地球と人間に優しい科学技術－日本初のマイクロシステム工学専攻からマイクロ・ナノシステム工学専攻へ－計算機の出現とこれに伴う科学・技術の変革は、高度工業化・情報化社会の大きな牽引力となってきました。21 世紀に入り、科学・技術は大きな変革を遂げていくことはまちがいありません。
しかし、一方では資源・エネルギー、環境など社会システムに関連する新しい要因が増大し、地球に優しくかつ人間にも優しい技術が強く求められるようになっています。
このような要求に応えるためには、システムの機能を向上するとともにシステムの効率を高めることは必然です。そのために、機械システムの超小型化・超集積化、すなわちマイクロ・ナノシステム技術の発展・確立に大きな期待が寄せられています。
21 世紀の社会を支える新しい基盤技術の研究に参画し、地球と人間に優しい高度工業化・情報化社会の実現を目指そうではありませんか。

目次1. 名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻の概要

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2. 流動型大学院システム

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3. 講座の紹介

4

4. カリキュラム

10

5. 大学院修了者の活動分野

12（このページから最下部中央にページ番号を入れる）－1－名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻の概要現在の高度工業化・情報化社会を支える先端技術開発の一つの方向として、システムの高機能化・高効率化があります。そのために機械システムの超微小化・超集積化、すなわちマイクロ・ナノシステム技術への要求があります。この技術は、産業・生産システム、情報・エレクトロニクス、航空宇宙システム、医療・生体工学など広範囲の分野で大きな変革をもたらすことができ、21 世紀の社会を支える基盤技術として大きな期待が寄せられています。
このような機械システムのマイクロ・ナノ化技術の一例として、センサ、アクチュエータ、プロセッサなどから構成されるマイクロ・ナノマシンがあります。マイクロ・ナノマシンは産業への直接的応用には未だ大きな技術的隔たりがありますが、その技術への期待は大きく、マクロ技術を基礎とするダウンサイジングの技術のみではなく、原子・分子レベルの操作を含むナノテクノロジーとの融合によって、このギャップを埋めることが要求されています。
マイクロ・ナノシステム技術の大きな特徴となっている、機械システムのマイクロ・ナノ化技術とナノテクノロジーの融合は、機械システムの超微小化とナノ物性の制御による新しい機能の集積化、ナノ技術に支えられた観察・加工技術の活用によって、機械システムの概念を根本的に変化させます。すなわち、マイクロ・ナノ領域での新技術開発のためのマイクロ・ナノシステムの設計、製造、運動、制御などは、マクロ領域とは基本的に異なり、まったく新しい物理的、化学的、ならびに力学的現象によって支配されています。マイクロ・ナノ領域では体積効果に比べて表面効果と界面量子効果が支配的となるだけでなく、情報の伝達、質量とエネルギーの輸送、システムの組織化と制御、システム要素の加工と組立などが新しい機構で支配されるので、従来の工学における原理、理論、技術をそのままの形で適用することは困難です。したがって、マイクロ・ナノシステム技術の確立のためには、マクロ領域を主な対象とする従来の機械システム技術と、原子・分子を基礎とするマイクロ・ナノ技術を融合した新しい工学的取扱いが必要となります。
このような背景のもとで本専攻では新機能性材料の創製、微細加工技術、計測技術、制御技術を基本とし、マイクロ・ナノマシン技術のみならず、小型軽量化の強い要請のある宇宙マイクロ・ナノ技術、および小型高機能化の要求の強い生体医療マイクロ・ナノシステム技術を含み、より集積化、高度化、知能化した新しい機械システムを作り出すことを目指しています。そして、新たな技術開発のための広範囲の問題を総合的に取り扱う新しいマイクロ・ナノシステム工学を体系化するとともに、学際的素養を身に付けた指導的技術者、想像力豊かな研究者を養成することを目的としています。
本専攻はマイクロ・ナノシステムを総合的に扱うわが国初の工学研究科の専攻であり、名古屋大学大学院工学研究科機械理工学専攻、航空宇宙工学専攻との連携も大きな特色です。学際的、先進的な分野ですので、広く理工系学部、学科の出身者の応募を期待しています。

－2－

流動型大学院システム名古屋大学工学部においては、今後の産業の高度化、国際化の一層の進展に指導的に対応しうる人材を養成すること、また産業界での技術的指導層の人材のリフレッシュ教育を大学院を中心に推進すること、さらに多様な社会的・文化的な教育背景をもつ留学生に対応し得る国際的なスタンダードの下で教育システムを充実させることを目的として、「流動型大学院システム」を導入しつつあります。平成 6 年度から機械系の学科において導入が開始されました。
このシステムは以下のように構成されています。
(1) 学部講座をすべての大学院の講座に移行し、かつ伝統的な学問分野の発展と強化・充実を図る「領域専攻群」(2) 領域・学問体系を横断した新しい学際領域の研究を促進する「複合専攻群」(3)「領域専攻群」を強化し、かつ、両専攻群間の有機的連携協力を図る「併担グループ」（「領域専攻群」に設置し、「複合専攻群」の教員が担当）「領域専攻群」で、既存の学問分野の発展と強化・充実を図り、また「複合専攻群」で、学問分野を横断した新しい学際的な分野の発展を促進しつつ、さらに「領域専攻群」に新たに「併担講座」を設置し、これを「複合専攻群」の教員が担当して、「領域専攻群」の強化を図るとともに、相互の有機的な連携・協力を組織的、継続的に促進しうる柔軟な組織とすることにより、両専攻群の各学問研究分野を一層充実し活性化することを目指しています。
流動型大学院システムでは、伝統的な学問分野を継承・発展させつつ、それに支えられた産業等の諸分野に常に新風を吹き込む人材を安定的に供給するとともに、こうした伝統的な学問分野に基礎を置きつつそれらを複合的に発展させる分野や将来において社会のニーズが極めて高くなる萌芽的分野を開拓しうる技術者・研究者を養成することを目指しています。さらに、「併担グループ」を通じて「領域専攻群」の各専攻の内容を充実・強化するとともに、両専攻群間における教員および学生の流動性を促進して研究科全体を活性化し、多様かつ柔軟な研究・教育システムを積極的に体系化することによって、高度の専門性と同時に総合力を有する人材育成を強力に推進することが可能となります。

－3－バイオ・ロボティクス講座 マイクロ・ナノ制御工学グループ概要と特色

次世代機械システムに必要とされるマイクロ・ナノメートルレベルのデバイス技術や高度な制御技術を基盤とし、バイオ・医療・福祉分野への応用を目指したメカトロニクスに関する教育・研究を行っています。例えば、マイクロ・ナノ領域の動作解析、設計、加工、計測、制御など各基盤技術を用い、新しいマイクロ・ナノマニピュレーションシステムやマイクロ・ ナノロボットの実現にチャレンジしております。また、人の意思を瞬時に推定し適切な支援を行う支援制御や、究極の移動ロボットを目指したマルチロコモーションロボットの知能制御、分散共有知覚を行うマルチロボットの協調制御などを駆使し、実問題の解決を見据えた次世代機械システムの研究・開発を行っております。本グループでは、マイクロ・ナノデバイス技術から世界最先端のロボットまで幅広く実践的で新分野を開拓する知識・スキルを修得することができます。研究の内容（１）バイオロボットシステム身体の運動機能を補完・拡張する装着型機器において、脳と身体が双方し情報交換するバイオフィードバックを制御・補完するインターフェース技術や身体親和性向上技術について研究しています。また、生物の様に一台のロボットが二足・四足・梯子登り、枝渡り動作といった多様な歩容形態を環境に応じて選択するマルチロコモーションロボットの知能化に取り組んでいます。
（２）マルチロボット協調における分散共有知覚自律的に環境認識する機能を有したマルチロボットの協調制御システムに関して、通信、制御、分散協調制御について研究しています。また、複数ロボットの群れとしての行動計画、動的環境下での適応と学習、自己組織化といった群知能に関して研究しています。
（３）マイクロ・ナノマニピュレーション、マイクロ・ナノロボットマイクロ・ナノシステムの基礎、応用について研究し、産業、上肢運動支援・学習支援システム

医療、バイオなどとの融合による新規分野を開拓しています。
例えば、線虫へのナノインジェクションシステム、カーボンナノ材料を用いた機能性ナノデバイスの構築、バイオ流体チップを用いた細胞のマイクロ・ナノアセンブリによる３次元組織構築などについて取り組んでいます。将来の展望次世代機械システムを新たに研究・開発するためには、新材マルチロボットの分散共有知覚料、微細加工、組み立て、センサ、アクチュエータ、エネルギー供給、制御、自己組織化、通信などの各要素技術のレベルアップに加え、バイオ・医療・福祉などの他分野との融合によるシステム統合化が必要です。このため、学際的な知識と新たな発想を大切にし、マイクロ・ナノと制御工学の視点から新しいシステムを創造・実現し、応用することを目指します。

－4－

環境制御型電子顕微鏡内でのナノマニピュレーションシステム

バイオ・ロボティクス講座 生体医用マイクロ工学グループ概要と特色

本講座では、MEMS・ナノテクノロジーを基盤としたバイオ・医療に貢献するロボティクス・メカトロニクスに関する研究を推進しています。マイクロ・ナノ領域の物理化学現象を理解し、バイオミメティックな視点を取り入れたバイオニックデザインに基づいて、高度集積化・知能システムを実現することを目的としています。下図に示すようなミリ・マイクロ・ナノロボットシステムの学術研究で社会に貢献することを目指しています。研究の内容(1) ミリ・マイクロ・ナノロボットシステム高速ビジョンを利用した超高速・超精密マイクロロボット(2) 微細加工、集積化技術による革新的システムマイクロ・ナノをつなぐ三次元メゾスコピック微細加工(3) マイクロ・ナノロボティクスが拓く生命現象の解明細胞から核を除くマイクロ・サージャリ―ロボットカプセル型マイクロナノロボットによる細胞内計測(4) ロボティクス・メカトロニクスで先進医療へ貢献昆虫を模倣した医療用外骨格型マイクロロボット(5) バイオニックロボットの創製と制御バイオマシン：細胞と機械のミクロ融合技術MEMS 技術を利用した細胞・組織 4 次元培養システム将来の展望

我々はトップダウン、ボトムアップ融合アプローチによる微細加工技術を用いてナノスケールにフォーカスしたメゾスコピック・システム創製の学理を確立することを目指しています。ナノ領域とマイクロ領域のギャップを埋める「True Nano」領域において、システム創製におけるブレークスルー技術を社会に提供したいとおもいます。また、センサ・アクチュエータ制御による新たな機能創出を目指しています。高性能センサ・アクチュエータを集積化した統合制御により、デバイス単体では出せないクラスの新たな機能創出を目指しています。マイクロ・ナノシステム理工学を基盤として異分野・学際領域のフロンティアの開拓に挑戦していく意欲ある方を歓迎いたします。

Micro µm

Nano nmMilli mm

100 µmロボットの遠隔操作

バイオマシン

5 µm

5 µm

ナノロボット100 μm

100 µm

細胞凝集体

マイクロ・ナノロボット－5－800 µm

超小型医用ロボット

集積機械デバイス講座 マイクロ・ナノ計測工学グループ概要と特色

マイクロロボット、マイクロマシニング、情報機器、バイオ操作などにおいて、マイクロ・ナノスペースでの微細操作・微細制御・微細加工を対象とする新技術が興隆しつつあります。当研究室では、このようなマイクロ・ナノ領域における物理現象・物体運動・物質性状を解明することにより、画期的な微小機械を実現することを目的として、(a)先端的計測法の新規考案、(b)計測装置・システムの独自開発、(c)計測情報およびコンピュータシミュレーションに基づく分子スケールの物理現象解明、(d)計測情報および計測システムを利用した微小機械設計ならびにナノバイオ解析への応用などに関する研究を行います。当研究室は、機械理工学専攻電子機械工学分野のメカトロニクス設計講座知的センシンググループを併坦しており、相互の情報交換や人的交流により研究の幅を広げるチャンスに恵まれています。研究の内容１．ナノマシンの実現をめざして：分子スケールのナノ機械工学の開拓２．ナノバイオチップ：マイクロ・ナノ構造によるバイオ分子・DNA 分子の運動制御３．分子シミュレーションによるバイオチップ、ナノマシンの設計４．マイクロマシン技術を応用したマイクロメカニカルデバイスの研究５．超精密計測技術によるマイクロ・ナノマシンの動作特性の解明６．マイクロ・ナノマシンの安定動作のためのナノ潤滑技術の研究７．ヒトの触感覚機能の解明：ヒューマノイド・ロボットの人工触覚の研究８．触覚のバーチャル・リアリティ：リハビリテーションおよび遠隔操作への応用９．遺伝的アルゴリズムを用いた集合ロボットの自律協調作業将来の展望１．ナノメカトロニクスは、情報技術、バイオ技術、環境エネルギー技術において、革新的な変革をもたらすものと期待されています。そして、ナノメートルの現象を解明して、それを有効に活用するためには、微細領域の計測技術が不可欠であり、マイクロ・ナノ計測は、主要な技術として重要性が高まっています。
２．高精度化、マイクロ化は技術の進む本質的な方向の一つであり、産業界のニーズに適合して最先端の分野で活躍することができます。また、計測技術は基盤技術であり、様々な最先端分野を牽引する技術となっています。このため、計測技術を習得すれば、最先端分野をリードする技術者となることが期待できます。
３．五感のうち触覚に関する研究は、他の視覚などの研究に比べて進んでいません。
ロボットに触覚を付与できれば、画期的な知能ロボットの実現がもたらせます。

－6－

集積機械デバイス講座 マイクロ・ナノプロセス工学グループ概要と特色

微細加工技術と，マイクロ・ナノ材料に基づく微細な機械システム（マイクロ・ナノシステム）の研究と教育を行っています。従来のフォトリソグラフィ、エッチング、薄膜形成などの微細加工技術を発展させ、新たに機械的な構造体の加工に展開し、さらにシリコンやアモルファス合金などの新しいマイクロ・ナノ材料の特性把握やその材料を用いて、マイクロ・ナノシステムの実現を図っています。これと並行して、マイクロ・ナノシステムに適した材料の創成や、微細加工、機械システムの微細化で発現する新現象を追求し、「マイクロ・ナノプロセス工学」を確立することを目指しています。このような研究活動を通じて、MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)分野での新産業を創出するとともに、従来の機械工学の体系でカバーできない学際的な研究領域を開拓します。国内外の研究機関と協力して進める基礎的研究、企業と協力して進める開発的研究など、基礎から応用、材料から加工、システム化に至る幅広い局面に研究活動を展開することにより、教育面では、工学者、指導的エンジニアとしてたくましく自立できる人材の育成を図っています。研究の内容(1) 微細な３次元構造体を形成する加工技術（例：薄膜金属ガラスの三次元微細成形技術、シリコンの結晶異方性エッチング）(2) 薄膜材料のハイスループット評価、各種薄膜材料の機械的性質の解明(3) マイクロアクチュエータに関する研究（例：静電、電磁、磁気力アクチュエータ）(4) マイクロセンサに関する研究（例：マイクロ熱型センサ、環境センサ、医用マイクロセンサ）(5) 上記加工技術、材料、システム技術を適用したマイクロ・ナノメータシステムの研究と産業応用(6) MEMS 材料のコンビナトリアル探索、機械的特性、加工特性に関する材料データベースの確立将来の展望従来の機械の概念を変えるようなマイクロ・ナノシステムは、情報機器、産業機器、医療、科学研究など多くの分野で応用が始まっています。しかし、マイクロ・ナノ領域の工学の飛躍的発展には、微細加工技術、材料技術、システム化技術、計測評価技術などの基コンビナトリアル技術によるマイクロ・ナノ材料探索UltrafastlaserObjectivelens

盤研究が応用分野を横断して進歩しなければなりません。本グループでは、とりわけ、その基本となる微細加工技術を中

1 mm

MetalpatternsMetal oxidenanoparticlesSubstrate

核にすえてマイクロ・ナノシステムを研ReductantagentMetalpatterns

究対象としています。これらの研究を通じて機械、電気、材料、物理、化学にま5 µm

たがる学際領域に新しい研究分野を形成・確立することを目指します。

金型を利用したリフトオフプロセスによる厚膜 MEMS

－7－

Metal oxidenanoparticles

超短パルスレーザ誘起酸化物ナノ粒子直接還元を用いた金属微細パターニングマイクロ・ナノ機械科学講座 マイクロ熱流体工学グループ概要と特色流れの希薄度を表す重要な無次元パラメータとしてクヌッセン数（Kn: Knudsen number）があり、分子が衝突から次の衝突までに移動する平均的な距離である平均自由行程λ と流れ場の代表長さ L を用いて Kn =λ /L で定義されます。一般に Kn が 0.01 を超えると流れは連続体として近似できず、原子・分子の流れとして扱わなくてはならなくなります。航空宇宙分野や高真空を利用する半導体薄膜製造過程などの平均自由行程が大きい場ではもちろんのこと、大気圧下でも代表長さが数十 nm 程度になる NEMS／MEMS（Nano/Micro Electro Mechanical Systems）に代表されるナノ・マイクロデバイス周囲・内部の流れも高クヌッセン数流れとなります。高クヌッセン数流れにおいては、平均自由行程が相対的に大きいために分子間衝突数が極端に減少して流れの中で方向間や運動モード間における強い非平衡現象が発現し、代表長さが相対的に小さいことにより分子は他の分子よりも固体表面と数多く衝突して流れ場が固体表面の影響を強く受けることになります。本研究グループでは、このような高クヌッセン数流れを総合的に理解するために、流れ場の原子・分子オーダーでの解明と固体表面近傍における原子・分子の挙動の解明を目的とした教育と研究を行っています。
研究内容(1) 高クヌッセン数流れで発現する強い非平衡現象の解明分子の内部状態を測定可能かつ高感度な共鳴多光子イオン化（REMPI）法を用い、速度のそろった分子線における回転エネルギー分布の計測を行っています。そして、運動モード間の温度非平衡現象や回転エネルギー分布が平衡分布から逸脱する強い非平衡現象を解明するとともに、平衡状態から非平衡状態への遷移過程を明らかにします。
超高真空実験装置(2) 気体分子と固体表面の干渉の解明

超高真空チャンバー中で膨張させた超音速自由噴流の中心軸部分から速度のそろった分子線を抽出し、これを固体表面に入射させて散乱した気体分子を検出することにより、気体分子‐固体分子間相互作用に対する精緻データを取得しています。また、気体分子と固体表面の間のエネルギーや運動量の授受の効率を表す適応係数の取得実験も実施し、気体分子と固体表面の干渉を総合的に解明します。

(3) 感圧・感温塗料による高クヌッセン数流れの解明圧力・温度分布を容易に測定できる感圧・感温塗料（PSP・TSP）を低密度気体流れに対しても利用できるように開発しています。
また、これまで膜厚や発光分子の凝集のために非常に困難と考えられてきたマイクロ・ナノ気体流れに適用するために、単分子膜を利用した高秩序な感圧分子膜（PSMF）を開発し，壁面分布から高クヌッセン数流れを解明します。

マイクロコニカルノズル内圧力分布将来の展望半導体薄膜製造や NEMS／MEMS などのナノ・マイクロデバイスに関連した高クヌッセン数流れを総合的に理解するためには、流れ場の原子・分子オーダーでの理解と固体表面近傍における原子・分子の挙動を理解する必要があります。ナノ・マイクロ領域では、マクロ領域では問題ならない特異な物理現象が発現するため、これらの理解の積み重ねがナノテクノロジーの将来を決める今後の大きな課題であると言えます。高クヌッセン数流れに関連した高精度な実験手法の開発と精緻な実験データの取得がナノテクノロジーの進展に大きく寄与するものと考えられます。

－8－

マイクロ・ナノ機械科学講座 航空宇宙マイクロ工学グループ概要と特色【超小型衛星でもここまではできる】から【超小型衛星だからこそできる】へ、超小型宇宙システムにおいて小型からの視点によるユニークな能力の獲得と利用拡大を目指す。
超小型衛星の特徴を生かすには通常サイズの衛星による従来手法をただ小型化するだけではなく、小型になるほど影響が大きくなる①現象を見出し②応用する事による、超小型ならではのユニークな能力の獲得が必要になると考えています。本グループでは宇宙機が小型になるほど宇宙環境の影響を大きく受ける傾向にある事に注目し、この宇宙環境を宇宙システムの制御に応用して少ないリソースで高機能な超小型衛星バスシステムの構築を目指します。さらに、これら超小型衛星ならではの技術を駆使した宇宙利用に関する研究を進めます。研究の内容超小型宇宙システムの要素技術検討からその応用まで扱う。特に超小型宇宙機での影響が大きな環境磁場や宇宙プラズマの効果を用いた姿勢軌道制御を中心に研究を進める。
超小型宇宙機が大きな影響を受ける宇宙環境(特に磁場と宇宙プラズマ)に注目して、超小型宇宙機の a.能力と b.利用の拡大を目指します。特に超小型宇宙機の姿勢軌道制御能力の獲得・改善による宇宙利用拡大を狙います。その他、宇宙システムの研究を実施します(C&DH、熱構造、通信、宇宙システム設計、宇宙利用など)。また、検討のみに終わるのではなく実際に宇宙システムの設計と開発を実施し、提案手法についての宇宙実証にも挑戦したいと考えています。
1. 電磁気応用

2. 宇宙プラズマ応用

3. 超小型衛星システム

図 1 電磁力による宇宙膜展開構造物の制御

図 2 宇宙プラズマを用いた軌道制御

図 3 超小型宇宙機の設計例

・超小型深宇宙探査機における惑星間磁場を用いた姿勢制御・形状磁気異方性による姿勢外乱トルクのモデル化と応用

・宇宙プラズマ抗力のフォーメーションフライトへの応用・宇宙プラズマ抗力を用いた超小型宇宙機のデオービット

・STT 画像を用いた高精度姿勢レート推定と制御・低高度小型衛星における空力トルクを用いた姿勢安定化将来の展望超小型衛星、それは一つのジュース缶から始まりました。机の上にたまたまジュース缶があったから、これを人工衛星にしてみたら面白いのではないか？そんなふとしたアイデアがきっかけです。勿論しっかりと考え抜いて実験・検討を進める事も大切な事ですが、「何となく、これ試してみたら面白いかな」から意外な事が分かったり新しい事が始まったりする事も多いものです。これまで宇宙システムは敷居が高くふとしたアイデアを試す事が難しい事も多くありました。マイクロ・ナノ宇宙システムではもう少し気軽な宇宙を目指す事ができます。最初に自分達のオリジナルなアイデアを宇宙に上げて試してみる事ができる環境を目指しましょう。そこから目指すべき方向が見えてくるはずです。

－9－カリキュラム本専攻は、バイオ・ロボティクス、集積機械デバイス、マイクロ・ナノ機械科学の３講座からなり、さらにそれらの講座はそれぞれ２つのグループから構成されます。各グループの教員は下図に示すような協力関係にあるⅣ系領域専攻の各講座を併担しています。また、学内のマイクロ・ナノメカトロニクス研究センター、未来材料・システム研究所と兼担している教員もいます。
図からわかるように、当専攻は他の多くの領域専攻と協力関係をもっていることになります。
大学院の学生には一般に、自分の属する専攻の授業科目（主専攻科目）と関連する他専攻の授業科目（副専攻科目）とをそれぞれ規定の単位数以上履修することが要求されます。当専攻の学生の主専攻科目とは、すなわち、当専攻の３講座の教員が担当する講義・セミナー・演習・実験の各科目です。また、副専攻科目とは、本専攻以外の工学研究科専攻で開講されている授業科目のうち、指導教員並びに専攻主任が認めた科目です。

未来材料・システム研究所（http://imass.nagoya-u.ac.jp）

機械理工学専攻

マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター（http://mech.nagoya-u.ac.jp/cmm/）

マイクロ・ナノシステム工学専攻

電子機械工学分野

機械理工学専攻機械情報システム工学分野

バイオ・ロボティクスメカトロニクス制御講座

マイクロ・ナノ機械システム講座

知的センシンググループ

マイクロ制御工学グループ

集積機械デバイス

マイクロ・ナノ機械システム講座

航空宇宙工学専攻構造・制御講座

生体機械工学グループ

マイクロ・ナノ機械科学

微細加工システムグループマイクロ・ナノ機械システム講座

航空宇宙機運動システムグループ

分子熱流体工学グループ複合専攻Ⅳ系領域専攻

マイクロ・ナノシステム工学専攻の講座，グループおよび他の専攻（分野），研究科，研究機構との連携－ 10 －

併担兼担マイクロ・ナノシステム工学専攻 博士課程前期課程 科目一覧科目区分基礎科目

授業形態講義セミナー

主 分 野 科 目

主
専攻科目

講義

実験・演習

副専攻科目

総合工学科目(＊印はリーディング大学院科目）

授業科目

2

マイクロ・ナノ理工学特論2

統計熱力学特論2

マイクロ・ナノシステム制御工学セミナー1A, 1B, 1C, 1D

各2

マイクロ・ナノ計測工学セミナー1A, 1B, 1C, 1D

各2

マイクロ熱流体工学セミナー1A, 1B, 1C, 1D

各2

航空宇宙マイクロ工学セミナー1A, 1B, 1C, 1D

各2

バイオマイクロメカトロニクスセミナー1A, 1B, 1C, 1D

各2

マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1A, 1B, 1C, 1D

各2

知能制御システム工学特論2

マイクロ・ナノ計測工学特論

2

マイクロ熱流体工学特論

2

バイオマイクロメカトロニクス特論2

生体機能工学特論2

マイクロマシニング特論

2マイクロ・ナノプロセス工学特論

2

マイクロ・ナノシステム工学特別講義 1, 2, 3, 4, 5, 6

各1

マイクロ・ナノシステム制御工学特別実験および演習 A, B

各1

マイクロ・ナノ計測工学特別実験および演習 A, B

各1

マイクロ熱流体工学特別実験および演習 A, B

各1

航空宇宙マイクロ工学特別実験および演習 A, B

各1

バイオマイクロメカトロニクス特別実験および演習 A, B

各1

マイクロ・ナノプロセス工学特別実験および演習 A, B

各1

セミナー，講義， 当該専攻以外の工学研究科専攻で開講されている授業科目のうち，指導教員並実験・演習びに専攻主任が認めた科目高度総合工学創造実験

3

研究インターンシップ１

2～8最先端理工学特論1

最先端理工学実験

1

コミュニケーション学

1

先端自動車工学特論

3

科学技術英語特論

1

ベンチャービジネス特論Ⅰ，Ⅱ各2

学外実習Ａ，Ｂ

各1

医工連携セミナー

2

宇宙研究開発概論*（フロンティア宇宙開拓リーダー養成プログラム）実世界データ解析学特論*（実世界データ循環学リーダー人材養成プログラム）実世界データ循環システム特論 I*（実世界データ循環学リーダー人材養成プログラム）

他研究科等科目

単位数

マイクロ・ナノ機械システム工学特論

21～32

国際プロジェクト研究

2～4

国際協働教育特別講義

1

国際協働教育外国語演習

1

本学大学院の他の研究科で開講される授業科目，単位互換協定による他の大学院の授業科目又は工学研究科入学時において当該学生が未履修の学問分野に関する本学学部の授業科目のうち，指導教員及び専攻長が認めた科目

研究指導・以下の１～５の各項を満たし，合計３０単位以上1. 主専攻科目は基礎科目２単位以上，主分野科目の中からセミナー及び講義６単位，実験・演習２単位を含む１４単位以上2. 副専攻科目の中から４単位以上3. 総合工学科目は４単位までを修了要件単位として認め，４単位を超えた分は随意科目の単位として扱う4. 他研究科等科目のうち，学部科目は２単位までを修了要件単位として認め，２単位を超える学部科目は随意科目として扱う5. マイクロ・ナノシステム工学特別講義は取得順に３単位までを修了要件単位として認め，３単位を超えた分は随意科目の単位として扱う・研究指導については，専攻において定めるところにより，指導教員の指示によること－ 11 －

大学院修了者の活動分野マイクロ・ナノシステム工学専攻は、平成 6 年度に設置されたマイクロシステム工学専攻をその前身とする新しい大学院の専攻です。参考として本専攻およびこの分野に関連する大学院工学研究科の博士課程前期（修士）課程・後期（博士）課程を修了した大学院生の主な進路を以下に示します。マイクロ・ナノシステム工学は科学・技術の先端を行く分野ですから、この専攻修了後は皆さんの活躍が期待されています。
電子・電機、通信、情報機器イビデン、沖電気工業、オムロン、キヤノン、三洋電機、シャープ、住友電気工業、セイコー・エプソン、ソニー、デンソー、東芝、日本 IBM、日本電気、日本電信電話、日立製作所、富士通、ブラザー工業、ボッシュ、パナソニック、三菱スペースソフトウェア、三菱電機、電子計算センター

自動車、輸送機器、プラントアイシン・エイ・ダブリュ、アイシン精機、IHI、川崎重工業、スズキ、大豊工業、千代田化工建設、東海理化電機製作所、東洋エンジニアリング、トヨタコミュニケーションシステム、トヨタ自動車、トヨタ車体、豊田中央研究所、日揮、日産自動車、日本車輌製造、本田技研工業、マツダ、三菱自動車工業、三菱重工業、富士重工業、ヤマハ発動機

機械、精密機器荏原製作所、オークマ、オリンパス、クボタ、コマツ、ジェイテクト、住友重機械工業、テルモ、豊田自動織機、日本精工、コニカミノルタ、ヤマハ、ニコン、ファナック、浜松ホトニクス、ヤンマー、安川電機、リコー、ニプロ

材料INAX、王子製紙、JFE スチール、神戸製鋼所、新日本製鐵、住友金属工業、住友軽金属、大同特殊鋼、大日本印刷、東レ、ブリジストン、日本ガイシ、日本特殊陶業、日立金属

運輸、エネルギー関西電力、中部電力、東京電力、四国電力、東邦ガス、全日本空輸、日本航空、JR 西日本、JR 東日本、新明和工業

研究・教育機関・官公庁大学教員（愛知工業大学、大阪工業大学、岐阜大学、京都大学、静岡大学、東京大学、筑波大学、富山県立大学、中部大学、東北大学、名古屋大学、名古屋工業大学、三重大学、名城大学等）、高等学校教員、宇宙航空研究開発機構、国土交通省、経済産業省、産業技術総合研究所、特許庁、愛知県、名古屋市、名古屋税関その他クリニカル・サプライ、シスコシステムズ、住友商事、三菱商事、電通、野村総合研究所、日本総合研究所、丸紅、リクルート－ 12 －

工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻の担当教員講座名研究グループ

マイクロ・ナノ制御工学バイオ・ロボティクス

www.mein.nagoya-u.ac.jp

生体医用マイクロ工学www.biorobotics.mech.
nagoya-u.ac.jp/

マイクロ・ナノ計測工学集積機械デバイス

ayame.fukuzawa.nuem.
nagoya-u.ac.jp

マイクロ･ナノプロセス工学mnp.mech.nagoya-u.ac.jp/jp

マイクロ・ナノ機械科学

マイクロ熱流体工学mech.nagoya-u.ac.jp/mtfe/

担当教員

E-mail：〜.nagoya-u.ac.jp電 話：052-789-〜ＦＡＸ：052-789-〜

教授長谷川泰久

准教授関山浩介

hasegawa@mein.
57975877

sekiyama@mein.
31163115

教授新井史人

准教授丸山央峰准教授田中智久

arai@mech.
50255027

hisataka@mech.
50265027

tanaka̲t@mech.
56565027

教授福澤健二准教授伊藤伸太郎

fukuzawa@nuem.
27473129s̲itoh@nuem.
31303130

教授秦 誠一准教授櫻井淳平

hata@mech.
52235032

jsakurai@mech.
52895032

教授新美智秀

准教授山口浩樹

准教授松田 佑niimi@mech.
27913124

hiroki@mech.
27023124y.matsuda@mech.
27013124

航空宇宙マイクロ工学

講師稲守孝哉－ 13 －

名古屋大学東山キャンパス案内図

航空・機械研究実験棟 赤崎記念研究館

減災館

VBL

ES総合館

NIC

マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター

工学部2号館中館3階専攻事務室

名城線

名古屋伏見

線
西
本関

地下鉄東山線地下鉄名城線地下鉄鶴舞線JR線

千種

千種

鶴舞

新幹線

今池

本山

鶴舞

至藤が丘東山公園名古屋大学線
本
央中

東海道新幹線

御器所

名古屋大学東山キャンパス八事

至赤池東海道本線

高畑

東山線

栄上前津

金山

地下鉄桜通線

桜通線

鶴舞線

中村区役所

至桑名

大曽根

至多治見

至岐阜

至浄心

交通案内図

至豊橋

至名古屋港

〒464-8603

・金山駅方面から地下鉄名城線左回り乗り換え「名古屋大学駅」下車新瑞橋

連

徳重

絡

・名古屋駅方面から地下鉄東山線「本山」駅下車地下鉄名城線右回り乗り換え「名古屋大学駅」下車

先

名古屋市千種区不老町名古屋大学大学院工学研究科IV系マイクロ事務室T e l：052-789-3301Fax：052-789-3111E-mail：micro@mech.nagoya-u.ac.jpホームページ：http://www.mech.nagoya-u.ac.jp/MICRO/・中部国際空港方面から名鉄空港線「中部国際空港」駅より名鉄本線「金山」駅下車地下鉄名城線左回り乗り換え「名古屋大学駅」下車