国立大学法人電気通信大学

研究設備センター
COORDINATED CENTERRESEARCH FACILITIES

研究設備センターは、基盤研究設備部門、先端研究設備部門、低温部門、動物実験支援部門の４部門によって構成され、各部門において大型設備・基盤的設備の集中的な運用と管理を行っています。
The Coordinated Center for UEC Research
Facilities consists of three departments: the Basic
Research Equipment Department, the Division ofAdvanced Research Facilities, and the CryogenicCenter. Each department engages in intensive
operation and management of large-scale
facilities and basic equipment.

↑東６号館外観（1階基盤研究設備部門、低温部門）←東８号館外観（先端研究設備部門）

利用案内
設備を初めて利用する方は、各部門に連絡して下さい
基盤研究設備部門 Division of key research facilities
kiban@cia.uec.ac.jp
先端研究設備部門 Division of advanced research facilities sentan@cia.uec.ac.jp
低温部門
Cryogenics Centerteion@rfc.uec.ac.jp

基盤研究設備部門
Division of key research facilities

基盤的な研究設備・機器を整備して、その効率的な利用による学内外の教育・研究活動の支援を目的として活動しています。電子顕微鏡や核磁気共鳴装置、質量分析計、三次元形状測定・評価システムなどの設備・機器が、設備予約システムを通じて容易に利用できる、開かれた体制を整えています。

電子元素状態分析装置

表面･界面構造解析室
X線光電子分析装置（日本電子(株)、JPS-9200）
結晶方位分散分析走査電子顕微鏡（日立(株)、S-4300/EBSD）
200ｋV熱電子放出型透過型電子顕微鏡（日本電子(株)、JEM-2010）
200ｋV電界放出型透過型電子顕微鏡（日本電子(株)、JEM-2100F）
電子線元素状態分析装置（日本電子(株)、JXA-8530F)

化学構造解析室
超伝導フーリエ変換NMR（500MHz）（日本電子㈱、ECA-500）
超伝導フーリエ変換NMR（300MHz）（Varian社、Unity 300）
ESI - TOF型質量分析装置（日本電子㈱、JMS-T100 AccuTOF）
LCQイオントラップ型質量分析計（Thermo Scientific社、LCQ Fleet）
MALDIスパイラルTOF質量分析計（日本電子㈱ JMS-S3000，SCIEX QTRAP4500）
円二色性分散計（日本分光㈱、J-720W）
HPC 型単結晶X 線回折装置（㈱リガク、XtaLab Synergy-R/DW/RF)
DSC粉末X線同時測定装置 （㈱リガク、Ultima III）
精密構造解析用X線回折装置（㈱リガク、SmartLab/R/Kα1/RE）
熱分析装置（㈱リガク、DSC8230・TG8120）
有機元素分析装置（PerkinElmer、Series II CHNS/O 2400）
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡（Carl Zweiss、LSM710）
高速液体クロマトグラフィーシステム（バイオ・ ラッド㈱、NGC Quest 10 plus）

超伝導量子干渉型磁束計
分析・計測機器室
最先端三次元形状測定・評価システム（ZWEISS、PRISMO Navigator 5 S-ACC mass）
超伝導量子干渉型磁束計（Quantum Design社、MPMS-XL7）（Quantum Design社、MPMS-5）		
（Quantum Design社、MPMS3）
電子スピン共鳴装置（Bruker Biospin㈱、ELEXSYS E500）
高磁場多目的物性測定システム（Quantum Design社、PPMS-9）
高速応答FT-IR（Thermo Scientific社、Nicolet 6700）
顕微レーザーラマン分光計（日本分光㈱、NRS-3100）
温度可変ホール測定装置（ケースレー）
マクロフォトルミネッセンス装置（堀場製作所、PHOTOLUMINOR）
フラッシュ法熱物性測定装置（Bruker AXS、NETZSCH LFA447 NanoFlash）
電磁環境測定装置（電波暗室）（TDK-EPC㈱,㈱デバイス,Agilent Tech.㈱）示差走査熱量計（NETZSCH、DSC3500）無響室
絶対PL量子収率測定装置（浜松フォトニクス、Quantaurus-QY）
最先端材料特性評価システム
・超微小押込み硬さ試験装置（株式会社エリオニクス、ENT-1100a）
・高サイクル対応型疲労試験装置（MTSジャパン株式会社、810型）
・微小荷重対応型万能試験装置（株式会社インストロンジャパン、5882型）

HPC 型単結晶X 線回折装置

先端研究設備部門
Division of advanced research facilities

材料・デバイス室、機械・ロボット室、光・バイオ室から構成されており、施設は東8号館にあります。
クリーンルーム、無響室、電磁シールド室、低温室があり、デバイス作製、ロボット作製、バイオ関連の設備が設置されています。
クリーンルーム内設備
Class100イエロールーム（リソグラフィー室）
ノマルスキー型微分干渉顕微鏡（評価設備）
デジタル顕微鏡（評価設備）
透過型赤外金属顕微鏡（評価設備）
電子線リソグラフィー装置（リソグラフィー設備）
高精細マスクアライナー（リソグラフィー設備）
オーブン（リソグラフィー設備）
スピンナー（リソグラフィー設備）
ウエットステーション（エッチング設備）
表面粗さ計〔DEKTAK150〕 （評価設備）Class10000ルーム（デバイスプロセス室）
マイクロ天秤（評価設備）
反応性イオンエッチング装置（F用）（エッチング設備）
反応性イオンエッチング(Cl用) （エッチング設備）
ウエットステーション（エッチング設備）
オゾンアッシャー（エッチング設備）
電子ビーム蒸着（旧）（成膜設備）
電子ビーム蒸着（新）（成膜設備）
酸化・ 拡散炉（成膜設備）
高周波スパッター（成膜設備）
ワイヤーボンダー（その他プロセス設備）
イオン注入装置（その他プロセス設備）
その他設備
GaN系MOCVD（有機金属気相成長）装置（成膜設備）
簡易蒸着装置（成膜設備）
材料・デバイス 分析・評価室設備
FE-SEM（評価設備）
X線回折装置（評価設備）
表面粗さ計 〔DEKTAK-XT〕（評価設備）

原子間力顕微鏡

表面粗さ計DEKTAK-XT
マイクロマシン・ロボットシミュレーション3D位置計測研究設備
電磁シールド室
蛍光位相差顕微鏡（評価設備）
原子力間顕微鏡（評価設備）
３D光干渉観測システム（評価設備）
無響音室

３D光干渉観察システム

生体情報センサー融合実験設備（生物有機化学研究室）
冷却遠心機
低温室
超純水製造装置
恒温恒湿培養器
振盪培養器
高圧蒸気滅菌機
インキュベーター
無菌ベンチ
HPLC（高速液体クロマトグラフィー）（分析設備）
微弱発光スペクトロメーター（分析設備）
ルミノメーター（発光測定装置）（分析設備）
発光プレートリーダー（分析設備）

低温部門
Cryogenics Center←ヘリウム液化機

学内外の研究設備 や研究室を対学内外の研究設備や研究室を対象に、研究活動や分析装置の運用に欠かす事のできない寒剤（液体ヘリウムと液体窒素）の供給業務を行っています。特にヘリウムはほぼ全量を輸入に頼る貴重な天然資源であるので、ヘリウム液化システム（ヘリウム液化機と貯蔵設備、ヘリウムガス回収・貯蔵設備、液化窒素ガス貯蔵設備）を管理運用し、ヘリウムガスの再利用により経済的な寒剤利用を図っています。

↓液化窒素貯槽

ヘリウム液化システム（小池酸素工業㈱）ヘリウム液化機（Linde Kryotechnik AG、L140）
ヘリウム液化用圧縮機 （ケーザー、DS241）
液体ヘリウム貯槽（クライオファブ、CMSH2000）
ヘリウムガス回収・貯蔵設備		
ヘリウム回収圧縮機A （ブルックハルト、C5N210GX）
ヘリウム回収圧縮機B （ブルックハルト、C5N214.4GEX）
ヘリウムガス長尺貯槽		
液体窒素貯槽（岩谷瓦斯、CEA-10K）			

液化速度 108 L/時
0.93 Mpa 840 Nm3/時
容量 2,000L
貯蔵能力 2,700 Nm3
14.7 MPa 50 Nm3/時
14.7 MPa 100 Nm3/時
36本
東地区容量 9,700 L
西地区容量 4,900 L

CAMPUS MAP

東３１号館
東３２号館

東１０号館

研究設備
8

東３４号館
東３３号館

先端

CONTACTS

東９号館

東３５号館

基盤・低温

東７号館

東３号館
（総合研究棟）
コミュニケーションパーク
西１１号館

武道場
東３６号館

西３１号館

西１０号館

〒182-8585  
東京都調布市調布ヶ丘1-5-1
TEL 042-443-5732
FAX 042-443-5784
E-mail info@cia.uec.ac.jp
URL http://www.cia.uec.ac.jp

Ｄ

大学
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本館

2022.12発行