SRT1000 シリーズ
サーマルフローメータ
IM-F2020-J08

取扱説明書［ファームウェア Ver. SRT1027］
9 版 2022 07 E
初版 2012 08 E

＜目

次＞

SRT1000 シリーズ
サーマルフローメータ

目 次

はじめにお読みください 本書で使用しているマークについて ............................................................................................................ Ⅰ 一般的な注意事項 ......................................................................................................................................... Ⅰ 電気的接続について ..................................................................................................................................... Ⅱ 材質について ................................................................................................................................................ Ⅱ ガラス、樹脂を使用している製品について ................................................................................................. Ⅱ 防爆仕様で納入された製品について ............................................................................................................ Ⅲ 保守、点検について ..................................................................................................................................... Ⅲ

1. 取り扱い上の注意事項.......................................... 1

5. 運転 ..................................................................... 16

1.1 形式と仕様確認......................................................... 1

5.1 運転の前に.............................................................. 16

1.2 運搬についての注意事項 .......................................... 1

5.2 運転......................................................................... 16

1.3 保管についての注意事項 .......................................... 1

5.3 出力......................................................................... 16

1.4 設置場所.................................................................... 2

5.4 測定モード.............................................................. 16

1.5 安全上のご注意......................................................... 2

5.5 測定上の注意 .......................................................... 16

2. 設置 ....................................................................... 3

5.6 設定パラメータ ...................................................... 17

2.1 設置場所の選定......................................................... 3

6 .設定 ...................................................................... 17

2.2 検出器の取付 ............................................................ 3

6.1 基本的なキー操作................................................... 17

2.2.1 配管取付 ............................................................... 3

6.2 パラメータの設定................................................... 18

2.3 配管への取付 SRT1100 シリーズ(挿入形) ............... 5

6.2.1 測定流体 ............................................................. 18

2.4 配管からの取外し ..................................................... 6

6.2.2 流量単位 ............................................................. 18

2.5 挿入長可変タイプ(SRT1400) ................................... 7

6.2.3 瞬時流量のフルスケール流量 ............................ 19

2.6 変換器設置方法......................................................... 8

6.2.4 瞬時流量表示の小数点 ....................................... 19

2.7 必要直管長 ................................................................ 9

6.2.5 積算流量表示の小数点・乗数 ............................ 19

3. 配線 ..................................................................... 10
3.1 変換器の配線 ..........................................................10
3.1.1 配線上の注意 ...................................................... 10
3.1.2 センサー入力 ...................................................... 11
3.1.3 電源 .................................................................... 11
3.1.4 分離型用ケーブル............................................... 11

3.2 端子台詳細 ..............................................................13
3.3 センサーリードの結線............................................143.3.1 センサー部の結線............................................... 14

6.2.6 上限警報 ............................................................. 20
6.2.7 下限警報 ............................................................. 20
6.2.8 ヒステリシス ...................................................... 20
6.2.9 ローカットオフ .................................................. 21
6.2.10 パルスドロップアウト ..................................... 21
6.2.11 圧力補正とフィルター ..................................... 22
6.2.12 温度単位 ........................................................... 22
6.2.13 圧力単位 ........................................................... 22
6.2.14 仕様圧力 ........................................................... 22
6.2.15 圧力補正範囲(ゼロ点) ...................................... 23

4. 変換器の操作 ...................................................... 15

6.2.16 圧力補正範囲(スパン) ...................................... 23

4.1 設定作業の必要性 ...................................................15

6.2.17 RS−485 シリアル通信アドレス........................ 23

4.1.1 変換器内部 ......................................................... 15

6.2.18 RS−485 シリアル通信速度 ............................... 24

4.1.2 キー操作の基本的な説明.................................... 15

6.2.19 RS−485 シリアル通信待機時間........................ 24

4.2 各モードの説明.......................................................15

6.2.20 パルス幅『標準設定：50ms』......................... 24

＜目

次＞

6.2.21 パルス乗数 ....................................................... 24

9. 保守・点検 .......................................................... 34

6.2.22 アナログ出力調整(ZERO) ................................ 25

9.1 保守用機器.............................................................. 34

6.2.23 アナログ出力調整(SPAN) ................................ 25

9.2 検出器抵抗チェック ............................................... 34

6.2.24 時定数............................................................... 25
6.2.25 異常警報の設定 ................................................ 25
6.2.26 LCD ディスプレイ(上段)................................... 26
6.2.27 LCD ディスプレイ(下段)................................... 26
6.2.28 LCD バックライト ............................................ 26

9.3 変換器のチェック................................................... 35
9.4 校正周期 ................................................................. 35
9.5 流量レンジの変更................................................... 35

10. トラブルシューティング .................................. 36

6.2.29 デフォルト値の変更 ......................................... 26

10.1 仕様確認 ............................................................... 36

6.3 機能テスト ..............................................................27

10.2 LCD ディスプレイが点灯しない .......................... 36

7. シリアル通信 ...................................................... 28

10.3 LCD ディスプレイの表示が 更新されない、おかし

7.1 インターフェース ...................................................28
7.2 プロトコル ..............................................................28
7.3 コード .....................................................................28
7.4 通信フォーマット ...................................................28
7.5 シリアル通信のパラメータ ....................................29
7.6 ModBus RTU 通信プロトコル ....................................30
7.7 通信フォーマットの詳細 ............................................32

8. アラーム&エラー ................................................ 33
8.1 アラームメッセージ ...............................................33
8.2 エラーモード ..........................................................33
8.3 エラーメッセージの内容 ........................................33
8.4 エラーの確認 ..........................................................33

い ........................................................................... 36
10.4 エラーメッセージが表示される .......................... 36
10.5 キー操作を受け付けない ..................................... 36
10.6 ゼロ点が不安定または指示が出る ....................... 36
10.7 流体を流しても指示が“0”のまま ..................... 36
10.8 流体を流すと指示が不安定になる ....................... 36
10.9 表示は出るが出力が出ない .................................. 37
10.10 指示が振り切れる .............................................. 37
10.11 指示が低めに出る .............................................. 37
10.12 流量指示が高めに出る ....................................... 37

＜はじめにお読みください＞ Ⅰ

はじめにお読みください
このたびは弊社製品をご採用いただき、まことにありがとうございます。
この取扱説明書には本製品の設置方法、取扱い上の注意事項等が記載されていますので、ご使用前に必ずご一読ください。

■ 本書で使用しているマークについて
本書は、弊社製品のご使用に際しお客様にご注意いただきたい内容について記載しています。
この記載内容は弊社全製品に共通する事項となります。
次の表示の区分は、表示内容を守らずに誤って使用をした場合に生じる危害や損害の程度を説明しています。

この表示は、取り扱いを誤った場合に「死亡または重傷を負う可能性が想定される」内容です。

この表示は、取り扱いを誤った場合に「軽傷を負う可能性または物的損害の発生が想定される」内容です。

弊社製品を安全かつ正しくご使用いただくための内容です。

■ 一般的な注意事項●製品は工業計器としての用途にのみ使用し、その他の用途には使用しないでください。
●製品は工業計器として最適な品質管理のもとに製造、調整、検査を行い納入しております。みだりに改造や変更を行うと本来の性能を発揮できないばかりか、不具合や事故の原因となります。改造や変更は絶対に行わないでください。改造や変更の必要がある場合は弊社までご連絡ください。
●仕様書に記載された仕様範囲内での使用を厳守してください。この範囲を超えた条件での使用は故障、破損の原因となります。
●設置作業の際は必ず安全靴、手袋、保護メガネなどの防護手段を講じてください。
●プロセスへの設置・接続の際は必要に応じてプラントあるいは装置の停止を行ってください。
●重量の大きな製品の設置は落下による人体・器物などへの損傷または過大な衝撃、破損などが生じないよう吊下方法を含めた安全措置を講じてください。また、製品設置箇所では必要に応じて配管サポート等の処置を行ってください。

●製品の運搬は納入時の梱包状態で行ってください。
運搬作業時は製品の落下による人体・器物などへの損傷または過大な衝撃による破損などが生じな
いよう安全措置を講じてください。
●開梱後、製品の中には、水、埃、砂などを入れないでください。
●プロセスへの設置・接続に必要な締結部品のボルト、ナット、ガスケット（パッキン）は、原則としてお客様の所掌となります。圧力、温度などの仕様や耐食性を確認して適切なものを選定してください。
●プロセスへの設置・接続の際は、接続継手の規格・寸法合わせが正しいか確認し、接続配管との偏芯、フランジの倒れがないように設置してください。正しく行われない場合は製品の故障、誤動作、破損などの原因となります。

＜はじめにお読みください＞ Ⅱ●保管の際は納入時の梱包状態で保管してください。保管の環境については本書を参照ください。
●設置後、製品を「足場」として使用するなど、荷重を掛けないでください。故障、破損の原因となります。
●製品に貼付されているラベルに表示されている注意事項は、必ず守ってください。
●製品は最適な品質管理のもとに製造、調整、検査を行い納入しておりますが、不測の要因で故障が発生する可能性もあります。運転・安全上の重大な問題が発生するプロセスにおいては、万が一に備えて同様な機能を果たす機器を併設、二重化を行うなど、より一層の安全性の確保を推奨します。

■ 電気的接続について●電気配線（結線）に際しては仕様書、本書などに記載されている内容を確認のうえ、正しく配線（結線）してください。誤配線（結線）は機器の故障の原因となるばかりでなく、事故の原因となることがあります。また、配線（結線）作業の際は電源が遮断されていることを確認し感電に注意してください。
●電源を接続する製品の場合は、仕様書、本書を参照して電圧および消費電力を確認して適合する電源を接続してください。適合する電源以外の電圧の電源に接続した場合、機器の破損や作動の不具合、事故につながる恐れがあります。
●通電中は、感電事故防止のため内部の機器には絶対に触れないでください。

●設置工事から電気配線作業完了にいたる間、雨水などが製品内に入らないよう注意してください。
また、配線完了後は遅滞なく正しく防水措置を実施してください。

■ 材質について●材質の指定がない場合には使用条件・運転条件から最適な材質選定に努めておりますが、実際のプロセスにおける使用条件・運転条件につきましては知見できないこともあります。最終的な材質の決定および耐食性や適合性の確認はお客様の責任で行ってください。製品の材質は仕様書に記載されています。

■ ガラス、樹脂を使用している製品について●製品の接液部または測定部、表示部の材質にガラス、樹脂を使用している場合、過度の加圧、温度
衝撃、急激な流体の流入の衝撃圧などによりガラス、樹脂が破損する場合があります。
万が一破損した場合、ガラス、樹脂などの破片が飛散するなどして二次災害および作業者に危険が及ぶ恐れがあります。破損の原因となるような運転条件にならないように注意してください。
また、飛散防止の措置を行ってください。

●運搬、保管および運転に際しては、ガラス部、樹脂部に機械的衝撃を与えないように注意してください。
●ガラスはアルカリ系溶剤で侵食されます。アルカリ系溶剤は使用しないでください。
●樹脂は溶剤系の液体で破損することがあります。仕様書、本書などに記載されている流体以外には使用しないでください。
●樹脂は使用環境により劣化が早まることがあります。設置ならびに運転にあたっては、樹脂の耐食性、紫外線耐性などの耐環境性に考慮してください。

＜はじめにお読みください＞ Ⅲ■ ガラス管・樹脂管面積流量計の使用について
ガラス管・樹脂管面積流量計は以下の事項に配慮して使用してください。
●以下の流体条件および使用環境では、ガラス管・樹脂管面積流量計は不適ですので設置しないでください。
・衝撃圧力がある、あるいは衝撃圧力が予想されるプロセス
・万が一ガラス管/樹脂管が破損した場合、二次的な災害が予想されるプロセス－毒性（刺激性、麻酔性などを含む）のある流体－引火性のある流体－爆発性のある流体・ガラスが破損した時にガラス片が飛散し、人身事故などが考えられる場合
・設置場所が、外部からの飛散してきた異物などでガラスの破損が考えられる場合・運転が ON／OFF 運転で、フロートが急上昇し、その衝撃でガラスが破損すると考えられる場合
・流量計に温度衝撃（急冷／急騰）が加わる、あるいは温度衝撃が予想されるプロセス●接液部または測定部にガラスおよび樹脂を使用している製品において、運転停止に伴い流れが停止
して測定液体が測定管内に残留した場合、周囲温度が氷点下になると液体が凍結してガラス、樹脂を破損する恐れがあります。
（一般的には冬期に運転停止して液抜きをしないなど）運転停止中に測定液体が凍結する恐れがある場合は、液体を完全に抜き取ってください。
●樹脂は一般的に金属に比較して機械強度が低く、取扱いには注意が必要です。設置の際は接続配管・継手の寸法違い、偏芯、過大な締結トルクでねじ込むことなどによる機械的応力が加わらないよう注意してください。

■ 防爆仕様で納入された製品について●該当する法規・規則・指針に適合した配線、接地工事を確実に実施してください。また、構造の改造、電気回路の変更などは法令違反であり規則・指針に適合しなくなるので絶対に行わないでください。保守・点検については法令・規則・指針に従い、作業を実施してください。

●製品の防爆等級は仕様書、製品の銘板に記載されています。対象ガスおよび設置場所が防爆関連法
規・規則・指針に準拠するか確認してください。

■ 保守、点検について●製品を保守、点検などでプロセスから取外す際は、測定対象の危険性・毒性に留意して作業を行ってください。関連する配管・機器類からの漏れおよび残留などにより人体・機器類への損傷が生じないよう注意してください。
●電気を使用している製品では感電事故防止のため、電源が遮断されていることを確認してください。

●製品の保守、点検については使用条件・運転条件などによりその周期、内容が異なります。
本書を参照の上、お客様にて実際の運転状況を確認して判断してください。

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1. 取り扱い上の注意事項

1.3 保管についての注意事項

本書は、サーマルフローメータの正しい取り扱い方法および使用上の注意事項について説明しています。本書はお読み頂いた後も大切に保管してください。

変換器のような精密機器の場合、お手元に届いてから設置するまでの期間が長くなると思いがけないことか
ら腐食や電気系統の絶縁劣化等の不具合が発生することが考えられます。あらかじめ長期間の保管が予測される場合には下記注意事項に配慮してください。

特長
サーマルフローメータは、強制対流に基づく測定原理により配管またはダクト内を流れる気体の流量を高精度で計測する弊社オリジナルの熱式質量流量計です。
受け入れ
製品受領に際しては、下記をご確認ください。
・納入仕様書の記載通り、正しく納入されているか・輸送中の破損などはないか
問題が発見された場合は、直ちにお買い求め先にご連絡ください。

1) 流量計および付属ケーブル類はなるべく弊社出荷時の梱包状態にて保管してください。
2) 保管場所は、下記条件を満足するような場所を選定
してください。
・雨や水のかからない場所
・振動や衝撃の少ない場所
・周囲温度：0〜60℃(急激な温度変化のない場所)
・湿度：80%RH 以下
尚、保管場所の温度・湿度はできるだけ常温・常湿度(25℃、65%RH 程度)にて保管してください。

1.1 形式と仕様確認
変換器側面の FLOWMETER 銘板および検出器本体側面の PICKUP 銘板(図 1.1 参照)に記載されております
形式および工番(MFG.)と別送の納入仕様書仕様欄を対応させ、ご注文通りであることをご確認ください。尚、
お問い合わせの際は、この FLOWMETER/ PICKUP
銘 板ま たは納 入仕様 書に 記載 され ており ます工番
(MFG.)および形式(TYPE)をご連絡ください。
(＊工番は弊社受注製品の管理番号です。)

3) 一度使用した流量計を保管する場合下記事項に注意してください。
変換器に汚れやほこりがある場合は除去してください。
・変換器の損傷を防ぐため、
エアーキャップ等の梱包材で保護してください。(電子部品の劣化を防
ぐため除湿剤等を入れて梱包・保管してください。)
・変換器および検出器は一対一の対応となっている
ため、付属品を含め弊社工番ごとに梱包して保管してください。

TYPE
MFG
TAG
Made in Taiwan

図 1.1 銘板の例

1.2 運搬についての注意事項
本製品は精密機器につき、運搬等における取り扱いには十分注意してください。運搬中の事故による損傷および検出器の汚れ防止のため、なるべく弊社出荷時梱
包状態のまま設置場所まで運搬してください。

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1.4 設置場所

1.5 安全上のご注意

サーマルフローメータ SRT1000 は、厳しい環境条件下においても正常動作するように設計されております
が日常点検および保守作業の容易な場所を選定して設置してください。また、高精度かつ長期間安定してご使用頂くために下記事項を考慮して設置場所を決めてください。

1) サーマルフローメータのご使用中に煙が出たり、変なにおいや音がするなどの異常状態となった場合、直ちに電源を切り弊社までお問い合わせください。
異常状態のまま使用すると火災や感電の危険があります。また、お客様による修理は危険ですので絶対にしないでください。

1) 周囲温度(周囲温度範囲：－10℃〜60℃)

2) 流量計の分解および改造は、故障原因になるので絶対にしないでください。

・温度勾配や温度変化の大きい場所に設置することはできるだけ避けてください。
プラントから放射熱や輻射熱などを受ける場合は、断熱処理を施し、風通しの良い場所を選んで設置してください。
・直射日光があたる場所はなるべく避けて日陰や風通しの良い場所へ設置してください。
2) 雰囲気条件
変換器ガラス面を直射日光に向けての設置はできるだけ避けるか、日よけなどの設置を推奨します。周
囲温度以上に熱が加わると電気部品の劣化が早まり故障の原因となります。
・腐食性雰囲気に設置することはできるだけ避けてください。尚、腐食性雰囲気中にて使用する場合
は、風通しの良い場所やパージ環境の中で使用してください。また、腐食性気体が滞留するような場所において使用される場合には、長時間の使用を避け、計測完了後速やかに腐食性雰囲気外の場所に移動させてください。

3) 変換器は防水構造となっておりますが、ケーブル挿入口から雨水が浸入しないように防水ケーブルグラ
ンド等により必ず防水処理を施してください。
防水処理を行わないと雨水などが変換器内に浸入し感電や故障の原因となることがあります。
4) サーマルフローメータのご使用中(電源 ON 状態)に
接続ケーブルを取り外さないでください。
感電や故障の原因になります。ケーブルを取り外す時は、必ず電源を切ってから作業を行ってください。
5) 変換器は重量物ですので、壁取付及び 2B パイプ取付をする場合は注意してください。
特に振動等の影響を受けるような場所に設置する場
合は、変換器固定部に補強を行ってください。
6) 変換器は防水構造となっておりますが、雨水がかからない場所に設置することを推奨します。変換器の調整およびチェック時に、変換器内部に水が浸入すると感電や故障の原因となります。

・ダストの多い雰囲気に設置することはできるだけ避けてください。
3) 衝撃・振動
衝撃や振動のない場所に設置してください。
4) ノイズ変換器を動力用電源、高圧電線、インバータ、コン
プレッサー等のノイズ発生源の近くに設置することは避けてください。
サーマルフローメータ検出器〜変換器間専用ケーブルは二重シールド線を使用するなどノイズ対策を行っておりますが周囲環境によってはノイズが侵入する恐れがあります。
電線管を使用してください。
5) その他
破損の原因となるので製品に重量物を乗せないでください。また、製品は重量がありますので不安定な場所等には設置しないでください。

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2. 設置

2.2 検出器の取付

2.1 設置場所の選定

2.2.1 配管取付

1) 変換器の周囲温度が 0〜50℃で、なるべく直射日光の当たらない場所。

水平または垂直に取付けること。

2) 誘導障害を受ける恐れのない場所、動力機器の近くは避けてください。
3) 振動の少ない場所。
4) 埃や腐食性気体の少ない場所。
やむ得ず腐食性気体の多いところに設置する場合はエアパージを行ってください。
5) 水没する恐れのない場所。

図 2.1

6) 取付・配線作業や保守点検が容易で表示器の見やす
い場所。
7) 接地のとりやすい場所。
8) 分離型検出器は結線や配管取付けが容易な場所に設置してください。
9) ダストやミストの混入する配管ラインではご使用をお控えください。精度の保証はいたしかねます。
10) 直管長を確保してください。

図 2.2

検出器の取付けは水平または垂直取付です。
垂直取付けの場合、流れは上⇒下、下⇒上どちらでも使用可能です。但し電纜口は下向きになるように設置してください。

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図 2.3

図 2.5
水平配管に対して横から挿入する場合配管内の圧力や気体の種類によってはゼロ点が浮く場合があります。その場合、ローカット(標準 2% F.S.)を上げてください。
ただし、加熱センサーが下向きの場合は、流量が流れていない場合にも流量指示をするため推奨できません。
加熱センサーは下の図のように流れ方向上流側から見て右側になります。

図 2.6

温度センサー

加熱センサーーー

気体の流れ方向斜め配管は流量誤差の要因となるので避けてください。

図 2.4 流れ方向とセンサーの向き

配管の中心にセンサーの中心がくるように設置してください。

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52.3 配管への取付SRT1100シリーズ(挿入形)
挿入式タイプ(SRT1100 タイプ)設置上の注意点

図A

図C

図B

図D

● 測定する主管に、ソケットを溶接してください。
(図 A)● 弊社推奨のイハラサイエンス製、チューブ継手(MDCTZ20M-R12)をねじ込みます。(図 B)● 納入仕様書に記載されている Cmin〜Cmax の範囲ソケットとチューブ継手を施工してください。
● チューブ継手の高さ H は H-C≧5mm になるよ
うに施工してください。
● 検出器を挿入します。(図 C)
検出器に上流側マークがありますので、流れ方向を確認し、検出器を挿入してください。
● チューブ継手をしっかり締めてください。
● センサーには挿入するためのマーキングはありません。L 寸法-(配管外径/2)より H 寸法を算出できます。
H-C を算出しセンサーにマークングしておくと施工し易くなります。(図 D)

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図E

チューブ(袋ナット)● 上流側マークが水平方向とずれると、精度に大きく影響します。(図 E)● 傾きαは出来る限り 0°になるように規などを利用し設置してください。

2.4 配管からの取外し● 配管に圧力がかかった状態での取り外しは危険です。
● 流体の流れを止め、配管内の圧力を減圧してから取り外してください。
● 取り外し後はプラグ(別売り)で塞ぐか、チューブ継手自体を外し、ソケットに盲プラグを取り付けてください。

● 検出器を挿入する時は配管に圧力がかかっていない状態で取り付けてください。
● 予めチューブ継手のナットを緩めておいてくだ
さい。
また、チューブ継手にフロントフェルール、バッ
クフェルールが入っていることを確認してくだ
さい。
● チューブ継手はφ20 フルボアタイプを使用してください。

チューブ継手(ナット)チューブ継手ソケット

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2.5 挿入長可変タイプ(SRT1400)
SRT1400 はフルボアタイプのボールバルブと組合せることにより、運転中のラインを停止することなく
メンテナンスが可能です。

2) 検出器の設置
図 2.11 のように流れ方向に注意し、検出器をセットしてください。
検出器の上部ブロックに流れ方向シールが貼付して
います。

1) 構造
・ハンドル
挿入パイプを押し込んだり、引き抜いたりするのに使用します。
・センサー収納ホルダー
取付フランジとセンサーを収納する役割をしています。
・上部ストッパー
チューブ継手に当たるまで押込みます。矢印マーク
は流れ方向を示しています。
・下部ストッパー
挿入パイプを引き抜くときにセンサー収納ホルダーから挿入パイプが飛び出さないためのストッパーです。
図 2.11

ハンドル

上部ストッパーチューブ継手検出器を取り付け後、ボールバルブが全開であることを確認してから作業を行ってください。
チューブ継手を緩めて、ハンドルをしっかり握り、上部ストッパーがチューブ継手にぶつかるまで押し込んでください。
検出器をセットするとき向きに注意し、ハンドルの向きが真直ぐになるようにしてください。

挿入パイプ
図 2.12
悪い例

下部ストッパー

図 2.13良い例

図 2.10IM-F2020-J08

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2.6 変換器設置方法
1) 壁取付形
壁または盤に下記『変換器取付図 2.14』に示す取付穴をあけてねじ止めしてください。
①壁または盤に変換器固定用ボルト穴を 4 箇所あけます。

2) 2B パイプ取付形『変換器取付図 2.16』に示すように 2B パイプ(50A
スタンション)を取付金具とブラケットではさみ、付属のボルトで固定してください。
なお、2B パイプ取付形変換器は、変換器裏面の取付金具を外すことにより壁取付形として使用することが可能です。

②変換器のケースを開けます。
③変換器の取付穴に M5 の六角穴付きボルトで固定してください。φ6 の穴をあけた場合は M5 の六角ナットで固定してください。

コンクリート壁に直接取り付ける場合はコンクリー
ト壁にアンカーを打ち込み後、ボルトで固定してください。

変換器取付図2.14

変換器取付図2.15

変換器取付図2.16

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2.7 必要直管長
1) 整流器がない場合の必要直管長配管の入口は発達した円管流れ或いは一様流とします。

⑥全開のフルボアボールバルブがある場合①1 つのエルボ⑦拡大管がある場合②2 つのエルボが水平にある場合⑧収縮管がある場合③2 つのエルボが二平面にある場合⑨上記①～⑧以外の場合④流量調整バルブがある場合⑤フルボア型ボールバルブ以外の全開仕切りバルブがある場合＊直管長は配管内径 D の倍数で表します。
2) 整流器が付く場合
整流器付の場合、上・下流側ともに流 5D 以上の直管部を設けることを推奨します。

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3. 配線
3.1 変換器の配線
3.1.1 配線上の注意
1) サーマルフローメータ検出器〜変換器の信号ケーブ
ルおよび出力信号ケーブルは、電源線または動力機器に近接することのないように敷設してください。
2) 変換器ボックスのフタを(＋)ドライバーで取り外し、変換器下部の端子台に必要な信号及び電源ケーブ
ルを接続してください。
■ 配線上の注記事項
1) 配線をする場合は、ケーブルの最小曲げを 15cm 以
上にしてください。

● 電線管の接続口は M20×1.5 です。それ以外のねじ規格のケーブルクランプは使用しないでください。
● 製品には付属の黒い盲線が付いています。
使用しない電線口の盲栓はすべて取り外し、ブラインドプラグ(注)を接続してください。
● 分離型検出器のみケーブルクランプ(防水タイプ)を付属して出荷します。
変換器に付いている盲栓は非防水で異物混入防止の目的です。屋外でご使用する場合は防水のブラインドプラグ、
防水ケーブルクランプを使用
してください。

2) ノイズ対策及びケーブル保護のため、ケーブルは電線管またはケーブルダクトに入れて設置してください。
3) 配線接続口の防水処理を確実に行ってください。
4) 電源、外部出力用のケーブルは AWG26〜28 を使用してください。
5) 圧力補正機能を使用する場合は、アナログ出力
DC4−20mA 付きの圧力計を使用してください。
6) 接地は必ずアース端子(E)を使用してください。
(第 3 種接地、接地抵抗 100Ω以下)
ケーブルクランプ付属の盲栓

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3.1.2 センサー入力
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29

30

● 一体型検出器のセンサーケーブルは変換器に入力されています。
無理に結線を抜いたり、触らないでください。

25● Th、Tg の結線は正しく行ってください。極性を間違えると計測できません。
● 図 3.1 は分離型タイプの結線です。

(TGA)(TGA) (TGB)(TGB)
黄

青

白

灰

21

22

23

24

(THA)(THA) (THB) (THB) (E)
赤

橙

緑

黒

白/黒

図 3.1

3.1.3 電源(＋) (－)E

DC24V● 電源は DC24V です。
極性を間違えないでください。
● 端子台の結線には精密ドライバーの－2.0 が必要
です。

図 3.2

3.1.4 分離型用ケーブル
SRT 表示器分離型は検出器と変換器を接続するケーブ
ルが付属されています。

● シールド線は決められた場所に接続してください。検出器側は端子箱の M4 ねじにて固定してください。
● ケーブルの加工(切断や延長)は出来ますが、長さによってはパラメータの変更が必要になります。
詳細は弊社までお問い合わせください。

IM-F2020-J08

12● PRESSURE INPUT は外部入力用の圧力信号です。圧力補正機能を使用する場合に使います。
SRT に圧力計用の電源は備えておりません。
圧力計用の電源を別途用意してください。
● ANALOG OUTPUT は DC4−20mA、DC0−5V
DC0−10V です。納入仕様書の外部出力を参照してください。
＊接点出力定格(Photo MOS relay)出力
DC 30V 100mA a 接点

図 3.3

接続機器

変換器 BOX 内＋E(V)R＊外部出力の負荷抵抗
DC4～20mA ：600Ω 以下
DC0～5V ：4.7kΩ 以上
DC0～10V ：10kΩ 以上

15＊パルス出力
パルス幅 50ms(標準)、
定格 DC30V/100mA(max.)
Vcesat＝1.2V

16＊+E(V):DC+5～30V

E－VcesetR
図 3.4≦ 100(mA)● パルス出力は(Photo MOS relay)出力であるため、外部接続機器と接続する場合、正・負の極性を間違えないように注意してください。

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13
3.2 端子台詳細

図 3.5 変換器端子台
端子名称
電源端子

端子 No
-

1
2

極性
＋
－
Earth

保護接地
DC24V※GND※＋－

RS-485＋－

圧力信号入力DC4−20mA

7
8

＋
－

9

アナログ出力VO+ VO−(注)DC4−20mA、
DC0−5V, DC0−10V＋

High Alarm (N.O.)

5
6

外部出力
端子
10
11
12
13
14
15

－
＋
－
＋
－
＋

Abnormal Alarm(N.O.)
積算パルス出力－
THA(＋)

24
25

THB(－)
Earth 専用ケーブルのシールド線接続

THA(＋)
加熱センサー
THB(－)

26
27

TGA(＋)TGA(＋)

30

Earth

28
29

● 電源、外部入出力用のケーブルは推奨 AWG28 です。裸線で結線してください。

Low Alarm (N.O.)

16
21
22
23

図 3.6 分離形検出器端子台

DC24V±10%※

＋
－

3
4

センサー入力端子

内容

TGB(－)TGB(－)

温度センサー

空き端子※電源端子はどちらか一か所を使用してください。
(注) VO＋、VO−はアナログ出力の略称です。
アナログ出力は DC4−20mA、DC0−5V、DC0−10V から選択して使用します。

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14
3.3 センサーリードの結線■ 分離タイプ検出器側■ 一体型タイプ変換器側

図 3.7● センサーリード線は検出器のチェックの時以外に外さないでください。

図 3.8■ 分離型変換器

3.3.1 センサー部の結線■ 一体型タイプ変換器側
26

27

28

26
29

27

28

29

30

30
TGA TGA TGB TGB白灰黄青TGA TGA TGB TGB
白
青(緑) 青(緑) 白

21

22

23

24

21
25

THA THA THB THB E
赤
赤
黒
黒 白/黒

22

23

24

25

THA THA THB THB E
赤
橙
緑
黒 白/黒
図 3.10

図 3.9■ 分離型タイプ検出器側

図 3.11
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15
4. 変換器の操作

4.2 各モードの説明

4.1 設定作業の必要性
SRT1000 サーマルフローメータの変換器は、ご注文時の仕様があらかじめ設定されています。
運転条件の変更などにより設定を変更する場合は下記の要領で設定を行ってください。
本書の操作説明はファームウェアバージョン
SRT1027 に基づいています。バージョン SRT1027
より古いファームウェアの操作は旧バージョンの取扱説明書を参照してください。

4.1.1 変換器内部(+)(-) E

図 4.1

SRT1000 は通常の流量測定状態(測定モード)以外に多種のモードがあります。
・ 測定モード： 瞬時流量、積算流量、気体温度、気体圧力など測定モードで表示されます。
・ 設定モード： 必要に応じて選択可能なパラメー
タや変更可能なパラメータの設定やデフォルト復元が行えるモードです。
・ メーカーモード：流量計の重要なデータが格納されたモードです。通常お客様には公開していません。
機器固有のデータを変更すると流量計測および流量精度に影響のあるパラメータがあります。
・ S/N No モード ： シリアルナンバーとファームウェ
アのバージョン情報が表示されます。約 10 秒後に測定モードに戻ります。
・Error モード ： 流量計に異常が発生した時の情報を繰り返し表示し、約 1 分後、測定モードに戻ります。
・ 模擬出力モード：模擬出力(表示、アナログ出力、積算、パルス出力)を出力します。
確認のみで調整は出来ません。検
出器を繋がなくても出力されます。

Error モード

M キー2 秒
以上長押しD キー2 秒
以上長押し

4.1.2 キー操作の基本的な説明■ 設定 SW
M キー ：設定モードでのメニュー移行
S キー ：設定変更可能な状態にする、変更位置移動、設定変更の保存
I キー ：設定モードでのパラメータ変更、設定数値のアップ変更
D キー ：設定モードでのパラメータ変更、設定数値のダウン変更

模擬出力モードM+D キー10 秒
以上長押し

再起動

パスワード
S キー2 秒メーカーモードM+S キー
押し

以上長押し

パスワード

M キー2 秒
以上長押し

測定モード
I キー2 秒
以上長押し積算リセットS+I キー押し

M キー2 秒
以上長押し

設定モード

S キー2 秒
以上長押し

S/N No.モード

模擬出力モードを除き、全ての操作は一定の時間を放置すると、測定モードに戻ります。

● メーカーモードのパスワードは公開しておりません。メーカーモードの設定値を変更すると流量計の性能や機能が損なわれる場合があります。

IM-F2020-J08

16
5. 運転
5.1 運転の前に設置、配線が完了したら、運転前に下記のことを確認してください。
1) 配線および結線に誤りがなく、確実に接続されていること。
2) 電源電圧、負荷定格等が正しいこと。
3) 検出器の取付け
フランジボルト、チューブ継手の袋ナットが確実に締めてあること。
流体の流れ方向と検出器の流れ方向表示が一致していること。

● 配線および結線を誤ると、電気回路の故障の原因となり正常動作しなくなる恐れがあります。
● 流体の流れ方向と検出器の流れ方向表示が一致していないと、測定誤差の原因となり正常に流量測定ができません。

5.2 運転サーマルフローメータ(検出器および変換器)はご注文の仕様に基づいて、設定、調整を行っています。設置および配線が完了した後、本書に従って操作をすると流量測定を開始します。
1) 変換器に通電してください。
変換器が自動的にイニシャルチェックを行った後、測定値を表示します。
2) 流体を流し、運転を開始してください。

5.3 出力運転を開始すると、自動的にフロントパネル上の LCD
ディスプレイに流量表示を行い、流量に対する各出力を出力します。
1) LCD ディスプレイ
標準設定では、LCD 上段に瞬時流量、LCD 下段には積算流量を表示します。
2) アナログ出力
ご注文頂いた流量レンジに対して、DC4-20mA、
DC0−5V、DC0-10V(選択)を出力します。
3) パルス出力設定された積算流量毎にパルスを出力します。
4) 警報出力
測定流量が設定された流量以上または設定された流量以下となった場合、フォトモスリレー接点より警報出力します。
5) RS−485 出力
瞬時流量、積算流量、流量単位、エラーメッセージなどを、RS−485 シリアル通信にてデジタル出力します。

5.4 測定モード
あらかじめ変換器に設定されたデータより流量を測定
し、表示、出力するモードです。
表示および出力内容は設定によって変更できます。

5.5 測定上の注意
サーマルフローメータはセンサーを加熱し、温度差をコントロールするためミストが付着すると、加熱セン
サーから熱が奪われ流量指示が高くなる場合や、ハンチングを起こす危険があります。また、ダストが付着すると流体と加熱センサーの接触面積が減少し放熱量が減少し加熱電流が減少し流量指示が下がる可能性があります。

● SRT1000 は表示のゼロ調整機能はありません。
工場にてゼロ点を確認して出荷していますが設
置状況や自然対流を検知し流量ゼロにもかかわらず流量表示する場合はローカットオフの値を大きくしてください。ゼロ点が浮いても、表示、出力はオフセットされません。
● SRT1000 変換器には電源スイッチがありません。
電源操作は外部で行ってください。

IM-F2020-J08

17
5.6 設定パラメータ

6 .設定

サーマルフロータの各種設定を変更できるパラメータです。
設定モードでも流量を測定し、アナログ出力、パルス
出力は出力します。

測定モードから“MODE”キーを 2 秒以上押し続けると、設定モードになります。設定モードでは以下で説明する各
種設定の確認や設定の変更を行うことができます。
設定モードから測定モードに戻るには、【Ｍ】キーを 2 秒
以上押し続けてください。

表

設定パラメータ一覧
パラメータの標記

説明ページ

1 Gas Type

測定流体

18

2 Flow Unit

流量単位

18

3 FullScale

瞬時流量のフルスケール
設定

19

4 Flow Decimal

瞬時流量表示の小数点195 Total Decimal

積算表示の小数点・乗数19

6 High Alarm(QH) 上限警報

20

7 Low Alarm(QL)

下限警報

20

8 Hysteresis(QS)

ヒステリシス

20

9 Low-cut

ローカットオフ

21

10 Drop-out

パルスドロップアウト

21

11 Pre.&Fil. Option 圧力補正とフィルター22

6.1 基本的なキー操作
機能

状態

キー操作

ファームウェア
【S】キー2
バージョン、シ
秒以上押し
測定モード
リアルナンバー
続ける
チェック
設定モード
に移行

備考
10 秒以上放置で測定モー
ドに移行【M】キーを測定モード 2 秒以上押し
続ける
【M】キー

押す度に、項目が切り替わります。また、最終の項目の次は最初の項目に戻ります。

【S】キー

設定値可能箇所が点滅します。

桁の移動

設定モード 【S】キー

単一方向のみ設定モード

次の設定項目に移項

設定モード

Temperature
Unit

温度単位

22

13 Pressure Unit

圧力単位

22

14 Pressure Used

仕様圧力

22

15 Pressure Zero

圧力補正範囲(ゼロ点)

23

16 Pressure Range

圧力補正範囲(スパン)23

17 RS485 ID

RS485 シリアル通信
アドレス

23

設定の選択
数値の変更

18 Baud Rate

RS485 シリアル通信
速度

24

設定変更の
保存(更新)

設定モード

19 RS485 Delay

RS485 シリアル通信
待機時間

24

20 Pulse Width

パルス幅

24

21 Pulse Unit

パルス乗数

24

測定モード
に移行

22 Analog Zero Adj

アナログ出力ゼロ点調整

25･【Ｍ】キーを 2 秒以
上押し続
※参照
設定モード
ける
･ 2 分以上操作しない

23 Analog Span Adj アナログ出力スパン調整

25

24 Response Time

時定数

25

25 O.C3 Output

異常警報の設定

25

26 Display Line 1

LCD ディスプレイ(上段)26

27 Display Line 2

LCD ディスプレイ(下段)26

28 LCD Back Light

LCD バックライト

26

29 Restore Default

デフォルト値への変更

2612設定を変更可能
設定モード
な状態にする

【I】キー

上昇のみ

【D】キー

下降のみ

【S】キー

※参照

※設定を変更した場合、各項目ごとに【Ｓ】キーを押して変更した内容を保存(更新)してください。設定を変更しても【Ｓ】
キーを押して設定変更を保存(更新)しないと、その項目の変更内容は保存(更新)されませんので、注意
してください。

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18
6.2 パラメータの設定

6.2.2 流量単位

6.2.1 測定流体

流量単位を設定できます。

測定する流体を設定できます。

L/min、L/min(nr)、L/min(st)、m3/m、m3/m(nr)、m3/m(st)、m3/h、m3/h(nr)、m3/h(st)、km3/h、 Km3/h(nr)、km3/h(st)、kg/h、t/h、m/s、m/s(nr)、m/s(st)の中から選択してくだ
さい。

AIR、Ar、CH4、C2H6、C3H8、C4H10、C2H4、C3H6、CO、CO2、H2O、N2、NH3、O2、OTHER1、OTHER2、
OTHER3 の中から選択してください。

【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】または【Ｄ】：流体の選択【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● OTHER1〜OTHER3 は、
上記以外の流体あるいは混合気体です。
詳細は納入仕様書を参照してください。
● 仕様気体は納入仕様書に記載されている気体のみ使用可能です。
それ以外の仕様ガズは選択できません。

組成

流体名

組成

【Ｍ】
：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】または【Ｄ】：流体の選択【Ｓ】：設定変更の保存(更新)●“L/min(st)”または“m3/m(st)”または“m3/h(st)”を選択した場合、基準となる温度および圧力は変換器内部のメーカーパラメータに入力されています。
Std の基準温度、圧力が変更される場合は弊社に連絡してください。
● LCD ディスプレイに表示される流量単位は、それぞれ下記の流量単位を表します。
●“m/sec”を選択した場合、積算流量演算およびパルス出力は停止します。

流体名

AIR

空気

N2

窒素

Ar

アルゴン

NH3

アンモニア

L/min(nr) ＝ L/min(nor)m3/h(st)

CH4

メタン

O2

酸素

L/min(st) ＝ L/min(std)Km3/h(nr) ＝ Km3/h(nor)

C2H6

エタン

OTHER1－m3/m(nr) ＝ m3/min(nor)m/s(nr)＝ m/s(nor)

C3H8

プロパン

OTHER2－m3/m(st)m/s(st)＝ m/s(std)

C4H10

ブタン

OTHER3

－

C2H4

エチレン

C3H6

プロピレン

CO

一酸化炭素

CO2

二酸化炭素

H2O

水蒸気

流

量

単

位

＝ m3/min(std)

流

量

単

位

＝ m3/h(std)m3/h(nr) ＝ m3/h(nor)●“m/sec”を選択した場合、積算流量演算およびパルス出力は停止します。

＊混合気体の場合は OTHER で表します。
● 流量単位の単位時間の単位(min または h)を変更
した場合、積算流量が自動的にリセットされるので注意してください。
例) L/min(nr) → m3/h(nr) など● 流量単位を変更する前に積算流量値を控えておいてください。

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19
6.2.3 瞬時流量のフルスケール流量

6.2.5 積算流量表示の小数点・乗数

瞬時流量のフルスケールを設定できます。

積算流量表示の小数点以下の桁数を設定できます。

1.0〜1000000 の範囲内で設定してください。

小数点後の桁数を 0〜3 の範囲内で設定してください。
小数点以下の桁数によって表示できる流量範囲が異な
ります。

【Ｍ】
：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)・小数点以下 0 桁：0〜99999999
・小数点以下 1 桁：0.0〜9999999.9・小数点以下 2 桁：0.00〜999999.99
・小数点以下 3 桁：0.000〜99999.999－3〜0 の範囲内で設定する乗数は以下のようになります。

● 納入仕様書に記載された瞬時流量のフルスケール(最大流量)以上は、精度保証いたしかねます。また、保証する精度は納入仕様書に記載しています。

0 : 小数点・乗数なし－1 : ×10－2 : ×100－3 : ×1000

6.2.4 瞬時流量表示の小数点
瞬時流量表示の小数点以下の桁数を設定できます。
0〜4 の範囲内で設定してください。
小数点以下の桁数によって表示できる流量範囲が異な
ります。

【Ｍ】
：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)・小数点以下 0 桁：0〜1200000
・小数点以下 1 桁：0.0〜119999.9・小数点以下 2 桁：0.00〜11999.88
・小数点以下 3 桁：0.000〜1199.880
・小数点以下 4 桁：0.0000〜119.8800【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 本流量計の流量表示は定格(100%F.S.)以上を流しても頭打ちは固定されていません。これはセンサ
ーの加熱電流が飽和するまで流れるため、流量表示をします。ただし 100% F.S.以上は精度保証外となります。
外部アナログ出力は約 110%F.S.まで
出力します。また、逆流検知機能はありませんので、流体が逆流すると正の値を表示します。逆流
している時の指示値は精度保証外となります。

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20
6.2.6 上限警報

6.2.8 ヒステリシス

上限警報設定流量 QH を設定できます。

警報出力の切断差(流量)QS を設定できます。

(QL＋QS)〜120 の範囲内で整数にて設定してください。
上限警報設定流量を QH、後述の下限警報設定流量を
QL、ヒステリシス幅を QS とします。

1.0〜10.0 の範囲内で整数にて設定してください。
流量設定は設定されているフルスケール流量に対して百分率[%]で行います。

流量設定は設定されているフルスケール流量に対して百分率[%]で行います。

【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 警報出力がチャタリングを起こす場合、ヒステリ
シス幅を大きくしてください。
● 測定流量が設定流量を超えると、警報出力します。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。

6.2.7 下限警報
下限警報設定流量 QL を設定できます。
0〜(QH－QS)の範囲内で整数にて設定してください。
下限警報設定流量を QL、前述の上限警報設定流量をQH、後述のヒステリシス幅を QS とします。

例) フルスケール流量 Q=1000m3/h(nor)、上限警報
QH=100%F.S.、下限警報 QL=10% F.S.、ヒステリ
シス幅 QS=10% F.S.の場合・測定流量が 1000m3/h(nor)を越えると上限警報が出力され、900m3/h(nor)を下回ると上限警報は解除されます。
・測定流量が 100m3/h(nor)を下回ると下限警報が出力され、200m3/h(nor)を越えると下限警報は解除されます。

流量設定は設定されている瞬時流量のフルスケールに対して百分率[%]で行います。

【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 測定流量が設定流量を下回ると警報出力します。

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21
6.2.9 ローカットオフ

6.2.10 パルスドロップアウト

瞬時流量のローカット流量を設定できます。

パルス出力および積算流量のドロップアウト流量を設定できます。

0.0〜10.0 の範囲内で 0.1 刻みにて設定してください。
ローカット流量設定は設定されているフルスケール流量に対して百分率[%]で行います。

【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 測定流量が設定流量以下の場合、指示流量を強制的にゼロにする機能です。DC4−20mA 出力も同様に 4mA を出力します。

● ゼロ点がふらつく場合などに設定値を大きくしてください。

● ローカット流量を変更した場合、パルスドロップ
アウトの設定をご確認ください。
● パルス出力および積算流量は瞬時流量を基に演算および出力していますので、
ローカット流量をドロップアウト流量より大きく設定した場合、
ド
ロップアウト流量の設定は無視されローカット
流量の設定を優先します。(ローカット流量の設定をドロップアウト流量とします)

0.0〜10.0 の範囲内で 0.1 刻みで設定してください。
ドロップアウト流量は設定されているフルスケール流量に対して百分率[%]で行います。

【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 測定流量が設定流量以下の場合、積算流量の演
算およびパルス出力を停止する機能です。ゼロ点がフラつく場合などに設定値を大きくしてください。
● パルス出力および積算流量は瞬時流量を基に演算および出力していますので、ドロップアウト流
量をローカット流量より小さく設定した場合、
ド
ロップアウト流量の設定は無視されローカット
流量の設定を優先します。(ローカット流量の設定をドロップアウト流量とします)● パルスドロップアウトの設定を変更した場合、
必
ず積算流量をリセットしてください。また、設定を変更する前に積算流量値を控えておいてくだ
さい。

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22
6.2.11 圧力補正とフィルター

6.2.13 圧力単位

圧力補正とフィルターを設定できます。
・Used & MA ：圧力補正無及び移動平均(標準)・Sensor & MA ：圧力補正有及び移動平均
・Used & ES
：圧力補正無及び指数平滑・Sensor & ES ：圧力補正有及び指数平滑使用する圧力単位を設定できます。

■ 設定の説明
1) Used を設定すると、仕様書に記載されている圧力値を使用し流量を算出します。
2) Sensor を設定する場合は別途 DC4−20ｍA 出力付
きの圧力をご用意していただき、
圧力信号を取り込
み、流量を算出します。圧力が変動する場合、また変動幅が大きい場合に使用します。
3) Sensor を 設 定 に し た 状 態 で 、 圧 力 信 号(DC4−20mA)が入力されていないと−>Err!が表示されます。
4) MA を設定すると、移動平均フィルターを使います。
応答性と平滑性が共に優れたフィルターです。
5) ES を設定すると、
指数平滑フィルターを使います。
6) 流量指示値のフラツキを抑制する為に、フィルターを設けました。但し、時定数(25 ページ)が 0 秒に設定された場合、フィルターが無効になります。
Pre . & Fi l .

Used

&

OptionMA【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】： 圧力補正&フィルターの選択⇒戻すときは【Ｄ】【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 流体圧力が変化すると仕様流体、仕様温度、および仕様圧力により異なりますが、
概略±1% R.D./MPa 程度の誤差が加算されます。

kg/cm2G、MPa、kPa の中から選択してください。
・kgf/cm2G ：kgf/cm2 G・MPa：×106 Pa・kPa
：×103 Pa

【Ｍ】
：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】：圧力単位の選択⇒戻すときは【Ｄ】【Ｓ】：設定変更の保存(更新)●「kgf/cm2 G」は法定計量単位ではありませんので、日本国内では使用しないでください。
(ただし、国外設備に用いる場合を除く。)

6.2.14 仕様圧力
設計仕様圧力を設定できます。
−0.800〜10.20/−0.0785〜1.0003/−78.5〜1000.3 の範囲内で設定してください。
仕様圧力は設定されている圧力単位によって設定できる圧力範囲が異なります。
・kgf/cm2G ：−0.800〜20.4(小数点以下 2 桁)・MPa：−0.0785〜2.0006 (小数点以下 4 桁)・kPa：−78.5〜2000.6 (小数点以下 1 桁)
＊ 設定可能範囲は、設定されている圧力単位に同期します。

6.2.12 温度単位
使用する温度単位を設定できます。
C,F,K の中から選択
・C：摂氏温度(°C)
・F：華氏温度(°F)
・K：絶対温度(K)【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)、符号の変更【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)、符号の変更【Ｓ】：設定変更の保存(更新)
圧力補正機能をご使用しない場合、仕様圧力で設定した圧力における気体物性値データを用いて流量を演算
します。

【Ｍ】
：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】：圧力単位の選択⇒戻すときは【Ｄ】【Ｓ】：設定変更の保存(更新)

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23
6.2.15 圧力補正範囲(ゼロ点)6.2.16 圧力補正範囲(スパン)圧力補正範囲のゼロ点の圧力を設定できます。

圧力補正範囲のスパンの圧力を設定できます。

−0.800〜20.4/−0.0785〜2.0006/−78.5〜2000.6 の範囲内で設定してください。

−0.800〜20.4/−0.0785〜2.0006/−78.5〜2000.6 の範囲内で設定してください。

圧力補正範囲(ゼロ点)は設定されている圧力単位によって設定できる圧力範囲が異なります。
・kgf/cm2G ：−0.800〜20.4(小数点以下 2 桁)・MPa：−0.0785〜2.0006 (小数点以下 4 桁)・kPa：−78.5〜2000.6 (小数点以下 1 桁)
＊ 設定可能範囲は、設定されている圧力単位に同期します。

圧力補正範囲(スパン)は設定されている圧力単位によって設定できる圧力範囲が異なります。
(小数点以下 2 桁)
・kgf/cm2G ：−0.800〜20.4
・MPa：−0.0785〜2.0006 (小数点以下 4 桁)・kPa：−78.5〜2000.6 (小数点以下 1 桁)
＊ 設定可能範囲は、設定されている圧力単位に同期します。

【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)、符号の変更【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 圧 力 信 号 入 力 (DC4-20mA 信 号 ) の ゼ ロ 点(DC4mA)に相当する圧力を入力してください。

● 圧 力 信 号 入 力 (DC4-20mA 信 号 ) の ス パ ン(DC20mA)に相当する圧力を入力してください。
● 圧力計は 4 線式のものをご使用ください。SRTには圧力計用の電源はありません。
別途圧力計用の電源をご用意ください。
● Sensor を選択した状態で圧力計の信号を入力しないと正しく流量表示ができません。

6.2.17 RS−485シリアル通信アドレス
RS−485 シリアル通信の通信アドレスを設定できます。
00〜99 の範囲内の整数で設定してください。

【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)

IM-F2020-J08

24
6.2.18 RS−485シリアル通信速度

6.2.21 パルス乗数

RS−485 シリアル通信の通信速度[bps]を設定できます。

パルス出力の乗数、パルス表示の小数点の設定ができます。

38400、19200、9600、4800、2400 の中から選択して
ください。

【Ｍ】
：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】：通信速度の選択⇒戻りは【Ｄ】【Ｓ】：設定変更の保存(更新)

6.2.19 RS−485シリアル通信待機時間
RS−485 シリアル通信の通信待機時間を設定できます。
No Delay、50ms、100ms、200ms、500ms、1s、2s の中から選択してください。

【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】：待機時間の選択⇒戻りは【Ｄ】【Ｓ】：設定変更の保存(更新)※選択内容
1.0 ：×1(小数点なし、乗数 1)
0.1 ：×0.1
10.0 ：×10
0.01 ：×0.01 100.0 ：×100
0.001 ：×0.001 1000.0 ：×1000【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● パルスレート(積算率)はフルスケール流量設定(6.2.3)とパルス乗数設定(6.2.22)にて自動設定されます。
例)フルスケール流量 1000m3/h(nor)
パルス乗数 ×10 と設定するとパルスレート(積算率)は100 c/h×10(乗数)となります。

6.2.20 パルス幅『標準設定：50ms』
パルスの幅を設定できます。
10、50、100、200ms の中から選択してください。
※制限値
10ms ：3000c/min、180000c/h 以下
50ms ：600c/min、36000c/h 以下
100ms ：300c/min、18000c/h 以下
200ms ：150c/min、9000c/h 以下【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】：パルス幅の選択⇒戻りは【Ｄ】【Ｓ】：設定変更の保存(更新)

IM-F2020-J08

25
6.2.22 アナログ出力調整(ZERO)

6.2.24 時定数

アナログ出力(DC4−20mA)の 4mA の調整ができます。

流量計の出力応答速度が設定できます。フィルターを使って、流量指示値及びアナログ出力のフラツキを抑制します。設定する秒数が長いほど、フラツキが小さ
く、応答速度が遅くなります。0 秒に設定すると、フィ
ルターが無効になります。

設定の数値増減に伴い実際のアナログ出力(DC4−20mA)も増減します。
※設定範囲：−100〜100 Count【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● アナログ出力の調整は、DC4−20mA の他に、
DC0−5V、DC0−10V が有りますが調整方法は同じです。また、表示の ZERO、SPAN 調整はありません。

※設定範囲：0〜30 sec【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 出力応答速度は流量表示、アナログ出力共に設定されます。

6.2.25 異常警報の設定
6.2.23 アナログ出力調整(SPAN)
アナログ出力(DC4−20mA)の 20mA の調整ができます。
設定の数値増減に伴い実際のアナログ出力(DC4−20mA)も増減します。
※設定範囲：−100〜100 Count【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)

異常時の警報出力を設定できます。
異常警報の種類は下記の 3 つより選択してください。
・No
Function：異常警報なし
・Tg
Abnormal：温度測定異常・DeltaT Abnormal：加熱温度差異常・TaAbnormal：変換器内部の温度異常
・All
Abnormal：上記全ての異常【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする、桁の移動【Ｉ】：数値の変更(上昇のみ)【Ｄ】：数値の変更(下降のみ)【Ｓ】：設定変更の保存(更新)

IM-F2020-J08

26
6.2.26 LCDディスプレイ(上段)6.2.28 LCDバックライト

LCD ディスプレイ(上段)に表示する測定値を設定できます。

LCD ディスプレイのバックライトの動作を設定できます。
1min. ON、5min. ON、15min. ON、Always ON、
Always OFF の中から選択してください。
・1min. ON：1 分間点灯
・5min. ON：5 分間点灯・15min. ON：15 分間点灯
・Always ON：常時点灯
・Always OFF ：常時消灯

Flowr rate/speed、Pressure、Temperature の中から選択してください。
・Flow rate/speed ：瞬時流量・Temperature ：流体温度
・Pressure
：流体圧力

【Ｍ】
：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】または【Ｄ】：設定の選択【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 指定がない限り、LCD ディスプレイ(上段)の設定
は“Flowr rate/speed(瞬時流量)”として出荷して
います。

【Ｍ】
：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】または【Ｄ】：設定の選択【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 1、5、15 分間点灯は、設定モードから測定モードに戻ってからの起算となります。
常時消灯でも明るい所では数値を読み取ることが可能です。

6.2.27 LCDディスプレイ(下段)LCD ディスプレイ(下段)に表示する測定値を設定できます。
Totalization、Temperature、Pressure の中から選択してください。
・Totalization：積算流量
・Temperature ：流体温度
・Pressure：流体圧力6.2.29 デフォルト値の変更
すべての設定を初期設定値にリセットできます。
(初期設定値を読み込みます)【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定リセット可能な状態にする【Ｓ】：2 秒以上を押すと設定リセットする【Ｍ】：次の項目へ移動【Ｓ】：設定を変更可能な状態にする【Ｉ】または【Ｄ】：設定の選択【Ｓ】：設定変更の保存(更新)● 設定リセットする前に、現在設定されている設定
内容すべてと積算流量値を控えておいてください。

● ご指定がない限り、LCD ディスプレイ(下段)の設定は“Totalization(積算流量)”として出荷しています。
● 圧力補正機能を使用してない時に、流体圧力を選択すると仕様圧力が表示されます。

IM-F2020-J08

27
6.3 機能テスト例）フルスケール 100m3/h(nor)

模擬出力モード(表示・アナログ・積算・パルス)を全て出力できます。(確認のみで調整はできません)
1) 測定状態で【Ｍ】と【Ｓ】同時に 2 秒以上押します。
2) 最初は 0% F.S から始まります。
【Ｍ】キーを押すことで出力が上昇していきます。
3) 【Ｉ】キーを押すと 1% F.S.刻みで数値を上げることができます。
4) 【Ｄ】キーを押すと 1% F.S.刻みで数値を下げることができます。

● 模擬出力モード中はＬＣＤの右上に流量単位とSimulate が交互に表示されます。
● 模擬出力の上限は 120% F.S.までとなります。
DisplayLine1
F l o w r at e / s p e e d● 模擬出力モード時に【Ｉ】または【Ｄ】を押すと 1%刻みで変更することができます。

● どの出力でも【Ｍ】と【Ｓ】を 2 秒以上押すと、測定モードに切り替わります。

IM-F2020-J08

28
7. シリアル通信

7.2 プロトコル

SRT1000 変換器は、
シリアル通信機能を搭載しています。
シリアル通信により瞬時流量・積算流量・気体温度・気体
圧力など各種データをデジタル出力することができ、コンピュータなどでデータ処理が可能です。また、異常時にはエラーメッセージ(コード)を出力することができ、遠隔地で異常を確認できます。

・ 通信ボーレート：
2400、4800、9600、19200、38400bps(設定キーのユーザーモードより設定)

7.1 インターフェース
規格：RS-485(二線)通信モード：半二重

・ レスポンス設定：
None、50ms、100ms、200ms、500ms、1s、2s(設定キーのユーザーモードより設定)
パリティチェック：なし
スタータビット ：1bit
ストップビット ：1bit

7.3 コード
文字コード：アスキーコード● RS-485 とは米国電子工業会(EIA)によって標準化された、シリアル通信規格の 1 つです。
● コンピュータなどに RS-485 インターフェースがない場合は RS-485→RS-232C 変換器などを使用してください。

7.4 通信フォーマット
フォーマットは 7 つの成分からなります。
(1)

(2)

(3)

(4)

(5)

(6)

(7)

開始

ID

命令

コード

データ

終了

BCC

*

Id

M/m

nn

□□・・・□□

#

□

1byte

2byte

1byte

2byte

0～12byte

1byte

1byte

（1）開始
（2）ID
（3）命令

： 通信を開始させる記号： 変換器のアドレス(00～99) ※1： M/m＝変換器から計測データ読み出し(M または m)SRT1000 からの応答はk（4）コード ： 動作内容を表します。(00～09) ※2 (項目を選択します)（5）データ ： 変換器に書き込むデータおよび変換器からの送られてくるデータ(応答)。
読み出し時のデータはありません。
（6）終了： 通信を終了させる記号（7）チェック ： 通信したデータに誤りがないか検査します。※3※1： 工場出荷時通信アドレスは“00”になっています。複数台接続する場合は、通信アドレスが重複しないように設定してから接続してください。
※2： 詳細は事項「9.5 パラメータ」を参照してください。また、本書に記載されたコード以外のコードを入力すると、製造上各種データを出力する場
合があります。正常にご使用するためには、記載されたコードのみご使用ください。
※3： BCC 1 バイトブロックチェックコード 伝送エ
ラーを検出するコードです。
スタートコードとス
トップコードを含む、
ブロック全体の奇数水平パ
リティ(LRC-Odd)で、8 ビット目 0 とします。

IM-F2020-J08

29
7.5 シリアル通信のパラメータ
シリアル通信の機器情報および測定値に関するパラメータのコードや書式について説明します。

答

小数
(桁数)

備

01

0.0000～1200000

0～4

少数点は設定による

M/m

020.000～99999999

0～3

少数点は設定による

M/m

03

1

単位は設定された温度
単位に同調します。

パラメータ

命令

コード

瞬時流量

M/m

積算流量

流体温度

応

(℃)
(F)
(K)

流体圧力

M/m

04

(−0.800～20.40)( −0.0785～2.0006)(−78.50～2000.6)

積算リセット

M/m

05

0

－

－

変換器
IC 温度

M/m

06

−10.00～85.00

(℃)

2

考

(kgf/cm2)
(MPa)
(KPa)

3,4,1

単位は設定された圧力単位に同調します。
積算がリセットされると“0”を読み出す。

例）シリアル No.を読み出します。
SRT1000 への送信 ：「*00U22#□
SRT1000 からの応答：「*00U2211234567#□」→シリアルＮｏ.は「1234567」となります。
□：BCC

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30
7.6 ModBus RTU 通信プロトコル
通信条件:
インタフェース
プロトコル
RS485 ID アドレス
通信速度 (bps)キャラクター構造

エラーチェック方法

非同期、半二重 RS485
ModBus RTU
00～99 (00H～63H 選択できる)
2400, 4800, 9600, 19200, 38400 (選択できる)スタート：1 bitデータ：8 its (Binary)
パリティ：0 bit (None)
ストップ：1 bit (Fixed)
CRC-16

通信ブロック
スレーブ入力レジスターの読出(Total Byte = 8)
名

称

バイト

スレーブのアドレス

1

データ

ファンクションコード

1

開始アドレス(上位)

1

開始アドレス(下位)1

レジスターの数(上位)100H

レジスターの数(下位)1

NNH

エラーチェック CRC(下位)1

エラーチェック CRC(上位)1

04H

返信ブロック (Total Byte=5+NN×2)
名

称

バイト

スレーブのアドレス

1

データ

ファンクションコード

104H

バイト数(CC=NN*2)

1

CCH

データ 1(上位)1

データ 1(下位)1……
データ NN(上位)1

データ NN(下位)1

エラーチェック CRC(下位)1

エラーチェック CRC(上位)1

保持レジスターの読出 (Total Byte=8)
名

称

バイト

データ

スレーブのアドレス1

ファンクションコード

1

開始アドレス(上位)

1

開始アドレス(下位)1

レジスターの数(上位)100H

レジスターの数(下位)1

NNH

エラーチェック CRC(下位)1

エラーチェック CRC(上位)1

03H

IM-F2020-J08

31
返信ブロック (Total Byte=5+NN×2)
称バイト

スレーブのアドレス1

ファンクションコード

103H

バイト数(CC=NN*2)

1

CCH

データ 1(上位)1

データ 1(下位)

1

名

データ

……
データ NN(上位)1

データ NN(下位)1

エラーチェック CRC(下位)1

エラーチェック CRC(上位)1

一つの保持レジスターの書込(Total Byte=8)
名

称

バイト

スレーブのアドレス1

ファンクションコード

1

開始アドレス(上位)

1

開始アドレス(下位)1

レジスターの数(上位)1

レジスターの数(下位)1

エラーチェック CRC(下位)1

エラーチェック CRC(上位)

1

データ
06H

(返却ブロックは同じ)複数の保持レジスターの書込 (Total Byte = 9+NN×2)
名

称

バイト

データ

スレーブのアドレス1

ファンクションコード

1

開始アドレス(上位)

1

開始アドレス(下位)1

レジスターの数(上位)100H

レジスターの数(下位)1

NNH

バイト数(CC=NN*2)

1

CCH

データ 1(上位)1

データ 1(下位)

1

10H

……
データ NN(上位)1

データ NN(下位)1

エラーチェック CRC(下位)1

エラーチェック CRC(上位)1

返信ブロック (Total Byte=8)
名

称

バイト

レーブのアドレス1

ファンクションコード

1

開始アドレス(上位)

1

開始アドレス(下位)1

レジスターの数(上位)1

レジスターの数(下位)1

エラーチェック CRC(下位)1

エラーチェック CRC(上位)

1

データ
10H

NNH

IM-F2020-J08

32
7.7 通信フォーマットの詳細
入力レジスター
ファンクション

タイプ

下限

0x0000

瞬時流量

名称

ulong

0

1200000

上限

コメント
×10-FlowDecimal

0x0002

積算流量

ulong

0

99999999

×10-TotalDecimal

0x0004

気体温度

short

-500

3500

(℃) × 0.1

0x0005

気体圧力

short

-800

20400

(kg/cm2) × 0.001

0x0006

メータコードascii*8

Always return "SRT1000 "0x000A

シリアルナンバー

ascii*16

ex: "ES##-#####-## "0x0012

ファームウェア Ver.

ascii*8

Returen firmware version, ex: "SRT1027 "0x0016センサーナンバー

Asci*8ex: "######"

ulong は無符号 32bit 整数です。short は符号付き 16bit 整数です。ascii はアスキーコード文字です。
保持レジスター
ファンクション

名称

タイプ

下限

上限

コメント
[0]:Air,[1]:Ar,[2]:CH4,[3]:C2H6,[4]:C3H8,[5]:C4H10,

0x0000気体種類

ushort0

16[6]C2H4,[7]:C3H6,[8]:CO,[9]:CO2,[10]:H2O,[11]:N2,[12]:NH3,[13]:O2,[14]:Other1,[15]:Other2,[16]:Other3[0]:L/min, [1]:L/min(nor.), [2]:L/min(std.),[3]:m3/m, [4]:m3/m(nor.), [5]:m3/m(std.), [6]:m3/h,

0x0001

流量単位

ushort0

16[7]:m3/h(nor.), [8]:m3/h(std.), [9]:km3/h,[10]:km3/h(nor.), [11]:km3/h(std.), [12]:kg/h,[13]:t/h, [14]:m/s, [15]:m/s(nor.), [16]:m/s(std)0x0002

フルスケールulong

1010000000

0x0004

流量表示小数点

0x0005

積算表示小数点・乗数

0x0006

× 0.1

ushort

0

4

short

-3

3

上限警報(QH)

ushort200

1200(%FS) ×0.1

0x0007

下限警報(QL)

ushort0800(%FS) ×0.1

0x0008

ヒステリシス(QS)

ushort0100(%FS) ×0.1(%FS) ×0.1

0x0009ローカット

ushort0100

0x000A

ドロップアウトushort0100(%FS) ×0.1

0x000B

圧力とフィルターの選択

ushort03[0]Used & MA,[1]Sensor & MA,

0x000C

温度単位

ushort02[0]:℃, [1]:°F, [2]:K

0x000D

圧力単位

ushort02[0]:kgf/cm2, [1]:MPa, [2]:Kpa

0x000E

仕様圧力

short

-1033

20400

(kg/cm2) × 0.001

0x000F

圧力信号のゼロ

short

-1033

20400

(kg/cm2) × 0.001

0x0010圧力信号のスパン

short

-1033

20400

(kg/cm2) × 0.001

0x0011

シリアル 485 の ID

ushort0990x0012

ボーレート

ushort040x0013

シリアル 485

ushort06[2]Used & ES,[3]Sensor & ES

[0]:2400, [1]:4800, [2]:9600, [3]:19200, [4]:38400 bps[0]:0, [1]:50, [2]:100, [3]:200, [4]:500,[5]:1000, [6]:2000 ms

ディレイ(遅延)0x0014

パルス幅

ushort03[0]:10, [1]:50, [2]:100, [3]:200 ms

0x0015パルス出力小数点・乗数

ushort0

6[0]:0.001, [1]:0.01, [2]:0.1, [3]:1, [4]:10, [5]:100, [6]:1000

0x0016

アナログ出力調整(ゼロ)

short

-100

100

0x0017

アナログ出力調整(スパン)

short

-100

100

0x0018

レスポンス(応答時定数)

ushort

0

30

Sec.

0x0019

異常警報選択ushort04[0]:No Function, [1]:Tg Abnormal, [2]:DeltaT Abnormal,

0x001A

上段表示選択ushort02[0]:Flowrate, [1]:Temperature, [2]:Pressure

0x001B

下段表示選択ushort02[0]:Totalize, [1]:Temperature, [2]:Pressure

0x001C

バックライトの設定

ushort0

4[0]:1min [1]:5min,[2]:15min,[3]:Always ON,

0x001D

積算リセットushort0

1

Write 1 to reset totalize value

0x001E

書込許可/禁止ushort0

1[0]:Disable, [1]:Enable[3]:Ta Abnormal, [4]:All Abnormal[4]:Always OFF

ushort は無符号 16bit 整数です。
IM-F2020-J08

33
8. アラーム&エラー

8.2 エラーモード
SRT1000 は検出器、または変換器に異常が発生した場合、LCD ディスプレイに異常内容を表示します。エラ
ー内容の確認は D キーを 2 秒以上長押してください。
エラーモードは予期しない異常が発生した時に更にエラーの詳細を表示します。
下記はその例です。

8.1 アラームメッセージ
SRT1000 は検出器、または変換器に異常が発生した場合、LCD ディスプレイに警報内容を表示します。

-

>

L

o

w

!

-

>

H

i

g

h

-

>

E

r

r

!

タイトル

!
E
T

Low！

下限アラームHigh!

上限アラームErr!

異常アラーム

g

r

r

o

r

H

i

g

h

(

M

o

d

e

>

1

2

0

C

)

エラーメッセージ

8.3 エラーメッセージの内容
エラーメッセージ

内容

可能性のある原因

変換器の動作Tg＜−50°C

流体温度が−50℃以下
結線の異常
センサー破損

加熱電流は小さくなる
アナログ出力 0%
パルス出力停止

Tg HighTg＞120°C

流体温度 120℃以上
結線の異常
センサー破損

加熱電流は小さくなる
アナログ出力 0%
パルス出力停止

DT Low

DeltaT＜5°C

ハードウェアの異常
結線の異常センサー破損

加熱電流は小さくなる
アナログ出力 0%
パルス出力停止DT High

DeltaT＞90°C

加熱電流異常結線の異常センサー破損

加熱電流は小さくなる
アナログ出力 0%
パルス出力停止

Ta Low

Ta＜−10°C

周囲温度が低い

測定継続

Ta High

Ta＞85°C

周囲温度が高い

測定継続

Pg Connect Err

圧力信号未入力

圧力補正用信号が未入力

測定継続

－

D キー或いは 1 分間以上放置で復旧します

Tg Low

No error

異常なし

8.4 エラーの確認
Err! 表示が点灯したら D キーを 2 秒以上長押してください。
エラーが多数発生した場合は、順番にエラーメッセージが表示されます。
D キーを再度押すか、1 分間以上放置すると、測定モードに移行します。

First error

Next error

Final error

IM-F2020-J08

34
9. 保守・点検● 初期運転ならびに運転再開時における、
サーマルフ
ローメータの簡単なチェック方法について記載します。また、以下のチェックにおいて異常が発見された場合は弊社までお問合せください。

9.1 保守用機器
本機の保守には、検出器抵抗測定用デジタルマルチメータなどの測定器が必要となります。
尚、保守に用いる測定器は、機器性能を維持管理されたものをご使用ください。

図 9.1 表示一体型

9.2 検出器抵抗チェック● 電源を入れた状態で結線を取り外すと変換器の故障原因となる恐れがありますので、結線を取り外す場合は必ず電源を切ってください。
1) 抵抗チェック・まず DC 電源を切ります。
・センサーリード線を外します。
・加熱センサー、温度センサーの各々の抵抗をチェックします。
リード線

抵抗値(−10～50°C)

赤－黒

19～25Ω

赤－赤0.5Ω 以内

黒－黒0.5Ω 以内青－白95～125Ω

青－青

2Ω 以内

白－白

2Ω 以内

図 9.2 表示分離型● リード線はφ0.3 の Ni 線と Cu 線ですので端子からの取り出しや,再度端子に結線する場合注意してください。無理に抜くと、棒状端子が抜ける恐れがあります。

＊抵抗値は目安です。

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352) センサーの洗浄センサーパイプにダスト、ミストが付着すると指示誤差の原因となる為、センサーパイプを洗浄する必要があります。
・変換器の電源を OFF にします。
・管内を減圧してください。
・検出器センサーを配管または測定管から外します。
(図 9.3)9.3 変換器のチェック
変換器は基本的にメンテナンスフリーでご使用していただけますが、長期に渡って安定してご使用していただくために日常点検を行ってください。
1) 配線の点検専用ケーブル、電源ケーブル、外部出力用ケーブルの接続端子部に緩み、腐食等ないか。
2) 表示部(LCD ディスプレイ)の点検
LCD 表示に変色、表示の欠落などないか。

測定管付きの場合、チューブ継手をはずし、センサ
ーAssy を垂直に引き抜いてください。
・センサーを取り出したら、アルコールまたはシンナーなどを浸した柔らかい布、
ウエスでセンサー
を破損しないよう注意して拭き取ってください。
(図 9.4)

9.4 校正周期
サーマルフローメータの経年変化を考慮し使用状況にもよりますが、定期的に弊社工場に校正に出すことをお勧めします。

9.5 流量レンジの変更
本製品は、お客様での流量レンジの変更はできません。
弊社工場にて再調整が必要となります。
流量レンジの変更が必要な場合は検出器と変換器のセットでご返却ください。

図 9.3

図 9.4

● 過度な力をセンサーに加えると、センサー破損の原因になるのでお止めください。

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10. トラブルシューティング

10.6 ゼロ点が不安定または指示が出る

サーマルフローメータが正常に動作しない場合、結線・配線や取付・設置に起因するもの、測定流体に起因するもの、
計器自体の故障に起因するものなど様々な原因が考えられます。
ここでは、一般的に考えられるトラブルを例に挙げ、原因について記載します。
トラブルの現象をご確認のうえ、対応する項目を参照してください。

10.1 仕様確認
もう一度納入仕様書と実際の仕様が合っているかご確認ください。

原因

流体が流れている

処

置

流体を完全に止めてください。
バルブを完全にクローズする等

自然対流などにより配管 ローカットオフの設定値
内に流れが発生している を大きくする。
縦配管に検出器を設置している場合、横配管に検出器を移設する。
ブロアーやコンプレッサ ブロアーまたはコンプレーなどの脈動により配管 ッサーから検出器を遠ざ内に流れが発生している ける。
変換器故障

弊社までご連絡ください。

10.2 LCDディスプレイが点灯しない
原

因

処

置

電源ケーブルが正しく結 電源ケーブルを正しく結線されていない
線してください。
電源が入っていない

電源を入れてください。

LCD バックライトの動作 設定を変更してください。
設定が正しくない
変換器故障

弊社までご連絡ください。

因システムの異常

変換器故障

処

原

因

処

置

仕様流体と異なる流体を 仕様流体を流してくださ流しているい。
ローカット値以下の流量 ローカットオフの値を小が流れているさくするか、
適正な流量レ
ンジか再確認してください。
センサーにダストが付着 センサーパイプの洗浄ししているてください。

10.3 LCDディスプレイの表示が更新されない、おかしい原

10.7 流体を流しても指示が“0”のまま

置

バイパスラインに流体が バイパスラインい流体を流れている
流さないでください。

数分まって自動的に復旧しないようであれば、一度電源を切り暫くしてから電源を入れ直してください。

エラーメッセージを表示 エラーメッセージの内容しているを確認してください。

弊社までご連絡ください。

センサーカバー付きで流 流れ方向を確認し、正常れ方向に対して 90°の向 な向きに設置してくださきで設置されているい。

10.4 エラーメッセージが表示されるセンサーが腐食している センサー交換後、腐食性気体の無いところに設置
してください。

変換器故障

弊社までご連絡ください。

「8. エラーメッセージ」を参照してください。

10.8 流体を流すと指示が不安定になる

10.5 キー操作を受け付けない原原
システムの異常

変換器故障

因

処

置

数分まって自動的に復旧しないようであれば、一度電源を切り暫くしてから電源を入れ直してください。
弊社までご連絡ください。

因

処

置

流体中に液滴やミストが 液滴やミストを除去して含まれているください。
ノイズの影響を受けてい ノイズの発生源を遠ざけるてください。
流体が脈動している脈動を除去してください。

変換器故障

弊社までご連絡ください。

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10.9 表示は出るが出力が出ない
原因処

10.12 流量指示が高めに出る
置

原

因

処

置

ケーブルが正しく結線さ ケーブルの結線を正しくれていない
行ってください。

仕様流体と異なる流体を 仕様流体を流してくださ
流している
い。

パルスレートが小さい

設定を変更してください。

変換器故障

弊社までご連絡ください。

縮小管の後の直管長が足 直管長を確保できる場所
りないに移設してください。

10.10 指示が振り切れる
原

因

処

置

配管内径が仕様と異なる 弊社に返却し再校正してください。もしくは、仕様
通りの配管でご使用してください。

仕様流体と異なる流体を 仕様流体を流してくださ
流している
い。

比較している流量計と流 単位を合わせてください。
(単位換算)
量単位が違うセンサーパイプに液適が 流体中の液適(水分)を除付着している
去し、
センサーパイプが乾
くまで待ってください。

流体にミストが含まれて ミストを除去してくださいるい。

仕様最大流量以上を流し 流量を下げてください。
ている
変換器故障

使用後 2 年以上経過して 弊社に返却し再校正をおいる
勧めします。

弊社までご連絡ください。

10.11 指示が低めに出る
原

因

処

置

仕様流体と異なる流体を 仕様流体を流してくださ流しているい。
直管長が不足している

直管長を確保できる場所に移設してください。

センサーにダストが付着 センサーを洗浄してくだしている
さい。
センサーが配管に接触し 正しい取付け寸法通りにている
設置してください。
センサーが腐食している 弊社に返却し再校正して
ください。
もしくは、
仕様通りの配管でご使用してください。
配管内径が仕様と異なる 弊社に返却し再校正してください。
比較している流量計と流 単位を合わせてください。
量単位が違う(単位換算)
使用後 2 年以上経過して 弊社に返却し再校正をおいる
勧めします。

● サーマルフローメータは接気体部の材質にSUS316L、SUS316 を使用していますが、硫化化合物または塩素系の気体による腐食等の不具合は保証外となります。
ステンレスを腐食させる気体には使用しないでください。

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