超高真空 L 型ポリイミドバルブ■概要
本バルブは、10 − 8Pa 程度の超高真空領域まで使用できるL 型バルブです。バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、また、軸シールにもオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用しており、真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少いポリイミド樹脂を使用しております。150℃

951-7145以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適し
951-7120ています。

■特長
比較すると少いので 10 − 8Pa 程度の超高真空を容易に達1. すぐれた許容加熱性成することができます。
（第 1、2 図参照）

ポリイミド・シールは開閉いずれの場合でも室温から最3. 小さな締付けトルク

高 300℃までの繰り返しベーキングに耐えます。

ポリイミド・シールの締付けトルクはメタルシールほど大2. ガス放出の少いシール材きなトルクを要しません。

ポリイミド樹脂のガス放出は、ふっ素ゴム（バイトン）と−8×10 −5864−9864PRESSURE
（Pa）

102
POLYIMIDE−1010864×10 −92−1110864210−12×10 −7×10 −6

VITON×10 −82×10 −10

OUTGASSING RATE
（Pa m 3/sec-cm 2）

100100200

TEMPERATURE
（℃）

300

8642

Bakeout Oﬀ

8642

VITON（Unbaked）
VITON（Baked）
POLYIMIDE（Unbaked）
POLYIMIDE（Baked）
EMPTYCHAMBER
COPPER GASKETS（Baked）

86428642864286420100

200

300

400

500

600

TIME（Minutes）

第１図
シール材の比較（到達圧力）
第 1 図 ガス放出量
ガス放出量
第 2第２図図 シール材の比較（到達圧力）
2−3注）
圧力単位1Pa=7.5×10 Torr、1Torr=1.33×10 Pa

232

キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ Vol.8.9
キヤノンアネルバ株式会社

1

■仕様
型
使名用真空

領

951-7145

951-7120
大気圧〜 10 − 8Pa 程度域

許 容 加 熱 温 度※ 1、2300℃

300℃

シ ー ル 材（ ガ ス ケ ット ）ポリイミド樹脂

ポリイミド樹脂※ 4

推奨締付シール力（参考締付トルク※ 5）1225 〜 1921N（2 〜 3.4N・m）

3920 〜 4900N（4.9 〜 5.9N・m）

最大締付シール力（参考締付トルク※ 5）2626N（5.9N・m）

1L/sec

7840N（14.7N・m）
ベーキングを数回行った 手動  場合カニメスパナを使用 30L/sec

リーク 量※3

6.7 × 10 − 11Pa・m3/sec 以下

6.7 × 10 − 11Pa・m3/sec 以下外形

寸法

第3図

第3図

使用材

料

操

作

手動

コ ン ダ ク タ ン ス

接質
添続フ

ラ付

ン

本体
ベローズ
ハンドル

ジ量品

：SUS-304：SUS-304L：AL 合金（黒色アルマイト）

本体
ベローズ
ハンドル

φ 34ICF フランジ
0.41kg−：SUS-304：SUS-304L：AL 合金（黒色アルマイト）

φ70ICF フランジ
1.6kg
カニメスパナ、六角棒スパナ※1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。
※ 2. 連続加熱を行う場合は 260℃となります。
※ 3. ポリイミ
ド樹脂のガス透過は仕様外。
※ 4. ボンネッ
トシール部のメタルシール（SUS321銀メッキ“O”リング）化もご相談に応じます。
※ 5. 締付トルクはベーキング等により駆動ネジの摩擦係数が増加し、締付トルクと締付シール力の関係が変化しますので参考値です。

■外形寸法図

（φ64）

（24）

（φ51）

（φ12.8）

（φ38）

62±1

（φ51）

38±1

（φ28）

（112.5）固定フランジ（φ12.8）105±2（全開、全閉とも）

φ34 ICF全開165±4
全閉140±4（30）

φ70 ICF固定フランジ（φ38）

リーク溝位置38±162±1

φ70 ICF回転フランジ

φ34 ICF回転フランジ

951-7145 ミニポリイミドバルブ

951-7120 φ 38 ポリイミドバルブ
第3図2

キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ Vol.8.9
キヤノンアネルバ株式会社

233

■保守・消耗部品
951-7145 ミニポリイミドバルブ

951-7120 φ 38 ポリイミドバルブ

メイン・シール（弁座）

951-7145 ガスケット

951-7120 ガスケットボンネットシール

951-7145 ベローズ・ガスケット

951-7120 ベローズ・ガスケット■ご使用にあたって
1. バルブの真空シール部にポリイミド樹脂を使用しておりますので、ご使用の際はシール面を傷付けないよう、塵埃、金属粉等に十分ご注意ください。
2. バルブ開閉ネジ部には固定潤滑剤が施されていますので、高温における“かじり”の心配はありません。

■オーダリングインフォメーション
製品コード

商 品 名型 名

備 考

品 名

30200

951-7145

ミニポリイミドバルブ

φ 34 ICF 付

30210

951-7120

φ 38 ポリイミドバルブ

φ70 ICF 付

30806

951-7145

ベローズガスケット（ポリイミド）

951-7145 ボンネットシール用

30807

951-7145

ガスケット（ポリイミド）

951-7145 弁座シール用

30809

951-7120

ガスケット（ポリイミド）

951-7120 弁座シール用

30810

951-7120

ベローズガスケット（ポリイミド）

951-7120 ボンネットシール用234

キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ Vol.8.9
キヤノンアネルバ株式会社

32011年9月作成

東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1・エレクトロンデバイス製造装置
TEL 044-980-5155
・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5132
・パネルデバイス製造装置
TEL 044-980-5131
・真空コンポーネント
TEL 044-980-3503〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・各種装置関係
・真空コンポーネント

無断転載禁止FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236

西日本エリア九州エリア

TEL 06-6821-9701
TEL 06-6821-9708

FAX 06-6821-9702
FAX 06-6821-9702〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ TEL 096-385-3111

FAX 096-385-3061※ 輸出・移転・処分に関する注意
本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。
※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。
※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。
※ 禁無断転載・複写
本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/