光アイソレータ用単結晶 TSLAG
独立行政法人物質・材料研究機構

ガルシア・ビジョラ 1 ･ 島

環 境・ エ ネ ル ギ ー 研 究 所

船木秋

晴3 ･ 蒲山史2村清

和紀3 ･ 木嵜剛志4TSLAG single crystal for optical isolator
E. G. Víllora, K. Shimamura, A. Funaki, K. Kabayama, and T. Kizaki
高出力パルスファイバレーザには，加工対象物からの反射戻り光を遮断して光源の安定化を図る光アイソレータが搭載されている．光アイソレータにはファラデー回転子と呼ばれる光学結晶が必要となり，これまでは波長 1 µm 帯において Tb 3 Ga 5 O 12（TGG）単結晶が広く用いられていた．TGG よりも光学特性に優れ，育成が容易である Tb（Sc，Lu）
32 Al 3 O 12（TSLAG）単結晶を開発し，さらに量産化のためにより大型かつ高品質となる結晶育成技術を構築した．

An optical isolator is used for high power pulsed fiber lasers to block out reflection light from workpieces.
Currently, Tb 3 Ga 5 O 12 (TGG) single crystals are widely used for Faraday rotator at 1 µm wavelength. We developed Tb 3 (Sc,Lu) 2 Al 3 O 12 (TSLAG) single crystals which have good optical properties and are easy to grow. Furthermore, we acquired growth method of large size and high quality crystal for industrialization.

1．まえがを搭載した光アイソレータの製品化に成功した 4）．本稿

きでは TSLAG の光学特性と工業化に際し検討した結晶の大型化および高品質化について述べる．

近年マーキング等に使用されるレーザ加工機の普及が進んでおり，その中で高出力化の要求が高まっている．
レーザの高出力化に伴い，戻り光を遮断する役割を持つ

2．TSLAG 結晶の育成と評価および課題

光アイソレータがますます重要となってきている．光ア
イソレータの原理は，磁場中に配置したファラデー回転子と呼ばれる素子に直線偏光を入射することで偏光面をTSLAG はガーネット構造を取るが，ガーネット結晶回転させるファラデー効果を利用したものであり，磁性の 組 成 式 は {C 3［A} 2］（D3）O 12と 表 さ れ，TSLAG は Tb 3

ガラスやガーネット単結晶などが用いられている．例え（Sc， Lu）2 Al 3 O 12 となる．Lu が主に Sc と置換すること

ば通信用波長域（1.5 µm）アイソレータには Y 3 Fe 5 O 12でイオン半径のバランスが改善され大きな結晶育成が容（YIG）等の鉄系磁性ガーネットが広く使用されている易になると考えられる．

が，YIG は 高 出 力 フ ァ イ バ レ ー ザ に 使 用 さ れ る 波 長

TSLAG は チ ョ ク ラ ル ス キ ー 法（Czochralski 法，CZ

1 µm 帯 に お い て は 吸 収 が 大 き く 使 用 で き な い． よ っ法 ） に て 育 成 を 行 っ た． 出 発 原 料 に は 純 度 4 N のて，波長 1 µm 帯域では一般的に Tb 3 Ga 5 O 12（TGG）がTb 4 O 7，Sc 2 O 3，Al 2 O 3，Lu 2 O 3 を 用 い た．そ の 結 果， 小 型

使用されている 1）．しかし TGG はファラデー回転角不の場合，クラックの無い結晶が容易に得られた．

足，酸化ガリウムの蒸発などにより結晶育成が比較的困

ファラデー回転子に要求される特性としては透過率，難，非常に高価などの問題点も指摘されており，代替品ベルデ定数，消光比，生産性が特に重要であり，それぞの開発が望まれていた．TGG よりも優れたベルデ定数をれ挿入損失，小型化，アイソレーション，コストに直接持つ Tb 3 Al 5 O 12 （TAG） が報告されているが，インコン影響する．育成した結晶から光学測定用サンプルを切出グルエント組成のため大きな結晶を得る事ができない問

し，透過率を測定した結果を図 1 に示す．測定波長全2），
3）．そこで我々は TAG の一部を ScとLu で置域で TGG と同等以上の透過率を持つことが分かったが，換した Tb（Sc，Lu）2 Al 3 O 12（TSLAG）を開発し，TSLAG
3

特に可視光領域においてその差は顕著であるため，今後題がある

幅広い波長域での応用が考えられる．
1234

図 2 にはベルデ定数の測定結果を示す．このグラフ光・電子材料ユニット光学単結晶グループ 主任研究員（理学博士）
光・電子材料ユニット光学単結晶グループ グループリーダー（理学博士）
先進技術研究部
先進技術研究部 グループ長

では TGG のベルデ定数を 1 としたときの相対値となっており，測定波長全域において TGG の 1.2 〜 1.3 倍であ332014 Vol. 2

フ ジ ク ラ 技

略語・専門用語リスト
略語 ･ 専門用語

正式表記

報第 127 号

説 明

ファラデー回転子媒質に磁界を印加したとき，この媒質に直線偏光が通過する と， 磁 界 の 強 さ に 応 じ て 偏 光 面・ 振 動 面 が 回 転 す る（ファラデー効果）．このファラデー効果を積極的に発現させ，光・磁気デバイスに活用する媒質（物質）．

ベルデ定数

ファラデー回転子の光路長を L，回転子に印加する磁界をH，回転子に生じる偏光回転角をθとしたとき，
V = θ /L・H
で示されるファラデー回転子（物質）固有の比例定数．

CZ 法

チョクラルスキー法，Czochralski 法

消光比

融液からの単結晶育成方法のひとつ．引き上げ法とも呼ばれ，大型結晶を育成することができる．
直線偏光を入射した素子から出射される，2 つの直交する偏光成分の比率を示す．数値が高いほどアイソレータとして戻り光を遮断する能力が高くなる．に搭載する素子を切り出す際にこのコア部近傍を避けなることが確認された．
このように光学特性に優れる TSLAG 単結晶ではあるがら加工する必要があった．そのため，小さいサイズのが，工業化に当たり課題があった．一般にガーネット単TSLAG 結晶からはわずかの素子しか切り出す事ができ結晶を所定の結晶方位に合わせて引き上げる場合，結晶ず，コストと安定供給の面から工業化には結晶の大型化中心にコアと呼ばれる部分が形成される．コアは引き上が必要であった．

げ時に結晶中心とそれ以外での成長方式が異なることに起因するが，コア部とその周囲で格子定数がわずかに変3．TSLAG 結 晶 の 大 型 化化することによりコア部近傍では強い内部歪みを生じる．TSLAG にもこのコアが存在するため，アイソレータ特性に優れる TSLAG 結晶を低コストかつ安定して供給するため，結晶の大型化を試みた．結晶の大型化に伴い，

100

育成中や冷却中にクラックが発生しやすくなった．そこ

可視領域で炉内の温度条件を改善して育成中における結晶内部の80
透過率

熱応力を小さくした．また ADC（自動結晶径制御）のパ60（％）

ラメータの最適化により結晶径を精微に制御できるようTGG
TSLAG40にした．その結果，従来の 2 倍の直径においても，再現性よく育成することができるようになった．大型化に成功した結晶を図 3 に示す．

2003005007009001000

13001500

4．結 晶 の 高 品 質 化

波長（nm）

高出力ファイバレーザ用のファラデー回転子には高い

図 1 TSLAG と TGG の透過率
Fig. 1. Transmittance spectrum of TSLAG and TGG.

消光比が要求される．消光比とは直線偏光が結晶を通過するときに発生する他の偏光成分との比率であり，アイ1.4
ベルデ定数比ソレータの戻り光遮断能力に大きく関わるパラメータで

1.2

TSLAG
TGG1（TGG=1）
0.83005007009001100

1300

波長（nm）

図 2 ファラデー回転角の測定結果（TGG を 1 とした場合の相対比較）
Fig. 2. Faraday rotation angle ratio of TSLAG and TGG（TGG value is 1）．

図 3 大型 TSLAG 単結晶
Fig. 3. TSLAG single crystal.

34

光アイソレータ用単結晶 TSLAG

消光比（dB）

12

図6結晶径

図 4 結晶径と消光比の相関（結晶径は従来のものを 1 とする）
Fig. 4. Relation of crystal size to extinction ratio.

従来TSLAG ロッドの加工例
Fig. 6. TSLAG rods.

図 6 は結晶から切出し加工したロッドの写真である．
TSLAG は加工性も良好であり，高い量産歩留まりにより大型化後製品化を達成することができた．

5．む
0.2 mmすび

光アイソレータ用ファラデー回転子として開発した0.2 mm

TSLAG 単結晶は現在広く使用されている TGG と比較して優れた光学特性を有しており，TSLAG のサイズアップ

図 5 {111} 面におけるエッチピット写真
Fig. 5. Etch pits on a {111} surface.

を図り種々の条件を調整したところ従来の 2 倍の直径となる結晶が安定して得られるようになった．結晶を大型ある．また消光比は結晶内部の応力と相関があり，内部化することにより内部応力が減少し消光比が向上するこ

応力が小さいほど消光比が良好となる．結晶径と消光比とが明らかになった．の相関を図 4 に示す．サンプルの切り出し位置により数値にバラつきはあるものの，結晶径が大きいほど消光比参が良くなる傾向が見られた．

考文

献

次に各サイズの結晶から板材を切出して鏡面研磨を行

1） M. Y. A. Raja et al .:“Room - temperature inverse Faraday

い，強リン酸によるエッチングを行った．エッチング後のeffect in terbium gallium garnet”, Appl. Phys. Lett. , 67,

写真を図 5 に示す．従来結晶では結晶内部の転位に対応

P.2123 - 2125, 1995

23したエッチピットが多数観察され，転位密度は 10 〜 10 /2） S. Ganschow et al. :“On the Crystallization of Terbium

cm 2 であった．一方大型化した結晶ではほぼエッチピット

Aluminium Garnet”, Cryst. Res. Technol., 34, P.615 - 619,2は観察されず転位密度は 10 /cm 以下であった．

1999

太径化により消光比が向上したことから結晶内部の応

3） M
 . Geho et al .: “Growth of terbium aluminum garnet

力が緩和されたと考えられる．またこれは転位密度の減（Tb3Al5O12；TAG） single crystals by the hybrid laser

少からもわかる．内部応力が減少した要因として，一つfloatingzone machine”, J. Cryst. Growth 267, P.188 - 193,は結晶中心に存在するコアの影響が少ない領域が増えた2004

ことが挙げられる．もう一つは大型化により結晶内の温4） 大 道浩児ほか：「パルスファイバレーザ用光アイソレー度勾配が緩くなったためであると考えられる．

タ」, フジクラ技報 , 第 126 号 , P.22 - 24, 201435