モーションコントロールアプリケーション用
標準ステージ
標準ステージカタログ
www.nanomotion.com

Nanomotion社は、高度なモーションシステム、サブシステムモジュール、およびピエゾモーター/ドライブコンポーネントを設計および製造しています。
標準ステージのFBシリーズは、Nanomotion社の超音波定在波を用いるピエゾモータによって駆動され、光学式エンコーダによる閉ループサーボコントロールが可能です。標準ステージは、半導体、生物・医学、および科学分析のマーケットが要求する幅広いアプリケーションに対し、単軸および多軸の精密モーションを実現します。

これらのコンパクトなステージ製品は、通常の大気環境に対応した標準モデルと、ISOクラス3の清浄度までのクリーン環境で動作を保証する真空環境対応モデルの両モデルが提供可能です。
モジュラ設計された各ステージは、Z軸取り付けにも対応した標準のアングルブラケットを使用することで、各軸を相互に簡単に組み合わせて、多軸構成とすることができます。すべての軸は、ローラの移動や滑り防止機能の付いた、高剛性でコンパクトな精密クロスローラベアリング、および精密位置決めに対応した高分解能の光学エンコーダを使用しています。
標準ステージが適合しないアプリケーションについては、Nanomotionのアプリケーションエンジニ
アリングチームに連絡し、ステージ製品のカスタマイズについてお問い合わせください。

製品の特徴
大気および真空環境に対応した精密標準ステージ
移動距離200mmまでのリニアステージ
連続動作が可能な回転ステージ
正確な垂直運動を実現する Z ウェッジステージ
一般的なピボット動作、tip/tilt を実現するゴニオステージ

カスタマイズによるソリューション提供
OEMでは無限の可能性がありますFBS050/020/050

リニアステージ

機械設計仕様モデル

FBS050020

ステージプレートの素材

FBS050050
アルミニウム-黒色アルマイト

モータ

HR4 ピエゾ超音波定在波モータ

ベアリング形式

精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付

エンコーダ

ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ

ケーブル長 (m)3m

MTBF (hours)

30,000

ステージ質量 (g)

405g

550g

可動質量 (g)

158g

230g
適合

RoHS

高真空 (10-7 Torr) / 超高真空：UHV (10-10 Torr) 対応

真空対応オプション

性能仕様
モデル
移動距離 (mm)エンコーダ分解能
双方向繰り返し精度絶対精度（誤差マップ提供可）
各モードの最小送り量

最大速度

FBS050020
20mm

FBS050050
50mm

標準100nm

オプション

10nm

標準1µm

オプション

100nm

標準5µm

10µm

オプション

2.5µm7µm

AC モード

100nm

UHRモード5nm

DC モード<1nm
200mm/sec

200mm/sec

真直度と平坦度

±4µm

±4µm

ピッチとヨー
許容荷重―水平±40µrad±40µrad

1.8kg

1.8kg

許容荷重―垂直
動的失速力
剛性
静的保持力

0.4kg

0.3kg

16N

16N

1.7N/µ1.7N/µ14N
•1•

機械図面

FBS0500020
第一角法

寸法はミリメートル単位

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/• 2•

FBS0500050

ENCODER CABLE

第一角法

寸法はミリメートル単位

5xM4x0.7840TO CENTER
OF MASS

機械図面

10720408050

MOTOR CABLE

2029.540

B

12TO CENTER
OF MASS

5.4
GROUNDB

52.7
TO CENTER
OF MASS80 ±25 mm
TRAVEL
82.50

CABLE HOLDER

404x 4.4130

20

SECTION B-B
MOUNTING HOLES
4046.1

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/

• 3•

4x4.5

4x8

FBS075/040/060/100

リニアステージ

機械設計仕様モデル

FBS075040

FBS075060

ステージプレートの素材

FBS075100

アルミニウム-黒色アルマイト

モータ

HR8 ピエゾ超音波定在波モータ

ベアリング形式

精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付

エンコーダ

ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ

ケーブル長 (m)3m

MTBF (hours)

30,000

ステージ質量 (g)

727g

918g

1062g

可動質量 (g)

284g

447g

445g

適合

RoHS

高真空 (10-7 Torr) / 超高真空：UHV (to 10-10 Torr)対応

真空対応オプション

性能仕様
モデル
移動距離(mm)
エンコーダ分解能

双方向繰り返し精度

FBS075040
40mm

FBS075060
60mm

標準

100nm

オプション

10nm

標準

1µm

オプション

FBS075100
100mm

100nm

絶対精度

標準

6µm

8µm

10µm

（誤差マップ提供可）

オプション

3µm

4µm

5µm

各モードの最小送り量

AC モード

最大速度

100nm

UHR モード

5nm

DC モード<1nm
200mm/sec

250mm/sec

250mm/sec

真直度と平坦度

±4µm

±5µm

±5µm

ピッチとヨー±40µrad±60µrad±60µrad

許容荷重― 水平3.0kg

3.0kg

3.0kg

許容荷重― 垂直0.8kg

0.65kg0.65kg

動的失速力
モータ剛性

32N
3N/µm

静的保持力

28N
•4•FBS075040

機械図面

第一角法 寸法はミリメートル単位

5xM5x0.864xM4x0.764055
4080

39.9

20

MOTOR CABLE
CABLE HOLDERENCODER CABLE
62.8
TO CENTER
OF MASS

0.01

A

0.01

A
80 ±20 mm TRAVEL
82.50

CABLE HOLDER

5155

55

1051204x 5.816.6
TO CENTER
OF MASS

32

GROUND

12.5

4x5.6120

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/• 5•

SECTION A-A
MOUNTING HOLRSFBS075060

機械図面

10555

第一角法 寸法はミリメートル単位550.015A3249.5
TO CENTER
OF MASS

14.8
TO CENTER
OF MASS

120A0.01

120

4 x M4x0.7554064x 5.8

680 ±20 mm TRAVEL
82.5052.4

5 x M5x0.87555404x4x5.610

SECTION A-A
MOUNTING HOLRS

37.5

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/•6•

FBS075100

機械図面

第一角法 寸法はミリメートル単位

7555404x M4x0.76554064.9
TO CENTER
OF MASS

6110

5x M5x0.8

MOTOR CABLE

60.01532

TO CENTER
OF MASSGROUND37.515.3
TO CENTER
OF MASS

4x M5x0.8

CABLE HOLDER

0.01

B

10CABLE HOLDER
B132.555110

130

130 ±50 mm TRAVEL

108x 5.8230551208x8x5.6
10SECTION B-B
MOUNTING HOLES

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/•7•

FBS100100

リニアステージ

機械設計仕様モデル

FBS100100

ステージプレートの素材

アルミニウム-黒色アルマイト

モータ

HR8 ピエゾ超音波定在波モータ

ベアリング形式

精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付

エンコーダ

ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ

ケーブル長 (m)3m

MTBF (hours)

30,000

ステージ質量 (g)1811g

可動質量 (g)

710g
適合

RoHS

高真空 (10-7 Torr) / 超高真空：UHV (10-10 Torr) 対応

真空対応オプション

性能仕様
モデル

FBS100100

移動距離(mm)

100mm

エンコーダ分解能

標準

100nm
10nm

双方向繰り返し精度

オプション
ptional
標準1µm

オプション

100nm

絶対精度

標準10µm（誤差マップ提供可）

オプションl7µm

各モードの最小送り量

AC モード100nm

最大速度
真直度と平坦度

UHR モード

5nm

DC モード<1nm
250mm/sec±4µmm

ピッチとヨー
itch& Yaw
許容荷重―水平±50µrad
2.7kg

許容荷重―垂直0.4kg

動的失速力

32N

モータ剛性

3N/µ

静的保持力

28N

•8•

FBS100100

機械図面

第一角法

27.5

17x M5x0.8 - 6H

682.2
TO CENTER
OF MASS

27.55522.580120

寸法はミリメートル単位

MOTOR CABLEGROUND
0.01
518.1
CENTER

60.5
TO CENTER
OF MASSCABLE HOLDER

5580100MASSTO

A

OF
A

0.01

165 ±50 mm TRAVEL
167.58x 5.8

26580

164.520

CABLE HOLDER

22.5 208x8x5.5
10
SECTION A-A
MOUNTING HOLES

1080145

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/• 9•

FBS150/150/200

リニアステージ

機械設計仕様モデル

FBS150150

ステージプレートの素材

FBS150200
アルミニウム-黒色アルマイト

モータ

HR8 ピエゾ超音波定在波モータ

ベアリング形式

精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付

エンコーダ

ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ

ケーブル長 (m)3m

MTBF (hours)

30,000

ステージ質量 (g)

4399g

5435g

可動質量 (g)

1677g

2054g
適合RoHS

高真空 (10-7 Torr) / 超高真空：UHV (10-10 Torr) 対応

真空対応オプション

性能仕様
モデル
移動距離(mm)
エンコーダ分解能

FBS150150
150mm

FBS150200
200mm

標準

100nm

オプション

10nm

双方向繰り返し精度
絶対精度

標準1µm

オプション

100nm

（誤差マップ提供可）

標準

12µm

15µm

オプション

7µm

8µm

各モードの最小送り量

最大速度
真直度と平坦度
ピッチとヨー
許容荷重―水平許容荷重―垂直
動的失速力
モータ剛性

ACモード

100nm

UHRモード5nm

DC モード<1nm
200mm/sec

200mm/sec

±5µm

±5µm

±50µrad±50µrad

1.8kg

1.47kg

NANA

30N

30N

3N/µm

3N/µm
28N

静的保持力
• 10 •

FBS150150

機械図面

第一角法

寸法はミリメートル単位

CABLE HOLDERS
2 x 2512.50.01

22.5 TOCENTER OF
MASS

12550

102.3 TO CENTER
OF MASSGROUND

0.01

175125805550.5

CABLE HOLDERS

MOTOR HOLDER

15012527.5

12.59x8x4.20

7102.3 TO CENTER
OF MASS

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/• 11 •

FBS150200

機械図面

第一角法

MOTOR CABLE
9x M5x0.86

CABLE HOLDER

12.55580125225127.7
TO CENTER
OF MASS

0.01

A

5027.3
TO CENTER
OF MASS

1500.50

1255127.7
TO CENTER
OF MASS

27.55x

寸法はミリメートル単位

A

GROUND

257.5255 ±100 mm TRAVEL

0.01

1258x 5.3

CABLE HOLDER

45550125508x8x6.6
11

SECTION A-A
MOUNTING HOLES

15

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/• 12 •

FRS060-360

回転ステージ

機械設計仕様モデル

FRS060-360

ステージプレートの素材

アルミニウム-黒色アルマイト

モータ

HR2 ピエゾ超音波定在波モータ

ベアリング形式

精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付

エンコーダ

ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ

ケーブル長 (m)3m

MTBF (hours)

30,000

ステージ質量(g)581g

可動質量(g)268g

可動慣性質量0.102gr-m2
適合RoHS
真空対応オプション

高真空 (10-7 Torr) / 超高真空：UHV ( 10-10 Torr)対応

性能仕様
モデル

FRS060360

移動距離 (mm)エンコーダ分解能
双方向繰り返し精度
精度n x 360
標準5 arc sec.

オプション

0.5 arc sec.

標準50 arc sec.

オプション

5 arc sec.

標準 (arc sec.)

10 arc sec.

オプション (arc sec.)

5 arc sec.

最大速度

8.3 rad/sec

平坦度

±5µm

許容慣性負荷許容荷重 -モーメント0.0035kg.m22kg

動的失速力

0.96Nm

ステージ剛性0.0032 Nm/µrad

静的保持力0.86Nm• 13 •

FRS060-360

機械図面

第一角法 寸法はミリメートル単位

9555

MOUNTING HOLES
4x 10
MOUNTING HOLES
4x 5.5MOUNTING HOLES
4x 3.5A

27.5

3.9 TO CENTER
OF MASS

146.4

6 x M3 - 6H
6
MOUNTING SURFACE
12 THRU ALL
4854.50
0.3 TO CENTER
OF MASSSECTION A-A

A
27.5

14.7 TO CENTEROF MASS55

MOTOR CABLE
MOTOR CABLE
ENCODER CABLE

34.6

0.01

0.01

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/• 14 •

FZS0850100

Z ウエッジステージ

械設計仕様
モデル

FZS085010

ステージプレートの素材

アルミニウム-黒色アルマイト

モータ

HR8 ピエゾ超音波定在波モータ

ベアリング形式

精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付エンコーダ

ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ

ケーブル長 (m)3m

MTBF (hours)

30,000

ステージ質量 (g)1300g

可動質量 (g)

310g
適合

RoHS

高真空 (10-7 Torr) / 超高真空：UHV (10-10 Torr) 対応

真空対応オプション

性能仕様
モデル

FZS085010

移動距離 (mm)

10mm
標準

10nm

Bi-directional Repeatability 標準

0.1µm

Accuracy標準3µm

最小送り量

AC モード100nm(エンコーダ & 制御に依存)

UHR モード

5nm

DC モード<1nm

Encoder Resolution

最大速度 (垂直方向)
真直度と平坦度

50mm/sec

ピッチとヨー±30µrad

許容荷重5kg±2µm

動的失速力 (N)160N

モータ剛性 (N/µ)

57N/µm

静的保持力

150N

• 15 •

FZS0850100

機械図面

第一角法

寸法はミリメートル単位

83.9
ENCODER CABLE

88553.7
1.3

4 X M5x0.8 - 6H

101.358

128.8
122110795540

LOWER POSITION

163.584 x M4x0.7 - 6H

0.01

63.7

MOTOR CABLE

1152.524.6

856.3 ±5GROUND

128.80
UPPER POSITION

M4x0.7 - 6H

5 XCABLE MOUNTING

4055

80.01
4x5.50 THRU
105.40MOUNTING HOLES

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/• 16 •

FGS100/125/160

ゴニオステージ

機械設計仕様モデル

FGS100125

ステージプレートの素材

FGS100160
アルミニウム-黒色アルマイト

モータ

HR4 ピエゾ超音波定在波モータ

ベアリング形式

精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付

エンコーダ

ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ

ケーブル長 (m)3m

MTBF (hours)

30,000

ステージ質量 (g)

773g

842g

可動質量 (g)

461g

423g
適合

RoHS

高真空 (10-7 Torr) / 超高真空：UHV (to 10-10)対応

真空対応オプション

性能仕様
モデル
移動距離 (deg)
エンコーダ分解能
双方向繰り返し精度
各モードの最小送り量

最大速度 (deg/sec)
許容荷重 (kg)
許容慣性負荷 (kg.m2)

標準オプションlFGS100125±10˚

FGS100160±10˚

0.171 arc sec.

0.134 arc sec.

0.0171 arc sec

標準オプション

0.0134 arc sec
2 arc sec.
0.2 arc sec.

AC モード0.165 arc sec.

0.128 arc sec.

UHR モード

0.0082 arc sec.

0.0064 arc sec.

DC モード0.000165 arc sec.

0.000129 arc sec.

100 deg/sec

85 deg/sec

3kg

3kg

0.0512kg.m2

0.083kg.m2

動的失速力

2040Nm

2600Nm

モータ剛性0.045N* m/µrad0.074N* m/µrad

静的保持力

1836Nm

2340Nm• 17 •FGS100125

機械図面

第一角法

寸法はミリメートル単位83.4

4X 4.4(MOUNTING HOLES)

A

18.3
TO CENTER
OF MASS

55

4X 4.5(MOUNTING HOLES)

4X 8(MOUNTING HOLES)55

22.555ASECTION A-A

7.953.1
TO CENTER
OF MASS

0.01

R125

136.8035

GROUND

1250.01
ENCODER CABLE

4x44.9

10.10

TRAVEL 10 DEG

44.9

22.5

MOTOR CABLE

55
80

6.550.1
TO CENTER
OF MASS

55

100

3.30

10°

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/• 18 •10°

FGS100160

機械図面

第一角法

83.4

4X 8(MOUNTING HOLES)

5555
22.5A554X 4.5(MOUNTING HOLES)

4X 4.4(MOUNTING HOLES)

A

18.3
TO CENTER
OF MASS

寸法はミリメートル単位

SECTION A-A

7.953.1
TO CENTER
OF MASS

0.01

35

GROUND125

44.90.01
ENCODER CABLE

4xR16010.10

171.5022.5

MOTOR CABLE

55
80

6.5

50.1
TO CENTER
OF MASS

55

100

3.30

TRAVEL10°

下記URLからステージ製品のSTEPファイルがダウンロード可能:
https://www.nanomotion.com/support-downloads/downloads1/• 19 •

10 DEG10°FB シリーズの配線構成
モータ配線：9ピンD型メスコネクタ
ピン機能

1

GND

システムグランド説明2N.C.

AB1A ドライバに接続 — 相

3Motor - Up

白線 — 高電圧入力

4Motor - Common

黒線 — AB1Aの高電圧入力

5Motor-Down

6Motor Connected

AB5, AB2, AB4, XCD Controller/DriverのGND

Safety Input
7GND

赤線 — 高電圧入力
Pin 6 と Pin 1短絡 — ドライバ有効Pin 6を開放 — ドライバ無効
システムグランド — コネクタフードに接続

8N.C.

非接続

9N.C.

非接続

エンコーダ配線：15ピンD型オスコネクタ
ピン

機能

説明

7,95v

電源

2,90v

電源

14A+

インクリメンタル信号

6A-

インクリメンタル信号

13B+インクリメンタル信号

5B-

インクリメンタル信号

12Z+/Q-

リファレンス Mark/Index

4Z-/Q+

リファレンス Mark/Index

15Shield

内部シールドCaseShield

外部シールド

1,3N.C.

非接続

10,11N.C.

非接続• 20 •FB Series

技術セクション

製品の特徴• 移動距離20mmから200mmのリニアステージ。

• 連続回転可能なロータリーステージ• 移動距離10mmのZ-ウェッジステージ• バックラッシュがなく、ヒステリシスがないNanomotionのダイレクトドライブピエゾモータ。

• 100nm（0.1μm）の一体型光学式エンコーダ。

製品説明
FBシリーズのアライメントステージは、Nanomotion社の超音波定在波ピエゾモータによって駆動され、リニア、回転、および垂直方向の動きを提供します。
FBシリーズのステージは、光学アライメント、半導体、生物医学、および分析機器市場の幅広いアプリケーションに単軸および多軸のモーションパフォーマンスを提供します。 これらのコンパクトなステー
ジは、大気中と真空用の両方の構成で提供され、クラス10までのクリーンルーム内での動作をサポートできます。
FBシリーズは、多軸アプリケーションにも簡単に対応できるモジュラ設計です。 すべてのFBシリーズステージは、精密光学エンコーダと精密クロスローラベアリングで設計されており、直線軸には移動防止装置が付いています。

• 21 •FB Series

運動精度STRAIGHTNESS

この図は、運動誤差の原因となるさまざまな要素を示しています。 軸には、移動、真直度と平坦度の形で直線誤差があり、ピッチ、ヨーとロールの角度誤差があります。

直線軸には6つの自由度があり、動作中に潜在的に誤差が発生する可能性があります。直線運動の場合を考慮すると、変位（移動）誤差、真直度、平坦度の3自由度の線形誤差。および、 ピッチ、ヨー、ロールで構成される3自由度の角度誤差があります。

3. ピッチとヨーは、移動方向を中心に移動面の傾斜（ピッチ）またはねじれ（ヨー）を引き起こす角度誤差です。

1. 実際のモーション変位である平行移動方向の動きの精度は、フィードバックデバイスの精度と、運動の変位を制御するモータ/サーボシステムの能力によって決まります。

Nanomotion社のFBリニアシリーズは、精密なクロスローラベアリングを使用しており、高剛性、低摩擦を実現し、線形および角度誤差を最小限に抑えます。ベアリングの取り付け面は、ベアリングの精度を反映するように設計された精密機械加工されたアルミニウム製です。

2. 真直度と平坦度は、垂直面または左右の面に対する動きの偏差に関する線形誤差です。

4. 移動面が移動方向に対し横に傾いた結果、ロール角度誤差が生じます。

• 22 •FB Series

真空と超高真空環境の互換性と清浄度
Nanomotion社の基盤設備には次のものが含まれます:• 洗浄およびベーキング装置• 残留ガス分析装置• 組み立てとテストのためのクリーンルーム• テスト用の真空チャンバ• パーティクルカウンタ

Nanomotion社は、真空中でのRGA分析とパフォーマンステストのための十分に確立された基盤設備を備え、すべての真空/ UHVアプリケーションをサポートします。 当社のクリーンルームは、超クリーンステージの組み立てとテストをサポートします。

Nanomotion社のモータ＆ステージは下記オプションが指定できます：

単軸および多軸アセンブリは、最も厳しいモーション要件を満たすために利用できます。

-高真空用のVバージョン（10-7 Torr）-超高真空（10-10 Torr）用のUバージョン
リニア、回転、チルト、および、Zウェッジステージは、真空/ UHV環境用に特別に構成され、クリーンルームで組み立ておよびテストされた後、乾燥空気または窒素でパッケージされます。
Nanomotion社のモータとステージは、真空およびUHVに適合する構成で利用でき、材料、接着剤、および潤滑剤に関する広範な研究を活用して、高性能のモーション制御を提供します。

モーションシステムは、真空への互換性と清浄度に加えて、最も厳しい性能要件を満たすように特別に設計および製造されています 。

• 23 •FB Series

動作と整定、動作プロファイルとブレーキ
目標位置への安定したステップ動作と整定能力は、多くのモーションアプリケーションに不可欠です。 Nanomotionのピエゾステー
ジには次の特徴があります:••••

ゼロバックラッシュ
ゼロヒステリシス
モータ内部に慣性なし
伝統的なモータ技術よりも高速な応答性

ピエゾモータテクノロジーによる軸の加速機能は、慣性が移動する負荷からのみ発生するため、大幅に強化されています。超音波定在波振動を除き、モータ内部に可動部品はありません。セラミック駆動面に作用するセラミックチップの固有の摩擦によって、停止（ブレーキ）および安定した位置の保持機能が強化されます。これらの特性により、最適な移動と整定が可能になり、究極の位置安定性が得られます。

位置と速度のプロファイルを反映したモーションプロファイルは、移動コマンドの終了時に安定的に目標位置に到達し、+ /-1エンコーダカウント以内に落ち着きます。ドリフト（位置安定性）は、毎分5nm未満と測定されました。

1秒間に平均50ミリ秒で20回以上の移動と整定を行う能力は、2500万サイクル以上と実証されています。

ドリフト（位置安定性）は、毎分5nm未満と測定されました。

位置と速度のプロファイルを反映したモーションプロ
ファイルは、移動コマンドの終了時目標位置に整定し、+ / -1エンコーダカウント以内に落ち着きます。

• 24 •FB Series

運動方向による位置再現性と精度上のグラフは、90°、180°、270°、360°移動してホーム位置に戻る、5年間の運用サービスをシミュレートしたテスト結果を表しています。
通常のサーボモード（ACモード）での精度は1μRad
高分解能モード（DCモード）での精度は0.1μRad
位置の再現性は+/-1μRadです• 25 •

FB Series

運動方向による位置再現性と精度コンポーネントの設計には、 位置の再現性と精度悪化に影響する多くの要因があります。

すべてのNanomotion社のモーションシステムは、位置センサを備えた閉ループシステムです。 位置セン
サで利用可能な分解能と絶対精度は異なります。
位置センサに加えて、システムの剛性、材料（熱膨張）、およびベアリングの選択等、設計上の考慮事
項はすべて、運動精度を決定する際の重要な要素です。

Nanomotion社は、0.5nmの分解能から1μmの分解能までのシステム構成で豊富な経験を持っています。ほとんどのシステム
では5エンコーダカウント未満まで位置再現が可能であるため、最終的にはセンサの分解能が位置の再現性を決定する重要な要素になります。位置センサの実際の誤差は、レーザ干渉計またはオートコリメータでの測定に基づいて除外することができ、サブミクロンレベルの標準精度とナノメートルレベルの達成可能な精度が得られます。

Nanomotion社では、レーザ干渉法やオートコリメータなどの計測ツールを利用して、モーションパフォーマンスをすべて検証しています。

長距離の軸移動に対するステージの測定結果のグラフを参照すると、合計306mmの移動距離で12ミクロン以下の絶対位置精度であることがわかります。
位置の再現性は、0.1μmの分解能のエンコーダで2ミクロンです。

エンコーダの分解能を上げると、位置の再現性を向上させることができます。
レーザ干渉計により求めたエラーマッピングを利用し、補正ポイントを追加することで位置精度を向上させることができます。

• 26 •

システムのデータシート
モータ、ドライバ選択プロセスのガイドラインとして使用します
Name: 氏名Company: 社名
Phone:

Email:

Application Description アプリケーションの説明（テキストで簡潔に記述してください）

Operating Environment: 動作環境
Min/Max Operating Temperature：動作温度
Min/Max Storage Temperature:ステージ温度
Pressure/Vacuum：圧力/真空度
Magnetic: 磁界

Yes

–[℃]
–[℃]
[Torr]

No

Cleanliness Class: 清浄度クラスOther Environmental Considerations: その他動作環境上の配慮

軸構成を選定し、どの軸が互いに重なり合うかを定義します。
.X
RXR
XYXZ
Example: 例 Z軸をX軸上にマウント
ZR
XYZ
XYR
XYZ
XYZR
R1R2
Other
Number of Interpolated axes 補間軸数
• 27 •

Sketch If Required To Explain：説明スケッチ

システムのデータシート
ステージ選択プロセスのガイドラインとして使用します
Positioning Requirements：位置決め要件
Repeatable ：繰り返し精度[nm/µ]

Absolute Accuracy :絶対精度.

[µm]

Typical Step Size：通常ステップ[nm/µm/mm]

Smallest Incremental Step：最小ステップ[nm/µm]Encoder Resolution ：エンコーダ分解能.

[nm/µm]Motion Requirements–各軸の最大移動量：
X

Y

R1R2Z

[mm]

[Degrees または 連続]

Define:例、定速度（どの速度で、どの程度の距離で速度の均一性が必要か？）

Move and Settle ：移動と整定時間（移動距離と移動時間）

Load Requirements：負荷要件
Payload Mass：ペイロード質量[Kg]

Thrust Force：推力[N]

Payload directly mounted to the stage surface：ステージ表面に直接取り付ける負荷

Yes

No

Distance from the stage surface to the CoG of the payload ：ステージ面からペイロード重心までの距離
多軸構成の場合は、軸構成チャートにスケッチしてください[mm][ kg.m2 ]Rotary Application, define moment of inertia：回転・慣性モーメントの定義
Electrical：電気的特性
Main Power:主電源: 12V

24V

48V Battery

OtherController：コントローラ
Nanomotion：NM社製品
Other Brand: 他社製品

Controller Interface– コントローラインタフェース: 通信プロトコル、パッケージング、他のデバイスとのインターフェース要件

Motor Amplifier– モータアンプ NM社純正品より選定:• 28 •発注時の型番指定法

FB = Linear
FG = Goniometer
FZ = Z Wedge

FBS050020-10004
FB S 050 020 -100 04
04 = HR4 Motor
08 = HR8 Motor

S = Standard
V = Vacuum
050 = 50mm Wide075 = 75mm Wide
100 = 100mm Wide
150 = 150mm Wide020 = 20mm Travel
040 = 40mm Travel
050 = 50mm Travel
060 = 60mm Travel
100 = 100mm Travel
150 = 150mm Travel
200 = 200mm Travel

100 = 100nm Encoder
010 = 10nm Encoder

FRS060360-50004
FR S 060 360 -500 04
FR = Rotary

04 = (2) HR2 Motors

S = StandardV = Vacuum

500 = 5.0 arc sec Encoder
050 = 0.5 arc sec Encoder
060 = 60mm Dia Mounting

360 = 360˚ Travel

FGS100125-10004
FG S 100 125 100 04
04 = HR4 Motor

FG = Goniometer

100 = 100nm Encoder

S = Standard
V = Vacuum

125 = Pivot Radius
100 = 100mm Long Top

160 = Pivot Radius

FZS085010-01008
FZ S 085 010 -010 08
FZ = Z Wedge

08 = HR8 Motor

S = Standard
V = Vacuum

010 = 10nm Encoder
085 = 85mm Wide• 29 •010 = 10mm Travel

Nanomotion Ltd.
Worldwide Headquarters
Mordot HaCarmel Industrial Park
Yokneam 20692 Israel
t: +972 73 2498000
f: +972 73 2498099
e: nano@nanomotion.com

Nanomotion Inc.
U.S. Headquarters
1 Comac Loop, Suite 14B2
Ronkonkoma, New York 11779
t: (800) 821-6266
t: (631) 585-3000
f: (631) 585-1947
e: nanoUS@nanomotion.com

株式会社工苑〒213-0032
神奈川県川崎市高津区
久地4-26-41
Tel:044-811-3421
Fax:044-811-2238
Email:info@koenn.co.jp

www.nanomotion.com©Copyright 2020 Nanomotion Inc. All rights reserved. Specifications are subject to change without notice.
All trademarked names are the property of their respective owners.

www .nanomotion.com