■2004.12

財団法人 金属系材料研究開発センター

No.218TODAY

電子線ナノリソグラフィの開発戦略
御できる。それは人類が手に入れた道具として、その高速性、極微細性や制御性に最も優れたものと言える。
光加工においては、光源の波長の2分の1が加工限界となっている。ちなみにF2レーザ光は157nmの波長をもっている。一方、電子線の波長は加速電圧50kVで0.00535nmであり、波長が加工限界に（株）クレステック 代表取締役はならないし、かつ1nm以下のビーム径も可能な

大 井 英 之ため超微細加工ができる。
電子線リソグラフィは超LSI製造における光マス21世紀の科学技術の中核で、産業競争力の源泉クの作製には欠かせない道具となっている。しかと言われているナノテクノロジーが注目されていし、それだけでは電子線のポテンシャルを生かしる。分子生物学、医療、高機能材料や工学等の異切れていない。電子線による表面分析装置の分野分野が融合した研究領域が切り開かれ、ナノテク

では、透過及び走査電子顕微鏡、X線マイクロアの活用によって新産業創出につながることが期待

ナライザ、走査トンネル顕微鏡等が広く社会に浸されている。

透している。一方、ナノ加工プロセス装置である半導体分野では、100nmノード以降に対応する電子線リソグラフィの産業分野への貢献度は十分次世代リソグラフィの開発が今世紀最大の技術課とは言えない。

題の一つであり、その開発競争が全世界的レベル

すでに当社は、次のような電子線ナノリソグラで行われている。生命は、ミクロンサイズの細胞フィを開発した。5nmレベルの極細線の加工や、よりもはるかに小さいDNAやアミノ酸等ナノサイ

10nmのつなぎ精度で50mm角チップのマスクや金ズの分子や超分子を利用していることがわかって型を作製できる。平面だけでなく凹面・凸面の基きており、テーラーメード医療に必要なマイク板上に3次元の回折光学素子の加工が可能である。

ロ・ナノバイオシステム等にナノ加工技術を応用

0.0012nmの分解能で回折格子の周期を加工できるしようという機運が高まっている。次世代以降のので、ブロードバンド光通信用の多波長半導体レ光ディスク原盤の溝やピットも200nm以下のナノーザを生産できる。これらは研究開発用だけでな加工を必要としている。

く、生産用の装置開発も目指している。

このように半導体だけでなく、他の産業分野か最近、JRCMを管理法人として「Xθ型大電流電らのナノ加工に対するニーズの高まりのなかで、子ビームによる高密度・高速描画装置」を産産官

電子線ナノリソグラフィ技術に注目が集まってい連携で共同開発している。これは、真空中の回転る。それは、電子線がもつ高いポテンシャルによテーブルを回転及び直動させながら、電子線でスるところが大きい。荷電粒子である電子は、そのパイラル状に溝やピットを形成する装置である。

エネルギーや軌道を電界や磁界によって自由に制次世代以降の光ディスク原盤作製用の量産装置と1して新市場創成が期待される。また、次世代リソ上にデバイスパターンを形成してウエハに等倍転グラフィ用電子線ステッパとして、「パターン情報写させる装置である。

内蔵型面放出ナノ電子源リソグラフィ」を産産学

このような電子線のもつポテンシャルをフルに連携で共同開発している。これは、量子サイズナ生かした多様な電子線ナノリソグラフィ装置が、ノ結晶シリコンがナノ構造制御によって、高電界日本を発信基地として全世界のナノテクの研究下で多重トンネル伝導による弾道電子放出を行う者・技術者・生産者に受け入れられる日が近いこという新物理現象を利用した、「面放出ナノ電子源」とを願っている。

JRCM REPORT「地域におけるナノテクアクティビティ調査研究」成果報告
産学官連携グループ

松本信吾

1 はじめに業のみならず、中小企業、ベンチャー解析を行った。

企業を全国的に調査し、どの分野のナ

平成15年度に新エネルギー・産業技ノテク技術がどの地域に存在するかを

2 調査研究概要明らかにした。

ナノテクノロジーをビジネスに生か術総合開発機構（NEDO技術開発機構）の委託を受け、ナノテク技術を保有すその結果、昨年度のナノテク保有企すために、昨年調査した企業を含む国る企業のリストアップとその企業の保業131社に対し、さらに239社を新たに内企業にアンケート調査を行った他、有する製品・技術について調査し、抽出し、合計370社のナノテク企業をベンチャー企業も含めた広範囲にわた「企業保有のナノテク・シーズに関すリストアップした。新規発掘企業のうちる調査を実施した。対象企業は15000る調査研究」として報告した。平成16

81社が「企業保有のナノテク製品・技術社以上、大学においては国公立、私立

年度は「地域におけるナノテクアクテデータベース」（http://www.jrcm.or.jp/

大学の研究者を対象に30000人以上にィビティ調査研究」をテーマに掲げ、nanotechdb/greeting.asp）にエントリアンケート調査を実施した。

さらなる調査を実施した。本年度の調ーし、531製品・技術を収録した。

査目的は、ナノテク技術を保有していまた、各地の大学のナノテク技術る企業が日本のどの地域にどういう分（研究）についても調査し、118大学

平成15年2月に開催された「nano tech野の技術をもって存在しているかを調454人の技術開発研究者を抽出した。

2003+Future」に参加した企業並びに企本調査報告はナノテク企業370社の業からの参加者約5300件に昨年同様の分野別、規模別、地域別等の解析、並再調査を実施した他、上場企業約1600査するものである。
こういった観点から、本調査は大企

2−1 企業分析

びに研究者454人の分野別、地域別のその他
9％

バイオ4％
材料・素材
19％

評価・計測
18％

超微細加工技術27％
図−1 分野別比較

JRCM NEWS No.218

図−2 資本金比較2

（3）会社設立時期による分析
ナノテク企業の会社設立の時期による分析を行った。これは新しい技術であるナノテクノロジーを用いた製品を会社
数商品として出している企業では、最近に設立されたナノテクベンチャー企業がある程度を占有しているのか、それとも日本では新しい技術であるナノテ
1
944
年以
前

1945〜
491
950〜
541
955〜
591
960〜
641965〜
691
970〜
741975〜
791980〜841985〜891990〜941995〜992000年
以降

設立年
図−3 設立年比較クノロジーを古い企業が中心的に担っているのかを会社の設立時期との関係で分析を試みた。
図−3からわかるように、2000年以降に設立された企業が69社、1995〜1999年設立が32社とナノテク関連の社、中小企業創造促進法の適用を受け回は雑誌等に掲載された企業を対象と中小企業、ベンチャー企業が最近急激た企業6000社以上、過去2年間で日経した。環境・エネルギー応用製品は主に増加したことを示している。一方、産業新聞または日刊工業新聞にナノテに触媒関連であり相対的に少ない。そ1944年以前に設立された企業も多いこク関連記事で紹介された約700件、イの他の主なものは、ナノ技術のシミュとがわかる。これは新しい技術である

ンターネット検索サイトでナノテク関連レーション等のソフト会社である。

ナノテクノロジーといえども、日本ので検索された約700社のホームページ（2）資本金及び従業員比較

場合には戦前から技術を蓄積しているを閲覧し、これらの企業の事業紹介中ナノテク企業の規模を資本金と従業企業が、蓄積された技術の裏付けのものキーワード等から、ナノテク関連企員数で比較した。図−2からわかるよとにナノテクノロジーに取り組んで製業を抽出した。これらの企業が保有すうに、資本金でナノテク企業を分類す品を出していることがわかる。

るナノテクノロジーに関連する製品及ると1億円未満の中企業が42.8％（昨（4）地域別による分類

び技術について、分野、資本金、従業員、年調査28.2％）、1億円以上10億円未満

図−4からわかるように、関東経済設立年及び所在地域の比較を行った。の中堅企業が26.2％（同22.9％）、10億産業局の地域内での製品数が圧倒的で（1）分野別比較円以上100億円未満の大企業が15.1％ある。これは本社が東京等にあるためナノテク分野を「バイオ」、「材料・（同39.7％）である。これは今回の調にこのような結果になった可能性があ素材」、「IT・エレクトロニクス応用査で中小、ベンチャー企業を発掘できるが、東京以外に工場がある企業で東製品」、「環境・エネルギー応用製品」、たことによる。従業員数による分析で

京が本社機能のみとすると、東京はこ「超微細加工技術」、「評価・計測」、は資本金規模と同様な傾向にあり、10の表から53社減じた数となる。

「その他」の7分野に分類した（図ー1）。

人未満14％、30人未満が全体の43％を1企業で複数の分野がある場合は、複占めた。

ナノテク企業は関東、中部、近畿で合計95％（本社所在地）となる。本社機数の項目に該当するものとした。
（社）

今回の調査では、超微細加工技術に関するナノテク企業が一番多かったが、材料・素材、IT・エレクトロニクス応用製品、評価・計測も平均化された分布となった。バイオについては調査がまだ不十分であるため少ない数値を示しているが、最近のバイオ関連のベンチャー企業は相当数あると予想される。しかしながら、まだホームページができていないところもあり、今図−4 経済産業局別ナノテク工場分布

3JRCM NEWS No.218

バイオ5％
その他
23％
材料・素材
25％

環境・エネルギー
応用製品 8％
評価・計測
8％
超微細加工
技術 12％
図−5 関東経済産業局内県別分布

IT・エレクトロニクス
応用製品 19％

図−6 研究者分野別比較

能だけの東京事業所を除いた工場分布に郵送によるアンケートを実施した。

いものの、大学所在地の分布によるとでも関東、中部、近畿の合計は91％とその結果、ナノテク関連を研究していころが大きいため、企業のような大きなる。これは製造業全体の分布（中小る454人をリストアップした。

な偏りはない。

企業振興公社等の登録企業から推定す（1）
ナノテク分野別の分析

3 結言

ると50％）と比較し、大きく偏っていナノテクの分野を企業分析と同様にることとなる。情報、有力企業が集ま（図ー6）
7分類した。1 研究者で複数の（1）研究者のナノテク分野は基礎研る地域に最先端技術であるナノテク企分野がある場合は複数の項目に該当す究である材料・素材が大きな比率を占業が集中していることを示している。

るものとした。

めており、これらを企業のナノテク産

図−5に関東経済産業局内の県別分

研究者の研究分野は複数の分野にま布を示す。関東圏では東京都が圧倒的たがっている。これは分野別では材

今後、ナノテク企業への研究者の紹多数ではあるが、神奈川県、埼玉県も料・素材関係が25％と多く、同時にそ介等を行い、産学官の連携を強化する比較的多い。特に茨城県（つくば市）の素材を使った超微細加工の研究や必要がある。

（独）産業技術総合研究所の中心的は、IT関連の研究を行っていることによ（2）中小企業、ベンチャー企業が多な研究組織があり、また企業の研究組る。その他の分野は、研究がナノの基いなか、現実にはこれらの技術を取り織も多く集まっており、最近では産業本的なことを深く専門的に研究してい入れたビジネス化が進んでいないのが技術総合研究所発のベンチャー企業もて分野を特定できにくいものを「その実体である。今後、NEDO技術開発機出てきている。

他」としたためである。

構等で提案公募事業等に新しい制度を（2）
ナノテク研究者の地域的な比較導入し公募する際には、ナノテク企業中部圏では愛知県に集中している。

業に生かすことが重要である。

近畿圏では大阪府、京都府、兵庫県が研究者を経済産業局別に示す。図−にデータベースを介してこれらの事業多く、いずれも大都会を擁している県

7からわかるように関東、近畿圏は多を直接紹介する等の工夫を加えることにナノテク企業が集中している。
（人）

2−2 ナノテク研究者分析
企業と大学のマッチングを図ることを目的に大学研究者の調査を行った。
全国の国公立及び私立大学、高等専門学校の研究者を対象に、JRCMが過去に電子メールによりアンケートを実施した約24000人、及び今回新たにメールアドレスを保有していない約8000人

JRCM NEWS No.218

図−7 研究者の経済産業局別分布

4

により、大企業、中小企業、ベンチャ（3）今回の調査で企業所在地の偏在を少しでも解消するため本データベーー企業が一体となってナノテク産業のが予想以上に大きいことがわかった。

スをさらに充実させ、地方においても発展を推進できる体制を構築する必要

これは地方産業の発展に何らかの問題同業の情報を共有できるシステムの構がある。

があると言わざるを得ない。この問題築が必要である。

5JRCM NEWS No.218

平成16年（2004年）の年間主要記事索引
TODAY（巻頭言）
大学発ベンチャー企業

難成型材のプレス加工用のマイクロ金型に関する研究開発
産学官連携グループ 渡部正孝、沼田守正

207（ 1 月）

鉄鋼材料の破壊靭性評価手順の標準化（社）首都圏産業活性化協会専務理事 井深 丹
「自信」と「期待」

鉄鋼材料研究部 櫻谷敏和

208
（ 2 月）「省エネルギー型金属ダスト回生技術の実用化開発」

慶應義塾大学理工学部長 稲崎一郎
環境問題と環境ビジネスの研究計画概要

209（ 3 月）

平成16年度JRCM事業計画及び収支予算
（概要）

210
（ 4 月）

JRCM理事長 澤田靖士
新しい研究開発と発想力技術の開発」終了報告

211（ 5 月）「全焦点映像利用3次元長さ計測技術の確立とシステムの開発」終了報告
産学官連携グループ 小林秀夫
（現：JFEスチール（株））

213（ 7 月）

大阪大学大学院基礎工学研究科教授 小坂田宏造「法人化・戦略・産官学連携」雑感

自動車リサイクルに係る処理技術等の調査

214（ 8 月）

215（ 9 月）

大阪大学大学院工学研究科教授 豊田政男
窒化物

213
（ 7 月）

ナノメタルプロジェクト中間報告

214（ 8 月）

鉄鋼材料研究部 平城 正

名城大学理工学部教授 天野 浩

実用金属材料分野ナノメタル（アルミニウム系）
プロジェクト217（11月）

非鉄材料研究部 花木道夫
（現：日鉱金属（株））

薫

実用金属材料分野ナノメタル（銅系）
プロジェクト218（12月）

非鉄材料研究部 花木道夫
（現：日鉱金属（株））

北九州市立大学国際環境工学部環境化学プロセス工学科教授 藤元
電子線ナノリソグラフィの開発戦略

平成15年度事業報告（概要）

実用金属材料分野ナノメタル（鉄系）
プロジェクト216（10月）

エネルギー対策雑感212（ 6 月）

環境・プロセス研究部 北川 豊（現：大同特殊鋼（株））

東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 吉田豊信
技術革新を生むもの：融合・連携の意義と幻想

211（ 5 月）

産学官連携グループ 小林秀夫
（現：JFEスチール（株））

212（ 6 月）（株）ツバメックス代表取締役社長 賀井治久
日本発の独自技術の開発を

210（ 4 月）「高融点生体用特殊合金の溶製と連続鋳造システム

愛知学院大学歯学部特殊基礎研究教授 福井壽男
金型作り40年

209（ 3 月）

環境・プロセス研究部 古川 武

経済産業省環境調和産業推進室長 國友宏俊
理事長就任のご挨拶

208（ 2 月）「省エネルギー型鋼構造接合技術の開発」研究概要（株）クレステック代表取締役 大井英之

215
（ 9 月）

鉄鋼材料研究部 板垣省三
JRCMREPORT「SF6フリー高機能発現マグネシウム合金組織制御技術開発」

Zr-Ni系アモルファス膜利用メタノール改質水素製造装置の開発

プロジェクト概要
207（ 1 月）

216（10月）

非鉄材料研究部 木曾徳義

産学官連携グループ 鈴木育郎

「高効率UV発光素子用半導体開発」プロジェクト概要

省エネ・環境調和型半導体接続技術（超微細コアボール）の開発

21世紀のあかり推進部 渡部正孝

環境・プロセス研究部 田中將元、加山恒夫「製鉄プロセスガス利用水素製造」プロジェクト中間報告

難加工マグネシウム合金大型板材の高効率量産プレス成型金型

217
（11月）

環境・プロセス研究部 永浜 洋に関する開発研究「地域におけるナノテクアクティビティ調査研究」成果報告 218（12月）

産学官連携グループ 渡部正孝、沼田守正

産官学連携グループ 松本信吾

『JRCM NEWS』はホームページにpdfファイルで掲載しております。ぜひご覧ください。
（URL http://www.jrcm.or.jp）

The Japan Research and Development Center for Metals

JRCM NEWS／第218号

発 行 2004年12月 1 日
発行人 小島 彰
発行所 財団法人 金属系材料研究開発センター〒105-0003 東京都港区西新橋一丁目5番11号 第11東洋海事ビル6階

内容に関するご意見、ご質問は JRCM 総務企画部までお寄せください。
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6T E L （03）3592-1282（代）／F A X（03）3592-1285
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