環境調和型機能性表面プロジェクト

研究概要集

平成23年2月23日

財団法人

神奈川科学技術アカデミー

�� �

��

��� 1

��

��� 9

��������

���23

����
������������� CVD ������������������������

���27������������ CVD ���������������������

���33���������������������������� DLC �������

���41������ UV ����������������������������

���47����������������������������������

���49�����������������������

���53

－2－

�
�

�����������������
����� ���� ����������������� ����������� ����������������������������������������������
�������������������������������������
������������� �� � � � � ��� � �������������������� � ����� �� � � ���� � �������������������������������������������������
���������������������������������� �� ������������
�����������������������������������������������
����������������������������������
��������� �����������������������������������������������
������������������������������������������������
�����������������������������������������������
����������������������������������������������� ������������������������ �����������������������������������������������
�������������������������������� ����������������������������������������������
���������������������
�������������
���� ���������� �������������������������������
�������������������������������������������
�������������������
������������
��������������������������������������������
��������������������������������������������
��������������������������������������������
��������������������������������������������
��������������

�����������������������������������������
������������
��������������������������������������������
��������������������������������������������
��������������������������������������������
���������������������������������������������
�������������������������

������������������������������������������ ������������
��������������������������������������������
��������������������������������������������

－1－

�
�

���������������������������������������������
��������������������������������������������
���������������������

����� ��������������� ���������������������������������
�������������������� ����������������������������������������������
�����������������������������������������������
������������������
����������������������
�������������������
�������������������������������������
��������������������� ����������������������������������������������
����������
�������������������������� ����������������������������������������������
��������������
����������������������������������
�����������������������������������������������
�������������

����� ��������� ����������
�������������������������������������
�����������������������������������������������
�������������������������������������������������
�����������������������������������������������
������������������

�����������
���� ������ �����������������������������������
������ ����� �������������� �����������������
��������������������� �����������������
������ ��������������� ���������� �����������������������
������������������� ������������������

� �
�
�
�
���� �����
������������������������������������������� � � � ���������������
������������������������ ���������������������������������������

���������������������� ��� ����� ���� �� � � �����

����������������������������������������
���������� ���������������� �����������������������������������������
��������������������� �� ���� ���� �� � � �����

�
�
�

－2－

�
�

����������������������������������������
��������������������������� �������������������������������������������
������������
��������������������� �� ���� ���� �� � � �����

�������������
���� ������ ����������������������������������
�������������������������������������������
��������������
������������������� �������������������������������������� �� �������
�������������������������������������������������
����������������������

������������ �� ���������

－3－

�
�

�������������������������������������� �����������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������
�
�
�
�
�

��������������������

������������������������ �����������������������������������������������
������������������������������������������������
������������������������������������������������
��������������������������������
������������������������������������������������
����������������
�
�
����
�

�
�
�
�
�
�
�
�
�
�

��������������
�����������������
�����������

���������������������������� ��������������������������������������� ���� �����
�����������������������������������������������
�����������������������������������������������
�����������������������������������������������
������������ ���� ���������������������������������
�����������
���������������������
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�

－4－

�
�

�
������������������������������������� ����������������������������������������������
�����������������������������������������������
�����������������������������������������������
�
�

�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�

��� ����

�������������������������������������������
�� ��������������������������������������������������
���������������������������������������������������
����������������������������������������������������
���������������������������������������������������
���������������������������������������������������
��������������������������� �� ��������������� �� ������
��������� �� �������������������������������������
����������������������� �����������������������������

�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�

������������������������
���������������

���������������������
�����������������

�����

�����

������

�������������

－5－

�
�

����������������������������������������
����������������������������� ��������������������������������������������������
���������������������������������������������������
�����������������������������������������������������
����������������������������� ������������������������������������������������������
����������������������������������������������������
���������������������������������

����� ������������������ ��������������������������������������������������
������������������� �� � � ������

��� ������������������
�����������

������������ ��

�������������� ���������������� ��

����������
������������������ ��������������� � ����������� � ���������������� � ����������� � ��������������� � ����������������
������������������ � ����������������������
��������������������������������������������
������������������������������������������������
������������������������������������������������
������������������������
��������������������������������������� ���������������� � � ����������������������������
�������� � � �������������������������������� � � ����������������������
�������������������������� �������������������������������
�� ������������������������������������������
����������
���������������������

�
�

－6－

�
�

�� ��������������� ���������������������������������� �� �� ������ �� ������������������������������������
����������������������������������������� �� ������ �� ���������������������������������������������
�����������������������������������������������
�����������������������������������������������
��������������� ���������������������������������������
�����������������������������������������������
��������������������������������
����������������������������������������������
�������������� �� ���������������������� �� ������
��������������������������������������
����������������������������������������������
���������������������������������������������
�������������������������������������������� ���������
����������������������������������������������
����������������������������������������������
����������������������������������������������
������������� �� ��������������������������������
����������������������������������������������
�����������������������������������������������
����������������������������������������������
����������������������������������������������
������������������������������������������������
�����������������������������������������������
����������������
����������������������������������������������
����������������������������������������������
����������������������������������������������
���������������������������������������������
����������������������������������������������
����������������������������������������������
�����������������������������������������������
���������������������������������������������

－7－

�
�

����������������������������������������������
������������������������������
��������� �� ������������������������������
��������������������������������� �� �����������������
����������������������������������������������
����������������������������������������������
���� �� � � ��������������
��������
��������������������������������������
����������������������������������������������
�������������������������������������
���������������������������������������������
����������������������������������������������
�����
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�

－8－

�� ��
������
������������
��������������������������������������������������������
���������������� ����������� �� � � ������������������������������
����� ��� ���� ���� ��� ��������
������������������������������� �� � � � � �������������������������
������ ���� ���� ��� ����������������������
��������������������������������������� �� � � ��������������������������
�����������������������
����������������������������������� �� � � ����������������
�������������������������
��������������������� �� �� � �� � � �������������������������������������� ����������������
������������������������������������� �� � � ����������
������������ ��� ��������������������� ������������������������� �� �� � � ����������������������
�����������������������
�������������������������������� �� � � � � ����������
������������ ��� ��������������������
����������������� �� �� � � ����������������������������
������ �� �����������������
�������������� �������������������
�����������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������
��������������
�����������
������������ ��������������������������������
�������������������������� �� � � ���
�
�

－9－

����������� �������������������������������� ������
�����������������������������
������������ �������������������
��������� ����������������������
��������������������
�������������������������������
�������������������������������� � � � � ����������������������
����������������������������
������������������������������������������ � � ����������������������
������������� ������������������
��������������������� �������������������������������������� � �� � �� �����������������
������������������������������������������
����������������������� � � ������
������������������������������� � �������������������������������� � ����������������������������
��������������������� � ������������������������������ � ����������������������������
����������������������������������������������������������������������
������������������������������������������������������������������������������������������������
���������������������������������������������������������
�����������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������
������������������������������������������
��������������������������������������������������������
����������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������������
���������������������������������������������������������������������������������������
���������������������
�������������������������
����������������������������������������������������������������������������
������������������������������
�����������������

－ 10 －

������������������������
��������������������������������������������������������������������������������������������
������������������������������
����������������
�������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������
��������������������������������������������������
�����������������
�����������������������������������������������������������������������������
������������������������������������������������������������������������������������������������
������������������
��������������
������������������������� ���������������� �� ������������������������
���������������� ���������
������������ �����
����������
������� ��� �������������������
�����������������
��������
��������������������
��������� ��� ���������������������� � � � �� �����������
��������������������������������������
��������� ��� ���������������������� � � � �� �����������
��������������������������������������
��������������������������������
���������� � ��� �������� �� � �� � �� �����������
������ ��� ������������
��������� �� � �� � �� ���������������������������������
������������������������������ �� ������������������� �� � �� � �� ��������������������������������
������������������������� �� ������������������� �� � �� � �� ��－ 11 －

�������������������
��������������������������������������������� �� ������������������� �� � �� � �� �������������������������������
����������������������� �� ������������������� �� � �� � �� �����������������������������������������������������������
��������
���������������������������������� �� ������������������� �� � �� � �� �����������
�����������������������
������������������� ��� ���� � �� ������� �� � �� � �� �������������������������
���������������������� ��� ������
���� �� ���������������� �� � �� � �� ���� �������������� ���������� ��� ��������
������������� �� � � � �� ��������������������������������
�����������������������
����������� � ��� �������� �� � � � � ���������������������������������������������������������
����������������
����������� � ��� �������� �� � � � � ����������������������������������������������
��������������������
���������� �� ������ �� � � � �� ���� ����������������������������������������������
��������������������� ����� ������� �� ���������������� �� � � � �� ���������������������������
������� ��� �������� � ����������������� ���� �� ����� �� � � � �� ������������������������������
�������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������� �� � � � �� ������������������������������������
��������������������� ��� �����

－ 12 －

���� ���� � �� ��������������� �� � � � � ���������������������������
���������������������������
����������� � ��� �������� �� � � � �� �������������������������������������
����� ����������������������������
���������� � ��� �������� �� � � � �� ���������������������������
�������������������������������
����������� � ��� �������� �� � � � �� ����������������������
���������������������
����������� � ��� �������� �� � � � �� ���������������������������
�������� ��� ���������������� ��� ���������� � ���������������� ���� ������� �� � � � �� ������������
������� ��� ����������������������������������������������
����� �� ������������������� �� � �� � �� ������������������������������������
������������������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� �����������������
������������������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� ��������������������������������
������������������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� ������������
������� ���������
����� �� ����������������� ��� ������ �� � �� � �� �����������
���������� ��� �����������
��������������� �� ������������� �� � � � �� �������������������������������
������ ��� ���� ���� ��� ��������
����������� � ��� �������� �� � � � �� ��������������������������������
������ ��������������������������

－ 13 －

����������� � ��� �������� �� � � � �� ��������������������������������
������ �������������������������������
����� �� �������������������� �� � � � �� ���������������������������������������������������
����������������������������������
�������� ���� �� ���������������� �� � � � �� ���������������������������������������������������
������������������������ ������ �����
�������� ���� �� ���������������� �� � � � �� ���������������������������������������������������
��������������������� �� �� ��� �� ������� ���������
�������� ���� �� ���������������� �� � � � �� ���������������������������
������ ��� �������������
�������������� ����� �� ����� �� � � � �� ��������������������������������
����������������� ��� �������
�������������� ����� �� ����� �� � � � �� ������������
���������������������������������������������������������
�����������
�������������������� �� � � � �� ������������
�������������������������
������������� ��� ���� �� ������� �� � � � � �����������
����������� ��� �������
����������� � ��� �������� �� � � � � ��� ��������������������������������
������ �������������������������������������
����������� � ��� �������� �� � � � � ��� ����������������������
�������������������������������
����������� � ��� �������� �� � � � � ����������������������
�������������������
����������� � ��� �������� �� � � � � ����

－ 14 －

����������������������������������������������������
���������������������������� ��� �� ��� ����������� ���� � �� ��������������� �� � � � � ������������������������������������������������������������
��������������������� ��� ��������
���� ���� � �� ��������������� �� � � � � �����������������������������������
����������������������������
������������������� �� � � � �� �����������
������� ���������������������������
�������������� ����� �� ������ �� � � � �� ���� �����������������
������ ���������������������������
����������������� � �� ������ �� � � � �� ������������
�����������������������
����������������� � �� ������ �� � � � �� ������������
�����������������������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� ������������
����������� ��� ���� ��� ������������������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� ������������������������������������
���������� ��� �������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� ���������������������������
������� ��������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� ���������������������������
������� ��� ���������
������ �� ������������������� �� � �� � �� �����������������
�����������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� �����������������
������������������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� ���－ 15 －

�������������������
��������������������������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� �����������������
���������������������������������
������ �� ������������������� �� � �� � �� �����������������������
���������������� ��� ��������������
����� �� ���������������� �� � �� � �� �����������������������
�����������������������������
����� �� ���������������� �� � �� � �� ������������
������ ��� ���� ���� ��� ��������
������������������� �� ������ �� � �� � � ������������������������������ ���������������
�������������������� � � ���������������������������
�������������� ��� �������������������
�������������������� � � ���������������������������
������������ ��� �������
�������������������� � � �������������� ��������������
������������������������������
���� � � � �� �������������� ��������������� ��������������
���� � � � �� ��� � �� ���������������������������
��������������������������������������������
World Tribology Congress ����� � � ��Kyoto��������������������������
��������������������������������������������������������
World Tribology Congress ����� � � ��Kyoto��������������������
������������������������������������������������������������������������

－ 16 －

������������������������������� � � ��Kyoto����������
������������� ��� ���������� � �������������������
���� � � � �� ����������������������������
����������������������
������� � ��� ��������������������� � � � �� ����������������������������� ���������������������������������
������� � ��� ���������� � � � �� ��������������������������������
���������������������
������� � ��� ���������� � � � �� ����������������������������� �������������������������
������� � ��� ���������� � � � �� ���������������������������������������������
������������������������
������������������ ��� ���������������� �� � �� � �� ������������������������������ ��������������
������������������� � �� � �� ������������������������������ ���������������������
������������������� � �� � �� ������������������������������ ��� ������������������
������������������� � �� � �� ��� ������������������������������
�������������� ��� ��������������
������������������� � �� � �� ������������
����������������������
��������������������������� � �� � �� �������������� ��������������� �� ��������������������� ����� � �� � �� ���－ 17 －

����������� ������������� �� �� �������������������
���� � �� � � �����������
��������������������������������������������������������
���������������� � �� � �� ������������
��������������������� �� ���������������������
����� � � � � �������������� ��������
����������������������
���� � � � �� �������������� ������
�����������������
���� � � � � ���������������������������
�������������������������� �� ���������������������� � � � �� ���������������������������������� ������������������������������������ �� ���������������������� � � � �� ���������������������������������� �� ���������������������� �� ���������������������� � � � �� ���������������������������
���������� �� ������������ �� ���������������������� � � � �� �����������
������� �����������������������
���� � � � �� ���������������������������������� ��������������� �� ��������
������� � ��� ���������� � � � �� ���������������������������
����������������
������� � ��� ���������� � � � �� ���

－ 18 －

������������������������
����������������� �������� � ��� ���������� � � � �� ���������������������������
������������������ �� ������������������
������� �� ������������� � � � �� ��������������������������������
���������������������������������������
����� �� ������������������������������ � � � � �������������������������������
��������������������������������
����� �� ������������������������������ � � � � ������������
������������������������������
������������� �� ������� � � � � ������������������������������
������� ����������������������
����������� �� ���������� � � � � ������������
������������������������������������
���������������������������������� � � � � ���������������������������
���������������������������������������
������������������� ���� ���������
����� � � � �� ������������
����������������������������������
������������������� � � � �� ������������
�����������
�������������������������������
�������������������������� � � � �� �����������
��������������������
�������������������������������
�������������������������� � � � �� ������������� � ������������������������� � ������������������� � �� � �� ������������� � ������������������������

－ 19 －� � ������������������� � �� � �� ������������ � �����������������
������������������� � �� � �� ������������
����������������������
������������������� � �� � �� �������������
������������������������������������ � ������������������� � �� � �� �����������
��������������������������������������������������������
�������������������������������� � �� � �� ���������������������
������������ ��� ������������
����� �� ��������������������� ��������� � ������� � �� � �� �����������������
�������� ��������������������������� � ������� � ��� ���������� � � � �� �������������������������������������
������ ������������������������� � ������� � ��� ���������� � � � �� ���������������������������������� � �������������������������� � ������� � ��� ���������� � � � �� ���������������������������� � ������������������������ � ������� � ��� ���������� � � � �� �������������������������
���������������������������������������������������������������������������������������������������
���������������������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������������������������
���������������������������������������������������������������������������������������������������
��������������������������������������������������������������������
���������������������������������������������������������������������������������������������������
����������������������������������������������������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������
�－ 20 －

�����������������������������������������������������������������������������������������������
����������������������������������������������������������������������������������������������
�����������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������
����������������������������������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������������
��������������������������������������������
��������������������������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������
�����������������������������������������������������������������������������������������������
������������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������
���������������������������������������������������������������������
������������������������������������������������������������
����������������������������������������������������
���������������������������������������������������������������������������������������
��������������������������������������������������������������������������������������
������������������������������������������������������������������������������
���������������������������������������������������������������������������������������
����������������������������������������������������������������������������������
�����������������
�������������������������������������
������������ ���� ���������������������
��������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������������������
��������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������������������������������������������
������
��������������������������������������������������������������������������
���������������������������������
�����������������
��������������������������������������������������������������������������������������������������
���������������������������������
���������������������������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������������������
���������������������������������
�������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������
�����������������������������

－ 21 －

�������������������������������������������������������
������������������������������������������������������������������������������������������������
���������������������������
���������������������������������������������
����������������������������������������������������������������������������������������
����������������������������
������������������������������������������������������
����������������������������������������������������������������������������������������
���������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������������������������������������������
���������������������������������������������������������������������������������������������������������������
���������������
���������������������������������������������������������������������������
������������������������������������������������������������������������������������
������ ������ �������� ������� �������� ����������� ����� ���������� ������ ��������� ���������� �������� ������ ������
��������������������������������������������������������������������������������������������������������������
��������������������������
�������������������������������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������������������������
�������������������������������������������������
�������������������������������������������������������������������
������������� �������������������������
�
�

�����
����� � ������������
����� �� ��� �� ������ � ������ � ������ � ��������� �� ��� �� ������ � ������ � ������ � �������� �� ��� �� ������ � ������ � ������ � �������� �� ��� �� ������ � ������ � ������ � �������� �� ��� �� ������ � ������ � ������ � ���
�
�
�
�
�
�
�

－ 22 －

��������

������������������ ����������

����������� ��������

�������������

���������

������������������

�������

�����������

�������

��������������

�������

�
�
�
�����
��������
���� ��� � �������������

�������
2009.4.1� �� 2011.3.31

���������������� ����� ��

2006.4.1� �� 2009.3.31

����� ������������ ����� ��

2006.4.1� �� 2011.3.31

����������
������ ���� ����� ��

2006.4.1� �� 2011.3.31

���������� ��� ����� ��

������������

2006.4.1� �� 2010.3.31

������� (��)2006.4.1� �� 2011.3.31

���� ������ ��

������ ��� ������ �������2009.4.1� �� 2011.3.31

�����

2008.4.1� �� 2009.3.31

�����

2006.4.1� �� 2008.3.31

��� ��

�����

2006.4.1� �� 2009.8.31

��� ���

������

2007.4.1� �� 2009.3.31

��� �

�����

2006.4.1� �� 2011.3.31

��� ������� ���� ���－ 23 －

��� ��

2009.4.1� �� 2011.3.31

������ ������

��� �

2009.4.1� �� 2011.3.31

������ ��������� ��

2007.4.1� �� 2009.3.31

������ ��������� ��

2007.4.1� �� 2009.3.31

������ ������

��� �

2006.4.1� �� 2007.3.31

������ ��������� ��

2006.4.1� �� 2007.3.31

������ ��������� ��

2006.4.1� �� 2011.3.31

�����������������

��� �

2006.4.1� �� 2011.3.31

��������������������� ��

20010.4.1� �� 2011.3.31

�������������������� ��

�����

2009.10.1� �� 2010.3.31

�����

2006.4.1� �� 2011.3.31

��������������� ���

2006.4.1� �� 2011.3.31

�����������������

��� �

2010.4.1� �� 2011.3.31

�������������������� ��

2006.4.1� �� 2011.3.31

�����������������

��� �

2010.4.1� �� 2011.3.31

�����������������

��� �

2006.4.1� �� 2010.3.31

�������������������� ���

�����

2009.12.14� �� 2011.3.31

���� ��

�����

2009.12.14� �� 2010.2.28

�� ��

�����

2009.12.14� �� 2010.2.28

��� �

�����

2006.7.1� �� 2009.3.31

��� ��

�����

2009.8.1� �� 2011.3.31

� ��������� ��

2009.8.1� �� 2011.3.31

������ ������

－ 24 －

��� ���

2010.4.1� �2011.3.31

������ ��������� ��

2010.4.1� �2011.3.31

������ ������

���������
��� �

2006.4.1� �� 2011.3.31

������
�����������������
������������� ��

2008.4.1� �� 2011.3.31

����������������������
����������

��� �

2006.4.1� �� 2011.3.31

������������������ ��

2006.4.1� �� 2010.3.31

������������������ ��

2007.4.1� �� 2011.3.31

������������������������� ��

2006.4.1� �� 2007.3.31

����������� ��� ���������
���� ��

������� (��)2010.4.1� �� 2011.3.31

������������ ����� ��

������

2010.4.1� �� 2011.3.31

������

2006.4.1� �� 2010.3.31

� ��������������� ��

�����

2006.5.1� �� 2011.3.31

��� ��

�������

2006.4.1� �� 2009.3.31

� ������������ ������ ��

2010.4.1� �� 2011.3.31

�������������������� ��

2006.4.1� �� 2010.3.31

�����������������

���� ��

2006.4.1� �� 2010.3.31

�����������������

－ 25 －

��� ��

2006.4.1� �� 2011.3.31

�����������������

��� �

2006.4.1� �� 2010.3.31

�������������������� ��

2006.4.1� �� 2010.3.31

�������������������� ��

2006.4.1� �� 2010.3.31

�������������������� ��

2006.4.1� �� 2007.3.31

������ ������

－ 26 －� ���������������������
���������������������
������� ��� ������ ����
����������������
�������

��������������������������� ��������������������������������������

��������������������������

������������������������������ ������ ����� ���������������

���������������������������

������������������������

��������� ��������� ��� �� ��� �����������������������������

���������������������������

��������������� ���� ������ � ����������������������������

������ ���� ����������������

����������������������

������ ����������������������

�������������������������������������������

������������������������

������ ��� ������������������

��������������������������

��������������������������

�����������������������������

���������������������������

����������������������

���� ��������������

��������������������������

����������

��������������������������

���� �������������

���� ��� ��������������������

�����������������������
����������������������������

����������������������������

������������������������ ����������������������������� ������������������ ����������

�������������������������

��������������������������

��������������������������

�������������������������

���������������������������

������������������
�

�
�

�

�

�

�
� Curtain�gas

ExhaustProcessgas

ExhaustCurtain
gas

�
Metal
electrode�Dielectric
plate

�

�
�

�

�

�

�

�

�

plasma�������������

����������������� �������

－ 27 －

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�
�����������������

�

�

�

�

�

�

�

�

���� ��������

��������������� ��������� ��� ���������������������������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

����������������������������

��������������������������

���������������������������

���� ������������

�

���

���

�����������������������

������ ������ ������ ������� ���������� ��� ������������ ��� ������

����� �����������������������

��������������������������

��������������������������� ����� ���������������������

��������������������������

�������������������������

��������������������������� ����������������������������

����������������������������

���� �����

�������������������������

�������������������������

������������������������������

���������������������������

��������������������������

��������������� ������ ���������� ���������������������������

����������� ����� ������������ ����������������������� ���������

��������������������������

����������������� ����� ������

��������������������������

�������������������� ������ ��������������� ��������������� ����� ����������������������������

�������������������������

���������������� ������������������

������� ����������������������

��������������������������

�������� ������� ������������������

���������� ��� ����� �������� �������������� ������������������ �������������

���������� �����������

－ 28 －

�������������������������

�������������� ���� ����������

����������������������������

���������� �����������������

��������������� ��� ����������

���������������������������

����������������������

�

0.4

�

�

0

�

�
�

� ��� ��� ������ ����������������

��������������������� ����� � ������������� ������������������ �������

��������� ��� ���������������

�� ������ �������� �����������������

��� � �����������������������

���������������������������

������� ��� ������������ ����� �����������������������������

�������

�

�

�

�

�

���� ����������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

���������

�������������������� ���� �����������������������������

�

Hardness (GPa)

1.2
0.8

50

100

150

200

250

300

Substrate temperature (ºC)
������������������

35
30
25
20
15
10
5
0

��������
�����
���

0

5 l/min10 l/min25
50
75
C2H2��� (%)

100������� ������������������� ��� �������� ������������������ ��� �������������������������������

���������������������������

��������������������������

�����������

�

�

�

�

�

���� ������������

������������ ��� ������������

��������������������������

���������������������� ���������

���������������������������

������ �����������������������

���������������������������

�

�

�

－ 29 －

1.6

0

�����
(cc/m2/day/atm)���� ����������������

2

� ��� ������� ��
������ ��������������

���� ���������

����������������������������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

����� ��� �� ��� ����������������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

������������ ��� ������������

���������������������������

��������������������������

�

���

�

�

�

�

�

8
6
4

5 l/min2

10 l/min

0
0

25
50
75
C2H2��� (%)

100������� �����������������

��������������������������

��������� ������ ��������������

���������������������������

������������������

��������������������������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

���� ����� ��������������������

���������������������������

�������������������

��������������������������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

���������

�

�

�

�

�

����������������

������������ �������������

����������������

��������������������������

���������������������������

���������������������������

����������������������������

�

�

10

�

��������������������������

���� ����������

12���� (�m/min)����������� ��� ������������

�－ 30 －

������������������

�������������������������

���������������������������

����������������

�������������������������

���������������������������

���������

�

�

�

�

�

�������

�� �������������������������

���������������������������

���������������������������

��������������������������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

－ 31 －

－ 32 －

��������������������
������������������
������� ��� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ��� ������� ������ ������� ��� ����������������

���� �������������������
�����������������������������

������������������������

�������� ������������������

�������������������������

�������������������������

������������� �������������

��������������������������

�������������������������

��������������������������

��������������������������

���� ��� ����� ��� �������������

��������������������������

�����������������������������

�������������������� ��� �������� ����������������� ����� �������������������

���� ���������� ���� �������������������

���������������������� �����

��������������������������

�������������������������

��������������������������

�������������������� ������ ���������������������������

��������������������������

��������������������������

��������������������������

��������������������������

�������������������������

���������������������������

��������������������������

���������������

��������������������������

�
�
�
�
�
�
�
��������������������������
���������������������������
��������� ���������������

���� �������������������� ���������������� ��� ������
�������������� ��������� ������ ����������� �������� ������������
�������������������������
������������2 ������������������������������

���������������������������

���������������������������

－ 33 －

�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
��������������������������
���������������������������
��������������������������
�������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
�������������������������� ������ ���������������������
��������������������������
��������������������� ������ ������������������������������
��������������������������
��������������������������
���������������������������� � � �
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
���������������������
���� ���������������
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�

���� �������������������
�����������������������������
��������������������������

���������������������� ��������

��������������������������

��������������������������

��������� �� � ����������������

��������������������� �� � �������������� ��� ������������
������������

������� ���������� �����

�� �������������������������

���� ��������������������

��������������������������� ���������������� ��� �������� ����������������� �� �� ���������
���������������������������
��������� ������ ����������� ��������
�������������������������

－ 34 －

���������������������������

����������������������������� ��� ���������������������

�������������������������

����������������������� ��� ���������������������������

����������

������� ������� ��������������

����������� ��� �� �� ����������

������������ �������� ��� �����

���� ����������� �� ���������

�����

�����

�������

�������������������

���������

��������

�����������

����������������

�

�

�

�

�

�

�

� ��������������

������

������

������

������

������

������

������� ��������������

������

������

������

������

������

������

������

������������

��

��

��

��

��

��

��

�������������

�

�

�

�

�

�

�

��

��

��

��

��

��

��

���

���

���

���

���

���

���

���

���

���

���

���

���

���

���

���

�

���

����

���

���

����

�����

�

�����

�����

�����

�����

�

��������� �������������� ������
�������������� ���������� ������
����������������������������������������������������� ������������������������� �� ��� ������ ���������
�� ��������������������������������������� ����� ��� ��������������������
���������� ��� ��������������
���������������� ��� ���������� ��� �� ��� �����������������
��������������������������
��������������������������

�����������������������

��������������������������
���� ������
���� ��������� �����������
���� ��� �������������������� ����������
�������������������������
��������������������� �������
����������������� ��� �������

－ 35 －

����� �� ��������������� �� ������� ��������������� ������ ������
�������������������������
��������������������������
��������������������������
����������������

������ ���������������

���� ��������������������� ������������������� �������
������� ��������������������
������������������� ����� ���������� ������������������������
��������������������������
��������������������������
������������������������ ����������������������� �����������
��������������������������
�������������������������
���������������������������
��������������������������
��������������������������
�������������������������
����������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
�������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
���������������������������� �������������������������
���������������������������
��������������� ���������������
�������� ��������� �������������
��������������������������
�����������������������������
���������������������������
������������������

��������������������
������������������������
��������������������������

－ 36 －

�������������� ��� �������

���� �������������������� �������������������������
�������������������������
����������� ��� ������������
��������������� �����������
�������������������������
���������������������� �����
������� ���� ��� �����������������������������
�������������� �������������
�������� ���������������� ��� ���������������������������
�������� �������������������
������������� �������������������������
��������������������������
��������������������������
������������������������� ���������������������������
���������������������� �����
���� ��� ��������������������

�������������������
�������������� ��� �����������

���� �������������

���������������������������� ����������������������� �� ��� ������������������� ��������

��������������������������

���������

���������������� ����������
��������������������������
���������������� ����� ������
���������� ���������������� ���� ������ �������������������
��������������������������
������������������������ ����������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������� ���� ��������������
��������������������������
�������������������

－ 37 －

��������������������

���� �������������������
�����������
������������������������
����������� ��� ����� ����� �������
���������������������������
����� �����������������������
�������������������� �������
��������������������������
������������� ��������������
�������������������������
�������������� ��� ����������
�������������������������
��������������������������
��������������������������
����� ��� ������������������
���������������� �����������
�������������������� �� ����
����

�
�
�
�
�
�
�
�
������� �� ��� �������� ��������

�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�����������������������
�

�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�

��� ����������
���� ���������������� ��������� ���� �������������
���������� ��� �������������
��������������������������� ���� �������������� ��� ������
��������������������������
��������� �������������������
���������� ��� ��������������

�
�
�
�
�
�
�
�
�

��, ������� (at.%)��������������������
�������������
�

� �
�
�

100.0

��������������������������
��������������������������
��������������������������
����������������

80.0

� �������������������������

60.0

Oxygen40.0

Carbon��������������������������
��������������������������
�������������������������

20.0�������������������������

0.0�������������������������

��� DLC��������,�������
����������������
����������������������������

�������������������� ��� �����
��������������������������
��������������������������
��������� ��� ������������������ ������������������

－ 38 －

���� ����������������� ������������������������
��������������������������
��������������������������
������������� ��� ����������
��������������������������
��������������������������
������������������ ���������
��������������������������
��������������������������
����������������������������� ��� ���������������������
��������������������������
��������������������������
���������������������������� ��� ���� ��� ����������������
������������������������
����������� ��������������������������������������������������
�������������
������������������������������������������������

－ 39 －

－ 40 －

���������������������������
��������������� � � � � � ��� ����� ������ ������ ������� ����� ������� ����� ��� ����������������
�������

��������������� �������������� ��������������������������
�������������������������������������

�������������������������
��������������������������

��������������������������
��������������������������� �����������������������
���������� �����������������

������������
������������ ���������������
��������������������������
�������������������������
��������������������������
��������������������������
�������������������������

��������������������������
��������������������������
������������ ��� ������������
��������������������������
��������������������������
���������������������������� ��� ����������������������

���������

���������������������������� ����������������� ��� �������

����������������������� ��� ���������� ������������������

��������������������������

�����������������������

������������������� ������ �����

���� ������ ��� ����������
������ ���������� ��� ������
������������������������������� �������������������������

�������������������������

��������������������������

������� ��� �����������������

����������������������������� ������������������������

��������������������������

������������ ��� ������������

��������� ��� ��������������

���������������������� �����

��������������������������

������������������ ��� ������

������������ ��� ������������� ���������������������������

��������

－ 41 －

�������������������������

�� �� �����������������������

���������������������������

��������������������������

����������������������������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ����������� ��� ������������������

��� - ��������� �������5N/min
DLC������

���������10mm(3/8���)������ 0.1m/s�����������������������������

���������������

���������������� ��� �������

���������������������������

���������������� ��� ���������

��� ��� ��������������������

��������������� � ����� �������� ������������������������������

�

100�m

��������������������������

�������������������
53�m��������

�������������������� ��� �����

�����
50m/s��

�������

�������

�������������������

����������������������������

���������������������������

���������������������������

���������������������������

��� ��� ����������������������

���������������������������

�������������������� ��� ������� ������������������(A5052��)

�����

�

��������������������������

���������������������������

�
�
�

�

Load at delam ination & wear, kg���������������������������

Ra0.86Rz6.58��

Ra0.02
Rz0.15

Ra0.35Rz2.68

�
�
�

�

�

Ra0.03Rz0.82����

Ra3.25Rz18.2�Ra2.63Rz13.9

�
�

�

�

�����

� � �����
�����������
�������

���������
�������
����������������������

�����
�����

���������
�������

�－ 42 －

���������
�������
���������������������

���������������������

�������� ����� ����������������
�����������������������

������ ���������������������� ������������������ ��� ������������������������ ��� ���

��DLC���

�������DLC���������������������������������

Ra0.86, Rz6.58

Ra3.25, Rz18.2

������������������������� �������

DLC������

��������������

����������

�������������������������

�������������������������

����������� ����� ��������

��������������������������

���������������������������

���� ������������������������

�����������������������������

��������������������������

������������������ ������������������������� �����������������������������

������ ����������������������

��������������������������

��������������������������

������ ������

������������������1000�13000rpm��

�

�

�

������ ������ ��� ���������
������ ��� ����������������

��������������� �������������

���

A2618 ��������
�������� Ni-P�����������������������������

A2618�W�����+����+DLC������
��������PCVD DLC

����������������� ��� �������

DLC���������������

���������� ����������������

����������������

��������� ��� ������������ �������������������������������

�������������� ���������� ��� ��������������� ��������������

����������������� ���� �������

�������� ��� �����������������

�� ��������� ��� ���������������

��������� ���� ���������������

�������������������� ��� ���������������������
�������������� ��� ����������

�������� ����� ���������������
�������� ��� �������� ���� �������� ������������������
�������������������������

���������
��������������� ��� ��������

��������������������������
�������������������������� ����������������������������
��������������������������

�������������������������
��������������������������� ��� �����������������������
�������� �������� ��� �� ����������

－ 43 －

����� ����������������

�� �����������������������

������ ��� �������������������

���������������������������

�������������������������������

������������������������������

��������������� ��������������

���������������� �������������

����� � �����������������

������� �����������

����������� ���� ���������� ���������� ���� �������������������

DLC/PC
DLC/PMMA���������������������������

������
1���������� �� ���������������

��������������� ���� ����������������

����� ������ ���������������

0.8

��������� ��� �������������

�����

�
0.6

����������������� ����������

����������������������������
0.4

���� �������� �� ��������
�����

�
�

������������������������������ �

0.2������ ��� ����� ���������������

�
0�

Sub.(Ref.)

DLC(70V) DLC(100V) DLC(200V) DLC(300V)

������ �����������

��������������������������
����������������� �����������
����� ���� �� ���� ��������������

��������������

����������� ��� �������������������

������������������������� ���Max� speed 50 mm/s

������� ������������������

�

����

�
�

20 mm

��������������������������

��������������

��������������������������
������ ���� �����������������

������ �������������

������� ��� ��������������������
���������� ��� ��������������
��������������������������

－ 44 －

��������������

��������������������� ��� �������� ����

��������������������������

����� ������������� ����
����� ����
����� ������������� ����
����� ����
������������������������������

SUJ2��������������������������

ta-C(M)��������������������������
�������������������������

a-C:H

�

�

���

���

��������������������������
������������������������� �

ta-C(T)������������
������������������

��������
������ ��� ���������������� ��������������������������� ��� �����������DLC�������

��������������������������� ��������������������������� �� �SUJ2/SUJ2� �� �

���������������������������� �� �ta-C/ta-C� �� �

������������� �� ��� �� ��������������������������

a-C:H/a-C:H� �� ��� �� �ta-C(Filter)/ta-C(Filter)� �� �

���������������������������

�
�

���

�

����

����

��������� ��� ��������������
��������������������������
������������������������

���� ����

������� ��� ��������

�

�
���

�
� � �� � �� � � � � � � � �� �� � �

�
�
�
�
�

��

�

����

�

����

����

ta-C/ta-C

����
����
����

ta-C(T)/ ta-C(T)
�

�

a-C:H
SUJ2

����

����

����

��

�������

a-C(A)

�������CVD�����������
ta-C�������

�Partially
Delaminated

���

�

�

����
������

��

���

����

�����

���

��

�

�

PCVD
�

���

�

����

PVD

CVD
��

����

����

�

���

��

���

OH�

� ��0.01������
�� ������DLC��

�����
�����

����

��������� ��� ���������

���������������

�������� �����������
�������

��������� �������� �������������
���������

�������������������������

－ 45 －

������������� �������������������������������������

�������� ���� �� �������������
�����������

�������� ���� �� ��������������

�����������

�������������������� ��� �����������

��������� ���� �� �������������

������������

���������� �������� ������������

�����������

���������� �������� ������������

�����������

������������� �������������������������������������

����������� ���� �� �����������

��������������

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

�

－ 46 －

������ �� ���������
���������������������
������� ���������
����� ����������
�������������������������
�����������������������������������������������
�������

������������� ��� �����������������������
��������������������������
�������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
������������������������� ���������������������������
������ ���� �������������� ��� ����� ����� �������������������
���������������������������
��������������������������
����������������������������
���������������������������
��������������������������
��������������������������
���������������������������
����������������� ���� ������
��������� �� ���������������
����������������������������� �������� ������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
���������������������

����
����

����
����

��

����

��������

������

����������

��������

����

����

���

���

������

������

�����

�����

��������������

��������
���� �����������
�������������������������
���������������������������
��������������������������
�����������

�������� �����

������

��������������������� ����������� ��� ������������
��������������������������
�������������������������
��������������������� �����
��������������������������� �������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
���������������������������
������������������������

���� �����
����������������������������
����������������������������
������������������������ �����������������������
����������� ��� �� ������������
����������������� ��������� �������
��������������������������
��������������

－ 47 －

���� �����������

���������������������������
�������� �� ����������������
�������������������������
�������������������������
��������� ����� ���������� �� ��� �� �������������� �� ��������
���������������������� �� ��������� ������

���

���
���
���

���
���
�

�

�

�
�
���������

������� �������������

����� ��������
������ ���������������
���� ��� ����������������� ������������ �������� �������������� ����������� �������� �������
������� ��� ����������������
��������������� ����� �� ������� ��� ������������������� ������
��������

������� ������������������������������
�������� �������������������� ��� ��� ������������������
������������������������
���������� �������������� ��� ��� �� �����������������������������
��������������������������
��������������������������
���������������������������� �� �������� �� ����� �����

����������

��������������� �� �����
��������������������

��������� �� �������������������

�������������� ���� ��� �����������

����������

��������������
������ �� ������ �� ����������
�������������������� ���������
��������������������������
��������������������������
����������������������������
������
1. �������������������,����
�������10(3)�p.229-233 (2007).

������������� ���� ��� �����������

－ 48 －

������������������������
������������
������� ���� ������ ���
���������� ������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
������������������������
��������������������������
�������� ���������� �������������������� FeO�Fe3O4�Fe2O3 �������������������
�������������������������
���������������
����� 30 ������������������
�����������������������1/3 ��������������������������
�������������������������
����������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
����������������������

���� ������������� ������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
����������

���� �������������
������������������������
�������������������������
�������������������������
������
��������
���� ���������
������������������������
�������������������������
0.6mm ���� 1�������������700����������������������������
��� 2ml �������� 2cm�����������
������������������ �����������������������
�� 0.025ml �����10�������������
�� 0.07ml�pH4.3 ���� 0.07ml�1%���-�������� 0.07ml ������ 2.5ml �����510nm ����������������

���� ��������
������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������� 1��������
�������������������
�������
������ 700���������� 15 ������
�������������������
�������
������������17wt�����������
����0.1vol%�10vol%�����������
�������������������������
�������������������������
������� 15 �����������������
�������������������������
�������������������������
���������

�������������

－ 49 －

�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������

�
�
�
�
�
�
�
�������������
���� ������

���

���

� ���
����� ���� ���

��

�
�

��

��

� ���� ������������������������
���� ������

����

����

����
�������
�����

����

�
�

��

��
�������

���������������������

���������������
���� � �����
K �����������������������
�������������������������
�������������������������
�����������
������������������������
�������������������������
�������������������������
������������������������
TOF-SIMS ��������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
��������
������������������������
�������������������������
�������������������������

����������������
������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
� Ni ����������������� Ni ������������������
������������������������
�������������������������
�����������®��������������
�����������������H �������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
��������H ����������������
�����������������Ni �������
�����������������������
������������������������
�����������������(����)���
�������������������������
�������������������������
�����������
������������������������
�������������������������
�������������������������
��������������������������
������������������
���������������ESCA ��� C�N ����������������������
������������������������
�������������������������
����������������
������������������������
�������������������������
�������������������������
�������®������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�����K ������������������
�������������������������

－ 50 －

�������������������������
�������������������������
�������������������������

���������������

����� ������ �����������������������
�����������������
������������������������
�������������������������
���� F ��������������������
�������������������������
�������������������������
��������������������������
�������������������������
���������
F ������������������������
�������������������������
�������������������������
���������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
���������������������
������������������������
�������������������������
������������F ��������� ISO9000
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������� � ������ �����������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
����������
������������������������
�������������������������
������������������������
200����������������
������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
��������������������
������������� P ����������
�� E ����������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
P �����������������������
�������������������������

��������������������������
�������������������������
�������������������������
��������������
�������������������E �����
�������������������������
�������������������������
�������������������������
� 0.1%����������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
������������������

���� � ������ �����������������������
�������������������������
���������������� OEM ������
�������������������������
�������������������������
������������� OEM ���������
���������
������������������������
�� N ����������������������
���������������������
������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
�����������
��������������N ���������
�������������������������
�������������������������
�������������������������
������������������ 7 ������
��������������������9 � 21-24
�������������������������
�������������������������
������������ ����
������������������������
�������������������������
�������������������������
�������������������������

－ 51 －

�������������������������
���������������������
������������������������
�������������������������
�������������

－ 52 －

������������������������
������� ���� ������ ���
��������

����������������������� �����������������������������
��������������������������
��������������������������
�������������������������
��������������������������
������������������ ���������
�������������������������
��������������������������������
�������������������������
��������������������������

��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
���������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������

��������������������������
��������������������������
��������������� �������������������
������ �������������������������
����������������������
���������������������������������������� � ����������� �������������������
������������������
�������������������������
��������������������������
��������������������������
���������������������� �������
���������������������� ����� �����������
��������������� ��� � ��������
��������������� ��� ���������
�������������
���������������������� �����
�������������������������������� ���������� ������� � ��� �������������
���������������������������������
���������������� �����������
��������������������������
��������������������������
���������� � ���������������
����������� ���� ������������
��������������������������
����
�

�����
� �������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������������
�����������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
�������������������������
��������������������������
�������������������������
��������������������������
�������������������������
����������� ����������������
����������������������������������
��������������������������
����������������� �����������
������ ���� ������������������
��������������������������
���������������������� ������������ �� �������� �������
����� �����������������������
��������������������������
��������������������������

－ 53 －

��������������������
�����������

������������������ ���

���������������

�

�

�
�
�

�
������������������

��������������������

����������������� ������������������� �������
������������������� � �����
�� ��� ��������������

CuSO4�5H2O
H2SO4
Cl�
Additives

PEG4000
SPS

200 g/L
50 g/L50 mg/L
1000 ppm
10 ppm�� �����������������������
������� � ��� ������������������������� ����������������������������
������������������������� ����� � ���� � ���� ������� ������ ����� ����������� ���� ������� �����
������ ������� ���������������
��������������������������� � ��������������������������� � �����������������������������
�������������������������
���� �����������������������
������������ ��� ������������� ������������������� �����������
���������������������� ���� ������������������
���������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
������������������ � �������
�������
��������
������ ���������� ��� ������� ������
�������
������ ���������� ��� ������� ������
�������
������ ���������� ��� ������� �����
�������
������ ���������� ��� ������� ������
�������
�������������������������������������������
���������������������������������������������������
������������������������������������
��������������������������������������������������������
�����������������������������������������������������
���������������������������������������������������
�������
����������������������������������������������������
������������������������������������������
����������������������
��������� � ������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������
��������������������������

－ 54 －