VOL.48

発行所 （株）サムコインターナショナル研究所
わら や
京都市伏見区竹田藁屋町361(075)621-7841
発行者 辻 理編集者 古戸 真鍋 山口

2002.OCT.
Quarterly

編集・企画協力 アド・プロヴィジョン株式会社

ふどしょうえ●表紙写真／中国の盆行事にあたる、黄檗山萬福寺の普度勝会。ダイナミックな蛇踊りが奉納されます。
（写真提供：土村清治さん／日本写真家協会会員）

SEMICON Japan 2002 お知らせ
● 12 月 4 日（水）〜 6 日（金）● 幕張メッセにて
ブース 「2-A201」（前工程）「9-B503」（後工程）

技術紹介上映プログラム（予定）来る 12 月 4 日から 6 日までの 3 日間、恒例のセミコン・①トルネードICPのシステムや青色レーザーのGaNジャパンが幕張メッセ国際展示場で開催されます。サムコ

エッチングなどのアプリケーションについて詳細は、前工程のホール 2 には 8 小間を、後工程のホール 9 にを発表
② SiO2 厚膜形成用プラズマ CVD の光導波路などのは 2 小間を出展します。

光部品への応用

ホール 2 では、化合物半導体プロセスに広く応用されて③モノシランを使わない液体ソース CVD による SiN

いる量産用 ICP エッチング装置や量産用プラズマ CVD 装成膜技術

置、小型電子部品の量産に対応したエッチング装置などを④プラズマの基礎紹介します。また、技術紹介上映コーナーを設け、最新技など術を幅広くご紹介致します。上映のプログラムは右のものを予定しております。
後工程のホール 9 では、実装プロセスでの信頼性改善に最適なマガジン t o マガジン式プラズマ処理装置『P X A 100』を展示し、ロボットの搬送やプラズマ処理の様子を前回の様子ご覧頂きます。
皆様のご来場をスタッフ一同心よりお待ち申し上げます。

経済産業省村田事務次官、サムコを視察去る 10 月 9 日、経済産業省の村田成二事務次官が近畿ディスカッションを経済産業局の勝野龍平局長とともに視察のため来社され通じてサムコは独自ました。経済産業省では、地域経済を支え、世界に通用すの高い技術力を持つる新事業が次々と展開される産業クラスター（産業集積）企業としてご認識頂を形成することを目標とする『産業クラスター計画』を推きました。

進しておられるとのことですが、当日の工場見学および工場を見学する村田事務次官（右端）と勝野局長（左端）福岡出張所開設のお知らせ
九州地方においてお客様のより一層の便宜をはかるため、去る 9 月 3 日、福岡県大野城市に九州出張所を開設致しました。本出張所の開設を機に、さらなるサービスの充実を目指し努力致しますので、何とぞ一層のご愛顧とお引き立てを賜りますようお願い申し上げます。
所長Information 2

所在地

西川和芳
〒 816-0943 福岡県大野城市白木原 5-6-19 502 号
TEL：092-575-1687

FAX：092-575-1688

福岡出張所の開設にともない、広島出張所は閉鎖させて頂きます。これまで広島出張所をお引き立て下さったお客様には心よりお礼申し上げます。また、福岡出張所も広島出張所同様、よろしくお願い申し上げます。

東京大学生産技術研究所助教授とし よし

年吉 洋 先生●プロフィール
1968（昭和43）
年 宮崎県生まれ1991（平成 3）
年 東京大学工学部電子工学科卒業
1993（平成 5）
年 東京大学大学院工学系研究科修士課程終了
1996（平成 8）
年 東京大学大学院工学系研究科博士課程終了
東京大学生産技術研究所講師
1999（平成11）
年 カリフォルニア大学ロサンゼルス校
電気工学科客員助教授（2001年3月まで）
2001（平成13）
年 LIMMS（生産研とフランス国立科学研究セン
ターとの共同研究組織）
代表研究員
2002
（平成14）
年 東京大学生産技術研究所助教授

今回の Samco-Interview は、東京大学生産技術研究所を訪ね、年吉先生に光 MEMS のご研究などについてお話を伺いました。
先生のご研究についてお聞かせ下さい。

Samco-Interview 3・4

1990 年代は、Poly-Si を使った表面マイクロマシーニングの研究をしていました。半導体加工と同じように薄膜を形成し、RIE でエッチングするという工程を何回か繰り返します。Poly-Si だけを残して酸化膜を除去するという選択エッチングで、最終的に Poly-Si をバックボーンにした構造を作るということが表面マイクロマシーニングの特長です。そのバリエーションが広がってきたのが90年代だったと思います。平たい構造を作り、あとで浮かして立体的な構造を作っていくというものです。最近はちょっと先祖返りしたところがあって、バルクのマイクロマシーニングがまた脚光を浴びてきています。実用的にはそちらの方が有利な点がいっぱいありますね。その一つの理由がディープRIEです。Si を深く切っていく技術が非常に重要で、私たちも使っています。Si を貼り合わせた SOI ウエハーを使って、ディープRIEで表と裏から深く切り、それをメインボディーにして最終的にアクチュエータにする。あるいはマイクロシステムに使うというのが最近の傾向です。その中でも、特に光MEMSの2次元で動くミラーやレンズ、光スキャナーなどの研究をしています。
光 MEMS の可能性についてお聞かせ下さい。
可能性はすごいですよ。なぜかといいますと、光通信業界は今どん底ですから。これから伸びることは絶対間違いないですね。アメリカのベンチャー企業に就職した友人も最近レイオフされて学校に戻ってくるなど非常に厳しい状況ですが、ありがたいことに一方では、さまざまな会社から受託研究員として私たちのところに来て、一緒に研究してくれている人たちがいます。現在、私の所属するマイクロメカトロニクス国際研究センターには教官が 7 名いますが、その中でも私が一番産業に近いところにいるような感じがしますね。バイオ
MEMSも産業に近いですが、まだ研究段階で可能性を模索しているところです。
ところが光MEMSの方は、光スイッチとかアクチュエータなどが徐々に出つつあり、大学の研究所か企業の研究所かわからないような仕事をしているといったところです。このように可能性はいっぱいあります。この先景気がよくなったら、ここで培った技術がどんどん世の中に出て行ってくれると思っています。
ご研究を始められたきっかけについてお聞かせ下さい。
東大の電子工学科の 4 年生のときに、当時六本木にあった生産技術研究所に見学に行く機会があり、その際、藤田先生（現マイクロメカトロニクス国際研究センター長）が面白そうな研究をされていると思ったのがきっかけですね。あとから考えてこの研究分野に入ってよ
かったと思うのは、古くからの重鎮がいない、大家がまだあまりいないということです。だから、自分の仕事が世界初になるじゃないですか、必ず。学術分野としては確立されているわけじゃないですけれど、その分自分のやった仕事がよ
く言えば「そのまま歴史に残る」ということです。中でも光MEMSを始めたとい
うのは、正直に申しますと、当時のアクチュエータは力が出なくて動かせるものが光くらいしかなかったからです。光
を回すことが楽だということが実際の理由なんです。けれども、「マイクロアクチュエータとマイクロ光学の整合性がよいということに気づいて光 MEMS の研究を始めた」ということにしておいて下さい。
今後のご研究の展望について教えて下さい。
光 MEMS はだんだん成熟してきていると思います。まさに機械的な部材の曲げなどを使っているだけで、中に入っている電子がどうだとか、フォトンがどうだとかという物性までは全然立ち入っていないのが今の光MEMSです。だからフォトニクスとは関係ないんです。フォトニクスではエレクトロンとフォトンの相互作用がありますが、今の光MEMS
ではメカと光の相互作用はありません。
ただミラーが動くとかレンズが動くとかそれだけの話なんです。しかし、今後はかなりエキサイティングです。オプ
ティカル MEMS といういい方をしなくなるかもしれません。フォトニック
MEMSになるかもしれないです。ものす
ごく小さい機械が相互作用を始めるかもしれません。メカがどんどん小さくなり、電子と光のようにフォトンとかエレクトロンと相互作用を始めるようになるということです。
サムコのどのような装置をご使用頂いていますか。
いろいろ使わせて頂いています。まず、エッチャーでは、RIE-10N を 91 年頃から使っています。この装置は非常に便利ですね。外側から内部が全部見えるので、少々のトラブルも自分で対処でき、すごく重宝しています。その後継機種のRIE-10NR もいいですね。コンパクトで低価格で。薄い Poly-Si 膜などのエッチングによく使っています。CVDでは、LPC V D を使っています。あと、プラズマC V D をまさに今立ち上げてもらっています。それからUV/O3 処理装置も使っています。て行う予定の仕事が、どこにでもあるビーカーだけでできたというようなことが何回かありました。予算を使わなくて済むという貢献をしているので、企業であればその分ボーナスにはね返ってくるのでしょうが、国家公務員なのでそんなことは絶対に起こり得ないですね。
先生のご趣味についてお聞かせ下さい。

趣味らしい趣味はあまりないですが、機械いじりでしょうか。サムコさんの装置などをいじることですね。趣味と仕事がほとんどオーバーラップしているので、どこからどこまでが趣味かというのが難しいです。ここまでが仕事と思ってMEMSだけでなく大学での研究は、最やっていても、それだけだと満足できま終的には商品になって世の中で使ってせん。そこから先が趣味の世界になりまもらわなければいけないと考えていますよね。やらなくてもいいことをやったす。だから、研究をアートの段階から商りとか、仕事だと思ったら費用対効果を品化につながるエンジニアリングにま考えて適当に切り上げるところを趣味で育て上げるということを心がけていだったらとことんやるじゃないですか。
ます。研究は、最初の頃はアートだと仕事だったら8時で帰ろうかと思っても、思っています。ものすごく苦労して壊れ趣味だったら終電ぎりぎりまでやれるないように作っていっても 100 個に 1 個とかですね。ほとんど趣味が仕事、仕事ぐらいしかできなかったり、気に入らなが趣味です。だからひどいものです
い焼き物をバンバン割って捨てるような感情とかがありますよね。しかし、 （笑）。多分大学の先生って皆さんそう
アートの段階というのは楽しいですね。 じゃないですか。
誰もまだやったことのない仕事をまず最後にサムコに対して一言お願いし真っ先に自分で見るわけじゃないですます。
か。マイクロ構造をうまく並べていくと、あるところで合理的ですごく美しいサービス体制がいいところに満足し構造がでてきて「これアートじゃないています。昔から電話をするとすぐに対か」と思われる瞬間があります。このよ応して下さるのでかなり満足していまうなアートの段階のものをエンジニアす。あと、お客さんとの距離が結構近い、リングに育て上げるという仕事が大事
そういう関係ですよね。他社の場合、私だと思っています。
たちの苦情がなかなか次の製品に反映されないということがありがちですが、これまでの研究で、面白いエピソードサムコさんはそれができているようなはありますか。
気がします。また、サムコさんの社員の方を多く知っていることもあり、身近にMEMS の研究は設備投資にものすご感じています。
くかかるので、始めようと思ってもなかなか始められませんよね。ちょっとした装置を買うのにも最低数百万円したり、数千万円とか1億円のものもありますね。 お忙しいところ貴重なお時間を頂き、誠にありがとうございました。
しかし、例えば数千万円の装置を購入し先生が日頃のご研究において心がけておられることはどのようなことでしょうか。

生産技術研究棟完成

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前回までの SAMCO NOW で工事の状況を報告してまいりました生産技術研究棟が完成し、7 月末の竣工式、その後の機械設備の試運転などを終え、9 月 20 日より本格生産および開発業務を開始しました。
生産技術研究棟は、土地 7114m2、建物鉄筋コンクリート造 6 階建延床面積 7077m2
で、京都府見本市会館（パルスプラザ）の北隣に位置します。生産拠点および設計開発機能を集約したもので、1 階（1667m2）から 2 階（1550m2）を電気配線および組立部門としており、1 階にはクリーンルーム（クラス 10,000）を備えています。また、3階（1244m2）には製品の技術開発に必要な機構・要素設計および電気・電子回路ソフトウエア開発部門を配置しています。生産技術研究棟の完成により、生産能力はこれまでの約 3 倍である年間 120 億円程度まで拡大することが可能になりました。
この生産技術研究棟の完成を機に、さらに皆様のご期待にお応えできるよう一層努力致します。宜しくお願い申し上げます。

生産技術研究棟の全景

竣工式の様子（7月30日）

所在地〒 612-8450
京都市伏見区鳥羽殿町 3

Information 5

TEL ：075-623-0333
FAX：075-623-1071
京都新聞の記事（平成 14 年 9 月 18 日付）

1
四方を山々に囲まれた京都では、古くから味わい豊かな『京野菜』が栽培され、独自の食文化が育まれてきました。今回からのアラカルト
では、京都で親しまれてきた『漬物』とその味を守り続ける老舗についてシリーズで紹介します。
まず第１回目として、今回はこれから冬にかけて本番を迎える『千むらかみじゅう枚漬』で有名な『村上重本店』さんを訪ねました。
京都を代表する繁華街、四条河原町。

ね入れ、本漬けが行われます。近頃ではにぎやかな大通りから少し入った高瀬酢やみりんなどの調味液を使って2〜 3

川のほとりに村上重本店さんはありま日で作られるお店が多くなっている

す。創業は天保 3 年（1832 年）で 170 年

中、村上重さんでは 1 週間かけ、かぶら生かした味を楽しめる商品を製造すの歴史を持つ老舗です。の甘味、昆布の旨味、乳酸菌の酸味だける」という創業以来の方針が貫かれてで昔ながらの上品な味わいの千枚漬をいます。

村上重さんの代表商品は、冬の京の味覚として全国的にも有名なスライス作っておられます。

お店を訪ねるとまず目にとまるのはしたかぶらの漬物『千枚漬』です。この『千枚漬』と書かれた大きな古い看板でしょうごいん

お店では、極上の聖護院かぶらを昆布す。村上重さんの自信の味が楽しめると塩だけで漬ける創業以来の製法が守

底冷えの季節がすぐそこまでやって来られており、ふくよかな風味としゃっました。ぜひ一度、量販店では味わえなきりとした歯ごたえの千枚漬が作られい冬の京の味覚をご賞味下さい。ています。まず、材料となる丹波産の厳■村上重本店

選された色白で京都市下京区西木屋町

きめ細やかな聖護

四条下る船頭町 190

院かぶらTEL 075(351)1737

を厚めに千枚漬以外にも、すぐき、み切り、通常のぶな

四条通

しば漬、京壬生菜、奈良漬など倍ほどの重石を多くの種類を扱われていますが、商のせ、荒塩で下漬けをします。その後、品創りへのこだわりが「『旬』を大切に北海道利尻産の吟味された昆布やコクし、季節感を感じて頂ける商品創り」でを出すための根昆布をふんだんに使あるため期間限定商品が多く、「華美ない、かぶらと昆布を交互に四斗樽に重味付けをせず、素材（野菜）の持ち味を高島屋

N

阪急百貨店
河原
町通

高瀬
川村
上重本

西
木屋町通店※ 京の漬物シリーズでは「京都銀行」のご協力でお店の紹介を行っております。

村上重本店さんの千枚漬を抽選で5名のサムコナウ読者の方々にプレゼント致します。ご応募の方は、サムコのホー

A・la・carte 6

ムページにある『News Release』の『SAMCO NOW Vol.48 の発行』をクリックして頂き、『プレゼント希望フォーム』に必要事項をご記入の上、送信して下さい。尚、当選は商品の発送をもってかえさせて頂きます。
締切 ： 平成 14 年 11 月 30 日
URL ： http://www.samco.co.jp