メカニカルステージ ／ 自動ステージ［東京］TEL：03 (3257)1911・FAX：03 (3257)1915［大阪］TEL：06 (6306)1911・FAX：06 (6306)1912

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自動ステージ

中央精機の自動ステージ
はじ め に手動ステージ

当社はステージメーカーとして、お客様のご要望にお応えするために、各種自動ステージ、コントローラを製造販売しています。
また、お客様の目的に応じた自動ステージを自由に選択してご使用いただけるように、当社ではステージ面寸法、移動量、精度、価格など、各仕様での自動ステージの位置付けを明確にしました。
さらに、精度、品質保証の充実に務め、製品価格においても極力原価低減し、ご提供できるよう日々努力しています。今後も、いち早く新技ステージ用アクセサリ術の動向に対応していきますのでご期待ください。

Z ステージ回転ステージ［▼取付ねじ基準寸法］
ステージ面

ステージ底面

傾斜ステージ

126-M22550252420-M4

1004-2.5ｷﾘ4.3深ｻﾞｸﾞﾘ

4-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

411φ2524

コントローラドライバ

2512100

XY ステージ

アクチュエータ

１. ２ 自動ステージのステージ面、ベース底面の取り付けに互換性があり、お客様の仕様に合わせて、自由な多軸組み合わせが可能です。

24X ステージ

顕微鏡用自動化製品

１. １ ステージ面寸法、移動量、精度、価格など、各仕様での位置付けを明確にしていますので、選択が容易です。

50

パルス
ステージ

01

【特長】

ドライバ

図1−1接続ケーブル

32

図1−8

図1−54-M325

図 1 − 1232

130
50

25

1304-M64-7ｷﾘ11深ｻﾞｸﾞﾘ

4-3.5ｷﾘ6深ｻﾞｸﾞﾘ

130432

11φ25

32

13050

2520-M4

図1−25032

図1−9

図1−6180130
25 50 254-M4

図 1 − 1350

1804-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

8-M64-7ｷﾘ11深ｻﾞｸﾞﾘ

図1−3411321804

図 1 − 10

図1−7

図 1 − 144-4.5ｷﾘ7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

12-M425φ1132252525φ5050324-M318013025 50 2520-M4411φ4-M3

図1−4

図 1 − 11

１. ３ 自動ステージは全数検査を行っています。測定機器のトレーサビリティを確立し、信頼できる精度、品質を保証しています。

１. ４ アフターサービス、サポート体制が充実しています。

26

ユニット製品総合カタログ 38号

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自動ステージ
手動ステージ02【分類】

自動ステージは案内方式により 6 つの種類に分類されます。

ステージ用アクセサリ
パルスステージ

XY ステージ

顕微鏡用
自動化製品

Z ステージ

アクチュエータ

図 2-2 V 溝とクロスローラ（HG-VCR 方式）

X ステージ

図 2-1 V 溝とクロスローラ（V-CR 方式）

回転ステージ２ . １ V 溝とクロスローラ（V-CR 方式）
【図 2-1】

V 溝レール軌道面は焼き入れ硬化後、高精度研磨加工されていますので、真直度のよい案内が得られます。
また、ローラが使用されていますので、上下、横方向荷重共に大きな負荷容量を備えています。高精度、重荷重用ステージに使用している

傾斜ステージ向き合った 2 本の V 溝レールにローラを交互に直交配列させて 1 セットとし、2 セット 1 組で使用して案内します。

コントローラ
ドライバ

方式です。

ドライバ

２ . ２ V 溝とクロスローラ（HG-VCR 方式）【図 2-2】

ローラ同士の配列の間隔も極限まで狭くし、配列数を増やして、リテーナで保持しています。高い予圧がかけられ、コンパクトで超高剛性です。

接続ケーブル

V-CR 方式の更なる性能向上を目指し開発された、当社独自の案内方式です。といいます。
名称を「HG-VCR」
当社の新しい自動ステージ、手動ステージに採用され、各種センサ、カメラなどの精密位置決めの他、各種生産機械、検査装置における精密な位置決め、測定などに対応可能です。
また剛性があるため、ある程度の偏荷重のかかる用途においても、安心してご利用いただけます。
この「HG-VCR」
は特許を申請しています。
特願 2006-070036 号

ユニット製品総合カタログ 38号

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自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
パルスステージ

X ステージ

顕微鏡用
自動化製品

XY ステージ

図 2-3 V 溝レールと鋼球（V-B 方式）
直線移動タイプZ ステージ回転ステージアクチュ
エータ

２ . ３ V 溝レールと鋼球（VB 方式）
直線移動タイプ【図 2-3】
高精度、軽荷重用傾斜ステージに使用しています。

向き合った 2 本の V 溝レールに鋼球を直列配列させて 1 セットとし、2 セット 1 組で使用して案内します。

傾斜ステージ

２ . ４ V 溝レールと鋼球（VB 方式）
曲線移動タイプ【図 2-4】

コントローラドライバ

傾斜ステージは直動ステージと違い V 溝レールが弧を描いています。
このため、直動と同じ構造のガイドレールを使用すると V 溝と鋼球にずれが生じ、V 溝に異常な圧力がかかります。
このことは耐久性の低下を招くのはもちろん、リテーナ（鋼球とそれを挟み込んでいる板の部品）がずれて機能しなくなってしまいます。

ドライバ

これらを解消するために当社では全く新しい発想の新型ガイドレールを開発しました。
このガイドレールは、鋼球が接触する 4 点を、弧の内側と外側で軌道距離の修正をし、耐久性の低下を防ぎ、リテーナのずれを大幅に接続ケーブル減少させています。
このガイドレールは特許を取得しました。
特許第 2762055 号

28

図 2-4 V 溝レールと鋼球（V-B 方式）
曲線移動タイプユニット製品総合カタログ 38号

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自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
アクチュエータ

さらに、循環式ローラベアリングを使用していますので、ストロークに関係なく、ステージ面の大きさがコンパクトです。

回転ステージV 溝レールは高精度研磨加工されていますので、真直度のよい案内が得られます。
また、ローラが使用されていますので、上下、横方向荷重共に大きな負荷容量を備えています。

顕微鏡用
自動化製品

循環式ローラベアリング 2 個と V 溝レール 1 本を 1 セットとし、2 セット 1 組で使用して案内します。

パルスステージ

２ . ５ ローラウェイ【図 2-5】

Z ステージ

図 2-7 ボールブッシュ

XY ステージ

図 2-6 ボールウェイ

X ステージ

図 2-5 ローラウェイ

傾斜ステージ

高精度、重荷重用のステージに使用しています。

コントローラドライバ

２ . ６ ボールウェイ【図 2-6】

循環式ボールベアリングを使用していますので、ストロークに関係なく、ステージ面の大きさがコンパクトです。
高精度、重荷重用のステージに使用しています。

接続ケーブル

鋼球がガイドレールの R 溝と接触していますので、上下、横方向荷重共に負荷容量を備えています。

ドライバ

循環式ボールベアリング 2 個とガイドレール 1 本を 1 セットとし、2 セット 1 組で使用して案内します。
ガイドレールは高精度研磨加工されていますが、ステージ取付面精度によって精度が若干変化します。循環式ボールベアリングは、多数の

２ . ７ ボールブッシュ【図 2-7】
ボールスライドベアリング 2 個とシャフト 1 本を 1 セットとし、2 セット 1 組で使用して案内します。
シャフトは研磨加工されていますが、ステージ取付面精度や荷重によって変化しやすいため、並精度です。
鋼球とシャフトは点接触となりますので、軽負荷用になります。
ボールスライドベアリングを使用していますので、ストロークに関係なく、ステージ面の大きさはコンパクトです。
ステージ本体はアルミ合金製で軽量です。並精度、軽荷重用のステージに使用しています。

ユニット製品総合カタログ 38号

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自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
パルス
ステージ

X ステージ

顕微鏡用
自動化製品

XY ステージ
Z ステージ

アクチュエータ

２ . ８ 回転ベアリング【図 2-8,2-9】
アンギュラベアリング、クロスローラベアリング等の回転ベアリングを使用して案内します。

回転ステージ

高精度予圧式アンギュラベアリング、クロスローラベアリングを使用していますので、精度がよく、ガタのない回転が得られます。
また、クロスローラベアリングはローラを使用していますので、上下、横方向荷重共に大きな負荷容量を備えています。
高精度、重荷重用の回転ステージに使用しています。

傾斜ステージ

案内方式

コントローラドライバ
ドライバ
接続ケーブル

移動精度

耐荷重剛性

V 溝とクロスローラ（HG-VCR 方式）

☆

☆

☆

V 溝とクロスローラ（V-CR 方式）◎◎◎

V 溝レールと鋼球（VB 方式）◎○○ローラウェイ◎◎◎

ボールウェイ○○◎

ボールブッシュ△△△回転ベアリング◎○○

表１ 案内方式の比較

30

図 2-9 クロスローラベアリング

図 2-8 アンギュラベアリング☆：秀ユニット製品総合カタログ 38号◎：優○：良△：可