自動X・XYステージ / テーブルサイズ 50×50

システム
製品
SystemProducts

Motorized X, XY Linear Stages / Table Size 50×50

産業用Industrial

実験用Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZ
Z

XA05A-R102

YA05A-R102

XA05A-R202

YA05A-R202

回転Rotation※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

XA05A-R102/R202(147.5)スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)(97.5)

5040301315(15)

X・XY
X・XY(200)

ZZ

4-M2 Depth 5mm

4-M3 Depth 8mm
4-M3 Depth 5mm

M4 Depth 4mm

CCW

4.530

Depth 4mm

裏面Back Side

(4)

CCW Limit Sensor

4-for M3 screws
Shaft length 3.5mm(4)20(28)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)□40

YA05A-R102/R202(147.5)50

真空ステージ
VacuumStage(97.5)
30

40
30

4.5

13

φ4H8 Depth 4mm

Depth 4mm(200)

(162.5)50403013

モーターコントローラ
Motor
Controller

M4 Depth 4mm(97.5)

4-M2 Depth 5mm

アプリ
ケーション
Application15

4H8(15)

制御装置
Control
Electronics

ドライバ
ボックス
DriverBox

φ4H8 Depth 4mm

CWHome Position
CW Limit Sensor

回転Rotationアライメント
ステージ
XYθ

4H813304050

自動精密ステージ
Motorized
Stage

裏面
Back Side

4-M3 Depth 5mm
4-M3 Depth 8mm(200)

モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable

検査システムInspection
SystemH-010

H.indd 10(28)

20(4)

アクセ
サリー
Accessories

(48)

20(4)

付録
Appendix

CONTACT

□404-for M3 screws
Shaft length 3.5mm

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:12

アルミ / クロスローラガイド / 研削ネジ, ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw, Ball Screw

産業用Industrial

型式
XA05A-R102
YA05A-R102
XA05A-R202
YA05A-R202
Model Number
勝手違い型式※1
XA05A-R102-R
YA05A-R102-RRR
XA05A-R202-R
YA05A-R202-RRR
Mirror Model Number
テーブル面
50mm×50mm
Table Size
案内方式
精密クロスローラガイド
Guide Mechanism
Cross-Roller Guide
移動範囲±7.5mmMotion Range
送り方式
研削ネジ, リード 0.5mm
ボールネジ, リード 1.0mm
Lead Mechanism
Ground Screw, Lead 0.5mm
Ball Screw, Lead 1.0mm
フル/ハーフ ステップ0.5μm/0.25μm
1μm/0.5μm
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.025μm
0.05μmMicro Step (1/20 div)
最高速度
2.5mm/sec
5mm/sec
Maximum Speed
累積リード誤差≦6μm/15mm≦5μm/15mm≦6μm/15mm≦5μm/15mm
Accumulated Lead Error（AVE. 1.69μm/15mm）（AVE. 1.43μm/15mm）
繰返し位置決め精度≦±0.3μm（AVE. ±0.05μm）≦±0.3μm≦±0.2μm（AVE. ±0.04μm）≦±0.2μm
Repeatability
ロストモーション≦1μm（AVE. 0.43μm）≦1μm≦0.5μm（AVE. 0.18μm）≦0.5μmLost Motion
水平≦1μm/15mm≦1μm/15mm≦1μm/15mm≦1μm/15mm
Horizontal（AVE. 0.29μm/15mm）（AVE. 0.32μm/15mm）
真直度
Straightness
垂直≦1μm/15mm≦1μm/15mm≦1μm/15mm≦1μm/15mm
Vertical（AVE. 0.2μm/15mm）（AVE. 0.21μm/15mm）
バックラッシュ≦1μm（AVE. 0.2μm）≦1μm≦0.2μm（AVE. 0.1μm）≦0.2μmBacklash
モーメント剛性0.31 arcsec/N・cm
0.31 arcsec/N・cm※30.61 arcsec/N・cm
0.61 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness（AVE. 0.17 arcsec/N・cm）（AVE. 0.18 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
49N（5kgf）
39.2N（4kgf）
49N（5kgf）
39.2N（4kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
アルミ合金
Material
Aluminum Alloy
外観
白色仕上げ
FinishClear-Matt Anodizing
自重0.45kg0.9kg
0.45kg0.9kg
Weight直交度－≦5μm/15mm－≦5μm/15mm
Perpendicularity
5相ステッピングモーター
PK523HPMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
5 Phase Stepper Motor
PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)
モーター軸径
Φ5mm オプションハンドル：A type
Motor Shaft DiameterΦ5mm Conformance option handle: A type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
Connector
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)
ステージ結線タイプ※4V3Stage Wiring Type
センサ基板型式
F-116(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
Sensor ModelF-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)
クリーングリス仕様型式
XA05A-R102-C
YA05A-R102-C
XA05A-R202-C
YA05A-R202-C
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
XA05A-R102-V
YA05A-R102-V
XA05A-R202-V
YA05A-R202-V
Vacuum Lubricant Model Number※1※2

勝手違い、重ねの組勝手についてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026〜N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

実験用Experimental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XYZ
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
RAdditional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 11

H-011

2022/09/06 16:12