２０２２.９.９版

加工用、計測用

光学系開発実績（2001～）
100nm～

200nm～

・157nm300nm～

・213nm

対物レンズ

・308nm

対物レンズ

400nm～
・405nm

ホモジナイザ

対物レンズ

リレーレンズ・193nm600nm～
・633nm

検査光学系

集光レンズ

リレーレンズ

レーザー干渉計

対物レンズ

500nm～
・510-560nm

・310-380nm

ライン照明

集光光学系

・408nm

集光光学系

・660nm

伝送光学系

顕微鏡

対物レンズ

リレーレンズ ・248nm
エキスパンダ・343nm

対物レンズ

結像レンズ

伝送光学系

結像レンズ
集光レンズ
リレーレンズ・527nm

露光光学系

対物レンズ

レーザー干渉計

エキスパンダ・349nm

ロータリーアッテネータ

ロータリーアッテネータ

フィールドレンズ

800nm～
・800nmライン集光光学系

加工光学系

・808nm・350nmシリンドリカルエキスパンダ
ホモジナイザ

転写光学系

ｆθレンズ

加工光学系

エキスパンダ

加工光学系

ロータリーアッテネータ

転写光学系

加工光学系

・810nm
リペア光学系

結像レンズ

集光レンズ

コリメートレンズ

リレーレンズ

ラインビーム光学系

対物レンズ

ズームレンズ

イメージローテータ

結像レンズ

fθレンズ

リレーレンズ

検査光学系

リレーレンズfθレンズ

fθレンズ
エキスパンダエキスパンダ

伝送光学系

コリメータ

ホモジナイザエキスパンダロータリーアッテネータ

ビームホモジナイザ

加工光学系

ロータリーアッテネータ
・262nm
ロータリーアッテネータ

・1064nm
集光レンズ

・532nm・488nm・257nm

伝送光学系
・1053nm

対物レンズ

エキスパンダ・351nm・980nm

ラインビーム光学系

対物レンズ

シリンドリカルエキスパンダ

反射伝送光学系

1000nm～・1028nmLDビーム成形光学系

・435nmエキスパンダ

900nm～
・905nm

加工光学系
・515nm

集光レンズ

700nm～
・798nm・355nm

ビームシェーパー

ビーム整形光学系

ビームローテータ

ファイバ伝送光学系

ロータリーアッテネータ

対物レンズ

顕微鏡

集光レンズ

アナモルフィック光学系

集光レンズ

fθレンズ

アニ―リング光学系

リデューサ

アナモルフィックエキスパンダ

加工光学系

加工光学系

ビームホモジナイザ

干渉露光光学系

ホモジナイザ

検査光学系

・1080nm

ビームローテータ

照明光学系

fθレンズ

ロータリーアッテネータ

ピーニング光学系

対物レンズ

ライン照明

ファイバー伝送光学系

リレーレンズ

検査光学系

リペア光学系

ズームレンズ

照明光学系

fθレンズ

加工光学系

エキスパンダカップリング光学系

ズームエキスパンダ

リペア光学系

シリンドリカルエキスパンダ

レーザー干渉計

・263nmエキスパンダ・264nmエキスパンダ・266nm・1070nm・1090nm
加工光学系
・12um
対物レンズ
・13-15um

シリンドリカルズームエキスパンダ

対物レンズ

アナモルフィックエキスパンダ
アナモルフィック集光光学系
ホモジナイザ・1535nm・365nm

集光レンズ

ビーム整形光学系

対物レンズ

ライン照明

リレーレンズ

ロータリーアッテネータ

露光用レンズ

検査光学系

検査光学系

照明光学系

レーザー干渉計

加工光学系
レーザー干渉計・270-300nm
投影レンズ----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------200-1100nm：顕微鏡----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------220-350nm：対物レンズ---------------------------------------220-350nm：結像レンズ-----------------------------------------220-350nm：コリメートレンズ-----------------------------------------220-350nm：検査光学系-----------------------------------------220-450nm：対物レンズ-----------------------------------------220-450nm：結像レンズ-----------------------------------------220-450nm：検査光学系-----------------------------------------350-420nm：投影レンズ-------------------------------------------------------351nm-532nm：結像レンズ ---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------390-960nm：マクロレンズ----------------------------------------------------------------------------------------------------------436-560nm：集光レンズ---------------------------------425-600nm：チューブレンズ-------------------------------------------450-650nm：結像レンズ -------------------------------------------------------450nm-650nm：リレーレンズ-----------------------------------------------------486nm-656nm：リレーレンズ--------------------------------------------------------405nm-650nm：顕微鏡-----------------------------------------------------------450nm-650nm：顕微鏡--------------------------------------------------------450nm-650nm：照明光学系----------------------------------------------------450nm-650nm：高さ検出光学系------------------------------------------500-600nm：集光レンズ-------------------------------------------520-700nm：チューブレンズ-------------------------------------------------------------------------------------------------500-1000nm：チューブレンズ-------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------- 532,1064nm：２波長結像レンズ ---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------500nm-1100nm：顕微鏡----------------------------------------------------------------------------------------------------------800-1000nm：リレーレンズ ---------------------------------------------------900-1050nm：集光レンズ------------------

お問い合わせTEL：045-931-6592
https://www.ksoc.co.jp/shiryo/
担当：営業部 小林・木村 宛
オプティクス、レーザ、精密光学機器のリーディングカンパニー