Environmental and Social Report 2006

TEL バリュー
2006年4月に、東京エレクトロングループの価値観および行動規範となるものを「TELバリュー」として策定しました。
「TELバリュー」を世界中のグループ社員と共有し、未来に向けての新たな成長の原動力にしていきます。

T E L バ リュ ー

T E L バ リュ ー

私たちが 大 切にした いこと

私たちが 大 切にした いこと

誇りチャレン ジ

私たちは、自らが誇りを持てる高い 価値を持った製品・サ ービスを提 供します 。

私たちは、世 界 N o.1をめざし、新しいこと、
人 の やらな いことにチャレンジします 。

● 最先端の技術製品を最高の品質・技術サービスと● 変化をチャンスととらえ、柔軟かつ積極的に行動します。

ともに提供し、お客様の真の満足を追求します。

● 失敗に対して寛容であるとともに、そのプロセス● 利益は製品・サービスの価値の大きさを示す尺度と結果から学ぶことを重視します。

であると考え、それを大切にします。

T E L バ リュ ー

T E L バ リュ ー

T E L バ リュ ー

私たちが大切にした いこと

私たちが 大 切にした いこと

私たちが 大 切にした いことオ ーナ ーシップ

チ ー ム ワ ーク

自覚

私 た ち は 、お 互 い を 認 め 合 い、
チ ー ム ワ ークを 大 切 にします。

私 た ち は 、社 会 の 一 員として の 自 覚 を
持 ち 、責 任 の ある行 動 をします 。

● オープンに意見を交わし、風通しの良い職場をつ● 法令と社会のルールを遵守します。
● 安全と健康および地球環境への配慮を最優先に

私 た ち は 、オ ーナ ーシップを 持って、考 え 抜 き 、やり抜 き 、やり遂 げます。
● 常に問題意識を持ち、課題には情熱と責任感を持って取り組みます。

くります。

● 意思決定を早くし、良いと考えることはすばやく考えます。
● 地域社会から高く評価される会社であるよう心が● ビジネスパートナーとお互いに信頼し、成長でき実行します。

る関係を築きます。

けます。

会社概要
社

名 東京エレクトロン株式会社

売上高および経常利益の推移（連結）TOKYO ELECTRON LIMITED（億円）

本 社 所 在 地 〒107-8481

売上高

東京都港区赤坂5-3-6 TBS放送センター

6,357

TEL：03-5561-7000（代表）
設
資

5,296

立 1963年11月11日
本

経常利益

6,736

4,605
4,178

金 549億6,119万円（2006年4月1日現在）

主要取扱製品 半導体製造装置、FPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置、コンピュータ・ネットワーク
社

員

数 1,058名［単体（2006年4月1日現在）
］

02年3月

部門別売上高（連結）（億円）
コンピュータ・ネットワーク174

地域別売上構成比
（連結）
（％）

2

211

03年3月

04年3月

194

0

グループ社員数推移
（名）

その他
12

東南アジア
3.5

中国
2.3

8,945

韓国
12.4

FPD
製造装置
811
半導体製造装置
4,868

設備投資額
研究開発費

501

491

8,942

442

439

9,129
309

123
台湾
22.3
0

2 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

06年3月

538

日本
39.0

2006年3月期

05年3月

設備投資額および研究開発費

米国
13.8

2006年3月期

759

（億円）

10,171
10,269

欧州
6.7

電子部品
868

656

02年 03年 04年 05年 06年
4月 4月 4月 4月 4月

0

02年
3月

03年
3月

110

04年
3月

99

05年
3月

133

06年
3月

編集方針

目次

本報告書は、東京エレクトロングループの環境・健康・安全（EHS）活動
を中心とした取り組みをご理解いただくため、読みやすさ、
わかりやすさを第一にこころがけて作成いたしました。本年度は特に以下について、重点を置いて報告しています。
●トップコミットメントでは、IT・半導体業界の果たすべき役割およびそのTEL バリュー、会社概要 ……………………………… 2
編集方針、対象範囲、環境・安全活動のあゆみ ……… 3
トップコミットメント …………………………………… 4

なかでの当社グループの社会的責任についての考えを示しました。まHighlight

た、特集ページでその全体像をわかりやすく示しました（P4-7参照）。
● 社会的責任における最重要課題の一つである「半導体製造装置の環境負荷低減」をテーマとし、社外ステークホルダーの方々を招いて● 東京エレクトロンの先端テクノロジーが世界をつないでいきます …………………………… 6

座談会を行いました（P8-11参照）。
● サプライチェーンマネジメントの観点から取引先２社を取り上げ、報告

しています（P24-25参照）。

● ステークホルダーとの座談会「半導体製造装置の環境負荷低減」………………… 8

本報告書を通して、当社グループとかかわるすべての方々とのコミュニケーションをさらに充実させ、今後の活動に生かしていきたいと考えています。

Management Report

皆様からのご意見、ご感想を是非お寄せください。
作成にあたっては、環境省の「環境報告書ガイドライン2003年度版」お● コーポレート・ガバナンス………………………… 12

よびGRI（Global Reporting Initiative）の「サステナビリティ・リポーティン● コンプライアンス

グ・ガイドライン2002年版」を参照しました。

………………………………… 13

EHS Report

対象範囲● EHSマネジメント■対象組織：東京エレクトロングループ＜国内主要拠点＞………………………………… 14● EHS活動の目標と実績 …………………………… 16

東京エレクトロン（株）、東京エレクトロンAT（株）、
東京エレクトロン東北（株）、東京エレクトロンTS（株）、
東京エレクトロン九州（株）、東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ（株）、
東京エレクトロンFE（株）、東京エレクトロンデバイス（株）、東京エレクトロンBP（株）、東京エレクトロンエージェンシー（株）＜米国主要拠点＞
Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.、Tokyo Electron America, Inc.、Tokyo Electron Massachusetts, LLC.
＜欧州主要拠点＞● 環境負荷の全体像／環境会計● 製品における環境への取り組み………………… 18● 物流における環境への取り組み………………… 23● 取引先における環境への取り組み……………… 24● 事業所における環境への取り組み……………… 26● 健康・安全Tokyo Electron Europe Ltd.

…………………… 17………………………………………… 30＜アジア主要拠点＞

Social Report

Tokyo Electron Korea Ltd.、Tokyo Electron Korea Solution Ltd.、Tokyo Electron Taiwan Ltd.、Tokyo Electron（Shanghai）Ltd.、● 社員とのかかわり

Tokyo Electron（Shanghai）Logistic Center Ltd.
（2006年8月現在の社名）………………………………… 32● ステークホルダーとのコミュニケーション……… 33■対象期間：2005年4月1日〜2006年3月31日■対象分野：環境、社会、経済的側面● ステークホルダーからのご意見………………… 35

環境・安全活動のあゆみ
1994. 5 標準環境安全センター（環境安全推進センター）設置

2000. 4 環境会計の導入

1996. 3 装置安全分科会（東京エレクトロングループ装置EHS技術委員会）発足

2000. 4 統一安全教育システム「Safety2000」導入

1996. 4 環境分科会（東京エレクトロングループ環境安全推進委員会）発足

2000. 12 「環境報告書」発行開始

1997. 12 相模事業所ISO14001認証取得

2001. 4 製品のLCA開始

1998. 2 東北事業所ISO14001認証取得

2001. 10 グリーン調達の導入

1998. 3 佐賀事業所ISO14001認証取得

2001. 10 ISO14001未取得事業所に対する環境教育の導入

1998. 3 熊本・合志事業所ISO14001認証取得

2002. 4 ISO14001ベースの独自の環境マネジメントシステムTEL Eco-Activity 開始

1998. 5 山梨事業所ISO14001認証取得

2002. 12 各事業所環境・安全代表者による相互監査「TELインターナルアセスメント」開始

1998. 9 「東京エレクトロングループの環境に関する基本理念／方針」を制定

2003. 4 鉛フリータスクチーム活動開始

1998. 11 「東京エレクトロングループの安全／健康に関する基本理念／方針」を制定

2004. 7 東京エレクトロンデバイス（株）横浜事業所ISO14001認証取得

1999. 6 「安全第一について」を制定

2005. 3 宮城事業所ISO14001認証取得

1999. 8 大津事業所ISO14001認証取得

2005. 10 製品の省エネルギーを推進する省エネタスクフォース活動開始

1999. 12 経営理念に「安全と健康と環境について」の項目を追記

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 2006

3

トップコミットメント

半導体製造技術を通して、世界の様々な問題の解決に貢献します
半導体やFPDが私たちを取り巻く生活の一部になっています

三つのステージで環境や社会への責任を果たします
これまでも事業活動に伴う環境負荷の低減や自社製品の環境

2006年5月の初め、米国テキサス州オースチンで開催され配慮に取り組んできましたが、最近、環境や社会面において三つたWCIT（World Congress on Information Technology：世のステージで責任を果たせることが明確になってきました。一つ

界情報技術産業会議）にパネリストとして参加してきました。世は、半導体やFPDの技術を使って、人々の生活を環境にやさしい界的なソフトウェア企業、パソコンメーカーや半導体メーカーな方向へシフトさせていくことと情報の共有化による社会への貢どのIT（Information Technology：情報技術）関連企業が集ま献です。例えば、先に取り上げたように、半導体やFPDの技術がり、今後のIT産業が果たす社会的役割などについて話し合われま

我々の生活の一部となって、情報を瞬時に共有できることが実現した。

されれば、人や物の移動距離が減ることや、教育や医療などの場

私が関心を抱いたのは、世界トップクラスのIT企業が、既に＊での社会への貢献が期待できます。

BRICs はもちろんアフリカや中近東、東欧などの地域における

ここまで述べてきたように世界中でIT化が進展し、半導体やIT化のビジョンを明確に示していたことです。それは、従来の有FPDの技術が使われる場面が多くなればなるほど、地球全体とし線ネットワークよりワイヤレスのネットワークが、設置するコスト、ては電力使用量が増加していく傾向になってきます。ですから、二また時間的にも有利であるため、これからITインフラを整備する

つ目の貢献としては半導体やFPDそのものの電力使用量を抑え

地区ではワイヤレス化がより進むであろうということでした。
また、る技術を提供していくことです。半導体やFPDの製造技術におけ世界中にITのネットワークを広げて情報の届かない場所を無くしる我々の果たす役割はますます大きくなってきていますので、こうていくことにより、遠隔地でもITを活用して学校の授業や医療診した面にもっと力を入れていく必要があります。低消費電力の技断ができるようになります。ITの力によって生活の質が向上して術は、これまで半導体やFPDのメーカーが主導していましたが、いくということです。

我々装置メーカーや材料メーカーとの協力が不可欠なのです。

また、1980年代の半導体といえば産業用途の汎用コンピュー

三つ目は、我々の半導体・FPD製造装置自体が省エネルギー

タに用いられるのが主たる使用用途でしたが、今では、パソコンを化を進め、省資源で半導体やFPDを製造する技術を提供するこはじめ携帯電話やゲーム機器、自動車、建物のセキュリティシステとです。それぞれの段階でしっかりと責任を果たしていきたいと

ム、家電に至るまで快適な暮らしのあらゆる場面で使われており、思います。

まるでわれわれを取り巻く生活の一部となっています。半導体の技術が様々な形で社会に恩恵をもたらしてい社員が共有し、大切にしたい価値観をまとめました

ることを非常に嬉しく思うと同時に、責任の大きさも感じています。

2006年4月に、東京エレクトロングループが大切にしたいことを「TELバリュー」としてまとめました。会社が成長しながら世代交代が起きていくと、会社が成長してきた理由がだんだん見え

東京エレクトロン株式会社
代表取締役会長兼CEOなくなり変化に対して受け身になってしまう恐れがあるからです。
私は、当社グループの成長の原点は、一言で言うとベンチャー
スピリットにあると考えています。企業がこれだけの規模になると、もちろんベンチャースピリットだけですべての課題を乗り越えられるわけではありませんが、社員一人ひとりがTELバリューを心に留めて、新しい時代を切り開いていってほしいと思っています。
＊ BRICsは、ブラジル（Brazil）、
ロシア（Russia）、
インド（India）、中国（China）の頭文字をとったもの

4 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

環境・安全に対する取り組みでも業界のリーダーシップを取ります
独自の技術力を高め、提案型のモノづくりを進めます

業界を先導して作業安全を向上しています

ここ数年で、東京エレクトロングループが事業を進める姿勢は少安全面についても、業界におけるリーダーシップを発揮して取しずつ変わってきています。従来は、お客様の要求を受け、それにり組んでいます。2005年度には、業界団体であるSEMI に働き沿った製品を提供してきましたが、最近では研究開発や製品づくり

かけて、複数企業の作業者が同時に作業を行う際の体制やルーに独自の方向性を打ち出し、お客様に提案していこうとしています。

ルをまとめた業界の安全ガイドラインを策定しました。

＊

環境に対する取り組みの目的として、半導体製品の省電力化

お客様の工場における作業では、作業者全員で安全活動に取により、全世界での電力消費量削減に貢献することが挙げられまり組むことにより、お客様より感謝の声をいただいています。ます。半導体業界でのCO 2排出量は、鉄鋼や化学工業に比較すれ

た、当社グループの安全に対する取り組みが高く評価され、いくば少ないですが、それら他産業の中で用いられる半導体製品につかのお客様からは、ほかの企業の模範となるため作業安全のよる消費電力は相当あると考えています。私たちは、半導体メー指導をしてほしいという依頼を受けました。

カーと共同で環境・安全に配慮した製品を提案していき、社会の一員としての役割を果たしていきます。
FPD製品については、従来のブラウン管方式によるものより消費電力が減少し、さらに低消費電力の有機ELなどの製品も出てこのような他社も巻き込んだ形での安全活動を、今後さらに拡大していきたいと思っています。当社グループは早くから環境や安全の専門部署を設置して取り組んできた実績がありますので、培った経験をもとに業界を先導していきます。

きていますので、消費電力の削減に貢献できると考えています。

また、近年、内部統制に関する法制化が進んでいますが、法律

また、従業員に対して、事業の進むべき方向性と社会における企やルールでしばりすぎると、従業員は仕事をしにくくなると感じ業としての役割を示すことが重要だと考えています。低消費電力ています。最小限の体制とルールによる身軽な仕組みを構築し、化を含めた研究開発を継続して積極的に進める予定であり、今その上でマネジメントをしっかり理解して、行動していくことが重期は研究開発費に550億円を投資する予算を計上しています。

要と考えています。今後も従業員に必要な知識や情報を提供し、倫理観の向上に努めていきます。

装置の省電力化や規制化学物質の削減に取り組んでいます
もちろん、自社製の製造装置における電力消費量削減にも積極的に取り組んでいかなければなりません。装置の電力消費量を削＊ S E M（I Semiconductor Equipment and Materials
International）：半導体／FPD製造装置と材料メーカーの国際的業界団体

東京エレクトロン株式会社
代表取締役社長兼COO

減するには、二つの方向性があると考えています。一つは、既存の装置で電力の無駄をなくすことです。例えば、装置が稼動していな
い状態での待機電力を削減することなどがあげられます。もう一
つは、全く新しい技術でエネルギー使用量を大胆に削減することです。後者は一朝一夕にできるものではありませんから、研究開発段階から取り組んでいかなくてはならないと考えています。
当社グループが提供する半導体製造装置のマーケットシェアが高まってきていることは、世界の半導体業界に対する当社グループの影響力が強まったということでもあります。我々の製品を改良すれば業界全体へ波及効果が期待できますから、大きな責任を担っていると考えています。
装置に含まれる規制化学物質の削減は従来から力を入れてきましたが、欧州規制やそのほかの国の規制状況を確認しながらさらに進めていきます。

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 2006

5

H ighlight

東京エレクトロンの先端テクノロジーが世界をつないでいきます
当社グループの社会的な役割の本質は、
エレクトロニクス分野の発展を通じて、
世界のすべての人々が、広く世界と高度なコミュニケーションを行い、ビジネスの機会、教育、医療などを等しく享受できる社会をつくることです。
半導体自体の省エネルギー化、効率化

半導体・FPD製造時における環境負荷低減
当社グループは半導体およびFPD（フラットパネルディ

半導体・FPDは今後さらに様々な製品に使用されるこスプレイ）を製造するための装置を開発・製造して、世界とになり、アプリケーションの裾野が広がっていきます。

中の半導体・FPDメーカーに供給しています。半導体おそれによって、半導体・FPDの世界需要は現在の数倍のよびFPDの製造には電気やガスなどを相当量必要としま量になると予想されます。

す。今後、半導体やFPDの世界需要はさらに増加してい現時点では、半導体・FPDは使用電力を演算など本来くことが予想され、これらの製造時の環境負荷をさらに低の機能のために使っているだけでなく、発熱などに浪費減させることが当社グループの社会的な使命です。当社

されている部分があります。半導体・FPDの高機能化、効グループはお客様との連携を中心に環境負荷低減を実現

率化による消費電力の低減は大きな課題です。
当社グループは、製造装置メーカーとしてこれまで蓄する装置の開発を進めています。
（お客様との連携を報告する技術座談会はP8-11「半導

積した半導体やFPDの製造プロセスのノウハウをお客様

体製造装置の環境負荷低減」参照）に提案し、お客様と連携してエネルギーロスの無い、高効率の半導体・FPD開発を側面支援していきます。

東京エレクトロンの製品

プラズマエッチング装置（半導体製造装置）

プラズマエッチング・アッシング装置（ＦＰＤ製造装置）

コータ／デベロッパ（半導体製造装置）

東京エレクトロンの装置が作った製品
ＦＰＤ

半導体、
ＦＰＤの
ひろがり

6 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

半導体

半導体需要の推移と予測

先端テクノロジーが世界をつないでいく
世界を見渡すと、先端的なテクノロジーを享受している国々と、それらの恩恵を受けることができていない国々があります。今後、世界中の人々がテクノロジーの利便を享受し、ビジネスの機会、教育、医療などを等しく享受できることが必須であると考えます。当社グループのお客様である半導体・FPDメーカー各社がつくったCPU、
メモリー、
液晶画面などの製品は、世界中のあらゆるエレクトロニク
ス製品に組みこまれ、その飛躍的な高性能化および省エ
ネルギー化に貢献しています。
当社グループの社会的な役割の本質は、これらへの貢献を通して、世界の人々が等しく知識や情報を享受できる社会の実現に貢献することです。

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 2006

7

H ighlight

ステークホルダーとの座談会「半導体製造装置の環境負荷低減」
お客様の工場での半導体製造装置使用時の環境負荷をいかに削減するか。
これは、東京エレクトロングループの社会的責任の中心的な課題の一つです。そこで、装置のユーザーである半導体メーカーのご担当者3名をお招きし、当社グループの営業・装置開発担当者を交えて座談会を開催しました。装置の省エネルギーを中心に、当社グループの課題やお客様からの期待などについて議論しました。

装置の省エネルギー化にはプが装置を改良した場合、その省エネルギー効果や歩留ま

半導体メーカーとの情報共有が不可欠

りに関する情報は教えていただけるのでしょうか。

TEL井深：昨今、環境配慮設計が注目を集めています。なか鍵野氏：確かに情報が得られるかという問題もありますし、情でもエネルギー効率の改善が大きな課題となっており、当社報を得られたとしてもほかのメーカーがその改良方法を利グループは、装置のエネルギー効率の改善を通して地球や用するか、という問題もあります。同じ半導体メーカーのな

社会に貢献したいと考えています。今日は、ぜひユーザーでかでも、A工場ではうまくいった改善の取り組みがB工場ではある皆様に忌憚のないご意見をお話しいただき、今後の製品成功しなかった、または採用されなかったというような例が開発に活かしていきたいと考えています。

あります。半導体製造装置が顧客によりカスタマイズされて

鍵野氏：半導体業界は、環境配慮を目標に掲げ、エネルギー

いることも理由の一つのですが、これは半導体メーカー側で使用量の削減などに取り組んでいます。しかし、エネルギーも変えていかなければならないことだと思っています。

使用量は減らしたいが歩留まりは下げたくない、という現実

TEL鶴：お客様の工場ごとに製造方法や省エネルギー化にがあります。そこで歩留まりにあまり影響のない部分からは対する要求が違うので、一つの手法でどの場所でも実現でき

じめ、局所的なクリーンルームやエアーコンディショナーのるものではありません。お客様からの要求が統一され、情報省エネルギー化など、使用設備の改善を進めてきました。製を提供していただけると省エネルギー化も進めやすいので造装置の製造プロセスにかかわる本質的な省エネルギー化

すが、それは可能でしょうか。

は歩留まりに直接影響する可能性があるので、手を付けるの

鍵野氏：これからはそうしていかなければならないと思います。

が難しいと思います。しかし、空調設備の省エネルギー化を進めれば進めるほど、製造装置のエネルギー使用量の割合

既存装置の省エネルギー化についてが目立ってきました。半導体を製造していない時も装置は稼TEL坂口：我々は新規工場を中心に装置を納めていますが、動しており、その待機電力は無駄なのですが、歩留まりに影

既にお客様の工場に納入されて現在使用されている装置

響するかもしれないと思うと手を付けにくいところです。今（以下 既存装置）はその何十倍もあり、既存装置のエネルギ

後さらに半導体製造工程でのエネルギー使用量を減らすに

ー使用量削減にも焦点を当てるべきだと思っています。たは、半導体メーカーと装置メーカーが共同で取り組まなけれだ、既存装置を改良するには時間も労力も費用もかかりまばならないと思っています。

す。半導体メーカーとして、既存装置の省エネルギー化対策

TEL山中：歩留まりに関する情報は、半導体メーカーにとっについてどのように考えておられるのか、教えてください。

ては外部には出しにくいものと思います。例えば当社グルー

鍵野氏：半導体メーカーでの省エネルギー化の考え方は、

8 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

二つあると思います。一つは、総量でのエネルギー使用量削減、もう一つは、原単位あたりの使用量削減です。半導体
業界は基本的に成長産業であるためエネルギー使用量は増える傾向にあり、総量を減らすのは非常に難しいことだと感じています。今までは「原単位、ウェーハ1枚、または半導体チップ一つを生産するのに必要なエネルギー使用量は減っている」という値を用いてきましたが、いずれは、総量削減に取り組まなければならなくなるでしょう。総量を減らすには、既存装置を改善することは一番効果があるでしょう。
いずれ、新規装置より既存装置の改善のニーズが大きくな

設備側と連携した対応が有効と思います。

るかもしれません。既存装置の改善には、新規装置での改高橋氏：工場設備との関連で言えば、温暖化係数の高い排ガ

善内容のアイディアを転用できれば一番良いと思います。

スの排出量を削減するため、回収して再利用できるような装これについては是非装置メーカーにて新規装置を開発する置ができるといいと思います。

際に考慮いただき、提案いただければと思います。

多田氏：近頃注目されている、全部引き取るという方法がい

TEL坂口：マーケットが見えていないという面はあると思いいのではないですか。別配管が必要になるかもしれません

ます。半導体メーカー側で省エネルギー化のための予算をが、フッ酸なども回収し、もう一度使えるようにリサイクルで付けるということなら、ビジネスモデルとして成立するので、きるといいと思います。

当社グループ側で専門部隊を立ち上げることができます。ただその場合、先程から議論になっているように、メーカーや半導体によってどれだけ社会のエネルギー効率を工場ごとに違う対応をしなければならないので、その問題さ向上できるかえ解決できれば、ご期待に沿えるソリューションを提供でき

多田氏：20〜30%の省エネルギー化は、装置の改良によりると思います。

比較的簡単に実現できるのだろうと思います。しかし、本質

鍵野氏：既存装置のエネルギー使用量は各メーカーとも課的なところから考え直して大幅にエネルギー使用量を削減

題と考えていると思いますが、既存装置だけを考えた省エネできる技術を開発してほしいと思います。

ルギー対策を考えようとするとコストや手間がかかり実現は

鍵野氏：そうですね。装置のエネルギー使用量は、現在の半難しいかもしれません。先程も申し上げた通り新規装置の省分ぐらいにできるのではないでしょうか。例えば電極構造とエネルギー化技術を、既存の装置に少しでも組み込むことは排気の関係を見直すなど、知恵を絞って要素技術を提供してできないでしょうか。費用は新規装置の開発費に乗せて、既いただければと思います。

存装置の改良費は安く抑えることができればいいと思いま

TEL井深：ウェーハあたりのエネルギー使用量は減っている

す。オーバーホールなどのタイミングで、あまり時間やお金が総量は増えているというお話がありました。これからは、省をかけずに改良ができるといいのですが。

エネルギー化というより、半導体によってどれだけ社会全体

多田氏：周辺配管の改造にはかなりの費用がかかりますののエネルギー効率を向上していけるかが重要だと思っていで、それに省エネルギー化の改良も盛り込んでいけば費用ます。そのためには、半導体メーカーと装置メーカーがいろ面でも納得のいく範囲ではないかと思います。つまり、工場

いろな分野で協力していく必要があると思っています。

多田氏：私はJEITA（電子情報技術産業会）でLCA＊ワーキンググ
ループの主査を行っています。LCAでは環境への悪影響を総合的に算出するわけです。確かに半導体製造時には大量のエネル
ギーを消費するなど環境に負荷を与えますが、ユーザーが半導体を使用して生み出される最先端製品を使うことでエネルギー消費量を削減できるというポジティブな影響もあるわけです。今後
はLCAを使ってそういうポジティブなインパクトもきちんと算出していきたいと思っています。
＊ LCA ：製品の調達から解体・廃棄に至るまでのライフサイクルを通して環境にあたえる影響を査定・評価すること。

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 20069

株式会社東芝セミコンダクター社

エルピーダメモリ株式会社

株式会社ルネサステクノロジ

東京エレクトロン株式会社
開発企画室

東京エレクトロンAT株式会社

鍵野

多田

高橋

山中

小松

実氏

一洋 氏

健治 氏

崇己

ESD品質保証2部

一省エネルギーガイドライン「SEMI S23＊」を業界標準にTEL小松：私は当社グループの工場でEHS全般を担当しています。これまでは自分たちの使っているエネルギー使用量の削減に取り組んできたわけですが、今度は製品の環境配慮という命題に取り掛かっています。工場にとっては生産性の追求と環境配慮という命題は相反するところもあり、大変悩ましい問題です。今日は、半導体メーカーの皆様から貴重なご意見を聞くことができて非常に嬉しく思っています。今後、装置の省エネルギー化を進めるために、要素技術の開発や新しいビジネスモデルの構築に加えて、装置ごとのエネルギやすいです。

ー消費量の比較をもっと行ってはどうかと思います。同じ仕鍵野氏：プロセスに関する仕様は変わりますが、省エネルギ

様で同じ条件で稼動した時、エネルギー使用量の違いを比ーについては共通仕様でやってほしいということです。歩留較して、お客様が選定する時の参考にしていただければ、もまりに影響がなければ、半導体メーカーは皆、省エネルギー

っと省エネルギー化が進むのではないでしょうか。

を進めたいと思っていますから。半導体メーカーとしては、

鍵野氏：まさにそれを狙いとして、製造装置の省エネルギー装置メーカー側から、S23を業界の標準仕様として訴えてガイドラインのS23には比較できる指標を盛り込みました。

いただいた方が採用しやすいです。

装置メーカー各社がS23を仕様に入れていけば、半導体メTEL山本：省エネルギー仕様を標準にしようという考えはあーカーで比較しやすくなります。

りますが、半導体メーカーからも要求していただかないと難TEL井深：どれだけの半導体メーカーがS23の採用を要求

しい面もあります。装置選定の際には最終的にコストで決まするかにもよります。要求が増えれば、コストも吸収しやすくることも多いのが実情です。
「標準仕様でないなら、その機なります。半導体メーカーのお考え次第という面もあります。

能を外せば安くなるでしょう」とお客様から言われてしまうこ

TEL石田：お客様ごとのニーズに合わせて個別に採用すともあります。

るより、ある程度、規格と考えていただいた方が取り入れ

鍵野氏：本当の意味で標準になっていれば、その機能を外す

10 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

東京エレクトロン株式会社
エッチングシステム部

東京エレクトロン株式会社
クリーントラック部

東京エレクトロン九州株式会社

東京エレクトロン九州株式会社

クリーントラック開発部

クリーントラックシステム設計部

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

坂口

山本

石田

鶴

星

井深

智彦

雄一

省貴

元浩

丈治

成仁

と逆に高くなるはずです。そこまで標準化してほしいのです。

多田氏：省エネルギー部分を切り離せないように、根本的な装置の部分に組み入れてしまうようなつくり方にするといいかもしれません。

TEL鶴：S23が広がれば、装置メーカーとして装置の省エネ
ルギー化が進めやすくなると思います。

鍵野氏：近い将来、JEITAに加盟している半導体メーカーは
皆、S23を採用するようになると思います。装置メーカーと半導体メーカーが一緒になってS23のレベルアップを図り、標準仕様化できると良いでしょう。
＊ SEMI S23：SEMIが作成した半導体製造装置に関する省エネルギ
ーのガイドライン、正式名は「半導体製造装置で使用されるエネル
ギー、ユーティリティー、および材料の保全のためのガイド」

性能に加えてエネルギー使用量も考慮するようになってきています。

高橋氏：半導体メーカーは皆、製品の環境アセスメントを進

製品の環境配慮が不可欠な要素にめており、総合的な指標化をして環境負荷の低減を進めてい鍵野氏：省エネルギー化をはじめとした装置の環境配慮はます。JEITAでは、LCAを活用して、製品間の比較ができる

年々重要になっています。わが社でも、製品開発時には必ずような体制を整えています。装置についても、今後、標準化

環境アセスメントを実施し、総合的な環境効率が改善されてや装置間の比較ができるような体制ができていくでしょう。

いないと製品化できないほどになっています。装置の省エネ

S23ができて、装置の省エネルギー化の取り組みはこれか

ルギー化にしても、性能に差がなくて、価格が高くてもエネら本格化すると思いますので、今後の装置メーカーの取り組

ルギー使用量が半分であれば、そちらを買う半導体メーカー

みに大いに期待しています。

も出てくると思います。

多田氏：確かに、エネルギー使用量が重要な位置付けを占めるようになってきています。これまで、装置の選定時にエネ
ルギー使用量の比較評価は行ってきませんでしたが、現在は座談会を受けて
今回は、お客様である東芝様、
エルピーダメモリ様、ルネサス

寄せられている半導体製造装置の省エネルギーガイドライン

テクノロジ様をお招きし、座談会を開催しました。複数のお客様「SEMI S23」を利用して装置のエネルギー使用把握を行い、省と当社グループのマーケティング、設計、開発、EHS関係者で半エネルギー化・使用エネルギー効率改善化を推進していくこと

導体製造装置の省エネルギー化について情報交換を行えたこの重要性を今回再認識しました。お客様の要望に応えるべく、とは、大変貴重な機会となりました。今後も継続してお客様の生

また、当社に対するお客様の信頼を高めていくためにも、業界内の声をお聞きし、設計や開発に反映させていきたいと思います。

でリーダーシップを継続的に高めて活動していきます。

お客様から要請のある新規装置での改善事例を既存装置に反映していくことは、
どのような方法が考えられるかも含めて検討

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター センター長

金子 正記

を深めていきたいと考えています。また、お客様から高い期待がTOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 200611

M anagement Report

コーポレート・ガバナンス
すべてのステークホルダーに対して企業価値の向上を図るため、コーポレート･ガバナンス体制を強化しています。
内部統制システムとリスク管理体制■ コーポレート・ガバナンスに関する考え方
経営のグローバル化が進むなか、株主様をはじめ、すべ

高い水準の企業倫理を維持し、法律や国際的なルールてのステークホルダー（利害関係者）にとっての企業価値を遵守して行動することを最優先に考えています。そのたの向上を重視した経営を推進するため、企業倫理と法令

め、倫理担当取締役を任命するほか、倫理基準を制定し、の遵守を徹底しています。また、内部統制システムやリス

企業倫理の徹底を図っています。
また、内部統制システムやリスク管理体制整備の重要性

ク管理システムの整備・強化を推進し、経営の透明性や客を再認識し、監査センターの内部監査機能を強化していま

観性を保つことを基本的な方針・目的としています。

す。同時に、総務部内にビジネスリスクやオペレーションリス■ コーポレート・ガバナンスに関する体制

クなどの危機管理対策を遂行する部署を設置し、それぞれのリスクに対する社内規程の整備や教育を行っています。

企業価値を最大化し、株主満足度を向上するためには、
コーポレート・ガバナンスの強化が重要であると認識し、■ 役員報酬と監査報酬（1）経営の透明性と健全性の確保 （2）迅速な意思決定と事業の効率的な執行（3）タイムリーで適切な情報開示

東京エレクトロンとその子会社（公開会社を除く）の取を行うための体制構築に努めています。

締役や執行役員の業績連動報酬部分の総額は、連結当期純利益の3%を上限とし、このうち、現金報酬である年次

コーポレート・ガバナンス体制

賞与と株式報酬（株式報酬型ストックオプション）の比率を

株主重視の観点から、社外取締役2名を含む取締役11名

約2対1としています。この制度により、業績や株価上昇にで構成される取締役会と、社外監査役2名を含む監査役4名

よるメリットだけでなく、下落によるリスクを株主様と共有で構成される監査役会による監査役制度を採用しています。

することとなり、業績向上・株価上昇へのインセンティブ強化が図れると考えています。

東京エレクトロングループでは、従来から取締役会と執行機関との機能を分離しています。また、報酬委員会と指役員報酬名委員会の両委員会を取締役会内に設置し、ガバナンスの向上を図っています。報酬委員会と指名委員会は、代表取締役会長、代表取締役社長を除く取締役3名でそれぞれ構成されています。

（百万円）
役員報酬

金額

社内取締役に支払った報酬

360

社外取締役に支払った報酬

10

社内監査役に支払った報酬

51

社外監査役に支払った報酬26＊上記金額は、取締役に対する年次賞与および退職慰労金を含んでおりません。

コーポレート・ガバナンス体制
株 主 総 会
取締役会

指名委員会
報酬委員会
倫理担当取締役

監査役会

会長
社長

改善状況確認指示
監査+改善報告

改善指示

監査

執行役員
報告
モニタ
報告

改善指示

リスク管理担当部
内部牽制

収益部門
監査

12 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

監査

モニタ
報告

事務部門
監査

内部監査部門（監査センター）

会計監査人

M anagement Report

コンプライアンス
東京エレクトロングループでは、企業倫理とコンプライアンスの遵守を通じて、健全な企業活動を行います。

■ 企業倫理・コンプライアンスについての考え方■ 個人情報保護の取り組み「信用」は当社グループの生命線です。この「信用」を維

昨今、個人情報の流出事件が社会的な問題となってお持するためには、会社で働く個人のみならず各組織においり、事業者にはその保有する個人情報を適切に管理するても企業倫理とコンプライアンス（法令等遵守）を実践すことが求められています。2005年4月の「個人情報保護ることが基本となります。当社グループでは、高い倫理観法」の全面施行を受けて、当社グループは個人情報保護基やコンプライアンス意識をもって行動することを最優先に

本方針および規程を策定しました。運用にあたっては社員

企業活動に取り組んでいます。

教育を行い、方針の浸透に努めています。また国内では、社員などに貸与しているパソコン約11,000台を対象に■ 倫理基準の制定

ソフトウェアを利用して個人情報の洗い出しを行い、グルグローバル・エクセレントカンパニーを構築するためにープ各社・各部単位で管理を行う個人情報台帳の作成には共通の基準が必要であると考え、1998年にその具体役立てました。また、
個人情報保護対策サーバを設置して、的な考え方を示した倫理基準を制定し、運用機関として倫重要な個人情報は個人使用のパソコンへ保存せずに、
こ

理委員会を設置しました。

の専用サーバ内へ保存する運用を徹底しています。さらに、個人情報保護を目的とした安全管理措置強化ガイドラ■ コンプライアンス体制強化の取り組み

インにおいて、運用上特に重要な個人情報である顧客／倫理基準の下、
コンプライアンスに関する基本事項を定取引先情報、人事関連情報、総務関連情報、携帯電話の取めた「コンプライアンス規程」を2004年に制定しました。

り扱いなどについては、その運用ルールを追加し、管理強

この規程は、当社グループの事業活動に従事する者が、法化を図っています。

令・規則、国際的なルールおよび社内のルールを正確に理解し、それらに則した行動を継続的に実践することを目的としています。
2005年には、倫理基準、コンプライアンスに関する理
解度や意識面の調査を当社グループ国内外約9,000名に対し実施しました。この調査結果や2006年から施行された公益通報者保護法を踏まえ、従来からあるホットライ
ン（倫理基準違反、
コンプライアンス違反に関する通報制度）の実用性を高めるため、「コンプライアンス規程」を改

個人情報Web教育の画面

訂し、通報者に対する不利益な取り扱いの禁止、通報処理にかかるプライバシーの尊重、秘密保持の徹底などを明文化しました。
これらのコンプライアンスに関する取り組みについては、社内イントラネット上で情報提供を行い、さらに、WEBを活用した社員教育を行うなど、方針の浸透と意識向上の施策を行い、
コンプライアンス体制強化に努めています。

個人情報保護管理体制図

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 2006

13

E HS Report

EHSマネジメント
東京エレクトロングループでは、2006年度に環境に関する基本理念／方針を改訂しました。
今後は、この方針に基づき従来の取り組みを発展させた形でEHS活動を推進していきます。
訂を実施しました。今回の改訂では、当社グループの製品■ EHSの考え方
当社グループは、「 安全、健康、環境を第一に考えることに関する環境対応のロードマップを明確にし、このロードが、事業への信頼を確立し、長期的に会社の利益増大につマップにしたがって製品開発を進め、設計・製造・使用の各ながる」という考えに基づきEHS活動を行っています。

段階で環境対応を検証していくことや「環境・社会報告書」

2006年4月に制定された当社グループの価値観および行動指針をまとめた「TELバリュー 私たちが大切にしなどを通じてステークホルダーの方々に検証結果などを公表することを明確にしました。

たいこと」においても、安全と健康および地球環境への配慮を最優先に考えること、そして社会の一員としての自覚を持ち、責任ある行動を取ることを掲げています。

■ 環境に関する基本理念／方針の改訂
1998年に制定された「東京エレクトロングループの環境に関する基本理念／方針」について当社グループの方向性や考え方をさらに明確にするため、2006年5月に改

東京エレクトロングループの環境に関する
基本理念／方針

東京エレクトロングループの安全／健康に関する基本理念／方針〈基本理念〉〈基本理念〉

東京エレク
トロングループは、
地球環境を保全し、継続的に改善することが人類共通の最

東京エレクトロングループの役員および従業員は、開発・製造・販売・サービス・管理等

優先課題の一つであり、経営上最も配慮すべきことの一つであるとの認識に立ち、地球の各種業務の遂行において安全や健康に対する配慮を常に念頭に置いて行動す

環境との調和を保った繁栄を実現することを常に念頭に置き、顧客・社会・株主・従業員る責務がある。即ち人命および（顧客に販売する／社内で使用する）
各種設備／機から総合的に信頼され愛される企業の構築を目指して、
環境保全活動を推進する。

器の安全性を損なってまで、利益や納期を優先するようなことがあってはならない。

〈環境方針〉〈方針〉

1. 当社グループ製品が顧客の事業運営に於いて少なからず環境負荷を与えている

1. 当社グループ製品の製造・輸送・据付・使用・メンテナンス・サービスを行う上で少なことを率直に認識し、顧客と一体となって当社グループ製品の環境負荷を低減さからず顧客や当社グループ従業員に対する安全性及び健康への阻害要因が存せる為に、積極的に継続的に努力する。当社グループ製品に関する環境対応ロ

在することを率直に認識し、当社グループ製品の安全性向上や健康影響排除のードマップを明確にして製品を開発し、設計・製造・使用時での妥当性を検証する。

ために積極的に継続的に努力する。

更にその適確性を確認するために、
行政・業界・顧客等のニーズに十分配慮した
2. 当社グループの事業運営に於ける安全性向上／健康増進阻害要因を定性／定活動を行う。

量的に把握し、それらを改善するとともに当社グループで活動する人々の更なる安2. 当社グループの事業運営に於ける環境影響要因と、その環境負荷を定量的に把全性向上や健康増進に向けて積極的に継続的に努力する。

握し、その低減に向けて積極的に継続的に努力する。
3. 安全／健康関連法規・条約・協定等を遵守し、更に環境に関する各種要請を先3. 環境関連法規・条約・協定等を遵守し、更に環境に関する業界標準や各種要請取りして自主基準を制定して安全性向上・健康増進を促進する。

を考慮して自主行動計画を策定し、地球環境保全を推進する。
4. 安全／健康に関する基本理念・方針や安全性向上／健康増進関係活動状況を
4. 環境に関する基本理念・環境方針・環境保全推進状況・製品の環境対応状況を従業員に周知させ、意識向上を図ると共に、
環境報告書等を通じて社外へも公表

当社グループの全役員・全従業員に周知させ、意識向上を図ると共に、社外へも必要に応じて公表する。

する。
5. 顧客・社会で実施・推進される安全性向上や健康増進関係活動に積極的に参画
5. 顧客・社会で実施・推進される環境保全活動に積極的に参画する。
平成18年5月26日

14 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006する。
平成10年11月27日

■ EHS推進体制■ EHSリスクマネジメント

製品のEHSを推進する「プロダクトEHS」、製品納品時

製造子会社では、ISO14001やOHSAS18001、労の設置作業などのEHSを推進する「顧客先作業EHS」、

働安全衛生マネジメントシステムに基づき環境や安全の工場やオフィスのEHSを推進する「ファクトリー&オフィス

リスクを評価し、リスクの高いものから対策に取り組んでEHS」の三つを柱に活動を展開しています。

います。また、法規制に先駆けてリスクの削減に取り組

当社グループでは、1997年より製造子会社を中心にんでいる課題もあります。今後は京都議定書に基づく地球

ISO14001に基づく環境マネジメントシステムを構築・温暖化防止への対応を最も重要な課題と考えています。

実行し、認証を取得しています。

■ 法令の遵守状況

東京エレクトロングループのEHS推進体制

環境法令や排出基準などの法規制を確認し、一部ではグローバルEHS会議※委員長：東京エレクトロン（株）社長

ファクトリー＆オフィスEHS

顧客先作業EHS〈各地区でのEHS活動〉〈お客様の拠点でのEHS活動〉

自 主 基 準を 設けるなど、法 規 制 遵 守に努 めています。

プロダクトEHS

2005年度は、環境関連の事故・違反・罰金・苦情、
また、こ〈当社グループで製造する装置についてのEHS活動〉

れらにかかわる訴訟などはありませんでした。

ISO14001 認証取得事業所■ EHS教育

事業所名

認証取得
年月日

相模事業所

1997年 1110-1997-AE-KOB-RvA
12月10日

しています。当社グループ社員と当社内で作業する協力

東京エレクトロン東北

東北事業所

1998年
2月19日 1118-1998-AE-KOB-RvA Rev.3

会社社員を対象に、階層別の教育・訓練を行っています。

東京エレクトロン九州

熊本／合志／
大津／佐賀事業所

1998年
3月26日 1120-1998-AE-KOB-RvA Rev.2

新入社員研修でもEHSに関するプログラムを必須科目と会社名
東京エレクトロンAT／
東京エレクトロンFE

東京エレクトロンAT

東京エレクトロンデバイス

認証番号

1998年
山梨事業所
1124-1998-AE-KOB-RvA（藤井／穂坂地区） 5月15日
宮城事業所

2005年
3月1日 01245-2005-AE-KOB-RvA

横浜事業所

2004年
7月14日 EC04J0144■ EHS活動のチェック体制
EHSマネジメントシステムを強化するため、システムや「必要な教育を必要な人に」を原則に、EHS教育を実施

して い ます 。また 、2 0 0 6 年 度 より上 級 安 全 教 育 を「SEAJ＊推奨サービス安全教育」に切り替えました。この教育は業界のスタンダードであるSEMIの「安全教育ガイ
ドライン（S-19-1102）」に準拠した内容となっています。
また、EHS活動をより円滑に行うため、チーム内のコミュ
ニケーションに着目したチームリソースマネジメント研修

成果のチェック機能を担う監査のレベルアップを図っていなども実施しています（P31TOPICS参照）。

ます。監査は事業所内やグループ内で、あるいは第三者に＊ SEAJ：社団法人 日本半導体製造装置協会

より様々な観点から行われています。特に積極推進している監査は、2002年度に開始した各事業所のEHS代表者
による相互監査、「 TELインターナルアセスメント」です。

EHSに関する教育

2004年度からは、労働安全衛生と作業安全という従来の項目に、「装置EHSコンプライアンス」「装置EHSパフォー
マンス」「環境パフォーマンス・遵法」の各項目を追加しました。これにより個々の装置における環境・安全性のチェックや事業所の環境マネジメントを相互にチェックできる体制を強化しました。今後は監査対象の部門を増やし、活● 専門教育● 装置固有教育（内部環境監査員教育、重要環境側面にかかわる特別教育）● 各顧客固有入場教育● ISO14001に基づく● 各国出張者安全教育

環境教育（製造系事業所）● 上級安全教育● 環境教育（事務所系事業所）● 基礎安全教育

環境

健康・安全

動のチェックをさらに強めていく方針です。

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 2006

15

E HS Report

EHS活動の目標と実績
東京エレクトロングループでは、EHS活動目標を設定し、グループ全体でEHS活動を推進しています。

EHS活動目標と2005年度実績
活動項目

2005年度達成目標

実施結果

評価

2006年度以降の計画、
目標

関連するページ

国内のフィールドステーションでのエネルギー、−
廃棄物量の把握を開始

データ把握を継続する

ー

2事業所において実施、発見した指摘事項を是正した○

監査対象部門および範囲の拡大

P15200mm製品：6製品中5製品で達成した○

300mm製品：6製品中2製品で達成し、3製品で目標に近い値を達成した

2007年度、2010年度目標の達成

P18、19△

対策すべき化学物質と方針の明確化

Pb、Cd、Cr6+、Hg、PBB、PBDEを全廃対象とした○

TELロードマップの指標の達成

P20

鉛フリー化

2006年1月からの生産装置の組み込み開始左記目標を達成した○

TELロードマップの指標の達成

P21

省エネルギーの推進

エネルギー使用量の削減（省エネ
2004年度と比較して売り上げ原単位比8.1%
法に基づき、CO2発生量ベースで削減でき、目標を達成した
売り上げ原単位比１％削減）○

引き続き、CO2発生量ベースで売り上げ
原単位比１％削減
省エネ法に基づく物流でのエネルギー使
用量の算定開始、荷主にかかわる法規
制、義務の確認P26

廃棄物の削減１事業所を除き製造系事業所でゼロエミッシ
製造系事業所でのゼロエミッシ ョンを達成した
ョン継続
グループ全体のリサイクル率は、2004年度と同等の高水準で推移△

ゼロエミッションを継続する、廃棄物総量の削減を検討する

P27

ＰＲＴＲ対象化学物質の使用量、排出先を把握した−データ把握を継続する

P29

国内事業所、海外事務所でのEHS活動推進−

EHS相互アセスメントの実施

事業所間でのEHS相互アセス
メントを実施装置の省エネルギー化

TELロードマップ指標の達成装置に含まれる規制化学物質
対策

EHSマネジメント

製品における
環境への取り組み

事業所における
環境への取り組み−

化学物質の適正管理

健康・安全

休業4日以上の人身災害０件、 休業4日以上の事故は数件発生、度数率は2004年度より減少、人身事故件数は約10％
人身事故の件数を2004年度の削減
より３０％削減する

人身災害事故の削減○ 目標達成要素開発にも環境配慮の視点を取り入れていくことが必要です

人身事故の件数目標は2005年度目標
× を継続、人間工学的事故を2005年度比
25％削減

P30、31△ 目標の８０％を達成 × 目標の８０％以下を達成 − 目標設定していない項目

グにおいては、高所作業や現場での実地訓練を含むチームリソー
スマネジメントという教育・訓練を導入しました。2005年度も重大な事故は発生していませんが、2006年度も事故分析と再発防止

東京エレクトロン株式会社
取締役兼常務執行役員

黒岩を徹底し教育・訓練にさらに力を入れていきます。
2006年度に入って、「環境に関する基本理念／方針」の改訂

健吾を行いました。従来の抽象的な表現を具体的に変更し、取り組む

2005年度は、環境・安全に対して以前より踏み込んだ活動が内容について明確にしました。今後は環境理念・方針に基づきロできたと思います。

ードマップを作成し、取り組みを進めていきます。

お客様からは環境・安全に対する要求も高まっており、これらの配慮を進めることと質の高いEHS活動が事業を継続・成長させる条件の一つになっていると感じています。
環境面での装置改善については、長期的視野に立ち、要素開

私のエコライフ

発段階からの取り組みが重要です。既に設計段階では環境や安

山菜採りやキノコ採りが好きで、全への配慮を確認する仕組みがあり、全社的に開発・技術部隊

今でも時間があれば実家近くの自の意識も高まっていると認識しています。

然の中へ出かけています。

安全面では、装置設計時には各国の安全規格に適合することを基にSEMIの安全ガイドラインを遵守しています。またトレーニン

16 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

E HS Report

環境負荷の全体像／環境会計
環境負荷の全体像および環境会計を正確に把握し、マネジメントに生かしています。

■ 環境負荷の全体像

Input-Output

東京エレクトロングループは事業活動を行うに当たり、多くの地球資源を必要とします。
右記は、当社グループの製造系事業所および事務所系事業所における物質フローになります。特徴として、製品評価時の環境負荷が大きいことがあげられます。これは、半導体製造工程と同様に電力および様々なガス薬品

2005年度

前年度比●

電気 25,880万kWh（+4.7%）

●

ガス

3
948km（+19.4%）●

燃料2,811kl（+1.1%）●

水1,095km （+9.1%）

●

化学物質

3

2005年度●CO2

101,342t （-2.7%）●NOx

11.9t （+4.4%）（国内および海外事業所）●

排水1,084km （+9.1%）●

廃棄物13,186t（+19.6%）

再資源化量

12,717t（+20.0%）

8.2t（-27.4%）

紙（コピー用紙）

製品総出荷量 22,489t （+3.0%）

東京エレクトロン
グループ（PRTR法第一種対象物質）
●

前年度比

●

343t （-9.0%）

3

単純焼却・埋立処分量469t （+8.8%）などを使用して装置を評価しているためです。

■ 環境会計
集計範囲：東京エレクトロングループ国内主要事業所（札幌、東北、宮城、赤坂、府中、横浜、相模、穂坂、藤井、尼崎、大阪、佐賀、熊本、合志、大津）
集計期間：2005年4月1日〜2006年3月31日
当社グループの環境会計は「環境会計ガイドライン（2002年版）」および「環境会計ガイドブックⅡ」（環境省）に準拠しています。

2005年度環境保全コスト

（千円）

項目

主な取り組みの内容

設備投資額

経費合計

189,127

753,803

1．事業エリア内コスト
内訳

1.1 公害防止コスト

大気汚染、水質汚濁、土壌汚染防止など

65,719330,228

1.2 地球環境保全コスト

温暖化防止、
オゾン層保護など

123,408

35,364

資源の効率的利用、廃棄物減量化など

0388,211

2．上・下流コスト

グリーン購入、
グリーン調達など

5,538

89,474

3．管理活動コスト

環境教育、環境負荷の監視・測定など

12,852

183,974

4．研究開発コスト製品の研究開発など

0

1,721,077

5．社会活動コスト

緑化、地域の環境活動支援、情報開示など

079,134

6．環境損傷コスト

自然破壊の修復など

007．その他のコスト

その他

0

0

207,517

2,827,462

1.3 資源循環コスト

合計

2005年度環境保全対策に伴う経済効果（千円）

環境保全コストの分類
・電力およびその他のエネルギーについての効果

内容

金額

電力使用量の削減（例：冷凍機インバーター化工事による効果）

・水についての効果

水の使用量の削減（例：冷却水の循環利用）

・紙についての効果

紙の使用量の削減（例：両面コピーの奨励、電子化）

・各種資源についての効果

重油やガスなどの使用量の削減

・その他についての効果

液体窒素やコピー用トナーの使用量の削減

・廃棄物に関する効果

廃棄物処理量の削減

126,763
1,953
732

費用削減

費用削減合計収益・廃棄物に関する効果

有価物の処理に伴う収益など△734
103,240△168,242
63,712
2,389

収益合計

2,389

合計

66,101

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

17

E HS Report

製品における環境への取り組み
製造装置の省エネルギー化や規制化学物質の削減など、様々な観点から環境負荷低減に努めています。

■ 製品の環境負荷低減への考え方

近年、環境・健康・安全への持続的な改善について、各方

環境に配慮した設計を推進することは非常に重要と考面からの期待がさらに高まっており、製品の初期開発・設えており、新たな環境理念／方針でもこの考え方がさらに計段階でEHSのコンセプトを取り入れることがますます重明確にされました。特に装置の省エネルギー化や、装置に要になっています。事業のグローバル化に伴い、各国の法含有される規制化学物質の削減・代替は、優先的に取り組規制に対していっそうの注意を払う必要もあります。これ

むべき課題に位置付けています。

からも継続して積極的に「Design For EHS（EHSに配慮した設計）」を推進していきます。

■ 環境負荷低減の推進組織
装置EHS技術委員会の下部組織として、三つの関連部

装置EHS推進組織体制

会を設置しています。このうち、「 装置安全ワーキンググループ」では、装置の安全性を高める活動を行っています。

装置EHS技術委員会「化学物質対策チーム」は、装置を構成する部品やコンポー
ネントなどに含まれる規制化学物質の削減・代替を進めています。また、2005年10月には、装置のエネルギー効率を改善するため「省エネタスクフォース」を結成しました。

装置安全WG

化学物質対策チーム

省エネタスクフォース

TOPICS
半導体製造装置使用エネルギーの換算：
SEMI S23

各段階で使用する様々なエネルギー
排気●キッチンでは半導体製造装置のエネルギー使用量は、従来は主に装置本体の電力を測定して算出していました。
しかし、半導体製造装置は稼
動時に水やドライエアー、冷却水、熱の排気など様々なエネルギーを使用しているほか、周辺の補機類（真空ポンプや冷却装置）
も

洗う

クッキング
煮る
炒める

水道

コンロ

オーブン
レンジ

ガス

電気

焼く

換気扇

〈食材〉

エネルギーを消費しています。装置の種類により消費するエネル
ギーも異なります。そのためSEMIは、「S23 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティー、および材料の保全のための水ガイド」を制定しました。異なる種類のエネルギーに係数をかけて排水電力に換算することで、装置の総合的なエネルギー消費量を算出できます。

●半導体製造装置では

東京エレクトロングループは同ガイドラインの制定を積極的に業界に働きかけ、制定に当たって中心的な役割を果たしました。
「省
エネタスクフォース」では、同ガイドラインに基づき各装置のエネル

洗浄工程

半導体製造プロセス
熱処理成膜工程 エッチング行程〈ウェーハ〉

ギー使用量の算出を行っています。右記は、キッチンでのエネルギ

排気ー使用を例に半導体製造装置でのエネルギー使用を示しました。

純水

排水
薬品

18 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

水

冷却水
電気

ガス

空気／窒素

量は一定でしたが、熱処理成膜装置TELINDY™では、ロ■ 製品の省エネルギーの取り組み
装置使用時の省エネルギー対策として、①装置本体のーディングエリアの酸素濃度を常時測定しながら制御するエネルギー使用量削減、②周辺機器のエネルギー使用量

ことにより、窒素の流量をウェーハ加工の各段階で適正化削減、③装置の省エネルギー運用、④クリーンルームのエしました。これにより、従来装置と比較して窒素の使用量

ネルギー使用量削減、⑤クリーンルームの省エネルギーを約60%削減できました。

運用（計画運転、適正運用など）の5項目を検討しており、今後、技術開発に取り組んでいきます。クリーンルームの熱処理成膜装置での窒素ガス使用量削減

省エネルギー運用に関しては、お客様や設備メーカーとの協力が不可欠なため、三者で密接に連携を取りながら、窒素（窒素流量を適性化）

反
応
炉

酸
素
濃
度
計

ローディング
エリア

装置使用時の省エネルギー化を進めていきたいと考えています。また、「 SEMI S23」を用いて製品のエネルギー
消費量を把握し、対策を進めていきます。

ガス供給
ボックス

（酸素濃度を常時測定）装置の省エネルギー化に対するアプローチ

事例 2 プラズマエッチング装置周辺機器
でのエネルギー削減⑤ クリーンルームの省エネルギー運用（計画運転、適正運用など）④ クリーンルームのエネルギー削減

プラズマエッチング装置のTelius™では、装置内部を冷却するためのチラー（冷媒を冷やす装置）やチャンバー内

冷却装置② 周辺機器のエネルギー削減

真空
ポンプ

を真空に保つためのポンプなどの周辺機器で、多くのエネ
ルギーを使用します。そこで周辺機器での省エネルギー① 装置本体のエネルギー削減

化に取り組みました。チラーをインバーターで制御するこ③ 装置の省エネルギー運用とで、電力使用量を約30%削減しました。ポンプは装置の使用状況に応じて間欠運転し、無駄なエネルギー使用■ 製品の省エネルギー事例を削減しました。

製品により使用するエネルギーの種類や量が異なるため、それぞれの特性に合わせた省エネルギー化を進めてプラズマエッチング装置周辺機器でのエネルギー削減

います。

事例 1 熱処理成膜装置での窒素ガス使用量削減
熱処理成膜装置では、ローデ

Teliusィングエリア（ウェーハを反応炉に入れる前のウェーハの積載エリア）でウェーハ上に自然酸化

チラー

真空ポンプ

インバーター制御
約３０％電力削減

間欠運転
運転ロスの削減膜が生成しないよう、窒素を注入して酸素濃度を低くしています。従来の装置では、窒素の流TELINDY

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 2006

19

E HS Report

製品における環境への取り組み■ 装置に含有される規制化学物質削減へのを推進しています。また製造子会社2社で、規制化学物質取り組みへの対策を行う専任チームを結成し、対策実施スケジュー

近年、部品や材料に含まれる有害物質が環境や生態系

ルや、各部門および担当者の役割分担を明確にして、対策に与える影響を懸念して、自動車や電気製品などに対するに遅延をきたさないように定期的なレビューを行っていま

使用規制が世界各国で行われるようになってきました。特す。製造子会社の専任チームだけで解決・改善することが

＊1

＊2

＊3

に欧州のWEEE ／RoHS指令 や中国版RoHS は関

難しい案件については、左記の「化学物質対策チーム」で連業界の大きな関心事であり、東京エレクトロングループのの討議を通じて処すべき施策を明確にしています。

製品にも少なからず影響があります。そこで、規制を先取りし、製品に含まれる規制化学物質の削減を進めています。

■ 規制化学物質の含有状況調査

RoHS指令は2006年7月以降に欧州で販売される製調査は約100万件におよぶ登録部品一点一点に対し品に適用され、鉛・カドミウム・水銀・六価クロム・ポリ臭化て、業界統一のJGPSSIフォーマットを用いて行いました。

ビフェニール（PBBs）
・ポリ臭化ビフェニールエーテル（ P B D E s ）の 6 物 質 の 含 有 が 禁 止されます 。中 国 版
RoHSも同6物質を対象としており、2007年3月に発効される予定です。そこで当社グループでも以下表の6物
質を、優先的に対策を行う物質として位置付けました。
＊1 WEEE：Waste Electrical and Electronic Equipment＊2 RoHS指令：Restriction of the use of certain Hazardous
Substances in Electrical and Electronic Equipment＊3 中国版RoHS：正式名称はというJGPSSIフォーマット

製造子会社である東京エレクトロンATにおいて調査した結果、次のような部品に規制化学物質が含まれているこ対策すべき含有化学物質とがわかりました。

第一優先課題● 鉛およびその化合物：基板・コンポーネンツ類のはんだ

カドミウム

顔料、安定剤、樹脂

六価クロム

クロムメッキ鉛

はんだ、塗料、電線被覆、快削金属

水銀

電池、蛍光灯

PBBs

樹脂部品

PBDEs

樹脂部品

第二優先課題JIG＊レベルA指定物質（既に対策された物質がかなり含まれている）＊ JIG（Joint Industry Guide）：日米欧の民間団体の協力で作成された対策が必要な化学物質に関するリスト。レベルAとレベルBに分類されており、
レベルAには16物質（カドミウム、六価クロム、鉛、水
銀、PBBs、PBDEsを含む）がリストアップされ、レベルBには400を超える物質がリストアップされている。

● 六価クロム化合物：ねじ・端子台などのめっき処理● カドミウムおよびその化合物：コネクタ、継ぎ手類調査結果を踏まえて、規制化学物質を含む部品や材料を代替すべく、社内や取引先への教育や情報共有活動を徹底し、開発・設計・製造・資材・品質保証・環境安全などの各部門が一丸となって取り組みを進めています。
東京エレクトロンATでの調査結果（2006年6月1日現在）

61.6■ 規制化学物質に対する体制

5.0
33.4

の代表者で構成される「化学物質対策チーム」を結成して0

だきながら、規制化学物質を含まない代替品への切り替え

20 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

53.8

加工

47.3

仕様書

51.2

0.3

当社グループでは、製造子会社および本社スタッフ部門

必要な情報を共有し、取引先にも積極的に協力していた

一般購入

（％）

12.3
33.9

52.4

32.0

42.5

42.9

0.0

0.0

57.5

57.1

23.0
26.6

16.8

カドミウム 鉛および 水銀および
六価クロム
およびその
その
その
化合物
化合物
化合物
化合物

50.4

PBDE
類

PBB類

RoHS
6物質全体

■ 鉛フリー化の取り組み

はんだ接続部引張り強度試験

装置に含まれる規制化学物質のなかでも特に鉛につい

（N）

鉛フリー
鉛

ては、ほかの規制化学物質に先んじて取り組みを進めてきました。
当社グループの製品には、高度な制御を行うための複雑で多様な電子回路基板や、これらに電源を供給し、相互に

13.75

最
大
引
力

13.50

13.30

11.77

12.73

12.38

11.32

11.71

11.47

11.29

500

750

1000（回）

33.35

32.85

情報信号をやり取りするためのケーブルやハーネスが搭載されています。こうした部品の電気的接続には、はんだが使用されます。鉛はんだ材の代替化を行うにあたっては、
信頼性の評価が多岐にわたって実施される必要があり、そ

0

（N）

鉛フリー
鉛

35.00

2005年度は、従来から進めていました評価出荷判定始しました。電気的接続の信頼性は非常に重要な課題で

250

はんだ接続部せん断試験のなかでも電気的接続の信頼性は非常に重要な課題です。

基準に関する検討結果を基に、鉛フリーはんだの採用を開

初回

34.05

最
大
荷
重

33.50

32.00

33.13
31.86
28.82

28.20

750

1000（回）あるため、切り替えに当たっては信頼性評価試験の結果を十分に検証し、従来の鉛含有はんだと比較して同等の信頼性であることを確認しました。

0

初回

250

500

検証に当たっては、温度変化が部品に与える影響を調べ

塗 布 現 像 装 置 の 主 力 機 種 CLEAN TRACK®

る温度サイクル試験を行い、外観や電気的機能、接着保持

LITHIUS®では、2005年1月からケーブル・ハーネス類

力の確認や接続部断面の観測などを行いました。今回行を接続するはんだを鉛フリー化しています。2006年3月

った温度サイクル試験は、標準的な環境下では、1,000回には鉛フリー制御用電子回路基板の使用を開始しました。

で20年以上の加速試験に相当します。

また当社グループで製造されるそのほかの装置（熱処理
成膜装置、プラズマエッチング装置、洗浄装置やウェーハ

はんだ接続部断面写真（1,000サイクル後）プローバ）も同様に、順次鉛フリー化したケーブルや基板に切り替えています。
今後当社グループでは、取引先とのよりいっそうの連携を図り、ガラスや樹脂部品など各種部材に含まれる鉛についても、規制化学物質削減の一環として対策を加速し、さ鉛フリーはんだ

鉛はんだ

らなる環境配慮を推進していきます。

CLEAN TRACK LITHIUS

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 2006

21

E HS Report

製品における環境への取り組み■ アスベストへの対応について部品についても全品を調査した結果、一部のOEM（客全製品のアスベスト使用状況を確認したところ、1985

先仕様）製品の中に、日本国内では法規制の対象とされて年4月以前に製造された熱処理装置の電源ケーブルにアいないガスケットやシール材などで、非飛散性のアスベス

スベスト（白石綿）が含有されていることがわかり、2005

ト（白石綿）が使用されていたものがありました。通常の年7月に国内のお客様に報告しました。お客様のご協力を使用やメンテナンスでは健康に害はないことを確認しまし

得ながらアスベスト飛散状況を測定したところ、通常の使たが、2006年1月以降の出荷分から対象部品の使用を用やメンテナンスではアスベストは飛散しないことを確認

中止しました。

し、健康に害を与えることはないとお客様に報告しました。

事業所の建物でも飛散性アスベストが使用されていな

また、該当製品の製造などに携わった従業員（退職者いことを確認したほか、非飛散性アスベストの使用の恐れを含む）の健康診断を2006年3月末までに行いました。

のある場所での改修・撤去工事の際には、適正な工事・処

健康被害はありませんでしたが、今後も健康診断は継続分を行うよう徹底しました。

していきます。

TOPICSTELFORMULATMが「ものづくり日本大賞」を受賞
半導体熱処理成膜装置TELFORMULAの開発により、高品質

TELFORMULAの新機能
1.昇温時間の短縮

成膜・高生産性を実現したことが評価され、2005年8月に「ものづウェーハに薄膜絶縁膜を形成する石英反応管と呼ばれる

くり日本大賞」第1回優秀賞を受賞しました。同賞は、日本の産業部 分は、高温かつ温度差を±1℃に保つ必要があります。

や文化を支えるものづくりを承継･発展させるため、経済産業省がTELFORMULAでは、新開発のヒーターを採用し、昇温時間を創設したものです。

従来装置の4分の1に短縮しました。

TELFORMULAには、次のような特徴があります。①サイクルタ

2.薄膜形成時間の短縮

イムを従来装置の4分の1に短縮、②従来の装置は、洗浄時に反反応管内では薄膜を形成する時に減圧する必要があります。

応管と呼ばれる部分を手作業で分解し、液体を使用して洗浄する

新しい急速排気弁の採用で、減圧にかかる時間を従来装置の必要があったが、TELFORMULAではガスで洗浄する新技術を導約5分の1に短縮しました。

入しました。これらの特徴が評価され、世界中の主要なお客様の半導体製造ラインで採用されています。

3.ウェーハの搬送時間の短縮
TELFORMULAでは、反応管内へのウェーハの搬入・搬出を、
自動ウェーハ搬送機で行います。ウェーハに振動などのダメージを与えることなく、高速・短時間での搬送を実現しました。搬送時間が従来装置では18分かかっていましたが、TELFORMULA
では1分に短縮されました。

環境への配慮
熱処理成膜工程では次のウェーハが搬送されるまでに待機時間があります。待機時間中に電源を切って電力消費を抑えると、次に製品処理ができる状態にするまでの昇温時間が長いため、生産性を低下させてしまうという問題がありました。高速昇温可能
なTELFORMULAでは、待機中は電源を切れるため、1時間あたり約20kWhの電力を削減できました。
ものづくり日本大賞の表彰状

22 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

TELFORMULA

E HS Report

物流における環境への取り組み
東京エレクトロングループでは、物流における環境負荷の低減に向けて、省エネルギーおよび資源の有効活用の観点から取り組みを行っています。
■ 物流についての考え方■ 製品重量の変化

2006年4月のエネルギーの使用の合理化に関する法

当社グループ製品の大型化は年々進んでいます。FPD

律（以下、省エネ法）改正において物流への規制が強化さ製造装置を例にあげると、約15年前の当社装置は重量約れるなど、地球温暖化防止の観点から、物流の環境負荷低11トンで、
トラック4台で十分に運ぶことができました。と減に対する要求が高まっています。

ころが最新型は総重量が当社グループでは、製品輸送用のトラックに低公害車を

約170トンにもなり、輸送導入したり、納入用のコンテナを通い箱化したりするなど、には特殊なトラックと多く物流における環境負荷低の 車 輌を 必 要とします。

減を積極的に進めていま製造するFPD基板の大型す。また、お客様への製品化に伴い、装置も大型化

輸送は安全運行を最優先しているためです。

としています。
低公害トラックを導入■ 物流における環境負荷
改正省エネ法により、年間3,000万トンキロ以上を輸FPD製造装置を輸送する特殊トラック送する荷主事業者は特定荷主に指定され、CO 2排出量のTOPICS

削減が求められることとなりました。
当社グループ全体での貨物輸送量（主要製品輸送量と輸送距離の積、単位：トンキロ）は、2005年度では2004
年度よりやや減少しているものの、経年では増加傾向にあります。理由として考えられるのは、出荷台数の増加や、製出荷時の梱包材削減とキャスターの再利用
従来、製品に付随するパーツ類はプラスチック容器に入れ、プラスチック容器ごとに梱包してお客様へ納入していましたが、現在はコンテナ全体を一括して梱包し、お客様へ出品1台あたりの重量増加があげられます（右記「製品重量荷、納入しています。これによりプラスチック容器を使用しなの変化」参照）。

くて済むようになり、包装資材使用量は半分に、緩衝材は当社グループの製品は精密機械であり、物流に際しては細心の注意が必要です。今後は輸送量や輸送距離の測定、10分の1になりました。結果として、出荷時の積載時間を短縮できたほか、お客様の保管スペースを削減でき、整理しやすくなるという効果もありました。

輸送に伴うCO2排出量算出の正確性をあげるとともに、削このほかにも、エッチングシステム装置本体を搬送するた

減に向けモーダルシフト化などの検討を行っていきます。

めのキャスターをお客様へ納入後、取り外して返送し、再利

また、2005年度から、国内の当社グループ社有車のガソ用しています。

リン・軽油使用量の把握も開始しました。
貨物輸送量の推移（万トンキロ）

4,028

3,837

04

05

2,934

0
03

納入用コンテナ

リユースキャスターの通い箱（国内主要製品、一定割合の積載量にて計算）

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 2006

23

H ighlight

取引先における環境への取り組み
東京エレクトロングループでは、取引先との協力と連携を通して、製品における環境負荷の低減を推進していきます。

■ 取引先の協力による環境負荷低減
当社グループ製品の環境負荷を低減するには、製品を構成する部品や原材料についても環境への配慮が必要です。当社グ
ループでは、取引先から調達している半導体／FPD製造装置の原材料や部品について、独自のグリーン調達ガイドラインを制定し、取引先における環境負荷低減基準と努力目標を定めています。また、環境活動に関する調査や情報交換、指導を行いながら、今後もサプライチェーンを意識した取引先との協力、連携により環境負荷の低減を進めていきます。今回は、当社グループの取引先2社における環境負荷低減の取り組み状況を紹介します。

■ 取引先企業での取り組み 〜株式会社アバール長崎〜
株式会社アバール長崎様と当社グループとの取引状況

作業や工程については「鉛フリー化ガイドライン」を制

株式会社アバール長崎様（以下、アバール長崎）では、定しました。鉛フリー化している部品の現品票や鉛フリー

自社製品やOEM製品による電子機器の開発、設計、製造、ペースト（クリームはんだ）、使用するはんだゴテ、製造ラ販売を行っています。当社グループとは、1988年から半インの床に至るまでをすべて「緑色」に統一し、色による

導体／FPD製造装置で使用する制御ユニット用プリント識別を行っています。これによって鉛フリーラインと従来

Assy基板類の取引を開始しました。

のラインとを区分し、管理することで混入が避けられます。
また、鉛フリーはんだは従来の鉛はんだより溶融温度が高ISO14001認証取得

くなるため、はんだが基板から剥離する現象や、はんだ表

ア バ ー ル 長 崎 で は 、環 境 マ ネジメントシ ス テ ム の面のクラック（引け巣）などの課題がありましたが、信頼性

ISO14001を2006年4月に取得しました。このマネジ試験データに基づいた管理技術

メントシステムに沿って環境負荷を測定し、目的・目標を定の向上によりこれらの課題を解め、継続的改善を目指しています。具体的には、製造工程

決し、量産段階へ進んでいます。

において鉛フリー化の推進、電力使用量、薬液使用量の削

アバール長崎での2005年度

減に取り組んでいます。

の鉛フリーはんだの取り扱い割

鉛フリーはんだの手はんだ付け作業風景

合は約2割ですが、ISO14001

鉛フリーの取り組み

認証取得を機に自社製品やアバール長崎では、当社グループからの鉛フリー化の要

OEM製品の鉛フリーはんだへ

求や欧州規制の動向に対応し、2004年7月に鉛フリーのの切り替えを進め、鉛フリー化率

プリント基板製造ラインを新設しました。その後信頼性試験を高めたいと考えています。

完成した鉛フリー基板を繰り返し、2005年2月より試作品の製作に入り、2005
年5月より量産を開始しました。ラインの新設に当たっては、鉛フリーはんだの表面酸化を防ぐための窒素発生装置の導入や電子部品の防湿保管庫の増設を行いました。
表面の光沢が違う従来のはんだと鉛フリーはんだ

当社からのコメント
当 社グループの 塗 布 現 像 装 置 CLEAN TRACKLITHIUSで使用するプリント基板において、ほかの同業メーカーに先駆けて鉛フリーはんだによる量産体制を確立されました。RoHS指令についても、一部の未対応部品を除き、顧客の要求に応じた開発が可能となっており、当社グ
ループの製品についても要求に沿って対応を進めていた
だいています。今後もさらなる環境対応の推進を期待して
います。

従来品

24 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

鉛フリー

■ 取引先企業での取り組み 〜SMC株式会社〜
SMC株式会社様と当社グループとの取引状況

RoHS指令への取り組み② 温度調整機器（温調機）

SMC株式会社様（以下、SMC）は、創業以来、圧縮空気

塗布現像装置の温調機（装置で使用する薬液を厳密にを動力源として様々な作業を行う空気圧機器の総合メー

温度コントロールして供給するシステム）において、基板類

カーとして発展してきました。当社グループとはエアシリに含まれる鉛 や 板 金 類 の 六 価クロムを 排 除 するなど

ンダや方向制御機器（ソレノイドバルブ）といった空気圧機

RoHS指令対応を進めています。また変更箇所は多々あ器のほかに、熱交換機器や温調機器についても取引があったにもかかわらず、大幅な回路の設計変更を実施した結り、その9割以上が特注品です。

果、コストアップせずに対応することがで

SMCの環境方針と製品の環境対応きました。2006年6

SMCでは、「 地球環境の保全が人類共通の最重要課題

月現在、試作機の評であると認識し、あらゆる事業活動を通して快適な地球環価を終了し、2006

境 の実現に努める」という基本理念 の下、1999年に年度中に切り替え

ISO14001を取得しました。2003年に当社グループかられる予定です。

従来の温調機（左）と新しい温調機（右）ら製品の鉛フリー化を要請した際には、RoHS指令対応を含む「グリーン調達対応」方針に基づき対応しています。

当社グループから学んだ新しい手法・概念

製品構成部品には、影響が大きい順に、六価クロム（クロ当社グループとの連携により環境対応を進めてきたなムメッキ）、鉛（はんだや各種金属への含有）、樹脂へのかで、変更管理（装置の設計、部品、工程などの変更に伴う

PBB・PBDE、カドミウムが使われていたことが判明しまリスクを管理すること）の手法・概念の導入が大きな変化

した。空気圧機器を含む産業用製品はRoHS指令の対象点でした。この手法の導入がなければ、今回のRoHS指令

外ですが、SMCでは顧客の要請に応じて対応しています。

への対応・管理は難しいものになった可能性が高いと考えています。

RoHS指令への取り組み① ソレノイドバルブ
当社グループ製品でも多く使用されているソレノイドバ

SMCにおける今後の環境対応

ルブは、エアシリンダなどに供給する圧縮空気の流れを切企業にとって地球環境の保全は大前提であり、SMCでり換える機器です。その基板やリード線などに含まれていは総合的な技術力をもって対応していくことが可能だと考た鉛、六価クロムのフリー

えています。例としてフロンによるオゾン層破壊が問題と化に対応しています。

なった時に、
SMCではいち早く「塩素を含有しない新冷媒」
で製品開発を行い、結果としてシェアの向上につながった経験を持っています。RoHS指令やグリーン調達などの環境対応は、SMCにとってビジネス拡大のチャンスだと捉えています。

当社からのコメント
社会的に進むRoHS指令などの環境対応に対し、多品
種部品の具体的な変更管理基準や申請手法について、
先行するSMC様と共同で確認・対応することができまし
取材時の説明風景（SMC株式会社 技術本部グリーン調達事務局
岡田洋一郎 様）ソレノイドバルブた。今後の管理運用に役立てていけると考えています。

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 2006

25

E HS Report

事業所における環境への取り組み−地球温暖化防止
東京エレクトロングループは、地球温暖化防止へ向けて、
エネルギー使用量の削減に取り組んでいます。

■ エネルギー使用量削減の取り組み

電力使用量推移

当社グループは、省エネ法の規定に基づきエネルギー（10万kWh）

国内

使用量の削減を進めています。各事業所では、照明やOA

148 160 150

機器の節電、空調の温度設定管理などの具体的な目標を

山梨事業所（穂坂地区）は、風力と太陽光を利用したハイブリッド発電
0灯に利用しており、
1日で約2.5ｋWhの電力使用量を削減できました。

2,430

192
1,916

1,881 1,828 1,838

1,652

2,396
2,345
2,181
2,191
2,151
1,858
1,501
1,212
1,206
1,089

計画的設備停止や作業の効率化にも取り組んでいます。

テムで発電した電力を街灯2基の点

126

101

掲げ、積極的に取り組みを推進しています。また、連休時のシステムを設置しました。このシス

重油使用量推移（kl）

海外

96 97 98 99 00 01 02 03 04 05

灯油使用量推移

ガス使用量推移

（kl）

（千m3）

1,146
1,062
996
990 990942
908

ハイブリッド発電システム

1,665

967 958

0

96 97 98 99 00 01 02 03 04 05

1,631

LPG

都市ガス

■ エネルギー使用量の推移
838

2005年度は2004年度同様、生産量の増加に伴いエネルギー使用量の総量は増加しましたが、原単位では削

364

738
658
545

403 389

減することができたので、「 売上高あたりのエネルギー使
用量を前年度比1%削減」という目標を達成しました。今後も省エネルギー化の取り組みを強化していきます。

0

96 97 98 99 00 01 02 03 04 05

62 60 66 70 50 59
0 74 72 55 59 66 66 63 58 56 110
96 97 98 99 00 01 02 03 04 05（国内および海外事業所）

なお、山梨事業所では、
プロセスガスの除害用に使用するLPGの量が増加した結果、使用量が2004年度の約2■ CO2以外の温室効果ガス使用量削減

倍に増えています。

プロセス開発・評価時のドライエッチングや洗浄などのまた、2005年度からCO2の排出量算定において、国内のフィールドエンジニア駐在拠点のデータを加え、環境省

工程で、温室効果ガスの一種であるPFC（パーフルオロカーボン）類やSF6（六フッ化硫黄）を使用しています。
2005年度 の温室効果ガス使用量は12,643トン

作成の「事業者からの温室効果ガス排出量算定方法ガイ（CO2換算）で、2004年度の7,422トンより大幅に増加

ドライン」を参照しています。

しました。これは、製品評価などに用いられるガスの種類＊1

総エネルギー使用量（CO2換算 ）の推移
CO2排出量（国内）
CO2排出量（海外）1997年度売上高原単位を基準とした数値＊2
売り上げ原単位比前年度＊3 208.0
193.1
197.0
168.2

（t-CO2）（％）
401

温室効果ガス使用量（t-CO2）

134.7
95.8

100.0

HFC類

PFC類

その他

SF6

12,643

147.5

150.9

104.4

と使用量が増加したためです。

150.8

135.5
10,082

105.6

9,162
87.1

89.3

その他
18

87.7

91.9

7,422

92.8

その他
19
4,681

6,740

78.4

50,48865,81794,00995,487
100,941
45,92252,456
84,761
95,486104,110
0
96
97
98
99
00
01
02
03
04
05
＊1 CO2換算は環境省作成「事業者からの温室効果ガス排出量算定方法ガイドライン」を参照＊2 原単位＝エネルギー使用量／売上高（1997年度＝100％）＊3 前年比＝当年度原単位／前年度原単位（国内および海外事業所）

3,106

その他
56

6,682
6,297

0

26 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

3,236
1,856
0

1,468
02

1,284
1,140
03

784
04

322

1,620
05
（国内事業所）E HS Report

事業所における環境への取り組み −廃棄物削減
東京エレクトロングループでは、
環境負荷低減のため、廃棄物の削減やリサイクル率の向上に取り組んでいます。

■ 廃棄物削減・リサイクルの考え方■ 廃棄物の内訳

廃棄物はなるべく排出しないように努め、排出した廃棄当社グループで最も多い廃棄物は廃液類で、製品の開物はできるだけリサイクルし、
リサイクルできない廃棄物

発および評価時に使用した薬品が廃液となっています。現は適正に処理するという方針に基づき、グループ全体で廃在廃液のほとんどはリサ

廃棄物内訳（%）

棄物の削減に取り組んでいます。近年は最終処分場が不イクルされています。ま飲料容器 1

足し、埋め立て処理費用が上昇しているため、廃棄物排出た、一部の事業所では廃量の削減はコスト削減にもつながります。

液処理設備を導入し、廃プラスチック 6

具体的には、廃棄物の分別回収、廃棄物が発生しない

液 の事業所内処理を行

紙類 6生産工程への変更、リサイクル業者の拡大、廃棄物処理っており、今後は廃液処

委託業者の認定管理、最終処分状況の定期的な確認な

理設備 の導入事業所をどを行っています。また、各事業所で拡大していく予定です。

厨房厨芥 1
その他 3

一般廃棄物（行政引取り）2
木屑、梱包材 3

金属／製品屑
11

廃液
67

は廃棄物の分別方法を分かりやすく表示したり、啓発用ポスターを掲示し■ ゼロエミッションています。例えば米国にあるTokyo

単純焼却や埋め立て処分する廃棄物量が2%未満の事

Electron U.S. Holdings, Inc.では、
啓

業所を「ゼロエミッション事業所」と定義し、グループ全体発用のポスターを作成し、廃棄物の有でゼロエミッション活動を推進しています。2005年度は、
東北事業所を除きすべての製造系事業所でゼロエミッシ

効利用を促した結果、2005年度に32
啓発用ポスタートンの紙類をリサイクルできました。

ョンを継続しました。今後は、非製造系事業所でもゼロエミッションの達成を目指します。

■ 廃棄物排出量とリサイクル率
1998年度に2005年度までにグループ平均のリサイク
ル率を95%にするという目標を掲げて取り組みを進めた
ところ、2004年度のリサイクル率は96.1％、2005年度には96.4%を達成しています。今後はリサイクルするもの
も含め、廃棄物排出量の総量削減に取り組んでいきます。

東北事業所での廃棄物削減の取り組み
東北事業所では、1996年度は900トン以上あった廃棄物
総量（リサイクル分を含む）
が、2005年度は約400トンとなり、約56％の廃棄物を削減できました。残念ながら床の補修に伴う建物のがれきが発生したためリサイクル率は減少し、リサイクル率と廃棄物排出量の推移
廃棄物量（焼却および埋め立て量）
リサイクル率93.1（t）

TOPICS2005年度はゼロエミッションを継続できませんでしたが、今
96.1

（％）
96.4

2005年度リサイクル率目標値95％

後も高いリサイクル率の維持と廃棄物総量削減の検討を進めていく方針です。

東北事業所の廃棄物排出量・リサイクル率の推移
77.4

（t）

リサイクル
産業廃棄物
リサイクル・再資源化率

69.7
55.2
49.7

59.8

59.9

96.5

97.0

（％）

一般廃棄物

98.0

96.6

423.8

385.9

8.5
04

13.7
05

40.9
766.3
517.2
15.3
0

4,238
96

521.0

6.2
4,772
97

3,189
98

3,179
99

3,657
00

3,938
01

3,268
02

847
03

431
469
0
04
05
（国内事業所）

0

136.5
96

19.0
02

15.9
03

TOKYO ELECTRON

0

環境・社会報告書 200627

E HS Report

事業所における環境への取り組み −省資源
東京エレクトロングループは、紙や水の使用量削減を進め、省資源に取り組んでいます。

■ 省資源に対する考え方■ 水使用量削減の取り組み

環境に配慮した製品を優先的に購入する「グリーン購

製造系事業所では、水の使用量を減らすために様々な入」を推進し、資源の使用量を最小限に抑えています。具

活動を展開しています。生産工程に循環装置を設置し、冷体的には、コピー用紙や文房具などに関して、使用量・購入却水などを再利用しています。また、トイレや手洗い用に量を削減することや環境に配慮した製品の購入を進めて

自動水洗装置を導入して水の止め忘れや無駄な使用を減いるほか、オフィスで使用するプリンター用トナーをリサイ

らしています。

クル品に切り替え、メーカーによる使用済み製品回収への協力も積極的に行っています。一部の事業所では、
イント

水使用量の推移
（千m3）

工業水

上水

地下水

ラネットを利用して、ある部署で使用しなくなった文房具類を 他 部 署 で 使 用
817

で きる仕 組 み を 構

770

812
89

527

445

391

290

325

332

97

98

99

693

築して、リユースを実施しています。

イントラネット上のリサイクルボックス

972

1,004
67

146

119

436

388

474

390

430

415

00

01

02

1,014
107
64

1,004
70
106

486

437

357

391

1,095
115
92

506

521

■ 紙使用量削減への取り組み
当社グループ全体で、紙の使用量削減に取り組んでい

海外使用量
1,039
88
62

172
0

96

ます。コピー用紙の両面使用、縮小コピーの励行、情報や

382

03
04
05
（国内および海外事業所）

回覧書類の電子化などに努めた結果、2005年度のコピー用紙使用量は、
グループ全体で2004度より約9%少なくなり、年間で約830万枚を削減することができました。また、特別な用途を除いて再生紙の使用を進めるだ
けではなく、非木材資源のケナフを使用した紙コップを導TOPICS
熊本・合志事業所での水使用量削減
合志事業所では、使用される水のほとんどが地下水です。
そのため、地下水の枯渇防止や汚染防止に力を入れてい入するなど、森林資源の保全につながる活動を実施してます。省資源を目的として、冷却水や真空ポンプシール水います。今後は、業務で使用するコピー用紙の見直しをの循環利用、水を使用しない真空ポンプの導入などに、生継続することで記録用紙や帳票類を必要最小限に集約

産現場から率先して取り組んでいます。また、事業所内では生活用水の使用を最小限にするなどの活動も行っていまし、さらなる紙使用量削減を目指します。

す。こうした取り組みが評価され、2004年度には財団法人
肥後の水資源愛護基金から「肥後の水資源愛護賞」をいただきました。

コピー用紙使用量の推移（千枚）

製造系事業所

事務所系事業所

131,500
19,350107,367
18,30095,785
18,617

87,63418,184

94,217
17,41785,852
16,038112,150
89,067000

01

77,16869,45002

03

76,80004

69,81405（国内事業所）

28 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

水を循環利用する真空ポンプ

水を使用しない真空ポンプ

E HS Report

事業所における環境への取り組み −化学物質管理
東京エレクトロングループでは、化学物質の適切な管理および排出量削減に努めています。

■ 化学物質管理の考え方

PRTR法第一種対象物質排出量

当社グループでは、主に製品の開発時および製造時に化学物質を使用しています。開発時には、従来は使用して

（kg）
排出量

排出先
排出量合計

1

移動量合計

2,275

いなかった化学物質を新たに採用したり、化学物質をそ

消費量
除去処理量

3,070

れまでとは違う方法で使用したりする場合があります。そリサイクル量

2,818

合

8,188

の際には、事前に使用設備や使用方法のアセスメントを行
い、環境や作業安全上のリスクを評価し、必要な対策を取ってから使用を開始しています。製造時に使う化学物質

24

計

PRTR対象物質マテリアルバランス
大気排出量 1kg/年

水域への排出 0kg/年

についても、危険性や有害性ができるだけ少ない物質へ

TEL

取扱量
8,188kg/年の切り替えを進めています。

製品
24kg/年

リサイクル 2,818kg/年■ PRTR＊法への対応
法の規定に基づき化学物質の管理を徹底するとともに、廃棄物 2,271kg/年

自社埋立 0kg/年

除去処理量 3,070kg/年

下水道への移動 4kg/年

取扱量や排出量などを継続して把握しています。PRTR
対象物質のなかでも使用量の多いふっ化水素は、主に評■ PCBの保管

価用ウェーハの洗浄に使用しています。使用後は廃棄物「ポリ塩化ビフェニル（PCB）廃棄物の適正な処理の推として専門業者に処理を委託するか社内で適正に処理し進に関する特別措置法」に基づき、PCBの保管や処分のています。冷却水の冷媒として使用しているエチレングリ

状況を都道府県知事に毎年届け出ています。当社グルー

コールも、同様に使用量の多い物質です。エチレングリコ

プが保管しているPCBを含む廃棄物は、
トランス2台とコールについては、
使用後ほぼ全量をリサイクルしています。

ンデンサー4台で、厳重な管理を行っています。

今後も、化学物質の適切なリスク管理を継続していきます。
＊ PRTR（Pollutant Release and Transfer Register）：人体や生態
系に害を与える恐れのある化学物質について、その使用量と環境への排出量、廃棄物に含まれて事業所外に移動した量を把握・集計
し、公表する仕組み

TOPICS
特殊ガスの管理製品の開発・評価工程では、特殊なガスや薬液を使用して実際の半導体製造工程を再現し、製品の評価を行っています。これらの特殊な化学物質には、環境や人体に対して有害

PRTR法第一種対象物質取扱量の推移
法令で
定めた
番号

第一種指定化学物質名

1
亜鉛の水溶性化合物
3
アクリル酸
16
2-アミノエタノール
43 エチレングリコール
44 エチレングリコールモノエチルエーテル
45 エチレングリコールモノメチルエーテル
63 キシレン78
4,4 -ジフェニールメタンジイソシアネート
172 N,N-ジメチルホルムアミド
207 銅水溶性塩（錯塩を除く）
227 トルエン
260 ピロカテコール
283 ふっ化水素及びその水溶性塩
304 ほう素及びその化合物
311 マンガン及びその化合物
合計※2001年度、2002年度は、トン単位で把握

（kg）

2001
年度

2002
年度

0
0
520
1,500
120
0
180
0
290
190
620
0
2,470
0
0
5,890

50
0
70
0
0
0
20
0
430
0
475
0
4,000 9,144 6,353 2,800
0
0
0
0
0
0
0
3
0
0
0
0
0
0
14
24
450
309
131
0
120
0
110
0
0
0
5
0
30
0
3
9
3,690 4,558 3,553 4,811
0
0
0
1
900
450
610
540
9,670 14,461 11,344 8,188

2003
年度

2004
年度

2005
年度

な物質も含まれているため、設備や運用において厳重な管理を行っています。兵庫県尼崎市にある関西テクノロジーセン
ターでは、特殊化学物質の使用に際して、使用設備に異常がないかどうかを、日常点検や定期点検で確認しています。万が一漏洩などがあった場合は、ガス検知システムが感知し、供給元を遮断するなどの対策を取る仕組みができています。また、作業者への通報は、サイレンや自動放送のほか、
クリーンルーム内や入り口、事務所に設置されたメッセージボードで随時、状況を連絡できる体制を構築しています。

メッセージボード（国内事業所）TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 200629

E HS Report

健康・安全「健康と安全」は企業の社会的責任の一つであり、快適に仕事を行うための基盤です。社員やお客様をはじめ、企業活動にかかわるすべての人々の健康と安全を第一に、あらゆる側面から推進を図っています。
■ すべての人々の安全を守るために■ 人身災害事故の管理

東京エレクトロングループは、社員やお客様をはじめ、企

当社グループ全体の労働災害度数率は、2005年度に業活動にかかわるすべての人が安全に働き、安全に製品

は2004年度から少し低下しました。しかし、生産量が増を使用し、そして健康であることが企業の社会的責任の一加し作業が増えたことに伴い、労働災害や事故の要因はつであると考えています。

増加する傾向にあります。当社グループの事故傾向統計

2005年度は、経営層向けの安全研修をグループ各事

では、人間工学的な要因＊が全体の約30％を占めるとの業所で計6回行いました。関連会社を含む執行役員など結果がでています。装置の大型化や複雑化に伴い、無理なを対象とし、
ヒューマンファクターへの組織的アプローチ

姿勢での作業や重量物の取り扱いなど、従来の装置にはの必要性やリスク管理などの「理論編」、当社グループのないリスクが発生しており、これらの対策を進めています。

作業現場の声や安全上の問題点などの「実践編」、当社グ＊ 人間工学的な要因：長時間にわたって体に対する作用が引き起こ
す、重労働、反復動作、不自然な姿勢などの要因。筋骨格系障害。

ループでの安全文化の構築について議論を行う「討論編」の3部構成で行われました。

労働災害度数率と人身災害事故件数の推移グラフ

参加した経営層からは「社員の安全意識は相当高まり、（事故件数）（度数率）
国内製造業平均東京エレクトロングループ
東京エレクトロングループ
事故件数

国内全産業平均
国内電気機械製造業
人身事故件数目標ライン浸透したと思うが、意識の継続に難しさを感じる」「安全については経営者の強い意志と、それが現場にきちんと浸100

透できる組織体制や管理体制の構築が重要」などの声が

1.82

1.79

1.77

1.78

1.85

1.02

0.97

0.98

0.98

0.99

1.01

48

41
0.36

37
0.35

43
0.39

39
0.40

0.39
0.24
0.15
0.18
00
01
02
03
04
＊事故件数は2000年度を100とする＊労働災害度数率：100万延労働時間あたりの労働災害件数、休業4日以上の災害発生件数÷延実労働時間×1,000,000

0.32

あ が っ て い まし た 。
33

2 0 0 6 年 度 はこの 結0.38

果を踏まえ、中間管理

0.34

0.38

0

職 向け の 研 修を 開 催する予定です。

1.95

05「トップ安全研修」の模様

TOPICS
「安全第一標語キャンペーン」を実施
2005年度に、グループ全体で安全第一に関する標語募集キャンペーンを行いました。
「現場主義」を意識し、当社グループ共通

た「安全第一について」の社員携帯用カード裏面にも受賞した標語を掲載し、日頃から安全を意識するよう努めています。

の認識である「安全第一」を推進するための標語をつくることで、
当社グループならではの安全第一を掲げようと考えたからです。
600件以上の応募作品の中から最優秀賞、優秀賞、特別団
体賞を選考しました。受賞した標語を使って啓発用のポスターを作成し、グループ各事業所に掲
示しています。また、従来からあっ30 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

携帯用安全第一カード「アイキャッチ セーフティー」ポスター

0■ ウェーハプローバでの安全対応事例〜人間工学的対応〜
最近の事故傾向からも分かるように、人間工学的な要＊ ウェーハプローバ：テスター（他社にて製造）に接続され、ウェーハ上のICの電極に針をあて、電気的検査を可能にする装置

作業リスク分析による改善事例
作業内容

因の災害が占める割合は増加傾向にあります。この原因として、
ウェーハや基板の大型化に伴い、装置の大型化が進んでいることがあげられます。そこで、当社グループの製品でも様々な対策を講じています。
その一つが、
ウェーハプローバ ＊における対策です。近年、ウェーハプローバに装着するテストヘッドが大型化し、改善内容

重量物のテストヘッドを搬送台車から上下 テスターメーカーが搬送台車に上下機構を機構付リフターへ載せ換える作業追加。これにより人力で重量物を移動する作業をなくした（以下、改善点【1】参照）。
テストヘッドにアタッチメントプレート（約60kg） ウェーハプローバの出荷形態変更により、を取り付ける作業
重量物を手で支えなくても取り付けられるよ
うにした（以下、改善点【2】参照）。
ケーブル束（重量物 : 30kg/m以上）
をクラ ケーブル束の持ち上げ重量を測定し、束をンプ部に取り付ける作業
小分けにしてリスクの大きい作業をなくした。

重量物を扱うため、作業時の人間工学的なリスクが高まってきました。最近では総重量が500kgを超えるテスト
ヘッドも珍しくなく、据付時の作業を従来通り人力だけで改善点【1】
搬送台車に上下機構を追加

改善点【2】
アタッチメントプレートを取り付けた状態で出荷
アタッチメントプレート

行うことが難しくなってきています。そのため、作業のリスクが高くなるケースが増えてきました。そこで、テスト
ヘッド取り付けや位置調整を従来の手順で行う際の作業

下降

上昇

リスク分析を実施しました。設計部門やテスターメーカ
ーへ結果をフィードバックし、リスクを削減したり取り除いたりする方法をともに考え、実施しました。具体的な改善事例は右表の通りです。
今後も設計部門を中心に各テスターメーカーと協力し、ほかの様々なテスターでも、リスク分析などを用いて設計段階から安全に配慮する活動を継続していきます。

TOPICS
チームリソースマネジメント研修
装置の大型化に伴い、作業員の数も増える傾向にありますが、業をチームで行う実習などもあり、一回の受講者数は10数名に限定

人数が多くなるにつれ作業者間でのコミュニケーションは複雑になされます。そのため修了者はまだ少数ですが、今後もこの教育を通ります。そこで、人と人との関係に焦点を当てた安全活動や教育がじて、何気なく行ってきたコミュニケーションやチームワーク、状況認

ますます重要となってきました。こうした背景の中で、日本ヒューマン

識が実は非常に重要で難しいものであること、また意識的に自分のファクター研 究 所と共 同で開 発されたのが、T R M（ T e a m

行動を変えることによりこれらの質が高くなることを多くの参加者にResources Management）という教育手法です。TRMは、航空機気付いてもらい、現場作内で高品質のチーム作業を行うために、利用可能なすべての人的

業時のコミュニケーション

リソースやハードウェア、情報を効果的に活用する能力の習得を目やチームワークを改善して的としたCRM（Crew Resources Management）
を発展させたもいきたいと考えています。

のです。
TRMの対象は現場の作業リーダーで、内容はコミュニケーション、
チームづくり、状況認識などです。クリーンルーム内で想定された作
教育実習風景TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 200631

S ocial Report

社員とのかかわり「社員がいろいろなことにチャレンジできる会社」を実現するための様々な人事制度を導入しています。

■ 働きやすい職場を目指した取り組み■ 人事制度についての考え方
東京エレクトロングループでは、社員の挑戦意欲、
自主性

当社グループは働きやすい職場環境の整備に取り組んを尊重する企業として「社員がいろいろなことにチャレンでいます。その一つとして、長時間残業の抑制を行ってい

ジできる会社」を目指しています。そのために①加点主義

ます。管理者が部員の残業時間を把握し、その減少に努め②公平な人事③公平な報酬の分配を実現できる環境づくるとともに、繁忙期などで残業過多となった翌月には、有りを進めています。当社グループの人事制度は、組織の活

給休暇の取得を推進し、業務負荷が偏らないように配慮を性化と社員一人ひとりの成長を目的とし、単純に成果を重しています。また、各事業所において毎週水曜日を定時退視するものではなく、成果を生み出したプロセスも重視す

社日とするなど、従業員が働きやすい環境づくりを行ってる観点で設計しています。
「プロセスを評価するための力います。

量（コンピテンシー）」「個別の役割（ミッション）」「役割に基

妊娠・育児に対しては、妊娠・育児休暇制度の充実を図づいた成果（パフォーマンス）」という三本柱の考え方を通り、育児休業については男女ともに申請者が取得できない

して、「貢献度に応じた公平な評価」を目指しています。コ

ことがないよう、各管理者に徹底しています。2005年度

ンピテンシーは、評価や査定の目的だけではなく、個人のは40名が育児休業を取得しています。

能力向上やそれぞれの職群に応じて求められる力を育成

また、障害者の雇用にも力をするものさしとして活用します。当社グループは、社員のキ入れています。各事業所においャリアアップ、スキルアップの機会を支援・提供しています。

てスロープや障害者用トイレの人事制度のコンセプト

設置など、障害のある方でも支障会

Mission
会社の目標・方向性を明示なく勤務できる環境づくりを進め社

Performance
目標達成に貢献したパフォーマンスには報酬で報いる

Competency
目標達成のために必要なキャリア／スキルUPの機会を提供

Mission: 個別の役割
Competency： プロセスを評価するコンピテンシー
Performance： 役割に基づいた成果
Competency
専門性を身につけ、プロ
フェッショナリティを提供

Performance
目標達成できるようなパ
フォーマンスを出す社 員

Competency
高い報酬を得るためにプロフェッショナリティを磨くており、グループ内での雇用状況も徐々に改善に向かっています。

障害者用トイレの設置■ 一般職から総合職への転換試験の実施
当社グループの社員は職務内容により、総合職と一般職の二つに分かれています。一般職の社員のなかから企
画・立案・対外折衝などの非定型業務や、総合的な判断を■ 会社活性化のために要する業務を担当する能力・適性と意欲ある社員を総合社員に対して年に一度「自己申告アンケート」と「モラ職として登用するために、希望者に対して転換試験を実施

ールサーベイ」を実施しています。自己申告アンケートは、しています。この転換試験は論文、筆記試験、プレゼンテ

社員自身の異動希望や会社に対する希望・意見、相談したーション、面接により、絶対評価を行い、一定水準に達していことなどを申告するものです。モラールサーベイは社員いることが認められれば合格となります。選考のポイントの士気、組織・職場に対する意識を調査するものです。

は「意欲があること」「総合職としての意識があること」

2005年度のモラールサーベイの調査項目は、経営方針、「タフネスを有していること」「未来へのポテンシャルにお個人意識、安全衛生、職場環境、上司、評価などで、回答結いて優れていること」などです。この制度を利用して転換

果はイントラネットに掲載し、社内へフィードバックしていした社員は、2005年度は7名でした。今後もこの制度にます。また、社員自身が自分のキャリアを考え、それを実現

より、意欲ある社員の登用を進めていきます。

する手段として、社内公募制度を導入し、キャリアアップを目指す社員と求人部署とのマッチングを図っています。

32 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

S ocial Report

ステークホルダーとのコミュニケーション
東京エレクトロングループは、
ステークホルダーの皆様とのコミュニケーションを通して成長していきます。

■ コミュニケーションに対する考え方■ 台湾で環境・健康・安全セミナーを開催

当社グループは、ステークホルダーの皆様とのコミュニ

当社グループは、台湾のおケーションを積極的に推進しています。それは、環境・健客様を招待して、台湾･新竹市

康・安全への取り組みを進めるためには、事業活動にかかで「 TEL EHSセミナー 」をわるすべての皆様とできる限り情報を共有し、コミュニケ

2005年5月に開催しました。

ーションによってフィードバックを得る相互作用が不可欠と台 湾で の E H Sセミナー は考えているからです。具体的な取り組みとしては、地域の2001年から開催しており、今学校と協力した受け入れ体験学習などを開催しています。

回で4回目になります。今回は当社グループでは、2000年から環境報告書を発行して事前にお客様へセミナー内容

います。また、ホームについてのアンケートをお願

ペ ー ジで も 環 境・健

いしました。その結果、当社グ

康・安全に関する情報

ループのEHSに対す開示に努めています。

る考え方と実際の活

今後もこうした取り組

動 内 容 、製 品で 使 用

みをより積 極 的に展する規制化学物質のセミナーでの配付冊子

削 減 、各 装 置で の 取

開していきます。
受け入れ体験学習の模様■ EHSタイムズとイントラネットによる情報共有
環境・健康・安全に関する当社グループ社内報「EHSタり組みに関する内容

台湾でのEHSセミナーの風景を中心としたセミナーを実施しました。

イムズ」を隔月で発行し、グループ内の関連各委員会にお前回と比較して参加人数が増加し、ける審議内容や、
グループ各社・事業所の取り組みなどを

特に装置に直接かかわる方々の参加

分かりやすく紹介しています。各グループ会社や事業所でが目立ちました。実際に装置を使用も同様の社内報を作成しており、従業員の意識向上と情する立場からの視点が加わり、活発な報の共有に役立てています。

質疑応答と意見交換が行われましイントラネットでは、グループ内の情報開示や情報交換をより迅速にする取り組みを行っています。
こうした活動は、株主・投資家の皆様に向けた冊子、アニュアルレポートでも紹介しています。

た。なかでも装置の安全性に対しては特に高い関心が寄せられました。

アンケートの結果参加したお客様からは、「 分かりやすかった」「東京エレ
クトロンのEHSに対する取り組みと考え方が良く分かった」「新しい考え方やインスピレーションが得られた」といった高い評価をいただきました。また、「今後もセミナーを継続的に開催し、装置の安全性や環境負荷低減についての事例を紹介してほしい」との声を多くいただきました。

アニュアルレポートでのEHS活動の紹介

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 200633

S ocial Report

ステークホルダーとのコミュニケーション■ 社会貢献に対する考え方

まるとともに、地域への貢献にもつなげることができまし東京エレクトロングループは、「社会に対し、常に規律を守た。なお、第1回目（2005年6月6日実施）の本活動は、り、協力的でありたい」「社会の健全な発展のために協調

韮崎市広報8月号に掲載されすることが我々の義務である」という考えに基づき、行政やたことに加え、活動PR用サイン

地域社会との信頼関係を築きながら、国内はもちろん、海

ボードを韮崎市中央公園内の外においても様々な社会貢献活動を展開しています。今

遊具広場に設置していただき

後も活動をさらに拡充し、社会とともに歩んでいきます。

ました。

■ 国内における社会貢献■ 海外における社会貢献

設置されたポスター

藤井事業所（山梨県韮崎市）では、「 韮崎市アダプトプロ

東京エレクトロン上海では、社員一人ひとりが社会にグラム制度」に参画しています。アダプトプログラムの「感謝の意」を表する意識を高揚するために、社会貢献とAdoptとは、英語で「養子縁組をする」という意味です。ごして孤児院への寄付を行ってみの散乱やポイ捨てのない美しく快適な町にするため、市います。新年会にビンゴゲーム

民（事業者を含む）が道路や公園といった公共の場所をわを開催し、参加する社員とそのが子に見立てて掃除や美化活動を行い、その活動を自治

家族は1枚10元でビンゴカー

体がサポートする制度です。同プログラムでは、年6回以ドを買います。ビンゴカード代
はす べ て 寄 付 金となります 。

上の活動が求められます。

清掃風景

ビンゴゲームの模様

藤井事業所では、韮崎市中央

2006年1月の新年会では公園の清掃活動に参加してい3,630元（約55,000円）集ます。本活動を通じて韮崎市行

まり、全額が孤児院へ寄付され政との連携が今まで以上に深ました。

寄付証書と東京エレクトロン上海
社長 Jay Chen

TOPICS
東京エレクトロン九州にて涵養植樹を実施
東京エレクトロン九州では、創設

手入れを2年）で実施されます。今回は227名の社員、家族が参加し20周年を記念し阿蘇の俵山で水ました。参加者からは、「家族で楽しく植樹ができた」、「環境のこと源涵養林の植樹を実施しました。

を考える良いきっかけとなった」などの感想が多数ありました。

水源涵養林は、保水や水質浄化などの重要な役割を果たし、「緑のダム」とも呼ばれます。植林の場所

0.3ヘクタールの土地にヤマザクラ・ヤマモミジ・クヌギなどの広葉樹を1,000本植樹しました。この植樹活動は、5年計画（植樹を3年、東京エレクトロン九州 資材部
植林風景となる阿蘇山周辺は、九州中・北部5県の主要6河川の源流にあたり、300万人以上の人々がその恩恵を受けています。
しかし、近年都市化による保水量の減少や、流域での農地（水田）の影響など
で湧水量が年々減少しています。

長谷部

博司

長男（4歳）と2人で参加し、張り切って26本を植えてきました。子どもはカブト虫やクワガタを早く見に行
きたいと楽しみにしています。
東京エレクトロン九州 クリーントラック品質保証部

稲田

美穂子

今回の植樹の目的は、限りある貴重な水資源を守るために減少した
集合写真

保水量を増やすことです。今年は34 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

今までは義父母も俵山にはあまり親しみがなかったのですが、今回の植樹で「これからは俵山を通るたびに気になるね」と言っております。

ステークホルダーからのご意見2005年度環境・社会報告書および東京エレクトロングループの事業内容について、遠峰徹様にご意見をいただきました。

セイコーエプソン株式会社
半導体事業部
IC・CS品質保証部（環境担当）
エナジーセービング専任課長

遠峰

徹氏■ Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.の（1）東京エレクトロン環境・社会報告書の感想

社会貢献

全体が冗長になることなく簡潔にまとまっており、活動の具体「産業リーダーシップ賞」を受賞

性と行動力を感じられること、また技術的な内容がわからない顧Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.（以下 TEL

客に対してもイメージを持てる内容になっている事に好感が持U S H D ）は 、2 0 0 5 年 オ ー スチン 美 化 協 会（ K e e pてました。特に装置の省エネルギーに対して高い意識が感じら

Austin Beautiful: KAB）より「産業リーダーシップ賞

れ、ユーザーからの要望に現場も一体となって取り組む姿勢を強く感じることができ、安全と健康に対する配慮を含め、なすべ（Industry Leadership Award）」を受賞しました。このきことの明確さが伝わってくる内容になっていると感じました。

賞は、環境美化、汚染低減、および排出削減の分野でKAB

また、
トップの方が具体的な内容にも踏み込んでご意見を述べの活動に大きく貢献した市民団体または提携組織に与えられており、会社としての取り組みの集中力を感じた次第です。

られるものです。TEL USHD

（2）東京エレクトロンEHS活動に関する感想
顧客への姿勢や環境に加え、従業員の方々の安全と健康での植樹運動、自然保護活動、に対する意識の強さが特徴的と感じました。顧客の安全を大美化活動や代替エネルギーの切にする事は自らの安全を大切にすることから始まるといった積極的使用などの活動が評価されたものです。

意識が背景から読み取れ、信頼感を深める事ができました。
「産業リーダーシップ賞」受賞風景

半導体工場の環境影響を考える時、半導体工程ほど多種の技術が集積されている工程はほかにないことに思い至ります。一台一台の製造装置がファシリティとの関係において多「日本と自然」展示会を支援
TEL USHDでは、昨年オースチン子供博物館の展示会「日本と自然 - 四季の心（Japan and Nature - Spiritsof the Seasons）」のスポンサーを務めました。この展

くのINPUTとOUTPUTで結ばれています。多くの種類の装置を手がけるなかで、問題を直視し設計段階から取り組もうとされる姿勢に心強さを感じています。
（3）セイコーエプソンから見た東京エレクトロンの印象

示会は、子どもたちが特色ある日本の4地域、福岡・琵琶

プロセス技術を含めた新たな装置開発を推進され、常に新湖・京都・札幌を探訪し、一ヵ所で一つの季節を体験できる

たなご提案をいただいている事に日頃感謝しています。一方、もので、参加者とのコミュニケー

新しい装置のみならず既に工場で稼動している装置に対してションを通じて、日本のユニーク「京都」の展示風景

も、技術開発の成果を展開し改善の提案をいただけるものと期待しています。また、環境・社会報告書に業界標準を重視しな地理的特徴や景観を紹介しまている姿勢にも現れていますが、SEMIをはじめ半導体業界活した。この展示会の入場者数は動にも大変積極的であることに業界をリードする存在である事20万人を超えました。

を感じています。
（4）東京エレクトロンへの要望・期待など
環境・エネルギー面で省エネルギーについて大変敏感な状

オースチン市長Will Wynn氏からのメッセージ

況を迎えつつあると感じています。従来の省エネルギーについTEL USHDはオースチン市にとって、各方面で個別の成果は出てきていますが、目的を半導体て手本とするべき企業市民です。TEL

工場の省エネルギーの実現に置いたとき、今までの活動成果

USHDは、
この数年間地域の公共福をインテグレートしてゆく視点が重要と考えています。一方、環祉に関するプログラムとリサイクル活

境活動の成果は個別企業の活動で一人勝ちできるものでは動へ積極的に参加され、KABより表彰されました。TEL USHDの献身的ないのも実情です。
したがって、半導体業界全体の方向付け

な支援とリーダーシップによって、私たとして、環境施策のコスト効率をあげていく事が重要と考えています。個別の環境関連技術開発およびその普及と同時に、ちの地域における生活の質は確実に向上しています。

オースチン市長

2006年5月

ウィル・ウィン
（Will Wynn）氏

業界を方向付けていく事にも今まで以上のリーダーシップ発揮をお願いしたいと思います。

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 2006

35

Cert no. SA-COC-1210

PR44-178

FAX：042-333-8477

環境・社会報告書2006アンケートのお願い
最後までお読みいただき、ありがとうございました。本年度は、東京エレクトロングループの環境・安全・社会面の取り組みについてご理解いただくことに努めました。
今後の取り組みや経営に反映していくために、皆様の忌憚のないご意見、ご感想、お気づきの点などをお書き添えの上、ご返送いただければ幸いです。
なお、
アンケートをご返送いただいた方に抽選で粗品を差し上げます。
2006年8月
東京エレクトロン（株）環境安全推進センター

Q1.環境・社会報告書2006はいかがでしたか？
（わかりやすさ） □大変わかりやすい（情報量） □大変充実している□わかりやすい□充実している□普通□普通□ややわかりにくい□やや物足りない□わかりにくい□物足りない□あまり評価できない□評価できない

Q2.当社グループの環境・安全・社会活動をどう評価されましたか？
□かなり評価できる□評価できる□普通Q3.印象に残った記事はどれですか？（いくつでも可）□TELバリュー、会社概要□編集方針、対象範囲、環境･安全活動のあゆみ□トップコミットメント

Highlight □東京エレクトロンの先端テクノロジーが世界をつないでいきます□ステークホルダーとの座談会「半導体製造装置の環境負荷低減」
Management Report □コーポレート・ガバナンス
EHS Report □EHSマネジメント□製品における環境への取り組み□取引先における環境への取り組み
Social Report □社員とのかかわり□コンプライアンス□EHS活動の目標と実績□環境負荷の全体像／環境会計□物流における環境への取り組み□事業所における環境への取り組み□健康・安全□ステークホルダーとのコミュニケーション□ステークホルダーからのご意見

Q4. ご意見、ご感想、ご要望、ご提案などをお書きください。

Q5. この報告書はどのような立場でお読みになられましたか？
□お客様□環境NGO／NPO
□行政機関

□お取引先
□株主・投資家□研究・教育機関□学生□東京エレクトロンの事業所近隣にお住まい□企業・団体の環境ご担当
□報道機関
□その他（

）

おさしつかえのない範囲でご記入ください。
お名前

性別

□男性

ご住所 〒

ご職業（勤務先・学校名など）

□女性

年齢

電話

E-mailアドレス

お寄せいただいたご意見・ご感想を次回の報告書に掲載させていただく場合がございます。個人情報保護に関しましては、
漏
えいや滅失などがないよう適切な管理を行い、
年齢・性別・職業による分析などに利用させていただきます。なお、
ご送付いただきました個人情報の修正や変更・削除を希望される場合は東京エレクトロン（株）環境安全推進センターまでご連絡くださいますよ
うお願いいたします。

「環境・社会報告書2005」アンケート集計結果
弊社「環境・社会報告書2005」について、たくさんのご意見をいただきました。
アンケート結果をご紹介させていただきます。

① わかりやすさ はいかがでしたか？ ② 情報量 はいかがでしたか？ ③当社グループの環境・安全・社会活動を、どう評価されましたか？
やや物足りない
7%

ややわかりにくい
4%

普通
29%

大変
わかりやすい19%

わかりやすい48%④印象に残った記事

ベスト5

1

東京エレクトロンの製品

2

健康・安全

3

製品における環境への取り組み

4
4

半導体業界のCO2排出量削減へ向けた取り組み

5

事業所における環境への取り組み

大変
充実している12%

あまり評価できない 2%

普通 17%
普通
31%

かなり
評価できる
21%

評価できる
60%

充実している50%⑤この報告書はどのような立場でお読みになられましたか？
お取引先 2%

株主・投資家 13%

その他
37%

企業・団体の環境ご担当
18%

環境NGO／NPO 13%
学生 4%⑥主なご意見・ご感想

研究・教育機関 13%● 半導体と御社のかかわりが良くわかった。東京エレクトロンの事業もわかりやすく説明されていた。環境配慮などの方針に、株価成長に、継続性を持たせていただきたい。 （50代、株主・投資家様）● 東京エレクトロンが環境を強く意識していることを知り、信頼できる会社だと思った。廃棄物リサイクル率で、
目標95%に対し96%で前倒し達成の報告は気になる。目標は100%にしてほしい。 （60代、一般の方）● 環境負荷が少なくコスト増にならない、
しかも各国の法律に対応できる有害化学物質を使用しない代替部品の開発について、

ステークホルダーへの技術指導や共同研究がどのようになされているかも報告してほしい。 （50代、研究・教育機関）● 社員の健康・安全にも心配りができており、環境に配慮するということは、そこで働く人を大切にすることから始まると思う。

御社製品はなかなか直接目に触れることはないが、できあがった製品の安心感が、
この報告書により伝わってくる。
（50代、環境NGO／NPO）● 装置使用開始負荷の現在と改善後との比較数値一覧表で、何％削減したと明確にしていただきたい。冊子発送に際し、エコテー

プ・エコアドレスの使用をしてはいかがか？ （60代、一般の方）● 環境・健康・安全・品質を事業を進めていく上での四要素ということをCEOは述べているが、健康と品質についてはあまり言及されていない。環境と安全が主になるとは思うが、健康と品質がどうかかわるかということについて関連づけて言及してほしかった。また、紙の使用量が減っていないことが気になる。 （50代、企業・団体の環境ご担当）

今後も、いただいたご意見をもとに、
環境保全活動に努めてまいります。
ご回答いただいた皆様、
ありがとうございました。