1102091018-226

MESS-TEK

ピエゾドライバピエゾドライバ （300V 未満）
出力電流型式

M-26107

チャン

出力電圧

ネル数

V

1-10~150

最大ピーク±mA±mApk

5000

15000

周波数

実効値

mArms

3535.5

平均mAavg

3185.2

特性ゲイン

ｋHz

100

出力

入力

ノイズ

電圧mVrms

V

0～30

無負荷時

可変5mVrms

外観±10

430W×200H×330D
M-26109-15~150

750

3000

1665

1500

1M-26109B

100±150

375

1500

832.5

750

30／

無負荷時

15 倍

5mVrms

切替

無負荷時

可2mVrmska±10

320W×149H×340D

ka
M-26110-1

130／-15~150

M-26110-3

250

1500

555

500

100

315 倍
切替

注1260W×149H×350D±10ka

可430W×149H×430D

ka
30／M-26116

1-15~＋15050300

111

100

10015 倍切替

注1±1099W×160H×280D

可M-2629

M-2629B

1～6-10~150

100

100

70.7

63.7

±150505035.4

31.9

1000～30

無負荷時

可変3 mVrms±10

430W×150H×300D

M-2691

1150

553.5

3.2

130
固定1μF
負荷時

0～51mVrms

75W×20H×50Dka

M-26123-1

1-5~140－

2000

700

630

3151000~

可変mVrms+9.333

99W×160H×230Dka
電波法第 100 条の規定により、周波数 10kHz、出力電力 50W を越えて使用する場合は、総務大臣の使用許可を必要とする「高周波利用設備」に該当致します。許可申請の詳細については、管轄の総合通信局にお問い合わせください㈱メステック MESS-TEK.Co.,Ltdwww.mess-tek.co.jp Tel.048-464-5001 Fax.048-461-3552

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ピエゾドライバ （300V 未満）
チャ
型式

ンネ
ル数

M-26129

1

出力電流

出力電圧
V-10~150

周波数

最大ピーク

実効値

平均±mA±mApk

mArms

mAavg

50

300

35.431.9

特性ゲイン

ｋHz

50

出力

入力

ノイズ

電圧mVrms

V302mVrms

固定以下

外観

±5180W×100H×240D

M-26105(マニュアル

1.5μF
３0～15010107.16.4－－

負荷時－180W×66H×180D

2ｍVrms

駆動専用)

ka「広帯域高電力電源装置」の欄をご参照ください

M-2141

ピエゾドライバ （300V 以上）
型式

ChV

周波数

出力電流

出力電圧

特性

最大ピーク

実効値

平均±mA

±mApk

mArms

mAavg

10307.1

6.4

ゲイン

ｋHz

出力ノイズ

入力電圧

外観

V

300M-2620A

3(出力制限設定可能

300～30可変

注２±10140V～)

200W×100H×330Dka

M-2629H「ピエゾドライブ（300V 未満）」の欄をご参照ください

M-2629NH

M-2682-150

1±150

200

200141.4

127.410030<

固定

2mVrms±10320W×120H×220D
電波法第 100 条の規定により、周波数 10kHz、出力電力 50W を越えて使用する場合は、総務大臣の使用許可を必要とする「高周波利用設備」に該当致します。許可申請の詳細については、管轄の総合通信局にお問い合わせください。

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ピエゾドライバ （300V 以上）
型式

M-2683

チャンネ

出力電圧

ル数

V

1

出力電流+300

周波数
特性

最大ピーク

実効値

平均±mA±mApk

mArms

mAavg

200

200141.4

127.4

ゲイン

ｋHz

100出力

入力

ノイズ

電圧

mVrms

V30 固<定2mVrms

外観±10320W×120H×220D

広帯域直流増幅器
チャン型式

ネル
数

M-2141

１

出力電流

出力電圧
V±150

周波数

最大ピーク

実効値

平均

特性±mA±mApk

mArms

mAavg

ｋHz3753000

830750DC~1000

ゲイン

15 固定出力

入力

ノイズ電圧mVrms

V2mVrms

外観±10

320W×149H×350D
320W×149
H×350D

320W×149
H×350D【ノイズ評価についての注】
注１ 無負荷時出力電圧ノイズ： 2ｍV rms 以下， 容量性負荷（ 5.5μF）時 出力電圧ノイズ：0.25ｍVrms 以下
注２ 無負荷時出力電圧ノイズ： 5ｍV rms 以下

電波法第 100 条の規定により、周波数 10kHz、出力電力 50W を越えて使用する場合は、総務大臣の使用許可を必要とする「高周波利用設備」に該当致します。許可申請の詳細については、管轄の総合通信局にお問い合わせください。

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組み込み用ピエゾドライバ

M-2501-1 M-2502-1 M-2503

ＤＣ12Ｖ電源タイプ･････････････ M-2501
ＡＣ100Ｖ電源タイプ････････････ M-2502
高出力タイプもご用意しました････ M-2503(最大出力電流 1.3A（2Apeak）の高出力、ローコスト)

その他
信号発生器を内蔵させる等のカスタムに対応可能です。

M-2503M-2501-1、M-2502-1

型式

M-2501-1

M-2502-1

M-2503

チャンネル数

1

1

1

電源電圧

ＤＣ１２Ｖ（２A）

ＡＣ１００Ｖ－８～１５０Ｖ

出力電圧
最大（±mA）

5050

1300

ピーク（±mApk）

300

300

2000

実効値（mArms）

35.4

35.4

919.2

平均（mAavg）

31.9

31.9

828.1

出力電流

ゲイン×15／×30

直線性（％）±0.１以下

周波数特性

50KHz

ノイズ（ｒｍｓ）

50μＶ

300μＶ

5mV/℃ （出力において）ドリフト寸法(WDH)

200μＶ－10～50℃ （ケース表面温度)

使用温度条件

184×112×71

184×151×71

131.5×243Ｈ×280

・ピーク出力電流値は、「10mSの矩形パルスを 50mS間隔で 連続して供給」という規定です。
・ピエゾドライバ出力には高周波のノイズ成分が含まれますが、ピエゾ素子は大きな静電容量を持っている為にその大部分はシャントされ出力電圧（＝変位）には現れません。
したがってこの規格では約５．４μFを負荷（擬似ピエゾ）としてノイズを測定しています。
電波法第 100 条の規定により、周波数 10kHz、出力電力 50W を越えて使用する場合は、総務大臣の使用許可を必要とする「高周波利用設備」に該当致します。許可申請の詳細については、管轄の総合通信局にお問い合わせください。

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Piezo controller ピエゾコントローラ

M-2510・・・・・・制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化し、ステージと接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコントローラ
センサー内蔵ステージで、歪ゲージ、静電容量センサに対応「ひずみゲージセンサ内蔵のピエゾ（各メーカー）」に対応可能
USB インターフェース（オプション）
ローコスト
低ノイズ

仕様 Technical Data

注釈

型式 ModelsM-2510S

チャンネル数

M-2510C

Channels1

対応センサ

Sensor type

ひずみゲージ / Strain Gauge Sensor

入力

Input voltage

静電容量センサ / Capacitive Sensor

入力抵抗

Input resistance100kΩ

PC インターフェース

PC Interface

USB（オプション）

出力電圧

Output voltage-10Ｖ ～ +150V（BNC コネクタ）

出力電流

Output current(max)

50mA

出力ノイズ

Output volt-noise

2mVrms 以下-10V ～ +10V （BNC コネクタ）

26 回転ポテンショメータ
出力電圧設定(オフセット電圧)

セット分解能：0.05%（80mV)
DC-offset*1-10V～+150V まで可変
フロントパネルOffset で可変周波数特性

Bandwidth

センサコネクタSensor connector

制御
変位モニターLEMO 0S.650

Operation typeFeedback Open／Closed トグルスイッチ切換え

Displacement Monitor-10V ～ +10V (出力抵抗1kΩ・BNC コネクタ)

変位モニタ出力ノイズ
Displacement Monitor noise
電源10kHz (–3dB)
LEMO 0S.304

Operating Voltage

AC100 ～ 240V 50Hz／60Hz

消費電流（AC100V）
0.2A
Consumption electric current
外形寸法・重量

Dimensions, weight

1mVrms 以下

3mVrms 以下

120W×150H×270D、2.6kg

120W×150H×270D、2.7kg
温度：0～40℃

使用環境

Environment

湿度：85％RH 以下
環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内

注釈
Typical（代表値）を記載しております。
*1

パネル面上にてマイナスドライバで調整できます

注：本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。

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ピエゾドライバ・ピエゾコントローラ

M-26109 シリーズ
Piezo Driver(Open Loop Model)

M-26109
M-26109B（バイポーラタイプ）
M-26109C （静電容量センサー）
M-26019S （ひずみゲージセンサー）

Piezo Controller (Closed Loop Model)

特徴

M-26109C

・ 大容量負荷や高速駆動に最適です。
・ 出力 ON/OFF 時、緩やかに所要の電圧まで出力します。
これにより、ピエゾアクチュエーター等の負荷を保護します。
・ 拡張ユニットを搭載することで、クローズド制御も可能です。
（歪ゲージセンサー or 静電容量センサー）・ USB インターフェースを搭載する事で、PC からの制御も可能です。

Piezo Controller

拡張ユニット、インターフェース搭載により、様々なご要望にお答えします。
静電容量変位計 M-2218

サーボユニット M-5106

仕様 Technical Data
型式

Open loop model

M-26109

チャンネル数入力
入力抵抗M-26109B

Channels1

Input voltage-10V ～ +10V （BNC コネクタ）

Input resistance100kΩ

PC インターフェース

PC Interface**

出力電圧

Output voltage

出力電圧モニター
出力電流USB-15Ｖ ～ +150V（BNC コネクタ）

Monitor

Output current(continuous)

出力ノイズ

最大±750mA、実効値 1665mAmrs、最大±375mA、平均 1500mAavg

ピーク±3000mApk

平均 750mAavg ピーク±1500mApk

Output volt-noise

5mV rms 以下

利得

Gain

表示器

Display

電源×15・×30

AC100V

Dimensions

50Hz／60Hz

インレット

ヒューズ

W320×D350×H149
温度：0～40℃ 、湿度：85％RH 以下
環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内型式 Closed loop model

M-26109S

チャンネル数1
ひずみゲージ
Strain搭載ユニット型式

Gauge

静電容量センサー

SensorCapacitive

M-5106
Operation type

PI 制御
*

10mVrms

変位モニター出力ノイズ
Display*

弊社標準品ピエゾステージ

**

オプション

－M-26109C

Channels

対応センサー

表示器

切換え

3.5 桁デジタル数値表示

使用環境

制御

Fine/Coarse プッシュ切換え

100kHz (–3dB)

Operating voltage

外形寸法

約-150～ +150V 可変ロータリーエンコーダ

Bandwidth

実効値 832.5mAmrs

2mV rms 以下

約-15V～ +150V 可変

出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset
周波数特性-150V～+150V（BNC コネクタ）

出力電圧の 1/100V（BNC コネクタ）

M-5106ServoON／OFFSensor
M-2218

バイポーラタイプは、Closed
loop model はありません。

スイッチ（M-5106）
2mVrms

4.5 桁デジタル数値表示（µm・V 切換え可）

MA-140XLS、MA-140XLC との組み合わせ（Typ.）
注：本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。

電波法第 100 条の規定により、周波数 10kHz、出力電力 50W を越えて使用する場合は、総務大臣の使用許可を必要とする「高周波利用設備」に該当致します。許可申請の詳細については、管轄の総合通信局にお問い合わせください。

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ピエゾドライバ・ピエゾコントローラ

M-26110 シリーズ
Piezo Driver(Open Loop Model)
M-26110-1 (1ch) , M-26110-3 (3ch)Piezo Controller (Closed Loop Model) M-26110C-1(1ch) , M-26110C-3 (3ch) （静電容量センサー）
M-26110S-1(1ch) , M-26110S-3 (3ch) （ひずみゲージセンサー）

特徴

M-26110C-1・ 平均電流 0.5A（ピーク電流 1.5A）で大容量負荷や高速駆動に最適です。
・ 出力 ON/OFF 時、緩やかに所要の電圧まで出力します。
これにより、ピエゾアクチュエーター等の負荷を保護します。
・ 拡張ユニットを搭載することで、クローズド制御も可能です。
（歪ゲージセンサー or 静電容量センサー）・ USB インターフェースを搭載する事で、PC からの制御も可能です。

Piezo Controller

拡張ユニット、インターフェース搭載により、様々なご要望にお答えします。
静電容量変位計 M-2218

サーボユニット M-5106

仕様 Technical Data
型式 Open loop model

M-26110-1

チャンネル数Channels

入力

（1Ch）

M-26110-3

13Input voltage

入力抵抗-10V ～ +10V （BNC コネクタ）

Input resistance100kΩ

PC インターフェース

PC Interface**

USB

出力電圧

Output voltage-15Ｖ ～ +150V（BNC コネクタ）

出力電圧モニター
出力電流

Monitor

Output current(continuous)

出力ノイズ

最大±250mA

出力電圧の 1/100

V

実効値 555mArms

平均 500mAavg（BNC コネクタ）

Output volt-noise

2mV rms 以下

出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset

約-15V～ +150V 可変(ロータリーエンコーダ)

周波数特性

Bandwidth

利得

Gain

表示器

Display

電源×15・×30

AC100V

Dimensions

切換え

50Hz／60Hz

インレット

ヒューズ

260W×149H×350D

430W×149H×430D
温度：0～40℃ 、湿度：85％RH 以下

環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内型式 Closed loop model

M-26110S-1

チャンネル数

Channels

Strain搭載ユニット型式

Gauge

Sensor

M-5106
Operation type変位モニター出力ノイズ*

10mVrms

Display*

弊社標準品ピエゾステージ

**

オプション

M-26110C-1

M-26110S-3

静電容量センサー

ひずみゲージ1
ひずみゲージ対応センサー

表示器

Fine/Coarse プッシュ切換え

3.5 桁デジタル数値表示 LED

使用環境制御ピーク±1500mApk

100kHz (–3dB)

Operating voltage

外形寸法（3Ch）

M-26110C-3
3

Capacitive

Sensor

M-5106

M-2218

PI 制御

Servo

2mVrmsStrainGaugeSensor

M-5106
ON／OFF

静電容量センサー
Capacitive
M-5106

Sensor
M-2218スイッチ（M-5106）
10mVrms

2mVrms

4.5 桁デジタル数値表示 LED（µm・V 切換え可）

MA-140XLS、MA-140XLC との組み合わせ（Typ.）

注：本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。

電波法第 100 条の規定により、周波数 10kHz、出力電力 50W を越えて使用する場合は、総務大臣の使用許可を必要とする「高周波利用設備」に該当致します。許可申請の詳細については、管轄の総合通信局にお問い合わせください。

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1102091018-226

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ピエゾドライバ・ピエゾコントローラ

M-26110(S)-3TL
チルト機構付ステージ用
Piezo Driver(Open Loop Model)
M-26110-3TL
Piezo Controller (Closed Loop Model) M-26110S-3TL（ひずみゲージセンサー）特徴
・ ピエゾドライバ M-26110 をベースとしたチルトステージ機構付きステージ用のピエゾドライバ・ピエゾコントローラです。
・ 図 1 にある配線のピエゾステージで使用できます。
（MTL-F1,MQ-2TXYD 等）・ CH1,CH2,+150V 固定で２軸チルトを動作することができます。
その他拡張ユニット、インターフェース搭載により、様々なご要望にお答えします。
仕様 Technical Data
型式M-26110-3TL

チャンネル数入力
入力抵抗M-26110S-3TL

Channels

3ch（うち右側 1ch は+150V 固定、以下は固定以外の CH1、CH2 の仕様）

Input voltage-10V ～ +10V （BNC コネクタ）

Input resistance100kΩ

PC インターフェース

PC Interface**

USB

出力電圧

Output voltage-15Ｖ ～ +150V（BNC コネクタ）

出力電圧モニター
出力電流

Monitor

Output current(continuous)

出力ノイズ

最大±250mA

出力電圧の 1/100

V

実効値 555mArms

平均 500mAavg（BNC コネクタ）

Output volt-noise

2mV rms 以下

出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset

約-15V～ +150V 可変(ロータリーエンコーダ)

周波数特性

Bandwidth

利得

Gain

表示器

Display

電源×15・×30
3.5 桁デジタル数値表示 LED
AC100V

インレット

ヒューズ

430W×149H×430D―

搭載ユニット型式―
Operation type―*―変位モニター出力ノイズ

切換え
4.5 桁デジタル数値表示 LED（µm・V 切換え可）

50Hz／60Hz

Dimensions

対応センサー

制御

Fine/Coarse プッシュ切換え

100kHz (–3dB)

Operating voltage

外形寸法

ピーク±1500mApk

ひずみゲージ

StrainGauge

PI 制御

ServoON／OFFスイッチ（M-5106）

10mVrms
温度：0～40℃ 、湿度：85％RH 以下

使用環境

環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内
図1

チルト１軸分の配線

右図のように 1 チャンネルを+150V 固定で出し続け、他のチャンネルで差動動作させます。

対象ピエゾステージ*

弊社標準品ピエゾステージ

**

オプション

Sensor

M-5106MA-140XLS、MA-140XLC との組み合わせ（Typ.）

注：本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。

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1102091018-226

MESS-TEK

Piezo controller ピエゾコントローラー

M-26118・

制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバーを一体化し、ステージと接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコントローラー

・・・・・・・

センサー内蔵ステージで、歪ゲージ、静電容量センサーに対応「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）」に対応可能
USB インターフェース（オプション）
ローコスト
低ノイズ
1ch または 3ch タイプ
パネル面で下記の調整が可能
各チャンネルの変位表示
Open/closed

フィードバック切換え

変位センサゲイン・積分時定数・フィルタの調整

仕様 Technical Data

注釈

型式 ModelsM-26118S-1

M-26118S-3

M-26118C-1

チャンネル数

Channels1

対応センサー

Sensor type

ひずみゲージ

入力

Input voltage

入力抵抗

Input resistance100kΩ

PC Interface

USB（オプション）

出力電圧

Output voltage-10Ｖ ～ +150V（BNC コネクタ）

出力電流

Output current(max)

50mA（最大）

出力ノイズ

Output volt-noise

PC インターフェース

出力電圧設定(オフセット電圧)
周波数特性

3/

Strain1GaugeSensorSensor connector
Operation type/

CapacitiveSensor

2mVrms 以下レバー型トグルスイッチ×2
Coarse ステップ電圧レバー／Fine ステップ電圧レバー

Bandwidth制御

3

静電容量センサー-10V ～ +10V （BNC コネクタ）

DC-offset

センサーコネクタ

M-26118C-3（16Bit）

10kHz (–3dB)
LEMO 0S.304

LEMOFeedback

Open／Closed

0S.650

スライドスイッチ切換え

・Balance（ひずみゲージブリッジバランス）（静電容量センサタイプは未使用）
変位調整

Displacement adjustment

・Gain（変位計アンプゲイン）*2・Zero（変位計アンプオフセット）
センサー原点モニター

Sensor origin monitor

変位モニターDisplacement Monitor

変位モニター出力フィルタ
積分時定数調整-10V ～ +10V（BNC コネクタ）（静電容量センサタイプは未使用）-10V ～ +10V

FilterTimeConstantTime

変位モニター出力ノイズ

Display

電源

Operating Voltage*2300µVrms／Through（=1.5kHz）

600µVrms／100Hz

100µVrms／100Hz

AC100 ～ 240V

50Hz／60Hz

0.3A

0.5A

0.3A

0.5A

99W×160H×280D、260W×149H×350D、99W×160H×280D、260W×149H×350D、

2.5kg

6.5kg

2.5kg

6.5kg

Consumption electric current
Dimensions, weight*2

4 段切り換えスイッチ（Long,・,・,Short）

5 桁デジタル（D.P.M. Select スイッチで µm・V 表示切換え可）

消費電流（AC100V）

外形寸法・重量Constant

3mVrms／Through（=1.5kHz）

Displacement Monitor noise
表示器(出力抵抗 1kΩ・BNC コネクタ)

Filter 切り換えスイッチ（Through,500Hz,100Hz,30Hz）

温度：0～40℃
使用環境

Environment

湿度：85％RH 以下
環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内

注釈*1Typical（代表値）*2

パネル面上にてマイナストライバーで調整できます㈱メステック MESS-TEK.Co.,Ltdwww.mess-tek.co.jp Tel.048-464-5001 Fax.048-461-3552

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Email.sales@mess-tek.co.jp*11102091018-226

MESS-TEK

Piezo controller ピエゾコントローラー

M-2629S(C)特徴
・ 当社標準ピエゾドライバーM-2629 シリーズに M-5106 サーボユニットを搭載することでひずみゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能

・ さらに静電容量変位計 M-2218 を搭載することで静電容量変位センサーでのフィードバック制御も可能

・ JIS ラックに搭載可能
・ 「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）」に対応
・ オプションで USB インターフェース搭載可能

イメージ（実物とは若干異なります）

サーボユニット M-5106

静電容量変位計 M-2218

仕様 Technical Data
型式 ModelsM-2629S

チャンネル数

Channels

対応センサー

Sensor type

入力

Input voltage

入力抵抗M-2629C

1～4ch（+M-5106）
ひずみゲージ/Strain

1～3ch（+M-5106

Gauge

Sensor-10V ～ +10V （M-2629

Input resistancePC インターフェース

PC Interface

出力電圧

Output voltage

出力電流Output current(continuous)

出力ノイズ

Bandwidth

100kHz (–3dB)（M-2629）

Operation type

PI 制御

センサーオフセット調整**LEMO
Servo

ON／OFFZero

変位モニター出力0V ～ +10V*(M-5106

Display

0S.650（M-2218）

スイッチ（M-5106）

半固定ポテンショメーター

Monitor（M-5106）

出力抵抗 1kΩ・BNC コネクタ)
2mVrms

10mVrms

3.5 桁デジタル数値表示（ピエゾドライバ電圧表示）

Operating voltage

AC100V

50Hz／60Hz

インレット

無負荷：1A 以下
消費電流
外形寸法・重量

BNC コネクタ）

2mV rms 以下（M-2629）

制御

電源

OUTPUT

10 回転ダイアルポテンショメーター(M-2629)

LEMO 0S.304（M-5106）

表示器

BNC コネクタ）

100mA（M-2629 最大電流）

Sensor connector

変位モニター出力ノイズ+M-2218）

Capacitive（但し M-2629S-4 は搭載不可）-10Ｖ ～ +150V（M-2629

Output volt-noise

センサーコネクタ/100kΩ（M-2629）
USB（オプション）リアパネル

出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset
周波数特性

静電容量センサー

定格負荷：1.8A 以下
Dimensions, weight

430W×150H×300D、10kg（M-2629C-3 の時（フル装備搭載時））
温度：0～40℃

使用環境

湿度：85％RH 以下
環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内*

弊社ピエゾステージとの組み合わせ（Typ.）**

パネル面上にてマイナストライバーで調整できます

M-2629S⇒MA-140XLS、M-2629C⇒MA-140XLC、

注：本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。

㈱メステック MESS-TEK.Co.,Ltdwww.mess-tek.co.jp Tel.048-464-5001 Fax.048-461-3552

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Sensor