6535 Automated HighHigh Resistance
６５３５自動高抵抗計測システム
Measurement SystemThe 6535 is a modular High Resistance Measurement System consisting of Guildline’s new
６５３５はモジュール方式の高抵抗計測システムで、ギルドラインの新製品、６５３０テ
ラオームブリッジメーター、６５６４高抵抗スキャナーとオプションの定温６６３６標準6530 TeraOhm Bridge-Meter, our new 6564 High Resistance Scanner and optionally the
高抵抗で構成されています。これらの各計測器、標準器個々のデータシートはギルドライ
Temperature Stabilized 6636 High Resistance Standards. Individual data sheets can beンのホームページに掲載されています。
located on the Guildline Website for each of these instruments and standards.
Guildline’s 6535 High Resistance Measurement System provides demanding users around theギルドラインの６5３５高抵抗計測シス
テムは世界の要求の厳しいユーザーに直world the best in DC High Resistance
流高抵抗計測での最高のパフォーマンス
Measurement performance and value forと１００ｋΩ～２０ＰΩレンジで最良のthe range of 100 kOhms to 20 POhms.
計測値を提供します。ユニークな標準器
Incorporating some of the most uniqueを取り入れることにより、６３５５高抵standards available for measurement, this
抗計測システムは、今日入手できる自動system is the only "turn-key" Automated
高抵抗計測システムで唯一のターンキー
High Resistance Measurement Systemシステムです。ギルドラインのユニーク
available today.
Guildline unique
な標準器には６５３０テラオームブリッStandards
includethe6530 TeraOhm
ジメーター、６５６４高抵抗スキャナーと定温６６３６標準高抵抗が含まれていBridge-Meter, a 6564 High Resistanceます。６５３５はダイレクト計測と２０Scanner and our 6636 TemperatureＰΩまでのブリッジレシオモードの複数
Stabilized High Value Resistance Standard.
計測の自動化のために使用されます。
The 6535 is used to automate multiple
measurements with Direct Measurement
and Bridge Ratio Modes up to 20 PΩ’s.
6535 Front View
６５３５システムは範囲の広い作業負荷の需用に応えられる高度な設定が可能です。まThe System is highly configurable to meet wide ranging workload requirements. The 6535 is
た、デュアルモードのオペレーションができ、１０００Ｖまでの電圧で１００ｋΩから２capable of dual modes of operation with direct resistance measurements from 100 kΩ to 20 PΩ
０ＰΩまでのダイレクトな抵抗値計測ができます。同様に、６５３５システムはブリッジ
with voltages to 1000 Volts. Similarly, the 6535 System provides a Bridge Ratio mode to allow
レシオモードでも使用でき、今日の市販自動システムで絶対的に最高の不確かさを提供し
the absolute best uncertainty found in any commercialized automated system today. Theます。電流モードオプションでは、１０ま５ま１０ま１３Ａの直流計測ができます。６６３６Current Mode Option allows the System to measure direct current from 10-5 to 10-13 Amps. With
標準抵抗値と共に使用すると、６５３５システムはトレーサブルで低い不確かさの電流を
the use of the 6636 resistance standards, the 6535 System can also generate traceable, low
供給できます。
uncertainty, currents.

Guildline's
unique design and modularity allows customers to purchase what they need today to
ユニークなデザインとモジュール方式のお陰で、ユーザーは現在の研究や校正作業で必要とされているシステムのみ購入でき、将来の必要性に応じてアップグレードできることがsupport their research, or the calibration of their current work-load, and be assured of an
保証されています。典型的なシステムは、直ぐにそのままで使用できる状態で一つのラッupgrade
path to support their future requirements. The system is typically delivered ready for
クに納まり配達されます。実際、６６３６標準抵抗６個、スキャナーチャンネルが１６、use in a single ‘fly-away’ rack. In fact, a system with a built in 8 Element 6636 Resistance
そして６５３０テラオームブリッジメータが備わったシステムの高さは１４インチ未満でStandard, 16 Scanner Channels, and the 6530 TeraOhm Bridge-Meter is less than 14” in total
す。
height.

1

ThisHigh Resistance Measurement System, along with optional adaptors and utilities, provides
６５３５高抵抗計測システムをオプションのアダプター、ユーティリティと共に使用すると、国家計測機関、校正機関、電力会社、軍関係、その他企業の次の業務に利用できます。
National
Metrology Institutes, Calibration Companies, Power Companies, Militaries and othercustomers with:
ダイレクト計測とブリッジモードの２種類のオペレーションモード
Two Modes of Operation, Direct Measurement and Bridge Mode
Standard Base Resistance Measurement from 1MΩ to 100 TΩ!
１ＭΩ～１００ＴΩの標準抵抗の計測
eXpanded Resistance Measurement Range from 100 kΩ to 20 PΩ!
１００ｋΩ～２０ＰΩの抵抗計測拡張レンジ
eXpanded
Performance of8 ppm for 1 MΩ to 1 GΩ & < 50 ppm for 10 GΩ to 1 ＜５０ppm
TΩ!
拡張パフォーマンス：
１ＭΩフ１ＧΩで８ppm、１０ＧΩフ１ＴΩでMulti-Ratios up to 1000:1!
１０００：１までのマルチレシオ
Test
Voltages from 1 to 1000 Volts!
１～１０００Ｖのテスト電圧
１１３
Optional
CurrentMode
to measure currents from 10-5 to 10-13 Amps!
１０１５１１０
Ａの直流計測の為の電流モードオプション
Scanner
Capabilities to 1000V and 64 Channels!
スキャナーは１０００Ｖまで、６４チャンネルまで拡張可Transferring
the Traceability of Primary Standards from NMI’s or other sources!
ＮＭＩあるいはその他機関の一次標準のトレーサビリティの移転
Automated
procedures for Calibrating High Resistance Decade Boxes!
高抵抗ダイアル式可変抵抗器の校正自動化
Surfaceand Volume Resistivity with optional test fixtures!
オプションのテスト装置で表面および体積抵抗率の計測
SimpleArtifact Verification Procedure to ensure the 6530 TeraOhm Bridge-Meter
６５３０テラオームブリッジメーターのオペレーティング仕様を確認する容易な
remains
within operating specifications!
検証処理

This automation and functionality provided by the 6535 System improves the calibration
６５３５システムのこれらの機能と自動化により、校正の不確かさ、サポートできる機器の範囲、校正機関・研究機関の効率が改善されます。６５３５高抵抗計測システムは手動
uncertainties, range of equipment that can be supported, and the efficiency of calibration
あるいは標準IEEE-488通信経由でのコンピューターモードにより操作する事ができます。
laboratories and research facilities. The 6535 High Resistance Measurement System can either
be operated manually or in a computerized mode via the Standard IEEE-488 communication.
The included GUI based software program, TeraCal™,
システムに含まれているＧＵＩベースのTeraCalソフト
ウェアの機能とユーティリティで計測の有効性を改善
incorporates features and utilities that allow operators to
し、計測データを効率良く管理できます。機能には自動
improve measurement effectiveness and provide efficiency
データー収集、計測結果のリアルタイムグラフィック表
for data management. This includes the ability to perform
示、リアルタイム不確かさ分析、履歴の記録、図表化、
automatic data acquisition, real time graphing of results, real退行分析などがあります。使用する標準抵抗値、励起電time uncertainty analysis, history logging, charting, and圧などの様なユーザーが定義する全てのテスト変数はテ
regression analysis. All user definable test variables, such as6636 Rear View
スト毎にプログラムする事ができます。これらの機能に
resistance standard to use, excitation voltage, etc can beよりユーザーは校正作業の自動化と作業の能力の最大化
programmed on a per test basis. These features give users full control and flexibility inを完全にかつ融通性を有しながらコントロールする事がautomating routine calibration procedures and maximizing workload capabilities.
できます。
The new Guildline 6564 High Resistance Scanneris included with the system. The number ofシステムにはギルドラインの新製品である６５６４高抵抗スキャナーも含まれています。チャンネ
channels can go from 8 all the way to 64. Customers
ル数は８チャンネルから６４チャンネルまで選択
need to evaluate the number of standard resistors
できます。ユーザーは所有する、あるいは計画すthey have or plan on having and the number of free
る標準抵抗の数、チャンネル数を判断する必要がchannels they wish to use. For example if a user
あります。例えば、６５３５を高安定な６６３６bought a 6535 with the highly stable 6636
定温標準抵抗と共に購入する場合、全ての個々の6564 Scanner Front View
Temperature Stabilized Resistance Standard, up to 8
標準抵抗を自動的に接続するにはチャンネル数はchannels would be required to connect all８チャンネルまで必要となります。
individual resistance standards for automation. The6564 Scanner allows for completely automated measurements up to 1000 Volts at 100 TOhms

2

with no uncertainty added to the measurement process, and up to 20 POhms with an offset that
６５６４スキャナーは１０００Ｖで１００ＴΩまでの計測を不確かさを増やすことなく自can be calibrated out. Remember, with TeraCal Software, multiple tests can be sequenced and動化でき、オフセット（補正値）を使えば２０Ｐオームまでの計測を自動化できます。
TeraCalソフトウェアを使用すれば複数のテストを連続的にグループ化してオペレーター
grouped for the Standards to run even when operators are not present! For example a complete
なしで実行できます。例えば、１００ｋΩから１００ＴΩの全ての実用標準抵抗をオペ
set of working standards from 100 kOhms to 100 TOhms can be calibrated in a single day
レーターの介添えなしに一日で校正する事ができます。６５３５システムは複数チャンネ
without operator intervention. The 6535 is a complete system capable of fully automated
ルの校正と計測を完全に自動化できる完成したシステムです。
multiple-channel calibrations and measurements.
Acustomer has the choice of four 6530 TeraOhm Bridge-Meter models. The 6530 XP and XPR
６５３０テラオームブリッジメーターは選択できる４つのモデルがあります。６５３０Ｘ
Ｐと６５３０ＸＰＲモデルはデュアルソースブリッジを含む市販の高抵抗計測器の中で最models
provide the best uncertainties of any commercially available high resistance
も良い不確かさでの高抵抗計測ができます。ＸＲとＸＲＰモデルはどんな計器よりも幅広measurement instrument including better uncertainties than commercially available dual source
いレンジでの抵抗計測ができます。既存のギルドライン６５２０テラオームメーターをよbridges.
The XR and XRP models provide the widest range of resistance measurement of any
り良いパフォーマンスと不確かさを持つ６５３０の４つのどのモデルにもアップグレード
instrument. Existing Guildline 6520 Teraohmmeters can be upgraded to any of the four 6530
する事ができます。また同時に、６５２０ユーザーは非常にお得な費用で完全な６５３５Models which will provide better performance and uncertainties. And at the same time a 6520
システムにアップグレードする事ができます。
customer can upgrade to a complete 6535 System at a substantially reduced price.
Anotherkey feature of Guildline’s 6535 System is its multi-ratio functionality which supports
ギルドラインの６５３５システムのもう一つの主要な特色として、１０００：１までのレratios
up to 1000:1. This feature allows customers to reduce the number of resistance standards
シオをサポートするマルチレシオ機能があります。この機能により、ユーザーは必要とする標準抵抗の数を減らせるので、年間の校正費用も削減できます。また、マルチレシオ機required,and associated annual calibration costs. As well, the multi-ratio functionality will
能により、より良い不確かさを持つ最適な組み合わせの低抵抗値の標準抵抗が使用できる
reduce calibration uncertainties by optimizing the use of lower value resistance standards that
ので、校正の不確かさも改善されます。
providebetter uncertainties. This multi-ratio functionality allows customers to greatly reduce
their uncertainties when laddering up from lower value resistance standards.
Comparison of 6535 Selected Models vs MIL TeraΩBridge Specifications
６５３５モデルとMILのTeraΩBridgeとの仕様比較
6535 Bridge Mode (± ppm ofReading) 23°°C ± 2°°C

MIL TeraΩBridge(± ppm of Reading)(Guildline Range)

With 6530 XR
1:1 & 10:1 Ratio

With 6530 XPR
1:1 & 10:1 Ratio

23°°C
1:1 Ratio
Only

23°°C ± 2°°C
1:1 Ratio Only

1V to 10V
1V to 100V
1V to 1000V
1V to 1000V
1V to 1000V
1V to 1000V
1V to 1000V
10V to 1000V
100V to 1000V
1000V1000V

15151515
202070
200
500
1500
3500

8888
101550120200800
2000

101010153060120
150
250
1000
NA303030355080130
170
2701020NA

Measurement
Range

Applied Voltage
Threshold(Ohms)

200k to 2M
2M to 20M
20M to 200M
200M to 2G
2G to 20G
20G to 200G
200G to 2T
2T to 20T
20T to 200T
200T to 2P
2P to 20P

A 6535 System has built-in EMI shielding and temperature stability. This greatly reduces the６５３５システムはEMIシールドと定温機能を備えています。この為に上の表（温度条件
environmental effects as can be seen in the above table which just addresses temperature.
のみの仕様だが）でも分かる様に環境からの影響を最小限にしています。

3

Other high resistance measurement instruments, including dual source bridges, are very
デュアルソースブリッジを含む他の高抵抗計測器は静電気、ＥＭＩ、温度に対して非常にsensitive to electrostatic, EMI and temperature affects.
敏感です。
６５６４高抵抗スキャナーには８チャンネルあるいは１６チャンネルのモデルがあり、４The 6564 High Resistance Scanners come in 8 or 16 channel models and four scanners can be
台のスキャナーを組み合わせられるので、他社製品にはない合計６４チャンネルのシステ
combined to provide a total of 64 channels – more than any other manufacturer.
ムを構築できます。
最新版のTeraCalソフトウェアは６５３５システムを完全なＳＣＰIベースのＧＰＩＢでコ
The latest version of the TeraCal™ software provides full SCPI based GPIB control of the 6535
ントロールができます。データ保存、レポート・証明書作成能力があり、種々の抵抗値特System. It provides data storage, report/certificate generation, and utilities to allow a variety of
性を計測できるユーティリティを備えています。
other resistance characteristics to be measured. Data can also be easily exported to Microsoft
また、データはマイクロソフトのエExcel. TeraCal™ calculates uncertainty
クセルに容易にエクスポートできまby either using expanded uncertainties
す。TeraCalソフトウェアは不確か
in accordance with ISO/IEC 17025:2005
requirements 17025:2005の条件に基
oralternativelyさをISO/IEC
uncertainties
canbearithmetically
づいた拡張不確かさ、あるいは算術
summed.
平均での不確かさを計算できます。

Production
line testing, calibration of electrometers, semiconductor testing, capacitance leakage
製造ラインテスト、電子メーターの校正、半導体テスト、キャパシタンス漏洩計測、フィmeasurement,
film surface and volume resistivity measurement, and other applications can all
ルム表面および体積抵抗率計測、そしてその他の応用の全てを６５３５システムにより自beautomatedbyusing the 6535 System. In the current mode, the 6530 Series can also be used
動化する事ができます。６５３０シリーズは電流モードで、化学反応速度、光電気効果、
tomeasure chemical reaction rates, photo-electric effects and ionization effects.
イオン効果の計測にも使用できます。
With a wide selection of options available, the power of the 6535 System is greatly increased.
幅広いオプションを利用すると、６５３５システムの能力は更に増大します。追加の機能
Added features include the ability to automatically record the ambient temperature, humidity
として、６５２２０環境オプションあるいはユーザーの装置を使った、環境温度、湿度、and pressure via the 65220 environmental option or via user provided equipment. The
気圧の自動記録などがあります。情報はタイムスタンプを押されて記録されるので、計測
information is logged and time stamped so a change in any of these conditions, which may haveに影響を与える前述の環境条件の変化を容易に把握できます。その他のオプションとし
affected the measurement, is readily available. Other options include Shielded andて、シールド付環境筐体、表面・体積抵抗率テスト装置、校正キット、漏洩キットなどがEnvironmental enclosures, Surface and Volume Resistivity fixtures, Calibration Kits, and Lead Kits.
あります。新しい６５３５高抵抗計測システムで利用できるオプションの内容についてはRefer to the 6520 Option datasheet for description of available options – all of which work with
６５２０オプションデータシートを参照して下さい。
the new 6535 High Resistance Measurement System.
Themodularity of the 6535 High Resistance Measurement System is based on over 50 years of
６５３５高抵抗計測システムのモジュール性は、ギルドラインの５０年以上にわたる抵抗innovation,design knowledge, and manufacturing experience that Guildline has in building
関連機器の製造で培ってきた革新性、デザイン知識、製造経験に基ずいて生まれたものでresistanceinstruments.
With a single system, the requirement for laboratory space is greatlyす。この一つのシステムで、ラボが必要とするスペースは激減します。また、同じ事を満
reduced.
Thereisalsoa
corresponding reduction in the power requirements and associated
足させる為に複数のメーカーからの複数の装置・計器を使った場合と比較すると、必要なheat
generation when compared with numerous instruments required from multiple
電力、発生される熱量もスペースと同様に少なくなります。６５３５高抵抗計測システム
manufacturers
to meet the same requirements. The modularity and expandability provided by aが備えているモジュール性による拡張性はユーザーが次の様なアップグレードを出来る事
6535 High Resistance Measurement System means that customers can upgrade the 6535を意味しています。
Measurement System in the following ways:
Increased Uncertainty / Accuracy:
Customers can upgrade from the Base Model 25 ppm
不確かさ/正確さの向上：
１ＭΩさ１ＧΩで不確かさ２５ppmの基本モデルから、

uncertainty for the 1 MΩ to 1 GΩ range to the Expanded Performance Models (i.e. XP and XPR)
１ＭΩさ１ＧΩで不確かさ８ppmそして１０ＧΩさ１０ＴΩで不確かさ＜５０ppmの上位
uncertainties of 8 ppm for the 1 MΩ to 1 GΩ range and < 50 ppm for the 10 GΩ to 1 TΩ range.
モデル（すなわちＸＰとＸＰＲモデル）にアップグレードできます。新しい計器の市場登This allows customers to expand their calibration scope as new instruments are released into the
場に応じてシステムを拡張・向上させる事ができます。
market place.

Expanded Resistance Measurement
Range: Customers can upgrade from the Base Model
抵抗値計測レンジの拡張：
１００ＭΩレ１００ＴΩの基本モデルから、１００ｋΩ
ranging from 100 MΩ to 100 TΩ to the eXpanded Range and eXpanded Performance & Range
レ２０ＰΩで不確かさも向上した拡張レンジモデル（ＸＰ）あるいは拡張パフォーマンス・(XP and XPR) Models which measure from 100 kΩ up to 20 PΩ with lower uncertainties.
レンジモデル（ＸＰＲ）にアップグレードできます。

4

電５電１０電１３Ａの電流を計測できます。電電流オプション：
このオプションで１０Current
Option: This option
allows currents to bemeasured from 10-5 to 10-13 Amps. A 6535
流オプション付きの６５３５システムはナノアンプメーターなどの低電流メーターを校正
Systemwith Current Option can be used to calibrate low current meters such as nano-ampmeters.
If a 6636 Temperature Controlled resistance standard is included with the system, stableすることが出来ます。システムに６６３６定温標準抵抗を使用すると安定したトレーサブ
andtraceable low value currents can also be generated.
ルな低電流を出力する事ができます。

Scanner
Channels: The 6535 System
can be purchased with 8 to 64 channels allowing a wide
スキャナーチャンネル：６５３５システムは８：６４のスキャナーチャンネル付き
range
of standards and instruments to be connected and calibrated automatically without
で購入できるので、広いレンジの標準機器と装置を接続し、オペレーターの介添えなしにoperator
intervention.
自動的な校正ができます。
CompleteModularity and Expandability:
National Metrology Institutes, Electrical Power
完全なモジュール性と拡張性：
国立計測機関、電力会社、校正機関、軍その他企Companies, Calibration Companies, Militaries and other customers are continually upgrading
業のユーザーは常に校正手段をアップグレードしています。高抵抗と低電流の計測需要・
their calibration procedures. As their requirements for high resistance and low current
条件が拡張するに従い、６５３５システム用に提供されているアップグレードオプション
measurements expand, they are purchasing the upgrade options provided for the 6535 System.
を購入しています。高抵抗計測システムでこの様なモジュール方式の拡張機能を提供してGuildlineis the only manufacturer in the world to provide these modular expansion features forいるメーカーは世界でもギルドライン社だけです。ギルドラインの６５３５統合高抵抗計
a high resistance measurement system. With Guildline’s integrated 6535 High Resistance測システムなら、必要な高抵抗と低電流の条件を満足する一つのシステムを展開しサポー
Measurement
System, customers only have to deploy and support a single system to meet their
トするだけで良いのです。この事は公立、民間あるいは軍のラボのいずれにとっても、担high resistance and low current requirements. Whether you are a national, commercial or
当技術者のトレーニングの負担、費用と人員のやり繰り、が大幅に減る事を意味していま
militarylaboratory this means a substantial reduction in staff training which is important given
す。拡張オプションとアップグレード購入の融通性により、新しい校正機器を複数のメー
staff
rotations and the cost of training. The flexibility to purchase expansion options andカーから購入する場合には必要となる新たなトレーニングとサポートを必要とせずに、安upgrades
to the 6535 System means that new calibration procedures can be implemented
inexpensively
without the additional training and support that is required when new calibration
価に導入できる事を意味しています。
instruments have to be purchased from multiple vendors.

初期投資、運営経費の低減：
Lower
Capital and Operating Costs:非常に安定した二つの電圧源と、ブリッジ、検知器
A 6535 System can be purchased at lower cost thanを必要とする市販のデュアルソースブリッジそして個別の標準抵抗からなるシステムと比individual resistance standards and a commercial dual source bridge which requires two very
較して、６５３５システムはより低い費用で購入できます。また、初期の購入費用が低い
stablevoltage sources, a bridge, and a detector. And not only is the initial purchase cost less, but
だけではなく、６５３５システムはその後の年間の校正費用も少なくて済みます。
theongoing annual calibration costs are less with a 6535 System.
Insummary, customers who purchase a 6535 High Resistance Measurement System can make
要約すると、６５３５高抵抗計測システムを購入したユーザーは精密な高抵抗及び低電流
automatedprecision high resistance and low current measurements and calibrate both high
計測、そして標準高抵抗と標準低電流の校正の自動化ができます。６５３５の購入は、要resistanceand low current standards. Purchase of a 6535 protects their initial investment,
求条件の変化に応じたアップグレードの道があるので、導入当初の高抵抗/低電流計測シ
providesagrowthpath as their requirements change, and enables the expansion of their initial
ステムを新しい校正方法と新しいテストと計測装置をサポートできるので、初期投資を無highresistance / low current measurement system to support new calibration procedures and駄にしません。同様に重要な利点は、資本、トレーニング及びライフサイクルに及ぶ保守
newtest and measurement equipment. Equally important, customers have dramatically費用を抑えられる事です。
reduced capital, training and ongoing life cycle support costs.
貴研究施設、校正ラボに最高の、証明済みのソリューションである６５３５システムを是Equip your research facilities and calibration laboratories with the best, proven solution – the非導入して下さい。６５３５システムが提供する不確かさ、幅広い動作レンジ、自動化機
6535 System. No other High Resistance System in the world offers the low uncertainties, wide
能、ユーザーの環境に合わせられる融通性を持つ高抵抗計測システムは世界のどこにもあrange of operation, automation functionality, and flexibility to customers.
りません。
For
more information about the 6535 High Resistance Measurement System or any of our
６５３５高抵抗計測システムについて更に詳しい情報、あるいはギルドラインの他の製品
otherprimary level instruments contact Guildline Instruments at:についての情報が必要な場合は下記にお問合わせ下さい。
Guildline Instruments Limited21 Gilroy Street
Smiths Falls, Ontario, Canada, K7A 4S9Toll Free (800) 310 8104 (ext 104)
International Phone (613) 283-3000
Fax (613) 283-6082
Email: sales@guildline.com

Visit us online at: www.guildline.com
6535-01-93 Rev. A. Copyright © 2011.03.09 Guildline Instruments Limited. All rights reserved. Subject to change without notice.

5