VOL.61
2008.JAN.
Quar t e r l y

発行所 サムコ株式会社
わら や
京都市伏見区竹田藁屋町36(075)621-7841
発行者 辻 理編集者 子谷、竹谷、山口
編集・企画協力 アド・プロヴィジョン株式会社

む しゃ●表紙写真／武射神事［上賀茂神社］1月16日
御所の建礼門前で五穀豊穣や無病息災を祈願したことが始まりとされ、古式にのっとり狩衣に烏帽子姿の神職たちが、裏側に「鬼」と書かれた的に向かって矢を放ちます。 （写真提供：土村清治さん／日本写真家協会会員）

会
期 1月16日（水）〜18日（金）会場 東京ビッグサイト
ブースNo． 12-28

表面洗浄装置として国内最多の納入実績を持つ汎用バッチ式装置、量産対応のマガジンtoマガジン式装置などの紹介を行います。また、3次元LSI向け装置では、貫通ビア形成プロセスに最適なボッシュプロセス専用

インターネプコンワールド ジャパン2008が、1月16日から18日までの3日間、東京ビッグサイトで開催され高速シリコンディープエッチング装置とビアホール壁
面絶縁膜形成用プラズマCVD装置を紹介します。

ます。当社は、その中で半導体後工程に特化した専門

本展示会は、さまざまな技術セミナーや講演が併催

技術展である半導体パッケージング技術展に毎年出展され、最新の技術動向の情報収集に最適な機会です。

しています。各種基板のプラズマ処理およびプラズマ皆様のご来場を心よりお待ち申し上げております。

会期 1月30日（水）〜2月1日（金）会場 Convention & Exhibition Center（ソウル）ブースNo． 1847

韓国においても化合物半導体分野をはじめ幅広いソリューションの提供を本格的に行っていこうとしています。

SEMICON Korea2008が1月30日から2月1日までの3日

本展示会では、実験研究用から量産用までCVD装置間、ソウルのConvention & Exhibition Centerで開催さやドライエッチング装置、ドライ洗浄装置などのラインれます。当社は海外市場の開拓を積極的に進めており、ナップを最新の技術データとともに紹介する予定です。

会期 2月13日（水）〜15日（金）会場 東京ビッグサイト
ブースNo． E-06

ど多くの展示会との同時開催で大盛況となることが予想されます。

世界最大規模のナノテク展示会であるnano tech

当社は、半導体レーザーなど

2008 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議が2月13の光エレクトロニクスやMEMS、日から15日までの3日間、東京ビッグサイトで開催されバイオ関連のナノ加工用ICPエッチング装置やプラズます。例年通り、ナノバイオExpoや表面技術のマCVD装置の最新の技術データを準備し、皆様のご来ASTEC、表面処理材料のMETEC、新機能性材料展な場をお待ちしております。

世界最大規模のセミコンショーであるSEMICON Japan2007が12月5日から3日間幕張メッセで開催され、盛況裡に閉幕しました。
当社は、近年、半導体・電子部品分野の量産用途での生産機の販売実績を大きく伸ばしています。これらのエッチング装置やCVD装置『Cシリーズ』の製品ラインナップを紹介し、性能や信頼性に多くのお客様から高い評価を頂きました。また、新製品の半導体レーザー向けのICPエッチング装置
Information 2『RIE-140iP/iPC』の紹介も行いました。
3日間で約11万人もの来場者があり、当社ブースも連日多くのお客様をお迎えしました。ご来場頂きましたお客様には、厚くお礼申し上げます。
※新製品のICPエッチング装置『RIE-140iP/iPC』は、本サムコナウ6ページのテクニカルレポートで紹介しております。

今回の薄膜技術セミナーでは、まず清華大学電子工
当社は、国内外の有力大学と共同研究や技術交流を学系の学部長である王希勤教授からナノテクノロジー積極的に行っており、2006年9月には中国の清華大学との重要性にふれた挨拶が行われ、サムコとナノフォト次世代通信分野などに応用されるナノ加工技術の共同ニクスの共同研究を進めている清華大学の黄翊東教授、研究に調印しまし

前（社）ニューガラスフォーラムのナノガラス研究部のた。その共同研究1

部長研究員として我が国の光導波路研究を牽引されて周年を記念し、11月きた井本克之氏、シリコン微細加工分野の研究者であ2日、北京の清華大る名古屋大学大学院工学研究科の関根誠特任教授の講学において、『最新演が行われました。

清華大学電子工学系学部長
王希勤教授のナノテクノロジー

世界的なナノテクへの関心の高まりを背景に、清華とその応用』をテー

大学や北京大学、中国科学院の研究者や大学院生など、マに『サムコ・清華来場予定者数を大幅に上回る130名以上の方がご参加く

大学 薄膜技術セミださいました。密度の高い議論が行われ、日中間の技ナー』と技術交流会術者、研究者のナノテクノロジー分野の交流の場としを開催しました。て大盛況のうちに幕を閉じました。

講師を務めて頂いた清華大学の黄翊東教授のコメント
清華大学とサムコの共同研究1周年を記念して、サムそして低損失長距離表面プラ

コがすばらしいシンポジウムを清華大学で開催してくズモン光導波路も実現されまださったことをとても嬉しく思います。ナノテクノロ

した。次は、ナノフォトニク

ジーの共同研究を通じて、サムコは私たちの研究に大スのアプリケーションに焦点変貢献してくださいました。この共同研究のおかげで、を当て、新しい機能を持った

私たちはより高い成果を得られるものと信じています。

ナノ構造の光デバイスを実現

次世代光デバイスにとって、ナノテクノロジーは大させ、その実用化に向けて研変重要です。ここ数年、中国ではナノフォトニクスと究していきます。

清華大学電子工学系 黄翊東教授

Information 3

同様に、ナノサイエンスとナノテクノロジーが急成長

シンポジウムには多くの若い人々が出席していましを遂げています。フォトニック結晶や表面プラズモンた。講演してくださった井本博士と関根教授、サムコなどフォトニック関連の分野などで研究が続けられての孫博士に感謝します。すべての出席者が彼らのすばいます。現在、私たちはシリコンとⅢ-Ⅴ族半導体材料らしい講演に感銘を受けたものと思います。このようを使用し、線状欠陥光導波路や、微細空洞構造を2 次なシンポジウムは、中国と日本の研究者間の研究成果元スラブフォトニック結晶上に作ることができます。の交換と理解を深める場を提供してくれます。

当社は、本社社屋の近接地で昨年新設した製品サービスセンターの北隣（伏見区竹田藁屋町67番地）に、次世代半導体材料として期待される窒化物材料（例えば窒化ガリウム）や酸化物材料（例えば酸化亜鉛）、強誘電体材料（ビスマス・チタン系酸化物）などの材料および結晶成長の装置化研究を目的とする第2研究棟を建設することを決め、去る11月20日、地鎮祭を行いました。
当社は半導体製造装置メーカーとしてはいち早く、LEDや半導体レーザー用の化合物半導体市場の成長を見込み、同分野向けに実験研究用途から量産用途までのエッチング装置やパッシベーション膜形成用プラズマCVD装置を拡販し、売上を大きく伸ばしてきました。今後さらに期待される同分野向けの窒化物、酸化物材料の研究および装置化事業を加速させるため、新しく研究棟を建設します。従来からのエッチング技術やパッシベーション膜の研究のほか、結晶成長まで含めた研究拠点として活用していく予定です。
第2研究棟は、京都市の新規産業基盤の整備構想による「高度集積地区」の中心的な地域で、京都府見本市会館（パルスプラザ）の向かいに位置します。竣工は2008年3月末を予定しています。

地鎮祭の様子Information 413
京都の冬は厳しい底冷えの季節ですが、蕪や大根は寒さで甘さを増し、味わい深くなります。今回は、洛北紫野にある『大こう本店』さんを訪ね、旬の京漬物について伺いました。っても厳選された旬の最高素材にこだ
わり、健康に配慮して塩分は控えめで、防腐剤は使わずに多くの種類の京漬物をつくられています。お店では、お客さん一人ひとりにお茶と何種類もの旬のお漬物が試食に出され、店員さんとの会話を楽しみながらいただくことができ、喜ばれています。
多くの名僧を輩出し、茶の湯文化とも縁が深く、日本の文化に大きな影響
平安京の北に位置する紫野は、朝廷を与えてきた大徳寺。建造物や庭園、の禁野 として御猟または遊覧の野原で障壁画などは、国宝や重要文化財に多あったと伝えられています。京漬物のく指定されています。京都観光の際に名店『大こう本店』さんは、紫野の大は大徳寺を拝観し、『大こう本店』さん

徳寺の南門のすぐ西にあり、風情のあで『ほんまもん』の京漬物を楽しまれる京町家にてはいかがでしょうか。

しめ の京つけもの處と書かれた大きな提灯が目印です。
冬の京の味覚といえば、冬に甘さが増す聖護院かぶらの千枚漬です。大こうさんでは、丹波地方のきめ細かい引き締まった聖護院かぶらを、風味・旨みともに最高級の北海道利尻産の昆布で贅沢に漬け、11月から2月までの期間だけ販売しています。聖護院かぶらを薄く削るのではなく、少し厚めに削り、重石をきかせることで薄くしているため、蕪の甘みや旨みがぎっしりと詰まった歯ざわりのよい逸品に仕上がって■大こう本店

います。品質の高さは広く認められ、京都市北区紫野北大路通大徳寺南門西TEL 075（493）4649
FAX 075（493）7515
http://www.daikouhonten.com（社）京都府食品産業協会から『ほんまもん』の味として京都吟味百撰（京ブランド認定食品）に認定されています。

北山通

また、赤かぶも旬を迎えています。滋賀県の厳選された上質の赤かぶを薄塩

本
辻通

今宮神社

今宮通

であっさりと漬け、甘くほろ苦い独特
今宮門
前通の風味を活かした大こうさん自慢の味で、3月頃まで販売されています。人気A la carte 5・・

商品の大根を千枚漬風に漬けた割漬は、大こうさんでは、多少コストがかか

千本通

大徳寺

北大路通

N

年中販売されているそうですが、大根の甘みが増す冬が最もおいしいそうです。

大こう本店

船岡
山公園

船
岡
東通

建
勲神社
前

大徳寺
通

大徳寺
前大宮通

堀川通

※ 京の漬物シリーズは「京都銀行」のご協力でお店の紹介を行っております。

化合物半導体プロセス専用ICPエッチング装置
RIE-140iP/iPC
1．はじめに『RIE-140iP』が基本タイプであり、『RIE-140iPC』は25LEDや半導体レーザーに代表される化合物半導体は、携枚入りカセットに対応した真空カセット室採用の本格量産帯電話や車載レーダーなどのキーデバイスである高速デバ装置で、『Cシリーズ』の装置である。操作はグラフィッ

イスの需要増加もあり、市場を大きく拡大させている。当クタッチパネルによる全自動運転であり、データ管理用コ社は、化合物半導体市場の創成期よりその後の市場拡大をンピュータにより、同時にプロセス管理やデータのロギン予見し、同市場に当社独自のトルネード型コイル（特許第グが可能である。基本モジュールはコンパクトな設計で、3790291号）を採用したICPエッチング装置を投入してきた。

外形は920(W)×1729.5(D)×1736(H)mmと世界最小レベル当社のトルネードICPである。

は、竜巻状に構成された特殊コイルを3次元制御することにより、シート状プラズマの平面内の主な装置仕様は以下の通りである。

分布を制御し、できるだけ処理部を離さずに高密度領域で均一なエッチングを行うことをコンセプトとして設計され装置仕様ている。そのため高い選択比と高精度の異方性エッチング反が可能であり、実験研究機からカセット式量産機『Cシリー

基 板 ス テ ー ジ ：Al製、φ106mmズ』まで多くの納入実績を有している。

RF電源（ICP / バイアス）：13.56MHz、Max.500W /300W

ここでは、半導体レーザーやフォトニック結晶、量子ド

応

排室 ：Al製、内寸□320mm

気系 ：反応室…ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ

ットなどの製作に特化した化合物半導体のナノ加工専用ICP

自動圧力コントローラ

エッチング装置『RIE-140iP/iPC』を紹介する。

LL 室 …ターボ分子ポンプ（※）
外観

ガス

導入

寸

系 ：マスフローコントローラ
法：920(W)×1729.5(D)×1736(H)mm（※）RIE-140iPCにはさらにロータリーポンプも付きます。

3．特長
リッジ形成エッチングのキーポイントとして、以下の項目が挙げられる。
①側面平滑性②裾引き高さ5%以下③高異方性エッチング（垂直性）④エッチング深さの制御⑤ウエハー面内の高均一性⑥Run to Run連続安定性2．装置仕様

側面や底面の平滑性を維持するために、低ICPパワーエッ

Technical-Report 6

本装置は、GaN、InGaAs系および4元系化合物半導体などチングや非デポ性ガスプロセスを行うことで、過分解デポをエッチング対象としており、3インチウエハー（オプショ成分の発生を抑制している。また、裾引きの改善や垂直性ンで4インチウエハー）までを枚葉式で処理する。ICPプラの改善のために微小流量・低圧力（高真空）エッチングをズマ源は、従来のトルネード型コイルを処理対象に合わせ行うことで、イオンの高直進性を保持し、側面ラジカル反て最適化し、発展させた新型のプラズマ源である。0.1Pa以応を抑制している。

下の低圧力領域で安定した高密度プラズマを効率よく発生

また、干渉型エッチングモニターをオプションで搭載でさせ、ナノレベルの高精度の異方性エッチングを実現してき、高精度なエッチング終点検出を行うことで半導体レーいる。

ザー分野での生産効率を飛躍的に高めることが可能である。