PressVac
高純度ガス用圧力計
Ultra High Purity Pressure Gauge

HPG1シリーズ（EPグレード）
HPG1 Series Electro-Polishing Grade

HPG2シリーズ（BAグレード）
HPG2 Series Bright Annealing Grade

HPG1/ HPG2シリーズは、半導体、電子、医療、バイオテクノロジー及び、製薬業界で使用される高純度ガスシステム用に設計されています。
製品仕様

サイズ（ケース外径）
形状

接続ねじ

35mm、50mm、63mm
立形（Low mount）、背面形（Center Back mount）、埋め込み形
1/4NPT
1/4”メタルフェイスシール継手（おす、めす）※いずれもスイベルタイプ
1/4”ダブルフェルール継手
1/4”チューブエンド

材質

ブルドン管：SUS316L（表面処理：BAグレード、EPグレード）
ケース：SUS304
ムーブメント（内機）：ステンレス製
カバー、窓：ポリカーボネイト
ダイアル：アルミニウム（白色）ポインターストップピン付き
ポインター：アルミニウム合金（黒色）精グレードA ±1.0% F.S（サイズ50mm、63mm）
グレードB ±2.0% F.S（サイズ35mm、50mm、63mm）

度

使用温度

環境温度
流体温度

-40℃～+65℃
最大+100℃

Heリークレート

1.0×10-10 Pa・m3/sec以下

洗浄・製作・検査仕様

製品

HPG1 / HPG2

清浄度

ASME B40.100の清浄度レベル４

洗浄

超音波洗浄

組立 / 調整・校正

組立：クラス10,000 C.R / 調整・校正：クラス100 C.R

リーク検査

Heリーク検査（真空吹き付け法）

禁油・禁水

禁油・禁水処理包装

ポリエチレン材

真空2重包装バリューインパクト有限会社〒231-0023 神奈川県横浜市中区山下町24-8
Tel 045-212-2731 Fax 045-212-2736
本社 / 横浜技術センター / 仙台営業所 / 台湾支店
Rev4.2024.1

PressVac

品番構成
①シリーズ

HPG1

高純度ガス用圧力計（SUS316L EPグレード）標準品

HPG2

高純度ガス用圧力計（SUS316L BAグレード）②サイズ（ケース外径）335mm（背面形（Center back mount）のみ）

550mm

663mm

③形状

L立形（Low mount）

B

背面形（Center back mount）④精度

A

Grade A（±1.0％）標準品

B

Grade B（±2.0％）⑤接続ねじ※ MFS =METAL FACE SEAL FITTINGS

NM

1/4” NPTおす

VF

メタルフェイスシール継手（スイベルめす）※Female MFS

VM

メタルフェイスシール継手（スイベルおす）※Male MFS

TW

1/4”チューブエンド（HPG2シリーズ・背面型のみ対応）

SW

ダブルフェルール継手（HPG2シリーズのみ対応）1/4”めすコネクターが付属されています。

⑥単位IK

MPa
psi

⑦

圧力レンジ

XXX
⑧

別紙、圧力レンジ表参照

接ガス部材質とダイアルカラー

４SUS316L

2カラー

８

SUS316L

3カラー

⑨

オプション

０なし

１付属品

＜品番構成例＞①EPグレード ②サイズ50mm ③立形 ④Grade A ⑤フェイスシール継手スイベルめす ⑥MPa ⑦-0.1～0.6 ⑧SUS316L 3カラー ⑨オプションなし①②③④⑤⑥⑦⑧⑨HPG15L

AVF

I03180圧力レンジ表

PressVac

MPa

レンジコードレンジ（MPa）

０２６

ケース外径
35mm

50mm

63mm

-0.1 ～ 0Ｘ

X〇

０４１0 ～ 0.1

Ｘ

Ｘ

〇

１３３0 ～ 0.16

Ｘ

Ｘ

〇

０４２0 ～ 0.2〇〇〇

１３４0 ～ 0.25

Ｘ

Ｘ

〇

０４３0 ～ 0.3

Ｘ

〇

〇

０４４0 ～ 0.4〇〇〇０４５0 ～ 0.6〇〇〇０４７0～1〇〇〇０５０0 ～ 1.5〇〇〇

１４３0 ～ 1.6Ｘ〇

〇０５１0～2Ｘ〇〇０５２0 ～ 2.5〇〇〇０５４0 ～ 3.5〇〇〇１５１0～4Ｘ〇〇０５５0～5Ｘ〇〇０５６0～6Ｘ〇〇０５７0～7Ｘ〇〇０５８0 ～ 10Ｘ〇〇０５９0 ～ 15

Ｘ〇〇０６０0 ～ 16

Ｘ〇

〇０６２0 ～ 25

Ｘ〇

〇０２７-0.1 ～ 0.1

Ｘ〇〇１２７-0.1 ～ 0.16

ＸＸ

〇０２８-0.1 ～ 0.2

Ｘ〇〇０２９-0.1 ～ 0.3

Ｘ〇〇０３０-0.1 ～ 0.4

Ｘ〇〇０１０-0.1 ～ 0.5

Ｘ〇〇０３１-0.1 ～ 0.6Ｘ〇

〇０１４-0.1 ～ 0.9

Ｘ〇〇０３２-0.1 ～ 1

Ｘ〇〇０３３-0.1 ～ 1.5

Ｘ〇〇０３４-0.1 ～ 2Ｘ〇〇０３５-0.1 ～ 2.5

Ｘ

Ｘ

〇

圧力レンジ表

PressVac

psi/k

CODE

RANGE

0 4 20~30psi/K

0 4 40~60psi/K

0 4 50~80psi/K

0 4 70~150psi/K

0 5 00~200psi/K

1 4 30~240psi/K

0 5 10~300psi/K

0 5 40~500psi/K

1 5 10~600psi/K

0 5 70~1000psi/K

0 5 80~1500psi/K

1 6 90~1600psi/K

1 7 00~2000psi/K

1 7 20~3000psi/K

0 1 10~3500psi/K

0 6 20~3600psi/K

1 7 40~4000psi/K

0 6 40~5000psi/K

0 6 50~6000psi/K

0 2 7-30inHg~15psi/K

0 2 8-30inHg~30psi/K

0 2 9-30inHg~40psi/K

0 3 0-30inHg~60psi/K

2 9 5-30inHg~80psi/K

0 3 1-30inHg~90psi/K

0 1 2-30inHg~100psi/K

0 3 2-30inHg~150psi/K

0 1 6-30inHg~160psi/K

0 3 3-30inHg~200psi/K

0 3 4-30inHg~300psi/K

0 3 6-30inHg~500psi/K

1 0 1-30inHg~600psi/K

0 9 1-30inHg~1000psi/K

PressVac

形状と接続ねじ【立形（Low mount）】
サイズ：50mm

1/4“メタルフェイスシール継手
スイベルおす1/4“メタルフェイスシール継手
スイベルめす1/4NPT継手

1/4“メタルフェイスシール継手
スイベルめす1/4NPT継手

サイズ：63mm

1/4“メタルフェイスシール継手
スイベルおす【背面形（Center back mount）】
サイズ：50mm

1/4“メタルフェイスシール継手
スイベルおす1/4“メタルフェイスシール継手
スイベルめす1/4NPT継手

サイズ：63mm

1/4“メタルフェイスシール継手
スイベルおす1/4“メタルフェイスシール継手
スイベルめす1/4NPT継手