246放射光第 11 巻第 3 号(1998年)

くコ研究会報告じ>「高輝度放射光がめざす戦略的応用研究」シンポジウム
尾嶋正治(東京大学大学院工学系研究科)

本シンポジウムは VSX 高輝産光源利用者懇談会，物性研，引き続いて 1) レーザー研究者からの注文， 2)2010年放射日本放射光学会が主催して， 1998 年 3 月 6 日(金) ,光生命科学の夢， 3)2010 年放射光物質科学の夢，の 3 テ

7 日(土)の両日にわたって物性研講義室において開催されーマについて熱い議論を行った。ここでの主な議論は，た。東京大学が柏キャンパスに計聞している VUVjSX 高1)VSX リングのライナック部に自由電子レーザーをし輝度光源の利用を中心に据えているため，千葉県にも後援をお願いした。約 110名の研究者(大学，国研，民間) ,学生が北は北大から南は琉球大まで日本国中(?)から集まって，活発な議論を繰り広げた。

シンポジウムの目的は， VUVjSX 高輝度光源を用いてどのような「先端学際領域j の斬新な研究が展開出来るかを展望することである。具体的には， 2010 年にどのような技術が確立し，どのようなサイエンスが可能か?

そのビジョン iTechnology VisionSR2010J を戦略的に議論するごとを目的として開{寵された。そのためには 9 放射光研究者だけでは議論は狭すぎると考え，これまで放射光を使ったことはないが同じ「高輝度光の仲間j であるレーザー研究者をも大きく巻き込んで大胆な議論を展開した。多写真 1

くの参加者から「今回のシンポは面白かった J と喜んで頂シンポジウムの開催挨拶をする
vsx 利用懇談会太田会長

けた。

シンポジウムの実行委員長は尾嶋が務め，実行委員として太田俊明氏(東大理， VSX 利用者懇談会会長) ，神谷幸秀氏(東大物性研，軌道放射光施設長) ，篠原邦夫氏(東大医) ，小森文夫氏(東大物性研) ，福谷克之氏(東大生研) ，三好明氏(東大工) ，水木純一郎氏(原研関西研) ,松井真二氏(半導体先端テクノロジーズ) ，百生敦氏(日立基礎研) ，村松康司氏 (NTT 入シ研)に協力をお願いした。

シンポジウムの内容は別紙に示す Proceedings (全320ページ)を参照して頂きたい。主に，

1) 高輝度放射光源

写真 2

パネル討論でレーザー側から鋭い指摘!

自体 (VSX 光源，自由電子レーザー)， 2) 放射光やレーザーを利用した解析技術 (X 線イメージング，軟 X 線顕徴

鏡， X 線構造解析，プロセス「その場 j 観察，レーザー分光法，ラマン分光，レーザー化学反応解析など)， 3) 放射光やレーザーを利用した創製技術(レーザー光化学反応制御理論，レーザー分子磁性制御，レーザークーリング，レーザーマイク口マニピュレーション，リソグラフィ，円偏光放射光による生命の起源)などについて 20 分ずつ講演して頂いた。
第 1 日目の夕方に約 1 時間半かけてパネル討論を行った。まず宮原氏(都立大理)に「高輝度放射光におけるポ写真 3ーズ縮重度制御J と題してお得意(?)の話を披露して頂き，VSX 高輝度光源の早期実現を祈念して(江尻氏の音頭で)かんばーい!

46(C) 1998 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Research

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2) 放射光を用いた生命科学の研究者をもっと開拓しよう，懇親会では大量のアルコールを準備したが，参加者のす4)Xごい熱気でほぼ飲み尽くされてしまった。本シンポジウム

3) コヒーレンスを上手く活かした研究テーマを! ,線ユーザーをも満足させられるような施設に (MPW などの事務局としていろいろ気配りをして頂いた物性研秘書のの導入を! ), 5) 大学の SOR 施設であるから，教脊面に宇野知左子女史に感謝したい。

をし 6) 東大以外のユーザーにも十分配慮、をし今国のシンポジウムは VSX 高輝度放射光の応用面につ7)ALS でもやっているリングエネルギー可変化をしないて主に議論を行ったが，引き続いて基礎編については，どであった。これらの意見を十分に尊重して世界に向けて

物性研辛助教授が平成 10 年 6 月 30 日， 7 月 1 日に物性研発信出来る高輝度光源研究センターにしていく必要がある短期研究会を企画している。こちらにも是非参加して頂きと痛感した。

fこし、。

<1研究会報告1>

ニュースバルシンポジウム報告
寺岡有殿(原研放射光)ニュースバルシンポジウムが 3 月 16 日， 17 日の両自，究分野やそれらが波及効果を及ぼす分野が連想された。

姫路工業大学高度産業科学技術研究所の主催(後援:制高NEC 基礎研の松井真二氏は「ホログラフィックプロセスンター)により開催された。 SPring-8による新材料創製とナノ加工」と題して，電界放射電子銃

構内に建設中の実験施設が公開され，兵庫県立先端科学技とパイプリズムを用いた電子線ホログラフィ，冷却 Ne 原術支援センターでは講演会が催された。

子による涼子線ホログラフィ，計算機ホログラムを適用す講演会の冒頭，坂井信彦研究所長からニュースバルの役る X 線ホログラフィについて幅広く紹介した。いずれも割，建設スケジュール，装霞，研究所組織，利用研究，利原理実証的研究であり，従来技術の延長線上にはない新し用の実施形態についての説明がなされた。この施設では軟いナノ露光技術として興味深い。住友電工播磨研の筒井康

X 線/真空紫外線光源の高輝度化，小型化，短パルス化の充氏は自社で最近進展した LIGA プロセス開発を紹介し研究開発を行い，産業応用を目的として，光徴細加工，光た。同社が開発した超伝導小型 SR 光源 NIJI によるディ化学反応，バイオ@医療技術等に関連した研究開発が進めープ X 線リソグラフィー技術を用いて作製した蓋径20られる。平成 7 年震に最終設計が確定して以来，発注@μmx 高さ 140μm という圧電セラミックス柱アレイ建設が進み，平成 9 年度， SPring品構内に建屋と蓄積リである。この技術が複合圧電振動子として実用化され，量ングが完成する。

産技術の確立とともに水中音波信号発信や超昔波匿療診断ニユ一スバルでで、は SPrir時
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向嗣陶器(は1 GeV) を入射器として用いるが，それと接続するビへ応用されつつあることは，基礎研究に端を発して応用研ームトンネルの工事も今夏頃完成予定で進められている。

究へと進み，実用化で花を咲かせるという企業研究におけ蓄積リングの周長は 119m ，エネルギーは1. 5 GeV で，臨るサクセスストーリーの典型の観がある。前二者の研究は界エネルギーは 2.33 keV の中規模放射光施設となる。マ

放射光を半導体プロセスに応用する立場からのものである

シン収納部では既に電磁石の設置が完了し，完成時の様子が，一方，分析に応用する立場から新日鉄先端研の木村正を想像することができた。今回のお披露目では，特に逆偏雄氏は，電磁鋼板の二次再結品化(結品粒成長)機構，

向電磁石，11m 長尺アンジュレーター，さらに自由電子

Zn めっきの合金化機構(表層での回相反応)，

CU3Auレーザー用光クライストロンが印象的であった。他にも未面の相転移等の in situ 観察について紹介した。放射光を設置ではあったが， 8 テスラの超伝導ウィグラーが注目さ利用した分析技術の研究開発はビームラインのみで展開すれる。今後，制御室の整備，リングの真空機器の設置，ビることができるが，プ口セス技術の研究開発においては，ームラインの建設等が早急に進められるものと思われる。

X 線露光技術はひとつの要素技僻であり，それのみでは今回の講演会では，近隣の類似施設である広島大学放射プロセスは完結しない。関連技術の開発とそれらの統合が光科学研究センターの谷口センター長による問施設の紹介

プロセス研究にとって重要であることに鑑みれば，ニューの他，ピームラインの利用研究の立場から企業研究者によスバルでの研究成果が関連分野の進展を促進するように，る招待講演が行われた。光微細加工，材料分析に関する研周辺研究機関との共陪研究が必須であるように思われた。

究成果が紹介され，近い将来ニュースバルで展開される研‑47‑