I2CNER 装置一覧
R6.1.１現在

ID

装置名/型番

装置概要

仕様

50

全自動 X 線回折システム/SmartLab 9kW AMK

高分解能自動 X 線回折装置（SmartLab）は、金・最大定格出力：9kW

属、半導体、セラミックス、有機材料、ポリマー

・X 線ターゲット : Cu ターゲットなど、さまざまな種類の材料のナノスケールの特・ゴニオメータ方式：試料水平ゴニオメータ

性評価に使用できます。SmartLab では、X 線回・ゴニオメータ可動範囲：2θ：-3°～160°、回転対陰極型折（XRD）、X 線反射率（XRR）、小角 X 線散乱2θχ：-3°～120°、χ：-5°～95°、（SAXS）など、材料研究に欠かせない高度な測φ：-5°～95°、φ：-360°～360°

定を行うことができます。

・検出器：シンチレーションカウンタ、
2 次元半導体検出器
・入射光学素子：多層膜ミラー

51

酸素・窒素・水素分析装置/EMGA-930-SKU高精度と再現性を備えた酸素、窒素、水素の同時 ・測定方法：
元素分析装置です。酸素は 2 つの非分散型赤外

酸素：非分散型赤外線検出器（NDIR）

線検出器で一酸化炭素と二酸化炭素として測定

窒素：熱伝導度検出器（TCD）され、窒素は熱伝導度検出器で測定され、水素は水素：非分散型赤外線検出器（NDIR）

非分散型赤外線検出器で H2O として測定されま ・測定範囲：す。

酸素：～5％（m / m）
窒素：～3％（m / m）
水素：～0.25％（m / m）
・試料質量：標準状態 1g、減量可能
・感度：酸素/窒素/水素：0.001μg/ g

103

104

電界放出形走査電子顕微鏡 SEM/JSM-7900F

冷却断面加工装置/IB-19520CCP

インレンズショットキー電解放出（T-FE）電子・二次電子像分解能：0.7nm (15kV,ギャップ法)

銃と、静電レンズをハイブリッドした強励磁コニ

・倍率：×25～1,000,000（SEM モード）

カル対物レンズ（Super Hybrid Lens）の特性を・試料ステージ移動範囲：最大限に発揮できる新電子工学制御機構を搭載

X：70mmしています。簡単に試料表面の超高分解能観察がZ：2.0～415mm

でき、EDS,WDS,EBSD,CLD などの各種分析もT：-5～70°

Y：50mm

R：360°行うことができます。

・電子銃： インレンズショットキー電界放出電子銃

試料面上にセットされた遮蔽板にイオンビーム・イオン加圧電圧：2～8kVを垂直に照射し、イオン照射を受けエッチングさ・イオンビーム径：500μm 以上（半値幅）れる領域と、遮蔽板で遮蔽される領域の境界に沿・ミリングスピード：500μm/hって断面を形成させる試料作製装置です。操作パ（2 時間の平均値、加速電圧：8kV、Si 換算、ネルにて試料加工状態を観察できます。

エッジ距離 100μm）

試料冷却状態でのイオンビーム照射が可能であ・試料ホルダー冷却到達温度：-120℃以下

り、熱ダメージが少ない断面試料を作成すること

・試料ステージ冷却温度設定範囲：120℃～0℃ができます。冷却中に試料ステージ温度が設定値

・試料冷却保持時間：8 時間以上より下がらないように温度制御することも可能

・冷媒：液体窒素であり、試料温度が低くなりすぎることで生じる

・冷媒タンク容量：約 1 リットル

試料の損傷を軽減することができます。

・最大搭載試料サイズ：幅 11mm×長さ 8mm×厚さ 3mm・ステージ移動範囲：X 軸±6mm, Y 軸±2.5mm
・試料固定法：クリップ方式
・試料加工スイング：±30°・加工観察用カメラ倍率：約 20～100 倍

57

膜抵抗測定システム+インピーダンスアナライザー

固体高分子形燃料電池用の電解質膜のイオン伝/MTS740-C

導性を、膜厚み方向（Through-plane）で測定可能なシステムです。 膜の湿度条件を自動で変更

・温度範囲：30℃～120℃（加湿器露点温度）
30℃～180℃（サンプル温度）
・試料寸法：10μm～200μm 厚、しながら早く正確に測定できます。

10mm 幅×30mm 長・加湿精度：±2% @20～95%RH
・圧力範囲：1～3 気圧60

レーザー回析式粒子径分布測定装置/SALD-2300

粒子群にレーザー光を照射し、粒子の大きさと分 ・測定範囲：17nm(0.017μm)～2500μm
布を測定します。測定範囲が広く、高性能・高機・光検出器：半導体レーザ用検出素子採用

能な測定を簡便に行えます。

合計 84 素子（前方 78,側方 1,後方 5）・光源：半導体レーザ（波長 680nm）
・サンプラーSALD-MS23
サンプル量：100/200/300mL
サンプル濃度：0.1ppm～数 10ppm
サンプラーのフローセルと分散槽の間の循環サンプルの測定です

61

走査型プローブ顕微鏡/SPM-9700

査型プローブ顕微鏡（SPM）は、微小なプローブ・観察モード：コンタクト、ダイナミックでサンプル表面をスキャンして、高倍率で 3 次位相、水平力（LFM）、元画像や局所特性を観察する顕微鏡の総称です。

フォースモジュレーション

SPM-9700 は、高性能で、より速く、簡単な操作となっています。

・SPM ヘッド
変位検出系：光源/光てこ/検出器
光源：レーザーダイオード（On/Off 可能）
試料交換中もカンチレバーに対して連続照射
分解能：X, Y: 0.2 nm、Z: 0.01 nm
検出器：フォトディテクター
・アクセサリー雰囲気制御チャンバー
温度湿度制御ユニット
試料加熱冷却ユニット

CH-Ⅲ

62

高性能比表面積・細孔分布測定装置/3Flex

多検体高性能比表面積・細孔分布測定装置 3Flex

・測定ポート：3 ポート

は、全自動の 3 測定ポートを搭載したハイスル

・比表面積測定範囲：窒素使用時 0.01 m2/g 以上ープットな装置です。サンプルの比表面積、メソ

クリプトン使用時 0.0005m2/g 以上

ポア/マイクロポアの細孔分布を高い正確性と分・吸着ガスポート：6 個解能で測定することができます。

・脱ガス：3 ポート（標準搭載）
・デュワーびん容積：3.2L・相対圧の増分、吸着量の増分またはその両方の持続時間：＞70 時間

組み合わせが使えるガス導入法を採用（等温ジャケット装着 3 ポート使用時）

・先進のマニホールド設計及び制御機構は、極めて安定した圧力と温度測定の提供により分解能の限界を拡大

・使用ガス：ヘリウム、窒素、アルゴンなどの室温で吸着しないガス・試料前処理装置：VacPrep™061

3Flex は、MOF、ゼオライト、活性炭、吸収剤、加熱ガスフロー方式

多孔質および非多孔質材料の特性評価に最適で加熱真空排気方式（選択可）

す。
63

コールドスプレーイオン源搭載 TOF-MS システム 飛行時間型質量分析装置(Time –of-flight Mass
/JMS-T100LP・分解能：6000(FWHM)

Spectrometer, TOFMS)です。電磁気的な相互作

レセルピンのプロトン付加分子イオンピーク用を利用して原子・分子のイオンを質量電荷比のm/z=609違いによって分析し、原子質量の精密測定や化学・質量範囲：10,000分析、有機化合物の原子組成の決定などに使用さ・感度：100pg/μLれます。

・応答速度：最大 16,000 spectrum/S

本装置は LC-TOF 型の LC/MS 分析システムで、 ・記録速度：最大 10 spectrum/S
ESI(Electrospray ionization)イオン源を標準搭載しています。オプションでコールドスプレー(Coldspray ionization)イオン源を使用し、他のイオン化法では検出が困難な熱不安定な化合物の分析が可能です。

・質量精度：3ppm

98

示差走査熱量計/DSC204

示差走査熱量計（DSC）は固体、液体の熱特性の ・測定温度範囲：-180℃～700℃
分野において頻繁に使われている装置の一つで・比熱測定精度：±2.5%以下す。

・DSC 検出感度：1μW

DSC 法は融解/結晶化、ガラス転移、相転移など

・昇温/冷却速度：0.001～200K/minの熱的効果のある現象を測定することができま・熱量感度：3μV/mW

す。この測定法による試料の温度は温度プログラ

・熱量測定精度：1%以下

ムによって制御されます。実際に測定される温度は、資料温度の絶対値と、試料と参照側の温度差です。適切な校正により、試料からの熱流、または試料への熱流を簡単に計算することが出来ます。これにより、比熱(Cp)、転移エンタルピー、転移温度を含む、熱的現象のほぼ全てを計算することが可能となります。

65

3D 測定レーザー顕微鏡/OLS4000-SAT

OLS4000 は非接触で試料の検査・測定が可能な3D 測定レーザー顕微鏡です。正確な測定性能に加え、非接触表面粗さ測定機として従来の粗さ測定機では不可能だった測定を可能にします。
直感的にわかりやすいソフトウェアにより誰でも容易に操作可能です。
この装置は、ナノメートルレベルの高さイメージングおよび粗さ測定用に設計されています。

・Z 測長部
方式：レボルバ上下駆動方式
ストローク：10mm、内蔵スケール：0.8 nm
表示分解能：1 nm
繰り返し性：50 倍：σn-1=0.012μm
精度：0.2 + L /100μm 以下（L =測定長 μm）
・カラー観察部
光源：白色 LED
検出器：1 /1.8 インチ 200 万画素単板 CCD
デジタルズーム：1 倍～8 倍
回転ノーズピース：電動 BF 六重回転ノーズピース

・LSM 部
光源：405nm 半導体レーザー
検出器：光電子増倍管
倍率：108 倍～17,280 倍
・平面測定

微分干渉ユニット：微分干渉スライダ：U-DICR、偏光板ユニット内蔵
対物レンズ：明視野プランセミアポクロマート
5 倍、10 倍、LEXT 専用プランアポクロマート
20 倍、50 倍、100 倍

繰り返し性：100x：3σn-1=0.02μm

・Z 照準部ストローク：100mm

正確さ：測定値±2％・XY ステージ：100x100mm（電動ステージ）105

ﾏﾄﾘｸｽ支援ﾚｰｻﾞｰ脱離ｲｵﾝ化飛行時間型質量分析装置

・レーザーショット数：1～60 回/秒/microflex LT-KCN

337nm 窒素ガスレーザー
・レーザーエネルギー：80μJ
・質量測定範囲：50～500,000Da
・検出感度：BSA500fmol に対し S/N 比 50:1 以上にて検出可能

66

高圧ガス吸着量測定装置/BELSORP-HP-1-MS

高圧測定を全自動で行うことが可能な高圧ガス・測定方式：定容量式ガス吸着法

吸着量測定装置で、吸着部位、化学状態、および・吸着質： H2

表面積に関する情報を提供します。この装置は、 ・測定/前処理ポート：1 ポート
最大 0.9MPa の等温ガス吸着曲線を測定できま・測定温度範囲：10～60℃

す。I2CNER 設置のこの装置は、H2 ガス吸着用

・前処理温度範囲：最大 400℃に設定されています。

67

TG-DSC 同時測定装置＋発生ガス分析システム

この装置では、－150°C～2400°C の 温度範囲

・測定温度範囲：－150℃～r2400℃/STA 449F3 Jupiter + STA-QMS/GC

で、重量変化と熱反応の同時測定が可能です。

・昇温冷却速度：0.001 K / min～50 K / min

熱安定性、分解挙動、組成、相転移、溶融プロセ（加熱炉タイプにより変わる）

スを包括的かつ迅速に分析します。

・重量変化測定範囲：35000mg
・TGA 分解能：最大 0,00001％（0.1μg）
・DSC 分解能：最高 1μW（センサータイプにより変わる）
・測定雰囲気：不活性、酸化性、還元性、ガス静止、ガスフロー・2 系統パージガス、
1 系統保護ガス用スイッチバルブ
・10～2mbar までの真空気密構造

55

分光蛍光光度計/RF-5300PC

吸光度法と比較して、蛍光感度は数十～数千倍優れています。高い選択性があり、励起・蛍光波長を組み合わせると混合物でも測定可能です。
蛍光は、複雑なバックグラウンドで特定の分子を・光源：150W キセノンランプ
オゾン自己解消ランプハウス
・測定波長範囲：220-750nm および0 次（標準検出器）識別するためにも使用できます。同期スペクトル ・バンド幅：1.5、3、5、10、15、20nm
測定では、蛍光色素の混合物を分析できます。
PC によって直接装置が制御され、データ処理ができます。の 6 段階切換え
・感度：蒸留水のラマンピークにおけるS / N 比が 150 以上（励起波長 350nm、スペクトル帯域幅 5nm）・測定機能：励起、蛍光、同期スペクトル測定
タイムコース測定
定量測定
最適励起、蛍光波長サーチ機能
PopUp ScanTM
・オプション：固体（粉末）サンプルホルダー

56

紫外可視近赤外吸収分光光度計/UV-3600

UV-3600 は、精度の高い透過率と反射率の測定

・測定波長範囲：185～3,300 nmに対応し、紫外領域から近赤外領域までを 3 つ・分解：0.1 nmの検出器でカバーしています。高機能のダブルモ ・波長正確さ：紫外・可視域：±0.2 nm、ノクロメータを搭載し、高分解で低迷光となっています。

近赤外域：±0.8 nm
・ノイズ：0.00005 Abs 以下（500 nm）、0.00008 Abs 以下（900 nm）、
0.00003 Abs 以下 （1,500 nm）、
スリット幅 2nm、1 秒レスポンスでの RMS 値
・迷光：0.00008％以下（220 nm、Nal）、0.00005％以下（340 nm、NaNO2）
・分光器：2 枚×2 枚グレーティング形ダブルモノクロメータ・オプション：
積分球付属装置 ISR-3100：内径 60 mm
拡散/鏡面反射率の測定および液体または固体サンプルの透過率の測定に使用

53

フーリエ変換赤外分光光度計＋赤外顕微鏡[AIM-8800]右端/IRPrestige-21＋AIM-8800

ステージ移動、アバーチャ設定、焦点合わせをPC 画面から制御できるインテリジェント赤外顕微鏡です。

・光学系：×15 カセグレン式反射対物鏡
×15 カセグレン式コンデンサー鏡
パージ用インレット付き
・MCT 検出器：液体窒素監視機能付き
波長範囲：タイプ 15000-720cm-1

タイプ 25000-650cm-1・付属品：温度制御段階[IRPrestige-21]中央
高感度で高機能のフーリエ変換赤外分光光度計です。近赤外領域から遠赤外領域までの測定が可能です。

・分解：（0.5cm-1、1cm-1）、2cm-1、4cm-1、8cm-1、16cm-1・波数範囲：7,800～350cm-1
・S / N 比：40,000：1 以上・干渉計：30°入射マイケルソン干渉計
ADA（Advanced Dynamic Alignment system ）
機構内蔵
オートドライヤー付き密閉型干渉計
・付属品：加熱拡散反射装置

71

赤外顕微鏡/Nicolet iN10 MX

材料表面の化学組成と微視的構造を特徴づける

・高効率光学系：50μm までの試料は液体窒素不要

2D マッピング機能を備えたオールインワン顕微

・標準単元素 MCT 検出器：10μm の微小物測定可能

FT-IR です。

69

ArクラスターイオンビームXPS/PHI5000VersaProbeⅡ

線光電子分光法（XPS）は、試料に X 線を照射す・最小ビーム径：10μm 以下

ることで光電子のスペクトルを測定し、表面の組 ・最高エネルギー分解能：0.50 eV 以下（Ag3d 5/2）
成、化学結合状態を測定する分析手法です。この・最大感度： 1,000,000cps（Ag3d 5/2）

装置は Ar クラスターイオン銃を搭載し、試料表 ・オプション：
面を穏やかにエッチング、より深い層の分析が可Ar ガスクラスターイオン銃（GCIB）、能です。

C60 イオン銃、デュアルアノード X 線源、真空紫外光源（UPS）、トランスファーベッセル、加熱冷却ステージ、走査型電子銃（AES 分析）など

73

超伝導核磁気共鳴装置 NMR/AVANCEⅢ600

NMR は、物質に含まれるターゲット核のスピン・600MHzNMR 分光計状態を検出する方法です。この手法により、未知 ・磁場強度：14.1 テスラの材料に存在する元素の種類や構造を予測する・室温ボア径：54mmことができます。この装置は 5mm の液体プロー

・液体測定検出器：5mm Smart Probe 600

ブと 3.2mm の CPMAS プローブ（固体測定用）

観測核：1H / 19F、15N～31Pを備えており、要素と構造を決定するさまざまな

温度可変範囲：-150℃～+ 150℃、実験にお使いいただけます。 また、ソフトウェ

TopShim およびオートチューン・マッチン

ア Icon NMR により簡単に操作ができ、ネットグ機能（ATMA）ワーク経由で遠隔操作が可能です。

・固体測定検出器：3.2mm CP MAS 600 SB
観測核：15N～31
最高回転数：24 kHz
温度可変範囲：-50℃～+ 80℃

92

ナノインデンター/OPX-UNHTUNHT（Ultra Nanoindentation Tester）は高精・荷重：度なナノインデンテーション試験機で、ナノスケ分解能：3nNールでの機械的特性の評価に利用できます。

最大荷重：100mN・押込み深さ：
分解能：0.003nm
最大押込み深さ：100μm
・荷重フレームの剛性：＞＞108N/m

94

卓上型放電プラズマ焼結機/SPS-211Lx

被加工粉体を焼結ステージ上にセットして電極・最大成形圧力：20kN（2,040kgf）

で挟み、加圧しながらパルス通電を行うことで、 ・最小成形圧力：0.5kN（51kgf）
数分以内で室温より一気に 1000～2500℃へ急速 ・加圧ストローク：50mm
昇温、数分で高品位の焼結体を得ることが出来ま・オープンハイト：200mm

す。

・最高使用温度：2500℃

52

高速ラマンイメージング分光分析システム/ in Via inVia ラマン顕微鏡は、最小でサブμm オーダー
Raman Microscope

・光源：LD / YAG レーザーの微小物/局所分析が可能な顕微ラマン分光装置（波長 532nm、出力 150mW）です。本装置は一般的に微弱とされるラマン散乱・測定波数範囲：4000-100cm-1光を高効率で検出、高感度測定が可能です。

・波数再現性：±0.1cm-1・対象レンズ倍率：5、20、50、100・ステージ可動範囲：X 軸 112mm、Y 軸 76mm

68

３元スパッタリング成膜装置/TS-DC・RF303

本装置は真空排気したチャンバー内で高周波・到達真空度：≤5×10-5 Pa（RF）マグネトロンスパッタにより薄膜試料を・リーク量：≤1×10-8 Pa・cm3 /秒作成する装置です。

・基板加熱方式：赤外線ランプ加熱機構

スパッタ蒸着（スパッタリングによって薄膜を蒸・基板加熱温度：最高 900℃着する物理蒸着（PVD）法）によって、ターゲッ ・カソード：マグネトロンカソード

72

2 次イオン質量分析装置 SIMS/PS02B11

トと呼ばれる材料の塊に衝突させて、そこから飛ターゲットサイズ：1 インチ

び出した材料の分子を、シリコンウェーハなどのターゲット材質：各種（メカニカルチャック方式ま「基板」に蒸着します。この装置は、3 つのターたはボンディング方式）ゲットの同時スパッタリングを使用して多組成冷却方法：水冷式（チラーを搭載）膜を堆積することができます。

・ガス導入方式：バリアブルリークバルブ

飛行時間型 2 次イオン質量分析（TOF-SIMS）

・真空システム：到達圧力＜6.7 x 10-8 mbar

は、非常に高感度な表面分析手法として、多くの（ベークアウト後）産業分野および研究用途でその手法が確立され・EDR 分析装置：ています。サンプルの表面、薄層、界面における質量分解能> 10,000（29amu）M /△MFWHM

元素および分子に関する詳細な情報を得ること・Bi クラスターイオン銃が出来、試料の 3 次元分析も可能です。

・測定可能領域：μm2-cm2

106

ホール効果測定装置/HL5500PC

ホール効果測定装置は、導体や半導体の評価に適・温度範囲：30℃～800℃しています。これにより、サンプル前処理の労力を最小限に抑えながら、さまざまな半導体の抵抗率、キャリア濃度、キャリア移動度を測定できます。基最大数 MΩ/sq までのシート抵抗率と数μV のホール電圧を測定できます。

93

表面エネルギー測定装置/iGC-SEA

表面エネルギー測定装置（iGC-SEA）は逆ガスク

・サンプルカラムオーブン：20℃～150℃

ロマトグラフィー方法論に基づいています。

・プローブガス分子：12 種類

iGC-SEA のカラムにはサンプルが充填されま（非極性および極性）す。プローブガスをカラムに注入し、水素炎イオ・カラム径：2mm、3mm、4mm

ン化検出器（FID）によって蒸気の保持時間を測・サンプルタイプ：粒子状、繊維状、平面定します。蒸気プローブ分子、流量、温度、また・検出器：FID（水素炎イオン化検出器）

はカラム条件を変えることで、サンプルの表面特性とバルク特性を計算することができます。

107

ICP 発光分光分析装置/Avio 220 Max

誘導結合プラズマ（ICP）を光源とする元素分析

水・有機溶媒使用可能装置です。

ヒートブロック前処理システム

分析の難しい高マトリックスサンプルも扱え、す 検出限界：ppm-ppb レベル
べての波長域において高いパフォーマンスで測定できます。デュアルビューにより測定可能範囲が広く、サンプルの前処理・希釈の最小限化、高濃度・低濃度サンプルの同時測定、優れた品質管理・精度の高い結果、再測定の低減、という利点があります。ダイナミック波長安定化機構を採用、ネオンの輝線を同時モニターし波長校正を行うため、卓越した波長安定性を実現しています。

116

マグネトロンスパッタ装置/MSP-1S

SEM 観察用貴金属薄膜コーティング専用装置でターゲット：Au

す。SEM 試料のチャージアップを防止し、二次試料台サイズ：直径 50ｍｍ

電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行います。マグネトロンターゲット電極による低電圧放電に加えて、試料台をフローティング方式にすることにより、電子線流入による試料損傷を軽減します。

108

紫外可視近赤外分光光度計/V-670LY

V-670LY は、紫外域用として重水素ランプ、可光源；重水素ランプ、ハロゲンランプ

視近赤外域用としてハロゲンランプを用いるこ

光源切換波長：330～350nm の間で選択可能とで、紫外領域から近赤外領域までの連続測定が波長範囲：190～2700nm可能な装置です。

波長走査速度：10～4000nm/min
波 長 移 動 速 度 ： 12000nm/min （ 紫 外 可 視 ）、48000nm/min（近赤外）
検出器：光電子増倍管、PbS 光導電素子
検出器切換波長：750～900nm の間で選択可能

109

真空ガス置換対応赤外分光装置/FTIR-6200LY

真空・ガス雰囲気での測定が可能なフーリエ変換
赤外分光光度計です。

測定波数範囲：7800~350 cm-1
最高分解：0.25ｃｍ－１
S/N 比：45000：1
検出器：DLATGS、MCT
干渉計：密閉型 28°入射マイケルソン干渉計