仕様
装置筐体

幅��� mm×奥行き��� mm×高さ��� mm（コーティングヘッドを開いた全体の高さ：��� mm）

梱包寸法

幅��� mm×奥行き��� mm×高さ��� mm

重量

作業チャンバーディスプレイ

ユーザーインターフェース
スパッタターゲット
試料ステージ真空�� kg（梱包重量：��kg）

ホウケイ酸ガラス 内径���mm×高さ���mm（ロングチャンバー: ���mm）

幅���.� mm×高さ��.� mm（有効領域）、��� RGB×���（ディスプレイフォーマット）
容量式タッチカラーディスプレイ
タッチスクリーンボタンを備えたフルグラフィカルインターフェースで、直近の����回のコーティングのログ取得やメンテナンス時期通知の機能を備えています。
ディスクタイプφ�� mm、�.� mm厚のクロム(Cr)ターゲットを標準装備。
T SおよびT ESバージョンのみ。

�m� /hrの二段ロータリーポンプ（自動リーク付き）。オイルミストフィルター付属。

真空測定

標準でピラニゲージ。オプションで広範囲のゲージを利用可能

到達真空度

スパッタリング�～���mAの電流で（オプションのFTMによる）所定の厚さまたは内蔵のタイマーでスパッタリングします。最大スパッタリング時間は��分です。
（真空を破壊することなく、自動的な内蔵冷却の期間によります）

ビジュアルステータス
インジケーター

Q���T Plus はターボ分子ポンプを搭載しており、真空度は�×�� -� mbar に達します。これによって、高分解能イメージングに適したより小さな粒径をもつ酸化しやすい金属のスパッタリングが可能になります。同様に、ばらつきが少なくなることによって、高密度の高純度アモルファス炭素薄膜の作製が可能になります。

Q���TS , ES Plus を使用した貴金属および酸化しやすい金属のスパッタリング

推奨倍率● Au、Au/Pd の使用で最大 ��k●●Pt の使用で最大 ���k

Cr、Ir の使用で ���k 以上

ITO、W、Al、Zn のコーティングなどの薄膜用途に最適
他のターゲットも要望に応じて提供可能です。

�×�� -� mbar*

�×�� -� ～ �×�� -� mbar

カーボン蒸着ターボ分子ポンプコーター

内部実装�� L/s空冷式

スパッタ真空範囲
プロセス

スパッタリングと蒸着

Q150T PLUSφ�� mm回転ステージ、回転速度�-�� rpm。他のステージも要望に応じて提供可能です。

ロータリーポンプ
ターボポンプ

コーティングはこれで解決！

ロッドを用いたカーボン蒸着。
（ファイバー用インサートも選択可能）
フィラメントまたはボートからの金属の真空蒸着。
（オプション）

大型のマルチカラーステータスインジケーターライトによって、装置の状態が視覚的に表示され、離れた場所でプロセスの状態が簡単にわかります。
インジケーターLEDは、以下の状態を示します。
●

初期化

●

コーティング進行中

●

アイドル

●

プロセスが問題発生で終了●

プロセス動作中●

プロセス完了プロセス完了は、オーディオサウンドでも通知されます。

*乾燥窒素ガスで事前ポンピングした後のクリーンな機器内でのポンピングシステムの典型的な到達真空推奨アプリケーション【製造元】【国内総代理店】※本カタログの製品の仕様等は、予告なく変更する事がございます。[����]●高倍率 SEM●

BSE イメージング●

腐食、摩擦、摩耗保護膜の研究開発●

レプリカ法でのカーボンコーティング●●〒���-���� 東京都千代田区富士見�-�-�ステージビルディング��階TEL ��-����-���� https://www.ads-img.co.jp

FIB 用保護 Pt 膜

医療機器の保護膜●EDX、WDS、EBSD 分析

Q���T Plusの特徴

低温マグネトロンスパッタリング

花粉、�nm Au コーティング、倍率 ��k

スパッタコーティングは、様々な用途で広く使用されている技術です。
高電圧、低真空、非自動化といった条件下でもプラズマを生成し金属をスパッタすることはできます。しかしその場合、試料が加熱され、プラズマと試料との相互作用で損傷を引き起こす可能性があるので、電子顕微鏡の用途には適していません。
Q���T Plus シリーズは、ターボ分子ポンプの圧力に最適化された低温強化プラズママグネトロンと、低電流および堆積コントロールを組み合わせて、試料が保護されて均一にコーティングされるようにします。Q���T S Plus とQ���T ES Plus は、酸化しやすい金属および貴金属をスパッタリングするように設計され、簡単に交換できるディスクタイプ（直径 ��mm）のターゲットを使用します。Q���T S Plus と Q���T ES Plus は、クロム（Cr）スパッタターゲットを標準装備しています。
他 の ター ゲットオプションには、Au、Au/Pd、Pt/Pd、Pd、Pt、Cu、Ir、W、ITO、Al などがあります。他のターゲットも要望に応じて提供可能です。

アルミニウムスパッタリング用
パルスクリーニング

アルミニウム (Al) は、除 去 が 困 難 な 酸 化 物 層を急 速 に 形 成します が、Q���T ES＆S Plus は、酸化物の除去時間を短縮して、ターゲットの過度のプレスパッタリングを防止する特別な Al レシピを備えています。

交換可能プラグインヘッド

プラグインヘッド交換によって、システムをスパッタコーター、カーボンコーター、グロー放電システムへと切り替えることができます。オプションに、カーボンファイバー蒸着インサートがあります。ヘッドタイプは交換時に自動的に検出されます。

防爆シリンダー付きの着脱可能チャンバー

ガラスチャンバーは着脱可能で、ベースおよびトッププレートにも手が届きやすく、洗浄が容易です。
ユーザーは必要に応じて、敏感な試料のクロスコンタミネーションを避けるためにチャンバーを素早く交換することができます。
オプションのロングチャンバーではカーボン蒸着での試料の熱ダメージを低減し、スパッタリングの均一性を向上させ、より高さのある試料にも対応することができます。

自動コントロールカーボンロッド蒸着オプションの薄膜厚モニターの有無にかかわらず、精密な蒸着によるカーボン薄膜厚のコントロールが可能になります。従来の古いコーターに共通して見られる特徴である「スパーク」が根絶されるので、得られるカーボン薄膜の品質が向上します。
再現性のある高品質のカーボン薄膜の作製には、成形カーボンロッドの使用を推奨します。ロッドは純度が高く、デブリの影響を受けにくく、コントロールが容易です。パルス式およびランプ（自動制御）式のカーボンロッドレシピが標準で搭載されています。

安全性Q���T Plus は CE 規格に準拠しています。
●
●
●
●
●

すべての電子部品はカバーで保護されています。

防爆 PET シリンダーは、チャンバーの破損時にユーザーが負傷するのを防止します。

チャンバーが開かれた場合、ユーザーが高電圧にさらされるのを防ぐために、真空インターロックによって蒸着ソースの電力を切断します。
ソースヘッドカバーが開かれた場合、電源インターロックによって電力を切断します。
過熱防止機能により電力を遮断します。

複数のステージオプション

Q���T Plus は、様々な要件に合わせて試料ステージを備えています。
ステージはワンタッチ（ネジなし）で簡単に交換することができ、高さ調整が可能です。（遊星回転型ステージを除く）

オプションステージ一例
●
●
●
●
●

回転ステージ ( 標準付属 )：φ��mm で � つの標準スタブを収容可能。高さ可変。
より均一なコーティングのための回転傾斜ステージ :φ��mm 角度、高さ可変。

遊星回転型ステージ：起伏がある形状の試料用、角度可変。

�” /��� mm ウエハステージ：オフセットギアボックスを備えた大型フラット回転ステージ
顕微鏡スライドガラス用回転ステージ

他のオプションも要望に応じて提供可能です。

ウエハステージ

遊星回転型（Rotacota）
ステージ

回転ステージ

スライドガラスステージ

Q���T Plusの特徴

低温マグネトロンスパッタリング

スパッタコーティングは、様々な用途で広く使用されている技術です。
高電圧、低真空、非自動化といった条件下でもプラズマを生成し金属をスパッタすることはできます。しかしその場合、試料が加熱され、プラズマと試料との相互作用で損傷を引き起こす可能性があるので、電子顕微鏡の用途には適していません。
Q���T Plus シリーズは、ターボ分子ポンプの圧力に最適化された低温強化プラズママグネトロンと、低電流および堆積コントロールを組み合わせて、試料が保護されて均一にコーティングされるようにします。Q���T S Plus とQ���T ES Plus は、酸化しやすい金属および貴金属をスパッタリングするように設計され、簡単に交換できるディスクタイプ（直径 ��mm）のターゲットを使用します。Q���T S Plus と Q���T ES Plus は、クロム（Cr）スパッタターゲットを標準装備しています。
他 の ター ゲットオプションには、Au、Au/Pd、Pt/Pd、Pd、Pt、Cu、Ir、W、ITO、Al などがあります。他のターゲットも要望に応じて提供可能です。

アルミニウムスパッタリング用
パルスクリーニング

アルミニウム (Al) は、除 去 が 困 難 な 酸 化 物 層を急 速 に 形 成します が、Q���T ES＆S Plus は、酸化物の除去時間を短縮して、ターゲットの過度のプレスパッタリングを防止する特別な Al レシピを備えています。

交換可能プラグインヘッド

プラグインヘッド交換によって、システムをスパッタコーター、カーボンコーター、グロー放電システムへと切り替えることができます。オプションに、カーボンファイバー蒸着インサートがあります。ヘッドタイプは交換時に自動的に検出されます。

防爆シリンダー付きの着脱可能チャンバー

ガラスチャンバーは着脱可能で、ベースおよびトッププレートにも手が届きやすく、洗浄が容易です。
ユーザーは必要に応じて、敏感な試料のクロスコンタミネーションを避けるためにチャンバーを素早く交換することができます。
オプションのロングチャンバーではカーボン蒸着での試料の熱ダメージを低減し、スパッタリングの均一性を向上させ、より高さのある試料にも対応することができます。

NEW

●
●
●
●
●

回転ステージ ( 標準付属 )：φ��mm で � つの標準スタブを収容可能。高さ可変。
より均一なコーティングのための回転傾斜ステージ :φ��mm 角度、高さ可変。

遊星回転型ステージ：起伏がある形状の試料用、角度可変。

�” /��� mm ウエハステージ：オフセットギアボックスを備えた大型フラット回転ステージ
顕微鏡スライドガラス用回転ステージ

他のオプションも要望に応じて提供可能です。

大幅に更新された 新UI●

改良された高真空チャンバー

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NEW

自動コントロールカーボンロッド蒸着オプションの薄膜厚モニターの有無にかかわらず、精密な蒸着によるカーボン薄膜厚のコントロールが可能になります。従来の古いコーターに共通して見られる特徴である「スパーク」が根絶されるので、得られるカーボン薄膜の品質が向上します。
再現性のある高品質のカーボン薄膜の作製には、成形カーボンロッドの使用を推奨します。ロッドは純度が高く、デブリの影響を受けにくく、コントロールが容易です。パルス式およびランプ（自動制御）式のカーボンロッドレシピが標準で搭載されています。

●
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●

複数のユーザーがコーティングレシピの入力と保存ができるようにし、現在の使用状況に応じてレシピをユーザーごとに並べ替える新機能を備えています。
どのインサートが装着されているかを自動的に検出し、そのプロセスの適切な動作設定とコントロールを表示します。（インテリジェントシステムロジック）
システムは、ターゲット材料の確認をユーザーに促して、その材料について適切なパラメーターを自動的に選択します。直観的なソフトウェアによって、経験の浅い作業者や使用頻度の低い作業者でも、自分のプロセスデータを迅速に入力して保存することができます。初期設定で、多数の典型的なスパッタリングおよびカーボンコーティングプロフィールがすでに保存されていますが、ユーザー独自のプロフィールも作成することができます。一定時間内に真空が達成されなかった場合はソフトウェアが検出してプロセスが停止するため、真空漏れが発生した場合でもポンプは過熱から保護されます。

Q���T S Plus

Q���T Plus は CE 規格に準拠しています。
●ビジュアルステータス
インジケータQ���T Plusには�種類のラインナップがあります

安全性

すべての電子部品はカバーで保護されています。

防爆 PET シリンダーは、チャンバーの破損時にユーザーが負傷するのを防止します。

チャンバーが開かれた場合、ユーザーが高電圧にさらされるのを防ぐために、真空インターロックによって蒸着ソースの電力を切断します。
ソースヘッドカバーが開かれた場合、電源インターロックによって電力を切断します。
過熱防止機能により電力を遮断します。

複数のステージオプション
オプションステージ一例

直感的に操作可能な
タッチ＆スワイプスクリーン●●

Q���T Plus は、様々な要件に合わせて試料ステージを備えています。
ステージはワンタッチ（ネジなし）で簡単に交換することができ、高さ調整が可能です。（遊星回転型ステージを除く）

NEW

花粉、�nm Au コーティング、倍率 ��k

多種金属向け高真空自動スパッタ
コーター

利 用できるスパッタリングターゲットには、
Cr、Ir、W、ITO、Al 等が含まれます。貴 金属を含む他のターゲットも利用可能です。

遊星回転型（Rotacota）
ステージ

回転ステージ

スライドガラス
ステージ

SEM アプリケーション用 自動カーボンコーター（ロッド / ファイバー）EDS および WDS の導電膜コーティングに適しています。オプションで 金 属 蒸着 / アパー
チャークリーニング用インサートを利用可能です。

●

最 新 のスマートフォンスタイル の イン
ターフェースを使用した、ユーザーイン
ターフェースソフトウェアの大幅な改良
わかりやすい状況依存ヘルプ画面

USB インターフェースにより、ソフトウェアの簡単なアップデートと、レシピファイルの USB メモリへのバックアップ / コ
ピーが可能
日付、時刻、パラメータを含んだプロセ
スログファイルを Excel などでの解析用に USB ポートを介して csv 形式でエクスポート可能
USB メモリに ���� を超えるレシピを保存可能（��GB の場合）

高速で応答性の高いディスプレイを実現するデュアルコア ARM プロセッサ

Q���T ES Plus

スパッタリングとカーボン蒸着が� 台で可能なマルチモデルインサート（ヘッド）は簡単に交換できます。
オプションで金属蒸着 / アパーチャークリーニング用インサートを利用可能です。

真空度の違いによるコーティング比較Q���Rウエハステージ

Q���T E Plus●

容量式タッチスクリーンによる、さらに簡単で優れた使用感

PVDF 電界紡糸 , Au �nm

Q���T×���K MAG×���K MAG

高密度コーティングで画像のコントラストはよくなりますが、一本の繊維の形態を調査するのは困難です。粒径が大きいコーティングでは、付近の繊維を一つの纏まりのように見せる傾向があります。

PVDF 電界紡糸 , Au �nm,低スパッタ電流

Q���T×���K MAG

PVDF 電線 , Au �nm AU,低スパッタ電流×���K MAG

×���K MAG

粒径が小さくなることで、繊維の形態学的特徴を見ることができ、個々の繊維を識別することができます。

×���K MAG

Q���T Plus でコーティングした結晶粒径の拡大

仕様
装置筐体

幅��� mm×奥行き��� mm×高さ��� mm（コーティングヘッドを開いた全体の高さ：��� mm）

梱包寸法

幅��� mm×奥行き��� mm×高さ��� mm

重量

作業チャンバーディスプレイ

ユーザーインターフェース
スパッタターゲット
試料ステージ真空�� kg（梱包重量：��kg）

ホウケイ酸ガラス 内径���mm×高さ���mm（ロングチャンバー: ���mm）

幅���.� mm×高さ��.� mm（有効領域）、��� RGB×���（ディスプレイフォーマット）
容量式タッチカラーディスプレイ
タッチスクリーンボタンを備えたフルグラフィカルインターフェースで、直近の����回のコーティングのログ取得やメンテナンス時期通知の機能を備えています。
ディスクタイプφ�� mm、�.� mm厚のクロム(Cr)ターゲットを標準装備。
T SおよびT ESバージョンのみ。

�m� /hrの二段ロータリーポンプ（自動リーク付き）。オイルミストフィルター付属。

真空測定

標準でピラニゲージ。オプションで広範囲のゲージを利用可能

到達真空度

スパッタリング�～���mAの電流で（オプションのFTMによる）所定の厚さまたは内蔵のタイマーでスパッタリングします。最大スパッタリング時間は��分です。
（真空を破壊することなく、自動的な内蔵冷却の期間によります）

ビジュアルステータス
インジケーター

Q���T Plus はターボ分子ポンプを搭載しており、真空度は�×�� -� mbar に達します。これによって、高分解能イメージングに適したより小さな粒径をもつ酸化しやすい金属のスパッタリングが可能になります。同様に、ばらつきが少なくなることによって、高密度の高純度アモルファス炭素薄膜の作製が可能になります。

Q���TS , ES Plus を使用した貴金属および酸化しやすい金属のスパッタリング

推奨倍率● Au、Au/Pd の使用で最大 ��k●●Pt の使用で最大 ���k

Cr、Ir の使用で ���k 以上

ITO、W、Al、Zn のコーティングなどの薄膜用途に最適
他のターゲットも要望に応じて提供可能です。

�×�� -� mbar*

�×�� -� ～ �×�� -� mbar

カーボン蒸着ターボ分子ポンプコーター

内部実装�� L/s空冷式

スパッタ真空範囲
プロセス

スパッタリングと蒸着

Q150T PLUSφ�� mm回転ステージ、回転速度�-�� rpm。他のステージも要望に応じて提供可能です。

ロータリーポンプ
ターボポンプ

コーティングはこれで解決！

ロッドを用いたカーボン蒸着。
（ファイバー用インサートも選択可能）
フィラメントまたはボートからの金属の真空蒸着。
（オプション）

大型のマルチカラーステータスインジケーターライトによって、装置の状態が視覚的に表示され、離れた場所でプロセスの状態が簡単にわかります。
インジケーターLEDは、以下の状態を示します。
●

初期化

●

コーティング進行中

●

アイドル

●

プロセスが問題発生で終了●

プロセス動作中●

プロセス完了プロセス完了は、オーディオサウンドでも通知されます。

*乾燥窒素ガスで事前ポンピングした後のクリーンな機器内でのポンピングシステムの典型的な到達真空推奨アプリケーション【製造元】【国内総代理店】※本カタログの製品の仕様等は、予告なく変更する事がございます。[����]●高倍率 SEM●

BSE イメージング●

腐食、摩擦、摩耗保護膜の研究開発●

レプリカ法でのカーボンコーティング●●〒���-���� 東京都千代田区富士見�-�-�ステージビルディング��階TEL ��-����-���� https://www.ads-img.co.jp

FIB 用保護 Pt 膜

医療機器の保護膜●

EDX、WDS、EBSD 分析