取扱説明書

CLFC300
流量コントローラ

このたびは、弊社 CLFC300 シリーズをご購入いただき、誠にありがとうございます。
この取扱説明書には本器の標準仕様、設置方法、取扱上の注意事項等が記載されておりますので、ご使用前に必ずご一読下さい。
保管場所について本器を保管する場合は、以下に示す条件の保管場所にして下さい。
・ 雨や水がかからない場所
・ 温度が 0～60℃、湿度が 80％RH 以下の通風の良い場所
・ 振動の少ない場所
・ 腐食性ガスのない場

IM-F1027-3
4 版 2019 05 E
初版 2013 10 E

－ 目

次 －

■ 本書で使用しているマークについて■ 使用上の一般的注意事項

1.

3

3

仕様 .................................................................. 42. 外形図 ..................................................................... 5

8.2.1 コントロール動作 ................................................ 128.3 警報機能 ................................................................... 13
8.3.1 流量異常警報 ....................................................... 13

3. 設 置 ....................................................................... 6

8.3.2 バルブ警報 ........................................................... 13

3.1 製品の設置.....................................................................6

9. PI 制御 .................................................................... 13

3.1.1 設置場所.................................................................6
3.1.2 配管上の取付位置 .................................................6
3.1.3 パネルへの設置方法 .............................................6

9.1 PI 制御解説 ................................................................. 13
9.1.1 PI 動作簡易説明 .................................................. 13
9.1.2 PI 係数調整に関して .......................................... 13

3.2 配 線 .............................................................................7

9.1.3 制御動作例 .......................................................... 14

3.2.1 電線仕様..................................................................7

9.1.4 外乱抑制特性の微調整 ...................................... 14

3.2.2 メインコネクタ配線表 ..........................................7

9.1.5 目標値追従特性の微調整 .................................. 15

3.2.3 接続 .........................................................................7

9.1.6 PI 係数動作別異常発生例................................... 15

4. 表示部の名称と機能.............................................. 9

10. 日常点検 .............................................................. 16

5. 運 転 ..................................................................... 1010.1 チューブ継手、接続部の点検 ............................... 16

5.1 運転準備......................................................................10

10.2 接続配管の点検 ....................................................... 16

5.1.1 電源投入前の確認事項 .......................................10
5.1.2 通水 .......................................................................10
5.2 運 転 ...........................................................................10
5.2.1 通電 ......................................................................10
5.2.2 ゼロ点調整 ...........................................................10
5.2.3 運 転.....................................................................10

6. 基本機能説明 ....................................................... 11
6.1 流量計機能................................................................... 11
6.1.1 流量測定................................................................ 11
6.1.2 流量異常警報出力 ................................................ 11
6.2 コントローラ機能 ....................................................... 11
6.2.1 流量制御................................................................ 11

7. パラメータ設定.................................................... 11
8. 機能説明 ............................................................... 11
8.1 流量計機能................................................................ 11
8.1.1 ダンピング機能 ................................................. 11
8.2 コントローラ機能 ....................................................122

10.3 防水性の点検 ........................................................... 16

11. トラブル対応 ...................................................... 16
11.1 目視確認 ................................................................... 16
11.2 トラブルシューティング ....................................... 17

■ 本書で使用しているマークについて
本書では、安全上絶対にしないでいただきたいことや注意していただきたいこと、また、取扱い上守っていただきたいことの説明に次のようなマークを付けています。これらのマークの箇所は必ずお読みください。

警告

この表示を無視して誤った取扱いをすると、使用者が死亡または重傷を負う可能性が想定される内容を示しています。

注意

この表示を無視して誤った取り扱いをすると、使用者が傷害を負う可能性や製品の破損または付帯設備等の物的損害の発生が想定される内容を示します。

注記

この表示は製品の取り扱い上、必要不可欠な操作や情報を示しています。

■ 使用上の一般的注意事項

材 質

改造等の禁止警告

本製品は工業用計器として厳密な品質管理のもとに製造・調整・検査を行い納入しております。
みだりに改造や変更を行うと本来の性能を発揮できないばかりか、作動不適合や事故の原因となります。改造や変更は行わないでください。
仕様変更の必要がある場合は当社までご連絡ください。

注意

本製品の材質については納入仕様書あるいはテクニカルガイダンスに記載されています。当社でもお客様の仕様をお伺いし最適な材質選定に努めており
ますが、実際のプロセスにおいては混入物などの影響があり、耐食性等が万全でないこともあります。
耐食性・適合性のご確認、最終的な材質の決定はお客様の責任でお願いいたします。

使用条件の厳守

警告

納入仕様書あるいはテクニカルガイダ
ンスに記載された仕様、圧力、温度の範囲内での使用を厳守してください。
この範囲を超えた条件での使用は事
故、故障、破損などの原因となります。

用 途

注意

本製品は計器としての用途にのみ使用
し、その他の用途には使用しないでく
ださい。

保守・点検

警告

本製品を保守、点検などのためにプロセスから取り外す際は、測定対象物の計器内への付着に注意してください。
測定対象物に腐食性や毒性がある場合
は、作業者に危険がおよびます。

3

制御上の安全性警告

本製品は工業計器として最善の品質管理のもとに製造、調査、検査を行い納入いたしておりますが、各種の原因で不測の故障が発生する可能性もあります。安全上の重大な問題が発生する可能性のあるプロセスコントロールなど
において本製品を使用する場合は、万一に備えて本製品に加えて同様な機能を果たす機器を併設し、二重化を行う
ことにより一層の安全性を確保してください。

1. 仕様
項

目

電 源
消費電流
突入電流
適合規格及び EMC 適合
使用周囲温度／湿度
測定・制御対象
音速範囲
流体動粘度
使用流体温度範囲
流量計精度
コントロール精度
出力精度
入力変換誤差応答速度
制御差圧範囲使用最大圧力流量レンジ

アナログ入力信号

表示

接点出力
ゼロ調整
接液部材質
プロセス接続継手
ケース材質
防水構造
質量

仕

様

24VDC（±10％）
Max 200mA
1.5A 以下
RoHS 対応
EMC 規格適合：EN61326-1：2006
5～50℃（30 – 80％RH, 結露なきこと）
液体全般（安定した計測には、液体に気泡を含まないこと）
1000～2200 m/s
0.3～40 mm2/s
10～50℃ 50℃以上はご相談ください
流量 800mL/min 以上=±1％（R.D.）
流量 800mL/min 未満＝±8mL/min 以内（フルスケール 50mL/min 以下の場合 ±2mL/min 以内）
注：精度は水による実流校正に対するもの
設定値に対し±1.5％（R.D.）
アナログ出力付加誤差：±0.2％（F.S.）
アナログ設定入力変換誤差：±0.2％（F.S.）
ニードルタイプ：設定値の±3.0％に 1.5 秒以内（代表値）
ピンチタイプ：設定値の±1.5％に 1.5 秒以内（代表値）
スラリー用 0.05～0.2MPa
純水、薬液用 0.05～0.3MPa
0.4MPaスラリー用（ピンチチューブバルブ）
5～500mL/min
純水、薬液用（ニードルバルブ）
5-50mL/min ～ 200-2000mL/min
セットポイント入力（Set Point）および流量信号出力（Flow Out）の 2 点。
・0～10Ｖ
入力インピーダンス： 980ｋΩ、出力負荷抵抗： 500ｋΩ以上
・4～20 mA
入力インピーダンス： 250Ω、出力負荷抵抗： 600Ω以内
・電源表示 ：緑 LED・バルブステータス ：緑 LED
・流量計ステータス ：緑 LED
オープンコレクタ 2 接点（標準：ノーマルオープン）
定格：DC30V, 40mA, MAX・バルブ異常時・流量異常時接点入力（電源（＋）側に短絡/開放）
PFA、PTFE
φ1/4” SUPER300 TYPE PILLAR FITTING
φ1/4” FLARE TYPE FITTING
PVDF
IP20(基板収納部 IP54 相当）
約 1.3kg（ケーブル含む） 本体：約１ｋｇ

42. 外形図

垂直設置タイプ

４

1

CLFC300

5

8

Power

Sensor
Valve

6

2
3

7

10
9

7

水平設置タイプ

6

8
1

４

9 10

3

2

5

5

3. 設 置3.1 製品の設置
3.1.1 設置場所

注記

設置場所は下記の条件を考慮してください。
1) 周囲温度が 0℃～50℃で、直射日光の当たらない場所。
2) 誘導障害を受ける恐れのない場所。動力機器の近くなどは避けてください。
3) 水滴や、腐食性ガスのない所。
4) 保守点検が容易にできる場所。
5) 水没する恐れのない場所。

3.1.2 配管上の取付位置

注記

正しい測定を行うために、次の項目について考慮して取付位置の選定および取付を行ってください。
1) 測定管内が常に流体で満たされていること。
2) 取付は仕様の通り行ってください。
3) 開放配管に取り付ける場合は配管の低い部分に設置してください。
4) 製品側面に流れ方向が印字してありますので、必ず矢印の向きに合うように配管してください。
5) 入口と出口の差圧が仕様範囲になるようにしてください。
6) ゼロ点の確認や保守点検を容易にするため、バイパス配管を設置してください。
7) チューブにストレスがかからないように配管してください。
8) チューブ継手の接続について
継手メーカの施工要領書に従ってください。
また、入口、出口側接続配管の応力影響がないようにしてください。

3.1.3 パネルへの設置方法
1)設置タイプに対して下図の範囲内で設置してください。

水平設置タイプ
垂直設置タイプ
2) パネルの適切な位置にφ７以下の穴、又はＭ６のネジ加工を４箇所パネルに行ってください。
並列使用の場合は 27mm 以上の間隔をあけてください。

取り付け穴3) 本体底板の長穴を利用しネジ、ナット等を使用し取付けを行ってください。

63.2 配 線
3.2.1 電線仕様
付属品ケーブルのコネクタ側を本体のコネクタ部に接続してください。
メインコネクタ
付属品ケーブルバラ線側は下記表を参照し、配線を行ってください。
3.2.2 メインコネクタ配線表

No.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12

色
橙/赤ドット橙/黒ドット黄/赤ドット黄/黒ドット灰/赤ドット灰/黒ドット白/赤ドット白/黒ドット桃/赤ドット桃/黒ドット橙/赤 2 連ドット
橙/黒 2 連ドット

項 目
電源 +
電源 Set Point +Set Point Flow Out +Flow Out -仕 様
24VDC +/-10%備

アナログ入力

目標流量（流量設定）信号入力

アナログ出力流量出力信号

流量異常警報 +オープンコレクタ出力
Mａｘ30VDC/40mA
オープンコレクタ出力
Mａｘ30VDC/40mA

ノーマルオープン／ノーマルクローズ

流量異常警報 バルブ異常警報 +バルブ異常警報 -

ゼロ調整
-

考

ノーマルオープン／ノーマルクローズ

電源(＋24VDC)と短絡でゼロ調整開始

3.2.3 接続
1)１，２番（２４ＶＤＣ電源用）AWG26
２４ＶＤＣ±１０％・橙/赤ドット＋側

橙/黒ドット０ＶＤＣ側2)３，４番（目標流量入力）AWG28
４～２０ｍＡまたは・黄/赤ドット

０～１０ＶＤＣ＋側（形式コードによる）

黄/黒ドット

０ＶDC 側3)５，６番（現在流量出力）AWG28
４～２０ｍＡ（負荷抵抗 6００Ω以内）
・灰/赤ドット＋側または灰/黒ドット０～１０ＶＤＣ（形式コードによる）

０ＶDC 側4)７，８番（アラーム出力１）AWG28
オープンコレクタ出力：ノーマルオープン／ノーマルクローズ（工場設定）

接点定格：30VDC / 50mA（推奨値：12VDC～24VDC,10mA 程度）

アラーム内容：流量計異常警報・白/赤ドット＋側（パラメータ選択）

白/黒ドット－側5)９，１０番（アラーム出力２）AWG28
オープンコレクタ出力：ノーマルオープン／ノーマルクローズ（工場設定）

接点定格：30VDC / 50mA（推奨値：12VDC～24VDC,10mA 程度）

アラーム内容：バルブ異常警報・桃/赤ドット（パラメータ選択）

桃/黒ドット＋側7－側6)１１番（ゼロ点調整）AWG28
接点入力（ワンショット）
・橙/赤 2 連ドット
ゼロ点調整を実施する際は、1 番（橙/赤ドット：電源＋24VDC）に短絡してください。
１秒以上短絡し開放すると Sensor LED の点滅が始まります。
7)１２番

未使用

AWG28

・橙/黒 2 連ドット8)通信コネクタ（ＲＳ－２３２Ｃ通信）パラメータ変更用です。(専用ケーブルが必要になります)
9)入出力回路ブロック図
出力部

5.現在流量出力6.現在流量出力-

7.流量計警報+
8.流量計警報-

9.バルブ警報+
10.バルブ警報-

入力部

11.ゼロ点調整+

1.電源（DC24V）+
DC/DC
Converter

2.電源（DC24V）DC24V
3.目標流量入力+
4.目標流量入力-84. 表示部の名称と機能

LED 表示

名称

色

Power

緑

Sensor

Valve

緑

緑

点灯識別

状態

点灯

電源投入

消灯

保守

点灯

センサ正常測定点滅１

低速点滅（0.5s/0.5s）

指示ホールド点滅２

高速点滅（0.1s/0.1s）

センサ異常

点滅３
消灯
点灯
点滅 2

短点長滅（0.2s/0.8s）

ゼロ調整中
保守、制御停止中
制御中
バルブ異常

高速点滅（0.1s/0.1s）

95. 運 転本製品は納入に先立ち、ご指定の仕様に基づいてデータ設定・調整が実施されております。取付け及び配線が完了した後、下記手順に従って操作して下さい。

5.1 運転準備注意

5.1.1 電源投入前の確認事項

取付および配線が完了したら、電源投入前に次の点を必ず確認してください。
1) 電源および入／出力端子の配線に誤りのないこと。
2) ケーブルが確実にコネクタに接続されていること。
3) 仕様通りに設置が行われていること。
4) 電源電圧が仕様と合っていること。
5) ネジ、継手等が確実に締め付けられていること。
6) 流れ方向が間違いなく配管されていること。

5.1.2 通水

注記

配管に流体を流し満水状態にして、本体からのリークがないことを確認してください。
気泡が溜まっている場合はしばらくブローして、完全に気泡を除去してください。

5.2 運 転5.2.1 通電
1) 通電してください。
2) 規定の性能を満足させるため、通電後約 15 分間ウォームアップしてください。

5.2.2 ゼロ点調整

注記

通水後、運転前に一度、線番１，１１番を短絡させて、必ずゼロ点調整を行ってください。一度行えば、電源を投入する度に行う必要はありません。 ゼロ点調整は、必ず満水で静止状態の時に行ってください。
制御停止中（目標流量の入力がない状態）に線番１－１１番を１秒以上短絡し開放させると Sensor LEDが点滅 3 の点滅になります。完了すると LED は点灯に変わります。
＊ゼロ点調整は 60 秒以内で終了します。

5.2.3 運 転
1) 流量確認
流体を流し現在流量表示を確認してください。
表示が大きく変動していたり、流れているにもかかわらず０が表示された場合には、製品管路内の気泡の存在や IN/OUT の配管間違い等が考えられます。
以下の点について確認してください。
a) 気泡が溜まっている場合は暫くブローして完全に気泡を除去してください。
b) 製品取付方向（側面流れ方向矢印）が流体の流れ方向と一致していることを確認してください。
2) 制御流量入力
目標流量をアナログ信号で入力してください。
目標流量を入力すると制御が開始されます。

10

6. 基本機能説明
6.1 流量計機能
6.1.1 流量測定
瞬時流量を測定し、アナログ信号を出力します。

6.1.2 流量異常警報出力
気泡等の影響により流量測定が正常に出来ない場合にアラーム出力します。

6.2 コントローラ機能
流量調節バルブを開閉させ流量を制御する機能を有します。

6.2.1 流量制御
流量測定結果を利用して設定された流量となるようにフィードバック制御を行います。
フルスケールに対する目標流量の値をアナログﾞ信号で行います。
外部信号入力では入力する信号はコントローラの形式によって異なります。
アナログ信号による目標流量の入力がフルスケールの３％以上で制御が開始され、フルスケールの３％未満で制御停止します。

7. パラメータ設定
各種警報設定、マニュアルリニアライズ、流量計パラメータ、コントローラパラメータの変更などを行う場合は別紙コンフィグマニュアルを参照して設定パラメータの変更を行ってください。

8. 機能説明
8.1 流量計機能
8.1.1

ダンピング機能
ダンピング（時定数）は流量変化に対する表示と出力の応答性（追従性）を表します。
流量変化をダンピング時間分平均し出力するのでダンピング時間が長くなるほど出力は安定しますが、瞬間の流量変化を捉えることが難しくなります。
流量制御には瞬間的な流量変化を捉える必要がありますので短いダンピング時間が適しています。
１）ダンピング１時定数
バルブ制御はダンピング１時定数で設定された時間での計算をもとに制御を行います。制御に必要な流量信号を得るためにダンピング１時定数時間は小さく設定されています。
２）ダンピング２時定数制御を行い現在流量が目標流量に対して切り替えレシオ範囲に入った場合にダンピング２に切り替わります。安定した出力を得るためにダンピング時間は大きく設定されています。

11

8.2 コントローラ機能
8.2.1

コントロール動作

１）制御精度制御精度とは目標流量に対する現在流量測定値の割合です。これはある目標流量に対して制御を行った場合、実際の流量と目標流量の誤差は測定精度＋制御精度となります。
２）不感帯
現在流量が目標流量に対してある範囲に入ればそれ以上制御を行わないようになっています。不感帯は比例ギャップと定値ギャップで設定することができます。演算には比例ギャップと定値ギャップの広い方が使われます。低流量域で配管自体の持つ流量の振れが不感帯
より大きくなるとハンチングが起きる事があります。その場合には定値ギャップを大きく設定してください。
３）制御開始遅延時間制御を開始する場合に制御開始信号を受信後に設定された時間だけ遅れて制御します。
配管内に ON／OFF 弁等を配管されている場合、制御開始信号入力と同時に ON／OFF 弁を開けるとその瞬間は流量が０になっているためコントロール弁は開方向に動作をしてしまいます。バルブは開きすぎることになり目標流量に向かって閉める動作を行ってはじめて目
標流量に達します。そのため、現在流量が計測される時間等を考慮に入れ設定することで余分な動作を抑えた制御を行うことができます。
コントロール：ON
ONOFF：弁開DELAY
DELAY時間を入れない場合目標流量
DELAY 時間を入れた場合前回バルブ位置制御しない場合制御するときに認識する目標流量との差

４）目標流量設定
アナログ入力による目標流量設定値と動作の関係は以下のようになります。

目標流量（％）

４～２０ｍＡ仕様

０

４ｍＡ

０Ｖ

３

４．４８ｍA

０．３Ｖ

２０

７．２ｍＡ

２Ｖ

４０

１０．４ｍＡ

４Ｖ

６０

１３．６ｍＡ

６Ｖ

８０

１６．８ｍＡ８Ｖ

１００

２０．０ｍＡ

１０Ⅴ

12

０～１０Ｖ

仕様

５）制御動作仕様

流量設定信号値

動作仕様

３％未満

制御停止動作

３～１０３％

設定値で制御１０３％以上オーバーフロー
性能保証範囲：10－100％

8.3 警報機能
8.3.1 流量異常警報
エンプティセンサ
超音波流量計の管路内に気泡が混入したり空になった場合や、超音波が通らない液種を流した場合などに超音波信号が検知できなくなると測定異常と判定し、Sensor LED を高速点滅
し、警報出力します。

8.3.2 バルブ警報
バルブ警報
流量が流れていない場合、圧力が不十分で設定流量まで流れない場合、液体中に気泡が多く混入し測定できない場合等の異常状態で制御させた時などに、目標流量に対し現在流量がバルブ異常用ギャップ範囲以上の状態が続き、バルブ警報検出時間設定で設定された時間以上経過した場合に Valve LED が高速点滅し、警報を出力します。
バルブ警報が出力されても制御は継続します。バルブ警報は制御停止まで出力され続け、制御を停止すると解除します。

9. PI 制御
9.1 PI 制御解説
9.1.1 PI 動作簡易説明
1)比例動作（Proportional action：Ｐ動作：ｋｐ）
現在の偏差（目標流量と現在流量との差）の大きさに比例する必要な修正量を表します。
2)積分動作（Integral action：Ｉ動作:ｋｉ）
現在の偏差の修正だけでなく、過去の偏差の累積値にも依存した修正量を表します。

9.1.2 PI 係数調整に関して
実際の現場等で制御対象の理想の応答特性が取れない際にｋｐ，ｋｉ係数の調整が発生する場合があります。
ｋｐ，ｋｉ係数は変更された目標流量値により早く近づけることを目的として調整します。
ｋｐを大きくすることは変動制御域での傾きを大きくすることに相当し、大きくすることで早く目標流量に近づけることができますが、大きくし過ぎるとハンチング現象やオーバーシュート現象が発生します。

13

9.1.3 制御動作例
下記現象が発生した際やお客様の用途によりｋｐ，ｋｉ係数を調整して下さい。
１）ハンチング現象：目標流量を境に振動する現象

２）オーバーシュート現象：目標流量を大きく上回る現象
３）オフセット現象：目標流量に近づくまでに時間がかかる現象

理想制御

直線：現在流量
破線：目標流量

流量(mL/min)

流量(mL/min)

ハンチング現象直線：現在流量
破線：目標流量

時間(s)

時間(s)
オフセット現象直線：現在流量
破線：目標流量

流量(mL/min)

流量(mL/min)

オーバーシュート現象

直線：現在流量
破線：目標流量

時間(s)

時間(s)

9.1.4 外乱抑制特性の微調整
圧力変動等の外乱が発生した際のｋｐ，ｋｉ係数値の比較を下記に示します。

偏差(mL/min)
応答（１）
応答（２）

現在流量

応答（３）

時間(s)
応答（４）

制御動作

係数ｋｐ

係数ｋｉ

応答（１）

オーバーシュート

過大

過大

応答（２）

ハンチング

過大

過大

応答（３）

理想的制御

標準値

標準値

応答（４）

オフセット

過小

過小

14

9.1.5 目標値追従特性の微調整
目標流量を変化させた際のｋｐ，ｋｉ係数値の比較を下記に示します。

応答（１）流量(mL/min)

応答（２）
応答（３）

直線：現在流量
破線：目標流量

応答（４）

時間(s)
制御動作

係数ｋｐ

係数ｋｉ

応答（１）

オーバーシュート

過大

過大

応答（２）

ハンチング

過大

過大

応答（３）

理想的制御

標準値

標準値

応答（４）

オフセット

過小

過小

9.1.6 PI 係数動作別異常発生例
各ｋｐ，ｋｉ係数毎の標準値よりの大小関係と異常現象発生との関係を下表に示します。
異常現象発生要因係数

標準値例（＊）

ｵｰﾊﾞｰｼｭｰﾄ

ﾊﾝﾁﾝｸﾞ

ｵﾌｾｯﾄ

ｋｐ

0.3

過大

過大

過小

ｋｉ

0.3

過大

過大

過小

（＊）計数値は使用される流量計や製品により若干異なります。弊社流量計との組み合わせの際は、調整して出荷しますので出荷時でのｋｐ，ｋｉ係数値を標準値として調整をお願い致します。

15

10. 日常点検

注記

長期に渡って安定してご使用いただくために以下の日常点検を実施することをお奨めします。

10.1 チューブ継手、接続部の点検
液漏れ、浸透はないか。
ナットの緩みはないか。
テフロンの性質により、一度締め付けても時間が経つと緩むことがあります。定期的に増締めしてください。

10.2 接続配管の点検
配管に曲がりが生じて継ぎ手部に過大な応力が加わっていないか。
配管振動は大きくないか。

10.3 防水性の点検
接続口のシールは完全か。

11. トラブル対応
トラブルは、配線や取付など設置に起因するもの、測定流体に起因するもの、計器自体の故障などさまざ
まな原因が考えられます。

11.1 目視確認
気泡混入、漏れ等製品内配管の異常が考えられる場合には、配管側カバーを外して内部を確認することができます。
OUT 側側面の切り欠きをマイナスドライバ等でこじると簡単に外せます。

カバーを嵌める際は隙間を生じないよう確実に止めてください。

注記

漏れ、破損の原因となりますので内部部品は不必要に動かさないようお願いします。

切り欠き

OUT 側側面

Don't turn the nut

Don't touch
the components

Don't turn the nut

継ぎ手のネジを回さない
Don't touch
the components

注記

16

カバー内部

11.2 トラブルシューティング
原因検索にはトラブルの現象を正確に把握し、それぞれに応じた対応をとることが近道です。
ここでは、一般的に考えられるトラブル現象別にトラブルシューティングフローを記載しています。トラブル現象を確認し、対応する項目を参照してください。

トラブルの現象参照するトラブルシューティング項目1

流体が流れているのに指示が出ない

2

表示が正常でない

3

エラー表示が出る

4

流体が流れていないのに出力、表示が出る

5

流体を流しても指示がゼロのままである

6

表示は出るが出力が出ない

7

ゼロ点が不安定8

ゼロ点で指示が出る、振り切れる

9

流体を流すと指示が不安定

10実流と指示が合わない

11

実流と出力が合わない

12

流体を流すと指示が振り切れる

13

制御が出来ない

A：指示が出ない時

B：ゼロ点調整がうまくいかない時
C：流体を流しても指示が出ない時

D：ゼロ点が不安定な時
E：指示が不安定な時

F：実流と指示が合わない時

G：制御が出来ない時

17

A：指示が出ない時

START

No

Power LED は点灯しているか

電源が正しく供給されているかどうか調べる

Yes

Status LED が点灯しているか

No

Yes

No

Yes

Yes

Yes

保守モードになっている

稼動モードに切り替えるNo

電源を一度切り、10 秒以上
待ってから再
投入する

No

Yes

No

るか。
Yes

正常動作

基板故障が
考えられる

サービスへ連絡

されるか

数値は変わ

は正しいか
Yes

アナログ出力出力されるか

電源接続・電圧No

サービスへ連絡

18

No

正しい電源
を供給する

B：ゼロ点調整がうまくいかない時

START

サービスへ連絡Yes

電源接続・電圧

No

正しい電源
を供給する

は正しいか

電源投入

Power LED は点No灯しているか

電源が正しく供給されているかどう
か調べる

Yes

指示が動い

Yes

Yes

流量が流れているかているか

遮断弁等で流量を
止める

No

No

D:ゼロ点が不安定な
ときを参照

基板故障が
考えられる

サービスへ連絡No
Sensor LED は点滅しているか

製品管路内の気泡を除去

Yes

Sensor LED は
点灯したか

No

Yes

ゼロ調整実施No
Ｓｔａｔｕｓ LED が間欠点滅するかゼロ調ケーブルは電源No＋と短絡しているかYes
20 秒 程 度 で Status
LED 緑が点灯するか

No

Yes
END

19

Yes

基板故障が
考えられる

C：流体を流しても指示が出ない時

START

正しい仕様
に合わせる

正しい方向
に接続する
No

Sensor LED は

Yes

アナログ出力は出点灯するか力されているか

No

Yes

No

正しい方向に接続されているかNo

Yes

出力仕様は合
っているか
Yes

基板故障が
考えられる
稼動モードになNo

稼動モードに切

っているか

り替える
サービスへ連絡Yes

パラメータ設定値は正しいかNo

正しいパラメータ
に変更する

Yes

流体は流れてい
るか

No

流体を流す

Yes

ゼロ点が合っていない

Yes

流体を止めてゼロ調整を実施するNo

流体に気泡が多Yes

気泡混入のない液
体を流す

く混入してる。
No

内部部品の故障が考えられるサービスへ連絡20

D：ゼロ点が不安定な時

START

製品管路内に液体がNo

完全に充満するように流充満されているか

体を流す

Yes

ポンプ等による圧力

Yes

脈動がないようなライン

変動や脈動があるか

に変更する

No

液体に気泡が混じっYes

液体中の気泡を脱泡装置ている等を用い除去するNo

近くにポンプ・モー
タ・変圧器などの動力
機器がある

Yes

誘導ノイズの影響がないか調べる。配線のシールド、隔離を行う

No

内部部品の故障が考えられるサービスへ連絡21

E：指示が不安定な時

START

ゼロ点の指示は安定No

ゼロ点が不安定な場合はしているか「Ｄ．ゼロ点が不安定な時を参照する
Yes

ポンプ等による圧力

Yes

脈動をなくす、または影響の少ない場

変動や脈動があるか所に設置する。

No

液体に気泡が混じっYes

液体中の気泡を脱泡装置ている等を用い除去するNo

管路内に気泡が付着している可能性がある

Yes

フルスケール付近の流量を流し
気泡を除去するNo

上流側に全開できないバルブが設置され
ているか

Yes

キャビテーションにより指示が不安定な場合がある。バルブを交換、またははずすか、下流側に移す。

No

上流側で液の混合や異種液の注入を行っているか

粘度、密度が不均一になると指示が不安定となるの

Yes

で上流側での異種液の注入は避け、下流側で行う。
混合の場合は十分攪拌する。

No

内部部品の故障が考えられるサービスへ連絡22

F：実流と指示が合わない時

START

正しい仕様
に合わせる

正しい流量レンジにする
No

正常に測定さアナログ出力は正Noれているか。

No

しいか

Yes

流量レンジ設定は合っているか

Yes

No

Yes

出力仕様は合
っているか
Yes

基板故障が
考えられる
ゼロ点は合ってNo

再度ゼロ調整を行う

いるか
Yes

パラメータ設定値は正しいかサービスへ連絡No

正しいパラメータ
に変更する

Yes

配管に漏れがな
いかNo

正しく配管する

Yes

測定流体が仕様とあっているかNo

流体使用を確認する

Yes

流体に気泡が多Yes

気泡混入のない液
体を流す

く混入してる。
No

内部部品の故障が考えられるサービスへ連絡23

G：制御が出来ない時
START

Sensor LED が点灯し稼動モードに切り替えるNo

保守モードになっているNo

目標流量入力信号は

ているか
Yes

Valve LED が点灯して

いるか

No

力する。

入力されているかYes

目標流量信号を正しく入Yes

流量レンジ設定は合No

レンジを合わせる。

っているか

流体は流れているかNo

遮 断 弁は 開いて

Yes

圧力は足りてい

いるか。

圧力を上げ
る。

るか。
Yes

No

Yes

No

遮断弁を開ける。

コントロール弁が閉止している可能性があり、制御開始停止を繰り返し行ってみてください。

目 標 流量 に到達

Yes

しない

差圧は仕様範囲

No

圧力を調整する

内かYes

パラメータ設定No

正しいパラメータに変更する。

値は正しいかYes
PI を調整する。

No

サービスへ連絡Yes

ハ ン チン グがおポンプ等による圧力変動

きるや脈動があるか
Yes

24

No

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