VeQRR2_0080-00381
2022 年 11 月 14 日
お客様各位
キヤノンアネルバ株式会社
品質保証部

株式会社アドテックプラズマテクノロジー製 高周波電源（AX シリーズ）
生産終了のお知らせ

平素は、弊社製品をご愛用いただき、誠にありがとうございます。
さて、弊社製装置に搭載しております株式会社アドテックプラズマテクノロジー製 高周波電源（AX シリーズ）の生産終了についてお知らせいたします。
弊社では、今後とも製品の信頼性向上に努める所存でございますので、変わらぬご愛顧のほどお願い申し上げます。
記
生産終了品と代替品について
No.

出力生産終了品

1200W

AXG シリーズ

2300W

AX シリーズ

代替品

AX シリーズ
3600W

AXR シリーズ

代替品は検討中です。

AXG シリーズ
451000W
2000W

AX シリーズ
AXR シリーズ
AX シリーズ

RF 電源 AX シリーズ
（600W/1000W/2000W）のAXR シリーズ
AX シリーズ

63000W

77500W

AX シリーズ

810000W

AX シリーズ

一部は継続販売いたしますがCE マーキングはありません。

AXR シリーズ※RF 電源の型式/品目番号は別紙にてご確認ください。
最終注文日：2023 年 3 月 31 日
保守終了日：2029 年 8 月 31 日
・保守部品の在庫状況によっては、保守終了日前であっても修理できない場合があります。
その場合には、代替品への置き替えとさせていただきます。
詳細はお近くの営業またはサービス拠点へお問い合わせください。
SC2037A

AXシリーズ

別紙

No.

品目名称

品目番号

型式

1AX-300,RF PS

9006-76389

AX-300Ⅲ

2AX-300III_PLASMA_P/S(13.56MHZ),BUY,E

9006-69308

AX-300Ⅲ-EI

3

RF POWER SUPPLY 300W(AX-300-3-D50S)

9009-53309

AX-300Ⅲ-D50S

4

RF 600W PLASMA GENERATOR,NRTL

9005-63730

AX-600Ⅲ-N

5RF600W PLASMA GENERATOR NRTC/EXT9005-74414

AX-600Ⅲ-N-*

6

RF POWER SUPPLY 600W(AX-6003-N-EI) PURCA

9006-17856

AX-600Ⅲ-N-EI

7RF POWER SUPPLY 600W

9008-29063

AX-600III-AC1-D

8RF POWER SUPPLY 1KW(AX-1000_3)

9007-20112

AX-1000Ⅲ

9RF POWER SUPPLY 1KW (AXG-10003-D50)

9008-44885

AX-1000Ⅲ-D50

10RF POWER SUPPLY 2KW(AX-20003-A)

9006-86546

AX-2000Ⅲ-A

11

RF P/S,13.566MHZ 2KW AX-20003-A

9008-76727

AX-2000Ⅲ-A

12RF POWER SUPPLY 2KW,AX-2000_3-A-AN

9009-31569

AX-2000Ⅲ-A-AN

13RF POWER SUPPLY 2KW (AX-20003-A-D)

9008-45336

AX-2000Ⅲ-A-D

14

RF Power Supply 2000W(AX-2000-3-A-D50)

9009-36137

AX-2000Ⅲ-A-D50

15RF 2000W PLASMA GENERATOR,CE

9006-26295

AX-2000EUⅡ

16

RF 2000W PLASMA GENERATOR,NRTL

9005-63748

AX-2000EUⅡ-N

17

RF POWER SUPPLY 2000W

9008-29071

AX-2000III-AC1-D

18

RF POWER SUPPLY 3KW(AX-3000_3)

9006-52628

AX-3000Ⅲ

19

RF P/S,13.566MHZ-3KW,AX-3000_3

9007-14137

AX-3000Ⅲ-13.566MHz

20

RF Power Supply 3000W(AX-3000-3-D50)

9009-36111

AX-3000Ⅲ-D50

21ADTEC 3KW RF POWER SUPPLY

9008-09225

AX-3000III-AC1-D

22

BUY,AX-3000III-D50 PULSE

9009-72989

AX-3000III-D50

23P/S,RF,AX-7500W-200-D50,OPTION 09014-47995

AX-7500W-200-D50

24P/S,RF,AX-7500W-200-D50,OPTION 19014-92398

AX-7500W-200-D50

25

P/S,RF,AX-7500W-200-D50,OPTION 29015-59409

AX-7500W-200-D50

26

BUY,RF POWER SUPPLY 7.5KW WITH RFSW-BOX

9009-51179

AX-7500W-200-D50(RFSW-BOX-KT2付)

27

REMODEL AX-7500W-200-D50 PULSE

9009-69342

AX-7500W-200-D50

28RF POWER SUPPLY 10KW(AX-10000-3-200-D50)

9009-51153

AX-10000Ⅲ-200-D50

29

RF POWER SUPPLY 10KW,AX-10000-AN

9009-31234

AX-10000Ⅲ-AN

30

RF POWER SUPPLY 10KW(AX-10000)

9007-92559

AX-10000W

31RF POWER SUPPLY 200W(AXG-2003)

9008-53410

AXG-200Ⅲ

32

RF POWER SUPPLY 200W (AXG-2003-A-EI)

9009-31420

AXG-200Ⅲ-A-EI

33

RF POWER SUPPLY 600W (AXG-600-A-D50)

9008-50917

AXG-600Ⅲ-A-D5034

RF POWER SUPPLY 1KW (AXR-10003-D50)

9008-57749

AXR-1000Ⅲ-D50

35

AXR-10003-D50

9008-60988

AXR-1000Ⅲ-D50

36

RF P/S(ADTEC),400KHZ/1000W9014-13679

AXR-1000LFⅢ-AN

37

RF P/S AXR-2000-3-A,BUY,E

9015-58720

AXR-2000Ⅲ-A

38

AXR-3000-3-D50 RF GENERATOR

9016-04945

AXR-3000Ⅲ-D50

39

AXR-30003-D50-P RF GENERATOR

9014-90370

AXR-3000Ⅲ-D50-P

40

RF POWER SUPPLY 600W (AXR-600-A-D50)

9008-56955

AXR-600Ⅲ-A-D50

41

RF POWER SUPPLY 600W(AXR-6003-A-D50S)

9009-06310

AXR-600Ⅲ-A-D50S

備考

継続販売

継続販売
継続販売