●年頭所感／1●MMCの事業活動紹介／2●MEMS−ONE Pj情報／5●コラム随想／6●海外動向／7●賛助会員の活動紹介／8

平成19年の新春を迎え、謹んで新年のお慶びを申し上げます。本年はどのような年になるのか見当もつきませんが、なんとかしてよい年にしたいものです。
さて、堅調な国内需要に支えられ、回復基調にあったわが国の経済ですが、昨年来の原油価格や材料・部材高騰の影響で企業（特に製造業）の業績回復に暗雲がかかっています。これに呼応するように、日本を代表する名門企業において製品の信頼性に係る重大な不具合が多発するなど、わが国製造業の根幹を揺るがす事態に遭遇しており、これまで製造業を支えてきた設計・製造・品質評価などの基盤技術が弱体化しつ
財団法人マイクロマシンセンターの理事長

ま くち

たもつ

野間口

有

つあるのではないかと危惧しております。
昨年、安倍新総理は日本を世界一のイノベーション国家にしたいということで、イノベーション25という施策を打出しました。これは2025年を目指した長期構想ですが、イノベーションの種はナノやバイオのようなフロンティア技術に加え、既存産業を支える基盤技術の革新の両輪でも産み出すべきです。
当センターではMEMS（Micro Electro Mechanical System）の研究開発を進めています。MEMSは情報通信、自動車、バイオ、医療などの多様な産業分野に適用される超小型、高精度、低コストで省エネルギー性の高いフロンテ
ィア技術で、次第に市場が拡大しつつあります。また、MEMS技術は、わが国製造業の基幹部品の高付加価値化、差別化による国際競争力強化のための基盤技術革新をもたらすものとして注目を集めています。このような状況を踏まえ、当センターでは昨年４月にMEMS産業の一層の発展を支援し、わが国産業の国際競争力強化へ貢献することを目的として、「MEMS協議会」（MEMS Industry Forum：略称MIF）を特別事業委員会として発足させました。
MEMS協議会の活動は、MEMS技術開発、ファンドリーネットワーク、産学官連携、人材育成、規格・標準化、海外展開等、多岐に渡り、MEMS産業発展のための基本問題に係る政策提言や産業交流・活性化事業等を協議会の構成メンバーである企業が中心となって進めています。
当センターでは、昨年11月に東京国際フォーラムにおいて「マイクロナノ2006」を開催しました。これはMEMS協議会はじめての情報発信の場である「MEMSフォーラム」や「マイクロマシン展」「MEMS国際標準化ワークシ
ョップ」「国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム」「MEMS-ONE成果発表会」から成るもので、マイクロナノ分野の最新の技術・産業動向が一望できる総合イベントとして、好評を博しました。本年は７月に会場を東京ビッグサイトに移して、更に大々的に開催する計画です。皆様方のご参加・ご協力をお願い申し上げます。
当センターでは、イノベーション創出を通じて、わが国製造業の国際競争力の維持・強化に貢献できるよう、引き続きマイクロマシンとMEMSの基盤技術の確立と産業化を目指した事業を進めて参ります。
皆様の一層のご理解とご支援をお願い申し上げるとともに、本年が皆様方にとって「実り多い一年に」なります
よう心からお祈り申し上げて、新年のご挨拶とさせていただきます。

wwwホームページ：http://www.mmc.or.jp/

MMCの事業活動

マイクロナノ2006・マイクロマシン展開催結果報告
平成18年度より総合イベント「マイクロナノ2006・第17回マイクロマシン展」を、東京国際フォーラム（有楽町）を主会場として実施しました。
マイクロナノ2006は、11月６日から11月９日までMEMS
標準化国際ワークショップ、MEMSフォーラム、国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム及びMEMS-ONE成果発表会が行われ、いずれの会場も予定数を超える関係者が参加された。一方、マイクロマシン展は11月７日から11月９日まで開催され、これまでの入場者記録（前回9,098名→今回11,736名）を2,638名更新した。なお、今回は「第10回化学・生命科学マイクロシステム国際会議」（μTAS2006）が同時開催（11月５日〜11月９日）され、相乗効果もあいまって盛況裡に終了することができました。
それぞれの詳細報告は次のとおりです。ご協力いただきました関係者の皆様には、厚く御礼申し上げます。
（マイクロナノ2006・マイクロマシン展事務局）

H18 MEMS国際標準化ワークショップ
The 2nd Workshop on Characterization of Materials for MEMS / MST Devices
MEMSはセンサーからマンマシンインターフェースや医療、自動車産業からITやAVなど多くの分野に用いられる世界的な先端成長産業となってきましたが、一方では世界共通の標準が殆ど無い分野でもあり、産業発展の大きな障害の一つとなっています。
そこでMMCでは世界的に先端的かつ優れた成果を出している研究者を招聘し、MEMSに関するマイクロ／ナノ技術と評価の最前線を講演して頂くとともに国際標準制定に向けた各国との意見交換・相互理解を深めることを目的としたワークショップを11月６日（月）、東京・三菱ビルにて開催致しました。
ワークショップは肥後実行委員長（東京工業大学・教授）の開会挨拶ではじまり、＜MEMSデバイスの最前線＞、＜MEMS評価法と標準化＞の２つセッションに分かれ、欧州（３件）、北米（２件）、韓国（２件）、日本（１件）から計８件の講演が行われ、企業や大学・研究機関からの参加者ならびに関係者、約80名が熱心に耳を傾けていました。講演者は発表順に以下の通りです。

＜MEMS評価法と標準化＞
・韓国
KRISS（標準科学研究所）Huh博士
・ドイツ Freiburg大 Paul教授・米国
Pennsylvania州立大 Muhlstein教授
・日本
熊本大 高島教授
California州大Berkeley校 Ritchie教授
・米国
今回のワークショップでは、マイクロ／ナノスケールの材料特性評価を中心とした第一線の研究者が集う貴重な機会となりましたが、中でも韓国から標準化に関連した２名の研究者と意見交換を行うことができたことは今後の国際的なネットワーク作りという観点からは大きな意義があったと思われます。
また欧米の関連研究者に対しても我が国が進めている標準化活動に対して理解を得られたことは大きな成果であり、今後の国際標準化活動の大きな指針となりました。

＜MEMSデバイスの最前線＞
・韓国
Kyunpook National Univ. Park教授
・スイス ETH Zurich Hierold教授
・スイス EPFL Brugger教授

写真１ ワークショップ会場

写真２ 講演者およびワークショップ関係者

第17回マイクロマシン展成功裏に終わる
なお、来年は会場を東京ビッグサイトに移して開催いたします。

第17回マイクロマシン展が、11月７日〜９日の３日間、東京国際フォーラム（東京・有楽町）において開催され、地の利と天候にも恵まれ大盛況で終了いたしました。
今回のテーマは「超精密・微細加工、MEMS、ナノテク、バイオに関する国際展示会」としました。
出展者は、財団法人マイクロマシンセンターの賛助会員企業13社、MEMS協議会アソーシエイト会員８社をはじめ、一般企業、大学及び独立行政法人等からの積極的な出展協力を得て、過去最大の合計313の企業・団体・大学・研究機関が出展（429小間）しました。海外からは19企業が出展しました。
来場者も、３日間で過去最大の11,736名に上る多数の来場者を得て盛況裡に終了しました。

次回第18回マイクロマシン／MEMS展の開催予定
会期：2007年７月25日（水）〜７月27日（金）会場：東京ビッグサイト（東京・有明）

2

MEMSフォーラム
今回のMEMSフォーラムでは、「MEMS関連産業の発展を目指して」と題し、MEMS産業政策、MEMSビジネ
スの展望、MEMS産業基盤強化の観点からのファンドリ
ー機能強化策、地域クラスター、地方公設試における取り組みと課題、また、MEMS技術基盤構築・強化の観点から、今後の展開を含めた講演がなされました。

MEMS協議会からの情報発信の場として11月７日（於：東京国際フォーラムDホール）に開催したMEMS
フォーラムは、MEMSが多様な産業分野への展開が期待されていることから、会場の定員数を大きく上回る378名の参加を得て、実施されました。

MEMS協議会

野間口会長

経済産業省

MEMS政策、MEMSビジネス、MEMS技術についての現状と展望が一望できたことから、このMEMSフォーラ

高橋課長

ムに参加された方々から、有意義な内容であったとのコメントもいただき、ありがとうございました。

第12回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム
当日は経済産業省製造産業局産業機械課・高橋泰三課長を来賓にお迎えし、現在のMEMS産業の位置づけと、今後、MEMSを 産業のマメ としてわが国の国際競争力強化に寄与してほしいとのお言葉をいただきました。

第12回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムが、経済産業省、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の後援を受け日本小型自動車振興会の補助事業として、マイクロナノ2006の一つのイベントとして東京国際フォーラムのホールＤ７にて11月８日（水）に開催されました。今年は「ナノ・集積化MEMSのイノベーション創出とビジネス最前線」をサブタイトルに、以下の内容で米国４名、ドイツ２名、ベルギー１名、日本５名の講演者を招待し、MEMS、マイクロナノシステム分野の最先端の研究開発動向から今後期待される事業にいたる広範囲の発表が行われました。会場には延べ246名が参加し活発な討論が行われました。

第12回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム会場

MEMS-ONEプロジェクト成果発表会
はα版、β版のリリースについての案内、最後に財団法人 マイクロマシンセンター、青柳専務からはクロージングとしてサポートセンター構想について報告がありました。
今回の発表会には約250名の出席を得、MemsONEへの期待が大きいことが強く感じられました。

マイクロナノ2006イベントの一環としてMEMS-ONE
プロジェクトの成果発表会が11月９日（木）に東京国際フォーラムにて開催されました。当日はご来賓として経済産業省製造産業局産業機械課、土屋博史課長補佐と（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構、高安正躬理事のお二人をお迎えし、また基調講演には「高集積・複合MEMS製造技術開発事業（ファインMEMS）」
プロジェクトリーダの東京大学大学院情報理工学系研究科の下山勲教授から「ファインMEMSからMemsONEへの期待」と題してMemsONEを核としたネットワークでMEMS展開のお話をいただきました。
MEMS-ONEプロジェクトリーダの東京大学生産技術研究所、藤田博之教授からは主催者の挨拶、サブリー
ダの京都大学大学院光学研究科マイクロエンジニアリン
グ専攻、小寺秀俊教授からはMemsONE機能概要とデモを、また普及活動検討委員会、佐藤淳史委員長から

次回マイクロナノ2007・第18回マイクロマシン／MEMS展開催予告
会期：平成19年７月25日（水）〜７月27日（金）会

場：東京ビッグサイト西ホール（東京：有明）

開催時間：午前10時〜午後５時
同時開催：第13回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム
国／NEDOプロジェクト紹介、MEMSフォー
ラム等

3MEMSファンドリーサービス産業委員会
MEMS協議会

ファンドリーサービス産業委員会 委員長

松下電工株式会社

富井和志（１）ファンドリーサービスネットワークの運営

１．概要MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）は、ユーザーとメーカーの接点強化のために、ユーザ徐々に実用化が進み、大きな市場が立ち上がり始めーがファンドリー企業へのアプローチが比較的に容てきました。近年、その開発、製造におけるファン易にできるように、MEMStationというユーザーからドリーサービスの役割は益々重要になってきていまの問合せに対する共通窓口を産業委員会のホームペす。当MEMSファンドリーサービス産業委員会では、ージに設け、2005年７月よりその運用を開始してい日本独自のネットワークを構築するために活動を行ます。
（図２）っています。
（２）MEMSセミナー等の教育、合同広報活動

ここでは本委員会の活動概要を紹介します。

2003年からは、MEMS技術者向けのセミナーとし

２．ファンドリーサービス産業委員会の活動て、MEMS講習会を企画し、２回／年、東京と京都

当委員会は、マイクロマシンセンター内で2002年で過去７回開催し好評を得ています。また、本ネッから活動を開始し、MEMSファンドリー共通の課題トワークを広く知って頂くため、マイクロマシン展について定期的に協議を重ねながら、MEMSファンでの出展者合同セミナー等も行いました。昨年度は、ドリーユーザーへのPR活動を中心に活動を行ってき地方の公設試とも連携して活動紹介を行い、100名以ました。

上の方々に参加頂いて各企業のサービス内容等をご理解頂きました。

現在は、それぞれ特長を持ったMEMSファンドリーに関わる11の企業、団体が会員となっています。

（３）MEMS設計解析ツール（図１）

MemsONEの普及活動

現在、NEDOのプロジェクトで開発中のMEMS用主な活動内容と今後の取組みを以下に紹介します。

設計・解析システム

MemsONEについて、プロジェクト終了後の普及活動に当産業委員会も協力していく予定です。
（４）MEMS産業拡大のための提言
従来からMEMSは、半導体に比べ、標準化が難しく、各社が独自の設計、プロセスで開発を進めるた
め、実用化まで長い期間を要することが多く、大学などの研究成果を用いて中小の企業がMEMS量産、実用化までもっていくことは容易ではありませんでした。これらの課題に対して、ファンドリーの利用を促進するため、例えば、設計ガイドライン作りや図１

ファンドリーサービス産業委員会の会員

プロセスメニューの開発など、ファンドリー機能の強化について議論し、提言をしていきたいと考えています。

３．まとめ
ファンドリーサービス産業委員会は、今年度から、マイクロマシンセンター内のMEMS協議会の中での活動となり、より広く産業界との交流を行うと共に産官学との連携をより深めながら、ファンドリーネットワークの構築に向けて推進していきたいと考え
図２

共通窓口

MEMStationております。の流れ

4

MEMS−ONE Pj 情報

MemsONEのリリース始まる
３ヶ年の委託事業「MEMS用設計・解析支援シス

製造ソリューション展においては展示のほか、「出展テム開発」プロジェクト（新エネルギー・産業技術社による製品・技術PRセミナー」でもMemsONEの総合開発機構（NEDO技術開発機構）委託事業）で特徴を大々的にアッピールしました。

開発したMEMS用設計・解析ソフトの評価版（α版）

更に11月の第17回マイクロマシン展においてはを11月からリリース開始しました。11月末日時点で「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト約250件（ライセンスベースでは600件）の引き合い成果発表会」を実施し、関心を持った250名の聴講者が有り、順次配布を開始しています。α版利用者のを集めることができました。あわせて展示会場では評価結果を参考にして改良を加え、プロジェクト開プロジェクトとMemsONEシステムをVTRで分かり易発課題全部を搭載した普及版（β版）を平成19年５く紹介しました。今回の展示会・発表会では約1000月にリリースする予定です。企業における商品開部のパンフレットが引き渡され、MemsONEへの関心発・設計に、また大学での研究、教材等への活用をや期待が大きいことが伺われました。

期待しています。
１．プロジェクトの狙いとシステムの特徴
本プロジェクトは、最先端の習熟したMEMS研究者・技術者に利用されるのみならず、初心者や経験の乏しい他分野の研究者・技術者であっても、MEMSに関する高度な知見やデータをストレスなく利用することが可能なシステムの開発を目指しています。 これによりMEMS産業の裾野拡大を図ることを狙いにしています。
本システムMemsONEの開発には、ソフト開発企業

写真１

展示ブースの賑わい

３社が其々得意の分野を分担、MEMSデバイス事業を手掛けている５社がその経験と実績で仕様付けや評価に参画、13大学の教官が最先端の知識と知恵を提供、１研究機関が長年に亘り蓄積した計測技術を提供することにより、解析・設計の標準的ソフトの他、最終構造からマスクやプロセスを設計するというユニークな「逆問題」ソフトやデバイス開発時に課題の多い接合の評価ソフト、豊富な知識データベース、プロセスラインで取得した材料データベースまでも搭載したシステムを実現しました。
２．普及に向けた活動
写真２

今年度に入りMemsONEソフトの普及に向けた広宣

MemsONEデモンストレーション（PJサブリーダ 小寺教授による）活動を展開しています。たとえば10月高松市サンポ
3．今後の計画

ート高松にて開催の第23回「センサ・マイクロマシ
ンと応用システム」シンポジウムでは技術展示のほ平成19年５月の普及版（β版）配布に向け、残さかに招待講演の形でMemsONEシステムの特徴をプレれた開発課題をやり遂げることと、評価版（α版）

ゼンテーション（プロジェクトサブリーダ

京都大を使ったユーザからのコメントを取り込んで、使い学小寺教授）を行い、多くの方から評価版（α版）易いシステムの完成を推進いたします。α版を受けへのエントリーをして戴きました。また同じく10月、取られた方は試用アンケートへのご協力をぜひとも大阪市インテックス大阪にて開催の第9回関西設計・よろしくお願いいたします。

5

コラム随想香川大学工学部造形工学講座 橋口 原 研究室
香川大学 教授

橋口原

私の研究室では、ナノプローブ＋MEMSという組利用できる機能化AFMプローブの開発にも取り組合せで新しい機能を有するナノテク研究用デバイスんでいきたいと考えております。なお、最近香川県の開発を行っております。そもそも私がプローブ研のアオイ電子株式会社が、MEMSピンセットの製造究を始めたきっかけは会社時代にさかのぼります。

販売を始めました。MEMS部分だけでなく、コント入社２年目に若手テーマ提案という制度があって、ロール系にも工夫を凝らしています。TEM内でのサ当時少しずつ注目を集めていたフィールドエミッシ

ンプル搬送や、製造工程で発生する異物の回収などョンディスプレイの研究開発を始めました。シリコに利用できます。また、AFMピンセットも近いう

ン電子銃アレイを作製するため、ウェットエッチンちに商品ベースにのってくると思います。AFM装グでシリコンのエッチングばかりしていました。シ

置にはMEMSピンセットが当たり前の時代がくればリコンの電子銃は、通常円形状マスクのアンダーエよいのですが。

ッチングを時間制御して作製しますが、アンダーエさて話は変わりますが、有名なファインマン先生ッチングを利用しないでできないものかと考えていのナノテクに関する講演を読みますと、まず４分のました。そこで思いついたのが局所酸化とKOHエ１のスケールの機械を作り、その機械がさらに４分ッチングの組合せです。パターンエッジ部にKOHの１の機械を作れば16分の１の機械が作れるというによる異方性エッチングで結晶面を露出させ、そのくだりがあります。現在はSPMの開発により、プロ面を酸化膜で保護するというプロセスを３回行いまーブで原子や分子がマニピュレーションできていますと、きれいな針形状が再現性、均一性よくできます。ところがいわゆるメゾの領域が飛んでしまってす。しかもパターンのエッジを利用するので、リソいるのですね。そこでは電磁気力とメニスカス力のグラフィの精度にも依存しません。この手法で形成ようなミクロの機械的な力が拮抗していてかなり複したシリコン電子銃は結構良い特性だったのです

雑です。AFMピンセットでも掴めるけど離せないが、結局シリコンは電子銃として利用されるには至ということがサンプルによってはあり、その解決にりませんでした。大学に着任してからもこの手法を苦労しているところです。

ベ ー ス に プ ロ ー ブ デ バ イ ス を 研 究 し て き ま し た。というわけでとりあえずMEMSによりナノ領域をDNAを伸張固定するDNAピンセット（JST先端計測対象としたマイクロの大きさの切断機械やハンドリ機器開発事業で研究中）、染色体を切断するナノナング機械は作れるようになりました。ようやく機械

イフ、そしてナノ物質を把持回収するAFMピンセの「bottom」が見えてきましたが、マイクロの機械ット（地域新生コンソーシアムで研究中）などは同でナノ・メゾの機械構造がうまく作れるか、まだま様のプロセスで作製します。ウェットエッチングのだ長い戦いが続くのではないでしょうか。

よいところは、低コストでナノ構造を安定に作製でき、しかも大面積でも均一性がよいことです。この他には、櫛歯アクチュエータのイミタンス特性を利用した自己検知型AFMプローブに注力しております。これは水晶振動子と同様の回路で自励振動させた櫛歯アクチュエータに原子間力が作用すると、その共振周波数が変化することを利用したものです。
既に２次元イメージが取得できています。AFMプローブとしての応用もありますが、ピンセットにこの原理を利用すればタッチセンサーや力センサーとして利用できますので、柔軟物質把持用として細胞ピンセットなどへも展開しています。今後はバイオテクノロジー研究とリンクできるように、溶液中で6

海外動向

MEMS協議会共同調査ミッション派遣について（米国、カナダ）
MEMS協議会の海外動向調査ミッション活動

カナダ：アルバータ州エドモントン
・Micralyne社
・NINT（National Institute forNanoTechnologies）
・University of Albertaの一環として、平成18年10月９日（月）〜10月13日（金）にアメリカ、カナダのMEMS関連機関をMESM協議会会員企業の代表の皆様と訪問しました。訪問先は９カ所で、MEMSの産業化の推

米国：マサチューセッツ州
・Analog Devices
・Intellisence・MicroCHIPS
・MIT：MEMS@MIT・Boston Univ：Fraunhofer InstituteUSA CMI進に不可欠な先進デバイス開発、設計支援ソフ
トウェア、ファンドリーサービス、及び産学官連携による産業化支援体制について、先行する北米の取り組みを調査し、わが国のMEMS関連産業の高度化に資することを目的としました。

米国：New York州
・Infotonics Technology Center（敬称略、企業50音順）【調査団メンバー】

・オリンパス（株）

唐木和久

・三菱電機（株）

福本宏

・みずほ情報総研（株）

佐藤淳史

・（財）マイクロマシンセンター

安達淳治【訪問先概要】◆米国：New York州
・Infotonics Technology Center：産官学連携により運営されているMEMS・Photonics分野の設計デザイン、製造、パッケージング、試験・評価を行いコンサルティング、ファンドリー等の機能を有するセンター◆米国：マサチューセッツ州
・Analog Devices：加速度センサの開発で知られる世界有数のMEMS企業
・Intellisense：MEMS設計ソフトウェア開発企業。ニューヨーク州のInfotonicsと提携しソフトウェアの教育セミナー、コンサルタントも手がける
・MicroCHIPS：ドラッグデリバリーデバイス開発を手がけるMIT関連のベンチャー。体内に埋め込んだデバイスにマイクロキャビティをMEMS技術により形成し定期的にキャビティの膜を電熱により溶かし投薬する。
・MIT：UCバークレー、ミシガン大学とともに米国のMEMS研究開発の３大拠点の一つ
MEMS@MIT：MITのMEMS関連研究センター
・Boston University（BU）：MEMS関連研究をおこなうPhotonics Center、Fraunhofer USA CMIを訪問。
◆カナダ：アルバータ州エドモントン
・Micralyne社：MEMSファンドリー
売上は$14M（世界４位）で高付加価値少量MEMSに特化
・NINT（National Institute for Nano Technologies）
６月に研究所が竣工した国立ナノテク研究拠点。
大学の研究成果の産業化を促進するために設立。
・University of Alberta
カナダMEMS研究の中心的存在。Micralyneとは共同研究等密な関係を持つ。

7平 マ
成 イ
十 ク
九 ロ
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一 ノ
月 第十 五九 十日 八発 号
行

賛助会員の活動紹介

KOA 株式会社

平成十九年
一月十六日
印
刷

１．セラミックスパッケージへの取り組み
KOA株式会社は創業60有余年の抵抗器専業メーカーで、ワールドワイドの販売網により抵抗器の取扱品種、生産量では世界屈指の企業です。薄膜、厚膜、メッキ、セラミックの基盤技術と生産革新活動をベースに人間性尊重、環境負荷軽減、豊かさを理想にしたものづくりを目指し活動させていただいております。
抵抗器を中心にした各種電子部品製造で養った基盤技術による新しい取り組みのひとつとして、2001年からLTCC多層基板の開発、製造を行ってまいりました。LTCC多層基板は、高速化・軽薄短小化、多機能化への急速な進展を続ける電子機器を支える基板材料の一つですが、KOA−LTCC基板はセラミックス基板が持つ、優れた特性だけでなく、特殊形状への柔軟な対応力をもち、電子機器だけでなくMEMSテクノロジーを支えるパッケージとして展開されていくことでも期待されております。

２．LTCC多層基板
LTCC（ Low Temperature Co-fired Ceramics：低温同時焼成セラミックス ）はアルミナにガラス材料を加えることにより、900℃以下の「低温」で焼結することを可能にしたセラミックス技術のため、配線導体としてAgを同時焼成使用できるものです。基材がセラミックスであるため、耐熱性・耐湿性に優れる他、高周波回路において良好な周波数特性（低損失）が得られるという特長を持っています。また、積層工法を採用しているため、配線パターンを表層・内層に形成することが容易で、三次元的で高密度な多層配線を行うことが可能です。他の有機系基板やセラミックス基板と比べてLTCC基板の熱膨張係数は、シリコンと近く実装時の応力を少なくすることができることから、高周波マルチチップモジュールや半導体パッケージ用の配線基板として広く利用されています。

写真１キャビティパッケージ

発行

LTCC事業化センターGM

取締役

林

琢夫

３．KOA−LTCC の特長
KOA−LTCCは独自の収縮制御技術および積層技術により、精度±0.05%という高い寸法精度を可能にしています。また、厚膜、薄膜、インクジェット技術を駆使した微細パターンの形成や、抵抗体などの表層や内層への形成も可能です。
さらに一部を切り抜いたグリーンシートを積層することにより、キャビティや空洞構造など複雑な形状も高精度に作製が可能です。小型モ
ジュール基板として広く利用されているLTCCですが、LTCC材料が持っている優れた特性を活かし、最新の技術で加工することによって様々な用途での応用展開が考えられます。

写真２

特殊形状例（キャビティ+角柱）

４．MEMSパッケージへの取り組み
用途の多くが高周波モジュール基板として使用されているLTCC基板ですが、それ以外のアプリケーションとしてMEMSパッケージへの開発も進めております。
お客様が開発された超微細、高機能なセンサーや機能部品であるMEMSの性能を最大限に引き出せる高精度のパッケージの提供に取り組んでおります。今後も高精度・高密度配線のLTCC技術を更に向上させ、より付加価値の高いパッケージを生み出すことで、MEMS開発の促進、ビジネス化に貢献していきたいと考えております。LTCCの持つ特長を理解して頂き、多くの用途でご利用いただけますようお願いいたします。

財団法人マイクロマシンセンター
発行人 青柳 桂一〒101- 0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル6階
TEL.03 - 5835-1870 FAX.03 - 5835-1873
wwwホームページ：http://www.mmc.or.jp/

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印
刷所
タカラ
印
刷紙工株
式会社