システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

薄型アライメントステージ / テーブルサイズ 70×70
Motorized XYθ Stages / Table Size 70 x 70

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

回転Rotation

YRA-070

YRA-070

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

X※ケーブル長 200mm※Cable Length 200mm

θCW

CW

Y

CW

自動精密ステージ
MotorizedStageΦ10 Thru※※

10 102-Φ3 Depth 4mm

X・XY
X・XY

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

40

アライメントステージ
XYθ

(120)

70

40

回転
Rotation

60Z
Z

4-M3 Depth 5mm

604-M4 Depth 7mm

70(130)真空ステージ
Vacuum
Stage

45

制御装置
Control
Electronicsモーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
DriverBox

30
204-for M4 screws
Shaft length 5.5mm

3020モーター
ドライバ
Motor
Driver40モーター
ケーブル
Motor
Cable

305アプリケーション
Application

付録
Appendix2-φ3 Depth 4mm
アクセ
サリー
Accessories

5466

検査システムInspection
System

L-004

L.indd 4

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:10

アルミ / クロスローラガイド&クロスローラベアリング/ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide & Cross-Roller Bearing / Ball Screw

産業用Industrial

型式
Model Number

YRA－070テーブル面
Table Size

70mm×70mm

案内方式
Guide Mechanism

XY：精密クロスローラガイド θ：クロスローラベアリング
XY: Cross-Roller Guide θ: Cross-Roller Bearing

移動範囲
Motion Range

XY：±3mm θ：±3°

送り方式（3軸共通）
Lead Mechanism (same at 3-axes)

ボールネジ リード1.0mm
Ball Screw Lead 1.0mm

分解能 フル/ハーフ ステップ
※１
Resolution Full/Half Step

XY：2μm/1μm θ:

最高速度
Maximum Speed

真直度
Straightness

X・XY
X・XY

ZZ

θ
：12.7°/sec : Half 10kpps

X：≦ 2μm（AVE. 0.356μm） Y：≦ 2μm（AVE. 0.354μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0013°）

水平Horizontal

X：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.237μm/6mm） Y：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.253μm/6mm）

垂直VerticalX：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.154μm/6mm） Y：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.187μm/6mm）

繰返し位置決め精度
Repeatability

X：≦±0.5μm（AVE. ±0.088μm） Y：≦±0.5μm（AVE. ±0.075μm）

角度再現性
Angular Repeatabilityθ：≦ 0.001°（AVE. 0.0002°）

バックラッシュBacklashX：≦ 1μm（AVE. 0.35μm） Y：≦ 1μm（AVE. 0.288μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0013°）

面振れSurface Runoutθ：≦5μm/±3°（AVE. 2.708μm/±3°）

偏心Eccentricityθ：≦3μm/±3°（AVE. 0.517μm/±3°）

モーメント剛性
Moment Load Stiffness

X：0.6arcsec／N・cm（AVE. 0474 arcsec/N・cm） Y：0.6arcsec／N・cm（AVE. 0.434 arcsec/N・cm）

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

49N (5kgf)

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重
Weight1.45kg

5相ステッピングモーター（3軸共通）
5 Phase Stepper Motor (same at 3-axes)

PK513PB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.35A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
PK513PB (Oriental Motor: Phase Current 0.35A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)

コネクタ（3軸共通）
Connector (same at 3-axes)丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

ステージ結線タイプ（3軸共通）※2Stage Wiring Type (same at 3-axes)

V2

センサ基板型式
Sensor Model

XY:F-106(HOME, LIMIT), θ:F-106R(HOME, LIMIT)

※1

手動精密
ステージ
ManualStage

0.002546°/0.001273°

XY：10mm/sec : Half 10kpps

ロストモーション
Lost Motion

実験用Experimental

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※2

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージXYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

制御装置
ControlElectronics

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システム
Inspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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