共同利用研究を支えるテクニカル集団

分子研技術課

新しい加工技術への取り組み〜フォトリソグラフィー〜
機器開発技術班

高田 紀子

2004 年 東京農工大学大学院 農学研究科 応用生命化学専攻を修了後、民間企業でカーボンナノチューブの表面処理や分析業務を担当。2009 年 2 月より現職。青森県出身。
好きなこと：読書（印象的な本は、「秘密」、「悪意」（東野圭吾）、「遭難」（松本清張）、「博士の愛した数式」（小川洋子））、また最近ゴルフを始めました。
座右の銘：「期待するから腹がたつ」（「もう期待しない」という意味ではなく、「腹がたつくらい望んでいるなら自分でやってみよう」と前向きな気持ちになれるので）私は、分子研技術課 機器開発技術班と小さく設備も少ないですが、基板の対応するには、成膜、エッチング、描画に配属し、装置開発室の機械グループ

切り出しから、洗浄、コンタクト露光、の技術が新たに重要で、これらができるで働いています。 機械グループは、技現像に至るレジストパターンの製作と、ようになると、被加工物の材質や形状の術職員 5 名、技術支援員 2 名で構成さPDMS 樹脂による成型、ガラスとの接幅が大きく広がります。装置開発室にはれていて、実験機器について、主に加着などを行うことができます。私は主残念ながらこれらの設備はないのですが、工の面から研究者をサポートする仕事にフォトリソグラフィーを担当していナノプラットフォームと同様、他大学（例をしています。機械グループだけでも、るので、ここではそれについて紹介さえば、北海道大学、東北大学、京都大学、年間およそ 300 件近くの製作依頼を受せていただきます。

北陸先端科学技術大学院大学など）の所け対応を行っています。依頼内容の幅

フォトリソグラフィーとは、半導体有する供用設備を安価で利用できることは広く、追加工など短期間で終わるもデバイスの製造プロセスとして発展してが分かってきました。また、供用設備でのもあれば、研究者の要望を聞き、設きた技術の一つです。一つの平面に対しはありませんが、名古屋大学や東京工業計の段階から時間をかけて行うケースては比較的簡単にマイクロ・ナノレベル

大学に自分と似たような仕事をしているもあります。また、所内だけでなく所の微細構造を製作できることから、現在技術職員がいることも分かり、技術研究外の研究者の方でも、審査はあります

では様々な分野で利用されています。装会や技術課セミナーを通して情報交換をが、「施設利用」という形で申請をして置開発室でも 3 年程前からこの技術を行っています。日頃の業務の中でも、分利用することができます。施設利用に使って、神経細胞パターニング用の格からないことがあればメールや電話で聞関しては、加工の依頼というよりも長子パターン（最小幅 4  m、深さ 10  m）くことができるので助かっています。さ期的で開発的なものを受けるケースがやタンパク質の構造変化解析用のマイらに今年は、所長奨励研究費を利用して、多く、年間 10 件前後の研究課題に対しクロ流路ミキサー（最小幅 5  m、深さフォトリソグラフィーをはじめ微細加工て、設計、製作、評価など多方面から50  m）の製作に取り組んできました。

に関する勉強会を行い、他大学の技術職取り組み、自分達の知識や技術の向上（写真 2）。深さにもよりますが、マイク員、また研究者の方にもご参加いただきにもつなげるように取り組んでいます。

ロレベルのレジストパターンでしたら装大変勉強になりました。これも、技術課、主な所有設備としては、CAD（2D、置開発室の設備だけでもそれほど難しく装置開発室の上司や先輩方が積極的に機3D）、工作機械（旋盤、フライス盤、ボーありません。ただ原版となるフォトマス

会を与えてくれ、助言や後押しをしてく

ル盤、NC フライス盤、ワイヤ放電加工

クは描画装置がなくできませんので、外れるおかげです。

機、型彫放電加工機など）、測定器（光注（3 イ ン チ × 3 イ ン チ、 ￥100,000/

以前働いていた職場での経験も、分学顕微鏡、SEM、マイクロスコープ、枚）でお願いしています。フォトマスク

野は異なりますが役立っていると感じ非接触三次元測定装置など）があります。

は基本的に、落として割りでもしない限ます。以前は、カーボンナノチューブ

また最近では、フォトリソグラフィーり何回でも使用できますので、ある程度の表面処理、分析、納品などの仕事を関連の設備と AFM を退官された先生パターンが決まっている場合には便利でしていました。最適な処理条件があるから譲渡いただき、一つの部屋にまとよく使用されます。

わけではなく条件検討も必要だったのめてクリーンルームのようにしていま

最近、この技術に関する新しい相談、で、納期との兼ね合いが難しかったです（写真 1）。他大学の施設と比較する依頼も少しずつ出てきました。これらにす。雇用形態は嘱託でしたが、一社員

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March 201341

と分け隔てなく新人研修も受けました

人達からは、製図と工作を一から教わ

由はよく覚えていないのですが、社会し、自分できちんと考えず怒られるこりました。たくさんの経験をさせてい科の教科書に自動車工場の写真が載っとも度々ありました。逆にいつまでもただき、その中で一番自分にもできてているのを見て衝撃を受けたり、クリ考え、「遅い」と言われることもありおもしろそう、と思ったのがフォトリスマスに「磁石」をリクエストしていました。選択肢が減るから遅いのはだ

ソグラフィーで、ちょうどその頃生体た子供の頃を考えると、理系の道に来めだと教わりました。他にもたくさん分子情報部門の木村助教がマイクロ流たのは間違いなかったと思います。

ありますが、それらを実感したのが仕路ミキサーの話を持って来てくださり

装置開発室では、工作は技術支援員

事を変える時です。仕事の引き継ぎや今に至ります。まさか自分が愛知県での 2 名が主に担当していますが、基本引越しをはじめ期限までにやることがこのような仕事をすることになるとは的には、一つの依頼に対して一人が担山のようにあったので、必死に頭を整思っておらず、なにがあるかは分から当する場合が多いです。依頼内容によっ理して優先順位を決め、段取りを考えないなと感じています。ては設計から携わり、四苦八苦しながなくてはなりませんでした。優先順位

先日装置開発室で忘年会があり、装ら時間をかけてものを作っていくので、を決めるには目的を知る必要が出てき置開発室長の加藤教授から、「子供のだんだんと愛着がわいてきます。開発て、目的は何かと考えると、いくつか頃の夢は研究者だった」と伺いました。の要素が大きいものについても、やはは単なる自分のこだわりや見栄である

私はパン屋さんとかケーキ屋さんでし

り初めは研究者の方々のお話がきっかことが見つかりました。他人からこうたが、小学校の頃の文集に「機械関係けですし、最後もできたら使ってみて思われたらどうしようという雑念が減のものを作る仕事」と書いてあるのをもらいたいので、研究者との協力は欠り、言いにくいことが言えたり、フッ母親が見つけ、教えてくれました。た

かせません。一緒に考えながら仕事がトワークも軽くなったと思います。極しかに子供の頃から手を動かすことはできる点がおそらく分子研 装置開発室

端に自己中心的にならない限り、やは大好きで、小学生の頃は切り絵クラブのいい点だと思います。そうできるだ

り 必 死 さ は 大 切 だ と 思 い ま す。 ど うに入り、もくもくと切り絵に励んでいけの知識と経験を私もどんどん積んでしても楽な方に流れてしまうのでなにました。「機械関係のもの」と書いた理いきたいと考えています。

をもって必死になるかは難しいですが、仕事でもなんでもがんばって達成できたら、少しずつ自信をつけることができそうです。特に私は慎重で気も小さい方なので、ちょっとしたことでもものすごく大きな壁に感じることがよくあります。それでもいざ決死の覚悟でやってみると、「思っていたよりは大丈夫だった」と思うことが多いことが分
写真 1

かってきました。

クリーンブースの設備（化学試料棟 208）

分子研で働き始めてもうすぐ 4 年が経ちます。加工も設計も経験がなく、「旋盤」の意味すら分からず採用が決まり、私も、おそらく装置開発室の人達もとまどいが強かったのではないかと思います。ただ、周囲の人達は「失敗してもいい」という姿勢でマイペースにやらせてくれたので、なんとかここまでやってこられたと思います。はじめは、一人の先生の研究を中心に色々な加工や実験を経験しました。装置開発室の42

分子研レターズ 67

March 2013

写真 2

マイクロ流路ミキサーの SEM 画像。最小幅 5 m、深さ 50 m。
（左）レジストパターン、（右）PDMS パターン。