Future Technologies from KUMAMOTO
第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

電気学会 【E】センサ・マイクロマシン部門大会
第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 シンポジウム
2023 年 11 月 6 日（月）11 月 6 日

11:00-11:30

6A2-M

開会式

11 月 6 日

11:30-12:10

6A3-M

基調講演 I

座長：澤田 和明（豊橋技術科学大学）
講演番号 6A3-M-1
3D 積層型 CMOS イメージセンサを進化させるプロセス技術
岩元 勇人氏ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
11 月 6 日

12:20-12:55

6P1-M

第 2/4 研究部門

部門長

出展者による技術展示発表セッション I

座長：内貴 崇（ローム）
エス・イー・アール
ジオマテックデンソー
住友精密工業
ハイデルベルグ・インストルメンツ
アイカムス・ラボ
東京大学 マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点～革新的なエネルギー変換を可能とするマテ
リアル～（東京大学・広島大学・日本原子力研究開発機構）
11 月 6 日

13:10-14:40

6P2-M

ファイナリストセッション

若手賞 I&優秀技術論文賞 I

座長：高尾 英邦（香川大学），中島 雄太（熊本大学）
講演番号 6P2-M-1
圧電 MEMS 光スキャナのフィードバック制御に向けた静電振角センサの検討*小田 優太朗{1}, 浅利 友隆{1}, 谷 雅直{1}, 年吉 洋{2}{1}スタンレー電気, {2}東京大学
講演番号 6P2-M-2
バイポーラ電気化学的信号増幅を利用した金属置換型クーロメトリー*小林 吉成, 薛 安汝, 清水 哲郎, 鈴木 博章
筑波大学
講演番号 6P2-M-3
インスリン抵抗性評価のための局所糖負荷試験システム*鶴岡 典子, 芳賀 洋一
東北大学1

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 6P2-M-4
シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベルパッケージング技術による MEMS 振動子の 1 Pascal
真空封止*鈴木 裕輝夫, ゴン ティアンジャオ, Khan Muhammad Jehanzeb, 塚本 貴城, 田中 秀治
東北大学
講演番号 6P2-M-5
MEMS 熱伝導型ガスセンサを用いた混合ガスのリアルタイム濃度センシング技術の提案と実証*王 萍, 久留井 慶彦, 藤原 直也, 秋元 陽介, 平松 直樹, 石橋 史隆, 北川 良太, 山﨑 宏明, 小島 章弘
東芝
講演番号 6P2-M-6
化学刺激によるイオンチャネル構造変化を解析する 1 分子動態計測技術
琴屋 健太郎{1}, 山内 一慶{1}, 清水 啓史{2}, *平井 義和{1}{1}京都大学,{2}福井大学
11 月 6 日

13:10-14:40

6P2-C

バイオセンサ I

座長：遠藤 達郎（大阪公立大学）
講演番号 6P2-C-1
小型 LSPR バイオセンサシステムの性能向上に向けたフィルタフリー波長センサのマルチ計測と LED
光源の最適化*坂江 亜弥, 崔 容俊, 井出 智也, 髙橋 一浩, 野田 俊彦, 澤田 和明
豊橋技術科学大学
講演番号 6P2-C-2
多重蛍光観測におけるフィルタフリー波長センサを用いた複数波長の同時イメージングの実証*井出 智也, 崔 容俊, 松原 稜弥, 木村 安行, 村上 健介, 野田 佳子, 赤井 大輔, 飛沢 健, 石井 仁, 高橋
一浩, 野田 俊彦, 澤田 和明
豊橋技術科学大学
講演番号 6P2-C-3
PDMS スタンプを用いた酵素固定化による小型バイオセンサの開発*赤羽 優希, 工藤 寛之
明治大学
講演番号 6P2-C-4
表面電荷変調型グラフェン FET バイオセンサによるタンパク質検出*牛場 翔太{1}, 中野 友美{1}, 品川 歩{1}, 宮川 成人{1}, 小野 尭生{2}, 金井 康{2}, 谷 晋輔{1}, 木村
雅彦{1}, 松本 和彦{2}{1}村田製作所, {2}大阪大学

2

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 6P2-C-5
3D 応力イメージセンサの実現に向けた応力の解析手法の提案と検証*大平 瑞季{1}, 村上 健介{1}, 小笠原 健{2}, 清水 聡{2}, 堀尾 智子{1}, 土井 英生{1}, 崔 容俊{1}, 高橋
一浩{1}, 野田 俊彦{1}, 澤田 和明{1}{1}豊橋技術科学大学, {2}東邦化成
講演番号 6P2-C-6
フレキシブル基板マイクロニードル電極デバイスによる長期ニューロン計測と組織損傷評価*坂本 兼盛{1}, 山下 幸司{1}, 鈴木 巧{2}, 清水 快季{1}, 沼野 利佳{1}, 鯉田 孝和{1}, 河野 剛士{1}{1}豊橋技術科学大学, {2}テクノプロ R&D
11 月 6 日

13:10-14:25

6P2-D

フィジカルセンサ I

座長：野田 堅太郎（富山県立大学）
講演番号 6P2-D-1
海鳥の雛の成長観察のための体重計及び心拍計付き人工巣箱*植松 大貴{1}, 岸本 卓大{1}, 原田 和輝{2}, 渡辺 伸一{3}, 佐藤 克文{2}, 高橋 英俊{1}{1}慶應義塾大学, {2}東京大学, {3}日本希少鳥類研究所
講演番号 6P2-D-2
コルゲート構造を用いた LIG 圧力センサ*小田 怜, 中島 利八郎, 高橋 英俊
慶應義塾大学
講演番号 6P2-D-3
薄型ひずみセンサを適用した小型インライン圧力センサの高信頼実装技術の開発*池田 裕, 金丸 昌敏, 青野 宇紀
日立製作所
講演番号 6P2-D-4
口元気流によるウェアラブルバイタルサインセンサの定量的校正に関する研究*堀江 健太{1}, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン{1}, 長谷川 義大{1}, 松島 充代子{2}, 川部 勤{2},式田 光宏{1}{1}広島市立大学, {2}名古屋大学
講演番号 6P2-D-5
農業培地計測を目指した高感度かつ高速計測可能な比熱検出型水分量センサの開発*二川 雅登, 佐藤 晴紀, 長根尾 修平, 大多 哲史
静岡大学

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11 月 6 日

14:50-16:05

6P3-M

ファイナリストセッション

若手賞 II&優秀技術論文賞 II

座長：齊藤 健（日本大学），竹下 俊弘（産業技術総合研究所）
講演番号 6P3-M-1
極薄圧電薄膜を用いた電気刺激誘発筋音センサによる筋収縮性の評価*竹井 裕介, 竹下 俊弘, ジメルカ ダニエル, 小林 健
産業技術総合研究所
講演番号 6P3-M-2
同軸両面リング電極による開放型 AC ナノポアセンサの開発と in situ 微生物測定・分類への応用*山本 貴富喜, 白石 紗惠, 坂本 まあみ, 堀 宏輔
東京工業大学
講演番号 6P3-M-3
高分解能触覚センシングによる「潤い感」の定量判別化*森田 悠斗, 山田 原暉, 寺尾 京平, 下川 房男, 高尾 英邦
香川大学
講演番号 6P3-M-4
RES 構造と斜立した LIG カンチレバーを利用した三軸触覚センサ*中島 利八郎{1}, 中村 凪{2}, 佐野 友彦{1}, 岩瀬 英治{2}, 高橋 英俊{1}{1}慶應義塾大学, {2}早稲田大学
講演番号 6P3-M-5
複数の音響信号を用いた呼気成分計測手法の検討*吉岡 凜香, 山本 道貴, 高松 誠一, 伊藤 寿浩
東京大学
11 月 6 日

14:50-16:05

6P3-C

マイクロナノシステム 1

座長：年吉 洋（東京大学）
講演番号 6P3-C-1
薄膜 PZT アクチュエータとピエゾ抵抗センサを有する MEMS 可変焦点液体レンズ*唐 正男{1}, 宗田 玲於{2}, ベルガラ アンドレア{1}, 岡谷 泰佑{1}, 鈴木 裕輝夫{1}, 田中 秀治{1}{1}東北大学,{2} École des Mines de Saint-Étienne(France)
講演番号 6P3-C-2
単一ウイルスの検出に向けたひずみ印加グラフェン共振質量センサの作製*加藤 源基{1}, 新野 謙{1}, 斎藤 優人{2}, 藤枝 俊宣{2}, 合田 達郎{3}, 崔 容俊{1}, 野田 俊彦{1}, 澤田
和明{1}, 高橋 一浩{1}{1}豊橋技術科学大学, {2}東京工業大学, {3}東洋大学

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講演番号 6P3-C-3
伸縮性可変カラーシートに向けたエラストマーナノシートへのプラズモニックメタサーフェス転写のプロ
セス検討*大石 匠真{1}, 渡邉 守{1}, 齋藤 優人{2}, 藤枝 俊宣{2}, 崔 容俊{1}, 野田 俊彦{1}, 澤田 和明{1}, 高橋
一浩{1}{1}豊橋技術科学大学, {2}東京工業大学
講演番号 6P3-C-4
MEMS 環境振動発電応用に向けた自己組織化エレクトレットのマイクロパターン化技術と表面電位評価*李 睿宸{1}, 杉本 澪貴{1}, 田中 有弥{2}, 山根 大輔{1}{1}立命館大学，{2}群馬大学
講演番号 6P3-C-5
iPS 細胞胚様体の局所分化誘導技術の開発*阿部 祐馬{1}, 楠 直人{1}, 豊田 太郎{2}, 西田 光徳{3}, 佐藤 成弘{3}, 高尾 英邦{1}, 下川 房男{1}, 寺
尾 京平{1}{1}香川大学, {2}京都大学, {3}タツモ
11 月 6 日

16:15-17:30

6P4-M

ファイナリストセッション

若手賞 III

座長：平井 義和（京都大学），三澤 宣雄（麻布大学）
講演番号 6P4-M-1
銀ナノワイヤ/グラフェンを積層した透明電極の作製とフレキシブル光発電デバイスへの応用*赤阪 美保, 野口 雅彦, 小林 大造
立命館大学
講演番号 6P4-M-2
ピトー管構造を用いた肺内部でのその場圧力流量同時計測システムに関する研究*宮脇 葵{1}, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン{1}, 長谷川 義大{1}, 松島 充代子{2}, 川部 勤{2},式田 光宏{1}{1}広島市立大学, {2}名古屋大学
講演番号 6P4-M-3
ストロー型ナノポアによる単一ナノ粒子の広帯域インピーダンス測定*堀 宏輔, 坂本 まあみ, 山本 貴富喜
東京工業大学
講演番号 6P4-M-4
参照電極内蔵型 in vivo イメージセンサの製作と行動下マウスのてんかん発作誘発における脳内 pH イメー
ジング*中村 優斗{1}, 間所 麻衣{1}, 堀内 浩{2}, 小林 知子{2}, 木村 安行{1}, 堀尾 智子{1}, 土井 英生{1}, 崔容俊{1}, 高橋 一浩{1}, 野田 俊彦{1}, 鍋倉 淳一{2}, 澤田 和明{1}{1}豊橋技術科学大学, {2}生理学研究所

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講演番号 6P4-M-5
転座型腎細胞がんの血管新生モデルにおける血管に対する周皮細胞の挙動*北田 敦也{1}, Zhou Hang{1}, 藤本 和也{1}, 田中 美和{2}, 馬場 理也{3}, 中村 卓郎{4}, 横川 隆司{1}{1}京都大学, {2}がん研究会, {3}熊本大学, {4}東京医科大学
11 月 6 日

16:15-17:30

6P4-B

センサ・アクチュエータシステム 1/エレクトロニクス実装学会

セッション
座長：村上 直（九州工業大学 ）講演番号 6P4-B-1
機械学習を用いた浴室内音響イベント検出*森 浩貴, 玄田 貴之, 佐藤 駿, 大原 遼太郎, M.SHARUL AMIR KAMARULZAMAN, 安田 祐人, 河合
晃聖, 濱邉 理玖, 和泉 慎太郎, 川口 博
神戸大学
講演番号 6P4-B-2
イベントドリブン型触覚センサを用いた触覚認識推論システムの構築と評価*室山 真徳{1}{2}, 田中 秀治{2}{1}東北工業大学, {2}東北大学
講演番号 6P4-B-3
画像認識と画像処理フィルタを利用した海岸ゴミ汚染度の自動評価手法に関する基礎的研究*小松 真也, 小菅 宏明, 石田 寛
東京農工大学
講演番号 6P4-B-4
MR 素子を用いた極低温環境用パッシブ型無線ひずみセンサの開発*趙 子琪, 山本 道貴, 高松 誠一, 伊藤 寿浩
東京大学
講演番号 6P4-B-5
活性化された Au 表面の保護と低温直接接合への応用*竹内 魁{1}, 王 俊沙{2}, 金 範埈{3}, 須賀 唯知{2}, 日暮 栄治{1}{1}東北大学, {2}明星大学, {3}東京大学
11 月 6 日

16:15-17:15

6P4-C

マイクロナノシステム 2

座長：肥後 昭男（東京大学）
講演番号 6P4-C-1
PLL 制御による MEMS 振動発電素子の周波数自動追従*本間 浩章, 水野 裕登, 年吉 洋
東京大学

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講演番号 6P4-C-2
固有値解析による MEMS 構造での非線形周波数応答予測*赤松 儀優, 神田 健介, 前中 一介
兵庫県立大学
講演番号 6P4-C-3
トライボセンサの接触弾性変形を利用した出力電圧波形制御と イベントドリブン無線センサ端末への応用*森下 浩多{1}, 山田 駿介{2}, 田中 有弥{1}, 宮口 裕{3}, 橋口 原{4}, 年吉 洋{5}, 鈴木 孝明{1}{1}群馬大学, {2}東北大学, {3}芝浦工業大学, {4}静岡大学, {5}東京大学
講演番号 6P4-C-4
超撥水性傘型ピラーアレイデバイスを応用した化学合成と反応過程の観察*田中 大器{1}, 小林 雅史{1}, 秋津 貴城{2}, 関口 哲志{1}, 古谷 正裕{1}, 谷井 孝至{1}, 庄子 習一{1}{1}早稲田大学, {2}東京理科大学
11 月 6 日

17:40-19:10

6P5-P

ポスターセッション I

講演番号 6P5-PS-1
金ナノ粒子二量体ナノギャップ制御による表面増強ラマン分光の感度増強
常 沅芷, *中村 友河, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正
神戸大学
講演番号 6P5-PS-2
ウエハレベルパッケージングを利用した薄型ひずみセンサの加工プロセス*青野 宇紀, 金丸 昌敏, 池田 裕
日立製作所
講演番号 6P5-PS-3
アニール処理による光導波路用 SiCO 薄膜の透明性の改善*本白水 亮, 新國 広幸, 伊藤 浩
東京工業高等専門学校
講演番号 6P5-PS-4
衝撃波圧縮機構を応用したマイクロスケール遠心ウェーブロータの製作*中村 祐嘉, 赤松 亮太, 池田 陽介, 藤井 悠太, 橋本 瑞希, 朝倉 資景, 鳥山 寿之
立命館大学
講演番号 6P5-PS-5
導電性薄膜作製に向けた DNA/ポリアニリン複合体の調製
後藤 明, 高橋 祐希, 森田 勇人, *阪田 知巳,
城西大学

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講演番号 6P5-PS-6
ステンレス基板上に形成した BaTiO3 厚膜の圧電縦効果による振動発電特性*川上 祥広電磁材料研究所
講演番号 6P5-PS-7
Al2O3 エレクトレット膜被覆 Si ナノワイヤのピエゾ抵抗効果*長野 貴哉, 仲上 達也, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正
神戸大学
講演番号 6P5-PS-8
引張変形の TEM 内観察用シリコンデバイスの設計*鈴木 聡汰, 野田 和俊, 安藤 妙子
立命館大学
講演番号 6P5-PS-9
胃酸発電で充電する「飲む体温計」のための Mg ペースト電極の開発*小島 嘉将, 宮口 裕, 吉田 慎哉
芝浦工業大学
講演番号 6P5-PS-10
容量可変ダイオードを用いた分割リング共振器間の電磁的相互作用の定量的評価とセンサー応用*中村 颯汰, 鈴木 薫, 胡桃 聡, 松田 健一
日本大学
講演番号 6P5-PS-11
サブミクロンピッチ回折格子を持つプラズモニック光検出器による連続的な波長光源を用いた分光*金田 裕喜{1}, 齊藤 伊吹{1}, 山岡 詩菜{1}, 斎藤 史郎{2}, 大下 雅昭{1},菅 哲朗{1}{1}電気通信大学, {2}イムラ・ジャパン
講演番号 6P5-PS-12
窒化シリコンによるメタサーフェスホログラムの透過率と回折効率の向上*山口 眞和{1}, 齋藤 洋輝{1}, 池沢 聡{2}, 岩見 健太郎{1}{1}東京農工大学, {2} 早稲田大学
講演番号 6P5-PS-13
表面弾性波を駆動源としたマイクロホットスターラー*高橋 正俊{1}, 才木 常正{2}, 三枝 峻也{1}, 内海裕一{1}, 天野 壮{1}, 山口 明啓{1}{1}兵庫県立大学, {2}兵庫県立工業技術センター
講演番号 6P5-PS-14
エラストマシート封止 MEMS 触覚センサの曲げ・ねじり応答の封止深度依存性*若林 陽彩{1}, 南部 泰生{1}, 安部 隆{1}, 野間 春生{2}, 寒川 雅之{1}{1}新潟大学, {2}立命館大学

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講演番号 6P5-PS-15
取り出し可能なマイクロ流路内での含錯体タンパク質結晶化*小林 雅史{1}, 清水 美佑{2}, 山中 康平{1}, 秋津 貴城{2}, 関口 哲志{1}, 庄子 習一{1}, 古谷 正裕{1},谷井 孝至{1}, 藤田 理紗{1}, 田中 大器{1}{1}早稲田大学, {2}東京理科大学
講演番号 6P5-PS-16
Pin 型 MEMS による神経細胞の機械特性計測*岩下 颯真{1}, 金田 祥平{2}, Kudo Lili C{3}, Ma Zhongcai{3}, Karsten Stanislav L{3}, 久米村 百子{1}{1}九州工業大学, {2}工学院大学, {3}NeuroInDx
講演番号 6P5-PS-17
小型デバイス応用を鑑みた PLD 法による Sm-Fe 系磁石膜の作製*曽我部 泰地, 山下 昂洋, 柳井 武志, 中野 正基, 福永 博俊
長崎大学
講演番号 6P5-PS-18
SEM 用引張試験デバイスに対応する外部引張試験機の開発*寺西 裕務, 安藤 妙子
立命館大学
講演番号 6P5-PS-19
超撥水性傘型ピラーアレイデバイスを応用したサレン型亜鉛(II)錯体の合成と反応過程のリアルタイム観察*村重 友哉{1}, 小林 雅史{1}, 秋津 貴城{2}, 関口 哲史{1}, 古谷 正裕{1}, 庄子 習一{1}, 田中 大器{1}{1}早稲田大学, {2}東京理科大学
講演番号 6P5-PS-20
音響放射力を用いた MEMS 光スキャナの特性評価*佐々木 敬{1}, 高橋 優哉{2}, 羽根 一博{2}{1}Silicon Austria Labs, {2}東北大学
講演番号 6P5-PS-21
MOSFET のチャネル抵抗を用いたピエゾ抵抗型 MEMS 圧力センサ*前澤 龍平, 小松 聡
東京電機大学
講演番号 6P5-PS-22
マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の加熱合成における流量の影響*舒 聖, 凡 志遠, 浜本 真央, 柳生 裕聖
関東学院大学
講演番号 6P5-PS-23
マイクロ波ドップラーセンサを用いた非接触生体認証*高橋 宏太, 和泉 慎太郎, 川口 博
神戸大学

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講演番号 6P5-PS-24
発泡超弾性体と導電性繊維を用いた触覚提示スマートウェアの開発*髙木 卓真, 山本 道貴, 高松 誠一, 伊藤 寿浩
東京大学
講演番号 6P5-PS-25
圧電方式の指紋センサに関する基礎検討*堀口 凱生, 幹 浩文
和歌山大学
講演番号 6P5-PS-26
温度・ひずみセンサを集積化した動く電子回路*石田 佳洋, 大塚 陸, 張 詩芸, 林 健司, 佐々 文洋
九州大学
講演番号 6P5-PS-27
マイクロ流体デバイス内におけるベーマイトを用いた SERS 構造への 分子の吸着依存性*三枝 峻也{1}, 納谷 昌之{2}, 福岡 隆夫{1}, 内海 裕一{1}, 山口 明啓{1}{1}兵庫県立大学, {2}慶應義塾大学
講演番号 6P5-PS-28
生体内を遠隔操作可能な近赤外応答ソフトアクチュエーターの開発*渡邉 智, 有川 和希, 江良 洋, 國武 雅司
熊本大学
講演番号 6P5-PS-29
IoT センサを用いた日常生活での活動状態の収集と解析*津田 渉, 原田 知親, 横山 道央
山形大学
講演番号 6P5-PS-30
MEMS 差圧センサとニューラルネットワークによる風向・風速センサ*松平 謙英, 羽田 耕太郎, 岸本 卓大, 高橋 英俊
慶應義塾大学
講演番号 6P5-PS-31
3D プリンタで一括成形可能な三軸フォースプレート*中原 行健, 高橋 英俊
慶應義塾大学
講演番号 6P5-PS-32
ジルコニア構造体 Cr-N 薄膜圧力センサによる水素ガス中圧力測定*丹羽 英二{1}, 皆川 直祐{2}, 水尾 仙人{2}, 亀川 厚則{3}{1}電磁材料研究所, {2}日本ファインセラミックス, {3}室蘭工業大学

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講演番号 6P5-PS-33
エレクトレットセンサにおける絶縁層のパターニングがエレクレットの電荷保持特性に及ぼす影響*尾花 拓朗, 蔭山 健介
埼玉大学
講演番号 6P5-PS-34
高性能小型圧電ジャイロスコープのための単結晶ニオブ酸リチウム円筒振動子の開発*森田 健司{1}, 土屋 智由{1}, 荒屋 和貴{2}, 今村 恒彦{2}, 谷内 雅紀{3}{1}京都大学, {2}多摩川精機, {3}多摩川モバイル電装
講演番号 6P5-PS-35
絶対圧力センサを用いた水中二次元流速センサ*嶋田 恭大{1}, 岸本 卓大{1}, 田中 博人{2}, 高橋 英俊{1}{1}慶應義塾大学，{2}東京工業大学
講演番号 6P5-PS-36
TiN マイクロヒータを用いた熱式 MEMS フローセンサ作製プロセスの検討*浦野 元里, 伊藤 浩, 新國 広幸
東京工業高等専門学校
講演番号 6P5-PS-37
多層カーボンナノチューブのガス選択検知における欠陥導入効果*安山 宝成, 森 陽香, 坂尾 実希, 橋新 剛, 松田 元秀
熊本大学
講演番号 6P5-PS-38
圧電薄膜匂いセンサを用いた室内緑化空間の空気質ダイナミクス計測*町田 悟, 岩井 幸一郎, 早川 和美, 勝野 高志
豊田中央研究所
講演番号 6P5-PS-39
水晶発振回路式複素容量センサによる乳化状態のモニタリングシステムの開発*川口 大輔, 奥脇 琢朗, 寒川 雅之, 安部 隆,
新潟大学
講演番号 6P5-PS-40
基板電圧制御機能付きソース接地回路を用いたストライプゲート型 ISFET による高分解広範囲 pH 計測シ
ステムの開発*横山 竣也, 秋山 真太朗, 内藤 喜靖, 大多 哲史, 二川 雅登
静岡大学
講演番号 6P5-PS-41
Odor Reproduction Analysis with Robustness Against Interference Using NMF with Several Fixed Basis
Vectors*Shengyu Wang, Dani Prasetyawan, Takamichi Nakamoto
Tokyo Institute of Technology

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講演番号 6P5-PS-42
ガス拡散シミュレータを用いたガス源探索アルゴリズムの開発―乱流渦を考慮したガス拡散場のシミュレーション―*坂上 源生{1}, 原津 拓巳{1}, 松倉 悠{2}, 石田 寛{1}{1}東京農工大学, {2}電気通信大学
講演番号 6P5-PS-43
局所強電界により制御性を向上させたガス透過特性可変素子の製作と特性検証*蓑輪 奈穂{1}, 水谷 学世{1}{2}, 鈴木 誉久{2}, 崔 容俊{1}, 髙橋 一浩{1}, 澤田 和明{1}, 野田 俊彦{1}{1}豊橋技術科学大学, {2}新東工業
講演番号 6P5-PS-44
Translation of binary odor descriptors to continuous odor ratings*Aleixandre Manuel, 中本 高道
東京工業大学
講演番号 6P5-PS-45
ガス拡散シミュレータを用いたガス源探索アルゴリズムの開発―粒子フィルタを用いたガス源探索性能の向上―*原津 拓巳{1}, 坂上 源生{1}, 松倉 悠{2}, 石田 寛{1}{1}東京農工大学, {2}電気通信大学
講演番号 6P5-PS-46
液状食品の Lab 色空間と物性データを用いた分類評価の基礎的検討*三船 光貴{1}, 小島 伊織{2}, 合田 元清{1}, 石川 勇人{3}, 伊藤 佳卓{1}, 一戸 善弘{1}, 木村 尚仁{1},渡部 智希{1}, 横山 徹{1}, 北間 正祟{1}, 岩波 俊介{3}, 小島 洋一郎{1}{1}北海道科学大学, {2}室蘭工業大学, {3}苫小牧工業高等専門学校
講演番号 6P5-PS-47
QCM 感応膜の膜厚による疎水性物質選択性及び感度向上*八代 陸, 安藤 毅, 小林 佳弘
千葉工業大学
講演番号 6P5-PS-48
空間解像度向上のためのナノポーラスアルミナ薄板を搭載した機能膜型 K+ イメージセンサ*倉持 圭汰, 土井 英生, 堀尾 智子, 崔 容俊, 高橋 一浩, 野田 俊彦, 澤田 和明
豊橋技術科学大学
講演番号 6P5-PS-49
液滴の周縁部と電極が直交しない場合を考慮した静電容量式コプレーナ型接触角推定センサ*古田 翼, 土谷 亮, 井上 敏之, 岸根 桂路,
滋賀県立大学12

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 6P5-PS-50
分子インプリントを用いた光干渉型 MEMS センサによる低分子高分子マルチ計測*黒須 千紘{1}, 阪上 天斗{1}, 太田 宏之{2}, 藤枝 俊宣{3}, 崔 容俊{1}, 野田 俊彦{1}, 澤田 和明{1}, 高
橋 一浩{1}{1}豊橋技術科学大学, {2}防衛医科大学校, {3}東京工業大学
講演番号 6P5-PS-51
カンチレバーアレイセンサでの複数セル並列計測を 目的としたモバイル計測システムの開発*宮岡 一輝, Carl Frederik Werner, 野田 実
京都工芸繊維大学
講演番号 6P5-PS-52
温度補正を適用した無線波長測定システム*權 益賢, 崔 容俊, 井出 智也, 髙橋 一浩, 野田 俊彦, 澤田 和明
豊橋技術科学大学
講演番号 6P5-PS-53
ペプチド修飾 LAAS を用いたアルカナールの測定*松田 和樹, 長谷川 有貴, 内田 秀和
埼玉大学
講演番号 6P5-PS-54
Enzyme-based Chemiresistive Creatinine Biosensor*Kao Yi-Hsiu, Tuoi Truong Thi Kim, Sui Hongtao, 小野 崇人
Tohoku University
講演番号 6P5-PS-55
不織布上でのマイクロ流路作製と溶液の電気伝導度測定への応用*宇野 真由美{1}, 小森 真梨子{1}, 小林 孝一朗{2}, 坂本 憲児{3}{1}大阪産業技術研究所, {2}大島商船高等専門学校, {3}九州工業大学
講演番号 6P5-PS-56
花粉細胞アレイの同時培地固定杉山 祥子, Liu Qingyang, 韓 剛, *佐々木 実
豊田工業大学
講演番号 6P5-PS-57
カラーレジストへのレーザスキャンによる大量オプトポレーション法の開発*山本 寛文, Mishra Aniket, 馬込 壮真, 岡本 俊哉, 柴田 隆行, 永井 萌土
豊橋技術科学大学
講演番号 6P5-PS-58
胞巣状軟部肉腫 (ASPS) のオンチップモデルにおける血管枝の血管内皮細胞種による評価及び比較*萩庭 歩美{1}, Surachada Chuaychob{1}, 松本 倫実{1}, 田中 美和{2}, 藤本 和也{1}, 中村 卓郎{3}, 横川 隆司{1}{1}京都大学, {2}がん研究会, {3}東京医科大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 6P5-PS-59
神経血管相互作用を利用した大脳オルガノイド構築のためのマイクロデバイス*浅場 智貴, 福田 淳二
横浜国立大学
講演番号 6P5-PS-60
hiPSC-derived kidney organoids source proximal tubule cells capable of modeling ADPKD on a
microphysiological system*MA CHENG, Banan Sadeghian Ramin, 藤本 和也, 荒岡 利和, 横川 隆司
京都大学
講演番号 6P5-PS-61
パリレン C 薄膜 CMOS スマート電極搭載人工視覚デバイスの開発*欧陽 鑫垣{1}, 潘 愷鴿{1}, 高野 拓郎{1}{2}, 寺澤 靖雄{1}{2}, 竹原 浩成{1}, 春田 牧人{1}{3}, 田代 洋
行{1}{4}, 笹川 清隆{1}, 太田 淳{1}{1}奈良先端科学技術大学院大学, {2}ニデック, {3}公立千歳科学技術大学, {4}九州大学
講演番号 6P5-PS-62
弾性表面波デバイス基板両面への温度・流量測定のための素子構造の追加作製*蜷川 渉, 永野 朝日, 村上 直, 伊藤 高廣
九州工業大学11 月 6 日

19:10-21:00

6P6-E

FT 合同若手企画「マイクロ・ナノ工学シンポジウム，化学とマイクロ・ナノシステム学会主催研究会，センサ・マイクロマ
シンと応用システム」シンポジウムの 3 学会合同での若手企画です。キャリアパスについて大学教員，国研研究員，大学院博士課程の 6 名の講師にポスター発表していただきます。小規模懇親会（軽食，飲み物を準備）を並行して開催します。
講演者
岩﨑 渉

産業技術総合研究所

佐藤 峻

早稲田大学

田中 大器 早稲田大学
長峯 邦明 山形大学
南茂 彩華 横浜国立大学
平本 薫

東北大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

2023 年 11 月 7 日（火）11 月 7 日

9:10-9:50

７A1-M

基調講演 II

座長：土屋 智由（京都大学）
講演番号 7A1-M-1
集積回路：使ってナンボ，使われてナンボ
益 一哉氏
東京工業大学 学長
11 月 7 日

10:00-11:15

７A2-C

設計・製作技術、材料 1

座長：小林 大造（立命館大学）
講演番号 7A2-C-1
バイモーダル「センサチップレット」プラットフォームによるアルブミン・pH マルチ計測*島村 龍伍{1}, 安永 竣{1}, 三角 啓{1}, Eiler Anne-Claire{1} , 肥後 昭男{1}, Hwang Gilgueng{1}{3}, 水
島 彩子{1}, Zhu Dongchen{1} , 小森 喜久夫{2}, 酒井 康行{1}, 年吉 洋{1}, ティクシエ三田 アニエス{1},
三田 吉郎{1}{1}東京大学, {2}近畿大学, {3}パリサクレ―大学
講演番号 7A2-C-2
電気・薬理・光学的ニューロン計測に向けたパリレン製マイクロチューブデバイスの作製と評価*冨田 健太, 渕上 晃広, Nerchan Rexy Alvian, 清水 快季, 山下 幸司, 沼野 利佳, 鯉田 孝和, 河野 剛士,
豊橋技術科学大学
講演番号 7A2-C-3
側面ドーピングによる MEMS 共振子の温度補償法の開発*五味 凌介, 山田 駿介, 田中 秀治
東北大学
講演番号 7A2-C-4
PZT/ポリマーSi アクチュエータによるポリマー材料の機械的品質係数(Qm)の評価*王 旭晨{1}, 鈴木 裕輝夫{1}, 李 仲民{2}, 田中 秀治{1}{1}東北大学, {2}AAC Technologies
講演番号 7A2-C-5
PZT 薄膜アクチュエータとシリコンーパリレン振動板を一体化させた圧電 MEMS スピーカの開発*上路 輝希, 鈴木 裕輝夫, 田中 秀治
東北大学

11 月 7 日

10:00-11:15

座長：Silicon Austria Labs

７A2-D

センサ・アクチュエータシステム 2

佐々木 敬

講演番号 7A2-D-1
シリコンウェハーの酸化手法による光伝導度特性*森 陽香, 田中 希望, 中山 駿, 小林 一博, 橋新 剛, 松田 元秀
熊本大学
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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 7A2-D-2
フレキシブル超薄膜水素センサの開発*王 裕基, 若林 翔貴, 王 璡, 紀和 利彦
岡山大学
講演番号 7A2-D-3
VO2 切り紙薄膜を用いた大変位・多自由度熱駆動 MEMS アクチュエータの開発*橋本 将明, 筒井 友哉, 田口 良広
慶應義塾大学
講演番号 7A2-D-4
硬軟複合剛性ストレッチャブルデバイスと機械学習による手の動作認識*伊佐野 雄司{1}, 鷹屋 舞香{1}, 松田 涼佑{1}, 黒瀧 悠太{1}, 三宅 悠介{2}, 栗林 健太郎{2}, 太田 裕貴{1}{1}横浜国立大学, {2}GMO ペパボ ペパボ研究所
講演番号 7A2-D-5
ベクトルビーム変換子を用いた小型高分解能エンコーダ*濱 信治{1}, 小野 浩司{2}, 坂本 盛嗣{2}, 大石 潔{2}, 野田 浩平{2}, 鈴木 雅人{2}{1}多摩川精機, {2}長岡技術科学大学
11 月 7 日

11:25-12:55

7A3-B

ファイナリストセッション

若手賞 IV＆優秀技術論文賞 III

座長：二川 雅登（静岡大学），野村 健一（産業技術総合研究所）
講演番号 7A3-B-1
高圧電定数を示す Sm 添加 PMN-PT 単結晶薄膜の スパッタ堆積と組成依存性の調査*福士 海伊{1}, 吉田 慎哉{2}, Qi Xuanmeng{1}, 田中 秀治{1}{1}東北大学, {2}芝浦工業大学
講演番号 7A3-B-2
磁気トルクを利用した高感度磁気センサ*趙 智健, 戸田 雅也, 小野 崇人
東北大学
講演番号 7A3-B-3
高時間分解 AC ナノポア測定と機械学習による網羅的な細菌の同定*坂本 まあみ{1}, 堀 宏輔{1}, 山本 貴富喜{1}, 吉田 拓音{2}, 中島 玄詞{2}{1}東京工業大学, {2}ダスキン

講演番号 7A3-B-4
iPS 細胞の分化誘導環境を探索する微小溶液環境区画化デバイスの開発*深井 大暉{1}, 豊田 太郎{2}, 高尾 英邦{1}, 下川 房男{1}, 寺尾 京平{1}{1}香川大学, {2}京都大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 7A3-B-5
CPT 共鳴を用いて安定化された圧電薄膜共振器発振器のミリ波通信用局部発振器への適用可能性*原 基揚{1}, 矢野 雄一郎{1}, 西澤 年雄{2}, 上田 政則{3}, 伊藤 浩之{3}, 井戸 哲也{1}{1}情報通信研究機構, {2}太陽誘電モバイルテクノロジー, {3}東京工業大学
講演番号 7A3-B-6
シリコンピエゾ抵抗型素子を用いた光音響センサの設計*野田 堅太郎, 塚越 拓哉, 下山 勲
富山県立大学11 月 7 日

11:25-12:40

7A3-C

設計・製作技術、材料 2

座長：菅 哲朗（電気通信大学）
講演番号 7A3-C-1
液体金属を用いた集電体レス・プリンテッドバッテリの開発*小澤 裕大, 西躰 優希, Ochirkhuyag Nyamjargal, 上野 和英, 太田 裕貴
横浜国立大学
講演番号 7A3-C-2金属アシスト化学エッチングを用いた単結晶シリコン垂直エッチング*四谷 真一, 藤井 正寛, 北原 浩司, 鎌倉 知之
セイコーエプソン
講演番号 7A3-C-3
XY ステージ補正機構を備えた 2 軸 MEMS スキャナ
*岡本 有貴, 岡田 浩尚, 一木 正聡
産業技術総合研究所
講演番号 7A3-C-4
三角形平板状金ナノプレートを用いた hCG 抗原検査テストストリップの作成*木村 朝陽, 浜本 真央, 柳生 裕聖
関東学院大学
講演番号 7A3-C-5
シリコンマイグレーションシール(SMS)向け枚葉水素ランプアニール炉の開発:ベースプレッシャーと残留ガス*根本 展聡, 鈴木 裕輝夫, 田中 秀治
東北大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

11 月 7 日

11:25-12:40

7A3-D

フィジカルセンサ 2／マイクロナノシステム

座長：竹井 裕介（産業技術総合研究所）
講演番号 7A3-D-1
1 次元キャラクタープロジェクション法を用いた大規模メタサーフェスのためのナノギャップ金ナノロッ
ドの作製*肥後 昭男, 島本 直伸, 落合 幸徳, 三田 吉郎
東京大学
講演番号 7A3-D-2
MEMS イジングマシンの実現に向けた双安定演算素子配列*安永 竣, 江澤 雅彦, 辻 啓吾, 三角 啓, 澤村 智紀, 坪井 伸二, 水島 彩子, 落合 幸徳, 肥後 昭男, 三田吉郎
東京大学
講演番号 7A3-D-3
ウミガメの対水速度計測のためのピトー管型流速センサロガー*岸本 卓大{1}, 齋藤 遼輔{2}, 田中 博人{2}, 成岡 優{3}, 黒田 健{4}, 佐藤 克文{4}, 高橋 英俊{1}{1}慶應義塾大学, {2}東京工業大学, {3}宇宙航空研究開発機構, {4}東京大学
講演番号 7A3-D-4
藻類培養槽における光合成に起因する AE の検出と培養条件が AE 発生挙動に及ぼす影響*福田 航大, 蔭山 健介
埼玉大学
講演番号 7A3-D-5
たわみを有する両端固定梁の光応答共振周波数変化の計算*松塚 直樹{1}, 安木 大恭{1}, 近藤 直輝{2}, 上杉 晃生{2}, 菅野 公二{2}, 磯野 吉正{2}{1}明石工業高等専門学校, {2}神戸大学
11 月 7 日

12:45-13:40

7P1-M

出展者による技術展示発表セッション II

座長：加納 一彦（デンソー）
ＡＳＴＩ
セイコーエプソン
日本カンタム・デザイン
東京応化工業
ミライズテクノロジーズ
ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent
文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM Japan）
シーエステック
BMF Japan
SCREEN セミコンダクターソリューションズ
ネオアーク

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

11 月 7 日

13:45-15:15

7P2-P

ポスターセッション II

講演番号 7P2-PS-1貫通型横孔マイクロニードルの作製及び注入性評価*小粥 教幸{1}, 戸田 泰広{1}, 畑澤 孝祐{2}{1}ASTI, {2}近畿精工
講演番号 7P2-PS-2
フレキシブル CMOS イメージセンサの実現に向けた FDSOI 湾曲回路の試作と評価*後藤 正英, 為村 成亨, 佐藤 弘人
NHK 放送技術研究所
講演番号 7P2-PS-3
支持基板上 AT カット水晶振動子の励振電極形状の最適化*新田 智也, 諸橋 奎人, 安田 倉土, 寒川 雅之, 安部 隆
新潟大学
講演番号 7P2-PS-4
ダウンサイジングによるスケール効果を考慮したマイクロスケール超音速圧縮機空力性能予測モデル*糸井 正隆, 舟田 晋, 石黒 聡, 原田 拓実, 鳥山 寿之
立命館大学
講演番号 7P2-PS-5
微小液滴アレイの空間融合分離を利用した試薬自動濃度制御*坊野 慎治, 小西 聡
立命館大学
講演番号 7P2-PS-6
アモルファスタングステンのめっき堆積と評価*菊地 一輝, 小野 崇人, 坂本 桂
東北大学
講演番号 7P2-PS-7
UV レーザを用いた表面加工によるソフトアクチュエータ(IPMC)の性能向上*古澤 典大{1}, 早田 圭之介{1}, 松久 直司{2}, 石上 玄也{1}, 小川 純{3}, 浅井 誠{1}, 高橋 英俊{1}{1}慶應義塾大学, {2}東京大学, {3}山形大学
講演番号 7P2-PS-8
ハーモニカリード型 MEMS 発電素子の反りが自励振動に及ぼす影響*吉田 智郎, 志水 駿文, 神田 健介, 前中 一介
兵庫県立大学
講演番号 7P2-PS-9
加算合成した正弦波による負の誘電泳動を利用した粒子捕集用電極の開発*山岡 英彦{1}, 永田 晃基{1}, 舟橋 昌哉{2}, 八木 一平{2}, 内田 諭{2}{1}東京都立産業技術研究センター, {2}東京都立大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 7P2-PS-10
ランダム振動から高速充電可能なエレクトレット MEMS 型エナジーハーベスタ*本間 浩章, 遠山 幸也, 年吉 洋
東京大学
講演番号 7P2-PS-11
ナノ粒子生成システムにおける液滴の温度制御条件の検討*岡本 幸樹{1}, 神田 岳文{1}, 河本 尚樹{1}, 藤本 望夢{1}, 脇元 修一{1}, 山口 大介{1}, 阪田 祐作{1},妹尾 典久{1}, 中崎 義晃{2}, 音山 貴文{2}{1}岡山大学, {2}ナノ・キューブ・ジャパン
講演番号 7P2-PS-12
せん断振動型 SMA 厚膜アレイ触覚ディスプレイの触覚提示評価とばね機構の一括形成*清水 広人, 佐藤 勇人, 峯田 貴
山形大学
講演番号 7P2-PS-13
サファイア隔膜真空計開発における温度特性課題への対応*新村 悠祐, 添田 将, 関根 正志, 松儀 泰明, 栃木 偉伸, 大嶽 遼平, 山内 凱偉, 石原 卓也,
アズビル
講演番号 7P2-PS-14
MEMS 応用を鑑みた Al-O 下地層付き Si 基板上ネオジム厚膜磁石の開発*山口 明華, 加来 響, 山下 昂洋, 柳井 武志, 中野 正基, 福永 博俊
長崎大学
講演番号 7P2-PS-15
電気二重層エレクトレットを用いた非接触式の面外振動発電素子*野田 圭吾{1}, 岩川 竜太{1}, 三輪 一元{2}, 小野 新平{2}, 山根 大輔{1}{1}立命館大学, {2}電力中央研究所
講演番号 7P2-PS-16
多孔質酸化亜鉛を用いた水の蒸発発電
日當 歩, 小野 崇人, *戸田 雅也
東北大学
講演番号 7P2-PS-17
生物模倣で形成した撥液テクスチャと液滴の撥液性との関連性の解明*大島 悠季, 後藤 蓮, 山口 昌樹
信州大学
講演番号 7P2-PS-18
同相・逆相分離器を用いたモード局在・周波数変調センシング*塚本 貴城, 田中 秀治
東北大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 7P2-PS-19
斜立した LIG カンチレバーを利用した風速センサ*小原 慧, 中島 利八郎, 高橋 英俊
慶應義塾大学
講演番号 7P2-PS-20
圧電 PVDF のウェットエッチングに関する研究*吉田 理子, 幹 浩文
和歌山大学
講演番号 7P2-PS-21
周辺環境の変化にロバストな深部体温計測法の検討*橋本 優生, 西田 佳史
東京工業大学
講演番号 7P2-PS-22
空間超音波と VAE を用いた浴室内 3 次元人物位置推定*佐藤 駿, 安田 祐人, 大原 遼太郎, 濱邉 理玖, 玄田 貴之, 今中 翔哉, 和泉 慎太郎, 川口 博
神戸大学
講演番号 7P2-PS-23
MEMS 触覚センサを用いた感性価値推定システムに関する研究*藤野 真尚{1}, 小椋 清孝{1}, 横川 智教{1}, 有本 和民{1}, 高尾 英邦{2}{1}岡山県立大学, {2}香川大学
講演番号 7P2-PS-24
光学デバイスとニューラル比較器による高速な傾斜センサシステム*下尾 浩正{1}, 南部 幸久{2}, 寺村 正広{1}{1}佐世保工業高等専門学校，{2}有明工業高等専門学校
講演番号 7P2-PS-25
超音波ニューロモジュレーション用発振回路の製作*鈴木 尚也{1}, 澤畑 博人{2}, 赤井 大輔{1}, 山下 幸司{1}, 沼野 利佳{1}, 鯉田 孝和{1}, 竹内 雄一{3},河野 剛士{1}{1}豊橋技術科学大学, {2}茨城工業高等専門学校, {3}北海道大学
講演番号 7P2-PS-26
環境発電型無線流体雑音センサによる配管稼働状態モニタリングシステム
*藤森 司
日立製作所
講演番号 7P2-PS-27
発光補助ドーパントを用いた赤色燐光電気化学発光素子の検討*小林 愛佳, 笠原 崇史
法政大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 7P2-PS-28
小型睡眠計測機器実現に向けた心音波形からの PPI 計測手法とその実装・評価*佐藤 大介, 原田 知親, 横山 道央
山形大学
講演番号 7P2-PS-29
圧電素子と電磁石を用いたインチワームの移動速度に関する実験的検討*高島 颯太, 鳥井 昭宏, 元谷 卓, 道木 加絵
愛知工業大学
講演番号 7P2-PS-30
バッファガス入り Cs 原子マイクロセルアレイを用いた量子センシング*石井 佑{1}, 田中 聡{1}, 西野 仁{2}, 小野 崇人{3}, 松尾 由賀利{1}, 東條 賢{4}, 酒見 泰寛{5}, 梶田
雅稔{5}, 鳥井 寿夫{5}, 青木 貴稔{5}{1}法政大学, {2}多摩川ホールディングス, {3}東北大学, {4}中央大学, {5}東京大学
講演番号 7P2-PS-31
極薄ハプティック MEMS デバイスを用いたバイオフィードバックリングの開発*竹下 俊弘, Zymelka Daniel, 古澤 亜樹, 小林 健, 竹井 裕介
産業技術総合研究所
講演番号 7P2-PS-32
エレクトレットセンサを用いた植物茎部での AE 測定における耐圧性の向上*喜多村 祐希, 蔭山 健介
埼玉大学
講演番号 7P2-PS-33
歯石除去中の呼吸管理を可能とする流量センサ付き気管挿管チューブ*永山 蓮{1}, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン{1}, 長谷川 義大{1}, 松島 充代子{2}, 川部 勤{2},式田 光宏{1}{1}広島市立大学, {2}名古屋大学
講演番号 7P2-PS-34
土中 2 次元水分量分布計測システムの開発に向けた水分量不均質土壌計測の精度確認*佐々木 貴史, 山田 巧真, 加藤 寛基, 大多 哲史, 二川 雅登
静岡大学
講演番号 7P2-PS-35
マイクロメッシュ膜を用いた海鳥のバイオロギングの為の防水風速センサ*平山 拓人, 岸本 卓人, 高橋 英俊
慶應義塾大学22

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講演番号 7P2-PS-36
金属電極の自然電位を利用した pH センサの安定性
小泉 結莉芳, *岡崎 慎司
横浜国立大学
講演番号 7P2-PS-37
深紫外プラズモン共鳴を用いた光学式ガスセンサ*松田 涼{1}, 関口 真由{1}, 小川 裕治{2}, 松下 兼一郎{2}, 池沢 聡{3}, 岩見 健太郎{1}{1}東京農工大学, {2}明電舎, {3}早稲田大学
講演番号 7P2-PS-38
静電気放電に対する耐性向上を目指したストライプゲート型 ISFET センサシステムの開発*内藤 嘉晴, 秋山 真太朗, 横山 竣也, 大多 哲史, 二川 雅登
静岡大学
講演番号 7P2-PS-39
誘電泳動インピーダンス計測に基づいたマイクロプラスチック数量測定デバイスの検討*舟橋 昌哉{1}, 八木 一平{1}, 内田 諭{1}, 山岡 英彦{2}, 永田 晃基{2}{1}東京都立大学, {2}東京都立産業技術研究センター
講演番号 7P2-PS-40
温度変調を用いた小型低消費電力なにおいセンサシステムの試作とにおい識別*大倉 裕貴, 佐伯 真彬, 吉河 武文, 岩田 達哉,
富山県立大学
講演番号 7P2-PS-41
キイロショウジョウバエ Or98a 発現センサ細胞のカビ由来成分に対する応答性評価*祐川 侑司, 二木 佐和子, 黒田 枝里, 神﨑 亮平, 光野 秀文
東京大学
講演番号 7P2-PS-42
メルトブロー不織布 SERS 基板の応答特性評価*山本 純也, 西山 貴史, 冨澤 錬, 田原 祐助
信州大学
講演番号 7P2-PS-43
液液抽出による食用油中のカプサイシンの抽出および味覚センサによる高感度辛味測定*豊満 賢一朗, 木村 俊輔, 小野寺 武
九州大学
講演番号 7P2-PS-44
金コロイド溶液濃度調整による表面増強ラマン分光の感度向上*中村 友河, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正
神戸大学

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講演番号 7P2-PS-45
フィルタフリー波長センサによる非破壊方式の農業用クロロフィル計測の検討*壬生 龍真, 崔 容俊, 井出 智也, 戸田 清太郎, 髙橋 一浩, 髙山 弘太郎, 野田 俊彦, 澤田 和明
豊橋技術科学大学
講演番号 7P2-PS-46
カーボンナノチューブと吸着重金属イオンを用いた容量型参照電極*楊 昊, 鈴木 博章
筑波大学
講演番号 7P2-PS-47
フィルタフリー波長センサによる重心波長の計測法の提案と実証*松原 稜弥, 崔 容俊, 井出 智也, 髙橋 一浩, 野田 俊彦, 澤田 和明
豊橋技術科学大学
講演番号 7P2-PS-48
DNA 結合微粒子の誘電泳動特性変化に基づく DNA 分解酵素検出法の検討*旭 航希, 稲葉 優文, 中野 道彦, 末廣 純也
九州大学
講演番号 7P2-PS-49
エクソソームの誘電泳動特性に与える影響の評価*高山 理衣, 中林 龍, 稲葉 優文, 中野 道彦, 末廣 純也
九州大学
講演番号 7P2-PS-50
電極間インピーダンスの周波数特徴を用いたウェアラブル発汗量センサの検討*髙松 稜, 和泉 慎太郎, 川口 博
神戸大学
講演番号 7P2-PS-51
家畜のウイルス感染症防疫に向けた実用的気中ウイルス検出法の開発*安浦 雅人{1},福田 隆史{1}, 赤上 正貴{2}, 都筑 智子{3}, 川上 純子{2}, 藤井 勇紀{4}, 芦葉 裕樹{1},堀口 諭吉{1}, 陳 政霖{1}, 泉對 博{1}{1}産業技術総合研究所, {2}茨城県県西家畜保健衛生所, {3}茨城県鹿行家畜保健衛生所, {4}茨城県農林水産部畜産課
講演番号 7P2-PS-52
microRNA を定量検出する薄膜型 pH センサの開発*鈴木 和哉{1}, 田畑 美幸{2}, 宮原 裕二{3}, 荒川 貴博{1}{1}東京工科大学, {2}東京農工大学, {3}東京医科歯科大学
講演番号 7P2-PS-53
創傷部位の尿酸モニタリングを目指したウェアラブルバイオセンサの開発*佐藤 瑞基{1}, 上山 達也{1}, 飯谷 健太{2}, 矢野 和義{1}, 三林 浩二{2}, 荒川 貴博{1}{1}東京工科大学, {2}東京医科歯科大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 7P2-PS-54
生体埋植イメージセンサ空間分解能向上にむけた非対称な角度選択画素構造の検討*鎧 圭吾, 春田 牧人, 竹原 浩成, 田代 洋行, 笹川 清隆, 太田 淳
奈良先端科学技術大学院大学
講演番号 7P2-PS-55
hiPSC 由来ポドサイトと不死化ポドサイトのタンパク質発現およびろ過機能評価*田渕 史{1}, Koh Darryl{1}, 籔内 研佑{2}, 佐原 義基{2}, 髙里 実{2}, 藤本 和也{1}, 横川 隆司{1}{1}京都大学,{2}理化学研究所
講演番号 7P2-PS-56
低侵襲手術支援ロボット鉗子用ワイヤ内蔵力覚センサ*小牟田 波丸, 佐藤 和崇, 森實 修一, 植木 賢, 武中 篤, 李 相錫, 松永 忠雄
鳥取大学
講演番号 7P2-PS-57
線維芽細胞の共培養と培地最適化による肝スフェロイドの血管化*松本 倫実{1}, 王 文龍{1}, 萩庭 歩美{1}, Anna K Kopec{2}, Julie Harney{2}, Lindsay Tomlinson{2}, Nasir
Khan{2}, 藤本 和也{1}, 横川 隆司{1}{1}京都大学, {2}Pfizer
講演番号 7P2-PS-58
細胞画像の深層学習による非染色生死判別予測法の開発*伊藤 壮麻, 鈴木 涼真, 岡本 俊哉, 柴田 隆行, 永井 萌土
豊橋技術科学大学
講演番号 7P2-PS-59
SU-8/Cu 複合材料を用いた微小管運動制御デバイスの開発*樋口 真輝, 中原 佐, 南 和幸
山口大学

講演番号 7P2-PS-60
視触覚双腕光ピンセットを用いた非球状物の協調マイクロ操作*田中 芳夫, 藤本 憲市, 福岡 隆彦
香川大学
講演番号 7P2-PS-61
シクロオレフィンポリマー流体デバイスにおける微細構造構築による表面濡れ性の制御*更谷 里菜{1}, 中本 竣{1}, 堀井 和由{1}, 小粥 教幸{2}, 岩堀 公昭{2}, 山口 昌樹{3}{1}シスメックス, {2} ASTI, {3}信州大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 7P2-PS-62
Fabrication of Ionic Liquid-gated Graphene Field-effect Transistor (FET) for Gas Sensing in Smart
Agriculture*魯 健{1}, 白石 直規{2}, 今泉 陵{3}, 張 嵐{1}, 木村 睦{3}{1}産業技術総合研究所, {2}農業・食品産業技術総合研究機構, {3}信州大学
講演番号 7P2-PS-63
鉄系隔壁内に実装されたセンサへの無線給電・通信技術*山本 泰之, 岡本 有貴, 一木 正聡, 小林 健
産業技術総合研究所

11 月 7 日

15:25-16:05

7P3-M

基調講演 III

座長：橋新 剛（熊本大学）
講演番号 7P3-M-1「熊本城」～熊本地震からの復興
津曲 俊博氏熊本城総合事務所
11 月 7 日

災害復旧相談役

16:05-16:45

7P3-M

基調講演 IV

座長：橋新 剛（熊本大学）
講演番号 7P3-M-2
球磨焼酎５００年の伝統と革新

変わらないために変わり続ける高橋酒造の挑戦

高橋 宏枝氏高橋酒造株式会社
11 月 7 日

常務取締役（営業企画担当）

16:55-17:55

7P4-M

センサシンポジウム(SS40)40 周年記念パネルディスカッション～10 年後のセンサ MEMS の将来像～
モデレータ：

年吉 洋

パネリスト：

本間 浩章

神戸大学

猪股 直生

東北大学

岡本 有貴

産業技術総合研究所

鶴岡 典子

東北大学

飯谷 健太

東京医科歯科大学

11 月 7 日

19:00-21:00

場所：熊本ホテルキャッスル

東京大学，電気学会

センサ・マイクロマシン部門

Future Technologies from KUMAMOTO 合同懇親会
2F キャッスルホール

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

2023 年 11 月 8 日（水）11 月 8 日

9:20-10:00

8A1-M

基調講演 V

座長： 燈明 泰成（東北大学）
講演番号 8A1-M-1
ダイヤモンド半導体の最近の進展：パワー半導体と大口径ウェハの開発
嘉数 誠氏
佐賀大学 理工学部

11 月 8 日

教授

10:10-11:55

8A2-B

ケミカルセンサ

座長：林 健司（九州大学），飯谷 健太（東京医科歯科大学）
講演番号 8A2-B-1
誘電的に等価な皮膚ファントムの開発と含有成分の非侵襲的解析方法の検討*深田 健太, 中村 昌人, 田島 卓郎, 林 勝義,
NTT 先端集積デバイス研究所
講演番号 8A2-B-2
クラーク型酸素電極アレイと細菌の薬剤感受性試験への応用*白土 裕介{1}, 清水 哲郎{1}, 木下 学{2}, 鈴木 博章{1}{1}筑波大学, {2}防衛医科大学校
講演番号 8A2-B-3
銀置換とカソード電気化学発光によるバイポーラ電気化学システム*周 怡寧, 薛 安汝, 鈴木 博章
筑波大学
講演番号 8A2-B-4
可動膜の薄膜限界調査による光干渉型表面応力ガスセンサの高感度化*十亀 龍星, 崔 容俊, 野田 俊彦, 澤田 和明, 高橋 一浩
豊橋技術科学大学
講演番号 8A2-B-5
画素の閾値制御により複数感応膜の同時計測を可能にした においセンシング用 CMOS 電位センサアレイの作製*上條 友暉, 木村 安行, 野田 佳子, 赤井 大輔, 飛沢 健, 崔 容俊, 高橋 一浩, 澤田 和明, 野田 俊彦
豊橋技術科学大学
講演番号 8A2-B-6
二級アルコール脱水素酵素を用いた呼気中アセトンガスの蛍光イメージセンシング*飯谷 健太{1}, 水越 直樹{1}, 張 耿{1}, 當麻 浩司{2}, 荒川 貴博{3}, 三林 浩二{1}{1}東京医科歯科大学, {2}芝浦工業大学, {3}東京工科大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 8A2-B-7
匂いバイオセンサの応答モデルを用いた相対比較匂い濃度定量法*野本 周平{1}, Deng Hongchao{1}, 祐川 侑司{2}, 光野 秀文{2}, 神崎 亮平{2}, 中本 高道{1}{1}東京工業大学, {2}東京大学
11 月 8 日

10:10-11:55

8A2-C

バイオセンサ 2/バイオマイクロナノシステム

座長：木村 啓志（東海大学）
講演番号 8A2-C-1
植物健康モニタリングウェアラブルバイオセンサー
オンダー ディンチェル{1}, *亀岡 遵{2}{1}ヨガット ボザック 大学, {2}早稲田大学
講演番号 8A2-C-2
植物体内イオン情報のマルチモーダルセンシングと長期栽培モニタリングの実施*松下 優介, 吉田 太一, 坂口 直己, 高山 弘太朗, 崔 容俊, 高橋 一浩, 澤田 和明, 野田 俊彦,
豊橋技術科学大学
講演番号 8A2-C-3
ゴム系レジスト型高分解能マルチイオンイメージセンサの製作と海馬スライスの細胞外イオン同時可視化*大塚 惇平{1}, 加藤 萌{1}, 土井 英生{1}, Bijay Parajuli{2}, 堀尾 智子{1}, 繁冨 英治{2}, 篠﨑 陽一{2},崔 容俊{1}, 高橋 一浩{1}, 服部 敏明{1}, 野田 俊彦{1}, 小泉 修一{2}, 澤田 和明{1}{1}豊橋技術科学大学, {2}山梨大学
講演番号 8A2-C-4
分散配置型スマート電極人工視覚チップを用いた多点刺激システムの実証*中西 優輝{1}, Wisaroot Sriitsaranusorn{1}, 鐘堂 健三{2}, 寺澤 靖雄{2}, 竹原 浩成{1}, 春田 牧人{1}{3},
田代 洋行{1}{4}, 笹川 清隆{1}, 太田 淳{1}{1}奈良先端科学技術大学院大学, {2}ニデック, {3}千歳技術科学大学,{4}九州大学
講演番号 8A2-C-5
An hiPSC-based proximal tubule microphysiological system offers improved uptake and filtration rates*Banan Sadeghian Ramin{1}, Ma Cheng{1}, Takasato Minoru{2}, Yokokawa Ryuji{1}{1}Kyoto University, {2}Osaka University
講演番号 8A2-C-6
定量的解析とモデル化によるオンチップ血管網形成過程の理解*藤本 和也, 亀田 良一, 横川 隆司
京都大学
講演番号 8A2-C-7
血管床―腎臓オルガノイド共培養による遺伝子発現変化の解析*亀田 良一{1}, 籔内 研佑{2}, 谷口 純一{2}, 荒岡 利和{1}, 髙里 実{2}, 藤本 和也{1}, 横川 隆司{1}{1}京都大学, {2}理化学研究所

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

11 月 8 日 11:50-12:40

8P1-M

出展者による技術展示発表セッション III

座長：橋本 英生（住友精密工業）
マトリクソーム
ティ・ディ・シー
SPP テクノロジーズ
タクミナ
TCK
三井化学
太洋工業
アメテックザイゴ事業部
メイワフォーシス
アルテック
大阪公立大学 機能デバイス物性研究室
ＭＭＩセミコンダクター
新興精機
ＳＩＪテクノロジ
11 月 8 日 12:40-13:50

熊本城散策（事前申込が必要です。60 名限定）

11 月 8 日 13:50-15:20

8P2-P

ポスターセッション III

講演番号 8P2-PS-1
自己組織化エレクトレット型振動発電素子の動作機構解析: 表面電位と発生電流の関係*田中 有弥{1}, 栗原 啓輔{2}, 阿部 直矢{2}, 石井 久夫{2}{1}群馬大学, {2}千葉大学
講演番号 8P2-PS-2
線形破壊力学に基づく MEMS 構造設計のためのき裂伝播経路解析*河合 将史, GOU Pengchi, 鳥山 寿之
立命館大学
講演番号 8P2-PS-3
溶液法およびスパッタ法により形成した TiO2/BaTiO3 積層膜の圧電光触媒効果*田中 悠太, 嶋倉 啓太, 伊藤 生龍, 小林 大造
立命館大学
講演番号 8P2-PS-4
量子暗号通信に利用するサニャック干渉計を用いたマイクロエンタングルメント光子対生成装置の開発*西野 仁{1}, 佐々木 敬{2}, 富田 章久{3}, 小野 崇人{4}{1}多摩川ホールディングス, {2}Silicon Austria Labs, {3}北海道大学, {4}東北大学
講演番号 8P2-PS-5
機械加工による濡れ性の変化とマイクロ流路への影響の検討*森岡 拓未, 小笠原 長太郎, 加藤 蒔登, 神永 真帆
豊田工業高等専門学校

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 8P2-PS-6
DRIE 終点非破壊検査のための側面接触式 MEMS プローブ
*山形 昌弘, 辻 啓吾, 三角 啓, 安永 竣, 肥後 昭男, 三田 吉郎
東京大学
講演番号 8P2-PS-7
ノボラック系ポジレジストを エッチングマスクに 使った PDMS パターニング*松本 達也{1}, 李 仲民{2}, 菊田 利行{1}, 鈴木 裕輝夫{1}, 田中 秀治{1}{1}東北大学, {2}AAC Technologies
講演番号 8P2-PS-8
AI を用いた自動簡易細隙灯顕微鏡の開発*コーシック ニーラム, Parmanand Sharma, Himori Noriko, Matsumoto Takuro, Nakazawa Toru
東北大学
講演番号 8P2-PS-9
静電駆動単結晶シリコン MEMS ミラーの 1×2 アレイ同期振動*大木 幹也, バネルジー アミット, 廣谷 潤, 土屋 智由
京都大学
講演番号 8P2-PS-10
電解エッチング法を用いたチタン製マイクロメスの刃先形状の制御*滝澤 勇貴, 栗田 政宗, 寒川 雅之, 安部 隆
新潟大学
講演番号 8P2-PS-11
樹脂コンパウンドの視覚・触覚複合計測のための光・温度検知素子集積化*中村 眞子, 安部 隆, 寒川 雅之
新潟大学
講演番号 8P2-PS-12
6-DOF マイクロアクチュエータの提案と開発*西野 仁{1}, 小野 崇人{2}{1}多摩川ホールディングス, {2}東北大学
講演番号 8P2-PS-13
複数の液体金属セグメントの流路内同時位置制御を利用した静電容量スイッチング*中井 涼太郎, 坊野 慎治, 小西 聡
立命館大学
講演番号 8P2-PS-14
LIFT 法を用いたネオジム系磁石膜の低温創製*東 倖主, 福田 樹, 山下 昂洋, 柳井 武志, 福永 博俊, 中野 正基
長崎大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 8P2-PS-15
Non-linear Behavior of pMUT for High Sound Pressure Generation*方 偉, ベルガラ アンドレア, 田中 秀治
東北大学
講演番号 8P2-PS-16
オンチップ計測に向けた グラフェン MEMS 共振質量センサと PIN PD の集積化デバイスの製作*中川 竜希, 新野 謙, Le Phuong Anh, 飛沢 健, 赤井 大輔, 澤田 和明, 野田 俊彦, 崔 容俊, 高橋 一浩
豊橋技術科学大学
講演番号 8P2-PS-17
Ga2O3/Se アバランシェフォトダイオードの時間応答性に関する研究*信野 永光, 小林 大造
立命館大学
講演番号 8P2-PS-18(100)シリコンの 2 段階異方性ウェットエッチングによる高密度電荷ガイド構造の作製*稲富 優太郎{1}, 安藤 妙子{1}, 江藤 剛治{2}{1}立命館大学，{2}大阪大学
講演番号 8P2-PS-19
MEMS スキャナを用いた空間周波数領域イメージングシステムの開発*中澤 謙太, Feng Yu, Cao Chen, 安富 啓太, 川人 祥二, 香川 景一郎
静岡大学
講演番号 8P2-PS-20
浴室監視のための超音波音線法シミュレーション手法*M. Shahrul Amir Kamarulzaman, 濱邉 理久, 安田 祐人, 大原 遼太郎, 佐藤 駿, 和泉 慎太郎, 川口 博
神戸大学
講演番号 8P2-PS-21
高分子ナノ膜を帯電層とした摩擦帯電発電の高出力化*黒川 玲名{1}, 志磨 将大{1}, 上島 理乃{1}, 向當 綾子{2}, 髙村 映一郎{1}, 坂元 博昭{1}{1}福井大学, {2}日華化学
講演番号 8P2-PS-22
質感検知に向けた指紋型表面触覚センサによるなぞり計測*岡固 創, 月山 陽介, 安部 隆, 寒川 雅之,
新潟大学
講演番号 8P2-PS-23
パルス光伝導法を用いたシリコンウェーハ表層(SiO2/Si)における電気伝導度の不純物濃度依存特性*田中 希望, 中山 駿, 森 陽香, 小林 一博, 橋新 剛, 松田 元秀
熊本大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 8P2-PS-24
乳癌検出用触診デバイスの構造解析用生体モデルの検討*山崎 智也, 幹 浩文
和歌山大学
講演番号 8P2-PS-25
フォトリソグラフィ技術で作製可能な薄型リニア静電モータの開発*田巻 祐哉, 木屋 大地, LYU SHUXIN, 森下 克幸, 齊藤 健
日本大学
講演番号 8P2-PS-26
肺組織機能評価を目指した物理化学量センサシステムの開発*吉村 勇一郎{1}, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン{1}, 長谷川 義大{1}, 松島 充代子{2}, 川部 勤{2}, 式田 光宏{1}{1}広島市立大学, {2}名古屋大学
講演番号 8P2-PS-27
血管内ガイドワイヤのための厚膜 SU-8 の円筒リソグラフィによる多軸フォースセンサ機構の形成*滝口 創太, 峯田 貴
山形大学
講演番号 8P2-PS-28
デジタルツインと AR グラスを用いた大学内の リアルタイム環境センシングシステムのプラットフォーム
構築*髙松 直矢, 味戸 克裕
大阪国際工科専門職大学
講演番号 8P2-PS-29
水晶発振回路式複素容量センサによる RC 構造体内部の非破壊センシング*横山 猛輝, 高橋 良輔, 岩本 啓吾, 寒川 雅之, 安部 隆
新潟大学
講演番号 8P2-PS-30
コロイダルシリカを用いた微細なシリカ凝集体エレクトレットの電荷保持特性の評価*中島 朋希, 蔭山 健介
埼玉大学
講演番号 8P2-PS-31
共振回路を備えたフィルムタイプ静電容量式近接センサによる呼吸信号測定*野村 健一{1}, 岩田 史郎{2}, 鍛冶 良作{1}, 堀井 美徳{1}, 今若 直人{2}{1}産業技術総合研究所, {2}島根県産業技術センター
講演番号 8P2-PS-32
多端子 MOSFET による回路動作の「その場」計測*原田 知親山形大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 8P2-PS-33
圧電 MEMS センサにおける座屈ダイアフラム上圧電薄膜の構造的引張負荷歪みとその低減プロセスの検討*山下 馨, 山本 拳太朗, 遠藤 凌摩, 吉田 琢真
京都工芸繊維大学
講演番号 8P2-PS-34
光学積層膜における偏光干渉を利用した広濃度対応型水素ガスセンサの開発*山根 治起{1}, 梁瀬 智{1}, 高橋 慎吾{1}, 高橋 光希{2}, 世古 暢哉{2}, 重村 幸治{2}{1}秋田県産業技術センター, {2}Tianma Japan
講演番号 8P2-PS-35
真空蒸着(101)優先配向 SnO2 薄膜の作製と諸特性の評価*副島 大翼, 山田 倫太郎, 橋新 剛, 松田 元秀
熊本大学
講演番号 8P2-PS-36
絶縁性ナノ粒子薄膜による液体蒸気の検出:構造異性体識別への検討*加納 伸也, 銘苅 春隆
産業技術総合研究所
講演番号 8P2-PS-37
多種類ガス分布の高速・高精度推定のための Au/Ag LSPR センサの開発*熊副 慎悟, 松岡 真聖, 佐々 文洋, 林 健司,
九州大学
講演番号 8P2-PS-38
2 次元 SERS センサによるガス源の識別と可視化*山田 健太, 松尾 拓哉, 陳 林, 佐々 文洋, 林 健司
九州大学
講演番号 8P2-PS-39
植物生体電位を用いたエダマメの水ストレス評価に関する研究*酒井 佑希也, 長谷川 有貴
埼玉大学
講演番号 8P2-PS-40
UV 光照射時の SnO2-TiO2 ガスセンサの膜構造と感度特性*佐藤 健喬, 安藤 毅
千葉工業大学
講演番号 8P2-PS-41
飲料評価用無機膜味覚センサの電気的特性がセンサ応答へ及ぼす影響*信太 智貴, 長谷川 有貴
埼玉大学

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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 8P2-PS-42
対極と作用極を同材料としたマイクロアレイ型電気化学センサに関する研究*孟 博昊, 長谷川 有貴, 内田 秀和
埼玉大学
講演番号 8P2-PS-43
ニトロフェニルボロン酸を用いた糖質用電位型甘味センサの開発の試み*添田 新太郎{1}, 巫 霄{1}, 野瀬 敏洋{1}, 木村 俊輔{2}, 小野寺 武{2}, 都甲 潔{2}{1}福岡工業大学, {2}九州大学
講演番号 8P2-PS-44
水分子-高分子間の接触帯電による活性酸素種の生成とそのアゾ染料分解への応用*志磨 将大, 髙村 映一郎, 坂元 博昭
福井大学
講演番号 8P2-PS-45
Si 積層による光導波型 SPR 血糖値センサの高感度化の実験的考察～EB 蒸着 Si 膜における感度の膜厚依存性～*野村 佳伸, 新國 広幸, 伊藤 浩
東京工業高等専門学校

講演番号 8P2-PS-46
セルフパワード型ウェアラブル咬合力センサの開発*市川 健太{1}, 土方 亘{2}, 三林 浩二{1}{1}東京医科歯科大学, {2}東京工業大学
講演番号 8P2-PS-47
光導波路付き極低侵襲針の壁面窓を用いた乳酸濃度計測*小岩 大悟, 森 啓悟, 芳賀 洋一, 鶴岡 典子
東北大学
講演番号 8P2-PS-48
屈折率バイオセンサのためのマイクロ流路内におけるスパイラル型光共振器*五十嵐 アン{1}, 阿部 真帆{1}, 黒岩 繁樹{2}, 大橋 啓之{2}, 山田 博仁{1}{1}東北大学, {2}こころみ
講演番号 8P2-PS-49
手指骨折治癒度可視化に向けた環状配置多電極生体インピーダンス法*伊達 功紀{1}, 池谷 徳之{1}, 安原 京介{1}, 増田 治輝{1}, 五谷 寛之{2}, 村上 裕二{1}{1}静岡理工科大学, {2}大阪掖済会病院
講演番号 8P2-PS-50

発表取り下げ口腔内水分測定装置用センシングシステム
黄 獻鋒{1}, *陳 泓甫{1}, 楊 家程{2}, 陳 冠宇{1}, 楊 宗峻{1}{1}亜東科技大学, {2}台北科技大学
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第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 8P2-PS-51
神経伝達物質を検知するテラヘルツ波バイオセンサーの開発*森田 滉生, 吉田 聡太, 光田 祐太, 逢坂 大樹, 笠原 真悟, 王 璡, 紀和 利彦
岡山大学
講演番号 8P2-PS-52
Covid-19 の特異検出に向けたグラフェン上のバイオインタフェイスの検討*吉田 誉{1}, PHAM VIET KHOA{1}, 坂井 佐知子{1}, LE TIEN NGHI{1}, 合田 達郎{2}, 高橋 一浩{1}{1}豊橋技術科学大学，{2}東洋大学
講演番号 8P2-PS-53
脳,脊髄ニューロン計測に向けたフレキシブル基板マイクロニードル電極の製作*清水 快季{1}, 中村 翼{1}, 佐々木 日向{1}, 山下 幸司{1}, 歌 大介{2}, 大澤 匡弘{3}, 久米 利明{2}, 沼
野 利佳{1}, 鯉田 孝和{1}, 河野 剛士{1}{1}豊橋技術科学大学, {2}富山大学, {3}帝京大学
講演番号 8P2-PS-54
電気抵抗率測定のための紙媒体マイクロ流体チップの流動解析*小林 孝一朗{1}, 坂本 憲児{2}{1}大島商船高等専門学校, {2}九州工業大学
講演番号 8P2-PS-55
チャンバアレイを集積したマイクロ流体デバイスによる成分分離の性能評価*洞出 光洋{1}, 奥村 龍成{1}, 村上 修一{2}, 才木 常正{3}{1}防衛大学校, {2}大阪産業技術研究所, {3}兵庫県立工業技術センター
講演番号 8P2-PS-56
微小液滴の単一細胞封入効率の改善に向けたマイクロ流体デバイスの検討*藤田 理紗{1}, 足立 夕佳{1}, 石原 潤一{2}, 高橋 弘喜{2}, 関口 哲志{1}, 庄子 習一{1}, 古谷 正裕{1},谷井 孝至{1}, 田中 大器{1}{1}早稲田大学, {2}千葉大学
講演番号 8P2-PS-57
MEMS ピンセットを用いた遺伝子導入したがん細胞の機械特性と遺伝子発現レベルの相関評価*井上 太介{1}, 小林 和香子{2}, 久米村 百子{1}{1}九州工業大学, {2}宇部工業高等専門学校
講演番号 8P2-PS-58
小型真空イオンポンプの超高真空セルへの実装*大島 直人{1}, 倉島 優一{2}, 前田 敦彦{2}, 本村 大成{2}, 松前 貴司{2}, 渡邉 満洋{1}, 高木 秀樹{2}{1}日本大学, {2}産業技術総合研究所

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Future Technologies from KUMAMOTO
第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

講演番号 8P2-PS-59
Sensor Tag Using Patch Antenna with Adjustable Air Gap for Wireless Displacement Sensing*胡 晟澤, 子琪 趙, 山本 道貴, 高松 誠一, 伊藤 寿浩
東京大学
講演番号 8P2-PS-60
ウシのストレスモニタリングを目的とした脈波測定方法の確立*緒方 幹久{1}, 野上 大史{1}, 黄 宸佑{2}, 兒島 朋貴{2}, 石崎 宏{2}, 芳賀 聡{3}, 滄木 孝弘{4}, D.S.V.
バンダラ{1}, 荒田 純平{1}, 桑原 正貴{5}, 矢用 健一{2}{1}九州大学, {2}農研機構, {3}東北大学, {4}帯広畜産大学, {5}東京大学
講演番号 8P2-PS-61
A sensor system equipped with printed flexible and thin electrodes for urine monitoring of living bodies*張 嵐, 魯 健, 松本 壮平
産業技術総合研究所
11 月 8 日

15:30-16:45

8P3-M

Future Technologies 合同招待セッション

座長：小野寺 武（九州大学），燈明 泰成（東北大学），梨本 裕司（東京医科歯科大学），土屋 智由（京都大学）
講演番号 8P3-M-1（センサシンポジウム）
生体・環境情報モニタリングのための完全分解型ワイヤレスセンサ
尾上 弘晃*
慶應義塾大学
講演番号 8P3-M-2（マイクロ・ナノ工学シンポジウム）
分子イメージング手法を用いた熱流体可視化手法の研究
松田 佑*，早稲田大学
講演番号 8P3-M-3（CHEMINAS 48）
電気化学をベースにしたバイオ分析とバイオファブリケーション
伊野 浩介*，東北大学
講演番号 8P3-M-4（集積化 MEMS シンポジウム）
電荷増倍機能を有する結晶セレン積層型 8K 撮像デバイスの研究
為村 成亨*{1}，新井 俊希{1}，宮川 和典{1}，杉山 睦{2}，難波 正和{1}{1}NHK 放送技術研究所，{2}東京理科大学
11 月 8 日

16:45-17:25

8P4-M

基調講演 VI

座長：梶 弘和（東京医科歯科大学）
講演番号 8P4-M-1
次世代医療用眼レンズに向けた材料・デバイス・システム
三宅 丈雄
早稲田大学

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Future Technologies from KUMAMOTO
第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

11 月 8 日

17:25-18:05

8P5-M

閉会式・表彰式

2023 年 11 月 9 日（木）11 月 9 日

テクニカルツアー（事前申込要）37

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 プログラム (Program at a Glance)
電気学会センサ・マイクロマシン部門 第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 第15回「集積化MEMSシンポジウム」
日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門 第14回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」
化学とマイクロ・ナノシステム学会 第48回研究会
エレクトロニクス実装学会連携セッション
M会場
4F

A会場
3F

B会場
3F

C会場
3F

D会場
3F

メインホール

A4

B1-3

C1-2

コード

開始時刻

6A1

10:30

0:30

開場

6A2

11:00

0:30

開会式

6A3

11:30

0:40 ソニーセミコンダクタ ソリュー

12:10

0:10

12:20

0:35

12:55

0:15

13:10

1:30

14:40

0:10

14:50

1:15

16:05

0:10

16:15

1:15

17:30

0:10

17:40

1:30

他会場

ポスター(P)会場
3F

技術展示会場
3F

D1-2

A1-3

A1-3+ホワイエ

センサシンポジウム
バイオセンサ1

センサシンポジウム
フィジカルセンサ1
13:10-14:25

FT合同
ポスターセッション I
ポスター掲示センサシンポジウム
マイクロナノシステム1

応用物理学会
集積化MEMSシンポジウム
光センサとバイオイメージング

センサシンポジウム
マイクロナノシステム2
16:15～17:15

応用物理学会
集積化MEMSシンポジウム
材料物性とリザバー
コンピューティング

時間

基調講演（電気）ションズ 岩元 勇人 氏

6P1

6P2

1日目
(11/6月)
6P3

6P4

6P5

出展者による
技術展示発表セッション I
センサシンポジウム
ファイナリストセッション
若手賞I&優秀技術論文賞I

化学とマイクロナノシステ
ム学会
ポスターショートプレゼン

センサシンポジウム
化学とマイクロナノシステ
ファイナリストセッション
ム学会
若手賞II&優秀技術論文賞II
企画講演

センサシンポジウム
ファイナリストセッション
若手賞III

機械学会
マイクロ・ナノ工学部門
情報・知能・精密機器部
門との連携企画
13:10～15:10

センサシンポジウム
化学とマイクロナノシステ
センサ・アクチュエータシ
ム学会
ステム1/エレクトロニクス
企画講演
実装学会セッション

FT合同
ポスターセッション I

FT合同若手企画
E会場（3F，E1-2)

19:10

7A1

7A2

7A3

7P1

2日目
(11/7火)
7P2

7P3

7P4

8A1

8A2

9:00

0:10

9:10

0:40 東京工業大学 益 一哉 氏

9:50

0:10

10:00

1:15

11:15

0:10

11:25

1:15

12:40

0:05

12:45
13:40

0:55 技術展示発表セッション II
0:05

13:45

1:30

15:15

0:10

15:25

0:40

基調講演 地元枠１
津曲 俊博氏（熊本城総合事務所）

16:05

0:40

基調講演 地元枠２
高橋 宏枝氏（高橋酒造）

16:45

0:10

16:55

1:00

17:55

1:05

19:00

2:00

21:00
9:00

0:20

9:20

0:40

10:00

0:10

基調講演 （応物）

応用物理学会集積化MEMS
日台国際シンポジウム

応用物理学会集積化MEMS
日台国際シンポジウム

センサシンポジウム
設計・製作技術、材料1

センサシンポジウム
センサ・アクチュエータシステ
ム2

化学とマイクロナノシステ
ム学会
企画講演

センサシンポジウム
ファイナリストセッション
若手賞IV＆優秀技術論
文賞III
11:25～12:55

センサシンポジウム
設計・製作技術、材料2

センサシンポジウム
フィジカルセンサ2／マイクロナノシステムSS40記念パネルディスカッション

懇親会（ホテルキャッスル熊本）

基調講演（機械）佐賀大学 嘉数 誠 氏

機械学会
マイクロ・ナノ工学部門
表彰式10:10～10:50

0:10

11:50

0:50

12:40

1:10

13:50

1:30

15:20

0:10

8P3

15:30

1:15

8P4

16:45

0:40 早稲田大学 三宅 丈雄 氏

8P5

17:25

0:40

化学とマイクロナノシステ
ム学会
ポスターショートプレゼン

センサシンポジウム
ケミカルセンサ
10:10～11:55

応用物理学会
集積化MEMSシンポジウム
センサシンポジウム
バイオセンサ2/バイオマイ エナジーハーベスタとフィジカ
ルセンサ
クロナノシステム（加速度、ジャイロ）
10:10～11:55

8：50-16：15

FT合同
ポスターセッション III
ポスター掲示

技術展示

出展者による
技術展示発表セッション III

熊本城散策
FT合同
ポスターセッションⅢ

FT合同セッション
基調講演 （ケミナス）
閉会式

18:05

4日目
(11/9木)技術展示

FT合同
ポスターセッション II

11:40

8P2

機械学会
マイクロ・ナノ工学部門
表彰講演10:00～11:00

出展者による

1:30

8P1

化学とマイクロナノシステ
ム学会
ポスターショートプレゼン

FT合同
ポスターセッション II
ポスター掲示

10:10

3日目(11/8水)技術展示

テクニカルツアー（Aグループ、Bグループは終日、Cグループ（追加）は午前のみ）