Semiconductor Product 編

フレキシブル

ジャケットヒーター

ガス供給、装置排気、ポンプ排気、除害装置配管のヒーティングソリューション

Centipede® 温度コントロール ＆ モニターシステム

なるほど
これはいいね。

BriskHeat ジャケットヒーターあり・なし

BriskHeat 社 日本代理店

Your Heating Specialist Since 1949

株式会社

東 京 興 業 貿 易 商 会

BriskHeat® 独自のフレキシブルヒーティング
Centipede® 温調モニターシステム

安全性が高いアースつき

副生成物生成防止

フルジャケットヒー
ター・均一加熱

腐食性ガス排気系

BriskHeat ® ジャケットヒーターの特長
１Top・脱着が簡単・丈夫で長持ち・最小径φ 6.3mm
・フレキシブルで複雑な形状にもフィット・クリーンルーム Class10
・ヒーティング カバー域 100%
・温度 593℃まで・クールタッチ
・安全なアースつき 特許発熱線・豊富なオプション

構

BriskHeat® ジャケットヒーター
・生産性の向上・メンテナンス費、運転コストの低減
・実質コールドスポットなし（クランプ、サポート、バルブ、VCR ナット）
・比類なき温度均一性により効果大

2
ヒーティング、保温のベストバ
リュー・装置排気、ポンプ排気ライン
・ガスライン、OEM 装置配管
・除害装置配管・Etch、PECVD、LPCVD・Nitride、TEOS
・真空ベイクアウト
・複雑なパイプシステム

チャンバー内汚染防止

3
取付け、取外し簡単
・フレシブルヒーター
・Velcro® などの面ファスナー・リード、ジャンパー線 接続簡単

4
豊富なオプション・高温対応
・Cleanroom Class10 環境に適用
・各ジャケット個別に PID 温調・各ジャケットを通信モニタリング
・世界水準の製品仕様

５BriskHeat® ジャケットヒーターの真価を発揮、独自の通信モニター PID 温調
Centipede® システム

造

安全、丈夫なアース付特許発熱線
漏電、短絡による事故を防ぎます。
発熱線全体にアースグランドを備え漏電ブ
レーカを確実に動作させます（NEC 規格）。
発熱線は丈夫で柔軟性があります。

1．高密度断熱マット

2．外面材

条件にあわせ材質、厚みを選択します。

条件にあわせ選択します。

より均一な加熱
クランプ、エルボ、サポート、VCR ナット
もヒーティング、コールドスポットがありません。さらに専用の Centipede® システ
ムで温度均一性を高めます。

アース層経 験 ・ 実 績BriskHeat® はプロセスのヒーティングで 60年、半導体装置のヒーティングで 25 年以上の経験と実績があります。

-2-

4．裏地材

5．フレキシブルヒーター

パイプや機器面に柔軟に接触しヒーター熱を効果的に伝達します。各種の材質が選択できます。

アースグランド付 (Patented) 撚り合わせ抵抗線は、安全性が高く、丈夫で耐久性があります。

発熱線はフレキシブルで強い

小口径ジャケット

ダウンタイム減バルブ

ガスシリンダージャケット

製品仕様
配管、機器の形状（複雑な形も可能）、温度条件に合わせて製作します、各種の使用材料が選択できます。

Centipede® 仕様の構成（一般仕様は⑥が付きません）

1. 表面材
2. 内面材
3. 断熱材
4. ファスナー
5. リード、ジャンパー線
6.Centipede® 温 度 コ ン ト
ローラ用プラグ (RTD 組み込み）

ガスライン用■ 製作可能範囲
配管・チューブ口径
機 器 形 状・最小φ 6.4mm ～ 指定配管口径
・チューブ、バルブ、エルボ、クランプなどの指定形状、条件に合わせて製作

温 度 範 囲～ 593℃まで

使 用 電 圧～ 600 ACV, DCV■ 必要な条件
・形状が分かる配管図、CAD 図、スケッチが必要です。
・温度条件、昇温の有無の確認が必要です。
目 標 温 度

被加熱体の目標温度

使 用 電 圧

AC100V、200V など

流 体 条 件

真空、液体、ガス、流量

加 熱 条 件・昇温の場合は希望昇温時間
・温度維持の場合は維持温度
・初期の目標温度までの所要時間

温 度 制 御・制御方法、センサー種類

■選 択
発 熱 線
材 料 選 択接続コネクター

フレキシブルアースつき発熱線（特許）が一般的
面材、断熱材厚み、ベルクロファスナー種類
指定可能
・BriskHeat® 温調 Centipede® モニター＋温度
温 度 制 御コントローラ
・自前の温度調節器を使用
ハイリミットサーモなど 温 度 選 択 可 能・ジャケットヒーター（ヒーター入り）

付属品・オプション
サーモスタット、温度センサー、温度調節器、通信ケーブルなどがあります。

Approvals

・保温ジャケット（ヒーターなし）-3-

構 成 材 の 選 択
ジャケットヒーターのお問い合わせは、裏表紙のシートに条件を記入してください。

面材（裏地・外面）
断 熱 材 種 類

TEFLON®
標準外面材
テフロンクロス材 ( シリコン樹脂にあるアウトガグラスファイバー
標準断熱材
断熱厚みは、温度、表面温度、放熱量により決めます。
6.4mm, 12mm, 25mm, 50mm など
426℃まで Class100

ス問題がない )表面防水、耐薬品性
使用環境：最高温度 260℃、Class10Chemstat
Class10 クリーンルーム用
使用環境：最高温度 200℃、Class10止め材、ファスナー

Samox®
高温用クロス
使用環境：最高温度 593℃、Class100
シリコンクロス
表面防水、耐薬品性クロス
使用環境：最高温度 250℃
アルミクロスオプション外面材
使用環境：最高温度 250℃

低温用 VELCRO®

最高温度 138℃

中温用 VELCRO®

最高温度 230℃

高温用 VELCRO®

最高温度 426℃

フック & レース

ホック（引っかけ）とひも( 地下足袋のとめ、保持に強度が必要なとき）

グローメットはとめ（アイレット）

グラスファイバークロス
裏地材（加熱体側）
使用環境：最高温度 482℃、Class100

電源

電 圧
周波数
リード、ジャンパー
コネクタープラグ

・100V ・110V ・120V
・50Hz ・60Hz ・DC・AMP Mate-N-Lock
３極・200V

・220V

・125VAC
ツイストロック

・240V

・440V

・その他

・250VAC・指定プラグツイストロック （型式・メーカー）( 標準リード長 150mm)

・なし

温 度 制 御 ・ モ ニ タ ー
制御用サーモスタット（組み込み）

マルチポイントデジタル
温度コントローラー盤

ジャケットヒーターは温度制御が必要です。

内蔵サーモスタットは温度コントローラーとして使えますが、接点寿命、入り切り温度差を考慮のこと(277 V 以上使用不可）。
・82℃（入切温度差 17℃） ・120℃（入切温度差 28℃） ・150℃（入切温度差 28℃）
・175℃（入切温度差 28℃） ・その他
MPC シリーズ 、1 ～ 10 回路

Centipede® 温度コント
・各ジャケットヒーターを個別温調
ロール & モニターシステム ・コンパクトなオートチューニング PID コントローラ
・温度センサーは測温抵抗体
・オペレータインタフェース経由で各ジャケットの状態を通信モニターリング
詳細は 6,7 ページをご覧ください。

-4-温度センサー
温度センサー・Centipede® オプションには測温抵抗体 RTD が組み込まれます。

（組み込み可能）・K タイプ熱電対センサー用コネクター

・その他
・ミニ：フラットピン

・J タイプ熱電対・測温抵抗体（Pt100 Ω）

・標準コネクター：丸ピン ・指定

・サーミスタ・なし / 裸線

安 全 の 特 徴
上限切サーモスタット

主温度コントローラーが故障したときの高温異常を防ぎます。
運転温度の約 20% 高い温度を選定してください (400V 不可）。
・120℃（入切温度差 28℃） ・150℃（入切温度差 28℃）
・175℃（入切温度差 28℃） ・200℃（入切温度差 28℃）
・260℃（入切温度差 56℃） ・その他
その他のオプションも可能です。
低温モニター、サーモスタットドライ接点をアラーム出力

下限サーモスタット

・82℃（入切温度差 17℃） ･120℃（入切温度差 28℃）
・その他
アースつき発熱線

・アースつき発熱線（特許）は使用温度 250℃まで

Approvals

上記以外のオプション指定や付属品があります。

付属品

ジャケットヒーターリード用電源コード
型式

長さ m

PB4205-LV
PB4210-LV
PB4225-LV

1.5
3.0
7.6

内リード端のプラグ オス Mate-N-Lock プラグへの電源コード
メス Mate-N-Lock プラグ ＋ ケーブル裸AMP Mate-N-Lock メクラプラグ
型式
40914

容内容

CENTMOD-F

ジャンパーエンド端 Mate-N-Lock プラグの充電部接触防止用メクラプラグ

CENTOPI-2

Centipede® 付属品
型式
CENTMOD-F
CENTOPI-2
CENTOEMOICENTPWR

内 容
Centipede® モジュールユニット
Centipede® オペレータインターフェース、7.6m 通信ケーブル、電源線付き。
（40 ヶのモジュールまでのデーター入力＆モニター。プラグアンドプレイ式）
Centipede® オペレータインターフェースのディスプレイなし（191 × 166 × 29mm、450g）
12-24V モジュール用電源（オペレータインターフェースなしのモジュール用電源として使用します）。

CAT5 通信ケーブル
型式
CENTCOM-001
CENTCOM-002
CENTCOM-003
CENTCOM-004

CENTOEMOI

長さ m
0.3
0.60.91.2

部品番号
CENTCOM-005
CENTCOM-010
CENTCOM-014
CENTCOM-025

長さ m
1.5
3.0
4.3
7.6

RTD センサー
型式
CENTRTD-001
CENTRTD-002
CENTRTD-003
CENTRTD-004

長さ m
0.3
0.6
0.9
1.2

CENTPWR-5-Centipede® システム vs 一般的な温度制御システム
BriskHeat® 独自の通信温度制御システム Centipede® は、各ジャケットの PID 温度制御とモニターリングシステムです。
1 台のインターフェースで 40 ヶまでの PID 温度制御とモニターをします。

Centipede®シ ス テ ム の 特 長
インターフェース LCD 表示

・誤差の少ない各ジャケットの温度コントロールと、各ジャケットの状態をモニターします。
・配線本数が極端に少なくなります。
・希望の温度、アラーム温度を入力するだけです（一括、個別入力が可能）。
・ユーザーフレンドリーです。
・増設、改造に簡単、すばやく対応します。
・ディスプレイなしのオペレータインターフェースもあります。
・コンパクトです。

増設、改造簡単、低コスト

Centipede® モジュール① 通信機能② PID コントローラー
Auto チューニング（40 ヶまで自在）③ SSR ＋放熱板
④ 高・下限警報⑤ 状態モニター⑥ LED 表示（異常 - 赤点滅）
異常箇所すぐわかる

Centipede®
インターフェース
① 通信機能② 温度表示 40 点（現在温度ほか）③ LCD ＋メッセージ＋ LED④ 状態モニター

通信ネットワーク① 外部 PC と接続②アラーム出力
電源供給

セイフティー &リミットサーモ

VS

電源、温度センサー

温度制御・モニター盤① TIC コントローラー×回路個数② SSR ×回路個数分③ TIC 警報出力×回路個数分

電源、温度センサー

配線① 電源供給×回路個数② 温度センサー線×回路個数分

Note: Centipede（センチピード）は " むかで " です。むかでと言えば " むかで競争 " を連想させる親しみある響きがあります。
Centipede® は米国 BriskHeat 社 の登録商標です。
Velcro® は米国 Velcro 社の登録商標です。

-6-

電源、温度センサー

お問い合わせ シート
日付：会 社 名 ：Tel：

住E-mail：：

対象物・目的対象物：

形 状 ・ 寸 法

図面、スケッチを用意してください。

月日

Fax：

所属・お名前：所

年

目的：

取り付け可能な隙間はありますか、障害物はありませんか？
材質

内容物□ スチール□ ステンレス

種類：

□ その他

□ 静止

□ 流動状態

比重 :

□ 真空

比熱 :

ヒ ー タ ー 有 無□ジャケットヒーター

温□ 昇温有り：

温度℃～□ 温度保持：

温度℃

度

条件

（ヒーター付きの場合）□ その他
kcal/kg・℃

流量：kg/h□ 断熱ジャケット℃まで時間以内

加熱対象物に超えてはいけない温度、必要な最低温度はありますか？
アース構造：

□要

□否周

囲

温度

最高：

設

置場

所□ クリーンルーム℃

最低：℃

温度

制

御BriskHeat® の温度コントローラーを □ 使用する：□しない（種類、方式）：源□ 100VAC□ 一般

ヒーターと温度コントローラー間の距離：
電□ 60Hz□ 110VAC□ 50Hz□ 120VAC□ 200VAC□ 220VAC□ 240VAC□ DC

コ メ ン ト ：その他の BriskHeat® 製品（一部分）・フレキシブルヒーティングテープ
・シリコンラバーヒーティングテープ
・自己制御型ヒーターケーブル
・コンスタントワットヒーターケーブル

・ガスシリンダー用
ジャケットヒーター

・マントルヒーター
・シリコンラバーヒーター

株式会社

本社 / 東京支店
名古屋支店
仙台支店
札幌支店

・容器用 TOTE タンクヒーター

・ドラムヒーター
・ドラムカバーヒーター

東 京 興 業 貿 易 商 会℡ 03-3436-2585℡ 052-201-3321℡ 022-287-8190℡ 011-875-8881

Fax 03-3436-4742
Fax 052-211-5939
Fax 022-287-7141
Fax 011-875-9855

大阪支店
広島支店
福岡支店
富山営業所

EPD 営業部℡ 06-6532-5745℡ 082-241-5530℡ 092-431-5072℡ 076-441-4701

Fax 06-6538-7176
Fax 082-246-7569
Fax 092-481-1064
Fax 076-442-5715

http://www.tkbs.co.jp©2016 Tokyo Kogyo Boyeki Shokai, LTD. All rights reserved.
JH-R1.2/1604