超寿命化とメンテナンス性向上！

｢V シリーズ ｣ L 型バルブ
V-040LV/V-065LV/V-100LV■概要
本バルブは、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったＬ型バルブです。バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用することで長寿命化 ( 当社比※１) を図りました。また、ＭＳＢシリーズはボンネット部にメタル中空Ｏリングを使用しているため、大気からのガス透過が無くガス分析真空装置などに最適です。バルブの種類は手動，圧空駆動ともサイズ及び接続フランジの種類が豊富に揃っており、自由に選択できます。

■特長
5. 豊富な接続フランジ

1. 超高真空領域まで使用可能※2

STD シリーズ-8※3

10 Pa 程度-7※3は 10 Pa 程度 、MSB シリーズ

※4はの超高真空領域までご使用できます。また、

STD シリーズをご購入後、より超高真空対応の MSB シ

バルブボディはステンレス鋼を用いており、特殊な接続フランジも容易に溶接接合できます。
6. 容易なメンテナンスリーズへ変更したい場合でも数点の部品交換のみで対応特殊工具を必要としません。また、バルブ駆動部からベできます。

ローズが容易に取り外すことのできる構造なため、バル2. 長寿命バルブ

ブ内部部品洗浄作業及び保守部品交換作業が短時間で内蔵されているベローズは成形ベローズです。材質はコス※5ト及び寿命できます。

を考慮しハステロイ合金を使用しています。

3. 開閉ポジションセンサスイッチ
標準でバルブに使用しているエアーシリンダには全て、開閉用のポジションセンサスイッチ（磁気センサー）を備えています。
4. 優れた許容加熱性
圧空駆動式バルブのエアーシリンダは耐熱は 120℃の高温仕様となっています。そのため、バルブ開時のバルブボディ部加熱温度は STD シリーズで 150℃ ,MSB シリー※１：弊社製品の 951 シリーズ L 型バルブとのベローズ寿命の比較（当社比 約5 倍）。
※２：ボンネットフランジ部のシールにフッ素ゴムOリングを使用したスタンダード仕様。
※３：使い始めは、バルブ内部から水分などのガス放出があるため真空度はあくまで目安です。
また到達圧力は、使用するポンプによって左右されるのでご注意願います。
※４: ボンネットフランジ部のシールにメタル中空 Oリングを使用したメタルシール仕様。
（流路を仕切る部分は、ふっ素ゴムOリングです。
）※５：ご使用条件でベローズの寿命は変わります。バルブのメンテナンス時期は実機でのご確認をお願いします。

ズで 200℃までベークアウトができます。
（但し、エアシリンダーは 120℃、センサスイッチは 60℃を超えないようにご注意願います。
）

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真空機器総合カタログ Vol.8.9
キヤノンアネルバ株式会社

1

■型名名称表示方法

表示例

V-040LV-SCN

バルブサイズ：40
ボンネット
ガスケット：STD シリーズ ( ふっ素ゴム )バルブ駆動方式 ：圧空駆動複動式
接続フランジ：NW40 フランジ
開閉センサ
：2 個付き■バルブ仕様STD シリーズ

サイズ
型

40MSB シリーズ

65100

名許容加熱温度

大気圧～ 10-7Pa 程度※ 1

6.7 × 10 Pa･m /sec 以下 ※ 2弁座部
外部36.7 × 10-11Pa･m3/sec 以下※ 2

バルブ開時

1.3 × 10-11Pa･m3/sec 以下※ 2200℃※ 3150℃※ 3

バルブ閉時

125℃

バルブボディ

SUS-304※3

ハステロイ C-22
エアーシリンダ ( 圧空駆動式バルブ ): アルミ合金、ふっ素ゴムなど
ハンドル ( 手動バルブ ): アルミ合金
ふっ素ゴム O リング（メインシール部 )ふっ素ゴム O リング
SUS321 銀メッキメタル中空 O リング（ボンネットシール部）
0.4 ～ 0.6 MPa

駆動部
真空シール材

作動エアー圧
エアー消費量 (L/ サイクル ) ※ 40.12

エアー供給口

Rc1/8

使用流体

0.47

1.22
Rc1/4

0.12

0.47

Rc1/8

1.22
Rc1/4

大気またはガス ( 腐食性ガスを除く )外形寸法■外形寸法図 参照

質量■外形寸法表 参照

接続フランジ※ 5100大気圧～ 10-8Pa 程度※ 1-11ベローズ
主要部材質

65

■型名名称表示方法 参照

使用圧力領域He リーク量40

サイズ

4065

100
φ152ICF 回転

ICF フランジ

φ70ICF 回転

φ114ICF 回転

NW フランジ

NW40

NW63

NW80

旧 JIS フランジ

旧 JIS 40A

旧 JIS 65A

旧 JIS 100A

※1. 使い始めは、バルブ内部から水分などのガス放出があるため真空度はあくまで目安です。また到達圧力は、使用するポンプによって左右されるのでご注意願います。
※ 2. ふっ素ゴム Oリングのガス透過は仕様外。
※ 3. センサースイッチの耐熱は 60℃ですので、120℃の加熱時はセンサースイッチを取り外してください。エアーシリンダ部を120℃以下に加熱制御できれば、バルブボディ部は STD で 150℃ ( バルブ開状態 )、MSB で 200℃ ( バルブ開状態、連続 4 時間 )まで加熱可能です。
※ 4. エアー圧 0.5MPa 時 1サイクル ( 開閉 ) でのエアー消費量です。NC 式バルブの場合は約半分の値となります。
※ 5. 接続フランジの詳細は■外形寸法図，■外形寸法表，■接続フランジを参照して下さい。

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241

■センサスイッチ仕様
項 目用

仕 様途

プログラマブルコントローラ ( シーケンサ )、リレー用

種類 , 配線方式

有接点，2 線式

負荷電圧

DC12/24V

AC100V負過電流

5 ～ 50mA

7 ～ 20mA

内部降下電圧ランプ

茶線(+)

2.4V 以下

青線(－)

発光ダイオード（ON 時点灯）

漏れ電流0mA

内部回路

右図 参照

リード線長さ1m（耐油性ビニールキャプタイヤコード 2 芯 0.2 mm2）

最大衝突294m/s2（30G）

絶縁抵抗

DC500Vメガーにて 20M Ω以上

絶縁耐圧

AC1000V 1 分間印加にて、異常なきこと

センサスイッチ内部回路

周囲温度-10 ～ +60℃

保護構造

IEC 規格 IP67、JIS C0920（防浸形）、耐油

注 1. 磁気感応形センサスイッチのため、外部磁場の強い場所での使用及び大電流の動力線への接近は避けて下さい。
2. センサスイッチは直接電源に接続せず、必ず負荷を直列に接続して仕様の負荷電流範囲内でご使用下さい。
3. 誘導性負荷（電磁リレー等）を接続する場合はセンサスイッチの OFF 時にサージ電圧（誘導性サージ）が発生しますので接点保護回路を必ず設けて下さい。
DC の場合：一般用整流ダイオード、AC の場合：CR（Cコンデンサ 0.033 ～ 0.1μF，R 抵抗 1～ 3KΩ）
4.DC 用としてご使用の場合、茶線が + 側、青線が - 側になるように接続して下さい。

■外形寸法表接続フランジ

Ｃ１

Ｃ２171159

173

161

63171

159

φ114ICF

102.5

235

201

NW63

NW63

88

V-065LV- □□ B

JIS 65A (VF)JIS 65A(VG)

V-065LV- □□ AJIS 65A (VG)

JIS 65A(VF)

V-100LV- □□ I

φ152ICFV-100LV- □□ N

型名Ａ

①フランジ

②フランジ

V-040LV- □□ I

φ70ICF

φ70ICF63

V-040LV- □□ N

NW40

NW40

65

V-040LV- □□ B

JIS 40A(VF)JIS 40A(VG)

V-040LV- □□ A

JIS 40A(VG)

JIS 40A(VF)V-065LV- □□ I

φ114ICFV-065LV- □□ N

Ｂ

34

60.5

220.5 186.5

102.5

232.5 198.5

φ152ICF

135

327

283

NW80

NW80

105

297

253

V-100LV- □□ B

JIS 100A(VF)JIS 100A(VG)

V-100LV- □□ A

JIS 100A(VG)

JIS 100A (VF)

327

283

13589.2ＤＥＦＧＨI

質量(Kg)
2.0

7860

1088Rc
1/8

1.6
2.7
6.0

114

7015

10.5

10.5

Rc
1/4

4.5
6.0
11.5

150

100

151311Rc
1/4

8.7
11.5

注 1． ICF は回転フランジです。
注 2．JISフランジは JIS B 2290（1998）の保守用フランジです。
（俗称 : 旧 JISフランジ）
ボルト穴 ( 通し穴 ) はセンター振り分けに配置しています。
注 3．手動バルブのハンドルの M6 雌ネジ（V-100LV のみ）は、ハンドルグリップの取り付けにご利用ください。

242

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■外形寸法図■接続フランジについて● ICF フランジ
ICF フランジはメタルガスケットを使用する超高真空用フランジです。JVIS-003 に規定されたコンフラットフランジで、詳細については弊社カタログの超高真空フランジをご参照下さい。
● NW フランジ
NW フランジはエラストマーガスケット ( 主にふっ素ゴム ) を使用する真空装置用クランプフランジです。フランジ形状は■
外形寸法図横の形状となります。NW40 フランジについては弊社カタログのクイックカップリングをご参照下さい。
●旧 JIS フランジ
旧 JIS フランジはエラストマーガスケット ( 主にふっ素ゴム ) を使用する真空装置用フランジです。JIS B 2290:1968 に規定されていた規格で 1998 年に規格改定されるまで真空産業界に深く浸透したフランジです。O リング溝のあるVG フランジとO リング溝の無い VF フランジの組み合わせで使用します。
JIS B 2290:1998 とは互換性がありませんのでご注意願います。
●お客様ご指定フランジ
上記フランジを組み合わせたバルブまたは上記以外の特殊フランジをご指定の場合は弊社までお問い合わせ下さい。

4

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243■オーダリングインフォメーション
製品コード

商 品 名型 名備 考品 名30103

V-040LV-SCN

DN40 圧空駆動 L 型バルブ

STD ＋圧空駆動式＋センサ＋ NW40 フランジ

30102

V-040LV-SCA

DN40 圧空駆動 L 型バルブ

STD ＋圧空駆動式＋センサ＋ JIS（C）フランジ

30101

V-040LV-SCB

DN40 圧空駆動 L 型バルブ

STD ＋圧空駆動式＋センサ＋ JIS（B）フランジ

30107

V-040LV-SDN

DN40 圧空駆動 NC L 型バルブ

STD ＋ NC 型＋センサ＋ NW40 フランジ

30106

V-040LV-SDA

DN40 圧空駆動 NC L 型バルブ

STD ＋ NC 型＋センサ＋ JIS（C）フランジ

30105

V-040LV-SDB

DN40 圧空駆動 NC L 型バルブ

STD ＋ NC 型＋センサ＋ JIS（B）フランジ

30115

V-040LV-SMN

DN40 手動 L 型バルブ

STD ＋手動型＋ NW40 フランジ

30114

V-040LV-SMA

DN40 手動 L 型バルブ

STD ＋手動型＋ JIS（C）フランジ

30113

V-040LV-SMB

DN40 手動 L 型バルブ

STD ＋手動型＋ JIS（B）フランジ

30109

V-040LV-MCI

DN40 圧空駆動 L 型バルブ MSB

MSB ＋圧空駆動式＋センサ＋φ70ICF フランジ

30111

V-040LV-MMI

DN40 手動 L 型バルブ MSB

MSB ＋手動型＋φ70ICF フランジ

30123

V-065LV-SCN

DN65 圧空駆動 L 型バルブ

STD ＋圧空駆動式＋センサ＋ NW63 フランジ

30122

V-065LV-SCA

DN65 圧空駆動 L 型バルブ

STD ＋圧空駆動式＋センサ＋ JIS（C）フランジ

30121

V-065LV-SCB

DN65 圧空駆動 L 型バルブ

STD ＋圧空駆動式＋センサ＋ JIS（B）フランジ

30127

V-065LV-SDN

DN65 圧空駆動 NC L 型バルブ

STD ＋ NC 型＋センサ＋ NW63 フランジ

30126

V-065LV-SDA

DN65 圧空駆動 NC L 型バルブ

STD ＋ NC 型＋センサ＋ JIS（C）フランジ

30125

V-065LV-SDB

DN65 圧空駆動 NC L 型バルブ

STD ＋ NC 型＋センサ＋ JIS（B）フランジ

30135

V-065LV-SMN

DN65 手動 L 型バルブ

STD ＋手動型＋ NW63 フランジ

30134

V-065LV-SMA

DN65 手動 L 型バルブ

STD ＋手動型＋ JIS（C）フランジ

30133

V-065LV-SMB

DN65 手動 L 型バルブ

STD ＋手動型＋ JIS（B）フランジ

30129

V-065LV-MCI

DN65 圧空駆動 L 型バルブ MSB

MSB ＋圧空駆動式＋センサ＋ ICF フランジ

30131

V-065LV-MMI

DN65 手動 L 型バルブ MSB

MSB ＋手動型＋ ICF フランジ

30143

V-100LV-SCN

DN100 圧空駆動 L 型バルブ

STD ＋圧空駆動式＋センサ＋ NW フランジ

30142

V-100LV-SCA

DN100 圧空駆動 L 型バルブ

STD ＋圧空駆動式＋センサ＋ JIS（C）フランジ

30141

V-100LV-SCB

DN100 圧空駆動 L 型バルブ

STD ＋圧空駆動式＋センサ＋ JIS（B）フランジ

30155

V-100LV-SMN

DN100 手動 L 型バルブ

STD ＋手動型＋ NW フランジ

30154

V-100LV-SMA

DN100 手動 L 型バルブ

STD ＋手動型＋ JIS（C）フランジ

30153

V-100LV-SMB

DN100 手動 L 型バルブ

STD ＋手動型＋ JIS（B）フランジ

30149

V-100LV-MCI

DN100 圧空駆動 L 型バルブ MSB

MSB ＋圧空駆動式＋センサ＋ ICF フランジ

30151

V-100LV-MMI

DN100 手動 L 型バルブ MSB

MSB ＋手動型＋ ICF フランジ

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52011年9月作成

東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1・エレクトロンデバイス製造装置
TEL 044-980-5155
・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5132
・パネルデバイス製造装置
TEL 044-980-5131
・真空コンポーネント
TEL 044-980-3503〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・各種装置関係
・真空コンポーネント

無断転載禁止FAX 044-986-4236
FAX 044-986-4236
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西日本エリア九州エリア

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FAX 06-6821-9702
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FAX 096-385-3061※ 輸出・移転・処分に関する注意
本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。
※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。
※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。
※ 禁無断転載・複写
本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/