TRX-900 シリーズ
サーマルフローメータ変換器
IM-F2129-J01

取扱説明書

2 版 2023 12 E
初版 2021 06 E

この取扱説明書は TRX-900 シリーズ サーマルフローメータ変換器の設置方法や取扱い上の注意事項などが記載されています。使用前に組合せて使用になる検出器の取扱説明書と合わせて、必ずご一読ください。
また、取扱説明書はお読みいただいた後も大切に保管してください。
本書に記載されている内容は、予告なく変更される場合があります。
あらかじめご了承ください。

検出器形式

取扱説明書番号TH-1100

IM-F2131

TH-1200

IM-F2137

TH-1400

IM-F2141

TH-1700

IM-F2143

TH-1800

IM-F2145

＜目次＞

TRX-900 シリーズ
サーマルフローメータ変換器

目次

はじめお読みください 本書で使用しているマークについて・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅰ 一般的な注意事項・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅰ
 電気的接続について・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・Ⅱ
 材質について・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅱ
 製品の一部にガラス、樹脂を使用している製品について・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅱ
 ガラス管・樹脂管面積流量計の使用について・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅲ
 防爆仕様で納入された製品について・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅲ
 保守、点検について・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅲ
1. 製品の概要 ........................................................ 1

7. 設定 ................................................................... 9

1.1 概要...................................................................... 1

7.1 基本的なキー操作 .............................................. 10

1.2 特徴...................................................................... 1

7.2 設定項目............................................................. 11

2. 主な仕様 ............................................................ 1

7.2.1 検出器 ............................................................. 12

2.1 主な仕様 .............................................................. 1

7.2.2 測定流体 .......................................................... 122.2 形式コード表 ....................................................... 2

7.2.3 流量単位 .......................................................... 13

2.3 組合せ検出器 ....................................................... 2

3. 各部の名称 ........................................................ 3
4. 設置 ................................................................... 4
4.1 設置場所 .............................................................. 4

7.2.4 フルスケール流量 ........................................... 13
7.2.5 フルスケール流量の小数点............................. 14
7.2.6 積算流量の小数点 ........................................... 14
7.2.7 ローカットオフ ............................................... 15
7.2.8 上限警報 .......................................................... 15

4.2 設置方法 .............................................................. 4

7.2.9 下限警報 .......................................................... 16

5. 配線 ................................................................... 4

7.2.10 ヒステリシス ................................................ 16

5.1 配線...................................................................... 4

7.2.11 温度・圧力補正機能 ..................................... 17

5.2 配線上の注意 ....................................................... 4

7.2.12 温度単位........................................................ 17

5.3 結線...................................................................... 5

7.2.13 仕様温度........................................................ 17

5.3.1 端子図 ................................................................ 5

7.2.14 圧力単位........................................................ 18

5.3.2 専用ケーブル ..................................................... 5

7.2.15 仕様圧力........................................................ 18

5.3.3 電源 ................................................................... 5

7.2.16 圧力補正範囲(スパン) ................................... 19

5.3.4 温度信号入力 ..................................................... 5

7.2.17 圧力補正範囲(ゼロ点) ................................... 19

5.3.5 圧力信号入力 ..................................................... 6

7.2.18 RS-485 シリアル通信速度 ............................. 20

5.3.6 DC4-20mA アナログ出力 ................................... 6

7.2.19 RS-485 シリアル通信アドレス ..................... 20

5.3.7 パルス出力......................................................... 6

7.2.20 パルスレート ................................................ 20

5.3.8 警報出力ケーブル.............................................. 6

7.2.21 パルスドロップアウト .................................. 21

5.3.9 RS-485 シリアル出力ケーブル .......................... 6

7.2.22 DC4-20mA アナログ出力調整(ゼロ点) .......... 21

5.4 専用ケーブル端末処理方法 .................................. 7

7.2.23 DC4-20mA アナログ出力調整(スパン) .......... 22

5.4.1 専用ケーブルの構造 .......................................... 7

7.2.24 積算リセット ................................................ 22

5.4.2 処理手順 ............................................................ 8

7.2.25 LCD ディスプレイ(上段) ............................... 23

6. 運転 ................................................................... 9

7.2.26 LCD ディスプレイ(下段) ............................... 23

6.1 運転の前に ........................................................... 9
6.2 運転...................................................................... 9
6.3 出力...................................................................... 9

7.2.27 出力応答速度 ................................................ 24
7.2.28 LCD バックライト ......................................... 24
7.2.29 設定リセット ................................................ 25
7.2.30 終了 ............................................................... 25

＜目

次＞

7.3 設定例 ................................................................ 26

9.6.3 設定に関するパラメータ ................................ 35

7.3.1 流量単位 .......................................................... 26

10. 保守・点検 .................................................... 38

7.3.2 ローカットオフ ............................................... 27

10.1 日常点検........................................................... 38

8. エラーメッセージ ........................................... 28

10.2 清掃 .................................................................. 38

8.1 エラーメッセージ .............................................. 28

10.3 積算値バックアップ用電池 .............................. 38

8.2 温度差制御回路異常........................................... 29

11. トラブルシューティング .............................. 38

8.3 温度補正回路異常 .............................................. 29

11.1 仕様確認........................................................... 38

8.4 加熱電流制御回路異常 ....................................... 29

11.2 LCD ディスプレイが点灯しない ....................... 38

8.5 加熱電流供給過剰 .............................................. 29

11.3 LCD ディスプレイの表示が更新されない、おかし

8.6 システム異常 ..................................................... 30

い .............................................................................. 38

8.7 圧力補正回路異常 .............................................. 30

11.4 エラーメッセージが表示される ....................... 38

8.8 ガス物性値データ異常 ....................................... 30

11.5 キー操作を受け付けない.................................. 38

9. シリアル通信 .................................................. 31

11.6 ゼロ点が不安定または指示が出る ................... 39

9.1 インターフェース .............................................. 31

11.7 流体を流しても指示が“0”のまま ...................... 39

9.2 プロトコル ......................................................... 31

11.8 流体を流すと指示が不安定になる ................... 39

9.3 コード ................................................................ 31

11.9 表示は出るが出力が出ない .............................. 39

9.4 通信の流れ ......................................................... 31

11.10 指示が振り切れる .......................................... 39

9.5 通信フォーマット .............................................. 32

11.11 他の流量計と指示が合わない ........................ 39

9.6 パラメータ ......................................................... 33

11.12 その他の異常 ................................................. 39

9.6.1 機器情報および測定値に関するパラメータ .... 33
9.6.2 エラーメッセージに関するパラメータ ........... 34

＜はじめにお読みください＞ Ⅰ

はじめにお読みください
このたびは弊社製品をご採用いただき、まことにありがとうございます。
この取扱説明書には本製品の設置方法、取扱い上の注意事項等が記載されていますので、ご使用前に必ずご一読ください。

■ 本書で使用しているマークについて
本書は、弊社製品のご使用に際しお客様にご注意いただきたい内容について記載しています。
この記載内容は弊社全製品に共通する事項となります。
次の表示の区分は、表示内容を守らずに誤って使用をした場合に生じる危害や損害の程度を説明しています。

警告 この表示は、取り扱いを誤った場合に「死亡または重傷を負う可能性が想定される」内容です。

注意

この表示は、取り扱いを誤った場合に「軽傷を負う可能性または物的損害の発生が想定される」内容です。

注記

弊社製品を安全かつ正しくご使用いただくための内容です。

■ 一般的な注意事項

警告●製品は工業計器としての用途にのみ使用し、その他の用途には使用しないでください。
●製品は工業計器として最適な品質管理のもとに製造、調整、検査を行い納入しております。みだりに改造や変更を行うと本来の性能を発揮できないばかりか、不具合や事故の原因となります。改造や変更は絶対に行わないでください。改造や変更の必要がある場合は弊社までご連絡ください。
●仕様書に記載された仕様範囲内での使用を厳守してください。この範囲を超えた条件での使用は故障、破損の原因となります。
●設置作業の際は必ず安全靴、手袋、保護メガネなどの防護手段を講じてください。
●プロセスへの設置・接続の際は必要に応じてプラントあるいは装置の停止を行ってください。
●重量の大きな製品の設置は落下による人体・器物などへの損傷または過大な衝撃、破損などが生じないよう吊下方法を含めた安全措置を講じてください。また、製品設置箇所では必要に応じて配管サポート等の処置を行ってください。

注意●製品の運搬は納入時の梱包状態で行ってください。
運搬作業時は製品の落下による人体・器物などへの損傷または過大な衝撃による破損などが生じな
いよう安全措置を講じてください。
●開梱後、製品の中には、水、埃、砂などを入れないでください。
●プロセスへの設置・接続に必要な締結部品のボルト、ナット、ガスケット（パッキン）は、原則としてお客様の所掌となります。圧力、温度などの仕様や耐食性を確認して適切なものを選定してください。
●プロセスへの設置・接続の際は、接続継手の規格・寸法合わせが正しいか確認し、接続配管との偏芯、フランジの倒れがないように設置してください。正しく行われない場合は製品の故障、誤動作、破損などの原因となります。

＜はじめにお読みください＞ Ⅱ

注記●保管の際は納入時の梱包状態で保管してください。保管の環境については本書を参照してください。
●設置後、製品を「足場」として使用するなど、荷重を掛けないでください。故障、破損の原因となります。
●製品に貼付されているラベルに表示されている注意事項は、必ず守ってください。
●製品は最適な品質管理のもとに製造、調整、検査を行い納入しておりますが、不測の要因で故障が発生する可能性もあります。運転・安全上の重大な問題が発生するプロセスにおいては、万が一に備えて同様な機能を果たす機器を併設、二重化を行うなど、より一層の安全性の確保を推奨します。

■ 電気的接続について警告●電気配線（結線）に際しては仕様書、本書などに記載されている内容を確認のうえ、正しく配線（結線）してください。誤配線（結線）は機器の故障の原因となるばかりでなく、事故の原因となることがあります。また、配線（結線）作業の際は電源が遮断されていることを確認し感電に注意してください。
●電源を接続する製品の場合は、仕様書、本書を参照して電圧および消費電力を確認して適合する電源を接続してください。適合する電源以外の電圧の電源に接続した場合、機器の破損や作動の不具合、事故につながる恐れがあります。
●通電中は、感電事故防止のため内部の機器には絶対に触れないでください。

注意●設置工事から電気配線作業完了にいたる間、雨水などが製品内に入らないよう注意してください。
また、配線完了後は遅滞なく正しく防水措置を実施してください。

■ 材質について注意●材質の指定がない場合には使用条件・運転条件から最適な材質選定に努めておりますが、実際のプロセスにおける使用条件・運転条件につきましては知見できないこともあります。最終的な材質の決定および耐食性や適合性の確認はお客様の責任で行ってください。製品の材質は仕様書に記載されています。

■ ガラス、樹脂を使用している製品について警告

注意●製品の接液部または測定部、表示部の材質にガラス、樹脂を使用している場合、過度の加圧、温度
衝撃、急激な流体の流入の衝撃圧などによりガラス、樹脂が破損する場合があります。
万が一破損した場合、ガラス、樹脂などの破片が飛散するなどして二次災害および作業者に危険が及ぶ恐れがあります。破損の原因となるような運転条件にならないように注意してください。
また、飛散防止の措置を行ってください。

●運搬、保管および運転に際しては、ガラス部、樹脂部に機械的衝撃を与えないように注意してください。
●ガラスはアルカリ系溶剤で侵食されます。アルカリ系溶剤は使用しないでください。
●樹脂は溶剤系の液体で破損することがあります。仕様書、本書などに記載されている流体以外には使用しないでください。
●樹脂は使用環境により劣化が早まることがあります。設置ならびに運転にあたっては、樹脂の耐食性、紫外線耐性などの耐環境性に考慮してください。

＜はじめにお読みください＞ Ⅲ■ ガラス管・樹脂管面積流量計の使用について
ガラス管・樹脂管面積流量計は以下の事項に配慮して使用してください。

警告

注意●以下の流体条件および使用環境では、ガラス管・樹脂管面積流量計は不適ですので設置しないでください。
・衝撃圧力がある、あるいは衝撃圧力が予想されるプロセス
・万が一ガラス管/樹脂管が破損した場合、二次的な災害が予想されるプロセス－毒性（刺激性、麻酔性などを含む）のある流体－引火性のある流体－爆発性のある流体・ガラスが破損した時にガラス片が飛散し、人身事故などが考えられる場合
・設置場所が、外部からの飛散してきた異物などでガラスの破損が考えられる場合・運転が ON／OFF 運転で、フロートが急上昇し、その衝撃でガラスが破損すると考えられる場合
・流量計に温度衝撃（急冷／急騰）が加わる、あるいは温度衝撃が予想されるプロセス●接液部または測定部にガラスおよび樹脂を使用している製品において、運転停止に伴い流れが停止
して測定液体が測定管内に残留した場合、周囲温度が氷点下になると液体が凍結してガラス、樹脂を破損する恐れがあります。
（一般的には冬期に運転停止して液抜きをしないなど）運転停止中に測定液体が凍結する恐れがある場合は、液体を完全に抜き取ってください。
●樹脂は一般的に金属に比較して機械強度が低く、取扱いには注意が必要です。設置の際は接続配管・継手の寸法違い、偏芯、過大な締結トルクでねじ込むことなどによる機械的応力が加わらないよう注意してください。

■ 防爆仕様で納入された製品について警告●該当する法規・規則・指針に適合した配線、接地工事を確実に実施してください。また、構造の改造、電気回路の変更などは法令違反であり規則・指針に適合しなくなるので絶対に行わないでください。保守・点検については法令・規則・指針に従い、作業を実施してください。

注意●製品の防爆等級は仕様書、製品の銘板に記載されています。対象ガスおよび設置場所が防爆関連法
規・規則・指針に準拠するか確認してください。

■ 保守、点検について警告●製品を保守、点検などでプロセスから取外す際は、測定対象の危険性・毒性に留意して作業を行ってください。関連する配管・機器類からの漏れおよび残留などにより人体・機器類への損傷が生じないよう注意してください。
●電気を使用している製品では感電事故防止のため、電源が遮断されていることを確認してください。

注記●製品の保守、点検については使用条件・運転条件などによりその周期、内容が異なります。
本書を参照の上、お客様にて実際の運転状況を確認して判断してください。

1
1. 製品の概要
1.1 概要TRX-900 はインテリジェントタイプのサーマルフロー
メータ用コンバータです。ダブル CPU 搭載の信号処理回路で高精度、高機能を達成しました。すべてのオペレ
ーションファクタはフロントパネル上のキー操作によりユーザーフレンドリーに設定、変更が可能です。瞬時
流量、積算流量、警報などのプロセス監視、制御に必要な機能を標準搭載。さらにシリアル通信 RS-485 により上位でのデータ処理も可能になります。

■ 温度変化にもほとんど無関係
ガスの温度変化にもほとんど影響されません。温度が大きく変化する場合は白金測温抵抗体温度セン
サー信号を入力することにより、温度変化の影響を受けない質量流量計測を行うことができます。

2. 主な仕様
2.1 主な仕様
下記以外の仕様および内容については、納入仕様書を参照してください。

1.2 特徴■ デジタル出力機能搭載
瞬時流量、積算流量、自己診断データ等を RS-485
シリアル出力にて出力されるため、上位でのデータ処理も可能です。
■ 高精度
独自の計測理論で各種ガスの流量を±1.0% F.S.の高精度で計測します。また、理論的解析の確立した計測理論であるため、ほとんどの一般ガスに対して計測可能です。
■ 互換性アップ
サーマルフローメータ検出器固有特性を変換器にて吸収するため、検出器・変換器の互換性向上。
■ ワイドレンジアビリティ
0.5m/s の低流速域でも十分な実用計測精度があります。従来のオリフィス式や渦式流量計での気体流量計測の問題点をクリアしました。
■ 高耐久性
変換器内部でのパワーロスを極力抑えるとともに、熱発生を考慮した熱設計であるため、高耐久性です。
■ ユーザーフレンドリー
フルスケール流量、流量単位、パルスレート、警報、
アナログ・シリアル出力等、すべてのオペレーショ
ンファクタをパネル上のキー操作ならびにシリアル通信により簡単に設定変更可能です。
■ ガス種類を選ばない
理論的分析の確立した計測理論でどんなガスでも計測可能です。ガスデータを最大 10 パターンまで格納でき、上位にて設定可能。ガスが変化しても万
全です。

■ 精度
±1% F.S.(表示精度：±1digit が加算されます)■ 対象ガス
AIR、Ar、CH4、C2H6、C3H8、C4H10、C2H4、C3H6、CO、CO2、He、N2、NH3、O2、その他■ 表示
ドットマトリクス LCD 16 文字×2 段バックライト
付
・上段：瞬時流量、積算流量、温度、圧力、加熱電
圧、内部温度、SPS リップルより 1 つ選
択またはエラーメッセージ
標準：瞬時流量表示(整数部最大 5 桁)
・下段：バーグラフ、瞬時流量、積算流量、温度、圧力、加熱電流より 1 つ選択
標準：積算流量表示(7 桁)■ 出力・アナログ出力：
DC4-20mA 許容負荷抵抗 500Ω
・パルス出力：オープンコレクタ出力：DC35V/50mA
パルス幅：50msec(100、200ms も選択可能)
・警報出力：SPDT リレー接点：
AC125V(0.4A)/DC20V(2A)抵抗負荷
・デジタル出力：
RS-485 シリアル出力プロトコル：8N1
ID アドレス：00～99
通信速度 ：1200、2400、4800、9600bps
より選択■ 温度補正機能
標準装備：3 導線式白金測温抵抗体(Pt100Ω)別途必要■ 圧力補正機能
標準装備：DC4-20mA アナログ出力付き圧力計別
途必要

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2■ 応答速度
3 秒以上(63%ステップ応答に対して)■ ケーブル長最大 100m※詳しくは納入仕様書を参照してください。

2.2 形式コード表
形式：TRX-9□□
形

式

コ

ー

温度、圧力補正50/60Hz■ 消費電力最大 60W

専用ケーブル長■ 構造
屋外仕様(IP54 相当)
■ 取付
壁取付け

容

0

補正なし

1

温度補正

4

温度補正＋圧力補正
1

5m

2

10m

3

15m

4

20m

5

25m

6

30m

7

35m

8

40m

9

45m

A 50m
F 50m 超(最大 100m)■ 寸法
400H×300W×200D mm■ 質量
約 12.5kg■ 周囲温度
0～50℃■ 周囲湿度
10～90%RH

内

T R X － 9

■ 電気接続M3 ネジ端子■ 電源
AC90～264V

ド＊ただし、結露しないこと。

■ 付属品
納入仕様書を参照してください。

2.3 組合せ検出器■ 組合せて使用することができる検出器
・TH-1100 シリーズ
(口径 50A 以上)
TH-1100HQ シリーズ (口径 50A～100A)
TH-1100SP シリーズ (口径 150A 以上)
・TH-1200 シリーズ
(口径 50A～150A)
・TH-1400 シリーズ
(口径 50A 以上)
・TH-1500 シリーズ
(口径 15A～50A)
TH-1500HQ シリーズ (口径 15A～25A)
・TH-1600 シリーズ
(口径 15A～50A)
・TH-1700 シリーズ
(口径 15A～50A)
・TH-1800 シリーズ
(口径 15A～50A)

注記
検出器の詳細は納入仕様書または検出器取扱説明書を参照してください。

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3
3. 各部の名称

THERMAL FLOW CONVERTOR①②

MODE SHIFT INC

ENTTOKYO KEISO CO., LTD.

③

No.

名

称

備

考

1

LCD 上段(瞬時流量)

2

LCD 下段(積算流量)

3

設定ボタン

4

壁取付け金具5

ケーブル挿入口

サーマルフローメータ専用ケーブル

6

ケーブル挿入口

適用ケーブル：φ7～φ9

設定ボタンの説明
MODE ：次の項目へ移動
SHIFT ：桁の移動(設定を変更可能な状態にする)
INC ：数値(データ)の変更(上昇のみ)
ENT ：データの保存(更新)または計測モードへ移動

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4
4. 設置

5. 配線

4.1 設置場所

5.1 配線

設置場所は下記の条件を考慮して選定してください。

変換器～検出器間、電源、入力および出力ケーブルを接続します。
配線および結線は必ず電源が切れていることを確認してから、行ってください。

1）周囲温度が 0～50℃の場所
長期間安定して使用いただくために、できるだけ
常温・常湿の場所に設置することを推奨します。

1）変換器～検出器間専用ケーブルを接続します。

2）振動の少ない場所
3）ほこりの少ない場所
ほこりの多い雰囲気に設置する場合、防塵構造を有するキャビネット内等に設置してください。
4）腐食性ガスの少ない場所
腐食性ガスの雰囲気中で使用する場合、長時間の使用は避け、使用後速やかに腐食性ガスの雰囲気
外に移動してください。
5）ノイズを受ける恐れのない場所
コンプレッサー、高圧電線、インバータなどの近くに設置しないでください。

2）電源変換器への供給電源ケーブルを接続します。
3）入力必要に応じて温度信号入力、圧力信号入力のケーブルを接続します。
4）出力必要に応じて DC4-20mA アナログ出力、パルス出
力、警報出力のケーブルを接続します。

5.2 配線上の注意

6）雨水などがかからない場所
屋内で使用してください。

1）専用ケーブルの最小曲げ半径は 15cm 以上としてください。

7）直射日光の当たらない場所

2）専用ケーブルの長さは納入仕様書を参照してくだ
さい。

8）取付・配線作業や保守・点検が容易な場所

4.2 設置方法
ボックスに取付けてある、壁取付け金具の 4 ケ所の取付け穴を利用して取付けます。
・取付けは M12 のボルトで行います。
取付け用のボルトはお客様の所掌となります。
準備してください。

4）誘導障害(ノイズ)対策およびケーブル保護のため、ケーブルを電線管またはケーブルダクトに入れて使用することを推奨します。電線管は専用ケーブルの太さ(約 11mm)と防水コネクタの大きさ(仕様によっては防水コネクタ(φ26×62mm)が接続されています。)を考慮したものを使用してください。

200

340

3）専用ケーブルは長くても途中で切断しないでください。
やむをえず専用ケーブルを切断して使用する場合、「5.4 専用ケーブル端末処理方法」を参照してくだ
い。

4-ϕ15

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5
5.3 結線

5.3.1 端子図「5.3.1 端子図」を参照し、センサ入力端子、電源端子
および必要に応じてその他を結線してください。

注記
変換器と検出器、専用ケーブルおよび付帯機器との結線は、弊社工番(MFG.No.)ごとに行ってくだ
さい。異なる工番ごとに結線を行うと、測定誤差の原因となる恐れがあります。

5.3.2 専用ケーブル
詳細は「5.3.1 端子図」を参照してください。
20 青線
21 白線
22 同軸芯線（透明）
23 同軸編組線（黒熱収縮チューブ）24 外側シール ド（黒熱収縮チューブ）
防水コネクタ ※ケーブル

M3用丸圧着端子※ 防水コネクタは形式により付かない場合があります。

5.3.3 電源

5.3.4 温度信号入力

1）電源電圧が変換器の定格電源電圧の規定範囲内にあることを確認してください。

1）温度補正機能を使用の場合、3 導線式白金測温抵抗体を接続してください。

2）電源は動力用の電源とできるだけ共用にしないでください、ノイズが侵入する恐れがあります。
必ず接地してください。

2）温度補正機能を使用の場合、測温抵抗体を接続しな
いとディスプレイにエラーメッセージが表示されるとともに変換器が動作しません。

3）電源ケーブルはお客様の所掌となります。

3）お客様にて測温抵抗体をご用意される場合、JIS C
1604(3 導線式 Pt100Ω、A 級タイプ)に準拠し、使用上の問題(強度、腐食性等)がない限りなるべく応答性の良いものを選定してください。

4）詳細は「5.3.1 端子図」を参照してください。
AC AC

4）詳細は「5.3.1 端子図」を参照してください。
TEMPERATURE
INPUT
Pt100Ω

POWER
AC90-264V
50/60Hz

注記
次項からの「5.3.4 温度信号入力」～「5.3.9 RS-485
シリアル出力ケーブル」は、必要な項目をお読みく
ださい。

(A)

(B)

(B)

15

16

17

A

B

B

注記
温度補正機能を使用の場合、Pt100Ωからの温度信号が入力されないと変換器が動作しません。注意
してください。

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6
5.3.5 圧力信号入力

5.3.8 警報出力ケーブル

1）圧力補正機能を使用の場合、DC4-20mA アナログ
出力付き圧力計を接続してください。

1）警報出力は SPDT リレー接点出力です。

2）圧力補正機能を使用の場合、圧力計を接続しないと
ディスプレイにエラーメッセージが表示されます。

2）負荷定格内で使用してください。
(AC125V、0.4A/DC20V、2A 抵抗負荷)
3）警報出力ケーブルはお客様の所掌となります。

3）詳細は「5.3.1 端子図」を参照してください。
4）詳細は「5.3.1 端子図」を参照してください。

5.3.6 DC4-20mAアナログ出力
5.3.9 RS-485シリアル出力ケーブル

1）負荷抵抗は 500Ω以下としてください。

1）極性に注意してください。
2）アナログ出力ケーブルはお客様の所掌となります。
2）RS-485 シリアル出力ケーブルはお客様の所掌となります。

3）詳細は「5.3.1 端子図」を参照してください。

3）詳細は「5.3.1 端子図」を参照してください。

5.3.7 パルス出力
1）パルス出力はオープンコレクタ(絶縁型トランジスタ接点)出力のため、極性に注意してください。
2）負荷定格内で使用してください。
3）パルス出力ケーブルはお客様の所掌となります。
4）詳細は「5.3.1 端子図」を参照してください。

(E)+E [V]

3
4

E[V] : DC＋5～35[V]E–VCESAT
R

接続機器

変換器

R
(C)

≦ 50[mA]■ オープンコレクタ出力
・定格 DC35V/50mA(max.)・VCESAT＝1.2V

注記
パルス出力はオープンコレクタ(絶縁型トランジスタ接点)出力のため、外部接続機器と接続する場合、極性に注意してください。

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7
5.4 専用ケーブル端末処理方法
この専用ケーブルは端末処理方法によっては、ノイズなどの影響を受け不具合を生じる可能性があります。
専用ケーブルは長くても途中で切断しないでください。
やむを得ず専用ケーブルを切断する場合は以下の手順を参照のうえ、端末処理を行ってください。

5.4.1 専用ケーブルの構造

防水コネクタ

M3用丸圧着端子

ケーブル
ケーブル外観図

青線(2mm2)

内部同軸線
内部同軸編組線
外側シールド編組線

内部同軸芯線(0.5mm2)

ケーブルシース
白線(2mm2)
ケーブル断面図

IM-F2129-J01

8
5.4.2 処理手順
必ず変換器の電源を切り、専用ケーブルを変換器および検出器から外してください。通電したままケーブルを切断しますと、感電や故障の原因となる恐れがあります。
1）ケーブルシースをカッターなどで約 200mm 切り取ります。この時ケーブルシース内部のケーブルに傷を付けないよう注意してください。

8）ハンダが冷えた後、外側シールド編組線部に熱収縮チューブを被せます。
9）ハンダ付けしたケーブルの長さを他のケーブルと揃え、被覆を切り取ります。
10）各ケーブルに棒圧着端子を圧着します。
11）内部同軸芯線および内部同軸編組線に圧着した、圧着端子の圧着部にハンダ付けを行います。

2）ケーブルシース内部のケーブルの長さを 150mmに揃えます。

注記

3）外側シールド編組線は 20mm 残して切り取ります。

内部同軸芯線および内部同軸編組線は 1.25mm2
用棒圧着端子を、青線、白線、外側シールド編組線にハンダ付けしたケーブルには 2mm2 用棒圧着端子を、圧着してください。

4）外側シールド編組線を裏返し、ケーブルシースに被せます。
5）内部ケーブル(青線、白線および内部同軸線)の被覆を切り取ります。この時各ケーブルの内部の芯線などに傷を付けないよう注意してください。

外側シールド編組線を切り取る時、編組線が周りに飛び散ることがあります。目などに入らないよう注意してください。

6）内部同軸線の芯線と編組線を分け、熱収縮チュー
ブを被せます。
7）上記 4) で裏返しにして被せた外側シールド編組
線に 2mm2×200mm のビニール被覆ケーブルをハンダ付けする。

熱収縮チューブφ20☓50

熱収縮チューブφ6☓10

外側シールド編組線

熱収縮チューブφ3☓42

ハンダ付け
50
同軸編組線(23 番)
同軸芯線(22 番)～外側シールド編組線(24 番)
青線(20 番)白線(21 番)
8
(15)

150
ケーブル端末詳細図

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9
6. 運転
6.1 運転の前に設置、配線完了後、運転前に下記のことを確認してください。
1）配線および結線に誤りがなく、確実に接続されていること。
2）電源電圧、負荷定格等が正しいこと。
3）検出器の取付
フランジボルトが確実に締めてあること。
流体の流れ方向と検出器の流れ方向表示が一致していること。

6.3 出力運転を開始しますと、自動的にフロントパネル上のLCD ディスプレイに流量表示を行い、流量に対する各出力を出力します。
1）LCD ディスプレイ
標準設定では、LCD 上段に瞬時流量、LCD 下段には積算流量を表示します。
2）DC4-20mA アナログ出力
ご注文頂いた流量レンジに対して、DC4-20mA 電流を出力します。
3）パルス出力設定された積算流量毎にオープンコレクタパルス
を出力します。

注記● 配線および結線を誤ると、電気回路の故障の原因となり正常動作しなくなる恐れがあります。
● 流体の流れ方向と検出器の流れ方向表示が一致していないと、測定誤差の原因となり正常に流量測定ができません。

6.2 運転サーマルフローメータ(検出器および変換器)はご注文の仕様に基づいて、設定、調整を行っています。
設置および配線が完了した後、本書に従って操作していただけば、流量測定を開始します。
1）変換器に通電してください。
変換器が自動的にイニシャルチェックを行った後、測定値を表示します。

4）警報出力測定流量が設定された流量以上または設定された流量以下となった場合、SPDT リレー接点より警報出力します。
5）RS-485 出力
瞬時流量、積算流量、流量単位、エラーメッセージなどを、RS-485 シリアル通信にてデジタル出力し
ます。

7. 設定
測定モードから“MODE”ボタンを 2 秒以上押し続けると、パラメータモードになります。パラメータモードでは以下で説明する各種設定の確認や設定の変更を行うことができます。
パラメータモードから測定モードに戻るには、“ENT”ボ
タンを 3 秒以上押し続けてください。

2）流体を流し、運転を開始してください。

注記
TRX-900 変換器には電源スイッチがありません。
電源操作は外部で行ってください。

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107.1 基本的なキー操作
機

能

状

態

キ

ー

操

作

備

考

→

“INC”
ボタン
☓ 2回

→

“SHIFT”
ボタン☓ 3回

キー操作は連続して行って
ください。

→

“INC”
ボタン
☓ 2回

→

“MODE”
ボタン☓ 4回

キー操作は連続して行ってください。

ファームウェア
バージョンチェック

測定
モード

“ENT”
ボタン
☓ 1回

シリアルナンバー
チェック

測定
モード

“ENT”
ボタン
☓ 1回

パラメータモードに
移項

測定
モード

“MODE”ボタンを 2 秒以上押し続ける

次の設定項目に移項

パラメータ
モード

“MODE”ボタン

押し続けると、項目が連続して切り替わります。
また、最終の項目の次は最初の項目に戻ります。

設定を変更可能な状態
にする

パラメータ
モード

“SHIFT”ボタン「*」または設定値に下線が点灯します。

桁の移動

パラメータ
モード

“SHIFT”ボタン

単一方向のみ

設定の選択
数値の変更
符号の変更

パラメータ
モード

“INC”ボタン

単一方向または上昇のみ

設定変更の保存
(更新)

パラメータ
モード

“ENT”ボタン

※注記参照

模擬出力
(DC4mA、DC20mA)

パラメータ
モード
(DC4-20mA
アナログ出力調整時)“SHIFT”ボタン＋“ENT”ボタンを同時に押す

次の設定項目に移項すると自動的に模擬出力は解除されます。

測定モードに移項

パラメータ
モード

・設定項目「終了(Exit)」から移項
・“ENT”ボタンを 3 秒以上押し続ける
・2 分以上操作しない

※注記参照

注記
設定を変更した場合、各項目ごとに“ENT”ボタンを押して変更した内容を保存(更新)してください。設定を変更しても“ENT”ボタンを押して設定変更を保存(更新)しないと、その項目の変更内容
は保存(更新)されません。注意してください。

注記
設定を変更し“ENT”ボタンを押して変更した内容を保存(更新)した場合、LCD ディスプレイ(下段)の先頭に「*」が点灯していることを必ず確認してください。もし「*」が点灯していない場合、もう一度“ENT”ボタンを押してください。

Fl o w S e n s o r*TH-1100

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117.2 設定項目

注記

設定項目について、内容および設定方法を説明します。
■ ディスプレイ表示例

Flow Sensor*TH-1100“MODE” ：“MODE”ボタンを押した時の動作を記載
します。
“SHIFT”：“SHIFT”ボタンを押した時の動作を記載します。
“INC” ：“INC”ボタンを押した時の動作を記載します。
“ENT” ：“ENT”ボタンを押した時の動作を記載します。

注記● LCD ディスプレイ(上段)には設定項目、LCD
ディスプレイ(下段)には設定内容を表示します。
● 実際の LCD ディスプレイには、ドットを表す
点線はありません。

設定項目

掲載

1 検出器

P.12

2 測定流体P.12

3 流量単位

P.13

4 フルスケール流量P.13

5 フルスケール流量の小数点P.14

6 積算流量の小数点P.14

7 ローカットオフ

P.15

8 上限警報P.15

9 下限警報P.16

10 ヒステリシス

P.16

11 温度・圧力補正機能

P.17

12 温度単位

P.17

13 仕様温度P.17

14 圧力単位P.18

15 仕様圧力

P.18

16 圧力補正範囲(スパン)

P.19

17 圧力補正範囲(ゼロ点)

P.19

18 RS-485 シリアル通信速度

P.20

19 RS-485 シリアル通信アドレス

P.20

20 パルスレート

P.20

21 パルスドロップアウト

P.21

22 DC4-20mA アナログ出力調整(ゼロ点)

P.21

23 DC4-20mA アナログ出力調整(スパン)P.22

24 積算リセット

P.22

25 LCD ディスプレイ(上段)

P.23

26 LCD ディスプレイ(下段)P.23

27 出力応答速度

P.24

28 LCD バックライト

P.24

29 設定リセット

P.25

30 終了

P.25

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127.2.1 検出器

7.2.2 測定流体

組合せ検出器を指定します。

測定する流体を指定します。

TH-1100、TH-1100HQ、TH-1200、TH-1300、TH-1400、TH-1500、TH-1500HQ、TH-1600、TH-1700、TH-1800の中から選択AIR、Ar、CH4、C2H6、C3H8、C4H10、C2H4、C3H6、CO、CO2、He、N2、NH3、O2、OTHER1、OTHER2、
OTHER3、OTHER4、OTHER5 の中から選択

Flow Sensor*TH-1100“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：検出器の選択“ENT” ：設定変更の保存(更新)

Gas Type*AIR“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：流体の選択“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記● 検出器の形式等の詳細については、納入仕様書を参照してください。
● 組み合わせ検出器は、工場出荷時に設定してあります。

注記● OTHER1～OTHER5 は、上記以外の流体あるいは混合ガスです。
詳細は納入仕様書を参照してください。
● 選択項目のうち実際にデータが格納されているのは最大 10 種類までです。注意してください。データの格納されていない流体を選択した
場合、エラーメッセージが表示されます。

注記
組成
AIR

流体名
空気

組成
He

流体名
ヘリウム

Ar

アルゴン

N2

窒素

CH4

メタン

NH3

アンモニア

C2H6

エタン

O2

酸素

C3H8

プロパン

OTHER1

－

C4H10

ブタン

OTHER2

－

C2H4

エチレン

OTHER3

－

C3H6

プロピレン

OTHER4

－

CO

一酸化炭素

OTHER5

－

CO2

二酸化炭素

－

－

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13
7.2.3 流量単位

7.2.4 フルスケール流量

流量単位を指定します。

フルスケール流量を指定します。

L/min 、 L/min(nr) 、 L/min(st) 、 m3/m、 m3/m(nr)、m3/m(st)、g/min、m3/h、m3/h(nr)、m3/h(st)、kg/h、
m/sec の中から選択

1～99999 の範囲内で整数にて指定
Fl ow

*

Full-Scale
01200m3/h(nr)

F low

Unit
*m3/h(nr)“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：流量単位の選択“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記

注記“L/min(st)”または“m3/m(st)”または“m3/h(st)”を選択した場合、基準となる温度および圧力を仕様温度および仕様圧力として設定してください。
詳しい設定方法などは「7.2.13 仕様温度」および「7.2.15 仕様圧力」を参照してください。

注記● 納入仕様書に記載されたフルスケール流量(最大流量)以上は、精度保証しかねます。また、保証する精度は納入仕様書に記載されたフルス
ケール流量(最大流量)に対して、±1% F.S.となります。
● フルスケール流量を変更した場合、パルスレー
トの設定も変更してください。また、パルスレートの設定を変更した後、必ず積算流量をリセ
ットしてください。
設定を変更する前に積算流量値を控えておいてください。

LCD ディスプレイに表示される流量単位は、それぞれ下記の流量単位を表します。
流

量 単

位

流

量 単

位

L/min(nr) ＝ L/min(nor)m3/m(st) ＝ m3/min(std)L/min(st) ＝ L/min(std)m3/h(nr) ＝ m3/h(nor)m3/m＝ m3/minm3/h(st) ＝ m3/h(std)m3/m(nr)＝ m3/min(nor)―――

注記“m/sec”を選択した場合、積算流量演算およびパルス出力は停止します。

注記
流量単位の単位時間の単位(min または h)を変更
した場合、積算流量が自動的にリセットされます。
注意してください。
例）L/min(nr) → m3/h(nr) など
流量単位を変更する場合、積算流量値を控えておいてください。

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14
7.2.5 フルスケール流量の小数点7.2.6 積算流量の小数点

フルスケール流量の小数点以下の桁数を指定します。

積算流量の小数点以下の桁数を指定します。

0～3 の範囲内で指定

0～2 の範囲内で指定

小数点以下の桁数によって表示できる流量範囲が異なります。

小数点以下の桁数によって表示できる流量範囲が異なります。

・小数点以下 0 桁：0～99999
・小数点以下 1 桁：0.0～99999.9・小数点以下 2 桁：0.00～9999.99
・小数点以下 3 桁：0.000～999.999

・小数点以下 0 桁：0～9999999
・小数点以下 1 桁：0.0～99999.9・小数点以下 2 桁：0.00～9999.99
Total D ecimal

Flow

Decimal**1 digits

1 digits“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記
設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセー
ジが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。

“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記
設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセー
ジが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。

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15
7.2.7 ローカットオフ

7.2.8 上限警報

瞬時流量のローカット流量を指定します。

上限警報設定流量 QH を指定します。

0.0～10.0 の範囲内で 0.1 刻みにて指定(QL＋QS)～120 の範囲内で整数にて指定
上限警報設定流量を QH、後述の下限警報設定流量を
QL、ヒステリシス幅を QS とする。

ローカット流量設定は設定されているフルスケール流量に対して百分率[%]で行います。
Flow*

Lo w - C u t
02.0 %F.S.

流量設定は設定されているフルスケール流量に対して百分率[%]で行います。
High-Alarm“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記
測定流量が設定流量以下の場合、指示流量を強制的にゼロにする機能です。DC4-20mA 出力も同様に 4mA を出力します。

注記
ゼロ点がフラつく場合などに設定値を大きくして
ください。

*

QH
100 %F.S.

“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記● 測定流量が設定流量を超えると、警報出力します。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。

注記● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。
● ローカット流量を変更した場合、パルスドロッ
プアウトの設定を確認してください。
パルス出力および積算流量は瞬時流量を基に演算および出力しています。ローカット流量をドロップアウト流量より大きく設定した場合、ドロップアウト流量の設定は無視されローカ
ット流量の設定を優先します。(ローカット流
量の設定をドロップアウト流量とします)

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16
7.2.9 下限警報
下限警報設定流量 QL を指定します。
0～(QH－QS)の範囲内で整数にて指定
下限警報設定流量を QL、前述の上限警報設定流量をQH、後述のヒステリシス幅を QS とする。
流量設定は設定されているフルスケール流量に対して百分率[%]で行います。
L o w -A l a r m*

QL
000 %F.S.

“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)例） フルスケール流量 Q=1000m3/h(nor)、
上限警報 QH=100% F.S.、下限警報 QL=10% F.S.、
ヒステリシス幅 QS=10% F.S.の場合・測定流量が 1000m3/h(nor)を越えると上限警報が出力され、900m3/h(nor)を下回ると上限警報は解除されます。
・測定流量が 100m3/h(nor)を下回ると下限警報が出力され、200m3/h(nor)を越えると下限警報は解除されます。
流量[m3/h(nor)]
1000
900

注記
● 測定流量が設定流量を下回ると、警報出力します。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。

警報出力
ON
時間
[sec]

0

上限警報
流量
[m3/h(nor)]

7.2.10 ヒステリシス
警報出力の切断差(流量)QS を指定します。

警報出力
OFF

200

警報出力
ON

警報出力
OFF

100
1～10 の範囲内で整数にて指定
流量設定は設定されているフルスケール流量に対して百分率[%]で行います。

時間
[sec]

0

下限警報

Hyster esis

QS
10 %F.S.

*“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記● 警報出力がチャタリングを起こす場合、ヒステ
リシス幅を大きくしてください。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。

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17
7.2.11 温度・圧力補正機能

7.2.12 温度単位

温度・圧力補正機能の有効／無効を指定します。

使用する温度単位を指定します。

P & T、P only、T only、none の中から選択

C、F、K の中から選択

・P & T ：圧力補正機能有効、温度補正機能有効・P only ：圧力補正機能有効・T only ：温度補正機能有効・none ：圧力補正機能無効、温度補正機能無効

・C ：摂氏温度(°C)
・F ：華氏温度(°F)
・K ：絶対温度(K)T e m p e r a t u reS e n sor

Optin

Unit

*C

*none
“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：補正機能の選択“ENT” ：設定変更の保存(更新)“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：温度単位の選択“ENT” ：設定変更の保存(更新)

7.2.13 仕様温度

注記
● 流体温度が変化すると仕様流体、仕様温度、および仕様圧力により異なりますが、概略±0.1%
F.S./℃程度の誤差が加算されます。
流体温度が大幅に変化する場合やより高精度に流量測定をする必要がある場合、3 導線式白金測温抵抗体を接続し、温度補正機能を使用することを推奨します。
温度補正機能を使用する場合、測温抵抗体を接続しないとディスプレイにエラーメッセージが表示されるとともに変換器が動作しません。
● 流体圧力が変化すると仕様流体、仕様温度、および仕様圧力により異なりますが、概略±1%
F.S./MPa 程度の誤差が加算されます。
流体圧力が大幅に変化する場合やより高精度に流量測定をする必要がある場合、DC4-20mA
アナログ出力付き圧力計を接続し、圧力補正機
能を使用することを推奨します。
圧力補正機能を使用する場合、圧力計を接続しないとディスプレイにエラーメッセージが表示されます。
● 状況下流量を測定する必要がある場合、3 導線式白金測温抵抗体および DC4-20mA アナログ
出力付き圧力計を接続し、温度・圧力補正機能を使用してください。また、流量単位を L/min、
m3/m、m3/h のいずれかに設定してください。

設計仕様温度を指定します。
－25.0～400.0 / －13.0～752.0 / 248.0～673.0 の範囲
内で 0.1 刻みにて指定
仕様温度は設定されている温度単位によって指定できる温度範囲が異なります。
・摂氏温度(°C) ：－25.0～400.0・華氏温度(°F) ：－13.0～752.0
・絶対温度(K) ： 248.0～673.0※設定可能範囲は、設定されている温度単位に同期します。
Temperature

*

Used

025.0 C

“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)、符号の変更“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記● 温度補正機能を使用しない場合、仕様温度で指定した温度におけるガス物性値データを用いて流量を演算します。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。
● 符号はマイナス(－)のみ表示され、プラス(＋)
は表示されません。

IM-F2129-J01

18
7.2.14 圧力単位

7.2.15 仕様圧力

使用する圧力単位を指定します。

設計仕様圧力を指定します。

kg/cm2G、MPa、kPa の中から選択－0.80～10.20 / －0.078～1.000 / －78～1000 の範囲
内で指定

・kg/cm2 G ：kg/cm2 G・MPa：×106 Pa・kPa
：×103 PaP r e ssu re

Unit

*MPa
“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：圧力単位の選択“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記「kg/cm2 G」は法定計量単位ではありません。日本
国内では使用しないでください。
ただし、国外設備に用いる場合を除く。

仕様圧力は設定されている圧力単位によって指定できる圧力範囲が異なります。
・kg/cm2 G ：－0.80～10.20 (小数点以下 2 桁)・MPa：－0.078～1.000 (小数点以下 3 桁)・kPa：－78～1000(小数点以下 0 桁)
※設定可能範囲は、設定されている圧力単位に同期します。
Pressure*

Used
0.100 MPa

“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)、符号の変更“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記● 圧力補正機能を使用しない場合、仕様圧力で指定した圧力におけるガス物性値データを用いて流量を演算します。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。
● 符号はマイナス(－)のみ表示され、プラス(＋)
は表示されません。

IM-F2129-J01

19
7.2.16 圧力補正範囲(スパン)

7.2.17 圧力補正範囲(ゼロ点)圧力補正範囲のスパンの圧力を指定します。

圧力補正範囲のゼロ点の圧力を指定します。

－0.80～10.20 / －0.078～1.000 / －78～1000 の範囲
内で指定－0.80～10.20 / －0.078～1.000 / －78～1000 の範囲
内で指定

圧力補正範囲(スパン)は設定されている圧力単位によって指定できる圧力範囲が異なります。

圧力補正範囲(ゼロ点)は設定されている圧力単位によって指定できる圧力範囲が異なります。

・kg/cm2 G ：－0.80～10.20 (小数点以下 2 桁)・MPa：－0.078～1.000 (小数点以下 3 桁)・kPa：－78～1000(小数点以下 0 桁)

・kg/cm2 G ：－0.80～10.20 (小数点以下 2 桁)・MPa：－0.078～1.000 (小数点以下 3 桁)・kPa：－78～1000(小数点以下 0 桁)

※設定可能範囲は、設定されている圧力単位に同期します。

※設定可能範囲は、設定されている圧力単位に同期します。

P r e ssu re

P ressure

*

*

Range
0.100 MPa

“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)、符号の変更“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記● 圧 力 信 号 入 力 (DC4-20mA 信 号 ) の ス パ ン(DC20mA)に相当する圧力を入力してください。
● 圧力補正範囲のスパンの圧力は、圧力補正範囲のゼロ点の圧力以上としてください。
圧力補正範囲のゼロ点の圧力については、次項「7.2.17 圧力補正範囲(ゼロ点)」を参照してください。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。
● 符号はマイナス(－)のみ表示され、プラス(＋)
は表示されません。

Zero
0.100 MPa

“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記● 圧 力 信 号 入 力 (DC4-20mA 信 号 ) の ゼ ロ 点(DC4mA)に相当する圧力を入力してください。
● 圧力補正範囲のゼロ点の圧力は、圧力補正範囲のスパンの圧力以下としてください。
圧力補正範囲のスパンの圧力については、前項「7.2.16 圧力補正範囲(スパン)」を参照してください。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。
● 符号はマイナス(－)のみ表示され、プラス(＋)
は表示されません。

IM-F2129-J01

20
7.2.18 RS-485シリアル通信速度

7.2.20 パルスレート

RS-485 シリアル通信の通信速度[bps]を指定します。

パルス出力のパルスレートを指定します。

9600、4800、2400、1200 の中から選択

0.0～600.0 / 0～36000 の範囲内で指定

RS485

Baud-Rate*9600 bps
“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：通信速度の選択“ENT” ：設定変更の保存(更新)

7.2.19 RS-485シリアル通信アドレス

パルスレートは設定されている流量単位によって指定できるパルスレートの範囲が異なります。
・L/min(**)、m3/m(**)など ：0.0～600.0c/min(小数点以下 1 桁)
：0～36000c/h
・m3/h(**)、kg/h など(小数点以下 0 桁)
※設定可能範囲および単位時間の単位(min または h)は、設定されている流量単位に同期します。

RS-485 シリアル通信の通信アドレスを指定します。
Pulse
00～99 の範囲内で整数にて指定
RS485

*

ID
00

“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)*Count Rate
300.0 c/min“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)注記
パルスレートとは、フルスケール流量時における、
単位時間に出力されるパルス数です。
また、積算乗数は、フルスケール流量をパルスレー
トで除することによって求められます。

注記● パルスレートの設定を変更した場合、必ず積算
流量をリセットしてください。また、設定を変更する前に積算流量値を控えておいてください。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。

IM-F2129-J01

21
7.2.21 パルスドロップアウト

7.2.22 DC4-20mAアナログ出力調整(ゼロ点)

パルス出力および積算流量のドロップアウト流量を指定します。

DC4-20mA アナログ出力調整(ゼロ点)を調整する偏差を指定します。

0.0 ～ 10.0 の範囲内で 0.1 刻みにて指定－1.000～1.000 の範囲内で 0.001 刻みで指定

ドロップアウト流量は設定されているフルスケール流量に対して百分率[%]で行います。
Pulse

*

Drop-Out02.0 %F.S.

“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記● 測定流量が設定流量以下の場合、積算流量の演
算およびパルス出力を停止する機能です。ゼロ点がフラつく場合などに設定値を大きくしてください。
● パルス出力および積算流量は瞬時流量を基に演算および出力しています。ドロップアウト流
量をローカット流量より小さく設定した場合、ドロップアウト流量の設定は無視されローカ
ット流量の設定を優先します。(ローカット流
量の設定をドロップアウト流量とします)● パルスドロップアウトの設定を変更した場合、必ず積算流量をリセットしてください。また、設定を変更する前に積算流量値を控えておいてください。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。

Analog4mA* -0.004 mA“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)、符号の変更“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記● 工場出荷時に調整済みですが、ゼロ点(DC4mA)がずれている場合は調整してください。
● “SHIFT”ボタンと“ENT”ボタンを同時に押すと、ゼロ点(DC4mA)を模擬出力します。設定を変更した場合、その都度“SHIFT”ボタンと“ENT”ボタンを同時に押してゼロ点(DC4mA)を模擬出力させて確認してください。また、次の設定項目に移項すると、模擬出力は自動的に解除されます。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。
● 符号はマイナス(－)のみ表示され、プラス(＋)
は表示されません。

IM-F2129-J01

22
7.2.23 DC4-20mAアナログ出力調整(スパン)

7.2.24 積算リセット

DC4-20mA アナログ出力調整(スパン)を調整する偏差を指定します。

積算流量をリセットします。

－1.000～1.000 の範囲内で 0.001 刻みで指定
Analog20mA* -0.020 mA“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)、符号の変更“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記● 工場出荷時に調整済みですが、スパン(DC20mA)がずれている場合は調整してください。
● “SHIFT”ボタンと“ENT”ボタンを同時に押すと、スパン(DC20mA)を模擬出力します。設
定を変更した場合、その都度“SHIFT”ボタンと “ ENT ” ボ タ ン を 同 時 に 押 し て ス パ ン(DC20mA)を模擬出力させて確認してください。また、次の設定項目に移項すると、模擬出力は自動的に解除されます。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。
● 符号はマイナス(－)のみ表示され、プラス(＋)
は表示されません。

T o t a li z at i o n

Rst

Reset?
“MODE”：次の項目へ移動“SHIFT”：積算リセット可能な状態にする“SHIFT + ENT” ：同時に押す
Reset OK?と表示します。
“SHIFT + ENT” ：同時に押す
Reset finish と表示されたら積算リセットです。
※“SHIFT”、“ENT”と押すことによって、積算リセ
ットします。

注記「7.2.20 パルスレート」および「7.2.21 パルスドロップアウト」の設定を変更した場合、必ず積算リセ
ットしてください。また、設定を変更する前に積算
流量値を控えておいてください。

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23
7.2.25 LCDディスプレイ(上段)7.2.26 LCDディスプレイ(下段)LCD ディスプレイ(上段)に表示する測定値を指定します。

LCD ディスプレイ(下段)に表示する測定値を指定します。

Flowr rate/speed、Internal Temp.、Pressure、SPS
ripple、Temperature、Totalization、Voltage の中から選択

Bar graph 、 Flowr rate/speed 、 Heater current 、Pressure、Temperature、Totalization の中から選択

・Flow rate/speed ：瞬時流量
・Internal Temp. ：変換器内部温度
・Pressure：流体圧力 ※1
・SPS ripple：変換器内部スイッチング電源出力変動値[mV] ※2
・Temperature ：流体温度 ※3
・Totalization：積算流量
・Voltage：検出器供給電圧
Displa y Line1*Flow rate/speed“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：測定値の選択“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記
ご指定がない限り、LCD ディスプレイ(上段)の設
定は“Flowr rate/speed(瞬時流量)”として出荷し
ています。

注記
※1：圧力補正機能を使用時のみ、流体圧力を表示
します。圧力補正機能を使用しない場合、仕様圧力を表示します。
※2：スイッチング電源出力変動値より、スイッチ
ング電源の状態が分かります。
正常値：おおよそ 10mV 以下※3：温度補正機能を使用時のみ、流体温度を表示します。温度補正機能を使用しない場合、仕様温度を表示します。

・Bar graph：バーグラフ ※1
・Flowr rate/speed ：瞬時流量・Heater current ：加熱電流(検出器供給電流)
・Pressure：流体圧力 ※2
・Temperature：流体温度 ※3
・Totalization：積算流量
Displa y

Line2*Totalization“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：測定値の選択“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記
ご指定がない限り、LCD ディスプレイ(下段)の設
定は“Totalization(積算流量)”として出荷しています。

注記※1：フルスケール流量に対して、百分率[%]をバーグラフ(17 段階)にて表示します。
※2：圧力補正機能を使用時のみ、流体圧力を表示
します。圧力補正機能を使用しない場合、仕様圧力を表示します。
※3：温度補正機能を使用時のみ、流体温度を表示します。温度補正機能を使用しない場合、仕様温度を表示します。

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24
7.2.27 出力応答速度7.2.28 LCDバックライト

出力応答速度[sec]を指定します。

LCD ディスプレイのバックライトの動作を指定します。

00～30 の範囲内で整数にて指定

Response Time*
01 sec“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする、桁の移動“INC” ：数値の変更(上昇のみ)“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記
瞬時流量や DC4-20mA アナログ出力がハンチングする場合などに設定値を大きくしてください。

注記● 出力応答速度を設定することによって、瞬時流量および DC4-20mA アナログ出力の応答速度を変更することができます。ただし、サーマル
フローメータ本来の応答速度は約 3 秒(63%応答)であり、この応答速度に設定された出力応答速度を加算したものが、実際の出力応答速度となります。
● 設定可能範囲外に設定しますと、エラーメッセージが表示されます。
また、数秒後エラーメッセージは消え、直前の設定に自動復帰します。

1min. ON、5min. ON、15min. ON、Always ON、
Always OFF の中から選択
・1min. ON ：1 分間点灯
・5min. ON ：5 分間点灯
・15min. ON ：15 分間点灯
・Always ON ：常時点灯
・Always OFF ：常時消灯
LCD Ba ck-Light*Always ON“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定を変更可能な状態にする“INC” ：動作の選択“ENT” ：設定変更の保存(更新)

注記
1、5、15 分間点灯は、パラメータモードから測定モードに戻ってからの起算となります。

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25
7.2.29 設定リセット
すべての設定を初期設定値にリセットします(初期設
定値を読み込みます)。
LoadDefault

Yes?
“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：設定リセット可能な状態にする“INC” ：
“ENT” ：設定リセット実行※“SHIFT”、“ENT”と押すことによって、設定リセットします。

注記● 設定リセットする前に、現在設定されている設定内容すべてと積算流量値を控えておいてください。
● 初期設定値と工場出荷時設定値とが異なる場
合があります。注意してください。

7.2.30 終了
パラメータモードを終了し、測定モードに戻ります。
Exit

Yes?
“MODE” ：次の項目へ移動“SHIFT”：終了可能な状態にする“INC” ：
“ENT” ：終了実行※“SHIFT”、“ENT”と押すことによって、測定モードに戻ります。

IM-F2129-J01

26
7.3 設定例
実際の設定手順を簡単に説明します。

7.3.1 流量単位
流量単位を m3/h(nr)から L/min(nr)にする手順です。
1 2 3.4 m 3 / h ( n r )
6789

m3

“MODE”ボタンを 2 秒以上押し続ける
Flow

Sensor* T H- 1 1 0 0

パラメータモードになります。

“MODE”ボタンを 2 回押す
Flow

Unit

*m3/h(nr)“SHIFT”ボタンを 1 回押す
Flow

Unit

「*」に下線が点灯します。

*m3/h(nr)“INC”ボタンを 5 回押す
Flow

Unit

L/min(nr)

設定を変更すると、「*」が消灯します。

“ENT”ボタンを 1 回押す
Flow

Unit

*L/min(nr)

設定を保存(更新)すると、下線は消灯し「*」が点灯します。
※「*」が点灯していることを確認してください。

“ENT”ボタンを 3 秒以上押し続ける
2 1 0 9.8 L / m i n ( n r0liters

測定モードに戻ります。

IM-F2129-J01

27
7.3.2 ローカットオフ
ローカットオフをを 2.0% F.S.から 5.5% F.S.にする手順です。
1 2 3 .4 m 3 / h ( n r )
6789

m3

“MODE”ボタンを 2 秒以上押し続ける
Flow

Sensor

*TH-1100

パラメータモードになります。

“MODE”ボタンを 2 回押す
Flow*

Low-Cut
02.0

%F.S.

“SHIFT”ボタンを 1 回押す
Flow*

Low-Cut
02.0

%F.S.

小数第１位に下線が点灯します。

“INC”ボタンを 5 回押す
Flow

Low-Cut
02.5

%F.S.

設定を変更すると、「*」が消灯します。

“SHIFT”ボタンを 1 回押す
Flow

Low-Cut
02.5

%F.S.

整数第１位に下線が移動します。

“INC”ボタンを 3 回押す
Flow

Low-Cut
05.5

%F.S.

“ENT”ボタンを 1 回押す
Flow*

Low-Cut
05.5

%F.S.

設定を保存(更新)すると、下線は消灯し「*」が点灯します。
※「*」が点灯していることを確認してください。

“ENT”ボタンを 3 秒以上押し続ける
1 2 3 .4 m 3 / h ( n r )
6802

m3

測定モードに戻ります。

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28
8. エラーメッセージ

注記

変換器、検出器、専用ケーブルおよび付帯機器に異常が発生しますと、LCD ディスプレイ(上段)にエラーメッセージを表示して異常が発生したことを知らせます。また、異常が復旧すると、エラーメッセージは自動的に解除されます。

● エラーメッセージは LCD ディスプレイ(上段)に表示され、LCD ディスプレイ(下段)は表示の設定内
容に関わらず、積算流量を表示します。
●
複数の異常が発生した場合、エラーメッセージ
は優先度が高い異常に対するエラーメッセージのみを表示します。また、そのエラーメッセージに対する異常が復旧した場合、継続している異常のう
ち優先度の高いエラーメッセージを表示します。

8.1 エラーメッセージ
検出器
制御

パルス
出力

アナログ
出力

“T/C too large”

継続

継続

継続

温度差入力信号過大↑“T/C too small”

停止

停止

停止

温度差入力信号過小高“Temp. too large”

継続

継続

継続

温度入力信号過大“Temp. too small”

継続

継続

継続

温度入力信号過小“Temp. short/open”

継続

停止

停止

測温抵抗体短絡または断線“Heater abnormal”

継続

継続

継続

センサ細管異常“Flow rate error”

継続

継続

継続

加熱電流供給過剰“System abnormal”

継続

再起動

再起動

ROM、CPU 異常“Press. too large”

継続

継続

継続

圧力入力信号過大“Press. small/no”

継続

継続

継続

圧力入力信号過小または断線“Gas Type error”

継続

継続

継続

ガス物性値データ異常

低“System fail”

継続

継続

継続

システム異常↓エラーメッセージ

異常内容

優先度

IM-F2129-J01

29
8.2 温度差制御回路異常

8.4 加熱電流制御回路異常“T/C too large”または“T/C too small”が表示された
場合、温度差制御回路に異常が発生したものと考えられます。推測される主な原因は以下の通りです。

“Heater abnormal”が表示された場合、加熱電流制御
回路に異常が発生したものと考えられます。推測される主な原因は以下の通りです。

・専用ケーブルの誤結線
・検出器内部熱電対の破損、断線または絶縁不良
・専用ケーブルの断線または絶縁不良
・変換器の異常・センサ細管の破損または絶縁不良
・専用ケーブルの断線、絶縁不良
・変換器の異常上記のエラーメッセージが表示された場合、以下について確認してください。

上記のエラーメッセージが表示された場合、以下について確認してください。
■ 専用ケーブルは正しく結線されているか？

■ 専用ケーブルは正しく結線されているか？
■ 専用ケーブルは検出器に正しく接続されているか？
■ 組み合わせ検出器の目視確認を行い異常がなければ、検出器の取扱説明書を参照のうえ、検出器抵抗チェックを行ってください。

■ 専用ケーブルは検出器に正しく接続されているか？
■ 組み合わせ検出器の目視確認を行い異常がなければ、検出器の取扱説明書を参照のうえ、検出器抵抗チェックを行ってください。
※センサ細管およびセンサ細管ロウ付け部を重点的に確認してください。

8.3 温度補正回路異常“Temp. too large”、“Temp. too small”または“Temp.
short/open”が表示された場合、温度補正回路に異常が発生したものと考えられます。推測される主な原因は以下の通りです。
・流体温度が温度補正範囲外
・測温抵抗体の破損、断線、絶縁不良
・測温抵抗体接続ケーブルの断線、絶縁不良
・変換器の異常上記のエラーメッセージが表示された場合、以下について確認してください。

8.5 加熱電流供給過剰“Flow rate error” が表示された場合、加熱電流制御
回路に異常が発生したものと考えられます。推測される主な原因は以下の通りです。
・センサ細管の破損または絶縁不良
・専用ケーブルの断線、絶縁不良
・変換器の異常上記のエラーメッセージが表示された場合、以下について確認してください。

■ 測温抵抗体は正しく結線されているか？

■ 仕様以上の流量を流していないか(流量レンジオーバー)？

■ 流体温度は正しいか？

■ 流体にミスト(液滴)が含まれていないか？

■ 温度補正範囲が正しく設定されているか？

■ 検出器抵抗チェックを行ってください。

■ 測温抵抗体の目視確認を行い異常がなければ、測温抵抗体の抵抗値確認を行ってください。
※(A－B1)、(A－B2)間は常温時概略 110Ω、(B1－B2)間は導通のこと■ 組み合わせ検出器の目視確認を行い異常がなければ、検出器の取扱説明書を参照のうえ、検出器抵抗チェックを行ってください。
※センサ細管およびセンサ細管ロウ付け部を重点的に確認してください。

IM-F2129-J01

30
8.6 システム異常

8.8 ガス物性値データ異常“System abnormal”または“System fail”が表示された場合、システムに関する異常が発生したものと考えられます。推測される主な原因は以下の通りです。

“Gas Type error”が表示された場合、ガス物性値デー
タが格納されていない流体を選択した場合に表示されます。流体をガス物性値データが格納されている流体に設定変更してください。

・変換器内部 ROM または CPU の異常・その他の変換器異常
上記のエラーメッセージが表示された場合、以下について確認してください。
■ 変換器の電源を切り、電源を入れ直す(パワーオン
リセット)

8.7 圧力補正回路異常“Press. too large”または“Press. small/no”が表示された場合、圧力補正回路に異常が発生したものと考えられます。推測される主な原因は以下の通りです。

注記● ガス物性値データが格納されていない流体を選択した場合、引き続き設定変更前のガス物性値データを用いて流量演算を行います。したがって、表示される流量(アナログ出力およびパルス出力を含む)は設定変更前の流体に対する流量です。注意してください。
● 上記の確認を行っても原因が不明な場合や原因が判明しても正常復帰しないような場合は、弊社営業担当か、最寄りの営業所までご連絡く
ださい。

・流体圧力が圧力補正範囲外
・圧力計の破損、断線、絶縁不良
・圧力計接続ケーブルの断線、絶縁不良
・変換器の異常上記のエラーメッセージが表示された場合、以下について確認してください。
■ 圧力計は正しく結線されているか？
■ 流体圧力は正しいか？
■ 圧力補正範囲が正しく設定されているか？
■ 圧力計の目視確認を行い異常がなければ、圧力計の動作確認を行ってください。

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31
9. シリアル通信

9.2 プロトコル

TRX-900 変換器は、シリアル通信機能を搭載しています。
シリアル通信により瞬時流量・積算流量・流量単位などの各種データをデジタル出力することができ、コンピュータなどでデータ処理が可能です。また、すべての設定をシリアル通信によって変更可能なだけでなく、異常時にはエラーメッセージを出力することができ、遠隔地で異常を確認
できます。

ボーレート
：9600、4800、2400、1200 bps
パリティチェック ：なし
データビット：8 bits
スタートビット ：1 bit
ストップビット ：1 bit

9.3 コード
文字コード：アスキーコード
数値形式 ：10 進数

9.1 インターフェース
・規格：RS-485 (二線)・通信モード：半二重

注記● RS-485 とは、米国電子工業会(EIA)によって標準化された、シリアル通信の規格の一つです。
● コンピュータなどに RS-485 インターフェースがない場合は、RS-485→RS-232C 変換器などを使用してください。

9.4 通信の流れ

タイムアウト監視

返信がない場合は、再送信要求。

ホスト PC*00R12#□*00R12#□*00R12123.4#□

TRX-900

データ処理

設定変更の場合は、設定確認。

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32
9.5 通信フォーマット
フォーマットは 7 つの成分からなります。
(1)

(2)

(3)

(4)

(5)

(6)

(7)

開始

ID

命令

コード

データ

終了

CRC

*

□□

R
W
K

□□

□□・・・□□

#

CRC8

1byte

2byte

1byte

2byte

0～12byte

1byte

1byte

・開始
・ID
・命令

： 通信を開始させる記号： 変換器のアドレス(00～99) ※1： R ＝変換器から読み出し
W ＝変換器へ書き込み
K ＝変換器からの応答
・コード： 動作内容を表します。(00～48、50) ※2
・データ： 変換器に書き込むデータおよび変換器からの送られてくるデータ(応答)。
また、エラーメッセージなどの状態を表す記号。
・終了： 通信を終了させる記号
・チェック ： 通信したデータに誤りがないか検査します。※3

注記※1：工場出荷時通信アドレスは“00”になっています。複数台接続する場合は、通信アドレスが重複しないように設定してから接続してください。
※2：詳細は次項「9.6 パラメータ」を参照してください。
また、本書に記載されたコード以外のコードを入力すると、製造上各種データを出力する
場合があります。正常に使用するためには、記載されたコードのみ使用してください。
※3：変換器またはホスト(PC 等)で自動的に生成します。指定(指示)する必要はありません。

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33
9.6 パラメータ
シリアル通信のパラメータのコードや書式について説
明します。

注記
各項目の詳細については、「7. 設定」を参照してく
ださい。

9.6.1 機器情報および測定値に関するパラメータ
シリアル通信のパラメータのコードや書式について説明します。

応

答

小数
[桁数]

備

考

パラメータ

命令

コード

シリアル No.

R

00□□□□□□□□□□

0

最大 10 文字ファームウェア
バージョン 1

R

01

m□. □

1

マスターCPUファームウェア
バージョン 2

R

02

s□. □

1

スレーブ CPU

バーグラフ

R

11

0.00～1.00

2

フルスケールを
1.00 とする

瞬時流量

R

12

-----

0～3

小数は設定による

加熱電流

R

13

-----

0

単位：[mA]

流体圧力

R

14

-----

2,3,0

単位は設定された圧力単位に同期します

流体温度

R

15

-----

1

単位は設定された温度単位に同期します

積算流量

R

16

0～9999999
0.0～99999.9
0.00～9999.990
12

範囲は設定された流量単位に同期します例）シリアル No.を読み出します。
TRX-900 へ送信：「*00R00#□」(入力するのは「*00R00#」まで)
TRX-900 からの応答：「*00K001234567890#□」→シリアル No.は「1234567890」となります。
ただし、変換器の ID アドレスは「00」とします。

IM-F2129-J01

34
9.6.2 エラーメッセージに関するパラメータ
応

答

小数
[桁数]

パラメータ

命令

コード

備

考

エラーメッセージ

R

17000000000000

0

正常

↓

↓

↓

100000000000↓

温度差信号入力過大↓↓↓

020000000000↓

温度差信号入力過小↓↓↓

003000000000↓

温度信号入力過大↓↓↓

000400000000↓

温度信号入力過小↓↓↓

000050000000↓

温度信号入力短絡または断線↓↓↓

000006000000↓

温度差信号入力
短絡または断線↓↓↓

000000700000↓

流量レンジオーバー↓↓↓

000000080000↓

ROM、CPU 異常

↓

↓

↓

000000009000↓

圧力信号入力過大↓↓↓

000000000a00↓

圧力信号入力過小
または断線

↓

↓

↓

0000000000b0↓

ガス物性値データ異常

↓

↓

↓

00000000000c↓

システム異常注記● 複数の異常がある場合、エラーメッセージは
1～9、a、b、c を組み合わせて応答されます。
例）「1000560000b0」、「00000008000c」など● エラーメッセージに関する詳細は「8. エラー
メッセージ」を参照してください。

IM-F2129-J01

35
9.6.3 設定に関するパラメータ
パラメータ

検出器

測定流体

流量単位

命令

R/W

R/W

R/W

コード

20

21

22

No.

形式 / 数値 / 単位など

0TH-1100

1

TH-1100HQ

2

TH-1200

3

TH-1300

4

TH-1400

5

TH-1500

6

TH-1500HQ

7

TH-16008

TH-1700

9

TH-1800

0

Air

1

Ar

2

CH4

3

C2H6

4

C3H8

5

C4H10

6

C2H4

7

C3H6

8

CO

9

CO2

12

He

13

N2

14

NH3

15

O2

16

Other1

17

Other218

Other319

Other420

Other50

L/min
L/min(nr) (=L/min(nor))2

L/min(st) (=L/min(std))

3

m3/m

(=m3/min )4

m3/m(nr)(=m3/min(nor))5

m3/m(st) (=m3/min(std) )

6

g/min

7

m3/h

8

m3/h(nr) (=m3/h(nor))9m3/h(st)
kg/h

11

m/sec

備

0

形式は No.で指定

考

測定流体は No.で指定

1

10

小数
[桁数]

0

ガス物性値データが格納されているのは、最大10 種類までです。

0

流量単位は No.で指定(=m3/h(std))

IM-F2129-J01

36

命令

コード

No.

フルスケール流量

R/W

23

---

1～99999

0

瞬時流量
小数点位置

R/W

24

---

0～3【桁】

0

積算流量
小数点位置

R/W

25

---

0～2【桁】

0

ローカットオフ

R/W

26

---

0.0～10.0【%F.S.】

1

上限警報 QH

R/W

27

---

QL＋QS～120【%F.S.】

0

下限警報 QL

R/W

28

---

0～QH-QS【%F.S.】

0

ヒステリシス QS

R/W

29

---

1～10【%F.S.】

0

30

0
1
2
3

P&T
P onlyT onlynone

0

温度・圧力補正機能
は No.で指定
P＝圧力補正機能
T＝温度補正機能

°C
°F
K

0

温度単位は No.で指定

温度・圧力補正機能

R/W

形式 / 数値 / 単位など

小数
[桁数]

パラメータ

備

考

温度単位

R/W

31

0
1
2

仕様温度

R/W

32

---

－25.0～400.0【°C】－13.0～752.0【°F】
248.0～673.0【K】

1

温度範囲は温度単位により異なります33

0
1
2

kg/cm2 G
MPa
kPa

2
3
0

圧力単位は No.で指定---－0.80～10.20【kg/cm2G】－0.078～1.000【MPa】－78～1000【kPa】

230

圧力範囲は圧力単位により異なります---－0.80～10.20【kg/cm2G】－0.078～1.000【MPa】－78～1000【kPa】

230

圧力範囲は圧力単位により異なります36---－0.80～10.20【kg/cm2G】－0.078～1.000【MPa】－78～1000【kPa】

230

圧力範囲は圧力単位により異なります9600【bps】
4800【bps】
2400【bps】
1200【bps】

0

通信速度は No.で指定

圧力単位

仕様圧力

圧力補正範囲(スパン)
圧力補正範囲
(ゼロ点)

R/W

R/W

R/W

R/W

34

35

通信速度

R/W

37

0
1
2
3

通信アドレス

R/W

38

---

00～99

0

パルスレート

R/W

39

---

0.0～600.0【c/min】
0～36000【c/h】

10

設定範囲および単位は、設定されている流量単位
により異なります

IM-F2129-J01

37

形式 / 数値 / 単位など

小数
[桁数]

パラメータ

命令

コード

No.

パルスドロップ
アウト

R/W

40

---

0.0～10.0【%F.S.】

1

アナログ出力調整
(ゼロ点)

R/W

41

---

－1.000～1.000

3

工場出荷時に調整・設定済み

アナログ出力調整
(スパン)

R/W

42

---

－1.000～1.000

3

工場出荷時に調整・設定
済み

W

43

---

---

---

44

0
1
2
3
4
5
6

Flow rate / speed
Internal Temp.
Pressure
SPS ripple
Temperature
Totalization
Voltage0

測定値は No.で指定

Bar graph
Flow rate / speed
Heater current
Pressure
Temperature
Totalization0

測定値は No.で指定

0瞬時流量、アナログ出力、
警報出力

積算リセットLCD ディスプレイ
(上段)

R/W

LCD ディスプレイ
(下段)

R/W

45

0
1
2
3
4
5

出力応答速度

R/W

46

---

0～30【sec】

R/W

47

0
1
2
3
4

1 min ON
5 min ON
15 min ON
Always ON
Always OFF

初期設定値
読み込み

W

48

---

---

模擬出力

R/W

50

0
1
2

DC4mA 出力
DC20mA 出力
解除

LCD バックライト

備考

LCD バックライト動作
は No.で指定--模擬出力動作は No.で指定

IM-F2129-J01

38
10. 保守・点検
10.1 日常点検
TRX-900 変換器は可動部や消耗部品がなく、ほとんど
メンテナンスフリーで使用いただけますが、長期にわたって安定して使用していただくために以下の日常点検を行ってください。
■ 配線の点検専用ケーブル、電源ケーブル、入力および出力の各ケーブルの接続端子部分に緩み、腐食などがないか。
■ 表示部(LCD ディスプレイ）の点検
LCD 表示に変色、表示の欠落などはないか。

11. トラブルシューティング
サーマルフローメータが正常に動作しない場合、結線・配線や取付・設置に起因するもの、測定流体に起因するもの、
計器自体の故障に起因するものなど様々な原因が考えられます。ここでは、一般的に考えられるトラブルを例に挙げ、原因について記載します。トラブルの現象をご確認のうえ、対応する項目を参照してください。

11.1 仕様確認
もう一度納入仕様書と実際の仕様が合っているか確認
してください。

11.2 LCDディスプレイが点灯しない
原

10.2 清掃
汚れがひどい場合は、濡れた布を固くしぼり丁寧に拭
いてください。

注記
誤設定、端子間の短絡などを防ぐため、清掃は電源を切ってから行ってください。また、接続端子のある変換器裏面を清掃した場合には、端子が乾いていることを確認してから電源を投入してください。

10.3 積算値バックアップ用電池
電源断時、積算値は内部のリチウム電池を電源としたメモリに保持されます。
電池切れとなった場合は、電源断時に積算値がリセットされます。
継続して積算値保持が必要な場合は、新品購入時から7 年を目途に弊社営業担当者か最寄りの営業所までご連絡ください。弊社工場にて電池交換いたします。

因

処

置

電源ケーブルは正しく結 電源ケーブルを結線して線されていないください。
電源は入っていない

電源を入れてください。

ヒューズが切れている

ヒューズを交換してください。

ヒューズが正しく取り付 ヒューズを正しく取り付けられていない
けてください。
LCD バックライトの動作 設定を変更してください。
設定が正しくない
変換器故障

弊社までご連絡ください。

11.3 LCDディスプレイの表示が更新されな
い、おかしい原

因処

置システムの異常

数分待って自動的に復旧しないようであれば、一度電源を切りしばらくしてから電源を入れ直して
ください。

変換器故障

弊社までご連絡ください。

11.4 エラーメッセージが表示される「8. エラーメッセージ」にしたがってください。

11.5 キー操作を受け付けない
原

因

処

置

システムの異常

数分待って自動的に復旧しないようであれば、一度電源を切りしばらくしてから電源を入れ直して
ください。

変換器故障

弊社までご連絡ください。

IM-F2129-J01

39
11.6 ゼロ点が不安定または指示が出る
原

因

流体が流れている処

置

11.10 指示が振り切れる
原

因

処

置

流体を完全に止めてください。

仕様流体と異なる流体を 仕様流体を流してくださ
流している
い。

自然対流などにより配管 ローカットオフの設定値
内に流れが発生している を大きくする。
縦配管に検出器を設置している場合、横配管に検出器を移設する。

センサ細管に液滴が付着 流体中の液滴を除去し、している
センサ細管が乾くまで待ってください。

ブロワやコンプレッサー ブロワまたはコンプレッなどの脈動により配管内 サーから検出器を遠ざけに流れが発生している
る。

変換器故障

変換器故障

弊社までご連絡ください。

仕様最大流量以上の流量 流量を下げてください。
を流している11.11 他の流量計と指示が合わない
原11.7 流体を流しても指示が“0”のまま
原

因

処

置

仕様流体と異なる流体を 仕様流体を流してくださ流しているい。
測定流量がローカット流 ローカットオフの設定を量以下である
変更してください。
センサ細管にダストが付 組み合わせ検出器の取扱
着している説明書を参照のうえ、セン
サ細管を洗浄してください。
バイパスラインに流体が バイパスラインに流体を流れている
流さないでください。
変換器故障

弊社までご連絡ください。

11.8 流体を流すと指示が不安定になる
原

因

処

置

弊社までご連絡ください。

因

処

置

流量単位が合っていない どちらかの流量を換算してください。
仕様流体と異なる流体を 仕様流体を流してくださ流しているい。
使用条件(温度、圧力など) 使用条件を合わせてくだが合っていないさい。
必要直管長が不足してい 必要直管長を確保してくる
ださい。
センサ細管にダストが付 組み合わせ検出器の取扱
着している説明書を参照のうえ、セン
サ細管を洗浄してください。
センサ細管にミストが付 流体中の液滴を除去し、着している
センサ細管が乾くまで待ってください。
仕様口径・ノズル高さが 口径・ノズル高さを合わ合っていないせてください。
流れが脈動している脈動を除去してください。

流体中に液滴やミストが 液滴やミストを除去して含まれている
ください。

変換器故障

弊社までご連絡ください。

ノイズの影響を受けてい ノイズの発生源を遠ざけるてください。

11.12 その他の異常

流体が脈動している脈動を除去してください。

変換器故障

弊社までご連絡ください。

詳しい現象をご確認のうえ、弊社営業担当か最寄りの営業所までご連絡ください。

11.9 表示は出るが出力が出ない
原

因

処

置

ケーブルが正しく結線さ ケーブルを結線してくだ
れていない
さい。
パルスレートが小さい

設定を変更してください。

変換器故障

弊社までご連絡ください。

IM-F2129-J01

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製品の不具合などの際は弊社営業担当か、弊社営業所までご連絡ください。
営業所については弊社ホームページをご覧ください。

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