E H S R E P O RT

取引先における環境への取り組み
東京エレクトロングループでは、取引先との協力と連携を通して、製品における環境負荷の低減を推進しています。
このページでは、当社グループの取引先2社における環境負荷低減の取り組み状況を紹介します。

取引先企業での取り組み〜株式会社堀場製作所、株式会社堀場エステック〜

株式会社堀場製作所様、株式会社堀場エステック様生産工程として鉛フリー製造ラインを持ち、従来の鉛使用のとの取引状況

製造ラインとは使用工具・治具類の完全分離を行って対応し

EHS REPORT

株式会社堀場製作所様、堀場エステック様（以下、HORIBA）ています。また、取引先からの納入品はサンプリングとしては、創業以来分析・計測機器メーカとして事業を拡大し、現在は自社内でHORIBA製の分析器を用いて検査を行い、規制対象自動車、分析、医療、半導体の四つの事業を持つ会社です。

物質が含有されていないか確認しています。

当社グループとの取引は、半導体 /FPD製造装置で使用するがガス・液体の流量計（マスフローコントローラ、以下MFC※）主であり、HORIBAはMFCで世界トップシェアを誇ります。

24取引
先における
環
境への取り組み※MFC：半導体の製造には様々なガスや液体が使用されています。MFCは、これらの物質の流量を正確に制御する製品です。MFCの性能や品質は半導体製造工程での品質や生産性にも大きくかかわるため大変重要なパーツです。
▲受け入れ検査時の分析

MFC内部構造HORIBA製
MFC（Z500）
蜷駆動電源
流量出力信号

流量設定信号制御ユニット

流量センサ

Inlet

ピエゾアクチュエータ
流量制御バルブ

Outlet蜻左 側 から入ってくるガスを 流 量センサーで計測し、電圧をかけることによって 伸 縮 する素 子を使 用したピエゾアクチュエータを用いて流量制御バルブで決められた量に制御し、右側へ送り出します。

▲鉛フリー製造ライン

MFCの半導体製造工程での環境への寄与
HORIBAでは、製作するMFCのRoHS対応を進めるなか、その機能の向上により半導体製造装置を通じて製造工程の環境負荷低減に寄与しています。例として「流量精度の向上による歩留まりの向上」「全流領域にわたる高速応答による生産性の向上とガス消費量の削減」があげられます。また、現在、当社グループ製品での検討を進めている「マルチガス・ワイドレンジ MFC 」は、統合マネジメントシステムの構築

従来のMFCでは様々なガスワイドレンジ化によるライン数の削減
MFC

HORIBAでは、2004年6月まで個別で運用していた品質・種ごと、ガス流量ごとに異ガスA

環 境 ISO に 、労 働 安 全 衛 生 マ ネ ジメントシ ステム で あ るなる MFC がマトリクス的にガスCOHSAS18001を加えて、一つのシステムで運用する統合マ必要となっていましたが、こガスCネジメントシステム（ Integrated Management System 、の MFC ではガス種、流量のガスDIMS）を構築して運用しています。今後この IMS を HORIBA大小にかかわらず対応するグループ企業に構築していく方針です。

ことが可能なものです。これによりMFCの削減と消費RoHS指令に対する取り組み電力削減に寄与できます。

ガスB

ガスC

ガスD

ガスA
ガスB
ガスC
ガスC
ガスC
ガスD
ガスD

当社グループを含む取引先からの要望や欧州法規制の動向に対応し、HORIBAで製作するMFCのRoHS対応を進めています。

HORIBAでは MFCに使用するプリント基板類の鉛フリーは ん だ 化 を 2004 年 か ら 進 め 、ま た 塗 料 な ど に 含 ま れ る

RoHS指令対象物質の廃止を2006年から新製品で対応しました。現在では既存製品での対応を進めています。社内でのTOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

当社からのコメント：
今後は、半導体製造プロセス上重要である、プロセスガスの使用量最適化による省資源化、生産効率向上、省エネルギー化に重点が置かれるようになると思われます。これらにもHORIBA様の持つ分析、流量調整技術に期待しています。

取引先企業での取り組み〜株式会社ワイ・デー・ケー〜

株式会社ワイ・デー・ケー様との取引状況

貼り、識別を行っています。ユニットやアッセンブリなど製品の RoHS

器や半導体製造装置などの設計・生産および精密機械部品の規制物質の全廃については、計画切削加工を主とした事業を行っています。

を定め当社グループの要求に応じ岩手県遠野市にあるYDK岩手地区にはYDKメカトロニク▲RoHS対応品シールながら進めていく方針です。

ス東北事業所およびYDKコミュニケーションズがあり、当社グループでは東北事業所で製造する熱処理成膜装置の部品加生産性の向上と改善提案

工において1982年から取引を開始し、現在では部品類の加「セルフチェックは作業の基工から装置設計、部品切削加工、自動機ユニットの組み立て「次本 / 完全実施で不良低減」などの取引を行っております。また、当社グループ東北事業

工程はお客様」との方針に基所内で請負事業としてガス制御類などの設計を、製造部門にづき、また、生産性向上のた

おいては、YDK派遣社員の受入、という人員面での協力企業

め、治具化の推進、ユニット組としての取引もあります。YDK岩手地区は、2007年4月に行立やアッセンブリの生産レイ

われた生産動向説明会において、アウトの見直し、各ユニットの東北事業所よりユニット組立品の作業で必要な工具のみを設置

品質および納期達成率の大幅なし、そこで作業を行う「屋台方式」を取り入れるな改善に取り組まれた件においてど積極的に改善活動を行っております。

25▲YDKの生産現場

取引先向け
VE改善提案用紙蜷

2007年7月からは新しい生産システムの導入によりパソ表彰されました。
▲当社グループからの表彰状

環境マネジメントシステムの構築

コン上で受注から製品・部品の生産状況を把握できるようになり、在庫の滞留や作業のムダをなくすことを進めます。

YDKでは、環境問題に対する社会的責任の重みが増した

また、当社グループのVE（Value Engineering）提案書をため、2003年11月にISO14001を認証取得しました。具体用いての当社グループ製品への改善提案を積極的にいただ

的な環境活動として、繰り返し使える梱包材やウエスのレンき、ともにコストダウンや品質・生産性向上を進めています。

タル化によるリユース、蛍光灯のインバータ化、紙使用量の削減などを行っています。

安全への取り組み

YDKでは2007年度の活動「ルールを守って安全作業」「無事故で作る明るい職場」を方針として、より事業活動スローガンに安全活動を推進されています。安全衛生委員に沿った環境活動を行っ会を毎月開催し、災害リスクアセスメントを実施し、教育やていくこととしています。

啓蒙活動を進めながらゼロ災害を目指しています。

▲ウエスのリユースボックス

鉛フリー化とRoHS対応

当社からのコメント：

YDK岩手地区では、当社グループの2003年9月の鉛フリー

鉛フリー化は当社グループの方針に沿ってご協力いただに関する調査から、当社グループの教育により鉛フリーハンきました。RoHS対応についても同様に進めていただけれダトレーナーを養成し、2006年2月より鉛フリー化を開始しばと考えています。当社グループもYDK様よりご提案を受ました。岩手地区のYDKコミュニケーションズでのプリント基「RoHS対応品」
シールを板などの製品のRoHS対応製品には、EHS REPORT

株式会社ワイ・デー・ケー様（以下、YDK）は、情報通信機け改善を重ねることにより、より良い製品づくりを行っていけるものと考えています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

取引
先における
環
境への取り
組
み