取扱説明書
FP-MA 誘電率測定ソフトウェア

2024 年 3 月 11 日
EM ラボ株式会社

目次
第１章

製品概要 ................................................................................................................2第２章

動作環境 ................................................................................................................2OS ........................................................................................................................................2
使用可能な測定器 ................................................................................................................2第３章

インストールおよびアンインストール .................................................................3

インストール方法 ................................................................................................................3
アンインストール方法 .........................................................................................................5第４章

測定の準備 ............................................................................................................7

測定器と共振器の接続、試料の準備 ...................................................................................7
ソフトウェアの起動 ............................................................................................................7
共振器の選択 .......................................................................................................................8
試料の登録 ...........................................................................................................................9第５章

測定手順 ..............................................................................................................121．測定開始 .......................................................................................................................12
2. 空測定............................................................................................................................123．試料選択 .......................................................................................................................154. 試料挿入 ........................................................................................................................155. 位置調整 ........................................................................................................................176. 測定 ...............................................................................................................................19
7. データ出力 ....................................................................................................................20第６章

おかしいと思ったら ............................................................................................21

第７章

リファレンス .......................................................................................................22

各機能の補足説明 ..............................................................................................................22試料設定 .........................................................................................................................23
試料位置調整 ..................................................................................................................24
FP-Broadband バンドセレクタ―の操作 ..........................................................................25
FP-Broadband Low/High 設定変更...................................................................................26

初版：2022 年 9 月１日
２版：2022 年 9 月 28 日
３版：2023 年 6 月 1 日
４版：2023 年７月 24 日
５版：2024 年 3 月 11 日
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第１章

製品概要

FP-MA 誘電率測定ソフトウェアは FP シリーズスファブリペロー共振器を用いて複素比誘電率測定を効率良く行うためのソフトウェアです。キーサイト・テクノロジー社製のネットワーク・アナライザを制御して自動的に必要なパラメータを取得し複素比誘電率を出力します。

第２章

動作環境

ここではソフトウェアを使用するために必要な動作環境を記載します。
OS・ Windows OS (Windows 10/11)
・ Keysight IO Libraries使用可能な測定器・ Keysight PNA シリーズネットワーク・アナライザ
注記
PNA シリーズはファームウェア A.07.50.48 以降に対応しています。

2第３章

インストールおよびアンインストール

ここでは本ソフトウェアのインストールおよびアンインストール方法について詳細手順を説明します。

インストール方法
購入時に提供されるインストーラー（FPMASetup.msi）と 16 桁のプロダクトキーを使用します。
1.

FPMASetup.msi を Windows PC 上で実行し、画面の指示に従ってインストールを進めます。

2.

使用許諾契約書に同意してください。

3

3.

16 桁のプロダクトキーを入力します。

4.

インストール先を指定します。特に必要がなければ初期設定を使用します。

5.

準備が整ったらインストールを開始します。

46.

ウィザードを終了します。これでインスタレーションは完了です。

アンインストール方法
アンインストールもインストーラー（FPMASetup.msi）を使用します。
1.

FPMASetup.msi を Windows PC 上で実行し、画面の指示に従ってアンインストールを進めます。

2.

［削除（R）］を選択します。

5

3.

［削除（R）］を実行します。

4.

ウィザードを終了します。これでアンインストールは完了です。

注記
Windows に用意されている「アプリのアンインストール」機能を使用して誘電率測定ソフトウェアをアンインストールすることもできます。その場合は、一般的な Windows の手順に従って実行してください。

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第４章

測定の準備

測定器と共振器の接続、試料の準備
本ソフトウェアを起動する前に、FP シリーズ取扱説明書を参照して準備してください。
ソフトウェアの起動
Windows から［EM ラボ FPMA 誘電率測定ソフトウェア］を起動します。

開始画面に続いて測定器選択画面が表示されます。

7

注記
下図のウィンドウが開いた場合、ネットワーク・アナライザが USBや LAN などで PC に正しく接続されていません。接続を確認し、再スキャン をクリックしてください。

共振器の選択ご使用になる共振器を選択します。
（図では、FP-Eband が選択されています。）
OK をクリックします。

注記
共振器の選択 で OK をクリックした後、共振器を選択し直すには、本ソフトウェアを一旦終了して、起動からやり直してください。
注記
ブロードバンドモデルの場合、Low と High の切り替えに共振器本体の操作が必要です。詳細は、第 7 章 リファレンスブロードバンドモ
デル Low/High 設定変更を参照してください。
8

試料の登録試料設定をクリックします。

追加をクリックします。

9

新規サンプル 0 が現れます。

をクリック

名前：
（例 Sample1）
厚さ：（例 100）に任意の値*を入力します。
OK をクリックします。
*厚さの単位は㎛

10登録済の試料が一覧表示されます。

注記
複数の試料を登録することができます。また、試料の情報を[インポート] ［エクスポート］することができます。
詳しくは第 7 章を参照してください。

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第５章

測定手順

一般的な測定手順に絞って説明します。
全体の流れ

画面表示に従って上図の流れで測定を進めます。個々のステップについて画面の図を元に操作方法を説明します。

1．測定開始前章に記載された測定の準備が整いましたら、測定を開始します。

2. 空測定共振器に試料が挿入されていない状態で行います。
12

２枚のサンプルプレートをが外側になるように合わせて、サンプルホルダに挿入します。

カバーをセットします。

13

空測定 をクリックします。
測定が完了するまでしばらく待ちます。

空測定終了。
空共振周波数/空 Qが表示されます。

注記
FP-Broadband をご使用の場合、必要に応じて「バンドセレクターを押し込んでください」もしくは「バンドセレクターを引き出してください」とのメッセージが表示されますので、メッセージに従い共振器のバンドセレクターを操作してください。詳しくは、第七章リファレンスの FPBroadband バンドセレクタ―の操作を参照してください。
14

3．試料選択

選択する試料をクリックします。
（ここでは Sample1 100が選択されています）

注記
このステップで試料設定をクリックし、新たに試料を登録し（方法は前章の「試料の登録」を参照）選択することも可能です。

4. 試料挿入

サンプルプレートに試料を挟みます。この時、以下の注意点を守ってください。
1. サ ン プ ル プ レ ー ト をが外側になるよう合わせること。
2. 試料がサンプルプレートの穴を完全に覆っていること。
3. 試料がサンプルプレートからはみ出していないこと。

15

サンプルプレートをサンプルホルダに挿入します。

サンプルプレートをサンプルホルダ―の下部までしっかり押し込みます。

カバーをセットします。

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5. 位置調整

試料位置調整を押します。
（自動/手動プルダウンメニューが表示された場合は、自動を選択してください。
）

17

「共振を探しています…」のメッセージの後、「グラフが最も下に来るようにマイクロメーターで試料の位置を調整してください。
」と表示されます。調整用マイクロメーターを以下の要領で操作します。
（共振が検出されない場合は、第７章リファレンスの「試料位置調整」を参照してください。
）
画面を見ながら、波形が画面の下部に張り付くまで、調整用マイクロメーターを回します。
←点線が誘電率測定誤差１％相当(マイクロメーターを回しても波形が下部に張り付かない場合は、第７章リファレンスの「試料位置調整」を参照してください。)

下部に張り付いた後、再度、波形が立ちあがり始めるまでマイクロメーターをゆっくり回し続けます。
立ち上がり始めたら、マイクロメーターを戻し、再度波形が下部に張り付いたら調整完了です。
調整終了をクリックします。
「共振が正しいかチェックしています」のメッセー
ジの後、メイン画面に戻ります。

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6. 測定試料測定をクリックします。

注記
FP-Broadband をご使用の場合、必要に応じて「バンドセレクターを押し込んでください」もしくは「バンドセレクターを引き出してください」とのメッセージが表示されますので、メッセージに従い共振器のバンドセレクターを操作してください。詳しくは、第七章リファレンスの FPBroadband バンドセレクタ―の操作を参照してください。

19すべて共振周波数での測定結果が表示されると測定終了です。

7. データ出力

測定結果のエクスポート をクリック
すると、測定結果（Excel book 形式）
を出力します。

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ファイル名（初期設定は試料名_試料厚_日時）を入力し 保存 をクリックします。

第６章

おかしいと思ったら正しくインストールできない。急に動作しなくなった。などの問題が起きた場合、弊社 Web サイトから直接お問い合わせください。
https://www.emlabs.jp
その際、以下の情報をご提供いただけると効果的に対応できます：
・ 本ソフトウェアのバージョン情報・ PC OS のバージョン情報・ Keysight IO Libraries のバージョン情報
・ ネットワーク・アナライザの型式とファームウェア・バージョン情報

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第７章

リファレンス

各機能の補足説明
下図に示した機能について、補足説明します。
試料位置調整

試料設定

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試料設定

［エクスポート］をクリックして登録内容を Excel ブック形式で出力することができです。
また、[インポート]をクリックして、あらかじめ用意しておいた Excel ブック形式の登録情報ファイルを読み込むこともできます。その際、試料情報ファイルは以下のフォーマットで作成します。

任意の文字列を入力

厚さの単位は㎛23試料位置調整
試料位置調整をクリックすると、ネットワーク・アナライザが共振のピークを検出します。
位置調整がうまくいかない場合は以下の項目を参照にしてください。
１．ピークが検出されない場合、また、位置調整中に下記のメッセージが出た場合、サンプルホルダの位置が中央から離れすぎていることが考えられます。

調整用マイクロメーターを矢印の方向に手ごたえがあるまで回します。
（サンプルホルダが左側のリミッタで止まる位置まで移動）
そこからメッセージで指定されたメモリ分戻します。OK をクリックしてピークを再探索します。

注記
サンプルホルダは調整用マイクロメーターを回すことで左右に移動します。不必要に移動しないよう左右にリミッタが設けられています。左のリミッタにあたるとそれ以上はマイクロメーターを回すことができません。無理に回すと破損につながります。右のリミッタにあたってもマイクロメーターを回し続けることができますが、サンプルホルダはそれ以上移動しません。
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２．調整画面の波形が一番下に行く前に左右のリミッタにあたり、それ以上調整できない場
合、以下の原因が考えられます。
⚫

試料に反りやうねりがある。

⚫

試料がサンプルプレートにしっかり入っていない。

⚫

サンプルプレートがサンプルホルダにしっかり入っていない。

試料の反りやうねりができるだけ小さくなるようにサンプルプレートにはさんでから、サンプルプレートをサンプルホルダにしっかり入れてみてください。サンプルホルダの左右を入れ替えることで調整できる可能性もあります。それでも調整できない場合は、試料をより平坦に加工する必要があります。

FP-Broadband バンドセレクタ―の操作共振器背面のバンドセレクタ―上部のハンドルを引いて操作してください。下図左が引き出した状態、右が押し込んだ状態です。

次のようなメッセージに従ってバンドセレクタ―を操作してください。

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FP-Broadband Low/High 設定変更
装置背面のバンドセレクタ―を適切に設定します。Low のときは上部のハンドルを引いて完全に引き出してください。High のときは完全に押し込んでください。

なお、High の場合は開口部の小さいΦ45 mm タイプのサンプルプレートを使用することが可能です。反った試料やΦ65 mm より小さい試料を測定する際に有効です。
注記
Low バンドで測定する際に Φ45 mm のサンプルプレートを使用すると大きな測定誤差を生じます。かならず Φ65 mm のものを使用してください。

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