Plasma System Division

本社 / Head Oﬃce

プラズマシステム事業部

Plasma System Division

1223 East Arques Avenue, Sunnyvale, CA 94085, U.S.A
TEL.+1-408-736-2000 FAX.+1-408-736-2010● 北米での半導体 /FPD/ 太陽電池製造装置用RF/ マイクロ波

OTC 機電 青島

システムの販売・保守・点検● Sales, maintenance, inspection of RF and microwave power

supplies for semiconductor, ﬂat panel and solar panel
manufacturing systems in North America.

● 中国での半導体 /FPD/ 太陽電池製造装置用RF/ マイクロ波システムの販売・保守・点検● Sales, maintenance, inspection of RF and microwave power

supplies for semiconductor, ﬂat panel and solar panelmanufacturing systems in China.

85, Hyeongoksandan-ro, Cheongbuk-myeon,Pyeongtaek-city, Gyeonggi-do, Korea● 韓国での半導体 /FPD/ 太陽電池製造装置用 RF/ マイクロ波システムの販売・保守・点検● Sales, maintenance, inspection of RF and microwave power

supplies for semiconductor, ﬂat panel and solar panel
manufacturing systems in Korea.
● 台湾での半導体/FPD/ 太陽電池製造装置用RF/ マイクロ波システムの販売・保守・点検● Sales, maintenance, inspection of RF and microwave power

supplies for semiconductor, ﬂat panel and solar panel
manufacturing systems in Taiwan.

http://www.daihen.co.jp/.

＊このカタログの内容は2020年4月1日現在のものです。予告なく内容を変更する事がありますのでご了承ください。
*Information in this catalog is accurate as of April 1, 2020. Speciﬁcations are subject to change without notice.

プラズマシステム事業部

Plasma System Division〒532-8512 大阪市淀川区田川2丁目1番11号
TEL.06-6390-5521 FAX.06-6308-6372
規制及びリスト規制
and security Export control systems. (by Ministry of trade and Industry)

HE-L15-0013

パルス出力機能 標準搭載の概念

Stable and Uniform

Concept of Fine Plasma

13.56MHz 3kW

60MHz 3kW

■ フルデジタル制御で、すぐれた出力直線性と安定したパルス出力波形を実現■ 独自の高効率回路設計により、AC-RF 変換効率 75% の高効率を実現■ コンパクト設計によりボディを小型化（当社従来機比 1/3）
■ 当社製自動整合器と組み合わせることで、市場から高い評価を得ているRF システムを構築■ フルデジタル制御で、すぐれた出力直線性と■ Stable pulsed output and excellent power output linearity■ Stable 2-level pulsed output and excellent power output linearity

achieved by fully digital control.

安定した 2 レベルパルス出力波形を実現■ 当社製フルデジタル自動整合器と組合わせることにより、パルス出力時の安定した高速自動整合が可能■ これまでの開発実績と検証手法に基づく高信頼性と量産安定性

achieved by fully digital control.
■ Stable and high speed automatic matching for pulsed output by■ 75% AC-RF Eﬃciency.
■ Compact Dimensions (65% smaller than our conventional model)■ Optimized high performance RF delivery system by integrating withintegrating with our fully digital controlled automatic matching unit.
■ Excellent product reliability and mass production capability.

our sophisticated automatic matching unit..
The electronics market today always looks for higher-density and highly integrated
semiconductor devices as well as high resolution FPDs with larger scaling.To achieve
those high performance on devices, sophisticatedly controlled damage-less plasma
is required with well-controlled repeatability. DAIHEN has been contributing to meetthese requirements for next generation plasma processing by providing high performance products with ﬁeld-proven reliability. All of DAIHEN products are designed
using leading-edge technology as well as long term experience in actual plasma
application, and tested and evaluated on actual plasma apparatus. We have been
proposing the “Fine Plasma Technology”, and pursue the ideal plasma by providing
variety of power generators and matching equipment.

電源製品一覧 RF Generator Products Lineup
周波数 / 出力 Frequency / Output

1/1.5kW

13.56MHz 3kW 電源 RF Generator

60MHz 3kW 電源 RF Generator

仕様 Speciﬁcations

仕様 Speciﬁcations

出力周波数安定度±0.01% 以内

出力周波数安定度±0.01% 以内

Frequency Stability

Within±0.01%

Frequency Stability

Within±0.01%

パルス周波数
Pulse Frequency

1Hz〜100kHz

冷却方式
Cooling Method

外形寸法
2kW

3kW

5kW

10kW

15kW

20kW

30kW

40kW

External Dimensions

400kHz質

2MHz〜4MHz 帯

Mass

量

パルス周波数
Pulse Frequency

1Hz〜50kHz

水冷、強制空冷

冷却方式

水冷、強制空冷

Water & Forced Air Cooling

Cooling Method

Water & Forced Air Cooling

W: 215×D: 540×H: 133 mm
22kg

外形寸法
External Dimensions

質量

Mass

W: 430×D: 600×H: 133 mm
48.5kg13.56MHz
27MHz〜60MHz 帯

13.56MHz 3kW 整合器 Matching Unit

2.45GHz

サンプル仕様 Sample Speciﬁcations（●カタログ掲載品、■は製作実績あり）＊パルス・可変周波数は、当社までお問い合わせください。

自動整合器製品一覧 RF Automatic Matching Products Lineup
周波数 / 出力 Frequency / Output

1/1.5kW

2kW

3kW

5kW

10kW

15kW

20kW

30kW

40kW

400kHz
2MHz〜4MHz 帯

整合精度 ＊1

1% 以内 ( 電力比 )整合精度 ＊1

1% 以内 ( 電力比 )Matching Accuracy

1% or less (Power Ratio)

Matching Accuracy

1% or less (Power Ratio)

整合速度

3 秒以内

整合速度

Matching Speed

3 秒以内

Within 3sec.

Matching Speed

Within 3sec.

冷却方式

強制空冷

冷却方式

Cooling Method

水冷、強制空冷

Forced Air Cooling

Cooling Method

Water & Forced Air Cooling13.56MHz

外形寸法

27MHz〜60MHz 帯

External Dimensions

2.45GHz＊自動整合器はカスタム品のため、仕様については当社までお問い合わせください。
＊2 周波、3 周波重畳については当社までお問い合わせください。

質■は製作実績あり）（●カタログ掲載品、60MHz 3kW 整合器 Matching Unit
サンプル仕様 Sample Speciﬁcations

量

Mass

W: 200×D: 320×H: 120 mm
14kg

外形寸法
External Dimensions

質量

Mass

W: 280×D: 380×H: 160 mm
16kg

3

DAIHEN high frequency generators are power supplies designed to generate high quality RF plasma.

DAIHEN high frequency impedance matching units are designed for higher performance plasma application.

● 全出力範囲にわたる高精度な安定出力● 負荷インピーダンスおよび装置取付形状にあわせた最適カスタマイズ設計● 厳しい設計審査と信頼性試験による耐久性に優れた製品品質● 追値制御方式による高速、高精度な整合特性● 高速制御による安定出力と保護機能● 各パラメータ設定を最大 8 点まで内部メモリーに記憶● High accuracy, stable output power across the entire output range.

● Optimized custom design adapted to user load impedance and mechanical interface.

● High reliability and ﬁeld-proven durability realized by strict design and reliability test.

● High-speed and accurate auto tuning realized by unique "Prediction and Correction" algorithm.

● Stable output and protection functions achieved through high-speed digital control.

● Programmable user parameter sets (8 sets maximum).

RGA-5013.56MHz5kW

パルス周波数 Pulse Frequency
出力周波数安定度 Frequency Stability
冷却方式 Cooling Method
外形寸法 External Dimensions
質量 Mass

1Hz 〜 100kHz±0.01% 以内 Wthin±0.01%
水冷、強制空冷 Water & Forced Air Cooling
W: 420×D: 440×H: 133 ㎜
39kg
:::

＊1: 負荷としてダミーロードを用いた、当社試験設備による実験結果。

AGA-5060MHz

5kW

パルス周波数 Pulse Frequency
出力周波数安定度 Frequency Stability
冷却方式 Cooling Method
外形寸法 External Dimensions
質量 Mass

1Hz 〜 50kHz±0.01% 以内 Wthin±0.01%
水冷、強制空冷 Water & Forced Air Cooling
W: 430×D: 600×H: 225 ㎜
70kg＊1: 負荷としてダミーロードを用いた、当社試験設備による実験結果。

Advanced Component Company

DAIHEN CW microwave generators provide excellent output power linearity and stability with high maintenability.
DAIHEN automatic microwave tuners and controllers provide advanced plasma control using our unique “Prediction and Correction” algorithm.

● 低リップルの出力波形● 自動整合器からのパワーフィードバック制御による優れた出力の直線性と安定性● 各ユニット（直流電源、マグネトロン、チューナー）の互換性確保によりメンテナンス性を向上● Low ripple on output-waveform.
● Excellent output power linearity and stability realized by power feedback control using ourSMA series auto tuners.
● No calibration required for ﬁeld maintenance. Just replace any module(s) (DC power supply,magnetron unit, isolator and/or auto-tuner), and run.

● 追値制御方式による高速、高精度な整合特性

全負荷範囲に対してスムーズな自動整合● 反射係数の大きさや位相を任意に設定可能● 各パラメータ設定を最大 8 点まで内部メモリーに記憶● High-speed and accurate auto tuning realized by unique "Prediction and Correction" algorithm.

Smooth auto tuning across the entire impedance range.
● User-settable magnitude of reﬂection coeﬃcient and phase-angle for tuning performance

optimization.
● Programmable user parameter sets (8 sets maximum).