回転導入機
磁気結合型・ベローズ式

954-7620（ベローズ式）954-7605（磁気結合型）■概要
真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が10 − 8Pa 以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機があります。

■磁気結合型回転導入機(954-7603、7604、7605、7606、7607）■特長
1. 大きな伝達トルク3kg・cm から最高 100kg・cm の高トルクタイプのものま

強力な磁石を用いた磁気結合型の回転導入機です。構造もで各種ご用途に応じてお選びいただくことができます。

単純で、連続高速回転に耐えられ、ベアリングを交換する

2. 長寿命だけで、半永久的に使用できます。マグネットの減磁がほと真空側軸受にはドライ潤滑ボールベアリングを使用

んど無いので伝達トルクの減少はありません。漏洩磁束は（954-7640 回転導入機は除く）しており、長寿命ですので、地磁気と同程度です（漏洩磁束表参照）。

半導体製造装置等の量産装置に適しています。

モータ駆 動をする場 合、 ベローズ式に 比べ高速 回 転3. ベークアウト可能（500rpm）が可能です。また、過剰負荷が回転子にかかっ真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールはたときには、空回転し、モータ等の損傷が防げます。

一切使用しておりませんので、超高真空系に適しています。
マグネット

4. アウターロータストッパ
アウターロータストッパ（固定ネジ）がありますので、任意の回転位置に固定することができます。

回転子（磁性体）

5. モータ駆動可能
手動とモータの 2 つの駆動方式が可能です。
(954-7630は手動駆動のみ）

磁気結合型駆動方式

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1

●漏洩磁束型

単位：μT（地磁気は 40 μT）
名

954-7603

測定方法
A

954-7604954-7605954-7606954-7607

測定箇所

I※※

IIIIIIIIIIIIII804080

4060104040404040※

B1204048040602040040400C160405004060204004040040Ｄ600

80600

80603040040560

120Ｅ60080600

80603040040560

120Ｆ600

80600

80603040040560

120

Ｇ

20040200

4060102004030020※測定方法 Iはプローブを接触させて測定。
※※測定方法 IIはプローブを約 5mm 離して測定。

漏洩磁束の測定箇所
プローブの方向B

CDEF

A
プローブの方向G
プローブの方向

●仕様型

名駆接動
続方フ

駆動

駆動

許容容リン

軸伝達トルク許ラー954-7604

954-7605
磁ジ

φ 34ICF

径φ6気結954-7606

954-7607

合φ70ICF

φ8φ12

方式

手動

0.5N・m1.6N・m1.6N・m5.9N・m9.8N・m

モータ駆動

0.44N・m1.42N・m1.42N・m5.3N・m8.8N・m

回加954-7603

式

転熱温ク

手動及びモータ駆動

数
度

500RPM※

100℃※※

100℃量質※※※

1.3 × 10

量0.72kg

100℃

※※

100℃

Pa・m /sec 以下− 1132.6kg

2.5kg

アウターロータ取除いた場合、※ 300℃、※※150℃、※※※400℃となります。
また、加熱時は駆動しないでください。

●主要部材質型
ICF 付

名
き支

持954-7603

954-7605

インナーロータマグネット

954-7606954-7607

SUS 304イ ン ナ ー ロ ー タ

2954-7604

管

マルテンサイト系ステンレス鋼無し

希士類コバルト磁石無し

ア ウ タ ー ロ ー タ

炭素鋼

アウターロータマグネット

希士類コバルト磁石

デ ィ ス ク プ レ ー トSUS304

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希士類コバルト磁石

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■ベローズ式回転導入機(954-7620、954-7630、954-7640）

ベローズ

真空側と大気側とを、溶接ベローズで完全に遮断したベロー
ズ式の回転導入機です。軸シール部に“O”リング等を使用していませんので、操作中に回転軸シール部よりのリークの心配がありません。また、ハンドル部に設けられた目盛により、真空系内の駆動軸の回転角を直読することができます。

ベローズ式駆動方式

●仕様型

名駆接動
続方フ

ラ

954-7620

954-7630

式
ン954-7640

ベローズ式

ジφ70ICFφ 34ICF

駆動軸径

駆動

方法

手動モータ駆動

手動

手動モータ駆動

ル

ク2N・m

1.2N・m0.3N・m1N・m0.6N・m

許 容 加 熱 温度 ※−200rpm

伝許達
容ト回

転数

リーク

量

使用材

料

質用量
途

φ8

φ6200℃−100rpm−

1.3 × 10 − 11Pa・m3/sec 以下

1.3 × 10 − 11Pa・m3/sec 以下
本体 SUS-304
ベ ロ ー ズ SUS-304

1.15kg0.33kg0.74kg

シャッタなどの手軽な回転導入に。

シャッタなどの手軽な回転導入に。

ミニ ICF ポートを使いモータ駆動や高精度、高トルクの回転導入に。

※加熱時は駆動しないでください。

■外形寸法図954-7603、7604 回転導入機（磁気結合型）

−0.01
−0.03

φ42±0.5φ6インナーロータ
シャフト

φ382φ19φ34ICF付支持管

ディスクプレート
アウターロータ
アウターロータ（マグネット付）
ストッパー

15±1

27.5

90.5

50±1.5118±28.5（アウターロータ固定時）
A面

168266

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3

954-7605 回転導入機（磁気結合型）
ディスク・
プレート

‒0.05
φ8 ‒0.1

3

φ32

φ70 ICF付支持管a‒a断面

アウターロータ
ストッパー

φ62a

φ58

φ57.2

a

20R2.4（Oリングベルト用溝）

293.5

135（9）

155

57±1（アウターロータ固定時）

954-7606、7607 回転導入機（磁気結合型・高トルク）

ディスクプレート

φ70 ICF付支持管

アウターロータストッパー

φ62±0.5

30

φ36

φ584

φ14

インナーロータシャフト

アウターロータ（マグネット付）

φ12 ‒0.02
‒0.05
20±1
20.5

10136.550±1.5157±2（アウターロータ固定時）
A面

207954-7620 回転導入機（ベローズ式）

125
50

φ70 ICF固定フランジ
‒0.05

φ47

φ382

φ32032027093434 0

φ8 ‒0.12.4R

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10φ55.2
φ6050±2

ハンドル固定用（20） （10）ストッパ
66

267

954-7630 ミニ回転導入機（ベローズ式）
φ34 ICF固定フランジ

φ40

φ32

φ162
4

10

002

32

φ150
φ5.9 ‒0.1

35

1550±2

91954-7640 ミニ回転導入機（ベローズ式・高トルク）（7）
ハンドル固定用
ストッパ

6160°

0φ42200

ハンドル
固定用ストッパ

60

100.52φ22φ150φ6 −0.1

19.5

φ19.2

φ34 ICF 固定フランジ

φ38318.8

56.5

50±2

104.5

（7）

（154.5）■保守・消耗部品
ベアリングは保守部品となっていますので、摩耗した際は交換して下さい。

■アプリケーション●磁気結合回転導入機（954-7603 、7604、7605、7606、7607）“O”リングベルト駆動

タイミングベルト駆動

O リング

直結駆動

インターナルギヤ駆動

タイミングベルト

インターナルギヤ

M

M

プーリー
標準品で可ポールジョイント（またはフレキシブルカップリング）

M
ディスクプレートにボス（φ6）
を取り付けるM

プーリー●ベローズ式回転導入機（954-7620 、954-7640）のモータ駆動の場合

ディスクプレートの代りにインターナルギヤを取り付ける●ご使用にあたって回転導入機のシャフトに直接ラジアル荷重、またはスラスト

ベローズ式回転導入機を小型モータにて駆動する場合、“O”荷重がかからないよう、組立設計を考慮願います。

リングベルトかチェーン等をご利用ください。また 50rpm 以上のモータ駆動を行うときには、当社にご相談ください。

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■オプション
●モータ駆動の応用例

1. ヘッドシャフト（材質：SUS304）
磁気結合型回転導入機とモータ等の駆動源を接続するためのもので、下記に示すものを標準として用意しておりタイミングベルト駆動

直結駆動

タイミングベルトます。ご注文の際は、型名末尾にＨを付け回転導入機といっしょにご指定ください。尚、下記以外の形状の物やMモータ付き回転導入機についてもご相談に応じます。
●外形寸法図ポールジョイント（またはフレキシブルカップリング）

M
プーリー

ヘッドシャフト（1）954-7603・7604 回転導入機用

ヘッドシャフト954-7605 回転導入機用

ヘッドシャフト（2）954-7606・7607 回転導入機用
注）ヘッドシャフトを取り付けた状態では、回転導入機外観寸法図に示す A 面とヘッドシャフト外観寸法図に示す B 面が一致します。

2. 真空側軸受
標準の軸受は、MoS2 固体潤滑剤をコーティングしたボールベアリングです（954-7640 回転導入機を除く）が、Ag コーティング品や低発塵タイプ等のボールベアリングについてもご相談に応じます。

■オーダリングインフォメーション
製品コード6

商 品 名型 名備 考

品 名

36500

954-7630

ミニ回転導入機

φ 34 ICF 付 ベローズ式

36501

954-7640

ミニ回転導入機（高トルク）

φ 34 ICF 付 ベローズ式

36520

954-7620

回転導入機

φ70 ICF 付 ベローズ式

36502

954-7603

ミニ回転導入機

φ 34 ICF 付 磁気結合型

36503

954-7604

ミニ回転導入機

φ 34 ICF 付 磁気結合型

36521

954-7605

回転導入機

φ70 ICF 付 磁気結合型

36522

954-7606

回転導入機

φ70 ICF 付 磁気結合型

36523

954-7607

回転導入機

φ70 ICF 付 磁気結合型

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2011年9月作成

東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1・エレクトロンデバイス製造装置
TEL 044-980-5155
・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5132
・パネルデバイス製造装置
TEL 044-980-5131
・真空コンポーネント
TEL 044-980-3503〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・各種装置関係
・真空コンポーネント

無断転載禁止FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236

西日本エリア九州エリア

TEL 06-6821-9701
TEL 06-6821-9708

FAX 06-6821-9702
FAX 06-6821-9702〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ TEL 096-385-3111

FAX 096-385-3061※ 輸出・移転・処分に関する注意本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。
※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。
※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。
※ 禁無断転載・複写
本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/