第 10 回集積化 MEMS シンポジウム（10 月 30 日～11 月 1 日札幌市民交流プラザ）

第 10 回集積化 MEMS シンポジウムプログラム（*基調講演はセンサシンポジウムの Website をご参照ください）10 月 30 日（火）14:20-15:20（A 会場，クリエイティブスタジオ，3F）

集積化 MEMS シンポジウム：RF／FET デバイスセッション
座長：高尾 英邦（香川大学）

14:20-14:35

30pm2-A-1

Tuning Fork 型 MEMS 共振器の共振周波数制御
川上 航輝*, 金内 俊也, 谷川 紘, 古塚 岐, 鈴木 健一郎
立命館大学
14:35-14:50

30pm2-A-2

MEMS 発振器の発振条件の改善
石橋 興*, 山木 勇作, 古塚 岐, 鈴木 健一郎
立命館大学
14:50-15:05

30pm2-A-3

グラフェン FET 特性の緩衝液濃度依存性
川越 悠斗*, 谷口 嘉昭, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
徳島大学
15:05-15:2030pm2-A-4

Tuning Fork 型 MEMS 共振器を利用した pn ダイオードセンサの特性評価
永井 大智*, 宮﨑 史登, 谷川 紘, 古塚 岐, 鈴木 健一郎
立命館大学

10 月 30 日（火）15:30-16:45（A 会場，クリエイティブスタジオ，3F）

集積化 MEMS シンポジウム：ロボット制御／エネルギーハーベストセッション
座長：山根大輔（東京工業大学）、永瀬 雅夫（徳島大学）

15:30-15:45

30pm3-A-1

ニューラルネットワーク IC による歩行パターン制御を実現した MEMS マイクロロボット
早川 雄一朗*, 小原 正也, 野口 大輔, 河村 彗史, 田中 泰介, 齊藤 健, 金子 美泉, 内木場 文男
日本大学
15:45-16:00

30pm3-A-2

Autocorrelation-Based Randomness Test of Sequence of Data Packets Sent by 16 Interface LSIs with AutonomousOperation邵 晨鍾*{1}, 宮口 裕{1}, 中山 貴裕{2}, 室山 真徳{1}, 田中 秀治{1}{1}東北大学, {2}トヨタ自動車

第 10 回集積化 MEMS シンポジウム（10 月 30 日～11 月 1 日
16:00-16:15札幌市民交流プラザ）

30pm3-A-3

面内振動シリコン MEMS 共振器の pn ダイオードアクチュエータの効率向上
梅田 賢生*, 宮﨑 史登, 谷川 紘, 古塚 岐, 鈴木 健一郎
立命館大学
16:15-16:30

30pm3-A-4

小型ランキンサイクルのための MEMS タービン発電機の開発
金子 美泉*, 工藤 和也, 海老澤 和紀, 田中 勝之, 内木場 文男
日本大学
16:30-16:45

30pm3-A-5

BiFeO3 スパッタ膜を用いた圧電 MEMS 振動発電
吉村 武*{1}, 荒牧 正明{1}, 村上 修一{2}, 佐藤 和郎{2}, 藤村 紀文{1}{1}大阪府立大学, {2}大阪産業技術研究所10 月 31 日（水）13:50-14:50（C 会場，SCARTS コート，1F）

集積化 MEMS シンポジウム：MEMS センサセッション
座長：高橋一浩（豊橋技術科学大学）

13:50-14:05

31pm1-C-1

SOI ウェハの直接接合を用いた 2 層積層 320x240 画素並列 CMOS イメージセンサ
本田 悠葵*{1}, 後藤 正英{1}, 渡部 俊久{1}, 萩原 啓{1}, 難波 正和{1}, 井口 義則{1}, 更屋 拓哉{2}, 小林 正治{2},
日暮 栄治{2}, 年吉 洋{2}, 平本 俊郎{2}{1}NHK 放送技術研究所, {2}東京大学
14:05-14:20

31pm1-C-2

SiC 上グラフェンの高感度ガス応答
越智 柊太*, 寺谷 仁志, 北岡 誠, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
徳島大学
14:20-14:35

31pm1-C-3

USB 型環境センサの開発
元木 悠平*, 上田 直亜, 三笘 佳代, 酒井 隆介
オムロン
14:35-14:50

31pm1-C-4

シングル Au 錘と SCD 方式を用いた 3 軸全差動 MEMS 加速度センサ
乙部 翔太*{1}, 山根 大輔{1}, 小西 敏文{2}, 佐布 晃昭{2}, 飯田 慎一{1}, 伊藤 浩之{1}, 石原 昇{1}, 町田 克之{1},益 一哉{1}{1}東京工業大学, {2}NTT アドバンストテクノロジ

第 10 回集積化 MEMS シンポジウム（10 月 30 日～11 月 1 日
11 月 1 日（木）10:10-11:40

札幌市民交流プラザ）（C 会場，SCARTS コート，1F）

集積化 MEMS シンポジウム：バイオ／流体セッション
座長：林 育菁（Goertek Japan），猪股直生（東北大学）

10:10-10:25

01am2-C-1

SiC 上グラフェン FET を用いたアビジン-イミノビオチン相互作用の観測
谷口 嘉昭*, 三木 翼, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫, 荒川 幸弘, 安澤 幹人
徳島大学
10:25-10:40

01am2-C-2

高分解能 MEMS 触覚センサによる毛髪表面の手触り感計測と評価
中光 孝太*{1}{2}, 綿谷 一輝{1}{2}, 寺尾 京平{1}{2}, 下川 房男{1}{2}, 高尾 英邦{1}{2}{1}香川大学, {2}JST-CREST
10:40-10:55

01am2-C-3

フォトゲート型蛍光センサによるレジオネラ属菌の識別可能性の検討
田中 佐和子*{1}, 大西 脩平{1}, 石田 誠{1}, 澤田 和明{1}, 石井 仁{1}, 町田 克之{2}, 二階堂 靖彦{3}, 齋藤 光
正{3},吉田 眞一{4}{1}豊橋技術科学大学, {2}東京工業大学, {3}産業医科大学, {4}福岡聖恵病院
10:55-11:1001am2-C-4

オイラー力を用いた遠心流体デバイスにおける液体の高効率ミキシングの検討
竹内 雅耶*, 山口 明啓, 内海 裕一
兵庫県立大学
11:10-11:25

01am2-C-5

溶液中における SiC 上グラフェン FET 特性のドリフト評価
割石 大道*, 葛尾 理樹, 谷口 嘉昭, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
徳島大学
11:25-11:40

01am2-C-6

大きな周波数可変率をもつシリコン流体 MEMS アンテナの開発
土谷 康輔*, 仕田中 悠吾, 古塚 岐, 鈴木 健一郎
立命館大学

第 10 回集積化 MEMS シンポジウム（10 月 30 日～11 月 1 日
10 月 31 日（水）15:00-16:30

札幌市民交流プラザ）（5F-P 会場，ホワイエ，5F）

センサシンポジウムポスターセッションIV

31pm2-PM-1
塗布型酸化物半導体共鳴トンネル素子のための In2O3/Ga2O3/In2O3 nin ダイオードの評価
遠矢 浩士*, 森 雅之, 前澤 宏一
富山大学
31pm2-PM-2
Solid Solution Strengthening of Gold Based Materials for MEMS Applications
Tang Haochun*{1}, Chen Chun-Yi{1}, Chang Tso-Fu Mark{1}, 山根 大輔{1}, 小西 敏文{2}, 町田 克之{1}, 益 一哉
{1},
曽根 正人{1}{1}東京工業大学, {2}NTT アドバンストテクノロジ
31pm2-PM-3
微小 Ga バンプを用いた Fluidic Self-Assembly における Ga バンプの活性化と消失の抑制
中野 友寛*, 水戸 俊宏, 森 雅之, 前澤 宏一
富山大学
31pm2-PM-4
光干渉型表面応力センサアレイのための抗体塗り分け手法の検討
丸山 智史*, 金森 亮人, 高橋 一浩, 澤田 和明
豊橋技術科学大学