THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

OMI 中波赤外
高速・高精度シャックハルトマンセンサー

OMI-MWIR● 取り込み速度は最大357Hz、解析速度は最大50Hz● InSbまたはMCTカメラによりMWIR波長域に最適化● シングルパスによる正確な計測● 光学素子、レーザー、レーザーダイオード● あらゆる焦点距離と直径のテストが可能（アクセサリー使用時）● 広いダイナミックレンジ● 35x35サンプリング● 生産ラインに適応可能

OMI MWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

技術仕様
ハードウェア
測定対象

光学素子、レーザーおよびレーザーダイオード

測定可能なレーザーダイオードのパワー数mW。それ以上の出力には電力低減システムが必要（利用可能）スポットの数（以下のカメラを参照）

35x35

標準レンズレットアレイの直径と焦点距離φ=0.2mm、f=11mm、φ=0.2mm、f=7mm (テスト波長による)ソフトウェア
ソフトウェア(制御及び解析)

Sensoft 64 ビット Win 8.1、Win 10 用ゼルニケ係数のRMS繰り返し再現性<3nm rms (λ/1000 @ 3000nm)

モーダル波面測定の RMS 再現性< λ/100

精度及びダイナミックレンジ

λ/20～λ/100 (校正に依存)、±50 λ

カメラ (詳細は次ページ)
ディテクター、波長範囲、冷却InSb 3.6～4.9μm、 (1.5～5.4μm広帯域バージョン）。スターリング冷却
MCT 3.7～4.9μm、 (1.5～６μm広帯域バージョン）。スターリング冷却接続、ビットギガビットイーサネット、14ビット取得スピードフル解像度で117Hzから357Hzまで。

トリガー有り積分時間

１μ秒～数秒

アクセサリー
光源、ビームエキスパンダー及びコンプレッサー

測定波長のレンズを備えた高品質 LD、ビームエキスパンダー/コンプレッサー

2

OMI MWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICSOMI MWIR仕様
型番OMI-MWIR-InSb

OMI-MWIR-InSb-Bb

OMI-MWIR-MCT

OMI-MWIR-MCT-BB

特長

ハイスピード、357fps

ハイスピード、357fps

117fps

117fps

形状長方形

長方形長方形

長方形

640x512ピクセル

640x512ピクセル

640x512ピクセル

640x512ピクセル

ピクセルサイズ：15μｍ

ピクセルサイズ：15μｍ

ピクセルサイズ：15μｍ

ピクセルサイズ：15μｍ

9.6x7.68mm2

9.6x7.68mm2

9.6x7.68mm2

9.6x7.68mm2

解像度

35x35

35x35

35x35

35x35

波長範囲

3.6μｍ～4.9μｍ

1.5μｍ～5.4μｍ

3.7μｍ～4.8μｍ

1.5μｍ～6μｍ

スターリング冷却

有り

有り

有り

有り

ビット数

14

14

1414

カメラ制御

ギガビットイーサネット

ギガビットイーサネット

ギガビットイーサネット

ギガビットイーサネット

動作温度-４０～+60℃-４０～+60℃-４０～+60℃-４０～+60℃

電源(VDC)

2424

24

24

消費電力(W)

2525

25

25

重量(カメラ＋OMI)

3.5+0.2＝3.7ｋｇ

3.5+0.2＝3.7ｋｇ

3.5+0.2＝3.7ｋｇ

3.5+0.2＝3.7ｋｇ

寸法220ｘ100ｘ149mm

220ｘ100ｘ149mm

220ｘ100ｘ149mm

220ｘ100ｘ149mm

データ取得速度357357117

117

ループモードでのゼルニケ係数の解析速度(Hz)～50～50～50～50

カメラ

3OMI MWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

OMI-MWIR ハードウェア
4フィルター

光源

電動校正ユニットに取り付けられたOMI

MWIRカメラ
InSb/MCTOMI MWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

MWIR InSb および MCT センサーの量子効率曲線
100

MCT
MCT広帯域
InSa広帯域

量子効率 （％）

8060

402001234

波長 (μm)565

OMI MWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICSSENSOFT:ソフトウェア
SENSOFT：モジュール式ソフトウェアパッケージ- OMIのハードウェアを完全に制御
モーダル波面の等高線 - AQ (傾きを差し引いたもの) = 3000.0nm

Y (mm) ー Left

5.1

- シャックハルトマン（SH）解析の実行
P-V=266.8

3.4- ゼルニケ係数、診断 (アライメントと正しい焦点面)、波面、MTF、スポットダイアグラムの計算

1.7- 光学系のオンライン調整用ループモード搭載

0.00.0

1.7

3.4

5.1

X (mm) ー Down

25.

63.

ーm)
(mY(25.

生産ラインへのOMI:mm)ー

63.

71.

Xwn
Do

1.7Left

00.

00.
150015P-V=266.8- OMI 専用PCを備え、生産ラインに容易に適応可能

1000105050000-50-10-50-100ーft
Le00.

0.0ー

1.
71.7(mm))m(m3.663.

X

YDown5.225.

- 製造装置のPCとクローズドループで動作可能- ソフトウェアモジュールがIP通信プロトコルを定義し、ローカルエリアネットワーク内のPC間で結果を転送

6

OMI MWIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

高速ループでのオンラインアライメント

MTF測定

リアルタイムアライメント
lp/mm →1.0

Sys

ゼルニケ係数 (nm)
140

0.9

120

0.8

100

20406080

100→ 0.782 0.548 0.338 0.210 0.159

Sys_X → 0.786 0.558 0.351 0.224 0.173
Sys_Y → 0.778 0.538 0.325 0.197 0.145

Theor.

0.7

80

0.660

Coma X

40Coma Y
20Ast

MTF

Coma

0.50.4Ast X
01020304050Ast Y-20-60-80-100

Sys_X

0.2

Set no.
-40

Sys0.3

アライメント開始
Coma減少0.1

Sys_Y

0-0.1

-120-140●

連続ループでコマ収差と非点収差を監視することにより、複雑な光学システムの位置合わせが容易になります●

コマ収差と非点収差の個々の (x、y) 成分と合計係数が表示されます。

●

最適化は、一度に 1 つのコンポーネントに対して実行され、ソフトウェアは対象のコンポーネントを 1 つ表示できます

010 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 160 170 180 190 200 210

Frequency (lp/mm)

データに存在する傾きと焦点ぼけの影響を差し引いた後の MTF7