◆ファインMEMSプロジェクト中間成果発表会（１）開催主旨
MEMS産業の発展を支える基盤技術として、平成18年度から３年間の予定で実施中のNEDOプロジェクト「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」（ファインMEMS：微小三次元化構造加工の高度化と、ナノ部材・異種材料の活用による機能の複合化・集積化を図るための製造基盤技術を開発）の中間成果を紹介します。
（２）プログラム
NEDO委託・助成「高集積・複合MEMS製造技術開発事業」（平成18年度〜平成20年度）

ファインMEMSプロジェクト中間成果発表会
開 催日時
開催場所
主催後
援参 加 費2008年7月31日（木）12：30 〜1 6：3 0
東京ビッグサイト 西1ホール 第19回マイクロマシン／MEMS展会場内 特設会場
独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構／（財）マイクロマシンセンター
経済産業省（予定）
無料（座席（200席）および予稿集には数に限りがありますので、先着順とさせていただきます）

セッション１
12：30 〜 12：35
12：35 〜 12：50
12：50 〜 13：10

オープニング
主催者挨拶MEMS産業戦略とファインMEMSプロジェクトへの期待
ファインMEMSプロジェクトの概要

セッション２
13：15 〜 13：35
13：35 〜 13：55
13：55 〜 14：15
14：15 〜 14：35
14：35 〜 14：45
セッション３
14：45 〜 15：05
15：05 〜 15：25
15：25 〜 15：45

ファインMEMSプロジェクト委託事業の成果発表（1）
選択的ナノ機構構造体形成技術
バイオ材料（タンパク質など）の選択的修飾技術
ナノ材料（CNTなど）の選択的形成技術
多層ウエハレベル接合体の低ストレスダイシング技術
休憩
司会：ファインMEMSプロジェクトプロジェクトリーダー 立命館大学 教授 杉山進
ファインMEMSプロジェクト委託事業の成果発表（2）静岡大学 電子工学研究所 教授 橋口原
ファインMEMSシステム化設計プラットフォームの開発
MEMS−半導体プロセス統合モノリシック製造技術（新たなセンシング原理の探求）
立命館大学 理工学部 教授 鳥山 寿之（独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
MEMS−半導体横方向配線技術（高密度な低温積層一体化実装技術）
グループ長 明渡純
MEMS−半導体横方向配線技術（高密度な低温積層一体化実装技術）
東北大学 工学研究科 教授 小柳 光正（財）マイクロマシンセンターMEMSシステム開発センター 逆水登志夫
ファインMEMS知識データベースについて

15：45 〜 16：05
16：05 〜 16：15
クロージング
16：20 〜 16：30

司会：（財）マイクロマシンセンター MEMSシステム開発センター センター長 小池 智之（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構 理事 上原明
経済産業省 製造産業局 産業機械課 課長補佐 是永 基樹
ファインMEMSプロジェクト プロジェクトリーダ
東京大学大学院 情報理工学系研究科 研究科長 教授 下山勲
司会：東北大学 教授 小柳 光正
東京大学大学院 情報理工学系研究科 研究科長 教授 下山勲（独）産業技術総合研究所 バイオニクス研究センター研究員 鈴木 祥夫（独）産業技術総合研究所 ナノカーボン研究センターチーム長 畠賢治（財）レーザー技術総合研究所 主任研究員 藤田 雅之（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳

閉会の挨拶

桂一

◆マイクロナノ2008「MEMSフォーラム」（１）開催主旨
MEMSフォーラムは、MEMS関連産業の拡大・発展のための課題の共通認識を深めることを目的とした、MEMS協
議会の諸活動の情報発信・意見交換の場です。MEMS産業基盤の構築、産学連携によるMEMS技術基盤構築・展開の観点から、MEMS協議会及びアフィリエートメンバー（地域クラスター、公設試、アカデミア）の活動状況を紹介します。
（２）プログラムマイクロナノ2008MEMSフォーラム
開 催日時
開催場所
主催
参 加 費
オープニング
10：30 〜 10：35
セッション１
10：35 〜 10：50
10：50 〜 11：20
11：20 〜 11：40
11：40 〜 12：00
12：00 〜 13：10
セッション２
13：10 〜 13：20
13：20 〜 13：40
13：40 〜 14：00
14：00 〜 14：20
14：20 〜 14：30
セッション３
14：30 〜 14：50
14：50 〜 15：10
15：10 〜 15：30
15：30 〜 15：50
15：50 〜 16：10
16：10 〜 16：30
クロージング
16：30 〜 16：35− MEMS 産業の発展を目指して−
2008年8月1日（金）10：30 〜1 6：3 5
東京ビッグサイト 西1ホール 第19回マイクロマシン／MEMS展会場内 特設会場
MEMS協議会／（財）マイクロマシンセンター
無料
司会：（財）マイクロマシンセンター 阿出川 俊一

MEMS協議会 副会長 オムロン㈱執行役員常務 技術本部長 今仲 行一
開会挨拶
MEMS産業・技術の高度化に向けて（財）マイクロマシンセンター専務理事 MEMS協議会事務局長 青柳 桂一
MEMS協議会活動の概要
MEMS協議会 副会長 東京大学大学院 情報理工学系研究科 研究科長 教授 下山勲
MEMS産業の基盤強化に向けて
MEMS市場拡大に向けて−第１世代MEMS〜第３世代MEMS（BEANS）−（財）マイクロマシンセンター 調査研究／国際担当部長 安達 淳治（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構 機械システム技術開発部 主査 渡辺 秀明
MEMS分野の技術戦略ロードマップ
昼食・休憩
オーガナイザー：名古屋大学大学院工学研究科 教授 佐藤 一雄
産学連携セッション
名古屋大学大学院工学研究科 教授 佐藤 一雄
産学連携セション開催にあたり
兵庫県立大学 教授 前中 一介安全・安心な社会を実現する先進的統合センシング技術：人体装着超小型センサー
名古屋大学 教授 杜本 英二
超精密マイクロ３次元機械加工による次世代光学素子の量産化
日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議 マイクロエネルギー研究会 委員長
日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議 マイクロエネルギー研究所の紹介
東北大学 教授 桑野 博喜
休憩MEMS産業発展の課題
国際標準化工学研究所代表 帝京大学理工学部情報科学科 教授 大和田邦樹
MEMS分野の国際標準化動向
マイクロナノ製造人材育成への産総研の取組−産学人材育成パートナーシップ事業を中心に−（独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 主幹研究員 前田龍太郎
立命館大学 COE推進機構 教授 杉山進
MEMSファンドリー基盤強化
MEMS協議会ファンドリーサービス産業委員会 委員長
MEMSファンドリーネットワーク構築に向けた活動紹介
オムロン㈱エレクトロコンポーネンツビジネスカンパニー マイクロデバイス事業部MEMS開発部長 佐藤 文彦
神奈川県産業技術センター 電子技術部電子材料チーム
MEMS技術を用いた神奈川県産業技術センターの研究開発支援事例
主任研究員 安井学
MemsONE（MEMS用設計・解析支援システム）Ver.1.1の機能紹介と今後の予定
MemsONEコンソーシアム日本ユニシス・エクセリューションズ㈱研究開発部MEMSプロジェクト 担当部長 前田 幸久

閉会挨拶（財）マイクロマシンセンター専務理事 MEMS協議会事務局長

3青柳 桂一