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MUNEMOTO Kentaro, YAMAMOTO Naoki, AKAIKE Hiroyuki, FUJIMAKI Akira (Nagoya Univ.)
E-mail: munemoto@super.nuqe.nagoya-u.ac.jp㸬ࡣࡌࡵ࡟
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Fig. 1. Dependence of Vg on Hf film thickness

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Fig. 2. I-V characteristics of a NbTiN/Hf-HfOx/NbTiN junction(a)Thermally-oxidized HfOx (b) Plasma-oxidized HfOx㸬ㅰ㎡ᮏ◊✲ࡣࠊ-636 ⛉◊㈝  ࡢຓᡂࢆཷࡅࡓࡶࡢ࡛
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1. Hiroyuki Akaike, et al.: IEEE Trans. Appl. Supercond., Vol.
23 (2013) 1101306.
2. R. K. Edwards, et al.: J. Phy. Chem., Vol. 62 (1958)
p.45-47
3. C. Y. Ang: Acta Metallurgica, Vol. 1(2) (1953) p. 123-125
4. Shin’ichi Morohashi, et al.: Appl. Phys. Lett., Vol. 60(1992) p.3039-3041

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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

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2015年度秋季低温工学・超電導学会

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LTS デバイス㉸ఏᑟ䝷䞁䝎䝮䜰䜽䝉䝇䝯䝰䝸䛾䛯䜑䛾 㻿㻲㻽㻌㻺㻻㻾 䝕䝁䞊䝎䛾≉ᛶᨵၿ㻌㻯㼔㼍㼞㼍㼏㼠㼑㼞㼕㼟㼠㼕㼏㻌㼕㼙㼜㼞㼛㼢㼑㼙㼑㼚㼠㻌㼛㼒㻌㻿㻲㻽㻌㻺㻻㻾㻌㼐㼑㼏㼛㼐㼑㼞㼟㻌㼒㼛㼞㻌㼟㼡㼜㼑㼞㼏㼛㼚㼐㼡㼏㼠㼕㼚㼓㻌㼞㼍㼚㼐㼛㼙㻌㼍㼏㼏㼑㼟㼟㻌㼙㼑㼙㼛㼞㼕㼑㼟㻌㻌ᐑす㻌 㥴䠈㕥ᮌ㻌 ⚽㞝䠈ᒣ᲍㻌 ⿱ᕼ䠈ྜྷᕝ㻌 ಙ⾜䠄ᶓ὾ᅜ኱䠅㻌㻹㻵㼅㻭㻺㻵㻿㻴㻵㻌㻿㼔㼡㼚䠈㻿㼁㼆㼁㻷㻵㻌㻴㼕㼐㼑㼛䠈㼅㻭㻹㻭㻺㻭㻿㻴㻵㻌㼅㼡㼗㼕䠈㼅㻻㻿㻴㻵㻷㻭㼃㻭㻌㻺㼛㼎㼡㼥㼡㼗㼕㻌㻔㼅㻺㼁㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼙㼕㼥㼍㼚㼕㼟㼔㼕㻙㼟㼔㼡㼚㻙㼜㼥㻬㼥㼚㼡㻚㼖㼜㻌 㻌㻌㻭㻵㻿㼀㻙㻭㻰㻼㻞 䝥 䝻 䝉 䝇 䜢 ⏝ 䛔 䛶 స 〇 䛥 䜜 䛯 䚹 ᮏ ◊ ✲ 䛿㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌
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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

1D-a04

LTS デバイス㻭㻽㻲㻼 䝉䝹䝷䜲䝤䝷䝸䛾䛯䜑䛾ᐃᩘ䝉䝹䛾䝟䝷䝯䞊䝍᳨ウ㻌㻼㼍㼞㼍㼙㼑㼠㼑㼞㻌㻯㼛㼚㼟㼕㼐㼑㼞㼍㼠㼕㼛㼚㻌㼛㼒㻌㼍㻌㻯㼛㼚㼟㼠㼍㼚㼠㻌㻯㼑㼘㼘㻌㼒㼛㼞㻌㼍㼚㻌㻭㻽㻲㻼㻌㻯㼑㼘㼘㻌㻸㼕㼎㼞㼍㼞㼥㻌㻌Ᏻ⸨㻌 ᣅ⏕䠈➉ෆ㻌 ᑦ㍤䠈ᒣ᲍㻌 ⿱ᕼ䠈ྜྷᕝ㻌 ಙ⾜㻔ᶓ὾ᅜ኱㻕㻌㻭㻺㻰㻻㻌㼀㼍㼗㼡㼙㼕䠈㼀㻭㻷㻱㼁㻯㻴㻵㻌㻺㼍㼛㼗㼕䠈㼅㻭㻹㻭㻺㻭㻿㻴㻵㻌㼅㼡㼗㼕䠈㼅㻻㻿㻴㻵㻷㻭㼃㻭㻌㻺㼛㼎㼡㼥㼡㼗㼕㻔㼅㻺㼁㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼍㼚㼐㼛㻙㼠㼍㼗㼡㼙㼕㻙㼏㼦㻬㼥㼚㼡㻚㼖㼜㻌㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌
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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

1D-a05

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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

1D-p01

デバイスと関連技術పୗ䛻䛚䛡䜛䝟䝑䜿䞊䝆㻙䝩䝹䝎㛫䛾᥋ゐ᢬ᢠ䛾≉ᛶ㻌Properties of Contact Resistance between a Package and its holder at a Low Temperatureఀ⸨ 㞝グ㸪⸨ᕳ ᮁ ྡ኱㝔 
Ito Yuki㸪Fujimaki Akira (Nagoya University)
E-mail: ito_y@super.nuqe.nagoya-u.ac.jp
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Package

Holder

Fig.1 The images of package and holder

Fig.2 Enlarged view of the contact portion

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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

1D-p02

デバイスと関連技術ᴟప⏝䝉䝭䝸䝆䝑䝗䜿䞊䝤䝹䛾㛤Ⓨ≧ἣ㻌㻰㼑㼢㼑㼘㼛㼜㼙㼑㼚㼠㻌㼛㼒㻌㼟㼑㼙㼕㻙㼞㼕㼓㼕㼐㻌㼏㼍㼎㼘㼑㼟㻌㼒㼛㼞㻌㼘㼛㼣㻌㼠㼑㼙㼜㼑㼞㼍㼠㼡㼞㼑㻌㼑㼤㼜㼑㼞㼕㼙㼑㼚㼠㼟㻌㻌ஂᚿ㔝㻌 ᙲᐶ䠄ஂ␃⡿኱䠅䠗➟஭㻌 Ⲯ୍䠄䝁䜰䝑䜽䝇䠅㻌㻷㼁㻿㻴㻵㻺㻻㻌㻭㼗㼕㼔㼕㼞㼛㻌㻔㻷㼡㼞㼡㼙㼑㻌㼁㼚㼕㼢㼑㼞㼟㼕㼠㼥㻕㻧㻌㻷㻭㻿㻭㻵㻌㻿㼛㼕㼏㼔㼕㻌㻔㻯㻻㻭㼄㻌㻯㻻㻚㻘㻌㻸㼀㻰㻚㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼗㼡㼟㼔㼕㼚㼛㻬㼙㼑㼐㻚㼗㼡㼞㼡㼙㼑㻙㼡㻚㼍㼏㻚㼖㼜㻌㻌㻠䠊䝉䝭䝸䝆䝑䝗䜿䞊䝤䝹䛾స〇䛸 ᐃ㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌
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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

1D-p03㧗

デバイスと関連技術㉸ఏᑟ 㻿㻽㼁㻵㻰 䜢⏝䛔䛯㔠ᒓ⟶䛾䝸䝰䞊䝖㠀◚ቯ᳨ᰝᡭἲ䛾㛤Ⓨ㻌 䇵䛭䛾䠍㻙㻌㻰㼑㼢㼑㼘㼛㼜㼙㼑㼚㼠㻌㼛㼒㻌㼞㼑㼙㼛㼠㼑㻌㻺㻰㻱㻌㼙㼑㼠㼔㼛㼐㻌㼒㼛㼞㻌㼙㼑㼠㼍㼘㼘㼕㼏㻌㼜㼕㼜㼑㼟㻌㼡㼟㼕㼚㼓㻌㻴㼀㻿㻙㻿㻽㼁㻵㻰㻌㻙㻺㼛㻚㻌㻝㻙㻌ᘘ᪥ฟ㻌ዲ䠈ᑠᯘ㻌ዊᶞ䠈୰ᐙ㻌᪩⣖㻌㻔㏆␥኱Ꮫ㻕㻌㻴㻭㼀㻿㼁㻷㻭㻰㻱㻌㼅㻚㻘㻌㻷㻻㻮㻭㼅㻭㻿㻴㻵㻌㼀㻚㻘㻌㻺㻭㻷㻭㻵㻱㻌㻿㻚㻌㻔㻷㼕㼚㼗㼕㻌㼁㼚㼕㼢㻚㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㼔㼍㼠㼟㼡㼗㼍㼐㼑㻬㼔㼕㼞㼛㻚㼗㼕㼚㼐㼍㼕㻚㼍㼏㻚㼖㼜㻌䛥䛫䛶☢Ẽಙྕ䜢ィ 䠈ಙྕ䛾᣺ᖜ䛸఩┦䜢ồ䜑䠈㻿㻽㼁㻵㻰 㥑ືᅇ㊰䛾࿘Ἴᩘ≉ᛶ䜢ㄪᰝ䛧䛯䠊䛣䛾⤖ᯝ䜢 㻲㼕㼓㻚㻟 䛻♧䛩䠊௒ᅇ䛾㥑ືᅇ㊰䛿 㻢㻜㻌㻴㼦 䛾䝜䝑䝏䝣䜱䝹䝍䛜ෆ⮚䛥䜜䛶䛚䜚䠈㻡㻜䡚㻝㻜㻌 㻜㻴㼦 䛾ಙྕ䛿኱䛝䛟ῶ⾶䛧䠈఩┦䜒ኚ໬䛧䛶䛔䛯䠊㻲㼕㼓㻚㻞 䛾 㻭㻱 䝉䞁䝃䛾ฟຊ䛻⌧䜜䛶䛔䜛 㻭㻱 Ἴ䠄ᩘ 㻝㻜㻌 㼗㻴㼦䠅䛜ྵ䜎䜜䜛㧗䛔࿘Ἴᩘ䛾㡿ᇦ䛷䛿䠈ಙྕᙉᗘ䛿ῶ⾶䛧䠈఩┦䜒኱䛝䛟ኚ໬䛧䛶䛔䜛䠊ᮏ⿦⨨䛾䜹䝑䝖䜸䝣࿘Ἴᩘ䛿⣙ 㻞䡚㻟㻌㼗㻴㼦 䛷䛒䜚䠈䛣䛾䜘䛖䛺࿘Ἴᩘ≉ᛶ䛾䛯䜑䠈㻿㻽㼁㻵㻰 ฟຊ䛷䛿㻭㻱 䝉䞁䝃ฟຊ䜘䜚ᑡ䛧㐜䜜䛶ಙྕ䛜ィ 䛥䜜䛯䜒䛾䛸⪃䛘䜙䜜䜛䠊㻌㻠㻚 䜎䛸䜑
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SQUID electronics
PC

Spectrum analyzer

Data logger

HTS-SQUID
gradiometer

Pulse tube refrigerator+ cryostat

AE1

Magnetic
signalAE2

Magnetic pipe
Hitting䠄AE
wave䠅

AE1

Vibration

AE䠎 SQUIDt

Fig.1 Schematic diagram of HTS-SQUID NDE system.

Output voltage [V]

0.5
0.3
0.1

AE #2

-0.1
-0.3

AE #1

-0.5
-0.7

SQUID

-0.9
-1.1
-1.3
-1.5
0.204

0.206

0.208

0.21

0.212

0.214

Time [s]Fig.2 Output voltages of two AE sensors and HTS-SQUID
measured after hitting of SUS pipe by hummer
200

Signal amplitude R [mV]and phase T [degree]㻝㻚 ⥴ゝཎᏊຊⓎ㟁ᡤ䛺䛹䛾㐣㓞䛺⎔ቃ䛷⏝䛔䜙䜜䜛㓄⟶䜔᱁⣡ᗜ䛿䠈ே䛜ᐜ᫆䛻䜰䜽䝉䝇䛷䛝䛺䛔㒊ศ䛜ከ䛔䠊䛣䛾䜘䛖䛺⟠ᡤ䛻Ⓨ⏕䛩䜛ῶ⫗䜔䜂䜃๭䜜䛺䛹䛾Ḟ㝗䛿᪩ᮇ᳨ฟ䛜኱ኚᅔ㞴䛷䛒䜚䠈኱஦ᨾ䜢ᘬ䛝㉳䛣䛩ྍ⬟ᛶ䛜䛒䜛䠊୍᪉䠈ᡃ䚻䛿䠈㻰㻯䡚㻹㻴㼦 䜎䛷䛾ᗈ䛔 ᐃᖏᇦ䛸༙ᑟయ䝉䞁䝃䜘䜚 㻞㻙㻟 ᱆௨ୖ䛾㉸㧗ឤᗘ≉ᛶ䜢᭷䛩䜛㧗 ㉸ఏᑟ䠄㻴㼀㻿䠅㻿㻽㼁㻵㻰 ☢
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R[mV]
150

ɽ[dB]

100
50
0
-50
-100
-150
-200
1

10

100

1000

10000

100000Frequency [Hz]Fig.3 Dependency of SQUID amplitude and phase on frequencyཧ⪃ᩥ⊩㻌[1] ᘘ᪥ฟዲ䠈ప ᕤᏛ㻌㻠㻣㻌㻔㻞㻜㻝㻞㻕㻌㻟㻠㻡㻚[2] S. Adachi, et al., Physica C 468 (2008) 1936.

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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

1D-p04

デバイスと関連技術

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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

1D-p05

水素基礎 / 液面計測࣏࢖ࣥࢺࢥࣥࢱࢡࢺศගἲࢆ฼⏝ࡋࡓ㔠ᒓෆ࡬ࡢỈ⣲྾ⶶ㐣⛬ࡢゎ᫂
Development of hydrogen absorption method in metals using quantum tunneling㻌ἙỤ 㐩ஓ㸪㧗⏣ ᘯᶞ㸪✄ᇉ ♸ḟ㸦஑ᕞ኱ᏛᕤᏛ㒊㸧㸹ᶫ∎೺୍㸦஑ᕞ኱Ꮫ⥲⌮ᕤ㸧㸹ᐙỌ ⣫୍㑻㸦ᮾᕤ኱⌮ᕤ㸧
KAWAE Tatsuya, TAKATA Hiroki, INAGAKI Yuji (Dept. of Applied Quantum Physics, Kyushu University㻕㻌㻧㻌 㻌
HASHIZUME Kenichi (Dept. of Advanced Energy Engineering Science, Kyushu University 㻌㻧
IENAGA Koichiro (Tokyo Institute of Technology)㻌
E-mail: t.kawae.122@m.kyushu-u.ac.jp㻌㻟䠊ᐇ㦂⤖ᯝ㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌
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1. Y. Fukai, The Metal-Hydrogen System, 2nd ed. (Springer,㻌Berlin, 2005).
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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

1D-p06

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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

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水素基礎 / 液面計測ᾮయỈ⣲⏝እ㒊ຍ⇕ᆺ 㻹㼓㻮㻞 㛗ᑻᾮ㠃䝉䞁䝃䞊䛾ಶయᕪᛶ⬟ホ౯㻌㻵㼚㼐㼕㼢㼕㼐㼡㼍㼘㻌㼐㼕㼒㼒㼑㼞㼑㼚㼏㼑㻌㼜㼑㼞㼒㼛㼞㼙㼍㼚㼏㼑㻌㼑㼢㼍㼘㼡㼍㼠㼕㼛㼚㻌㼛㼒㻌㼑㼤㼠㼑㼞㼚㼍㼘㻙㼔㼑㼍㼠㼕㼚㼓㻙㼠㼥㼜㼑㻌㻹㼓㻮㻞㻌㼘㼛㼚㼓㻌㼘㼑㼢㼑㼘㻌㻿㼑㼚㼟㼛㼞㻌㼒㼛㼞㻌㼘㼕㼝㼡㼕㼐㻌㼔㼥㼐㼞㼛㼓㼑㼚㻌ℊᾆ㻌 㝯ᫀ䠈๓ᕝ㻌 ୍┿䠈ᒣ㷂㻌 ⍛ஓ䠈Ṋ⏣㻌 ᐇ䠄⚄ᡞ኱䠅䠗ᯇ㔝㻌 ඃ䠈⸨ᕝ㻌 㟼୍䠄ᒾ㇂⏘ᴗ䠅䠗⇃಴㻌 ᾈ᫂䠄㻺㻵㻹㻿䠅㻌㻴㻭㻹㻭㼁㻾㻭㻌㼀㼍㼗㼍㼍㼗㼕䠈㻹㻭㻱㻷㻭㼃㻭㻌㻷㼍㼦㼡㼙㼍䠈㼅㻭㻹㻭㼆㻭㻷㻵㻌㼀㼑㼞㼡㼥㼍䠈㼀㻭㻷㻱㻰㻭㻌㻹㼕㼚㼛㼞㼡㻌㻔㻷㼛㼎㼑㻌㼁㼚㼕㼢㻚㻕㻧㻌㻹㻭㼀㻿㼁㻺㻻㻌㼅㼡䠈㻲㼁㻶㻵㻷㻭㼃㻭㻌㻿㼔㼕㼦㼡㼕㼏㼔㼕㻌㻔㻵㼣㼍㼠㼍㼚㼕㻌㻯㼛㼞㼜㻚㻕䠗㻷㼁㻹㻭㻷㼁㻾㻭㻌㻴㼕㼞㼛㼍㼗㼕㻌㻔㻺㻵㻹㻿㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻦㻌㻝㻡㻡㼣㻡㻞㻝㼣㻬㼟㼠㼡㻚㼗㼛㼎㼑㻙㼡㻚㼍㼏㻚㼖㼜㻌㻝䠊䛿䛨䜑䛻㻌
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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

1D-p08

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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会

1D-p09

水素基礎 / 液面計測䝦䝹䝮䝩䝹䝒ඹ㬆䜢฼⏝䛧䛯ᾮయỈ⣲ᾮ㠃ィ䛻㛵䛩䜛ᐇ㦂ⓗ◊✲㻌㻱㼤㼜㼑㼞㼕㼙㼑㼚㼠㼍㼘㻌㼟㼠㼡㼐㼥㻌㼛㼚㻌㼘㼕㼝㼡㼕㼐㻌㼔㼥㼐㼞㼛㼓㼑㼚㻌㼘㼑㼢㼑㼘㻌㼓㼍㼡㼓㼑㻌㼡㼟㼕㼚㼓㻌㻴㼑㼘㼙㼔㼛㼘㼠㼦㻌㼞㼑㼟㼛㼚㼍㼚㼏㼑㻌୰⣡㻌 ᬡὒ㻔⏘⥲◊㻕䠗すὠ㻌 ㈗ஂ䠄ᒱ㜧኱Ꮫ䠅㻌 㻌㻺㻭㻷㻭㻺㻻㻌㻭㼗㼕㼔㼕㼞㼛㻌㻔㻭㻵㻿㼀㻕䠗㻺㻵㻿㻴㻵㼆㼁㻌㼀㼍㼗㼍㼔㼕㼟㼍㻌㻔㻳㼕㼒㼡㻌㼁㼚㼕㼢㼑㼞㼟㼕㼠㼥㻕㻌㻱㻙㼙㼍㼕㼘㻌㻦㻌㼍㻚㼚㼍㼗㼍㼚㼛㻬㼍㼕㼟㼠㻚㼓㼛㻚㼖㼜㻝㻚 䛿䛨䜑䛻
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第92回

2015年度秋季低温工学・超電導学会