No.320

GATE
VALVE
ゲートバルブ■ KOSLARZE■ GARIVA■ CDV/MARINA/LINK/ROLL to ROLL

概要 / Overview
当社は、半導体製造における微細加工技術の進歩とともに歩み、無摺動ゲートバルブ「コスラーズ」を完成させました。またディスプレイ製造装置においても、基板の大型化と高いシール性を両立させるため、メタルベローズ技術を応用した大型ゲートバルブ「GARIVA」を完成し、30 年以上に渡り真空ゲートバルブを半導体市場、FPD 市場にご提供してまいりました。
We have completed the non-sliding gate valve “Koslarze” with the progressof microfabrication technology in semiconductor manufacturing. In display
manufacturing equipment, we have completed the large gate valve“GARIVA”thatapplies metal bellows technology in order to achieve both large substrate sizeand high sealing performance, and have been using vacuum gate valves in thesemiconductor market and FPD market for over 30 years.
GATE VALVE
同圧－逆圧対応（真空 - 真空 / メンテ時逆圧仕切り）
Same pressure-reverse pressure
correspondence (vacuum-vacuum / reverse
pressure partition during maintenance)

ANGLE VALVECHAMBERGATE VALVE（Door Valve）
正圧対応（大気 - 真空仕切り）
Supports positive pressure(atmosphere-vacuum partition)

BELLOWS
基盤昇降
For substrate lifting

BELLOWS
搬送ロボット内部
Inside the transfer robot

GATE VALVE（Main Valve）
同圧対応（オプション 逆圧）
Same pressure support(option: reverse pressure)

この 30 年の間、半導体市場は Moore の法則に縛られない発展を遂げ、微細化はマイ
クロスケールからナノスケールへ急激に進歩してきました。製造装置も弛まぬ技術開発に
より微細化を実現し、それに搭載される真空ゲートバルブも絶えず性能向上が求められています。当社は市場要求の高まりに対応すべく、日々高機能化に取り組んでおります。
Over the last three decades, the semiconductor market has evolved without beingbound by Moore's Law, and miniaturization has made rapid progress from Microscale
to nanoscale. Manufacturing equipment has also been miniaturized throughcontinuous technological development, and the vacuum gate valves mounted on it
are also required to constantly improve their performance. We are working on highfunctionality every day to meet the growing market demand.
ショックレス、ノンパーティクル、メンテフリー
Shockless、Non-particle、maintenance-free
ポスト５G
Post 5G
パーティクルフリー
Particle free

AI
step3

5G
イージーメンテナンス
Easy maintenance

step2

5nm

7nm

高いシール性High sealability
step1
10nm

ゲートバルブに求められる 3 要素
Three elements required for gate valves2

半導体産業のトレンド
Semiconductor industry trendsゲートバルブカタログ /GATEVALVESCATALOG

真空ゲートバルブの種類 /Type of GATE VALVE
真空装置には、気体や液体が通過する経路の遮断、真空環境の制御に様々なゲートバル
ブが用いられます。開口部形状が丸型のものは主に気体、光等の導入、仕切り弁として用いるため、主に真空配管の接続部に使用されます。開口部形状が角型のものは真空装置の中で主に半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置（以下 FPD 製造装置）
において、搬送される基板の投入口や二つの真空チャンバーの間に配し、仕切り弁として使用されます。下記表は代表的な当社ゲートバルブです。
Various gate valves are used in vacuum equipment to block the path through whichgases and liquids pass and to control the vacuum environment. The round opening
is mainly used for introducing gas, light, etc., and as a sluice valve, so it is mainly
used for the connection part of vacuum piping. Among vacuum equipment, thosewith a square opening are mainly placed in semiconductor manufacturing equipment
and flat panel display manufacturing equipment (hereinafter referred to as FPD
manufacturing equipment) at the input port of the substrate to be transported or
between two vacuum chambers. It is used as a sluice valve. The table below shows
our typical gate valves.
ゲートバルブGate valve

真空チャンバーVacuum chamber

基板
Substrate

真空ポンプ
Vacuum pump

KOSLARZE

基板通過後、弁体が開口をシールする
After passing through the substrate,
the valve plate seals the opening■ Normal type
『無摺動』を設計思想として開発し､ 発展させたゲートバルブです。誕生以来その確かな性能を評価され、現在では様々な市場､ 環境で御使用頂いております。開口サイズ、圧力条件、高温対応、弁箱有無等々お客様の多種多様なニーズに合わせてカスタマイズ致します。
■ Normal typeA gate valve developed and developed with "non-sliding" as a design concept. Since its birth, itsreliable performance has been evaluated, and it is now used in various markets and environments.
We will customize it according to the diverse needs of our customers, such as opening size,pressure conditions, high temperature compatibility, and the presence or absence of a valve box.
■ seal 方向切替 type
Normal type に更なる機能を持たせたゲートバルブです。seal 方向をトランスファーチャンバー側へ切り替える
ことにより、大気開放するプロセスチャンバー以外の真空を保持､ それによりプロセスチャンバーのメンテナンス
中も装置の稼働を継続できます。その状態でプロセスチャンバー側の弁板 seal 用 O-ring の交換も容易に可能です。
■ seal direction switching typeA gate valve with additional functions added to the Normal type. By switching the seal direction
to the transfer chamber side, a vacuum other than the process chamber that is open to
the atmosphere is maintained, so that the equipment can continue to operate even during
maintenance of the process chamber. In that state, the O-ring for the valve plate seal on theprocess chamber side can be easily replaced.

GARIVA■ L-motion type
大開口サイズを得意とする当社の代名詞であるゲートバルブです。弁板ユニットに自社製ベローズを組み合わせたシリンダーを搭載することで大開口であっても安定した seal 性を確保することができます。また差圧キャンセル
構造を取り入れることにより、逆圧対応時に弁板に作用する圧力差を大幅に低減することも可能です。
■ L-motion type
It is a gate valve that is synonymous with our company, which specializes in large opening
sizes. By mounting a cylinder that combines an in-house bellows on the valve plate unit, stablesealability can be ensured even with a large opening. In addition, by incorporating a differential
pressure canceling structure, it is possible to significantly reduce the pressure difference thatacts on the valve plate when dealing with reverse pressure.
■ T-motion typeL-motion type を進化させたゲートバルブです。Lock ～ Free 時に 2 枚の弁板を同時に動作させることで動作時間の短縮が可能です。またロッドの変形も無いことから、反力による振動の発生も抑えられます。運転モードの切替もオプションとして選択することができます。
■ T-motion typeA gate valve that is an evolution of the L-motion type. The operating time can be shortened byoperating the two valve plates at the same time during Lock to Free. In addition, since there is nodeformation of the rod, the generation of vibration due to the reaction force can be suppressed.
Switching of operation mode can also be selected as an option.

3

真空ゲートバルブの種類 /Type of GATE VALVE

1990

1996

無摺動ゲートバルブ
丸形コスラーズ開発
東北大学向け
超高真空対応Non-sliding gate valve
Round-type KOSLARZE
development
For Tohoku University
Ultra high vacuum
compatible

半導体 12in 対応
コスラーズⅡ開発

1993

For 12-inch semiconductors

半導体対応
角型コスラーズ開発
8in 向けリリース

Development of squaretype KOSLARZE for
semiconductors
Release for 8-inch

1994

KOSLARZE II development

2013

2017

大型 FPD 対応
差圧キャンセルバルブ開発

需要拡大に伴い新型リリースNew GARIVA
基板サイズ G6 ～

半導体向け
低パーティクル仕様
リリース

MARINA,GARIVA
For large FPDs
Differential pressure cancel

1995

2000

FPD 向け量産
基板サイズ ~G3・角型コスラーズ
・排気用メインバルブ
コンパック開発

FPD 向け拡大
基板サイズ G4 コスラーズⅡ

Development of main valve
COMPAQ for exhaust

valve development
MARINA,GARIVA

モータ駆動タイプ
FPD 両方向シール
Motor drive type

半導体向け
シール切替仕様開発
For semiconductors

above

Development of seal switchingspecifications

2001

2005

2015

2017

半導体向け
コンパクトコスラーズ
リリース

FPD 向け需要拡大
GARIVA
基板サイズ G5~G8

OLED 向け需要拡大
New GARIVA
基板サイズ G6

中国市場拡大New GARIVA
基板サイズ G8.5~10.5

COMPAQ KOSLARZE
Release for Semiconductors

For the FPD
For substrate size G2

次世代機開発Next-generation valve
development

For semiconductors
FPD bidirectional seal
New release due to growing Low particle specification releasedemand2018
New GARIVA
For substrate size G6 andExpansion for FPD
For substrate size G4 KOSLARZE II

Mass production for FPD
For substrate size G3

FPD 向け参入
基板サイズ G2 対応
角型コスラーズ

2003

Expanding demand for FPDGARIVAFor substrate size G5-G8

Square-type KOSLARZE

Expanding demand for
OLED
New GARIVA

Chinese market expansion
New GARIVA
For substrate size G8.5 ~ 10.5

For substrate size G6

拠点 /Offices and factories Gate Valves

IKC Korea
IKC KOREA CO.,Ltd.
HIKC
Hangzhou Ye Rong Trade Co., Ltd.
四国事業所
Shikoku Plant

テクニカルセンター
Technical Center
本社
Head Quarter

大阪営業所
Osaka Sales Office

CIKC
Changzhou IRIE Precision Co.,Ltd.

台湾代理店
Po Hsuan Enterprises Co., Ltd.

4

生産拠点

Production Sites

営業拠点

Sales Sites

海外メンテナンス拠点

Overseas Maintenance Sites

開発拠点

Development Sitesゲートバルブカタログ /GATEVALVESKOSLARZECATALOG

真空ゲートバルブ コスラーズ 片面シール /Normal type
Vacuum gate valve KOSLARZE Single-sided seal

仕様／ Specifications

本体：1 × 10-10[Pa･m3/s]
弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（逆圧）

Body：1 × 10-10[Pa･m3/s]
Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Negative pressure）

本体 :120[℃ ]アクチュエータ :60[℃ ]Body/Gate:120[℃ ]Actuator:60[℃ ]1.0 ～ 3.0[s]1.0 ～ 3.0[s]

弁箱 :A5052/SUS304
ベローズ :AM350
弁板 :A5052/SUS304
シール材 :FKM

Body:A5052/SUS304
Bellows:AM350
Gate:A5052/SUS304
Sealing:FKM

0.45 ～ 0.55[MPa]0.45 ～ 0.55[MPa]寿命Service life

100 万回

1M[Cycles]

オプション
Option加熱仕様の追加 : 弁体 , 本体
圧力方向 : 同圧 , 正圧

Heating function:Gate,Body
Sealing direction:Equal,Positive
pressure

リーク量Leak rate
使用温度
Temperature
開閉時間Open/Close moving time
材質
Material
操作圧力
Operating Air pressure

パーティクルフリー
Particle free
シンプルな構造
Simple structure
長寿命（自社ベローズ採用）
Long life (using in-house bellows)
5

KOSLARZE

真空ゲートバルブ コスラーズ 両面シール / Seal 方向切替え Type
Vacuum gate valve KOSLARZE Both-sided seal

仕様／ Specifications

本体：1 × 10-10[Pa･m3/s]
弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（同圧）

Body：1 × 10-10[Pa･m3/s]
Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Equal pressure）

本体 :120[℃ ]アクチュエータ :60[℃ ]Body/Gate:120[℃ ]Actuator:60[℃ ]1.0 ～ 3.0[s]1.0 ～ 3.0[s]

弁箱 :A5052/SUS304
ベローズ :AM350、SUS316L
弁板 :A5052
シール材 :FKM

Body:A5052/SUS304
Bellows:AM350、SUS316L
Gate:A5052
Sealing:FKM

操作圧力
Operating Air pressure

0.45 ～ 0.55[MPa]0.45 ～ 0.55[MPa]寿命Service life

100 ～ 300 万回

1 ～ 3M[Cycles]

オプション
Option加熱仕様の追加 : 弁体 , 本体
圧力方向 : 逆圧

Heating function:Gate,Body
Sealing direction:Negative
pressure

リーク量Leak rate
使用温度
Temperature
開閉時間Open/Close moving time

材質
Material

高負荷プロセス向け
For high load processes
弁体イージーメンテナンス
Valve body easy maintenance
長寿命（自社ベローズ採用）
Long life (using in-house bellows)6ゲートバルブカタログ /GATEVALVESGARIVACATALOG高真空ゲートバルブ ガリバー 片面シール / L-motion
Vacuum gate valve GARIVA Single-sided seal

仕様／ Specifications

リーク量
Leak rate
使用温度
Temperature

本体：1 × 10-10[Pa･m3/s]
弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（逆圧）

Body：1 × 10-10[Pa･m3/s]
Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Negative pressure）

本体 :120[℃ ]アクチュエータ :60[℃ ]Body/Gate:120[℃ ]Actuator:60[℃ ]開閉時間
2.5 ～ 5.0[s]Open/Close moving time

2.5 ～ 5.0[s]

弁箱 :A5052/SUS304
ベローズ :AM350、SUS304（圧力キャンセル）
弁板 :A5052
シール材 :FKM

Body:A5052/SUS304
Bellows:AM350、SUS304(Pressure cancellation)
Gate:A5052
Sealing:FKM

0.45 ～ 0.60[MPa]0.45 ～ 0.60[MPa]寿命Service life

100 万回

1M[Cycles]

オプション
Option

圧力キャンセル無し仕様

Spec without Pressure
cancellation

材質
Material

操作圧力
Operating Air pressure

FPD/OLED 装置向け超大型対応（～ G10.5）
For ultra-large FPD / OLED devices( ～ G10.5)
圧力キャンセル機構搭載
Equipped with pressure canceling mechanism
長寿命（自社ベローズ採用）
Long life (using in-house bellows)7

GARIVA

高真空ゲートバルブ ガリバー 両面シール /T-motion
Vacuum gate valve GARIVA Both-sided seal T-motion

仕様／ Specifications

リーク量
Leak rate
使用温度
Temperature

本体：1 × 10-10[Pa･m3/s]
弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（同圧）

Body：1 × 10-10[Pa･m3/s]
Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Equal pressure）

本体 :120[℃ ]アクチュエータ :60[℃ ]Body/Gate:120[℃ ]Actuator:60[℃ ]開閉時間
2.0 ～ 4.0[s]Open/Close moving time
材質
Material
操作圧力
Operating Air pressure
寿命
Service life

2.0 ～ 4.0[s]

弁箱 :A5052/SUS304
ベローズ :AM350
弁板 :A5052
シール材 :FKM

Body:A5052/SUS304
Bellows:AM350
Gate:A5052
Sealing:FKM

0.45 ～ 0.60[MPa]0.45 ～ 0.60[MPa]100 万回

1M[Cycles]

FPD/OLED 装置向け超大型対応（～ G10.5）
For ultra-large FPD / OLED devices( ～ G10.5)
T-motion 機構による高速動作
High-speed operation by T-motion mechanism
長寿命（自社ベローズ採用）
Long life (using in-house bellows)8ゲートバルブカタログ /GATEVALVES

CDV

真空ゲートバルブ

CATALOG

CDV

Vacuum gate valve CDV

仕様／ Specifications

リーク量
Leak rate
使用温度
Temperature

弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（同圧 / 正圧）

Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Equal/Positive
pressure）

本体 :120[℃ ]アクチュエータ :60[℃ ]Body/Gate:120[℃ ]Actuator:60[℃ ]開閉時間
2.5 ～ 5.0[s]Open/Close moving time
材質
Material
操作圧力
Operating Air pressure
寿命
Service life

2.5 ～ 5.0[s]

弁板 :A5052
シール材 :FKM

Gate:A5052
Sealing:FKM

0.45 ～ 0.60[MPa]0.45 ～ 0.60[MPa]100 万回

1M[Cycles]

ロードロックチャンバ用大気ゲート
Atmospheric gate for load lock chamber
FPD/OLED 装置向け超大型対応（～ G10.5）
For ultra-large FPD / OLED devices( ～ G10.5)
シンプル機構による高い信頼性
High reliability due to simple mechanism
9

MARINA

丸型ゲートバルブ

マリーナ

排気バルブ

Vacuum gate valve MARINA Exhaust valve

仕様／ Specifications
リーク量
Leak rate

本体：1 × 10-10[Pa･m3/s]
弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（逆圧）Body：1 × 10-10[Pa･m3/s]
Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Negative pressure）

使用温度

本体 :120[℃ ]アクチュエータ :60[℃ ]Body/Gate:120[℃ ]Actuator:60[℃ ]3.0 ～ 5.0[s]3.0 ～ 5.0[s]

弁箱 :AC4C-T6
ベローズ :SUS316L( 圧力キャンセル )弁板 : アルミニウム
シール材 :FKM

Body:AC4C-T6
Bellows:SUS316L(Pressure cancellation)
Gate:A5052
Sealing:FKM

0.45 ～ 0.60[MPa]0.45 ～ 0.60[MPa]100 万回

1M[Cycles]

圧力キャンセル無し仕様

Spec without Pressure cancellation

Temperature

開閉時間Open/Close moving time

材質

Material

操作圧力

Operating Air pressure

寿命

Service life

オプション
Option

口径

型式

Bore

Type

A

B

C

D

E

250

M-250J(S)-2(3)

460

655

100

134.5

250

320

M-320J(S)-2(3)

555

790

120

129.5

320

400

M-400J(S)-2(3)

630

944

135

129

400

排気用メインバルブ
Main valve for exhaust
圧力キャンセル機構搭載
Equipped with pressure canceling mechanism
500A（開発品）対応可能
Compatible with 500A (developed product)10

ゲートバルブカタログ /GATEVALVES

LINK

真空ゲートバルブ

CATALOG

リンク式

Vacuum gate valve Link

仕様／ Specifications
本体：1 × 10-10[Pa･m3/s]
弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（同圧）

リーク量Leak rate

Body：1 × 10-10[Pa･m3/s]
Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Equal pressure）
本体 :120[℃ ]アクチュエータ :60[℃ ]使用温度

Temperature

Body/Gate:120[℃ ]Actuator:60[℃ ]開閉時間Open/Close moving time

弁箱 :SUS304
弁板 :A5052/SUS304
シール材 :FKM

材質

Material

Body:SUS304
Gate:A5052/SUS304
Sealing:FKM

操作圧力

Operating Air pressure

オール SUS 可能All SUS is possible

0.45 ～ 0.60[MPa]

熱に強い構造弁体機構
Heat-resistant structural valve body mechanism

10 ～ 30 万回

寿命

Service life

ROLL
to
ROLL

3.0 ～ 5.0[s]100 ～ 300K[Cycles]

真空ゲートバルブ

ローラ摺動部あり
With roller sliding part

ROLL to ROLL

Vacuum gate valve ROLL to ROLL

仕様／ Specifications
リーク量
Leak rate

使用温度

Temperature

開閉時間Open/Close moving time

材質

Material

操作圧力

Operating Air pressure

寿命

Service life

本体：1 × 10-10[Pa･m3/s]
弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（同圧）Body：1 × 10-10[Pa･m3/s]
Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Equal essure）
本体 :120[℃ ]アクチュエータ :60[℃ ]Body/Gate:120[℃ ]Actuator:60[℃ ]1.0 ～ 3.0[s]
弁箱 :A5052
ベローズ :AM350
弁板 :A5052
シール材 :FKM
Body:A5052
Bellows:AM350
Gate:A5052/SUS304
Sealing:FKM
0.45 ～ 0.60[MPa]
30 万回
300K[Cycles]

フィルムデバイス用
For film devices
差動排気による真空保持（～ 0.1Pa）
Vacuum holding by differential exhaust( ～ 0.1Pa)11

IKCの主要製品
MAIN PRODUCTS

べローズ

ゲートバルブ

Bellows

Gate valves

真空機器

Vacuum components■ 溶接べローズ
Welded bellows■ 角型ゲートバルブ
Rectangular type gate valves■ チャンバー
Chambers■ 成形べローズ
Formed bellows■ 丸型ゲートバルブ
Round type gate valves■ 導入機
Feedthroughs■ フレキシブルチューブ
Flexible tubes■ 大型ゲートバルブ（角型）
Large-size rectangular type gate valves■ L 型バルブ（アングルバルブ）
L-shape valves※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。
※最新の情報は、入江工研 Web サイト https://www.ikc.co.jp/ にてご確認下さい。
※ Speciﬁcations subject to change without notice.
※ Please conﬁrm the latest information on the website of IRIE KOKEN CO., LTD.

[ https://www.ikc.co.jp/ ]1. 取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。
2. 本製品の保証期間は弊社工場出荷後 18 ヶ月とさせていただきます。
3. 保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。
4. 当社の保証ポリシーについては、入江工研 web サイト https://www.ikc.co.jp/conts/policy/hosyou.html に記載させていただいております。
ご確認ください。

ご注意

Cautions

1. Be sure to note mounting posture when mounting, connecting or using. Be sure to check the specifications if you plan to use theproduct for use other than it is designed for.
2. These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they are shipped from the factory.
3. If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge.
4. Our warranty policy is described on the website of IRIE KOKEN CO.,LTD. at https://www.ikc.co.jp/en/conts/policy/hosyou.html.
Please check it.

■本社

Head Office〒 100-0011 東京都千代田区内幸町 2-2-3 日比谷国際ビル 414
TEL：03-3507-9611 FAX：03-3507-9615
HibiyaKokusai-bldg 414, 2-2-3 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0011■大阪営業所〒 550-0002 大阪市西区江戸堀 1-2-11 大同生命南館
TEL：06-6445-2630 FAX：06-6459-3350
Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002■工

埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場）
Saitama-ken（Technical Center）,
Ehime-ken（Uchiko Factory・Nakayama Factory）

Osaka Office場

Factory

販売代理店
Distributor

W2111-2210-200