マイクロスキャニングステージ

マイクロスキャニングステージ

MSS series
取 扱 説 明 書MSS-50A / -50WA / -150A / -200A / -300A

1マイクロスキャニングステージ■ はじめに
このたびは、マイクロスキャニングステージ（MSS）をお買い上げいただき、ありがとうございました。
本製品をご使用になる前に、この取扱説明書をよくお読みいただき、製品の機能や性能をご理解の上、正しくお使いください。なお、お読みになった後も保管して、製品とともに末永くご愛用ください。

1 特長●薄型、軽量、大移動量を誇る自動ステージです。
●ボールねじとクロスローラーガイドの使用により高精度を実現。
●顕微鏡への取付が容易。
●原点センサを標準で装備。
●透過照明対応。
（※一部否対応）●各種ホルダをオプションで用意。
●当社ステージ用コントローラに対応。
●被検物の多様化に応じ、用途に合わせた選択が可能。

2 MSS 対応顕微鏡一覧
MSSは各メーカーの様々な顕微鏡に取付可能な設計となっています。
MSS-50A, -50WAの場合、取付用アダプタを使用して顕微鏡に取り付けます。このアダプタは顕微鏡の種類によってサイズが異なります（下表参照）。

MSS-150A, -200A, -300Aの場合、付属のネジを使用して直接顕微鏡に取り付けます（エクリプスL200（＊2）を除く）。
対応顕微鏡

MSS-50A, -50WA

メーカー

（＊1）

オリンパス

MSS-200A

MSS-300A

BH2

アダプタφ90

MX50

MX50

MX80

BX40（＊1）

アダプタφ107

MX80

MX80ー

（＊1）

アダプタφ107

BX60ーーー

オプチフォト150

オプチフォト200

オプチフォト300

エクリプスME600（＊1） アダプタφ95

エクリプスL150

エクリプスL200ーー

エクリプスLV150

ーーーー

オプチフォト100S（＊1）アダプタφ95
ニコン

MSS-150A（＊2）

エクリプスL200ー＊1：透過照明の対応不可。

＊2：取付スペーサ必要。ご注文の際のご指定によりスペーサが付属します。
【注意】●上記以外の顕微鏡への取り付けについては、当社までお問い合わせください。
●ステージを搭載する際には、使用する顕微鏡の搭載可能な荷重をご確認ください。
●透過用照明のコンデンサーレンズによっては、搭載不可能な場合がありますのでご注意ください。

2マイクロスキャニングステージ

3 付属品一覧
MSS-50A / -50WA
取扱説明書（本書）..................................................... 1 アダプタ
（ご注文時に指定があった場合は指定のアダプ .
六角レンチ
タのみが付属します。）
アダプタ取付用（レンチの呼び 2.5）..................... 1
φ95mm
（ニコン）
丸アリ用 ................................... 2
アルミプレート固定用（レンチの呼び 1.5）........... 1
φ90mm（オリンパス）
丸アリ用 ............................ 2六角穴付きボルト
φ107mm（オリンパス）
丸アリ用 .......................... 2アダプタ取付用（M3）............................................ 4
アルミプレート ......................................................... 1MSS-150A
取扱説明書（本書）..................................................... 1 アルミプレート ............................................................. 1六角レンチ
ニコン エクリプスL200 指定時のみ付属
本体固定用（レンチの呼び 3）................................ 1
スペーサ ................................................................ 1
アルミプレート固定用（レンチの呼び 1.5）........... 1六角レンチ
六角穴付きボルト
スペーサ固定用（レンチの呼び 5）..................... 1
本体固定用（M4）................................................... 4六角穴付きボルト
スペーサ固定用（M6）......................................... 4

MSS-200A / -300A
取扱説明書（本書）..................................................... 1 六角穴付きボルト
六角レンチ
本体固定用（M4）................................................... 4
本体固定用（レンチの呼び 3）................................ 1
本体固定用（M6）................................................... 4
本体固定用（レンチの呼び 5）................................ 1
アルミプレート ......................................................... 1
アルミプレート固定用（レンチの呼び 1.5）........... 1目

次

12
3
45678

特長 .............................................................. 2
MSS 対応顕微鏡一覧 ................................... 2
付属品一覧 .................................................... 3
使用上のご注意 ............................................ 4
各部の名称と機能 ......................................... 5顕微鏡への取付 ............................................ 7
ステージ面の平行調整 .................................. 9
手動操作 ..................................................... 109

主な仕様 ..................................................... 11
1. 製品仕様 ................................................. 11
2.モータ仕様（モータ単体）......................... 15
3. モータ内部結線 ...................................... 15
4. コネクタ結線仕様 .................................. 165.センサの仕様 ........................................... 17
6.リミット、原点信号の動作論理 .............. 17
10 コントローラ・接続ケーブル（別売）.......... 18
11 MSSシリーズ用ホルダ＆プレート ............ 20
12 保証と修理 .................................................. 213マイクロスキャニングステージ

4 使用上のご注意

10℃〜40℃

衝撃を与えないでください

使用環境にご注意ください

本製品は精密部品で構成されています。衝撃を与えた
り、他の機器からの振動の悪影響を受ける恐れのあるところで使用しないでください。保証された精度内の動作が行えなくなります。

温度の極端に高いところや低いところ、温度の変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでは使用しないでください。本製品は、周囲温度10〜40℃/湿度20〜80％
RHでご使用ください。

磁気記録媒体を近づけないでください

異常が発生したらステージに使用されているモータには強力なマグネットが使われています。フロッピーディスク、MOディスク、カセットテープなどの磁気記録媒体をステージに近づけないでください。データを破損する恐れがあります。

使用中に異音・異臭・発煙などが発生した場合は、すぐに使用を中止し、コントローラ（ドライバ）の電源をOFFにして、お買い上げの販売店または当社営業部までご連絡ください。

分解や改造をしないでください

移動中のステージに触れないでください

本製品は精密に調整されていますので、分解や改造は絶対に行わないでください。故障や動作不良の原因になります。分解や改造を起因とする精度低下や故障が発生した場合、保証が適用できなくなります。
改造や追加工が必要な場合には、当社営業部までご相談ください。

コントローラによる操作を行っているときは、移動中のステージに触れたり、手動ハンドルに触れたりしないでください。正確な動作ができなくなり、故障や動作不良の原因となるばかりでなく、指などを巻き込みけがをする恐れがあります。
また、使用中モータは発熱しています。火傷の恐れがありますので、モータには触れないよう十分ご注意ください。

4マイクロスキャニングステージ

5 各部の名称と機能
MSS-50A
MSS-50WA

12345Y軸の動き
X軸の動き

6789

1 アルミプレート

7 アルミプレート固定ネジ
MSS-50A,-50WAは側面2カ所のネジで固定されていま

2 Y 軸モータす。アルミプレートを外すときやステージ面の平行調整（→P.9）
を行うときは、このネジを緩めてください。

3 コネクタ
MSS接続ケーブル（別売）でコントローラ、またはドライ

8 X 軸手動ハンドル
手動でX軸の移動を行います。

バと接続します。

4 平行調整ねじ（3 カ所）
3カ所のねじでアルミプレート面の平行を調整します。
【重要】
ステージ移動によるピントのずれを防ぐため平行調整は正確に行ってください。

奥へ移動

手前へ移動
（時計回り）

右へ移動（時計回り）

9 X 軸モータ

5 Y 軸手動ハンドル
手動でY軸の移動を行います。

（反時計回り）

左へ移動（反時計回り）【注意】
手動ハンドルでの操作はコントローラの電源がOFF の状態、または励磁がOFFの状態で使用してください。

6 取付ネジ
ステージ本体の顕微鏡への取り付けに使用します。（→
P.7）

5

マイクロスキャニングステージ

MSS-150A
MSS-200A
MSS-300A

12345Y軸の動き

X軸の動き

678

1 アルミプレート
2 コネクタ
MSS接続ケーブル（別売）でコントローラ、またはドライ

6 アルミプレート固定ネジ
MSS-150A,-200A,-300Aは前面2カ所、側面2カ所（合計4カ所）のネジで固定されています。アルミプレートを外すときやステージ面の平行調整（P.9）
を行うときは、このバと接続します。

ネジを緩めてください。

3 Y 軸モータ

7 X 軸手動ハンドル
手動でX軸の移動を行います。

4 平行調整ねじ（3 カ所）
3カ所のねじでアルミプレート面の平行を調整します。
【重要】
ステージ移動によるピントのずれを防ぐため平行調整は正確に行ってください。

奥へ移動

手前へ移動
（時計回り）

右へ移動（時計回り）

8 X 軸モータ

5 Y 軸手動ハンドル
手動でY軸の移動を行います。

（反時計回り）

左へ移動（反時計回り）【注意】
手動ハンドルでの操作はコントローラの電源がOFFの状態、または励磁がOFFの状態で使用してください。

6マイクロスキャニングステージ

6 顕微鏡への取付■ MSS-50A / -50WA
1. しっかりとした作業台の上に布などを敷き、ステージを裏返しにして静かに置きます。
2. ステージ裏側の図の位置に「アダプタ」を付属のネジで取付けます。
アダプタは使用する顕微鏡に合わせてφ90mm用、φ95mm用、φ107mm用の3種類があります。

取付ネジ
アダプタ

MSS-50A裏面

3. 取付ネジを緩めて、顕微鏡の取付部に静かに載せます。その際、顕微鏡の取付部と取付アダプタがかみ合うように設置してください。

4. 取付ネジを締めて、ステージを固定します。

7マイクロスキャニングステージ■ MSS-150A / -200A / -300A
1. アルミプレート固定ネジ（4カ所）を緩め、アルミプレートを取り外します。

2. ステージを顕微鏡に静かに載せ、取付用の穴と顕微鏡側のネジ穴を合わせます。
3. 付属のネジでステージと顕微鏡を固定します。

8

マイクロスキャニングステージ

7 ステージ面の平行調整
ステージ面の平行調整についてステージ面の平行調整に狂いがあるとステージ移動の際ピントのずれが生じます。ステージ面の四隅でピントのずれが最小になるように調整してください。

1. アルミプレート固定ネジを緩めます。
●MSS-50A, -50WAの場合、側面に2カ所の固定ネジがあります。
●MSS-150A, -200A, -300Aの場合、前面と側面にそれぞれ2カ所（合計4カ所）の固定ネジがあります。
2. アルミプレートの平行調整ネジ（3カ所）を回して平行調整を行います。
ネジを時計方向に回すと上がり、反時計方向で下がります。

3. ステージを四隅でピントを確認し、平行調整を行います。
4. 平行調整が終了したら、アルミプレート固定ネジを締め付けます。

平行調整ネジ（3カ所）

アルミプレート固定ネジ

MSS-150A

9マイクロスキャニングステージ

8 手動操作
コントローラの電源がOFFの状態、または励磁がOFFの状態の場合、ステージを手動で移動させることができます。
【注意】● 上記以外での手動操作は、機械の故障の原因となるばかりでなく思わぬ事故の原因となる場合がありますので、絶対に行わないでください。
● 手動でステージを移動させた場合、ステージ位置がリミットセンサの検知範囲外になっている場合があります。そのまま、モータ駆動を行うと故障や誤動作の原因となります。手動操作でステージを大きく移動させた場合は、手動で元の位置または原点まで戻してください。

奥へ移動

左へ移動

右へ移動

MSS-150A

10手前へ移動マイクロスキャニングステージ

9 主な仕様1. 製品仕様
MSS-50A / -50WA
仕項目

様MSS-50A

MSS-50WA

移動方向

X・Y軸2方向移動量±25mm

ステージ面

X軸±50mm

155mm×155mm

使用モータ

Y軸±25mm

205mm×155mm

PMM33AH2 相当（5線式ペンタゴン結線）

分解能

0.002mm（0.001mm）

送りねじリード1mm

移動ガイド

V溝とクロスローラ

真直度（水平・垂直）

0.008mm

位置決め精度

0.005mm

水平 0.010mm 垂直 0.015mm
X軸 0.010mm Y軸 0.005mm

繰り返し精度±0.002mm

ロストモーション

0.002mm

耐荷重

29.4N（3kgf）

質量

2.7kg（アルミプレートを除く）

最高速度（8,000pps時）

3.3kg（アルミプレートを除く）

16mm/sec（8mm/sec）

材質

アルミ合金

標準付属品

アルミプレート

MSS-150A / -200A / -300A
項目

仕MSS-150A移動方向
移動量
ステージ面
使用モータ

±75mm

±100mm±150mm

280mm×230mm

355mm×305mm

460mm×405mm

PMM33AH2相当（5線式ペンタゴン結線）
1mm

移動ガイド

V溝とクロスローラ
水平 0.010mm 垂直 0.015mm

水平 0.015mm 垂直 0.025mm−0.010mm

0.015mm0.040mm

繰り返し精度±0.002mm

ロストモーション

0.003mm

耐荷重
質量

49N（5kgf）
5.1kg（アルミプレートを除く） 7.3kg（アルミプレートを除く）

最高速度（8,000pps時）

16mm/sec（8mm/sec）

材質

アルミ合金

標準付属品
※分解能および移動速度の（PMM35AH2相当（5線式ペンタゴン結線）

0.002mm（0.001mm）

送りねじリード

位置決め精度MSS-300A

X・Y軸2方向

分解能

真直度（水平・垂直）様MSS-200A

アルミプレート）の数値はハーフステップ時の数値です。

※位置決め精度は移動量の1/10に対しての精度です。
※MSS-300Aの真直度についてはお問い合せください。

1110.3kg（アルミプレートを除く）

マイクロスキャニングステージ〔寸法図〕
MSS-50A
1107014.5ｺﾈｸﾀ

928-M3深サ5424-φ86221

100

70

2 φ1555120200

φ13φ66154-R10ﾟ1521

ﾟ

35

30 15.521155

4630

Y軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

80.55110

100

取付ねじ

X軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ
ｱﾙﾐﾌﾟﾚｰﾄ
水平調整用ねじ(3ヶ所)MSS-50WA
160

70

928-M3深さ542ｺﾈｸﾀ

14.54-φ86100

155

200522120φ1270

φ136φ6ﾟ

15104-R1521

ﾟ

35516030 15.52180.5

205

4630
Y軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

100取付ねじX軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ
ｱﾙﾐﾌﾟﾚｰﾄ
水平調整用ねじ(3ヶ所)

12マイクロスキャニングステージ

MSS-150A
210

110
96

ｺﾈｸﾀ位置変更可能

134
4-M6深サ11

ｺﾈｸﾀ

4-4.5ｷﾘ,7.5深ｻﾞｸﾞﾘ深ｻ5107

20

254-M4深サ1160
φ1490190

250296

230

130
140

5

1046

4-R

Y軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ
22.5 33.5 12280

14668

5210

X軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

4-7ｷﾘ,11深ｻﾞｸﾞﾘ深ｻ7190

180
134

4-M4
100

90

φ14

水平調整用ねじ(3ヶ所)174

ｱﾙﾐﾌﾟﾚｰﾄ

130110

ﾆｺﾝ ｴｸﾘﾌﾟｽL200用ｽﾍﾟｰｻ

MSS-200A
270
4-7ｷﾘ,11深ｻﾞｸﾞﾘ深ｻ7

134

3020

ｺﾈｸﾀ位置変更可能

1104-4.5ｷﾘ,7.5深ｻﾞｸﾞﾘ深ｻ5145

450

φ1490

130

250

325
371

305

615

464-R

Y軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ
22.5 33.5 12355

685250270

X軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

ｱﾙﾐﾌﾟﾚｰﾄ
水平調整用ねじ(3ヶ所)

1346ｺﾈｸﾀ

マイクロスキャニングステージ

MSS-300A
4-7ｷﾘ,11深ｻﾞｸﾞﾘ深ｻ7134

ｺﾈｸﾀ位置変更可能

110

188

30

20

4-4.5ｷﾘ,7.5深ｻﾞｸﾞﾘ深ｻ5370

4590130345

425

405

0φ1446471

6Y軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ
22.5 33.5 12

460

68

5345

370

X軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

ｱﾙﾐﾌﾟﾚｰﾄ
水平調整用ねじ(3ヶ所)

1446ｺﾈｸﾀ

マイクロスキャニングステージ

2.モータ仕様（モータ単体）
項目

仕モータ型式
励磁最大静止トルク

PMM33AH2相当

PMM35AH2相当

0.033Nm (0.33kgcm)

0.03Nm (0.6kgcm)

電流0.75A／相ロータ慣性モーメント

9x10-7kgm2 (9gcm2)

18x10-7kgm2 (18gcm2)

0.1kg

0.17kg

質量モータ構造

ハイブリッド型

巻線相数

5相ステップ角

フルステップ 0.72゜ ハーフステップ 0.36゜

静止角度誤差絶緑抵抗様±5分
常温常湿においてモータのコイルケース間をDC500Vメガーで測定した値が100MΩ以上あります。

絶縁耐圧

常温常湿においてモータのコイルケース間に50Hz 0.5kVを1分間印加しても異常を認めません。

絶縁階級

B種（130℃）

温度上昇

常温常湿において定格電流で5相励磁・静止状態のとき80℃以下（抵抗法）

使用温度範囲

−10℃〜50℃※静止角度誤差：フルステップ（0.72゜）無負荷時の値（負荷により変動します）※本モータはオリエンタルモータ社の標準品ではありません。

3. モータ内部結線
青

D相

A相

黒

赤

B相

C相

緑

E相

15

橙

マイクロスキャニングステージ

4. コネクタ結線仕様【注意】●ステージとコントローラの間のケーブルは3m以内にしてください。
●センサ信号入力はコントローラ側においてフォトカプラ等でのアイソレーションを推奨します。

16

マイクロスキャニングステージ

5.センサの仕様
ステージ内センサ

コントローラ側

ステージセンサ等価回路

Icc

6,10番センサ用電源出力（5〜24V）

Vcc
Io

Vcc

7,8,10,17,18,20番

センサ信号入力

OUTVo
9,19番

センサ用コモン（GND）

GND

出力形態
：オープンコレクタ
センサ電源電圧（Vcc）：5V〜24V
センサ消費電流（Icc） ：30mA（センサ1個当り）
最大電圧（Vo）
：30V
最大電流
（Io）
：50mA

6.リミット、原点信号の動作論理
MSSシリーズは、ステージ移動量のセンター付近に原点センサを設けています。原点前センサはありません。
リミットセンサ

原点センサ

N.C.

N.C.

N.C.：ノーマルクローズ（遮光時ON）

17

マイクロスキャニングステージ

10 コントローラ・接続ケーブル（別売）
1. 接続方法
当社製コントローラとの接続を示します。お客様の仕様に合わせてご購入ください。万が一、間違って購入された場合には、速やかに当社までご連絡ください。

MSSシリーズ

接続ケーブルコントローラ・ドライバ

QT-CD1
ACB-MSS3

QT-CM2
ACB-MSS-D3

QT-MD1/MD2
QT-SD-2

QT-CN6

オリエンタルモータ（株）社製のドライバなど

製品名
1軸コントローラドライバ
2軸コントローラドライバ
6軸コントローラ
1軸マイクロステップドライバボックス
2軸マイクロステップドライバボックス
2軸スタンダードドライバボックス
MSS接続ケーブル

製品番号

QT-CD1
QT-CM2
QT-CN6
QT-MD1QT-MD2
QT-SD2
ACB-MSS3
ACB-MSS-D3

価格￥62,000￥130,000￥198,000￥80,000￥145,000￥150,000￥20,000￥15,000※コントローラには、操作ボックスなどを用意しておりますので、当社カタログをご参照ください。
※MSS接続ケーブルは、一本でステージ2軸の接続ができます。
※QT-CD1およびQT-MD1は、1軸制御です。本製品を制御する場合は、2台必要となります。

2. コントローラの設定
本製品のセンサ論理は以下のとおりです。使用するコントローラのリミットセンサ、原点センサのセンサ論理を合わせる必要がありますので、ご注意ください。

■ ステージのセンサ論理
ステージの種類
MSSシリーズ

リミットセンサ 原点前センサ
N.C.
−

原点センサ

N.C.

N.C.：ノーマルクローズ※MSSシリーズに、原点前センサはありません。

18マイクロスキャニングステージ■ ディップスイッチの設定
当社製コントローラQT-CD1/CM2/CN6で動作させる場合、コントローラによって工場出荷時の初期設定と異なる場合がありますので、以下のようにコントローラの設定を行ってください。ディップスイッチ設定の詳細については、コントローラの取扱説明書をご参照ください。

■ パラメータの設定
原点前センサと原点センサの論理設定は、コントローラのパラメータ設定で行います。工場出荷時の初期設定は、原点前センサ「N.C.」、原点センサ「N.O.」となっています。原点前センサと原点センサの論理設定は、原点復帰モードと関係がありますのでご注意ください。
パラメータNo.

01
0203

項目
原点センサ論理と使用／未使用
原点前センサ論理と使用／未使用
原点復帰モード

設定値

設定内容

20
2
32：N.C.
0：未使用
原点・Z相
原点

原点復帰モードについて
MSSシリーズでは、上記表の原点復帰モード2つの中から選択できます。当社としては、「設定値：3」を推奨いたします。原点復帰の動作については、コントローラの取扱説明書をご参照ください。

3. 表示単位の設定
QTシリーズコントローラでは、パラメータ設定によりステージの移動量をmm単位やμm単位などでの表示が可能です。パラメータNo.19,20の設定を、ステージの分解能に合わせて設定を行ってください。
例：0.000mm→mm単位でμmまで表示する。
ステージの分解能：0.002mm
パラメータNo.

1920

項目
転移表示の選択
単位表示の分解能

19

設定値

設定内容

12000

1：mm表示（1μmまで）
2000：0.002×1,000,000

マイクロスキャニングステージ

11 MSSシリーズ用ホルダ＆プレート（オプション）
製品名

MSS-50A

MSS-50WA

MSS-150A

MSS-200A

MSS-300A

アルミプレート （標準付属品）

MSS-50A-AL

MSS-50WA-AL

MSS-150A-AL

MSS-200A-AL

MSS-300A-AL￥10,000￥13,000￥15,000￥20,000￥35,000

ガラスプレートMSS-50A-GP

MSS-50WA-GP

MSS-150A-GP

MSS-200A-GP

MSS-300A-GP￥10,000￥13,000￥15,000￥20,000￥35,000

ウェハホルダ

3,4 インチ用

MSS-150A-4WH MSS-200A-4WH

4,5,6 インチ用

MSS-150A-6WH MSS-200A-6WH￥43,000￥45,000

6,8 インチ用￥48,000￥50,000

MSS-200A-8WH￥55,000

8 インチ用,300mm用

MSS-300A-30WH￥75,000

マスクホルダ4 インチ用MSS-150A-4MH MSS-200A-4MH

5 インチ用MSS-150A-5MH MSS-200A-5MH

6 インチ用MSS-150A-6MH MSS-200A-6MH￥23,000￥23,000￥23,000

7 インチ用
フラットベース

ウェハホルダ￥28,000￥28,000￥30,000

MSS-200A-7MH MSS-300A-7MH￥32,000￥50,000

MSS-50A-FB

MSS-50A-FB

MSS-150A-FB

MSS-150A-FB

MSS-300A-FB￥40,000￥40,000￥40,000￥40,000￥70,000

マスクホルダ20

ガラスプレートマイクロスキャニングステージ

12 保証と修理■保証期間
取扱説明書、本体貼付ラベルなどの注意書きまたはカタログ記載の取り扱いの注意に基づき、正常な使用状態で故障が発生した場合は、工場出荷日より次の期間、無償修理いたします。

保証期間

工場出荷日より 3 年間

ただし、納入後の故障により誘発される損害については、この対象範囲から除外させていただきます。
保証期間内でも下記の場合には有償修理となりますのでご了承ください。
・使用上の誤り、または修理や改造によるもの。
・お買い上げ後の落下などによる故障および損傷。
・火災、地震、水害、落雷その他天災地変、公害や異常電圧による故障および破損。
・消耗品の劣化などによる性能低下や動作異常。
・保証期間外のもの。
・事前に当社が保証範囲外と定めた製品や部品。
※この保証は、日本国内においてのみ有効です。

■保証期間中の修理お求めの販売店までご連絡ください。

■保証期間が過ぎてしまった場合の修理保証期間が過ぎてしまった場合でも、お求めになった販売店にご連絡ください。故障の状態により有償にて修理いたします。その際、修理期間の短縮、修理内容を確実にするために以下の事項をお知らせください。
・購入年月日、製品名、製品番号、製造番号。
・お客様の具体的な使用方法。
・具体的な故障内容。
・故障の原因となったと思われる点。

■お問い合わせ弊社の製品でご不明な点がありましたら下記にご連絡ください。

本社営業部

TEL.03-3257-1911

FAX.03-3257-1915

大阪出張所

TEL.06-6341-6091

FAX.06-6344-8565

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本取扱説明書に記載された内容は予告無しに変更する場合がありますのでご了承ください。また、製品についても改良のため予告無しに変更することがありますのでご了承ください。

MSS シリーズ 取扱説明書 Ver.2.1
2007/04/04 ADV.

本社営業部
大阪出張所

〒101-0063 東京都千代田区神田淡路町1-5 及川ビル3F
TEL. 03-3257-1911 FAX.03-3257-1915
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A002-A008