取 扱 説 明 書
MASSMAX®
防爆・一体形質量流量計
MMM6400C-JEx
MMM7400C-JEx
MMM3400C-JEx
MMM1400C-JEx
MMM2400C-JEx
防爆・分離形質量流量計用検出器
MMS6000F-JEx
MMS7000F-JEx
MMS3000F-JEx
MMS1000F-JEx
MMS2000F-JEx
防爆・分離形質量流量計用変換器
MMC400F-JEx
本器は、労働省告示「電気機械器具防爆構造規格」における技術的基準に準拠して製造されたものです。
防爆性保持のため、ご使用の前に本書を必ずお読みの上、正しくご使用ください。
なお、本書に記載のない取扱方法については一般形（非防爆）の質量流量計の取扱説明書をご参照ください。

IM-F1103-J01
初版. 2019 06 E

－ 目 次 －Page
1. 防爆構造 ............................................................................................. 1
2. 流体温度の上限 .................................................................................. 4
3. 設 置 ................................................................................................. 44. 取 付 ................................................................................................. 55. 配線および接地工事 ........................................................................... 5
5.1 使用ケーブル............................................................................... 5
5.2 本器への外部配線の引き込み ..................................................... 5
5.3.1 端子配置 ............................................................................. 10
5.3.2 電源および出力の結線 ........................................................11
5.4 接 地 ........................................................................................11
6. 変換部の操作ゼロ調整 ..................................................................... 127.

保 守 ........................................................................................... 12
7.1

日常点検 ................................................................................ 12

7.2 トラブルシューティング......................................................... 13
8. 補足資料 ........................................................................................... 20
8.1 システム構成図 ......................................................................... 20
8.2 防爆関連表示事項（防爆銘板） ............................................... 33

受入および保管について
1） 受 入本品は次の内容にて納入されます。
・防爆質量流量計
・設定データシート（1 枚）・取扱説明書〔2 冊：本書＋コリオリ質量流量計(一般形)取扱説明書〕
製品受領後ご注文内容に合わせて、内容・数量をご確認ください。
万一内容の相違や不足のあった場合はお買い求め先へご連絡ください。
なお、配管用のボルト・ナット・ガスケット*、接続用ケーブル等はお客様にてご準備ください。
2） 保 管
本品を保管する場合は、以下に示す条件の場所に保管してください。
・雨や水のかからない場所
・温度が－40～＋60℃、湿度が 80%RH 以下の風通しのよい場所
・振動の少ない場所
・腐食性ガスの少ない場所

■ 1. 防爆構造
1) 一体形質量流量計
産業安全技術協会型式検定合格品
防爆構造・等級 Ex d ia ⅡC T４
Ex d ia ⅡC T3
Ex d ia ⅡC T2
検出部
変換部
端子箱
防爆定格

本質安全防爆構造 (ia)
本質安全防爆構造 (ia)および耐圧防爆構造 (d)
耐圧防爆構造 (d)本安回路
Driver 回路(端子 X5-1…X5-6)
最大電圧 11.8 V
最大電流 2130 mA
最大電力 920 mW
Sensor 回路(端子 X3-1…X3-6)
最大電圧 11.8 V
最大電流 13 mA
最大電力 39 mW
RTD / DMS 回路(端子 X3-7…10)最大電圧 11.8 V
最大電流 9 mA
最大電力 27 mW
非本安回路
電源回路
電源 AC100～230V 50/60Hz 22VA
許容電圧 AC250V 50/60Hz, DC250V
出力回路
電流出力 1（端子Ｃ、Ｃ－）
DC4-20mA HART
電流出力２（端子Ｂ、Ｂ－）
DC4-20mA HART
電流出力 3（端子Ａ、Ａ－）
DC4-20mA HART
パルス出力（端子Ｄ、Ｄ－）
オープンコレクタ出力
負荷定格 DC32V 100mA 以下
許容電圧 AC250V 50/60Hz, DC250V

2) 分離形質量流量計用検出器
産業安全技術協会型式検定合格品
防爆構造・等級

Ex ia ⅡC T４
Ex ia ⅡC T3
Ex ia ⅡC T2
Ex ia ⅡC T1

検出器 本質安全防爆構造 (ia)
防爆定格
本安回路
Driver 回路(端子 X5-1…X5-6)
本安回路許容電圧

11.8 V

本安回路許容電流

2130 mA1

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本安回路許容電力

920 mW

内部インダクタンス 16 μH
内部キャパシタンス 500 nF
Sensor 回路(端子 X3-1…X3-6)
本安回路許容電圧

11.8 V

本安回路許容電流

13 mA

本安回路許容電力

39 mW

内部インダクタンス 100 mH
内部キャパシタンス 90 nF
RTD / DMS 回路(端子 X3-7…10)
本安回路許容電圧

11.8 V

本安回路許容電流

9 mA

本安回路許容電力

27 mW

内部インダクタンス 1 mH
内部キャパシタンス 310 nF

3) 分離形質量流量計用変換器
産業安全技術協会型式検定合格品
防爆構造・等級 Ex d [ia] ⅡC T6
変換部
端子箱
防爆定格
本安回路

本質安全防爆構造 (ia)および耐圧防爆構造 (d)
耐圧防爆構造 (d)Driver 回路(端子 X5-1…X5-6)
本安回路最大電圧

11.8 V

本安回路最大電流

2130 mA

本安回路最大電力

920 mW

本安回路許容インダクタンス
16 μH
本安回路許容キャパシタンス 500 nF
Sensor 回路(端子 X3-1…X3-6)
本安回路最大電圧

11.8 V

本安回路最大電流

13 mA

本安回路最大電力

39 mW

本安回路許容インダクタンス 100 mH
本安回路許容キャパシタンス
90 nF
RTD / DMS 回路(端子 X3-7…10)
本安回路最大電圧

11.8 V

本安回路最大電流

9 mA

本安回路最大電力

27 mW

本安回路許容インダクタンス
1 mH
本安回路許容キャパシタンス 310 nF

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非本安回路
電源回路
電源 AC100～230V 50/60Hz 22VA
許容電圧 AC250V 50/60Hz, DC250V
出力回路
電流出力 1（端子Ｃ、Ｃ－）
DC4-20mA HART
電流出力２（端子Ｂ、Ｂ－）
DC4-20mA HART
電流出力 3（端子Ａ、Ａ－）
DC4-20mA HART
パルス出力（端子Ｄ、Ｄ－）
オープンコレクタ出力
負荷定格 DC32V 100mA 以下
許容電圧 AC250V 50/60Hz, DC250V
製造者名 KROHNE Ltd
機器構成図 7.1 項参照
防爆関連表示事項(防爆銘板) 7.2 項参照
検定合格番号：
MMM6400C-JEx (T4)；第 TC21503 号
MMM6400C-JEx (T3)；第 TC21504 号
MMM6400C-JEx (T2)；第 TC21505 号
MMM7400C-JEx (T4)；第 TC21506 号
MMM7400C-JEx (T3)；第 TC21507 号
MMM3400C-JEx (T4)；第 TC21501 号
MMM3400C-JEx (T3)；第 TC21502 号
MMM1400C-JEx (T4)；第 TC21497 号
MMM1400C-JEx (T3)；第 TC21498 号
MMM2400C-JEx (T4)；第 TC21499 号
MMM2400C-JEx (T3)；第 TC21500 号
MMS6000F-JEx (T3)；第 TC21514 号
MMS6000F-JEx (T2)；第 TC21515 号
MMS6000F-CD-JEx (T6)；第 TC21516 号
MMS6000F-HT-JEx (T1)；第 TC21517 号
MMS7000F-JEx (T4)；第 TC21518 号
MMS7000F-JEx (T3)；第 TC21519 号
MMS3000F-JEx (T4)；第 TC21512 号
MMS3000F-JEx (T3)；第 TC21513 号
MMS1000F-JEx (T4)；第 TC21508 号
MMS1000F-JEx (T3)；第 TC21509 号
MMS2000F-JEx (T4)；第 TC21510 号
MMS2000F-JEx (T3)；第 TC21511 号
MMC400F-JEx (T6)；第 TC21578 号

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■ 2. 流体温度の上限
流体温度の上限
MMM6400C-JEx (T4)
MMM6400C-JEx (T3)
MMM6400C-JEx (T2)
MMM7400C-JEx (T4)
MMM7400C-JEx (T3)
MMM3400C-JEx (T4)
MMM3400C-JEx (T3)
MMM1400C-JEx (T4)
MMM1400C-JEx (T3)
MMM2400C-JEx (T4)
MMM2400C-JEx (T3)
MMS6000F-JEx (T3)
MMS6000F-JEx (T2)
MMS6000F-CD-JEx (T6)
MMS6000F-HT-JEx (T1)
MMS7000F-JEx (T4)
MMS7000F-JEx (T3)
MMS3000F-JEx (T4)
MMS3000F-JEx (T3)
MMS1000F-JEx (T4)
MMS1000F-JEx (T3)
MMS2000F-JEx (T4)
MMS2000F-JEx (T3)

警告
： 65℃
：150℃
：230℃
： 90℃
：150℃
： 90℃
：150℃
： 90℃
：130℃
： 90℃
：130℃
：150℃
：230℃
： 40℃
：400℃
： 90℃
：150℃
： 90℃
：130℃
： 90℃
：130℃
： 90℃
：130℃

この温度を超えると、防爆性が保持できません。
必ずこの温度以下で使用してください。

■ 3. 設 置
1) 設置場所の制限
本器は危険場所のうち、対象ガスまたは蒸気に応じた第一類または第二類危険箇所に設置できます。
適用できる対象ガスまたは蒸気の種類については、
労働安全衛生総合研究所技術指針「ユーザーのための工場防爆設備ガイド JNIOSH-TR-NO.44 (2012)を参照して
ください。

警告
危険場所のうち、特別危険箇所（爆発性雰囲気が連続して存在するか、または長時間存在する場所）には設置できません。

2) 周囲温度
MMM6400C-JEx の温度クラスが、T4 は－20～＋60℃、T3、T2 は－20～＋50℃、MMM7400C-JEx／MMM3400C-JEx の温度クラスが、T4 は－20～＋50℃、T3 は － 20 ～ ＋ 40 ℃ 、 MMM1400C-JEx ／ MMM2400C-JEx の 温 度 ク ラ ス が 、 T4 ／ T3 は － 20 ～ ＋ 50 ℃ 、
MMS6000F-JEx、MMS6000F-CD-JEx、MMS6000F-HT-JEx の温度クラスが、T6、T3、T2、T1 は－20～＋60℃、MMS7000F-JEx の温度クラスが、T4 は－20～＋50℃、T3 は－20～＋40℃、MMS3000F-JEx の温度クラスが、T4／T3 は－20～＋60℃、MMS1000F-JEx／MMS2000F-JEx の温度クラスが、T4 は－20～＋50℃、T3 は－20～＋60℃の所に設置してください。
直射日光、設備などから熱の影響を受ける恐れのある場合には、日よけや熱遮蔽等を設置してください。
本製品は IP-20 の保護等級を備えています。
各々の記号の意味は下記を参照願います。
IP-2 0・第 1 記号：固体異物に対する保護等級（2：直径 12.5mm 球体の検査物体が、部分的にしか内部に侵入しない。
）

第 2 記号：水の浸入に対する保護等級・（0：水の浸入に対して保護されていない。
）

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3) 設置上の注意事項
その他の設置上の注意事項については、一般形に準じます。
一般形の取扱説明書を参照してください。

■

4. 取 付配管への取付方法は一般形に準じます。
一般形の取扱説明書を参照してください。

5. 配線および接地工事
5.1 使用ケーブル■

ケーブルは制御用ビニル絶縁ビニルシースケーブル(CVV, JIS C3401)などを使用してください。
防爆電気配線の詳細については「防爆電気設備ガイド」等を参照してください。

5.2 本器への外部配線の引き込み
必ず本体に耐圧パッキンアダプタを使用して、ケーブルを引き込んでください。
適合ケーブル外径は、7.0～12.0mm です。
耐圧パッキンアダプタ

電 源

出力信号

標準（配線接続口 × 2 個）

電 源
出力信号-1
出力信号-2

オプション（配線接続口× 3 個）

注意
配線接続口×3 個の場合、納入時は出力信号-2 の接
続口にはブラインドプラグが付いています。
各接続口の間隔が狭いため、下記手順に従って電線管/フレキチューブ等を取り付けてください。
納入時は、下側(出力信号-2)の接続口には、ブラインドプラグが付いています。

最初に中央の接続口に電線管/
フレキチューブ等を付けてください。
下側のブラインドプラグを外して、付属される耐圧パッキン
アダプタに交換してください。
その後、上側と下側の接続口に
電線管/フレキチューブ等を付
けてください。

5

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警告
この耐圧パッキンアダプタは防爆認定上、計器の一部になっていますので、必ず使用してください。
耐圧パッキンアダプタを取り外して他のケーブル
グランド等を使用することは、絶対にしないでください。

注意
耐圧パッキンアダプタと変換部ハウジングのねじ込み部のねじは、ISO 規格ねじ(M201.5)です。
JIS B0202 管用平行ねじ(G1/2)ではありませんのでご注意ください。
他のケーブルグランドや電線管をねじ込むとねじが破損しますので、耐圧パッキンアダプタを取り外してこれらをねじ込むことは絶対に行わないでください。

M20  1.5 めねじ

G1/2 めねじ

ケーブル側
本体側
ハウジング

耐圧パッキンアダプタ

電線管/フレキチューブ

取付不可

G1/2 ねじハウジング
電線管/フレキチューブ
耐圧パッキンアダプタ

G1/2 ねじ

ケーブルの引き込みは、以下の手順で行ってください。
1)耐圧パッキンアダプタのボディーを右に回してハウジングにＯリングが接触した状態から約 1/3 回転締めこむ。
2)ロックナットをハウジングに締め付ける。

6

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注意
ロックナットの締め付けの際はスパナ等で回り止めをしてください。

Ｏリング
ロックナットハウジング

ボディー3) カバーを緩めてカップリングを取り外してください。
カバー

カップリングカップリンググランド4)グランドを緩めて外し、さらにガイドリングと二段パッキンを取り外してください。

ボディー

二段
パッキン

ガイド
リング

7

グランド

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5)使用するケーブルの外径と 2 段パッキンの内径が適合しているか確認してください。
2 段パッキンは異なるものが 5 種類あります。
パッキンの端面に、適合ケーブル外径範囲のマーキングがあります。

注意
ケーブル
外径
d (mm)

パッキン
内径
(mm)

パッキン
マーキング

付属
防爆銘板シール

11≦d＜12F1

12

φ12～φ11

SFLU10-M-F1

10≦d＜11F2

11

φ11～φ10SFLU10-M-F2

9≦d＜10F310

φ10～φ9SFLU10-M-F3

8≦d＜9

F4

9

φ9～φ8

SFLU10-M-F4

7≦d＜8

F5

8

φ8～φ7

SFLU10-M-F5

出荷時は、φ10（F3）パッキンが内蔵されています。他の径のパッキンに交換する場
合は、パッキン内径に合わせて、付属の防爆銘板シールをケーブルグランド本体に貼り付けてください。
例：φ12（F1）に交換する場合は下のシールを貼り付けてください。

※出荷時は、φ10（F3）パッキンが内蔵されています。
パッキンマーキング

注意
φ10～φ9使用するケーブルの外径と 2 段パッキンが適合しない場合は使用をしないでください。
弊社営業窓口へケーブル外径を連絡のうえ
適合する 2 段パッキンを手配してください

二段
パッキン

6) 下図に示すようにカバー～カップリング～グランド～ガイドリング～二段パッキン～ボディーの順にケーブルを通してください。

二段
パッキン

ボディー

ガイドリンググランド

カップリング

カバー
ケーブル

防爆銘板シール
7) ガイドリングを二段パッキンに被せボディーに挿入して、トルクレンチを用いてグランドを締め付けてください。
（トルク値 30N・m の締め付け）
グランド
配線端末

ケーブル

注意
ハウジング内部で配線端末処理が難しい場合は予め通線するケーブルの適正長さを考慮・処理してからグランドを締めて付けてください。

ハウジング

8

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8) カバーをカップリングに挿入し、ボディーに取り付けたら、カバーをスパナでボディーに締め付けてください。
カバー

カップリング

ボディー

カバー
ボディー

9) 保護管（フレキシブルチューブや電線管）を接続する場合には、カップリング端部の二方取り部分をスパナ等で固定してからねじ込んでください。
保護管のオネジ部分には予めシールテープを巻いてからねじ込んでください。

カップリング

防爆銘板シール カバー

保護管（電線管/フレキチューブ）

二方取り

オネジ部分にシールテープ
を巻いてください。

最後にもう一度カバーに緩みがないか確認してください。

9

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5.3 端子結線
5.3.1 端子配置
接地端子警告
危険場所内では、通電中は端子箱カバーを開けないでください。

10

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5.3.2 電源および出力の結線電源および出力(入力)端子の仕様は一般形に準じます。一般形の取扱説明書を参照の上、結線してください。
なお、電源用ケーブルを結線しない状態での電源端子間と接地端子（端子箱）に対して AC500V で
1 分間（漏れ電流 2mA 未満）の耐電圧性能を有しています。

警告
本器の安全保持定格は、AC / DC 250Vです。
供給電源や受信計器側に万一故障や事故が発生しても本器の端子に安全保持定格以上の電圧が加わらないよう配慮してください。

5.4 接 地端子箱内の接地端子から、非危険場所において A 種接地工事(接地抵抗 10Ω以下)を実施してください。

A 種接地

非危険場所

（接地抵抗 10Ω以下）

接地用電線の配線取り回し又は太さによる耐圧パッキンアダプタの通線が困難な場合は外部の接地端子を使用してく
ださい。

分離形

一体形

変換器

変換器

外部
接地端子

警告
本器の電極信号回路は本質安全防爆構造で、変換部にシャントダイオード形セイフティバリア(安全保持器)を内蔵しています。
防爆規格の上で、非危険場所において A 種接地工事を行うことが要求されていますので、防爆性保持のため必ず正しい接地を行ってください。

11

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■ 6. 変換部の操作ゼロ調整
データ設定等の変換部の操作方法は一般形に準じます。
一般形の取扱説明書を参照してください。

■ 7.
7.1

保 守
日常点検

コリオリ流量計は可動部や消耗部品がなく、ほとんどメンテナンスフリーでご使用いただけますが、長期に渡って安定してご使用いただくために以下の日常点検を実施することをお奨めします。
① フランジ接続部の点検
 液漏れ、検出部ハウジング・フランジ等の腐食や破損はないか。
 フランジボルトの緩みはないか。
② 接続配管の点検
 配管の曲がりが生じて検出部に過大な応力が加わっていないか。
 配管振動は大きくないか。
③ 防水性の点検
 配線接続口のシールは完全か。
 変換部カバーの緩みはないか。
 表示部に曇りや水滴がないか。
→ 曇りや水滴が生じている場合には、変換部内部に浸水している可能性があるので、カバーや配線接続口のシールを点検してください。
特にコンジット配線を行っている場合にはコンジットを通して水が浸入しやすいので、シールが完全かどうかよく点検してください。
④ 表示部（液晶表示）の点検
 液晶表示に変色や表示の欠落はないか。
→ 直射日光が当たる環境では、液晶の寿命が著しく低下します。日除け等を設置してください。
⑤ 配線点検 電源・出力信号ケーブルの接続端子台部分に緩み、腐食等はないか。
 アース線の接続部分に緩み、腐食等はないか。
⑥ 測定管内清掃・点検
 検出部測定管に汚れや付着はないか。
→ 検出部測定管に汚れや付着がある場合は、洗剤や柔らかい柄の付いたナイロン製のパイプ
ブラシ等で清掃してください。
※金属製ブラシは傷や故障の原因となるので使用しないでください。
3400、6400 シリーズの測定管は曲がっているので無理な清掃は破損の原因となりますのでご注意願います。

12

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7.2 トラブルシューティング
コリオリ流量計のトラブルは、配線や取付けなど設置に起因するもの、測定流体に起因するもの、
計器自体の故障などさまざまな原因が考えられます。
原因検索にはトラブルの現象を正確に把握し、それぞれに応じた対応をとるのが近道です。

ここでは、一般的に考えられるトラブル現象別にトラブルシューティングフローを記載しています。
トラブル現象を確認し、対応する項目を参照してください。

トラブルの現象参照するトラブルシューティング項目
A：表示が出ないまたは表示が正常でない時

1

表示（液晶表示）が点灯しない

2

表示（液晶表示）が正常でない

3

表示がロックして変化しない

4

エラー表示が出る

5

キイ操作を受付けない、データ設定ができない

6

流体を流しても指示がゼロのままである

7

表示は出るが、出力が出ない

8

ゼロ点が不安定9

ゼロ点で指示が出る、振り切れる

10

流体を流すと指示が不安定

D：指示が不安定な時

11実流と表示が合わない

E：実流と指示が合わない時

12実流と出力が合わない

13

流体を流すと指示が振り切れる

B：流体を流しても指示が出ない時
C：ゼロ点が不安定な時

13

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A：表示が出ないまたは表示が正常でない時

START

液晶表示は
出ているか

No

液晶のバックライトは No
点灯しているか

Yes
エラー表示は出ているか

電源が正しく供給されているかどうか調べる

Yes
電源接続・電圧は No
正しいか

Yes

電源を正しく
入れる

Yes

No

基板の故障が考えられる

エラー表示を調べ、内容に従って調査する（4.4項参照）

サービスへ
Yes

電源電圧は
規定範囲内かNo

電源を正しく
供給する

電源を一度切り、10秒以上待ってから再投入する

正常な表示は出るかNo

Yes
データ設定操作 No
ができるか
Yes
設定データをチェックする

表示基板のフラット
ケーブルコネクタの接続が正しいかどうかをチェックする

指示計の取付方向を変更
した場合はチェック必須

No

コネクタの接続は正しいか正しく接続する

Yes
正常動作するか
No
サービスへ

14

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B：流体を流しても指示が出ない時

START

液晶表示は
正常に出るか

Yes

Yes

電流出力( DC4 - 20mA)
は出るか

パルス出力は出るか

No

No

No

受信計器の結線を外し、出力端子に直接電流計を接続する

受信計器の結線を外し、出力端子にパルスカウンタを接続する
・配線断線
・受信計器異常・入出力仕様の
ミスマッチ

Yes
電流出力は出るかNo

Yes
パルス出力は出るかNo

ループチェックを行う

流れ方向および
電流出力関係の設定データは正しいか

No

正しい
データを
設定する

Yes

No

流れ方向および
パルス出力関係の設定データは正しいか
Yes

出力回路故障流れ方向は合っているかNo

出力回路故障流れ方向の設定データを
変更する

サービスへ

Yes
設定データは正しいか（流量レンジ等）

No
正しいデータを設定する

Yes

測定管内に液は充満しているかNo

液が充満して流れるよう配管または取付位置を変更する

Yes
No
ゼロ点は合っているか

流れを静止させ、正しくゼロ調整を行う

Yes
1

15

IM-F1103-J01

1

センサチューブに異物が付着しているか

Yes
付着物を取り除く

No

変換基と検出器を結ぶ信号線の確認

コネクタの外れ、
曲がりはあるかYes

コネクタを正しく接続し直す

No

動作は復帰したか?

Yes

原因が特定できない場合はサービスまでご連絡ください

No
サービスへ

16

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C：ゼロ点が不安定な時

START

測定管内は完全に液で充満されているか

No

Yes

バルブに
漏れはないか

完全に充満するよう配管上の取付位置を変更する
下→上の流れが望ましい
上→下または水平配管の場合は要注意

No
バルブの交換等を行い、漏れを止める

Yes
ポンプ等による圧力 Yes
変動や振動はあるか

検出部の下流側だけでなく上流側のバルブも閉め、液を完全に静止させる（特に 微小口径形の場合）

No

液体に気泡が含まれ
ていないか

No

脱泡の処理を検討し
処理する。

Yes

センサチューブに付着物はないか

No

検出部を外してセンサチューブの付着物を除去洗浄する。

Yes
Yes
動作は復帰したか?

原因が特定できない場合はサービスまでご連絡ください

No
サービスへ

17

IM-F1103-J01

D：指示が不安定な時

START

ゼロ点の指示は安定しているかNo

ゼロ点でも、流体を流しても指示が不安定なときは、を参照して原因を調べる
最初に前項「C：ゼロ点が不安定な時」

Yes

測定管内を液が完全に充満して流れているかNo

完全に充満して流れるよう配管上の取付位置を変更する
下→上の流れが望ましい
上→下または水平配管の場合は要注意

No

脈動をなくす脈動の影響のない場所に移設する応答性を要求しなければ、時定数を大きく設定する

Yes

流れに脈動はないか
Yes

液に気泡が
含まれているか

Yes
上流側に脱泡装置を取り付けるNo

スラリーが多量に混入しているかYes

液と粉が均等に混ざり合っていない場合は十分攪拌後に流す。
時定数を大きく設定する。
水平設置の場合は垂直に設置してみる。
１３

No
上流側に全開でない Yes
バルブが設置されているか

キャビテーションにより指示が不安定になる場合がある
バルブを全開で使用するか、下流側に移す

No

上流側で液の混合や Yes
異種液の注入を行っているか

流量計上流側近くでの異種液の注入は避け
十分均等に混ざってから流す。

No
Yes
動作は復帰したか?

１４
原因が特定できない場合はサービスまでご連絡ください

No
サービスへ

18

IM-F1103-J01

E：実流と指示が合わない時

START

液晶表示は
正しいか

Yes

電流出力( DC4 - 20mA )
は正しいか

No

Yes

パルス出力は正しいか

No

No

流量レンジの設定 Yes
は正しいか「 B：流体を流しても指示が出ない時 」を参照して出力関係のチェックを行う

No
流れを止め、
ゼロ点をチェックする

ゼロ点は合っているか

正しい流量レンジに設定する

No

流体を満液状態で完全に静止させ、ゼロ調整を行う

Yes
測定管内を液が完全に充満して流れているかNo

完全に充満して流れるよう配管上の取付位置を変更する
下→上の流れが望ましい
上→下または水平配管の場合は要注意

No

脈動をなくす脈動の影響のない場所に移設する応答性を要求しなければ、時定数を大きく設定する

Yes

流れに脈動はないか
Yes

液に気泡が
含まれているか

Yes
上流側に脱泡装置を取り付けるNo

スラリーが多量に混入しているかYes

液と粉が均等に混ざり合っていない場合は十分攪拌後に流す。
時定数を大きく設定する。
水平設置の場合は垂直に設置してみる。

No
上流側で液の混合や異種液の注入を行っているかYes

流量計上流側近くでの異種液の注入は避け
十分均等に混ざってから流す。

No
Yes
動作は復帰したか?

原因が特定できない場合はサービスまでご連絡ください

No
サービスへ

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IM-F1103-J01

■ 8. 補足資料
8.1 システム構成図(1) MMM6400C-JEx
温度クラス T4: 図名：システム構成図 (図番：02-8000706) を表示する。

温度クラス T3: 図名：システム構成図 (図番：02-8000778) を表示する。

20

IM-F1103-J01

温度クラス T2: 図名：システム構成図 (図番：02-8000780) を表示する。

21

IM-F1103-J01

(2) MMM7400C-JEx
温度クラス T4: 図名：システム構成図 (図番：02-8000786) を表示する。

温度クラス T3: 図名：システム構成図 (図番：02-8000788) を表示する。

22

IM-F1103-J01

(3) MMM3400C-JEx
温度クラス T4: 図名：システム構成図 (図番：02-8000798) を表示する。

温度クラス T3: 図名：システム構成図 (図番：02-8000800) を表示する。

23

IM-F1103-J01

(4) MMM1400C-JEx
温度クラス T4: 図名：システム構成図 (図番：02-8000790) を表示する。

温度クラス T3: 図名：システム構成図 (図番：02-8000792) を表示する。

24

IM-F1103-J01

(5) MMM2400C-JEx
温度クラス T4: 図名：システム構成図 (図番：02-8000794) を表示する。

温度クラス T3: 図名：システム構成図 (図番：02-8000796) を表示する。

25

IM-F1103-J01

(6) MMS6000F-JEx
温度クラス T3: 図名：システム構成図 (図番：02-8000826) を表示する。

温度クラス T2: 図名：システム構成図 (図番：02-8000828) を表示する。

26

IM-F1103-J01

(7) MMS6000F-CD-JEx
温度クラス T6: 図名：システム構成図 (図番：02-8000830) を表示する。

(8) MMS6000F-HT-JEx
温度クラス T1: 図名：システム構成図 (図番：02-8000832) を表示する。

27

IM-F1103-J01

(9) MMS7000F-JEx
温度クラス T4: 図名：システム構成図 (図番：02-8000821) を表示する。

温度クラス T3: 図名：システム構成図 (図番：02-8000823) を表示する。

28

IM-F1103-J01

(10) MMS3000F-JEx
温度クラス T4: 図名：システム構成図 (図番：02-8000816) を表示する。

温度クラス T3: 図名：システム構成図 (図番：02-8000818) を表示する。

29

IM-F1103-J01

(11) MMS1000F-JEx
温度クラス T4: 図名：システム構成図 (図番：02-8000806) を表示する。

温度クラス T3: 図名：システム構成図 (図番：02-8000808) を表示する。

30

IM-F1103-J01

(12) MMS2000F-JEx
温度クラス T4: 図名：システム構成図 (図番：02-8000811) を表示する。

温度クラス T3: 図名：システム構成図 (図番：02-8000813) を表示する。

31

IM-F1103-J01

(13) MMC400F-JEx
温度クラス T6: 図名：システム構成図 (図番：02-8000803) を表示する。

32

IM-F1103-J01

8.2 防爆関連表示事項（防爆銘板）(1) MMM6400C-JEx
温 度 ク ラ ス T4: 図 名 ： 防 爆 関 連 表 示 事 項 （ 図 番 ： 17-8000707-0 ） の 銘 板 図 を 表 示 す る 。

温 度 ク ラ ス T3: 図 名 ： 防 爆 関 連 表 示 事 項 （ 図 番 ： 17-8000779-0 ） の 銘 板 図 を 表 示 す る 。

33

IM-F1103-J01

温度クラス T2:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000781-0）の銘板図を表示する。

34

IM-F1103-J01

(2) MMM7400C-JEx
温度クラス T4:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000787-0）の銘板図を表示する。

温度クラス T3:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000789-0）の銘板図を表示する。

35

IM-F1103-J01

(3) MMM3400C-JEx
温度クラス T4:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000799-0）の銘板図を表示する。

温度クラス T3:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000801-0）の銘板図を表示する。

36

IM-F1103-J01

(4) MMM1400C-JEx
温度クラス T4:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000791-0）の銘板図を表示する。

温度クラス T3:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000793-0）の銘板図を表示する。

37

IM-F1103-J01

(5) MMM2400C-JEx
温度クラス T4:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000795-0）の銘板図を表示する。

温度クラス T3:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000797-0）の銘板図を表示する。

38

IM-F1103-J01

(6) MMS6000F-JEx
温度クラス T3:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000827-0）の銘板図を表示する。

温度クラス T2:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000829-0）の銘板図を表示する。

39

IM-F1103-J01

(7) MMS6000F-CD-JEx
温度クラス T6:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000831-0）の銘板図を表示する。

(8) MMS6000F-HT-JEx
温度クラス T1:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000833-0）の銘板図を表示する。

40

IM-F1103-J01

(9) MMS7000F-JEx
温度クラス T4:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000822-0）の銘板図を表示する。

温度クラス T3:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000824-0）の銘板図を表示する。

41

IM-F1103-J01

(10) MMS3000F-JEx
温度クラス T4:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000817-0）の銘板図を表示する。

温度クラス T3:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000819-0）の銘板図を表示する。

42

IM-F1103-J01

(11) MMS1000F-JEx
温度クラス T4:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000807-0）の銘板図を表示する。

温度クラス T3:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000809-0）の銘板図を表示する。

43

IM-F1103-J01

(12) MMS2000F-JEx
温度クラス T4:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000812-0）の銘板図を表示する。

温度クラス T3:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000814-0）の銘板図を表示する。

44

IM-F1103-J01

(13) MMC400F-JEx
温度クラス T6:図名：防爆関連表示事項（図番：17-8000804-0）の銘板図を表示する。

45

IM-F1103-J01

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