123VOL.

2023.Oct. Quarterly

Lecture — 2
記念講演「Nd-Fe-B 磁石の発明から―研究の Nucleationを成功させよう―」

大同特殊鋼株式会社 顧問、NDFEB 株式会社 代表取締役

佐川 眞人 先生

À la carte — 4
京の台所を訪ねて14

トルコ料理専門店「イスタンブール サライ」
Information — 5

SEMICON Japan 2023お知らせ
サムコ科学技術振興財団
2023年度 第7回研究助成金贈呈式
および記念講演 報告
Technical-Report — 6

3室 CVD 装置「PD-2203LC」の紹介

秋の紅葉の名勝に光明寺の『もみじ参道』訪問

京都府長岡京市に位置する光明寺。西山浄土宗の総本山で、京都でも指折りの紅葉名所。全山紅葉の自然な浄域を満喫できる。特に総門から表参道「女人坂」のなだらかな石段を登り詰めた御影堂、薬医 門を中心とした『もみじ参道』の紅葉のトンネル。
参道に敷き詰められた「敷もみじ」に心を奪われるでしょう。
「紅葉特別入山日：11月11日（土）～12月3日（日）」にゆっくり訪れてはいかがでしょうか。
（光明寺および近隣には駐車場がないため、個人で拝観される場合は公共交通機関をご利用下さい）
やくいもん撮影 ⓒ 中田 昭

Lecture

サムコ科学技術振興財団 2023年度 第7回 研究助成金贈呈式

記念講演「Nd-Fe-B 磁石の発明から ―研究の Nucleationを成功させよう―」
サムコ科学技術振興財団 2023年度 第7回研究助成金贈呈式が、9月13日に京都リサーチパークにて開催されました。贈呈式に続いて行われた記念講演に佐川眞人先生（大同特殊鋼株式会社 顧問、NDFEB 株式会社 代表取締役）をお招きし、講演を行っていただきました。記念講演の要旨をご紹介いたします。

大同特殊鋼株式会社 顧問、NDFEB 株式会社 代表取締役

佐川 眞人 先生
さが学 歴 1966年3月
1968年3月
1972年3月

神戸大学工学部電気工学科卒業
神戸大学大学院修士課程（電気工学）修了
東北大学大学院博士課程修了（金属材料工学）、学位取得（工学博士）
略 歴 1972年4月 富士通株式会社 入社（1982年5月まで）
1982年5月 住友特殊金属株式会社（現 株式会社プロテリアル）入社（1988年2月まで）
1988年3月 インターメタリックス株式会社 設立、同社代表取締役 就任（2012年6月まで）
2013年12月 NDFEB 株式会社 設立、同社代表取締役就任（現任）2016年10月 大同特殊鋼株式会社 顧問 就任（現任）2017年4月 日本電産株式会社（現 ニデック株式会社）
顧問 就任（2019年3月まで）
2017年4月 京都大学エネルギー理工学研究所 特任教授 就任（2019年3月まで）
2019年10月 東北大学 特別招聘プロフェッサー称号 授与（現任）
2022年7月 名城大学カーボンニュートラル研究推進機構 シニアフェロー 就任（現任）▶ はじめに
サムコ科学技術振興財団の研究助成金を受けられました7名の研究者の皆様、おめでとうございます。私は、現在の大学や企業の研究者には、今のやり方ではなく、もっと大きく広がるような研究や従来の壁を突破するような研究をしてほしいと思っています。では一体どのような研究をすればよいのかについて、これからお話をします。
▶ 10年後のニーズにもとづく研究のすすめ
私は会社に所属した際、初めてニーズにもとづく研究をやりました。結果、上手くいくことは多かったのですが「ニーズにもとづく研究は駄目だ」と叱られることもありました。材料科学で著名な増本健先生の論文『材料科学のイノベーションを目指して』においても、「目的が先に決まっている計画的な研究でノーベル賞が取れたことがない」と語られています。また、NHK の『未来の研究者を目指す若者へ』でも、ノーベル生理学・医学賞を受賞された大隈良典先生が「その研究が何の役に立つかと聞いてはいけない」「ニーズにもとづく研究をしようと言ってはいけない」と語っておられます。「何の役に立つのか？」から出発すると研究のスケールが小さくなるため、もっと大きなスケールの研究をしなければノーベル賞の受賞者は出てこないと仰っているのだろうと私は感じました。
こうした意 見もありますが、私は“10年 後の ”
ニーズにもとづく研究をしてほしいと思っています。目標を10年後とすることで、今は実現していないが現実離れもしていないという手ごろな目標が設定できるためです。そうすれば新研究分野の Nucleation（ニュークリエーション）が狙えると考えます。私の場合、Sm-Co（サマリウム・コバルト）磁石しか存在しない時代に、誰もやっていなかった希土類＋鉄の磁石が10年後のニーズであると考え、非公式の研究テーマに取り上げたこと
でNd-Fe-B 磁石（ネオジム磁石）の芽を見つけました。私はこれを新研究分野の Nucleationと呼vol.123 / 2023. OCT.

んでいます。
今日、私が申し上げたいのは、ネオジム磁石の芽を見つけたことは新研究分野の Nucleationであったことと、日本の研究者の皆様には10年後のニーズにもとづく研究で新研究分野の Nucleationを起こしていただきたいということです。
▶ ネオジム磁石をどうやって見つけたか？
私は、材料科学者を目指して神戸大学工学部で電気工学を学び、大学院から表面物理科学の研究室に所属しました。研究テーマは『固体表面の性質、構造、結晶成⾧の研究』で、研究も材料科学の勉強も精一杯やり、東北大学大学院で博士（工学博士）の学位を取得しましたが、ジャーナル等への論文投稿には至らず、よくできる研究者にはなれませんでした。大学に残りたい思いがあったものの、富士通研究所材料研究部に就職しました。配属後、会社から与えられた研究テーマは『リレーやスイッチに使う磁性材料の開発』でした。当時、自分に自信がなかった私にとって磁性材料の研究は未知の領域であり、目の前が真っ暗になりました。しかし、磁性材料の書籍で一生懸命に勉強をしました。すると、会社の研究は目的がはっきりしていて能力を発揮しやすいことが分かってきました。上司からも高く評価されて自信も付いてきました。入社5年目、新たな研究テーマとして『フライングスイッチ用 Sm-Co 磁石の開発』という永久磁石のテーマが与えられました。フライングスイッチとは、直径が３mm 程の細いガラス管の中に小さな磁石を入れ、外部に取り付けたコイ
ルにパルス電流を流し、磁石が動くことで電流をオン・オフさせるスイッチで、当時の最強磁石だったSm-Co 磁石が使われていました。磁石の動く距離は0.1mm 程ですが、使う回数が増えると磁石が欠けるため、丈夫で壊れない Sm-Co 磁石の開発を私一人でやることになりました。正規の研究テーマ『 Sm-Co 磁石の機械的強度改良』のスタートです。以降、磁石の研究は全て独学でやり、

わまさと

受賞・ 1984年 大阪科学賞
表彰歴 1985年 科学技術庁長官賞
1986年 米国物理学会 International Prize for
New Materials
1988年 日本金属学会功績賞
1990年 朝日賞
1991年 日本応用磁気学会 学会賞
1993年 大河内記念賞
1998年 Acta Metallurgica J. Hollomon Award
2003年 本多記念賞
2006年 加藤記念賞
2012年 日本国際賞
2016年 永守賞特別賞
2018年 NIMS Award2018
2020年 日本金属学会賞
2022年 エリザベス女王工学賞 Queen Elizabeth
Prize for Engineering
2022年 IEEE Medal for Environmental andSafety Technologies

サンプル作製装置や磁気特性の評価装置を自作したりして、磁石の研究の面白さに没頭しました。
磁 石 の 歴 史 を 振り返 ると、1977年 以 降、Sm-Co 磁 石が急 激に発 展していました。皆がSm-Co 磁石の製造方法や材料組成を変えて性能を伸ばしていた時代です。磁石を構成する元素は、鉄（ Fe）、コバルト（ Co）、ニッケル（ Ni）である鉄族元素 T（ Transitional metal）と、17種類の元素からなる希土類元素 R（Rare earth）であり、この TとRを組み合わせると強い磁石になることは1960年頃に分かったようです。1960～1970年頃、Tにコバルト、Rにサマリウムを使うことで大成功していました。当時の私はSm-Co 磁石の勉強に勤しみ、壊れない Sm-Co 磁石の開発も順調に進めていました。一方で、資源が無尽蔵にあり、コバルトより磁気モーメント（磁気の作用を表す量、磁気能率）が高い “ 鉄 ”は一切使われておらず、誰も研究をしていませんでした。「理論的には可能なはずなのに、鉄を使ったR-Fe 磁石が何故できないのか？」という疑問が湧きました。こ
こから私の非正規の研究テーマ（非公認のアングラ研究）である『 R-Fe 磁石の開発』がスタートしました。
当時は家で考えたり勉強したり、土曜に会社の実験室でサンプルを自作していましたが、残念ながらアイデアは浮かびませんでした。そんな時、1978年1月、『希土類磁石の基礎から応用まで』というシンポジウムに出席しました。発表はコバ
ルトを使った磁石ばかりで、鉄を使った磁石は誰もやっていません。ところが東北大（当時）の浜野正昭先生がヒントを与えてくれました。ほんの数分間、希土類＋鉄の結晶構造の化合物を示され、「鉄と鉄の原子間距離が短すぎるため強磁性体としての安定性が低くなる」と解説されました。その時、私は「結晶構造を広げるなら、カーボン（ C）やボロン（ B）のような小さい原子を入れれば、結晶格子が膨張して、原子間距離が広がるのでは？」というアイデアが思い浮かび、すぐ実験に取り掛かりました。当時、会社の研究用に多くの希土類の元素を集めていた私は、様々な組み合わせで実験を繰り返し、比較的早い段階で、ネオジム＋鉄＋ボロン（ Nd-Fe-B）の組み合わせが有望なことを発見しました。1978年の終わりから1979年の初め頃です。この段階で、R-Fe 磁石の研究がしたいと上司に進言しましたが、会社の方針で磁石の研究を止めることが決まりました。ネオジム
磁石は社会が必要としていると確信していた私は、1982年に大阪の磁石メーカーである住友特殊金げるには役立ってないことが分かりました。私の尊属株式会社（現 株式会社プロテリアル）に転職し敬する金森順次郎先生は「ボロンと鉄が化学結ました。そして同年7月、住友特殊金属の実験室合して、ボロン付きの鉄がコバルトそっくりになってで世界最強のネオジム磁石が誕生しました。住友いる」「鉄がコバルトの合金のような状態になって特殊金属では「お金はいくら使ってもいいし、人も磁気が強くなる」と説明されました。確かにコバルいくらでも出す」と言ってもらい、当初2人だったメ トを30～40％混ぜた鉄とコバルト磁石は磁気がンバーも10数人にまで増えました。その後、様々な強かったのですが、私は疑問を抱いておりました。
特許を発表しながら、1983年11月に米国ピッツ
その後、2017年に産総研の三宅隆さんが、仮想バーグで世界最強のネオジム磁石の学会発表を結晶の磁気モーメントを第一原理計算した方法で行い、今現在も世界最強を維持しています。
否定されました。ネオジム磁石のボロンの位置にVacancyとしてカーボン、窒素、酸素、フッ素などを入れた仮想的な結晶で磁気がどのように変化するかを計算されたところ、ボロンを入れた場合は磁気モーメントが低下することが分かり、逆効果であることが提言されました。つまり、ボロンの役割は何なのかというのは実は明確には分かっておりません。
私の功績は、正方晶 Nd-Fe-B 強磁性化合物を発見したことと、この化合物を含む磁石に適した磁 石 合 金を発 見したことの2つです。研 究開始時の既存データからこのような研究をする場合、何もデータがないため提案書を書くことは世界最強磁石の変遷不可能ですし、まるで予言書を書くようなもので▶ ネオジム磁石の用途す。つまり、ネオジム磁石の発見は新研究分野のネオジム磁石は身近な製品に搭載されています。 Nucleationであったと言えるのです。
コンピューターの HDDは重さ10キロあったもの
最近は文科省などからDXを用いた『データ創が、ネオジム磁石を使うことで手に乗るサイズにま出・活用型マテリアル研究開発プロジェクト事業』
で小さくなりました。スマートフォン、エアコン、産業が強く推奨されています。存在しないデータをAIロボット、電気自動車、風力発電機などにも使われで創出する、あるいはAIでデータを探して発明・ており、多くの製品の小型・軽量化、高機能化に大発見をしようという方法です。しかし、もっと大事きく貢献しています。ネオジム磁石の世界の年間なことは10年後の社会のニーズを早く見つけるこ
生産量は、2000年には約1万トンでしたが、2021とだと思います。AIで研究テーマを見つけること年には15万トンを超えています。
はできませんし、私はDX 法なしで発想から発明まで4年でできた実績があります。
▶ ネオジム磁石の発明は、研究の Nucleation であった
▶ 会社の研究でも、アカデミアの研究でも、現在の体制では研究の Nucleation は希土類＋鉄磁石の開発について振り返りますと、出てこない当時のデータや技術、知識を集めて、どう展開していくかを考える訳ですが、役に立つデータが全くないとすぐ頓挫してしまうため、論理的に考えてもどうにもならないことがあります。例えば、コバルトを鉄に置き換える際、鉄を20％くらい置き換えたあたりから磁力がガクッと落ちてしまう現象がありました。また、ネオジム磁石も同様に、鉄をコバルトに置き換えていっても同じように磁力が落ちてしまいますので、単にコバルトと鉄を入れ替えるという近視眼的に少しずつ変更する方法を取っていたのでは全く先を見通せないということです。どこかで一気にジャンプする必要があり、そのジャンプした先（従来技術から少し離れた先）に研究の新しいフロンティアがあると私は思っています。そこからグーッと研究が広がっていくのが新研究分野の膨張（Growth）です。
それから、ボロンは原子間距離を広めるという研究をしましたが、ボロンは鉄と鉄の原子間距離を広会社の研究は全て計画的でニーズにもとづく研究であるため、必ず達成することが前提になっています。私も会社時代にやりました。一方、アカデミアの研究は野心的な目標を掲げたテーマが多い。科研費等で選ばれた研究者に重点的に予算配分され、選ばれた研究者は全力で取り組みます
が、仮に不達成でも追及されていないように感じますので、これではNucleationになりません。つまり、会社の研究はGrowth 的研究に限られ、アカデミアの研究も結局はGrowth 的成果しか出てこない。現在の体制で研究の Nucleation が出てくることは難しいのです。
▶ 研究の Nucleation が出てくる研究体制の提案

そこで、私から研究の Nucleation が出てくる研究体制を提案します。改めて私の R-Fe 磁石の研究は“10年後のニーズにもとづく研究 ”でした。Sm-Co 磁石の時代は、当時の最先端である
Sm-Co 磁石の改良だけで磁気特性が上がって皆が喜び、それだけで充分に価値のある研究でした。そんな中、R-Fe 磁石の研究は当時のニーズではなく、正に10年後のニーズだったのです。また、コバルトを鉄に変えるという現実離れしていない手ごろなテーマでもありました。そして、Sm-Co磁石の時代にR-Fe 磁石は全く存在していなかったため、もし見つかれば Nucleation 的な発見・発明になる可能性がありました。こういった模範的な研究テーマを探していただきたいのです。
私は、全ての研究者がアングラ研究として新研究分野の Nucleationを目指す研究体制を実現してほしいと思っております。まず、各々がニーズを100％実現するアイデアを自分で考えます。
研究テーマが見つかれば、そのニーズを100％実現するアイデアを出していきます。そして、思考実験から実験室での実験で試料を作って評価します。評価して駄目なら何回もやり直します。
これを何度も繰り返して上手くいかなければ、もう一度10年後のニーズを考えるところに戻ります。何回も何回も繰り返すことで、有望な兆候を発見し、その兆候をしっかり捉え、新研究分野のNucleationを達成するような研究をしてもらいたいです。
新 研 究 分 野 の Nucleationを目指 すため のポイントは6つです。1つ目は、各々がニーズを100％実現するアイデアを自分で考えること。2
つ目は、目標（ターゲット）は10年後のニーズであり、現状とかけ離れたものではないこと。もちろん量産化は考慮する必要があります。3つ目は、目標（ターゲット）は今の時点では存在しないが、成功すれば Nucleation 的成果になる可能性があること。4つ目は、研究のやり方を自分で考えること。何回もやり直しが可能で、成功すれば純粋に自分の成果になるため、やりがいがあります。5つ目は、実験・サンプル作製によりアイデアを発展させていくこと。6つ目は、全ての（若手）研究者は、グループ全体の研究活動に参加しつつ、一定比率の時間を自分独自の研究テーマをもってNucleation 的成功を目指すことです。研究所
によっては「我々は若手研究者には自由研究をさせている」と言われることもありますが、私は少し違うと思います。私の提案は、完全な自由ではなく10年後のニーズにもとづくという条件を持ったテーマを自ら探せます。このような公認のアングラ研究ができる研究体制を作るべきだと考えています。また、文科省では挑戦的萌芽研究等で予算を出しているという意見もありますが、これも私は違うと思っています。これは有望な兆候を発見した後で予算を配分しているのであり、私の提案はその前段階で研究支援をしたり予算を配分したりしましょうということです。
最後に、日本の全若手研究者が Nucleationを狙う研究体制の条件を挙げます。『公認のアングラ研究』、『一定の少額予算』、『１年ごとに簡単な報告書提出』、『芽が出そうな有望な兆候を発見したら正式報告』、『期限5年』。これらの条件を満たし、皆が挑戦できるような研究体制ができれば、日本の若手研究者が世界をリードするようになる！と私は考えております。いかがでしょうか。以上が私の提案です。ご清聴ありがとうございました。

2-3À la carte
調理法で仕上げた料理が多いですね。スー

京の台所を訪ねて 14プや前菜に始まるコース料理は非常に奥深いものになっています。また多くの野菜を使̶̶《 海外編1》

うことも特徴です」

今号からは少し和食を離れて、京都で本物の外国料理を提供している料理店を紹介します。京都府で唯一のトルコ料理専門店「イスタンブール サライ」を営む
カヤ・シャハップさんに尋ねました。

昼の営業時間（土・日曜日と祝日のみ）にはランチメニューが用意されています。
多彩な単品料理も提供しており、9割以上のお客様がオーダーするのはカルシュク メゼ（前菜5種盛り合わせ）￥１,９５０（税込）。ト
ルコの白チーズやチキンとくるみのペースト、の大勢の外国人が来店されてひよこ豆のペーストなどの前菜を、同店で毎いると思います」

日焼いているパンに付けて味わえるこの料理

トルコ料 理は世 界 三 大 料 理は絶品です。ちなみにヨーグルトも自家製での一つであり、結婚式などで振す。そのほかの単品料理としては、ぶどうのる舞われるケシケキとトルココー

葉のピラフ包みや、なすびの野菜詰めなどがヒーは、ユネスコの無形文化遺あります。

産に登録されています。米料理

コース料理で一番人気があるのは、ケバブなどもあり、日本人には親しみやコース￥3,750（税込）。本日のスープをはじすいと言われていますが、どのめ、前菜4種盛り合わせ、パン、ケバブ（野菜ような料理かあまり知られていとピラフ添え）、デザート、チャイあるいはトルコません。カヤさんによれば、トルコーヒーが提供されます。よく知られるシシケ

コ料理は3つの源流をもちます。1つ目は、バブについて「シシは“ 串 ”、ケバブは“ 焼肉 ”

下鉄東西線「京都市役所駅前」から徒歩で内陸アジアの遊牧民の食文化です。代表的という意味です。当店は炭で焼いており、この約2分のロケーションにあります。店内には、なものはヨーグルト。2つ目は、南下西進すコースでは串から外してお出ししています」

2002年12月のオープンに際してトルコからる中、中央アジアで出合ったイスラム世界のデザートには、伸びるアイスクリームやライ持ち運んだテーブルやタイル、岩石遺跡群食文化です。3つ目は、進出したアナトリアスプディングなどがあります。またトルコは良“カッパドキア”を描いた焼物などが異国のに台頭したオスマントルコ帝国などの食文化

質なぶどうに恵まれ、美味しいワインが醸造雰囲気を漂わせています。厨房で腕を振るで、特に宮廷で洗練されていきました。

されています。珍しいワインやビール、トルコ「イスタンブール サライ」は、京都市営地「オスマン帝国の規模は実に大きく、各地の蒸留酒など、好みのドリンクと料理をあわイスタンブールはトルコの旧首都で、サライの美味しい料理が王様に献上されました。やせて楽しめます。

はトルコ語で“ 宮殿 ”などを意味しますが、店がてそれが民衆にも伝わります。そのような「これまで日本とトルコの交流にも努めな名の由来について「イスタンブールをホーム食文化が融合し、トルコ料理ができ上がりましがら、多くの方に親しんでいただけるトルコとするプロサッカークラブ『ガラタサライ』のた」。同店は宮廷料理の流れを受け継ぎます料理を届けてきました。もう少しレベルを上大ファンだったので」とカヤさん。グローバルが、トルコの一般的なレストランなどで提供さげた料理も味わっ化した現在とは異なり、当初は食材の仕入れる代表的な料理をメニューにし、価格帯はていただき、トルコうのは、トルコ人シェフです。

れに苦労したそうですが、「すごく美味しい」中間ぐらいに設定したそうです。もちろん、メ料理をもっと広めと好評を博し、21年間来店してくれるお客ニューはすべてハラル対応になっています。

られればと思って様も大勢います。

「トルコ料理は非常に辛いイメージがあるいます」。本物の「オープンから7年ほどはお客様のほとんようですが、香辛料はほとんど使いません。

美味しさとの新たどが日本人でした。今はヨーロッパなどから使うのは、むしろハーブです。塩、コショウでな出合いに期待がの外国人観光客も来られますし、京都在住味をつけて素材の特性を生かし、シンプルな膨らみます。

トルコ料理専門店「イスタンブール サライ」
京都市中京区河原町通三条上ル恵比須町534-28
松木ビル3F（河原町通から姉小路東へ）
TEL 075-213-2995
URL http://istanbul-saray.com
営業時間 ランチ 12:00～15:00（土曜・日曜・祝日）
ディナー 17:30～22:00（毎日）
定休日 不定休 ／ 収容人数 最大30名※平日のランチタイムも含め、少人数の宴会から貸し切りパーティーまで、随時ご予約を承っております。
カルシュク メゼ（前菜5種盛り合わせ）vol.123 / 2023. OCT.

4

Information

SEMICON Japan 2023お知らせ
会期

2023年12月13日（水）～ 15日（金）会場

東京ビッグサイト

ブースNo． 4409（東4ホール）

来る12月13日から15日までの3日間、DX 時代を支えるエレク
トロニクスの製造サプライチェーンを支える展示会「 SEMICONJapan 2023」が東京ビッグサイトで開催されます。本展示会には800社以上が出展し、60,000人の来場者が集まります。
当社は、SiC パワーデバイスの生産に対応したクラスターツールシステム「クラスターH™」や最先端分野の研究開発用の極低温ICP エッチング装置、VHF 帯を含めた複数の周波数を印加することが可能な多機能 CVD 装置を紹介します。
当社ブースは東4ホール入口正面に位置しています。SEMICONJapanに来られた際は、ぜひ当社ブースにお越しください。皆様のご来場をお待ちしております。

SEMICON Japan 2022 サムコブースの様子

サムコ科学技術振興財団
2023年度 第7回研究助成金贈呈式および記念講演 報告
9月13日、京都リサーチパークにおいてサムコ科学技術振興財団（理事長辻 理）の2023年度 第7回研究助成金贈呈式が開催され、薄膜、表面および界面の分野の若手研究者7名にそれぞれ200万円、総額1,400万円が贈呈されました。式典後には、大同特殊鋼株式会社 顧問で、NDFEB株式会社 代表取締役の 佐川 眞人 様による記念講演※が行われました。
研究助成対象者7名と研究課題は以下の通りです。
名古屋大学

黒澤昌志准教授

冷熱発電展開を目指したシリコン系薄膜の表面・界面制御技術

京都大学

新宅博文教授ナノポーラス絶縁性薄膜を用いたELASTomics の応用展開

東北大学

菅原克明

准教授

結晶の対称性を制御した新規原子層膜の創生と新規物性開拓

京都大学

杉安和憲教授分子集合体の界面設計による超分子プラスチックの開発

上智大学

富樫理恵

准教授

ナノコラム結晶を用いた三原色集積型発光デバイスの基盤技術開拓

東京大学

前田拓也

助教

ScAlN/GaN ヘテロ接合の物性解明および電子デバイス応用

宇宙航空研究開発機構

森下貴都

研究開発員

マイクロ波放電式イオンエンジンプラズマによる宇宙機表面材料への影響評価※佐川眞人様の記念講演につきましては、本誌の2-3頁をご覧ください。

読者アンケートのお願い
サムコナウへのご意見・ご感想をぜひお聞かせください。
今後の誌面の改善に役立てさせていただきます。

vol.123 / 2023. OCT.

アンケートはこちらから

5

Technical-Report

3室CVD装置「PD-2203LC」の紹介
サムコ㈱ プロセス開発2部▪ はじめに処理することで、1カセットあたりのタクトタイムを短く処理することが可能である。

当社は1979年の創業以来、独自性と実用性を兼ね備えたプ

原料にはSiH4だけでなく、液体原料の TEOS や SN-2™を用ラズマ CVD 装置とプロセス技術を提供してきた。近年は、2周いてSiO2 や SiNを成膜することができる。13.56 MHzと400波を用いた膜応力制御や VHF 帯の周波数の採用など新たな装kHzを重畳する2周波プロセスは、400kHzによるイオン性の成置開発を進めている。生産向けにドライクリーニングによる成膜膜を活かすことで優れた応力制御性を有する。また13.56 MHz安定性の向上およびタクトタイムの短縮も進めており多くのお客ではなく、より高い周波帯（VHF 帯）である27、40、60 MHz の様にご評価いただいている。今回は生産と研究の両方に利用可能な3チャンバーCVD 装置『PD-2203LC』について紹介する。

いずれかを用いることで高密度なプラズマを生成し、成膜レート▪ 装置仕様ある。の高速化およびラジカルの反応性を活かしたプロセスが可能でPD-2203LCは実績豊富なCVD 装置『 PD-220NL』の反▪ 成膜データ応室（ Reaction Chamber: RC）を3つ備えた装置である。写図1にPD-2203LCによる成膜結果を示す。8インチウエハー

真1に装置の外観を示す。真空カセット室と大気カセット室が選を用い、RC1では13.56MHz のみでSiH4-SiＮを、RC2では2択可能であり、ウエハー直接搬送の場合は真空カセットを、トレイ

周波でSiH4-SiO2を、RC3も2周波でTEOS-SiO2をそれぞれ搬送の場合はプロセス後大気中で放熱が促進されるため大気カ10バッチ連続成膜した。RC2とRC3の各 SiO2 膜の均一性は、セットを推奨している。研究用途としては、それぞれの反応室で2周波で成膜した影響で均一性が若干大きい値を示しているも異なる膜種の成膜を実施することで、コンタミなどの影響を抑制のの、いずれのプロセスでも10バッチ連続で均一性と成膜レートできる。生産用途においては、同じ膜種を3つの反応室で同時は非常に安定していることがわかる。

▪ おわりに3チャンバーCVD 装置『PD-2203LC』を紹介した。本装置は成膜にSiH4ガスや液体原料を用いることができ、周波数の選択が可能で多目的に利用できる。生産用途では、反応室内への汚れの付着を低減し、ドライクリーニングで洗浄しやすいよう反応室内部部材を工夫している。その結果、年間を通じて反応室の大気開放の回数を減らし、良好なメンテナンス性が得られている。
当社の経営理念である「薄膜技術で世界の産業科学に貢献する」 に基づき、今後も科学技術、産業技術の発展に貢献でき
写真1：装置外観るよう、装置およびプロセスの開発を継続していく。

図1. PD-2203LCによる10バッチ連続成膜結果

12345678910

Wafer No.

(a) RC1: SiH4-SiNの成膜、
13.56 MHz のみ

123456

Wafer No.

78910TEOS-SiO2 ∅8" deposition (13.56 MHz + 400 kHz)

サムコ株式会社〒612-8443 京都市伏見区竹田藁屋町36

TEL 075-621-7841

E-mail koho@samco.co.jp

12

3456

78910

Wafer No.

(b) RC2: SiH4-SiO2の成膜、13.56 MHz + 400 kHz の重畳

vol.123

10.0
9.0
8.0
7.0
6.0
5.0
4.0
3.0
2.0
1.0
0.0

(c) RC3: TEOS-SiO2の成膜、13.56 MHz + 400 kHz の重畳

2023年 10月発行
バックナンバーも、こちらからご覧いただけます。

50.0
49.0
48.0
47.0
46.0
45.0
44.0
43.0
42.0
41.0
40.0

Deposition rate [nm/min]

30.0
29.0
28.0
27.0
26.0
25.0
24.0
23.0
22.0
21.0
20.0Uniformity [±%]

10.0
9.0
8.0
7.0
6.0
5.0
4.0
3.0
2.0
1.0
0.0

Deposition rate [nm/min]

Uniformity [±%]

SiH4-SiO2 ∅8" deposition (13.56 MHz + 400 kHz)
35.0
34.0
33.0
32.0
31.0
30.0
29.0
28.0
27.0
26.0
25.0

Deposition rate [nm/min]

Uniformity [±%]

SiH4-SiN ∅8" deposition (13.56 MHz)
10.0
9.0
8.0
7.0
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