添付資料１．イノベーションプログラム基本計画

651

652

653

654

655

656

添付資料２．プロジェクト基本計画
Ｐ０６０２２（ロボット・新機械イノベーションプログラム）「高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術開発プロジェクト」基本計画
機械システム技術開発部
１．研究開発の目的、目標及び内容（１）研究開発の目的
我が国には、材料産業や機能性部品産業といったものづくり産業を基盤とした「高度部材産業集積」があり、これが、我が国の製造業の国際競争力を支えてきた。新産業創造戦略にも指摘があるように、我が国がこうした高度部材産業集積を形成していることが、ものづくりに不可欠な要素技術（精密微細加工や特殊素材合成等）のネットワーク
化を通じた、迅速かつ高度な摺り合わせを実現してきたといえる。また、川下（最終製品）、川中（材料・部品・装置）、川上（素材、原材料）の分厚い産業集積に育まれた摺り合わせのネットワークが、新技術の素地となり、次のイノベーションにつながってきたのである。他方、近年、韓国、中国、台湾を初めとする東アジア諸国の技術力向上を背景として、製造技術における国際競争が、ますます激化している。
こうした中、経済面では、我が国の景気は、一部に弱い動きが見られるものの、総じて見れば、緩やかに回復しつつあり、一部の製造業は生産を伸ばしてきている。特に自動車や輸送機械、一般機械、電子部品･デバイスなどの産業が好調に推移している。しかしながら、製造業の中核の一つである電子部品･デバイス産業は、その業績が半導体や液晶の景気サイクルに左右されがちであるとともに、先端技術であるが故に国際的開発競争が熾烈であり、先行きが不透明等、予断ならない状況にある。また、電子部品･デバイ
ス産業は高性能機械の重要な構成要素であることから、同産業の業績が、我が国製造業の今後の業況に大きな影響を及ぼしうると考えられる。
近年の電子部品・デバイスの小型化･高性能化に大きく寄与している技術が、ＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム)である。ＭＥＭＳとは、微細な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだ部品をいい、半導体製造技術やレーザー加工技術等各種の微細加工技術を用いて製造される。情報通信、医療・バイオ、自動車など多様な分野における小型・高精度で省エネルギー性に優れた高性能のキーデバイスとして期待されている。このため、「技術戦略マップ」においても、ＭＥＭＳは、
我が国製造業の「川中」の一角をなす基幹部品の国際競争力強化等の観点から、重要な分野と位置づけられている。
現在、ＭＥＭＳが既に実用化されている自動車用のセンサやインクジェットプリンタ
ヘッドでは日本企業が健闘しているものの、光ＭＥＭＳやバイオＭＥＭＳの分野では欧米企業が一部先行しており、今後成長が期待されるＭＥＭＳ産業の国際競争力を確保するためには、製造技術の一層の高度化（高集積化・複合化）によりＭＥＭＳの更なる小657

型化・高性能化を図ることが必要である。実際、欧米の一部では、既に、従来型のＭＥＭＳにＬＳＩ演算処理回路を集積したり、ＭＥＭＳ間を結合する高集積・複合
ＭＥＭＳの開発が着手されており、研究開発促進の時期を逸すると、ＭＥＭＳ関係市場（２０１０年で国内市場１.３５兆円）を海外メーカーに席巻されるおそれがある。
このため、ＭＥＭＳの「技術戦略マップ」を踏まえ、ロボット・新機械イノベーショ
ンプログラムの一環として、次世代の基幹部品を支える高集積・複合ＭＥＭＳを開発す
べく、重要な技術課題に対して、選択的・集中的に取組むべく、本事業を行う。さらに、本事業の成果に基づき、新たな産業化を促進するための環境整備を行う。
（２）研究開発の目標
今後成長が期待される市場である自動車、情報通信、安全・安心、環境、医療等において必要不可欠となる、小型･省電力･高性能･高信頼性の高集積・複合ＭＥＭＳデバイスを製造する技術を開発する。また、上記技術開発を通じて得られた製造技術に関わる知識を集約し、データベースを整備し公開する。
具体的な目標としては、プロジェクト終了時において（別紙）研究開発計画の研究開
発項目①～⑤の達成目標を達成することとする。
（３）研究開発の内容
上記目標を達成するために以下の研究開発項目について、別紙の研究開発計画に基づき研究開発を実施する。詳細は、別紙の研究開発計画に基づく。
１)助成事業以下の研究開発項目のうち、実用化技術開発については助成率１／２以下の助成事業とする。
①ＭＥＭＳ／ナノ機能の複合技術の開発②ＭＥＭＳ／半導体の一体形成技術の開発③ＭＥＭＳ／ＭＥＭＳの高集積結合技術の開発
２)委託事業本プロジェクトは、助成事業を基本とするが、広くＭＥＭＳ産業に普及することが望ましい基盤技術については委託事業として実施する。詳細は、別紙の研究開発計画に基づく。
①ＭＥＭＳ／ナノ機能の複合技術の開発②ＭＥＭＳ／半導体の一体形成技術の開発③ＭＥＭＳ／ＭＥＭＳの高集積結合技術の開発④高集積･複合ＭＥＭＳ知識データベースの整備⑤高集積・複合ＭＥＭＳシステム化設計プラットフォームの開発
２．プロジェクトの実施方式（１）研究開発の実施体制
658

本研究開発は、ＮＥＤＯ技術開発機構が、単独ないし複数の原則、本邦の企業、研究組合、公益法人等の研究機関（原則、国内に研究開発拠点を有していること。ただし、国外企業の特別な研究開発能力、研究施設等の活用あるいは国際標準獲得の観点からの国外企業との連携が必要な場合はこの限りではない。）から公募によって研究開発実施者を選定し実施する。
本研究開発において、ＮＥＤＯ技術開発機構が主体となって行うべき基礎的・基盤的研究開発であると判断される研究開発内容に示した２）の事業は委託により実施し、市場化に向けた産業界の具体的な取り組みが示されるべき実用化研究開発であると判断される研究開発内容に示した１）の事業は助成（助成率１／２）により実施する。
共同研究開発に参加する各研究開発グループの有する研究開発ポテンシャルの最大限の活用により効率的な研究開発の推進を図る観点から、研究体にはＮＥＤＯ技術開発機構が委託先決定後に指名する研究開発責任者（プロジェクトリーダー等）を置き、その下に研究者を可能な限り結集して効果的な研究開発を実施する。
（２）研究開発の運営管理
研究開発全体の管理・執行に責任を有するＮＥＤＯ技術開発機構は、経済産業省及び研究開発責任者と密接な関係を維持しつつ、プログラムの目的及び目標、並びに本研究開発の目的及び目標に照らして適切な運営管理を実施する。具体的には、必要に応じて設置される技術検討委員会等における外部有識者の意見を運営管理に反映させる他、四半期に一回程度プロジェクトリーダー等を通じてプロジェクトの進捗について報告を受けること等を行う。
３．研究開発の実施期間
本研究開発の期間は、平成１８年度から平成２０年度までの３年間とする。
４．評価に関する事項
ＮＥＤＯ技術開発機構は、技術的及び政策的観点から、研究開発の意義、目標達成度、
成果の技術的意義ならびに将来の産業への波及効果等について、外部有識者による研究開発の事後評価を平成２１年度に実施する。なお、評価の時期については、当該研究開発に係る技術動向、政策動向や当該研究開発の進捗状況等に応じて、前倒しする等、適宜見直すものとする。
５．その他の重要事項（１）研究開発成果の取扱い①成果の普及得られた研究開発の成果については、特に委託事業分を重点的にデータベース化するとともに、ＭＥＭＳ用設計・解析支援システム開発プロジェクトで開発が行われている
659

ＭＥＭＳ用設計解析支援システムに付加して、ＭＥＭＳ産業界に公開し広く普及する。
②知的基盤整備事業又は標準化等との連携得られた研究開発の成果については、知的基盤整備または標準化等との連携を図るため、
データベースへのデータ提供、標準情報（ＴＲ）制度への提案等を積極的に行う。
③知的財産権の帰属
委託研究開発の成果に関わる知的財産権については、「独立行政法人新エネルギー・産業
技術総合開発機構新エネルギー・産業技術業務方法書」第 26 条の規定等に基づき、原則として、すべて受託先に帰属させることとする。
（２）基本計画の変更
ＮＥＤＯ技術開発機構は、研究開発内容の妥当性を確保するため、社会・経済的状況、内外の研究開発動向、政策動向、プログラム基本計画の変更、第三者の視点からの評価結果、研究開発費の確保状況、当該研究開発の進捗状況等を総合的に勘案し、達成目標、実施期間、研究開発体制等、基本計画の見直しを弾力的に行うものとする。
（３）根拠法本プロジェクトは、独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構法第１５条第１項第２号及び独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構法第１５条第１項３号に基づき実施する。
６．基本計画の改訂履歴（１） 平成１８年３月、制定。
（２） 平成１９年５月、研究開発項目「高集積・複合ＭＥＭＳシステム化設計プラットフ
ォームの開発」を追加。
（３） 平成２０年７月、イノベーションプログラム基本計画制定により改訂。

660

（別紙）研究開発計画
研究開発項目①「ＭＥＭＳ／ナノ機能の複合技術の開発」
１．研究開発の必要性（１）ＭＥＭＳデバイスの高度化に係わる開発の進展の中で、従来の高機能化では限界に直面し、実用のレベルに達しないという問題が生じているケースが見られている。
また、デバイスの小型化に際してデバイスに付与すべきセンシング機能や機械的接点の高信頼性化機能などに著しい性能向上が必要となっている。
（２）昨今のナノテクノロジーの研究成果は主に材料分野に見られてきた。その中で、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）やバイオ系材料の基本特性の解明に伴うデバイスへの適用に萌芽が見られてきている。また、ＭＥＭＳデバイスに関する新たな製造方法の研究からナノ機械構造体やナノ材料の選択的形成による機能の獲得の可能性が増大している。
（３）本研究開発項目は上記を踏まえ、選択的ナノ機械構造体形成技術、バイオ材料の選
択的修飾技術、ナノ材料の選択的形成技術、ナノ機能を組み込んだＭＥＭＳデバイスの製造技術を開発することにある。
２．研究開発の具体的内容（１）選択的ナノ機械構造体形成技術【委託事業】

リソグラフィー、エッチングや表面修飾などによってできる、波長オーダー以下のナノ機械構造体やその動きが、ＭＥＭＳの光学的な特性を大きく変える可能性があるため、センサや表示デバイスとしての利用が期待されている。機能を発揮するに十分な加工精度と低加工損傷性をもつナノ機械構造体を所定の領域に選択的に形成する技術、ナノ機械構造体の解析および発現した特性を評価する技術を研究開発するとともに、ＭＥＭＳデバイスへの適用の可能性を示す。
（２）バイオ材料（タンパク質など）の選択的修飾技術【委託事業】

ＭＥＭＳ基板上において、生体を利用、または模倣したセンシング技術の実現を目指し、改変されたタンパク質などのバイオ材料を所定の領域に選択的に修飾する技術および微細加工プロセスとの融合技術を研究開発するとともに、ＭＥＭＳセン
シングデバイスへの適用の可能性を示す。
（３）ナノ材料（ＣＮＴなど）の選択的形成技術【委託事業】

ＣＮＴに代表されるナノ材料の持つ柔軟性、導電性、耐摩耗性、耐食性、低摩擦係数、強靭性などの優れた機能をＭＥＭＳデバイスに応用することを目的に、構造制御されたナノ材料（ＣＮＴなど）の形成技術、それを所定の領域に選択的に形成する技術および欠陥制御技術を研究開発するとともに、ＭＥＭＳデバイスへの適用
661

の可能性を示す。
（４）ナノ機能を組み込んだＭＥＭＳデバイスの製造技術【助成事業】

従来よりも優れた機能を発揮するＲＦ－ＭＥＭＳ等のＭＥＭＳデバイスを実現するために、上記（１）、（２）または（３）の選択的にナノ機能を発現する修飾、形
成プロセスも含めたＭＥＭＳデバイス製造の一貫プロセスを開発する。
３．達成目標（１）選択的ナノ機械構造体形成技術
Ｌ／Ｓ：５０ｎｍ以下、縦方向：８０ｎｍ以上、可動部を擁する場合は１５０ｎｍ
以下のギャップを保持するナノ機械構造体を所定の領域（位置精度：±１μｍ以下）に選択的に形成できる技術を確立するとともに、それがナノ機能を発現することを示す。さらに、構造体の形状・寸法やその動きと発現するナノ機能の関係も明確にする。
（２）バイオ材料（タンパク質など）の選択的修飾技術
２種類以上のバイオ材料（改変されたタンパク質など）を、その配向性が制御された状態で、複雑構造体の所定の領域に選択的に形成する技術を確立するとともに、そのバイオ材料が生体機能を模倣したメカニズムで疾患関連などの生体物質を認識できることを示す。
（３）ナノ材料（ＣＮＴなど）の選択的形成技術
サイズ直径：１μｍ以下或いは厚み精度：０.１μｍ以内のナノ材料を所定の領域（位置精度：±１μｍ以下）に選択的に形成する技術を確立するとともに、それがナノ機能を発現することを示す。
特に、ＣＮＴの選択的形状制御においては、高アスペクト比（１：１０以上）、高密度充填（充填率：５０%以上）の数μｍから数百μｍスケールのＭＥＭＳ向け配向
ＣＮＴ構造体を製造するＣＮＴ成長技術を開発する。直線形状で架橋させた場合には、架橋率：７０％以上を目指す。また、その機械的、化学的特性を評価、改善し、
具体的デバイスへの適応を目指す。
（４）ナノ機能を組み込んだＭＥＭＳデバイスの製造技術
少なくとも、プロセス温度が４００℃以下で、ナノ機能を所定の領域に選択的にウェハレベルで形成し、かつナノ機能形成プロセスによりＭＥＭＳが損傷を受けることなく、逆にＭＥＭＳ形成プロセスによりナノ機能が劣化することがないＭＥＭ
Ｓ一貫プロセスを確立するとともに、ＭＥＭＳ一貫プロセスにより試作されたナノ機能付加ＭＥＭＳデバイスが、従来よりも優れた性能を発揮することを示す。
662

研究開発項目②「ＭＥＭＳ／半導体の一体形成技術の開発」
１．研究開発の必要性
１）ＭＥＭＳ－半導体の集積化技術は、設計の煩雑さ、製造設備の重複化など集積度が上がるにつれて複雑さ・困難さが増大するものの、デバイスの小型化、高機能化、高信
頼性化の実現にとって重要な技術として期待が大きい。特に、自動車用センサや無線通信端末などの今後の高度化に不可欠な研究開発課題となっている。
２）ＭＥＭＳ－半導体の集積化技術の研究は、ＣＭＯＳ互換プロセス上でのＭＥＭＳ加工技術、ＭＥＭＳと異なった機能要素（電子回路、受動素子など）の多層・モノリシッ
ク集積技術、新たな配線結合技術など、従来技術から一歩踏み込んだ領域に成果が見られるようになり、内外での取り組みが活発化しつつある。
３）本研究開発項目は上記を踏まえ、ＭＥＭＳ‐半導体プロセス統合モノリシック製造技
術、ＭＥＭＳ‐半導体縦方向配線技術、ＭＥＭＳ‐半導体横方向配線技術を開発することにある。
２．研究開発の具体的内容（１）ＭＥＭＳ‐半導体プロセス統合モノリシック製造技術【助成事業、委託事業】

ＣＭＯＳ・ＬＳＩ材料互換プロセスを用いて、先端ＣＭＯＳ・ＬＳＩとセンサを始めとした様々なＭＥＭＳデバイスをモノリシックに集積化可能なＭＥＭＳ製造プロ
セスを開発する。先端ＬＳＩとの混載メリットを最大限活かした高感度化・低電圧化・小型化を実現するため、最小加工寸法（ギャップ）サブμｍ～ｎｍレベル＋高アスペクト比の低損傷エッチング技術、低ストレス成膜技術、大面積のオンチップ空洞形成封止技術、ＭＥＭＳと異なった機能要素（電子回路、受動素子など）の多層・モ
ノリシック集積技術および外部との電気接続技術などが含まれる。さらに、集積化セ
ンサ試作、オンチップ機械特性広範囲制御により、本手法の有効性の実証なども行う。
【助成事業】
この他、ナノ半導体セラミックセンサ、ナノワイヤ圧電体等、半導体センサの微細化により発現する新たなＭＥＭＳセンシング原理の探索を行う。
（２）ＭＥＭＳ‐半導体縦方向配線技術【委託事業】【助成事業】

上記ＣＭＯＳ互換プロセス統合技術に加え、ＭＥＭＳの搭載自由度を上げることも重要である。これに対応する製造技術として、別々に製造されたＣＭＯＳ・ＬＳＩとＭＥＭＳをウェハレベルで多層に接合する技術が必要となる。そのために、将来の６５ｎｍルールまでのＣＭＯＳ・ＬＳＩウェハやバルク型も含めたＭＥＭＳウェハに対して、小径で、高アスペクトな貫通孔配線を形成し、多層にＣＭＯＳ・ＬＳＩとＭＥ
ＭＳを電気的に接続する技術を開発する。
また、配線の自由度を飛躍的に向上できる３次元配線構造を持つ高信頼性インター
663

ポーザル技術の開発も縦方向への集積化に重要な要素として開発する。
（３）ＭＥＭＳ－半導体横方向配線技術【助成事業、委託事業】

上記と同様の目的で、以下のＭＥＭＳ－半導体横方向配線技術を開発する。別々のウェハ上に製造されたＭＥＭＳデバイスとＣＭＯＳ・ＬＳＩを検査選別した後、それらをチップレベルで隣接して配置し、ウェハ状に再配列する。このＭＥＭＳ‐
ＣＭＯＳ・ＬＳＩ一体疑似ウェハに対して、集積化したいチップ間を、半導体プロセ
スにより微細配線で電気的に接続する。この横方向配線技術により、従来技術のＳＩＰ（System In Package）では達成できない小型化と、従来技術のＳＯＣ（System
On Chip）では達成できない高性能化とを実現できる。 【助成事業】
この他、フレキシブルな樹脂部材や低コストな金属部材上とチップの３次元的表面
上に高密度な配線や膜状受動部品を積層一体化できる高速実装プロセスの開発も必要となる。そのため、絶縁層と導電層、バンプおよび高誘電体層や抵抗体層を、低温で高速に直接微細描画することにより、チップの垂直段差への配線等の３次元表面上への高密度配線、高精度フリップチップ接続やコンデンサ、抵抗などの受動部品の高密度な低温積層一体化実装技術を確立する。

【委託事業】

３．達成目標（１）ＭＥＭＳ‐半導体プロセス統合モノリシック製造技術
ＭＥＭＳ製造プロセスとして、１８０ｎｍ技術ノードＣＭＯＳ・ＬＳＩ材料プロセ
ス互換を目指す。ＭＥＭＳ製造技術ロードマップに基づく統合プロセスによる
ＭＥＭＳの加工目標として、最小加工寸法：０．５μｍ以下、アスペクト比：２０以
上、残留応力：０．１ＧＰａ以下（膜厚：０．１～１０μｍ）、ＭＥＭＳと複数種類の異なった機能要素（電子回路、受動素子など）の多層・モノリシック集積化を目指す。
半導体センサの微細化により発現する新たなＭＥＭＳセンシング原理の探索については、製造プロセスは問わないが、１つ以上の新たなＭＥＭＳセンシング原理を見出すことを目指す。
（２）ＭＥＭＳ‐半導体縦方向配線技術
将来の６５ｎｍルールまでのＣＭＯＳ・ＬＳＩとＭＥＭＳ（バルク型も含む）を多層に集積するために、穴径：５μｍ以下、アスペクト比：５０以上の貫通孔配線を形成するとともに、ＣＭＯＳ・ＬＳＩとＭＥＭＳを３層以上に渡って接合し、確実な電気的接続を実現する。
インターポーザルについては、インターポーザル内の貫通配線構造に従来にない分
岐構造を導入し、インターポーザル内部での三次元インターコネクションを実現する。
そのサイズとしては、インターポーザル厚：３００μｍ以下で、貫通配線（穴径：664１００μｍ以下）の横方向へのシフト量：５００μｍ以上を達成する製造技術を目指す。
（３）ＭＥＭＳ‐半導体横方向配線技術
Ｌ／Ｓ：１μｍ／１μｍ以下の微細配線を形成し、ＣＭＯＳ・ＬＳＩとＭＥＭＳの間の確実な電気的接続を実現する。さらに、横方向集積型ＭＥＭＳパッケージの薄型化（厚さ：１００μｍ程度）を目指す。
この他、三次元表面上への高密度配線パターンの低温で高速な直接微細描画技術と受動部品の高密度な低温積層一体化実装技術を確立する。高密度配線パターンとして、
垂直乗り越え段差：１００μｍ以上、パターン寸法：５～１０μｍ、成膜温度：
４００℃以下、成膜速度：１０μｍ／ｍｉｎ以上および描画速度：１ｃｍ／ｍｉｎ以上を目指す。

665

研究開発項目③「ＭＥＭＳ／ＭＥＭＳの高集積結合技術の開発」
１．研究開発の必要性
１）ＭＥＭＳデバイスを構築する場合に、その扱う物理量により従来の平面的な実装ではなく縦方向の組立が効率的な場合がありうる。しかしながら、これまでは縦方向の組立精度やプロセス技術上の障害などにより達成できていなかった。今後、特に医療用小型センサの小型、高精度、無線化や住宅やセキュリティなどの小型、低コスト化が求められるデバイスには不可欠な課題となってくる。
２）表面活性化による低温接合技術や非Ｓｉ系の微細加工技術が発展し、従来技術から一歩踏み込んだ領域に成果が見られるようになり、内外での取り組みが活発化しつつある。
３）本研究開発項目は上記の課題を踏まえ、多層ＭＥＭＳ集積化技術、ビルドアップ型
多層ＭＥＭＳ集積化技術、多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術を開発することにある。
２．研究開発の具体的内容（１）異種材料多層ＭＥＭＳ集積化技術【助成事業】

ＭＥＭＳ‐ＭＥＭＳの高集積結合技術においては、多層の異種材料ウェハレベル接合技術が基本となる。具体的には、異種材料（シリコン、ガラス、樹脂など）のウェ
ハを、平面方向に高精度に位置決めするばかりでなく、垂直（Ｚ）方向にも高精度に組立ができる技術を開発するとともに、機能を損なうことのない、例えば低温、低応力の接合技術を開発する。
（２）ビルドアップ型多層ＭＥＭＳ集積化技術【助成事業】

上記のようにさまざまな異種材料ウェハ上にＭＥＭＳを形成した後、それらを順次または一括でウェハレベル接合するだけではなく、エッチング、機能部位形成・異種
材料形成、実装など各種加工を施したＭＥＭＳウェハを、別のＭＥＭＳウェハと接合し、さらにこれらの工程を繰り返すことで、さらに高密度な多層ＭＥＭＳを実現できる。そのために、接合するウェハ状態にあわせた機能損傷がない各種ウェハレベル接合手法と接合されたウェハ状態にあわせた各種加工方法を開発する。
なお、発光素子等の高価な化合物半導体素子を実装する場合は、チップレベルで接合する必要があり、さらに、発光素子においては所望の光軸方向を保持した接合が求められるため、チップレベルの高精度接合技術も必要に応じて開発する。
（３）多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術【委託事業】

多層ウェハレベル接合体には、Ｓｉのみならず、酸化物、金属、化合物、樹脂、等、種々の材料が混在し、かつ積層界面はウェハ母材より低強度である場合が多い。また
666

チップサイズに対してチップ厚さ比が大きくなり、ダイシング時のチッピング等損傷の影響がより大きくなる。したがって、できるだけ低ストレスで多層ウェハレベル接合体を切断できるダイシング技術を開発する。
３．達成目標（１）異種材料多層ＭＥＭＳ集積化技術
ウェハサイズ：直径１００ｍｍ以上、３層以上、異種材料（シリコン、ガラス、樹脂など）をウェハレベルで接合し、面方向：±１μｍ以下の位置決め精度、垂直（ｚ）
方向：±０．５μｍ以下の組立精度で、複数回の接合に耐えられることを目指す。
（２）ビルドアップ型多層ＭＥＭＳ集積化技術
各ウェハ（直径１００ｍｍ以上）の接合精度および加工精度は、面方向：±１μｍを目指すとともに、各ウェハ接合工程の間に加工工程（エッチング、実装、機能
部材・異種材料形成、など）を設けながら、ダメージを与えることなくウェハ３層以上を順次接合できることを目指す。
化合物半導体チップの高精度位置決め接合技術については、位置決め精度：±１μｍ以下、傾き精度：０.０５ｄｅｇ以下を目指す。
（３）多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術
多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシングについては、異種材料で構成される 3 層以上のウェハレベル接合体（直径１００ｍｍ以上）に対して、チッピング、層間剥離およびＭＥＭＳ可動部破損などの破損率について、トータルで１％以下を目指す。

667

研究開発項目④「高集積･複合ＭＥＭＳ知識データベースの整備」
１．研究開発の必要性
１）現状において高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術に関しては未知の分野であり、科学技
術的知見の蓄積・整理がほとんど進んでいない。
２）高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術の開発の成果あるいはこれに関連する新たなる知見については、これら高度ＭＥＭＳの開発を目指す企業研究者･技術者の新製品開発･実用化に寄与することにより、新たな産業の創造に資するものである。
２．研究開発の具体的内容【委託事業】

高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術の研究開発項目①～③にかかわる新たな知見を系統的に収集･蓄積し、データベース化する。
３．達成目標高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術の研究開発項目①～③にかかわる新たな知見（文献情報、特許情報及び特に委託事業を中心としたプロジェクトの研究成果も含めて）を系統的に蓄積してデータベース化するとともに、ＭＥＭＳ用設計・解析支援システム開発プロジェク
トで開発が行われているＭＥＭＳ用設計解析支援システムに付加する。

668

研究開発項目⑤「高集積・複合ＭＥＭＳシステム化設計プラットフォームの開発」
１．研究開発の必要性
１）近年、米国を中心として設計プラットフォームを用いた表面集積化の動きが活発化
し、高集積 MEMS に関わる製造技術、設計技術の両面を備えたトータルな研究開発
により、高集積 MEMS 製品の成功事例が増加してきている。
２）しかしながら、高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術の研究開発項目であるＭＥＭＳ／ナ
ノ機能の複合、ＭＥＭＳ／半導体の一体形成技術、ＭＥＭＳ／ＭＥＭＳの高集積結合技術に共通する統一的な設計手法の開発はほとんど行われていない。
３）本研究開発項目は上記を踏まえ、ＭＥＭＳ構造体と異種材料との複合化や集積化に対応する高集積・複合 MEMS システム化設計プラットフォームに関する開発を行い、実用化までの期間を大幅に短縮し、国内市場の更なる活性化と国際的な優位性の確保することにある。
２．研究開発の具体的内容【委託事業】

高集積・複合 MEMS 製造技術開発の研究開発項目①～③及びその周辺に関わる高集
積・複合 MEMS に適した設計プラットフォームとしての等価回路モデルに関する情報を整理し、Web 閲覧システムとして構築する。さらに、CAD モデルと等価回路モデル間の相互生成技術に関して調査を行う。
3.達成目標研究開発項目①～③及びその周辺に関わる高集積化 MEMS 設計プラットフォームとしての等価回路モデルに関する情報を整理し、Web 閲覧システムとして構築する。また、MEMS 用設計解析支援システムの回路シミュレーション・モデルを高集積・複合 MEMSに適用される等価回路モデルに拡張し、その内容を Web 閲覧システムに掲載する。

669

添付資料３．技術戦略マップ










/'/5 Ў᣼/'/5 /KETQ'NGEVTQ/GEJCPKECN5[UVGOUࣇ‫ݱ‬ᩓൢೞ఺ǷǹȆȠ ƱƸ᳼ᩓൢ‫ׅ‬ែ Сࣂᢿ ƱࣇኬƳೞ఺ನᡯ ᬝѣᢿ ǛɟƭƷؕெɥƴᨼᆢƞƤƨᢿԼ ȇȐǤǹ ƷƜƱưƋǓ᳼঻ƕ‫׎‬ƷࢍǈưƋǔҞ‫˳ݰ‬ᙌᡯ২ᘐǍȬȸǶȸь߻২ᘐሁƷࣇኬь߻২ᘐƴˊᘙƞǕǔȊȎȆǯȎȭǸȸǍӲᆔ஬૰২ᘐሁǛᬝ̅ƠƯᙌᡯƞǕǔ᳹/'/5 Ƹऴ‫إ‬ᡫ̮᳼Ҕၲ᳽ȐǤǪ᳼ᐯѣ៻᳼ȭȜȃȈ᳼ᑋᆰ᳽‫ܬܢ‬᳼ᅦᅍƳƲ‫ٶ‬ಮƳЎ᣼ƴƓƚǔ‫׹ݱ‬᳽᭗ችࡇưႾǨȍȫǮȸࣱƴΟǕƨ᭗ࣱᏡƷǭȸȇȐǤǹƱƠƯ஖ࢳƞǕƯƍǔ᳹ƜƷƨǊ᳼ؕ࠴ᢿԼƷ᭗˄ь̖͌҄ƴǑǔ঻ƕ‫׎‬ᙌᡯಅƷ‫׎‬ᨥᇤʗщƷࢍ҄ƷǈƳǒƣ᳼ૼƠƍ̖͌ǛဃǈЈƢ᪃ૼႎƳ /'/5 Ʒ᧏ႆǛᡫƠƯૼငಅƷоЈǛૅƑǔᚇໜƔǒǋ᣻ᙲƳ২ᘐЎ᣼ưƋǔ᳹ˌɥƷໜƔǒ᳼ʻࢸ  ࠰ᆉࡇǛᙸੁƑƯ᳼ଐஜƷ /'/5 ငಅƷ‫׎‬ᨥᇤʗщዜਤ᳽ࢍ҄ӏƼ᪃ૼႎƳ /'/5 ȇȐǤǹƷоЈƴ࣏ᙲƱƞǕǔ᳼᭗ೞᏡ҄᳼‫҄׹ݱ‬᳼˯ǳǹȈ҄᳼ီЎ᣼ᗡӳሁƷ /'/5 ᙌᡯ২ᘐǛ̳ყƠ᳼ᙲእ২ᘐǛਁЈƢǔƱƱǋƴ᳼ʻࢸƷ২ᘐƷႆ‫ޒ‬ǛȭȸȉȞȃȗƱƠƯ੨ƍƨ᳹㪍㪎㪇/'/5 Ў᣼Ʒ২ᘐ৆ဦȞȃȗΣዉ౉ࠪ࠽࡝ࠝ
㧔㧝㧕/'/5 ಽ㊁ߩ⋡ᮡߣ዁᧪ታ⃻ߔࠆ␠ળ௝
ଏƴܱဇ҄ƞǕƯƍǔҥೞᏡ /'/5 ƴƭƍƯƸ᳼ᐯѣ៻ဇǻȳǵǍǤȳǯǸǧȃȈȗ
ȪȳǿȘȃȉሁƷЎ᣼ưଐஜ˖ಅǋͤ᧭ƠƯƍǔƕ᳼ᡫ̮ǍȗȭǸǧǯǿሁƴ̅ǘǕǔή /'/5 Ǎ᳼ʻࢸƷܱဇ҄ƕ஖ࢳƞǕǔȐǤǪ /'/5 ƷЎ᣼ưƸ഑቟ᜂ‫׎‬ƕɟᢿέᘍƠƯƍǔ᳹঻ƕ‫׎‬ᙌᡯಅƷ‫׎‬ᨥᇤʗщǛᄩ̬ƢǔƨǊƴƸ᳼ᙌᡯಅƷؕႴǛૅƑǔǭȸȆǯȎȭǸȸƷ  ƭƱƳǔ /'/5 Ʒᙌᡯ২ᘐǛɟ‫ޖ‬᭗ࡇ҄Ƣǔ࣏ᙲƕƋǔ᳹ɟ૾᳼/'/5 ငಅƷᙍ᣼Ǜਘ‫ٻ‬Ơ᳼‫ٶ‬ಮƳЎ᣼ƴƓƍƯ‫ٶ‬ಮƳɼ˳ƕ /'/5 ᙌԼƷ᧏ႆ᳽ܱဇ҄ƴӕǓኵǉƜƱƕӷЎ᣼ƷؕႴࢍ҄ƷƨǊƴ᣻ᙲưƋǔ᳹ཎƴ᳼ᙌᡯᚨͳǛஊƢǔ‫ٻ‬৖˖ಅƷǈƳǒƣ᳼/'/5 Ǜ෇ဇƠƨᙌԼǢǤȇǢǛஊƢǔီಅᆔƷșȳȁȣȸ˖ಅሁƕܾତƴ /'/5 ᧏ႆƴӕǓኵǊǔ࿢‫ؾ‬ǛૢͳƢǔƜƱƕ࣏ᙲưƋǔ᳹ˌɥƷໜƔǒ᳼Ԙ+6 ২ᘐ᳼ӲᆔီЎ᣼২ᘐሁƷέᇢႎᙲእ২ᘐƱƷᗡӳǛ̟ᡶƢǔƜƱƴǑǓ /'/5 Ʒᙌᡯ২ᘐƷɟ‫ޖ‬Ʒ᭗ࡇ҄ǛƸƔǔƜƱ᳼ԙ/'/5 ȇȐǤǹƷ᧏ႆ᳽ܱဇ҄Ǜ̟ᡶƢǔƨǊƷ࿢‫ͳૢؾ‬ǛᡫƠƯ /'/5 ငಅƷᙍ᣼ਘ‫ٻ‬ǛƸƔǓ᳼ʴ᧓ဃ෇ƷឋƷӼɥǛܱྵƢǔƱƱǋƴ᳼঻ƕ‫׎‬ኺฎᅈ˟ƷؕႴưƋǔᙌᡯಅƷᇤʗщƷዜਤ᳽ࢍ҄Ǜ‫׋‬ǔƜƱǛႸႎƱƢǔ᳹ƜǕƴǑǓ᳼ࢸᡓƢǔǑƏƳ࿢‫ؾ‬᳽ǨȍȫǮȸЎ᣼᳼Ҕၲ᳽ᅦᅍЎ᣼᳼‫ܤ‬μ᳽‫࣎ܤ‬Ў᣼ǛܱྵƢǔ᪃ૼႎƳ /'/5 ᙌԼ፭ǛဃǈЈƢȗȭǻǹ২ᘐǛ᧏ႆƢǔ᳹ᄙ᭽䈭ಽ㊁䈪ᵴ↪䈘䉏䉎㪤㪜㪤㪪଀㩷‫ޣ‬4(/'/5‫ޤ‬䊝䊋䉟䊦ㅢା↪
䌒䌆䊂䊋䉟䉴

శㅢା䊂䊋䉟䉴

‫ޣ‬శ /'/5‫ޤ‬䊒䊨䉳䉢䉪䉺䈱⴫␜⥄േゞ䈱䉣䉝䊋䉾䉪↪ടㅦᐲ䉶䊮䉰‫ ࠨࡦ࠮ޣ‬/'/5‫ޤ‬㪍㪎㪈 ࠰ࢸƷ /'/5 ᙌԼƷφ˳ႎǤȡȸǸ         Ӌᎋ Ƃή /'/5ƃ/'/5 ২ᘐǛဇƍǔƜƱƴǑǓ᳼ήᡫ̮ዡưဇƍǒǕǔ‫׹ݱ‬᳼᭗ࣱᏡƷήǹǤȃȁƕ
ܱྵƠ᳼ࢼஹƷήᩓ‫٭‬੭‫׹‬ƷǹǤȃȁƴൔǂ᳼ႾǹȚȸǹ᳼ႾǨȍȫǮȸ᳼˯ǳǹȈ҄ƷјௐƕࢽǒǕǔŵƜǕƴǑǓŴᡫ̮ᡮࡇƷӼɥƱƱǋƴ໎ܹ଺ƷȐǤȑǹ‫ׅ‬ែƷϘᧈࡇƕ‫ف‬ƢƳƲ᭗ࡇऴ‫إ‬ᡫ̮ᅈ˟Ʒɟ‫ޖ‬Ʒ᭗ᡮ҄᳼ࣱ̮᫂ӼɥƴᝡྂƢǔƜƱƕ
஖ࢳƞǕǔ᳹ƞǒƴ᳼#1 #FCRVKXG1RVKEU ǍǤȡȸǸȳǰᘺፗሁƷήƷᚘยƷ᭗ЎᚐᏡ᳽᭗ೞᏡƓǑƼȞǤǯȭඬȕǩȈȋȃǯЎ᣼ưƷࣖဇƕ஖ࢳƞǕǔ᳹ƜƷǑƏƳή/'/5 ƷܱྵƴƸ᳼ᇌ˳ನᡯɥǁƷȑǿȸȳ࢟঺২ᘐ᳼ೞᏡࣱ஬૰Ʒ᧏ႆƱƦƷҽᐏ࢟঺২ᘐ᳼Сࣂဇእ‫܇‬ƱƷᨼᆢ҄২ᘐƳƲƕ᣻ᙲƱᎋƑǒǕǔ᳹Ƃ4(/'/5ƃઃ࠘ᩓᛅሁƷȢȐǤȫೞ֥ƴဇƍǒǕƯƍǔ᭗ԗඬᢿԼƷ‫ٶ‬Ƙƕ /'/5ᢿԼƴፗƖ੭ǘǔƜƱƴǑǓ᳼˯ෞᝲᩓщ᳼˯ǳǹȈưƷૠҗ )*\ Ʒᡫ̮࠘؏ƕМဇӧᏡƴƳǓ᳼ஊዴ .#0 ɳǈƷऴ‫إ‬ˡᢋᏡщƕܱྵƞǕǔ᳹Ǉƨӷ଺ƴ᭗ԗඬᢿԼƷɟ˳҄ᙌᡯƕӧᏡƱƳǓ᳼ઃ࠘ᩓᛅƷႾᩓщ᳼ႾǹȚȸǹ҄᳼᭗ೞᏡ҄ƕ‫׋‬ǒǕǔ᳹ƜƷǑƏƳ 4(
Ტ4CFKQ(TGSWGPE[Უ/'/5 ƷܱྵƴƸ᳼ೞᏡࣱ஬૰Ʒ᧏ႆƱƦƷҽᐏ࢟঺২ᘐƱȊȎ஬૰‫ޅ‬৑࢟঺২ᘐƳƲƕ᣻ᙲƱᎋƑǒǕǔ᳹Ƃǻȳǵ /'/5ƃᐯѣ៻ƷǨǢȐȃǰ˺ѣǹǤȃȁƱƠƯଏƴဇƍǒǕƯƍǔьᡮࡇᴖᴵᴓሁƷ /'/5ƕ᳼ǑǓ‫҄׹ݱ‬᳼˯ǳǹȈ҄᳼᭗ೞᏡ҄ƢǔƜƱư᳼ྵཞưƸ᭗ኢ៻ƴƠƔ੔ဇƞǕƯƍƳƍǑƏƳǻȳǵ Ӳᆔ‫ۋ‬ѬСࣂဇǻȳǵ᳼ហ‫ٳ‬ዴǻȳǵǢȬǤ᳼ᨦܹཋ੕ჷဇƷȬȸǶȸȬȸȀሁ Ǜ‫׹ݱ‬Ʒɟᑍ៻ƴ੔ဇƢǔƜƱƕưƖ᳼ʩᡫƷǑǓɟ‫ޖ‬Ʒࣛᢘࣱ᳼‫ܤ‬μࣱƷӼɥƴ᝻Ƣǔ᳹Ǉƨ᳼ઃ࠘ᩓᛅǛƸơǊƱƢǔᡫ̮Ў᣼᳼ǢȟȥȸǺȡȳȈЎ᣼᳼ǻǭȥȪȆǣЎ᣼᳼‫ܬܢ‬Ў᣼ሁࠢ࠼ƍЎ᣼ư‫׹ݱ‬᳽᭗ೞᏡǻȳǵƕ̅ဇƞǕǔ᳹ƜƷǑƏƳǻȳǵ /'/5 ƷܱྵƴƸ᳼/'/5᳽Ҟ‫˳ݰ‬σ‫܍‬ನᡯƷ঺࢟২ᘐƱ /'/5᳽Ҟ‫˳ݰ‬σ‫܍‬Ʒ੗ӳ᳽ኵᇌ২ᘐƳƲƕ᣻ᙲƱᎋƑǒǕǔ᳹ƂȐǤǪ /'/5ƃઃ࠘ӧᏡƳ‫̖ܤ‬ư‫׹ݱ‬Ʒဃ˳঺Ў౨௹ᴏȃȈȷȐǤǪǻȳǵǛဇƍƨǦǧǢȩȖȫ
/'/5 ȇȐǤǹƕ᧏ႆƞǕ᳼၏ᨈ‫ܡנ ٳ‬Ǎ‫ ٳދ‬ưƷᚮૺǍʖ᧸Ҕၲƕ࠼ƘᘍǘǕǔǑƏƴƳǔ᳹ઃ࠘ᩓᛅǍǤȳǿȸȍȃȈƴ੗ዓƠƨऴ‫إ‬ᇢ஛ƱƷኵǈӳǘƤƴǑǓ
ƦƷјௐƸ୼ƴ‫ٻ‬ƖƘƳǔ᳹ӲᆔȐǤǪ /'/5 ƷܱྵƴƸ᳼҄‫ܖ‬ႎ᳽ȐǤǪႎᘙ᩿̲᫭
২ᘐƱȊȎǤȳȗȪȳȆǣȳǰ২ᘐ᳼/'/5 ǛȗȩȃȈțȸȠƱƠƨኬᏘ᳽ဃ˳᭗Ў‫܇‬ƷᄂᆮဇȇȐǤǹƓǑƼኬᏘ᳽ኵጢɲ૾Ǜ‫ݣ‬ᝋƱƢǔϐဃҔၲဇȗȩȃȈțȸȠƷܱဇ҄ƕ᣻ᙲƱᎋƑǒǕǔ᳹ƜƷܱྵƴƸ᳼Ў‫܇‬᳽ኬᏘƱᗡӳƠƨᚘย૾ඥ২ᘐƓǑƼ /'/5 ನᡯƷನሰǍȞȋȥȔȬȸǷȧȳ২ᘐሁƱဃ˳ᢘӳࣱ஬૰Ʒ২ᘐƕ᣻ᙲƱᎋ
Ƒǔ᳹

㪍㪎㪉

ɥᚡƴьƑ᳼ƦǕƧǕƷ /'/5 ƕ˂Ʒ /'/5 Ǎ %/15è.5+ ƳƲƷҞ‫ׅ˳ݰ‬ែƱɟ˳ᨼᆢ҄ƞǕ᳼ɟ‫ޖ‬Ʒ‫׹ݱ‬᳽᭗ೞᏡ҄᳼ӏƼȈȸǿȫƱƠƯƷǳǹȈȑȕǩȸȞȳǹƷӼɥƕ‫׋‬ǒǕǔƜƱƴǑǓ᳼ᐯѣ៻Ў᣼ưƷဇᡦਘ‫ٻ‬Ǎऴ‫إ‬᳽ᡫ̮Ў᣼᳼Ҕၲ᳽ᅦᅍЎ᣼᳼᫢ԼЎ᣼ưƷǳȳǷȥȸȞဇᡦǁƷ‫᧏ޒ‬ƳƲǛɼƱƠƯ᳼࠼ር‫׊‬ƳǢȗȪǱȸǷȧȳƷਘ‫ٻ‬ƕʖेƞǕǔ᳹è %/15ᲢᵡᶍᶋᶎᶊᶃᶋᶃᶌᶒᵿᶐᶗᴾᵫᶃᶒᵿᶊᴾᵭᶖᶇᶂᶃᴾᵱᶃᶋᶇᶁᶍᶌᶂᶓᶁᶒᶍᶐᲣ
ᲴႻᙀ‫׹‬᣿‫ޓ‬ᣠ҄ᐏҞ‫˳ݰ‬ ࠰ࢸƷ /'/5 ᙌԼƷφ˳ႎǤȡȸǸ         Ӌᎋ /'/5 ƸȈȃȗȀǦȳȗȭǻǹưƋǔࣇኬь߻Ʊ᳼ȜȈȠǢȃȗȗȭǻǹưƋǔȊ
ȎȷȐǤǪȗȭǻǹƱǛᗡӳƠƨȞǤǯȭȷȊȎወӳᙌᡯ২ᘐƷᄩᇌƴǑǓ᳼ƦƷࣖဇር‫׊‬Ǜ࣯ᡮƴ࠼ƛ‫ܼ׎‬᳽ᅈ˟ႎᛢ᫆ưƋǔᳺ࿢‫ؾ‬᳽ǨȍȫǮȸ᳻᳼ᳺҔၲ᳽ᅦᅍ᳻᳼ᳺ‫ܤ‬μ᳽‫ܤ‬࣎᳻Ў᣼ưૼƠƍȩǤȕǹǿǤȫǛоЈƢǔ᪃ૼႎǭȸȇȐǤǹƱƠƯ࠼ƘේᡢƠƯƍǔٟ᳹࿢‫ؾ‬᳽ǨȍȫǮᴈЎ᣼ƂǨȍȫǮȸȷȏȸșǹȆǣȳǰȇȐǤǹƃήȷ༏ȷਰѣȷဃ˳ཋឋሁԗᡀ࿢‫ؾ‬ƔǒǨȍȫǮȸǛԈӓƠŴᔛᩓƢǔ‫׹ݱ‬ȇȐǤǹƕŴȞǤǯȭь߻ƱȊȎȷȐǤǪᗡӳƴǑǔǨȍȫǮȸ‫٭‬੭јྙƷӼɥƱŴܱјᘙ᩿ᆢƷӼɥƷɲᇌƴǑƬƯܱྵƢǔŵƜƷȇȐǤǹƸசМဇǨȍȫǮȸǛஊјƴМဇưƖǔΟǕƨ࿢‫ࣱؾ‬ǛஊƢǔƕŴƞǒƴႾᩓщȷ᭗јྙ҄ƕᡶǜƩӲᆔǻȳǵŴǢǯȁȥǨȸǿƱኵǈӳǘƞǕŴ‫ٻ‬ƖƳඬӏјௐǛဃǉŵ̊ƑƹŴȯǤȤȬǹ
ǻȳǵȍȃȈȯȸǯǛನሰƢǔᨥƴŴஜȇȐǤǹǛӲȎȸȉƴኵǈᡂǉƜƱưŴᩓ൷ʩ੭ሁƷȡȳȆȊȳǹȕȪȸƱƳǓŴᅈ˟μ˳ƴ࠼ƕǓࣛᢘȷ‫ܤ‬μȷ‫࣎ܤ‬Ƴᅈ˟ƕܱྵƞǕǔŵǇƨŴ˳ϋ؈ᡂೞ֥ƷǨȍȫǮȸᐯዅƕӧᏡƱƳǓŴͤࡍȷҔၲЎ᣼ưƷ 31.Ტဃ෇ƷឋᲣ᪃ૼƴ݃ɨƢǔŵƜƷȇȐǤǹƷܱྵƴƸŴ ഏΨȊȎನᡯ࢟঺২ᘐƱŴૼᙹƷஊೞೞᏡ஬૰ŴȐǤǪ஬૰ƴьƑŴƦǕǒ஬૰ƱȊȎನᡯᘙ᩿ƱƷမ᩿Сࣂ২ᘐƕ࣏ᙲƱƳǔŵǇƨŴܱဇ҄ƴᨥƠŴҗЎƳᩓщ̓ዅǛӧᏡƱƢǔƨǊ EO ǪȸȀȸƷ᩿ᆢƕ࣏ᙲƱƳǔƕŴȊȎನᡯǛ࠼ƍ᩿ᆢμ˳ƴܱྵƠƯƍƘ‫ٻ‬᩿ᆢ҄ǋȝǤȳȈƱƳǔŵƂǪȳǵǤȈ࿢‫ؾ‬෋҄ȇȐǤǹƃ‫ٻ‬ൢŴӏƼ൦ឋƷ෋҄ƸʴӝƷ࣯ᡮƳ‫ف‬ьƕྵܱƷǋƷƱƳǔ  ɭኔҞƹƴƓƚǔɭမᙹ೉Ʒᛢ᫆ưƋǔŵ‫ٻ‬ൢ෋҄ƴ᧙ƠƯƸᐯѣ៻ŴืඖƔƠ֥ŴȡǿȎȸȫ̅ဇ‫׹ݱ‬༓૰ᩓ൷ƳƲƔǒ੎ЈƞǕǔʚᣠ҄໗እŴᆷእᣠ҄ཋŴᄑ᰾ᣠ҄ཋƳƲƷ‫ٻ‬ൢ൲௨ཋឋǛŴႆဃเƴಊǊƯᡈƍ‫ئ‬৑ŴƢƳǘƪǪȳǵǤȈư‫ܭ׍‬ƠŴ‫ٻ‬ൢɶǁƷ੎ЈǛ᧸ƙ‫׹ݱ‬ȇȐǤǹƕܱྵƞǕǔŵɟ૾൦ឋ෋҄Ƹ൦ƷஊјМဇȋȸǺƷ᭗ǇǓƴ‫ࣖݣ‬ƠŴ̅ဇࢸƷɥ൦Ǜ෋҄Ơƨɶ൦ǛМဇƢǔ‫׹ݱ‬ǪȳǵǤȈ൦෋҄ǷǹȆȠƕɟᑍܼࡊƴ୍ӏƢǔŵƜǕǒȇȐǤǹŴǷǹȆȠƸȞǤǯȭь߻ƱŴȊȎನ㪍㪎㪊ᡯᙌ˺২ᘐŴࣇဃཋǛМဇƢǔȊȎȷȐǤǪᗡӳŴƴǑǓܱྵƢǔŵƜǕǒƷ൲௨ཋឋƸŴƍƬƨǜ੎ЈƞǕǕƹಊǊƯ˯ຜࡇƱƳǓ‫ׅ‬ӓƕɧӧᏡƱƳǔŵƠƔƠŴ
᭗ຜࡇưƋǔ੎ЈเᡈͯƴƓƍƯ᭗јྙƴ൲௨ཋឋǛ‫ܭ׍‬ƢǔƜƱƕưƖǔஜȇȐǤǹƸŴ‫ٻ‬ƖƳΟˮࣱǛஊƢǔŵ̊Ƒƹʚᣠ҄໗እƴƓƍƯƸŴƜǕǇư੎Ј᣽ƷǄǅҞૠǛҩǊƯƓǓƳƕǒŴ‫ׅ‬ӓƕμƘɧӧᏡưƋƬƨЎ૝੎ЈเƔǒƷʚᣠ҄໗እǛ‫ׅ‬ӓƢǔƜƱưŴ‫ྶע‬ภଡ଼҄᧸ഥƴ‫ݣ‬ƠಊǊƯ‫ٻ‬ƖƳᝡྂƱƳǔŵƜƷȇȐ
ǤǹƷܱྵƴƸŴ൲௨ཋឋǛЎᩉƢǔȕǣȫǿᙌ˺ƷƨǊƷȊȎನᡯ˺ᙌ২ᘐŴ൲௨ཋឋǛԈӓȷ‫ܭ׍‬ƢǔȊȎನᡯǛǋƭૼᙹ஬૰ӏƼƦƷь߻২ᘐ᳼Ǉƨஊܹཋឋ‫׍‬‫ܭ‬ǛܱྵƢǔࣇဃཋǍဃ˳ཋឋǛᴝᴡನᡯᘙ᩿ɥưೞᏡƞƤǔƨǊƷȊȎȷȐǤǪမ᩿Сࣂ২ᘐƕ᣻ᙲƱƳǔܱ᳹ဇ҄ƴᨥƠƯƸ᳼൲௨ཋឋ੎Ј᣽ƴࣖơ᳼EO ǪȸȀȸƴǇư‫ٻ‬᩿ᆢ҄Ƣǔ২ᘐ᳼ƓǑƼȑȃǱȸǸȳǰ২ᘐƕȝǤȳȈƱƳǔƂឬ᭗ज़ࡇ࿢‫ؾ‬ཋឋ౨ЈȇȐǤǹƃಊࣇ᣽Ʒ࿢‫ؾ‬ཋឋǛ᳼᭗ज़ࡇƴ᳼ƔƭǪȳǵǤȈư౨ЈƢǔ‫׹ݱ‬ȇȐǤǹƕܱྵƞǕǔŵ᣿‫ޓ‬ȊȎನᡯƴǑǔᘙ᩿ᩓ‫ࢍفئ‬ƷМဇŴᐯࠁኵጢҥЎ‫܇‬ᐏᲢ5#/ᲣƷᢠ৸ႎ঺ᐏƳƲƴǑǔᘙ᩿ೞᏡ˄ьƴǑǔ౨˳Ʒᢠ৸ႎԈბŴȞǹǹȚǯȈȭȡȸǿǍ 6*\ЎήЎௌᘺፗƷǑƏƳ᭗ࣱᏡưƋǔƕ‫׹ٻ‬Ŵ᭗̖ƳᘺፗǛȀǦȳǵǤǺƠƯǳȢȇ
ǣȆǣ҄ƢǔǑƏƳ২ᘐ᧏ႆƴǑǓܱྵƢǔŵஜȇȐǤǹƸཎƴȞǤǯȭь߻ƴǑǓ‫҄׹ݱ‬ƞǕƨ්ែŴӒࣖȁȣȳȐƳƲƷ҄‫ܖ‬ЎௌǷǹȆȠƱኵǈӳǘƤǔƜƱƴ
ǑǓǪȳǵǤȈᚘยƕӧᏡƱƳǓ‫ٻ‬ƖƳඬӏјௐǛǋƭŵ̊ƑƹǻȳǵȍȃȈȯȸǯƷǻȳǵƱƠƯೞᏡƠŴӲ‫ע‬Ʒ࿢‫ؾ‬൲௨ཋឋǛȪǢȫǿǤȠư᭗ज़ࡇƴ౨ЈƢǔƜƱưŴ‫ܤ‬μȷ‫࣎ܤ‬Ƴᅈ˟ǁƱƭƳƕǔŵܱဇ҄ƴᨥƠƯƸŴϐྵࣱƕ᭗ƘŴǇƨ̅ƍਾƯƕӧᏡƳ‫̖ܤ‬Ƴᙌ˺ȗȭǻǹƷ᧏ႆƕɧӧഎưƋǔŵٟҔၲ᳽ᅦᅍЎ᣼Ƃឬ‫˳׹ݱ‬ϋသፗȇȐǤǹƃ˳ϋ‫ޅ‬৑ƴᧈ஖᧓သፗӧᏡƳឬ‫׹ݱ‬ȇȐǤǹƕܱྵƞǕǔŵᐃᏸǍႝɦŴෞ֥҄‫ܫ‬ϋȷᘉሥϋƳƲƴ๛‫נ‬Ơᧈ஖᧓ƷཋྸǻȳǷȳǰƓǑƼဃ˳঺ЎǻȳǷȳǰǛӧᏡƴƢǔŵɟ‫ܭ‬Ʒ‫ئ‬৑ƴˮፗƢǔ˂ŴӖѣႎƳᆆѣŴᐯǒᏡѣႎƴᆆѣƢǔƜƱư
ƕǜƳƲƷ၏‫٭‬ᢿǛ᭗ƍᄩྙưႆᙸƠŴ࣏ᙲƴࣖơƯ၏‫٭‬ᢿǛ඙ၲƢǔƜƱǋưƖ
ǔŵƜƷƨǊଔ஖ႆᙸྙŴ඙ၷྙƕӼɥƢǔŵȐȃȆȪȸƴǑǓᩓൢႎƴᬝѣƞǕǔȇȐǤǹƷ˂Ŵ᭗ԗඬዅᩓƴǑǔȯǤȤȬǹᬝѣǍŴᩓเǛ࣏ᙲƱƠƳƍҾྸƷឬ‫׹׹ݱ‬ȇȐǤǹǋᎋƑǒǕǔŵ̊Ƒƹࣇቩ‫׹܇‬ȇȐǤǹƱƠƯ˳‫ٳ‬ƔǒƷ᳒ዴǍឬ᪦ඬŴᄬൢƳƲƷ΁ƖƔƚƴǑƬƯԗ‫׊‬Ʒ࿢‫ؾ‬ƴǑƬƯᡯࢨཞ७ƕ‫҄٭‬ƢǔᡯࢨдƷǑƏƴೞᏡƠŴȇȐǤǹԗᡀƷᘉኄ͌Ǎภࡇ᳼‫ן‬щƳƲƷऴ‫إ‬Ǜ  ଺᧓ᴫȋǿȪȳǰưƖǔŵᘉ෩ࣅ࿢ƴƓƍƯᏁᐥƷᧉᏦƳƲƴ‫׹ݱ‬ƷȇȐǤǹǛᧈ஖᧓๛‫נ‬ƞƤǔƜƱƕӧᏡưƋǓŴኄ‫ބ‬၏धᎍƷᘉኄሥྸƳƲƴࢫᇌƭŵƜǕǒƷ˳ϋသፗȇȐǤǹƷܱྵƴƸŴီᆔ஬૰ƴǑǓನ঺ƞǕǔ  ഏΨನᡯ࢟঺Ʊ᳼ᧈ஖᧓Ʒ˳ϋသፗǛ㪍㪎㪋ӧᏡƱƢǔȊȎမ᩿Сࣂ২ᘐƕɧӧഎưƋǔŵƂဃ˳ೞ఺ȏǤȖȪȃȉȇȐǤǹƃဃ˳Ў‫܇‬ǍኬᏘƳƲƕᗡӳƠƨȏǤȖȪȃȉƳȇȐǤǹƕܱྵƞǕǔŵဃ˳஬૰ǍೞᏡႎ᭗Ў‫܇‬஬૰ǛဇƍǔƜƱưဃ˳ऴ‫إ‬Ǎ࿢‫ؾ‬ऴ‫إ‬ǛŴࢼஹƷǻȳǵƴൔǂŴ᭗ᡮȷ᭗ज़ࡇƴǻȳǷȳǰƢǔƜƱƕưƖǔŵƜǕǒƸŴဃ˳ƴᬘ௨ǉ஬૰ǍೞನƔǒ঺ǓᇌƬƯƍǔƨǊŴဃ˳Ʊೞ఺ƱƷǤȳǿȕǧȸǹ $/+ $TCKP/CEJKPG+PVGTHCEG ƳƲ ƷࢍщƳȄȸȫƱƳǔŵƨƱƑƹŴဃ˳Ў‫܇‬ƱƠƯᐏǿȳȑǯឋƳƲƕ෇ࣱǛዜਤƠƨǇǇʴ߻ᐏɥƴϐನ঺ƞǕŴѻƍǻȳǵǍԛǻȳǵƳƲƷឬ᭗ज़ࡇ҄‫ܖ‬᣽ǻȳǵƱƠƯೞᏡƢǔŵǇƨŴȕȬǭǷȖȫؕெɥƴᅕኺኬᏘƕ  ഏΨؔ᫱ƞǕ᳼ƜǕǒǛᏯᘙ᩿ƴ࢘ƯǔƜƱư᳼ᅕኺኬᏘƕᏯϋƴ᠆ኧǛ˦ƹƠ᳼৑ஓƷኬᏘƱǷȊȗǹኽӳưƖǔǑƏƴƳǔŵʴ߻ȇȐǤǹưСࣂӧᏡƳኬᏘǛᡫơƯŴȕȬǭǷȖȫؕெƔǒᩓൢȷ҄‫ܖ‬ႎƳ̮ӭǛᚘยƠƨǓŴХນƕᘍƳƑǔǑƏƳǤ
ȳǿȕǧȸǹƕܱྵƢǔŵƜǕǒƷȇȐǤǹƷܱྵƴƸŴဃ˳஬૰Ʒ෇ࣱǛዜਤƠƨǇǇኵǈᡂǉȊȎမ᩿Сࣂ২ᘐƕ࣏ᙲƱƳǔŵƂǷȸȈ‫ࡍͤ׹‬ሥྸȇȐǤǹƃ˳ᘙ᩿ƴ฻ࠋƷǑƏƴᝳǓ˄ƚǔƜƱƴǑƬƯŴͤࡍǛሥྸƢǔǦǧǢȩȖȫȇ
ȐǤǹƕܱྵƞǕǔŵȕȬǭǷȖȫƳ‫ޖٶ‬ನᡯƷɶƴ໯ૠƷǻȳǵǍǢǯȁȥǨȸǿƕЎࠋƠŴᝳƬƨᢿЎƷኵጢᘙ‫ޖ‬ƹƔǓưƳƘϋᢿƷऴ‫إ‬ǛǻȳǷȳǰƠŴᘻ᩿ȇǣǹȗȬǤƴӧᙻ҄ᘙᅆƠƨǓŴᝳƬƨᢿЎƔǒƷǻȳǷȳǰƴؕƮƍƨŴƖǊ
ኬƔƍ˳ϋǁƷ৲ᕤદ˺ǍͻӝƷ඙ၷ̟ᡶƳƲቇҥƳ˺ဇǛ଀ƢƜƱƕưƖǔŵƜ
ƷǑƏƳǦǧǢȩȖȫȇȐǤǹƸઃ࠘ᩓᛅǍǤȳǿȸȍȃȈƴ੗ዓƠƨऴ‫إ‬ᇢ஛ƱƷኵǈӳǘƤƴǑǓऴ‫إ‬ƷᨼᆢЎௌŴȪǢȫǿǤȠƳᚮૺƕӧᏡƱƳǓƦƷјௐƸ୼ƴ‫ٻ‬ƖƘƳǔŵƨƱƑƹဒ΂ᚮૺƴƓƍƯƸŴǷȸȈᘙ᩿ƴᕓ‫׹‬ឬ᪦ඬǻȳǵǢȬǤƕᨼᆢ҄ƞǕᘻ᩿ƴƸ࠯᩿ȕȬǭǷȖȫȇǣǹȗȬǤƕƋǔȇȐǤǹưƸŴӕࢽƠƨឬ᪦ඬǨǳȸဒ΂Ǜእʴưǋ  ഏΨƷ‫ٻ‬᩿ᆢưᚇ‫ݑ‬ưƖư̌᳹᙭ƳƘᝳǓ˄ƚǔƜƱƕưƖǔƨǊ᳼ͤࠝᎍưǋᘉ්Ǎ࣎ᐥƷಮ‫܇‬ƳƲǛЙૺưƖ᳼ͤࡍሥྸƴМဇưƖǔ᳹Ǉƨ᳼৖ᘐ଺ƴҔࠖƕܾତƴ˳ϋǛᚇ‫ݑ‬ưƖǔȄȸȫƴǋƳǔŵƜƷǑƏƳ
ȇȐǤǹƷܱྵƴƸŴ˦጑ࣱƷƋǔᣐዴǍȇȐǤǹ২ᘐŴ‫ٻ‬᩿ᆢᨼᆢ҄২ᘐƕ᣻ᙲƱƳǔŵŦ‫ܤ‬μȷ‫࣎ܤ‬Ў᣼ƂȦȓǭǿǹǻȳǵȍȃȈȯȸǯဇ‫ٶ‬ೞᏡǻȳǵȇȐǤǹƃ‫ٶ‬ૠư‫ٶ‬ಮƳǻȳǵƕЎ૝ᣐፗƞǕŴǻȳǵӷٟƕǢȉțȃǯȍȃȈȯȸǯǛ࢟঺ƠƯŴȍȃȈȯȸǯǛᡫơƯಮŷƳཞඞǍऴ‫إ‬Ʒλ৖ƕӧᏡƱƳǓŴ᧸ཛȷǻǭȥȪȆǣŴ࿢‫ؾ‬ȪǹǯǁƷ‫ࣖݣ‬ŴᠾငཋƷȈȬȸǵȓȪȆǣƷӼɥƕ‫׋‬ǕŴ‫ܤ‬μȷ‫࣎ܤ‬Ƴᅈ˟ǛܱྵƢǔȦȓǭǿǹǻȳǵȍȃȈȯȸǯǛನ঺Ƣǔ‫ٶ‬ೞᏡǻȳǵȇȐ
ǤǹƕܱྵƞǕǔŵƞǒƴŴјྙႎƴ࠼؏ǛᚇยƢǔƨǊƴŴǻȳǵȍȃȈȯȸǯ㪍㪎㪌Ǜਘ‫ٻ‬ƠŴ‫ܬܢ‬ᆰ᧓ƔǒƷ໎ܹႳᙻǍ‫ྶע‬ᚇยƕӧᏡƳ᪃ૼႎƳǻȳǵȇȐǤǹƕ
ܱྵƞǕǔŵƜǕǒȇȐǤǹƷܱྵƴƸŴ᭗ǢǹȚǯȈൔȷ᭗݅ࡇ  ഏΨȊȎನᡯǛ˯੷ͻƔƭҗЎƳǹȫȸȗȃȈưᙌᡯƢǔ২ᘐŴ࣏ᙲƱƞǕǔᢿˮƴᢠ৸ႎƴȊȎ஬૰Ǜᐯࠁኵጢ҄ƞƤǔ২ᘐ᳼ ഏΨȊȎನᡯᘙ᩿Ǜ‫ޅ‬৑ႎƴ̲᫭Ƣǔ২ᘐ᳼ ഏΨನᡯᘙ᩿ƴ‫ר‬ɟƴȊȎನᡯǛ᠃ϙ࢟঺Ƣǔ২ᘐሁƕ࣏ᙲƱƳǔŵƂᩎ‫׊‬ൢˡᡛȷϐဃȇȐǤǹƃʴƱʴƱƷǳȟȥȋǱȸǷȧȳǛǑǓǍƞƠƘܾତƴƢǔசஹȇȐǤǹƕܱྵƞǕǔ᳹̊Ƒƹʴ᧓Ʒʞज़ƷƏƪ᳼ ɭኔǑǓƢưƴܱဇ҄ƞǕƯƍǔᎮᙾ᳼ᙻᙾˡᡛȇȐǤǹƴьƑŴᐮ‫ئ‬ज़ƷΨƴƳǔƴƓƍǍᚑᙾƷǻȳǷȳǰƱˡᡛǛӧᏡƱƢǔȇȐǤǹƕЈྵƢǔŵஜȇȐǤǹƸ҄‫ܖ‬ཋឋǍᚑज़ƳƲǛ౨ჷƢǔǻȳǵƱŴϐဃƷƨǊƷǢǯȁȥǨȸǿǛؕᄽᢿԼƱƠŴƦǕǒǛઃ࠘ᇢ஛ƴܱᘺƠƨžᨼᆢ҄ǿǤȗſƱŴُኡɳǈƴᕓƘƯ᠉᣽Ƴ‫ٻ‬᩿ᆢǷȸȈɶƴƪǓƹǊǒǕƨžُኡǿǤȗſƱƠƯܱᘺƞǕŴᙻᙾǍᎮᙾእ‫܇‬ƱኵǈӳǘƤƯឬᐮ‫ئ‬ज़Ǜ৖᠉ƴŴƍƭưǋŴƲ
ƜưǋࢽǔƜƱƕưƖǔǑƏƴƳǔŵƂُኡ‫׹‬ǢȳȓǨȳȈǤȳȆȪǸǧȳǹȇȐǤǹƃُኡƷǑƏƴ᠉᣽Ɣƭ‫ٻ‬᩿ᆢǛᙴƏǷȸȈǨȬǯȈȭȋǯǹȇȐǤǹƕŴᙻᙾŴᎮᙾŴᚑᙾŴօᙾƳƲƷᩎ‫׊‬ൢˡᡛƴ᣻ᙲƳࢫлǛௐƨƢƱƱǋƴŴ‫ܤ‬μȷ‫࣎ܤ‬ȷᝅƔƳဃ෇ƴᝡྂƢǔŵƨƱƑƹŴǷȸȫཞƷȇȐǤǹǛࢌǓӳǘƤǔƩƚư˺ᙌӧᏡƳǤȳǿȩǯȆǣȖਫ਼ᅆெƴǑǓŴᙸǔʴƴӳǘƤƨऴ‫إ‬ǛȪǢȫǿǤȠư੩̓ƢǔƱƱǋƴŴȍȃȈȯȸǯ౨ኧೞᏡǍᎇᚪೞᏡƴǑǓʴƱʴƱƷǳȟȥȋǱȸǷȧȳǛǑǓᐯ໱ƴᘍƏ৖яƚǛƠƯƘǕǔŵǇƨŴُኡȇȐǤǹƕ࿢‫ؾ‬ƷီࠝǛ౨ჷƠŴઃ࠘ᇢ஛ƱᡲѣƠƯ‫ܤ‬μȷ‫࣎ܤ‬Ƴ୥ǒƠǛǵȝȸȈƢǔŵƜƷǑƏƳȇȐǤǹƷܱྵƴƸŴ‫ٻ‬᩿ᆢǷȸȈƷь߻২ᘐǍೞᏡእ‫܇‬ƷǷȸȈǁƷ؈Ǌᡂǈ২ᘐŴ᣽ᝤࡃưទλƠƨᢿԼǛǷȸȫᝳǓƷᙲ᪸ư᣻ƶǔƩƚưᣐዴƕᐯѣႎƴ࢟঺ƞǕǔᐯࠁኵጢႎᣐዴ২ᘐŴƦƷ‫ئ‬ư௩᠂ƴཞඞᛐᜤǛᘍƏƜƱƷư
Ɩǔᨼᆢ‫ׅ‬ែǷǹȆȠ২ᘐŴƳƲƕ࣏ᙲƱƳǔŵƂɢᏡઃ࠘ƃُኡ‫׹‬ȇȐǤǹƱᡲઃƠƯŴᙻᙾŴᎮᙾŴᚑᙾŴօᙾƳƲƷᩎ‫׊‬ൢˡᡛƴ᣻ᙲƳࢫлǛௐƨƢƱƱǋƴŴ‫ܤ‬μȷ‫࣎ܤ‬ȷᝅƔƳဃ෇ƴᝡྂƢǔŵ᫊ƱӸЭƷɟᐲƠƳƍʴƷᚡচǛԠƼᙾǇƠƯƘǕƨǓŴᎇᚪೞᏡƴǑǓᚕᓶǍ፼ॹƷᢌƏʴŷƷʩ්ǛܾତƴƠƨǓƱŴʴƱʴƱƷǳȟȥȋǱȸǷȧȳǛǑǓᐯ໱ƴᘍƏ৖яƚǛƠƯƘǕǔŵǇƨŴઃ࠘ᇢ஛ƴܱᘺӧᏡƴ‫҄׹ݱ‬ƞǕƨȬȸȀȸŴ࿢‫ؾ‬ǻȳǷȳǰȇȐ
ǤǹŴȘȫǹǱǢȇȐǤǹƕƢǂƯžɢᏡઃ࠘ſƴܱᘺƞǕǔƜƱƴǑǓŴ୧๮ȷᐯѣ៻ƳƲƷ੗ᡈŴүᨖƳ҄‫ܖ‬ཋឋຜࡇƷɥଞƳƲƷүᨖƳཞ७ǛᢤƚǔƜƱǛӧᏡƴƠŴ࣯၏Ǎ࣯Ƴʙ૏ƳƲǛᐯѣႎƴ౨ჷƠ૔яǛ൭ǊǔƜƱƕưƖǔǑƏƴƢ
ǔŵƜǕǒƴǑǓᲦ‫ܤ‬μȷ‫࣎ܤ‬ȷᝅƔƳဃ෇ƴᝡྂƢǔŵȇȐǤǹƷܱྵƷƨǊƴ㪍㪎㪍ƸŴȞǹǹȚǯȈȭȡȸǿǍ 6*\ ЎήЎௌᘺፗƷǑƏƳ᳼᭗ࣱᏡưƋǔƕ‫׹ٻ‬᳼᭗̖ƳᘺፗǛȀǦȳǵǤǺƠƯǳȢȇǣȆǣ҄ƢǔƨǊƷ২ᘐ᧏ႆ᳼ཎƴข੐Ǔ  ഏΨನᡯƱ᳼ ഏΨನᡯɥǁƷ঺ᐏ২ᘐ᳼ƦƷ‫ئ‬ư௩᠂ƴཞඞᛐᜤǛᘍƏƜƱƷưƖǔᨼᆢ‫ׅ‬ែǷǹȆȠ২ᘐŴƳƲƕ࣏ᙲƱƳǔŵ㧔㧞㧕⎇ⓥ㐿⊒ߩขࠅ⚵ߺᄂᆮ᧏ႆƷਖ਼ᡶƴƭƍƯƸ᳼/'/5 Ʒɟ‫ޖ‬Ʒ᭗ࡇ҄ƴ᝻Ƣǔ২ᘐ᧏ႆƕ᣻ᙲưƋǔ᳹̊Ƒƹ᳼᭗ᨼᆢ҄᳽ᙐӳ҄ȷȊȎೞᏡ˄ьǛ‫׋‬ǔƱƱǋƴŴഏɭˊǭȸȇȐǤǹǛဃǈЈƢƨǊƷ᪃ૼႎȇȐǤǹؕႴ২ᘐǛᄩᇌƢǔƨǊŴင‫ܫܖ‬ᡲઃƷǋƱŴࢼஹီЎ᣼ƱƞǕƯƖƨȐǤǪȆǯȎȭǸȸሁƱƷᗡӳǛ‫׋‬ǓƳƕǒᄂᆮ᧏ႆǛ̟ᡶƢǔƜƱƕ࣏ᙲưƋǔ᳹
ƜƷƨǊ᳼/'/5 Ʒɟ‫ޖ‬Ʒ᭗ࡇ҄ƴ᝻Ƣǔ২ᘐ᧏ႆ ᭗ᨼᆢ᳽ᙐӳ҄ȷȊȎೞᏡ˄ь২ᘐŴ᪃ૼႎȇȐǤǹؕႴ২ᘐŴሁᲣǛܱ଀Ƣǔŵ㧔㧟㧕㑐ㅪᣉ╷ߩขࠅ⚵ߺ
/'/5 ২ᘐ᳽ᙌԼǛɭမࠊ‫ئ‬ƴ࠼Ƙ୍ӏƢǔƨǊƴ২ᘐ৆ဦȞȃȗƴؕƮƘ /'/5 ೅แ҄৆ဦƷሊ‫ܭ‬᳼‫׎‬ᨥᙹ఍కƷ᧏ႆ᳼੩క᳼ਖ਼ᡶሁƷ೅แ҄෇ѣƴዒዓႎƴӕǓኵǉƜƱƕ᣻ᙲưƋǔ᳹/'/5 Ʒɟ‫ޖ‬Ʒܱဇ̟҄ᡶǛ‫׋‬ǔƨǊ᳼˂ငಅƷ˖ಅǍᙌᡯᚨͳǛஊƠƯƍƳƍ˖ಅưǋܾତƴ /'/5 ȓǸȍǹƴӋλưƖǔǑƏƴ᳼/'/5 ဇᚨᚘ᳽ᚐௌૅੲǷǹȆȠǛ᧏ႆƠƨŵƦƷ঺ௐǛ෇ဇƠƭƭŴܱ፼Ǜɶ࣎ƱƠƨʴ஬Ꮛ঺ӏƼᚾ˺࿢‫ؾ‬ƷΪܱŴᙌᡯਗໜᲢȕǡȳȉȪȸᲣࢍ҄ƳƲ /'/5 ငಅμ˳ƷᇤʗщƷዜਤ᳽ࢍ҄Ǜ‫׋‬ǔƜƱƕ᣻ᙲưƋǔ᳹ƜǕǒƷӕǓኵǈƸ᳼/'/5 ƷૼƨƳᙌᡯ২ᘐ᧏ႆƷᡶ਻ƴӳǘƤƯƍƪଔƘܱᘍƢǔƜƱƕ᣻ᙲưƋǔ᳹Ɔ‫ݰ‬λᙀя᳽ૅੲƇ᳽ᄂᆮ᧏ႆ଀ሊƷ঺ௐǛ෇ဇƠƨ /'/5 ဇᚨᚘᚐௌǽȕȈ /GOU10'8GT Ʒՠဇ‫ޒ‬᧏Ǎ᳼/'/5 ȕǡȳȉȪȸǵȸȓǹ /'/5 ᚨᚘ᳽ᚾ˺᳽ᙌᡯƷӖᚠǵȸȓǹᲣƷȍȃȈȯ
ȸǯ‫᧏ޒ‬ƕ‫׋‬ǒǕƯƍǔ᳹᳽/'/5 ᧙ᡲငಅƷ෇ࣱ҄ǛႸਦƠ᳼ཎƴငಅࢍ҄Ʊᙍ᣼ਘ‫ٻ‬ƷƨǊ᳼/'/5 ᧏ႆǛܾତƴƠȕǡȳȉȪȸငಅƳƲǁǹȠȸǺƴጟƙ && ǻȳǿȸƷᚨᇌ᳹Ɔ‫׎‬ᨥ೅แ҄Ƈ
x +'%6% Ҟ‫˳ݰ‬ȇȐǤǹᲣƴƓƍƯ᳼/'/5 ನ঺஬૰Ʒᚾ᬴૾ඥ᳼ь߻ȗȭǻǹƷᚸ̖ඥ᳼ؕႴσᡫᙐӳЎ᣼Ʒᚾ᬴ඥሁƕ౨᚛ƞǕƯƍǔ᳹ƆჷႎؕႴૢͳƇx ᄂᆮ᧏ႆȗȭǸǧǯȈƴƓƍƯ᳼ᄂᆮ᧏ႆƷ঺ௐǛ /'/5 ჷᜤऴ‫إ‬ȇȸǿșȸǹƱƠƯૢͳƢǔӕǓኵǈƕᡶ‫ޒ‬ƠƯƍǔ᳹̊  ᭗ᨼᆢ᳽ᙐӳ /'/5 ᙌᡯ২ᘐ᧏ႆȗȭǸǧǯȈᲢʙಅ஖᧓ ࠰ࡇ` ࠰ࡇ㪍㪎㪎ưƸ᳼঺ௐƱƠƯࢽƨჷᜤȇȸǿƷӓᨼ᳽ૢྸǛܱ଀ƠƯƍǔ᳹̊  ီЎ᣼ᗡӳ‫׹‬ഏɭˊȇȐǤǹᙌᡯ২ᘐ᧏ႆȗȭǸǧǯȈ  ࠰ࡇǑǓܱ଀ ưƸ᳼᧏ႆƴǑƬƯࢽǒǕǔૼƨƳჷᙸƴƭƍƯ᳼ኒወႎƴӓᨼ᳽ᔛᆢƠƯȇȸǿșȸǹ҄ƢǔƜƱƕᄂᆮ᧏ႆᚘဒƴˮፗ˄ƚǒǕƯƍǔ᳹Ɔ࠼‫إ‬᳽գႆƇx ɭမஇ‫ᙹٻ‬೉Ʒ /'/5 ሁƴ᧙Ƣǔ‫׎‬ᨥ‫ޒ‬ᅆ˟ưƋǔŴȞǤǯȭȞǷȳ/'/5 ‫ޒ‬Ʒ᧏͵Ǜૅੲ᳹Ɔʴ஬Ꮛ঺Ƈx င‫ܖ‬ᡲઃᙌᡯɶఋʴ஬Ꮛ঺ʙಅ ኺฎငಅႾ‫ۀ‬ᚠʙಅ ƴƓƍƯ᳼ˌɦƷʴ஬Ꮛ঺ƕܱ଀ƞǕƯƍǔ᳹̊ ᳺ/'/5 ʴ஬Ꮛ঺ܱᚰᜒࡈ᳻᳼ᳺഏɭˊငಅؕႴ২ᘐƱƳǔ /'/5 ᧙ᡲငಅʴ஬Ꮛ঺ǷǹȆȠſǍžȞǤǯȭȷȊȎ᣽င২ᘐƱࣖဇȇȐǤǹᙌᡯƴ᧙Ƣǔૼʙಅ᧏ਏǤȎșȸǷȧȳʴ஬Ꮛ঺ſƳƲƷȗȭǸǧǯȈǛᡫƠƯ /'/5 ᧏ႆƷɶఋǛƳƢʴ஬ƷᏋ঺ƕᚾǈǒǕƯƍǔ᳹Ɔင‫ܫܖ‬ᡲઃƇx ɟƭƷᄂᆮ᧏ႆਗໜƴ‫ܖٻ‬Ŵᙐૠ˖ಅƕᨼǇǔᨼɶᄂ૾ࡸƴƯŴ࠯঺  ࠰ࡇǑǓီЎ᣼ᗡӳ‫׹‬ഏɭˊȇȐǤǹᙌᡯ২ᘐ᧏ႆȗȭǸǧǯȈƕܱ଀ƞǕƯƍǔ᳹㧔㧠㧕ᶏᄖߢߩขࠅ⚵ߺxෙ‫ٳ‬ưƷ‫ܖٻ‬ሁƷ /'/5 ᧙ᡲᄂᆮ᧏ႆೞ᧙Ʒˊᘙ̊ƱƠƯˌɦƕਫƛǒǕǔ᳹Ŧ഑߸ȉǤȄᲴ ȕȩǦȳȕǩȸȕǡȸᄂᆮ৑ (TCWPJQHGT)GUGNNUECHV +</ +PUVKVWVG
HQT4GNKCDKNKV[CPF/KETQKPVGITCVKQP ᳼+/5 +PUVKVWVGHQT/QNGEWNCT
5EKGPEG ᳼++5 +PUVKVWVGHQT+PVGITCVGF%KTEWKVU ᳼+2/5 +PUVKVWVGHQT
2JQVQPKE/KETQU[UVGOU ȕȩȳǹᲴҾ ‫ ܇‬щ ࠻ ᩓ ‫ ܇‬ऴ ‫ إ‬২ ᘐ ᄂ ᆮ ৑ .GVK ᳼ .CDQTCVQKTG

F 'NGEVTQPKSWGFG6GEJPQNQIKGFGN +PHQTOCVKQP ‫ ׎‬ᇌ ᅹ ‫ ܖ‬ᄂ ᆮ ǻ ȳ ǿ ȸ %045 ᳼ %GPVTG FG NC 0CVKQPCN 4GEJGTEJG
5EKGPVKHKSWG ǹǤǹᲴ ȌȸǷȣȆȫ‫ܖٻ‬ȞǤǯȭȷȆǯȎȭǸȸᄂᆮ৑
%5'/ 5YKUU%GPVGTHQT'NGEVTQPKEUCPF/KETQVGEJPQNQI[+PE ǹǤǹᡲᢰ߻ᅹ‫' ܖٻ‬2(.᳼'EQNG2QN[VGEJPKSWG(GFGTCNFG.CWUCPPG(GFGTCN+PUVKVWVGQH6GEJPQNQI[ șȫǮȸᲴ

+/'% +PVGTWPKXGTUKV[/KETQ'NGEVTQPKEU%GPVGT ȕǣȳȩȳȉ২ᘐ᧏ႆᄂᆮǻȳǿȸ 866 8CNVKQP6GMPKNNKPGP6WVMKOWUMGUMWU ᳼
6GEJPKECN4GUGCTEJ%GPVTG 
Ŧ҅቟

㪍㪎㪏

቟‫׎‬ǫȪȕǩȫȋǢ‫ ܖٻ‬$5#% $GTMGNG[5GPUQTCPF#EVWCVQT%GPVGT ǹǿȳȕǩȸȉ‫ ܖٻ‬%+5 %GPVGTHQT+PVGITCVGF5[UVGOU ȟǷǬȳ‫ܖٻ‬ᨼᆢ҄ȯǤȤȬǹȞǤǯȭǷǹȆȠᄂᆮǻȳǿȸ 9+/5᳼
%GPVGTHQT9KTGNGUU+PVGITCVGF/KETQU[UVGOU Ȟ ǵ ȁ ȥ ȸ ǻ ȃ Ȅ ߻ ᅹ ‫ ܖ ٻ‬/'/5"/+6 /CUUCEJWUGVVUU +PUVKVWVG QH
6GEJPQNQI[ Ǹ ȧ ȸ Ǹ Ǣ ߻ ᅹ ‫ ܖ ٻ‬%//6 %GPVGT HQT /'/5 CPF /KETQU[UVGOU6GEJPQNQIKGU ǵȳȇǣǢ‫׎‬ᇌᄂᆮ৑ 50.᳼5CPFKC0CVKQPCN.CDQTCVQTKGU ŦǢǸǢǷȳǬȝȸȫᲴ+/' +PUVKVWVGQH/KETQGNGEVTQPKEU ǷȳǬȝȸȫᙌᡯ২ᘐᄂᆮ৑ 5+/6GEJ᳼5KPICRQTG+PUVKVWVGQH
/CPWHCEVWTKPI6GEJPQNQI[ Өฺ+64+ +PFWUVTKCN6GEJPQNQI[4GUGCTEJ+PUVKVWVG ɶ‫׎‬

ฌᓙ‫ܖٻ‬҅ʮ‫ܖٻ‬ɥෙʩᡫ‫ܖٻ‬ɥෙȟǯȭǷǹȆȠȷऴ‫إ‬২ᘐᄂᆮ৑ 5+/+6᳼5JCPIJCK+PUVKVWVGQH
/KETQU[UVGOCPF+PHQTOCVKQP6GEJPQNQI[ ᪡‫׎‬᪡ ‫ ׎‬ᅹ ‫ ܖ‬২ ᘐ ᨈ -#+56 ᳼ -QTGC #FXCPEGF +PUVKVWVG QH 5EKGPEG CPF6GEJPQNQI[ -+// -QTGC+PUVKVWVGQH/CEJKPGT[CPF/CVGTKCNU x/'/5 ᧙ᡲƷ഑߸᳼቟‫׎‬᳼ɶ‫׎‬ƴƓƚǔ‫ܼ׎‬ȬșȫƷȗȭǸǧǯȈƷཞඞƸˌɦƷᡫǓưƋǔ᳹

Ŧ഑߸഑߸Ʒ‫ᙹٻ‬೉ȗȭǸǧǯȈưƋǔᳺ(2 '7 ᇹ  ഏᄂᆮ௒ኵǈᚘဒ ᳻Ƹ  ࠰ƴǹǿȸȈ᳼ ࠰ǇưƷ  ࠰᧓ƴ  Ϋ  ΕόǛ৲ơƯ࠼ር‫׊‬Ʒᄂᆮ᧏ႆǛᡶǊǔ᳹ƜƷɶưȞǤǯȭȷȊȎȇȐǤǹ᧙ᡲȆȸȞưƋǔžȊȎǵǤǨȳǹȷȊȎȆǯȷ஬૰᳽ૼဃင৖ඥ᳻ƴƸ  Εόƕ৲ơǒǕǔŵȆȸȞƷǭȸȯȸȉƸžǳȳȐȸǸǧȳǹᲢᗡӳ ᳻ưƋǓ᳼ƞǇƟǇƳೞᏡǛ  ƭƷȇȐǤǹƴᨼኖƢǔƜƱǛႸႎƱƠƯƍǔ᳹
Ŧ቟‫׎‬&#42# ‫᧸׎‬ዮႾ᭗ሁᄂᆮᚘဒ‫ ޅ‬ƕᳺ0CPQ/'/52TQITCO᳻ȗȭǸǧǯȈǛਖ਼ᡶ᳹` ࠰ƴ  ΕόǛ৲ơǔ᳹ȏǤȪǹǯȏǤȪǿȸȳưƋǔ  ȆȸȞǛਖ਼ᡶƠƯƍǔŵȐǤǪǛԃǉ‫ٶ‬ಮƳೞᏡƱ .5+ ƳƲƱƷᗡӳǛᡶǊǔᄂᆮȆȸȞƕ‫ٶ‬ૠƋ
ǔ᳹

㪍㪎㪐

Ŧɶ‫׎‬ɶ‫׎‬ư Ƹ ` ࠰Ʒ  ࠰᧓ ư  ΕόǛ৲ơ᳼ /'/50'/5 0CPQ 'NGEVTQ/GEJCPKECN5[UVGOUȊȎᩓൢೞ఺ǷǹȆȠᲣ᧙ᡲᄂᆮǛьᡮƞƤǔ᳹ƜǕƸ࠰᧓ ΕόࢊƷᙹ೉ƱƳǔ᳹㧔㧡㧕ᡷ⸓ߩࡐࠗࡦ࠻
¾

ྵ‫נ‬ƷኺฎငಅႾƷᄂᆮ᧏ႆƱƦƷ᧙ᡲ଀ሊǛᅆƢǤȎșȸǷȧȳȗȭǰȩȠؕஜᚘဒƷϋܾǛӒପƞƤƨ᳹Τᛛⴚࡑ࠶ࡊ
㧔㧝㧕ᛛⴚࡑ࠶ࡊ
/'/5 Ƹ᳼‫׹ݱ‬ưႾᴌᴠᴱᴏᴶᴈࣱƴΟǕƨ᭗ࣱᏡƷᢿԼǛ˺ǔƜƱƕЈஹǔƨǊ᳼ᡫ̮᳼ᐯ
ѣ៻ሁƷଏ‫܍‬ƷငಅЎ᣼ƴƓƚǔᢿԼƷ‫҄׹ݱ‬᳽᭗ೞᏡ҄᳽ႾǨȍȫǮȸ҄ƷƨǊƷˊஆᢿԼǍȐǤǪЎ᣼ƴƓƚǔᢿԼƷ‫҄׹ݱ‬ƴǑǔૼᙹᢿԼƱƠƯƷȋȸǺƕ᭗ǇǔƱᙸᡂǇǕƯƍǔ᳹Ǉƨ᳼/'/5 ƸŴȈȃȗȀǦȳȗȭǻǹưƋǔࣇኬь߻ƱŴȜȈȠǢȃȗȗȭǻǹưƋ
ǔȊȎȷȐǤǪȗȭǻǹƱǛᗡӳƠƨȞǤǯȭȷȊȎወӳᙌᡯ২ᘐƷᄩᇌƴǑǓŴƦ
Ʒࣖဇር‫׊‬Ǜ࣯ᡮƴ࠼ƛ‫ܼ׎‬ȷᅈ˟ႎᛢ᫆ưƋǔž࿢‫ؾ‬ȷǨȍȫǮȸſŴžҔၲȷᅦᅍſŴž‫ܤ‬μȷ‫࣎ܤ‬ſЎ᣼ưૼƠƍȩǤȕǹǿǤȫǛоЈƢǔ᪃ૼႎǭȸȇȐǤǹƱƠƯ࠼ƘේᡢƢǔƱʖยƞǕǔ᳹ ɥᚡƷӋᎋ ࠰ࢸƓǑƼ  ࠰ࢸƷ /'/5 ᙌԼƷφ˳ႎǤȡȸǸᲣƜƷǑƏƳȋȸǺƴ‫ࣖݣ‬ƢǔƨǊƴƸŴ᳇Ჿ᳇᳍ᙌԼƷ᭗ೞᏡ҄Ტ᭗ᡮǹǤȃȁȳ
ǰŴ‫҄׹ݱ‬ሁᲣӏƼ /'/5 ᙌᡯȗȭǻǹƴƓƚǔ˯ǳǹȈ҄ƱŴᚨᚘȷᚐௌ২ᘐሁƷؕႴ২ᘐƷᄩᇌƕտዬƷᛢ᫆ưƋǓŴ২ᘐȞȃȗƴƓƍƯŴ২ᘐᛢ᫆ǛǨȃȁȳǰ২ᘐŴ঺ᐏ২ᘐŴ঺࢟২ᘐŴ࢟঺২ᘐŴီᆔᗡӳ২ᘐŴȗȭǻǹᡲዓ҄ȷ‫ٻ‬᩿ᆢ҄২ᘐŴЭȷࢸϼྸ২ᘐ᳼ܱᘺ২ᘐ᳼౨௹᳽ᚸ̖২ᘐ᳼ᚨᚘ᳽ᚐௌ২ᘐ᳼ᙌᡯᴔᴕᴛᴩ২ᘐሁƴ‫ٻ‬КƠƨɥư᳼ƦǕƧǕƴƭƍƯᛇኬƴᅆƠƨ᳹̾ŷƷ২ᘐƷᳺЈӝ᳻ƴƭƍƯƸ᳼/'/5 ᙌԼƕ᩼ࠝƴ࠼ር‫׊‬ƴࣖဇƞǕƏǔǋƷưƋǔƜƱǛ៊ǇƑ᳼ɼƱƠƯे‫ܭ‬ƞǕǔࣖဇЎ᣼Ǜ২ᘐƝƱƴᅆƠƨ᳹
㧔㧞㧕㊀ⷐᛛⴚߩ⠨߃ᣇɥᚡí᳼îǛ៊ǇƑǕƹ᳼Ĭ/'/5 Ʒ᭗ೞᏡ҄᳼ǇƨƸ˯ᴒᴕᴜ҄ƴ‫ٻ‬ƖƘᝡྂƢǔ২ᘐĭ/'/5 μᑍƴ࠼ƘᝡྂƢǔؕႴ২ᘐ
ƕ᣻ᙲ২ᘐƷᚸ̖ƷᙻໜƱƠƯਫƛǒǕǔ᳹Ǉƨ᳼ ࠰ǇưǛᎋƑǔƱ᳼ƦƷ২ᘐƕɶ஖ႎƳᙻໜư᣻ᙲƳǋƷƔ᳼ᧈ஖ႎƳᙻໜư᣻ᙲƳǋƷƔǛᚸ̖ƠƯƓƘƜƱƕ࣏ᙲưƋǔ᳹ƦƜưƜǕǒƷᙻໜƔǒ২ᘐǛᚸ̖Ơ᳼ᑥЎƚƠƯᅆƠƨ᳹㪍㪏㪇㧔㧟㧕ᡷ⸓ߩࡐࠗࡦ࠻
¾

ɶ᳽ᧈ஖ႎƳᙻໜưƷ᣻ᙲ২ᘐƴƭƍƯ᳼ᙸႺƠǛᘍƬƨ᳹Υᛛⴚࡠ࡯࠼ࡑ࠶ࡊ
㧔㧝㧕ᛛⴚࡠ࡯࠼ࡑ࠶ࡊ
২ᘐȞȃȗƴᅆƠƨ᣻ᙲ২ᘐᛢ᫆ƝƱƴ᳼ᄂᆮ᧏ႆƴǑǓᢋ঺ƞǕǔǂƖǹȚȃǯ
ǛᅆƠƨ᳹
㧔㧞㧕ᡷ⸓ߩࡐࠗࡦ࠻
¾

Ӳᙲእ২ᘐƷǹȚȃǯƴƭƍƯŴᛇኬƴᙸႺƠǛᘍƬƨŵ¾

২ᘐȞȃȗƴ‫ࣖݣ‬ƠƯ᳼ɶ஖ႎƳᙻໜưƷ᣻ᙲ২ᘐƱᧈ஖ႎƳᙻໜưƷ᣻ᙲ২ᘐǛ᳼ᑥЎƚƠƯғКƠƨ᳹Φߘߩઁߩᡷ⸓ࡐࠗࡦ࠻
٤ࡌࡦ࠴ࡑ࡯ࠠࡦࠣߩᡷ⸓
¾

঻ƕ‫׎‬Ʒ /'/5 Ў᣼Ʒᇤʗщൔ᠋ƷƏƪ᳼ᛯ૨ႆᘙƷѣӼƴƭƍƯ᳼ ࠰ƷȇȸǿǛԃǊƨ᳹Ƃ/'/5 Ў᣼Ʒ‫׎‬ᨥᇤʗȝǸǷȧȳƃ㪍㪏㪈䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ዉ౉䉲䊅䊥䉥䋨1䋯3䋩
㩿㨪㪉㪇㪇㪇㪀

㧞㧜㧜㧜

㧞㧜㧜㧡

㧞㧜㧜㧥 㧞㧜㧝㧜

㧞㧜㧝㧡

㧞㧜㧞㧡

⋡ ᮡ

䃂ㇱຠ↥ᬺ䈱࿖㓙┹੎ജ⛽ᜬ䊶ᒝൻ㩷 㩷 䃂቟ో䊶቟ᔃ䊶ᔟㆡ␠ળ䈻䈱⽸₂㩷 㩷 䃂ᣂ䈚䈇䊤䉟䊐䉴䉺䉟䊦䈱ഃ಴䃂䌍䌅䌍䌓⵾ㅧᛛⴚ䈱㜞ᐲൻ䋨㜞ᕈ⢻䊶㜞ା㗬ᕈ䊶ૐ䉮䉴䊃䋩㩷 䃂䊙䉟䉪䊨䊶䊅䊉⛔ว⵾ㅧᛛⴚ䈱⏕┙Ꮢ႐䈱േะනᯏ⢻䌍䌅䌍䌓

㜞ᐲൻනᯏ⢻䌍䌅䌍䌓

㜞㓸Ⓧ䌍䌅䌍䌓㩷

శ䉴䉟䉾䉼䇮࿶ജ䉴䉟䉾䉼䇮࿶䌒䌆䊂䊋䉟䉴䇮䌓䌉䌐䉶䊮䉰䇮ᯏ⢻ⶄวൻㅢାᯏེ䇮቟ోജ䉶䊮䉰䇮䉣䉝䊋䉾䉫↪ടㅦ

DMD䇮䉴䉨䊞䊅䋯䉴䉟䉾䉼↪䊚଻㓚ᯏེ䇮ᬌᩏᯏེ䇮↢૕ᐲ䉶䊮䉰䇮䉳䊞䉟䊨䉶䊮䉰䇮䉟䊤䊷㩷 䈭䈬

䉶䊮䉲䊮䉫ᯏེ㩷 㒐‽ᯏེ䇮㒐ἴᯏེ䈭䈬䊮䉪䉳䉢䉾䊃䊓䉾䊄䇮DNA䉼䉾䊒㩷 䈭䈬㕟ᣂ⊛䌍䌅䌍䌓
䋨䊅䊉䊶䊋䉟䉥Ⲣว䊶⥄ᓞಽᢔ䋩䉣䊈䊦䉩䊷䊊䊷䊔䉴䊁䉞䊮䉫䇮䉥䊮䉰䉟䊃ⅣႺᵺൻ䊂䊋䉟䉴䇮䉲䊷䊃ဳஜᐽ▤ℂ䊂䊋䉟䉴䇮૕ౝၒㄟ䊂䊋䉟䉴䇮㔓࿐᳇વㅍ䊶ౣ↢䊂䊋䉟䉴䇮䊡䊎䉨䉺䉴䉶䊮䉰䊈䉾䊃䊪䊷䉪↪ᄙᯏ⢻䉶䊮䉰䊂䊋䉟䉴䈭䈬

䉲䉴䊁䊛ൻᛛⴚ䈱⫾Ⓧඨዉ૕⵾ㅧⵝ⟎䉕૶䈦䈢ടᎿᛛⴚ䈱㩷㐿⊒䈫නᯏ⢻䌍䌅䌍䌓䈱⵾ㅧ䊶ૐ䉮䉴䊃ൻ㩷䈫䌍䌅䌍䌓䊒䊨䉶䉴䊶․ᕈ䈱⹏ଔᛛⴚ䈱㩷ၮ⋚᭴▽㩷ኾ↪⵾ㅧⵝ⟎䉕૶䈦䈢නᯏ⢻䌍䌅䌍䌓䊂䊋䉟䉴䈱㩷㜞♖ᐲൻ䊶ૐ䉮䉴䊃ൻ䈫ૐⅣႺ⽶⩄ൻ⸳⸘䊶⹏ଔⵝ⟎ዉ౉䇮㐿⊒ᦼ㑆⍴❗䇮ᄙຠ⒳ዋ㊂䈻䈱ኻᔕડᬺ䈱ข⚵䉂

䉝䊒䊥䉬䊷䉲䊢䊮䈫৻૕䈫䈭䈦䈢ታ↪⊛ MEMS䊂䊋䉟䉴䈱㐿⊒

㜞㓸Ⓧⶄว䌍䌅䌍䌓䈱ᣂ䊂䊋䉟䉴䈻䈱ዷ㐿㩷㕟ᣂ⊛㪤㪜㪤㪪䈱ዷ㐿㩷ၮ⋚ᛛⴚ㐿⊒↪㩷⎇ⓥᚲ䊶ㇱ㐷䈱⸳┙㩷䌍䌅䌍䌓ኾ↪⵾ㅧⵝ⟎䈮䉋䉎↢↥㩷䉲䉴䊁䊛䈱᭴▽㩷䌍䌅䌍䌓䊐䉜䉡䊮䊄䊥䊷䉰䊷䊎䉴䈱ឭଏⅣႺ䊶䉣䊈䊦䉩䊷䇮ක≮䊶㩷⑔␩䇮቟ో䊶቟ᔃಽ㊁䈻䈱䊂䊋䉟䉴ዷ㐿㩷䉰䊷䊎䉴䈱ឭଏ㩷ᄙᢙ䈱䌍䌅䌍䌓䊔䊮䉼䊞䊷䈱⸳┙㩷䊅䊉䊶䊋䉟䉥Ⲣว㪤㪜㪤㪪䊒䊨䉶䉴䈱᭴▽㩷

䊶RF䉴䉟䉾䉼⵾ㅧᛛⴚ㐿⊒㕟ᣂ⊛䊂䊋䉟䉴ၮ⋚ᛛⴚ㐿⊒
㜞㓸Ⓧ䊶ⶄวൻ䊶䊅䊉㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 䊶䊅䊉䊶䊋䉟䉥Ⲣว䊒䊨䉶䉴㩷ᯏ⢻ઃടᛛⴚ㐿⊒㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 䊶⇣⒳Ⲣว䊶⇇㕙೙ᓮᛛⴚ㩷䊶శ นേ䊚䊤䊷⵾ㅧᛛⴚ㐿䊶㪤㪜㪤㪪ඨዉ૕৻૕ൻ㩷㜞♖ᐲ䋳ᰴర䌍䌅䌍䌓㩷䋨ో૕䋩㩷㪚㪤㪦㪪㪄䌍䌅䌍䌓䊐䉜䉡䊮䊄䊥䊷䉰䊷䊎䉴䈱ឭଏ䌍䌅䌍䌓ኾ↪䊌䉾䉬䊷䉳㩷⊒㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 䊶ᄢ㕙Ⓧൻ䊶ㅪ⛯ൻ䊒䊨䉶䉴㩷㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 䊶䉣䊈䊦䉩䊷䊊䊷䊔䉴䊁䉞䊮䉫㩷㩷 㩷 㩷 㩷 䋨㪚㪤㪦㪪㪄㪤㪜㪤㪪䋩ᛛⴚ㩷㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 䊶䉥䊮䉰䉟䊃ⅣႺᵺൻ㩷䊶⿥ዊဳMEMS䉶䊮䉰㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 䊶䉲䊷䊃ဳ䊂䊋䉟䉴㩷䊶㪤㪜㪤㪪䊶㪤㪜㪤㪪⚿วൻᛛⴚ㩷㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 䊶૕ౝၒㄟ䊂䊋䉟䉴㩷䊶㪤㪜㪤㪪䊶䊅䊉ᯏ⢻Ⲣวᛛⴚ㩷㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 㩷 䊶㔓࿐᳇વㅍ䊶ౣ↢䋨੖ᗵ䋩㩷䋨ਛᦼ䋩㩷䂾 శMEMSะ਄䈫䈫䉅䈮ἴኂᤨ䈱䊋䉟䊌䉴࿁〝䈱౬㐳ᐲ䈏Ⴧ䈜䈭䈬䇮㜞ᐲᖱႎㅢା␠ળ䈱৻ጀ䈱㜞ㅦൻ䇮ା㗬ᕈะ਄䈮⽸₂㩷⎇ⓥ㐿⊒䈱ข⚵䉂శㅢା✂䈪↪䈇䉌䉏䉎ዊဳ䇮㜞ᕈ⢻䈱శ䉴䉟䉾䉼䈱ታ⃻㩷 →㩷 ⋭䉴䊕䊷䉴䇮⋭䉣䊈䊦䉩䊷䇮ૐ䉮䉴䊃ൻ㩷 →㩷 ㅢାㅦᐲ䈱㩷䊶┙┙૕᭴ㅧ਄䈻䈱䊌䉺䊷䊮ᒻᚑᛛⴚ䇮శ⚛ሶ䉼䉾䊒ታⵝ䇮䊐䉞䊷䊄䊋䉾䉪䉶䊮䉰㓸Ⓧൻ䇮ᯏ⢻ᕈ᧚ᢱෘ⤑ᒻᚑᛛⴚ䇮╬䈱㐿⊒䂾 RF-MEMS䊝䊋䉟䊦ᯏེ䈱㜞๟ᵄㇱຠ䈏㪤㪜㪤㪪ㇱຠൻ㩷 →㩷 ૐᶖ⾌㔚ജ䇮ૐ䉮䉴䊃䈪䈱ᢙච㪞㪟㫑䈱ㅢାᏪၞ䈱೑↪䈏น⢻㩷 →㩷 㩷㜞વ㆐⢻ജൻ䇯㩷 㩷 㜞๟ᵄㇱຠ䈱৻૕᭴ㅧൻ㩷 →㩷 ៤Ꮺ㔚⹤╬䈱䊝䊋䉟䊦ᯏེ䈱⋭㔚ജ䇮⋭䉴䊕䊷䉴ൻ䇮㜞ᯏ⢻ൻ䊶ᯏ⢻ᕈ᧚ᢱෘ⤑ᒻᚑᛛⴚ䇮䊅䊉᧚ᢱዪᚲᒻᚑᛛⴚ䇮╬䈱㐿⊒䂾 䉶䊮䉰MEMSടㅦᐲ䉶䊮䉰╬䈱㪤㪜㪤㪪䉶䊮䉰䈏䉋䉍ዊဳ䇮ૐ䉮䉴䊃䇮㜞ᯏ⢻ൻ㩷 →㩷 ዊဳ৻⥸ゞ䈮ฦ⒳ᆫ൓೙ᓮ䉶䊮䉰䇮⿒ᄖ✢䉶䊮䉰䇮䊪䉟䊟䊧䉴䊈䉾䊃䊪䊷䉪ൻ䇮㓚ኂ‛ត⍮↪䊧䊷䉱䊷䊧䊷䉻╬䈱ណ↪᜛ᄢ㩷 →੤ㅢ䈱䉋䉍৻ጀ䈱ᔟㆡᕈ䇮቟ోᕈ䈱ะ਄䈮⽸₂㩷

䂾 䊋䉟䉥MEMS

䊶MEMS䊶ඨዉ૕౒ሽ᭴ㅧ䈱ᚑᒻᛛⴚ䇮ធว䊶⚵┙ᛛⴚ䇮╬䈱㐿⊒៤Ꮺน⢻䈭቟ଔ䈪ዊဳ䈱ੱ૕䈱૕ᶧ䊶䈮䈍䈇䉶䊮䉰╬䈱ᬌᩏ䉨䉾䊃䈱㐿⊒㩷 →㩷 ࿷ቛ䈪䈱⸻ᢿ䉇੍㒐ක≮䈏น⢻䇯㩷⚦⢩䊶↢૕ಽሶ䈱‛ℂ䊙䊆䊏䊠䊧䊷䉲䊢䊮↪㪤㪜㪤㪪䉕↪䈇䈢ᬌᩏ䊶⹏ଔᛛⴚ䈱㐿⊒→䊋䉟䉥䊅䊉䊁䉪䊉䊨䉳⎇ⓥ䉕ടㅦ䊶ൻቇ⊛䊶䊋䉟䉥⊛⴫㕙ୃ㘼ᛛⴚ䇮䊅䊉䉟䊮䊒䊥䊮䊁䉞䊮䉫ᛛⴚ䇮೨ಣℂᛛⴚ䇮╬䈱㐿⊒䂾 MEMS౒ㅢ䊶ᬌᬌᩏ䊶⹏ଔᛛⴚ䇮╬䈱㐿⊒䊶䋳ᰴర᭴ㅧ䈱⴫㕙ᷡᵺൻᛛⴚ䈱㐿⊒㩷 䊶MEMS 䊌䉾䉬䊷䉳䊮䉫ᛛⴚ䈱㐿⊒㪍㪏㪉䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ዉ౉䉲䊅䊥䉥䋨2䋯3䋩䋨㐳ᦼ䋩㩷⎇ⓥ㐿⊒䈱ข⚵䉂䂾䊙䉟䉪䊨䊶䊅䊉Ⲣว⵾ㅧᛛⴚ㧞㧜㧜㧥 㧞㧜㧝㧜

㧞㧜㧜㧡

㧞㧜㧜㧜

㧞㧜㧝㧡

㧞㧜㧞㧡

䇼㐳ᦼၮ⋚ᛛⴚ⎇ⓥ㐿⊒䈱⁓䈇䇽㩷䊃䉾䊒䉻䉡䊮䊒䊨䉶䉴䈪䈅䉎ᓸ⚦ടᎿ䈫䇮䊗䊃䊛䉝䉾䊒䊒䊨䉶䉴䈪䈅䉎䊅䊉䊶䊋䉟䉥䊒䊨䉶䉴䈫䉕Ⲣว䈚䈢䊙䉟䉪䊨䊶䊅䊉⛔ว⵾ㅧᛛⴚ䈱⏕┙䈮䉋䉍䇮ᔕ↪▸࿐䉕ᕆㅦ䈮ᐢ䈕࿖ኅ䊶␠ળ⊛⺖㗴䈪䈅䉎䇸ⅣႺ䊶䉣䊈䊦䉩䊷䇹䇮䇸ක≮䊶⑔␩䇹䇮䇸቟ో䊶቟ᔃ䇹ಽ㊁䈪ᣂ䈚䈇䊤䉟䊐䉴䉺䉟䊦䉕ഃ಴䈜䉎䊅䊉䊶䊋䉟䉥Ⲣว෸䈶⥄ᓞಽᢔ䈪ᯏ⢻䈜䉎㕟ᣂ⊛䉨䊷䊂䊋䉟䉴䈫䈚䈩ᐢ䈒ᶐㅘ䈘䈞䉎㩷䊶䊃䉾䊒䉻䉡䊮䊒䊨䉶䉴䈪䈅䉎ᓸ⚦ടᎿ䈫䇮䊗䊃䊛䉝䉾䊒䊒䊨䉶䉴䈪䈅䉎䊅䊉䊶䊋䉟䉥䊒䊨䉶䉴䈱Ⲣว䈮䉋䉎䇸䉅䈱䈨䈒䉍㕟ᣂ䇹䊶㊀ὐផㅴ㩷 㩷 㩷 䊶㪊ᰴర䊅䊉᭴ㅧᒻᚑ㩷㩷 㩷 㩷 䊶⇣⒳Ⲣวᛛⴚ䇮⇇㕙೙ᓮ㩷㩷 㩷 㩷 䊶䊒䊨䉶䉴ᄢ㕙Ⓧൻ䊶ㅪ⛯ൻ㩷䋳ᰴర䊅䊉᭴ㅧᒻᚑᛛⴚ㐿⊒䊶䉣䉾䉼䊮䉫䇮ᚑ⤑䇮ᚑᒻ䈮䉋䉎ᒻᚑ㩷䊶⇣⒳᧚ᢱ䊧䉟䉝䊋䉟䊧䉟䉝㩷⇣⒳Ⲣว䊶⇇㕙೙ᓮᛛⴚ㐿⊒䊶↢૕ᯏ⢻᧚ᢱᒻᚑ䇮ᵴᕈ↢૕ಽሶⲢวᛛⴚ㩷䊶⥄Ꮖ⚵❱ൻ⇇㕙೙ᓮᛛⴚ䇮⥄ᓞ⊛㈩✢ᛛⴚ㩷䊒䊨䉶䉴ᄢ㕙Ⓧൻ䊶ㅪ⛯ൻ䊶㕖⌀ⓨ㜞ຠ૏䊅䊉ᯏ⢻⤑ᄢ㕙Ⓧᒻᚑ䊒䊨䉶䉴ᛛⴚ㩷䊶❫⛽⁁ၮ᧚ㅪ⛯ᓸ⚦ടᎿ䊶㓸Ⓧൻ䊒䊨䉶䉴ᛛⴚ㩷䂾 㕟ᣂ⊛MEMS䊶䊙䉟䉪䊨䊶䊅䊉Ⲣว⵾ㅧᛛⴚ䈮䉋䉍ታ⃻䈘䉏䉎䊂䊋䉟䉴䇮ᣂ䈚䈇䊤䉟䊐䉴䉺䉟䊦䉕ഃ಴䈜䉎
䊶㊀ὐಽ㊁㩷 㩷 䊶ⅣႺ䊶䉣䊈䊦䉩䊷㩷 㩷 䊶ක≮䊶⑔␩㩷 㩷 䊶቟ᔃ䊶቟ో㩷

ⅣႺ䊶䉣䊈䊦䉩䊷㩷 䊶䉣䊈䊦䉩䊷䊊䊷䊔䉴䊁䉞䊮䉫㩷㩷 䊶䉥䊮䉰䉟䊃ⅣႺᵺൻ䊂䊋䉟䉴㩷ක≮䊶⑔␩㩷 䊶䉲䊷䊃ဳஜᐽ▤ℂ䊂䊋䉟䉴㩷㩷 䊶૕ౝၒㄟ䊂䊋䉟䉴㩷቟ᔃ䊶቟ో㩷 䊶䊡䊎䉨䉺䉴䉶䊮䉰䊈䉾䊃䊪䊷䉪↪ᄙᯏ⢻䉶䊮䉰䊂䊋䉟䉴㩷㩷 䊶㔓࿐᳇વㅍ䊶ౣ↢䊂䊋䉟䉴㩷ᓸዊᯏ᪾䉲䉴䊁䊛㐿⊒⵾ㅧᆔ⸤᜚ὐᢛ஻

⵾ㅧᆔ⸤䉪䊤䉴䉺䊷䊶䊈䉾䊃䊪䊷䉪ᢛ஻㩷䊶᜚ὐᢛ஻㩷䊶⵾ㅧᛛⴚ㐿⊒ ╬䊶ో࿖䈻䈱䊈䉾䊃䊪䊷䉪ൻ䊶ᣂᛛⴚ䈱ዉ౉㩷 ╬㜞㓸Ⓧ䊶ⶄว⵾ㅧ᜚ὐᒝൻ

⸳⸘ᡰេ䉲䉴䊁䊛㐿⊒⸳⸘䊶⎇ⓥ㐿⊒ᡰេ䉲䉴䊁䊛䈱ⅣႺᢛ஻㩷䊶㜞ᐲൻ䊶⍮⼂䊂䊷䉺䊔䊷䉴ᦝᣂ㩷 ╬䊶⸳⸘䉸䊐䊃䉡䉢䉝䈱㐿⊒䊶䊂䊷䉺䊔䊷䉴㐿⊒㩷 ╬㩷㜞ᐲ⵾ㅧᛛⴚ㐿⊒䊶䊂䉴䉪䊃䉾䊒㪤㪜㪤㪪䊐䉜䉪䊃䊥䊷㩷䊶䉟䊮䊁䊥䉳䉢䊮䊃㪤㪜㪤㪪⵾ㅧᛛⴚ㩷㩷䊅䊉䊶䊋䉟䉥Ⲣว䇮⥄ᓞಽᢔၮ⋚ᛛⴚ㐿⊒㩷㩷 䊶䊙䉟䉪䊨䊶䊅䊉⛔ว⵾ㅧᛛⴚ㩷㩷 䊶䊅䊉䊶䊋䉟䉥Ⲣว䇮⥄ᓞಽᢔ䊂䊋䉟䉴㩷㩷 䊶ၮ⋚⎇ⓥ㐿⊒᜚ὐ⸳┙㩷䈠䈱ઁ䈱ᣉ╷

ή✢䊈䉾䊃䊪䊷䉪MEMS᥉෸䈮ะ䈔䈢ⅣႺᢛ஻⥄േゞ቟ోⵝ⟎↪䌍䌅䌍䌓᥉෸䈮ะ䈔䈢ⅣႺᢛ஻
䊋䉟䉥MEMS䇮䉟䊮䊒䊤䊮䉺䊑䊦MEMS䈮ะ䈔䈢ⅣႺᢛ஻䂾 ੱ᧚⢒ᚑ

ડᬺౝੱ᧚⢒ᚑᣇ╷䈱లታ␠ౝ䈱 MEMS ੱ᧚⢒ᚑ䉴䊁䉾䊒䉝䉾䊒䈱ⅣႺ㩷 ᢛ஻
䊶䌏䌊䌔㩷 䊶␠ౝ䌍䌅䌍䌓⎇ୃ䊶⻠ᐳ㩷 䊶⎇ⓥળ䊶䉶䊚䊅䊷ᵴ↪㩷 䊶↥ቇ౒ห⎇ⓥ䉕ㅢ䈚䈢ੱ᧚⢒ᚑ㪤㪜㪤㪪 ᛛ⢻⹺ቯ೙ᐲ䈱⏕┙㩷䊶ᜰቯ⹜㛎ᯏ㑐㩷 㩷 㩷 䊶⹺ቯ䊒䊨䉫䊤䊛㩷↥ቇㅪ៤䈮䉋䉎

ⅣႺᢛ஻㩷㑐ㅪᣉ╷䈱ข⚵䉂ዉ౉᥉෸ଦㅴ╷䊶⵾ㅧᛛⴚ㐿⊒䊶᜚ὐᢛ஻㩷䊶㐿⊒⸳⸘ᯏ⢻ᢛ஻ ╬ੱ᧚⢒ᚑᣇ╷
䈱ᢛ஻␠ળੱኻ⽎ MEMS ⻠ᐳ䊶⎇ୃ䉮䊷䉴䈱లታ䊶␠ળੱᄢቇ㒮䈪䈱න૏ขᓧ㩷 㩷 䊶࿖⎇䊶౏⸳⹜䈪䈱ታ〣⊛䈭⎇ⓥ䉮䊷䉴䈱᜛ల↥ቇㅪ៤᜚ὐ䈮䈍䈔䉎 MEMS ੱ᧚⢒ᚑ䈱ᒝൻలታ䊶↥ቇㅪ៤⵾ㅧਛᩭੱ᧚⢒ᚑ੐ᬺ㩷 䊶ಽ㊁ᮮᢿ⊛䈭䊒䊨䉫䊤䊛㩷 䊶ઁቇㇱ䊶ડᬺ䈫䈱ੱ⊛ㅪ៤㩷 䊶ቇ૏᝼ਈ䉲䊆䉝ੱ᧚䈱ᵴ↪

ઁಽ㊁䈎䉌䈱

䊶䉲䊆䉝ੱ᧚䊋䊮䉪㩷 㩷 䊶㪤㪜㪤㪪 ⹜૞䉮䊮䉰䊦䉺䊮䊃䋯䉮䊷䊂䉞䊈䊷䉺ੱ᧚⏕଻䈱䈢䉄

MEMSಽ㊁䈱䉟䊮䊐䊤ᢛ஻䈱ⅣႺᢛ஻䊶䉸䊐䊃䉟䊮䊐䊤䈱ᢛ஻䋨㪤㪼㫄㫊㪦㪥㪜 䈱᥉෸ଦㅴ䋩㩷䊶⍮⼂䊂䊷䉺䊔䊷䉴䈱ᢛ஻䊶లታ䋨㪤㪜㪤㪪㪧㪼㪻㫀㪸 ᵴ↪䋩㩷
MEMS↪䉟䊮䉺䊷䊮䉲䉾䊒䈱᜛ల䊶㪤㪜㪤㪪 ↪䊒䊨䉫䊤䊛䈱╷ቯ㪍㪏㪊䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ዉ౉䉲䊅䊥䉥䋨3䋯3䋩
㧞㧜㧜㧜
䂾 ᮡḰൻ

㧞㧜㧜㧥 㧞㧜㧝㧜

㧞㧜㧜㧡

㧞㧜㧝㧡

ኾ㐷↪⺆䈱䌉䌅䌃ⷙᩰൻⅣႺᢛ஻䊶᧚ᢱ⹜㛎ᴺ䋨⭯⤑᧚ᢱᒁᒛ⹜㛎ᴺ䇮⭯⤑᧚ᢱ䈱㩷∋ഭ⹜㛎ᴺ䇮ኼ๮ടㅦ⹜㛎ᴺ╬䋩䊶ടᎿ䊒䊨䉶䉴⹏ଔᴺ䋨⴫㕙☻䈘䊶䊒䊨䊐䉜䉟䊦╬䋩㩷䊶ၮ⋚౒ㅢⶄวಽ㊁䈱⹜㛎ᴺ䋨ⴣ᠄⹜㛎ᴺ╬䋩㩷㩷㑐ㅪᣉ╷䈱ข⚵䉂ၮ⋚౒ㅢᛛⴚ䈱䌉䌅䌃ⷙᩰൻ

MEMS࠺ࡃࠗࠬߩ䌉䌅䌃ⷙᩰൻ䊶ᖱႎㅢା↪㪤㪜㪤㪪䊂䊋䉟䉴䋨ടㅦᐲ䊶ⷺㅦᐲ䊶࿾⏛᳇䉶䊮䉰╬䋩㩷䊶⥄േゞ↪㪤㪜㪤㪪䊂䊋䉟䉴䋨ടㅦᐲ䊶䊣䊷䊧䊷䊃䊶䉣䉝䊐䊨䊷䉶䊮䉰╬䋩

㪍㪏㪋

㧞㧜㧞㧡

䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊙䉾䊒䋨㪈䋯㪉䋩㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚ䉣䉾䉼䊮䉫ᛛⴚ㜞♖ᐲ䊶ᓸ⚦
㪇㪈㪇㪈 㜞䉝䉴䊕䉪䊃Ყ⽾ㅢሹᒻᚑ䉣䉾䉼䊮䉫ᛛⴚ
ᛛⴚ㪇㪈㪇㪉 㜞䉝䉴䊕䉪䊃Ყ䊅䊉䊃䊧䊮䉼ടᎿᛛⴚ㪇㪈㪇㪊 䊂䉞䊷䊒䊄䊤䉟䉣䉾䉼䊮䉫ᛛⴚ㪇㪈㪇㪋 㜞♖ᐲᓸ⚦䉣䉾䉼䊮䉫ᛛⴚ

ಽ㊁
౒ㅢ
౒ㅢ
౒ㅢ
౒ㅢ

㪇㪈㪇㪌 䉡䉣䊊䊧䊔䊦ဋ৻䉣䉾䉼䊮䉫ᛛⴚ㪇㪈㪇㪍 㕖䉲䊥䉮䊮᧚ᢱടᎿᛛⴚή✢ㅢା䇮䊋䉟䉥䇮౒ㅢ
౒ㅢ㪇㪈㪇㪎 ή៊்ടᎿᛛⴚ

౒ㅢ䋳ᰴర䊅䊉᭴ㅧ 㪇㪈㪇㪏 㪊ᰴర⴫㕙ടᎿᛛⴚᒻᚑᛛⴚ㪇㪈㪇㪐 ⥄↱ᦛ㕙ടᎿᛛⴚ㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚ

ಽ㊁ᒻᚑᛛⴚ 䊅䊉ᯏ⢻᧚ᢱㆬ 㪇㪋㪇㪈 䊅䊉᧚ᢱዪᚲᒻᚑᛛⴚ
䋨ᯏ⢻ൻ䊶 ᛯ⊛ᒻᚑᛛⴚ⴫㕙ᡷ㪇㪋㪇㪉 䊅䊉᧚ᢱ䉡䉣䊊䊧䊔䊦ᒻᚑ⾰䋩ᛛⴚ㪇㪋㪇㪊 䊅䊉᧚ᢱ䊎䊦䊄䉝䉾䊒ᛛⴚή✢ㅢା䇮䊋䉟
䉥౒ㅢ↢૕ᯏ⢻᧚ᢱ
ᒻᚑᛛⴚ䉣䊈䊦䉩䊷㪇㪈㪈㪇 ┙૕᭴ㅧ਄䈻䈱䊌䉺䊷䊮ᒻ ౒ㅢᚑᛛⴚ㪇㪈㪈㪈 䉲䊮䉫䊦䊘䉟䊮䊃䊒䊨䉶䉴ᛛ ౒ㅢⴚ㪇㪈㪈㪉 䊅䊉䊏䊤䊷ᒻᚑᛛⴚ౒ㅢ㪇㪈㪈㪊 䊅䊉䊘䊷䊤䉴ᒻᚑᛛⴚ䊅䊉䊒䊨䊷䊑ട 㪇㪈㪈㪋 䊅䊉䊒䊨䊷䊑䊶䉣䉾䉼䊮䉫ടᎿᛛⴚᎿᛛⴚ䌌䌓䌉䊒䊨䉶䉴Ⲣ 㪇㪈㪈㪌 䌍䌅䌍䌓䊶ඨዉ૕౒ሽ᭴ㅧ
ว䉻䊜䊷䉳䊐
䈱ૐ៊்䉣䉾䉼䊮䉫ᛛⴚ䊥䊷䉣䉾䉼䊮䉫
ᛛⴚᚑ⤑ᛛⴚ 㜞ຠ૏ෘ䊶⭯⤑ 㪇㪉㪇㪈 ᯏ⢻ᕈ᧚ᢱෘ⤑ᒻᚑᛛⴚᚑ⤑ᛛⴚ㪇㪉㪇㪉 㕖⌀ⓨ⭯⤑ᒻᚑᛛⴚ㪊ᰴర䊅䊉᭴ㅧ
ᒻᚑᛛⴚ౒ㅢ䊋䉟䉥䇮ᖱႎㅢା䇮౒ㅢ౒ㅢ౒ㅢ䇮ή✢ㅢା

቟ᔃ䊶቟ో䇮ⅣႺ䇮䉣䊈䊦䉩䊷
㪇㪉㪇㪊 ᯏ⢻ᕈ᧚ᢱ䊅䊉⭯⤑ᄙጀᒻ ቟ᔃ䊶቟ో䇮ⅣᚑᛛⴚႺ䇮䉣䊈䊦䉩䊷
㪇㪉㪇㪋 ᐔṖ䊶ૐᱷ⇐ᔕജ⭯⤑ᒻᚑ శ䇮ή✢ㅢା䇮ᛛⴚ㪄㪊ᰴరૐ᷷ᚑ⤑ᛛⴚ ౒ㅢ㪇㪉㪇㪌 䋳ᰴరᒻ⁁⴫㕙਄ᚑ⤑ᛛⴚ శ䇮౒ㅢ㪇㪋㪈㪋 ടᎿ៊்࿁ᓳᛛⴚ
㪣㪪㪠䊒䊨䉶䉴Ⲣ 㪇㪋㪈㪌 䌍䌅䌍䌓䊶ඨዉ૕౒ሽ᭴ㅧ
วᚑᒻᛛⴚ
䈱ᚑᒻᛛⴚ
นേ䊅䊉᭴ㅧᒻ 㪇㪋㪈㪍 นേ䊅䊉᭴ㅧ䈱ᒻᚑᛛⴚᚑᛛⴚ⇣⒳Ⲣว 䊅䊉䊶䊋䉟䉥Ⲣ 㪇㪌㪇㪈 ⇇㕙೙ᓮᛛⴚᛛⴚวᛛⴚ㪇㪌㪇㪉 ᵴᕈ⚦⢩Ⲣวᛛⴚ䊙䉟䉪䊨☳૕ᚑ 㪇㪊㪇㪋 䊅䊉☳૕ᚑᒻടᎿᛛⴚᒻᛛⴚ䊙䉟䉪䊨㍌ㅧᛛ 㪇㪊㪇㪌 ⽾ㅢሹၒ䉄ᚯ䈚ᛛⴚⴚ䋳ᰴర䊅䊉᭴ㅧ 㪇㪊㪇㪍 䋳ᰴర䊙䉟䉪䊨┙૕ဳᚑᒻᒻᚑᛛⴚᛛⴚ㪇㪊㪇㪎 䋳ᰴర⴫㕙䊅䊉ടᎿᛛⴚ

౒ㅢ

౒ㅢ
౒ㅢ
౒ㅢ

㪇㪌㪇㪐 䊌䉺䊷䊮ઃ䈐ᚑ⤑䈍䉋䈶ᄙ ౒ㅢ
ጀൻᛛⴚ

౒ㅢ

⥄Ꮖ⚵❱ൻᛛ
ⴚశ౒ㅢ䇮䊋䉟䉥

㈩✢ᛛⴚ

౒ㅢ
౒ㅢ
౒ㅢ

㪇㪊㪇㪏 䋳ᰴర⥄↱ᦛ㕙䉣䊮䊗䉴ട ౒ㅢᎿᛛⴚ㪇㪊㪇㪐 䋳ᰴర⴫㕙ୃ㘼ᛛⴚ
౒ㅢ

ᵈ䋺

౒ㅢ

ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩
ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩㪇㪌㪇㪊 ᵴᕈ↢૕ಽሶⲢวᛛⴚ
ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩䊅䊉䊶᦭ᯏ᧚ᢱ 㪇㪌㪇㪋 ᦭ᯏ䊅䊉䊏䊤䊷ᒻᚑᛛⴚ䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣⲢวᛛⴚႺ䇮ක≮䊶⑔␩
㪇㪌㪇㪌 ᦭ᯏ䊅䊉䊘䊷䊤䉴ᒻᚑᛛⴚ 䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩
㪇㪌㪇㪍 䊅䊉㑆㓗䈻䈱᦭ᯏలႯᛛⴚ 䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩
㪊ᰴర᭴ㅧᒻᚑ 㪇㪌㪇㪎 ⇣⒳᧚ᢱ䊧䉟䉝䊋䉟䊧䉟䉝 ౒ㅢᛛⴚⓍጀᛛⴚ㪇㪌㪇㪏 ⇣⒳᧚ᢱ䈱ෘ⤑Ⓧጀᛛⴚ ౒ㅢ㪇㪉㪇㪐 䌍䌅䌍䌓䊶ඨዉ૕౒ሽ᭴ㅧ ౒ㅢ䈱ૐ䉴䊃䊧䉴䊶㜞⠴ਭᕈ⭯⤑ᒻᚑᛛⴚ㪇㪊㪇㪇 䊅䊉䉟䊮䊒䊥䊮䊁䉞䊮䉫ᛛⴚ㪄 ౒ㅢ䇮䊋䉟䉥ૐ៊்䊌䉺䊷䊆䊮䉫ᛛⴚ㪇㪊㪇㪈 䊅䊉䊐䉤䊷䊚䊮䉫ᛛⴚ౒ㅢ㪇㪊㪇㪉 䊅䊉ォ౮䊶ᒻᚑⶄว䊒䊨䉶䉴ᛛⴚ㪇㪊㪇㪊 䊙䉟䉪䊨䉣䊮䊗䉴ടᎿᛛⴚ䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩
቟ᔃ䊶቟ో㪇㪋㪈㪈 ㊄ዻ䊶᦭ᯏඨዉ૕䈱⇇㕙೙ ౒ㅢᓮᛛⴚ㪇㪋㪈㪉 ᦭ᯏ䊶⛘✼⤑䈱⇇㕙೙ᓮᛛ ౒ㅢⴚ㪇㪋㪈㪊 ශ೚ᣇᑼ⴫㕙ୃ㘼ᛛⴚ౒ㅢ㪇㪉㪇㪏 䊅䊉䊏䊤䊷䋯䊄䉾䊃ᒻᚑᛛⴚ ౒ㅢᚑᒻᛛⴚ 䊙䉟䉪䊨䊒䊧䉴ᚑᒻᛛⴚ䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩
㪇㪋㪇㪌 ⚦⢩㈩⟎䊶䉦䊒䉶䊦ൻᛛⴚ 䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩
㪇㪋㪇㪍 ⚦⢩䈱⚵❱ൻᛛⴚක≮䊶⑔␩㪇㪋㪈㪇 ⢽⾰ੑ㊀ጀᒻᚑᛛⴚ

㪇㪉㪇㪍 䉲䊮䉫䊦䊘䉟䊮䊃䊒䊨䉶䉴ᛛ ౒ㅢⴚ㪇㪉㪇㪎 䊅䊉䊘䊷䊤䉴⤑ᒻᚑᛛⴚ౒ㅢ㪣㪪㪠䊒䊨䉶䉴Ⲣวᚑ⤑ᛛⴚ㪇㪋㪇㪋 ↢૕ಽሶ㈩ะᛛⴚ

ᯏ⢻ᕈ⴫㕙ᒻ 㪇㪋㪇㪎 ൻቇ⊛䊶䊋䉟䉥⊛⴫㕙ୃ㘼ᚑᛛⴚᛛⴚ䋨⇇㕙೙ᓮ䊶⴫ 㪇㪋㪇㪏 ಽሶ䈱⥄Ꮖ⚵❱ൻ⃻⽎ᔕ㕙ୃ㘼ᛛⴚ䇮ട↪⇇㕙೙ᓮᛛⴚ
Ꮏ៊்࿁ᓳᛛ 㪇㪋㪇㪐 䊅䊉☸ሶ⥄Ꮖᢛ೉ᛛⴚ
ⴚ䋩

ή✢ㅢା

౒ㅢ

㪇㪊㪈㪇 䋳ᰴరᒻ⁁䉄䈦䈐ᚑᒻᛛⴚ ౒ㅢ⚵┙ᛛⴚ䈲䇮ਛᦼ⊛䈭ⷞὐ䈪䈱㊀ⷐᛛⴚ⇇㕙‛ᕈ⹏ଔ
ᛛⴚ㪇㪌㪈㪇 䊜䉦䋯䊋䉟䉥䋯ඨዉ૕䊊䉟 ౒ㅢ䊑䊥䉾䊄Ⓧጀᛛⴚ
㪇㪌㪈㪈 䋳ᰴర䊅䊉᭴ㅧ⒖ᬀ䊶Ⓧጀ ౒ㅢᛛⴚ㪇㪌㪈㪉 䉶䊦䊐䉝䊤䉟䊜䊮䊃䈮䉋䉎૏ ౒ㅢ⟎᳿䉄ᛛⴚ㪇㪌㪈㪊 䊙䊦䉼㪚㪥㪫䊒䊨䊷䊑⵾ㅧᛛ ౒ㅢⴚ㪇㪌㪈㪋 䊅䊉䊖䊷䊦ㆬᛯ㊄ዻᚑ㐳ᛛ ౒ㅢⴚ㪇㪌㪈㪌 䊅䊉䊪䉟䉝ㆬᛯ㈩✢ᛛⴚ౒ㅢ㪇㪌㪈㪍 㪚㪥㪫ᚑ㐳↪⸅ᇦ☸ሶ䈱⥄Ꮖ⚵❱ൻ㈩೉ᛛⴚ
㪇㪌㪈㪎 㪚㪥㪫㈩✢ᛛⴚ౒ㅢ㪇㪌㪈㪏 ⥄ᓞ⊛㈩✢ᒻᚑᛛⴚ౒ㅢ㪇㪌㪈㪐 િ❗ᕈዉ૕ᒻᚑᛛⴚ

౒ㅢ౒ㅢ㪇㪌㪉㪇 ⇇㕙೙ᓮ䉕೑↪䈚䈢⥄ᓞ⚵ ౒ㅢ┙ᛛⴚ㪇㪌㪉㪈 ⇇㕙‛ℂൻቇ⹏ଔᛛⴚ
౒ㅢ㪇㪌㪉㪉 䊅䊉㗔ၞ䈮䈍䈔䉎䊃䊤䉟䊗䊨 ౒ㅢ䉳䊷⹏ଔᛛⴚ

䈲䇮㐳ᦼ⊛䈭ⷞὐ䈪䈱㊀ⷐᛛⴚ㪍㪏㪌䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊙䉾䊒䋨㪉䋯㪉䋩㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚಽ㊁䊒䊨䉶䉴 㕖⌀ⓨ䊒䊨䉶䉴 㪇㪍㪇㪈 㜞ຠ૏䊅䊉ᯏ⢻⤑ᒻᚑᛛⴚ ౒ㅢㅪ⛯ൻ䊶 䈮䉋䉎ᚑ⤑ᛛⴚ
䋨ႣᏓဳ䋩
ᄢ㕙Ⓧൻ
ᛛⴚ
㪇㪍㪇㪉 䊙䉟䉪䊨䊅䊉ශ೚ᛛⴚ౒ㅢ䊒䊨䉶䉴ᄢ㕙Ⓧ 㪇㪍㪇㪊 㜞ຠ૏ᯏ⢻⤑䈱䊜䊷䉺⚖ᄢ ౒ㅢൻᛛⴚ㕙Ⓧᒻᚑᛛⴚ
㪇㪍㪇㪋 ❫⛽⁁ၮ᧚䈱⵾❱㓸Ⓧൻ౒ㅢᛛⴚ㪇㪍㪇㪌 䊜䊷䉺⚖ᄢ㕙Ⓧ䉝䊤䉟䊜䊮䊃 ౒ㅢᛛⴚ䊒䊨䉶䉴ㅪ⛯ൻ 㪇㪍㪇㪍 ❫⛽⁁ၮ᧚ㅪ⛯ᓸ⚦ടᎿ ౒ㅢᛛⴚᛛⴚ㪇㪍㪇㪎 ᄢ㕙Ⓧශ೚䈱䊧䉳䉴䊃䊧䊷 ౒ㅢ䉲䊢䊮䋨㊀䈰ว䉒䈞䋩ᛛⴚ㪇㪍㪇㪏 䊅䊉䉟䊮䊒䊥䊮䊃ㅪ⛯ᚑᒻᛛ ౒ㅢⴚ䋨฽䉃䊨䊷䊤䊷ᑼォ౮ᛛⴚ䋩㪇㪍㪇㪐 ㅪ⛯㪜㪙䊒䊨䉶䉴ᛛⴚ౒ㅢ೨䊶ᓟಣ ⴫㕙ᷡᵺൻᛛℂᛛⴚ ⴚታⵝᛛⴚ ⚵┙ᛛⴚ㪇㪍㪈㪇 ㅪ⛯㪝㪠㪙䊒䊨䉶䉴ᛛⴚ౒ㅢ㪇㪎㪇㪈 ᭴ㅧ⴫㕙ᵞᵺᛛⴚ౒ㅢ㪇㪏㪇㪈 㜞♖ᐲ૏⟎᳿䉄ᛛⴚ౒ㅢ㪇㪏㪇㪉 㪤㪜㪤㪪䍃ඨዉ૕౒ሽ䈱ធว䊶 ౒ㅢ
⚵┙ᛛⴚ
ធวᛛⴚ
㪇㪏㪇㪊 ૐ᷷䊶ૐᔕജធวᛛⴚ
శ䇮ή✢ㅢା䇮䊋䉟䉥䇮౒ㅢ
䊌䉾䉬䊷䉳ᛛⴚ 㪇㪏㪇㪋 ኽᱛᛛⴚశ䇮䉣䊈䊦䉩䊷䇮䉶䊮䉰䇮
౒ㅢ㪇㪏㪇㪌 㜞ᐲታⵝᛛⴚ
౒ㅢ㪇㪏㪇㪍 䊃䊥䊚䊮䉫ᛛⴚ䉶䊮䉰㪇㪏㪇㪎 䉦䉾䊁䉞䊮䉫ᛛⴚ౒ㅢᬌᩏ䊶⹏ ฦ⒳ᬌᩏ䊶⹏ଔ 㪇㪐㪇㪈 ᒻ⁁᷹ቯᛛⴚ౒ㅢଔᛛⴚ ᛛⴚ
㪇㪐㪇㪉 ᒝᐲ╬䊂䊋䉟䉴․ᕈ⹏ଔᛛ ౒ㅢⴚ㪇㪐㪇㪊 䉲䉴䊁䊛ା㗬ᕈ⹏ଔᛛⴚ ή✢ㅢା㪇㪐㪇㪋 ↢૕ᖱႎ⹏ଔᛛⴚ

䊋䉟䉥䇮
ක≮䊶⑔␩
㪇㪐㪇㪌 ᓸዊ㗔ၞ䈮䈍䈔䉎‛ℂ㊂⸘ ౒ㅢ᷹ᛛⴚ㪇㪐㪇㪍 ᬌᩏ⹏ଔ↪⸃ᨆᛛⴚ౒ㅢ⸳⸘䊶⸃ 㪤㪜㪤㪪䉲䊚䊠ᨆᛛⴚ 䊧䊷䉲䊢䊮ᛛⴚ㪈㪇㪇㪈 ᯏ᭴⸃ᨆᛛⴚ

౒ㅢ㪈㪇㪇㪉 䊒䊨䉶䉴⸃ᨆᛛⴚ౒ㅢ㪈㪇㪇㪊 䉲䉴䊁䊛ൻ⸃ᨆᛛⴚ

౒ㅢ䊙䊦䉼䉴䉬䊷䊦 㪈㪇㪇㪋 䊅䊉㪆䊙䉟䉪䊨㪆䊙䉪䊨⸃ᨆ䊝 ౒ㅢ䉲䊚䊠䊧䊷䉲䊢䊮
䊂䊥䊮䉫ᛛⴚ
ᛛⴚ䊙䊦䉼䊐䉞䉳䉪 㪈㪇㪇㪌 㔚႐䊶⏛႐䊶᭴ㅧ䊶ᾲ䊶ᵹ૕䉴䉲䊚䊠䊧䊷䉲䊢
䈱ㅪᚑ⸃ᨆᛛⴚ
䊮ᛛⴚ䊂䊷䉺䊔䊷䉴᭴ 㪈㪇㪇㪍 ᧚ᢱ䊶⇇㕙䊶䊒䊨䉶䉴▽㪈㪇㪇㪎 ⍮⼂
⵾ㅧ䉲䉴
䊁䊛ᛛⴚ

౒ㅢ

౒ㅢ
౒ㅢ

㪈㪈㪇㪈 ᄙຠ⒳ዋ㊂䊶⋭䉣䊈䊶䊐䊧䉨 ౒ㅢ䉲䊑䊦ടᎿ䉲䉴䊁䊛ᛛⴚ

㪍㪏㪍

౒ㅢ

㪇㪈㪇㪎 ή៊்ടᎿᛛⴚ

ಽ㊁

౒ㅢ

䊋䉟䉥

ή✢ㅢା

౒ㅢ

㪇㪈㪇㪍 㕖䉲䊥䉮䊮᧚ᢱടᎿ ౒ㅢᛛⴚ㪇㪈㪇㪌 䉡䉣䊊䊧䊔䊦ဋ৻䉣䉾䉼䊮䉫ᛛⴚ

㪇㪈㪇㪋 㜞♖ᐲᓸ⚦䉣䉾䉼䊮 ౒ㅢ䉫ᛛⴚ㪇㪈㪇㪊 䊂䉞䊷䊒䊄䊤䉟䉣䉾䉼 ౒ㅢ䊮䉫ᛛⴚ㪇㪈㪇㪉 㜞䉝䉴䊕䉪䊃Ყ䊅䊉䊃 ౒ㅢ䊧䊮䉼ടᎿᛛⴚ

㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚ㪥㫆㪅
㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴
ಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉䉣䉾䉼䊮 㜞♖ᐲ䊶 㪇㪈㪇㪈 㜞䉝䉴䊕䉪䊃Ყ⽾ㅢ
䉫ᛛⴚ
ᓸ⚦䉣䉾
ሹᒻᚑᛛⴚ
䉼䊮䉫ᛛ
ⴚ
ᜰᮡ

䉩䊞䉾䊒᏷

䉝䉴䊕䉪䊃Ყ
䋨ᷓ䈘㪆ሹᓘ䋩䉝䉴䊕䉪䊃Ყ

ಽጘᢙ

䉲䊐䊃㊂

ടᎿㅦᐲ

㪇㪅㪉㱘䌭

㪇㪅㪉㱘䌭

㫉㫄㫊㪔㱗㪆㪉㪇

㪈㪌㪇䋺㪈㪈㱘㫄㪆㫄㫀㫅

㪓㪈㪇㪜㪈㪈
㪓㪈㪇㪜㪈㪈
㪓㪈㪇㪜㪈㪈
㪓㪈㪇㪜㪈㪈

㪓㪈㪇㪜㪈㪊
㪓㪈㪇㪜㪈㪊

㪇㪅㪈㫅㫄㪓㪈㪇㪜㪈㪊

㪇㪅㪌㫅㫄㪈㪇㪇㪇䋺㪈

㪉㪇㪇䋺㪈㪌㫅㫄㪓㪈㪇㪜㪈㪊

㪈㫅㫄ടᎿ᏷䈱䋵䋦䈅䉎䈇䈲䉰䊑䊚䉪䊨䊮એౝ

㪍㪏㪎

㪈㪇㫅㫄

㪉㪇

㪈㪇㱘㫄㪆㫄㫀㫅

㪈㪋

㪈㪉

㪈㩼

㪉㱘㫄㪆㫄㫀㫅

㪊㩼

㪋㩼

㪌㪇㫅㫄

㪈㪋

㪈㪉

㪉㪇

㪈㪇㪇

㪈㪇㪇
ේሶ䉥䊷
䉻䊷

㱗㪆㪌㪇

㪇㪅㪈㱘㫄એਅ

㪌㪇㪇㪌㪇㪇㪌㪇㱘㫄㪆㫄㫀㫅

㪇㪅㪉㱘㫄

㪇㪅㪉㱘㫄

㪌㪇㪇
㪉㪇㪇㪆㪇㪅㪉㪌

㪈㫅㫄

㪌㪇

㪉㪇㪉㪌ᐕ
㪇㪅㪈㩷㱘㫄
⺋Ꮕૐᷫ

㪌㪇㫅㫄

㱗㪆㪊㪇

㪇㪅㪈㱘䌭

㪉㪌㪇

㪉㪌㪇

㪉㪇㪈㪌ᐕ

㪈㪇㪇㫅㫄

㪇㪅㪈㱘䌭

㪉㱘㫄

㪉㱘㫄

㪈㱘㫄

㪉㪇㪈㪋ᐕ

㪈㪇㪇㫅㫄

㪈㪇㪇㪇㫄㫄

ᦛ₸ඨᓘ

㱗㪆㪉㪌

㪌㪇

㪉㪇

㪈㪇㪇

㪈ᧄ㸢㪋ᧄ
㪌㪇

㪈ᧄ㸢㪉ᧄ

㪊㪇㱘㫄㪆㫄㫀㫅

㪈㱘㫄
㪉㪇㪇
㪉㪇㪇㪆㪈

㪉㪇㪈㪊ᐕ

㪈㪇㪇㪇㱘㫄

㪈㪇㪇

㪉㪇㪈㪉ᐕ

㪌㪇㪇㱘㫄

㪉㪌㱘㫄㪆㫄㫀㫅

㪊㱘㫄

㪌㱘㫄

㪉㱘㫄

㪉㪇㪈㪈ᐕ

㪊㱘㫄

㪈㪌㪇
㪉㪇㪇㪆㪈㪅㪌

㪉㪇㪈㪇ᐕ

㪌㱘㫄

㪉㪇㪇㪐ᐕ

㪌㱘㫄

㪌㱘㫄

㪉㪇㪇㪏ᐕ

㱗㪔଀䈋䈳㪍㪏㪇㫅㫄䈫ᗐቯ㪌㪉㪇㱘㫄㪆㫄㫀㫅

㪈㪇㪇
㪉㪇㪇㪆㪉

㪉㪇㪇㪎ᐕ

஥ო㕙ᒻ⁁⹏ଔ ᦛ₸ඨᓘ䋨㪧㪭୯䊶ᦛ₸ඨᓘ㪈㪇㪇㫄㫄䈭䈬䋩ᓸ⚦䉩䊞䉾䊒㑆㓒䈱 㪣㫀㫅㪼㩷㪸㫅㪻㩷㫊㫇㪸㪺㪼
㪈㪇㪇㫅㫄
❗ዊൻ
䉝䉴䊕䉪䊃Ყ
㪈㪇ᷓជ䉍ടᎿ䈱ᐩ㕙ᐔ ⴫㕙ᐔမᕈṖൻ㪉㪄㪊㫅㫄䉡䉣䊊㕙ౝ䈱䉣䉾䉼 䉡䉣䊊䉰䉟䉵㪏䊮䉫䈱ဋ৻ൻ
䋨䉟䊮䉼䋩ဋ৻ᐲ㪌㩼ᄢ㕙Ⓧൻ䇮䊅䊉᭴ㅧ 䉡䉣䊊䉰䉟䉵䉣䉾䉼䊮䉫䋨䉧䊤䉴䋩 䋨䉟䊮䉼䋩㪏ᄢ㕙Ⓧ䊅䊉䊌䉺䊷䊮 ⸃௝䊌䉺䊷䊮䋨Ბ ᲑᏅ䋽㪌㪇㱘㫄ടᎿᛛⴚ䋨䊅䊉䊶䊙䉟 Ꮕ⁁䈱䉴䊁䉾䊒䈱㪉㪇㪇㫅㫄䉪䊨ടᎿᛛⴚ䋩⸃௝ᐲ䋩㕖䉲䊥䉮䊮♽ᣂ᧚ᢱ ടᎿㅦᐲ
䋨㊄ዻ䊶䉶䊤䊚䉾䉪䉴㪇㪅㪈㪄㪇㪅㪍㱘㫄㪆㫄㫀㫅
╬䋩䈱ടᎿ
ടᎿㆬᛯᲧ
㪈㪇㪇䋺㪈
ടᎿ㕙☻䈘䋨㪩㫄㪸 ടᎿ᏷䈱㪈㪇㩼䈅䉎䈇䌸䇮㪩㪸╬䋩
䈲㪈䊚䉪䊨䊮એౝ㪉㪄㪊㫅㫄ή៊்ਇ⚐‛ዉ౉ ᰳ㒱ኒᐲ㩿୘㪺㫄㪄ᛛⴚ㩿䉲䊥䉮䊮䋩
㪓㪈㪇㪜㪈㪌
ή៊்᦭ᯏಽሶ⴫ ᰳ㒱ኒᐲ㩿୘㪺㫄㪄㕙ಣℂ䊶ടᎿᛛⴚ
㩿䉲䊥䉮䊮䋩
㪓㪈㪇㪜㪈㪌
ή៊்㪚㪥㪫⴫㕙ಣ ᰳ㒱ኒᐲ㩿୘㪺㫄㪄
ℂ䊶ടᎿᛛⴚ
㩿䉲䊥䉮䊮䋩
㪓㪈㪇㪜㪈㪌
ή៊்䉪䊥䊷䊆䊮䉫 ᰳ㒱ኒᐲ㩿୘㪺㫄㪄ᛛⴚ㩿䉲䊥䉮䊮䋩
㪓㪈㪇㪜㪈㪌

஥ო㕙䈱☻䈘䊶ᐔ㕙 ⴫㕙☻䈘ᐲะ਄ᢳ䉄ᣇะ䈻䈱⽾ㅢሹᒻᚑᓸዊ䉩䊞䉾䊒ᷓၳ䉍⽾ㅢሹᒻᚑ䈱㜞ㅦൻ⽾ㅢሹ䈱ᄌᒻടᎿ
ൻ䊏䉾䉼䉡䉣䊊䊧䊔䊦⽾ㅢሹ 䉝䉴䊕䉪䊃Ყᒻᚑ䋨ᷓ䈘㪆ሹᓘ䋩ሹᓘ⽾ㅢሹᒻᚑ䈱⁜䊏䉾 ടᎿ♖ᐲ䉼ൻടᎿ⺋Ꮕ䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪈䋯㪈㪉䋩⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩㪤㪜㪤㪪శ䉴䉨䊞䊅䋨䋱ᰴర䌾䋳ᰴర䋩䇮䉶䊤䊚䉾䉪䉴⴫㕙䈱䋳ᰴరടᎿ䈲⋥䈓ਅ䈮฽䉁䉏䉎㪤㪜㪤㪪ో⥸䋨శ䇮㪩㪝㪃䊌䊪䊷䇮
䊐䉜䉟䊮䋩

䊋䉟䉥ಽᨆ

ᄙᯏ⢻ᖱႎ៤Ꮺ䊝䊋䉟䊦┵ᧃᄙᯏ⢻ᖱႎ៤Ꮺ䊝䊋䉟䊦┵ᧃ㪤㪜㪤㪪஍ะ䊚䊤䊷䇮䊚䊤䊷䉝䊧䉟䋨䉴䉨䊞䊅䈪䈭䈒䇮૏⟎᳿䉄䈪䈐䉎䉺䉟䊒䋩䇮㪤㪜㪤㪪శ䉴䉨䊞䊅䋨䋱ᰴర䌾䋳ᰴర䋩❑ဳ㕒㔚ኈ㊂䉶䊮䉰䊷㜞ᕈ⢻ᰏᱤ䉝䉪䉼䊠䉣䊷䉺䉡䉣䊊䊧䊔䊦䊌䉾䉬䊷䉳䊮䉫᭴ᚑ䈪䈱౒ㅢၮ⋚ᛛⴚ䇯శಽ㊁䈱䊡䊎䉨䉺䉴䊙䉟䉪䊨㗼ᓸ㏜ⷰ
ኤน⢻ⴊᵹ㊂ಽᏓ䉶䊮䉰䇮䊙䉟䉪䊨䊅䊉䉥䊷䉻ᄌ૏⸘᷹䉶䊮䉰䇮䊙䉟䉪䊨䊚䊤䊷ᔕ↪䊂䊋䉟䉴䉅౒ㅢ䈮฽䉄䈢䇯

‛ℂ㊂䉶䊮䉰╬䌉䌃䈮䉋䉎ାภ
ಣℂ䉕᦭䈜䉎䌍䌅䌍䌓⵾ຠ㕙♖ᐲᚑ⤑ᛛⴚ 㜞ຠ૏㪇㪉㪇㪈 ᯏ⢻ᕈ᧚ᢱෘ⤑ᒻ
ෘ䊶⭯⤑
ᚑᛛⴚ
ᚑ⤑ᛛⴚ

౒ㅢ

䌌䌓䌉䊒䊨 㪇㪈㪈㪌 䌍䌅䌍䌓䊶ඨዉ૕౒ሽ ౒ㅢ䉶䉴Ⲣว᭴ㅧ䈱ૐ៊்䉣䉾䉼
䉻䊜䊷䉳
䊮䉫ᛛⴚ
䊐䊥䊷䉣䉾
䉼䊮䉫ᛛ
ⴚ

౒ㅢ

㪇㪈㪈㪋 䊅䊉䊒䊨䊷䊑䊶䉣䉾䉼 䊋䉟䉥䇮ᖱႎㅢ䊅䊉䊒ା䊮䉫ടᎿᛛⴚ
䊨䊷䊑ട
Ꮏᛛⴚ

㪉㪇㪈㪈ᐕ

ゲ๟䉍䋫ᱜ
㕙
┙૕䈱਄
ᐔ㕙ㇱ

㪉㪇㪈㪉ᐕ

㪉㪇㪈㪊ᐕ

ᦛ₸ඨᓘ䋨♖ᐲ䈲㪉㩼એౝ䈪䋩
㪈㪇㱘㫄
ኻ⽎㕙ᢙ
䋱ゲ๟䉍ో
ᐔ㕙䋨⴫ⵣ㕙䋩
ᣇ૏⃿㕙䉡䉢䉾䊃䈮䉋䉎㪪㫀䈭䈬䈱⍮䉌䉏䈢᧚ᢱ

⋥ᓘ㪏㫅㫄䇮
䉝䉴䊕䉪䊃㪈㪇

㪈㱘㫄ⷺ䊂䊝䊮䉴䊃䊧䊷䉲䊢䊮 ᒻ⁁䈱⛔
⸘⊛⹏ଔ㪝㪠㪙㪑㪌㪇㫅㫄

㪜㪙㪑㪈㪇㫅㫄

ᐢ䈇ᯏ⢻ᕈ
᧚ᢱ䈱⚵
䉂ว䉒䈞

㪊㱘㫄ⷺ

䉼䊮䉫

㪇㪅㪌㱘㫄
ု⋥㕙䈮 ု⋥㕙䈮㫎㪼㫋╬ᣇ䊶 㪻㫉㫐╬ᣇᕈ⇣ᣇᕈ䉣䉾 䉣䉾䉼䊮䉫

㪉㪇㪈㪋ᐕ

⋥ᓘ
㪈㪇㪇㫅㫄䇮䉝
䉴䊕䉪䊃㪈㪇㪇

ή៊்㪪㫀

㪈㪇㱘㫄ⷺ

㪍㪏㪏

㪌㪇㫅㫄
ု⋥㕙䈮㪻㫉㫐⇣ᣇᕈ䉣䉾䉼䊮䉫┙૕䈱ᐩ㕙ㇱ

㪇㪅㪈㱘㫄

㪉㪇㪉㪌ᐕ

⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩

㪌㫄㫄

㪌㪇
㪌㪇ጀ

㪈㫄㫄
㪈㪇㪇㱘㫄
㪆㫄㫀㫅
㪈㪇
㪈㪇ጀ

䉝䉪䉼䊠䉣䊷䉺ో⥸䋺ᣥ䇮㪤㪜㪤㪪஍ะ䊚䊤䊷䇮䊚䊤䊷䉝䊧䉟䋨䉴䉨䊞䊅䈪䈭䈒䇮૏⟎᳿䉄䈪䈐䉎䉺䉟䊒䋩䇮㪤㪜㪤㪪శ䉴䉨䊞䊅䋨䋱ᰴర䌾䋳ᰴర䋩

㪊P㫄㪆㫄㫌㫃㫋㫀 㪌㫄㫄㪆㫄㫌㫃㫋㫀㩷㫄㪸㫋㪼㫉㫀㪸㫃 ੱᎿ⿥ᩰሶ䇮䊜䊝䊥䇮䉶䊮䉰㫄㪸㫋㪼㫉㫀㪸㫃

㪌㪇㫅㫄
㪈㪇㫅㫄

㪇㪅㪈㱘㫄
㪋㪌㫅㫄

㪌㪇㪇

㪉㪌㪇

㪈㫅㫄

䊡䊎䉨䉺䉴䉶䊮䉰䊷䉼䉾䊒䇮䊝䊋䉟䊦ᯏེ┵ᧃ↪䉶䊮䉰䉼䉾䊒෸䈶㪩㪝㪤㪜㪤㪪䇮ゞタ↪䉶䊮䉰䇮ක≮੺⼔↪䊋䉟䉺䊦䉰䉟䊮䉶䊮䉰㪉㪅㪌㪜㪐ᧄ㪆㪺㫄㪉એ਄ታ↪ൻ䊧䊔䊦

㪉㪅㪌㪜㪐ᧄ㪆㪺㫄㪉

㪌㱘䌭䊏䉾䉼

㪍䉟䊮䉼ၮ᧼ో㕙䈪 䊒䊨䊷䊑䊜䊝䊥䇮⿛ᩏဳ䊙䊦䉼䊒䊨䊷䊑㗼ᓸ㏜㫧㪈㫅㫄ಽሶ⹺⼂䉼䉾䊒䇮䊅䊉ẢṖ⤑㪣㪪㪠䊙䉴䉪䊌䉺䊷䊮ୃᱜ㪣㪪㪠䊌䉺䊷䊆䊮䉫ታⵝㇱຠ․ᱶ䊒䊥䉵䊛䈭䈬┙૕⊛䊅䊉శቇ⚛ሶ㪤㪜㪤㪪ో⥸䋨శ䇮㪩㪝㪃䊌䊪䊷䇮䊐䉜䉟䊮䋩䊙䉟䉪䊨䉺䊷䊎䊮䇮ᵹ૕䊂䊋䉟䉴

㓸Ⓧ㪩㪝㪄㪤㪜㪤㪪㫧㪈㫅㫄ᯏ⢻ᕈ᧚ᢱ䈱⚵䉂ว䉒䈞䈮䉋䉎䊂䊋䉟
䉴ടᎿ

㪌㪇㱘㫄ⷺ
ᷓ䈘䇮⋥ᓘ䇮๟ᦼ䈱䈳䉌䈧䈐ේሶ䊧䊔䊦䈧䈭䈑♖ᐲ 䈧䈭䈑♖ᐲ㪌㫅㫄
㪉㪇㫅㫄

┙૕䈱ᦛ
㕙ㇱ

ోᣇ૏

㪉㪇㪈㪌ᐕ

ဋ৻ᕈะ਄

㜞ㅦൻ㪆ᄢ㕙Ⓧൻ

㪇㪅㪈㱘㫄

㪈㱘㫄

䊅䊉䊒䊨䊷䊑䉣䉾䉼䊮 వ┵ㇱടᎿ♖ᐲ䉫ᒻᚑ䈮䈍䈔䉎㜞ኒ 䋨㕙ౝဋ৻ᕈ䋩
㫧䋱㪇㫅㫄
㫧㪌㫅㫄
ᐲൻ䊶ဋ৻ൻ
หᤨടᎿᢙ䋨䊒䊨䊷䊑ᢙ㪈㪜䋱㪜㪍ᧄ㪆㪺㫄㪉
㪏ᧄ㪆㪺㫄㪉
⏴⠻ኼ๮䋨ᤨ㑆䋩
㪉㪌㪇㪇㪇
ᤨ㑆
㪌㪇㪇㪇⑽
ᄢ㕙Ⓧ㜞ኒᐲ䊙䊦䉼 ኒᐲ
㪉㪇㱘㫄
㪉㪇㱘㫄
㪈㪇㱘㫄
䊒䊨䊷䊑ടᎿᛛⴚ
䊏䉾䉼
䊏䉾䉼
䊏䉾䉼
㪉㪇㱘㫄䊏䉾䉼
㕙Ⓧ
㪋䉟䊮䉼
㪋䉟䊮䉼
㪍䉟䊮䉼
ⵍടᎿ㗔ၞ䈱៊் ඨዉ૕㗔ၞ䈱೥
䉏㊂
䈱ૐᷫ
㪈㪇㫅㫄
㪌㫅㫄
㪤㪜㪤㪪ടᎿㇱ䈱ᦨᄢ䉝䉴䊕䉪䊃Ყ㪉㪅㪌㪉㪇㪈㪇㪇㪤㪜㪤㪪ㇱ䈱ᦨዊട
Ꮏኸᴺ
㪉㱘㫄
㪇㪅㪌㱘㫄
㪇㪅㪈㱘㫄
ᷙタ㪣㪪㪠䈱ടᎿኸ
ᴺ
㪊㪌㪇㫅㫄
㪈㪏㪇㫅㫄
㪐㪇㫅㫄
ᯏ⢻ᕈ⤑䈱ෘ⤑ൻ䈫 ⤑ෘ᧚ᢱ䈮䉋䈦䈩⇣䈭䉎䈱䈪૗䈫䉅⸒䈋䈭䈇䈏䇮㪈㫄㫄ⷺ⒟ᐲ䉁䈪䍨䍼䍷䍖᧚䈪น⢻䈫䈇䈉೨ឭ䈪㵺㜞ㅦൻ䊶㜞ຠ⾰ൻ
㪌㪇㱘㫄
㪈䋰㪇㱘㫄
㪌䋰㪇㱘㫄
㪌㪇㱘㫄
ᚑ⤑ㅦᐲ
㪈㪇㱘㫄
㪆㫄㫀㫅
㪆㫄㫀㫅
㊂↥䊧䊔䊦䇮⏛ᕈ᧚ᢱ䉕ᗐቯ䉝䉴䊕䉪䊃Ყ
㪊
㪌
ᄙጀൻ
㪋ጀ
㪉ጀ
ᱷ⇐ᔕജૐᷫ㩿ᓇ ᦛ₸ඨᓘ
ᦛ₸ඨᓘ
㗀䋩
㪌㪇㪇㫄㫄
㪈㪇㪇㪇㫄㫄
㜞㈩ะൻ
㪈㫄㫄㪆㫊㫀㫅㪾㫃㪼㩷㫄㪸㫋㪼㫉㫀㪸㫃
㪊P㫄㪆㫊㫀㫅㪾㫃㪼㩷㫄㪸㫋㪼㫉㫀㪸㫃᧚ᢱㆬᛯ䈱᏷

㪇㪈㪈㪉 䊅䊉䊏䊤䊷ᒻᚑᛛⴚ ౒ㅢ㪇㪈㪈㪊 䊅䊉䊘䊷䊤䉴ᒻᚑᛛ ౒ㅢⴚዪᚲ䋨䉣䉾䉼䊮䉫䋩㒰 ᦨዊടᎿ䉰䉟䉵෰ടᎿ䋲ᰴర⴫㕙ಽሶ⤑ᛛ ήᰳ㒱䇮䉅䈚䈒䈲ⴚᰳ㒱೙ᓮ䉰䉟䉵䈱೙ᓮᕈ

㪌㱘㫄

㪉㪇㪈㪇ᐕ

䉴䉨䊮䊂䊒䉴䈱㪈㪆㪊એਅ┙૕䈻䈱䉝䊤䉟䊜䊮䊃ᛛⴚ㪉㪇㪇㪐ᐕ䉴䉨䊮䊂䊒䉴䈱㪈㪆㪉એਅ㪉㪇㪇㪏ᐕ䉴䉨䊮䊂䊒䉴䈱㪈㪆㪊એਅ㪉㪇㪇㪎ᐕ䉴䉨䊮䊂䊒䉴䈱㪈㪆㪉એਅ㪈㱘㫄ടᎿ㕙䈱⥄↱ᐲ䇮 ᢳ㕙䈮㪻㫉㫐⇣ᣇᕈ
ု⋥ო㕙
䉣䉾䉼䊮䉫

┙૕਄䈻䈱ᒻ⁁ォ౮䊜䉦䊆䉦䊦䊥䉸䉫䊤䊐䉞䊷䋳ᰴరశ䊥䉸䉫䊤
䊐䉞䊷ᛛⴚടᎿน⢻䈭ᣇะ
䋨㕙䋩┙૕ᒻ⁁⴫㕙䈻䈱
䊌䉺䊷䊮ᒻᚑ

⥄↱ᦛ㕙ടᎿ

䊙䉴䉪䊧䉴䉻䉟䊧䉪䊃 ᦨዊ✢᏷䋯䉴䊥䉸䉫䊤䊐䉞䊷
䊕䊷䉴౒ㅢ㪇㪈㪈㪇 ┙૕᭴ㅧ਄䈻䈱䊌䉺䊷䊮ᒻᚑᛛⴚ

ᜰᮡ⴫㕙㕙♖ᐲ䋨䌲䌭
䌳䋩๟ᵄᢙ㪍㪇㪞㪟㫑
┙૕㈩✢ᒻᚑ䈱㜞 ⴫㕙㕙♖ᐲ䋨䌲䌭ㅦൻ䈍䉋䈶㜞♖ᐲൻ 䌳䋩䋨┙૕㈩✢ᒻᚑ䈱⏕๟ᵄᢙ㪍㪇㪞㪟㫑
┙䋩䋳ᰴర⴫㕙ടᎿ

㪇㪈㪈㪈 䉲䊮䉫䊦䊘䉟䊮䊃䊒䊨 ౒ㅢ
䉶䉴ᛛⴚ

䉣䊈䊦䉩䊷

㪇㪈㪇㪐 ⥄↱ᦛ㕙ടᎿᛛⴚ㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚ㪥㫆㪅
㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴
ಽ㊁ಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉䋳ᰴర䊅 㪇㪈㪇㪏 䋳ᰴర⴫㕙ടᎿᛛⴚ ή✢ㅢା
䊉᭴ㅧᒻ
ᚑᛛⴚ

䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪉䋯㪈㪉䋩㪣㪪㪠䊒䊨䉶
䉴Ⲣวᚑ
⤑ᛛⴚ

䋳ᰴర䊅
䊉᭴ㅧᒻ
ᚑᛛⴚ

㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉

㪇㪉㪇㪏

㪇㪉㪇㪎

㪇㪉㪇㪍

㪇㪉㪇㪌

㪇㪉㪇㪋

㪇㪉㪇㪊

㪇㪉㪇㪉

㪥㫆㪅

ή✢ㅢା

ಽ㊁

䌍䌅䌍䌓䊶ඨዉ૕౒ሽ ౒ㅢ᭴ㅧ䈱ૐ䉴䊃䊧䉴䊶㜞⠴ਭᕈ⭯⤑ᒻᚑᛛ
ⴚ䊅䊉䊏䊤䊷䋯䊄䉾䊃ᒻ ౒ㅢᚑᛛⴚ䊅䊉䊘䊷䊤䉴⤑ᒻᚑ ౒ㅢᛛⴚ䉲䊮䉫䊦䊘䉟䊮䊃䊒䊨 ౒ㅢ
䉶䉴ᛛⴚ

౒ㅢ

䋳ᰴరᒻ⁁⴫㕙਄ᚑ శ
⤑ᛛⴚ

౒ㅢ

ή✢ㅢା

ᐔṖ䊶ૐᱷ⇐ᔕജ⭯ శ⤑ᒻᚑᛛⴚ㪄䋳ᰴరૐ᷷ᚑ⤑ᛛⴚ

ᯏ⢻ᕈ᧚ᢱ䊅䊉⭯⤑ ቟ᔃ䊶቟ో䇮Ⅳᄙጀᒻᚑᛛⴚ
Ⴚ䇮䉣䊈䊦䉩䊷

㕖⌀ⓨ⭯⤑ᒻᚑᛛⴚ ቟ᔃ䊶቟ో䇮ⅣႺ䇮䉣䊈䊦䉩䊷

㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴

ၮ᧚

㕙Ⓧ

⤑ෘ䉉䉌䈑

䉲䊷䊃䇮䊒䊧䊷䊃

㪈㩼એਅᦨዊടᎿ䉰䉟䉵
䋨ᦨዊ✢᏷䋯
㩷㩷䉴䊕䊷䉴䋩

⠴ਭᕈ⭯⤑ᒻᚑ

㪇㪅㪉䌾
㪌㱘㫄

㪋㪇㪇㫅㫄

㪈㱘㫄ⷺ

㪇㪅㪉㪞㪧㪸
⠴∋ഭ䊶ๆḨ䊶ㅘḨᕈ䋨․ᕈᄌൻ₸㪈㩼㪆㪈㪇ᐕ䋩ᷙタ㪣㪪㪠䈱ടᎿኸᱷ⇐ᔕജૐ䉴䊃䊧䉴䋨ᔕജ䋩⭯ ᒻᚑ⤑ෘ⤑ᒻᚑ䉰䉟䉵䈱೙ᓮᕈ

䋲ᰴర⴫㕙ಽሶ⤑ᛛ ήᰳ㒱䇮䉅䈚䈒䈲
ᰳ㒱೙ᓮ
ⴚ
ሹᓘ
⚦ሹᓘ೙ᓮᛛⴚ

䊅䊉ᯏ᪾ടᎿ
䋨㔚⇇㉄ൻ䋩

䊅䊉⚦ሹౝო䈻䈱⭯ 䉝䉴䊕䉪䊃Ყ⤑ᒻᚑ㩿ሹᓘ㪆ᷓ䈘㪀

࿶㔚⭯⤑ᒻᚑ

㪈㱘㫄⤑ෘ䋯䈵䈝䉂㊂ 㪊㱘㫄䋯㪇㪅㪇㪇㪈㩼䋨䌤㪊㪈䋩㩿㪄㪈㪇㪇㫇㫄㪆㪭㪀㜞ಽሶ࿶㔚⭯⤑ᒻ ᓸ⚦ൻ䋯⊒↢ജᚑ㪈㫄㫄ⷺ䋯㪇㪅㪈㪤㪧㪸䋳ᰴరᒻ⁁⴫㕙䈻䈱 ᲑᏅ
㜞ኒᐲ㈩✢
㪌㪇㱘㫄
ᦨዊ✢᏷䋯䍛䍫䍽䍎䍛㪉㪇㪆㪉㪇㱘㫄

䉩
䉩䊞䉾䊒㊂
䊒㊂

䊅䊉䉨䊞䊌䉲䉺䈱ᄙ ጀᢙ䊶⺃㔚₸ጀൻ䊶㜞⺃㔚₸ൻනጀ䊶㪈㪇㪇
⺃㔚૕ᄙጀ⤑䈮䉋䉎 ᐔဋಽశ෻኿₸㜞෻኿₸䇮ૐᔕജ⤑㪐㪇㩼ᚑ⤑⤑䈱ౝㇱᔕജ䋨ၮ ᦛ₸ඨᓘ᧼䈱෻䉍䈮⟎䈐឵䈋䈩ᦛ₸ඨᓘ䈪 㪈㪇㪇㫄㫄್ᢿ䋩⤑䈱⴫㕙☻䈘䈫ᔕജ ⴫㕙☻䈘㩿㪩㪸㪀䈱೙ᓮ䋨‶†ጀ฽
㪈㪇㫅㫄
䉃䋩
⤑ෘ೙ᓮ

ඨዉ૕⿥ᩰሶ䈱᭴ㅧ೙ᓮ㪉㪇㪇㪎ᐕ䊋䊦䉪᧚䈮ኻ䈚
㪊㪇㩼
ᦛ₸ඨᓘ
㪌㪇㪇㫄㫄

ૐᔕജൻ䈫㜞ౣ⃻ᕈ㐿㐽࿁ᢙ㩿㜞⠴ਭᕈធὐ᧚ᢱ㪀
䋱㪇ం࿁
⒖േᐲ㪈㪺㫄㪉㪆㪭㫊㪼㪺䋨ቶ᷷䋩
ၸⓍ㕙Ⓧ
ဋ৻ᐲ

ᱷ⇐⏛᧤ኒᐲ

ᜰᮡ⏛ᕈ᧚ᢱ䈱㜞ຠ⾰ൻ㈩✢᧚ᢱ䈱㜞ຠ⾰ൻ㔚᳇ធὐ䈱⠴ਭᕈะ਄ᯏ⢻䋨㔚ሶ᧚ᢱ䋩ᯏ⢻䋨ᯏ᪾䇮శቇ䋩

㪉㪇㪇㫅㫄
ᒻ⁁䈱⛔
⸘⊛⹏ଔ

㪈㪇㪇㱘㫄

㪓㪈㫅㫄
ᢙ㪈㪇㪇
㱘㫄ⷺ

㪎㪇㩼
ᦛ₸ඨᓘ
㪈㪇㪇㪇㫄㫄

㪉㪇㪇㪏ᐕ

㪉㪇㪈㪇ᐕ

㪉㪇㪈㪈ᐕ

㪉㪇㪈㪉ᐕ

㪉㪇㪈㪊ᐕ

㪇㪅㪈㩼એਅ

㪌㫅㫄㪈㪇㪇㪇㫄㫄

㪐㪌㩼
ᦛ₸ඨᓘ

㪍㪏㪐

㪇㪅㪌㪇㩼

㪇㪅㪈㪞㪧㪸

㪇㪅㪈䌾
㪈㪇㱘㫄

㪈㪇㪇㫅㫄

㪈㪇
䋨㪈㱘㫄㪆
㪈㪇㱘㫄䋩

㪈㪇㪆㪈㪇㱘㫄

⥄Ꮖ⚵❱
ൻᚻᴺ䈮䉋䉎㪌㪇㫅㫄એ
ਅ䈱ဋ৻䊅
䊉䊄䉾䊃

㪊㱘㫄ⷺ

㪌㪇㫅㫄

㪈㪇㪇㱘㫄ⷺ䋯㪈㪤㪧㪸㪇㪅㪊㱘㫄㪌㱘㫄䋯㪇㪅㪇㪇㪌㩼㩿㪄㪊㪇㪇㫇㫄㪆㪭㪀㪊ጀ䊶㪊㪇㪇

䋱㪇㪇ం࿁

㪇㪅㪉㪇㩼

㪇㪅㪈䌾
㪉㪇㱘㫄

ൻᚻᴺ䈮䉋 ൻᚻᴺ䈮䉋䉎㪈㪇㪇㫅㫄એ 䉎㪈㪇㫅㫄એਅ䈱ဋ৻䊅 ਅ䈱ဋ৻䊅
䊉䊏䊤䊷
䊉䊄䉾䊃

㪈㪇㱘㫄ⷺ
⥄Ꮖ⚵❱
ൻᚻᴺ䈮䉋
䉎㪌㪇㫅㫄એ
ਅ䈱䊅䊉䊘
䉝
⥄Ꮖ⚵❱
⥄Ꮖ⚵❱

㪈㪇㪇
䋨㪇㪅㪈㱘㫄㪆
㪈㪇㱘㫄䋩

㪊㪇㪇㱘㫄

❫⛽䇮䉲䊷䊃䇮䊒䊧䊷䊃㪌㪺㫄㪉㪆㪭㫊㪼㪺䋨ቶ᷷䋩
㪈㫄㪉એ਄
㪈㪇㩼

㪈㪇㪇㩼
䋨ᦛ₸ඨᓘ䈲ⶄᢙ䈱⤑䈱✚ว⊛䈭ౝㇱᔕജ䈪᳿ቯ䈘䉏䉎䈫઒ቯ䋩㪉㪇㪇㪐ᐕ䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪊䋯㪈㪉䋩
㪉㪇㪈㪋ᐕ

㪉㪇㪉㪌ᐕ

㪇㪅㪈㪇㩼

㪇㪅㪈㫅㫄
ᷓ䈘䇮⋥ᓘ䇮๟ᦼ䈱䈳䉌䈧䈐ේሶ䊧䊔䊦㪌㪇㱘㫄ⷺ㜞ല₸ൻ䈫ᄢⷙᮨൻ

㪇㪅㪈䌾
㪋㪇㱘㫄

㪈㫅㫄

㪈㪇㱘㫄䋯㪇㪅㪇㪈㩼㩿㪄㪌㪇㪇㫇㫄㪆㪭㪀㪈㪇ጀ䊶㪈㪇㪇㪇

㪓㪇㪅㪈㫅㫄ᢙ㪈㪇㪺㫄ⷺ㪈㪇㱘㫄ⷺ䋯㪊㪤㪧㪸㪈㪇㪇㪇䋨㪇㪅㪈㱘㫄㪆
㪈㪇㪇㱘㫄䋩

㪌㪆㪌㱘㫄

㪌㪇㪇㱘㫄

㪇㪅㪈㱘㫄

㪇㪅㪌㫅㫄

㪌ጀ䊶㪌㪇㪇

㪓㪇㪅㪈㫅㫄ᢙ㪈㪇㪺㫄ⷺ䋱㪇㪇㪇ం࿁
㪈㪇㪺㫄㪉㪆㪭㫊㪼㪺䋨ቶ᷷䋩
㪈㫄㪉એ਄
㪌㩼

㪉㪇㪈㪌ᐕ

䊡䊎䉨䉺䉴䉶䊮䉰䊷䉼䉾䊒䇮䊝䊋䉟䊦ᯏེ┵ᧃ↪䉶䊮䉰䉼䉾䊒෸䈶㪩㪝㪤㪜㪤㪪䇮ゞタ↪䉶䊮䉰䇮ක≮੺⼔↪䊋䉟䉺䊦䉰䉟䊮䉶䊮䉰ಽሶ⹺⼂䉶䊮䉰䊷䉼䉾䊒䈭䈬䉝䉾䉶䊮䊑䊥䉕ⷐ䈜䉎䊙䉟䉪䊨ᯏ᪾䉲䉴䊁䊛䊐䉤䊃䊆䉾䉪⚿᥏䇮⭯⤑䈮䉋䉎෻ᔕ㗔ၞ䈱㜞ኒᐲൻ

㪤㪜㪤㪪஍ะ䊚䊤䊷䇮䊚䊤䊷䉝䊧䉟䋨䉴䉨䊞䊅䈪䈭䈒䇮૏⟎᳿䉄䈪䈐䉎䉺䉟䊒䋩䇮㪤㪜㪤㪪శ䉴䉨䊞䊅䋨䋱ᰴర䌾䋳ᰴర䋩ᯏ⢻ᕈ᧚ᢱෘ⤑ᒻᚑᛛⴚ䈱㜞ᕈ⢻࿶㔚⤑䈱ᒻᚑ䉅䈖䈱ਛ䈮ๆ෼ᄙᯏ⢻ᖱႎ៤Ꮺ䊝䊋䉟䊦┵ᧃฃേ⚛ሶౝ⬿ၮ᧼⫾㔚⚛ሶ㪤㪜㪤㪪䈮䉋䉎ᵄ㕙ᄌ⺞⚛ሶ䇮䉼䊠䊷䊅䊑䊦ಽశ⚛ሶ䉡䉢䉝䊤䊑䊦㔚Ḯ䉲䊷䊃ဳஜᐽ▤ℂ䊂䊋䉟䉴቟ో቟ᔃ䉳䊞䉬䉾䊃ᄙᯏ⢻ᖱႎ៤Ꮺ䊝䊋䉟䊦┵ᧃ⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩㪉㪇㪇㪐ᐕ

㫧㪈㱘㫄㫧㪇㪅㪌㱘㫄

ᓸ⚦ൻ
㪌㪇㫅㫄

㱢㪈㱘㫄

㪍㪐㪇

㱢㪉㱘㫄

ㆬᛯ⊛䊅䊉䉟䊮䊁䉫
䊧䊷䉲䊢䊮

㪉㪇㫅㫄

㱢㪇㪅㪏㱘㫄

ᢙ䋱㪇㫅㫄㱢㪇㪅㪌㱘㫄

㪓㪇㪅㪇㪌㱘㫄

䊅䊉᧚ᢱ䈱ㆬᛯ⊛ᒻ ᦨዊ㗔ၞᚑ䋨ᒻᚑ㗔ၞ䋩㪓㪇㪅㪇㪏㱘㫄

㪓㪇㪅㪉㱘㫄

䊅䊉᧚ᢱ䈱ㆬᛯ⊛ᒻ ෘ䉂♖ᐲᚑ䋨ෘ䉂೙ᓮ䋩㪓㪇㪅㪈㱘㫄

㫧㪇㪅㪉㱘㫄

㫧㪉㱘㫄

ᢙ䋱㪇㫅㫄

㱢㪈㪇㪇㫅㫄

㪓㪈㪇㫅㫄㫧㪈㪇㪇㫅㫄

㪈㪇㪇㫅㫄㪓㪈㪇㪇㫅㫄

㪓㪈㱘㫄
㪇㪅㪌㱘㫄

㪌㪇㪇㱘㫄

㪌㪇㪇㫅㫄

㪈㪇㫅㫄

㪈㪺㫄

㪉㪇㫅㫄

㪈㫄㫄

㪌㪇㫅㫄

ᢙ㫅㫄

㪉㪇䉟䊮䉼

㪉㪇㫄㫄ⷺ䊶
㪉㪇࿁

㪉㪇䉟䊮䉼

㪌㪇㫅㫄

㪉㪇㪉㪌ᐕ

㪈㪇㪺㫄

㪌㪇㫅㫄

㪌㪇㪇㱘㫄

㪇㪅㪌㱘㫄

㪈㱘㫄

㪇㪅㪌㱘㫄

㪈㪉䉟䊮䉼

㪈㪇㱘㫄
㪈㪇㫄㫄ⷺ䊶
㪈㪇࿁

㪈㪇㱘㫄

㪈㪉䉟䊮䉼

㪉㪇㪈㪌ᐕ

㪈㱘㫄

㪈㪇㪇㱘㫄

㪉㪇㪇㱘㫄

㪈ᧄ㸢㪋ᧄ

㪈㪇㪇㪇㱘㫄

㪉㪇㫅㫄

㪉㪇㪈㪋ᐕ

㪈㱘㫄

㪈㪇㪇㱘㫄

㪈㪇㱘㫄

㪌㪇㫅㫄

㪉㪇㪈㪊ᐕ

㪌㱘㫄

㪈㱘㫄

㪉㱘㫄

㪈ᧄ㸢㪉ᧄ

㪌㪇㪇㱘㫄

㪏㪇㷄

㪌㱘㫄

㪈㪇㪇㷄

㪉㪅㪌㱘㫄

㪈㪇㱘䌭

㩷⭯ൻ䈮䉋䉍㈩✢ᓘᓸ⚦ൻ

㪈㱘㫄

㪇㪅㪊㱘㫄

㪉㪇㪈㪉ᐕ

ㆬᛯ⊛䈮䋳ᰴరᒻ⁁ 䊌䉺䊷䊮ኸᴺ䉕䊜䉾䉨䊅䊉᧚ᢱ䈱ㆬᛯ⊛ᒻ ૏⟎♖ᐲᚑ䋨૏⟎೙ᓮ䋩

ടᎿኸᴺ㜞㔌ဳᕈ㩿ᓸ⚦ൻ䊶㜞 ടᎿኸᴺ䉝䉴䊕䉪䊃ൻ䋩┙૕᭴ㅧෘ䉂

ಽጘᢙ

䉲䊐䊃㊂

㪋䉟䊮䉼

㪉㪇㪈㪈ᐕ

㪌㱘䌭

㪌㪇

㪉䉟䊮䉼

㪊㪇㱘㫄
㪌㫄㫄ⷺ䊶
㪌࿁

㪉㪇㪈㪇ᐕ

㪊㪇㱘㫄

䊖䉾䊃䉣䊮䊗䉴ടᎿ ടᎿኸᴺ
ኸᴺ㪈㪇㱘㫄䊖䉾䊃䉣䊮䊗䉴ടᎿ ᦛ₸ඨᓘ䈱䋳ᰴరᒻ⁁ᐲ㺙䋳ᰴర䈱┙૕ဳ䈱㔌 䊌䉺䊷䊮૏⟎ว䉒ဳᕈะ਄䉇䊖䉾䊃䉣 䈞♖ᐲ䊮䊗䉴䈘䉏䈢㜞ಽሶ᧚ᢱ䈱䋳ᰴర⴫㕙䉕㪌㱘㫄ㆬᛯ⊛䈮ୃ㘼

㪇㪊㪈㪈 䋳ᰴరᒻ⁁䉄䈦䈐ᚑ ౒ㅢᒻᛛⴚᒻᚑᛛⴚ 䊅䊉ᯏ⢻ 㪇㪋㪇㪈 䊅䊉᧚ᢱዪᚲᒻᚑᛛ ή✢ㅢାⴚ䋨ᯏ⢻ൻ䊶 ᧚ᢱㆬᛯ⴫㕙ᡷ ⊛ᒻᚑᛛ
ⴚ
⾰䋩

㪉㪇㪇㪏ᐕ

㪌㪇㱘㫄
㪈㫄㫄ⷺ䊶
㪈࿁

㪇㪊㪇㪐 䋳ᰴర⥄↱ᦛ㕙䉣䊮 ౒ㅢ䊗䉴ടᎿᛛⴚ

㪇㪊㪈㪇 䋳ᰴర⴫㕙ୃ㘼ᛛⴚ ౒ㅢ

㪉㪇㪇㪎ᐕ

㪌㪇㱘㫄

䋳ᰴర䊙䉟䉪䊨ဳ⴫㕙䈱䊅䊉᭴ㅧᒻᚑ

౒ㅢ⽾ㅢሹ䈱ᄌᒻടᎿ
ൻ

ടᎿ᷷ᐲ

䊏䉾䉼

䉡䉣䊊䊧䊔䊦⽾ㅢ㔚 䉝䉴䊕䉪䊃Ყ䋨ሹᓘ㪆ᷓ䈘䋩ᭂᒻᚑሹᓘ䊅䊉☳૕䉰䉟䉵

㕙ⓍశᦨዊടᎿ䉰䉟䉵
ォ౮㕙Ⓧ䊶࿁ᢙ

䉝䊧䉟䊧䊮䉵䉣䊮䊗䉲䊮䉫䈱ᄢ㕙Ⓧൻ䊙䉟䉪䊨㍌ㅧ

䊙䉟䉪䊨ᛂᛮ䈐ടᎿ ᦨዊടᎿ䉰䉟䉵㪇㪊㪇㪏 䋳ᰴర⴫㕙䊅䊉ടᎿ ౒ㅢᛛⴚ䋳ᰴర䊅 㪇㪊㪇㪎 䋳ᰴర䊙䉟䉪䊨┙૕
䊉᭴ㅧᒻ
ဳᚑᒻᛛⴚ
ᚑᛛⴚ

ᜰᮡ

శቇήᯏ䊧䊮䉵䇮䊋 ᦨዊ䊌䉺䊷䊮䉰䉟䉟䊅䊥䊧䊮䉵䉣䊮䊗䉲 䉵
㪇㪅㪏㱘㫄
㪇㪅㪍㱘㫄
䊮䉫
࿁᛬ᩰሶ䊧䊮䉵㩷ಳ 䊋䉟䊅䊥䊧䊧䊮䉵ᒻᘒಲᒻ⁁䊧䊮䉵
䊮䉵
㕙Ⓧ
㪉䉟䊮䉼
㪋䉟䊮䉼
㕖㪪㫀᧚ᢱ䈱䊅䊉䉟䊮 䊅䊉䉰䉟䉵᭴ㅧ䊅䊉䉰䉟䉵᭴ㅧᒻᚑᛛⴚ
䊒䊥䊮䊃䉰䊑䊚䉪䊨䊮ಳಲ᭴ㅧ㪈㪇㪇㫅㫄䋳ᰴర┙૕᭴ㅧ 䋳ᰴర┙૕᭴ㅧᒻᚑᛛⴚ
ㆡᔕ᧚ᢱ᜛ᒛ䋺᮸⢽㸢䉧䊤䉴䊶㊄ዻ㸢䉶䊤䊚䉾䉪䉴ᒻᚑ౒ㅢ䊙䉟䉪䊨 㪇㪊㪇㪌 䊅䊉☳૕ᚑᒻടᎿᛛ ౒ㅢ䇮䊋䉟䉥
☳૕ᚑᒻ
ⴚ
ᛛⴚ
䊙䉟䉪䊨 㪇㪊㪇㪍 ⽾ㅢሹၒ䉄ᚯ䈚ᛛⴚ ౒ㅢ㍌ㅧᛛⴚ㪇㪊㪇㪊 䊅䊉ォ౮䊶ᒻᚑⶄว䊒䊨䉶䉴ᛛⴚ
㪇㪊㪇㪋 䊙䉟䉪䊨䉣䊮䊗䉴ടᎿᛛⴚ㪇㪊㪇㪉 䊅䊉䊐䉤䊷䊚䊮䉫ᛛⴚ ౒ㅢ䊋䉟䉥㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚ㪥㫆㪅
㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴
ಽ㊁ಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉ᚑᒻᛛⴚ 䊙䉟䉪䊨 㪇㪊㪇㪈 䊅䊉䉟䊮䊒䊥䊮䊁䉞䊮 ౒ㅢ䊒䊧䉴ᚑ䉫ᛛⴚ㪄ૐ៊்䊌ᒻᛛⴚ䉺䊷䊆䊮䉫ᛛⴚ

䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪋䋯㪈㪉䋩⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩ᄙᯏ⢻ᖱႎ៤Ꮺ䊝䊋䉟䊦┵ᧃ䉡䉣䊊䊧䊔䊦䊌䉾䉬䊷䉳䊮䉫᭴ᚑ䈪䈱౒ㅢၮ⋚ᛛⴚ䊙䉟䉪䊨䊅䊉䉥䊷䉻ᄌ૏⸘᷹䉶䊮䉰䇮䊙䉟䉪䊨䊚䊤䊷ᔕ↪䊂䊋䉟䉴䇮ಓ⚿䉶䊮䉰

ฃേ⚛ሶౝ⬿ၮ᧼࿷ቛ⸻ᢿ䈱䈢䉄䈱䊝䊋䉟䊦䊓䊦䉴䉬䉝䉲䉴䊁䊛䇮ಽᢔဳ䊈䉾䊃䊪䊷䉪䈮䉋䉎ᐢၞⅣႺ䊝䊆䉺䊷䉲䉴䊁䊛䇮⿥ዊဳ䊝䊋䉟䊦ಽᨆ䉲䉴䊁䊛䇮⿥㜞ㅦ䉴䉪䊥䊷䊆䊮䉫䉲䉴䊁䊛䇮ථ਄ဳൻቇว
ᚑ䉲䉴䊁䊛䊜䉺䊦䊔䊷䉴㪤㪜㪤㪪䇮ૐ䉮䉴䊃ᜰะ䋨䊂䉞䉴䊘䊷䉰䊑䊦䋩ಽᨆ䉼䉾䊒䊙䉟䉪䊨䊅䊉䉥䊷䉻ᄌ૏⸘᷹䉶䊮䉰䇮䊙䉟䉪䊨䊚䊤䊷ᔕ↪䊂䊋䉟䉴䇮ಓ⚿䉶䊮䉰
䊙䉟䉪䊨䊚䊤䊷ᔕ↪䊂䊋䉟䉴䇮ಓ⚿䉶䊮䉰ක≮䍃⑔␩

ᯏ⢻ᕈ⴫ 㪇㪋㪇㪎 ൻቇ⊛䊶䊋䉟䉥⊛⴫ 䉣䊈䊦䉩䊷䇮Ⅳ
㕙ୃ㘼ᛛⴚ
㕙ᒻᚑᛛ
Ⴚ䇮ක≮䊶⑔␩
ⴚ
䋨⇇㕙೙
ᓮ䊶⴫㕙
ୃ㘼ᛛ
ⴚ䇮ടᎿ
៊்࿁ᓳ
ᛛⴚ䋩

㪇㪋㪇㪍 ⚦⢩䈱⚵❱ൻᛛⴚ䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩

䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩

⚵❱ൻ

৻⚦⢩

ⷫ䊶⇹᳓ᕈ

㪈㱘㫄

┙૕᭴ㅧ‛䈻䈱⿥♖ኒൻቇୃ㘼
ୃ㘼㊂䊂䉞䉾䊒૏⟎♖ᐲ

㪍㪐㪈

㪉㪇㪸㪣

㪈㪌㪇㪸㪣

᦭ᯏඨዉ
૕㪉⒳㘃䇮
䊅䊉᭴ㅧ૕
㪊⒳㘃

ㆬᛯ⊛ୃ
㘼

ⶄᢙ⚦⢩
䈱⚿ว

㫧㪈㪇㫅㫄

㪊⒳㘃

⚦⢩䈱ㆬ
ᛯๆ⌕
㪉⒳㘃
᦭ᯏ䊶ήᯏ
᧚ᢱㆬᛯ
ᕈ⢻

৻ㇱ䈱䉺䊮
䊌䉪

㪈㪇㪇㫅㫄

ⶄ㔀䍨䍽䍞䍎䍻

㪈㪇㱘㫄㪈㪇㫅㫄䍓䍎䍞䍼䍎䊅䊉᭴ㅧ೑↪

ⶄ㔀䍨䍽䍞䍎䍻

㪈㪇㱘㫄

ᱜᏱၭ㙃

㫧㪌㪇㫅㫄

㪛㪥㪘ઃട
↢૕ಽሶᯏ⢻଻ᜬ䈚 ઃടಽሶ䈢ᯏ⢻ಽሶㆬᛯ⊛ઃട䊕䊒䉼䊄╬↢૕ಽሶ ⚦⢩ㆬᛯᕈ⢻䈮䉋䉎ㆬᛯ⊛᦭ᯏ䊶ήᯏ᧚ᢱ䈱⴫㕙ୃ㘼ᯏ⢻᧚ᢱㆬᛯᕈ
⢻ㆡಾ䈭ቭ⢻ၮ䉕ᜬ䈧 ઃടᯏ⢻ಽሶ䈱ઃട䋧⥄Ꮖ⚵❱ൻ↢૕ಽሶᯏ⢻଻ᜬ䈚 䊌䉺䊷䊮ኸᴺ
䈢䊌䉺䊷䊮ᒻᚑ䋨䉸䊐䊃䊥䉸䉫䊤䊐䉞䊷䋩㪆ၮ᧼਄ⷫ᳓ᕈ䍃⇹᳓ᕈ䈱 䊒䊤䉵䊙ಣℂ
೙ᓮൻቇ䊶䊋䉟䉥‛⾰䈱 䊌䉺䊷䊮⸃௝ᐲ ᵹ〝ో૕䈱ୃ㘼⴫㕙䊌䉺䊷䊆䊮䉫㪆 䋨ⷫṁᇦᕈ೙ᓮ䇮ᵹ〝ౝ䍞䍻䍨䍽䍖╬䈱ๆ⌕೙ 㫄㫄䍓䍎䍞䍼䍎ᓮ䋩䊌䉺䊷䊮⸃௝ᐲ ᵹ〝ో૕䈱ୃ㘼䋨ᓸ↢‛䋩㫄㫄䍓䍎䍞䍼䍎

ᯏ⢻⚵❱

ⶄᢙ⚦⢩

㪚㪥㪫䋺ᒻ⁁
೙ᓮ䋨⋥✢㪆䉮䉟䊦䋩䇮
㪪㫀䋺ᯏ⢻ൻ
⊒⃻

㪉㪇㪈㪉ᐕ

䋳ᰴర㈩⟎
䈫ᯏ⢻⊒⃻
೙ᓮ

⚵❱䊧䊔䊦

㈩⟎䊶೙ᓮ

䋲ᰴర㈩⟎

㪈㪇㪇㫅㫄
⢽⾰ಽሶ

㪌ጀ

㪈㪇㪇㫅㫄

㪉㪇㪈㪈ᐕ

㈩⟎⚦⢩⒳㘃㪈㱘㫄㪉㪇㪇㫅㫄䊒䊨䊷䊑వ┵䈻䈱䊌䉺䊷䊆䊮䉫䊅䊉‛⾰䊙䊆䊏䊠䊧䊷䉲䊢䊮ᛛⴚ䊌䉺䊷䊮㕙Ⓧ㪉㪇㫅㫄㪉
⋥✢ㆬᛯ
⋥✢ㆬᛯ
᨞ᯅ㪎㪇㩼
᨞ᯅ㪈㪇㪇㩼㪉㪇㪈㪇ᐕ৻⚦⢩นṁᕈ䉺䊮䊌䉪⾰㪊ጀ㪈㱘㫄䊒䊨䊷䊑వ┵䈻䈱䊌䉺䊷䊆䊮䉫
䊌䉺䊷䊮㕙Ⓧ䉣䊥䉝ㆬᛯᕈ
⋥✢ㆬᛯ᨞ᯅ㪊㪇㩼

㪈⑽㪆㪈ᧄ

㪉㪇㪇㪐ᐕ

㪈㪇⑽㪆㪈ᧄ

㪉㪇㪇㪏ᐕ㪈ᧄ㪆㪈㪇㱘㫄㪉㪉㪇㪇㪎ᐕ㪈ᧄ㪆㪉㪇㱘㫄㪉

䉦䊒䉶䊦ൻ⚦⢩ᢙ ᄙ⚦⢩

૏⟎♖ᐲ

૏⟎ᛯᕈ

ᄢ㕙Ⓧൻ

ᄙጀ࿁〝ၮ᧼ᒻᚑ ᄙጀൻᛛⴚ㪛㪥㪘ಽሶ䈱䊊䊮䊄䊥 ૏⟎♖ᐲ䊮䉫૏⟎೙ᓮᛛⴚ㈩ะಽሶ

ㆬᛯ⊛ᓸዊ㈩೉ಣℂᤨ㑆ᜰᮡ㪇㪋㪇㪊 䊅䊉᧚ᢱ䊎䊦䊄䉝䉾䊒 ౒ㅢᛛⴚಽ㊁㪚㪥㪫䋯䊅䊉㪪㫀䊪䉟䊟䊷䈱㪚㪭㪛ㆬᛯᒻᚑ

㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴

㪇㪋㪇㪉 䊅䊉᧚ᢱ䉡䉣䊊䊧䊔 ౒ㅢ
䊦ᒻᚑᛛⴚ

㪥㫆㪅

↢૕ᯏ⢻ 㪇㪋㪇㪋 ↢૕ಽሶ㈩ะᛛⴚ᧚ᢱᒻᚑᛛⴚ㪇㪋㪇㪌 ⚦⢩㈩⟎䊶䉦䊒䉶䊦ൻᛛⴚ㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪌䋯㪈㪉䋩㪉㪇㪈㪋ᐕ

㪇㪅㪈⑽㪆㪈ᧄ

㪉㪇㪈㪌ᐕ

㪉㪇㪉㪌ᐕ

䉋䉍㜞ㅦൻ

㪈ᧄ㪆㪉㪌㪇㫅㫄㪉

䋲ᰴర㈩⟎

േ‛ઍᦧ
⚵❱

ᯏ⢻ಽሶ䈫
䈱ㆬᛯ⚿
วቭ⢻ၮ
ዉ౉

ᄙᯏ⢻ൻ

㪤㪜㪤㪪䊌䉾䉼
䊚䉪䊨䉮䉴䊝䊎䊷䉪䊦䊋䉟䉥䉟䊮䉺䊷䊐䉢䊷䉴↢૕ᓸ㊂⹜ᢱ䈱䊊䊮䊄䊥䊮䉫↢૕ᓸ㊂⹜ᢱ䈱೨ಣℂᄖ಴ᡰេ䉲䉴䊁䊛䋨ᓸ↢‛೑↪
䊙䉟䉪䊨䊥䉝䉪䉺䈮䉋䉎ዩಽ⸃ⵝ⟎䋩ഃ⮎䋨േ‛ታ㛎䈱ઍᦧ䋩ౣ↢ක≮䊙䉟䉪䊨ൻቇ䉲䉴䊁䊛౒ㅢᛛⴚ㪈㪸㪣䊋䉟䉥ಽᨆ䊙䊦䉼䊒䊨䊷䊑䉲䉴
䊁䊛

⚦⢩䈱㪊ᰴ
ౣ↢ක≮䇮ੱᎿ⤳ེర᭴ㅧ᭴ ੱᎿ⤳ེ䈻䈱ㆡ↪
▽䊙䊦䉼䊒䊨䊷䊑䊂䊋䉟䉴䉣䊈䊦䉩䊷䊊䊷䊔䉴䊁䉞䊮䉫㪊ᰴర᭴ㅧⅣႺ‛⾰䉶䊮䉲䊮䉫䈻䈱䊅䊉᭴ ฦ⒳ඨዉ૕䊅䊉᭴ㅧ૕䈱ㆬ ㅧ૕䈻䈱ㆡ↪
ᛯ⊛⚿วᄙ䈒䈱䉺䊮䊌䉪

නಽሶ䊧䊔䊦㪌㪇㪇㫅㫄䇮ⶄ㔀䊌䉺䊷䊮㪌㪇㪇㫅㫄䇮ⶄ㔀䊌䉺䊷䊮ᱜᏱ⚵❱䋳ᰴర⚵❱ൻ೙ᓮ

⤳ེ䊧䊔䊦 ୘૕䊧䊔䊦

㪉㪇ጀ

㪈㪇㫅㫄

ᯏ᪾䊶㔚᳇․ᕈ೙ᓮᕈ䈱ะ਄

䊋䉟䉥ಽᨆ䊙䊦䉼䊒䊨䊷䊑䉲䉴
䊁䊛䋺㊄䉮䊨䊙䊆䊠䊏䊠䊧䊷䉲䊢䊮೥㒰⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩䊎䊦䊄䉝䉾䊒ၮ᧼៤Ꮺ㔚⹤↪ၮ᧼䊶䌐䌃↪ၮ᧼㪛㪥㪘㪈ಽሶ⸃ᨆ䇮㪛㪥㪘㈩✢䇮㪛㪥㪘ಽሶ䈱ᯏ⢻᧚䈫䈚䈩䈱ᵴ㪈㪇㫅㫄ᢙ㫅㫄⤑䉺䊮䊌䉪 ⶄᢙಽሶ䈱หᤨ㈩ ↪
ะ೙ᓮ
⾰
㪈㪇ጀ

ᢙ㪈㪇㫅㫄

⚦⢩ౝേᘒ䈱ⷰኤಽ⸃⢻㪉㪇㫅㫄㪚㪥㪫㪆㪪㫀䋺ᒻ⁁೙ᓮ䋨ᓘ㪆㐳䈘䋩䈏䈪
䈐䉎䊒䊨䊷䊑ᛛⴚ䈫ᵹ૕䉲䉴䊁䊛䈮䉋䉎㜞ᯏ⢻⸘᷹䉲䉴䊁䊛

㪉㪇㪈㪊ᐕ

㪥㫆㪅

㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴

౒ㅢ౒ㅢ㪇㪋㪈㪊 ශ೚ᣇᑼ⴫㕙ୃ㘼ᛛⴚ㪇㪋㪈㪋 ടᎿ៊்࿁ᓳᛛⴚ

㪇㪋㪈㪈 ㊄ዻ䊶᦭ᯏඨዉ૕䈱 ౒ㅢ⇇㕙೙ᓮᛛⴚ
㪇㪋㪈㪉 ᦭ᯏ䊶⛘✼⤑䈱⇇㕙 ౒ㅢ೙ᓮᛛⴚⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩㪇㪌㪇㪉 ᵴᕈ⚦⢩Ⲣวᛛⴚ㪇㪌㪇㪊 ᵴᕈ↢૕ಽሶⲢว
ᛛⴚ

㪌㪇㱘㫄

㪈㱘㫄

㪉㪇㪇㩷㫅㫄

㪋䉼䊞䊮䊈
䊦

㪏㪇㩼
㪉ᤨ㑆

ᷙタ㪣㪪㪠ടᎿኸᴺ↢૕ⷫ๺ᕈ䈱೙ᓮ㪈㪇⚦⩶㪈ᯏ⢻⊒⃻೙ᓮน ⚦⢩
⢻䈭↢૕
ᵴᕈኼ๮
㪈ᤨ㑆
⒳㘃
㪈⒳㘃
⚦⢩୘ᢙ
ᄙ⚦⢩
ኼ๮
㪈ᤨ㑆
୘ᢙ䊶⒳㘃䊶㈩ะ
ᄙಽሶ

ㆬᛯᲧ

ඨᣣ

ඨᣣ

㪈㱘㫄

ಽ⸃⢻

㚟േ๟ᵄᢙ

㪌㪇㱘㫄

㪍㪐㪉

㪈㪏㪇㫅㫄

㪌㪇㫅㫄

㪈㪉㪌㪤㪟㫑㩿⌀ⓨਛ䋩㪏㪇㪇㪇㪇䋨⌀ⓨਛ䋩

㪊㪌㪇㫅㫄

㪈㪇㪇㫅㫄

㪈㪇㪇㪇㪇㪇䋨⌀ⓨਛ䋩
㪊㪇㪇
䋨ᄢ᳇ਛ䋩
㪌㪇㪇㪤㪟㫑
㩿⌀ⓨਛ䋩
㪌㪇㪤㪟㫑
㩿ᄢ᳇ਛ䋩

┙૕䊅䊉᭴ㅧ䈫㚟േ 㪨୯↢૕ⷫ๺ᕈ䈱೙ᓮ㪈㪈㪇⚦⩶ᯏ⢻⊒⃻೙ᓮน ⚦⢩⢻䈭↢૕䊅䊉ൻቇୃ㘼䊶䉻䉟䊧 䊌䉺䊷䊮ኸᴺ
㪈㪇㪇㫅㫄
㪌㪇㫅㫄
䉪䊃䊥䉸䉫䊤䊐䉞䊷หᤨಣℂ⒳㘃ᢙ
㪉⒳㘃
㪈㪇⒳㘃
૏⟎᳿䉄♖ᐲ
㫧㪌㪇㫅㫄
㫧㪈㪇㫅㫄
ୃ㘼㊂
㪈㪌㪇㪸㪣
㪉㪇㪸㪣
㜞ಽሶ࿶㔚⭯⤑ᒻ ᓸ⚦ൻ䋯⊒↢ജ ৻⥸⊛䈭㜞ಽሶ࿶㔚૕㩿㪧㪭㪛㪝㪀䈱࿶㔚ቯᢙ㪻㪊㪈ᚑ㪓㪊㪇㫇㪚㪆㪥
㪊㪌㫇㪚㪆㪥
࿁ᓳ⸃௝ᐲ
㪈㪇㪇㫅㫄
㪈㪇㩷㫅㫄
䉲䊥䉮䊮㪆㊄ዻ䋳ᰴర ᚑᒻ⤑ෘ᭴ㅧᚑᒻ䈱ᐔမൻ
㪌㱘㫄
㪈㪇㱘㫄
ടᎿ
ᐔမᕈ

ಽ⸃⢻䋨૏⟎♖
ᐲ䋩
ㆬᛯᲧ

૏⟎♖ᐲ

หᤨ⸘᷹䉼䊞䊮䊈 㪈䉼䊞䊮䊈䊦
䊦ᢙ
ઃടಽሶ
䊕䊒䉼䊄

⤑䉺䊮䊌䉪⾰䉼䉾䊒
ᒻᚑ

㪍㪇㩼
㪊㪇ಽ⒟ᐲ

቟ቯᕈ

⇇㕙೙ᓮ䈮䉋䉎㈩⟎䊶㈩ะ⚦⢩ⷫ๺ᕈ䈱೙ᓮ

㪐䉼䊞䊮䊈
䊦

㪉㪇㪈㪊ᐕ

㪌㪇⒳㘃

㪉㪇㪈㪋ᐕ

㪐㪇㩼
৻ᣣ

㪉㪇㪈㪌ᐕ

㪉㪇㪉㪌ᐕ

㪐㪇㫅㫄

㪉㪇㫅㫄

㪉㪇㱘㫄

㪌㪇㩷㫅㫄

䊃䊤䊮䉴
䊘䊷䉺

㪈㪸㪣

㫧㪈㪇㫅㫄

㪈ಽሶ

㪈ㅳ㑆

ඨᐕ

⤳ེ䊧䊔䊦

ⶄᢙ⚦⢩
න⚦⢩

ඨᐕ

㪌㪇
㜞╬ᓸ↢‛䉁䈪㪈ㅳ㑆㉂Უ

㪌㪇䋰㪤㪟㫑
㩿ᄢ᳇ਛ䋩㪈㪇㪇㪤㪟㫑䋨ᄢ᳇ਛ䋩㪌㪇㫅㫄㪈㪌㪇㪇㪇㪇䋨⌀ⓨਛ䋩
㪈㪇㪇㪇
䋨ᄢ᳇ਛ䋩
㪈㪞㪟㫑㩿⌀ⓨਛ䋩ᷙタ㪣㪪㪠䈱ᄙᯏ⢻ൻ

ᐔမᕈะ਄

⤑ෘჇᄢ

ේሶ䊧䊔䊦

㪋㪇㫇㪚㪆㪥Ⴧᄢ㪌㪇㜞╬ᓸ↢‛䉁䈪

㪌㪇㪇
䋨ᄢ᳇ਛ䋩

㪋㪌㫅㫄

㪈㪇㫅㫄

㪋㪇㱘㫄

㪈㩷㫅㫄

㪈㪇㫅㫄

㉂Უ

㪌㪇㫅㫄

㪉㪌䉼䊞䊮䊈 ⿥ਗ೉หᤨ⸘᷹
䊦㜞ᰴ⤑䉺䊮䊌䉪⾰
㪞㪧㪚㪩

㪐㪐㩼
ඨᐕ

㪈㬍㪈㫄

ඨᣣ

㪉㪇㪈㪉ᐕ

㪉㪇㪇㬍
㪉㪇㪇㫄㫄

㪉㪇㪈㪈ᐕ

㪌㪇㬍㪌㪇㫄㫄

㪉㪇㪈㪇ᐕ
䋾㪐㪌䋦

䉟䉥䊮䉼䊞䊮
䊈䊦

㪉㪇㪇㪐ᐕ
㪏㪇㩼

㪉㪇㪇㪏ᐕ

㪍㪇㩼

㪉㪇㪇㪎ᐕ

ౣ᭴ᚑ⤑

෼₸

ᦨᄢ㕙Ⓧ

㈩ะ೙ᓮ⏕ᐲ

ᜰᮡ䌓䌁䌍䉝䊮䉦䊷⤑ᒻᚑ䊶ᦨㆡᛛⴚ

ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩ ⚦⢩ⷫ๺ᕈ䈱೙ᓮนേ䊅䊉 㪇㪋㪈㪍 นേ䊅䊉᭴ㅧ䈱ᒻᚑ ౒ㅢ
ᛛⴚ
᭴ㅧᒻᚑ
ᛛⴚ

⇣⒳Ⲣว 䊅䊉䊶䊋䉟 㪇㪌㪇㪈 ⇇㕙೙ᓮᛛⴚ
ᛛⴚ
䉥Ⲣวᛛ
ⴚ

ಽ㊁

቟ᔃ䊶቟ో

㪇㪋㪇㪐 䊅䊉☸ሶ⥄Ꮖᢛ೉ᛛ ౒ㅢⴚ㪇㪋㪈㪇 ⢽⾰ੑ㊀ጀᒻᚑᛛ ౒ㅢⴚ㪇㪋㪇㪏 ಽሶ䈱⥄Ꮖ⚵❱ൻ⃻⽎ᔕ↪⇇㕙೙ᓮᛛⴚ㪣㪪㪠䊒䊨䉶 㪇㪋㪈㪌 䌍䌅䌍䌓䊶ඨዉ૕౒ሽ ౒ㅢ䉴Ⲣวᚑ᭴ㅧ䈱ᚑᒻᛛⴚ
ᒻᛛⴚ㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪍䋯㪈㪉䋩⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩ഃ⮎ಽ㊁䈱⎇ⓥ↪ⵝ⟎ੱᎿ⤳ེ⚦⢩ᯏ⢻䈱⸃ᨆⵝ⟎䇮ഃ⮎㑐ㅪᯏེ䇮⸻ᢿᯏེ

㪤㪜㪤㪪⊒ᝄེ
䊎䊂䉥䊧䊷䊃㪘㪝㪤䊡䊎䉨䉺䉴䉶䊮䉰䊷䉼䉾䊒䇮䊝䊋䉟䊦ᯏེ┵ᧃ↪䉶䊮䉰䉼䉾䊒෸䈶㪩㪝㪤㪜㪤㪪䇮ゞタ↪䉶䊮䉰䇮ක≮੺⼔↪䊋䉟䉺䊦䉰䉟䊮䉶䊮䉰䉡䉢䉝䊤䊑䊦㪤㪜㪤㪪䊐䊧䉨䉲䊑䊦᭴ㅧ䈱㪤㪜㪤㪪䉡䉢䉝䊤䊑䊦㪤㪜㪤㪪㜞ᯏ⢻䊋䉟䉥ታ㛎䉿䊷䊦ౣ↢ක≮න৻⚦⢩⸃ᨆ

㜞ᯏ⢻䉶䊮䉰᧚ᢱ䉼䉾䊒䉦䊤䊛䇮ᓸ㊂ಽ㔌ᓸ㊂♖⵾⎇ⓥ↪ᔃ⤳ᮨᡆ䊂䊋䉟䉴

౒ㅢ

㪍㪐㪊

ήᯏ㪆䍨䍼䍐䍓

㪉㪇㪈㪈ᐕ

㪉㪇㪈㪉ᐕ
⋥ᓘ㪌㪇㩷㫅㫄
એਅ
ဋ৻ᕈ
೙ᓮ䈭䈚
⋥ᓘ㪈㪇㪇
㫅㫄એਅ
ဋ৻ᕈ
೙ᓮ䈭䈚
⋥ᓘ㪉㪇㪇
㫅㫄એਅ

㪉㪇㪈㪊ᐕ

㪉ᰴర㈩೉
㪌㫅㫄

㪉㪇㪈㪋ᐕ

㪉㪇㪈㪌ᐕ

㪉㪇㪉㪌ᐕ

ಽሶ䊧䊔䊦

⋥ᓘ㪉㪇㩷㫅㫄એਅဋ৻ᕈ㪉㪇㩼એౝ⋥ᓘ㪈㪇㪇㩷㫅㫄

ဋ৻ᕈ㪉㪇㩼એౝ⋥ᓘ㪌㪇㩷㫅㫄

౒ㅢ㪇㪌㪈㪏 ⥄ᓞ⊛㈩✢ᒻᚑᛛⴚ↢૕ಽሶ䈱⥄Ꮖ⚵❱ൻ೑↪

ㆡ↪䊂䊋䉟䉴

ኒᐲ౒ㅢ㪇㪌㪈㪎 㪚㪥㪫㈩✢ᛛⴚㆬᛯᚑ㐳ᛛⴚ

⸅ᇦ☸ሶᓘ

㈩೉㑆㓒

↢૕ಽሶ䈱⥄Ꮖ⚵❱ൻ೑↪

౒ㅢ㪇㪌㪈㪍 㪚㪥㪫ᚑ㐳↪⸅ᇦ☸
ሶ䈱⥄Ꮖ⚵❱ൻ㈩
೉ᛛⴚ

䉝䉴䊕䉪䊃

䊖䊷䊦䉰䉟䉵

ㆬᛯ㈩✢ᚻᴺㆬᛯᚑ㐳น⢻ኸᴺ

㪈㪇㪇㫅㫄

㪌㪇㪇㫅㫄

㪈ᧄ㪆㪈㪇
㱘㫄ⷺ
㪛㪥㪘䈮䉋䉎✂⋡㈩✢㪎㫅㫄㔚⇇㓸ਛ೑↪

㪛㪥㪘೑↪䈵

㪎㫅㫄㪛㪥㪘೑↪න
㔚ሶ䊂䊋䉟

㪈ᧄ㪆㪈
㱘㫄ⷺ

㪉ᰴర㈩✢

㪈㪇
䉦䊷䊗䊮䊅
䊉䉼䊠䊷䊑

㪌
䊜䉾䉨

䉺䊮䊌䉪⾰೑↪
㪈㪇㫅㫄

㪌㪇㫅㫄

㪌㫄㫄

㪌㪇㪇㫄㫄ⷺ

㔚ሶ䊂䊋䉟䉴䈻䈱
ᔕ↪

㪉㪇
䉡䉟䊦䉴

㪈㪇㫅㫄

䉝䊧䉟ൻ

㪌㪇㫅㫄
㪉㪇㪇㫅㫄

㪌㪇㪇㫅㫄

㓸Ⓧ࿁〝䈻䈱ᔕ↪

㪉ᰴర㈩✢ 䍭䍷䍟䍛䍢䍸䍎䍚䍼䍡䍼䍨䍼䍐䍛䈻䈱ᔕ↪
㪈ᧄ㪆㪇㪅㪌
㱘㫄ⷺ

㪈㱘㫄

㪈㪇㱘㫄

㪊㫅㫄

㪈㪇㪇㫄㫄ⷺ

㪌㪇㫄㫄ⷺ

㪈㪇㪇㫅㫄

㪈ᰴర㈩೉
ൻ㪈㪇㫅㫄

㪈㪇㪇㫅㫄

㪌㪇㪇㫅㫄

㪌㱘㫄

㪌㪇㪇㫅㫄

㪈㪇㱘㫄

㪌㪇㫅㫄

㪈㱘㫄
㪈㱘㫄

㪈㪇㱘㫄

㪈㪇㫄㫄
㪌㪇㪇㫅㫄

㪋㪇㪇㫅㫄

㪌㪇㪇㱘㫄

㪉㪇㪇㫅㫄

㪋㱘㫄

㪈㱘㫄

㪈㫄㫄

㪉㱘㫄
㪉㱘㫄

㪌㪇ጀ
㪉㪇㪇㫅㫄

㪉㱘㫄

㪈㪇㪇㫅㫄

㪉㪇ጀ

㪉㫄㫄

㪈㪇㪇㱘㫄
㪈㱘㫄

㪈㪇⒳㘃
㪉㪇⒳㘃
䈢䉖䈴䈒⾰ 䊋䉟䉥᧚ᢱ
㪈㪇㪇㷄
Ᏹ᷷

㪉㪇㪈㪇ᐕ

㪉⒳㘃
᷷ᐲ䋺ታ↪ᒝᐲ䉕
㪊㪇㪇㷄
⏕଻
⤑ෘ
㪌㪇㱘㫄
ᮮಽ⸃⢻
㪌㱘㫄
᧚ᢱ⚵ว䈞䊶ᕈ⾰ ήᯏ㪆ήᯏ㪈㪇ጀጀ㑆䉝䊤䉟䊜䊮䊃
㪈㪇㱘㫄
♖ᐲ
⤑ෘ
㪉㱘㫄
ᮮಽ⸃⢻
㪈㪇㱘㫄
ጀ㑆䉝䊤䉟䊜䊮䊃
♖ᐲ
㪉㪇㱘㫄
⤑ෘ
㪉㪇㪇㱘㫄
ᮮಽ⸃⢻
㪈㪇㱘㫄
ጀ㑆䉝䊤䉟䊜䊮䊃
♖ᐲ㪌㪇㱘㫄䊝䊷䊦䊄㪆⒖ᬀ᧚ᢱ 䊌䉺䊷䊮ኸᴺ
㑆䈱ኒ⌕ജ೙ᓮ
㪌㪇㱘㫄䉝䊤䉟䊜䊮䊃♖ᐲ
㪈㱘㫄
⒖ᬀ㕙Ⓧ
㪈㪇䌭䌭ⷺ
ᣂᯏ⢻᧚ᢱ䈱ᓸ⚦ 䊌䉺䊷䊮ኸᴺ
䊌䉺䊷䊆䊮䉫䈫೙ᓮ㪌㪇㱘㫄䉝䊤䉟䊜䊮䊃♖ᐲ㪈㫄㫄⇇㕙⚿ว䈱ᒻᚑ䇮䊌䉺䊷䊆䊮䉫ኸᴺ
㪈㪇㱘㫄
ᄢ㊂วᚑᛛⴚ䇮㐳䈘
䈱೙ᓮ
㪈㫄㫄એ਄
ήᯏ㪆᦭ᯏ

㪉㪇㪇㪐ᐕ

㪈㱘㫄

⒳㘃

㪇㪌㪈㪌 䊅䊉䊪䉟䉝ㆬᛯ㈩✢ ౒ㅢᛛⴚ㈩✢ᛛⴚ 㪇㪌㪈㪋 䊅䊉䊖䊷䊦ㆬᛯ㊄ዻ ౒ㅢᚑ㐳ᛛⴚ⥄Ꮖ⚵❱ 㪇㪌㪈㪉 䉶䊦䊐䉝䊤䉟䊜䊮䊃䈮 ౒ㅢൻᛛⴚ䉋䉎૏⟎᳿䉄ᛛⴚ㪇㪌㪈㪊 䊙䊦䉼㪚㪥㪫䊒䊨䊷䊑 ౒ㅢ⵾ㅧᛛⴚ㪇㪌㪈㪈 䋳ᰴర䊅䊉᭴ㅧ⒖ᬀ䊶 ౒ㅢⓍጀᛛⴚ㪇㪌㪈㪇 䊜䉦䋯䊋䉟䉥䋯ඨዉ ౒ㅢ૕䊊䉟䊑䊥䉾䊄Ⓧጀᛛⴚ㪇㪌㪇㪐 䊌䉺䊷䊮ઃ䈐ᚑ⤑䈍 ౒ㅢ䉋䈶ᄙጀൻᛛⴚ

㪇㪌㪇㪏 ⇣⒳᧚ᢱ䈱ෘ⤑Ⓧ
ጀᛛⴚ

㪉㪇㪇㪏ᐕ
䊂䊝㩷㩷ᓘ
೙ᓮ䈭䈚
ဋ৻ᕈ
೙ᓮ䈭䈚
⋥ᓘ㪈㪇㪇㪇
㫅㫄
ဋ৻ᕈ
೙ᓮ䈭䈚

㪋⒳㘃
᦭ᯏ᧚ᢱ
㪉㪇㪇㷄

㪉㪇㪇㪎ᐕ

ᢙ㪈㪇㱘㫄

ಽ⸃⢻

㑆㓗ᓘ

ဋ৻ᕈ

⋥ᓘ䈱೙ᓮ

ဋ৻ᕈ

⋥ᓘ䈱೙ᓮ

ᜰᮡ

ᢙ㪈㪇㪇㱘㫄

㑆㓗䉰䉟䉵䉰䉟䉵䈱೙ᓮᕈ

㪇㪌㪇㪌 ᦭ᯏ䊅䊉䊘䊷䊤䉴ᒻ 䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣᚑᛛⴚႺ䇮ක≮䊶⑔␩

㪇㪌㪇㪍 䊅䊉㑆㓗䈻䈱᦭ᯏల 䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣႯᛛⴚႺ䇮ක≮䊶⑔␩
䋳ᰴర᭴ 㪇㪌㪇㪎 ⇣⒳᧚ᢱ䊧䉟䉝䊋䉟 ౒ㅢㅧᒻᚑᛛ䊧䉟䉝Ⓧጀᛛⴚ
ⴚ䉰䉟䉵䈱೙ᓮᕈ

㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚ㪥㫆㪅
㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴
ಽ㊁ಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉䊅䊉䊶᦭ᯏ 㪇㪌㪇㪋 ᦭ᯏ䊅䊉䊏䊤䊷ᒻᚑ 䉣䊈䊦䉩䊷䇮ⅣႺ䇮ක≮䊶⑔␩ᛛⴚ᧚ᢱⲢวᛛⴚ䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪎䋯㪈㪉䋩⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩㪥㪸㫅㫆㩷㫆㫅㩷㪤㪜㪤㪪⇣⒳᧚ᢱⓍጀ䊂䊋䉟䉴䇮䊐䉤䊃䊆䉾䉪⚿᥏䇮䊋䉟䉥䊐䉞䊦䉺䊷䇮┙૕㈩✢䉣䊈䊦䉩䊷䊊䊷䊔䉴䊁䉞䊮䉫ⅣႺ‛⾰䉶䊮䉲䊮䉫

䉣䊈䊦䉩䊷䊊䊷䊔䉴䊁䉞䊮䉫ⅣႺ‛⾰䉶䊮䉲䊮䉫

䉣䊈䊦䉩䊷䊊䊷䊔䉴䊁䉞䊮䉫ⅣႺ‛⾰䉶䊮䉲䊮䉫

㪥㫆㪅

㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴

౒ㅢ౒ㅢ㪇㪍㪇㪌 䊜䊷䉺⚖ᄢ㕙Ⓧ䉝䊤䉟䊜䊮䊃ᛛⴚ

㪇㪍㪇㪐 ㅪ⛯㪜㪙䊒䊨䉶䉴ᛛⴚ ౒ㅢ䊒䊨䉶䉴 㪇㪍㪇㪍 ❫⛽⁁ၮ᧚ㅪ⛯ᓸ ౒ㅢ
ㅪ⛯ൻᛛ
⚦ടᎿᛛⴚ
ⴚ
㪇㪍㪇㪎 ᄢ㕙Ⓧශ೚䈱䊧䉳䉴 ౒ㅢ䊃䊧䊷䉲䊢䊮䋨㊀䈰ว䉒䈞䋩ᛛⴚ㪇㪍㪇㪏 䊅䊉䉟䊮䊒䊥䊮䊃ㅪ⛯ ౒ㅢᚑᒻᛛⴚ䋨฽䉃䇮䊨䊷䊤䊷ᑼォ
౮ᛛⴚ䋩

౒ㅢ

㪇㪍㪇㪋 ❫⛽⁁ၮ᧚䈱⵾❱
㓸Ⓧൻᛛⴚ䊒䊨䉶䉴 㪇㪍㪇㪊 㜞ຠ૏ᯏ⢻⤑䈱䊜䊷 ౒ㅢᄢ㕙Ⓧൻ䉺⚖ᄢ㕙Ⓧᒻᚑᛛⴚ
ᛛⴚ㪇㪍㪇㪉 䊙䉟䉪䊨䊅䊉ශ೚ᛛ
ⴚ

䉴䊏䊷䊄
䉴䊏䊷䊄
䊌䉺䊷䊮ኸᴺ
૏⟎♖ᐲ

ㆡ↪ⵝ⟎

ᚑᒻ㕙Ⓧ

ᄢ㕙Ⓧ䊝䊷䊦䊄䈮䉋 䊌䉺䊷䊮ኸᴺ
䉎㜞ㅦ䉴䊁䉾䊒䋧䊥
䊏䊷䊃ᚑᒻ
❬䈑⋡♖ᐲ

ⵍⷒ
䊌䉺䊷䊮ടᎿ

㪌㪇㪇㫅㫄㪉㪇㪇㫄㫄ⷺ

㪌㱘㫄㪈㪇㪇㫄㫄ⷺ

㪍㪐㪋

㪈㱘㫄

㪌㱘㫄

㪈㪇㱘㫄

㪉㪇㱘㫄

㪈㪇㩷㫄㪆㫄㫀㫅
㪌㩷㫄㪆㫄㫀㫅
㪌㱘䌭㩿㪈㪇ᧄ㩷㫏㩷㪈㪇
ᧄ䋩
❫⛽ၮ᧚
㑆ធ⛯ᛛ
ⴚ

㪋㫄㬍
㫧㪇㪅㪉㪌㱘㫄

㪈㱘䌭㪌㱘䌭㪌㪇㩷㫄㪆㫄㫀㫅
㪉㪇㩷㫄㪆㫄㫀㫅
㪈㱘䌭㪇㪅㪊㩷㫄㩷㫏㩷㪇㪅㪊㫄㪊ᰴరᄌᒻ䍭䍷䍟䍛䍢䍸䍎䍚䍼䍡䍼䍨䍼䍐䍛
䈻䈱ᔕ↪

㫧㪉㩼

㪉㪇㫅㫄

㪈㪇㪇㫅㫄

㪉㪇㪇㫅㫄

㪉㪋㪇㩷㫄㪆㫄㫀㫅㪈㪇㪇㩷㫄㪆㫄㫀㫅㪈㪇㪇㫅㫄㪍㫄㬍㫧㪈㪇㪇㫅䌭ᦨዊᦛ䈕ඨᓘ䋺㪇㪅㪇㪈㫄㪈㩷㫄㩷㫏㩷㪈㪇㩷㫄㪇㪅㪇㪉㩷㫄㫄

㪈㪇㪇㫅㫄

㪈㪇㫅㫄

㪌㪇㫅㫄

㪌㪇㪇㪇㫄㫄㪆㫊

㪌㪇㫅㫄㪈㪇㫅㫄㪆㩷㪈㪇㪇㫄㪆㫄㫀㫅㪋㪇㪇㫄㫄ⷺ 㪈㫄ⷺ㔚ሶ䊎䊷䊛⺃⊒ၸⓍ䈮 㪈㪇㱘㫄䊏䉾䉼䊗䊮

㪈㪇㪇㫅㫄

㪌㪇㪇㫅㫄

㪈㱘㫄

㪏㪇㩷㫄㪆㫄㫀㫅
㪌㪇㩷㫄㪆㫄㫀㫅
㪇㪅㪌㱘䌭

ᦨዊᦛ䈕ඨ
ᓘ䋺㪇㪅㪈㫄

㪈㩷㫄㩷㫏㩷㪈㩷㫄㪇㪅㪈㩷㫄㫄

㫧㪌㩼㪇㪅㪇㪉㱘䌭

㪇㪅㪉㱘䌭

㫧㪈㪇㩼

㪇㪅㪈㱘㫄

㪈㱘䌭

㪇㪅㪉㩷㫄㫄㪉㪇㪇㪇㫄㫄㪆㫊㪇㪅㪊㩷㫄㫄

㪇㪅㪈㱘㫄䋨ᶧ᥏↪૏⟎᳿䉄 㪊㫄㬍ⵝ⟎ෳᾖ䋩㫧㪇㪅㪉㪌㱘㫄

䉴䊃䊨䊷䉪㬍૏⟎
᳿䉄♖ᐲ

ᨵエᕈ

㕙Ⓧ

䊌䉺䊷䊮ኸᴺ⒳㘃Ⴧᄢ㪌㪇 㪺㫄㪉㪆㪭㫊㪇㪅㪈㩷㫄㫄
㪇㪅㪇㪈㩷㫄㫄㪌 㪺㫄㪉㪆㪭㫊
㪇㪅㪇㪉㩷㫄㫄
㪇㪅㪇㪇㪌㩷㫄㫄
㪈㪇㩷㪾㪇㪅㪈㩷㫄㫄
㪇㪅㪇㪉㫄㫄

⹏ଔᛛⴚ
䈱ᮡḰൻ

㪉㪇㪉㪌ᐕ
㪈㪇㪇㫅㫄䉥䊷䉻

㪏㪇㩼
㪐㪇㩼
䊋䉟䉥ାภ

㪌㪇㪇
㫄㫄㪆㫊

㪞㪈㪇㪑
㫋㪔㪇㪅㪍㪌㫄㫄
㪉㪅㪏㫄㬍
㪊㪅㪇㫄
㫧㪈㪌㩼

㪉㪇㪈㪌ᐕ
㪈㱘㫄䉥䊷
䉻

㪈㱘㫄

㪉㪇㪈㪋ᐕ

㪌㱘㫄

㪉㪇㪈㪊ᐕ

㪈㪇㪇
㫄㫄㪆㫊

㪈 㪺㫄㪉㪆㪭㫊
㪇㪅㪉㩷㫄㫄㪈 㪺㫄㪉㪆㪭㫊
㪇㪅㪇㪌㩷㫄㫄
㪎㩷䌧㪇㪅㪉㩷㫄㫄

㫧㪌㩷䌮㪥એ
ਅ

㜞ା㗬䇮㐳
ኼ๮䊙䊦䉼
䊒䊨䊷䊑૞
⵾ᜰ㊎⏕
┙

㪉㪇㪈㪉ᐕ

㪈㪇㫅㫄㪆
㪌㪇㫄㪆㫄㫀㫅㪇㪅㪌 㪺㫄 㪆㪭㫊㪇㪅㪊㩷㫄㫄㪇㪅㪈 㪺㫄㪉㪆㪭㫊㪇㪅㪈㩷㫄㫄
㪌㩷㪾
㪇㪅㪊㫄㫄

㪉

㪚㪥㪫䊒䊨䊷 䉝䊧䉟ൻ㪪㫀 䉝䊧䉟ൻ䊑䊒䊨䊷䊑㪛㪣㪚䊒䊨䊷
䊑㪛㪣㪚䊒䊨䊷䊑㪉㪇㪈㪈ᐕ㪈㪇㪇㫅㫄㪆
㪈㪇㫄㪆㫄㫀㫅

㪈㱘㫄㪆㩷㪈㫄㪆㫄㫀㫅

㪈㩷㪾
㪈㫄㫄

᠘᳓ᕈ㪪㫀䊒䊨䊷䊑㜞♖ᐲ䊨䊷䊦㫋㫆䊨䊷 䊌䉺䊷䊮ኸᴺ䋨䉟䊦ශ೚䊮䉪䉳䉢䉾䊃䋩
㪌㱘㫄䊌䉺䊷䊮ኸᴺ㩿䉥䊐䉶䉾䊃䋩㪈㱘㫄૏⟎᳿䉄♖ᐲ
㪉㪇㱘䌭ዪᚲⅣႺ೙ᓮ䋫䉴 ၮ᧼䉰䉟䉵㪞㪏㪑㩷㫋㪔㪇㪅㪍㪌㫄㫄䉨䊞䊆䊮䉫ႣᏓ
䋨ᶧ᥏䊌䊈䊦ෳ㪉㪅㪈㪍㫄㬍
ᾖ䋩
㪉㪅㪋㪍㫄
⤑ෘဋ৻ᕈ

㔚ሶ⒖േᐲ
䊌䉺䊷䊮ኸᴺ㔚ሶ⒖േᐲ
᦭ᯏඨዉ૕䊌䉺䊷䊮ኸᴺ᦭ᯏ࿶㔚⭯⤑ᒻᚑ ⊒↢ജ䊌䉺䊷䊮ኸᴺ䉫䊤䊎䉝╬ォ౮ශ೚ 䊌䉺䊷䊮♖ᐲ䊶ශᛛⴚ㩷䋨ᓸ⚦ൻ䊶㜞ㅦ ೚ㅦᐲൻ䋩䉟䊮䉪䉳䉢䉾䊃ශ೚ᛛ 䊌䉺䊷䊮ኸᴺ
ⴚශ೚䉴䊏䊷䊄ශ೚䊄ജಽ⸃⢻㔚ሶ⊛ᯏ⢻⤑ᒻᚑ䋨㪪㫀♽䋩ធ⸅‛㑆૞↪ജ䊒䊨䉶䉴 㕖⌀ⓨ䊒 㪇㪍㪇㪈 㜞ຠ૏䊅䊉ᯏ⢻⤑ᒻ ౒ㅢᚑᛛⴚ䋨ႣᏓဳ䋩ㅪ⛯ൻ䊶 䊨䉶䉴䈮ᄢ㕙Ⓧൻ 䉋䉎ᚑ⤑
ᛛⴚ
ᛛⴚ

⹏ଔኻ⽎

䊒䊨䊷䊑వ┵⏴⠻

㪇㪌㪉㪉 䊅䊉㗔ၞ䈮䈍䈔䉎䊃䊤 ౒ㅢ䉟䊗䊨䉳䊷⹏ଔᛛⴚ
න৻㪪㫀䊒䊨䊷䊑

㪍㪇㩼
䊝䊦䊐䉤䊨
䉳䊷ᰳ㒱

㪍㪇㩼
㔚ሶ䊶ᱜሹ

෼₸

㪌⒳㘃

㪉㪇㪈㪇ᐕ

㪉⒳㘃

㪉㪇㪇㪐ᐕ

⒳㘃

㪉㪇㪇㪏ᐕ
㪈㪇㱘㫄䉥䊷
䉻

㪉㪇㪇㪎ᐕ

ടᎿ♖ᐲ

ᜰᮡ

⹏ଔኻ⽎

ಽ㊁

౒ㅢ

⇇㕙‛ᕈ 㪇㪌㪉㪈 ⇇㕙‛ℂൻቇ⹏ଔ⹏ଔᛛⴚᛛⴚ㪇㪌㪈㪐 િ❗ᕈዉ૕ᒻᚑᛛ ౒ㅢⴚ⚵┙ᛛⴚ 㪇㪌㪉㪇 ⇇㕙೙ᓮ䉕೑↪䈚䈢 ౒ㅢ⥄ᓞ⚵┙ᛛⴚ

㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪏䋯㪈㪉䋩ᄢဳ䊂䉞䉴䊒䊧䉟䇮䉲䊷䊃⁁䊶Ⓧ
ጀ䊂䊋䉟䉴䇮䊌䉾䉬䊷䉳䊮䉫䊐䊧䉨䉲䊑䊦䉲䊷䊃䊂䊋䉟䉴䉡䉢䉝䊤䊑䊦䊂䊋䉟䉴╬ᄢ㕙Ⓧ䉣䊈䊦䉩䊷䊊䊷䊔䉴䊁䉞䊮䉫䊂䊋䉟䉴

ᄢဳ䊂䉞䉴䊒䊧䉟䇮䊁䊧䊎㪪㫀䇮㉄ൻ‛䇮᦭ᯏ䇮ήᯏ䇮㊄ዻ䊅䊉☸ሶ䉕฽䉃ႣᏓဳ䊅䊉䉮䊮䊘䉳䉾䊃㜞ᯏ⢻⤑⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩

౒ㅢ

౒ㅢ

ታⵝᛛⴚ ⚵┙ᛛⴚ 㪇㪏㪇㪈 㜞♖ᐲ૏⟎᳿䉄ᛛⴚ㪇㪏㪇㪉 㪤㪜㪤㪪䍃ඨዉ૕౒ሽ
䈱ធว䊶⚵┙ᛛⴚ

ಽ㊁

ᜰᮡ

㪊ಽ

㪉㪇㪇㪐ᐕ

㻢㪇㪅㪈㱘㫄

㻡㪈㪇୘㪆䍑䍒
䍨㪊㪇㪇㷄㩿㪉㪅㪐㱗㪸㫋㩷㪍㪏㪇㫅㫄㪀

㪉㪇㪈㪋ᐕ

㪉㪇㪉㪌ᐕ
ᓸዊ䉶䊮䉝ታ⃻

㪇㪅㪈㱘㫄

㪇㪅㪈㱘㫄

㻢㪇㪅㪇㪈㱘㫄

㪯㪃㪰䇭㪇㪅㪈㱘㫄㪱㩷㪇㪅㪈㱘㫄

㪈㪇⑽

㪇㪅㪈㱘㫄

㪇㪅㪈㱘㫄

㻢㪊㫅㫄

㻡㪈㪇୘㪆䍑䍒 㻡㪈㪇୘㪆䍑䍒䍨
䍨

㪉㪇㪈㪌ᐕ

㪇㪅㪈㫄㱅

㻡㪇㪅㪏䌭䌭

㪈㪇㪇㪇࿁
䋨㪍ጀ䋩

㪈㪇㪇㪇࿁
䋨㪋ጀ䋩

㪍㪐㪌

㪌㱘㫄

㪈㪇㱘㫄

䌾㪇㪅㪈䌭䌭

㪈㪇㪇㪇㪇࿁
䋨㪍ጀ䋩

䋱㱘㫄

㪇㪅㪈㫄㱅

Ᏹ᷷䋨㪊㪇㷄䋩

㪉㪇㪤㪧㪸
䌾㪈㱘䌭
એਅ

ήᲑ㓏นᄌ

Ᏹ᷷䋨㪊㪇㷄䋩
㕖䉲䊥䉮䊮᧚ᢱធว ធ⸅ᛶ᛫䋯㔚ᭂធว㔚ᭂធวㇱ䈱㪌㫄㱅ૐធ⸅ᛶ᛫ൻ
䉡䉣䊊䊧䊔䊦ᄙጀၮ ၮ᧼෻䉍㊂᧼䈱ૐᔕജធว
㪌㪇㱘㫄ᾲ䉰䉟䉪䊦⠴ਭᕈ㩿㪄㪋㪇䌾㪈㪉㪌㷄䋩
㪈㪇㪇㪇࿁
䋨㪉ጀ䋩
⚛ሶෘ䉂

䌾㪇㪅㪌䌭䌭

ធว᷷ᐲૐ᷷䊋䊮䊒ធว

ήᲑ㓏น
ᄌ

ቶ᷷

㪇㪅㪈㱘㫄
㩿㪇㪅㪉㪌㱗㩷㪸㫋㩷㪍㪏㪇㫅㫄Ᏹ᷷䋨㪊㪇㷄䋩

㪈㪇Ბ㓏એ㒠䇭䊥䊐䊨䊷᷷ᐲ䈫ද⺞㪇㪅㪌㱘㫄㩿㪇㪅㪎㱗㩷㪸㫋
㪍㪏㪇㫅㫄

㪈㪇㫊㪼㪺
䊅䊉䊂䊋䉟䉴㓸Ⓧ
䋳㪛䊝䊉䊥
䉲䉾䉪㓸Ⓧ

Ᏹ᷷䋨㪊㪇㷄䋩

㪈㫄㱅ធว᷷ᐲૐ᷷䉡䉣䊊ធว౒ㅢ㪋Ბ㓏㩿㪈㪃㪉㪃㪋㪃㪏㪀㪈㱘㫄㩿㪈㪅㪌㱗㪸㫋
㪍㪏㪇㫅㫄㪀

㜞♖ᐲធ⌕᧚ᢱ㐿⊒
ᄙ⒳᧚ᢱ᳢↪ធ⌕น⢻䇮ૐ᷷䋨䌾㪈㪇㪇㷄એਅ䋩䇮⭯ጀൻน
⢻᧚ᢱ
㪈㪤㪧㪸
㪈㪇㪤㪧㪸
⭯ጀធ⌕ጀᒻᚑ ⭯ጀൻᛛⴚ䋨䌾㪈㱘䌭એਅ䋩㕖㪪㫀᧚ᢱ䈱㜞♖ᐲធ ⠴࿶
⌕䊶⚵┙

㪉㪇㪇㷄

ᄙጀ㪤㪜㪤㪪
㓸Ⓧ

㪉㪇㪈㪊ᐕ

㪇㪅㪈㱘㫄

䊝䊉䊥䉲䉾䉪
㓸Ⓧ

㪇㪅㪌㱘㫄

㪉㪇㪈㪉ᐕ

㪉㱘㫄
㪈⚛ሶ䈅䈢䉍䈱⚛ሶ䈅䈢䉍㪈ಽ䉡䉢䊊䊧䊔䊦㓸Ⓧ㪇㪅㪌㱘㫄㪯㪃㪰䇭㪇㪅㪌㱘㫄㪱㩷㪇㪅㪌㱘㫄

㪇㪅㪌㱘㫄

㪉㪇㪈㪈ᐕ

㪇㪅㪈㱘㫄

⇣⒳ၮ᧼䉼䉾䊒ធว นᄌᲑ㓏䈱⚦ಽ䇮ᄙᲑ㓏ൻ 㪈Ბ㓏㩿㪦㪥㪃㪦㪝㪝㪀

䉼䉾䊒䊧䊔䊦䈪䈱ૐ ᦨᄢ䊒䊨䉶䉴᷷ᐲ
᷷ធว

㪉㪇㪈㪇ᐕ

㪈㱘㫄
㪈㱘㫄

㪉㪇⑽

ធวᓟᐔ㕙ᐲ䋨㫇㪄 ᦭ല▸࿐䂔㪈㪇㫄㫄䈱㕙♖ᐲ㩿㊂↥ㆡ↪䍸䍫䍼䍷㪀㫍୯䋩㪉㱘㫄㔚᳇⊛䊶ᾲ⊛䈮ૐ䉻 㓸Ⓧᒻᘒ䊜䊷䉳䈱ዊဳൻ䊶৻૕ൻ䈱ធว䊶⚵┙ૐ᷷䈪䈱ૐᔕജធว㪉㪇㪇㪏ᐕᓸዊ䊂䊋䉟䉴㪝㪠㪙ౝ䊙䊆䊏䊠䊧䊷䉲䊢䊮䈮䉋䉎䋳ᰴరടᎿⵝ⟎䈱ታ⃻ታⵝᓟ૏⟎♖ᐲ ㊂↥ㆡ↪䍸䍫䍼䍷㩿㪯㪃㩷㪰㪃㩷㪱㪀㪯㪃㪰䇭㪉㱘㫄䇭㪱㩷㪈㱘㫄 㪯㪃㪰䇭㪈㱘㫄㪱㩷㪇㪅㪌㱘㫄

䉶䊦䊐䉝䉶䊮䊑䊦䈮 శゲ䉝䊤䉟䊜䊮䊃䉋䉎䉼䉾䊒䊧䊔䊦䉝䊤 ♖ᐲ䉟䊜䊮䊃䉼䉾䊒䊧䊔䊦㜞♖ᐲ 䉝䊤䉟䊜䊮䊃♖ᐲ䉝䊤䉟䊜䊮䊃
ಣℂᤨ㑆ਃᰴర㜞♖ᐲ૏⟎᳿䉄㪈㱘㫄㻢㪇㪅㪊㱘㫄

㻡㪈㪇୘㪆䍑䍒䍨

㪉㪇㪇㪎ᐕ䊗䊮䊂䉞䊮䉫♖ᐲ 䋨ᱠ⇐䉁䉍㪏㪇㩼એ਄䈱႐ว䋩
㪈㱘㫄
㪈㱘㫄
ಣℂᤨ㑆
㪈⚛ሶ䈅䈢䉍䈱

䉡䉣䊊䊧䊔䊦㜞♖ᐲ 䉝䊤䉟䊜䊮䊃♖ᐲ䉝䊤䉟䊜䊮䊃

ኻ⽎⇣‛䍙䍐䍛䍼

ၸⓍ䋫䉣䉼䊮䉫ㅪ⛯ടᎿ䈮䉋䉎㪊ᰴర䊂䊋䉟䉴ᒻᚑᓸ⚦ടᎿ䋳ᰴరᒻ⁁ ⇣‛ᢙ㪆䍑䍒䍨
ᵞᵺ

䊋䉟䉥

ή✢ㅢା

ធวᛛⴚ 㪇㪏㪇㪊 ૐ᷷䊶ૐᔕജធวᛛ శⴚ౒ㅢ೨䊶ᓟಣ ⴫㕙ᷡᵺ 㪇㪎㪇㪈 ᭴ㅧ⴫㕙ᵞᵺᛛⴚℂᛛⴚ ൻᛛⴚ

㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴

౒ㅢ㪥㫆㪅㪇㪍㪈㪇 ㅪ⛯㪝㪠㪙䊒䊨䉶䉴ᛛⴚ㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪐䋯㪈㪉䋩ᄙᯏ⢻ᖱႎ䊝䊋䉟䊦┵ᧃ䈮៞タ䈜䉎䌍䌅䌍䌓⵾ຠ‛ℂ㊂䉶䊮䉰╬䌉䌃䈮䉋䉎ାภ
ಣℂ䉕᦭䈜䉎䌍䌅䌍䌓⵾ຠ‛ℂ㊂䉶䊮䉰╬䈱䊌䉾䉬䊷䉳䊮䉫ᤨ䈱ᔕജ䉕໧㗴䈫䈜䉎䌍䌅䌍䌓⵾ຠ
‛ℂ㊂䉶䊮䉰╬䌉䌃䈮䉋䉎ାภ
ಣℂ䉕᦭䈜䉎䌍䌅䌍䌓⵾ຠ࿷ቛ⸻ᢿ䈱䈢䉄䈱䊝䊋䉟䊦䊓䊦䉴䉬䉝䉲䉴䊁䊛䇮ಽᢔဳ䊈䉾䊃䊪䊷䉪䈮䉋䉎ᐢၞⅣႺ䊝䊆䉺䊷䉲䉴䊁䊛䇮⿥ዊဳ䊝䊋䉟䊦ಽᨆ䉲䉴䊁䊛䇮⿥㜞ㅦ䉴䉪䊥䊷䊆䊮䉫䉲䉴䊁䊛䇮ථ਄ဳൻቇว
ᚑ䉲䉴䊁䊛ᄙᯏ⢻ᖱႎ៤Ꮺ䊝䊋䉟䊦┵ᧃᄙᯏ⢻ᖱႎ៤Ꮺ䊝䊋䉟䊦┵ᧃ㪤㪜㪤㪪஍ะ䊚䊤䊷䇮䊚䊤䊷䉝䊧䉟䇮㪤㪜㪤㪪䈮䉋䉎ᵄ㕙ᄌ⺞⚛
ሶ䇮㪤㪜㪤㪪శ䉴䉨䊞䊅䇮䉼䊠䊷䊅䊑䊦ಽశ⚛ሶో䈩䈱㪤㪜㪤㪪⵾ຠ㪤㪜㪤㪪⵾ຠ䈱ዊဳൻ䇮㓸Ⓧൻ䈱ὑ䈱౒ㅢၮ⋚ᛛⴚశㇱຠ䇮䉥䊒䊁䉞䉦䊦䊔䊮䉼㪩㪝䊐䉞䊦䉺䇮㪩㪝䉴䉟䉾䉼䇮䉟䊜䊷䉳䉶䊮䉰䇮ടㅦᐲ䉶䊮䉰䋨䊌䉾䉬䊷䉳䈱৻ㇱ䈱䉦䊋䊷䉇บᐳ䉕䉡䉣䊊䊧䊔䊦䈪䊂䊋䉟䉴䉡䉣䊊䈮ធว䇯䈠䈱ᤨ䈱ធว䊌䉺䊷䊮䈲䊂䊋䉟䉴䈱䊂䉱䉟䊮䈮᜔᧤䈘䉏䇮ห╬䈱♖ᐲ䋩㪤㪜㪤㪪஍ะ䊚䊤䊷䇮䊚䊤䊷䉝䊧䉟䇮㪤㪜㪤㪪䈮䉋䉎ᵄ㕙ᄌ⺞⚛
ሶ䇮㪤㪜㪤㪪శ䉴䉨䊞䊅䇮䉼䊠䊷䊅䊑䊦ಽశ⚛ሶశቇ⚛ሶ䉕ౝ⬿䈜䉎శ㪤㪜㪤㪪㪤㪜㪤㪪⵾ຠ䈱ᱠ⇐䉁䉍቟ቯൻ䋧ૐ䉮䉴䊃ൻታ⃻䈱ὑ䈱౒ㅢၮ⋚ᛛⴚ⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩㪥㫆㪅㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴

౒ㅢ౒ㅢ㪇㪏㪇㪎 䉦䉾䊁䉞䊮䉫ᛛⴚᬌᩏ䊶⹏ ฦ⒳ᬌ 㪇㪐㪇㪈 ᒻ⁁᷹ቯᛛⴚଔᛛⴚ ᩏ䊶⹏ଔᛛⴚ䉶䊮䉰㪇㪏㪇㪍 䊃䊥䊚䊮䉫ᛛⴚ⚛ሶᦨ㜞᷷ᐲ
㪏㪇㷄

㪌㪇㷄

㪈㪇ᐕ

㪈㪇㪇㷄

㪉㪇㪇㪏ᐕ

㪏㪇㷄

㪉㪇㪇㪐ᐕ

㪉㪇㪈㪉ᐕ

㪉㪇㪈㪊ᐕ

㪐㪐㪅㪐㩼

㪏㪇㪇㷄䇮
㪈㪇㪇㪸㫋㫄

㪉㪇㪈㪋ᐕ

ቶ᷷

ቶ᷷

㪉㪇㪉㪌ᐕ

㪏ᯏ⢻
㬍㪏୘
หᏀ䇯䇭ᦝ䈮䇮㜞
ㅦ䇮㜞ኒᐲൻ䇮䋳ᰴ
రൻ䈏ടㅦ

㪐㪐㪅㪐㩼

㪏㪇㪇㷄䇮㪈㪇㪇㪸㫋㫄㪈㪇ᐕ䋨Ᏹ᷷
㪈㪇ᐕ䋨Ᏹ᷷ធว䋩
ធว䋩

㪉㪇㪈㪌ᐕ

㪌㪇䋨ᷓ䈘㪌㪇㪇
㱘㫄䇮ሹᓘ
㪈㪇㱘㫄䋩

㪈㪇㪇䌭㪮

㪈㪇䌭㪮

䈪䈐䈩䈇䈭䈇

䋳ᰴరᒻ⁁⴫㕙䈱㕖 ஥ო☻䈘᷹ቯ♖⎕უ☻䈘ಽᏓ⸘᷹䊶 ᐲ
⹏ଔ

㪍㪐㪍

㫄㫄᏷䇮
㫄㫄ᷓ䈘䇮
㱘㫄⤑ෘ

䋳ᰴరᒻ⁁⴫㕙䈱㕖 ஥ო⤑ෘ᷹ቯ♖⎕უ⤑ෘಽᏓ⸘᷹䊶 ᐲ⹏ଔ㪈㪇㪇㱘㫄᏷䇮ᢙ㪈㪇㱘㫄ᷓ
䈘䇮㪇㪅㪈㱘㫄⤑ෘ㪈㪇㪇㱘㫄᏷䇮ᢙ㪈㪇㱘㫄ᷓ
䈘䇮㪈㪇㪇㫅㫄
㫉㫄㫊

㪇㪅㪌㩼

㪈㩼
㪌㪇䋨ᷓ䈘㪌㪇㪇
㱘㫄䇮Ḵ᏷
㪈㪇㱘㫄䋩

㪈㪇䋨ᷓ䈘
㪈㪇㪇㱘㫄䇮
Ḵ᏷
㪈㪇㱘㫄䋩

㪈⑽

㪇㪅㪈䌭㪮

䋼㪈㪇㪇㫇㫇㫄

䊃䊥䊚䊮䉫ਇⷐ

㪈㪇䌭㪮䊃䊥䊚䊮䉫ਇⷐ

㪈㪇䌭㪮

㪈㪇㪇䌭㪮

㪈㪇㪇

㪈㫄䌭䋲

㫧䋱㫅㫄
㪓㪈㫊㪼㪺
䋨䋱䉡䉢䊊ᒰ䉍䋩㪚㪥㪫ⶄᢙᧄ㪆㪚㪥㪫ⶄᢙᧄ㪆㫊㪼㪺㪈㪇㪇㱘㫄᏷䇮 㪈㪇㪇㱘㫄᏷䇮ᢙ㪈㪇㱘㫄ᢙ㪈㪇㱘㫄ᷓ ᷓ䈘䇮㪈㪇㫅㫄㩷㫉㫄㫊䈘䇮㪌㪇㫅㫄
㫉㫄㫊㪈㪇㱘㫄᏷䇮ᢙ 㪈㱘㫄᏷䇮ᢙ㪈㪇㪇㱘㫄ᷓ㪈㪇㱘㫄ᷓ䈘䇮 䈘䇮㪈㫅㫄⤑ෘ㪇㪅㪈㱘㫄⤑ෘ㪈㪇㪇䋨ᷓ䈘
㪌㪇㪇䋨ᷓ䈘㪌㪇㪇㱘㫄䇮㪌㪇㪇㱘㫄䇮ሹ ሹᓘ㪈㱘㫄䋩
ᓘ㪌㱘㫄䋩

㪈㪇䌭㪮

㪈㪇䌭㪮

㪈㪇㪇

㪈㪇㪇

㪇㪅㪈䌭㪮

㪈㫄䌭䋲

㊂↥ኻᔕ
㫧㪈㪇㫅㫄䇮
㪈㪇㫄㫊㪆ᧄ

㪚㪥㪫㪈ᧄ㪆 㫀㪚㪥㪫㪈ᧄ㪆㫄㫀㫅

㪈䌣䌭䋲

㜞ㅦൻ
㫧㪈㪇㫅㫄䇮
㪈㪇㫊㪆ᧄ

㪈㪇⑽

㪇㪅㪌㱘㫄

㪚㪥㪫㪈ᧄኻ⽎

ᢙ䋦

⎕៊⏕₸

㪇㪅㪈㱘㪮
㪈㱘㫄

㪉㪇㪈㪈ᐕ

㪋ᯏ⢻
㬍㪋୘
ⶄᢙ⒳ㇱຠ䈱⏕₸⊛䉝䉶䊮䊑䊥䈮䉋䉎න⚐䊌䉺䊷 ⶄᢙ⒳ㇱຠ䈱䉶䊦䊐䉝䉶䊮䊑䊥䈮䉋䉎ⶄ㔀䊌䊮ᒻᚑ䉺䊷䊮䈱ᒻᚑ

㪉㪇㪈㪇ᐕ㪤㪜㪤㪪䈮䉋䉎㪚㪥㪫䈱㔚᳇ 㪤㪜㪤㪪䈮䉋䉎ᯏ⢻䊂䊋䉟 ⶄᢙ㪤㪜㪤㪪䈱ਗ೉േ૞ 㪤㪜㪤㪪䈮䉋䉎⥄േൻ㪚㪥㪫 ⥄Ꮖ⚵❱ൻ䉴䈻䈱㪚㪥㪫䉝䉶䊮䊑䊦 䈮䉋䉎㪚㪥㪫䊂䊋䉟䉴ᒻᚑ 䊂䊋䉟䉴⵾ㅧ䉲䉴䊁䊛⊛䊶ᯏ᪾⊛․ᕈ⹏ଔ㕖ធ⸅䋳ᰴరᒻ⁁⸘ 䉝䉴䊕䉪䊃Ყ᷹䊶⹏ଔ䌍䌅䌍䌓ㇱຠ䈱䉡䉣䊊䉻䉟䉲䊮䉫

ಣℂᤨ㑆䋯䉼䉾䊒

ടᎿ♖ᐲ↢ൻቇ⊒㔚㊂න૏㕙Ⓧㄝ䉍䊂 㪈䌣䌭䋲䊋䉟䉴䋨ಽሶᯏ
㪌⢻䋩୘ᢙ㱘䉨䊞䊌䉲䉺䊷ኈ
㊂
㪈䋰㱘㪮
ᝄേ⊒㔚㊂

ಽሶᯏ⢻䉕⛽ᜬ䊶೙ᓮ䈜䉎㓸Ⓧ䉲䉴䊁䊛䈱ታⵝ⥄Ꮖ⊒㔚䋧⫾㔚⚛
ሶ㓸Ⓧൻ㜞♖ᐲ䍃㜞ㅦൻ

ၮᧄᛛⴚ
㫧㪈㪇㫅㫄

૏⟎♖ᐲ䋯ㅦᐲ

䊅䊉᧚ᢱ䊶ㇱຠ䈱♖ኒ⚵┙䊶ᠲ૞

㪈㪇㪇㱘㫄ᝄേ䈪㪇㪅㪈㱘㪮㪤㪜㪤㪪䈮䉋䉎㪚㪥㪫㪈ᧄ䈱䊙䊆䊏䊠䊧䊷
䉲䊢䊮㪚㪥㪫䈱‛ℂ⊛䊙䊆 ᯏ⢻䊏䊠䊧䊷䉲䊢䊮䈮䉋䉎䉝䉶䊮䊑䊦䉴䊦䊷䊒䉾䊃䉴䊦䊒䉾䊃ᯏ⢻ᢙ㬍㓸Ⓧ୘
ᢙ
㪉ᯏ⢻
㪊ᯏ⢻
㬍㪉୘
㬍㪊୘
䊅䊉䉴䉬䊷䊦ㇱຠ䈱 䊌䉺䊷䊮ᒻᚑ䈱⥄ න⒳ㇱຠ䈱䉶䊦䊐䉝䉶䊮䊑䊥䈮䉋䉎ⶄ㔀䊌䌍䌅䌍䌓ၮ᧼਄䈻䈱 ↱ᐲ
䉺䊷䊮ᒻᚑ
䉝䉶䊮䊑䊦

䉝䉪䉼䊠䉣䊷䉺㓸Ⓧൻ㜞᡼ᾲ䊌䉾䉬䊷䉳

౒ㅢ

౒ㅢ

ㆤశᕈ

䉶䊮䉰

㪊ᐕ

㪈㪇㪇㷄

㪉㪇㪇㪎ᐕ

૶↪㒢ᐲ෶䈲ⷙ 䊌䊪䊷㪤㪜㪤㪪ᩰ䈱᷷ᐲ䋯࿶ജ㪊㪇㪇㷄䇮㪊㪇㪸㫋㫄ㆤశᕈ䌶䌳ᵄ㐳⠴㜞᷷䊶㜞࿶ធว䊶
ኽᱛ

䉣䊈䊦䉩䊷

䊋䉟䉥એᄖᚑ⤑᷷ᐲ䊋䉟䉥ะ䈔ᚑ⤑᷷ᐲᜰᮡ᳇ኒ䋨⌀ⓨ䇮⠴Ḩ䋩ኽ ኽᱛ⠴ਭᐕᢙᱛ㪊ᰴరૐ᷷ᚑ⤑శ

ಽ㊁㪇㪏㪇㪌 㜞ᐲታⵝᛛⴚ

䊌䉾䉬䊷 㪇㪏㪇㪋 ኽᱛᛛⴚ䉳ᛛⴚ㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪈㪇䋯㪈㪉䋩⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩䉡䉣䊊䊧䊔䊦䊌䉾䉬䊷䉳䊮䉫࿎㔍䈭శ䌍䌅䌍䌓⵾ຠ╬䋺ૐ㔚᳇⊛䊶ૐᯏ᪾⊛䉻䊜䊷䉳ធว䉅฽䉄䈢䋳ᰴర᭴ㅧ䉕᦭䈜䉎䌍䌅䌍䌓䉶䊮䉰䇮䉝䉪䉼䊠䉣䊷䉺౒ㅢᛛⴚ೙ᓮ↪㔚ሶ࿁〝䉕㓸Ⓧൻ䈚䈢㪤㪜㪤㪪䊂䊋䉟䉴䋺ടᎿ♖ᐲ䈲䊧䊷䉱䊷䊃䊥䊚䊮䉫䈪ᅷᒰ䊐䉜䉟䊮㪤㪜㪤㪪

䊐䉜䉟䊮䊋䉟䉥㪤㪜㪤㪪䊂䊋䉟䉴㪤㪜㪤㪪䊌䉾䉼
䊚䉪䊨䉮䉴䊝䊎䊷䉪䊦䊙䉟䉪䊨ൻቇ䉲䉴䊁䊛౒ㅢᛛⴚᄙᯏ⢻ᖱႎ䊝䊋䉟䊦┵ᧃ䈮៞タ䈜䉎䌍䌅䌍䌓⵾ຠ㔚ሶ࿁〝㓸Ⓧ㫆㫉శቇ⊛䈮ᓇ㗀䉕ฃ䈔䉎䊂䊋䉟䉴

㜞᷷䇮㜞࿶ኻᔕ㪤㪜㪤㪪⵾ຠ䋨䊙䉟䉪䊨䉣䊮䉳䊮䇮䊙䉟䉪䊨䉧䉴䉺䊷䊎䊮䇮䊙䉟䉪䊨䊋䊦䊑䇮䊙䉟䉪䊨䊘䊮䊒䋩

㪤㪜㪤㪪஍ะ䊚䊤䊷䇮䊚䊤䊷䉝䊧䉟䇮㪤㪜㪤㪪䈮䉋䉎ᵄ㕙ᄌ⺞⚛
ሶ䇮䉼䊠䊷䊅䊑䊦ಽశ⚛ሶ䊋䉟䉥એᄖ䈱㪤㪜㪤㪪⵾ຠ䊋䉟䉥ะ䈔㪤㪜㪤㪪⵾ຠ㪥㫆㪅㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴

ಽ㊁
ᬌ಴䊧䊔䊦

ᜰᮡ

⹜㛎ᴺ╷ቯ

⹜㛎ᴺ╷ቯ

∋ഭ⹜㛎

ⴣ᠄⹜㛎

䉡䉣䊊䊧䊔䊦ធวᔕ ᷹ቯ♖ᐲജಽᏓ⹏ଔធวᓟ䈱䉩䊞䉾䊒♖ ធวᓟ䈱䉩䊞䉾䊒♖ᐲᐲ⹏ଔ䉡䉣䊊䊧䊔䊦ធว⹏ ⸘᷹ᗵᐲଔ᳇ኒኽᱛ⹏ଔ

⎇ⓥ䊧䊔䊦ᒁᒛ䉍⹜㛎ᴺ╷ቯ䋨㪪㫀䋩න⚿᥏᧚ᢱ䇭ᐔ㕙ಽ⸃⢻㩷㪈㪇㱘㫄䇭ᔕജ᷹ቯ♖ᐲ㩷䋱㪤㫇㪸㪇㪅㪌㱘㫄䊗䉟䊄䉰䉟䉵

䈪䈐䈩䈇䈭䈇

㪉㪇㪇㪎ᐕ

㪉㪇㪇㪏ᐕ

㪉㪇㪇㪐ᐕ

㪉㪇㪈㪇ᐕ

㪊

㕖᥏⾰᧚
ᢱ䇭ᐔ㕙ಽ
⸃⢻㩷㪈㪇㱘
㫄䇭ᔕജ᷹
ቯ♖ᐲ㩷䋱
㪤

㪈㱘㫄䍕䍼䍊䍍䍪䍽䈏㫧㪇㪅㪌㩼䈪

㪉㪇㪈㪈ᐕ

ⷙᩰൻ㐿ᆎ

ᦛ䈕⹜㛎ᴺ╷ቯ䋨㪪㫀䋩

㪇㪅㪉㱘㫄

㪈㪺㫄

䊂䊋䉟䉴ኸᴺ㪇㪐㪇㪍 ᬌᩏ⹏ଔ↪⸃ᨆᛛⴚ㪈㪇㪇㪉 䊒䊨䉶䉴⸃ᨆᛛⴚ

౒ㅢ

౒ㅢ

౒ㅢ

㪇㪐㪇㪌 ᓸዊ㗔ၞ䈮䈍䈔䉎‛ ౒ㅢℂ㊂⸘᷹ᛛⴚ

⭯⤑䊧䊔䊦䉰䊑䊚䊥䊜䊷䉺㗔ၞ䈱ᐔဋ୯ᭂ⚦శ䊐䉜䉟䊋䈮䉋䉎㓸శኻ⽎᧚ᢱ䋯䊒䊨䉶
䉴ታⵝା㗬ᕈ⹏ଔ⹜▚⺋Ꮕ㪍㪐㪎න৻㪤㪜㪤㪪
䊒䊨䉶䉴䊒䊨䉶䉴⸃ᨆ䈱㜞ᐲ ⵝ⟎಴ജ䊂䊷䉺䈫
ൻ
䈱ㅪ៤

䉼䉾䊒ౝᄙ
ᯏ⢻ㅪᚑ
⸃ᨆ

䊅䊉᧚ᢱ䋯
䊒䊨䉶䉴

⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩

㪈㪪
㪈㪇㫅㫄

㪈㪪
㪈㫅㫄

ಽሶ䊧䊔䊦䈪䈱⸘᷹

ේሶಽሶ
䊧䊔䊦

㪤㪜㪤㪪⵾ຠో⥸㪤㪜㪤㪪⵾ຠో⥸䊅䊉᧚ᢱ䊒 䊋䉟䉥᧚ᢱ䊒䊨䉶䉴 㪤㪜㪤㪪⵾ຠో⥸䊨䉶䉴ኻᔕ ኻᔕ䊋䉟䉥᧚ᢱ䊶㪤㪜㪤㪪
⛔ว䊒䊨䉶
䉴⸃ᨆ

䊋䉟䉥䊶ಽ
ሶㅪᚑ⸃
ᨆ

䊋䉟䉥᧚ᢱ䋯䊒䊨䉶䉴䉰䊑䊚䉪䊨䊮㗔ၞ䈱᷷ᐲ䇮࿶ജ䇮ᵹㅦಽᏓ䈭䈬䈱⸘᷹శᒝᐲ䉕᷹ቯ䈪䈐䉎ේሶ㑆ജ㗼ᓸ㏜䇮ᾲવዉ₸䉕᷹ቯ䈪䈐䉎㗼ᓸ㏜䇮ቯ㊂᷹ቯน⢻䈭⿛ᩏဳᾲ㗼ᓸ㏜㩿㪪㪫㪿㪤㪀䇮ή㈩✢䈪࿶ജ䉕ㅍା䈪䈐䉎䉲䉴䊁䊛⮎೷䊶↢ℂᵴᕈ‛⾰䈱⼂೎䊐䉜䉟䊮㪤㪜㪤㪪

㪪㫀♽᧚ᢱ䇮㊄ዻ䇮䍪䍽䍵 นേ᭴ㅧ䉕᦭䈜䉎䌍䌅䌍䌓⵾ຠ䍛䍟䍍䍖᧚ᢱ∋ഭ⹜㛎 ో⥸ⷙᩰᚑ┙㓸Ⓧ㪩㪝㪄㪤㪜㪤㪪㕖᥏⾰᧚ 㕖᥏⾰᧚ᢱ䇭ⓨ㑆ᢱ䇭ᐔ㕙ಽ ಽ⸃⢻㩷㪈㪇㱘㫄䇭ᔕ⸃⢻㩷㪈㪇㱘 ജ᷹ቯ♖ᐲ㩷䋱㪤㫇㪸㫄䇭ᔕജ᷹ 㕖⎕უ䋳ᰴరಽᏓቯ♖ᐲ㩷䋱㪤㪪㫀♽᧚ᢱ䇮㊄ዻ䇮䍪䍽䍵 นേ᭴ㅧ䉕᦭䈜䉎䌍䌅䌍䌓⵾ຠ㪪㫀♽᧚ᢱ䇮
㊄ዻ䇮䍪䍽䍵䍛 䍛䍟䍍䍖᧚ᢱ㔚᳇⊛∋ ో⥸䍟䍍䍖᧚ᢱ∋ ഭ⹜㛎ⷙᩰᚑ┙
ഭ⹜㛎ⷙ
ᩰᚑ┙

䉶䊮䉰䈫Ⴧ᏷࿁〝䋬ㅍା࿁〝䈱৻૕ൻ㱘㫄ⓨ㑆ಽ⸃⢻

㪉㪇㪉㪌ᐕ

㪇㪅㪈㱘㫄
㪇㪅㪇㪈㱘㫄
㪈㱘㫄䍕䍼䍊䍍䍪䍽 㪈㱘㫄䍕䍼䍊䍍䍪䍽䈏㫧䈏㫧㪇㪅㪈㩼䈪 㪇㪅㪇㪊㩼䈪㪘㪝㪤䊒䊨䊷䊑䋨㪪㪫㪿㪤䋩వ┵䈱ᓸ⚦ൻ䋨䌾㪉㪇㫅㫄䋩㱘㫄㗔ၞ䈱ᐔဋ୯

䊅䊉᧚ᢱ䊶㪤㪜㪤㪪⛔ว
䍪䍽䍹䍜䍛⸃ᨆ

䊌䉾䉬䊷䉳䊧䊔䊦ㅪ ା㗬ᕈ⹜
ᚑ⸃ᨆ
㛎⸃ᨆ䋨∋
ഭ䇮⎕უ䇮
⠴ⅣႺ䋩

㪤㪜㪤㪪᧚ᢱ㪆䊒䊨䉶䉴䉰䊑䊚䊥䊜䊷䉺䇮ᓸዊᵹ〝䈱ᐔဋ୯
㕖ធ⸅⸘᷹

㪉㪇㪈㪌ᐕ
䉡䉣䊊䊧䊔 䉡䉣䊊䊧䊔䊦
䊦
㪏䉟䊮䉼
㪈㪉䉟䊮䉼

㪇㪅㪈㷄
㪇㪅㪇㪈㷄
න৻䉼䊞䊈
න
䉼 䊈
䊦
න৻䊧䉶䊒
䉺
ⶄᢙ㪤㪜㪤㪪䈮䉋䉎ᄙ⥄↱ᐲ⚦⢩ᠲ૞

㪉㪇㪈㪋ᐕ

නಽሶ
䊧䊔䊦
㪘㪝㪤䊒䊨䊷䊑䋨శ䊐䉜䉟䊋䋩వ┵䈱ᓸ⚦ൻ㪤㪜㪤㪪䊶㔚⏛᳇࿁〝⛔ว⸃ᨆ㪤㪜㪤㪪᧚ᢱടᎿ䉕䉟 ኻᔕน⢻䈭䊒䊨䉶 䉲䊥䉮䊮䊒䊨䉶䉴⸃ᨆ䊮䊁䉫䊧䊷䊃䈚䈢䊙䊦 䉴⒳䉼䊒䊨䉶䉴䈱⸃ᨆㅪᚑ⸃ᨆ䈱䉲䉴䊁䊛 ኻᔕน⢻䈭⸃ᨆ
ൻ䇮㜞ᐲൻ
ኻ⽎

ᬌᩏ⹏ଔ↪⸃ᨆᛛ
ⴚ䈱䉲䉴䊁䊛ൻ䊙䉪䊨䈱ᐔဋ୯

᷷ᐲ䊶࿶ജ╬䈱ಽᏓ ⿛ᩏဳᾲ㗼ᓸ㏜ ᷷ᐲ䉶䊮䉰ઃ᷷ᐲ⸘᷹䈱ቯ㊂ൻ䋨䊙䉟䉪䊨䊍䊷䉺䈱ઃട䋩㪘㪝㪤㩿㪪㪫㪿㪤㪀䊒䊨䊷䊑䈱వ㍈ൻ䈵䈝䉂䉶䊮䉰
ඨዉ૕䈮䉋䉎᷹ቯ 䉶䊮䉰䈱ᓸ⚦ൻ᝿ᕈ䋨䉨䊤䊥䊁䉞䋩 䊋䊦䉪᧚᭴ㅧ⸘᷹ಽሶ䊧䊔䊦䈪䈱᷷ᐲ శ䈮䉋䉎᷷ᐲ⸘᷹ శ䊐䉜䉟䊋㪂㪘㪝㪤⸘᷹䊙䉪䊨䈱ᐔဋ୯

㪉㪇㪈㪊ᐕᝦ䉏⹜㛎ᴺ╷ቯ䋨㪪㫀䋩㪉㪇㪈㪉ᐕ㜞๟ᵄኻᔕ䉲䉴䊁䊛 ⷙᩰ䈱೙ቯ㪇㪐㪇㪊 䉲䉴䊁䊛ା㗬ᕈ⹏ଔ ή✢ㅢା⹏ଔᴺ⏕┙ᛛⴚ䈱ା㗬ᕈ⹏ଔ
㪇㪐㪇㪋 ↢૕ᖱႎ⹏ଔᛛⴚ 䊋䉟䉥䇮ක≮䊶⑔ ↢૕ᖱႎ䈱䈠䈱႐ ⸘᷹น⢻⚦⢩䇮ಽ 㪈㪪㪈㪪␩ⷰኤⵝ⟎䋧⸘᷹ᠲ ሶኸᴺ䊶⸘᷹ᤨ㑆 㪈㪇㪇㫅㫄㪌㪇㫅㫄૞⸘᷹᷷ᐲ೙ᓮ
㪇㪅㪌㷄㔚᳇⊛⸘᷹ಽ⸃ ⶄᢙ䉼䊞䊈䊦ⶄᢙ䉼 䊈䊦
⢻ⶄᢙ䊧䉶䊒ൻቇ⊛⸘᷹ಽ⸃ න৻⚦⢩䉺⢻⚦⢩ᠲ૞ṁᶧਛ⚦⢩䈱㪤㪜㪤㪪䈮䉋䉎‛ℂ ᛠᜬജᬌ಴ᯏ᭴䈱ዉ౉⊛䉸䊐䊃䉫㪇㪐㪇㪉 ᒝᐲ╬䊂䊋䉟䉴․ᕈ ౒ㅢ⹏ଔᛛⴚ⸳⸘䊶⸃ 㪤㪜㪤㪪䉲 㪈㪇㪇㪈 ᯏ᭴⸃ᨆᛛⴚᨆᛛⴚ 䊚䊠䊧䊷䉲䊢䊮ᛛⴚ㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪈㪈䋯㪈㪉䋩

⵾ㅧ䉲䉴
䊁䊛ᛛⴚ

㪥㫆㪅

㊀ⷐᛛⴚ⺖㗴

㪈㪇㪇㪊 䉲䉴䊁䊛ൻ⸃ᨆᛛⴚ ౒ㅢ౒ㅢ㪈㪈㪇㪈 ᄙຠ⒳ዋ㊂䊶⋭䉣䊈䊶 ౒ㅢ䊐䊧䉨䉲䊑䊦ടᎿ䉲䉴䊁䊛㪈㪇㪇㪎 ⍮⼂㪈㪌㫂㪮એਅ

↢↥䉴䊦䊷䊒䉾䊃 㪈㪇㫄㫀㫅䋯䊂䊋䉟䉴ᶖ⾌㔚ജ䋨㪈㪏㪇㪇㫏㪈㪏㪇㪇਄䈮㪋䊡䉾䊃ㅪേ䋩䊒䊨䊃䉺䊆䉾䊃ㅪേ䋩䊒䊨䊃䉺䉟䊒ኻᔕน⢻䈭㪛㪙ኻ 㜞♖ᐲ䋳㪛㪤㪜㪤㪪⵾ 㜞㓸Ⓧⶄ⽎ㅧᛛⴚ⍮⼂㪛㪙
ว㪤㪜㪤㪪⵾
ㅧᛛⴚ⍮⼂㪛㪙䌍䌅䌍䌓⵾ㅧᛛⴚ䈱 ⵝ⟎ኸᴺ
ዊဳൻ䊶⋭䉣䊈ൻ䊶䊐ዊဳൻ⋭ 䊈ൻ 䊐
䊧䉨䉲䊑䊦ൻ

㪤㪜㪤㪪⵾ㅧ䍃⹏ଔᛛⴚ䈮㑐䉒䉎⍮⼂㪛㪙㪤㪜㪤㪪᧚ᢱ䈱⹜㛎⹏ ኻᔕน⢻䈭㪛㪙ኻ 䉲䊥䉮䊮♽᧚ᢱ㪛㪙
ଔᴺ䈫᧚ᢱ․ᕈ䊂䊷 ⽎
䉺䊔䊷䉴

䊂䊷䉺
㪈㪇㪇㪍 ᧚ᢱ䊶⇇㕙䊶䊒䊨䉶䉴 ౒ㅢ
䊔䊷䉴᭴
▽

㜞ಽሶ♽
᧚ᢱ㪛㪙

䊙䉟䉪䊨㪆䊙䉪䊨ㅪᚑኻ⽎Ⴚ⇇ᓸዊ㗔ၞ䈮䈍䈔䉎
䉲䉴䊁䊛䊧䊔䊦䈪䈱⸃ᨆන৻ಽሶ䊶ᩰሶ䊧䊔 ήᯏ᧚ᢱ䈫
䈱䊝䊂䊥䊮
䊦
䉫

㪉㪇㪇㪏ᐕ

ฦ䉴䉬䊷䊦䈍䉋䈶ฦ ⸃ᨆኻ⽎䉴䉬䊷䊦㑆䈱䊝䊂䊦
ൻᛛⴚ

㪉㪇㪇㪎ᐕ
ⶄᢙ㪤㪜㪤㪪㪆㪠㪚ᜰᮡ䉲䉴䊁䊛ൻᛛⴚ䈱㜞 ኻᔕน⢻䈭⚛ሶᐲൻᒝㅪᚑ䊶ᒙㅪᚑ䉕฽ ⸘▚♖ᐲ䈫⸘▚䉄䈢䊝䊂䊦ൻ䈍䉋䈶 ᤨ㑆⸃ᨆᚻᴺ䈱⏕┙

ಽ㊁䊙䊦䉼
㪈㪇㪇㪌 㔚႐䊶⏛႐䊶᭴ㅧ䊶౒ㅢ䊐䉞䉳䉪䉴ᾲ䊶ᵹ૕䈱ㅪᚑ⸃ᨆ
䉲䊚䊠
ᛛⴚ
䊧䊷䉲䊢
䊮

䊙䊦䉼䉴 㪈㪇㪇㪋 䊅䊉䋯䊙䉟䉪䊨䋯䊙䉪 ౒ㅢ䉬䊷䊦䉲䊨⸃ᨆ䊝䊂䊥䊮䉫ᛛ
䊚䊠䊧䊷
ⴚ
䉲䊢䊮ᛛ
ⴚ

㪤㪜㪤㪪ⷐ⚛ᛛⴚಽ㘃㪄㪈 ಽ㘃㪄㪉

㪍㪐㪏

㪉㪇㪇㪐ᐕ

㪌㫄㫀㫅䋯
䊂䊋䉟䉴

㪌㫂㪮એਅ

㪈㪏㪇㪇㫏㪐㪇㪇䈮
㪍䊡䊆䉾䊃
㪍
䉾䊃
䋨♖ᐲ䉅ห
╬䋩

䊅䊉ᯏ⢻ઃ
ട⵾ㅧᛛ
ⴚ⍮⼂㪛㪙

䊅䊉᧚ᢱ㪛㪙

䊅䊉᧚ᢱ䋯㪤㪜㪤㪪⚛ሶ

㪉㪇㪈㪇ᐕ

ᢙㇱຠ䈎䉌
ᢙචㇱຠ䊧
䊔䊦䈪䈱䉲
䉴䊁䊛䉲
䊚䊠䊧䊷䉲䊢
䊮䊅䊉㪆䊙䉟䉪
䊨ㅪᚑ

㪉㪇㪈㪈ᐕ

㪉㪇㪈㪉ᐕ

᦭ᯏ᧚ᢱ䉕
฽䉃䊝䊂䊥
䊮䉫

䌍䌅䌍䌓ಽ㊁䈱ᛛⴚ䊨䊷䊄䊙䉾䊒䋨㪈㪉䋯㪈㪉䋩
㪉㪇㪈㪊ᐕ

㪉㪇㪈㪋ᐕ

㪈㫄㫀㫅䋯
䊂䊋䉟䉴

㪉㫂㪮એਅ

㪈㪏㪇㪇㫏㪐㪇㪇䈪ㅢᏱ㪤㪜㪤㪪
䉲䉴䊁䊛ห
╬䋨♖ᐲ䉅
ห╬䋩

䊅䊉䊋䉟䉥
Ⲣว⵾ㅧ
ᛛⴚ⍮⼂
㪛㪙

䊋䉟䉥᧚ᢱ
㪛㪙

䊋䉟䉥᧚ᢱ
䉕฽䉃䊝䊂
䊥䊮䉫

㪉㪇㪈㪌ᐕ

㪉㪇㪉㪌ᐕ

㪇㪅㪈㫄㫀㫅㪆䊂䊋䉟䉴

㪈㫂㪮એਅ

ዊဳൻ

䇭

㪛㪙లታ

㪛㪙లታ

࿁〝䉕฽䉃೨䉲䉴䊁䊛䊧䊔䊦䈪䈱⸃ᨆ䊅䊉㪆䊙䉟䉪䊨㪆䊙䉪䊨ㅪᚑ䊋䉟䉥᧚ᢱ㪆㪤㪜㪤㪪⚛ሶ⵾ㅧ䉲䉴䊁䊛
ක≮↪╬⃻႐⵾ㅧ නຠ⵾ㅧක≮↪╬⃻႐⵾ㅧ䊶නຠ⵾ㅧຠ⋡㪤㪜㪤㪪⵾ຠో⥸㪤㪜㪤㪪⵾ຠో⥸⵾ຠ㩷㩿㪤㪜㪤㪪ᛛⴚ䈱ㆡ↪ຠ䋩㧹㧱㧹㧿ಽ㊁ߩ࿖㓙┹੎ࡐ࡚ࠫࠪࡦ
㧝㧚㧹㧱㧹㧿ߦ㑐ߔࠆ․⸵േะઙᢙ㪮㪠㪧㪦࿖㓙಴㗿ઙᢙ

㪈㪍㪇
㪈㪋㪇
㪈㪉㪇
㪈㪇㪇

ᣣᧄ
☨࿖
᰷Ꮊ
䉝䉳䉝

㪏㪇
㪍㪇
㪋㪇
㪉㪇
㪇
㪈㪐㪐㪎 㪈㪐㪐㪏 㪈㪐㪐㪐 㪉㪇㪇㪇 㪉㪇㪇㪈 㪉㪇㪇㪉 㪉㪇㪇㪊 㪉㪇㪇㪋 㪉㪇㪇㪌 㪉㪇㪇㪍ᐕ಴ౖ䋺ᐔᚑ 㪈㪐 ᐕᐲ 㪤㪜㪤㪪 䈱ᛛⴚᚢ⇛䊙䉾䊒䈱䊨䊷䊥䊮䉫䈮㑐䈜䉎⺞ᩏ䇸ቇⴚേะ⺞ᩏ䇹㩷

ٟ9+21 ࿖㓙․⸵಴㗿ઙᢙࠍߺࠆߣ‫ޔ‬㨪 ᐕߩ  ᐕ㑆ߩ⚥⸘ઙᢙߦኻߒ‫ޔ‬ㄭᐕ㧔㨪 ᐕ㧕ߩ  ᐕ㑆ߩ⚥⸘ઙᢙ߇  ୚⒟ᐲߣߥࠅ‫ޔ‬ᄢ߈ߥિ߮ࠍ␜ߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬

᰷Ꮊ
㪈㪋㩷㩼

䍏䍚䍼䍏
䋲㩷㩼 ᣣᧄ䋷㩷 㩼䍏䍚䍼䍏䋶㩷㩼 ᣣᧄ
䋸㩷 㩼
᰷Ꮊ
㪉㪇㩷㩼

㪮㪠㪧㪦಴㗿
ઙᢙ㩷㩷㪊㪌㪈
䋨㪌ᐕ㑆䋩㪮㪠㪧㪦಴㗿
ઙᢙ㩷㪈㪃㪇㪇㪊
䋨㪌ᐕ㑆䋩

☨࿖
㪎㪎㩷㩼

☨࿖
㪍㪍㩷㩼

䋨㪈㪐㪐㪎䌾㪉㪇㪇㪈ᐕ䈱⚥⸘ઙᢙ䋩䋨㪉㪇㪇㪉䌾㪉㪇㪇㪍ᐕ䈱⚥⸘ઙᢙ䋩಴ౖ䋺ᐔᚑ 㪈㪐 ᐕᐲ 㪤㪜㪤㪪 䈱ᛛⴚᚢ⇛䊙䉾䊒䈱䊨䊷䊥䊮䉫䈮㑐䈜䉎⺞ᩏ䇸ቇⴚേะ⺞ᩏ䇹㩷

ٟ9+21 ࿖㓙․⸵಴㗿ઙᢙߩ࿾ၞ೎ഀวࠍߺࠆߣ‫ޔ‬ㄭᐕ㧔㨪 ᐕ㧕ߢߪ‫ޔ‬ᣣᧄߢ⧯ᐓߩિ߮߇޽ࠆ߶߆‫ޔ‬ࠕࠫࠕߢߪ  ୚ߣߥߞߡ޿ࠆ‫ߚ߹ޕ‬᰷Ꮊߩિ߽߮ᄢ߈ߊ‫ߩߘޔ‬ಽ‫☨ޔ‬࿖߇ߘߩഀวࠍ⪭ߣߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬㧞㧚㧹㧱㧹㧿ߦ㑐ߔࠆ⺰ᢥ⊒⴫േะ
㪍㪇㪇

㪉㪌㪇

ർ☨

㪌㪇㪇
⊒
⴫
⺰
ᢥ
✚
ઙ
ᢙ

㪉㪇㪇
࿾
ၞ
೎ 㪈㪌㪇
⊒
⴫
⺰
ᢥ 㪈㪇㪇
ઙ
ᢙ
㪌㪇

㪋㪇㪇
㪊㪇㪇
㪉㪇㪇
㪈㪇㪇

ᣣᧄ
᰷Ꮊ
䉝䉳䉝

㪇

㪇

㪉㪇㪇㪈ᐕ 㪉㪇㪇㪉ᐕ 㪉㪇㪇㪊ᐕ 㪉㪇㪇㪋ᐕ 㪉㪇㪇㪌ᐕ 㪉㪇㪇㪍ᐕ 㪉㪇㪇㪎ᐕ 㪉㪇㪇㪏ᐕ㪉㪇㪇㪈ᐕ 㪉㪇㪇㪉ᐕ 㪉㪇㪇㪊ᐕ 㪉㪇㪇㪋ᐕ 㪉㪇㪇㪌ᐕ 㪉㪇㪇㪍ᐕ 㪉㪇㪇㪎ᐕ 㪉㪇㪇㪏ᐕ
㐿௅ᐕᐲ

  

㐿௅ᐕᐲ

಴ౖ䋺ᐔᚑ 㪈㪐 ᐕᐲ 㪤㪜㪤㪪 䈱ᛛⴚᚢ⇛䊙䉾䊒䈱䊨䊷䊥䊮䉫䈮㑐䈜䉎⺞ᩏ䇸ቇⴚേะ⺞ᩏ䇹㩷ٟઍ⴫⊛ߥ /'/5 ߩ࿖㓙ળ⼏ߢ޽ࠆ +'''+PVGTPCVKQPCN%QPHGTGPEGQP/KETQ'NGEVTQ/GEJCPKECN5[UVGOU ߦ߅ߌࠆ⊒⴫⺰ᢥᢙߪ‫ ޔ‬ᐕ㑆ߢ୚Ⴧߒߚ‫ޕ‬࿾ၞ೎ߦ⷗ࠆߣ‫ߢ߹ࠇߎޔ‬ᣣᧄ߇࠻࠶ࡊߩർ☨ࠍᕆㅦߦㅊ޿਄ߍߡ޿ߚ߇‫ ޔ‬ᐕߦർ☨ߣ᰷Ꮊ߇Ꮞ߈㄰ߒࠍ⷗ߖߚ‫ޕ‬㪍㪐㪐㧟㧚㧹㧱㧹㧿ߩᏒ႐േะ
⃻࿷Ꮢ႐ⷙᮨ䋨2005
ᐕᐲ䋩
4,397.3ం౞⃻࿷Ꮢ႐ⷙᮨ䋨2005ᐕᐲ䋩
4,397.3ం౞
2010ᐕᐲ੍ᗐ
1ళ1䋬743.4ం౞
2010ᐕᐲ੍ᗐ
743.4ం౞
䌍䌅䌍䌓㑐ㅪᏒ႐䈱ផ⒖
2015ᐕᐲ੍ᗐ
ᐕᐲ੍ᗐ
2
ళ
4
䋬074.3ం౞
2015
074.3ం౞

㪉㪌㪃㪇㪇㪇
ㄘᨋ᳓↥㑐ㅪಽ㊁⥶ⓨቝቮ㑐ㅪಽ㊁ㇺᏒⅣႺᢛ஻㑐ㅪಽ㊁⥄േゞ㑐ㅪಽ㊁ⅣႺ㑐ㅪಽ㊁䉣䊈䊦䉩䊷㑐ㅪಽ㊁
䊋䉟䉥䊁䉪䊉䊨䉳䊷㑐ㅪಽ㊁ක≮⑔␩㑐ㅪಽ㊁♖ኒᯏེ㑐ㅪಽ㊁⵾ㅧᛛⴚ㑐ㅪಽ㊁䉝䊚䊠䊷䉵䊜䊮䊃㑐ㅪಽ㊁᳃↢↪㔚ሶ䊶㔚᳇ᯏེ㑐ㅪಽ㊁ᖱႎㅢାᯏེ㑐ㅪಽ㊁㪉㪇㪃㪇㪇㪇Ꮢ႐ⷙ 㪈㪌㪃㪇㪇㪇ᮨ义ం 㪈㪇㪃㪇㪇㪇
౞
乊

㪌㪃㪇㪇㪇

㪇

㪉㪇㪇㪌ᐕᐲ

㪉㪇㪈㪇ᐕᐲ

㪉㪇㪈㪌ᐕᐲ

ಽ㊁೎Ꮢ႐േะ㩷䌍䌅䌍䌓⵾ຠ೎Ꮢ႐േะ㩷㪈㪋㪃㪇㪇㪇

㪉㪇㪇㪌ᐕᐲ
㪉㪇㪈㪇ᐕᐲ
㪉㪇㪈㪌ᐕᐲ

ㄘ
ᨋ
᳓
↥
㑐
ㅪ
ಽ
㊁

㪉㪇㪇㪌ᐕ ᐲ㪉㪇㪈㪇ᐕ ᐲ㪉㪇㪈㪌ᐕ ᐲ义ం 㪍㪃㪇㪇㪇
౞乊 㪋㪃㪇㪇㪇
㪉㪃㪇㪇㪇

㪪

㪪

㪜㪤
㪤
䊪

䊷

ቇ

䉟

䉥

䊌

㪪
䉺
䊷

䇭ൻ
䊶䇭

䊠
䉼
䉪

㪜㪤
㪤

㪜㪤
䉣

ᵹ

૕

㪤

㪤
䊷

䉰
䊮

䉶

䉝

䊋

㪪

㪜㪤

㪪

㪜㪤
㪤

㪜㪤

㪝㪄
㪩

శ

㪤

಴ౖ䋺ᐔᚑ 㪈㪏 ᐕᐲ 㪤㪜㪤㪪 䈱ᛛⴚᚢ⇛䊙䉾䊒䈱䊨䊷䊥䊮䉫䈮㑐䈜䉎⺞ᩏ䇸Ꮢ႐േะ⺞ᩏ䇹㩷

㪪

㪇

ઁ

⥶
ⓨ
ቝ
ቮ
㑐
ㅪ
ಽ
㊁

㪪

ㇺ
Ꮢ
Ⅳ
Ⴚ
㊁ᢛ
஻
㑐
ㅪ
ಽ

䈱

⥄
േ
ゞ
㑐
ㅪ
ಽ
㊁

䈠

Ⅳ
Ⴚ
㑐
ㅪ
ಽ
㊁

㪪

䷧
丌
个
䷭
丶
㑐
ㅪ
ಽ
㊁

㪜㪤

丏
䷣
䷩
㑐
ㅪ丅
䷮
ಽ
㊁不
丬
䷷
丶

㪤

ක
≮
⑔
␩
㑐
ㅪ
ಽ
㊁

ว

♖
ኒ
ᯏ
ེ
㑐
ㅪ
ಽ
㊁

ⶄ

⵾
ㅧ
ᛛ
ⴚ
㑐
ㅪ
ಽ
㊁

Ꮢ 㪈㪇㪃㪇㪇㪇
႐ⷙ 㪏㪃㪇㪇㪇
ᮨ

㪜㪤

ᖱ
᳃
䷡
ႎ
↢
丞
ㅢ ེ↪
两
ା 㑐㔚 ㅪ 丶㊁ᯏ ㅪሶ ಽ ䷹
ེ ಽ
㊁
丵 丠
㑐 ㊁㔚
丱
ㅪ
᳇
万
ಽ
ᯏ
㑐

㪈㪉㪃㪇㪇㪇

㪤㪈㪇㪃㪇㪇㪇Ꮢ 㪐㪃㪇㪇㪇႐ 㪏㪃㪇㪇㪇ⷙ 㪎㪃㪇㪇㪇ᮨ 㪍㪃㪇㪇㪇㪌㪃㪇㪇㪇义 㪋㪃㪇㪇㪇ం 㪊㪃㪇㪇㪇౞ 㪉㪃㪇㪇㪇乊 㪈㪃㪇㪇㪇
㪇ٟ㧹㧱㧹㧿ߩᏒ႐ߪ㗅⺞ߦ᜛ᄢߒߡ߅ࠅ‫ ޔ‬ᐕᐲߦߪ  ళ౞ࠍ⿥߃ࠆߣ੍ᗐߐࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬Ꮢ႐ߣߒߡߪ⥄േゞ㑐ㅪ
ಽ㊁ߣᖱႎㅢାᯏེ㑐ㅪಽ㊁ߢᄢ߈ߊિ߮‫੹ޔ‬ᓟߣ߽࠮ࡦࠨ࡯࡮శ࡮㧾㧲㧹㧱㧹㧿╬ࠍਛᔃߦᏒ႐ࠍᒻᚑߒߡ޿ߊ‫ޕ‬㪎㪇㪇

添付資料４．事前評価関連資料

事前評価書
作成日

１． 事業名称

平成１７年１１月０７日

高集積・複合 MEMS 製造技術開発プロジェクト（コード番号）
２．推進部署名

３．事業概要

機械システム技術開発部(1)概要：日本のＭＥＭＳ産業は、微小三次元構造的加工による単機
能 MEMS デバイスを中心として発展しており、今後世界のトップレベルにある日本のナノ機能研究の成果を MEMS に適用する期待が高まっている。一方、米国では、LSI などの半導体集積化をベースとした MEMS の集積化が発展、欧州ではハイブリッド主体とした MEMS
集積化に注力している。今後、需要が急増すると予想される情報通信分野や国際競争力を持つ自動車分野などで強く求められている
主要部品の小型化、高・多機能化、低コスト化を実現するために、
微小三次元化構造加工の高度化とナノ部材などの異種材料の活用による機能の集積化を図るための基盤製造技術を開発し、製造分野全般における産業競争力の強化に資することを目的とする。
本事業では、今後５年～１０年後の実用化をめざして、以下の３つの研究課題に取り組む。
①MEMS／ナノ機能の複合：MEMS の上にナノ構造やナノ修飾を施す製造技術開発することにより、優れた機能を発揮するデバイスを実現できる。
②MEMS／半導体の一体形成：MEMS デバイスと半導体集積回路を一体で形成する集積化製造技術を開発することにより、機能体積比の飛躍的向上が可能となる。
③MEMS／MEMS の高集積結合：レンズ、ミラーなどの複数の MEMS と、
発光素子、受光素子などの異種機能材料に関し、それぞれの機能材
料をウェハレベルで一括複合する製造技術を開発することにより、高度なデバイスを実現できる。
(2) 事業規模：総事業費（国費分）（平成 1８年度 １１億円程度）(3) 事業期間：平成１８年度～２０年度（３年間）

４．評価の検討状況

701

（１） 事業の位置付け・必要性
我が国の日本のＭＥＭＳ産業は、微小三次元構造的加工による単機能 MEMS デバイスを中心として発展しており、今後、需要が急増すると予想される情報通信分野や国際競争力を持つ自動車分野などで強く求められている主要部品の小型化、高・多機能化、低コスト化を実現するためには、微小三次元化構造加工の高度化とナノ部材などの異種材料の活用による高機能、多機能 MEMS の製造技術開発が重要である。また、またこれらのMEMS が実現されれば、安心安全、環境、エネルギー、医療福祉といった社会的ニーズへの波及効果も期待できる。しかしながら、実用化、事業化のためには多大な時間と費用を要し、またリスクも高いため、民間のみによる取り組みを期待することは難しい。従って、国が中心となって産学官連携による集中的な取り組みを実施することにより、技術開発の加速化や研究成果を生かした製品の早期実用化が可能となる。よって、本事業
は、産業の技術競争力強化に大きく貢献する分野であり、その成果が産業全体に寄与するため、国の事業として行う必要性が高い事業である。

（２） 研究開発目標の妥当性［目標］
今後５～１０年後に必要とされる MEMS 製品を想定し、この達成に必要な要素技術を開発する。想定される MEMS 製品の例は以下のとおりである。
・携帯電話用 RF-MEMS
・計測装置用光 MEMS
・通信機能付き超小型多機能センサ［妥当性］
今後５～１０年後に必要とされる商品として魅力的な MEMS 製品を設定する必要がある。また、MEMS 製品を実現するために必要なスペック（技術仕様）への落とし込みについては、ユーザーおよびメーカーの両者の知見を反映させる必要がある。

（３） 研究開発マネジメント①MEMS／ナノ機能の複合、②MEMS／半導体の一体形成および③MEMS／MEMS の高集積結合
といった３つの研究課題に対して、過不足のない重要研究テーマを設定するとともに、全体的には助成事業であるが、基盤技術については委託事業で実施して、基盤技術の情報共有化により技術開発の加速を行う。

（４） 研究開発成果
需要が急増すると予想される情報通信分野や国際競争力を持つ自動車分野のみならず、産業全体にも広く波及効果が期待できる。

702

（５） 実用化・事業化の見通し
２０１０年以降（６） その他特記事項
特になし。

５．総合評価以上、４．の評価結果により、ＮＥＤＯの事業として実施するには、研究テーマの選定、目標等について、今後さらに、委員会やＮＥＤＯＰＯＳＴにより、詳細を詰めていく必要
がある。

703

「高集積・複合 MEMS 製造技術開発基本計画（案）」に対するパブリックコメント募集の結果について
平成１８年２月２４日
ＮＥＤＯ技術開発機構
機械システム技術開発部
ＮＥＤＯ ＰＯＳＴ ３において標記基本計画（案）に対するパブリックコメントの募集を行いました結果をご報告いたします。
お寄せいただきましたご意見を検討し、別添の基本計画に反映させていただきました。
みなさまからのご協力を頂き、ありがとうございました。
１．パブリックコメント募集期間
平成１８年２月６日～平成１８年２月１６日
２．パブリックコメント投稿数＜有効のもの＞
計８件
３．パブリックコメントの内容とそれに対する考え方
ご意見の概要ご意見に対する考え方
全体について[意見１]（８件）[考え方と対応]
IC メーカの考える次の MEMS、今、MEMS を中心に展開している MEMS メ ご意見、拝承しました。
ーカの次の MEMS、さらにナノテク等の他分野技術との取り込みが課題
として盛り込まれており、期待が大きいプロジェクトである。
１．研究開発の目的(1)研究開発の目的(2)研究開発の目標[意見１]（１件）[考え方と対応]
基本計画案の目標は非常に高いと感じますが、計画実行によって得られ ご意見、拝承しました。
るメリットは非常に大きく、国の支援の下進めるプロジェクトとして魅力あるものと考えます。
704

基本計画への反映[反映の有無と反映内容]
特になし[反映の有無と反映内容]
特になし(3)研究開発の内容
２．研究開発の実施方式(1)研究開発の実施体制[意見１]（１件）
産学連携をどう効果的に進めるかが重要であり、その点で、委託事業と助成事業の配置構成がそれを示すものと考えておりますが、それらお互いがどう有機的に係わっていくかについて、大学や国研、企業の提案として、どう取り組みを引き出すかが重要になると思われる。
[意見１]（１件）
但し、企業に対しては 1/2 補助であるため、チャレンジな提案ができな
いため、欧米との差が付くのを危惧致します。願わくば、企業に対しても 100％補助にして、企業がチャレンジあるテーマを提案できるような国の支援をお願いしたいと思います。

[反映の有無と反映内容][考え方と対応]
本プロジェクトは、産学連携の下で進めることとし 特になしており、その効果的な推進は、非常に重要であると考えています。今後、この点にも留意して、採択や
プロジェクト運営を行っていく予定です。
[反映の有無と反映内容][考え方と対応]
欧米との差を縮め、追い抜くために、本プロジェク 特になし
トを立ち上げました。研究開発項目の中で製品化に近いところは、企業もお金を出して、積極的に取り組んでいただくため、１／２助成がよいと考えています。ただし、基礎的・基盤的技術については委託とし、その成果を開示し、実用化開発の主体や広く
ＭＥＭＳ産業への普及・活用に役立たせることが望まれるため、大学等の公的機関で実施します。

(2)研究開発の運営管理
３．研究開発の実施期間
４．評価に関する事項
５．その他重要事項
その他

以上

705

添付資料５５－１．特許出願リスト
研究開発項目① ＭＥＭＳ／ナノ機能の複合技術の開発（１）選択的ナノ機械構造体形成技術（東京大学）
国内出願
番号

出願日

出願番号

名称

発明者

１

2007.1.19

特願
2007-010867

微小構造体の製造方法，微小構造体
およびマイクロデバイス

国立大学法人東京大学２2007.1.19

特願
2007-010869

微小構造体の集積方法，微小構造体
およびマイクロデバイス

国立大学法人東京大学３2008.1.10

特願2008-003695

SPR センサチップ及びこれを用いた
SPR センサ

国立大学法人東京大
学

海外出願
番号

出願日

出願番号

名称

発明者

１

2008.1.21

国際出願番号
PCT/JP2008/050729

微小構造体の集積方法，微小構造体およびマイクロデバイス

国立大学法人東京大学

２2008.1.21

国際出願番号
PCT/JP2008/050728

微小構造体の製造方法，微小構造体およびマイクロデバイス

国立大学法人東京大学（２）バイオ材料（タンパク質など）の選択的修飾技術（産業技術総合研究所）
国内出願
番号

出願日

出願番号

名称

発明者

１

2008/2/7

2008-027552

タンパク質分析用試薬

鈴木祥夫、横山憲二

２

2008/6/12

2008-153991

ボロンジピロロメタン誘導体及びそ井上直子、鈴木祥れを用いた過酸化脂質測定試薬夫、横山憲二、軽部征夫

706

（３）ナノ材料（CNT など）の選択的形成技術（産業技術総合研究所）
国内出願
番号
１

出願日

出願番号

名称

2007/02/20

2007-039481

カーボンナノチューブを用いた機能性素子

発明者
産総研

基板及びその製造方法
２

2007/02/20

2007-039531

カーボンナノチューブ・ビーム及びその製造

産総研

方法
３

2008/02/19

2008-038029

カーボンナノチューブ膜構造体及びその製

産総研

造方法
４

2008/02/29

2008-051319

カーボンナノチューブ膜構造体及びその製

産総研

造方法
５

2008/02/29

2008-051320

カーボンナノチューブ構造体及びその製造

産総研

方法
６

2008/05/01

2008-119820

カーボンナノチューブ膜構造体及びその製

産総研

造方法

海外出願
番号
１

２

３

４

出願日

出願番号

名称

2008/02/20

PCT/JP2008/0528

カーボンナノチューブからなる梁状体

75

及びその製造方法

200910003609

カーボンナノチューブ構造体及びその

（CN）

製造方法

PCT/JP2009/0539

カーボンナノチューブ膜構造体及びそ

07

の製造方法

12/379801（US）

カーボンナノチューブ構造体及びその2009/01/14

2009/03/02

2009/03/02

製造方法

707

発明者
産総研

産総研

産総研

産総研

（４）ナノ機能を組み込んだＭＥＭＳ デバイスの製造技術（三菱電機株式会社）
国内出願
番号

出願日

出願番号

名称

発明者

１

2007/6/29

2007-171755

MEMS スイッチ及びその製造方法

吉田 幸久

２

2008/1/29

2008-017801

メッキ方法およびその方法により製出尾 晋一造されたメッキ皮膜を備えたメッキ品およびメッキ液

研究開発項目② ＭＥＭＳ／半導体の一体形成技術の開発（１）ＭＥＭＳ-半導体プロセス統合モノリシック製造技術（１）－１．新たなセンシング原理の探索－ （立命館大学）
国内出願
番号

出願日

出願番号

名称

発明者

１

2009/ /

出願準備中

ピエゾ抵抗素子の製法と構造

杉山進他

２

2009/ /

出願準備中

WSi を可動構造とする慣性センサ

杉山進他（１）－２．半導体モノリシック集積化基盤技術開発（株式会社 日立製作所）
国内出願
番号

出願日

出願番号

名称

発明者

１

2006/11/30

2006-323865

ＭＥＭＳセンサが混載された半導体

藤森司、花岡裕子、装置

福田宏

微小電気機械システム素子の製造

鄭希元、後藤康、花方法

岡裕子、藤森司

半導体装置およびその製造方法

後藤康、藤森司、鄭２

３

2007/07/12

2007/11/16

2007-183159

2007-297854

希元、山中聖子４

2008/02/21

2008-040030

半導体装置

後藤康、藤森司

５

2008/06/19

2008-160342

集積化マイクロエレクトロメカニカル

花岡裕子、鷹野秀システムおよびその製造方法

明、藤森司

708

海外出願
番号
１

２

３

出願日
2007/04/05

2007/04/25

2008/06/20

出願番号

名称

発明者

11/697202

SEMICONDUCTOR DEVICE

Tsukasa Fujimori,(US)CARRYING MICRO ELECTRO

Yuko Hanaoka,

MECHANICAL SYSTEM

Hiroshi Fukuda

07008443.9

SEMICONDUCTOR DEVICE

Tsukasa Fujimori,(EP)CARRYING MICRO ELECTRO

Yuko Hanaoka,

MECHANICAL SYSTEM

Hiroshi Fukuda

12/143372

METHOD OF MANUFACTURING

Heewon JEONG,(US)MICRO ELECTRO MECHANICAL

Yasushi Goto,

SYSTEMS DEVICE

Yuko Hanaoka,
Tsukasa Fujimori４

2008/06/25

08011540.5

METHOD OF MANUFACTURING

Heewon JEONG,(EP)

MICRO ELECTRO MECHANICAL

Yasushi Goto,

SYSTEMS DEVICE

Yuko Hanaoka,
Tsukasa Fujimori

５

2008/11/13

12/270463

Semiconductor device and method

Yasushi GOTO,(US)of manufacturing the same

Tsukasa Fujimori,Heewon Jeong,Kiyoko Yamanaka

６

2008/11/13

08019868.2

Semiconductor device and method

Yasushi GOTO,(EP)

of manufacturing the same

Tsukasa Fujimori,Heewon Jeong,Kiyoko Yamanaka

709

（２）ＭＥＭＳ-半導体縦方向配線技術（２）－１．縦方向集積ＭＥＭＳ デバイス製造技術の開発（オムロン株式会社）
国内出願
番号

出願日

出願番号

名称

１

2006/5/24

2006-144689

積層デバイス、およびその製造方

発明者
佐々木昌、他

法２

2008/07/14

2008-182577

基板接合方法および電子部品

塩崎真良、他

海外出願
番号
１

出願日

出願番号

名称

2009/7/10

200910159812.x

基板接合方法および電子部品

発明者
塩崎真良、他（CN）２

2009/7/10

9165177.8

基板接合方法および電子部品

塩崎真良、他（EP）３

2009/7/14

12/502,735

基板接合方法および電子部品

塩崎真良、他（US）（２）－２．配線の自由度を向上できる 3 次元配線構造を持つ
高信頼性インタポーザル技術の開発（株式会社 フジクラ）
国内出願
番号

出願日

出願番号

名称

１

2007/2/16

2007-36670

光電気複合実装基板の製造方法及び

発明者
山本敏

実装基板
２

2007/11/9

2007-292193

半導体パッケージの製造方法

三谷尚吾

３

2007/12/25

2007-331695

半導体装置及びその製造方法

山本敏

４

2008/1/24

2008-13676

貫通配線基板及びその製造方法

山本敏

５

2008/4/16

2008-106768

基板の処理方法、貫通配線基板及び額賀理

その製造方法、並びに電子部品
６

2008/7/9

2008-179174

貫通配線基板及びその製造方法

脇岡寛之

７

2008/8/7

2008-204214

半導体装置の製造方法

額賀理

710

海外出願
番号
１

出願日

出願番号

名称

発明者

2008/12/1

PCT/JP2008/072636

半導体装置及びその製造方法

山本敏

12/267224(US)Fabrication method of

Shogo Mitani

2２

2008/11/7

semiconductor package
３

2008/11/1

200810175267.9(CN)Fabrication method of

0
４

Shogo Mitani

semiconductor package

2008/11/7

08168556.2(EPC)

Fabrication method of

Shogo Mitani

semiconductor package（３）ＭＥＭＳ-半導体横方向配線技術（３）－１ 高集積ＭＥＭＳ擬似ＳＯＣ製造技術の研究開発 （株式会社 東芝）
国内出願
番号

出願日

１

2007/09/06

出願番号
P2007-231394

名称

発明者

半導体装置およびその製造方

山田 浩,鈴木 和

法拓,小野塚 豊,舟木英之,板谷 和彦２

３

2008/01/11

2008/02/14

P2008-4100

P2008-32594

半導体装置およびその製造方

飯田 敦子,小野塚

法豊,板谷 和彦

集積半導体装置

山田 浩,板谷 和彦,小野塚 豊,舟木英之

４

2008/02/22

P2008-40878

集積半導体装置

山田 浩,板谷 和彦,小野塚 豊,舟木英之

５

2008/05/30

P2008-143323

半導体装置およびその製造方

飯田 敦子,小野塚

法豊,板谷 和彦,西垣
711

亨彦
６

７

2008/12/12

2008/03/28

P2008-316727

P2008-085552

半導体装置およびその製造方

飯田 敦子,小野塚

法豊,板谷 和彦

集積半導体装置及び集積３次山田 浩,小野塚

元半導体装置豊,板谷 和彦,舟木英之

８

2009/02/05

P2009-024644

半導体装置およびその製造方

板谷 和彦,舟木 英

法之,小野塚 豊,山田浩,飯田 敦子

海外出願
番号

出願日

１

2009/02/13

出願番号

名称

091007167.X

集積半導体装置

発明者
山田 浩,板谷 和彦,
小野塚 豊,舟木 英
之２

2009/02/13

12370927

集積半導体装置

山田 浩,板谷 和彦,
小野塚 豊,舟木 英
之３

2009/01/08

12350727

半導体装置およびその製造方

飯田 敦子,小野塚

法豊,板谷 和彦712

（３）－２．ＭＥＭＳー半導体横方向配線技術の研究開発（東北大学）
国内出願
番号

出願日

１

2009/3/23

出願番号
特願

名称

発明者

集積回路の製造方法及び装置

2009-070769
２

2009/4/9

小柳光正、福島誉史、杉山雅彦特願

一括保持トレイ及び三次元集積回

小柳光正、福島誉

2009-095241

路製造装置

史、杉山雅彦（３）－３．MEMS／半導体の一体形成技術の開発－MEMS-半導体横方向配線技術－（産業技術総合研究所）

国内出願
番号

出願日

出願番号

名称

発明者

１

2007/7/24

2007-192641

ダイレクトライティング用コロイドゲ

明渡純、阿部博也

ル材料微細パターン描画方法および装置，
２

2007/12/06

2008-316154

微細パターン描画方法および装置

明渡純、遠藤聡人

３

2008/0729

2008-195512

微細パターン描画方法および装置

明渡純、遠藤聡人

４

2008/12/19

2008-324335

微細金属バンプの形成装置及び形

居村史人,仲川博,青成方法

柳昌宏,山地泰弘,菊地克弥,横島時彦,
明渡純,馬場創

海外出願
番号
１

出願日

出願番号

名称

発明者

2007/07/06

PCT/JP2007/063550

半導体チップの電極接続構造

山地泰弘, 横島時および導電部材、並びに半導彦, 青柳昌宏, 仲

体装置およびその製造方法

２

2008/12/05

PCT/JP2008/072151

パターン描画方法および装置

川博, 菊地克弥

明渡純、遠藤聡人

713

研究開発項目③ ＭＥＭＳ／ＭＥＭＳの高集積結合技術の開発（１）異種材料多層ＭＥＭＳ集積化技術（オリンパス株式会社）
国内出願
番号

出願日

出願番号

名称

発明者

１

2008/4/21

2008-110592

表面プラズモン共鳴測定装置

巣山拓郎

２

2008/10/2

2008-257381

把持装置

本原寛幸

３

2008/10/2

2008-257406

把持装置

本原寛幸

４

2009/7/16

2009-168182

非接触加熱装置

本原寛幸他 1 名

５

2009/7/16

2009-168183

温度測定装置本原寛幸他 1 名

６

2009/8/19

2009-190266

実装装置

本原寛幸

７

2009/8/19

2009-190270

実装装置

関戸孝典

８

2009/8/19

2009-190275

実装装置

本原寛幸

（２）－１．機能集積化ＭＥＭＳ デバイスを実現するビルドアップ型
ウエハレベルパッケージング技術の開発（パナソニック電工株式会社）
国内出願
番号

出願日

出願番号

１

2007/6/26

特願 2007-168191

２

名称

発明者

発光装置

吉田 和司

2007/12/25 特願 2007-331445

発光装置およびその製造方法

鎌倉 將有

３

2007/12/25 特願 2007-331449

発光装置

桐原 昌男

４

2008/1/28

特願 2008-016877

発光装置

佐名川佳治

５

2008/1/28

特願 2008-016878

発光装置

田中健一郎

６

2008/1/28

特願 2008-016883

発光装置

田中健一郎

７

2008/1/28

特願 2008-016916

紫外光発光装置

佐名川佳治

８2008/1/28

特願 2008-016918

発光装置

桐原 昌男

９

2008/1/28

特願 2008-016919

発光装置

田中健一郎

１０

2008/1/28

特願 2008-016920

発光装置の製造方法

吉田 和司

１１

2008/2/26

特願 2008-044858

実装方法および吸着コレット

酒井 孝昌

１２

2008/2/26

特願 2008-044861

発光装置

田中健一郎

１３

2008/2/26

特願 2008-044862

発光装置

田中健一郎

714

１４

2008/2/26

特願 2008-044863

発光装置およびその製造方法

桐原 昌男

１５

2008/2/26

特願 2008-045285

発光装置の製造方法

田浦

巧

１６

2008/2/26

特願 2008-045286

発光装置

中筋

威

１７

2008/2/26

特願 2008-045300

発光装置の製造方法

田浦

巧

１８

2008/4/24

特願 2008-114596

ＬＥＤモジュールおよびそれを用いた照明器具

桐原 昌男

１９

2008/5/27

特願 2008-138633

構造体の製造方法、発光装置の製造方法

中筋

威

２０

2008/5/27

特願 2008-138673

構造体の製造方法、発光装置の製造方法

中筋

威

２１

2009/2/25

特願 2009-042768

実装方法および吸着コレット

酒井 孝昌

２２

2009/5/26

特願 2009-127018

実装方法

酒井 孝昌

海外出願
番号

出願日

１

出願番号
PCT/JP2009/5816

2009/4/24
5

名称

発明者

LEDモジュールおよびそれを用いた照明器具

桐原 昌男（２）－２．光化合物半導体の高精度接合技術（横河電機株式会社）

国内出願
番号
１

出願日
2009/01/09

出願番号

名称

2009-003160

外部共振器型面発光レーザ

発明者
大山将也，平田隆昭，蒲原敦彦渡辺哲也，手塚信一

２

2008/12/19

2008-323632

波長可変レーザー装置

３

2008/05/22

2008-133999

波長可変レーザ装置

平田隆昭 他

４

2008/04/17

2008-108040

波長可変光源平田隆昭

５2008/04/04

2008-098312

波長可変レーザ

平田隆昭 他

６

2008/01/25

2008-014337

面発光レーザ７

2008/01/18

2008-008595

郎

手塚信一郎，渡辺哲也

面発光レーザおよびその波長制御

手塚信一郎，渡辺哲

方法

也

715

（３）多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術（レーザー技術総合研究所／東北大学）
国内出願
番号

出願日

出願番号

名称

１

2007/7/19

2007-188511

積層体の割断方法

発明者
吉田和司、久保雅男、藤田雅之、田中
秀治、江刺正喜２

2008/1/28

2009-016612

ダイシング方法及びエキスパンド装藤田雅之、田中秀置治、江刺正喜、富井和志、吉田和司

３

2008/1/28

2009-016613

積層体の割断方法

藤田雅之、田中秀治、江刺正喜、富井和志、吉田和司⑤高集積・複合 MEMS システム化設計プラットフォームの開発（マイクロマシンセンター）

国内出願
番号
１

出願日

出願番号

名称

発明者

2008/10/17

2008-268616

解析支援システム、 解析支援方法

橋口原（静岡大学）、及び解析支援プログラム

藤原信代、浅海和雄（みずほ情報総研）

716

添付資料２．学会発表その他の成果普及活動

研究開発項目① ＭＥＭＳ／ナノ機能の複合技術の開発（１）選択的ナノ機械構造体形成技術（東京大学）
学会発表
番号
１

発表日

発表先

発表タイトル発表代表者

2009/05/05-0

The 15th WorldTOWARD THE NEXT

Isao

8

MicroMachine

GENERATION

Shimoyama

Summit,

MICRO-NANOSYSTEMS,

Edmonton, Canada

Technology and Industry
Development in Japan２

2009/04/14-1

The International

Nano-Mechanical Structure

6

Conference on

Fabrication Technology for Highly

Electronics

Integrated, Complex MEMS

Tetsuo Kan

Packaging(ICEP2009), Kyoto(Japan)３

2009/02/19

Silicon Sea Belt

New Applications Brought by

Isao

Summit，Fukuok

LSI/MEMS

Shimoyama

JASVA「MEMS のファインＭＥＭＳプロジェクトの成下山 勲製造技術」研究成果(Japan)４

2008/12/8

果発表・研究会,
川崎市（神奈川）５

2008/08/03-0

日本機械学会

Si プリズムと回折格子を備えた

7

2008 年度年次大MEMS 近赤外用 SPR センサ

菅 哲朗

会，横浜市（神奈川）
６

2008/7/31

ファイン MEMS プ

選択的ナノ機械構造体形成技術

ロジェクト中間成

717

下山 勲

果発表会，江東区（東京）７2008/04/30-0

The 14th WorldMEMS Commercialization in

Isao

5/3

MicroMachineJapan,

Shimoyama

Summit, Daejeon

Industry-Academia-Government,(Korea)Tri Helix Industry Development
Efforts

８

2008/01/13-1

The 21st IEEE

Fabrication Method of

7

International

Sub-Micrometer Size Planar Gap

Conference onfor the Micro Fabry-Perot

Micro Electro

Interferometer

Tetsuji Dohi

Mechanical
Systems(MEMS’08)，
Tucson (Arizona，USA)
９

2008/01/13-1

The 21st IEEE

Tunable SPR Coupler by Flexible

7

International

Polymer Grating

Tetsuo Kan

Conference on
Micro Electro
Mechanical
Systems(MEMS’08)，
Tucson (Arizona，
USA)
１０

１１

2007/10/16-1

第 24 回「センサ・

長方形開口マスクによるシリコン

7

マイクロマシンと応

3 次元形状の製作（Fabrication of用システム」シンポ

Three Dimensional Silicon

ジウム，江戸川区

Structures Using Mask with

（東京）

Rectangle Openings）

ファイン MEMS プロ

選択的ナノ機械構造体形成技術

2007/07/27

718

大堀 敬広

下山 勲

ジェクト中間成果
発表会，江東区（東京）１２

2007/04/25-2

The 13th World

Fine MEMS -The Highly

Isao

6

MicroMachine

Integrated, Complex MEMS

Shimoyama

Summit，Venice

Project-(Italy)１３

2007/01/21-2

The 20th

3D Integration of Heterogeneous

5

International

MEMS Structures by Stamping

Conference on

Transfer

Hiroaki Onoe

Micro Electro
Mechanical
Systems，Kobe(Japan)１４

2007/01/21-2

The 20th

Nano-pattern Replication Using

5

International

Parylene Thin Film for Optical

Conference on

Applications

Tetsuo Kan

Micro Electro
Mechanical
Systems，Kobe(Japan)１５

2006/11/30

MEMS の集積化

下山 勲

MEMS 用設計・解ファイン MEMS からの MemsONE

下山 勲

析支援システム開への期待

東大－産総研連
携 ナノテク・製造
技術分野講演会「健康科学を開くナ
ノテク製造技術」
東京大学（東京）

１６

2006/11/09

発プロジェクト 成
果発表会，東京国

719

際フォーラム（東京）１７2006/11/08

第 12 回国際マイク

日本における MEMS 開発の方向

ロマシン・ナノテク

性と高集積・複合 MEMS 製造技術

シンポジウム，東開発プロジェクト

下山 勲

京国際フォーラム
（東京）

論文
番号

発表日

１

2007

発表先

発表タイトル

Journal of

Three-Dimensional Integration of

Micromechanics andHeterogeneous Silicon

Microengineering，

Micro-Structures by Liftoff andvol. 17，no. 9，pp.

Stamping Transfer

発表代表者
Hiroaki Onoe

1818-1827，2007
２

３

2009

Accepted

Journal of

Temperature-Controlled Transfer

Micromechanics andand Self-Wiring for Multi-Color LED

Microengineering

ArraysSensors andPlanar near-infrared surface

Actuators B

plasmon resonance sensor with Si

Hiroaki Onoe

Tetsuo Kan

prism and grating coupler

プレス発表など
番号

発表日

発表媒体

発表タイトル１

2006/11/14

日経産業新MEMS 技術開発（上）未来プロジェクト

聞

動く

発表者

展示会など
番号
１

発表日

展示会

展示タイトル会場

2009/7/29-31

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示

発プロジェクト成果展示

イト

720

会
２

2008/7/30-8/1

第 19 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示

発プロジェクト成果展示

イト

Hannover messe

高集積・複合 MEMS 製造技術開ドイツ、ハノ2008

発プロジェクト成果展示ーバ

国際ナノテクノロ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサジー総合展 2008

発プロジェクト成果展示

イト

第 18 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示

発プロジェクト成果展示

イト

Hannover messe

高集積・複合 MEMS 製造技術開ドイツ、ハノ2007

発プロジェクト成果展示ーバ

国際ナノテクノロ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサジー総合展 2007

発プロジェクト成果展示

イト

第 17 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開

東京国際フォ

シン/MEMS 展示

発プロジェクト成果展示

ーラム

会
３

４

５

2008/4/21-25

2008/2/13-15

2007/7/25-27

会
６

７

８

2007/4/19-20

2007/2/21-23

2006/11/7-9

会（２）バイオ材料（タンパク質など）の選択的修飾技術（産業技術総合研究所）
学会発表
番号

発表日

発表先

発表タイトル１

2008/3/28

日本化学会

血管内皮細胞増殖因子(VEGF)を検出

第８８春季年するための機能性ペプチドの創製

発表代表者
鈴木祥夫

会
２

2008/9/12

日本分析化

血管内皮細胞増殖因子(VEGF)を検出

学会第５７年する ための機能性ペプチドの創製

鈴木祥夫

会
３

2008/9/10

日本分析化

BODIPY を蛍光団として用いた新規過酸学会第 57 年

化脂質測定試薬の設計・合成
721

井上直子

会
４

2008/9/18

第３回バイ

血管内皮細胞増殖因子(VEGF)を検出

オ関連化学

するための蛍光ペプチドの創製

鈴木祥夫

合同シンポ
ジウム
５

2008/9/18

第 3 回バイ

ボロンジピロロメタンを蛍光団として用い

オ関連化学

た新規過酸化脂質測定試薬の開発

井上直子

合同シンポ
ジウム
６

2009/3/9

Pittcon 2009

Novel Fluorescent Peptides for鈴木祥夫

Detection of Vascular Endothelial
Growth Factor (VEGF)

論文
番号

発表日

発表先

１

2009/5

BIOSCIENCE

Novel fluorescent probe for analysis/23

BIOTECHNOLOGY

of hydroperoxides based on boron

AND BIOCHEMISTRY

dipyrromethane fluorophore

ChemBioChem

Development of a Fluorescent２

2009/7/20

発表タイトル

発表代表者
井上直子

鈴木祥夫

Peptide for the Detection of
Vascular Endothelial Growth Factor(VEGF)

プレス発表など
番号

発表日

発表媒体

発表タイトル１

2008/8/8

日本経済新血管内皮細胞増殖因子（VEGF）を検出

聞社

するための材料の開発

化学工業日血管内皮細胞増殖因子を検出するため

報社の機能性材料の開発

２

2008/9/2

展示会など
722

発表者
軽部征夫

鈴木祥夫

番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2009/7/29-31

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示会

発プロジェクト成果展示

イト

第 19 回マイクロマ

バイオ材料 （タンパク質など）の東京ビックサシン/MEMS 展示

選択的修飾技術イト

nano tech 2008

ＭＥＭＳ応用のためのバイオ材料

東京ビックサ（タンパク質など）形成技術

イト

第 18 回マイクロマ

バイオ材料（タンパク質など）の選

東京ビックサシン/MEMS 展示

択的修飾技術

イト

２

３

４

2008/7/30-8/1

2008/2/13-15

2007/7/25-27（３）ナノ材料（CNT など）の選択的形成技術（産業技術総合研究所）
学会発表
番号

発表日

１

2008/3/

発表先IWEPNM2008

4

発表タイトルIntegrated 3-Demensional

発表代表者
早水裕平

MicroelectromechanicalDevices from Processable
Carbon Nanotube Wafers２

2008/3/

日本物理学会第 63

配 向 カーボンナノチューブ基 板

23

回年次大会

を用 いた集 積 3 次 元 MEMS デ

早水裕平

バイスの創 製 II～集 積 化 3 次 元
カーボンナノチューブ・リレー～
３

2008/3/

日本物理学会第 63

配 向 カーボンナノチューブ基 板

23

回年次大会

を用 いた集 積 3 次 元 MEMS デ

山田健郎

バイスの創 製 I～配 向 カーボン
ナノチューブ基 盤 の作 成 と形 状
加工～
４

208/3/3

応用物理学会

配 向 カーボンナノチューブ基 板

0関係連合講演会を用 いた集 積 3 次 元 MEMS デ

早水裕平

バイスの創 製
５

2008/8/SPIE Optics

Integrated 3D

10+Photonics2008

microelectromechanicaldevices from processablecarbon nanotube wafers
723

早水裕平

６

2008/8/

第 35回 記 念

カーボンナノチューブ基 板 を用 い

28

フラーレン・ナノチ

た集 積 3 次 元 MEMS デバイスのューブ総 合 シンポ

創製

早水裕平

ジウム
７

2008/9/

第 24回

配 向 カーボンナノチューブ基 板

4

応用物理学会講を用 いた集 積 3 次 元 ＭＥＭS デ

演奨励賞

バイスの創 製

早水裕平

受賞記念講演

論文
番号

発表日

発表先

発表タイトル１

2006/11

Na t ur e M a t eri al .
5,987-994

Shape Engineerable and Highly

FUTABA

Densely Packed Single Walled

DON

/26

発表代表者

Carbon Nanotubes and their
Application as Super-Capacitors
Electrodes２

2008/5/
4

NatureNanotechnology.3,289-294

I n t e g rat ed

早水

three-dimensional

裕平

microelectromechanicaldevices fromprocessable carbo nnanotube wafers

プレス発表など
番号

発表日

１

2008/5/5

発表媒体
新聞

発表タイトル
自由自在に設計したカーボンナノチュー
ブ 3 次元デバイスを実現

724

発表者
産総研

展示会など
番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2007/7/2

第 18 回マイクロマシン

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビック

5-27

/MEMS 展示会

プロジェクト成果展示

サイト

2008/2/1

国際ナノテクノロジー総高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビック

3-15

合展・技術会議

プロジェクト成果展示

サイト

2008/7/3

第 19 回マイクロマシン

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビック

0-8/1

/MEMS 展示会

プロジェクト成果展示

サイト

2008/10/

産総研オープンラボ

スーパーグロースカーボンナノチュ

産総研

２

３

４

ーブの量産・用途・素子開発

20-21
５

2009/7/2

第 20 回マイクロマシン

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビック

9-31

/MEMS 展示会

プロジェクト成果展示

サイト（４）ナノ機能を組み込んだＭＥＭＳ デバイスの製造技術（三菱電機株式会社）
学会発表
番号

発表日

発表先

発表タイトル発表代表者

１

2008/9/2

第 69 回応用物理学

溶融はんだ吐出法を用いた基板貫小川 新平

会学術講演会通配線を有する RF-MEMS スイッチ２

2009/7/31

高集積・複合 MEMS

カーボンナノチューブを適用した

プロジェクト成果発表

RF-MEMS スイッチ

福本 宏

会

展示会など
番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2009/7/29-31

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビックサシン/MEMS 展示会

プロジェクト成果展示

イト

725

研究開発項目② ＭＥＭＳ／半導体の一体形成技術の開発（１）ＭＥＭＳ-半導体プロセス統合モノリシック製造技術（１）－１．新たなセンシング原理の探索－ （立命館大学）
学会発表
番号
１

発表日

発表先

発表タイトル2007/10/25

日本機械学会 M&M2007

シリコンナノワイヤーのピ

材料力学カンファレンス

エゾ抵抗効果に関する第

発表代表者
中村康一

一原理計算
２

2007/11/06

20th International

First-Principles Study on

KoichiMicroprocesses andPiezoresistance Effect inNakamura

Nanotechnology

Silicon Nanowires

Conference (MNC2007)３

2008/03/25

Materials Research

Evaluation ofKoichi.

Society (MRS) 2008

Low-dimensional Band

Nakamura

Spring Meeting

Structure in Silicon
Nanowires for Ultra Small
Piezoresistive Sensors byFirst-Principle Calculation４

2008/03/30

2008 年春季応用物理学

第一原理計算による単結会学術講演会晶シリコンナノワイヤーの中村康一

ピエゾ抵抗係数予測５

2008/08/05

日本機械学会 2008 年

単結晶シリコン材料のピ

次大会

エゾ抵抗物性シミュレーシ

中村康一

ョン
６

2008/09/18

日本機械学会 M&M2008

応力印加によるバルクシ

材料力学カンファレンス

リコンのバンドひずみとピ中村康一

エゾ抵抗物性への効果７

2008/09/24

第 2 回分子科学討論会

726

バルクシリコンおよびシリ中村康一

コンナノワイヤーのピエゾ
抵抗物性シミュレーション
８

2008/10/23

25th Sensor Symposium,

Electronic States in

Koichi.

2008

Silicon Nanowires andNakamura

Prospects of Their
Piezoresistivity
９

2008/10/29

21st International

First-Principles

Koichi.

Microprocesses andSimulation on Orientation

Nakamura

Nanotechnology

Dependence ofConference (MNC2008)

Piezoresistance
Properties in Silicon
Nanowires

10

11

12

2008/11/6

2008/12/18

2009/03/31

IEEE International

Design and Simulation ofRanjithSymposium on

Piezoresistive Micro

Amarasinghe

Micromechatronics andAccelerometers for

Human Science

Wearable Sensing(MHS2008)

Applications

2008 International

First-Principle Simulation

Koichi

Symposium on

on Piezoresistive

Nakamura

Micro/Nano

Properties in

Systems Technology

Low-Dimensional Silicon(ISMST2008)

Materials

2009 年春季応用物理学

n 型バルクシリコンにおけ会学術講演会るピエゾ抵抗係数のキャ中村康一

リア濃度・温度依存シミュ
レーション
13

2009/05/22

第 14 回分子動力学シン

ドープ半導体のピエゾ抵

ポジウ

抗物性理論とシミュレーシ

中村康一

ョン
14

2009/06/23

15th International

Sensitivity Enhancement

Ranjith

Conference onof Piezoresistive Micro

Amarasinghe

727

15

2009/09/08

Solid-State Sensors,

Acceleration Sensors with

Actuators andNanometer Stress

Microsystems

Concentration Regions on(Transducers 2009)

Sensing Elements

2009 年秋季応用物理学

p 型バルクシリコンのピエ会学術講演会

ゾ抵抗係数シミュレーショ

中村 康一

ン
16

2009/09/22

第 3 回分子科学討論会

シリコンのピエゾ抵抗効果

中村 康一

におけるスピン－軌道相
互作用の影響17

18

2009/10/15

2009/10/15

第 26 回「センサ・マイクロシリコンナノシートの電子マシンと応用システム」シ状態とピエゾ抵抗物性予

ンポジウム

測

第 26 回「センサ・マイクロ

Evaluation of Properties of

マシンと応用システム」シ

Sputtered Tungsten

ンポジウム

Silicide Thinfilm for MEMS中村 康一

Dzung Viet Dao

Applications
19

2009/10/26

IEEE Sensors 2009

Evaluation of the

Dzung Viet Dao

Piezoresistive Effect inSingle Crystalline Silicon
Nanowires20

2009/10/27

IEEE Sensors 2009

Design and Fabrication of

Dzung Viet Dao

Ultra Miniature Novel
Three-Axis Micro
Accelerometer21

2009/10/27

IEEE Sensors 2009

Piezoresistive andDzung Viet Dao

Thermoelectric Effects of
CNT Thin Film Patterned
by EB Lithography
22

2009/11/9

2009 International

Characterization of the

Symposium on

Piezoresistive Effect and

728

Dzung Viet Dao

Micro-NanoMechatronics

Temperature Coefficientand Human Scienceof Resistance in Single(MHS2009)

Crystalline Silicon
Nanowires

23

24

25

2009/11/9

2009/11/12

2009/11/12

2009 International

Piezoresistive Effect inKoichi

Symposium on

Silicon Nanowires - A

Nakamura

Micro-NanoMechatronics

Comprehensive Analysis

and Human Science

Based on First-Principles(MHS2009)

Calculations

2nd International

Development of Highly

SusumuWorkshop on

Integrated and Complex

Sugiyama

Nanotechnology and

MEMS “Fine MEMS”

Application (IWNA 2009)

Technology

2nd International

Micro and Nano Integrated

Workshop on

Devices Based on MEMS

Nanotechnology andTechnology

Dzung Viet Dao

Application (IWNA 2009)26

2009/11/18

22nd International

First-Principles

KoichiMicroprocesses andSimulation on Thickness

Nakamura

Nanotechnology

Dependence ofConference (MNC2009)

Piezoresistance Effect in
Silicon Nanosheets

論文
番号
１

発表日
2008/06/20

発表先発表タイトル

発表代表者

Jpn. J. Appl. Phys. 47,

First-Principles Study on

Koichi5132−5138 (2008).

Piezoresistance Effect inNakamura

Silicon Nanowires
２

2009/06/22

Jpn. J. Appl. Phys. 48,

First-Principles

Koichi

06FG09(5pp) (2009).

Simulation on Orientation

Nakamura

Dependence of729

Piezoresistance
Properties in Silicon
Nanowires３

2009/07/13

Phys. Rev. B

Simulation ofKoichi

Piezoresistivity in n-type

Nakamura

Single-Crystal Silicon on
the Basis ofFirst-Principles Band
Structure４(accepted)

IEEJ Trans. Electr.

First-Principles

KoichiElectron. Eng.

Simulation on

Nakamura

Piezoresistive Properties
in Doped Silicon
Nanosheets

展示会など
番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2007/7/25-27

第 18 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示会

発プロジェクト成果展示

イト

第 19 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示会

発プロジェクト成果展示

イト

2009/7/29～

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサ

7/31

シン/MEMS 展示会

発プロジェクト成果展示

イト

２

３

2008/7/30-8/1（１）－２．半導体モノリシック集積化基盤技術開発（株式会社 日立製作所）
学会発表
番号
１

発表日
2007/1/22

発表先発表タイトル

発表代表者

IEEE 20th International

Above-IC integration ofT. Fujimori,

Conference on Microcapacitive pressure

Y. Hanaoka

Electro Mechanicalsensor fabricated with

H. Fukuda

Systems (MEMS2007)

CMOS interconnect730

processes
２

2009/6/21

The 15th International

TINY (0.72 mm2)

T. Fujimori,

Conference on Solid-StatePRESSURE SENSOR

H. Takano,Sensors, Actuators and

INTEGRATING MEMS

S. Machida,

Microsystems (Transducers

AND CMOS LSIY. GotoThe 15th International

One-dimentional-motion

Y. Hanaoka,

Conference on Solid-Stateand pressure hybrid

T. Fujimori,Sensors, Actuators andsensor fabricated andK. Yamanaka,

Microsystems (Transducers

process-level-packaged

H. Takano,

2009)

with CMOS back-end-of

Y. Goto,-line processes

H. Fukuda

LSI プロセス互換 集積後藤康

MEMS 技術

藤森司

2009)
３

４

2009/6/21

2007/06/0

第 76 回 VLSI フォーラム

5

花岡裕子
福田宏
５

６

７

2008/10/2

第 25 回「センサ・マイクロマ

LSI と MEMS センサを積層

藤森司

3

シンと応用システム」シンポ集積化した際の回路が受

後藤康

ジウム

ける影響の評価鷹野秀明

2008/11/1

次世代センサ協議会

MEMS と LSI の集積化を

藤森司

1

第 29 回センサ＆アクチュエ実現する LSI 配線互換ータ技術シンポジウム

MEMS プロセス技術

2009/03/0

センシング技術応用研究会

MEMS と LSI の集積化を

4

第１６５回研究例会実現する LSI 配線互換

藤森司

MEMS プロセス技術

論文
番号
１

発表日

発表先

発表タイトル2007/1/22

IEEE 20th International

Above-IC integration ofT. Fujimori,

Conference on Microcapacitive pressure sensor

Y. Hanaoka

Electro Mechanicalfabricated with

H. Fukuda

731

発表代表者

Systems (MEMS2007)

CMOS interconnect
processes

２

2009/6/21

The 15th International

TINY (0.72 mm2)

T. Fujimori,

Conference on

PRESSURE SENSOR

H. Takano,

Solid-State Sensors,

INTEGRATING MEMS AND

S. Machida,

Actuators andCMOS LSI

Y. GotoThe 15th International

One-dimentional-motion

Y. Hanaoka,

Conference on

and pressure hybrid sensor

T. Fujimori,

Solid-State Sensors,

fabricated andK. Yamanaka,

Actuators andprocess-level-packaged

H. Takano,

Microsystems

with CMOS back-end-of

Y. Goto,(Transducers 2009)-line processes

H. Fukuda

Microsystems(Transducers 2009)３

2009/6/21

732

プレス発表など
番号

発表日

発表媒体

発表タイトル

発表者

１

2007/1/19

日経新聞

CMOS 回路の配線層に MEMS を積層し藤森司、後藤康

日経産業新

た

聞

小型・低消費電力の圧力センサ LSI の
試作に成功

展示会など
番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2007/7/25～

第 18 回 マイクロ微細 MEMS と CMOS 回路混載の東京ビッグサ

7/27

マシン／MEMS 展

ための MEMS/半導体モノリシック

イト

集積化基盤技術２

2008/7/30～

第 19 回 マイクロ微細 MEMS と CMOS 回路混載の東京ビッグサ

8/1

マシン/MEMS 展

ための MEMS/半導体モノリシック

イト

集積化基盤技術３

2009/2/18～

nano tech 2009（国2/20

際ナノテクノロジー

ＩＣ集積化ＭＥＭＳセンサ

東京ビッグサイト

総合展・技術会議）
４

2009/7/29～

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビックサ

7/31

シン/MEMS 展示会

プロジェクト成果展示

イト

733

（２）ＭＥＭＳ-半導体縦方向配線技術（２）－１．縦方向集積ＭＥＭＳ デバイス製造技術の開発（オムロン株式会社）
学会発表
番号

発表日

発表先

１

2007/9/2007 年秋季応

7

用物理学会

2008/10/2

２

発表タイトル

発表代表者

MEMS デバイスにおける超臨界システム

森口誠

PRiME2008

High Aspect Through-Hole Interconnection

李相烈

ECS

by electro-deposition for vertical integrated
MEMS device

３４

2008/10PRiME2008

Smart Bumpless Bonding for MEMS-IC

/2

ECS

vertical Integration

2008/10PRiME2008

Bump-less Wafer level bonding experiment

/2

ECS

for vertical integration MEMS device

塩崎真良

森口誠

（Best Poster Award 受賞）
５

2008/10

第 25 回「センO3-TEOS CVD による貫通孔側壁絶縁膜の/22

サ・マイクロマ形成

金井聡庸

シンと応用シ
ステム」シンポジウム
６

2009/4/

ICEP2009

16
７

Mass production technology for vertical李相烈

integrated MEMS

2009/7/高集積・複合31

MEMS 成果発

MEMS パッケージ技術の革新

佐々木昌

李相烈

表会
８

９

2009/09

電子ジャーナ

縦方向集積 MEMS デバイス製造技術と今後/17

ル技術セミナの展望

2008/10

第 26 回「セン赤外線アレイセンサ用マイクロミラーアレイ/15

サ・マイクロマの作製と評価シンと応用シ
ステム」シンポ
ジウム
734

大平真琴

10

2009/10

第 26 回「セン常温接合法を用いた貫通配線を持つ接合ウ/16

サ・マイクロマェハの真空封止性評価

小山雄高

シンと応用シ
ステム」シンポ
ジウム

論文
番号
１

発表日
投稿中

発表先

発表タイトル

電気学会 E

Technological Feasibility demostration of部門

Smart Bumpless Bonding for MEMS-IC

発表代表者
塩崎真良

Vertical Integration２

査読完了

2009 年電子

O3-TEOS 膜による MEMS 貫通配線絶縁

情報通信学

膜の特性

金井聡庸

会論文誌

プレス発表など
番号

発表日

発表媒体

発表タイトル発表者

１

2008/12/13

日刊工業新『センサなど発電機能などをモジュール

オムロン株式会聞化』

社

センサと発電、蓄電、無線通信などの機能をモジュール化し、センサネットワークの構築を可能とする。センサ部の MEMSと信号処理 IC を積層するための一要素
技術として紹介。

展示会など
番号
１

発表日

展示会

展示タイトル会場

2008/7/30-8/

第 19 回マイクロマ・高集積・複合 MEMS 製造技術

東京ビックサ1

シン/MEMS 展示会

開発プロジェクト成果展示

イト・弊社ブースにて同時展示
２

2008/9/30-10

CEATEC・弊社ブースにて技術展示
735

幕張メッセ

３

/4

JAPAN20082009/7/29-31

第 20 回マイクロマ・高集積・複合 MEMS 製造技術

東京ビックサシン/MEMS 展示会

開発プロジェクト成果展示

イト

736

（２）-2．配線の自由度を向上できる 3 次元配線構造を持つ
高信頼性インタポーザル技術の開発（株式会社フジクラ）
学会発表
番号
１

発表日

発表先

発表タイトル発表代表者

2008/5/22

エレクトロニクス

Au-Sn 充填貫通配線の作製と評価

山本敏International

Through-Hole Interconnections

Osamu

Conference on

Formed by Femtosecond Laser

NukagaElectronics

Irradiation/Wet Etching and Molten

Packaging

Metal Suction Method for MEMS(ICEP2008)

Package

マイクロエレクトロ

基板内で分岐・屈曲した３次元貫通

ニクスシンポジウ

配線の作製と評価

ム※研究奨励賞受賞

実装学会超高速高周波エレクトロ
ニクス実装研究会
２３

2008/6/12

2008/9/18

脇岡寛之(MES2008)
４

ウェハレベル MEMS パッケージ山本敏

International

True 3D Through Hole

Osamu

Symposium on

Interconnection Formed by

NukagaMicroelectronics

Femtosecond Laser Irradiation/Wet(IMAPS2008)

Etching and Molten Metal Suction

2008/10/2

エレクトロニクス

4実装学会ワークショップ

５

2008/11/5

Method６

2009/1/30

Mate2009

基板内で分岐・屈曲した３次元貫通脇岡寛之

配線の作製と評価
７

2009/3/13

エレクトロニクス

トゥルー３次元貫通配線

実装学術講演大
会

737

脇岡寛之

８

９

2009/4/15

2009/7/10

ICEP2009“True” 3D trough hole

Hiroyukiinterconnections

Wakioka

True3 次元貫通配線

脇岡寛之

高集積・複合3 次元貫通配線の開発とインターポ

山本敏

MEMS 成果発表

ーザーへの応用

エレクトロニクス
実装学会関西ワークショップ 2009１０

2009/7/31

会
１１

2009/9/17

Electronic Journal

MEMS/半導体縦方向配線技術の現Technical

状と今後の展望

末益龍夫

Seminar

論文
番号
１

発表日
2009/1

発表先

発表タイトル

電気学会論文誌

基板内部で屈曲，分岐した構造を持E

つ Au-Sn 充填貫通配線

発表代表者
山本敏

プレス発表など
番号１

発表日
2007/9

発表媒体

発表タイトルNIKKEI

異分野の融合を加速する MEMS 技MICRODEVICES

術が続出

発表者

「マイクロマシン/MEMS 展」に見る
２

2009/3

電子材料

ネプコンワールド「3 次元実装とウェハ薄型化技術」

展示会など
番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2007/7/26-28

第 18 回マイクロ配線の自由度を向上できる 3 次元イ

東京ビックサマシン/MEMS

ンターポーザル技術の開発

イト

配線の自由度を向上できる 3 次元イ

東京ビックサ展示会
２

2008/1/16-18

第 9 回半導体パ

738

３

４

2008/2/13-15

2008/7/30-8/1

ッケージング展

ンターポーザル技術の開発

イト

国際ナノテクノロ

配線の自由度を向上できる 3 次元イ

東京ビックサジー展 2008

ンターポーザル技術の開発

イト第 19 回マイクロ配線の自由度を向上できる 3 次元イ

東京ビックサマシン/MEMS

ンターポーザル技術の開発

イト

3 次元貫通配線

東京ビックサ展示会
５

2009/1/28-30

第 10 回半導体

イト

パッケージング展
６

2009/7/29-30

第 20 回マイクロ高集積・複合 MEMS 製造技術開発プ

東京ビックサマシン/MEMS

ロジェクト成果展示

イト

展示会

739

（３）ＭＥＭＳ－半導体横方向配線技術（３）－１ 高集積ＭＥＭＳ擬似ＳＯＣ製造技術の研究開発 （株式会社 東芝）
学会発表
番号

発表日

発表先

発表タイトル発表代表者

１

2007/3/22

電気学会

MEMS と LSI の横方向配線技術

舟木英之

２

2007/3/16

MAT-LCD 研

薄膜素子の分散転写技術

小野塚豊

Wafer-level integration technology with

Yutaka Onozuka究会
３

2007/11/14

IMAPS’07

heterogeneous chip redistribution andinter-chip layer process
４５2008/1/18
2008/6/10

電子情報通

擬似 SOC 集積化における応力解析 -信学会

有機樹脂チップ間応力の低減-

ICEP’08

Pseudo-SOC Technology Its basic

小野塚豊
Yutaka Onozuka

structure and stress analysis
６

2008/11/5

IMAPS’08

Optimization of Redistributed Layers

Yutaka Onozuka

between Heterogeneous Devices for
Wafer-Level Integration
７

2009/1/30

MATE’09

ウエハレベル再構築技術を用いた

小野塚豊

MEMS-LSI 高集積擬似 SOC
８

2009/4/16

ICEP’09

Highly Integrated MEMS-Pseudo-SOC（招待講演）

Technology －A Wafer-Level System

Hiroshi Yamada

Integration Technology for MEMS-LSI
Heterogeneous Devices－９

2009/5/18

INC5

MEMS-LSI Heterogeneous Device（招待講演）

Integration Technology for

Hiroshi Yamada

System-on-Chip Applications

１０

2009/7/31

高集積・複合擬似 SOC による高集積 MEMS の実現

MEMS 成果
発表会

740

舟木英之

論文
番号
１

発表日
2008/11

発表先

発表タイトル発表代表者

エレクトロニ

半導体デバイスと MEMS の融合におけクス実装学る新たな展開山田浩

会誌２

2009/2/1

東芝レビュ

異種デバイスを高密度集積化できる擬ー

似 SOC 技術

小野塚豊

展示会など
番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2009/7/29-31

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビックサシン/MEMS 展示会

プロジェクト成果展示

イト（３）－２．ＭＥＭＳー半導体横方向配線技術の研究開発（東北大学）
学会発表
番号

発表日

発表先

発表タイトル１

2007/9/4

第68回応用物理

チップ乗り越え配線形成技学会学術講演会術の開発

2007/11/

International IEEE

Chip-to-Wafer Stacking for

9

Workshop on Low

3D Integration with TSV

２

発表代表者
紀世陽

Takafumi Fukushima

Temperature
Bonding for 3D
Integration３

2008/2/8

応用物理学会シリ

自己組織化ウェーハ張り

コンテクノロジー分

合わせによる三次元集積

科会多層配線シス

化技術

福島誉史

テム研究委員会
４

2008/3/6

The 5thInternational
Conference on
MechanicalMicrobump Formation on
Flexible Substrate using
Imprint Technology for
Integrated Nano-System
741

Yusuke Yamada,Science based onwith 3D-LSIs

Nanotechnology
５

2008/3/1

第22回エレクトロ

シリコンチップ乗り越えCu

7ニクス実装学会講

配線形成技術の開発

紀世陽

演大会
６

７

８

2008/3/2

第55回応用物理

MEMS‐半導体横方向配線

7

学関係連合講演

技術II: 配線板へのMEMS

会

チップのセルフアセンブリ

2008/3/2

第55回応用物理

MEMS‐半導体横方向配線

7

学関係連合講演

技術IV: インプリント技術を会用いたマイクロバンプ形成

2008/3/2

第55回応用物理

MEMS‐半導体横方向配線

8

学関係連合講演

技術I: フレキシブル基板へ

会のLSIチップのセルフアセン

今野隆行

菊池宏和

福島誉史

ブリ
９

１０

2008/3/2

第55回応用物理

MEMS‐半導体横方向配線

8

学関係連合講演

技術III: チップ乗り越え配会線の形成と基本特性

2008/3/2

第55回応用物理

MEMS‐半導体横方向配8学関係連合講演

線技術V: 高透磁率膜上会に形成したインダクタの基

紀世陽

木野久志

本特性
１１

2008/5/3

The 59thMultichip Self-Assembly0Electronic

Technique on Flexible

Components andPolymeric Substrate

Takafumi Fukushima,

Technology
Conference(ECTC)
１２

2008/9/2

第69回応用物理

キャビティ構造を有する

学会学術講演会

MEMSチップのセルフアセ

今野隆行

ンブリ
１３

2008/9/2

International

Self-Assembly for5

Conference on

Heterogeneous

Solid State

Integration with Lateral

Devices andInterconnections

Materials (SSDM)

Extending over MEMS and

Takayuki Konno

LSI Chips
１４

2008/9/2

International

The Formation of Lateral

5

Conference on

Interconnections

Solid State

Extending over
742

Mariappan Murugesan

Devices and100-micron Thick Chips

Materials (SSDM)
１５

2008/9/2

International

Characteristics of6

Conference on

Magnetic Film Inductors

Solid State

with FePt Nano-Dots

Woocheol Jeong

Devices andMaterials (SSDM)
１６

2008/12/IEEE International

New Heterogeneous

16

Electron Devices

Multi-Chip Module

Meeting (IEDM)

Integration Technology

Takafumi Fukushima

Using Self-Assembly
Method１７

2009/2/9

IEEE The

New HeterogeneousInternational

Multi-Chip Module

Solid-State

Integration Technology

Circuits

Using Self-Assembly

Conference

MethodTakafumi Fukushima(ISSCC)１８

2009/3/3

MEMS Engineer

スーパー・ヘテロインテグレ

1

Forum 2009

ーション

小柳光正

の実現
１９

2009/3/3

第56回応用物理

The Formation Technology

1

学会学術講演会

of High-aspect-Ratio Cu

Jichel Bea

Sidewall Interconnections
over Chip Edges with Large
Step Height２０

2009/4/2

第56回応用物理

Synthesis and学会学術講演会

characterization ofMariappan Murugesan

magnetic nano-dots foron-chip inductors

論文
番号

発表日

発表先

発表タイトル１

2008/1

Journal of Applied

Investigation of the effect of inMariappan

0/9

Physics, vol.104,

situ annealing of FePt

Murugesan

pp.074316-1-074316-5

nanodots under high vacuumon the chemical states of Fe
and Pt by x-ray photoelectron

743

発表代表者

spectroscopy
２

2009/1

Proceedings of The

High-Density Through Silicon

Mitsumasa/

IEEE, Vol.97, No.1,

Vias for 3-D LSIs

Koyanagi

W.-C. Jeong

pp.49-59,
３

2009/4

Japanese Journal ofCharacteristics of copper spiral/20

Applied Physics, Vol. 48,

inductors utilizing

No.4, 2009, pp.C157-1 -FePtnano-dots film

C157-4.

744

プレス発表など
番号

発表日

発表媒体

１

2009/1/14

日刊工業新聞発表タイトル

発表者

半導体ウエハ東北大学

異種デバイス一括搭載

小柳光正

製造時間短縮 東北大が技術
２
３
４
５
６

2009/1/14
2009/1/15
2009/1/23
2009/2/9
2009/3/4

河北新報

異種部品一括し基板に

東北大学

製造コスト大幅減

小柳光正

異種チップ基板に集積

東北大学

東北大 水の表面張力利用

小柳光正

異種デバイスを一括搭載

東北大学

独自のシステム集積化技術開発

小柳光正

日経エレクトロ

セルフ・アセンブル技術の適用

東北大学

ニクス

東北大が成果示す

小柳光正

半導体産業新

東北大 新システム集積化技術を開

東北大学

聞

発

小柳光正

日経産業新聞
科学新聞

自己組織化で一括作製

展示会など
番号

発表日

展示会

１

2009/7/29-31

第 20 回マイクロマ

セルフアセンブリーを用いた

東京ビックサシン/MEMS 展示会

MEMS／半導体一体化実装

イト第 19 回マイクロマ「ＭＥＭＳ－半導体横方向配線技

東京ビックサシン/MEMS 展示会

術の研究開発」（低温積層高密度

イト

２

2008/7/30-8/1

展示タイトル会場

一体化実装技術の研究開発）
３

４

2008/9/30

2007/7/25-27

東北大学イノベー

生体融和型医用マイクロ・ナノシ

仙台国際セションフェア 2008in

ステム（MEMS／半導体一体化実

ンター

仙台

装）

第 18 回マイクロマ「ＭＥＭＳ－半導体横方向配線技

東京ビックサシン/MEMS 展示会

術の研究開発」（低温積層高密度

イト

一体化実装技術の研究開発）745

（３）－３．MEMS／半導体の一体形成技術の開発 －MEMS-半導体横方向配線技術－（産業技術総合研究所）
学会発表
番号

発表日

発表先

発表タイトル発表代表者

１

2007/03/07

表面技術協会 第 115回講演大会, 東京,

無電解 NiB めっきを用いた 3 次元接続方法の開発,”

横島時彦, 大里啓孝,
山地泰弘, 田村祐一郎, 菊地克弥, 仲川
博, 青柳昌宏,

２

2007/05/
29

The 57th Electronic
Components andTechnology
Conference (ECTC),
Reno, U.S.A.,“Novel Flip-Chip
Bonding Technology using
Chemical Process,”

山地泰弘, 横島時彦,
大里啓孝, 井川登,
田村祐一郎, 菊地克弥, 仲川博, 青柳昌
宏３

2007/10/07

The 212th
Electrochemical
Society Meeting,Washington, U.S.A.,

横島時彦, 山地泰弘,
大里啓孝, 田村祐一郎, 菊地克弥, 仲川
博, 青柳昌宏

４

2007/11/21

the 24th international
Japan-Korea Seminaron Ceramics，

５

2007/11/28

The second
Internaitonal
Symposium on Smartprocessing
Technology，, “Interconnection ofMulti-Pad Electrodes by"Controlled Anisotropic
Extraneous (CAEx)
Deposition" of Electroless
NiB Film,”
Fundamental Study on
Material Direct Writing
Technology with Inkjet
Printing，
FUNDAMENTAL STUDYON MATERIAL DIRECTWRITING TECHNOLOGYWITH INKJET PRINTING

６

2008/03/14

表面技術協会第 117回講演大会,“無電解 NiB めっきを用い

横島時彦, 山地泰弘,
井川登, 田村祐一郎,
菊地克弥, 仲川博,
青柳昌宏,

た微細電極接続における成膜条件の影響,”７

2008/04/24

4th International
Conference andExhibition on CICMT

８

2008/05/25

10th International
Conference on
Ceramic Processing
Science，Laser Assisted Inkjet
Printing for Metal Wiring

遠藤 聡人、長妻良枝、明渡 純

遠藤 聡人、長妻良枝、明渡 純

遠藤 聡人、明渡
純，

on Glass Substrate，Novel Inkjet Printing on
High Density Interconnect
for Advanced LTCC by
Laser Assist746

遠藤 聡人、明渡
純，

９

10

2008/09/19

2009/10/12

第 21 回日本セラミックス協会秋季シンポジウ
ム，北九州国際会議場

レーザ援用インクジェット

The 212th
Electrochemical
Society Meeting,
Hawaii, U.S.A.

Maskless Fabrication for

明渡 純、津田 弘
樹、遠藤 聡人，法によるマテリアル・ダイ
レクト・ライティング（MDW）
技術

Micropad Interconnection
using Electroless NiB

横島時彦, 山地泰弘,
井川登, 菊地克弥,
仲川博, 青柳昌宏

Deposition andApplication to “Chemical”
Flip-Chip Bonding

11“Laser Assisted Inkjet
Printing for Metal Wiring
on Glass Substrate”,
Nagoya, Japan,

2008/12/International Union ofMaterial ResearchSocieties International
Conferance inAsia(IUMRS-ICA),

発表日

発表先
Electrochemical
and Solid-State
Letters, 10(9),pp.D92-D94,

発表タイトル“Interconnection of
Micropad Electrodes byControlled "Extraneous"
Deposition of Electroless
NiB Film,”

IEICE Electronics
Express, Vol.5,
No.18
pp.732-737,

Yasuhiro Yamaji, Tokihiko
Yokoshima, Katsuya Kikuchi,
Hiroshi Nakagawa, andMasahiro Aoyagi, “Chemical
flip-chip bonding method for
fabricating 10-µm-pad-pitchinterconnect,”

電子情報通信学
会誌 C, vol.J91,
No.11
pp.595-602,“無電解めっき法による無加圧フリップチップ接続技
術,”

Akito Endo,
Youngkyu Park and
Jun Akedo,

論文
番号
１

2007/06/27

２

2008/09/25

３

2008/11/01

発表代表者
Tokihiko Yokoshima,
Yasuhiro Yamaji,
Hirotaka Oosato,
Yuichiro Tamura,
Katsuya Kikuchi, Hiroshi
Nakagawa, and Masahiro
Aoyagi,
Yasuhiro Yamaji,
Tokihiko Yokoshima,
Katsuya Kikuchi, Hiroshi
Nakagawa, andMasahiro Aoyagi,

山地泰弘, 横島時彦,
井川登, 田村祐一郎,
菊地克弥, 仲川博, 青柳昌宏,

プレス発表など
番号

発表日

発表媒体

発表タイトル

747

発表者

１

２

３

2009/1/22

2009/6/29

2009/7/02

EE-TIMES

めっき不良の積極活用で電極間を接続、 横島時彦

JAPANLSI チップの３次元高密度実装に道

産総研プレレーザー援用インクジェット法で微細な配スリリース

線の高速描画に成功

日経 Techon

微細かつ厚膜の配線パターンの高速描画

明渡純

明渡純

に成功

展示会など
番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2009/7/29-31

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビックサシン/MEMS 展

プロジェクト成果展示

イト

第 19 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビックサシン/MEMS 展

プロジェクト成果展示

イト

Nano tech 2008

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビックサプロジェクト成果展示

イト

第 18 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビックサシン/MEMS 展

プロジェクト成果展示

イト

２

３

４

2008/7/30-01

2008/2/13-15

2007/7/25-27

番号

受賞日

受賞名

受賞タイトル受賞者

１

2009/09/10

エレクトロニクス

ガスデポジション法による円錐バ

居村史人、仲川実装学会 MES２

ンプの作製

博、菊地克弥、山０８ベストペーパ

地泰弘、横島時ー賞

彦、馬場創、明渡純、青柳昌宏748

研究開発項目③ ＭＥＭＳ／ＭＥＭＳの高集積結合技術の開発（１）異種材料多層ＭＥＭＳ集積化技術（オリンパス株式会社）

学会発表
番号

発表日

発表先

発表タイトル１

2008/6/12

エレクトロニ”Development of High-precision Bonding

クス実装国Technology of Micro-components Using

際会議

Manipulator and Laser Spot Heating for（ICEP2008）

High-performance MEMS ”

エレクトロニ”Development of Wafer-Level Bonding

クス実装国Technology for “MEMS on MEMS” High際会議

Performance Device”

２

2009/4/16

発表代表者
本原寛幸

清水悦朗

（ICEP2009）３

2009/7/29

異種材料多層 MEMS 集積化技術開発

清水悦朗

高集積･複合異種機能を積層集積した MEMS デバイ

清水悦朗

MEMS 成果

スの開発

MEMS 実装･
パッケージン
グフォーラム４

2009/7/31

発表会

展示会など
番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2008/7/30-8/1

第 19 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示会

発プロジェクト成果展示

イト

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示会

発プロジェクト成果展示イト２

2009/7/29-31

749

２）－１．機能集積化ＭＥＭＳ デバイスを実現するビルドアップ型
ウエハレベルパッケージング技術の開発（パナソニック電工株式会社）

学会発表など
番号
１

発表日

発表先

発表タイトル発表代表者

2009/7/31

ファイン MEMS プロジェ

ビルドアップ型ウエハレベルパッケージ

クト成果発表会

ングによる多機能３次元集積ＭＥＭＳデ

富井和志

バイスの開発２

３

2008/7/29

2008/11/12

久保雅男

MEMS 実装・パッケー

ウエハーレベルパッケージングによる機ジングフォーラム

能集積ＭＥＭＳの創出

システムインテグレー

ＭＥＭＳの実装・パッケージング技術

佐名川佳治

3D Wafer-Level Packaging of MEMS

竹川宜志

ション技術研究会

４

2007/12/5

IDW’07

Using Surface Activated Bonding andTSV５

2007/5/31

最先端実装技術シン

ＭＥＭＳウエハーレベルパッケージング

ポジウムを実現する革新プロセス技術

西條隆司

論文
番号
１

発表日

発表先

発表タイトル2008/9/19

パナソニック電

ウェハレベルパッケージングによる

工技報

MEMS の超小型・低背化

発表代表者
奥戸崇史

展示会など
番号
１

発表日

展示会

展示タイトル会場

2009/7/29-31

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術

東京ビックサイト

シン/MEMS 展示

開発プロジェクト成果展示会２

2008/2/13-15

国際ナノテクノロジ

高集積・複合 MEMS 製造技術

ー総合展

開発プロジェクト成果展示（nano tech2008）

750

東京ビックサイト

（２）－２．光化合物半導体の高精度接合技術（横河電機株式会社）

学会発表
番号
１

発表日

発表先

発表タイトル2006/8/21

2006 IEEE/LEOSMEMS tunable VCSEL with

International Conference

Concave Mirror using theon Optical MEMS and

Selective Polishing Method

発表代表者
蒲原敦彦

their Applications
２

2007/12/18

International Symposium

50nm tuning ofon VCSELs andmicromechanically tunable

Integrated Photonics

1.55um InP-based VCSELs

蒲原敦彦

with Si-MEMS technology
３

2008/9/18

The 21st IEEE

Wavelength Modulation

International

over 500 kHz of

Semiconductor Laser

Micromechanically Tunable

Conference

InP-Based VCSELs with

矢野哲夫

Si-MEMS Technology
４

2008/12/12

電子情報通信学会レー

50nm 位相連続波長掃引可ザ・量子エレクトロニクス

能な Si-MEMS 可動ミラーを研究会用いた InP 系波長可変面発

平田隆昭

光レーザ
５

６

2009/4/1

2009/7/31

第５６回応用物理学関連

金属スリットを用いた連合講演会

MEMS-VCSEL の偏波制御

高集積・複合 MEMS 成果

高精度接合技術を用いた発表会

波長可変面発光レーザー

大山将也

渡辺哲也

の開発

論文
番号
１

発表日

発表先

発表タイトル

MAY/JUNE

IEEE Journal of Selected

Wavelength Modulation Over

2009

Topics in Quantum

500 kHz of Micromechanically
751

発表代表者
矢野哲夫

Electronics

Tunable InP-Based VCSELs(vol. 15, no. 3, pp.

With Si-MEMS Technology

528-534, 2009)

展示会など
番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2009/7/29-31

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビックサシン/MEMS 展示会

プロジェクト成果展示

イト

第 18 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開発

東京ビックサシン/MEMS 展示会

プロジェクト成果展示イト２

2007/7/25-27（３）多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術（レーザー技術総合研究所／東北大学）
学会発表（国内）
番号

発表日

発表先

発表タイトル発表代表者

１

2007/9/5

第 68 回応用物

積層 MEMS のための超短パルスレ

井澤友策，宮永

理学会学術講演ーザー支援低ストレスダイシング技

憲明，田中秀会術の開発

治，藤田雅之他

２

2007/10/16

第 24 回センサ・

積層ＭＥＭＳのための低ストレスレ

井澤友策、宮永マイクロマシンとーザ支援ダイシング：ガラス層の割

憲明、田中秀応用システムシ

断法治、藤田雅之他

ンポジウム
３

2007/12/17

レーザー学会第積層 MEMS のためのパルスレーザ

鶴見洋輔、宮永369 回研究会

ー支援デブリフリー低ストレスダイ

憲明、田中秀

シング技術の開発

治、藤田雅之他

４

2008/2/1

レーザー学会第積層 MEMS のためのパルスレーザ

鶴見洋輔，田中

28 回年次大会

ー支援デブリフリー低ストレスダイ

秀治，宮永憲752

シング技術の開発

明，藤田雅之他

５

６

７

2008/3/7

2008/3/21

2008/3/29

電気学会 光・量

積層 MEMS のためのパルスレー

藤田雅之、宮永子デバイス研究

ザー支援デブリフリー低ストレスダ

憲明、田中秀治会

イシング技術の開発（招待講演）

他

電気学会全国大

積層 MEMS のためのパルスレーザ

藤田雅之、宮永会

ー支援デブリフリー低ストレスダイ

憲明，田中秀治

シング技術の開発

他

第 55 回応用物

積層 MEMS のための高繰り返し短

井澤友策，宮永

理学関係連合講

パルスレーザー支援低ストレス高憲明，田中秀演会

速ダイシング技術の開発

治，藤田雅之他

８９

2008/10/22

2009/1/10

第 25 回センサ・

積層ＭＥＭＳのためのデブリフリー

井澤友策、宮永マイクロマシンと高速レーザ支援ダイシング

憲明、田中秀応用システムシ治、藤田雅之ンポジウム他

レーザー学会第積層 MEMS のためのパルスレーザ

鶴見洋輔、田中

29 回年次大会

ー支援低ストレスダイシング技術の秀治、宮永憲開発明，藤田雅之他

１０

2009/1/30

Mate2009

積層 MEMS のためのパルスレーザ

井澤友策，田中

ー支援低ストレスダイシング技術の秀治，宮永憲開発明，藤田雅之他

１１

2009/3/6

センシング技術

多層ウェハレベル接合体の低ストレ応用研究会第スダイシング技術

藤田雅之

165 回研究例会
１２

１３

2009/3/19

2009/9/9

平成 21 年電気

積層 MEMS のためのパルスレーザ

藤田雅之、宮永学会全国大会

支援デブリフリー低ストレスダイシ

憲明、田中秀治

ング技術開発-2

他

積層 MEMS のためのパルスレーザ

藤田雅之、宮永第 70 回応用物

753

理学会学術講演

ー支援デブリフリー低ストレスダイ

憲明、田中秀治会

シング技術の開発

他

学会発表（国際会議）
番号
１

発表日
2008/1/15

発表先発表タイトル

MEMS2008

発表代表者

Debris-Free In-Air Laser Dicing forY. Izawa,

Multi-Layer MEMS by Perforated

S. Tanaka,

Internal Transformation and

N. Miyanaga,

Thermally-Induced Crack

M. Fujita, et al

Propagation２

2008/10/2

ICALEO 2008

0

DEBRIS-FREE LASER DICING

M. Fujita,

FOR MULTI LAYERED MEMS

S. Tanaka,
N. Miyanaga,
et al

３

2008/12/4

IDW’08DEBRIS-FREE LASER DICING

M. Fujita,

FOR MULTI LAYERED MEMS

S. Tanaka,
N. Miyanaga,
et al

４

2009/1/29

LASE’09/Photonics

Low-stress dicing assited by

M. Fujita,Westpulsed laser for multilayer MEMS

S. Tanaka,
N. Miyanaga,
et al

５

2009/6/29

LAMP2009

Debris-Free Laser Dicing forM. Fujita,

Multi-Layered MEMS

S. Tanaka,
N. Miyanaga,
et al

論文など
番

発表日

発表先

2008/3/IEEE J. Trans.

発表タイトル

発表代表者

号
１

Debris-Free Laser-Assisted
754

Y. Izawa,

SM, Vol.128,

Low-Stress Dicing for Multi-Layered

Y. Tsurumi,

No.3, (2008)

MEMS

S. Tanaka,

pp. 91-96.

H. Kikuchi,
K. Sueda,
Y. Nakata,
M. Esashi,
N. Miyanaga,
M. Fujita２

2008/9/SEMI News,

多層 MEMS ウェーハのレーザーダイ

藤田雅之

Vol.24, No.5,

シング

田中秀治

IEEE J. Trans.

Debris-Free Laser-Assisted

Y. Izawa,

SM, Vol.129,

Low-Stress Dicing for Multi-Layered

Y. Tsurumi,

No.3, (2009)

MEMS

S. Tanaka,

pp.22-23(2008)３

2009/3/

H. Kikuchi,

pp. 63-68.

K. Sueda,
Y. Nakata,
M. Esashi,
N. Miyanaga,
M. Fujita４

2009/4/

マテリアル イ

ガラスのレーザーダイシング

ンテグレーショ

レーザー技術総合研究所

藤田雅之

ン 2009 年 4 月号
５2009/5/レーザー研

積層 MEMS のためのパルスレーザー

鶴見洋輔、井澤究、37 巻、5

支援デブリフリー低ストレスダイシン

友策、菊地秀幸、

号、

グ技術

末田敬一、中田

pp.384-388

芳樹、江刺正喜、(2009).

宮永憲明、田中
秀治、藤田雅之

755

受賞など
番号

受賞日

受賞名

受賞タイトル受賞者

１

2009/5/27

電気学会第 65 回

Debris-Free Laser-Assisted

Y. Izawa, Y. Tsurumi,

電気学術振興賞

Low-Stress Dicing for

S. Tanaka, H. Kikuchi,（論文賞）

Multi-Layered MEMS

K. Sueda, Y. Nakata,
M. Esashi,
N. Miyanaga, M. Fujita

２

2009/5/29

レーザー学会第積層 MEMS のためのパルスレ

藤田雅之，末田敬

33 回業績賞（進ーザー支援デブリフリー低スト

一，中田芳樹，宮永歩賞）

レスダイシング技術の開発

憲明，福士秀幸，江刺正喜，田中秀治

セミナー講演など
番号

発表日

発表媒体

発表タイトル１

2008/2/29

東京都立産業技術研究

レーザー加工技術の MEMS へセンター、技術セミナー

の応用

発表者
藤田雅之

MEMS（マイクロマシン）
技術 2008２

2008/9/30

技術情報協会講習会

多層 MEMS ウェハのレーザー「半導体ダイシング工程

ダイシング技術開発

藤田雅之

における歩留まり向上・
低ストレス化技術 〜
MEMS 加工への応用へ向けた〜」.
３

2009/1/15

電子ジャーナル第 281

多層 MEMS ウェーハのレーザ

回技術セミナー「新レーダイシング技術ザダイシング技術★徹
底検証」

756

藤田雅之

展示会など
番号

発表日

展示会

展示タイトル会場

１

2009/7/29-31

第 20 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示会

発プロジェクト成果展示

イト

第 19 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示会

発プロジェクト成果展示

イト

第 18 回マイクロマ

高集積・複合 MEMS 製造技術開東京ビックサシン/MEMS 展示会

発プロジェクト成果展示イト２

2008/7/30-8/1

３

2007/7/25-27⑤高集積・複合 MEMS システム化設計プラットフォームの開発（マイクロマシンセンター）

学会発表
番号

発表日

１

2007/10/22

２

３

2008/7/31

2009/7/31

発表先発表タイトル

電気学会 The 24th

Fine MEMS System Design

Sensor Symposium

Platform Project

高集積・複合 MEMS

ファイン MEMS システム化設計

中間成果発表会

プラットフォーム研究開発

高集積・複合 MEMS

MEMS 等価回路ジェネレータ

成果発表会

の開発

発表代表者
橋口 原

橋口 原

橋口 原

論文
番号

発表日

１

2009/7/23

２

2009/5

発表先

発表タイトル

発表代表者

電気学会

MEMS 等価回路ジェネレータ

浅海和雄、(E)部門総合研究会

の開発

他

電気学会

Development and Experimental

藤原信代、

共通英文論文誌

Validation of Automatic

他

Conversion Procedure from
Mechanical to Electrical
Connection for MEMS
Equivalent Circuit
３

2008/10

Sensor Symposium

SPICE Model for a Comb-Drive

電気学会

Actuator

757

橋口原、他

４
2008/10The 25th

MEMS デバイス等価回路モデ

藤原信代、

Sensor Symposium

ルにおける機械的結合の自動

他

生成
５
６

垂直駆動櫛型電極の半解析

望月俊輔、的な容量式とその適用

他

精密機械学会A Measurement of

橋口原、他

Intelligence anddisplacement using comb drive

Precision Equipment

actuator

2008/10
2008/3Operation of comb-drive

７

橋口原、他

actuator with an AC bridge

2008/3circuit and its sensing
application

８

2007/9

機械学会年次大会

櫛歯アクチュエータの電子素
子表現と自励発振回路への応
用

758

橋口原、他