２．同時開催カンファレンスの概要◆第14回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム（１）開催主旨
我が国製造業の基幹部品の国際競争力強化とMEMS関連産業の発展を図るため、マイクロマシン・ナノ技術に関する国内外の先端技術分野の第一線で研究開発を推進している研究者との情報交換を含めた「国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム」を開催し、内外のMEMS関連研究者に先端情報と討議の場を提供します。第14回
シンポジウムは、「異分野融合が進むMEMS；LSI、ナノ、バイオ・・・」とのテーマの下に、LSI／MEMS集積化の取組み、その応用、さらに次世代技術としてのBEANSのプロセス技術とその展望について取上げます。
（２）プログラム

第14回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム−異分野融合がすすむ MEMS：LSI，ナノ，バイオ・・・−
開 催日時 2008年7月29日（火）1 0：0 0 〜1 8：1 0
開催場所 東京 ベイ有明ワシントンホテル「アイリス」
主
催 （財）マイクロマシンセンター
後援 経済産業省、独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構（ＮＥＤＯ）（社）日本ロボット工業会、（社）日本分析機器工業会
協
賛 （社）日本機械工業連合会、

10：00 〜 10：05
10：05 〜 10：10
基調講演
10：10 〜 10：55
10：55 〜 11：40
11：40 〜 12：40
セッション１
12：40 〜 13：10
13：10 〜 13：40
13：40 〜 14：10
14：10 〜 14：40
14：40 〜 14：50
セッション２
14：50 〜 15：20
15：20 〜 15：50
15：50 〜 16：20
16：20 〜 16：30
セッション３
16：30 〜 17：00
17：00 〜 17：30
17：30 〜 18：00
クロージング
18：00 〜 18：10

司会：（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一
開催挨拶（財）マイクロマシンセンター 理事長 野間口 有
経済産業省 製造産業局 産業機械課長 秋庭 英人
来賓挨拶
司会：東京大学生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター長 教授 藤田 博之
異分野融合がすすむMEMS
国内：わが国のMEMS産業化推進策と展望
京都大学大学院 工学研究科 教授／NEDO PM 小寺 秀俊
Stanford大学 教授 Roger T. Howe
海外：集積化マイクロ・ナノシステムその技術とアプリケーション
昼食
司会：東北大学 流体科学研究所 流体融合研究センター 教授 寒川 誠二
LSIとMEMSの融合
海外：CMOS／MEMS集積化への取り組み：ファンドリーの観点からAPM（Asia Pacific Microsystems）社 Albert Chang㈱東芝 セミコンダクタ社 半導体研究開発センター 豊島 義明
国内：MEMSとCHOS：協調と集積化
SVTC（Silicon Valley Technology Center）副社長 Wilbur Catabay
海外：MEMS８インチへの挑戦
立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構 ナノマシンシステム技術研究センター長 教授 杉山進
国内：高集積・複合MEMS製造技術開発：ファインMEMSプロジェクトの取り組みと展望
休憩
MEMS Emerging Applications：自動車、民生機器
司会：セイコーインスツル㈱ 技術本部 ビジネスインキュベーションセンター 新事業推進部 部長 古田 一吉
IVAM マイクロテクノロジ・ネットワーク Uwe Kleinkes
海外：自動車、民生機器への応用
オムロン㈱ セミコンダクタ統括事業部 マイクロデバイス事業部 事業部長 関口 義雄
国内：MEMSマイク＆８インチへの展開
国内：Bioとセンシングへの応用
オリンパス㈱ 研究開発センター MEMS開発本部 MEMS開発部 部長 太田亮
休憩
司会：産業技術総合研究所 計測標準技術部門 音響振動科 強度振動標準研究室 室長 臼田孝
Emerging Technology：BEANS
VTT Jouni Ahopelto
海外：MEMSと最新のナノパターニング法
松下電器㈱ 先端技術研究所 主幹研究員 山下 一郎
タンパク質を利用したナノ構造作製
九州工業大学 准教授 宮崎 康次
ナノ構造を用いた熱電発電の物性の壁を越えた高効率化

閉会挨拶（財）マイクロマシンセンター 専務理事

青柳 桂一

◆日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム （Japanese-German Micro／Nano Business Forum）（１）開催主旨
日独マイクロナノ・ビジネスフォーラムは、2003年度より、年に一度日本で開催されてきました。６回目を迎える
今年は、マイクロマシン／MEMS展会場内にて初めて同時開催されます。主催のIVAMマイクロテクノロジーネットワ
ークは、1993年にドイツNRW州にて、マイクロテクノロジーに関する中小企業のネットワーク推進する目的に設立された組織です。マイクロテクノロジー分野で世界をリードする日独両国による、最先端技術の紹介が行われます。
（２）プログラム日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム
開 催日時 2008年7月30日（水）10：3 0 〜1 7：0 0
開催場所 東京ビッグサイト 西1ホール 第19回マイクロマシン／MEMS展会場内 特設会場
主催 I V A M マイクロテクノロジーネットワーク
共催 （財）マイクロマシンセンター ／ M E M S 協 議 会

10：30
10：45 〜 11：00
セッション１
11：00 〜 11：20
11：20 〜 11：40
11：40 〜 12：00
12：00 〜 13：00
セッション２
13：00 〜 13：40
13：40 〜 14：00
14：00 〜 14：20
14：20 〜 14：40
14：40 〜 15：00
15：00 〜 15：20
セッション３
15：20 〜 15：40
15：40 〜 16：00
16：00 〜 16：20
クロージング
16：20 〜 16：40
16：40 〜 17：00

受付開始
オープニングマイクロナノ製造技術のソリューション
多層MEMSにおける電気貫通配線のパッケージング
マイクロシステム自動組立装置のソリューション
切削およびレーザーによる微細機械加工システム
休憩
マイクロナノビジネスの発展
産業イノベーション−欧州におけるマイクロナノビジネスチャンス
欧日間の技術移管
産学官連携による技術・ビジネス発展におけるMEMS協議会の役割
−調整中
休憩
−調整中
計測・解析分野おけるイノベーション−調整中
マイクロ製品のための光学３次元表面計測装置
核磁気共鳴分光計のための複合微小解析システム
オープンコラボレーションでMEMSビジネスを成功へ
質疑応答（参加費無料：同時通訳）

Michael Schilling Plan Optik AG（ドイツ）
Manfred Glantschnik Datacon Technologies（オーストリア）
レイボルド㈱ 岩村 直樹／Kugler GmbH（ドイツ）

Dr.Uwe Kleinkes IVAM Microtechnology Network（ドイツ）
Dr.Robert Harrison 24IP LAW GROUP Sonnenberg Fortmann（ドイツ）（財）マイクロマシンセンター 安達 淳治
Dr.Heiko Kopf MST.factory dortmund（ドイツ）
−調整中
−調整中
Heinz−Peter Hippler NanoFocusAG（ドイツ）
Stefan Leidich Fraunhofer IZM（ドイツ）東北大学 教授2

江刺 正喜