自動Zステージ / テーブルサイズ 100×100, 160×160

システム
製品
SystemProducts

Motorized Vertical Linear Stages / Table Size 100×100, 160×160

産業用Industrial

実験用Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZ
Z

ZA10A-32F01

回転Rotation

1009060

60
8-M4 Depth 8mm(88)
CCW Limit Sensor

8130±15

CCW

(28)

7.5

ZA16A-32F01□90

I.indd 14

CCW Limit Sensor
Home Position
CW Limit Sensor
裏面
Back Side

160140110906055
6H88-M4 Depth 10mm

Depth 6mm8110

φ6H8Depth 6mm

14.5(42)CCWZA16A-W2C01□140

受注生産 Build to Order8110

φ6H8 Depth 6mm

裏面Back Side

8-M4 Depth 8mm

80±8CCW

Depth 6mm

6H8(17.2)(158)
CCW Limit Sensor
Home Position
CW Limit Sensor(177.2)160
14011090608-M5 Depth 10mm

CW

4-for M5 screws
Shaft length 9mm55(318)160
1401109060(29)検査システムInspection
System

I-014

(83)

175±25CW

モーター
コントローラ
Motor
Controller

アクセ
サリー
Accessories

160
140
110
9060

8-M5 Depth 12mm

制御装置
Control
Electronics

付録
Appendix

(247)

(4)

4-for M4 screws
Shaft length 7.5mm

真空ステージ
Vacuum
Stage

モーター
ケーブル
MotorCableCW Limit Sensor
Home Position

CW

アライメントステージ
XYθ

モーター
ドライバ
MotorDriver

φ5H8 Depth 5mm30(188)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

アプリ
ケーション
Application

65H8100
90
60100

回転Rotation

ドライバ
ボックス
DriverBox

Depth 5mm

裏面
Back Side

X・XY
X・XY

Z
Z

ZA16A-W2C01

ZA10A-32F01

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage

ZA16A-32F01

CONTACT□140

4-for M5 screws
Shaft length 6mm

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:07

アルミ / 四面フラットローラガイド, クロスローラガイド / ウォーム＆ウォームホイール, クサビ / ボールネジシステム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Tetrahedral Flat-Roller Guide, Cross-Roller Guide/ Worm & Worm Wheel, Wedge / Ball Screw

産業用
Industrial

型式
Model Number

ZA10A-32F01

ZA16A-32F01

ZA16A-W2C01

勝手違い型式
Mirror Model Number

ZA10A-32F01-R−

ZA16A-W2C01-R

テーブル面
Table Size

実験用
Experimental

100mm×100mm

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

手動精密ステージ
ManualStage

案内方式
Guide Mechanism
移動範囲
Motion Range

160mm×160mm

四面フラットローラガイド
Tetrahedral Flat-Roller Guide
±15mm

送り方式
Lead Mechanism
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）Micro Step (1/20 div)

±25mm

1/40-ウォーム＆ウォームホイール, ボールネジ, リード 4.0mm
1/40-Worm & Worm Wheel, Ball Screw, Lead 4.0mm±8mm

0.1μm/0.05μm

0.2μm/0.1μm

0.5μm/0.25μm

0.005μm

0.01μm

0.025μm

最高速度
Maximum Speed

0.5mm/sec

1mm/sec

2.5mm/sec

繰返し位置決め精度
Repeatability≦±0.2μm（AVE. ±0.05μm）≦±0.3μm（AVE. ±0.04μm）≦±0.2μm（AVE. ±0.09μm）

ロストモーション
Lost Motion≦2μm（AVE. 0.59μm）≦1μm（AVE. 0.28μm）≦0.5μm（AVE. 0.16μm）

垂直度
Verticality≦8μm/30mm（AVE. 2.52μm/30mm）≦8μm/50mm（AVE. 3.08μm/50mm）≦10μm/16mm（AVE. 2.45μm/16mm）

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

294N（30kgf）

490N（50kgf）

196N (20kgf)

材質
MaterialZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

黒色仕上げ
Matt Black

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重
Weight4.3kg

14.5kg7.2kg

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

PK525HPMB（オリエンタルモーター: 定格C090P-9015P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，
基本ステップ
電流 0.75A/相，
基本ステップ角 0.36°, リー
角 0.72°, リード線5本）
ド線5本）
C090P-9015P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle
PK525HPMB(Oriental Motor: Phase Current0.72°, 5-Leads)
0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)

モーター軸径Motor Shaft DiameterΦ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type

コネクタ
Connector

丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

ステージ結線タイプ※2
Stage Wiring Type
原点復帰
Returning direction

X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

V3
原点復帰の際に、領域（データム）センサを利用しています。CW側常時遮光。
Returning direction is determined with zone sensor. CW side’s light is intercepted in all time.

センサ基板型式
Sensor Modelアライ
メントステージ
XYθ－真空ステージ
VacuumStageF-101(HOME,LIMIT)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

ZA10A-32F01-C

ZA16A-32F01-C

ZA16A-W2C01-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ZA10A-32F01-V

ZA16A-32F01-V

ZA16A-W2C01-V

※1

X・XY
X・XY

1/4-クサビ. ボールネジ, リード1.0mm
1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※2制御装置ControlElectronics

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照してください。ZA16A-W2C01のグリス交換についてはお問い合わせください。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information. Please contact us about lubricant change of ZA16A-W2C01.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照してください。ZA16A-W2C01のグリス交換についてはお問い合わせ下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information. Please contact us about lubricant change of ZA16A-W2C01.

2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.

モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。ZA16A-W2C01のモーター交換についてはお問い合わせください。
Page C-004 for further information about motor change.Contact us about motorchange of ZA16A-W2C01.

モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

I.indd 15I-015

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