THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

OMI 短波赤外
多用途シャックハルトマンセンサー● 取り込み速度は最大300Hz、解析速度は最大200Hz● InGaAsカメラによりSWIR波長域に最適化● シングルパス（OMI）およびダブルパス（Optino）による正確な計測● 光学素子、レーザー、レーザーダイオード● あらゆる焦点距離と直径のテストが可能（アクセサリー使用時）● 広いダイナミックレンジ● ミディアム（35x35）およびハイサンプリング（60x60）オプション● 生産ラインに適応可能

OMI SWIROMI SWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

技術仕様
ハードウェア
測定対象

光学素子、レーザーおよびレーザーダイオード

測定可能なレーザーダイオードのパワー数mW。それ以上の出力には電力低減システムが必要（利用可能）スポットの数（以下のカメラを参照）

35x35 (スタンダードカメラ)、60x60 (ラージフォーマットカメラ)

標準レンズレットアレイの直径と焦点距離φ=0.2mm、f=11mm、φ=0.15mm、f=7mm

ソフトウェア
ソフトウェア(制御及び解析)

Sensoft 64 ビット Win7、Win 8.1、Win 10 用ゼルニケ係数のRMS繰り返し再現性<2nm rms (λ/800 @ 1550nm)

モーダル波面測定の RMS 再現性< λ/100

精度及びダイナミックレンジ

λ/20～λ/100 (校正に依存)、±50 λ

カメラ (詳細は次ページ)
ディテクター、波長範囲、冷却InGaAs 0.9μ～1.7μ、非冷却またはペルチェ冷却バージョン

接続、ビットギガビットイーサネット、12ビットまたは14ビット取得スピードフル解像度で100Hzから340Hzまで。 カスタムカメラでは最高1700Hzまで対応可能。

トリガー有り積分時間(最大)5μ秒～１00ミリ秒(非冷却)、５μ秒～1秒(冷却)アクセサリー
光源、ビームエキスパンダー及びコンプレッサー

測定波長のレンズを備えた高品質 LD、ビームエキスパンダー/コンプレッサー

2

OMI SWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICSOMI SWIRモデル：冷却および非冷却。高いデータ取得と計算速度
標準解像度
OMI-SWIR-340
解像度： ３５x３５スポット

3高解像度
OMI-SWIR-100-HR

チップサイズ：9.6ｘ7.68mm2
ピクセル数：320x256 ピクセルサイズ：30μ

解像度： 60x60スポット

高取得速度: 最大 344fps

チップサイズ：15.9ｘ12.7mm2

高計算速度: 最大 200Hz

ピクセル数：636x508 ピクセルサイズ：25μ高精度 InGaAs ディテクター

高取得速度: 最大 100fps

波長範囲：0.9～1.7μm

高計算速度: 最大 100Hz

ギガビットイーサネット接続

高精度 InGaAs ディテクター
波長範囲：0.9～1.7μm
ギガビットイーサネット接続

OMI SWIR
SWIR

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標準解像度OMI-SWIR仕様
型番OMI-SWIR-HS-340

OMI-SWIR-HS-340-C(冷却タイプ)

特長

ハイスピード、非冷却、344fps

ハイスピード、冷却、344fps

形状

長方形

長方形

ピクセル数

320x256

320x256

ペルチェ冷却無し温度安定化TEC1

ビット数

1414

操作温度(℃)

10℃～5℃～

電源(VDC)

10.8-30 または PoE 経由

10.8-30 または PoE 経由

消費電力(W)

10.8W(@ 12V DC)～12.5W (@ PoE) 10.8 (@ 12V DC)-12.5W (@ PoE)

重量(カメラ＋OMI)

340+50=390グラム

810+50=860グラム

寸法78ｘ55ｘ55 mm

90ｘ80ｘ80 mm

データ取得スピード

344 fps

344 fps

ループモードでのゼルニケ係数の解析速度(Hz)～200 Hz～200 Hz

4

OMI SWIR

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高解像度OMI-SWIR仕様
型番OMI-SWIR-100-HR

OMI-SWIR-100-HR-C

特長

ハイスピード、非冷却、100fps

高解像度、冷却、100 fps

ピクセル数

636x508636x508

ペルチェ冷却無し有り、温度安定化TEC2

ビット数

1414

操作温度(℃)

10℃～-20～+55℃

電源(VDC)

10.8-30 または PoE 経由

PoE 経由消費電力(W)

10.8W(@ 12V DC)～12.95W (PoE)

19W (@ 12V DC)～22W (PoE)

重量(カメラ＋OMI)

370+50=420グラム

810+50=860グラム

寸法78ｘ55ｘ55 mm

90ｘ80ｘ80 mm

データ取得スピード

100 fps

100 fps

ループモードでのゼルニケ係数の解析速度(Hz)～50 Hz～50 Hz5

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICSOMI SWIR

6OMI-SWIR-HS-340非冷却、OMI-SWIR-100-HR

OMI-SWIR-HS-340冷却、OMI-SWIR-100-HR-C

OMI SWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

分光感度
807

絶対的量子効率（％）

7060

50403020100800900

10001100

1200

1300

1400

波長 (nm)

1500

1600

1700

1800

OMI SWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICSSENSOFT:ソフトウェア
SENSOFT：モジュール式ソフトウェアパッケージ
8- OMIのハードウェアを完全に制御
4.8- シャックハルトマン（SH）解析の実行

Y (mm) ー Left

3.8

- ゼルニケ係数、診断 (アライメントと正しい焦点面)、波面、MTF、スポットダイアグラムの計算

2.91.9- 光学系のオンライン調整用ループモード搭載
1.0

0.0
0.0

1.0

1.9

2.9

3.8

4.8

生産ラインへのOMI:

X (mm) ー Down
4.
8
3.
8.8
3(mm)

ー

2.
9.9
2Left

1.
9ーY- OMI 専用PCを備え、生産ラインに容易に適応可能

.0
0

0.
00
1.

1.
091.

X)
m(m.84nowD

4.8- 製造機械のPCとクローズドループで動作可能

3.8ーftLe01.
.000.0(mm))
m(m1.
091.

ー

1.
9.92X

Y.83Down2.9.84- ソフトウェアモジュールがIP通信プロトコルを定義し、ローカルエリアネットワーク内のPC間で結果を転送

OMI SWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

高速ループでのオンラインアライメント

MTF測定

リアルタイムアライメント
lp/mm →1.0Sys

ゼルニケ係数 (nm)20406080100→ 0.782 0.548 0.338 0.210 0.159

Sys_X → 0.786 0.558 0.351 0.224 0.173

1400.91200.8100

Sys_Y → 0.778 0.538 0.325 0.197 0.145

Theor.

0.7

800.660

Coma X

40Coma Y20AstMTF

Coma

0.50.4Ast X
01020304050

Ast Y-20-60-80-100

Sys_X

0.2

Set no.
-40

Sys0.3

アライメント開始
Coma減少0.1

Sys_Y

0-0.1

-120-140●

連続ループでコマ収差と非点収差を監視することにより、複雑な光学システムの位置合わせが容易になります●

コマ収差と非点収差の個々の (x、y) 成分と合計係数が表示されます。

●

最適化は、一度に 1 つのコンポーネントに対して実行され、ソフトウェアは対象のコンポーネントを 1 つ表示できます

010 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 160 170 180 190 200 210

Frequency (lp/mm)

データに存在する傾きと焦点ぼけの影響を差し引いた後の MTF

9OMI SWIR

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ハードウェアOMI SWIRカメラ
900～1700nm InGaAs
標準カメラ (SWIR)

ギガビット接続

外形寸法：
89(L)×90(W)×71(H)mm (標準カメラ装着時)
90（L）×80（W）×80（H）mm （ラージカメラ装着時）
重量：400～1500グラム
カメラ：InGaAs、ギガビットイーサネット、12～14ビット 10

特長

OMI
OMIラージフォーマット
InGaAsカメラ
最大解像度：60ｘ60

校正光源(平行光源またはピンホール光源）：異なる
SWIR波長のLD（ｆｌ＝１１mm、φ=0.2mm)
最大解像度：35ｘ35
入力テストビーム●●●

φ= 7 mm (標準解像度)
φ=12 mm (標準解像度)
ビームコンプレッサーの使用により大きなビームサイズ（40mmまで）

測定技術：
シャックハルトマン波面センサー
平行光またはレンズ焦点での検査
平行光（校正ユニット付き）
レンズの焦点（ピンホール校正ユニット付き）
異なる波長の光源を使用可能
校正ユニットあり
高品質の平行光源（電動または手動）
ピンホール校正ユニット
多用途
あらゆる光学素子とレーザーをシングルパスでテスト
アクセサリー
利用可能なアクセサリのフルセット (光源など)

ソフトウェア●●

ソフトウェアによるレンズグループの簡単な位置合わせ:
ソフトウェアは、コマ収差と非点収差を使用して、光学システムの位置ずれをグラフィカルに表示します。
レーザーの安定化: ソフトウェアはレーザービームの焦点をグラフィカルに表示します。