VOL.66

発行所

2009.MAY.
Q u art erl y

発行者

サムコ株式会社 わら や
京都市伏見区竹田藁屋町36☎（075）621-7841
辻 理

編集・企画協力

小林地図専門店

設立 30 周年記念号●表紙写真 ／ 竹伐会式 [ 鞍馬寺 ] 6 月 20 日（土）
鞍馬寺の中興の祖、峯延上人が大蛇を退治したという故事にちなみ行われる、1000 年以上の悠久の歴史を持つ伝統的な催事。水への感謝と五穀豊穣を祈ります。弁慶被りの法師たちが丹波座・近江座に分かれ、大蛇になぞらえた太く長い竹を左右から切り、その速さを競います。

（写真提供：土山清治さん／日本写真家協会会員）

サムコ設立30周年

平成 21 年 4 月 25 日京都ホテルオークラにて設立 30 周年記念式典を開催いたしました。

感謝の会ご挨拶『ガレージ発ベンチャーの 30 年』
本日は弊社の設立 30 周年式典に 300 名

当社 代表取締役社長

験が、私の経営の原点となっています。

辻 理ないということです。企業がより成長しを超える方々にご臨席賜りまして厚く御現在でも弊社は非常にシンプルな経営てこそ、中ベンチャー、大ベンチャーへ礼申し上げます。当式典には、ものづく方針をもっております。販売したらすぐの道が開けるという結論に達し、1990 年りに関わっていただいている仕入先・外に代金をいただく。原価は安く、売値はごろから 10 年後に株式公開しようと一致

注先、京都大学を始め多くの大学の先生適正な金額でという方針です。また、弊団結し設立 20 年目に実現することができ方、取 引 先 金 融 機 関、証 券、保 険 会 社、社は研究開発型の会社ですので、ものづました。

あるいは弁護士、弁理士の先生方、そしくりに関しましてはプロの方々の力をおその後 IT バブルの崩壊、直近では大変て行政の方々にもご臨席いただいており借りしようと考え仕入先・外注先の会社な世界経済不況で、私どもの業界では前ます。昨年秋口からの大不況の中ではごにご協力いただき、今日に至っておりま年同月比 90％の受注ダウンということもざいますが、これまでサムコを支えていす。こうしたシンプルな経営方針で設立年の瀬にはございました。しかし、このただきました方々に感謝の念を込めまし以来現在まで連続黒字経営を続けることチャンスを活かして今後一段の飛躍をすて、 祝賀会 ではなく 感謝の会 としてができました。

るきっかけにしていきたいと思っており開催させていただいた次第でございます。

弊社はガレージから創業したベンます。冒頭の話で余命３ヶ月の宣告を受思い返しますと、ガレージ発ベンチャーチャー企業です。ベンチャーと一言で申け、３年は生きたいと思いましたが、その 30 年というのは瞬く間でございました。

しましても小ベンチャー、中ベンチャー、の後、株式公開、上場企業としてしぶと今でも鮮明に覚えておりますのは、会社大ベンチャーと様々であります。この間、く生き残ることができました。今後も株設立当初に金融機関の貸付の課長代理さ様々なベンチャービジネスの勉強会、大主の方々の期待に大いに応えたいと思っんに「辻さんの会社は３ヶ月でつぶれま学との産学連携などに積極的に参加させております。これまでの会社の成長を振す」と余命３ヶ月の宣告を受けたことでていただきました。

り返りますと、 危機は企業を強くするす。しかし、幸いこれに奮起いたしまし

しかし、こういったところで何を学んということはどうやら事実だと思います。て何とか借金の無い会社にしようと懸命だかといいますと、早くこういった零細会社の成長の中で力になったのはやはりに社員とともに事業に打ち込んできた体ベンチャーの城から脱出しなければなら社員です。社員なくして 30 年はありませビデオレター
中国 清華大学 教授

す。今後もさらにサムコさんと幅広く共同研究を進められるこ黄翊東 様とを切望しております。30 周年おめでとうございます。

今から 30 年前サムコの創立と英国 ケンブリッジ大学 教授

同時期に中国においては開発・ジェームス・スコット 様開放政策で目覚しい経済発展が始まりました。それからさらにSAMCO 30th anniversary 2 • 3 • 430 年前には中華人民共和国が創立され、中国の新しい歴史の幕開けとなりました。この 30 年の節目がサムコの次の発展のスタートになることを心からお祈り致します。
私は 2003 年に、日本での研究を終え、中国の清華大学電子工サムコ創立 30 周年記念を、お祝いすることができ大変光栄です。
過 去 5 年 間 に わ た る、ケ ン ブ
リッジ大学とサムコの共同研究の成果に対し、今年、高い評価を頂きました。

学部に戻ってまいりました。清華大学での研究室設立の過程で、第一に、私は幸運にも金属酸化物のマテリアルサイエンスへ

サムコさんには非常にお世話になりました。また、サムコさんの根本的な貢献を認められ、米国材料学界から Gold Medal をの ICP のエッチング装置に関する技術協力によって、Ⅲ−Ⅴ族の授与されました。第二に、今年私は英国王立協会の会員に選ば

フォトニック結晶構造を作り出すことに成功し、フォトニックれました。英国王立協会は、イギリスにある科学アカデミーで、結晶光導波路などの大きな成果をもたらすこととなりました。

就任式は旧式で威風堂々と行われます。加えて、私は、がん研

現在 300 平方メートルの大きな研究室の建設を進めておりま究所と共同で nano-tube 研究をする奨学金を授与されました。

サムコ 30 周年記念式典 記念講演
京セラ株式会社 取締役相談役

伊藤謙介 様『経営理念の大切さ』
ん。この意味で、取引先、大学の先記念講演では、京セラ株式会社取締役相談役の生方、様々な行政の方、経済団体か伊藤謙介氏に『経営雑感』と題して御講演いただら大変お世話になったのと同時に、きました。

社員にも感謝を述べたいと思います。

伊藤氏は初めに京都に素晴らしい企業が多く生まれる理由を組織の中に企業

世間では過剰生産、過剰設備、な理念が息づいていることをあげ、企業理念が希薄化したときに、企業は衰退すどと言われておりますが、私はむしる、逆に理念を組織の隅々にまで浸透させることがリーダーの役割であるとしろ、 過剰な心配 だと思います。弊「リーダーは語り部たれ」とエールを送られました。

社の業界でも受注が前年同期比 90％

また、「Non タイタニック経営」としてイギリスの豪華客船タイタニック号も低下するのは過剰反応に他なりまを引き合いに出され、海面上の氷山＝業績という目で見えるものだけに集中すせん。自社の経営理念（薄膜技術でる短期的視点での経営スタイルに警笛を鳴らし、海面下にある経営理念、組織世界の産業科学に貢献する）、行動指を強化することの必要性を熱く語られました。

針（勇気、創造、勤勉）、自社の戦略に則って事業活動を行い、設立 30 年を更なる成長に向かう出発点にしてさらに、社員の努力をベクトルに喩え、社員全員が同じ目標を目指すためには時として毅然とした態度で臨む必要があることにも言及されました。
未曾有の大不況の中での講演でもあり、日本の大手企業の仕事観や企業をとまいりたいと考えております。本日

りまく環境の変化によって軸がぶれている現状をご臨席いただきました方々にはこれ危惧され、グローバルな企業間競争に打ち勝つ求まで以上にご支援いただきますよう心力を得るためには、軸のぶれない確固とした企心よりお願い申し上げます。本日は業文化という力が必要と再び経営理念の重要性に本当にありがとうございます。

言及され、弊社社員を含めた講演会の出席者に経営理念の大切さを語りかけられました。

私は、ナノチューブがドラッグデリバリーのためのマイクロ流置を必要としましたし、私自身は、すずかけ台キャンパスにあ体をコントロールする一つの方法として役割を果たすことをる精密工学研究所で、面発光レーザーの研究を行ってまいりま願っています。

した。

これらの功績は私たちがサムコと共に行った研究の成果であ幸いにも、サムコ株式会社の技術者と共同研究をさせていた

り、御社がこれらのプロジェクトに参加してくれたことに心よだく機会がありました。特に ICP エッチングの性能は素晴らしり感謝いたします。

く、これによって微細加工の施された面発光レーザーが実現しました。また、私の後継者であります小山二三夫教授が今でも東京工業大学 学長共同研究させていただいております。特に ICP エッチング装置

伊賀健一 様でのプラズマ診断に関しましては、現在ナノ MEMS センターのセンター長をしております、松谷晃宏君が技術の方々と引きこのたびのサムコ株式会社設立

続き共同研究を行っており、非常に小さな光デバイスが可能に

30 周年、誠におめでとうございなっています。これら私を含め三代にわたるサムコさんとの産ます。

学連携の成果でもあります。

東京工業大学では、1960 年の辻社長がお話しになるように、 京都から世界へ と日本から後半から主に半導体レーザーの研究を行ってまいりました。

生まれた素晴らしい技術がますます世界に広がり、同時に会社私の恩師であります、末松安晴名誉教授の時に、単一モードのがますます御発展されますことを心よりお祈りいたします。

半導体レーザーの実現を目指しており、この過程で微細加工装

●

ご祝辞 ●

株式会社堀場製作所
最高顧問

堀場雅夫 様『勇気ある創造力』
30 周年を迎えられまして誠におめでとうございます。堀場製作所は、サムコ設立の少し前、1975 年に 30 周年を迎えました。自社を振り返りましても、よく今まで生きてきたなというのが切実な思いです。辻さんもこのような気持ちではないでしょうか。サムコは常々勇気、創造、勤勉を行動指針としているそうですが、まさにこれを実践してきたのがサムコの歴史と言えると思います。
サムコの設立は 1979 年ですが、そのころから世界中で、半導体が脚光を浴び、大企業、大学研究機関、金融機関すべてが、半導体産業の可能性に投資を始めたわけです。このようなときに 小船で漕ぎ出す のはナンセン
ス、事業を始めてもすぐに潰れるとアドバイスしたのですが、予想に反しサムコの設立 10 周年記念に呼んでいただき、20 周年記念では講演をさせていただき、ますます大きな企業に成長しており驚いたことを覚えております。私は社長の職を辞してから、ベンチャー企業の発展のために様々な取り組みをしてまいりました。中でも京都市ベンチャービジネス目利き委員会では 企業の目利き をさせていただいております。この点から申しますと、本当はサムコが成長しては困るわけですが、ここまで立派に成長してこられました。そこで、辻さんにベンチャーの目利き委員会の後を継いでいただければと思っております。
サムコの事業内容を簡単に言いますと トリートメント業 だと言えます。
トリートメントというと女性の顔や髪をきれいにするものと考える方がいらっしゃるかも知れませんが、人間の顔のトリートメントとは違いまして、様々な物質の表面を改質し、今まで実現できなかった機能を実現する、要す
るにサムコは物質の表面に関わる 薄膜技術 で仕事をしている会社です。
業界でも最先端の技術に関わる事業に取り組んでおられますので、常にベンチャー精神、あるいは勇気が必要になります。辻さんの勇気ある決断を支えてきた役員・社員の方に大い に 敬 意 を 表 し ま す。サ ム コ のDNA でもある 勇気・創造・勤勉によって会社が益々発展し、ひいては日本の企業が再び活力を取り戻しますように祈念してサムコさんの 30 周年の言葉とさせていただきます。ありがとうございました。

18
京都市の北西に位置する、金閣寺から衣笠山に沿って龍安寺を通り、仁和寺を過ぎて周山街道と合流する道をきぬかけの路と呼びます。今回は、そのきぬかけの路の途中、世界遺産として有名な龍安寺の前に店を構える『京つけもの富川』さんを訪ねてきました。
す。この水なすを縦に 6〜8 等分して皿に盛りつけ、花かつおや、生姜のすりおろしなどを添えるとおいしくお召し上がりいただけます。
また『きぬかけ漬』は、お客様に「きぬかけ」という言葉を知ってもらいたいという願いのもと、創業以来作り続平安時代、第 59 代宇多天皇が真夏にけている、富川さんのオリジナル漬物「雪見がしたい」と衣笠山に白い絹をかです。大根を絹に見けて覆い、雪景色のようにして宴を開い立てて縦に切り、甘た。この話にちなんで、金閣寺から仁和酢に漬けたきぬかけ寺までの 2.5km の道のりを「きぬかけの漬はあっさりとして路」と呼ぶようになりました。きぬかけいて、若い人にも人の路には、世界遺産に登録されている金気です。

きぬかけ漬

閣寺や龍安寺だけでなく、京都らしいお京漬物は、地元の野菜を使い、旬の採店が多いので、お土産を探したり、食事れたての新鮮さを漬け込むことが本領でやお茶をするには困りません。

す。伝統京野菜の味と新鮮さを損なうこ

京つけもの富川さんは、ちょうどきぬとのない薄口の味付けで野菜そのもののかけの路の中頃にあります。石庭で有名

旨み、色合い、香りを大切に生かす手法な龍安寺の前にあり、観光客や修学旅行は、京料理にも通じます。野菜本来の持生でいつも賑わっています。創業 38 年

つ美味しさを、目でも舌でも楽しめる美となるお店を経営するのは、2 代目の富味しいお漬物が富川さんの信条です。き川恭裕さん。親の背中を見て家業を継ぐ

ぬかけの路を通られた際には、そのこだ決心をした 2 代目はお店のこだわりをわりに触れてみてはいかがでしょうか。

しっかりと受け継いでいます。そのこだ
わりとは、 手づくり ということです。
富川さんでは、お漬物を店内で丹精こめて漬けています。 生産・販売をすべて同じ所で行い、一人ひとりが責任を持っ■京つけもの富川
京都市右京区龍安寺御陵ノ下町5-2
TEL 075（466）6675
FAX 075（466）6685
http://www.kyoto-tomikawa.jpてお客様に手づくりの味を伝える 、富●金閣寺

N

川さんはそこにこだわっています。
これから夏の時期にかけて、旬になっ龍安寺●

高級の泉州水なすを鮮度にこだわってA • la • carte 5

直接仕入れ、独自の伝統製法で丁寧に選別し、地元のお米屋さんから仕入れた米ぬかに手作業で漬けこんだもので

仁和寺
●

162

京つけもの富川
龍安寺駅

宇多野駅

けの路
きぬか

京福電鉄北野線
等持院駅

御室仁和寺駅

西大路通てくるのが『水なすぬか漬』です。最妙心寺駅

北野白梅町駅※ 京の漬物シリーズは「京都銀行」のご協力でお店の紹介を行っております。

高速 Bosch プロセス専用 ICP エッチング装置
RIE-800iPB プロセスデータ ［プロセス開発室］
2004 年に実績の豊富なトルネード ICP® をベースに開発した Bosch プロセス専用 ICP エッチング装置『RIE-200iPB』を■垂直加工

表面マイクロマシーニング向けに市場投入し、2006 年 4 月に加工形状の制御では、BIAS のパワーを制御することによっは、新型コイルを搭載したバルクマイクロマシーニング対応て、図１のような順テーパ形状から図３のような逆テーパ形の高速 Bosch プロセス専用 ICP エッチング『RIE-800iPB』を状までコントロールすることができる。また、条件を最適化市場投入した。

すれば、図２にように垂直形状を得ることができる。

マスクパターンにも依存するが、現在までに 30μm/min

パターン幅 = 300μm
深さ= 300μm
レート= 15μm /min以上のエッチング性能を持つ。また、高速エッチングを実現している一方で、ノッチと呼ばれるエッチング底面でのくい込みが防止可能なプロセスが実現できる。さらに、本装置には、反応器汚染防止に対応したクリーニング機構の採用や、現状の MEMS プロセスでは 4〜6 インチのシリコン基板を対象としているが、将来のウエハーサイズの拡大に対処し、8インチまで対応可能などの特長があり、均一性はφ８インチ
図1にて ±5％以内を達成している。
今回は、RIE-800iPB のプロセスデータを中心に紹介。

■高速エッチング

図2

垂直

図3

逆テーパ

■マイクロ ローディング効果の低減
微細加工プロセスでは、加工パターンのアスペクト比（パター

現在 30μm/min 以上の高速エッチングを達成している。
レート：30μm/min

順テーパ

ン寸法と深さの比）が増大するとエッチング速度が低下する
マイクロローディング効果と呼ばれる現象が起こる。当社のレート：55μm/min

ボッシュプロセスは深さが 20μm までではあるが、パターンの粗密によらずエッチングすることが可能である。

パターン幅 = 100μm
深さ= 300μm

パターン幅 = 50μm深さ= 103μm■高いアスペクト比加工

パターン幅 = 40μm 、5μm
深さ= 20μm
レート= 1.5μm /min

ボッシュプロセスの優位点は、垂直性がよく、高選択比、高アスペクトの加工が可能でプロセスウィンドウが広い点が挙げられる。フォトレジストとの選択比ではスキャロップを■ピラーの形成気にしないのであれば、200 以上を実現し、またスキャロップ

ホールの中の支柱加工

0.1μm 以下ではアスペクト比 40 を達成している。

Technical-Report 6スキャロップ（側面粗さ）
ピラー = φ10μm
円筒 = φ50μm
深さ = 400μm
パターン幅 = 2.5μm
深さ= 100μm
レート= 1.3μm

スキャロップ= 0.1μm以下

九州工業大学、マイクロ化総合技術センターのDr.馬場昭好教授提供