THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

多用途シャックハルトマンセンサー● シングルパスでの正確な計測● 光学素子、レーザー、レーザーダイオード● 任意の焦点距離と直径をテスト可能（アクセサリ使用時）● 広いダイナミックレンジ● 研究開発および生産用● UV>NIR (300～1100nm) 波長範囲に最適化● ハイサンプリング

OMI UV-VIS-NIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

ハードウェア
測定対象

光学素子、レーザーおよびレーザーダイオード

測定可能なレーザーダイオードのパワー数mW。それ以上の出力には電力低減システムが必要（利用可能）スポットの数（以下のカメラを参照）

スポットサイズ 10mm の場合は 50x50 (UV-VIS-NIR)

標準レンズレットアレイの直径と焦点距離●●φ=0.2mm、f=22mm 紫外～可視域 300～750nm用
φ=0.2mm、f= 11mm 近赤外域 750～1100nm用

ソフトウェア
ソフトウェア(制御及び解析)

Sensoft 64 ビット Win7、Win 8.1、Win 10 用ゼルニケ係数のRMS繰り返し再現性<2nm rms (λ/800 @ 1050nm)

モーダル波面測定の RMS 再現性< λ/100

精度及びダイナミックレンジ

λ/20～λ/100 (校正に依存)、±50 λカメラ
ディテクター、波長範囲、冷却CMOS (UV-VIS-NIR)、 非冷却カメラ1 ： 解像度、ピクセルサイズ、チップサイズ

1024 x 1024 ピクセル、各 10.6 μm、 10.9×10.9mm2

カメラ2 ： 解像度、ピクセルサイズ、チップサイズ

2048 x 2048 ピクセル、各 8 μm、 16×16mm2

接続、A/Dコンバータビット

ギガビットイーサネット、12ビットカメラ１ ： 取得スピード

75 Hz

カメラ２ ： 取得スピード

15 Hz

トリガー有り積分時間(最大)アクセサリー～800ミリ秒

光源、ビームエキスパンダー及びコンプレッサー

測定波長のレンズを備えた高品質 LD、ビームエキスパンダー/コンプレッサー

2THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

イメージセンサー量子効率60％
A200G
A200GE350％

40％

30％20％

10％

0％
300

400

500

600

700

800

900

10001100

波長 （nm)OMI UV-VIS-NIR

CMOSの量子効率曲線

その他の情報●解像度：1024 x 1024 ピクセル●

ピクセルサイズ：10.6μm×10.6μm●

解像度: 50x50 スポット (最大)●チップサイズ：10.9mm×10.9mm●

レンズレットのピッチと焦点距離 (UV および VIS):0.2mm、22mm●

画像レート：75Hz (フル解像度)●

レンズレットのピッチと焦点距離 (NIR):0.2mm、11mm●

サチュレーション： �900,000e-、SNR：200●●

最大積分時間：～800ミリ秒

平行光用の校正ユニット: テスト波長の LD/LED を備えた静的または電動の高品質コリメーター●●

接続：ギガビットイーサネット

モーターステップ：2.5μm

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICSSENSOFT:ソフトウェア
SENSOFT：モジュール式ソフトウェアパッケージ
4- OMIのハードウェアを完全に制御- シャックハルトマン（SH）解析の実行

4.8- ゼルニケ係数、診断（アライメントと正しい焦点面）、ゾーナル解析、モーダル解析、MTF、スポットダイアグラムの計算

Y (mm) ー Left

3.82.9- 光学系のオンライン調整用ループモード搭載

1.9
1.00.00.0

1.0

1.9

2.9

3.84.8生産ラインへのOMI:

X (mm) ー Down.8
33.
8

4.
8

Y

- OMI 専用PCを備え、生産ラインに容易に適応可能

.92ー

2.
9(mm)
1.
9Left

- 製造機械のPCとクローズドループで動作可能

.00

0.
00
1.

1.
091.

X)
m(mー.84nowD

4.8
3.8

1.
091.

ーft
Le01.
.000.0(mm))
m(m.92ー1.
9X

Y.83Down2.9.84- ソフトウェアモジュールがIP通信プロトコルを定義し、ローカルエリアネットワーク内のPC間で結果を転送THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

高速ループでのオンラインアライメント

MTF測定

リアルタイムアライメント
lp/mm →1.0

Sys

ゼルニケ係数 (nm)20406080

100→ 0.782 0.548 0.338 0.210 0.159

Sys_X → 0.786 0.558 0.351 0.224 0.173

1400.91200.8100

Sys_Y → 0.778 0.538 0.325 0.197 0.145

Theor.

0.780

0.660

Coma
Coma X

40

Coma Y
20Ast

MTFOM
I

0.50.4Ast X
01020304050

Ast Y-20-60-80-100Sys_X

0.2

Set no.
-40

Sys0.3

アライメント開始
Coma減少

0.1

Sys_Y

0-0.1

-120-140●

連続ループでコマ収差と非点収差を監視することにより、複雑な光学システムの位置合わせが容易になります●

コマ収差と非点収差の個々の (x、y) 成分と合計係数が表示されます。

●

最適化は、一度に 1 つのコンポーネントに対して実行され、ソフトウェアは対象のコンポーネントを 1 つ表示できます

010 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 160 170 180 190 200 210

Frequency (lp/mm)

データに存在する傾きと焦点ぼけの影響を差し引いた後の MTF

5

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICSOMI
UV-VISカメラ
CMOSカメラ

ギガビット接続

ハードウェアカメラ：
CMOS、ギガビットイーサネット、12～14ビット（300-1100nm）
外形寸法：
120 (L) x 60 (W) x 60 (H) mm
6
重量： ～500グラム

特長

校正光源： 異なる波長のLD/LED(平行光源またはピンホール光源）

入力テストビーム

OMI

測定技術：
シャックハルトマン波面センサー
平行光またはレンズ焦点でのシングルパス検査
平行光（校正ユニット付き）
レンズの焦点で（ピンホール校正ユニット付き）異なる波長の光源を使用可能
校正ユニットあり
高品質の平行光源（電動または手動）
ピンホール校正ユニット
アクセサリー
光源、ビーム・エクスパンダー/コンプレッサー、コリメーター

ソフトウェア●�=22mm、 φ= 0.2mm UV～Vis (300～750nm)●

�=11mm、 φ= 0.2mm NIR (750～1100nm)●

最大解像度 50x50 スポット

●

●

●

完全な波面解析: ゼルニケ、ゾーナルおよびモーダル解析、WF、スポットダイアグラム、MTF、EE、PSF、M2
ソフトウェアによるレンズグループの調整が簡単:
コマ収差と非点収差を使用した補正をグラフィック表示
レーザーの安定化: レーザービームの焦点のグラフィック表示