5000シリーズ
多機能質量流量計
ガス流量測定用熱式質量流量計

TSI 熱式質量流量計は、高速応答、低圧力損失、および広い流量範囲にわたる高精度が要求される用途でガス流量を測定するための独自の白金フィルムセンサー設計を採用しています。
5000 シリーズには、双方向フローセンシング、カラータッチスクリーンディスプレイ、交換可能なチューブアダプタ、およびコンパニオンPCソフトウェアが全モデル組み込まれています。
高度なモデルでは、質量流量、絶対圧力、温度、体積、差圧、および湿度の測定値を1つのデバイスに統合できるだけでなく、より高い流量精度、データロギング、または湿度補正流量測定のオプションも提供できます。

機能と利点

用途

+ 4ミリ秒の双方向流量応答+ 研究者、エンジニア、設計者、科学者等の、次の様な様々な用途+ 
高精度（読み取り値の±2％、オプションの読み取り値の±1.7%）に使用可能です。

+ 
低圧力損失により背圧を最小化— 製品開発+ 広いダイナミックな動作範囲（ターンダウン比 1000：1）— 製造+ 複数のガス校正が利用可能、ユーザーが選択可能— 品質保証+ 最大6つのパラメ ー タを測定-流量、絶対圧力、温度、— リサーチ

体積、差圧、湿度+ 温
 度、圧力、湿度（オプション）補正機能あり+ 2.8 インチカラータッチスクリーン操作+ 4 つの測定パラメーターを同時に表示+ 交換可能なチューブエンドコネクタ+ データロギングオプション+ USB 電源とデータ通信+ 10 点での NISTトレーサブル校正証明書付き+ すべてのメーターには、電源、ケーブル、チューブエンドコネクタ、インレットフィル
ター、ベーシックFLO-Sight™ PCソフトウェ
アが付属しています

UNDERSTANDING, ACCELERATED— メトロロジー— フィールドサービス

5300シリーズ

5300 シリーズは TSI の高流量熱式質量流量計です。 5300 シリーズは、逆流圧力やシステムへの影響を最小限に抑えながら、最大 300 l / min の超低圧力損失で大流量を測定高流量モデルする機能を提 供します。これらの流量計は、同様の流量で測定する他の機器と比較すると、軽量でコンパクトなフォームファクタも持っています。 5300 シリーズは汎用の流量計として設計されており、呼吸装置市場での用途に最適化されています。

流量計測
ガス
Air, O2, CO2, N2
校正	
（ユーザー選択可能）

5300シリーズの圧力損失範囲	0～±300Std L/min
0～±100Std L/min（CO2）

精度（型番別）5300, 5310
5320 	読み値の2%または0.05 L/min(いずれか大きい方)5330

 み値の 1.7% または読
0.05 L/min(順方向)
読み値の 2% または0.05 L/min(逆方向)5303 	読み値の 3% または0.1 L/min(いずれか大きい方)（裏面注 1～6 参照）

140120

圧力損失（cm H20）		

160

10080
60
40
200

応答時間	4ms ～ フルスケールの 63%

050

100150200

22 mm および 0.75 インチフィルタ付き 22 mm および 0.75 インチ単位	L/min または ft /min（標準、体積、実流量、またはリモート）
3

体積測定
範囲

0.004 L ～ 99 L

精度

 み値の 2% または 1ml の読いずれか大きい方（ピーク流量が 2.5 Std L/min より大きい時）

5300シリーズ筐体寸法（裏面注 1~6 参照）

単位

L、mL、ft3

取付ねじ：M3
窒素ガスは空気での校正値から計算します。

250300流量（標準 L/min）
0.50インチフィルター装備で0.50インチ

5200 シリーズは TSI の低流量熱質量流量計です。 これらの流量計は 1 L / min 以下の流速で高い分解能と精度を提供します。
5200 シリーズフローボディは、回路のデッドスペースを最小限に抑え、非常に正確な5200シリーズ
低流量モデル容積測定を提供するために、内部容積を小さくして設計されています。 TSI 製の低流量計は、サンプリング機器の校正や他の多くの低流量アプリケーションの流量基準として流量測定使用されます。

ガス
Air、O2、CO2、N2校正	（ユーザー選択可能）
5200シリーズの圧力損失範囲	0～±30 Std L/min

9080

精度（型番別）5200,5210,5220
読み値の 2% または0.005 L/min(順方向)
読み値の3% または0.01 L/min(逆方向)

圧力損失 (cmH20)706050405230

 み値の1.7% または読
0.005 L/min(順方向)
読み値の 3% または0.01 L/min(逆方向)5203

 みの3% または読
0.01 L/min(いずれか大きい方)

30
20
10005

1015流量 (標準 L/min)

10 mmおよび0.375インチフィルタ付き 10 mm
および 0.375 インチ

200.25インチフィルター装備
で0.25インチ

25（裏面注 1~6 参照）

30

応答時間	4ms ：フルスケールの 63% 時単位	L/min または ft3/min（標準、体積、実流量、またはリモート）
体積測定

5200シリー筐体寸法

範囲

0.002 L ～ 99 L

精度

 み値の 2% または読
1ml のいずれか大きい方（ピーク流量が0.25 Std L/minより大きい時）(裏面注1～6参照)

単位

L、mL、ft3

取付ねじ：M3
窒素ガスは空気での校正値から計算します。

仕様
5000シリーズ
多機能質量流量計

温度測定
範囲-10°C ～ 50°C
精度
流量が 1 Std L/min より大きい時 ±1°C（順方向のみ）
応答時間	75ms 以下（最終値の63%到達時）
単位° C、° F
絶対圧力測定範囲
50kPa ～ 200kPa
精度±1 kPa応答時間	4ms 以下（最終値の63%到達時）
単位	Pa、hPa、kPa、mbar、PSI、mmHG、cmH2O、inH2O
低差圧測定
範囲±150 cmH2O
精度
読み値の±0.5% または0.15 cm H2O のいずれか大きい方応答時間	4ms以下（最終値の63%到達時）
単位	Pa、hPa、kPa、mbar、PSI、mmHG、cmH2O、inH2O
相対湿度測定範囲
10% ～ 90% RH
精度
Rhの±3%
応答時間	3 秒以下（最終値の63%到達時）
単位％RH、露点（°C、°F）
積算測定
範囲
精度
単位0.05 L ～ 400,000 L
読み値の±5%
L、mL、ft3

機器温度範囲運転
保管-10°C 〜 50°C（温度範囲）-20°C 〜 70°C（温度範囲）

機器圧力範囲運転

50kPa ～ 200kPa

電源
USB-Cポートから供給
5.0 VDC±5％、最大500 mA
破壊圧力690kPaまで試験済み。690kPa以下でご使用ください。
デジタル出力USB、RS-232シリアル（オプションのUSB-A～RS232変換ケーブルを使用）
表示部
2.8インチカラーLCDタッチスクリーン
内部ストレージ
1 GB ストレージ、最大 20 のデータ記録ファイル
重量/材質
重量
材質

230グラム（保護エンドキャップを含む）
ポリカーボネート（流量計本体）

注1. 流量精度は 15～25°C、101.3kPa が前提です。
+ 15～25°Cの基本動作範囲から1°C毎にさらに0.085%の読み値を加算します。
+ 50kPa～200kPaの圧力範囲内で操作する場合、101.3kPa を超える時は 1kPa当たりさらに0.01%の読み値を加え、+ 101.3kPa未満の時は1kPa毎にさらに0.02%の読み値を加えてください。
2.	ガスと流量計との温度差を±10°C 以内とした場合の流量精度。
3. 流量精度は、乾燥ガス(R.H. 10% 未満)測定時を示しています。湿度補正機能なしのモデルでは、0%からRHの10%上がる毎にさらに±0.01%の読み値を加えてください。
4. 低圧から高圧への急な変化があった場合、最高精度に達するまで通常より時間を要します。詳細についてはトランステック㈱迄お問い合わせください。
5. 読取再現性の±0.5%を含みます。
6. 体積流量は、質量流量測定から計算されます。ガスの温度と圧力を測定する際の不確実性を考慮して、流量精度にさらに0.25%の読値を加えます。

仕様は予告なく変更される場合があります。
TSIおよびTSIロゴは、TSI Incorporatedの登録商標です。

UNDERSTANDING, ACCELERATEDTSI Incorporated - 当社のウェブサイトwebsite www.tsi.com にアクセスの上、詳細をご覧ください。
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