超 音 波 モ ー タカタロ グ

ピエゾソニック モータ
小 型・高トルク・電 力 ゼ ロで 姿 勢 保 持・磁 場 環 境 で 利 用 可 能

ロボットや 磁 場 環 境 用 装 置 のため の 革 新 的な モータ
回 転 型 超 音 波 モータを2 5 年 以 上 研 究・開 発しているエンジニアにより、高トルク化・長 寿 命 化という相 反 する２つ の課 題 の解 決に取り組んでいます。

構 造と材 料を1から検 討し、実 験を繰り返した結 果 、従 来 の回 転 型 超 音
波 モータと比 べ 高トルク化と2 倍 以 上 の 長 寿 命 化に成 功しました。

（特許取得済）この技 術により生まれたトルク型 超 音 波 モータ：ピエゾソニック モータは

国 内 学 会 、学 術 機 関 での 評 価も高く、先 端ロボットや 半 導 体 製 造 装 置 、
M R I 内で利 用 する装 置などに積 極 的に採 用が 進められ ています。

超 音 波 モータの制 御に不 可 欠な駆 動 回 路（ドライバ ）についても精 通しており、従 来 のドライバに比 べ て3 0 % 以 上 の 小 型 化 に 成 功 。応 答 性 、制御 性に優 れ 、P Cや マイコンから制 御 可 能なドライバを開 発しています。

ピ エ ゾ ソ ニ ック モ ー タ と は
ピエゾソニック モータは磁石やコイル、鉄芯を利用せず、電圧を加えると伸縮する圧電セラミックの振動により回転します。
ロータの回転速度、回転方向の制御は圧電セラミックの振動周波数、振動波形を制御することで実現しています。小型・軽量でありながら同サイズの DCモータと比べ約 5 倍〜10倍の高トルクを発揮します。起動・静止の応答性も高く、ステージ等の搬送装置や割り出し装置用モータとして最適です。摩擦を利用した原理により非通電、非制御状態で姿勢・状態を保持することができ、バックラッシュ
もないためにロボットアーム等の高精度な位置制御を実現します。弊社の磁場環境用モータはネジ1本に至るまで非磁性材料で構成しているため、磁場環境の影響を受けず、磁場環境に影響を与えません。MRI内などの磁場環境で安心してご利用頂くことが可能です。

ロ ータ

ロ ータの 方 向

表面進行波の方向
ステ ータ

接 触 点 の 動き
圧 電 セラミック

A* S i n ω t

A* C o s ω03他方式のモータとの比較
磁場環境で利用でき、小型・静音・高トルク、電力ゼロで姿勢保持が可能。

回転数・トルク
同サイズのピエゾソニック モータ、DC モータ、ブラシレ
スモータ、ステッピングモータのトルクと回転数の関係に

回転数

DCモータ

フォーカスした領域図です。
ピエゾソニック モータは他のモータに比べ、低速・高トル

ブラシレスモータ
ステッピングモータ

クという特徴を持ちます。
摩擦力により非制御時でも高保持力を維持でき、バック

ピエゾソニック
モータ

ラッシュもないため、ギアを使わないダイレクトドライブのアクチュエータシステムを構築することが可能です。

トルク

重量・位置制御
同サイズのピエゾソニック モータ、DC モータ、ブラシレ

重量（軽量）

スモータ、ステッピングモータの位置制御性と重量（軽量）の関係にフォーカスした領域図です。
ピエゾソニック モータは他のモータに比べ、軽量で高い
位置制御性を有するという特徴を持ちます。

ピエゾソニックモータ
ブラシレスモータ

DCモータ

回転部の重量が軽いためイナーシャが小さく、駆動信号

ステッピングモータ

が停止すると瞬時に摩擦力により静止するため、精密な位置決めが可能です。
位置制御性※最終的な位置決め精度は外部のセンサ：エンコーダやポテンショメータと制御コントローラに依存します。

ピエゾソニック モータの活用例
一般・磁場環境用搬送装置、ロボット用アクチュエータ

医療機器 CT・MRI 内での搬送用・駆動用モータ

精密位置決めステージ

微細制御が可能なロボットアーム
姿勢制御のためのジンバル装置
監視、記録カメラのための静音移動装置
バックラッシュのない小型の搬送装置

割り出し装置モータの動作音が小さい小型の仕分け・分配装置
強放射線環境での駆動用モータ
真空環境用モータ（宇宙環境等）
搬送用コンベア

ロボットの関節制御

04

一 般 環 境 用 モ ータ PSM60S SERIESFOR GENERAL ENVIRONMENT

PSM60S-B■ 一般環境用センサレス片軸モータ■ 一般環境用センサレス両軸モータ

APPEARANCE / FEATURES

PSM60S-A

他社製外部センサをモータに直接装着するためのサブシャフトを有しています。

位置決めや、タイマーによる間欠動作用モータとして他社製エンコーダやタコジェネレータを利用した最適です。

制御が可能なモータです。

4-

4.5 Hole

54

14
19.50

4

14

25

4-

0.6

5

C0.2

14
19.50

4

4.5 Hole

54

66

D-Cut 0.6

-0.004-0.005

8 g6 -0.014

519

5 g6 -0.012

66

54

C0.5

42.5

-0.005

8 g6 -0.014

66

54
42.5
14

D-Cut 0.6

19

C0.5

DESIGN

D-Cut 0.6

0.6

PSM60Sシリーズで最小サイズ。
組み込み側の装置に搭載されたセンサを利用した

10
25

66

片軸モータ PSM60S-A

製品名

駆動周波数

40〜47 [KHz]

駆動周波数

両軸モータ PSM60S-B

40〜47 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

120 [rpm]

定格回転数

120 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

定格トルク

0.6 [N･m]

定格トルク

0.6 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

66×66×45 [mm]サイズ(W×D×H)

66×66×53 [mm]質量230 [g]質量

233 [g]

エンコーダ分解能

非搭載 片軸エンコーダ分解能

非搭載

最小位置決め精度

外部センサに依存

最小位置決め精度

外部センサに依存

SPEC

製品名

両軸

05

一 般 環 境 用 モ ータ PSM60S SERIES
for GENERAL ENVIRONMENT

PSM60S-ET■ 一般環境用500p/rエンコーダ付モータ■ 一般環境用1,000p/rエンコーダ付モータ

1周で1,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
±0.09（°4逓(てい )倍時）の精度でモータの位置・が可能です。

速度制御が可能です。
高精度位置決めステージなどのボールネジを利用した搬送装置用モータとして最適です。

搬送装置用モータとして最適です。

D-Cut 0.6

19

19.50

-0.005

14

C0.5

8 g6 -0.014

54
5
42.5

-0.005

8 g6 -0.014

42.5

54

66

C0.5

66

DESIGN
D-Cut 0.6

0.6

1周で500パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
±0.18（°4逓(てい )倍時）の精度でモータの位置・速度制御

0.6

APPEARANCE / FEATURES

PSM60S-E

19

5
14
19.50

10.7
14

4-

4.5 Hole

4

54

10.7
14

25

4-

4.5 Hole

54

66

4

25

66

SPEC

製品名

エンコーダ付500p/rモータ PSM60S-E

製品名

駆動周波数

40〜47 [KHz]

駆動周波数

エンコーダ付1,000p/rモータ PSM60S-ET

40〜47 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

120 [rpm]

定格回転数

120 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

定格トルク

0.6 [N･m]

定格トルク

0.6 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

66×66×56 [mm]サイズ(W×D×H)

66×66×56 [mm]質量240 [g]

質量240 [g]

エンコーダ分解能

500 [p/r]

エンコーダ分解能

1,000 [p/r]最小位置決め精度

0.18°

最小位置決め精度

0.09°

06

一 般 環 境 用 モ ータ PSM60S SERIES

磁 場 環 境 用 モ ータ PSM60N SERIES

for GENERAL ENVIRONMENT

for MAGNETIC ENVIRONMENT

PSM60N-A■ 一般環境用2,000p/rエンコーダ付モータ■ 磁場環境用センサレス片軸モータ±0.045（°4逓(てい )倍時）の精度でモータの位置・

3［T］の磁場環境に対応。PSM60Nシリーズで最小サイズ。
MRI や元素分析機など、強磁場環境内で利用することが速度制御が可能です。

可能です。装置に搭載されたセンサを利用した位置決めや超高精度な割り出し装置用モータとして最適です。

搬送に最適なモータです。

0.6-0.005

8 g6 -0.014

14
19.50
10.7

14

4-

4.5 Hole

54

4

14

25

4-

19

C0.5

66

54

5
42.5

-0.005

8 g6 -0.014

42.5

54

66

C0.5

D-Cut 0.6

19

4.5 Hole

54

DESIGN

D-Cut 0.6

0.6

1周で2,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。

APPEARANCE / FEATURES

PSM60S-E2T

5
14
19.50

4

25

66

66

エンコーダ付2,000p/rモータ PSM60S-E2T

製品名

駆動周波数

40〜47 [KHz]

駆動周波数

片軸モータ PSM60N-A

40〜47 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

120 [rpm]

定格回転数

120 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

定格トルク

0.6 [N･m]

定格トルク

0.6 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

66×66×56 [mm]サイズ(W×D×H)

66×66×45 [mm]質量240 [g]

質量

230 [g]

エンコーダ分解能

2,000 [p/r]

エンコーダ分解能

非搭載 片軸最小位置決め精度

0.045°

最小位置決め精度

外部センサに依存

SPEC

製品名

07

磁 場 環 境 用 モ ータ PSM60N SERIES
for MAGNETIC ENVIRONMENT

PSM60N-E■ 磁場環境用センサレス両軸モータ■ 磁場環境用500p/rエンコーダ付モータ

1周で500パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓(てい )倍時）の精度で3［T］の磁場環境で±0.18（

磁場環境での利用に対応した他社製エンコーダやタコ

モータの位置・速度制御が可能です。

ジェネレータを利用した制御が可能なモータです。

ボールネジを利用した搬送装置用モータとして最適です。

14

4-

D-Cut 0.6

19.50

4

4.5 Hole

54-0.005

C0.2

14

C0.5

8 g6 -0.014

554

D-Cut 0.6

66

19

-0.004-0.005

8 g6 -0.014

66
42.5

54

C0.5

5 g6 -0.012

DESIGN
D-Cut 0.6

0.6

他社製外部センサをモータに直接装着するためのサブ

0.6

シャフトを有しています。

42.5

APPEARANCE / FEATURES

PSM60N-B

19

5
14
19.50
10.7

10

14

25

4-

4.5 Hole

4

54

66

25

66

SPEC

製品名

両軸モータ PSM60N-B

製品名

駆動周波数

40〜47 [KHz]

駆動周波数40〜47 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

120 [rpm]

定格回転数

120 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

定格トルク

0.6 [N･m]

定格トルク

0.6 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

66×66×53 [mm]サイズ(W×D×H)

66×66×56 [mm]質量

233 [g]

質量240 [g]

エンコーダ分解能

非搭載

エンコーダ分解能

500 [p/r]

最小位置決め精度

外部センサに依存

最小位置決め精度

0.18°

両軸

エンコーダ付500p/rモータ PSM60N-E

08

磁 場 環 境 用 モ ータ PSM60N SERIES
for MAGNETIC ENVIRONMENT

PSM60N-E2T■ 磁場環境用1,000p/rエンコーダ付モータ■ 磁場環境用2,000p/rエンコーダ付モータ

APPEARANCE / FEATURES

PSM60N-ET

1周で2,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓(てい )倍時）の精度で3［T］の磁場環境で±0.045（

モータの位置・速度制御が可能です。

モータの位置・速度制御が可能です。

MRI内や半導体製造装置で利用される高精度位置決め

MRI内や半導体製造装置で利用される超高精度なステージなどの搬送装置用モータとして最適です。

割り出し装置用モータとして最適です。

19.50-0.005

8 g6 -0.014

66

54
5
14

C0.5

0.6

D-Cut 0.6

19

42.5

-0.005

8 g6 -0.014

42.5

54

66

C0.5

DESIGN

D-Cut 0.6

0.6

1周で1,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓(てい )倍時）の精度で3［T］の磁場環境で±0.09（

19

5
14
19.50

10.7
14

4-

4.5 Hole

54

4

10.7
14

25

4-

4.5 Hole

54

66

4

25

66

エンコーダ付1,000p/rモータ PSM60N-ET

製品名

駆動周波数

40〜47 [KHz]

駆動周波数

エンコーダ付2,000p/rモータ PSM60N-E2T

40〜47 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

120 [rpm]

定格回転数

120 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

定格トルク

0.6 [N･m]

定格トルク

0.6 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

66×66×56 [mm]サイズ(W×D×H)

66×66×56 [mm]質量240 [g]

質量240 [g]

エンコーダ分解能

1,000 [p/r]

エンコーダ分解能

2,000 [p/r]最小位置決め精度

0.09°

最小位置決め精度

0.045°

SPEC

製品名

09

PSM40S SERIES
一 般 環 境 用 モ ータ PSM40S
for GENERAL ENVIRONMENTPSM40S-B■ 一般環境用センサレス片軸小型モータ■ 一般環境用センサレス両軸小型モータ

PSM40Sシリーズで最小サイズ。

他社製外部センサをモータに直接装着するための組み込み側の装置に搭載されたセンサを利用した

サブシャフトを有しています。

位置決めや、タイマーによる間欠動作用モータとして他社製エンコーダやタコジェネレータを利用した最適です。

制御が可能なモータです。

C0.2

13

-0.004

10

3
22.5

38

46

C0.2

-0.007-0.0044-Φ3.3 Hole14

24 g7 -0.028

3

5 g6 -0.012-0.004-0.007
24 g7 -0.028

5 g6 -0.012

1

22.5

38

D-Cut 0.6

5 g6 -0.012

38

13.5

1

4-Φ3.3 Hole14

D-Cut 0.6

13

46
32.5

38

C0.2

13.5

46

DESIGN

D-Cut 0.6

32.5

APPEARANCE / FEATURES

PSM40S-A

46

SPEC

製品名

片軸モータ PSM40S-A

製品名

両軸モータ PSM40S-B

駆動周波数

52〜58 [KHz]

駆動周波数52〜58 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

150[rpm]

定格回転数

150[rpm]

最大回転数

250[rpm]

最大回転数

250[rpm]

定格トルク0.15 [N･m]

定格トルク0.15 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、
CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

46×46×35.5 [mm]サイズ(W×D×H)

46×46×43.5 [mm]質量

83 [g]

質量

84 [g]

エンコーダ分解能

非搭載 片軸エンコーダ分解能

非搭載 両軸最小位置決め精度

外部センサに依存

最小位置決め精度

外部センサに依存※PSM40 シリーズは受注生産となります。

10

一 般 環 境 用 モ ータ PSM40S SERIES
for GENERAL ENVIRONMENTPSM40S-ET■ 一般環境用500p/rエンコーダ付小型モータ■ 一般環境用1,000p/rエンコーダ付小型モータ

APPEARANCE / FEATURES

PSM40S-E

1周で500パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
±0.18（°4逓(てい )倍時）の精度でモータの位置・

1周で1,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
±0.09（°4逓(てい )倍時）の精度でモータの位置・速度制御が可能です。

速度制御が可能です。高精度位置決めステージ

ボールネジを利用した小型搬送装置用モータなどの小型搬送装置用モータとして最適です。

として最適です。

14

D-Cut 0.6

13

4-Φ3.3 Hole

38

14

22.5

38

46

-0.007-0.0044-Φ3.3 Hole24 g7 -0.028

10.7

5 g6 -0.012

3

13

1

32.5

-0.007

24 g7 -0.028-0.004

5 g6 -0.012

1

13.5

46

38

C0.2

46
32.5

38

C0.2

13.5

DESIGN

D-Cut 0.6

3

10.7
22.5

46

エンコーダ付500p/rモータ PSM40S-E

製品名

エンコーダ付1,000p/rモータ PSM40S-ET

駆動周波数52〜58 [KHz]

駆動周波数52〜58 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

150[rpm]

定格回転数

150[rpm]

最大回転数

250[rpm]

最大回転数

250[rpm]

定格トルク0.15 [N･m]

定格トルク0.15 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、
CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]

質量

90[g]

質量

90[g]

エンコーダ分解能

500 [p/r]

エンコーダ分解能

1,000 [p/r]最小位置決め精度

0.18°

最小位置決め精度

0.09°

SPEC

製品名

※PSM40 シリーズは受注生産となります。

11

一 般 環 境 用 モ ータ PSM40S SERIES

磁 場 環 境 用 モ ータ PSM40N SERIES

for GENERAL ENVIRONMENT

for MAGNETIC ENVIRONMENTPSM40N-A■ 一般環境用2,000p/rエンコーダ付小型モータ■ 磁場環境用センサレス片軸小型モータ

1周で2,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。

3[T]の磁場環境に対応。PSM40Nシリーズで最小サイズ。

±0.045°（4逓(てい)倍時）の精度でモータの位置・

MRIや元素分析機など強磁場環境内で利用することが可能

速度制御が可能です。

です。装置に搭載されたセンサを利用した位置決めや搬送

高精度な割り出し装置用モータとして最適です。

用に最適なモータです。

C0.2

38

32.5

-0.0073

10.7

4-Φ3.3 Hole

14

22.5

13.5
13

1
-0.00438

4-Φ3.3 Hole24 g7 -0.028-0.004

5 g6 -0.012

1-0.007
24 g7 -0.028

14

D-Cut 0.6

13

46
32.5

38

C0.2

13.5

5 g6 -0.012

DESIGN

D-Cut 0.6

46

APPEARANCE / FEATURES

PSM40S-E2T

3
22.5

38
46

46

SPEC

製品名

エンコーダ付2,000p/rモータ PSM40S-E2T

製品名

片軸モータ PSM40N-A

駆動周波数

52〜58 [KHz]

駆動周波数52〜58 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

150[rpm]

定格回転数

150[rpm]

最大回転数

250[rpm]

最大回転数

250[rpm]

定格トルク0.15 [N･m]

定格トルク0.15 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、
CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]サイズ(W×D×H)

46×46×35.5 [mm]

質量

90[g]

質量

83 [g]

エンコーダ分解能

2,000[p/r]

エンコーダ分解能

非搭載 片軸最小位置決め精度

0.045°

最小位置決め精度

外部センサに依存※PSM40 シリーズは受注生産となります。

12磁 場 環 境 用 モ ータ PSM40N SERIES
for MAGNETIC ENVIRONMENTPSM40N-E■ 磁場環境用センサレス両軸小型モータ■ 磁場環境用500p/rエンコーダ付小型モータ

APPEARANCE / FEATURES

PSM40N-B

他社製外部センサをモータに直接装着するための1周で500パルスのTTL出力のエンコーダを装備。

サブシャフトを有しています。

3[T]の磁場環境で±0.18°（4逓(てい)倍時）の精度で磁場環境での利用に対応した他社製エンコーダやモータの位置・速度制御が可能です。

タコジェネレータを利用した制御が可能になります。

ボールネジを利用した小型搬送装置用モータとして最適です。

13.5

14

22.5

38

38

-0.007-0.004

5 g6 -0.012

4-Φ3.3 Hole24 g7 -0.028

3

13

1

32.5

-0.00410

5 g6 -0.012-0.007

C0.2

13.5

46

38

4-Φ3.3 Hole24 g7 -0.028-0.004

5 g6 -0.012

32.5

1

14

C0.2

D-Cut 0.6

46

38

C0.2

D-Cut 0.6

13

DESIGN

D-Cut 0.6

3

10.7
22.5

46

46

両軸モータ PSM40N-B

製品名

エンコーダ付500p/rモータ PSM40N-E

駆動周波数

52〜58 [KHz]

駆動周波数52〜58 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

150[rpm]

定格回転数

150[rpm]

最大回転数

250[rpm]

最大回転数

250[rpm]

定格トルク0.15 [N･m]

定格トルク0.15 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、
CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

46×46×43.5 [mm]サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]質量

84 [g]

質量90[g]エンコーダ分解能

非搭載 両軸エンコーダ分解能

500 [p/r]

最小位置決め精度

外部センサに依存

最小位置決め精度

0.18°

SPEC

製品名

※PSM40 シリーズは受注生産となります。

13

磁 場 環 境 用 モ ータ PSM40N SERIES
for MAGNETIC ENVIRONMENTPSM40N-ET2■ 磁場環境用1,000p/rエンコーダ付小型モータ■ 磁場環境用2,000p/rエンコーダ付小型モータ

1周で1,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓(てい )倍時）の精度で3[T]の磁場環境で±0.09（

1周で2,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓(てい )倍時）の精度で3[T]の磁場環境で±0.045（

モータの位置・速度制御が可能です。

モータの位置・速度制御が可能です。

MRI内や半導体製造装置で利用される高精度位置

MRI内や半導体製造装置で利用される超高精度な決めステージなどの小型搬送装置用モータとして最適です。

割り出し装置用モータとして最適です。

14

13.5

D-Cut 0.6

13

4-Φ3.3 Hole

38

10.7

14

22.5

4-Φ3.3 Hole

38

46

13.5
13

-0.007

1
24 g7 -0.028

3-0.004-0.007

24 g7 -0.028-0.004

5 g6 -0.012

1

5 g6 -0.012

38

C0.2

46
32.5

38

C0.2

46

DESIGN

D-Cut 0.6

32.5

APPEARANCE / FEATURES

PSM40N-ET

3

10.7
22.5

46

SPEC

製品名

エンコーダ付1,000p/rモータ PSM40N-ET

製品名

駆動周波数

52〜58 [KHz]

駆動周波数

エンコーダ付2,000p/rモータ PSM40N-E2T

52〜58 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

150[rpm]

定格回転数

150[rpm]

最大回転数

250[rpm]

最大回転数

250[rpm]

定格トルク0.15 [N･m]

定格トルク0.15 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]

質量

90[g]

質量

90[g]

エンコーダ分解能

1,000 [p/r]

エンコーダ分解能

2,000[p/r]最小位置決め精度

0.09°

最小位置決め精度

0.045°※PSM40 シリーズは受注生産となります。

14

ドライバ

PSMD SERIES

for MOTOR CONTROLPSMD-PCC

2本のTTL信号でモータの回転方向を、0 〜 3.2[V]のアナログ

PSMD-SPCの機能に加え、PCとUSB接続、SPI通信により

APPEARANCE / FEATURES

PSMD-SPC

電圧でモータの速度を制御可能なアナログコントロールモデル。

外部からモータの回転方向、速度を直接操作するデジタルコン

エンコーダ搭載モータと組み合わせることで機器の速度を安定

トロールが可能なモデル。

化させることが可能です。

回転方向制御用TTL信号や速度制御用アナログ電圧を入力

超音波モータを外部アナログ電圧でコントロールする用途にすることなしに、
デジタル信号でモータの制御が可能。

最適です。

超音波モータを精密にコントロールする用途に最適です。

72

34

34
90

80.6

27.4

25
11

10

20

10

60

40.6

32

25
34

20

13

33.5

40.6

32
72
80.6

2×3-M3 Dp4mm

13.6

USB接続による高精度制御対応ドライバ PSMD-PCC

速度安定化機能付ドライバ PSMD-SPC

製品名

発振周波数 / 波形

40 [KHz] 〜 60 [KHz] / 合成正弦波

発振周波数 / 波形

40 [KHz] 〜 60 [KHz] / 合成正弦波

モータドライブ電圧

130 [Vrms] ~ 140 [Vrms]

モータドライブ電圧

130 [Vrms] 〜 140 [Vrms]

可変速方式

アナログ電圧（DC 0 [V] 〜 3.2 [V]）（PWM信号入力対応可）

可変速方式

アナログ電圧（DC 0 [V] 〜 3.2 [V]）（PWM信号入力対応可）

無負荷可変速範囲

1 [rpm] 〜 モータの最高回転数

起動・停止操作

CW、CCW制御端子に対しスイッチ、無負荷可変速範囲

外部信号により操作（アクティブロー）

起動・停止操作or USB接続、SPI通信によるデジタル信号制御
0.1 [rpm] 〜 モータの最高回転数
CW 、CCW 制御端子に対しスイッチ、外部信号により操作（アクティブロー）or USB接続、SPI通信によるデジタル信号制御

起動応答性

10 [ms]（モータ慣性負荷なし）

停止応答性

1 [ms]以下（モータ慣性負荷なし）

起動応答性

10 [ms]（モータ慣性負荷なし）

使用温度範囲-10 [℃] 〜 +60 [℃]

停止応答性

1 [ms]以下（モータ慣性負荷なし）

電源電圧・消費電流

DC 24 [V] ± 0.5 [V] / 常用 1[A]、最大2.5 [A]

使用温度範囲-10 [℃] 〜 +60 [℃]

過電流保護

復帰型過電流保護回路搭載

電源電圧・消費電流

DC 24 [V] ± 0.5 [V] / 常用1[A]、最大2.5 [A]

耐久時間

運転10,000 [Hours] or 出荷後1年 のどちらか短い期間

過電流保護

復帰型過電流保護回路搭載

サイズ（W×D×H）

80 × 60 × 45 [mm] （ファンを除く）

耐久時間

運転10,000 [Hours] or 出荷後1年 のどちらか短い期間

210[g]

サイズ（W×D×H）

80 × 90 × 45 [mm] （ファンを除く）

速度安定化機能付

質量300[g]

備考

USB接続あるいはSPI通信により操作可能

備考※ 出荷時に同シリアル番号のモータと対で調整しております。
※ 一般環境用PSM60/40
モータ、
磁場環境用PSM60/40 Nモータ共に同一方法でコントロール可能です。

SPEC

製品名

質量

DESIGN

2×3-M3 Dp4mm※ 出荷時に同シリアル番号のモータと対で調整しております。
※ 一般環境用PSM60/40 S
モータ、
磁場環境用PSM60/40 Nモータ共に同一方法でコントロール可能です。

15

ドライバ の 端 子 構 成
PIN ASSIGNMENT
各ドライバにはその特徴にあわせて調整用のボリューム（VR1〜VR3）
や各種コネクタ（CN1〜CN5）が装備されています。

VR1：
VR2：
VR3：

最低速度調整用ボリューム（PSMD-SPCのみ）

CN1：
CN2：
CN3：

電源用コネクタ（全ドライバ）

最高速度調整用ボリューム（PSMD-SPCのみ）
CW、CCW速度バランス調整用ボリューム（PSMD-SPCのみ）

モータ制御用コネクタ（全ドライバ）
モータ接続用コネクタ（全ドライバ）CN4：
CN5：

エンコーダ接続用コネクタ（全ドライバ）（PSMD-PCCのみ）
PC接続用コネクタ

ご利用の際には各端子の情報をご確認いただき、お間違いのないようご注意ください。

CN1

CN4

2

1

4

3

6

5

1. Main_power_入力 (+24V)
2. Main_power_入力 (+24V)
3. GND
4. GND
5. CASE
6. CASE

2

1

4

3

6

5

8

7

1. エンコーダ用電圧出力(+5V)
2. GND
3. エンコーダA相(+)入力
4. エンコーダA相(-)入力
5. エンコーダB相(+)入力
6. エンコーダB相(-)入力
7. エンコーダZ相(+)入力
8. エンコーダZ相(-)入力

赤
黒
青
緑
白
灰
黄
橙

CN2
1
3
5
7
9
11
13
15
17
19
21
23

2
4
6
8
10
12
14
16
18
20
22
24

1. リファレンス電圧出力(3.3V)
2. 速度指定電圧入力
3. GND
4. 回転方向指示：CW
5. 回転方向指示：CCW
6. GND
7. SPI_CS入力
8. SPI_CLK入力
9. SPI_DT入力
10. SPI_DT出力
11. Non Connect
12. GND

CN3

CN5

2

1

4

3

SW1

1. Sin信号出力
2. Cos信号出力
3. FB号入力
4. GND赤白黄黒◎エンコーダなし（速度制御なし）
1：OFF、2: OFF、3:OFF、4:OFFON
OFF

13. PWM_code_02入力（オプション）
14. PWM_code_01入力（オプション）
15. PWM_code_00入力（オプション）
16. PWM_SEL_入力（オプション）
17. ERROR_出力
18. AUX_01_入力（オプション）
19. AUX_00_入力（オプション）
20. GND
21. エンコーダA相(+)出力（エンコーダ接続時のみ）
22. エンコーダB相(+)出力（エンコーダ接続時のみ）
23. -24. --

1

2

3

4

◎シングルモード エンコーダ
・ PSM60＊ - E
1：ON、2: OFF、3:OFF、4:OFF
・ PSM60＊ - ET
1：ON、2: OFF、3:OFF、4:ON
・ PSM60＊ - E2T
1：ON、2: OFF、3:ON、4:OFF

2

1

3

4

1. -2. - Data
3. + Data
4. GND◎デファレンシャルモード エンコーダ
・ PSM60＊ - E
1：ON、2: ON、3:OFF、4:OFF
・ PSM60＊ - ET
1：ON、2: ON、3:OFF、4:ON
・ PSM60＊ - E2T
1：ON、2: ON、3:ON、4:OFF
・ PSM60＊ - E36
1：ON、2: ON、3:ON、4:ON

16

モ ータとドライバ の 接 続 方 法
CONNECTION

PSMD-SPC[1]エンコーダ信号無し、制御ボードを利用した簡易動作

CN1にDC24V電源、CN2にモータの回転方向（CW / CCW）
・停止状態を制御するTTL信号レ
ベルの信号（2本：アクティブロー）、速度変化のためのDC0V 〜 3.2Vのアナログ信号を入力します。
CN3をモータの信号入力端子に接続します。モータの制御に必要な信号はマイコンボードのポートとアナログ電圧出力を利用していただくか、ス
イッチと半固定抵抗を利用することが可能です。
モータにエンコーダがないため、CN4は利用しま
せん。

PSMD-SPC[2]エンコーダ信号による速度制御

CN1 に DC24V 電源、CN2 にモータの回転方向（ CW / CCW ）・停止状態を制御するTTL 信号レ
ベルの信号（ 2 本：アクティブロー）、速度変化のためのDC0V 〜 3.2Vのアナログ信号を入力します。

C N 3 をモータの 信 号 入 力 端 子 に 接 続します。
CN4をモータのエンコーダ信号端子に接続します。エンコーダ信号を利用した速度の安定化機能
により外部のマイコンボードでの速度制御なしに、
速度指定端子に一定電圧を加えてモータの回転速度の維持が可能です。
※エンコーダのパルス数によりSW1の設定が異なります。

PSMD-PCC[1]エンコーダ信号無し、制御ボードを利用した簡易動作
CN1 に DC24V 電源、CN2 にモータの回転方向・停止状態を制御する
（CN1
CW に
/ DC24VCCW ）TTL 信号レ
電源、CN2 にモータの回転方向（・停止状態を制御する
本：アクティブロー）、速度変化のた
ベルの信号
（2）
CW / CCWTTL 信号レベルの信号：アクティブロー）、速度変化のたのアナログ信号を入力します。
めのDC0V（〜2本
3.2V

めの〜 3.2Vをモータの信のアナログ信号を入力します。
号 入 力 端 子 に 接 続します。
C
N 3DC0V
をモータの信号入力端子に接続します。
モー
CN3 をモータのエンコーダ信号端子に接続しま
CN4タの制御に必要な信号はマイコンボードのポート
す。エンコーダ信号を利用した速度の安定化機能とアナログ
電 圧 出 力を利 用してい た だくか 、ス
により外部のマイコンボードでの速度制御なしに、イッチと半固定抵抗を利用することが可能です。
速度指定端子に一定電圧を加えてモータの回転

CN4、CN5は利用しません。
速度の維持が可能です。

17

モ ータとドライバ の 接 続 方 法
CONNECTION

PSMD-PCC[2]エンコーダ信号による速度制御

CN1 に DC24V 電源、CN2 にモータの回転方向（ CW / CCW ）・停止状態を制御するTTL 信号レ
ベルの信号（ 2 本：アクティブロー）、速度変化のためのDC0V 〜 3.2Vのアナログ信号を入力します。
C N 3 をモータの 信 号 入 力 端 子 に 接 続します。
CN4をモータのエンコーダ信号端子に接続します。エンコーダ信号を利用した速度の安定化機能
により外部のマイコンボードでの速度制御なしに、
速度指定端子に一定電圧を加えてモータの回転速度の維持が可能です。CN5は利用しません。
※エンコーダのパルス数によりSW1の設定が異なります。

PSMD-PCC[3]エンコーダ信号・PCによる速度制御

CN1に DC24V 電源を接続します。CN2は利用しません。CN3をモータの信号入力端子に接続します。CN4をモータのエンコーダ信号端子に接続します。CN5をPCのUSB端子に接続します。
モータの回転方向（ CW / CCW ）・停止状態の制
御や、速度変化のための制御指示は USB 経由で伝えることができます。アナログ電圧の制御信号が必要ないため、マイコンボードなど周辺装置を用意することなく、簡単にモータを操作することが可能です。
※エンコーダのパルス数によりSW1の設定が異なります。

PSMD-PCC[4]マイコン・制御機器とSPI通信を利用したモータ操作

CN1にDC24V電源、CN2を利用してマイコンや
PLCとSPI 方式による通信が可能です。CN3 をモータの 信 号 入 力 端 子 に 接 続します。C N 4 を
モータのエンコーダ信号端子に接続します。CN5は利用しません。
モータの回転方向や速度をコマンドでコントロー
ルすることが可能なため、既存のシステムを利用してデジタル信号でモータを操作することができます。
※エンコーダのパルス数によりSW1の設定が異なります。
18

よくあ る 質 問
FAQQ

商品はどこで買えますか？

Q

真空環境で利用することはできますか？

A

弊社の製品のご購入方法は3つあります。
１．
弊社提携商社様からのご購入
２．
WEB（公式オンラインストア、Yahoo!ショッピング）でのオンライン購入
３．
弊社に直接ご連絡いただきご購入
数量割引をご希望の場合は弊社提携商社様もしくは弊社へのご連絡をお願い致します。

A

弊社の超音波モータは真空中でも動作は可能です。
しかし、真空環境では摩擦の状態が悪くなるため、寿命が短くなる可能性が考えられます。一般環境での利用とは異なるため、動作は保証してお
りません。

Q

DCモータ等との違いは何ですか？

A

同じトルクのDCモータと比較した場合、超音波モータはサイズが1/5〜 1/10 倍、小型になります。またそれに伴い重量も軽くなります。
動作中の音についても超音波モータは非常に静音です。
保持力により非通電時、非制御の状態であっても電力0で姿勢・角度を維持できることも超音波モータの大きな特徴です。

Q

超音波モータの特徴（メリット）
は何ですか？

A

超音波モータは小型・高トルク・静音・磁場環境で利用できる非磁性に対応したモータです。既存のモータを超音波モータに変えることで、電力ゼロで装置の状態を保つことが出来るため、装置全体の小型化・低消費電力化が期待できます。
また、MRI や半導体製造装置、元素分析機など磁場の発生を嫌う製品に対して、弊社
製磁場環境用モータは安心してご利用頂くことができます。

Q

超音波モータのデメリットは何ですか？

A

弊社の超音波モータは従来の超音波モータに比べて長寿命です
が、超音波モータは一般的にDCモータやステッピングモータと比べると寿命という点においてはまだ優位性がありません。

Q

利用可能なケーブルは何mですか？

A

標準のケーブル長は3mです。最長30mまでのモータケーブルに対応しています。
（弊社純正品に限ります）

Q

特注対応は可能ですか？

A

シャフトの長さ変更や直径の変更は1個から対応させていただきます。
フルカスタム品の製作も可能です。お問い合わせフォームより仕様についてご連絡ください。

Q

購入時期によりモータ・ドライバの外観色が若干異なる製品があるようですA

製造時の材料・染色材料のわずかな違いによって製品の外観・色味、風合いが変わる場合がございます。
出荷時に特性計測を行っておりますので、製品の保証に違いはご
ざいません。

Q

商品の注文方法を教えてほしい。

A

ご購入方法により注文方法が異なります。
WEBからのご購入の場合には必要な数量を公式オンラインスト
ア、またはYahoo!ショッピングサイトよりご注文ください。弊社で情報を確認次第、納期をご返答させていただきます。弊社提携商社様もしくは弊社からの直接購入の場合にはお見積りをご依頼ください。弊社に直接ご依頼いただく場合には、メールかお問い合
わせフォームをご利用ください。弊社で情報を確認次第、ご返答させていただきます。

Q

1個から注文可能ですか？

A

弊社の製品は全て1個からご購入いただけます。

Q

ドライバはどれを選べばいいですか？

A

マイコンやPLC、外部抵抗等を利用してモータをアナログ制御する場合には、
PSMD-SPCを推奨致します。
PCやマイコン、PLCからUSB接続やSPI通信によるモータのデジ
タル制御をご希望の場合には、
PSMD-PCCを推奨致します。

Q

モータの速度制御をしたい場合どうすればいいですか？

A

弊社製ドライバ：PSMD-SPC、PSMD-PCCにはエンコーダ信号を利用した速度安定化機能（速度制御機能）が備わっています。
外部の制御機器により速度制御を行う場合には、ドライバのSW1を全てOFFにし、ドライバの速度安定化機能を解除してください。

Q

モータの位置制御をしたい場合はどうすればいいですか？

A

弊社製ドライバ：PSMD-SPC 、PSMD-PCCには位置制御機能は備わっておりません。
位置制御を行う場合には、CN2 から出力されるエンコーダのス
ルー出力を外部の制御機器に接続し、ご利用ください。

Q

シリアル番号の異なるモータとドライバを組み合わせることは出来ますか？

A

PSMD-SPC・PSMD-PCCは、スイッチの切替えによるエンコー
ダの有無・分解能に合わせた設定変更が可能なため、
ご利用いた
だけます。
ただし、エンコーダ無しのモータ（***- A/ B）
をご利用の場合にはドライバの速度安定化機能はご利用いただけません。
シリアル番号が異なるモータやドライバを組み合わせる場合には、
最低速度・最高速度の調整を推奨致します。

Q

USB・SPI通信時のコマンドリストはありますか？

A

コマンドリストをご用意しています。弊社まで直接お問い合わせく
ださい。

Q

アナログの速度指定電圧をPWM信号で代用可能ですか？動作実績のあるマイコンは何ですか？

Q

耐久時間は、
どのように算出されますか？

A

A

出荷時の特性に対し、最高トルクが60%にまで落ちた状態を弊社
ではモータの寿命と考えております。

弊社のドライバは速度指定電圧としてPWM信号による擬似アナ
ログ電圧に対応しております。動作実績としては、Raspberry
Pi ・Arduino・PSOCがございます。

19

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