THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

OMI-45 可視～近赤外
多用途シャックハルトマンセンサー● シングルパスでの正確な計測● 光学素子、レーザー、レーザーダイオード● 任意の焦点距離と直径をテスト可能（アクセサリ使用時）● 広いダイナミックレンジ● 研究開発および生産用● VIS>NIR (400～1000nm) 波長範囲に最適化

OMI-45OMI-45 VIS～NIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

技術仕様 (標準)
ハードウェア
測定対象

光学素子、レーザーおよびレーザーダイオード

測定可能なレーザーダイオードのパワー数mW。それ以上の出力には電力低減システムが必要（利用可能）スポットの数（以下のカメラを参照）

スポットサイズ 9mm の場合は 45x45標準レンズレットアレイの直径と焦点距離●●φ=0.2mm、f=22mm または 11mm
ご要望に応じて他のレンズレットもご用意

ソフトウェア
ソフトウェア(制御及び解析)

Sensoft 64 ビット Win 8.1、Win 10、Win 1１ 用ゼルニケ係数のRMS繰り返し再現性<2nm rmsモーダル波面測定の RMS 再現性< λ/100

精度及びダイナミックレンジ

λ/20～λ/100 (校正に依存)、±50 λカメラ
ディテクター、波長範囲、冷却CMOSIS (VIS-NIR)、 非冷却、詳細は次ページを参照

カメラ： 解像度、ピクセルサイズ、チップサイズ

2048 x 2048 ピクセル、各 5.5 μm、 11×11mm2接続、A/Dコンバータビット

USB3.0、8～10ビット(SenSoftは8ビット)

カメラ： 取得スピード
解析：解析スピード

90 Hz
フル解像度で20Hz（45×45スポット）

トリガー有り積分時間(最大)アクセサリー～1秒

光源、ビームエキスパンダー及びコンプレッサー

測定波長のレンズを備えた高品質 LD、ビームエキスパンダー/コンプレッサー

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OMI-45 VIS～NIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

OMI-45 VIS～NIR (400～1000nm)

3OMI 45-VIS-NIR
CMOSの量子効率曲線

その他の情報●解像度：2048 x 2048 ピクセル●

解像度: 45x45 スポット (最大)●ピクセルサイズ：5.5μm×5.5μm●

レンズレットのピッチと焦点距離:0.2mm、22mm●

チップサイズ：11.2mm×11.2mm●

レンズレットのピッチと焦点距離 (NIR):0.2mm、11mm●

画像レート：90Hz (フル解像度)●●

最大SNR：41

平行光用の校正ユニット: テスト波長の LD/LED を備えた静的または電動の高品質コリメーター●

最大積分時間：～1秒●

モーターステップ：2.5μm●

接続：USB3.0

OMI-45 VIS～NIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICSSENSOFT ソフトウェア

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SenSoftPro GUIOMI-45 VIS～NIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICSSENSOFT:ソフトウェア
SENSOFT：モジュール式ソフトウェアパッケージ5- OMIのハードウェアを完全に制御- シャックハルトマン（SH）解析の実行

4.8- ゼルニケ係数、診断（アライメントと正しい焦点面）、ゾーナル解析、モーダル解析、MTF、スポットダイアグラムの計算Y (mm) ー Left

3.82.9- 光学系のオンライン調整用ループモード搭載

1.9
1.0

0.0
0.0

1.0

1.92.93.84.8生産ラインへのOMI:

X (mm) ー Down.833.
84.
8Y- OMI 専用PCを備え、生産ラインに容易に適応可能

.92ー

2.
9(mm)
1.
9Left

- 製造機械のPCとクローズドループで動作可能

.00

0.
00
1.

1.
091.

X)
m(mー.84now
D

4.8
3.8

1.
09
1.

ーft
Le01.
.000.0(mm))
m(m.92ー

1.
9X

Y.83Down

2.9.84- ソフトウェアモジュールがIP通信プロトコルを定義し、ローカルエリアネットワーク内のPC間で結果を転送

OMI-45 VIS～NIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

高速ループにおける光学系のオンライン最適化

6●

個々の収差を連続ループでモニターすることにより、複雑な光学系の最適化が容易になります。

●

個々の収差係数、（ゾーナルまたはモーダル）波面のPVとRmsが与えられます。

OMI-45 VIS～NIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

高速ループでのオンラインアライメント

MTF測定

リアルタイムアライメント
lp/mm →1.0Sys

ゼルニケ係数 (nm)20406080

100→ 0.782 0.548 0.338 0.210 0.159

Sys_X → 0.786 0.558 0.351 0.224 0.173

1400.91200.8

100

Sys_Y → 0.778 0.538 0.325 0.197 0.145

Theor.

0.7

800.660

Coma X

40Coma Y20AstMTF

Coma

0.50.4Ast X
01020304050

Ast Y-20-60-80-100

Sys_X

0.2

Set no.
-40

Sys0.3

アライメント開始
Coma減少0.1

Sys_Y0-0.1-120-140●

連続ループでコマ収差と非点収差を監視することにより、複雑な光学システムの位置合わせが容易になります●

コマ収差と非点収差の個々の (x、y) 成分と合計係数が表示されます。

●

最適化は、一度に 1 つのコンポーネントに対して実行され、ソフトウェアは対象のコンポーネントを 1 つ表示できます0

10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 160 170 180 190 200 210

Frequency (lp/mm)

データに存在する傾きと焦点ぼけの影響を差し引いた後の MTF

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OMI-45 VIS～NIR

THE SOFTWARE PEOPLE FOR OPTICS

OMI-45 VIS～NIRカメラ
CMOSISカメラ
USB3.0接続

ハードウェアカメラ：
CMOSIS、USB3.0、8ビット（400-1000nm）
外形寸法：
26 (L) x 26 (W) x 40 (H) mm
重量： ～100グラム

特長
校正光源： 異なる波長のLD/LED(平行光源またはピンホール光源）

OMI

入力テストビーム●

�=22mm、 φ= 0.2mm●

最大解像度 45x45 スポット

測定技術：
シャックハルトマン波面センサー
平行光またはレンズ焦点でのシングルパス検査
平行光（校正ユニット付き）
レンズの焦点で（ピンホール校正ユニット付き）異なる波長の光源を使用可能
校正ユニットあり
高品質の平行光源（電動または手動）
ピンホール校正ユニット
アクセサリー
光源、ビーム・エクスパンダー/コンプレッサー、コリメーター

ソフトウェア●●●

完全な波面解析: ゼルニケ、ゾーナルおよびモーダル解析、WF、スポットダイアグラム、MTF、EE、PSF、M2
ソフトウェアによるレンズグループの調整が簡単:
コマ収差と非点収差を使用した補正をグラフィック表示
レーザーの安定化: レーザービームの焦点のグラフィック表示8