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フェムト秒レーザー加工の加工効率向上にフェムト秒レーザー加工の加工効率向上に関する基礎研究
関する基礎研究

橋田
*
橋田昌樹
昌樹

M. Hashida
１．まえがき 固体の熱緩和時間（>10-12秒）よりも短いパルス幅のフェムト秒レーザー（<10-13秒）を固体に照射すると、従来の長パルスレーザー（>10-10秒）の場合には観られない諸現象が観測されている>@>@。例えば、レーザー波長（800nm）よりも遥かに短いピッチ（300nm）のナノ周期図 金属のフェムト秒レーザーアブレーション機構

構造が固体表面に形成できること、また、原子層以下（<0.1Å）の加工深さで掘れることが見出されている。これらは



いずれもフェムト秒レーザーアブレーション特有の現象

表面よりイオンが離脱する臨界強度近傍の照射強度におであり「ナノアブレーション」と呼んでいる。特に応用面

いて微少飛散イオンの特性を調べるためパルスカウントにおいて、このフェムト秒レーザー特有の加工技術が、金計測による飛行時間スペクトル測定を構築することにし属、半導体、絶縁物の全てに適用可能であることから、「物た。そして、実験により得られるイオンエネルギー分布の質の高付加価値化に関する研究」を進展させるものとしてレーザーフルエンス依存性からナノ周期構造形成過程と学界や産業界で注目され、応用研究が盛んに行われている。の関連を議論しフェムト秒レーザーアブレーション機構

しかしながら、アブレーション機構は明らかにされておらの解明を試みたので成果を報告する。

ず、制御性の高いナノ構造形成や高加工率の実現が課題として残されている。これらを背景に我々は、フェムト秒レ２．実験方法ーザーによる金属アブレーションの物理機構解明を明ら

 実験配置を図に示す。銅ターゲットに7レーザーシスかにすることを目的に、固体表面よりイオンが離脱する臨

テム>@から供給されるフェムト秒レーザーを集光照射し、界強度近傍の照射強度において微少飛散するイオンの速表面から放出するイオンの質量スペクトルとエネルギー度分布や価数分布などの特性を調べることにした。

スペクトルを測定した。レーザーの中心波長はQP、パ 著者の所属するグループでは、フェムト秒レーザーアブルス幅はIVである。レーザーは銅ターゲットの垂直軸レーションを図  に示した時系列で  つの過程に分類し、に対して入射角度°で照射した。レーザーは焦点距離レーザーと金属の相互作用物理の解明に取り組んできた。

I PPの両凸レンズにより、銅表面上に集光した。集光①レーザー吸収過程においては、多光子吸収が支配的に起スポットサイズは 集光モニターにより測定し 、×

こっていることを実験的に明らかにし>@、②レーザー誘140µm（楕円）であった。レーザー照射により放出するイ起表面プラズマ波形成については、レーザー光の表面プラオン検出器として有効径PPφの0&3 0LFURFKDQQHO

ズマ波へのパラメトリック崩壊過程（バルクプラズマの場SODWH を用いた。0&3はターゲット垂直方向に距離FP

合は誘導ラマン散乱と呼ばれる）が起こっているとして④離れた位置に配置した。すべての実験は×− 3D以下

ナノ周期構造形成のレーザーフルエンス依存性を上手くの真空度で行った。レーザーエネルギーは波長板と２枚の説明している>@。しかし、残る③イオン放出過程につい偏光子対により、— -FPの範囲で変化させた。ては、特に申請者が興味のあるアブレーション閾値近傍で イオンエネルギー測定では、レーザーパルス照射あたは、放出イオン数が１レーザー照射当たり１個程度というりに放出されるイオン量が数個以下の場合はパルスカウ極めて少ない放出量であり、これまで実験が全く行われてンティングモードを、数十個以上の場合はカレントモードいない。そのためイオンのスペクトルは明らかにされておでスペクトルを採用し測定を行った。パルスカウンティン

らず、放出過程の詳細な議論されてこなかった。

グ測定では、回照射することにより、つのエネ

 本研究では低放出量のイオンを検出するシステムを構ルギースペクトルを得た。

築し、荷電粒子放出過程を議論するうえで重要なイオンの ターゲットには純度％、多結晶の銅板を用いた。

エネルギー分布を測定することを目的とする。特に、固体

鏡面研磨した銅ターゲットをアセトンで分間超音波

* 京都大学

化学研究所 レーザー物質科学研究領域

准教授- 75 -にフルエンス依存性が異なっている。従ってFth,M = 0.195
J/cm2とFth,H = 0.47 J/cm2を異なる機構によるイオン放出閾
値とした。放出イオン量Niは、Fth,L近傍においてNi F)WK0近傍においてNiFFth,H近傍においてNiFの直線に一致することが見出された。ここで、Fはレーザーフルエ
ンスを示す。実験結果より、３つのフルエンス領域において、銅イオンは非線形吸収過程により生成しているものと図 72)法による放出イオンのエネルギー測定洗浄した。その後、アセトンを&2クリーナーで除去し、さらに、照射チャンバーに設置後スポットサイズ×300µm、フルエンスP-FP、+]のフェムト秒レーザー（中心波長QP・パルス幅IV）を分間照射することにより、表面付着物を除去した。ターゲット金属推察される。本実験で得られた３つのイオン放出閾値は、既に報告されているクレーター分析による閾値>@と非常に良い一致を示している（図）。図に示した中性原子放出のアブレーション閾値は３つ存在し、レーザーパルス幅に依存していた。アブレーション閾値は、非線形吸収過程がある場合、パルス幅に依存し次式により表される。の表面処理を行わなかった場合、炭化水素と考えられる成分が多く現れるため表面処理をすることで再現性のよい実験を可能にした。

  



３．実験結果と考察
レーザーフルエンスをP-FPから-FPまで変化させ、放出するイオン種とイオン量を測定した。Ｐ偏光照射の場合はP-FP、Ｓ偏光照射の場合はP-FP
から銅イオンの放出を確認した。レーザーフルエンスを増大させていくと、Ｐ偏光照射の場合P-FP以上、Ｓ偏光照射の場合P-FP以上において、１価のみならず多価の銅イオンが放出され、-FPにおいては最大で７価の銅イオン放出を確認した。さらにＰ偏光照射、Ｓ偏光照射ともにP-FPにおいて水素を除く放出イオ

ここで、mはm 光子吸収係数、Ethは融解熱、pはレーザーパルス幅を示す。Fth,LとFth,Mはそれぞれ光子と光子吸過程の結果に一致している。このことから、銅原子放出はm光子吸収過程が支配的に起こっていることが明らかになった。一方、銅イオン放出は図３に示したようにFm+1に依存している。銅のイオン化ポテンシャルは6.66eV>@、仕事関数は4.65eVである。従って、波長800nm のレーザー（H9）では、銅原子をイオン化するには少なくとも光子吸収過程が、銅表面から光電効果により電子放出させるには光子吸収過程が必要である。この単純な考察

ンについて銅イオンの占める割合が８割以上となることによりFm+1の依存性を示した実験結果を説明することは難を確認した。
 図には、銅イオンのみに着目し、3編光照射における放出イオン量のレーザーフルエンス依存性をまとめた。イオンの放出量はレーザーフルエンスの増大に伴って増加し、測定したフルエンス（およそ20 mJ/cm2から2 J/cm2）しい。次に、固体表面に生成するイオンが多光子吸収と表面ポテンシャル障壁低下によるトンネルイオン化により
において放出イオン量は８桁変化した。そして銅イオンが放出し始める、いわゆるイオン放出閾値はFth,L= 0.028
J/cm2であった。0.195 J/cm2及び0.470 J/cm2のフルエンスにおいてイオン放出量が急激な増加（約１桁）を示すと同時
図４ アブレーション閾値のレーザーパルス依存性。
本実験により得られたイオン放出閾値を記号（●、■、▲）に示し、既に報告されているクレーター分析による中性原子放出のアブレーション閾値を記号（○、□、△）に示した。

図３ 放出イオン量のレーザーフルエンス依存性- 76 -

生成されている可能性について考察する。実験では、銅表面に°の入射角度でＰ偏光のレーザーを集光照射している。表面に垂直な電場が印加されると金属の仕事関数が変形し自由電子がトンネリングにより真空へ放出される確率が高くなる。固体表面に垂直な電場が印加された時のトンネリング確率はKeldishにより次式>@で表されている。

  ここで、はKeldishパラメータ、/はレーザー角周波数、
Wトンネル周波数、meは電子質量、Wは仕事関数、Eはレーザー電場振幅、eは素電荷を示す。m光子吸収している電子では、仕事関数はWmhに置き換える必要があり、次式になる。


図５ 多光子吸収と表面ポテンシャル障壁低下によるトンネルイオン化  
ここで、/=3.7510 s 、me=9.10910 kg、W=7.44910-19
14-1-31-192J（銅）、e=1.60210 C、Fth, L = 0.028 J/cm に対応する電場

はE=1.27109V/m、Fth, M= 0.195 J/cm2 に対応する電場はE=3.36109V/m 、 Fth, H = 0.470 J/cm2 に 対 応 す る 電 場 は
E=5.2110 V/mである。
9閾値フルエンスにおいて、Keldishパラエータはそれぞれ、
光子吸収過程のFth, Lにおいて3=0.013、光子吸収過程のFth, Mにおいて2=0.47、光子吸収過程のFth, Mにおいて
1=0.43である。全ての吸収過程（m=1, 2, 3）において、トンネリングによって電子が放出し固体表面にイオンが生成される可能性が極めて高いことを示している（図５）。
固体表面から放出される電子数と表面に生成されイオン数は、初期において同じ数だけ存在すると考えられる。放 

出される電子密度を評価するためFlower-Nordheim(F-N)モ

図６ 銅イオンのエネルギー分布

デルにより計算した。固体表面に垂直に電場が印加された時に放出される電子密度は次式>@で表される。


ペクトルの測定を行った。図６はＰ偏光照射に測定され  

た典型的なエネルギースペクトルを示す。エネルギースペ

ここで、A=1.510 、B=6.8310 、は電界増強係数、はクトルはダブルピークを示す。速い成分は水素イオンであ仕事関数、E は表面に印加された垂直電場を示す。実験

り、遅い成分は銅イオンを表している。136 mJ/cm2のとでは、レーザー照射により109〜1010 V/mの垂直電場が表面き、銅イオンのピークの位置から計算されるエネルギーはに対して印加される。この電場の範囲において  式の指30eV であった。このような低いフルエンスにおいて、数関数項は１になるため電子密度はレーザーフルエンス

30eV もの高エネルギーイオンの放出が確認されたのはに比例することになる：J  F = E 2。これらより、多光子初めてである。また14.4J/cm2のときは790eVであった。

吸収J  F mと表面ポテンシャル障壁低下によるトンネルレーザーフルエンスが上がるにつれて、ピークに対応するイオン化J  F によりイオンが生成されていると考えれエネルギー（以下ピークエネルギーと記す）が増大するこ-69に比例すると推察される。実験結果とを確認した。実験では質量スペクトルから、水素イオンは、この推察により上手く説明することができる。表面にを除く全体の放出イオン量に対する銅イオンの量は生成されたイオンは互いのクーロン斥力により爆発し、高60mJ/cm2において80 ％であった。ピークエネルギーのい運動エネルギーをもって放出されているものと考えら

レーザーフルエンス依存性を図７にまとめた。実験結果はれる。イオンのエネルギーを測定すればクーロン爆発の機レーザーによる電場による電場の方がポテンシャルを歪構を議論することができる。次の実験では、エネルギース

め、イオン放出に重要な要因であると考えられる。

ば、その生成量はFP

- 77 -

と仮定する。一方、イオン密度はレーザー生成表面プラズマ波に比例している：ni F。



図７ ピークエネルギーのレーザーフルエンス依存性
図８ 放出電子のエネルギー分布


イオンの放出過程を次の２つのモデルを適用し比較する。

•シース加速

従って、最大イオンエネルギーはレーザーフルエンスに比•クーロン爆発モデルシース加速モデル

例することになる。最大イオンエネルギーのレーザーフルシース加速によるイオン放出過程を考えた場合、レーザー

エンス依存性を図７の直線に示す。図７より明らかなようを金属表面に照射するとイオンを牽引するような高エネに、実験結果を定性的に説明することが分かった。つまりルギーの電子が放出すると考えられる。電子のエネルギー

この結果は、ピークエネルギーから見積もった局在化したスペクトルを図に示す。低レーザーフルエンス40mJ/cm2

イオンのサイズとナノ周期構造間隔が定性的に一致して以下では高エネルギー電子の放出は見られなかった。そのいることを示している。

ため、シース加速によるイオン放出過程は考えられない。
電子エネルギーは1 eV以下であり、先に述べた多光子吸４．まとめ

収とトンネル効果により電子が放出している議論とも一

 本研究はアブレーション閾値近傍において放出するイ致する。

オンの質量スペクトル及びエネルギースペクトルを測定

クーロン爆発モデルクーロン爆発によるイオン放出過することにより、フェムト秒レーザーのナノアブレーショ程を考える。フェムト秒レーザーを金属表面に照射すると、ン機構の解明を目指した。中心波長800nm、パルス幅

表面プラズマ波が誘起されると仮定する。もし、この波が130fsのレーザーを銅表面に照射し、そこから放出するイレーザーパルス時間内に殆ど進行しないほど遅い（群速度オンの特性を調べた。入射角度は70°、レーザーフルエンが小さい）場合、固体表面に電荷の疎密波が形成され、局スは質量スペクトル測定では、10mJ/cm2から2J/cm2まで、所的に帯電した場所がクーロン反発力により爆発を起こ

エネルギースペクトル測定では、136mJ/cm2から14.4J/cm2し、高エネルギーイオンが放出する。微小固体の次元まで変化させ測定を行った。本研究で明らかになった点はクーロン爆発モデルにおける放出イオンのエネルギー分以下の通りである>@。

布はdN/dE〜E n >@で表され、球状の微小固体ではn= 1/2、

•今日までに報告されている金属のアブレーション閾値

円柱状ではn = 0、平面状ではn =-1/2になる。定性的な議よりも１桁低いレーザーフルエンスにおいて、イオンの放論をするにあたり、レーザー照射固体表面に誘起されるプ出を初めて確認した。

ラズマ波による電荷分布が周期的な円柱状ワイヤーが並•P 偏光においては、レーザーフルエンスが940mJ/cm2以んでいる場合を想定し、それぞれの円柱ワイヤーがクーロ下の領域においては１価の銅イオンのみ放出され、それ以ン爆発することを考える。この場合、イオンの最大エネル上の領域では多価のイオンが放出されることを確認した。

ギーEmaxは以下のように表される•S 偏光においては、レーザーフルエンスが760mJ/cm2以下の領域においては１価の銅イオンのみ放出され、それ以 上の領域では多価のイオンが放出されることを確認した。
•レーザーフルエンスを20mJ/cm から2J/cm まで変化さ
2

ここで、Z はイオンの平均電荷、e は素電荷、ni はイオン密度、R0 は円柱ワイヤーの半径を示す。ここでR0 を金属表面に形成されるナノ周期構造のピッチに依存している

2

せると、放出イオン量は桁増加することを確認した。
•銅イオンが放出し始める、いわゆるイオン放出閾値はFth,L = 0.028 J/cm2であった。0.195 J/cm2及び0.470 J/cm2のフルエンスにおいてイオン放出量が急激な増加（約１桁）を- 78 -示すと同時にフルエンス依存性が異なる。従ってFth,M =参考文献

0.195 J/cm と Fth,H = 0.47 J/cm を異なる機構に基づくイオ[1] J. Reif, F. Costache,M. Henyk, S. V. Pandelov, Appl. Surf.

22

Sci. 197-198(2002) 891.

ン放出閾値と考えた。
•放出イオン量Niは、Fth,L近傍においてNi  F 、Fth,M近傍に[2]橋田昌樹、藤田雅之、節原裕一、光学31,8 (2002)4

621-628.

おいてNi  F3、Fth,H近傍においてNi  F2の直線に一致する[3]橋田昌樹、長嶋謙吾、藤田雅之、塚本雅裕、甲藤正

ことが見出された。

人、井澤靖和9th Symposium on “Microjoining andレーザーが高強度（多光子吸収が高確率で起こる）、強いレーザー電場（ポテンシャルが歪む）によって生じたトン

Assembly

ネル効果により電子を放出し、イオン化していると考える(2003)517-522.

TechnologyinElectronics”,Vol.9[4] M. Hashida, M. Fujita, Y. Izawa, A. F. Semerok, Proc. SPIEとイオン量の依存性をうまく説明できることが分かった。

Vol.4830 (2003)452-457.

•ピークエネルギーはレーザーフルエンスが136mJ/cm2

[5] N. Yasumaru, K. Miyazaki, J. Kiuchi, and H. Magara, Proc.のとき30eVとなり、低フルエンスでも高エネルギーイ

SPIE Vol.4830 (2003)521-525.

オンが放出されることを初めて確認した。
•放出イオンの放出過程は、シース加速によるものではな[6] M. Hashida, A. Semerok, O. Govert, G. Petite, Y. Izawa, andJ. F-. Wagner, Appl. Surf. Sci. 197-198, pp.862-867 (2002).

くクーロン爆発によるものであると推察される。

[7] S. Sakabe, M. Hashida, S. Tokita, S. Namba, K. Okamuro,•銅イオンのピークエネルギーからクーロン爆発モデル

Phys. Rev. B 79(2009)033409.

を仮定し、局在化したイオンのサイズを見積もった。局在イオンのサイズのレーザーフルエンス依存性は、ナノ周期[8] S. Tokita, M. Hashida,S. Masuno, S. Namba, S. Sakabe, Opt.
Express 16(2008)14876.

構造間隔のレーザーフルエンス依存性と定性的な一致を[9] T. A. Carlson, C. W. Nestor Jr., N. Wasserman, and J. D.

示した。

McDowell, Atomic Data 2(1970)63.
[10] L. V. Keldysh, Sov. Phys. JETP 20(1965)1307.

謝 辞
本研究は、公益財団法人天田財団からの一般研究助成によ[11] W.P.Dyke and W. W. Dolan: Field Emission, Linfield
Colledge Mc Cminn Ville, Oregon, 1956)p.90.

り実施した研究に基づいていることを付記するとともに、[12] S. Sakabe, K. Shirai, M. Hashida, S. Shimizu, S. Masuno,

同財団に感謝いたします．

Phys. Rev. A 71(2006)043205.
[13] M. Hashida, S. Namba, K. Okamuro, S. Tokita, S. Sakabe,Phys. Rev. B 81(2010)115442.

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