自動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 100×100

システム
製品
SystemProducts

Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table Size 100×100

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

SA10A-RL01

SA10A-RM01

SA10A-RT01
CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor(17.2)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

φ6H8 Depth 8mm
8-M3 Depth 8mm
8-M4 Depth 6mm

裏面Back Side

90(117.7)
100

X・XY
X・XY

134(6.7)

CCW

39

CCW

38

4(15.3)□90(130.5)□90
4-for M4 screw
Shaft length 6mm(250)

φ6H8 Depth 8mm
8-M3 Depth 8mm8-M4 Depth 6mm

裏面Back Side

Depth 5mm

7□90100

5H84-for M4 screw
Shaft length 6mm
30406090100(19.5)

φ5H8 Depth 5mm(130.5)

SA10A-RL01

(250)

モーター
ケーブル
Motor
Cable

Rotation Center95

Rotation CenterCW

付録
Appendix

CCW(15.3)

4-for M4 screw
Shaft length 6mm

SA10A-RS01

モーター
ドライバ
Motor
DriverCW

CCW

12(15.3)

383939(15.3)

アクセ
サリー
Accessories

CW

38(15.5)□90134アプリ
ケーション
Application

Rotation Center2

4-for M4 screw
Shaft length 6mm(19.5)

ドライバ
ボックス
Driver
Box

CW

1

制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラMotorController

CCW

SA10A-RB01

1

真空ステージ
VacuumStage

φ5H8 Depth 5mm

60

Rotation Center

9060
4030

アライ
メント
ステージ
XYθ

SA10A-RM01

(5.5)

95

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

CW

7(130.5)(250)
Rotation Center

回転
Rotation

Depth 5mm

(6.7)

(19.5)

(60)

172

Z
Z

30
4060
9010060

自動精密ステージ
Motorized
Stage

SA10A-RS01

SA10A-RB01

5H8回転
Rotation

SA10A-RT01

60
4030

Z
Z

検査システムInspection
SystemK-020

K.indd 20

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:09

アルミ / クロスローラガイド / ウォーム＆ウォームホイール

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Worm and Worm Wheel

産業用Industrial

型式
SA10A-RT01
SA10A-RM01
SA10A-RB01
SA10A-RS01 ※1
SA10A-RL01 ※2
Model Number
勝手違い型式※3
SA10A-RT01-R
SA10A-RM01-R
SA10A-RB01-R
SA10A-RS01-RRR
SA10A-RL01-RRR
Mirror Model Number
テーブル面
100mm×100mm
Table Size
案内方式
精密クロスローラガイド
Guide Mechanism
Cross-Roller Guide
回転範囲±10°（RM01）, ±8°（RB01）±10°±8°±10°
Angular Range
送り方式
ウォーム＆ウォームホイール
Lead Mechanism
Worm & Worm Wheel減速比
320(RT01)
428(RM01)
320
428
536
Reduction Ratio
428(RM01)
536(RB01)
フル/ハーフ ステップ
0.0022°/0.0011°（RT01）, 0.00168°/0.00084°（RM01）,
0.0022°/0.0011°0.00168°/0.00084° 0.00134°/0.00067°
Full/Half Step
0.00168°/0.00084°（RM01） 0.00134°/0.00067°（RB01）
分解能※4Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.00011°（RT01）,
0.000084°（RM01）,
0.00011°0.000084°
0.000067°
Micro Step (1/20 div)
（RM01）（RB01）
0.000084°
0.000067°
最高速度11°/sec（RT01）,
8.4°/sec（RM01）,
11°/sec
8.4°/sec
6.7°/sec
Maximum Speed
8.4°/sec（RM01）
6.7°/sec（RB01）
ワークディスタンス
95mm±0.2mm
134mm±0.2mm
172mm±0.2mm
95mm±0.4mm
134mm±0.4mm
Work Distance
回転中心変位量
Φ0.05mm/±10°
Φ0.05mm/±8°
Φ0.1mm/±10°
Φ0.1mm/±8°
Rotation Center Error
繰返し位置決め精度≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°）≦±0.001°≦±0.001°
Repeatability
ロストモーション≦0.002°（AVE. 0.0005°） ≦0.002°（AVE. 0.0004°） ≦0.002°（AVE. 0.0003°）≦0.002°≦0.002°
Lost Motion
バックラッシュ≦0.001°（AVE. 0.0001°） ≦0.001°（AVE. 0.0001°） ≦0.001°（AVE. 0.0001°）≦0.001°≦0.001°
Backlash
モーメント剛性0.02 arcsec/N・cm
"0.02 arcsec/N・cm
0.02 arcsec/N・cm
※50.06 arcsec/N・cm
0.06 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness（AVE. 0.01 arcsec/N・cm） （AVE. 0.01 arcsec/N・cm） （AVE. 0.01 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
68.6N（7kgf）
39.2N（4kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
アルミ合金
Material
Aluminum Alloy
外観
白色仕上げ
FinishClear-Matt Anodizing
自重2.8kg
5.6kg
Weight5相ステッピングモーター
C087Q-9215P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
5 Phase Stepper Motor
C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)
モーター軸径
Φ8mm オプションハンドル：B type
Motor Shaft DiameterΦ8mm Conformance option handle: B type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
Connector
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)
ステージ結線タイプ※6V3
Stage Wiring Type
センサ基板型式
F-101(HOME,LIMIT)
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
SA10A-RT01-C
SA10A-RM01-C
SA10A-RB01-C
SA10A-RS01-C
SA10A-RL01-C
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
SA10A-RT01-V
SA10A-RM01-V
SA10A-RB01-V
SA10A-RS01-V
SA10A-RL01-V
Vacuum Lubricant Model Number
SA10A-RS01は、SA10A-RT01とSA10A-RM01の組み合わせです。
Combination of SA10A-RT01 and SA10A-RM01 form 2-axes swivel stage model
SA10A-RS01.
SA10A-RL01は、SA10A-RM01とSA10A-RB01の組み合わせです。
※2
Combination of SA10A-RM01 and SA10A-RB01 form 2-axes swivel stage model
SA10A-RL01.
勝手違い、重ねの組勝手についてはK-005ページを参照して下さい。
※3Refer to page K-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.
※1

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.
ス
 イベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
※5
Moment Stiffness of single swivel stage is measured in Roll Direction.
ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
※6
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.
※4モーターコントローラ
MotorController
ドライバボックス
DriverBox

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

K.indd 21

K-021

2022/07/29 20:09