Proceedings of the 20th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan
August 29 - September 1, 2023, Funabashi

PASJ2023 WEP03

超精密単一イオン注入装置におけるイオンダイナミクス研究
ION DYNAMICS STUDY IN AN ULTRAHIGH-PRECISION SINGLE-ION IMPLANTER
百合庸介 A), 宮脇信正 A), 穂坂綱一 A), 細谷青児 A), 石井保行 A), 柏木啓次 A), 島田紘行 A), 山縣諒平 A),
佐藤隆博 A), 齋藤勇一 A), 小野田忍 A), 鳴海一雅 A)，室尾健人 B), 伊藤清一 B), 岡本宏己 B)
Yosuke YuriA), Nobumasa MiyawakiA), Koichi HosakaA), Seiji HosoyaA), Yasuyuki IshiiA), Hirotsugu KashiwagiA),
Hiroyuki ShimadaA), Ryohei YamagataA), Takahiro SatoA), Yuichi SaitoA), Shinobu OnodaA), Kazumasa NarumiA),
Kento MurooB), Kiyokazu ItoB), and Hiromi OkamotoB)
A)
Takasaki Institute for Advanced Quantum Science, National Institutes for Quantum Science and Technology (QST)
B)
Graduate School of Advanced Science and Engineering, Hiroshima University

Abstract

A research and development study on a compact ion implanter system composed of a laser-cooled ion source andbipotential electrostatic lenses is ongoing toward the realization of the ultrahigh-precision single-ion implantation at QST
Takasaki. We aim at the implantation of nitrogen molecular ions into diamond with an irradiation precision of the orderof 10 nm to create high-quality nitrogen-vacancy center arrays for the application of quantum technologies. For thispurpose, a linear Paul trap (LPT), compatible with the laser cooling technique, is adopted as an ultralow-emittance singleion source. Single nitrogen ions are sympathetically cooled through laser-coolable calcium ions in the LPT and ejectedfrom the LPT down to the electrostatic acceleration lens system. We investigate the feasibility of the ejection-accelerationfocusing scheme by detail molecular dynamics simulations: Only nitrogen ions can be ejected out of a Coulomb crystal
mixed with calcium ions from the LPT maintaining an ultralow emittance and then focused down to the spot size of a few
nm at an implantation energy of 14 keV. We also find out the fundamental characteristics of the implanter, such as anachievable spot size and working distance.
たイオンを一つ一つ個別に引き出す。引き出されたイオ
ンは、静電バイポテンシャルレンズ（静電加速レンズ）でイオン注入は半導体プロセスにおける不純物導入等、 必要なエネルギーへ加速するとともに、nm オーダーのス
比較的低いビームエネルギーで材料改質の用途に広く ポットへ強力に集束する。
具体的な応用として、量子中継や量子センシング等に利用される加速器技術のひとつであり、現在も大電流化用いられるダイヤモンド
NV センター（ダイヤモンド中でや照射野拡大等の開発が進められている[1]。他方、量窒素原子と空孔からなる複合欠陥）[4]の精密な作製の子デバイスの作製[2, 3]等において、特定の極微小領域
へイオンを注入する技術の開発が近年、活発化している ため、10 nm オーダーの極めて高い照射精度での窒素[4]。これは低エネルギーマイクロビーム照射の発展形と イオンの注入を目指す。直接レーザー冷却が困難な窒捉えることができるが、nm レベルの照射精度で、なおか 素イオンの精密な注入を可能とするため、レーザー冷却40+
つ、照射イオン数をも制御した究極のイオン照射・注入 可能なイオン（本研究では、 Ca イオンを採用）とのクーを実現するには、マスクやビームコリメーション等、従来 ロン相互作用を通じた共同冷却および混合クーロン結晶のマイクロビーム技術に依らない質的に新しい“ナノビー 化[8]を行う。これにより、原理的には任意のイオン種の
超低エミッタンス化が可能である。
ム”形成手法が必要である。
そこで、これまでに進めてきた LPT[9-11]および静電
そこで我々は、粒子源として、レーザー冷却技術を用
加速レンズ[12]の要素検討結果に基づき、LPT
におけるいることで超低エミッタンスイオンの生成や少粒子数の混合クーロン結晶の生成、LPT
からの窒素イオンの選択制御が可能となる線形ポールトラップ（LPT）[5]に着目し、量子科学技術研究開発機構（QST）高崎量子応用研究 的な射出、静電レンズ系における加速および集束という所で培ってきたマイクロビーム技術[6]に融合することで 単一イオン注入装置としての一連のスキームが成立する
ことを、系統的な分子動力学シミュレーションにより調べ
イオン注入技術を超高精密化することを発案した。
+
LPT に捕捉したイオンにドップラーレーザー冷却を適 た。その結果、共同冷却により Ca のドップラー限界温度
用することでその熱振動を絶対零度近傍（sub-mK レベ 近傍まで冷却され超低エミッタンス化された窒素分子イル）まで除去でき、最終的にイオンはクーロン結晶化する オン を有意な加熱なくトラ ップから 選択的に射出し 、ことが知られている[7]。結晶化したイオンのエミッタンス 10 keV 級のエネルギーに加速するとともに数 nm のスは理論上ほぼゼロであること、また、レーザー誘起蛍光 ポットサイズに集束することが可能であることが示された。
により少数個のイオンを直接観測できることから、LPT を 加えて、ワーキングディスタンス等の本装置の集束特性
超高品質単一イオン源として用いるというのが本研究の を明らかにした。本稿では、これらのシミュレーション研
アイディアである。トラップ軸方向の閉じ込めポテンシャ 究の結果について報告する。
ルを適切に操作することにより、超低エミッタンス化され

1.

はじめに

- 470 -

Proceedings of the 20th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan
August 29 - September 1, 2023, Funabashi

PASJ2023 WEP03

End electrode
B A

LPT center（z=0mm）

TargetShield electrode

1st lens gap（L=2mm、Φ2mm）

2nd lens gap（L=5mm、Φ2mm）

Figure 1: Schematic layout (simulation model) of the single-ion implanter system under development.

2.

精密イオン注入装置

3.

開発中の精密単一イオン注入装置の概略図を Fig. 1に示す。本装置は主としてイオン源とする LPT と２段の静電加速レンズから成る。トラップの中心から加速レンズの末端までの長さは約 30 cm である。ダイヤモンド試料に深さ 10 nm 程度で窒素イオンを注入することを目標に、本装置では注入核種として窒素分子イオン 14N2+を採用
し、その加速（注入）エネルギーは 14 keV（= 7 keV/atom）とした。窒素イオンは、直接レーザー冷却が可能な代表的なイオン種である 40Ca+（主要な冷却遷移波長 397 nm）
とともに同時に LPT に捕捉し、共同冷却により超低エミッ
タンス化する。
イオントラップやレーザー冷却システムの仕様・構成は、
Ca+でレーザー冷却、クーロン結晶の生成および射出の実績がある広島大学のシステム[13]に準じた。横方向（xまたは y 方向）の閉じ込めを行う４本の円筒形ロッド（半径3.44 mm）がトラップ軸方向（z 方向）に沿って四重極対称に配置（軸からロッドまでの最短距離は 3 mm）される。ト
ラップ軸方向の閉じ込めを行う２つの端板 A、B 間の距
離は 6 mm である。典型的には、四重極ロッドに印加する高周波（2π×2.0 MHz）電圧の振幅 VRF は最大数十 V程度、端板 DC 電圧 VA(B)は最大数 V 程度である。例えば、VRF = 30 V、VA = VB = 0.5 V とすると、Ca+の永年振動数は、横方向 140 kHz、軸方向 33 kHz であり、RF１周
期（0.5 μs）当たりのチューンは横方向 0.071、軸方向
0.016 に相当する。
数 mK 程度以下まで冷却されると、捕捉されたイオン群はクーロン結晶状態へと相転移する[7]。上述の閉じ込め条件で数個の Ca+を捕捉し冷却した場合、z 方向に
ほぼ等間隔に整列した紐状の結晶構造が形成される。
粒子数が増えるとともに、結晶構造は、２次元的に配置するジグザグ構造を経て、３次元的に配置する殻構造となる[14]。複数のイオン種を含む異種混合イオンについてもクーロン結晶の生成は可能で、粒子数が十分に多い場合、それらの質量対電荷比に応じた構造を取ることが知られている[15]。
LPT から射出されたイオン（射出の具体的な手順や要件は次章以降にて述べる）の加速および集束には、高い縮小率が実現可能で、100 nm への集束の実績[16]がある、２段のバイポテンシャルレンズシステムを採用した。
球面収差の発生を低減するために、第１（第２）レンズは、
加速ギャップ長 2.0 mm（5.0 mm） 、ボア直径 2.0 mm（2.0 mm）とし、LPT の中心から第１（第２）レンズギャップの中心までの距離は 136.0 mm（293.25 mm）とした[12]。

単一イオン射出・注入スキーム

LPT に捕捉された冷却イオンを個別に射出するには、軸方向の閉じ込めを担う端板電極を適切に制御しなければならない。これまでの研究により、Ca+と窒素イオンから成る混合クーロン結晶から注入対象である窒素イオン
のみを超低エミッタンス（規格化エミッタンスで10−16 mrad オーダー）のまま LPT から射出するための条
件を明らかにした[9-11]。
すなわち、少数個のイオンからなる紐状混合クーロン結晶を用いる場合、注入対象である窒素イオンが１個のみ含まれ、なおかつ、引出方向の先頭（端部）に配置していなければならない。下流側端板（または上流側端板も併用して）の電圧を高速にスイッチ（降圧および昇圧）することで、後続の Ca+は射出させず、先頭の窒素イオンのみを射出し後段の加速レンズ系へ導くことができる。
あるいは、紐状構造の代わりに殻構造の混合クーロン結晶を用いることも可能である[10]。質量対電荷比の違いのために、粒子数や閉じ込め電圧の適切な条件下で、Ca+ は横方向に広がった殻構造を呈し、窒素イオンはト
ラップ軸上で紐状に配列しかつ軸方向前後に突き出すような構造を自然に取る。上流側端板の閉込電圧をゆっ
くりと高めることで、冷却イオンの平衡位置を下流側へ
徐々にシフトさせ、先頭に配置した窒素イオンが下流側
端板のポテンシャル障壁を越えることで断熱的な射出が可能である。いずれの場合にも、射出される窒素イオンの他イオンとのランダムなクーロン衝突は抑制され、結晶状態の超低エミッタンスをほぼ保ったまま射出が可能である。
後段の静電加速レンズにて適切に集束を行うためには、射出された超低速のイオンに数百 eV の初期運動エ
ネルギーE0 を付与する必要がある。端板電圧の高速ス
イッチによる射出の場合、VA を 2 kV 程度まで昇圧させる。断熱的射出の場合には、端板 A の直後にある加速レンズを接続するための板（第１加速レンズの入口側電
極まで同電位）に負電位（−数百 V）を印加し、静電的に引き出す。
（次章で述べるように、）静電加速レンズのギャップ間
電位差は、第１レンズ（V1）で約 2 kV、第２レンズ（V2）で約 11 kV とすることで、集束系の球面収差を抑えながら、適度なワーキングディスタンス（第２レンズ下端から標的までの距離）を確保することとした。

- 471 -

Proceedings of the 20th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan
August 29 - September 1, 2023, Funabashi

PASJ2023 WEP03

20

40
N2

10

-40
105
104
103
102
101
100
10-1
0

4
Time [µs]

6

-20

100
200
z [mm]

イオン射出・集束シミュレーション

20

4.2 高速スイッチングによる分離・射出
まず、Ca+と N2+から成る紐状混合結晶から、端板電圧を高速にスイッチさせ、N2+ を射出する場合の結果を示す。ここでは、Ca+、N2+各 1 個で構成される最も単純な 2粒子結晶（前述のとおり、N2+が射出側に配置する）を考える。LPT の閉込電圧は、VRF = 30 V、VA = VB = 0.5 V とした。ドップラー限界温度まで冷却した Ca+を通じた共同冷却により N2+もほぼ同じ温度まで冷却された。このとき、結晶状態の２粒子間距離は約 50 μm であった。
LPT から射出された２粒子の z 位置の経時変化を

32

10y [nm]

4.1 分子動力学シミュレーションについて
LPT におけるイオンの捕捉・冷却、射出および加速レ
ンズにおけるイオンの振舞いを調べるために分子動力学
シミュレーションを実施した。LPT や静電レンズが作る外部集束場は、設計した電極の構造や配置を基に CST
Studio Suite [17]を用いて静電ポテンシャルより求めた。
粒子間に働くクーロン力は２粒子間のポテンシャルを全てのペアについて足し合わせ、正確な粒子間相互作用を考慮した[13, 10]。これらの外場および自己場の下で実粒子の３次元の運動方程式をシンプレクティックに数値積分することでイオン群の振舞いを追跡した。
レーザー冷却では個々のイオンの速度とレーザーの周波数や強度に応じて確率的に光子の吸収・放出が起
こるが、ここでは簡単のため、イオンに与える散逸力はイ
オンの運動量を一定の割合で減じることでレーザー冷却を模擬することとした。ただし、ドップラー限界（Ca+の場
合、0.54 mK）等、一定の平衡温度が実現されるようラン
ダムな拡散の効果も取り込んだ。
射出された単一イオンの特性を統計的に評価するため、同じ初期条件で異なる乱数の種を用いた独立のシ
ミュレーションを 100 回実施した。

300

Figure 3: Particle orbit of arbitrary three N2+ ions ejectedfrom the LPT and the kinetic energy of the ions along thepath.

px [mrad]2

Figure 2: Temporal evolution of the axial position z of thetwo ions. The origin of the abscissa is the time when theprompt voltage ramping of the end plate electrode B from
0.5 V to 20 V is initiated. The voltage VA of the end plateelectrode A is promptly ramped from 0.5 V to 1.8 kV at
4.7 μs to accelerate the leading N2+ ion and reflect thefollowing Ca+ ion backward.

4.

0

Ca+

5
0
0

x [µm]z [mm]+

Kinetic energy [eV]

20

15

0
-10
-20
-20

1
0
-1
-2

-10 0
x [nm]

10

20

-3
-20

-10 0
x [nm]

10

20

Figure 4: Transverse cross-sectional and phase-space
distribution of the N2+ ions near the waist position (z =315.938 mm). The results of 100 independent simulation
runs are plotted. Single N2+ ions sympathetically cooledwith Ca+ are ejected from the LPT by switching VA
promptly and then accelerated up to 14 keV through thetwo-stage bipotential lens.
Fig. 2 に示す。上流側端板 B の電圧 VB を 0.5 V から
20 V へ瞬時（10 ns）にスイッチし、極低温の２粒子を下流側へ押し出す。２粒子の速度差のため、粒子間距離は徐々に広がっていく。VB をスイッチした 4.7 μs 後に下流側（射出側）端板 A を VA = 1.8 kV へ 200 ns で高速に昇圧することで、端板 A 内を通過中の先頭の N2+は 700 eVの初期運動エネルギーE0 を得ながら下流へ輸送される（Fig. 3 下図を参照）。他方、後続の Ca+は端板 A 内で減速され逆方向（z < 0）へ反射される。このようにして、不要なイオンを分離して、先頭に配置した N2+のみを LPT から射出することができる。N2+のみを射出するためには、
端板 A の昇圧タイミングに適切な範囲があることを確認した[11]。
Figure 3 には、射出された N2+の横方向単粒子軌道および運動エネルギーの変化を示す。イオンは、第１レン
ズにより一度集束され大きく広がった後、第２レンズで強く集束されスポットを形成する。２段の加速レンズのギャッ- 472 -

Proceedings of the 20th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan
August 29 - September 1, 2023, Funabashi

PASJ2023 WEP03

6

N2+

4

z [mm]

320

310

Ca+

2
0

1
2
Gap voltage of 1st lens [kV]30

Figure 5: Dependence of the waist position of the focused
N2+ ions on the gap voltage V1 of the first bipotential lens.
The initial energy E0 and final energy of the ion is kept at
700 eV and 14 keV, respectively.
プ 電 位 差 は 、 上 流 側 か ら V1 = 2.15 kV お よ び
V2 = 11.15 kV であり、最終エネルギーが 14 keV となる。
第２レンズ通過後のウエスト近傍における N2+の分布をFig. 4 に示す。横方向規格化 rms（二乗平均平方根）エ
ミッタンスは 5×10−16 mrad であり、有意な加熱なく加速できることが示された。また、rms 値で 1 nm の最小スポット
サイズが達成可能であることを確認した。現在の加速条
件 （ VA = 1.8 kV 、 V1 = 2.15 kV 、 V2 = 11.15 kV ） で は 、
16 mm の適度なワーキングディスタンスが確保できることも分かった。
端板 A の昇圧により付与する初期エネルギーE0 がより低い場合、加速レンズの球面収差の影響を受けること、より高い場合には集束力が弱まり最小スポットサイズが大きくなること、（第２レンズギャップ電圧 V2 を下げ）第１レン
ズギャップ電圧 V1 を高めるとワーキングディスタンスが長くなる（Fig. 5）等の加速システムとしての傾向があることを明らかにした。また、射出開始時（VB 昇圧開始時）の四重極ロッドの RF 位相によって標的位置での位相空間分
布やスポットサイズが一定程度変化するものの影響は十分小さいことが分かった。
クーロン結晶状態の平衡温度が高くなるとともに射出
イオンのエミッタンスが大きくなり、目標の数十 nm での照射精度を達成するためには、Ca+および N2+の平衡温度は 4 mK 以下（規格化 rms エミッタンスでは 3×10−15 mrad以下）に冷却する必要があることも明らかにした。この温度要件は技術的に十分に達成可能であると考えられる。
4.3 断熱的射出
次に前節とは異なる射出方法として、端板電圧の高速
スイッチングを伴わず、イオンを LPT から断熱的に射出する場合を検討した[10]。LPT の閉込条件および元となるクーロン結晶（Ca+－N2+の 2 粒子結晶）は前節の場合と同一である。端板 A 電圧 VA = 0.5 V は保持したまま、上流側端板 B 電圧 VB を 0.5 V から 8.82 V へ 10 ms か
けてゆっくりと昇圧する（昇圧速度は 832 V/s）ことで、断熱的に先頭の N2+ のみを射出し、その後、初期エネル
ギーE0 を付与するために負電位（−700 V）を印加した引出電極（Fig. 1 の Shield electrode）により静電的に引き出
した。

2

4
6
Time [ms]8

10

Figure 6: Temporal evolution of the axial position z of thetwo ions. The origin of the abscissa is the time when thevoltage ramping of the end plate electrode B is initiated.
VB has been increased from 0.5 V to 8.82 V for 10 ms while
VA is kept at 0.5 V.

20

3
2

10

px [mrad]300

y [nm]

Waist position [mm]

330

0
-10
-20
-20

1
0
-1
-2

-10 0
x [nm]

10

20

-3
-20

-10 0
x [nm]

10

20

Figure 7: Transverse cross-sectional and phase-space
distribution of the N2+ ions near the waist position (z =315.950 mm). The results of 100 independent simulation
runs are plotted. Single N2+ ions sympathetically cooledwith Ca+ are ejected adiabatically from the LPT byincreasing VB and then accelerated up to 14 keV throughthe two-stage bipotential lens.
Figure 6 に２粒子の z 位置の経時変化を示す。前節（Fig. 2）の場合とは異なり、２つのイオンは 4.5 mm 付近
までほぼ同じ粒子間距離、すなわち結晶状態を維持したまま断熱的に移送される。10 ms の昇圧完了直後にN2+が端板 A の障壁を超え LPT から射出され下流の加速レンズへと輸送される。他方、Ca+は LPT 内に捕捉されたままである。Figure 7 に加速レンズ通過後のウエスト近傍における分布を示す。横方向規格化 rms エミッタンス
および rms スポットサイズは、いずれも前節の場合とほぼ同等の 6×10−16 mrad、1 nm であり、断熱的射出の場合にも有意な加熱なく加速・集束できることが確かめられた。
射出方法が異なるために加速レンズとしての物点における位相空間分布が厳密には一致しないにも関わらず、N2+が集束される z 位置（ウエスト位置）の違いは 10 μm程度と小さく、ほぼ同じスポットサイズが達成されることが分かった。
構成粒子数が比較的大きい際に形成される殻構造の混合クーロン結晶を用いた場合にも、同様に数 nm のス
ポットサイズへ集束できることを確認した。

- 473 -

Proceedings of the 20th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan
August 29 - September 1, 2023, Funabashi

PASJ2023 WEP03

5.

まとめ

ダイヤモンド NV センターの精密配列作製等の量子技
術応用を目指して、レーザー冷却に基づいた超低エミッタンス単一イオン注入システムの特性を系統的な分子動力学シミュレーションにより検討した。LPT において Ca+
イオンのドップラー限界温度近傍まで共同冷却した N2+
イオンは、高圧パルススイッチングによる速い分離射出、および、断熱的な遅い射出のいずれの場合にも、
10−16 mrad オーダーの極めて低い規格化エミッタンスのまま射出でき、静電加速レンズにより 1 nm 程度に集束可能である。すなわち、目標とする照射精度が実現可能であることが理論的に示された。さらに、加速電圧や冷却温度等に対する依存性を探索し、装置としての集束特性を明らかにした。
QST 高崎研では、これまでにスタディ用の LPT で Ca+のクーロン結晶生成を達成した。現在は本注入装置の構築を進めているところである。

[13] K. Izawa, “Controlled Extraction of Ultracold Ions from a
Linear Paul Trap for Nanobeam Production”, J. Phys. Soc.
Jpn., 79 (2010) 124502, doi:10.1143/JPSJ.79.124502[14] R. W. Hasse and J. P. Schiffer, “The structure of thecylindrically confined Coulomb lattice”, Ann. Phys. 203(1990) 419, doi:10.1016/0003-4916(90)90177-P[15] L. Hornekær et al., “Structural Properties of TwoComponent Coulomb Crystals in Linear Paul Traps”, Phys.
Rev. Lett. 86 (2001) 1994,
doi:10.1103/PhysRevLett.86.1994[16] Y. Ishii and T. Kojima, “Reduction of the divergence angleof an incident beam to enhance the demagnification factor ofa two-stage acceleration lens in a gas ion nanobeam systemof several tens of keV”, Nuclear Inst, and Methods in Physics
Research B 420 (2018) 12,

謝辞
本研究 は、JSPS 科研 費 JP20H00145 および JST
ムーンショット型研究開発事業 JPMJMS2062 の支援を受けて実施したものである。

参考文献[1] See,

e.g.,

MRS

Advances

7(2022)

issue

doi: 10.1016/j.nimb.2018.01.013[17] https://www.3ds.com/products-

36,

https://link.springer.com/journal/43580/volumes-andissues/7-36[2] J. Meijer et al., “Towards the implanting of ions andpositioning of nanoparticles with nm spatial resolution”,
Applied Physics A 91 (2008) 567–571,
doi:10.1007/s00339-008-4515-1[3] M. Singh et al., “Electrostatically defined silicon quantum
dots with counted antimony donor implants”, Appl. Phys.
Lett. 108 (2016) 062101. doi:10.1063/1.4940421.
[4] 根来誠、“量子センシングハンドブック”、（NTS、2021）.
[5] M. Knoop, N. Madsen, and R. C. Thompson, “Trapped
Charged Particles” (World Scientific, 2016).
[6] S. Kurashima et al., “Irradiation Facilities of the Takasaki
Advanced Radiation Research Institute”, Quantum Beam Sci.
1 (2017) 2, doi:10.3390/qubs1010002[7] D. H. E. Dubin and T. M. O’Neil, “Trapped nonneutral
plasmas, liquids, and crystals (the thermal equilibrium
states)”, Rev. Mod. Phys. 71 (1999) 87,
doi:10.1103/RevModPhys.71.87[8] P. Bowe et al., “Sympathetic Crystallization of Trapped
Ions”, Phys. Rev. Lett. 82 (1999) 2071,
doi:10.1103/PhysRevLett.82.2071[9] N. Miyawaki et al., “線形ポールトラップイオン源からの選
択的イオン取出しに関する研究”, Proceedings of the 19th
Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan,
2022, pp. 61-64.
[10] K. Muroo et al., “Simulation study of ultrahigh-precision
single-ion extraction from a linear Paul trap”, Prog. Theor.
Exp. Phys. 2023 (2023) 063G01, doi:10.1093/ptep/ptad071[11] N. Miyawaki et al., “Calculation study of selective ion
extraction from ion source with Paul-trap-type laser coolingdevice”, Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B
542 (2023) 183, doi: 10.1016/j.nimb.2023.06.015[12] Y. Ishii et al, “Design of an apertureless two-stage
acceleration lens for a single-ion implantation system”,
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B 541 (2023)
200, doi: 10.1016/j.nimb.2023.05.021- 474 -

services/simulia/products/cst-studio-suite/