キャパシタンスゲージ“M-342DG”は、圧力センサ部に小型シリコン MEMS チップを採用することで、温度、振動、気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。

■特 長
1. 高精度で安定した圧力測定
・優れたゼロ点安定性。
・温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現。
・優れた対振動ノイズ性能。
2. コンパクト・低消費電力・質量 200g、サイズ W46mm ×H49mm × L106mmと軽量でコンパクト。※ 1・消費電力 0.5W。
※1：NW16フランジ付の質量とサイズ■用 途
半導体製造装置、パネルディスプレイ製造装置、各種真※2
空装置 他、医療、食品などの一般工業まで幅広く対応。

※2：腐蝕性ガスを使用する用途には向いていません。
詳しくは弊社までご相談下さい。

■仕 様
キャパシタンスゲージ

型 名フルスケール圧力
測定精度

（Pa）

M-342DG-1D

M-342DG-1N

M-342DG-11

M-342DG-12

M-342DG-13

13.33

133.3

1.333 k13.33 k133.3 k0.010.005（％ of reading）

ゼロ点温度係数（％ of full-scale/℃）

スパン温度係数（％ of reading/℃）0.20 （at 23℃）
0.002

0.010.005

分解能（％ of full-scale）

測定下限圧力（％ of full-scale）

0.01

実用測定下限圧力（％ of full-scale）

0.05

実用制御下限圧力（％ of full-scale）

応答速度（ms）

加圧上限

0.01

0.005

0.5
10030

200 kPa（但し NW16、NW25 のものは内部が陽圧にならないこと）＊13.33 Pa 仕様は 130 kPa

電源電圧

（VDC）

+13.5 ～ 26.4

消費電力

（W）

0.5

アナログ出力（VDC）

0 ～ 10

使用温度／保管温度（℃）

5 ～ 50℃ / -20 ～ 70℃（非動作時）

最大ケーブル長（m）

100（専用ケーブル）

ゼロ点調整方法

プッシュスイッチ、リモート入力

入出力コネクタD-sub 9 ピン（ピンタイプ）

接ガス部材質ステンレス、シリコン、ガラス、フッ素ゴム

継手形状と質量

NW16（200 g）、NW25（210 g）、8-VCR メス（250 g）、φ70ICF（460 g）

対応
安全保障貿易規制

4CE マーキング、RoHS、IP40非該当

■外形寸法図

NW25

NW168-VCR（メス）ICF70■オーダリングインフォメーション
製品コード22735
22736
22737
22738
22710
22711
22712
22713
22715
22716
22717
22718
22720
22721
22722
22723
22725
22726
22727
22728

型

名商 品 名品

M-342DG-1D-N16
M-342DG-1D-N25
M-342DG-1D-C70

備

名NW16 フランジ付

キャパシタンスゲージ (13.33 Pa)

NW25 フランジ付
φ70ICF フランジ付

M-342DG-1D-VC88-VCR（メス）付

M-342DG-1N-N16

NW16 フランジ付

M-342DG-1N-N25
M-342DG-1N-C70

キャパシタンスゲージ（133.3 Pa）

NW25 フランジ付
φ70ICF フランジ付

M-342DG-1N-VC88-VCR（メス）付

M-342DG-11-N16

NW16 フランジ付

M-342DG-11-N25
M-342DG-11-C70

キャパシタンスゲージ（1.333 kPa）

NW25 フランジ付
φ70ICF フランジ付

M-342DG-11-VC88-VCR（メス）付

M-342DG-12-N16

NW16 フランジ付

M-342DG-12-N25
M-342DG-12-C70

キャパシタンスゲージ（13.33 kPa）

NW25 フランジ付
φ70ICF フランジ付

M-342DG-12-VC88-VCR（メス）付

M-342DG-13-N16

NW16 フランジ付

M-342DG-13-N25
M-342DG-13-C70
M-342DG-13-VC8

考キャパシタンスゲージ（133.3 kPa）

NW25 フランジ付φ70ICF フランジ付
8-VCR（メス）付

5ピラニゲージ
M-350PG

■特 長

■概 要

・ 再現性がよく低価格

大気圧から低・中真空領域を測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。
各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ様々な産業でご使用いただけます。

・ 低・中真空領域の測定に最適■仕様

粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御など

・ ５×１０-2 Pa から大気圧■用 途

ピラニゲージ型 名M-350PG-SD M-350PG-SP M-350PG-RS
スタンダードタイプ セッ
トポイント付タイプ RS485 タイプ
圧力測定範囲
5 × 10 -2 ～ 1× 105 Pa± 50％： 5 × 10 -2 ～ 1× 10 -1 Pa± 15％： 1× 10 -1 ～ 1× 10 4 Pa
精度± 50％： 1× 10 4 ～ 1× 105 Pa
再現性± 2％ ： 1× 10 -1 ～ 1× 10 4 Pa
入力電圧
DC+14 ～ 30 V
消費電力
1W
アナログ出力0 ～ 10 Vー
セットポイントー
2 点、リレー出力（DC30V 1A）
インターフェース
ー
RS485
入出力コネクタD-sub9 ピン（ピンタイプ）
最大ケーブル長
200 m（0.34 mm2）対応可能 ＊ 1
使用 / 保管温度範囲
5 ～ 60℃ / -20 ～ 70℃（非動作時）
150℃ MAX（Ｏリング仕様）
センサ耐熱温度※コントローラを外した状態
300℃ MAX（メタルシール仕様）
許容過負荷圧力
1 MPa（絶対圧）※継手形状 NPT のみ、不活性ガスに限る
センサ型名
MP-1
フィラメント：タングステン
センサ材質（主要部）
センサチューブ ：ステンレス
導入端子絶縁部 ：コバールガラス
外形寸法 (mm)89 × 40 × 23（NW25）※フランジの外形寸法除く
継手形状と質量
NW16 (81 g) ､NW25 (96 g) ､φ34ICF (104 g)（M-350PG-SP） 1/8NPT (73 g) ､φ15アダプタ(94 g) 、φ18アダプタ(124 g)
対応
CE マーキング、RoHS、IP40■外形寸法図

＊1 M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。

■オーダリングインフォメーション
製品コード
22500
22501
22502
22503
22504
22505
22506
22507
22508
22509
22510
22511
22512
22513
22514
22515
22516
22517
22527
22528
22529
22530
22531
22532

6

型 名
M-350PG-SD/N16
M-350PG-SD/N25
M-350PG-SD/P15
M-350PG-SD/P18
M-350PG- ＳＤ /C34
M-350PG-SD/NPT
M-350PG-S Ｐ/N16
M-350PG-S Ｐ/N25
M-350PG-S Ｐ/P15
M-350PG-S Ｐ/P18
M-350PG- ＳＰ/C34
M-350PG-S Ｐ/NPT
M-350PG- ＲＳ /N16
M-350PG- ＲＳ /N25
M-350PG- ＲＳ /P15
M-350PG- ＲＳ /P18
M-350PG- ＲＳ /C34
M-350PG- ＲＳ /NPT
MP1/N16
MP1/N25
MP1/C34
MP1/ ＮＰＴ
MP1/P15
MP1/P18

商 品 名品 名

ピラニゲージピラニゲージピラニゲージピラニゲージピラニゲージピラニゲージピラニゲージ（セットポイント付）
ピラニゲージ（セットポイント付）
ピラニゲージ（セットポイント付）
ピラニゲージ（セットポイント付）
ピラニゲージ（セットポイント付）
ピラニゲージ（セットポイント付）
ピラニゲージ（RS485 仕様）
ピラニゲージ（RS485 仕様）
ピラニゲージ（RS485 仕様）
ピラニゲージ（RS485 仕様）
ピラニゲージ（RS485 仕様）
ピラニゲージ（RS485 仕様）
PIRANI GAUGE HEADPIRANI GAUGE HEADPIRANI GAUGE HEADPIRANI GAUGE HEADPIRANI GAUGE HEADPIRANI GAUGE HEAD

備 考
NW16 フランジ付
NW25 フランジ付
φ15 ゲージポート用
φ18 ゲージポート用
φ 34ICF フランジ付
1/8"NPT（オス）付
NW16 フランジ付
NW25 フランジ付
φ15 ゲージポート用
φ18 ゲージポート用
φ 34ICF フランジ付
1/8"NPT（オス）付
NW16 フランジ付
NW25 フランジ付
φ15 ゲージポート用
φ18 ゲージポート用
φ 34ICF フランジ付
1/8"NPT（オス）付
NW16 フランジ付
NW25 フランジ付
φ 34ICF ﾌランジ付
1 ／ 8”NPT（オス）付
φ15 ゲージポート用
φ18 ゲージポート用

ピラニゲージ（耐蝕型）
M-351PG■概 要■用 途

Ni フィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVD

・ 半導体、電子デバイス製造装置
ドライエッチング装置、などのハードプロセス装置に対応したモデルです。

プラズマ CVD 装置、LD-CVD 装置など

■特 長・ 食品・医薬品製造装置
真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など

・ 耐蝕性の向上
Ni フィラメント採用等
・ 再現性がよく低価格
・ ５×１０-2 Pa から大気圧・ 取付方向の制約なし■仕 様
M-351PG-SP（Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ）
圧力測定範囲
5 × 10 -2 ～ 1× 105 Pa± 50％： 5 × 10 -2 ～ 1× 10 -1 Pa
精度± 15％： 1× 10 -1 ～ 1× 10 4 Pa
± 50％： 1× 10 4 ～ 1× 105 Pa
再現性± 2％： 1× 10 -1 ～ 1× 10 4 Pa
入力電圧
DC+14 ～ 30 V
消費電力2W
アナログ出力0 ～ 10 V
セットポイント
2 点、リレー出力 (DC30V 1A)
インターフェース
―入出力コネクタ
D-sub9 ピン（ピンタイプ）
最大ケーブル長
200 ｍ (0.34 mm2) 対応可能 ＊ 1
使用 / 保管温度範囲
5 ～ 60℃ / -20 ～ 70℃（非動作時）
150℃ MAX（Ｏリング仕様）
センサ耐熱温度※コントローラを外した状態
300℃ MAX（メタルシール仕様）
許容過負荷圧力
1 MPa（絶対圧）※継手形状 NPT のみ、不活性ガスに限る
センサ型名
MP-2
フィラメント： ニッケル
センサ材質（主要部） センサチューブ ： ステンレス
導入端子絶縁部 ：コバールガラス + アルミナコート
外形寸法 (mm)89 × 40 × 23 (NW25) ※フランジの外形寸法除く
継手形状と質量
NW16 (81 g) ､ NW25 (96 g) ､ 1/8NPT (73 g)
対応
CE マーキング、RoHS、IP40型 名■外形寸法図

＊1 M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。

■各種継手形状寸法図

M-350/351 共通（NW25 除く）■オーダリングインフォメーション
製品コード型

名商 品 名品

名

備

22665

M-351PG-SP/N16

ピラニゲ－ジ（Ni フィラメント）

NW16 フランジ付

22666

M-351PG-SP/N25

ピラニゲ－ジ（Ni フィラメント）

NW25 フランジ付

22668

MP2/N16PIRANII GAUGE HEAD（Ni-FIL）

NW16 フランジ付

22669

MP2/N25PIRANII GAUGE HEAD（Ni-FIL）

NW25 フランジﾞ付

考7

コールドカソードゲージ
M-370CG■概 要

熱フィラメントを使用しない堅牢なコールドカソードゲージ( 冷陰極電離真空計 ) です。高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現します。

■特 長・ 優れた測定安定性※
未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減
・ 高真空下での良好な起動性※
未放電、放電遅れを解消
・ 容易なメンテナンス
メンテナンスは部品交換のみ■用 途※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CC ゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。
そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。

■仕 様

1Pa ～超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応
・ 蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE・ SEM、SIMS、AES、XPS、表面 / ガス / 質量分析・ アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接
・ 加速器、サイクロトロン■外形寸法図コールドカソードゲージ

型 名
圧力測定範囲M-370CG-SP
セットポイント付タイプ

M-370CG-RS
RS485 タイプ

1× 10 -7 ～ 1× 10 0 Pa

精度

± 30％： 1× 10 -6 ～ 1× 10 0 Pa

再現性

± 5％： 1× 10 -6 ～ 1× 10 0 Pa

入力電圧

DC+15 ～ 30 V

消費電力
アナログ出力セットポイント
インターフェイス2.4 W
0 ～ 10 V

ー2 点、リレー出力 (DC30V 1A)
ー

RS485

入出力コネクタD-sub9 ピン（ピンタイプ）

最大ケーブル長

300 m（1 mm2) 対応可能 ＊ 1

使用 / 保管温度範囲
センサ耐熱温度

5 ～ 55℃ / -20 ～ 70℃（非動作時）
150℃ MAX※コントローラを外した状態

センサ型名

回転フランジ

外形寸法（mm）

CC1
電極 ：モリブデン
絶縁石 ：アルミナ
ケース：ステンレス
50 × 50 × 110（NW25）

継手形状と質量

NW25 (485 g) ､NW40 (501 g) ､1/8NPT (735 g)

センサ材質（主要部）

対応

CE マーキング、RoHS、IP40＊1 M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。

■オーダリングインフォメーション
製品コード22806
22807
22808
22809
22810
22811
22790

8型 名

商 品 名

備 考

品 名M-370CG-SP/N25

コールドカソードゲージ

M-370CG-SP/N40

コールドカソードゲージ

NW25 フランジ付
NW40 フランジ付

M-370CG-SP/C70

コールドカソードゲージ

φ70ICF フランジ付

M-370CG-RS/N25

コールドカソードゲージ（RS485 仕様）

NW25 フランジ付

M-370CG-RS/N40

コールドカソードゲージ（RS485 仕様）

NW40 フランジ付

M-370CG-RS/C70

コールドカソードゲージ（RS485 仕様）

φ70ICF フランジ付

M-361CP/370CG メンテナンスキット

ポールピース、メッシュコールドカソードピラニゲージ
M-361CP■概 要

大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。
1台で広い圧力領域を測定可能です。
1 台 2 役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献します。

■特 長・ 優れた測定安定性※
ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減
・ 優れた大気圧検出を実現
本器搭載のピラニゲージは大気圧付近の安定性・再現性が高く、応答性は隔膜真空計と同等■用 途

・ 容易なメンテナンス
コールドカソードのメンテナンスは部品交換のみ※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CC ゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。
そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください■外形寸法図■仕 様型 名大気圧～超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応
・ 蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE・ SEM、SIMS、AES、XPS、表面 / ガス / 質量分析・ アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接
・ 加速器、サイクロトロン

コールドカソードピラニゲージ

M-361CP-SP
M-361CP-RS
セットポイント付タイプ
RS485 タイプ
圧力測定範囲1× 10 -7 ～ 1× 105 Pa± 30％ : 1× 10 -6 ～ 1× 10 4 Pa
精度
± 50％ : 1× 10 4 ～ 1× 105 Pa
再現性± 5％ : 1× 10 -6 ～ 1× 10 4 Pa
入力電圧
DC+15 ～ 30 V
消費電力
2.4 W
アナログ出力0 ～ 10 Vー
セットポイント
2 点、リレー出力 (DC30V 1A)
インターフェイス
ー
RS485
入出力コネクタD-sub9 ピン ( ピンタイプ )最大ケーブル長
300 m（1 mm2）対応可能 ＊ 1
使用 / 保管温度範囲
5 ～ 55℃ / -20 ～ 70℃（非動作時）
センサ耐熱温度
150℃ MAX※コントローラを外した状態

センサ型名

CP2
フィラメント：タングステン
電極：モリブデン
センサ材質（主要部）
絶縁石：アルミナ
ケース：ステンレス
外形寸法（mm）
50 × 50 × 110（NW25）
継手形状と質量
NW25 (485 g) ､NW40 (501 g) ､1/8NPT (735 g)
対応
CE マーキング、RoHS、IP40

回転フランジ＊1 M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。

■オーダリングインフォメーション
製品コード22800
22801
22802
22803
22804
22805
22790

型 名

商 品 名

備 考

品 名

M-361CP-SP/N25

コールドカソードピラニゲージ

M-361CP-SP/N40

コールドカソードピラニゲージ

NW25 フランジ付
NW40 フランジ付

M-361CP-SP/C70

コールドカソードピラニゲージ

φ70ICF フランジ付

M-361CP-RS/N25

コールドカソードピラニゲージ (RS485 仕様 )NW25 フランジ付

M-361CP-RS/N40

コールドカソードピラニゲージ (RS485 仕様 )NW40 フランジ付

M-361CP-RS/C70

コールドカソードピラニゲージ (RS485 仕様 )φ70ICF フランジ付

M-361CP/370CG メンテナンスキット

ポールピース、メッシュ

9クリスタルイオンゲージ
M-336MX■概 要
低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-A ゲージを採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの 1 台で測定できます。

■特 長・ クリスタルゲージとミニチュア B-A ゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
・ 超高真空から大気圧・ 高精度、低真空領域において優れた再現性  

■仕 様
M-336MX-SP
M-336MX-RS
セットポイント付タイプ
RS485 タイプ
4 × 10 -8 ～ 1× 105 Pa± 15％ ：1× 10 -6	〜 1× 101 Pa± 20％：5 × 101	〜 1× 105 Pa

圧力測定範囲※ 1精度■用 途

クリスタルイオンゲージ型 名※ 1×100 Pa ～ 5×101 Pa、1×102 ～ 5×103 Pa 除く

真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など■外形寸法図

再現性
入力電圧
消費電力
アナログ出力セットポイント
インターフェイス
入出力コネクタ
最大ケーブル長
使用 / 保管温度範囲
センサ耐熱温度± 5％ ：1× 10 -6	〜 1× 105 Pa
DC+20 ～ 28 V
12 W
0 ～ 10 V―2 点、リレー出力 (DC30V 1A)―
RS485
D-sub9 ピン（ピンタイプ）
300 m（1 mm2) ＊ 1
5 ～ 50℃ / -20 ～ 70℃（非動作時）

センサ型名

MX-1
フィラメント：イットリアコートイリジウム
ケース：ステンレス
149 × 70 × 50（NW25）※１．測定下限圧力はＢ - Ａゲージの軟Ｘ線限界を示します。
NW16 (429 g) ､ NW25 (435 g)
測定下限圧力 ＩCＦ：10 -7 Pa 台
NW40 (472 g) 、φ70ICF (671 g)
ＮＷ ：10 -6 Pa 台
CE マーキング、RoHS、IP40

150℃ MAX※コントローラを外した状態

センサ材質（主要部）
外形寸法（mm）
継手形状と質量対応＊1 M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。

■オーダリングインフォメーション
製品コード22559
22560
22561
22562
22545
22546
22547
22548
22549
22550
22551
22552

10

商 品 名型 名備 考

品 名MX-1/N16

CRYSTAL ION GAUGE HEAD

NW16 フランジ付

MX-1/N25

CRYSTAL ION GAUGE HEAD

NW25 フランジ付

MX-1/N40

CRYSTAL ION GAUGE HEAD

NW40 フランジ付

MX-1/C70

CRYSTAL ION GAUGE HEAD

φ70ICF フランジ付

M-336MX-SP/N16

クリスタルイオンゲージ

NW16 フランジ付

M-336MX-SP/N25

クリスタルイオンゲージ

NW25 フランジ付

M-336MX-SP/N40

クリスタルイオンゲージ

NW40 フランジ付

M-336MX-SP/C70

クリスタルイオンゲージ

φ70ICF フランジ付

M-336MX-RS/N16クリスタルイオンゲージ（RS485 仕様）

NW16 フランジ付

M-336MX-RS/N25

クリスタルイオンゲージ（RS485 仕様）

NW25 フランジ付

M-336MX-RS/N40

クリスタルイオンゲージ（RS485 仕様）

NW40 フランジ付

M-336MX-RS/C70

クリスタルイオンゲージ（RS485 仕様）

φ70ICF フランジ付

イオンゲージ
M-311HG■概 要
トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2I タイプ）を使用しています。

■特 長・ ワイドな圧力測定範囲
10 -7 Pa ～ 10Pa まで、超高真空側の特性を犠牲にすることなく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能。

■用途
・ 生産用真空装置の圧力測定
・ 半導体スパッタリング装置の圧力測定
・ 各種真空装置

・ 高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信号出力は、100msec 以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能。
・ ４つのエミッション電流設定モード
高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能です。
・ 省スペース・低消費電力■仕様■外形寸法図イオンゲージ型 名

M-311HG‐SP

圧力測定範囲
精度
再現性
入力電圧
消費電力
アナログ出力セットポイント
インターフェース
入出力コネクタ
最大ケーブル長
使用 / 保管温度範囲
センサ耐熱温度※コントローラを外した状態

センサ型名
センサ材質（主要部）
外形寸法（mm）
継手形状と質量対応

M-311HG‐RS

1× 10 -7 〜 10 Pa± 15％：1× 10 -6 〜 1× 10 0 Pa
± 5％ ：1× 10 -6 〜 1× 10 0 Pa
DC20 〜 28 V
12 W
0 ～ 10 V－2 点、リレー出力 (DC30V 1A)－RS485D-sub9 ピン（ピンタイプ）
200 m（1 mm2）＊ 1
5 ～ 50℃ / -20 ～ 70℃（非動作時）
150℃ MAX（Ｏリング仕様）300℃ MAX（メタルシール仕様）
ミニチュア B-A ゲージ（MG-2I シリーズ）
フィラメント：イットリアコートイリジウム
ケース：ステンレス
144 × 70 × 50（NW25）
NW16 (409 g) ､ NW25 (423 g)
φ 34ICF (428 g) 、φ70ICF (668 g)
CE マーキング、RoHS、IP40＊1 M-601/603表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。

■オーダリングインフォメーション
製品コード
22670
22671
22672
22673
22674
22675
22676
22677

型 名
M-311HG-SP/N16
M-311HG-SP/N25
M-311HG-SP/C70
M-311HG-SP/C34
M-311HG-RS/N16
M-311HG-RS/N25
M-311HG-RS/C70
M-311HG-RS/C34

商 品 名品名イオンゲージ
イオンゲージ
イオンゲージ
イオンゲージ
イオンゲージ（RS485 仕様）イオンゲージ（RS485 仕様）
イオンゲージ（RS485 仕様）
イオンゲージ（RS485 仕様）

備考
NW16 フランジ付
NW25 フランジ付
φ70ICF フランジ付
φ 34ICF フランジ付
NW16 フランジ付
NW25 フランジ付
φ70ICF フランジ付
φ 34ICF フランジ付

11

表示器（1ch タイプ・3ch タイプ）
M-601GC/603GC■概 要
トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。
大型デジタル LCD 表示で見やすく、操作性も大幅に向上。
現場の利便性を考慮した様々な工夫が 詰まっています。
用途に合わせて 1ch タイプと 3ch タイプがご選択いただけます。

■特 長・ ゲージ自動認識
・ 大型デジタルＬＣＤ表示・ ＲＳ 232 Ｃインターフェース標準装備
・ 優れた操作性
・ 同時表示可能（3ch）

1ch 表示器・ 見やすい３タイプ表示（3ch）

3ch 表示器

3ch 表示器 ディスプレイモード

デジタル表示トレンドグラフ（最長 18H）
アナログメータ■仕 様型 名M-601GC（1ch 接続タイプ）

M-603GC（3ch 接続タイプ）

入力電圧AC90 ～ 250 V 50/60 Hz

消費電力

50 VA

100 VA

使用温度

5 ～ 50℃

保管温度-20 ～ 60℃

ゲージ認識
1ch

3ch（同時表示可能）

ピラニ、キャパシタンス、コールドカソード、コールドカソードピラニ、イオン、クリスタルイオン
2点

2 点 /ch

アナログ出力11 /chレコーダー出力

1

通信機能
質量ディスプレイ対応

アナログメータ■外形寸法図セットポイント

寸法（mm）

トレンドグラフ

自動接続チャンネル数
接続ゲージ

デジタル

1 /ch
RS232C

84 × 106.3 × 212

128.5 × 106.3 × 212

1.3 kg

2.1 kg

バックライト付 LCD

カラー TFT LCD

CE マーキング、RoHS、IP30■オーダリングインフォメーション
製品コード22563

M-601ＧＣ

22564
22567

商 品 名品 名備 考

1ch 表示器（AC ケーブル､ コネクタ別途手配）

外部制御コネクタ、AC ケーブル無し

M-603 ＧＣ3ch 表示器（AC ケーブル､ コネクタ別途手配）

外部制御コネクタ、AC ケーブル無し

601-005

M-601/603GC 用ゲージケーブル（5 m）

22568

601-010

M-601/603GC 用ゲージケーブル（10 m）

22569

601-015

M-601/603GC 用ゲージケーブル（15 m）

22570

12型 名コネクタ（D-sub9P）シリーズゲージ用コネクタ

22571

M601/M603GC 用 AC ケーブル

3m

22572

プラスチックドライバー

手配単位 10E

22573

M601/M603GC 用 I/O コネクタ（D-sub15P）

Memorandum

計測器・制御器148

キヤノンアネルバ株式会社 真空機器総合カタログ Vol.8.9

2021年 11月作成

無断転載禁止ᮾ᪥ᮏ࢚ࣜ࢔ࠛࠉ⚄ዉᕝ┴ᕝᓮᕷ㯞⏕༊ᰩᮌ

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※輸出・移転・処分に関する注意事項

本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。
また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。

※本カタログに掲載されている内容は性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。

URL : https://anelva,canon
162-28.2111-00715EK