半導体製造装置

最イオン注入装置、高エネルギー分野で存在感

シェア3割が目標
半導体イオン注入装置専業の同社は、荷しており、19 年度売上高は約 320 億場に強い特徴を持つ。同社ではこれを円を記録している。

将来的に 3 割に引き上げるべく、海外合弁時代は原則、日本市場に制限さ市場への進出をさらに進めていく考え

台湾や中国、韓国などアジア地域を中れていたが、この関係を解消したこと心に海外市場への進出をさらに加速すで、海外市場に打って出ることができ

なお、20 年度（21 年 3 月期）は、前年る。かつては日本国内が事業の中心でるようになった。これにより、「海外市度からの受注残も多く、売上高ベースあったが、現在の半導体生産の中心で場での受注拡大」（同社代表取締役社長

で19年度を大幅に上回った。アプリケ

ある東アジア地域で攻勢をかける。将の月原光国氏）を重点テーマの 1 つとーション別ではCMOSイメージセンサ

来的にはイオン注入装置分野でシェアして挙げている。

ー向けが最も多く、先端ロジック向け

3 割の獲得を目標に、新工場の設立など生産体制の強化にも乗り出す。
SMIT の親会社である住友重機械工

イオン注入装置は米アプライドマテリアルズ（AMAT）が市場シェアの 2/3だ。

の比率も増えつつある。
海外市場では、台湾顧客の先端ロジ程度を握る圧倒的な地位を示しており、 ック向けに中電流装置の採用が 12 ～業はもともと、米重工メーカーのイー

SMIT を含む同業他社はなかなか存在

13 年ごろから始まっており、着実に実トン社と合弁会社を設立し、イオン注感を示せていない。AMATは業界全体績を積み重ねている。これを足がかり

入装置分野に参入。日本国内に製造拠のトレンドがバッチから枚葉方式に移に、台湾企業の中国進出にも同社装置点を構え、日系半導体メーカーを中心行したタイミングで市場シェア拡大にが採用されるケースが増えており、中に装置を供給してきた。その後、イー成功しており、市場ボリュームが大き国市場での存在感も徐々に高まっていトン社が半導体製造装置事業をスピン

い高電流・中電流市場でのシェアが特るという。今後は中国のローカル顧客オフさせ、専業メーカーのアクセリスに高い。

向けと韓国市場の開拓を重点的に進めていく考えだ。

となった以降も合弁形態を維持してきたが、09 年にその合弁関係を解消。住海外市場への進出を強化

イオン注入装置は高エネルギー、高電流、中電流のほか、同社独自の高電流

友重機械の 100％子会社となり、15 年に現社名に変更した。これまでに累計一方、SMITは現状で十数％のシェアと中電流を融合したオール・イン・ワで 1300 台以上のイオン注入装置を出を獲得している。特に高エネルギー市

ン型イオン注入装置「SAion」も市場に投入している。広範なエネルギー・ドーズ範囲を持ち、半導体製造における多くの注入工程が同機種で処理できる。
特に中電流領域ではほぼすべての運用範囲でビーム電流を 2 倍以上に増強したことで、大幅な生産性向上を達成している。

西条に新棟建設を発表
事業拡大を見据え、同社では生産体制の強化にも動いている。20 年 10 月に生産拠点のある愛媛県西条市に新製ー装置

A造棟の建設を発表。既存工場の隣接地

半導体製造装置 ー ー

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41の412022/01/14

11:25:01

半導体製造装置

最真空・静電チャックを展開

SPE用部品事業を一本化

同社の SPE 事業は、CVD 装置やイオたり培ってきたセラミックス加工技術。

ン注入装置向けの静電チャック、ウエ事業の柱として、同社業績を牽引する

同社ではセラミック技術を応用する

ハー検査装置など向けの真空チャックのが、半導体製造用ウエハーチャックかたちで、半導体製造装置向け真空・静などのセラミックを応用した装置用部である。

電チャックを展開している。2018 年 4品をラインアップしている。15 年にNTK セラテックが半導体用途で市月にはSPE事業部として専門組織を新は太平洋セメント㈱の子会社だった㈱場参入したのが、設立時とほぼ時期を設し、事業拡大にあたっている。21 年

NTKセラテックを買収し、21年には本同じにする1980年代。日本がDRAMで4 月 1 日付で半導体製造装置（SPE）用体で管轄していた事業を移管して一本世界市場を席巻したときと重なる。当部品事業を子会社の㈱ NTK セラテッ化するなど体制の強化を図っている。

時はウエットエッチング用ウエハーチ

ク（仙台市泉区）に分割承継し、一本化。

SPE 事業は 21 ～ 24 年度の中期経営ャックで、最新鋭の半導体製造に貢献

日本特殊陶業は半導体製造装置用部品計画において、成長事業と位置づけらとしてウエハー検査装置用の真空チャれている。独自技術であるセラミック

現在、同社のみならず、親会社もウエック、エッチング装置や CVD 装置、イスシートの積層で差別化を図り、メモハーチャック事業を展開。NTKセラテ

オン注入装置向けの静電チャックなど

リー向けに求められる高プラズマ耐性ックが真空チャックを手がけるのに対を手がけている。15年には太平洋セメやロジックで求められる面内温度均一し、日本特殊陶業は静電チャックを提ント㈱の子会社だった NTK セラテッ性、パーティクルの低減などのニーズ供する。

クを買収し、事業強化を図った。

に対応する。同社は半導体製造装置市親子で競合にならないのは、真空チ

半導体製造装置用部品事業は、長期場の年率成長率を 5％と想定している

ャックはリソグラフィー分野で需要を経営計画で成長領域の中核と位置づけが、差別化により高付加価値領域にフ拡大。一方の静電チャックはエッチンられている。21 年 4 月の組織再編によォーカスし、SPE 事業として市場成長

グ装置や CVD 装置など、腐食性ガスをり、これまで日本特殊陶業本体が担当率を上回る 12％以上の年率成長を目使用するチャンバー雰囲気がメーン市していた静電チャックを NTK セラテ指す。また、在庫の適正化や設備稼働場になるからである。

ックに移管し、半導体製造装置用部品率の向上などを推進し、生産性を高め事業を一本化する。19年度における承ることで利益成長も図っていく。

した。

ピン径50μmも対応可能

継する事業と NTK セラテックの売り上げの合計は約 155 億円。事業を一本

子会社では真空チャックを展開

製造プロセスが 7nm から 5nm に進化することで、市場環境の変化に迅速に対応し意思決定できる体制を構築し、さらなる事業拡大を目指す。

24年度に売上高350億円目指す化するなか、顧客が寄せるウエハーチ子会社の㈱ NTK セラテックは、17ャックへの要求ニーズも、これまで以年 7 月で創立 30 周年を迎えた。もとも上にハードルが高くなりつつある。焦とは太平洋セメント㈱（旧日本セメン

点深度確保の視点からは、平坦性の要ト㈱）の子会社として、各種セラミック求は必須。また、チャック力は確実なス製品の製造・販売を目的に設立され保持とともに、チャック自身の割れや21 年 5 月に、半導体製造装置用部品た。06年に東京証券取引所第一部に株欠けなどは完全に排除しなければなら（SPE）事業で 2024 年度に 350 億円（20式を上場。15年には親会社による株式ず、互いに相反するニーズが寄せられ年度は 220 億円）の売り上げを目指す譲渡に伴い、日本特殊陶業㈱のグルーている。それだけではない。クロスコ

方針を明らかにした。独自技術で差別プ会社になり、翌 16 年に現社名に変更ンタミも含むパーティクル対策は、ウ化して最先端分野への供給を拡大し、した。

エハーとのより少ない接点面積を要求

年率 12％以上の成長を目指す。

半導体製造装置

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する。

同社 30 年の社歴のなかで、長年にわーー ーの

1072022/01/14

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書 名 ..................半導体製造装置・部材 最前線 2022
体裁・頁数 ...........A4 変形判 オフセット刷り 144 頁
定 価 ..................17,600 円（税込）
発刊日 ..................2022 年 1 月 31 日

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