システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動回転ステージ / テーブルサイズ 50×50, 70×70, 100×100
Motorized Rotation Stages / Table Size 50×50, 70×70, 100×100

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

Z
Z

RA05B-RT02

RA07A-RT02

RA10A-RT01

回転Rotation

RA05B-RT02

3575

48

CW

CCW

X・XY
X・XY

W.D.70CW Limit Sensor

504030Rotation Center

4-M3 Depth 4mm
4-M3 Depth 3.5mm

70604030

8-M3 Depth 6mm
4-M4 Depth 5mm

(15)

(200)

(120)
70604030(90)504030(1)704-for M3 screws
Shaft length 7.5mm

304H8

φ4H8 Depth 4mm

6070(79)(90.5)

5 Depth 4mm

裏面Back Side(9)114050(10.5)

φ5H8 Depth 5mm

351125

φ4H8 Depth 5mm

4-for M4 screws
Shaft length 7mm(16)φ4H8 Depth 4mm

6070404H850
4050(51)

アライ
メント
ステージ
XYθ

(182.5)5(96.5)Depth 4mm

裏面
Back Side15120

真空ステージ
VacuumStage

RA10A-RT01
5050109モーター
コントローラ
Motor
Controller

CCW Limit Sensor
Home Position(5.5)

W.D.95

ドライバ
ボックス
DriverBox

CW Limit Sensor

CW
Rotation CenterCCW

アプリ
ケーション
Application

100
90604030

8-M3 Depth 8mm
8-M4 Depth 6mm(162.2)
10090604030

φ6H8 Depth 8mm(19.5)90100

φ5H8 Depth 5mm

604-for M4 screws
Shaft length 10mm

5H890(14.5)
100(114.5)

144595(17.2)

モーター
ドライバ
Motor
Driver付録
Appendix

CW

CCW

(200)

回転
Rotation

モーター
ケーブル
Motor
Cable

CW Limit Sensor

Rotation CenterZ
Z

制御装置
ControlElectronics

CCW Limit Sensor
Home Position(4)

CCW Limit Sensor
Home Position(3)

W.D. 50

自動精密ステージ
MotorizedStage

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

3525

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

RA07A-RT0225(250)(130.5)

7 Depth 5mm

裏面Back Side130

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
SystemJ-016

J.indd 16

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/08/31 14:45

真鍮 / アルミ / クロスローラガイド / ウォーム＆ウォームホイール

システム
製品
SystemProducts

Brass Body / Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Worm and Worm Wheel
型式
Model Number
勝手違い型式※1
Mirror Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
回転範囲
Angular Range
送り方式
Lead Mechanism
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
ワークディスタンス
Work Distance
回転中心変位量Rotation Center Error
繰返し位置決め精度
Repeatability
ロストモーション
Lost Motion
バックラッシュBacklash※3
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重Weight
5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※4Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

RA05B-RT02

RA07A-RT02

RA10A-RT01

RA05B-RT02-R

RA07A-RT02-R

RA10A-RT01-R

70mm×70mm

100mm×100mm

50mm×50mm

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide
±10°

X・XY
X・XY

ウォーム＆ウォームホイール
Worm & Worm Wheel
0.00156°/0.00078°

0.00153°/0.000765°

0.0022°/0.0011°0.000078°

0.0000765°

0.00011°

7.75°
/sec

7.66°
/sec

11°
/sec

50mm±0.2mm

70mm±0.2mm

95mm±0.2mm

ZZ

回転
Rotation

φ0.05mm/±10°

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)≦±0.001°≦0.003°≦0.003°≦0.002°

自動精密ステージ
Motorized
Stage≦0.001°0.31 arcsec/N・cm

0.09 arcsec/N・cm

0.02 arcsec/N・cm

14.7N (1.5kgf)

24.5N (2.5kgf)

34.3N (3.5kgf)

真鍮
Brass
白色梨地仕上げChromium Matte Plating

X・XY
X・XY

アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

0.82kg

1.5kg

ZZ

4.2kg

回転Rotation

C087Q-9215P（オリエンタルモーター
PK544PMB（オリエンタルモーター:
PK525HPMB（オリエンタルモーター:
当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°,定格電流0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
リード線5本）リード線5本）C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU
PK544PMB (Oriental Motor: Phase
PK525HPMB (Oriental Motor: Phase
exclusive): Phase Current 0.75A, Basic
Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°,
Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°,
Step Angle 0.72°, 5-Leads)
5-Leads)
5-Leads)
Φ5mm オプションハンドル：A type
Φ8mm オプションハンドル：B type
Φ5mm Conformance option handle: A type
Φ8mm Conformance option handle: B type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ

V3
F-116(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)
RA05B-RT02-C
RA05B-RT02-V

勝手違い、重ねの組勝手についてはK-005ページを参照して下さい。
※1
Refer to page K-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
※2

産業用
Industrial

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

真空ステージ
VacuumStage

F-101(HOME,LIMIT)

RA07A-RT02-C

RA10A-RT01-C

RA07A-RT02-V

RA10A-RT01-V

制御装置
ControlElectronics

モーメント剛性はロール剛性となります。
※3
Moment Stiffness of stage is measured in Roll Direction.
※4

モーターコントローラMotorController

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバボックス
DriverBox
アプリ
ケーション
Applicationモータードライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

J.indd 17J-017

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