No.410

FEED
THROUGHS
CATALOG
導入機カタログ■ LINEAR■ ROTARY■ MULTI

ROTARYBELLOWS
LINEAR
FEEDMULTI
目次 / Contents

1. 概要 / Overview・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3
2. 直進導入機 / Linear Feedthroughs

2-1 ベローズ式直進導入機 手動タイプ（ILD-M）・ ・・・・・・ 4
Bellows-sealed linear feedthrough:Manual type（ILD-M）

・・・・・・・・ 5
2-2 ベローズ式直進導入機 自動タイプ（ILD-A）

Bellows-sealed linear feedthrough:Automatic type（ILD-A）

・ ・・・・・・・・ 6
2-3 ベローズ式コンパクト直進導入機（ILC）

Bellows-sealed compact linear feedthrough（ILC）

3. 回転導入機 / Rotary Feedthroughs

・ ・・・・・・・・・・・・・ 8
3-1 コンパクト回転導入機（IRC）

THROUGH
Compact rotary feedthrough（IRC）

・・・・・・・・・・・・・・・・・ 9
3-2 高精度回転導入機（IRP）

High-precision rotary feedthrough（IRP）

・ ・・・・・・・・・・・ 10
3-3 磁気結合式回転導入機（MFR）

Magnetic rotary feedthrough（MFR）

・ ・・・・・・・ 11
3-4 ベローズ式シールシャッター（RCS）

Bellows-sealed shutter（RCS）

4. マルチ導入機 / Multi Feedthroughs

4-1 磁気結合式直進回転導入機（MFL）・・・・・・・・・・ 12
Magnetic linear rotary feedthrough（MFL）

・・・・・・・・・・ 13
4-2 XY テーブル機構（TSL / TSN）
XY table mechanism（TSL/TSN）

5. 事例紹介 / Case Studies・・・・・・・・・・・・・・・ 14
6. ラインナップ / Lineup・・・・・・・・・・・・・・・・・ 15

Y
S
R
I

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG

概要 / Overview

LINEAR

直進導入機シリーズ
LINEAR FEEDTHROUGHS SERIES
直進導入機とは、大 気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持した
まま直進させるための製品です。基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送等に御使用頂いております。入江工研の直進導入機はベローズシール式とマグネット
シール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。

HS
ROTARY

Linear feedthroughs are products that are used to linearly feed
equipment /devices in a vacuum from the atmosphere side while
preserving them in a vacuum state. Our linear feed throughs are used byour customers for various purposes, such as lowering substrate stages
and transferring wafers. With two types of linear feedthroughs available,
including a bellows seal type and a magnetic seal type with manual andautomatic drive systems, IRIE KOKEN offers products that meet various
demands.

回転導入機シリーズ
ROTARY FEEDTHROUGHS SERIES
回転導入機とは、大 気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持した
まま回転させるための製品です。基板等を回転させたり、シャッターなどの切替に御使用頂いております。入江工研の回転導入機はベローズシール式とマグ
ネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。
Rotary feedthroughs are products that are used to rotate equipment/
devices in a vacuum from the atmosphere side while preserving them ina vacuum state. Our rotary feed throughs are used by our customers
for various purposes, such as rotating substrates and switching shutters.
With two types of rotary feedthroughs available, including a bellows seal
type and a magnetic seal type with manual and automatic drive systems,
IRIE KOKEN offers products that meet various demands.

MULTI

マルチ導入機シリーズ
MULTI-MOTION FEEDTHROUGHS SERIES
マルチ動作導入機とは、直進＋回転または軸直角＋角度など一方向以上の動作を真空内で行うための製品です。特に当社製品であるMFLシリーズとTSL/
TSNシリーズの組み合わせは様々な分野（半導体製造装置・加速器関連施設等）で御使 用頂いております。入 江 工研のマルチ動作導入機はベローズシー
ル式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。
Multi-operation feedthroughs are products that are used to move in morethan one direction, linear feeding + rotation or perpendicular direction
toward an axis + angular movement. In particular, the combination of our
MFL series and TSL/TSN series are used by our customers in various fields.
（Such as semiconductor manufacturing equipment and accelerator-related
facilities）With two types of multi-operation feedthroughs available, including
a bellows seal type and a magnetic seal type with manual and automatic
drive systems, IRIE KOKEN offers products that meet various demands.
3

LINEARベローズ式直進導入機 手動タイプ（ILD-M）
BELLOWS-SEALED LINEAR FEEDTHROUGH：MANUAL TYPE（ILD-M）

インジケ－タ－Indicator

ハンドル
HandleH
I

グリップカラ－
８
80

70

60

50

40

30

20 10

0

１

90

2

100

0

0

９

G

E

Grip

目盛１ｍｍピッチ

目盛リング10分割

Graduation 1mm

Graduation

B

A

C
24

4

3

J

2

F

1

17

0

D

ベロ－ズ
（SUS316L）
Welded Bellows

軸受（ポリイミド）Polyimide

特徴／ The feature

1. 入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを 30 ～ 200mm まで規格化しました。
2. 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、超高真空の領域で使用可能です。
3. 機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、小型、軽量になっています。
4. ベーキング温度 250℃に耐える設計にしております。
1. Equipped with IRIE KOKEN welded bellows, with a standardized stroke of 30 to200mm.
2. Adoption of welded bellows for the drive part seal allows it to be used in ultra highvacuum regions.
3. Small and lightweight due to its very simple structure and emphasis on functionality.
4. The manual type model is designed to withstand a baking temperature of 250℃ .

仕様／ Specifications

名称 / Name

ベローズ式直進導入機 / Bellows-sealed linear feedthrough（ILD-M）

型式 / Model

ILD-34M

ILD-70M

ILD-114M

ストローク / Stroke

30,50㎜30,50,100㎜

50,100,150,200㎜

接続フランジ / Connecting flange

CF34FH

CF70FH

CF114FH

手動 / Manual

駆動方式 / Drive method

超高真空 / Ultra high vacuum（1 × 10-8Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure

使用圧力範囲 / pressure range

目盛（単位 :1㎜）/ Graduation（unit:1㎜）

位置検出 / Position detection

196N（20kgf）

伝達荷重 / Axial load

490N（50kgf）

1.0 × 10-9Pa･m3/s

ベーキング温度 / Baking temperature

250℃以下（Max.250℃）

寸法／ Size
Model

ILD-34M30
ILD-34M50

Flange

CF34

ILD-70M30

単位（unit）:㎜
StrokeA

B

30

50 〜 80

149

50

50 〜 100

179
149

30

50 〜 80

50

50 〜 100179

100

50 〜 150

228

ILD-114M50

50

50 〜 100

175

ILD-114M100

100

50 〜 150255

150

50 〜 200

325

200

50 〜 250

400

ILD-70M50

CF70

ILD-70M100

ILD-114M150
ILD-114M200

4294N（30kgf）

ヘリウムリーク量 / Helium leak rate

CF114

C

D

φ E（h7）

F

φG

φH

φI

φJ

7

16

6

5.0

8

42

38.0

51

7

20

8

7.0

12

42

38.0

51

11

35

14

12.5

16

70

48.6

61

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG

ベローズ式直進導入機 自動タイプ（ILD-A）
BELLOWS-SEALED LINEAR FEEDTHROUGH：AUTOMATIC TYPE（ILD-A）

リミットスイッチ

リニアポテンショメ－タ－（オプション）

Limit switch

Potentiometer（option）

F

I

D

E

H
G

C

LINEAR

モ－タ－
Moter

A

特

B

徴／ The feature

1. 駆動部シールに入江工研製の溶接ベローズを採用しておりますので、超高真空の領域で使用可能です。
2. ストローク 100㎜、150㎜を各サイズ（CF70、
114、
152、
203）ラインナップ致しました。
3. モーターはリバーシブルモーターを標準採用。
（ステッピングモーター等は別途御相談下さい。
）
4. リミットスイッチを標準で装備。位置検出はポテンショメーターをオプションでご用意しております。
1. Adoption of welded bellows for the drive part seal allows it to be used in ultra high vacuum
regions.
2. Strokes of 100mm and 150mm are available at each size（CF70, 114, 152, and 203）of ourlineup.
3. A reversible motor is adopted as a standard. （Consult us separately for a stepping motor, etc.）
4. Limit switchs is equipped as a standard. For position detection, a potentiometer is provided
as an optional extra.

仕様／ Specifications
ベローズ式直進導入機 / Bellows-sealed linear feedthroughモーター駆動式 / Motor-driven type（ILD-A）

名称 / Name

ILD-70A

ILD-114A

ILD-152A

ストローク / Stroke

100,150㎜

100,150㎜

100㎜

100㎜

接続フランジ / Connecting flange

CF70FH

CF114FH

CF152FH

CF203FH

駆動方式 / Drive method

モーター駆動（リバーシブルモーター）AC100V / Motor-driven（reversible motor）

型式 / Model

ILD-203A

使用圧力範囲 / Pressure range

超高真空 / Ultra high vacuum（1 × 10-8Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure

位置検出 / Position detection

リミットスイッチ / Limit switch、ポテンショメーター（オプション）/ Potentiometer（option）
490N（50kgf）

伝達荷重 / Axial load
ヘリウムリーク量 / Helium leak rate

1.0 × 10-9Pa･m3/s

ベーキング温度 / Baking temperature−

寸法／ Size
Model

ILD-70A100
ILD-70A150
ILD-114A100
ILD-114A150

FlangeCF70
CF114

単位（unit）:㎜
StrokeA

B

100

50 〜 150334

150

50 〜 200

459

100

50 〜 150345

150

50 〜 200

465

C

D

φE

φF
（g6）

G

H

φ（h7）
I

96

152

38

12

20

7.0

8

101

165

48

16

35

12.5

14

ILD-152A100

CF152

100

50 〜 150

330

107

170

60

24

35

20.0

22

ILD-203A100

CF203

100

50 〜 150

330

107

170

60

24

35

20.0

22

5

LINEARベローズ式コンパクト直進導入機（ILC）
BELLOWS-SEALED COMPACT LINEAR FEEDTHROUGH（ILC）

CF34

8 9

0

10

0
1
2

(11)

C
B

8

5

Stopper

4

∅27

∅18

Welded Bellows
2 3

∅6h7

ストッパー

溶接ベロ－ズ

10

∅34

A

5 6

軸受
（ポリイミド）Polyimide

特目盛リング１０分割
Graduation

ハンドル
Handle徴／ The feature

1. 入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストローク：10㎜、15㎜、20㎜まで規格化しました。
2. 弊社ベローズ式直進導入機（ILD シリーズ）に比べ、非常にコンパクトになっております。
1. Equipped with IRIE KOKEN welded bellows, with a standardized stroke of 10mm,
15mm, and 20mm.
2. Very compact when compared to our bellows-sealed linear feedthrough（ILD series）.

仕様／ Specifications
ベローズ式コンパクト直進導入機 / Bellows-sealed compact linear feedthrough（ILC）

名称 / Name
型式 / Model
ストローク / Stroke

ILC-34-10

ILC-34-15

ILC-34-20

10㎜

15㎜

20㎜

CF34FH

接続フランジ / Connecting flange

手動 / Manual

駆動方式 / Drive method
使用圧力範囲 / Pressure range

超高真空 / Ultra high vacuum（1 × 10-8Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure

位置検出 / Position detection

目盛（単位 :1㎜）/ Graduation（unit:1㎜）
147N（15㎏f）

伝達荷重 / Axial load
ヘリウムリーク量 / Helium leak rate

1.0 × 10-10Pa･m3/s

ベーキング温度 / Baking temperature

150℃以下（Max.150℃）

寸法／ SizeModel

6単位（unit）:㎜
StrokeA

B

C

ILC-34-10

1050 〜 60

106 〜 96

156

ILC-34-15

15

50 〜 65

127 〜 112

177

ILC-34-20

20

50 〜 70

152 〜 132202

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG

7

ROTARY

コンパクト回転導入機（IRC）
COMPACT ROTARY FEEDTHROUGH（IRC）

ストッパー

I
(C)

B

A

F

2830 32 34 0 2 4 6 8

H

G

D

∅E

Stopper

徴／ The feature

特1. 入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、接続フランジ CF34、CF70 を規格化しました。
2. 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、高真空の領域で使用可能です。
※超高真空対応もオプションとしてご用意しております。

3. 機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、小型、軽量になっています。
4. 回転ロック機構付き。開度が任意に設定可能です。
1. Equipped with IRIE KOKEN welded bellows, with standardized connecting flanges
CF34 and CF70.
2. Adoption of welded bellows for the drive part seal allows it to be used in high vacuum
areas.
※ A product which corresponds to an ultra high vacuum is being also prepared as an option.

3. Small and lightweight due to its very simple structure and emphasis on functionality.
4. Features a rotary lock mechanism. The opening degree can be arbitrarily set.

様／ Specifications

仕コンパクト回転導入機 / Compact rotary feedthrough（IRC）

名称 / Name

IRC-34型式 / Model

IRC-70360 °連続回転 / Continuous rotation 360°

ストローク / Stroke

CF34FH

接続フランジ / Connecting flange

CF70FH
手動 / Manual

駆動方式 / Drive method
使用圧力範囲 / Pressure range

高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure

位置検出 / Position detection

目盛（単位 :10°）/ Graduation（unit:10°）
2°± 0.5°

精度 / Accuracy

0.98N･m（10㎏f･㎝）

伝達トルク / Torque

100RPM

回転速度 / Rotational speed
ヘリウムリーク量 / Helium leak rate

1.0 × 10-10Pa･m3/s

ベーキング温度 / Baking temperature

150℃以下（Max.150℃）法／ Size

寸

Model

8

単位（unit）:㎜

FlangeA

BCD

φ E（f6）

F

φG

φH

φI

IRC-34

CF34

70

89.4

7.0

20

6

5.0

18

27.2

31.8

IRC-70

CF70

70

125.0

9.5

25

8

6.8

26

38.0

41.6

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG

高精度回転導入機（IRP）

ストッパー-0.025

60 80
40
340

２キリ

280 300 320

2Thru

53

77

42
240

特

∅81

20
0

Ｍ４ 深さ１５20 1.5Thru

Stopper

∅31

CF70

∅29

∅10e7 -0.040

HIGH-PRECISION ROTARY FEEDTHROUGH（IRP）

9

ROTARY

55.3

12.7

徴／ The feature

1. 回転位置決め精度（無負荷時）が 0.5°の高精度回転導入機です。
2. 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、高真空の領域で使用可能です。
3. ゼロ位置設定が任意で設定可能です。
4. 回転ロック機構付き。開度が任意に設定可能です。
1. High-precision rotary feedthrough with a rotary positioning precision of 0.5°
（when aload is not applied）.
2. Adoption of the welded bellows for the drive part seal allows it to be used in highvacuum regions.
3. Allows for the zero position setting to be arbitrarily set.
4. Equipped with a rotary lock mechanism. The opening degree can be arbitrarily set.

仕様／ Specifications

名称 / Name
型式 / Model
ストローク / Stroke
接続フランジ / Connecting flange
駆動方式 / Drive method

高精度回転導入機 / High-precision rotary feedthrough（IRP）
IRP-70360 °連続回転 / Continuous rotation 360°
CF70FH
手動 / Manual

使用圧力範囲 / Pressure range

高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure

位置検出 / Position detection

目盛（単位 :1°）/ Graduation（unit:1°）

精度 / Accuracy
伝達トルク / Torque
回転速度 / Rotational speed

0.5°± 0.05°
4.9N･m（50kgf･㎝）
100RPM（トルク 0.98N･m（10㎏f･㎝）時）/ 100RPM（by set torque 0.98N･m（10㎏f･㎝））

ヘリウムリーク量 / Helium leak rate

1.0 × 10-10Pa･m3/s

ベーキング温度 / Baking temperature

120℃以下（Max.120℃）

9

ROTARY

磁気結合式回転導入機（MFR）

F

G

J

0

H
I

E

7 6 5 4 3 2 1 0 35 34 33 32 31 30 29

MAGNETIC ROTARY FEEDTHROUGH（MFR）

C

特

D

B

A

徴／ The feature

1. 真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロスト
モーションも少なく設計しております。
2. 真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止しており、ガス放出量を低減しています。
3. 磁石を取り付けたままベーキングができます。
4. ベアリングを交換することで、半永久的に使用できます。
5. オプションのモーター取付金具仕様にした場合、自動運転が可能です。
1. The use of samarium-cobalt magnets both inside and outside of the vacuum realizes
high torque transmission and a design with minimum loss of motion.
2. The driven magnet part of the vacuum is canned with a thin stainless steel plate,
reducing the gas emissions amount.
3. Baking can be performed while the magnet is attached.
4. Can be use semi-permanently by replacing the bearing.
5. Automatic driving is possible when using specifications that include the optional motor
mount fitting.

仕様／ Specifications
磁気結合式回転導入機 / Magnetic rotary feedthrough（MFR）

名称 / Name

MFR-34型式 / Model

MFR-70360 °連続回転 / Continuous rotation 360°

ストローク / Stroke

CF34FH

接続フランジ / Connecting flange

CF70FH

手動（モーター駆動可）/ Manual（motor-drivable）

駆動方式 / Drive method

高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure

使用圧力範囲 / Pressure range
位置検出 / Position detection

目盛（単位 :15°）/ Graduation（unit:15°）

目盛（単位 :1°）/ Graduation（unit:1°）

0.29N･m（3㎏f･㎝）

2.94N･m（30㎏f･㎝）

伝達トルク / Torque

500RPM

回転速度 / Rotational speed
ヘリウムリーク量 / Helium leak rate

1.0 × 10-9Pa･m3/s

ベーキング温度 / Baking temperature

120℃以下（Max.120℃）寸

10法／ Size

単位（unit）:㎜

Model

Flange

A

B

C

D

E

φ F -0.01
-0.02

G

φH

φI

φJ

MFR-34

CF34

50

100

34.7

12.0

20

6

5

18

38

40

MFR-70

CF70

50

165

55.0

12.5

20

10

9

40

73

73

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG

ベローズ式シールシャッター（RCS）
BELLOWS-SEALED SHUTTER（RCS）
D

89

F
0

∅32

E

315

∅33.8

45

B

A

C

G

ROTARYH特徴／ The feature

1. ベローズ式回転導入機IRC34を使用した信頼・実績のある機構を採用。高真空領域まで使用可能です。
2. バタフライ式で尚且つシャッター折り曲げ式機構の為、視界が広範囲になっています。
3. 回転ロック機構付き。開度が任意に設定可能です。
4. 両端コンフラットフランジ（両刃）の為、配管途中に取付可能となります。
1. Adopts a reliable and proven mechanism that uses the bellows rotary feed through
IRC34. Can be used up to high vacuum regions.
2. A wide field of vision is realized by the butterfly type shutter folding mechanism.
3. Equipped with a rotary lock mechanism. The opening degree can be arbitrarily set.
4. ConFlat flanges on both ends（double-sided）allow it to be attached to the middle ofthe piping.

仕様／ Specifications
ベローズ式シールシャッター / Bellows-sealed shutter（RCS）

名称 / Name

RCS-70型式 / modelRCS-114

RCS-152

両面 CF70

接続フランジ / Connecling flange

両面 CF114

両面 CF152

両面 CF203

手動 / Manual

駆動方式 / Drive method

高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure

使用圧力範囲 / Pressure range
ヘリウムリーク量 / Helium leak rate

1.0 × 10-9Pa･m3/s

ベーキング温度 / Baking temperature

120℃以下（Max.120℃）寸

RCS-20390°（シャッター部開口作動範囲 / Shutter part opening operation range）

作動範囲 / Operating range

法／ Size

単位（unit）:㎜

Model

Flange

A

B

φC

D

E

F°

G

φH

RCS-70

CF70

20

22.5

32

55

13.5

90.0

10.8

35.1

RCS-114

CF114

20

41.5

53

75

20.0

112.5

19.0

59.5

RCS-152

CF152

20

69.0

86

95

31.0

96.3

30.5

95.6

RCS-203

CF203

26

107.5

109

115

53.0

90.0

52.5

143.2

11

MULTI

磁気結合式直進回転導入機（MFL）
MAGNETIC LINEAR ROTARY FEEDTHROUGH（MFL）

45

90

35

14
∅45

∅38
∅80

∅19

∅14

200

C

∅68

A

D

∅8H8

7 15

C1

∅19h8

B

12 8
45

2キリ

2Thru

2-M3

18

2-5キリ通し

2-5Thru

M6<D詳細図>
Detail特徴／ The feature

1. 真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロスト
モーションも少なく設計しております。
2. 真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止しており、ガス放出量を低減しています。
3. 磁石を取り付けたままベーキングができます。
4. ベアリングを交換することで、半永久的に使用できます。
5. オプションで回転防止機構もご用意しております。
1. The use of samarium-cobalt magnets both inside and outside of the vacuum realizes
high torque transmission and a design with less lost motion.
2. The driven magnet part of the vacuum is canned with a thin stainless steel plate,
reducing the gas emissions amount.
3. Baking can be performed while the magnet is attached.
4. Can be used semi-permanently by replacing the bearings.
5. A rotation preventing mechanism is also provided as an optional extra.

仕様／ Specifications
磁気結合式直進回転導入機 / Magnetic linear rotary feedthrough（MFL）

名称 / Name

MFL-70型式 / Model

MFL-114

回転 : 360°/ Rotary:360° 直進 : 500、800、1000㎜ / Linear:500、800、1000㎜

ストローク / Stroke

CF70FH

接続フランジ / Connecting flange

CF114FH
手動 / Manual

駆動方式 / Drive method
使用圧力範囲 / Pressure range

高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）～大気圧 / Atmospheric pressure
196N（20㎏f）

伝達荷重 / Axial load

1.47N･m（15㎏ ･㎝）

トルク / Torque
ヘリウムリーク量 / Helium leak rate

1.0 × 10-9Pa･m3/s

ベーキング温度 / Baking temperature

120℃以下（Max.120℃）

寸法／ Size
Model

単位（unit）:㎜
FlangeMFL-70-500
MFL-70-800

500
CF70

MFL-70-1000
MFL-114-500
MFL-114-800
MFL-114-1000

12

StrokeCF114

A

80 〜 580

B

C

870

800

80 〜 880

1170

1000

80 〜 1080

1370

500

80 〜 580

870

800

80 〜 880

1170

1000

80 〜 1080

1370

58.2

62.5

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG

XY テーブル機構（TSL/TSN）XY TABLE MECHANISM（TSL/TSN）
76～66
６－Ｍ６
（等配）

TSL

70

110

（∅69.3）Equipartition

)

.7

58

D
PC

(

A

76 ～ 66
６－Ｍ６
（等配）

TSN

70

110

Equipartition（∅69.3）

MULTI

)

.7

58

D
PC

(

A

徴／ The feature

特1. ベローズ式シール機構を採用しております。入江工研製の成形ベローズを使用。
2. 弊社磁気結合式直進回転導入機（MFL-70）の位置決め用に最適です。
3. 簡易タイプですので、非常に安価です。
4. 片側：CF70タップフランジ（オプション：CF114タップフランジ）
片側：CF70、CF114、CF152のチャンバー等に合わせてお選び頂くことが出来ます。
5. XY方向調整のみ（TSL）、角度調整機構付き（TSN）の2種類の機構をご用意しております。
1. Adopts the bellows seal mechanism. Uses IRIE KOKEN formed bellows.
2. Optimal for positioning our magnetic linear rotary feedthrough（MFL-70）.
3. Inexpensive, simplified type.
4. One side: CF70 tapped flange（option: CF114 tapped flange）, one side: selectableaccording to the chamber, etc., of CF70, CF114, CF152.
5. We provide two types of mechanisms: one that makes adjustments in the XY direction
only（TSL）and another that features an angle adjusting mechanism（TSN）.

様／ Specifications

仕ＸＹテーブル機構 / XY table mechanism（TSL/TSN）

名称 / Name

TSL-70型式 / Model

TSL-114

TSL-152

TSN-70

TSN-114

TSN-152

動作範囲 / Operating range

XY 方向 : ± 5mm / XY directions ± 5mm

XY 方向 : ± 5mm / XY directions ± 5mm
角度 : 0 〜 5°/ Angle0 〜 5°

接続フランジ / Connecting flange

CF70FHCF70FT

CF70FHCF70FT

CF114FHCF70FT

CF152FHCF70FT

CF114FHCF70FT

手動 / Manual

駆動方式 / Drive method
使用圧力範囲 / Pressure range

高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure

ヘリウムリーク量 / Helium leak rate

1.0 × 10-9Pa･m3/s

ベーキング温度 / Baking temperature

150℃以下（Max.150℃）法／ Size寸

Model

TSL-70

CF152FHCF70FT単位（unit）:㎜
FlangeA

FlangeA

CF70FH0 - CF70FT80

TSN-70Model

CF70FH0 - CF70FT80

TSL-114

CF114FH - CF70FT

85

TSN-114

CF114FH - CF70FT85

TSL-152

CF152FH - CF70FT

85

TSN-152

CF152FH - CF70FT

85

13

事例紹介
Case Studies

自
実作
験の
に導
対入
応機
でで
きは
な
い
・
・
・
T 大学の研究員は、次に公表する論文のために真空内における実験を進めていた。しかし、今回の実験では、真空状態での位置決めが非常に重要だったため、現在使用している既製品で組み立てた自作の直進導入機では対応できないという問題が浮上した。
そして、研究員は考えた末、さらに位置決めの精度を高めるために、自ら直進導入機の先端に光電センサを設置することにした。先端に光電センサを設置して、同軸ケー
ブルをセンサまで引き、フランジを付けるというものだった。しかし、真空内（チャンバー内）での配線処理（同軸ケーブルの長さ〈たわみ〉や硬さ）の問題により、ストロー
クがうまくいかない・・・
困った 研 究 員 は、国 内 で 導 入 機 を 扱って い る企 業 をWEB 上で探すことにした。そして、
入江工研のコーポレー
トサイトでベローズ式直進導入機を見つけた。以前から会社は知っていたが、「ベローズ」や「バルブ」のメーカーというイメージが強かったため、導入機を扱っていることは知らなかった。早速、アポイントを取り、担当営業に導入機でどのような動作を実現したいかを伝え、自らカスタマイズした実機を見てもらった。チャンバー内をポートから見ると、「やはり、この配線の仕方だと動作性にも影響が出て、真空内でトラブルが発生する可能性がありますね。それに全体としては構成部品の多さも気になります。一旦社内に持ち帰って、エンジニアと相談した上で最適な提案を差し上げます」と、担当営業から理想的な答えが返ってきた。
数日後、入江工研から詳細な図面が届いた。その仕様は規格品の直進導入機ではなく、中空直進導入機をカスタ
マイズ・アッセンブリしたものだった。この仕様により、
ケー
ブル周りのトラブルの発生が抑えられることから、真空内での配線処理の問題が解消された。また、ベローズを
はじめ、この導入機に組み込まれている部品の大半は入江工研が自社開発したもので、一つ一つの部品の品質が高く、納得のいくものだった。
この研究員の要望を満たした図面を見て T 大学は購入
を決めた。

14

A self-built feedthrough was incapable of handling theexperiment…

A researcher at T University has advanced experiments in a
vacuum to be published as a next research paper. However,as positioning in a vacuum state was very important in thisexperiment, it became apparent that the self-built linear
feedthrough that the researcher had assembled out of existingproducts and had been using at the time was incapable ofhandling the task.
After much thought, the researcher decided to install aphotoelectric sensor on the tip end of the linear feed in order tofurther improve positioning precision. The idea was to install aphotoelectric sensor on the tip end, run a coaxial cable to thesensor, and attach a flange. However, due to issues of wiring（length <deflection> and hardness of the coaxial cable）inthe vacuum（in the chamber）, a proper stroke could not be
obtained. The perplexed researcher searched for a domestic
company that handles feedthroughs on the Web. Then, theresearcher found bellows linear feedthroughs on the corporatesite of IRIE KOKEN. The researcher had known about IRIE
KOKEN, but was under the impression that the company was a“bellows”and“valves”manufacturer, and had not known that
IRIE KOKEN handled feedthroughs as well. The researcher
immediately made an appointment and informed the sales staff
of what kind of operations were expected to be achieved withthe feedthroughs, and showed the sales staff a self-customized
feedthrough. Upon looking at the inside of the chamber from theport, the sales staff presented the researcher with a possible
solution:“This way of wiring may impact operability and cause
trouble in the vacuum. Also, the large number of components
overall is another concern. I’d like to bring this back to ourcompany and consult with our engineers to propose the bestsolution.”
Several days later, detailed drawings were delivered by
IRIE KOKEN. The specifications were not of a standard
linear feedthrough, but of a custom-assembled hollow linear
feedthrough. According to the proposed specifications, theoccurrence of troubles related to the cables was minimized,
solving the wiring issues in the vacuum. And, as most of
the components, including the bellows, incorporated in thisfeedthrough were developed in-house by IRIE KOKEN, each wasof high quality and satisfactory.
T Universit y reviewed the drawings that matched theresearcher’s demands and decided to purchase the product.

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG

ラインナップ／ Lineup

ベローズ式直進導入機（ILD-M）

Bellows-sealed linear feedthrough:Manual type (ILD-M)

ベローズ式コンパクト直進導入機（ILC）

Bellows-sealed compact linear feedthrough (ILC)

ベローズ式直進導入機モーター駆動（ILD-A）

Motor-driven Bellows-sealed linear feedthrough:Automatic type (ILD-A)

中空式直進導入機（ILH）

Hollow linear feedthrough (ILH)

直進導入機
LINEAR

中空式直進導入機エア駆動

Air-driven hollow linear feedthrough

中空式直進導入機モーター駆動

Motor-driven hollow linear feedthrough

磁気結合式直進導入機

Magnetic linear feedthrough

エア駆動式直進導入機

Air-driven linear feedthrough

磁気結合式直進導入機モーター機構（MFL）

Magnetic linear feedthrough motor mechanism (MFL)

高精度回転導入機（IRP）

High-precision rotary feedthrough (IRP)

コンパクト回転導入機（IRC）

Compact rotary feedthrough (IRC)

中空式回転導入機

Hollow rotary feedthrough

回転導入機
ROTARY

エア駆動式回転導入機

Air-driven rotary feedthroughモーター駆動式回転導入機

Motor-driven rotary feedthroughベローズ式シールシャッター（RCS）
Bellows-sealed shutter (RCS)

磁気結合式回転導入機（MFR）

Magnetic rotary feedthrough (MFR)

ＸＹテーブル機構（TSL/TSN）
XY table mechanism (TSL/TSN)

高精度XYZテーブル

High-precision XYZ table

マルチ
MULTI

チルト機構付き小型マグネットカップリング
Small magnet coupling with tilt mechanism

磁気結合式直進回転導入機（MFL）

Magnetic linear rotary feedthrough (MFL)

ベローズ式直進回転導入機（ILD-M）

Bellows-sealed linear rotary feedthrough (ILD-M)

15

IKCの主要製品
MAIN PRODUCTS

べローズ

ゲートバルブ

Bellows

Gate valves

真空機器

Vacuum components■ 溶接べローズ
Welded bellows■ 角型ゲートバルブ
Rectangular type gate valves■ チャンバー
Chambers■ 成形べローズ
Formed bellows■ 丸型ゲートバルブ
Round type gate valves■ 導入機
Feedthroughs■ フレキシブルチューブ
Flexible tubes■ 大型ゲートバルブ（角型）
Large-size rectangular type gate valves■ L 型バルブ（アングルバルブ）
L-shape valves※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。
※最新の情報は、入江工研 Web サイト https://www.ikc.co.jp/ にてご確認下さい。
※ Speciﬁcations subject to change without notice.
※ Please conﬁrm the latest information on the website of IRIE KOKEN CO., LTD.

[ https://www.ikc.co.jp/ ]1. 取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。
2. 本製品の保証期間は弊社工場出荷後 18 ヶ月とさせていただきます。
3. 保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。
4. 当社の保証ポリシーについては、入江工研 web サイト https://www.ikc.co.jp/conts/policy/hosyou.html に記載させていただいております。
ご確認ください。

ご注意

Cautions

1. Be sure to note mounting posture when mounting, connecting or using. Be sure to check the specifications if you plan to use theproduct for use other than it is designed for.
2. These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they are shipped from the factory.
3. If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge.
4. Our warranty policy is described on the website of IRIE KOKEN CO.,LTD. at https://www.ikc.co.jp/en/conts/policy/hosyou.html.
Please check it.

■本社

Head Office〒 100-0011 東京都千代田区内幸町 2-2-3 日比谷国際ビル 414
TEL：03-3507-9611 FAX：03-3507-9615
HibiyaKokusai-bldg 414, 2-2-3 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0011■大阪営業所〒 550-0002 大阪市西区江戸堀 1-2-11 大同生命南館
TEL：06-6445-2630 FAX：06-6459-3350
Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002■工

埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場）
Saitama-ken（Technical Center）,
Ehime-ken（Uchiko Factory・Nakayama Factory）

Osaka Office場

Factory

販売代理店
Distributor

W1612-W1612-1000