長さゲージ

05/2021

目次

ハイデンハインの長さゲージは、長い測定範
囲にわたって高い精度を提供します。さらに堅牢性にも優れ、実用的です。
そのためこの長さゲージは、生産現場での計測、マルチポイント検査ステーション、検査装置の監視、位置決め装置など、幅広い用途で使用されています。

長さゲージ: 用途および品目
応用例

4

ハイデンハインの長さゲージ

6

長さゲージ一覧8

技術的特徴と取付け情報
測定の原理

10

測定精度

12

取付け

16

設定

17

測定力およびプランジャー駆動

19

仕様

精度

測定範囲

アブソリュート長さゲージ

HEIDENHAIN-ACANTO

±1 µm
±2 µm

12 mm
30 mm

22

インクリメンタル長さゲージ

HEIDENHAIN-CERTO±0.1 µm、±0.03 µm*±0.1 µm、±0.05 µm*

25 mm
60 mm

24

HEIDENHAIN-METRO±0.2 µm

12 mm
25 mm

26

HEIDENHAIN-METRO±0.5 µm
±1 µm

60 mm
100 mm28

HEIDENHAIN-SPECTO

±1 µm

12 mm
30 mm

30

MT 1281 (低測定力タイプ)
ST 1288 (低測定力タイプ)±0.2 µm
±1 µm

12 mm

32

別売アクセサリ34

測定プローブ、コントロールボックス、カップリング
測定スタンド、セラミックプレート、ダイアフラム･コンプレッサー

HEIDENHAIN-CERTO用

36

ケーブルレリーズ、測定スタンド

HEIDENHAIN-ACANTO、HEIDENHAIN-METRO
およびHEIDENHAIN-SPECTO用

38

その他情報

詳細情報:

このカタログの発行により、前版カタログとの差し替えをお願いいたします。
ハイデンハインへの注文は契約時の最新カタログを御覧ください。

2

ISO、IEC、ENなどの規格はカタログに明記されているものに限ります。

各インターフェース、ケーブル、コネクタおよび電気的仕様に関しての詳しい説明は、カタログハイデンハインエンコーダのインターフェースおよびカタログケーブル・コネクタを参照してください。

信号変換器

40

DAkkS準拠の校正

42

関連資料

43

* データ処理ユニットで直線誤差補正後

応用例
品質保証部門において製造部門において計測と生産管理

マルチポイント検査装置

ハイデンハインの長さゲージは、入荷検査、生産ラインでの寸法チェック、統計プロセス管理など、迅速で信頼性が必要とされる長さ測定の様々な用途において、大きな役割を果たします。測定範囲が広いので、測定物が5 mm
または95 mmでも同じ1つの測長器で直接測定することが可能です。

マルチポイント検査装置は、耐久性に優れた
コンパクトサイズの長さゲージを必要とします。
また、検査装置の構造を単純化するために、一貫して高い直線精度とともに数ミリメートルの比較的大きい測定範囲を有する測長器が望まれています。構造の単純化とは、例えば、1つの装置で複数のマスターをカバーできるような構造にすることです。測定範囲が大きければ、より単純なマスターが使用できるので、マスター生産においても有利となります。

ハイデンハインは、用途に応じて要求される精度に合った長さゲージを提供いたします。
HEIDENHAIN-CERTOは、精密な測定用の±0.1 µm/±0.05 µm*/±0.03 µm*と極めて高い精度の長さゲージです。HEIDENHAIN-METRO
は、±0.2 µmまでの高い精度の長さゲージ、HEIDENHAIN-SPECTOは、±1 µmの精度でコンパクトなサイズの長さゲージです。

コンパクトサイズのアブソリュート長さゲージ
HEIDENHAIN-ACANTOとインクリメンタル長
さゲージHEIDENHAIN-SPECTOは、マルチ
ポイント検査ステーション向けに設計されています。これらは、精度±1 μm(測定範囲30 mmの場合)です。さらに精度が必要な場合は、精度±0.2 µmの他の小型タイプの長さゲージ
HEIDENHAIN-METROが適しています。

* データ処理ユニットで直線誤差補正後

ワークの検査ゲージブロックの校正と測定装置の検査

カムシャフトの動的測定

半完成品の許容公差測定

位置測定
また、ハイデンハインの長さゲージは精密リニ
アスライドやX-Yテーブルの位置測定用にも適しています。例えば、計測用顕微鏡と併用す
れば、位置値表示と柔軟なデータム設定により作業がはるかに容易になります。

標準規格によって要求される測定機器の定期検査および特にゲージブロックの校正は、一般的に差動変圧器の原理を応用した測長器を使い比較測定を行いますが、それには多数の比較校正用ゲージブロックが必要です。ここでの問題は差動変圧器の測長器では高精度に測定できる測定範囲が最大約10 µm程度と非常に狭いことです。広い測定範囲を高精度で測定できる長さゲージによって、トレーサビリ
ティを保証するために要求される測定装置の校正が大変簡単になります。

HEIDENHAIN-METROおよびHEIDENHAIN-SPECTOは、30 mm、60 mm
または100 mmの大きい測定範囲で、±0.5 µm
または±1 µmの高い精度にて使用できます。
この測長器としての用途において、ハイデンハ
インの長さゲージはアッベの測定原理に従って、その固定シャフトとあるいは平坦な取付け面に迅速に取付けることができます。

長さゲージHEIDENHAIN-CERTOの精度は、±0.1 µm/±0.03 µm*(測定長25 mmの場合)
および±0.1 µm/±0.05 µm*(測定長60 mmの場合)であるため、このような作業に最適です。これにより、必要とされる比較校正用ゲー
ジブロックの数は少なくなり、校正作業は極めて簡素化されます。

ゲージブロックの校正

4

スタイラスの検査

インダクティブ方式の測長器と異なり、ハイデン
ハインの長さゲージは、長期間にわたって安定した測定ができ、再検定の必要がありません。

X-Yテーブル位置測定 (レンズ取付け用)

5ハイデンハインの長さゲージ

ハイデンハインの長さゲージは、長い測定範囲にわたって高い精度を提供します。長さを迅速かつ正確に信頼できる形で測定する必要がある場合に使用されます。

広い測定範囲ハイデンハインの長さゲージは、12 mm、25 mm、30 mm、60 mm、または100 mmの測定範囲で使用できます。多種多様なワー
クを1回の段取りで測定できるため、高価なゲージブロックやマスターを頻繁に替える必
要はありません。

幅広い用途
ハイデンハイン長さゲージは、多くの用途に適しています。自動検査装置、手動測定ステー
ション、位置決め装置、すなわち、長さ、間隔、厚さ、高さ、直線運動の測定であればどのよ
うなアプリケーションでも、ハイデンハイン長さ
ゲージは、迅速かつ正確に信頼できる形で機能します。

アブソリュート位置値測定
長さゲージHEIDENHAIN-ACANTOは測定範
囲12 mmもしくは30 mmにおいて高い繰り返し
精度で絶対値測定を行います。とりわけ、電源をONするとただちに位置情報を入手できるという長所があります。

高精度

技術の信頼性ハイデンハイン長さゲージの高い精度仕様は、測定範囲全体に適用します。ワーク寸法が10 mmや100 mmでも、実際の寸法を常に同じ精度で測定します。ハイデンハイン長さゲー
ジの高い繰り返し精度は、例えば連続生産時の比較測定の際に効果を発揮します。

ハイデンハイン長さゲージの品質の高さには、理由があります。ハイデンハインは70年以上も高精度のスケールを製造し続けています。また、長年にわたりドイツの標準検査機関向けの測長器と角度測定器および検査装置を開発してきました。ハイデンハインが測定技術の分野においてお客様から強い信頼を得ているのは、このノウハウがあるからです。

特に長さゲージHEIDENHAIN-CERTOは、高い精度とナノメートル相当の分解能を可能に
します。

堅牢設計
ハイデンハインの長さゲージは工業環境に耐えられる作りになっています。長期間にわたって高い精度と高い熱安定性が保たれるため、生産設備や生産機械の現場で安心して使用
できます。

6

ワールドワイドのサービスネットワーク
ハイデンハインは、全ての主要工業国に拠点があり、そのほとんどが100%出資の支社です。
セールスエンジニアとサービスエンジニアが、当地の言語による技術情報とサービス体制で現場ユーザーをサポートしています。

7

長さゲージ一覧

精度

測定範囲
プランジャー駆動方式

12 mm

25 mm/30 mm

60 mm

100 mmページ

アブソリュート位置値測定

22

HEIDENHAIN-ACANTO

±1 µm
±2 µm

内蔵スプリングによる

AT 1218 EnDat

AT 3018 EnDat

空気圧による

AT 1217 EnDat

AT 3017 EnDat

インクリメンタル・リニア測定±0.1 µm*)±0.05 µm
±0.03 µm*)±0.2 µm±0.5 µm±1 µm

MT 101

8

MT 60

CT 6000

モータ駆動

CT 2501 » 11 µAPP

CT 6001 » 11 µAPP

カップリングを介してCT 2502 » 11 µAPP

CT 6002 » 11 µAPP

26

HEIDENHAIN-METRO

ケーブルレリーズまたは内蔵スプリングによる

MT 1271 « TTL
MT 1281 » 1 VPP

MT 2571 « TTL
MT 2581 » 1 VPP

空気圧による

MT 1287 » 1 VPP

MT 2587 » 1 VPP

28HEIDENHAIN-METRO

モータ駆動

MT 60 M » 11 µAPP

MT 101 M » 11 µAPP

カップリングを介してMT 60 K » 11 µAPP

MT 101 K » 11 µAPP

30

HEIDENHAIN-SPECTO

±1 µm

*)

24

HEIDENHAIN-CERTO

内蔵スプリングによる

ST 1278 « TTL
ST 1288 » 1 VPP

ST 3078 « TTL
ST 3088 » 1 VPP

空気圧によるST 1277 « TTL
ST 1287 » 1 VPP

ST 3077 « TTL
ST 3087 » 1 VPP

データ処理ユニットで直線誤差補正後

CT 2500

MT 2500

MT 1200

ST 3000

ST 1200

AT 3000

AT 12009測定の原理スケール本体

測定方法

光電走査

ハイデンハイン長さゲージの特徴は、長い測定範囲と一貫した高い精度にあります。これらの基礎となっているのはスケールを光電走査する測定原理です。

インクリメンタル測定方式では、目盛は周期的な構造になっています。位置情報は、個々の基点からの増加量(測定ステップ数)をカウ
ントすることによって得られます。ただし、測定
上の絶対位置を確立するためには、絶対的となる基準が必要となります。その絶対的な基準を確立するため、スケールには原点を備えた補助トラックが設けられています。絶対位置を確立することのできる原点は、正確に1信号
周期分に同期するよう作られています。

ほとんどのハイデンハインのエンコーダでは、
光電走査方式を使用しています。スケール
本体への光電走査は非接触で摩耗がありません。光電走査では、数µm幅の極めて細い目盛でも信号検出が行えるよう設計されており、非常に小さい信号周期の出力信号を生成します。

ハイデンハインの長さゲージは、ガラスまたは
ガラスセラミックのベース表面にインクリメンタ
ル目盛をつけたスケール本体を使用しています。このスケール本体によって長い測定範囲が可能となります。スケール本体は振動と衝撃に強く、特に優れた熱耐性を示します。大気圧や相対湿度の変化がスケール本体の精度に影響を及ぼすことはありません。これは、ハイ
デンハイン長さゲージの長期安定性にとって必須の要件です。
ハイデンハインは特別に開発された各種フォト
リソグラフィー製法により精密目盛を製造しています。
• AURODUR:
金メッキされたスチールテープにエッチング
により40 µmの目盛を構成• METALLUR:
金の表面に汚れに耐性を持った20 µmの金属の目盛を構成• DIADUR:
ガラス表面上の極めて頑強なクロムライン(目盛周期: 20 µm)
もしくはガラス表面上の三次元クロム構造(目盛周期: 8 µm)• SUPRADUR:
汚れに対して特に強い平面構造の光学三次元位相格子目盛、目盛周期は8 μmまたはそれ以下• OPTODUR:
特に高い反射率を持つ平面構造の光学三次元位相格子目盛、目盛周期は2 µm以下
これらの各製法は、精巧かつ均一に極めて微細な格子間隔を形成することができます。これらの格子は鮮明なエッジを形成しています。
光電走査方式とともにこの鮮明なエッジが高い
品質の出力信号を得る条件となります。
ハイデンハインは、独自の製造技術により高精度なマスター目盛を製造しています。

このように絶対的な基準を確立するためには、原点を走査する必要があります。
アブソリュート測定方式では、電源をONするとすぐにエンコーダからの位置情報を入手でき、また後続電子部によって随時呼び出すことが可能です。原点位置を探すために軸を移動させる必要はありません。そのアブソリュート
位置値情報は、連続したアブソリュートコード
構造として形成されたスケール目盛から読まれます。独立したインクリメンタルトラックは、
位置値用に内挿されると同時に、有効なインクリメンタル信号を発生させるために使用されます。(インターフェースにより異なります)

目盛線の高さ約0.25 µmのDIADUR位相格子

スケール本体の格子間隔が微細であるほど、光の回折は大きくなります。ハイデンハインでは、この回折の有無により、二種類の走査方式を使用しています。
• 投影走査方式(格子間隔20 µm ～ 40 µmに適用)• 干渉走査方式(例えば、格子間隔8 µm以下の微細目盛に適用)

投影走査方式
投影走査方式は、間隔の等しい2つの格子(スケール側と走査レチクル側)へ光を投射し、相対的に移動させることで得られる投影光の強弱を信号とする方式です。走査レチクル側の目盛は、透明な材質上に付けられますが、スケール側の目盛は透明材質(透過型)か、反射
材質上(反射型)に付けられます。
平行な光が格子を通過すると、特定の間隔で明るい面と暗い面が投影されます。そこに相手格子(レチクル側)が置かれています。2つの格子が互いに相対移動すると、入射光は変調します。格子の無い部分が揃うと、光は通過しま
すが、一方の格子の目盛が他方の目盛の無い部分に一致すると光は通過しません。投影
光を受ける複数の受光素子はこれら光の強さの変化を、電気信号(出力信号)に変換します。
走査レチクルの格子は、出力信号が正弦波波形となるように作られています。
格子構造の格子間隔が細かいほど、走査レチ
クルとスケール間の距離は狭くなり、公差も厳
しくなります。
長さゲージ
HEIDENHAIN-ACANTO、
HEIDENHAIN-SPECTO、および
HEIDENHAIN-METRO(MT 60とMT 100)は投影走査方式を採用しています。

DIADUR目盛

干渉走査方式
干渉走査方式では、細かい目盛に当たる光の回折と干渉を利用して移動を測定する信号を作り出します。
スケール本体には高さ0.2 µmの段状の格子が平坦な面に施されています。走査レチクル(スケールと同じ格子間隔を持つ透明な位相格子)は、そのスケール本体の正面にあります。
光が走査レチクルを通過すると、ほぼ同等の光度を持つ反射回折次数–1、0、+1の3つの部分波に回折されます。その部分波はさらにスケールにより回折され、反射回折次数+1と–1として検出されます。これらの部分波は再び走査レチクルの位相格子で回折干渉し、3つの位相差がある波が作られます。これらは異なる角度で走査レチクルを透過し、受光素子がこれら光の強さの変化を電気信号に変換します。スケールと走査レチクルの相対移動によって、回折された部分波の移動が得られます。格子が1間隔分移動すると、次数1の波は1波長分、正方向に移動し、次数–1の波は1波長分、負方向に移動します。2つの波は、格子を出る時に互いに干渉するので、相対的に波長2つ分位相シフトすることになります。この結果、1格子間隔分の相対移動から結果的に2信号周期分の位相シフトが生じることにな
ります。

長さゲージ
HEIDENHAIN-CERTOおよびHEIDENHAIN-METRO(MT 1200とMT 2500)
は干渉走査方式を採用しています。

干渉走査方式 (光学概念図)
C 格子間隔y 走査レチクルを通過する時の光波の位相シフト
 スケールの移動Xによる光波の位相シフト

投影走査方式

5µm

干渉走査方式は、格子間隔が8 µm、4 µm、それより微細のエンコーダに採用されています。その走査信号は基本波以外の調波をほとんど含まないため、高倍率で内挿できます。
そのため、これらのエンコーダは、高分解能および高精度の要求を満たすことができます。

LED光源
受光素子

LED光源
コンデンサレンズ
コンデンサレンズ

走査レチクル
スケール本体走査レチクル

受光素子

スケール本体

10

11

測定精度

長さ測定の精度は、主として次の要因によって決定されます。
• 格子目盛の品質• 信号走査の品質• 信号処理回路の品質• ベアリングに対する目盛の偏心度• 走査ユニットが移動する
マシンガイドからの誤差• ベアリング面に対する長さゲージの直交性
これらは、エンコーダ特有の誤差およびアプリ
ケーションに依存する問題に起因します。誤差全体を評価するために個別要因の全てを考慮しなければなりません。

測定機器に特有の誤差
測定機器に特有の誤差をシステム精度として仕様欄に記載しています。

総誤差F(その平均値を基準とする値)の極値
は、測定長全体にわたってシステム精度±aの範囲内にあります。それは最終検査で確認され、精度検定表に記載されます。
システム精度は以下を含んでいます。
• 目盛の均質度とエッジ明瞭度• 目盛の配置
• ベアリングの誤差• 1信号周期内の内挿精度
1信号周期内の内挿精度
1信号周期内の内挿精度は、極めて小さい運動の中ですでに明らかになるほか、繰り返し測定の中でも明らかになります。それゆえこれらを個別に考慮できます。
1信号周期内の内挿精度±uは信号走査の品質に起因します。また、矩形波出力やカウンタ機能を内蔵したエンコーダなど、信号処理回路の品質にも起因します。しかし、正弦波信号
出力のエンコーダでは、後続電子機器により信号処理の誤差が決まります。

アプリケーションに依存する誤差
以下の各要素が誤差結果に影響を及ぼします。
• 信号周期の細かさ• 目盛の均質度とエッジ明瞭度• スキャニングフィルタの品質• センサの特性• アナログ信号の二次処理の間の安定性と動特性
これらの誤差を1信号周期内の内挿精度を明記する際に考慮する必要があります。
1 信号周期内の内挿精度 ±u は信号周期のパーセントで表示されます。長さゲージの場合、その内挿精度は信号周期の ± 1 %以内になります。仕様欄に規定値を記載しております。
挟範囲精度
挟範囲精度は、測定点から±100 µmの範囲で発生する誤差のことを指しています。長さゲージの測定結果に対する電気的および機械的な影響を含みます。挟範囲精度の値は通常
特定の値より下回ります。

位置 

位置誤差 
信号レベル 

位置誤差 

1信号周期内の内挿精度

測定物を保持するホルダー、そのホルダーを付けた測定スタンド、長さゲージ本体など測定
ループに含まれるコンポーネントはすべて、測定結果に影響を及ぼします。機械的影響または熱影響のために長さゲージに膨張または変形が生じると、これが直接、誤差に加わることになります。
機械的設計
測定システムには安定性が必要です。測定
ループ内部に長尺エレメントを入れることは避
けてください。ハイデンハインは安定した測定ス
タンドをオプションとして提供しています。測定
力を大きくすることにより、測定ループに影響が出るほどの変形を生じさせてはいけません。

直交取付け
長さゲージはそのプランジャーが測定物またはこれを置く表面に対して正確に直交するように取付ける必要があります。正しく取付けられていないと、二次誤差が生じることになります。

熱特性
測定中の温度変化は、測定システムの長さ変化や変形の原因になります。例えば、5 Kの温度変化があった場合、長さ200 mmのスチールバーが10 µm伸びます。

8 mm固定用シャフト用のホルダーを備えたハイデンハインの測定スタンドは、直交取付けを確実にします。平坦な取付け面を設けた長さゲージは、その取付け面に平行な方向(Y)において測定台座に対して直角をなすように調整します。ゲージブロックまたは平行ブロックを使用することによって、迅速で信頼できる調整が可能です。測定テーブルに対して直角の方向(X)は、測定スタンドによってすでに確保されています。

基準温度から外れた結果により生じる長さの変化は、測定台座またはマスターの表面の基準点を再設定することによってほぼ補正することができます。
測定中の温度変化は計算で確認することはできません。そのため、HEIDENHAIN-CERTOの測定スタンドでは、主要コンポーネントには
熱膨張率の低い特殊素材を使用しています。
これは19 °C ～ 21 °Cの周囲環境において測定中に±0.1 Kの変化が生じた場合でも、HEIDENHAIN-CERTOの高精度を保証する
ことを可能にしています。
製品仕様の精度を十分なまでに引き出して計測するために、測定開始前に15分ぐらいの準備時間を設けてください。

ハイデンハインの長さゲージは小さい測定力で稼働し、測定システムにほとんど影響を及ぼしません。

測定ループ:
長さゲージを含むすべてのコンポーネントで測定装置を形成します。

内挿精度

測定長ML全体にわたっての位置誤差 a

システム精度以外の他の要因も誤差全体に影響を与えます。これには、しっかりと直交に設定した測定だけでなく、特に周囲温度や測定中の温度変動も含みます。

直交取付け

熱による長さの変化:
熱により全てのコンポーネントは測定ループに大きく影響します。

内挿精度

信号周期
360° elec.

位置 

12

13

精度表

繰り返し精度

全てのハイデンハイン製長さゲージは、出荷前に精度と機能を検査します。

システム精度は測定範囲全体に適用される
一方、用途によっては繰り返し精度が重要な要素になります。繰り返し測定では重要な役割を果たします。

プランジャーを引き込む間の精度と伸ばす間の精度について検定が行われます。
HEIDENHAIN-CERTOでは、測定範囲全体にわたっての位置誤差だけでなく、1信号周期
内の位置誤差も極めて正確に確かめられるよ
うに、測定点を多くしています。

繰り返し精度は、規格DIN 32876とDKD-R 4-3で定義されており、理想的な測定条件と測定回数により行いその長さゲージの性能を表します。

製造者発行検査証明書に各長さゲージのシ
ステム精度が記載されています。検定標準
は、公認の(ドイツ)国内規格または国際規格に合致するトレーサビリティ(ISO 9001に準拠)が確保されていることを保証するものです。

ハイデンハインは、プランジャー停止位置より下側付近で5回測定し長さゲージの繰り返し精度を確認しています。プランジャーを中速にて完全に伸長と引き込みを行います。この操作は少なくとも10分以上稼働させて熱的に安定させた状態で測定します。

シリーズ

繰り返し精度< x + 2σAT 1200

0.4 µm

AT 3000

0.8 µm

長さゲージの繰り返し精度は、表に記載の値より通常良い値になっています。
例として、ST 1200の場合の特徴的な統計分
布図を以下に示します。

CT 2500

0.02 µm

CT 6000

0.03 µm

MT 1010.04 µm

MT 1200

0.03 µm

MT 2500

0.09 µm

MT 600.06 µm

ST 1200

0.25 µm

ST 3000

0.7 µm

繰り返し精度は、以下の影響を受けます。
• コンポーネント内で使用している各材質• 各電子機器• 使用している光学部品• プランジャーのベアリング

HEIDENHAIN-METROおよびHEIDENHAIN-CERTOシリーズについては、
精度検定表に測定範囲全体にわたっての位
置誤差だけでなく、測定ステップおよび測定誤差も記載されます。
HEIDENHAIN-METROについては、測定スト
ロークを1往復した時の平均値が検定表に記載されます。

度数 HEIDENHAIN-CERTOの検定表は測定誤差の包絡線を表します。
長さゲージHEIDENHAIN-CERTOは駆動方
向により2つの検定表が添付されます。

0.25 µm1
駆動方向 (検定表 1)
例

2
4
3

駆動方向 (検定表 2)

14

温度範囲
長さゲージの検定は、20 °Cの基準温度において行われます。精度検定表に記載のシステ
ム精度は、この温度において定めたものです。
使用温度範囲は、長さゲージが正しく機能する周囲温度範囲を表します。
保存温度範囲–20 °C ～ 60 °Cは、梱包状態の製品に該当します。

0
0

–2σ

–σ

x

σ

2σ
繰り返し精度 

ST 1200: 繰り返し精度の統計分布

15

取付け

設定

アッベの測定原理
ハイデンハイン長さゲージは、アッベの測定原理に従って作業できるようになっています。そのため、付加的な測定誤差が回避されるように測定物とプランジャーを配置しなければなりません。

CT 6000
MT 60
MT 101

ハイデンハイン長さゲージは、アッベの測定原理に従って機能します。すなわち、スケール本
体とプランジャーが正しく配置されています。
スケール本体、プランジャー、ホルダーおよび走査ヘッドなど、測定ループを構成するコンポー
ネントはすべて、その機械安定性および熱安定性の点で長さゲージにとって可能な限り高い精度が得られるように設計されています。

CT 2500

固定方法
長さゲージCT 6000、MT 60およびMT 101
は、2個のねじを使って平坦な面に取付けます。これで、このような大型の長さゲージでも機械的に安定した取付けが確実にできます。
MT 60およびMT 101をHEIDENHAIN-METRO
用の測定スタンドMS 100に取付けるためには、専用ホルダーを使用します。
(別売アクセサリ 参照)

ハイデンハインの長さゲージのプランジャーは回転しないように固定されています。それらの最適な円筒形状は温度安定性と熱伝導性を損なわず、変形しません。測定プローブはM2.5のねじを使用し固定します。
(別売アクセサリ 参照)

 

–

CT 2500は、16h8の標準固定用シャフトに取付けます。HEIDENHAIN-CERTOを測定スタンドに取付けるためには、ホルダーを利用します。
(別売アクセサリ 参照)
 

長さゲージAT、ST、MT 1200およびMT 2500には、8h6の標準固定用シャフトが用意されています。そのため、これらのハイデンハイン長さ
ゲージは、既存の計器用取付け具や測定スタンドと併用することができます。
ハイデンハインではオプションとして、特別な固定用スリーブまたは固定用ブッシュ(各ねじ1個付)を用意しています。これにより、8h6の固定用シャフトへ圧力をかけ過ぎることなく、もしくはボールブッシュガイドを損傷させることなく、長さゲージを簡単に取付けることができます。固定用ブッシュを使用することで締付けトルクの許容範囲が広がるため、取付けが容易になります。
固定用スリーブ:
ID 386811-01
固定用ブッシュ:ID 1177968-02

 

熱特性
ハイデンハインの長さゲージは明確な熱特性を示します。測定中の温度変化が結果的に測定ループの変化につながるので、ハイデンハイ
ンは、例えば長さゲージCERTOの場合、測定
ループのコンポーネントに熱伝導係数Þthermの小さい特殊材料を使用しています。
スケールはZerodur (Þtherm  0 K–1)、プランジャーとホルダーはInvar (Þtherm  1 x 10–6 K–1)で作られています。これによって、比較的広い
温度範囲にわたって高い測定精度を保証することができます。

加速度
ハイデンハイン長さゲージは、堅牢な設計となっています。強い振動や衝撃を受けても、精度検定表に表されている測定精度に悪影響を及ぼしません。
しかし、測定中に高い測定精度が損なわれな
いよう、いかなる種類の衝撃や振動も避けてください。仕様表に記載している衝撃や振動の最大値は、外部加速度が長さゲージに及ぼす影響を数値化したものです。これは、長さゲージの機械的安定性を表すだけのもので、機能または精度の保証を与えるものではありません。
長さゲージ本体では、スプリング駆動によって、あるいはカップリングなしで移動するプラン
ジャーを無負荷で伸ばすと、高い加速度が測定物または測定台座の表面に作用することがあります。長さゲージMT 1200およびMT 2500
シリーズには、できるだけレリーズを使用してください(別売アクセサリ 参照)。ケーブルレリー
ズは、伸長速度を安全な値に制限する調節可能なエアダンパーを備えています。

長さゲージ
HEIDENHAIN-ACANTOとHEIDENHAIN-SPECTO ST 1200のプランジャー
はゴムベローズで保護されています。ベローズには化学薬剤や熱への高い耐性といった特徴があり、比較的柔軟性があります。そのため長さゲージの機械的な動きや測定力への影響は小さくなっています。





固定用スリーブによる固定
CT 6000、MT 60 の構造

ST 1200 の構造

接続ケーブル
スケール本体走査ユニット(光源、受光素子を搭載)

走査ユニット(光源、受光素子、および処理回路を搭載)
スケール本体ホルダー
固定用ブッシュによる固定

ボールブッシュガイド
ボールブッシュガイド

HEIDENHAIN-CERTOの駆動方向
HEIDENHAIN-CERTOはどのような姿勢でも使用できますが、水平方向の取付において固定面上面を利用した取付は精度保証の対象外となりますので、避けてください。

プランジャー
公差
ゴムベローズ
測定プローブプランジャー

測定プローブ16

17

測定力およびプランジャー駆動

プランジャーガイド
ハイデンハインの長さゲージは様々なプラン
ジャーガイドを利用できます。
長さゲージHEIDENHAIN-ACANTOはスライ
ディングガイドを使用しています。スライディン
グガイドには以下の特性があります。
• 可動部品が少ないことによる堅牢性• 衝撃・振動に対する許容度の高さ• 高 品質のセラミックベアリング採用による高速性と耐用年数• 誤った固定した場合でも影響を受けにくい

長さゲージ
HEIDENHAIN-METRO、HEIDENHAIN-CERTO、
HEIDENHAIN-SPECTOは、
ボールブッシュガイドを使用しています。ハイ
デンハインの長さゲージで使用しているボール
ブッシュガイドには以下のような基本特性があります。
• 低摩擦(測定力を小さくした長さゲージのバージョンを提供可能)• 横方向の荷重が大きくてもプランジャーを安全に伸縮• 高精度の測定ループが可能(ベアリングとプランジャーを特殊なはめ込み製造するためガイドに遊びがない)

消耗品
ハイデンハイン長さゲージには、アプリケーショ
ンや使い方によって摩耗しやすい部品が含まれています。特に消耗品とされる部品は次の通りです。
• ガイド(600万回を目安*に試験済)• CT、MT 60、MT 101のケーブルリンク(100万回を目安*に試験済)• スクレーパーリング• ATおよびST 1200のゴムベローズ* CT、MT 60 M、MT 101 Mをコントロール
ボックスによって動作した場合のみ
注意
DIADURは、DR. JOHANNES HEIDENHAIN
GmbH, Traunreut, Germanyの登録商標です。
Zerodurは、Schott-Glaswerke, Mainz,
Germanyの登録商標です。

測定力
測定力とは、プランジャーが測定物に加える力のことです。測定力が大きすぎると、測定プ
ローブや測定物が変形してしまうことがあります。逆に測定力が小さすぎると、浮遊ダストまたは他の異物がプランジャーと測定物との十分な接触を妨げてしまうことがあります。測定
力は、プランジャー駆動のタイプによって異なります。
スプリングによるプランジャー駆動
AT 1218、AT 3018、MT 12x1、MT 25x1、ST 12x8およびST 30x8については、内蔵スプ
リングがプランジャーを測定位置まで伸ばし、測定力を加えます。その位置で止まると、プランジャーは伸びきった状態になります。測定力は、以下内容に左右されます。
• 駆動方向• プランジャー位置(測定力が測定範囲全体にわたって変化)• 測定方向(測定が行われるのが、プランジャー伸長中
それとも引込み中なのかどうか)

測定力を以下のように分類できます。
• 測定力半減タイプMR:
測定力が標準シリーズのおよそ半分• 低測定力タイプMW:
測定開始点における測定力が約0.01 N• スプリングなしタイプMG:
全測定範囲において測定力が一定
ST 1288 MRとST 1288 MGには、測定力に影響を与えないようにゴムべローズがありません。

測定物によるプランジャー駆動
長さゲージ全体が測定物の動きに連動します。
測定は、プランジャーが引き込められた位置
において行われます。

下図は、駆動方向を水平にした場合に、プランジャーを引込み時と伸ばした時の測定範囲内での測定力を表しています。

プランジャーが伸びる時、その速度を調整可
能な内蔵のエアダンパーにより減衰させるので、例えば超硬材料の接触時の跳ね返りを防止することができます。これにより測定エラーを防ぎます。

長さゲージMT 1281とST 1288は各種測定力のタイプを用意しています。脆い材質を変形させないように測定することが可能です。

ボールブッシュガイド

測定範囲12 mm

特別タイプ

MT 12x1(プランジャー伸長中)MT 12x1(プランジャー引込み中)ST 12x8(プランジャー伸長中)
ST 12x8(プランジャー引込み中)AT 1218(プランジャー伸長中)
AT 1218(プランジャー引込み中)

測定力 [N] 

測定力 [N] 

MT 1281MR(プランジャー伸長中)MT 1281MR(プランジャー引込み中)ST 1288MR(プランジャー伸長中)
ST 1288MR(プランジャー引込み中)0.35

測定範囲25 mm/30 mm

0.30
0.25

測定力 [N] 

スライディングガイド

ケーブルレリーズによるプランジャー駆動(MT 12x1、MT 25x1)
この方法では、プランジャーは手で引き込められてから、ケーブルレリーズによって測定物上へ伸ばされます。測定は、プランジャーが伸びて測定物に接触した状態で行われます。

MT 25x1(プランジャー伸長中)
MT 25x1(プランジャー引込み中)
ST 30x8(プランジャー伸長中)
ST 30x8(プランジャー引込み中)
AT 3018(プランジャー伸長中)
AT 3018(プランジャー引込み中)

2.0
1.8
1.6
1.4
1.2

0.20

1.0

0.15

0.8
0.10

0.6

0.05

0.4

0.00

0.2

測定範囲 [mm] 

18

測定範囲 [mm] 

0

5

10

15

20

25

30

測定範囲 [mm] 19空気圧によるプランジャー駆動
長さゲージAT 1217、AT 3017、MT 1287、MT 2587、ST 12x7およびST 30x7の空気圧式プランジャーは、圧縮空気によって伸ばされます。圧縮空気が開放されると内蔵されたス
プリングによりプランジャーは保護された位置に引き込まれます。
測定力は、空気圧のレベルを通じてその時々の測定作業に合うよう調節することができます。
空気圧一定の時、駆動方向とプランジャー位
置によって測定力は変わります。

下図は駆動方向が水平の場合の各測定力を示しています。これらは完全にプランジャーが伸びている時と引込んでいる時に適用される作動圧力により異なります。これらは概算値であり、許容公差やシール摩耗により変わることがあります。
作動空気圧はプランジャーが完全に伸びた状
態での圧力範囲の最大値を定義します。

注意
長さゲージに直接導入される圧縮空気は、適切に処理されていなければならず、ISO 8573-1(1995年版)に準じた以下の品質等級に適合しなければなりません。
• 固体汚染物質: 等級1(最大粒子サイズ0.1 µmおよび最大粒子
密度0.1 MPaの時0.1 mg/m3)• 全油含有量: 等級1(最大油濃度0.1 MPaの時0.01 mg/m3)• 最大加圧露点: 等級4(0.2 MPaの時+3 °C)
ハイデンハインでは空気清浄フィルタ機能付
圧縮空気ユニットDA 400を用意しています。
最小流量は10 l/minです。
さらに詳しい情報については、
製品情報DA 400 を参照してください。

測定範囲12 mm(空気圧による駆動)

測定範囲25 mm/30 mm(空気圧による駆動)
MT 2587(引き込み時)
MT 2587(伸長時)
ST 30x7(引き込み時)
ST 30x7(伸長時)
AT 3017(引き込み時)
AT 3017(伸長時)測定力 [N] 

測定力 [N] 

MT 12x7(引き込み時)
MT 12x7(伸長時)
ST 12x7(引き込み時)
ST 12x7(伸長時)AT 1217(引き込み時)
AT 1217(伸長時)

左図および19ページの図(特別タイプの図以外)は駆動方向が水平の場合を示しています。
他の駆動方向の場合は下表の補正値を考慮する必要があります。
型式

垂直下方

–0.12 N
–0.18 N

+0.12 N
+0.18 NMT 12xx–0.13 NMT 1281 MR–
MT 25x1–0.17 NMT 2587–0.19 N

+0.13 N
+0.13 N
+0.17 N
+0.19 N

–0.07 N
–0.08 N
–0.11 N

+0.07 N
+0.08 N
+0.11 NST 12x7
ST 12x8
ST 30xx

測定力は、モータ駆動式の長さゲージCT 2501、CT 6001、およびMT 60 Mコントロールボックスにより3段階に調整できます。この測定力は、
測定範囲全体にわたって一定のままですが、駆動方向によって異なります。
駆動方向に関係なく—
垂直下方向の測定(SG 101 Vコントロールボッ
クス使用)、水平方向(SG 101Hコントロール
ボックス使用)のどちらでも—MT 101 Mは一定の測定力を作り出します。
CT 2501
CT 6001

MT 60 M

MT 101 M

測定力

モータ駆動

モータ駆動

モータ駆動

垂直下方

0.85 N/1 N/1.45 N

1 N/1.25 N/1.75 N

0.7 N(SG 101 V使用時)

垂直上方–/–/0.55 N–/–/0.85 N

–

水平方向

–/0.55 N/1 N–/0.8 N/1.3 N

0.7 N(SG 101 H使用時)

カップリングによるプランジャー駆動
長さゲージCT 2502、CT 6002、MT 60 K、
MT 101 K、およびMT 1200、MT 2500とST 1288の特別バージョン(スプリングなし)については、
プランジャーは自由に可動します。位置測定のために、プランジャーはカップリングによって機械の可動部と接続されています。記載の所
要移動力とは、プランジャーを移動させるのに必要な力のことです。所要移動力は駆動方向に左右されます。

駆動方向
垂直方向補正値
垂直上方

AT 121x
AT 301x

モータによるプランジャー駆動
長さゲージCT 2501、CT 6001、MT 60 MおよびMT 101 Mは、プランジャーを移動させる内蔵モータを搭載しています。これは、コントロー
ルボックスの押ボタン操作か外部操作かのど
ちらかによって操作されます。
長さゲージCT 2501、CT 6001、およびMT 60 Mのプランジャーはコントロールボックスが接続されている場合は、手動で動かさないでください。

CT 2502
CT 6002

MT 60 KMT 101 K

MT 1271 « TTL
MT 1281 » 1 VPP

MT 2571 « TTL
MT 2581 » 1 VPP

ST 1288

測定力

送り力1)

送り力1)

送り力1)

–

–

–

垂直下方

0.45 N

0.4 N

1.7 N

0.13 N

0.17 N

0.2 N

垂直上方

0.55 N

0.55 N

2N

–

–

–

水平方向

0.15 N

0.15 N

0.4 N

–

–

–

1)

圧力 [MPa] 20

圧力 [MPa] プランジャーを動かすのに必要な送り力もしくは自重

21

HEIDENHAIN-ACANTO
EnDatインターフェース搭載アブソリュート長さゲージ• オンライン診断機能• 保護等級 IP67まで• CRC付シリアルデータ伝送

AT 1200

AT 3000

機械仕様データ

AT 1218

プランジャー駆動方式
プランジャーの静止位置

内蔵スプリングによる伸びきった位置

スケール本体DIADUR位相格子付きガラス、目盛間隔: 188.4 µm

システム精度

±1 µm

内挿精度

≦ ±0.7 µm

測定範囲

12 mm

作動圧力

–

機械的許容走査速度≦ 80 m/min

許容横方向荷重≦ 0.5 N (機械的許容)

固定方法

固定用シャフト ¬ 8h6

駆動方向

任意

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 100 m/s (IEC 60 068-2-6)≦ 500 m/s2 (IEC 60 068-2-27)

使用温度

10 °C ～ 40 °C、基準温度: 20 °C

保護等級 IEC 60 529

IP67

質量 (ケーブル含まず)

80 g

1)

最大圧力(0.18 MPa)での寸法変化

22

AT 1217

AT 3017空気圧による
引き込まれた位置

±2 µm

±1 µm

±2 µm

30 mm

12 mm

30 mm

0.07 MPa ～ 0.18 MPa 0.11 MPa ～ 0.18 MPa≦ 120 m/min≦ 80 m/min≦ 120 m/min

2

1)

1)

IP64
IP64
IP67は、お問い合わせ
ください
100 g

80 g

100 g

368 nm23 nm

368 nm

エアシーリング時IP67

電気仕様

EnDat

インターフェース

EnDat 2.2

区分

EnDat 22

分解能

23 nm

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs≦ 8 MHz

電気的接続

8ピンM12フランジソケット(オス)ケーブル長≦ 100 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

消費電力 (最大)

3.6 V: ≦ 550 mW
14 V: ≦ 650 mW

消費電流 (標準値)

5 V: 80 mA (負荷なし)

公差

ML = 測定長
 = 固定部位
 = 2 mm径チューブ用空気接続口

AT 3018

23

HEIDENHAIN-CERTO

精度 ±0.1 μm/±0.051) μm*/±0.03 μm1)のインクリメンタル長さゲージ• 超高精度用• 低熱膨張材料を使用• 高精度ボールベアリングガイド

CT 2500

CT 6000

公差

機械仕様データCT 2501

CT 6001

CT 2502

CT 6002

プランジャー駆動方式

モータ駆動

スケール本体DIADUR位相格子付きZerodurガラスセラミック、目盛間隔: 4 µm

システム精度
19 °C ～ 21 °Cにおいて±0.1 µm、±0.03 µm1)

内挿精度

≦ ±0.02 µm±100 µmでの狭範囲精度 (標準値)0.03 µm

原点

1個 (プランジャーが引き込まれた位置より約 1.7 mm手前に位置)

測定範囲

25 mm

許容横方向荷重≦ 0.5 N (機械的許容)

固定方法

固定用シャフト(¬ 16h8)

駆動方向

任意 (推奨する駆動方向については取付け を参照ください)振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60 068-2-27)

使用温度

10 °C ～ 40 °C、基準温度: 20 °C

保護等級 IEC 60 529

IP50

質量 (ケーブル含まず)

520 g

700 g

480 g

640 g

電気仕様

CT 2501

CT 6001

CT 2502

CT 6002

インターフェース

» 11 µAPP

信号周期

2 µm

測定速度

≦ 24 m/min (後続電子部によって異なる)≦ 12 m/min (デジタル表示カウンタND 28x使用)

電気的接続*• ケーブル長1.5 m、15ピンD-subコネクタ(オス)付• ケーブル長1.5 m、9 ピンM23コネクタ(オス)付
インターフェースユニット内蔵

ケーブル長≦ 30 m

供給電圧

DC 5 V ±0.25 V/< 170 mA

DC 5 V ±0.25 V/< 120 mA

必要な別売アクセサリ*CT 2501用

CT 6001用

コントロールボックス

SG 25 M

SG 60 M

専用カップリングによってプランジャーを機械
可動部分に接続±0.1 μm、±0.05 μm1)

±0.1 µm、±0.03 µm1)

±0.1 μm、±0.05 μm1)

60 mm

25 mm

60 mm

平坦面に取付け

固定用シャフト(¬ 16h8)

平坦面に取付け* 注文時にご指定ください
データ処理ユニットで直線誤差補正後
2)
プランジャーを動かすのに必要な送り力もしくは自重
1)

r = 原点位置

24

25

HEIDENHAIN-METRO
精度 ±0.2 µmのインクリメンタル長さゲージ• 高い繰り返し精度• 各種測定力を用意• 各種プランジャー駆動方式を用意

MT 1200

MT 12x1

MT 1287

L1

18.5

22.0

L2

10.1

6.2

L3

8.1

4.2

MT 2500

MT 25x1

MT 2587

L1

37.0

41.0

L2

10.1

6.2

L3

8.1

4.2

MT 1287
MT 2587

機械仕様データ

MT 2571 « TTL
MT 1287 » 1 VPP MT 2587 » 1 VPP
MT 1271 « TTL
MT 1281 » 1 VPP MT 2581 » 1 VPP

プランジャー駆動方式
プランジャーの静止位置

ケーブルレリーズ、内蔵スプリングによる伸びきった位置

スケール本体DIADUR位相格子付きZerodurガラスセラミック、目盛間隔: 4 µm

システム精度±0.2 µm

内挿精度≦ ±0.02 µm±100 µmでの狭範囲精度 (標準値)0.03 µm

原点位置

プランジャーが引き込まれた位置より約 1.7 mm手前に位置

測定範囲

12 mm

作動圧力

–

許容横方向荷重≦ 0.8 N (機械的許容)

固定方法

固定用シャフト ¬ 8h6

駆動方向

任意、スプリングなしと低測定力タイプ: 垂直下方振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60 068-2-27)

使用温度

10 °C ～ 40 °C、基準温度: 20 °C

保護等級 IEC 60 529

IP50

質量 (ケーブル含まず)

100 g

電気仕様

MT 1271
MT 2571

MT 128xMT 258x

インターフェース« TTL» 1 VPP

分割倍率*

5倍

10倍

–

信号周期

0.4 µm

0.2 µm2 µm

機械的許容走査速度≦ 30 m/min

エッジ間隔 a1)
走査周波数*/走査速度の時
		
200 kHz ≦ 24 m/min		
100 kHz ≦ 12 m/min
		
50 kHz ≦ 6 m/min
		
25 kHz ≦ 3 m/min≧ 0.23 µs≧ 0.48 µs≧ 0.98 µs––≧ 0.23 µs≧ 0.48 µs≧ 0.98 µs

–

26

25 mm

0.03 µm

12 mm

0.04 µm

25 mm

0.09 MPa ～ 0.14 MPa

IP67 (エアシーリング時)
180 g

110 g

190 g

電気的接続*(インターフェース回路はコネクタに内蔵)

ケーブル長1.5 m、15ピンD-subコネクタ(オス)付 ケーブル長1.5 m• 15ピンD-subコネクタ(オス)付• 12ピンM23コネクタ(オス)付

ケーブル長≦ 30 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.5 V/< 160 mA (負荷なし)

公差

r = 原点位置
s = 測定開始点
À = 固定部位
Á = 2 mm径チューブ用空気接続口

0.04 µm

空気圧による
引き込まれた位置* 注文時にご指定ください    1) 対応するカットオフ周波数または走査周波数の場合

DC 5 V ±0.25 V/< 130 mA

27

HEIDENHAIN-METRO
精度 ±0.5 µm/±1 µmのインクリメンタル長さゲージ• 広い測定範囲• モータもしくはカップリングによるプランジャー駆動• ボールブッシュガイドプランジャー

MT 60 M

MT 101 M

MT 60

MT 101

公差

機械仕様データ

MT 60 M

MT 101 M

MT 60 K

プランジャー駆動方式

モータ駆動

スケール本体DIADUR位相格子付き石英ガラス、目盛間隔: 10 µm

システム精度±0.5 µm

内挿精度≦ ±0.1 µm

原点位置

MT 101 K

専用カップリングによってプランジャーを機械
可動部分に接続±1 µm±0.5 µm±1 µm

プランジャーが引き込まれた位置より
約1.7 mm手前

プランジャーが引き込まれた位置より
約10 mm手前

プランジャーが引き込まれた位置より
約1.7 mm手前

プランジャーが引き込まれた位置より
約10 mm手前

測定範囲

60 mm

100 mm

60 mm

100 mm

機械的許容横方向荷重≦ 0.5 N≦2N

≦ 0.5 N

≦2N

固定方法

平坦面に取付け

駆動方向

任意

垂直下方
(SG 101V使用時)
水平(SG 101H使用時)

任意

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms2
≦ 100 m/s (IEC 60 068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60 068-2-27)

使用温度

10 °C ～ 40 °C、基準温度: 20 °C

保護等級 IEC 60 529

IP50

質量 (ケーブル含まず)

700 g

1400 g600 g1200 g

電気仕様

MT 60 M

MT 101 M

MT 60 KMT 101 K

インターフェース

» 11 µAPP

信号周期

10 µm

測定速度

≦ 18 m/min≦ 60 m/min≦ 18 m/min≦ 60 m/min

電気的接続*

ケーブル長1.5 m、15ピンD-subコネクタ(オス)もしくは9ピンM23コネクタ(オス)付

ケーブル長≦ 30 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.25 V

消費電流< 120 mA

必要な別売アクセサリ*

MT 60 M用MT 101 M用

コントロールボックス

SG 60 M

垂直方向: SG 101 V
水平方向: SG 101 H

電源アダプタ–必要(別売アクセサリ を参照)

< 70 mA* 注文時にご指定ください28

r = 原点位置

29

HEIDENHAIN-SPECTO
精度 ±1 µmのインクリメンタル長さゲージ• コンパクトな形状• 保護等級 IP67まで• 耐久性に優れたボールブッシュガイド

ST 1200

ST 3000

ST 12x7
ST 30x7

ST 3078 « TTL
ST 3088 » 1 VPP

ST 1277 « TTL
ST 1287 » 1 VPP

機械仕様データ

ST 1278 « TTL
ST 1288 » 1 VPP

プランジャー駆動方式
プランジャーの静止位置

内蔵スプリングによる伸びきった位置

スケール本体DIADUR位相格子付きガラス、目盛間隔: 20 µm

システム精度

±1 µm

内挿精度

≦ ±0.2 µm±100 µmでの狭範囲精度 (標準値)

0.3 µm原点位置

プランジャーが引き込まれた位置より約 5 mm手前に位置

測定範囲

12 mm

作動圧力

–

許容横方向荷重≦ 0.8 N (機械的許容)

固定方法

固定用シャフト ¬ 8h6

駆動方向

任意

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms2
≦ 100 m/s (IEC 60 068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60 068-2-27)

使用温度

10 °C ～ 40 °C、基準温度: 20 °C

保護等級 IEC 60 529

IP67/IP64

IP64

質量 (ケーブル含まず)

40 g

50 g

電気仕様

ST 127x
ST 307xST 128xST 308x

インターフェース« TTL» 1 VPP

分割倍率*

5倍

10倍

–

信号周期

4 µm

2 µm

20 µm

エッジ間隔 a
走査周波数*/走査速度の時2)		
100 kHz ≦ 72 m/min1)
		
50 kHz ≦ 60 m/min
		
25 kHz ≦ 30 m/min≧ 0.48 µs≧ 0.98 µs≧ 1.98 µs≧ 0.23 µs≧ 0.48 µs≧ 0.98 µs–

ST 3077 « TTL
ST 3087 » 1 VPP

空気圧による
引き込まれた位置

30 mm

12 mm

30 mm

0.08 MPa ～ 0.25 MPa

40 g

50 g





 – 



















公差

r = 原点位置
s = 測定開始点
 = 固定部位
 = 2 mm径チューブ用空気接続口

30



電気的接続*

ケーブル長1.5m、15ピンD-subコネクタ(オス)付 ケーブル長1.5 m(インターフェース回路内蔵)• 15ピンD-subコネクタ(オス)付• 12ピンM23コネクタ(オス)付

ケーブル方向*軸方向 または 半径方向

ケーブル長

≦ 30 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.5 V

消費電流< 100 mA (負荷なし)* 注文時にご指定ください

1)

機械的許容

< 55 mA
2)

対応するカットオフ周波数または走査周波数の場合

31

MT 1281、ST 1288 (低測定力タイプ)
インクリメンタル長さゲージ• ボールブッシュガイドプランジャー• 標準製品と基本性能は同等

MT 1281

MT 1281
L1

18.5

L2

10.1

L3

8.1

機械仕様データ

MT 1281

ST 1288

プランジャー駆動方式

ケーブルレリーズまたは仕様による仕様によるスケール本体DIADUR位相格子付きZerodurガラスセラミック DIADUR位相格子付きガラス
目盛間隔: 4 µm
目盛間隔: 20 µm

システム精度±0.2 µm±1 µm±100 µmでの狭範囲精度 (標準値)0.03 µm

0.3 µm

測定範囲

12 mm

固定方法

固定用シャフト ¬ 8h6

保護等級 IEC 60 529

IP50

インターフェース

» 1 VPP

信号周期

2 µm

IP50

20 µm

1.20

駆動方向が水平方向

1.10

ST1288(プランジャー伸長中)

1.00

ST 1288(プランジャー引込み中)

測定力 [N] 

0.90

ST 1288

左図は駆動方向が水平の場合を示しています(MT 1281 MWを除く)。他の駆動方向の場合の補正値は20ページの表を参照してください。

MT1281(プランジャー伸長中)0.80

MT 1281(プランジャー引込み中)
0.70

ST 1288 MR(プランジャー伸長中)0.60

ST 1288MR(プランジャー引込み中)
0.50

MT 1281MR(プランジャー伸長中)0.40

MT 1281MR(プランジャー引込み中)0.30

駆動方向が垂直下方

0.20

MT 1281MW(プランジャー伸長中)
0.10
0.00

MT 1281MW(プランジャー引込み中)
0

2

4

6

8

10

12

測定範囲 [mm] MT 1281

ST 1288

バージョン

測定力

駆動方向

標準

0.75 N1)

任意の駆動方向MR0.25 N

MW

0N

MG

0.13 N

垂直下方

標準0.65 N1)

任意の駆動方向

MR

0.4 N

1)

任意の駆動方向

MG

0.2 N

2)

垂直下方

1)

1)

r = 原点位置
s = 測定開始点
 = 固定部位

32

1)
2)

垂直下方
2)

公差

垂直下方と水平方向

プランジャーがほぼ完全に伸びた状態
測定範囲全体33

別売アクセサリ
測定プローブ

球面タイプ
鋼		
超硬		
ルビー		

コントロールボックス、カップリング

円筒半球面タイプ
ID 202504-01
ID 202504-02
ID 202504-03

超硬		

平面タイプ

ID 229232-01

鋼		
超硬		

ID 270922-01
ID 202506-01

CT 2501、CT 6001、MT 60 M、MT 101 M用コントロールボックス
コントロールボックスは、モータ駆動式プランジャーを持つ長さゲージに必要です。プランジャーは2個の押しボタンまたは外部信号によって制御されます。
コントロールボックスSG 25 MおよびSG 60 M
は測定力を3段階で調整できます。
SG 25 M
ID 317436-01
SG 60 M
ID 317436-02
SG 101 V1)
MT 101 M用、垂直方向で操作
ID 361140-01
SG 101 H1)
MT 101 M用、水平方向で操作
ID 361140-02

ピンタイプ

コネクタ(メス)、3ピン
コントロールボックスの外部操作用
ID 340646-05

ナイフエッジタイプ

鋼			ID 202505-01

鋼			

ID 202503-01

1)

電源アダプタは別途ご注文ください。

41

SG 101 V/H用電源アダプタ
MT 101 M電力供給用コントロールボックスに
接続

公差

81

電圧範囲: AC 100 V ～ 240 V
差し込みアダプタ交換可能(欧州および米国用アダプタは同梱されています)

ローラータイプ(鋼)移動面との摩擦抵抗小
球面状		
円柱状		

ID 202502-03
ID 202502-04

31.5

ID 312426-13
調整式タイプ(超硬)測定面に対し平行度の調整可
平面			
ナイフエッジ状		58

ID 202507-01
ID 202508-01
カップリング
長さゲージ(MT 60 KおよびMT 101 K)のプラ
ンジャーを機械可動部に接続する場合に使用します。
ID 206310-01

公差

34

35

別売アクセサリ
HEIDENHAIN-CERTO用測定スタンド

セラミックプレート、ダイアフラム･コンプレッサー

測定スタンドCS 200
対応する長さゲージ
				

セラミックプレート
摩耗に強い高品質の作業面は、特にゲージ
ブロック検査に適しています。

CT 2501*
CT 6001

ID 221310-01
全高			
測定台座		
コラム径		
質量			ID 223100-01
350 mm¬250 mm¬58 mm15 kg

ゲージブロック(等級1または2)—もしくは平坦な面を有するものであれば—吸引力によってセラミックプレート上面にひきつけられます。セラミックプレートも同じく、花崗岩の台座に引きつけられ、負圧によって定位置に保持されます。

* 専用ホルダー使用
セラミックプレートをダイアフラム･コンプレッサーに接続するための部品が多数あります。
CS 200の平坦面はフィゾー干渉計を用いて測定されます。

圧縮空気チューブ: 3 m
Tジョイント
接続部品

ダイアフラム･コンプレッサー
測定物とセラミックプレートを引きつけるための吸引力の供給源です。

欠けや傷なし消費電力		
質量			
電源電圧		
ID 754220-01

20 W
2.3 kgAC 230 V/50 Hz

電源電圧		
ID 754220-02

AC 115 V/60 Hz

CS 200用ホルダー¬ 16 mm径の固定用シャフトを使ってCT 2501に取付けます。
ID 324391-01

公差

36

公差

37

別売アクセサリ
HEIDENHAIN-ACANTO、HEIDENHAIN-METRO、HEIDENHAIN-SPECTO用ケーブルレリーズ、測定スタンド
測定スタンドMS 45
対応する長さゲージ
				
				
				

ケーブルレリーズ
MT 1200およびMT 2500のプランジャーを手動で駆動する場合に使用します。プランジャーを伸ばす時、その速度を内蔵のエアダンパー
が減衰させるので、例えば超硬材料の表面での跳ね返りを防止することができます。

ID 202162-02

ID 257790-01

測定スタンドMS 200
対応する長さゲージ AT1)
				
ST1)
				
MT 12001)
				MT 25001)
				MT 60 M				
MT 101 M
ID 244154-01
全高			
測定台座		
コラム径		
質量			
1)

AT
ST
MT 1200
MT 2500

全高			
測定台座		
コラム径		
質量			196.5 mm
¬ 49 mm¬ 22 mm
2.2 kg

測定スタンドMS 100
対応する長さゲージ
				
				
				
				
				

AT
ST
MT 1200
MT 2500
MT 60 M1)
MT 101 M1)

ID 202164-02

346 mm¬ 250 mm
¬ 58 mm
18 kg

全高			
測定プレート		
コラム径		
質量			

専用ホルダー使用

1)

385 mm
98 mm x 115 mm¬ 50 mm
18 kg

専用ホルダー使用

MS 200用ホルダー¬ 8 mm径の固定用シャフトを使って、長さゲージAT、ST、MT 1200、MT 2500を取付けます。
ID 324391-02

公差MS 100用ホルダー

固定用スリーブおよび固定用ブッシュ¬ 8 mm径の固定用シャフトを使用するすべての長さゲージ(AT、ST、MT 1200、MT 2500)
で、8h6の固定シャフトに負荷をかけ過ぎることなく確実に長さゲージを固定します。

MT 60 M取付け用
ID 207479-01
MT 101 M取付け用
ID 206260-01

固定用スリーブとねじ
ID 386811-01 (1個入り)
ID 386811-02 (10個入り)¬ 14F8

固定用ブッシュとねじ
ID 1177968-02
ボールブッシュガイドの損傷からの追加保護および締付けトルクの広い許容範囲
固定用ブッシュとねじ(ID 1177968-02)

38

公差

39

信号変換器

ハイデンハイン製信号変換器は、エンコーダ信号を後続電子機器に中継します。後続電子部
がハイデンハイン製エンコーダからの出力信号を直接受信できない場合や高い内挿分割を必要とする場合に使用できます。

信号変換器の入力信号
ハイデンハイン製信号変換器には正弦波アナ
ログ出力の1 VPP(電圧信号)もしくは11 µAPP
(電流信号)を接続することができます。EnDat
もしくはSSIシリアルインターフェース搭載のエンコーダに接続可能な信号変換器も用意しています。
信号変換器の出力信号
以下の信号形式を出力する信号変換器を用意しています。
• TTL矩形波信号• EnDat 2.2• DRIVE-CLiQ• ファナックシリアルインターフェース• 三菱高速シリアルインターフェース• 安川シリアルインターフェース• PROFIBUS• PROFINET

ボックスタイプ

型式

ボックスタイプ – IP 65

5/10倍

IBV 101

20/25/50/100倍

IBV 102

分割なし

IBV 600

25/50/100/200/400倍

IBV 660 B

コネクタタイプ – IP 40

5/10/20/25/50/100倍

APE 371

組込み基板タイプ – IP 00

5/10倍

IDP 181

20/25/50/100倍

IDP 182

5/10倍

EXE 101

20/25/50/100倍

EXE 102

組込み基板タイプ – IP 00

5倍

IDP 101

ボックスタイプ – IP 65

2倍

IBV 6072

5/10倍

IBV 6172

5/10/20/25/50/100倍

IBV 6272

ボックスタイプ – IP 65≦ 16 384分割

EIB 192

コネクタタイプ – IP 40≦ 16 384分割

EIB 3922

ボックスタイプ – IP 65≦ 16 384分割

EIB 1512

インターフェース 軸数

インターフェース

軸数

« TTL

» 1 VPP1

1» 11 µAPP« TTL/» 1 VPP
切換可

2

1

1

» 1 VPP

ボックスタイプ – IP 65

組込み基板タイプ

EnDat 2.2

DINレール取付けタイプ

DRIVE-CLiQ

1» 1 VPP

1

1

EnDat 2.2

1

ボックスタイプ – IP 65–

EIB 2391 S

ファナック
1
シリアル
インターフェース

» 1 VPP1

ボックスタイプ – IP 65≦ 16 384分割

EIB 192 F

コネクタタイプ – IP 40≦ 16 384分割

EIB 392 F

2

ボックスタイプ – IP 65≦ 16 384分割

EIB 1592 F

1

ボックスタイプ – IP 65≦ 16 384分割

EIB 192 M

コネクタタイプ – IP 40≦ 16 384分割

EIB 392 M

2

ボックスタイプ – IP 65≦ 16 384分割

EIB 1592 M

1コネクタタイプ – IP 40–

EIB 3391 Y

1

DINレール取付けタイプ–

PROFIBUS
ゲートウェイ

三菱高速1
シリアル
インターフェース

» 1 VPP

安川シリアル1
インターフェース

EnDat 2.22)

PROFIBUS-DP

EnDat 2.1

1)40

内挿分割1)

入力

コネクタタイプ

正弦波入力信号の内挿分割
信号変換器内では、信号変換の他に正弦波
信号を内挿分割することも可能です。これにより高い分解能が達成できるため、位置決め精度の向上やより高い品質の制御が可能になります。
位置値の生成信号変換器の中にはカウント機能を搭載したものを用意しています。絶対番地化原点付き
目盛において、最後に通過した原点位置を基準とした絶対位置値を生成し、後続電子部に出力します。

形状 – 保護等級

出力

切換可

1

2)

EnDat 2.2

分解能5 nm(LIC 4100)、分解能50 nm/100 nm(LIC 2100)、分解能10 nm(LCシリーズ)に対応

41

DAkkS準拠の校正

品質マネジメントシステムISO 9001の一環として、品質に関連する機器は定期的にチェックしなければなりません。そして国際単位系(SI)に合った標準とトレーサブルでなければなりません。ハイデンハインは1994年に認定されたリ
ニアエンコーダおよび角度エンコーダの校正室によって、この作業においてお客様をサポートしています。
ハイデンハインの校正室はDIN EN ISO/IEC 17025に準じた作業を行い、ドイツ技術審査認定機関(DAkkS)により認定されています。
ハイデンハインの校正証明書は、その公認の校正室が承認し、国際単位系(SI)にトレーサビ
リティを持つ証明書です。

関連資料

ハイデンハインの校正証明書はエンコーダの精度に関して確実性を与え、ISO 9001に必須の国際単位系(SI)に対してトレーサビリティも証明します。
ハイデンハインの校正室は精度が極めて重要なデジタル式のリニアエンコーダおよび角度
エンコーダを所有しています。
• 長さゲージAT、CT、MT、ST(ND 28x、EXE、IBVと組合せ)• リニアエンコーダLC、LF、LIDA、LIP、LS• 角度エンコーダECN、ROC、ROD、RON

ハイデンハインの長さゲージはインターフェースの種類に関わらず校正することができます。
計測チェーンにハイデンハインの後続電子機器が含まれる場合、この電子機器も校正対象になります。
以下を測定し証明書を発行します。
• プランジャーの引き込みによる誤差範囲• 測定範囲内での誤差範囲• 5回計測時の繰り返し精度(プランジャーが伸長時)

長さゲージ関連カタログ
ケーブル・コネクタ

Kabel undSteckverbinder

内容:
技術的特性、ケーブル概要、ケーブル一覧

カタログ
ハイデンハインエンコーダのインターフェース

Schnittstellenvon HEIDENHAINMessgeräten

04/2021

02/2021

カタログ
マニュアル操作式工作機械向け
デジタル表示カウンタ/リニアエンコーダ

カタログ
計測アプリケーション用
データ処理ユニット

DAkkSは、校正証明の相互承認のために、欧州認定協力機構(EA)と国際試験所認定協力機構(ILAC)の多国間同意に加盟しています。
ハイデンハインの校正証明書は多くの工業国で承認されています。

AuswerteElektroniken
für messtechnische
Anwendungen

内容:
ND、GAGE-CHEK、EIB、IK

03/2021Ͳ<ͲϭϵϬϱϳͲϬϭͲϬϬ

Positionsanzeigen
Längenmessgeräte
für handbediente
Werkzeugmaschinen

01/2020

内容:
デジタル表示カウンタ
ND、POSITIP
リニアエンコーダ
LS

その他の製品
カタログ
ベアリング内蔵角度エンコーダ

カタログ
サーボモータ用エンコーダ
校正証明書サンプルからの抜粋
Messgeräte fürelektrische Antriebe

内容:
ロータリエンコーダ
角度エンコーダ
リニアエンコーダ

11/2017

Winkelmessgeräte
mit Eigenlagerung

08/2019

Winkelmessmodule

04/2019

内容:
角度エンコーダモジュール
MRP2000、MRP5000、MRP8000
トルクモータ内蔵角度エンコーダモジュール
SRP5000、AccurET

ModulareWinkelmessgeräte
mit optischer
Abtastungfür Werkzeugmaschinen

09/2017

内容:
工具測長器
TT
ワーク用タッチプロ－ブ
TS

内容:
インクリメンタル角度エンコーダ
ERP、ERO、ERA

09/2017

カタログ
タッチプローブ

Tastsysteme

内容:
アブソリュート角度エンコーダ
RCN、ECN
インクリメンタル角度エンコーダ
RON、RPN、ROD
カタログ
光学走査方式
組込み型角度エンコーダ

カタログ
角度エンコーダモジュール

42

内容:
シリアルインターフェース、正弦波信号、
矩形波信号、磁極検出位置信号

カタログ
工作機械精度評価用計測装置

Messgeräte
zur Abnahme und Kontrolle
von Werkzeugmaschinen

内容:
インクリメンタルリニアエンコーダ
KGM、VM

09/201743

Mastering nanometer accuracy

www.heidenhain.co.jp
本社

名古屋営業所

大阪営業所

九州営業所

〒102-0083
東京都千代田区麹町3-2
ヒューリック麹町ビル9F
 (03) 3234-7781
 (03) 3262-2539〒460-0002
名古屋市中区丸の内3-23-20
HF桜通ビルディング10F (052) 959-4677
 (052) 962-1381〒532-0011
大阪市淀川区西中島6-1-1
新大阪プライムタワー16F
 (06) 6885-3501
 (06) 6885-3502〒802-0005
北九州市小倉北区堺町1-2-16

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 (093) 511-6696
 (093) 551-1617

世界各地のハイデンハイン