サンプル画像

REBEKAREBEKA で取得した画像

セラミック表面上の Ir

電子チップ上の Sn ボンド

天然ガーネット結晶

同一サンプルのBSE と SE の画像比較

低電圧での感度

Landing energies decreasing down to 200 eV

BSE image

Hg-Pd-Te（チェコ地質調査所提供）SE image

1 keV

SEM用
伸縮式BSE検出器

500 eV350 eV200 eVLu�O � 結晶を含む Lu �Al �O��Sample:Metallic grid

Sample:Electrode

サンプル画像：KARMEN【製造元】

Sample:Sn/Au bond

白金の粒成長過程における直接観察

���℃

100μm

Sample:Electronic chip

�分後【日本輸入販売代理店】

��分後

マル クール 分 離 化 学 研 究 所 所 有のFurnaSEM（NewTec 社製）を使って加熱し、高温下の BSE 像は KARMENを使って撮影※ 詳細は Podor et al.（����, J. Microscopy）を参照※本カタログの製品の仕様等は、予告なく変更する事がございます。[����]〒���-���� 東京都千代田区富士見�-�-�ステージビルディング��階TEL ��-����-���� https://www.ads-img.co.jp

試料温度1000 ℃

KARMEN仕 様センサ部

高信頼性センサ & 精密機構

電子制御部

作動機構部
100 mm

65 mm

●
●
●

●
●
●
●
●
●
●
●

単結晶 CRY��

180 mm

270 mm

超高品質な画像の為のシンチレータ /PMT（光電子増倍管）▶ 単結晶シンチレータ（CRY��）：・最適化された効率・最小化された残光・�� 光子 /keV での減衰時間 �� ns

�.�keV（KARMEN は �keV）から検出できる独自の低エネルギーコーティング技術（CRYTUR LOW-ENERGY COATING™）
優れた S/N 比� ～ ���� V▶ ビデオ出力信号：±� V（±� V）▶ 完全遠隔ソフトウエア制御▶ � mm の作動距離を実現

引き込み範囲：��� mm▶ モータ駆動式引き込み：��� mm▶ 光電子増倍管用内部電源：

REBEKA ビーム電流値 � pA
KARMEN ビーム電流値 �� pA

ベローズ式引き込み機構による超高真空▶ 異なるスキャン速度に最適化▶ 帯域幅：�� MHz▶ 最小感度：

モータ駆動式引き込み機構▶ 寸法：���×���×�� mm

された � つのノイズフィルター・外径：�� mm
・穴径：REBEKA �/�.�/�/� mm
KARMEN �/�/� mm（観察視野は穴径による）

HV+LV+ESEM 操作▶ 寸法：���×���×�� mm▶ 電源：AC ��� / ��� V▶ シンチレータ形状

406 mm▶ 最大 DC オフセット：－�� V▶ 超高真空度のベローズ設計▶ XYZ 軸での微調整：±� mm▶ 位置再現性：

REBEKA ±�.�� mm
KARMEN ±�.�� mm▶ 各種 SEM のフランジに対応▶ 銀 / 黒 / 青 / 赤の艶消し仕上げ

�.� mmコンパクト設計

精密な位置調整

サンプル画像✓各種 SEM へ取付可能※ 詳細仕様はお問い合わせください� mm

コントラストの進化

入射電圧の増加に伴う
BSE コントラストの進化

1 keV

1.5 keV

3 keV

6 keV

10 keV

グバラ隕石中のコンドリュールと金属フレーク（チェコ共和国科学アカデミー地質研究所提供）

高温での SEM 観察に対応
センサの熱管理▶ 試料温度：����℃▶ ヒートパイプ技術による受動冷却▶ センサ温度のモニタリング※ KARMEN のみ

センサの遮蔽

高速スキャンREBEKA は ��ns/pxl の高速スキャンが可能です。

slow scanning

fast scanning

320 μs /pxl

20 ns /pxl

50 ns /pxl

80 ns /pxl

100 ns /pxl

200 ns /pxl

1 μs /pxl

2 μs /pxl

3 μs /pxl

4 μs /pxl▶ センサとライトガイド：

冷却機構を持ち、加熱試料からの輻射（可視光～赤外光）を遮蔽

20 ns /pxl

80 ns /pxl

1 μs /pxl

32 μs /pxl

Er / Yb ファイバーレーザーの詳細（チェコ共和国科学アカデミー光電子研究所）

仕 様センサ部

高信頼性センサ & 精密機構

電子制御部

作動機構部
100 mm

65 mm

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単結晶 CRY��

180 mm

270 mm

超高品質な画像の為のシンチレータ /PMT（光電子増倍管）▶ 単結晶シンチレータ（CRY��）：・最適化された効率・最小化された残光・�� 光子 /keV での減衰時間 �� ns

�.�keV（KARMEN は �keV）から検出できる独自の低エネルギーコーティング技術（CRYTUR LOW-ENERGY COATING™）
優れた S/N 比� ～ ���� V▶ ビデオ出力信号：±� V（±� V）▶ 完全遠隔ソフトウエア制御▶ � mm の作動距離を実現

引き込み範囲：��� mm▶ モータ駆動式引き込み：��� mm▶ 光電子増倍管用内部電源：

REBEKA ビーム電流値 � pA
KARMEN ビーム電流値 �� pA

ベローズ式引き込み機構による超高真空▶ 異なるスキャン速度に最適化▶ 帯域幅：�� MHz▶ 最小感度：

モータ駆動式引き込み機構▶ 寸法：���×���×�� mm

された � つのノイズフィルター・外径：�� mm
・穴径：REBEKA �/�.�/�/� mm
KARMEN �/�/� mm（観察視野は穴径による）

HV+LV+ESEM 操作▶ 寸法：���×���×�� mm▶ 電源：AC ��� / ��� V▶ シンチレータ形状

406 mm▶ 最大 DC オフセット：－�� V▶ 超高真空度のベローズ設計▶ XYZ 軸での微調整：±� mm▶ 位置再現性：

REBEKA ±�.�� mm
KARMEN ±�.�� mm▶ 各種 SEM のフランジに対応▶ 銀 / 黒 / 青 / 赤の艶消し仕上げ

�.� mmコンパクト設計

精密な位置調整

サンプル画像✓各種 SEM へ取付可能※ 詳細仕様はお問い合わせください� mm

コントラストの進化

入射電圧の増加に伴う
BSE コントラストの進化

1 keV

1.5 keV

3 keV

6 keV

10 keV

グバラ隕石中のコンドリュールと金属フレーク（チェコ共和国科学アカデミー地質研究所提供）

高温での SEM 観察に対応
センサの熱管理▶ 試料温度：����℃▶ ヒートパイプ技術による受動冷却▶ センサ温度のモニタリング※ KARMEN のみ

センサの遮蔽

高速スキャンREBEKA は ��ns/pxl の高速スキャンが可能です。

slow scanning

fast scanning

320 μs /pxl

20 ns /pxl50 ns /pxl

80 ns /pxl

100 ns /pxl

200 ns /pxl

1 μs /pxl

2 μs /pxl

3 μs /pxl

4 μs /pxl▶ センサとライトガイド：

冷却機構を持ち、加熱試料からの輻射（可視光～赤外光）を遮蔽

20 ns /pxl

80 ns /pxl

1 μs /pxl

32 μs /pxl

Er / Yb ファイバーレーザーの詳細（チェコ共和国科学アカデミー光電子研究所）

サンプル画像REBEKAREBEKA で取得した画像

セラミック表面上の Ir

電子チップ上の Sn ボンド

天然ガーネット結晶

同一サンプルのBSE と SE の画像比較

低電圧での感度

Landing energies decreasing down to 200 eV

BSE image

Hg-Pd-Te（チェコ地質調査所提供）SE image

1 keV

SEM用
伸縮式BSE検出器

500 eV350 eV200 eVLu�O � 結晶を含む Lu �Al �O��Sample:Metallic grid

Sample:Electrode

サンプル画像：KARMEN【製造元】

Sample:Sn/Au bond

白金の粒成長過程における直接観察

���℃

100μm

Sample:Electronic chip

�分後【日本輸入販売代理店】

��分後

マル クール 分 離 化 学 研 究 所 所 有のFurnaSEM（NewTec 社製）を使って加熱し、高温下の BSE 像は KARMENを使って撮影※ 詳細は Podor et al.（����, J. Microscopy）を参照※本カタログの製品の仕様等は、予告なく変更する事がございます。[����]〒���-���� 東京都千代田区富士見�-�-�ステージビルディング��階TEL ��-����-���� https://www.ads-img.co.jp

試料温度1000 ℃

KARMEN