瀬戸市記者会、豊田市政記者クラブ、豊田市政記者東クラブ、長久手市同時

平成２４年８月２０日（月）あいち産業科学技術総合センター
共同研究支援部 計測分析室
担当 中尾、加納
ダイヤルイン 0561-76-8315

当センターに整備された高度な計測機器

愛知県産業労働部産業科学技術課
管理・調整グループ担当 加藤、山口
内線 3381、3388
ダイヤルイン 052-954-6347「計測分析に関する講演会」の参加者を募集します－高度な計測機器による工業材料の表面分析事例を紹介します－
今年２月１４日、付加価値の高いモノづくりを支援する研究開発拠点である「知の拠点」にオープンした「あいち産業科学技術総合センター」*１本部では、高度な計測機器を用いた分析・評価により、企業の方々の研究開発や製品開発を支援しています。
このたびセンターに整備した飛行時間型二次イオン質量分析（TOF-SIMS）*２、Ｘ線光電子分光（XPS）*３、オージェ電子分光（AES）*４は金属、半導体、セラミックスやプラスチックなどの多様な材料について、表面数ナノメートルの分析が可能であり、新規機能性材料の研究開発において有効な手段となります。また、表面の劣化や汚染、異物の検査に利用することで品質管理に役立ちます。
そこで、これら最新の表面分析装置を用いた計測分析に関する講演会を、１０月５日（金）にあいち産業科学技術総合センター本部にて開催します。
講演後には、当センターの高度計測分析機器の紹介や、隣接する中部シンクロトロン光利用施設（仮称）*５の見学会を行います。
参加費は無料です。多くの皆様のご参加をお待ちしております。
１

日時
平成２４年１０月５日(金) 午後１時３０分から午後５時まで

２場所
あいち産業科学技術総合センター本部 講習会室
（豊田市八草町秋合１２６７－１ 東部丘陵線リニモ「陶磁資料館南駅」下車すぐ）

３ 主催等
主催：あいち産業科学技術総合センター
共催：公益財団法人 科学技術交流財団
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内容

・「TOF-SIMS による工業材料表面の組成解析」
むら せ

株式会社豊田中央研究所 主席研究員 村瀬あつし

篤 氏（午後１時４０分～２時４０分）
・「X 線光電子分光（XPS）、オージェ電子分光（AES）による最新表面分析応用事例」
さな だ

アルバック・ファイ株式会社 市場開発部 部長 眞田

のりあき

則明 氏

（午後２時５０分～３時５０分）
・施設見学
あいち産業科学技術総合センター 計測分析室
中部シンクロトロン光利用施設（仮称）（午後４時～５時）
５ 参加費無料
６

定員
１００名（先着順）

７ 申込方法
技術開発に取組む企業の方々を始め、どなたでも自由に参加できます。
参加申込書に必要事項をご記入の上、FAX、郵送または電子メールでお申込みください。
申込書は、あいち産業科学技術総合センターのホームページ（http://www.aichi-inst.jp/）からダウンロードできます。
８ 申込期限平成２４年１０月４日（木）午後５時まで（定員に達し次第締め切ります）。
※参加受付証は発行しません。お申込みの上、直接会場にお越し下さい。
なお、定員超過の場合のみ連絡させていただきます。
９ 申込先及び問い合わせ先
あいち産業科学技術総合センター 共同研究支援部
計測分析室 中尾、加納〒４７０－０３５６ 豊田市八草町秋合１２６７－１
電話：０５６１－７６－８３１５

FAX：０５６１－７６－８３１７

mail：AIC0000001@chinokyoten.pref.aichi.jp
URL ：http://www.aichi-inst.jp/2

【用語説明】
用語説明
地域企業の総合的な支援機関である愛知県産業技術研究所と、付*１ あいち産業科学技術 加価値の高いモノづくりを支援する研究開発拠点である「知の拠点」
総合センターの先導的中核施設を統合した新組織の名称。平成 24 年 2 月 14 日にオープンした。
Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry の頭文字。

*２ 飛行時間型二次イオ

材料表面にイオンを衝突させると、二次イオンが飛び出してくる。

ン質量分析

この二次イオンの質量を測定することで、材料表面に存在する元素（TOF-SIMS）の種類や、材料表面に付着した有機物の化学構造の分布を知ることができる。
X-ray Photoelectron Spectroscopy の頭文字。
物質に光（X 線）を照射すると、物質内で束縛されていた電子が*３ X 線光電子分光（XPS）励起されて飛び出す。この電子は光電子と呼ばれ、そのエネルギーを調べることで材料表面に存在する元素の種類を判別できる。また、同じ原子でも、金属状態や酸化物状態といった化学状態によってエネルギーレベルが違うので、この違いから表面の化学状態を知ることができる。
Auger Electron Spectroscopy の頭文字。
物質に電子線を照射すると、内殻電子が２次電子として放出され、*４ オージェ電子分光（AES）

それを補うように電子遷移が起こり、最終的に余剰のエネルギーをもった電子（オージェ電子）が放出される。オージェ電子のエネルギーを調べることで材料表面に存在する元素の種類を判別できる。
空間分解能がμｍ以下の情報を得られることに特徴がある。
シンクロトロン光とは、ほぼ光速で直進する電子が電磁石によって進行方向を変えられた際に発生する電磁波。非常に明るく（通常の計測装置で用いる電磁波の千倍から百万倍）、１台の装置でマイク*５ 中部シンクロトロン ロ波、赤外、可視、紫外からＸ線まで連続した波長の光を出すこと光利用施設（仮称）ができる。
ナノテク分野の研究開発を支援する最先端の計測装置を備えるものとして、「知の拠点」において重要な役割を果たす施設で、産業利用を重視している。

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計測分析に関する講演会「工業材料の表面分析事例」～飛行時間型二次イオン質量分析、Ｘ線光電子分光、オージェ電子分光～

開 催 の ご 案 内
主催：あいち産業科学技術総合センター
共催：(公財)科学技術交流財団

今年２月１４日、付加価値の高いモノづくりを支援する研究開発拠点である「知の拠点」に、「あいち産業科学技術総合センター」がオープンしました。当センター本部には、種々の高度分析機器が整備され、企業の研究開発・製品開発の支援のため利用されています。
このたび、整備した機器のうち、飛行時間型二次イオン質量分析（TOF-SIMS）、Ｘ線光電子分光（XPS）及びオージェ電子分光（AES）※による、工業材料の表面分析に焦点を当てた講演会を、当センター本部にて１０月５日（金）に開催します。これらの分析装置は、金属、セラミックス、プラスチックの表面分析ができる装置で、分析対象としては固体材料はもちろんフィルム、ＣＶＤ膜やスパッタ膜なども利用可能です。防錆、めっき、有機化、酸化や窒化などの表面処理の組成分析、化学種や化学状態の分析を行うことができます。表面の化学情報は新規材料の開発、新規製品のプロセスの最適化、異物検査などの品質管理に役立ちます。
講演後には、当センターの分析機器及び隣接する中部シンクロトロン光利用施設（仮称）の見学会を行います。
多くの皆様のご参加をお待ちしております。
【日【場時】平成２４年１０月５日(金) 午後１時３０分～午後５時
所】あいち産業科学技術総合センター本部 講習会室
愛知県豊田市八草町秋合 1267-1 TEL: 0561-76-8315【プログラム】
時間

内容

13:00 ～ 13:30

受付

13:30 ～ 13:40

開会の挨拶「TOF-SIMS による工業用材料表面の組成解析」

13:40 ～ 14:40

14:50 ～ 15:50

むら せあつし株式会社豊田中央研究所 主席研究員
村瀬 篤 氏「X 線光電子分光（XPS）、オージェ電子分光（AES）による最新表面分
析応用事例」
さな だのりあき

アルバック・ファイ株式会社 市場開発部 部長 眞田 則明氏
施設見学（希望者のみ）
・共同研究支援部 計測分析室
飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)、X 線光電子分光(XPS)、
16:00 ～ 17:00
オージェ電子分光(AES)の他、透過電子顕微鏡、核磁気共鳴装置など
・中部シンクロトロン光利用施設（仮称）※平成２２年度先端技術実証・評価設備整備等補助金（愛知県と（公財）科学技術交流財団の共同事業)により整備

■申込方法 下記の申込書にご記入の上、ＦＡＸ、郵送または電子メールでお送りください。
■申込期限

平成２４年１０月４日（木）■参 加 費

無料■定１００名（先着順）

員■交通のご案内・東部丘陵線リニモ「陶磁資料館南駅」
下車、北側すぐ・猿投グリーンロード八草 IC から西へ
約 800 m
■申込先及び問い合せ先
あいち産業科学技術総合センター
共同研究支援部 計測分析室 中尾、加納〒４７０－０３５６ 豊田市八草町秋合１２６７－１
電話：０５６１－７６－８３１５
FAX：０５６１－７６－８３１７
メール：AIC0000001@chinokyoten.pref.aichi.jp
U R L：http://www.aichi-inst.jp/------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

計測分析に関する講演会「工業材料の表面分析事例」
参 加 申 込 書
平成年月日

あいち産業科学技術総合センター 共同研究支援部 計測分析室 中尾、加納 宛
FAX：0561-76-8317
メール：AIC0000001@chinokyoten.pref.aichi.jp
ふ り が な

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※参加受付証は発行いたしません。直接会場にお越し下さい。

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