2022 年度
産業動向調査報告書
グリーントランスフォーメーション（GX）
を支える MEMS

2023 年 3 月

一般財団法人マイクロマシンセンター

産業動向調査委員会

序

マイクロマシンセンターは昨年度創立 30 周年を迎えましたが、引き続きマイクロマシン／MEMS 技術の振興に向けて活動を強化してまいります。その活動の基礎として、マイクロマ
シン／MEMS 分野の産業動向を調査するため、2007 年度より産業動向調査委員会を設け、MEMS 産業の応用分野や市場動向などを中心に毎年報告書を著してきました。
ここ数年は、IoT/CPS 社会の急速な拡がりや国の目指す Society5.0 の実現に向け、本産業動向調査も、その時々の社会の要請に応じた MEMS 産業の対応について考えていく形としています。2021 年度は当センター30 周年ということもあり、これから益々の MEMS 技術・産業の発展に資するため、過去 30 年を振り返り、この先 20 年を展望するという形の調査報告をまとめました。また 2019 年度には、2015 年の国連サミットで採択された SDGs（SustainableDevelopment Goals）が、徐々に社会や企業活動などに浸透してきていることを踏まえて、SDGs の実現のために MEMS によりどのようなイノベーションを生んでいくべきかという観点で報告書をまとめています。
そして今年度は、現時点で我が国が最も力を入れていかなければならないとされている GX（グリーントランスフォーメーション）について、それに貢献する MEMS とは何かという観点から調査報告をまとめることとしました。カーボンニュートラル 2050 は我が国の国際約束であるのみならず、総理が施政方針演説でも述べているように、我が国の経済、社会、産業、地域の大変革への挑戦ということでもあります。
そこに MEMS がどう資することができるかという難しい調査課題に取り組んでいただいた
産業動向調査委員会の竹内昌治委員長と委員各位に御礼を申し上げますとともに、本報告書がMEMS や GX に関わる各方面の皆様に広くご利用いただけるようであれば幸いです。
2023 年 3 月

一般財団法人マイクロマシンセンター 専務理事 長谷川英一

目次

序
はじめに ................................................................................................................................... 1
委員会構成 ................................................................................................................................ 2
調査方法 ................................................................................................................................. 3第1章

MEMS 産業の状況と今後の進展市場 ......................................................................... 41.1

MEMS 市場規模と製造企業の状況 ............................................................................. 41.2

MEMS 市場の成長ドライバー .................................................................................... 6第2章

グリーントランスフォーメンション（GX）の概要 ................................................... 92.1

グリーントランスフォーメンションとは ...................................................................... 92.22050 年カーボンニュートラルに伴うグリーン成長戦略 ............................................. 102.3

グリーンイノベーション基金 ..................................................................................... 222.4

クリーンエネルギー戦略 ............................................................................................. 232.5

GX リーグの取組み ..................................................................................................... 34

2.6

GX に関連する更なる取組 .......................................................................................... 36

第3章

グリーントランスフォーメンションを支える MEMS .............................................. 42

3.1

洋上風力・原子力・太陽光発電 .................................................................................. 42

3.2

水素産業・燃料アンモニア産業 .................................................................................. 51

3.3

自動車・蓄電池産業 .................................................................................................... 61

3.4

半導体・情報通信産業 ................................................................................................ 70

3.5

船舶・航空機産業 ....................................................................................................... 78

3.6

運輸（物流・人流［インフラを除く］） ...................................................................... 883.7

食料・農林水産業 ....................................................................................................... 99

3.8

住宅・建築物・インフラ産業 ................................................................................... 106

3.9

ライフスタイル関連産業 ........................................................................................... 116

3.10

資源循環関連産業 ................................................................................................... 124

第４章

MEMS for GX ........................................................................................................ 134

4.1

GX の今後の 10 年 .................................................................................................... 134

4.2

MEMS についてのこれまでの検討 ........................................................................... 137

4.3

MEMS for GX .......................................................................................................... 140

はじめにMEMS は現代の産業社会において、あらゆるところで活用されており、サイバー・フィジカル社会において必要不可欠なデバイスとして、その重要性は益々高まっています。そこで、私たち産業動向調査委員会は、毎年、様々な社会課題への対応に関わる MEMS 技術や産業の在り方について、テーマを検討し、調査報告を実施してきました。今回は、我が国の中で今最も熱い議論がなされている GX（グリーントランスフォーメーション）に MEMS がどう貢献できるかという観点から調査報告をまとめることとしました。

委員会では、政府が 2050 年カーボンニュートラルの表明をした 2020 年 10 月から、2022 年12 月に GX 実行会議で「GX 実現に向けた基本方針（案）～今後 10 年を見据えたロードマップ～」が取りまとめられるまでの 2 年強の間の政府内の検討や議論を詳細に追いかけ、水素・アンモニア、蓄電池、鉄鋼業などからなる分野ごとの動向を参照しつつ、MEMS がそれぞれの分野でどのように貢献できるかという検討を行ってきました。分野によっては、MEMS からはやや距離があるようなものもありますが、MEMS はあらゆる産業分野で使われているという信念のもと、丹念に掘り起こし、議論を重ねて、10 の産業分野に分けて MEMS for GX について詳細かつわかり易く示すことができたと思います。

2019 年に SDGs をテーマとして取り上げたときと同様、GX も MEMS 産業や関連企業において、休むことなく挑戦を続けていかなければならない国際的な社会課題です。本報告書をご一読いただき、今後の皆様の MEMS 開発と GX への挑戦に、少しでもお役に立てるようでしたら幸いです。

2023 年 3 月

産業動向調査委員会委員長

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竹内昌治