第 14 回集積化 MEMS シンポジウム
2022 年 11 月 14 日～16 日シンポジウム 17 日テクニカルツアー
プログラムスケジュール

11/6 版

Future Technologies from TOKUSHIMA

応用物理学会

集積化 MEMS 技術研究会

第 14 回「集積化 MEMS シンポジウム」
プログラムスケジュール
2022 年 11 月 6 日現在

開催日：2022/11/14～11/16 会場：アスティとくしま
11/17 テクニカルツアー

同時開催：

電気学会 センサ・マイクロマシン部門大会主催
第 39 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

日本機械学会

日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催

第 13 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム

化学とマイクロ・ナノシステム学会
第 46 回研究会

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第 14 回集積化 MEMS シンポジウム
2022 年 11 月 14 日～16 日シンポジウム 17 日テクニカルツアー
プログラムスケジュール

11/6 版

2022 年 11 月 14 日（月）11 月 14 日（月）9:30-10:00

14A1-M 開会式

11 月 14 日（月）10:00-10:40

14A2-M Future Technologies(FT)10 周年記念企画セッション

司会：磯部 良彦(ミライズテクノロジーズ)
座長：年吉 洋(電気学会センサ・マイクロマシン部門長)，土屋 智由（日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門長）
講演番号 14A2-M-1
挑戦を続けよう*桑野 博喜{1}{2}{1}東北大学, {2}仙台スマートマシーンズ
講演番号 14A2-M-2
Future Technologies への CHEMINAS 参画から 5 年、その経緯とこれから*横川 隆司京都大学
11 月 14 日（月）座長：

10:40-11:55

14A3-M FT 合同招待セッション

永瀬 雅夫(徳島大学), 荒川 貴博(東京工科大学), 安部 隆(新潟大学), 寺尾 京平(香川大学)

講演番号 14A3-M-1
集積化 MEMS 技術によるマルチモーダル分子認識センサ*高橋 一浩
豊橋技術科学大学

講演番号 14A3-M-2
MEMS 気流センサによる生体情報センシング*長谷川 義大
広島市立大学
講演番号 14A3-M-3
しなやかな機能につながる応用力学*花崎 逸雄東京農工大学
講演番号 14A3-M-4
ヒト胎盤模倣システムの開発*梶 弘和
東京医科歯科大学

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2022 年 11 月 14 日～16 日シンポジウム 17 日テクニカルツアー
プログラムスケジュール

11 月 14 日（月）12:10-12:45

14P1-M

出展者による技術展示発表セッション I

ジオマテックの薄膜技術を用いたセンサ素子のご紹介

ジオマテックマイクロ流体チップを用いた測定＆評価環境を構築したい方へ

エス・イー・アール

医療機器及びマイクロデバイス事業紹介

ＡＳＴＩ

徳島大学ポスト LED フォトニクス研究所の御紹介

徳島大学

センサデバイスの「静」と「動」を見える化する非接触の測定技術

ポリテックジャパン

11 月 14 日（月）13:00-14:30

14P2-C

11/6 版

高周波・NEMS・発電システム

座長： 秦 誠一(名古屋大学)
講演番号 14P2-C-1
マルチモード空洞共振器を用いた周波数 ΔΣ 方式走査型マイクロ波近接場顕微鏡の可能性*前澤 宏一, 森 雅之
富山大学
講演番号 14P2-C-2
グラフェン積層接合への高電界による抵抗状態遷移*福永 郁也, 大井 基暉, 村上 隼瑛, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
徳島大学
講演番号 14P2-C-3
SiC 基板上短冊状グラフェンからの遠赤外線放射*片岡 大治, 久原 拓真, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
徳島大学
講演番号 14P2-C-4
1mW 級出力エナジーハーベスタで駆動する IoT 無線センサ端末の動作検証*本間 浩章{1}, 山田 駿介{2}, 年吉 洋{1}{1}東京大学, {2}東北大学

講演番号 14P2-C-5
ORC 発電システムのための流路一体型 MEMS タービンの評価*金子 美泉, 仁木 雄哉, 武田 健嗣, 粟飯原 萌, 内木場 文男
日本大学
11 月 14 日（月）座長：14:40-15:40

14P3-C

センサ・アクチュエータ・材料

廣谷 潤(京都大学)

講演番号 14P3-C-1
知能化共振加速度センサの記憶容量と感度の関係*水本 昂宏, Banerjee Amit, 廣谷 潤, 土屋 智由
京都大学

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2022 年 11 月 14 日～16 日シンポジウム 17 日テクニカルツアー
プログラムスケジュール

11/6 版

講演番号 14P3-C-2
電荷増倍機能を有する結晶セレン膜積層型 8K 固体撮像デバイスの研究*為村 成亨{1}, 峰尾 圭忠{1}, 新井 俊希{1}, 宮川 和典{1}, 杉山 睦{2}, 難波 正和{1}{1}NHK 放送技術研究所, {2}東京理科大学
講演番号 14P3-C-3
MEMS デバイスを利用した Ni 基薄膜金属ガラスの内部応力測定*高瀬 駿, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一
名古屋大学
講演番号 14P3-C-4
反力可変触覚ディスプレイ用アクチュエータの駆動特性に及ぼす触知ピン形状の影響*村瀬 正憲, 南原 圭汰, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平
名古屋大学2022 年 11 月 15 日（火）11 月 15 日（火）座長：

09:10-09:50

15A1-M 基調講演 I安部 隆(新潟大学)

講演番号 15A1-M
機械式腕時計におけるエネルギー伝達効率向上のためのシリコンがんぎ車*舟川 剛夫
セイコーエプソン
11 月 15 日（火）12:50-13:40「省・小・精」から生み出す価値で15P1-M

出展者による技術展示発表セッション II

人と地球を豊かに彩る

セイコーエプソン

AFM・SEM 同時解析装置 FusionScope および Nanosurf 社 AFM のご紹介
日本カンタム・デザイン
フォトリソをもっと手軽に

マスクレス露光装置 PALET（パレット）

ネオアーク

微細レーザー加工と精密貼り合わせ技術で作るマイクロ流路

シーエステック

金属用絶縁皮膜コーティング液 『 クレコート 』 の紹介

イチネンケミカルズ

SPP テクノロジーズのセンサ・MEMS 製造装置

SPP テクノロジーズ

新規エレクトレット材料を用いた振動発電デバイスのご紹介/ウイルスセンサのご紹介
住友精密グループの“MEMS ソリューション
11 月 15 日（火）座長：

15:20-16:00

15P3-M

デンソー

住友精密工業
基調講演 II

磯部 良彦（ミライズテクノロージズ）

講演番号 15P3-M
多孔性配位高分子と無機材料の相乗的インターフェースの空間化学―新しい高感度、非接触、リアルタイム検出システムー
*北川 進
京都大学

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2022 年 11 月 14 日～16 日シンポジウム 17 日テクニカルツアー
プログラムスケジュール

11 月 15 日（火）座長：

16:10-17:30

15P4-M

11/6 版

基調講演 III & IV

磯部 良彦（ミライズテクノロージズ）

講演番号 15P4-M-1
大塚国際美術館の愉しみ方*浅井 智誉子
大塚国際美術館
講演番号 15P4-M-2
地方酒蔵が目指す未来*松浦 素子
本家松浦酒造場
11 月 15 日（火）18:30-20:30

15P5

FT 合同懇親会（パークウエストン）

2022 年 11 月 16 日（水）11 月 16 日（水）座長

09:20-10:00

16A1-M 基調講演 V

永瀬 雅夫（徳島大学）

講演番号 16A1-M
B5G/6G に向けた拡張無線ネットワークと時空間同期-マイクロデバイスからのボトムアップアプローチ*原 基揚
情報通信研究機構

11 月 16 日（水）12:00-12:55

16P1-M

出展者による技術展示発表セッション III

フレキシブルプリント配線板

太洋工業

水素ガス環境用小型圧力センサ

日本ファインセラミックス

DeepSniffer：AI で深化していくにおいセンシング

ユー・エス・イー

マテリアル先端リサーチインフラ事業のご紹介

文部科学省

マテリアル先端リサーチ

インフラ（ARIM Japan）
ハイデルベルグ・インストルメンツ

マスクレスアライナー、直接描画装置のご紹介
ハイデルベルグ・インストルメンツ

音響による分離とトラッピング技術を活かした研究ツールのご紹介
フィジオテック
細胞培養：意外と無視できない細胞外の環境

マトリクソーム

ザイゴ社最新の光学白色干渉計

アメテック

11 月 16 日（水）座長：

14:30-15:10

16P3-M

ザイゴ事業部

基調講演 VI

加地 範匡(九州大学)

講演番号 16P3-M
ヒト血液脳関門-Blood-Brain Barrier (BBB)-を知る、創る、操る：
物流システムの解明から Human BBB on-a-Chip への展開
*立川 正憲
徳島大学
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第 14 回集積化 MEMS シンポジウム
2022 年 11 月 14 日～16 日シンポジウム 17 日テクニカルツアー
プログラムスケジュール

11 月 16 日（水）15:10-15:50

16P4-M

11/6 版

閉会式

2022 年 11 月 17 日（木）11 月 17 日（木）09:00-18:00

テクニカルツアー実施

テクニカルツアー（日亜化学工業見学他）

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