拡がるアプリケーション
プロービング・ 半導体ナノデバイスの特性評価

・ MM�A シリーズ
・ MM�E シリーズ (エンコーダ付き)

・ 表面薄膜の抵抗率測定

・ ナノチューブの特性評価
・ 故障解析分野

プ ロ ー バ ー シ ャトル

マニピュレーション

・ PS シリーズ

・ TEM 試料のピックアップ

・ ナノチューブ、超微粒子の移動

サ ブ ステ ー ジ・ グリッピング

・ 試料の破壊、切断、マーキング

・ LT シリーズ

引張試験 / 応力測定

・ ナノワイヤー、新規材料の機械特性評価

インジェクション・ ESEM 内で液体、ガスを注入

・ 食品 / 繊維 / 生理学 / 製薬 / 建材 / 冶金パッチクランプ・ 電気生理学実験※本カタログの製品の仕様等は、予告なく変更する事がございます [2304]［国内総販売代理店］〒���-����
東京都千代田区富士見�-�-�ステージビルディング��階TEL : ��-����-���� https://www.ads-img.co.jp/
E-mail : ads-contact@ads-img.co.jp［製造元］

マ イク ロ マ ニ ピュレ ー タ

電子/光学顕 微 鏡 向け

ナノデバイスを測る・操る

マニピュレータ / サブステージは既存の光学・電子顕微鏡（SEM/FIB）を簡単にアップグレードできます。

試 料を「観る」ことが主体の顕微鏡に、「測る・操る」といった機能を付加し、顕微 鏡をミクロの作業場として利用することが可能になります。マイクロ～ナノスケールでの超精密操作・位置決めによりナノテクノロジー分野の研究開発をサポートします。

半導体やカーボンナノチューブなどのナノデバイス電気特 性評価、故障 解 析 分野、微小試 料のピックアップ、
マニピュレーション、電子線描画などの用途に最適です。

SEM/FIBに更なる付加価値を

マイクロマニピュレータ

MM� A - EM
サブナノ動作分解能+広い動作範囲

ピエゾ素子を駆動原理とし、サブナノ分解能を実現します。

サブナノ動作分解能＋広い動作範囲
コンパクト・シンプルな設計
優れた安定性フレキシブルな取付け
かんたん操作微動モード（nm 動作分解能）と粗動モード（長距離移動用）を切り替えることでナノスケールの超微細動作を広い領域で行えます。

A軸（左右）

コンパクト・シンプルな設計

B軸（上下）

C軸（伸縮）

シンプルで洗練されたデザインは、顕微鏡への取付けに融通性を持たせます。

様々な装置へ取付けが可能で、マニピュレータ用に新しく顕微鏡を導入する必要がありません。

また、マニピュレータの脱着は簡単に行えるので、共有装置にも必要な時だけ取付けて使用することができます。

優れた安定性

コンパクトな設計により、優れた安定性を持ち、耐振性能にも効果を発揮します。
ドリフト特性はわずか � nm/min と抜群の保持性能があります。

電気特性評価や長時間レコーディング、マニピュレーションにおいても高い成功率を得られます。

フレキシブルな取付け

各社 SEM/FIB に対応する様々なアダプタを取り揃えています。

アダプタは取付ける機種や操作性に応じて異なります。詳細はお問い合わせ下さい。

ユニバーサルマウント
2

ブリッジマウント

ルーフマウント

ドアマウント3

ナノデバイスを測る・操る

マニピュレータ / サブステージは既存の光学・電子顕微鏡（SEM/FIB）を簡単にアップグレードできます。

試 料を「観る」ことが主体の顕微鏡に、「測る・操る」といった機能を付加し、顕微 鏡をミクロの作業場として利用することが可能になります。マイクロ～ナノスケールでの超精密操作・位置決めによりナノテクノロジー分野の研究開発をサポートします。

半導体やカーボンナノチューブなどのナノデバイス電気特 性評価、故障 解 析 分野、微小試 料のピックアップ、
マニピュレーション、電子線描画などの用途に最適です。

SEM/FIBに更なる付加価値を

マイクロマニピュレータ

MM� A - EM
サブナノ動作分解能+広い動作範囲

ピエゾ素子を駆動原理とし、サブナノ分解能を実現します。

サブナノ動作分解能＋広い動作範囲
コンパクト・シンプルな設計
優れた安定性フレキシブルな取付け
かんたん操作微動モード（nm 動作分解能）と粗動モード（長距離移動用）を切り替えることでナノスケールの超微細動作を広い領域で行えます。

A軸（左右）

コンパクト・シンプルな設計

B軸（上下）

C軸（伸縮）

シンプルで洗練されたデザインは、顕微鏡への取付けに融通性を持たせます。

様々な装置へ取付けが可能で、マニピュレータ用に新しく顕微鏡を導入する必要がありません。

また、マニピュレータの脱着は簡単に行えるので、共有装置にも必要な時だけ取付けて使用することができます。

優れた安定性

コンパクトな設計により、優れた安定性を持ち、耐振性能にも効果を発揮します。
ドリフト特性はわずか � nm/min と抜群の保持性能があります。

電気特性評価や長時間レコーディング、マニピュレーションにおいても高い成功率を得られます。

フレキシブルな取付け

各社 SEM/FIB に対応する様々なアダプタを取り揃えています。

アダプタは取付ける機種や操作性に応じて異なります。詳細はお問い合わせ下さい。

ユニバーサルマウント
2

ブリッジマウント

ルーフマウント

ドアマウント3

MM�A シリーズは、プラグインオプションを豊富に取り揃えています。

かんたん操作

プラグインオプション（詳細は個別資料をご請求ください）

ディスプレイ上の SEM 画像を見ながらコントロールボックスまたはジョイパッドを使い感覚的なマニュアル制御が行えます。観察倍率に合わせて動作速度（分解能）を切替えて操作します。操作方法は以下の � 種類から選択できます。

微小電流・容量測定キット

シンプルな構成と接続

MM�A-EM は以下の構成から成ります。

真空から大気へは � 個の導入端子に纏めて出力されます。（最大 � 台まで）
※ 空きのサービスポートが � つ以上必要です�）マニピュレータ本体�）コントロールボックス�）電源ボックス（構成により AC アダプタ）�）ジョイパッド�）真空側端子ケーブル / コネクタ
�）分岐ボックス（MM�A が � 台以上の時）
�）ソフトウェア

測定信号ラインを分岐し、� 軸トライコアキシャルを採用する
ことでより高感度な測定を行えます。
電流検出限界：� fA @� Hz（MM�A-EM 単体：�� nA）［用途］
VI 特性測定、抵抗測定例）マニピュレータ�台接続
チャンバー内- LCMK -

測定機へ

フランジ

EBIC / RCI

プロービング用�）コントロールボックス�）ジョイパッド�）ソフトウェア（オープンループ）

MM�A で取得した電気信号を専用アンプに接続し、EBIC /RCI 像を取得できます。
［用途］
p-n 接合部、抵抗差異、オープン箇所の可視化

BNC端子

コントローラ分岐ボックス

マニピュレータ
コントローラMM�A先端部φ�x�mm Hole

先端部が ���°無制限に回転します。試料の裏面 /�D 観察や
FIB でのプローブ針のクリーニングなどが可能になります。
◎［ROTIP］MM�A の先端に取付けます。
◎［RT-STEM］MM�A とは独立に、単体で使用します。

φ�.�mm

先端に直径 � mm 深さ � mm の穴があり、プローブを保持したチップホルダーを差し込みます。標準で先端の曲率半径 ��� nm のサンプルプローブ（� 本）が付属します。

- ROTIP / RT-STEM -プローブ

チップホルダ（他にも各種プローブを取り揃えていますのでお問合せ下さい）

ホルダーを変えることで、ガラスピペットや自作ツールなどを保持することも可能です。

（� g 程度まで）

ピペットホルダ他

また、用途に応じて様々なプラグインツールを追加できます。（右頁参照）

プロービング機能

ROTIP

フォースメジャーシステム

MM�A-EM はプローバーとしての機能を併せ持ちます。スムーズな動作、サブナノ分解能

により、ナノデバイスやナノチューブなどの微小試料に直接プローブを接触させます。また、
優れた低ドリフト特性が測定の成功率を高めます。コントロールボックスに市販の測定機を接続し、IV カーブ測定や抵抗測定・電圧印加などに利用でき、半導体故障解析や先端材料研究における電気特性評価試験にご利用いただけます。

マニピュレーション用

ローテーター

ジョイパッドは�台で複数のNCを制御可能

マイクログリッパー- MGS� -MM�A の先端にグリッパー（ピンセット）を取付け、試料を保

持します。
［用途］
［類似製品］
マニピュレーション ミニグリッパー：最大スパン幅 � mm
TEM 試料作成
クライオグリッパー：温度範囲 -���℃～ ��℃

RT-STEM- FMS -

マイクロインジェクション

- MIS -MM�A の先端に圧電抵抗型の AFM カンチレバーを取付け
SEM 内で微小領域の応力測定・引張試験を可能にします。
［用途］
繊維 / カーボンナノワイヤー / 粒子

低真空 SEM 内で、液体やガスを任意の領域に注入できます。
［用途］
食品 / 繊維 / 生理学 / 製薬 / 建材 / 冶金

エンコーダ付きマイクロマニピュレータ- MM�E-EM -マイクロ加熱ステージ - MHS マイクロ加熱冷却ステージ - MHCS-

微小電流・電気容量測定キット（LCMK）や接触検知モジュール（STA）などのオプション（右ページ参照）と組み合わせることで、検出感度や成功率、スループットを更に向上させることができます。また、EBIC（Electron Beam Induced Current）や、RCI（Resistive
Contrast Imaging）などの故障解析技術への応用も可能です。

動作モード
動作スピード
外径寸法 / 重量（マニピュレータ本体）

4仕様
Fine モード（微動）/ Coarse モード（粗動）AB 軸（左右 / 上下）：最速 �� mm/sec
C 軸（伸縮）：最速 � mm/sec※ A= 左右、B= 上下、C= 伸縮

動作分解能（Fine）

��.�×��.�×��.� mm（L×W×H）
�� g～�� -� mbar, �～�� ℃

使用環境（UHV 仕様：～�×�� -�� mbar, �～��� ℃）

固定方法

M� ネジ（MM�A 底面）（低温仕様：-��� ℃まで）

動作範囲（Fine）

動作範囲（Coarse）

A 軸（左右）：�×�� ‒� rad（�.� nm）

B 軸（上下）：�×�� rad（�.� nm）‒�

C 軸（伸縮）：< �.�� nm
A 軸（左右）：約 �� μm
B 軸（上下）：約 �� μm
C 軸（伸縮）：約 � μm

AB 軸（左右 / 上下）：���°MM�A-EM にエンコーダ（位置フィードバック機能）を組み合わせたモデルです。直感的に操作できるドラッグ＆ドロップ方式の制御ソフトウェアが付属します。

その他マニピュレーション
関連オプション等MM�A-EMMM�A-EM と同じフィードスルーを通して、簡単に追加可能な
マイクロステージです。単体での使用も可能です。
真空での温度範囲：
室温～ ���℃ or ���℃

真空での温度範囲：‒��℃～ ���℃

MHS

MHCS

C 軸（伸縮）：�� mm

5

MM�A シリーズは、プラグインオプションを豊富に取り揃えています。

かんたん操作

プラグインオプション（詳細は個別資料をご請求ください）

ディスプレイ上の SEM 画像を見ながらコントロールボックスまたはジョイパッドを使い感覚的なマニュアル制御が行えます。観察倍率に合わせて動作速度（分解能）を切替えて操作します。操作方法は以下の � 種類から選択できます。

微小電流・容量測定キット

シンプルな構成と接続

MM�A-EM は以下の構成から成ります。

真空から大気へは � 個の導入端子に纏めて出力されます。（最大 � 台まで）
※ 空きのサービスポートが � つ以上必要です�）マニピュレータ本体�）コントロールボックス�）電源ボックス（構成により AC アダプタ）�）ジョイパッド�）真空側端子ケーブル / コネクタ
�）分岐ボックス（MM�A が � 台以上の時）
�）ソフトウェア

測定信号ラインを分岐し、� 軸トライコアキシャルを採用する
ことでより高感度な測定を行えます。
電流検出限界：� fA @� Hz（MM�A-EM 単体：�� nA）［用途］
VI 特性測定、抵抗測定例）マニピュレータ�台接続
チャンバー内- LCMK -

測定機へ

フランジ

EBIC / RCI

プロービング用�）コントロールボックス�）ジョイパッド�）ソフトウェア（オープンループ）

MM�A で取得した電気信号を専用アンプに接続し、EBIC /RCI 像を取得できます。
［用途］
p-n 接合部、抵抗差異、オープン箇所の可視化

BNC端子

コントローラ分岐ボックス

マニピュレータ
コントローラMM�A先端部φ�x�mm Hole

先端部が ���°無制限に回転します。試料の裏面 /�D 観察や
FIB でのプローブ針のクリーニングなどが可能になります。
◎［ROTIP］MM�A の先端に取付けます。
◎［RT-STEM］MM�A とは独立に、単体で使用します。

φ�.�mm

先端に直径 � mm 深さ � mm の穴があり、プローブを保持したチップホルダーを差し込みます。標準で先端の曲率半径 ��� nm のサンプルプローブ（� 本）が付属します。

- ROTIP / RT-STEM -プローブ

チップホルダ（他にも各種プローブを取り揃えていますのでお問合せ下さい）

ホルダーを変えることで、ガラスピペットや自作ツールなどを保持することも可能です。

（� g 程度まで）

ピペットホルダ他

また、用途に応じて様々なプラグインツールを追加できます。（右頁参照）

プロービング機能

ROTIP

フォースメジャーシステム

MM�A-EM はプローバーとしての機能を併せ持ちます。スムーズな動作、サブナノ分解能

により、ナノデバイスやナノチューブなどの微小試料に直接プローブを接触させます。また、
優れた低ドリフト特性が測定の成功率を高めます。コントロールボックスに市販の測定機を接続し、IV カーブ測定や抵抗測定・電圧印加などに利用でき、半導体故障解析や先端材料研究における電気特性評価試験にご利用いただけます。

マニピュレーション用

ローテーター

ジョイパッドは�台で複数のNCを制御可能

マイクログリッパー- MGS� -MM�A の先端にグリッパー（ピンセット）を取付け、試料を保

持します。
［用途］
［類似製品］
マニピュレーション ミニグリッパー：最大スパン幅 � mm
TEM 試料作成
クライオグリッパー：温度範囲 -���℃～ ��℃

RT-STEM- FMS -

マイクロインジェクション

- MIS -MM�A の先端に圧電抵抗型の AFM カンチレバーを取付け
SEM 内で微小領域の応力測定・引張試験を可能にします。
［用途］
繊維 / カーボンナノワイヤー / 粒子

低真空 SEM 内で、液体やガスを任意の領域に注入できます。
［用途］
食品 / 繊維 / 生理学 / 製薬 / 建材 / 冶金

エンコーダ付きマイクロマニピュレータ- MM�E-EM -マイクロ加熱ステージ - MHS マイクロ加熱冷却ステージ - MHCS-

微小電流・電気容量測定キット（LCMK）や接触検知モジュール（STA）などのオプション（右ページ参照）と組み合わせることで、検出感度や成功率、スループットを更に向上させることができます。また、EBIC（Electron Beam Induced Current）や、RCI（Resistive
Contrast Imaging）などの故障解析技術への応用も可能です。

動作モード
動作スピード
外径寸法 / 重量（マニピュレータ本体）

4仕様
Fine モード（微動）/ Coarse モード（粗動）AB 軸（左右 / 上下）：最速 �� mm/sec
C 軸（伸縮）：最速 � mm/sec※ A= 左右、B= 上下、C= 伸縮

動作分解能（Fine）

��.�×��.�×��.� mm（L×W×H）
�� g～�� -� mbar, �～�� ℃

使用環境（UHV 仕様：～�×�� -�� mbar, �～��� ℃）

固定方法

M� ネジ（MM�A 底面）（低温仕様：-��� ℃まで）

動作範囲（Fine）

動作範囲（Coarse）

A 軸（左右）：�×�� ‒� rad（�.� nm）

B 軸（上下）：�×�� rad（�.� nm）‒�

C 軸（伸縮）：< �.�� nm
A 軸（左右）：約 �� μm
B 軸（上下）：約 �� μm
C 軸（伸縮）：約 � μm

AB 軸（左右 / 上下）：���°MM�A-EM にエンコーダ（位置フィードバック機能）を組み合わせたモデルです。直感的に操作できるドラッグ＆ドロップ方式の制御ソフトウェアが付属します。

その他マニピュレーション
関連オプション等MM�A-EMMM�A-EM と同じフィードスルーを通して、簡単に追加可能な
マイクロステージです。単体での使用も可能です。
真空での温度範囲：
室温～ ���℃ or ���℃

真空での温度範囲：‒��℃～ ���℃

MHS

MHCS

C 軸（伸縮）：�� mm

5

Kleindiek 社 マニピュレータ・プローバー推奨オプション

高品位プローブニードル

世界をリードする
ナノスケール プローブニードル メーカー

MESOSCOPE 社は台湾のプローブニードルメーカーで、μm から nm まで、あらゆるプローブステーション、ナノプローブ、SPM システムに対応する製品を取り揃えています。さらに、お客様のご要望に応じて、様々なアプリケーションに対応した設計も承っています。

MM�A-LS

MM�A-LMP・ナノ & マイクロプロービング

光学 顕 微 鏡 向け

・光学顕微鏡でのプロービング

MM�A-LS / -LMP は、既存の光学顕微鏡やマイクロスコープに後付けできます。

取付けはマグネット方式で、着脱にかかる時間はわずか数秒のため、装置を専有しません。非常に小型なため、余分なスペースを必要としません。
さらにドリフトや振動を極限まで抑えました（� nm/min）。電気生理学分野でのパッチクランプなど長時間記録が必要な分野には最適です。
研究開発・工業用途では、混入異物のサンプリングやマーキング、プロービングなどに威力を発揮します。

用途

先端部

プロービング
構成

MM�A-LS 仕様

MM�A-LMP 仕様

工業・研究開発・分析向け /異物採取・電気特性評価・マーキング

否

可・マニピュレータ本体
・ジョイパッド

・電源ボックス
・マグネットプレート

・ピペットホルダ・パッチクランプ用サンプルコネクタ

・走査型トンネル顕微鏡（STM）

金属針

・コントロールボックス
・ソフトウェア

・チップホルダ・サンプルプローブ（� 本）など

最先端プローブニードルと幅広いラインナップ
Nano Probing 向け

ライフサイエンス / 電気生理学
ガラスピペット・TEM 試料プレパレーション

SAシリーズMM�A-EM・プローバーシャトル

CR（先端曲率半径）・� nm・��� nm・�� nm・��� nm・�� nm・�� nm・�� nm・��� nm・��� nm推奨品

SA

Micro Probing 向け（光学顕微鏡向け）

FAシリーズMM�A-LMP

CR（先端曲率半径）・��� nm・��� nm・���� nm推奨品

FA・���� nm・���� nm ・���� nm・���� nm※ 上記以外にも多数のプローブを取り扱っております。

FIB Probing・TEM 試料作製・STM 向けのプローブについてはお問い合わせください。

クリーニング・ベーキング不要

独自の MST（Micro-Surface-Treatment）プロセスにより、プローブニードルの Tip は清浄なま
ま出荷されます。

開封後、面倒な前処理（化学洗浄）やベーキング無しで直ぐにご利用頂けます。

高度な品質管理

Single Tip Package

プローブの品質は高度な品質管理のもと、���% 保証されます。全てのプローブニードルは、SEM 検査工程を経て、真空パック（窒素ガス充填シール）され出荷されます。

独自の MST プロセスと品質管理により、プローブの Tip 抵抗は ��Ω以下です。

（真空パックされた状態で �� ヵ月後に開封した Tip 抵抗はおよそ ��Ω以下です。/ ベーキング後の Tip 抵抗はおよそ ��Ω以下です。）

6

Multi Tips Package

7

Kleindiek 社 マニピュレータ・プローバー推奨オプション

高品位プローブニードル

世界をリードする
ナノスケール プローブニードル メーカー

MESOSCOPE 社は台湾のプローブニードルメーカーで、μm から nm まで、あらゆるプローブステーション、ナノプローブ、SPM システムに対応する製品を取り揃えています。さらに、お客様のご要望に応じて、様々なアプリケーションに対応した設計も承っています。

MM�A-LS

MM�A-LMP・ナノ & マイクロプロービング

光学 顕 微 鏡 向け

・光学顕微鏡でのプロービング

MM�A-LS / -LMP は、既存の光学顕微鏡やマイクロスコープに後付けできます。

取付けはマグネット方式で、着脱にかかる時間はわずか数秒のため、装置を専有しません。非常に小型なため、余分なスペースを必要としません。
さらにドリフトや振動を極限まで抑えました（� nm/min）。電気生理学分野でのパッチクランプなど長時間記録が必要な分野には最適です。
研究開発・工業用途では、混入異物のサンプリングやマーキング、プロービングなどに威力を発揮します。

用途

先端部

プロービング
構成

MM�A-LS 仕様

MM�A-LMP 仕様

工業・研究開発・分析向け /異物採取・電気特性評価・マーキング

否

可・マニピュレータ本体
・ジョイパッド

・電源ボックス
・マグネットプレート

・ピペットホルダ・パッチクランプ用サンプルコネクタ

・走査型トンネル顕微鏡（STM）

金属針

・コントロールボックス
・ソフトウェア

・チップホルダ・サンプルプローブ（� 本）など

最先端プローブニードルと幅広いラインナップ
Nano Probing 向け

ライフサイエンス / 電気生理学
ガラスピペット・TEM 試料プレパレーション

SAシリーズMM�A-EM・プローバーシャトル

CR（先端曲率半径）・� nm・��� nm・�� nm・��� nm・�� nm・�� nm・�� nm・��� nm・��� nm推奨品

SA

Micro Probing 向け（光学顕微鏡向け）

FAシリーズMM�A-LMP

CR（先端曲率半径）・��� nm・��� nm・���� nm推奨品

FA・���� nm・���� nm ・���� nm・���� nm※ 上記以外にも多数のプローブを取り扱っております。

FIB Probing・TEM 試料作製・STM 向けのプローブについてはお問い合わせください。

クリーニング・ベーキング不要

独自の MST（Micro-Surface-Treatment）プロセスにより、プローブニードルの Tip は清浄なま
ま出荷されます。

開封後、面倒な前処理（化学洗浄）やベーキング無しで直ぐにご利用頂けます。

高度な品質管理

Single Tip Package

プローブの品質は高度な品質管理のもと、���% 保証されます。全てのプローブニードルは、SEM 検査工程を経て、真空パック（窒素ガス充填シール）され出荷されます。

独自の MST プロセスと品質管理により、プローブの Tip 抵抗は ��Ω以下です。

（真空パックされた状態で �� ヵ月後に開封した Tip 抵抗はおよそ ��Ω以下です。/ ベーキング後の Tip 抵抗はおよそ ��Ω以下です。）

6

Multi Tips Package

7

プローバーシャトル

PS�

プローバーシャトル PS� は、高精度の in-situ 電気ナノプロービング用の最新ツールです。この製品のビジョンを実現するために、比類のない安定性と精度を備えた超フラットな � 軸マニ
ピュレータである MM� を開発しました。PS� は、� つまたは � つの MM� で構成でき、超フラットな � 軸サブステージのオプションがあります。

プローバーシャトル

SEM式ナノプロービングシステム

PS�

プローバーシャトル PS� は、�nm テクノロジーノード以降での高精度なその場電気ナノプロー

プローバーシャトル（PS）

ビングのための最新ツールです。PS� は、最大 � つの MM� で構成でき、超フラットな � 軸サ
ブステージのオプションがあります。

プローバーシャトル

プローバーシャトル（PS）は SEM 式ナノプロービング用途向けに特化して開発されました。

最新のマニピュレータ（MM�）を搭載した PS 本体は既存の SEM/FIB 試料室内に設置され、SEM 像をライブ観察しながらプローブ針を自在に外部制御できます。数μm から数十 nm サイズのコンタクトや配線にプローブ針を直接接触させることで、極小デバイスやナノワイヤーなど

PS�E エンコーダ付き

最もコンパクトで高度に統合されたナノプロービングシステムであるプローバーシャトル PS� に、の電気特性評価に利用できます。オプションで EBIC/RCI 像の取得も可能です。

ポジションエンコーダを追加しました。この最新機能により、高速で効率的なナノプロービン
グのワークフローが可能になりました。

ビーム感度が問題となり、そのために非常に低い加速電圧が必要となる最新のテクノロジーノ

ロードロック式SEM対応

ードでのプロービングには、プローブの位置を自動的に事前調整できる機能は特に重要です。
事前に設定されたアライメント位置を使用して、� つのプローブをそれぞれのパーク位置からプローバーシャトル本体は SEM の試料交換室から着脱できるように設計されています。試料室を試料上の一定の高さに近づけることができます。これにより、非点収差を常に補正したり、よ開けることなく本体の着脱や、試料・プローブ針の交換が可能になり、装置の占有時間・実験時

り高い加速電圧に切り替える必要があった面倒な事前調整作業が不要になります。

間を大幅に短縮することができます。

PS�E には、比類ない安定性と精度を誇る超薄型 � 軸マニピュレータ MM� が採用されています。
システム全体の高さは ��mm で、幅広い SEM のロードロックに対応し、試料のスループット

超コンパクトサイズ （PS�：φ���mm、PS�：φ���mm）

を向 上させます。また、プ ローバーシャトル は、低 電 流・低 容 量 の 測 定 が 可 能 であり、LiveContactTester や EBIC イメージングモジュールなど、AdvancedProbingTools のハード

PS のプラットホーム上に、最新の超コンパクトかつフラットな � 軸マニピュレータが最大 � 台

ウェアおよびソフトウェアに完全対応しています。

（PS�）または最大 � 台（PS�）配置されます。

全体の高さをわずか ��mm に抑えることで、間口の狭い試料交換室を通過することができます。
また短い WD で操作することが可能で、SEM の画像分解能を損ないません。

プローバーシャトル

マイクロマニピュレータ：MM�-EM

低容量、低電流の測定

動作範囲

A = � mm(PS�) or �mm(PS�)、B = ��°、C = � mmノイズ

�� fA @ � Hz(PS�)、�� fA @ � Hz(PS�)

低ドリフト

� nm / min

信号導体抵抗

<� Ω

分解能

8

プローバーシャトル

共通仕様

A <�.�� nm、B<�.� nm、C<�.�� nm

A = 左右、B = 上下、C = 伸縮

絶縁漏れ電流最大電圧
最大電流<�� fA/ V��� V

��� mA

PS�

全高

�� mm

最大試料領域

�� mm × �� mm

全幅

最大試料高さ重量��� mm�� mm ※

��� g + SEM / FIB ダブテール※ 試料領域とロードロックの寸法による

プローバーシャトル

PS� / PS�E

全高

�� mm

最大試料領域

�� mm × �� mm

全幅

最大試料高さ重量��� mm�� mm ※

��� g + SEM / FIB ダブテール

・フランジからラックまでのクリーンなケーブル管理※ 試料領域とロードロックの寸法による・非磁性設計エンコーダ（PS�E）

ボタンをクリックするだけでプローブをパーク＆復元
サブステージを事前定義された場所に移動

9プローバーシャトル

PS�

プローバーシャトル PS� は、高精度の in-situ 電気ナノプロービング用の最新ツールです。この製品のビジョンを実現するために、比類のない安定性と精度を備えた超フラットな � 軸マニ
ピュレータである MM� を開発しました。PS� は、� つまたは � つの MM� で構成でき、超フラットな � 軸サブステージのオプションがあります。

プローバーシャトル

SEM式ナノプロービングシステム

PS�

プローバーシャトル PS� は、�nm テクノロジーノード以降での高精度なその場電気ナノプロー

プローバーシャトル（PS）

ビングのための最新ツールです。PS� は、最大 � つの MM� で構成でき、超フラットな � 軸サ
ブステージのオプションがあります。

プローバーシャトル

プローバーシャトル（PS）は SEM 式ナノプロービング用途向けに特化して開発されました。

最新のマニピュレータ（MM�）を搭載した PS 本体は既存の SEM/FIB 試料室内に設置され、SEM 像をライブ観察しながらプローブ針を自在に外部制御できます。数μm から数十 nm サイズのコンタクトや配線にプローブ針を直接接触させることで、極小デバイスやナノワイヤーなど

PS�E エンコーダ付き

最もコンパクトで高度に統合されたナノプロービングシステムであるプローバーシャトル PS� に、の電気特性評価に利用できます。オプションで EBIC/RCI 像の取得も可能です。

ポジションエンコーダを追加しました。この最新機能により、高速で効率的なナノプロービン
グのワークフローが可能になりました。

ビーム感度が問題となり、そのために非常に低い加速電圧が必要となる最新のテクノロジーノ

ロードロック式SEM対応

ードでのプロービングには、プローブの位置を自動的に事前調整できる機能は特に重要です。
事前に設定されたアライメント位置を使用して、� つのプローブをそれぞれのパーク位置からプローバーシャトル本体は SEM の試料交換室から着脱できるように設計されています。試料室を試料上の一定の高さに近づけることができます。これにより、非点収差を常に補正したり、よ開けることなく本体の着脱や、試料・プローブ針の交換が可能になり、装置の占有時間・実験時

り高い加速電圧に切り替える必要があった面倒な事前調整作業が不要になります。

間を大幅に短縮することができます。

PS�E には、比類ない安定性と精度を誇る超薄型 � 軸マニピュレータ MM� が採用されています。
システム全体の高さは ��mm で、幅広い SEM のロードロックに対応し、試料のスループット

超コンパクトサイズ （PS�：φ���mm、PS�：φ���mm）

を向 上させます。また、プ ローバーシャトル は、低 電 流・低 容 量 の 測 定 が 可 能 であり、LiveContactTester や EBIC イメージングモジュールなど、AdvancedProbingTools のハード

PS のプラットホーム上に、最新の超コンパクトかつフラットな � 軸マニピュレータが最大 � 台

ウェアおよびソフトウェアに完全対応しています。

（PS�）または最大 � 台（PS�）配置されます。

全体の高さをわずか ��mm に抑えることで、間口の狭い試料交換室を通過することができます。
また短い WD で操作することが可能で、SEM の画像分解能を損ないません。

プローバーシャトル

マイクロマニピュレータ：MM�-EM

低容量、低電流の測定

動作範囲

A = � mm(PS�) or �mm(PS�)、B = ��°、C = � mmノイズ

�� fA @ � Hz(PS�)、�� fA @ � Hz(PS�)

低ドリフト

� nm / min

信号導体抵抗

<� Ω

分解能

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プローバーシャトル

共通仕様

A <�.�� nm、B<�.� nm、C<�.�� nm

A = 左右、B = 上下、C = 伸縮

絶縁漏れ電流最大電圧
最大電流<�� fA/ V��� V

��� mA

PS�

全高

�� mm

最大試料領域

�� mm × �� mm

全幅

最大試料高さ重量��� mm�� mm ※

��� g + SEM / FIB ダブテール※ 試料領域とロードロックの寸法による

プローバーシャトル

PS� / PS�E

全高

�� mm

最大試料領域

�� mm × �� mm

全幅

最大試料高さ重量��� mm�� mm ※

��� g + SEM / FIB ダブテール

・フランジからラックまでのクリーンなケーブル管理※ 試料領域とロードロックの寸法による・非磁性設計エンコーダ（PS�E）

ボタンをクリックするだけでプローブをパーク＆復元
サブステージを事前定義された場所に移動

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- Naming Rule LT ○○ ○○ X(E) Y(E)
可動範囲

X(E) Y(E) Z(E) -X Y Z � 軸

ステージサイズ

サブステージLTシリーズLT シリーズはサブナノ分解能を持った超小型精密位置決めステージです。

最小サイズが �� mm 角と非常に小型で、狭スペースへ取付けが可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムーズな動作で試料の位置決めを行えます。メカニカルステージに見受けられるバックラッシュやガタ付きがなく、セルカウンティングやスティッチン
グなどの用途に極めて有効です。超高真空や低温装置にも利用可能です。

ラインナップは、ステージサイズ / 可動範囲 / 軸数 / 使用環境 / エンコーダの有無（オープン / クローズドループ）によって分類されます。

（例）LT����XEYEZ � 軸 XYZ：・ステージサイズ �� mm×�� mm
・可動範囲 �� mm

エンコーダ

・エンコーダ付 XY 軸のみ

超コンパクトサイズ

サブナノ動作分解能と広い動作範囲た設計は装置への取付けに融通性を持たせ、着脱を簡便にします。

微動モード（nm 動作分解能）と粗動モード（長距離移動用）を

�� mm 角（最小モデル）と非常に小型で、シンプルに洗練されピエゾ素子を駆動源とし分解能 �.�� nm を実現します（LT����）。
切り替えることで、ナノスケールの超微細動作を広い領域で行えます。

スムーズな動作と優れた安定性

極限環境対応リフト特性はわずか � nm/min と非常に優れた安定性を持ちます。

mbar まで対応します。

バックラッシュが無く、非常にスムーズな動作を実現します。ド標 準 で �� -� mbar に 対 応します。超 高 真 空 モ デル は �×�� -��

LT����

LT����

LT����

LT�����

・ 最小サイズ，最高分解能

・ 超高真空モデル有り

・ 超高真空モデル有り

・ 最大動作範囲・ 超高真空モデル有り

・ 動作軸・ 繰返し精度・ ダブルエンコーダ付き（クローズループ）

・ エンコーダ無し（オープンループ）

・ 回転軸有り・ エンコーダ無し（オープンループ）

XY � 軸 / XYZ � 軸

サブステージ LT����
動作モード

仕様

Fine（微動）/ Coarse（粗動）モード

動作スピード最速 1 mm/sec

動作範囲

�� mm (XY), � mm (Z), ���°(R)

動作分解能（Fine）
耐加重

外形寸法（W×D×H）
使用環境< �.�� nm (XYZ), �.�×�� -� rad (R)�� g (XY), �� g (Z)��×��×��.� mm（LT 本体）*XYZ：�� mm (H) + � mm 動作*XYR：��.� mm (H)�� -� mbar, � ～ �� ℃

（UHV 仕様：�×�� -�� mbar, � ～ ��� ℃）

・ エンコーダ付き（クローズループ）
・ 動作軸

・ 動作軸［XY � 軸 /XYZ � 軸 /XYR � 軸］

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-X Y � 軸

��� nm・ 超高真空モデル有り
・ 繰返し精度

XY � 軸 / XYZ � 軸

・ 動作軸

�� nm

XY � 軸・ リソグラフィー用

サブステージ LT����
動作モード

仕様

Fine（微動）/ Coarse（粗動）モード

動作スピード最速 � mm/sec

動作範囲

�� mm (XY), �� mm (Z)

動作分解能（Fine）
耐加重

外形寸法（W×D×H）
使用環境< �.�� nm (XYZ)

��� g (XY), ��� g (Z)��×��×�� mm（LT 本体）*XYZ：�� mm (H) + �� mm 動作

�� -� mbar, � ～ �� ℃

（UHV 仕様：�×�� -�� mbar, � ～ ��� ℃）

サブステージ LT����
動作モード

仕様

Fine（微動）/ Coarse（粗動）モード

動作スピード最速 � mm/sec

動作範囲

�� mm (XY), �� mm (Z)

動作分解能（Fine）
繰返し精度
耐加重

外形寸法（W×D×H）

使用環境< �.�� nm (XYZ)
��� nm��� g (XY), ��� g (Z)��×��×�� mm（LT 本体）*XYZ：�� mm (H) + �� mm 動作

�� -� mbar, � ～ �� ℃

（UHV 仕様：�×�� -�� mbar, � ～ ��� ℃）

サブステージ LT�����
動作モード

Fine（微動）/ Coarse（粗動）モード

動作スピード最速 � mm/sec

動作範囲

XY 軸 ��.� mm

動作分解能（Fine）
繰返し精度
耐加重

外形寸法（W×D×H）
使用環境

仕様

< �.�� nm (XYZ)
�� nm

��� g (XY), ��� g (Z)���×���×�� mm（LT 本体）

�� -� mbar, � ～ �� ℃

（UHV 仕様：�×�� -�� mbar, � ～ ��� ℃）※ 仕様表の中に表記されている「X/Y/Z/R」は「X 軸 /Y 軸 /Z 軸 /R 軸」になります。

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- Naming Rule LT ○○ ○○ X(E) Y(E)
可動範囲

X(E) Y(E) Z(E) -X Y Z � 軸

ステージサイズ

サブステージLTシリーズLT シリーズはサブナノ分解能を持った超小型精密位置決めステージです。

最小サイズが �� mm 角と非常に小型で、狭スペースへ取付けが可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムーズな動作で試料の位置決めを行えます。メカニカルステージに見受けられるバックラッシュやガタ付きがなく、セルカウンティングやスティッチン
グなどの用途に極めて有効です。超高真空や低温装置にも利用可能です。

ラインナップは、ステージサイズ / 可動範囲 / 軸数 / 使用環境 / エンコーダの有無（オープン / クローズドループ）によって分類されます。

（例）LT����XEYEZ � 軸 XYZ：・ステージサイズ �� mm×�� mm
・可動範囲 �� mm

エンコーダ

・エンコーダ付 XY 軸のみ

超コンパクトサイズ

サブナノ動作分解能と広い動作範囲た設計は装置への取付けに融通性を持たせ、着脱を簡便にします。

微動モード（nm 動作分解能）と粗動モード（長距離移動用）を

�� mm 角（最小モデル）と非常に小型で、シンプルに洗練されピエゾ素子を駆動源とし分解能 �.�� nm を実現します（LT����）。
切り替えることで、ナノスケールの超微細動作を広い領域で行えます。

スムーズな動作と優れた安定性

極限環境対応リフト特性はわずか � nm/min と非常に優れた安定性を持ちます。

mbar まで対応します。

バックラッシュが無く、非常にスムーズな動作を実現します。ド標 準 で �� -� mbar に 対 応します。超 高 真 空 モ デル は �×�� -��

LT����

LT����

LT����

LT�����

・ 最小サイズ，最高分解能

・ 超高真空モデル有り

・ 超高真空モデル有り

・ 最大動作範囲・ 超高真空モデル有り

・ 動作軸・ 繰返し精度・ ダブルエンコーダ付き（クローズループ）

・ エンコーダ無し（オープンループ）

・ 回転軸有り・ エンコーダ無し（オープンループ）

XY � 軸 / XYZ � 軸

サブステージ LT����
動作モード

仕様

Fine（微動）/ Coarse（粗動）モード

動作スピード最速 1 mm/sec

動作範囲

�� mm (XY), � mm (Z), ���°(R)

動作分解能（Fine）
耐加重

外形寸法（W×D×H）
使用環境< �.�� nm (XYZ), �.�×�� -� rad (R)�� g (XY), �� g (Z)��×��×��.� mm（LT 本体）*XYZ：�� mm (H) + � mm 動作*XYR：��.� mm (H)�� -� mbar, � ～ �� ℃

（UHV 仕様：�×�� -�� mbar, � ～ ��� ℃）

・ エンコーダ付き（クローズループ）
・ 動作軸

・ 動作軸［XY � 軸 /XYZ � 軸 /XYR � 軸］

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-X Y � 軸

��� nm・ 超高真空モデル有り
・ 繰返し精度

XY � 軸 / XYZ � 軸

・ 動作軸

�� nm

XY � 軸・ リソグラフィー用

サブステージ LT����
動作モード

仕様

Fine（微動）/ Coarse（粗動）モード

動作スピード最速 � mm/sec

動作範囲

�� mm (XY), �� mm (Z)

動作分解能（Fine）
耐加重

外形寸法（W×D×H）
使用環境< �.�� nm (XYZ)

��� g (XY), ��� g (Z)��×��×�� mm（LT 本体）*XYZ：�� mm (H) + �� mm 動作

�� -� mbar, � ～ �� ℃

（UHV 仕様：�×�� -�� mbar, � ～ ��� ℃）

サブステージ LT����
動作モード

仕様

Fine（微動）/ Coarse（粗動）モード

動作スピード最速 � mm/sec

動作範囲

�� mm (XY), �� mm (Z)

動作分解能（Fine）
繰返し精度
耐加重

外形寸法（W×D×H）

使用環境< �.�� nm (XYZ)
��� nm��� g (XY), ��� g (Z)��×��×�� mm（LT 本体）*XYZ：�� mm (H) + �� mm 動作

�� -� mbar, � ～ �� ℃

（UHV 仕様：�×�� -�� mbar, � ～ ��� ℃）

サブステージ LT�����
動作モード

Fine（微動）/ Coarse（粗動）モード

動作スピード最速 � mm/sec

動作範囲

XY 軸 ��.� mm

動作分解能（Fine）
繰返し精度
耐加重

外形寸法（W×D×H）
使用環境

仕様

< �.�� nm (XYZ)
�� nm

��� g (XY), ��� g (Z)���×���×�� mm（LT 本体）

�� -� mbar, � ～ �� ℃

（UHV 仕様：�×�� -�� mbar, � ～ ��� ℃）※ 仕様表の中に表記されている「X/Y/Z/R」は「X 軸 /Y 軸 /Z 軸 /R 軸」になります。

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拡がるアプリケーション
プロービング・ 半導体ナノデバイスの特性評価

・ MM�A シリーズ
・ MM�E シリーズ (エンコーダ付き)

・ 表面薄膜の抵抗率測定

・ ナノチューブの特性評価
・ 故障解析分野

プ ロ ー バ ー シ ャトル

マニピュレーション

・ PS シリーズ

・ TEM 試料のピックアップ

・ ナノチューブ、超微粒子の移動

サ ブ ステ ー ジ・ グリッピング

・ 試料の破壊、切断、マーキング

・ LT シリーズ

引張試験 / 応力測定

・ ナノワイヤー、新規材料の機械特性評価

インジェクション・ ESEM 内で液体、ガスを注入

・ 食品 / 繊維 / 生理学 / 製薬 / 建材 / 冶金パッチクランプ・ 電気生理学実験※本カタログの製品の仕様等は、予告なく変更する事がございます [2304]［国内総販売代理店］〒���-����
東京都千代田区富士見�-�-�ステージビルディング��階TEL : ��-����-���� https://www.ads-img.co.jp/
E-mail : ads-contact@ads-img.co.jp［製造元］

マ イク ロ マ ニ ピュレ ー タ

電子/光学顕 微 鏡 向け