Future Technologies

SAPPORO

from会 期：2018年 10 月 30 日（火）〜11月1日（ 木 ）会 場：札幌市民交 流プラザ

10月29日（月）午 後テクニカルツアー（北 海 道 大学 創成 科 学 研究 棟クリーンル ームおよび同 位体 顕 微 鏡システム）

Program Outline
電気学会 センサ・マイクロマシン部門主催

第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」
シンポジウム日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門主催

第9回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催

第10回「集積化MEMSシンポジウム」
化学とマイクロ・ナノシステム学会主催

第38回研究会

後 援 札幌市
協 賛 エレクトロニクス実装学会，応用物理学会，化学工学会，計測自動制御学会，システム制御情報学会，次世代センサ協議会，精密工学会，
センシング技術応用研究会，
電気学会，
電気化学会，
電子情報通信学会，
日本機械学会，
日本材料学会，
日本真空学会，
日本信頼性学会，
日本生体医工学会，
日本赤外線学会，
日本伝熱学会，
日本時計学会，
日本熱物性学会，
日本バーチャルリアリティ学会，
日本流体力学会，
日本ロボット学会，ニューセラミックス懇話会，マイクロマシンセンター，レーザー学会，電気学会関連技術委員会

Future Technologies from SAPPORO「想定」するためのFuture Technologies：札幌にて

第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウムの開催にあたり

一般社団法人電気学会 E部門
第35回「センサ・マイクロマシンと応用シス
テム」シンポジウム
実行委員長 野田 和俊

一般社団法人日本機械学会
マイクロ・ナノ工学部門
第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
実行委員長 三木 則尚

北海道胆振東部地震で被害に遭われましたみなさま，心今夏は記録的な猛暑に加え，台風，地震と天災が続きましよりお見舞い申し上げます。一日も早い復旧・復興をお祈り申た。被災された皆様には心からお見舞い申し上げます。地震

し上げます。

で大変な影響があったにもかかわらず，このたびのシンポジウ

2011年東日本大震災以降，「想定外」という言葉が多く使われるようになりました。今年は西日本側で大雨や台風によ申し上げます。

る被害，そして9月の胆振東部地震では大規模な土砂崩れに日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門が主催するマイクロ・よる甚大な被害もありました。また，北海道全体が電力停止

ナノ工学シンポジウムも9回目を数えることとなりました。マイによる「ブラックアウト」に陥る異常状態にもなりました。

クロ・ナノをキーワードに機械工学を横断するマイクロ・ナノ

これらは本当に「想定外」なのでしょうか。かなり古い過去

工学部門の部門大会らしく，多様な分野から過去最高の170からのいろいろなデータを元に，危険場所や万が一の事故予件を超える発表が予定されております。参加者の皆様に実行

想などのシミュレーションも可能となり，最悪の事態は想定

委員会を代表いたしまして，厚く御礼申し上げます。

できるはずですが，それが本当に起こるのかどうかが分から

本シンポジウムでは，東京大学生産技術研究所教授，鹿園

ない中で客観的な判断が難しい状況です。人間が知恵をうま

直毅氏による基調講演「固体酸化物形燃料電池（SOFC）のくいかせるかどうかにかかっていると思います。これから，計課題と展望」，
マイクロ・ナノ工学部門がカバーする研究分野

測の基礎であるセンサ・マイクロマシンの果たすべき役割はの代表的な研究者によるキーノートセッション，さらに昨年

大きく，その重要性は今後も増すものと考えます。

度功績賞（技術功績賞）を受賞された株式会社日立製作所

さて，
今年は北海道命名150年という節目の年に，初めて北岡田亮二氏に「MEMS製品開発と事業化」についてご講演い海道・札幌で実施します。会場となる札幌市民交流プラザも10ただく表彰セッションを企画しました。電気学会主催第35回

月に開館したばかりです。さらに，同時開催している日本機械学「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，応用会マイクロ・ナノ工学部門，応用物理学会集積化MEMS技術研

物理学会主催第10回集積化MEMSシンポジウム，そして新た究会に加えて，
今年から化学とマイクロ・ナノシステム学会も参に化学とマイクロ・ナノシステム学会主催第38回研究会が併加され，名実共に関係学会が一緒に「Future Technologies」

催するFuture Technologies from Sapporoの中で，日本機械の架け橋となる年になることを願っております。

学会らしいプレゼンスを示せると期待しています。

今年のシンポジウムも例年以上の発表件数となり，昨年の一般講演は昨年に引き続き全てポスター発表形式です。他

広島大会同様，ポスター発表中心で行い，関係学会の学会員

学会，他分野の研究者と交流が進み，参加者全員にとって大同士の交流が活性化されることを期待しております。この他，

きな収穫となることを確信しております。シンポジウムを横断

未来を担う若者を育てる目的で，初めて高校生による研究発する若手企画も用意されており，当該分野の明るい未来の礎

表（ポスター）を学会員と同じエリアで実施します。さらに，になるものと期待します。

「アート・カルチャーとセンシング・マイクロマシンのつなが最後になりましたが，併催シンポジウムのご関係者，事務り」をコンセプトに，「マイクロ・ナノ関係フォトコンテスト」，

局，協賛いただいた学協会，本シンポジウムの実行委員会，プ

市民公開講座「SENSOR×MUSIC」として基調講演および北ログラム委員会の皆様のご尽力に心より御礼申し上げます。

海道札幌国際情報高等学校吹奏楽部による「ダンプレライ
ブ」も実施します。北海道のみならず，日本全体に少しでも復興に役立つことを願っております。
最後に，論文委員長をはじめ，幹事さらに実行委員会および論文委員会のメンバーの方々に心よりお礼申し上げます。
また，各学会の多方面にわたるご支援，北海道，札幌市，スポ
ンサー・技術展示企業・団体，事務局の方々に深く感謝いたします。
2

ム開催にご協力いただきました関係者の方々に，心より感謝電気学会 センサ・マイクロマシン部門主催，第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，日本機械学会 マイクロ・ナノ工学
部門主催，第9回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」，応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催，第10回「集積化MEMSシンポジウム」，化学とマイクロ・ナノシステム学会主催 第38回研究会は，「Future Technologies from SAPPORO」をテーマに，2018年10月30日から11月1日，札幌市
にて開催される運びとなりました。学・協会を超えた研究グループ間の情報の交換，アイディアの討議の場として，センサ・マイクロマシン技術，マイクロ・ナノメートルの領域におけるマイクロ・ナノ工学技術，MEMS技術のさらなる発展を目標に開催される，日本最大級のシンポジウムの結集となります。

第10回集積化MEMSシンポジウムの開催を迎えて化学とマイクロナノシステム学会・第38回研究会開催にあたり公益社団法人応用物理学会
集積化MEMS技術研究会
第10回集積化MEMSシンポジウム
実行委員長 積 知範

一般社団法人化学とマイクロ・ナノシステム学会
第38回研究会
実行委員長 宮崎 真佐也「Future Technologies from SAPPORO」にご参加頂き誠にありがとうございます。

化学とマイクロナノシステム学会（Cheminas）が主宰します
研究会も第38回目となりました。北海道胆振東部地震もあ

応用物理学会集積化MEMS技術研究会が主催する集積化

り，一時は開催も危ういのではと考えられた方もおられるとMEMSシンポジウムは今回節目である第10回を数えることと思います。被害に遭われた方々には心よりお見舞い申し上げなります。本シンポジウムは関連する各学協会との連携を図

ますが，札幌市内は早期の復旧がなされて今研究会の開催にり，広く人的ネットワークの裾野を広げ，産業界，大学含めた

至っています。今回の研究会では名古屋大学の馬場嘉信先生

連携の基盤つくりを目指すための活動の一つと位置付け活の基調講演に加え，化学・化学工学・機械工学・電気・電子・発な議論を重ねてきました。10年目を迎えることができこれ生体材料など多岐にわたる分野の融合領域の研究発表がまで支えていただきました多くの関係者各位に心より感謝い126件予定されています。実行委員会を代表しまして参加者たします。今年も論文委員長のリーダーシップのもと，魅力的の皆様に御礼を申し上げますとともに，活発な議論をお願い

なセッションが組まれており，活発な議論が期待されます。参いたします。

加者の皆様に実行委員会を代表いたしまして，心より御礼申し上げます。

Cheminasはこれまで文字通り化学とマイクロ・ナノシステ
ムをキーワードとして様々な分野の分野横断的な研究会をそして一般講演に加え，京都大学大学院工学研究科社会開催して参りました。今回はCheminasとしては初めてFuture

基盤工学専攻の塩谷 智基先生に，「インフラの効率的維持

Technologiesに加わり，「センサ・マイクロマシンと応用システ

管理に向けた振動センシングアプローチ」の題目で基調講演

ムシンポジウム」，「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」，「集積をお願いしています。産学連携の取り組みを中心に社会実装化MEMSシンポジウム」と同時開催させていただいておりまを念頭に置いた取り組みのお話を聞くことができます。

す。従来のCheminas研究会に加えてより幅広い分野のお話「Future Technologies from SAPPORO」は関連学協会である電気学会センサ・マイクロマシン部門主催の「センサ・マ

を拝聴することが出来るかと思います。参加者の皆様にはより分野横断的な議論をお願いしたいと考えております。

イクロマシンと応用システム」シンポジウム，日本機械学会マまた，Cheminasではポスター発表の前にショートプレゼン

イクロ・ナノ工学部門主催の「マイクロ・ナノ工学シンポジウのセッションを企画しております。これを拝聴していただくこム」，化学とマイクロ・ナノシステム学会主催の研究会とともにとで全てのポスター発表の概要をご理解いただくとともに，開催する複合シンポジウムとして，国内随一最大のとてもユ

ポスターセッションにてより深い討論を行っていただく事がニークで有意義な議論の場であり，ここの一員に加わること可能かと思います。またCheminas独自で2日目（10月31日）

ができることは1参加者としてとても楽しみにしているととも

19時よりさっぽろテレビ塔にて懇親会を企画しておりますのに，ここでの議論をきっかけに，ご参加の皆様におかれましてで，そこで参加者の皆様の親睦をはかっていただけるかと思はますます盛んなネットワーク構築の一助になることを期待います。

しているところです。

最後になりましたが，Future Technologies実行委員長の最後になりましたが，併催シンポジウムのご関係者，事務野田先生をはじめ，併催シンポジウムの実行委員の先生方，

局，協賛いただいた学協会，本シンポジウムの実行委員会，プ事務局，本研究会の実行委員の皆様のご尽力に心より御礼申

ログラム委員会の皆様のご尽力に心より御礼申し上げます。

し上げます。

3

Future Technologies from SAPPORO

基調講演

会場：T会場（劇場）（5F〜）

10月30日（火） 10:10-10:50
30am2-T-1

スペキュラティブエンジニアリング
東京大学大学院
川原 圭博氏

情報理工学系研究科−技術と未来洞察−

准教授

Dr. Yoshihiro Kawahara
Associate Professor, Department of Information and Communication Engineering, The University of Tokyo

10月30日（火） 13:30-14:10
30pm1-T-1

ナノバイオデバイスとAIが拓くSociety 5.0・健康長寿社会名古屋大学大学院
馬場 嘉信氏

工学研究科教授

Prof. Yoshinobu Baba
Professor, Department of Biomolecular Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University

10月31日（水） 9:20-10:00
31am1-T-1

固体酸化物形燃料電池（SOFC）の課題と展望
東京大学 生産技術研究所
鹿園 直毅氏教授

Prof. Naoki Shikazono
Professor, Institute of Industrial Science, The University of Tokyo

10月31日（水） 17:00-17:40
31pm4-T-1

鳥の求愛コミュニケーション：現在までの知見と展望
北海道大学 理学研究院生物科学部門／生命科学院生命システム科学コース
相馬 雅代氏

准教授

Dr. Masayo Soma
Associate Professor, Department of Biology, Faculty of Science, Hokkaido University

11月1日（木） 9:20-10:00
01am1-T-1

インフラの効率的維持管理に向けた振動センシングアプローチ
京都大学大学院
塩谷 智基氏

工学研究科社会基盤工学専攻

特定教授

Prof. Tomoki Shiotani
Professor, Graduate School of Engineering, Department of Civil & Earth Resources Engineering, Kyoto
University

4

Future Technologies from SAPPORO

プログラムスケジュール
T会場

A会場

B会場

C会場

5-6F

3F

2F

1F

5-6F

劇場

クリエイティブスタジオ

SCARTSスタジオ

SCARTSコート

ホワイエ

AM1

30分
9:40-10:10

開会式

AM2

40分
10:10-10:50

基調講演
東京大学
川原 圭博氏

AM3

P会場

ポスター掲示I＆II
ポスター
セッションI
90分
NEDOインフラ 維
持管理技術シンポジウムポスターセッション

90分
11:00-12:30

60分
12:30-13:30
10/30
40分
PM1
1日目
13:30-14:10

技術展示
プレゼンテーション
基調講演
名古屋大学
馬場 嘉信氏
応用物理学会
集積化MEMS
シンポジウム
口頭発表セッション

日本機械学会
マイクロ・ナノ工学シンポジウム
レビュー1

応用物理学会
集積化MEMS
シンポジウム
口頭発表セッション

実装学会連携セッション

フォトコン展示
11:00-20:00

技術展示
10:50-18:25
電気学会センサ
シンポジウム若手賞（五十嵐賞・奨励賞）
候補者発表セッション

ポスター掲示
I＆II

PM2

60分
14:20-15:20

PM3

75分
15:30-16:45

PM4

90分
16:55-18:25

ポスター
セッションII
90分

PM5

90分
18:35-20:05

Mixer

AM1

40分
9:20-10:00

化学とマイクロ・ナノ
システム学会
ポスターショート
プレゼン

基調講演
東京大学
鹿園 直毅氏

化学とマイクロ・ナノ
60分
システム学会AM2
10:10-11:10
ポスターショート
プレゼン
AM3

ポスター掲示III&IV

電気学会センサ
シンポジウム若手賞（五十嵐賞・奨励賞）
候補者発表セッション

実装学会連携セッション

ポスター
セッションIII
90分

90分
11:20-12:50
60分
12:50-13:50

技術展示
プレゼンテーション

化学とマイクロ・ナノ
60分
システム学会PM1
13:50-14:50
ポスターショート
10/31
プレゼン
2日目
90分
PM2
15:00-16:30

PM3

15分
16:40-16:55

高校生参加企画（一般公開）
ポスターショート
プレゼン

PM4

40分
17:00-17:40

基調講演（一般公開）
北海道大学
相馬 雅代氏PM5

一般公開企画30分
ダンプレライブ
17:50-18:20 （北海道札幌国際情報高等学校吹奏楽部）

技術展示
9:00-17:00

機械学会マイクロ・ナ
ノ工学部門
表彰講演

フォトコン展示
9:20-18:30

応用物理学会
集積化MEMS
シンポジウム
口頭発表セッション

ポスター
セッションIV
90分
ポスター掲示III,
IV,＆高校生
ポスター

若手企画
（別会場）

18:55以降
AM1

40分
9:20-10:00

AM2

90分
10:10-11:40

11/1
3日目

ポスター掲示III,
IV,＆高校生
ポスター

基調講演
京都大学
塩谷 智基氏
化学とマイクロ・ナノ
電気学会センサ
システム学会
シンポジウムポスターショート
優秀技術論文賞
プレゼン
候補者発表セッション

日本機械学会
マイクロ・ナノ工学シンポジウム
レビュー2

フォトコン展示
9:00-13:55

応用物理学会
集積化MEMS
シンポジウム
口頭発表セッション

ポスター掲示V
技術展示
9:00-13:55

45分
11:40-12:25
PM1

90分
12:25-13:55

PM2

40分
13:55-14:35

ポスター
セッションV
90分
閉会式
表彰式
Future Technologies from SAPPORO

5

テクニカルツアー（北海道大学

ナノテクノロジー連携研究推進室）

日 時：10月29日（月）14:00-17:00
場 所：北海道大学 ナノテクノロジー連携研究推進室

札幌市北区北21条西10丁目 創成科学研究棟内

文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業により整備された北海道大学の最先端の共有装置群を見学するツアーを企画しました。北海道大学では「微細加工プラットフォームコンソーシアム」と，「微細構造解析プラットフォーム」の2つの領域において研究支援がおこなわれており，今回はこれらの一部を見学させて頂きます。
（＊9月5日の台風21号，9月6日の地震等の影響で，当初見学を予定しておりました，JR北海道苗穂工場へのテクニカルツアーは，同工場内の建物，設備等に被害があり，JR側との協議の結果，安全上の観点から，今回はJR北海道でのテクニカルツアーは中止とし，北海道大学に変更とさせていただきました。JR北海道様，北海道大学様のご協力に心から感謝申し上げます。）

Future Technologies Mixer
日 時：10月30日（火）18:35-20:05
場 所：ホワイエ（6F）
4シンポジウム共通のイベント，参加者のネットワーキングの場を提供いたします。
初日のポスターセッション後のひと時を，カジュアルなドリンクタイムでお過ごしください。
（参加無料）

Future Technologies 若手交流会 in 札幌 「すすきのへ GO!」
日 時：10月31日（水）18:00-22:15
場 所：貸切市電（18:00-19:50（乗車時間は1時間半弱））
北海道和食 Daigo（ダイゴ）桜邸（札幌市すすきの）（20:15-22:15）
本企画は，Future Technologiesに参加されている若手（概ね40歳以下（ただし，常識的な範囲で自称若手の方も含む））研究者
が，シンポジウムの枠を超えたさまざまな分野の方と，お食事や飲み物を楽しみながら交流を深めていただける機会です。
まずは，約1時間半，貸切の市電に乗って飲んだり食べたりしゃべったり！楽しい市電の旅の後は，すすきので宴会！
（先着60名様，参加費4,000円，事前予約制）
集合時間と場所：
2台の貸切市電に分乗していただきます。組分けは事前登録の方に個別にご案内しております。
ご自身が「先発組」か「後発組」かをご確認の上，以下の場所に時間厳守で集合してください。
先発組：18:05 「すすきの貸切専用停留所」（南4西4交差点の中央分離帯）↑一般に利用される「すすきの」駅とは異なります！ご注意ください！
後発組：18:20 「南4西4交差点ラフィラ前」（道路を挟んで札幌東急REIホテルあり）

スタンプラリー（賞品が当たります）◆
技術展示プレゼンテーション，B会場（SCARTSスタジオ，2F），C会場（SCARTSコート，1F），ア
ンケートにご回答された方には，北海道名産の賞品を準備しております。当日会場でお渡しする
スタンプラリーのシートに各会場で押印し，受付にお持ちください。 アンケートは，QRコードでも受付しております。
① 技術展示プレゼンテーション（A会場 クリエイティブスタジオ，3F）
10月30日（火）12:30-13:30

10月31日（水）12:50-13:50② B会場

オーラルセッション/フォトコンテスト（SCARTSスタジオ，2F）③ C会場

オーラルセッション（SCARTSコート，1F）④ アンケート回答
アンケートは当日配布されるアンケート用紙の他，下記URLやQRコードもご利用頂けます。
Web回答をされた場合はスタンプラリーを受付にお持ちいただく際に，Web提出済みとお伝えください。
https://sensorsymposium-survey.com

6

Future Technologies from SAPPORO

第 35 回センサ・マイクロマシンと応用システム
シンポジウム プログラムスケジュール＊基調講演は別のページに記載されております

10月30日（火）14:20-15:20（C 会場，SCARTS コート，1F）

10月31日（水）10:10-11:10 （B 会場，SCARTS スタジオ，2F）

エレクトロニクス実装学会連携セッション

座長：日暮 栄治（産業技術総合研究所 / 東京大学），高木 秀樹（産業技術総合研究所）

10:10

倉島 優一 *{1}，叶 嘉星 {1}，樋口 哲也 {1}，小林 健 {1}，高原 晃宙 {2}，
泉山 寛明 {3}，桜井 亘 {3}{1} 産業技術総合研究所，{2} 国土交通省砂防部，{3} 国土技術政策総合研究所

センサシンポジウム若手賞（五十嵐賞・奨励賞）
候補者発表セッション
座長：遠藤 達郎（大阪府立大学），横川 隆司（京都大学）

14:20

10:25

30pm2-C-1

14:35

30pm2-C-2

山口 明啓 *{1}，桜井 郁也 {2}，岡田 育夫 {2}，石原 マリ {3}，福岡 隆夫 {1}，鈴木 哲 {1}，内海 裕一 {1}{1} 兵庫県立大学，{2} 名古屋大学，{3} 兵庫県立工業技術センター

10:40

14:50

30pm2-C-3

平岡 和記 *，高松 誠一，伊藤 寿浩
東京大学

10:55

15:05

30pm2-C-4
乳幼児の呼吸心拍一括計測を目指した気管挿管チューブ実
装型 MEMS 流量センサシステムに関する研究
光成 勇樹 *{1}，長谷川 義大 {1}，松島 充代子 {2}，川部 勤 {2}，式田 光宏 {1}{1} 広島市立大学，{2} 名古屋大学

末重 良宝 {1}，藤野 真久 {2}，須賀 唯知 {1}，一木 正聡 *{2}{1} 東京大学，{2} 産業技術総合研究所

10:10-11:10 （C 会場，SCARTS コート，1F）

センサシンポジウム若手賞（五十嵐賞・奨励賞）候補者
発表セッション
座長：三田 吉郎（東京大学），櫻井 淳平（名古屋大学）

10:10

鶴原 秋平 *，久保田 吉博，久保 寛，澤畑 博人，山際 翔太，
井戸川 槙之介，河野 剛士
豊橋技術科学大学

エレクトロニクス実装学会連携セッション

15:30

10:25

30pm3-B-1

16:00

ナノ・ライフ創新研究機構

教授

30pm3-B-2

土井 英生 *{1}，堀尾 智子 {1}，奥村 弘一 {1}，岩田 達哉 {1}，Bijay Parajuli{2}，高橋 一浩 {1}，服部 敏明 {1}，小泉 修一 {2}，澤田 和明 {1}{1} 豊橋技術科学大学，{2} 山梨大学

10:40

16:15

30pm3-B-3
電鋳を用いて作製したヒートスプレッダの常温大気圧接合
松前 貴司 *，倉島 優一，高木 秀樹
産業技術総合研究所

31am2-C-3
毛包細胞の機能を模した高感度 MEMS シリコン毛デバイス

点滴中の流量測定を目的としたマイクロレーザドップラ速度計による管内流速測定
西垣内 雄大 *，吉永 健，澤田 廉士，野上 大史
九州大学

31am2-C-2
酵素型高分解能非標識 ATP イメージセンサの製作と海馬の細胞外イメージング< 招待講演＞低温接合技術による有機 - 無機 Hybrid 材料への可能性
水野 潤 *
早稲田大学

31am2-C-1
バッファアンプを搭載した細胞内計測用ナノプローブアレ
イデバイス

15:30-16:30 （B 会場，SCARTS スタジオ，2F）
座長：日暮 栄治（産業技術総合研究所 / 東京大学），
高木 秀樹（産業技術総合研究所）

31am2-B-4
誘電体薄膜の剥離手法に関する研究

極薄 Au 薄膜を用いた大気中・常温ウェハ接合のためのプラズマ処理方法の検討
山本 道貴 *{1}{2}，松前 貴司 {2}，倉島 優一 {2}，高木 秀樹 {2}，須賀 唯知 {1}，伊藤 寿浩 {1}，日暮 栄治 {1}{2}{1} 東京大学，{2} 産業技術総合研究所

31am2-B-3
伸縮性銀ペーストの銀フィラー体積濃度による インピーダ
ンス特性変化心臓鼓動を模倣する流体キャパシタを集積した肝臓オルガ
ノイド作製用マイクロ流体デバイス
呉 家旭 *，平井 義和，亀井 謙一郎，土屋 智由，田畑 修
京都大学

31am2-B-2
放射光光化学反応による液相からの粒子生成と構造形成

感応膜ドリフト抑制に向けたトストライプゲート型半導体
pH センサの開発
上村 渓介 *，大石 竜太，大多 哲史，平野 陽豊，二川 雅登
静岡大学

31am2-B-1
機械学習のための土石流センサーネットワークの構築

濱本 晃輝 *{1}，寺尾 京平 {1}{2}，下川 房男 {1}{2}，高尾 英邦 {1}{2}{1} 香川大学，{2}JST-CREST

10:55

31am2-C-4
MEMS 力センサを用いた液滴衝突の制御
Nguyen Thanh-Vinh*，下山 勲
東京大学

Future Technologies from SAPPORO

7

11月1日（木）10:10-11:25（A 会場，クリエイティブスタジオ，3F）

センサシンポジウム優秀技術論文賞 候補者発表セッション
座長：山下 馨 ’（京都工芸繊維大学），長谷川 有貴（埼玉大学）

10:10

01am2-A-1

桐生 祐弥 *，韓 剛，今井 純一，寒川 雅之，安部 隆
新潟大学

01am2-A-3
圧電薄膜共振子を利用した 3.5 GHz 帯 CMOS 発振回路の開発 と原子時計システムへの適用
原 基揚 *{1}，矢野 雄一郎 {1}，梶田 雅稔 {1}，西野 仁 {2}，戸田 雅也 {2}，原 紳介 {1}，笠松 章史 {1}，伊藤 浩之 {3}，小野 崇人 {2}，井戸 哲也 {1}{1} 情報通信研究機構，{2} 東北大学，{3} 東京工業大学

01am2-A-4
慣 性 セ ン サ の 超 低 消 費 電 力 化 に 向 け た CMOS 混 載 SiGeMEMS 技術の開発
富澤 英之 *{1}，久留井 慶彦 {1}，秋田 一平 {2}，藤本 明 {1}，齋藤 友博 {1}，小島 章弘 {1}，柴田 英毅 {1}{1} 東芝，{2} 産業技術総合研究所

11:10

センサシンポジウムポスターセッション

01am2-A-2
寺井 弘和 *，有本 昌平，田中 貴也，橋本 泰知，中野 博彦，辻 理
サムコ

10:55

11:00-12:30（5F-P 会場，ホワイエ，5F）
30am3-PS-1

減圧水蒸気プラズマによる酸化銅の還元
10:40

10月30日（火）自己スパッタ接合法を用いた常温による酸化物系材料と Siの直接接合
内海 淳 *
三菱重工工作機械

10:25

第 35 回センサ・マイクロマシンと応用システム
ポスターセッション

01am2-A-5
微小孔アレイを用いたミクロンサイズ細胞外ベシクルの生
成分離
櫻田 一歩，安田 隆 *九州工業大学I

チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式
ステージの開発
30am3-PS-3
マイクロワイヤーのセルフアセンブリ技術による脳計測電極デバイスの開発
安井 大貴 *，山際 翔太，澤畑 博人，久保田 吉博，井戸川 槙之介，北 祐人，
山下 幸司，沼野 利佳，鯉田 孝和，河野 剛士
豊橋技術科学大学

30am3-PS-5結晶セレン薄膜を用いたマイクロ可視光センサのための微細加工技術の開発
足立 悠輔 *，小林 大造
立命館大学

30am3-PS-7
Si 薄膜被覆金ナノグレーティング構造の近赤外域光吸収スペクトル
偏光依存性
新居 直之 *，上杉 晃生，菅野 公二，磯野 吉正
神戸大学

30am3-PS-9
微粒子計測センサ向け流路集積型ナノポアデバイス
石橋 史隆 *，濱崎 浩史，王 萍，中村 直文，柴田 英毅
東芝

30am3-PS-11
MEMS 双安定光位相変調素子 - スパッタ堆積 Al 薄膜による片持ち梁
停止板設計
歸山 敏之 *

30am3-PS-13
3D core-shell マイクロニードル神経電極の in vivo 応用

井戸川 槙之介 *{1}，久保田 吉博 {1}，澤畑 博人 {2}，山際 翔太 {1}，石田 誠 {1}，河野 剛士 {1}{1} 豊橋技術科学大学，{2} 産業技術総合研究所

30am3-PS-15
周波数変調・積分ジャイロスコープのための周波数・Q 値の自動マッ
チング手法の開発
塚本 貴城 *，田中 秀治
東北大学

30am3-PS-17
マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成における流動相サ
イズの影響
王 遠偉 *，柳生 裕聖
関東学院大学30am3-PS-19
不混和マイクロ流体を用いた有機溶媒分散金ナノ粒子合成における粒子径制御技術
浜本 真央 *，梁 毅楊，柳生 裕聖
関東学院大学30am3-PS-21
高パワー密度（31mW/cm3/G2）を実現した MEMS 環境振動発電素子とその IoT 応用
本間 浩章 *{1}，山田 駿介 {1}，三屋 裕幸 {2}，橋口 原 {3}，年吉 洋 {1}{1} 東京大学，{2} 鷺宮製作所，{3} 静岡大学

30am3-PS-23
公共インフラ監視における無線センサネットワークの開発
八木 章好 *
三菱電機

30am3-PS-25
PZT/PI 積層構造を用いた圧電 MEMS 触覚デバイス
遠山 蒼 *，髙原 光將，神田 健介，藤田 孝之，前中 一介
兵庫県立大学8

Future Technologies from SAPPORO

30am3-PS-27

30am3-PS-55

ウェアラブルデバイスのための心拍変動モニタリングにおけるサン
プリングレート低減手法

銅（I）イソシアニド錯体のサーモクロミズム

西河 有貴 *，和泉 慎太郎，矢野 祐二，川口 博，吉本 雅彦
神戸大学

30am3-PS-29
筋肉電気刺激・筋活動モニタリング可能なスマートウェア
竹井 裕介 *，吉田 学，竹下 俊弘，小林 健
産業技術総合研究所

30am3-PS-31
センサ・プラットフォーム LSI を利用したイベントドリブン型ネッ
トワークシステムの信号衝突と消費電力の解析
野本 宗鷹 *{1}，邵 晨鍾 {1}，宮口 裕 {1}，中山 貴裕 {2}，田中 秀治 {1}，室山 真徳 {1}{1} 東北大学，{2} トヨタ自動車

30am3-PS-33
パワーデバイスにおける過電流検知用 TSV 構造 MEMS ロゴスキーコイル
渡部 善幸 *{1}，矢作 徹 {1}，阿部 泰 {1}，村山 裕紀 {1}，九里 伸治 {2}，吉田 賢一 {2}，指田 和之 {2}，新井 大輔 {2}，池田 克弥 {2}{1} 山形県工業技術センター，{2} 新電元工業

30am3-PS-35
標準 CMOS プロセスを用いたマイクロシステム用太陽電池の設計
銭林 大悟 *，杉浦 隆弥，中野 誠彦
慶應義塾大学30am3-PS-37

南山 知花，高澤 頼昌，阪田 知巳 *城西大学

30am3-PS-57
1 滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価
庄司 拓人 *，江端 亮，寒川 雅之，安部 隆
新潟大学

30am3-PS-59
凝集誘起発光物質を修飾した逆オパール型フォトニック結晶によるアンモニアの検出
村上 弘明 *，小森 雄仁，木村 大樹，小野寺 武
九州大学

30am3-PS-61
表面プラズモン共鳴を利用した光導波型血糖値センサの理論解析
鈴木 碧 *，新國 広幸，伊藤 浩
東京工業高等専門学校

30am3-PS-63
長鎖アミノシランを用いて酵素を固定化した拡張ゲート電界効果ト
ランジスターのグルコース検出特性
大西 勇輔 *，池 広大，小山 真由子，広藤 裕一，中村 吉伸，小池 一歩，
矢野 満明
大阪工業大学30am3-PS-65
紐状パリレン神経電極デバイス（PASTA）

テキスタイル上に作る漏血検出センサ

山下 幸司 *{1}，澤畑 博人 {2}，山際 翔太 {1}，河野 剛士 {1}{1} 豊橋技術科学大学，{2} 産業技術総合研究所

30am3-PS-39

3 次元誘電泳動デバイスを用いた血中循環型腫瘍細胞の分離検証 ―
流路内速度分布の数値解析による野村 健一 *，堀井 美徳，金澤 周介，日下 靖之，牛島 洋史
産業技術総合研究所

非晶質インジウム - ガリウム - 亜鉛酸化物半導体薄膜トランジスタを用いた静電気センサの開発
岩松 新之輔 *{1}，竹知 和重 {2}，阿部 泰 {1}，矢作 徹 {1}，村上 穣 {1}，田邉 浩 {2}，加藤 睦人 {1}{1} 山形県工業技術センター，{2}Tianma Japan

30am3-PS-41
発電素子による電力自立マイクロエレクトロニクス 〜人工感覚受容体センサ e-Nerve 〜
山田 駿介 *，年吉 洋
東京大学

30am3-PS-43

30am3-PS-67
最適分離条件の特定―
川村 直弘 *{1}，内田 諭 {1}，杤久保 文嘉 {1}，円城寺 隆治 {2}，脇坂 嘉一 {2}{1} 首都大学東京，{2}AFI テクノロジー

30am3-PS-69
自立グラフェンを利用した光干渉型表面応力バイオセンサ
喜種 慎 *{1}，石田 隼人 {1}，澤田 和明 {1}，高橋 一浩 {1}{2}{1} 豊橋技術科学大学，{2}JST さきがけ

30am3-PS-71
マルチ神経伝達物質イメージセンサのクロストークを抑制する
MEMS 構造体の作製

200℃自己加熱型 13Pa レンジサファイア隔膜真空計の開発

魚返 勇太 *，李 宥奈，岩田 達也，高橋 一浩，澤田 和明
豊橋技術科学大学

30am3-PS-45

レーザカット積層モールドを用いた規格化 PDMS マイクロチップ作
製法の開発

石原 卓也 *，添田 将，関根 正志
アズビル

流通品質管理システムを可能にする温度センシングインク

會田 航平 *，多田 靖彦，森 俊介，荒谷 康太郎，石田 智利，徳田 勇也，
川崎 昌宏
日立製作所

30am3-PS-47
スパイラル管路とピエゾ抵抗型カンチレバー素子による角加速度センサ
高橋 英俊 *{1}，菅 哲朗 {2}，中井 亮仁 {1}，髙畑 智之 {1}，下山 勲 {1}{1} 東京大学，{2} 電気通信大学

30am3-PS-49
磁性積層膜における磁気光学キャビティ効果を利用した水素ガスセンサの開発
山根 治起 *{1}，高橋 慎吾 {1}，山川 清志 {1}，高橋 幸希 {2}，世古 暢哉 {2}，住吉 研 {2}，重村 幸治 {2}，三浦 聡 {2}{1} 秋田県産業技術センター，{2}Tianma Japan

30am3-PS-51

30am3-PS-73
永井 萌土 *{1}，奥田 美幸 {1}，Santra Tuhin{2}，柴田 隆行 {1}{1} 豊橋技術科学大学，{2} インド科大学マドラス校

30am3-PS-75
ナノ凹凸表面を利用した新規細胞パターニング方法の確立
洞出 光洋 *
大阪大学

30am3-PS-77
A biomimetic human proximal tubule-on-a-chip for online
monitoring of filtration efficiency and drug-induced
nephrotoxicity
Banan Sadeghian Ramin*{1}，Sahara Yoshiki{2}，Liu Yang{1}，Araoka Toshikazu{1}，Yamashita Jun{1}，Enoki Tatsuji{3}，Takasato Minoru{2}，Yokokawa Ryuji{1}{1} 京都大学，{2} 理研，{3}Takara Bio

30am3-PS-79

塗布熱分解法で成膜した WO3 の NO ガス検出特性

MEMS 液中セルと電子顕微鏡を用いた液試料のマイクロスケール動態観察

30am3-PS-53

30am3-PS-81

プラズマ重合アリルアミン膜被覆水晶振動子によるフタルアルデヒ
ド濃度測定

オンチップでの腎臓オルガノイドへの血管誘導条件の検討

岩田 知也 *，村上 聡，亀井 龍馬，小池 一歩，大松 繁，矢野 満明
大阪工業大学

愛澤 秀信 *{1}，北尾 嘉章 {1}{2}，小澤 佑佳 {1}{2}，山田 和典 {2}，野田 和俊 {1}{1} 産業技術総合研究所，{2} 日本大学

石田 忠 *
東京工業大学亀田 良一 *{1}，岡田 龍 {1}，薮内 研佑 {2}，荒岡 利和 {1}，山下 潤 {1}，榎 竜嗣 {3}，高里 実 {2}，横川 隆司 {1}{1} 京都大学，{2} 理化学研究所，{3} タカラバイオ

Future Technologies from SAPPORO

930am3-PLN-83

30pm4-PS-16

マスク材の摩耗を考慮した 3 次元マイクロブラスト加工シミュレーション

反射型マイクロ原子時計セル

長瀬 徳孝，柳生 裕聖
関東学院大学

西野 仁 *{1}，戸田 雅也 {1}，金森 義明 {1}，矢野 雄一郎 {2}，梶田 雅稔 {2}，
井戸 哲也 {2}，原 基揚 {2}，小野 崇人 {1}{1} 東北大学，{2} 情報通信研究機構

30am3-PLN-85

30pm4-PS-18

熱アシスト反応性イオンエッチングを用いた Ti/Ti 合金製マイクロ
モールドの開発

集束超音波を用いた微小液滴吐出デバイスの試作評価

劉 若愚 *{1}，韓 剛 {1}，人母 岳 {2}，寒川 雅之 {1}，安部 隆 {1}{1} 新潟大学，{2} 立山マシン

30am3-PLN-87
パッド印刷電極を用いたスロットイン型バイオセンサの開発
東條 良紀 *，齋藤 晴名，工藤 寛之
明治大学

Au 単一錘平行平板型 3 軸 MEMS 加速度センサの検討

市川 崇志 *{1}，新島 宏文 {1}，古賀 達也 {1}，山根 大輔 {1}，小西 敏文 {2}，佐布 晃昭 {2}，飯田 慎一 {2}，伊藤 浩之 {1}，石原 昇 {1}，町田 克之 {1}{1} 東京工業大学，{2}NTT-AT

30am3-PLN-91
水中ロボットの開発に向けたザリガニの嗅覚探索行動の解明 ―ザリ
ガニが作る噴流の可視化手法の検討―
三石 健暉 *{1}，三宅 新人 {1}，石田 華子 {1}，松倉 悠 {2}，石田 寛 {1}{1} 東京農工大学，{2} 大阪大学

30am3-PLN-93
シリコンアンテナを搭載した機械振動式 MEMS アンテナの開発
安平 幸太郎 *，矢本 勇樹，古塚 岐，谷川 紘，鈴木 健一郎
立命館大学

30am3-PLN-95

圧電高分子材料を用いた筋音センサの試作評価

石塚 博章 *，神田 岳文，柏原 斉佳，脇元 修一，岡 久雄
岡山大学

多層 PZT 薄膜を用いた圧電エナジーハーベスタおよび回路シミュ
レータモデル
平井 翔太 *，神田 健介，藤田 孝之，前中 一介
兵庫県立大学30pm4-PS-24
マイクロ流路を用いた DNA 自己組織ナノ構造体の高速作製

原 啓太 *{1}，稲垣 達也 {2}，山下 直輝 {2}，有馬 健太 {1}，山村 和也 {1}，田畑 修 {2}，川合 健太郎 {1}{1} 大阪大学，{2} 京都大学

30pm4-PS-26
靴底センサを用いた足裏剪断力計測佐々木 祥弘 *，白川 究
電磁材料研究所

30pm4-PS-28
個別動作型の形状記憶合金厚膜アレイ触覚ディスプレイ素子の形成
木村 友翼 *{1}，辻 一樹 {1}，梁取 大 {1}，阿部 喜 {2}，岩崎 健二 {2}，峯田 貴 {1}{1} 山形大学，{2} 東海理科大学

確率共鳴現象の回路シミュレータを用いた評価
高橋 英大 *，竹井 義法，平澤 一樹，南戸 秀仁
金沢工業大学30pm4-PS-30

16:55-18:25（5F-P 会場，ホワイエ，5F）

河川防災システムのためのミリ波センサによる非接触水位計測

II30pm4-PS-2
MEMS マイクロホンの犠牲層エッチング後に発生する柱状異物の発
生メカニズムと抑制手法の検討
笠井 隆 *，小俣 輝明，中島 康晴，太田 貴文，梶川 健太，深尾 聡，北野 茜，
若尾 和年，石本 浩一
オムロン

30pm4-PS-4
Si 上 c 軸配向 PZT 系エピタキシャル薄膜を用いた高性能焦電 MEMS
センサの開発吉田 慎哉 *{1}，長谷川 幸弘 {1}，高山 了一 {2}，田中 秀治 {1}{1} 東北大学，{2} パナソニック

30pm4-PS-6
3D プリンタを用いた SU-8 モールディング法と裏面露光法を組み合わせた マイクロ・ミリスケール構造のシームレス作製
田村 隆大 *，鈴木 孝明
群馬大学

30pm4-PS-8
VLS 成長 SiNW 単体に対する熱電変換特性評価

北川 諒 *，井本 大暉，上杉 晃生，菅野 公二，磯野 吉正
神戸大学

30pm4-PS-10

寒川 雅之 *{1}，ウィタカ アンドリュー {1}，酒井 直樹 {2}{1} 新潟大学，{2} イートラスト

30pm4-PS-32
圧力駆動柔軟アクチュエータへの液体金属ひずみセンサの集積化と設計最適化
大竹 祥平 *，小西 聡
立命館大学

30pm4-PS-34
Development of Beam Forming System Based on Epitaxial-PZT
Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer（pMUT）Array
劉 子儀 *{1}，吉田 慎哉 {1}，堀江 寿彰 {2}，岡本 庄司 {2}，高山 了一 {2}，田中 秀治 {1}{1} 東北大学，{2} パナソニック

30pm4-PS-36
積層セラミック技術を用いたガスセンサの開発
小宮 一毅 *，山岡 英彦
東京都立産業技術研究センター

30pm4-PS-38
フィルム状相互容量型センサを用いた非接触電解液測定システム

岩田 史郎 *{1}，今若 直人 {1}，野村 健一 {2}，堀井 美徳 {2}，鍛冶 良作 {2}，牛島 洋史 {2}{1} 島根県産業技術センター，{2} 産業技術総合研究所

30pm4-PS-40

エアロゾルデポジション法でステンレス基板上に形成した BaTiO3厚膜の振動発電特性

生化学式ガスセンサによる皮膚由来エタノールガスの連続計測に関する研究

30pm4-PS-12

30pm4-PS-42

川上 祥広 *{1}，荒井 賢一 {1}，杉本 諭 {2}{1} 電磁材料研究所，{2} 東北大学

荒川 貴博 *，鈴木 卓磨，簡 伯任，叶 明，當麻 浩司，三林 浩二
東京医科歯科大学

並列設置型積層圧電素子を用いた振動発電による無線加速度センサ
駆動

Development of Infrared Camera System for Body Temperature
Monitoring of Cattle

30pm4-PS-14

30pm4-PS-44

諸星 陽裕 *{1}，藤本 滋 {1}，一木 正聡 {2}，小島 翔 {1}{1} 神奈川大学，{2} 産業技術総合研究所

High Gauge Factor AlN/FET Based Strain Sensor

朱 敏杰 *{1}，猪股 直生 {1}，安達 永純 {2}，櫻井 敦 {2}，野村 雅信 {2}，小野 崇人 {1}{1} 東北大学，{2} 村田製作所

1030pm4-PS-20

30pm4-PS-22

30am3-PLN-89

センサシンポジウムポスターセッション

上西 宏典 *{1}，神田 岳文 {1}，中岡 佑太 {1}，脇元 修一 {1}，田沼 千秋 {2}{1} 岡山大学，{2} 法政大学

Future Technologies from SAPPORO

姚 沁坪 *{1}，増田 誉 {1}，吉岡 耕治 {2}，檜垣 彰吾 {2}，伊藤 寿浩 {1}{1} 東京大学，{2} 農業・食品産業技術総合研究機構

反応性スパッタリング法による光導波路用 SiCO 薄膜の作製と評価
山路 涼斗 *，新國 広幸，伊藤 浩
東京工業高等専門学校

30pm4-PS-46

30pm4-PS-76

高い熱安定性を有する Cr-Al 、Cr-Al-B 薄膜歪センサ

神経計測応用に向けた単一シリコンニードル電極と信号増幅器の実装

白川 究 *，佐々木 祥弘
電磁材料研究所

30pm4-PS-48

北 祐人 *，久保 寛，澤畑 博人，山際 翔太，Leong Angela，沼野 利佳，
鯉田 孝和，石田 誠，河野 剛士
豊橋技術科学大学

ワイヤレス駆動可能な多チャンネル型片面励起式 QCM センサの開発

30pm4-PS-78

30pm4-PS-50

増田 晃士 *，石塚 裕己，高尾 秀邦，下川 房男，寺尾 京平
香川大学

内木 舜也 *，佐藤 育人，寒川 雅之，安部 隆
新潟大学

ハイブリッド型 3 軸荷重センサの開発

渡辺 健太 *{1}，原 和裕 {1}，外山 滋 {2}{1} 東京電機大学，{2} 国立障害者リハビリテーションセンター研究所

30pm4-PS-52
高精細な触覚情報の空間分布計測を可能にするアレイ型 MEMS 指紋
触覚センサ
綿谷 一輝 *{1}，寺尾 京平 {1}{2}，下川 房男 {1}{2}，高尾 英邦 {1}{2}{1} 香川大学，{2}JST-CREST

30pm4-PS-54
金属基材薄膜センサ素子用塗布型粘土絶縁膜

丹羽 英二 *{1}，林 晋也 {2}，須貝 一郎 {2}，野口 幸紀 {2}，飯島 高志 {3}，棚池 修 {3}，蛯名 武雄 {3}{1} 電磁材料研究所，{2} イチネンケミカルズ，{3} 産業技術総合研究所

30pm4-PS-56
風防付きガスセンサを用いた領域絞込み法によるガス源探索
山本 晃史 *{1}，ビルゲラ クリスチャン {1}，松倉 悠 {2}，石田 寛 {1}{1} 東京農工大学，{2} 大阪大学

30pm4-PS-58
Rough Classification of Essential Oil Groups Using Mass Spectraand Multilayer Perceptron
Debnath Tanoy*，Nozaki Yuji，Prasetyawan Dani，Nakamoto Takamichi
東京工業大学30pm4-PS-60
マイクロアレイ型電気化学センサの研究
七條 雅人 *，長谷川 有貴，内田 秀和
埼玉大学

30pm4-PS-62
光電効果を用いた電気化学センサによる酸化体メディエーター濃度測定の研究小杉 恵太 *，長谷川 有貴，内田 秀和
埼玉大学

ツールストック型 DNA トラップデバイスを利用した DNA1 分子加工システムの開発
30pm4-PS-80
Pneumatic-control Transparent Micronozzle Array for Parallel
Ejection of Liquid
パンディ グアラブ *豊橋技術科学大学

30pm4-PS-82
微量骨格筋組織からの高収率 mRNA 抽出を目指したオンチップ破
砕・回収技術中川 健吾 *，冨山 祐樹，中渕 翼，佐瀬 晃平，藤田 聡，小西 聡
立命館大学

30pm4-PLN-84
音速測定により高速応答を実現した水素センサの開発
城川 政宜 *，今井 阿由子，住吉 研
Tianma Japan

30pm4-PLN-86
下水道管渠ガスセンサ適用アンモニア選択透過膜

稲波 久雄 *{1}，阿部 千枝 {2}，佐藤 剛一 {2}，長谷川 泰久 {2}{1} 日立製作所，{2} 産業技術総合所

30pm4-PLN-88
特殊加工用大ストローク 5 自由度制御型磁気浮上アクチュエータ
村田 賢志 *，劉 洋，張 暁友
日本工業大学30pm4-PLN-90
3 次元双腕光ピンセットシステムによる微粒子の全自動マイクロ操作
田中 芳夫 *
産業技術総合研究所四国センター

30pm4-PLN-92
電子装置の安全性を支える腐食センサシステム

南谷 林太郎 *{1}，箕輪 隆志 {2}，前田 徹 {1}，外岡 智行 {1}{1} 日立製作所，{2} 日立ハイテクフィールデング

30pm4-PS-64

30pm4-PLN-94

液中レーザーアブレーションで作成したナノ粒子を用いたガスセン
サーの ガス検知特性評価

逆リフトオフ法のマイクロ加工特性

木下 理裕 *{1}，Kulinich Sergei A.{1}，野田 和俊 {2}，岩森 暁 {1}{1} 東海大学，{2} 産業技術総合研究所

中川 優希 *{1}，山田 恭平 {1}，岡 智絵美 {1}，溝尻 瑞枝 {2}，櫻井 淳平 {1}，秦 誠一 {1}{1} 名古屋大学，{2} 長岡技術科学大学

30pm4-PS-66
帯電の抑制を試みたエレクトロスプレー法によるプラスチック光
ファイバ湿度センサの作成
一木 亮太 *，鈴木 裕，森澤 正之
山梨大学

30pm4-PS-68
計測・投与用流路を備えた局所負荷試験用極低侵襲針鶴岡 典子 *，松永 忠雄，芳賀 洋一
東北大学

30pm4-PS-70
分子ふるい能を有する非標識バイオセンサを指向したハイドロゲル
支持プラズモニック素子の開発
山田 大空 *，川﨑 大輝，井上 千種，前野 権一，末吉 健志，久本 秀明，
遠藤 達郎
大阪府立大学30pm4-PS-72

10月31日（水）11:20-12:50（5F-P 会場，ホワイエ，5F）

センサシンポジウムポスターセッションIII

31am3-PS-97
レーザー消去された 0.13 μ m CMOS-LSI マルチプロジェクトウェ
ハへの TSV 加工
鈴木 裕輝夫 *{1}，畑 良幸 {2}，中山 貴裕 {3}，藤吉 基弘 {2}，平野 栄樹 {1}，室山 真徳 {1}，田中 秀治 {1}{1} 東北大学，{2} 豊田中央研究所，{3} トヨタ自動車

31am3-PS-99

NH4Cl 刺激による選択的かつ経時的な密着結合評価手法の開発

Regulating the collective motility of microtubules by controllingthe spatial arrangement of kinesins

30pm4-PS-74

31am3-PS-101

波多野 豊晃 *，合田 達郎，松元 亮，宮原 裕二
東京医科歯科大学

センサ応用を指向した金ナノコーンアレイの表面状態と LSPR 応答との相関評価川崎 大輝 *，山田 大空，前野 権一，井上 千種，末吉 健志，久本 秀明，
遠藤 達郎
大阪府立大学

Farhana Tamanna Ishrat*，Kaneko Taikopaul，Yokokawa Ryuji
京都大学

皮膚診断のための触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析
木藤 潤 *{1}，阿部 裕太 {1}，佐藤 周平 {1}，安部 隆 {1}，野間 春生 {2}，
寒川 雅之 {1}{1} 新潟大学，{2} 立命館大学

Future Technologies from SAPPORO

1131am3-PS-103

31am3-PS-131

マイクロインデンテーション法を用いた高密度マイクロニードル作
製手法の開発軟性内視鏡手術における送気圧・温度の同時モニタリングに向けた
完全無線型光学式センサの温度特性評価

31am3-PS-105

31am3-PS-133

フレキシブル発電素子への応用を想定したディップコーティングによる PEDOT 高分子導電性薄膜および PVDF 高分子圧電薄膜の成膜

SiGe によるコンボセンサを指向した共振型磁気センサ

長谷川 義大 *，安田 優花，谷口 和弘，式田 光宏
広島市立大学

瀧瀬 宏樹 *，鈴木 昌人，高橋 智一，青柳 誠司
関西大学

31am3-PS-107
金属触媒シリコンエッチングによるナノポーラス構造を用いたマイクロクヌーセンポンプ
猪股 直生 *，鎌倉 健太郎，Nguyen Toan，小野 崇人
東北大学

31am3-PS-109
ランダム環境振動加速度波形データを用いた振動発電素子の等価回
路挙動解析
遠山 幸也 *，本間 浩章，年吉 洋
東京大学

31am3-PS-111
超音波ホーンにより収束した超音波を用いた体表からの極低侵襲細
胞採取デバイス葉 煬 *，上地 達哉，鶴岡 典子，松永 忠雄，芳賀 洋一
東北大学

本郷 裕之 *，月山 元貴，神田 健介，藤田 孝之，前中 一介
兵庫県立大学31am3-PS-135
シリコン直接接合プロセスを用いたフロア検知が可能な MEMS 圧力センサ
野口 駿太 *，小松 聡
東京電機大学31am3-PS-137
触覚神経網チップを用いた温力感センサスティックによる熱流測定
⼟屋 駿⽃ *{1}，⼤島 慧⽃ {1}，菅沼 雄介 {1}，室⼭ 真徳 {2}，野々村 裕 {1}{1} 名城大学，{2} 東北大学

31am3-PS-139
水晶発振回路式液体濃度センサの炭酸濃度非接触測定への応用
小黒 悠 *，谷村 実紀，矢田 直人，寒川 雅之，安部 隆
新潟大学

31am3-PS-141
Pt 超薄膜型水素センサの形状最適化

電磁走査による前方視超音波内視鏡

合田 悠斗 *{1}，平田 哲朗 {1}，堺 健司 {1}，紀和 利彦 {1}，近藤 健二 {2}，高橋 琢哉 {2}，上田 尚宏 {2}，塚田 啓二 {1}{1} 岡山大学 ,{2} リコー電子デバイス

31am3-PS-115

金属接続とレドックスサイクリングによる金属置換型クーロメト
リーの高感度化

31am3-PS-113
土井 洋人 *，松永 忠雄，鶴岡 典子，芳賀 洋一
東北大学

3 次元微細構造を有するゲル化イオン液体を用いた振動発電デバイス
飯田 泰基 *{1}，三輪 一元 {2}，小野 新平 {2}，鈴木 孝明 {1}{1} 群馬大学，{2} 電力中央研究所

31am3-PS-117

31am3-PS-143
島宗 悠太朗 *，滝江 秀一，Isa Anshori，鈴木 博章
筑波大学

31am3-PS-145

デュアル・ファブリ・ペロー干渉計を用いた光ファイバ圧センサ計
測システム

Active oxygen measurement in nonwoven fabric by using pullulan
thin film employed methylene blue dye and electron spinresonance（ESR）

31am3-PS-119

31am3-PS-147

植物生体電位を用いたセンシングシステムにおける深層学習手法の比較

フォトパターニング Au/Ag コアシェル構造を持つピクセル化マルチ
ガスセンサによる匂い撮像素子

31am3-PS-121

31am3-PS-149

センサ付き圧電 MEMS 触覚提示デバイスによる接触実験およびそのモデル化

う蝕定量評価を実現するマイクロ pH センサ髙原 光將 *，遠山 蒼，神田 健介，藤田 孝之，前中 一介
兵庫県立大学

田畑 美幸 *，Raranaporncharoen Chindanai，北迫 勇一，池田 正臣，合田 達朗，
松元 亮，田上 順次，宮原 裕二
東京医科歯科大学

31am3-PS-123

31am3-PS-151

静電植毛電極を用いた心電図測定における 接触圧力とモーション
アーティファクトの関係

ナノハニカム構造を利用した LSPR と QCM-D の ハイブリッドセン
サの開発

徐 暢 *，松永 忠雄，鶴岡 典子，芳賀 洋一
東北大学

南保 英孝 *，中野 毅郎
金沢大学

竹下 俊弘 *{1}，吉田 学 {1}，檜 顕成 {2}，大内 篤 {1}，内田 広夫 {2}，小林 健 {1}{1} 産業技術総合研究所，{2} 名古屋大学

31am3-PS-125
超高分解能触覚センサによるサブミクロン領域の手触り感判別
中島 翼 *{1}，綿谷 一輝 {1}，寺尾 京平 {1}{2}，下川 房男 {1}{2}，
高尾 英邦 {1}{2}{1} 香川大学，{2}JST-CREST

31am3-PS-127

Yenchit Saranya*，Tadokoro Yuta，Iwamori Satoru
東海大学

副田 貴明 *，楊 中元，佐々 文洋，林 健司
九州大学

松本 直大 *，寺沢 秀章，清水 智弘，新宮原 正三，伊藤 健
関西大学

31am3-PS-153
水晶振動子上に作製した周期的ナノ構造による抗菌特性の定量化

神代 啓輔 *{1}，中出 一輝 {1}，佐川 貴志 {2}，小嶋 寛明 {2}，清水 智弘 {1}，新宮原 正三 {1}，伊藤 健 {1}{1} 関西大学，{2} 情報通信研究機構

31am3-PS-155

圧電 MEMS 評価用 TEG の設計・評価

ストレッチャブル電極を印刷形成したテキスタイル型電極システム
による表面筋電測定

31am3-PS-129

31am3-PS-157

曲面表面を有する局所滑り覚センサの特性評価

液滴の接触融合技術における電気的・磁気的制御

劉 健男 *，室 英夫
千葉工業大学岡谷 泰佑 *，下山 勲
東京大学

12

前田 祐作 *{1}{2}，森 宏仁 {1}，大平 文和 {1}{3}，高尾 英邦 {1}{1} 香川大学，{2} 香川高等専門学校 ,{3} 放送大学

Future Technologies from SAPPORO

萩原 順 *，井上 雅博
群馬大学

大矢 千力 *，小西 聡
立命館大学

31am3-PS-159

31pm2-PS-108

余剰受容体の直接定量解析に向けた単一細胞薬剤刺激デバイスの開発

銅張積層板を用いた温度補償機能搭載型 MEMS 呼吸センサの開発

31am3-PS-161

31pm2-PS-110

Control of microfluidic solution transport by switchablehydrophobic microvalves based on conducting polymer

MEMS プロセスを用いた微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状
転写

松井 祐樹 *，Muhammad Thaqif，平野 勝也，石塚 裕己，高尾 英邦，下川 房男，
寺尾 京平
香川大学

Pramanik Shishir*，鈴木 博章
筑波大学

31am3-PS-163
ペプチド探索マイクロ流路デバイスにおける非特異結合ペプチド除去性能の向上神永 真帆 *，石田 忠，門之園 哲哉，近藤 科江，小俣 透
東京工業大学加藤 絢美 {1}，長谷川 義大 {1}，谷口 和弘 {1}，松島 充代子 {2}，川部 勤 {2}，式田 光宏 {1}{1} 広島市立大学，{2} 名古屋大学

矢作 徹 *{1}，村山 裕紀 {1}，阿部 泰 {1}，村上 穣 {1}，岩松 新之輔 {1}，加藤 睦人 {1}，渡部 善幸 {1}，峯田 貴 {2}{1} 山形県工業技術センター，{2} 山形大学

31pm2-PS-112
プラズモンフィルタを用いた磁気光学 Kerr 効果による高感度磁区観察
長谷川 拓己 *{1}，溝尻 瑞枝 {2}，高木 健太 {3}，尾崎 公洋 {3}{1} 名古屋大学，{2} 長岡技術科学大学，{3} 産業技術総合研究所

31am3-PLN-165

31pm2-PS-114

Improvement of Odor Approximation in Odor Reproduction using
Non-negative Matrix Factorization Method with Itakura-Saito
Divergence

ヒータによる可変焦点液体レンズの焦点距離変化量向上

31am3-PLN-167

センサ・プラットフォーム LSI を組込んだ集積化指先センサにおける力と温度の同時センシングシステム

Prasetyawan Dani*，Takamichi Nakamoto
Tokyo Institute of Technology

Atomic Gold Modified Polyaniline toward Electrochemical Gas
Sensors

Chien Yu-An*，Chakraborty Parthojit，Chiu Wan-Ting，Chang Tso-Fu Mark，
Nakamoto Takamichi，Sone Masato
Tokyo Institute of Technology

野田 堅太郎 *，グェン ビン キェム，下山 勲
東京大学31pm2-PS-116
室山 真徳 *{1}，中山 貴裕 {2}，畑 良幸 {3}，藤吉 基弘 {3}，田中 秀治 {1}{1} 東北大学，{2} トヨタ自動車，{3} 豊田中央研究所

31pm2-PS-118
容易に増設可能な自己容量近接覚・触覚センサモジュールの提案

31am3-PLN-169

辻 聡史 *，小浜 輝彦
福岡大学

MUT 型音響メタマテリアルによる超広帯域な音響整合特性の実現

31pm2-PS-120

田中 宏樹 *，町田 俊太郎
日立製作所

スペクトル・光量子量測定用スマートフォンシステムの試作と評価

31am3-PLN-171

石井 恭平 *，松本 佳宣
慶應義塾大学

La 添加 PZT 素子の発電特性評価

31pm2-PS-122

小島 翔 *{1}，諸星 陽裕 {1}，藤本 滋 {1}，一木 正聡 {2}{1} 神奈川大学，{2} 産業技術総合研究所

慣性装置用 MEMS ジャイロの高精度化

鈴木 カレブ *，小林 健二，中下 修治，吉田 幸久
三菱プレシジョン

15:00-16:30 （5F-P 会場，ホワイエ，5F）

センサシンポジウムポスターセッションIV

31pm2-PS-96

31pm2-PS-124
湿潤・水中環境でも計測可能なフッ素エラストマを用いた触覚センサ

単一細胞固定のための傾斜側壁と流路構造を持つウェルアレイの開発

佐藤 周平 *，安部 隆，寒川 雅之
新潟大学

31pm2-PS-98

土中水分量広範囲計測に向けた精密時間同期が不要なインピーダン
ス計測に関する研究福岡 なるみ *，塚本 拓野，潮見 幸江，山田 功，鈴木 孝明
群馬大学

Platinum-Bismuth Telluride Nanocomposites Film for Applicationof Micro Thermoelectric Generator（µTEG）
BIN SAMAT KHAIRUL FADZLI*，Trung Nguyen Huu，Ono Takahito
東北大学

31pm2-PS-100
ウェハ接合工程前処理に適する超希釈フッ酸を用いたダメージレス
洗浄平野 栄樹 *，田中 秀治
東北大学

31pm2-PS-102
10 Hz 以下の低周波振動をターゲットとしたポリマー振動発電デバイスの開発
塚本 拓野 *，海野 陽平，潮見 幸江，山田 功，鈴木 孝明
群馬大学

31pm2-PS-104
金属 - 誘電体 - 金属サブ波長格子による MEMS 可変プラズモニック
カラーフィルタの作製
平田 敦也 *，満留 将人，澤田 和明，高橋 一浩
豊橋技術科学大学

31pm2-PS-106
粘度の違いを利用したマイクロドロップレットソーティングデバイ
スの開発
田中 大器 *，菅谷 拓央，川久保 渉，尹 棟鉉，関口 哲志，庄子 習一
早稲田大学

31pm2-PS-126
峰松 泰浩 *{1}，山本 将也 {1}，大多 哲史 {1}，平野 陽豊 {1}，小松 満 {2}，二川 雅登 {1}{1} 静岡大学，{2} 岡山大学

31pm2-PS-128
FePd 磁歪膜を搭載した PZT 圧電共振型 MEMS 磁気センサ
岡田 尚樹，鈴木 広大，峯田 貴 *山形大学

31pm2-PS-130
ニューラルネットワーク比較器を用いた傾斜センサによる応答時間の短縮
下尾 浩正 *{1}，南部 幸久 {2}，寺村 正広 {1}{1} 佐世保工業高等専門学校，{2} 有明工業高等専門学校

31pm2-PS-132
可動培養基板とカンチレバー型変位センサによる iPS 細胞に由来する心筋細胞の伸展長さと拍動の力の計測

松平 謙英 *，高橋 英俊，正路（平山）佳代子，グェン タンヴィン，塚越 拓哉，
下山 勲
東京大学

31pm2-PS-134
アコースティック・エミッション測定を用いた施設園芸トマトの灌水制御法の検討
林 由将 *，蔭山 健介
埼玉大学

31pm2-PS-136
感温フィルムを用いた簡易的呼吸検知デバイスの開発

前田 佳史 *{1}，長谷川 義大 {1}，谷口 和弘 {1}，松島 充代子 {2}，川部 勤 {2}，式田 光宏 {1}{1} 広島市立大学，{2} 名古屋大学
Future Technologies from SAPPORO

13

31pm2-PS-138

31pm2-PLN-168

新規非接触腸音センサの開発

Sn リフローを適用したドーム型金型の加工プロセス

31pm2-PS-140

31pm2-PLN-170

偏光無依存メタマテリアルを用いた高感度バイオ・ケミカルセンサ

水晶振動子式水銀測定法における小規模金採掘現場での個人ばく露の現状と課題村松 拓実，磯貝 優生，田村 想，杉山 智暉，村上 裕二 *静岡理工科大学

金森 義明 *，清水 友己，野村 慎一郎，羽根 一博
東北大学

31pm2-PS-142
SERS ガスセンサの分子フィルタによる高機能化
下見 慶太 *，副田 貴明，佐々 文洋，林 健司
九州大学

31pm2-PS-144
インフラ構造物モニタリングに向けたコンクリート内塩化物イオン
濃度の電気的計測に関する検討
田邊 史夏 *，吉本 秀輔，植村 隆文，荒木 徹平，野田 佑樹，関谷 毅
大阪大学

青野 宇紀 *，大坪 綾乃，友常 仁之，谷江 尚史
日立製作所

野田 和俊 *{1}，冨安 卓滋 {2}，児玉谷 仁 {3}，丸本 幸治 {3}，愛澤 秀信 {1}，丸本 倍美 {3}，駒井 武 {4}，中村 謙吾 {4}{1} 産業技術総合研究所，{2} 鹿児島大学，{3} 国立水俣病総合研究センター，{4} 東北大学

31pm2-PLN-172
面外振動静電型エナジーハーベスタのための NdFeB 薄膜磁石を用いたプルイン防止構造における磁気反発力計測
福永 彬人 *，吉井 真一，神田 健介，藤田 孝之，前中 一介
兵庫県立大学

31pm2-PS-146
植物生体電位と AE 測定を用いた果菜類の水ストレス診断
佐竹 優志 *，内田 秀和，長谷川 有貴
埼玉大学

31pm2-PS-148
救急医療への応用を目的とした医療用汗中乳酸モニタリングシステ
ムの開発鈴木 悠亮 *{1}，工藤 寛之 {1}，細山 明子 {2}，森澤 健一郎 {2}，平 泰彦 {2}{1} 明治大学，{2} 聖マリアンナ医科大学

12:25-13:55（5F-P 会場，ホワイエ，5F）

センサシンポジウムポスターセッション
フラクタル次元分布を用いた回転機の振動解析
領木 慎一 *，小野寺 信，梶原 侑馬，伊藤 寿浩
東京大学

気液界面を構成するマイクロスケール液相中での匂い物質移動計測

01pm1-PS-174

31pm2-PS-152
先鋭型電極間に伸長固定した DNA の電気的特性評価
氷室 貴大 *，塚本 翔太，齋藤 洋司
成蹊大学

31pm2-PS-154
内視鏡観察部周囲に電極を配置したチューブ形状神経電極

池田 尚人 *，魯 文広，松永 忠雄，鶴岡 典子，虫明 元，小山内 実，大城 朝一，
芳賀 洋一
東北大学

31pm2-PS-156

V

01pm1-PS-173

31pm2-PS-150
佐藤 幸治 *
自然科学研究機構生命創成探究センター

化学計測研究への適用を目指した可搬型 IoT ネットワーク データシ
ステムの開発廖 冬陽 {1}，高岸 拓 {1}，中窪 奎喬 {1}，三上 裕也 {1}，Malasuk Chacriya{1}，森田 金市 {2}{1}，吉岡 宏晃 {1}，興 雄司 {1}*{1} 九州大学，{2} ウシオ電機

01pm1-PS-175
極低濃度 KOH 水溶液を用いたシリコン異方性ウエットエッチング
特性とこれを利用した SiO2 薄膜自立構造体の製作
田中 浩 *，太田 博貴，佐藤 一雄
愛知工業大学

01pm1-PS-176

ナノハニカム構造を用いた LSPR センサの開発

シリコンの PEC エッチングによる高アスペクト比ナノスケール微細孔の作製

31pm2-PS-158

01pm1-PS-177

生物的環境下でのアセチルコリンイメージングの基礎検討

静電誘導を用いた非接触湿潤センサの提案

西村 翼 *，清水 智弘，新宮原 正三，伊藤 健
関西大学

雌熊 宏隆 *，奥村 悠基，土井 英生，堀尾 智子，岩田 達哉，奥村 弘一，
服部 敏明，高橋 一浩，澤田 和明
豊橋技術科学大学

31pm2-PS-160
Parallel Trapping and Ejection of Droplets through Pneumaticcontrol Transparent Micronozzle Array
ブハルトワジ ロヒット *，Pandey Gaurav，Tanagi Kentaro，Shibata Takayuki，Nagai Moeto
豊橋技術科学大学

31pm2-PS-162
Shock Wave Generation in Laser Ablation and Microcontact
Printing for Uniform Transfection
Gupta Harsh*{1}，Keisuke Funahashi{1}，Naoki Iwasaki{1}，Toshiki Minemura{1}，Shin Sawai{1}，Shinde Pallavi{2}，Subhra Santra Tuhin{2}，Shibata Takayuki{1}，Nagai Moeto{1}{1} 豊橋技術科学大学，{2}Indian Institute of Technology

31pm2-PS-164
三次元 DNA オリガミ構造作製におけるアニール条件及び DNA 濃度
比の影響中村 亮太 *{1}，原 啓太 {1}，有馬 {1} ，山村 和也 {1}，田畑 修 {2}，川合 健太郎 {2}{1} 大阪大学，{2} 京都大学

31pm2-PS-166
機械的ストレス下における植物の根系発達過程の解析手法
肥田 博隆 *{1}，西脇 大維 {1}，神野 伊策 {1}，野田口 理孝 {2}{1} 神戸大学，{2} 名古屋大学

14

11月1日（木）Future Technologies from SAPPORO

安藤 妙子 *，東野 純也，田村 宣通
立命館大学

古川 大智 *{1}，木本 晃 {1}，川副 智之 {2}{1} 佐賀大学，佐賀大学，{2} 資生堂

01pm1-PS-178
Electromechanical Modeling of Strain Sensor Made of Fabric
ショウ イップルーン *，伊藤 寿浩，高松 誠一
東京大学

01pm1-PS-179
2 液 3 相構造のマイクロ流路デバイスを用いたナノ粒子生成システム

藤本 望夢 *{1}，神田 岳文 {1}，大森 健太郎 {1}，阪田 祐作 {1}，山田 嘉昭 {1}，妹尾 典久 {1}，脇元 修一 {1}，中崎 義晃 {2}，音山 貴文 {2}{1} 岡山大学，{2} ナノ・キューブ・ジャパン

01pm1-PS-180
TiN マイクロヒータの低消費電力化へ向けた検討伊藤 浩 *，新國 広幸
東京工業高等専門学校

01pm1-PS-181
超音波センサを用いた血管径計測

奥田 圭 *{1}，鈴木 大地 {2}，藤田 勝博 {2}，川久保 大輔 {2}，大橋 靖知 {2}，前平 謙 {2}，不破 耕 {2}，松永 忠雄 {1}，鶴岡 典子 {1}，芳賀 洋一 {1}{1} 東北大学，{2} アルバック

01pm1-PS-182
Photoacoustic signal generation in condensed media anddetection using vacuum packaged resonator
Latif Imran*，An Zhonglie，戸田 雅也，小野 崇人
東北大学01pm1-PS-183

01pm1-PS-197

超臨界流体を用いたシリコン酸化膜上への銅薄膜直接成膜技術による高アスペクト比ナノ開口構造の埋め込みの実現

フレキシブル基板下へ実装するドーム付き LSI 集積化触覚センサ

宇佐美 尚人 *，肥後 昭男，太田 悦子，三田 吉郎
東京大学

01pm1-PS-184
切削加工により作製された強光閉じ込めニオブ酸リチウム導波路の光伝搬特性評価

寺西 辰貴 *，平野 栄樹，田中 秀治
東北大学

01pm1-PS-198
触覚センサの柔軟物硬さ及び接触形状に対する依存性評価と検知部の高密度化

多喜川 良 *{1}，川西 哲也 {2}，日暮 栄治 {3}，浅野 種正 {1}{1} 九州大学，{2} 早稲田大学，{3} 東京大学

藤橋 智哉 *{1}，菅 史賢 {1}，寒川 雅之 {1}，安部 隆 {1}，野間 春生 {2}，荒木 凌馬 {1}{1} 新潟大学，{2} 立命館大学

01pm1-PS-185

01pm1-PS-199

機械的混合加振による圧電薄膜アクチュエータ集積 2 軸 MEMS 光ス
キャナ

植物生育管理のための簡易茎内水分量変動計測センサの評価

稲垣 俊典 *，岡本 有貴，肥後 昭男，三田 吉郎
東京大学

01pm1-PS-186
極薄シリコン回路チップ搭載用可動デバイスアイランド構造フレキ
シブル基板の開発
小林 健 *，竹下 俊弘，竹井 裕介，武井 亮平，吉田 学
産業技術総合研究所

01pm1-PS-187
超音波計測を用いたウェアラブル血管径センサの開発

鈴木 大地 *{1}，藤田 勝博 {1}，川久保 大輔 {1}，大橋 靖知 {1}，前平 謙 {1}，
不破 耕 {1}，奥田 圭 {2}，松永 忠雄 {2}，鶴岡 典子 {2}，芳賀 洋一 {2}{1} アルバック，{2} 東北大学

01pm1-PS-188
水の気液相変化を用いた空圧フィルムアクチュエータ用圧力源の検討
山口 大介 *，佐藤 亮，石野 裕二，高崎 正也，水野 毅
埼玉大学

01pm1-PS-189

牧野 将吾 *，平澤 一樹，竹井 義法，南戸 秀仁
金沢工業大学

01pm1-PS-200
心拍間隔の非接触センシング

安藤 佳輝 *，諸田 裕紀，増田 誉，高松 誠一，伊藤 寿浩
東京大学

01pm1-PS-201
InSb および InAs ホール素子を用いて測定した導線電流が作る磁場の距離依存性 〜回路内電流の非接触検出技術の開発を目指して〜
笠原 健司 *{1}，柴崎 一郎 {2}，眞砂 卓史 {1}{1} 福岡大学，{2} 野口研究所

01pm1-PS-202
ピエゾ抵抗型センサの複素インピーダンスを考慮した計測下限の低減
高畑 智之 *，下山 勲
東京大学01pm1-PS-203
筋活動解析のためのワイヤレス積層型センサの開発

シワ構造イオンゲルによる呼気センサ

藤山 弘 *，木本 晃，大石 裕也
佐賀大学

01pm1-PS-190

La2O3/SnO2 積層型 CO2 センサの CO2 応答に対する La2O3 成膜方法の検討

武居 淳 *，塚本 志帆，延島 大樹，吉田 学
産業技術総合研究所

ポリマーの体積変化とカンチレバーの横変位による応力集中を用いたピエゾ抵抗型ガスセンサ
外間 匠 *{1}，戸田 雅也 {1}，山崎 舞 {2}，Moorthi Krzystof{2}，小野 祟人 {1}{1} 東北大学，{2} 三井化学

01pm1-PS-191
圧電 MEMS 片持ち梁を用いた低消費電力振動センサ

武井 亮平 *{1}，大内 篤 {1}，野田 大二 {2}，木村 勇 {2}，太田 亮 {2}，伊藤 寿浩 {1}{3}，小林 健 {1}{1} 産業技術総合研究所，{2} マイクロマシンセンター，{3} 東京大学

01pm1-PS-192
呼吸と体温の両計測が可能な MEMS 流量センサの開発

藤範 知弘 *{1}，長谷川 義大 {1}，谷口 和弘 {1}，松島 充代子 {2}，川部 勤 {2}，式田 光宏 {1}{1} 広島市立大学，{2} 名古屋大学

01pm1-PS-193
フレキシブル素子を用いた空中超音波の送信に適したエレクトレッ
トセンサの出力向上
ナビラ ビンティ アミヌディン *，蔭山 健介
埼玉大学

01pm1-PS-194
人間に近い触覚検知のためのエラストマ埋め込み PZT /Si カンチレ
バー振動覚センサ
高橋 春暁 *，難波 勇太，安部 隆，寒川 雅之
新潟大学

01pm1-PS-195
木材を伝播するアコースティック・エミッション測定に適したエレ
クトレットセンサに関する検討
魯 子暁 *，坂井 建宣，蔭山 健介
埼玉大学

01pm1-PS-196
極薄 PTFE エレクトレットを有する空中超音波センサのレーザ加工
による性能向上戴 超 *，蔭山 健介
埼玉大学

01pm1-PS-204
大野 賢 *{1}，岩田 達哉 {1}{2}，松田 恭輔 {1}，高橋 一浩 {1}，澤田 和明 {1}{1} 豊橋技術科学大学，{2} エレクトロニクス先端融合研究所（EIIRIS）

01pm1-PS-205
味覚センサの脂質高分子膜組成と味物質間相互作用に関する基礎的考察
田原 祐助 *，都甲 潔
九州大学

01pm1-PS-206
Rapid and simple pesticides sensing system by SERS with Au core/
Ag shell nanoparticles immobilized membrane
洪 章瑚 *，川嶋 文人，濵田 典明
愛媛大学

01pm1-PS-207
施設栽培環境制御のための植物生体電位測定
松本 真美 *，内田 秀和，長谷川 有貴
埼玉大学

01pm1-PS-208
花粉を検出する ZnO 薄膜センサの研究
堀内 蓮 *，山口 富治，原 和裕
東京電機大学

01pm1-PS-209
対面型触媒を用いた集積型 VOC センサの研究
中島 崚，小林 功尭 *，山口 富治，原 和裕
東京電機大学

01pm1-PS-210
高電界を利用した半導体ガスセンサの研究
植原 海渡 *，山口 富治，本間 和明，原 和裕
東京電機大学

01pm1-PS-211
スパッタ法によって成長した ZnO 単結晶層の水素ガス応答原理の検討
久米井 俊哉 *，渡邊 有香，安藤 毅，水野 愛，篠田 宏之，六倉 信喜
東京電機大学

01pm1-PS-212
唾液中オキシトシン計測を目的とした小型免疫計測システムに関する研究浅埜 愛理 *，椎橋 真子，工藤 寛之
明治大学

Future Technologies from SAPPORO

15

01pm1-PS-213

01pm1-PLN-227

外力支援近接場照明（EFA-NI）バイオセンサによるインフルエンザ
ウイルスの検出

Crystal Orientation of Sol-Gel Piezoelectric PZT Films and Vibrating
Energy Conversion Efficiency on MEMS Buckled Diaphragm
Structures

安浦 雅人 *，仲屋 友喜，藤巻 真
産業技術総合研究所

01pm1-PS-214
1µm 流路を用いたポリマーフローストレッチングによる巨大 DNA1分子の全長計測平野 研 *{1}，岩城 貴史 {2}，吉川 研一 {3}{1} 産業技術総合研究所，{2} 大分大学，{3} 同志社大学

01pm1-PS-215

01pm1-PLN-228
匂いバイオセンサ応答画像を用いた匂いの種類および濃度の識別の基礎的検討
祐川 侑司 *{1}，光野 秀文 {2}，神崎 亮平 {2}，中本 高道 {1}{1} 東京工業大学，{2} 東京大学

アプタマーを用いた食品安全検査用アレルゲン検出システムの開発

01pm1-PLN-229

01pm1-PS-216

古賀 達也 *{1}，山根 大輔 {1}，小西 敏文 {2}，佐布 晃昭 {2}，飯田 慎一 {2}，伊藤 浩之 {1}，石原 昇 {1}，町田 克之 {1}, 益 一哉 {1}{1} 東京工業大学，{2}NTT-AT

アブデリ ハムザ *，Tsukamoto Takashiro
東北大学

濾紙によるサンプリングを特徴とした唾液中尿酸の簡易計測システ
ムに関する研究
池本 有輝 *，今村 優佑，工藤 寛之
明治大学

01pm1-PS-217

1 軸 MEMS 加速度センサの Au 錘厚膜化による高性能化の検討

01pm1-PLN-230
匂いと気流の空間分布提示装置―大型電子広告対応に向けた初期検討
篠木 崚司 {1}，松倉 悠 {2}，石田 寛 *{1}{1} 東京農工大学，{2} 大阪大学

試薬封止型診断カートリッジにおける試薬封止構造の開発

01pm1-PLN-231

01pm1-PS-218

志村 崇 *，梅田 倫弘，岩見 健太郎
東京農工大学

堀井 和由 *{1}，能勢 智之 {1}，小粥 教幸 {2}，戸田 泰広 {2}{1} シスメックス，{2}ASTIDNA アプタマーの恒温増幅と電位測定によるバイオマーカータンパ
ク質検出
合田 達郎 *{1}，東 大樹 {2}，田畑 美幸 {1}，松元 亮 {1}，青柳 隆夫 {2}，宮原 裕二 {1}{1} 東京医科歯科大学，{2} 日本大学

01pm1-PS-219
培養細胞のリアルタイムモニタリングを可能とする B5 判サイズマ
イクロプレートリーダーの性能評価
神之浦 雅輝 *{1}，長谷 賢三 {1}，渡辺 菜歩 {2}，Chacriya Malasuk{2}，森田 金市 {3}，興 雄司 {2}，久原 哲 {2}，田代 康介 {2}，中西 義孝 {1}，中島 雄太 {1}{1} 熊本大学，{2} 九州大学，{3} ウシオ電機

01pm1-PS-220
マイクロ流体デバイスと電界紡糸法によるマルチコンポーネント
ファイバーの作製
菅谷 拓央 *，深野 愼介，尹 棟鉉，関口 哲志，庄子 習一
早稲田大学

01pm1-PS-221
Au 周期構造を用いたマイクロゲルの生体透過光駆動変形と偏光による特性制御
阿部 晃大 *，田端 航，西山 宏昭
山形大学

01pm1-PS-222
飲み込み型センサーに用いるハイドロゲルバルブの性能評価
シュタウス スヴェン *，宮嵜 竜一，本間 格
東北大学

01pm1-PLN-223
吸引吐出開口アレイを有する積層型マイクロ流体プローブの開発
神谷 昌吾 *，石塚 裕己，高尾 英邦，下川 房男，寺尾 京平
香川大学

01pm1-PLN-224
周期的容量変化構造を持つエレクトレット振動発電素子の非線形解析
橋口 原 *{1}，杉山 達彦 {1}，芝田 泰 {1}，年吉 洋 {2}静岡大学 {1}，東京大学 {2}01pm1-PLN-225
薄膜金属ガラス製微小ダイアフラム構造体のたわみ制御法
上嶋 祥平 *，櫻井 淳平，秦 誠一，岡 智恵美
名古屋大学

01pm1-PLN-226
粘弾性液体と接した電極分離型 QCM センサの周波数応答特性佐藤 育人 *，坂口 淳，寒川 雅之，安部 隆
新潟大学

16

山下 馨 *{1}，中島 将太 {1}，塩見 丈 {1}，野田 実 {1}，Muralt Paul{2}{1} 京都工芸繊維大学，{2}Swiss Federal Institute of Technology（EPFL）

Future Technologies from SAPPORO

両持ちバイモルフ梁を集積化した面外駆動 Au/SiO2 グレーティングの製作
01pm1-PLN-232
共振維持回路による高効率 MEMS 振動エナジーハーベスタ

三屋 裕幸 *{1}，芦澤 久幸 {1}，森田 將裕 {1}，本間 浩章 {2}，橋口 原 {3}，年吉 洋 {1}{1} 鷺宮製作所，{2} 東京大学，{3} 静岡大学

01pm1-PLN-233
10 臓器共培養用 Body-on-a-Chip プラットフォームの作製と評価
上野 秀貴 *{1}，鈴木 孝明 {1}，Esch Mandy{2}{1} 群馬大学，{2} 米国国立標準技術研究所

01pm1-PLN-234
2 次元集積化磁気センサにおける CDS による固定パターンノイズ低減に関する検討木村 孝之 *，山根 康平，増澤 徹
茨城大学

01pm1-PLN-235
イオン液体を用いた水晶振動子ガスセンサの応答
中澤 薫 *，Deng Lin，Sawit Na Songkhla，中本 高道
東京工業大学第 9 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム

第 9 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
ポスターセッション

プログラムスケジュール

10月30日（火）＊基調講演は別のページに記載されております

11:00-12:30（6F-P 会場，ホワイエ，6F）

マイクロ・ナノ工学シンポジウムポスターセッション

10月30日（火）14:20-15:20 （B 会場，SCARTS スタジオ，2F）

マイクロ・ナノ工学シンポジウム
14:20

レビュー I

30pm2-B-1
Society5.0（超スマート社会）に向けた MEMS 技術概観
武田 宗久
マイクロマシンセンター

14:50

30am3-PN-1
原子間隔変化が摩擦力に及ぼす影響に関する研究木村 柊 *，安藤 泰久
東京農工大学30am3-PN-3
頭髪内の金属量変化に伴う力学特性の変化について
藤田 賢人 *，燈明 泰成
東北大学

30pm2-B-2

30am3-PN-5

光学素子のための超精密機械加工
柿沼 康弘
慶應義塾大学

切り紙型伸縮配線の機械特性の評価
谷山 広樹 *，岩瀬 英治
早稲田大学

10月31日（水）30am3-PN-7

13:50-14:50 （A 会場，クリエイティブスタジオ，3F）

日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
13:50

表彰講演

化学発光を用いた強制対流下における局所物質輸送の評価
吉田 司 *，松本 亮介
関西大学

30am3-PN-9

31pm1-A-1

マイクロデバイス上でのイオン交換膜の微細加工

MEMS 製品開発と事業化

野田 堅太郎 *，下山 勲
東京大学

岡田 亮二
株式会社ルネサスイーストン

30am3-PN-11

11月1日（木）

細管内の衝撃波伝播に関する研究

10:10-11:40（B 会場，SCARTS スタジオ，2F）Kazuya Tajiri*，Ezequiel Medici
Michigan Technological University

マイクロ・ナノ工学シンポジウム

30am3-PN-13

10:10

レビュー II

01am2-B-1
へき開創製ギャップを用いたナノ空間エネルギー輸送計測
土屋 智由
京都大学

10:40

01am2-B-2
マイクロ 3D プリンティングの基礎と応用
丸尾 昭二
横浜国立大学11:10

01am2-B-3ナノ構造を利用した熱輸送制御
宮崎 康次
九州工業大学I

液体用マイクロフロー校正装置の開発

土井原 良次 *，チョン カーウィー，古市 紀之，嶋田 隆司
産業技術総合研究所

30am3-PN-15
波形状金属配線と無機熱電素子を用いた伸縮性熱電発電デバイス
古志 知也 *，福家 加奈，柏木 誠，岩瀬 英治
早稲田大学

30am3-PN-17
共ドープによる黄緑色蛍光体の合成と光の品質の評価
飛永 健斗 *，井上 修平，松村 幸彦
広島大学

30am3-PN-19
MEMS センサを用いた液体流量計測に流体物性が及ぼす影響
原 惇也 *{1}，山本 憲 {1}，池 信一 {2}，中野 正志 {2}，元祐 昌廣 {1}{1} 東京理科大学，{2} アズビル

30am3-PN-21
遠心駆動流体デバイスによるコアシェル型マイクロゲルビーズの形成
土谷 澪 *，尾上 弘晃，倉科 佑太
慶應義塾大学30am3-PN-23
高粘度液体をサポート材に用いた刺激応答性ゲルの 3 次元印刷
内田 拓也 *，尾上 弘晃
慶應義塾大学30am3-PN-25
真空紫外光を用いたコンタクト露光による合成樹脂の光エッチング
土井 智尭 *，山本 貴富喜
東京工業大学30am3-PN-27
グリオキシル酸 Cu 錯体のフェムト秒レーザ還元を利用した Cu 直接
描画
溝尻 瑞枝 *{1}，青山 慶子 {2}，植月 暁 {3}，大石 知司 {3}{1} 長岡技術科学大学，{2} 名古屋大学，{3} 芝浦工業大学

30am3-PN-29
近赤外域を対象としたプラズモン光検出型分光法
出納 優 *，大下 雅昭，Gaulier Thomas，安食 嘉晴
電気通信大学

Future Technologies from SAPPORO

1730am3-PN-31

30am3-PN-63

多機能フレキシブル電子皮膚を集積したソフトロボットの開発

電界誘起気泡による表面処理不要な多種材質への配線技術の研究

30am3-PN-33

30am3-PN-65

ランダムレーザー媒質作製に向けた光学的な微粒子制御に関する基
礎的検討

電界集中構造を有する誘電体板を用いた電界誘起気泡の研究

山口 貴文 *，竹井 邦晴，有江 隆之，秋田 成司
大阪府立大学

横井 直倫 *{1}，岡本 卓 {2}，相津 佳永 {3}{1} 旭川工業高等専門学校，{2} 九州工業大学，{3} 室蘭工業大学

30am3-PN-35
拮抗筋構造を有するバイオハイブリッドロボットの構築
森本 雄矢 *{1}，尾上 弘晃 {2}，竹内 昌治 {1}{1} 東京大学，{2} 慶應義塾大学

30am3-PN-37
Isotachophoresis-based RNA extraction from fixed single cells

福山 雄大 *，市川 啓太，山下 優，山西 陽子
九州大学

30am3-PN-67
マイクロ流路内でのアクチン - ミオシン組織の構築
瓦 脩生 *
慶應義塾大学16:55-18:25（6F-P 会場，ホワイエ，6F）

マイクロ・ナノ工学シンポジウムポスターセッション

SP Sangamithirai*{1}，Oguchi Yusuke{2}，Abdelmoez Mahmoud{3}，Tsuchida Arata{3}，Ozaki Yuka{1}，Yokokawa Ryuji{3}，Kotera Hidetoshi{3}，Shintaku Hirofumi{1}{1}RIKEN Cluster for Pioneering Research，{2}The University of Tokyo，{3}Kyoto University

30pm4-PN-2

30am3-PN-39

30pm4-PN-4細胞コラーゲン円柱による気相匂い物質検出

ナノ銀粒子焼成膜の引張試験による機械物性の空孔率依存性

30am3-PN-41

30pm4-PN-6細胞ファイバ技術を用いた 3 次元脂肪組織の作製

Al 合金薄膜の SEM 内疲労亀裂進展試験の試み

平田 優介 *，森本 雄矢，竹内 昌治
東京大学

横溝 晃世 *，森本 雄矢，竹内 昌治
東京大学

30am3-PN-43

田中 佑弥 *{1}，松永 久生 {1}，森山 茂章 {2}，遠藤 正浩 {2}{1} 九州大学，{2} 福岡大学

望月 陽 *{1}，若本 恵佑 {2}，大塚 拓一 {2}，中原 健 {2}，生津 資大 {1}{1}Aichi Institute of Technology，{2}ROHM

北村 遼太郎 *{1}，伊奈 銀之介 {2}，桑原 晃一 {3}，西脇 剛 {3}，伊藤 孝浩 {3}，生津 資大 {1}{1} 愛知工業大学，{2} 兵庫県立大学，{3} トヨタ自動車

30pm4-PN-8

30am3-PN-45

萩原 洋平 *，尾崎 直樹，嶋田 隆広，北村 隆行
京都大学

電界誘起気泡を用いた網膜静脈閉塞症の新治療法確立のための研究
住本 芽衣 *{1}，松村 大輔 {1}，三輪 佳子 {1}，王 英泰 {2}，森泉 康裕 {3}，山西 陽子 {1}{1} 九州大学，{2} 兵庫県立尼崎総合医療センター，{3} ベックス

30am3-PN-47
マイクロゲルビーズ担体を用いたナノ粒子の超音波徐放久保田 剛史 *，尾上 弘晃，倉科 佑太
慶應義塾大学30am3-PN-49

II

微小往復すべりにおける軸受鋼の動摩擦特性

ファイバ状 3 次元組織のための電気刺激デバイス
深田 佳祐 *，倉科 佑太，尾上 弘晃
慶應義塾大学

グラフェンのナノ非線形特異応力場における破壊力学基準に関する
分子静力学解析30pm4-PN-10
毛管現象によりカーボンナノチューブ内に侵入するメニスカスの挙動と液体内でのボイド生成
山田 寛 *{1}，田口 佳野子 {2}，生田 竜也 {2}，堀部 明彦 {1}，高橋 厚史 {2}{1} 岡山大学，{2} 九州大学

30pm4-PN-16
分子動力学法を用いた高温壁へ衝突するナノ液滴の浮遊メカニズム解析

キトサンハイドロゲルによるチューブ形状 3 次元培養デバイス

田部 広風海 *{1}，小林 一道 {1}，矢口 久雄 {2}，藤井 宏之 {1}，渡部 正夫 {1}{1} 北海道大学，{2} 群馬工業高等専門学校

30am3-PN-51

高分子ナノシートを用いた貼付型ナノスケール熱伝導率計測デバイス

鈴木 果林 *，板井 駿，倉科 佑太，尾上 弘晃
慶應義塾大学

マイクロ流体デバイスを用いた銅ナノ粒子の合成
梁 毅楊 *，柳生 裕聖
関東学院大学30am3-PN-53
ミニマル Si-DRIE の装置化と加工例

金尾 寛人 *，野沢 善幸，宮﨑 俊也，田中 雅彦，速水 利泰
SPP テクノロジーズ

30am3-PN-55
高効率 Electrohydrodynamic のための原理と実現象についての研究佐藤 匡 *{1}，山西 陽子 {1}，前田 真吾 {2}{1} 九州大学，{2} 芝浦工業大学

30am3-PN-57
磁気光学顕微鏡を用いた個体識別法

大熊 航平 *{1}，佐藤 匡 {1}，松村 大輔 {1}，川原 知洋 {2}，原本 悦和 {3}，山西 陽子 {1}{1} 九州大学，{2} 九州工業大学，{3} 産業技術総合研究所

30am3-PN-59
繰り返し伸縮変形下における自己修復型金属配線の修復特性の評価
古志 知也 *，岩瀬 英治
早稲田大学

30am3-PN-61
微小液滴の連続観察および電気融合が可能なマイクロ流体デバイス
菅原 啓亮 *，森本 雄矢，竹内 昌治
東京大学

18

市川 啓太 *，福山 雄大，山下 優，山西 陽子
九州大学

Future Technologies from SAPPORO

30pm4-PN-18
柏木 誠 *，橋口 大輝，藤枝 俊宣，岩瀬 英治
早稲田大学

30pm4-PN-20
アルミニウムを利用した SiO2 の高速異方性化学エッチングの加工特性評価
米谷 玲皇 *，奥野 将人，割澤 伸一
東京大学

30pm4-PN-22
赤外光で駆動可能な単層カーボンナノチューブ含有刺激応答性ゲル
アクチュエータ
黒田 敬弥 *，尾上 弘晃
慶應義塾大学30pm4-PN-24
面内圧縮インプリントプロセスの開発

米倉 和啓 *，徳丸 和樹，工藤 健太郎，品川 一成，津守 不二夫
九州大学

30pm4-PN-26
SOFC 電極電解質積層材料のインプリント加工における微細界面形状の制御
徳丸 和樹 *，津守 不二夫，品川 一成
九州大学30pm4-PN-28

30pm4-PN-62

熱アシスト式反応性イオンエッチング法によるチタン合金製微小メスの作製と評価

親疎水性パターンに依存したモデル部品の選択的結合系の構築

近藤 正之 *
新潟大学

30pm4-PN-30

奥山 大樹 *，疋田 達也，岡野 太治，鈴木 宏明
中央大学

30pm4-PN-64

揺動ガラスステージによる顕微鏡下の三次元立体画像の取得

集束イオンビームを用いたモードマッチ MEMS ジャイロスコープのトリミング法30pm4-PN-32

30pm4-PN-66

ポーラス化によるマイクロゲルアクチュエータの応答高速化

光学的感圧膜のためのプラズモン共鳴吸収フィルムの研究

30pm4-PN-34

30pm4-PN-68

グラフェン素子を用いたインライン型ワイヤレス圧力センサ

Ni-W 合金を用いた熱電子発電素子の狭ギャップ化に関する研究

30pm4-PN-36

31pm2-PN-102

EWOD を利用した微小物体の把持・分離・輸送に関する研究

圧電型触覚提示デバイスの試作 -2

井口 大輔 *，松本 潔
東洋大学

軽部 将彦 *，尾上 弘晃
慶應義塾大学井上 渚紗 *，尾上 弘晃
慶應義塾大学三隅 秀樹 *{1}，白石 成 {2}，鈴木 健司 {1}，髙信 英明 {1}，三浦 宏文 {1}{1} 工学院大学，{2} 慶應義塾大学

30pm4-PN-38
網膜静脈閉塞症治療のためのハンギングドロップ法による人工血栓作成
松村 大輔 *{1}，住本 芽衣 {1}，三輪 佳子 {1}，王 英康 {2}，森泉 康裕 {3}，山西 陽子 {1}{1} 九州大学，{2} 兵庫県立尼崎総合医療センター，{3} ベックス

30pm4-PN-40
腹腔鏡下手術における触覚情報取得のための MEMS3 軸力センサの開発
中井 亮仁 *，下山 勲
東京大学30pm4-PN-42
力学刺激環境下における in vitro 3 次元組織内光学観察システム
笠原 啓太郎 *，倉科 佑太，尾上 弘晃
慶應義塾大学30pm4-PN-44
複合力学刺激可能な ECM マイクロ流体システム
清水 あずさ *{1}，三浦 重徳 {2}，尾上 弘晃 {1}{1} 慶應義塾大学，{2} 京都大学

30pm4-PN-46
DNA アプタマー架橋ゲルセンサを用いた生化学物質の可視光検出
林 知希 *{1}，瀧ノ上 正浩 {2}，尾上 弘晃 {1}{1} 慶應義塾大学，{2} 東京工業大学

30pm4-PN-48
ハイドロゲル内封リポソームを用いた微小溶液操作システム
勝田 翔太 *，岡野 太治，鈴木 宏明
中央大学

30pm4-PN-52
微量液体の効率的攪拌に向けたポンプレスミキサの開発

金子 完治 *{1}，岡野 太治 {1}，大澤 崇行 {2}，長谷川 洋介 {2}，鈴木 宏明 {1}{1} 中央大学，{2} 東京大学

30pm4-PN-54

CHEN jianlin*，塚本 貴城，田中 秀治
Tohoku University

竹林 永人 *，岩見 健太郎，安 忠烈
東京農工大学乙咩 勇太 *，安 忠烈，岩見 健太郎
東京農工大学曽根 順治 *，松本 康義，大泉 勝彦
東京工芸大学

10月31日（水）11:20-12:50（6F-P 会場，ホワイエ，6F）

マイクロ・ナノ工学シンポジウムポスターセッションIII

31am3-PN-69
半円型ブルズアイ構造を有する直列連結型ナノメカニカル振動子による Q 値非依存波長計測
田中 航大 *，割澤 伸一，米谷 玲皇
東京大学

31am3-PN-71
繰り返し引張圧縮負荷を受けるマイクロ銅単結晶のその場疲労損傷
観察
上垣 慎 *，澄川 貴志，幸下 哲也，北村 隆行
京都大学

31am3-PN-73
SEM 用ナノインデンテーション装置を用いたサブミクロン球状粒子の圧縮試験

中村 大善 *{1}，宍戸 信之 {2}，神谷 庄司 {3}，石川 善恵 {4}，越崎 直人 {5}{1} 北海道大学，{2} 北九州市環境エレクトロニクス研究所，{3} 名古屋工業大学，{4} 産業技術総合研究所，{5} 北海道大学

31am3-PN-75
タフ MEMS のためのチタン合金製微小試験片の力学的特性評価
吉田 将希 *
新潟大学

31am3-PN-79
誘電泳動力を用いたマイクロ流路内粒子ピッチングマシンの制御特性評価
本間 怜人 *，野間 淳志，巽 和也，栗山 怜子，中部 主敬
京都大学

31am3-PN-83

遠隔監視用コンパクト水質計の開発

薄膜センサを用いた固体高分子形燃料電池内 MEA 膜厚方向の湿度測定

30pm4-PN-56

31am3-PN-85

泉 健太 *{1}，渡辺 彬 {1}，笠間 敏博 {2}，遠藤 喜重 {2}，三宅 亮 {2}{1}NCE，{2} 東京大学

脂質二重膜アレイを用いた生体ナノポア電気計測デバイスの開発

伊藤 嘉玖 *{1}，大崎 寿久 {2}，神谷 厚輝 {2}，山田 哲也 {2}，三木 則尚 {1}，竹内 昌治 {3}{1} 慶應義塾大学，{2} 神奈川県立産業技術総合研究所，{3} 東京大学

30pm4-PN-58
粘着性弾性体による押し付け圧力を利用した非加熱型電子部品実装
手法の提案
佐藤 峻 *，岩瀬 英治，古志 知也
早稲田大学

30pm4-PN-60

長谷川 実慶 *，南 凌太朗，黒須 雅人，荒木 拓人
横浜国立大学

Effect of wettability design on water transport in GDL of PEFCs
analyzed by scale model experiment and LBM simulation
Can Enes Muhammet*{1}，Tabe Yutaka{1}，Chikahisa Takemi{1}，Sakaida Satoshi{2}{1} 北海道大学，{2} 茨城大学

31am3-PN-87
酵素分解を利用した複合マイクロゲル構造体によるドラッグデリバ
リーシステム宮原 英生 *{1}，尾上 弘晃 {1}，倉科 佑太 {1}，小川 優樹 {2}，栗原 渉 {2}，吉田 知彦 {2}，岡野 ジェイムス洋尚 {2}，藤岡 正人 {1}{1} 慶應義塾大学，{2} 東京慈恵会医科大学

プラズモニック金回折格子を備えた振動 MEMS による近赤外分光器
大下 雅昭 *{1}，高橋 英俊 {2}，菅 哲朗 {1}{1} 電気通信大学，{2} 東京大学

Future Technologies from SAPPORO

1931am3-PN-89

31am3-PN-119

フェムト秒レーザ誘起液中集積法による円筒内壁への SiO2 基マイクロパターン描画

シリコンナノワイヤ製ねじれ梁を用いた静電櫛歯駆動 MEMS ミラーの振動特性

31am3-PN-91

31am3-PN-121

プラズモニック Ag ナノ粒子含有 PNIPAM ゲルファイバーの光駆動
変形

細菌 1 細胞の電気インピーダンス計測に向けた細菌 1 細胞トラッピ
ングの研究

31am3-PN-93

31am3-PN-123

局所加熱スクリーン印刷を用いた微細構造への高粘度インクの充填率向上

脳波計測用微小針電極を用いた逆転視順応過程の評価

木村 開登 *，西山 宏昭
山形大学

阿相 克 *，西山 宏昭
山形大学

前田 祥宏 *，長藤 圭介，清水 瑛介，宗廣 直頼，髙橋 奈々，中尾 政之
東京大学

31am3-PN-95
気液相変化を用いた大変形可能なソフトアクチュエータ
廣田 航 *，津守 不二夫
九州大学

31am3-PN-97
4D プリンタで作製した磁場駆動ワーム型ソフトロボット
前田 一樹 *，津守 不二夫，徳丸 和樹，小豆澤 成治
九州大学

31am3-PN-99

中村 友哉 *，平井 義和，土屋 智由，田畑 修
京都大学

伊藤 健地 *，山本 貴富喜
東京工業大学小野本 壮志 *{1}，吉田 有里 {1}，田中 靖人 {2}，三木 則尚 {1}{1} 慶應義塾大学，{2} 三城光学研究所

31am3-PN-125
薄膜多層スプレー塗布による超厚膜レジストの成膜
塚本 拓野 *{1}，山田 功 {1}，鈴木 孝明 {1}{2}{1} 群馬大学，{2}JST さきがけ

31am3-PN-127
切り紙構造を用いた多軸力センサの形状の検討
山本 真史 *，岩瀬 英治
早稲田大学

31am3-PN-129

単層カーボンナノチューブ歪みセンサによるハイドロゲル膨潤検知

微細毛構造を有するシリコン双極型静電チャックの接触面の平滑さと微細毛長が静電力に与える影響

31am3-PN-101

31am3-PN-131

バルブ付きマイクロ流体デバイスによる複数材料のゲルファイバ内
パターニング

2D メカニカルメタマテリアル構造を有するダイヤフラム型振動発電デバイスの解析

31am3-PN-103

31am3-PN-133

上下空圧バルーン構造を有するマイクロ流体デバイス

3 次元リソグラフィを応用したイオン液体型高感度圧力センサの作製と特性評価井山 瑛里加 *{1}，尾上 弘晃 {1}，桐谷 乃輔 {2}{1} 慶應義塾大学，{2} 大阪府立大学

竹内 信貴 *，中島 駿介，堀 豊，尾上 弘晃
慶應義塾大学

松枝 遥 *，石田 忠，小俣 透
東京工業大学31am3-PN-105
胎児皮膚へのパッチ固定に向けたピンの構造変化による穿刺特性の評価
中島 広夢 *，土肥 健純，桑名 健太
東京電機大学31am3-PN-107
速度制御された液滴接触により形成される脂質二重膜の評価

五反田 真秀 *{1}，神谷 厚輝 {2}，大崎 寿久 {2}，三木 則尚 {1}，竹内 昌治 {3}{1} 慶應義塾大学，{2} 神奈川県立産業技術総合研究所，{3} 東京大学

31am3-PN-109
溶媒の蒸発が誘起する一枚膜リポソームの変形
古関 薫 *，鈴木 宏明
中央大学

31am3-PN-111
チューブ型蠕動バイオアクチュエータのための骨格筋細胞の 3 次元配列
森 大希 *，尾上 弘晃
慶應義塾大学31am3-PN-113

河鰭 康平 *
東京工業大学

海野 陽平 *{1}，塚本 拓野 {1}，潮見 幸江 {1}，山田 功 {1}，鈴木 孝明 {1}{2}{1} 群馬大学，{2}JST さきがけ

辻 勇亮 *，平井 義和，亀井 謙一郎，土屋 智由，田畑 修
京都大学

31am3-PN-135
エレクトレットを用いた回転型発電機の開発 ―熱インプリント法を用いたエレクトレットパターン形成―
辻岡 大祐 *，鈴木 昌人，高橋 智一，青柳 誠司
関西大学

31am3-PN-137
液体微小流量校正装置における密閉式秤量容器の導入と評価
Cheong Kar-Hooi*，土井原 良次，古市 紀之，嶋田 隆司
産業技術総合研究所

15:00-16:30（6F-P 会場，ホワイエ，6F）

マイクロ・ナノ工学シンポジウムポスターセッション IV
31pm2-PN-70
パーム油におけるナノストライプ構造のトライボロジー特性
越原 汐理 *，池田 浩治，伊藤 博信，安藤 泰久
東京農工大学

31pm2-PN-74

ハイドロゲルマイクロチューブ内で培養された細菌による硝化と脱窒単結晶セラミックナノ試験片中の転位単体を起点とした破壊の力学

31am3-PN-115

31pm2-PN-76

日向 萌水 *，斎藤 薫，尾上 弘晃，三木 則尚
慶應義塾大学

ラットを用いた長期 in vivo 実験による埋め込み型人工腎臓における PES 膜の性能評価
伊藤 貴裕 *
慶應義塾大学31am3-PN-117
繰り返し引張刺激が筋芽細胞包含ゲルファイバの組織成熟化に与える影響
坂齊 史奈子 *，宮田 昌悟
慶應義塾大学

澄川 貴志 *，嶋田 隆広，水野 祐樹，萩原 祥平，北村 隆行
京都大学

液体架橋破断を利用した微小液滴生成 ―生成位置の制御―
上林 達矢 *，田中 健太郎，岩本 勝美
東京海洋大学

31pm2-PN-78
レーザー照射によるナノ粒子流制御とベイズ最適化
大久保 匠 *，辻 徹郎，土井 謙太郎，川野 聡恭
大阪大学

31pm2-PN-80
ガラスキャピラリーを用いたイオンダイオードの作製
菊嶌 菜見，土井 謙太郎，川野 聡恭 *
大阪大学

20

Future Technologies from SAPPORO

31pm2-PN-82

31pm2-PN-112

熱コンダクタンスを制御するエレクトロウェッティングデバイスの開発

インプラント型人工腎臓のための中型動物実験プロトコルの確立

鎌田 健史 *，矢吹 智英，宮崎 康次
九州工業大学

31pm2-PN-84
海鳥のバイオロギングのための防水ピトー管型風速センサ
高橋 英俊 *，中井 亮仁，下山 勲
東京大学31pm2-PN-86
プリズム式全反射蛍光顕微鏡を用いたマイクロ流路内流れ壁面近傍の濃度計測
栗山 怜子 *，角野 達也，小山 侑介，巽 和也，中部 主敬
京都大学

31pm2-PN-88

渡邊 藍 *，大田 能士，古屋 慶彦，紙屋 はるか，三木 則尚
慶應義塾大学

31pm2-PN-114
定量サンプル可能な紙状材料の簡易イオン濃度測定器への応用
紙屋 はるか *，矢菅 浩規，三木 則尚
慶應義塾大学

31pm2-PN-116
脂肪細胞のコラーゲンゲル培養体に蓄積される脂肪滴量の電気イン
ピーダンスを用いた評価
善明 大樹 *，宮田 昌悟
慶應義塾大学

31pm2-PN-118

Micro/nano machine processing technology

添加剤 PEG の分子量と PES-PEG 膜の透析性能の関係性および滅菌方法の検討

31pm2-PN-90

31pm2-PN-120

トポロジー最適化を用いた局所冷却型水冷ヒートシンクの作製

硬軟感および乾湿感呈示可能な触覚サンプルの開発

Nguyen-Van Chinh*，Le Van Minh，Takahito Ono，Hiroki Kuwano
Tohoku University

松田 涼佑 *{1}，神崎 崇 {1}，野口 悠暉 {2}，佐藤 綾美 {2}，佐藤 勇気 {2}，古川 太一 {1}，荒木 拓人 {1}，丸尾 昭二 {1}，山田 崇恭 {2}，西脇 眞二 {2}，太田 裕貴 {1}{1} 横浜国立大学，{2} 京都大学

31pm2-PN-92
液体架橋破断に伴い生成される微小液滴の大きさ―界面活性剤の影響―
熊澤 壮良 *，田中 健太郎，岩本 勝美
東京海洋大学

31pm2-PN-94
両面接着による、高強度・マイクロメータ精度の 3 次元位置固定
古市 浩朗 *
日立製作所

31pm2-PN-96
微細ピッチ・多極着磁リング磁石を用いた高トルクマイクロフラッ
トモータ
永井 慧大 *，韓 冬，進士 忠彦
東京工業大学

31pm2-PN-98
2 自由度シリコン案内で支持された多極磁石を用いた低周波振動マ
イクロ発電デバイス
木根 諒 *{1}，韓 冬 {1}，進士 忠彦 {1}，門田 祥悟 {2}{1} 東京工業大学，{2}TDK

31pm2-PN-100
スリット型液架橋力マニピュレータを用いた任意形状の微小物のピックアップ
萩原 航 *，渕脇 大海，徳井 良多，伊藤 貴俊，田中 健太
横浜国立大学

31pm2-PN-104
高精細マイクロ光造形と生体適合性金めっきによる立体的な細胞シートの形成狐崎 進吾 *{1}，小澤 聖奈 {1}，小林 優香 {1}，Cordonier Christopher E.J{2}，野田 洋平 {1}，永瀬 史憲 {1}，榎本 詢子 {1}，景山 達斗 {1}，古川 太一 {1}，本間 英夫 {2}，福田 淳二 {1}，丸尾 昭二 {1}{1} 横浜国立大学，{2} 関東学院大学

31pm2-PN-106
血液凝固防止のための無電源血漿分離流路
大月 斐南子 *，三木 則尚
慶應義塾大学

31pm2-PN-108
ヤング率の異なるレイヤ積層による内視鏡触診用フレキシブル剛性
センサの開発小屋 慶彦 *，渡邊 藍，三木 則尚
慶應義塾大学柳橋 啓一朗 *，三木 則尚
慶應義塾大学

31pm2-PN-122
紫光励起プラズモン面内分布制御デバイス池田 一畝 *，遅澤 伸宏，西山 宏昭
山形大学

31pm2-PN-124
キャンドル型微小針電極の脳波測定用頭部固定機構の開発
川名 拓己 *，吉田 有里，三木 則尚
慶應義塾大学

31pm2-PN-126
機械触覚ディスプレイでの摩擦感提示に向けた入力信号の導出
山中 秀斗 *
慶應義塾大学

31pm2-PN-128
可変熱伝導性を有した冷温感触覚ディスプレイの開発
平井 聖也 *，三木 則尚
慶應義塾大学

31pm2-PN-130
電気的操作による単一の細菌細胞からの DNA 抽出
鈴木 翔 *，山本 貴富喜
東京工業大学

31pm2-PN-132
薄膜ガラスを用いた透明ナノポアチップ作製法の開発
仲本 平 *，山本 貴富喜
東京工業大学

31pm2-PN-134
沸騰熱伝達を高分解計測する薄膜積層型熱流束センサの開発
近藤 悠太 *，南 翔太，矢吹 智英，宮崎 康次
九州工業大学

31pm2-PN-136
スパイラル型ブルズアイアンテナを有する光機械振動子の作製と光波長検出特性評価
ペンエークウォン ケーマナット *{1}，割澤 伸一 {1}，菅谷 俊夫 {2}，橋本 将太 {2}，河野 行雄 {2}，米谷 玲皇 {1}{1} 東京大学，{2} 東京工業大学

11月1日（木）12:25-13:55（6F-P 会場，ホワイエ，6F）

マイクロ・ナノ工学シンポジウムポスターセッションV

長友 竜帆 *，三木 則尚
慶應義塾大学

01pm1-PN-138

31pm2-PN-110

カンチレバー一体型 3 次元マイクロステージを用いたナノトライボ
ロジー計測

グルコースセンサ集積型マイクロ流体デバイスを用いた細胞動態のオンライン計測 ―第二報 細胞毒性試験への応用―
鈴木 智稀 *{1}，小森 喜久夫 {2}，木村 啓志 {1}{1} 東海大学，{2} 東京大学

大沢 尚吾 *，安藤 泰久
東京農工大学

Future Technologies from SAPPORO

21

01pm1-PN-139

01pm1-PN-155

配向 CNT 膜のピエゾスペクトロスコピック効果を利用したμ m 空
間分解能ひずみセンシング

薄膜磁気センサと強磁場を用いたインライン製品検査に関する研究

中澤 竜太 *{1}，三宅 卓志 {1}，二村 道也 {2}{1} 岐阜大学，{2} 名古屋市工業研究所

01pm1-PN-140
反強誘電体 PbZrO3 中の原子空孔のマルチフェロイクス特性に関する第一原理解析藤本 弦 *，MA WENJU，森 雅貴，嶋田 隆広，北村 隆行
京都大学

01pm1-PN-141
ディフューザ流路と Y 字流路によるバルブレスマイクロポンプの特性
松尾 彰太 *，田中 誠一，藤原 誠之
明石工業高等専門学校

01pm1-PN-142
紙状材料中での液滴アレイ生成

矢菅 浩規 *{1}，Iseri Emre{2}，Guo Weijin{2}，Hansson Jonas{2}，Haraldsson Tommy{2}，三木 則尚 {1}，van der Wijngaart Wouter{2}{1} 慶應義塾大学，{2} スウェーデン王立工科大学

01pm1-PN-143
マイクロ・ナノギャップにおける電解質溶液の電気的応答特性
福田 敬志，土井 謙太郎，川野 聡恭 *大阪大学

01pm1-PN-144
分岐流路におけるマイクロ熱泳動を用いた粒子流制御
松本 祐貴 *，釘宮 諒，辻 徹郎，土井 謙太郎，川野 聡恭
大阪大学

01pm1-PN-145
薄液膜の撥水型ドライアウト防止によるミニチャネル内流動沸騰熱伝達の促進
藤井 翔大 *，宮崎 康次，矢吹 智英
九州工業大学

01pm1-PN-146
ナノスケール表面構造が濡れ性及び凝縮に及ぼす影響の分子動力学的研究
平塚 将起 *，江本 基起，伊藤 慎一郎
工学院大学

01pm1-PN-148
異なる摩擦感を提示する微細加工テクスチャ
川添 実 *，三木 則尚
慶應義塾大学

01pm1-PN-149
光ファイバーを用いたマイクロ光造形法によるセラミックス微小構
造体の作製 ―横国大発・ROUTE プロジェクト：学部学生による先端研究の実践―陳 元依 *，衣斐 太一，野田 洋平，古川 太一，丸尾 昭二
横浜国立大学

01pm1-PN-150「画像処理による金属表面の亀裂の定量化」
吉永 洋佑 *，長藤 圭介，東坂 達也，中尾 政之
東京大学

01pm1-PN-151
生体観測のための低ノイズな MRI 用マイクロコイル
曾 俊皓 *，土屋 大，堀 正峻，土肥 徹次
中央大学

01pm1-PN-152
Cr-N 薄膜ひずみゲージを用いた MEMS 触覚センサの感度向上

米原 洸平 *{1}，木藤 潤 {1}，藤橋 智哉 {1}，高橋 春暁 {1}，安部 隆 {1}，丹羽 英二 {2}，寒川 雅之 {1}{1} 新潟大学，{2} 電磁材料研究所

01pm1-PN-153
ガルバノミラーによるリアルタイム高速モーションブラー補償を利用したマイクロ加工物体の形状計測手法
村上 健一，早川 智彦 *，Jerome Leon，石川 正俊
東京大学

01pm1-PN-154
指装着型センサによるせん断力とトルクの計測
古賀 裕也，堀 正峻 *，土肥 徹次
中央大学

22

Future Technologies from SAPPORO

中居 倫夫 *
宮城県産業技術総合センター

01pm1-PN-156
誘電泳動および流体由来せん断力を用いた ES 細胞・フィーダ細胞の連続的ソーティングシステム
宮田 昌悟 *，高橋 佑和
慶應義塾大学

01pm1-PN-157
マイクロチャネルデバイスを用いた細胞遊走メカニズムの解明
馬 銘 *，Mazalan Mazlee，大橋 俊朗
北海道大学

01pm1-PN-158
生体観測のためのコンパクト MRI システム
土屋 大 *，曾 俊皓，堀 正峻，土肥 徹次
中央大学

01pm1-PN-159
血圧脈波計測における特徴量の抽出と平均脈波の算出
浦田 尚 *，堀 正峻，土肥 徹次
中央大学

01pm1-PN-160
3 軸力センサによる血圧脈波計測のための較正手法
志村 光一 *，堀 正峻，土肥 徹次
中央大学

01pm1-PN-161
磁気ビーズによる力学刺激に対する内皮細胞のリモデリングLi Jiazhen*，Ohashi Toshiro
Hokkaido University

01pm1-PN-162
原子間力顕微鏡を用いた細胞一次繊毛の力学特性計測
Cai Haonan*，Ohashi Toshiro
Hokkaido University

01pm1-PN-163
マイクロ引張試験による細胞一次繊毛の力学特性計測
字室 勝善 *，Dung Do Tien ，大橋 俊朗
北海道大学

01pm1-PN-164
広帯域振動エネルギーハーベスティングのための双安定機構を有す
るインターポーザの開発
三好 智也 *，鈴木 雄二
東京大学

01pm1-PN-165
キャンドル型微小針電極を用いた脳波計測による音韻・韻律処理の聴覚野機能側性化の評価
三木 則尚，吉田 有里 *，星野 英一，皆川 泰代
慶應義塾大学

01pm1-PN-166
静電駆動型金ナノグレーティング位相差変調器における内部応力の制御
湖東 裕士 *，志村 崇，安 忠烈，岩見 健太郎
東京農工大学

01pm1-PN-167
FIB/EB 複合リソグラフィーによるナノ光共振器の作製
吉原 健太 *，割澤 伸一，米谷 玲皇
東京大学

01pm1-PN-168
液体金属を使用した環境センサの開発
太田 裕貴 *
横浜国立大学

01pm1-PN-169
徐放性固形試薬を用いた分析計の開発

廣濱 尚毅 *，笠間 敏博，遠藤 喜重，三宅 亮
東京大学

01pm1-PN-170
マイクロ流体チップ型静電触覚ディスプレイの開発
石丸 慧 *，三木 則尚
Keio University

01pm1-PN-171
Si 基板上金回折格子への背面照射による SPR 励起

第 10 回集積化 MEMS シンポジウムプログラム

01pm1-PN-172＊基調講演は別のページに記載されております齋藤 祥基 *，菅 哲朗，榎 隆宏
電気通信大学

イネ根の成長観察のための水田で使用可能な非破壊観察手法の開発
薄井 恒平 *，笠間 敏博，三宅 亮
東京大学プログラムスケジュール

10月30日（火）14:20-15:20（A 会場，クリエイティブスタジオ，3F）

集積化 MEMS シンポジウム：RF/FET デバイスセッション
座長：高尾 英邦（香川大学）

14:20

30pm2-A-1
Tuning Fork 型 MEMS 共振器の共振周波数制御

川上 航輝 *，金内 俊也，谷川 紘，古塚 岐，鈴木 健一郎
立命館大学

14:35

30pm2-A-2
MEMS 発振器の発振条件の改善

石橋 興 *，山木 勇作，古塚 岐，鈴木 健一郎
立命館大学

14:50

30pm2-A-3
グラフェン FET 特性の緩衝液濃度依存性

川越 悠斗 *，谷口 嘉昭，大野 恭秀，永瀬 雅夫
徳島大学

15:05

30pm2-A-4
Tuning Fork 型 MEMS 共振器を利用した pn ダイオードセ
ンサの特性評価
永井 大智 *，宮﨑 史登，谷川 紘，古塚 岐，鈴木 健一郎
立命館大学

15:30-16:45（A 会場，クリエイティブスタジオ，3F）

集積化 MEMS シンポジウム：ロボット制御／エネルギー
ハーベストセッション
座長：山根 大輔（東京工業大学），永瀬 雅夫（徳島大学）

15:30

30pm3-A-1
ニューラルネットワーク IC による歩行パターン制御を実現した MEMS マイクロロボット

早川 雄一朗 *，小原 正也，野口 大輔，河村 彗史，田中 泰介，齊藤 健，
金子 美泉，内木場 文男
日本大学

15:45

30pm3-A-2
Autocorrelation-Based Randomness Test of Sequence ofData Packets Sent by 16 Interface LSIs with Autonomous
Operation邵 晨鍾 *{1}，宮口 裕 {1}，中山 貴裕 {2}，室山 真徳 {1}，田中 秀治 {1}{1} 東北大学，{2} トヨタ自動車

16:00

30pm3-A-3
面内振動シリコン MEMS 共振器の pn ダイオードアクチュ
エータの効率向上
梅田 賢生 *，宮﨑 史登，谷川 紘，古塚 岐，鈴木 健一郎
立命館大学

16:15

30pm3-A-4
小型ランキンサイクルのための MEMS タービン発電機の開発
金子 美泉 *，工藤 和也，海老澤 和紀，田中 勝之，内木場 文男
日本大学

16:30

30pm3-A-5
BiFeO3 スパッタ膜を用いた圧電 MEMS 振動発電吉村 武 *{1}，荒牧 正明 {1}，村上 修一 {2}，佐藤 和郎 {2}，藤村 紀文 {1}{1} 大阪府立大学，{2} 大阪産業技術研究所

Future Technologies from SAPPORO

23

10月31日（水）13:50-14:50（C 会場，SCARTS コート，1F）

集積化 MEMS シンポジウム：MEMS センサセッション
座長：高橋 一浩（豊橋技術科学大学）

13:50-14:05

31pm1-C-1

SOI ウェハの直接接合を用いた 2 層積層 320x240 画素並列
CMOS イメージセンサ
本田 悠葵 *{1}，後藤 正英 {1}，渡部 俊久 {1}，萩原 啓 {1}，難波 正和 {1}，井口 義則 {1}，更屋 拓哉 {2}，小林 正治 {2}，日暮 栄治 {2}，年吉 洋 {2}，平本 俊郎 {2}{1}NHK 放送技術研究所，{2} 東京大学

14:05-14:20

31pm1-C-2

SiC 上グラフェンの高感度ガス応答

越智 柊太 *，寺谷 仁志，北岡 誠，大野 恭秀，永瀬 雅夫
徳島大学

14:20-14:35

31pm1-C-3

USB 型環境センサの開発

元木 悠平 *，上田 直亜，三笘 佳代，酒井 隆介
オムロン

14:35-14:50

31pm1-C-4

シングル Au 錘と SCD 方式を用いた 3 軸全差動 MEMS 加速度センサ
乙部 翔太 *{1}，山根 大輔 {1}，小西 敏文 {2}，佐布 晃昭 {2}，飯田 慎一 {1}，伊藤 浩之 {1}，石原 昇 {1}，町田 克之 {1}，益 一哉 {1}{1} 東京工業大学，{2}NTT アドバンストテクノロジ

11月1日（木）10:10-11:40（C 会場，SCARTS コート，1F）

集積化 MEMS シンポジウム：バイオ／流体セッション
座長：林 育菁（Goertek Japan），猪股 直生（東北大学）

10:10-10:25

01am2-C-1

SiC 上グラフェン FET を用いたアビジン―イミノビオチン
相互作用の観測谷口 嘉昭 *，三木 翼，大野 恭秀，永瀬 雅夫，荒川 幸弘，安澤 幹人
徳島大学

10:25-10:40

01am2-C-2

高分解能 MEMS 触覚センサによる毛髪表面の手触り感計測と評価
中光 孝太 *{1}{2}，綿谷 一輝 {1}{2}，寺尾 京平 {1}{2}，
下川 房男 {1}{2}，高尾 英邦 {1}{2}{1} 香川大学，{2}JST-CREST

10:40-10:55

01am2-C-3

フォトゲート型蛍光センサによるレジオネラ属菌の識別可能性の検討
田中 佐和子 *{1}，大西 脩平 {1}，石田 誠 {1}，澤田 和明 {1}，石井 仁 {1}，町田 克之 {2}，二階堂 靖彦 {3}，齋藤 光正 {3}，吉田 眞一 {4}{1} 豊橋技術科学大学，{2} 東京工業大学，{3} 産業医科大学，{4} 福岡聖恵病院

10:55-11:10

01am2-C-4

オイラー力を用いた遠心流体デバイスにおける液体の高効率ミキシングの検討
竹内 雅耶 *，山口 明啓，内海 裕一
兵庫県立大学

11:10-11:25

01am2-C-5

溶液中における SiC 上グラフェン FET 特性のドリフト評価
割石 大道 *，葛尾 理樹，谷口 嘉昭，大野 恭秀，永瀬 雅夫
徳島大学

10:25-11:40

01am2-C-6

大きな周波数可変率をもつシリコン流体 MEMS アンテナの開発
土谷 康輔 *，仕田中 悠吾，古塚 岐，鈴木 健一郎
立命館大学

24

Future Technologies from SAPPORO

第 10 回集積化 MEMS シンポジウム
ポスターセッション
10月31日（水）15:00-16:30（5F-P 会場，ホワイエ，5F）

集積化 MEMS シンポジウムポスターセッションIV

31pm2-PM-1
塗 布 型 酸 化 物 半 導 体 共 鳴 ト ン ネ ル 素 子 の た め の In2O3/Ga2O3/
In2O3 nin ダイオードの評価
遠矢 浩士 *，森 雅之，前澤 宏一
富山大学

31pm2-PM-2
Solid Solution Strengthening of Gold Based Materials for MEMS
Applications

Tang Haochun*{1}，Chen Chun-Yi{1}，Chang Tso-Fu Mark{1}，山根 大輔 {1}，小西 敏文 {2}，町田 克之 {1}，益 一哉 {1}，曽根 正人 {1}{1} 東京工業大学，{2}NTT アドバンストテクノロジ

31pm2-PM-3
微小 Ga バンプを用いた Fluidic Self-Assembly における Ga バンプの活性化と消失の抑制
中野 友寛 *，水戸 俊宏，森 雅之，前澤 宏一
富山大学

31pm2-PM-4
光干渉型表面応力センサアレイのための抗体塗り分け手法の検討
丸山 智史 *，金森 亮人，高橋 一浩，澤田 和明
豊橋技術科学大学

化学とマイクロ・ナノシステム学会主催
第 38 回研究会＊基調講演は別のページに記載されております

紙を基材としたマイクロ免疫分析デバイスの開発 〜セルロースベー
スフィルムの光学的性質の検証〜
Shin Jung Chan，笠間敏博，三宅亮
東京大学大学院工学系研究科

1P12
酸化物ナノワイヤによる尿中 microRNA の回収と解析

10月30日（火）15:30-16:45（T 会場，劇場，5-6F）

化学とマイクロ・ナノシステム学会主催 第 38 回研究会
ポスターショートプレゼンテーション II

長縄豪 1，安井隆雄 1，2，3，柳田剛 4，加地範匡 2，3，5，長島一樹 4，
鷲尾隆 6，馬場嘉信 1，2，7
1. 名古屋大学大学院工学研究科，2. 名古屋大学先端ナノバイオ研究センター，
3. JST さきがけ，4. 九州大学先導物質化学研究所，
5. 九州大学大学院工学研究院，6. 大阪大学産業科学研究所，
7. 産業技術総合研究所

1P13

16:55-18:25（6F-P 会場，ホワイエ，6F）

化学とマイクロ・ナノシステム学会主催
ポスターセッション II

1P11

第 38 回研究会

1P01
オンサイト水質計向けマイクロ流路表面処理技術 〜 MPC ポリマーの有効性検証〜
室岡駿 1，佐藤友美 1，笠間敏博 1，久代京一郎 1，高井まどか 1，
川上雅之 2，矢野大作 2，田澤英克 3，泉健太 4，三宅亮 1
1. 東京大学大学院工学系研究科，2. オルガノ株式会社，
3. マイクロ化学技研株式会社，4. 株式会社 NCE

1P02
3 次元微粒子培養系によるシート状肝組織のワンステップ作製森田明寛，矢嶋祐也，山田真澄，鵜頭理恵，関実
千葉大学大学院工学研究院

1P03
ATPS による異種モータタンパク質の固定と運動性への影響の評価
中川倫宏 1，大原駿平 1，新宅博文 2，小寺秀俊 2，横川隆司 1
1. 京都大学大学院工学研究科，2. 理化学研究所

1P04
金キャップナノピラー LSPR 基板作製と低分子抗体を利用したリア
ルタイムイムノアッセイへの応用
明山剛大 1，斎藤真人 1，2，羅希 1，2，民谷栄一 1
1. 大阪大学大学院工学研究科，2. 産総研・先端フォトバイオ

1P05
多段モールド製法による灌流共培養のための多層ゲルチューブ
板井駿，尾上弘晃
慶應義塾大学大学院理工学研究科

1P06
マイクロデバイスを用いた小型蛍光偏光測定装置の開発とその応用

中村彩乃 1，若尾摂 1，佐藤憲 2，溝口親明 2，住吉研 2，黒澤文夫 3，
真栄城正寿 4，石田晃彦 4，谷博文 4，重村幸治 2，火原彰秀 3，渡慶次学 4
1. 北海道大学大学院総合化学院，2. Tianma Japan 株式会社，
3. 東北大学多元物質科学研究所，4. 北海道大学工学院工学研究院

1P07
ナノデバイス応用を指向した 2 次元半導体に対するドナー性分子の電子供与性の制御
福井暁人 1，土方優 2，Jenny Pirillo2，一宮永 1，吉村武 1，芦田淳 1，
藤村紀文 1，桐谷乃輔 1，3
1. 大阪府大院工，2. 名大 WPI-ITbM，3. 科学技術振興機構さきがけ

1P08
早期がん診断に向けたナノ多孔質ガラスフィルターによる細胞外小胞高速分離青木啓太 1，湯川博 1，2，小野島大介 2，3，山崎秀司 4，木原直人 4，
小口亮平 4，高橋久美子 4，小高秀文 4，石川健治 1，堀勝 1，
馬場嘉信 1，2，3，5
1. 名古屋大学大学院工学研究科，2. 先端ナノバイオデバイス研究センター，
3. 未来社会創造機構，4. AGC 株式会社，
5. 産業技術総合研究所 健康工学研究部門

1P09
Fabrication of bio-actuators driven by artificial muscles organizedfrom molecular motors
王穎哲 1，平塚祐一 2，上杉薫 1，森島圭祐 1
1. 大阪大学大学院工学研究科，2. 北陸先端科学技術大学院大学

1P10
生体試料の空間分画を実現する Si ブレードアレイデバイスの開発

塩見太朗 1，平藤衛 2，石塚裕己 1，高尾英邦 1，下川房男 1，寺尾京平 1
1. 香川大学，2. ヨダカ技研株式会社

3 次元大量培養のためのマイクロウェルアレイデバイスの開発
河相桃子 1，大久保智樹 2，叶井正樹 1，2
1. 奈良先端大・物質創成，2. 島津製作所

1P14
マイクロ血管モデル開発のための Viscous fingering 法による中空状
ハイドロゲルの作製と細胞培養
秦真理奈，角田欣一，佐藤記一
群馬大院理工

1P15
テンプレートを用いた W/O 界面による 3 次元構造の自己組織化
濱野凌，鈴木宏明
中央大学大学院 理工学研究科

1P16
Evaluation of micro sampling device performance on vegetables

PANPAN GAO 1，Toshihiro Kasama 1，Maia Godonoga 1，Yoshishige Endo 1，
Tetsushi Koide2，Atsushi Ogawa 3，Ryo Miyake 1
1. University of Tokyo，2. Hiroshima University，3. Akita Prefectural University

1P17
Nano-in-Nano 集積化とフレキシブルなガラスによるナノ流路内バルブの作製

川岸啓人 1，船野俊一 2，田中陽 2，川又修一 1，許岩 1，3
1. 大阪府立大学院工学研究科，
2. 理化学研究所 生命機能科学研究センター 集積バイオデバイス研究ユニット，
3. 大阪府立大学 NanoSquare 拠点研究所

1P18
Preparation of PLGA Nanoparticles by Using a Microfluidic
Platform

BAO Yi 1，Masatoshi Maeki 2，Niko Kimura 1，Akihiko Ishida 1，
Hirofumi Tani 1，Manabu Tokeshi 1
1. Graduate School of Chemical Sciences and Engineering，Hokkaido University，
2. Division of Applied Chemistry，Hokkaido University

1P19
交流電気浸透流の流速場から体積力場への逆解析

太田槙吾 1，山本憲 2，元祐昌廣 2
1. 東京理科大学大学院工学研究科，2. 東京理科大学工学部

1P21
UV 照射機構を具備した遠心分離法による刺激応答性マイクロゲル
ビーズの生成倉科佑太 1，2，尾上弘晃 2
1. 東京工業大学物質理工学院材料系，2. 慶應義塾大学理工学部機械工学科

1P22
核酸アプタマーを表面に修飾した 3 次元変形能を持つマイクロフィ
ルタによるターゲット細胞の分離
中島雄太 1，福山創一朗 2，中竹拳志郎 2，田島彩瀬 2，北村裕介 1，
安田敬一郎 3，岩槻政晃 4，馬場秀夫 4，井原敏博 1，中西義孝 1
1. 熊本大学大学院先端科学研究部，2. 熊本大学大学院自然科学教育部，
3.（株）オジックテクノロジーズ，4. 熊本大学大学院生命科学研究部

1P23
光ファイバを用いた反射型光熱変換検出光学系

清水久史 1，竹内昌治 1，2
1. 東京大学ニューロインテリジェンス国際研究機構，
2. 東京大学生産技術研究所

1P24
ヒト iPS 細胞由来腎臓オルガノイドのオンチップ血管網構築岡田龍 1，亀田良一 1，薮内研佑 2，高里実 2，荒岡利和 3，山下潤 3，
榎竜嗣 4，横川隆司 1
1. 京都大学大学院工学研究科，
2. 理化学研究所生命機能科学研究センター（BDR），
3. 京都大学 iPS 細胞研究所，4. タカラバイオ株式会社
Future Technologies from SAPPORO

25

1P25

2P06

酵素反応初速度測定のためのミクロスケール電気泳動デバイス

ペプチドアプタマーを用いた電気化学バイオセンサーの開発

末吉健志，高尾隼空，遠藤達郎，久本秀明
大阪府立大学大学院工学研究科

1P26

2P07

微小液滴内におけるハイブリドーマの抗体産生量物質の選択的捕捉分離と脱離による検出を可能にするデバイスの創製

磯崎瑛宏 1，蔡凱侖 1，永澤和道 2，渡会浩志 2，合田圭介 1，3，4
1. 東京大学大学院理学系研究科，2. 東京大学医科学研究所，
3. Department of Electrical Engineering, University of California，Los Angeles，
4. 国立研究開発法人科学技術振興機構

金秀炫 1，2，吉田后那 1，田子沙織 1，藤井輝夫 1
1. 東京大学生産技術研究所，2. 国立研究開発法人科学技術振興機構，さきがけ

嶋田泰佑 1，2，安井隆雄 1，2，3，Sakon Rahong1，2，4，内藤寛貴 1，2，
長島一樹 5，田中祐圭 6，大河内美奈 6，柳田剛 5，7，馬場嘉信 1，2，8
1. 名古屋大学大学院工学研究科，
2. 名古屋大学先端ナノバイオデバイス研究センター，
3. さきがけ 科学技術振興機構，
4. King Mongkut's Institute of Technology Ladkrabang，THAILAND，
5. 九州大学先導物質化学研究所，
6. 東京工業大学大学院理工学研究科，7. 大阪大学産業科学研究所，
8. 産業技術総合研究所健康工学研究部門

1P28

2P08

物理境界の計算機支援設計に基づく細胞集団におけるトポロジカル
欠陥の生成位置誘導

3 次元大量培養のためのインクジェット技術を用いた細胞播種デバ
イスの開発

1P29

2P09

細胞ファイバ技術を用いた iPS 細胞由来肝細胞の 3 次元培養法の開発

電気化学デバイス上での血管内皮細胞培養

1P27
Trap-and-drop マイクロウェルアレイを用いた単一細胞ペアリング

宮廻裕樹，手島哲彦，上野祐子
NTT 物性科学基礎研究所，日本電信電話（株）

長田翔伍 1，小沢文智 1，竹内昌治 1，2
1. 東京大学生産技術研究所，
2. 東京大学国際高等研究所ニューロインテリジェンス国際研究機構（WPI-IRCN）

1P30
3D microstructures with various shapes and co-culture cells
created by cell origami technique

金澤瑞樹 1，大久保智樹 2，叶井正樹 1，2
1. 奈良先端大・物質創成，2. 島津製作所

日野翔太 1，伊野浩介 2，梨本裕司 2，3，珠玖仁 2
1. 東北大院環境，2. 東北大院工，3. 東北大学際研

2P10
スラグ流を用いたカリックスアレーンによる金属の選択的高速抽出

Qian He，Takaharu Okajima，Kaori-Kuribayashi Shigetomi
Hokkaido University

龍美月 1，2，Y. S. Kurniawan1, R. R. Sathuluri1，岩崎渉 2，森貞真太郎 1，
川喜田英孝 1，大渡啓介 1，真栄城正寿 3，宮崎真佐也 3，Jumina 4
1. 佐賀大学大学院工学系研究科，2. 産業技術総合研究所製造技術研究部門，
3. 北海道大学大学院工学研究院

1P31

2P11

異方的な皺構造を有したハイドロゲル細胞培養基材の開発

マイクロ流体デバイスにおける血管化スフェロイドの作製と培養条
件の検討

田中あや，高橋陸，上野祐子
日本電信電話株式会社 NTT 物性科学基礎研究所

寺井崇人 1，梨本裕司 2，3，伊野浩介 3，西山功一 4，横川隆司 5，三浦岳 6，
珠玖仁 3
1. 東北大学大学院環境科学研究科，2. 東北大学学際科学フロンティア研究所，
3. 東北大学大学院工学研究科，4. 熊本大学国際先端医学研究機構，
5. 京都大学大学院工学研究科，6. 九州大学大学院医学研究院

10月31日（水）10:10-11:10（T 会場，劇場，5-6F）

化学とマイクロ・ナノシステム学会主催 第 38 回研究会
ポスターショートプレゼンテーション III

化学とマイクロ・ナノシステム学会主催
ポスターセッション III

第 38 回研究会

2P01
イオン電流計測を用いた非標識での血中循環がん細胞の検出

鈴木大輝 1，2，矢崎啓寿 1，2，加地範匡 3，4，安井隆雄 1，2，4 ，
馬場嘉信 1，2，5
1. 名古屋大学大学院工学研究科 ，2. 名古屋大学先端ナノバイオデバイス研究センター，
3. 九州大学大学院工学院，4. PREST, JST，5. 産業技術総合研究所健康工学部門

2P02
自己推進液滴の運動速度に対する流体物性の効果
大坪一輝，和田隼弥，鈴木宏明，岡野太治
中央大学理工学部

2P03
in-vivo 再生治療を目指した動物培養細胞への低侵襲遺伝子導入の研究
平尾秋穂 1，三輪佳子 1，森泉康裕 2，山西陽子 1
1. 九州大学大学院工学研究院機械工学部門，2. 株式会社 BEX

2P04
多孔誘電体シートを用いた電界集中による気泡生成の研究
道本大雅，福山雄大，市川啓太，三輪佳子，山西陽子
九州大学大学院工学研究院 機械工学部門

2P05
Relationship between microtubule’s flexural rigidity and growthrate by controlling tubulin concentration
Hang Zhou 1，Naoto Isozaki 1，Taviare L. Hawkins 2，Jennifer L. Ross 3，
Ryuji Yokokawa 1
1. Kyoto University，2. University of Wisconsin La Crosse，
3. University of Massachusetts Amherst
Future Technologies from SAPPORO

2P12酸化グラフェン含有ハイドロゲルシートの蛍光応答に及ぼす 酸素含有官能基制御の効果
白井 亮洋，末吉 健志，遠藤 達郎，久本 秀明
大阪府立大学大学院工学研究科

11:20-12:50（6F-P 会場，ホワイエ，6F）

26

橋本祐介，近江みゆき，Phan Trong Tue，Manish Biyani，高村禅
北陸先端科学技術大学院大学 先端科学技術研究科

2P13
タンデム型溶液交換プロセッサーを用いた希少細胞の高効率染色
穆廷林，豊田一，山田真澄，鵜頭理恵，関実
千葉大学大学院融合理工学府

2P14
ペーパーデバイスによる POCT のための高感度競合的 ELISA の実現

前田陵我 1，小松雄士 2，佐藤優樹 2，真栄城正寿 3，石田晃彦 3，谷博文 3，
渡慶次学 3
1. 北海道大学工学部応用理工系学科応用化学コース，
2. 北海道大学大学院総合化学院総合化学専攻，3. 北海道大学大学院工学研究院

2P15
エアロゾル捕集と on chip PCR による迅速な遺伝子検知

前川拓哉 1，斉藤真人 1，2，ESPULGAR Wilfred Villariza 1，民谷栄一 1
1. 阪大院工，2. 産総研・先端フォトバイオ

2P16
光回折を利用した拡張ナノ空間におけるラベルフリー分子検出法の開発
津山慶之，馬渡和真
京都大学大学院工学研究科

2P17
マイクロデバイスに基づく皮膚切片モデルの開発
池村美咲 1，聶 銘昊 2，竹内昌治 2
1. 東京大学，2. 東京大学生産技術研究所

2P18
Development of DLD devices for Serial Femtosecond crystallography
Yuri Moratelli Piske 1，Masatoshi Maeki 2，Akihiko Ishida 2，
Hirofumi Tani 2，Manabu Tokeshi 2，
1. Graduate School of Chemical Science and Engineering, Hokkaido University
2. Division of Applied Chemistry, Faculty of Engineering, Hokkaido University

2P19
ヒト iPS 細胞の細胞分泌物の影響の評価とシミュレーション
中谷 衣里，山﨑 渉，大沼 清
長岡技術科学大学大学院工学研究科

2P20
Single Cell Transcriptomics Analysis with Positional Information
Using Silicon Chip
Rahul Bhardwaj，Phan Trong Tue and Yuzuru Takamura
Japan Advanced Institute of Science and Technology

2P21
マイクロパターン基盤を用いた視交叉上核単一ニューロンの概日振動解析

平田快洋 1，榎木亮介 2，繁富（栗林）香織 3，織田善晃 4，5，本間さと 5，
本間研一 5
1. 北海道大学大学院医学研究院，2. 北海道大学電子科学研究所，
3. 北海道大学高等教育推進機構大学院教育部，
4. 長崎大学大学院医歯学総合研究科，5. 北海道大学脳科学教育センター

2P22
キネシンの 1 分子ナノパターニングによる微小管の運動方向の制御
金子泰洸ポール 1，大庭将太郎 1，古田健也 2，大岩和弘 2，新宅博文 3，
小寺秀俊 3，横川隆司 1
1. 京都大学大学院工学研究科，2. 情報通信研究機構，3. 理化学研究所

2P23
多分散型構造体配列による流路内分子拡散の評価
内藤豊裕，岩場剛志，安達天輝，久保拓也，大塚浩二
京都大学大学院工学研究科

2P24
マイクロ流路で分離した微生物種の Hot cell-direct PCR による識別法の検討
久保いづみ，内田健一，伊藤佑子
創価大学大学院工学研究科

2P25
イラストで伝えるマイクロ・ナノシステム
佐藤暁子
東京大学 生産技術研究所

2P26
タンパク質修飾を指向したマイクロリアクターによる SchottenBaumann 反応
宅見正浩，永木愛一郎
京都大学大学院工学研究科

2P27
エピゲノムの迅速分析向けたアルキル化リンカーの創成と応用
栗田僚二，須田友美，栗之丸隆章，小島直
産総研

2P28
界面化学修飾による物理パターンに逆らう細胞シートの配向現象

山下忠紘 1，2，Philip Kollmannsberger 2，3，Viola Vogel 2
1. 慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科，
2. Laboratory of Applied Mechanobiology, Department of Health Sciences andTechnology, ETH Zurich，
3. Center for Computational and Theoretical Biology, University of Würzburg

2P29
ホールアレイ筒状グラフェンを用いた三次元培養神経組織の形成
酒井 洸児 1，手島 哲彦 1，中島 寛 1，上野 祐子 1
1. NTT 物性科学基礎研究所

2P30
薄層マイクロ ELISA の実用化を目的とした繰り返し測定と固相化抗体の長期保存の検討
森絵美 1，朝岡貴子 1，中尾達郎 1，清水久史 1，吉崎歩 2，馬渡和真 1，
北森武彦 1
1. 東京大学大学院工学系研究科，2. 東京大学医学部附属病院

2P31
人工細胞膜内の溶液交換機構の開発

山田哲也 1，大崎寿久 1，神谷厚輝 1，竹内昌治 1，2
1. 神奈川県立産業技術総合研究所，2. 東京大学生産技術研究所

13:50-14:50（T 会場，劇場，5-6F）

化学とマイクロ・ナノシステム学会主催 第 38 回研究会
ポスターショートプレゼンテーション IV

15:00-16:30（6F-P 会場，ホワイエ，6F）

化学とマイクロ・ナノシステム学会主催
ポスターセッション IV

第 38 回研究会

3P01
振動誘起流れを用いたデッドボリュームの少ないマイクロミキサー
松井駿幸，金子完治，鈴木宏明，早川健
中央大学大学院理工学研究科

3P02
酵素免疫測定法を利用した高感度イムノウォールデバイスの開発

西山慶音 1，笠間敏博 2，真栄城正寿 3，石田晃彦 3，谷博文 3，渡慶次学 3
1. 北海道大学大学院総合化学院，2. 東京大学大学院工学系研究科，
3. 北海道大学大学院工学研究院

3P03
神経系前駆細胞の分化誘導に向けた濃度勾配形成デバイスの評価

一色庸平 1，Nancy Vi 1，Stanislav L. Karsten 2，六車恵子 3，横川隆司 1
1. 京都大学大学院工学研究科，2. NeuroInDx Inc，3. 関西医科大学

3P04
迅速な単一細胞アレイの形成と標的細胞の選択的な回収
波多美咲，鈴木雅登，安川智之
兵庫県立大学大学院物質理学研究科

3P05
ナノワイヤ表面での鋳化分子認識手法の開発

堀内雅文 1，2，安井隆雄 1，2，3，長島一樹 4，柳田剛 4，馬場嘉信 1，2，5
1. 名古屋大学大学院工学研究科，2. 名古屋大学先端ナノバイオ研究センター，
3. JST さきがけ，4. 九州大学先導物質化学研究所，
5. 産業技術総合研究所健康工学研究部門

3P06
糖タンパク質分析のためのレクチン修飾ビーズ固定化チップの開発
笠井春佳，角田欣一，佐藤記一
群馬大学大学院理工学府

3P07
A novel design of competitive ELISA paper-based analytical device
with free-machine fabrication for Aflatoxin B1
Sumamal Charernchai 1，Miyuki Chikaea，Wanida Wonsawat 2，
Phan Trong Tue 1，Yuzuru Takamura 1
1. School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science andTechnology, JAPAN，
2. Faculty of Science and Technology, Suan Sunandha Rajabhat University,
THAILAND

3P08µ-STHR 法を用いたグリセロールの構造相転移の計測
髙島義之，八上雄太，上杉薫，森島圭祐
大阪大学工学研究科 機械工学専攻

3P09
糸球体および尿細管部位を有するマイクロ腎モデルを用いた排泄試験
高橋杏奈 1，渡邊健悟 2，小渕航 2，角田欣一 1，佐藤記一 1
1. 群馬大院理工，2. 第一三共

3P10
粘弾性溶液中におけるキネシンによる微小管の運動解析

古川眞之 1，金子泰洸ポール 1，Tamanna Ishrat Farhana 1，新宅博文 2，
小寺秀俊 2，横川隆司 1
1. 京都大学大学院工学研究科，2. 理化学研究所

3P11
フローマイクロリアクターを用いた官能基をもつアリールアジドの合成
相澤遥子 1，市成大輔 2，萬代恭子 1，吉田潤一 3，永木愛一郎 1
1. 京都大学大学院工学研究科，2. 日本曹達株式会社，3. 鈴鹿高専

3P12
電界誘起気泡によるパターニング技術の基礎研究

馬崎夏実，福山雄大 ，市川啓太 ，山西陽子
九州大学 州大学 大学院 工研究大学院 工研究大学院 工研究機械工学部門

3P13
微小空間におけるタンパク質結晶成長のリアルタイム計測

竹田怜央 1，山崎翔平 2，真栄城正寿 3，石田晃彦 3，谷博文 3，渡慶次学 3
1. 北海道大学工学部，2. 北海道大学大学院総合化学院，
3. 北海道大学大学院工学研究院

Future Technologies from SAPPORO

27

3P14

3P27

微生物迅速検査に向けた 1 細胞分離検出デバイス

マイクロ水滴濃縮操作を用いたナノ粒子 ―分子相互作用の観察

3P15

3P28

マイクロ流体デバイスを用いた上皮細胞縦断面の高解像度ライブイ
メージング

DNA ナノ構造集合体の相転移制御による情報を持つ液滴の創出

内田健太郎，小野島大介，湯川博，石川博，石川健治，堀健治，堀勝，
馬場嘉信
名古屋大学大学院工学研究科

中野 正義 1，荒木 誠吾 1，津金麻実子 1，2，須永 史子 1，鈴木 宏明 1
1. 中央大学大学院 理工学研究科，2. 日本学術振興会

3P16
3 次元細胞培養足場のための葉の迅速な脱細胞化
ヴァルハマ健，小田悠加，島亜衣，竹内昌治
東京大学生産技術研究所

3P17
3D プリンタで製作したマイクロ流体デバイスを用いる生体機能チップのモジュール化
孫明玥 1，吉富匠 2，木村啓志 3，金秀炫 1，藤井輝夫 1
1. 東京大学大学院工学系研究科，2. NOK 株式会社，3. 東海大学工学部

3P18
Determination of adulterated prednisolone in herbal medicines
by using miniaturized liquid chromatographVitsarut Primpray 1，Wanida laiwattanapaisal 1，Akihigo Ishida 2，
Masatoshi Maeki 2，Hirofumi Tani 2，and Manabu Tokeshi 2
1. Faculty of Allied Health Sciences, Chulalongkorn University, Thailand，
2. Faculty of Engineering, Hokkaido University, Japan

3P19
PDMS 表面への細胞外基質コートによるヒト iPS 細胞の接着特性はTCPS とは異なる
日馬優太，桃原佳克，大沼清
長岡技術科学大学大学院工学研究科

3P20
マイクロ空間におけるシランカップリング剤の不均一系合成に関する基礎的研究渕上清実，北田直也，山本健蔵，信野和也
株式会社松風 研究開発部

3P21
高品質卵子の簡便で高速な分離デバイス開発

岩崎渉 1，山中賢一 2，永田マリアポーシャ 1，真栄城正寿 3，山下健一 1，
高橋昌志 4，宮崎真佐也 3，5
1. 産業技術総合研究所製造技術研究部門，2. 佐賀大学農学部，
3. 北海道大学大学院工学研究院，4. 北海道大学大学院農学研究院，
5. 九州工業大学情報工学部

3P22
ヒト iPS 細胞由来心筋細胞によるファイバー状組織の形成

倉科佑太 1，2，佐藤龍 3，遠山周吾 4，石倉恵子 2，藤田淳 4，福田恵一 4，尾上弘晃 2，
1. 東京工業大学物質理工学材料系，2. 慶應義塾大学理工学部機械工学科，
3. 慶應義塾大学大学院総合デザイン工学専攻，
4. 慶應義塾大学 医学部 循環器内科

3P23
酵素固定化担体としての光刺激形態可変性ナノチューブ・ナノコイル
亀田直弘 1，秋山陽久 2
1. 産業技術総合研究所ナノ材料研究部門，
2. 産業技術総合研究所機能化学研究部門

3P24
PDMS マイクロチップ流路一体型テラヘルツチップの開発と微量溶液測定
芹田和則 1，北岸恵子 1，田家稜平 1，川井隆之 2，村上博成 1，斗内政吉 1
大阪大学レーザー科学研究所，理研生命機能科学研究センター

3P25
単層 ―および多層膜― グラフェンくし形電極の作製および電気化学
特性上野祐子 1，傳刀賢二 2，本間幸英 2，古川一暁 2
1. NTT 物性科学基礎研究所，日本電信電話（株），2. 明星大学理工学部

3P26
抗体医薬品中のサブビジブル粒子定量技術

飯嶋和樹 1，古川琴浩 1，豊嶋俊薫 1，片山晃治 1，神尚孝 2，山本純平 3，
関実 4
1. 東ソー株式会社，2. 千葉大学大学院融合理工学府，3. 千葉大学工学部，
4. 千葉大学大学院工学研究院

28

Future Technologies from SAPPORO

福山真央 1，2，周林 3，K. Lobko 4，M.A. Proskurnin 4，火原彰秀 1
1. 東北大学多元物質科学研究所，2. JST さきがけ，3. 東京工業大学理学院，
4. Lomonosov Moscow State University

佐藤佑介 1，2，瀧ノ上正浩 1
1. 東京工業大学情報理工学院，2. 日本学術振興会

3P29
ペット用尿糖試験紙の開発
澤山淳，竹内昌治
東京大学生産技術研究所

3P30
3 次元細胞塊アレイを用いたバイオセンシング
小田悠加，島亜衣，竹内昌治
東京大学生産技術研究所

3P31
人工細胞膜デバイスのためのポリイミドセパレータ

大崎寿久 1，金子美晴 2，荒木勝文 2，上原秀雄 2，浦敏行 3，平田肇 3，
神谷厚輝 1，藤井聡志 1，三澤宣雄 1，
竹内昌治 1，4
1. 神奈川県立産業技術総合研究所，2. レイテック株式会社，
3. 東レエンジニアリング株式会社，4. 東京大学生産技術研究所，
3. 東レエンジニアリング株式会社，4. 東京大学生産技術研究所

11月1日（木）10:10-11:10（T 会場，劇場，5-6F）

化学とマイクロ・ナノシステム学会主催 第 38 回研究会
ポスターショートプレゼンテーション V
12:25-13:55（6F-P 会場，ホワイエ，6F）

化学とマイクロ・ナノシステム学会主催
ポスターセッション V

第 38 回研究会

4P01
ハイドロゲルマイクロファイバを用いた管腔組織の構築
立花宏司，尾上弘晃
慶應義塾大学大学院理工学研究科

4P02
マイクロ／拡張ナノサイズインタフェースにおける溶質分子挙動の支配因子
岡本一真，嘉副裕，馬渡和真，北森武彦
東京大学大学院工学系研究科

4P03
簡易体液粘度測定チップ

園山義貴 1，西園寺嶺 1，小林孝一朗 2，大野宏毅 3，坂本憲児 1
1. 九州工業大学，2. 大島商船高等専門学校，3. 産業医科大学

4P04
Separation of plasma from whole blood with DMF device

Takeshi Komatsu 1，Jyong-Huei Lee 2，Manabu Tokeshi 3，Shih-Kang Fan 2
1. Graduate Schools of Chemical Sciences and Engineering, Hokkaido University，
2. Department of Mechanical Engineering, National Taiwan University，
3. Division of Applied Chemistry, Faculty of Engineering, Hokkaido University

4P05
複合ペプチドによる細胞ーナノ材料界面の構築
齊藤彰吾，立松宗一郎，田中祐圭，大河内美奈
東京工業大学物質理工学院

4P06
多光子励起過程を用いた光分解性ハイドロゲル内での多様な形状の中空構造の作製渡邉美蘭 1，2，柳川史樹 2，欠端雅之 2，佐藤琢 2，田村磨聖 2，高木俊之 2，
鳥塚健二 2，細川陽一郎 3，須丸公雄 2，杉浦慎治 2，金森敏幸 2
1. 筑波大学大学院グローバル教育院，2. 産業技術総合研究所，
3. 奈良先端科学技術大学院大学

4P07
点字デバイスを用いたピンチバルブと流体駆動

關口知央 1，佐野貴規 2，三浦岳 2，二井信行 1
1. 芝浦工業大学大学院理工学研究科，2. 九州大学大学院医学研究院

4P08

4P21

マイクロ流体デバイスを用いた apelin が血管径に与える影響の解析

低分子の収着を低減するガラス製 organ-on-a-chip デバイス

大野航平 1，佐野紘夢 1，須藤亮 1，2
1. 慶應義塾大学大学院理工学研究科総合デザイン工学専攻，
2. 慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科

4P09
酸化亜鉛ナノワイヤへの機能性ペプチド吸着と結合様式解明 ​内藤寛貴 1，安井隆雄 1，2，3，田中祐圭 4，長島一樹 5，大河内美奈 4，
柳田剛 5，馬場嘉信 1，2，6
1. 名古屋大学大学院工学研究科，
2. 名古屋大学先端ナノバイオデバイス研究センター，3. JST さきがけ，
4. 東京工業大学物質理工学院，5. 九州大学先導物質化学研究所，
6. 産総研 健康工学研究部門

4P10
マイクロチューブポンプを用いたかけ流し培養装置の開発と培養細胞の機能評価安田玲子 1，3，茂木克雄 2，足達俊吾 2，安西洋平 3，小此木孝仁 3，
上山忠孝 3，片野圭二 3，星信彦 1，夏目徹 2
1. 神戸大学大学院農学研究科，2. 産業技術総合研究所，
3. 株式会社アイカムス・ラボ

4P11
水性ポリマー二相系を用いた人工脂質膜小胞の自己組織化
齊藤明日香，鈴木宏明
中央大学理工学部

4P12
1 分子ダイナミクス解明に向けた 1 分子液滴の作製

高根里咲 1，川岸啓人 2，松井康哲 2，3，池田浩 2，3，許岩 1，2，4
1. 大阪府立大学工学域，2. 大阪府立大学大学院工学研究科，
3. 大阪府立大学分子エレクトロニックデバイス研究所，
4. 大阪府立大学 NanoSquare 拠点研究所

4P13
マイクロデバイスを用いた植物の根に対する圧縮刺激印加システムの構築
宮代 大樹，上杉 薫，森島 圭祐
大阪大学大学院工学研究科

4P14
グラフェンの蛍光消光能を利用した簡便・迅速な競合イムノアッセ
イデバイスの作製
河相優子 1，白井亮洋 2，角田正也 3，末吉健志 2，遠藤達郎 2，久本秀明 2
1. 大阪府立大学工学域，2. 大阪府立大学大学院工学研究科，
3. シスメック株式会社

4P15
2 次元半導体上における電子ドナー性分子の流動と表面状態の相関

一宮 永 1，瀧ノ上 正浩 2，福井 暁人 1，吉村 武 1，芦田 淳 1，藤村 紀文 1，
桐谷 乃輔 1，3
1. 阪府大院工，2. 東工大情報理工，3. 科学技術振興機構さきがけ

4P16
3 次元レーン形状培養空間による血管内皮細胞の形態制御
池澤雄己，尾上弘晃
慶應義塾大学大学院理工学研究科

4P17
Simple Electrochemical Sensor for Ochratoxin A Using A
Microfabricated Electrode with Immobilized Aptamer
Donny Nugraha Mazaafrianto 1，石田晃彦 2，真栄城正寿 2，谷博文 2，
渡慶次学 2
1. 北海道大学大学院総合化学院，2. 北海道大学大学院工学院

4P18
高効率な血管新生アッセイのためのマイクロ流体アレイデバイス
西村 啓吾 1，聶 銘昊 1，竹内 昌治 1，2
1. 東京大学生産技術研究所，
2. 東京大学国際高等研究所ニューロインテリジェンス国際研究機構

平間宏忠 1，佐藤琢 2，3，杉浦慎治 2，進和美 2，長崎玲子 2，3，
金森敏幸 2，井上朋也 1
1. 産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター，
2. 産業技術総合研究所 創薬基盤研究部門，3. 幹細胞評価基盤技術研究組合

4P22
発電菌・カーボンナノチューブ複合体ハイドロゲルファイバ電極の開発
小沢文智，竹内昌治
東京大学生産技術研究所

4P23
アプタマー修飾微粒子への標的分子の結合による誘電泳動特性
安川智之，岡崎仁，鈴木雅登
兵庫県立大学大学院物質理学研究科

4P24
Combined Effects of Chemotactic and Topographical Cues on Cell
Migration
Keiichiro Kushiro 1，Ryo Akihide2，Madoka Takai 1
1. Graduate School of Engineering, The University of Tokyo，
2. Graduate School of Medicine and Microbiology, Yokohama City University

4P25
ヒト iPS 細胞由来糸球体上皮細胞を用いた Glomerulus-on-a-Chipの基礎検討
劉楊 1，Ramin Banan Sadeghian 1，荒岡利和 2，長船健二 2，高里実 3，
横川隆司 1
1. 京都大学工学研究科，2. 京都大学 iPS 細胞研究所，
3. 理化学研究所生命機能科学研究センター（BDR）

4P26
単層グラフェンの転写による高分子薄膜の三次元自己組立て

手島哲彦 1，Calum S. Henderson 1，2，高村真琴 1，小川友以 1，
Shengnan Wang 1，樫村吉晃 1，佐々木智 1，後藤東一郎 1，酒井洸児 1，
中島寛 1，上野祐子 1
1. NTT 物性科学基礎研究所，2. エジンバラ大学理工学部化学科

4P27
ガラス製 50 nm 流路の作製と流動電流計測

森川響二朗 1，嘉副裕 1，塚原剛彦 2，馬渡和真 1，北森武彦 1
1. 東京大学大学院工学系研究科，2. 東京工業大学先導原子力研究所

4P28
固定化酵素の再活性化法の開発とマイクロリアクターへの応用
清田雄平 1，山口浩 2，真栄城正寿 1，渡慶次学 1，宮崎真佐也 1，3
1. 北海道大学大学院工学研究院，2. 東海大学九州教養教育センター，
3. 九州工業大学大学院情報工学研究院

4P29
マルチプレックス免疫測定のためのプラズモンニクスバイオセンサー羅希 1，2，内山幸世 1，明山剛大 2，齊藤真人 1，2，民谷栄一 1，2
1. 産総研・先端フォトバイオ，2. 大阪大学大学院工学研究科

4P30
マイクロナノバイオデバイスによる膵癌オルガノイドのダイナミクス解析
宮武由甲子 1，繁富（栗林）香織 2
1. 北海道大学大学院医学研究院，
2. 北海道大学高等教育推進機構大学院教育部

4P31
Spinning microfibers using small-amount polymer solutions
聶銘昊，竹内昌治
東京大学生産技術研究所

4P19
ハイスループット蛍光偏光イムノアッセイデバイスの開発

若尾摂 1，中村彩乃 1，佐藤憲 2，溝口親明 2，住吉研 2，黒澤文夫 3，
真栄城正寿 4，石田晃彦 4，谷博文 4，重村幸治 2，火原彰秀 3，渡慶次学 4
1. 北海道大学大学院総合化学院，2. Tianma Japan 株式会社，
3. 東北大学多元物質科学研究所，4. 北海道大学工学院工学研究院

4P20
小胞輸送を模倣したリン脂質非対称膜の融合観察

神谷厚輝 1，大崎寿久 1，2，竹内昌治 1，2
1. 神奈川県立産業技術総合研究所，2. 東京大学生産技術研究所

Future Technologies from SAPPORO

29

NEDO インフラ維持管理技術シンポジウム

30am3-PD-13
建物の構造ヘルスモニタリングシステムの開発

吉田 隆司 * {1}，下坂 哲也 {2}，佐藤 貢一 {3}，肥田 剛典 {4}{1} 横河電機，{2} 長野日本無線，{3} 大成建設，{4} 東京大学

30am3-PD-14

10月30日（火）11:00-12:30（6F-P 会場，ホワイエ，6F）

NEDO インフラ維持管理技術シンポジウム
ポスターセッション
30am3-PD-1
NEDO インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロ
ジェクト ―プロジェクトの概要と最終年度のプロジェクト運営方針―
安川 裕介 *
国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）

30am3-PD-2
道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発
武田 宗久 *{1}，中嶋 正臣 {1}，今仲 行一 {1}，下山 勲 {2}{1}{1}NMEMS 技術研究機構，{2} 東京大学

30am3-PD-3
スーパーアコースティックセンサによる橋梁センシングシステムの開発
渡部 一雄 *{1}{2}, 下山 勲 {3}，塩谷 智基 {4}{1} 東芝，{2}NMEMS 技術研究機構，{3} 東京大学，{4} 京都大学

30am3-PD-4
フレキシブル面パターンセンサによる橋梁センシングシステムの開発
小林 健 *{1}{2}，Zymelka Daniel{1}{2}，山下 崇博 {1}{2}，富樫 和義 {3}{2}，
大東 良一 {3}{1} 産業技術総合研究所，{2}NMEMS 技術研究機構，{3} 大日本印刷

30am3-PD-5
道路付帯構造物傾斜センシングシステムの開発

矢尾 博信 *{1}{2}，鈴木 健 {1}{2}，鈴木 信也 {1}{2}，北川 慎治 {1}{2}，
鮫島 友紀 {1}{2}，柿沼 実 {1}{2}，松井 伸二 {1}{2}，藤田 友一郎 {3}{1} 富士電機，{2}NMEMS 技術研究機構，{3} 中日本高速道路

30am3-PD-6
法面変位センシングシステムの開発

大島 正資 *{1}{2}，網嶋 武 {1}{2}，鈴木 信弘 {1}{2}，寺田 翼 {1}{1} 三菱電機，{2}NMEMS 技術研究機構

30am3-PD-7
無線通信ネットワーク共通プラットフォームの開発
渋谷 憲二 *{1}{2}，石川 裕治 {1}{2}{1}NTT データ，{2}NMEMS 技術研究機構

30am3-PD-8
道路インフラ状態モニタリングシステム用センサ端末の高耐久性パッケージング技術の開発
福本 宏 *{1}{2}，原田 武 {1}{2}，柏屋 俊克 {3}{2}，富樫 和義 {4}{2}，
大東 良一 {4}{1} マイクロマシンセンター，{2}NMEMS 技術研究機構，{3} 日本ガイシ，{4} 大日本印刷

30am3-PD-9
センサ端末同期用原子時計の開発

柳町 真也 *{1}{2}，原坂 和宏 {3}{2}，鈴木 暢 {3}{2}，鈴木 亮一郎 {3}{2}，池田 純一 {3}{2}，安達 一彦 {3}{2}{1} 産業技術総合研究所，{2}NMEMS 技術研究機構，{3} リコー

30am3-PD-10
ポンプの異常診断に向けたコアモニタリングシステムの開発
柴田 克彦 *，清水 昭浩，陶 昇
高砂熱学工業

30am3-PD-11
回転機器の維持管理を目的とした小型無線振動センサ端末の開発

武井 亮平 *{1}，牧本 なつみ {1}，岡田 浩尚 {1}，小林 健 {1}，伊藤 寿浩 {2}{1} 産業技術総合研究所，{2} 東京大学

30am3-PD-12
ライフラインコアモニタリングのための無線ネットワークシステム
川本 康貴 *，小林 啓洋，松永 聡彦，山口 浩平
沖電気工業

30

Future Technologies from SAPPORO

道路橋の維持管理及び防災・減災を目的としたセンサシステム研究開発佐藤 正 *{1}，高取 成毅 {1}，式田 直孝 {2}，村野 益巳 {2}，張 広鋒 {2}{1} 日本電気，{2} 首都高速道路技術センター

30am3-PD-15
道路附帯構造物モニタリングにおける巡回型データ回収方式の適用
検討
荻原 正樹，上松 正史，南 幸雄，岡田 朋子，渡邊 友介 *日立製作所

30am3-PD-16
位相解析手法を用いたインフラ構造物用画像計測システムの研究開発
藤垣 元治 *{1}，村田 頼信 {2}，栗林 賢一 {3}，武内 宣夫 {3}，前田 芳巳 {4}，津田 仁 {4}，柾谷 明大 {5}，森本 吉春 {5}{1} 福井大学，{2} 和歌山大学，{3} ジェイアール西日本コンサルタンツ，{4} 共和電業，{5}4D センサー

30am3-PD-17
橋梁計測用無線サンプリングモアレカメラの開発

柾谷 明大 *{1}，森本 吉春 {1}，Luong Anh Duy{1}，Quarles Quentin Antonio{1}，栗林 賢一 {2}，川下 光仁 {2}，武内 宣夫 {2}，津野 義博 {2}，藤垣 元治 {3}{1}4D センサー，{2} ジェイアール西日本コンサルタンツ，{3} 福井大学

30am3-PD-18
サンプリングモアレカメラを用いた鉄道橋の客観的健全度評価手法の検討
栗林 賢一 *{1}，川下 光仁 *{1}，武内 宣夫 {1}，津野 義博 {1}，藤垣 元治 {2}{1} ジェイアール西日本コンサルタンツ，{2} 福井大学

30am3-PD-19
サンプリングモアレカメラの開発と道路橋等への適用例
前田 芳巳 *，津田 仁
共和電業

30am3-PD-20
デジタル画像からコンクリートひび割れを自動検出する技術の開発
佐藤 久 *{1}，遠藤 重紀 {1}，早坂 洋平 {2}，皆川 浩 {2}，久田 真 {2}，永見 武司 {3}，小林 匠 {3}，増田 健 {3}{1} 首都高技術，{2} 東北大学，{3} 産業技術総合研究所

30am3-PD-21
超小型 X 線及び中性子センサを用いたインフラ維持管理用非破壊検査装置開発
浅見 研一 *{1}，鈴木 良一 {2}，青木 徹 {3}，三浦 到 {4}{1} 日立パワーソリューションズ，{2} 産業技術総合研究所，{3} 静岡大学，{4} 三菱ケミカル

30am3-PD-22
大面積フラットパネル型 X 線検出器と超小型 X 線源による大型配管
検査藤原 健 *，加藤 英俊，鈴木 良一
産業技術総合研究所

ポスターセッション会場レイアウト
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
ポスター

マイクロ・ナノ工学
シンポジウム ポスター

集積化 MEMS
シンポジウム ポスター

ケミナス第 38 回研究会
ポスター

NEDO インフラ維持管理技術
シンポジウムポスター

高校生のためのサイエンス・テクノロジー
研究ポスター

10月30日（火）5F ホワイエ

PS

PS

27

68
PS

PS

32

63

PS

PS

69

LN

84

PS

56

PS
82
83

LN

PS

31

64

PS

PS

PS55

76

PS48

PS40

PS47

39

PS

PS26 PS9

PS22 PS13

77

PS21 PS14 PS8 PS1
LN95 LN91 LN90 LN85
LN94 LN93 LN88 LN87

5-1

5-2

5-3

5-4

5-5

5-6

PS18 PS17 PS5 PS4

5-7

10月30日（火）6F ホワイエ

⑥

PD

1

6-1

68

6-2

PD

PD

22

6-5

（50欠番）
PN48
PN55

PD

PD

14

15

6-6

6-8

63

PN

7

PD

6-4

6-7

64

⑥ PN

6

6-3

PN

PN47

6
N5

P

PN42

33

PN

41

PN

1P17

1P24

1P25

1P31

PN17

PN24

PN25

PN32

1P16

1P09

1P08

1P01

PN16

PN9

PN8

PN1

6-9

6-10 6-11 6-12

6-13 6-14 6-15 6-16

6-17

6-18

6-19

6-20

6-21 6-22 6-23 6-24

6-25 6-26

Future Technologies from SAPPORO

31

ポスターセッション会場レイアウト
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
ポスター

マイクロ・ナノ工学
シンポジウム ポスター

集積化 MEMS
シンポジウム ポスター

ケミナス第 38 回研究会
ポスター

NEDO インフラ維持管理技術
シンポジウムポスター

高校生のためのサイエンス・テクノロジー
研究ポスター

10月31日（水）5F ホワイエ

22

HS

PS
1

1

12

6

HS

HS

PS

7

12

6

PS

15

PS

PS121 PS104

PS

5

HS

4

13

15

5

PS

PM1 P

M4

PS

14

1

16

2

4

13

5 PS

PS13

PS146
2
PS14
PS143

PS117 PS108

PS103
PS116 PS109

LN168 LN163
LN164
LN171 LN170
LN172
LN166 LN165 5-1
LN169

5-2

5-3

5-4

5-5

5-6

PS113 PS112
PS99
PS100

5-7

10月31日（水）6F ホワイエ

⑥
3P

6-1

31

6-5

32

3P
06

6-8

Future Technologies from SAPPORO

3

21

3P22

3P25 PN118

PN124

3P05

3P02 PN117

PN111

P

0

11

PN

2P17

2P24

2P25

3P01

PN87

PN94

PN95

2P16

2P09

2P08

2P01

PN86

PN80

PN78

PN77

6-9

6-10 6-11 6-12

6-13 6-14 6-15 6-16

6-17

6-18

6-20

6-19

3

10

PN

5

2
N1

2

13

PN

3P

6-6

6-7

14

26

13

PN

13

⑥ PN

3P
3P

3P

6-4

7

13

6-2
6-3

PS96

PN103
PN71

PN69

6-21 6-22 6-23 6-24

6-25 6-26

ポスターセッション会場レイアウト
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
ポスター

マイクロ・ナノ工学
シンポジウム ポスター

集積化 MEMS
シンポジウム ポスター

ケミナス第 38 回研究会
ポスター

NEDO インフラ維持管理技術
シンポジウムポスター

高校生のためのサイエンス・テクノロジー
研究ポスター

11月1日（木）5F ホワイエ

PS

PS

PS

0

PS

LN

17

7

21

PS

PS

4

17

3

21

20

PS
PS

5

23

20

0

8

17

9

21

PS

LN

2

22

PS201

2

22

PS194

6

PS18

3

PS19

5

18

PS

3

LN235 LN231
LN234 LN233 5-1

5-2

5-3

5-4

5-5

5-6

5-7

11月1日
（木）6F ホワイエ

⑥
6-1
6-2

⑥

6-3
6-4
6-5
6-6

6-7

6-8

4P17

4P24

4P25

4P31

PN156

PN163

PN164

PN172

4P16

4P09

4P08

4P01

PN155

PN118

PN146

PN138

6-9

6-10 6-11 6-12

6-13 6-14 6-15 6-16

6-17

6-18

6-19

6-20

6-21 6-22 6-23 6-24

6-25 6-26

Future Technologies from SAPPORO

33

Future Technologies 高校生のためのサイエンス・テクノロジー研究ポスター発表会 in 札幌
時：10月31日（水）15:00-17:00
ポスター発表時間：15:00-16:20
ショートプレゼンテーション：16:40-16:55
場 所：ポスター発表：5Fホワイエ
ショートプレゼンテーション：T会場（劇場）日

Future Technologies from SAPPOROでは，高校生が授業や部活動で日頃研究しているサイエンス・テクノロジーの研究発表この度プログラムの中に組み込みました。内容は，下記の通りです。
I 電子・機械分野の理系研究（物理，ロボット，コンピュータサイエンスなど）
II 化学分野の理系研究（化学，バイオなど。自然科学，環境なども含みます）
応募された下記3校13件のポスター発表とショートプレゼンテーションによって構成されるこのセッションに是非ともご参加ください。なお，高校生による研究発表ショートプレゼンテーション（T会場（劇場）10月31日（水）16:40〜16:55）は一般の方にもご参観
頂けます。
論文番号

34

研究発表のタイトル

発表者名

高校名

所属クラブ名31pm3-HS-1

クラスター化による女性の顔の検討

川村 聡太

市立札幌開成中等教育学校

31pm3-HS-2

IoT技術を用いた風車の製作・改良

田寺 将樹

市立札幌開成中等教育学校

31pm3-HS-3

自律型レスキューロボットの開発・研究

田寺 将樹

市立札幌開成中等教育学校

31pm3-HS-4

定在波から求めた重力加速度

阿部 真生子，能代川 結香

札幌日本大学高等学校

科学部

31pm3-HS-5

ネオジム磁石と反磁性体間に働く斥力

今村 美咲，菅野 紗那

札幌日本大学高等学校

科学部

31pm3-HS-6

太陽光RGB値の測定

小泉 泰央

札幌日本大学高等学校

科学部

31pm3-HS-7

金属パイプ内を落下するネオジム磁石球の速度

上原 昂大

札幌日本大学高等学校

科学部

31pm3-HS-8ゴムに働く張力と伸びの関係

竹村 康太郎

札幌日本大学高等学校

科学部

31pm3-HS-9ネオジム磁石を用いた地磁気の測定

中山 賢人

札幌日本大学高等学校

科学部

31pm3-HS-10

北広島市におけるゴマシジミ生息地の特徴と保全

田中 伯翼，高橋 美乃里，
阿部 一羽，柳内 大靖

札幌日本大学高等学校

科学部

31pm3-HS-11水素イオンによる放電の妨害

佐古田 瑞穂立命館慶祥高等学校

31pm3-HS-12

アンテナ内部で発生する共鳴現象の解明

飴 健太郎

立命館慶祥高等学校

31pm3-HS-13

何が美瑛川の河川水を「青い池」に変えるのか中川 鈴彩

立命館慶祥高等学校

Future Technologies from SAPPORO

自然科学部

Future Technologies from SAPPORO
第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

43

札幌市民公開講座

7

5

9

8

SENSOR × MUSIC
13

14

15

16

17

19

20

21

22

23

24

25

26

27

28

29

30

11

6

10

12

18

2

1

46

56

66

67

57

68

47

58

69

48

49

59

70

60

71

50

61

31

32

33

34

35

36

37

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39

40

41

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43

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55

62

72

63

73

2018 10.31 Wed

74

64

65

75

入場無料・事前登録制

http://www.sensorsymposium.org/

裏面の申込用紙でも登録できます

札幌市民交流プラザ 札幌文化芸術劇場 hitaru

JOIN US!

札幌市中央区北 1 条西 1 丁目

76

77

78

79

80

81

82

基調講演

83

84

91

17:00~

92「歌って踊って魅せる
鳥の求愛コミュニケーション」
相馬雅代 北海道大学 理学部 生物科学科 准教授
餌ねだり信号の進化/鳴禽類の歌の進化を研究。

主催：（一社）電気学会

17:50~

86

87

88

89

90

25期総勢98名で演奏「ダンプレライブ」

93

94

95

96

ダンプレ：踊る吹奏楽。北海道発祥の吹奏楽の新しい演奏スタイルです。

北海道札幌国際情報高等学校吹奏楽部
札幌市北区にある道立高校の吹奏楽部。今年で創立 21 年。

平成27年度の文部科学大臣表彰の若手科学者賞を受賞。
親の育雛投資とヒナの成長/性淘汰形質としての視聴覚シグナル/

85

97

98

ダンプレ創始者である現監督が指導する「本家ダンプレ」の三要素で北海道発祥の新しい文化を発信している。メディアに多数取り上げられている。

協力：日本機械学会、応用物理学会、化学とマイクロ・ナノシステム学会

後援：札幌市

Future Technologies from SAPPORO

35

Future Technologies 技術展示
時：技術展示時間
10月30日（火） 10:50-18:25
10月31日（水） 9:00-17:00
11月1日（木） 9:00-13:55
場 所：ホワイエ（5F，6F，ポスターセッション会場と同じ会場です）

日

時：技術プレゼンテーション
10月30日（火） 12:30-13:30
10月31日（水） 12:50-13:50
場 所：A会場（クリエイティブスタジオ，3F）先着100名様に軽食をお配りします。

日シンポジウムに併催される技術展示では，出展者のご協力によって，センサ，MEMSデバイス関係およびその応用システム製品，
各種設計ツール，製造装置，テスト評価装置，測定機器，実装技術関連，材料，書籍等を広くシンポジウム参加者に紹介いたします。
また，出展社による技術プレゼンテーションが10月30日（火），10月31日（水）に開催されます。
（参加企業19機関）

学

業 省
技
九 術総
州
工 合
ナ 業大
ノ
テ
学
ク
キ
大
学 ャリ
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ア
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チ
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ン
ケ 用
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ズ

5-2

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大
道

部

海

文

北

5-1

ホワイエ

科

学

5F

5-3

5-4

5-5

⑥

5-6

5-7

6F

6-1 日本カンタム・

デザイン

ホワイエ

6-2 山田精工⑥

6-3 三木産業
6-4 マイクロサポート
6-5 マイクロ化学技研

36

Future Technologies from SAPPORO

6-17

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6-20

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マ
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ク
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6-10 6-11 6-12

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・ワールド
6-6 ケイ

6-25 6-26

出展社による技術プレゼンテーション
出展社による技術プレゼンテーションが10月30日（火），10月31日（水）の昼食時間に行われます。1機関が5分以内で，技術の見どころを語ります。Laboratory to Market，研究開発から実用化への道を是非とも出展社のプレゼンテーションで感じ取ってください。毎日，先着100名様まで，軽食が準備されております。

開催場所：A会場 クリエイティブスタジオ（3F）
日にち順番

セッション時間

10月30日1

12:30-13:30

10月30日2

12:30-13:30

出展社名

プレゼンテーションタイトル

プレゼンター

ウシオ電機株式会社

光微細加工のMEMS・バイオデバイス
応用

吉澤 宏二

ネオアーク株式会社

500万からのDMD式マスク露光装置

小宮 佑介
人母

10月30日3

12:30-13:30

立山マシン株式会社

Ｒ＆Ｄ向け“非”半導体材料用プラズ
マエッチング装置のご紹介

10月30日4

12:30-13:30

株式会社エス・イー・アール

マイクロ流体チップを用いた、測定＆評価環境を構築したい方へ

本杉 功寿

10月30日5

12:30-13:30

PICOSUN JAPAN株式会社/
ウシオ電機株式会社

ALD技術によるMEMS高アスペクト比
成膜ソリューション

John Kenney

10月30日6

12:30-13:30

浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクスのMEMS技術を用いた分光デバイス

川端 信行

10月30日7

12:30-13:30

六甲電子株式会社

MEMS・パワー半導体・センサー向け
ウエハ裏面加工における「六甲プレミ
アムプロセス

天辻 喜則

10月30日8

12:30-13:30

シスメックス株式会社

ナノ・マイクロ空間を用いた診断デバ
イスの開発・商品化 シスメックス

堀井 和由

10月30日9

12:30-13:30

一般財団法人マイクロマシンセンター

MNOICが提供するMEMSオープンイ
ノベーション渡辺 秀明

10月30日10

12:30-13:30

カンタツ株式会社

1台2役3Dプリンター SPACE ARTのご紹介

登本 一孝

10月30日11

12:30-13:30

Zurich Instruments

ロックインアンプによるMEMSジャイ
ロスコープの特性評価

オプトサイエンス
檜垣 哲

10月31日1

12:50-13:40

日本カンタム・デザイン株式会社

SEM観察と各種AFM測定が同時にできるAFSEM小幡谷 育夫

10月31日2

12:50-13:40

株式会社マイクロサポート

マイクロサンプリング用マニピュレー
ターシステムのご紹介

前林 利典

10月31日3

12:50-13:40

九州工業大学
ンター

マイクロものづくり工房（九工大マイクロ化総合技術センター）の紹介

中村 和之

10月31日4

12:50-13:40

SPPテクノロジーズ株式会社

トリリオ ン・セ ン サ 社 会 に 向 け た
MEMS製造装置の最新技術と動向

金尾 寛人

10月31日5

12:50-13:40

文部科学省「ナノテクノロジープラット
共用施設が拓くデバイスイノベーション
フォーム」
事業微細加工プラットフォーム 〜微細加工プラットフォームのご紹介〜

富井 和志

10月31日6

12:50-13:40

株式会社ティ・ディ・シー

マイクロ化総合技術セ

10月31日7

12:50-13:40

産業技術総合研究所
テーション

10月31日8

12:50-13:40

10月31日9

12:50-13:40

超精密ラップ研磨について
TIA共用施設ス岳

ウイレムセン 有査

産総研の共用研究開発施設

池原

毅

ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

H I M T の 最 新レ ー ザ ー 直 接 描 画ソリューション —グレイスケールリソグ
ラフィから300nm—

上瀧 英郎

北海道大学創成研究機構ナノテクノロ
ジー連携研究推進室

北海道大学微細加工プラットフォームによる研究支援松尾 保孝

スポンサーシップ
第35回目となる「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムでは，次の企業様からスポンサー
シップをいただきました。ご協力御礼申し上げます。

スポンサーシップ
計測エンジニアリングシステム株式会社

ストラップスポンサーシップ
Zurich Instruments AG

日本フイルコン株式会社

Future Technologies from SAPPORO

37

フロア

出展社名

出展概要

5-1

北海道大学創成研究機構ナノテクノロジー連 北海道大学は3台の超高精度EB描画装置や多様な材料を用意した原子層堆積装携研究推進室置を活用したナノデバイス作製の研究開発を積極的に支援しています。
また，作製
Hokkaido University
したデバイスの高分解能TEM観察の実施といった微細構造解析領域との連携や，Office for the Promotion of Nanotechnology 北大が所有する多様な研究機器施設との連携を行い，幅広い研究開発サポート
Collaborative Researchを実施しています。

5F
ホワイエ

5-2

文部科学省「ナノテクノロジープラットフォー
微細加工プラットフォームは全国16大学，研究機関の保有する最先端のマイクロ・ム」事業 微細加工プラットフォーム
ナノ加工，評価装置を公開し，皆様の研究開発の支援を行っています。展示では，
Nanotechnology Platform Japan,
プラットフォームの概要と利用事例などを紹介します。
Nanofabrication Platform Consortium

5F
ホワイエ

5-3

産業技術総合研究所
TIA共用施設ステーション
TIA Open Research Platform, AIST

5F
ホワイエ

5-4

九州工業大学マイクロ化総合技術センターは，CMOS半導体デバイス，MEMS，センサー等の，マスクの作成から，試作・製造，評価までを行える一環した設備を擁九州工業大学 マイクロ化総合技術センター
し，
クラス100のクリーンルーム（4/6inch）を中心とした総合開発拠点です。すべて
Kyushu Institute of Technology, Center forの装置は公開され，広く社会の皆様にご利用いただけます。新デバイス開発や技Microelectronic Systems
術相談等，8名の教員と技術職員がサポートいたしますので，お気軽にご相談くだ
さい。

5F
ホワイエ

5-5

ナノテクキャリアアップアライアンス（Nanotech CUPAL）
Nanotech Career-up Alliance（Nanotech
CUPAL）

5F
ホワイエ

5-6

大学知財群活用プラットフォーム（PUiP）の紹介
大学知財群活用プラットフォーム「知財群」を形成し，ニーズに対して具体的な解決アプローチを迅速に提供する活Platform of University Intellectual Property 動を行っています。関係大学・機関，企業との「Face to Faceのワーキング」を基本とした効率的な活動を目指しています。

5F
ホワイエ

5-7

株式会社イチネンケミカルズ
ICHINEN CHEMICALS CO., LTD.

新しい金属用塗布型絶縁コーティング剤「クレコート」をご紹介いたします。技術
情報とともに薄膜歪みセンサへの応用実例を展示いたします。

6F
ホワイエ

6-1

日本カンタム・デザイン株式会社
Quantum Design Japan, Inc.

コンパクト原子間力顕微鏡 NAIO AFM
原子間力走査型電子顕微鏡 AFSEM他

5F
ホワイエ

φ300mm試作ウェハ，共用施設ポスター・パンフレット

科学技術人材育成費補助事業「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」に基づいてナノテクノロジー分野において実施している人材育成のための教育プ
ログラムの概要と具体的なコース内容について紹介します。

6F
ホワイエ

6-2

山田精工株式会社
YAMADA SEIKO CO., Ltd.

精密金型による小型射出成形プラスチック部品を展示致します。
○マイクロ流体チップ部品 ○プラスチック製注射針，中空マイクロニードル○高精度電子部品（VCM等）
試作から量産まで，企画からサポートし，一貫生産致します。
クリーンルーム（クラス10万）内での成形，生体適合性樹脂による成形など，医療機器部品の成形も対応致します。熟練者による金型設計・高精度な機械加工・繊細な金型組立・パワフルで精密な射出成形・卓越した金型微調整技能による，微細な展示品を是非ご覧
ください。

6F
ホワイエ

6-3

三木産業株式会社
MIKI & CO., LTD.

PDMS（シリコーン樹脂）
フィルム

6F
ホワイエ

6-4

株式会社マイクロサポート
Micro Support Co., Ltd.

マイクロサンプリング用マニピュレーターシステム

6F
ホワイエ

6-5

マイクロ化学技研株式会社
Institute of Microchemical Technology

6F
ホワイエ

6-6

ケイ・エス・ティ・ワールド株式会社
KST World Corp.

SOIウェーハ（ノーマルSOI・キャビティSOI）
当社は一般的なSOI以外にもCavity SOIウェーハやThick-BOX® SOIウェーハと言った特殊なSOIウェーハも提供しております。
Cavity SOIウェーハはMEMSデバイス製造の工数削減や歩留率の向上に大きく寄与し，大幅なコスト削減が可能となります。また，Thick-BOX® SOIウェーハは当社
独自の超厚膜熱酸化膜加工により，これまでにない厚いBOX層を持ったSOIとなっており，シリコンフォトニクスや超高耐圧な半導体パワーデバイスの早期実現が可能となります。

6F
ホワイエ

6-7

シスメックス株式会社
Sysmex Corp.

プライマリケア市場の検体検査では，簡便なイムノクロマト法に代表されるように，乾燥試薬が広く用いられてきました。乾燥試薬は反応系を簡易にし，長期保存性の点からも優れていますが，大病院の中央検査室や検査センターで用いられる大型装置と比べて，測定値バラツキや感度の点では大きく劣っています。そこで，高感度，高精度でありながら簡便に測定できるプライマリケア市場向けの血液検査システムを実現するために，DISK型のプラスティックカートリッジにマイクロ流路を具備したシステムの開発を行っています。
カートリッジの中に大型装置と同じ
液体試薬を使用するための試薬封止構造の開発を行い，開栓性能において再現性の高い構造体を作製し，所望の試薬保存性能，試薬送液性を実現することができました。試薬封止技術についてポスター展示を行います。

6F
ホワイエ

6-8

株式会社島津製作所
Shimadzu Corporation

SPM-9700パネル展示走査型プローブ顕微鏡（SPM）は，試料表面を微小なプロー
ブ（探針）で走査し，試料の三次元形状や局所的物性を高倍率で観察する顕微鏡の総称です。SPM-9700HTは，ハイスループット観察をさらに進化させました。

6F
ホワイエ

6-9

カンタツ株式会社
Kantatsu Co., Ltd

新開発，回路形成及び光造形のできる 1 台 2 役3D プリンター『SPACE ART』

ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
Heidelberg Instruments KK

レーザー直接描画装置のご紹介とその描画事例
DWL シリーズ：最小描画サイズ300nmを達成したDWL66+の新WriteMode"HighRes"，最大4000階調のグレイスケール，三次元構造の上へパターニングを可能とした新描画方式BFF（Basic Free Form）
VPG+シリーズ：改良型GLVの搭載により既存の高速描画システム"VPG"の更に3倍以上の高速化を実現
MLA シリーズ：歪み・回転・縮尺補正機能により高精度なアライメント，厚膜・3次
元露光対応

6F
ホワイエ

38

ブース#

6-10

Future Technologies from SAPPORO

フロア

ブース#

出展社名

出展概要

6F
ホワイエ

6-11

ネオアーク株式会社
NEOARK Corporation

6F
ホワイエ

6-12

Zurich Instruments AG

6F
ホワイエ

6-13

フコク物産株式会社
FUKOKU BUSSAN CO., LTD.

6F
ホワイエ

6-14

PICOSUN JAPAN株式会社／ウシオ電機株式
会社
ALD（原子層堆積）成膜用装置
Picosun Japan Co., Ltd./USHIO INC.

6F
ホワイエ

6-15

ウシオ電機株式会社
USHIO INC.

・ハンディー型吸光度計
・真 空紫外光照射装置，深紫外線照射装置，瞬時加熱光源（フラッシュランプア
ニール）

6F
ホワイエ

6-16

ローム株式会社
ROHM Co., Ltd.

センサ，MEMSとそれを活かすロームのテクノロジ

6F
ホワイエ

6-17

株式会社エス・イー・アール
S.E.R. CORPORATION

マイクロ流体チップ評価用インターフェースユニット

6-18

SPPテクノロジーズ株式会社
SPP Technologies Co., Ltd.

SPPテクノロジーズが取り扱っているMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置（DRIE）をはじめ，犠牲層エッチング装置やプラズマダイシング装置，SiCエッチン
グ装置，化合物／酸化膜エッチング装置，
プラズマCVD装置，PVD装置，分子膜成膜装置（MVD），熱処理装置，
ミニマル装置など各種製造装置をご紹介します。

6F
ホワイエ

マスクレス露光装置

・PDMS製マイクロ流路チップと送液用簡易ジャンクションポート
・接合サンプル

6F
ホワイエ

6-19

株式会社ティ・ディ・シー
TDC Corporation

研磨技術の超精密化により，高精度なものづくりを行っています。面粗さ，平面度，平行度，寸法管理，角度管理，など各種の加工仕様においてナノオーダーの幾何公差が保証可能です。
また，金属，セラミックス，ガラス，半導体，新素材などあらゆる材質に対応いたします。Si，SiO2，SOI，SiC，結晶材料などへの光学研磨，
ウエハ
薄化加工，平面・ロール面のナノインプリント用金型の精密鏡面研磨，
フレキシブ
ル素材への精密研磨など

6F
ホワイエ

6-20

ハイソル株式会社
HiSOL, Inc.

ウエスト・ボンド社製 モデル7200CR エポキシダイボンダーは接着材（銀ペースト，エポキシ材，UV硬化樹脂等）のディスペンス，
スタンピング及びチップピック
アップを行うことができる，研究開発及び少量多品種の生産等に適した卓上型のマニュアルダイボンダーです。

6F
ホワイエ

6-21

浜松ホトニクス株式会社
HAMAMATSU PHOTONICS K.K.

6F
ホワイエ

6-22

六甲電子株式会社
Rokko Electronics Co., Ltd.

加工済シリコンウエハ，SiCウエハ

6F
ホワイエ

6-23

NTTアドバンステクノロジ株式会社
NTT Advanced Technology Corporation

高感度加速度計：極微小の加速度を検出できる，高感度加速度計を実現しました。独自のメタル積層技術を用いて作製したセンサにより，デバイスのノイズを大幅に抑制します。当日は実物の展示も行います。

6F
ホワイエ

6-24

立山マシン株式会社
TATEYAMA Machine Co., Ltd.

・研究開発向けDRIE装置（卓上型モデル）
石英ガラス，
プラスチック，チタンなど，多種多様な“非”半導体材料の微細加工に適した卓上サイズ，低価格な，深掘りプラズマエッチング装置をご紹介します。
こ
れまでエッチングできなかった材料を加工したい方々，新たにプラズマエッチン
グを始めたい方々の研究開発をお手伝いします。

6F
ホワイエ

6-25

一般財団法人マイクロマシンセンター
Micromachine Center

MNOIC（MicroNano Open Innovation Center）の活動をパネルで紹介します。

6F
ホワイエ

6-26

株式会社デンソー
DENSO Corporation

デンソーにおける安心・安全分野と環境分野の取組を紹介します。

Future Technologies from SAPPORO

39

Future Technologies フォトコンテスト〜アートのようなマイクロ・ナノ テクノロジ〜

日 時：10月30日（火）11:00-20:00 10月31日（水）9:20-18:30
場 所：B会場（SCARTSスタジオ，2F）前

11月1日（木）9:00-13:55

MEMS（マイクロマシン）や微細加工等の写真を募集し，作品を掲示，表彰することで，研究分野の異なる研究者間交流や，一般の方への広報活動の一環として，2017年度E部門総合研究会よりフォトコンテストを開催してきました。今年はFuture
Technologies，センサシンポジウムで開催することができ，「〜アートのようなマイクロ・ナノ テクノロジ〜」をテーマとして18作品のご応募を頂きました。
これらアートの様な写真の内容が撮影されるまでの工程や原理を理解することで，作品をもっと興味深く閲覧できのではないでしょうか。

【作品一覧】
1．マイクロ・マキビシ（2）
山口 明啓（1），桜井 郁也（2），岡田 育夫（2），内海 裕一（1）（（1）兵庫県立大学，
名古屋大学）

酢酸銅水溶液中からの放射光光化学反応過程によって生じたマキビシ型酸化銅粒子。

2．
アリの歩行を測るフォースプレート
高橋 英俊，下山 勲（東京大学）
通路の左右にアレイ状に配置されたフォースプレートの上をアリが歩行した際に，人間の足裏反力の約1000万分の1の大きさの各脚の足裏反力が計測される。

3．Rose on Grass岡田 龍（京都大学）
微小流体デバイスに導入した細胞凝集塊（赤）と血管内皮細胞（緑）を共焦点顕微鏡で撮影。
培養を続けると血管が伸長して細胞凝集塊に繋がり，血管化組織モデルを構築できる。
創薬，病態解析への利用が期待される。

4．水玉模様・草間さんもびっくり？
宮崎 康次（九州工業大学）
高湿度下でポリスチレン膜を生成すると表面に水玉が写真のようなポーラス膜となります。水滴直径はたったの5マイクロメートル。綺麗なマイクロ水玉模様はバイオ応用など様々な場面で使われています。

5．磁性粒子の鎖状構造を用いた血液検査（2）
堀井 和由（1），小粥 教幸（2）（（1）シスメックス株式会社，
ASTI株式会社）

磁石を近づけると超常磁性ナノ粒子は数珠つなぎの鎖状構造を形成します。
これを利用して，ナノ磁性粒子を運びながら反応させることで，持ち運び可能な超小型機器で血液検査が可能になります。

6．逆オパール型フォトニック結晶
村上 弘明，小森 雄仁，小野寺 武（九州大学）
逆オパール型フォトニック結晶と呼ばれる人工結晶の写真です。シリカに約400nm周期で球形の穴が開いた多層構造をしています。結晶に光を当てると，この構造に起因したCDの裏面のような鮮やかな色が見られます。

7．
とっても小さな虫取りあみ？
中島 雄太（熊本大学）
フォトリソグラフィ技術とめっきの技術を組合わせて製作した細胞を捕まえるためのマイクロフィルタ。はじめは平たい平面形状だが，流れの力によって虫取りアミのような立体的な形状に変形する。

8．SMA蒸着と円筒リソで作った超微細アート（2）
峯田 貴（1），牧野 英司（2），安部 稔（2），久保 悠（2）（（1）山形大学，弘前大学）

形状記憶合金（SMA）の回転蒸着と円筒露光を立ち上げてステントっぽいもの作ろうとしたときの作品です。歩留まりが滅茶
苦茶悪く，たまたま撮れた奇跡の芸術写真です。

40

Future Technologies from SAPPORO

9．無機構造の生命感
津守 不二夫，中島 祥太（九州大学）
ガラスチップ内に植物の根が生きているかのように見えます。
これは植物の形状がそのまま転写された「空洞」です。SiO2ナノ粉末と焼結技術，それと植物培養を組み合わせた新しいプロセスを開発中です。

10．微薇（マイクロぜんまい）山下 馨（京都工芸繊維大学）
幅50µm×長さ2mmのカンチレバーですが，バイモルフ構造の層間応力差を補償しないと，二周くらいまで見事に丸まってく
れます。

11．
コイルの空中浮遊吉田 慎哉（東北大学）
飲み込み型深部体温計の組立途中の写真。折りたたんだPCB基板に通信用コイルを接続。
接続部のワイヤの剛性によって空中に浮いたように見える。

12．
カッパドキア（2）
土屋 智由（1），中川 洋人（2），鷹尾 祥典（2）（（1）京都大学，
横浜国立大学）

超小型衛星用エレクトロスプレースラスタ用のSi製エミッタとしてSF6の等方性エッチング→ボッシュプロセスで高さ200umの鉛筆形電極アレイを作製しています。
エッチング直後，厚膜レジストが帽子のように残り，あたかもカッパドキアの風景のようになりました。

13．大地鳴動
神田 健介（兵庫県立大学）
シリコンウエハ上にスパッタ法により成膜した圧電薄膜のPb（Zr,Ti）O3薄膜の電子線顕微鏡像を時系列に並べました。特性がいまひとつだと電子線によるチャージで膜にクラックが入っていきます。何かが出てきそうな雰囲気です。

14．小さなうさぎさん？
陳 元依（横浜国立大学）
ミクロな造形ができる独自の3Dプリンターを用いて，バイオセラミックで歯を再生するための足場を造形したら，なぜだか可愛いうさぎさんに見えてきました。逆さまに見てみると，歯の形に見えるでしょうか？

15．天球儀〜SEMの中で織りなす宇宙〜
猪股 直生（東北大学）
Si片持ち梁先端上に手作業で配置された直径10umの磁性球体。
形状，表面の具合はまるで天球のようであり，周囲の微細加工構造と相まって，微細加工技術の，宇宙のような無限の可能性を暗示しているようだ。

16．
シリコン製ポスター展示会場
峯田 貴（山形大学）
学生の実習で行ったシリコンRIEで出来上がった“ポスター会場”風のマイクロパネルです。

17．イースト細胞を操作する世界最小の遠隔操作可能な光駆動マイクロロボット
生田 幸士，嶋田 直矢（東京大学）
光硬化樹脂を2光子吸収の100ナノメータ分解能で3次元造形したロボットハンド。
YAGレーザ光駆動で指，リスト，アームが光駆動でき，液滴内で細胞反力をリアルタイム測定しつつ操作可能な生物学の革新的ツール。

18．0.3mmエリアのビル群
鶴岡 典子（東北大学）
SiのDeep RIEにて貫通エッチング後，サンプルを電子顕微鏡にて確認中，ウエハーの端にアライメントマークがひっそり。写真上部はさざ波，平坦部は砂の様にも見え，まるで海岸砂丘にそびえ立っていたビル郡に見えます。

Future Technologies from SAPPORO

41

委員会
◆第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」
シンポジウム実行委員会
実行委員長
野田 和俊
実行副委員長
鈴木 博章
幹事
工藤 寛之
副幹事
肥後 昭男
副幹事
安藤
毅
若手企画主担当長谷川有貴
若手企画副担当
野村 健一
会場委員長
繁富（栗林） 香織
論文委員長
神田 岳文
論文副委員長
峯田貴
論文副委員長河野 剛士
論文委員会オブザーバー
安藤 妙子
財務委員長
平井 義和
財務副委員長米田 雅之
企業展示委員長
磯部 良彦
企業展示副委員長
柴山 勝己
行事企画担当松永 忠雄
行事企画担当藤田 孝之
行事企画担当
横川 隆司
広報委員長
高尾 英邦
応用物理学会シンポ担当
積知範
日本機械学会シンポ担当
三木 則尚
化学とマイクロ・ナノシステム研究会担当
宮崎真佐也
エレクトロニクス実装学会企画セッション担当
高木 秀樹
電子情報通信学会担当（オブザーバー）
新津 葵一
顧問
古賀 章浩
顧問
田畑
修

産業技術総合研究所
筑波大学
明治大学
東京大学
東京電機大学
埼玉大学
産業技術総合研究所
北海道大学
岡山大学
山形大学
豊橋技術科学大学
立命館大学
京都大学
アズビル
デンソー
浜松ホトニクス東北大学
兵庫県立大学
京都大学
香川大学
オムロン
慶應義塾大学
北海道大学
産業技術総合研究所
名古屋大学
東芝メディカルシステムズ京都大学◆第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」
シンポジウム論文委員会
論文委員長
論文副委員長
論文副委員長
論文委員会オブザーバー
分野 1
設計・製作技術，材料
主査
副査

分野 2
マイクロナノシステム
主査
副査

42

神田
峯田
河野
安藤

岳文
貴
剛士
妙子

岡山大学
山形大学
豊橋技術科学大学
立命館大学

菅
哲朗
安藤 妙子
伊藤 寿浩
入江 康郎
岩瀬 英治
岩見健太郎
内海
淳
小西
聡
小西 敏文
佐々木 実
式田 光宏
下川 房男
菅野 公ニ
積
知範
武居 正彦
生津 資大
望月 俊輔

電気通信大学
立命館大学
東京大学
みずほ情報総研
早稲田大学
東京農工大学
三菱重工業
立命館大学
NTT アドバンステクノロジ
豊田工業大学
広島市大学
香川大学
神戸大学
オムロン
富士電機
愛知工業大学NTT データ数理システム

高橋 一浩
肥後 昭男
綾野賢冶郎
小野 崇人
蒲原 敦彦
後藤 正英
澤田 廉士
島内 岳明
田中 秀治
塚本 貴城
年吉
洋
鳥山 寿之
古田 一吉
三田 吉郎
村上 賢治
山根 大輔

豊橋技術科学大学
東京大学
アオイ電子
東北大学
横河電機
NHK 放送技術研究所
九州大学
富士通研究所
東北大学
東北大学
東京大学
立命館大学
セイコーインスツル
東京大学
オリンパス
東京工業大学

Future Technologies from SAPPORO

分野 3
センサ・アクチュエータシステム		
主査
佐々木 敬
副査
橋口
原
和泉慎太郎
才木 常正
桜井 淳平
高尾 英邦
高松 誠一
土屋 智由
前中 一介
室山 真徳
渡部 俊久
分野 4
フィジカルセンサ		
主査
池沢
聡
副査
竹井 裕介
赤井 大輔
荒川 貴博
大山 浩市
蔭山 健介
笠原 崇史
神田 健介
柴崎 一郎
寒川 雅之
高橋 英俊
橋本 和彦
原
基揚
廣田 正樹
室
英夫
山下
馨
山本
敏
吉田 幸久
分野 5
ケミカルセンサ		
主査
小野寺 武
副査
青野 宇紀
安藤
毅
石田
寛
関口 哲志
竹井 義法
田原 祐助
中本 高道
南保 英孝
長谷川有貴
林
健司
松倉
悠
松本 裕之
山口 富治
分野 6
バイオセンサ		
主査
内田
諭
副査
松永 忠雄
遠藤 達郎
河野 剛士
末廣 純也
高村
禅
田畑 美幸
外山
滋
野田 俊彦
三澤 宣雄
村上 裕二
安田
隆
横川 雅俊
分野 7
バイオマイクロナノシステム		
主査
永井 萌土
副査
石田
忠
尾上 弘晃
木村 啓志
鈴木 孝明
竹内 昌治
中島 正博
西岡 泰城
西迫 貴志
肥田 博隆
堀池 重吉
松本 壮平
三木 則尚
山本貴富喜
横川 隆司
吉田昭太郎

東北大学
静岡大学
神戸大学
兵庫県立工業技術センター
名古屋大学
香川大学
東京大学
京都大学
兵庫県立大学東北大学
NHK 放送技術研究所

九州大学
産業技術総合研究所
豊橋技術科学大学
東京医科歯科大学
デンソー
埼玉大学
法政大学
兵庫県立大学
野口研究所
新潟大学
東京大学
パナソニック
情報通信研究機構
九州大学
千葉工業大学京都工芸繊維大学
フジクラ
三菱プレシジョン

九州大学
日立製作所
東京電機大学
東京農工大学
早稲田大学
金沢工業大学
九州大学
東京工業大学
金沢大学
埼玉大学
九州大学
大阪大学
岩崎電気
東京電機大学首都大学東京東北大学
大阪府立大学
豊橋技術科学大学
九州大学
北陸先端科学技術大学院大学
東京医科歯科大学
国立障害者リハビリセンター
奈良先端科学技術大学院大学
麻布大学
静岡理工科大学
九州工業大学
筑波大学

豊橋技術科学大学
東京工業大学慶應義塾大学
東海大学
群馬大学
東京大学
名古屋大学
日本大学
東京工業大学神戸大学
島津製作所
産業技術総合研究所
慶應義塾大学
東京工業大学
京都大学
東北大学

分野 8
実装学会連携		
主査
高木 秀樹
副査
野上 大史
井口 義則
伊藤 高廣
多喜川 良
枦 修一郎
日暮 栄治
藤野 真久
山口 明啓

◆第 10 回集積化 MEMS シンポジウム実行委員会		
産業技術総合研究所
九州大学
NHK 放送技術研究所
九州工業大学
九州大学
東北大学
産業技術総合研究所／東京大学
産業技術総合研究所
兵庫県立大学◆第 9 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム実行委員会		
実行委員長
プログラム委員長
実行委員

三木
宮崎
太田
尾上
角田
菅
桑名
米谷
鈴木
巽
長藤
生津
森本
		

則尚
康次
裕貴
弘晃
直人
哲朗
健太
玲皇
宏明
和也
圭介
資大
雄矢

慶應義塾大学
九州工業大学横浜国立大学慶應義塾大学首都大学東京電気通信大学
東京電機大学
東京大学
中央大学
京都大学
東京大学
愛知工業大学
東京大学

		
実行委員長
積
知範 オムロン
副実行委員長 兼 論文委員長
秦誠一 名古屋大学
実行委員 兼 副論文委員長
高尾 英邦 香川大学
実行委員
Irene Lin（林 育青） Goertek Technology Japan
論文委員		
石井仁 豊橋技術科学大学
伊藤 浩之 東京工業大学
猪股 直生 東北大学
金谷 晴一 九州大学
河野 剛士 豊橋技術科学大学
米谷 玲皇 東京大学
佐々木 実 豊田工業大学
曽根 正人 東京工業大学
高藤 美泉 日本大学理工学部
高橋 一浩 豊橋技術科学大学
田中 秀治 東北大学
土屋 智由 京都大学
永瀬 雅夫 徳島大学
馬場 昭好 九州工業大学
日暮 栄治 産業技術総合研究所
松本 佳宣 慶應義塾大学
町田 克之 東京工業大学
三田 吉郎 東京大学
山根 大輔 東京工業大学
李
相錫 鳥取大学◆化学とマイクロ・ナノシステム学会
		実行委員長 	宮崎真佐也実行委員 	
真栄城正寿
谷
博文
石田 晃彦
清田 雄平

第 38 回研究会実行委員会
北海道大学工学研究院
北海道大学工学研究院
北海道大学工学研究院
北海道大学工学研究院
北海道大学工学研究院◆2019案内◆

Future Technologies from
HAMAMATSU 2019
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」
シンポジウム
第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
第11回集積化MEMSシンポジウム
2019年11月19日（火）〜11月21日（木） アクトシティ浜松
Future Technologies from SAPPORO

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Future Technologies from SAPPORO

Future Technologies from SAPPORO

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山田精工株式会社は皆さまのアイデアをカタチにします
流体チップ向け樹脂製マイクロパーツの㻌設計から試作・量産製造までトータルでサポート致します㻌
モールド㻌
形状設計㻌
㻌㻼㻼㻘㻼㻱㻘㻼㻯㻘㻼㻳㻭等㻌
金型開発㻌

一貫した受託業務

量産㻌
製造㻌

町工場ならではの臨機応変で柔軟な対応

スマートフォン等
デジタルデバイス向け
超小型精密パーツの設計・製造技術

マイクロパーツ㻌
試作㻌

試作開発例㻌㻔東京大学㻌北森武彦教授㻕㻌
マイクロチップ着脱式㻌
検出デバイス㻌

ポンプ

サンプル
インジェクタマイクロチップ流路㻌
切り替えバルブ㻌

検出部
混合部
基盤

分離部

マイクロ流体チップ㻌
(μ㻙㼀㻭㻿㻕㻌
〒㻥㻠㻢㻙㻜㻜㻡㻝新潟県魚沼市今泉㻠㻢㻟㻌 㻌 㼁㻾㻸㻦㻌㼔㼠㼠㼜㻦㻛㻛㼥㼍㼙㼍㼐㼍㻙㼟㻚㼖㼜㻛㻌㼀㻱㻸㻌㻔㻜㻞㻡㻕㻣㻥㻥㻙㻟㻡㻡㻡㻌 㻲㻭㼄㻌㻔㻜㻞㻡㻕㻣㻥㻥㻙㻟㻡㻡㻣㻌 （お問合せは大平または瀬下まで）㻌

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Future Technologies from SAPPORO

高精度精密加工と高圧射出成形によるマイクロニードルの設計・製造技術ステッパー／スキャナ⽤レチクル

お問い合わせ先【事業所アライナー⽤マスク

⽇本フイルコン株式会社

住所〒206－8577
東京事業所
ステッパー／スキャナ⽤レチクル
東京都稲城市⼤丸2220

ファインエレクトロニクスカンパニー

営業部

】

電話番号

ＦＡＸ番号

042-378-4141

042-378-4400

アライナー⽤マスク

http://filcon-photomask.com/

Future Technologies from SAPPORO

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ＰＤＭＳ微細加⼯製品の量産技術を開発︕

PDMSの特徴

PDMSは石英ｶﾞﾗｽに匹敵する透明度を持ち、自家蛍光性が低い為、蛍光反応を利用して分析する用途の基板として有用です。又、材料が液状で粘度が低い為金型への転写性が良く、鏡面出しやｻﾌﾞﾐｸﾛﾝ～
ﾐｸﾛﾝｵｰﾀﾞｰの微細加工対応が可能となります。
さらに生体への適合性が高いという特徴を活かすことで、DNA・生菌・細胞・ﾀﾝﾊﾟｸ質の分析、あるいは培養への応用に期待が出来ると考えています。

ＰＤＭＳ流路の量産ができるって
ホント？

①量産技術
微細加工された金型を用いｲﾝｼﾞｪｸｼｮﾝ成形することにより、製品寸法の精度を出しつつ、注入孔など形状のﾊﾞﾘｴｰｼｮﾝを付与すると共に数万個～数百万個/月の生産、供給を可能としました。

②試作技術
ﾌｫﾄﾘｿｸﾞﾗﾌｨｰ技術を用いたﾚｼﾞｽﾄｴｯﾁﾝｸﾞにより微細加工されたｼﾘｺﾝｳｪﾊｰと金型を融合させ、ﾄﾗﾝｽﾌｧｰ成形によって試作を作成します。ｷｬｽﾃｨﾝｸﾞ技術では出来ない、肉厚やｼｮｯﾄ毎の寸法再現性の安定化が図れます。金型はΦ4ｲﾝﾁとΦ8ｲﾝﾁを用意しており、一枚のｳｪﾊｰで200ｼｮｯﾄを保証致します。

フコク物産株式会社 ＴＥＬ： 03-3765-3233
製品情報 http://www.gomuseikei.com

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Future Technologies from SAPPORO

ＦＡＸ ：03-3766-5691

AED
ホール管理室B18E-05409

AED(床置)２階モール
B18E-05411

AED(床置)総合案内
B18E-05410

AED(卓上)プラザ事務室B18E-05414

AＥＤ(床置)
4 階エントランスロビー
B18E-05415

AED(床置)
３階ロビー
B18E-05413

Future Technologies from SAPPORO

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AED(床置)
６階ラウンジ付近
B18E-05418

AED(床置)５階登退場付近
B18E-05417

AED(床置)６階ホワイエ
B18E-08419
AED（床置）５階ホワイエ
B18E-05417

AED(床置)７階ホワイエ
B18E-05420

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Future Technologies from SAPPOROA ED(床置)
8階ホワイエ
B18E-05421

AED(床置)
９階ホワイエ
B18E-05422

Future Technologies from SAPPORO

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会場

MAP

5-6F T会場（劇場）

3 F A会場 (クリエイティブスタジオ）

5-6F ホワイエ

2 F B会場 (SCARTSスタジオ）

4F 受付

1 F C会場 (SCARTSコート）

基調講演，講演セッション，ダンプレ技術展示会場，ポスターセッション

講演セッション 技術展示プレゼンテーション
講演セッション フォトコン
講演セッション