Vol.２６ No.２，２００７

９6
センターニュース

分析機器解説シリーズ（96）◆近接場光技術を用いた顕微分光分析システム ………………………… P1
日本分光株式会社

成田貴人

トピックス

◆微小径ロータリエンコーダの開発とマイクロ回転機械要素精度計測への応用………………………………… P5

九州大学大学院工学研究院

お知らせ

黒河周平

…………………………………………………………………………………………… P7

分析機器解説シリーズ（96）

近接場光技術を用いた顕微分光分析システム
日本分光株式会社

1

成田

貴人としての性質に起因する。このような空間分解能の限はじめに界は、波長限界または回折限界と呼ばれ、古くから知られていた。

未知試料を分析するにあたって、「見る」ことはもこのような光分析の欠点は、近接場光技術を用いるっとも基本的な手段である。よって、光学顕微観察やことで乗り越えることができる１）。光分析自体が広範

分光分析のような光分析は、古くから重要な分析手法な応用分野を持つため、近接場光技術を適用することの１つであった。光分析が現在においてもなお多用さで実現できる応用の広がりは、はかりしれない。ここれているのは、１）非破壊である、２）波長（またはでは原理とシステムの概略とともに、近接場赤外分光エネルギー）の帯域が広く、様々な情報を引き出せによる生体試料の測定例を紹介する。

る、３）大気中だけでなく真空、水中など環境を選ばない、などの理由による。特に 1960 年代にレーザが発明されて以降、光の位相やパルス幅をさらに精密に制御できるようになり、その応用範囲は広がる一方で2原理とシステムある。しかしながら、微小部分析の１つの手法として物質に光が照射されたとき、物質と光は様々な相互考えた場合、電子顕微鏡などに比べて空間分解能が数作用を起こす。一般に良く知られているのは、吸収、桁以上悪いという欠点がある。これは回折現象によっ反射、散乱、回折などである。これらの相互作用は、て波長以下の大きさには集光できないという、光の波透過光、反射光、散乱光などの伝搬光を介して容易に（1）

分析機器解説シリーズ（96）検出することができる。一方で物質表面に着目する光顕微鏡や分光装置と異なる点は、試料を近接場光のと、物質表面に局在するのみで決して伝搬することの領域まで近づける必要があることである（図２）。例

ない、近接場光（または近接場）と呼ばれる光成分がえば、開口 100nm の開口型プローブであれば、開口

２）存在する 。この近接場光は、いくつかの特長的な性近傍の 100nm 程度にしか近接場光は存在しない。よ質を有する。１）その存在範囲は表面の構造の大きさって、試料を 100nm 以内まで近づける必要がある。にのみ依存し、波長によらない、２）絶対強度は小さ

しかしながら、試料がプローブに接触すると、プローいが、光密度が非常に大きい、３）伝搬光の視点からブが破壊される。したがって、プローブと試料の間隔見たときの光禁制帯に直接作用できる。特に１）の性を、非接触制御する必要が生じる。実際の制御では、質から、波長以下の構造を用意することで波長限界をプローブを横方向に振動させておき、プローブと試料超えた光スポットを扱うことができるようになる。の間隔が狭くなると試料とプローブの間の物理的な相

このような構造の１つの例として、近接場光を発生互作用によって振幅が抑制される現象を利用する４）。

する素子である近接場プローブが挙げられる３）。近接

この振幅が一定になるように、試料ステージのＺ軸に場プローブには、開口型プローブと散乱型プローブがフィードバックする。この制御を常時行うことによ知られている（図１）。開口型プローブは、先鋭化さり、試料を横方向にスキャンしても試料とプローブはれた光ファイバの周囲に遮光用の金属膜がコートさ衝突することがなく、またＺ軸ステージの駆動量を記れ、その最先端に微小開口（図１ａの矢印部分）が形録することで原子間力顕微鏡で得られるような試料の成されている。この微小開口は波長以下のサイズをも表面形状を測定することができる。

ち、開口径程度の大きさの近接場光を開口周囲に発生

光顕微鏡像や分光スペクトルは、必要な光源や検出する。一方の散乱型プローブは、先鋭化した金属針な器をこの近接場プローブに接続することで得られる。

どの先端に、その曲率半径程度の近接場光が発生す

光源や検出器の配置については、様々なパターンが提る。

案されている。もっとも基本的な配置は、開口型プロ

顕微鏡や分光装置の光源としてこのような近接場光ーブや散乱型プローブ先端で発生した近接場光を試料を利用することにより、波長限界を超えた空間分解能に照射し、試料により散乱された伝搬光をレンズなど

１）での光計測や分光分析を行うことができる 。従来のａ）

ｂ）で集光して検出する配置である（図２）。近接場光の発生や検出は波長非依存の現象であるので、光源や検出器は分析目的によって柔軟に選択することができる。すでに報告のあるものだけでも、THz、赤外５）、可視６）、紫外７）までの波長範囲、フェムト秒までの時
間分解８）や偏光などの測定、水中、真空中、極低温、強磁場９）などの環境雰囲気での測定がある（図３）。

図１ 近接場プローブの例。ａ）開口型プローブ、ｂ）散乱型プロー
ブ。矢印部分の開口または先端で近接場光が発生する。

ａ）

ｂ）

3試料準備の実際原子間力顕微鏡類似の制御を行うことから分かるとおり、試料準備もほぼ原子間力顕微鏡と同じであると考えてよい。市販装置では、試料サイズは 10mm ×10mm 程度が一般的である。また、プローブが試料表面をスキャンする必要があるので、表面の凹凸が激図２ 測定配置の例。ａ）開口型、ｂ）散乱型。

（2）

しい試料ではプローブが試料に衝突するなど測定に支分析機器解説シリーズ（96）
ａ）

ｂ）

ｃ）

ｄ）

ｅ）

ｆ）

図３ 近接場分光システムの例。 ａ）紫外可視／蛍光・フォトルミ／室温・極低温、ｂ）近赤外、ｃ）赤外、ｄ）サブナノ秒時間分解、ｅ）強磁場極低温、ｆ）偏光／旋光度。

障が出る場合が多い。特に試料表面に角を持つ突起が場光技術を赤外分光分析に応用した例を紹介する 10）。

ある場合、その角で近接場光が増強され、明瞭な虚赤外分光法は、振動分光法の１つであり、有機物の定像（アーティファクト）を示すことが知られている。

性分析および定量分析には欠かせない分析法である。

このような理由により、できるだけ平滑な試料が望ま

しかしながら、赤外分光で扱う波長は３µm 〜 10µm

しく、またやむを得ず試料に凹凸がある場合は測定結と非常に長いので、波長限界により制限される空間分果の解釈に際して十分に検討する必要がある。５マイ

解能も 10µm 程度と非常に悪いことが問題であった。

クロメートル以内の凹凸であれば通常は測定可能であ

試料は動脈硬化を起こしたウサギの動脈血管の断面る。半導体のへき開表面などは、理想的な表面であである。血管の内壁部分にコレステロールが沈着してる。またミラーやスライドグラスなどの十分平滑な基いるのが光学顕微鏡により観察されたので、その境界板の上の薄い皮膜も測定に適する。有機物などの断面部分を近接場赤外分光システム（図３ｃ）で分析したを測定する場合は、ミクロトームなどで平滑表面を製結果を示す。図４にはコレステロール部分と血管壁部作する必要があるが、境界面などで物理的な段差や溝分の近接場赤外分光スペクトルを示す。近接場赤外分などができやすく、測定や解釈に支障をきたすので十光スペクトル自体は、従来法である赤外分光スペクト分な注意が必要である。

ルとまったく同じ解釈を適用することができ、コレスプローブと試料の間隔制御の都合上、プローブのバテロール部分では特徴的なカルボニル基のピークが現ネ定数よりも柔らかい試料や十分固定されていない試料では、測定中に試料が変形したり移動したりする場合もある。特に両面テープなどでの固定は、長時間測2た方がよい。

4吸光度定の際にドリフトの原因となるので、できるだけ避けａ）
1ｂ）

応 用 例

前述の通り、近接場顕微鏡および近接場分光分析シ
ステムの応用範囲は広く、従来の光顕微鏡と分光分析のほぼすべてをカバーする（図３）。ここでは、近接4000

3000

20001000

波数（cm−1）
図４ ウサギの血管の近接場赤外スペクトル。ａ）コレステロール部分、ｂ）血管壁部分。測定点は、それぞれ図５のＡとＢ。

（3）

分析機器解説シリーズ（96）
われている。図５ａにはコレステロールの分布としてカルボニル基（1737cm−１）の強度で画像化した結しい視点で見直すことにより、従来にない情報が得られるものと期待されている。

果、図５ｂには血管壁のタンパク質の分布としてアミド基（1650cm −１）の強度で画像化した結果を示す。
これらより、赤外光の波長限界である 10µm（測定範参考文献

囲の半分）より十分小さいスケールで、コレステロー

１） 斎 木 敏 治 と 成 田 貴 人， 近 接 場 光 学 顕 微 鏡 に よ る
空 間 分 解 分 光 法 の 進 展 ， 応 用 物 理，vol.70, no.6,pp.653-659（2001）

ルやタンパク質の分布が解像できていることが分かる。また、図５ｂでは血管壁内部でタンパク質の分布にムラができているが、このムラはタンパク質の２次構造に起因した赤外スペクトルの変動に対応していると解釈できる。これらの画像から、波長限界より高い空間分解能で、分光スペクトルが得られていることが２） 大 津 元 一 と 小 林 潔， ナ ノ フ ォ ト ニ ク ス の 基 礎 ，269p., オーム社（2006）３）T. Inoue, F. Sato, Y. Narita, Near-ﬁeld ﬁber probe
for polarization spectroscopy , Vibrational Spectroscopy, vol.35, pp.33-37（2004）
４）R.D. Grober, T.D. Harris, J.K. Trautman, E. Betzig, W.
Wegscheider, L. Pfeiﬀer, and K. West, Optical spectroscopy of a GaAs/AlGaAs quantum wire structureusing near-ﬁeld scanning optical microscopy , Applied
Physics Letters, vol.64, pp.1421-1423（1994）

分かる。

ａ）

５）Y. Narita and S. Kimura, Fourier Transform NearField Infrared Spectroscopy , Analytical Sciences, vol.
17, supplement, pp.i685-i687（2001）
６）Y. Narita and H. Murotani, Submicrometer opticalcharacterization of the grain boundary of optically
active Cr3+ doped polycrystalline Al2O3 by near-field
spectroscopy , American Mineralogist, vol.87, pp.
1144-1147（2002）ｂ）

図５ ウサギの血管の近接場赤外マッピング。ａ）コレステロールの分布（1737cm−１）、ｂ）タンパク質の分布（1650cm−１）。
測定範囲は、20µm×４µm。ＡとＢの近接場赤外スペクトルは、それぞれ図４ａと図４ｂに示す。

5

おわりに近接場光を利用した顕微分析や分光分析により、従来の光技術の原理限界であった波長限界を超えた空間分解能を実現することができる。可視光による半導体分析などでは、数十 nm 程度の空間分解能までの分析にも成功している。紙面の都合で割愛したが、近接場光の持つ可能性は、波長限界を超えることだけではない。近年の研究の進展によって、近接場光特有の光−物質相互作用が発見され、応用されつつある 11）。近接場光顕微鏡や近接場分光分析システムで得られたデータも、空間分解能だけにとらわれず、そのような新（4）７）A. Kaneta, D. Yamada, G. Marutsuki, Y. Narukawa,T. Mukai, and Y. Kawakami, Near-ﬁeld photoluminescence study in violet light emitting InGaN single quantum well structures , Phys. Stat. Sol. (c) vol.2, no.7,
pp.2728-2731（2005）８）A. Kaneta, T. Mutoh, Y. Kawakami, S. Fujita, G.
Marutsuki, Y. Narukawa, and T. Mukai, Discriminationof local radiative and nonradiative recombination processes in an InGaN/GaN single-quantum-well structure by a time-resolved multimode scanning near-ﬁeld
optical microscopy , Applied Physics Letters, vol.83,
No.17, pp.3462-3464（2003）
９）K. Tanaka, K. Tsukagoshi, Y. Aoyagi, S. Kuroda,
and K. Takita, Two-Dimensional Near-Field Optical
Spectroscopy in Magnetic Fields up to 4 T , Optical
Review, vol.13, no.4, pp.276-278（2006）
10）寺前紀夫と西岡利勝 編， 実用分光法シリーズ 顕
微赤外分光法 ，pp.293-309，株式会社アイピーシー（2003）
11）T. Kawazoe, K. Kobayashi, J. Lim, Y. Narita, and
M. Ohtsu, Direct Observation of Optically Forbidden
Energy Transfer between CuCl Quantum Cubes via
Near-field Optical Spectroscopy , Physical Review
Letters, vol.88, no.6, pp.067404-1 ‒ 067404-4（2002）

トピックス

トピックス

微小径ロータリエンコーダの開発とマイクロ回転機械要素精度計測への応用
九州大学大学院工学研究院

黒河周平

1. はじめにし、その回折光を検出することで出力を得る方式である。光

今日、OA 機器や医療・福祉機器に代表されるように省スペータリエンコーダが実現できる。にコヒーレントなレーザ光を使用することで、高分解能なロースにともなう機械の小型化に対する要求から、マイクロ機現在市販されている世界最高クラスの分解能を誇るロー械要素の需要が増えている。それに伴い通常の大きさの機械

タリエンコーダの写真を図１に示す。一般に、１周あたりの要素と同様、マイクロ機械要素の精度計測・評価が重要とな回折格子の本数が多いほど分解能は高い。このロータリエンってくる。実際に所望の形状通りに製作されているかどうかコーダでは、直径100mmのグレーティングディスク上に、をチェックすることは、いかに製品サイズが小さくなろうと50,000本以上の回折格子が刻まれている。高分解能かつ高も、ものづくりの現場では必要不可欠なことである。
通常サイズの機械要素では、全体の形状、各部寸法、幾何公差、表面トポグラフィなどの精度計測をおこなうことで精度であるためには、回折格子本数に加え、回折格子のピッチがいかに正確に規則正しく刻まれているかがキーポイントとなる。

１，２）、製品の良否を判断する。それらの測定には、通常の汎用測定器が用いられる。一方、マイクロ機械要素の精度測定では、マイクロスコープや走査型電子顕微鏡などを用い、目視により長さや二次元的な形状を確認するのが現状であり、幾何公差、三次元形状、表面トポグラフィの正確な測定はほとんどなされていない。その大きな理由の一つは、測定対象が小さすぎるため、特に凹部を有する部位には精度測定用プローブが到達できないことにある。この問題は、接触式、非接触式いずれの場合も同様であり、測定対象を非破壊で検査す
Grating disk

るための解決しなければならない大きな課題となっている。
図１

Detecting unit

世界最高クラス分解能を持つロータリエンコーダ４）

2. 回転運動を伴う機械要素の精度計測

4. 微小径ロータリエンコーダ

機械には回転運動を伴う機械要素も多く含まれ、それらはマイクロ歯車（例えば図２）などに代表される機械要素の必ずペアとして利用される。そのため、個々の機械要素の精回転伝達性能計測では、ロータリエンコーダも微小となる必度計測だけでなく、ペアとしての回転伝達性能を直接測定す要がある。ところが、光の回折を利用する関係上、現在市販る方法がとられる３）。この回転伝達測定は、うまく行えればされているロータリエンコーダには、分解能が高くなるほどシステムとしての性能評価が行えるばかりでなく、個々の機械要素の誤差要因も特定できるメリットがあり、マイクロ機械要素のように個々の精度計測が困難な製品にとってはきわめて有用な検査方法である。
回転伝達性能の計測には、回転角度を直接測る方法が最も適しており、高精度に回転角度が計測できるセンサが必要となる。その代表がロータリエンコーダである。

3. ロータリエンコーダ
ロータリエンコーダの原理には、磁気式、光学式など多数の方式が考案されている。その中で、高精度な計測にはもっぱら光学式のロータリエンコーダが用いられる。高分解能な光学式のロータリエンコーダの原理は、回折格子に光を入射（m＝0.22，P.C.D.＝2.64mm）
図２

マイクロ歯車の例（5）

トピックス
逆に直径が大きくなってしまうという欠点がある。一方で単リソグラフィには、電子線描画による微細パターンEBレジス純に考えて、直径が微小になっても同じ分解能を得るためにトマスク形成と、ドライエッチングによるシリコン酸化膜およは、同じ回折格子本数が必要となる。これがやっかいな点でびシリコンの微細加工を利用した。シリコンチップ上に試作ある。困難な点の一つは、微小径となるに伴い、分解能を保したグレーティングディスクのSEM写真を図３に示す。図中

つためには格子ピッチも小さくなってしまうことであり、微細白く円状に見えるのが直径１mmのグレーティングディスクでピッチの格子を刻む技術が必要となる。他の困難な点は、格ある。その外周部の一部を拡大したSEM写真を図４に示す。

子ピッチが小さくなると、光の波長との関係から、光の回折正確なピッチで格子が刻まれていることがわかる。この試作現象を利用する検出原理が使えなくなることにある。リニア

例ではまだ格子本数が十分ではないが、今後さらに細かいピエンコーダでは三次回折光を用いて分解能を上げるという果ッチで試作を行う予定である。さらに、刻まれた格子から情敢な挑戦５）も見られるが、これも光を用いている限り、いず報を引き出す手法も考案中である。お楽しみはこれからであれは困難になる。

る。

5. 微小径グレーティングディスクの試作

6. おわりに回転角度の計測は、その昔から、長さの比をとることで実微小径ロータリエンコーダ実現へ向けて、微細格子ピッチ現していた。そんな中、2003年２月にロータリエンコーダのを持つ微小径グレーティングディスクの製作を試みた。目標校正装置を角度の特定標準器とする角度トレーサビリティ体

直径は図２のマイクロ歯車も計測可能なように直径１mmに設系が日本でも整った６）。この特定標準器にて校正されたロー定した。微細格子を正確に刻むため、シリコン基板に対するタリエンコーダを２次標準器として、さらに連鎖して校正さナノマシニング手法の一つであるリソグラフィ技術を用いた。

れたロータリエンコーダを一般ユーザは用いることになる。
これにより、測定のトレーサビリティという観点からも、ロータリエンコーダは不可欠のものとなった。いまだ実現されていない、マイクロ回転機械要素の精度測定に有用な、微小径の高精度・高分解能ロータリエンコーダが切望されている。

謝 辞
電子線描画には九州大学コラボステーションⅡの電子線描画用走査電子顕微鏡（Hitachi S-4300SE）を、ドライエッチングには九州大学コラボステーションⅡの高密度プラズマエッチング装置（サムコインターナショナル RIE-10iP）を使用した。使用にあたっては、九州大学先導物質化学研究所
分子集積化学部門の高原教授ならびに工学研究院 航空宇宙工学部門 高橋准教授にお世話になった。ここに深く感謝申
図３試作した直径１mm グレーティングディスクの SEM 写真し上げる。

参考文献
１）Brian J Griﬃths: Manufacturing Surface Technology, p70-101,
PENTON PRESS, 2001.
２）R.Ohlsson, A.Wihlborg and H.Westberg: The accuracy of 3D
topography measurements, Elsevier Science Ltd., 2001.
３）S.Kurokawa and Y. Ariura: Development of Single Flank Gear
Testing Machine and the Inﬂuence of Measurement Resolution
on Observation of Spur and Helical Gear Engagement underLoad, Proc. of the International Symposium on Technology ofMachinery Systems Design 2004, pp.32-37（2004）．
４）レーザ ーロータリーエンコーダＸ−１カタログ，PUB.B-CJ4154J，キヤノン（1993）．
５）澤田廉士，羽根一博，日暮栄治：光マイクロマシン，
p81-83，オーム社出版局（2002）．
６）渡部 司：角度の標準化 AIST Today 2003-05，産業技術総合研究所（2003）
．

図４

（6）

グレーティングディスクの一部拡大 SEM 写真

お知らせ

お知ら

１．中央分析センター（筑紫地区）では、装置利用料金を外部資金（科学研究費、共同研究費、受託研究費）で支払うことが出来るよう規則改正をしました。
平成19年４月１日より実施します。
⑴ 伊都分室所管の装置につきましては、手続き中につき今しばらくお待ち下さい。
⑵ 科学技術振興調整費では出来ませんのでご注意下さい。
⑶ 科研費での利用・支払いをお考えの先生方は、４月の科研費交付申請書提出のおり、機器使用料の項目を記入の上、申請をお願いします。
⑷ 利用できる装置の新旧利用料金表と外部資金での申し込み用紙をご参照下さい。

せ２．中央分析センター伊都分室に下記の装置が新設されました。利用経費等はHPで追ってお知らせしていきます。どうぞご利用ください。
日本電子株式会社製
電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-6701F（主な仕様）
二次電子分解能：1.0nm保証（15kV）、2.2nm保証（１kV）
倍率：×25〜650,000
加 速 電 圧：0.5kV〜30kV
電子
銃：冷陰極電界放出形電子銃
注）反射電子検出器やEDX検出器は付属しておりません。

機器利用料金新旧比較表（分析センター筑紫地区）
№

装

置名

｛旧｝利用経費（円）ＡＢ
１件当り１時間当り１件当り１時間当り｛新｝利用経費（円）
機器利用分 受 託 分

１

超高感度示差走査熱量計（DSC6100）☆

3,000

２

高感度示差走査熱量計（DSC6220）☆

2,000

３

オージェ電子分光分析装置（JAMP-7800F）☆

8,000

9,300

４Ｘ線光電子分光分析装置（AXIS-165）☆

8,000

11,800５蛍光Ｘ線分析装置（PV9500）☆

６ ＊４軸型自動Ｘ線回折計（CAD-4）☆

12,000

800

1,000

1,900

1,500

100,000

95,400７Weissenbergカメラ☆

2,000

1,000

８

光交流法比熱測定装置☆

10,0004,000

９ ＊超伝導核磁気共鳴装置（JNM-GSX500）☆

2,900

3,000

1,900
3,700

6,000

6,200

10

レーザー粒径解析装置（LPA-3000／3100）☆

11

顕微赤外分光分析装置（MFT-2000）☆

500

500

12赤外分光分析装置（FT／IR-550）☆

500

500

13

原子間力顕微鏡（NanoScopeⅢa）☆

1,000

14

超高圧物性測定装置☆

10,00015

光散乱光度計（SLS-600）☆

3,000

16

雰囲気中液体急冷装置☆

5,000

17ラウエカメラ☆

18

高周波２極スパッタ装置（SPF-210HRF）☆

19

ラバープレス☆

登録装置募集中です

10,600

3,000

1,000

1,500
1,000

2,200

11,900

2,500
4,200

200

500

2,000

1,000

1,400

2,500

1,000

500

600

1,600

中央分析センターでは、全学的な分析機器の共同利用の一層の充実を図るため、随時「登録装置」を募集しています。
登録装置 Q and A
利用料金は? ／各研究室で自由に設定できます。
全額研究室に移算されます。
利用料金の計算は? ／利用料金の計算及び移算手続きは分析センターが代行します。
装置の設置場所は? ／現在設置されている場所です。
移動する必要はありません。
負担が大きくなるのでは? ／負担分を考慮して、利用経費を設定して下さい。
面倒では? ／
否定はできませんが、全学的視点から装置が効率的に利用でき、学内の相互協力の実現というメリットをご考慮いただければ幸いです。
手続きは? ／
登録装置システムにご賛同いただけましたら、「装置登録依頼書」（用紙はダウンロードするか、センターに要求して下さい）に必要事項をご記入の上、分析センターへお送りいただくだけです。

九州大学中央分析センターニュース
第96号 平成19年４月13日発行

九州大学中央分析センター（筑紫地区）〒816-8580 福岡県春日市春日公園6丁目1番地
TEL 092-583-7870／FAX 092-593-8421
九州大学中央分析センター伊都分室（伊都地区）★
〒819-0395 福岡市西区元岡744番地
TEL 092-802-2857／FAX 092-802-2858（★：本号担当）

ホームページアドレス
http://www.bunseki.cstm.kyushu-u.ac.jp（7）

外部資金による装置利用申込書（中央分析センター）
項

目

職氏

名

印

所属部局・学科・講座等

連絡先（電話）

利 用 責 任 者
利用研究者
題

目

試 料 の 内 容

毒性の 有・無腐食性の 有・無希 望 利 用 日 時№装年置名月超高感度示差走査熱量計（DSC6100）２高感度示差走査熱量計（DSC6220）

３

オージェ電子分光分析装置（JAMP-7800F）

４

Ｘ線光電子分光分析装置（AXIS-165）５蛍光Ｘ線分析装置（PV9500）

吸湿性の 有・無日時から時まで

科学研究費

共同研究費

受託研究費

自 主測 定１

刺激性の 有・無依 頼測 定

自 主測 定依 頼測 定自 主測 定爆発性の 有・無そ の 他

依 頼測 定自 主測 定

依 頼測 定６ ＊４軸型自動Ｘ線回折計（CAD-4）
７Weissenbergカメラ

８

光交流法比熱測定装置

９ ＊超伝導核磁気共鳴装置（VARIAN）
10

レーザー粒径解析装置（LPA-3000／3100）

11

顕微赤外分光分析装置（MFT-2000）

12

赤外分光分析装置（FT／IR-550）

13

原子間力顕微鏡（NanoScopeⅢa）14

超高圧物性測定装置

15

光散乱光度計（SLS-600）

16

雰囲気中液体急冷装置

17

ラウエカメラ18

高周波２極スパッタ装置（SPF-210HRF）

19

ラバープレス
外 部 資 金 コ ー ド 番 号⑴ ＊印は、担当オペレータが操作する装置で依頼者は操作できません。
⑵ 科研費の場合は、４月の交付申請書提出時、機器使用料の項目を書いて申請して下さい。
⑶ 「科学技術振興調整費」による支払いは出来ませんので、ご注意下さい。
⑷ 「外部資金コード番号」は会計処理時に必要となりますので、各研究室等の会計システムにてご確認のうえご記入ください。

セ ン タ ー 長（ 分 室 長 ） 利 用 承 認 印

利用件数（時間）

（ ）

利用経費㊞

装置責任者

確

会計処理年月日

認印年㊞

月日