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半導体工場ハンドブック 2024

 リソグラフィー装置

23 年は 650 台規模に
DUVの成長に力強さ

リソグラフィーは半導体産業の微細な ど DUV 市 場 の 好 調 が化を実現するうえで、最も重要な工程挙げられるが、これは主の 1 つ。最先端プロセスで導入が進むに中国勢によるところがEUVも市場拡大が順調に進んでいるほ大きい。先端プロセス投か、レガシーノードの需要拡大で i 線や資が対中半導体規制の影

KrF などの既存技術を用いた市場も拡響で思うように実行でき大を遂げている。

ないなかで、中国半導体

半導体
ii i

2023 年（暦年）の半導体露光装置メーカーの多くが成熟プの販売台数は、前年から大きく伸びてロセスやパワー半導体、650台前後となる見通し。23年は半導CMOS センサーなどに活体製造装置市場全体がマイナス成長と路を見出しており、足元でも活発な投売上高構成比は23年4 ～ 6月期で25％なるなかで、露光装置市場に関しては資が行われている。

を記録しており、金額ベースでは過去

発

電 デ イス 業新一異例の伸びを見せている。24年もDUV

DUV が好調な一方で、EUV は先端ロ市場を中心に引き続きプラス成長が見ジック投資の一部見直しなどもあり、これにより、DUV 装置の通年売上高込めそうだ。

前年比では台数は増えるものの、年初見通しは、従来の前年比 30％増から同計画に比べて販売台数が下ぶれる見通50％増に引き上げられている。この売し。

上増には、売上認識のタイミングが従

光源別の販売台数見通しは、i 線が213台（前年実績193台）、KrFが238台

24 年に向けても、レガシー投資が（同 209 台）、ArF ドライが 45 台（同 32最高を達成。

来の設置完了時点ではなく、出荷基準台）、ArF 液浸が 101 台（同 85 台）、EUV引き続き活況を呈するとの見方が強く、 になる案件も含まれ、同社によれば、こが 55 台（同 40 台）。液浸が 100 台規模

DUV 装置を中心に安定した需要が期になるのは、11 年以来。

待されている。

れが約 7 億ユーロになるとしている。
一方、EUV 装置は顧客ファブへの受

23 年の半導体製造装置市場は、リソけ入れ準備の遅れなどから、一部装置装置と非リソ装置で置かれた状況が異の売上計上が遅れる見込みであり、売なっている。エッチングや CMP、洗浄上高は従来予想の同 40％増を下回り、といったプロセス装置は半導体メーカ【】

約 25％増にとどまる見通し。

ーの設備投資見直しを受けて、23 年は2023 年第 2 四半期（4 ～ 6 月）
決算発

23 年 4 ～ 6 月期実績は、売上高が前マイナス成長となっているが、リソ装表にあわせて、23 年通年の売上高成長四半期比2％増／前年同期比27％増の置は主要各社いずれも足元の業績は好率の見通しを引き上げた。従来は前年

69 億ユーロ、うち装置売上高は同 5％調に推移している。

比で約 25％の成長を見込んでいたが、増／同 35％増の 56 億ユーロとなった。

要因はいくつあるが、1 つは 21 ～液浸ArFをはじめとするDUV装置の需地域別では前四半期比で台湾が減少し22 年にあった部材不足の影響だ。光

要拡大を受けて、30％近いプラス成長た一方、中国向けが大きく増加した。

学部品やセラミック部品の不足を背景を見込む。に、露光装置メーカーは生産制約に直従来、DUV 装置は 23 年通年で 375面。この間、出荷遅延を起こしており、 台の販売台数（うち 25％以上が液浸）【キ ノン】
高シェアを誇る i 線ステッパーを主

その分が 23 年に持ち越されている。

を見込んでいたが、中国をはじめとす軸に半導体露光装置事業を展開。近年

もう 1 つが、中国勢を筆頭とするレる成熟ノードの投資拡大を受けて、こは KrF 分野でのシェア拡大も進展してガシー投資の拡大だ。23 年の露光装れを上回る販売台数になるとしている。 おり、さらなる事業拡大に備えて生産置市場の特徴として、ArF や KrF、i 線DUV 装置の需要を牽引する中国向け体制の強化にも乗り出している。

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第 4 部 工場ルポ／半導体工場分布図・ディレクトリー

工場ルポ

JSファンダリ新潟工場

国内半導体産業の「生き証人」
8 インチ投資を本格化㈱ JS ファンダリは、2022 年 12 月に越地震で被災。同工場も震度 6 強の地

新潟工場は現在、6 インチを主体に産声を上げた新生ファンドリー企業。

震に見舞われ、生産ラインは大きな被月 4 万枚の生産能力を保有。A ～ C 棟

パワー半導体を主戦場に受託製造を行害を受けた。これがきっかけの 1 つとの 3 棟構成で、オンセミ向けの製品のうべく、事業展開に向けた準備を急ピなり三洋の半導体事業も低迷。11年に生産を当面継続しつつ、空いたライン、ッチで進めている。その拠点となるのオンセミに事業売却を行っていた。

キャパシティーを活用してファンドリが新潟工場（小千谷市）だ。同工場はその後、オンセミは生産拠点再編の40 年近い歴史を誇る半導体生産拠点一環として、新潟工場を売却する意向

で、様々な試練を乗り越えてきた「生きであると表明。ただ、コロナ禍や地政設立間もないにも関わらず、すでに証人」として、日本の半導体産業を現在学的リスクが増大した時期であったこ「30 社 40 案件の試作開発」（岡田憲明も支えている。今後は 8 インチ投資もとも重なり、入札作業は難航。紆余曲社長）を得ており、好調なスタートを切本格的に行う予定で、パワー・アナログ折を経て、JS ファンダリへの売却が決っている。特にパワー半導体であれば、を主体とする独立系ファンドリーとしまった。工場取得にあたっては、㈱マほぼすべてのことが行えることが特徴ての存在感を示していく。

ーキュリアインベストメントと㈱産業

で、IGBT などで必要な裏面研削加工も創成アドバイザリーがメーンスポンサ60μmまで可能。ファンドリーが本格開ーとなった。国内 IDM、海外 IDM と所的に立ち上がるタイミングでも IGBT新潟工場はもともと、1984年に三洋有者が変わり、そして独立系ファンドの受託製造が事業の中心を担うことに電機の半導体製造拠点として設立。同リーとして生まれ変わる姿は日本の半なりそうだ。

社の半導体事業を支える主要工場とし導体産業の栄枯盛衰を感じさせるものて機能していたが、2004年の新潟県中だ。

事業

ー事業の本格展開に向けた試作開発を進めている。

キャパ
同社を率いる岡田社長は、沖電気工業の出身。宮城工場の設立にも関わり、同工場長、OKI セミコンダクタ社長、ラピスセミコンダクタ社長を歴任してきた。JS ファンダリ設立を強く推進してきた産業創成アドバイザリーの佐藤文昭氏とは以前から、国内でファンドリー事業を盛り上げていくという構想で一致しており、まさに二人三脚でこれを実現してきた。
これまで一工場に過ぎなかったこともあり、生産や開発などの人員リソースはある程度整っているものの、補充が急務となっているのが営業やマーケティング、そして知財や法務関係だと
岡田社長は指摘する。また、足元の市
況悪化の影響を受けて、量産スタート開発

元社のタイミングは先送りになる案件もあ119

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第 4 部 工場ルポ／半導体工場分布図・ディレクトリー

半導体工場分布図・北海道・北東北■ 北海道 ■

【三笠市】
△ 北海道オリジン㈱【千歳市】△ ㈱デンソー北海道▲ ミネベアミツミ㈱ 千歳事業所☆ Rapidus㈱ 千歳工場
【恵庭市】
▲ ㈱京都セミコンダクター 恵庭事業所【亀田郡七飯町】△ ㈱アムコー・テクノロジー・ジャパン 函館地区

北海道

■ 青森県 ■

【五所川原市】▲ 富士電機津軽セミコンダクタ㈱【北津軽郡鶴田町】△ ハイコンポーネンツ青森㈱

青森県

秋田
県岩手
県

■ 岩手県 ■【北上市】
▲ キオクシア岩手㈱▲ ㈱ジャパンセミコンダクター 岩手事業所△ ㈱ミスズ工業 岩手工場
【奥州市】
△ ㈱ミズサワセミコンダクタ【胆沢郡金ケ崎町】▲ ㈱デンソー岩手■ 秋田県 ■

【由利本荘市】▲ ㈱秋田新電元 飛鳥工場
△ ㈱秋田新電元 本社大浦工場【大仙市】△ エイブリック㈱ 秋田事業所

◎▲△◇

一貫工場
前工程工場
後工程工場
研究所・研究開発工場
デザインセンター
☆ 計画中
※ その他

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書 名 ..................半導体工場ハンドブック 2024
体裁・頁数 ...........A4 変形判、176 頁
定 価 ..................13,200 円（税込）
発刊日 ..................2023 年 12 月 4 日

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