TH-1400 シリーズ
サーマルフローメータ検出器
IM-F2141-J00

取扱説明書

初版 2021 06 E

取扱説明書 TH-1400 シリーズサーマルフローメータ検出器この度は弊社製品をご採用いただき、誠に有難うございます。
本書はTH-1400 シリーズサーマルフローメータ検出器の設置、運転、保守などについて記述したものです。
設置時、運転時に必ずご一読くださいますようお願いします。
尚、本書では検出器について記述してあります。組み合わせ変換器のついては下記取扱説明書をご参照ください。
変換器形式

該当取扱説明書番号

TRX-600

IM-F2125

TRX-700

IM-F2127

TRX-900

IM-F2129

＜目次＞

TH-1400 シリーズ
サーマルフローメータ検出器目

次

1. 本書の表記上のルール

1

2. 使用上のご注意

1

3. 取扱い上の注意事項

23.1 形式と仕様確認

23.2 運搬についての注意事項

2

3.3 保管についての注意事項

2

3.4 設置場所

3

3.5 安全上のご注意

3

4. 概要

4

4.1 概要4

4.2 特長44.3 標準仕様

44.4 形式コード表

54.5 部品名称5

4.6 外形寸法64.7 流量レンジ

74.8 システム構成

8

4.9 組み合わせ変換器形式コード一覧

9

5. 設置

10

5.1 配管10

5.2 配管設置

105.3 必要直管長さについて

12

5.4 検出器の設置

13

6. 配線

14

6.1 標準付属ケーブル

146.2 配線について

14

7. 運転

14

8. 保守

15

8.1 保守用機器

158.2 検出器抵抗チェック15

8.3 検出器抵抗異常時の故障内容について

15

8.4 検出器洗浄159. 測定原理

1610.流速・流量精度について

17

1

1. 本書の表記上のルール
安全に関する表記
本書では安全に関する注意事項を次の表示によって区分しています。

本製品は工業計器としての用途にのみ使用し、その他の用途には使用しないでください。
材質についてこの表示を無視して誤った取扱いをすると、使用者が死亡または重傷を負う可能性が想定される内容を示しています。

この表示を無視して誤った取扱いをすると、本装置の破損
または付帯設備等の物的損害の発生が想定される内容を示します。
一般情報に関する表記
本書では一般情報に関する注意事項を次の表示によって区分しています。

この表示は製品の取扱い上、必要不可欠な操作や情報を示しています。

この表示は本製品を安全・快適に使うために是非理解していただきたい内容を示しています。

（→P.○○）

注意事項とは別に参照していただきたいページがある場合に表示します。

2. 使用上のご注意
一般的注意事項

本製品は工業用計器として最善の品質管理のもとに製造、調整、検査を行い納入いたしております。みだりに改造や変更を行うと本来の性能を発揮できないばかりか、不適合や事故の原因となります。
改造や変更は行わないでください。
改造や変更の必要がある場合は当社までご連絡ください。

本製品の材質については納入仕様書に記載されています。
当社でもお客様の仕様をお伺いし最適な材質選定に努めておりますが、実際のプロセスにおいては混入物などもある
場合があり、万全でないこともあります。最終的な耐食性、適合性のご確認はお客様の責任でお願いいたします。
保守、点検について

本製品を保守、点検などのためにプロセスから取外す際は、測定対象物の計器内への残留に注意してください。測定対
象物に腐食性や毒性がある場合は、作業者に危険がおよびます。

本製品の保守、点検については使用条件などによりその周期、内容が異なります。取扱説明書を参照するか、お客様が実際の運転状況を確認してご判断願います。
制御の安全性について

本製品は工業計器として最善の品質管理のもとに製造、調査、検査を行い納入いたしておりますが、各種の原因で不測の故障が発生する可能性もあります。安全上の重大な問題が発生する可能性のあるプロセスコントロールなどにおいて本製品を使用する場合は、万一に備えて本製品に加えて同様な機能を果たす機器を併設し、二重化を行うことにより一層の安全性を確保してください。

納入仕様書に記載された仕様、流体圧力、温度の範囲内での使用を厳守してください。この範囲を超えた条件での使用は故障、破損の原因となります。

運搬、保管の際に破損、故障のないよう、また水、ゴミ、砂などの混入のないようにご注意ください。

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2

3. 取扱い上の注意事項
サーマルフローメータは、熱伝達現象に基づく独創的な測定原理により配管またはダクト内を流れる気体の流量を高精度で測定する弊社オリジナルの熱式質量流量計です。本
機は工場にて十分な検査を実施した後出荷しております
が、念のため本機がお手元に届きましたら、まず始めに外観チェックを行い有害な損傷がないことをご確認ください。本書は、サーマルフローメータの正しい取扱い方法および使用上の注意事項について説明しております。実際にご使用になる前に必ずご一読のうえ、本流量計を正しく取扱いください。また、本書はお読み頂いた後も大切に保管
してください。尚、お問い合わせ事項等がありましたら、お買い求め先あるいは本書最終頁に記載の最寄り弊社営業所までご連絡願います。

3.1 形式と仕様確認
変換器上面または側面のFLOWMETER銘板および検出器
本体側面のPICKUP銘板（図3.1参照）に記載されておりま
す形式および工番（MFG. No.）と別送の納入仕様書仕様欄を対応させ、ご注文通りであることをご確認ください。尚、
お問い合わせの際は、このFLOWMETER／PICKUP銘板
または納入仕様書に記載されております工番（MFG.No.）
および形式（TYPE）をご連絡願います。
（＊工番は弊社受注製品の管理番号です。
）

FLOWMETERTAG NO.
MODEL
MFG. NO.
DATETOKYO KEISO CO., LTD
MADE IN JAPANPICKUP3.2 運搬についての注意事項

本製品は精密機器につき、運搬時における取扱いには十分
注意願います。運搬中の事故による損傷および検出器の汚れ防止のため、なるべく弊社出荷時梱包状態のまま設置場所まで運搬願います。

3.3 保管についての注意事項

本機のような精密機器の場合、お手元に届いてから設置するまでの期間が長くなると、思いがけないことから腐食や電気系統の絶縁劣化等の不具合が発生することが考えられます。あらかじめ長期の保管が予測される場合には、下記項目に配慮願います。
１） 流量計および付属ケーブル類はなるべく弊社出荷時の梱包状態にて保管してください。
２） 保管場所は、下記条件を満足するような場所を選定してください。
・雨や水のかからない場所
・振動や衝撃の少ない場所
・周囲温度：0〜60℃（急激な温度変化のない場所）
・湿
度：80%RH以下
尚 、保管場所の温度・湿度は、できるだけ常温・常湿度（25℃、65%RH程度）
にて保管願います。
３） 一度使用した流量計を保管する場合下記事項にご注意願います。
・センサー部に汚れがある場合は、汚れを除去してください。
（8.4 検出器洗浄を参照願います）
・セ ンサー部の損傷を防ぐため、保護管または盲キャップ等でセンサー部を保護した後梱包等を行ってください。尚、検出器外周部は損傷を防ぐためエアーキャップ等の梱包材で保護願います。
（弊社出荷時の梱包状態に近い状態で保管願います。
）

TAG NO.
MODEL
MFG. NO.
TOKYO KEISO CO., LTD
MADE IN JAPAN図3.1 銘板の例

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3.4 設置場所

3.5 安全上のご注意

サーマルフローメータTHシリーズは、厳しい環境条件下においても正常動作するように設計されておりますが日常点検および保守作業の容易な場所を選定して設置してください。また、高精度かつ長期間安定してご使用頂くために下記事項を考慮して設置場所を決めてください。

１） サーマルフローメータのご使用中に煙が出たり、変なにおいや音がするなどの異常状態となった場合、直ちにAC電源を切り最寄りの弊社営業所にご連絡願います。異常状態のままご使用になりますと火災や感電の危険があります。また、お客様による修理は危険です
ので絶対にお止めください。

１） 周囲温度（周囲温度範囲：0℃〜60℃）
温度勾配や温度変化の大きい場所に設置することはできるだけ避けてください。プラントから放射熱や輻射熱などを受ける場合は、断熱処理を施したり風通しのよい場所選んで設置してください。
２） 雰囲気条件
腐食性雰囲気に設置することはできるだけ避けてください。尚、腐食性雰囲気中にて使用する場合は、風通しの良い場所やパージ環境の中でご使用ください。また、腐食性ガスが滞留するような場所においてご使用の場合には、長時間のご使用を避け、計測完了後速やかに腐食性雰囲気外の場所に移動させてください。
３） 衝撃・振動検出器は、衝撃や振動に対して強い構造に設計されていますが、できるだけ衝撃や振動の少ない場所に設置
してください。
４） ノイズ
本機をコンプレッサー、高圧電線、インバータ等のノイズ発生源の近くに設置することはできるだけ避けてください。サーマルフローメータ専用検出器〜変換器
間ケーブルは二重シールド線を使用するなどノイズ対策を十分行っておりますがケーブルが長いとノイズの侵入する恐れがあります。

２） 検出器の分解および改造は、検出器の故障原因になりますので絶対しないでください。
３） 検出器の電気配線部に雨水が浸入しないように注意願います。感電や故障の原因になります。
※検出器コネクターは防水構造となっておりますが、
オス／
メスコネクターカップリング状態で防水仕様になります。従って、検出器屋外設置の場合は、検出器に専用ケーブルを接続しないまま放置しないでください。万一、コネクター内部に雨水などが浸入いたしますとケーブルまたはコネクターピンの腐食原因になります。もし、検出器設置後配線までに時間がかかるようでしたら、付属の盲キャップまたはビニール袋などで雨水などから検出器を保護願います。
４） サーマルフローメータのご使用中（電源ON状態）にセンサーパイプを手で触れたり、金物で触れたりしないでください。感電や故障の原因になります。

５） その他
本機の上に乗ったり、重量物を乗せたりしないでください。また、不安定な場所に設置しないでください。

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4

4. 概要
4.1 概要サーマールフローメータは、一般工業プロセス・ユーティ
リティライン、半導体製造設備、空調設備等に長年の実績と信頼性をもつ弊社オリジナルの熱式質量流量計です。
TH-1400シリーズ検出器は軽量・コンパクトな挿入長可変形検出器で、配管および角ダクト内の流速分布計測も可能です。また、ゲートバルブ等を併用することにより、運転中のラインを停止することなくメンテナンス可能です。

4.2 特長１） 高精度
独自の計測理論で各種ガスの流量を高精度で計測いたします。
＊変換器形式により精度が異なります。TRX-600：±2.0% F.S.、TRX-700、TRX-900：±1.0% F.S.
２） ワイドレンジアビィリティ
最大流速が0.5m/sの低流速範囲でも十分な実用計測精度があり、従来のオリフィス式やカルマン渦式流量計などの流量計測上の問題点をクリア致しました。
３） 高耐久性
可動部のないセンサー構造で長期安定性に優れています。また、点検を行う場合でもゲートバルブ等を併用することにより、運転中のラインを停止することなく
メンテナンス可能です。
４） 質量流量計測
東京計装（株）のオリジナルな熱伝達理論に基づくガス用熱式質量流量計です。また、理論的解析の確立した計測理論であるため、ほとんどの一般ガスに対して計測可能です。
５） 低圧力損失
センサー部は可動部のない構造により、圧力損失はほと
んどありません。
６） 挿入長可変形検出器
上流側必要直管長がとれない場合でも挿入長を調節し、配管内流速分布を考慮した流量計測が可能です。

4.3 標準仕様
標準仕様以外については、納入仕様書を参照願います。
《検出器仕様》
・対象測定ガス	Air、N2、O2、Ar、He、H2、その他
非腐食性ガス＊1＊1）ダ スト、ミストや腐食成分（塩素、酸、硫黄等）
を含まない乾燥気体であること
・ガス別流量レンジ ガ
 ス別流量レンジは『4.6流量レンジ＊2表』
を参照ください。
＊2）そ の他記載のないガスについては弊社営業にお問い合わせください。
・流量精度	組み合わせ変換器により精度が異なります。
＊
TRX-600シリーズ：±2.0% F.S.
TRX-700、900シリーズ：±1.0％ F.S.
・製作口径
標準：50A〜1500A
・流体温度
0℃〜80℃（オプション0℃〜200℃）
・検出器周囲温度 0℃〜60℃
・流体圧力	真空（20 kPa（abs））
〜0.98 MPa
・材質 センサー部 標準：SUS316（センサーパイプ）、ライトンPPS		
高温：SUS316（センサーパイプ）、
PEEK（180℃以上）
本体
標準：SUS304
		
オプション：SUS316、SUS316L
シール材 標準：フッ素ゴム（Oリングシール）・構造
防水密閉構造（IP65相当）
・塗装
ステンレス部塗装無し
・接続規格	40A JIS 10K R.F.
（F.F.）
フランジ、その他継手＊
詳細仕様にいては、納入仕様書を参照願います。
・圧力損失	0.1kPa以下：仕様により異なりますので弊社営業にお問い合わせください。
・細管加熱電力
Max. 1.5W
・細管温度上昇Max. 30℃（流体仕様により異なります。
）
・電気接続
防水コネクター		（付属品：検出器〜変換器間特殊専用
ケーブル）

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54.4 形式コード表
形式コード① ② ─ ③ ④ ⑤
550A（2B）
6
65A（2-1/2B）
7
80A（3B）
8
100A（4B）
9125A（5B）① プロセスA
150A（6B）
配管口径
B
200A（8B）
C
250A（10B）
D
300A（12B）
E
350A（14B）
F
その他
選択項目
TH-11 −

② 検出器材質

1

SUS3042

SUS316

3

SUS316LF③ 接続規格内容特殊
140A JIS10K フランジ2

1-1/2"ANSI 150 # フランジ

F
④ Ｌ寸法

⑤ 特殊仕様

その他
1
F

標準
特殊
注 注）標準品は未記入のこと。
E EPグレード：電解研磨処理（センサー部除く）
B BAグレード：BA相当の電解研磨処理（センサー部除く）
W 端子箱タイプ（コネクタータイプの場合は未記入）

4.5 部品名称
符号
部 品 名 称１ センサーパイプ
２ 取り合いフランジ
３ プローブホルダー
４ Ｏリング
５ Ｕボルト
６ プローブ固定台
７ リードパイプ
８ ストッパー
９ プローブ引出取手
10 コネクター固定台
11 コネクター
12 専用ケーブル②

材
質
SUS316－
SUS304/SUS316
PTFE／フッ素ゴム
SUS304
SUS304
SUS304/SUS316
SUS304
SUS304
SUS304
ZDC
－

① ③ ④

個数

備

考

標準：40A-10k-RF

防水コネクター⑦ ⑥ ⑤ ⑧

⑨ ⑩

⑪ ⑫

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6＋

4.6 外形寸法

φ

Ｌ

−φ

φ

φ
φ

ࣉࣟࢭࢫ㓄⟶
L寸法（mm）

65～150182

200～250200

300～350250

注）上 記L寸法は、ゲートバルブ無しの標準寸法です。ゲートバルブをご使用の場合はゲートバルブ面間およびガスケット2枚分の長さを加算してください。
注）
検 出器詳細寸法については、納入仕様書を参照願います。

°± °プロセス配管径（mm）

᳨ฟჾྲྀ௜ࣇࣛࣥࢪᅗ

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7
4.7 流量レンジ
単位：m3/h(nor)
口径

ガス

AIR
空気

N2
窒素

CO2
二酸化炭素

O2
酸素

Ar
アルゴン

13A
都市ガス

CH4
メタン

C3H8
プロパン

C4H10
ブタン

NH3
アンモニア

50A
45～ 840 45～ 840 25～ 1135 45～ 820
40～ 1675 40～ 545 50～ 550 15～ 540 10～ 440 40～ 800
65A
60～ 1395 60～ 1395 30～ 1885 60～ 1360
50～ 2775 50～ 905 65～ 915 20～ 895 10～ 735 55～ 1330
80A
70～ 1965 70～ 1965 35～ 2655 70～ 1915
60～ 3915 60～ 1275 75～ 1290 20～ 1260 15～ 1035 65～ 1875
100A
90～ 3385 90～ 3380 50～ 4570 90～ 3295
80～ 6735 80～ 2195 100～ 2220 25～ 2170 20～ 1785 85～ 3225
125A 115～ 5155 115～ 5145 60～ 6955 115～ 5020 100～ 10250 100～ 3340 120～ 3380 35～ 3305 20～ 2715 105～ 4910
150A 135～ 7360 135～ 7345 70～ 9940 135～ 7170 120～ 14640 120～ 4775 145～ 4830 40～ 4720 25～ 3880 125～ 7010
200A 175～ 12650 175～ 12625 90～ 17080 175～ 12325 155～ 25160 155～ 8205 190～ 8300 50～ 8115 35～ 6670 160～ 12050
250A 220～ 19685 220～ 19650 115～ 26580 220～ 19180 190～ 39160 190～ 12770 235～ 12920 60～ 12630 40～ 10380 200～ 18750
300A 260～ 28145 260～ 28090 150～ 37995 260～ 27415 230～ 55980 230～ 18255 280～ 18465 75～ 18060 60～ 14835 240～ 26810
350A 295～ 35190 295～ 35125 185～ 47510 295～ 34280 270～ 69995 255～ 22825 315～ 23090 90～ 22580 75～ 18550 265～ 33520
400A 335～ 46460 335～ 46375 245～ 62725 335～ 45260 355～ 92405 295～ 30130 360～ 30485 115～ 29810 95～ 24490 305～ 44255
450A 380～ 59310 380～ 59200 310～ 80070 380～ 57775 455～ 117960 335～ 38465 410～ 38915 150～ 38055 120～ 31265 345～ 56490
500A 425～ 73440 425～ 73305 385～ 99150 425～ 71540 565～ 146065 370～ 47630 455～ 48190 185～ 47125 150～ 38715 385～ 69950
550A 470～ 89420 470～ 89255 465～120725 470～ 87110 685～ 177850 410～ 57995 505～ 58675 225～ 57380 185～ 47140 425～ 85175
600A 510～106260 510～106060 555～143460 510～103510 815～ 211345 445～ 68920 550～ 69725 265～ 68185 215～ 56020 465～101215
650A 555～124170 555～123940 645～167635 555～120960 950～ 246965 485～ 80535 595～ 81475 310～ 79675 255～ 65460 500～118275
700A 595～144735 595～144465 755～195405 595～140995 1110～ 287870 525～ 93875 640～ 94970 360～ 92875 295～ 76300 540～137865
750A 645～166885 645～166575 870～225305 645～162570 1280～ 331920 560～108240 690～109505 415～107090 340～ 87980 615～158960
800A 735～190610 735～190260 990～257340 715～185685 1460～ 379115 600～123630 735～125075 470～122315 390～100490 700～181560
850A 830～215920 830～215520 1125～291510 810～210340 1655～ 429455 640～140045 785～141685 535～138555 440～113830 795～205670
900A 935～242815 935～242365 1265～327815 910～236535 1860～ 482940 680～157485 830～159330 600～155810 495～128005 890～231285
1000A 1155～299520 1155～298965 1555～404370 1125～291775 2295～ 595725 755～194265 925～196540 740～192200 610～157900 1100～285300
1100A 1405～365118 1405～364440 1900～492930 1370～355675 2795～ 726190 915～236810 1020～239580 905～234295 740～192485 1340～347780
1200A 1675～435020 1675～434215 2260～587310 1630～423775 3330～ 865225 1085～282150 1115～285450 1075～279150 885～229335 1600～414365
1300A 1965～511050 1965～510105 2655～689955 1915～497840 3910～1016445 1275～331465 1290～335340 1265～327940 1040～269420 1875～486785
1400A 2280～593200 2280～592105 3080～800870 2225～577870 4540～1179850 1480～384750 1500～389250 1460～380660 1205～312730 2175～565045
1500A 2620～681490 2620～680225 3540～920060 2555～663870 5215～1355435 1700～442010 1720～447175 1685～437310 1385～359270 2500～649135

He
ヘリウム

H2
水素

5～ 34
5～ 30
7～ 45
7～ 39
10～ 5310～ 4717～ 6917～ 6226～ 8526～ 7837～ 9837～ 891200～ 1584
65～ 1091460～ 2457 1330～ 1537
1780～ 3498 1620～ 2189
2170～ 4058 1930～ 2539

● 流量レンジは、ご注文時に上記流量レンジ表の最小レンジ〜最大レンジ間において任意に指定できます。
● 上記流量レンジ表に記載のない流体については、弊社営業までお問い合わせください。

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8
4.8 システム構成
アナログ出力：DC4〜20mA
積算パルス出力：オープンコレクタ
シリアル出力：RS-485

瞬時流量表示積算流量表示温度補正用温度信号入力：Pt100Ω入力：DC4〜20mA入力：DC1〜5V入力

検出器〜変換器
特殊専用ケーブル

ＡＣ電源

検 出 器

瞬時流量表示積算流量表示アナログ出力：DC4〜20mA
積算パルス出力：オープンコレクタ
シリアル出力：RS-485
警報出力
（選択）
：Hi・LoまたはHi
・異常警報＊オプション（選択）
圧力補正用圧力信号：DC4〜20mA
温度補正用温度信号：（測温抵抗体：Pt100Ω）

検 出 器
検出器〜変換器
特殊専用ケーブル

ＡＣ電源

上記図中の＊印はオプションを示します。
変換器詳細仕様についてはテクニカルガイダンス（TG-F2123）
を参照願います。
機能
流量精度

形式

TRX–600

TRX–700

TRX–900± 2.0%F.S.

± 1.0%F.S.

± 1%F.S.

瞬時流量表示

○

◎

◎

積算表示

○

◎

◎

DC4〜20mA出力

◎

◎

◎

スケールパルス出力○◎◎

アラーム出力╳◎◎シリアル出力RS–485 出力

RS–485 出力

RS–485 出力

温圧補正機能○（温度補正のみ）

◎

◎

電源

AC100、110、115、200、
220、240V 50/60Hz

消費電力

AC90 〜 264V

50/60Hz

約 30VA

ボックス構造防水密閉（IP65）

非防水（IP20）

防水密閉（IP65）

取付

壁・2B パイプ取付

パネル取付

壁・2B パイプ取付

50m

100m

100m

最大ケーブル長さ 50m

注）◎：標準装備 ○：選択により装備可能 ╳：不可
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4.9 組み合わせ変換器形式コード一覧
本機と組み合わせ可能な変換器形式コード一覧表を下記に示します。
TRX-600
TRX-6
温度補正（入力信号）

電

源

形式コード
−
0
1
2
3
1
2
3
4
5
6

ケーブル長

−

1
2
3
4
5
6
7
8
Ｆ

配線接続口

1
Ｆ

2Ｂパイプ取付金具
パージ制御入力
オプション基板（注）オプション機能が無い場合は空欄

パージ出力
接点出力

0
Ｆ

内 容
補正なし
Pt100Ω測温抵抗体
DC4~20mA温度信号
DC1〜5V温度信号
AC100V±10%
AC110V±10%
AC115V±10%
AC200V±10%
AC220V±10%
AC240V±10%
5m
10m
15m
20m
25m
30m
40m
50m
その他
G1/2
その他
なし
あり
0
パージ制御なし
1
オープンコレクタ
（標準）
2
接点入力
0
パージ制御なし
1O.C.＋接点出力
2O.C.＋AC電源出力
1 フロースイッチ2 異常警報出力（注）O.C.＝オープンコレクタ
TRX-700／TRX-900
形式コード
TRX− ① ② ③
7
①タイプ
9
0
②温度・圧力補正
1
4
1
2
3
4
5
③ケーブル長
6
7
8
9
Ａ
Ｆ

内 容
DIN96×96 パネルマウント
防水ハウジング、フィールド設置形
補正なし
温度補正
温度補正＋圧力補正
5m
10m
15m
20m
25m
30m
35m
40m
45m
50m
50m〜100m ※ケーブル長ご指示ください。

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10

5. 設置
● サーマルフローメータにダストやミストが混入した場合は正常に動作しないことがあります。
混入が避けられない場合は、直管長を確保して上流側にミストセパレータやフィルターを設置してください。

5.1 配管● サーマルフローメータの必要上下流直管長については、『5.3必要直管長さについて』を参照願います。
● 管路の上流側にバルブを設置することはできるだけ避けてください。やむを得ずバルブを設置する場合はボールバル
ブやゲートバルブ等全開状態においてご使用願います。
● 外気と配管内流体との温度差が大きい場合、配管内のガス自然対流の影響を受けやすくなるため、なるべく水平配管に設置してください。

5.2 配管設置
１） 流れ方向を確認し検出器をノズルフランジ（またはボールバルブ）に接続します。
（図１）２） ボールバルブは全開にしてください。
３） Uボルトを緩めます。
（一旦外してもOK）
４） プローブホルダーフランジを固定しているM8×30の六角穴付ボルトを緩めます。
プローブホルダーフランジがガタつくのを確認してください。

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図１

図２

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11５） 取手を掴みストッパーがプローブ回り止め台に当たるまでリードパイプを押し込みます。
（図3）６） 向きを整えUボルト、六角穴付きボルトを締めます。
（図3）

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リードパイプを抜き差しするときはUボルトがリード
パイプと接触していないことを確認してください。接触した状態で抜き差しするとリードパイプに傷がつき摺動性悪くなります。
配管内を加圧する時はUボルト、六角穴付きボルトが確実に締結されていることを確認してください。緩んだ状態で加圧すると危険です。

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図３

正しく取り付けられると配管の中心とセンサーの中心が同じ位置になります。

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図４

図５

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12
5.3 必要直管長さについて

配管にエルボ・バルブ・レジューサ等が取り付けられていると、管内の流れは管軸に対して非対称な流速分布になったり、二次流れが生じたりします。一般的な流量計の精度保証条件は、管路内の流速分布が完全に発達した乱流流速分布または
層流流速分布を前提にしております。したがって、管内の流速分布が完全に発達した乱流流速分布または層流流速分布と異なる場合、精度の良い流量計を用いても大きな流量誤差を生ずる可能性があります。一般に配管形状によって生じた流れの変化は、配管の直径に換算して50〜100倍の長さを経てもまだ完全に除去されないといわれています。
尚、サーマルフローメータでは、流量校正時に上下流配管の影響を受けないよう上流側に整流器＋直管20Ｄ以上、下流側
直管5D以上の直管部を設けて校正・検定を行っております。従って、サーマルフローメータを精度良くお使いいただくた
めに必要な最小上下流直管は，次の表に示すとおりです。
必要直管長90°ベント又はティー １ つ同一平面上にある
２つ以上の90°ベント

同一平面上にない
２つ以上の90°ベント

収縮管
拡大管

玉形弁
全開

仕切弁
全開

20D

25D

40D

15D

22D

14D

注１）上記Lを流量計上流側必要直管長とし、管径Dの倍数で表す。
注２）流量計下流側必要直管長は、上記すべての継手類に対して、5Dとする。
注３）整流器付の場合には上・下流ともに3D以上の直管部を設けることを推奨致します。
但し、上流側にレジューサやバルブがある場合には上流側5D、下流側3D以上の直管部を設けてください。

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13
5.4 検出器の設置
1）検出器取付け時の注意事項
検出器を配管に接続する場合、下記項目にご注意願います。
また、設置場所については、『3.４設置場所』
を参照願います。
１） 検出器設置時センサー部に衝撃を与えないように注意
してください。センサーパイプを変形させますと、破損または、流量誤差の原因（検出器固有の流量特性が変わるため）となりますのでご注意願います。
２） 測定流体の流れ方向と検出器に表示されている流れ
方向矢印の向きが一致するように取り付けてください。
（検出器取付け角度誤差は、流れ方向に対し±5°以下にしてください。
）「P6 検出器取付フランジ図」
を参照願います。
３） 検出器取付に必要なガスケット・ボルト・ナット類は付属しておりませんので、検出器取付前に予めご準備願います。
４） 検出器とプロセス配管とを取り付けるボルトが十分締め付けられていることをご確認ください。
５） 検出器設置完了後、ライン内圧を徐々に上げ配管にリークが無いことをご確認ください。
６） 検出器には、規定値以上の圧力を印加しないでくださ
い。
2）検出器取付け順序
・検出器の部品名称および取付位置については、『5.1 図：検出端収納図』
および『5.2 図：検出器設置図』
を参照願います。また、検出器取付に必要なボルト・ナット・ガスケッ
トおよびゲートバルブ等はご使用前に準備願います。
１） プローブホルダーに検出器を収納したまま（出荷時の状態のまま）検出器取り合いフランジに合ったガスケットを挟み込み取り合いフランジに取り付けてください。尚、検出器取付時は、ストッパーに貼られている流れ方向矢印に合わせて検出器を設置してください。

２） メンテナンス用ゲートバルブ等をご使用の場合は、バルブを全開状態にしてください。万一、半開状態で検出器を挿入しますと、検出端を破損する可能性がありますのでご注意願います。
３） 検出器固定用Ｕボルトをゆるめてください。
４） シール用Ｏリング押さえフランジの取付ボルトをゆるめてください。
５） プローブ引出取手を用いて、ストッパーがプローブ固定台上端に接するまで配管に挿入してください。また、ストッパーに貼られている流れ方向矢印が測定流体の流れ方向と一致するように位置調整してください。
６） シール用Ｏリング押さえフランジの取付ボルトを締めてください。
７） 検出器固定用Ｕボルトを締めてください。
以上で検出器の取付が完了致します。尚、配線につきましては本書項目『6. 配線』
および組み合わせ変換器取扱説明書『配線』の項を参照願います。
注） 検出器の取り外しおよび検出端をプローブホルダー内に収納する必要がある場合は、上記３）
、４）
を実施後、
プローブ引出取手を用いて、検出端を静かに引き抜いてください。尚、検出端を引き抜く時は、リードパイ
プ先端がプローブホルダに突き当たるまで引き上げてください。
注） メンテナンス用ゲートバルブ等をご使用の場合、リードパイプ先端がプローブホルダに突き当たるまで引き上げられていることを確認してからバルブ操作を行ってください。万一、引き抜き長さが短いと検出端をバルブで破損する可能性がありますのでご注意願います。
注） 特別な事情がない限り、ストッパーの位置を移動しないでください。ストッパーの位置を移動致しますと、設計段階における検出端の挿入位置が変わり流量誤差原因となります。

5.1 図：検出端収納図

5.2 図：検出器設置図

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14

6. 配線

6.1 標準付属ケーブル
変換器〜検出器間に使用しておりますケーブルは、弊社所掌の特殊専用ケーブルです。ご注文のケーブル長につきましては納入仕様書を参照願います。尚、ケーブル構造については下図に示します。
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図6.1 ケーブル構造

6.2 配線について
１） 検出器の配線は防水構造の７Ｐコネクター接続となります。
（防水コネクターは、サーマルフローメータ付
属品の専用ケーブルに接続されています。
）
尚、変換器側配線につきましては組み合わせる変換器により異なりますので、組み合わせ変換器取扱説明書
を参照願います。
２） 検出器コネクターは防水構造となっておりますが、オス／メスコネクターカップリング状態で防水仕様になります。従って、検出器屋外設置の場合は、検出器に専用ケーブルを接続しないまま放置しないでください。万一、コネクター内部に雨水などが浸入いたしま
すとケーブルまたはコネクターピンの腐食原因になります。もし、検出器設置後配線までに時間がかかるようでしたら、付属の盲キャップまたはビニール袋など
で雨水などから検出器を保護願います。

7. 運転
サーマルフローメータの運転については、組み合わせる変換器取扱説明書を参照願います。

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15

8. 保守
初期運転ならびに運転再開時における、サーマルフロー
メータ検出器の簡単なチェック方法について記載いたしま
す。尚、変換器の結線およびチェック方法については、組
み合わせ変換器の取扱説明書および納入仕様書を参照願います。また、以下のチェックにおいて異常が発見された場
合、御面倒でも最寄りの弊社営業所または代理店までお問
い合わせ願います。

・検出器端子間概略抵抗値
端子番号

抵抗値
（Ω）

2-5

40±20＊

備 考
クロメル/
アルメル熱電対抵抗
細管抵抗

1-7

0.3±0.2＊

1-2

106 以上細管-熱電対間絶縁抵抗

1-検出器本体

6

10 以上

細管-検出器本体絶縁抵抗2-検出器本体

106 以上

熱電対-検出器本体絶縁抵抗

注）＊印抵抗は、検出器呼び口径によって多少抵抗値が異なる場合があります。

コネクターピン番号

8.1 保守用機器
本機の保守には、検出器抵抗測定用デジタルマルチメータなどの測定器が必要となります。尚、保守に用いる測定器については、機器性能を維持管理されたものをご使用ください。

8.2 検出器抵抗チェック
１） サーマルフローメータをすでにお使いの場合は、電源を切ってください。

8.3 検出器抵抗異常時の故障内容について
１） 端子番号2-5の抵抗が∞の場合、熱電対断線または内部配線不良。

● 電源を入れた状態で結線を取り外しますと変換器の故障原因になる恐れがありますので、結線を取り外す場
合は必ず電源を切ってください。
２） 検出器より検出器～変換器間専用ケーブルのコネク
ターを取り外します。

２） 端子番号1-7の抵抗が∞の場合、センサーパイプ破損
または内部配線不良。
３） 端子番号1-2、1-検出器本体および2-検出器本体間の抵抗値が1MΩ以下の場合、熱電対とセンサーパイプ
間および内部配線の絶縁不良。

３） 下記検出器コネクターピン番号間の抵抗をデジタルマ
ルチメータまたはテスターにて測定します。

● 検出器の抵抗チェックを行う場合、なるべく検出器単体でチェック願います。
（専用ケーブルの抵抗を含まないようにしてください。
）
４） チェック終了後、専用ケーブルを接続し電源を投入いたします。
（チェック完了）● 屋外で検出器のチェックを行う場合、検出器端子ボックス内部に雨水がなどがかからないように注意してください。コネクターは防水仕様（オス／メスコネクター
カップリング状態で防水仕様になります）
ですが、コ
ネクター内部に雨水などが浸入いたしますとケーブル
またはコネクターピンの腐食原因になります。

本機が変換器と組み合わせ使用中にトラブルが発生した場
合は、上記検出器抵抗チェックおよび組み合わせ変換器の故障探索に従ってください。

8.4 検出器洗浄
サーマルフローメータの測定原理上、検出器センサーパイ
プ部にダスト・ミストが付着すると指示誤差の原因となるため、センサーパイプ部の洗浄が必要となります。センサー
パイプ部の洗浄方法は、電源OFFおよび管内減圧後、検出器をプロセス配管から取り外しアルコールまたはシンナーなどを浸した柔らかい布で注意深く拭き取ってください。尚、センサーパイプを変形させますと流量特性が変わり、指示誤差が大きくなる可能性がありますのでご注意願います。

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169. 測定原理
１） 測定原理
サーマルフローメータの原理構成を下図に示します。
流速検出部は２本の薄肉細管と熱電対で構成され、熱電対は細管の長さ方向の中心に挿入されています。この流速検出用細管の一方に電流を流しジュール熱で加熱し、他方は加熱せずに流体温度と同じ温度条件にします。この流速検出部を気流中に設置した時、気流の流速は加熱された細管より流体が奪っていく熱量の関数となります。従って、発熱量と放熱量が等しいことから加熱・非加熱細管との温度差を熱電対で計測し、一定の温度差になるよう加熱電力を制御すれば、電力量より気体の流速を求めることができます。
（この計測方法は一般に定温度差法と呼ばれております。
）
温度差ΔT

金属細管

電流Ｉ

２） 動作原理
加熱した金属細管を気流中におくとき、単位時間に金属細管が失う熱量Hは質量流速ρUと加熱された金属細管と気体の温度差ΔTの関数となります。
H ＝（
f ρU・∆T）
一方、金属細管がジュール熱により発生する熱量Wは金
属細管電圧V、電流Iの積の関数です。
W ＝（
f V・I）
金属細管が熱的に平衡状態にあるとき、発熱量と流体によ
りもち去られる熱量は等しいので∆T をサーボアンプにより一定となるようにすれば質量流速ρUは電圧V、電流Iより求められます。
ρU ＝ （f V・I）
流量Qは配管またはダクトの断面積をAとし、平均質量流速をρUとすれば、

金属細管

Q ＝ ρU・Aとなります。

ステー
流速

熱電対

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10. 流速・流量精度について（1）
サーマルフローメータ理論式
１）
流速
（m/s）
の場合
ν
U=A（
）・R2I4
∆T2・λ2・Pr2/3

⑴

3

２）
体積流量
（m /h）の場合
ν
Q=B・K・（）・R2I4
∆T2・λ2・Pr2/3

⑵

3

３）
体積流量
（m /h
（nor）
）
の場合
µ
QNR=C・K・（）・R2I4
∆T2・λ2・Pr2/3

⑶

４）
重量流量
（Kg/h）の場合
Q 重 =D・K・（µ）・R2I4
∆T2・λ2・Pr2/3⑷

ただし、A, B, C, D ：定数
K ：	U M ＝K・U C すなわち配管中心
流速U C 〜管内平均流速U M 間の係数
ν ：動粘性係数µ ：粘性係数∆T ：設定温度差
l ：熱伝導率
Pr ：プラントル数
R ：細管抵抗I ：加熱電流（2）
流速・流量精度について
１）
流速
（m/s）
の場合
流体温度・圧力・成分に依存する物性値影響項は
ν
2
2
2/3
（ ∆T ・λ ・Pr ）となり、流体温度・圧力・成分変動の際は精度に影響します。
また、上記項を流体温度・圧力影響項に分離すると次のよ
うになります。

[{ 0.10133+P }・{ ∆T ・l ・Pr ・r ・ 273 }]0.10133

ただし

2

2

µ

2/3

273+t

0

P ：気体圧力（MPa）
t ：気体温度（℃）
r0 ：0℃、1atm 状態の密度２）
体積流量（m3/h）の場合（使用状況下）
物性値影響項は前記１）と同様となります。なお流量指示の場合、サーマルフローメータが配管内部分流速検出形の流量計であるため、流速分布影響項（K）が精度に影響します。上記流速分布影響項（K）
は十分直管長がある場合、理論上配管内Re数に依存し、直管長が十分ない場合、サーマルフローメータ取り付け前後の配管状況に依存します。
ただし、サーマルフローメータは流量校正時に上記流速分
布影響項（K）を考慮した校正方法を採用しているため十分直管長があれば流速分布影響項（K）を考慮する必要があり
ません。
（nor）
）
の場合
３）
体積流量
（m3/h
µ
物性値影響項は（ ∆T2・λ2・Pr2/3 ）となり、流体圧力影響は無視でき、流体温度・成分変動の際は精度に影響します。
流速分布影響項（K）については上記２）と同様です。
４）
重量流量（kg/h）の場合
上記３）と同様です。

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