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ステークホルダーとの座談会「半導体製造装置の環境負荷低減」
お客様の工場での半導体製造装置使用時の環境負荷をいかに削減するか。
これは、東京エレクトロングループの社会的責任の中心的な課題の一つです。そこで、装置のユーザーである半導体メーカーのご担当者3名をお招きし、当社グループの営業・装置開発担当者を交えて座談会を開催しました。装置の省エネルギーを中心に、当社グループの課題やお客様からの期待などについて議論しました。

装置の省エネルギー化にはプが装置を改良した場合、その省エネルギー効果や歩留ま半導体メーカーとの情報共有が不可欠りに関する情報は教えていただけるのでしょうか。

TEL井深：昨今、環境配慮設計が注目を集めています。なか鍵野氏：確かに情報が得られるかという問題もありますし、情でもエネルギー効率の改善が大きな課題となっており、当社報を得られたとしてもほかのメーカーがその改良方法を利グループは、装置のエネルギー効率の改善を通して地球や用するか、という問題もあります。同じ半導体メーカーのな社会に貢献したいと考えています。今日は、ぜひユーザーでかでも、A工場ではうまくいった改善の取り組みがB工場ではある皆様に忌憚のないご意見をお話しいただき、今後の製品成功しなかった、または採用されなかったというような例が開発に活かしていきたいと考えています。

あります。半導体製造装置が顧客によりカスタマイズされて

鍵野氏：半導体業界は、環境配慮を目標に掲げ、エネルギーいることも理由の一つのですが、これは半導体メーカー側で使用量の削減などに取り組んでいます。しかし、エネルギーも変えていかなければならないことだと思っています。

使用量は減らしたいが歩留まりは下げたくない、という現実

TEL鶴：お客様の工場ごとに製造方法や省エネルギー化にがあります。そこで歩留まりにあまり影響のない部分からは対する要求が違うので、一つの手法でどの場所でも実現できじめ、局所的なクリーンルームやエアーコンディショナーのるものではありません。お客様からの要求が統一され、情報省エネルギー化など、使用設備の改善を進めてきました。製を提供していただけると省エネルギー化も進めやすいので造装置の製造プロセスにかかわる本質的な省エネルギー化すが、それは可能でしょうか。

は歩留まりに直接影響する可能性があるので、手を付けるの

鍵野氏：これからはそうしていかなければならないと思います。

が難しいと思います。しかし、空調設備の省エネルギー化を進めれば進めるほど、製造装置のエネルギー使用量の割合既存装置の省エネルギー化についてが目立ってきました。半導体を製造していない時も装置は稼TEL坂口：我々は新規工場を中心に装置を納めていますが、動しており、その待機電力は無駄なのですが、歩留まりに影

既にお客様の工場に納入されて現在使用されている装置響するかもしれないと思うと手を付けにくいところです。今（以下 既存装置）はその何十倍もあり、既存装置のエネルギ

後さらに半導体製造工程でのエネルギー使用量を減らすにー使用量削減にも焦点を当てるべきだと思っています。たは、半導体メーカーと装置メーカーが共同で取り組まなけれだ、既存装置を改良するには時間も労力も費用もかかりまばならないと思っています。

す。半導体メーカーとして、既存装置の省エネルギー化対策

TEL山中：歩留まりに関する情報は、半導体メーカーにとっについてどのように考えておられるのか、教えてください。ては外部には出しにくいものと思います。例えば当社グルー鍵野氏：半導体メーカーでの省エネルギー化の考え方は、8 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

二つあると思います。一つは、総量でのエネルギー使用量削減、もう一つは、原単位あたりの使用量削減です。半導体業界は基本的に成長産業であるためエネルギー使用量は増える傾向にあり、総量を減らすのは非常に難しいことだと感じています。今までは「原単位、ウェーハ1枚、または半導体チップ一つを生産するのに必要なエネルギー使用量は減っている」という値を用いてきましたが、いずれは、総量削減に取り組まなければならなくなるでしょう。総量を減らすには、既存装置を改善することは一番効果があるでしょう。
いずれ、新規装置より既存装置の改善のニーズが大きくな設備側と連携した対応が有効と思います。

るかもしれません。既存装置の改善には、新規装置での改高橋氏：工場設備との関連で言えば、温暖化係数の高い排ガ善内容のアイディアを転用できれば一番良いと思います。

スの排出量を削減するため、回収して再利用できるような装これについては是非装置メーカーにて新規装置を開発する置ができるといいと思います。

際に考慮いただき、提案いただければと思います。

多田氏：近頃注目されている、全部引き取るという方法がい

TEL坂口：マーケットが見えていないという面はあると思いいのではないですか。別配管が必要になるかもしれません

ます。半導体メーカー側で省エネルギー化のための予算をが、フッ酸なども回収し、もう一度使えるようにリサイクルで付けるということなら、ビジネスモデルとして成立するので、きるといいと思います。

当社グループ側で専門部隊を立ち上げることができます。ただその場合、先程から議論になっているように、メーカーや半導体によってどれだけ社会のエネルギー効率を工場ごとに違う対応をしなければならないので、その問題さ向上できるかえ解決できれば、ご期待に沿えるソリューションを提供でき

多田氏：20〜30%の省エネルギー化は、装置の改良によりると思います。

比較的簡単に実現できるのだろうと思います。しかし、本質

鍵野氏：既存装置のエネルギー使用量は各メーカーとも課的なところから考え直して大幅にエネルギー使用量を削減題と考えていると思いますが、既存装置だけを考えた省エネできる技術を開発してほしいと思います。

ルギー対策を考えようとするとコストや手間がかかり実現は

鍵野氏：そうですね。装置のエネルギー使用量は、現在の半難しいかもしれません。先程も申し上げた通り新規装置の省分ぐらいにできるのではないでしょうか。例えば電極構造とエネルギー化技術を、既存の装置に少しでも組み込むことは排気の関係を見直すなど、知恵を絞って要素技術を提供してできないでしょうか。費用は新規装置の開発費に乗せて、既いただければと思います。

存装置の改良費は安く抑えることができればいいと思いま

TEL井深：ウェーハあたりのエネルギー使用量は減っているす。オーバーホールなどのタイミングで、あまり時間やお金が総量は増えているというお話がありました。これからは、省をかけずに改良ができるといいのですが。

エネルギー化というより、半導体によってどれだけ社会全体

多田氏：周辺配管の改造にはかなりの費用がかかりますののエネルギー効率を向上していけるかが重要だと思っていで、それに省エネルギー化の改良も盛り込んでいけば費用ます。そのためには、半導体メーカーと装置メーカーがいろ面でも納得のいく範囲ではないかと思います。つまり、工場いろな分野で協力していく必要があると思っています。

多田氏：私はJEITA（電子情報技術産業会）でLCA＊ワーキンググループの主査を行っています。LCAでは環境への悪影響を総合的に算出するわけです。確かに半導体製造時には大量のエネルギーを消費するなど環境に負荷を与えますが、ユーザーが半導体を使用して生み出される最先端製品を使うことでエネルギー消費量を削減できるというポジティブな影響もあるわけです。今後はLCAを使ってそういうポジティブなインパクトもきちんと算出していきたいと思っています。
＊ LCA ：製品の調達から解体・廃棄に至るまでのライフサイクルを通して環境にあたえる影響を査定・評価すること。

TOKYO ELECTRON

環境・社会報告書 20069

株式会社東芝セミコンダクター社

エルピーダメモリ株式会社

株式会社ルネサステクノロジ

東京エレクトロン株式会社
開発企画室

東京エレクトロンAT株式会社

鍵野

多田

高橋

山中

小松

実氏

一洋 氏

健治 氏

崇己

ESD品質保証2部

一省エネルギーガイドライン「SEMI S23＊」を業界標準にTEL小松：私は当社グループの工場でEHS全般を担当しています。これまでは自分たちの使っているエネルギー使用量の削減に取り組んできたわけですが、今度は製品の環境配慮という命題に取り掛かっています。工場にとっては生産性の追求と環境配慮という命題は相反するところもあり、大変悩ましい問題です。今日は、半導体メーカーの皆様から貴重なご意見を聞くことができて非常に嬉しく思っています。今後、装置の省エネルギー化を進めるために、要素技術の開発や新しいビジネスモデルの構築に加えて、装置ごとのエネルギやすいです。

ー消費量の比較をもっと行ってはどうかと思います。同じ仕鍵野氏：プロセスに関する仕様は変わりますが、省エネルギ様で同じ条件で稼動した時、エネルギー使用量の違いを比ーについては共通仕様でやってほしいということです。歩留較して、お客様が選定する時の参考にしていただければ、もまりに影響がなければ、半導体メーカーは皆、省エネルギーっと省エネルギー化が進むのではないでしょうか。

を進めたいと思っていますから。半導体メーカーとしては、鍵野氏：まさにそれを狙いとして、製造装置の省エネルギー装置メーカー側から、S23を業界の標準仕様として訴えてガイドラインのS23には比較できる指標を盛り込みました。

いただいた方が採用しやすいです。

装置メーカー各社がS23を仕様に入れていけば、半導体メTEL山本：省エネルギー仕様を標準にしようという考えはあーカーで比較しやすくなります。

りますが、半導体メーカーからも要求していただかないと難TEL井深：どれだけの半導体メーカーがS23の採用を要求しい面もあります。装置選定の際には最終的にコストで決まするかにもよります。要求が増えれば、コストも吸収しやすくることも多いのが実情です。
「標準仕様でないなら、その機なります。半導体メーカーのお考え次第という面もあります。

能を外せば安くなるでしょう」とお客様から言われてしまうこ

TEL石田：お客様ごとのニーズに合わせて個別に採用すともあります。

るより、ある程度、規格と考えていただいた方が取り入れ

鍵野氏：本当の意味で標準になっていれば、その機能を外す

10 TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2006

東京エレクトロン株式会社
エッチングシステム部

東京エレクトロン株式会社
クリーントラック部

東京エレクトロン九州株式会社

東京エレクトロン九州株式会社

クリーントラック開発部

クリーントラックシステム設計部

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

坂口山本

石田

鶴

星

井深智彦

雄一

省貴

元浩

丈治

成仁と逆に高くなるはずです。そこまで標準化してほしいのです。

多田氏：省エネルギー部分を切り離せないように、根本的な装置の部分に組み入れてしまうようなつくり方にするといいかもしれません。

TEL鶴：S23が広がれば、装置メーカーとして装置の省エネルギー化が進めやすくなると思います。

鍵野氏：近い将来、JEITAに加盟している半導体メーカーは皆、S23を採用するようになると思います。装置メーカーと半導体メーカーが一緒になってS23のレベルアップを図り、標準仕様化できると良いでしょう。
＊ SEMI S23：SEMIが作成した半導体製造装置に関する省エネルギーのガイドライン、正式名は「半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティー、および材料の保全のためのガイド」

性能に加えてエネルギー使用量も考慮するようになってきています。

高橋氏：半導体メーカーは皆、製品の環境アセスメントを進

製品の環境配慮が不可欠な要素にめており、総合的な指標化をして環境負荷の低減を進めてい鍵野氏：省エネルギー化をはじめとした装置の環境配慮はます。JEITAでは、LCAを活用して、製品間の比較ができる年々重要になっています。わが社でも、製品開発時には必ずような体制を整えています。装置についても、今後、標準化環境アセスメントを実施し、総合的な環境効率が改善されてや装置間の比較ができるような体制ができていくでしょう。

いないと製品化できないほどになっています。装置の省エネ

S23ができて、装置の省エネルギー化の取り組みはこれかルギー化にしても、性能に差がなくて、価格が高くてもエネら本格化すると思いますので、今後の装置メーカーの取り組ルギー使用量が半分であれば、そちらを買う半導体メーカーみに大いに期待しています。

も出てくると思います。

多田氏：確かに、エネルギー使用量が重要な位置付けを占めるようになってきています。これまで、装置の選定時にエネルギー使用量の比較評価は行ってきませんでしたが、現在は座談会を受けて今回は、お客様である東芝様、エルピーダメモリ様、ルネサス寄せられている半導体製造装置の省エネルギーガイドライン

テクノロジ様をお招きし、座談会を開催しました。複数のお客様「SEMI S23」を利用して装置のエネルギー使用把握を行い、省と当社グループのマーケティング、設計、開発、EHS関係者で半エネルギー化・使用エネルギー効率改善化を推進していくこと

導体製造装置の省エネルギー化について情報交換を行えたこの重要性を今回再認識しました。お客様の要望に応えるべく、とは、大変貴重な機会となりました。今後も継続してお客様の生また、当社に対するお客様の信頼を高めていくためにも、業界内の声をお聞きし、設計や開発に反映させていきたいと思います。

でリーダーシップを継続的に高めて活動していきます。

お客様から要請のある新規装置での改善事例を既存装置に反映していくことは、どのような方法が考えられるかも含めて検討

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター センター長

金子 正記

を深めていきたいと考えています。また、お客様から高い期待がTOKYO ELECTRON

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