10⽉4⽇

講演会場①
華胥 A（250）

講演会場②
華胥 B（250）

講演会場③
けやき（48）

12:00

講演会場④五百川（48）ホール

部門運営委員会

13:00

休憩

13:15 OS6 切削加工１OS1 最新工作機械１OS12 ナノ加工と表面機能
座長：田村昌一（東京電機大学）
座長：森本喜隆（金沢工業大学）
座長：金子新（東京都立大学）
A01 純チタンの２次元切削におけるせん B01 導通を利用したミリングにおける工具 C01 微小液滴の選択的塗布によるナノ粒断角・比切削抵抗等の経験的予測式の －工作物接触検知技術／○水谷雄大 子自己組織構造の成膜制御／○出島秀一 (DiNOV 株 式 会 社 ) ， 管 一 兆 ， 増 井周
構築／○渡邊太一，酒井克彦，静弘生 (オークマ)造，道畑正岐，高橋哲(東京大学)(静岡大学)

13:30 A02 鋼材の硬さと切削条件がせん断角に B02 画像による加速度測定のための圧 C02 カリウム添加ガラス中での銀の高速関する実験式の係数に及ぼす影響／○ 電発光式加速度計の開発／○土屋恵 移動現象に関する検討／○新開壽来，松坂壮太，比田井洋史，伊東翔(千葉大学)
和田陽向，酒井克彦，静弘生(静岡大学) 里，河野大輔(京都大学)

13:45 A03 Bi添加がPbフリー青銅の被削性に及 B03 ボールねじ温度を考慮した形状創成 C03 ナノスクラッチングによる単結晶SiC OS5 加工計測・評価１

ぼす影響／○飯田奨之，酒井克彦，静弘 理論に基づく工作機械の空間誤差推定 の加工特性の評価N型4H-SiC基板の加 座長：金子順一（埼玉大学）
生(静岡大学)，山田浩士，廣田修平(栗本 ／○磯田将大朗，田中峻，木崎通(東京 工性と工具摩耗／○清水淳，望月勇杜， D03 ウォータガイドレーザ加工における高大学)，冨田健一，辻村真治( 小松製作 三枝剣吾，金子和暉，小貫哲平，尾嶌裕 速水ジェット挙動のピコ秒顕微観察／○鐵工所)所)，杉田直彦(東京大学)隆，周立波(茨城大学)
宇井象一，増井周造，道畑正岐，高橋哲(東京大学)
14:00 A04 アルコール潤滑によるアルミニウム B04 薄肉円筒ワークの治具配置と固有振
D04 滑らかな急斜面の計測を可能にする
Fluorescence response-based optical
合金の切削加工に関する研究／○中島 動数の関係の調査／○沼田来紀，森幸probing (FROP)法における表面位置検出
太郎，松原厚(京都大学)
憲吾，杉原達哉，榎本俊之(大阪大学)
モデルの提案と実験的検証／○吉川元弥，増井周造，道畑正岐，高橋哲(東京大学)
D05 回折格子スケールとLittrow配置を用いた平面ステージ計測システムの提案と基礎原理検証／○道畑正岐，藤村蒼輝，増井周造，高橋哲(東京大学)

14:15

14:30 OS6 切削加工２OS1 最新工作機械２OS3 工具・ツーリング１
座長：鈴木教和（中央大学）
座長：佐藤隆太（名古屋大学）
座長：笹原弘之（東京農工大学）
A06 曲線切れ刃をもつ異形工具を用いた B06 仮想粘弾性体を用いた接触面のモ C06 バインダレスcBN工具を用いた医療加工におけるリード角が切削面に与える デル化による機械構造体の振動特性の 用コバルトクロム合金の高能率加工に関影響の評価／○髙橋和雅，大槻亮志，永 推定／○平澤怜士，河野大輔(京都大学) する研究／○上田菜緒，加藤秀治，坂本松秀朗，森重功一(電気通信大学)
重彦(金沢工業大学)

14:45 A07 バレル工具を用いたアルミ合金加工 B07 非接触電磁加振器による工作機械 C07 内視鏡手術への適用を目指した切 OS5 加工計測・評価２における加工条件の仕上げ面に与える影 主軸の動コンプライアンスの推定コイル 削・研削ハイブリッド型ドリルの骨除去メカ 座長：高橋哲（東京大学）
響／○小林翼(福島県ハイテクプラザ南 電流を用いた加振力の推定／○岩井開， ニズムの検討／○中野優和，静弘生，酒 D07 3次元形状の機上計測における測定相馬技術支援センター)，小野裕道(福島 松原厚，大和駿太郎(京都大学)
井克彦(静岡大学)，北浜義博(浜松医科 手法の比較／○森谷太一，井原之敏(大県ハイテクプラザ)大学)，飯塚隆光(ナカニシ)
阪工業大学)
企業展示
15:00 A08 複合加工機を用いたホブ加工におけ B08 ピエゾアクチュエータによる工作機械 C08 熱可塑性CFRPのドリル加工におけ D08 ハンマリング音を利用したびびり振る切削現象の解明材料除去状態の推定 のインプロセス高周波振動制御／○神戸 る凸型切れ刃付きドリルの先端形状が切 動解析の簡易手法／○佐々木雄悟，齊に基づく切削力予測システムの開発／○ 悠，小泉創世，劉佳慧，廖一夫，木崎通， 削特性に及ぼす影響／○沓名優弥，岡 藤寛史(山形県工業技術センター)木村紘暉，金子順一，阿部壮志(埼玉大 長藤圭介，杉田直彦(東京大学)
田将人， 植松英之(福井大学) ，石川貴学)
雄，石川義一(ギケン)，金田直人(福井工業高等専門学校)
15:15 A09 グレーボックスモデルを用いた切削 B09 びびり振動抑制のための工作機械 C09 超音波クーラント援用のTiのマイクロ D09 加工音計測によるターンミーリングの力推定手法における摩擦補償と入力情 剛性の自動化／○竹内庄太郎，林晃生， 穴あけ加工／○鈴木浩文，古木辰也（中 びびり振動の検出／○佐藤昌彦，Ahmed
報が及ぼす影響／○齋藤嶺旺(慶應義塾 森本喜隆(金沢工業大学)部大学），森里恵（松井機工），森本和邦 Abdalla，窪津彰宏(鳥取大学)
大学)（三重県工業技術研究所）
15:30

休憩

15:45 OS6 切削加工３OS1 最新工作機械３OS3 工具・ツーリング２
OS5 加工計測・評価３
座長：松村隆（東京電機大学）
座長：松原厚（京都大学）
座長：岡田将人（福井大学）
座長：佐藤昌彦（鳥取大学）
A10 底刃のコーナー部摩耗の影響を考 B10 画像処理を用いた加工最適化システ C10 高能率加工に適した高送り加工用刃 D10 ターンミリングによる５軸マシニング
慮したエンドミル加工の切削力推定／○ ムの開発／○敷村達也，鈴木直彦(高松 先 交 換 式 工 具 の 開 発 ／ ○ 野 下 雅 史 センタの加工試験法の開発／○小野裕
松原光希，程原述英，鈴木教和(中央大 機械工業)，加藤秀治，林晃生，森本喜隆 (MOLDINO)道，小林翼，渡邊孝康，坂内駿平(福島県学)(金沢工業大学)
ハイテクプラザ)，齋藤明徳(日本大学)

16:00 A11 切削プロセスの解析情報を利用した B11 XR技術を用いた場の可視化による C11 5軸加工における仕上げ用切削工具 D11 3次元運動が可能なNC工作機械の旋削加工面の硬さ・残留応力の推定技術 加工作業者の状況把握感覚の拡張／○ の最適化／○徳山彰(MOLDINO)
開発／○小原千紀，高橋幸男，鈴木教和 Artsimovich Wladislav(DMG森精機)，山下(中央大学)
亜輝，谷口幸雄(エスユーエス)，越井信夫，西山祐太，大嶋知史(ＮＴＴコミュニケーションズ)，南郷史朗(ＮＴＴコノキュー)，河野大輔(京都大学)
16:15 A12 ターンミリングにおける切削状態と加工面性状の解析的予測／○篠崎直紀，
笹原弘之(東京農工大学)

16:30 A13 切削力に基づいた実切取り厚さの推定によるエンドミル加工時の加工面形状シミュレータ／○久戸崇裕，河野大輔(京都大学)
16:45
17:15

18:15

C12 砥石内研削液供給を可能としたCBN D12 工作機械の誤差運動の経時変化の電着ホイールの耐熱合金加工への適用 モニタリング／○武内洸太，茨木創一(広／○大坪信太郎，八尾泰弘，子安玲(平 島大学)和産業)，笹原弘之(東京農工大学)

C13 センサ搭載バイトによる小型旋盤加 D13 時間的スパース性を用いた画像補工における工具摩耗進展の監視／○香 完による工具位置のオンマシン画像計測
西孝司(住友電気工業)，温一凡，沖田淳 法／○嶋田剛，水谷康弘，片岡将磨，上也(住友電工ハードメタル)，村上大介(住 野原努，高谷裕浩(大阪大学)
友電気工業)
休憩
特別講演1
福島県酒造組合特別顧問 鈴木賢二 氏
隣の「風の杜」へ移動
懇親会「風の杜」

20:15

送り軸運動精度測定装置の試作／○杉山宏明(愛知工科大学)，大川一(帝京大学)，遠藤玄(金沢工業大学)，門脇裕司(長野県工科短期大学校)，西口直浩(帝京大学)，加藤亨(愛知工科大学)

10⽉5⽇

講演会場①
華胥 A（250）

講演会場②
華胥 B（250）

講演会場③けやき（48）

講演会場④五百川（48）

9:30 OS6 切削加工４

OS9 レーザー応用加工
OS1 最新工作機械４
GSI 一般セッション1
座長：鈴木教和（中央大学）
座長：松坂壮太（千葉大学），岡本康寛 座長：村木俊之（ヤマザキマザック）座長：嶋田慶太（日本大学）（岡山大学）
A14 クロムモリブデン鋼の微小切削によ B14 空間光位相変調器を用いたピコ秒パ C14 一姿勢からの撮像結果のみを用い D14 家庭用高周波美顔器のスキンケア
る加工面の高硬度化／○坂本重彦，前 ルスレーザによるガラス溶接特性の向上 た円運動精度試験における直角度誤差 解析／○赤星旭(千葉大学)， 関蘇軍(東田祐能，松田光輝，加藤秀治(金沢工業 ／○平松秀平，高嶋諒，岡本康寛，岡田 測定精度の評価／○近藤壮馬，森幸太 京理科大学) ，魯云， 糸井貴臣(千葉大学 ) ， 李 灿 明 ， 王 璐 (MY Memory Young郎，河野大輔(京都大学)
晃(岡山大学)大学)
Beauty Lab, Wisdom Co.,Ltd., Tokyo,Japan)，佐藤健吉(バサルトファイバー研究所)

9:45 A15 びびり振動発生時の切削力測定に B15 フェムト秒パルスレーザ照射による C15 キューブ加工試験による5軸制御工 D15 口 腔洗 浄用 携帯 ウォ ータ ーフ ロッ

基づく工具－被削材系の動特性のモニタ PZTの高アスペクト比マイクロ溝加工／○ 作機械回転軸の幾何誤差同定／○佐藤 サーの調査・比較 ／赤星旭，○魯云(千リング／○俣野壮太郎(東京農工大学)， 青羽伶，閻紀旺(慶應義塾大学)
隆太，山本悠奨(名古屋大学)葉大学)，関蘇軍(東京理科大学)，佐藤健
北風絢子，池田智夫(シチズン時計)，中吉(バサルトファイバー研究所)
谷尊一，三宮一彦(シチズンマシナリー)，笹原弘之(東京農工大学)
10:00 A16 工具送り速度制御によるステンレス B16 レーザ加工による微細連続ディンプ C16 5軸マシニングセンタのキューブ加工 D16 スプレー塗装機のポンプ挙動解析に

鋼の穴出口バリの抑制／○岡村弘太，植 ルを有するマイクロ流路の形成と流れ評 精度試験法における新たな加工面評価 よる塗装作業モニタリング／○藤本修平
竹大輔，曽田将来(栃木県産業技術セン 価パルスレーザがディンプル形成と流れ 法の提案／○前田祐能，坂本重彦，松田 (海上・港湾・航空技術研究所)， 熊谷一ター)，田村昌一，松村隆(東京電機大学) に及ぼす影響／○山元健太郎，北田良 光輝，加藤秀治(金沢工業大学)，佐藤隆 郎(明星大学)
二(崇城大学)，天谷諭(東京大学)
太(名古屋大学)，井原之敏(大阪工業大学)
10:15 A17 PI樹脂積層プレス板材の小径穴あけ B17 レーザにより溶融した金属の微小流 C17 5軸マシニングセンタにおける角度割 D17 制振合金製ツールホルダを用いた切りくず除去におけるバリ抑制の効果／ 路内における流動，凝固プロセスの高倍 出し精度の機上測定／○越路竜幹，齋藤 ヘール加工における残留応力の影響／佐藤琢磨，○野村光由，藤井達也，鈴木 率観察／○畑佐和香，比田井洋史，伊東 明徳(日本大学)，小野裕道(福島県ハイテ ○島名賢児，有川慎太郎(鹿児島工業高庸久(秋田県立大学)
翔(千葉大学)，Yves Bellouard (Institute クプラザ)
等専門学校)，岩本竜一(鹿児島県工業技of Electrical and Micro Engineering術センター)，吉満真一，小原裕也(鹿児EcolePolytechnique
Federalede島工業高等専門学校)
Lausanne (EPFL))，松坂壮太(千葉大学)
10:30

休憩
OS15 付加製造法１
座長：古本達明（金沢大学）

OS4 生産システムとCAD・CAM
GSI 一般セッション2
企業展示
座長：中本圭一（東京農工大学），金子順 座長：齋藤明徳（日本大学）
一（埼玉大学）B18 指向性エネルギー堆積法における送 C18 5 軸加工における球面κ-曲線を用 D18 絞りプレス加工時の金型・材料表面り速度計画による造形形状補正／○小林 いたエ ンドミルの姿勢制御／○川合航 温度の非接触計測／○川口達也(東京工業大学)
太，三浦憲二郎(静岡大学)
智也，阿部壮志，金子順一(埼玉大学)

10:45

11:00 OS6 切削加工５B19 ワイヤアーク指向性エネルギー堆積 C19 曲線切れ刃を持つ異形工具に対応 D19 超硬合金製治具を用いた温間成形
OS14 先端材料・難削材の加工法を用いたMg合金－Al合金造形物にお した5軸制御加工経路補間手法の開発／ 用摩擦発熱式パンチの作製／○原田泰座長：松村隆（東京電機大学）
ける入熱条件と金属間化合物層の関係 ○熊川千寛(電気通信大学)，岡本謙(長 典(兵庫県立大学)， 齊藤孝弘，上野智A19 エンドミル加工における工具摩耗予 ／○細川大樹，阿部壮志，金子順一(埼 野県南信工科短期大学校)，森重功一(電 之，柳田秀文(サンアロイ工業)
気通信大学)
測法の開発／○吉積孝紘，村上洋(北九 玉大学)，笹原弘之(東京農工大学)
州市立大学)，甲木昭雄(九州大学)，松田智大(北九州市立大学)
11:15 A20 TiCN-FeAl 工具の焼結条件が純鉄 B20 粒子法によるガスメタルアーク溶接 C20 ６自由度垂直多関節ロボットを用い D20 ローラボールダイによる純チタン極系合金切削の工具摩耗に及ぼす影響／ を用いたAMの造形形状シミュレーション た加工作業における躍度抑制を目的とし 薄板の機能性容器の成形 ／岡田翔太，○丸山泰知，酒井克彦，静弘生(静岡大 ／○常川登玄，河端征大，笹原弘之(東 た手先姿勢計画手法の開発／○先﨑拓 ○原田泰典(兵庫県立大学)学)，下島康嗣(産業技術総合研究所)
京農工大学)
真，金子順一，阿部壮志(埼玉大学)

11:30 A21 工具摩耗特性に基づいた切削条件 B21 マルエージング鋼積層造形体の機械 C21 技能獲得に向けた脳波測定による D21 工業用純チタン極薄板のシート成形の簡易選定法― 2²⁺ᵅ法の提案 ―／○關 的特性に対する粉末酸素濃度の影響／ 図面読解時の認知負荷推定に関する研 性に及ぼす強クロス圧延の効果／○魵
谷克彦(広島大学)，尾崎勝彦(イスカル ○中道公雅(岩手大学)，黒須信吾(岩手 究／○西連地秀斗，横山光，中本圭一 澤宙弥，久保木功(工学院大学)
ジャパン)，田中隆太郎，山田啓司(広島 県工業技術センター)，吉原信人，水野雅 (東京農工大学)
大学)
裕(岩手大学)
11:45 A22 アルミニウム圧延材の切削加工にお B22 立形マシニングセンタを用いた多層 C22 グラフニューラルネットワークを援用 D22 真空対応静圧軸受の静特性に関す

いて残留応力が形状誤差に与える影響 アルミニウム合金摩擦肉盛における荷重 した金型加工の作業条件の推定に関す る数値的検討／○杣谷啓(大同大学)，岡の解析／○梶哲滉，金子順一，阿部壮志 の制御性・造形効率の評価／○厚木蒼 る研究／○原田孝一(東京農工大学)，宇 部貴雄(東京大学)，萩野将広(大同大学)(埼玉大学)
一郎，永松秀朗(電気通信大学)，笹原弘 佐見修吾，小村尚史(牧野フライス製作之(東京農工大学)所)，中本圭一(東京農工大学)
12:00

休憩10⽉5⽇

講演会場①
華胥 A（250）

13:00

講演会場②
華胥 B（250）

講演会場③けやき（48）

講演会場④五百川（48）

特別講演2
福島ロボットテストフィールド副所長 若井洋 氏

14:00
14:15 OS6 切削加工６OS15 付加製造法２
OS8 電気加工
OS7 研削・砥粒加工１
座長：坂本重彦（金沢工業大学）
座長：舘野寿丈（明治大学）
座長：岡田晃(岡山大学)
座長：吉原信人（岩手大学）
A23 ダイヤモンドコーティングエンドミルに B23 強制冷却がWAAM-マグネシウム合 C23 シュリーレン法を用いた単発放電現 D23 円筒研削盤の工作物支持剛性の違よる超硬合金の高速切削／○明比儀(金 金積層壁の温度・強度異方性に与える影 象の観察／○平尾篤利(新潟大学)，後藤 いが砥石 摩耗 に及 ぼす 影響 ／○ 関優沢大学)，室岡和樹(YKK)，小谷野智広(金 響／○工藤永悠，永松秀朗(電気通信大 啓光，辻田容希，谷貴幸(筑波技術大学) 駿，内田元，山田高三(日本大学)
沢大学)，細川晃(公立小松大学)，見角裕 学)，笹原弘之(東京農工大学)
子(YKK)，古本達明(金沢大学)

14:30 A24 炭素繊維強化プラスチックの高速エ B24 WAAM+切削の繰り返しによる造形物 C24 CFRPに対する研削援用放電加工－ D24 研削工具エンクロージャ内温度モニン ド ミ ル 切 削 ／ ○ 渡 邉 笙 ( 東 京 電 機 大 形状及び機械的特性への影響／○大澤 加工面品位の比較－／○後藤啓光，池 タリングによる研削液供給量のインプロセ学)，内山文宏(内山刃物)，田村昌一，松 峻，笹原弘之(東京農工大学)，鈴木敦(ヤ 戸皓星，明松圭昭，谷貴幸(筑波技術大 ス制御に関する研究／○柳原聖(有明工村隆(東京電機大学)
マザキマザック)学)，平尾篤利(新潟大学)
業高等専門学校)

14:45 A25 鋸歯状切屑の形成を促進する被削 B25 WAAM によるマルテンサイト系ステ C25 放電加工における銅、黄銅材料表面 D25 硬脆材料の超音波振動援用研削に材表面の予亀裂状溝形状に関する研究 ンレス鋼の造形特性／○佐々木千歳，笹 への熱分解カーボン付着メカニズムの考 おける研削抵抗のモデルベース推定／○／○坂井亮太(名古屋工業大学)，二村友 原弘之(東京農工大学)，高野光司，森本 察／ 辻田容希，○谷貴幸，後藤啓光(筑 髙橋正行(DMG森精機株式会社, 中央大也(AVEX)，糸魚川文広，前川覚，劉暁旭 憲一，守本芳樹(日鉄ステンレス)
波技術大学)，平尾篤利(新潟大学)学)，鈴木教和(中央大学)(名古屋工業大学)
15:00 A26 ギヤスカイビング加工の切削力予測 B26 WAAMによるステンレス鋼と銅合金 C26 弾性体支持電極を用いた放電加工 D26 研削加工において音響信号によるにおける並列処理を用いた高速化手法の の異種金属造形における熱的異方性／ 仕上げ加工時における調心作用の基礎 ワーク表面粗さの予測／○任宗偉，吉岡開発／○伊藤大喜，金子順一，阿部壮志 ○宮崎智広，笹原弘之(東京農工大学) 的定量評価／○石田徹，寺浦光毅，溝渕 勇人(東京大学)(埼玉大学)
啓(徳島大学)

15:15 A27 同時5軸加工での軸の加速度抑制の B27 異種金属によるワイヤー＋アーク積 C27 電解加工によるマルチスケールテク D27 超仕上過程におけるAE波の実験的ためのワーク把持位置の探索法／○中 層造形での溶融池温度と冷却固化過程 スチャリング／○甲斐大和， 小谷 野智 検討／○大橋一仁(岡山大学)，張毅(岡野夢，金子順一，阿部壮志(埼玉大学)の観察／○杉山雄太，河端征大，合田万 広，古本達明，橋本洋平，山口貢(金沢大 山大学（現 住友電気工業）)，玉置巧実智，常川登玄，笹原弘之(東京農工大学) 学)(岡山大学（現 三浦工業）)，児玉紘幸(岡山大学)
企業展示

15:30

休憩

15:45

OS7 研削・砥粒加工２OS10 研磨技術
座長：大橋一仁（岡山大学）
A28 精密加工におけるひずみセンサによ B28 ワ イ ヤ ー ＋ ア ー ク 積 層 造 形 法 C28 ロボット研磨における工具角度を考 D28 Abrasive water jet micro machining
るびびり検出の検討／○渡邉賢太郎，福 （WAAM）による異種アルミニウム合金の 慮した面圧モデルと力制御法の提案／○ における送り速度制御による三次元微細田将彦(芝浦機械)
マルチマテリアル化／○合田万智，笹原 須藤駿，ヒネルアレハンドロ，柿沼康弘 形状創成／○柳谷隆，大和駿太郎(京都弘之(東京農工大学) ，安齋弘樹，小林 (慶應義塾大学)
大学)
翼，穴澤大樹(福島県ハイテクプラザ)
OS11 超精密加工
座長：鈴木浩文（中部大学）

OS15 付加製造法３
座長：楢原弘之（九州工業大学）

OS2 最新機械要素技術
座長：吉岡勇人(東京大学)

16:00 A29 浮遊映像向けマイクロレンズアレイ B29 メカニカルインターロック構造を用い C29 機械加工ロボットを対象としたびびり D29 ステンレス鋼円筒金型に対する自動金型加工における工具摩耗の抑制／○ た異種金属積層における薄壁形状が接 振動シミュレータの開発／○新谷正義， 研磨加工技術の開発／○篠﨑烈， 野田齊藤寛史(山形県工業技術センター庄内 合強度に与える影響の調査／○夏井蒼 高野昌宏，吉田勇太，宮川広康，杉澤康 裕太，坂本武司，石橋大作，明石剛二(有試験場)，佐々木雄悟(山形県工業技術セ 空，阿部壮志，金子順一(埼玉大学)
友(石川県工業試験場)
明工業高等専門学校)ンター)，小林庸幸(山形県工業技術セン
ター置賜試験場)，木村直樹(山形県工業技術センター庄内試験場)，澤村一実(IMUZAK)，大森昭広，遠藤大奈(三光化成)
16:15 A30 超音波楕円振動切削における工具 B30 PBF-LB/Mでの通気孔製作に向けた C30 ISO規格に準拠した寸法の8条列直刃先近傍変形場測定の試行／○花村大 微小管造形戦略の構築／○櫻井和哉， 動ボールガイドの開発／○高橋徹，山越地，糸魚川文広，前川覚，劉暁旭(名古屋 古本達明(金沢大学)，阿部諭(パナソニッ 竜一，大橋智史(THK)，野口昭治(東京理工業大学)，社本英二(名古屋大学)
クホールディングス)科大学)

16:30 A31 ＰＣＤブレード工具による難削材の高 B31 PBF-LB/Mの造形条件が析出物の C31 ベアリング周辺の温度分布に対する精度微細加工技術に関する研究／○福 生成と機械的強度に及ぼす影響／○江 ベアリングの熱抵抗の影響／○石垣綾
永涼太，藤田隆，小西遥大(近畿大学)， 面篤志(三条市立大学)，古本達明，角知 斗，河野大輔(京都大学)
和泉康夫，渡邊純二(新日本テック)
優(金沢大学)16:45 A32 RISA研削における滞留時間と除去 B32 双 腕 マ ニ ピ ュ レ ー タ ー に よ る コ ン C32 ウエハ静電チャックへの非接触給電

高さの関係／○西口大樹，下堂滉大(慶 フォーマルAMに関する研究／○伊藤詠 機構を持つ高真空対応薄型回転ステー應義塾大学) ，千 葉裕 介， 加来 剛( ニコ 人，舘野寿丈(明治大学)
ジ／○岡部貴雄(東京大学)，梅下尚己，ン)，福田将彦，田中克敏(芝浦機械)，柿秋元敏和(東京エレクトロン株式会社)，杣
沼康弘(慶應義塾大学)
谷啓(大同大学)，
17:00

終了