LCD INLINE AOI検査機

LCD In Line Automatic Optical Inspection Machine#12 Kami-Imada-Cho, Saiin Ukyo-Ku,
Kyoto,Japan 615-0001
Tel:075-326-3810
Fax:075-326-3811
www.ksk81.co.jp
Version 2(2016/12)

共同設計企画

Kyodo Design & Planning CORP.

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目次Contents

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装置概要
画像System 仕様（圧痕）画像検査詳細（圧痕）4 Particle and scratch detect5

その他機能・納入実績

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1.装置概要
1-1.概要本装置は、上流から投入されたLCD Panelに対し、TDI Line scannerにてTAB/COG/FOGという駆動回路が接続されているボンディ
ング部分の画像撮影を行い、PC画像処理後に位置ズレ、導電粒子の圧痕状態、及び粒子数・異物などの検知を行います。検査結果の数値とパラメータの設定値を比較し、当該PanelのOK・NG状態の判断を出します。

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32.画像System仕様：「圧痕検査」
2-1.System特徴① 従来のArea CCDによる「Point検査」（ 両端・中央3ヵ所）から、TDI Line scannerによる高速 Scanで「全数」「全 Area」の高速撮像を可能にし、高速処理画像ＰＣと併せて検査箇所の拡大・処理時間の大幅短縮を可能にします。

COF Lead② 高性能4K-TDI Line scan 検査Unit
同軸 Laser autofocus 高速Sampling と高速追従軽量System
そして、防振対策により、ピンボケ(Pin dotage)ゼロ（無）に。
鮮明な画像取り込みを実現し、精度高い検査性能を保証します。

IC BumpOver kill 0.01%以下③ 200MB/1画像以上の鮮明な撮像画像も「JPEG圧縮機能」にて[NG画像」だけでなく「全画像保存」を可能とし、製品管理のTraceability に役立てる事も可能。
④ 検査UNITの配置・個数を自由に設計し、製造ラインの処理能力に応じた装置を構成します。 （モジュール化）

IC 撮像Sample L= 35mm ↑↓ COF 撮像Sample

L= 62mm共同設計企画

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（縮尺相違）

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2.画像System仕様：「圧痕検査」
2-2.①検査 Area ： Area camera → 4K-TDI Line scanner system
Points 検査 → 全領域検査 高速処理

1.0sec*¹

全領域撮像
2.8 mm第３世代：35mm IC：4096×50000pix =205M pix：42mm COF：4096×60000pix =245M pix

第2世代

0.4sec×3=1.2sec

Point（中）検査

第1世代

0.5sec×3=1.5sec

Point（小）検査

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2.画像System仕様：「圧痕検査」
2-3.② 検査の高信頼性・検査精度保証には「高速追従・高精度 Auto focus system」「防振対策」「大型薄板Panel反り・歪対策」 が不可欠
■ 4K-TDI Line scanner による高速・高精細(0.7μm/pix)撮像のため、高性能・高精細光学検査 Systemを設置（特許）
圧痕(3～4μm)検査には、DIC Prism と10倍 Lens が必要。
その組み合わせにより被写界深度は、3μm
それを超えると「ピンボケ画像」となり、正確な計測が不可能となる。それを解決。

COG Line AOI機

「同軸 Laser autofocus 高速Sampling と高速追従軽量System」
ピンボケ(Pin dotage)ゼロ（無）。

OLB Line AOI機

Over kill 0.01%以下■ 石定盤 or 高剛性Frame と 防振 Unit
検査UNIT+ 検査Stage or Backup Stageを石定盤上に載せ、内部振動（移載Unit等）外部振動を遮断。
精度高い検査性能を可能にします。
■ [Backup Stage] と [Panel 押え]
OLB Line 検査機には、大型Panel の薄板化による反り・歪対策として。
検査辺下側に「Backup Stage」上側に「Panel押え」機構を設け、検査対象Panelを安定静止させます。
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-0300 Unit 1式-3000 Unit 2式

画像処理PC×1式

画像処理PC×2式

拡張Unit

拡張Unit

制御用PC

制御用PC

2.画像System仕様：「圧痕検査」
2-4.② 4K-TDI Line scan system spec.

画像PC system
項目仕様

備考

標準 TDI Line 検査UNIT

全エリア

圧痕数・shift

1-1 カメラ種別

4K TDI Line Scanner

1-2 光学倍率10倍±5%(補正）1-3 光学 Size

4096 pixel×96段

・Cell size

7μm

・解像度

0.7μm×0.7μm

・有効視野

2.5mm (Scan巾)

1スキャン：Max80mm

・Scan speed

標準 45mm/sec

Max 48mm/sec

1-4 光学的性能
1-5 機械的性能 (Z軸)

DIC微分干渉光学系[Auto focus](Z軸）同軸 Laser autofocus

・Sampling rate

Max:5KHz

・分解能

0.1μm (1/10分割）

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3.画像検査詳細：「圧痕検査」
3-1. 検査項目

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3.画像検査詳細：「圧痕検査」
3-2.検査Monitor Sample 1 COF -R

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3.画像検査詳細：「圧痕検査」
3-4.検査System Monitor Sample

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3.画像検査詳細：「圧痕検査」
3-5.検査Monitor Sample 異物検出

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4. OLB-AOI Option [Particle and scratch detect]

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5. その他 AOI 機能（選択）5-1.検査結果グラフ
検査のチップ番号-A
Cpk：導電粒子数の平均値：工程能力指数

生産パネル数-X-Y：X方向偏移の平均値：Y方向偏移の平均値
Cp/Cpk：工程能力指数「工程能力指数」とは ：管理状態にある工程においてその工程の持つ品質達成能力を数値化したものです。
Ｃｐ＝（規格上限値－規格下限値）／６σ
Ｃｐｋ＝（規格上限値－平均値）／３σと（平均値－規格下限値）／３σ

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205. その他 AOI 機能（選択）
圧縮率30%JPEG画像Sample

5-2. JPEG圧縮機能

圧縮率80%JPEG画像Sample

JPEG圧縮率とHDD保存量目安

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5. その他。
Size/国別 販売台数実績

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ありがとうございました!

THANKS
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