2012/10/18

MILSA 取扱説明書

ラトックシステムエンジニヤリング株式会社

≪ご使用上の注意≫
レーザ光は目に見えない不可視光であり、危険性の高い「クラス４」に分類されます。
正しく安全にご使用いただくために、ご使用前に必ず取扱説明書「安全上のご注意」をお読みください。

日本工業規格（JIS）では、全てのレーザ製品に対して、危険度のレベルに応じた 7 つの統括的なクラスに製品を分類しています。そのレベルの設定値（放射するエネルギーで分類）を被爆放出限界（AEL）といい、それぞれに応じた安全対策を規定しています。

クラス 1

合理的に予測できる条件下で安全である。
使用者が光学器具を使用した場合に危険になることがあるという点を除いて、クラス 1M
クラス 1 に同じ。302.5nm～4000nm の波長範囲のレーザ低パワー。通常、まばたきなどの嫌悪反応によって目は保護され、安全である。
クラス 2
400nm～700ｎｍの波長範囲の低出力可視光レーザ
使用者が光学器具を使用した場合に危険になることがあるという点を除いて、クラス 2M
クラス 2 に同じ。400nm～700nm の波長範囲の可視光レーザ
直接ビーム内観察は危険になることがある。
クラス 3Rパワー（エネルギー）が、クラス 1、クラス 2 の AEL の 5 倍以下
クラス 3B 直接ビーム内観察は通常において危険である。
高パワー（おおむね、0.5W を超える）。拡散反射も危険になることがある。
クラス 4
危険な拡散反射を引き起こすことが可能であり、皮膚損傷や火災発生の危険がある。

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インターロックの使用
カギによる制御（キーコントロール）：532nm
2 段階式電源スイッチ（電源出力・レーザーユニット）：1064nm
ビーム遮光器、または減衰器
警告標識
ビーム光路遮光壁••••

保護メガネの着用
遮光板(遮光フィルム)による遮光保護着衣の着用
難燃性素材の使用
2≪目次≫≪ご使用上の注意≫-----2≪各部の名称と機能≫-----4●●

フロントパネル部
リヤパネル部≪基本操作≫●●●

サンプル設置方法
基準プレートのサンプル設置長さ変更
サンプル縦測定の場合≪光学系内名称と機能≫
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通常・ブリュースター変更方法
レーザー手前奥移動ネジ
サンプルＺ移動ネジ
サンプル左右移動ネジ
サンプル手前奥移動ネジ
レーザーフォーカス調整ネジ
観察フォーカス調整ネジ
倍率変更
対物位置調整ネジ
ＵＳＢモニター≪観察光学系の名称と機能≫●●●●-----8-----14

落射解除ピン
落射用ランプホルダと交換ネジフィルターホルダー①②
カメラホルダー≪光軸ずれ確認方法≫-----16≪移設時注意点≫-----16≪仕様≫-----17≪装置外形寸法≫-----18≪コネクタ配線≫-----193

≪各部の名称と機能≫●

フロントパネル部
本体カバー

ファイバー
取り扱い注意1064nm 電源

1064nm レーザーユニット
観察系用カバー

光学系ユニット

本体は 1064nm ファイバーレーザー電源・1064nm ファイバーレーザー・光学系から成り立っています。
532nm レーザーは光学系内に内蔵されています。

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レフトパネル

Ｚ軸移動量表示リセットボタン

各種設定キー
非常停止スイッチ

室内灯スイッチ

532 キースイッチ

532 出力調整ボリューム

ライトパネル

真空吸着スイッチ
Ｘ軸移動量表示
リセットボタン

各種設定キー
落射照明スイッチ

メインスイッチ
落射照明ボリューム

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【Ｚ軸移動量表示】
光学系内サンプルの上下に連動して、移動量を表示します。
（最小分解能 0.1μ）【各種設定キー】
表示機能の設定変更を行います。（添付資料参考）【リセットボタン】
表示を 0 にします。
（ここからの移動量が表示されます）【室内灯スイッチ】
サンプル設置時室内を明るく照らします。（側定時は迷光になるのでお切りください）【532 キースイッチ】
電源キーを兼ねた鍵付きスイッチです。
【532 出力調整ボリューム】
電源スイッチＯＮ時に、ＣＷ方向に回転すると出力が高くなります。
532nm・1064nm レーザーはダイクロにて同軸出力ができるように調整されています。
不必要な場合は、各々の電源スイッチを切るか、調整ツマミで質力調整してください。
【非常停止ボタン】
全ての電源をシャットダウンします。
（サービスコンセント含む）解除前には、レーザーユニットやキースイッチを必ずＯＦＦの状態に戻してから解除してください。
【Ｘ軸移動量表示】
光学系内サンプルの左右に連動して移動量を表示します。
（最小分解能 0.1μ）【落射照明ボリューム】
顕微鏡（ＣＣＤ）観察時の表面状態の明るさを調整します。
（ＣＷ方向に回せば明るくなります）【真空スイッチ】
サンプルの真空吸着用スイッチです。
右側に倒すと吸着、左側に倒すと解除となります。
【落射照明スイッチ】
顕微鏡（ＣＣＤ）観察用ランプの電源です。
（赤 LED 点灯）
このスイッチをＯＮにしてから落射照明ボリュームで調整してください。
【メインスイッチ】
装置ご使用時、このスイッチをＯＮにしてから御使用ください。
裏面のサービスコンセントも連動していますので、1064nm ファイバーレーザーも使用する場
合、必ず電源側をこのコンセントにつなぎ御使用ください。
ファイバーレーザー側をつなぎますと、高電流が出力されたままになることがございますので危険です。

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リヤパネル部

ＰＣ接続コネクタ

ヒューズホルダー

アース端子
ＡＣ１００Ｖ入力
サービスコンセント（メインスイッチに連動）

7≪基本操作≫● サンプル設置方法
吸着プレートサンプルステージ下部より撮影

位置決め溝

サンプル設置用専用台

固定用ピストン

位置決めピン

両指でサンプルステージを下部に押さえながら、固定用ピストンを挿入する。
外す時はピストンを抜く。
きちんと押さえていないと、サンプルステージが上部に跳ね上がります。
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基準プレートにサンプル面をピンセット等を使用し押し付けます。

真空吸着チューブへ真空引きが可能な場
合真空吸着スイッチをＯＮにします。

基準プレートサンプル

基準プレートをサンプル反対方向にゆっくりと外し、サンプルステージを下部に押さえながらピストンを抜きます。

サンプル設置専用台と同一形状のメインベース位置決めピンに設置し、上部を抑えながら固定用ピストンを挿入し、設置完了です。

位置決めピン

メインベース9

● 基準プレートのサンプル設置長さ変更

基準板
基準面

固定ネジＭ４

固定ネジＭ４の２本を緩めます。
基準面に基準板が密着するようにスライドします。
裏面のメモリも参考にし、希望位置にスライドした時点で固定ネジＭ４を締めて完了です。
● サンプル縦測定の場合
メインベース上にサブベースを位置決めピンが長穴に入るように設置し←方向に軽く押しながらＭ４ネジ２本で固定します。

サブベース

メインベースメインベース取り付け面

その後はメインベースと同様に取り付けてください（但し必ず真空吸着が必要です）。
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≪光学系名称と機能≫
532nm

1064nmブリュースター切替ネジ

ＵＳＢモニター

サンプルＺ移動ネジ

レーザー手前奥移動ネジ
インターロック

サンプル左右移動ネジ

レーザー集光レンズ

サンプル手前奥移動ネジ

ブリュースターブリュースター
通常位置調整ネジ

標準

レーザーフォーカス調整ネジ

左右レーザー光軸Ｚ

観察フォーカス調整ネジ
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● 通常・ブリュースター変更方法
通常使用時は、ブリュースターネジを緩め、レーザーユニットが下部の位置で御使用ください。
ブリュースター状態で誤使用になる場合は、↑方向に突き当たる位置までもちあげ、ネジをロックして御使用ください。
なお、手前の板金カバーを外し、ブリュースター通常調整ネジを緩めることで、レーザーフォーカスの上下方向の調整が可能です。
● レーザー手前奥移動ネジ
観察視野内で光軸の位置を変更したいときに使用します。
オプションで自動もしくは手動でこの機能を選択された場合は（写真：自動ステージタイプ）、レーザー手前奥方向を自動もしくは手動で移動することができます。
つまみ 1 回転で 1ｍｍの移動が可能です。
自動ステージを手動で動かす時は必ず、左置奥のコネクターが抜けた状態であることを確認してください。
通電時に無理に回すと、モーターが壊れる恐れがございます。
サンプルから外れた位置まで移動しますと、レーザーが装置外に出てしまう可能性もございます
ので最善の注意をもって扱ってください。
● サンプルＺ移動ネジ（-0.5～+6.5ｍｍ）
設置したサンプルをレーザー集光レンズの光軸高さ方向に移動する時に使用します。
テーブル面と光軸面が一致した位置より、上方向に 0.5ｍｍ、下方向に 6.5ｍｍ移動可能です。
つまみ一回転で 0.5ｍｍの移動が可能です。
また、オプションで側長ユニットを選択された場合は、正面左方向に 0.1μまでデジタル表示される表示ユニットが付属します。
● サンプル左右移動ネジ（+2～-8ｍｍ）
設置したサンプルをレーザー集光レンズ光軸と平行方向に移動する時に使用します。
観察系で確認しながらサンプルの位置を移動してください。
つまみ 1 回転で 0.5ｍｍの移動が可能です。
また、オプションで側長ユニットを選択された場合は、正面右方向に 0.1μまでデジタル表示される表示ユニットが付属します。
● サンプル手前奥移動ネジ（+2～-8ｍｍ）
設置したサンプルをレーザー集光レンズ光軸と平行に動かしたい時に使用します。
サンプル設置面はレーザーの偏光方向と平行になるように設置されています。
オプションで自動もしくは手動でこの機能を選択された場合は（写真：自動ステージタイプ）、サンプル手前奥方向を自動もしくは手動で移動することができます。
つまみ 1 回転で 1ｍｍの移動が可能です。
自動ステージを手動で動かす時は必ず、左置奥のコネクターが抜けた状態であることを確認してください。
通電時に無理に回すと、モーターが壊れる恐れがございます。
サンプルから外れた位置まで移動しますと、レーザーが装置外に出てしまう可能性もございます
ので最善の注意をもって扱ってください。
● レーザーフォーカス調整ネジ
サンプルとレーザーの集光点を一致する時に使用します。
つまみ 1 回転で 0.5ｍｍ移動します。
532nm と 1064nm は焦点位置が違いますので、このネジを使用し調整してください。

12● 観察フォーカス調整ネジ（-5～+5ｍｍ）
サンプル位置決定後のピント調整や、サンプル内部観察時のピント調整に使用します。
1 回転で 0.5ｍｍ移動します。
ＣＷ方向に回すと対物レンズがサンプルに近づきます。
ストロークがかなりありますので、対物と他の物（サンプル・サンプルステージ）が干渉しないように注意して調整してください。

基準定盤

対物位置調整ネジ
対物ベース

対物交換リング● 倍率変更予めセットされている対物レンズがあれば、3 個までワンタッチで交換することが出来ます。
対物交換リングを押し引きすると、方向に 3 段階で移動可能です。
奥と手前は、突き当たるまで移動してください。
中心の対物を使用する場合は、中心近辺でクリック感がありますので、クリック感を感じた位置でスライドを止めてください。
どちらか一定方向より位置決めしないと、大きく対物観察中心がずれますので、中心の対物は低倍を使用することをお勧めいたします。
● 対物位置調整ネジ
高倍率と低倍率の対物観察中心位置を合わせる場合に使用します。
2 本のネジを緩め、対物レンズを対物ベース（黒い正方形）ごと観察しながら微調整します。
希望の位置に調整できたらネジを締めてください。
（対物レンズは RMS 規格ネジ M20.32 P=0.706 が取り付け可能）
光学系内に直接手を入れますので、レーザーによる焼けど等無いように、必ず調整用ダミーサン
プルなどを使用し、レーザーが出力していない状態で行ってください。
● ＵＳＢモニター
ＰＣに接続することで、カメラ画像をサブ画面として確認することができます。
13≪観察光学系の名称と機能≫

落射用ランプホルダ
落射解除ピンフィルターホルダ①
交換ネジフィルターホルダ②

カメラ調整ユニット
ユニット装着部● 落射解除ピン
落射照明光を無くしたい時、落射用内部ハーフミラーが邪魔になった時に使用します。
解除後は元に戻さないと、落射照明になりませんのでご注意ください。
● 落射用ランプホルダと交換ネジ交換ネジを緩めてランプホルダを外すことが出来ます。
ランプ切れによるランプ交換の他、ファイバーアタッチメントを取り付けるときに使用します。
落射用ランプホルダを抜き、下写真の方向にアタッチメントを突き当たる位置まで挿入し、交換ネジを締めます。
黒いカバーを外し、Ｆコネクタ付きのファイバーを取り付けて御使用ください。

ファイバーアタッチメント

ファイバーセンター調整ネジ

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● フィルターホルダー①②
φ25.4ｍｍのフィルタを①②共に 2 個まで装着可能です。
手前の黒い回転調整部分には、532nm・1064nm 用偏光フィルターが内蔵されています。
装置挿入後、指で回転することが可能です。
偏光フィルターを回した後、再度観察系内部に挿入しお使いください。

使用波長の偏光フィルター● カメラホルダー
カメラマウント（M25.4 P=0.794）にカメラを装着し、本体下部のユニット装着部に装着してください。
視野の中心や向き（回転方向）がずれている場合は調整固定ネジを緩めＸＹ調整ネジ２本で調整してください。
回転方向も調整固定ネジが緩まっている状態でしたら調整可能です。
全ての調整が終了しましたら、調整ネジ３本・イモネジ２本＋ユニット固定ネジで固定しますとさらに安定します。

調整固定ネジ

ユニット固定ネジ

ＸＹ調整ネジ15≪光軸ずれ確認方法≫
当装置には、532nm と 1064nm２本のレーザーが同軸かつ基準定盤面に平行になるように調整されています。
基準定盤との平行ずれは、サンプル測定等で確認頂くしかございませんが、２本の光軸のずれに関しましては、装置右側にある YSB カメラをＰＣと接続して、レーザー光の光軸を確認することが可能です。
両方のレーザーを出射し、ＰＣの画面上で付属ソフトを立ち上げてご確認ください。
なお、ＮＤフィルターで保護していますが、1064nm レーザーのＭＡＸパワー（５Ｗ）で平行光で画像を確認しますと、カメラが壊れてしまう恐れがございますので、必ず１Ｗ以下（2.56A）
以下で御使用ください。
≪移設時注意点≫
ネジを外し丁寧に上に抜き取ります。

ファイバーに負担がかからぬようゆっくりと奥左上の穴より抜き取ります。

取り外し後すぐにＦＣ用カバーを取り付けてください。

コリメーター側にも同様にコネクターカバーを取り付けます。

差し込む時は必ず、下写真の凸部凹部を合わせて挿入してからネジを締めてください。

必ず溝を合わせて挿入のこと！

16≪仕様≫装置内電源 ＤＣ
２４Ｖ ０．５ＡＤＣ
１２Ｖ ３Ａ
ＤＣ ３．３Ｖ ３Ａ
付属コントローラー
メレック社製Ｃ－ＶＸ８７１Ｅ
ＡＣ１００外部１０６４nm レーザー電源用サービスコンセント
ミツトヨデジタルゲージ LGK-0110
ミツトヨカウンター
LG-101P
ＤＣ １２～２４Ｖ ６Ｗ
２台
ＵＳＢモニター１台
顕微鏡ランプＡＣ１００Ｖ
１Ａ
室内灯
ＤＣ２４Ｖ
０．１Ａ
ＡＣファン
ＡＣ１００Ｖ
０．１４Ａ ３個
532nm レーザー 最高出力 500mＷ
３．３Ｖ
１Ａ
1064nm レーザー 最高出力 5W
３．０Ｖ
１２Ａ
但し通常使用は１Ｗ使用のこと
手動Ｘ軸（駿河精機製）

B08-111ストローク 18ｍｍ ネジピッチ 0.5ｍｍ

自動Ｙ軸（シグマ光機製）

SGSP20-85

ストローク 85ｍｍ ネジピッチ 1.0ｍｍ

手動Ｚ軸（シグマ光機製）

TASB-603

ストローク 7ｍｍ ネジピッチ 0.5ｍｍ

入力電圧 ＡＣ１００Ｖ ５Ａ
インターロック：自動ステージのみ遮断
非常停止ボタン：サービスコンセント含むメイン電源の遮断（必ず付属製品も電源ＯＦＦ状態から復旧してください。）

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≪装置外形寸法≫18≪コネクタ配線≫
制御用コネクター
アンフェノール 50 ピン（ＤＤＫ）
1415

FFSTOP（灰）アース（黒）

D-Sub50 ピン（JAE）
1214・1516192047

ＣＷリミット（黒）ＣＣＷリミット（白）24V（オレンジ）
CW+/CCW+（ピンク 2 本：基準 5V）
CW-（ピンク）
CCW-（青）アース（黒）

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