遮熱コーティング技術の開発
松 本 一 秀
川 岸 京 子原 田 広 史1)
2)
3)

散浸透処理法の一つであるパック拡散浸透処理によるアルミ

.

は じめに

ナイジングは，ハロゲン化アルミニウムを Ni 基超合金表面で化学反応させ， b NiAl を主体としたコーティング皮膜を近年，エネルギー資源の節約や CO2 削減による地球温暖形成する方法である．また 5 ～ 10 mm 厚の Pt メッキ処理と化防止などの観点から，発電やジェットエンジンなどに用い組み合わせる Pt Al 拡散浸透処理は，アルミナイジングのるガスタービン機関の効率向上が重要課題となっている．こ

耐酸化性と寿命を改善することができる．このパック拡散浸れらの効率向上にはタービン入口ガス温度( TurbineInlet

透処理は，動静翼の冷却孔内面にもコーティング可能な方法

Temperature: TIT)の高温化が最も有効である．民間航空機であることから，現在でも適用されている．しかし高強度超用エンジンの離陸時の TIT は 1500°
Cを超えているが，今後合金開発の発展に伴い，合金中の高温強度向上に効果の少な一層の高温化，高効率化が必要となる．高効率エンジンの設い Cr 濃度は減少傾向を示し，硫化腐食に対する抵抗が低下計の際， CO2 削減という環境面に加えて経済的にも重要なし始め， Cr のパック拡散浸透処理による表面リザーバー層因子となるのがエンジンの燃料消費効率(Specific Fuel Con-のみでは対処が困難となった． Cr パック拡散浸透処理によsumption: SFC)である．昨今の燃料費高騰を受けて SFC 向る耐腐食性は，約 750°C以下においてクロミア Cr2O3 が比較上は非常に重要となっており，このためにも TIT の上昇が的不活性のため達成されるが，750°Cを超えるとクロミアは求められている．一方，日本における発電分野においては，解離し，被覆表面からの CrO3 ガスの発散，続いて酸化物ス

2011 年 3 月 11 日に発生した東日本大震災の原子力発電所のケールの剥離を生じる．タービンの高温化に伴う硫化腐食や事故により，火力発電プラントへの依存度が格段に高まって高温酸化の環境変化に対して，拡散浸透処理では処理元素がきた．さらに CO2 削減に寄与するためにも， 1700 °C 級高効限定されるため， 1960 年頃には基材の組成に制約されず，率複合発電ガスタービンの開発と普及が期待されている．

かつタービンの様々な要求に応えることができる MCrAlXTIT の高温化には，タービンに用いられる Ni 基超合金の耐合金が開発され，オーバーレイコーティングとして使用され用温度向上に向けた研究と耐酸化・耐食コーティングの適用るようになった． M は Ni, Co などの基本構成成分， Cr とが必須となっている．

Al は基材表面に保護性の高い酸化皮膜を形成する成分，元

本稿では，コーティング技術の開発経緯および遮熱コーテ

素 X は Y, Hf, Si, Ta などの成分であり，Y と Hf(1)は酸化物

ィング(Thermal Barrier Coating: TBC)における最近の研究

スケールの密着性向上， Si(2)(3) と Ta(4)(5) は繰返し酸化特性について述べる．

を改善する効果を有している．
更に TIT の高温化が進むに伴い，TBC が開発されてきた．

.

コーティング技術の開発経緯

TBC は翼基材に耐酸化性を有する金属ボンドコートと低熱伝 導 率の セ ラ ミッ ク トッ プ コ ート の 2 層構 成 とな っ て お1950 年代には高温酸化や硫化腐食によるタービン翼の肉り，その機能は燃焼ガスから翼への熱流束を低減して翼基材厚減少を防ぐための溶融 Al めっきと，基材表面に数 mm 厚の温度上昇を抑制することであり，その分だけ TIT の高温さの Al や Cr の高濃度領域(リザーバー層)を作り，これに化を図ることができる．図に TBC の概念図を示す．

より保護性酸化膜を形成する拡散浸透処理が適用された．拡TBC は 1963 年に Pratt & Whitny 社がフレーム溶射によ

独 物質・材料研究機構 環境・エネルギー材料部門(〒3050047 つくば市千現 121)1)NIMS 特別研究員 2)主任研究員 3)NIMS 招聘研究員
Development of Thermal Barrier Coating Technology; Kazuhide Matsumoto, Kyoko Kawagishi and Hiroshi Harada(Environment andEnergy Materials Division, National Institute for Materials Science, Tsukuba)
Keywords: thermal barrier coating, electron beam physical vapor deposition, plasma spraying, ceramic top coating, equilibrium bond coating
2013年 3 月19日受理[doi:10.2320/materia.52.469]

ま て り あ 第52巻 第10号(2013)
Materia Japan図1

図2

遮熱コーティングの概念図．

EBPVD によるトップコートの組織．

り NiAl ボンドコートと 22 mass  MgO ZrO2 セラミックト

セラミックトップコートのコーティングプロセスは，現在，ップコートをエンジンの燃焼器に適用したのが始まりであAPS と電子ビーム物理蒸着(Electron BeamPhysical Vapor

る(6) ．この後， 1970 年代にタービン部品に使われ， 1980 年

Deposition:

代にトップコートのセラミックスとしてイットリア部分安定るトップコートの組織は図に示すように柱状晶となるたEBPVD)が主流となっている．EBPVD によ化ジルコニア(78 massY2O3ZrO2YSZ)が適用されて以め，加熱・冷却による熱応力緩和作用に優れており， 1980

来(7) ， 30 年間その低熱伝導率，結晶の安定性および高靭性

年代初頭に熱・機械的特性が高く要求される航空機エンジンを有することから広くスタンダードの材料として使われてき翼で成功を収めて以来，広く受け入れられてきた．表に世て い る ． TBC を 施 し た 翼 で は 通 常 ， 翼 表 面 に TBC を 施界における EBPVD 技術の状況を示す．EBPVD 装置は日し，さらに内部から空冷あるいは蒸気冷却することによって本では 3 台しかないが，欧米では大型の生産装置が稼動しメタル温度を調節し，融点以上の温度のガス流中で使用されている． APS によるトップコートは，その経済性と大型部るようになっている．現在使用されている Ni 基超合金の耐品への適用が可能な事から，発電用ガスタービンで使われて用温度は約 1050 °
C である． TIT が 1500 °C の環境下では，冷いる．

却技術と TBC によって基材温度をこの温度以下にまで下げ，タービン翼の機械的強度の低下を防がねばならない．現.

TBC の金属ボンドコート開発

在の TBC では，コーティング部分のみで100～200°Cの遮熱効果が期待されている．冷却技術および TBC 技術は超合金超合金基材上に施工される金属ボンドコートは，それ単体自体の耐用温度を超えたガス温度中での使用を可能にする重で耐酸化コーティングとして用いられる場合もあり，多くの要な技術であり，次世代 Ni 基超合金の開発とともに，さら特性が要求される重要な部材である．この材料に必要な特性なる開発が期待される分野である．

は，高温での繰返し酸化に対する耐酸化性，硫化腐食に対す

TBC における金属ボンドコートには，翼基材の耐酸化性る耐腐食性以外に熱応力に対する抵抗があること，基材の変や耐腐食性を向上させ，さらにセラミックトップコートとの形に対してクラックを発生しない程度の延性を持つこと，基密着性を確保することが要求されるが，1970年代に Pt を電材の機械的特性を劣化させないことが挙げられる．

気めっきした後にアルミナイズ処理を施す Pt Al の拡散浸

金属ボンドコートの問題点の一つとして，コーティング層透処理に始まり，CoCrAlY, CoNiCrAlY, NiCoCrAlY などのと Ni 基超合金基材の相互拡散による部材劣化がある． Re

MCrAlY 合金がプラズマ溶射で施工されるようになってき

な ど の 高 融 点 金 属 を 多 く 含 む 単 結 晶 超 合 金 に ， Pt Al やた(8)(9)．

MCrAlY の耐酸化コーティングを適用すると，高温におい溶射装置は 1910 年頃に初めて開発され， 1959 年にはプラてコーティングと基材間での元素の相互拡散に起因する二次Pres-反応層(Secondary Reaction Zone, SRZ)が生成し，脆弱な組

sure Plasma Spray: LPPS)が発表された．プラズマ溶射プロ

織 で あ る SRZ は 基 材 の ク リ ー プ 強 度 の 低 下 を も た ら

セスには LPPS の他，大気プラズマ溶射(Air Plasma Spray:す(10)(11)．図に，1100°Cで300時間加熱した後の(a)アルミAPS ) ， 高 速 ガ ス 炎 溶 射 ( HighFuel:

ナイズコーティングと(b)CoNiCrAlY コーティングの基材とHVOF)等があり，使用環境や経済性により使い分けられての界面における断面観察写真を示す(18) ．基材はそれぞれいる．

NIMS 開 発 の 第 4 世 代 Ni 基 超 合 金 の TMS 138 お よ び

ズマトーチの製作，1979年に減圧プラズマ溶射(Low

Velocity

Oxygen

最近の研究

表1

世界における EBPVD 装置・技術の状況．

開発国/メーカ，研究所
アメリカP & W(Aircraft)アメリカGE(Aircraft Engines)
アメリカPraxair Surface Technologies
アメリカAlcoa Howmet
アメリカペンシルバニア州立大学 ARL
アメリカTACR 社(旧クロマロイ)
アメリカHoneywell
イギリスTACR 社(旧クロマロイ)
オランダInterturbine 社
ドイツALD(旧ライボルト)社
ドイツアルデンヌ社
ドイツDLR(German Aerospace Research)
ドイツSIEMENS・WestinghouseフランスCeramic Coating Center
オランダInterturbine 社
ポーランドRzeszow University of Technology
ウクライナパトン溶接研究所
ウクライナP & WPATON Joint Research Center
シンガポールPraxair Surface Technologies
日本東芝
日本JFCC
日本NIMS

図3

内容

独自のプロセスを開発し，これを SPEC としている
独自のプロセスを開発し，これを SPEC としている
大型装置 4 台を所有，GE にセラミックコーティング翼を供給
大型装置を所有
パトン溶接研究所と契約し，装置とプロセスを開発
EBPVD の最大 Job Shop
大型装置を所有 コーティング翼の補修
R & R のジェットエンジン，GT 高温部品の製造・補修
GT 補修 Job Shop
大型 EB
PVD 装置メーカ
大型，小型 EBPVD 装置メーカ(電子銃に実績あり)
EBPVD 技術開発(長年の実績あり)
170 MW model V84.3A(1300°C 級)第 1 段動静翼に適用
大型生産装置所有，MTU Aero Engines & Snecma JV
GT 補修 Job Shop
ALD 製小型装置(SMART)
EBPVD 装置を開発(シンプルで低コストの装置)
コーティング材，施工，装置販売
大型装置 3 台を所有，GE にセラミックコーティング翼を供給
小型実験装置でハフニア TBC を開発
アルデンヌ社 EB
PVD 装置(TUBA150)で技術開発
独自 EB
PVD 装置(低コスト，基材加熱・ルツボに特徴)

1100°
C，300時間熱処理後の断面組織．

TMS 138A である．ともにコーティングと基材の界面にカーケンダールボイドと厚い拡散層(Primary Diffusion Zone,PDZ)が観察され，白い針状の有害相が大量に析出する SRZ

図4

単結晶 Ni 基超合金の組織．

が厚く生成している．この SRZ は高温保持時間と共に厚くなり，1100°C，1000時間では200 mm 近くに及ぶと推定されーティングを開発した(17)(20) ．図に示すように単結晶 Niる．脆弱な SRZ は，高温環境下において荷重を負担できず基超合金は，マトリックスである g 相中に g ′相が規則的に強度低下を引き起こし，翼基材の有効断面積が減少する．特析出した 2 相組織を有する．図に(Ni, X )(Al, Y )系擬二に 1 mm 以下の薄肉中空翼では，長時間使用に当たって基材元系平衡状態図を示す． Ni 基超合金基材の組成を S とするの有効断面積が減少することになる．また使用済みタービンと，使用温度における g 相， g ′相の組成はそれぞれ A, B で翼の再利用に際しては，生成した SRZ を取り除く必要があ表すことができる．このタイライン上の任意の合金組成を Cるため，再コーティングによる再生も 1 回あるいは 2 回なとすると，合金 A, B, C はいずれも基材 S と熱力学的に平どに限定される．この SRZ の生成を防ぐために，いくつか衡である．つまり，基材 S と合金 A, B, C の間には拡散のの技術が提案されている(12)(16) ．しかしこれらの提案は，駆動力となる合金元素の化学ポテンシャルの差がない．した基材およびコーティング中の合金元素の化学ポテンシャルのがって，合金 A, B, C をコーティングとして用いれば，基材差が存在するため，内部拡散を本質的に防ぐものではなく，とコーティング間に相互拡散は理論上起こらない．

高温化での長時間使用においては最終的に劣化を避けられな

この知見を基に，原理確認試験を行った結果を図に示い．またプロセスの複雑化も工業的に問題になると考えられす．第 2 世代 Ni 基単結晶超合金 TMS82＋に，合金設計でる．

組 成 を 決 定 し た EQ ボ ン ド コ ー ト を 施 工 し た 試 料 で は ，筆者らは，このような問題点を解決する方法として， Ni

1100°
C，300時間加熱後も拡散層をほとんど生じず，SRZ の基超合金基材と熱力学的平衡( Equilibrium, EQ )する EQ コ発生がないことを確認することができた(17) ．既存のボンド

ま て り あ 第52巻 第10号(2013)
Materia Japan図7
図5

大気プラズマ溶射による YSZ トップコート．

擬二元系状態図．

熱伝導率のセラミックトップコートからなる TBC は，今後とも標準システムであると考えられる． YSZ は正方晶 ZrO2が Y2O3 により部分安定化され，強度，破壊靭性，熱サイクル抵抗に優れた材料である．発電用ガスタービンの大型翼へのトップコートの製造プロセスは主に APS を使用している．図に APS により施工した YSZ トップコートの断面を 示す ．ボ ンド コー トは LPPS 施 工 NiCoCrAlY で ある ．
APS 施工のトップコート組織の特徴は，溶融した酸化物が密に積層し，気孔や微小クラックを多く含む．これらの気孔や微小クラックは熱応力の分散を助けるが，腐食性ガスのパ
図6

原理確認試験結果．

スを伴ってコーティングを劣化させる．しかし気孔率の低い密な溶射を行った場合は，ボンドコートを含めた金属基材との熱膨張率の差が大きくなり，熱サイクル負荷によって残留コート材(図 6(a))では100 mm 以上の拡散層を形成している応力が発生し，コーティングのはく離を生じる．この問題をことと比較すると EQ コーティングは格段の安定性を有する

解決するために，近年溶射トップコート中にコーティング表ことがわかる． Re を含む第 4 世代 TMS 138A および第 5面と垂直方向にセグメント・クラックを導入し，熱応力を緩世代 TMS196基材に EQ コーティングを適用した場合も，和させる試みがなされている(22) ．しかしこの技術には溶射SRZ の形成は観察されなかった(18)(19)．また，図 5 に示すよ中の基材温度制御が重要であり，クラック密度の制御が困難

相は合金自体よりも耐酸化性にうに， Al をより多く含む g′である．

優れているので，耐酸化コーティングとして機能する．さら

溶射とともに近年多く実用化されている EBPVD は，皮に Al 量の多い b 相を，同様に EQ コーティングとして用い膜の結晶制御性に優れ，セラミックを基材表面に垂直で互いることが可能であることもわかった(20) ． EQ ボンドコートに独立した微細柱状晶群として成長させることが可能であを適用した TBC システムは，熱サイクルによる剥離メカニる．図に示す EBPVD 装置は NIMS が独自に開発した装ズムが従来の NiCoCrAlY ボンドコートとは異なり，加熱に コーティングチャンバー内に置である．本装置の特徴は，よる凹凸変形が生じないことが実験的に明らかとなった(21)．

30 kW カーボンヒータを 3 セット設置しており，コーティ

この EQ ボンドコート TBC は，基材に適合したボンドコ

 セラミックイ
ング中の基材温度を精密に制御できること，ート組成を用いることにより，発電やジェットエンジン等のンゴットを載せるルツボは左右回転および上下駆動ができ，実翼に十分適用可能と考えている．さらに，高価なタービン安定したインゴットからの蒸発および開発段階の不定形イン翼のコーティングの寿命が延長されるだけでなく，再コーテ

ゴットでも使用可能なことであり，長さ 350 mm までの発ィングが繰り返し可能になれば，資源と修理点検費用の削減

電用ガスタービン動翼にコーティングすることができという大きなメリットを持つと期待している．

る(23)．図は YSZ をコーティングした発電用第一段ガスタービン動翼である．図に YSZ トップコートを EB PVD.
TBC のセラミックトップコート開発

トップコートの成膜技術

Ni 基超合金材に耐酸化性を有する金属ボンドコートと低で施工した TBC の断面組織を示す．ボンドコートは LPPS
施工 EQ コーティング，基材は TMS138A である．それぞれの柱状晶は基材と強く結合しているが柱状晶間の結合は弱く，この柱状晶同士の間隙により基材合金およびボンド層と最近の研究

図8

NIMS 開発の EBPVD 装置．

図 10YSZ トップコートを EB PVD で施工した TBCの断面組織．

表面に付着する粉塵や火山灰等による耐久性向上がある．最近では TIT の高温化に加え，ライフサイクルコストの低減も求められてきている．これらの課題を解決するため，ジルコニア系酸化物の開発や全く新しい酸化物の探索，ポア組織制御，多層構造，プロセス改良などが精力的に行われている．例えば，低熱伝導率と高温安定性を目指した Dy2O3 ZrO2 系や Y2O3HfO2系(26)，耐食性や粉塵・火山灰の対策とし て Gd2Zr2O7 系 や La2Hf2O7 ， そ の 他 CeO2 ZrO2 系(27) ，Gd2O3 ZrO2 系(28) ， La2O3 ZrO2 系(29) ， Sm2Zr2O7 など多くの酸化物が溶射あるいは EBPVD によりトップコートとし
図9YSZ コーティング発電用第一段動翼．て施工され，熱サイクル耐久性や機械的特性，耐腐食性等について評価が行われている．

.

セラミックコーティング層との熱膨張率の差による応力を緩まとめ和することができる．しかし，異方性を持った構造は表面と垂直方向の熱伝導率を高くするという問題を持つ．この点を金属コーティングである拡散コーティング，オーバーレイ解決するために，蒸着条件を制御することによってボンドココーティング，さらにセラミックスを用いた TBC システムート層界面近傍での柱状晶密度を大きくする，また柱状晶をと発展していくに伴い，翼基材の耐用温度と寿命は向上して基材と垂直方向に直線的ではなくジグザグ曲げる「杉綾模様」

きた．また各コーティングにおいても微量元素添加や不純物のような組織を作る(24) ことで，熱伝導率を下げる試みが行の排除，組成の最適化などが行われている．しかしボンドコわれている．

ート，トップコートはそれぞれ単独の特性のみが重要なので



セラミックトップコート材料探索はなく，基材/ボンドコート/トップコートの組み合わせによって界面での反応や応力の発生等が異なるため，系全体の設TIT の高温化が更に進展するに従い， TBC 表面温度が計を行うことが今後求められる． Re などを含む先進 Ni 基

1200 °
C を超えると焼結の発生や相安定性が劣化し，熱伝導超合金では，従来型のコーティングにはなかった SRZ 等の率の増加，クラック発生，TBC の剥離等が生じてくる(25)．

問題が発生するため，それぞれの合金に即したコーティング 低熱伝導率化，

セラミックトップコートの開発課題は，の開発が必要となってくる． TBC も材料の使用条件に即し 耐エロージョン性向上，
 耐焼結性
高温下での相安定性，

たコーティングシステムとして最適な構造を構築することが ボンドコートとの熱膨張差の低減，さらにエンジン向上，望ましい．

特有の現象であるが，火山灰等には CMAS(Ca, Mg, Al, Si等の酸化物)と呼ばれる物質が含まれており，高温での運転

文

献中に CMAS が溶融してコーティング層に浸透し，コーティ
 トップコート
ングの劣化や剥離を引き起こす．このため，

ま て り あ 第52巻 第10号(2013)
Materia Japan( 1 ) I. M. Allam, D. P. Whittle and J. Stringer: Oxidation of Metals,

12(1978), 3566.
( 2 ) A. R. Nicoll and G. Wahl: Thin Solid Films, 95(1982), 2134.
( 3 ) K. Shirvani, M. Saremi, A. Nishikata and T. Tsuru: Materials
Science Forum, 461464(2004), 335342.
( 4 ) S. W. Yang: Oxidation of Metals, 15(1981), 375397.
( 5 ) K. Kawagishi, A. Sato, A. Sato, T. Kobayashi and H. Harada:
Materials Science Forum, 522523(2006), 317322.
( 6 ) S. Bose, J. DeMasiMarcin: J. of Therm. Spray Technol., 6(1997), 99104.
( 7 ) N. P. Anderson and K. D. Sheffler: NASA, Contract NAS3
22548, September (1983), 1102.
( 8 ) G. W. Goward: Surface & Coating Technology, 108109(1998), 7379.
( 9 ) H. L. Bernstein: Proceedings of the 28th Turbomachinery
Sympo., (1999), 179188.
(10) W. S. Walston, J. C. Schaeffer and W. H. Murphy: Superalloys
1996, (TMS1996), 918.
(11) O. Lavigne, C. Ramusat, S. Drawin, P. Caron, D. Boivin and J.
L. Pouchou: Superalloys 2004, (TMS2004), 667675.
(12) I. E. Locci, R. A. Mackay, A. Grag and F. J. Ritzert: NASA/TM2004212920, March (2004), 123.
(13) Y. Matsuoka, Y. Aoki, K. Matsumoto, A. Sato, T. Suzuki, K.
Chikugo and K. Murakami: Superalloy 2004, (TMS2004),
637642.
(14) T. Narita, S. Hayashi, H. Yukawa, M. Noguchi and M. Miyasaka: U. S. Patent 6830827 (2004).
(15) I. T. Spitzberg, R. Darolia, M. R. Jackson, J. C. Zhao and J. C.
Schaeffer: U. S. Patent 6306524 (2001).
(16) R. G. Wing: U. S. Patent 6080246 (2000).
(17) A. Sato, K. Kawagishi and H. Harada: Met. Mat. Trans. A, 37(2006), 789791.
( 18 ) 川岸京子，佐藤彰洋，松本一秀，小林敏治，原田広史，青木祥宏，荒井幹也日本金属学会誌，71(2007), 226
232.
(19) K. Kawagishi, A. Sato and H. Harada: JOM, 7(2008), 31
35.
(20) 川岸京子，佐藤彰洋，原田広史日本金属学会誌，70(2006),
188191.
(21) J. J. Lian, K. Matsumoto, K. Kawagishi and H. Harada: Surface & Coating Technology, 207(2012), 413420.
(22) H. B. Guo, R. Vassen and D. Stover: Surface & Coatings Technology, 186(2004), 353363.
( 23 ) 松本一秀，川岸京子，原田広史日本ガスタービン学会誌，35(2007), 6469.
(24) M. F. J. Koolloos and G. Marijnissen: Proceedings of TurboMat: International Symposium on Thermal Barrier Coatings
and Titanium Aluminides, Cologne, (2002) 1821.
(25) 伊藤義康，高橋雅士，岡村隆成，永田晃則材料，47(1998),
672677.
(26) K. Matsumoto, Y. Itoh and T. Kameda: Science and Technology of Advanced Materials, 4(2003), 153158.
(27) U. Schulz, K. Fritscher and M. Peters: Surface & CoatingTechnology, 82(1996), 259269.
(28) R. M. Leckie, S. Kr äamer, M. R äuhle and C. G. Levi: ActaMaterialia, 53(2005), 32813292.
(29) 松本峰明，山口哲央，松原秀彰日本金属学会誌，69(2005),
4347.

略号

APS: air plasma spray 大気プラズマ溶射EBPVD: electron beamphysical vapor deposition 電子ビー

ム物理蒸着
EQ: equalibrium 熱力学的平衡
HVOF: high velocity oxygen fuel 高速ガス炎溶射
LPPS: low pressure plasma spray 減圧プラズマ溶射PDZ: primary diffusion zone 拡散層
SFC: specific fuel consumption 燃料消費効率
SRZ: secondary reaction zone 二次反応層
TBC: thermal barrier coating 遮熱コーティング
TIT: turbine inlet temperature タービン入口ガス温度
YSZ: 78 massY2O3ZrO2 イットリア部分安定化ジルコニア★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★
松本一秀
1970年 九州大学大学院鉄鋼冶金科修士課程卒業
株 入社
同年 東京芝浦電気
株 東芝 定年退職
2004年 独 物質・材料研究機構 NIMS 特別研究員
同年 
現在に至る
専門分野コーティングや表面改質技術に関する技術開発およびこれらに関する装置開発◎EBPVD(電子ビーム物理蒸着)装置開発やこれを用いた遮熱コーティング開発に従事．

★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★

松本一秀

川岸京子

原田広史

最近の研究