PP3004 QuickLok

Airlockトランスファーユニット• 迅速な試料交換

常温下で SEM、FIB/SEM、ビームラインや真空装置に試 料を搬送するのに適した装置で、大気に敏感な試料を真空下で搬送可能です。
トランスファーデバイスは密封が可能で、不活性ガス（グローブボックス）やさまざまな真空装置に使用可能な大気非曝露タイプの試料トラ
ンスファーユニットです。

• 不活性ガス（グローブボックス）搬送• 他の真空装置から SEM や FIB/SEM への真空搬送• PP���� CoolLok へのアップグレードが可能

仕様

PP3005 SEM Cool

• Airlock アセンブリー（ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ）• 真空ポンプへの接続用カスタムデザイン
フランジ• シャトル用 SEM 側ステージ• LED チャンバーライト（インターロック付）• 真空装置、不活性ガス対応試 料搬 送用トラ
ンスファーデバイス

冷却ステージ

PP3010T• ドローアウト仕様（トランスファーは含まない）

FE-SEM
FE-SEM && FIB/SEM
FIB/SEM 用用クライオシステム
クライオシステム

PP���� と ベ ー ス は 同 様 で す が、PP����
QuickLok の無いタイプになります。
これは、サンプル交換時に Airlok が不要なクライオアプリケーション向けにデザインされています。

• 液体窒素による低温窒素ガス冷却方式• 良好な熱応答性により－��� ℃まで冷却• 大容量液体窒素デュワーにより、長時間の連続運転が可能• 冷却ステージと冷却トラップの独立冷却• CoolLok へのアップグレードが可能

仕様

PP3006 Cool Lok• 窒素ガス冷却タイプ温度センサー付冷却ステージおよび冷却トラップ• 温度制御範囲：－��� ℃• �� L 台車付きデュワー

真空または不活性ガス（グローブボックス）搬送• 大容量液体窒素デュワーにより、長時間の連続運転が可能• 冷却ステージと冷却トラップの独立冷却• 試料急速冷却オプション【製造元】• LED チャンバーライト

SEM や FIB/SEM、ビームライン、その他の真空装置で試料のクライオ観察や迅速な搬送が可能です。
アプリケーションとしてはビームに敏感な試料の熱保護、プラスチック、ポリマー、Low-Κ（低誘電率）の誘電体や硬軟複合材料などの低温観測ができます。また、このシステムでは常温下で不活性ガス用グローブボックスから試料の搬送も可能です。

• 窒素ガス冷却タイプ温度センサー付冷却ステージおよび冷却トラップ• 真空断熱タイプ熱交換器• SEM チャンバー接続用カスタムデザインフランジ• �� L 台車付きデュワー• 排気装置接続部品• 真空装置、不活性ガス対応試料搬送用トランスファーデバイス• 温度制御範囲：－��� ℃

PP3004

クライオトランスファーシステム• 良好な熱応答性により－��� ℃まで冷却仕様• 排気装置接続部品

Airlock トランスファー• 迅速な試料交換•• 真空断熱タイプ熱交換器• Airlock アッセンブリー（ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ）【国内総代理店】• LED チャンバーライト※本カタログの製品の仕様等は、予告なく変更する事がございます。[����]〒���-���� 東京都千代田区富士見�-�-�ステージビルディング��階TEL ��-����-���� https://www.ads-img.co.jpPP3005

ドローアウト式
冷却ステージ

PP3006クライオトランスファー

試料トランスファーシステム
試料トランスファーシステム&& 冷却システム
冷却システムなぜクライオ SEM が必要？
走査型電子顕微鏡（SEM）で、含水試料や電子ビームに弱い試料を観察するためにクライオ SEM は最適な手段です。臨界点乾燥法と比較し、より自然に近い状態で試料を観察することができます。

クライオ SEM の利点• 含水試料や電子ビームに弱い試料の観察、加工• 氷晶形成による試料の損傷を抑えられる（急速凍結）• 経時変化観察に理想的（繰り返し凍結）• 高分解能（低真空 SEM と比較）
• 低温割断による情報の増加• 迅速な試料前処理（通常 � ～ �� 分）

PP3010T FE-SEM & FIB/SEM 用クライオシステム
PP����T は、SEM および FIB/SEM に適したガス冷却クライオシステムです。
Prepdek ワークステーションに取付けられているタッチスクリーンから直感的に操作することができます。
システムの視認性を向上させるために、プレパレーションチャンバー（試料前処理室）には大きなフロントビューポートと小型ビューポート（� 個）に加え、LED 照明が配置されています。更に CCD カメラをプレパレーションチャンバーに設置し、カメラ映像をタッチスクリーンに表示します。
PP����T には、急速凍結機能と大気非曝露搬送機能があり、プレパレーションチャンバーには冷却割断機構と自動昇華、コーティング機能が備わっています。急速凍結された試料は、真空環境を維持したまま SEM 試料室内の冷却ステージに搬送され観察されます。冷却ステージの温度安定性は �.� ℃以下（typ.）に保たれます。プレパレーションチャンバーと SEM 試料室内には、最低－��� ℃まで冷却可能な冷却トラップ（アンチコンタミネーター）が備えられ、試料汚染を抑制します。

PP����T 基本構成

・プリパレーションチャンバー（試料前処理室）
・クライオトランスファーデバイス
・冷却ステージ
・冷却トラップ（アンチコンタミネーター）・Prepdek ワークステーション
・CHE���� ガス冷却システム

窒素ガス冷却ステージ：－��� ℃以下，温度安定性 < �.� ℃
窒素ガス冷却トラップ（アンチコンタミネーター）：－��� ℃以下
LED チャンバーライト冷却システム

CHE���� 真空断熱冷却システム、�� L ガスクーリングシステム※長時間連続運転が可能

プレパレーションチャンバー

メイン画面上には必要な情報を常に表示

窒素ガス冷却ステージ：－��� ℃以下～ ��� ℃，温度安定性 < �.� ℃
窒素ガス冷却トラップ：－��� ℃以下
マルチ LED 照明とカメラ
冷却割断：加工ナイフ，マイクロメータ付きナイフ
大型ウィンドウ（���×�� mm），上部ポート � ヶ所
高解像度スパッタコーター（Pt ターゲット標準付属）
オプション：膜厚計，カーボンコーター

プレパレーションチャンバー排気システム

床置きターボ排気システム
ベース真空：�� -� Pa 以下，� m�/hr 以上のロータリーポンプ

PC タイプタッチスクリーンコントロール

プレパレーションチャンバーのイメージは拡大表示が可能�� インチ PC
レシピ作成・保存
オンスクリーンのデータログ，自己診断機能

Prepdek ワークステーション

液体窒素スラッシュ，試料加工システム（凍結済試料の取扱いに理想的）
試料前処理用スペース
トランスファーデバイス格納用真空引き機能
フレキシブル LED ライト・支柱

温度や時間の昇華条件を作成、保存が可能� m�/hr 以上ロータリーポンプ

プレパレーションチャンバーは SEM 試料室に取付けられます。冷却ステージ、大型の冷 却トラップ、試 料 割断ナイフ、昇華用ヒーター、スパッタコーターなどの機構が含まれます。

人間工学に基づいて設計されたワークステーションです。
全ての操作は Prepdek 上のタッチパネル PC を使用して制御されます。システムのセットアップ、ガス流量の制御、昇華およびスパッタといった試料前処理において重要なステップの多くは自動化されており、ユーザー定義のレシピを入力して保存することもできます。制御電子機器は
Prepdek 下部のコンソールに収納されます。デスク上には十分な作業スペースと、大きめの試料凍結ポット、トランスファーデバイスの予備排気 / 格納チューブ、シャトルマウント台などを備えます。

SEM 内部接続

排気装置

プレパレーションチャンバー

Prepdek ワークステーション

PP����T 仕様

冷却割断ナイフ

冷却割断ナイフと割断機構で様々な試料を冷却割断できます。フロントウィンドウに装着されたボールジョイントのナイフは
柔 軟 な 動きで 表 面 加 工や割 断 が 可能 です。上部取付けタイプでマイクロメータ付きの頑丈な冷却ナイフもあります。

冷却ステージ，冷却トラップ

安定した温度で優れた断熱性の窒素ガス
冷却ステージはアダプタで SEM ステージに取付けられます。
冷却ステージと冷却トラップは独立した �系統のガス冷却ラインで冷やされ、熱応答性がよく最低－��� ℃です。SEM 冷却
ステ ー ジ は、－��� ℃ま で の 温 度 範 囲と<�.� ℃の温度安定性を備えています。

クライオトランスファーデバイス，
シャトル / スタブインサート

クライオトランスファーデバイスは大気非曝露機構およびバヨネット式のシャトル接続機構によりクリーンな環境下で迅速に試料の搬送が可能で、Prepdek にある予備排気 / 格納チューブにコンパクトに収納できます。

CHE���� oﬀ カラムポンプ・冷却システム

CHE���� は全ての PP����T に標準装備されている、完全に統合されたリモートマウント冷却システムです。
CHE���� は SEM 本体から離れたところに設置され、長時間連続運転が可能です。システムで冷却された窒素ガ
スは SEM 内の冷却ステージ・冷却トラップ、プレパレーションチャンバーの冷却ステージ・冷却トラップを冷却するために使用されます。この真空断熱ガス冷却システムにより優れた冷却効率だけではなくデュワーの設置場所も柔軟になりました。

なぜクライオ SEM が必要？
走査型電子顕微鏡（SEM）で、含水試料や電子ビームに弱い試料を観察するためにクライオ SEM は最適な手段です。臨界点乾燥法と比較し、より自然に近い状態で試料を観察することができます。

クライオ SEM の利点• 含水試料や電子ビームに弱い試料の観察、加工• 氷晶形成による試料の損傷を抑えられる（急速凍結）• 経時変化観察に理想的（繰り返し凍結）• 高分解能（低真空 SEM と比較）
• 低温割断による情報の増加• 迅速な試料前処理（通常 � ～ �� 分）

PP3010T FE-SEM & FIB/SEM 用クライオシステム
PP����T は、SEM および FIB/SEM に適したガス冷却クライオシステムです。
Prepdek ワークステーションに取付けられているタッチスクリーンから直感的に操作することができます。
システムの視認性を向上させるために、プレパレーションチャンバー（試料前処理室）には大きなフロントビューポートと小型ビューポート（� 個）に加え、LED 照明が配置されています。更に CCD カメラをプレパレーションチャンバーに設置し、カメラ映像をタッチスクリーンに表示します。
PP����T には、急速凍結機能と大気非曝露搬送機能があり、プレパレーションチャンバーには冷却割断機構と自動昇華、コーティング機能が備わっています。急速凍結された試料は、真空環境を維持したまま SEM 試料室内の冷却ステージに搬送され観察されます。冷却ステージの温度安定性は �.� ℃以下（typ.）に保たれます。プレパレーションチャンバーと SEM 試料室内には、最低－��� ℃まで冷却可能な冷却トラップ（アンチコンタミネーター）が備えられ、試料汚染を抑制します。

PP����T 基本構成

・プリパレーションチャンバー（試料前処理室）
・クライオトランスファーデバイス
・冷却ステージ
・冷却トラップ（アンチコンタミネーター）・Prepdek ワークステーション
・CHE���� ガス冷却システム

窒素ガス冷却ステージ：－��� ℃以下，温度安定性 < �.� ℃
窒素ガス冷却トラップ（アンチコンタミネーター）：－��� ℃以下
LED チャンバーライト

冷却システムCHE���� 真空断熱冷却システム、�� L ガスクーリングシステム※長時間連続運転が可能

プレパレーションチャンバー

メイン画面上には必要な情報を常に表示

窒素ガス冷却ステージ：－��� ℃以下～ ��� ℃，温度安定性 < �.� ℃
窒素ガス冷却トラップ：－��� ℃以下
マルチ LED 照明とカメラ
冷却割断：加工ナイフ，マイクロメータ付きナイフ
大型ウィンドウ（���×�� mm），上部ポート � ヶ所
高解像度スパッタコーター（Pt ターゲット標準付属）
オプション：膜厚計，カーボンコーター

プレパレーションチャンバー排気システム

床置きターボ排気システム
ベース真空：�� -� Pa 以下，� m�/hr 以上のロータリーポンプ

PC タイプタッチスクリーンコントロール

プレパレーションチャンバーのイメージは拡大表示が可能�� インチ PC
レシピ作成・保存
オンスクリーンのデータログ，自己診断機能

Prepdek ワークステーション

液体窒素スラッシュ，試料加工システム（凍結済試料の取扱いに理想的）
試料前処理用スペース
トランスファーデバイス格納用真空引き機能
フレキシブル LED ライト・支柱

温度や時間の昇華条件を作成、保存が可能� m�/hr 以上ロータリーポンプ

プレパレーションチャンバーは SEM 試料室に取付けられます。冷却ステージ、大型の冷 却トラップ、試 料 割断ナイフ、昇華用ヒーター、スパッタコーターなどの機構が含まれます。

人間工学に基づいて設計されたワークステーションです。
全ての操作は Prepdek 上のタッチパネル PC を使用して制御されます。システムのセットアップ、ガス流量の制御、昇華およびスパッタといった試料前処理において重要なステップの多くは自動化されており、ユーザー定義のレシピを入力して保存することもできます。制御電子機器はPrepdek 下部のコンソールに収納されます。デスク上には十分な作業スペースと、大きめの試料凍結ポット、トランスファーデバイスの予備排気 / 格納チューブ、シャトルマウント台などを備えます。

SEM 内部接続

排気装置

プレパレーションチャンバー

Prepdek ワークステーション

PP����T 仕様

冷却割断ナイフ

冷却割断ナイフと割断機構で様々な試料を冷却割断できます。フロントウィンドウに装着されたボールジョイントのナイフは
柔 軟 な 動きで 表 面 加 工や割 断 が 可能 です。上部取付けタイプでマイクロメータ付きの頑丈な冷却ナイフもあります。

冷却ステージ，冷却トラップ

安定した温度で優れた断熱性の窒素ガス
冷却ステージはアダプタで SEM ステージに取付けられます。
冷却ステージと冷却トラップは独立した �系統のガス冷却ラインで冷やされ、熱応答性がよく最低－��� ℃です。SEM 冷却
ステ ー ジ は、－��� ℃ま で の 温 度 範 囲と<�.� ℃の温度安定性を備えています。

クライオトランスファーデバイス，
シャトル / スタブインサート

クライオトランスファーデバイスは大気非曝露機構およびバヨネット式のシャトル接続機構によりクリーンな環境下で迅速に試料の搬送が可能で、Prepdek にある予備排気 / 格納チューブにコンパクトに収納できます。

CHE���� oﬀ カラムポンプ・冷却システム

CHE���� は全ての PP����T に標準装備されている、完全に統合されたリモートマウント冷却システムです。
CHE���� は SEM 本体から離れたところに設置され、長時間連続運転が可能です。システムで冷却された窒素ガ
スは SEM 内の冷却ステージ・冷却トラップ、プレパレーションチャンバーの冷却ステージ・冷却トラップを冷却するために使用されます。この真空断熱ガス冷却システムにより優れた冷却効率だけではなくデュワーの設置場所も柔軟になりました。

PP3004 QuickLok

Airlockトランスファーユニット• 迅速な試料交換

常温下で SEM、FIB/SEM、ビームラインや真空装置に試 料を搬送するのに適した装置で、大気に敏感な試料を真空下で搬送可能です。
トランスファーデバイスは密封が可能で、不活性ガス（グローブボックス）やさまざまな真空装置に使用可能な大気非曝露タイプの試料トランスファーユニットです。

• 不活性ガス（グローブボックス）搬送• 他の真空装置から SEM や FIB/SEM への真空搬送• PP���� CoolLok へのアップグレードが可能仕様

PP3005 SEM Cool

• Airlock アセンブリー（ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ）• 真空ポンプへの接続用カスタムデザイン
フランジ• シャトル用 SEM 側ステージ• LED チャンバーライト（インターロック付）• 真空装置、不活性ガス対応試 料搬 送用トラ
ンスファーデバイス

冷却ステージ

PP3010T• ドローアウト仕様（トランスファーは含まない）

FE-SEM
FE-SEM && FIB/SEM
FIB/SEM 用用
クライオシステム
クライオシステム

PP���� と ベ ー ス は 同 様 で す が、PP����
QuickLok の無いタイプになります。
これは、サンプル交換時に Airlok が不要なクライオアプリケーション向けにデザインされています。

• 液体窒素による低温窒素ガス冷却方式• 良好な熱応答性により－��� ℃まで冷却• 大容量液体窒素デュワーにより、長時間の連続運転が可能• 冷却ステージと冷却トラップの独立冷却• CoolLok へのアップグレードが可能

仕様

PP3006 Cool Lok• 窒素ガス冷却タイプ温度センサー付冷却ステージおよび冷却トラップ• 温度制御範囲：－��� ℃• �� L 台車付きデュワー

真空または不活性ガス（グローブボックス）
搬送• 大容量液体窒素デュワーにより、長時間の連続運転が可能• 冷却ステージと冷却トラップの独立冷却• 試料急速冷却オプション【製造元】• LED チャンバーライト

SEM や FIB/SEM、ビームライン、その他の真空装置で試料のクライオ観察や迅速な搬送が可能です。
アプリケーションとしてはビームに敏感な試料の熱保護、プラスチック、ポリマー、Low-Κ（低誘電率）の誘電体や硬軟複合材料などの低温観測ができます。また、このシステムでは常温下で不活性ガス用グローブボックスから試料の搬送も可能です。

• 窒素ガス冷却タイプ温度センサー付冷却ステージおよび冷却トラップ• 真空断熱タイプ熱交換器• SEM チャンバー接続用カスタムデザインフランジ• �� L 台車付きデュワー• 排気装置接続部品• 真空装置、不活性ガス対応試料搬送用トランスファーデバイス• 温度制御範囲：－��� ℃

PP3004

クライオトランスファーシステム• 良好な熱応答性により－��� ℃まで冷却仕様• 排気装置接続部品

Airlock トランスファー• 迅速な試料交換•• 真空断熱タイプ熱交換器• Airlock アッセンブリー（ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ）【国内総代理店】• LED チャンバーライト※本カタログの製品の仕様等は、予告なく変更する事がございます。[����]〒���-���� 東京都千代田区富士見�-�-�ステージビルディング��階TEL ��-����-���� https://www.ads-img.co.jp

PP3005

ドローアウト式
冷却ステージ

PP3006

クライオトランスファー

試料トランスファーシステム
試料トランスファーシステム&& 冷却システム
冷却システム