EUV光源に向けたクライオモジュール設計の方針
2015年11月4日
ERL検討会
梅森健成、加古永治、久保毅幸、許斐太郎、阪井寛志、沢村勝（JAEA）、太田智子（東芝）

2015 Source Workshop(Nov. 9‐11@Dublin)にて「Current Progress on Design Work ofHigh Power EUV‐FEL based on ERL」とのタイトルで発表予定

項目
波長
出力
ビーム電流
ビームエネルギー
バンチ電荷
バンチ繰り返し
加速勾配
超伝導空洞の数
空洞周波数

要求性能13.5 nm
10 kW
9.75 mA
800 MeV/m
60 pC
162.5 MHz12.5 MV/m
64
1300 MHzEUV‐FEL光源加速器に要求される性能

EUV‐FEL光源加速器の概念図

超伝導加速器に要求される性能• 加速勾配 ～12.5 MV/m

CavityInput coupler
Magnetic shield etc¾ Field emissionが十分抑制されていること。
¾ Q値は >1x1010とする。ただしhigh‐Qが望ましい。
¾ 入力カップラー Qext = 2x107だと4～5kWの入力パワーが必要• ビーム電流 ～10 mA (x2 for energy recovery)¾ BBUを起こさない事¾ Monopoleによる発熱を対処できること• 冷凍機負荷¾ 空洞1台～15W ⇒ 15W x 64台 = 約1kW （@2K）¾ Static loss 100W強 （@2K）

CavityHOM damper etc
Cryogenic
2K pipe etc• RF（振幅＆位相）安定性

Tuner, (Coupler),¾ cERLでは振幅：0.02% RMS、位相：0.02deg RMS 程度を達成 Support structure
LLRF etc¾ EUV‐FELでの要求は？

• アラインメントの精度¾ 1mm程度のアラインメント精度で良いのか？

• 運転における安定性

Support structure
Alignment monitor etc¾ Down timeは1%以下にすべし?? ⇒ まずは、できるだけ安定に運転することを目標
Cavity¾ 加速勾配を下げれば、安定性ならびに冷凍機負荷は減らせる。

Cryogenic etc

クライオモジュール設計の方針• STF型クライオモジュールをベースとする。
• CW対応として必要な部分は、cERLクライオモジュール他を参考にして取り入れる。
• 最終的にEUVクライオモジュールとして最適化を図る。
• できるだけ冒険は避け、実現可能性の高い設計とする。
ｃERL cryomodule

STF cryomodule

STFとcERLクライオモジュールの比較
STF cryomodule

cERL cryomodule

EUV cryomodule

CavityTESLA‐like 9‐cell

HOM damped 9‐cell

TESLA type with large
beam pipes

Input coupler

Co‐axial, double
windows, pulse typeCo‐axial, double
windows, CW typecERL type with somemodification

HOM damper

TESLA type HOM
couplerFerrite HOM damper AlN(?) HOM damper
with HOM antenna

Frequency tuner

Slide‐jack tuner andpiezo tuner

Slide‐jack tuner andpiezo tuner

STF / cERL (same)type

He jacket

230φ with magnetic
shield inside

300φ

STF type

Support structure

Hanging from 2K
return pipe

Support by table

STF type with somemodification

Gate‐valve

Manual gate‐valve
inside cryomodule

Gate‐valve outsidecryomodule

STF type with somemodification

He liquid surface

He 2phase‐pipeInside He jacket

STF type with larger
chimneyクライオモジュール設計の方針(2)• 4空洞入りのモジュールを基本とする• 4空洞モジュール x 2で1ユニットとする• ユニット両端でwarm‐sectionと接続。
• ユニット中央は、モジュール同士を接続。
Warm‐sectionは設けない。
• 電磁石およびモニターはモジュール内に設置しないことを想定している ⇒ それで良いか？ 必要なら検討する。
• 電磁石は8空洞おきで良いのか？
• 低エネルギー部は4空洞おきに電磁石を配置することも可。
• 電磁石・モニターの配置を検討して欲しい。

• Cold box、冷凍機の配置ならびにクライオモジュールとの接続については今後の検討課題

STF cryomodule

Cavity with He jacket
許斐氏のスライドより• 現在、空洞形状を最適化中（10/8 EUV光源打合せ・許斐氏の発表資料参照）¾Center cellはTESLA形状¾ビームパイプ径は110φと100φ¾両エンドセルの形状を最適化する• BBUに関しては200mA近い閾値となるはず• MonopoleのHOMのインピーダンスを下げるべく最適化を行う。
¾最後はビーム繰り返し周波数で逃げる• Epeak/Eacc～2.0 ⇒ field emission freeで安定な12.5MV/mでの運転を実現する• He jacketの径はSTFの230φを踏襲 ⇒ 高圧ガス保安法は一般則で通す

Input coupler• cERL couplerを基本とする（もともとはSTF couplerのCW版）• 内導体は窒素ガスで冷却• STF cryomoduleに配置してみるとやや大きい感じなので、コンパクトに改良することを検討。
• Qextは2x107程度を想定。
• ただしHigh Qextでの運転、およびlow Qextでのpulse agingなどを考慮してQextの可変範囲を検討する。

cERL Input coupler

HOM damper/coupler• HOM damperとHOM couplerを併用する。
• 窒化アルミを用いたHOM damperの開発を進める（10/6 EUV光源打合せ、東芝・太田氏の発表を参照）• （第1号機は）短期間での開発が要求されるため、HOM damperの開発をできるだけ簡略化する。
• Broad band & high power対応を一部犠牲にして、コンパクトなHOM damperをまずは開発• 足りない部分は、HOM coupler(アンテナ型)で補う• 真空中でのRFケーブルでの大電力の取り出しについてはJAEA・沢村氏のR&Dにより目途が立ちつつある。
• HOM damper/couplerの最適配置、熱設計等は今後の課題。
• 窒化アルミ(米・Sienatech社)を入手し、ロー付けの試験を今期行う予定。

cERL HOM damper

EURO X‐FEL HOM absorber (AlN)Frequency tuner• 粗調整用のslide‐Jack tuner
および微調整用のpiezotunerともに、STF、cERLで問題なく動作している。
• 基本的にこのまま用いる。
• Piezoは故障時の事を考慮して1空洞あたり2か所に設置• また故障時、交換可能なように、断熱真空槽にポートを用意する（現在もそうなっている）

Slide‐Jack tuner

Piezo tuner

Cryomodule(TESLA/STF moduleの場合）• 断熱真空槽上部からのサポートポストで吊るした300φの2KHe回収配管を空洞のサポート構造として用いている。
• 空洞は2K回収配管からぶらさげられている。
• He液面は2K He 2相配管の中央あたり。
• 80Kシールド、5Kシールドを持つ。
OHO 06 大内氏スライドより

Cryomoduleの改良点、検討課題• 2K回収配管¾ 300φの径は、ILCで2.5kmにわたって約1200台(?)の空洞からの約4kW(?)の回収ガスに対し、圧力損失を一定レベルに保つような配管系が選ばれている。
¾ EUVでは、むしろ構造体としての強度から配管径・形状を最適化できるか？

• He jacketから2相配管へのチムニー¾ CW運転では、ここが熱伝達を制限する ⇒ 大口径化がCWでは必須• 5Kシールドの簡略化¾ 5Kシールドを簡略化してもstatic lossがあまりかわらないという議論があるので、可能であれば簡略化。

• High‐Qを目指した設計¾ 磁気シールドの強化¾ 冷却方法、冷却速度の最適化。予冷ラインの複数化（冷却時の温度勾配の最適化）¾ またそれを制御するためのセンサー類の強化。

• ゲートバルブ¾ 真空中に置いた場合、大電流ビームによる発熱の可能性があるので、必要に応じて冷却を検討• アラインメント¾ ワイヤーモニター（STF型）？ レーザー？（cERL型） トランジット？
¾ 冷却後、アラインメントのずれが判明した場合の対処方法

He jacketから2相配管のチムニー• BESSYでジャケット付きTESLA空洞で実験されていて、チムニーが熱伝達を制限していることを実証。
「CW operation of superconducting TESLA cavities」(SRF2007)• 1.53W/cm2@1.8K(TESLAの場合は23cm2。長いとさらに損する）• LCLS‐IIでは”95mm chimney”と言っているので、断面積71cm2。

LCLS‐II He jacket & chimney

以上の議論を概念図にしてみると。。。
（Thanks, 許斐君）

まとめ
• EUVに向けたクライオモジュールの検討を行っている。
• 第0次案を検討。検討課題をピックアップした段階。
• 大方針としては、STFクライオモジュールをベースとして、CW用に改造を加えたクライオモジュール、および付随する構成コンポーネントを用いる。
• 空洞・HOM damper/couplerは、新規設計・製作。
• Input couplerは多少設計変更。
• Tunerはほぼそのまま採用。
• 断熱真空槽および各種配管はSTFのものをベースとするが、2K回収配管・2相配管へのチムニー・5Kシールドの簡略化などの改良を加える。
• また、磁気シールド、アラインメント、ゲートバルブなどについて見直す。
• 詳細な熱設計、磁気シールド設計、HOM設計などは今後詰めていく。

質問事項
1. アラインメントの要求精度は？
2. 電磁石・モニターはモジュール内に設置しなくて良いか？
3. 電磁石・モニターはどのように配置するか？
¾1ユニット(8空洞)おきで良いか？
¾低エネルギー部では、より多く設置する必要があるか？

4. RF amplitude/phase安定性への要求は？
5. その他（お気づきの点があれば、コメントをよろしくお願いいたします。）