Ｘ線計測画像技術で地球に貢献

Contribute to the earth with X-ray imaging technology

X線透視装置 FLEX-M863 2024
Micro Focus Digital
X-ray Radioscope

In accordance with the downsizing and high-density,
maintenance and improvement of quality are increasing
much importance.
Then we developed and realized
most suitable X-ray radioscope to meet with
the needs at the site.
That are “Easy to install in a small space andable to inspect even M size board”, “Simple tooperate and easy to use for anybody” or“Possible to get high-resolution image ofsemiconductor mounted parts”.

“X線の拡大鏡”

見えないところを簡単に “見える化”
品質向上に強力サポート“X-ray magniﬁer” shows easily what you can’ t see.
Supports the quality improvement strongly.
10倍拡大で 2μｍの分解能、高精細150万画素でハイビジョン並みの高精細画像
1.5M pixels high resolution image sensor that is 2μm in 10 times of expansion.
20x20μｍの画素を横1500ｘ縦1000に並べた150万画素のCCDセンサと小型マイクロフォーカスX線源の組み合わせにより、10倍拡大時に２μｍの分解能でハイビジョン並みの高精細画像で撮影。
Combined with a miniature CCD sensor that is 1500 x 1000 pixels and each sensor size is 20 x 20μm, and thesmall Micro Focus X-ray source, it has 2μm resolution of large machine level at 10 times magniﬁcation.
It realized the high-resolution image in the large size screen like the HDTV.

遮蔽ガラスを除いて鉛フリーとするとともに、超低消費電力150Wで、地球に優しい装置を実現
It is kind to the earth in the lead free and the ultra-low power consumption（150W）.
遮蔽ガラス以外には鉛を使用していません。また、使用電力も150Wの超低消費量で、地球に優しい装置です。
It isn’ t using the lead-metal except the shielding glass.
Also, the using electric power is kind to the earth at the ultra-low consumption at 150W.

パソコンベースで、ジョイパッドとマウスによる簡単操作
Simple operation with Joy Pad and the mouse on PC basis.
操作はパソコンベースで、ジョイパッドとマウスで容易に出来ます。また、撮影されたデータはパソコンのハードディスクに蓄積できるため、情報の共有化やトレーサビリティ制度への適用も容易となります。
It is possible to operate it easily with the joy-pad and the mouse on PC. Also the image data can be stored in
the hard disk of PC which enable easy information sharing and retrieval.

使い易さと安全性を追求したオープン設計
Open design concept allow for maximum sample handling.
大型の特殊X線遮蔽ガラスを上面と前面扉に配置し、内蔵された十字レーザラインマーカにより、内部のサンプルの確認と撮影の位置合わせが容易に出来るようにしました。
Designed with a large special cover glasses on the top window and the front door, for full view of sample to beanalyzed. It incorporated a built-in cross laser line marker to ease manipulation samples.

左右約 17 度の傾斜テーブル
Tilting table about 17degrees for both right and left side.
Ｚ軸の左右の高さを変えることによりテーブルの角度を±約17度可変させることが出来 上下に重なり合った部分の情報を得ることが出来ます。
Capability to change the Z-axis height of right and left side, thus
ability to get information of overlapping positions.
The table angle can be varied plus or minus 17degrees.

☆ 電動ズームとチルト機構内蔵

Built-in electric zoom and tilting function

機能と操作画面

撮影条件メニュー
Shooting Condition Menu

メニューバー Menu Bar
ツールバー Tool Bar

基本画面

メインフレーム
Main Frame

ソフトが立ち上がった時にこの画面が表示されます。
静止画撮影を行います。

Basic dialog

Starting this dialog, Shooting thestill image in manual.

テーブル位置操作部
Table position control Frame

準動画撮影

ステータスバー
Status Bar

積算撮影

ティーチング撮影

Addition shooting

Teaching shooting

１ 秒間に数枚の画像を連続的に撮影します。
サンプルの位置合わせなどを行います。

より精細な画像を撮影するために複数回の画像を積算します。

Using the inspection position, looking
shooting image. Doing the position-setting.

Add the multi-times image for more clear
image.

Animation shooting

撮影する位置と倍率等を設定すると自動的に撮影します。
Shooting automatically at the pre-settedposition.

カラー表示拡大

タイリング撮影

Pseudo-colorExpansion

Tileing shooting

計測

面積・ボイド率計測ラインプロファイル

Measurement

Area calculation

Line proﬁle

各画素の輝度信号値を白黒濃淡からカラー表示にします。
It makes a signal value a color-display
from the black to white shade.

幾何倍率で10倍、デジタル拡大で4倍の拡大。 面積の大きなサンプルを分割して撮影し、張LCD画面上で約500倍となります。
り合わせて1枚の画像にします。
It can expand up-to 10 times, and 4 times
by digital. It is about 500 times on LCD.

画面上の2点、多点間等の距離を測定すること 画面上で対象物の面積とそれに対するボイド等の比率を計算します。
が出来ます。
The distance of the points on the screen
can be measured.

It computes the area on the screen of theobject and the it's ratio of voids.

Shooting the each position of the divided
large area, and paste to each position.

画面の直線状に指定した画素の信号出力値を表示します。
It displays the signal output value of thepixel.

撮影例1 面実装

Sample 1 Surface mount Jisso

CSP（LGA）
Chip Size Package

シールドケース付基板
PCB with a metal shield

チップ部品（1005）
Chip Size Parts（1005size）

SOP（右下：一部拡大）
Small Outline Package（Right down: Expands a part）

撮影例 2 半導体実装

Sample 2 Semiconductor Jisso

QFPワイヤボンド（右上：一部拡大）
Au wire-bond of the Quad Flat Package

マイクロSDカードの多積層ワイヤボンド
Multi-stack Wire-Bond for micro-SD Card

フォトカプラーPhoto-Coupler

SBB接続（右上：一部拡大）
Stad Bump Bonding（Right up: Expand a part）

撮影例 3 基板 Sample 3 PC Boards

フィルム基板Film PC Board

セラミック基板
Ceramics PC Board

スルーホール積層基板（左下：一部傾斜観察）
Multilayer PC Board with the through-halls

IVH基板（右下：一部傾斜観察）
Inner via-hole PC Board

撮影例 4 部品 Sample 4 Parts

小型マイクロスイッチ
Small size micro-switch

電解コンデンサ（右下：傾斜観察）
Electrolytic capasitar（Right down: Tilting observe a part）

リール部品（チップ・トランジスター）
Real packaged Parts（Chip Transistor）

小型パワートランジスター
Small-size Power Transistor

一軸回転テーブルユニット（FLEX-U1RT）
The table unit of the 1 axis rotation

OPTION1

OPTION2

OPTION

3

Ｘ軸と平行な軸を回転中心として、サンプルを回転するためのテーブルユニットです。
360度回転出来るサイズは幅40ｍｍｘ長さ200ｍｍです。オプションのCTソフトを使用することにより、直径 1 mmから10mmのサンプルの3次元立体CT画像の撮影も可能になります。
This is the table unit to turn a sample, making the axis
which is parallel to the X-axis.
The size which can turn 360degrees is 40mm（width) x200mm(Length). By using the CT software, it can takethe 3D-CT images. (Option)

実装基板固定テーブルユニット（FLEX-U2PS）
The table unit of the PCB Set
50ｍｍｘ50ｍｍから240ｍｍｘ320ｍｍの実装されたプリント基板を、装置のサンプルテーブルに再現性良くセットするためのユニットです。
基板の傾斜操作などにおいても、基板がずれることはありません。
This is the unit to set the printed circuit board from50mm x 50mm to 320mm x 240mm in the sampletable.
In case of operation to incline a table, the PC board
doesn't shift.

45度・60度基板傾斜台ユニット（FLEX-U3DS）
The desk unit for the PC board sloping at 60deg of 45deg.
BGAの実装状態を観察するためのPCB固定台です。
基板を45度 回転させ、60度斜めにした状態の位置にセットできます。
This unit is the PC board anchor-block to observe theimplementing condition of BGA. The PC substrate canbe set in the position of the condition to have madethat 60deg, were more diagonal by turning it by 45deg.

BGAの半田状態の観察
半田ボールの上部に、ボイドが観察される。
Observving of the air void on the top of
the solder ball in the BGA.

■ FLEX-M863 主要仕様
項

赤文字は新仕様目

内

管電圧：10～70kV

CCDセンサ画素サイズ：20×20μm

テーブル

テーブルサイズ：350×270mm パソコン電動制御
ストローク：Ｘ軸：325mm、Ｙ軸：245mm、Ｚ軸：200mm
検査物重量：最大1.5kg 測定物高さ制限：10倍拡大時7mm 8倍拡大時34mm（制限を超えると装置天板と接触し、検査物が破損することがあります。）

本

寸法：約800W×645D×523H mm体

管電流：10～140μA

容

Ｘ線発生器

画素数：1500×1000画素

USB3.0密閉管方式

AD精度 16bits

質量：約 115kg

漏洩線量0.5μSv／h以下

電AC 100～240V、単相 50Hz／60Hz

源

焦点サイズ：約7μm電離箱式サーベイメータ（ICS-321）にて測定
150VA以下「グローバルスペック」

照射時間0.1s～10s／積算回数：最大100回

静止画撮影

画像サイズ／分解能（10倍拡大時）：1500×1000画素／2μm
375× 250画素／8μm

準動画撮影

時間：5～180s

画像保存

静止画像：bmp（8、16bit）、JPEG、TIFF、tmp（16, 32bits選択可）

画像読込み

ファイル形式：bmp、JPEG、tmpファイル

CCD補正

補正点数：明画像、暗画像の2点補正

画像補正
画質フィルター
測長機能

表示：画像サイズ MAX1500×1000画素

750× 500画素／4μm

補正回数：1～99回（10回推奨）

明るさ補正、コントラスト補正、γ補正、白黒反転、2値化、カラー表示（疑似カラー）
アンシャープマスク、シャープマスク
スケール登録：等倍撮影時に基準スケール測定にて設定 計測パターン：直線及び折れ線、平行線間隔
表示単位：mm及び画素（pxl）（計測値は参考です。）

面積測定

面積、面積率、輝度面積平均

拡

幾何拡大率：1.18～10倍 連続電動可変（サンプル厚で倍率が変わります。）

大5フレーム／s

他

他

表示画面数

9画面（最大25画面）

傾斜撮影機能幾何倍率2倍位置で最大±約17度傾斜

デジタル拡大：10～400％※仕様および外観の一部を改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。

■ FLEX-M863 Equipment speciﬁcations

Red is New Spec.

Item
X-ray generator
CCD censor
Table
Main bodyLeakage dosage
Power supply
Hours

Description
Tube voltage: 10 to 70kV Tube current: 10 to 140μA Focal spot size: about 7μm Sealed tube system
Pixel size: 20×20μm Pixels: 1500 x 1000 USB3.0 AD 16bits
Table size: 350×270mm Electrical control by PC. Stroke: X-axis: 325mm, Y-axis: 245mm, Z-axis: 200mm,
Object weight: Maximum 1.5kg
Object height limit: 7mm at 10-fold magniﬁcation and 34mm at 8-fold magniﬁcation.
(If it over the limit, the objrct may hit the top board and may be damaged.)
Dimensions: About W800 x D645 x H523mm
Under 0.5μSv/h

Weight: About 115kg

Measured by ionztion chamber type survey meter (ICS-321).

AC100～240V Single phase 50Hz/60Hz 150VA
0.1s to 10s / Adding times: Max. 100

Still image shooting

Exposed time: 0.1s to 10s Quantity survey: Maximum 100times Image size/resoluton (at 10-fold magniﬁcation)
1500 x 1000 pixels/2μm 750 x 500 pixels/4μm 375 x 250 pixels/8μm

Animation shooting

Time: 5s to 180s Display: Imagesize MAX1500 ｘ 1000 pixels 5 frames/s

Image saving

Still image: bmp (8bit, 16bit), JPEG, TIFF, tmp ﬁle(16, 32bits）

Image reading

File format: bmp, JPEG, and tmp ﬁles

CCD correction

Correction point: 2 points of bright and dark Corretion times: 1 to 99 times (recommend 10 times)

Image correction

Brightness, Contrast, gamma, Reversible, Binarization, Color display (false color),

Image quality ﬁlter

Unsharp mask, Sharp mask

Length measuringfunction

Scale register: Sets standard scale measurement for same magniﬁcation shooting.,
Measurement pattern: Straight and broken lines, Distanse of the parallel lines etc.

Area Measurement

Area, Area ratio, Area brightness average, etc.

Magniﬁcation

Geometric magniﬁcation: 1.18 to 10-fold, continuous electrical movement. Digital magniﬁcation: 10 to 400%,
variable each 10% step(Magniﬁcation will be changed due to thickness of samples).

Images on a Screen

9 images (Max. 25 images)

Tilt table function

Tilts maximum about puls and minus 17degrees at the position of double geometric magniﬁcation.

※This speciﬁcation and an outward appearance are sometimes changed without the previous announcement to improve. Plesase understand.

外形寸法図Figure of the dimensional-outline

523645800

安全に関するご注意

ご使用の際は、取扱説明書をよくお読みの上、正しくお使いください。

カタログの記載商品を安全に使用して頂くために、取扱いについては稼働時、停止時に拘わらず、設備付属の取扱説明書および設備の警告表示をを十分に確認した上で、正しい作業を実施されますようにお願い致します。
本装置は、平成13年 3 月30日基発第253号第 3 - 3 第 3 条関係の（6）のアに記載される遮蔽ボックス付Ｘ線透視装置です。
設置 1 ヶ月前までに、管轄の労働基準監督署に、設備の届出を行うことが必要です。

Precaution

・Please read instruction manual carefully before using.
・Please check the local regulations for using this X-ray system.
●お問い合わせは…

BSFM･JE-05 24 04 01

開発・製造

株式会社 ビームセンス〒564‐0041 大阪府吹田市泉町 2 --19 --16
Manufacturer:

BEAMSENSE CO., LTD.

２-１９-１６ Izumi-cho, Suita City, Osaka ５６４-００４１, Japan

URL http://www.beamsense.co.jp