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series

WORCHEMI TAIWAN CO., LTD.
台湾華爾多科技股 有限公司
42955 台中市神岡區中山路915號
No.915, Zhongshan Rd., Shengang Dist.,
Taichung City 42955, Taiwan（R.O.C.）
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SUZHOU WORLD TECHNOLOGY CO., LTD
蘇州華而多科技有限公司
江蘇省蘇州市相城経済開発区富元路402号
402, Fu Yuan Road, Xiang Cheng, Economic District.,
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1 86-512-6579-8212 5 86-512-6579-8215
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WORLD CHEMICAL USA, INC.

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CA 92630. USA.
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P-B10275●資料の内容は、お断りなしに変更することがありますのでご了承下さい。

●このカタログは2023年3月発行です。

4-2023/03-1000

堅型リニアシール式 スラリーポンプ

LRN series

LRN series

磁力で液封するリニアシール構造のためスラリーを含む薬液の移送に最適

PLC（制御ボックス）用 途
半導体製造工程であるシリコンウェハー表面研磨液の移送、循環に最適液晶などのガラス研磨液の移送、循環に最適薬液移送の吸い切り運転や空運転によるトラブル解消に回転ディスク

特 長
ポンプ停止時のみ軸封部を密閉する「リニアシール」を装着しているため、ポンプ内の空気が密閉されシール面まで液体が上昇せず液漏れを防ぎます。
運転中は回転するインペラの裏羽根の作用で液体バランスが働き液漏れを防ぎます。
運転中は摺動する軸封（メカシールなど）がないので、スラリーによる摩耗や空運転による発熱がなく、吸い切り運転や空運転に強い構造です。
メカニカルシールがないので外部冷却水が不要なため、冷却水の排水処理の必要がありません。

可動シール

カットシール
外周フラム

リニアシールの構造と働き
リニアシールはポンプ停止時に液漏れを防ぐための軸シールです。
磁力を持ったシール材が、ポンプの発停に合わせて作用することで液封を行います。
メカニカルシールなどで軸封をしないシールレス構造のため、スラリーによる軸封部の摩耗や空運転による発 熱がありません。
また、ポンプ停止時にはリニアシールで軸封部が密閉されることで液封するため、押込み配管での設置にも適した構造です。

インペラ

リニアシール部（赤文字）

吐出し側

吐出し側

①外周フラム搭載
吸込側

吸込側

空気

2

リニアシールの安全構造

液体ポンプ運転中ポンプ停止中ポンプの運転中は、遠心力により回転ディスク内の磁石の磁極が変わり、可動シール内の磁石と反発し吸着（密着）していたシール部が開きます。
さらに回転しているインペラの裏羽根の作用で液体バランスが働き、裏羽根より上部には液体が上昇しません。
これらの作用により各部は非接触（無摺動）となります。

ポンプが停止すると、吐出し側から逆流してくる液と吸込側から押し込まれてくる液の圧力によってポンプ内部の液面が上昇し、軸封部から外部に流出しようとします。
この動きを防ぐために、カットシールが閉じて液封の役目を果たします。
（完全に液封するものではありません。）
さらに、ポンプ停止と同時に回転ディスク内の磁石の磁極が変わり、可動シール内の磁石と吸着（密着）します。
軸封部を密閉することでポンプ内の空気を密閉し内部液面の上昇を押さえ、液体の流出を防ぎます。
軸封部は接液しないため、スラリー混入液にもシール性を発揮します。

万一、可動シールに傷が付いたり、スラリーがシール面に噛み込んだ場合には、シール外側の外周フラムが液漏れを最小限にとどめます。
外周フラムは可動シールを保護する役目を持つジャバラ状のゴム製カバーで当社のオリジナル部品です。

近接センサー検知
センサー②近接センサー搭載
リニアシールの開閉を監視するため近接センサーを標準装備しています。
万一、可動シールが開かず軸封状態となった場合にポンプ停止信号を出力します。
※ポンプ 運転開始 2秒後に感知を開始し、その時点で可動シールが開いていない場合に信号を発信します。
※ポンプ自動停止の設定は、PLC（制御ボックス）内の回路をお客様で組んでいただく必要があります。
（近接センサーとPLCは結線済みです）
3

LRN series

LRN series〈 型 式 表 示 〉〈外形図〉

YD - 4005LRN3 - PP - LD52 - J吐出し口径

型式

25 : 25A
40 : 40A

主要部材質

シール材質

周波数

PP : PPPE : PP/UPE

L : リニアシール

5 : 50Hz
6 : 60Hz

モータ出力

モータ区分

Oリング材質許容比重01 : 0.75kW
02 : 1.5kW
03 : 2.2kW
05 : 3.7kW
07 : 5.5kW

1：IE1、特殊モータ
3：IE3モータ

D : FPME : EPDM

2 : 1.2

シャフト仕様J：ジョント式（標準仕様）〈 標 準 仕 様 〉
型

仕様点
全揚程－吐出し量（m－L/min.）

口径式

動力（kW）

重量（kg）

吸込

吐出し50Hz60Hz

YD-2501LRN340A

25A

10－ 60

9 －60

0.75

34YD-2502LRN340A

25A－13 －100

1.540

YD-4002LRN350A

40A

13－ 100－1.547

YD-4003LRN350A

40A

15－ 150

16 －150

2.251

YD-4005LRN350A

40A

17－ 250

19 －250

3.763YD-4007LRN350A

40A

25－ 220

25 －280

5.586

許容
比重1.2

耐熱温度（℃）

PP製：60
PE製：50〈部品表〉
品名〈 性 能 曲 線 〉

モータ

50Hz

60Hz

353530302525

全揚程

全揚程

204007LRN3（m） 154002LRN310204007LRN34005LRN3（m） 154005LRN34003LRN3102502LRN32501LRN355000100

2003004005004003LRN32501LRN30100

吐出し量（L/min.）200300

吐出し量（L/min.）■ 結 晶スラリー 入り■ 吸 切り運 転 O K■ C MP スラリー 専 用■ 消 耗 部 品なし■ 省エネ対 応 循 環 式
4

材質400500

品名

材質品名材質近接センサー（安全装置）

インペラキーチタン

ポンプシャフト

SUS304

インペラナット

PP・UPE

制御ボックス（安全装置仕様 200V）

PC

スリットカラー

S45C

カットシールFPM

ラブコック

PVC/EPDM

リニアシールフランジ

HT.PVC

外周フラムベース

CFRPP

十字穴付六角ボルト

SUS304

バックケーシング

PP・UPE

オイルシール

NBR

十字穴付六角ボルト

SUS304

ホース竹の子

PP

回転ディスク用Ｏリング

FPM

十字穴付六角ボルト

SUS304

インペラ

PP・UPE

外周フラム

FPM

十字穴付なべねじ

SUS304

ケーシング
（吐出側）

PP・UPE

吸込フランジ用Ｏリング

EPDM・FPM

六角穴付ボルト

SUS304

ケーシング
（吸込側）

PP

吐出フランジ用Ｏリング

EPDM・FPM

六角穴付ボルト（W、SW、N付） SUS304

吐出側フランジ

PP

脚PET

六角穴付ボルト

SUS304

吸込側フランジPP

インペラ用Ｏリング

EPDM・FPM

六角穴付ボルト

SUS304

オイルシール押さえ用Ｏリング FPM

リニアシールフランジ用Ｏリング

EPDM・FPM

六角ボルト（W、SW付）

SUS304

コネクティングパイプ

FC/AL

バックケーシング用Ｏリング

EPDM・FPM

六角ボルト
（W付）

SUS304シャフトスリーブ

HT.PVC

ケーシング用Ｏリング

EPDM・FPM

モータフランジ（3.7kW時のみ） FC200

回転ディスクCFR PP/セラミックス

インペラナット用Ｏリング

EPDM・FPM

可動シール

CFR PP/FPM

オイルシール押さえPP※③スリットカラーは5.5kw以上のモータの場合、２個となります。

〈寸法〉型式

A

B

C

D

E

F

GH

I

YD-2501LRN3115.5

168

397

φ170

156

156

20632.5

215

YD-2502LRN3115.5168397

φ202156

156

20670

215

YD-4002LRN392.5

156388.5

φ202

174

17420666.5

225

YD-4003LRN392.5

156388.5

φ202

174

17420695.5

225

YD-4005LRN392.5

156388.5

φ243

174

17420719.5

225

YD-4007LRN392.5

156

439.5

φ285

174

17420814

225
5

LRN series

LRN series

耐久性に優れ長寿命なスラリーポンプ「LRN型」
使えば使うほど省エネ・省コストが図れます

据付・配管時の注意点
YD-LRN series
1）据付時の注意

省電力なスラリーポンプとして半導体のシリコンウェハー研磨工程（CMPスラリー液）の循環移送用に最適
エアー駆動ポンプ

電気モータ駆動ポンプ①運転中に大量の空気が混入しますと揚水不能となり、故障の原因となります。
●ポンプ吸込口からタンク液面まで高さ５０cm以上設けてください。

逆止弁●吸込配管には空気が溜まるような突出部や山越え配管はしないでください。

近接センサー（安全装置）●吸込配管はポンプの口径以上のものを使用し、口径が異なる時はレジューサーを使用して上部が水平になるように配管してください。

エネルギーコスト
小②配管の吸込口にストレーナを設け、ゴミや異物の混入を避けてください。

大

但し、ストレーナは定期的に清掃し目詰まりを取り除いて、損失抵抗を最小限にしてください。

<LRN型>
モータに電気が供給されポンプが動くため消費電力が少なく済みます。

コンプレッサーのモータに電気が供給され、そのコンプレッサーで圧縮された空気でポンプを動かすため、消費電力が多くなります。

③下記のような場合にはウォーターハンマー防止の為、吐出側の立ち上がり配管に逆止弁を取付けることをお奨めします。
その下部にはエアー排気用のバイパス管も設けるよう（エアー抜き配管が無いと自吸不能になることお願いします。
があります。）●吐出し配管が長くなる時や吐出し揚程が10mを超える時など液面まで50㎝以上●吸込配管はポンプに向かって1/100以上の上がり勾配で施工してください。

エア抜き用バルブ
初回起動時等にエア抜き実施を御願いします。

吸込側

吐出し側

低維持費なスラリーポンプとして●吸込タンクの水面から吐出し管の先端が9m以上高い位置にある時などガラスなどの表面研磨工程（酸化セリウム液など）の循環移送用に最適④液温による配管の熱膨張によってポンプが変形し、液洩れなど生じないよう配管には曲折部や伸縮継手を設けてください。

●2台以上のポンプを並列に使用するような配管条件の時など

リニアシールポンプ

メカニカルシールポンプ⑤ポンプ内部の主要部品は樹脂製なので、衝撃を与えないよう取扱いに注意してください。

2）ポンプフランジ締め過ぎ禁止①配管フランジ面とポンプフランジ面を平行にし、ボルトを締め過ぎないように注意してください。

ランニングコスト
少<LRN型>
摺動部品（メカニカルシールなど）がないため外部冷却水が不要です。
また、封軸部品（グランドパッキンなど）の摩耗がないため、定期交換が不要です。

多②配管側にフレキシブルジョイントやSUS製ルーズフランジまたは内面パッキンを使用した場合、ボルトの締め過ぎによるポンプフランジの変形に注意してください。

3）配管荷重禁止①配管荷重は配管サポートで完全に受けてください。

軸封シールの発熱や摩耗が発生するため外部冷却水が必要となり、その排水にもコストがかかります。
定期的な消耗部品の交換も必要です。

お使いのポンプと比べてみてください
吸い切り運転でポンプが故障する→ 摺動部品がないため吸い切り運転や空運転に強い構造です

軸封（メカニカルシールなど）の発熱対策に冷却水を使用している→ 摺動部品がないため冷却水が不要になり、冷却水の排水処理も不要です②高温液（40℃以上）の場合は、配管の熱膨張によってポンプに荷重が掛からないよう、配管には曲折部や伸縮継手を設けてください。
③金属配管はなるべく避けて、樹脂配管をご使用ください。
※特に、濃硫酸や苛性ソーダは金属配管を使用する場合が多いため、
上記2）、3）の禁止事項は正しくお守りください。

ポンプの押込み揚程について吸込側配管は押込みとし、押込み揚程は2mが標準です。
ポンプベース接地面からタンク液面レベルまでの高さを2ｍ以下にしてください。
押込み揚程2ｍ以上でご使用になる場合はお問い合わせください。条件によっては高い押込み揚程にも対応可能な場合がございます。

押込み揚程（2m以下）

ゴムライニングポンプで定期的に消耗部品の交換をしている→ 接液部に耐磨耗樹脂を使用しているため、摩耗に強く消耗部品がありません
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