応用物理学会
ﾌﾟﾗｽﾞﾏｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ分科会

第35回プラズマエレクトロニクス講習会
深沢、松井1

応用物理学会
ﾌﾟﾗｽﾞﾏｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ分科会

24年度PE講習会担当表（案）22年度PE講習会担当表

23年度
氏名(敬称略）所属

24年度
氏名(敬称略） 所属

取纏プログラム作成、講師打診、シラバスの依頼、チラシ作成 など

深沢 正永

産業技術総合研究所

松井 都

日立製作所

取纏サポート
会場準備サポート

広報、チラシ作成、協賛依頼

三浦 勝哉

日立製作所

岩井 貴弘

日立製作所

佐々木 渉太 東北大学

佐々木 渉太東北大学

Web・会計Web関係（ネット会議設定、応物事務局、PE分科会担当者へ連絡、申込サイト作成等）
会計（主に当日、領収書発行など）
アーカイブ作成

谷出 敦

SCREENホールディングス

谷出 敦

SCREENホールディングス

テキスト作成会場準備

テキスト校正、印刷依頼、発送準備
会場準備（備品手配、案内板等）
懇親会（場所を確保し業者に手配）

川島 淳志

ソニーセミコンダクタソリューションズ

財前 義史

ソニーセミコンダクタソリューションズ

塩田 有波

三菱

塩田 有波

三菱

アンケート
会場運営

アンケート作成、回収、会場準備サポート天野 智貴

パナソニック

天野 智貴

パナソニック

橋本 惇一

キオクシア

片岡 淳司

キオクシア

ウェスタンデジタル

平松 亮

ウェスタンデジタル

会田 倫崇

東京エレクトロン テクノロジーソ
リューションズ

大下 辰郎

東京エレクトロン宮城

辻 享志

産業技術総合研究所

新田 魁洲

産業技術総合研究所

講師連絡

広告関係

テキストの依頼、リマインダ

広告募集文確認、広告依頼のフォロー、エクセルシート纏め

講師の推薦、テキストチェック
知り合い企業への広告応募の打診

平松 亮

全員

全員退任の場合、同じ企業の方へ引継ぎ予定

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ﾌﾟﾗｽﾞﾏｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ分科会

第34回プラズマエレクトロニクス講習会報告【日時】
2023年11月17日（金）【開催形式】 大阪 「JEC日本研修センター心斎橋」とオンラインのハイブリッド開催 （懇親会は、現地参加者のみで開催）【参加者】
参加者: 90名 講師: 5名（計95名）（企業70%、大学国研15%、学生15%）
収支： 【収入】 2,239,800円【支出】 651,638円（参加費 1,805,800円、広告 434,000円）※ 4年ぶりの現地開催で支出が増加。 しかし、参加者も増加傾向にあり、収支は昨年とほぼ同等【プログラム】

先生方の興味深い講義のお陰で、大変好評でした。

① 『低温プラズマ生成・制御の基礎』

東京都立大 杤久保 文嘉 先生② 『高周波プラズマの生成制御とプロセス～減圧から大気圧まで～ 』

名古屋大学 鈴木 陽香 先生③ 『分光学的手法によるプラズマの電子状態計測－EUV露光光源用プラズマを題材に－ 』
北海道大学 富田 健太郎 先生④ 『ドライエッチングと原子層エッチングの基礎と応用』

名古屋大学 堤 隆嘉 先生⑤ 『機械学習のプラズマプロセス応用』

日立製作所 大森 健史 先生
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ﾌﾟﾗｽﾞﾏｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ分科会

開催日について

今年度は、11月に学会が集中
候補: 11月29日（金）
MRS
MRS

AVS

担当幹事に最終確認後、11月29日（金）に決定します

DPS

プラズマ・核融合学会
講習会

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昨年のプログラム（参考例）

開始
8:30​
9:30​

終了
イベント
9:30​ 受付
9:40​ オープニング＆アナウンス

9:40​

10:55​

プラズマ基礎工学
杤久保 文嘉 先生

10:55​ 11:05​ 休憩、コーヒーブレイク
11:05​ 12:20​

高周波プラズマ源の基礎とその応用
鈴木 陽香 先生

担当委員
全員
白藤先生・深沢
司会：深沢
全員
司会：佐々木

12:20​ 13:30​ 昼食
13:30​ 14:45​

露光光源としてのプラズマ（EUV光源用プラズマ）の計測
富田 健太郎 先生

14:45​ 14:55​ 休憩、コーヒーブレイク

14:55​ 16:10​

ドライエッチングとALE
堤 隆嘉 先生

16:10​ 16:20​ 休憩、コーヒーブレイク
16:20​ 17:35​

機械学習のプラズマプロセス応用
大森 健史 先生

司会：谷出
全員

★ 時間割は、昨年同様の予定です

司会：辻
全員
司会：天野

17:35​ 17:45​ クロージング＆アンケート・名札回収（帰宅する方のみ）
17:45​ 18:00​ 懇親会準備・受付の片付け等

天野・深沢
全員

18:00​ 19:30​ 懇親会

全員19:30​ 20:00​ 片付け全員
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ﾌﾟﾗｽﾞﾏｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ分科会

2024年 第35回プラズマエレクトロニクス講習会（案）時期/場所：例年同様、11月開催とし、相談後に決定する。

候補: 11月29日（金）、開催候補地： 東京

春応物のチュートリアルでも、講師の先生と、もう少し会話できる機会があると良かった。
等の、意見を頂きました。

内容：●2023年同様に、2024年も 講義は5件 を予定。
●2024年は、講師の先生方との密なコミュニケーション、懇親会での議論の活性化を目的に、オンサイト開催 で考えている。 第2部の引継ぎミーティングで議論し、最終決定予定。
●講義内容としては、基礎的な内容の要求が高い（アンケート抜粋）

今後、役に立つと思う講義について

・ 計測は、やや専門性の高い内容（EUV関連）であったので、「今後、自分の役に立つか？」 という質問に対しては、少し低くなってしまったが、個別のコメントを見ると、企業のエンジニアから好評だった。
【アンケートより】 エッチングプロセスとは少し縁遠いように感じる
EUV露光についてもお話を伺うことができ、非常に興味深く感じた。

学生向けには、基礎的な内容が多い 方が好ましいとの意見もあった。

機械学習

RIE/ALE

プラズマ基礎①
プラズマ
基礎②
計測
EUV
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開催形式について（補足データ）

応用物理学会ﾌﾟﾗｽﾞﾏｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ分科会■ アンケート結果
開催形式の希望オンライン環境5段階評価
zoomの配信不良が要因と想定

4

4

悪い 1

223%
112%
63

4375%

会場
オンライン
ハイブリッド5 良い■ 開催方針（案）・ 講師の先生方との密なコミュニケーション、懇親会での議論の活性化を目的にオンサイト開催 の方向性。
・ 昨年は、担当幹事による下見（2回）、Zoom配信不良（当日）等、幹事の負担も大きかった。
・ 最終的には、第2部で議論後に決定する。
ハイブリッド開催の場合、「専門業者」による技術サポートを依頼予定。（支出増加あり）
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ﾌﾟﾗｽﾞﾏｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ分科会

2024年 第35回プラズマエレクトロニクス講習会（案）【準備スケジュール】
4月
5月

開催概要確定、日程確定（会場調査開始）、講師候補絞込み、役割分担決定
講師への打診 → プログラム確定、会場確定 → チラシ作成開始

6月
7月
8月
9月
10月
11月

広告活動準備（チラシ完成、広告依頼、Webページ作成など）
広告活動開始（協賛打診）、原稿依頼登録受付開始応物等での宣伝、会場確認
原稿回収、印刷
会場準備、講習会開催、アンケート集計、会計報告、分科会会報用の報告書

昨年の担当幹事の皆様、多大なご協力を頂きまして、ありがとうございました。
今年度 幹事の皆様、4月より活動開始しますので、よろしくお願いいたします。
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