NANOWORLD® SPM AND AFM PROBES
Nanotechnologie ist unsere Spezialität. Präzision ist unsere Leidenschaft.

POINTPROBE®

ULTRA -SHORT CANTILEVERS• die weltweit am meisten verwendete und bekannteste
Rasterkraftsonde• ultrakurze Cantilever für Hochgeschwindigkeitsrasterkraftmikroskopie• Siliziumsonde für hochauflösende Aufnahmen• Ausrichtungsgruben
auf der Rückseite desHaltechips• Drei Varianten mit sehr hohen Resonanzfrequenzen ( 1.2 MHz - 5MHz) and hohen Kraftkonstanten für die vorwiegende Verwendung im
Dynamischen Modus in Luft

• Drei Varianten mit hohen

Resonanzfrequenzen und niedrigen
Kraftkonstanten (0.15 N/m - 0.6 N/m)für die vorwiegende Anwendung in
Flüssigkeiten• typischer Spitzenradius <8 nm, garantiert maximal
12 nm• erhältlich mit
verschiedenen
Spitzenformen

PYREX-NITRIDE• Widerstandsfähige Spitze aus hochfestem
Kohlenstoff/diamantähnlichem Kohlenstoff(HDC/DLC)				• typischer Spitzenradius < 10 nm

ARROW™

• Cantilever und Spitze aus
Siliziumnitrid•einfache Positionierung durch
maximierte Sichtbarkeit der Spitze• ausgelegt für verschiedene
Anwendungen im Kontaktoder Dynamischen Modus• dreiseitige, durch echte
Kristallebenen definierte Spitze• angeschärfte,
pyramidenförmige Spitze• typischer Spitzenradius <10 nm• Spezielle Spitzenform führt zu sehrsymmetrischen Scans• Spitze am äußersten Ende desCantilevers• erhältlich mit dreieckigem oder rechteckigem Cantilever• typischer Spitzenradius < 10 nm, garantiert maximal < 15 nm• auch erhältlich als spitzenlose Variante• auch erhältlich als Hochgeschwindigkeitsversion mit einer
Resonanzfrequenz von bis zu 2 MHzPOINTPROBE®
SI LI ZI UM-R AS T E R K R AFTSO N D E N

Die weltweit am meisten verwendete Rasterkraftsondehoher Qualität
Pointprobe® Spitze (Standard)
Die Standard Pointprobe® Spitze hat die Form einer Pyramide mit einer polygonförmigen Basis. Der makroskopische halbe Öffnungswinkel der Spitze beträgt 20° bis 25°
in der Achse des Cantilevers, 25° bis 30° von der Seite gesehen und nahezu null amäußersten Ende der Spitze. Die Pointprobe® Spitze ist 10 - 15 µm hoch und hat einen
typischen Spitzenradius von kleiner als 8 nm (maximal 12 nm garantiert).
Pointprobe® Spitze

Allgemein• Rasterkraftsonde für hoch auflösende Aufnahmen• in allen gebräuchlichen und kommerziell erhältlichen Rastersondenmikroskopen zu
verwenden• Cantilever und Spitze werden monolithisch von einem Haltechip aus Siliziumeinkristall
gehalten
Materialeigenschaften• hochdotierter Siliziumeinkristall (spezifischer elektrischer Widerstand 0.01 - 0.025
Ohm cm)• keine intrinsische Spannung• chemisch inertes Silizium, geeignet für Anwendungen in Flüssigkeiten oder elektrochemischen Zellen
Cantilever• rechteckiger Cantilever mit trapezförmigem Querschnitt für einfache Laserjustage undvermindertes Air- Damping
Haltechip• der Haltechip aus Silizium ist monolithisch mit Cantilever und Spitze verbunden• die Abmessungen der Haltechips sind Industriestandard (3.4 mm x 1.6 mm x 0.3
mm)• Ausrichtungsgruben auf der Rückseite des Haltechips ermöglichen einen schnellen
Austausch der Rasterkraftsonde ohne Neujustieren des Lasers, falls unser Alignment
Chip verwendet wird
Packungsgrößen• Kleinpackungen zu je 10, 20 oder 50 Rasterkraftsonden• ganze Wafer von 380 bis 388 Rasterkraftsonden je nach Typ.

Pointprobe® Seitenansicht
detector side
tip side

Ein trapezförmiger Querschnitt desCantilevers führt zu einer um ca. 30% ((z.B..
NCH) breiteren Detektorenoberfläche(imVergleich zu Cantilevern mit einem rechteckigen Querschnitt) die wiederum zu einer
einfacheren und schnelleren Anpassung derLaserposition führt.
Zusätzlich erhält man ein höheres SUM
Signal weil einfach mehr Fläche zur
Reflektion des Lasers vorhanden ist.

SuperSharpSilicon™ Spitze (SSS)
Mit unserer SuperSharpSilicon™ Spitze erreichen Sie eine höhere Auflösung von Mikrorauhigkeit und Nanostrukturen. Den Spitzenradius von nur 2 nm erzielen wir mit einem
innovativen Herstellungsprozess.
Spitzeneigenschaften
Die Spitzenhöhe ist 10 -15 µm und der typische Spitzenradius der SuperSharpSilicon™
Tip beträgt 2 nm (garantiert kleiner als 5 nm bei einer garantierten Ausbeute von 80%).
Der halbe Öffnungswinkel über die letzen 200 nm der Spitze ist kleiner als 10°.

SuperSharpSiliconTM Spitze (SSS)High Aspect Ratio Spitze (AR5/AR5T)

High Aspect Ratio Spitze (AR5)Die High Aspect Ratio Tips wurden speziell für die Messung von Materialproben entwickelt, deren
Strukturen Seitenwände mit Winkeln von annähernd 90° aufweisen, z.B. tiefe Gruben oder andere
Anwendungen im Halbleiterbereich. Für solche Anwendungen bieten wir zwei verschiedene Spitzen
mit einem hohen Aspektverhältnis und fast senkrechten Seitenwänden an. Diese Spitzen eignen sich
mit ihrer Gesamthöhe von 10 - 15 µm für die Messung sehr rauher Materialproben. Über die letzten
Mikrometer weisen die Spitzen einen Abschnitt mit sehr hohem Aspektverhältnis auf. Dieser Abschnitt
ist symetrisch sowohl von der Seite gesehen als auch in der Achse des Cantilevers. Der typische
Spitzenradius beträgt 10 nm (garantiert maximal 15 nm).
Spitzeneigenschaften
Der Abschnitt der AR5 Tip mit dem hohen Aspektverhältnis weist die folgenden Eigenschaften
auf: Das Aspektverhältnis beträgt typischerweise 7:1 (mindestens 5:1 garantiert). Der betreffende
Abschnitt der ist länger als 2 µm. Der halbe Öffnungswinkel dieses Abschnitts ist dadurch typischerweise kleiner als 5°. Darüberhinaus ist dieser Abschnitt beim AR5T um 13° geneigt, um eine absolut
symmetrische Abbildung zu ermöglichen.

Tilt compensated AR5T
High Aspect Ratio Tip (AR5T)

Diamond Coated Tip (DT), Conductive Diamond Coated Tip (CDT)Für Anwendungen, die einen harten Kontakt zwischen der Rasterkraftsonde und der Materialprobe
erfordern, empfehlen wir unsere Diamond Coated Tip (DT). Diese Spitzen eignen sich zum Beispiel
für Reibungskraftmessungen, Messungen der elastischen Eigenschaften von Materialproben, Abnutzungsmessungen und die Nanostrukturierung. Das Besondere an der Conductive Diamond CoatedTip (CDT) ist ihre leitfähige, nicht passivierte Beschichtung.

Diamond Coated Tip (DT, CDT)

Spitzen- und Beschichtungseigenschaften
Die Beschichtung mit echtem polykristallinem Diamant verleiht der Spitzenseite des Cantilevers die
unübertroffene Härte von Diamanten. Die Spitzen sind 10 - 15 µm hoch. Die Diamantbeschichtung
ist gegen 100 nm dick. Der makroskopische Spitzenradius liegt im Bereich von 100 - 200 nm. Die
Spitze weist jedoch häufig eine Nanorauhigkeit im Bereich von 10 nm auf. Im Fall der CDT bewegt
sich die Leitfähigkeit im Bereich von 0,003 - 0,005 Ohm cm.

.

ERHÄLTLICHE BESCHICHTUNGEN
Reflektierende Beschichtung• 30 nm dicke Aluminiumbeschichtung auf der Detektorseite(Rückseite) der Rasterkraftsonde• erhöht die Reflektanz des Laserstrahls um den Faktor 2.5• verhindert den störenden Einfluss von Licht innerhalb desCantilevers
Diamantbeschichtung• 100 nm dicke Beschichtung mit
polykristallinem Diamant auf
der Spitzenseite• unübertroffene Härte der Spitze• Widerstand <10 kOhm für CDT

Hart- und weichmagnetische Beschichtung• hartmagnetische Beschichtung: Spitze beschichtet mit einer
Kobaltlegierung• Weichmagnetische Beschichtung der Spitze: Koerzitivfeldstärke
von ca. 0,75 Oe, Remanenz von ca. 225 emu/cm³)• permanente Magnetisierung der Spitze

PtIr5 Beschichtung• insgesamt 25 nm dick beschichtet mit Platin-Iridium
5 (PtIr5)• ohne Verbiegung und verschleissbeständig
• die Beschichtung der dem Detektor zugewandten
Seite verstärkt die Reflektanz des Laserstrahls um
den Faktor 2• ermöglicht elektrische MessungenGold (auf Anfrage)• insgesamt 70 nm dicke Beschichtung
mit Gold auf der Rückseite des Cantilevers• insgesamt 70 nm dicke Beschichtung
mit Gold auf beiden Seiten der
Messsonde

ARROW™
SILIZIUM-RASTERKRAFTSONDE

Einfache Positionierung durch maximierte Sichtbarkeit der Spitze

Allgemein• Messsonde für hochauflösende Aufnahmen• in allen gebräuchlichen Rastersondenmikroskopen zu verwenden• Cantilever und Spitze werden von einem Haltechip aus Siliziumeinkristall gehalten• Haltechip aus Silizium monolithisch mit Cantilever und Spitze verbunden
Materialeigenschaften• hochdotierter Siliziumeinkristall (spezifischer elektrischer Widerstand 0,01 - 0,025 Ohm cm)• keine intrinsische Spannung• chemisch inertes Silizium für Anwendungen in Flüssigkeiten oder elektrochemischen Zellen.

ArrowTM Draufsicht

Cantilever• rechteckiger Cantilever mit dreieckig zulaufendem freien Ende• einfache Positionierung der Spitze über der Materialprobe dank der Pfeilform des Arrow™
• stets gleicher Abstand zwischen Spitze und Ende des Cantilevers• r echteckiger Cantilever mit trapezförmigem Querschnitt für einfache Laserjustage undvermindertes Air- Damping
Haltechip• die Abmessungen des Haltchips sind industriestandard (3.4 mm x 1.6 mm x 0.3 mm)•H altechip mit angeätzten Ecken zur Vermeidung von Kontakten zwischen Chip und Materialprobe

ArrowTM Frontansicht

Tilt 13°

Spitze• Spitzenhöhe 10 - 15 µm typischer Krümmungsradius < 10 nm (< 15 nm garantiert)• makroskopischer halber Öffnungswinkel:- 30° bis 35° in der Achse des Cantilevers- 20° bis 25° von der Seite betrachtet
Packungsgrößen• kleine Packungsgrößen zu je 10, 20 oder 50 Messsonden• kompletter Wafer mit mindestens 380 MesssondenERHÄLTLICHE BESCHICHTUNGEN

Die spezielle Spitzenform führt zu sehrsymmetrischen Scans entlang der xund Y Achse wenn die Rasterkraftsonde im Kopf des Rasterkraftmikroskops
eingebaut ist.

Reflektierende Beschichtung• 30 nm dicke Aluminiumbeschichtung
auf der Detektorseite (Rückseite) der
Rasterkraftsonde• erhöht die Reflektanz des Laserstrahls
um den Faktor 2.5• Verhindert den störenden Einfluss vonLicht innerhalb des Cantilevers• Andere Beschichtungen auf Anfrage

PtIr5 Beschichtung• insgesamt 25 nm dicke Beschichtung mit Platin-Iridium 5 (PtIr5) auf beiden Seiten der Abtastsonde• ohne Verbiegung und verschleissbeständig
• die Beschichtung der dem Detektor zugewandten Seite verstärkt die Reflektanz desLaserstrahls um den Faktor 2• ermöglicht elektrische MessungenA R R O W ™ Ultra High Frequency Scanning Probes (UHF)A R R O W ™ Tipless Cantilevers and Cantilever Arrays (TL)

Arrow™ UHF

Arrow™ UHF 3D-Ansicht

Die Arrow™ UHF (Ultra High Frequency) Rasterkraftsonde ist aus Silizium, hat einen dreieckigen
Cantilever mit einer vierflächigen Spitze und kann mit ultrahohen Frequenzen von bis zu 2.0
MHz. schwingen. Diese Sonden vereinen eine hohe Empflindlichkeit mit der Fähigkeit in sehrhohen Frequenzen zu scannen.
Wie alle anderen Rasterkraftsonden der Arrow™ Serie bestehen die Arrow UHF Sonden aus
hochdotiertem, Siliziumeinkristall (spezifischer elektrischer Widerstand 0,01 - 0,025 Ohm•cm)
um statische Ladung abzuleiten.
Die Sonden sind chemisch inert und hat einen hohen mechanischen Q-Faktor für hohe Empfindlichkeit.
Der dreieckige Cantilever der Arrow-UHF Sonde ist 35 µm lang, die vierflächigen Spitze an
seinem Ende ist 3 µm hoch und hat einen typischen Krümmungsradius von < 10 nm.
Die einzigartige pfeilartige Arrow™-Form des Cantilevers ermöglicht die einfache Positionierung
der Spitze oberhalb des Bereichs der Materialprobe, der von Interesse ist.

Arrow™ UHF 3D-Nahaufnahme

Die reflektierende Beschichtung ( erhältlich in Aluminium oder Gold) auf der Detektorenseite desCantilevers erhöht die Reflektanz des Laserstrahls um den Faktor 2,5 und verhindert den störenden Einfluss von Licht innerhalb des Cantilevers.

Arrow™ TL (Cantilever ohne Spitze für spezielle Anwendungen)Die spitzenlosen Arrow™ Tipless Sonden (Arrow™ TL) ist in drei Ausführungen erhältlich: Mit
einem einzelnen Cantilever, als Array mit 2 oder mit 8 rechteckigen Cantilever. Das freie Ende derCantilever ist jeweils dreieckig.
ArrowTM UHF

Alle Ausführungen der spitzenlosen Arrow™ TL Sonden sind optional mit einer Gold Beschichtung
auf der der Materialprobe zugewandten Seite des Cantilevers erhältlich.
Cantilever
Resonanzfrequenz

6 kHz

Kraftkonstante

0.03 N/m

Länge

500 µmBreite (rechteckiger Teil)

100 µmDicke

1.0 µmAbstandsmass (TL2 und TL8)

250 μmArrow™ TL1
Spitzenloser einzelner Cantilever
mit Haltechip aus Siliziumeinkristall

Arrow™ TL2
Array mit zwei spitzenlosen Cantilever
mit Haltechip aus Siliziumeinkristall

Arrow™ TL8
Array mit acht spitzenlosen Cantilever
mit Haltechip aus SiliziumeinkristallULTRA -SHORT CANTILEVERS (USC)
Ultrakurze Cantilever für
Hochgeschwindigkeitsrasterkraftmikroskopie

Allgemein
NanoWorld ultrakurze Cantilever (USC) für Hochgeschwindigkeitsrasterkraftmikroskopie(engl. HS-AFM) vereinen sehr kleine Cantilever aus einem quarzähnlichen Material, die fürResonanzfrequenzen von bis zu 5MHz entwickelt wurden, mit einer sehr scharfen und widerstandsfähigen verschleissbeständigen Spitze aus hochfestem Kohlenstoff/diamantähnlichem
Kohlenstoff (HDC/DLC)USC Cantilever 3D-Ansicht• speziell für Anwendungen in Hochgeschwindigkeitsrasterkraftmikroskopie entwickelt• wegen der sehr kleinen Dimensionen des Cantilevers können USC Sonden nicht in allen
kommerziell erhältlichen Rasterkraftmikroskopen verwendet werden (siehe folgende Seite)• Cantilever und Spitze werden von einem Haltechip aus Siliziumeinkristall gehalten• keine intrinsische Spannung und absolut gerade Cantilever
Cantilever• rechteckige Cantilever• Cantilever aus quarzähnlichem Material

USC Haltechip 3D-Ansicht

USC Spitze Vorderansicht

Haltechip• die Abmessungen der Haltechips sind Industriestandard (3.4 mm x 1.6 mm x 0.3 mm)• Haltechip mit angeätzten und abgesenkten Ecken zur Vermeidung von Kontakten zwischen
Chip und Materialprobe• Ausrichtungsgruben auf der Rückseite des Haltechips ermöglichen einen schnellen
Austausch der Rasterkraftsonde ohne Neujustieren des Lasers, falls unser Alignment Chip
verwendet wird
Spitze• nanotools® Spitze aus hochfestem Kohlenstoff/diamantähnlichem Kohlenstoff (HDC/DLC)• typische Spitzenhöhe 2.5 μm, typischer Spitzenradius < 10 nm• typisches Aspektverhältnis der Spitze 5:1, Neigungskompensation 8°
Packungsgrößen• Kleinpackungen zu je 10 RasterkraftsondenERHÄLTLICHE BESCHICHTUNGENUSC Spitze Detail

Reflektierende Gold Beschichtung• 20/30 nm dicke Gold Beschichtung auf beiden Seiten des Cantilevers• erhöht die Reflektanz des Laserstrahls• Spitze ist nicht beschichtet

USC-F5-k30 Cantilever 3D-Ansicht

Um eine grosse Bandbreite an möglichen Anwendungen im Bereich der Hochgeschwindigkeitsrasterkraftmikroskopie abdecken zu können haben wir sechs verschiedene Typen von
Ultrakurzen Cantilever (USC) entwickelt:
3 Typen mit sehr hohen Resonanzfrequenzen (1.2 MHz – 5 MHz) und hohen Kraftkonstanten entwickelt für vorwiegende Verwendung im dynamischen Modus (in Umgebungsbedingungen) in Luft und drei Typen mit hohen Resonanzfrequenzen und niedrigen Kraftkonstanten (0.15 N/m - 0.6 N/m) entwickelt für die vorwiegende Anwendung in Flüssigkeiten.

USC vorwiegend für die Anwendung im dynamischen Modus in Luft:• Resonanzfrequenz von 1.2 MHz und höher• Steifigkeit von 3.0 N/m und höher• vorwiegend entwickelt für Anwendungen im dynamischen Modus in Luft kann aber auchfür andere Anwendungen eingesetzt werden
USC-F5-k30 Cantilever Draufsicht

Typ

USC-F5-k30

USC-F2-k3

USC-F1.2-k7.3

Resonanzfrequenz

5.0 MHz

2.0 MHz

1.2 MHz

Kraftkonstante

30 N/m

3.0 N/m

7.3 N/m

Länge des Cantilevers

10 μm

10 μm

20 μm

Breite des Cantilevers

5 μm

5 μm

10 μm

Dicke des Cantilevers

0.68 μm

0.28 μm

0.67 μm

USC für die vorwiegende Anwendung in Flüssigkeiten
USC-F1.2-k0.15 Cantilever 3DAnsicht

USC-F1.2-k0.15 Cantilever Draufsicht• Resonanzfrequenzen von 1.5 MHz oder niedriger• Steifigkeit von 0.6 N/m oder niedriger• entwickelt für die vorwiegende Anwendung in Flüssigkeiten kann aber auch, abhängig
von der Art der Anwendung, für Anwendung in Umgebungsbedingungen an der Lufteingesetzt werden
Typ

USC-F1.5-k0.6

USC-F1.2-k0.15

USC-F0.3-k0.3

Resonanzfrequenz

1.5 MHz

1.2 MHz

0.3 MHz

Kraftkonstante

0.6 N/m

0.15 N/m

0.3 N/m

Länge des Cantilevers

7 μm

7 μm

20 μm

Breite des Cantilevers

3 μm

2 μm

10 μm

Dicke des Cantilevers

0.10 μm

0.08 μm0.19 μm* Werte in (Umgebungsbedingungen) in Luft

Weitere Informationen zu laufenden Entwicklungen von Rasterkraftsonden fürHochgeschwindigkeitsrasterkraftmikroskopie, Anwendungs- und Literaturbeispiele finden Sie
unter: www.highspeedscanning.com

Systemeinschränkungen: Aufgrund der sehr kleinen Dimensionen
der Cantilever und der sehr hohen Resonanzfrequenzen können
USC Rasterkraftsonden derzeit nicht in allen kommerziell erhältlichen Rasterkraftmikroskopen eingesetzt werden.Die USC Sonden
können nur in Rasterkraftmikroskopen, die über einen ausreichend
kleinen Laserpunkt und über Elektronik die mit den hohen Resonanzfrequenzen von bis zu 5 MHz zurechtkommt verfügen, eingesetzt
werden. Falls Sie sich nicht sicher sind ob die USC Sonden in Ihrem
Rasterkraftmikroskop eingesetzt werden können wenden Sie sichbitte an uns oder Ihren Systemhersteller..

PYREX-NITRIDE-AFM-PROBES
Einzigartige Schärfe und Langlebigkeit

Allgemein• Rasterkraftsonde für eine Vielfalt von Anwendungen im Kontakt- und im Dynamischen
Modus• in allen gebräuchlichen Rastersondenmikroskopen zu verwenden• Cantilever und Spitzen aus Siliziumnitrid• Haltechip aus Pyrex-Glas• vereinzelte Haltechips für eine einfache Handhabung
Pyrex-Nitride Rasterkraftsonde
Nahaufnahme

Pyrex-Nitride
Dreieckiger Cantilever 3D Skizze

Materialeigenschaften• s pannungsarmes Siliziumnitrid gewährleistet geringstmögliche Verbiegung des Cantilevers• ausgezeichnete Härte des Materials für Widerstandsfähigkeit und verlängerte Lebensdauer
Cantilever• Haltechips mit mehreren Cantilever in zwei Versionen: Entweder mehrere rechteckige odermehrere dreieckige Cantilever• Version mit einem einzelnen, dreieckigen Cantilever(kompatibel mit PeakForce TappingTM und ScanAsyst® Modus)*• reflektierende Beschichtung mit mit Gold auf der Rückseite der Cantilever• spannungskompensiert mit einer Verbiegung unter 2°
Haltechip• Haltechip aus Pyrex-Glas (3.4 mm x 1.6 mm x 0.5 mm)• einfache Handhabung durch Produktpackungen mit vereinzelten Haltechips
Spitze• angeschärfte pyramidenförmige Spitzen• Spitzenhöhe 3,5 µm, typischer Spitzenradius < 10 nm• makroskopischer halber Öffnungswinkel 35°

Pyrex-Nitride
Rasterkraftsonde Rechteckiger
Cantilever, 3D Skizze

Packungsgrößen• Packungen zu je 20 oder 50 RasterkraftsondenERHÄLTLICHE BESCHICHTUNGENGold• Insgesamt 70 nm dicke, reflektierende Beschichtung mit Gold auf der Rückseite
des Cantilevers
Pyrex-Nitride
Dreieckiger EinzelCantilever für
PeakForce Tapping™ und
ScanAsyst®* Modus 3D Skizze• Optionale 35 nm dicke Goldbeschichtung auf beiden Seiten des Cantilevers

PYREX-NITRIDE-AFM-PROBES
Triangular Cantilevers (PNP-TR)
Diving Board Shaped Cantilevers (PNP-DB)
Dreieckige Einzelcantilever (PNP-TRS)

Dreieckige Cantilever(PNP-TR)

Rechteckige Cantilever(PNP-DB)

Dreieckige Einzelcantilever(PNP-TRS)• dreieckige Cantilever• mehrere Cantilever pro Haltechip• pro Haltechip lange und kurze Cantilever• reflektierende Goldbeschichtung auf
der Rückseite der Cantilever• Produktvariante: Beschichtung mit Goldauf beiden Seiten der Rasterkraftsonde
erhältlich• rechteckige (Diving Board) Cantilever• mehrere Cantilever pro Haltechip• pro Haltechip lange und kurze
Cantilever• reflektierende Goldbeschichtung auf
der Rückseite der Cantilever• einzelner, dreieckiger Cantilever

Cantilever Nr.

Cantilever Nr.

Cantilever Nr.

Form

1

2
Dreieckige

1

Form

2

Rechteckige• ein Cantilever pro Haltechip• reflektierende Goldbeschichtung auf
der Rückseite des Cantilevers• entwickelt für Anwendungen
im PeakForce Tapping™ und
ScanAsyst® Modus*

1

Form

Dreieckige

Resonanzfrequenz

67 kHz

17 kHzResonanzfrequenz

67 kHz

17 kHzResonanzfrequenz

67 kHzKraftkonstante

0.32 N/m

0.08 N/m

Kraftkonstante

0.48 N/m

0.06 N/m

Kraftkonstante

0.32 N/m

Länge

100 µm200 µmLänge

100 µm200 µmLänge

100 µm2 x 13.5 µm 2 x 28 µm

Breite

40 µm

40 µm

Breite2 x 13.5 µm

Gesamtdicke

600 nm

600 nmGesamtdicke

BreiteGesamtdicke

600 nm

600 nm

600 nmPNP Cantilever ohne Spitze (PNP-TR-TL)• dreieckige Pyrex-Nitride
Rasterkraftsonden sind auchin einer spitzenlosen Version
erhältlich• reflektierende
Goldbeschichtung auf derRückseite des Cantilevers• Produktvariante: Beschichtung
mit Gold auf beiden Seiten desCantilevers erhältlich

Pyrex-Nitride AFM Probe
Triangular Tipless Cantilevers

Pyrex-Nitride AFM Probe
Nahaufnahme eines langen Cantilevers ohne Spitze

Pyrex-Nitride AFM Probe
Nahaufnahme eines kurzen Cantilevers ohne Spitze*PeakForce Tapping™ und ScanAsyst® sind eingetragene Markenzeichen von Bruker Corp.

QUICK SELECTION TABLE

Contact ModeAnwendungContact Mode

Beschichtung Beschichtung
Spitze/Rückseite
Vorderseite

Spitzenform

Resonance
Frequency

Force
Constant

Cantilever Length x
Width x Thickness

Arrow CONT--

Arrow™

14 kHz0.2 N/m

450 x 45 x 2 μm

CONT

-

13 kHz0.2 N/m

450 x 50 x 2 μm

Arrow CONTR-

Arrow™

14 kHz0.2 N/m

450 x 45 x 2 μm

Pointprobe®

13 kHz0.2 N/m

450 x 50 x 2 μm

27 kHz1.6 N/m

450 x 55 x 4 μm

CONTR

-

ZEILR

-

Arrow CONTPt

PtIr5

-

Pointprobe
Reflex (Al)PtIr5

CONTPtContact Mode(kurzer Cantilever)Contact Mode /TappingMode

Type

Contact Modeoder
TappingMode-

CONTSCR-

Reflex (Al)-

Reflex(Au)

PNP-TR(dreieckige
Cantilever)Cantilever 1

PNP-TR-Au(dreieckige
Cantilever)Cantilever 1

PNP-DB(rechteckige
Cantilever)Cantilever 1

Cantilever 2
Au

Au

Cantilever 2-

Cantilever 2

Arrow NC

Arrow NCR---

Reflex (Al)NCHR

Non-Contact Mode / TappingMode

Arrow NCPt

0.2 N/m

450 x 45 x 2 μm

13 kHz0.2 N/m

450 x 50 x 2 μm

Pointprobe®

25 kHz0.2 N/m

225 x 48 x 1 μm

67 kHz0.32 N/m 100 x 13.5 x 0.5 μm

17 kHz0.08 N/m 200 x 28 x 0.5 μm

67 kHz0.32 N/m 100 x 13.5 x 0.5 μm

17 kHz0.08 N/m 200 x 28 x 0.5 μm

67 kHz0.48 N/m 100 x 40 x 0.5 μm

17 kHz0.06 N/m 200 x 40 x 0.5 μm

Arrow™

285 kHz160 x 45 x 4.6 μm

Pointprobe®

330 kHz125 x 30 x 4 μm

Arrow™

285 kHz160 x 45 x 4.6 μm

330 kHz125 x 30 x 4 μm

285 kHz160 x 45 x 4.6 μm

Abgeformte
Siliziumnitrid-Spitze

Pointprobe
PtIr5

PtIr5

NCHPt
-

AR5-NCHR-

AR5T-NCHR(neigungskompensiert)-®

Arrow™
Pointprobe

SSS-NCH®

42 N/mSuperSharpSilicon™
Hohes Aspektverhältnis(5:1)

330 kHz125 x 30 x 4 μm

Reflex (Al)AR10-NCHR
DT-NCHR

14 kHz®

Reflex(Au)

NCH

Non-Contact /TappingMode(high frequency)

Arrow™
Pointprobe

CONTSC®

Hohes Aspektverhältnis(10:1)
Diamant

Reflex (Al)Diamant

400 kHz

80 N/m

125 x 30 x 4 μm

NCST

-

-

Pointprobe®

160 kHz

7.4 N/m

150 x 27 x 2.8 μm

NCSTR

-

Reflex (Al)Pointprobe®

NCL

-

-

Pointprobe®

NCLR

-

Reflex (Al)

NCLPt

PtIr5

Ptlr5

SSS-NCL--

SuperSharpSilicon™

190 kHz

48 N/m225 x 38 x 7 μm

AR5-NCLR-

Reflex (Al)

Hohes Aspektverhältnis(5:1)

DT-NCLR

Diamant

Reflex (Al)Diamant

SEIHR-

Reflex (Al)Pointprobe®

130 kHz

15 N/m225 x 33 x 5 μm

SSS-SEIH--

CDT-NCHR
Non-Contact/
Soft-TappingMode

Non-Contact /TappingMode(langer Cantilever)

CDT-NCLR
Non-Contact /TappingMode(Seiko NonContact Mode)

SuperSharpSilicon™

Pointprobe®

Arrow™

Pyrex-Nitride

Ultra-Short Cantilevers

QUICK SELECTION TABLE
AnwendungContact ModeType

USC-F1.5-k0.6
USC-F1.2-k0.15

High-Speed AFM

USC-F0.3-k0.3
Non-Contact /TappingMode(Ultrahochfrequenz)

Beschichtung Spitzenform

Spitze/Vorderseite

Rückseite

Resonance
Frequency

Force
Constant

Cantilever Length x
Width x Thickness

Au(Spitze ist
unbeschichtet)

Reflex (Au)

Spitze aus elektronenstrahlabgeschiedenem
Kohlenstoff(EBD)

1.5 MHz

0.6 N/m

7 x 3 x 0.10 μm

1.2 MHz0.15 N/m

7 x 2 x 0.08 μm

0.3 MHz

0.3 N/m

20 x 10 x 0.19 μm

Au(Spitze ist
unbeschichtet)

Reflex (Au)

Spitze aus elektronenstrahlabgeschiedenem
Kohlenstoff(EBD)

5.0 MHz

30 N/m20 x 5 x 0.68 μm

2.0 MHz

3.0 N/m

10 x 5 x 0.28 μm

1.2 MHz

7.3 N/m

20 x 10 x 0.67 μm

Arrow™

up to 2.0MHz-

35 x 42 x 0.7 μm

67 kHz0.32 N/m 100 x 13.5 x 0.6 μm

Beschichtung

USC-F5-k30
USC-F2-k3
USC-F1.2-k7.3
Arrow UHF

Reflex (Al)Arrow UHF-AuD
PeakForce TappingTM /ScanAsyst®
Mode

Reflex (Au)PNP-TRS-

Reflex (Al)

Abgeformte
SiliziumnitridSpitze

Arrow FM--

Arrow™

FM
Force
Modulation
Mode

Pointprobe

Arrow FMR-

Reflex (Al)FMR
DT-FMR

240 x 35 x 3 μm®

75 kHz2.8 N/m

225 x 28 x 3 μm

Arrow™

240 x 35 x 3 μm

Pointprobe®

225 x 28 x 3 μm

Diamond

Reflex (Al)Diamond

Electrostatic Force Arrow EFM
Microscopy
EFM

PtIr5

PtIr5

Arrow™

PtIr5

PtIr5

Pointprobe

Magnetic ForceMicroscopy

Hartmagnetisch

Reflex (Al)Weichmagnetisch

Reflex (Al)105 kHz

6.2 N/m

225 x 28 x 3 μm

75 kHz2.8 N/m

240 x 35 x 3 μm

Special Applications

CDT-FMR

MFMR
S-MFMR

Cantileverohne Spitzen

Arrow TL1

1 Cantilever--

Arrow TL1-Au

1 Cantilever

Au-

Arrow TL2

Array mit 2 Cantilever--

Arrow TL2-Au

Array mit 2 Cantilever

Au-

Arrow TL8

Array mit 8 Cantilever--

Arrow TL8-Au

Array mit 8 Cantilever

Au-

PNP-TR-TL

dreieckige
Cantilever-

PNP-TR-TL-Au

dreieckige
Cantilever

Cantilever 1
Cantilever 2
Cantilever 1
Cantilever 2

Au

Reflex (Au)

225 x 28 x 3 μm®

Pointprobe®

75 kHz2.8 N/mSilizium, ohne
Spitze6 kHz

0.03 N/m 500 x 100 x 1 μm

67 kHz0.32 N/m 100 x 13.5 x 0.6 μm

17 kHz0.08 N/m 200 x 28 x 0.6 μm

67 kHz0.32 N/m 100 x 13.5 x 0.6 μm

17 kHz0.08 N/m 200 x 28 x 0.6 μm

Siliziumnitrid,ohne Spitze

225 x 28 x 3 μm

For further information please visit our website at www.nanoworld.com. All data are subject to change. NanoWorld® and Pointprobe® are registered trademarks of NanoWorld AG. PeakForceTappingTM and ScanAsyst® are registered trademarks of Bruker Corp.

POINTPROBE®

About NanoWorld
Nanotechnologie ist unsere Spezialität. Präzision ist unsere Leidenschaft.
Innovation und Erfindergeist sind die Schlüssel zu unserem Erfolg.
Kein Wunder, denn unser Firmensitz ist in der Schweiz, einer der dynamischsten
und innovativsten Regionen Europas.
Unsere Kunden erzielen mit unseren hochpräzisen Messsonden und gestützt
auf unsere Erfahrung die besten Ergebnisse in der Rastersonden- und derRasterkraftmikroskopie.

ARROW™

Die große Auswahl an Spitzenformen, Federkonstanten, Resonanzfrequenzen
und Beschichtungen ermöglicht es Ihnen die geeignetste Sonde für Ihre Forschungoder industrielle Anwendung zu finden.
Die Pointprobe® Siliziumsonden sind die weltweit am meisten verwendeten
und bekanntesten Rasterkraftsonden und sind in vielen Labors zum Standard
geworden. The AFM probes of the Pointprobe® series are available in manydifferent cantilever versions and tip shapes.

ULTRA -SHORTCANTILEVERSPYREX-NITRIDE

Die Rasterkraftsonden der Arrow ™ -Serie mit ihrer einzigartige Pfeilformermöglichen die einfache Positionierung der Spitze über der Materialprobe. Die
Arrow ™ UHF-Version mit einer Resonanzfrequenz von bis zu 2 MHz wurde fürAnwendungen in der Hochgeschwindigkeitsrasterkraftmikroskopie entwickelt.
Mit den Rasterkraftsonden der Ultra-Short Cantilever-Serie bietet NanoWorld jetzt
eine ganze Reihe von Sonden für Hochgeschwindigkeitsrasterkraftmikroskopie.
Die Sonden sind mit Resonanzfrequenzen von bis zu 5 MHz erhältlich undverfügen über eine sehr verschleißfeste Spitze hochfestem Kohlenstoff/diamantähnlichem Kohlenstoff (HDC/DLC). Drei verschiedene Versionen
hauptsächlich für Anwendungen in Luft und drei verschiedene Versionen,
hauptsächlich für Anwendungen in Flüssigkeiten sind derzeit verfügbar.
Die PNP-Siliziumnitrid-Rasterkraftsonden sind als Versionen mit mehreren
dreieckigen oder rechteckigen Cantilever sowie einer Version mit einem
einzelnen dreieckigen Cantilever erhältlich. Sie verfügen über eine
pyramidenförmige Spitze aus Siliziumnitrid mit einem Krümmungsradius vonweniger als 10 nm. Spitzenlose Versionen der dreieckigen Cantilever mit einer
Goldbeschichtung auf der Detektorenseite des Cantilevers oder auf beiden
Seiten der Rastkraftsonde sind ebenfalls erhältich.

NanoWorld AG
Headquarters
Rue des Saars 10
CH-2000 Neuchâtel
Switzerland

Phone: +41 325 521 515
Fax: +41 325 521 516
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