TF-4150/4160/4170
サーマルマスフローメータ
IM-ES792-9

取扱説明書

10 版 2019 03 E
7 版 2009 10 G

はじめにお読みください
このたびは弊社製品をご採用いただき、誠にありがとうございます。
この取扱説明書には本製品の設置方法、取扱い上の注意事項等が記載されていますので、ご使用前に必ずご一読ください。

■ 本書で使用しているマークについて
本書は、弊社製品のご使用に際しお客様にご注意いただきたい内容について記載しています。
この記載内容は弊社全製品に共通する事項となります。
次の表示の区分は、表示内容を守らず、誤った使用をした場合に生じる危害や損害の程度を説明しています。
この表示は、取り扱いを誤った場合、「死亡または重傷を負う可能性が想定される」内容です。

この表示は、取り扱いを誤った場合、「軽傷を負う可能性が想定される場合、および、物的損害の発生が想定される」内容です。
弊社製品を安全かつ正しくご使用いただくための内容です。

■ 一般的な注意事項●弊社製品は工業計器としての用途にのみ使用し、その他の用途には使用しないでください。
●弊社製品は工業計器として最善の品質管理のもとに製造、調整、検査を行い納入いたしております。みだりに改造や変更を行うと本来の性能を発揮できないばかりか、不具合や事故の原因となりますので改造や変更は行わないでください。改造や変更の必要がある場合は弊社営業までご連絡ください。
●仕様書に記載された仕様範囲内でのご使用を厳守してください。この範囲を超えた条件でのご使用は故障、破損の原因となります。
●設置作業の際は必ず安全靴、手袋、保護メガネなどの防護手段を講じてください。
●重量の大きな製品の設置時に、落下による人体・器物などへの損傷または過大な衝撃、破損などが生じないよう吊下方法を含めた安全措置を行ってください。弊社製品設置時にはプラントある
いは装置の停止などの安全を充分確認して、製品設置箇所では配管サポート等の処置を行って設置作業を行なってください。

●運搬の際には弊社出荷時の梱包状態で行ってください。
運搬作業時は製品の落下による人体・器物などへの損傷または過大な衝撃による破損などが生じないよう安全措置を行ってください。
●開梱後、製品の中には、水、埃、砂などを入れないでください。
●プロセスへの設置・接続に必要な締結部品のボルト、ナット、ガスケット（パッキン）は、原則としてお客様がご用意ください。
その場合、圧力、温度および耐食性などの仕様をご確認のうえ選定・ご使用してください。
●プロセスへの設置・接続に際しては、接続配管との偏芯、フランジの倒れがないように設置し、接続継手の規格・寸法合わせを正しく行ない接続してください。正しく行われない場合、製品の故障、誤動作、破損などの原因となります。

●保管の際には弊社出荷時の梱包状態で保管ください。保管の環境につきましては本書を参照ください。
●設置後、製品を「足場」として使用したり、荷重を掛けた場合は故障、破損の原因となりますので、絶対に行わないでください。
●製品に貼付されているラベルに表示されている注意事項は、必ず守ってください。
●弊社製品は最善の品質管理のもとに製造、調整、検査を行い納入いたしておりますが、各種の要因で不測の故障が発生する可能性もあります。運転・安全上の重大な問題が発生する可能性のあるプロセスなどにおいて弊社製品を使用する場合は、万一に備えて弊社製品に加えて同様な機能を果たす機器を併設、二重化を行うなど、より一層の安全性の確保を推奨いたします。

■ 電気的接続について●電気配線（結線）に際しては仕様書、本書などに記載されている内容を確認のうえ、正しく配線（結線）してください。誤配線（結線）は機器の故障の原因となるばかりでなく、事故の原因となることがあります。また、配線（結線）作業の際は電源が遮断されていることを確認し感電にご注意ください。
●電源を接続する製品の場合は、仕様書、本書を参照して電圧および消費電力を確認して適合する電源を接続してください。適合する電源以外の電圧の電源に接続した場合、機器の破損や作動の不具合、事故につながる恐れがあります。
●通電中は、感電事故防止のため内部の機器には絶対に触れないでください。

●設置工事から電気配線作業完了にいたる間、雨水などが製品内に入らないようご注意ください。
また、配線完了後は遅滞なく正しく防水措置を実施してください。

■ 材質について●製品の材質については仕様書に記載されています。弊社ではお客様よりご指示いただいたご仕様、ご指定またはお打合せにより最適な材質選定に努めておりますが、実際のプロセスにおけるご使用条件・運転条件につきましては知見できないこともあります。最終的な耐食性、適合性のご確認はお客様の責任でお願いいたします。

■ 製品の一部にガラス、樹脂を使用している製品について●流量計の接液部または測定部、表示部の材質にガラス、樹脂を使用している製品の場合、過度の加圧、温度衝撃、急激な流体の流入の衝撃圧などにより流量計のガラス、樹脂が破損する場合があります。
万が一破損した場合、ガラス、樹脂などの破片が飛散するなどして二次災害および作業者に危険が及ぶ恐れがあります。破損の原因となるような運転条件にならないようご注意ください。また、飛散防止の措置をお願いいたします。

■ ガラス管・樹脂管面積流量計の使用についてガラス管・樹脂管面積流量計は以下の事項に配慮して使用してください。
●以下の流体条件および使用環境では、ガラス管・樹脂管面積流量計は不適ですので使用しないでください。
・衝撃圧力がある、あるいは衝撃圧力が予想される流体ライン
・万が一ガラス管/樹脂管が破損した場合、二次的な災害が予想されるライン－毒性（刺激性、麻酔性などを含む）のある流体－引火性のある流体－爆発性のある流体・ガラスが破損した時にガラス片が飛散し、人身事故などが考えられる場合
・設置場所が、外部からの飛散してきた異物などでガラスの破損が考えられる場合・運転が ON／OFF 運転で、フロートが急上昇し、その衝撃でガラスが破損すると考えられる場合
・流量計に温度衝撃（急冷／急騰）が加わる、あるいは温度衝撃が予想されるライン●運搬、保管および運転に際しては、機械的衝撃をガラス部、樹脂部に与えないようご注意ください。
●接液部または測定部にガラスおよび樹脂を使用している製品において、運転停止に伴い流れが停止した場合、測定液体が測定管内に残留して周囲温度が氷点下になると（一般的には冬期に運転停止して液抜きをしないなど）液体が凍結してガラス、樹脂を破損する恐れがあります。運転停止中に測定液体が凍結する恐れがある場合は、液体を完全に抜き取ってください。
●樹脂は一般的に金属に比較して機械強度が低く、取扱いには注意が必要です。設置に際しては接続配管・継手の寸法違い、偏芯、過大な締結トルクでねじ込むことなどによる機械的応力が加わらないようご注意ください●ガラスはアルカリ系溶剤で侵食されます。アルカリ系溶剤は使用しないでください。
●樹脂は溶剤系の液体で破損することがあります。仕様書、本書などに記載されている流体以外には使用しないでください。
●樹脂は使用環境により劣化が早まることがあります。設置ならびに運転にあたっては、樹脂の耐食性、紫外線耐性などの耐環境性に考慮してください。

■ 防爆仕様で納入された製品について●該当する法規・規則・指針に適合した配線、接地工事を確実に実施してください。また、構造の改造、電気回路の変更などは法令違反および規則・指針に適合しなくなりますので、絶対に行わないでください。
保守・点検につきましては法令・規則・指針に従い、作業を実施してください。

●製品の防爆等級は、仕様書、製品の銘板に記載してあります。設置場所は防爆関連法規・規則・指針に従い、お客様にて対象ガスに応じて選定してください。

■ 保守、点検について●製品を保守、点検などでプロセスから取外す際は、測定対象の危険性・毒性に留意して関連する配管・機器類からの漏れおよび残留などにより人体・機器類への損傷が生じないよう、安全を確認して作業を行ってください。

●製品の保守、点検については使用条件などによりその周期、内容が異なります。本書を参照する
か、お客様が実際の運転状況を確認してご判断をお願いいたします。

1. 記述範囲
本書は TF-4150/4160/4170 サーマルマスフローメータについて記述してあります。

ケース

ABS 樹脂プロセス接続Rc1, Rc1½, Rc2, (形式による)

電気接続

専用コネクタ付ケーブル

表示

2. 製品の形式コード表示器

5 桁 赤色 LED7 セグメント
文字高さ 7mm

注記

警報 LED 2 個(上下限警報表示)
表示書式

流量範囲、流量単位 は標準品の場合を記載しています。ご注

0.00~99.99/100.0~999.9/1000.~99999.

文時の指定により内容が異なる事があります。納入仕様書ま(瞬時流量)※小数点位置自動切換

たは製品の銘板を参照して下さい。

0～99999(積算流量)※無電源時、積算流量は保持されません。

形式コード

出力TF-41 □ □ - □ □内容25A、Rc1、0 ~ 4,000L/min(nor)5
口径、接続
40A、Rc1½、0 ~ 8,000L/min(nor)6
流量レンジ
50A、Rc2、0 ~ 16,000L/min(nor)7
上流側向き、表示器固定 ※1
0下流側向き、表示器固定 ※2
コネクタ取付向き 1
上流側向き、表示器回転 CE 対応
2

アナログ出力

負荷抵抗 300Ω以下 (@12V 電源)
負荷抵抗 600Ω以下 (@24V 電源)
デジタル出力プロコトル：8N1
ID アドレス：00～99
積算パルス出力※50A のメータはアルミニウム本体、表示器固定のみです。
※1 TF-41□0-□□表示向き

オープンコレクタ(DC30V 以下、100mA 以下)※2 TF-41□1-□□表示向き

FLOW

RS-485,二線式半二重通信
通信速度：2400,4800,9600bps (設定)ステンレス SCS13

1 DC 0~5V
2 DC 4~20mA

アナログ出力出力インピーダンス 50Ω以下
・DC4~20mA

UL 対応 ※3
アルミニウム A6061-T601

本体材質(形式選択)

・DC0~5V※0.2~10.0%F.S.・min/pulse (設定)

FLOW
警報出力

オープンコレクタ(DC30V 以下、100mA 以下)
上限警報：設定値以上で動作
下限警報：設定値以下で動作※3 製品に UL マークが有る場合のみ、UL 認定品です。

※設定値はそれぞれ 0.0～100.0%F.
で設定可能

流量範囲と圧力損失
形式

流量範囲

ボタンスイッチ

接続口径 圧力損失*

TF-415□-□□

0 ~ 4,000L/min(nor)

Rc 1

39KPa

TF-416□-□□

0 ~ 8,000L/min(nor)Rc 1½33KPa

TF-417□-□□0 ~ 16,000L/min(nor)Rc 239KPa* 0.1MPa で最大流量時の圧力損失

3. 仕様概要
測定流体

空気、窒素

周囲及びガス温度

0～60℃ (結露無き事)

ガス圧力0.1~1.0MPa

精度±2％F.S.

4 ボタン※変換器設定変更に使用

取付姿勢

水平または垂直流れ方向

4.外形図寸法 参照

周囲環境

0~60℃/0～90%RH 以下 (結露無き事)

電源

DC12~24V max.200mA

CE/UL マーキング

適合(表示器回転タイプのみ)

環境定格

Type1 Enclosure

付属品

専用ケーブル(丸型 8 ピンコネクタ付 長さ 5m)(表示精度±1digit が加算されます。)
応答性

1.0 秒以内 (90％応答)

温度影響±0.1%F.S./℃

圧力影響±0.1%F.S./0.1MPa

レンジアビリティー

1:20 (ローカット 2.5%F.S.)

以内
以内

接ガス部材質
本体

A6061-T6 または SCS13(形式選択)

センサー

SUS316、ガラス、白金イリジウム

シール

フッ素ゴムおよび NBR

耐圧

1.5MPa(気圧)1IM-ES792-9

4. 外径寸法
TF-4150-0□ / TF-4160-0□
TF-4170-0□

TF-4150-1□/ TF-4160-1□

コネクタ上流側向き
表示器固定
A6061-T6

コネクタ上流側向き
表示器固定
SCS13

TF-4152-0□ / TF-4162-0□

TF-4152-1□ / TF-4162-1□

コネクタ上流側向き
表示器回転A6061-T6

コネクタ上流側向き
表示器回転
SCS13

表示器回転部
TF-4151-0□ / TF-4161-0□
TF-4171-0□

TF-4151-1□ / TF-4161-1□

コネクタ下流側向き表示器固定
A6061-T6

コネクタ下流側向き表示器固定
SCS13

単位:mm
形式

接続

L (L1) L2

TF-4152-0□
TF-4152-1□

Rc1

176 (55) 85 □55(118) (86) 40 71 36 9.5

TF-4162-0□
TF-4162-1□□W (H) (H1) A A1

B

Rc1-1/2 188 (63) 85 □70(133)(101) 40 74 46

B1

12

注意
単位:mm
形式
TF-4150-0□
TF-4150-1□
TF-4151-0□
TF-4151-1□
TF-4160-0□
TF-4160-1□
TF-4161-0□
TF-4161-1□
TF-4170-0□
TF-4171-0□

接続

L (L1) L2□W (H) (H1) A A1

B

Rc1

176 (55) 85 □55(105) (83) 40 71 36 9.5

TF-41□2-□□(表示器回転タイプ)の表示器は約 270°回転B1できます。流量指示値などが見やすい位置に表示器を回転させてください。90°毎に「カチッ」と音がし、回転が一旦止まります。270°以上無理に回すと、表示器が壊れますので、おやめ下さい。また、表示器は手の力で回るようになっておRc1-1/2 188 (63) 85 □70(120) (98) 40 74 46

ります。モンキーレンチなどの工具は絶対に使わないで下さ12い。
Rc2213 (88) 85 □80(130)(108) 40 94 46

175. 各部の名称

2IM-ES792-9

6. 測定原理③

固形物や繊維物質が流体中にあるとセンサを損傷して動TF-4150/4160/4170 サーマルマスフローメータは定評のあ作不良の原因となります。上流側で除去する対策を講じる TF シリーズマスフローメータで蓄積したノウハウをベースてください。同様にミストのある気体は、センサの損傷につながります。にした大流量用の気体用流量計です。流路に設けた一対の感④温抵抗体の一方を加熱し、流体温度と同じ温度のもう一方のパネルに取付けて使用する場合は、本体底面のネジ穴を感温抵抗体との温度差が一定になるよう供給電力を制御する。

利用して取付けてください。下記に底面図を示します。

また、感温抵抗体から流体へ伝達する熱量は流体の質量流速

尚、本体底面のネジ穴をアース用としても使用して下さにより変化するとともに、この熱量は感温抵抗体への供給電い。過度のネジ込みに注意してください。本体が破損す力の関数となる。従って、質量流速は供給電力の関数となり、る恐れがあります。

供給電力より質量流量を求めることができます。

9.2 配管接続

7. 受け入れ注意

ご注文の製品がお手元に届きましたら、ただちに下記の点についてお調べください。もし不具合がありましたら、ご注

安定な流量計測を行う為に、下記の点に注意して配管接続

文先にご照合ください。

を行ってください。

 装置に表示されている形式がご注文通りのものか。

①

 輸送中の事故などで破損していないか。

本器を持ち運ぶときは、本体をしっかりとお持ちください。また衝撃を与えないでください。

 付属品は付属されているか。

②

 その他、ご発注時またはご契約時に承認仕様となった、配管内部のネジきり後の切削油や、ダストなどは完全に除去してください。接続前に配管内部のフラッシングを受入検査項目通りのものか。

必ず行ってください。また、ミストが含まれる配管には接続しないでください。

8. 保管

③

真空ポンプなどで大気を吸い込む場合には、本器の上流側にフィルタを設置して、ダスト対策を実施してくださ

注意

い。
④

製品を保管する場合は、次の条件にあった場所を選定して配管接続は管用テーパネジになっています。リークの無いように締め付けてください。このとき、シール材などください。
 腐食性雰囲気のないこと。

が、配管内部や継ぎ手内部にはみ出さないようにしてく 埃、砂などがかからないこと。

ださい。

 湿度が一定で結露のないこと。

⑤

 落下や機械衝撃のないこと。

一口径で配管接続してください。

 雨水などがかからないこと。
 周囲温度

また、流量に合わせて適切な口径の継ぎ手を選定し、同⑥取り付け方向は、水平取り付けをお勧めしています。固定するときは底面のネジ穴を使用してください。本体に-10~+50℃流れ方向を示す矢印があります。矢印の方向に計測流体

9. 設置
9.1 設置が流れるように設置してください。
⑦

本器の保守・点検を容易にするため、バイパス配管の設置をお勧めします。

注意
設置環境としては、高電流・高電圧・高磁界・直射日光・水濡れ環境は避けてください。

①

流れ(取付け)方向は水平方向をお勧めします。

②

旋回流、流量計の上流にバルブが設置されている、流量計と異なる口径で配管されているなど流が乱れることが予想される場合、流量計と同一口径の直管部を上流側：5D 以上、下流側：3D 以上できるだけ長く設けて下さい。
(D:配管径)また、バルブは流量計の下流側に設置する、流量計と異なる口径の配管は流量計の口径±1 サイズまでとするなどのご配慮下さい。

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10. 配線・通信
10.1 配線④

配線に際してケーブル長に余りがある場合は切断しても差し支えありません。

⑤

注意

本体およびケーブル引出し部分はコネクタ接続状態でないと防水構造ではありません。したがって、水の付着に①配線に先立って、電源は OFF 状態で実施してください。

②

TF-4150/4160/4170 サーマルマスフローメータ本体にはよる配線系統での短絡などに注意してください。
⑥

シールドはノイズ状態によって適時接続してください。

8 ピンのコネクタが付いています。付属の専用ケーブル③で電源並びに各種機器に接続ください。

電源について本体底面のネジ穴を利用し、アース接続をお勧めします。

⑦

電源は DC12～24V，200mA 以上の容量を持ったものをご使用ください。

専用ケーブル(イメージ図)10.2 通信TF-4150/4160/4170 サーマル
マスフローメータとコンピュー
タ、電源との接続の基本例を示します。接続には RS485 を利用します。コンピュータ側に RS485がない場合は RS-232C⇔RS485 変換器などを利用してください。
表示器固定：DC0-5V 出力、DC4-20mA 出力
表示器回転：DC0-5V 出力

11. 設定11.1 表示機能①

設定モードの表示
・A 表示器 が「H.」、「L.」、「a.」、「b.」、「0.」、「P.」、「I.」、

表示器回転：DC4-20mA 出力「r.」、「4.」、「2.」で、設定項目記号を表示します。
・B~E 表示器が｢-｣、｢0｣、｢1｣、｢2｣、「3」、「4」、「5」、「6」、「7」、「8」、「9」で、設定値を表示します。

※②

電源(-),

測定モードの表示

アナログ出力(-)

A～E 表示器が短絡する結線

・0.00~99.99(小数点以下 2 桁)は出来ません

・100.0~999.9(小数点以下 1 桁)

・1000.~99999.

(小数点以下無)・0~99999(小数点無、積算流量表示用)

③

上下限警報
設定した上下限値を超えたときに、上限警報 LED,下限警
報 LED が点灯します。

注意④

瞬時流量のオーバーフロー表示

表示器回転 DC4-20mA 出力では、電源(-)とアナログ出力(-)がフルスケール流量の 120%を超えた場合、「OFLo」を表示し短絡する結線では使用できません。接続する 4-20mA 受信計とます。
⑤

流量計の電源が共通の場合などで受信計内部で電源(-)とアエラーを表示する場合「Err 1」、「Err 2」、「Err 3」を表示します。

ナログ出力(-)が接続された状態となる場合もありますので、ご注意下さい。

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11.2 ボタンスイッチの機能

11.4 上・下限警報値の設定【 設定項目番号 1. 上限警報値:H 】【 設定項目番号 2. 下限警報値:L 】
上記 13.3 のように設定モードに移行し、「t.****」と表示された状態でを 1 回押すと「H.100.0」と表示し、さらにを 1 回押すと、「L.000.0」と表示されます。この「H.100.0」が上限警報値であり「L.000.0」が下限警報値です。上記のように操作しそれぞれの警報値の設定を 000.0～100.0%F.S.の範囲内で変更できます。
①

り、さらにモードを押すと設定変更可能な状態になを押すと桁の移動になります。と警報値の設定を変更し、を押すたびを押し、設定変更を保存して、測定モードで“モード+シフト“を同時に 3 秒押し続測定モードに移行してください。なお、警報出力は上限またけると設定モードに移行します。

か下限で出力されます。

設定モードで設定データを一時的に記憶して設定項11.5 積算パルス乗数の設定目を進めるときに使用します。

【 設定項目番号 6. パスルパーセント:P 】

シフト②

上記 13.3 のように設定モードに移行し、「t.****」と表示

測定モードで“モード+シフト“を同時に 3 秒押し続された状態でを 6 回押すと「P. 01.0」と表示されます。

けると設定モードに移行します。

これが積算パルスの積算乗数の設定となります。上記 13.4 の設定モードで変更する桁を移動するときに使用しまように希望の積算乗数を 0.2～10.0%F.S.・min の範囲で設定す。

できます。そして③を押し、設定した積算乗数を保存して、測定モードに移行してください。

INC
設定モードで点滅している桁の数値を増大させるか、11.6 アナログ出力(4-20mA)の調整と確認符号を反転させるときに使用します。

【 設定項目番号 9. DC4mA の確認:4 】【 設定項目番号 10. DC20mA の確認:2 】④エントリ

上記 13.3 のようにパラメータモードに移行し、「t.****」

設定モードで 3 秒以上押すと、設定値を保存して、と表示された状態で表示を測定モードに戻します。

す。これが DC4-20mA 出力のゼロ(4mA)点調整状態です。4mAを 9 回押すと「4.****」と表示されまを調整する必要がありましたら、13.4 のように「4.****」の11.3 積算パルス/警報出力の選択

値を調整すれば、アナログ出力のゼロ(4mA)点も調整できます。

【 設定項目番号 5. オープンコレクタ出力:0 】

この状態で積算パルス、上限警報、下限警報より 1 つ選択となります。

され、確認できます。この状態でとを同時に押すと、ゼロ(4mA)点が強制出力を 1 回押すと、4mA(ゼロ点)の強制出力は解除され、「2.****」と表示されます。これ

工場出荷時設定は積算パルス出力になっております。
を同時に 3 秒以上押しが DC4-20mA 出力のスバン(20mA)調整状態です。20mA を調整すます。測定モードから設定モードに移行し、「t.****」と表示る必要がありましたら、同様に、その値を調整すれば、スバされます。ここで、t.****は実際の積算流量を表示していまン(20mA)も調整できます。

す。この時、(20mA)が強制出力され、確認できます。また、他の設定項目選択方法は、測定モードでトします。
すと「O.とを押した後にを押すと、積算値をリセッを押すたびに設定項目が移項し、点滅し、設定変更可能状態になります。

を同時に押すと、スバンあるいは測定モードに移行すると、4mA 又は 20mA の強制出力を 5 回押が終わります。

3」と表示されます。これがオープンコレクタ出力の動作の設定となります。この状態でとDC0-5V アナログ出力タイプはアナログ出力の調整はできまを押すと「3」がせん。

を押すたびと「3→0→1→2→3・・・」と繰り返します。

11.7 積算/瞬時流量表示の切替

1 ： 上限警報 (工場出荷時設定：100.0%F.S.)
2 ： 下限警報 (工場出荷時設定：000.0%F.S.)と3 ： 積算パルス (工場出荷時設定：01.0%F.S.・min)を同時に 3 秒以上押すたびに、表示値は瞬時流量⇔積算流量を切替えます。

0 ： 無効を押し設定を保存してください、設定が保存されると設定値は点滅から点灯となります。

を 3 秒以上押し続けると、設定モードから測定モードに移項します。

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11.8 積算流量のリセット

キャラクタ

文字コード：ASCII 8bit
1 スタートビット、1 ストップビット、

上記 13.3 のように設定モードに移行し、「t.****」と表示された状態で(※は実際の積算流量を示す。
算流量値が点滅します。次にされ、「t.

パリティビット無しを押すと、積ID アドレスを押すと積算流量はリセット

ID アドレス00～99※工場出荷時:000」と表示します。また、無電源時積算流量※複数台接続する場合は重複しないよは保持されずリセットされます。

う設定してください。

11.9 設定一覧

通信速度

2400,4800,9600bps (設定)
※工場出荷時:2400bps

機能設定および出荷時の設定※ホストコンピュータ側と合致させ設定項目番号012積算流量
上限警報値
下限警報値
スケーリング：a(ax+b)

345678910表示

内容

オフセット：b(ax+b)
オープンコレクタ出力
パルスパーセント
RS485 ID アドレス
通信速度
DC 4mA の確認
DC20mA の確認てください。

At.
H.
L.

B
*
10C
*
00

D
*
0.
0.

E
*
00

a.

1.

000

b.
0.
P.
I.
r.
4.
2.

00020341
30.

0

1.
00
50000000

12.2 通信ブロック形式
通信書式は(1)～(7)のブロックに分かれており、1 回の通信では N 個のキャラクタを送受信します。
ブロック番号
ブロック
名称

(1)

(2)

(3)

(4)

(5)

(6)

(7)

スターID
コマンド/ パラメータストップトデータBCC
アドレスレスポンス 番号
コード
コード

各ブロックの1
2
キャラクタ (固定) (固定)
数

1(固定)

2(固定)

0～8
1
1(可変) (固定) (固定)

キャラクタ
1
番号番目

4番目

5,6番目

7～N-2番目

大きなノイズや、電源異常等により設定記憶値に異常がある

2,3番目

N-1番目

N番目

(1)スタートコード “*”と考えられる場合に、上記の操作により再設定してください。
※通信速度は 9600、4800、2400bps の値を選択でき、それ通信の始まりを示すコード(2)ID アドレス

ぞれ、「r.9600」、「r.4800」、「r.2400」と表示します。

“00”～ “99”通信する流量計の ID アドレス(3)コマンド/レスポンス

12. 通信機能

・コマンド ※ホストから流量計への通信で使用。

参考
本器は RS485 によりパーソナルコンピュータなどのデジタ“R” : 読み出しホストから流量計への読み出し“W” : 書き込みホストから流量計への書き込み

・レスポンス ※流量計からホストへの通信で使用。

ル機器との通信が可能です。通信により、測定データ並びに“K” : レスポンス 流量計からホストへの応答。

設定状態を確認することが出来ます。
設定に先立ち、コンピュータ側とシリアル通信条件を合致させてください。

12.1 通信方式
コマンド-レスポンス方式による通信で、可変長の通信ブロックを送受信します。
ホスト
ホストから

流量計
例.*01R10#BCC

送信

流量計からの返答
通信条件
インターフェース

RS485 調歩同期式半二重通信
二線式

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①(4)パラメータ番号○ 取り付けネジの緩みのないこと“10”～ “46” ※一部抜けあり
パラ
コマンド/
メータ
レスポンス
番号

10
11
12
13
1415

R
R
R
R
R
R

W
W
W
W

16 R

K
K
K
K
K
K

K

名称
瞬時流量
積算流量
H.上限警報値
L.下限警報値
a.スケーリングb.オフセット

エラー
メッセージ

35 R

W

K

O.オープン
コレクタ出力36 R

W

K

P.パルス
パーセント

37 R

W

K

I.RS485 ID
アドレス38 R

W

Kr.通信速度取付の状況○ 設置環境は正しいこと

・“00”～ “09” ※メーカ側使用○ 接続部の締め付けが十分なこと

備考○ ガス流れ方向が、矢印と一致していること

Read Only
Read Only②

配線の状況○ 電源電圧、容量が正しいこと○ コネクタが確実に装着されていること○ 電源、出力の配線に誤りがないこと

Read Only
8 桁 Read only
1 流量>上限警報
2 流量<下限警報
3 流量>最大測定値
4 流量<ローカット

13.2 運転①

電源を投入して、約 1 分間のウォーミングアップをしてください。
電源投入後次のように表示します。

0.0 :9600bps
1.0 :4800bps
2.0 :2400bps

ここに記されたパラメータ番号以外の番号を入力すると、製造上の各種データが出力する場合がありますので、正常に使用するためには、上記パラメータ番号のみ使用してください。

(5)データ
読み出しを行う場合ホストからはデータを指定しません。流量計からは読み出されたデータが返答されます。
書き込みを行う場合
本器内部に問題が発生した場合は次のように表示しますのホストからはデータを指定します。流量計からはホストで、弊社営業担当者、もしくは営業所にご連絡ください。

から指定したデータが返答されます。
(6)ストップコード “#”
終わりを示すコード(7)BCC(ブロックチェックコード)
伝送エラー検出のためのブロックです
ブロック全体の奇数水平パリティ(LRC-Odd)です。
BCC の最上位ビットは 0 としてください。
【Bcc 計算例】②
1 unsigned char bcc
2 unsigned char i16;
3 bcc = 0xff;
4 length = strlen(TransmitStr);
5 for(i16=0;i16<length;i16++){6bcc ^= *TransmitStr;
7TransmitStr++; }8 bcc &= 0x7f;

ライン圧力を徐々に上げ､ガスを流します。流量に応じた信号が得られます。

③

温度・圧力の設定は､仕様に規定している値以内にしてください。

④

不純物､汚れの原因になるものは絶対に流さないでください。

⑤

検出器内部のセンサ素子や整流器を破損する恐れがありますのでライン上に設置したバルプを急激に開閉しないでください。

13. 運転注意13.1 運転準備
配管取付､配線が完了したら電源投入前に下記の点をかならず確認してください。

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14. 保守･点検
参考

14.1 点検項目
マスフローメータを長期間安定した精度で､流量計測をさせる為に下記の項目を点検してください。
①

配管・継ぎ手の腐食などを点検し、常時クリーンなガスを流せるようにしてください。

②

所定の流量より､流量出力値が低下している場合には､流路内にダストが付着している可能性があります。電源を切りケーブルソケットを外し、配管から本体を取り外して流路内を点検清掃してください。

③

流量出力が出ない場合､または振り切れた場合には､流路内にミストが混入した可能性と、鉄粉がセンサまたは基板に付着し、短絡した可能性があります。
電源を切りケーブルソケットを外し､配管から本体を取り外し、継手･流路内の点検および、鉄粉の付着の有無を確認してください。センサ・基板の破損の恐れがありますので、弊社営業担当者、もしくは営業所にご連絡ください。

14.2 清浄・洗浄
点検の結果､本器流路内にダストが付着していたり､汚れがあった場合には下記の要領で、清掃･洗浄を実施してください。
①

下流側からクリーンな低圧力の乾燥ガス(Air、N2 ガスなど)で十分パージしてダストを吹き飛ばしてください。

②

汚れている場合は、エチルアルコール洗浄を実施します。
その際エチルアルコール以外の有機溶媒を使用すると Oリングなどが腐食しますので、必ずエチルアルコールを使用してください。

14.3 予備品
予備品のご必要の際は当該製品の本体銘板上記載の弊社製
造番号(MFG.NO)と必要部品名称をお知らせください。

15. トラブルの対処
トラブルが発生した場合には､症状を確認した後ご連絡ください。完全な修理､再校正を行う為には､弊社へのご返送の必要があります。

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付属資料 1

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■ サービスネット
製品の不具合などの際は弊社営業担当か、弊社営業所までご連絡ください。
営業所については弊社ホームページをご覧ください。

■ 製品保証弊社ホームページをご覧ください。

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