Gas Leak Tester● 外形寸法External Dimensions（Unit:mm）

ヘリウムリークテストシステム

CDA

N2

He

1000

チャンバユニット（チャンバ、
シール・クランプ治具）
については、都度お客様のワークに合わせた形状で製作するめ、別途見積もりとなります。
ご不明な点や実験、特注対応についてもお気
軽にご相談ください。

穴

HES-2000 series

Chamber unit (chamber, seal and clamp jig
unit) is manufactured to fit the shape ofyour test piece. As a result, estimates for
jig units are prepared separately.
Please feel free to contact us at any time
for clarifications, or questions about trials
or placing special orders.

910

810

Helium Leak Test System

RP1へ
PS8

排気へ

He
AV35

1700

1355

370

736

900

164

1320

RG1

AV30-A
G1/2

Rc1/2

934.5
800

回収へ AV33-A
AV2
RG6

加圧へ AV32-A

HV6

真空引きへ

N2

800

AV31-A

FL1

AV34-A

PS7

AV1

EV2-A

PS3
FRL1
EV1-A

HV1

https://www.fukuda-jp.com/
東北営業所
東京営業所
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静岡営業所
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TEL. (82) 32-584-8464 FAX. (82) 32-584-8465
585-40, Gajwa-dong, Seo-gu, Incheon, Korea※ Taiwan: LI AN INDUSTRY MEASUREMENT CORP.
6F., No.49, Jyunsian Rd., Cidu Dist., Keelung, City 20653, Taiwan, R.O.C. TEL. (886) 2-2456-6663 FAX. (886) 2-2455-2129
SYSCON INSTRUMENTS PRIVATE LTD.
※ India:
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Av Aguascalientes Nte 622, Pulgas Pandas, 20138 Aguascalientes, Ags. Mexico TEL. (52) 1-449-996-0984 FAX. (52) 1-449-996-3981※ Germany: ADZ NAGANO GmbH
Bergener Ring 43 D-01458 Ottendorf-Okrilla Germany
TEL. (49) 35205-59-6930 FAX. (49) 35205-59-6959※印の拠点は、当社ISO適用範囲外です。 ※Signifies ISO applications not met by Fukuda.

■様々なワーク、
スペックに対応
真空チャンバ法、
大気圧チャンバ法選択可能■ワーク形状のチャンバにより高精度・高速測定専用チャンバでチャンバ残容積を縮小
ホームページ日本語

Web site
English■チャンバ数

1チャンネル（標準仕様）

フルオーダーの場合はチャンバ数増加可能■希釈ヘリウムガスも対応可■ヘリウムガス回収増圧ユニットあり（オプション）
ガス混合ユニット対応

Rev.Mar.22 Printed Mar.22 1KN Printed in Japan 10600-K-004-07■Compatible with a variety of test pieces and specifications.

Select between a vacuum chamber method and atmospheric chamber method.

■High-precision and high-speed measurement using
a test piece-shaped chamber.

Use of a dedicated chamber reduces excess space inside the chamber.

■Number of chambers: One channel (Standard specifications).
The number of chambers can be increased to suit a full order.

■Diluted helium gas can also be used.
■Helium gas recovery and intensifier system (optional).
Compatible to gas mixing units.

高精度・高圧測定に最適なヘリウムリークテストシステム

大気圧チャンバ法、真空チャンバ法の2種類から選択ください。

測定方式と基本動作
Measurement Method
and Basic Operation

Select from two methods:
Atmospheric pressure chamber method or vacuum chamber method

Helium leak test system optimized for high-precision/high-pressure testing
ヘリウムガスの特徴

Helium Gas Advantages

ヘリウムガスを使用することで微小な漏れの検出ができます。

Using helium gas allows detection of fine leaks.

◎空気中に含まれる量が5ppmと非常に少ない。
◎分子直径が小さいため微小な漏れ孔に入りやすい。
◎不活性ガスのため排気系や被試験体を汚染しない。
◎人体に害がなく不燃性であるため、取扱いが安全。
◎環境汚染の問題がない。

◎The amount present in air is extremely small (5 ppm)
◎Molecule diameter is small, so easily passes through microscopic holes◎Chemically inert, so exhaust systems and items undergoing testing are not contaminated◎Non-flammable, so harmless to the human body and safe
◎No environmental pollution problems

システム構成System Configuration
Helium Leak Test

本体ユニットの標準化により、フルオーダー製品よりも仕様の選定が簡単です。
Standardization of main units makes selecting specifications eveneasier than custom-made products.

本体ユニット（標準品）

チャンバユニット

ガス回収増圧ユニット

Main Unit（Standard）

Chamber

Gas Recovery and Intensifier Unit

真空チャンバ法

大気圧チャンバ法

Vacuum Chamber Method

Atmospheric Pressure Chamber Method

1.ワーク内、チャンバ内を真空引きします。
2.ヘリウムガスをワーク内に充填します。
3.チャンバ内を吸引し、漏れを検出します。

1.真空引きしたワーク内にヘリウムガスを充填します。
2.チャンバ内に漏れ出たガスを一定時間溜め込みます（濃度を安定させるため）。
3.チャンバ内を吸引し、漏れを検出します。

チャンバ内を真空にすることで高精度の検出が可能です。
1. Vacuum the inside of each of the test item and the chamber.
2. Put helium gas in the test item.
3. Suction the inside of the chamber and detect the leakage.
Making the chamber interior a vacuum enables leak detection
with high accuracy.

真空部品不要のため装置の構成がシンプルになります。
1. Fill the interior of an evacuated test piece with helium gas.
2. Let the gas that has leaked into the chamber accumulate
for a fixed amount of time (to stabilize the concentration).
3. Suction the inside of the chamber and detect the leakage.
This method does not require any vacuum parts, which results
in reduced costs.

【基本動作フロー図】【基本動作フロー図】

Basic Operational Flow

Basic Operational Flow

スタート

スタート

Start

Start

ワーク内真空引き１
Air purged within work:1

異常●コントロールユニット●測定ユニット●標準リーク接続機構●ガス供給ユニット●ガス混合ユニット（仕様により、ガス回収ユニットに搭載）

試験体に合せて治具とチャンバを設計し、カスタマイズするため、残容積を最小限に抑え、高感度な測定ができます。
●チャンバ●シール・クランプ治具

Error

大漏れ確認
Large leak confirmed※ガス回収を行う場合やテスト圧1MPa以上でご使用の場合は、設置を推奨いたします。

※テスト圧20MPa以上は、フルオーダー製品（特注）にて承ります。

・Control unit
・Measurement unit
・Standard leak connection mechanism
・Gas supply unit
・Gas mixing unit ‒Installed in gas recovery
and intensifier system as per specifications※We provide dedicated machines (by special order) for
test pressures of 20 MPa and over.

使用済みのヘリウムガスをリサイクルし、ランニングコストを低減します。
●ガス回収タンク ●蓄圧タンク●増圧器●ガス混合器・濃度計

Because jigs and chambers are designed andcustomized to suit the test piece, excess space
is kept to a minimum, which facilitates
high-precision testing.
・One chamber (Standard specifications)・Tool/clamp jig

The helium gas used is recycled,
which reduces running costs.
・Gas recovery tank・Accumulated pressure tank・Booster device
・Gas mixing device/concentration meter※Installation recommended if performing gas
recovery or using a test pressure of 1 MPa and over.

ワーク内真空引き１
Air purged within work:1

ここでの「大漏れ」は、真空度が一定以上あがらない状態をさします。

異常
Error

"Large leak" used here refers
to a degree of vacuum
that does not rise above
a set level.

大漏れ確認
Large leak confirmed

チャンバ内真空引き

異常表示点灯

He加圧

Air purged within the chamber

Error indicator light turns on

Helium pressurization

異常

チャンバ内BG確認

リセットボタン

検出(大気圧状態)

Error

BG confirmed in the chamber

Reset button

Detected(Under atmospheric pressure)

ここでの「大漏れ」は、真空度が一定以上あがらない状態をさします。

"Large leak" used here refers
to a degree of vacuum
that does not rise above
a set level.

NG

NG表示点灯

N/A N/A indicator light turns onOKフルオーダー製品

He加圧

リセットボタンHelium pressurization

Reset button

試験体のサイズや特徴、検査規格や工程環境によって、標準的なシステム構成では対応できない場合があります。
フクダではフルオーダー製品、専用装置もご提案させていただきます。
①エアリークテスト付帯によるライン稼働率向上の提案 ②流星検査等を付帯する特性検査複合機の提案 ③全自動化、半自動化等工程に合致した装置の提案④使用機器の構成や計測機器の複合等フルオーダーの提案 ⑤高圧ガス保安法対応 ⑥He 回収・増圧及び混合装置の提案

Full order products
The standard system configuration may not be sufficient due to the size and characteristics of the test piece. inspection
standards and process environment. FUKUDA can also providefull-order and products and other dedicated equipment.
①Offer for improving line operation rate by incidental air leak testing ②Offer on characteristic inspection multifunction units using flow rate inspection, etc.
③Offers on devices that match the process such as full automation and / or semi-automation④Offers on full order types such as configuration of equipment used and combinations of measuring equipment etc.
⑤Compliant with the High Pressue Gas Safety Act ⑥Offers on He recovery / pressure boosting and mixing equipment

参考例：各工程での判断基準 Reference examples: Gauge by each process
判定レベル
Judgment level

大漏れⅠ

大漏れ Ⅱ

テスト圧

BG確認

測定

Large leak I

Large leakⅡ

Test pressure

BG confirmation

Measurement

1×10-2

1×10-3-0% 〜 +10%

1×10-4

1×10-5〜8

N/A

NG表示点灯

He回収

チャンバ内洗浄N/A indicator light turns on

Recovery of helium

Cleaning of the inside of the chamberOK
リセットボタン

リセットボタン

Heガス排気ディテクタ洗浄

Reset button

Reset button

Helium gas discharge

Cleaning of the detector

He回収

チャンバ内洗浄

ワーク真空引き2

Recovery of helium

Cleaning of the inside of the chamber

Air purged within work:2

Heガス排気ワーク内復圧Helium gas discharge

Pressure recovery in the test system

ワーク取り出し
Fetching of the work

リーク値

ワーク内復圧

検出感度が下がります
The detection sensitivity will decrease.

Leak value

Pressure recovery in the test system

圧力計

差圧式リーク

圧力計

ヘリウムディテクタ

Differential pressure leak

ヘリウムディテクタ

Pressure gauge

Helium detector

Helium detector

判定方法

圧力保持不可 NG

エアリークテスト NG

圧力未到達 NG

Pressure retention not possible NG

Air leak test NG

Pressure not reached NG

B.G. NGNG

ワーク真空引き2

Pressure gauge

Judgment method

検出（真空状態）
Detected (Under vacuum)

Air purged within work:2

Judgment device

判定器

異常表示点灯Error indicator light turns on

チャンバ内 真空引き時
判定工程

チャンバ内 真空引き時

Judgment process

When evacuating from the chamber

When evacuating from the chamber

ワーク加圧時

チャンバ内B.G. 確認時

検出工程時

ワーク加圧時When pressurizing the work

When checking B.G. in the chamber

During the detection process

When pressurizing the work

1

判定基準

大漏れ

大漏れ

テスト圧異常B.G. 異常Criterion

Large leak

Large leak

Abnormal test pressure

B.G. Abnormal

検査規格 合否判定

ワーク取り出し
Fetching of the work

Inspection standard pass /fail judgment※フクダのヘリウムリークシステムは、
誤判定の消滅や工程能力の向上及びライン停止の低減を目指し、より安定して装置をご使用いただけるように複数の工程での漏れ確認を推奨しています。
※FUKUDA's helium leak system aims to eliminate false positives, improve process capability, and reduce line outages. We recommend checking for leaks in multiple processes so that the device can be used more stably.

※検査する製品のことを
「ワーク」
「試験体」
と呼びます。

※The product to be inspected is called "work" or "test piece".

2

※漏れ規格はワークの種類・チャンバ寸法による。

■仕

様

テスト圧

5×1 0 - 8 P a・m 3 /sSpecifications① 〜1.0MPa ②1.0〜5.0MPa③5.0〜20.0MPa④20.0MPa以上（特注対応）■形① 〜 1.0MPa

Test pressure①大気圧チャンバ法②真空チャンバ法

Testing Method

漏れ規格

大気圧チャンバ法
真空チャンバ法

5×1 0 - 5 P a・m 3 /s
5×1 0 - 8 P a・m 3 /s

Leak standard

チャンネル

1ch

10〜100%）※低濃度の場合は要相談※チャンネル数増加の場合は要相談

チャンバ内寸法（3種）①W200×D200×H100mm②W600×D300×H200mm③W900×D400×H300mm

試験ガス回収率

80%以上

※要相談

Test gas
Channel1ch

0.4MPa 以上

質

本体ユニット 700kg
ガス回収・増圧ユニット ３５０kg

量※高圧ガス保安法のための添付書類の作成が可能です。
申請同行については、別途見積になります。

型式選択についてTest gas collection rate
Power supply
voltage

Mass※Consultation is required when thenumber of channels increases①W200×D200×H100mm②W600×D300×H200mm③W900×D400×H300mm※Other sizes are required

80% or higher※Consultation required

90 〜110, 200 〜 240 VAC
60/50Hz electricity consumption 6kW※May change depending on speciﬁcations

0.4MPa or higher
Main body 700ｋｇ
Gas Recovery and Intensiﬁer Unit 350ｋｇ※We can prepare the application forms required for the High Pressure Gas
Safety Act in Japan. However, estimates for agency application are handled
separately.

本体ユニットMain Body⑥基準リークの選択⑥ Selection of Standard Leaks（漏れ量によっては製作不可や近似値となる場合があります。ご相談ください。）⑦エリアセンサの選択
危険抑制用の安全対策です。
チャンバサイズに合わせて選択ください。
※安全カテゴリーに関しては別途打ち合わせが必要です。
（カテゴリー2を標準）This is a calibration device for helium inspection machines.
FUKUDA can manufacture a machine to suit your requirements.
(Depending on the leak rate, it may not be possible to manufacture
or it may be only be to an approximate value. Please contact us).
⑦ Selection of Area Sensor

This is a safety measure for risk control. Please selectaccording to the chamber size.
※
A separate meeting is required for the safety category.
(Category 2 is standard)●テスト圧 ●ワーク内容積 ●測定時間 ●回収率
上記条件を決定後推奨サイズをご提案します。

•Test pressure• Workpiece content product• Measurement time • Recovery rate
We will porpose the recommended size after determining
the above conditions.
⑧ Selecting the Right Recovery Unit
Select the tank size according to the recovery rate andrecovery time. FUKUDA will consider your request andrecommend an appropriate size.
⑨ Accumulator tank selection
We offer explanations whether it is needed in your system
or not, and also how to use it.
※
Please contact us for details.
Selecting
the Right Booste⑩
After considering various conditions(test pressure, test piece internal volume, etc.), FUKUDA will
recommend an appropriate size to suit youre quirements.
⑪ Selecting a Gas Mixe and Densitometer
Ifd iluitngh eliumg as, ag as mixer and densitometer isneeded and mixingr atio, density mustb e set.
If non-diluted helium with a density of 100% is to be usedand density control is necessary, please only select adensitometer.

タンクサイズは回収率や回収時問等によって選択します。
ご要望に合わせて推奨サイズをご提案します。

⑨蓄圧タンクの洗濯
要・不要を含めて使用方法をご説明します。※詳細はお問い合わせください。

⑩増圧器の選択
諸条件（テスト圧力やワーク内容積等）
により検査後、推奨サイズをご提案します。

⑪ガス混合機と濃度計の選択
ヘリウムガスの希釈を行う場合、ガス混合機、濃度計が必要となり、混合比、濃度を設定できます。
ヘリウム濃度100％を使用する場合で濃度管理が必要な場合、濃度計のみを選定してください。

その他

Other

⑫洗浄方法の選択
チャンバや配管内を洗浄し正確な測定を保ちます。

⑫ Selection of Cleaning Methods■アクリルカバー ：チャンバユニットを透明なアクリル板でカバー。
■シグナルタワー ：遠くから検査機の状態を確認できます。
■ナガラスイッチ ：手軽に検査をスタートし作業効率を上げます。
窒素洗浄はドライエア洗浄より高い洗浄効果があります。
ドライエア洗浄は窒素を使わないためコストを削減できます。

ガス回収・増圧ユニット

その他

Main Body

Gas Recovery and Intensifier Unit

Other

■ Acrylic Cover：Covers the chamber unit
■ Signal Tower：Confirms the leak test machine status from a remote location■ Flexible Rod Switch：Starts the leak test easily and enhances operability
The nitrogen cleaning method has cleaning effect higher than the dry-air cleaning method.
Dry-air cleaning does not use nitrogen, thus reducing cost.

1
2

0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
a
b
c
d

最高吐出圧力 処理量
タイプ
不要
5MPa
64NL/min23NL/min（吸入圧力0.5MPa） シリンダ式
5MPa〜 31NL/min（吸入圧力0.7MPa） 【空冷】
20MPa
39NL/min（吸入圧力0.9MPa）
81NL/min
15MPa 177NL/min
257NL/min
74NL/min
20MPa
レシプロ式
163NL/min【水冷】
237NL/min
68NL/min
30MPa
149NL/min
218NL/min※上記以外の場合は、別途打ち合わせが必要です。
※上記選択表は概略の選択資料です。

①Power Supply
Voltage②Measurement
Methods(Detector)③Test
Pressure④Chamber
Unit Dim⑫洗浄⑬オプション

2
0
1
2
3
0
1
2
3
4
5
6
7

ガス混合機
濃度計
不要
不要
不要
要
要
要
不要
窒素洗浄
（真空チャンバ）
フレッシュエア（大気圧チャンバ）ドライエア（真空チャンバ）
アクリルカバー シグナルタワー
不要
不要
要
不要
要
要
要
要
要
不要
不要
要
不要
要
不要
不要

3
4

90 〜 110VAC
200 〜 240VAC
Atmospheric Pressure Chamber

Measurement Range

HELIOT ZERO Sniﬀer speciﬁcations
HELIOT 900 Sniﬀer speciﬁcations

1.7×10-5Pa・m3/s
1.7×10-5Pa・m3/s

Vacuum Chamber

Measurement Range

HELIOT ZEROHELIOT 900

5×10-8Pa・m3/s
5×10-8Pa・m3/s

1
2
3〜 1.0MPa
1.0 〜 5MPa
5.0 〜 20.0MPa※Pressure higher than 20.0MPa is offered by custom-order specifications.
※Pressure higher than 1.0MPa requires submitting a document based on theHigh Pressure Gas Safety Act.

1
2
3

L200×W200×H100mm
L600×W300×H200mm
L900×W400×H300mm※Dimensions other than noted here are provided by custom-order specifications.

1ch
None
10-5Pa・m3/s
10-6Pa・m3/s
10-7Pa・m3/s※Leaks other than those noted here are estimated separately.

⑦SafeyMeasures⑧Recovery
Unit

0
1
2
3

None (Both-hand Start-up Equipped)
Area Sensor 400mm
Area Sensor 600mm
Area Sensor 800mm

0
1
2
3

None
5L:Test pressure not greater than 1MPa
10L:Test pressure not greater than 1MPa
20L:Test pressure not greater than 1MPa

※Dimensions other than noted here are provided by custom-order specifications.

備考

0
None
⑨Pressure
5L
Accumulating 1
Tank※Dimensions other than noted here are provided by custom-order specifications.
Maximum Discharge
Pressure⑩Booster

0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
a
b
c
d

Throughput

Type

Not required

5MPa

5MPa 〜
20MPa
15MPa

20MPa

30MPa

64NL/min
CylinderInlet
23NL/min（ pressure
0.5MPa）
type
Inlet
31NL/min（ pressure
0.7MPa） [Air cooling]
Inlet
39NL/min（ pressure 0.9MPa）
81NL/min
177NL/min
257NL/min
74NL/minReciprocating
type
163NL/min[Water cooling]
237NL/min
68NL/min
149NL/min
218NL/min※Specifications other than the above are determinedby separate arrangements.
※The above selection table is based on a rough material.
Details may need to be discussed separately.

⑪Gas MixerandDensitometer

濃度計精度：
10〜100%
精度±10%⑫Cleaning

ナガラスイッチ
不要
不要
不要
要
要
不要
要
要

1
2

⑤Number of Channels 1
0
1
⑥Leak
2
Standards3

詳細は別途打ち合わせが必要です。

⑪ガス混合機、 0
濃度計
1

1
2

※Please contact us if you select from vacuum chamber.

Other⑬オプション

Chambers and pipes are cleaned so that accurate
measurements can always be achieved.
・Atmospheric pressure chamber method: Select fresh air cleaning method
・Vacuum chamber method: Select the nitrogen or dry-air cleaning method⑬ Options

⑩増圧器

その他

・大気圧チャンバ方式→フレッシュエア洗浄を選択
・真空チャンバ方式→窒素または、
ドライエア洗浄を選択

本体ユニットGas Recovery and Intensifier Unit

Gas Recovery and Intensifier Unit

ガス回収・増圧ユニット

ガス回収・増圧ユニット⑧回収タンクの選択⑫⑬

AC90〜110V
AC200〜240V
大気圧チャンバ法
測定範囲
HELIOT ZERO スニファー仕様 1.7×10-5Pa・m3/s
1
HELIOT 900 スニファー仕様 1.7×10-5Pa・m3/s
2②測定方式
真空チャンバ法
測定範囲（ディテクタ）3
HELIOT ZERO
5×10-8Pa・m3/s
4
HELIOT 900
5×10-8Pa・m3/s※真空チャンバ法から選択する場合お問い合わせください。
1〜1.0MPa2
1.0〜5MPa③テスト圧
35.0〜20.0MPa※20.0MPa以上は特注仕様にて承ります。
※1.0MPa以上は高圧ガス保安法書類必要になります。
1
縦200mm、
横200mm、
高さ100mm④チャンバ
2
縦600mm、
横300mm、
高さ200mmユニット
3
縦900mm、
横400mm、
高さ300mmサイズ※上記以外は特注仕様にて承ります。
⑤チャンネル数 1
1ch
0
不要
1
10-5Pa・m3/s⑥基準リーク2
10-6Pa・m3/s
3
10-7Pa・m3/s※上記以外の場合は、別途見積りになります。
0
不要(両手起動標準装備)
1
エリアセンサ 400mm⑦安全対策
2
エリアセンサ 600mm
3
エリアセンサ 800mm
0不要
5L：テスト圧1MPa以下
1⑧回収タンク2
10L：テスト圧1MPa以下
3
20L：テスト圧1MPa以下※1MPa以上は高圧仕様となり別途打ち合わせが必要です。
0不要⑨蓄圧タンク1
5L※上記以外の場合は、特注仕様にて承ります。

①電源電圧

Regarding Model

ヘリウム検査装置の校正用機器です。
ご要望の閾値に合わせて製作します。

5

Dimensions
within chamber(3 types)

Air pressure source

空圧源

⑧-⑨⑩⑪

Main Body

AC90〜110V AC200〜240V
60/50Hz 消費電力6kW※仕様により変更有①②③④⑤⑥⑦①Atmospheric pressure chamber method②Vacuum chamber method

本体ユニット

電源電圧※その他のサイズは要相談

HES-2000 -③5.0 〜 20.0MPa

A t m o s p h e ri c p re s s u re c h a m b e r m e t h o d
5×10 -5 P a・m 3 /s
※Leak standards depend on the
Vacuum chamber method type of test pieces and chamber
dimensions
5×10 -8 P a・m 3 /s
Helium gas※In the case of low concentration,(gas concentration 10 〜 100%) consultation required※漏れ規格はワークの種類・チャンバ寸法による。

ヘリウムガス（ガス濃度②1.0 〜 5.0MPa

Model④20.0MPa or higher（Available upon request）

測定方式

試験ガス

式

⑬OtherOptions

0
1
2
0
1
2
3
0
1
2
3
4
5
6
7

Gas Mixer
Densitometer
RemarkThe accuracyNoNoof densitometerNo
Yes
10 〜 100％
Accuracy±10％
Yes
Yes
None
Nitrogen Cleaning (Vacuum Chamber)
Fresh Air (Atmosperic Pressure Chamber)Dry Air (Vacuum Chamber)
Acrylic Cover
Signal Tower Flexible Rod Switch
No
No
No
Yes
No
No
Yes
Yes
No
Yes
Yes
Yes
Yes
No
Yes
No
Yes
No
No
Yes
Yes
No
No
Yes

6