MANUAL STAGES

中央精機の手動ステージ
はじめに
当社はステージメーカーとして、お客様のご要望にお答えするために、多くのステージを製造販売しています。当社の手動ステー
ジは、従来から各仕様の位置付けを明確にし、お客様がその目的に応じて選択しご使用いただけるように、多くの品種を取り揃えています。また、当社の自動ステージとの互換性も考慮し、各種ステージの取り付け基準穴、取り付けねじを共通にしました。
また、設計面・製造面において原価低減を図り、皆様にご提供できるよう日々努力しています。

特1

長①ステージ面寸法、移動量、移動精度、価格など、各仕様の位置付けを明確にしていますので、用途に合わせての選択が容易です。
②ステージ面の取り付けねじ穴とベース底面の取り付け穴位置に互換性があり、お客様の用途に合わせて自由な組み合わせが可能です。
③ほとんどのステージに、クランプ機構が標準で装備されています。
④アフターサービス、サポート体制が充実しています。
表3

基本的なステージ面の大きさ
回転ステージ
D-T 方式のステージ

以外

D-T 方式のステージ

30 ㎜× 30 ㎜

回転ステージφ 30 ㎜

40 ㎜× 40 ㎜

40 ㎜× 40 ㎜

φ 40 ㎜

60 ㎜× 60 ㎜

40 ㎜× 60 ㎜

φ 60 ㎜

90 ㎜× 90 ㎜

40 ㎜× 90 ㎜

125 ㎜× 125 ㎜
125 ㎜× 150 ㎜

φ 90 ㎜
φ 125 ㎜

40 ㎜× 140 ㎜■ステージ面の大きさ
当社手動ステージのステージ面の大きさは、基本的に表 3 の種類を採用しています。
■ベースの取り付け穴【図 7】
基本的なステージ下面に開いている穴の位置と大きさは、図 7 のように統一され、互換性を有しています。各製品の組み合わせの際にご利用ください。
また、ステージを取り付ける部品の平面精度を出すようにお願いします。ステージによって、構造上取り付ける部品の平面精度が出ていないと、ステージ本来の精度が発揮できないときがあります。
■ステージ面のねじ穴【図 8】
基本的なステージ上面に開いているねじの位置と大きさは、図 8 のように統一され、互換性を有しています。また、ステージ上面のねじと、ステージ下面の穴の位置と大きさは、互換性を有していますので、いろいろなステージの組み合わせが可能です。
各製品の組み合わせ、お客様の搭載物（試料など）を取り付ける際にご使用ください。
また、ステージに取り付ける部品の平面精度を出すようにお願いします。ステージによって、構造上取り付ける部品の平面精度が出ていないと、ステージ本来の精度が発揮できないときがあります。

A 186

MANUAL STAGES

ベースの取り付け穴【図 7】■回転ステージ以外

125㎜×125㎜，125㎜×150㎜

50

100

50

φ1150

50

4φ32

32

17

D-T方式のステージ

100

32

90㎜×90㎜

5040㎜×40㎜

241712 1230㎜×30㎜
4-M2深560㎜×60㎜

4-M3

6-2.5ｷﾘ4.3深ｻﾞｸﾞﾘ

4-3.5ｷﾘ
6深ｻﾞｸﾞﾘ

4-4.5ｷﾘ
7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

4-4.5ｷﾘ 7.5深ｻﾞｸﾞﾘ
4-4.5ｷﾘ 7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

4-4.5ｷﾘ 7.5深ｻﾞｸﾞﾘ
4-4.5ｷﾘ 7.5深ｻﾞｸﾞﾘ■回転ステージ

φ125㎜100φ90㎜
φ60㎜
φ30㎜

φ39㎜

24325050

4

φ111005050

2432

4

φ114-3.5ｷﾘ
6深ｻﾞｸﾞﾘ

4-2.5ｷﾘ
4.3深ｻﾞｸﾞﾘ

4-4.5ｷﾘ
7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

4-4.5ｷﾘ 7.5深ｻﾞｸﾞﾘ
4-4.5ｷﾘ 7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

4-4.5ｷﾘ 7.5深ｻﾞｸﾞﾘ
4-4.5ｷﾘ 7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

ステージ面のねじ穴【図 8】■ D-T 方式のステージ、回転ステージ以外

125㎜×125㎜，125㎜×150㎜

D-T方式のステージ、回転ステージ以外

25252544

φ112525

φ112525

16

1212M6M6深5.58-M3深5258-M2

2525

1625

16252525

12161225

60㎜×60㎜

40㎜×40㎜

30㎜×30㎜

2590㎜×90㎜

M16P1

8-M4

12-M4

M16P1
24-M4（ラックピニオンステージ、長作動ステージは除く）
D-T方式のステージ
40㎜×60㎜
12.5

12.5
12.5 12.5

12.5
12.5

12.5

12.5

12.525

12.5

M6

8-M4

12.5

12.525

12.5

12.5

12.5

M6深8

6-M4深840㎜×140㎜

12.5

12.5

12.5 12.5

12.5

12.5

M16P1

40㎜×90㎜

12.5

40㎜×40㎜

8-M4

12-M4

M6

M6

φ125㎜

■回転ステージ

252525254

φ11252425

12 12

φ324-M2

M6

4-M3

25

M6252525

24

12 12

φ39㎜

12 12

φ30㎜
12 12

4-M2

25

φ90㎜
25

φ60㎜

8-M2

M6
8-M4

M16P1

24-M4

M16P1

187 A

MANUAL STAGES分2類

当社のステージは、採用している案内方式により、基本的に表 1 の 4 種類に分類されます。
案内方式

構造

アリ（DT方式）

硬鋼線と鋼球（N-B方式）

V溝レールと鋼球（V-B方式）

V溝レールとクロスローラ（V-CR方式）

軌道面として転がり接触ではなく、台 軌道面として左右2本ずつの4本の硬鋼線 軌道面として向き合った2本のV溝レール 軌道面として向き合った2本のV溝レールにロー形状のオスアリとメスアリのアリ溝機 （ニードル）を使用し、その間に鋼球を配列 に鋼球を配列させ、鋼球がV溝を転がりな ラを交互に直交して配列させ、ローラがV溝を構を採用したすべり接触の案内です。 させ、鋼球が硬鋼線を転がりながら移動す がら移動する案内です。
転がりながら移動する案内です。
る案内です。

・案内部はすべり接触ですので、オス ・硬鋼線を使用することで、ステージとし ・V溝レールは焼入れ硬化後、高精度研削 ・V溝レールは焼入れ硬化後、高精度研削加工
アリとメスアリの摺り合わせを行い、 ての製作工数を下げ、安価なステージと 加工が施され、高い平行度、平面度となっ が施され、高い平行度、平面度となっています。
滑らかに摺動するように組み立てら して提供しています。ていますので、真直度の良い案内が得ら ローラは円滑な動作ができるよう、鏡面に近長れています。
・荷重に弱いため、い特殊仕上になっており、径のバラツキも不ステージ本体の材質も、 れます。
・移動精度は、V-CRと同等で、耐荷重は、N- 均一さもなく、非常に高精度な案内が得られ・当社ステージでは、主として駆動機 アルミ材を使用しています。
構にラックピニオン方式を用いています。
Bよりも良くV-CRより少し劣ります。
・構造上、V溝とローラが線で接触しているたます。
・他のステージに比べ、長ストロークめ、高精度な移動精度と大きな耐荷重が得らで安価です。
れます。

特・精度をあまり要求しない、単なる位 ・精度をあまり必要としない、軽荷重用の ・高精度、中荷重用の精密位置決めステー ・高精度、重荷重用の精密位置決めステージに置決め用のステージに採用しています。 ステージに採用しています。
採用しています。
ジに採用しています。
低倍率顕微鏡、観察用TVカメラの焦 ・軽量、軽荷重の微動位置決めに最適です。 ・光学実験などにおける精密送り、精密微 ・光学実験などにおける精密送り、精密微調整準装置や、試料の位置合わせに最適 ・中央に貫通穴があり、透過光仕様の載物 調整位置決めなどに最適です。
位置決めなどに最適です。
途
・各種生産機械、検査装置における精密な位置です。
台として使用できます。
決めや測定などに使用できます。
・装置における精密な定量送り、あるいは移動量の測定など測長的な使用ができます。

用

移動精度

△

耐 荷 重○

剛性◎

表1

案内方式の構造や特長

精3◎：優○：良○

◎

◎

△△○○

◎◎

△：並度

当社の手動ステージの多くは、主としてマイクロメータヘッドにより分解能の細かい送りをすることができ、また、移動するテーブルとマイクロメータヘッドのスピンドルとの間をスプリングローディングすることにより、再現性が良くバックラッシュもほとんど無視できるほど最小になるように設計されています。したがって送り精度は、マイクロメータヘッド自身の送り精度、およびステージの移動による真直度に依存するところが非常に大きいといえます。

①送り精度
当社のステージのうち、移動ガイド（案内方式）として V-CR 方式を採用したステージについては、精密位置決め用のほかに測長用にも使用できるということから、送り精度を考慮しています。これはマイクロメータヘッドの精度、ステージの真直度および両者の連結精度などの誤差要因を合わせて、次のようになるよう製作しています。
送り精度60 ╳ 60、90 ╳ 90 ステージに対して（1 ＋ 2L/10）㎛以下
125 ╳ 125、125 ╳ 150 ステージに対して（1+L/10）㎛以下
ただし、L は送り量（㎜）とする。
しかし、これもマイクロメータヘッドがステージの中心移動軸上にあるタイプの精度で、ステージ側面にマイクロメータヘッドがついているものや、D-T 方式、N-B 方式および V-B 方式のステージについてはこの限りではありません。

A 188

MANUAL STAGES

基②真直度
【図 1】
［JIS B 6191-1993 準拠］

移動量

準 長さ

「直進運動する運動部品の運動の幾何学的直線からの狂いの大きさ。
」
基準位置から一方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置での変位長さと基準位置との差をその位置の測定値とします。

最大値

基準位置と最終測定位置での測定点を結んだ幾何学的直線との最大差を「真直度」と変位（長さ）

図1

します。

X 軸ステージ、X・Y 軸ステージの真直度は、案内方式、ステージの大きさ、材質などで違いますが、基本的に表 2 のとおりです。
詳細や他のステージについては、個々の仕様表をご覧ください。
表2

基本的な X 軸、X・Y 軸ステージの真直度

X 軸ステージ
X・Y 軸ステージ

N-B

V-B

V-CR

大きさ

アルミ製

鉄製

アルミ製

鉄製

ステンレス製□ 300.010.003

0.003

0.0020.002

□ 40

─

─0.003──□ 600.010.003

0.003

0.002

0.002

□ 900.020.003

0.003

0.002

0.002

□ 125

0.020.004

0.003

0.003

0.003

③ヨーイング・ピッチング【図 2】［JIS B 6191-1993 準拠］「直進運動すべき運動部品の運動中の姿勢の狂いの大きさ

最大値

移動量

基 準

長 さ変位（角度）であって、運動部品が直進運動するときに生じる角度の偏差。」
基準位置から一方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置で基準位置に対して水平方向変位角の最大値を「ヨー移動量

基最大値

準長さ変位（角度）イング」とします。

図2

同様に、それぞれの位置で基準位置に対して垂直方向変位角の最大値を「ピッチング」とします。

④ XY 直交度【図 3】［JIS B 7440-1987 準拠］「直行する 2 軸間の直角度は、運動の真直基準となる幾何学的直線に直角な幾何学Ｘ軸。
90の軌道的直線に対し、他方の直線運動の狂いの大きさ。」
X 軸ステージの基準位置と最終測定位置での真直度（水平）の幾何学的直線を基準軸とします。
X 軸ステージ基準軸に対し、直角の幾何学的直線に対する Y 軸ステージの基準位置から最終測定位置までの水平誤差の最大値を「XY 直交度」とします。

Y軸の軌道

図3189 AMANUAL STAGES

⑤心円度
【図 4】
［JIS B 6191-1993,B 6194-1997 準拠］「円であるべき部分の幾何学的円からの狂いの大きさであって、平面内にある線は、その線上のすべての点が二つの同心円の間にあり、円の半径方向の間隔の差が最小

面振れ

心円度となる場合のこの二つの同心円の半径方向の間隔の差で表す。
」
幾何学的円に対する、測定値の最大差を心円度としています。

⑥面振れ
【図 4】
［JIS B 6191-1993 準拠］「一つの軸を中心として回転する端面が回転中にこの軸に直角な一平面から外れる大きさ。」

図4

回転ステージのステージ上面のスラスト（垂直）方向の振れの最大値を「面振れ」とします。

⑦回転中心精度
【図 5】
［中央精機

社内規格］

ゴニオステージのステージ上面から理想回転中心までの位置を基準とし、ステージを位置決めした時の、理想回転中心に対する最大差を測定します。最大差を半径と回転中心精度
回転中心
ステージ上面よりした球の直径を「回転中心精度」とします。

⑧モーメント剛性【図 6】［JIS B 6201-1993 準拠］
1N・㎝当たりのモーメント負荷による手動ステージの変位角（sec）を「モーメント剛性」とします。
モーメント剛性はモーメント負荷の方向により種類があり、手動ステージの種類に図5より異なります。
X 軸、X・Y 軸、Z 軸ステージはヨー剛性、ピッチ剛性、ロール剛性の 3 種類を設定します。
モーメント剛性の数値が小さいほど、モーメント負荷による自動ステージの変位がヨー剛性
ロール剛性

小さく、剛性に優れていることを示します。
■ X 軸、X・Y 軸、Z 軸ステージのモーメント剛性①モーメント剛性（ヨー剛性）②モーメント剛性（ピッチ剛性）③モーメント剛性（ロール剛性）
X・Y 軸ステージの場合は下軸が基準となります。

A 190

ピッチ剛性

図6MANUAL STAGES

4

ステージの取り付け方法

ステージを取り付ける部品の平面精度を出すようにお願いします。ステージによって、構造上取り付ける部品の平面精度が出ていないと、ステージ本来の精度が発揮できないときがあります。
外観上、取り付け穴の見える製品については説明を省略します。

① X 軸、X・Y 軸ステージ
1.マイクロメータヘッドを取り外し、クランプねじが緩んでいることを確認してください。
X・Y 軸ステージは X 軸（下軸）を確認してください。
（図 9）
クランプねじを緩めるときは、テーブルがスプリングの力によって強く戻ります

図9のでご注意ください。
2.テーブルを手で取り付け穴が現れるまで移動させ、付属の取り付けねじを入れ仮止めします。
（図 10）
3.テーブルを手で反対側へ取り付け穴が現れるまで移動させ、付属の取り付けねじを入れ固定します。
（図 10）

図 10

4.再度反対方向へテーブルを移動し、仮止めしていたねじを本固定します。
（図 10）
ステージには、クランプねじ、マイクロ台、マイクロ当てを外さないと、取り付け穴が現れないものがあります。取り付け穴が現れない場合は、取り外して行ってください。
マイクロメータヘッドがステージの中心に取り付いているものは、マイクロ台を取り外してください。
（図 11）

マイクロ台

図 11

マイクロメータヘッドがステージの側面に取り付いているものは、マイクロ当てを取り外してください。
（図 12）
ステージを取り付けた後に、マイクロ台、マイクロ当てを取り付けてください。マイ

マイクロ当てクロ台、マイクロ当ての取り付けは、ステージ本体に対して平行や直角をなるべく合わせるように取り付けてください。厳密に合わせなくてもステージの精度に影響はありません。
図 12

191 A

MANUAL STAGES②回転ステージ【図 13】
1.テーブル面に、ねじ穴とは別に取り付けねじ落し穴が開いています。
クランプがされていないことを確認してください。
2.テーブルを回して取り付けねじ落し穴を取り付け穴の位置へ合わせ、取り付けねじを入れ仮止めします。これを取り付け穴の数だけ行ってください。
図 13

3.再度テーブルを回し、取り付けねじ落し穴を取り付け穴の位置へ合わせ、ねじの本固定を全て行ってください。

③傾斜ステージ【図 14】
1.クランプねじが緩んでいることを確認し、テーブルをハンドルで取り付け穴が現れるまで移動させ、付属の取り付けねじを入れ仮止めします。
2.テーブルをハンドルで反対側へ取り付け穴が現れるまで移動させ、付属の取り付けねじを入れ固定します。

図 14

3.再度反対方向へテーブルを移動し、仮止めしていたねじを本固定します。

5

ステージへの取り付け方法

ステージに取り付ける部品の平面精度を出すようにお願いします。ステージによって、構造上取り付ける部品の平面精度が出ていないと、ステージ本来の精度が発揮できないときがあります。
ステージへの部品などの取り付けは、テーブルを手などで押えて行ってください。移動ガイドに許容以上の負荷がかかりますとガイドに傷が付き、精度が低下します。
ステージへの部品などの取り付けを先に行い、ステージの取り付けを後に行うことをお勧めします。

A 192

MANUAL STAGES

6目盛の読み取り方法

当社のほとんどのステージには、テーブルの位置（移動量）が読み取れるように目盛が付いています。
各ステージによって最小読み取り単位が違いますので、ここでは代表的な目盛について説明します。

①マイクロメータヘッド【図 15】
0.01 ㎜読みの場合

1.シンブル端面の位置がスリーブの何㎜の位置にあるかを 0.5 ㎜単位で読みます。
図 15 の場合 7.5 ㎜
2.スリーブの基準線とシンブルの目盛線が一致している位置のシンブルの値を読み

1スリーブ
0スリーブ基線

シンブル

540235ます。

図 15

図 15 の場合 0.38 ㎜
3.1 と 2 の値を合計した値がステージの現在の位置となります。
図 15 の場合 7.88 ㎜②スケール（主尺）とバーニヤ（副尺）【図 16】
直動ステージ

0.1 ㎜読みの場合

1.バーニヤの 0 の位置がスケールの何㎜の位置にあるかを 1 ㎜単位で読みます。
図 16 の場合 14mm
2.スケールの目盛線とバーニヤの目盛線が一致している位置のバーニヤの値を読み

1バーニヤ
スケール

20010102030ます。
図 16 の場合 0.7 ㎜

図 163.1 と 2 の値を合計した値がステージの現在の位置となります。
図 16 の場合 14.7 ㎜③スケール（主尺）とバーニヤ（副尺）【図 17】
回転ステージ5′読みの場合

1. バーニヤの 0 の位置がスケールの何°の位置にあるかを 1°単位で読みます。

スケール

350

バーニヤ

600103020030304060

図 17 の場合 14°
2.スケールの目盛線とバーニヤの目盛線が一致している位置のバーニヤの値を読1みます。

2

図 17

図 17 の場合 45′
3.1 と 2 の値を合計した値がステージの現在の位置となります。
図 17 の場合 14° 45′④スケール（主尺）とバーニヤ（副尺）【図 18】
傾斜ステージ5′読みの場合

スケール

1. バーニヤの 0 の位置がスケールの何°の位置にあるかを 1°単位で読みます。
図 18 の場合 4°

10

バーニヤ

2.スケールの目盛線とバーニヤの目盛線が一致している位置のバーニヤの値を読みます。

10012

図 18

図 18 の場合 45′3.1 と 2 の値を合計した値がステージの現在の位置となります。
図 18 の場合 4° 45′

193 A

MANUAL STAGES

ハンドルの種類7D-T 方式のステージに使用している基本的なハンドルの種類は、写真 1 のような 4 種類です。

片ハンドル

両ハンドル

写真 1

粗微動ハンドル

粗微動両ハンドル

マイクロメータヘッドの種類と移動量8

マイクロメータヘッドを使用した X 軸、X・Y 軸ステージは、表 4 のようにステージの大きさ、マイクロメータヘッドの種類によって、目量（読み取り単位）と移動量が決まります。
表4マイクロメータヘッドの種類と移動量

ステージの大きさ（㎜）30 × 3040 × 40

60 × 60

90 × 90

マイクロメータヘッドの型式

目量（㎜）

移動量（㎜）

CMH-6.5F0.01± 2.5、± 3

CMH-12S0.001± 0.5

CMH-13RM0.01± 6.5

MHF2-13

粗動 0.01
微動 0.0005± 6.5

MHS4-6.5FP

0.002

±3

CMH-15F

0.01±5CMH-13RM

0.01

± 6.5

MHF2-13

粗動 0.01
微動 0.0005±5± 6.5

MHS4-6.5FP

0.002

±3

CMH-15F

0.01

± 7.5

MHF2-13

粗動 0.01
微動 0.0005±5± 6.5

ステージの大きさ（㎜）

125 × 125

125 × 150

マイクロメータヘッドの
型式

目量（㎜）

移動量（㎜）

MHN1-25T

0.01± 12.5

MHF2-13

粗動 0.01
微動 0.0005±5± 6.5

MHN1-25M0.001± 12.5

MHH1-50T

0.01

± 25

MHD-50M-MIT0.001± 25※ MHF2-13 は、粗微動マイクロメータヘッド。

※ CMH-12S は、差動マイクロメータヘッド。

9クランプ方法

クランプは、クランプねじまたはクランプレバーを締めるだけ

ステージ面↓で簡単に行えます。
（図 19）
クランプを行ったときに、テーブルが極力動かないよう考慮しています。

クランプレバー

クランプレバーのタイプ（D-T 方式のステージ）は、レバーがクランプレバー固定ネジテーブルより出ないように組み立てていますが、もしテーブルより出る場合はレバー位置の調整を行えます。図のようにクラン
プレバー固定ねじ、クランプレバー等を取り外し、クランプレ

図 19

図 20

バーを反時計回りに 60°ずらした位置にし、クランプレバー固定ねじで固定します。
（図 20）
クランプをしたままハンドルまたはマイクロメータヘッドを回さないでください。クランプをしたまま無理矢理ハンドルまたはマイクロメータヘッドを回しますと、ステージを破損する恐れがありますのでご注意ください。

A 194

MANUAL STAGES

10

テーブル

基本構造と移動方法

ベース① D-T 方式のステージ【写真 2】
ベース板を取り外すことにより、XY、Z、XYZ、XZ への組み替えが可能になっています。

ベース板

ハンドル

D-T 方式のステージには、移動方法として主にラックピニオン方式を採用しています。
ベースおよびベース板が固定側で、ハンドルを回すことによりテーブルが移動します。

クランプレバー
写真 2

テーブル② N-B、V-B、V-CR 方式のステージ【写真３】

マイクロ当て移動するテーブルとマイクロメータヘッドのスピンドルとの間をスプリングローディングすることにより、再現性が良く、バックラッシュもほとんど無視できます。

ベースマイクロ台
マイクロメータヘッド

案内に適当な予圧（プリロード）をかけ、案内のスキマが 0 以下になるよう製作しています。
N-B、V-B、V-CR 方式のステージは、主としてマイクロメータヘッドを使用してテーブルを移動させます。
ベースが固定側で、マイクロメータヘッドを回すことによりテーブルが移動します。

クランプねじクランプ板写真 3

ステージに取り付いているマイクロメータヘッドの向きは 3 種類あります。
（写真 4）
センター（C）
ステージの中心にマイクロメータヘッドが取り付いています。

サイド（S）
ステージの側面にマイクロメータヘッドが取り付いています。

逆サイド（R）
サイドの取り付けと逆方向にマイクロメータヘッドが取り付いています。

写真 4

X・Y 軸ステージは、基本的には X 軸ステージを重ね合わせたイメージですが、ステージの高さを低くするため X 軸（下軸）のテーブルと Y 軸（上軸）のベースを一体構造とした 3 枚構成となっています。
ただし、3 枚構成では XY の直交度が加工精度で決まってしまいます。
測長用としても使用される V-CR 方式を採用したステージには、X 軸ステージを重ね合わせて直交度を精度よく組み立てているステージもあります。
N-B、V-B 方式のステージで直交度の高精度のものを必要とされる場合は、ステージの高さが少し高くなりますが、X 軸ステージを重ね合わせた X・Y 軸ステージをご検討のうえお問い合わせください。

195 A

MANUAL STAGES③回転ステージ

テーブル

粗動のみの回転ステージ【写真 5】
テーブルを回転させるための、ハンドルやマイクロメータヘッドなどは付いていません。
テーブルを手などで直接回転させます。

ベース

クランプ機構は付いていません。

写真 5

粗微動のできる回転ステージ【写真 6】
粗動はクランプがされていない状態で、テーブルを手などで直接回転させます。ク

マイクロメータヘッド

テーブル

ランプねじにて粗動のクランプをし、マイクロメータヘッドにて微動を行います。
このクランプねじは、粗動のクランプですので、微動のクランプはできません。
マイクロメータヘッドの目盛で、テーブルの角度を読むことはできません。

ベース

ギヤー式の回転ステージ【写真 7】

クランプねじ写真 6

ハンドルを回すことにより、テーブルが回転します。

④傾斜ステージテーブル

傾斜 2 方向と回転のできるステージ【写真 8】
各々のハンドルを回すことにより、テーブルが傾斜回転します。
傾斜 1 方向のステージ【写真 9】

マイクロメータヘッドを回すことにより、テーブルが傾斜しベース

ハンドル
写真 7ます。
クランプ機構は付いていません。
2 台を重ねることにより、2 軸の傾斜となります。
マイクロメータヘッドの目盛で、テーブルの角度を読むこと

テーブル
クランプねじマイクロメータヘッドはできません。

ハンドル
ハンドル

傾斜 2 方向のステージ【写真 10】
各々のマイクロメータヘッドまたはアオリねじを回すことにより、テーブルが傾斜します。

テーブル

クランプねじ
ハンドル

ベース

ベース

写真 8

クランプ機構は付いていません。

写真 9

マイクロメータヘッドの目盛で、テーブルの角度を読むことはできません。

テーブル

ゴニオステージ【写真 11】
ハンドルを回すことにより、テーブルが傾斜します。
2 台を重ねることにより、回転中心が同位置の 2 軸の傾斜となります。

ベース
マイクロメータヘッド
写真 10

ベース

ハンドル
写真 11

使用環境

11

手動ステージをご使用の際は、使用環境にもご注意ください。
温度の極端に高いところや低いところ、温度変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでの使用は避け、下記の温度／湿度でご使用ください。
温度10 〜 40°C

湿度

20 〜 80％ RHA 196

ただし、ステージの精度を保証する温度／湿度ではありませんのでご注意ください。

MANUAL STAGES

保12証

当社手動ステージは、工場出荷日から 3 年を保証期間とします。
ただし、お客様の使用上の誤り、衝撃によるガイドレールのキズなどの不具合、天変地変については、保証期間内でも有償修理となりますのでご注意ください。

カタログ仕様表の見方

13移動

方向 ❶ X 軸 1 方向

ス テ ー ジ 面 ❷ 40 ㎜× 40 ㎜
使 用 マ イ ク ロ ❸ MHF2-13

移動量 ❹ ± 6.5 ㎜

量❺目

マイクロメータ式
粗動 0.01 ㎜、微動 0.0005 ㎜

移 動 ガ イ ド ❻ V 溝とクロスローラ
移耐質

❶移動方向
ステージの移動方向

動精荷度 ❼ 真直度 0.003 ㎜（3kgf）重 ❽ 29.4N

量 ❾ 0.18 ㎏（アルミ合金）❼移動精度
ステージの真直度（X、X・Y、Z 軸ステージ）
ステージのヨーイング・ピッチング❷ステージ面ステージ移動面の大きさ（X、X・Y、Z 軸ステージ）
ステージの心円度（回転ステージ）
ステージの面振れ（回転ステージ）❸使用マイクロステージに使用しているマイクロメータ
ヘッドの型式❽耐荷重
ステージの精度を維持できる、ステージ上に搭載可能な等分荷重❹移動量

9.8N ＝ 1kgf

ステージの移動量❾質量❺目量目で読み取れる目盛りの最小単位

製品の質量（）内は、ステージに使用している主な材質❻移動ガイドステージに使用している案内方式（ガイド）197 A

MANUAL STAGES［▼マイクロメータヘッド図］■ CMH-6.5F■ CMH-13F

6φ13214.5

38

9.5

3160.5■ CMH-6.5R■ CMH-13RM

0φ6 -0.008

6.5

M9.5×0.5+0M9.5×0.5

6φ132.5φ5

φ10φ3.50φ9.5 -0.009

φ513φ9.5 -0.009

2.5φ10φ3.50φ6 -0.008

6.52141138SR24
9.54.5■ CMS-6.5F

13215φ15φ15150
φ9.5 -0.009

φ6.350φ9.5 -0.009

φ13φ6.35

3.5■ CMH-15F

6.5

2.5

26.5
58.5

9.5

20.5

2

41.5
76.5

438

M9.5×0.5

3134

φ6.35

0
φ9.5 -0.009

M9.5×0.5

φ15φ142

M9.5×0.5

2

615

41.5

15

76.5

φ6.35

φ180
φ10 -0.009■ MHN5-25（ミツトヨ製）

17225A 198

36.2

44.597.5■ CMH-15N

11.8

80.7

53.5413.21564109

φ21φ131φ5φ5.5φ12φ1420φ8 -0.009

φ121M9.5×0.540φ9.5 -0.011（粗微動マイクロメータヘッ■ MHF2-13（ミツトヨ製）■ CMH-12S（差動マイクロメータヘッド）

MANUAL STAGES

φ6.35

φ180
φ10 -0.009■ MHN1-25T（ミツトヨ製）

215512596

φ21φ80φ12 -0.011■ MHH1-50T（ミツトヨ製）

987

2917850（25）（デジタル表示式マイクロメータヘッド）■ MHN1-25M（ミツトヨ製）

156.5
2517139.5(58)φ6.35+0
φ10 -0.009

φ1815ETESPRBS/AROLDHOZEHOLDスイッチ

PRESETスイッチ
ZERO/ABSスイッチ■ MHD-50M-MIT（ミツトヨ製）
ZERO/ABS切換

PRESETDATA出力φ49

φ854

φ110
φ18 -0.02

ON/OFF

25014+/-切換

1729142.525221279

199 A