MP Series

MP Series

加工精度
次世代駆動システムと最適な機械構造

サーボアンプオプトドライブシステム

ピッチプレート加工精度●高速光通信とシャフトリニアモータの相乗効果により、加工精度が大幅に向上●自社製サーボアンプ、制御装置を用いた最適システム●オプトドライブシステムにより高精度加工を実現●軸送り精度向上と加工液温度制御により安定した高精度加工を実現

X方向ピッチ誤差

シャフトリニアモータ●全磁束を推力に効率よく使用するため、電力消費量が削減可能●バックラッシュがなく高精度な軸移動が可能●動力伝達が非接触で長期間にわたり安定した軸移動が可能◀シャフトリニアモータの動画
全磁束を推力に効率活用

ADVANCE
制御装置

Y方向ピッチ誤差
機 種：MP2400
面 あらさ：Rz1.8μm/Ra0.22μm
電 極 材：φ0.2/BS
そ の 他：±0.5℃環境で加工
工 作 物：Steel（SKD11）板厚30mm
測 定 器：カールツアイス（UMM850）
焼入後、超サブゼロ処理、高温焼戻し、〈ピッチ誤差〉
安定化処理、脱磁処理を実施
X方向：±1μm
400mm
Y方向：±1μm

磁束NN S S NN

シャフトリニアモータ

シャフトシャフトリニアモータ

磁石

磁石

コイル

コイル

280mm

A6120mm

A5A4

加工液温度制御
高剛性構造体●機械構造体の温度を加工液温度と同調管理し構造体の温度変化を抑制（サーマルバスター）●加工液タンク内温度を機械本体ベッドに同調管理させることにより加工液温度変化を抑制●CAE解析により新規設計された低重心、高剛性機械構造体●テーブル移動/コラム移動を組み合わせたX/Y独立駆動方式を採用（MP1200）●テーブル固定/コラム移動を組み合わせた駆動方式を採用（MP2400）

ピッチ精度調整機能
A1

A2

測定器の精度データを反映した高精度ピッチ加工が可能

A3●XY方向ピッチ誤差±1.5μm (MP4800)（高精度な段取りを可能にする橋渡し治具オプション）①加工槽内および下部アーム温度管理（加工液温度と同調）②構造体（ Z 軸ベース）の構造体温度管理（加工液温度と同調）

260mm

ピッチ加工
（X740mm Y150mm）

加工液タンク

超高精度橋渡し治具（MMEG製、型番RFX-950AD）

真円加工精度●φ80mm加工で真円精度0.98μmを実現
により軌跡精度を向上●サーボ制御（AFCⅢ）③ X 軸シャフトモータおよび構造体（テーブル）
温度管理（加工液温度と同調）④Y軸シャフトモータおよび構造体
（コラム）
温度管理
（加工液温度と同調）

軸送り精度向上●高精度リニアガイドによりウエービングの低減●リニアガイド取付面の機械加工精度向上より真直精度1～2μm

機械の真円度測定

XYストローク全領域で高い真円精度を実現

ダイナミックサーマルプロテクション(DTPro)(加工液温度制御、熱変位補正機能)(MP4800)

真円加工の真円度測定

機械構造体の温度を加工液温度と同調管理、上下ガイドの相対変位を抑制し、長時間加工における精度を安定化

時間5200101℃

518-516-10141μm
外気温度
（機械上）
［℃］
上下相対変位［μｍ］
時間0180°0°180°0°変位量

14

外気温度
（機械上）
［℃］
上下相対変位［μｍ］

22

温度

2.4μm

10

変位量

温度

1℃

181690°熱変位補正あり

熱変位補正なし
222090°-5-10電極材：φ0.2/BS
工作物：Steel（SKD11）板厚20mm

真円度
PーP=0.98μm

1μm
270°

<φ80真円加工>（×10000）

真円度
PーP=0.76μm

1μm
270°

<φ20真円加工>（×10000）

MP Series

MP Series

加工精度

加工制御

テーパ加工精度

フルオート荒加工制御（PM制御：Power Master）
寸法誤差

0.020

テーパ10°
部

寸法誤差[mm]

ストレート部

0.015

0.015

0.010

0.010

0.005
0-0.005+Y－Ｙ+XーX

下開き

上開き上面寸法誤差
上開き下面寸法誤差-0.015

工作物：Steel､板厚20mm〈3D-PM〉●3次元データを解析して形状特徴を認識●段差加工部に出やすい筋を軽減●ノズル密着条件で加工速度がアップ

0.005
0+Y

-0.005－X－Ｙ+X

適応制御設定画面-0.020へそ（食い込み）低減制御

高精度接触位置決め●接触位置決めの誤差バラツキを低減●ワイヤ傾斜方向による角度のバラツキを低減

PM加工用途イメージ-0.015-0.020

アングルマスターADVANCE Ⅱ（オプション）

上開き角度誤差-0.010-0.010上開き

電極材：
φ0.2/BS●加工条件設定、加工ノウハウが不要●加工状態を自動認識し、最適加工状態に制御

角度誤差0.020

角度誤差[°]●テーパ角度精度±0.01度を実現
寸法精度±5μmを実現● UV 軸オプトドライブシステムにより上下任意形状の高精度化を実現●アングルマスター ADVANCEⅡでワイ
ヤ電極の傾斜方向によらずテーパ加工精度が向上

段差形状加工座ぐり・裏逃げ加工

中空形状加工加工面段差/タイコ低減制御（EM制御 :Entrance Master）（SL制御 :Stepless control）●厚板、ワーク中央部のヘソも大幅に低減●板厚変化ワークの段差・タイコを大幅低減●複雑形状部品などを高精度仕上●ノズル離れ加工条件を標準搭載し、様々な加工形態に対応+2.0μm3μm

7μm+0.0μm4μm−2.0μm
−4.0μm

測定用治具

へそ

アングルマスターADVANCEⅡ画面

ダイ加工例

高板厚加工精度

面あらさ : Rz0.8μm / Ra0.10μm〈加工条件〉

仕上げ加工精度
超仕上電源Super-DFS電源（Super Digital-FS電源）

制御なし

使用

仕上加工における真直精度比較
加工面あらさ［μmRz］

MV2

当社従来機

S–DFS領域2060

100
板厚［mm］

200mmt

150200

研磨後の加工面0※当社従来機（FAシリーズ）
比較

5

真直精度
（両側）μm

103μｍ

3μｍ

3μｍ

取り残し

改善前

精度向上

改善後加工条件5μｍ

従来テンション制御

10B部分

インコーナー部
エッジだれ（両側）A部分

アウトコーナー部

B：4mm

電極材

ø0.1/BS板

工作 物

超硬合金

面あらさ厚5mm
Rz2.0μm/Ra0.28μm●テンション変動を抑制し、安定した加工を実現●研磨後の加工面スジを抑制

Digital-AEⅡ

3A：5mm

ワイヤテンション制御（TSマスター :ＴＳ Master）

電極材：
φ0.25mm
工作物：Steel
加工回数：5回100mmt●ノズル離れ加工時のコーナーRやエッジ角精度を改善（適用範囲拡大）● 複 数 種 類 のコー ナー R 、エッジ 角 が 存 在する複 数 形 状においても高精度加工を容易に実現。
●ユーザーによる微調整も容易に実現。

〈加工形状〉

電極材 : φ0.20/BS
工作物 : Steel 板厚60mm
面あらさ : Rz2.0μm/Ra0.28μm

OM制御

5コーナ加工制御（CM3制御 :Corner Master3）●放電ギャップを均一に制御●“○”“□”などの寸法誤差を改善〈真直精度比較〉

SL制御：段差、タイコ +2μm以下-7.0μm（OM制御 :Orbit Master）

放電位置制御により板厚方向の加工量をコントロール●加工条件の最適化●加工回数を増やす●機械的（テーパ角度）に上下寸法差を補正する

1μm2μm1μm

形状誤差低減制御

Digital-AEⅡ

従来制御：段差、タイコ -3μm～+7μm

7.0μm−4.0μm形状制御電源従来技術

工作物 : Steel 板厚100mm

4+2.0μm●荒・中仕上加工において、高い真直精度を容易に実現

電極材 : φ0.2/MEGACut TypeA●面あらさ
Rz0.6μm/Ra0.08μm（Steel）を実現●定盤直置きで加工可能（専用治具不要）●加工範囲制限なし（XYストローク全領域）

ワーク中央部も大幅低減+4.0μm

電極材 : φ0.20/BS
工作物 : Steel 板厚60mm +0.0μm
面あらさ : Ra0.20μm−2.0μm形状制御電源（Digital-AEⅡ）●放電位置制御により3次元形状をデジタルコントロール●板厚100mmで形状精度±1.5μmの高精度加工が可能により高い真直精度を実現●形状制御電源（Digital-AEⅡ）（Super Digital-FS電源）
で●超仕上電源SDFS電源
面あらさRz0.8μm/Ra0.10μmを実現−6.0μm15

従来テンション制御

TSマスター

研磨前の加工面分析

TSマスター