システム製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動回転ステージ / テーブルサイズ Φ68,Φ98
Motorized Rotation Stages / Table Size Φ68,Φ98

実験用Experimental
手動精密ステージManualStage
X・XY
X・XY

RA07A-W02

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

CCW

CW

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

(25)

60

(R50)
LS dock turning radius

(200)
4H8

φ4H8 Depth 4mm(20.8)

X・XY
X・XY

裏面Back Side

2-for M4 screws
Shaft length 4.9mm(115.8)70

自動精密ステージ
Motorized
Stage

RA10A-W01

ZZ(8)

回転Rotation

70(166.5)

Depth 4mm(88.5)

Table matrix

φ68

4.5

408-M3 Depth 4mm(4)回転Rotation

RA07A-W0220ZZ

CCW Limit Sensor

(9.7)

(179)

裏面
Back Side(R60)
LS dock turning radius

305H8).7(202(25.3)

モーター
ドライバ
MotorDriver

Depth 5mm

6φ5H8Depth 5mm
60

Table matrix

モーター
ケーブル
Motor
Cable

φ14H8 Thru

(13)

φ98

4-M3 Depth 6mm

アクセサリー
Accessories□90100

検査システムInspection
SystemCONTACT

4-M4 Depth 6mm(42)606040

付録
Appendix

J.indd 84030CW

Home Position
CW Limit Sensor

アプリ
ケーション
Application

J-008(2)9.9CCW

4-for M4 screws
Shaft length 7mm(5)

ドライバ
ボックス
DriverBox

RA10A-W01).1

モーターコントローラ
Motor
Controller

304061(1制御装置
Control
Electronics

2-for M4 screws
Shaft length 4mm(21)真空ステージ
VacuumStage□60(156)
100

アライ
メント
ステージ
XYθ

48

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)(42)

φ6H8 Depth 3mm

4060

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/08/31 14:45

アルミ / アンギュラベアリング / ウォーム＆ウォームホイール

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Angular Bearing / Worm and Worm Wheel
型式
Model Number
勝手違い型式
Mirror Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
回転範囲
Angular Range
送り方式
Lead Mechanism
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
累積誤差
Accumulated Lead Error
ロストモーション
Lost Motion
角度再現性
Angular Repeatability
ピッチ誤差
Pitch Error
バックラッシュBacklash
面振れSurface Runout
偏心
Eccentricity
モーメント剛性
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重Weight
5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※2
Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

産業用Industrial

RA07A-W02

RA10A-W01

RA07A-W02-R

RA10A-W01-R

Φ68mm

実験用
Experimental

Φ98mm

手動精密
ステージ
ManualStage

アンギュラベアリング
Angular Bearing
±135°

±140°

ウォーム＆ウォームホイール 1/90
Worm & Worm Wheel 1/90

ウォーム＆ウォームホイール 1/180
Worm & Worm Wheel 1/180

X・XY
X・XY

0.004°/0.002°ZZ

0.0002°20°/sec≦0.015°/360°（AVE. 0.0045°/360°）≦0.01°/360°（AVE. 0.0042°/360°）≦0.006°（AVE. 0.0026°）≦0.005°（AVE. 0.0031°）≦0.002°（AVE. 0.0004°）≦0.002°（AVE. 0.0004°）≦0.01°/4°（AVE. 0.0027°/4°）≦0.005°/2°（AVE. 0.0018°/2°）≦0.001°（AVE. 0.0001°）≦0.001°（AVE. 0.0001°）≦15μm/360°（AVE. 5.53μm/360°）≦20μm/360°（AVE. 9.11μm/360°）≦5μm/360°（AVE. 2.74μm/360°）≦5μm/360°（AVE. 2.26μm/360°）

0.51 arcsec/N・cm（AVE. 0.32 arcsec/N・cm）

0.10 arcsec/N・cm（AVE. 0.07 arcsec/N・cm）

58.8N（6kgf）

98N（10kgf）

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing
1.2kg

回転
Rotation

2.9kg

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

C090P-9015P（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角PK544PMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角0.72°, リード線5本）
0.36°, リード線5本）
C090P-9015P (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°,
PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°,5-Leads)
5-Leads)
Φ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
VacuumStage

V3
F-101(HOME,LIMIT)
RA07A-W02-C
RA07A-W02-V

ステージの検査はハーフステップで行っております。
※1
Stage is inspected by half step setting.

制御装置
ControlElectronics

RA10A-W01-C
RA10A-W01-V

モーター
コントローラ
Motor
Controller

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
※2
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

J.indd 9J-009

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